JP2011227056A - Element mapping method, element mapping device, and method for manufacturing steel product - Google Patents

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    • H01J2237/2561Microprobes, i.e. particle-induced X-ray spectrometry electron

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To measure a distribution state of high concentration elements and low concentration elements other than main component elements contained in a steel material.SOLUTION: An electron beam source 2 irradiates an electron beam E to a steel material S. WDX3 measures a distribution state of low concentration elements other than main component elements contained in the steel material S by detecting X ray generated from irradiation of the electron beam E. EDX4 measures a distribution state of high concentration elements other than the main component elements by detecting X ray transmitted through a filter 7 made of a Cr foil, thereby enabling to measure the distribution state of the high concentration elements and the low concentration elements other than the main component elements contained in the steel material S simultaneously and with high accuracy.

Description

本発明は、鉄鋼材料に含まれる元素の分布状態を測定する元素マッピング方法及び元素マッピング装置と、この元素マッピング方法によって測定された元素の分布状態に基づいて鉄鋼製品を製造する鉄鋼製品の製造方法とに関するものである。   The present invention relates to an element mapping method and element mapping apparatus for measuring a distribution state of elements contained in a steel material, and a method for manufacturing a steel product based on the element distribution state measured by the element mapping method. It is about.

従来、試料に含まれる元素の分布状態を測定する元素マッピング装置としては、主に電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)が用いられてきた。このEPMAは、波長分散型X線検出器(WDX)から構成されている。すなわち、EPMAは、電子線を試料に照射し、その時発生する様々な波長のX線の中から測定対象元素に対応する波長のX線(特性X線)を分光結晶によって選別し、選別された特性X線の強度を検出器によって計測することによって、試料に含まれる元素の分布状態を測定する。EPMAには通常最大で5つのWDXを搭載することができるため、EPMAでは最大で5元素の分布状態を同時に測定することができる。   Conventionally, an electron probe microanalyzer (EPMA) has been mainly used as an element mapping apparatus for measuring the distribution state of elements contained in a sample. This EPMA is composed of a wavelength dispersive X-ray detector (WDX). That is, EPMA irradiates a sample with an electron beam, and selects X-rays (characteristic X-rays) having a wavelength corresponding to the element to be measured from the X-rays having various wavelengths generated at that time. By measuring the intensity of characteristic X-rays with a detector, the distribution state of elements contained in the sample is measured. Since EPMA can usually be equipped with up to five WDXs, EPMA can simultaneously measure distribution states of up to five elements.

EPMAを利用した測定方法では、試料中に濃度差のある元素(以下、高濃度元素と低濃度元素)が共存している場合、1回の測定で両方の元素の分布状態を同時に測定しようとすると、以下に示す第1及び第2の問題が発生する。第1の問題は、検出器でのX線強度の数え落としが発生しないように、電子線の照射電流量を抑えて高濃度元素に最適な照射電流量にすると、低濃度元素の特性X線の強度が非常に小さくなるために、低濃度元素の測定精度が悪くなるという問題である。第2の問題は、低濃度元素の測定精度が良くなるように、電子線の照射電流量を大きくすると、高濃度元素の測定精度が悪くなるという問題である。これは、電子線の照射電流量を大きくすると、高濃度元素の特性X線の強度が大きくなりすぎることによって、検出器でのX線強度の数え落としが発生し、特性X線の強度を正確に測定できなくなるためである。   In the measurement method using EPMA, when elements with different concentrations (hereinafter, high-concentration elements and low-concentration elements) coexist in the sample, the distribution state of both elements is to be measured simultaneously in one measurement. Then, the following first and second problems occur. The first problem is that if the irradiation current amount of the electron beam is suppressed to an optimum irradiation current amount for the high concentration element so that the X-ray intensity is not counted down at the detector, the characteristic X-ray of the low concentration element is obtained. This is a problem that the measurement accuracy of the low-concentration element is deteriorated because the strength of is extremely small. The second problem is that when the irradiation current amount of the electron beam is increased so that the measurement accuracy of the low concentration element is improved, the measurement accuracy of the high concentration element is deteriorated. This is because when the amount of electron beam irradiation current is increased, the intensity of the characteristic X-rays of the high-concentration elements becomes too large, causing the X-ray intensity to be counted off at the detector, and the intensity of the characteristic X-rays is accurately determined. This is because it becomes impossible to measure.

一般に、工程分析に使えるような高精度な測定はEPMAを利用しなければ難しいが、上述のように、同一試料に対する複数条件の同時測定はEPMAでは行うことができない。このため、EPMAを利用した測定方法では、高濃度元素と低濃度元素との双方に対して高精度な測定が必要な場合には、測定条件を変えて2度測定を行わなければならない。しかしながら、一般に、元素の分布状態の測定には多くの時間を要することから、測定条件を変えて2度測定するようなことは実際には行われていない。すなわち、試料中に高濃度元素と低濃度元素とが共存する場合には、どちらかの元素に対する測定精度を犠牲にして元素の分布状態の測定が行われている。   In general, high-precision measurement that can be used for process analysis is difficult unless EPMA is used. However, as described above, simultaneous measurement under a plurality of conditions on the same sample cannot be performed with EPMA. For this reason, in the measurement method using EPMA, when high-accuracy measurement is required for both high-concentration elements and low-concentration elements, measurement must be performed twice under different measurement conditions. However, generally, since it takes a lot of time to measure the distribution state of elements, it is not actually performed to measure twice under different measurement conditions. That is, when a high-concentration element and a low-concentration element coexist in a sample, the element distribution state is measured at the expense of measurement accuracy for either element.

高濃度元素と低濃度元素との分布状態を同時に、且つ、高精度に測定するために、特許文献1や特許文献2に記載の技術をEPMAに適用することが考えられる。詳しくは、特許文献1記載の技術は、WDXとエネルギー分散型X線検出器(EDX)とを1つの装置に搭載したX線マイクロアナライザーと呼ばれる装置に関するものであり、軽元素のフィルターを利用してEDXに入射するX線の強度を減少させることによって、同一分析条件でWDXによる測定とEDXによる測定とを行うものである。一方、特許文献2記載の技術は、蛍光X線分析装置に関するものであり、Siより原子番号が1つ小さいAlのフィルターによってシリコンウェーハの主成分元素であるSiから発生するX線を減衰させることによって、Si以外のFeやNiの濃度を検出するものである。EDXとは、試料に電子線を照射し、その時発生する様々なエネルギーのX線を同時にエネルギー毎に検出するものである。EDXによれば、特性X線のエネルギーが検出するエネルギー範囲内に存在するすべての元素の分布状態を測定できる。   In order to simultaneously measure the distribution state of the high-concentration element and the low-concentration element with high accuracy, it is conceivable to apply the techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2 to EPMA. Specifically, the technique described in Patent Document 1 relates to an apparatus called an X-ray microanalyzer in which WDX and an energy dispersive X-ray detector (EDX) are mounted in one apparatus, and uses a light element filter. By reducing the intensity of X-rays incident on the EDX, WDX measurement and EDX measurement are performed under the same analysis conditions. On the other hand, the technique described in Patent Document 2 relates to a fluorescent X-ray analyzer, which attenuates X-rays generated from Si, which is a main component element of a silicon wafer, by an Al filter having an atomic number one smaller than Si. Thus, the concentration of Fe or Ni other than Si is detected. In EDX, a sample is irradiated with an electron beam, and X-rays of various energies generated at that time are simultaneously detected for each energy. According to EDX, it is possible to measure the distribution state of all elements existing within the energy range detected by the energy of characteristic X-rays.

特開昭60−257051号公報JP 60-257051 A 特開2000−55839号公報JP 2000-55839 A

しかしながら、特許文献1,2記載の技術をEPMAに適用して鉄鋼材料に含まれる主成分元素であるFe以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を測定する場合には、以下に示すような問題が発生する。すなわち、特許文献1記載の技術をEPMAに適用して鉄鋼材料に含まれる元素の分布状態を測定した場合、EDXによって検出されるX線強度の大部分がFeの特性X線の強度で占められる。このため、鉄鋼材料に含まれるFe以外の元素の分布状態を明確に検出するためには、X線強度の積算時間を少なくとも秒のオーダー以上の時間にして測定しなければならない。従って、1点あたりの積算時間が数十ミリ秒のオーダーで行われるEPMAに特許文献1記載の技術を適用したとしても、Fe以外の元素の分布状態をほとんど検出することができず、Fe以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を測定することができない。   However, when the techniques described in Patent Documents 1 and 2 are applied to EPMA to measure the distribution state of high-concentration elements and low-concentration elements other than Fe, which is a main component element contained in steel materials, the following is shown. Such a problem occurs. That is, when the technique described in Patent Document 1 is applied to EPMA and the distribution state of elements contained in the steel material is measured, most of the X-ray intensity detected by EDX is occupied by the characteristic X-ray intensity of Fe. . For this reason, in order to detect clearly the distribution state of elements other than Fe contained in the steel material, the X-ray intensity integration time must be measured at least on the order of seconds. Accordingly, even if the technique described in Patent Document 1 is applied to EPMA in which the integration time per point is on the order of several tens of milliseconds, the distribution state of elements other than Fe can hardly be detected. The distribution state of the high concentration element and the low concentration element cannot be measured.

また、特許文献2記載の技術をEPMAに適用して鉄鋼材料に含まれる元素の分布状態を測定する場合、FeやNiの特性X線の強度もフィルターを透過することによって減少するために、元素の分布状態の測定に十分なX線強度が得られない。特に、鉄鋼材料に含まれる高濃度元素ではあるけれども、主成分であるFeよりは圧倒的に濃度の小さいMnの分布状態を測定するためには、Feの特性X線の強度を大幅に減少させてMnの特性X線の強度を増加させる必要がある。しかしながら、特許文献2記載の技術を応用して例えば単純にFeより原子番号の1小さいMnをフィルターに用いたとしても、Feの特性X線であるFeKα線のエネルギーに対するMnの質量吸収係数が小さいため、Feの特性X線の強度を大幅に減少させてMnの特性X線の強度を増加させることができない。また、Mnよりもさらに低濃度の元素を同時測定することはさらに困難であることはいうまでもない。   Moreover, when measuring the distribution state of the elements contained in the steel material by applying the technique described in Patent Document 2 to EPMA, the intensity of the characteristic X-rays of Fe and Ni is also reduced by passing through the filter. X-ray intensity sufficient for measurement of the distribution state of is not obtained. In particular, in order to measure the distribution of Mn, which is a high-concentration element contained in steel materials, but with an overwhelmingly lower concentration than Fe, which is the main component, the intensity of the characteristic X-ray of Fe is greatly reduced. Therefore, it is necessary to increase the intensity of the characteristic X-ray of Mn. However, even if, for example, Mn having an atomic number 1 smaller than Fe is simply applied to the filter by applying the technique described in Patent Document 2, the mass absorption coefficient of Mn is small with respect to the energy of FeKα rays that are characteristic X-rays of Fe. For this reason, the intensity of the characteristic X-rays of Fe cannot be greatly reduced to increase the intensity of the characteristic X-rays of Mn. Needless to say, it is more difficult to simultaneously measure an element at a lower concentration than Mn.

このため、特許文献2記載の技術をEPMAに適用して鉄鋼材料に含まれる元素の分布状態を測定した場合、X線強度の大部分がFeの特性X線の強度で占められ、さらには特許文献2記載の装置が蛍光X線分析装置であるため、Fe以外の元素の分布状態を明確に検出するためにはX線強度の積算時間を少なくとも秒のオーダー以上の時間にして測定しなければならない。従って、1点あたりの積算時間が数十ミリ秒のオーダーで行われるEPMAに特許文献2記載の技術を適用したとしても、Fe以外の元素の分布状態はほとんど検出することができず、Fe以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を測定することができない。   For this reason, when the distribution state of the elements contained in the steel material is measured by applying the technique described in Patent Document 2 to EPMA, most of the X-ray intensity is occupied by the characteristic X-ray intensity of Fe. Since the device described in Document 2 is a fluorescent X-ray analyzer, in order to clearly detect the distribution state of elements other than Fe, the accumulated time of X-ray intensity must be measured at least on the order of seconds. Don't be. Therefore, even if the technique described in Patent Document 2 is applied to EPMA in which the integration time per point is performed on the order of several tens of milliseconds, the distribution state of elements other than Fe can hardly be detected. The distribution state of the high concentration element and the low concentration element cannot be measured.

以上のことから、鉄鋼材料に含まれるFe以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を同時、且つ、高精度に測定可能な技術の提供が期待されていた。なお、本明細書中において、高濃度元素とは、低濃度元素の濃度に対して質量%で少なくとも2倍以上の濃度を有する元素のことを意味する。但し、より効果的に本発明の効果を奏するためには、高濃度元素の濃度は、低濃度元素の濃度に対し、質量%で10倍以上であることが好ましい。また、高濃度元素としてはMn,Cr,Mo等を例示することができ、低濃度元素としてはNb,S,P,Si,Cu,V等を例示することができる。   From the above, it has been expected to provide a technique capable of simultaneously and highly accurately measuring the distribution state of high-concentration elements other than Fe and low-concentration elements contained in steel materials. In the present specification, the high concentration element means an element having a concentration of at least twice or more by mass% with respect to the concentration of the low concentration element. However, in order to achieve the effect of the present invention more effectively, the concentration of the high concentration element is preferably 10 times or more by mass% with respect to the concentration of the low concentration element. Further, examples of the high concentration element include Mn, Cr, and Mo, and examples of the low concentration element include Nb, S, P, Si, Cu, and V.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を同時、且つ、高精度に測定可能な元素マッピング方法及び元素マッピング装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は、鉄鋼製品の歩留まりを向上させることが可能な鉄鋼製品の製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and its purpose is to simultaneously and highly accurately measure the distribution state of high-concentration elements and low-concentration elements other than the main component elements contained in the steel material. It is an object to provide a possible element mapping method and element mapping apparatus. Moreover, the other object of this invention is to provide the manufacturing method of the steel products which can improve the yield of steel products.

上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る元素マッピング方法は、鉄鋼材料に電子線を照射するステップと、前記電子線の照射に伴い発生するX線を波長分散型X線検出器で検出することによって、前記鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の第1の元素の分布状態を測定する第1のステップと、クロム箔からなるフィルターを透過した前記X線をエネルギー分散型X線検出器で検出することによって、前記鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の元素であって、前記第1の元素より濃度が高い第2の元素の分布状態を測定する第2のステップと、を含み、前記第1のステップと前記第2のステップとを同時に実行する。   In order to solve the above problems and achieve the object, an element mapping method according to the present invention includes a step of irradiating a steel material with an electron beam, and an X-ray generated along with the irradiation of the electron beam. A first step of measuring a distribution state of a first element other than a main component element contained in the steel material by detecting with a detector, and the X-ray transmitted through a filter made of chrome foil is an energy dispersive type A second step of measuring a distribution state of a second element having a concentration higher than that of the first element, which is an element other than the main component element contained in the steel material by detecting with an X-ray detector; The first step and the second step are executed simultaneously.

上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る元素マッピング装置は、鉄鋼材料に電子線を照射する電子線源と、前記電子線の照射に伴い発生するX線を検出することによって、前記鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の第1の元素の分布状態を測定する波長分散型X線検出器と、クロム箔からなるフィルターを透過した前記X線を検出することによって、前記鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の元素であって、前記第1の元素より濃度が高い第2の元素の分布状態を測定するエネルギー分散型X線検出器と、を備える。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, an element mapping apparatus according to the present invention detects an electron beam source that irradiates a steel material with an electron beam, and X-rays generated by the irradiation of the electron beam. By detecting the X-ray transmitted through a filter made of a chrome foil and a wavelength dispersive X-ray detector that measures the distribution state of the first element other than the main component element contained in the steel material, An energy dispersive X-ray detector that measures a distribution state of a second element that is an element other than the main component contained in the steel material and has a higher concentration than the first element.

上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る鉄鋼製品の製造方法は、連続鋳造機により鉄鋼製品を製造するステップと、本発明に係る元素マッピング方法を使用して前記鉄鋼製品に含まれる主成分元素以外の元素の分布状態を測定するステップと、前記元素の分布状態の測定結果に基づいて前記連続鋳造機の操業条件を制御するステップと、を含む。   In order to solve the above problems and achieve the object, a method for manufacturing a steel product according to the present invention includes a step of manufacturing a steel product using a continuous casting machine, and the steel product using the element mapping method according to the present invention. Measuring the distribution state of elements other than the main component elements contained in the element, and controlling the operating conditions of the continuous casting machine based on the measurement result of the distribution state of the elements.

本発明に係る元素マッピング方法及び元素マッピング装置によれば、鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を同時、且つ、高精度に測定することができる。また、本発明に係る鉄鋼製品の製造方法によれば、鉄鋼製品の歩留まりを向上させることができる。   According to the element mapping method and the element mapping apparatus according to the present invention, the distribution state of the high concentration element and the low concentration element other than the main component element contained in the steel material can be measured simultaneously and with high accuracy. Moreover, according to the manufacturing method of the steel product which concerns on this invention, the yield of steel products can be improved.

図1は、本発明の一実施形態である元素マッピング装置の構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an element mapping apparatus according to an embodiment of the present invention. 図2は、Cr箔を載置しない場合に得られるX線スペクトルの一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of an X-ray spectrum obtained when no Cr foil is placed. 図3は、Cr箔を載置した場合に得られるX線スペクトルの一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of an X-ray spectrum obtained when a Cr foil is placed. 図4は、本発明の一実施形態である元素マッピング装置を利用したNbの元素マッピング結果を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an element mapping result of Nb using an element mapping apparatus according to an embodiment of the present invention. 図5は、Nbの特性X線の強度を三次元的に表示した図である。FIG. 5 is a diagram in which the intensity of the characteristic X-ray of Nb is displayed three-dimensionally. 図6は、本発明の一実施形態である元素マッピング装置を利用したMnの元素マッピング結果を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an element mapping result of Mn using an element mapping apparatus according to an embodiment of the present invention. 図7は、Mnの特性X線の強度を三次元的に表示した図である。FIG. 7 is a diagram in which the intensity of characteristic X-rays of Mn is displayed three-dimensionally. 図8は、連続鋳造工程において用いられる連続鋳造機の概略構成を示す模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a continuous casting machine used in the continuous casting process.

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態である元素マッピング方法及び元素マッピング装置について説明する。   Hereinafter, an element mapping method and an element mapping apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

〔元素マッピング装置の構成〕
始めに、図1を参照して、本発明の一実施形態である元素マッピング装置の構成について説明する。
[Configuration of element mapping equipment]
First, with reference to FIG. 1, the structure of the element mapping apparatus which is one Embodiment of this invention is demonstrated.

図1は、本発明の一実施形態である元素マッピング装置の構成を示すブロック図である。図1に示すように、本発明の一実施形態である元素マッピング装置1は、電子線源2,波長分散型X線検出器(WDX)3,及びエネルギー分散型X線検出器(EDX)4を主な構成要素として備えている。電子線源2は、鉄鋼材料Sに向けて電子線Eを照射するものである。電子線Eの照射電流量は、WDX3の検出能に応じて調整される。   FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an element mapping apparatus according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, an element mapping apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes an electron beam source 2, a wavelength dispersive X-ray detector (WDX) 3, and an energy dispersive X-ray detector (EDX) 4. As a main component. The electron beam source 2 irradiates the steel material S with the electron beam E. The irradiation current amount of the electron beam E is adjusted according to the detection ability of WDX3.

WDX3は、分光結晶5と検出器6とを備えている。分光結晶5は、鉄鋼材料Sに電子線Eを照射することによって発生するX線X1の中からから鉄鋼材料Sに含まれる測定対象元素に対応する波長のX線(特性X線)X2を選別し、選別された特性X線X2を検出器6に供給するものである。検出器6は、特性X線X2の強度を検出することによって、測定対象元素の分布状態を測定するものである。検出器6としては、特性X線X2を高計数率で測定可能にするため、不感時間の短い比例計数管を用いることが好ましい。この場合、比例計数管の計数率は、60000cps程度あることが望ましい。   The WDX 3 includes a spectral crystal 5 and a detector 6. The spectral crystal 5 selects X-rays (characteristic X-rays) X2 having a wavelength corresponding to the element to be measured contained in the steel material S from the X-rays X1 generated by irradiating the steel material S with the electron beam E. Then, the selected characteristic X-ray X2 is supplied to the detector 6. The detector 6 measures the distribution state of the element to be measured by detecting the intensity of the characteristic X-ray X2. As the detector 6, it is preferable to use a proportional counter with a short dead time so that the characteristic X-ray X 2 can be measured at a high count rate. In this case, it is desirable that the count rate of the proportional counter tube is about 60000 cps.

EDX4は、フィルター7と検出器8とを備えている。フィルター7は、鉄鋼材料Sに電子線Eを照射することによって発生するX線X1中に含まれるFeの特性X線の強度を減少させるためのものである。フィルター7としては、Cr箔を用いることが望ましく、Feの特性X線であるFeKα線に対する質量吸収係数が463cm/gであり、Mnの特性X線であるMnKα線に対する質量吸収係数が62.3cm/gであり、厚さが5〜50μmの範囲内にあるCr箔を用いることが好ましい。フィルター7の載置方法は、フィルター7が検出器8の受光面を覆う限り、どのような載置方法であってもよい。 The EDX 4 includes a filter 7 and a detector 8. The filter 7 is for reducing the intensity of the characteristic X-ray of Fe contained in the X-ray X1 generated by irradiating the steel material S with the electron beam E. As the filter 7, it is desirable to use a Cr foil, the mass absorption coefficient for FeKα ray which is a characteristic X-ray of Fe is 463 cm 2 / g, and the mass absorption coefficient for MnKα ray which is a characteristic X-ray of Mn is 62. It is preferable to use a Cr foil having a thickness of 3 cm 2 / g and a thickness in the range of 5 to 50 μm. The placement method of the filter 7 may be any placement method as long as the filter 7 covers the light receiving surface of the detector 8.

例えば厚さ30μmのCr箔をフィルター7として載置した場合、Feの特性X線であるFeKα線の強度は、入射強度1に対してCr箔透過後は0.000046となり、大幅に減少する。これに対して、Feより元素番号が1つ小さい鉄鋼材料Sの主要元素であるMnの特性X線であるMnKα線の強度は、入射強度1に対してCr箔透過後は0.26となり、FeKα線と比較してその減少量は小さい。このため、Cr箔を載置しない場合、図2に示すように、X線X1の全強度に占めるMnKα線の強度の割合は約3%であるのに対して、Cr箔を載置した場合には、図3に示すように、X線X1の全強度に占めるMnKα線の強度の割合は約21%に増加する。すなわち、Cr箔を載置することによって、MnKα線の強度を7倍の大きさに増加させることができる。これは、Cr箔によってFeの特性X線であるFeKα線,FeKβ線,及びFeL線の強度が大幅に減少されるのに対して、Mnの特性X線であるMnKα線の強度は小幅な減少に抑えられるためである。   For example, when a Cr foil having a thickness of 30 μm is placed as the filter 7, the intensity of the FeKα ray, which is the characteristic X-ray of Fe, becomes 0.000046 after the Cr foil is transmitted with respect to the incident intensity of 1 and greatly decreases. On the other hand, the intensity of the MnKα ray, which is the characteristic X-ray of Mn, which is the main element of the steel material S having an element number one smaller than that of Fe, is 0.26 after the Cr foil transmission with respect to the incident intensity of 1, The amount of decrease is small compared to FeKα rays. For this reason, when Cr foil is not placed, as shown in FIG. 2, the ratio of the intensity of MnKα ray to the total intensity of X-ray X1 is about 3%, whereas Cr foil is placed As shown in FIG. 3, the ratio of the intensity of the MnKα ray to the total intensity of the X-ray X1 increases to about 21%. That is, by placing the Cr foil, the intensity of the MnKα line can be increased to 7 times. This is because the strength of FeKα rays, FeKβ rays, and FeL rays, which are Fe characteristic X-rays, is greatly reduced by Cr foil, whereas the intensity of MnKα rays, which are Mn characteristic X-rays, is slightly reduced. This is because it can be suppressed.

検出器8は、フィルター7を透過したX線X1をそのエネルギー毎に検出することにより、鉄鋼材料Sに含まれる測定対象元素の分布状態を測定するものである。検出器8としては、計数率が50000cps以上のシリコンドリフト検出器(SDD)を用いることが望ましい。従来のEDXでは、半導体検出器(SSD)が検出器として用いられていた。しかしながら、SSDの計数率は約10000cps程度あり、WDX3の計数率(約60000cps)より低い。また、WDX3は1つの元素に対して約60000cpsのX線強度測定が可能であるのに対して、SSDは全エネルギー範囲での全強度、つまり、鉄鋼材料S中の全元素強度の計数率が10000cpsとなる。このため、1つの元素に注目すると、SSDの計数率は、濃度にも依存するが、WDX3の計数率の2桁以上小さくなる。   The detector 8 measures the distribution state of the element to be measured contained in the steel material S by detecting the X-ray X1 transmitted through the filter 7 for each energy. As the detector 8, it is desirable to use a silicon drift detector (SDD) having a counting rate of 50000 cps or more. In the conventional EDX, a semiconductor detector (SSD) is used as a detector. However, the count rate of SSD is about 10,000 cps, which is lower than the count rate of WDX3 (about 60000 cps). WDX3 can measure X-ray intensity of about 60,000 cps for one element, whereas SSD has a total intensity in the entire energy range, that is, a count rate of the total element intensity in the steel material S. 10000 cps. For this reason, focusing on one element, the SSD count rate is two or more orders of magnitude lower than the WDX3 count rate, although it depends on the concentration.

このため、検出器8としてSSDを用いた場合、WDX3と同レベルの測定が困難になる。これに対して、SDDを検出器8として用いた場合、SDDの計数率がSSDの計数率より1桁以上大きいため、EDX4の計数率をWDX3の計数率に近づけることができる。なお、EDX4の計数率が50000cps以上であれば良いとした理由は、50000cps以上の計数率であれば、WDX3を構成する分光結晶の中でも計数率が低い分光結晶と最低限同レベルの計数率を確保することができるためである。100000cps以上の計数率であれば、分光結晶の中で計数率が高い結晶と同レベルまで計数率を確保することができるため、さらに好適である。但し、検出器8はSDDに限定されることはなく、上述の計数率の条件を満足するものであれば、どのようなタイプでも良い。   For this reason, when an SSD is used as the detector 8, it becomes difficult to measure at the same level as WDX3. In contrast, when the SDD is used as the detector 8, the count rate of the EDX4 can be made closer to the count rate of the WDX3 because the count rate of the SDD is one digit or more larger than the count rate of the SSD. The reason why the count rate of EDX4 should be 50000 cps or more is that if the count rate is 50000 cps or more, among the spectroscopic crystals constituting WDX3, the count rate is at least the same level as the spectroscopic crystal having a low count rate. This is because it can be secured. A counting rate of 100000 cps or more is more preferable because the counting rate can be secured to the same level as that of a crystal having a high counting rate among the spectral crystals. However, the detector 8 is not limited to the SDD, and may be any type as long as it satisfies the above-described count rate condition.

検出器8としてSDDを用いることによりEDX4の計数率を向上させることができるが、その計数率はWDX3の計数率と比較するとまだ不十分である。しかしながら、上述のように、この元素マッピング装置1では、鉄鋼材料SとEDX4との間にフィルター7が配設され、フィルター7がX線X1中に含まれるFeの特性X線の強度を減少させることによって、測定対象元素の強度割合を増加させている。このため、この元素マッピング装置1によれば、EDX4は、WDX3と同レベルの測定時間(少なくとも倍以下の時間)で工程分析等に耐えうる精度及び時間で測定を行うことができる。具体的には、フィルター7によって測定対象元素の強度割合を7倍増加させ、さらには検出器8としてSSDの10倍以上の計数が可能なSDDを用いることによって、従来のCr箔フィルターがなく、検出器としてSSDを用いた装置と比較して、同一測定時間において約100倍の強度測定が可能になり、元素の分布状態を短時間で測定することができる。   Although the count rate of EDX4 can be improved by using SDD as the detector 8, the count rate is still insufficient as compared with the count rate of WDX3. However, as described above, in the element mapping apparatus 1, the filter 7 is disposed between the steel material S and the EDX 4, and the filter 7 reduces the intensity of the characteristic X-ray of Fe contained in the X-ray X1. As a result, the strength ratio of the element to be measured is increased. Therefore, according to the element mapping apparatus 1, the EDX 4 can perform measurement with accuracy and time that can withstand process analysis and the like in a measurement time (at least twice as long) as that of the WDX 3. Specifically, by using the filter 7 to increase the intensity ratio of the element to be measured by 7 times, and further using an SDD capable of counting 10 times or more of SSD as the detector 8, there is no conventional Cr foil filter, Compared with an apparatus using an SSD as a detector, the intensity measurement can be performed about 100 times in the same measurement time, and the element distribution state can be measured in a short time.

〔元素マッピング方法〕
次に、上記元素マッピング装置1を利用した本発明の一実施形態である元素マッピング方法について説明する。
[Element mapping method]
Next, an element mapping method that is an embodiment of the present invention using the element mapping apparatus 1 will be described.

本発明の一実施形態である元素マッピング方法では、始めに、電子線源2が鉄鋼材料Sに電子線Eを照射する。次に、WDX3が、電子線Eの照射に伴い発生するX線X1の中から低濃度元素の特性X線X2を分光結晶5によって選別し、選別された特性X線X2の強度を検出器6によって計測することによって、低濃度元素の分布状態を測定する。低濃度の元素としては、Nb,S,P,Si,Cu,V等を例示することができる。また、この時同時に、EDX4が、フィルター7を透過したX線X1をエネルギー毎に検出することによって、高濃度元素の分布状態を測定する。高濃度の元素としては、Mn,Cr,Mo等を例示することができる。これにより、鉄鋼材料Sに含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を同時、且つ、高精度に測定することができる。   In the element mapping method according to an embodiment of the present invention, first, the electron beam source 2 irradiates the steel material S with the electron beam E. Next, the WDX 3 sorts the characteristic X-ray X2 of the low-concentration element from the X-ray X1 generated by the irradiation of the electron beam E by the spectroscopic crystal 5, and the detector 6 determines the intensity of the selected characteristic X-ray X2. The distribution state of low concentration elements is measured by Nb, S, P, Si, Cu, V etc. can be illustrated as a low concentration element. At the same time, the EDX 4 detects the X-ray X1 transmitted through the filter 7 for each energy to measure the distribution state of the high concentration element. Examples of the high concentration element include Mn, Cr, and Mo. Thereby, the distribution state of the high concentration element and the low concentration element other than the main component element contained in the steel material S can be measured simultaneously and with high accuracy.

なお、電子線Eの照射電流量は、低濃度元素の特性X線の強度が十分得られるような大きさに調整するとよい。但し、この際、検出器8のX線強度の数え落としが発生し、EDX4側の測定精度が低下する場合には、フィルター7の厚さを適宜調整することによって、検出器8のX線強度の数え落としが発生することを抑制するとよい。また、本実施形態では、WDX3側及びEDX4側でそれぞれ低濃度元素及び高濃度元素の分布状態を測定することとしたが、EDX4の計数率をWDX3の計数率より大きくすることができれば、WDX3側及びEDX4側でそれぞれ高濃度元素及び低濃度元素の分布状態を測定するようにしてもよい。   It should be noted that the irradiation current amount of the electron beam E is preferably adjusted so as to sufficiently obtain the characteristic X-ray intensity of the low concentration element. However, at this time, when the X-ray intensity of the detector 8 is counted down and the measurement accuracy on the EDX 4 side is lowered, the X-ray intensity of the detector 8 is adjusted by appropriately adjusting the thickness of the filter 7. It is better to suppress the occurrence of counting down. In this embodiment, the distribution state of the low concentration element and the high concentration element is measured on the WDX3 side and the EDX4 side, respectively. However, if the count rate of EDX4 can be made larger than the count rate of WDX3, the WDX3 side And the distribution state of the high concentration element and the low concentration element may be measured on the EDX4 side, respectively.

〔実験例〕
次に、本発明の一実施形態である元素マッピング装置1と、フィルター7を設置せず、且つ、EDX4の検出器8としてSSDを用いた従来装置とを利用して、鉄鋼スラブに対し元素マッピングを行った実験結果を以下に示す。なお、元素マッピングとは、測定する領域を一定サイズの格子に分割し、各格子点におけるX線の強度又は検量線等によってX線の強度から求められる濃度の分布を2次元的に求めることを意味する。
[Experimental example]
Next, the element mapping apparatus 1 according to an embodiment of the present invention and the conventional apparatus using the SSD as the detector 8 of the EDX 4 without installing the filter 7 are used for element mapping on the steel slab. The results of experiments conducted are shown below. Element mapping refers to dividing a region to be measured into a grid of a certain size and obtaining a two-dimensional distribution of concentration obtained from the intensity of X-rays by the intensity of X-rays or a calibration curve at each lattice point. means.

本実験では、鉄鋼スラブのC断面の中心偏析部から厚さ10mm、幅約80mmの領域を切り出して研磨したものを鉄鋼材料Sとして用いた。また、フィルター7を構成するCr箔の厚さは30μmとした。また、分析条件は、電子線Eの加速電圧,照射電流,及びビーム径はそれぞれ25kV,5μA,100μmとし、1測定点当たりの積算時間は10msecとした。また、WDX4及びEDX5の分析対象元素をそれぞれNb,Mnとした。測定に要した時間は約13分であった。   In this experiment, a material 10 mm thick and about 80 mm wide cut out and polished from the central segregation portion of the C cross section of the steel slab was used as the steel material S. The thickness of the Cr foil constituting the filter 7 was 30 μm. The analysis conditions were such that the acceleration voltage, irradiation current, and beam diameter of the electron beam E were 25 kV, 5 μA, and 100 μm, respectively, and the integration time per measurement point was 10 msec. The analysis target elements of WDX4 and EDX5 were Nb and Mn, respectively. The time required for the measurement was about 13 minutes.

図4は、本発明の一実施形態である元素マッピング装置を利用したNbの元素マッピング結果を示す図である。図5は、図4に示す領域R1におけるNbの特性X線の強度を三次元的に表示した図である。図4及び図5に示すように、本発明の一実施形態である元素マッピング装置1を利用することにより、鉄鋼材料Sの領域R1においてNbの中心偏析を確認することができた。また、Nbの特性X線の強度から求められたNbの濃度は0.01〜5質量%であった。   FIG. 4 is a diagram showing an element mapping result of Nb using an element mapping apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram three-dimensionally displaying the intensity of the characteristic X-ray of Nb in the region R1 shown in FIG. As shown in FIGS. 4 and 5, the center segregation of Nb could be confirmed in the region R1 of the steel material S by using the element mapping apparatus 1 which is an embodiment of the present invention. The concentration of Nb determined from the intensity of the characteristic X-ray of Nb was 0.01 to 5% by mass.

図6は、本発明の一実施形態である元素マッピング装置を利用したMnの元素マッピング結果を示す図である。図7は、図6に示す領域R2におけるMnの強度を三次元的に表示した図である。図6及び図7に示すように、本発明の一実施形態である元素マッピング装置1を利用することにより、鉄鋼材料Sの領域R2においてMnの中心偏析を明瞭に確認することができた。   FIG. 6 is a diagram showing an element mapping result of Mn using an element mapping apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 7 is a diagram three-dimensionally displaying the intensity of Mn in the region R2 shown in FIG. As shown in FIGS. 6 and 7, center segregation of Mn could be clearly confirmed in the region R2 of the steel material S by using the element mapping apparatus 1 which is an embodiment of the present invention.

一方、従来装置を利用した元素マッピングでは、X線強度の大部分をFeの特性X線の強度が占め、且つ、SSDの計数率が低いため、Mnの特性X線の強度は1測定点当たり数カウント〜数10カウント程度しか得られず、結果として、Mnの中心偏析を確認することができなかった。   On the other hand, in elemental mapping using a conventional apparatus, since the characteristic X-ray intensity of Fe accounts for most of the X-ray intensity and the count rate of SSD is low, the characteristic X-ray intensity of Mn is per measurement point. Only a few to tens of counts were obtained, and as a result, central segregation of Mn could not be confirmed.

これにより、本発明の一実施形態である元素マッピング装置1によれば、低濃度のNbの元素マッピングと高濃度のMnの元素マッピングとを迅速、且つ、高精度に実行可能であることが確認された。但し、元素マッピングができる元素の組合せはNbとMnとの組み合わせに限定されることはなく、例えばWDX3によりS,P,Si,Cu,V等の元素、EDX4によりCr,Mo等の元素を元素マッピングすることができる。この場合には、測定条件を適宜選定すればよい。   Thereby, according to the element mapping apparatus 1 which is one embodiment of the present invention, it is confirmed that low-concentration Nb element mapping and high-concentration Mn element mapping can be performed quickly and with high accuracy. It was done. However, the combination of elements that can be elementally mapped is not limited to the combination of Nb and Mn. For example, elements such as S, P, Si, Cu, and V are used by WDX3, and elements such as Cr and Mo are used by EDX4. Can be mapped. In this case, the measurement conditions may be selected as appropriate.

〔応用例〕
本発明の一実施形態である元素マッピング方法は、例えば連続鋳造工程の工程分析に用いることができる。図8は、連続鋳造工程において用いられる連続鋳造機の概略構成を示す模式図である。図8に示すように、連続鋳造機10は、図示しない取鍋から溶鋼11が注入されるタンディッシュ12と、浸漬ノズル13を介してタンディッシュ12から注がれた溶鋼11を表面の凝固シェル14が樹枝状晶に成長するまで成形しつつ半凝固させる銅製の鋳型15と、鋳型15から半凝固状態の鋳片16を垂直下方に引き抜きつつ冷却する鋳片支持ロール17aと、鋳片支持ロール17aによって引き抜かれた鋳片16を冷却搬送する鋳片支持ロール17bと、鋳片支持ロール17bによって搬送された鋳片16を水平方向に冷却搬送する鋳片支持ロール17cと、鋳片支持ロール17cによって搬送された鋳片16を所定の長さに切断することによって鉄鋼スラブ19を製造するガス切断機18と、を備えている。
[Application example]
The element mapping method which is one embodiment of the present invention can be used for process analysis of a continuous casting process, for example. FIG. 8 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a continuous casting machine used in the continuous casting process. As shown in FIG. 8, the continuous casting machine 10 includes a tundish 12 into which molten steel 11 is poured from a ladle (not shown), and a molten steel 11 poured from the tundish 12 through an immersion nozzle 13 on the surface of the solidified shell. A copper mold 15 that is molded and semi-solidified until 14 grows into dendrites, a slab support roll 17a that cools the semi-solid slab 16 drawn from the mold 15 vertically downward, and a slab support roll A slab support roll 17b that cools and conveys the slab 16 drawn by 17a, a slab support roll 17c that cools and transports the slab 16 conveyed by the slab support roll 17b in the horizontal direction, and a slab support roll 17c. And a gas cutting machine 18 that manufactures a steel slab 19 by cutting the slab 16 conveyed by a predetermined length.

このような連続鋳造機で鋳造される鉄鋼スラブのうち、中心偏析の評価が必要とされる代表的な鉄鋼スラブの数は1日に3〜4枚程度である。しかしながら、従来のEPMAを利用して鉄鋼スラブに含まれる元素の分布状態を測定する場合、1スラブに約20時間程度の測定時間が必要になる。このため、従来のEPMAでは1日に約1スラブしか元素の分布状態を測定することができず、連続鋳造工程の工程分析に適用することができなかった。これに対して、本発明の一実施形態である元素マッピング方法によれば、鉄鋼スラブの品質評価に必要な約2m幅のスラブ断面における元素の分布状態を従来のEPMAによる測定時間の約4分の1に相当する約5時間で行うことができる。   Among steel slabs cast by such a continuous casting machine, the number of typical steel slabs that require evaluation of center segregation is about 3 to 4 per day. However, when measuring the distribution state of elements contained in a steel slab using conventional EPMA, a measurement time of about 20 hours is required for one slab. For this reason, in the conventional EPMA, only about one slab per day can be measured for the element distribution state, and it has not been applicable to the process analysis of the continuous casting process. On the other hand, according to the element mapping method according to an embodiment of the present invention, the element distribution state in the slab cross section having a width of about 2 m necessary for the quality evaluation of the steel slab is approximately 4 minutes of the measurement time by the conventional EPMA. Can be carried out in about 5 hours corresponding to 1.

従って、本発明の一実施形態である元素マッピング方法によれば、1日に3〜4枚の鉄鋼スラブの評価が可能になり、連続鋳造工程の工程分析に適用することができる。また、このような連続鋳造機10によって製造される鉄鋼スラブの元素の分布状態は、冷却速度や搬送速度等の連続鋳造機10の操業条件に応じて変化する。従って、本発明の一実施形態である元素マッピング方法によって測定された鉄鋼スラブの元素の分布状態とその時の連続鋳造機10の操業条件とを関連付けしてデータベースに記憶しておき、データベースに記憶されている情報に基づいて所望の元素の分布状態が得られるように連続鋳造機10の操業条件を制御することによって、所望の元素の分布状態を有する鉄鋼製品を製造し、鉄鋼製品の製造歩留まりを向上させることができる。   Therefore, according to the element mapping method which is one embodiment of the present invention, it is possible to evaluate 3 to 4 steel slabs per day, and it can be applied to process analysis of a continuous casting process. Moreover, the element distribution state of the steel slab manufactured by such a continuous casting machine 10 changes according to the operating conditions of the continuous casting machine 10 such as the cooling speed and the conveyance speed. Therefore, the element distribution state of the steel slab measured by the element mapping method according to one embodiment of the present invention and the operating conditions of the continuous casting machine 10 at that time are associated and stored in the database, and stored in the database. By controlling the operating conditions of the continuous casting machine 10 so that a desired element distribution state can be obtained based on the information, the steel product having the desired element distribution state is produced, and the production yield of the steel product is reduced. Can be improved.

以上の説明から明らかなように、本発明の一実施形態である元素マッピング方法及び元素マッピング装置によれば、鉄鋼材料Sに電子線Eを照射し、電子線Eの照射に伴い発生するX線を検出器6で検出することによって、鉄鋼材料Sに含まれる主成分元素以外の低濃度元素の分布状態を測定し、Cr箔からなるフィルター7を透過したX線を検出器8で検出することによって主成分元素以外の高濃度元素の分布状態を測定するので、鉄鋼材料Sに含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を同時、且つ、高精度に測定することができる。   As is clear from the above description, according to the element mapping method and the element mapping apparatus which are one embodiment of the present invention, the steel material S is irradiated with the electron beam E, and X-rays generated along with the irradiation of the electron beam E are generated. Is detected by the detector 6, the distribution state of the low-concentration elements other than the main component elements contained in the steel material S is measured, and the X-ray transmitted through the filter 7 made of Cr foil is detected by the detector 8. Since the distribution state of high-concentration elements other than the main component elements is measured by means of the above, the distribution states of the high-concentration elements and low-concentration elements other than the main component elements contained in the steel material S are measured simultaneously and with high accuracy. Can do.

以上、本発明者によってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、本実施形態による本発明の開示の一部をなす記述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、本実施形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例および運用技術等は全て本発明の範疇に含まれる。   Although the embodiment to which the invention made by the present inventor is applied has been described above, the present invention is not limited by the description and the drawings that form a part of the disclosure of the present invention according to this embodiment. That is, other embodiments, examples, operational techniques, and the like made by those skilled in the art based on this embodiment are all included in the scope of the present invention.

本発明は、鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態の測定に適用することができる。   The present invention can be applied to the measurement of the distribution state of high-concentration elements and low-concentration elements other than the main component elements contained in the steel material.

1 元素マッピング装置
2 電子線源
3 波長分散型X線検出器(WDX)
4 エネルギー分散型X線検出器(EDX)
5 分光結晶
6 検出器
7 フィルター
8 検出器
E 電子線
S 鉄鋼材料
X1,X2 X線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Element mapping apparatus 2 Electron beam source 3 Wavelength dispersive X-ray detector (WDX)
4 Energy dispersive X-ray detector (EDX)
5 Spectroscopic crystal 6 Detector 7 Filter 8 Detector E Electron beam S Steel material X1, X2 X-ray

Claims (9)

鉄鋼材料に電子線を照射するステップと、
前記電子線の照射に伴い発生するX線を波長分散型X線検出器で検出することによって、前記鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の第1の元素の分布状態を測定する第1のステップと、
クロム箔からなるフィルターを透過した前記X線をエネルギー分散型X線検出器で検出することによって、前記鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の元素であって、前記第1の元素より濃度が高い第2の元素の分布状態を測定する第2のステップと、
を含み、前記第1のステップと前記第2のステップとを同時に実行することを特徴とする元素マッピング方法。
Irradiating the steel material with an electron beam;
A first step of measuring a distribution state of a first element other than a main component element contained in the steel material by detecting a X-ray generated with irradiation of the electron beam with a wavelength dispersive X-ray detector. When,
By detecting the X-ray transmitted through the filter made of chrome foil with an energy dispersive X-ray detector, it is an element other than the main component element contained in the steel material and has a higher concentration than the first element. A second step of measuring a distribution state of the second element;
And the first step and the second step are performed simultaneously.
前記エネルギー分散型X線検出器の計数率が50000cps以上であることを特徴とする請求項1に記載の元素マッピング方法。   2. The element mapping method according to claim 1, wherein a counting rate of the energy dispersive X-ray detector is 50000 cps or more. 前記エネルギー分散型X線検出器がシリコンドリフト検出器を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の元素マッピング方法。   The element mapping method according to claim 1, wherein the energy dispersive X-ray detector includes a silicon drift detector. 前記波長分散型X線検出器が比例計数管を備えることを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか1項に記載の元素マッピング方法。   The element mapping method according to claim 1, wherein the wavelength dispersion type X-ray detector includes a proportional counter. 鉄鋼材料に電子線を照射する電子線源と、
前記電子線の照射に伴い発生するX線を検出することによって、前記鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の第1の元素の分布状態を測定する波長分散型X線検出器と、
クロム箔からなるフィルターを透過した前記X線を検出することによって、前記鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の第2の元素の分布状態を測定するエネルギー分散型X線検出器と、
を備えることを特徴とする元素マッピング装置。
An electron beam source for irradiating the steel material with an electron beam;
A wavelength dispersive X-ray detector for measuring a distribution state of a first element other than a main component element contained in the steel material by detecting X-rays generated by irradiation with the electron beam;
An energy dispersive X-ray detector that measures a distribution state of a second element other than a main component element contained in the steel material by detecting the X-ray transmitted through a filter made of a chromium foil;
An element mapping apparatus comprising:
前記エネルギー分散型X線検出器の計数率が50000cps以上であることを特徴とする請求項5に記載の元素マッピング装置。   6. The element mapping apparatus according to claim 5, wherein a counting rate of the energy dispersive X-ray detector is 50000 cps or more. 前記エネルギー分散型X線検出器がシリコンドリフト検出器を備えることを特徴とする請求項5又は6に記載の元素マッピング装置。   The element mapping apparatus according to claim 5 or 6, wherein the energy dispersive X-ray detector includes a silicon drift detector. 前記波長分散型X線検出器が比例計数管を備えることを特徴とする請求項5〜7のうち、いずれか1項に記載の元素マッピング装置。   The element mapping apparatus according to any one of claims 5 to 7, wherein the wavelength dispersion type X-ray detector includes a proportional counter. 連続鋳造機により鉄鋼製品を製造するステップと、
請求項1〜4に記載の元素マッピング方法を使用して前記鉄鋼製品に含まれる主成分以外の元素の分布状態を測定するステップと、
前記元素の分布状態の測定結果に基づいて前記連続鋳造機の操業条件を制御するステップと、
を含むことを特徴とする鉄鋼製品の製造方法。
Producing steel products with a continuous casting machine;
Measuring a distribution state of elements other than the main component contained in the steel product using the element mapping method according to claim 1;
Controlling the operating conditions of the continuous casting machine based on the measurement result of the distribution state of the elements;
The manufacturing method of the steel product characterized by including.
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