JP2011218506A - Superfinishing method and superfinishing device - Google Patents

Superfinishing method and superfinishing device Download PDF

Info

Publication number
JP2011218506A
JP2011218506A JP2010091442A JP2010091442A JP2011218506A JP 2011218506 A JP2011218506 A JP 2011218506A JP 2010091442 A JP2010091442 A JP 2010091442A JP 2010091442 A JP2010091442 A JP 2010091442A JP 2011218506 A JP2011218506 A JP 2011218506A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
groove
grindstone
superfinishing
angle
pair
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010091442A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5357820B2 (en
Inventor
Gizaburo Kondo
儀三郎 近藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seibu Jido Kiki Co Ltd
Original Assignee
Seibu Jido Kiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seibu Jido Kiki Co Ltd filed Critical Seibu Jido Kiki Co Ltd
Priority to JP2010091442A priority Critical patent/JP5357820B2/en
Publication of JP2011218506A publication Critical patent/JP2011218506A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5357820B2 publication Critical patent/JP5357820B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To continuously and smoothly perform superfinishing work on a workpiece having a first groove and a second groove with high accuracy for both the grooves.SOLUTION: The superfinishing method includes: a first groove finishing step of mounting a workpiece W having the first groove and the second groove having angular directions different from each other on a driving device, and forwardly pressing a superfinishing grinding stone to the first groove, oscillating the grinding stone while driving the workpiece, and then retracting the grinding stone; and a second groove finishing step of forwardly pressing the superfinishing grinding stone to the second groove, oscillating the grinding stone while driving the workpiece W, and then retracting the grinding stone. Between the two steps, the method includes; an angle changing step of changing angles of a rocking link so as to adapt the tilt angle of a grinding stone holder from the first groove to the second groove; and a groove changing step of moving the superfinishing grinding stone in a direction parallel to a linking member to make the grinding stone face from the first groove to the second groove.

Description

本発明は、超仕上げ方法及び超仕上げ装置に関するものである。   The present invention relates to a superfinishing method and a superfinishing apparatus.

超仕上げ装置には、平行な一対のリンク部材と、この一対のリンク部材に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンクと、一対のリンク部材の先端側に連結されていて前記揺動リンクに対して平行な砥石ホルダとを備え、一対の揺動リンクの基部が機体側に揺動軸廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダに超仕上げ砥石が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段が組み込まれ、砥石ホルダの超仕上げ砥石側が一対のリンク部材から揺動リンクの基部側と平行に突出され、前記一対の揺動リンクの一方を揺動軸廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダを超仕上げ砥石先端側の揺動中心廻りに(揺動角度±βだけ)オシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンクを揺動軸廻りに角度変更させることにより砥石ホルダを前記揺動中心廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角αを変更するようにした超仕上げユニットを具備したものがある。   In the superfinishing apparatus, a pair of parallel link members, a pair of swing links that are crossed and connected to the pair of link members and parallel to each other, and connected to the distal ends of the pair of link members, A grindstone holder parallel to the rocking link is provided, and the base of the pair of rocking links is pivotally supported around the rocking shaft on the machine body side. Cylinder means that presses the superfinishing grindstone toward the tip side with fluid pressure is incorporated, and the superfinishing grindstone side of the grindstone holder protrudes in parallel with the base side of the swing link from the pair of link members, By reciprocatingly swinging one of the pair of swing links around the swing shaft, the grindstone holder is oscillated around the swing center on the tip side of the superfinished grindstone (swing angle ± β) and the one Swing link Some have a super finishing unit that changes the angle of the grindstone holder around the rocking center by changing the angle around the rocking shaft to change the rocking center angle α of the oscillation.

この種の従来の超仕上げユニットによる超仕上げ方法では、例えばワークが、アンギュラの方向が互いに異なる第1溝と第2溝とを有するアンギュラ玉軸受け等である場合に、これら第1溝と第2溝とを超仕上げする場合には、超仕上げユニットを一対のリンク部材と平行なX方向と超仕上げ砥石をワークの溝に向けて前後させるY方向とに大きく正確に移動させる移動手段が設けられていなかったこともあって、ワークを駆動装置に装着してワークを駆動しながら第1溝に超仕上げ砥石を押し当ててオシレーションして超仕上げし、次に第2溝を超仕上げするときには、ワークの第2溝が超仕上げ砥石に適合するようにワークを駆動装置に装着し直し、その後に、ワークを駆動しながら第2溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションして第2溝を超仕上げ加工していた。   In this type of conventional superfinishing method using a superfinishing unit, for example, when the workpiece is an angular ball bearing having a first groove and a second groove having different angular directions, the first groove and the second groove When superfinishing the groove, there is provided a moving means for moving the superfinishing unit greatly and accurately in the X direction parallel to the pair of link members and the Y direction for moving the superfinishing grindstone back and forth toward the work groove. When the workpiece was mounted on the drive and the workpiece was driven, the superfinishing grindstone was pressed against the first groove to oscillate and superfinish, and then the second groove was superfinished. , Reattach the work piece to the driving device so that the second groove of the work fits the superfinishing wheel, and then push the superfinishing wheel forward into the second groove while driving the work A second groove has been super finishing and Deployment.

特開2009−269111号公報JP 2009-269111 A

従って、従来の場合、第1溝を超仕上げ加工するときと第2溝を超仕上げ加工するときとでは、ワークの駆動装置への装着状態が微妙に異なっているため、第1溝と第2溝とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことが困難になった。また、第1溝と第2溝とに連続したスムーズな超仕上げをなすことができなかった。
本発明は上記問題点に鑑み、第1溝と第2溝とを有するワークに対して互いに対応した高精度の超仕上げ加工を連続してスムーズになし得る超仕上げ方法及び超仕上げ装置を提供することを目的とする。
Therefore, in the conventional case, when the first groove is superfinished and when the second groove is superfinished, the mounting state of the work on the driving device is slightly different. It has become difficult to achieve high-precision superfinishing corresponding to the grooves. Further, it was impossible to achieve a smooth superfinish that was continuous between the first groove and the second groove.
In view of the above problems, the present invention provides a superfinishing method and a superfinishing apparatus capable of continuously and smoothly performing high-precision superfinishing corresponding to each other on a workpiece having a first groove and a second groove. For the purpose.

この技術的課題を解決する本発明の技術的手段は、平行な一対のリンク部材と、この一対のリンク部材に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンクと、一対のリンク部材の先端側に連結されていて前記揺動リンクに対して平行な砥石ホルダとを備え、一対の揺動リンクの基部が機体側に揺動軸廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダに超仕上げ砥石が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段が組み込まれ、砥石ホルダの超仕上げ砥石側が一対のリンク部材から揺動リンクの基部側と平行に突出され、
前記一対の揺動リンクの一方を揺動軸廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダを超仕上げ砥石先端側の揺動中心廻りにオシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンクを揺動軸廻りに角度変更させることにより砥石ホルダを前記揺動中心廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角を変更するようにした超仕上げユニットを具備し、
アンギュラの方向が互いに異なる第1溝と第2溝とを有するワークを駆動装置に装着し、ワークを駆動しながら第1溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第1溝仕上げ工程と、ワークを駆動しながら第2溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第2溝仕上げ工程との間に、砥石ホルダの傾斜角度が第1溝から第2溝に適合するように揺動リンクを角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石を第1溝から第2溝に対向するようにリンク部材と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられている点にある。
The technical means of the present invention that solves this technical problem includes a pair of parallel link members, a pair of swing links that are crossed and connected to the pair of link members, and a pair of link members. A grindstone holder that is connected to the tip end side of the wheel and is parallel to the rocking link. The base of the pair of rocking links is pivotally supported on the machine body so as to be able to swing around the rocking shaft. The super finishing whetstone is held in an outward projecting shape, and cylinder means for pressing the super finishing whetstone toward the tip side with fluid pressure is incorporated, and the super finishing whetstone side of the whetstone holder is pivoted from a pair of link members. Projecting parallel to the base side of
By reciprocatingly swinging one of the pair of swing links around the swing shaft, the grindstone holder is oscillated around the swing center on the tip of the superfinished grindstone, and the one swing link is swung around the swing shaft. It has a super finishing unit that changes the oscillation center angle of the oscillation by changing the angle around the oscillation center by changing the angle around the oscillation center,
A work having a first groove and a second groove with different angular directions is mounted on a driving device, and while driving the work, a superfinishing wheel is advanced and pushed into the first groove and oscillated, and then retracted. The inclination angle of the grindstone holder between the first groove finishing step to be driven and the second groove finishing step of pushing and oscillating the superfinishing grindstone in the second groove while driving the workpiece, and then retreating it. Changing the angle of the oscillating link so as to fit from the first groove to the second groove, and moving the superfinishing grindstone from the first groove to the second groove in a direction parallel to the link member. And a groove changing step.

また、本発明の他の技術的手段は、前記ワークが第1溝と第2溝と溝間小径部とを有するアンギュラ玉軸受けであり、前記第1溝仕上げ工程は、第1溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石を第1溝から僅かに離間させるべく後退させる工程とされ、この第1溝仕上げ工程の後に前記角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、砥石ホルダの傾斜角度が第2溝に適合するように揺動リンクを角度変更させかつその後に溝間小径部よりも超仕上げ砥石を後退させる工程とされている点にある。   Another technical means of the present invention is an angular contact ball bearing in which the work has a first groove, a second groove, and a small-diameter portion between the grooves, and the first groove finishing step superfinishes the first groove. The grindstone is advanced, pressed and oscillated, and then the superfinishing grindstone is retracted to be slightly separated from the first groove, and the angle changing step is provided after the first groove finishing step. The angle changing step is a step of changing the angle of the swing link so that the inclination angle of the grindstone holder fits the second groove and then retracting the superfinishing grindstone more than the small-diameter portion between the grooves.

また、本発明の他の技術的手段は、前記ワークが第1溝と第2溝と溝間小径部とを有するアンギュラ玉軸受けであり、前記溝変更工程の後に前記角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、超仕上げ砥石を溝間小径部よりも後退した位置から第2溝に近い位置に前進させかつその第2溝近接位置で砥石ホルダの傾斜角度が第2溝に適合するように揺動リンクを角度変更させる工程とされ、第2溝仕上げ工程は、第2溝から僅かに離間した状態から第2溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石が第1溝から後退させる工程とされている点にある。   Further, another technical means of the present invention is an angular contact ball bearing in which the workpiece has a first groove, a second groove, and a small-diameter portion between grooves, and the angle changing step is provided after the groove changing step, In this angle changing step, the superfinishing grindstone is advanced from a position retracted from the small-diameter portion between the grooves to a position close to the second groove, and the inclination angle of the grindstone holder is adapted to the second groove at the position adjacent to the second groove. In the second groove finishing step, the super-finished grindstone is advanced and pressed and oscillated from the state slightly spaced from the second groove to the second groove, and then super The finishing grindstone is a step of retracting from the first groove.

また、本発明の他の技術的手段は、前記角度変更工程は、砥石ホルダの傾斜角度を第1溝又は第2溝に対するオシレーションの揺動中心角よりも大きくなるように変更するものである点にある。
また、本発明の他の技術的手段は、前記砥石ホルダの傾斜角度を、オシレーションの揺動中心角にオシレーションの揺動角度を加算した加算角度以下に設定した点にある。
According to another technical means of the present invention, the angle changing step changes the inclination angle of the grindstone holder so as to be larger than the oscillation center angle of oscillation with respect to the first groove or the second groove. In the point.
Another technical means of the present invention is that the inclination angle of the grindstone holder is set to be equal to or less than an addition angle obtained by adding the oscillation rocking angle to the oscillation rocking central angle.

また、本発明の他の技術的手段は、駆動装置に第1溝を第2溝より奥側に配置してワークを装着し、第1溝仕上げ工程の前に、砥石ホルダの傾斜角度を第1溝に対するオシレーションの揺動中心角よりも大きく設定した状態で、砥石ホルダをリンク部材と平行な方向に移動してワーク内に砥石ホルダを入れて超仕上げ砥石を第1溝側に移動させるツールイン工程が設けられている点にある。   According to another technical means of the present invention, the work is mounted with the first groove disposed behind the second groove in the driving device, and the inclination angle of the grindstone holder is set to the first angle before the first groove finishing step. In a state where it is set larger than the oscillation center angle of oscillation for one groove, the grindstone holder is moved in a direction parallel to the link member, the grindstone holder is inserted into the workpiece, and the superfinished grindstone is moved to the first groove side. The tool-in process is provided.

また、本発明の他の技術的手段は、駆動装置に第2溝を第1溝より奥側に配置してワークを装着し、第2溝仕上げ工程の後に、砥石ホルダの傾斜角度を第2溝に対するオシレーションの揺動中心角よりも大きく設定した状態で、砥石ホルダをリンク部材と平行な方向に移動してワーク内から砥石ホルダを出すツールアウト工程が設けられている点にある。
また、本発明の他の技術的手段は、平行な一対のリンク部材と、この一対のリンク部材に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンクと、一対のリンク部材の先端側に支持軸を介して連結されていて前記揺動リンクに対して平行な砥石ホルダとを備え、一対の揺動リンクの基部が機体側に揺動軸廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダに超仕上げ砥石が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段が組み込まれ、砥石ホルダの超仕上げ砥石側が一対のリンク部材から揺動リンクの基部側と平行に突出され、
前記一対の揺動リンクの一方を揺動軸廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダを超仕上げ砥石先端側の揺動中心廻りにオシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンクを揺動軸廻りに角度変更させることにより砥石ホルダを前記揺動中心廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角を設定変更するようにした超仕上げユニットを具備した超仕上げ装置であって、
前記一対のリンク部材と平行なX方向と超仕上げ砥石をワークの溝に向けて前後させるY方向とに超仕上げユニットを移動させる移動機構を具備した点にある。
According to another technical means of the present invention, the work is mounted with the second groove disposed behind the first groove in the driving device, and after the second groove finishing step, the inclination angle of the grindstone holder is set to the second angle. A tool-out process is provided in which the grindstone holder is moved in a direction parallel to the link member and the grindstone holder is taken out of the work in a state set larger than the oscillation center angle of the oscillation with respect to the groove.
In addition, another technical means of the present invention includes a pair of parallel link members, a pair of swing links that are crossed and connected to the pair of link members, and the distal ends of the pair of link members. And a grindstone holder that is connected to the rocking link in parallel with the rocking link, and a base of the pair of rocking links is pivotally supported around the rocking shaft on the machine body side. The superfinishing grindstone is held outwardly in the holder, and cylinder means for pressing the superfinishing grindstone toward the tip side with fluid pressure is incorporated, and the superfinishing grindstone side of the grindstone holder is swung from the pair of link members. Protruding parallel to the base side of the dynamic link,
By reciprocatingly swinging one of the pair of swing links around the swing shaft, the grindstone holder is oscillated around the swing center on the tip of the superfinished grindstone, and the one swing link is swung around the swing shaft. A super-finishing device comprising a super-finishing unit that changes the angle of the grindstone holder around the rocking center by changing the angle around the rocking center angle to change the oscillation rocking angle of the oscillation,
A moving mechanism for moving the superfinishing unit in the X direction parallel to the pair of link members and the Y direction in which the superfinishing grindstone is moved back and forth toward the groove of the workpiece is provided.

また、本発明の他の技術的手段は、前記一対のリンク部材の支持軸を支持する軸受部分に互いに対向する軸受突出部が突出され、前記一方の揺動リンクを揺動軸廻りに大きく揺動したときに、一対のリンク部材の軸受突出部同士がX方向にずれて噛み合うようにした点にある。
また、本発明の他の技術的手段は、一対のリンク部材のうちの砥石ホルダの基部側を支持する支持軸に、シリンダ手段に流体を供給するための供給流路が設けられている点にある。
According to another technical means of the present invention, bearing protrusions that face each other are protruded from bearing portions that support the support shafts of the pair of link members, and the one swing link is largely swung around the swing shaft. When moved, the bearing protrusions of the pair of link members are shifted in the X direction and mesh with each other.
Another technical means of the present invention is that a supply channel for supplying fluid to the cylinder means is provided on a support shaft that supports the base side of the grindstone holder of the pair of link members. is there.

また、本発明の他の技術的手段は、前記供給流路は、支持軸の軸心に穿孔されていてシリンダ手段のシリンダに連通する第1連通孔と、第1連通孔に連通しかつリンク部材の外面に沿う第2連通孔とをL字状に有し、シリンダに流体を供給するためのホースが第2連通孔に連結されてリンク部材の長手方向に沿って配置されている点にある。   According to another technical means of the present invention, the supply flow path is formed in a shaft hole of the support shaft and communicates with a cylinder of the cylinder means, and communicates with the first communication hole. The second communication hole along the outer surface of the member has an L shape, and a hose for supplying fluid to the cylinder is connected to the second communication hole and arranged along the longitudinal direction of the link member. is there.

本発明によれば、第1溝仕上げ工程と第2溝仕上げ工程との間に、揺動リンクを角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石をリンク部材と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられているので、第1溝を超仕上げ加工するときと第2溝を超仕上げ加工するときとでは、ワークの駆動装置への装着が変更されることがなくなるため、第1溝と第2溝とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができる。また、第1溝を超仕上げ加工するときと第2溝を超仕上げ加工するときとに、ワークを駆動装置に装着し直す必要がなくなり、第1溝と第2溝とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。   According to the present invention, between the first groove finishing step and the second groove finishing step, an angle changing step for changing the angle of the swing link, and a groove changing step for moving the superfinishing grindstone in a direction parallel to the link member. Therefore, when the first groove is superfinished and when the second groove is superfinished, the mounting of the workpiece on the driving device is not changed. High-precision superfinishing corresponding to the second grooves can be achieved. Further, when the first groove is superfinished and when the second groove is superfinished, it is not necessary to remount the workpiece on the driving device, and the first groove and the second groove are continuously superposed. Finish can be made.

また、本発明によれば、X方向とY方向とに超仕上げユニットを移動させる移動機構を具備しているので、第1溝を超仕上げ加工するときと第2溝を超仕上げ加工するときとでは、ワークの駆動装置への装着を変更する必要がなくなり、ワークを駆動装置に装着したままで、第1溝の超仕上げ加工から第2超仕上げ加工に簡単に砥石ホルダ乃至超仕上げ砥石を移動させることができ、第1溝と第2溝とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができる。また、第1溝を超仕上げ加工するときと第2溝を超仕上げ加工するときとに、ワークを駆動装置に装着し直す必要がなくなり、第1溝と第2溝とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。   In addition, according to the present invention, since the moving mechanism for moving the superfinishing unit in the X direction and the Y direction is provided, when superfinishing the first groove and when superfinishing the second groove, Now, there is no need to change the mounting of the workpiece to the drive device, and the grindstone holder or superfinishing wheel can be easily moved from the superfinishing of the first groove to the second superfinishing while the workpiece is mounted on the driving device. Therefore, it is possible to achieve super-finishing with high accuracy corresponding to the first groove and the second groove. Further, when the first groove is superfinished and when the second groove is superfinished, it is not necessary to remount the workpiece on the driving device, and the first groove and the second groove are continuously superposed. Finish can be made.

本発明の一実施形態を示す超仕上げ装置の側面図である。It is a side view of the superfinishing apparatus which shows one Embodiment of this invention. 同超仕上げ装置の平面図である。It is a top view of the superfinishing apparatus. 同超仕上げユニットの側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the superfinishing unit. 同超仕上げユニットの平面図である。It is a top view of the superfinishing unit. 同図3のA−A線断面図である。It is the sectional view on the AA line of the same FIG. 同図3のB−B線断面図である。It is a BB sectional view taken on the line of FIG. 同砥石ホルダ及びホース部分の側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the same grindstone holder and a hose part. 同砥石ホルダ及びホース部分の底面図である。It is a bottom view of the whetstone holder and a hose part. 同リンク部材の前部の拡大平面図である。It is an enlarged plan view of the front part of the link member. 同リンク部材の後部の拡大平面図である。It is an enlarged plan view of the rear part of the link member. 同超仕上げ砥石部分の拡大平面図である。It is an enlarged plan view of the superfinished grindstone part. 同制御装置のブロック図である。It is a block diagram of the control device. 同フローチャートである。It is the same flowchart. 同超仕上げの工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of the superfinishing. 同超仕上げの工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of the superfinishing. 他の超仕上げの工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of another superfinishing. 同超仕上げの工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of the superfinishing. 同超仕上げの工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of the superfinishing. 他の超仕上げの工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of another superfinishing. 同超仕上げの工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of the superfinishing. 同超仕上げの工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process of the superfinishing.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1及び図2において、超仕上げ装置は、超仕上げユニット1と超仕上げユニット1をX方向(前後方向、後述する一対のリンク部材14と平行な方向)とY方向(左右方向、後述する超仕上げ砥石41をワークWの溝に向けて前後させる方向)とに移動させる移動機構2と図12に示す制御装置3とを具備している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 and 2, the superfinishing apparatus divides the superfinishing unit 1 and the superfinishing unit 1 in the X direction (front-rear direction, a direction parallel to a pair of link members 14 described later) and the Y direction (left-right direction, super described later). The moving mechanism 2 which moves the finishing grindstone 41 back and forth toward the groove of the workpiece W) and the control device 3 shown in FIG. 12 are provided.

移動機構2は、下部支持台5と、下部支持台5に対してY方向(左右方向)に移動自在に組み込まれた第1移動体6と、第1移動体6に対してX方向(前後方向)に移動自在に組み込まれた第2移動体7と、第1移動体6をY方向に往復駆動するサーボモータにより構成した第1モータ8と、第2移動体7をX方向に往復駆動するサーボモータにより構成した第2モータ9とを備え、第2移動体7上に超仕上げユニット1が取り付けられている。従って、第1モータ8と第2モータ9との駆動制御により超仕上げユニット1がX方向及びY方向に正確に往復移動されるようになっている。   The moving mechanism 2 includes a lower support 5, a first moving body 6 that is movably incorporated in the Y direction (left and right direction) with respect to the lower support base 5, and an X direction (front and rear) Direction), a first motor 8 constituted by a servo motor that reciprocates the first moving body 6 in the Y direction, and a reciprocating drive of the second moving body 7 in the X direction. And a second motor 9 configured by a servo motor, and the superfinishing unit 1 is mounted on the second moving body 7. Therefore, the superfinishing unit 1 is accurately reciprocated in the X direction and the Y direction by the drive control of the first motor 8 and the second motor 9.

図3及び図4において、超仕上げユニット1は、ユニット支持台11と、サーボモータにより構成した揺動モータ12と、ユニット支持台11上に固定されたリンク台13と、平行な左右一対のリンク部材14と、この一対のリンク部材14に交差して連結されていて互いに平行な前後一対の揺動リンク15と、揺動リンク15に対して平行な砥石ホルダ16とを備える。   3 and 4, the superfinishing unit 1 includes a unit support base 11, a swing motor 12 constituted by a servo motor, a link base 13 fixed on the unit support base 11, and a pair of parallel left and right links. A member 14, a pair of front and rear rocking links 15 that are crossed and connected to the pair of link members 14 and parallel to each other, and a grindstone holder 16 that is parallel to the rocking link 15 are provided.

揺動モータ12はユニット支持台11上に取り付けられ、その駆動軸18はユニット支持台11の上壁から下方突出され、駆動軸18の下方突出部に駆動プーリ19が固着されている。
図5にも示すように、リンク台13は断面コの字状に形成されて上部支持壁21と下部支持壁22と連結壁23とを有している。上下方向の前後一対の揺動軸25がリンク台13の上部支持壁21と下部支持壁22と間でそれぞれベアリング26を介して軸心廻り回転自在に支持され、この一対の揺動軸25に揺動リンク15の基部が固着され、これにより一対の揺動リンク15の基部はリンク台13(機体側)にそれぞれ揺動軸25廻りに揺動自在に枢支されている。
The swing motor 12 is mounted on the unit support base 11, the drive shaft 18 protrudes downward from the upper wall of the unit support base 11, and a drive pulley 19 is fixed to the downward protrusion of the drive shaft 18.
As shown in FIG. 5, the link base 13 is formed in a U-shaped cross section and includes an upper support wall 21, a lower support wall 22, and a connection wall 23. A pair of front and rear swing shafts 25 in the vertical direction is supported between the upper support wall 21 and the lower support wall 22 of the link base 13 via bearings 26 so as to be rotatable about the shaft center. The base portion of the swing link 15 is fixed, whereby the base portions of the pair of swing links 15 are pivotally supported around the swing shaft 25 on the link base 13 (machine body side).

後側の揺動軸25は下部支持壁22から下方に突出されており、この揺動軸25の下方突出部に従動プーリ28が固着されている。従動プーリ28と駆動プーリ19とにタイミングベルト29が巻回されており、揺動モータ12の駆動により後側の揺動軸25乃至後側の揺動リンク15が揺動軸25の軸心廻りに往復揺動するように構成されている。
図3〜図6に示すように、前記一対のリンク部材14は、それぞれ一対の揺動リンク15と砥石ホルダ16とを厚み(上下)方向に挟む一対の挟持杆31,32を有し、各一対の挟持杆31,32は互いに上下方向に間隔をおいてボルトナット等の連結部材33,34により連結固定されている。また、一対の挟持杆31,32間にスペーサ35,38が設けられている。
The rear swing shaft 25 protrudes downward from the lower support wall 22, and a driven pulley 28 is fixed to the downward projecting portion of the swing shaft 25. A timing belt 29 is wound around the driven pulley 28 and the drive pulley 19, and the rear swing shaft 25 to the rear swing link 15 are rotated around the shaft center of the swing shaft 25 by driving the swing motor 12. Is configured to swing back and forth.
As shown in FIGS. 3 to 6, the pair of link members 14 includes a pair of sandwiching rods 31 and 32 that sandwich the pair of rocking links 15 and the grindstone holder 16 in the thickness (vertical) direction, respectively. The pair of sandwiching rods 31 and 32 are connected and fixed by connecting members 33 and 34 such as bolts and nuts spaced apart from each other in the vertical direction. In addition, spacers 35 and 38 are provided between the pair of clamping rods 31 and 32.

一対の揺動リンク15は一対のリンク部材14にそれぞれ支軸36廻りに相対揺動自在に連結されている。各支軸36は上下一対の挟持杆31,32に挿通されると共に、それぞれベアリング37を介して一対の揺動リンク15に対して軸心廻りに回動自在に支持されている。これにより、一対のリンク部材14と一対の揺動リンク15とが支軸36廻りに相対回動自在に連結されている。   The pair of swing links 15 are connected to the pair of link members 14 so as to be relatively swingable about the support shaft 36, respectively. Each of the support shafts 36 is inserted into a pair of upper and lower clamping rods 31 and 32 and supported by a pair of swing links 15 via bearings 37 so as to be rotatable about the axis. As a result, the pair of link members 14 and the pair of swing links 15 are coupled around the support shaft 36 so as to be relatively rotatable.

一対のリンク部材14の先端側に砥石ホルダ16が上下方向の支持軸(トラニオン軸)39を介して連結されており、一対のリンク部材14と一対の揺動リンク15と砥石ホルダ16とで6節の平行リンク機構を構成している。
図6〜図9に示すように、砥石ホルダ16に、超仕上げ砥石41が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石41を先端側に向けて流体圧力(実施形態では空気圧力)にて押圧するシリンダ手段42が組み込まれている。砥石ホルダ16は円筒状のシリンダ43とシリンダカバー44とロッドカバー45とを有し、シリンダ手段42のロッドは超仕上げ砥石41で形成されている。砥石ホルダ16の超仕上げ砥石41側が一対のリンク部材14から揺動リンク15の基部側と平行に突出されている。超仕上げ砥石41はロッドカバー45にガイド部材46を介して出退移動自在に保持されている。
The grindstone holder 16 is connected to the front end side of the pair of link members 14 via a support shaft (trunion shaft) 39 in the vertical direction, and the pair of link members 14, the pair of swing links 15, and the grindstone holder 16 are 6 It constitutes a parallel link mechanism of knots.
As shown in FIG. 6 to FIG. 9, the superfinishing grindstone 41 is held outwardly by the grindstone holder 16, and the superfinishing grindstone 41 is directed to the tip side to be fluid pressure (air pressure in the embodiment). Cylinder means 42 for pressing is incorporated. The grindstone holder 16 has a cylindrical cylinder 43, a cylinder cover 44 and a rod cover 45, and the rod of the cylinder means 42 is formed by a superfinishing grindstone 41. The superfinishing grindstone 41 side of the grindstone holder 16 protrudes from the pair of link members 14 in parallel with the base side of the swing link 15. The superfinishing grindstone 41 is held by a rod cover 45 through a guide member 46 so as to be movable out and in.

4本の各支持軸39は頭部39aと軸部39bとを有し、各支持軸39の頭部39aはリンク部材14の長手方向に長く形成されていて、頭部39aは2本の止ねじ47よって軸部39bを挟んで一対のリンク部材14の各挟持杆31,32に締め付け固定されている。各支持軸39の軸部39bは左右一対のリンク部材14の各挟持杆31,32に挿通されると共に、砥石ホルダ16のシリンダ43にベアリング48を介して軸心廻りに回動自在に支持されている。ただし、4本の支持軸39のうちのシリンダ43の後部側に位置する1本の支持軸39(支持軸39A)は、他の3本の支持軸39に比べて頭部39aがやや厚くかつリンク部材14の挟持杆31,32の先端(前側)側に向けて長く形成されており、頭部39aの前側のみが前記2本の止ねじ47よって挟持杆31,32に締め付け固定され、頭部39aの後側には後述する供給流路64が形成されている。   Each of the four support shafts 39 has a head portion 39a and a shaft portion 39b. The head portions 39a of the respective support shafts 39 are formed to be long in the longitudinal direction of the link member 14, and the head portions 39a have two stoppers. The screws 47 are fastened and fixed to the holding rods 31 and 32 of the pair of link members 14 with the shaft portion 39b interposed therebetween. The shaft portion 39b of each support shaft 39 is inserted into the holding rods 31 and 32 of the pair of left and right link members 14, and is supported by the cylinder 43 of the grindstone holder 16 via a bearing 48 so as to be rotatable about the axis. ing. However, one support shaft 39 (support shaft 39A) located on the rear side of the cylinder 43 among the four support shafts 39 has a head portion 39a slightly thicker than the other three support shafts 39, and The link member 14 is formed long toward the front end (front side) of the sandwiching rods 31 and 32, and only the front side of the head 39 a is fastened and fixed to the sandwiching rods 31 and 32 by the two set screws 47. A supply channel 64 described later is formed on the rear side of the portion 39a.

図9に示すように、前記一対のリンク部材14(各挟持杆31,32)の支持軸39を支持する軸受部分に互いに対向する方向に軸受突出部51が突出されており、これによりリンク部材14における軸受部分の幅を確保してリンク部材14の所定の剛性を維持し、揺動リンク15を揺動軸25廻りに大きく揺動したときに、一対のリンク部材14の軸受突出部51同士がX方向にずれて噛み合うようにしている。   As shown in FIG. 9, a bearing protrusion 51 protrudes in a direction opposite to each other from a bearing portion that supports a support shaft 39 of the pair of link members 14 (respective holding rods 31 and 32). When the predetermined width of the bearing member 14 is maintained to maintain the predetermined rigidity of the link member 14 and the swing link 15 is swung around the swing shaft 25, the bearing protrusions 51 of the pair of link members 14 Are shifted in the X direction to engage with each other.

図10に示すように、前記一対のリンク部材14の支軸36を支持する部分に、互いに対向する方向に噛合凸部54が突出されており、これによりリンク部材14における軸受部分の幅を確保して、揺動リンク15を揺動軸25廻りに大きく揺動したときに、一対のリンク部材14の噛合凸部54同士がX方向にずれて噛み合うようにしている。
また、揺動軸25の基部側(右側)のリンク部材14の支軸36を支持する軸受部分には、嵌合凸部55と該嵌合凸部55を挟む一対の嵌合凹部56とが又は嵌合凸部55と嵌合凹部56とが設けられ、揺動リンク15が大きく揺動した際に嵌合凹部56が揺動軸25に嵌合するように構成されている。これにより、狭いスペースで、リンク部材14の所定の剛性を維持したままで揺動リンク15の揺動範囲が広くとれるようにしている。
As shown in FIG. 10, meshing protrusions 54 protrude in the direction facing each other at the portion supporting the support shaft 36 of the pair of link members 14, thereby ensuring the width of the bearing portion in the link member 14. Thus, when the rocking link 15 is largely swung around the rocking shaft 25, the meshing convex portions 54 of the pair of link members 14 are shifted in the X direction and mesh with each other.
Further, the bearing portion that supports the support shaft 36 of the link member 14 on the base side (right side) of the swing shaft 25 has a fitting convex portion 55 and a pair of fitting concave portions 56 that sandwich the fitting convex portion 55. Or the fitting convex part 55 and the fitting recessed part 56 are provided, and when the rocking | fluctuation link 15 rock | fluctuates largely, the fitting recessed part 56 is comprised so that the rocking | fluctuation shaft 25 may be fitted. Thus, the swing range of the swing link 15 can be widened in a narrow space while maintaining the predetermined rigidity of the link member 14.

なお、本実施形態では図9に示すように揺動リンク15乃至砥石ホルダ16の傾斜角度θは最大で±55°に設定されている。また、超仕上げ砥石41の揺動中心Oは、一対の揺動軸25の軸心を結ぶ直線上にあって、揺動軸25の軸心とこれに近接する支軸36の軸心との離間幅と、揺動中心Oとこれに近接する支持軸39の軸心との離間幅とが同一になる位置にある。   In this embodiment, as shown in FIG. 9, the inclination angle θ of the swing link 15 to the grindstone holder 16 is set to ± 55 ° at the maximum. Further, the rocking center O of the superfinishing grindstone 41 is on a straight line connecting the axes of the pair of rocking shafts 25, and the axis of the rocking shaft 25 and the axis of the support shaft 36 adjacent thereto are located. The separation width and the separation width between the swing center O and the shaft center of the support shaft 39 adjacent thereto are at the same position.

図11に示すように超仕上げ砥石41の先端側は、超仕上げ砥石41の揺動中心Oを中心とした円弧面状の先端接当面41aとされ、その先端接当面41aの幅D1は、ワークWのボール溝(後述する第1溝69、第2溝70)の円弧面の幅D2よりも大に設定されている。
そして、砥石ホルダ16のオシレーションの揺動中心角αはボール溝のアンギュラと一致するように設定され、オシレーションにより超仕上げ砥石41を揺動中心Oを中心として揺動させても超仕上げ砥石41の先端接当面41aがボール溝の円弧面全体に接当した状態を保持する最大の揺動角に砥石ホルダ16乃至超仕上げ砥石41の揺動角度(±β)が設定される。つまり、砥石ホルダ16の傾斜角度θが、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)内に設定されていれば、ボール溝の円弧面全体が超仕上げ砥石41の先端接当面41aの一部に接触した状態を常に保持する。従って、後述する角度変更工程やツールイン工程等では、砥石ホルダ16の傾斜角度(θ)を、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)以下に設定するのである。
As shown in FIG. 11, the tip end side of the superfinishing grindstone 41 is an arcuate tip contact surface 41a centering on the swing center O of the superfinishing grindstone 41, and the width D1 of the tip contact surface 41a is the workpiece D The width is set to be larger than the width D2 of the arc surface of the W ball groove (first groove 69 and second groove 70 described later).
The oscillation center angle α of the oscillation of the grindstone holder 16 is set so as to coincide with the angularity of the ball groove. Even if the superfinishing grindstone 41 is swung around the oscillation center O by the oscillation, the superfinishing grindstone The rocking angle (± β) of the grindstone holder 16 through the superfinishing grindstone 41 is set to the maximum rocking angle that maintains the state where the tip contact surface 41a of 41 is in contact with the entire arc surface of the ball groove. That is, if the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set within an addition angle (α + β) obtained by adding the oscillation rocking angle β to the oscillation rocking central angle α, the entire arc surface of the ball groove is The state which contacted a part of front-end | tip contact surface 41a of the superfinishing grindstone 41 is always hold | maintained. Accordingly, in the angle changing process and the tool-in process described later, the inclination angle (θ) of the grindstone holder 16 is equal to or less than the addition angle (α + β) obtained by adding the oscillation rocking angle β to the oscillation rocking central angle α. It is set to.

而して、一方(後側)の揺動リンク15を揺動軸25廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダ16を揺動中心O廻りに(揺動角度±βだけ)オシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンク15を揺動軸25廻りに角度変更させることにより砥石ホルダ16を前記揺動中心O廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角αを変更するように構成されている。   Thus, by reciprocatingly swinging one (rear) swing link 15 around the swing shaft 25, the grindstone holder 16 is oscillated about the swing center O (by swing angle ± β). By changing the angle of the one rocking link 15 around the rocking shaft 25, the grindstone holder 16 is angled around the rocking center O to change the rocking center angle α of the oscillation. ing.

図6に示すように、砥石ホルダ16が一対のリンク部材14に直交する直交状態から傾斜揺動した傾斜状態で、リンク部材14先端側の砥石ホルダ16、超仕上げ砥石41及び砥石ホルダ16の取付部分並びにシリンダ手段42に流体を供給する供給流路64が、一対のリンク部材14間の中央P1から超仕上げ砥石41先端までの突出距離を半径r1とした円C1内に略納められている。   As shown in FIG. 6, attachment of the grindstone holder 16, the superfinishing grindstone 41, and the grindstone holder 16 on the distal end side of the link member 14 in a tilted state in which the grindstone holder 16 tilts and swings from an orthogonal state orthogonal to the pair of link members 14. A supply flow path 64 for supplying fluid to the part and the cylinder means 42 is substantially accommodated in a circle C1 having a radius r1 as a protruding distance from the center P1 between the pair of link members 14 to the tip of the superfinishing grindstone 41.

即ち、一対のリンク部材14の各挟持杆31,32の角部に斜めに切り欠かれた切欠部59が設けられ、支持軸39(トラニオン軸)の頭部39aの外周部に斜めに切り欠かれた切欠部60が設けられ、更に、砥石ホルダ16先端側(ロッドカバー45)の左右の角部に斜めに切り欠かれた切欠部61が設けられている。
また、一対のリンク部材14のうちの砥石ホルダ16の基部側を支持するリンク部材14の支持軸39(トラニオン軸)に、シリンダ手段42に流体を供給するための供給流路64が設けられている。
That is, a notch 59 is formed in the corners of the sandwiching rods 31 and 32 of the pair of link members 14 at an angle, and the notch is notched at the outer periphery of the head 39a of the support shaft 39 (trunnion shaft). The cut-out portion 60 is provided, and the cut-out portions 61 that are diagonally cut out are provided at the left and right corners of the front end side of the grindstone holder 16 (rod cover 45).
A supply flow path 64 for supplying fluid to the cylinder means 42 is provided on the support shaft 39 (trunnion shaft) of the link member 14 that supports the base side of the grindstone holder 16 of the pair of link members 14. Yes.

図6及び図7に示すように、前記供給流路64は、支持軸39の軸心に穿孔されていてシリンダ手段42のシリンダ43に連通する第1連通孔65と、第1連通孔65に連通しかつリンク部材14の外面に沿う第2連通孔66とをL字状に有し、シリンダ手段42のシリンダ43に流体を供給するためのホース67が第2連通孔66に連結されている。ホース67はリンク部材14の長手方向に沿ってリンク部材14基部側(後方側)に向けて配置されている。   As shown in FIGS. 6 and 7, the supply flow path 64 is formed in the first communication hole 65 and the first communication hole 65 which are bored in the axis of the support shaft 39 and communicate with the cylinder 43 of the cylinder means 42. A second communication hole 66 that communicates with the outer surface of the link member 14 has an L shape, and a hose 67 for supplying fluid to the cylinder 43 of the cylinder means 42 is connected to the second communication hole 66. . The hose 67 is arranged along the longitudinal direction of the link member 14 toward the link member 14 base side (rear side).

これらにより、砥石ホルダ16が一対のリンク部材14に直交する直交状態から傾斜揺動した傾斜状態で、リンク部材14先端側の砥石ホルダ16部分が、一対のリンク部材14の長手方向に直交する面内において、砥石ホルダ16の中心軸における一対のリンク部材14間の中央P1を中心とし該中央P1から超仕上げ砥石41先端までの長さを半径r1とした円C1(実施形態ではφ61.6mm)内に納められている。   As a result, the grindstone holder 16 at the distal end side of the link member 14 is perpendicular to the longitudinal direction of the pair of link members 14 in a tilted state in which the grindstone holder 16 tilts and swings from an orthogonal state orthogonal to the pair of link members 14. Inside, a circle C1 having a radius r1 from the center P1 to the tip of the superfinishing grindstone 41 centered on the center P1 between the pair of link members 14 on the central axis of the grindstone holder 16 (φ61.6 mm in the embodiment) It is stored inside.

より厳密に言えば、砥石ホルダ16が傾斜揺動した傾斜状態で、リンク部材14先端側の砥石ホルダ16、超仕上げ砥石41及び砥石ホルダ16の取付部分並びにシリンダ手段42に流体を供給する供給流路64(ホース67を含む)が、中央P1から超仕上げ砥石41の先端側にL(2mm程度)だけずれた中心P2から超仕上げ砥石41先端までの突出距離を半径r2とした円C2(実施形態ではφ57.6mm)内に納められている。なお、円C2は円C1内にある。   More precisely, the supply flow for supplying fluid to the grindstone holder 16 on the tip end side of the link member 14, the superfinishing grindstone 41, the mounting portion of the grindstone holder 16, and the cylinder means 42 in the inclined state in which the grindstone holder 16 is tilted and swung. A circle C2 having a radius r2 as a protruding distance from the center P2 where the path 64 (including the hose 67) is shifted by L (about 2 mm) from the center P1 to the tip side of the superfinishing grindstone 41 and the tip of the superfinishing grindstone 41 In the form, it is stored within φ57.6 mm). Note that the circle C2 is within the circle C1.

従って、例えばワークWがアンギュラの方向が互いに異なる第1溝69と第2溝70とを有する小径のアンギュラ玉軸受けハブである場合でも、供給流路64を形成した支持軸39(トラニオン軸)及びシリンダ43に流体を供給するためのホース67を含めて、リンク部材14先端側の砥石ホルダ16部分が、砥石ホルダ16がワークWの軸心に直交する面に対して傾斜した状態で通過可能となり、砥石ホルダ16がワークWの軸心に直交する面に対して平行になった状態で通過不能になるような小径(実施形態では内径がφ57.6mm)のワークWに対しても超仕上げ加工が施せるように構成されている。   Therefore, for example, even when the workpiece W is a small-diameter angular contact ball bearing hub having the first groove 69 and the second groove 70 having different angular directions, the support shaft 39 (the trunnion shaft) in which the supply flow path 64 is formed, and Including the hose 67 for supplying fluid to the cylinder 43, the grindstone holder 16 portion on the distal end side of the link member 14 can pass in a state where the grindstone holder 16 is inclined with respect to the plane perpendicular to the axis of the workpiece W. Superfinishing even for a workpiece W having a small diameter (in the embodiment, the inner diameter is φ57.6 mm) so that the grindstone holder 16 cannot pass in a state parallel to the plane orthogonal to the axis of the workpiece W. It is configured to apply.

また、シリンダ手段42乃至砥石ホルダ16の小型化のために図示省略の増圧弁を使用してホース67から高圧エアー(例えば12〜15kg/cm2)をシリンダ手段42に送るようにしている。
図12において、制御装置3は、コントローラ71およびサーボアンプ72,73,74等からなる。
Further, in order to reduce the size of the cylinder means 42 or the grindstone holder 16, high pressure air (for example, 12 to 15 kg / cm 2 ) is sent from the hose 67 to the cylinder means 42 using a booster valve (not shown).
In FIG. 12, the control device 3 includes a controller 71, servo amplifiers 72, 73, 74, and the like.

コントローラ71は、種々の演算処理を行うCPU、超仕上げ加工条件の記憶およびサーボアンプ72,73,74を制御するためのプログラム等を記憶するRAM、大容量磁気ディスク等の記憶装置、超仕上げ加工条件等を入力しかつ超仕上げ加工の状況を表示させる入出力装置(タッチパネル)および異常を知らせる警報装置等からなる。
コントローラ71は、予め入力された超仕上げ砥石41のオシレーションの揺動中心角α、オシレーションの揺動角度β、揺動数および加工時間等に従って、サーボアンプ72に対し揺動モータ12の制御を指示する。また、コントローラ71は、揺動モータ12だけではなく、圧力制御部に対して超仕上げ砥石41がワークWの被研削面を押圧する圧力を指示し、予め入力された加工時間等に従ってX方向の移動をサーボアンプ73に対して第2モータ9の制御を指示し、Y方向の移動をサーボアンプ74に対して第1モータ8の制御を指示する。
The controller 71 is a CPU for performing various arithmetic processes, a RAM for storing super finishing machining conditions and a program for controlling the servo amplifiers 72, 73 and 74, a storage device such as a large-capacity magnetic disk, and a super finishing machining. It consists of an input / output device (touch panel) that inputs conditions and the like and displays the status of super-finishing processing, an alarm device that notifies abnormality, and the like.
The controller 71 controls the swing motor 12 with respect to the servo amplifier 72 in accordance with the oscillation center angle α of the oscillation of the superfinishing grindstone 41, the oscillation angle β of the oscillation, the number of oscillations, the machining time, and the like input in advance. Instruct. Further, the controller 71 instructs not only the swing motor 12 but also the pressure control unit to press the super-finishing grindstone 41 against the surface to be ground of the workpiece W, and the X direction in accordance with the machining time inputted in advance. The movement is instructed to the servo amplifier 73 to control the second motor 9, and the movement in the Y direction is instructed to the servo amplifier 74 to control the first motor 8.

次に、ワークWが、アンギュラの方向が互いに異なる第1溝69と第2溝70とを有しこれら溝間に溝間小径部77を有するアンギュラ玉軸受けハブである場合について、第1溝69と第2溝70とを超仕上げ加工をする場合の動作を、図13のフローチャート及び図14及び図15の工程図を参照しながら説明する。
まず、図14(a)に示すように駆動装置79に第1溝69を第2溝70より奥側に配置してワークWを図3に示すベアリング80を介して軸心廻りに回転自在に装着し、図13のステップS1(以下図13を省略する)に示す如く砥石ホルダ16の傾斜角度θを第1溝69に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ16の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)以下に設定した状態、例えば砥石ホルダ16の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)に設定した状態で、ステップS2及び図14(b)に示すように砥石ホルダ16をリンク部材14と平行な方向に(X方向)移動してワークW内に砥石ホルダ16を入れ、超仕上げ砥石41を第1溝69側に移動させる(ツールイン工程)。
Next, in the case where the workpiece W is an angular ball bearing hub having a first groove 69 and a second groove 70 having different angular directions and having a small-diameter portion 77 between the grooves, the first groove 69. And the second groove 70 will be described with reference to the flowchart of FIG. 13 and the process diagrams of FIGS. 14 and 15.
First, as shown in FIG. 14A, the first groove 69 is disposed on the drive device 79 on the back side of the second groove 70 so that the workpiece W can be rotated around the axis via the bearing 80 shown in FIG. As shown in step S1 of FIG. 13 (hereinafter omitted in FIG. 13), the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set larger than the oscillation center angle α of the oscillation with respect to the first groove 69, and the grindstone holder 16 Is set to be equal to or smaller than an addition angle (α + β) obtained by adding the oscillation rocking angle β to the oscillation rocking central angle α, for example, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is With the addition angle (α + β) obtained by adding the oscillation swing angle β to the dynamic center angle α, the grindstone holder 16 is set in a direction parallel to the link member 14 as shown in step S2 and FIG. (X direction) To put the grindstone holder 16 in the work W, moves the superfinishing grindstone 41 in the first groove 69 side (tool in process).

その後、ステップS3及び図14(c)に示すようにワークWを駆動しながら第1溝69に超仕上げ砥石41を前進して押し当てかつステップS4に示す如くシリンダ手段42により超仕上げ砥石41を加圧してオシレーションし、ステップS5に示す如くシリンダ手段42による超仕上げ砥石41の加圧を停止する。その後にステップS6及び図14(d)に示すように超仕上げ砥石41を第1溝69からに後退させる(第1溝仕上げ工程)。   Thereafter, as shown in step S3 and FIG. 14C, the superfinishing grindstone 41 is advanced and pressed against the first groove 69 while driving the workpiece W, and the superfinishing grindstone 41 is moved by the cylinder means 42 as shown in step S4. Pressurize and oscillate, and stop pressurizing the superfinishing grindstone 41 by the cylinder means 42 as shown in step S5. Thereafter, as shown in step S6 and FIG. 14 (d), the superfinishing grindstone 41 is retracted from the first groove 69 (first groove finishing step).

次に、ステップS7に示す如く砥石ホルダ16の揺動を停止して、ステップS8及び図15(e)に示すように、砥石ホルダ16の傾斜角度θが第1溝69から第2溝70に適合するように揺動リンク15を角度変更する(角度変更工程)と共に、ステップS9に示す如く超仕上げ砥石41を第1溝69から第2溝70に対向するようにリンク部材14と平行な方向(X方向)に移動する(溝変更工程)。なお、上記角度変更工程と溝変更工程とはどちらを先にしてもよいし、ワークWが大きい場合には角度変更工程をしながら溝変更工程をなすことも可能である。   Next, the rocking of the grindstone holder 16 is stopped as shown in step S7, and the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is changed from the first groove 69 to the second groove 70 as shown in step S8 and FIG. The angle of the swing link 15 is changed so as to match (angle changing step), and the superfinishing grindstone 41 is parallel to the link member 14 so as to face the second groove 70 from the first groove 69 as shown in step S9. Move in (X direction) (groove changing step). Note that either the angle changing step or the groove changing step may be performed first, and when the workpiece W is large, the groove changing step can be performed while performing the angle changing step.

次に、ステップS10及び図15(f)に示すようにワークWを駆動しながら第2溝70に超仕上げ砥石41を前進(Y方向に移動)して押し当てかつステップS11に示す如くシリンダ手段42により超仕上げ砥石41を加圧してオシレーションし、ステップS12に示す如くシリンダ手段42による超仕上げ砥石41の加圧を停止する。その後に図15(g)に示すように超仕上げ砥石41を第2溝70から後退させる(第2溝仕上げ工程)。   Next, as shown in step S10 and FIG. 15 (f), while driving the workpiece W, the superfinishing grindstone 41 is advanced (moved in the Y direction) and pressed against the second groove 70, and the cylinder means as shown in step S11. The superfinishing grindstone 41 is pressurized and oscillated by 42, and the pressurization of the superfinishing grindstone 41 by the cylinder means 42 is stopped as shown in step S12. Thereafter, as shown in FIG. 15G, the superfinishing grindstone 41 is moved backward from the second groove 70 (second groove finishing step).

その後、ステップS14に示す如く砥石ホルダ16の揺動を停止して、ステップS15及び図15(h)に示すように砥石ホルダ16をリンク部材14と平行な方向(X方向)に移動してワークW内から砥石ホルダ16を出す(ツールアウト工程)。その後、ステップS16に示す如く砥石ホルダ16の傾斜角度θを0°に戻す。
上記実施形態では、砥石ホルダ16が一対のリンク部材14に直交する直交状態から傾斜揺動した傾斜状態で、小径のワークW内に、リンク部材14先端側の砥石ホルダ16、超仕上げ砥石41及び砥石ホルダ16の取付部分並びにシリンダ手段42に流体を供給する供給流路64を入れることができるようになり、自動車のハブ等の小さなワークWのボール溝にも超仕上げ加工を施すことができる。
Thereafter, the rocking of the grindstone holder 16 is stopped as shown in step S14, and the grindstone holder 16 is moved in the direction parallel to the link member 14 (X direction) as shown in step S15 and FIG. The grindstone holder 16 is taken out of the inside of W (tool out process). Thereafter, as shown in step S16, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is returned to 0 °.
In the above-described embodiment, the grindstone holder 16 on the tip end side of the link member 14, the superfinishing grindstone 41, and the grindstone holder 16 are tilted and swung from an orthogonal state orthogonal to the pair of link members 14. A supply flow path 64 for supplying fluid to the mounting portion of the grindstone holder 16 and the cylinder means 42 can be inserted, and superfinishing can be applied to a ball groove of a small work W such as a hub of an automobile.

しかも、シリンダ手段42に流体を供給するための供給流路64は、支持軸39の軸心に穿孔されていてシリンダ手段42のシリンダ43に連通する第1連通孔65と、第1連通孔65に連通しかつリンク部材14の外面に沿う第2連通孔66とをL字状に有し、シリンダ43に流体を供給するためのホース67が第2連通孔66に連結されてリンク部材14の長手方向に沿って配置されているので、シリンダ43に流体を供給するためのホース67も含めて、一対のリンク部材14の先端側をコンパクトに構成して、一対のリンク部材14間の中央から超仕上げ砥石41先端までの突出距離を半径r1とした円C1内に略納めることができ、極力小さな径のワークWに対してもそのボール溝等に超仕上げ加工を簡単かつ良好に施すことができる。   Moreover, the supply flow path 64 for supplying fluid to the cylinder means 42 has a first communication hole 65 and a first communication hole 65 which are bored in the axis of the support shaft 39 and communicate with the cylinder 43 of the cylinder means 42. The hose 67 for supplying fluid to the cylinder 43 is connected to the second communication hole 66 so as to be connected to the second communication hole 66. Since it is arranged along the longitudinal direction, the tip end side of the pair of link members 14 including the hose 67 for supplying the fluid to the cylinder 43 is configured compactly, and from the center between the pair of link members 14. The projection distance to the tip of the superfinishing grindstone 41 can be substantially stored in a circle C1 having a radius r1, and superfinishing can be easily and satisfactorily applied to the ball groove or the like even for a workpiece W having a smallest diameter. so That.

また、上記実施の形態では、第1溝仕上げ工程と第2溝仕上げ工程との間に、砥石ホルダ16の傾斜角度が第1溝69から第2溝70に適合するように揺動リンク15を角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石41を第1溝69から第2溝70に対向するようにリンク部材14と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられているので、第1溝69を超仕上げ加工するときと第2溝70を超仕上げ加工するときとでは、ワークWの駆動装置79への装着を変更する必要がないため、第1溝69と第2溝70とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができる。また、第1溝69と第2溝70とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。   In the above embodiment, the swing link 15 is moved so that the inclination angle of the grindstone holder 16 matches the first groove 69 to the second groove 70 between the first groove finishing process and the second groove finishing process. An angle changing step for changing the angle and a groove changing step for moving the superfinishing grindstone 41 in a direction parallel to the link member 14 so as to face the second groove 70 from the first groove 69 are provided. When the groove 69 is superfinished and when the second groove 70 is superfinished, it is not necessary to change the mounting of the workpiece W on the driving device 79. Therefore, the first groove 69 and the second groove 70 are changed. High-precision super-finishing corresponding to each other can be achieved. Further, the first groove 69 and the second groove 70 can be continuously and smoothly superfinished.

また、角度変更工程では、砥石ホルダ16の傾斜角度θを第1溝69又は第2溝70に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きくなるように変更するので、砥石ホルダ16の傾斜角度θを第1溝69又は第2溝70に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きくして、ワークWの径がより小さい場合でも、一対のリンク部材14の先端側のX方向の幅を小さくした状態で、ワークW内をY方向によりスムーズに移動可能になる。   Further, in the angle changing step, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is changed to be larger than the oscillation center angle α of the oscillation with respect to the first groove 69 or the second groove 70. Is larger than the oscillation center angle α of the oscillation with respect to the first groove 69 or the second groove 70, and the width in the X direction on the tip side of the pair of link members 14 is reduced even when the diameter of the workpiece W is smaller. In this state, the workpiece W can be moved smoothly in the Y direction.

また、砥石ホルダ16の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)以下に設定したので、溝変更工程の後に砥石ホルダ16をY方向に前進させて超仕上げ砥石41を溝に押し付ければ、砥石ホルダ16の傾斜角度θを揺動調整することなくそのままオシレーション動作に移ることができ、超仕上げをよりスムーズになすことができる。   In addition, since the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set to be equal to or less than an addition angle (α + β) obtained by adding the oscillation rocking angle β to the oscillation rocking central angle α, the grindstone holder 16 is moved after the groove changing step. If the superfinishing grindstone 41 is pressed in the groove by moving forward in the Y direction, it is possible to move directly to the oscillation operation without adjusting the inclination angle θ of the grindstone holder 16, and the superfinishing can be made smoother. it can.

また、第1溝仕上げ工程の前に、砥石ホルダ16の傾斜角度θを第1溝69に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定した状態で、砥石ホルダ16をリンク部材14と平行な方向に移動してワークW内に砥石ホルダ16を入れて超仕上げ砥石41を第1溝69側に移動させるツールイン工程が設けられているので、ワークWの内径が砥石ホルダ16の長さよりも多少小さい場合であっても、リンク部材14の先端側をワークW内に挿入して超仕上げ工程を施すことができる。   Further, before the first groove finishing step, the grindstone holder 16 is parallel to the link member 14 in a state where the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set larger than the oscillation center angle α of the oscillation with respect to the first groove 69. Since the tool-in process is provided in which the grindstone holder 16 is moved into the workpiece W and the superfinishing grindstone 41 is moved to the first groove 69 side, the inner diameter of the workpiece W is larger than the length of the grindstone holder 16. Even if it is somewhat small, the superfinishing process can be performed by inserting the distal end side of the link member 14 into the workpiece W.

また、上記実施の形態では、超仕上げ装置は一対のリンク部材14と平行なX方向と超仕上げ砥石41をワークWの溝に向けて前後させるY方向とに超仕上げユニット1を移動させる移動機構2を具備しているので、第1溝69を超仕上げ加工するときと第2溝70を超仕上げ加工するときとでは、ワークWの駆動装置79への装着を変更する必要がなくなり、ワークWを駆動装置79に装着したままで、第1溝超仕上げ加工から第2溝超仕上げ加工に簡単に砥石ホルダ16乃至超仕上げ砥石41を移動させることができ、第1溝69と第2溝70とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができる。また、第1溝69を超仕上げ加工するときと第2溝70を超仕上げ加工するときとに、ワークWを駆動装置79に装着し直す必要がなくなり、第1溝69と第2溝70とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。   In the above-described embodiment, the superfinishing apparatus moves the superfinishing unit 1 in the X direction parallel to the pair of link members 14 and the Y direction in which the superfinishing grindstone 41 is moved back and forth toward the groove of the workpiece W. 2, there is no need to change the mounting of the workpiece W on the driving device 79 between when the first groove 69 is superfinished and when the second groove 70 is superfinished. Can be easily moved from the first groove super-finishing process to the second groove super-finishing process, and the first groove 69 and the second groove 70 can be moved. High-precision super-finishing corresponding to each other can be achieved. In addition, when the first groove 69 is superfinished and when the second groove 70 is superfinished, there is no need to remount the workpiece W on the driving device 79, and the first groove 69, the second groove 70, Can make a continuous super smooth finish.

図16〜図18は、ワークWが、アンギュラの方向が互いに異なる第1溝69と第2溝70とを有し、これら溝間に溝間小径部77を有するより小径のアンギュラ玉軸受けハブである場合について、第1溝69側で超仕上げ砥石41をターンさせて、第1溝69と第2溝70とを超仕上げ加工する場合の他の動作を示している。この動作を図16〜図18の工程図を参照しながら説明する。   FIGS. 16 to 18 are small-diameter angular contact ball bearing hubs in which the workpiece W has a first groove 69 and a second groove 70 having different angular directions and an inter-groove small-diameter portion 77 between the grooves. For some cases, another operation in the case of superfinishing the first groove 69 and the second groove 70 by turning the superfinishing grindstone 41 on the first groove 69 side is shown. This operation will be described with reference to the process diagrams of FIGS.

まず、図16(a)に示すように駆動装置79に第1溝69を第2溝70より奥側に配置してワークWを装着し、砥石ホルダ16の傾斜角度θを第1溝69に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ16の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)以下に設定した状態で、図16(b)に示すように砥石ホルダ16をリンク部材14と平行な方向に(X方向)移動してワークW内に砥石ホルダ16を入れ、超仕上げ砥石41を第1溝69側に移動させる(ツールイン工程)。ここまでは、前記図14及び図15の動作と同様である。   First, as shown in FIG. 16A, the first groove 69 is disposed on the drive device 79 on the back side of the second groove 70 to mount the workpiece W, and the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set with respect to the first groove 69. The oscillation center angle α of the oscillation is set to be larger and the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is equal to or less than an addition angle (α + β) obtained by adding the oscillation center angle α of the oscillation to the oscillation center angle α of the oscillation. In the set state, as shown in FIG. 16B, the grindstone holder 16 is moved in the direction parallel to the link member 14 (X direction), the grindstone holder 16 is put into the workpiece W, and the superfinishing grindstone 41 is moved to the first position. Move to the groove 69 side (tool-in process). Up to this point, the operation is the same as that shown in FIGS.

その後、図16(c)(d)に示すようにワークWを駆動しながら第1溝69に超仕上げ砥石41を前進して押し当てかつオシレーションし、その後に図17(e)に示すように超仕上げ砥石41を第1溝69から僅かに離間させるべく後退させる(第1溝仕上げ工程)。
この第1溝仕上げ工程の後に、砥石ホルダ16の揺動を停止して、図17(f)に示すように、砥石ホルダ16の傾斜角度が第1溝69から第2溝70に適合するように揺動リンク15を角度変更する。この場合、砥石ホルダ16の傾斜角度θを第2溝70に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ16の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)以下に設定した状態、例えば砥石ホルダ16の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)に設定した状態にする。その後に図17(g)に示すように溝間小径部77よりも超仕上げ砥石41を後退させる(角度変更工程)。
Thereafter, as shown in FIGS. 16 (c) and 16 (d), the superfinishing grindstone 41 is advanced and pressed and oscillated in the first groove 69 while driving the workpiece W, and thereafter, as shown in FIG. 17 (e). Next, the superfinishing grindstone 41 is moved backward to be slightly separated from the first groove 69 (first groove finishing step).
After the first groove finishing step, the rocking of the grindstone holder 16 is stopped so that the inclination angle of the grindstone holder 16 fits from the first groove 69 to the second groove 70 as shown in FIG. The angle of the swing link 15 is changed. In this case, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set larger than the oscillation center angle α of the oscillation with respect to the second groove 70, and the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set to the oscillation center angle α of the oscillation. For example, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set to be equal to or less than the addition angle (α + β) obtained by adding the oscillation rocking angle β, and the addition is performed by adding the oscillation rocking angle β to the oscillation rocking center angle α. The state is set to the angle (α + β). Thereafter, as shown in FIG. 17G, the superfinishing grindstone 41 is retracted from the inter-groove small diameter portion 77 (angle changing step).

次に、図17(h)に示すように、超仕上げ砥石41を第1溝69から第2溝70に対向するようにリンク部材14と平行な方向に移動する(溝変更工程)。
これ以降は前記図14及び図15の動作と同様であって、図18(i)(j)に示すようにワークWを駆動しながら第2溝70に超仕上げ砥石41を前進して押し当てかつオシレーションし、その後に図18(k)に示すように超仕上げ砥石41を第2溝70から後退させる(第2溝仕上げ工程)。
Next, as shown in FIG. 17 (h), the superfinishing grindstone 41 is moved in a direction parallel to the link member 14 so as to face the second groove 70 from the first groove 69 (groove changing step).
After this, the operation is the same as that shown in FIGS. 14 and 15, and as shown in FIGS. 18 (i) and 18 (j), the superfinishing grindstone 41 is advanced and pressed into the second groove 70 while driving the workpiece W. Then, the oscillation is performed, and then the superfinishing grindstone 41 is retracted from the second groove 70 as shown in FIG. 18 (k) (second groove finishing step).

その後、砥石ホルダ16の揺動を停止して、図18(l)に示すように砥石ホルダ16をリンク部材14と平行な方向(X方向)に移動してワークW内から砥石ホルダ16ーを出す(ツールアウト工程)。その後、砥石ホルダ16の傾斜角度θを0°に戻す。
上記実施形態では、前記図14及び図15の実施形態の場合と同様に、第1溝69と第2溝70とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができ、また、第1溝69を超仕上げ加工するときと第2溝70を超仕上げ加工するときとに、ワークWを駆動装置79に装着し直す必要がなくなり、第1溝69と第2溝70とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。これに加えて、第1溝仕上げ工程は、第1溝69に超仕上げ砥石41を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石41を第1溝69から僅かに離間させるべく後退させる工程とされ、この第1溝仕上げ工程の後に角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、砥石ホルダ16の傾斜角度が第2溝70に適合するように揺動リンク15を角度変更させかつその後に溝間小径部77よりも超仕上げ砥石41を後退させる工程とされているので、ワークWが第1溝69と第2溝70と溝間小径部77とを有する小径のアンギュラ玉軸受けであっても、砥石ホルダ16の基端部がワークWの衝当することなく角度変更させることができるし、その後に溝間小径部77よりも超仕上げ砥石41を後退させる工程があるため、溝変更工程の際に超仕上げ砥石41が溝間小径部77に接触しないで済む。
Thereafter, the rocking of the grindstone holder 16 is stopped, and the grindstone holder 16 is moved in the direction parallel to the link member 14 (X direction) as shown in FIG. (Tool out process). Thereafter, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is returned to 0 °.
In the above embodiment, as in the case of the embodiment of FIGS. 14 and 15, the first groove 69 and the second groove 70 can be subjected to high-precision superfinishing corresponding to each other, and the first groove When superfinishing 69 and superfinishing the second groove 70, there is no need to reattach the workpiece W to the driving device 79, and the first groove 69 and the second groove 70 are made continuous and smooth. Super finish can be made. In addition to this, in the first groove finishing step, the superfinishing grindstone 41 is advanced to press and oscillate in the first groove 69 and then retracted to slightly separate the superfinishing grindstone 41 from the first groove 69. An angle changing step is provided after the first groove finishing step. In this angle changing step, the swing link 15 is changed in angle so that the inclination angle of the grindstone holder 16 matches the second groove 70. And since it is set as the process of retracting the superfinishing grindstone 41 rather than the inter-groove small diameter part 77 after that, the work W has the first groove 69, the second groove 70, and the small-diameter angular ball bearing having the inter-groove small diameter part 77. Even so, the angle of the base end portion of the grindstone holder 16 can be changed without hitting the workpiece W, and then there is a step of retracting the superfinishing grindstone 41 rather than the inter-groove small diameter portion 77. Groove change Superfinishing grindstone 41 during the process need not contact the groove between the small-diameter portion 77.

図19〜図21はワークWがアンギュラの方向が互いに異なる第1溝69と第2溝70とを有し、これら溝間に溝間小径部77を有するより小径のアンギュラ玉軸受けハブについて、第2溝70側で超仕上げ砥石41をターンさせて、第1溝69と第2溝70とを超仕上げ加工する場合の他の動作を示している。この動作を図19〜図21の工程図を参照しながら説明する。   19 to 21 show a smaller-diameter angular contact ball bearing hub in which the workpiece W has a first groove 69 and a second groove 70 having different angular directions, and a small-diameter portion 77 between the grooves. The other operation in the case of superfinishing the first groove 69 and the second groove 70 by turning the superfinishing grindstone 41 on the two-groove 70 side is shown. This operation will be described with reference to the process diagrams of FIGS.

まず、図19(a)に示すように駆動装置79に第1溝69を第2溝70より奥側に配置してワークWを装着し、第1溝仕上げ工程の前に、砥石ホルダ16の傾斜角度(θ)を第1溝69に対するオシレーションの揺動中心角(α)よりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ16の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)以下に設定した状態で、図19(b)に示すように砥石ホルダ16をリンク部材14と平行な方向に(X方向)移動してワークW内に砥石ホルダ16を入れ、超仕上げ砥石41を第1溝69側に移動させる(ツールイン工程)。   First, as shown in FIG. 19A, the first groove 69 is disposed on the back side of the second groove 70 in the driving device 79 and the workpiece W is mounted. Before the first groove finishing step, the grindstone holder 16 The inclination angle (θ) is set larger than the oscillation center angle (α) of the oscillation with respect to the first groove 69, and the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set to the oscillation center angle α of the oscillation. In a state where the moving angle β is set to be equal to or smaller than the added angle (α + β), the grindstone holder 16 is moved in the direction parallel to the link member 14 (X direction) as shown in FIG. The grindstone holder 16 is inserted, and the superfinishing grindstone 41 is moved to the first groove 69 side (tool-in process).

その後、図19(c)(d)に示すようにワークWを駆動しながら第1溝69に超仕上げ砥石41を前進して押し当てかつオシレーションし、その後に図20(e)に示すように超仕上げ砥石41を第1溝69からに後退させる(第1溝仕上げ工程)。
次に、砥石ホルダ16の揺動を停止して、図20(f)に示すように超仕上げ砥石41を第1溝69から第2溝70に対向するようにリンク部材14と平行な方向(X方向)に移動する(溝変更工程)。この場合、砥石ホルダ16の傾斜角度θを第2溝70に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ16の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)以下に設定した状態、例えば砥石ホルダ16の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度(α+β)に設定した状態で、溝変更する。ここまでは、前記図14及び図15の動作と同様である。
Thereafter, as shown in FIGS. 19C and 19D, the superfinishing grindstone 41 is advanced and pressed and oscillated in the first groove 69 while driving the workpiece W, and thereafter, as shown in FIG. 20E. Next, the superfinishing grindstone 41 is moved backward from the first groove 69 (first groove finishing step).
Next, the rocking of the grindstone holder 16 is stopped, and the superfinishing grindstone 41 is parallel to the link member 14 so as to face the second groove 70 from the first groove 69 as shown in FIG. X direction) (groove changing step). In this case, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set larger than the oscillation center angle α of the oscillation with respect to the second groove 70, and the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set to the oscillation center angle α of the oscillation. For example, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set to be equal to or less than the addition angle (α + β) obtained by adding the oscillation rocking angle β, and the addition is performed by adding the oscillation rocking angle β to the oscillation rocking center angle α. The groove is changed with the angle (α + β) set. Up to this point, the operation is the same as that shown in FIGS.

次に、前記図20(f)に示す溝変更工程の後に、図20(g)に示すように、超仕上げ砥石41を溝間小径部77よりも後退した位置から第2溝70に近い位置に前進させ、かつ図20(h)に示すようにその第2溝70近接位置で砥石ホルダ16の傾斜角度が第2溝70に適合するように揺動リンク15を角度変更させる(角度変更工程)。
これ以降は前記図14及び図15の動作と同様であって、図21(i)(j)に示すようにワークWを駆動しながら第2溝70に超仕上げ砥石41を小さく前進して押し当てかつオシレーションし、その後に図21(g)に示すように超仕上げ砥石41を第2溝70から後退させる(第2溝仕上げ工程)。
Next, after the groove changing step shown in FIG. 20 (f), as shown in FIG. 20 (g), the superfinishing grindstone 41 is positioned closer to the second groove 70 from the position retracted from the inter-groove small diameter portion 77. And the angle of the swing link 15 is changed so that the inclination angle of the grindstone holder 16 matches the second groove 70 in the vicinity of the second groove 70 as shown in FIG. 20 (h). ).
The subsequent operations are the same as those in FIGS. 14 and 15, and as shown in FIGS. 21 (i) and 21 (j), the superfinishing grindstone 41 is advanced and pushed into the second groove 70 while driving the workpiece W. After applying and oscillating, the superfinishing grindstone 41 is retracted from the second groove 70 as shown in FIG. 21 (g) (second groove finishing step).

その後、砥石ホルダ16の揺動を停止して、図21(l)に示すように砥石ホルダ16をリンク部材14と平行な方向(X方向)に移動してワークW内から砥石ホルダ16ーを出す(ツールアウト工程)。その後、砥石ホルダ16の傾斜角度θを0°に戻す。
上記実施形態では、前記図14及び図15の実施形態の場合と同様に、第1溝69と第2溝70とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができ、また、第1溝69を超仕上げ加工するときと第2溝70を超仕上げ加工するときとに、ワークWを駆動装置79に装着し直す必要がなくなり、第1溝69と第2溝70とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。これに加えて、図16〜図18の場合と同様に、ワークWが第1溝69と第2溝70と溝間小径部77とを有するアンギュラ玉軸受けであっても、砥石ホルダ16の基端部がワークWの衝当することなく角度変更させることができるし、その後に溝間小径部77よりも超仕上げ砥石41を後退させる工程があるため、溝変更工程の際に超仕上げ砥石41が溝間小径部77に接触しないで済む。
Thereafter, the rocking of the grindstone holder 16 is stopped, and the grindstone holder 16 is moved in the direction parallel to the link member 14 (X direction) as shown in FIG. (Tool out process). Thereafter, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is returned to 0 °.
In the above embodiment, as in the case of the embodiment of FIGS. 14 and 15, the first groove 69 and the second groove 70 can be subjected to high-precision superfinishing corresponding to each other, and the first groove When superfinishing 69 and superfinishing the second groove 70, there is no need to reattach the workpiece W to the driving device 79, and the first groove 69 and the second groove 70 are made continuous and smooth. Super finish can be made. In addition, similarly to the case of FIGS. 16 to 18, even if the workpiece W is an angular ball bearing having the first groove 69, the second groove 70, and the inter-groove small diameter portion 77, the base of the grindstone holder 16 is used. The angle of the end portion can be changed without colliding with the workpiece W, and the superfinishing grindstone 41 is then retracted from the small-diameter portion 77 between the grooves, so that the superfinishing grindstone 41 is changed during the groove changing step. However, it is not necessary to contact the small-diameter portion 77 between the grooves.

なお、前記実施の形態では、ワークWがアンギュラの方向が互いに異なる第1溝69と第2溝70とを有するよりアンギュラ玉軸受けハブについて、第1溝69と第2溝70とを超仕上げ加工する場合について適用実施しているが、本願発明が適用されるワークWはアンギュラ玉軸受けに限定されず、リニアガイドのレールに設けられた玉転動溝、深溝玉軸受け、スラスト玉軸受の玉の軒道として設けられた第1溝69と第2溝70との超仕上げ加工にも適用実施することができる。   In the above-described embodiment, the first groove 69 and the second groove 70 are superfinished with respect to the angular ball bearing hub in which the workpiece W has the first groove 69 and the second groove 70 having different angular directions. However, the workpiece W to which the present invention is applied is not limited to the angular ball bearings, but the ball rolling grooves, deep groove ball bearings, and thrust ball bearings provided on the rails of the linear guides. The present invention can also be applied to super finishing of the first groove 69 and the second groove 70 provided as eaves roads.

また、前記実施の形態では、駆動装置79に第1溝69を第2溝70より奥側に配置してワークWを装着し、奥側の第1溝69から超仕上げ加工をし、その後に手前側の第2溝70を超仕上げ加工しているが、これに代え、駆動装置79に第2溝70を第1溝69より奥側に配置してワークWを装着し、手前側の第1溝69から超仕上げ加工をし、その後に奥側の第2溝70を超仕上げ加工するようにしてもよく、この場合には、第2溝仕上げ工程の後に、砥石ホルダ16の傾斜角度θを第2溝70に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定した状態で、砥石ホルダ16をリンク部材14と平行な方向に移動してワークW内から砥石ホルダ16を出すツールアウト工程を設けるようにすればよい。これにより、ワークWの内径が砥石ホルダ16の長さよりも多少小さい場合であっても、超仕上げ工程を施した後にリンク部材14の先端側をワークW内からワークWに接触させることなくスムーズに取り出すことができる。   Moreover, in the said embodiment, the 1st groove | channel 69 is arrange | positioned in the drive device 79 in the back | inner side from the 2nd groove | channel 70, the workpiece | work W is mounted | worn, and superfinishing is processed from the 1st groove | channel 69 of the back | inner side, The second groove 70 on the front side is superfinished. Instead, the work W is mounted on the driving device 79 by placing the second groove 70 on the back side of the first groove 69, and the second groove 70 on the front side is mounted. Superfinishing may be performed from the first groove 69, and then the second groove 70 on the back side may be superfinished. In this case, after the second groove finishing step, the inclination angle θ of the grindstone holder 16 is set. Is set to be larger than the oscillation center angle α of the oscillation with respect to the second groove 70, and a tool-out process of moving the grindstone holder 16 in a direction parallel to the link member 14 and taking out the grindstone holder 16 from the workpiece W is performed. What is necessary is just to provide. Thus, even when the inner diameter of the workpiece W is slightly smaller than the length of the grindstone holder 16, the tip end side of the link member 14 is smoothly brought into contact with the workpiece W from the workpiece W after the superfinishing process is performed. It can be taken out.

また、前記実施の形態では、一対のリンク部材14を左右に離間させて前後方向に配置しているが、一対のリンク部材14の配置方向はこれに限定されず、上下方向、左右方向又は斜め方向に配置するようにしてもよい。
また、前記実施の形態では、平行な一対のリンク部材14と互いに平行な一対の揺動リンク15とこれに平行な砥石ホルダ16とで6節の平行リンク機構を構成しているが、これに代え、平行な一対のリンク部材14に加えてさらに1又は複数のリンク部材を平行に設けるようにしてもよいし、互いに平行な一対の揺動リンク15に加えてさらに1又は複数の揺動リンクを平行に設けるようにしてもよい。
Moreover, in the said embodiment, although a pair of link member 14 is spaced apart from right and left, and arrange | positioned in the front-back direction, the arrangement direction of a pair of link member 14 is not limited to this, Up-down direction, left-right direction, or diagonally It may be arranged in the direction.
In the above embodiment, the parallel link mechanism of 6 nodes is constituted by the pair of parallel link members 14, the pair of swing links 15 parallel to each other, and the grindstone holder 16 parallel to the link member 14. Alternatively, one or more link members may be provided in parallel in addition to the pair of parallel link members 14, or one or more swing links in addition to the pair of swing links 15 parallel to each other. May be provided in parallel.

また、前記実施の形態では、一対のリンク部材14は直線状であるが、一対のリンク部材14は直線状でなくてもよく、例えばクランク状に屈曲していてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although a pair of link member 14 is linear, a pair of link member 14 may not be linear, for example, it may be bent in the shape of a crank.

1 超仕上げユニット
2 移動機構
14 リンク部材
15 揺動リンク
16 砥石ホルダ
25 揺動軸
31 挟持杆
32 挟持杆
39 支持軸
41 超仕上げ砥石
42 シリンダ手段
43 シリンダ
51 軸受突出軸
64 供給流路
65 第1連通孔
66 第2連通孔
67 ホース
69 第1溝
70 第2溝
77 溝間小径部
W ワーク
O 揺動中心
α 揺動中心角
r1 半径
P1 中央
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Superfinishing unit 2 Movement mechanism 14 Link member 15 Oscillating link 16 Grinding stone holder 25 Oscillating shaft 31 Nipping rod 32 Nipping rod 39 Support shaft 41 Superfinishing grinding stone 42 Cylinder means 43 Cylinder 51 Bearing protrusion shaft 64 Supply flow path 65 First Communication hole 66 Second communication hole 67 Hose 69 First groove 70 Second groove 77 Small-diameter portion between grooves W Work O Oscillation center α Oscillation center angle r1 radius P1 center

Claims (11)

平行な一対のリンク部材(14)と、この一対のリンク部材(14)に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンク(15)と、一対のリンク部材(14)の先端側に連結されていて前記揺動リンク(15)に対して平行な砥石ホルダ(16)とを備え、一対の揺動リンク(15)の基部が機体側に揺動軸(25)廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダ(16)に超仕上げ砥石(41)が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石(41)を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段(42)が組み込まれ、砥石ホルダ(16)の超仕上げ砥石(41)側が一対のリンク部材(14)から揺動リンク(15)の基部側と平行に突出され、
前記一対の揺動リンク(15)の一方を揺動軸(25)廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダ(16)を超仕上げ砥石(41)先端側の揺動中心(O)廻りにオシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンク(15)を揺動軸(25)廻りに角度変更させることにより砥石ホルダ(16)を前記揺動中心(O)廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角(α)を変更するようにした超仕上げユニット(1)を具備し、
アンギュラの方向が互いに異なる第1溝(69)と第2溝(70)とを有するワーク(W)を駆動装置(79)に装着し、ワーク(W)を駆動しながら第1溝(69)に超仕上げ砥石(41)を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第1溝仕上げ工程と、ワーク(W)を駆動しながら第2溝(70)に超仕上げ砥石(41)を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第2溝仕上げ工程との間に、砥石ホルダ(16)の傾斜角度が第1溝(69)から第2溝(70)に適合するように揺動リンク(15)を角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石(41)を第1溝(69)から第2溝(70)に対向するようにリンク部材(14)と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられていることを特徴とする超仕上げ方法。
A pair of parallel link members (14), a pair of oscillating links (15) that are crossed and connected to the pair of link members (14), and the distal sides of the pair of link members (14) And a grindstone holder (16) parallel to the swing link (15), and the base of the pair of swing links (15) swings around the swing shaft (25) on the machine body side. Cylinder means that is pivotally supported and holds the superfinishing grindstone (41) outwardly projecting from the grindstone holder (16) and presses the superfinishing grindstone (41) toward the tip side with fluid pressure ( 42), the superfinishing grindstone (41) side of the grindstone holder (16) protrudes in parallel with the base side of the swing link (15) from the pair of link members (14),
By reciprocatingly swinging one of the pair of swing links (15) around the swing shaft (25), the grindstone holder (16) is moved around the swing center (O) on the tip side of the superfinished grindstone (41). In addition to oscillating, by changing the angle of the one oscillating link (15) about the oscillating shaft (25), the grindstone holder (16) is changed to an angle about the oscillating center (O), thereby oscillating. A super finishing unit (1) adapted to change the oscillation center angle (α),
A work (W) having a first groove (69) and a second groove (70) having different angular directions is mounted on a driving device (79), and the first groove (69) is driven while driving the work (W). A first groove finishing step in which the superfinishing grindstone (41) is advanced, pressed, oscillated, and then moved backward, and the superfinishing grindstone (41) is driven in the second groove (70) while driving the workpiece (W). Between the first groove (69) and the second groove (70) between the first groove (69) and the second groove finishing step in which the wheel is advanced, pressed and oscillated and then retracted. The angle changing step of changing the angle of the swing link (15) and the superfinishing grindstone (41) parallel to the link member (14) so as to face the second groove (70) from the first groove (69) And a groove changing process that moves in the direction Super-finishing method to butterflies.
前記ワーク(W)が第1溝(69)と第2溝(70)と溝間小径部(77)とを有するアンギュラ玉軸受けであり、前記第1溝仕上げ工程は、第1溝(69)に超仕上げ砥石(41)を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石(41)を第1溝(69)から僅かに離間させるべく後退させる工程とされ、この第1溝仕上げ工程の後に前記角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、砥石ホルダ(16)の傾斜角度が第2溝(70)に適合するように揺動リンク(15)を角度変更させかつその後に溝間小径部(77)よりも超仕上げ砥石(41)を後退させる工程とされていることを特徴とする請求項1に記載の超仕上げ方法。   The work (W) is an angular contact ball bearing having a first groove (69), a second groove (70), and a small-diameter portion (77) between grooves, and the first groove finishing step includes the first groove (69). The superfinishing grindstone (41) is moved forward, pressed and oscillated, and then the superfinishing grindstone (41) is retracted slightly away from the first groove (69). The angle changing step is provided after the step, and the angle changing step changes the angle of the swing link (15) so that the inclination angle of the grindstone holder (16) fits the second groove (70), and thereafter The superfinishing method according to claim 1, characterized in that the superfinishing grindstone (41) is retracted from the small-diameter portion (77) between the grooves. 前記ワーク(W)が第1溝(69)と第2溝(70)と溝間小径部(77)とを有するアンギュラ玉軸受けであり、前記溝変更工程の後に前記角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、超仕上げ砥石(41)を溝間小径部(77)よりも後退した位置から第2溝(70)に近い位置に前進させかつその第2溝(70)近接位置で砥石ホルダ(16)の傾斜角度が第2溝(70)に適合するように揺動リンク(15)を角度変更させる工程とされ、第2溝仕上げ工程は、第2溝(70)から僅かに離間した状態から第2溝(70)に超仕上げ砥石(41)を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石(41)が第1溝(69)から後退させる工程とされていることを特徴とする請求項1に記載の超仕上げ方法。   The workpiece (W) is an angular ball bearing having a first groove (69), a second groove (70), and a small-diameter portion (77) between grooves, and the angle changing step is provided after the groove changing step, In this angle changing step, the superfinishing grindstone (41) is advanced from a position retracted from the inter-groove small diameter portion (77) to a position close to the second groove (70), and the grindstone is located near the second groove (70). The angle of the swing link (15) is changed so that the inclination angle of the holder (16) matches the second groove (70), and the second groove finishing step is slightly separated from the second groove (70). From this state, the superfinishing grindstone (41) is advanced to the second groove (70), pressed and oscillated, and then the superfinishing grindstone (41) is retracted from the first groove (69). The superfinishing method according to claim 1. 前記角度変更工程は、砥石ホルダ(16)の傾斜角度(θ)を第1溝(69)又は第2溝(70)に対するオシレーションの揺動中心角(α)よりも大きくなるように変更するものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の超仕上げ方法。   In the angle changing step, the inclination angle (θ) of the grindstone holder (16) is changed to be larger than the oscillation center angle (α) of oscillation with respect to the first groove (69) or the second groove (70). The superfinishing method according to any one of claims 1 to 3, wherein the superfinishing method is one. 前記砥石ホルダ(16)の傾斜角度(θ)を、オシレーションの揺動中心角(α)にオシレーションの揺動角度(β)を加算した加算角度(α+β)以下に設定したことを特徴とする請求項4に記載の超仕上げ方法。   The inclination angle (θ) of the grindstone holder (16) is set to be equal to or less than an addition angle (α + β) obtained by adding an oscillation rocking angle (β) to an oscillation rocking central angle (α). The superfinishing method according to claim 4. 駆動装置(79)に第1溝(69)を第2溝(70)より奥側に配置してワーク(W)を装着し、第1溝仕上げ工程の前に、砥石ホルダ(16)の傾斜角度(θ)を第1溝(69)に対するオシレーションの揺動中心角(α)よりも大きく設定した状態で、砥石ホルダ(16)をリンク部材(14)と平行な方向に移動してワーク(W)内に砥石ホルダ(16)を入れて超仕上げ砥石(41)を第1溝(69)側に移動させるツールイン工程が設けられていることを特徴とする請求項2〜5のいずれかに記載の超仕上げ方法。   The first groove (69) is arranged in the drive device (79) on the back side from the second groove (70) and the work (W) is mounted, and the grinding wheel holder (16) is inclined before the first groove finishing step. With the angle (θ) set larger than the oscillation center angle (α) of oscillation with respect to the first groove (69), the grindstone holder (16) is moved in a direction parallel to the link member (14). 6. A tool-in process is provided in which the grindstone holder (16) is placed in (W) and the superfinishing grindstone (41) is moved to the first groove (69) side. Super finishing method according to crab. 駆動装置(79)に第2溝(70)を第1溝(69)より奥側に配置してワーク(W)を装着し、第2溝仕上げ工程の後に、砥石ホルダ(16)の傾斜角度(θを第2溝(70)に対するオシレーションの揺動中心角(α)よりも大きく設定した状態で、砥石ホルダ(16)をリンク部材(14)と平行な方向に移動してワーク(W)内から砥石ホルダ(16)を出すツールアウト工程が設けられていることを特徴とする請求項2〜5のいずれかに記載の超仕上げ方法。   The second groove (70) is arranged in the drive device (79) on the back side from the first groove (69) and the workpiece (W) is mounted. After the second groove finishing step, the inclination angle of the grindstone holder (16) (While θ is set larger than the oscillation center angle (α) of oscillation with respect to the second groove (70), the grindstone holder (16) is moved in a direction parallel to the link member (14) to move the workpiece (W A superfinishing method according to any one of claims 2 to 5, further comprising a tool-out step of taking out the grindstone holder (16) from inside. 平行な一対のリンク部材(14)と、この一対のリンク部材(14)に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンク(15)と、一対のリンク部材(14)の先端側に支持軸(39)を介して連結されていて前記揺動リンク(15)に対して平行な砥石ホルダ(16)とを備え、一対の揺動リンク(15)の基部が機体側に揺動軸(25)廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダ(16)に超仕上げ砥石(41)が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石(41)を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段(42)が組み込まれ、砥石ホルダ(16)の超仕上げ砥石(41)側が一対のリンク部材(14)から揺動リンク(15)の基部側と平行に突出され、
前記一対の揺動リンク(15)の一方を揺動軸(25)廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダ(16)を超仕上げ砥石(41)先端側の揺動中心(O)廻りにオシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンク(15)を揺動軸(25)廻りに角度変更させることにより砥石ホルダ(16)を前記揺動中心(O)廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角を設定変更するようにした超仕上げユニット(1)を具備した超仕上げ装置であって、
前記一対のリンク部材(14)と平行なX方向と超仕上げ砥石(41)をワーク(W)の溝に向けて前後させるY方向とに超仕上げユニット(1)を移動させる移動機構(2)を具備したことを特徴とする超仕上げ装置。
A pair of parallel link members (14), a pair of oscillating links (15) that are crossed and connected to the pair of link members (14), and the distal sides of the pair of link members (14) And a grindstone holder (16) coupled to the swing link (15) through a support shaft (39), and the base of the pair of swing links (15) swings toward the machine body. The superfinishing grindstone (41) is supported on the grindstone holder (16) so as to protrude outward, and the superfinishing grindstone (41) is directed toward the tip side. Cylinder means (42) for pressing with pressure is incorporated, and the superfinishing grindstone (41) side of the grindstone holder (16) protrudes in parallel with the base side of the swing link (15) from the pair of link members (14),
By reciprocatingly swinging one of the pair of swing links (15) around the swing shaft (25), the grindstone holder (16) is moved around the swing center (O) on the tip side of the superfinished grindstone (41). In addition to oscillating, by changing the angle of the one oscillating link (15) about the oscillating shaft (25), the grindstone holder (16) is changed to an angle about the oscillating center (O), thereby oscillating. A super-finishing device comprising a super-finishing unit (1) in which the swing center angle is set and changed.
A moving mechanism (2) for moving the superfinishing unit (1) in the X direction parallel to the pair of link members (14) and the Y direction in which the superfinishing grindstone (41) is moved back and forth toward the groove of the workpiece (W). A super-finishing apparatus characterized by comprising:
前記一対のリンク部材(14)の支持軸(39)を支持する軸受部分に互いに対向する軸受突出部(51)が突出され、前記一方の揺動リンク(15)を揺動軸(25)廻りに大きく揺動したときに、一対のリンク部材(14)の軸受突出部(51)同士がX方向にずれて噛み合うようにしたことを特徴とする請求項8に記載の超仕上げ装置。   The bearing protrusions (51) facing each other are projected from the bearing portions that support the support shaft (39) of the pair of link members (14), and the one swing link (15) is moved around the swing shaft (25). The super-finishing apparatus according to claim 8, wherein when the pair of link members (14) are largely swung, the bearing protrusions (51) of the pair of link members (14) are shifted in the X direction and mesh with each other. 一対のリンク部材(14)のうちの砥石ホルダ(16)の基部側を支持する支持軸(39)に、シリンダ手段(42)に流体を供給するための供給流路(64)が設けられていることを特徴とする請求項8又は9に記載の超仕上げ装置。   A supply channel (64) for supplying fluid to the cylinder means (42) is provided on the support shaft (39) that supports the base side of the grindstone holder (16) of the pair of link members (14). The superfinishing apparatus according to claim 8 or 9, wherein 前記供給流路(64)は、支持軸(39)の軸心に穿孔されていてシリンダ手段(42)のシリンダ(43)に連通する第1連通孔(65)と、第1連通孔(65)に連通しかつリンク部材(14)の外面に沿う第2連通孔(66)とをL字状に有し、シリンダ(43)に流体を供給するためのホース(67)が第2連通孔(66)に連結されてリンク部材(14)の長手方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項10に記載の超仕上げ装置。   The supply flow path (64) has a first communication hole (65) that is bored in the axis of the support shaft (39) and communicates with the cylinder (43) of the cylinder means (42), and a first communication hole (65 ) And a second communication hole (66) along the outer surface of the link member (14) in an L shape, and a hose (67) for supplying fluid to the cylinder (43) is provided in the second communication hole. The superfinishing device according to claim 10, wherein the superfinishing device is connected to (66) and arranged along a longitudinal direction of the link member (14).
JP2010091442A 2010-04-12 2010-04-12 Super finishing method and super finishing equipment Active JP5357820B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010091442A JP5357820B2 (en) 2010-04-12 2010-04-12 Super finishing method and super finishing equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010091442A JP5357820B2 (en) 2010-04-12 2010-04-12 Super finishing method and super finishing equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011218506A true JP2011218506A (en) 2011-11-04
JP5357820B2 JP5357820B2 (en) 2013-12-04

Family

ID=45036127

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010091442A Active JP5357820B2 (en) 2010-04-12 2010-04-12 Super finishing method and super finishing equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5357820B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105014506A (en) * 2015-07-22 2015-11-04 浙江天马轴承有限公司 Device for grinding raceway of bearing outer ring of wind power main shaft
CN112917375A (en) * 2021-03-23 2021-06-08 中国航发哈尔滨轴承有限公司 Oilstone swing mechanism for lapping bearing ring

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006095629A (en) * 2004-09-29 2006-04-13 Jtekt Corp Method for machining raceway surface of outer race of double row angular contact ball bearing
JP2008272839A (en) * 2007-04-25 2008-11-13 Nsk Ltd Super-finishing machine
JP2009269111A (en) * 2008-05-02 2009-11-19 Seibu Jido Kiki Kk Grinding device
JP2010052082A (en) * 2008-08-27 2010-03-11 Seibu Jido Kiki Kk Grinding apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006095629A (en) * 2004-09-29 2006-04-13 Jtekt Corp Method for machining raceway surface of outer race of double row angular contact ball bearing
JP2008272839A (en) * 2007-04-25 2008-11-13 Nsk Ltd Super-finishing machine
JP2009269111A (en) * 2008-05-02 2009-11-19 Seibu Jido Kiki Kk Grinding device
JP2010052082A (en) * 2008-08-27 2010-03-11 Seibu Jido Kiki Kk Grinding apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105014506A (en) * 2015-07-22 2015-11-04 浙江天马轴承有限公司 Device for grinding raceway of bearing outer ring of wind power main shaft
CN112917375A (en) * 2021-03-23 2021-06-08 中国航发哈尔滨轴承有限公司 Oilstone swing mechanism for lapping bearing ring

Also Published As

Publication number Publication date
JP5357820B2 (en) 2013-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6408526B2 (en) Ball screw polishing method and apparatus
WO2012114576A1 (en) Superfinishing machine used for both inner and outer rings
JP2018202578A (en) Superfinishing method for groove and manufacturing method for bearing
JP5307758B2 (en) Super finishing equipment
JP4812488B2 (en) Super finishing method of roller bearing raceway
JP5357820B2 (en) Super finishing method and super finishing equipment
JP2010052082A (en) Grinding apparatus
US8647175B2 (en) Method and apparatus for finish machining ball tracks in a nut of a ball drive
JP4812489B2 (en) Super finishing machine for roller bearing races
JP5640809B2 (en) Super finishing board for both inner and outer rings and super finishing method for inner and outer rings
JP6540243B2 (en) Compound grinding machine equipped with superfinishing apparatus and superfinishing apparatus
JP2019025626A (en) Cutting tool and processing method for rounding edge
JP7021455B2 (en) Processing equipment
JP2003311368A (en) Shaft thickening method and device for metallic shaft material
JP2019042899A (en) Processing device and processing method using the same
JP4585339B2 (en) Roll forming device
KR200391503Y1 (en) Welding carriage that can weld remnant
JP4544524B2 (en) Bending machine
JP6443483B2 (en) Coating device
JPH06226611A (en) Holding device for cutting toric lens
JPH05200649A (en) Tool centering device
JP6428374B2 (en) Processing equipment
JP2003048146A (en) Method and device for machining curved surface
JP2767925B2 (en) Super finishing grinding machine for bearing outer ring raceway surface
JP2018134711A (en) Method for processing work-piece by use of machine tool, and machine tool

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120105

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130516

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130604

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130621

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130827

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130830

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5357820

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250