JP2011236362A - Photosensitive resin, and photosensitive resin composition and colored photosensitive resin composition for color filter containing the same - Google Patents

Photosensitive resin, and photosensitive resin composition and colored photosensitive resin composition for color filter containing the same Download PDF

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Yasuhiro Komori
康広 小森
Takehiro Kinoshita
健宏 木下
Yasuaki Kawaguchi
恭章 川口
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Showa Denko KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin which has high exposure sensitivity, ensures good pigment dispersibility, and achieves good developability with an aqueous alkali solution when used in a colored photosensitive resin composition.SOLUTION: The photosensitive resin is obtained by copolymerizing 2-95 mol% of (a) glycidyl (meth)acrylate, 3-50 mol% of (b) at least one selected from the group composed of dicyclopentanyl methacrylate, dicyclopentenyl oxyethyl acrylate, norbornene, etc., and 2-85 mol% of (c) another radically polymerizable compound capable of copolymerizing with the components (a) and (b) in such a way that the total amount becomes 100 mol%; adding (d) an unsaturated monobasic acid to 90-100% of glycidyl groups contained in the resulting copolymer; adding (e) a polybasic acid anhydride to 5-100% of hydroxyl groups formed in the addition of the component (d); and adding (f) a radically polymerizable compound having one glycidyl group and no photosensitive group, such as a phenyl glycidyl ether to 5-70% of carboxyl groups formed in the addition of the component (e).

Description

本発明は、液晶表示板製造用のブラックマトリックス、カラーフィルター、フォトスペーサー、透明保護膜や有機EL素子を用いてカラー表示の可能な有機ELディスプレーに用いるカラーフィルター、更にはインクジェットでカラーフィルターを作製する際に適用可能な感光性樹脂材料として使用することのできる感光性樹脂に関する。   The present invention produces a color filter used for an organic EL display capable of color display using a black matrix, a color filter, a photo spacer, a transparent protective film and an organic EL element for manufacturing a liquid crystal display panel, and further, a color filter by inkjet. The present invention relates to a photosensitive resin that can be used as a photosensitive resin material that can be applied.

近年、省資源、省エネルギーの観点から印刷、塗料、接着剤の分野において、紫外線あるいは電子線で硬化可能な放射線硬化型樹脂が広く使用されるようになっている。
プリント配線板等の電子機器分野でも部品搭載後の回路板を長期に渡って保護するためにソルダーレジストが使用されている。フォトレジスト法でプリント配線板に使用される材料としては、酸ペンダント型ノボラックエポキシアクリレートが一般的だが、銅メッキとの密着性が十分でなく、多層プリント配線板用として使用した場合には、導体回路間の十分な密着強度が得られないという課題を有する他、可とう性も劣るために割れやすいといった課題を有していた。
これらの課題を解決するために、(メタ)アクリル共重合体を用いた感光性樹脂組成物に無機フィラーを混合する方法が提案されているが(例えば、特許文献1)、酸ペンダント型ノボラックエポキシアクリレートに対して耐熱性が劣るという課題が残っていた。
In recent years, radiation curable resins that can be cured with ultraviolet rays or electron beams have been widely used in the fields of printing, paints, and adhesives from the viewpoint of resource saving and energy saving.
Also in the field of electronic equipment such as printed wiring boards, solder resist is used to protect circuit boards after mounting components for a long period of time. Acid pendant type novolak epoxy acrylate is generally used as a material for printed wiring boards by the photoresist method, but the adhesion to copper plating is not sufficient, and when used for multilayer printed wiring boards, it is a conductor. In addition to the problem that sufficient adhesion strength between the circuits cannot be obtained, there is also a problem that it is easy to break due to poor flexibility.
In order to solve these problems, a method of mixing an inorganic filler into a photosensitive resin composition using a (meth) acrylic copolymer has been proposed (for example, Patent Document 1), but an acid pendant type novolak epoxy is proposed. The subject that heat resistance was inferior to acrylate remained.

カラー液晶表示装置や固体撮像素子にはカラーフィルターが用いられているが、これらは基板上に赤(R)、緑(G)、青(B)の三色を所定のパターンで作製された着色塗膜と、それらRGBの三色のカラーフィルター間の黒色のブラックマトリックスからなる。通常、ガラス等の透明基板上にブラックマトリックスを形成し、次にR、G、Bのパターンを順次形成して製造される。   Color filters are used in color liquid crystal display devices and solid-state image sensors, and these are colored colors in which three colors of red (R), green (G), and blue (B) are formed in a predetermined pattern on a substrate. It consists of a coating film and a black black matrix between these three color filters of RGB. Usually, a black matrix is formed on a transparent substrate such as glass, and then R, G, and B patterns are sequentially formed.

一般的にカラーフィルターは、染色法、印刷法、顔料分散法、電着法等の製造方法がある。これらの中で、特にアルカリ可溶性樹脂、反応性希釈剤、光重合開始剤、顔料及び溶剤を主体とする光硬化性樹脂組成物を用い、透明基板上に塗布し、露光、現像、後硬化を繰り返すフォトリソグラフ工法で作製される顔料分散法は、耐光性・耐熱性等の耐久性に優れ、ピンホール等の欠陥が少ないため現在主流となっている。
顔料分散法では、上記の利点を有している反面、ブラックマトリクス、R、G、Bのパターンを繰り返し形成することから、塗膜のバインダーとなるアルカリ可溶性樹脂に高い耐熱性を要求する。
In general, color filters include production methods such as dyeing, printing, pigment dispersion, and electrodeposition. Among these, in particular, a photocurable resin composition mainly composed of an alkali-soluble resin, a reactive diluent, a photopolymerization initiator, a pigment and a solvent is used, applied onto a transparent substrate, and exposed, developed, and postcured. The pigment dispersion method produced by the repeated photolithographic method is currently mainstream because it has excellent durability such as light resistance and heat resistance and has few defects such as pinholes.
While the pigment dispersion method has the above-mentioned advantages, the pattern of black matrix, R, G, and B is repeatedly formed, so that high heat resistance is required for the alkali-soluble resin that becomes the binder of the coating film.

耐熱性を向上する方法として従来から、側鎖に環状の構造を持った(メタ)アクリル酸エステルを共重合成分とする樹脂組成物(例えば、特許文献2)や、マレイミドを含む単量体を共重合成分とする樹脂組成物(例えば、特許文献3)等が提案されている。
しかし、前者の側鎖に環状の構造を持った(メタ)アクリル酸エステルを共重合成分とする樹脂組成物では、後硬化時に側鎖が熱分解され揮発性成分となることで製造ラインを汚染するという問題があった。また、後者のマレイミドを含む単量体を共重合成分とする樹脂組成物では、分子中に含まれる窒素原子を原因とした黄色から黄褐色の着色を有しており、塗膜の透明性を悪化させる。更に、加熱処理を行う後硬化時に着色が進行するという問題があった。
Conventionally, as a method for improving heat resistance, a resin composition (for example, Patent Document 2) containing a (meth) acrylic acid ester having a cyclic structure in the side chain as a copolymerization component, or a monomer containing maleimide is used. A resin composition (for example, Patent Document 3), which is a copolymerization component, has been proposed.
However, in the former resin composition with (meth) acrylic acid ester having a cyclic structure in the side chain as a copolymerization component, the side chain is thermally decomposed during post-curing and becomes a volatile component, which contaminates the production line. There was a problem to do. In addition, the resin composition having the latter maleimide-containing monomer as a copolymerization component has a yellow to yellow-brown color caused by nitrogen atoms contained in the molecule, and the transparency of the coating film is improved. make worse. Furthermore, there has been a problem that coloring proceeds during post-curing after heat treatment.

本出願人は、上記の技術的課題を解決すべく、環状かつ架橋構造を有する特定のモノマーと不飽和一塩基酸等の化合物とから調製される樹脂を用いた感光性樹脂組成物を開発した(特許文献4及び5)。
しかしながら、かかる樹脂であっても、感光性樹脂としての性能が不十分な場合があった。
In order to solve the above technical problems, the present applicant has developed a photosensitive resin composition using a resin prepared from a specific monomer having a cyclic structure and a crosslinked structure and a compound such as an unsaturated monobasic acid. (Patent Documents 4 and 5).
However, even such a resin may have insufficient performance as a photosensitive resin.

特開2006−190848号公報JP 2006-190848 A 特開2004−240396号公報JP 2004-240396 A 特開2003−029018号公報JP 2003-029018 A 特開2008−076860号公報JP 2008-076860 A 特開2001−089533号公報JP 2001-089533 A

本発明者らは、カラーフィルター等に使用可能な、従来よりも更に優れた性能を有する感光性樹脂、特に露光感度が高く、顔料分散性が良好であり、かつ着色感光性樹脂組成物とした時のアルカリ水溶液による現像性が良好である感光性樹脂を提供することを目的とする。   The inventors of the present invention have a photosensitive resin that can be used for a color filter and the like and that has further superior performance than the conventional ones, and in particular, has a high exposure sensitivity, good pigment dispersibility, and a colored photosensitive resin composition. It is an object of the present invention to provide a photosensitive resin having good developability with an alkaline aqueous solution.

本発明は、(a)グリシジル(メタ)アクリレート、脂環式エポキシ基を有する(メタ)アクリレート及びそのラクトン付加物、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートのモノ(メタ)アクリル酸エステル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレートのエポキシ化物並びにジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートのエポキシ化物からなる群から選択される少なくとも1種2〜95モル%と、
(b)下記基
The present invention provides (a) glycidyl (meth) acrylate, (meth) acrylate having an alicyclic epoxy group and a lactone adduct thereof, and mono- of 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexanecarboxylate. (Meth) acrylic acid ester, dicyclopentenyl (meth) acrylate epoxidized product and dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate epoxidized product, at least one selected from 2 to 95 mol%,
(B) The following group

Figure 2011236362
を有するモノ(メタ)アクリレート、下記基
Figure 2011236362
Mono (meth) acrylate having the following groups

Figure 2011236362
を有するモノ(メタ)アクリレート及び下記一般式(1)
Figure 2011236362
Mono (meth) acrylate having the following general formula (1)

Figure 2011236362
(式中、x及びyは、それぞれ独立して、水素原子又は直鎖もしくは分岐していてもよい炭素数1〜4の炭化水素基を示し、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基又はカルボキシル基を示し、R及びRを結ぶ環状構造をとっていてもよい)
で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種3〜50モル%と、
(c)前記(a)及び(b)と共重合し得る他のラジカル重合性化合物2〜85モル%と
をその合計が100モル%となる量で共重合させ、得られた共重合物に含まれるグリシジル基の90〜100%に(d)不飽和一塩基酸を付加させ、前記(d)を付加させた時に生成した水酸基の5〜100%に(e)多塩基酸無水物を付加させ、前記(e)を付加させた時に生成したカルボキシル基の5〜70%に(f)下記一般式(2)
Figure 2011236362
(Wherein x and y each independently represents a hydrogen atom or a linear or branched hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and R 1 and R 2 are each independently A hydrogen atom, a C1-C20 hydrocarbon group which may have a substituent or a carboxyl group, which may have a cyclic structure connecting R 1 and R 2 )
3 to 50 mol% of at least one selected from the group consisting of compounds represented by:
(C) The other radical polymerizable compound that can be copolymerized with (a) and (b) is copolymerized in an amount such that the total is 100 mol%, and the resulting copolymer is obtained. (D) Unsaturated monobasic acid is added to 90 to 100% of the glycidyl group contained, and (e) polybasic acid anhydride is added to 5 to 100% of the hydroxyl group produced when (d) is added. And (f) the following general formula (2): 5 to 70% of the carboxyl group formed when (e) is added

Figure 2011236362
(式中、R、R、R、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基を示す)
で表される化合物を付加させて得られることを特徴とする感光性樹脂。
本発明において、感光性樹脂の分子量分布(Mw/Mn)は6.0以下であることが好ましい。
Figure 2011236362
(Wherein R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms which may have a substituent)
A photosensitive resin obtained by adding a compound represented by the formula:
In the present invention, the molecular weight distribution (Mw / Mn) of the photosensitive resin is preferably 6.0 or less.

本発明は、上記感光性樹脂と、光重合性モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。
また、本発明は、上記感光性樹脂と、光重合性モノマーと、光重合開始剤と、溶剤と、顔料及び染料からなる群から選択される少なくとも1種とを含有することを特徴とするカラーフィルター用着色感光性樹脂組成物である。
The present invention is a photosensitive resin composition comprising the photosensitive resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent.
The present invention also provides a color comprising the photosensitive resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a solvent, and at least one selected from the group consisting of a pigment and a dye. It is the coloring photosensitive resin composition for filters.

本発明によれば、カラーフィルター等に使用可能な、従来よりも更に優れた性能を有する感光性樹脂、特に露光感度が高く、顔料分散性が良好であり、かつ着色感光性樹脂組成物としたときのアルカリ水溶液による現像性が良好である感光性樹脂を提供することができる。   According to the present invention, a photosensitive resin that can be used for a color filter or the like and has further superior performance than conventional ones, in particular, high exposure sensitivity, good pigment dispersibility, and a colored photosensitive resin composition. It is possible to provide a photosensitive resin having good developability with an alkaline aqueous solution.

以下、本発明の感光性樹脂を詳細に説明する。
本発明の(A)感光性樹脂は、(a)グリシジル(メタ)アクリレート、脂環式エポキシ基を有する(メタ)アクリレート及びそのラクトン付加物、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートのモノ(メタ)アクリル酸エステル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレートのエポキシ化物並びにジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートのエポキシ化物からなる群から選択される少なくとも1種2〜95モル%と、(b)下記基(以下、トリシクロデカン骨格という)
Hereinafter, the photosensitive resin of the present invention will be described in detail.
The photosensitive resin (A) of the present invention includes (a) glycidyl (meth) acrylate, (meth) acrylate having an alicyclic epoxy group and a lactone adduct thereof, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ′, 4 ′. -Epoxycyclohexanecarboxylate mono (meth) acrylic acid ester, dicyclopentenyl (meth) acrylate epoxidation product and dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate epoxidation product Mol%, and (b) the following group (hereinafter referred to as tricyclodecane skeleton):

Figure 2011236362
を有するモノ(メタ)アクリレート、下記基(以下、ジシクロペンタジエン骨格という)
Figure 2011236362
Mono (meth) acrylate having the following group (hereinafter referred to as dicyclopentadiene skeleton)

Figure 2011236362
を有するモノ(メタ)アクリレート及び下記一般式(1)
Figure 2011236362
Mono (meth) acrylate having the following general formula (1)

Figure 2011236362
(式中、x及びyは、それぞれ独立して、水素原子又は直鎖もしくは分岐していてもよい炭素数1〜4の炭化水素基を示し、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基又はカルボキシル基を示し、R及びRを結ぶ環状構造をとっていてもよい)
で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種3〜50モル%と、(c)前記(a)及び(b)と共重合し得る他のラジカル重合性化合物2〜85モル%とをその合計が100モル%となる量で共重合させ、得られた共重合物に含まれるグリシジル基の90〜100%に(d)不飽和一塩基酸を付加させ、前記(d)を付加させた時に生成した水酸基の5〜100%に(e)多塩基酸無水物を付加させ、前記(e)を付加させた時に生成したカルボキシル基の5〜70%に(f)下記一般式(2)
Figure 2011236362
(Wherein x and y each independently represents a hydrogen atom or a linear or branched hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and R 1 and R 2 are each independently A hydrogen atom, a C1-C20 hydrocarbon group which may have a substituent or a carboxyl group, which may have a cyclic structure connecting R 1 and R 2 )
3 to 50 mol% of at least one selected from the group consisting of compounds represented by: (c) 2 to 85 mol% of another radical polymerizable compound that can be copolymerized with the above (a) and (b) Are added in an amount such that the total amount is 100 mol%, (d) an unsaturated monobasic acid is added to 90 to 100% of the glycidyl groups contained in the obtained copolymer, and (d) is added. (E) a polybasic acid anhydride is added to 5 to 100% of the hydroxyl groups formed when the (e) is added, and (f) the following general formula (5) is added to 5 to 70% of the carboxyl groups formed when the (e) is added. 2)

Figure 2011236362
(式中、R、R、R、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基を示す)
で表される化合物を付加させて得られるものである。
Figure 2011236362
(Wherein R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms which may have a substituent)
It is obtained by adding a compound represented by the formula:

本発明で用いる(a)成分は、グリシジル(メタ)アクリレート、脂環式エポキシ基を有する(メタ)アクリレート及びそのラクトン付加物、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートのモノ(メタ)アクリル酸エステル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレートのエポキシ化物並びにジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートのエポキシ化物からなる群から選択される少なくとも1種のグリシジル基を有するラジカル重合性化合物である。脂環式エポキシ基を有する(メタ)アクリレートの具体例としては、例えば、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート(例えば、ダイセル化学工業株式会社製サイクロマー(登録商標)A200、M100)等が挙げられる。上記した(a)は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。これらの中でも、原料の入手容易性の点から、グリシジル(メタ)アクリレート及び3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートが好ましい。   The component (a) used in the present invention is glycidyl (meth) acrylate, (meth) acrylate having an alicyclic epoxy group and its lactone adduct, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexanecarboxy Radical polymerization having at least one glycidyl group selected from the group consisting of epoxides of mono (meth) acrylic acid esters, dicyclopentenyl (meth) acrylates and epoxidized dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylates It is a sex compound. Specific examples of the (meth) acrylate having an alicyclic epoxy group include, for example, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate (for example, Cyclomer (registered trademark) A200, M100 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), etc. Is mentioned. Said (a) may be used independently and may be used in combination of 2 or more type. Among these, glycidyl (meth) acrylate and 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate are preferable from the viewpoint of easy availability of raw materials.

本発明で用いる(b)成分は、トリシクロデカン骨格を有するモノ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエン骨格を有するモノ(メタ)アクリレート及び一般式(1)で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種である。トリシクロデカン骨格を有するモノ(メタ)アクリレートの具体例としては、日立化成工業株式会社製の商品名FA−513A(ジシクロペンタニルアクリレート)、商品名FA−513M(ジシクロペンタニルメタクリレート)等が挙げられる。ジシクロペンタジエン骨格を有するモノ(メタ)アクリレートの具体例としては、日立化成工業株式会社製の商品名FA−511A(ジシクロペンテニルアクリレート)、商品名FA−512A(ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート)、FA−512M(ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート)等が挙げられる。一般式(1)で表される化合物の具体例としては、ノルボルネン(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、8−メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、8−エチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、ジシクロペンタジエン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカ−8−エン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカ−3−エン、トリシクロ[4.4.0.12,5]ウンデカ−3−エン、トリシクロ[6.2.1.01,8]ウンデカ−9−エン、トリシクロ[6.2.1.01,8]ウンデカ−4−エン、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10.01,6]ドデカ−3−エン、8−メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10.01,6]ドデカ−3−エン、8−エチリデンテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,12]ドデカ−3−エン、8−エチリデンテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10.01,6]ドデカ−3−エン、ペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.09,13]ペンタデカ−4−エン、ペンタシクロ[7.4.0.12,5.19,12.08,13]ペンタデカ−3−エン、5−ノルボルネン−2−カルボン酸、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物等が挙げられる。上記した化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。これらの中でも、耐熱性、密着性及び現像特性の点から、ノルボルネン、ジシクロペンタジエン及び5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物が好ましい。 The component (b) used in the present invention is selected from the group consisting of a mono (meth) acrylate having a tricyclodecane skeleton, a mono (meth) acrylate having a dicyclopentadiene skeleton, and a compound represented by the general formula (1). At least one kind. Specific examples of mono (meth) acrylates having a tricyclodecane skeleton include trade names FA-513A (dicyclopentanyl acrylate) and trade names FA-513M (dicyclopentanyl methacrylate) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Is mentioned. Specific examples of mono (meth) acrylate having a dicyclopentadiene skeleton include trade name FA-511A (dicyclopentenyl acrylate), trade name FA-512A (dicyclopentenyloxyethyl acrylate) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. FA-512M (dicyclopentenyloxyethyl methacrylate) and the like. Specific examples of the compound represented by the general formula (1) include norbornene (bicyclo [2.2.1] hept-2-ene), 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, 8-methyltetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, 8-ethyltetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, dicyclopentadiene, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] dec-8-ene, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] dec-3 -Ene, tricyclo [4.4.0.1 2,5 ] undec-3-ene, tricyclo [6.2.1.0 1,8 ] undec-9-ene, tricyclo [6.2.1.0 1,8 ] undec-4-ene, tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 . 0 1,6 ] dodec-3-ene, 8-methyltetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 . 0 1,6 ] dodec-3-ene, 8-ethylidenetetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,12 ] dodec-3-ene, 8-ethylidenetetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 . 0 1,6 ] dodec-3-ene, pentacyclo [6.5.1.1 3,6 . 0 2,7 . 0 9,13] pentadeca-4-ene, pentacyclo [7.4.0.1 2,5. 1 9,12 . 0 8,13] pentadeca-3-ene, 5-norbornene-2-carboxylic acid, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid and 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid anhydride. The above-mentioned compounds may be used alone or in combination of two or more. Among these, norbornene, dicyclopentadiene, and 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid anhydride are preferable from the viewpoint of heat resistance, adhesion, and development characteristics.

本発明で用いる(c)成分としては、(a)及び(b)と共重合し得るエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物であれば特に限定されない。その具体例としては、ブタジエン、2,3−ジメチルブタジエン、イソプレン、クロロプレン等のジエン類;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソ−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリルレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、イソ−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリルレート、ペンチル(メタ)リレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、メチルシクロヘキシル(アクリレート、ネオペンチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、エチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロヘキシル(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ロジン(メタ)アクリレート、ノルボルニル(メタ)アクリレート、5−メチルノルボルニル(メタ)アクリレート、5−エチルノルボルニル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、プロパギル(メタ)アクリレート、ピペロニル(メタ)アクリレート、サリチル(メタ)アクリレート、フリル(メタ)アクリレート、フルフリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフリル(メタ)アクリレート、ピラニル(メタ)アクリレート、フェネチル(メタ)アクリレート、クレジル(メタ)アクリレート、1,1,1−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、パーフルオルエチル(メタ)アクリレート、パーフルオロ−n−プロピル(メタ)アクリレート、パーフルオロ−イソ−プロピル(メタ)アクリレート、トリフェニルメチル(メタ)アクリレート、クミル(メタ)アクリレート、3−(N,N−ジメチルアミノ)プロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセリロールモノ(メタ)アクリレート、ブタントリオールモノ(メタ)アクリレート、ペンタントリオールモノ(メタ)アクリレート、ナフタレン(メタ)アクリレート、アントラセン(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;(メタ)アクリル酸アミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジメチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジエチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジプロピルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジ−イソ−プロピルアミド、(メタ)アクリル酸アントラセニルアミド等の(メタ)アクリル酸アミド;(メタ)アクリル酸アニリド、(メタ)アクリロイルニトリル、アクロレイン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、N−ビニルピロリドン、ビニルピリジン、酢酸ビニル等のビニル化合物;スチレン、スチレンのα−、o−、m−、p−アルキル、ニトロ、シアノ、アミド誘導体;シトラコン酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等の不飽和ジカルボン酸ジエステル;N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ラウリルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド等のモノマレイミド類;N−(メタ)アクリロイルフタルイミド等が挙げられる。上記した化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。これらの中でも、硬化塗膜の密着性及び耐熱性の点から、ベンジル(メタ)アクリレート、ビニルトルエン及びモノマレイミド類が好ましく、ビニルトルエンが最も好ましい。   The component (c) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a radically polymerizable compound having an ethylenically unsaturated group that can be copolymerized with (a) and (b). Specific examples thereof include dienes such as butadiene, 2,3-dimethylbutadiene, isoprene, and chloroprene; methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, and iso-propyl (meth) acrylate. , N-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, iso-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) relate, lauryl (meth) acrylate, dodecyl (meth) ) Acrylate, cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (acrylate, neopentyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, hexyl (Meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, ethylcyclohexyl (meth) acrylate, dicyclohexyl (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, Rosin (meth) acrylate, norbornyl (meth) acrylate, 5-methylnorbornyl (meth) acrylate, 5-ethylnorbornyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, propargyl (meth) acrylate, piperonyl (meth) Acrylate, salicyl (meth) acrylate, furyl (meth) acrylate, furfuryl (meth) acrylate, tetrahydrofuryl (meth) acrylate, pyranyl (meth) acrylate Phenethyl (meth) acrylate, cresyl (meth) acrylate, 1,1,1-trifluoroethyl (meth) acrylate, perfluoroethyl (meth) acrylate, perfluoro-n-propyl (meth) acrylate, perfluoro -Iso-propyl (meth) acrylate, triphenylmethyl (meth) acrylate, cumyl (meth) acrylate, 3- (N, N-dimethylamino) propyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2- Such as hydroxypropyl (meth) acrylate, glyceryl mono (meth) acrylate, butanetriol mono (meth) acrylate, pentanetriol mono (meth) acrylate, naphthalene (meth) acrylate, anthracene (meth) acrylate ( (Meth) acrylic acid esters; (meth) acrylic acid amide, (meth) acrylic acid N, N-dimethylamide, (meth) acrylic acid N, N-diethylamide, (meth) acrylic acid N, N-dipropylamide, (Meth) acrylic acid amides such as (meth) acrylic acid N, N-di-iso-propylamide, (meth) acrylic acid anthracenyl amide; (meth) acrylic acid anilide, (meth) acryloylnitrile, acrolein, chloride Vinyl compounds such as vinyl, vinylidene chloride, vinyl fluoride, vinylidene fluoride, N-vinyl pyrrolidone, vinyl pyridine, vinyl acetate; styrene, α-, o-, m-, p-alkyl, nitro, cyano, amide of styrene Derivatives: such as diethyl citraconic acid, diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate The sum dicarboxylic acid diester; N- phenylmaleimide, N- cyclohexyl maleimide, N- lauryl maleimide, N- (4-hydroxyphenyl) monomaleimide such as maleimide; N- (meth) acryloyl phthalimide, and the like. The above-mentioned compounds may be used alone or in combination of two or more. Among these, benzyl (meth) acrylate, vinyl toluene and monomaleimides are preferable from the viewpoint of adhesion and heat resistance of the cured coating film, and vinyl toluene is most preferable.

本発明で用いる(d)成分の具体例としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、1個の水酸基と1個以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能(メタ)アクリレート(例えば、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート等)と多塩基酸無水物との反応物が挙げられる。上記した化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。これらの中でも、(メタ)アクリル酸が好ましい。   Specific examples of the component (d) used in the present invention include (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, a polyfunctional (meth) acrylate having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups (for example, , Hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, etc.) and a polybasic acid anhydride. The above-mentioned compounds may be used alone or in combination of two or more. Among these, (meth) acrylic acid is preferable.

本発明で用いる(e)成分の具体例としては、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸等が挙げられる。上記した化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。これらの中でも、テトラヒドロ無水フタル酸及び無水コハク酸が好ましい。   Specific examples of the component (e) used in the present invention include succinic anhydride, maleic anhydride, citraconic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride. Examples include acid, hexahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, and the like. The above-mentioned compounds may be used alone or in combination of two or more. Among these, tetrahydrophthalic anhydride and succinic anhydride are preferable.

本発明で用いる(f)成分は、上記一般式(2)で表される化合物である。その具体例としては、o、m、p−sec−ブチルフェニルグリシジルエーテル、o、m、p−tert−ブチルフェニルグリシジルエーテル、o、m、p−メチルフェニルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、o、m、p−ノニルフェニルグリシジルエーテル、o、m、p−オクチルフェニルグリシジルエーテル等が挙げられる。上記した化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   The component (f) used in the present invention is a compound represented by the above general formula (2). Specific examples thereof include o, m, p-sec-butylphenyl glycidyl ether, o, m, p-tert-butylphenyl glycidyl ether, o, m, p-methylphenyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, o, m. , P-nonylphenyl glycidyl ether, o, m, p-octylphenyl glycidyl ether, and the like. The above-mentioned compounds may be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂(A)を得るために、まず、(a)成分と(b)成分と(c)成分とからなる共重合物を調製する。その共重合比率は(a)成分2〜95モル%、好ましくは20〜80モル%、(b)成分3〜50モル%、好ましくは10〜45モル%、(c)成分2〜85モル%、好ましくは3〜50モル%である。(a)成分の共重合比率により、後述する(d)成分の付加量が決まる。(a)成分を2モル%以上とすることで二重結合量の低下が抑えられ、また、95モル%以下とすることで、(d)成分を付加する時の分子量増大が抑えられる。   In order to obtain the photosensitive resin (A) of the present invention, first, a copolymer comprising the component (a), the component (b), and the component (c) is prepared. The copolymerization ratio is (a) component 2 to 95 mol%, preferably 20 to 80 mol%, (b) component 3 to 50 mol%, preferably 10 to 45 mol%, and (c) component 2 to 85 mol%. , Preferably 3 to 50 mol%. The addition amount of the (d) component mentioned later is determined by the copolymerization ratio of the (a) component. When the component (a) is 2 mol% or more, a decrease in the amount of double bonds is suppressed, and when it is 95 mol% or less, an increase in molecular weight when the component (d) is added can be suppressed.

次いで、(a)成分と(b)成分と(c)成分とからなる共重合物に付加する(d)成分の量は、得られた共重合物に含まれるグリシジル基に対して90〜100%、好ましくは95〜100%である。(d)成分の付加量が90%未満では残存するグリシジル基の影響により、(d)成分付加時に高分子量化やゲル化を生じやすく、また100%を超えると未反応の(d)成分が多くなり、ポストベーク時のアウトガスの原因となり好ましくない。   Next, the amount of the component (d) added to the copolymer comprising the component (a), the component (b) and the component (c) is 90 to 100 with respect to the glycidyl group contained in the obtained copolymer. %, Preferably 95 to 100%. If the addition amount of the component (d) is less than 90%, due to the influence of the remaining glycidyl group, it tends to cause high molecular weight or gelation when the component (d) is added, and if it exceeds 100%, the unreacted component (d) This is undesirable because it increases the amount of outgassing during post-baking.

また、(e)成分の付加量は、(d)成分を付加させた時に生成した水酸基に対して5〜100%、好ましくは10〜90%、最も好ましくは15〜80%である。また、(f)成分の付加量は、(e)成分の付加させた時に生成したカルボキシル基に対して5〜70%、好ましくは10〜50%、最も好ましくは15〜40%である。(e)成分及び(f)成分の付加量を上記範囲とすることにより、感光性樹脂(A)の酸価(JIS K6901)を好ましい範囲である20〜180KOHmg/gにコントロールすることができる。なお、本発明における感光性樹脂(A)の酸価は、感光性樹脂1gを中和するのに必要な水酸化カリウムのmg数であり、JIS K6901:1999、5.3の酸価に記載の方法に従って測定されるものである。   The amount of component (e) added is 5 to 100%, preferably 10 to 90%, and most preferably 15 to 80%, based on the hydroxyl group formed when component (d) is added. Moreover, the addition amount of (f) component is 5-70% with respect to the carboxyl group produced | generated when (e) component was added, Preferably it is 10-50%, Most preferably, it is 15-40%. By setting the addition amount of the component (e) and the component (f) within the above range, the acid value (JIS K6901) of the photosensitive resin (A) can be controlled to a preferable range of 20 to 180 KOHmg / g. In addition, the acid value of the photosensitive resin (A) in the present invention is the number of mg of potassium hydroxide necessary for neutralizing 1 g of the photosensitive resin, and is described in the acid value of JIS K6901: 1999, 5.3. It is measured according to the method.

本発明の感光性樹脂(A)の重量平均分子量は、ポリスチレン換算で3,000〜50,000であり、好ましくは5,000〜30,000である。重量平均分子量が3,000以上であれば耐熱性の低下を防止することができ、また重量平均分子量が50,000以下であれば現像性の低下を防止することができる。更に、本発明の感光性樹脂(A)の分子量分布(Mw/Mn)を、好ましくは1.0〜6.0、最も好ましくは1.0〜5.5の範囲とすることにより、現像速度及びパターンの直線性を向上させることができると共に、現像残渣が極めて残り難くなるという効果を奏する。   The weight average molecular weight of the photosensitive resin (A) of the present invention is 3,000 to 50,000, preferably 5,000 to 30,000 in terms of polystyrene. When the weight average molecular weight is 3,000 or more, a decrease in heat resistance can be prevented, and when the weight average molecular weight is 50,000 or less, a decrease in developability can be prevented. Furthermore, the development speed is adjusted by setting the molecular weight distribution (Mw / Mn) of the photosensitive resin (A) of the present invention to a range of preferably 1.0 to 6.0, most preferably 1.0 to 5.5. In addition, the linearity of the pattern can be improved, and the development residue is hardly left.

なお、本発明における感光性樹脂(A)の分子量の値は、ゲル・パーミッション・クロマトグラフィー(GPC)を用いて、下記条件にて測定し、ポリスチレン換算にて算出されるものである。GPCの立ち上がり時間から21分までを計算範囲として、重量平均分子量及び分子量分布を計算する。
カラム:ショーデックス LF−804+LF−804
カラム温度:40℃
展開溶媒:テトラヒドロフラン
検出器:示差屈折計(ショーデックス RI−101)
流速:1mL/min
In addition, the value of the molecular weight of the photosensitive resin (A) in this invention is measured on the following conditions using gel permeation chromatography (GPC), and is calculated in polystyrene conversion. The weight average molecular weight and molecular weight distribution are calculated with the calculation range from the rise time of GPC to 21 minutes.
Column: Shodex LF-804 + LF-804
Column temperature: 40 ° C
Developing solvent: Tetrahydrofuran Detector: Differential refractometer (Shodex RI-101)
Flow rate: 1 mL / min

感光性樹脂(A)を得るためのラジカル共重合反応は特に制限されず、従来から行われている通常のラジカル重合法を適用することができる。
例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMAcと略記することがある)のようなグリコールエーテル系の溶剤、トルエンやキシレンのような炭化水素系や酢酸エチルのような官能基を有していない有機溶剤中に、(a)成分、(b)成分及び(c)成分を所望の比率で溶解し、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビスイソバレロニトリル、過酸化ベンゾイル、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートのような重合開始剤を混合して還流状態で50〜130℃程度で、1〜20時間程度重合させることにより、(a)成分と(b)成分と(c)成分とからなる共重合物の有機溶剤溶液が得られる。重合開始剤の使用量は(a)成分、(b)成分及び(c)成分の合計量100質量部に対して、通常、0.5〜20質量部程度、好ましくは、1.0〜15質量部である。
有機溶剤を使用せずに(a)成分、(b)成分及び(c)成分と重合開始剤だけで塊状重合を行ってもよい。
The radical copolymerization reaction for obtaining the photosensitive resin (A) is not particularly limited, and a conventional radical polymerization method conventionally performed can be applied.
For example, it has a glycol ether solvent such as propylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monomethyl ether acetate (sometimes abbreviated as PGMAc), a hydrocarbon group such as toluene and xylene, and a functional group such as ethyl acetate. In a non-organic solvent, the components (a), (b) and (c) are dissolved in a desired ratio to obtain azobisisobutyronitrile, azobisisovaleronitrile, benzoyl peroxide, t-butyl per A polymerization initiator such as oxy-2-ethylhexanoate is mixed and polymerized in a reflux state at about 50 to 130 ° C. for about 1 to 20 hours, whereby (a) component, (b) component and (c An organic solvent solution of a copolymer consisting of the above component) is obtained. The amount of the polymerization initiator used is usually about 0.5 to 20 parts by mass, preferably 1.0 to 15 parts per 100 parts by mass of the total amount of the components (a), (b) and (c). Part by mass.
Bulk polymerization may be performed using only the component (a), the component (b), the component (c) and the polymerization initiator without using an organic solvent.

有機溶剤の使用量は、(a)成分、(b)成分及び(c)成分の合計量100質量部に対して、通常、30〜1,000質量部程度、好ましくは50〜800質量部である。有機溶剤の使用量を30質量部以上とすることにより、異常な重合反応を防ぎ、安定した重合反応を進行させることができ、樹脂が着色したりゲル化するのを防ぐことができる。一方、有機溶剤の使用量を1000質量部以下とすることにより、連鎖移動作用により共重合物の分子量が低下するのを防ぎ、かつ最終的に得られる感光性樹脂の固形分濃度を適切な範囲にコントロールすることができる。
本発明の感光性樹脂は、後述する光重合性モノマー、光重合開始剤や溶剤を混合した感光性樹脂組成物とし、主にレジスト等の電子材料として用いられる。そのため、感光性樹脂(A)を上記のようなラジカル共重合で製造する際、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートのようなグリコールエステル系の溶剤が好ましく用いられる。
The amount of the organic solvent used is usually about 30 to 1,000 parts by mass, preferably 50 to 800 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (a), (b) and (c). is there. By making the usage-amount of an organic solvent into 30 mass parts or more, abnormal polymerization reaction can be prevented, stable polymerization reaction can be advanced, and resin can be prevented from being colored or gelled. On the other hand, when the amount of the organic solvent used is 1000 parts by mass or less, the molecular weight of the copolymer is prevented from being lowered by the chain transfer action, and the solid content concentration of the finally obtained photosensitive resin is in an appropriate range. Can be controlled.
The photosensitive resin of the present invention is a photosensitive resin composition in which a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator and a solvent described later are mixed, and is mainly used as an electronic material such as a resist. Therefore, when manufacturing the photosensitive resin (A) by radical copolymerization as described above, a glycol ester solvent such as propylene glycol monomethyl ether acetate is preferably used.

以上のようにして得られた感光性樹脂(A)に、光重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)及び溶剤(D)を添加することにより、感光性樹脂組成物が得られる。また、この感光性樹脂組成物に、顔料及び染料からなる群から選択される少なくとも1種を添加することにより、カラーフィルター用の着色感光性樹脂組成物とすることもできる。   A photosensitive resin composition is obtained by adding the photopolymerizable monomer (B), the photopolymerization initiator (C), and the solvent (D) to the photosensitive resin (A) obtained as described above. . Moreover, it can also be set as the colored photosensitive resin composition for color filters by adding at least 1 sort (s) selected from the group which consists of a pigment and dye to this photosensitive resin composition.

本発明で使用できる光重合性モノマー(B)としては、感光性樹脂と反応可能なものであれば特に制限はされない。その具体例として、スチレン、α−メチルスチレン、α−クロロメチルスチレン、ビニルトルエン、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の芳香族ビニル系モノマー類;酢酸ビニル、アジピン酸ビニル等のポリカルボン酸モノマー類;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル系モノマー;トリアリルシアヌレート等が挙げられる。上記した化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
光重合性モノマー(B)の添加量は、感光性樹脂100質量部に対して、通常、10〜200質量部、好ましくは20〜150質量部である。上記範囲にすることにより、光硬化性を適正な範囲に保つことができ、また、粘度を調整することもできる。
The photopolymerizable monomer (B) that can be used in the present invention is not particularly limited as long as it can react with the photosensitive resin. Specific examples thereof include aromatic vinyl monomers such as styrene, α-methylstyrene, α-chloromethylstyrene, vinyltoluene, divinylbenzene, diallylphthalate, and diallylbenzenephosphonate; polycarboxylic acids such as vinyl acetate and vinyl adipate Monomers: methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, β-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate , Diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylo (Meth) acrylic monomers such as tripropane (tri) methacrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, triallyl cyanurate, etc. Is mentioned. The above-mentioned compounds may be used alone or in combination of two or more.
The addition amount of a photopolymerizable monomer (B) is 10-200 mass parts normally with respect to 100 mass parts of photosensitive resins, Preferably it is 20-150 mass parts. By setting it as the said range, photocurability can be maintained in an appropriate range, and a viscosity can also be adjusted.

本発明の感光性樹脂組成物を紫外線等の活性エネルギー線を用いて光硬化させる場合、感光性樹脂組成物に光重合開始剤(C)を添加する。光重合開始剤(C)の具体例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)アセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラキス(t−ブチルジオキシカルボニル)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパン−1−オンや2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノンー1;アシルホスフィンオキサイド類及びキサントン類等が挙げられる。上記した化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
光重合開始剤(C)の添加量は、感光性樹脂組成物中の固形分100質量部に対して、通常、0.1〜30質量部、好ましくは0.5〜20質量部、最も好ましくは1〜10質量部である。上記範囲にすることにより、光硬化性を適正な範囲に保つことができる。
When the photosensitive resin composition of the present invention is photocured using an active energy ray such as ultraviolet rays, a photopolymerization initiator (C) is added to the photosensitive resin composition. Specific examples of the photopolymerization initiator (C) include benzoin such as benzoin, benzoin methyl ether and benzoin ethyl ether and alkyl ethers thereof; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone Acetophenones such as 4- (1-t-butyldioxy-1-methylethyl) acetophenone; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone; 2,4 -Thioxanthones such as dimethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone and 2-chlorothioxanthone; Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyldimethyl ketal; Benzophenone, 4- (1-t-butyl) Benzophenones such as rudioxy-1-methylethyl) benzophenone and 3,3 ′, 4,4′-tetrakis (t-butyldioxycarbonyl) benzophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2 -Morpholino-propan-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1; acylphosphine oxides and xanthones. The above-mentioned compounds may be used alone or in combination of two or more.
The addition amount of the photopolymerization initiator (C) is usually 0.1 to 30 parts by mass, preferably 0.5 to 20 parts by mass, and most preferably with respect to 100 parts by mass of the solid content in the photosensitive resin composition. Is 1 to 10 parts by mass. By setting it in the above range, the photocurability can be maintained in an appropriate range.

本発明で使用できる溶剤(D)としては、感光性樹脂(A)及び光重合性モノマー(B)と反応しない不活性な溶剤であれば制限なく使用することができる。その具体例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソプロピル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート等が挙げられる。上記した化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。これらの中でも、ラジカル重合反応において好ましく使用されるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましい。
溶剤(D)の添加量は、感光性樹脂(A)100質量部に対して、通常、30〜1000質量部、好ましくは50〜800質量部である。上記範囲とすることにより、粘度を適度に保つことができる。
The solvent (D) that can be used in the present invention can be used without limitation as long as it is an inert solvent that does not react with the photosensitive resin (A) and the photopolymerizable monomer (B). Specific examples thereof include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl acetate, butyl acetate, isopropyl acetate, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, Examples include ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, ethylene glycol monoethyl ether acetate, and diethylene glycol ethyl ether acetate. The above-mentioned compounds may be used alone or in combination of two or more. Among these, propylene glycol monomethyl ether acetate preferably used in the radical polymerization reaction is preferable.
The addition amount of the solvent (D) is usually 30 to 1000 parts by mass, preferably 50 to 800 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photosensitive resin (A). By setting it as the said range, a viscosity can be kept moderate.

顔料(E)の具体例としては、C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等の黄色顔料;C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等の橙色顔料;C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等の赤色顔料;C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60等の青色顔料;C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38等のバイオレット色顔料;C.I.ピグメントグリーン7、36等の緑色顔料;C.I.ピグメントブラウン23、25等の茶色顔料;C.I.ピグメントブラック1、7、カーボンブラック、チタンブラック、酸化鉄等の黒色顔料等が挙げられる。これらの顔料は、目的とする画素の色に応じてそれぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。
また、顔料の分散性を向上させるために、着色感光性樹脂組成物に公知の分散剤を添加してもよい。分散剤としては、経時の分散安定性に優れるという点から、高分子分散剤が好ましい。高分子分散剤としては、例えば、ウレタン系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレングリコールジエステル系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性エステル系分散剤等を挙げることができる。このような分散剤の具体例としては、商品名で、EFKA(エフカーケミカルズビーブイ(EFKA)社製)、Disperbyk(ビックケミー社製)、ディスパロン(楠本化成株式会社製)、SOLSPERSE(ゼネカ社製)等が挙げられる。
Specific examples of the pigment (E) include C.I. I. Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 138, 139, Yellow pigments such as 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214; I. Orange pigments such as CI Pigment Orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73; I. Red pigments such as CI Pigment Red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 255, 264, 265; C. I. Blue pigments such as CI Pigment Blue 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 60; I. Violet pigments such as C.I. Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38; I. Green pigments such as CI Pigment Green 7 and 36; I. C.I. Brown pigments such as CI Pigment Brown 23 and 25; I. And black pigments such as CI pigment blacks 1 and 7, carbon black, titanium black, and iron oxide. These pigments are used singly or in combination of two or more depending on the color of the target pixel.
In order to improve the dispersibility of the pigment, a known dispersant may be added to the colored photosensitive resin composition. As the dispersant, a polymer dispersant is preferable from the viewpoint of excellent dispersion stability over time. Examples of the polymer dispersant include a urethane dispersant, a polyethyleneimine dispersant, a polyoxyethylene alkyl ether dispersant, a polyoxyethylene glycol diester dispersant, a sorbitan aliphatic ester dispersant, and an aliphatic modified ester. And the like, and the like. Specific examples of such a dispersant are trade names of EFKA (manufactured by EFKA Chemicals Beebuy (EFKA)), Disperbyk (manufactured by BYK Chemie), Disparon (manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.), and SOLPERSE (manufactured by GENECA). Etc.

染料(F)としては、有機溶剤やアルカリ現像液に対する溶解性、感光性樹脂組成物中の他の成分との相互作用、耐熱性等からカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料、酸性染料の窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体等が使用される。使用できる染料の具体例としては、acid alizarin violet N;acid black1,2,24,48;acid blue1,7,9,25,29,40,45,62,70,74,80,83,90,92,112,113,120,129,147;acid chrome violet K;acid Fuchsin;acid green1,3,5,25,27,50;acid orange6,7,8,10,12,50,51,52,56,63,74,95;acid red1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,69,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,183,198,211,215,216,217,249,252,257,260,266,274;acid violet 6B,7,9,17,19;acid yellow1,3,9,11,17,23,25,29,34,36,42,54,72,73,76,79,98,99,111,112,114,116; food yellow3及びこれらの誘導体が挙げられる。これらの中でも、アゾ系、キサンテン系、アンスラキノン系もしくはフタロシアニン系の酸性染料が好ましい。これらの染料は、目的とする画素の色に応じてそれぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。   As the dye (F), an acid dye having an acid group such as a carboxylic acid, an acid dye having solubility in an organic solvent or an alkali developer, interaction with other components in the photosensitive resin composition, heat resistance, etc. A salt with a nitrogen compound, a sulfonamide of an acidic dye, or the like is used. Specific examples of dyes that can be used include acid alizarin violet N; acid black 1, 2, 24, 48; acid blue 1, 7, 9, 25, 29, 40, 45, 62, 70, 74, 80, 83, 90, 92, 112, 113, 120, 129, 147; acid chroma violet K; acid Fuchsin; acid green 1, 3, 5, 25, 27, 50; acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 50, 51, 52, 56,63,74,95; acid red1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,69,73 , 80, 87, 88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 13 , 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 183, 198, 211, 215, 216, 217, 249, 252, 257, 260, 266, 274; acid violet 6B, 7, 9, 17 , 19; acid yellow 1,3,9,11,17,23,25,29,34,36,42,54,72,73,76,79,98,99,111,112,114,116; food yellow3 And derivatives thereof. Among these, azo, xanthene, anthraquinone or phthalocyanine acid dyes are preferable. These dyes are used alone or in combination of two or more according to the color of the target pixel.

更に、本発明の感光性樹脂組成物又はカラーフィルター用着色感光性樹脂組成物には、必要に応じて、公知の消泡剤、カップリング剤、レベリング剤等を添加することができる。   Furthermore, a known antifoaming agent, coupling agent, leveling agent and the like can be added to the photosensitive resin composition of the present invention or the colored photosensitive resin composition for a color filter, if necessary.

本発明の感光性樹脂組成物又はカラーフィルター用着色感光性樹脂組成物は、例えば、プリント配線基板上に、スクリーン印刷法、ロールコーター法、カーテンコーター法、スプレーコーター法、スピンコート法等で塗布され、必要部分を光硬化させた後、その未硬化(未露光)部分をアルカリ水溶液で洗い流すことにより現像が行われる。   The photosensitive resin composition of the present invention or the colored photosensitive resin composition for a color filter is applied, for example, on a printed wiring board by a screen printing method, a roll coater method, a curtain coater method, a spray coater method, a spin coat method, or the like. After the necessary portion is photocured, development is performed by washing away the uncured (unexposed) portion with an alkaline aqueous solution.

現像に使用されるアルカリ水溶液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸カルシウム、水酸化ナトリウム等の水溶液、アミン系では、アミノフェノール系化合物も有用であるが、p−フェニレンジアミン系化合物が好ましく使用され、その代表例として3−メチル−4−アミノ−N,N−ジエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−ヒドロキシエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−メタンスルホンアミドエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−メトキシエチルアニリン及びこれらの硫酸塩、塩酸塩もしくはp−トルエンスルホン酸塩の水溶液が挙げられる。   As an aqueous alkali solution used for development, an aqueous solution of sodium carbonate, potassium carbonate, calcium carbonate, sodium hydroxide or the like, or an amine type, an aminophenol type compound is also useful, but a p-phenylenediamine type compound is preferably used. Representative examples thereof include 3-methyl-4-amino-N, N-diethylaniline, 3-methyl-4-amino-N-ethyl-N-β-hydroxyethylaniline, 3-methyl-4-amino-N- Examples include ethyl-N-β-methanesulfonamidoethylaniline, 3-methyl-4-amino-N-ethyl-N-β-methoxyethylaniline, and aqueous solutions of these sulfates, hydrochlorides or p-toluenesulfonates. It is done.

光照射して塗布面を硬化させる際に用いられる光源としては、低圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプ、メタハライドランプ等が用いられる。   As a light source used for curing the coated surface by light irradiation, a low pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a metahalide lamp, or the like is used.

本発明の感光性樹脂組成物及びカラーフィルター用着色感光性樹脂組成物は、露光感度が高く、かつアルカリ水溶液による現像性が良好であると共に、現像後の硬化塗膜は、電気特性、機械特性、耐熱性、耐薬品性等に優れるので、プリント配線基板製造用ソルダーレジスト、無電解メッキレジスト、ビルドアップ法プリント配線基板の絶縁層あるいは広範囲の印刷版、液晶表示材料用、プラズマディスプレイ用、有機ELディスプレイ用の感光性材料として極めて有用である。   The photosensitive resin composition of the present invention and the colored photosensitive resin composition for a color filter have high exposure sensitivity and good developability with an alkaline aqueous solution, and the cured coating film after development has electrical characteristics and mechanical characteristics. Excellent in heat resistance, chemical resistance, etc., solder resist for printed wiring board manufacture, electroless plating resist, build-up method printed wiring board insulation layer or wide range printing plate, for liquid crystal display materials, for plasma display, organic It is extremely useful as a photosensitive material for EL displays.

更に、本発明の感光性樹脂組成物又はカラーフィルター用着色感光性樹脂組成物に、公知のエポキシ樹脂、硬化促進剤を配合することにより、熱硬化も可能となるので、熱硬化性のインクジェット法にも適用可能である。   Furthermore, since thermosetting is also possible by blending a known epoxy resin and a curing accelerator in the photosensitive resin composition of the present invention or the colored photosensitive resin composition for a color filter, a thermosetting inkjet method. It is also applicable to.

以下、実施例及び比較例を示して本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated concretely, this invention is not limited to these.

(合成例1)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート323.5質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカン骨格を有するモノメタクリレート(日立化成工業株式会社製FA−513M)6.6質量部、2−エチルヘキシルアクリレート77.3質量部及びグリシジルメタクリレート78.1質量部からなるモノマー混合物にt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(日油株式会社製パーブチル(登録商標)O)19.4質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸38.4質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、無水コハク酸24.0質量部を添加し、115℃で2時間反応させ、更にフェニルグリシジルエーテル15.0質量部を添加し、120℃で1時間反応させることにより、固形分酸価45.1KOHmg/g、樹脂固形分38.0質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Synthesis Example 1)
In a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 323.5 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while replacing with nitrogen, and heated to 120 ° C. Next, a monomer mixture composed of 6.6 parts by mass of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 77.3 parts by mass of 2-ethylhexyl acrylate, and 78.1 parts by mass of glycidyl methacrylate. 19.4 parts by mass of t-butyl peroxy-2-ethylhexanoate (Nippon Co., Ltd., Perbutyl (registered trademark) O) was added. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 38.4 parts by mass of acrylic acid, 0.8 part by mass of triphenylphosphine, and 0.2 part by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 24.0 parts by mass of succinic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours, and further 15.0 parts by mass of phenylglycidyl ether was added and reacted at 120 ° C. for 1 hour to obtain a solid content acid value of 45 A photosensitive resin solution having a resin solid content of 38.0% by mass was obtained. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(合成例2)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート349.3質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカン骨格を有するモノメタクリレート(日立化成工業株式会社製FA−513M)66.0質量部、ビニルトルエン11.8質量部及びグリシジルメタクリレート85.2質量部からなるモノマー混合物にt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(日油株式会社製パーブチル(登録商標)O)19.6質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸41.9質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、無水コハク酸40.0質量部を添加し、115℃で2時間反応させ、更にフェニルグリシジルエーテル15.0質量部を添加し、120℃で1時間反応させることにより、固形分酸価65.1KOHmg/g、樹脂固形分38.1質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Synthesis Example 2)
Into a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer and a gas introduction tube, 349.3 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while replacing with nitrogen, and heated to 120 ° C. Next, t- was added to a monomer mixture comprising 66.0 parts by mass of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 11.8 parts by mass of vinyltoluene and 85.2 parts by mass of glycidyl methacrylate. 19.6 parts by mass of butyl peroxy-2-ethylhexanoate (Nippon Co., Ltd., Perbutyl (registered trademark) O) was added. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 41.9 parts by mass of acrylic acid, 0.8 part by mass of triphenylphosphine, and 0.2 part by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 40.0 parts by mass of succinic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours. Further, 15.0 parts by mass of phenylglycidyl ether was added and reacted at 120 ° C. for 1 hour to obtain an acid value of 65 A photosensitive resin solution having a resin solid content of 38.1% by mass was obtained. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(合成例3)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート359.1質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカン骨格を有するモノメタクリレート(日立化成工業株式会社製FA−513M)6.6質量部、n−ブチルアクリレート25.6質量部、グリシジルメタクリレート109.3質量部からなるモノマー混合物にt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(日油株式会社製パーブチル(登録商標)O)17.0質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸53.8質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、無水コハク酸60.0質量部を添加し、115℃で2時間反応させ、更にフェニルグリシジルエーテル15.0質量部を添加し、120℃で1時間反応させることにより、固形分酸価101.1KOHmg/g、樹脂固形分38.5質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Synthesis Example 3)
Into a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 359.1 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and stirred while replacing with nitrogen, and the temperature was raised to 120 ° C. Next, to a monomer mixture composed of 6.6 parts by mass of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 25.6 parts by mass of n-butyl acrylate, and 109.3 parts by mass of glycidyl methacrylate. 17.0 parts by mass of t-butyl peroxy-2-ethylhexanoate (Nippon Co., Ltd., Perbutyl (registered trademark) O) was added. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 53.8 parts by mass of acrylic acid, 0.8 parts by mass of triphenylphosphine, and 0.2 parts by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, and at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 60.0 parts by mass of succinic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours, and further 15.0 parts by mass of phenyl glycidyl ether was added and reacted at 120 ° C. for 1 hour to obtain an acid value of 101 A photosensitive resin solution having a resin solid content of 38.5% by mass was obtained. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(合成例4)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート359.1質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し90℃に昇温した。次に、ノルボルネン2.8質量部、2−エチルヘキシルアクリレート77.3質量部及びグリシジルメタクリレート78.1質量部からなるモノマー混合物にアゾビスイソブチロニトリル19.0質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸38.4質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸45.6質量部を添加し、115℃で2時間反応させ、更にフェニルグリシジルエーテル15.0質量部を添加し、120℃で1時間反応させることにより、固形分酸価40.5KOHmg/g、樹脂固形分38.5質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Synthesis Example 4)
Into a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 359.1 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while replacing with nitrogen, and heated to 90 ° C. Next, 19.0 parts by mass of azobisisobutyronitrile was added to a monomer mixture composed of 2.8 parts by mass of norbornene, 77.3 parts by mass of 2-ethylhexyl acrylate, and 78.1 parts by mass of glycidyl methacrylate. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 38.4 parts by mass of acrylic acid, 0.8 part by mass of triphenylphosphine, and 0.2 part by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 45.6 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours. Further, 15.0 parts by mass of phenylglycidyl ether was added and reacted at 120 ° C. for 1 hour to obtain a solid content acid value. A photosensitive resin solution having 40.5 KOH mg / g and a resin solid content of 38.5% by mass was obtained. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(合成例5)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート324.3質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し90℃に昇温した。次に、ノルボルネン9.4質量部、ビニルトルエン35.4質量部及びグリシジルメタクリレート85.2質量部からなるモノマー混合物にアゾビスイソブチロニトリル32.5質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸41.9質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、無水コハク酸40.0質量部を添加し、115℃で2時間反応させ、更にフェニルグリシジルエーテル15.0質量部を添加し、120℃で1時間反応させることにより、固形分酸価70.4KOHmg/g、樹脂固形分38.4質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Synthesis Example 5)
Into a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 324.3 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while being purged with nitrogen, and heated to 90 ° C. Next, 32.5 parts by mass of azobisisobutyronitrile was added to a monomer mixture consisting of 9.4 parts by mass of norbornene, 35.4 parts by mass of vinyltoluene and 85.2 parts by mass of glycidyl methacrylate. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 41.9 parts by mass of acrylic acid, 0.8 part by mass of triphenylphosphine, and 0.2 part by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 40.0 parts by mass of succinic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours. Further, 15.0 parts by mass of phenylglycidyl ether was added and reacted at 120 ° C. for 1 hour, whereby the solid content acid value was 70. A photosensitive resin solution having a resin solid content of 38.4% by mass was obtained. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(合成例6)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート382.1質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し90℃に昇温した。次に、ノルボルネン6.6質量部、n−ブチルアクリレート25.6質量部及びグリシジルメタクリレート109.3質量部からなるモノマー混合物にアゾビスイソブチロニトリル32.4質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸53.4質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、無水コハク酸60.0質量部を添加し、115℃で2時間反応させ、更にフェニルグリシジルエーテル15.0質量部を添加し、120℃で1時間反応させることにより、固形分酸価95.0KOHmg/g、樹脂固形分38.6質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Synthesis Example 6)
To a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 382.1 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while being purged with nitrogen, and heated to 90 ° C. Next, 32.4 parts by mass of azobisisobutyronitrile was added to a monomer mixture consisting of 6.6 parts by mass of norbornene, 25.6 parts by mass of n-butyl acrylate and 109.3 parts by mass of glycidyl methacrylate. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 53.4 parts by mass of acrylic acid, 0.8 parts by mass of triphenylphosphine, and 0.2 parts by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, and at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 60.0 parts by mass of succinic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours. Further, 15.0 parts by mass of phenyl glycidyl ether was added and reacted at 120 ° C. for 1 hour, whereby a solid content acid value of 95 A photosensitive resin solution having a resin solid content of 38.6% by mass was obtained at 0.0 KOH mg / g. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(合成例7)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート370.9質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し90℃に昇温した。次に、ノルボルネン6.6質量部、n−ブチルアクリレート25.6質量部及びグリシジルメタクリレート109.3質量部からなるモノマー混合物にアゾビスイソブチロニトリル32.4質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸53.4質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、無水コハク酸60.0質量部を添加し、115℃で2時間反応させ、更にフェニルグリシジルエーテル6.0質量部を添加し、120℃で1時間反応させることにより、固形分酸価110.0KOHmg/g、樹脂固形分38.0質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Synthesis Example 7)
In a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 370.9 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while replacing with nitrogen, and heated to 90 ° C. Next, 32.4 parts by mass of azobisisobutyronitrile was added to a monomer mixture consisting of 6.6 parts by mass of norbornene, 25.6 parts by mass of n-butyl acrylate and 109.3 parts by mass of glycidyl methacrylate. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 53.4 parts by mass of acrylic acid, 0.8 parts by mass of triphenylphosphine, and 0.2 parts by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, and at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 60.0 parts by mass of succinic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours. Further, 6.0 parts by mass of phenyl glycidyl ether was added and reacted at 120 ° C. for 1 hour to obtain a solid content acid value of 110. A photosensitive resin solution having a resin solid content of 38.0% by mass was obtained. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(比較合成例1)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート296.7質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカン骨格を有するモノメタクリレート(日立化成工業株式会社製FA−513M)6.6質量部、2−エチルヘキシルアクリレート77.3質量部及びグリシジルメタクリレート78.1質量部からなるモノマー混合物にt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(日油株式会社製パーブチル(登録商標)O)13.0質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸38.4質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、無水コハク酸24.0質量部を添加し、115℃で2時間反応させることにより、固形分酸価61.1KOHmg/g、樹脂固形分37.9質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Comparative Synthesis Example 1)
Into a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 296.7 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while replacing with nitrogen, and heated to 120 ° C. Next, a monomer mixture composed of 6.6 parts by mass of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 77.3 parts by mass of 2-ethylhexyl acrylate, and 78.1 parts by mass of glycidyl methacrylate. 13.0 parts by mass of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate (Nippon Co., Ltd., Perbutyl (registered trademark) O) was added. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 38.4 parts by mass of acrylic acid, 0.8 part by mass of triphenylphosphine, and 0.2 part by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 24.0 parts by mass of succinic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours to obtain a photosensitive resin solution having a solid content acid value of 61.1 KOH mg / g and a resin solid content of 37.9% by mass. . Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(比較合成例2)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート386.8質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカン骨格を有するモノメタクリレート(日立化成工業株式会社製FA−513M)66.0質量部、ビニルトルエン11.8質量部及びグリシジルメタクリレート85.2質量部からなるモノマー混合物にt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(日油株式会社製パーブチル(登録商標)O)19.6質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸41.9質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、無水コハク酸40.0質量部を添加し、115℃で2時間反応させ、更にフェニルグリシジルエーテル45.0質量部を添加し、120℃で1時間反応させることにより、固形分酸価21.6KOHmg/g、樹脂固形分39.1質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Comparative Synthesis Example 2)
Into a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 386.8 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while replacing with nitrogen, and heated to 120 ° C. Next, t- was added to a monomer mixture comprising 66.0 parts by mass of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 11.8 parts by mass of vinyltoluene and 85.2 parts by mass of glycidyl methacrylate. 19.6 parts by mass of butyl peroxy-2-ethylhexanoate (Nippon Co., Ltd., Perbutyl (registered trademark) O) was added. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 41.9 parts by mass of acrylic acid, 0.8 part by mass of triphenylphosphine, and 0.2 part by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 40.0 parts by mass of succinic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours. Further, 45.0 parts by mass of phenyl glycidyl ether was added and reacted at 120 ° C. for 1 hour to obtain a solid content acid value of 21 A photosensitive resin solution having a resin solid content of 39.1% by mass of 0.6 KOH mg / g was obtained. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(比較合成例3)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート363.9質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し90℃に昇温した。次に、2−エチルヘキシルアクリレート77.3質量部及びグリシジルメタクリレート82.4質量部からなるモノマー混合物にアゾビスイソブチロニトリル30.3質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸40.5質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸45.6質量部を添加し、115℃で2時間反応させ、更にフェニルグリシジルエーテル15.0質量部を添加し、120℃で1時間反応させることにより、固形分酸価55.8KOHmg/g、樹脂固形分38.5質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Comparative Synthesis Example 3)
To a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 363.9 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while replacing with nitrogen, and heated to 90 ° C. Next, 30.3 parts by mass of azobisisobutyronitrile was added to a monomer mixture consisting of 77.3 parts by mass of 2-ethylhexyl acrylate and 82.4 parts by mass of glycidyl methacrylate. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 40.5 parts by mass of acrylic acid, 0.8 parts by mass of triphenylphosphine, and 0.2 parts by mass of methylhydroquinone were put into the solution of the above copolymer, and at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 45.6 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours. Further, 15.0 parts by mass of phenylglycidyl ether was added and reacted at 120 ° C. for 1 hour to obtain a solid content acid value. A photosensitive resin solution having 55.8 KOH mg / g and a resin solid content of 38.5% by mass was obtained. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

(比較合成例4)
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート340.3質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し90℃に昇温した。次に、ノルボルネン2.8質量部、2−エチルヘキシルアクリレート77.3質量部及びグリシジルメタクリレート78.1質量部からなるモノマー混合物にアゾビスイソブチロニトリル30.0質量部を添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、更に120℃で2時間攪拌し、共重合物の溶液を得た。
次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸38.4質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部及びメチルハイドロキノン0.2質量部を上記共重合物の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8KOHmg/gとなったところで反応を終了した。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸45.6質量部を添加し、115℃で2時間反応させることにより、固形分酸価66.6KOHmg/g、樹脂固形分37.8質量%の感光性樹脂溶液を得た。使用したモノマーの配合割合、得られた感光性樹脂の重量平均分子量、数平均分子量及び分子量分布を表1に示す。
(Comparative Synthesis Example 4)
To a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, 340.3 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while replacing with nitrogen, and heated to 90 ° C. Next, 30.0 parts by mass of azobisisobutyronitrile was added to a monomer mixture consisting of 2.8 parts by mass of norbornene, 77.3 parts by mass of 2-ethylhexyl acrylate, and 78.1 parts by mass of glycidyl methacrylate. This was added to the flask from the dropping funnel over 2 hours and further stirred at 120 ° C. for 2 hours to obtain a copolymer solution.
Next, the inside of the flask was replaced with air, and 38.4 parts by mass of acrylic acid, 0.8 part by mass of triphenylphosphine, and 0.2 part by mass of methylhydroquinone were charged into the solution of the above copolymer, at 120 ° C. The reaction was continued, and the reaction was terminated when the acid value of the solid content reached 0.8 KOH mg / g. Next, 45.6 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted at 115 ° C. for 2 hours to obtain a photosensitive resin solution having a solid content acid value of 66.6 KOHmg / g and a resin solid content of 37.8% by mass. It was. Table 1 shows the blending ratio of the monomers used, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the obtained photosensitive resin.

Figure 2011236362
Figure 2011236362

[実施例1〜14及び比較例1〜8]
合成例1〜7及び比較合成例1〜4から得られた樹脂を用いて、下記に示す各成分を配合し、各種の光硬化型樹脂組成物(透明レジスト及びカラーレジスト)を得た。
[Examples 1-14 and Comparative Examples 1-8]
Each component shown below was mix | blended using resin obtained from the synthesis examples 1-7 and the comparative synthesis examples 1-4, and various photocurable resin compositions (transparent resist and color resist) were obtained.

<透明レジスト硬化塗膜の作製>
各感光性樹脂の溶液の固形分100重量部に、ペンタエリスリトールテトラアクリレート30重量部、光重合開始剤としての2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン4重量部を添加して調製した樹脂組成物を、アプリケーターでガラス基板上に湿潤時の厚み10μmで塗布し、100℃の温風乾燥器中で低沸点物を揮発させた後、オーク製作所株式会社製超高圧水銀灯を用い、必要に応じてマスクを通して50mJ/cmで露光し、厚み2μmの硬化塗膜を得た後、アルカリ現像を行った。
<Production of transparent resist cured coating film>
Resin composition prepared by adding 30 parts by weight of pentaerythritol tetraacrylate and 4 parts by weight of 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone as a photopolymerization initiator to 100 parts by weight of the solid content of each photosensitive resin solution Is applied to a glass substrate with an applicator at a thickness of 10 μm when wet, and low boiling point substances are volatilized in a hot air dryer at 100 ° C., and then an ultra high pressure mercury lamp manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. is used as necessary. After exposure at 50 mJ / cm 2 through a mask to obtain a cured coating film having a thickness of 2 μm, alkali development was performed.

(1)密着性の評価
硬化塗膜をJIS K5400に準じて碁盤目試験を行い、100個の碁盤目の剥離状態を目視観察して以下の基準で評価した。結果を表2に示す。
○:剥離が全く認められないもの。
△:全体の10%未満に剥離が認められるもの。
×:全体の10%以上に剥離が認められるもの。
(1) Evaluation of adhesion The cross-cut test was performed on the cured coating film according to JIS K5400, and the peeling state of 100 cross-cuts was visually observed and evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 2.
○: No separation was observed.
Δ: Peeling is observed in less than 10% of the whole.
X: Exfoliation is recognized in 10% or more of the whole.

Figure 2011236362
Figure 2011236362

<カラーレジスト(顔料タイプ)の調製>
(緑色顔料分散液の調製)
直径0.5mmのジルコニアビーズ180質量部が充填されたSUS容器に、C.Iピグメントグリーン36を10.00質量部、溶剤(PGMAc)を33.75質量部、分散剤(ビックケミー・ジャパン株式会社 Disperbyk−161)を6.25質量部投入し、ペイントシェーカーで3時間分散させて、緑色顔料分散液を得た。
<Preparation of color resist (pigment type)>
(Preparation of green pigment dispersion)
In a SUS container filled with 180 parts by mass of zirconia beads having a diameter of 0.5 mm, C.I. 10.00 parts by mass of I Pigment Green 36, 33.75 parts by mass of solvent (PGMAc), and 6.25 parts by mass of a dispersant (Bicchemy Japan Co., Ltd. Disperbyk-161) are added and dispersed for 3 hours with a paint shaker. Thus, a green pigment dispersion was obtained.

上記で得られた緑色顔料分散液を用いて、下記表3に示す配合割合でカラーレジスト(顔料タイプ)を調製した。   Using the green pigment dispersion obtained above, a color resist (pigment type) was prepared at a blending ratio shown in Table 3 below.

Figure 2011236362
Figure 2011236362

<カラーレジスト(染料タイプ)の調製>
染料「Acid Green3」を用いて、下記表4に示す配合割合でカラーレジスト(染料タイプ)を調製した。
<Preparation of color resist (dye type)>
A color resist (dye type) was prepared using the dye “Acid Green 3” at a blending ratio shown in Table 4 below.

Figure 2011236362
Figure 2011236362

<カラーレジスト硬化塗膜の作製>
5cm角ガラス基板(無アルカリガラス)上に乾燥時膜厚2.2μmとなるようにカラーレジストをスピンコートし、80℃で3分プリベーク後、塗布膜から100μmの距離にフォトマスクを配置して150mJ/cm2で露光した。次いで、0.1質量%炭酸ナトリウム水溶液で0.3MPaの水圧でスプレー現像を行った後、230℃で30分ポストベークを行い、カラーレジスト硬化塗膜を得た。
<Preparation of color resist cured coating>
A color resist was spin-coated on a 5 cm square glass substrate (non-alkali glass) so as to have a film thickness of 2.2 μm when dried, prebaked at 80 ° C. for 3 minutes, and a photomask was placed at a distance of 100 μm from the coating film. The exposure was performed at 150 mJ / cm 2 . Next, spray development was performed with a 0.1% by mass aqueous sodium carbonate solution at a water pressure of 0.3 MPa, and then post-baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a cured color resist coating film.

(2)アルカリ現像性の評価
マスクを通して露光した硬化塗膜を23℃で0.1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー現像し、パターンが完全に見えたときの時間及び現像後の残渣の有無を目視にて評価した。結果を表5及び6に示す。
(2) Evaluation of alkali developability The cured coating film exposed through a mask was spray-developed at 23 ° C. using a 0.1% by mass aqueous sodium carbonate solution, and the time when the pattern was completely visible and the presence or absence of a residue after development. Was visually evaluated. The results are shown in Tables 5 and 6.

(3)現像形態
ネガ型のレジストの現像工程においては、レジスト層の硬化していない未露光部分がアルカリ現像液により溶解し基板上から離脱していくが、その現像形態としては、離脱していく部分が主に大きな塊となって剥がれる剥離型と、染料が水に溶けていくように徐々に溶解、拡散する溶解型とがある。前者の剥離型は固液分の塊が異物となって系内に残留し、他の色の画素を汚染しやすいので好まれない現像形態であり、後者の溶解型が望まれる現像形態である。結果を表5及び6に示す。
×:剥離型
○:溶解型
(3) Development mode In the development process of the negative resist, the unexposed portion of the resist layer that has not been cured is dissolved by the alkali developer and is released from the substrate. There are a peeling type in which the part is peeled off mainly as a large lump, and a dissolving type in which the dye is gradually dissolved and diffused so as to dissolve in water. The former peeling type is a development mode that is not preferred because the solid-liquid mass remains in the system as a foreign substance and easily contaminates the pixels of other colors, and the latter dissolution type is a development type that the latter is desired. . The results are shown in Tables 5 and 6.
×: Peeling type ○: Dissolving type

(4)感度の評価
マスクを通して露光した硬化塗膜を23℃で0.1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー現像を30秒間行い、アルカリ現像前後の膜減り量を測定した。膜減り量が少ないほど感度が良好として評価した。結果を表5及び6に示す。
○:0.20μm未満
×:0.20μm以上
(4) Evaluation of sensitivity The cured coating film exposed through the mask was subjected to spray development for 30 seconds at 23 ° C. using a 0.1 mass% aqueous sodium carbonate solution, and the amount of film loss before and after alkali development was measured. The smaller the film loss, the better the sensitivity. The results are shown in Tables 5 and 6.
○: Less than 0.20 μm ×: 0.20 μm or more

(5)耐溶剤性の評価
カラーレジスト硬化塗膜作製において、フォトマスクを使用せずに全面露光すること以外は(7)感度の評価と同様にして硬化塗膜を作製した。次いで、蓋のできる容量500mlのガラス瓶にn−メチル2−ピロリドンを200ml入れ、その中に硬化塗膜を浸漬し23℃で60分後の色変化を色差計にて比較した。結果を表5及び6に示す。
○:ΔE*abが0.3未満
×:ΔE*abが0.3以上
(5) Evaluation of solvent resistance In preparation of a cured color resist coating film, a cured coating film was prepared in the same manner as (7) sensitivity evaluation except that the entire surface was exposed without using a photomask. Next, 200 ml of n-methyl 2-pyrrolidone was placed in a 500 ml glass bottle capable of being covered, and the cured coating film was immersed therein, and the color change after 60 minutes at 23 ° C. was compared with a color difference meter. The results are shown in Tables 5 and 6.
○: ΔE * ab is less than 0.3 ×: ΔE * ab is 0.3 or more

(6)粘度変化率
顔料分散安定性の目安として、カラーレジスト(顔料タイプ)の粘度変化を測定した。顔料分散安定性が悪い場合、粘度の上昇があり好ましくない。以下、具体的に説明する。
光重合開始剤1及び光重合開始剤2を除いたカラーレジスト(顔料タイプ)を調製した直後、及び23℃の恒温槽に7日間静置した後の粘度を測定(東機産業株式会社製E型粘度計、ローター1°34’×R24、23℃、20rpm)した。顔料分散安定性が良好である目安として、7日後の粘度変化が初期粘度に対して10%以下、好ましくは5%以下である。結果を表5に示す。
○:5%以下
△:5%より大きく10%以下
×:10%より大きい
(6) Viscosity change rate As a measure of pigment dispersion stability, the viscosity change of a color resist (pigment type) was measured. When the pigment dispersion stability is poor, the viscosity increases, which is not preferable. This will be specifically described below.
Immediately after preparing a color resist (pigment type) excluding Photopolymerization Initiator 1 and Photopolymerization Initiator 2 and after standing in a thermostatic bath at 23 ° C. for 7 days (Toki Sangyo Co., Ltd. E) Mold viscometer, rotor 1 ° 34 ′ × R24, 23 ° C., 20 rpm). As a measure of good pigment dispersion stability, the viscosity change after 7 days is 10% or less, preferably 5% or less with respect to the initial viscosity. The results are shown in Table 5.
○: 5% or less △: Greater than 5% and 10% or less ×: Greater than 10%

なお、透明レジストは(1)の項目、顔料を使用したカラーレジストは(2)〜(6)の項目、染料を使用したカラーレジストは(2)〜(5)の項目を評価した。   The transparent resist was evaluated for item (1), the color resist using pigment was evaluated for items (2) to (6), and the color resist using dye was evaluated for items (2) to (5).

Figure 2011236362
Figure 2011236362

Figure 2011236362
Figure 2011236362

Claims (4)

(a)グリシジル(メタ)アクリレート、脂環式エポキシ基を有する(メタ)アクリレート及びそのラクトン付加物、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートのモノ(メタ)アクリル酸エステル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレートのエポキシ化物並びにジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートのエポキシ化物からなる群から選択される少なくとも1種2〜95モル%と、
(b)下記基
Figure 2011236362
を有するモノ(メタ)アクリレート、下記基
Figure 2011236362
を有するモノ(メタ)アクリレート及び下記一般式(1)
Figure 2011236362
(式中、x及びyは、それぞれ独立して、水素原子又は直鎖もしくは分岐していてもよい炭素数1〜4の炭化水素基を示し、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基又はカルボキシル基を示し、R及びRを結ぶ環状構造をとっていてもよい)
で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種3〜50モル%と、
(c)前記(a)及び(b)と共重合し得る他のラジカル重合性化合物2〜85モル%と
をその合計が100モル%となる量で共重合させ、得られた共重合物に含まれるグリシジル基の90〜100%に(d)不飽和一塩基酸を付加させ、前記(d)を付加させた時に生成した水酸基の5〜100%に(e)多塩基酸無水物を付加させ、前記(e)を付加させた時に生成したカルボキシル基の5〜70%に(f)下記一般式(2)
Figure 2011236362
(式中、R、R、R、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基を示す)
で表される化合物を付加させて得られることを特徴とする感光性樹脂。
(A) Glycidyl (meth) acrylate, (meth) acrylate having an alicyclic epoxy group and its lactone adduct, mono (meth) acrylic of 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexanecarboxylate 2 to 95 mol% of at least one selected from the group consisting of an acid ester, an epoxidized product of dicyclopentenyl (meth) acrylate and an epoxidized product of dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate;
(B) The following group
Figure 2011236362
Mono (meth) acrylate having the following groups
Figure 2011236362
Mono (meth) acrylate having the following general formula (1)
Figure 2011236362
(Wherein x and y each independently represents a hydrogen atom or a linear or branched hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and R 1 and R 2 are each independently A hydrogen atom, a C1-C20 hydrocarbon group which may have a substituent or a carboxyl group, which may have a cyclic structure connecting R 1 and R 2 )
3 to 50 mol% of at least one selected from the group consisting of compounds represented by:
(C) The other radical polymerizable compound that can be copolymerized with (a) and (b) is copolymerized in an amount such that the total is 100 mol%, and the resulting copolymer is obtained. (D) Unsaturated monobasic acid is added to 90 to 100% of the glycidyl group contained, and (e) polybasic acid anhydride is added to 5 to 100% of the hydroxyl group produced when (d) is added. And (f) the following general formula (2): 5 to 70% of the carboxyl group formed when (e) is added
Figure 2011236362
(Wherein R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms which may have a substituent)
A photosensitive resin obtained by adding a compound represented by the formula:
前記感光性樹脂の分子量分布(Mw/Mn)が6.0以下であることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂。   The photosensitive resin according to claim 1, wherein the photosensitive resin has a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 6.0 or less. 請求項1又は2に記載の感光性樹脂と、光重合性モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。   A photosensitive resin composition comprising the photosensitive resin according to claim 1, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent. 請求項1又は2に記載の感光性樹脂と、光重合性モノマーと、光重合開始剤と、溶剤と、顔料及び染料からなる群から選択される少なくとも1種とを含有することを特徴とするカラーフィルター用着色感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin according to claim 1, comprising a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a solvent, and at least one selected from the group consisting of a pigment and a dye. Colored photosensitive resin composition for color filters.
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