JP2011243682A - Heat dissipation mechanism - Google Patents

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Kumiko Goto
久美子 後藤
Yoshihiko Ohigata
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat dissipation mechanism capable of cooling a light source or a detector without using factory air, a fan, or cooling water during the production of sheets in a clean room.SOLUTION: The heat dissipation mechanism includes a ventilation passage which opens at both sides, at least a first heating element provided inside the ventilation passage or provided adjacent to the ventilation passage, and a second heating element positioned at one end of the ventilation passage and having a heating value which causes heat convection in the ventilation passage.

Description

本発明は、例えばシート製造工程における測定部のセンサの放熱機構に関し、詳しくはクリーンルームもしくはこれに準じたエリア内でのシート製造に際して粉塵の発生を抑制した放熱機構に関するものである。   The present invention relates to a heat radiating mechanism of a sensor of a measuring unit in, for example, a sheet manufacturing process, and more particularly to a heat radiating mechanism that suppresses generation of dust during sheet manufacturing in a clean room or an area equivalent thereto.

食薬包装材、農業用フィルム、電子材料用シートや電池電極シートに至るまで多様なシートが世の中に存在する。こうしたフィルム・シート材は、フィルム・シートの製造工程において、シートそのものの厚さや、シートに塗布された塗工物の厚さをモニタすることが重要である。そのための測定センサが、製造工程の中に備え付けられ、リアルタイムで測定を行っている。   There are a variety of sheets in the world ranging from food packaging materials, agricultural films, electronic material sheets and battery electrode sheets. In such a film / sheet manufacturing process, it is important to monitor the thickness of the sheet itself and the thickness of the coated material applied to the sheet. A measurement sensor for this purpose is provided in the manufacturing process and performs measurement in real time.

センサの種類としては、エックス線やベータ線を用いた透過率測定法、赤外吸収法、可視光の干渉を用いる方法等があり、測定対象物の性質に合わせて選定される。
オンラインで測定する場合におけるシートの測定方法には、センサヘッドをトラバースするものとセンサヘッドを固定して測定するものがある。
As the types of sensors, there are a transmittance measurement method using X-rays and beta rays, an infrared absorption method, a method using visible light interference, and the like, which are selected in accordance with the properties of the measurement object.
There are two methods for measuring a sheet in the case of online measurement: traversing the sensor head and measuring with the sensor head fixed.

センサヘッドをトラバースするものでは、センサヘッドをフレームと呼ばれる筐体に備え付け、シートの流れ方向に対して垂直に往復運動をすることで、シートの幅方向の測定値を得ている。
また、センサヘッドを固定して測定するものでは、複数のセンサをシート幅方向に並べ、同時的に全幅方向の測定値を得ている。
In the case of traversing the sensor head, the measured value in the width direction of the sheet is obtained by attaching the sensor head to a housing called a frame and performing reciprocating motion perpendicular to the flow direction of the sheet.
In the case of measuring with the sensor head fixed, a plurality of sensors are arranged in the sheet width direction, and measurement values in the entire width direction are obtained simultaneously.

図3(a)はシート(フィルム)の物理量(厚さ、水分等)を測定するための物理量測定装置1の従来例を示す概略斜視図でセンサヘッドをトラバースする方式の装置である。ロ字状に形成されたフレーム2内にシート3が配置され矢印P方向に搬送される。上下のセンサヘッド4,5はシート3を挟んで対向して配置され、図示しない駆動手段によりフレーム2に沿って矢印A方向に同期して走査される。   FIG. 3A is a schematic perspective view showing a conventional example of a physical quantity measuring apparatus 1 for measuring a physical quantity (thickness, moisture, etc.) of a sheet (film), and is a system that traverses a sensor head. A sheet 3 is arranged in a frame 2 formed in a square shape and conveyed in the direction of arrow P. The upper and lower sensor heads 4 and 5 are arranged opposite to each other with the sheet 3 interposed therebetween, and are scanned in synchronization with the direction of arrow A along the frame 2 by a driving unit (not shown).

図3(b)は他の従来例を示す要部概略断面図である。上下のセンサヘッド4,5はコの字状のフレーム2aに沿って矢印A方向に同期して走査される。この例ではセンサヘッド4,5内に配置された赤外線、放射線の線源や受光素子などの発熱体からの熱を放熱するための放熱機構を備えたものである。   FIG. 3B is a schematic cross-sectional view of a main part showing another conventional example. The upper and lower sensor heads 4 and 5 are scanned in the arrow A direction along the U-shaped frame 2a. In this example, a heat dissipation mechanism is provided for dissipating heat from heating elements such as infrared rays and radiation sources and light receiving elements disposed in the sensor heads 4 and 5.

即ち、上下のセンサヘッド4,5にはチューブ7a,7bが接続されており、チューブ7の一端から注入された工場エアが上下のセンサヘッド4,5の内部に導かれてエア吹出口8a,8bから噴出することによりヘッド内で発生した熱を放熱するように構成されている。   That is, the tubes 7a and 7b are connected to the upper and lower sensor heads 4 and 5, and the factory air injected from one end of the tube 7 is guided into the upper and lower sensor heads 4 and 5, and the air outlets 8a and 8a, The heat generated in the head is radiated by being ejected from 8b.

図3(c)は更に他の従来例を示す要部概略断面図である。上下のセンサヘッド4,5はコ字状のフレーム2aに沿って矢印A方向に同期して走査される。この例では、上下のセンサヘッド4,5内にファン9a,9bを備えたものである。   FIG. 3C is a schematic cross-sectional view of the main part showing still another conventional example. The upper and lower sensor heads 4 and 5 are scanned in synchronization with the arrow A direction along the U-shaped frame 2a. In this example, fans 9a and 9b are provided in the upper and lower sensor heads 4 and 5, respectively.

特開2005−002509号公報JP 2005-002509 A

ところで、二次電池の電池電極シートやWEBシートをクリーンルームで製造する場合には、センサに使用する光源やセンサの冷却機構が問題となる。センサをシート幅に渡って往復させる方法では、光源の出力・検出器の検出面積が小さいため、冷却機構は小規模で足りる場合や、必要ないことがある。   By the way, when manufacturing a battery electrode sheet or a WEB sheet of a secondary battery in a clean room, a light source used for the sensor and a cooling mechanism of the sensor become a problem. In the method of reciprocating the sensor over the sheet width, the cooling mechanism may be sufficient or not necessary because the output area of the light source and the detection area of the detector are small.

冷却が必要な場合には、図3(b,c)に示したようにファンや工場エアを冷却用に用いて積極的に冷却したい部分に吹き付けて対応している例もあるが、クリーンルームでの使用では、こうしたエアの吸入や吹き出しに対して神経質になる場合が多い。その理由は、粉塵の巻上げを助長し製品の歩留まりや品質を下げるためである。特に二次電池の電極シートでは、不純物の混入が大事故に繋がる恐れがあるため粉塵については神経を使う必要がある。   When cooling is necessary, there are some cases where fans and factory air are used for cooling as shown in Fig. 3 (b, c) and sprayed on the part to be actively cooled. In many cases, the use of the air becomes nervous with respect to such inhalation and blowing out of air. The reason for this is to promote dust winding and to reduce the yield and quality of the product. In particular, in the electrode sheet of a secondary battery, it is necessary to use nerves for dust because contamination of impurities may lead to a major accident.

また、上記の問題に加えて、シートの全幅に渡る測定では、センサを全幅に渡って並べることから光源の出力が大きくなり、検出器の素子数も大きくなる。通常のセンサと同じSN比を持たせるためには、その分、冷却・放熱機構も大掛かりなものになる。   In addition to the above problem, in the measurement over the entire width of the sheet, since the sensors are arranged over the entire width, the output of the light source increases and the number of detector elements also increases. In order to have the same S / N ratio as that of a normal sensor, the cooling / heat dissipating mechanism is correspondingly large.

こうした要因もあり、特にクリーンルームで製造を行う様な電池電極シートでは、先に述べたたようなファンや工場エアを用いた冷却・放熱機構で対応することは望ましくない。そのため、クリーン度を下げる方向に働くファンや工場エアによる吹き出し、取扱の面倒な冷却水の使用はなるべく避けたいのが現状である。   Because of these factors, it is not desirable to deal with the above-described cooling and heat dissipation mechanism using a fan or factory air, particularly in a battery electrode sheet manufactured in a clean room. For this reason, it is desirable to avoid as much as possible the use of fans that work to lower the degree of cleanliness, blowout by factory air, and the use of cooling water that is troublesome to handle.

従って本発明は、クリーンルームでのシート製作に際し、工場エアやファン、冷却水を用いることなく、光源や検出器の冷却が可能な放熱機構を提供することを目的としている。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a heat dissipation mechanism that can cool a light source and a detector without using factory air, a fan, or cooling water when manufacturing a sheet in a clean room.

本発明は上記課題を解決するためになされたもので、請求項1に記載の放熱機構の発明においては、
両端が開口した通風路と、該通風路の内部もしくは該通風路に接して設けられた少なくとも一つの第1発熱体と、前記通風路の一端に配置され前記通風路に熱対流を生じさせる程度の発熱量を有する第2発熱体、を備えたことを特徴とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and in the invention of the heat dissipation mechanism according to claim 1,
A ventilation path that is open at both ends, at least one first heating element provided inside or in contact with the ventilation path, and a degree of heat convection that is disposed at one end of the ventilation path. And a second heating element having a calorific value of 2 mm.

請求項2においては、請求項1に記載の放熱機構の発明において、
前記第2発熱体は温度制御が可能であることを特徴とする。
In claim 2, in the invention of the heat dissipation mechanism according to claim 1,
The temperature of the second heating element can be controlled.

請求項3においては、請求項1に記載の放熱機構の発明において、
前記通風路に開口部の大きさや、開口時間を制御する弁機構を備えたことを特徴とする。
In Claim 3, in invention of the thermal radiation mechanism of Claim 1,
The ventilating path is provided with a valve mechanism for controlling the size of the opening and the opening time.

請求項4においては、請求項1に記載の放熱機構の発明において、
前記通風路はシートの物理的特性を測定するための物理量測定装置のフレーム内に設けられ、前記第1発熱体は発光素子及び受光素子の少なくとも一方を含むことを特徴とする。
In claim 4, in the invention of the heat dissipation mechanism according to claim 1,
The ventilation path is provided in a frame of a physical quantity measuring device for measuring physical characteristics of the sheet, and the first heating element includes at least one of a light emitting element and a light receiving element.

本発明の請求項1乃至4によれば、第2発熱体により通風路に熱対流が生じるので、通風路の内部もしくは通風路に接して設けられた第1発熱体の放熱を促進することができる。従って、冷却水や工場エア、ファンを用いることなく放熱することが可能であり、粉塵の巻上げを抑止する効果がある。また、設備ユーティリティーのコストを抑える効果もある。   According to the first to fourth aspects of the present invention, since heat convection is generated in the ventilation path by the second heating element, heat radiation of the first heating element provided inside or in contact with the ventilation path can be promoted. it can. Therefore, it is possible to dissipate heat without using cooling water, factory air, or a fan, and there is an effect of suppressing dust dusting. It also has the effect of reducing equipment utility costs.

一つの機構で装置の全体を放熱することができる。これにより、装置コストとメンテナンス費用を抑制できる。冷却水・エア・ファンを用いなくてよいため、装置が単純になる。その結果、装置製作の品質・歩留まり向上とリードタイムの短縮および装置コストの抑制に効果がある。   The entire device can be dissipated by one mechanism. Thereby, an apparatus cost and a maintenance expense can be suppressed. Since it is not necessary to use a cooling water / air / fan, the apparatus becomes simple. As a result, it is effective in improving the quality and yield of device manufacturing, shortening the lead time, and suppressing the device cost.

本発明の放熱機構の実施形態の一例を示す斜視図(a)、(a)図のA−A断面図(b)である。It is a perspective view (a) and an AA sectional view (b) of Drawing 1 (a) showing an example of an embodiment of a heat dissipation mechanism of the present invention. 他の実施例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another Example. 従来例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a prior art example.

図1は本発明の放熱機構の構成を示す斜視図(a)、(a)図のA−A断面図(b)である。
これらの図において、2aはコ字状のフレームであり、このフレームの下辺には例えばX線源からなる第1発熱体10aがフレーム2aに接して固定され、このフレームの上辺にはフレーム2aに接して例えばアレイ状に配置された複数の検出素子からなる第1発熱体10bが固定されている。
FIG. 1 is a perspective view (a) showing a configuration of a heat dissipation mechanism of the present invention, and a sectional view (b) taken along line AA in FIG.
In these drawings, reference numeral 2a denotes a U-shaped frame, and a first heating element 10a made of, for example, an X-ray source is fixed in contact with the frame 2a on the lower side of the frame, and the frame 2a is fixed to the upper side of the frame. For example, a first heating element 10b composed of a plurality of detection elements arranged in an array is fixed.

12はフレーム2a内に形成された通風路であり、図に示すように、下方の側面(向かって右)に空気取り入れ口11が設けられている。そして、上方と下方のフレーム2aの通風路12は一端がフレームの右側壁12aに固定され、他端はフレームの左側壁12bとは非接触とされた仕切板12cによって2段に仕切られており、矢印で示すような空気の通路となっている。13は空気流出口14付近に固定された温度制御可能な第2発熱体(ヒータ)、KはX線源から出射した光束である。   Reference numeral 12 denotes a ventilation path formed in the frame 2a. As shown in the figure, an air intake 11 is provided on the lower side surface (rightward). The upper and lower ventilation passages 12 of the frame 2a have one end fixed to the right side wall 12a of the frame and the other end divided into two stages by a partition plate 12c that is not in contact with the left side wall 12b of the frame. This is an air passage as indicated by an arrow. Reference numeral 13 denotes a temperature-controllable second heating element (heater) fixed near the air outlet 14, and K is a light beam emitted from the X-ray source.

上述の構成において、被測定体(シート)3の物理的特性を測定するに際してはX線源10aからシート3に向けてX線が照射され、シートを透過した線量が検出素子10bによって検出され、その透過量に関連する特性が測定される。   In the above configuration, when measuring the physical characteristics of the measurement object (sheet) 3, X-rays are irradiated from the X-ray source 10a toward the sheet 3, and the dose transmitted through the sheet is detected by the detection element 10b. A characteristic associated with the amount of transmission is measured.

その場合、第1発熱体10を構成するX線源及び検出素子からは熱が発生し装置全体が加熱されることになる。
ここで、第2発熱体13を加熱すると付近の空気が加熱されて上昇し対流が発生する。その結果、空気取り入れ口から取り入れられた空気が矢印Qに沿って流れることとなり、その空気の流れによって第1発熱体(X線源及び検出素子)が放熱される。
In this case, heat is generated from the X-ray source and the detection element constituting the first heating element 10, and the entire apparatus is heated.
Here, when the second heating element 13 is heated, the nearby air is heated and rises to generate convection. As a result, the air taken in from the air intake port flows along the arrow Q, and the first heating element (X-ray source and detection element) is radiated by the air flow.

図2は他の実施例を示す概略断面図である図1(a,b)に示す概略断面図とは通風路12の形状と空気取り入れ口11の方向と空気流出口14の方向のみが異なっている。即ち、第2発熱体13を加熱することにより空気の対流が生じ空気取り入れ口11から取り入れた空気が第1発熱体(X線源及び検出素子)を冷却しながら矢印Q方向に流れ空気流出口14から流出する。   FIG. 2 is a schematic sectional view showing another embodiment. The schematic sectional view shown in FIGS. 1A and 1B is different only in the shape of the ventilation path 12, the direction of the air intake port 11, and the direction of the air outlet port 14. ing. That is, air convection is generated by heating the second heating element 13, and the air taken in from the air intake 11 flows in the direction of arrow Q while cooling the first heating element (X-ray source and detection element). Escape from 14.

なお、図では省略するが必要に応じて第2発熱体には温度制御手段を設けたり、通風路に開口部の大きさや、開口時間を制御する弁機構を備えてもよく、また通風路の形状や第1発熱体の取り付け場所も必要に応じて変更可能である。   Although not shown in the figure, the second heating element may be provided with a temperature control means if necessary, or may be provided with a valve mechanism for controlling the size and opening time of the opening in the ventilation path. The shape and the mounting location of the first heating element can be changed as necessary.

なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。例えば本発明では測定対象をクリーンルームにおけるシートとしたが、同様に塵埃や粉塵の巻上げを嫌う装置であれば適用可能である。また第1発熱体はX線源や検出素子に限るものではなく、第1発熱体は通風路に少なくとも一つあればよい。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
The above description merely shows a specific preferred embodiment for the purpose of explanation and illustration of the present invention. For example, in the present invention, the measurement object is a sheet in a clean room. The first heating element is not limited to the X-ray source or the detection element, and at least one first heating element may be provided in the ventilation path.
Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.

1 物理量測定装置
2 フレーム
3 被測定物(シート)
4 上ヘッド
5 下ヘッド
7 チューブ
8 エア吹き出し口
9 ファン
10 第1発熱体
11 空気取り入れ口
12 通風路
13 第2発熱体(ヒータ)
14 空気流出口
1 Physical quantity measuring device 2 Frame 3 Object to be measured (sheet)
4 Upper head 5 Lower head 7 Tube 8 Air outlet 9 Fan
10 First heating element
11 Air intake
12 Ventilation path
13 Second heating element (heater)
14 Air outlet

Claims (4)

両端が開口した通風路と、該通風路の内部もしくは該通風路に隣接して設けられた少なくとも一つの第1発熱体と、前記通風路の一端に配置され前記通風路に熱対流を生じさせる程度の発熱量を有する第2発熱体、を備えたことを特徴とする放熱機構。   A ventilation path that is open at both ends, at least one first heating element provided inside or adjacent to the ventilation path, and one end of the ventilation path that generates thermal convection in the ventilation path A heat dissipating mechanism comprising a second heat generating element having a heat generation amount of about a degree. 前記第2発熱体は温度制御が可能であることを特徴とする請求項1に記載の放熱機構。   The heat dissipation mechanism according to claim 1, wherein the second heating element can be controlled in temperature. 前記通風路に開口部の大きさや、開口時間を制御する弁機構を備えたことを特徴とする請求項1に記載の放熱機構。   The heat radiating mechanism according to claim 1, further comprising a valve mechanism that controls a size of an opening and an opening time in the ventilation path. 前記通風路はシートの物理的特性を測定するための物理量測定装置のフレーム内に設けられ、前記第1発熱体は発光素子及び受光素子の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1に記載の放熱機構。   The said ventilation path is provided in the flame | frame of the physical quantity measuring apparatus for measuring the physical characteristic of a sheet | seat, and the said 1st heat generating body contains at least one of a light emitting element and a light receiving element. Heat dissipation mechanism.
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