JP2011507711A - マイクロメートル未満及びマイクロメートルの機構を有する三次元構造を製作するための方法及びシステム - Google Patents

マイクロメートル未満及びマイクロメートルの機構を有する三次元構造を製作するための方法及びシステム Download PDF

Info

Publication number
JP2011507711A
JP2011507711A JP2010539587A JP2010539587A JP2011507711A JP 2011507711 A JP2011507711 A JP 2011507711A JP 2010539587 A JP2010539587 A JP 2010539587A JP 2010539587 A JP2010539587 A JP 2010539587A JP 2011507711 A JP2011507711 A JP 2011507711A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
relief
micrometer
exposure
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2010539587A
Other languages
English (en)
Inventor
シー. ポルク,ジェローム
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
3M Innovative Properties Co
Original Assignee
3M Innovative Properties Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 3M Innovative Properties Co filed Critical 3M Innovative Properties Co
Publication of JP2011507711A publication Critical patent/JP2011507711A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B27/00Photographic printing apparatus
    • G03B27/32Projection printing apparatus, e.g. enlarger, copying camera
    • G03B27/52Details
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2035Exposure; Apparatus therefor simultaneous coating and exposure; using a belt mask, e.g. endless

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Decoration Of Textiles (AREA)
  • Chemical Or Physical Treatment Of Fibers (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)

Abstract

マイクロメートル又はマイクロメートル未満の機構を有する三次元(3D)構造を製作するための方法及びシステムを提供する。本方法は、連続的に形成されたレリーフ構造付き材料を準備する工程であって、そのレリーフ構造付き材料が、その第1の表面上に形成されたレリーフ構造パターンを有する材料を含む第1の層を有する工程を含む。その構造付き材料は、前記第1の層の上に配置されている感光性材料を含む第2の層を含む。そのレリーフ構造付き材料に第1の層を通じて放射線を照射し、その際、第1の層の第1の表面上に形成されたレリーフ構造パターンが、第2の層に入射する放射線の三次元の光強度パターンを生成させる。露光された材料を現像し、その現像された材料が、マイクロメートル又はマイクロメートル未満の機構を有する複数の3D構造を含む。

Description

本発明は広くは、製造システム及び方法に関する。更に具体的には本発明は、連続的な形で、マイクロメートル及びマイクロメートル未満の規模の三次元(3D)構造を製作するための方法及びシステムに関する。
より狭い面積内により多くの機構を有する新たな製品に対する需要の結果、より小さい機構をより高い歩留まりで製造する需要が増えてきている。三次元の周期的な構造(「3D周期構造」、又は更に詳細には「3D周期ナノ構造」とも称し、このような構造は、ナノメートル規模の長さ、高さ、及び幅の機構を有する)を製造するためのいくつかの従来の技法が知られている。「3D構造」とは、その構造が、3つの全ての寸法(長さ、幅、及び深さ)において準周期的であり得ることを意味する。これらの従来の方法としては、コロイド沈殿、ポリマー相分離、テンプレート成長、流体自己組織化、マルチビーム干渉リソグラフィ、2種類の光ビームの多重露光に基づく技法と、印刷、成型、及び書き込みに基づく方法とが挙げられる。単一の回折素子を備えたマスクを用いた3D周期構造の製作も示されている。
例えば、I.ジブリアンスキー(Divliansky)ら著の「単一の回折素子干渉リソグラフィを用いた三次元ポリマーフォトニック結晶構造の製作(Fabrication of three-dimensional polymer photonic crystal structures using single diffraction element interference lithography)」(アプライドフィジックスレターズ(Appl. Letters)、82巻、11号、2003年3月17日)には、4本のビームによる干渉パターンであって、相互に対して120°で配置された3つの回折格子によって囲まれた中央開口部を有する単一の回折素子を介して感光性ポリマー中に記録される干渉パターンが記載されている。
別の従来のアプローチでは、S.ジョン(Jeon)ら著の「高分離能適合性位相マスクによる複合三次元ナノ構造の製作(Fabricating complex three-dimensional nanostructures with high-resolution conformable phase masks)」(PNAS、101巻、34号、12428〜12433ページ、2004年8月24日)には、エラストマー(PDMS)マスクを用いてフォトポリマーフィルムを露光することが記載されている。このアプローチでは、寸法の面で光の波長に対応するレリーフの機構を有する位相マスクを通り抜ける光は、フォトポリマーフィルムにその厚み全体にわたって照射される3D分布強度をもたらす。用いられる位相マスクとしては、光学波長に対応する寸法を有するレリーフの機構と柔軟性のあるエラストマー位相マスクが挙げられる。レリーフ構造体は、レジスト表面とコンフォーマル接触した状態でもたらされて、高い機械的公差及び製作公差を可能にする。この強度パターンの形状は、マスクのデザイン(すなわち、レリーフ構造の深さ及びレイアウトと屈折率)と、照射光の波長、偏光性、干渉性とによって決まる。
しかしながら、従来の製作法は、マイクロメートル又はマイクロメートル未満の周期性を持つ大量かつ広面積の構造を製作するのには適用できない。加えて、参照したこれらの従来の製作法は、製作しやすい形で、かつ製作上の不良を制御しながら、様々なタイプの格子を構築する機能を提供しない。
本発明の1つの態様では、マイクロメートル又はマイクロメートル未満の機構を有する三次元(3D)構造を製作するための方法は、連続的に形成されたレリーフ構造付き材料を準備する工程であって、レリーフ構造付き材料が、第1の表面上に形成されたレリーフ構造パターンを有する材料を含む第1の層を有する工程を含む。この構造付き材料は、前記第1の層上に配置された、感光性材料を含む第2の層を含む。このレリーフ構造付き材料を第1の層を通じて放射線を照射し、その際、第1の層の第1の表面上に形成されたレリーフ構造パターンが、第2の層に入射する放射線の三次元の光強度パターンを生成させる。露光された材料を現像し、その現像した材料は、マイクロメートル又はマイクロメートル未満の機構を有する複数の3D構造を含む。
別の態様では、マイクロメートル又はマイクロメートル未満の機構を有する三次元(3D)構造を連続的に製作するためのシステムは、表面上に形成された構造付きレリーフパターンを有するマスタードラムを備える。このシステムは、マスタードラムによってその第1の表面上に形成されたレリーフパターンを有する光学的に透明な第1の層を含む多層材料を備え、この多層材料は、感光性材料を含む第2の層も含み、この第2の層は第1の層の上に配置されている。このシステムは、第1の層に放射線を照射して、第2の層に入射するこの放射線の三次元の光強度パターンを生成させるための露光源も備える。このシステムは、連続的なレリーフ構造付き材料に露光後の処理を行うための現像台も備える。
上記の本発明の「課題を解決するための手段」は、本発明の例示の各実施形態又は全ての実施態様を説明することを意図したものではない。下記の図及び「発明を実施するための形態」によって、これらの実施形態を更に詳細に例示する。
本発明の1つの態様による、マイクロメートル又はマイクロメートル未満の機構を有する三次元(3D)構造を連続的に製作するためのシステムの概略図。 本発明の1つの態様による、露光及び現像前の代表的な連続的なレリーフ構造付き材料の等角図。 本発明の1つの態様による、露光及び現像後の別の代表的な連続的なレリーフ構造付き材料の等角図。 本発明の1つの態様による、位相マスクフィルム層の上に形成された代表的な実験用のレリーフ構造パターンのAFM(原子間力顕微鏡)画像。 本発明の1つの態様による、露光された連続的なレリーフ構造付き材料と、三次元の光強度パターンの概略図。 代表的な第1の実験用試料の形成された3D構造の走査型電子顕微鏡(SEM)画像。 代表的な第2の実験用試料の形成された3D構造の走査型電子顕微鏡(SEM)画像。 代表的な第3の実験用試料の形成された3D構造の走査型電子顕微鏡(SEM)画像。 代表的な第4の実験用試料の形成された3D構造の走査型電子顕微鏡(SEM)画像。
上で特定した図面は、本発明のいくつかの実施形態を示しているが、考察部分で述べているように、他の実施形態も考えられる。いずれのケースでも、本開示は、限定する目的ではなく、説明する目的で本発明を提示している。当業者が、本発明の趣旨の範囲内にある数多くの他の修正形態及び実施形態を考案できると理解すべきである。図は、縮尺どおりに描かれていない場合もある。図の全体にわたって、同様の参照番号を用いて同様の部分を示している。
本発明は、マイクロメートル及びマイクロメートル未満の規模で3D構造を連続的に製作するための方法及びシステムに関する。1つの好ましい態様では、ポリマー層、又は有機/無機複合体、又は無機層の積層体が基板の上に形成されており、それらの層の少なくとも1つは連続的にインプリントされており、少なくとも1つの別の層は感光性である。このインプリントした層は、前記積層体が光源を通ったときに、位相マスク特性を提供することができる。これによって、感光層に照射される放射線の強度分布を生成させる。続いて、前記積層体を現像して3D構造を生成させることができ、この際、インプリントした層は溶解又は剥離される。
本明細書に記載されている方法及びシステムによって生成される3D構造は、マイクロメートル及びマイクロメートル未満(ナノスケールを含む)の機構の対称的又は非対称的パターンを含むことができる。これらの機構パターンは、深さの関数として、制御された密度を有することができる。加えて、前記3D構造は、複数の欠陥部位を含むことができる。本明細書に記載されているように、この動的な方法及びシステムは、マイクロメートル及びマイクロメートル未満の周期性又は準周期性を持つ3D構造付き材料を連続的に製作することをもたらし、このマイクロメートル及びマイクロメートル未満の構造は、元々のレリーフ構造及び露光源の寸法よりもかなり大きく作ることができる。これらの構造は、高い製作公差で生成させることができる。
マイクロメートル及びマイクロメートル未満の機構を有する3D構造を連続的に製作するのに用いられる代表的な製作システム100が、図1に示されている。製作システム100は、表面上に形成されたレリーフパターンを有するマスタードラム110を備え、このレリーフパターンは、位相マスクフィルム120の上に配置される。一組のローラー115、又は同様の装置を用いて、フォトレジスト層132及び基板136のような追加の層を組み込んで、連続的なレリーフ構造付き材料140を形成することができる。システム100は、位相マスクフィルムと連動してマルチビーム干渉パターン155を生成させるUVランプ又はレーザー152を備える照明源150を更に備え、このマルチビーム干渉パターン155を用いて、フォトレジスト層内に、マイクロメートル及びマイクロメートル未満の構造を形成することができる。連続的なレリーフ構造付き材料140に対して露光後の処理を行うために、現像台又は露光後の処理用の台160も設置されている。システム100は稼動中に、ウェブベースの製造時に通常使われるような移動式ステージを用いて、3D構造の連続的な製造を行う。
連続的なレリーフ構造付き材料140は、最終的な3D構造付き材料を形成する母材として提供する。「連続的な材料」とは、幅(w)よりも何倍も大きい長さ(L)を有する材料を意味する。例えば、連続的なレリーフ構造付き材料140は、メートルにしてかなりの長さ(すなわち、数百又は数千メートルの長さ)であることができる一方で、その幅は、約1〜約2メートルであることができる(例えば100:1の比)。
1つの好ましい態様では、図2Aに示されているように、レリーフ構造付き材料140は、位相マスクフィルム層120と、フォトレジスト層132と、裏張り層又は基板136とを含む。所望により、間の反射防止層、波長フィルター層、剥離層、結合層、又は支持層も含めることができる。1つの代表的な態様では、レリーフ構造付き材料140は、位相マスクフィルム120と裏張り又は基板層136との間に置かれたフォトレジスト層132を有する積層材である。
1つの代替的な態様では、レリーフ構造付き材料140は、個別の基板層136を省いた状態で、位相マスクフィルム層120とフォトレジスト層131とを含むことができる。この実施態様では、位相マスクフィルム層は、レリーフ構造付き材料140と、得られる3D構造付き材料とのために、十分な構造的支持力を提供することができる。
位相マスクフィルム層120は、従来のウェブタイプの材料、好ましくは熱可塑性ポリマー又は熱硬化性ポリマーのような当業者に知られているポリマー材から形成する。熱可塑性ポリマーとしては、室温よりも高い温度で軟化又は融解するが、室温以下の温度では剛性であり構造を保つことができる材料を挙げることができる。レプリカを作るのに使用できるいくつかの熱可塑性ポリマーとしては例えば、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリカーボネート(PC)、ポリスチレン(PS)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリアミド(PA)、ポリスルホン(PSU、非常に脆いポリマー)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、及びポリオキシメチレン(POM)が挙げられる。使用できる熱硬化性ポリマーとしては、ポリシロキサン(ポリジメチルジシロキサン(PDMS)等)、ポリイミド(ポリアミド酸の硬化によって作製される)、及びウレタンアクリレートが挙げられる。
この材料は、ポリビニルアルコール(PVA)のような水溶性又はアルコール可溶性材料であることができる。加えて、位相マスクフィルム層120は最終的に、複数のレリーフ構造122(下に更に詳細に説明されているプロセスを用いて形成される)を有する上面を含むことができる。レリーフ構造122は、照明源に暴露されるときに好適な位相マスク特性をもたらすために、位相マスクフィルム層120の全幅(w)の大部分又は全体に広がっていることができると共に、変動する高さ(h1、h2)を有することができる。例えば、これらの機構は、約10nm〜約数マイクロメートル(例えば10マイクロメートル以下)の周期性と、これと同様の規模の機構サイズとを有することができる。稼動上の目的のために、位相マスクフィルム層120をキャリアフィルム(好ましくは同じ材料のもの)又は取り外し可能なライナーの上に設けてもよい。
1つの代替的な態様では、層122は、振幅マスクとして構築でき、この場合、レリーフ機構は、光源又はその他の放射線源に暴露したときに回折パターンを形成できる周期的な金属の線又は格子を含むことができる。したがって、層122は、少なくとも部分的に透過性であるか、又は完全に透過性であることができる。
1つの代表的な態様では、レリーフ構造付き位相マスクフィルム層120は、製作システム100の一部として生成させることができる。図1に示されているように、マスタードラム110を用いて、位相マスクフィルム層120の上にレリーフ構造122を形成することができる。レリーフ構造は、金属(例えばNi、Cu、Al)フィルム、ポリマーフィルム、酸化物フィルム、ダイヤモンドフィルム、及びダイヤモンド様フィルムを含むことができるドラム表面の上に形成されている。1つの態様では、ドラム表面の材料を処理することができる。
複製材料を加える前に、剥離剤コーティングをマスタードラムの表面に塗布するのが有益である場合がある。ドラム表面をSiO2、SiN、又はその他の無機若しくはポリマー材から作る場合、例えばトリメチルクロロシラン(trimethychlorosilane)、又は米国特許第5,851,674号(ペルライト(Pellerite)ら)に開示されているようなフッ素化シロキサンのようなフルオロシラン離型剤で成形型をコーティングすることができる。この目的では、米国特許第7,173,778号(ジン(Jing)ら)に開示されているようなヘキサフルオロポリプロピレン(hexafluoropolyprolylene)オキシド誘導体も有用である。これらの開示は参考としてその全体が組み込まれる。
ドラム表面を金属化する場合、その金属化物品上に離型剤を塗布して、レリーフ構造を形成するポリマーの離型を促すのが有益であることもある。例えば、米国特許第6,824,882号(ボードマン(Boardman)ら)に開示されているようなフッ素化ホスホン酸、又は米国特許出願公開第2005/0048288号(フライン(Flynn)ら)に開示されているような、ペルフルオロポリエーテルアミドと結合したホスホン酸のような剥離層で構造付きドラム表面をコーティングすることができる。例えば米国特許第6,696,157号(デイビッド(David)ら)に開示されているようにダイヤモンド様ガラスでコーティングすることによって、構造付きドラム表面を保護することもできると考えられる。剥離層として用いることができるその他の好適な材料は、同時継続出願の米国特許出願第11/766,477号(チャン(Zhang)ら)で論じられている。上記開示のそれぞれは参考としてその全体が本明細書に組み込まれる。
前記構造を形成するために、ダイヤモンド旋削、レーザーアブレーション、光リソグラフィ、集束イオンビーム、及びe−ビームリソグラフィという技法のうちの1つ以上を用いることができる。1つの好ましい態様では、マスタードラム110は、従来のダイヤモンド旋削又はレーザーアブレーション技法を用いて形成できるレリーフ構造パターン111を備える。マスタードラム110は稼動中に、位相マスクフィルム層120に連続的に接触して、レリーフ構造パターンを位相マスクフィルム層120の上に複製する。代替的な態様では、本明細書を与えられた当業者には明らかであるように、鋳造と冷却(熱可塑性物質の場合)、及び鋳造と硬化(熱硬化性の場合、光硬化も含む)を含め、いずれかの数の様々な複製技法を用いることができる。鋳造は、押出成形、ディップコーティング、ナイフコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、ロールコーティング、リソグラフィコーティング、印刷、及びインクジェットコーティングという技法のうちのいずれも含むことができる。
したがって、マスタードラム110は、レリーフ構造パターンを位相マスクフィルム層120に転写して、レリーフ構造122の好適な二次元パターンを位相マスクフィルム層120にインプリントすることができる。つまり、マスタードラム110は、最終的な3D構造の寸法を直接制御することができると共に、連続的な位相マスクフィルムを用いる連続的な製作を可能にすることができる。複製法を用いるので、フィルムにおいて、構造の正確なパターンと位置が維持される。
例えば、図3は、位相マスクフィルム層の上に形成された代表的な実験用のレリーフ構造パターンのAFM(原子間力顕微鏡)画像を示しており、このレリーフ構造は、約1.6マイクロメートルのX−Y空隙部と、約0.5マイクロメートルの深さ(h1〜h2)を有する。1つの好ましい態様では、レリーフ構造のアレイの周期性を一定に保つ。1つの代替的な態様では、特定の用途に適している露光の種類に応じて、レリーフ構造の周期性を変えることができる。
上述のように、フォトレジスト層132と基板136とを組み込んで、連続的なレリーフ構造付き材料140を形成させる。これらの追加の層は、従来のコーティングプロセス(例えばダイコーティング)、又は従来の積層プロセスによって組み込むことができる。用いるフォトレジスト材の種類、及び/又は所要の構造の形状に応じて、層厚制御技法を用いることができる。
フォトレジスト層132は、従来のフォトレジスト材のような感光性材料を含むことができる。代替的な態様では、フォトレジストは、UVN 30(マサチューセッツ州マールバロ(Marlborough)のロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ(Rohm and Haas Electronic Materials)から入手可能)及びSU−8(マイクロケム社(MicroChem Corp.)から入手可能)のようなネガ型フォトレジスト、又は、UV5(ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ(Rohm and Haas Electronic Materials)から入手可能)及びシプレイ(Shipley)1813というフォトレジスト(ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ(Rohm and Haas Electronic Materials))のようなポジ型フォトレジストを含むことができる。1つの例では、使用できるネガ型フォトレジストは、オルモサー(ORMOCER)(登録商標)というレジスト(マイクロレジストテクノロジー(Micro Resist Technology)から入手可能)である。代表的な態様では、ディップコーティング、ナイフコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、リソグラフィコーティング、及びインクジェットコーティングいう技法のうちの1つ以上を用いて、フォトレジスト層を組み込むことができる。
1つの好ましい態様では、フォトレジスト層132は、約10nm〜約100マイクロメートルの厚みを有する。好適な厚みは、本明細書を与えられた当業者であれば理解できるように、材料の種類、露光の種類、及び露光レベルのような要因によって決まり得る。
好ましい態様では、基板層136を含めることができ、この基板層は、ポリエステル(PET及びPENの両方)、ポリイミド、ポリカーボネート、又はポリスチレンのような従来のウェブタイプの裏張り/支持用ポリマー材から形成することができる。代替的な態様では、基板は、ステンレススチール、その他のスチール、アルミニウム、銅のような金属箔の材料、又は紙、織布、若しくは不織布の材料を含むことができる。上記のどの基板材料の場合でも、コーティングされた表面を更に含むことができる。
1つの好ましい態様では、基板層136は十分な強度及び/又は可撓性を有し、約10マイクロメートル〜約数ミリメートル(10ミリメートル以下)の厚みを有することができる。1つの代替的な態様では、基板136はガラスのような剛体材料を含むことができる。
加えて、代替的な態様では、追加の層を組み込んで、位相マスク構造のインプリント前又は後のいずれかに、連続的なレリーフ構造付き材料140を形成させることができる。任意に応じて、製作システム100は、マスタードラム110の近くに配置された硬化源125を更に備えることができる。硬化源125は、位相マスクフィルム層120を(層120の材料組成に応じて、熱によるか、又はUV照射によるかのいずれかで)露光及び硬化させて、レリーフ構造122を最終的に形成させることができる。インプリントプロセスの前に多層積層体を作り、その後にUV硬化プロセスを用いるケースでは、フォトレジスト層への影響を最小限に抑えるために、硬化波長を慎重に選択しなければならない。
連続的なレリーフ構造付き材料140を形成した後、露光源150によって構造付き材料140に放射線を照射する。1つの好ましい態様では、露光源150は、放射線源、好ましくは部分コヒーレント光源又はコヒーレント光源を備える。1つの態様では、UVランプ152のような安価な光源、更には部分コヒーレント性を有する光源(この場合の時間コヒーレンス長は、位相マスクフィルム層120の構造の高さ寸法よりも長い)を用いることができる。例えば、カラーフィルターを備える平行水銀ランプを用いてよい。あるいは、1つ以上のLED、レーザーダイオード、又は1つのレーザーを露光源150として用いることもできる。更なる代替例では、赤外線(IR)源を用いることができる。このIR源の代替例では、光誘起反応を引き起こすために、フォトレジスト層132は、フォトレジスト内における二光子効果を促すためのドーパントを含むことができる。この代替例では、フォトレジスト層132の厚みを増やしてもよい。
露光源150は、照明ビームを作り出し、その照明ビームは、位相マスクフィルム層120のかなりの部分に入射して、位相マスクフィルム層120を通じて、構造付き材料を露光する。露光照明の位相マスクフィルム層との相互作用によって、フォトレジスト層132内に光干渉パターンが作られる。更に具体的には、この露光によって、フォトレジスト層132に入射する三次元の光強度パターン155が生成される。三次元の光強度パターン155によるフォトレジスト層132の露光によって、図2Bに示されているように、三次元における周期性又は準周期性を持つ、マイクロメートル及びマイクロメートル未満の構造を有する構造付きフォトレジスト層132’が作られる。三次元の光強度パターン155については、後で更に詳細に説明する。
露光後、露光された構造付き材料140は現像ステーション160に移動する。所望により、フォトレジスト層内の反応を完了させるために、加熱素子(図示せず)を用いて、現像台の手前で構造付き材料を加熱することもできる。
1つの好ましい態様では、露光された構造付き材料140に対して湿式現像プロセスを行い、このプロセスが、位相マスクフィルム層120を溶解して、(使用するフォトレジスト材の種類に応じて、フォトレジストの露光/非露光部分を除去することによって、)マイクロメートル及びマイクロメートル未満の機構を有する構造付きフォトレジスト層132’を完全に形成させることができる。位相マスクフィルム層120は、現像前、現像中、又は現像後に、構造付き材料から除去することができる。1つの代替的な態様では、現像前又は現像中に位相マスク層を除去する代わりに、蒸着工程を利用することができ、この工程では、(露光後に)追加の材料層を前記構造の上に蒸着して、位相マスク層を被覆する。この追加の層の材料は好ましくは、位相マスク層と同じ屈折率のものであり、現像後に構造の一部を保つことができる。
噴霧タイプの現像プロセスを行うために、現像ステーションは稼動時に、製作ラインの上方に形成された溶液分注装置を備えることができる。例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム、例えばロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ(Rohm and Haas Electronic Materials)から入手可能なマイクロポジット(Microposit)MF−319、MF−321、MF−322、又はCD−26のような水系現像剤を用いることができる。その他の従来の現像剤物質を用いることができる(例えば、材料SU−8用には、マイクロケム社(Microchem Corp.)製のSU−8現像剤を用いることができる)。1つの代替的な態様では、位相マスク層120は、剥離剤コーティングを使う等によって、現像前に感光層132’から剥がすか又は剥離させることができる。
現像は、層132の、光によって画定されるパターンの崩壊を最小限に抑えるか又は防ぐ形で行うことができ、この崩壊は、乾燥中における溶媒の表面張力によって誘発されるストレスに起因する場合がある。1つの代替的な態様では、現像の後に抽出ステーションを設置することができる。つまり、乾燥ストレスを最小限に抑えるために、前記構造を現像するのに用いる溶媒を、COによる超臨界抽出(例えば、C.J.ブリンカー(Brinker)及びG.W.シェーラー(Scherer)著、ゾル−ゲルサイエンス(Sol-Gel Science)、アカデミックプレス(Academic Press)、ニューヨーク(New York)、501〜505ページ(1990年)を参照)によって除去することができる。この超臨界乾燥法の詳細は、米国特許出願公開第2005/0124712号に更に詳細に記載されており、この特許は、参考としてその全体が本明細書に組み込まれる。
光反応性組成物の反応部分又は未反応部分のいずれかを除去後、周期構造の、得られた空隙を1つ以上の材料で、所望に応じて部分的又は完全に満たすことができる。好適な材料としては例えば、半導体(有機又は無機)、金属(例えば、タングステン、及び銀のような貴金属)、又は所望の特性を示すその他の物質が挙げられる。好ましくは、この材料は、無機半導体のような高屈折率材(例えば、約2超の屈折率を有する材料)である。有用な無機半導体の例としては、ケイ素、ゲルマニウム、セレン、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、並びに、リン化ガリウムインジウム及びヒ化ガリウムインジウムのような三元化合物等が挙げられる。ドープした半導体も用いることができる(例えば、ケイ素をホウ素でドープして、n型半導体を作ることができる)。
得られる構造170は図2Bに示されており、現像されたフォトレジスト層132’は、マイクロメートル及びマイクロメートル未満の機構を有する複数の3D構造を含む。
1つの代替的な実施形態では、位相マスク層を構造付き材料140の底部に配置できるように、製作システムを変更することができる。また、露光システム150を製作ラインの下方に配置して、照射光が下から基板/裏張りフィルム層136と位相マスク層とを通って伝わるようにすることができる。
1つの更なる代替的な態様では、露光工程後に位相マスク層を適所に保つことができ、更なる処理のための位置合わせツールとして位相マスク層を用いることができる。例えば、レーザー又はe−ビーム放射線を照射することによって、3Dの周期性構造内に欠陥が生じることがある。
上述のように、露光源150は照明ビームを作り出し、その照明ビームは、位相マスクフィルム層120のかなりの部分に入射して、構造付き材料を露光する。この露光によって、フォトレジスト層132に入射する三次元の光強度パターン155が生成される。このマルチビーム干渉パターンは、レリーフ構造への放射線照射によって誘発され、強度パターン155を生成させる。三次元の光強度パターン155は、光源によって制御される深さの関数として形成される機構パターン密度と、位相マスクフィルムのレリーフ構造の横方向、長手方向、及び深さ方向の成分とに対応する。マルチビーム干渉パターン155は、図の平面内(図示されている)と、図の平面内/外(図示せず)の双方に、(フォトレジスト層の表面に対して)垂直なゼロ次電磁場成分と、斜めの高次電磁場成分とを含む。
加えて、露光される材料は稼動中、例えば図4(方向矢印180)に示されているように移動している。光源の有限サイズ(幅=「W」)により、構造140が有限の光ビーム153を通っているときに、光の平均化とコントラストとの低下に対応する一部の有害な縁効果が発生することになる。図4に概略的に示されているように、露光されるフォトレジスト層の1つの点が第1の縁154aを通り、この縁154aでは、1つのビーム成分のみが存在するか、又は2つのビーム成分のみが交差している。露光されるフォトレジスト層は、主要な3D干渉パターン156も通る。続いて、露光されるフォトレジスト層は別の縁154bを通る。未制御の場合、このタイプの稼動中の露光は、照射線量コントラストの低下を生むことがあり、このコントラストの低下は、パターン付き構造の方向間の不均整、又は(おそらく)構造の完全な流失をもたらす場合がある。例えば、照射ビームの幅(W)を増大させることによって、広角によって定められる縁の幅に起因する照射線量の寄与度が低下する。また、フォトレジストの非線形応答を調節し、この応答を用いて、縁の変調されていないか又は部分的に変調された光により、照射線量の影響を更に低下させることができる。縁区域における、変調されていないか又は部分的に変調された光の照射量を減らすための別のアプローチは、位相マスクのできるだけ近くに感光層を配置して、異なる角度で進む異なる次数の分離の量を減らすものであることができる。
全体としては、1つの好ましい態様では、ウェブプロセスアプローチによって、製作誤差に関する公差の高い、マイクロメートル及びマイクロメートル未満の機構を有する3D構造を連続的に作製可能になる。したがって、光リソグラフィ法に付き物である典型的な位置合わせの問題が軽減される。1つの代表的な態様では、マイクロメートル及びマイクロメートル未満の機構を有するこれらの3D構造を有機発光ダイオード(OLED)の用途で用いることができる。別の用途としては、フォトニクス、化学センシング、触媒担体、データ記憶、ナノ及びマイクロ流体回路、並びに、組織工学を挙げることができる。
実験
第1の実験では、構造付き位相マスクフィルム(ポリジメチルシロキサン(PDMS)材から形成したもの)を作製して、フォトレジスト層でコーティングした基板(ガラスとポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの両方を用いた)の上に積層した。ポジ型レジスト材(具体的には、ペンシルベニア州フィラデルフィア(Philadelphia)のロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ(Rohm and Haas Electronic Materials)から入手可能なマイクロポジット(MICROPOSIT)S1813というフォトレジスト)から第1のフォトレジスト層を形成させ、これをディップコーティングして、約5マイクロメートルの厚さを実現させた。ニッケルの成形型でインプリントすることによって、PDMSフィルムパターンを作製した。作製した位相マスクフィルム層構造のAFM画像が図3に示されている。作製した位相マスクフィルム層は、周期1.6マイクロメートル及び深さ0.5マイクロメートルの周期的な2Dの穴構造を有する直立したレリーフ要素を有し、総厚は約3mmである。露光源は、UVレーザー、具体的には、カリフォルニア州サンタクララ(Santa Clara)のコヒーレント社(Coherent Inc.)から入手可能な出力波長約351nm、電力約1Wのセーバーフレッドレーザー(Sabre FreD Laser)であった。露光中、この多層材を静止した状態に保った。
第1の実験試料は図5Aに示されており、この図は、形成された3D構造の走査型電子顕微鏡(SEM)画像を提供している。この第1の試料構造の画像は、厚い方のレジスト層が存在するコーティングの縁部で撮影したものである。露光された構造は、試料の深さ全体にわたって、いくつかの異なる高さの構造を示している。この例では、穴は、直径約1マイクロメートル規模のサイズを有する。
第2の実験では、エポキシ系のネガ型レジスト材(具体的には、マサチューセッツ州ニュートン(Newton)のマイクロケム(MicroChem)から入手可能なSU−8というフォトレジスト)からフォトレジスト層を形成したのを除き、条件は上記のものと同じであった。図5Bは、第2の実験試料のSEM画像を示しており、2層構造の埋め込まれた空隙球体を示している。
別の実験では、反射防止コーティング(「ARC」、具体的には、ミズーリ州ローラ(Rolla)のブルーワーサイエンス社(Brewer Science Inc.)製のXLT ARC)でガラススライドをコーティングした。このARCの上にフォトレジストを配置した。このケースでは、ポジ型レジスト材(具体的には、ペンシルベニア州フィラデルフィア(Philadelphia)のロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ(Rohm and Haas Electronic Materials)から入手可能なS1813というフォトレジスト)を用いると共に、これを(速度約3mm/秒で)ディップコーティングした。ARCの厚みは0.5マイクロメートルよりもわずかに厚いと推定され、レジストの厚みは約15マイクロメートルと推定された。構造付き位相マスクフィルム(ポリジメチルシロキサン(PDMS)材から形成したもの)を作製し、直立しているレリーフ構造を有するレジスト/ARC/基板の上に配置した。上記と同様に、ニッケルの成形型でインプリントすることによって、PDMSフィルムパターンを作製した。この多層材料を並進ステージの上に乗せた。ステージ/材料を約60mm/秒の速度で動かし、ガウス形(直径3.2mm)を有する有限の351nmの平行レーザービームを交差させた。幅数ミリメートル、長さ数センチメートルの線を引いた。光の強度を60mW(1回目の試み)〜70mW(2回目の試み)に変えた。露光後、ペンシルベニア州フィラデルフィア(Philadelphia)のロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ(Rohm and Haas Electronic Materials)から入手可能なマイクロポジット(MICROPOSIT)MF−319という現像剤中で試料を現像した。約50秒(2回目の試み)〜約90秒(1回目の試み)の現像時間を使用した。
これらの実験から得られた構造の例は図6A(1回目の試み)及び図6B(2回目の試み)に示されている。垂直寸法における周期性は、裂かれた縁部で観察された3D構造を示している。図6Aでは、穴から柱部までの構造が観察され、これも、三次元寸法(すなわち深さ方向)での周期性を示している。図6Bも、第1の平面内の元々の2D成形パターンから変化した物を示しており、これも3D露光パターンを示している。このような挙動はおそらく、位相マスク層の不均一性に起因する。
好ましい実施形態を参照して本発明を説明してきたが、本発明の範囲から逸脱することなく、形態及び詳細の面で変更してよいことを当業者は理解するであろう。

Claims (15)

  1. マイクロメートル又はマイクロメートル未満の機構を有する三次元(3D)構造を製作する方法であって、
    連続的に形成されたレリーフ構造付き材料を準備する工程であって、前記レリーフ構造付き材料が、レリーフ構造パターンをその第1の表面上に有する材料を含む第1の層と、感光性材料を含む第2の層とを有する工程と、
    前記レリーフ構造付き材料に前記第1の層を通じて放射線を照射する工程であって、前記第1の層の第1の表面上に形成された前記レリーフ構造パターンが、前記第2の層に入射する放射線の三次元の光強度パターンを生成させる工程と、
    露光されたレリーフ構造材を現像する工程であって、現像された前記第2の層が、マイクロメートル又はマイクロメートル未満の機構を有する複数の3D構造を含む工程と、を含む方法。
  2. 前記レリーフ構造付き材料の前記第1の層の上に、レリーフ構造パターンを連続的に形成させる工程を更に含む、請求項1に記載の方法。
  3. レリーフ構造パターンを有する回転式マスタードラムが、前記第1の層の未形成表面に連続的に接触し、前記マスタードラムのレリーフ構造を前記第1の層の表面上に複製する、請求項2に記載の方法。
  4. 前記レリーフ構造付き材料が、前記第2の層を支持する基板を更に含み、前記第2の層を前記第1の層に積層し、前記基板を前記第2の層に積層する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
  5. 前記露光工程の前に、前記第1の層を硬化させる工程を更に含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
  6. 前記現像工程の前に、前記構造付き材料を加熱する工程を含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
  7. 前記現像された第2の層の超臨界乾燥を行う工程を更に含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
  8. 周期構造の、得られた空隙空間を1つ以上の充填材料で少なくとも部分的に満たす工程を更に含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
  9. 露光後に前記第1の層を被覆するための被覆層を配置する工程であって、前記被覆層が、前記第1の層の屈折率とほぼ同じ屈折率を有する工程を更に含む、請求項1に記載の方法。
  10. マイクロメートル又はマイクロメートル未満の機構を有する三次元(3D)構造を連続的に製作するためのシステムであって、
    表面上に形成された構造付きレリーフパターンを有するマスタードラムと、
    前記マスタードラムによってその第1の表面上に形成されたレリーフパターンを有する第1の層を含む多層材料であって、前記多層材料が、感光性材料を含む第2の層も含む多層材料と、
    前記第1の層に放射線を照射して、前記第2の層に入射する前記放射線の三次元の光強度パターンを生成させる露光源と、
    連続的な前記レリーフ構造付き材料に露光後の処理を行うための現像台と、を備えるシステム。
  11. 前記多層材料が、前記第2の層を支持する基板を更に含む、請求項10に記載のシステム。
  12. 露光後に前記第2の層の光化学反応を最終的に完了させるために、前記露光源に近接して配置された加熱素子を更に備える、請求項10〜11のいずれか一項に記載のシステム。
  13. 露光前に前記第1の層を硬化させるために、前記マスタードラムに近接して配置された硬化源を更に備える、請求項10〜12のいずれか一項に記載のシステム。
  14. 前記現像された第2の層の超臨界乾燥を行うために、前記現像台の後に位置する抽出ステーションを更に備える、請求項10〜13のいずれか一項に記載のシステム。
  15. 前記第1の層が、熱可塑性材料と熱硬化性材料のうちの1つを含み、前記レリーフパターンが、約10nm〜約10マイクロメートルの周期性と、約10nm〜約10マイクロメートルの厚みとを有する複数の機構を含む、請求項10〜14のいずれか一項に記載のシステム。
JP2010539587A 2007-12-21 2008-12-02 マイクロメートル未満及びマイクロメートルの機構を有する三次元構造を製作するための方法及びシステム Withdrawn JP2011507711A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US1600807P 2007-12-21 2007-12-21
PCT/US2008/085219 WO2009085533A2 (en) 2007-12-21 2008-12-02 Method and system for fabricating three-dimensional structures with sub-micron and micron features

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011507711A true JP2011507711A (ja) 2011-03-10

Family

ID=40789073

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010539587A Withdrawn JP2011507711A (ja) 2007-12-21 2008-12-02 マイクロメートル未満及びマイクロメートルの機構を有する三次元構造を製作するための方法及びシステム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8071277B2 (ja)
EP (1) EP2232529A4 (ja)
JP (1) JP2011507711A (ja)
CN (1) CN101903976A (ja)
WO (1) WO2009085533A2 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010080378A1 (en) 2008-12-19 2010-07-15 3M Innovative Properties Company Method and system for fabricating nanostructure mass replication tool
US8367306B1 (en) * 2009-07-13 2013-02-05 Hrl Laboratories, Llc Method of continuous or batch fabrication of large area polymer micro-truss structured materials
KR20130106770A (ko) * 2010-07-26 2013-09-30 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 반도체 디바이스의 제조 방법
TWI474432B (zh) * 2012-11-15 2015-02-21 Lextar Electronics Corp 晶粒定位裝置、具有晶粒定位裝置的晶粒定位系統與發光二極體顯示板的晶粒定位方法
KR101466833B1 (ko) * 2013-07-08 2014-11-28 코닝정밀소재 주식회사 유기발광소자용 광추출 기판, 그 제조방법 및 이를 포함하는 유기발광소자
CN108351605B (zh) * 2016-01-27 2020-12-15 株式会社Lg化学 膜掩模、其制备方法、使用膜掩模的图案形成方法和由膜掩模形成的图案
US10969686B2 (en) 2016-01-27 2021-04-06 Lg Chem, Ltd. Film mask, method for manufacturing same, and method for forming pattern using film mask and pattern formed thereby
WO2017131497A1 (ko) 2016-01-27 2017-08-03 주식회사 엘지화학 필름 마스크, 이의 제조방법 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
DE102016123538A1 (de) * 2016-12-06 2018-06-07 Ev Group E. Thallner Gmbh Verfahren zum Prägen von Mikro- und/oder Nanostrukturen

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4840757A (en) * 1987-05-19 1989-06-20 S. D. Warren Company Replicating process for interference patterns
DE69405451T2 (de) * 1993-03-16 1998-03-12 Koninkl Philips Electronics Nv Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines strukturierten Reliefbildes aus vernetztem Photoresist auf einer flachen Substratoberfläche
US5851674A (en) * 1997-07-30 1998-12-22 Minnesota Mining And Manufacturing Company Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation
US6696157B1 (en) * 2000-03-05 2004-02-24 3M Innovative Properties Company Diamond-like glass thin films
DE10061297C2 (de) * 2000-12-08 2003-05-28 Siemens Ag Verfahren zur Sturkturierung eines OFETs
US6849558B2 (en) * 2002-05-22 2005-02-01 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Replication and transfer of microstructures and nanostructures
US6824882B2 (en) * 2002-05-31 2004-11-30 3M Innovative Properties Company Fluorinated phosphonic acids
PL1611466T3 (pl) * 2003-03-21 2008-01-31 Ovd Kinegram Ag Sposób wytwarzania dwóch nakładających się mikrostruktur
WO2005023822A1 (en) * 2003-08-21 2005-03-17 3M Innovative Properties Company Perfluoropolyether amide-linked phosphonates, phosphates, and derivatives thereof
EP1700161B1 (en) * 2003-12-01 2018-01-24 The Board of Trustees of the University of Illinois Methods and devices for fabricating three-dimensional nanoscale structures
US20050124712A1 (en) * 2003-12-05 2005-06-09 3M Innovative Properties Company Process for producing photonic crystals
WO2005111157A1 (en) * 2004-05-07 2005-11-24 3M Innovative Properties Company Stain repellent optical hard coating
US20080315459A1 (en) * 2007-06-21 2008-12-25 3M Innovative Properties Company Articles and methods for replication of microstructures and nanofeatures

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009085533A2 (en) 2009-07-09
EP2232529A4 (en) 2011-03-16
EP2232529A2 (en) 2010-09-29
WO2009085533A3 (en) 2009-09-11
CN101903976A (zh) 2010-12-01
US20090162799A1 (en) 2009-06-25
US8071277B2 (en) 2011-12-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011507711A (ja) マイクロメートル未満及びマイクロメートルの機構を有する三次元構造を製作するための方法及びシステム
JP5102879B2 (ja) 大面積ナノパターン形成方法および装置
US9465296B2 (en) Nanopatterning method and apparatus
Qiao et al. Toward scalable flexible nanomanufacturing for photonic structures and devices
KR101520196B1 (ko) 근접장 리소그래피용 마스크 및 이의 제법
Gates et al. New approaches to nanofabrication: molding, printing, and other techniques
KR100590727B1 (ko) 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법과이의 나노 구조물
US8518633B2 (en) Large area nanopatterning method and apparatus
US20090001634A1 (en) Fine resist pattern forming method and nanoimprint mold structure
US20120282554A1 (en) Large area nanopatterning method and apparatus
EP2524266A2 (en) Nanopatterning method and apparatus
Huang et al. A review of the scalable nano-manufacturing technology for flexible devices
Lyutakov et al. Polymer surface patterning by laser scanning
JP2006287012A (ja) ナノインプリント方法及び装置
Kim et al. Quasi-seamless stitching for large-area micropatterned surfaces enabled by Fourier spectral analysis of moiré patterns
US20150036117A1 (en) Maskless nanoimprint lithography
US20080229950A1 (en) Seamless imprint roller and method of making
Qin et al. Nanotechnology: a top–down approach
Choi et al. Simultaneous fabrication of line defects-embedded periodic lattice by topographically assisted holographic lithography
Mekaru et al. Thermal roller imprint on surface of Teflon perfluoroalkoxy inlet tube
Murali Metrology for grayscale lithography
Cui et al. Nanofabrication by Replication
Ngô et al. Making Nano-Objects
Paul The use of soft lithography to fabricate structures at the nanometer scale
Satzinger et al. Rapid prototyping of micro-optics on organic light emitting diodes and organic photo cells by means of two-photon 3D lithography and nano-imprint lithography

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20120207