JP2011218629A - Resin sealing apparatus and resin sealing method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably supply a sealed article of high quality by improving detection accuracy of a contact position between a first metallic die and a second metallic die in a resin sealing apparatus.SOLUTION: The resin sealing apparatus 100 is provided with: a metallic mold position index value-measuring unit 122 for measuring a metallic mold position index value X which changes in relation to a relative position between a first metallic mold 114 and a second metallic mold 115; a closing pressure-measuring unit 124 for measuring closing pressure P actually applied to the first metallic mold 114 and the second metallic mold 115; a calculation unit 126 for estimating and calculating the corresponding metallic mold position index value XO when the closing pressure P is zero from a relation between two or more closing pressure PA, PB obtained after the closing pressure P reaches a predetermined value PA and metallic mold position index values XA, XB; and further, a detecting mechanism 121 of the contact position between the first metallic die 114 and the second metallic die 115, with the corresponding metallic mold position index value XO when the closing pressure P is zero as a contact position between the first metallic die 114 and the second metallic die 115.

Description

本発明は、樹脂封止装置、及び樹脂封止方法に関する。   The present invention relates to a resin sealing device and a resin sealing method.

特許文献1には、樹脂封止装置が開示されている。   Patent Document 1 discloses a resin sealing device.

樹脂封止装置は、相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する。樹脂封止装置は、実際の第1、第2金型の当接位置を、制御上の基準位置とすることにより、樹脂封止を適正に制御するようにしている。このため、樹脂封止装置は、第1、第2金型の当接位置を検出するための検出機構を有している。しかしながら、第1、第2金型に付与される閉じ圧力が立ち上がるときは、検出機構の測定値(閉じ圧力)は、樹脂封止装置の構造的なガタ、第1、第2金型の周辺部材の誤差や静止摩擦等の影響、及び検出機構の零付近の精度誤差が全体のレンジに対して比較的大きいことによる影響等を受けてばらつくため、検出機構は、第1、第2金型の閉じ圧力(が零付近)の立ち上がりを検出することによって第1、第2金型の当接位置を測定(検出)するのは、再現上問題があった。このため、検出機構は、第1、第2金型を当接させた後、閉じ圧力がある程度まで上昇したときの第1、第2金型の当接位置をもって「検出された当接位置」とし、これを制御上の基準位置としていた。   The resin sealing device applies a closing pressure by bringing the first and second molds facing each other into close contact with each other, and seals the product to be sealed with resin. The resin sealing device appropriately controls the resin sealing by setting the actual contact positions of the first and second molds as reference positions for control. For this reason, the resin sealing device has a detection mechanism for detecting the contact positions of the first and second molds. However, when the closing pressure applied to the first and second molds rises, the measured value (closing pressure) of the detection mechanism is the structural backlash of the resin sealing device, the periphery of the first and second molds. The detection mechanism varies depending on the influence of member error, static friction, etc., and the influence of the accuracy error near zero of the detection mechanism being relatively large with respect to the entire range. Measuring (detecting) the contact positions of the first and second molds by detecting the rise of the closing pressure (near zero) has a problem in reproduction. For this reason, after the first and second molds are brought into contact with each other, the detection mechanism has the “contact position detected” with the contact positions of the first and second molds when the closing pressure rises to some extent. This was used as a reference position for control.

特開2009−172816号公報JP 2009-172816 A

しかしながら、第1、第2金型の真の当接位置と「検出された当接位置(制御上の基準位置)」の間にはずれがあり、この当接位置の認定のずれが、その後の樹脂封止制御の品質上重要な領域において、第1、第2金型に「実際に生じている状態」と、制御式(計算)により求められた「生じているであろうと推察している状態」との間のずれとして残存し、被封止品の品質を低減させる恐れがあった。   However, there is a deviation between the true contact position of the first and second molds and the “detected contact position (control reference position)”. In the area important for the quality of resin sealing control, it is inferred that "the state that has actually occurred" in the first and second molds and "there will have occurred" obtained by the control equation (calculation). As a deviation from the “state”, the quality of the sealed product may be reduced.

本発明では、上記の問題を解決するために、樹脂封止装置の第1、第2金型の当接位置の検出精度を向上させ、高品質な被封止品を安定して供給することを課題とする。   In the present invention, in order to solve the above problems, the detection accuracy of the contact positions of the first and second molds of the resin sealing device is improved, and a high-quality sealed product is stably supplied. Is an issue.

本発明は、相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた2以上の閉じ圧力と、該2以上の閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、を有し、該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備えた構成により上記課題を解決した。   The present invention provides a first and second resin sealing apparatus in which first and second molds facing each other are brought into close contact with each other to apply a closing pressure to seal a product to be sealed with resin. Mold position index value measuring means for measuring a mold position index value that changes in relation to the relative position of the mold, and closing pressure measuring means for measuring the closing pressure actually applied to the first and second molds Two or more closing pressures obtained after the closing pressure measured by the closing pressure measuring means becomes a predetermined value or more, and the respective mold position index values corresponding to the two or more closing pressures, Therefore, a calculation means for estimating and calculating a mold position index value corresponding to when the closing pressure is zero, and a mold position index value corresponding to when the closing pressure is zero, 1. A mechanism for detecting the contact position of the first and second molds as the contact position of the second mold is provided. It was solved the above problems by the configuration.

本発明に係る樹脂封止装置では、その制御上の基準位置となる当接位置を確定するに当たって、閉じ圧力が所定値(即ち、ばらつきがなくなった再現性のよい領域)以上において、2以上の閉じ圧力を測定し、この測定された2以上の閉じ圧力とそのときの金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を当接位置として推定・演算する。測定された2以上の閉じ圧力とその金型位置指標値は、再現性の高い信頼できる値であるため、これらから求められる閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値も、信頼性が高い。これにより、本発明に係る樹脂封止装置によれば、ばらつきなく実際の金型の当接位置を推定・検出することができ、実際の当接位置と制御上の基準位置とのずれを低減させることができる。この結果、本発明は、樹脂封止制御の原点(基点)を正確に定められるようになるため、それだけ被封止品の品質を向上させることができる。   In the resin sealing device according to the present invention, in determining the contact position as the control reference position, the closing pressure is equal to or greater than 2 when the closing pressure is equal to or greater than a predetermined value (that is, a highly reproducible region with no variation). Measure the closing pressure, and estimate the corresponding mold position index value as the contact position when the closing pressure is zero from the relationship between the measured two or more closing pressures and the mold position index value at that time. Calculate. Since the measured two or more closing pressures and their mold position index values are highly reproducible and reliable values, the corresponding mold position index value when the closing pressure obtained from these is zero is also reliable. Is expensive. As a result, according to the resin sealing device of the present invention, the contact position of the actual mold can be estimated and detected without variation, and the deviation between the actual contact position and the control reference position is reduced. Can be made. As a result, according to the present invention, since the origin (base point) of the resin sealing control can be accurately determined, the quality of the sealed product can be improved accordingly.

この視点で、本発明は、相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止方法において、前記樹脂封止に先立って、前記第1、第2金型に付与された前記閉じ圧力が所定値以上となったことを検出する手順と、前記閉じ圧力が所定値以上になったと検出された以降において、前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値に対応させて、前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を2以上測定する手順と、該2以上測定された閉じ圧力と、該2以上の閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置として推定・演算する手順と、を含む前記第1、第2金型の当接位置の確認作業を行う発明と捉えることもできる。   From this point of view, the present invention provides the resin sealing method in which the first and second molds facing each other are approached and brought into contact with each other to apply a closing pressure and the product to be sealed is sealed with resin. Prior to sealing, after detecting that the closing pressure applied to the first and second molds has become a predetermined value or more, and after detecting that the closing pressure has become a predetermined value or more Measuring two or more closing pressures currently applied to the first and second molds in correspondence with mold position index values that change in relation to the relative positions of the first and second molds; From the relationship between the two or more measured closing pressures and the respective mold position index values corresponding to the two or more closing pressures, the corresponding mold position index value when the closing pressure is zero is And a procedure for estimating and calculating the contact position of the first and second molds. It can be regarded as invention to verify the work of contacting position.

なお、本発明は、その趣旨より、相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた閉じ圧力と、該閉じ圧力に対応する前記金型位置指標値とから、予め当該樹脂封止装置において得られている補正係数を用いて、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、を有し、該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備えている発明と捉えることもできる。   In addition, the present invention is a resin sealing device that closes the first and second molds facing each other and applies a closing pressure to seal a product to be sealed with resin. A mold position index value measuring means for measuring a mold position index value that changes in relation to the relative positions of the first and second molds, and a closing pressure actually applied to the first and second molds. From the closing pressure measuring means to measure, the closing pressure obtained after the closing pressure measured by the closing pressure measuring means becomes a predetermined value or more, and the mold position index value corresponding to the closing pressure, Calculation means for estimating and calculating a corresponding mold position index value when the closing pressure is zero, using a correction coefficient obtained in advance in the resin sealing device, and the closing pressure is zero The mold position index value corresponding to the time is defined as the contact position of the first and second molds. That the first, can be regarded as the invention is provided with a detecting mechanism of the abutting position of the second mold.

例えば、複数の樹脂封止装置間で、あるいは特定の樹脂封止装置における複数回の事前測定によって、予め閉じ圧力と金型位置指標値(の変化態様)を関係づける補正係数が得られるならば、この補正係数を用いて、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値(即ち、制御上の基準位置)を推定・演算できる。これにより、閉じ圧力と金型位置指標値の測定点は、1個でありながら、推定・演算することによって補正された分、制御上の基準位置の検出精度を従来より向上させることができる。   For example, if a correction coefficient that relates the closing pressure and the mold position index value (a change mode thereof) in advance can be obtained between a plurality of resin sealing devices or by a plurality of preliminary measurements in a specific resin sealing device. By using this correction coefficient, it is possible to estimate and calculate the mold position index value corresponding to when the closing pressure is zero (that is, the control reference position). Thereby, although the number of measurement points of the closing pressure and the mold position index value is one, the accuracy of detection of the control reference position can be improved as compared with the conventional method by the amount corrected by the estimation / calculation.

本発明は、樹脂封止装置の第1、第2金型の当接位置の検出精度を向上させ、高品質な被封止品を安定して供給することができる。   The present invention improves the detection accuracy of the contact positions of the first and second molds of the resin sealing device, and can stably supply a high-quality sealed product.

本発明の実施形態の一例にかかる金型の当接位置の検出機構が備えられている樹脂封止装置の概略側面図The schematic side view of the resin sealing apparatus provided with the detection mechanism of the contact position of the metal mold | die concerning an example of embodiment of this invention. 金型の当接位置の検出機構による金型の当接位置の検出工程を示したフローチャートThe flowchart which showed the detection process of the contact position of a metal mold | die by the detection mechanism of the contact position of a metal mold | die 金型の当接位置の検出機構による金型の当接に伴う型閉じ圧力と金型位置指標値の経時的変化を示すグラフA graph showing changes over time in mold closing pressure and mold position index value associated with mold contact by the mold contact position detection mechanism

以下、図面に基づいて本発明の実施形態の一例にかかる上、下金型114、115の当接位置の検出機構121を備えた樹脂封止装置100について詳細に説明する。   Hereinafter, a resin sealing device 100 including an upper end detection mechanism 121 according to an embodiment of the present invention and a contact position of lower molds 114 and 115 will be described in detail with reference to the drawings.

図1に樹脂封止装置100の概略側面図を示す。   FIG. 1 shows a schematic side view of the resin sealing device 100.

樹脂封止装置100は、相対向する上金型(第1金型)114と下金型(第2金型)115を接近・当接させて閉じ圧力Pを付与し、被封止品を樹脂(共に図示略)にて封止する。上金型114は、樹脂封止装置100の本体に支持固定されている固定プラテン110から垂設されている。一方、下金型115は、可動プラテン113上に載置されている。下金型115(より詳細には、下金型115が載置される可動プラテン113)には、トグルリンク機構(トグルリンク式のプレス機構)130が付設されており、該トグルリンク機構130は、下金型115を上金型114に接近・当接させる。具体的には、このトグルリンク機構130には、ボールねじ120が連結されており、ボールねじ120は、タイミングベルト118を介してモータ116と連結されている。これにより、モータ116の回転は、タイミングベルト118を介してボールねじ120へ伝達され、当該ボールねじ120が直線運動することにより、トグルリンク機構130が屈曲運動し、下金型115を上下運動させる。   The resin sealing device 100 applies a closing pressure P by bringing the upper mold (first mold) 114 and the lower mold (second mold) 115 facing each other into close contact with each other, thereby applying a sealing pressure P. Sealed with resin (both not shown). The upper mold 114 is suspended from a fixed platen 110 that is supported and fixed to the main body of the resin sealing device 100. On the other hand, the lower mold 115 is placed on the movable platen 113. A toggle link mechanism (toggle link type press mechanism) 130 is attached to the lower mold 115 (more specifically, the movable platen 113 on which the lower mold 115 is placed). Then, the lower mold 115 is brought close to and in contact with the upper mold 114. Specifically, a ball screw 120 is connected to the toggle link mechanism 130, and the ball screw 120 is connected to a motor 116 via a timing belt 118. As a result, the rotation of the motor 116 is transmitted to the ball screw 120 via the timing belt 118, and when the ball screw 120 moves linearly, the toggle link mechanism 130 bends and moves the lower die 115 up and down. .

樹脂封止装置100は、上、下金型114、115の当接位置X0の検出機構121を備えている。上、下金型114、115の当接位置X0の検出機構121は、エンコーダ(金型位置指標値測定手段)122、ロードセル(閉じ圧力測定手段)124、及び演算部(演算手段)126を備えている。   The resin sealing device 100 includes a detection mechanism 121 for the contact position X0 of the upper and lower molds 114 and 115. The detection mechanism 121 for the contact position X0 of the upper and lower molds 114 and 115 includes an encoder (mold position index value measuring means) 122, a load cell (closing pressure measuring means) 124, and a calculation unit (calculation means) 126. ing.

当接位置の検出機構121の各構成要素について以下で詳述する。   Each component of the contact position detection mechanism 121 will be described in detail below.

ロードセル124は、可動プラテン113に配置されており、現に掛かっている下金型115の(上金型114に対する)閉じ圧力Pを測定することができる。   The load cell 124 is disposed on the movable platen 113, and can measure the closing pressure P of the lower mold 115 (with respect to the upper mold 114) that is actually applied.

エンコーダ122は、モータ116に付設されており、上、下金型114、115の相対位置に関係して変化する金型位置指標値Xを測定する。具体的には、エンコーダ122は、モータ116の回転に伴って発生するパルスデータをカウントし、モータ116の総回転数を算出し、このモータ116の総回転数に基づき、金型位置指標値Xを測定する。上、下金型114、115が当接した後、実際の上、下金型114、115の相対位置(実際の上、下金型114、115の当接面の位置)は、ほとんど変化しないが、モータ116が回転を続ける限り、エンコーダ122によって測定される金型位置指標値Xも、変化を継続する。モータ116の回転継続により、閉じ圧力Pは上昇を開始するので、ロードセル124はこの上昇してゆく閉じ圧力Pを測定する。なお、上、下金型114、115が完全に離反しているときは、ロードセル124の測定値は、一定(零)であり安定している。しかしながら、上、下金型114、115が接触して、閉じ圧力Pが零の状態から上昇し始める時、ロードセル124の測定値(実際の閉じ圧力P)は、様々な要因によってばらつくため、閉じ圧力Pがある程度立ち上がるまで不安定な傾向となる。   The encoder 122 is attached to the motor 116 and measures a mold position index value X that changes in relation to the relative positions of the upper and lower molds 114 and 115. Specifically, the encoder 122 counts pulse data generated with the rotation of the motor 116, calculates the total number of revolutions of the motor 116, and based on the total number of revolutions of the motor 116, the mold position index value X Measure. After the upper and lower molds 114 and 115 abut, the actual relative positions of the upper and lower molds 114 and 115 (actual positions of the abutment surfaces of the upper and lower molds 114 and 115) hardly change. However, as long as the motor 116 continues to rotate, the mold position index value X measured by the encoder 122 also continues to change. As the rotation of the motor 116 continues, the closing pressure P starts to rise, and the load cell 124 measures the rising closing pressure P. When the upper and lower molds 114 and 115 are completely separated from each other, the measured value of the load cell 124 is constant (zero) and stable. However, when the upper and lower molds 114 and 115 come into contact with each other and the closing pressure P starts to increase from a zero state, the measured value of the load cell 124 (actual closing pressure P) varies depending on various factors. It tends to be unstable until the pressure P rises to some extent.

演算部126は、制御部127、パラメータ設定部128、及び記憶部129を備えている。また、この演算部126は、ロードセル124、エンコーダ122に接続されており、ロードセル124の閉じ圧力Pとその閉じ圧力Pが得られたときのエンコーダ122による金型位置指標値Xを把握できる。   The calculation unit 126 includes a control unit 127, a parameter setting unit 128, and a storage unit 129. Further, the calculation unit 126 is connected to the load cell 124 and the encoder 122, and can grasp the closing pressure P of the load cell 124 and the mold position index value X by the encoder 122 when the closing pressure P is obtained.

ロードセル124から出力される閉じ圧力Pが、所定値PA(第1閉じ圧力PA)となった時、制御部127は、エンコーダ122から(第1閉じ圧力PAに対応する)第1金型位置指標値XAを取得する。また、ロードセル124から出力される閉じ圧力Pが、第2閉じ圧力PBになった時、制御部127は、エンコーダ122から、(第2閉じ圧力PBに対応する)第2金型位置指標値XBを取得する。この第1、第2閉じ圧力PA、PBと第1、第2金型位置指標値XA、XBの関係から、制御部127は、閉じ圧力Pが零のときに対応する金型位置指標値X0(即ち、本実施形態で求められる上、下金型114、115の当接位置X0)を推定・演算し、この金型位置指標値X0を当接位置として検出する。   When the closing pressure P output from the load cell 124 reaches a predetermined value PA (first closing pressure PA), the control unit 127 sends a first mold position index (corresponding to the first closing pressure PA) from the encoder 122. Get the value XA. When the closing pressure P output from the load cell 124 becomes the second closing pressure PB, the control unit 127 receives the second mold position index value XB (corresponding to the second closing pressure PB) from the encoder 122. To get. From the relationship between the first and second closing pressures PA and PB and the first and second mold position index values XA and XB, the control unit 127 determines the mold position index value X0 corresponding to when the closing pressure P is zero. (That is, the contact position X0 of the lower molds 114 and 115 obtained in the present embodiment is estimated and calculated, and the mold position index value X0 is detected as the contact position.

本発明における所定値は、パラメータ設定部128によって、少なくとも10kNより大きな値に設定される。これは、ロードセル124によって検出される閉じ圧力Pが10kN以上となると、測定値(閉じ圧力P)が安定して、一定の再現性があるようになるためである。本実施形態では、所定値(=第1閉じ圧力)PAは、20kNに設定されている。   The predetermined value in the present invention is set to a value larger than at least 10 kN by the parameter setting unit 128. This is because when the closing pressure P detected by the load cell 124 is 10 kN or more, the measured value (closing pressure P) becomes stable and has a certain reproducibility. In the present embodiment, the predetermined value (= first closing pressure) PA is set to 20 kN.

パラメータ設定部128は、前述した制御部127がロードセル124から取得する閉じ圧力Pの閾値となる第1、第2閉じ圧力PA、PBを設定し(あるいは変更し)、制御部127に入力する。第2閉じ圧力PBは、第1閉じ圧力PAより大きく設定される(PA<PB)。   The parameter setting unit 128 sets (or changes) the first and second closing pressures PA and PB that are the threshold values of the closing pressure P acquired by the control unit 127 from the load cell 124 and inputs the first and second closing pressures PA and PB to the control unit 127. The second closing pressure PB is set larger than the first closing pressure PA (PA <PB).

次に、図2、図3を用いて、樹脂封止装置100における上、下金型114、115の当接位置X0の検出機構121の作用について説明する。   Next, the operation of the detection mechanism 121 for the contact position X0 of the upper and lower molds 114 and 115 in the resin sealing device 100 will be described with reference to FIGS.

図2は、検出機構121による上、下金型114、115の当接位置X0の検出工程を示したフローチャートである。また、図3は、検出機構121による上、下金型114、115の当接に伴う閉じ圧力Pと金型位置指標値Xの経時的変化を示すグラフである。   FIG. 2 is a flowchart showing a process of detecting the contact position X0 of the upper and lower molds 114 and 115 by the detection mechanism 121. FIG. 3 is a graph showing changes over time in the closing pressure P and the mold position index value X accompanying the contact of the upper and lower molds 114 and 115 by the detection mechanism 121.

検出機構121の一連の当接位置X0の検出は以下のようにして行われる。なお、離間している上金型114と下金型115の間に、封止材料である樹脂と被封止品(ワーク)のサンプルを投入しておくと、より正確に当接位置X0を検出できる。   The detection of a series of contact positions X0 of the detection mechanism 121 is performed as follows. If a sample of resin as a sealing material and a sample to be sealed (work) are put between the upper mold 114 and the lower mold 115 which are separated from each other, the contact position X0 can be set more accurately. It can be detected.

図2を参照して、先ず、モータ116を回転させ、当接動作を開始させる(ステップS201)。この回転は、ボールねじ120を速度Vにて動作させ、トグルリンク機構130および可動プラテン113の動作として伝達される(ステップS202)。   Referring to FIG. 2, first, motor 116 is rotated to start a contact operation (step S201). This rotation is transmitted as the operation of the toggle link mechanism 130 and the movable platen 113 by operating the ball screw 120 at the speed V (step S202).

ステップS203では、第1金型位置指標値XAが既に取得されているかを判定し、取得されていなければ、未だ第1閉じ圧力PAに至っていない状態であるから(ステップS203でNO判定)、ステップS204に進んで、ロードセル124が測定する閉じ圧力Pが、(今般)第1閉じ圧力PA以上となったかを判定する。閉じ圧力Pが第1閉じ圧力PAになるまで(ステップS204でNO判定がなされているうちは)、ボールねじ120の動作を進行させ(下金型115を上昇させ)、閉じ圧力Pを大きくしてゆきながら、閉じ圧力Pと、第1閉じ圧力PAを比較する作業を繰り返し行う(ステップS202〜204の繰返し)。   In step S203, it is determined whether or not the first mold position index value XA has already been acquired. If it has not been acquired, the first closing pressure PA has not yet been reached (NO determination in step S203). Proceeding to S204, it is determined whether or not the closing pressure P measured by the load cell 124 is equal to or higher than the first closing pressure PA. Until the closing pressure P becomes the first closing pressure PA (when NO is determined in step S204), the operation of the ball screw 120 is advanced (the lower die 115 is raised), and the closing pressure P is increased. While continuing, the operation of comparing the closing pressure P and the first closing pressure PA is repeated (repetition of steps S202 to S204).

ステップS204で閉じ圧力Pが、第1閉じ圧力PAになったと判定されると、制御部127は、エンコーダ122から(第1閉じ圧力PAに対応する)第1金型位置指標値XAを取得する(ステップS205)。第1金型位置指標値XAが取得されると次にステップS203に戻ったときにYESの判定がなされるため、フローはステップS206に進んで閉じ圧力Pが第2閉じ圧力PB以上となったかどうかが判定される。ステップS204、ステップS205と同様に、閉じ圧力Pが、第2閉じ圧力PBになった時、制御部127は、エンコーダ122から(第2閉じ圧力PBに対応する)第2金型位置指標値XBを取得する(ステップS207)。その後、モータ116、ボールねじ120の動作は停止される(ステップS208)。   When it is determined in step S204 that the closing pressure P has become the first closing pressure PA, the control unit 127 acquires the first mold position index value XA (corresponding to the first closing pressure PA) from the encoder 122. (Step S205). When the first mold position index value XA is acquired, a determination of YES is made when the process returns to step S203 next. Therefore, the flow proceeds to step S206, and whether the closing pressure P is equal to or higher than the second closing pressure PB. Whether it is determined. Similar to Step S204 and Step S205, when the closing pressure P becomes the second closing pressure PB, the control unit 127 sends the second mold position index value XB from the encoder 122 (corresponding to the second closing pressure PB). Is acquired (step S207). Thereafter, the operation of the motor 116 and the ball screw 120 is stopped (step S208).

続いて、制御部127は、上、下金型114、115の当接位置X0を推定する(ステップS209)。即ち、測定された第1、第2閉じ圧力PA、PBと第1、第2金型位置指標値XA、XBとの関係から、閉じ圧力Pが零のときに対応する金型位置指標値X0を推定・演算する。この推定・演算は、具体的には、図3に示されるようにして行われる。制御部127は、時刻t1、t2における第1、第2閉じ圧力PA、PBの2点をつなぎ、閉じ圧力P(縦軸)の変化を時刻t(横軸)に沿って示す直線LPを求める。また、制御部127は、同じ時刻t1、t2における第1、第2金型位置指標値XA、XBの2点をつなぎ、金型位置指標値X(縦軸)の変化を時刻t(横軸)に沿って示す直線LXを求める。そして、直線LPが、閉じ圧力Pが零を示す直線L0の延長線と交わる交点(時刻t0)を求め、該時刻t0に相当する直線LX上の座標Xを求めると、それが閉じ圧力Pが零のときに対応する金型位置指標値X0である。このようにして金型位置指標値X0が本樹脂封止装置100の上、下金型114、115の当接位置として検出されると、樹脂封止装置100は、この当接位置(X0)を制御上の原点としてその後に行う封止作業を良好に行うことができるようになる。   Subsequently, the control unit 127 estimates the contact position X0 of the upper and lower molds 114 and 115 (step S209). That is, from the relationship between the measured first and second closing pressures PA and PB and the first and second mold position index values XA and XB, the corresponding mold position index value X0 when the closing pressure P is zero. Is estimated and calculated. Specifically, the estimation / calculation is performed as shown in FIG. The control unit 127 connects the two points of the first and second closing pressures PA and PB at times t1 and t2, and obtains a straight line LP indicating the change in the closing pressure P (vertical axis) along the time t (horizontal axis). . Further, the control unit 127 connects the first and second mold position index values XA and XB at the same time t1 and t2, and changes the mold position index value X (vertical axis) at the time t (horizontal axis). ) To obtain a straight line LX shown along. Then, when an intersection point (time t0) where the straight line LP intersects the extended line of the straight line L0 where the closing pressure P is zero is obtained, and a coordinate X on the straight line LX corresponding to the time t0 is obtained, the closing pressure P is obtained. This is the mold position index value X0 corresponding to zero. When the mold position index value X0 is detected as the contact position between the upper and lower molds 114 and 115 in this way, the resin seal apparatus 100 detects the contact position (X0). As a starting point for control, the subsequent sealing work can be performed satisfactorily.

第1、第2閉じ圧力PA、PBは、そのいずれもが、(10kN以上である)20kNの所定値PA以上で測定されているため、制御部127は、再現性のある第1、第2閉じ圧力PA、PBを測定することができ、上、下金型114、115の当接位置X0を非常に再現性よく高精度に求めることができる。また、パラメータ設定部128は、上、下金型114、115を変更したりしたときに、第1、第2閉じ圧力PA、PBを変更することができるため、適用範囲が広く、また、樹脂封止装置100の長時間の運転に伴う各部材の熱膨張等による変化等にも柔軟に対応できる。   Since both the first and second closing pressures PA and PB are measured at a predetermined value PA of 20 kN (which is 10 kN or more), the control unit 127 performs the first and second reproducible operations. The closing pressures PA and PB can be measured, and the contact position X0 of the upper and lower molds 114 and 115 can be obtained with high reproducibility and high accuracy. In addition, the parameter setting unit 128 can change the first and second closing pressures PA and PB when the upper and lower molds 114 and 115 are changed. It is possible to flexibly cope with changes due to thermal expansion of each member accompanying long-time operation of the sealing device 100.

また、下金型115は、トグルリンク機構130により移動されるため、例えば、ボールねじ等により下金型115を迅速に移動させることができるため、より短時間に第1、第2金型114、115の当接位置X0を検出することができる。   Further, since the lower mold 115 is moved by the toggle link mechanism 130, for example, the lower mold 115 can be quickly moved by a ball screw or the like, so that the first and second molds 114 can be moved in a shorter time. , 115 can be detected.

最後のステップとして、モータ116が駆動され、下金型115が上金型114から離間し、上、下金型114、115の当接検出動作が完了する(ステップS210)。   As the last step, the motor 116 is driven, the lower mold 115 is separated from the upper mold 114, and the contact detection operation of the upper and lower molds 114, 115 is completed (step S210).

なお、他の実施形態として、所定値以上において、閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力と、金型位置指標値測定手段によって測定された閉じ圧力に対応する金型位置指標値に対して、予め樹脂封止装置において得られている補正係数を用いて、演算手段が、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する第1、第2金型の当接位置の検出機構を構成することができる。   As another embodiment, with respect to the closing pressure measured by the closing pressure measuring means at a predetermined value or more and the mold position index value corresponding to the closing pressure measured by the mold position index value measuring means, The first and second mold contact positions where the calculation means estimates and calculates the corresponding mold position index value when the closing pressure is zero, using a correction coefficient obtained in advance in the resin sealing device. The detection mechanism can be configured.

この構成によれば、例えば、複数の樹脂封止装置間で、あるいは特定の樹脂封止装置において、複数回の事前測定によって、予め閉じ圧力と金型位置指標値(の変化態様)を関係づける補正係数を得ておき、この補正係数を用いて、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値(即ち、第1、第2金型の金型の当接位置)を推定・演算する。これにより、閉じ圧力と金型位置指標値の測定点は、1個でありながら、推定・演算することによって補正された分、第1、第2金型の当接位置の検出精度を少なくとも従来より向上させることができる。   According to this configuration, for example, the closing pressure and the mold position index value (change modes thereof) are related in advance by a plurality of preliminary measurements between a plurality of resin sealing devices or in a specific resin sealing device. Obtain a correction coefficient, and use this correction coefficient to estimate and calculate the corresponding mold position index value when the closing pressure is zero (that is, the contact position of the molds of the first and second molds). To do. As a result, although there are only one measurement point for the closing pressure and the mold position index value, the detection accuracy of the contact positions of the first and second molds is at least as much as the correction by estimation and calculation. It can be improved further.

上記実施形態においては、金型位置指標値測定手段としてエンコーダを用いているが、金型位置指標値を測定できる限り、種々の金型位置指標値測定手段を採用することができる。例えば、金型位置指標値測定手段として、レゾルバを採用してもよい。レゾルバは、エンコーダと異なり、構造がシンプルで電子部品を使用していないため、ほこり、振動等による性能への影響が小さく、耐環境性、信頼性に優れている。   In the above embodiment, an encoder is used as the mold position index value measuring means, but various mold position index value measuring means can be adopted as long as the mold position index value can be measured. For example, a resolver may be employed as the mold position index value measuring means. Unlike an encoder, a resolver has a simple structure and does not use electronic components. Therefore, it has little influence on performance due to dust, vibration, etc., and has excellent environmental resistance and reliability.

また、上記実施形態において、上下金型の当接位置の推定作業は、測定した閉じ圧力、金型位置指標値をそれぞれ直線で結び、これらの直線を用いて行っているが、必ずしも上述した推定作業に限らず、閉じ圧力と金型位置指標値の関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値(第1、第2金型の当接位置)を推定できるのであれば、他の推定作業でもよい。例えば、座標軸の縦軸と横軸をそれぞれ金型位置指標値と閉じ圧力に設定し、時刻tの概念を排除したグラフにて閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定するようにしてもよい。また、閉じ圧力の測定点を3個以上に増やし、3個以上得られた閉じ圧力と閉じ圧力に対応するそれぞれの金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値(第1、第2金型の当接位置)を推定・演算してもよい。これにより、金型の当接位置の検出機構は、測定点が多くなった分、閉じ圧力と、金型位置指標値との関係をより厳密に求めることができるため、結果として、第1、第2金型の当接位置をより高精度に推定することができる。   In the above embodiment, the upper and lower mold contact positions are estimated by connecting the measured closing pressure and the mold position index value with straight lines and using these straight lines. Not only the work but from the relationship between the closing pressure and the mold position index value, if the corresponding mold position index value (contact position of the first and second molds) when the closing pressure is zero can be estimated. Other estimation work may be used. For example, the vertical axis and the horizontal axis of the coordinate axis are set to the mold position index value and the closing pressure, respectively, and the corresponding mold position index value is estimated when the closing pressure is zero in the graph excluding the concept of time t. You may do it. In addition, the number of measurement points of the closing pressure is increased to 3 or more, and from the relationship between the obtained closing pressure and the respective mold position index values corresponding to the closing pressure, the corresponding die is set when the closing pressure is zero. The mold position index value (the contact position of the first and second molds) may be estimated and calculated. As a result, the detection mechanism for the contact position of the mold can determine the relationship between the closing pressure and the mold position index value more precisely as the number of measurement points increases. The contact position of the second mold can be estimated with higher accuracy.

上記実施形態において、設定手段は、所定値(第1閉じ圧力)PAを10kNより大きな値である20kNに設定しているが、この所定値についても、必ずしも上記例に限定されない。なお、前述したように、好ましくは変更できるようにしておくとよい。   In the above embodiment, the setting means sets the predetermined value (first closing pressure) PA to 20 kN which is a value larger than 10 kN, but the predetermined value is not necessarily limited to the above example. Note that, as described above, it is preferable to be able to change.

上記実施形態においては、トグルリンク機構が第2金型に付設されており、該トグルリンク機構も、第1、第2金型を接近・当接させているが、第1、第2金型を接近させる機構は、トグルリンク機構に限定されない。   In the above embodiment, the toggle link mechanism is attached to the second mold, and the toggle link mechanism also causes the first and second molds to approach and contact each other. The mechanism for approaching is not limited to the toggle link mechanism.

100…樹脂封止装置
114…上金型(第1金型)
115…下金型(第2金型)
122…エンコーダ(金型位置指標値測定手段)
124…ロードセル(閉じ圧力測定手段)
126…演算部(演算手段)
P…閉じ圧力
PA…所定値(第1閉じ圧力)
PB…第2閉じ圧力
X…金型位置指標値
X0…閉じ圧力が零のとき対応する金型位置指標値
XA、XB…第1、第2金型位置指標値
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Resin sealing apparatus 114 ... Upper metal mold | die (1st metal mold | die)
115 ... Lower mold (second mold)
122. Encoder (mold position index value measuring means)
124 ... Load cell (closing pressure measuring means)
126. Calculation unit (calculation means)
P: Closing pressure PA ... Predetermined value (first closing pressure)
PB ... second closing pressure X ... mold position index value X0 ... corresponding mold position index value when the closing pressure is zero XA, XB ... first and second mold position index values

Claims (7)

相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、
前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、
前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、
前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた2以上の閉じ圧力と、該2以上の閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、
を有し、
該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備えた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
In the resin sealing device that closes and contacts the first and second molds facing each other to apply a closing pressure, and seals the article to be sealed with resin,
Mold position index value measuring means for measuring a mold position index value that changes in relation to the relative positions of the first and second molds;
A closing pressure measuring means for measuring a closing pressure actually applied to the first and second molds;
Relationship between two or more closing pressures obtained after the closing pressure measured by the closing pressure measuring means becomes a predetermined value or more and the respective mold position index values corresponding to the two or more closing pressures From the calculation means for estimating and calculating the corresponding mold position index value when the closing pressure is zero,
Have
A mechanism for detecting the contact positions of the first and second molds, wherein the corresponding mold position index value when the closing pressure is zero is used as the contact position of the first and second molds; A resin sealing device.
請求項1において、
前記演算手段は、前記閉じ圧力の前記所定値を設定する設定手段を備えており、
該設定手段は、前記圧力測定手段の前記所定値を少なくとも10kNより大きな値に設定する
ことを特徴とする樹脂封止装置。
In claim 1,
The calculation means includes setting means for setting the predetermined value of the closing pressure,
The setting means sets the predetermined value of the pressure measuring means to a value larger than at least 10 kN.
請求項1または2において、
3個以上得られた前記閉じ圧力と該閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する
ことを特徴とする樹脂封止装置。
In claim 1 or 2,
From the relationship between three or more obtained closing pressures and the respective mold position index values corresponding to the closing pressures, a corresponding mold position index value is estimated and calculated when the closing pressure is zero. A resin sealing device.
請求項1において、
前記演算手段は、前記閉じ圧力の前記所定値を設定する設定手段を備えており、該設定手段は、前記所定値を変更可能である
ことを特徴とする樹脂封止装置。
In claim 1,
The resin sealing device, wherein the calculating means includes setting means for setting the predetermined value of the closing pressure, and the setting means can change the predetermined value.
請求項1において、
トグルリンク機構が付設されており、該トグルリンク機構が、前記第1、第2金型を接近・当接させる
ことを特徴とする樹脂封止装置。
In claim 1,
A resin-sealing device, wherein a toggle link mechanism is attached, and the toggle link mechanism causes the first and second molds to approach and contact.
相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、
前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値を測定する金型位置指標値測定手段と、
前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を測定する閉じ圧力測定手段と、
前記閉じ圧力測定手段によって測定された閉じ圧力が所定値以上になった以降において得られた閉じ圧力と、該閉じ圧力に対応する前記金型位置指標値とから、予め当該樹脂封止装置において得られている補正係数を用いて、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を推定・演算する演算手段と、
を有し、
該閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置とする前記第1、第2金型の当接位置の検出機構を備えた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
In a resin sealing device that closes and contacts the first and second molds facing each other to apply a closing pressure, and seals a sealed product with resin,
Mold position index value measuring means for measuring a mold position index value that changes in relation to the relative positions of the first and second molds;
A closing pressure measuring means for measuring a closing pressure actually applied to the first and second molds;
Obtained in advance in the resin sealing device from the closing pressure obtained after the closing pressure measured by the closing pressure measuring means becomes equal to or higher than a predetermined value and the mold position index value corresponding to the closing pressure. Calculating means for estimating and calculating a corresponding mold position index value when the closing pressure is zero,
Have
A mechanism for detecting the contact positions of the first and second molds, wherein the corresponding mold position index value when the closing pressure is zero is used as the contact position of the first and second molds; A resin sealing device.
相対向する第1、第2金型を接近・当接させて閉じ圧力を付与し、被封止品を樹脂にて封止する樹脂封止方法において、
前記樹脂封止に先立って、
前記第1、第2金型に付与された前記閉じ圧力が所定値以上となったことを検出する手順と、
前記閉じ圧力が所定値以上になったと検出された以降において、前記第1、第2金型の相対位置に関係して変化する金型位置指標値に対応させて、前記第1、第2金型に現に掛かっている閉じ圧力を2以上測定する手順と、
該2以上測定された閉じ圧力と、該2以上の閉じ圧力に対応するそれぞれの前記金型位置指標値との関係から、閉じ圧力が零のときに対応する金型位置指標値を、前記第1、第2金型の当接位置として推定・演算する手順と、
を含む前記第1、第2金型の当接位置の確認作業を行う
ことを特徴とする樹脂封止方法。
In the resin sealing method in which the first and second molds facing each other are approached and brought into contact with each other to apply a closing pressure, and the sealed product is sealed with a resin,
Prior to the resin sealing,
A procedure for detecting that the closing pressure applied to the first and second molds is equal to or higher than a predetermined value;
The first and second molds are associated with mold position index values that change in relation to the relative positions of the first and second molds after it is detected that the closing pressure has reached a predetermined value or more. A procedure for measuring two or more closing pressures currently applied to the mold,
From the relationship between the two or more measured closing pressures and the respective mold position index values corresponding to the two or more closing pressures, the corresponding mold position index value when the closing pressure is zero 1. Estimating / calculating the contact position of the second mold,
A method for confirming the contact positions of the first and second molds including the following: a resin sealing method.
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