JP2011203143A

JP2011203143A - Scale for encoder, scale manufacturing method for encoder, and actuator

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Publication number: JP2011203143A
Application number: JP2010071174A
Authority: JP
Inventors: Teruaki Fujinaga; 輝明藤永
Original assignee: IAI Corp
Current assignee: IAI Corp
Priority date: 2010-03-26
Filing date: 2010-03-26
Publication date: 2011-10-13
Anticipated expiration: 2030-03-26
Also published as: JP5372822B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scale for an encoder, capable of enhancing reliability without inviting increase in costs, and to provide a scale for the encoder manufacturing method for manufacturing such a scale for the encoder and an actuator using such a scale for the encoder.SOLUTION: In the scale for the encoder with a high reflectance section and a low reflectance section, the high reflectance section and the low reflectance section are formed by printing. Thereby, a scale for the encoder with a high reliability can be provided at a low cost.

Description

本発明は、例えば、精密位置決めシステムに用いられるアブソリュート型リニアエンコーダにおいて使用されるエンコーダ用スケールとエンコーダ用スケール製造方法とアクチュエータに係り、特に、信頼性を高めることができると共にコストの低減を図ることができるように工夫したものに関する。 The present invention relates to an encoder scale used in, for example, an absolute linear encoder used in a precision positioning system, an encoder scale manufacturing method, and an actuator, and in particular, can improve reliability and reduce cost. It relates to things devised so that

精密位置決め装置において、位置決めフィードバック用のセンサーとして、例えば、リニアエンコーダが使用される。これはリニアエンコーダが高精度であって低コストであることに起因する。ところが、現在多く用いられているリニアエンコーダは原点復帰動作の必要なインクリメンタル型である。この種のインクリメンタル型のリニアエンコーダの場合には、装置立ち上げ時或いはトラブル発生時には原点復帰動作を行わせる必要がある。その為、装置の稼働率が低下してしまうという問題があった。 In the precision positioning apparatus, for example, a linear encoder is used as a sensor for positioning feedback. This is due to the high accuracy and low cost of the linear encoder. However, the linear encoder that is widely used at present is an incremental type that requires an origin return operation. In the case of this type of incremental type linear encoder, it is necessary to perform an origin return operation when the apparatus is started up or when a trouble occurs. Therefore, there has been a problem that the operating rate of the apparatus is lowered.

そこで、インクリメンタル型のリニアエンコーダに代わってアブソリュート型のリニアエンコーダの使用が提案されている。この種のアブソリュート型のリニアエンコーダの場合には原点復帰動作が不要になるからである。 Therefore, it has been proposed to use an absolute linear encoder instead of the incremental linear encoder. This is because this type of absolute linear encoder does not require an origin return operation.

上記アブソリュート型のリニアエンコーダを開示するものとして、例えば、特許文献１、特許文献２等がある。 For example, Patent Literature 1 and Patent Literature 2 disclose the absolute type linear encoder.

ところがこの種のアブソリュート型リニアエンコーダの場合には次のような問題があった。
まず、特許文献１及び特許文献２に開示されているアブソリュート型リニアエンコーダの場合には、何れもその構成が複雑であり、且つ、コストが高いという問題があった。又、リニアスケール部及び検出ヘッド部のコンパクト化が困難であるという問題があった。さらに、信号の伝送が複雑であるという問題があった。
例えば、特許文献１に開示されているアブソリュート型リニアエンコーダの場合には、静電容量式と光電式を併用することにより少ないトラック数で高分解能と広い測長範囲を実現している。しかしながら、検出手段、コードパターンともに２系統必要であり、そのためコンパクト化は不可能であった。
又、特許文献２に記載されたアブソリュート型リニアエンコーダの場合には、位相差の異なるリニアスケールを用いることにより２組のリニアスケールまで減少させることができるが、その精度確保にはやや複雑な信号処理を必要としており、やはりコンパクト化を実現することは困難であった。 However, this type of absolute linear encoder has the following problems.
First, the absolute linear encoders disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 both have a problem in that the configuration is complicated and the cost is high. Further, there is a problem that it is difficult to make the linear scale part and the detection head part compact. Furthermore, there is a problem that signal transmission is complicated.
For example, in the case of an absolute linear encoder disclosed in Patent Document 1, a high resolution and a wide length measurement range are realized with a small number of tracks by using both a capacitance type and a photoelectric type. However, two systems are required for both the detection means and the code pattern.
In the case of the absolute linear encoder described in Patent Document 2, it is possible to reduce the number of linear scales by using linear scales having different phase differences. Processing is required, and it is difficult to achieve compactness.

このような問題に対して、本件特許本出願人は、特許文献３、特許文献４に示すようなアブソリュート型リニアエンコーダを提案している。 In order to solve such a problem, the applicant of this patent has proposed an absolute linear encoder as shown in Patent Document 3 and Patent Document 4.

特開平５−８０８４９号公報JP-A-5-80849 特開２００３−８３７６６号広報Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-83766 特開２００９−６８９７８号公報JP 2009-68978 A 特開２０１０−２５９０８号公報JP 2010-25908 A

上記従来の構成によると次のような問題があった。
すなわち、上記特許文献４に記載された発明によるエンコーダ用スケールの製造方法の場合には、高反射率のアルミ蒸着テープにインクの塗布又はインクの転写を施すことにより低反射率部を形成する構成となっている。そして、製造に際してはアルミ蒸着テープを必要とするものであるが、エンコーダ用スケールを製造するためのアルミ蒸着テープの量は僅かであるのに対して、通常、この種のアルミ蒸着テープを購入する場合には大ロットの単位で注文しなければならず、そのため製造コストが上昇してしまうという問題があった。 The conventional configuration has the following problems.
That is, in the case of the encoder scale manufacturing method according to the invention described in Patent Document 4, the low reflectance portion is formed by applying ink or transferring ink to an aluminum vapor-deposited tape having high reflectance. It has become. And although aluminum vapor deposition tape is required for production, the amount of aluminum vapor deposition tape for producing an encoder scale is very small, whereas this type of aluminum vapor deposition tape is usually purchased. In some cases, it is necessary to place an order in units of large lots, which raises the problem of increased manufacturing costs.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、コストの上昇を来すことなく信頼性を高めることが可能なエンコーダ用スケールを提供すると共にそのようなエンコーダ用スケールを製造するためのエンコーダ用スケール製造方法とそのようなエンコーダ用スケールを使用したアクチュエータを提供することにある。 The present invention has been made based on these points, and an object of the present invention is to provide an encoder scale capable of improving reliability without causing an increase in cost, and such an encoder scale. An encoder scale manufacturing method for manufacturing an encoder and an actuator using such an encoder scale are provided.

上記目的を達成するべく本願発明の請求項１によるエンコーダ用スケールは、高反射率部及び低反射率部を備えてなるエンコーダ用スケールにおいて、上記高反射率部及び低反射率部は印刷により形成されたものであることを特徴とするものである。
又、請求項２によるエンコーダ用スケールは、請求項１記載のエンコーダ用スケールにおいて、上記印刷が熱転写方式によるものであることを特徴とするものである。
又、請求項３によるエンコーダ用スケールは、請求項１記載のエンコーダ用スケールにおいて、基材層と高反射率層および低反射率層の少なくとも３層以上の層構造であることを特徴とするものである。
又、請求項４によるエンコーダ用スケールは、請求項３記載のエンコーダ用スケールにおいて、上記高反射率層はアルミニウム蒸着フィルムからなることを特徴とするものである。
又、請求項５によるエンコーダ用スケールは、請求項１記載のエンコーダ用スケールにおいて、上記高反射率部及び低反射率部がランダム符号系列を形成していることを特徴とするものである。
又、請求項６によるエンコーダ用スケールは、請求項５記載のエンコーダ用スケールにおいて、上記ランダム符号系列としてＰＮ符号系列を用いるアブソリュートリニアスケール部と繰返しパターンによるインクリメンタルリニアスケール部とを持つことを特徴とするものである。
又、請求項７によるエンコーダ用スケール製造方法は、高反射率部及び低反射率部を備えてなるエンコーダ用スケールを製造するエンコーダ用スケールの製造方法において、上記高反射率部及び低反射率部は印刷により形成するようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項８によるエンコーダ用スケール製造方法は、請求項７記載のエンコーダ用スケール製造方法において、上記印刷が熱転写方式によるものであることを特徴とするものである。
又、請求項９によるアクチュエータは、請求項１〜請求項６の何れかに記載のエンコーダ用スケールを用いたことを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, an encoder scale according to claim 1 of the present invention is an encoder scale comprising a high reflectance portion and a low reflectance portion, wherein the high reflectance portion and the low reflectance portion are formed by printing. It is characterized by being made.
An encoder scale according to claim 2 is the encoder scale according to claim 1, wherein the printing is performed by a thermal transfer system.
An encoder scale according to claim 3 is the encoder scale according to claim 1, wherein the encoder scale has a layer structure of at least three layers of a base material layer, a high reflectance layer, and a low reflectance layer. It is.
The encoder scale according to claim 4 is the encoder scale according to claim 3, wherein the high reflectivity layer is made of an aluminum vapor deposition film.
An encoder scale according to claim 5 is the encoder scale according to claim 1, wherein the high reflectance portion and the low reflectance portion form a random code sequence.
The encoder scale according to claim 6 is characterized in that in the encoder scale according to claim 5, the encoder linear scale has an absolute linear scale portion using a PN code sequence as the random code sequence and an incremental linear scale portion using a repetitive pattern. To do.
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an encoder scale manufacturing method according to a seventh aspect of the present invention, wherein the encoder scale manufacturing method includes a high reflectance portion and a low reflectance portion. Is formed by printing.
An encoder scale manufacturing method according to an eighth aspect is the encoder scale manufacturing method according to the seventh aspect, wherein the printing is performed by a thermal transfer system.
An actuator according to a ninth aspect uses the encoder scale according to any one of the first to sixth aspects.

以上述べたように本願発明の請求項１によるエンコーダ用スケールは、高反射率部及び低反射率部を備えてなるエンコーダ用スケールにおいて、上記高反射率部及び低反射率部は印刷により形成されたものであるので、例えば、従来のように、アルミ蒸着テープを大ロットの単位で購入しなければならないといった問題はなく、低コストで信頼性の高いエンコーダ用スケールを得ることができる。
又、請求項２によるエンコーダ用スケールは、請求項１記載のエンコーダ用スケールにおいて、上記印刷が熱転写方式によるものであるので、比較的簡単な構成で高精度、高信頼性の所望のエンコーダ用スケールを提供することができる。
又、請求項３によるエンコーダ用スケールは、ル請求項１記載のエンコーダ用スケールにおいて、基材層と高反射率層および低反射率層の少なくとも３層以上の層構造であるので、比較的簡単な構成で所望のエンコーダ用スケールの機能確保ができ、十分な機械的強度と高い信頼性を提供することができる。
又、請求項４によるエンコーダ用スケールは、請求項３記載のエンコーダ用スケールにおいて、上記高反射率層はアルミニウム蒸着フィルムからなるので、従来のように、アルミ蒸着テープを使用していた場合に比べて、低コストで信頼性の確保されたエンコーダ用スケールを得ることができる。
又、請求項５によるエンコーダ用スケールは、請求項１記載のエンコーダ用スケールにおいて、上記高反射率部及び低反射率部がランダム符号系列を形成しているが、そのようなエンコーダスケールについては、印刷により形成されているので、低コストで提供することができる。特に、長ストロークの場合にその効果が大きい。
又、請求項６によるエンコーダ用スケールは、請求項５記載のエンコーダ用スケールにおいて、上記ランダム符号系列としてＰＮ符号系列を用いるアブソリュートリニアスケール部と繰返しパターンによるインクリメンタルリニアスケール部とを持っているが、そのようなエンコーダスケールについても、低コストで高い信頼性のものを提供することができる。
又、請求項７によるエンコーダ用スケール製造方法は、高反射率部及び低反射率部を備えてなるエンコーダ用スケールを製造するエンコーダ用スケールの製造方法において、上記高反射率部及び低反射率部は印刷により形成するようにしたので、例えば、従来のように、アルミ蒸着テープを大ロットの単位で購入しなければならないといった問題はなく、低コストで信頼性の高いエンコーダ用スケールを得ることができる。
又、請求項８によるエンコーダ用スケール製造方法は、請求項７記載のエンコーダ用スケール製造方法において、上記印刷が熱転写方式によるものであるので、比較的簡単な構成で、高精度、高信頼性の所望のエンコーダ用スケールを提供することができる。
又、請求項９によるアクチュエータは、請求項１〜請求項６の何れかに記載のエンコーダ用スケールを用いたものであるので、低コストでアブソリュートリニアエンコーダ搭載のアクチュエータを実現でき、原点復帰動作不要のため、アクチュエータを用いた装置の稼働率向上が期待できる。 As described above, the encoder scale according to claim 1 of the present invention is an encoder scale including a high reflectance portion and a low reflectance portion, and the high reflectance portion and the low reflectance portion are formed by printing. Therefore, for example, there is no problem that an aluminum vapor-deposited tape has to be purchased in units of large lots as in the prior art, and a low-cost and highly reliable encoder scale can be obtained.
Further, the encoder scale according to claim 2 is the encoder scale according to claim 1, wherein the printing is performed by a thermal transfer system, so that the desired encoder scale having a relatively simple configuration and high accuracy and high reliability is obtained. Can be provided.
Further, the encoder scale according to claim 3 is relatively simple in the encoder scale according to claim 1 since it has a layer structure of at least three layers of the base material layer, the high reflectance layer, and the low reflectance layer. With a simple structure, the function of the desired encoder scale can be ensured, and sufficient mechanical strength and high reliability can be provided.
Further, the encoder scale according to claim 4 is the encoder scale according to claim 3, wherein the high reflectivity layer is made of an aluminum vapor deposition film, so that compared with the conventional case where an aluminum vapor deposition tape is used. Thus, it is possible to obtain an encoder scale with low cost and high reliability.
The encoder scale according to claim 5 is the encoder scale according to claim 1, wherein the high reflectivity portion and the low reflectivity portion form a random code sequence. Since it is formed by printing, it can be provided at low cost. In particular, the effect is large in the case of a long stroke.
The encoder scale according to claim 6 has an absolute linear scale portion using a PN code sequence as the random code sequence and an incremental linear scale portion using a repetitive pattern in the encoder scale according to claim 5. Such an encoder scale can also be provided with high reliability at low cost.
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an encoder scale manufacturing method according to a seventh aspect of the present invention, wherein the encoder scale manufacturing method includes a high reflectance portion and a low reflectance portion. Is formed by printing, for example, there is no problem that aluminum vapor-deposited tape has to be purchased in large lot units as in the past, and it is possible to obtain a low-cost and highly reliable encoder scale. it can.
An encoder scale manufacturing method according to claim 8 is the encoder scale manufacturing method according to claim 7, wherein the printing is performed by a thermal transfer method, so that the structure is relatively simple, and has high accuracy and high reliability. A desired encoder scale can be provided.
Moreover, since the actuator according to claim 9 uses the encoder scale according to any one of claims 1 to 6, an actuator equipped with an absolute linear encoder can be realized at low cost, and no return to origin operation is required. Therefore, an improvement in the operating rate of the apparatus using the actuator can be expected.

本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの構成を示す平面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a top view which shows the structure of an actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータに使用されているアブソリュートリニアエンンコーダの構成を示すブロック図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is a block diagram which shows the structure of the absolute linear encoder used for the actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、ＬＳＦＲの構成を示すブロック図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is a block diagram which shows the structure of LSFR. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４（ａ）はエンコーダ用スケールの一部平面図、図４（ｂ）はエンコーダ用スケールの一部断面図である。FIGS. 4A and 4B are diagrams showing a first embodiment of the present invention, in which FIG. 4A is a partial plan view of an encoder scale, and FIG. 4B is a partial cross-sectional view of the encoder scale. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、熱転写方式を説明するためのエンコーダ用スケールの一部断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is a partial cross section figure of the scale for encoders for demonstrating a thermal transfer system. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図６（ａ）はアルミ蒸着層を備えたインクリボンの構成を示す一部断面図、図６（ｂ）は黒インク層を備えたインクリボンの構成を示す一部断面図である。FIGS. 6A and 6B show a first embodiment of the present invention, FIG. 6A is a partial cross-sectional view showing a configuration of an ink ribbon provided with an aluminum vapor deposition layer, and FIG. 6B is an ink provided with a black ink layer. It is a partial cross section figure which shows the structure of a ribbon. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、エンコーダ用スケールの一部断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a partial cross section figure of the scale for encoders. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、エンコーダ用スケールの一部断面図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a partial cross section figure of the scale for encoders.

以下、図１乃至図７を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。この第１の実施の形態は本願発明を一軸アクチュエータに適用した例を示すものである。図１は本実施の形態によるアクチュエータの全体の構成を示す平面図である。まず、ハウジング1があり、このハウジング１にはスライダ３が図１中左右方向（矢印ａ方向）に移動可能な状態で取り付けられている。上記ハウジング１内にはボールねじ５が内装されているとともに駆動モータ７が設置されている。上記ボールねじ５は上記駆動モータ７の出力軸に連結されていて、駆動モータ７によって回転駆動されるように構成されている。
尚、ボールねじ５と駆動モータ７の出力軸が一体化されたものもある。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. This first embodiment shows an example in which the present invention is applied to a uniaxial actuator. FIG. 1 is a plan view showing the overall configuration of the actuator according to the present embodiment. First, there is a housing 1, and a slider 3 is attached to the housing 1 so as to be movable in the left-right direction (arrow a direction) in FIG. A ball screw 5 is housed in the housing 1 and a drive motor 7 is installed. The ball screw 5 is connected to the output shaft of the drive motor 7 and is configured to be rotationally driven by the drive motor 7.
In some cases, the ball screw 5 and the output shaft of the drive motor 7 are integrated.

上記ボールねじ５には図示しないボールナットがその回転を規制された状態で螺合・配置されている。既に説明したスライダ３はこのボールナットに固着されている。上記ハウジング１にはガイド９、１１が設置されていて、これらガイド９、１１によって上記スライダ３の図１中左右方向への移動をガイドする。そして、駆動モータ７を適宜の方向に回転させることによりボールねじ５が同方向に回転し、それによって、ボールナットを介してスライダ３が上記ガイド９、１１によってガイドされながら適宜の方向（図１中左右方向）に移動する。 A ball nut (not shown) is screwed and arranged on the ball screw 5 in a state where its rotation is restricted. The slider 3 already described is fixed to this ball nut. Guides 9 and 11 are installed in the housing 1, and the guides 9 and 11 guide the movement of the slider 3 in the left-right direction in FIG. Then, by rotating the drive motor 7 in an appropriate direction, the ball screw 5 rotates in the same direction, whereby the slider 3 is guided by the guides 9 and 11 through the ball nuts in an appropriate direction (FIG. 1). Move in the middle / left / right direction).

上記ガイド１１側にはリニアスケール部２１が設置されており、一方、上記スライダ３には検出ヘッド部２３が取り付けられている。又、アクチュエータに対して離間した場所にはコントローラ部２５が設置されている。 A linear scale portion 21 is installed on the guide 11 side, while a detection head portion 23 is attached to the slider 3. A controller unit 25 is installed at a location separated from the actuator.

次に、上記リニアスケール部２１、検出ヘッド部２３、コントローラ部２５の構成について詳しく説明する。図２は図１の中から上記リニアスケール部２１、検出ヘッド部２３、コントローラ部２５を抽出して示す図である。まず、リニアスケール部２１は、インクリメンタルリニアスケール３１、ＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３とから構成されている。上記インクリメンタルリニアスケール３１は縞状をなしていて、例えば、８０μｍピッチの光学反射式のものとして構成されている。すなわち、上記インクリメンタルリニアスケール３１は、４０μｍの高反射率領域３１ａと、４０μｍの低反射領域３１ｂが交互に配置されて連なった構成をなしている。 Next, the configuration of the linear scale unit 21, the detection head unit 23, and the controller unit 25 will be described in detail. FIG. 2 shows the linear scale unit 21, the detection head unit 23, and the controller unit 25 extracted from FIG. First, the linear scale unit 21 is composed of an incremental linear scale 31 and a PN code series absolute linear scale 33. The incremental linear scale 31 has a striped shape, and is configured as an optical reflection type having a pitch of 80 μm, for example. That is, the incremental linear scale 31 has a configuration in which a high-reflectance region 31a of 40 μm and a low-reflection region 31b of 40 μm are alternately arranged.

一方、上記ＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３は１ビットが８０μｍに構成されていて、高反射率領域３３ａと低反射領域３３ｂがＰＮ符号系列に基づいて配置された構成になっている。上記ＰＮ符号系列とは擬似ランダム系列であり、この疑似ランダム系列とは、例えば、スペクトラム拡散通信、白色雑音生成、暗号化、エラー訂正等に広く使われているものである。上記ＰＮ符号系列の生成にはＬＦＳＲ（ＬｉｎｅａｒＦｅｅｄｂａｃｋＳｈｉｆｔＲｅｇｉｓｔｅｒ）と称されるシフトレジスタが使用される。このシフトレジスタは、図３に示すような構成になっており、ＸＯＲゲート（又は、ＸＮＯＲゲート）５１によって帰還をかける構成になっている。
尚、このＬＦＳＲについては追って詳細に説明する。 On the other hand, the PN code sequence absolute linear scale 33 is configured such that one bit is 80 μm, and the high reflectance region 33a and the low reflection region 33b are arranged based on the PN code sequence. The PN code sequence is a pseudo-random sequence, and this pseudo-random sequence is widely used for spread spectrum communication, white noise generation, encryption, error correction, and the like. A shift register called LFSR (Linear Feedback Shift Register) is used to generate the PN code sequence. This shift register is configured as shown in FIG. 3, and is configured to apply feedback by an XOR gate (or XNOR gate) 51.
The LFSR will be described in detail later.

図２に戻って検出ヘッド部２３側の構成をみてみると、まず、上記インクリメンタルリニアスケール３１に対応する二つの検出器、すなわち、Ａ相検出器３５とＢ相検出器３７が設置されている。これら二つのＡ相検出器３５とＢ相検出器３７は、インクリメンタルリニアスケール３１のピッチ間隔を３６０°としたとき、９０°の位相差間隔で配置されている。そして、上記インクリメンタルリニアスケール３１と二つのＡ相検出器３５、Ｂ相検出器３７とによってインクリメンタルスケール部を構成している。 Returning to FIG. 2, when the configuration on the detection head unit 23 side is seen, first, two detectors corresponding to the incremental linear scale 31, that is, the A-phase detector 35 and the B-phase detector 37 are installed. . These two A-phase detectors 35 and B-phase detectors 37 are arranged with a phase difference interval of 90 ° when the pitch interval of the incremental linear scale 31 is 360 °. The incremental linear scale 31, the two phase A detectors 35, and the phase B detector 37 constitute an incremental scale unit.

上記Ａ相検出器３５、Ｂ相検出器３７は光学式のものであり、上記インクリメンタルリニアスケール３１に対してＬＥＤ光を投射し、インクリメンタルリニアスケール３１にて反射した光をフォトダイオードによって受光する構成のものである。又、これらＡ相検出器３５、Ｂ相検出器３７は既に説明したように９０°の位相差間隔をおいて配置されており、又、その検出領域が縞スケールの１／２ピッチより広くなっている。又、これらＡ相検出器３５、Ｂ相検出器３７からの出力信号は略正弦波である。すなわち、Ａ相検出器３５からは正弦波の信号が出力され、Ｂ相検出器３７からは余弦波の信号が出力されるように構成されている。 The A-phase detector 35 and the B-phase detector 37 are optical, and are configured to project LED light onto the incremental linear scale 31 and receive the light reflected by the incremental linear scale 31 with a photodiode. belongs to. Further, the A phase detector 35 and the B phase detector 37 are arranged with a phase difference interval of 90 ° as described above, and the detection area thereof is wider than ½ pitch of the fringe scale. ing. The output signals from the A phase detector 35 and the B phase detector 37 are substantially sine waves. That is, the A-phase detector 35 outputs a sine wave signal, and the B-phase detector 37 outputs a cosine wave signal.

又、上記検出ヘッド部２３には、上記ＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３に対応する一つのＺ相検出器３９が設置されている。このＺ相検出器３９も既に説明したＡ相検出器３５及びＢ相検出器３７と同様に光学式のものであり、上記ＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３に対してＬＥＤ光を投射し、ＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３にて反射した光をフォトダイオードによって受光する構成のものである。上記ＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３と一つのＺ相検出器３９とによってアブソリュートリニアスケール部を構成している。
尚、本実施の形態では一つのＺ相検出器３９を使用するように構成しているが、二つ以上のＺ相検出器を使用する構成も考えられる。 The detection head unit 23 is provided with one Z-phase detector 39 corresponding to the PN code sequence absolute linear scale 33. The Z-phase detector 39 is also of an optical type like the A-phase detector 35 and the B-phase detector 37 already described, and projects the LED light onto the PN code series absolute linear scale 33, and the PN code The light reflected by the series absolute linear scale 33 is received by a photodiode. The PN code series absolute linear scale 33 and one Z-phase detector 39 constitute an absolute linear scale section.
In the present embodiment, one Z-phase detector 39 is used, but a configuration using two or more Z-phase detectors is also conceivable.

又、上記検出ヘッド部２３には、分割器４１と同期回路４３が設けられている。上記Ａ相検出器３５、Ｂ相検出器３７からの検出信号は上記分割器４１と同期回路４３に夫々入力される。又、上記Ｚ相検出器３９からの検出信号も上記同期回路４３に入力される。そして、上記分割器４１と同期回路４３からの信号、すなわち、分割器４１からのＡ相信号とＢ相信号、同期回路４３からのＺ相信号はラインドライバ４５及びコントローラ部２５のラインレシーバ４７を介してコントローラ４９に入力されるものである。又、このコントローラにはエラー判定手段６１が設けられている。
以上が本実施の形態によるアクチュエータ及びそこに使用されているアブソリュート型リニアエンコーダの概略の構成である。以下、各部の構成をその作用・効果を交えながらさらに詳細に説明していく。 The detection head unit 23 is provided with a divider 41 and a synchronization circuit 43. Detection signals from the A-phase detector 35 and the B-phase detector 37 are input to the divider 41 and the synchronizing circuit 43, respectively. A detection signal from the Z-phase detector 39 is also input to the synchronization circuit 43. The signals from the divider 41 and the synchronizing circuit 43, that is, the A-phase signal and the B-phase signal from the divider 41 and the Z-phase signal from the synchronizing circuit 43 are sent to the line driver 45 and the line receiver 47 of the controller unit 25. Via the controller 49. The controller is provided with error determination means 61.
The above is the schematic configuration of the actuator according to the present embodiment and the absolute linear encoder used therein. In the following, the configuration of each part will be described in more detail with the action and effect.

上記インクリメンタルリニアスケール３１は、既に説明したように、８０μｍピッチにて構成されていて比較的粗い構成になっている。上記分割器４１はそのような粗い構成のインクリメンタルリニアスケール３１の分解能を向上させるために設けられているものである。本実施の形態においては、上記分割器４１として、比較的安価な抵抗分割器を使用する構成になっている。
因みに、この実施の形態では１６分割することにより分解能を５μｍまで向上させるようにしている。 As described above, the incremental linear scale 31 is configured with a pitch of 80 μm and has a relatively coarse configuration. The divider 41 is provided in order to improve the resolution of the incremental linear scale 31 having such a rough configuration. In the present embodiment, a relatively inexpensive resistor divider is used as the divider 41.
Incidentally, in this embodiment, the resolution is improved to 5 μm by dividing into 16 parts.

すなわち、Ａ相検出器３５とＢ相検出器３７から略９０度の位相差を持った略正弦波の２つの出力信号を出力させ、それらを上記分割器４１によって位相分割する。又、分割された９０度位相差のＡ相信号とＢ相信号は原信号の１／４倍の２０μｍピッチの９０度位相差信号として出力することにより、進行方向の情報を含み、且つ、信号周波数を上げないようにできている。この２０μｍピッチのＡ相信号とＢ相信号はコントローラ４９で受信された後さらに１／４倍に分割され、結局、５μｍの高分解能を達成されることになる。
因みに、インクリメンタルリニアスケール３１側の出力信号の分割数を上げると原信号の信号品質要求が高くなる。さらに、上記分割器４１として安価な抵抗分割器を使用することはできなくなり、かなり高価なＤＳＰタイプの分割器を使用することになる。 That is, two substantially sinusoidal output signals having a phase difference of approximately 90 degrees are output from the A-phase detector 35 and the B-phase detector 37, and they are phase-divided by the divider 41. The divided 90-degree phase difference A-phase signal and B-phase signal are output as a 90-degree phase difference signal with a pitch of 20 μm, which is 1/4 of the original signal, and include information on the traveling direction, It is designed not to raise the frequency. The A-phase signal and B-phase signal having a pitch of 20 μm are further divided by a factor of 1/4 after being received by the controller 49, and as a result, a high resolution of 5 μm is achieved.
Incidentally, increasing the number of divisions of the output signal on the incremental linear scale 31 side increases the signal quality requirement of the original signal. Furthermore, an inexpensive resistor divider cannot be used as the divider 41, and a rather expensive DSP type divider is used.

次に、前述したＬＦＳＲについて詳細に説明する。ＬＦＳＲは、図３に示されているように、１５個（０〜１４の１５ビット）のシフトレジスタによって構成されている。このような構成をなすＬＦＳＲにおいて、発生可能なＰＮ符号系列の周期長（ＰＮ符号系列長、Ｌ）は次の式（Ｉ）に示すようなものである。
Ｌ＝２^ｍ−１―――（Ｉ）
但し、
Ｌ：ＰＮ符号系列長
ｍ：ビット数（検出連続信号数）
である。
ＰＮ符号系列は二値（０／１、ここでは白黒）の擬似ランダム系列の一つであって、比較的短い連続したｍ個の信号によって長大な信号周期（Ｌ）を得ることができる信号系列である。例えば、ｍ＝１５個であればＰＮ符号系列長（Ｌ）は、既に説明した式（Ｉ）によれば、次の式（ＩＩ）に示すようなものとなる。
Ｌ＝２^１５−１＝３２７６７―――（ＩＩ）
又、本実施の形態における上記ＬＦＳＲの場合には、前述したように、０ビットと１ビットの信号がＸＯＲゲート５１を介して１４ビットへフィードバックされるように構成されている。 Next, the aforementioned LFSR will be described in detail. As shown in FIG. 3, the LFSR is configured by 15 (15 bits from 0 to 14) shift registers. In the LFSR having such a configuration, the period length of the PN code sequence that can be generated (PN code sequence length, L) is as shown in the following equation (I).
L = 2 ^m -1 --- (I)
However,
L: PN code sequence length m: Number of bits (number of detected continuous signals)
It is.
The PN code sequence is one of binary (0/1, black and white here) pseudo-random sequences, and a signal sequence that can obtain a long signal period (L) by relatively short continuous m signals. It is. For example, if m = 15, the PN code sequence length (L) is as shown in the following formula (II) according to the formula (I) already described.
L = 2 ¹⁵ -1 = 32767-(II)
In the case of the LFSR in the present embodiment, as described above, the 0-bit and 1-bit signals are fed back to 14 bits via the XOR gate 51.

又、図２に示したインクリメンタルリニアスケール３１は、既に説明したように、８０μｍピッチである。又、アブソリュートリニアスケール３３も１ビットが８０μｍであり、よって、ｍ＝１５でのアブソリュートスケール３３のストローク（Ｓ）は次の式（ＩＩＩ）に示すようなものとなる。
Ｓ＝８０μｍ×３２７６７＝約２．６ｍ―――（ＩＩＩ）
尚、式（Ｉ）、（ＩＩ）から明らかなように、アブソリュートリニアスケール部側のＰＮ符号系列の上記検出連続信号数ｍを増加させることにより長いストロークが実現できる。 Further, the incremental linear scale 31 shown in FIG. 2 has a pitch of 80 μm as already described. Also, the absolute linear scale 33 has one bit of 80 μm. Therefore, the stroke (S) of the absolute scale 33 at m = 15 is as shown in the following formula (III).
S = 80 μm × 32767 = about 2.6 m --- (III)
As is clear from the equations (I) and (II), a long stroke can be realized by increasing the number m of detected continuous signals of the PN code sequence on the absolute linear scale side.

既に説明したように、本実施の形態ではアブソリュートリニアスケール３３のＺ相検出器３９は１個であり、この１個のＺ相検出器３９によって必要連続信号数ｍを走査することによりアブソリュート位置データ検出信号を得るようにしている。その為、検出連続信号数ｍが増大するとより長い距離の走査が必要となる。
因みに、この実施の形態では次の式（ＩＶ）に示すような移動範囲で済む構成になっている。
８０μｍ×１５＝１．２ｍｍ―――（ＩＶ）
すなわち、インクリメンタルリニアスケール３１の比較的粗いスケールピッチ８０μｍとアブソリュートリニアスケール３３の比較的短い検出連続信号数（ｍ＝１５）とを組合せることにより、高分解能（５ｕｍ）と長ストローク（約２．６ｍ）が同時に得られる構成になっている。 As described above, in the present embodiment, there is one Z-phase detector 39 of the absolute linear scale 33, and the absolute position data is obtained by scanning the required number of continuous signals m by this one Z-phase detector 39. A detection signal is obtained. Therefore, when the number of detected continuous signals m increases, a longer distance scanning is required.
Incidentally, in this embodiment, the moving range as shown in the following formula (IV) is sufficient.
80μm × 15 = 1.2mm --- (IV)
That is, by combining a relatively coarse scale pitch of 80 μm of the incremental linear scale 31 and a relatively short number of continuous detection signals (m = 15) of the absolute linear scale 33, a high resolution (5 μm) and a long stroke (approximately 2. 6m) is obtained at the same time.

このように、ＰＮ符号系列をアブソリュートリニアスケール３３に適用すれば長ストロークのアブソリュート型リニアスケールを得ることが可能になるが、多数の連続信号（本実施の形態の場合には１５個）を読み取る必要があり、その為通常であれば多数個（１５個）の検出器を必要としてしまう。この点、本実施の形態では、上記したように、Ｚ相検出器３９を一つとし該一つのＺ相検出器を１５ビット分動かすことによって１５個の連続信号を得て、それをレジスタあるいはメモリーに蓄積することによって１５個の検出連続信号を得るようにしている。よって、多数の検出器を要することなく装置の小型化と低コスト化を図ることができるものである。 As described above, when the PN code sequence is applied to the absolute linear scale 33, a long stroke absolute linear scale can be obtained, but a large number of continuous signals (15 in this embodiment) are read. Therefore, usually, a large number (15) of detectors are required. In this respect, in the present embodiment, as described above, the Z-phase detector 39 is used as one, and the single Z-phase detector is moved by 15 bits to obtain 15 continuous signals, which are stored in registers or By accumulating in the memory, 15 detection continuous signals are obtained. Therefore, the apparatus can be reduced in size and cost without requiring a large number of detectors.

次に、同期回路４３による同期に関して説明する。図２に示すように、ＰＮ符号系列における「１１１１」や「００００」等の連続信号では１ビットずつの区別が困難である。そこで、本実施の形態では、インクリメンタルリニアスケール３１とアブソリュートリニアスケール３３を同期させた配置とし、併せて夫々のＡ相検出器３５、Ｂ相検出器３７、Ｚ相検出器３９を同期・配置することにより、インクリメンタルリニアスケール部の信号に同期してアブソリュートリニアスケール部の信号を１ビットずつ分離して取り込むように構成している。 Next, synchronization by the synchronization circuit 43 will be described. As shown in FIG. 2, it is difficult to distinguish bit by bit in continuous signals such as “1111” and “0000” in the PN code sequence. Therefore, in the present embodiment, the incremental linear scale 31 and the absolute linear scale 33 are synchronized, and the A phase detector 35, the B phase detector 37, and the Z phase detector 39 are also synchronized and disposed. As a result, the absolute linear scale signal is separated one bit at a time in synchronism with the incremental linear scale signal.

さらに詳しく説明すると、この実施の形態では、インクリメンタルリニアスケール３１のピッチ８０μｍがアブソリュートリニアスケール３３の１ビットに対応するような配置とし、インクリメンタルリニアスケール部のＡ相検出器３５がアブソリュートリニアスケール部のＺ相検出器３９と同位相になるように配置している。それによって、例えば、Ｂ相検出器３７の「立上り」又は「立下り」変化時であって、且つ、Ａ相検出器３５が「Ｈｉｇｈ（１）」である時にアブソリュートリニアスケール３３の信号を読み込めば１ビットずつ分離して検出することができる。 More specifically, in this embodiment, the arrangement is such that the pitch of the incremental linear scale 31 corresponds to 1 bit of the absolute linear scale 33, and the A-phase detector 35 of the incremental linear scale section is arranged in the absolute linear scale section. It arrange | positions so that it may become the same phase as the Z phase detector 39. FIG. Thereby, for example, when the “rising” or “falling” change of the B-phase detector 37 and the A-phase detector 35 is “High (1)”, the signal of the absolute linear scale 33 can be read. For example, it can be detected by separating one bit at a time.

又、インクリメンタルリニアスケール部のＡ相検出器３５及びＢ相検出器３７の出力信号は、前述したように、分割器４１によりその分解能が向上されるようになっている。仮に、分割後の高分解能信号によってアブソリュートリニアスケール部の信号を同期させて得ようとすると、信号が安定せず読取エラーが発生することが懸念される。すなわち、高分解能信号ではインクリメンタル信号の位相を特定することができず、よって、アブソリュートリニアスケール３３の信号反転境界近傍にて信号を検出するような場合も生じるからである。その為、信号が安定しないケースが発生して読取エラーが生じてしまうものである。 Further, the resolution of the output signals of the A-phase detector 35 and the B-phase detector 37 in the incremental linear scale section is improved by the divider 41 as described above. If an attempt is made to synchronize the signal of the absolute linear scale portion with the divided high resolution signal, there is a concern that the signal is not stable and a reading error occurs. That is, the phase of the incremental signal cannot be specified with a high-resolution signal, and therefore, the signal may be detected in the vicinity of the signal inversion boundary of the absolute linear scale 33. Therefore, a case where the signal is not stable occurs and a reading error occurs.

そこで、本実施の形態では、分割器４１によって分割される前のＡ相検出器３５とＢ相検出器３７からのインクリメンタル信号を同期回路４３に取り込むように構成しており、それによって、Ａ相検出器３５が４０μｍ幅の「Ｈｉｇｈ（１）」信号の真ん中直上にいる時に読み込むことができ、最も短い１ビット信号でも、Ｚ相検出器３９が信号反転境界より２０μｍだけ離れた信号スケールの直上にて同期して読み込むことができ、安定した信号検出が可能になる。 Therefore, in the present embodiment, the incremental signals from the A-phase detector 35 and the B-phase detector 37 before being divided by the divider 41 are configured to be taken into the synchronization circuit 43, whereby the A-phase detector It can be read when the detector 35 is directly above the middle of the “High (1)” signal having a width of 40 μm, and even with the shortest 1-bit signal, the Z-phase detector 39 is just above the signal scale 20 μm away from the signal inversion boundary. Can be read synchronously and stable signal detection becomes possible.

インクリメンタルリニアスケール部の出力信号と同期してアブソリュートリニアスケール部の出力信号を出力させる同期回路４３は、上記の通りＢ相検出器３７の「立上り」又は「立下り」変化時であって、且つ、Ａ相検出器３５が「Ｈｉｇｈ（１）」である時にアブソリュートリニアスケール部のＺ相検出器３９の信号を取り込みラッチする回路である。したがって、この同期回路４３によりＺ相検出器３９の出力信号は単相のデジタル信号に変換されることになり、通常のインクリメンタルリニアエンコーダの原点信号と同様の単相デジタル信号となる。つまり、Ａ相検出器３５、Ｂ相検出器３７からのインクリメンタル出力信号と共に通常のインクリメンタルリニアエンコーダの出力信号と同様の出力となる。その結果、一般のアブソリュートエンコーダのように各社各様の複雑な信号伝送は不要となり信号の伝送も容易化されることになる。 The synchronization circuit 43 that outputs the output signal of the absolute linear scale unit in synchronization with the output signal of the incremental linear scale unit is, as described above, at the time of “rise” or “fall” change of the B phase detector 37, and , When the A-phase detector 35 is “High (1)”, the signal of the Z-phase detector 39 of the absolute linear scale unit is fetched and latched. Therefore, the output signal of the Z-phase detector 39 is converted into a single-phase digital signal by the synchronization circuit 43, and becomes a single-phase digital signal similar to the origin signal of a normal incremental linear encoder. That is, the output is the same as the output signal of the normal incremental linear encoder together with the incremental output signals from the A phase detector 35 and the B phase detector 37. As a result, complicated signal transmission for each company is not required as in a general absolute encoder, and signal transmission is facilitated.

又、上記分割器４１及び同期回路４３を検出ヘッド部２３に組込むことにより、検出ヘッド部２３より出力される信号がＡ相デジタル信号、Ｂ相デジタル信号、Ｚ相デジタル信号のみとなり（ラインドライバ４５利用時は＋Ａ、−Ａ、＋Ｂ、−Ｂ、＋Ｚ、−Ｚ）、その結果、信号間の伝送遅延も少なくて信頼性も確保できるとともにコントローラ４９における入力も容易となり低コスト化を図ることができる。 Further, by incorporating the divider 41 and the synchronizing circuit 43 in the detection head unit 23, the signals output from the detection head unit 23 are only the A phase digital signal, the B phase digital signal, and the Z phase digital signal (line driver 45). When used, + A, -A, + B, -B, + Z, -Z). As a result, the transmission delay between signals is small and reliability can be ensured, and the input in the controller 49 becomes easy and the cost can be reduced. it can.

ここで、図２に示すアブソリュート型リニアエンコーダとしての作用を整理すると、検出ヘッド部２３にて生成された２０μｍピッチの９０度位相差を持つＡ相信号とＢ相信号及びＰＮ符号系列信号であるＺ相信号がラインドライバ４５、ラインレシーバ４７を介してコントローラ４９に入力される。電源立ち上げ直後の絶対位置検出はスライダ３を一方向に駆動させることによって、検出ヘッド部２３をリニアスケール部２１に対して相対運動させる。その時、インクリメンタル信号であるＡ相信号とＢ相信号の８０μｍカウント毎（５μｍ分解能パルスの１６カウント毎）にＺ相信号をコントローラ４９の１６ビットレジスタ（又はメモリー）に取り込んでいく。１５ビット目に最初のＺ相信号を入れ、次の信号が入力されると次々に若いビットの方に信号（データ）をシフトして取り込んでいく。０ビットから１４ビットまで１５個のデータが取得されたら、そのデータと対応する絶対位置（アブソリュートデータ）を予め作成されている対応表から得るものである。
尚、ＬＦＳＲの演算により求めてもよい。 Here, when the operation as the absolute linear encoder shown in FIG. 2 is arranged, the A-phase signal, the B-phase signal, and the PN code sequence signal having a 90-degree phase difference of 20 μm pitch generated by the detection head unit 23 are obtained. The Z-phase signal is input to the controller 49 via the line driver 45 and the line receiver 47. In the absolute position detection immediately after the power is turned on, the detection head unit 23 is moved relative to the linear scale unit 21 by driving the slider 3 in one direction. At that time, the Z-phase signal is taken into the 16-bit register (or memory) of the controller 49 every 80 μm count of the A-phase signal and B-phase signal which are incremental signals (every 16 counts of the 5 μm resolution pulse). The first Z-phase signal is input to the 15th bit, and when the next signal is inputted, the signal (data) is shifted and taken in the younger bit one after another. When 15 pieces of data from 0 bit to 14 bits are acquired, the absolute position (absolute data) corresponding to the data is obtained from a correspondence table created in advance.
In addition, you may obtain | require by calculation of LFSR.

そのようにして得られた絶対位置をアップダウンカウンタのオフセット値としてセットする、それによって、電源立ち上げ直後の位置検出が完了する。これらのプロセスはいずれもコントローラ４９のソフトシーケンスで行うようになっており、それによって、コンパクト化と低コスト化を図ることができる。 The absolute position thus obtained is set as the offset value of the up / down counter, thereby completing the position detection immediately after the power is turned on. All of these processes are performed by the software sequence of the controller 49, thereby making it possible to reduce the size and cost.

尚、絶対位置が一旦アップダウンカウンタにセットされれば、その後はインクリメンタル信号であるＡ相信号とＢ相信号のみによってアップダウンカウンタにおいてカウントすることによって位置情報を得ることができる。 Note that once the absolute position is set in the up / down counter, the position information can be obtained by counting in the up / down counter using only the A-phase signal and B-phase signal which are incremental signals.

又、図１に示すアクチュエータとしてその作用をみると、上記したように、コントローラ４９におけるソフト処理によりＰＮ符号系列に対応する絶対位置を検出し、コントローラ４９の内部のアップダウンカウンタに初期値として設定し、アップダウンカウンタを作動させることによって位置情報を得る。コントローラ４９はその位置情報に基づいて駆動モータ７を制御してスライダ３を指令位置に位置決めするものである。 Further, when the operation of the actuator shown in FIG. 1 is seen, as described above, the absolute position corresponding to the PN code series is detected by the software processing in the controller 49, and set as an initial value in the up / down counter inside the controller 49. Then, the position information is obtained by operating the up / down counter. The controller 49 controls the drive motor 7 based on the position information to position the slider 3 at the command position.

次に、本実施の形態における上記インクリメンタルリニアスケール３１とＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３の構成とその製造方法について詳細に説明する。
従来、この種のリニアスケールは、例えば、リソグラフィー法やエッチング法等の方法によって製作されていた。リソグラフィー法やエッチング法を行うためにはマスクが必要となり、そのマスクにはリニアスケールと同様のパターン加工が施されている。その際、リニアスケールの長さが短い場合には一枚のマスクを使用した一度の露光で済むが、リニアスケールが長い場合にはリニアスケールを一定距離移動させながら、同一マスクを繰り返し用いて多数回露光することになる。 Next, the configuration of the incremental linear scale 31 and the PN code series absolute linear scale 33 in the present embodiment and the manufacturing method thereof will be described in detail.
Conventionally, this type of linear scale has been manufactured by a method such as a lithography method or an etching method. In order to perform the lithography method and the etching method, a mask is required, and the mask is subjected to pattern processing similar to that of the linear scale. At that time, if the length of the linear scale is short, only one exposure using a single mask is necessary. However, if the linear scale is long, the same mask is repeatedly used while moving the linear scale by a certain distance. Will be exposed twice.

しかしながら、図２に示されているようなランダムパターンのＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３の場合には、繰り返しパターンが無いため、ストローク全長に亘るマスクが必要となり、例えば、リニアスケールを一定距離移動させる度に多数枚のマスクを交換して露光を行わなければならない。そのため製作工程が複雑となり製造コストが上昇してしまうことになる。 However, in the case of the PN code series absolute linear scale 33 having a random pattern as shown in FIG. 2, since there is no repetitive pattern, a mask over the entire stroke length is required. For example, the linear scale is moved by a certain distance. It is necessary to perform exposure by exchanging a large number of masks each time. This complicates the manufacturing process and increases the manufacturing cost.

そこで、本実施の形態の場合には、高反射率の長尺部材又は高反射率のテープにインク塗布によって低反射率部を形成するようにし、複雑なスケール製作工程を単純化して製作を容易にすることによりコストの低減を図っているものである。すなわち、反射率の高い表面をもつ金属製スケール又は表面に反射率の高い金属薄膜を持つスケールに、例えば、黒インクを塗布することにより、その黒インク塗布部の反射率を下げて低反射率領を形成するものである。それによって、インク未塗布部の高反射率領域との組合せによって所望のスケールパターンを形成することができるものである。 Therefore, in the case of the present embodiment, a low-reflectance portion is formed by applying ink on a long member having high reflectivity or a tape having high reflectivity, thereby simplifying the complicated scale manufacturing process and making the manufacture easy. This is intended to reduce costs. That is, for example, by applying black ink to a metal scale having a highly reflective surface or a scale having a highly reflective metal thin film on the surface, the reflectance of the black ink application portion is lowered to reduce the low reflectance region. Is formed. Thereby, a desired scale pattern can be formed by a combination with the high reflectance region of the non-ink-applied portion.

例えば、図２におけるスケールパターンにて、信号「１」の領域のみ黒インクを塗布して低反射率領域３１ｂ、３３ｂとし、信号「０」の領域は黒インクが塗布されておらず、高反射率を保った高反射率部３１ａ、３３ａとなる。このようなリニアスケールの製作は、例えば、リニアスケールを長手方向にステップ送りで移動させながら、インク塗布ヘッドをリニアスケールの短手方向にスケールパターンに合わせ走査・制御するだけで行うことができるので、リニアスケールの長さが長くても製作は容易となる。 For example, in the scale pattern in FIG. 2, black ink is applied only to the region of signal “1” to form the low reflectance regions 31b and 33b, and the region of signal “0” is not coated with black ink and is highly reflective. Thus, the high reflectance portions 31a and 33a are maintained. Such a linear scale can be manufactured, for example, by simply scanning and controlling the ink application head in accordance with the scale pattern in the short direction of the linear scale while moving the linear scale stepwise in the longitudinal direction. Even if the length of the linear scale is long, the manufacture becomes easy.

尚、高反射率部３１ａ、３３ａを構成する高反射率の部材に適しているものとしては、例えば、アルミニウム蒸着テープがある。このアルミニウム蒸着テープは、平滑な樹脂テープの上にアルミニウムを蒸着・付着させたものであり、その蒸着アルミニウムの高反射率を用いるように構成されたテープである。一方、エンコーダ用リニアスケールのテープ基材としては、印刷等の後加工やアクチュエータへの取付等で変形しないように十分な変形強度を備えたものが必要となり、その厚みとしては、例えば、１００μｍ以上が適している。しかしながら、汎用のアルミニウム蒸着テープの基材は薄いためにエンコーダ用リニアスケールに用いることができず、又、作ろうとすれば、前述したように、大きなロット注文が必要となりコスト的な問題があった。 In addition, there exists an aluminum vapor deposition tape as a thing suitable for the high reflectance member which comprises the high reflectance parts 31a and 33a, for example. This aluminum vapor-deposited tape is obtained by vapor-depositing and adhering aluminum onto a smooth resin tape, and is configured to use the high reflectance of the vapor-deposited aluminum. On the other hand, the tape base material for the linear scale for the encoder needs to have sufficient deformation strength so as not to be deformed by post-processing such as printing or attachment to an actuator, and the thickness thereof is, for example, 100 μm or more. Is suitable. However, since the base material of the general-purpose aluminum vapor-deposited tape is thin, it cannot be used for the linear scale for the encoder, and if it is to be made, as described above, a large lot order is required and there is a cost problem. .

そこで、本実施の形態の場合には、高反射率部３１ａ、３３ａの形成に関しても、これを熱転写印刷により行うようにしたものであり、それによって、上記問題を解決したものである。すなわち、専用のアルミニウム蒸着テープを製作する代わりに、予めアルミニウム蒸着された汎用のテープ（インクリボン）からアルミニウム蒸着層を転写（例えば、熱転写印刷）するようにしたものである。以下、詳細に説明する。 Therefore, in the case of the present embodiment, the formation of the high reflectance portions 31a and 33a is also performed by thermal transfer printing, thereby solving the above problem. That is, instead of producing a dedicated aluminum vapor-deposited tape, the aluminum vapor-deposited layer is transferred (for example, thermal transfer printing) from a general-purpose tape (ink ribbon) previously vapor-deposited with aluminum. Details will be described below.

まず、その構成であるが、図４に示すような構成になっている。図４（ａ）は上記インクリメンタルリニアスケール３１とＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３の一部を拡大して示す一部平面図であり、図４（ｂ）は同上の一部断面図（ＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３の一部断面図）である。図４（ｂ）に示すように、まず、テープ基材７１があり、このテープ基材７１は、例えば、その厚みが１００μｍであってＰＥＴフィルム製のものである。このテープ基材７１の表面にはアルミ蒸着層７３が設けられている。又、上記アルミ蒸着層７３の上には所定のパターンにて黒インク層７５が設置されている。ＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３側でみると、上記黒インク層７５の部分が低反射領域３３ｂになり上記アルミ蒸着層７３が高反射率領域３３ａとなる。又、インクリメンタルリニアスケール３１側についても同様であり、上記黒インク層７５の部分が低反射領域３１ｂになり上記アルミ蒸着層７３が高反射率領域３１ａとなる。 First, the configuration is as shown in FIG. 4A is a partial plan view showing a part of the incremental linear scale 31 and the PN code series absolute linear scale 33 in an enlarged manner, and FIG. 4B is a partial sectional view of the same (PN code series). 2 is a partial cross-sectional view of an absolute linear scale 33. FIG. As shown in FIG. 4B, first, there is a tape base material 71. The tape base material 71 has a thickness of 100 μm and is made of a PET film, for example. An aluminum vapor deposition layer 73 is provided on the surface of the tape substrate 71. A black ink layer 75 is installed on the aluminum vapor deposition layer 73 in a predetermined pattern. When viewed on the PN code series absolute linear scale 33 side, the black ink layer 75 portion becomes the low reflection region 33b, and the aluminum vapor deposition layer 73 becomes the high reflectance region 33a. The same applies to the incremental linear scale 31 side, and the portion of the black ink layer 75 becomes the low reflection region 31b and the aluminum vapor deposition layer 73 becomes the high reflectance region 31a.

次に、上記ンクリメンタルリニアスケール３１とＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３の製造方法について説明する。本実施の形態の場合には、まず、高反射率部３１ａ、３３ａの形成を熱転写印刷により行うようにしており、又、その上の低反射率部３１ｂ、３３ｂの形成についても同様に熱転写印刷により行うようにしているものである。 Next, a method for manufacturing the incremental linear scale 31 and the PN code sequence absolute linear scale 33 will be described. In the case of the present embodiment, first, the high reflectance portions 31a and 33a are formed by thermal transfer printing, and the low reflectance portions 31b and 33b thereon are similarly formed by thermal transfer printing. This is what we do.

まず、図５を参照してその熱転写印刷の原理を説明する。図５において、印刷されるテープ基材７１が最下部にあり、そのテープ基材７１の上にインクリボン８３が密着・配置されている。このインクリボン８３の図５中下面側には黒インク層７５が付着されている。
尚、このインクリボン８３の構成については後で詳細に説明する。
又、上記インクリボン８３の上にはサーマルヘッド８７が押付・配置されている。このサーマルヘッド８７の発熱体８９は、図５中紙面に直交する方向に所定の狭ピッチで多数配列されている。 First, the principle of the thermal transfer printing will be described with reference to FIG. In FIG. 5, the tape base material 71 to be printed is at the lowermost part, and the ink ribbon 83 is closely attached to the tape base material 71. A black ink layer 75 is attached to the lower surface side of the ink ribbon 83 in FIG.
The configuration of the ink ribbon 83 will be described in detail later.
A thermal head 87 is pressed and disposed on the ink ribbon 83. A large number of heating elements 89 of the thermal head 87 are arranged at a predetermined narrow pitch in a direction orthogonal to the paper surface in FIG.

そして、上記インクリボン８３の黒インク層７５を上記基材テープ７１上に転写するためには、上記サーマルヘッド８７のヘッド発熱体８９に電流を流して加熱する。それによって、上記インクリボン８３の基材から黒インク層７５が剥離され上記テープ基材７１側に接着・転写されることになる。基材テープ７１を送りながら、エンコーダスケールのパターンに合わせて、ヘッド発熱体８９に流す電流を制御すれば、エンコーダスケールのパターン通りの印刷がなされる。これが熱転写印刷の原理である。又、図５では、黒インク層７５を備えたインクリボン８３を例に挙げて説明しているが、上記黒インク層７５をアルミ蒸着層{図６（ａ）中符号７３で示す} とすればアルミ蒸着層７３の場合も同様の原理によってテープ基材７１側に接着・転写されるものである。
尚、この実施の形態の場合には、テープ基材７１にまずはアルミ蒸着層７３を接着・転写し、その後に、黒インク層７５を所定のパターンにて接着・転写するものである。 In order to transfer the black ink layer 75 of the ink ribbon 83 onto the base tape 71, a current is applied to the head heating element 89 of the thermal head 87 to heat it. As a result, the black ink layer 75 is peeled off from the base material of the ink ribbon 83 and adhered and transferred to the tape base material 71 side. If the current flowing through the head heating element 89 is controlled in accordance with the encoder scale pattern while feeding the base tape 71, printing according to the encoder scale pattern is performed. This is the principle of thermal transfer printing. In FIG. 5, the ink ribbon 83 provided with the black ink layer 75 is described as an example. However, the black ink layer 75 is an aluminum vapor deposition layer (indicated by reference numeral 73 in FIG. 6A). For example, in the case of the aluminum vapor deposition layer 73, it is bonded and transferred to the tape substrate 71 side by the same principle.
In this embodiment, the aluminum vapor deposition layer 73 is first bonded and transferred to the tape base 71, and then the black ink layer 75 is bonded and transferred in a predetermined pattern.

上記インクリボン８３についてさらに詳細に述べる。上記インクリボン８３の基本構成は図６に示すようなものとなっている。図６（ａ）はアルミ蒸着層７３を備えたインクリボン８３の構成を示す断面図であり、図６（ｂ）は黒インク層７５を備えたインクリボン８３の構成を示す断面図である。まず、図６（ｂ）に示す黒インク層７５を備えたインクリボン８３の構成から説明する。まず、インクリボン基材９１があり、このインクリボン基材９１の上には離型層９３が設けられている。又、この離型層９３の上には黒インク層７５が設けられていて、この黒インク層７５の上には接着層９７が設けられている。 The ink ribbon 83 will be described in more detail. The basic configuration of the ink ribbon 83 is as shown in FIG. FIG. 6A is a cross-sectional view showing the configuration of the ink ribbon 83 provided with the aluminum vapor deposition layer 73, and FIG. 6B is a cross-sectional view showing the configuration of the ink ribbon 83 provided with the black ink layer 75. First, the configuration of the ink ribbon 83 provided with the black ink layer 75 shown in FIG. 6B will be described. First, there is an ink ribbon base material 91, and a release layer 93 is provided on the ink ribbon base material 91. A black ink layer 75 is provided on the release layer 93, and an adhesive layer 97 is provided on the black ink layer 75.

尚、インクリボン８３の性能調整の為にはさらに多層にしたものを用いても良いが、基本機能はこの４層構造で説明する。そして、インクリボン８３にそのインクリボン固有の転写下限温度を超える加熱をサーマルヘッド８７の発熱体８９によって行うと、インクリボン８３の離型層９３は溶けてインクリボン基材９１から離れると共に接着層９７は柔らかくなり、被印刷テープに接着することで黒インク層７５は被印刷テープ側（基材テープ７１）に転写されることになる。詳細に見てみると、被印刷テープの上には接着層９７、その上に黒インク層７５があり、黒インク層７５の上には離型層９３の一部が残存している。 In order to adjust the performance of the ink ribbon 83, a multi-layered ribbon may be used, but the basic function will be described using this four-layer structure. When the ink ribbon 83 is heated by the heating element 89 of the thermal head 87 so as to exceed the transfer lower limit temperature specific to the ink ribbon, the release layer 93 of the ink ribbon 83 is melted and separated from the ink ribbon substrate 91 and the adhesive layer. 97 becomes soft, and the black ink layer 75 is transferred to the printing tape side (base tape 71) by adhering to the printing tape. In detail, the adhesive layer 97 and the black ink layer 75 are provided on the printing tape, and a part of the release layer 93 remains on the black ink layer 75.

一方、アルミ蒸着層７３の転写用のインクリボン８３についても同様の構成になっている。すなわち、図６（ａ）に示すように、黒インク層７５の代わりにアルミ蒸着層７３が設置されているものである。その熱転写印刷の原理も黒インク層７５の場合と全く同じであり、サーマルヘッド８７のヘッド発熱体８９に電流を流し加熱することで、離型層９３を溶融させ、接着層９７を軟化させることで、アルミ蒸着層７３は被印刷テープ側に転写印刷されるものである。厳密には、被印刷テープの上に接着層９７、アルミ蒸着層７３、その上に離型層９３の一部が載った構成となる。
以上が熱転写印刷の原理とインクリボン８３の構成である。 On the other hand, the ink ribbon 83 for transferring the aluminum vapor deposition layer 73 has the same configuration. That is, as shown in FIG. 6A, an aluminum vapor deposition layer 73 is provided instead of the black ink layer 75. The principle of the thermal transfer printing is exactly the same as in the case of the black ink layer 75, and the release layer 93 is melted and the adhesive layer 97 is softened by applying current to the head heating element 89 of the thermal head 87 and heating it. Thus, the aluminum vapor deposition layer 73 is transferred and printed on the printing tape side. Strictly speaking, the adhesive layer 97, the aluminum vapor deposition layer 73, and a part of the release layer 93 are placed on the printing tape.
The above is the principle of thermal transfer printing and the configuration of the ink ribbon 83.

そして、本実施の形態の場合には、まず、図４（ｂ）に示したテープ基材７１の上にアルミ蒸着層７３の熱転写印刷を行う。熱転写印刷の内容については図５に示した通りである。次に、その上から上記黒インク層７５の熱転写印刷を行う。この熱転写印刷の内容についても図５に示した通りである。それによって、図４（ｂ）、図７に示すようなエンコーダ用スケール、すなわち、インクリメンタルリニアスケール３１とＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３を得ることができる。図７はＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３の部分断面構造を示す図であり、１００μｍの厚みのＰＥＴフィルム製のテープ基材７１の上にアルミ蒸着層７３を熱転写印刷し、さらにその上に黒インク層７５を所定のパターンで熱転写印刷したものである。そして、高反射率のアルミ蒸着層７３と低反射率の黒インク層７５により擬似ランダム信号であるアブソリュート信号パターンが形成されているものである。又、図７では図示されていないが、アブソリュート信号パターンの形成とともにインクリメンタル繰返し信号パターンも同時に形成されているものである。
尚、この第１の実施の形態の場合には、図７に示すように、転写印刷面側から光１０１が入射され、且つ、反射されることになる。 In the case of the present embodiment, first, thermal transfer printing of the aluminum vapor deposition layer 73 is performed on the tape base material 71 shown in FIG. The contents of the thermal transfer printing are as shown in FIG. Next, thermal transfer printing of the black ink layer 75 is performed from above. The contents of this thermal transfer printing are also as shown in FIG. Thereby, the encoder scales as shown in FIGS. 4B and 7, that is, the incremental linear scale 31 and the PN code sequence absolute linear scale 33 can be obtained. FIG. 7 is a diagram showing a partial cross-sectional structure of the PN code series absolute linear scale 33. An aluminum vapor-deposited layer 73 is thermally transferred and printed on a tape substrate 71 made of PET film having a thickness of 100 μm, and black ink is further formed thereon. The layer 75 is heat-transfer printed with a predetermined pattern. An absolute signal pattern, which is a pseudo-random signal, is formed by the high reflectivity aluminum vapor deposition layer 73 and the low reflectivity black ink layer 75. Although not shown in FIG. 7, an incremental signal pattern is formed simultaneously with the formation of the absolute signal pattern.
In the case of the first embodiment, as shown in FIG. 7, the light 101 is incident and reflected from the transfer printing surface side.

又、本実施の形態の場合には、インクリメンタルリニアスケール３１とＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３の基本構成が、テープ基材７１からなる層、アルミ蒸着層７３からなる高反射率層、黒インク層７５からなる低反射率層の三層からなる三層構造となっているが、実際には、それら各層の間に接着層９７や離型層９３が存在しており、それによって、接着強度を高め、且つ、保護膜の機能を提供しているものである。 In the case of the present embodiment, the basic configuration of the incremental linear scale 31 and the PN code series absolute linear scale 33 includes a layer made of a tape substrate 71, a high reflectance layer made of an aluminum vapor deposition layer 73, and a black ink layer. Although it has a three-layer structure consisting of three layers of low-reflectance layers consisting of 75, in reality, an adhesive layer 97 and a release layer 93 exist between these layers, thereby improving the adhesive strength. The function of the protective film is enhanced.

以上、本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、本実施の形態の場合には、低反射率部３１ｂ、３３ｂはもとより、高反射率部３１ａ、３３ａについても、アルミ蒸着層７３を備えたインクリボン８３を使用した熱転写印刷により設けるようにしているので、従来のように、高価なアルミ蒸着テープを大ロットで購入する必要もなく、製造コストの低減を図ることかできる。
又、アルミ蒸着層７３の転写印刷及び黒インク層７５の転写印刷も簡単な構成と作業により行うことができるので、エンコーダ用リニアスケールの製造作業の容易化を図ることができ、必要な長さ、数量のみ製造することができる。
又、インクリメンタルリニアスケール３１とＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３は、テープ基材７１からなる層、アルミ蒸着層７３からなる高反射率層、黒インク層７５からなる低反射率層の三層からなる三層構造となっており、又、それら各層の間に接着層９７や離型層９３が存在しているので、それによって、接着強度を高めることができると共に保護膜の機能を提供することができ、高信頼性確保ができる。 As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
First, in the case of the present embodiment, not only the low reflectance portions 31b and 33b but also the high reflectance portions 31a and 33a are provided by thermal transfer printing using the ink ribbon 83 provided with the aluminum vapor deposition layer 73. Therefore, unlike the conventional case, it is not necessary to purchase an expensive aluminum vapor-deposited tape in a large lot, and the manufacturing cost can be reduced.
In addition, since the transfer printing of the aluminum vapor deposition layer 73 and the transfer printing of the black ink layer 75 can be performed with a simple configuration and work, the manufacturing work of the linear scale for the encoder can be facilitated and the required length is achieved. Only quantity can be manufactured.
The incremental linear scale 31 and the PN code series absolute linear scale 33 are composed of three layers: a layer made of a tape substrate 71, a high reflectance layer made of an aluminum vapor deposition layer 73, and a low reflectance layer made of a black ink layer 75. Since it has a three-layer structure, and the adhesive layer 97 and the release layer 93 exist between these layers, it is possible to increase the adhesive strength and provide a protective film function. And high reliability can be ensured.

次に、図８を参照して第２の実施の形態を説明する。前記第１の実施の形態の場合には、図７に示すように、転写印刷面側より光１０１が入射され、且つ、反射される構成になっているが、この第２の実施の形態の場合には、図８に示すように、テープ基材面７１側から光１０１が入射されるようなインクリメンタルリニアスケール３１とＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３を想定しているものである。この場合には透明度の良好なＰＥＴフィルム製のテープ基材７１を用いる必要がある Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. In the case of the first embodiment, as shown in FIG. 7, the light 101 is incident and reflected from the transfer printing surface side. In this case, as shown in FIG. 8, an incremental linear scale 31 and a PN code series absolute linear scale 33 in which light 101 is incident from the tape base material surface 71 side are assumed. In this case, it is necessary to use a tape substrate 71 made of PET film with good transparency.

又、その製造方法であるが、まず、テープ基材７１の下面側に黒インク層７５を熱転写印刷により転写する。次に、上記黒インク層７５による凹凸を平滑にする透明樹脂による平滑層１０３を熱転写印刷により転写する。次いで、アルミニウム蒸着層７３を熱転写する。アルミニウム蒸着層７３は凹凸部に転写しても高い反射率を得られないため間に平滑層１０３を追加しているものである。 In the manufacturing method, first, the black ink layer 75 is transferred to the lower surface side of the tape base 71 by thermal transfer printing. Next, the smooth layer 103 made of a transparent resin that smoothes the unevenness caused by the black ink layer 75 is transferred by thermal transfer printing. Next, the aluminum vapor deposition layer 73 is thermally transferred. Since the aluminum vapor deposition layer 73 cannot obtain a high reflectance even if it is transferred to the concavo-convex portion, the smooth layer 103 is added between them.

よって、このようなタイプのンクリメンタルリニアスケール３１とＰＮ符号系列アブソリュートリニアスケール３３についても、前記第１の実施の形態の場合と略同様の構成によりに製造することができ、且つ、前記第１の実施の形態の場合と略同等の効果を奏することができるものである。 Therefore, the incremental linear scale 31 and the PN code sequence absolute linear scale 33 of this type can also be manufactured with substantially the same configuration as in the first embodiment, and the first The same effect as in the case of the embodiment can be obtained.

尚、本発明は前記第１、第２の実施の形態に限定されるものではない。
例えば、前記第１、第２の実施の形態の場合には、アルミニウム蒸着層と黒インク層とによって、高反射率部と低反射率部を構成するようにしたが、それ以外の材料を使用して、同様に高反射率部と低反射率部を構成することが考えられる。
又、例えば、前記第１、第２の実施の形態の場合には、検出連続信号数ｍを「１５」としたが、アブソリュートリニアエンコーダの必要な分解能およびストロークで最適な検出連続信号数ｍの値は変わってくるので、例えば、より長いストロークでは検出連続信号数ｍとして「１７〜１８」が適している場合もある。
又、前記一実施の形態の場合にはＺ相検出器を一つとしたが、それに限定されるものではない。例えば、二個用いることも考えられ、その場合にはＺ相信号は二つになるが、二つのＺ相検出器を約ｍ／２ビットだけ離間させた設置することにより連続信号検出のための移動距離を約半分にすることができる。
さらに、検出連続信号数ｍと同じかそれ以上のアブソリュート用の検出器数を用いれば、連続信号検出のための移動が不要になることはいうまでもない。
その他、図示した構成はあくまで一例であり、様々な変形が考えられる。 The present invention is not limited to the first and second embodiments.
For example, in the case of the first and second embodiments, the aluminum vapor deposition layer and the black ink layer constitute the high reflectance portion and the low reflectance portion, but other materials are used. Similarly, it is conceivable to form a high reflectance portion and a low reflectance portion.
Further, for example, in the case of the first and second embodiments, the number of detected continuous signals m is set to “15”. However, the optimum number of detected continuous signals m with the required resolution and stroke of the absolute linear encoder Since the value changes, for example, “17 to 18” may be suitable as the number of detected continuous signals m for a longer stroke.
In the case of the one embodiment, one Z-phase detector is used. However, the present invention is not limited to this. For example, it is possible to use two, in which case there are two Z-phase signals, but by installing two Z-phase detectors separated by about m / 2 bits, continuous signal detection is possible. The travel distance can be halved.
Furthermore, if the number of absolute detectors equal to or greater than the number of detected continuous signals m is used, it goes without saying that movement for detecting continuous signals is unnecessary.
In addition, the illustrated configuration is merely an example, and various modifications are possible.

本発明は、エンコーダ用スケールとエンコーダ用スケールの製造方法とアクチュエータに係り、特に、信頼性を高めることができると共にコストの低減を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、精密位置決めシステムに用いられるアブソリュート型リニアエンンコーダにおいて使用されるエンコーダ用スケールに好適である。 The present invention relates to an encoder scale, an encoder scale manufacturing method, and an actuator, and more particularly, to an encoder scale devised so that reliability can be increased and cost can be reduced. It is suitable for the encoder scale used in the absolute type linear encoder used.

２１リニアスケール部
３１インクリメンタルリニアスケール
３３アブソリュートリニアスケール
７１テープ基材
７３アルミニウム蒸着層
７５黒インク層
21 Linear scale 31 Incremental linear scale 33 Absolute linear scale 71 Tape base material 73 Aluminum vapor deposition layer 75 Black ink layer

Claims

In the encoder scale comprising a high reflectance part and a low reflectance part,
The encoder scale characterized in that the high reflectance portion and the low reflectance portion are formed by printing.

The encoder scale according to claim 1,
A scale for an encoder, wherein the printing is performed by a thermal transfer method.

The encoder scale according to claim 1,
An encoder scale characterized by having a layer structure of at least three layers of a base material layer, a high reflectance layer, and a low reflectance layer.

The encoder scale according to claim 3, wherein
The encoder scale characterized in that the high reflectivity layer is made of an aluminum deposited film.

The encoder scale according to claim 1,
The encoder scale characterized in that the high reflectance part and the low reflectance part form a random code sequence.

The encoder scale according to claim 5, wherein
An encoder scale comprising: an absolute linear scale portion using a PN code sequence as the random code sequence; and an incremental linear scale portion using a repetitive pattern.

In the encoder scale manufacturing method for manufacturing the encoder scale comprising the high reflectance portion and the low reflectance portion,
The encoder scale manufacturing method, wherein the high reflectance portion and the low reflectance portion are formed by printing.

In the encoder scale manufacturing method according to claim 7,
An encoder scale manufacturing method, wherein the printing is performed by a thermal transfer method.

An actuator using the scale for an encoder according to any one of claims 1 to 6.