JP2011220704A - Measuring method for laser diode - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はレーザダイオードの測定方法に関し、特に2〜3の温度域におけるレーザダイオードの電流と光学的、電気的特性の関係で測定し、特性のチェックを行なうためのレーザダイオードの測定方法に関する。 The present invention relates to a method for measuring a laser diode, and more particularly to a method for measuring a laser diode for measuring the relationship between the current and optical and electrical characteristics of a laser diode in a temperature range of 2 to 3 and checking the characteristics.
従来より、レーザダイオードは周域の温度によって一定光量に対する電流の量に差異が生じ、高温度の方が多くの電流を必要とする。逆に低温下では少電流で光を放射する。各ワーク毎でみた場合、温度の高低によって光が異なり、バラ付いた状態となってしまう。 Conventionally, a laser diode has a difference in the amount of current with respect to a constant amount of light depending on the temperature of the surrounding area, and a higher temperature requires more current. Conversely, light is emitted with a small current at low temperatures. When viewed for each workpiece, the light varies depending on the temperature, resulting in a scattered state.
上記した状態を測定し、製品としての良否をチェックするため、温度テストが行なわれているが、従来は、トレイ状の治具にワークを手詰めでセッティングし、各温度を設定して、一つづつ計測を行なっていたもので、非常に効率が悪く、時間を要し、作業者の負担も大きいものとなっている。 In order to measure the above-mentioned state and check the quality of the product, a temperature test has been carried out. Conventionally, the work is set by hand on a tray-shaped jig, each temperature is set, and one is set. The measurement is performed one by one, which is very inefficient, takes time, and places a heavy burden on the operator.
出願人は、本願発明に関し、先行する技術文献を調査したが、格別に本願発明と関連し、類似すると思われるものは発見できなかった。 The applicant has investigated prior technical documents regarding the present invention, but has not found anything that is related to the present invention and seems to be similar.
本願発明が解決しようとする問題点は、従来、多数のレーザダイオードを複数の温度域に対し、ワークを一つづつ自動測定するという方法は存在していなかったという点である。 The problem to be solved by the present invention is that there has conventionally not been a method for automatically measuring a plurality of laser diodes one by one in a plurality of temperature ranges.
上記した問題点を解決するために、本発明に係るレーザダイオードの測定方法は、円形をし、一回の回転角に45度としたインデックステーブルの外周縁近傍に45度ピッチで8個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは、1つ置きに高温度測定用と中温度測定用のものとし、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて6つめの位置(270度位置)を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、45度で2回回転させ、その時点で前記供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温あるいは中温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で異なる温度での測定が終了すると、その第一のワークは測定部より回転方向で1つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とし、一回の45度の回転時間は4秒とすることを特徴としている。 In order to solve the above-described problems, the laser diode measuring method according to the present invention has a circular shape and eight workpieces at a 45 ° pitch in the vicinity of the outer peripheral edge of the index table that is 45 ° at one rotation angle. A receiving holder is provided, and every other holder is for high temperature measurement and medium temperature measurement, and a specific position of the above holders is used as a workpiece supply unit, and counted from the supply unit in the rotation direction. The sixth position (270 degree position) is used as the measurement unit. First, the first workpiece is supplied to the holder located in the supply unit, rotated twice at 45 degrees, and the holder located in the supply unit at that time. When the first workpiece is measured at the high temperature or medium temperature in the measuring section, it is transferred to the holder at a temperature different from the measured one that is next to the rotation direction. When the measurement at the different temperature is completed again at the measurement unit, the first workpiece is picked up at a position adjacent to the measurement unit by one in the rotation direction and stored as inspected by the number of workpieces. It is characterized by repetition, and a 45-degree rotation time is 4 seconds.
また、本発明に係るレーザダイオードの測定方法は、円形をし、一回の回転角を40度としたインデックステーブルの外周縁近傍に40度ピッチで9個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは2つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として各々3つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて7つめの位置(280度)を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、40度で3回回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる、測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で前隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その3回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で1つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とし、一回の40度の回転時間は7.5秒とすることを特徴としている。 In addition, the laser diode measuring method according to the present invention is provided with nine workpiece receiving holders at a pitch of 40 degrees in the vicinity of the outer periphery of the index table having a circular shape and a rotation angle of 40 degrees. Three each for high temperature measurement, normal temperature measurement, and low temperature measurement are provided every two, and a specific position in the holder is set as a workpiece supply unit, and the seventh is counted from the supply unit in the rotation direction. The position (280 degrees) is taken as the measurement part. First, the first work is supplied to the holder located in the supply part and rotated three times at 40 degrees. At that time, the second work is placed in the holder located in the supply part. When the first workpiece is measured at the high temperature, normal temperature, or low temperature, the first workpiece is transferred to a holder at a temperature different from the measured value. , When the measurement at the second temperature is completed in the measurement unit, the first work is further transferred to the next adjacent holder in the rotation direction, and when the third measurement is completed, It is characterized by repeating the work of picking up at the position next to the measurement unit one turn in the rotation direction and storing it as inspected as many times as the number of workpieces, and the rotation time of 40 degrees per time is 7.5 seconds. It is characterized by.
さらに、本発明に係るレーザダイオードの測定方法は、円形をし、一回の回転角を108度としたインデックステーブルの外周縁近傍に36度ピッチで、10個のワーク受け入れホルダーを備え、そのうち1つは不使用の空きホルダーとし、残る9つのホルダーは2つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として3つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワーク供給部とし、その供給部から回転方向に144度の位置を測定部とし、まず、供給部に一つめのワークを供給して108度回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると回転方向の後隣となるホルダーに移載し、再び二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で後隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その3回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で108度の位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とし、一回の108度の回転時間は7.5秒とすることを特徴としている。 Furthermore, the laser diode measuring method according to the present invention is provided with 10 workpiece receiving holders at a 36 ° pitch in the vicinity of the outer peripheral edge of the index table having a circular shape and a rotation angle of 108 °. One is an unused empty holder, and the remaining nine holders are provided for every three for high temperature measurement, room temperature measurement, and low temperature measurement, and a specific position among the above holders is used as a work supply unit, The position of 144 degrees in the rotation direction from the supply section is used as a measurement section. First, the first work is supplied to the supply section and rotated by 108 degrees. At that time, the second work is supplied to the holder located in the supply section. When the first workpiece is measured at the high temperature, normal temperature or low temperature in the measuring section, it is transferred to the holder next to the rotation direction, and the second temperature is again measured. When the first measurement is completed, the first workpiece is further transferred to a holder at a different temperature, which is adjacent to the rear in the rotation direction. When the third measurement is completed, the position of 108 degrees in the rotation direction is obtained from the measurement unit. The operation of picking up and storing as inspected is repeated for the number of workpieces, and the rotation time of one 108 degrees is 7.5 seconds.
本発明に係るレーザダイオードの測定方法は上記のように構成されている。そのため、インデックステーブルの予め設定された回転角で順次回転させていくことで、2〜3の温度域において、単一のワークの特性を数値的に測定することが自動的に行なわれることとなり、非常に効率が良く、測定作業がスムーズとなり、作業者にかかる負担、時間は大幅に軽減されることとなる。 The laser diode measuring method according to the present invention is configured as described above. Therefore, by sequentially rotating the index table at a preset rotation angle, a single workpiece characteristic is automatically measured numerically in a temperature range of 2 to 3, It is very efficient, the measurement work is smooth, and the burden and time on the worker are greatly reduced.
図として示し、実施例で説明したように構成したことで実現した。 This is realized by the configuration shown in the drawing and described in the embodiment.
次に、本発明の第一実施例を図1乃至図2を参照して説明する。この図1、図2にあって1は円形としたインデックステーブルであり、このインデックステーブル1の外周縁近傍には、その中心から45度分割で8つのホルダー2、2a、2b、2c,3、3a、3b、3cが設けられている。そして、このインデックステーブル1は時計方向に45度の回転角で回転するものとされ、そのサイクルタイムは4秒とされている。ここで、サイクルタイム、即ち回転時間は、一度回転を開始して停止し、次の回転が始まるまでの時間で測定時間も含まれている。
Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a circular index table. In the vicinity of the outer peripheral edge of the index table 1, eight
図2にあって、各図の上部にある数字は経過時間(秒)を示しているもので、初期状態(経過時間0)の位置で、図1に示すホルダー2の位置は対象となるワーク(レーザダイオード)の供給部となる。このインデックステーブル1におけるホルダー2、2a‥,3、3a‥は1つ置きに高温(85℃)及び中温(50℃)を対象としているもので、実施例では2、2a‥が高温、3、3a‥を中温としている。又、この温度制御はベルチェ効果(熱起電力)の素子が用いられているが、ヒーター等で代替することもできる。そして、図1に示す、供給部から6つめとなるホルダー2cの位置が電流と波長の関係(IL/λ)を測定する測定部とされ、3cの位置が最終的にインデックステーブル1からワークを取り出し、治具に収納する収納部となっている。
In FIG. 2, the numbers at the top of each figure indicate the elapsed time (seconds), and the position of the
まず、第一のワーク(レーザダイオード)を多数列設収容されているトレイ治具から、コレットチャック、バキュームチャック等の手段によりピックアップし、供給部へ供給する。この供給後、1サイクル、即ち45度インデックステーブル1を回転させると、供給部にはホルダー3cが位置することとなるが、ここで、ホルダー3cには新しい(第二の)ワークの供給はせず、さらに、45度インデックステーブル1を回転させる。これによって、供給部にはホルダー2cが位置される。そして、この時点で供給部に位置するホルダー2cに二つめのワークが供給される。 First, the first workpieces (laser diodes) are picked up from a tray jig accommodated in a large number of rows by means such as a collet chuck or a vacuum chuck and supplied to the supply unit. After this supply, when the index table 1 is rotated for one cycle, that is, 45 degrees, the holder 3c is positioned in the supply unit. Here, a new (second) workpiece is not supplied to the holder 3c. Furthermore, the index table 1 is further rotated by 45 degrees. Accordingly, the holder 2c is positioned in the supply unit. At this time, the second workpiece is supplied to the holder 2c located in the supply unit.
上記した動作を順次行い、6回転(24秒後)した時に、第一のワークが供給されているホルダー2は測定部へ位置することとなり、ここでまず、高温による測定が実施される。この高温での測定が済むと、さらにインデックステーブル1は45度回転して、第一のワークを収納部の位置へ送るが、ここで、第一のワークは次の中温での測定に備え、回転方向の1つ前隣となるホルダー3へ、前記したチャック装置によって移載される。この時点で、高温での測定をするためのホルダー2、2a‥には4つともワークが供給済となっている。
When the above operations are sequentially performed and rotated 6 times (after 24 seconds), the
中温測定用のホルダー3に第一のワークが移載され、さらにインデックステーブル1が45度に回転すると、供給部には、空となったホルダー2が位置することとなり、このホルダー2に五つめのワークが供給されることとなる。この時点で二つめのワークが供給されているホルダー2cは測定部に位置され、高温下での測定がなされる。この動作が順次なされると、13回転目(52秒)に、第一のワークが供給されているホルダー3は測定部に位置し、今度は中温での測定がなされる。この中温での測定が終了すると、ホルダー3は収納部の位置へ回転移行され、その位置でインデックステーブル1からチャック装置でピックアップされ、治具トレイへ収納されることとなる。
When the first workpiece is transferred to the medium temperature measuring holder 3 and the index table 1 is further rotated by 45 degrees, the
この第一のワークがピックアップ収納される時に、ホルダー3の前隣となるホルダー2aには八つめのワークが供給される。この動作を順次繰り返し、最終的に最後のワークは16個目となり、この最後のワークの収納まで、45度の44回転が176秒で完了する。即ち、供給、高温での測定、そして移載、中温出の測定、収納の動作を連続して、自動的に16個のワークに対し、3分弱の時間で済ませることができる。 When the first workpiece is picked up and stored, the eighth workpiece is supplied to the holder 2a adjacent to the front of the holder 3. This operation is sequentially repeated, and finally the last workpiece becomes the 16th, and 45 rotations of 45 degrees are completed in 176 seconds until the storage of the last workpiece. That is, supply, high temperature measurement, transfer, medium temperature measurement, and storage operations can be continuously performed for 16 workpieces in less than 3 minutes.
次いで、図3乃至図4を参照して、本発明の第二実施例を説明する。1aは第二実施例として使用するインデックステーブルを示しており、このインデックステーブルの外周近傍には中心から40度分割で9つのホルダー4、4a、4b,5、5a、5b,6、6a、6bが設けられており、このインデックステーブル1aは時計方向に40度の回転角で回転するものとされ、そのサイクルタイムは7.5秒とされている。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1a shows an index table used as the second embodiment, and nine
図4にあって、各図の上部にある数字は経過時間(秒)を示しているもので、初期状態(経過時間0)の位置で、図3に示すホルダー4の位置は対象となるワーク(レーザダイオード)の供給部となる。このインデックステーブル1aにおけるホルダー4、4a‥,5、5a‥,6、6a‥は2つ置きに低温(−10℃程度)、常温(25℃程度)及び高温(80℃〜90℃程度)を対象としているもので、この第二実施例ではホルダー4、4a‥を低温、5、5a‥を常温、6、6a‥を高温としている。この温度制御は第一実施例と同様のものとし、図3に示す供給部から7つめとなるホルダー5bの位置が第一実施例と同様の測定部とされ、そのホルダー5bの前隣となる6bの位置が最終的にインデックステーブル1aからワークを取り出し、治具に収納する収納部となっている。
In FIG. 4, the numbers at the top of each figure indicate the elapsed time (seconds), and in the initial state (elapsed time 0), the position of the
まず、第一のワーク(レーザダイオード)をトレイ治具から、前記したと同様の手段でピックアップし、供給部に位置しているホルダー4に供給する。この後に、回転角の40度づつ3サイクル回転させ、ホルダー4と同じ低温対応のホルダー4bがこの供給部へ位置すると、そこに第二のワークを供給する。そして、さらに、3サイクル回転させて、ホルダー4aが供給部に位置すると、そこに、第三のワークを供給し、さらに1サイクル回転させると、第一のワークが供給されているホルダー4が測定部へ位置され、ここで低温測定がなされる。
First, the first workpiece (laser diode) is picked up from the tray jig by the same means as described above and supplied to the
ホルダー4に供給されている第一のワークの低温測定が終了すると、さらに1サイクル回転させ、ホルダー4が測定部の前隣の位置へ来ると、そこで、第一のワークはホルダー4から、次の常温での測定に備え、その前隣となるホルダー5へチャック装置で移載される。さらに、1サイクル回転させ、ホルダー4が再び供給部へ位置すると、そこに、第四のワークが供給される。
When the low temperature measurement of the first workpiece supplied to the
こうした動作で、ホルダー4aに第六のワークが供給される時、ホルダー5に供給された第一のワークは測定部に位置され、今度は常温での測定がなされる。この第一のワークの常温での測定が終了し、さらに1サイクル回転させると、ホルダー4に供給されている第四のワークが測定部へ位置され、この第四のワークに対しては低温での測定がなされる。この時点で、第一のワークは、さらに次の高温での測定に備え、前隣となるホルダー6へ移載される。
With this operation, when the sixth workpiece is supplied to the holder 4a, the first workpiece supplied to the holder 5 is positioned in the measurement unit, and this time measurement is performed at normal temperature. When the measurement of the first workpiece at normal temperature is completed and further rotated for one cycle, the fourth workpiece supplied to the
かかるサイクルを繰り返し、ホルダー6が測定部に位置されると、第一のワークは最終的な高温での測定がなされる。この測定後、1サイクル回転させると、ホルダー6は収納部へ位置され、第一のワークはチャック装置でホルダー6からピックアップされ、治具へ収納される。この収納時にホルダー6の前隣となるホルダー4aには第九のワークが供給されることとなり、瞬間的に9つの全てのホルダーが使用状態となる。 When such a cycle is repeated and the holder 6 is positioned in the measuring section, the first workpiece is measured at the final high temperature. After this measurement, when rotating for one cycle, the holder 6 is positioned in the storage portion, and the first workpiece is picked up from the holder 6 by the chuck device and stored in the jig. The ninth work is supplied to the holder 4a adjacent to the front of the holder 6 at the time of storage, and all nine holders are instantaneously used.
この動作を繰り返して、最終的に最後のワークは15個目となり、この最後の第十五のワークの収納までは40度の66回転で495秒で完了する。即ち、供給、低温での測定、移載、常温での測定、再び移載、高温での測定、収納までの動作を連続して自動的に15個のワークに対し、8分強の時間で済ませることができる。 By repeating this operation, the final work is finally the fifteenth work, and the storage of the final fifteenth work is completed in 495 seconds with 66 rotations of 40 degrees. That is, supply, measurement at low temperature, transfer, measurement at room temperature, transfer, measurement at high temperature, and storage are automatically performed continuously for 15 workpieces in just over 8 minutes. I can finish it.
次いで、図5乃至図6を参照して、本発明の第三実施例を説明する。図中1bは円形をしたインデックステーブルであり、このインデックステーブル1bの外周縁近傍には、その中心から36度分割で、1つを不使用の空きホルダーとした9個のホルダー7、7a、7b,8、8a、8b,9、9a、9bが設けられており、このインデックステーブル1bは時計方向の分割角度の3倍分となる108度の回転角で回転するものとされ、そのサイクルタイムは7.5秒とされている。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the figure, reference numeral 1b denotes a circular index table. Nine
図6にあって、各図の上部にある数字は経過時間(秒)を示しているもので、初期状態(経過時間0)の位置で、図5に示すホルダー7の位置は対象となるワーク(レーザダイオード)の供給部となる。このインデックステーブル1bにおけるホルダー7、7b、7a,8、8b、8a,9、9b、9aは逆時計回り方向に2つ置きに低温(マックスで−40℃程度)、常温(25℃程度)、高温(80℃〜90℃程度)を対象としているもので、この第三実施例としては7、7b、7aを低温、8、8b、8aを常温、9、9b、9aを高温としている。この温度制御は第一実施例、第二実施例と同様のものとし、供給部から回転方向に144度の位置が測定部とされ、その測定部から108度の位置がインデックステーブル1bからワークを取り出し、治具に収納する収納部となっている。尚、供給部は空きホルダー(図では不要のため特にその存在を示していない)の回転方向で後隣となる。
In FIG. 6, the number at the top of each figure indicates the elapsed time (seconds), and the position of the holder 7 shown in FIG. 5 is the position of the target workpiece in the initial state (elapsed time 0). (Laser diode) supply section. The
まず、第一のワーク(レーザダイオード)をトレイ治具から、前記したと同様の手段でピックアップし、供給部に位置している低温用のホルダー7に供給する。この後に、インデックステーブル1bを回転角108度で1サイクル回転させると、供給部には、やはり低温用のホルダー7bが位置するので、このホルダー7bに第二のワークを供給し、さらに、1サイクル回転させると、供給部には、やはり低温用のホルダー7aが位置するので、ここに第三のワークを供給する。即ち、この例では1サイクルの回転ごとに、目的とする対象温度のホルダーが供給部に位置され、次々とワークを供給していくことができる。
First, the first workpiece (laser diode) is picked up from the tray jig by the same means as described above, and is supplied to the holder 7 for low temperature located in the supply unit. Thereafter, when the index table 1b is rotated by one cycle at a rotation angle of 108 degrees, the holder 7b for low temperature is also positioned in the supply section, so the second work is supplied to the holder 7b, and further, one cycle. When rotated, a
そして、三つのワークが供給されている状態で、インデックステーブル1bを8サイクル(60秒)回転させると、第一のワークが供給されているホルダー7は測定部に位置することとなり、ここで低温による測定がなされる。この測定後、1サイクル回転させると、第二のワークが供給されているホルダー7bが測定部へ位置され、この第二のワークに対し、低温での測定がなされる。この時点で、第一のワークが供給されているホルダー7は収納部位置となっているが、ここで、第一のワークは、次の常温での測定に備え、後隣となるホルダー8bにチャック装置により移載される。 Then, when the index table 1b is rotated for eight cycles (60 seconds) in a state where three workpieces are supplied, the holder 7 to which the first workpiece is supplied is positioned in the measurement unit, where the temperature is low. Is measured. After this measurement, when rotating for one cycle, the holder 7b to which the second workpiece is supplied is positioned in the measuring section, and the second workpiece is measured at a low temperature. At this time, the holder 7 to which the first workpiece is supplied is in the storage portion position. Here, the first workpiece is placed in the holder 8b that is adjacent to the rear in preparation for the next measurement at room temperature. Transferred by the chuck device.
さらに、1サイクル回転させると、第三のワークが供給されているホルダー7aが測定部に位置し、低温測定がなされる。この時点で、第二のワークは次の常温測定に備え、後隣のホルダー8aへ移載され、ホルダー7が空き状態で供給部へ位置するので、ここに第四のワークが供給される。ここから1サイクル回転させると、測定部には空きホルダーが位置することとなり、第三のワークは常温の測定に備え、後隣のホルダー8へ移載される。この時に、供給部に位置するホルダー7bには第五のワークが供給される。
Further, when the rotation is performed for one cycle, the
そして、15サイクル(112.5秒)した時に、第一のワークが供給されているホルダー8bは測定部に位置され、今度は常温での測定がなされる。この測定後、1サイクル回転させると、第二のワークが供給されているホルダー8aが測定部に位置し、常温での測定がなされるが、この時に、第一のワークが供給されているホルダー8bは収納部位置にあり、この第一のワークは次の高温測定に備えて、後隣となるホルダー9bへと移載される。 Then, when 15 cycles (112.5 seconds) are reached, the holder 8b to which the first workpiece is supplied is positioned in the measurement section, and this time measurement is performed at room temperature. After this measurement, when rotating for one cycle, the holder 8a to which the second workpiece is supplied is positioned in the measuring section and measurement is performed at room temperature. At this time, the holder to which the first workpiece is supplied 8b is in the storage portion position, and this first work is transferred to the holder 9b which is adjacent to the rear in preparation for the next high temperature measurement.
この移載後、6サイクルの回転で、第一のワークが供給されているホルダー9bは測定部に位置し、高温での測定がなされる。この高温での測定後に1サイクル回転させると、第一のワークが供給されているホルダー9bは収納部位置となり、ここで、第一のワークはチャック装置でピックアップされ、トレイ治具へ収納されることとなる。 After this transfer, the holder 9b to which the first workpiece is supplied is positioned in the measurement section with six cycles of rotation, and measurement is performed at a high temperature. When rotating for one cycle after measurement at this high temperature, the holder 9b to which the first workpiece is supplied becomes the storage portion position, where the first workpiece is picked up by the chuck device and stored in the tray jig. It will be.
かかる動作を繰り返して、この第三実施例では最後のワークは15個目となり、この最後の第15ワークの収納までは、108度で65回転の487.5秒で終了し、第二実施例と比して、1サイクルの7.5秒作業時間を短縮できる。 By repeating this operation, in the third embodiment, the last workpiece becomes the fifteenth piece, and until the last 15th workpiece is stored, the rotation is completed at 487.5 seconds of 108 revolutions and 65 revolutions. Compared with, it is possible to shorten the 7.5 second working time of one cycle.
尚、第二実施例、第三実施例にあって、第一実施例に比べて1サイクルの時間を長くしているのは、低温での測定を組み入れてあるためで、ベルチェ効果素子の温度の変化に要する時間を見込んでいるためである。 In the second embodiment and the third embodiment, the time for one cycle is made longer than that in the first embodiment because the measurement at a low temperature is incorporated, and the temperature of the Beltier effect element is increased. This is because the time required for the change is anticipated.
本発明に係る各実施例は上記のように構成されている。本実施例にあっては温度によって状態が変わるレーザダイオードを測定対象としているが、本願方法は、レーザダイオード以外でも複数の温度域で特性が変化する各種電子部品の特性測定にも応用することができる。 Each embodiment according to the present invention is configured as described above. In this embodiment, the laser diode whose state changes depending on the temperature is the object of measurement, but the method of the present application can be applied to the characteristic measurement of various electronic components whose characteristics change in a plurality of temperature ranges other than the laser diode. it can.
1、1a、1b インデックステーブル
2、2a、2b、2c 高温用ホルダー
3、3a、3b、3c 中温用ホルダー
4、4a、4b 低温用ホルダー
5、5a、5b 常温用ホルダー
6、6a、6b 高温用ホルダー
7、7a、7b 低温用ホルダー
8、8a、8b 常温用ホルダー
9、9a、9b 高温用ホルダー
1, 1a, 1b Index table 2, 2a, 2b, 2c High temperature holder 3, 3a, 3b, 3c
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