JP2011222385A - Organic electroluminescent element manufacturing method and organic electroluminescent element - Google Patents

Organic electroluminescent element manufacturing method and organic electroluminescent element Download PDF

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Takashi Uda
孝史 宇田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic electroluminescent element manufacturing method, with which adhesion of foreign matter is reduced, an influence on an application property in an application process is prevented, and occurrence of dark sports is suppressed, and an organic electroluminescent element obtained using the organic electroluminescent element manufacturing method.SOLUTION: An organic electroluminescent element manufacturing method includes: forming a transparent conductive film on a flexible base material; and then forming at least one organic compound layer which includes a light-emitting layer, and a counter electrode layer on the transparent conductive film. In the manufacturing method, after the transparent conductive film is formed on the flexible base material and a surface of the transparent conductive film is cleaned using an organic solvent for cleaning, the at least one organic compound layer is formed on the transparent conductive film using an application solution containing an organic solvent for application having a vapor pressure that is equal to or higher than a vapor pressure of the organic solvent for cleaning.

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法とそれにより得られる有機エレクトロルミネッセンス素子に関するものである。   The present invention relates to a method for producing an organic electroluminescent element and an organic electroluminescent element obtained thereby.

有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子ともいう)は、有機物を用いて電気的な動作を行う素子であり、近年では、省エネルギー、低価格、柔軟性といった特徴を発揮できると期待され、従来のシリコンを主体とした無機半導体に代わる技術として注目されている。   An organic electroluminescence element (hereinafter also referred to as an organic EL element) is an element that performs an electrical operation using an organic substance. In recent years, an organic electroluminescence element is expected to exhibit features such as energy saving, low cost, and flexibility. It attracts attention as an alternative technology to inorganic semiconductors mainly composed of silicon.

有機EL素子は、有機物の非常に薄い膜に電極を介して電流を流すことで、発光したり、電流や電圧を制御したり、或いは光を照射することで発電したり、帯電したりする素子である。中でも、有機エレクトロルミネッセンスパネルは、ディスプレイ用途や照明用途などの分野、特には、薄型の面光源を得られることから、現在、照明用途への応用が着目されている。   An organic EL element is an element that emits light by controlling a current through an electrode through a very thin film of organic matter, controls the current or voltage, or generates electricity or charges by irradiating light. It is. Among them, the organic electroluminescence panel can be obtained in fields such as display use and illumination use, in particular, a thin surface light source.

このような有機EL素子の製造工程においては、数μm以下の微小なゴミ(異物)が混入しただけでも不具合を引き起こす原因となり、例えば、電極が形成された基材にゴミが付着することにより、その上に数nmオーダーの有機化合物の薄膜を積層しようとしても、均一な薄膜を形成することができず、リーク電流を発生させる原因となる。   In the manufacturing process of such an organic EL element, even if a minute dust (foreign matter) of several μm or less is mixed, it causes a problem. For example, dust adheres to the substrate on which the electrode is formed. Even if an organic compound thin film on the order of several nanometers is formed thereon, a uniform thin film cannot be formed, which causes a leakage current.

上記の様な異物付着という課題を解決のため、従来から多くの洗浄方法が提案されている。代表的な洗浄方法としては、例えば、洗浄液を満たした洗浄液槽内に基材を浸漬して、超音波振動子を振動させ、洗浄液を介して伝播する超音波エネルギーで洗浄する超音波洗浄方法(例えば、特許文献1参照。)、または、流水方式で行う洗浄方法(例えば、特許文献2参照。)や、高圧液体を噴射する高圧洗浄ノズルを用いて洗浄する洗浄方法(例えば、特許文献3参照。)等が開示されている。しかしながら、上記提案されている方法は、いずれも洗浄媒体として水を使用する為、可撓性基材では水分が抜けにくいという欠点を有している。   In order to solve the problem of foreign matter adhesion as described above, many cleaning methods have been proposed. As a typical cleaning method, for example, an ultrasonic cleaning method in which a substrate is immersed in a cleaning liquid tank filled with a cleaning liquid, an ultrasonic vibrator is vibrated, and cleaning is performed with ultrasonic energy propagating through the cleaning liquid ( For example, refer to Patent Document 1), or a cleaning method performed using a flowing water method (for example, refer to Patent Document 2), or a cleaning method for cleaning using a high-pressure cleaning nozzle that ejects high-pressure liquid (for example, refer to Patent Document 3). Etc.) are disclosed. However, all of the proposed methods have a drawback that moisture is difficult to escape with a flexible substrate because water is used as a cleaning medium.

有機EL素子では、水分や酸素等の影響により素子寿命が著しく低下するため、脱水処理が不十分であると有機EL素子へのダメージが大きくなるため、十分な脱水を施そうとした場合には、長期間にわたって加熱処理を行う必要があり、生産効率に乏しい製造方法となってしまう。   In the case of organic EL elements, the lifetime of the elements is significantly reduced due to the influence of moisture, oxygen, etc., and if the dehydration treatment is insufficient, damage to the organic EL elements will increase. Therefore, it is necessary to carry out heat treatment for a long period of time, resulting in a production method with poor production efficiency.

そこで、水分の除去方法として、基材を減圧下で有機溶媒の蒸気に晒して水分を置換して、脱水する方法が提案されている(例えば、特許文献4、5参照。)。通常、可撓性基材の乾燥には多くの時間を要し、また十分に脱水することができなかった。また、市販されている代替フロン系(例えばHFC(ハイドロフルオロカーボン)、PFC(パーフルオロカーボン)、ハイドロクロロフルオロカーボン(HCFC))は、高い揮発性で水分を除去できる方法ではあるが、地球温暖化防止の観点からは削減対象になっていることもあり、将来的には使用できなくなる可能性がある。従って、洗浄効果と水分揮発性を両立し、環境に優しい脱水方法の開発が求められている。   Therefore, as a method for removing moisture, a method has been proposed in which a substrate is exposed to an organic solvent vapor under reduced pressure to replace moisture and dehydrate (see, for example, Patent Documents 4 and 5). Usually, it took a long time to dry the flexible substrate, and it was not possible to sufficiently dehydrate it. In addition, commercially available alternative chlorofluorocarbons (for example, HFC (hydrofluorocarbon), PFC (perfluorocarbon), hydrochlorofluorocarbon (HCFC)) are highly volatile and can remove moisture, but prevent global warming. From the point of view, it may be subject to reduction and may become unusable in the future. Accordingly, there is a demand for the development of a dehydration method that is both environmentally friendly and has both a cleaning effect and moisture volatility.

特開2002−93765号公報JP 2002-93765 A 特開平10−309548号公報JP-A-10-309548 特開平9−171986号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-171986 特開2009−181770号公報JP 2009-181770 A 特公平7−89547号公報Japanese Patent Publication No. 7-89547

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、洗浄不良に起因する異物の付着が少なく、有機エレクトロルミネッセンス素子の塗布工程での塗布性に影響が少なく、水分や残留溶媒の影響によるダークスポットの発生が抑制された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法とそれにより得られる有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and its purpose is that there is little adhesion of foreign matter due to poor cleaning, less applicability in the coating process of the organic electroluminescence element, and there is no moisture or residual solvent. An object of the present invention is to provide a method for producing an organic electroluminescence device in which the generation of dark spots due to influence is suppressed and an organic electroluminescence device obtained thereby.

本発明の上記目的は、以下の構成により達成される。   The above object of the present invention is achieved by the following configurations.

1.可撓性基材上に透明導電膜を形成した後、該透明導電膜上に、発光層を含む少なくとも1層の有機化合物層と対向電極層とを形成して製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、可撓性基材上に該透明導電膜を形成し、該透明導電膜の表面を洗浄用有機溶媒で洗浄した後、該透明導電膜上に、該洗浄用有機溶媒の蒸気圧と同等以上の蒸気圧を有する塗布用有機溶媒を含有する塗布液を用いて該有機化合物層の少なくとも1層を形成して製造することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   1. Manufacture of an organic electroluminescence device manufactured by forming a transparent conductive film on a flexible substrate and then forming at least one organic compound layer including a light emitting layer and a counter electrode layer on the transparent conductive film In the method, the transparent conductive film is formed on a flexible substrate, the surface of the transparent conductive film is cleaned with a cleaning organic solvent, and then the vapor pressure of the cleaning organic solvent is set on the transparent conductive film. A method for producing an organic electroluminescence device, comprising producing at least one layer of the organic compound layer using a coating solution containing a coating organic solvent having a vapor pressure equal to or higher than that.

2.前記透明導電膜の表面を前記洗浄用有機溶媒で洗浄した後、50℃以上、150℃以下の温度で、該透明導電膜を加熱乾燥することを特徴とする前記1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   2. 2. The organic electroluminescence device according to 1 above, wherein the surface of the transparent conductive film is washed with the cleaning organic solvent, and then the transparent conductive film is heated and dried at a temperature of 50 ° C. or more and 150 ° C. or less. Manufacturing method.

3.前記洗浄用有機溶媒の蒸気圧が、2.5kPa以上、25kPa以下であることを特徴とする前記1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   3. 3. The method for producing an organic electroluminescent element according to 1 or 2, wherein the cleaning organic solvent has a vapor pressure of 2.5 kPa or more and 25 kPa or less.

4.前記塗布用有機溶媒の蒸気圧が、2.5kPa以上、25kPa以下であることを特徴とする前記1から3のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   4). 4. The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of 1 to 3, wherein a vapor pressure of the organic solvent for coating is 2.5 kPa or more and 25 kPa or less.

5.前記洗浄用有機溶媒が、アルコール類、脂肪酸エステル類、ケトン類、芳香族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、脂肪族炭化水素類、アミン類、ニトリル類及びエーテル類から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする前記1から4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   5. The cleaning organic solvent is at least one selected from alcohols, fatty acid esters, ketones, aromatic hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, aliphatic hydrocarbons, amines, nitriles and ethers. 5. The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of 1 to 4, wherein the organic electroluminescent element is provided.

6.前記塗布用有機溶媒が、アルコール類、脂肪酸エステル類、ケトン類、芳香族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、脂肪族炭化水素類、アミン類、ニトリル類及びエーテル類から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする前記1から5のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   6). The organic solvent for coating is at least one selected from alcohols, fatty acid esters, ketones, aromatic hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, aliphatic hydrocarbons, amines, nitriles and ethers. 6. The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of 1 to 5, wherein the organic electroluminescent element is provided.

7.前記有機化合物層の全ての層が、前記塗布用有機溶媒を含有する塗布液により形成することを特徴とする前記1から6のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   7). All the layers of the said organic compound layer are formed with the coating liquid containing the said organic solvent for application | coating, The manufacturing method of the organic electroluminescent element of any one of said 1-6 characterized by the above-mentioned.

8.前記有機化合物層の少なくとも1層が、前記塗布用有機溶媒を70質量%以上含有する塗布液により形成することを特徴とする前記1から7のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   8). 8. The organic electroluminescence device according to any one of 1 to 7 above, wherein at least one of the organic compound layers is formed of a coating solution containing 70% by mass or more of the coating organic solvent. Method.

9.前記1から8のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法により製造されたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。   9. 9. An organic electroluminescence device manufactured by the method for manufacturing an organic electroluminescence device according to any one of 1 to 8 above.

本発明により、洗浄不良に起因する異物の付着が少なく、有機エレクトロルミネッセンス素子の塗布工程での塗布性に影響が少なく、水分や残留溶媒の影響によるダークスポットの発生が抑制された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法とそれにより得られる有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができた。   According to the present invention, there is little adhesion of foreign matter due to poor cleaning, little influence on the coating property in the coating process of the organic electroluminescence element, and the generation of dark spots due to the influence of moisture and residual solvent is suppressed. And an organic electroluminescence device obtained thereby.

本発明の有機EL素子の全体の基本的構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the fundamental structure of the whole organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の製造順序の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the manufacture order of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の製造工程の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the manufacturing process of the organic EL element of this invention. 実施例の輝度ムラ耐性評価における測定点A〜Eを示す図である。It is a figure which shows the measurement points AE in the brightness nonuniformity tolerance evaluation of an Example.

以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail.

本発明者は、上記課題に鑑み鋭意検討を行った結果、可撓性基材上に透明導電膜を形成した後、該透明導電膜上に、発光層を含む少なくとも1層の有機化合物層と対向電極層とを形成して製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、可撓性基材上に該透明導電膜を形成し、該透明導電膜の表面を洗浄用有機溶媒で洗浄した後、該透明導電膜上に、該洗浄用有機溶媒の蒸気圧と同等以上の蒸気圧を有する塗布用有機溶媒を含有する塗布液を用いて該有機化合物層の少なくとも1層を形成して製造することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法により、洗浄不良に起因する異物の付着が少なく、有機エレクトロルミネッセンス素子の塗布工程での塗布性に影響が少なく、水分や残留溶媒の影響によるダークスポットの発生が抑制された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を実現することができることを見出し、本発明に至った次第である。   As a result of intensive studies in view of the above problems, the present inventor has formed a transparent conductive film on a flexible substrate, and then, on the transparent conductive film, at least one organic compound layer including a light emitting layer and In the method of manufacturing an organic electroluminescence element manufactured by forming a counter electrode layer, after forming the transparent conductive film on a flexible substrate and cleaning the surface of the transparent conductive film with an organic solvent for cleaning, On the transparent conductive film, at least one layer of the organic compound layer is formed by using a coating solution containing a coating organic solvent having a vapor pressure equal to or higher than the vapor pressure of the cleaning organic solvent. The organic electroluminescence device manufacturing method characterized by the above has less adhesion of foreign matters due to poor cleaning, has less influence on the coating property in the coating process of the organic electroluminescence device, and is less affected by the influence of moisture and residual solvent. Found that it is possible to generate the click spot to achieve a method for manufacturing an organic electroluminescent device is suppressed, it is completed the invention.

すなわち、本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法においては、洗浄に用いる洗浄用有機溶媒よりも蒸気圧として同じかまたは高い塗布用有機溶媒を少なくとも1層の有機化合物層形成用塗布液に用いることにより、洗浄時に基材に浸透する残留溶媒を減らすことを可能にし、更に塗布性に影響を与えることなく、ゴミ付着や水分などによるダークスポットの発生を大幅に低減することができた。ただし、本発明に係る洗浄用有機溶媒においては、水は洗浄用有機溶媒に該当しないものとする。   That is, in the method for producing an organic electroluminescent element of the present invention, an organic solvent for coating having the same or higher vapor pressure than the organic solvent for cleaning used for cleaning is used for the coating liquid for forming at least one organic compound layer. This makes it possible to reduce the residual solvent that permeates the substrate during cleaning, and further significantly reduces the occurrence of dark spots due to dust adhesion and moisture without affecting the coating properties. However, in the cleaning organic solvent according to the present invention, water does not correspond to the cleaning organic solvent.

なお、本発明でいう有機溶媒の蒸気圧(kPa)とは、摂氏20℃における文献値(例えば、新版 溶剤ポケットブック 有機合成化学協会編、オーム社等に記載)を意味し、一般に蒸気圧が高い程揮発しやすいことを表す。また、洗浄用あるいは塗布用の有機溶媒は、1種類であっても、複数種の混合溶媒であっても良く、洗浄液あるいは塗布液において、それぞれの全質量の30質量%以上の有機溶媒を含有していれば良いと定義する。好ましくは50質量%以上の有機溶媒を含有していることであり、更に好ましくは70質量%以上の有機溶媒を含有していることである。特に、本発明においては、有機化合物層形成用の塗布液に含有される塗布用有機溶媒の比率が、70質量%以上であることが好ましい。   In addition, the vapor pressure (kPa) of the organic solvent in the present invention means a literature value at 20 ° C. (for example, described in the new edition, Solvent Pocketbook, edited by Organic Synthetic Chemistry Association, Ohm Co., etc.). The higher the value, the easier it is to volatilize. Further, the organic solvent for cleaning or coating may be one kind or a mixed solvent of plural kinds, and the cleaning liquid or coating liquid contains 30% by mass or more of the organic solvent of each total mass. It is defined that it should be done. Preferably, it contains 50% by mass or more of organic solvent, and more preferably contains 70% by mass or more of organic solvent. In particular, in the present invention, the ratio of the coating organic solvent contained in the coating solution for forming the organic compound layer is preferably 70% by mass or more.

また、本発明においては、2種以上の有機溶媒が混合されている系での蒸気圧は、各々の体積比に蒸気圧を掛け合わせた値で表すものと定義する。   In the present invention, the vapor pressure in a system in which two or more organic solvents are mixed is defined as a value obtained by multiplying each volume ratio by the vapor pressure.

本発明に係る洗浄用有機溶媒または塗布用有機溶媒としては、特に限定はされないが、特に、アルコール類、脂肪酸エステル類、ケトン類、芳香族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、脂肪族炭化水素類、アミン類、ニトリル類及びエーテル類から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、詳しくは、例えば、メタノール(13.0kPa)、エタノール(6.0kPa)、イソプロピルアルコール(4.4kPa)、n−プロパノール(2.0kPa)、n−ブタノール(0.6kPa)、2−ブタノール(1.7kPa)、t−ブチルアルコール(0.6kPa)等のアルコール類、アセトン(24.7kPa)、メチルエチルケトン(9.6kPa)、シクロヘキサノン(0.5kPa)等のケトン類、酢酸エチル(10.0kPa)、酢酸ブチル(1.0kPa)、酢酸イソプロピル(5.8kPa)等の脂肪酸エステル類、ジクロロベンゼン(0.1kPa)等のハロゲン化炭化水素類、トルエン(2.9kPa)、キシレン(0.8kPa)、メシチレン(0.2kPa)、スチレン(0.6kPa)等の芳香族炭化水素類、シクロヘキサン(12.7kPa)、デカリン(1.3kPa)等の脂肪族炭化水素、ジメチルホルムアミド(3.5kPa)等のアミン類、プロピオニトリル(5.2kPa)等のニトリル類、ジエチルエーテル(5.9kPa)、イソプロピルエーテル(21.1kPa)、メチルプロピルエーテル(5.1kPa)、ジオキサン(3.6kPa)、テトラヒドロフラン(19.3kPa)等のエーテル等が挙げられる。その中でも、本発明に係る洗浄用有機溶媒に該当しない水(2.3kPa)よりも蒸気圧が高い有機溶媒が好ましい。なお、括弧内の数値は、蒸気圧(20℃)の値である。   The organic solvent for washing or the organic solvent for coating according to the present invention is not particularly limited, but in particular alcohols, fatty acid esters, ketones, aromatic hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, aliphatic hydrocarbons. It is preferably at least one selected from the group consisting of amines, amines, nitriles and ethers. Specifically, for example, methanol (13.0 kPa), ethanol (6.0 kPa), isopropyl alcohol (4.4 kPa), n Alcohols such as -propanol (2.0 kPa), n-butanol (0.6 kPa), 2-butanol (1.7 kPa), t-butyl alcohol (0.6 kPa), acetone (24.7 kPa), methyl ethyl ketone (9 .6 kPa), ketones such as cyclohexanone (0.5 kPa), ethyl acetate (10.0 kPa) a), fatty acid esters such as butyl acetate (1.0 kPa) and isopropyl acetate (5.8 kPa), halogenated hydrocarbons such as dichlorobenzene (0.1 kPa), toluene (2.9 kPa), xylene (0. 8 kPa), mesitylene (0.2 kPa), aromatic hydrocarbons such as styrene (0.6 kPa), cyclohexane (12.7 kPa), aliphatic hydrocarbons such as decalin (1.3 kPa), dimethylformamide (3.5 kPa) ), Amines such as propionitrile (5.2 kPa), diethyl ether (5.9 kPa), isopropyl ether (21.1 kPa), methyl propyl ether (5.1 kPa), dioxane (3.6 kPa) , Ethers such as tetrahydrofuran (19.3 kPa), and the like. Among these, an organic solvent having a higher vapor pressure than water (2.3 kPa) that does not correspond to the cleaning organic solvent according to the present invention is preferable. In addition, the numerical value in a parenthesis is a value of a vapor pressure (20 degreeC).

本発明の有機EL素子の製造方法においては、洗浄用有機溶媒の蒸気圧に対し、塗布用有機溶媒の蒸気圧が同等あるいは高いことを特徴とするが、塗布用有機溶媒と洗浄用有機溶媒との蒸気圧差(塗布用有機溶媒の蒸気圧−洗浄用有機溶媒の蒸気圧)としては、0kPa以上、35kPa以下であることが好ましく、より好ましくは0kPa以上、15kPa以下の範囲である。   The organic EL device manufacturing method of the present invention is characterized in that the vapor pressure of the coating organic solvent is equal to or higher than the vapor pressure of the cleaning organic solvent. The vapor pressure difference (vapor pressure of coating organic solvent-vapor pressure of cleaning organic solvent) is preferably 0 kPa or more and 35 kPa or less, more preferably 0 kPa or more and 15 kPa or less.

また、本発明の有機EL素子の製造方法においては、洗浄用有機溶媒あるいは塗布用有機溶媒の蒸気圧としては、それぞれ2.5kPa以上、25kPa以下であることが好ましい。   Moreover, in the manufacturing method of the organic EL element of this invention, it is preferable that the vapor pressure of the organic solvent for washing | cleaning or the organic solvent for application | coating is 2.5 kPa or more and 25 kPa or less, respectively.

本発明の有機EL素子の製造方法においては、可撓性基材上に透明導電膜を形成した後、透明導電膜の表面を、洗浄用有機溶媒を用いて洗浄することを特徴の1つとする。   In the method for producing an organic EL element of the present invention, after forming a transparent conductive film on a flexible substrate, the surface of the transparent conductive film is cleaned using a cleaning organic solvent. .

洗浄用有機溶媒を用いた透明導電膜表面の洗浄時期は、可撓性基材上に透明導電膜を形成した直後、連続してオンラインで洗浄を行っても、あるいはロールツーロールのように、一旦ロール状を巻き取った後、オフラインで改めて洗浄しても良い。   The cleaning time of the surface of the transparent conductive film using the organic solvent for cleaning is immediately after forming the transparent conductive film on the flexible base material, even if it is continuously cleaned online, or like roll-to-roll, Once the roll is wound, it may be washed off-line again.

透明導電膜を形成した可撓性基材の洗浄方法は、いかなる方法を用いて行っても良いが、本発明においては、本発明に係る洗浄用有機溶剤を含む超音波洗浄槽に可撓性基材を浸漬して洗浄する等の湿式洗浄を用い、更にプラズマ洗浄等の乾式洗浄法を組み合わせた方法が好ましい。洗浄時の本発明に係る洗浄用有機溶剤を含む洗浄液の温度としては、特に限定されないが、10〜40℃の範囲であることが好ましく、15〜30℃の範囲であることが更に好ましい。   Any method may be used for cleaning the flexible substrate on which the transparent conductive film is formed. However, in the present invention, the ultrasonic cleaning tank containing the cleaning organic solvent according to the present invention is flexible. A method using wet cleaning such as immersing and cleaning the substrate and further combining a dry cleaning method such as plasma cleaning is preferable. Although it does not specifically limit as temperature of the washing | cleaning liquid containing the organic solvent for washing | cleaning which concerns on this invention at the time of washing | cleaning, It is preferable that it is the range of 10-40 degreeC, and it is still more preferable that it is the range of 15-30 degreeC.

本発明の有機EL素子の製造方法においては、上記の様に透明導電膜の表面を、洗浄用有機溶媒を用いて洗浄した後、可撓性基材の有機溶媒の残留量を低減し、その後に形成する有機化合物層を含む有機EL素子の安定性を確保する観点から、有機化合物層を形成する前に、透明導電膜表面を洗浄用有機溶媒で洗浄した後、50℃以上、150℃以下の温度で、透明導電膜を加熱乾燥することが好ましい。   In the method for producing an organic EL device of the present invention, the surface of the transparent conductive film is washed with a washing organic solvent as described above, and then the residual amount of the organic solvent in the flexible substrate is reduced. From the viewpoint of securing the stability of the organic EL device including the organic compound layer to be formed, the surface of the transparent conductive film is washed with an organic solvent for washing before forming the organic compound layer, and then 50 ° C. or higher and 150 ° C. or lower. The transparent conductive film is preferably heat-dried at a temperature of

本発明に係る上記透明導電膜の加熱乾燥処理時の加熱温度としては、残存溶媒の除去が促進され得る温度であればよく、洗浄に用いた洗浄用有機溶媒の沸点以上であるのが一般的であるが、本発明においては、水分や有機溶媒が微量でも残存すると、有機EL素子の性能劣化を引き起こす可能性があるため、50℃以上であることが好ましい。一方、可撓性基材の劣化を避けることが必要であり、かつ本発明ではポリエステル系基材を好ましく用いるため、上限は150℃以下であることが好ましい。   The heating temperature during the heat drying treatment of the transparent conductive film according to the present invention may be any temperature that can accelerate the removal of the residual solvent, and is generally equal to or higher than the boiling point of the cleaning organic solvent used for cleaning. However, in the present invention, if a small amount of moisture or organic solvent remains, the performance of the organic EL element may be deteriorated. On the other hand, since it is necessary to avoid deterioration of the flexible base material and a polyester base material is preferably used in the present invention, the upper limit is preferably 150 ° C. or lower.

また、好ましくは50℃以上、150℃以下での加熱処理の時間は1〜120分であることが好ましく、5〜60分であることがより好ましく、さらに好ましくは10〜30分である。熱処理時間を1分以上とすることにより、十分に残存溶媒を除去することができ、120分以下とすることにより、加熱に伴う透明導電膜を形成した可撓性基材の劣化を抑制することができる。   Moreover, it is preferable that the time of the heat treatment at 50 ° C. or more and 150 ° C. or less is preferably 1 to 120 minutes, more preferably 5 to 60 minutes, and further preferably 10 to 30 minutes. By setting the heat treatment time to 1 minute or longer, the remaining solvent can be sufficiently removed, and by setting the heat treatment time to 120 minutes or less, the deterioration of the flexible base material on which the transparent conductive film is formed due to heating is suppressed. Can do.

加熱方法としては、ヒーター加熱法(例えば、赤外線ヒーター、ハロゲンヒーター、パネルヒーター等を、透明導電膜を形成した可撓性基材の上や下に設置し輻射熱で加熱)でもよく、ゾーン加熱法(例えば、熱風等を吹き込み、所定の温度に調温したゾーン内で加熱)でもよい。本発明では、均一性の観点からゾーン加熱法が好ましい。ゾーン加熱法の場合、例えば、恒温槽を用いることができる。恒温槽としては、設定した温度で透明導電膜を形成した可撓性基材の熱処理を行うことができる装置であればどのような形態でもよく、例えば、所定の温度に設定した温風で恒温槽内部全体を加温してもよいし、あるいは温風を、透明導電膜を形成した可撓性基材に吹きつけてもよいし、ヒーターを用いて恒温槽内部を所望の温度に設定してもよい。このようなヒーター等の加温装置の取付け位置は、透明導電膜を形成した可撓性基材が均一に加温されることができれば、恒温槽内部のどの位置に取り付けてもよい。恒温槽内部の温度分布については入り口から出口に向かって昇温してもよいし、降温してもよく、あるいは昇温と降温とを繰り返してもよい。また、加熱前に予熱部分を設けてもよく、加熱後、冷却部分を設けてもよい。   As a heating method, a heater heating method (for example, an infrared heater, a halogen heater, a panel heater or the like is placed on or under a flexible base material on which a transparent conductive film is formed and heated by radiant heat) may be used. (For example, hot air or the like is blown and heated in a zone adjusted to a predetermined temperature). In the present invention, the zone heating method is preferable from the viewpoint of uniformity. In the case of the zone heating method, for example, a thermostatic bath can be used. The thermostat may be of any form as long as it is a device capable of performing heat treatment of a flexible base material on which a transparent conductive film is formed at a set temperature. For example, the thermostat is set with a hot air set at a predetermined temperature. The entire inside of the bath may be heated, or warm air may be blown to the flexible base material on which the transparent conductive film is formed, or the inside of the thermostatic bath is set to a desired temperature using a heater. May be. The attachment position of such a heating device such as a heater may be attached to any position inside the thermostatic bath as long as the flexible base material on which the transparent conductive film is formed can be uniformly heated. Regarding the temperature distribution inside the thermostatic chamber, the temperature may be increased from the entrance toward the exit, the temperature may be decreased, or the temperature increase and decrease may be repeated. Moreover, a preheating part may be provided before heating, and a cooling part may be provided after heating.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法においては、洗浄用有機溶媒の蒸気圧と同等以上の蒸気圧を有する塗布用有機溶媒を含有する塗布液を用いて該有機化合物層の少なくとも1層を形成して製造することを特徴とする。   In the method for producing an organic electroluminescence device of the present invention, at least one layer of the organic compound layer is formed using a coating liquid containing a coating organic solvent having a vapor pressure equal to or higher than the vapor pressure of the cleaning organic solvent. It is characterized by manufacturing.

また、本発明に係る有機EL素子を構成する有機化合物層の全ての層が、本発明で規定する蒸気圧を備えた塗布用有機溶媒を含有する塗布液により形成することが好ましい。更には、有機化合物層の少なくとも1層が、本発明に係る塗布用有機溶媒を70質量%以上含有する塗布液により形成することが好ましい。   Moreover, it is preferable that all the layers of the organic compound layer constituting the organic EL device according to the present invention are formed with a coating liquid containing a coating organic solvent having a vapor pressure defined in the present invention. Furthermore, it is preferable that at least one of the organic compound layers is formed of a coating solution containing 70% by mass or more of the coating organic solvent according to the present invention.

本発明の有機EL素子の製造方法においては、全ての有機化合物層の形成に用いる塗布液が、洗浄用有機溶媒に対し同等、あるいは高い蒸気圧を有する塗布用有機溶媒を含有する必要はなく、少なくとも1層が本発明で規定する条件を満たせば、十分に可撓性基材内の残留溶媒を減らすことができる。すなわち、例えば、透明導電膜を形成した可撓性基材を、洗浄用有機溶媒を含む洗浄液で洗浄した後、第1層として設ける有機化合物層が本発明で規定する塗布用有機溶媒を含有する塗布液により形成する方法であっても、あるいは第2層目に形成する有機化合物層が本発明で規定する塗布用有機溶媒を含有する塗布液により形成する方法であってもよい。なお、本発明に係る有機EL素子を構成する各有機化合物層の詳細については、後述する。   In the method for producing an organic EL device of the present invention, it is not necessary that the coating liquid used for forming all the organic compound layers contains a coating organic solvent having a vapor pressure equivalent to or higher than the cleaning organic solvent, If at least one layer satisfies the conditions defined in the present invention, the residual solvent in the flexible substrate can be sufficiently reduced. That is, for example, after the flexible base material on which the transparent conductive film is formed is washed with a washing liquid containing a washing organic solvent, the organic compound layer provided as the first layer contains the coating organic solvent defined in the present invention. It may be a method of forming with a coating solution, or a method of forming an organic compound layer formed in the second layer with a coating solution containing an organic solvent for coating as defined in the present invention. In addition, the detail of each organic compound layer which comprises the organic EL element which concerns on this invention is mentioned later.

本発明に係る有機化合物層の塗布温度は、特に限定されないが、塗布性を考慮すると5〜45℃、好ましくは10〜35℃の範囲である。   The coating temperature of the organic compound layer according to the present invention is not particularly limited, but is in the range of 5 to 45 ° C., preferably 10 to 35 ° C. in view of coating properties.

本発明に係る有機化合物層の形成方法としては、蒸着法や、ウェットプロセス、例えば、スピンコート法、キャスト法、インクジェット法、印刷法等があるが、生産性に優れる点からキャスト法、インクジェット法、印刷法等による成膜が好ましい。また、形成する有機化合物層毎に異なる製膜法を適用しても良い。   Examples of the method for forming the organic compound layer according to the present invention include a vapor deposition method and a wet process such as a spin coating method, a casting method, an ink jet method, and a printing method. Film formation by a printing method or the like is preferable. Further, a different film forming method may be applied to each organic compound layer to be formed.

また、洗浄後と同様に、透明導電膜を形成した可撓性基材上に各有機化合物層を形成した後、加熱処理を施しても良い。加熱条件としては、可撓性基材の耐熱性及び形成した有機化合物層の劣化を抑制する観点から、50℃以上、150℃以下とすることが好ましい。   In addition, as after the cleaning, each organic compound layer may be formed on the flexible base material on which the transparent conductive film is formed, and then heat treatment may be performed. The heating conditions are preferably 50 ° C. or higher and 150 ° C. or lower from the viewpoint of suppressing the heat resistance of the flexible substrate and the deterioration of the formed organic compound layer.

《有機EL素子の構成層》
本発明に係る有機EL素子の基本的な構成の一例を示す。
<< Constituent layers of organic EL elements >>
An example of the fundamental structure of the organic EL element which concerns on this invention is shown.

(i)陽極/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極
(ii)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
(iii)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
図1は、本発明の有機EL素子の全体の基本的構成を示す模式図である。
(I) Anode / hole injection layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode (ii) Anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode (iii) Anode / hole injection layer / Hole Transport Layer / Light-Emitting Layer / Electron Transport Layer / Electron Injection Layer / Cathode FIG. 1 is a schematic diagram showing the overall basic configuration of the organic EL device of the present invention.

図1の(a)において、有機EL素子1は、基材2上に複数の有機層、電極から構成される有機エレクトロニクス構造体(発光素子ともいう)3を有し、その発光素子3を、接着剤4を介して封止材5で封止した構成を有する。   In FIG. 1A, an organic EL element 1 has an organic electronic structure (also referred to as a light emitting element) 3 composed of a plurality of organic layers and electrodes on a substrate 2, and the light emitting element 3 is It has the structure sealed with the sealing material 5 through the adhesive agent 4.

図1の(b)は、有機エレクトロニクス構造体(発光素子ともいう)3の構成の一例を示すものであり、基材上に設けた無機膜6上に、透明導電膜として陽極7(ITO電極)を形成し、その上に、順次、正孔注入層8、正孔輸送層9、発光層10、電子注入層11及び陰極12(アルミ電極12)を積層して、発光素子3が構成される。   FIG. 1B shows an example of the configuration of an organic electronics structure (also referred to as a light-emitting element) 3, and an anode 7 (ITO electrode) as a transparent conductive film on an inorganic film 6 provided on a substrate. And a hole injection layer 8, a hole transport layer 9, a light emitting layer 10, an electron injection layer 11 and a cathode 12 (aluminum electrode 12) are sequentially stacked thereon to form the light emitting element 3. The

次いで、本発明に係る有機EL素子を構成する各層の構成要素の詳細について説明する。   Next, details of components of each layer constituting the organic EL element according to the present invention will be described.

《注入層:正孔注入層、電子注入層》
注入層は必要に応じて設け、電子注入層と正孔注入層があり、上記の如く陽極と発光層との間または陽極と正孔輸送層との間、及び陰極と発光層との間または陰極と電子輸送層との間に存在させてもよい。
<< Injection layer: hole injection layer, electron injection layer >>
The injection layer is provided as necessary, and there are an electron injection layer and a hole injection layer, and as described above, between the anode and the light emitting layer, or between the anode and the hole transport layer, and between the cathode and the light emitting layer, or You may exist between a cathode and an electron carrying layer.

本発明でいう注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために、電極と有機層間に設けられる層で、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に詳細に記載されており、正孔注入層と電子注入層とがある。   The injection layer referred to in the present invention is a layer provided between the electrode and the organic layer in order to lower the driving voltage and improve the light emission luminance. “The organic EL element and the forefront of its industrialization (November 30, 1998, NT. 2) Chapter 2 “Electrode Materials” (pages 123 to 166) of the second edition of “S. Co., Ltd.”, and includes a hole injection layer and an electron injection layer.

正孔注入層は、特開平9−45479号公報、同9−260062号公報、同8−288069号公報等にもその詳細が記載されており、正孔注入材料としては、例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体等を含むポリマーやアニリン系共重合体、ポリアリールアルカン誘導体、または導電性ポリマーがあり、好ましくはポリチオフェン誘導体、ポリアニリン誘導体、ポリピロール誘導体、さらに好ましくはポリチオフェン誘導体である。   The details of the hole injection layer are described in JP-A Nos. 9-45479, 9-260062, and 8-288069. Examples of the hole injection layer include triazole derivatives, Polymers including oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, etc. There are aniline-based copolymers, polyarylalkane derivatives, or conductive polymers, preferably polythiophene derivatives, polyaniline derivatives, polypyrrole derivatives, and more preferably polythiophene derivatives.

電子注入層は、特開平6−325871号公報、同9−17574号公報、同10−74586号公報等にもその詳細が記載されており、具体的には、ストロンチウムやアルミニウム等に代表される金属バッファー層、フッ化リチウムに代表されるアルカリ金属化合物バッファー層、フッ化マグネシウムに代表されるアルカリ土類金属化合物バッファー層、酸化アルミニウムに代表される酸化物バッファー層等が挙げられる。上記バッファー層(注入層)はごく薄い膜であることが望ましく、素材にもよるがその膜厚は0.1nm〜5μm程度、好ましくは0.1〜100nm、さらに好ましくは0.5〜10nm、最も好ましくは0.5〜4nmである。   The details of the electron injection layer are described in JP-A-6-325871, JP-A-9-17574, JP-A-10-74586, and the like, and specifically, strontium, aluminum, and the like are representative. Examples thereof include a metal buffer layer, an alkali metal compound buffer layer typified by lithium fluoride, an alkaline earth metal compound buffer layer typified by magnesium fluoride, and an oxide buffer layer typified by aluminum oxide. The buffer layer (injection layer) is desirably a very thin film, and although depending on the material, the film thickness is about 0.1 nm to 5 μm, preferably 0.1 to 100 nm, more preferably 0.5 to 10 nm, Most preferably, it is 0.5-4 nm.

《正孔輸送層》
正孔輸送材料としては、上記説明した正孔注入層の構成材料を使用することができるが、加えて、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。
《Hole transport layer》
As the hole transport material, the constituent material of the hole injection layer described above can be used. In addition, porphyrin compounds, aromatic tertiary amine compounds, and styrylamine compounds, particularly aromatic tertiary amines. It is preferable to use a compound.

芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル;N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(TPD);2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン;ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン;ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン;N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−ジアミノビフェニル;N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル;4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル;N,N,N−トリ(p−トリル)アミン;4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン;4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン;3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン;N−フェニルカルバゾール、さらには、米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスターバースト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。   Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl; N, N'-diphenyl-N, N'- Bis (3-methylphenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (TPD); 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane; 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane; N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl; 1,1-bis (4-di-p-tolyl) Aminophenyl) -4-phenylcyclohexane; bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane; bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane; N, N'-diphenyl-N, N ' − (4-methoxyphenyl) -4,4'-diaminobiphenyl; N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether; 4,4'-bis (diphenylamino) quadriphenyl; N, N, N-tri (p-tolyl) amine; 4- (di-p-tolylamino) -4 '-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilbene; 4-N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene; 3-methoxy-4′-N, N-diphenylaminostilbenzene; N-phenylcarbazole, and two more described in US Pat. No. 5,061,569 Having a condensed aromatic ring of, for example, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD), JP-A-4-30 4,4 ', 4 "-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine in which three triphenylamine units described in Japanese Patent No. 688 are linked in a starburst type ( MTDATA) and the like.

さらに、これらの材料を高分子鎖に導入した、またはこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。また、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することができる。   Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. In addition, inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as the hole injection material and the hole transport material.

また、特開平4−297076号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.著文献(Applied Physics Letters 80(2002),p.139)、特表2003−519432号公報に記載されているような、いわゆるp型半導体的性質を有するとされる正孔輸送材料を用いることもできる。   JP-A-4-297076, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J. Pat. Appl. Phys. , 95, 5773 (2004), JP-A-11-251067, J. MoI. Huang et. al. It is also possible to use a hole transport material that has a so-called p-type semiconducting property as described in the literature (Applied Physics Letters 80 (2002), p. 139), JP 2003-519432 A. it can.

正孔輸送層の膜厚については、特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。この正孔輸送層は上記材料の1種または2種以上からなる一層構造であってもよい。   Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of a positive hole transport layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. The hole transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

《電子輸送層》
電子輸送層とは、電子を輸送する機能を有する材料から構成され、広い意味で電子注入層、正孔阻止層も電子輸送層に含まれる。電子輸送層は、単層または複数層設けることができる。
《Electron transport layer》
The electron transport layer is composed of a material having a function of transporting electrons, and in a broad sense, an electron injection layer and a hole blocking layer are also included in the electron transport layer. The electron transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers.

従来、単層の電子輸送層、及び複数層とする場合は発光層に対して陰極側に隣接する電子輸送層に用いられる電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していればよく、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることができ、例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体等が挙げられる。さらに上記オキサジアゾール誘導体において、オキサジアゾール環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送材料として用いることができる。さらに、これらの材料を高分子鎖に導入した、またはこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。   Conventionally, in the case of a single electron transport layer and a plurality of layers, an electron transport material (also serving as a hole blocking material) used for an electron transport layer adjacent to the light emitting layer on the cathode side is injected from the cathode. As long as it has a function of transferring electrons to the light-emitting layer, the material can be selected and used from among conventionally known compounds, such as nitro-substituted fluorene derivatives, dibenzofuran derivatives, Examples include diphenylquinone derivatives, thiopyrandioxide derivatives, carbodiimides, fluorenylidenemethane derivatives, anthraquinodimethane and anthrone derivatives, oxadiazole derivatives, and the like. Furthermore, in the above oxadiazole derivative, a thiadiazole derivative in which an oxygen atom of the oxadiazole ring is substituted with a sulfur atom, or a quinoxaline derivative having a quinoxaline ring known as an electron withdrawing group can also be used as an electron transport material. Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used.

また、8−キノリノール誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、ビス(8−キノリノール)亜鉛(Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、GaまたはPbに置き替わった金属錯体も、電子輸送材料として用いることができる。その他、メタルフリーもしくはメタルフタロシアニン、またはそれらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送材料として好ましく用いることができる。また、発光層の材料として例示したジスチリルピラジン誘導体も、電子輸送材料として用いることができるし、正孔注入層、正孔輸送層と同様にn型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送材料として用いることができる。 Also, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum (Alq) 3 , tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol) Aluminum, tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (Znq), etc., and the central metals of these metal complexes are In, Mg Metal complexes replaced with Cu, Ca, Sn, Ga, or Pb can also be used as electron transport materials. In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those having terminal ends substituted with an alkyl group or a sulfonic acid group can be preferably used as the electron transporting material. In addition, the distyrylpyrazine derivative exemplified as the material of the light emitting layer can also be used as an electron transport material, and an inorganic semiconductor such as n-type-Si, n-type-SiC, etc. as in the case of the hole injection layer and the hole transport layer. Can also be used as an electron transporting material.

電子輸送層の膜厚については、特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。電子輸送層は、上記材料の1種または2種以上からなる単層構造であってもよい。   Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of an electron carrying layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. The electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

また、不純物をドープしたn性の高い電子輸送層を用いることもできる。その例としては、特開平4−297076号公報、同10−270172号公報、特開2000−196140号公報、同2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。   Further, an electron transport layer having a high n property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-10-270172, JP-A-2000-196140, 2001-102175, J.A. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like.

《発光層》
発光層は、電極または電子輸送層、正孔輸送層から注入されてくる電子及び正孔が再結合して発光する層であり、発光する部分は発光層の層内であっても発光層と隣接層との界面であってもよい。
<Light emitting layer>
The light-emitting layer is a layer that emits light by recombination of electrons and holes injected from the electrode, the electron transport layer, or the hole transport layer, and the light-emitting portion is the light-emitting layer even in the light-emitting layer. It may be an interface with an adjacent layer.

発光層は、含まれる発光材料が前記要件を満たしていれば、その構成には特に制限はない。また、同一の発光スペクトルや発光極大波長を有する層が複数層あってもよい。各発光層間には非発光性の中間層を有していることが好ましい。   The light emitting layer is not particularly limited in its configuration as long as the light emitting material contained satisfies the above requirements. Moreover, there may be a plurality of layers having the same emission spectrum and emission maximum wavelength. It is preferable to have a non-light emitting intermediate layer between each light emitting layer.

本発明における発光層の膜厚の総和は1〜100nmの範囲にあることが好ましく、さらに好ましくは、より低い駆動電圧を得ることができることから50nm以下である。なお、本発明でいう発光層の膜厚の総和とは、発光層間に非発光性の中間層が存在する場合には、当該中間層も含む膜厚である。   The total thickness of the light emitting layers in the present invention is preferably in the range of 1 to 100 nm, and more preferably 50 nm or less because a lower driving voltage can be obtained. In addition, the sum total of the film thickness of the light emitting layer as used in this invention is a film thickness also including the said intermediate | middle layer, when a nonluminous intermediate | middle layer exists between light emitting layers.

個々の発光層の膜厚としては1〜50nmの範囲に調整することが好ましい。青、緑、赤の各発光層の膜厚の関係については、特に制限はない。   The film thickness of each light emitting layer is preferably adjusted in the range of 1 to 50 nm. There is no particular limitation on the relationship between the film thicknesses of the blue, green and red light emitting layers.

本発明においては、各発光層には複数の発光材料を混合してもよく、また燐光発光材料と蛍光発光材料を同一発光層中に混合して用いてもよい。   In the present invention, a plurality of light emitting materials may be mixed in each light emitting layer, and a phosphorescent light emitting material and a fluorescent light emitting material may be mixed and used in the same light emitting layer.

本発明においては、発光層の構成として、ホスト化合物、発光材料(発光ドーパント化合物ともいう)を含有し、発光材料より発光させることが好ましい。   In the present invention, the structure of the light-emitting layer preferably contains a host compound and a light-emitting material (also referred to as a light-emitting dopant compound) and emits light from the light-emitting material.

本発明に係る有機EL素子の発光層に含有されるホスト化合物としては、室温(25℃)における燐光発光の燐光量子収率が0.1未満の化合物が好ましい。さらに好ましくは燐光量子収率が0.01未満である。また、発光層に含有される化合物の中で、その層中での体積比が50%以上であることが好ましい。   As the host compound contained in the light emitting layer of the organic EL device according to the present invention, a compound having a phosphorescence quantum yield of phosphorescence emission at room temperature (25 ° C.) of less than 0.1 is preferable. More preferably, the phosphorescence quantum yield is less than 0.01. Moreover, it is preferable that the volume ratio in the layer is 50% or more among the compounds contained in a light emitting layer.

ホスト化合物としては、公知のホスト化合物を単独で用いてもよく、または複数種併用して用いてもよい。ホスト化合物を複数種用いることで、電荷の移動を調整することが可能であり、有機EL素子を高効率化することができる。また、後述する発光材料を複数種用いることで異なる発光を混ぜることが可能となり、これにより任意の発光色を得ることができる。   As the host compound, known host compounds may be used alone or in combination of two or more. By using a plurality of types of host compounds, it is possible to adjust the movement of charges, and the organic EL element can be made highly efficient. Moreover, it becomes possible to mix different light emission by using multiple types of luminescent material mentioned later, and can thereby obtain arbitrary luminescent colors.

本発明に用いられるホスト化合物としては、従来公知の低分子化合物でも、繰り返し単位をもつ高分子化合物でもよく、ビニル基やエポキシ基のような重合性基を有する低分子化合物(蒸着重合性発光ホスト)でもよい。   The host compound used in the present invention may be a conventionally known low molecular compound or a high molecular compound having a repeating unit, and a low molecular compound having a polymerizable group such as a vinyl group or an epoxy group (evaporation polymerizable light emitting host). )

公知のホスト化合物としては、正孔輸送能、電子輸送能を有しつつ、かつ発光の長波長化を防ぎ、なおかつ高Tg(ガラス転移温度)である化合物が好ましい。ここで、ガラス転移点(Tg)とは、DSC(Differential Scanning Colorimetry:示差走査熱量法)を用いて、JIS−K−7121に準拠した方法により求められる値である。   As the known host compound, a compound having a hole transporting ability and an electron transporting ability, preventing an increase in the wavelength of light emission, and having a high Tg (glass transition temperature) is preferable. Here, the glass transition point (Tg) is a value obtained by a method based on JIS-K-7121 using DSC (Differential Scanning Colorimetry).

公知のホスト化合物の具体例としては、以下の特許文献に記載されている化合物が挙げられる。例えば、特開2001−257076号公報、同2002−308855号公報、同2001−313179号公報、同2002−319491号公報、同2001−357977号公報、同2002−334786号公報、同2002−8860号公報、同2002−334787号公報、同2002−15871号公報、同2002−334788号公報、同2002−43056号公報、同2002−334789号公報、同2002−75645号公報、同2002−338579号公報、同2002−105445号公報、同2002−343568号公報、同2002−141173号公報、同2002−352957号公報、同2002−203683号公報、同2002−363227号公報、同2002−231453号公報、同2003−3165号公報、同2002−234888号公報、同2003−27048号公報、同2002−255934号公報、同2002−260861号公報、同2002−280183号公報、同2002−299060号公報、同2002−302516号公報、同2002−305083号公報、同2002−305084号公報、同2002−308837号公報等が挙げられる。   Specific examples of known host compounds include compounds described in the following patent documents. For example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2001-257076, 2002-308855, 2001-313179, 2002-319491, 2001-357777, 2002-334786, 2002-8860 Gazette, 2002-334787 gazette, 2002-15871 gazette, 2002-334788 gazette, 2002-43056 gazette, 2002-334789 gazette, 2002-75645 gazette, 2002-338579 gazette. No. 2002-105445, No. 2002-343568, No. 2002-141173, No. 2002-352957, No. 2002-203683, No. 2002-363227, No. 2002-231453. No. 2003-3165, No. 2002-234888, No. 2003-27048, No. 2002-255934, No. 2002-286061, No. 2002-280183, No. 2002-299060. 2002-302516, 2002-305083, 2002-305084, 2002-308837, and the like.

次に、発光材料について説明する。   Next, the light emitting material will be described.

本発明に適用可能な発光材料としては、蛍光性化合物、燐光発光材料(燐光性化合物、燐光発光性化合物等ともいう)を用いることができるが、燐光発光材料であることが好ましい。   As the light-emitting material applicable to the present invention, a fluorescent compound or a phosphorescent light-emitting material (also referred to as a phosphorescent compound or a phosphorescent compound) can be used, and a phosphorescent light-emitting material is preferable.

本発明において、燐光発光材料とは励起三重項からの発光が観測される化合物であり、具体的には室温(25℃)にて燐光発光する化合物であり、燐光量子収率が25℃において0.01以上の化合物であると定義されるが、好ましい燐光量子収率は0.1以上である。   In the present invention, a phosphorescent material is a compound in which light emission from an excited triplet is observed. Specifically, it is a compound that emits phosphorescence at room temperature (25 ° C.), and the phosphorescence quantum yield is 0 at 25 ° C. A preferred phosphorescence quantum yield is 0.1 or more, although it is defined as 0.01 or more compounds.

上記燐光量子収率は、第4版実験化学講座7の分光IIの398頁(1992年版、丸善)に記載の方法により測定できる。溶液中での燐光量子収率は種々の溶媒を用いて測定できるが、本発明において燐光発光材料を用いる場合、任意の溶媒のいずれかにおいて上記燐光量子収率(0.01以上)が達成されればよい。   The phosphorescence quantum yield can be measured by the method described in Spectroscopic II, page 398 (1992 edition, Maruzen) of the Fourth Edition Experimental Chemistry Course 7. The phosphorescence quantum yield in a solution can be measured using various solvents. However, when a phosphorescent material is used in the present invention, the phosphorescence quantum yield (0.01 or more) is achieved in any solvent. Just do it.

燐光発光材料の発光の原理としては2種挙げられ、一つはキャリアが輸送されるホスト化合物上でキャリアの再結合が起こってホスト化合物の励起状態が生成し、このエネルギーを燐光発光材料に移動させることで燐光発光材料からの発光を得るというエネルギー移動型、もう一つは燐光発光材料がキャリアトラップとなり、燐光発光材料上でキャリアの再結合が起こり燐光発光材料からの発光が得られるというキャリアトラップ型であるが、いずれの場合においても、燐光発光材料の励起状態のエネルギーはホスト化合物の励起状態のエネルギーよりも低いことが条件である。   There are two types of light emission principles of phosphorescent materials. One is the recombination of carriers on the host compound to which carriers are transported, generating an excited state of the host compound, and this energy is transferred to the phosphorescent material. Energy transfer type to obtain light emission from the phosphorescent light emitting material, and another one is that the phosphorescent light emitting material becomes a carrier trap, and recombination of carriers occurs on the phosphorescent light emitting material, and light emission from the phosphorescent light emitting material is obtained. Although it is a trap type, in any case, the excited state energy of the phosphorescent material is required to be lower than the excited state energy of the host compound.

燐光発光材料は、有機EL素子の発光層に使用される公知のものの中から適宜選択して用いることができるが、好ましくは元素の周期表で8〜10族の金属を含有する錯体系化合物であり、さらに好ましくはイリジウム化合物、オスミウム化合物、または白金化合物(白金錯体系化合物)、希土類錯体であり、中でも最も好ましいのはイリジウム化合物である。   The phosphorescent light-emitting material can be appropriately selected from known materials used for the light-emitting layer of the organic EL element, and is preferably a complex compound containing a group 8-10 metal in the periodic table of elements. More preferably, an iridium compound, an osmium compound, a platinum compound (platinum complex compound), or a rare earth complex, and most preferably an iridium compound.

以下に、リン光ドーパントとして用いられる化合物の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されない。これらの化合物は、例えば、Inorg.Chem.,40巻、1704〜1711に記載の方法等により合成できる。   Although the specific example of the compound used as a phosphorescence dopant below is shown, this invention is not limited to these. These compounds are described, for example, in Inorg. Chem. 40, 1704-1711, etc.

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本発明に係る有機EL素子には、蛍光発光体を用いることもできる。蛍光発光体(蛍光性ドーパント)の代表例としては、クマリン系色素、ピラン系色素、シアニン系色素、クロコニウム系色素、スクアリウム系色素、オキソベンツアントラセン系色素、フルオレセイン系色素、ローダミン系色素、ピリリウム系色素、ペリレン系色素、スチルベン系色素、ポリチオフェン系色素、または希土類錯体系蛍光体等が挙げられる。   A fluorescent substance can also be used for the organic EL element according to the present invention. Typical examples of fluorescent emitters (fluorescent dopants) include coumarin dyes, pyran dyes, cyanine dyes, croconium dyes, squalium dyes, oxobenzanthracene dyes, fluorescein dyes, rhodamine dyes, and pyrylium dyes. Examples thereof include dyes, perylene dyes, stilbene dyes, polythiophene dyes, and rare earth complex phosphors.

また、従来公知のドーパントも本発明に用いることができ、例えば、国際公開第00/70655号パンフレット、特開2002−280178号公報、同2001−181616号公報、同2002−280179号公報、同2001−181617号公報、同2002−280180号公報、同2001−247859号公報、同2002−299060号公報、同2001−313178号公報、同2002−302671号公報、同2001−345183号公報、同2002−324679号公報、国際公開第02/15645号パンフレット、特開2002−332291号公報、同2002−50484号公報、同2002−332292号公報、同2002−83684号公報、特表2002−540572号公報、特開2002−117978号公報、同2002−338588号公報、同2002−170684号公報、同2002−352960号公報、国際公開第01/93642号パンフレット、特開2002−50483号公報、同2002−100476号公報、同2002−173674号公報、同2002−359082号公報、同2002−175884号公報、同2002−363552号公報、同2002−184582号公報、同2003−7469号公報、特表2002−525808号公報、特開2003−7471号公報、特表2002−525833号公報、特開2003−31366号公報、同2002−226495号公報、同2002−234894号公報、同2002−235076号公報、同2002−241751号公報、同2001−319779号公報、同2001−319780号公報、同2002−62824号公報、同2002−100474号公報、同2002−203679号公報、同2002−343572号公報、同2002−203678号公報等が挙げられる。   Conventionally known dopants can also be used in the present invention. For example, International Publication No. 00/70655 pamphlet, JP-A Nos. 2002-280178, 2001-181616, 2002-280179, 2001 181617, 2002-280180, 2001-247859, 2002-299060, 2001-313178, 2002-302671, 2001-345183, 2002. No. 324679, International Publication No. 02/15645, JP 2002-332291 A, 2002-50484, 2002-332292, 2002-83684, JP 2002-540572, JP 2 No. 02-117978, No. 2002-338588, No. 2002-170684, No. 2002-352960, Pamphlet of International Publication No. 01/93642, JP 2002-50483, No. 2002-1000047. No. 2002-173684, No. 2002-359082, No. 2002-17584, No. 2002-363552, No. 2002-184582, No. 2003-7469, No. 2002-525808. JP-A 2003-7471, JP-T 2002-525833, JP-A 2003-31366, JP-A 2002-226495, JP-A 2002-234894, JP-A 2002-2335076, JP-A 2002-24175 Gazette, 2001-319779, 2001-319780, 2002-62824, 2002-1000047, 2002-203679, 2002-343572, 2002-203678. A gazette etc. are mentioned.

本発明においては、少なくとも一つの発光層に、2種以上の発光材料を含有していてもよく、発光層における発光材料の濃度比が発光層の厚さ方向で変化していてもよい。   In the present invention, at least one light emitting layer may contain two or more kinds of light emitting materials, and the concentration ratio of the light emitting materials in the light emitting layer may vary in the thickness direction of the light emitting layer.

《中間層》
本発明において、各発光層間に非発光性の中間層を設けることもできる。
《Middle layer》
In the present invention, a non-light emitting intermediate layer may be provided between the light emitting layers.

非発光性の中間層とは、複数の発光層を有する場合、その発光層間に設けられる層である。   The non-light emitting intermediate layer is a layer provided between the light emitting layers in the case of having a plurality of light emitting layers.

非発光性の中間層の膜厚としては1〜20nmの範囲にあるのが好ましく、さらには3〜10nmの範囲にあることが隣接発光層間のエネルギー移動等相互作用を抑制し、かつ素子の電流電圧特性に大きな負荷を与えないということから好ましい。   The film thickness of the non-light emitting intermediate layer is preferably in the range of 1 to 20 nm, and further in the range of 3 to 10 nm suppresses interaction such as energy transfer between adjacent light emitting layers, and the current of the device This is preferable because a large load is not applied to the voltage characteristics.

この非発光性の中間層に用いられる材料としては、発光層のホスト化合物と同一でも異なっていてもよいが、隣接する2つの発光層の少なくとも一方の発光層のホスト材料と同一であることが好ましい。   The material used for the non-light emitting intermediate layer may be the same as or different from the host compound of the light emitting layer, but may be the same as the host material of at least one of the adjacent light emitting layers. preferable.

非発光性の中間層は非発光層、各発光層と共通の化合物(例えば、ホスト化合物等)を含有していてもよく、各々共通ホスト材料(ここで、共通ホスト材料が用いられるとは、燐光発光エネルギー、ガラス転移点等の物理化学的特性が同一である場合やホスト化合物の分子構造が同一である場合等を示す。)を含有することにより、発光層−非発光層間の層間の注入障壁が低減され、電圧(電流)を変化させても正孔と電子の注入バランスが保ちやすいという効果を得ることができる。さらに、非ドープ発光層に各発光層に含まれるホスト化合物と同一の物理的特性または同一の分子構造を有するホスト材料を用いることにより、従来の有機EL素子作製の大きな問題点である素子作製の煩雑さをも併せて解消することができる。   The non-light-emitting intermediate layer may contain a non-light-emitting layer, a compound common to each light-emitting layer (for example, a host compound), and each common host material (where a common host material is used) In the case where the physicochemical characteristics such as phosphorescence emission energy and glass transition point are the same, or the molecular structure of the host compound is the same, etc.) The barrier is reduced, and the effect of easily maintaining the injection balance of holes and electrons even when the voltage (current) is changed can be obtained. Furthermore, by using a host material having the same physical characteristics or the same molecular structure as that of the host compound contained in each light emitting layer in the undoped light emitting layer, device fabrication, which is a major problem in conventional organic EL device fabrication, is achieved. Complexity can also be eliminated.

本発明に係る有機EL素子において、ホスト材料はキャリアの輸送を担うため、キャリア輸送能を有する材料が好ましい。キャリア輸送能を表す物性としてキャリア移動度が用いられるが、有機材料のキャリア移動度は一般的に電界強度に依存性が見られる。電界強度依存性の高い材料は正孔と電子注入・輸送バランスを崩しやすいため、中間層材料、ホスト材料は移動度の電界強度依存性の少ない材料を用いることが好ましい。   In the organic EL device according to the present invention, since the host material is responsible for carrier transport, a material having carrier transport capability is preferable. Carrier mobility is used as a physical property representing carrier transport ability, but the carrier mobility of an organic material generally depends on the electric field strength. Since a material having a high electric field strength dependency easily breaks the balance between injection and transport of holes and electrons, it is preferable to use a material having a low electric field strength dependency of mobility for the intermediate layer material and the host material.

また、一方では正孔や電子の注入バランスを最適に調整するためには、非発光性の中間層は後述する阻止層、即ち正孔阻止層、電子阻止層として機能することも好ましい態様として挙げられる。   On the other hand, in order to optimally adjust the injection balance of holes and electrons, it is also preferable that the non-light emitting intermediate layer functions as a blocking layer described later, that is, a hole blocking layer and an electron blocking layer. It is done.

以下、本発明に係る有機EL素子の正孔輸送材料、発光ホスト、電子輸送材料等に用いられる化合物の好ましい具体例を挙げるが、本発明はこれらに限定されない。   Hereinafter, although the preferable specific example of the compound used for the positive hole transport material of the organic EL element which concerns on this invention, a light emission host, an electron transport material, etc. is given, this invention is not limited to these.

(正孔輸送材料)   (Hole transport material)

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なお、上記各例示化合物に記載のnは重合度を表し、重量平均分子量が50,000〜200,000の範囲となる整数を表す。重量平均分子量がこの範囲未満では、溶媒への溶解性の高さから製膜時に他の層と混合する懸念がある。また製膜できたとしても、低い分子量では発光効率が上がらない。重量平均分子量がこの範囲より大きい場合は、合成、精製の難しさにより問題が生じる。分子量分布が大きくなると共に、不純物の残存量も増加するため、有機EL素子の発光効率、電圧、寿命は悪化する。これらの高分子化合物は、Makromol.Chem.,193,909頁(1992)等に記載の公知の方法で合成することができる。   In addition, n described in each said exemplary compound represents a polymerization degree, and represents the integer from which the weight average molecular weight becomes the range of 50,000-200,000. If the weight average molecular weight is less than this range, there is a concern of mixing with other layers during film formation due to the high solubility in the solvent. Even if a film can be formed, the light emission efficiency does not increase at a low molecular weight. When the weight average molecular weight is larger than this range, problems arise due to difficulty in synthesis and purification. Since the molecular weight distribution increases and the residual amount of impurities also increases, the light emission efficiency, voltage, and life of the organic EL element deteriorate. These polymer compounds are disclosed in Makromol. Chem. , Pages 193, 909 (1992) and the like.

(発光ホスト)   (Light emitting host)

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(電子輸送材料)   (Electron transport material)

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これらの化合物は、特開2007−288035号公報、Chem.Mater.,2008,20,5951、実験化学講座第5版(日本化学会編)等に記載の公知の方法を参照して合成することができる。   These compounds are disclosed in JP 2007-288035 A, Chem. Mater. , 2008, 20, 5951, Experimental Chemistry Course 5th Edition (Edited by the Chemical Society of Japan), etc.

《陽極》
有機EL素子における陽極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが好ましく用いられる。このような電極物質の具体例としては、Au等の金属、CuI、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO、ZnO等の導電性透明材料が挙げられる。また、IDIXO(In−ZnO)等非晶質で透明導電膜を作製可能な材料を用いてもよい。陽極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させ、フォトリソグラフィー法で所望の形状のパターンを形成してもよく、あるいはパターン精度をあまり必要としない場合は(100μm以上程度)、上記電極物質の蒸着やスパッタリング時に所望の形状のマスクを介してパターンを形成してもよい。あるいは、有機導電性化合物のように塗布可能な物質を用いる場合には、印刷方式、コーティング方式等湿式成膜法を用いることもできる。この陽極より発光を取り出す場合には、透過率を10%より大きくすることが望ましく、また陽極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましい。さらに膜厚は材料にもよるが、通常は、10〜1000nmの範囲であり、好ましくは10〜200nmの範囲で選ばれる。
"anode"
As the anode in the organic EL element, an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a high work function (4 eV or more) is preferably used. Specific examples of such electrode materials include metals such as Au, and conductive transparent materials such as CuI, indium tin oxide (ITO), SnO 2 , and ZnO. Alternatively, an amorphous material such as IDIXO (In 2 O 3 —ZnO) capable of forming a transparent conductive film may be used. For the anode, these electrode materials may be formed into a thin film by a method such as vapor deposition or sputtering, and a pattern having a desired shape may be formed by a photolithography method, or when pattern accuracy is not so high (about 100 μm or more) A pattern may be formed through a mask having a desired shape at the time of vapor deposition or sputtering of the electrode material. Or when using the substance which can be apply | coated like an organic electroconductivity compound, wet film-forming methods, such as a printing system and a coating system, can also be used. When light emission is extracted from the anode, it is desirable that the transmittance be greater than 10%, and the sheet resistance as the anode is preferably several hundred Ω / □ or less. Further, although the film thickness depends on the material, it is usually in the range of 10 to 1000 nm, preferably in the range of 10 to 200 nm.

《陰極》
一方、陰極としては仕事関数の小さい(4eV以下)金属(電子注入性金属と称する)、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。このような電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。これらの中で、電子注入性及び酸化等に対する耐久性の点から、電子注入性金属とこれより仕事関数の値が大きく安定な金属である第二金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al)混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム等が好適である。陰極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することができる。また、陰極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましく、膜厚は通常10nm〜5μm、好ましくは50〜200nmの範囲で選ばれる。なお、発光した光を透過させるため、有機EL素子の陽極または陰極のいずれか一方が透明または半透明であれば発光輝度が向上し好都合である。
"cathode"
On the other hand, as the cathode, a material having a low work function (4 eV or less) metal (referred to as an electron injecting metal), an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof as an electrode material is used. Specific examples of such electrode materials include sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) Mixtures, indium, lithium / aluminum mixtures, rare earth metals and the like. Among these, from the point of durability against electron injection and oxidation, etc., a mixture of an electron injecting metal and a second metal which is a stable metal having a larger work function than this, for example, a magnesium / silver mixture, Magnesium / aluminum mixtures, magnesium / indium mixtures, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixtures, lithium / aluminum mixtures, aluminum and the like are preferred. The cathode can be produced by forming a thin film of these electrode materials by a method such as vapor deposition or sputtering. The sheet resistance as the cathode is preferably several hundred Ω / □ or less, and the film thickness is usually selected in the range of 10 nm to 5 μm, preferably 50 to 200 nm. In order to transmit the emitted light, if either one of the anode or the cathode of the organic EL element is transparent or translucent, the light emission luminance is improved, which is convenient.

また、陰極に上記金属を1〜20nmの膜厚で作製した後に、陽極の説明で挙げた導電性透明材料をその上に作製することで、透明または半透明の陰極を作製することができ、これを応用することで陽極と陰極の両方が透過性を有する素子を作製することができる。   Moreover, after producing the said metal with a film thickness of 1-20 nm on a cathode, a transparent or semi-transparent cathode can be produced by producing the electroconductive transparent material quoted by description of the anode on it, By applying this, an element in which both the anode and the cathode are transmissive can be manufactured.

《支持基材》
本発明に係る有機EL素子に用いることのできる支持基材(以下、基体、基材、基材、支持体等とも言う)としては、ガラス、プラスチック等の種類には特に限定はなく、また透明であっても不透明であってもよい。支持基材側から光を取り出す場合には、支持基材は透明であることが好ましい。好ましく用いられる透明な支持基材としては、ガラス、石英、透明樹脂フィルムを挙げることができる。リジットな基材よりもフレキシブルな基材で、膜強化機能層の効果が大きく現れるため、特に好ましい支持基材は、有機EL素子にフレキシブル性を与えることが可能な樹脂フィルムである。
<Supporting substrate>
As a support substrate (hereinafter also referred to as a substrate, substrate, substrate, support, etc.) that can be used in the organic EL device according to the present invention, there is no particular limitation on the type of glass, plastic, etc., and transparent Or opaque. When taking out light from the support base material side, it is preferable that the support base material is transparent. Examples of the transparent support substrate preferably used include glass, quartz, and a transparent resin film. Since the effect of the film reinforcing functional layer appears greatly with a flexible base material rather than a rigid base material, a particularly preferable support base material is a resin film that can give flexibility to the organic EL element.

可撓性基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロファン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)、セルロースアセテートフタレート(TAC)、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類またはそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン類、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリルあるいはポリアリレート類、アートン(商品名JSR社製)あるいはアペル(商品名三井化学社製)といったシクロオレフィン系樹脂等を挙げられる。   Examples of the flexible substrate include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, and cellulose acetate propionate ( CAP), cellulose esters such as cellulose acetate phthalate (TAC), cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, polymethylpentene, polyether Ketone, polyimide, polyethersulfone (PES), polyphenylene sulfide, polysulfones, Cycloolefin resins such as polyetherimide, polyetherketoneimide, polyamide, fluororesin, nylon, polymethylmethacrylate, acrylic or polyarylate, Arton (trade name, manufactured by JSR) or Appel (trade name, manufactured by Mitsui Chemicals) Can be mentioned.

可撓性基材の表面には、バリア膜として無機物、有機物の被膜またはその両者のハイブリッド被膜が形成されていてもよく、JIS K 7129−1992に準拠した方法で測定された、水蒸気透過度(25±0.5℃、相対湿度(90±2)%RH)が0.01g/(m・24h)以下のバリア性フィルムであることが好ましく、さらには、JIS K 7126−1987に準拠した方法で測定した酸素透過度が、10−3cm/(m・24h・atm)以下、水蒸気透過度が10−3g/(m・24h)以下の高バリア性フィルムであることが好ましく、前記の水蒸気透過度が10−5g/(m・24h)以下であることがさらに好ましい。 On the surface of the flexible substrate, an inorganic film, an organic film, or a hybrid film of both may be formed as a barrier film, and the water vapor transmission rate (measured by a method according to JIS K 7129-1992) 25 ± 0.5 ° C., relative humidity (90 ± 2)% RH) is preferably 0.01 g / (m 2 · 24 h) or less of a barrier film, and further conforms to JIS K 7126-1987. The oxygen permeability measured by the method is 10 −3 cm 3 / (m 2 · 24 h · atm) or less and the water vapor permeability is 10 −3 g / (m 2 · 24 h) or less. The water vapor permeability is preferably 10 −5 g / (m 2 · 24 h) or less.

バリア膜を形成する材料としては、水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素等を用いることができる。さらにバリア膜の脆弱性を改良するために、これら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることがより好ましい。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。   As a material for forming the barrier film, any material may be used as long as it has a function of suppressing entry of elements that cause deterioration of elements such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like can be used. Furthermore, in order to improve the brittleness of the barrier film, it is more preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination | stacking order of an inorganic layer and an organic layer, It is preferable to laminate | stack both alternately several times.

バリア膜の形成方法については特に限定はなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることができるが、特開2004−68143号公報に記載されているような大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。   The method for forming the barrier film is not particularly limited. For example, the vacuum deposition method, sputtering method, reactive sputtering method, molecular beam epitaxy method, cluster ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma weight A combination method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, and the like can be used, but an atmospheric pressure plasma polymerization method as described in JP-A-2004-68143 is particularly preferable.

不透明な支持基材としては、例えば、アルミ、ステンレス等の金属板、フィルムや不透明樹脂基材、セラミック製の基材等が挙げられる。   Examples of the opaque support substrate include metal plates such as aluminum and stainless steel, films, opaque resin substrates, ceramic substrates, and the like.

本発明に係る有機EL素子の発光の室温における外部取り出し効率は、1%以上であることが好ましく、より好ましくは5%以上である。ここに、外部取り出し量子効率(%)=有機EL素子外部に発光した光子数/有機EL素子に流した電子数×100である。   The external extraction efficiency at room temperature of light emission of the organic EL device according to the present invention is preferably 1% or more, more preferably 5% or more. Here, the external extraction quantum efficiency (%) = the number of photons emitted to the outside of the organic EL element / the number of electrons sent to the organic EL element × 100.

また、カラーフィルター等の色相改良フィルター等を併用しても、有機EL素子からの発光色を、蛍光体を用いて多色へ変換する色変換フィルターを併用してもよい。色変換フィルターを用いる場合においては、有機EL素子の発光のλmaxは480nm以下が好ましい。   In addition, a hue improvement filter such as a color filter may be used in combination, or a color conversion filter that converts the emission color from the organic EL element into multiple colors using a phosphor may be used in combination. In the case of using a color conversion filter, the λmax of light emission of the organic EL element is preferably 480 nm or less.

《封止》
本発明に用いられる封止手段としては、例えば、封止部材と電極、支持基材とを接着剤で接着する方法を挙げることができる。
<Sealing>
As a sealing means used for this invention, the method of adhere | attaching a sealing member, an electrode, and a support base material with an adhesive agent can be mentioned, for example.

封止部材としては、有機EL素子の表示領域を覆うように配置されておればよく、凹版状でも平板状でもよい。また透明性、電気絶縁性は特に問わない。   The sealing member may be disposed so as to cover the display area of the organic EL element, and may be intaglio or flat. Further, transparency and electrical insulation are not particularly limited.

具体的には、ガラス板、ポリマー板・フィルム、金属板・フィルム等が挙げられる。ガラス板としては、特にソーダ石灰ガラス、バリウム・ストロンチウム含有ガラス、鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、バリウムホウケイ酸ガラス、石英等を挙げることができる。また、ポリマー板としては、ポリカーボネート、アクリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルファイド、ポリサルフォン等を挙げることができる。金属板としては、ステンレス、鉄、銅、アルミニウム、マグネシウム、ニッケル、亜鉛、クロム、チタン、モリブテン、シリコン、ゲルマニウム及びタンタルからなる群から選ばれる一種以上の金属または合金からなるものが挙げられる。   Specific examples include a glass plate, a polymer plate / film, and a metal plate / film. Examples of the glass plate include soda-lime glass, barium / strontium-containing glass, lead glass, aluminosilicate glass, borosilicate glass, barium borosilicate glass, and quartz. Examples of the polymer plate include polycarbonate, acrylic, polyethylene terephthalate, polyether sulfide, and polysulfone. Examples of the metal plate include those made of one or more metals or alloys selected from the group consisting of stainless steel, iron, copper, aluminum, magnesium, nickel, zinc, chromium, titanium, molybdenum, silicon, germanium, and tantalum.

本発明においては、素子を薄膜化できるということからポリマーフィルム、金属フィルムを好ましく使用することができる。さらには、ポリマーフィルムは、JIS K 7126−1987に準拠した方法で測定された酸素透過度が、1×10−3cm/(m・24h・atm)以下、JIS K 7129−1992に準拠した方法で測定された水蒸気透過度(25±0.5℃、相対湿度(90±2)%RH)が1×10−3g/(m・24h)以下のものであることが好ましい。 In the present invention, a polymer film and a metal film can be preferably used because the element can be thinned. Furthermore, the polymer film has an oxygen permeability measured by a method according to JIS K 7126-1987 of 1 × 10 −3 cm 3 / (m 2 · 24 h · atm) or less, and conforms to JIS K 7129-1992. The water vapor permeability (25 ± 0.5 ° C., relative humidity (90 ± 2)% RH) measured by the above method is preferably 1 × 10 −3 g / (m 2 · 24 h) or less.

封止部材を凹状に加工するのは、サンドブラスト加工、化学エッチング加工等が使われる。   For processing the sealing member into a concave shape, sandblasting, chemical etching, or the like is used.

接着剤として具体的には、アクリル酸系オリゴマー、メタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化及び熱硬化型接着剤、2−シアノアクリル酸エステル等の湿気硬化型等の接着剤を挙げることができる。また、エポキシ系等の熱及び化学硬化型(二液混合)を挙げることができる。また、ホットメルト型のポリアミド、ポリエステル、ポリオレフィンを挙げることができる。また、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤を挙げることができる。   Specific examples of the adhesive include photocuring and thermosetting adhesives having reactive vinyl groups such as acrylic acid oligomers and methacrylic acid oligomers, and moisture curing adhesives such as 2-cyanoacrylates. be able to. Moreover, heat | fever and chemical curing types (two-component mixing), such as an epoxy type, can be mentioned. Moreover, hot-melt type polyamide, polyester, and polyolefin can be mentioned. Moreover, a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesive can be mentioned.

なお、有機EL素子が熱処理により劣化する場合があるので、室温から80℃までの温度範囲で接着硬化できるものが好ましい。また、前記接着剤中に乾燥剤を分散させておいてもよい。   In addition, since an organic EL element may deteriorate by heat processing, what can be adhesive-hardened in the temperature range from room temperature to 80 degreeC is preferable. A desiccant may be dispersed in the adhesive.

封止部分への接着剤の塗布は市販のディスペンサーを使ってもよいし、スクリーン印刷のように印刷してもよい。   Application | coating of the adhesive agent to a sealing part may use commercially available dispenser, and may print like screen printing.

また、有機層を挟み支持基材と対向する側の電極の外側に該電極と有機層を被覆し、支持基材と接する形で無機物、有機物の層を形成し封止膜とすることも好適にできる。この場合、該膜を形成する材料としては、水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素等を用いることができる。さらに該膜の脆弱性を改良するために、これら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることが好ましい。これらの膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることができる。   It is also preferable to coat the electrode and the organic layer on the outside of the electrode facing the support substrate with the organic layer interposed therebetween, and form an inorganic or organic layer in contact with the support substrate to form a sealing film. Can be. In this case, the material for forming the film may be any material that has a function of suppressing intrusion of elements that cause deterioration of elements such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like may be used. it can. Further, in order to improve the brittleness of the film, it is preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. The method for forming these films is not particularly limited. For example, vacuum deposition, sputtering, reactive sputtering, molecular beam epitaxy, cluster-ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma A polymerization method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used.

封止部材と有機EL素子の表示領域との間隙には、気相及び液相では、窒素、アルゴン等の不活性気体やフッ化炭化水素、シリコンオイルのような不活性液体を注入することが好ましい。また真空とすることも可能である。また、内部に吸湿性化合物を封入することもできる。   In the gap between the sealing member and the display area of the organic EL element, an inert gas such as nitrogen or argon, or an inert liquid such as fluorinated hydrocarbon or silicon oil can be injected in the gas phase and liquid phase. preferable. A vacuum is also possible. Moreover, a hygroscopic compound can also be enclosed inside.

吸湿性化合物としては、例えば、金属酸化物(例えば、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム等)、硫酸塩(例えば、硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、硫酸コバルト等)、金属ハロゲン化物(例えば、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、フッ化セシウム、フッ化タンタル、臭化セリウム、臭化マグネシウム、沃化バリウム、沃化マグネシウム等)、過塩素酸類(例えば、過塩素酸バリウム、過塩素酸マグネシウム等)等が挙げられ、硫酸塩、金属ハロゲン化物及び過塩素酸類においては無水塩が好適に用いられる。   Examples of the hygroscopic compound include metal oxides (for example, sodium oxide, potassium oxide, calcium oxide, barium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide) and sulfates (for example, sodium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, cobalt sulfate). Etc.), metal halides (eg calcium chloride, magnesium chloride, cesium fluoride, tantalum fluoride, cerium bromide, magnesium bromide, barium iodide, magnesium iodide etc.), perchloric acids (eg perchloric acid) Barium, magnesium perchlorate, and the like), and anhydrous salts are preferably used in sulfates, metal halides, and perchloric acids.

《保護膜、保護板》
有機層を挟み支持基材と対向する側の前記封止膜、あるいは前記封止用フィルムの外側に、素子の機械的強度を高めるために保護膜、あるいは保護板を設けてもよい。特に封止が前記封止膜により行われている場合には、その機械的強度は必ずしも高くないため、このような保護膜、保護板を設けることが好ましい。これに使用することができる材料としては、前記封止に用いたのと同様なガラス板、ポリマー板・フィルム、金属板・フィルム等を用いることができるが、軽量かつ薄膜化ということからポリマーフィルムを用いることが好ましい。
《Protective film, protective plate》
In order to increase the mechanical strength of the element, a protective film or a protective plate may be provided on the outer side of the sealing film on the side facing the support substrate with the organic layer interposed therebetween or the sealing film. In particular, when the sealing is performed by the sealing film, the mechanical strength is not necessarily high, and thus it is preferable to provide such a protective film and a protective plate. As a material that can be used for this, the same glass plate, polymer plate / film, metal plate / film, etc. used for the sealing can be used, but the polymer film is light and thin. Is preferably used.

《光取り出し》
有機EL素子は空気よりも屈折率の高い(屈折率が1.7〜2.1程度)層の内部で発光し、発光層で発生した光のうち15%から20%程度の光しか取り出せないことが一般的にいわれている。これは臨界角以上の角度θで界面(透明基材と空気との界面)に入射する光は、全反射を起こし素子外部に取り出すことができないことや、透明電極ないし発光層と透明基材との間で光が全反射を起こし、光が透明電極ないし発光層を導波し、結果として光が素子側面方向に逃げるためである。
《Light extraction》
The organic EL element emits light inside a layer having a refractive index higher than that of air (refractive index is about 1.7 to 2.1) and can extract only about 15% to 20% of the light generated in the light emitting layer. It is generally said. This is because light incident on the interface (interface between the transparent base material and air) at an angle θ greater than the critical angle causes total reflection and cannot be taken out of the element, or the transparent electrode or light emitting layer and the transparent base material This is because the light undergoes total reflection between them and the light is guided through the transparent electrode or the light emitting layer, and as a result, the light escapes in the direction of the side surface of the device.

この光の取り出しの効率を向上させる手法としては、例えば、透明基材表面に凹凸を形成し、透明基材と空気界面での全反射を防ぐ方法(米国特許第4,774,435号明細書)、基材に集光性を持たせることにより効率を向上させる方法(特開昭63−314795号公報)、素子の側面等に反射面を形成する方法(特開平1−220394号公報)、基材と発光体の間に中間の屈折率を持つ平坦層を導入し、反射防止膜を形成する方法(特開昭62−172691号公報)、基材と発光体の間に基材よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法(特開2001−202827号公報)、基材、透明電極層や発光層のいずれかの層間(含む、基材と外界間)に回折格子を形成する方法(特開平11−283751号公報)等がある。   As a technique for improving the light extraction efficiency, for example, a method of forming irregularities on the surface of the transparent substrate to prevent total reflection at the interface between the transparent substrate and the air (US Pat. No. 4,774,435). ), A method for improving the efficiency by imparting a light collecting property to the substrate (Japanese Patent Laid-Open No. 63-314795), a method for forming a reflective surface on the side surface of the element (Japanese Patent Laid-Open No. 1-220394), A method of forming an antireflection film by introducing a flat layer having an intermediate refractive index between the base material and the light emitter (Japanese Patent Laid-Open No. 62-172691), and more than the base material between the base material and the light emitter. A method of introducing a flat layer having a low refractive index (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-202827), and forming a diffraction grating between any one of the base material, the transparent electrode layer and the light emitting layer (including between the base material and the outside). Method (Japanese Patent Laid-Open No. 11-283951).

本発明においては、これらの方法を本発明に係る有機EL素子と組み合わせて用いることができるが、基材と発光体の間に基材よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法、あるいは基材、透明電極層や発光層のいずれかの層間(含む、基材と外界間)に回折格子を形成する方法を好適に用いることができる。   In the present invention, these methods can be used in combination with the organic EL device according to the present invention, or a method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the base material between the base material and the light emitter, or A method of forming a diffraction grating between any of the base material, the transparent electrode layer and the light emitting layer (including between the base material and the outside) can be suitably used.

本発明はこれらの手段を組み合わせることにより、さらに高輝度あるいは耐久性に優れた素子を得ることができる。   In the present invention, by combining these means, it is possible to obtain an element having higher luminance or durability.

透明電極と透明基材の間に低屈折率の媒質を光の波長よりも長い厚みで形成すると、透明電極から出てきた光は、媒質の屈折率が低いほど外部への取り出し効率が高くなる。   When a low refractive index medium is formed between the transparent electrode and the transparent substrate with a thickness longer than the wavelength of light, the light extracted from the transparent electrode has a higher extraction efficiency to the outside as the refractive index of the medium is lower. .

低屈折率層としては、例えば、エアロゲル、多孔質シリカ、フッ化マグネシウム、フッ素系ポリマー等が挙げられる。透明基材の屈折率は一般に1.5〜1.7程度であるので、低屈折率層は屈折率がおよそ1.5以下であることが好ましい。また、さらに1.35以下であることが好ましい。   Examples of the low refractive index layer include aerogel, porous silica, magnesium fluoride, and a fluorine-based polymer. Since the refractive index of the transparent substrate is generally about 1.5 to 1.7, the low refractive index layer preferably has a refractive index of about 1.5 or less. Further, it is preferably 1.35 or less.

また、低屈折率媒質の厚みは媒質中の波長の2倍以上となるのが望ましい。これは低屈折率媒質の厚みが、光の波長程度になってエバネッセントで染み出した電磁波が基材内に入り込む膜厚になると、低屈折率層の効果が薄れるからである。   The thickness of the low refractive index medium is preferably at least twice the wavelength in the medium. This is because the effect of the low refractive index layer is diminished when the thickness of the low refractive index medium is about the wavelength of light and the electromagnetic wave that has exuded by evanescent enters the substrate.

全反射を起こす界面もしくはいずれかの媒質中に回折格子を導入する方法は、光取り出し効率の向上効果が高いという特徴がある。この方法は回折格子が1次の回折や2次の回折といった所謂ブラッグ回折により、光の向きを屈折とは異なる特定の向きに変えることができる性質を利用して、発光層から発生した光のうち層間での全反射等により外に出ることができない光を、いずれかの層間もしくは、媒質中(透明基材内や透明電極内)に回折格子を導入することで光を回折させ、光を外に取り出そうとするものである。   The method of introducing a diffraction grating into an interface or any medium that causes total reflection is characterized by a high effect of improving light extraction efficiency. This method uses the property that the diffraction grating can change the direction of light to a specific direction different from refraction by so-called Bragg diffraction such as first-order diffraction and second-order diffraction. Of these, light that cannot be emitted due to total reflection between layers, etc. is diffracted by introducing a diffraction grating into any layer or medium (inside a transparent substrate or transparent electrode). It is intended to be taken out.

導入する回折格子は、二次元的な周期屈折率を持っていることが望ましい。これは発光層で発光する光はあらゆる方向にランダムに発生するので、ある方向にのみ周期的な屈折率分布を持っている一般的な1次元回折格子では、特定の方向に進む光しか回折されず、光の取り出し効率がさほど上がらない。しかしながら、屈折率分布を二次元的な分布にすることにより、あらゆる方向に進む光が回折され、光の取り出し効率が上がる。   The introduced diffraction grating desirably has a two-dimensional periodic refractive index. This is because light emitted from the light-emitting layer is randomly generated in all directions, so in a general one-dimensional diffraction grating having a periodic refractive index distribution only in a certain direction, only light traveling in a specific direction is diffracted. Therefore, the light extraction efficiency does not increase so much. However, by making the refractive index distribution a two-dimensional distribution, light traveling in all directions is diffracted, and light extraction efficiency is increased.

回折格子を導入する位置としては前述の通り、いずれかの層間もしくは媒質中(透明基材内や透明電極内)でもよいが、光が発生する場所である有機発光層の近傍が望ましい。このとき、回折格子の周期は媒質中の光の波長の約1/2〜3倍程度が好ましい。   As described above, the position where the diffraction grating is introduced may be in any one of the layers or in the medium (in the transparent base material or in the transparent electrode), but is preferably in the vicinity of the organic light emitting layer where light is generated. At this time, the period of the diffraction grating is preferably about 1/2 to 3 times the wavelength of light in the medium.

回折格子の配列は正方形のラチス状、三角形のラチス状、ハニカムラチス状等、二次元的に配列が繰り返されることが好ましい。   The arrangement of the diffraction grating is preferably two-dimensionally repeated such as a square lattice, a triangular lattice, or a honeycomb lattice.

《集光シート》
本発明の有機EL素子は基材の光取り出し側に、例えば、マイクロレンズアレイ状の構造を設けるように加工したり、あるいは所謂集光シートと組み合わせることにより、特定方向、例えば、素子発光面に対し正面方向に集光したりすることにより、特定方向上の輝度を高めることができる。
《Condensing sheet》
The organic EL device of the present invention can be processed on the light extraction side of the substrate, for example, by providing a microlens array-like structure, or combined with a so-called condensing sheet, for example, in a specific direction, for example, the device light emitting surface. On the other hand, the brightness | luminance in a specific direction can be raised by condensing in a front direction.

マイクロレンズアレイの例としては、基材の光取り出し側に一辺が30μmでその頂角が90度となるような四角錐を2次元に配列する。一辺は10μm〜100μmが好ましい。これより小さくなると回折の効果が発生して色付く、大きすぎると厚みが厚くなり好ましくない。   As an example of the microlens array, quadrangular pyramids having a side of 30 μm and an apex angle of 90 degrees are two-dimensionally arranged on the light extraction side of the substrate. One side is preferably 10 μm to 100 μm. If it becomes smaller than this, the effect of diffraction will generate | occur | produce and color, and if too large, thickness will become thick and is not preferable.

集光シートとしては、例えば、液晶表示装置のLEDバックライトで実用化されているものを用いることが可能である。このようなシートとして、例えば、住友スリーエム社製の輝度上昇フィルム(BEF)等を用いることができる。プリズムシートの形状としては、例えば、基材に頂角90度、ピッチ50μmの△状のストライプが形成されたものであってもよいし、頂角が丸みを帯びた形状、ピッチをランダムに変化させた形状、その他の形状であってもよい。   As the condensing sheet, for example, a sheet that is put into practical use in an LED backlight of a liquid crystal display device can be used. As such a sheet, for example, a brightness enhancement film (BEF) manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd. can be used. As the shape of the prism sheet, for example, the base material may be formed by forming a △ -shaped stripe having a vertex angle of 90 degrees and a pitch of 50 μm, or the vertex angle is rounded and the pitch is changed randomly. Other shapes may be used.

また、発光素子からの光放射角を制御するために、光拡散板・フィルムを集光シートと併用してもよい。例えば、(株)きもと製拡散フィルム(ライトアップ)等を用いることができる。   Moreover, in order to control the light emission angle from a light emitting element, you may use together a light diffusing plate and a film with a condensing sheet. For example, a diffusion film (light-up) manufactured by Kimoto Co., Ltd. can be used.

《有機EL素子の作製方法》
図2、図3を用いて、本発明の有機EL素子の作製フローについて説明する。
<< Method for producing organic EL element >>
A manufacturing flow of the organic EL element of the present invention will be described with reference to FIGS.

図2は、本発明の有機EL素子の製造順序の一例を示すブロック図であり、本発明の有機EL素子の構成の一例として、可撓性透明基材上に、無機膜を形成した後、陽極(透明導電膜)/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極を有する有機EL素子の作製フローを示している。   FIG. 2 is a block diagram showing an example of the production order of the organic EL element of the present invention. As an example of the configuration of the organic EL element of the present invention, an inorganic film is formed on a flexible transparent substrate, The flow for producing an organic EL device having an anode (transparent conductive film) / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode is shown.

詳しくは、はじめに、可撓性透明基体上にガスバリア性を有する無機膜を、化学蒸着法等を用いて形成した後、所望の陽極形成物質、例えば、ITO等からなる薄膜を1μm以下、好ましくは10〜200nmの膜厚になるように、蒸着やスパッタリング等の方法により形成させた後、パターニングを行って陽極を形成する。次いで、形成した陽極に対し、本発明で規定する有機溶媒による洗浄工程を施し、次いで、付与した有機溶媒を除くための乾燥処理を行う。   Specifically, first, after forming an inorganic film having a gas barrier property on a flexible transparent substrate using a chemical vapor deposition method or the like, a thin film made of a desired anode forming material, for example, ITO or the like is 1 μm or less, preferably After forming it by methods, such as vapor deposition and sputtering, so that it may become a film thickness of 10-200 nm, patterning is performed and an anode is formed. Next, the formed anode is subjected to a washing step with an organic solvent specified in the present invention, and then a drying process for removing the applied organic solvent is performed.

次いで、洗浄処理、乾燥処理を施した陽極上に、発光素子を構成する正孔注入層を、湿式塗布法により形成し、乾燥を行う。同様にして、正孔輸送層の塗布・乾燥、発光層の塗布・乾燥、電子輸送層の塗布・乾燥を行った後、湿式塗布に関連する残留溶媒を完全に除去するための加熱処理を行う。この時、上記湿式塗布法を用いた有機化合物層の形成において、少なくとも1層の有機化合物層の形成に用いる塗布液は、洗浄用有機溶媒の蒸気圧と同等以上の蒸気圧を有する塗布用有機溶媒を含有することを特徴とする。   Next, a hole injection layer constituting the light-emitting element is formed on the anode subjected to the cleaning treatment and the drying treatment by a wet coating method and dried. Similarly, after applying / drying the hole transport layer, applying / drying the light-emitting layer, and applying / drying the electron transport layer, heat treatment is performed to completely remove the residual solvent related to the wet application. . At this time, in the formation of the organic compound layer using the wet coating method, the coating liquid used to form at least one organic compound layer is a coating organic having a vapor pressure equal to or higher than the vapor pressure of the cleaning organic solvent. It contains a solvent.

次いで、電子輸送層上に、電子注入層を化学蒸着法により形成する。次いで、電子注入層上に、陰極用物質、例えば、アルミニウムからなる薄膜を1μm以下、好ましくは、50nm〜200nmの範囲の膜厚になるように、化学蒸着やスパッタリング等の方法により形成させ、陰極を設ける。   Next, an electron injection layer is formed on the electron transport layer by a chemical vapor deposition method. Next, a cathode material, for example, a thin film made of aluminum is formed on the electron injection layer by a method such as chemical vapor deposition or sputtering so as to have a thickness of 1 μm or less, preferably in the range of 50 nm to 200 nm. Is provided.

次いで、図1に記載の構成となるようにして封止材を貼り合わせて、有機EL素子を作製する。   Next, an organic EL element is manufactured by laminating a sealing material so as to have the configuration shown in FIG.

また作製順序を逆にして、陰極、電子注入層、電子輸送層、発光層、正孔輸送層、正孔注入層、陽極の順に作製することも可能である。このようにして得られた多色の表示装置に、直流電圧を印加する場合には陽極を+、陰極を−の極性として電圧2〜40V程度を印加すると発光が観測できる。また交流電圧を印加してもよい。なお、印加する交流の波形は任意でよい。   In addition, it is also possible to reverse the production order and produce the cathode, the electron injection layer, the electron transport layer, the light emitting layer, the hole transport layer, the hole injection layer, and the anode in this order. When a DC voltage is applied to the multicolor display device thus obtained, light emission can be observed by applying a voltage of about 2 to 40 V with the positive polarity of the anode and the negative polarity of the cathode. An alternating voltage may be applied. The alternating current waveform to be applied may be arbitrary.

図3は、本発明の有機EL素子の製造工程の一例を示す模式図である。   FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of the manufacturing process of the organic EL element of the present invention.

1.可撓性基材への無機膜、陽極の形成工程(不図示)
可撓性基材Aに対しては、はじめに、前述のように無機膜(ガスバリア膜)形成及び透明導電膜(透明電極、ITO等)の形成、パターニングが行われる。
1. Formation process of inorganic film and anode on flexible substrate (not shown)
For the flexible substrate A, first, as described above, formation of an inorganic film (gas barrier film), formation of a transparent conductive film (transparent electrode, ITO, etc.), and patterning are performed.

2.陽極の洗浄工程、乾燥工程(不図示)
次いで、本発明では、上記形成した透明導電膜の表面を洗浄用有機溶媒で洗浄し、次いで乾燥処理を施す。
2. Anode cleaning process, drying process (not shown)
Next, in the present invention, the surface of the formed transparent conductive film is washed with a washing organic solvent, and then dried.

3.正孔輸送層塗布工程
正孔輸送層塗布工程は、基材繰り出し装置Bから供給される可撓性透明基材Aの巾手位置を整えるエッジポジションコントローラー(EPC)101と、塗布する際に可撓性透明基材Aを保持するバックアップロール102と、バックアップロール102に保持された可撓性透明基材Aに塗布をする塗布装置103と、塗布装置へ塗布液を供給する塗布液供給ライン104からなる。
3. Hole transport layer coating process The hole transport layer coating process is possible when applying with the edge position controller (EPC) 101 that adjusts the lateral position of the flexible transparent substrate A supplied from the substrate feeding device B. A backup roll 102 for holding the flexible transparent substrate A, a coating device 103 for coating the flexible transparent substrate A held by the backup roll 102, and a coating liquid supply line 104 for supplying the coating liquid to the coating device. Consists of.

正孔輸送層形成工程〜電子輸送層乾燥工程迄を連続して大気圧条件下で行い、大気圧条件下で一旦巻き取った後、電子注入層形成工程〜封止層形成工程迄を連続して減圧条件下で行うことが好ましい。また、各層の塗布工程の搬送速度の差を調整するためのアキュームレータ、除電のための非接触式除電防止装置を設けることが好ましい。   The process from the hole transport layer formation process to the electron transport layer drying process is continuously performed under atmospheric pressure conditions, and after winding up under atmospheric pressure conditions, the process from the electron injection layer formation process to the sealing layer formation process is continued. It is preferable to carry out under reduced pressure conditions. Moreover, it is preferable to provide an accumulator for adjusting the difference in conveyance speed in the coating process of each layer and a non-contact type static elimination preventing device for static elimination.

4.正孔輸送層乾燥工程
正孔輸送層乾燥工程は、可撓性透明基材Aを工程内を安定に搬送させる搬送ロール203と、乾燥に必要な乾燥風供給口201と、排気口202からなる。
4). Hole Transport Layer Drying Process The hole transport layer drying process comprises a transport roll 203 that stably transports the flexible transparent substrate A in the process, a drying air supply port 201 necessary for drying, and an exhaust port 202. .

5.発光層塗布装置
発光層塗布工程は、可撓性透明基材Aの巾手位置を整えるエッジポジションコントローラー(EPC)301と、塗布する際に可撓性透明基材Aを保持するバックアップロール302と、バックアップロール302に保持された可撓性透明基材Aに塗布をする塗布装置303と、塗布装置へ発光層塗布液を供給する塗布液供給ライン304からなる。
5. Light-Emitting Layer Coating Device The light-emitting layer coating process includes an edge position controller (EPC) 301 that adjusts the width position of the flexible transparent substrate A, and a backup roll 302 that holds the flexible transparent substrate A when coating. And a coating device 303 for coating the flexible transparent substrate A held by the backup roll 302, and a coating solution supply line 304 for supplying a light emitting layer coating solution to the coating device.

6.発光層乾燥工程
発光層乾燥工程は、可撓性透明基材Aを、工程内を安定に搬送させる搬送ロール403と、乾燥に必要な乾燥風供給口401と、排気口402からなる。
6). Light-Emitting Layer Drying Process The light-emitting layer drying process includes a transport roll 403 that stably transports the flexible transparent substrate A in the process, a drying air supply port 401 necessary for drying, and an exhaust port 402.

7.電子輸送層塗布工程
電子輸送層塗布工程は、可撓性透明基材Aの巾手位置を整えるエッジポジションコントローラー(EPC)501と、塗布する際に可撓性透明基材Aを保持するバックアップロール502と、バックアップロール502に保持された可撓性透明基材Aに塗布をする塗布装置503と、塗布装置へ塗布液を供給する塗布液供給ライン504からなる。
7). Electron Transport Layer Coating Step The electron transport layer coating step includes an edge position controller (EPC) 501 that adjusts the width position of the flexible transparent substrate A, and a backup roll that holds the flexible transparent substrate A when coating. 502, a coating apparatus 503 for coating the flexible transparent substrate A held by the backup roll 502, and a coating liquid supply line 504 for supplying the coating liquid to the coating apparatus.

8.電子輸送層乾燥工程
電子輸送層乾燥工程は、可撓性透明基材Aを工程内を安定に搬送させる搬送ロール603と、乾燥に必要な乾燥風供給口601と、排気口602からなる。
8). Electron Transport Layer Drying Process The electron transport layer drying process includes a transport roll 603 that stably transports the flexible transparent substrate A in the process, a drying air supply port 601 necessary for drying, and an exhaust port 602.

9.熱処理(加熱処理)工程
熱処理工程は、可撓性透明基材Aの巾手位置を整えるエッジポジションコントローラー(EPC)701と、搬送張力を低減させるための張力カット機能を持ったサクションロール702と、熱処理に必要な乾燥風供給口703と、排気口704と、搬送張力を増加させるための張力カット機能を持ったサクションロール705と、巻き取り装置Cからなる。
9. Heat treatment (heat treatment) step The heat treatment step comprises an edge position controller (EPC) 701 for adjusting the width position of the flexible transparent substrate A, a suction roll 702 having a tension cut function for reducing the conveyance tension, It comprises a drying air supply port 703 necessary for heat treatment, an exhaust port 704, a suction roll 705 having a tension cut function for increasing the transport tension, and a winding device C.

10.電子注入層形成工程(図示せず)
電子注入層形成工程は、供給部と、電子注入層形成部とを有している。供給部では、前工程で作製された可撓性透明基材が繰り出され電子注入層形成部へ供給される。電子注入層形成部では、電子輸送層上に電子注入層が形成される。電子注入層が形成された可撓性透明基材は、引き続き、電極形成工程へ送られる。
10. Electron injection layer forming process (not shown)
The electron injection layer forming step includes a supply unit and an electron injection layer formation unit. In the supply unit, the flexible transparent substrate produced in the previous step is fed out and supplied to the electron injection layer forming unit. In the electron injection layer forming part, an electron injection layer is formed on the electron transport layer. The flexible transparent substrate on which the electron injection layer is formed is subsequently sent to the electrode forming step.

11.電極形成工程(図示せず)
電極形成工程は、電極形成部で、電子輸送層形成部で形成された電子輸送層上に電極が形成される。
11. Electrode formation process (not shown)
In the electrode forming step, an electrode is formed on the electron transport layer formed by the electron transport layer forming portion at the electrode forming portion.

12.封止層形成工程
封止層形成工程の詳細は後述する。
12 Details of the sealing layer forming step will be described later.

電極が形成された可撓性の可撓性透明基材は、引き続き、封止層形成工程に送られる。封止層形成工程は、アキュームレータ部と、封止層形成装置と、帯電防止手段とを有している。帯電防止手段は除電処理手段と同じ非接触式除電防止装置と接触式除電防止装置とを有している。電極形成工程で形成された電極の端部を除いて電極上に封止層形成装置により封止層が形成されることで可撓性透明基材上に少なくとも一つの照明用(面発光)有機EL素子が作製される。   The flexible flexible transparent substrate on which the electrode is formed is subsequently sent to the sealing layer forming step. The sealing layer forming step includes an accumulator unit, a sealing layer forming device, and an antistatic means. The antistatic means has the same non-contact type static elimination preventing device and contact type static elimination preventing apparatus as the static elimination processing means. At least one organic (surface emitting) for illumination is formed on the flexible transparent substrate by forming a sealing layer on the electrode except for the end portion of the electrode formed in the electrode forming step by a sealing layer forming apparatus. An EL element is produced.

本発明の有機EL素子においては、必要に応じ成膜時にメタルマスクやインクジェットプリンティング法等でパターニングを施してもよい。パターニングする場合は、電極のみをパターニングしてもよいし、電極と発光層をパターニングしてもよいし、素子全層をパターニングしてもよく、素子の作製においては、従来公知の方法を用いることができる。   In the organic EL element of the present invention, patterning may be performed by a metal mask, an ink jet printing method, or the like as needed during film formation. In the case of patterning, only the electrode may be patterned, the electrode and the light emitting layer may be patterned, or the entire layer of the element may be patterned. In the fabrication of the element, a conventionally known method is used. Can do.

《用途》
本発明の有機EL素子は、表示デバイス、ディスプレイ、各種発光光源として用いることができる。発光光源として、例えば、家庭用照明、車内照明、時計や液晶用のバックライト、看板広告、信号機、光記憶媒体の光源、電子写真複写機の光源、光通信処理機の光源、光センサーの光源、さらには表示装置を必要とする一般の家庭用電気器具等広い範囲の用途が挙げられるが、特にカラーフィルターと組み合わせた液晶表示装置のバックライト、照明用光源としての用途に有効に用いることができる。
<Application>
The organic EL element of the present invention can be used as a display device, a display, and various light emission sources. Examples of light sources include home lighting, interior lighting, clock and liquid crystal backlights, billboard advertisements, traffic lights, light sources for optical storage media, light sources for electrophotographic copying machines, light sources for optical communication processors, and light sources for optical sensors. Furthermore, it can be used in a wide range of applications such as general household appliances that require a display device, but it can be used effectively as a backlight for a liquid crystal display device combined with a color filter, and as a light source for illumination. it can.

以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例において「部」あるいは「%」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量部」あるいは「質量%」を表す。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, although the display of "part" or "%" is used in an Example, unless otherwise indicated, "part by mass" or "mass%" is represented.

実施例1
《有機EL素子の作製》
〔有機EL素子101の作製〕
(ガスバリア性の可撓性基材の作製)
可撓性基材として、厚み100μmのポリエチレンナフタレートフィルム(帝人・デュポン社製フィルム、以下、PENと略記する)の全面に、特開2004−68143号公報に記載の構成からなる大気圧プラズマ放電処理装置を用いて、連続して可撓性基材上に、SiOから構成されるガスバリア膜(厚み500nm)を形成し、酸素透過度が0.001cm/(m・24h・atm)以下で、水蒸気透過度が0.001g/(m・24h)以下のガスバリア性の可撓性基材を作製した。
Example 1
<< Production of organic EL element >>
[Production of Organic EL Element 101]
(Preparation of gas barrier flexible base material)
As a flexible substrate, an atmospheric pressure plasma discharge having a structure described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-68143 is formed on the entire surface of a polyethylene naphthalate film having a thickness of 100 μm (a film made by Teijin DuPont, hereinafter abbreviated as PEN). Using a processing apparatus, a gas barrier film (thickness 500 nm) composed of SiO 2 is continuously formed on a flexible substrate, and the oxygen permeability is 0.001 cm 3 / (m 2 · 24 h · atm). A gas barrier flexible base material having a water vapor permeability of 0.001 g / (m 2 · 24 h) or less was prepared below.

(第1電極の形成)
上記作製したガスバリア性の可撓性基材上に、透明導電膜として厚さ120nmのITO膜(インジウムチンオキシド)をスパッタ法により成膜し、フォトリソグラフィー法によりパターニングを行い、第1電極を形成した。なお、第1電極は、発光面積が50mm平方のパターンとなるように形成した。
(Formation of the first electrode)
An ITO film (indium tin oxide) having a thickness of 120 nm is formed as a transparent conductive film on the gas barrier flexible substrate prepared above by sputtering, and patterned by photolithography to form a first electrode. did. In addition, the 1st electrode was formed so that a light emission area might become a pattern of 50 mm square.

(洗浄処理)
上記作製した第1電極を形成した可撓性基材を、洗浄液である30℃の水(蒸気圧:2.3kPa/20℃)に浸漬した後、5分間の超音波洗浄処理(MULTI SOFT(ALEX社製)、洗浄条件:出力300W、40kHzで2分間、180kHzで3分間処理)を行った。
(Cleaning process)
The flexible base material on which the first electrode is formed is immersed in water at 30 ° C. (vapor pressure: 2.3 kPa / 20 ° C.) as a cleaning solution, and then subjected to ultrasonic cleaning treatment (MULTI SOFT (5) (Manufactured by ALEX Co., Ltd.), washing conditions: output 300 W, treatment at 40 kHz for 2 minutes, treatment at 180 kHz for 3 minutes).

(正孔輸送層の形成)
正孔輸送層用塗布液として、ポリエチレンジオキシチオフェン・ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer社製 Bytron P AI 4083)を、イソプロピルアルコール(表1では、IPAと略記、蒸気圧4.4kPa/20℃)で70質量%の濃度となる様に希釈して調製した。
(Formation of hole transport layer)
Polyethylenedioxythiophene / polystyrene sulfonate (PEDOT / PSS, Baytron P AI 4083 manufactured by Bayer) and isopropyl alcohol (abbreviated as IPA in Table 1, vapor pressure 4.4 kPa / 20 ° C.) as a coating solution for the hole transport layer. ) And diluted to a concentration of 70% by mass.

上記調製した正孔輸送層用塗布液を、30℃の環境に保たれた第一の塗布室に設置されたダイコート機により、上記洗浄を行った可撓性基材上に、乾燥後の膜厚が50nmになるように塗布を行い、正孔輸送層を設けた。塗布後は加熱した気流により溶媒であるイソプロピルアルコールを除去した。気流は、スリットノズル形式の噴出し口から製膜面に向け高さ100mm、噴出し風速1m/s、噴出し風速幅手方向バラツキ5%であった。乾燥温度は80℃、乾燥炉の中での滞留時間は10分間とした。乾燥炉は有機層の材料に応じて適宜数ゾーンにして温度条件の変更や風速の変更等を行うことが可能な形式のものを用いた。   The dried coating film for the hole transport layer is formed on the flexible substrate that has been washed by the die coater installed in the first coating chamber kept in an environment of 30 ° C. Coating was performed so that the thickness was 50 nm, and a hole transport layer was provided. After coating, the solvent isopropyl alcohol was removed by a heated air stream. The air flow was 100 mm in height from the slit nozzle type ejection port toward the film forming surface, the ejection wind speed was 1 m / s, and the ejection wind speed width variation was 5%. The drying temperature was 80 ° C., and the residence time in the drying furnace was 10 minutes. The drying furnace was of a type that can be changed into several zones as appropriate according to the material of the organic layer, and the temperature condition can be changed and the wind speed can be changed.

(発光層の形成)
次いで、正孔輸送層の形成に用いたのと同様の環境に保たれた第二の塗布室に設置されたダイコート機により、乾燥後の膜厚が100nmになるように正孔輸送層上に発光層用塗布液を用いて、発光層を形成した。用いた発光層用塗布液は、発光ホスト化合物として分子量10000以下の低分子量のポリビニルカルバゾール(PVK)に、ドーパント化合物として分子量10000以下の低分子量のIr(ppy)を5質量%となる様にトルエン(蒸気圧:2.9kPa/20℃)中に溶解し、総質量が10質量%となる様に調製して、発光層用塗布液を得た。発光層の表面張力は0.032N/mであり、良好な塗膜が得られた。続いて、正孔輸送層と同様の方法で、乾燥炉を用い25℃で5分間乾燥を行った。
(Formation of light emitting layer)
Next, on the hole transport layer, the film thickness after drying is 100 nm by a die coater installed in the second coating chamber maintained in the same environment as that used for forming the hole transport layer. The light emitting layer was formed using the light emitting layer coating solution. The light emitting layer coating solution used is a low molecular weight polyvinyl carbazole (PVK) having a molecular weight of 10,000 or less as a light emitting host compound, and a low molecular weight Ir (ppy) 3 having a molecular weight of 10,000 or less as a dopant compound. It melt | dissolved in toluene (vapor pressure: 2.9 kPa / 20 degreeC), and prepared so that the total mass might be 10 mass%, and obtained the coating liquid for light emitting layers. The surface tension of the light emitting layer was 0.032 N / m, and a good coating film was obtained. Then, it dried for 5 minutes at 25 degreeC by the method similar to a positive hole transport layer using a drying furnace.

(電子輸送層の形成)
次いで、正孔輸送層の形成に用いたのと同様の環境に保たれた第三の塗布室に設置されたダイコート機により、乾燥後の膜厚が40nmになるように発光層上に電子輸送層用塗布液を用いて、電子輸送層を形成した。電子輸送層用塗布液としては、下記電子輸送剤ET−Aをトルエン(蒸気圧:2.9kPa/20℃)中に溶解し、0.75質量%溶液を調製して用いた。続いて、正孔輸送層と同様の乾燥炉を用い、25℃で5分間乾燥を行った。次いで、98℃にて30分間加熱を行った。加熱処理後は、可撓性基材が室温と同じ温度になるまで冷却し、ロール状に巻き取った。この常圧下の塗布工程は、窒素雰囲気中の水分濃度が1ppm以上200ppm以下、酸素濃度が30ppm以下の雰囲気を維持した。
(Formation of electron transport layer)
Next, electron transport is performed on the light emitting layer by a die coater installed in a third coating chamber maintained in the same environment as that used for forming the hole transport layer so that the film thickness after drying becomes 40 nm. An electron transport layer was formed using the layer coating solution. As the electron transport layer coating solution, the following electron transport agent ET-A was dissolved in toluene (vapor pressure: 2.9 kPa / 20 ° C.) to prepare and use a 0.75 mass% solution. Then, it dried for 5 minutes at 25 degreeC using the drying furnace similar to a positive hole transport layer. Subsequently, it heated at 98 degreeC for 30 minute (s). After the heat treatment, the flexible substrate was cooled to the same temperature as the room temperature and wound up in a roll shape. In the coating process under normal pressure, an atmosphere having a moisture concentration of 1 ppm to 200 ppm and an oxygen concentration of 30 ppm or less in a nitrogen atmosphere was maintained.

Figure 2011222385
Figure 2011222385

(電子注入層の形成)
引き続き、形成された電子輸送層上に、電子注入層を形成した。まず、電子輸送層まで形成した可撓性基材を減圧チャンバーに投入し、5×10−4Paまで減圧した。あらかじめ、真空チャンバーにタンタル製蒸着ボートに用意しておいたフッ化セシウムを加熱し、厚さ3nmの電子注入層を形成した。
(Formation of electron injection layer)
Subsequently, an electron injection layer was formed on the formed electron transport layer. First, the flexible base material formed up to the electron transport layer was put into a decompression chamber and decompressed to 5 × 10 −4 Pa. In advance, cesium fluoride prepared in a tantalum vapor deposition boat was heated in a vacuum chamber to form an electron injection layer having a thickness of 3 nm.

(第2電極の形成)
次いで、形成された電子注入層及び引き出し用電極上に第2電極を形成した。5×10−4Paの真空下にて、あらかじめタングステン製蒸着ボートに用意しておいたアルミニウムを加熱し、発光面積が50mm平方になるようにマスクパターン成膜し、厚さ100nmの第2電極を積層して、有機EL素子101を作製した。
(Formation of second electrode)
Next, a second electrode was formed on the formed electron injection layer and extraction electrode. In a vacuum of 5 × 10 −4 Pa, aluminum prepared in advance in a tungsten vapor deposition boat is heated to form a mask pattern so that the light emission area is 50 mm square, and a second electrode having a thickness of 100 nm. Were stacked to prepare an organic EL element 101.

(有機EL素子の封止)
バリア層として厚さ100μmのアルミ箔を準備し、アルミ箔の片面に熱硬化型の液状接着剤(エポキシ系樹脂)を厚さ30μmで塗設し、封止部材とした。上記作製した有機EL素子101の第1電極、第2電極の引き出し電極の端部は外に出せるように、封止部材の接着剤面と有機EL素子の有機層面とを重ね合わせ、ドライラミネート法により接着を行って、封止した。
(Sealing of organic EL elements)
An aluminum foil with a thickness of 100 μm was prepared as a barrier layer, and a thermosetting liquid adhesive (epoxy resin) was applied with a thickness of 30 μm on one surface of the aluminum foil to obtain a sealing member. A dry laminating method is performed by laminating the adhesive surface of the sealing member and the organic layer surface of the organic EL element so that the end portions of the first electrode and the second electrode of the organic EL element 101 produced can be exposed to the outside. Was adhered and sealed.

〔有機EL素子102〜105の作製〕
上記有機EL素子101の作製において、第1電極を形成した可撓性基材の洗浄処理に用いる洗浄用有機溶媒の種類を、表1に記載の有機溶媒に変更した以外は同様にして、有機EL素子102〜105を作製した。
[Production of Organic EL Elements 102 to 105]
In the production of the organic EL element 101, the organic solvent for washing used in the washing treatment of the flexible substrate on which the first electrode was formed was changed to the organic solvent shown in Table 1 in the same manner. EL elements 102 to 105 were produced.

《有機EL素子の評価》
〔白色発光の確認〕
各有機EL素子を、株式会社エーディーシー製、直流電圧・電流源R6243を用いて、素子に50mA(20A/m)の直流定電流を流し、コニカミノルタセンシング株式会社製分光放射輝度計CS1000を用いて2度視野角正面輝度を測定した結果、色温度3500Kの白色発光を確認することができた。
<< Evaluation of organic EL elements >>
[Confirmation of white light emission]
A DC constant current of 50 mA (20 A / m 2 ) was passed through each element using a DC voltage / current source R6243 manufactured by ADC, and a spectral radiance meter CS1000 manufactured by Konica Minolta Sensing Co., Ltd. was used. As a result of measuring the front luminance at a viewing angle of 2 degrees, white light emission with a color temperature of 3500K could be confirmed.

〔輝度ムラ耐性の評価〕
作製した各有機EL素子を、大気に接触しない状態のままで輝度分布測定室に搬送した。輝度分布測定室は残留酸素濃度1ppm以下の窒素雰囲気に保持した。ここで、有機EL素子に電圧6Vで電流密度25A/mの電流を印加して発光させ、コニカミノルタセンシング社製の輝度計(CS1000A)を用いて、図4に示す測定点A〜Eの5点における発光輝度(cd/m)を測定した。
[Evaluation of luminance unevenness resistance]
Each produced organic EL element was conveyed to the luminance distribution measurement chamber in a state where it was not in contact with the atmosphere. The luminance distribution measurement chamber was maintained in a nitrogen atmosphere with a residual oxygen concentration of 1 ppm or less. Here, by applying a current of 25 A / m 2 at a voltage of 6 V to the organic EL element to emit light, using a luminance meter (CS1000A) manufactured by Konica Minolta Sensing Co., Ltd., measurement points A to E shown in FIG. The light emission luminance (cd / m 2 ) at 5 points was measured.

次いで、測定点A〜Eの中で、最小発光輝度と最大発光輝度とを求め、下式に従って発光輝度均一率(%)を測定し、下記の評価ランクに従って輝度ムラ耐性を評価した。   Next, among the measurement points A to E, the minimum light emission luminance and the maximum light emission luminance were obtained, the light emission luminance uniformity rate (%) was measured according to the following formula, and the luminance unevenness resistance was evaluated according to the following evaluation rank.

発光輝度均一率=〔最小発光輝度(cd/m)/最大発光輝度(cd/m)〕×100(%)
◎:発光輝度均一率が、80%以上である
○:発光輝度均一率が、70%以上、80%未満である
△:発光輝度均一率が、60%以上、70%未満である
×:発光輝度均一率が、60%未満である
〔初期ダークスポット耐性の評価〕
東洋テクニカ(株)製のソースメジャーユニット2400型を用いて、直流電圧5Vを有機EL素子に印加して発光させた。この際、100cd/mで発光させた時のダークスポットの発生数を100倍のルーペを使用して計測し、下記評価ランクに従って、初期ダークスポット耐性を評価した。
Emission luminance uniformity rate = [minimum emission luminance (cd / m 2 ) / maximum emission luminance (cd / m 2 )] × 100 (%)
A: Emission luminance uniformity ratio is 80% or more. O: Emission luminance uniformity ratio is 70% or more and less than 80%. Δ: Emission luminance uniformity ratio is 60% or more and less than 70%. Luminance uniformity rate is less than 60% [Evaluation of initial dark spot resistance]
Using a source measure unit 2400 type manufactured by Toyo Technica Co., Ltd., a DC voltage of 5 V was applied to the organic EL element to emit light. At this time, the number of dark spots generated when light was emitted at 100 cd / m 2 was measured using a 100-fold magnifier, and the initial dark spot resistance was evaluated according to the following evaluation rank.

◎:ダークスポットの発生が全く認められない
○:ダークスポットの発生数が、1個/mmである
△:ダークスポットの発生数が、2個〜4個/mmである
×:ダークスポットの発生数が、5個以上/mmである
〔保存性の評価〕
各有機EL素子を温度60℃、相対湿度80%の環境下で、1000時間放置した後、直流電圧5Vを有機EL素子に印加して発光させ、マイクロスコープ(モリテックス社製MS−804、レンズMP−ZW25−200)を用いて、強制劣化処理後の発光面積を測定し、Win Roof(三谷商事製)を用いて画像解析を行い、強制劣化処理を行う前の初期発光面積に対する非発光面積の割合を測定し、下記の基準に従って保存性の評価を行った。
A: Generation of dark spots is not recognized at all O: The number of dark spots generated is 1 / mm 2 Δ: The number of generated dark spots is 2 to 4 / mm 2 ×: Dark spots Is 5 or more / mm 2 [Evaluation of preservability]
Each organic EL element was allowed to stand for 1000 hours in an environment at a temperature of 60 ° C. and a relative humidity of 80%. After that, a DC voltage of 5 V was applied to the organic EL element to emit light, and a microscope (MS-804 manufactured by Moritex Co., Ltd., lens MP) was used. -ZW25-200) is used to measure the light emitting area after the forced deterioration treatment, image analysis is performed using Win Roof (manufactured by Mitani Corp.), and the non-light emitting area relative to the initial light emitting area before the forced deterioration processing is performed. The ratio was measured, and storage stability was evaluated according to the following criteria.

寿命の評価ランク
◎:強制劣化処理後の非発光面積率が、0.1%未満である
○:強制劣化処理後の非発光面積率が、0.1%以上、1.0%未満である
△:強制劣化処理後の非発光面積率が、1.0%以上、2.0%未満である
×:強制劣化処理後の非発光面積率が、2.0%以上である
以上により得られた結果を、表1に示す。
Evaluation rank of life ◎: Non-light emitting area ratio after forced deterioration treatment is less than 0.1% ○: Non-light emitting area ratio after forced deterioration processing is 0.1% or more and less than 1.0% Δ: The non-light emitting area ratio after the forced deterioration treatment is 1.0% or more and less than 2.0%. ×: The non-light emitting area ratio after the forced deterioration treatment is 2.0% or more. The results are shown in Table 1.

Figure 2011222385
Figure 2011222385

表1に記載の結果より明らかな様に、本発明で規定する条件で可撓性基材の洗浄処理及び有機化合物層の形成を行って作製した有機EL素子は、比較例に対し、洗浄不良による異物や残留溶媒等によるダークスポットの発生が抑制され、塗布性も良好で、輝度ムラ耐性、保存性に優れていることが分かる。   As is clear from the results shown in Table 1, the organic EL device produced by performing the cleaning treatment of the flexible substrate and the formation of the organic compound layer under the conditions specified in the present invention was poorly cleaned relative to the comparative example. It can be seen that the generation of dark spots due to foreign matters and residual solvent due to the above is suppressed, the coating property is good, and the luminance unevenness resistance and storage stability are excellent.

実施例2
《有機EL素子の作製》
〔有機EL素子201〜205の作製〕
実施例1に記載の有機EL素子105の作製において、正孔輸送層形成用塗布液に用いる有機溶媒をトルエンに変更し、更に発光層形成用塗布液に用いる有機溶媒を、表2に記載の有機溶媒に変更した以外は同様にして、有機EL素子201〜205を作製した。
Example 2
<< Production of organic EL element >>
[Production of Organic EL Elements 201-205]
In the production of the organic EL element 105 described in Example 1, the organic solvent used for the hole transport layer forming coating solution is changed to toluene, and the organic solvent used for the light emitting layer forming coating solution is set forth in Table 2. Organic EL elements 201 to 205 were produced in the same manner except that the organic solvent was changed.

《有機EL素子の評価》
上記作製した有機EL素子201〜205について、実施例1に記載の方法と同様にして、輝度ムラ耐性、初期ダークスポット耐性及び保存性の評価を行い、得られた結果を表2に示す。
<< Evaluation of organic EL elements >>
The produced organic EL elements 201 to 205 were evaluated for luminance unevenness resistance, initial dark spot resistance and storage stability in the same manner as in the method described in Example 1, and the obtained results are shown in Table 2.

Figure 2011222385
Figure 2011222385

表2に記載の結果より明らかな様に、洗浄工程で用いる洗浄用有機溶媒に対し、それ以上に高い蒸気圧を有する有機溶媒を用いて、少なくとも1層の有機化合物層(発光層)を形成することにより、洗浄不良による異物や残留溶媒等によるダークスポットの発生が抑制され、塗布性も良好で、輝度ムラ耐性、保存性に優れた有機EL素子を得ることができることが分かる。   As is clear from the results shown in Table 2, at least one organic compound layer (light-emitting layer) is formed using an organic solvent having a higher vapor pressure than the cleaning organic solvent used in the cleaning step. By doing this, it can be seen that the generation of dark spots due to foreign matters, residual solvents, etc. due to poor cleaning is suppressed, coating properties are good, luminance unevenness resistance, and excellent storage stability can be obtained.

実施例3
《有機EL素子の作製》
〔有機EL素子301〜303の作製〕
実施例2に記載の有機EL素子201の作製において、第1電極を形成した可撓性基材を、イソプロピルアルコールで洗浄を行った後、有機化合物層の形成前に、表3に記載の加熱温度及び加熱時間で加熱処理を施した以外は同様にして、有機EL素子301〜303を作製した。
Example 3
<< Production of organic EL element >>
[Production of organic EL elements 301 to 303]
In the production of the organic EL element 201 described in Example 2, the flexible substrate on which the first electrode was formed was washed with isopropyl alcohol and then heated as described in Table 3 before forming the organic compound layer. Organic EL elements 301 to 303 were produced in the same manner except that the heat treatment was performed at the temperature and the heating time.

《有機EL素子の評価》
上記作製した有機EL素子301〜303と実施例2で作製した有機EL素子201について、実施例1に記載の方法と同様にして、輝度ムラ耐性、初期ダークスポット耐性及び保存性の評価を行い、得られた結果を表3に示す。
<< Evaluation of organic EL elements >>
For the organic EL elements 301 to 303 produced above and the organic EL element 201 produced in Example 2, the luminance unevenness resistance, initial dark spot resistance and storage stability are evaluated in the same manner as in the method described in Example 1. The obtained results are shown in Table 3.

Figure 2011222385
Figure 2011222385

表3に記載の結果より明らかな様に、洗浄工程後に、有機化合物層を形成する前に加熱処理を施すことにより、残留溶媒による影響を低減でき、初期ダークスポット耐性がより一層向上することが分かる。   As is apparent from the results shown in Table 3, the effect of the residual solvent can be reduced and the initial dark spot resistance can be further improved by performing the heat treatment after the cleaning step and before forming the organic compound layer. I understand.

実施例4
《混合溶媒の調製》
イソプロピルアルコールと水とを、表4に記載の質量比率で混合して、蒸気圧の異なる溶媒A(蒸気圧:3.8kPa)、溶媒B(蒸気圧:3.4kPa)、溶媒C(蒸気圧:2.9kPa)を調製した。
Example 4
<< Preparation of mixed solvent >>
Isopropyl alcohol and water are mixed at a mass ratio shown in Table 4, and solvent A (vapor pressure: 3.8 kPa), solvent B (vapor pressure: 3.4 kPa), solvent C (vapor pressure) having different vapor pressures are mixed. : 2.9 kPa).

Figure 2011222385
Figure 2011222385

《有機EL素子の作製》
〔有機EL素子401の作製〕
実施例1に記載の有機EL素子104の作製において、発光層形成用塗布液の調製に用いる塗布用有機溶媒として、トルエンに代えて、酢酸イソプロピルを用いた以外は同様にして、有機EL素子401を作製した。
<< Production of organic EL element >>
[Production of Organic EL Element 401]
In the production of the organic EL element 104 described in Example 1, the organic EL element 401 was similarly obtained except that isopropyl acetate was used in place of toluene as the coating organic solvent used for the preparation of the light emitting layer forming coating solution. Was made.

〔有機EL素子402〜404の作製〕
上記有機EL素子401の作製において、正孔輸送層形成用塗布液の調製に用いる塗布用有機溶媒として、イソプロピルアルコールに代えて、表5に記載の様に上記調製した溶媒A〜Cをそれぞれ用いた以外は同様にして、有機EL素子402〜404を作製した。
[Preparation of organic EL elements 402 to 404]
In the production of the organic EL element 401, as the organic solvent for coating used for preparing the coating liquid for forming the hole transport layer, the solvents A to C prepared as shown in Table 5 were used instead of isopropyl alcohol, respectively. Organic EL elements 402 to 404 were produced in the same manner except that.

《有機EL素子の評価》
上記作製した有機EL素子401〜404について、実施例1に記載の方法と同様にして、輝度ムラ耐性、初期ダークスポット耐性及び保存性の評価を行い、得られた結果を表5に示す。
<< Evaluation of organic EL elements >>
The produced organic EL elements 401 to 404 were evaluated in terms of luminance unevenness resistance, initial dark spot resistance and storage stability in the same manner as in the method described in Example 1. Table 5 shows the obtained results.

Figure 2011222385
Figure 2011222385

表5に記載の結果より明らかな様に、有機化合物層の1つである正孔輸送層の塗布液構成として、洗浄用有機溶媒より蒸気圧の高い塗布用有機溶媒を70質量%以上含む塗布液を用いて作製した有機EL素子401、402は、塗布用有機溶媒の比率が70質量%未満の塗布液を用いて作製した有機EL素子403、404に比較して、初期ダークスポット耐性が向上し、より好ましい態様であることを確認することができた。   As is clear from the results shown in Table 5, the coating liquid composition of the hole transport layer, which is one of the organic compound layers, is a coating containing 70% by mass or more of a coating organic solvent having a higher vapor pressure than the cleaning organic solvent. The organic EL elements 401 and 402 produced using the liquid have improved initial dark spot resistance compared to the organic EL elements 403 and 404 produced using the coating liquid having a coating organic solvent ratio of less than 70% by mass. And it was able to confirm that it was a more preferable aspect.

1 有機EL素子
2 基材
3 有機エレクトロニクス構造体(発光素子)
4 接着剤
5 封止材
6 無機膜
7 陽極
8 正孔注入層
9 正孔輸送層
10 発光層
11 電子注入層
12 陰極(アルミ電極)
101、301、501、701 EPC
102、302、502 バックアップロール
103、303、503 塗布装置
104、304、504 塗布液供給ライン
201、401、601、703 乾燥風供給口
202、402、602、704 乾燥風排気口
203、403、603 搬送用ロール
702、705 サクションロール
A 可撓性透明基材
B 基材繰り出し装置
C 基材巻き取り装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic EL element 2 Base material 3 Organic electronics structure (light emitting element)
4 Adhesive 5 Sealing Material 6 Inorganic Film 7 Anode 8 Hole Injection Layer 9 Hole Transport Layer 10 Light-Emitting Layer 11 Electron Injection Layer 12 Cathode (Aluminum Electrode)
101, 301, 501, 701 EPC
102, 302, 502 Backup roll 103, 303, 503 Coating device 104, 304, 504 Coating liquid supply line 201, 401, 601, 703 Dry air supply port 202, 402, 602, 704 Dry air exhaust port 203, 403, 603 Transport rolls 702, 705 Suction roll A Flexible transparent base material B Base material feeding device C Base material take-up device

Claims (9)

可撓性基材上に透明導電膜を形成した後、該透明導電膜上に、発光層を含む少なくとも1層の有機化合物層と対向電極層とを形成して製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、可撓性基材上に該透明導電膜を形成し、該透明導電膜の表面を洗浄用有機溶媒で洗浄した後、該透明導電膜上に、該洗浄用有機溶媒の蒸気圧と同等以上の蒸気圧を有する塗布用有機溶媒を含有する塗布液を用いて該有機化合物層の少なくとも1層を形成して製造することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   Manufacture of an organic electroluminescence device manufactured by forming a transparent conductive film on a flexible substrate and then forming at least one organic compound layer including a light emitting layer and a counter electrode layer on the transparent conductive film In the method, the transparent conductive film is formed on a flexible substrate, the surface of the transparent conductive film is cleaned with a cleaning organic solvent, and then the vapor pressure of the cleaning organic solvent is set on the transparent conductive film. A method for producing an organic electroluminescence device, comprising producing at least one layer of the organic compound layer using a coating solution containing a coating organic solvent having a vapor pressure equal to or higher than that. 前記透明導電膜の表面を前記洗浄用有機溶媒で洗浄した後、50℃以上、150℃以下の温度で、該透明導電膜を加熱乾燥することを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   2. The organic electroluminescence according to claim 1, wherein after the surface of the transparent conductive film is washed with the cleaning organic solvent, the transparent conductive film is heated and dried at a temperature of 50 ° C. or more and 150 ° C. or less. Device manufacturing method. 前記洗浄用有機溶媒の蒸気圧が、2.5kPa以上、25kPa以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   The method for producing an organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the cleaning organic solvent has a vapor pressure of 2.5 kPa or more and 25 kPa or less. 前記塗布用有機溶媒の蒸気圧が、2.5kPa以上、25kPa以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   4. The method of manufacturing an organic electroluminescent element according to claim 1, wherein a vapor pressure of the coating organic solvent is 2.5 kPa or more and 25 kPa or less. 5. 前記洗浄用有機溶媒が、アルコール類、脂肪酸エステル類、ケトン類、芳香族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、脂肪族炭化水素類、アミン類、ニトリル類及びエーテル類から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   The cleaning organic solvent is at least one selected from alcohols, fatty acid esters, ketones, aromatic hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, aliphatic hydrocarbons, amines, nitriles and ethers. It exists, The manufacturing method of the organic electroluminescent element of any one of Claim 1 to 4 characterized by the above-mentioned. 前記塗布用有機溶媒が、アルコール類、脂肪酸エステル類、ケトン類、芳香族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、脂肪族炭化水素類、アミン類、ニトリル類及びエーテル類から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   The organic solvent for coating is at least one selected from alcohols, fatty acid esters, ketones, aromatic hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, aliphatic hydrocarbons, amines, nitriles and ethers. It exists, The manufacturing method of the organic electroluminescent element of any one of Claim 1 to 5 characterized by the above-mentioned. 前記有機化合物層の全ての層が、前記塗布用有機溶媒を含有する塗布液により形成することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   All the layers of the said organic compound layer are formed with the coating liquid containing the said organic solvent for application | coating, The manufacturing method of the organic electroluminescent element of any one of Claim 1 to 6 characterized by the above-mentioned. 前記有機化合物層の少なくとも1層が、前記塗布用有機溶媒を70質量%以上含有する塗布液により形成することを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   8. The organic electroluminescent element according to claim 1, wherein at least one of the organic compound layers is formed of a coating solution containing 70% by mass or more of the organic solvent for coating. Production method. 請求項1から8のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法により製造されたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。   An organic electroluminescent element manufactured by the method for manufacturing an organic electroluminescent element according to claim 1.
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