JP2011507305A5 - - Google Patents
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Description
図1において、ヒンジプレート102はフレームに含まれ、そして、ヒンジ回転ピン103及び調整ネジ104はまた、角度調整のために用いる。角度調整は、ヒンジプレート102を定位置に維持して機能する。固定ボルト105は、回転ピン103について回転できるようにゆるめられる。回転は、プッシュプル調整ネジ104を回すことで行われる。適当な位置において、固定ボルト105を係止する。また、図1は、窓保持プレート106内において、窓を含む。この窓は、反射防止コーティングされるか、又はブリュースター角に方向づけられている。これらの技術は両方とも、光透過効率を改善するために用いられうる。
ブリュースター角でウインドウを提供するためには、窓をブリュースター角に近接して埋設することを必要とする。これを達成する1つの方法においては、窓をこの角度で支持するようにフレーム101を機械加工することを必要とする。そして、窓保持プレート106は、窓をフレームに固定する。第2の方法は、フレーム101及び保持プレート106の間に拡張部(extension)を追加するものである。この拡張部は、一端でフレーム101に取付けられ、他端でブリュースター角で窓を保持しうる。結晶に集束される光や、結晶から射出される光によって損傷を受けないように、窓は結晶から十分に離間して配置される。この距離は、光の波長、結晶及びハウジングへの集束状態、結晶のタイプ、窓材、窓方向、及び結晶又は窓に施されうる任意のコーティングに基づいて算出されうる。
図4は、他の角度調整技術を示す図である。図4によれば、フレーム上部に回転ピン405が挿入できるように、ハウジング401に穴が配置される。結晶がその中心について回転するように、回転ピン405の中心軸を結晶405の中心に近接して配置する。ヒンジが回転ピン405と置き換わる図1の実施例に類似した技術を用いて角度調整がなされる。図4において、光は、402に配置される窓を通って入射し、404に配置される窓を経て出射しうる。あるいは、光は、403に配置される窓を経て入射し、402に配置される窓を経て出射しうる。
結晶1005は、凹部1007によってセル内において支持される。結晶1006は、フレーム1001に挿入される台1013上で支持される。この台1013は、リングシール1012を使用して密閉されうる。このリングシールは、前述の実施形態における窓シールと類似する材料でありえる。加えて、ここのシールは、金属−金属接触面に対するものであるため、例えば、真空密閉に使用するメタルクラッシュワッシャなどの他の種類のシールが用いられうる。このときのシールはこれに限らない。適切に調整されるために、台1013は結晶1005に対して回転されて、外側留め具1014を用いて適所に固定される。図5に関して記載した技術と類似の技術を用いて、両方の結晶は適当な状態に保たれうる。
Claims (31)
- 結晶を含む環境制御エンクロージャであって、
前記エンクロージャ内の温度変化が前記結晶にごく僅かなストレスを与えるように、前記結晶を前記エンクロージャ内に固定するように構成される固定具と、
前記エンクロージャに光が入射し、該光が前記結晶に接するように構成された窓と、
前記窓及び前記エンクロージャの間に形成されたシールと
を含むエンクロージャ。 - 前記エンクロージャからのパージガスのために構成された排気口を更に含む、請求項1に記載のエンクロージャ。
- 前記パージガスは不活性ガスを含む、請求項2に記載のエンクロージャ。
- 前記不活性ガスの一定割合は酸素を含む、請求項3に記載のエンクロージャ。
- 前記不活性ガスは1ppm未満の水又は有機不純物を含む、請求項3に記載のエンクロージャ。
- 結晶温度を周囲雰囲気より高く上昇させるように構成される加熱素子を更に含む、請求項1に記載のエンクロージャ。
- 結晶温度を周囲雰囲気未満に低下させるように構成される冷却素子を更に含む、請求項1に記載のエンクロージャ。
- 前記結晶がローフォーススプリングを含む前記エンクロージャ内に固定される、請求項1に記載のエンクロージャ。
- 前記結晶に近接して配置される温度読取素子を更に含む、請求項1に記載のエンクロージャ。
- 前記温度読取素子は、前記結晶エンクロージャの温度を比較的一定の温度値に維持するようにフィードバックを生成する、請求項9に記載のエンクロージャ。
- 前記窓は前記エンクロージャに入射する光に対してブリュースター角に方向づけられる、請求項1に記載のエンクロージャ。
- 前記エンクロージャに結合され、前記エンクロージャから光が射出できるように構成された射出窓を更に含む、請求項1に記載のエンクロージャ。
- 前記窓は、石英ガラス及びフッ化カルシウムを含む一群のうちの一つから製造される、請求項1に記載のエンクロージャ。
- 前記エンクロージャは主位相整合軸に沿って内蔵角度を調整するように構成される、請求項1に記載のエンクロージャ。
- 結晶を内蔵するように構成された環境制御エンクロージャであって、
前記エンクロージャ内の温度変化が前記結晶にごく僅かなストレスを与えるように、前記結晶を前記エンクロージャ内に固定するための手段と、
前記エンクロージャに光が入射し、該光が前記結晶に接するように構成された窓と
を含むエンクロージャ。 - 前記エンクロージャは主位相整合軸に対して垂直な内蔵角度調整によって構成される、請求項15に記載のエンクロージャ。
- 前記角度調整は、前記結晶の中心に近接する回転軸を有するゴニオメータによって行われる、請求項16に記載のエンクロージャ。
- 前記入射窓を前記エンクロージャにシールするように構成される1次シールを更に含む、請求項15に記載のエンクロージャ。
- 前記1次シールは、高温において低ガス放出の材料から形成されるリングを含む、請求項18に記載のエンクロージャ。
- 前記第1シールと組み合わせて、前記入射窓を前記エンクロージャにシールするように構成された第2シールを更に含み、
前記第2シールは、銀、ステンレス鋼、アルミニウム、ニッケルを含む一群のうちの少なくとも一つを含む金属から形成されるリングを含む、
請求項18に記載のエンクロージャ。 - 前記結晶は、周波数混合を行うように構成された非線形結晶である、請求項15に記載のエンクロージャ。
- 前記結晶は、CLBO、LBO、BBO、KBBF、CBO、KDP、KTP、KD*P、又はBIBOを含む一群のうちの一つから形成される、請求項21に記載のエンクロージャ。
- 複数の結晶を含む環境を制御するように構成されるエンクロージャであって、
温度変化の際に、前記各結晶に僅少なストレスを与えるような構成で、前記エンクロージャ内に前記複数の結晶を固定するように構成される固定具と、
光が前記エンクロージャに入り、出られるように構成された窓と
を含むエンクロージャ。 - 前記窓及び前記エンクロージャの間に形成されたシールを更に含む、請求項23に記載のエンクロージャ。
- 第1の結晶から光を集光し、前記光を第2の結晶に近接して再度集束させるように構成された光学系を更に含む、請求項23に記載のエンクロージャ。
- 前記光学系はエンクロージャ内に配置される、請求項25に記載のエンクロージャ。
- 前記光学系はエンクロージャの外に配置される、請求項25に記載のエンクロージャ。
- 少なくとも一つの結晶が非臨界位相整合する、請求項23に記載のエンクロージャ。
- 一つの結晶が主位相整合面において調整されるように構成されている、請求項23に記載のエンクロージャ。
- 前記複数の結晶が、ウォークオフ補償又は分散デルタk補償を含む一群のうちの少なくとも一つを行うように構成されている、請求項23に記載のエンクロージャ。
- 複数の結晶を含む環境を制御するように構成されているエンクロージャであって、
金属フレームと、
取り外し可能な結晶保持具と
を含むエンクロージャ。
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---|---|
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7170686B2 (ja) | 2011-10-07 | 2022-11-14 | ケーエルエー コーポレイション | レーザシステムおよび非線形光学結晶の製造方法 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2617108A4 (en) * | 2010-11-09 | 2014-01-08 | L Livermore Nat Security Llc | MULTI-CRYSTAL FREQUENCY TRIPLE FOR THE CONVERSION OF THE THIRD HARMONIOUS |
US8873596B2 (en) | 2011-07-22 | 2014-10-28 | Kla-Tencor Corporation | Laser with high quality, stable output beam, and long life high conversion efficiency non-linear crystal |
US9042006B2 (en) | 2012-09-11 | 2015-05-26 | Kla-Tencor Corporation | Solid state illumination source and inspection system |
US8929406B2 (en) | 2013-01-24 | 2015-01-06 | Kla-Tencor Corporation | 193NM laser and inspection system |
US9529182B2 (en) | 2013-02-13 | 2016-12-27 | KLA—Tencor Corporation | 193nm laser and inspection system |
US9608399B2 (en) | 2013-03-18 | 2017-03-28 | Kla-Tencor Corporation | 193 nm laser and an inspection system using a 193 nm laser |
US11180866B2 (en) | 2013-04-10 | 2021-11-23 | Kla Corporation | Passivation of nonlinear optical crystals |
SI24642A (sl) * | 2014-02-12 | 2015-08-31 | Optotek D.O.O. | Nosilec za temperaturno stabilizacijo optičnih komponent |
US9804101B2 (en) | 2014-03-20 | 2017-10-31 | Kla-Tencor Corporation | System and method for reducing the bandwidth of a laser and an inspection system and method using a laser |
US9419407B2 (en) | 2014-09-25 | 2016-08-16 | Kla-Tencor Corporation | Laser assembly and inspection system using monolithic bandwidth narrowing apparatus |
US9748729B2 (en) | 2014-10-03 | 2017-08-29 | Kla-Tencor Corporation | 183NM laser and inspection system |
WO2018008142A1 (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | ギガフォトン株式会社 | 波長変換装置 |
US10153215B2 (en) | 2016-08-04 | 2018-12-11 | Kla-Tencor Corporation | Oven enclosure for optical components with integrated purge gas pre-heater |
US10175555B2 (en) | 2017-01-03 | 2019-01-08 | KLA—Tencor Corporation | 183 nm CW laser and inspection system |
US20190056637A1 (en) * | 2017-08-21 | 2019-02-21 | Kla-Tencor Corporation | In-Situ Passivation for Nonlinear Optical Crystals |
CN110800175B (zh) | 2017-08-22 | 2022-10-21 | 极光先进雷射株式会社 | 波长转换装置 |
US11119384B2 (en) * | 2017-09-28 | 2021-09-14 | Kla-Tencor Corporation | Hermetic sealing of a nonlinear crystal for use in a laser system |
CN109921271A (zh) * | 2017-12-13 | 2019-06-21 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种机械位置可调的晶体恒温装置 |
CN108146856A (zh) * | 2017-12-24 | 2018-06-12 | 广西广付金商贸有限公司 | 一种用于电子通信设备存放转移的双保护型运输箱 |
CN108657589A (zh) * | 2018-05-17 | 2018-10-16 | 温龙龙 | 一种海船用真空贮藏保鲜装置 |
US20200266599A1 (en) * | 2019-02-19 | 2020-08-20 | United States Of America As Represented By The Administrator Of Nasa | Dynamic, thermally-adaptive cuboid crystal mount for end-pumped conductively cooled solid state laser applications |
FR3096511B1 (fr) * | 2019-05-22 | 2021-07-02 | Amplitude Systemes | Monture de composant optique et système de commande de faisceau lumineux associé |
CN111619932B (zh) * | 2020-04-29 | 2022-02-18 | 浙江海洋大学 | 用于金枪鱼冷链物流用配送设备 |
US11237455B2 (en) | 2020-06-12 | 2022-02-01 | Kla Corporation | Frequency conversion using stacked strontium tetraborate plates |
US11567391B1 (en) | 2021-11-24 | 2023-01-31 | Kla Corporation | Frequency conversion using interdigitated nonlinear crystal gratings |
US11899338B2 (en) | 2021-12-11 | 2024-02-13 | Kla Corporation | Deep ultraviolet laser using strontium tetraborate for frequency conversion |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4900937A (en) * | 1988-10-20 | 1990-02-13 | Bicron Corporation | Well logging detector with decoupling optical interface |
US5047668A (en) * | 1990-06-26 | 1991-09-10 | Cornell Research Foundation, Inc. | Optical walkoff compensation in critically phase-matched three-wave frequency conversion systems |
US5363391A (en) * | 1992-04-24 | 1994-11-08 | Hughes Aircraft Company | Conductive face-cooled laser crystal |
JPH06177465A (ja) * | 1992-07-20 | 1994-06-24 | Nec Corp | 端面励起型固体レーザ |
US5796109A (en) * | 1996-05-03 | 1998-08-18 | Frederick Energy Products | Unitized radiation detector assembly |
US6002697A (en) * | 1998-04-03 | 1999-12-14 | Lambda Physik Gmbh | Diode pumped laser with frequency conversion into UV and DUV range |
AU731139B2 (en) * | 1998-08-24 | 2001-03-22 | Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. | Modular radiation detector assembly |
EP1048974A1 (en) * | 1999-04-27 | 2000-11-02 | Kabushiki Kaisha Ushio Sougou Gijyutsu Kenkyusho | Crystal holding device |
JP2001272705A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Komatsu Ltd | 波長変換装置およびその波長変換装置を備えたレーザ装置 |
AUPR087500A0 (en) * | 2000-10-19 | 2000-11-16 | Q-Vis Limited | Improved crystal mounting in solid state laser systems |
JP3636200B2 (ja) * | 2000-12-14 | 2005-04-06 | 三菱電機株式会社 | 波長変換方法、波長変換装置、およびレーザ加工機 |
WO2002048787A1 (fr) | 2000-12-14 | 2002-06-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Procede et appareil de transformation de longueur d'onde, et dispositif laser et dispositif d'usinage laser a longueur d'onde transformee |
TWI249215B (en) * | 2001-06-01 | 2006-02-11 | Toshiba Corp | Film quality inspecting method and film quality inspecting apparatus |
JP4636020B2 (ja) | 2004-05-26 | 2011-02-23 | 株式会社ニコン | 波長変換光学系、レーザ光源、露光装置、マスク検査装置、及び高分子結晶の加工装置 |
US7724453B2 (en) * | 2006-06-19 | 2010-05-25 | Coherent, Inc. | Vacuum cell for optical components |
-
2008
- 2008-05-06 US US12/154,337 patent/US8298335B2/en active Active
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7170686B2 (ja) | 2011-10-07 | 2022-11-14 | ケーエルエー コーポレイション | レーザシステムおよび非線形光学結晶の製造方法 |
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