JP2011253784A - Coating applicator and manufacturing method of organic electronic element - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、塗布装置に関し、詳しくは、バックロールに巻回され支持され連続搬送される帯状の支持体上に、塗布手段で塗布を行う塗布装置に関する。 The present invention relates to a coating apparatus, and more particularly, to a coating apparatus that performs coating with a coating unit on a belt-like support that is wound around a back roll, supported, and continuously conveyed.
従来、連続走行する帯状の支持体に塗布液を塗布する、所謂ロール・ツー・ロールの塗布方法として、必要な塗布液膜を形成する量だけ塗布液を吐出させて帯状支持体上に塗布液を塗布する、所謂、前計量型塗布方式に使用する前計量型の塗布装置が知られている。前計量型の塗布方法としては、スリット型ダイコーターを用いたエクストルージョン塗布方法、スリット型ダイコーターを用いたスライド塗布方法、カーテン塗布方法、インクジェットヘッドを用いた塗布方法が知られている。 Conventionally, as a so-called roll-to-roll coating method in which a coating solution is applied to a continuously running belt-like support, the coating solution is discharged onto the belt-like support by discharging the coating solution in an amount that forms a required coating solution film. There is known a pre-weighing type coating apparatus used for a so-called pre-weighing type coating method. As a pre-weighing type coating method, an extrusion coating method using a slit type die coater, a slide coating method using a slit type die coater, a curtain coating method, and a coating method using an inkjet head are known.
前計量型塗布方法の中でもスリット型ダイコーターを用いたエクストルージョン塗布方法は、他の方式の塗布方法と比較して、塗布精度の高さ、高品位性、高速、薄膜、多層塗布適性等の対応が可能であることから、例えば、光学用フィルム、インクジェット記録用紙、熱現像記録材料、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子とも言う)、有機薄膜トランジスター素子、有機太陽電池素子(以下、有機PV素子とも言う)、有機光電変換素子をはじめとした、様々な有機エレクトロニクス素子等の製造に使用されている。 Among the pre-weighing type coating methods, the extrusion coating method using a slit type die coater has higher coating accuracy, higher quality, higher speed, thin film, suitability for multilayer coating, etc. than other types of coating methods. For example, optical films, ink jet recording paper, heat-developable recording materials, organic electroluminescence elements (hereinafter also referred to as organic EL elements), organic thin film transistor elements, organic solar cell elements (hereinafter organic) It is also referred to as a PV element), and is used in the manufacture of various organic electronics elements such as organic photoelectric conversion elements.
有機エレクトロニクス素子は、有機化合物を用いて電気的な動作を行う素子であり、省エネルギー、低価格、柔軟性といった特長を発揮出来ると期待され、従来のシリコーンを主体とした無機半導体に替わる技術として注目されている。これらの有機エレクトロニクス素子は、有機化合物の非常に薄い膜に電極を介して電流を流すことで、発光したり、発電したり、帯電したり、電流や電圧を制御したりする素子である。 Organic electronics devices are devices that perform electrical operations using organic compounds, and are expected to exhibit features such as energy saving, low cost, and flexibility, and are attracting attention as a technology that replaces conventional inorganic semiconductors based on silicone. Has been. These organic electronics elements are elements that emit light, generate electric power, charge, or control current and voltage by passing a current through an electrode through a very thin film of an organic compound.
有機EL素子は有機化合物の薄膜からなる発光層を電極で挟持した構成で、第1電極(陽極又は陰極)と第2電極(陽極又は陰極)間に電流を供給すると発光する素子である。従って、薄膜の有機EL素子を光源として利用すると、小型化、軽量化が容易である上、蛍光灯に比べ発光の応答速度が速く、点灯直後の光量も比較的安定した照明装置となる。ディスプレー及び照明分野等において使用されており、一般には蒸着方式による製膜で製造されているが、生産性の向上や製造コスト低減のため、塗布方式での製造が望まれている。又、近年では機材の高機能化や薄層化の要求が高まっている。 An organic EL element has a structure in which a light emitting layer made of an organic compound thin film is sandwiched between electrodes, and emits light when a current is supplied between a first electrode (anode or cathode) and a second electrode (anode or cathode). Therefore, when a thin-film organic EL element is used as a light source, it is easy to reduce the size and weight, and the illuminating device has a faster light emission response speed than a fluorescent lamp and a relatively stable light amount immediately after lighting. It is used in the field of display and lighting, and is generally manufactured by film formation by vapor deposition. However, in order to improve productivity and reduce manufacturing costs, production by coating method is desired. In recent years, there has been an increasing demand for higher functionality and thinner layers of equipment.
有機PV素子や有機光電変換素子は、有機化合物の薄膜からなる発電層を第1電極(陽極又は陰極)と第2電極(陽極又は陰極)で挟持した構成で、光を照射すると発電する素子である。従って、薄膜の有機光電変換素子を太陽電池として利用すると、小型化、軽量化が容易である上、既存の無機半導体系の太陽電池に比べ、低照度環境や高温環境下でも比較的安定した出力を得られる太陽電池となる。 An organic PV element and an organic photoelectric conversion element are elements that generate power when irradiated with light, with a power generation layer made of a thin film of an organic compound sandwiched between a first electrode (anode or cathode) and a second electrode (anode or cathode). is there. Therefore, when a thin-film organic photoelectric conversion element is used as a solar cell, it can be easily reduced in size and weight, and has a relatively stable output even in a low illuminance environment or a high temperature environment as compared with an existing inorganic semiconductor solar cell. The solar cell can be obtained.
有機エレクトロニクス素子に用いる有機化合物を塗布方式で支持体の上に塗布し、有機エレクトロニクス素子を製造する場合、一般的に有機エレクトロニクス素子で用いられる塗布液は0.5mPa・sから3mPa・sと粘度が低く、膜厚も5nmから500nmと薄膜となっている。このため、有機化合物の膜厚の均一性が有機エレクトロニクス素子の性能に影響を及ぼすため、膜厚の均一化の要望が高くなっている。 When an organic compound used for an organic electronics element is coated on a support by a coating method to produce an organic electronics element, the coating solution generally used for the organic electronics element has a viscosity of 0.5 mPa · s to 3 mPa · s. The film thickness is 5 nm to 500 nm. For this reason, since the uniformity of the film thickness of an organic compound influences the performance of an organic electronics element, the request | requirement of the film thickness uniformity is high.
これらのことから、膜厚の均一化に対して、ビードの安定性、塗布液の物性、乾燥条件、バックロールの塗布時の振動抑制、支持体の揺れ、支持体の平面性等の面から検討が成されてきた。 For these reasons, the stability of the bead, the physical properties of the coating solution, the drying conditions, the vibration suppression during the application of the back roll, the shaking of the support, the flatness of the support, etc. Consideration has been made.
塗布液を塗布する時の支持体の揺れに対し、50μmから200μmの吸引孔を有する多孔質のバックロールを使用し、バックロール内部よりバックロール表面の空気を吸引するサクション手段で、支持体をバックロール上に密着させ搬送し、塗布することにより、支持体の揺れを防止し、塗布膜厚を高精度に均一に保つ塗布装置が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。 Using a porous back roll having a suction hole of 50 μm to 200 μm against the shaking of the support when applying the coating liquid, suction means for sucking air on the back roll surface from inside the back roll, A coating apparatus that prevents the support from shaking and keeps the coating film thickness uniform with high accuracy by bringing it into close contact with the back roll and applying it is disclosed (for example, see Patent Document 1).
特許文献1は、支持体表面へのゴミの付着及びスリキズ、また支持体の揺れを防止するため、支持体をサクション手段でバックロールに吸引、密着させて搬送し塗布する塗布装置である。 Patent Document 1 is a coating apparatus that applies and conveys a support by sucking and adhering the support to a back roll by a suction means in order to prevent dust from adhering to the support surface, scratches, and shaking of the support.
しかしながら、特許文献1では支持体をバックロール上に密着させる時、支持体がバックロールの表面に設けられた50μmから200μmの吸引孔に吸着されるため、吸引孔の有無により支持体吸着時に支持体表面に凹凸が生じ、これが塗布時の膜厚バラツキを悪化させる。 However, in Patent Document 1, when the support is brought into close contact with the back roll, the support is adsorbed to the suction holes of 50 μm to 200 μm provided on the surface of the back roll. Concavities and convexities are formed on the body surface, which deteriorates the film thickness variation at the time of application.
また、サクションで吸引されるため、周囲のダストをバックロール周囲に集めてしまうため、ダストによるリークやダークスポットが発生しやすい。 Moreover, since it is attracted | sucked by suction, the surrounding dust collects around a back roll, Therefore It is easy to generate | occur | produce the leak and dark spot by dust.
このようなサクション手段による吸引では、支持体の幅方向で吸引条件を制御できると、支持体とバックロールの密着及び支持体の搬送を安定化し易くなる。しかし、幅方向の吸引を制御するにはサクションローラであるバックロールを分割するなどの対応は考えられるが、機構が複雑になり、細かい制御は困難である。 In the suction by such suction means, if the suction conditions can be controlled in the width direction of the support, it is easy to stabilize the adhesion between the support and the back roll and the conveyance of the support. However, in order to control the suction in the width direction, a countermeasure such as dividing the back roll as a suction roller can be considered, but the mechanism becomes complicated and fine control is difficult.
本発明は上記状況に鑑みなされたもので、支持体及び表面にパターン化された膜を有する支持体をバックロールで支持、搬送しながらの塗布において、塗布時の支持体の揺れを防止し平面性を維持することができ、これにより、安定した均一の塗膜の形成を行うことができる塗布装置、及びこの塗布装置を用いた有機エレクトロニクス素子の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and supports a support having a support and a film patterned on the surface with a back roll, and prevents the support from shaking during coating in coating while transporting. Therefore, it is an object of the present invention to provide a coating apparatus capable of maintaining the properties, and thereby forming a stable and uniform coating film, and a method for producing an organic electronic element using the coating apparatus.
上記目的は、下記の構成及び方法により達成される。 The above object is achieved by the following configurations and methods.
1.バックロールに巻回され支持された連続搬送される帯状の支持体上に、塗布手段から吐出された塗布液を塗布する塗布装置であって、
前記バックロールに対向して配置され、前記バックロールの表面に気体を吹き付ける吹き付け手段を有し、
前記吹き付け手段で前記支持体に気体を吹き付け、前記気体の吹き付けで前記支持体を前記バックロールに押し付け支持し、搬送しながら、前記バックロール上で、且つ前記吹き付け手段の吹き付け位置より前記支持体の搬送方向下流側で前記塗布手段による前記塗布を行うことを特徴とする塗布装置。
1. A coating apparatus that applies the coating liquid discharged from the coating means onto a continuously-supported belt-like support wound around and supported by a back roll,
It is arranged facing the back roll, and has a spraying means for blowing gas onto the surface of the back roll,
Gas is blown onto the support by the blowing means, the support is pressed against the back roll by blowing the gas, and the support is conveyed from the blowing position of the blowing means on the back roll while being conveyed. The coating apparatus performs the coating by the coating unit on the downstream side in the transport direction.
2.前記塗布手段は、スリット型ダイコーターであることを特徴とする前記1に記載の塗布装置。 2. 2. The coating apparatus according to 1 above, wherein the coating unit is a slit type die coater.
3.前記支持体の搬送時の張力が、5N/m幅〜100N/m幅であることを特徴とする前記1または2に記載の塗布装置。 3. 3. The coating apparatus according to 1 or 2 above, wherein a tension during conveyance of the support is 5 N / m width to 100 N / m width.
4.支持体上に第1電極と第2電極の間に、少なくとも1層の有機機能層を積層した構成を有する有機エレクトロニクス素子の製造方法において、前記有機機能層が前記1から3の何れか1項に記載の塗布装置により形成されることを特徴とする有機エレクトロニクス素子の製造方法。 4). In the method for manufacturing an organic electronic element having a configuration in which at least one organic functional layer is laminated between a first electrode and a second electrode on a support, the organic functional layer is any one of items 1 to 3. A method for producing an organic electronic element, characterized in that the organic electronic element is formed by the coating apparatus according to the above.
上記により、バックロールで支持体を支持、搬送しながらの塗布において、塗布時の支持体の揺れを防止し、平面性を維持することができる。これにより、安定した塗膜の形成を行うことができる。また、気体を支持体に吹き付けるため、周囲のダストを支持体上から除去することができ、ダストによるリークやダークスポットの発生を防止することができる。 As described above, in coating while supporting and transporting the support with the back roll, it is possible to prevent the support from shaking during coating and to maintain flatness. Thereby, formation of the stable coating film can be performed. Further, since the gas is blown onto the support, the surrounding dust can be removed from the support, and the occurrence of leaks and dark spots due to dust can be prevented.
以下に本発明に係る塗布装置の実施の形態について図を参照して説明する。なお、本発明は、以下に限定されるものではない。 Embodiments of a coating apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following.
図1は、本発明に係る塗布装置の主要な構成を示す図である。塗布装置1は、ロール・ツー・ロール方式の塗布装置である。 FIG. 1 is a diagram showing a main configuration of a coating apparatus according to the present invention. The coating apparatus 1 is a roll-to-roll type coating apparatus.
図中、100はバックロール、200は吹き付け手段、300は塗布手段であるスリット型ダイコーター、Sは帯状の支持体を示す。スリット型ダイコーター300は、バックロール100に対向した、且つ吹き付け手段200の吹き付け位置より支持体Sの搬送方向下流側の位置に配置される。
In the figure, 100 is a back roll, 200 is a spraying means, 300 is a slit type die coater which is a coating means, and S is a belt-like support. The slit
図2は、バックロール100と吹き付け手段200を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing the
支持体Sは、バックロール100に巻回された状態で支持され、搬送手段(不図示)により矢印方向に搬送される。
The support S is supported while being wound around the
前述のように、塗布精度の高さ、高品位性、高速、薄膜、多層塗布適性等の対応が可能の点から、また吹き付け手段200から吐出される気体の影響を受けにくい点から、本実施の形態においては、塗布手段にスリット型ダイコーター(以下、ダイコーターという)300を用いている。なお、塗布手段は、これに限定されるものではなく、他の方式の塗布手段を用いることも可能である。 As described above, this implementation is possible because it is possible to cope with high coating accuracy, high quality, high speed, thin film, suitability for multilayer coating, and the like, and is not easily affected by the gas discharged from the spraying means 200. In this embodiment, a slit type die coater (hereinafter referred to as a die coater) 300 is used as the coating means. Note that the application means is not limited to this, and other types of application means can be used.
ダイコーター300は、バックロール100上で、スリットから塗布液を吐出し、搬送される支持体Sに塗布を行う。
The
ところで、この塗布における膜厚の均一化のためには、前述のように支持体Sの揺れを防止し、支持体Sの平面性を保つことが重要となり、支持体Sをバックロール100に密着し搬送することが必要になる。しかしながら、前述のように、サクション手段を用いた方式では、吸引孔の有無により支持体吸着時に支持体表面に凹凸が生じ、これが塗布時の膜厚バラツキを悪化させる。 By the way, in order to make the film thickness uniform in this application, it is important to prevent the support S from shaking and maintain the flatness of the support S as described above. It is necessary to transport it. However, as described above, in the method using the suction means, unevenness is generated on the surface of the support when adsorbing the support due to the presence or absence of the suction holes, which deteriorates the film thickness variation at the time of application.
本発明に係る塗布装置は、吹き付け手段200を有し、支持体Sに気体を吹き付け、支持体Sをバックロール100に密着し搬送する。
The coating apparatus according to the present invention has a spraying means 200, sprays gas onto the support S, and transports the support S in close contact with the
吹き付け手段200は、支持体Sを間にするようにバックロール100に対向して配置され、バックロール100の表面に気体を吹き付ける。これにより、支持体Sは気体でバックロール100に押し付け(エアーニップ)られて、密着される。
The spraying means 200 is disposed so as to face the
図1は、支持体Sの幅方向に気体を吹き出すスリットを有するスリット型の吹き付け手段(以下、スリット型吹き付け手段201と称す)を用いた例である。図1では、スリット型吹き付け手段200の両側面を塞ぐ側板(図面前後方向の側面部材)を省略している。 FIG. 1 shows an example in which a slit-type spraying means (hereinafter referred to as a slit-type spraying means 201) having a slit for blowing out gas in the width direction of the support S is used. In FIG. 1, side plates (side members in the front-rear direction of the drawing) that close both side surfaces of the slit-type spraying means 200 are omitted.
スリット型吹き付け手段201は、コンプレッサー等の送風手段(不図示)に接続され、送風手段から供給された高圧の気体を、マニホールド203を介しスリット202から略均一に吐出する。気体の吐出圧(風量、風速)は、支持体Sの材質、厚さ等に基づき実験、或いは従来のデータ等から適宜設定される。
The slit-type blowing means 201 is connected to a blowing means (not shown) such as a compressor, and discharges the high-pressure gas supplied from the blowing means from the
一例を挙げると例えば、風量1CMM(m3/min)、風速30〜50m/sとされる。 For example, the air volume is 1 CMM (m 3 / min) and the wind speed is 30 to 50 m / s.
このように、支持体Sの幅方向に連続的にスリット202から気体を吐出するため、スリット型吹き付け手段201からの気体の吐出を支持体Sの幅方向に略均一な押圧とすることができる。これにより、支持体Sをバックロール100に均一に密着させることができる。
As described above, since the gas is continuously discharged from the
なお、図1に示すスリット型吹き付け手段201を用いた例を実施例1と称す。 An example using the slit-type spraying means 201 shown in FIG.
ここで、バックロール100と支持体Sが接触を開始する位置で、周囲の気体(空気)をバックロール100と支持体Sの間に巻き込むことがある。この空気は、支持体Sをバックロール100から浮き上がらせ、揺れの原因となり、また塗膜の膜厚均一化を阻害する。
Here, the surrounding gas (air) may be caught between the
これを防止するために、スリット型吹き付け手段201は、スリットから吐出される気体の吹き付け位置がバックロール100と支持体Sが接触を開始する位置(図1、TP点)となるように配置することが好ましい。
In order to prevent this, the slit-type spraying means 201 is arranged so that the spray position of the gas discharged from the slit is the position where the
これにより、TP点で支持体Sが吐出された気体でバックロール100に押し付けられるため、接触開始直前にバックロール100と支持体Sの間に存在する気体(空気)を排除することができる。
Thereby, since the support S is pressed against the
ここで、上述の塗布装置1で有機エレクトロニクス素子の塗布を行う場合、支持体Sとしては、発光した光、若しくは起電力を発生させるための光を透過させることが可能な、即ちこれら光の波長に対して透明な部材であることが好ましい。このような部材としては、軽量性と柔軟性の観点から透明樹脂フィルムが挙げられる。 Here, when the organic electronic element is applied by the coating apparatus 1 described above, the support S can transmit the emitted light or the light for generating the electromotive force, that is, the wavelength of these lights. It is preferable that it is a transparent member. Examples of such a member include a transparent resin film from the viewpoint of lightness and flexibility.
このような透明樹脂フィルムを用いた場合には、支持体Sの張力は5〜100N/m幅(幅1m当たり5〜100N)であることが好ましい。5N/m幅未満では、張力不足となり支持体Sとバックロール100との接触域全域での密着を保持することが困難になる恐れがあり、支持体Sの一部がバックロール100より浮き上がる恐れがある。また、100N/m幅を超えると張力過多となり、張力の有無による伸縮でフィルム及びダイコーター300で塗布された塗膜の品質を劣化させる恐れがある。
When such a transparent resin film is used, the tension of the support S is preferably 5 to 100 N / m width (5 to 100 N per 1 m width). If the width is less than 5 N / m, the tension becomes insufficient, and it may be difficult to maintain close contact in the entire contact area between the support S and the
次に、吹き付け手段200の他の実施例について説明する。 Next, another embodiment of the spraying means 200 will be described.
<実施例2>
図3は、気体の吹き付けに噴射ノズルを用いたノズル型吹き付け手段221を示す図である。
<Example 2>
FIG. 3 is a diagram showing nozzle-type spraying means 221 using spray nozzles for gas spraying.
ノズル型吹き付け手段221は、支持体Sの幅方向に配置されたノズル222を有し、ノズル型吹き付け手段221に接続されたコンプレッサー等の送風手段(不図示)から供給された気体を、ノズル222からバックロール100の表面に気体を吹き付ける。これにより、支持体Sは気体でバックロール100に押し付け(エアーニップ)されて、密着される。
The nozzle type spraying means 221 has a
図4は、ノズル222側から見たノズル型吹き付け手段221の概略図である。
FIG. 4 is a schematic view of the nozzle-type spraying means 221 viewed from the
ノズル型吹き付け手段221の支持体Sの搬送方向に対する配置は、図1に示す実施例1に準ずる。 The arrangement of the nozzle-type spraying means 221 in the transport direction of the support S is in accordance with the first embodiment shown in FIG.
ノズル222を有するノズル型吹き付け手段221は、一般的に吐出口の開口面積を小さくすることができるため、高圧気体の供給量を抑えることができる。また、ノズル222の個々に、またはグループ毎に気体の吐出量を制御することが可能であり、従って支持体Sの幅方向に吐出気体による押圧の制御が可能である。また、ノズル型吹き付け手段221は、比較的低コストでの製作が可能である。
The nozzle-type spraying means 221 having the
<実施例3>
図5は、気体の吹き付けに気体室(チャンバー)を用いたチャンバー型吹き付け手段241を示す図である。図6は、チャンバー型吹き付け手段241近傍の拡大図である。
<Example 3>
FIG. 5 is a diagram showing a chamber-type spraying means 241 that uses a gas chamber (chamber) for gas spraying. FIG. 6 is an enlarged view of the vicinity of the chamber type spraying means 241.
チャンバー型吹き付け手段241は、バックロール100に対向する位置に気体導入管としてのノズル242を有し、ノズル242の先端部にはノズル242に連結して支持体Sの表面の近傍まで伸びた壁244が支持体Sの幅方向に設けられている。壁244の開口幅は、ノズル242の口径よりも大きく、チャンバー243を構成している。チャンバー243の断面積を、ノズル242径(断面積)より大きくし、しかし、完全に開放はしないことによって、高圧の気体を、ノズルの場合より広い面積に噴射することが可能となり、気体量を節約しながらも高いニップ効果を得ることが可能となる。つまり、気体流の断面積を、チャンバー243で一端広げるが、圧力はある程度高いまま維持することができるように構成したものである。
The chamber-type spraying means 241 has a
また、チャンバー型吹き付け手段241では、大気圧をPa、チャンバー243内の圧力をPcとすると、支持体Sを押し付ける圧力ΔPは、次のように表すことができる。
Further, in the chamber-type spraying means 241, when the atmospheric pressure is Pa and the pressure in the
ΔP=Pc−Pa
ここで、実施例1及び2は、気体を支持体Sに吹き付ける風力、即ち気体の動圧でバックロール100に密着させるため動圧型ともいえるが、実施例3は、チャンバー内の静圧で支持体Sをバックロール100に密着させるため静圧型ともいえる。
ΔP = Pc−Pa
Here, Examples 1 and 2 can be said to be a wind pressure that blows gas onto the support S, that is, a dynamic pressure type in order to bring the gas into close contact with the
このように、チャンバー型吹き付け手段241は静圧型であり、吐出された気体の流れは緩やかであるため、周囲の大気を乱すことが少ない。このため、バックロール100に到達する前の支持体Sを揺らす(ばたつかせる)ことが少なく、支持体Sの搬送の安定の利点を有する。
Thus, the chamber type spraying means 241 is a static pressure type, and the flow of the discharged gas is gentle, so that the surrounding atmosphere is hardly disturbed. For this reason, the support S before reaching the
上記実施例1〜3の選択は、支持体Sの材質、厚さ、幅、塗布厚さ、塗布厚の許容範囲、装置の仕様及び形態等から適宜行われる。 The selection of Examples 1 to 3 is appropriately performed based on the material of the support S, the thickness, the width, the coating thickness, the allowable range of the coating thickness, the specification and form of the apparatus, and the like.
上記により、バックロールで支持体を支持、搬送しながらの塗布において、塗布時の支持体の揺れを防止し、平面性を維持することができる。これにより、安定した塗膜の形成を行うことができる。 As described above, in coating while supporting and transporting the support with the back roll, it is possible to prevent the support from shaking during coating and to maintain flatness. Thereby, formation of the stable coating film can be performed.
また、気体を支持体に吹き付けるため、周囲のダストを支持体上から除去することができ、ダストによるリークやダークスポットの発生を防止することができる。 Further, since the gas is blown onto the support, the surrounding dust can be removed from the support, and the occurrence of leaks and dark spots due to dust can be prevented.
特に、本発明は、支持体または表面にパターン化された膜を有する支持体を低張力で搬送し、塗布手段を用いて塗布液を支持体の上に塗布し、薄膜の塗膜を形成する場合に、支持体の平面性が維持でき、安定した均一の膜厚が得られ、効果的である。 In particular, the present invention conveys a support or a support having a patterned film on the surface with low tension, and applies a coating solution on the support using a coating means to form a thin film. In this case, the flatness of the support can be maintained, and a stable and uniform film thickness can be obtained, which is effective.
例えば、支持体上に第1電極と第2電極の間に少なくとも1層の有機機能層を積層した構成を有する有機エレクトロニクス素子の製造には、本発明を用いることが好ましい。支持体の熱収縮率とは異なる熱収縮率を有する導電性物質を含むパターン化された塗膜、例えば第1電極または第2電極が形成された支持体に少なくとも1層の有機機能層を塗布、積層する場合に、支持体の平面性維持の点から効果的である。 For example, the present invention is preferably used for the production of an organic electronic device having a structure in which at least one organic functional layer is laminated between a first electrode and a second electrode on a support. At least one organic functional layer is applied to a patterned coating film containing a conductive material having a thermal contraction rate different from the thermal contraction rate of the support, for example, the support on which the first electrode or the second electrode is formed. In the case of stacking, it is effective from the viewpoint of maintaining the flatness of the support.
1 塗布装置
100 バックロール
200 吹き付け手段
201 スリット型吹き付け手段
202 スリット
203 マニホールド
221 ノズル型吹き付け手段
222 ノズル
241 チャンバー型吹き付け手段
242 ノズル
243 チャンバー
300 ダイコーター
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Application |
Claims (4)
前記バックロールに対向して配置され、前記バックロールの表面に気体を吹き付ける吹き付け手段を有し、
前記吹き付け手段で前記支持体に気体を吹き付け、前記気体の吹き付けで前記支持体を前記バックロールに押し付け支持し、搬送しながら、前記バックロール上で、且つ前記吹き付け手段の吹き付け位置より前記支持体の搬送方向下流側で前記塗布手段による前記塗布を行うことを特徴とする塗布装置。 A coating apparatus that applies the coating liquid discharged from the coating means onto a continuously-supported belt-like support wound around and supported by a back roll,
It is arranged facing the back roll, and has a spraying means for blowing gas onto the surface of the back roll,
Gas is blown onto the support by the blowing means, the support is pressed against the back roll by blowing the gas, and the support is conveyed from the blowing position of the blowing means on the back roll while being conveyed. The coating apparatus performs the coating by the coating unit on the downstream side in the transport direction.
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