JP2012028799A - Component with built-in inductor and dc-dc converter using the same - Google Patents

Component with built-in inductor and dc-dc converter using the same Download PDF

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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inductor which can reduce leakage flux and can exhibit excellent performance even if the inductor is disposed closely to a semiconductor integrated circuit (IC), and to provide a DC-DC converter using it.SOLUTION: Coil conductors arranged on different magnetic body layers of a multilayer insulating substrate having an upper main surface and a lower main surface facing each other and a lateral face connecting the upper and lower main surfaces are stacked, connected through via holes and turned vertically to produce a stacked coil. The multilayer insulating substrate has a coil forming magnetic body layer, and an upper magnetic body layer and a lower magnetic body layer located above and below the coil forming magnetic body layer. The magnetic body layer located in the direction of magnetic flux generated by the stacked coil is made thicker than the other magnetic body layer thus reducing flux leakage from the main surface.

Description

本発明は、DC−DCコンバータ制御回路、スイッチング素子を含む半導体集積回路(IC)と、インダクタやコンデンサなどの受動素子で構成されるDC−DCコンバータに用いられるインダクタに関する。   The present invention relates to a DC-DC converter control circuit, a semiconductor integrated circuit (IC) including a switching element, and an inductor used for a DC-DC converter including passive elements such as an inductor and a capacitor.

携帯型の各種電子機器(携帯電話、携帯情報端末PDAやノート型コンピュータ、DVD,CD,MDプレイヤー、デジタルカメラ、ビデオカメラ等々)は、電源として電池を用いるものが多く、電源電圧を所定の動作電圧に変換する電力変換装置としてDC−DCコンバータを備えている。DC−DCコンバータは、スイッチング素子、制御回路を含む半導体集積回路(能動素子)とインダクタ、コンデンサなどの受動素子を、接続線路が形成されたプリント基板等の上にディスクリート回路として構成するのが一般的である。   Many portable electronic devices (such as mobile phones, personal digital assistants PDAs, notebook computers, DVDs, CDs, MD players, digital cameras, video cameras, etc.) use batteries as the power source, and operate the power supply voltage at a predetermined level. A DC-DC converter is provided as a power conversion device that converts voltage. In a DC-DC converter, a semiconductor integrated circuit (active element) including a switching element and a control circuit and passive elements such as an inductor and a capacitor are generally configured as a discrete circuit on a printed circuit board or the like on which a connection line is formed. Is.

図6は、DC−DCコンバータの回路構成の一例を示す回路図である。図中の点線部分がDC−DCコンバータの回路であって、このDC−DCコンバータは、入力コンデンサCin、出力コンデンサCout、インダクタLoutおよび、DC−DCコンバータ制御回路を含む半導体集積回路(IC)で構成される降圧型DC−DCコンバータである。なお、以下半導体集積回路を半導体集積回路部品と呼ぶこともある。
直流の入力電圧Vinを入力し、半導体集積回路(IC)内の電界効果型トランジスタ(以下スイッチング素子)をスイッチングさせる。スイッチング素子をオンしている時間をTon、オフしている時間をToffとすると、出力電圧Voutは、Vout=Ton/(Ton+Toff)×Vinで表され、出力電圧Voutは入力電圧Vinより降圧される。入力電圧Vinが変動した場合は、TonとToffの比率を調整すれば、安定に維持した出力電圧Voutを出力することが出来る。
入力コンデンサ(Cin)は、入力電圧の過渡時の安定化や電圧スパイク防止のために用いられる。出力側には、直流電圧を出力するためのフィルタ回路(平滑回路)を備え、このフィルタ回路は、電流エネルギーの蓄積と放出を行う出力インダクタ(Lout)と、電圧エネルギーの蓄積と放出を行う出力コンデンサ(Cout)の組み合わせにより構成される。
FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an example of a circuit configuration of the DC-DC converter. A dotted line portion in the figure is a circuit of a DC-DC converter, and this DC-DC converter is a semiconductor integrated circuit (IC) including an input capacitor Cin, an output capacitor Cout, an inductor Lout, and a DC-DC converter control circuit. The step-down DC-DC converter is configured. Hereinafter, the semiconductor integrated circuit may be referred to as a semiconductor integrated circuit component.
A DC input voltage Vin is input to switch a field effect transistor (hereinafter referred to as a switching element) in the semiconductor integrated circuit (IC). Assuming that the time when the switching element is on is Ton and the time when it is off is Toff, the output voltage Vout is expressed by Vout = Ton / (Ton + Toff) × Vin, and the output voltage Vout is stepped down from the input voltage Vin. . When the input voltage Vin fluctuates, the output voltage Vout maintained stably can be output by adjusting the ratio of Ton and Toff.
The input capacitor (Cin) is used for stabilizing the input voltage during transition and preventing voltage spikes. On the output side, a filter circuit (smoothing circuit) for outputting a DC voltage is provided. This filter circuit outputs an output inductor (Lout) for storing and discharging current energy, and an output for storing and discharging voltage energy. It is comprised by the combination of a capacitor | condenser (Cout).

このようなDC−DCコンバータは、各種電子機器の小型化、多機能化に伴い、回路基板上における形成面積の小面積化が強く求められている。そのような要求に対して、半導体集積回路(IC)やインダクタを複合一体化して小型化することが行われている。
例えば、特許文献1には、図8の外観図に示すように、プリント基板と、チップインダクタと、制御回路等が形成された半導体集積回路ICにより構成され、半導体集積回路ICが実装されたプリント基板に接続端子を配設して、この接続端子に、チップインダクタを前記半導体集積回路と上下に重ねて配置したDC−DCコンバータが開示されている。
Such DC-DC converters are strongly demanded to reduce the formation area on the circuit board as the various electronic devices become smaller and more multifunctional. In response to such demands, semiconductor integrated circuits (ICs) and inductors are integrated and miniaturized.
For example, in Patent Document 1, as shown in the external view of FIG. 8, a printed circuit board, a chip inductor, a semiconductor integrated circuit IC on which a control circuit and the like are formed, and a semiconductor integrated circuit IC mounted thereon. A DC-DC converter is disclosed in which a connection terminal is disposed on a substrate, and a chip inductor is disposed on the connection terminal so as to overlap the semiconductor integrated circuit.

特開2004−063676JP2004-063676

前記各種電子機器の小型軽量化の要望は常に有り、内蔵されるDC−DCコンバータを小型に構成する要求も強い。前記インダクタのインダクタンス値は、少なくとも数μH程度のインダクタンス値が必要である。この様なインダクタは、半導体集積回路と比べると体積が非常に大きいために、DC−DCコンバータの小型化を図る上で最大の制約となっているのが実際である。そこで、半導体集積回路と重なるようにインダクタを載置して実装することで、小型化を図っている。   There is always a demand for reducing the size and weight of the various electronic devices, and there is a strong demand for a small-sized DC-DC converter built therein. The inductance value of the inductor needs to be at least about several μH. Since such an inductor has a very large volume compared to a semiconductor integrated circuit, it is actually the biggest restriction in reducing the size of a DC-DC converter. Therefore, downsizing is achieved by mounting an inductor so as to overlap the semiconductor integrated circuit.

しかしながら引用文献1のように、半導体集積回路ICとインダクタを近接して配置する場合には、インダクタからの漏洩磁束を考慮しなければならない。例えば電気絶縁層とコイルパターンが交互に積層され、各コイルパターンの端部が順次接続されて多層絶縁基板中に積層方向に重畳した周回コイルが形成され、その端部が外部電極に接続された積層インダクタの場合の漏洩磁束は以下のように作用する。   However, when the semiconductor integrated circuit IC and the inductor are arranged close to each other as in the cited document 1, the leakage magnetic flux from the inductor must be taken into consideration. For example, electrical insulating layers and coil patterns are alternately stacked, end portions of each coil pattern are sequentially connected to form a circular coil superimposed in the stacking direction in a multilayer insulating substrate, and the end portions are connected to external electrodes The leakage magnetic flux in the case of a multilayer inductor acts as follows.

図7は、インダクタの漏洩磁束を説明するための図である。上述の積層インダクタでは、インダクタ部で発生した磁束は、専ら周回コイルの上下に形成されたコイルパターンを有さない磁性体からなる絶縁層(ダミー絶縁層)を通過し、コイルの周囲を通過するが、その一部が外部にも漏れてしまう場合がある。漏れ磁束は、インダクタの周囲に配置される電子部品、例えば前記半導体集積回路に対してノイズとして作用する。   FIG. 7 is a diagram for explaining the leakage magnetic flux of the inductor. In the above-described multilayer inductor, the magnetic flux generated in the inductor section passes through an insulating layer (dummy insulating layer) made of a magnetic material that does not have a coil pattern formed above and below the coil, and passes around the coil. However, some of them may leak outside. The leakage magnetic flux acts as noise on an electronic component arranged around the inductor, for example, the semiconductor integrated circuit.

そこで本発明は、半導体集積回路(IC)やインダクタを複合一体化したDC−DCコンバータに用いられるインダクタにおいて漏れ磁束を低減し、インダクタを半導体集積回路(IC)と近接配置しても、優れた性能を発揮できるインダクタと、これを用いたDC−DCコンバータを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention reduces leakage magnetic flux in an inductor used in a DC-DC converter in which a semiconductor integrated circuit (IC) and an inductor are combined and integrated, and is excellent even if the inductor is disposed close to the semiconductor integrated circuit (IC). An object of the present invention is to provide an inductor capable of exhibiting performance and a DC-DC converter using the inductor.

第1の発明は、複数の磁性体層を積層してなる多層絶縁基板に、コイル形成磁性体層部を挟んで、上下に第1磁性体層部と第2磁性体層部を設け、前記多層絶縁基板の上主面には半導体集積回路部品を実装するための複数の実装導体が形成され、下主面には外部回路との接続のための複数の端子導体が形成されたインダクタ内蔵部品であって、前記コイル形成磁性体層部には、異なる磁性体層に配置されたコイル導体が積層され、ビアホールを介して接続し上下方向に周回する積層コイルを形成し、入力用の端子導体は、多層絶縁基板の厚み方向に連続し上下主面に至るビアホールで構成された第1接続導体を介して入力用の実装導体と接続し、出力用の端子導体は前記積層コイルの一端とビアホールを介して接続し、前記積層コイルの他端は出力用の実装電極と接続され、第1磁性体層部の厚みを他方の第2磁性体層部の厚みよりも厚くしたことを特徴とするインダクタ内蔵部品である。   According to a first aspect of the present invention, a multilayer insulating substrate formed by laminating a plurality of magnetic layers is provided with a first magnetic layer portion and a second magnetic layer portion above and below the coil-forming magnetic layer portion, Inductor built-in component in which a plurality of mounting conductors for mounting semiconductor integrated circuit components are formed on the upper main surface of the multilayer insulating substrate, and a plurality of terminal conductors for connection to external circuits are formed on the lower main surface In the coil-forming magnetic layer portion, coil conductors arranged in different magnetic layers are laminated to form a laminated coil that is connected through a via hole and circulates in the vertical direction, and is an input terminal conductor Is connected to the mounting conductor for input through a first connection conductor constituted by via holes extending in the thickness direction of the multilayer insulating substrate and extending to the upper and lower main surfaces, and the output terminal conductor is connected to one end of the laminated coil and the via hole. Connected through the other end of the laminated coil Is connected to the mounting electrodes for output, an inductor built-in component, characterized in that the thickness of the first magnetic layer portion thicker than the thickness of the second magnetic layer portion of the other.

本発明においては、前記出力用の端子導体は、他の第1接続導体を介して、多層絶縁基板の上主面に形成された出力コンデンサ搭載用の導体パターンと接続するのが好ましい。
また、前記入力用の端子導体は、前記第1接続導体を介して、多層絶縁基板の上主面に形成された入力コンデンサ搭載用の導体パターンと接続するのも好ましい。
In the present invention, the output terminal conductor is preferably connected to a conductor pattern for mounting an output capacitor formed on the upper main surface of the multilayer insulating substrate via another first connection conductor.
The input terminal conductor is preferably connected to an input capacitor mounting conductor pattern formed on the upper main surface of the multilayer insulating substrate via the first connection conductor.

前記積層コイルの他端は、さらに前記他の第1接続導体を介して他の実装導体と接続するのが好ましい。   It is preferable that the other end of the laminated coil is further connected to another mounting conductor via the other first connection conductor.

前記多層絶縁基板の下主面に接地用導体を広く形成し、前記接地用導体を、他の第1接続導体を介して接地用の実装導体と接続するのが好ましい。   Preferably, a grounding conductor is widely formed on the lower main surface of the multilayer insulating substrate, and the grounding conductor is connected to the grounding mounting conductor via another first connection conductor.

第2の発明は、第1の発明のインダクタ内蔵部品と、半導体集積回路部品を備えたDC−DCコンバータであって、前記インダクタ内蔵部品の実装導体に前記半導体集積回路部品を実装したことを特徴とするDC−DCコンバータである。   A second invention is a DC-DC converter including the inductor built-in component of the first invention and a semiconductor integrated circuit component, wherein the semiconductor integrated circuit component is mounted on a mounting conductor of the inductor built-in component. DC-DC converter.

また、第1の発明のインダクタ内蔵部品と半導体集積回路部品と、コンデンサを備えたDC−DCコンバータであって、前記インダクタ内蔵部品の実装導体に前記半導体集積回路部品を実装し、前記インダクタ内蔵部品の出力コンデンサ搭載用の導体パターンに出力コンデンサを搭載したことを特徴とするDC−DCコンバータでもある。更に、前記インダクタ内蔵部品入力コンデンサ搭載用の導体パターンに入力コンデンサを搭載するがの好ましい。   Also, a DC-DC converter including an inductor built-in component, a semiconductor integrated circuit component, and a capacitor according to the first invention, wherein the semiconductor integrated circuit component is mounted on a mounting conductor of the inductor built-in component, and the inductor built-in component It is also a DC-DC converter characterized in that an output capacitor is mounted on the conductor pattern for mounting the output capacitor. Further, it is preferable that an input capacitor is mounted on the conductor pattern for mounting the inductor built-in component input capacitor.

本発明によれば、インダクタ内蔵部品からの漏洩磁束を低減できるとともに、半導体集積回路(IC)やインダクタを複合一体化したDC−DCコンバータにおいて、高性能で、かつ小型低背のDC−DCコンバータを提供することが出来る。   According to the present invention, a leakage magnetic flux from a component with a built-in inductor can be reduced, and a DC-DC converter in which a semiconductor integrated circuit (IC) and an inductor are combined and integrated has a high performance and a small and low profile DC-DC converter. Can be provided.

本発明の一実施例に係るインダクタ内蔵部品の斜視図である。1 is a perspective view of a component with a built-in inductor according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施例に係るインダクタ内蔵部品の断面図である。It is sectional drawing of the component with a built-in inductor which concerns on one Example of this invention. 本発明の他の実施例に係るインダクタ内蔵部品の斜視図である。It is a perspective view of the component with a built-in inductor according to another embodiment of the present invention. 本発明の他の実施例に係るインダクタ内蔵部品の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the components with a built-in inductor according to another embodiment of the present invention. 本発明の他の実施例に係るインダクタ内蔵部品を用いて構成されたDC−DCコンバータの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the DC-DC converter comprised using the inductor built-in component which concerns on the other Example of this invention. DC−DCコンバータの回路構成の一例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows an example of the circuit structure of a DC-DC converter. インダクタの漏洩磁束を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the leakage magnetic flux of an inductor. 従来のDC−DCコンバータの斜視図である。It is a perspective view of the conventional DC-DC converter.

本発明に係るインダクタ内蔵部品は、相対向する上主面及び下主面と、上下主面間を連結する側面を備え、前記インダクタは、前記インダクタ内蔵部品内の異なる磁性体層に配置されるコイル導体を積層し、ビアホールを介して接続して上下方向に周回する積層コイルであって、前記インダクタ内蔵部品は、コイル形成磁性体層部と、その上下に位置する上磁性体層部と下磁性体層部を備え、前記積層コイルによって生じる磁束の方向に位置する磁性体層部の厚みを、他方の磁性体層部の厚みよりも厚くし、もって主面からの漏洩磁束を低減している。   The component with a built-in inductor according to the present invention includes an upper main surface and a lower main surface that face each other, and a side surface that connects the upper and lower main surfaces, and the inductor is disposed on different magnetic layers in the component with a built-in inductor. A laminated coil in which coil conductors are laminated, connected via via holes, and circulate in the vertical direction. The built-in inductor component includes a coil-forming magnetic layer portion, an upper magnetic layer portion located above and below, and a lower magnetic layer portion. A magnetic layer portion is provided, and the thickness of the magnetic layer portion located in the direction of the magnetic flux generated by the laminated coil is made thicker than the thickness of the other magnetic layer portion, thereby reducing the leakage magnetic flux from the main surface. Yes.

図1はインダクタ内蔵部品の外観斜視図であり、図2はインダクタ内蔵部品の内部構造を示す断面図である。
インダクタ内蔵部品10は、コイル導体15と絶縁層を積層してなり、相対向する上主面及び下主面と、その主面間を連結する側面を備え、その上主面には、方向指示マークが形成され、長手方向の相対向する側面に端子電極5a、5bを備える。
前記絶縁層は磁性を備えるものであり、ソフトフェライトや、磁性体材料を樹脂に分散してなる磁性樹脂材料等から構成される。絶縁層としてソフトフェライトを用いる場合では、比抵抗率が1×10Ω・cm以上のNiCu系、NiZn系、NiCuZn系のスピネルフェライトや、高周波特性に優れる六方晶フェライトを選択するのが好ましい。ソフトフェライトをドクターブレード法、カレンダロール法などの周知のシート化方法によりグリーンシート化し、Ag,Cuやそれらを含む合金を備えた導体ペーストで導体パターンを、前記グリーンシート上に印刷、あるいは塗布などの方法で形成し、これを複数積層して積層体とし、使用する導体ペーストに応じて1100℃以下の温度で焼結する、所謂周知のLTCC(Low−Temperature Co−fired Ceramics)工法を適用することが出来る。
FIG. 1 is an external perspective view of a component with a built-in inductor, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing the internal structure of the component with a built-in inductor.
The inductor built-in component 10 is formed by laminating a coil conductor 15 and an insulating layer, and includes an upper main surface and a lower main surface that face each other, and a side surface that connects between the main surfaces. A mark is formed, and terminal electrodes 5a and 5b are provided on opposite side surfaces in the longitudinal direction.
The insulating layer has magnetism and is made of soft ferrite, a magnetic resin material obtained by dispersing a magnetic material in a resin, or the like. When soft ferrite is used as the insulating layer, it is preferable to select NiCu-based, NiZn-based, NiCuZn-based spinel ferrite having a specific resistivity of 1 × 10 3 Ω · cm or more, and hexagonal ferrite excellent in high-frequency characteristics. Soft ferrite is converted into a green sheet by a well-known sheeting method such as a doctor blade method or a calender roll method, and a conductor pattern is printed or coated on the green sheet with a conductor paste containing Ag, Cu or an alloy containing them. A so-called LTCC (Low-Temperature Co-fired Ceramics) method is applied in which a plurality of layers are laminated to form a laminated body and sintered at a temperature of 1100 ° C. or lower according to the conductor paste used. I can do it.

磁性樹脂材料を用いる場合には、磁性樹脂材料を公知の方法でシート状に形成し、所定の位置にビアホールを形成し、シート表面にめっき法等により、Cu等の薄板状金属箔を形成する。その上に感光性レジスト膜を塗布した後、所定の形状にパターニング露光を行なって、コイル導体パターンを形成する箇所及びビアホール以外の部分のレジスト膜を除去し、ケミカルエッチングにより導電性部材を除去することにより、コイル導体パターンを形成する。これを複数積層して加圧・熱圧着する工法が用いられる。   When using a magnetic resin material, the magnetic resin material is formed into a sheet shape by a known method, a via hole is formed at a predetermined position, and a thin metal foil such as Cu is formed on the sheet surface by plating or the like. . After applying a photosensitive resist film thereon, patterning exposure is performed in a predetermined shape to remove the resist film in portions other than the portions where the coil conductor pattern is formed and via holes, and the conductive member is removed by chemical etching. Thus, a coil conductor pattern is formed. A method of laminating a plurality of these and applying pressure and thermocompression bonding is used.

前記コイル導体はビアホール(図示せず)を介して接続され、積層方向に周回する積層コイル(インダクタ)を構成する。インダクタ内蔵部品10は、複数の絶縁層を備え、その内の一部の絶縁層には、コイル導体が形成されている。そして、その上下に配された絶縁層とともに積層し、各コイル導体の端部を順次ビアホールを介して接続される。他のコイル導体と接続されない端部は、長手方向の相対向する側面に延出し、端子電極5a、5bと接続する。
なお、本発明で規定するコイル形成磁性体部は、図2で示すコイル導体が形成された領域Cである。また、上磁性体層部は、領域Cの上部に位置する領域Aであり、下磁性体層部は領域Cの上部に位置する領域Bである。
The coil conductors are connected via via holes (not shown) to form a laminated coil (inductor) that circulates in the laminating direction. The inductor built-in component 10 includes a plurality of insulating layers, and a coil conductor is formed in some of the insulating layers. And it laminates | stacks with the insulating layer distribute | arranged to the upper and lower sides, and the edge part of each coil conductor is sequentially connected through a via hole. Ends not connected to other coil conductors extend to opposite side surfaces in the longitudinal direction and are connected to the terminal electrodes 5a and 5b.
In addition, the coil formation magnetic body part prescribed | regulated by this invention is the area | region C in which the coil conductor shown in FIG. 2 was formed. The upper magnetic layer portion is a region A located above the region C, and the lower magnetic layer portion is a region B located above the region C.

前記上磁性体層部(領域A)は、前記積層コイルによって生じる磁束の方向に位置し、その厚みt1は、前記下磁性体層部(領域B)に厚みt2よりも厚く形成されている。このような構成によって、積極的に磁束を閉じ込め、外部に漏洩する、特には主面側に漏洩する漏れ磁束を低減している。   The upper magnetic layer portion (region A) is located in the direction of the magnetic flux generated by the laminated coil, and the thickness t1 is formed thicker than the thickness t2 in the lower magnetic layer portion (region B). With such a configuration, the magnetic flux is positively confined and leaked to the outside, in particular, the leakage magnetic flux leaking to the main surface side is reduced.

図3は、インダクタ内蔵部品の他の例を示す外観斜視図であり、図4はその内部構造を示す分解斜視図である。また図5は、インダクタ内蔵部品を用いたDC−DCコンバータの外観斜視図である。本実施例のDC−DCコンバータは、図6に示した降圧型DC−DCコンバータと同じ等価回路で構成されている。
本実施例に係るインダクタ内蔵部品10は、コイル導体と絶縁層を積層してなり、相対向する上主面及び下主面と、その主面間を連結する側面を備え、その上主面には、DC−DCコンバータ制御回路を含む半導体集積回路部品を実装するための実装導体パターン50a〜50h、接地用導体パターン70a,70bと、第2接続導体パターン60a,60b,60c,60e,60f,60g、コンデンサ搭載用の導体パターン65a〜65dが形成され、下主面には外部回路との接続のための端子導体パターン90(Vcon,Ven,Vdd,Vin,Vout,GND)を備える。本実施例では、LGA(Land Grid Array)タイプの端子構造としている。
FIG. 3 is an external perspective view showing another example of a component with a built-in inductor, and FIG. 4 is an exploded perspective view showing an internal structure thereof. FIG. 5 is an external perspective view of a DC-DC converter using a component with a built-in inductor. The DC-DC converter of the present embodiment is configured by the same equivalent circuit as the step-down DC-DC converter shown in FIG.
The inductor built-in component 10 according to the present embodiment is formed by laminating a coil conductor and an insulating layer, and includes an upper main surface and a lower main surface that face each other, and a side surface that connects between the main surfaces, on the upper main surface. Includes mounting conductor patterns 50a to 50h for mounting semiconductor integrated circuit components including a DC-DC converter control circuit, grounding conductor patterns 70a and 70b, and second connection conductor patterns 60a, 60b, 60c, 60e, 60f, 60 g, conductor patterns 65 a to 65 d for mounting capacitors are formed, and the lower main surface is provided with terminal conductor patterns 90 (Vcon, Ven, Vdd, Vin, Vout, GND) for connection to an external circuit. In this embodiment, an LGA (Land Grid Array) type terminal structure is employed.

インダクタ内蔵部品10を構成する絶縁層は、キュリ−温度が100℃以上であるフェライト磁性材料で構成されるが、その組成は、インダクタとして要求される磁気特性(初透磁率、損失、品質係数等)に応じて、適宜選定され得るものである。
そのような磁性体材料としては、例えば、Feを40.0〜49.8モル%,NiOを20.0〜39.5モル%,CuOを10.0〜20.0モル%,ZnOを2.0〜20.0モル%,CoOを0.3〜6.5モル%含み、これらの酸化物100重量%に対して、Biを4.0重量%未満含有し、これらのうちNiO,CuO,ZnOの含有比がいずれもモル比で1.0≦NiO/CuO≦3.95,0.5≦CuO/ZnO≦10.0,1.0≦NiO/ZnO≦19.8であるフェライト磁性材料がある。このフェライト磁性材料は、950℃以下で焼結可能であり、そのキュリー温度Tcは120℃以上であって、初透磁率(周波数100kHz)が少なくとも10以上である。また、1MHz〜200MHzの周波数範囲における複素透磁率の実数項が10以上,虚数項が5未満である。
The insulating layer composing the inductor built-in component 10 is made of a ferrite magnetic material having a Curie temperature of 100 ° C. or higher. The composition of the insulating layer includes magnetic characteristics (initial permeability, loss, quality factor, etc.) required for the inductor. ) Can be selected as appropriate.
As such a magnetic material, for example, Fe 2 O 3 is 40.0 to 49.8 mol%, NiO is 20.0 to 39.5 mol%, CuO is 10.0 to 20.0 mol%, ZnO and 2.0 to 20.0 mol%, wherein the CoO .3 to 6.5 mol%, with respect to these oxides to 100 weight%, the Bi 2 O 3 and contains less than 4.0 wt%, Among these, the content ratios of NiO, CuO, and ZnO are all 1.0 ≦ NiO / CuO ≦ 3.95, 0.5 ≦ CuO / ZnO ≦ 10.0, 1.0 ≦ NiO / ZnO ≦ 19 in molar ratios. There is a ferrite magnetic material that is .8. This ferrite magnetic material can be sintered at 950 ° C. or lower, its Curie temperature Tc is 120 ° C. or higher, and the initial permeability (frequency 100 kHz) is at least 10 or higher. In addition, the real term of the complex permeability in the frequency range of 1 MHz to 200 MHz is 10 or more and the imaginary term is less than 5.

このようなフェライト磁性材料にバインダ、可塑剤、溶剤等を加えてスラリーとし、これをドクターブレード法でグリーンシートに形成した。このシートを適宜レーザ等で穴あけした後、導体ペーストとしてAg100%のものを使用し、スクリーン印刷で、コイル導体や、実装用導体パターン、端子導体パターン、第1接続導体パターンとなるビアホール、第2接続導体パターン等を形成した。   A binder, a plasticizer, a solvent, and the like were added to such a ferrite magnetic material to form a slurry, which was formed on a green sheet by a doctor blade method. After this sheet is appropriately drilled with a laser or the like, a conductor paste of Ag 100% is used, and screen printing is performed to form a coil conductor, a mounting conductor pattern, a terminal conductor pattern, a via hole that becomes the first connection conductor pattern, the second A connection conductor pattern or the like was formed.

各シートに所定の導体パターンを形成した後に、積層圧着し、焼結して、インダクタンス値が3.3μHの複数の積層コイルを備えるマザー多層基板とした。   After a predetermined conductor pattern was formed on each sheet, it was laminated and pressure-bonded and sintered to obtain a mother multilayer substrate having a plurality of laminated coils having an inductance value of 3.3 μH.

焼結は大気雰囲気の電気炉中で脱脂に引き続いて行い、昇温は150℃/hrとし、900℃で1時間保持した後、約300℃/hrで降温した。
得られたマザー多層基板を電気めっきして、外表面に形成された実装用導体パターン、端子導体パターン、第2接続導体パターン等に、Ni−P、Auめっきを施した。めっき後、実装用導体パターンに半導体集積回路部品IC、コンデンサCin(10μF),Cout(4.7μF)を実装してはんだで接続した。はんだ付けの後、部品搭載面側をエポキシ樹脂で封止し、予め多層基板に形成された分割溝にそって個片に分割し、4.5mm×3.2mm×1.4mmのDC−DCコンバータとした。
Sintering was performed following degreasing in an electric furnace in an air atmosphere, the temperature was raised to 150 ° C./hr, held at 900 ° C. for 1 hour, and then lowered to about 300 ° C./hr.
The obtained mother multilayer substrate was electroplated, and Ni—P and Au plating were applied to the mounting conductor pattern, terminal conductor pattern, second connection conductor pattern, and the like formed on the outer surface. After plating, the semiconductor integrated circuit component IC and the capacitors Cin (10 μF) and Cout (4.7 μF) were mounted on the mounting conductor pattern and connected by solder. After soldering, the component mounting surface side is sealed with epoxy resin, divided into individual pieces along the division grooves formed in advance on the multilayer substrate, and DC-DC of 4.5 mm × 3.2 mm × 1.4 mm A converter was used.

前記コイル導体はビアホール(図中黒丸で表示)を介して接続され、積層方向に周回する積層コイル(インダクタ)を構成する。インダクタ内蔵部品10は、複数の絶縁層S1〜S14を備え、その内の絶縁層S4〜S13には、コイル導体が形成されている。そして、その上下に配された絶縁層S1〜S3,S14とともに積層し、各コイル導体の端部を順次ビアホールLg3〜Lg12を介して接続される。
なお、本発明で規定するコイル形成磁性体層部は、本実施例においては、絶縁層S4に形成されたコイル導体と、絶縁層S13に形成されたコイル導体との間の絶縁層部(S4〜S12)である。また、上磁性体層部とは磁性体層S1〜S3であり、下磁性体層部は磁性体層S13,S14となる。
積層コイルの一端は、ビアホールLg1〜Lg3を介して上主面に延出して端子導体パターン50hと接続する。他端は、ビアホールV13o,V14oを介して下主面に延出して端子導体パターンVoutと接続するとともに、ビアホールV1o〜V12o、第2接続導体パターン60eを介して実装用導体パターン50e、及び、コンデンサ搭載用の導体パターン65aと接続される。
The coil conductors are connected via via holes (indicated by black circles in the figure) to constitute a laminated coil (inductor) that circulates in the laminating direction. The inductor built-in component 10 includes a plurality of insulating layers S1 to S14, and coil conductors are formed in the insulating layers S4 to S13. And it laminates | stacks with the insulating layers S1-S3, S14 distribute | arranged to the upper and lower sides, and the edge part of each coil conductor is sequentially connected via the via holes Lg3-Lg12.
In the present embodiment, the coil-forming magnetic body layer defined in the present invention is an insulating layer (S4) between the coil conductor formed in the insulating layer S4 and the coil conductor formed in the insulating layer S13. To S12). The upper magnetic layer portions are magnetic layers S1 to S3, and the lower magnetic layer portions are magnetic layers S13 and S14.
One end of the laminated coil extends to the upper main surface via the via holes Lg1 to Lg3 and is connected to the terminal conductor pattern 50h. The other end extends via the via holes V13o and V14o to the lower main surface and is connected to the terminal conductor pattern Vout, and the mounting conductor pattern 50e via the via holes V1o to V12o and the second connection conductor pattern 60e, and the capacitor It is connected to the conductor pattern 65a for mounting.

端子導体パターン90においてVcon,Ven,Vdd,Vin,Vout,GNDの表示は、接続される半導体集積回路部品ICの端子の機能を示すものである。端子導体パターンVconは、半導体集積回路部品ICの、出力電圧を可変制御するための端子Vconと接続する。端子導体パターンVenは、半導体集積回路部品ICの出力のON/OFF制御用の端子Venと接続する。端子導体パターンVddは、半導体集積回路部品ICのスイッチング素子をON/OFF制御するための端子Vddと接続する。端子導体パターンVinは、半導体集積回路部品ICの入力端子Vinと接続する。端子導体パターンVoutは、半導体集積回路部品ICの出力端子Voutと接続する。端子導体パターンGNDは、回路上接地され、半導体集積回路部品ICの端子GNDと接続する。   In the terminal conductor pattern 90, Vcon, Ven, Vdd, Vin, Vout, and GND indicate the functions of the terminals of the semiconductor integrated circuit component IC to be connected. The terminal conductor pattern Vcon is connected to the terminal Vcon for variably controlling the output voltage of the semiconductor integrated circuit component IC. The terminal conductor pattern Ven is connected to the terminal Ven for ON / OFF control of the output of the semiconductor integrated circuit component IC. The terminal conductor pattern Vdd is connected to a terminal Vdd for ON / OFF control of the switching element of the semiconductor integrated circuit component IC. The terminal conductor pattern Vin is connected to the input terminal Vin of the semiconductor integrated circuit component IC. The terminal conductor pattern Vout is connected to the output terminal Vout of the semiconductor integrated circuit component IC. The terminal conductor pattern GND is grounded on the circuit and is connected to the terminal GND of the semiconductor integrated circuit component IC.

各層のコイル導体の外側領域には、複数のビアホールV1a〜V14pが形成されている。各絶縁層のビアホールは、多層絶縁基板の厚み方向(積層コイルにより生じる磁界方向)に連続して、前記実装用導体パターン50a,50b,50c,50d,50e,50f,50g,50hと前記端子導体パターン90とを接続する第1接続導体パターンを形成している。
本実施例では、インダクタ内蔵部品10の4辺全ての側に、複数の第1接続導体パターンを形成している。このため積層コイルは、その外周側(コイル外側領域)に形成された第1接続導体パターンで囲まれた状態となる。また各側面側には、端子導体パターンGNDと接続する第1接続導体パターンも備える。このように構成することで、第1接続導体パターンによる磁気シールド効果により、インダクタ内蔵部品10の側面側からの磁束の漏れを防いでいる。
A plurality of via holes V1a to V14p are formed in the outer region of the coil conductor of each layer. Via holes in each insulating layer are continuous in the thickness direction of the multilayer insulating substrate (the magnetic field direction generated by the laminated coil), and the mounting conductor patterns 50a, 50b, 50c, 50d, 50e, 50f, 50g, 50h and the terminal conductors. A first connection conductor pattern that connects the pattern 90 is formed.
In the present embodiment, a plurality of first connection conductor patterns are formed on all four sides of the inductor built-in component 10. For this reason, a laminated coil will be in the state enclosed by the 1st connection conductor pattern formed in the outer peripheral side (coil outer side area | region). Each side surface also includes a first connection conductor pattern connected to the terminal conductor pattern GND. With this configuration, leakage of magnetic flux from the side surface side of the inductor built-in component 10 is prevented by the magnetic shielding effect by the first connection conductor pattern.

実装導体パターン50a〜50hは、インダクタ内蔵部品10の上主面側から見て積層コイルの内側領域に形成されている。実装導体パターン50a〜50gから、側面側へ向かって第2接続導体パターン60a,60b,60c,60e,60f,60gが放射状に形成されており、ビアホールV1d〜V1g、V1m〜V1oと接続する。このような構成によれば、上主面に積層コイルからの磁束が漏れる場合でも、第2接続導体パターンと漏れ磁束の鎖交を低減することが可能であり、ノイズの発生を減じることが出来る。   The mounting conductor patterns 50a to 50h are formed in an inner region of the multilayer coil as viewed from the upper main surface side of the inductor built-in component 10. The second connection conductor patterns 60a, 60b, 60c, 60e, 60f, and 60g are formed radially from the mounting conductor patterns 50a to 50g toward the side surface, and are connected to the via holes V1d to V1g and V1m to V1o. According to such a configuration, even when the magnetic flux from the laminated coil leaks to the upper main surface, the linkage between the second connection conductor pattern and the leakage magnetic flux can be reduced, and the generation of noise can be reduced. .

インダクタ内蔵部品10の下主面には、その中央部を含み広面積の端子導体パターンGNDが形成されている。他の端子導体パターンを含めたシールド効果によって、下主面側への漏れ磁束を低減している、   On the lower main surface of the inductor built-in component 10, a terminal conductor pattern GND having a large area including the central portion is formed. Leakage magnetic flux to the lower main surface side is reduced by the shielding effect including other terminal conductor patterns.

さらに本実施例では、積層コイルが形成されたコイル形成絶縁層部の上側の上磁性体層部が、下磁性体層部よりも厚く形成されている。
通常、積層コイルによって発生した磁場により、コイル内側領域を流れる磁束φの一部は絶縁層を突き貫けて、漏れ磁束φ‘として外部に流れる傾向がある。しかしながら、本願発明の如く構成することにより、磁性体層を貫通して外部に出る漏洩磁束は低減する。このようにして漏れ磁束の発生が抑制され、磁束φは、コイル内側領域からコイル外側領域へと流れるため漏れ磁束は格段に減少する。
上磁性体層部の厚みと、下磁性体層部の厚みとの関係は、透磁率などの磁気特性にもよるが、磁性体層の初透磁率が50以下であれば、上磁性体層部の厚みを下磁性体層部の厚みの1.2倍〜2.0倍とするのが好ましい。漏洩磁束低減のためには、上磁性体層部の厚みを厚く形成するのが好ましい。しかしながら、必要以上に厚くしても単にインダクタ内蔵部品の厚みが増すばかりで、低背化の点で好ましくなく、実用的には2.0倍程度が上限となる。
本実施例においては、コイル内側領域の平面面積は、4.2mmであり、コイル外側領域の平面面積は4.3mmとした。また、コイル形成絶縁層部の厚みは0.3mmであり、その上下に位置する上絶縁層部と下絶縁層部の厚みは、それぞれ0.3mmと0.2mmである。
Further, in this embodiment, the upper magnetic layer portion above the coil-forming insulating layer portion where the laminated coil is formed is formed thicker than the lower magnetic layer portion.
Usually, due to the magnetic field generated by the laminated coil, a part of the magnetic flux φ flowing through the inner region of the coil tends to penetrate the insulating layer and flow to the outside as the leakage magnetic flux φ ′. However, by configuring as in the present invention, leakage magnetic flux that passes through the magnetic layer and exits to the outside is reduced. In this way, the generation of leakage magnetic flux is suppressed, and the magnetic flux φ flows from the coil inner region to the coil outer region, so that the leakage magnetic flux is remarkably reduced.
The relationship between the thickness of the upper magnetic layer portion and the thickness of the lower magnetic layer portion depends on the magnetic properties such as magnetic permeability, but if the initial permeability of the magnetic layer is 50 or less, the upper magnetic layer The thickness of the portion is preferably 1.2 to 2.0 times the thickness of the lower magnetic layer portion. In order to reduce the leakage magnetic flux, it is preferable that the upper magnetic layer portion is formed thick. However, even if the thickness is increased more than necessary, the thickness of the component with a built-in inductor is merely increased, which is not preferable in terms of reduction in height, and the upper limit is practically about 2.0 times.
In the present embodiment, the planar area of the coil inner region is 4.2 mm 2, the planar area of the coil outer region was 4.3 mm 2. Moreover, the thickness of the coil-forming insulating layer portion is 0.3 mm, and the thicknesses of the upper insulating layer portion and the lower insulating layer portion positioned above and below it are 0.3 mm and 0.2 mm, respectively.

得られたDC−DCコンバータを用いて電圧変換効率を測定した。比較としてプリント基板上に、ドラム型フェライト磁心にワイヤを巻回した巻線タイプのインダクタ(インダクタンス値は3.3μH)と、実施例で用いた半導体集積回路部品IC、コンデンサCin,Coutを実装し、同様に効率を測定した。
入力電圧Viを3.6Vとし、出力電圧Voを3.2Vとなるように駆動したとき、出力電流Ioが150mAにおいて95%を超える変換効率が得られ、実施例のDC−DCコンバータは比較例の効率と同程度であった。
The voltage conversion efficiency was measured using the obtained DC-DC converter. For comparison, a winding type inductor (inductance value is 3.3 μH) in which a wire is wound around a drum type ferrite magnetic core, a semiconductor integrated circuit component IC, and capacitors Cin and Cout used in the embodiment are mounted on a printed circuit board. Similarly, the efficiency was measured.
When the input voltage Vi is set to 3.6 V and the output voltage Vo is driven to 3.2 V, a conversion efficiency exceeding 95% can be obtained at an output current Io of 150 mA, and the DC-DC converter of the embodiment is a comparative example. The efficiency was comparable.

比較例のDC−DCコンバータは、各回路素子の総実装面積が、本発明の5倍を超える。本発明のインダクタ内蔵部品を用いたDC−DCコンバータモジュールは、従来と同程度の変換効率を得るものであり、且つ小型で、実装面積を著しく低減するものである。このような構成によって、インダクタ内蔵部品からの漏れ磁束による半導体集積回路部品へのノイズの影響を低減することで、小型でかつ高性能なDC−DCコンバータを提供することが出来る。そしてLGA等の端子構造とすることで、高性能であり、回路基板上にDC−DCコンバータとともに配置される回路素子を近接して配置可能であり、高密度実装を可能とするものである。   In the DC-DC converter of the comparative example, the total mounting area of each circuit element exceeds five times that of the present invention. The DC-DC converter module using the component with a built-in inductor according to the present invention obtains conversion efficiency comparable to that of the conventional one, is small, and significantly reduces the mounting area. With such a configuration, it is possible to provide a small-sized and high-performance DC-DC converter by reducing the influence of noise on the semiconductor integrated circuit component due to the magnetic flux leakage from the component with a built-in inductor. By using a terminal structure such as an LGA, the circuit elements arranged together with the DC-DC converter can be arranged close to each other on the circuit board, and high-density mounting is possible.

プリント基板に半導体集積回路ICを実装し、前記半導体集積回路ICが実装されたプリント基板に接続端子を配設して、この接続端子に、本願発明に係るインダクタ内蔵部品を前記半導体集積回路と上下に重ねて配置し、図8と同様の構成のDC−DCコンバータを形成した。前記インダクタ内蔵部品は、半導体集積回路と対向する側の磁性体層部が、他方の磁性体層部よりも厚く形成されており、インダクタ内蔵部品からの漏洩磁束による半導体集積回路ICへの影響を減じることで、優れた効率を発揮するDC−DCコンバータを得た。   A semiconductor integrated circuit IC is mounted on a printed circuit board, and a connection terminal is disposed on the printed circuit board on which the semiconductor integrated circuit IC is mounted, and the inductor built-in component according to the present invention is connected to the semiconductor integrated circuit with the connection terminal. And a DC-DC converter having the same configuration as that of FIG. 8 was formed. In the component with a built-in inductor, the magnetic layer portion on the side facing the semiconductor integrated circuit is formed thicker than the other magnetic layer portion, and the influence of the leakage magnetic flux from the component with a built-in inductor on the semiconductor integrated circuit IC is reduced. The DC-DC converter which exhibits the outstanding efficiency was obtained by reducing.

1 DC−DCコンバータ
10 インダクタ内蔵部品
50a,50b,50c,50d,50e,50f,50g,50h 実装用導体パターン
60a,60b,60c,60e,60f,60g 第2接続導体パターン
90 端子導体パターン

1 DC-DC converter 10 Inductor built-in components 50a, 50b, 50c, 50d, 50e, 50f, 50g, 50h Mounting conductor patterns 60a, 60b, 60c, 60e, 60f, 60g Second connection conductor pattern
90 terminal conductor pattern

Claims (8)

複数の磁性体層を積層してなる多層絶縁基板に、コイル形成磁性体層部を挟んで、上下に第1磁性体層部と第2磁性体層部を設け、前記多層絶縁基板の上主面には半導体集積回路部品を実装するための複数の実装導体が形成され、下主面には外部回路との接続のための複数の端子導体が形成されたインダクタ内蔵部品であって、
前記コイル形成磁性体層部には、異なる磁性体層に配置されたコイル導体が積層され、ビアホールを介して接続し上下方向に周回する積層コイルを形成し、
入力用の端子導体は、多層絶縁基板の厚み方向に連続し上下主面に至るビアホールで構成された第1接続導体を介して入力用の実装導体と接続し、出力用の端子導体は前記積層コイルの一端とビアホールを介して接続し、前記積層コイルの他端は出力用の実装電極と接続され、
第1磁性体層部の厚みを他方の第2磁性体層部の厚みよりも厚くしたことを特徴とするインダクタ内蔵部品。
A multilayer insulating substrate formed by laminating a plurality of magnetic layers is provided with a first magnetic layer portion and a second magnetic layer portion above and below the coil-forming magnetic layer portion. A plurality of mounting conductors for mounting semiconductor integrated circuit components are formed on the surface, and a lower main surface is a component with a built-in inductor in which a plurality of terminal conductors for connection to an external circuit are formed,
Coil conductors arranged in different magnetic layers are laminated on the coil-forming magnetic layer portion, and a laminated coil that is connected via a via hole and circulates in the vertical direction is formed.
The input terminal conductor is connected to the input mounting conductor via a first connection conductor constituted by via holes extending in the thickness direction of the multilayer insulating substrate and reaching the upper and lower main surfaces, and the output terminal conductor is the laminated layer One end of the coil is connected via a via hole, the other end of the laminated coil is connected to an output mounting electrode,
1. A component with a built-in inductor, wherein the thickness of the first magnetic layer portion is greater than the thickness of the other second magnetic layer portion.
前記出力用の端子導体は、他の第1接続導体を介して、多層絶縁基板の上主面に形成された出力コンデンサ搭載用の導体パターンと接続することを特徴とする請求項1に記載のインダクタ内蔵部品。   The output terminal conductor is connected to a conductor pattern for mounting an output capacitor formed on the upper main surface of the multilayer insulating substrate via another first connection conductor. Inductor built-in components. 前記入力用の端子導体は、前記第1接続導体を介して、多層絶縁基板の上主面に形成された入力コンデンサ搭載用の導体パターンと接続することを特徴とする請求項1又は2に記載のインダクタ内蔵部品。   3. The input terminal conductor is connected to a conductor pattern for mounting an input capacitor formed on the upper main surface of the multilayer insulating substrate via the first connection conductor. 4. Inductor built-in parts. 前記積層コイルの他端は、さらに前記他の第1接続導体を介して他の実装導体と接続することを特徴とする請求項3に記載のインダクタ内蔵部品。   4. The inductor built-in component according to claim 3, wherein the other end of the multilayer coil is further connected to another mounting conductor via the other first connection conductor. 前記多層絶縁基板の下主面には接地用導体が広く形成されており、前記接地用導体は、他の第1接続導体を介して接地用の実装導体と接続することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のインダクタ内蔵部品。   The grounding conductor is widely formed on a lower main surface of the multilayer insulating substrate, and the grounding conductor is connected to a grounding mounting conductor via another first connection conductor. The inductor built-in component according to any one of 1 to 4. 請求項1乃至5のいずれかに記載のインダクタ内蔵部品と、半導体集積回路部品を備えたDC−DCコンバータであって、前記インダクタ内蔵部品の実装導体に前記半導体集積回路部品を実装したことを特徴とするDC−DCコンバータ。   A DC-DC converter comprising the inductor built-in component according to claim 1 and a semiconductor integrated circuit component, wherein the semiconductor integrated circuit component is mounted on a mounting conductor of the inductor built-in component. DC-DC converter. 請求項2又は3に記載のインダクタ内蔵部品と、半導体集積回路部品と、コンデンサを備えたDC−DCコンバータであって、
前記インダクタ内蔵部品の実装導体に前記半導体集積回路部品を実装し、
前記インダクタ内蔵部品の出力コンデンサ搭載用の導体パターンに出力コンデンサを搭載したことを特徴とするDC−DCコンバータ。
A DC-DC converter comprising the inductor built-in component according to claim 2, a semiconductor integrated circuit component, and a capacitor,
The semiconductor integrated circuit component is mounted on a mounting conductor of the inductor built-in component,
A DC-DC converter characterized in that an output capacitor is mounted on a conductor pattern for mounting an output capacitor of the inductor built-in component.
前記インダクタ内蔵部品入力コンデンサ搭載用の導体パターンに入力コンデンサを搭載したことを特徴とする請求項7に記載のDC−DCコンバータ。

8. The DC-DC converter according to claim 7, wherein an input capacitor is mounted on the conductor pattern for mounting the inductor built-in component input capacitor.

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