JP2011220704A - Measuring method for laser diode - Google Patents

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静 石塚
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洋二 白石
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To automatically measure a large number of laser diodes individually against multiple temperature ranges.SOLUTION: Eight work-piece receiver holders are provided at 45 degrees pitch in the peripheral line vicinity of a round index table whose each rotation angle is 45 degrees, and the holders are alternately for high temperature and medium temperature measurement. A feed section of the work-piece is a particular location of the holders, and a test section is the sixth location counted in the rotation direction from the feed section. Firstly, a first work-piece is provided to the holder located at the feed section and turned twice at 45 degrees, and a second work-piece is provided to the holder located at the feed section, and when the measurement for the first work-piece finishes at the test section at high temperature or medium temperature it transfers to a holder at temperature different from that of the measured and front adjoining one in the rotation direction. Measurement is performed once again at the test section at different temperature, and when measurement finishes, the first work-piece is picked up and received at the location front adjoining to the test section in rotation direction and stored. This work is repeated as many times as the number of work-pieces.

Description

本発明はレーザダイオードの測定方法に関し、特に2〜3の温度域におけるレーザダイオードの電流と光学的、電気的特性の関係で測定し、特性のチェックを行なうためのレーザダイオードの測定方法に関する。   The present invention relates to a method for measuring a laser diode, and more particularly to a method for measuring a laser diode for measuring the relationship between the current and optical and electrical characteristics of a laser diode in a temperature range of 2 to 3 and checking the characteristics.

従来より、レーザダイオードは周域の温度によって一定光量に対する電流の量に差異が生じ、高温度の方が多くの電流を必要とする。逆に低温下では少電流で光を放射する。各ワーク毎でみた場合、温度の高低によって光が異なり、バラ付いた状態となってしまう。   Conventionally, a laser diode has a difference in the amount of current with respect to a constant amount of light depending on the temperature of the surrounding area, and a higher temperature requires more current. Conversely, light is emitted with a small current at low temperatures. When viewed for each workpiece, the light varies depending on the temperature, resulting in a scattered state.

上記した状態を測定し、製品としての良否をチェックするため、温度テストが行なわれているが、従来は、トレイ状の治具にワークを手詰めでセッティングし、各温度を設定して、一つづつ計測を行なっていたもので、非常に効率が悪く、時間を要し、作業者の負担も大きいものとなっている。   In order to measure the above-mentioned state and check the quality of the product, a temperature test has been carried out. Conventionally, the work is set by hand on a tray-shaped jig, each temperature is set, and one is set. The measurement is performed one by one, which is very inefficient, takes time, and places a heavy burden on the operator.

出願人は、本願発明に関し、先行する技術文献を調査したが、格別に本願発明と関連し、類似すると思われるものは発見できなかった。   The applicant has investigated prior technical documents regarding the present invention, but has not found anything that is related to the present invention and seems to be similar.

本願発明が解決しようとする問題点は、従来、多数のレーザダイオードを複数の温度域に対し、ワークを一つづつ自動測定するという方法は存在していなかったという点である。   The problem to be solved by the present invention is that there has conventionally not been a method for automatically measuring a plurality of laser diodes one by one in a plurality of temperature ranges.

上記した問題点を解決するために、本発明に係るレーザダイオードの測定方法は、円形をし、一回の回転角に45度としたインデックステーブルの外周縁近傍に45度ピッチで8個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは、1つ置きに高温度測定用と中温度測定用のものとし、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて6つめの位置(270度位置)を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、45度で2回回転させ、その時点で前記供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温あるいは中温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で異なる温度での測定が終了すると、その第一のワークは測定部より回転方向で1つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とし、一回の45度の回転時間は4秒とすることを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, the laser diode measuring method according to the present invention has a circular shape and eight workpieces at a 45 ° pitch in the vicinity of the outer peripheral edge of the index table that is 45 ° at one rotation angle. A receiving holder is provided, and every other holder is for high temperature measurement and medium temperature measurement, and a specific position of the above holders is used as a workpiece supply unit, and counted from the supply unit in the rotation direction. The sixth position (270 degree position) is used as the measurement unit. First, the first workpiece is supplied to the holder located in the supply unit, rotated twice at 45 degrees, and the holder located in the supply unit at that time. When the first workpiece is measured at the high temperature or medium temperature in the measuring section, it is transferred to the holder at a temperature different from the measured one that is next to the rotation direction. When the measurement at the different temperature is completed again at the measurement unit, the first workpiece is picked up at a position adjacent to the measurement unit by one in the rotation direction and stored as inspected by the number of workpieces. It is characterized by repetition, and a 45-degree rotation time is 4 seconds.

また、本発明に係るレーザダイオードの測定方法は、円形をし、一回の回転角を40度としたインデックステーブルの外周縁近傍に40度ピッチで9個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは2つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として各々3つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて7つめの位置(280度)を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、40度で3回回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる、測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で前隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その3回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で1つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とし、一回の40度の回転時間は7.5秒とすることを特徴としている。   In addition, the laser diode measuring method according to the present invention is provided with nine workpiece receiving holders at a pitch of 40 degrees in the vicinity of the outer periphery of the index table having a circular shape and a rotation angle of 40 degrees. Three each for high temperature measurement, normal temperature measurement, and low temperature measurement are provided every two, and a specific position in the holder is set as a workpiece supply unit, and the seventh is counted from the supply unit in the rotation direction. The position (280 degrees) is taken as the measurement part. First, the first work is supplied to the holder located in the supply part and rotated three times at 40 degrees. At that time, the second work is placed in the holder located in the supply part. When the first workpiece is measured at the high temperature, normal temperature, or low temperature, the first workpiece is transferred to a holder at a temperature different from the measured value. , When the measurement at the second temperature is completed in the measurement unit, the first work is further transferred to the next adjacent holder in the rotation direction, and when the third measurement is completed, It is characterized by repeating the work of picking up at the position next to the measurement unit one turn in the rotation direction and storing it as inspected as many times as the number of workpieces, and the rotation time of 40 degrees per time is 7.5 seconds. It is characterized by.

さらに、本発明に係るレーザダイオードの測定方法は、円形をし、一回の回転角を108度としたインデックステーブルの外周縁近傍に36度ピッチで、10個のワーク受け入れホルダーを備え、そのうち1つは不使用の空きホルダーとし、残る9つのホルダーは2つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として3つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワーク供給部とし、その供給部から回転方向に144度の位置を測定部とし、まず、供給部に一つめのワークを供給して108度回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると回転方向の後隣となるホルダーに移載し、再び二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で後隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その3回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で108度の位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とし、一回の108度の回転時間は7.5秒とすることを特徴としている。   Furthermore, the laser diode measuring method according to the present invention is provided with 10 workpiece receiving holders at a 36 ° pitch in the vicinity of the outer peripheral edge of the index table having a circular shape and a rotation angle of 108 °. One is an unused empty holder, and the remaining nine holders are provided for every three for high temperature measurement, room temperature measurement, and low temperature measurement, and a specific position among the above holders is used as a work supply unit, The position of 144 degrees in the rotation direction from the supply section is used as a measurement section. First, the first work is supplied to the supply section and rotated by 108 degrees. At that time, the second work is supplied to the holder located in the supply section. When the first workpiece is measured at the high temperature, normal temperature or low temperature in the measuring section, it is transferred to the holder next to the rotation direction, and the second temperature is again measured. When the first measurement is completed, the first workpiece is further transferred to a holder at a different temperature, which is adjacent to the rear in the rotation direction. When the third measurement is completed, the position of 108 degrees in the rotation direction is obtained from the measurement unit. The operation of picking up and storing as inspected is repeated for the number of workpieces, and the rotation time of one 108 degrees is 7.5 seconds.

本発明に係るレーザダイオードの測定方法は上記のように構成されている。そのため、インデックステーブルの予め設定された回転角で順次回転させていくことで、2〜3の温度域において、単一のワークの特性を数値的に測定することが自動的に行なわれることとなり、非常に効率が良く、測定作業がスムーズとなり、作業者にかかる負担、時間は大幅に軽減されることとなる。   The laser diode measuring method according to the present invention is configured as described above. Therefore, by sequentially rotating the index table at a preset rotation angle, a single workpiece characteristic is automatically measured numerically in a temperature range of 2 to 3, It is very efficient, the measurement work is smooth, and the burden and time on the worker are greatly reduced.

第一実施例のインデックステーブルのホルダー位置関係を示す図である。It is a figure which shows the holder positional relationship of the index table of a 1st Example. サイクルを示す図である。It is a figure which shows a cycle. 第二実施例のインデックステーブルのホルダー位置関係を示す図である。It is a figure which shows the holder positional relationship of the index table of 2nd Example. サイクルを示す図である。It is a figure which shows a cycle. 第三実施例のインデックステーブルのホルダー位置関係を示す図である。It is a figure which shows the holder positional relationship of the index table of a 3rd Example. サイクルを示す図である。It is a figure which shows a cycle.

図として示し、実施例で説明したように構成したことで実現した。   This is realized by the configuration shown in the drawing and described in the embodiment.

次に、本発明の第一実施例を図1乃至図2を参照して説明する。この図1、図2にあって1は円形としたインデックステーブルであり、このインデックステーブル1の外周縁近傍には、その中心から45度分割で8つのホルダー2、2a、2b、2c,3、3a、3b、3cが設けられている。そして、このインデックステーブル1は時計方向に45度の回転角で回転するものとされ、そのサイクルタイムは4秒とされている。ここで、サイクルタイム、即ち回転時間は、一度回転を開始して停止し、次の回転が始まるまでの時間で測定時間も含まれている。   Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a circular index table. In the vicinity of the outer peripheral edge of the index table 1, eight holders 2, 2a, 2b, 2c, 3, 3a, 3b, 3c are provided. The index table 1 rotates clockwise at a rotation angle of 45 degrees, and its cycle time is 4 seconds. Here, the cycle time, i.e., the rotation time, is a time from when the rotation starts once to stop until the next rotation starts, and includes the measurement time.

図2にあって、各図の上部にある数字は経過時間(秒)を示しているもので、初期状態(経過時間0)の位置で、図1に示すホルダー2の位置は対象となるワーク(レーザダイオード)の供給部となる。このインデックステーブル1におけるホルダー2、2a‥,3、3a‥は1つ置きに高温(85℃)及び中温(50℃)を対象としているもので、実施例では2、2a‥が高温、3、3a‥を中温としている。又、この温度制御はベルチェ効果(熱起電力)の素子が用いられているが、ヒーター等で代替することもできる。そして、図1に示す、供給部から6つめとなるホルダー2cの位置が電流と波長の関係(IL/λ)を測定する測定部とされ、3cの位置が最終的にインデックステーブル1からワークを取り出し、治具に収納する収納部となっている。   In FIG. 2, the numbers at the top of each figure indicate the elapsed time (seconds), and the position of the holder 2 shown in FIG. 1 is the target workpiece in the initial state (elapsed time 0). (Laser diode) supply section. The holders 2, 2a... 3, 3a... In this index table 1 are intended for high temperature (85.degree. C.) and medium temperature (50.degree. C.). In this embodiment, 2, 2a. 3a is the medium temperature. Further, although this temperature control uses an element of the Bertier effect (thermoelectromotive force), it can be replaced by a heater or the like. Then, the position of the sixth holder 2c shown in FIG. 1 is a measuring section for measuring the relationship between current and wavelength (IL / λ), and the position of 3c is finally the work from the index table 1. It is a storage part that is taken out and stored in a jig.

まず、第一のワーク(レーザダイオード)を多数列設収容されているトレイ治具から、コレットチャック、バキュームチャック等の手段によりピックアップし、供給部へ供給する。この供給後、1サイクル、即ち45度インデックステーブル1を回転させると、供給部にはホルダー3cが位置することとなるが、ここで、ホルダー3cには新しい(第二の)ワークの供給はせず、さらに、45度インデックステーブル1を回転させる。これによって、供給部にはホルダー2cが位置される。そして、この時点で供給部に位置するホルダー2cに二つめのワークが供給される。   First, the first workpieces (laser diodes) are picked up from a tray jig accommodated in a large number of rows by means such as a collet chuck or a vacuum chuck and supplied to the supply unit. After this supply, when the index table 1 is rotated for one cycle, that is, 45 degrees, the holder 3c is positioned in the supply unit. Here, a new (second) workpiece is not supplied to the holder 3c. Furthermore, the index table 1 is further rotated by 45 degrees. Accordingly, the holder 2c is positioned in the supply unit. At this time, the second workpiece is supplied to the holder 2c located in the supply unit.

上記した動作を順次行い、6回転(24秒後)した時に、第一のワークが供給されているホルダー2は測定部へ位置することとなり、ここでまず、高温による測定が実施される。この高温での測定が済むと、さらにインデックステーブル1は45度回転して、第一のワークを収納部の位置へ送るが、ここで、第一のワークは次の中温での測定に備え、回転方向の1つ前隣となるホルダー3へ、前記したチャック装置によって移載される。この時点で、高温での測定をするためのホルダー2、2a‥には4つともワークが供給済となっている。   When the above operations are sequentially performed and rotated 6 times (after 24 seconds), the holder 2 to which the first workpiece is supplied is positioned at the measurement unit, and first, measurement at a high temperature is performed. After the measurement at this high temperature, the index table 1 further rotates 45 degrees and sends the first workpiece to the position of the storage unit. Here, the first workpiece is prepared for the next measurement at the middle temperature, It is transferred to the holder 3 adjacent to the previous one in the rotational direction by the chuck device described above. At this point, all of the four workpieces have been supplied to the holders 2, 2a,.

中温測定用のホルダー3に第一のワークが移載され、さらにインデックステーブル1が45度に回転すると、供給部には、空となったホルダー2が位置することとなり、このホルダー2に五つめのワークが供給されることとなる。この時点で二つめのワークが供給されているホルダー2cは測定部に位置され、高温下での測定がなされる。この動作が順次なされると、13回転目(52秒)に、第一のワークが供給されているホルダー3は測定部に位置し、今度は中温での測定がなされる。この中温での測定が終了すると、ホルダー3は収納部の位置へ回転移行され、その位置でインデックステーブル1からチャック装置でピックアップされ、治具トレイへ収納されることとなる。   When the first workpiece is transferred to the medium temperature measuring holder 3 and the index table 1 is further rotated by 45 degrees, the empty holder 2 is positioned in the supply section. Will be supplied. At this time, the holder 2c to which the second workpiece is supplied is positioned in the measurement unit, and measurement is performed at a high temperature. When this operation is sequentially performed, at the 13th rotation (52 seconds), the holder 3 to which the first workpiece is supplied is positioned in the measurement unit, and this time, measurement at an intermediate temperature is performed. When the measurement at the intermediate temperature is completed, the holder 3 is shifted to the position of the storage portion, and is picked up by the chuck device from the index table 1 at that position and stored in the jig tray.

この第一のワークがピックアップ収納される時に、ホルダー3の前隣となるホルダー2aには八つめのワークが供給される。この動作を順次繰り返し、最終的に最後のワークは16個目となり、この最後のワークの収納まで、45度の44回転が176秒で完了する。即ち、供給、高温での測定、そして移載、中温出の測定、収納の動作を連続して、自動的に16個のワークに対し、3分弱の時間で済ませることができる。   When the first workpiece is picked up and stored, the eighth workpiece is supplied to the holder 2a adjacent to the front of the holder 3. This operation is sequentially repeated, and finally the last workpiece becomes the 16th, and 45 rotations of 45 degrees are completed in 176 seconds until the storage of the last workpiece. That is, supply, high temperature measurement, transfer, medium temperature measurement, and storage operations can be continuously performed for 16 workpieces in less than 3 minutes.

次いで、図3乃至図4を参照して、本発明の第二実施例を説明する。1aは第二実施例として使用するインデックステーブルを示しており、このインデックステーブルの外周近傍には中心から40度分割で9つのホルダー4、4a、4b,5、5a、5b,6、6a、6bが設けられており、このインデックステーブル1aは時計方向に40度の回転角で回転するものとされ、そのサイクルタイムは7.5秒とされている。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1a shows an index table used as the second embodiment, and nine holders 4, 4a, 4b, 5, 5a, 5b, 6, 6a, 6b are divided by 40 degrees from the center near the outer periphery of the index table. The index table 1a rotates clockwise at a rotation angle of 40 degrees, and its cycle time is 7.5 seconds.

図4にあって、各図の上部にある数字は経過時間(秒)を示しているもので、初期状態(経過時間0)の位置で、図3に示すホルダー4の位置は対象となるワーク(レーザダイオード)の供給部となる。このインデックステーブル1aにおけるホルダー4、4a‥,5、5a‥,6、6a‥は2つ置きに低温(−10℃程度)、常温(25℃程度)及び高温(80℃〜90℃程度)を対象としているもので、この第二実施例ではホルダー4、4a‥を低温、5、5a‥を常温、6、6a‥を高温としている。この温度制御は第一実施例と同様のものとし、図3に示す供給部から7つめとなるホルダー5bの位置が第一実施例と同様の測定部とされ、そのホルダー5bの前隣となる6bの位置が最終的にインデックステーブル1aからワークを取り出し、治具に収納する収納部となっている。   In FIG. 4, the numbers at the top of each figure indicate the elapsed time (seconds), and in the initial state (elapsed time 0), the position of the holder 4 shown in FIG. 3 is the target workpiece. (Laser diode) supply section. The holders 4, 4a, 5, 5, 5a, 6, 6a, etc. in the index table 1a are set at a low temperature (about −10 ° C.), a normal temperature (about 25 ° C.), and a high temperature (about 80 ° C. to 90 ° C.). In this second embodiment, the holders 4, 4a,... Are at a low temperature, 5, 5a, are at room temperature, and 6, 6a, are at a high temperature. This temperature control is the same as in the first embodiment, and the position of the seventh holder 5b from the supply section shown in FIG. 3 is the same as the measurement section in the first embodiment, and is adjacent to the front of the holder 5b. The position 6b finally becomes a storage portion for taking out the work from the index table 1a and storing it in a jig.

まず、第一のワーク(レーザダイオード)をトレイ治具から、前記したと同様の手段でピックアップし、供給部に位置しているホルダー4に供給する。この後に、回転角の40度づつ3サイクル回転させ、ホルダー4と同じ低温対応のホルダー4bがこの供給部へ位置すると、そこに第二のワークを供給する。そして、さらに、3サイクル回転させて、ホルダー4aが供給部に位置すると、そこに、第三のワークを供給し、さらに1サイクル回転させると、第一のワークが供給されているホルダー4が測定部へ位置され、ここで低温測定がなされる。   First, the first workpiece (laser diode) is picked up from the tray jig by the same means as described above and supplied to the holder 4 located in the supply unit. After that, when the holder 4b corresponding to the same low temperature as the holder 4 is positioned in this supply section, the second workpiece is supplied thereto by rotating it for 3 cycles with a rotation angle of 40 degrees. When the holder 4a is further rotated for 3 cycles and the holder 4a is positioned in the supply unit, the third workpiece is supplied to the holder 4a. When the holder 4a is further rotated for one cycle, the holder 4 to which the first workpiece is supplied is measured. Where the low temperature measurement is made.

ホルダー4に供給されている第一のワークの低温測定が終了すると、さらに1サイクル回転させ、ホルダー4が測定部の前隣の位置へ来ると、そこで、第一のワークはホルダー4から、次の常温での測定に備え、その前隣となるホルダー5へチャック装置で移載される。さらに、1サイクル回転させ、ホルダー4が再び供給部へ位置すると、そこに、第四のワークが供給される。   When the low temperature measurement of the first workpiece supplied to the holder 4 is completed, it is further rotated by one cycle, and when the holder 4 comes to the position adjacent to the front of the measuring section, the first workpiece is moved from the holder 4 to the next. In preparation for the measurement at room temperature, it is transferred to the holder 5 adjacent to the front by a chuck device. Furthermore, when the holder 4 is rotated again for one cycle and positioned in the supply unit again, the fourth workpiece is supplied thereto.

こうした動作で、ホルダー4aに第六のワークが供給される時、ホルダー5に供給された第一のワークは測定部に位置され、今度は常温での測定がなされる。この第一のワークの常温での測定が終了し、さらに1サイクル回転させると、ホルダー4に供給されている第四のワークが測定部へ位置され、この第四のワークに対しては低温での測定がなされる。この時点で、第一のワークは、さらに次の高温での測定に備え、前隣となるホルダー6へ移載される。   With this operation, when the sixth workpiece is supplied to the holder 4a, the first workpiece supplied to the holder 5 is positioned in the measurement unit, and this time measurement is performed at normal temperature. When the measurement of the first workpiece at normal temperature is completed and further rotated for one cycle, the fourth workpiece supplied to the holder 4 is positioned in the measuring section, and the fourth workpiece is at a low temperature. Is measured. At this point, the first workpiece is transferred to the holder 6 adjacent to the front in preparation for the next measurement at a high temperature.

かかるサイクルを繰り返し、ホルダー6が測定部に位置されると、第一のワークは最終的な高温での測定がなされる。この測定後、1サイクル回転させると、ホルダー6は収納部へ位置され、第一のワークはチャック装置でホルダー6からピックアップされ、治具へ収納される。この収納時にホルダー6の前隣となるホルダー4aには第九のワークが供給されることとなり、瞬間的に9つの全てのホルダーが使用状態となる。   When such a cycle is repeated and the holder 6 is positioned in the measuring section, the first workpiece is measured at the final high temperature. After this measurement, when rotating for one cycle, the holder 6 is positioned in the storage portion, and the first workpiece is picked up from the holder 6 by the chuck device and stored in the jig. The ninth work is supplied to the holder 4a adjacent to the front of the holder 6 at the time of storage, and all nine holders are instantaneously used.

この動作を繰り返して、最終的に最後のワークは15個目となり、この最後の第十五のワークの収納までは40度の66回転で495秒で完了する。即ち、供給、低温での測定、移載、常温での測定、再び移載、高温での測定、収納までの動作を連続して自動的に15個のワークに対し、8分強の時間で済ませることができる。   By repeating this operation, the final work is finally the fifteenth work, and the storage of the final fifteenth work is completed in 495 seconds with 66 rotations of 40 degrees. That is, supply, measurement at low temperature, transfer, measurement at room temperature, transfer, measurement at high temperature, and storage are automatically performed continuously for 15 workpieces in just over 8 minutes. I can finish it.

次いで、図5乃至図6を参照して、本発明の第三実施例を説明する。図中1bは円形をしたインデックステーブルであり、このインデックステーブル1bの外周縁近傍には、その中心から36度分割で、1つを不使用の空きホルダーとした9個のホルダー7、7a、7b,8、8a、8b,9、9a、9bが設けられており、このインデックステーブル1bは時計方向の分割角度の3倍分となる108度の回転角で回転するものとされ、そのサイクルタイムは7.5秒とされている。   Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the figure, reference numeral 1b denotes a circular index table. Nine holders 7, 7a, 7b in which an index table 1b is divided by 36 degrees from the center and one unused empty holder is provided in the vicinity of the outer peripheral edge. , 8, 8a, 8b, 9, 9a, 9b, the index table 1b is rotated at a rotation angle of 108 degrees, which is three times the division angle in the clockwise direction, and the cycle time is 7.5 seconds.

図6にあって、各図の上部にある数字は経過時間(秒)を示しているもので、初期状態(経過時間0)の位置で、図5に示すホルダー7の位置は対象となるワーク(レーザダイオード)の供給部となる。このインデックステーブル1bにおけるホルダー7、7b、7a,8、8b、8a,9、9b、9aは逆時計回り方向に2つ置きに低温(マックスで−40℃程度)、常温(25℃程度)、高温(80℃〜90℃程度)を対象としているもので、この第三実施例としては7、7b、7aを低温、8、8b、8aを常温、9、9b、9aを高温としている。この温度制御は第一実施例、第二実施例と同様のものとし、供給部から回転方向に144度の位置が測定部とされ、その測定部から108度の位置がインデックステーブル1bからワークを取り出し、治具に収納する収納部となっている。尚、供給部は空きホルダー(図では不要のため特にその存在を示していない)の回転方向で後隣となる。   In FIG. 6, the number at the top of each figure indicates the elapsed time (seconds), and the position of the holder 7 shown in FIG. 5 is the position of the target workpiece in the initial state (elapsed time 0). (Laser diode) supply section. The holders 7, 7 b, 7 a, 8, 8 b, 8 a, 9, 9 b, 9 a in this index table 1 b are placed in two counterclockwise directions at low temperatures (about −40 ° C.), normal temperatures (about 25 ° C.), In this third embodiment, 7, 7b and 7a are low temperatures, 8, 8b and 8a are normal temperatures, and 9, 9b and 9a are high temperatures. This temperature control is the same as in the first embodiment and the second embodiment. The position at 144 degrees in the rotation direction from the supply section is the measurement section, and the position at 108 degrees from the measurement section is the workpiece from the index table 1b. It is a storage part that is taken out and stored in a jig. The supply unit is adjacent to the rear in the direction of rotation of the empty holder (there is no need to show the presence of the holder).

まず、第一のワーク(レーザダイオード)をトレイ治具から、前記したと同様の手段でピックアップし、供給部に位置している低温用のホルダー7に供給する。この後に、インデックステーブル1bを回転角108度で1サイクル回転させると、供給部には、やはり低温用のホルダー7bが位置するので、このホルダー7bに第二のワークを供給し、さらに、1サイクル回転させると、供給部には、やはり低温用のホルダー7aが位置するので、ここに第三のワークを供給する。即ち、この例では1サイクルの回転ごとに、目的とする対象温度のホルダーが供給部に位置され、次々とワークを供給していくことができる。   First, the first workpiece (laser diode) is picked up from the tray jig by the same means as described above, and is supplied to the holder 7 for low temperature located in the supply unit. Thereafter, when the index table 1b is rotated by one cycle at a rotation angle of 108 degrees, the holder 7b for low temperature is also positioned in the supply section, so the second work is supplied to the holder 7b, and further, one cycle. When rotated, a holder 7a for low temperature is also positioned in the supply section, and the third work is supplied here. That is, in this example, every rotation of one cycle, the holder of the target temperature is positioned in the supply unit, and workpieces can be supplied one after another.

そして、三つのワークが供給されている状態で、インデックステーブル1bを8サイクル(60秒)回転させると、第一のワークが供給されているホルダー7は測定部に位置することとなり、ここで低温による測定がなされる。この測定後、1サイクル回転させると、第二のワークが供給されているホルダー7bが測定部へ位置され、この第二のワークに対し、低温での測定がなされる。この時点で、第一のワークが供給されているホルダー7は収納部位置となっているが、ここで、第一のワークは、次の常温での測定に備え、後隣となるホルダー8bにチャック装置により移載される。   Then, when the index table 1b is rotated for eight cycles (60 seconds) in a state where three workpieces are supplied, the holder 7 to which the first workpiece is supplied is positioned in the measurement unit, where the temperature is low. Is measured. After this measurement, when rotating for one cycle, the holder 7b to which the second workpiece is supplied is positioned in the measuring section, and the second workpiece is measured at a low temperature. At this time, the holder 7 to which the first workpiece is supplied is in the storage portion position. Here, the first workpiece is placed in the holder 8b that is adjacent to the rear in preparation for the next measurement at room temperature. Transferred by the chuck device.

さらに、1サイクル回転させると、第三のワークが供給されているホルダー7aが測定部に位置し、低温測定がなされる。この時点で、第二のワークは次の常温測定に備え、後隣のホルダー8aへ移載され、ホルダー7が空き状態で供給部へ位置するので、ここに第四のワークが供給される。ここから1サイクル回転させると、測定部には空きホルダーが位置することとなり、第三のワークは常温の測定に備え、後隣のホルダー8へ移載される。この時に、供給部に位置するホルダー7bには第五のワークが供給される。   Further, when the rotation is performed for one cycle, the holder 7a to which the third workpiece is supplied is positioned in the measurement unit, and low temperature measurement is performed. At this time, the second workpiece is transferred to the next adjacent holder 8a in preparation for the next normal temperature measurement, and the holder 7 is positioned in the supply section in an empty state, so the fourth workpiece is supplied here. When one cycle is rotated from here, an empty holder is positioned in the measurement unit, and the third workpiece is transferred to the next holder 8 in preparation for measurement at room temperature. At this time, the fifth workpiece is supplied to the holder 7b located in the supply unit.

そして、15サイクル(112.5秒)した時に、第一のワークが供給されているホルダー8bは測定部に位置され、今度は常温での測定がなされる。この測定後、1サイクル回転させると、第二のワークが供給されているホルダー8aが測定部に位置し、常温での測定がなされるが、この時に、第一のワークが供給されているホルダー8bは収納部位置にあり、この第一のワークは次の高温測定に備えて、後隣となるホルダー9bへと移載される。   Then, when 15 cycles (112.5 seconds) are reached, the holder 8b to which the first workpiece is supplied is positioned in the measurement section, and this time measurement is performed at room temperature. After this measurement, when rotating for one cycle, the holder 8a to which the second workpiece is supplied is positioned in the measuring section and measurement is performed at room temperature. At this time, the holder to which the first workpiece is supplied 8b is in the storage portion position, and this first work is transferred to the holder 9b which is adjacent to the rear in preparation for the next high temperature measurement.

この移載後、6サイクルの回転で、第一のワークが供給されているホルダー9bは測定部に位置し、高温での測定がなされる。この高温での測定後に1サイクル回転させると、第一のワークが供給されているホルダー9bは収納部位置となり、ここで、第一のワークはチャック装置でピックアップされ、トレイ治具へ収納されることとなる。   After this transfer, the holder 9b to which the first workpiece is supplied is positioned in the measurement section with six cycles of rotation, and measurement is performed at a high temperature. When rotating for one cycle after measurement at this high temperature, the holder 9b to which the first workpiece is supplied becomes the storage portion position, where the first workpiece is picked up by the chuck device and stored in the tray jig. It will be.

かかる動作を繰り返して、この第三実施例では最後のワークは15個目となり、この最後の第15ワークの収納までは、108度で65回転の487.5秒で終了し、第二実施例と比して、1サイクルの7.5秒作業時間を短縮できる。   By repeating this operation, in the third embodiment, the last workpiece becomes the fifteenth piece, and until the last 15th workpiece is stored, the rotation is completed at 487.5 seconds of 108 revolutions and 65 revolutions. Compared with, it is possible to shorten the 7.5 second working time of one cycle.

尚、第二実施例、第三実施例にあって、第一実施例に比べて1サイクルの時間を長くしているのは、低温での測定を組み入れてあるためで、ベルチェ効果素子の温度の変化に要する時間を見込んでいるためである。   In the second embodiment and the third embodiment, the time for one cycle is made longer than that in the first embodiment because the measurement at a low temperature is incorporated, and the temperature of the Beltier effect element is increased. This is because the time required for the change is anticipated.

本発明に係る各実施例は上記のように構成されている。本実施例にあっては温度によって状態が変わるレーザダイオードを測定対象としているが、本願方法は、レーザダイオード以外でも複数の温度域で特性が変化する各種電子部品の特性測定にも応用することができる。   Each embodiment according to the present invention is configured as described above. In this embodiment, the laser diode whose state changes depending on the temperature is the object of measurement, but the method of the present application can be applied to the characteristic measurement of various electronic components whose characteristics change in a plurality of temperature ranges other than the laser diode. it can.

1、1a、1b インデックステーブル
2、2a、2b、2c 高温用ホルダー
3、3a、3b、3c 中温用ホルダー
4、4a、4b 低温用ホルダー
5、5a、5b 常温用ホルダー
6、6a、6b 高温用ホルダー
7、7a、7b 低温用ホルダー
8、8a、8b 常温用ホルダー
9、9a、9b 高温用ホルダー
1, 1a, 1b Index table 2, 2a, 2b, 2c High temperature holder 3, 3a, 3b, 3c Medium temperature holder 4, 4a, 4b Low temperature holder 5, 5a, 5b Normal temperature holder 6, 6a, 6b High temperature holder Holder 7, 7a, 7b Low temperature holder 8, 8a, 8b Room temperature holder 9, 9a, 9b High temperature holder

Claims (6)

円形をし、一回の回転角に45度としたインデックステーブルの外周縁近傍に45度ピッチで8個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは、1つ置きに高温度測定用と中温度測定用のものとし、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて6つめの位置(270度位置)を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、45度で2回回転させ、その時点で前記供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温あるいは中温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で異なる温度での測定が終了すると、その第一のワークは測定部より回転方向で1つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とするレーザダイオードの測定方法。   Equipped with eight workpiece receiving holders at a 45 ° pitch near the outer periphery of the index table, which is circular and has a rotation angle of 45 °, and the holders are for high temperature measurement and medium temperature measurement. A specific position in the holder described above is used as a workpiece supply unit, and a sixth position (270-degree position) counted from the supply unit in the rotation direction is used as a measurement unit. The first work is supplied to the holder and rotated twice at 45 degrees. At that time, the second work is continuously supplied to the holder located in the supply unit. When the measurement at the high temperature or medium temperature is completed in the measurement unit, it is transferred to a holder at a temperature different from the measured value that is next to the rotation direction, and when the measurement at the measurement unit is completed again, the first measurement is completed. Work is measured Method of measuring the laser diode picked up at a position where the one Maetonari rotationally from parts, and repeating the task of accommodating the inspected for the number of work. 一回の45度の回転時間は4秒とすることを特徴とする請求項1に記載のレーザダイオードの測定方法。   The method for measuring a laser diode according to claim 1, wherein a 45-degree rotation time is 4 seconds. 円形をし、一回の回転角を40度としたインデックステーブルの外周縁近傍に40度ピッチで9個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは2つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として各々3つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて7つめの位置(280度)を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、40度で3回回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる、測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で前隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その3回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で1つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とするレーザダイオードの測定方法。   Nine workpiece holders are provided in the vicinity of the outer periphery of the index table with a circular shape and a single rotation angle of 40 degrees, with a 40-degree pitch, and two holders for high temperature measurement, room temperature measurement, and low temperature. Three each for measurement are provided, and a specific position in the holder is used as a workpiece supply unit, and the seventh position (280 degrees) counted from the supply unit in the rotation direction is used as a measurement unit. The first work is supplied to the holder located in the section and rotated three times at 40 degrees. At that time, the second work is continuously supplied to the holder located in the feed section. When the workpiece is measured at high temperature, normal temperature or low temperature at the measuring part, it is transferred to the holder at the temperature different from the measured one next to the rotation direction, and the measurement part again measures at the second temperature. When is finished The first workpiece is transferred to a holder at a different temperature, which is next to the front in the rotation direction, and when the third measurement is completed, the first workpiece is picked up at the next position in the rotation direction from the measurement unit. The method of measuring a laser diode, characterized in that the operation of storing as inspected is repeated by the number of workpieces. 一回の40度の回転時間は7.5秒とすることを特徴とする請求項3に記載のレーザダイオード測定方法。   4. The laser diode measuring method according to claim 3, wherein a rotation time of 40 degrees per time is 7.5 seconds. 円形をし、一回の回転角を108度としたインデックステーブルの外周縁近傍に36度ピッチで、10個のワーク受け入れホルダーを備え、そのうち1つは不使用の空きホルダーとし、残る9つのホルダーは2つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として3つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワーク供給部とし、その供給部から回転方向に144度の位置を測定部とし、まず、供給部に一つめのワークを供給して108度回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると回転方向の後隣となるホルダーに移載し、再び二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で後隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その3回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で108度の位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とするレーザダイオードの測定方法。   It is round and has 10 workpiece receiving holders at a pitch of 36 degrees near the outer periphery of the index table with a single rotation angle of 108 degrees, one of which is an unused empty holder and the remaining 9 holders Has three each for high temperature measurement, room temperature measurement, and low temperature measurement, and a specific position of the holder is used as a workpiece supply unit, and a position of 144 degrees is measured from the supply unit in the rotation direction. First, the first workpiece is supplied to the supply unit and rotated by 108 degrees, and the operation of supplying the second workpiece to the holder located in the supply unit at that time is sequentially continued. When the measurement at the high temperature, normal temperature or low temperature is completed in the measuring section, it is transferred to the holder next to the rotation direction, and when the measurement at the second temperature is completed again, the first workpiece is rotated further. When the third measurement is completed, the work is picked up at a position of 108 degrees in the rotation direction from the measurement unit and stored as inspected. A method of measuring a laser diode, characterized in that it is repeated only. 一回の108度の回転時間は7.5秒とすることを特徴とする請求項5に記載のレーザダイオードの測定方法。   6. The laser diode measuring method according to claim 5, wherein a rotation time of one 108 degrees is 7.5 seconds.
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