JP2011191251A - Instrument and method for calibrating contact type surface temperature sensor, and method for calibrating reference temperature sensor - Google Patents

Instrument and method for calibrating contact type surface temperature sensor, and method for calibrating reference temperature sensor Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an instrument and a method for calibrating a contact type surface temperature sensor for bringing a temperature sensing part into contact with the surface of a measured temperature body to accurately compare and calibrate the contact type surface temperature sensor measuring the surface temperature, and to provide a method for calibrating a reference temperature sensor. <P>SOLUTION: The instrument 10 for calibrating the contact type surface temperature sensor for calibrating the contact type surface temperature sensor 20 fixes and arranges the reference temperature sensor 30 on a reference block 11 contacting the temperature sensing part 21 of the contact type surface temperature sensor 20, is brought into contact with the reference block 11, and constitutes the reference block 11 separable from a heating block 14 providing a heating source 17 in which the reference block 11 is heated to increase the temperature. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、接触式温度センサ等の表面温度センサを校正するための接触式表面温度センサ校正器、接触式表面温度センサの校正方法及び基準温度センサの校正方法に関する。   The present invention relates to a contact surface temperature sensor calibrator for calibrating a surface temperature sensor such as a contact temperature sensor, a calibration method for a contact surface temperature sensor, and a calibration method for a reference temperature sensor.

移動又は停止している材料や製品等の被測温物の移動表面の温度を測定するために、この表面に直接接触して表面温度を測定する接触式表面温度センサがある。この接触式表面温度センサの校正に際しては、図12に示すように、接触式表面温度センサ20の感温部21を接触させる表面11Xを有する均熱ブロック11Xと、この均熱ブロック11Xを加熱するヒータ等の加熱源12と、均熱ブロック11X内に挿入された基準温度センサ30Xを備えた接触式表面温度センサ校正器10Xを用いている。   In order to measure the temperature of a moving surface of a temperature-measured object such as a moving or stopped material or product, there is a contact-type surface temperature sensor that directly contacts the surface and measures the surface temperature. When calibrating the contact-type surface temperature sensor, as shown in FIG. 12, the soaking block 11X having the surface 11X with which the temperature-sensing portion 21 of the contact-type surface temperature sensor 20 is brought into contact with the soaking block 11X is heated. A contact type surface temperature sensor calibrator 10X having a heating source 12 such as a heater and a reference temperature sensor 30X inserted in the soaking block 11X is used.

この均熱ブロック11Xは、熱伝導率の高い銅製で形成され、基準温度センサ30Xの感温部31Xは測温抵抗体で形成されている。また、基準温度センサ30Xは表面11Xsより下方約10mmの場所に着脱可能に挿入配置されている。   The soaking block 11X is made of copper having a high thermal conductivity, and the temperature sensing part 31X of the reference temperature sensor 30X is made of a resistance temperature detector. The reference temperature sensor 30X is detachably inserted and disposed at a position about 10 mm below the surface 11Xs.

そして、この接触式表面温度センサ校正器10Xを用いて、接触式表面温度センサ20の校正を行う場合には、均熱ブロック11Xを加熱源12で加熱して温度を上昇させると共に、基準温度センサ30Xで基準温度を測定する。校正を行う接触式表面温度センサ20の感温部21を均熱ブロック11Xの基準面11Xsの表面に接触させて、接触式表面温度センサ20の出力の温度と基準温度センサ30Xの出力である基準温度とを比較することで、接触式表面温度センサ20の校正を行っている。   When the contact-type surface temperature sensor calibrator 10X is used to calibrate the contact-type surface temperature sensor 20, the soaking block 11X is heated by the heating source 12 to increase the temperature, and the reference temperature sensor Measure the reference temperature at 30X. The temperature sensing part 21 of the contact type surface temperature sensor 20 that performs calibration is brought into contact with the surface of the reference surface 11Xs of the soaking block 11X, and the reference temperature that is the output temperature of the contact type surface temperature sensor 20 and the output of the reference temperature sensor 30X. The contact type surface temperature sensor 20 is calibrated by comparing the temperature.

この校正方法では、均熱ブロック11Xを熱伝導性に優れている銅で形成することで、基準面11Xsの表面と基準温度センサ30Xの感温部31Xがある基準温度計測点との温度差を小さくしている。また、均熱ブロック11Xを加熱源21で直接加熱することで、校正器10Xの構造と温度制御を単純化し、容易に温度管理できるようになっている。   In this calibration method, the temperature difference between the surface of the reference surface 11Xs and the reference temperature measurement point 31X of the reference temperature sensor 30X is obtained by forming the soaking block 11X with copper having excellent thermal conductivity. It is small. Further, by directly heating the soaking block 11X with the heating source 21, the structure and temperature control of the calibrator 10X can be simplified and temperature management can be easily performed.

更に、基準温度センサ30Xの感温部31Xとして、長期的な温度安定性に優れ、しかも、経年変化による温度変動が小さい測温抵抗体を用いることで、長期間にわたって精度良く接触式表面温度センサ20の校正ができる。   Furthermore, as the temperature sensing portion 31X of the reference temperature sensor 30X, a contact-type surface temperature sensor is used with high accuracy over a long period of time by using a resistance temperature detector that is excellent in long-term temperature stability and has little temperature fluctuation due to aging. 20 calibrations are possible.

また、この基準温度センサ30Xの校正も行う必要があり、この基準温度センサ30Xの校正は、校正器10Xから抜き出して、別の校正器により行っている。この校正器10Xでは、基準温度センサ30Xにシース形の測温抵抗体を用いることで、この基準温度センサ30Xの抜き出し及び挿入を容易にしている。   Further, it is necessary to calibrate the reference temperature sensor 30X. The calibration of the reference temperature sensor 30X is extracted from the calibrator 10X and performed by another calibrator. In the calibrator 10X, the sheath temperature measuring resistor is used for the reference temperature sensor 30X, thereby facilitating the extraction and insertion of the reference temperature sensor 30X.

しかしながら、この接触式表面温度センサ校正器10Xでは、均熱ブロック11Xが500℃以上の高温に耐えられない銅製であり、また、基準温度センサ30Xに用いている測温抵抗体では500℃以上の温度を測定できないため、500℃以上の温度における接触式表面温度センサ20の校正ができないという問題がある。   However, in this contact-type surface temperature sensor calibrator 10X, the soaking block 11X is made of copper that cannot withstand a high temperature of 500 ° C. or higher, and the temperature measuring resistor used in the reference temperature sensor 30X has a temperature of 500 ° C. or higher. Since the temperature cannot be measured, there is a problem that the contact-type surface temperature sensor 20 cannot be calibrated at a temperature of 500 ° C. or higher.

この温度センサの校正に関しては、多数の温度センサ(熱電対、抵抗温度計、半導体温度計等)の動作状態を、実際の測定現場で一括して迅速に確認するために、多数の校正される温度センサと基準温度計となる校正用温度センサを、銅、アルミニウム、SUS等の良熱伝導材料で作られ、全体が均熱状態に維持可能な恒温ブロックの収納孔に挿入して、この恒温ブロックを恒温ブロックの外周を囲んだヒーターで加熱して昇温し、このときの校正される温度センサの測温値と校正用温度センサの測温値を対比することで校正を行なう温度センサの校正方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。   With regard to the calibration of this temperature sensor, a number of calibrations are carried out in order to quickly confirm the operation state of a large number of temperature sensors (thermocouples, resistance thermometers, semiconductor thermometers, etc.) collectively at the actual measurement site. A temperature sensor for calibration, which is a temperature sensor and a reference thermometer, is made of a good heat conduction material such as copper, aluminum, SUS, etc., and is inserted into the storage hole of a constant temperature block that can be maintained in a uniform temperature state. The temperature of the temperature sensor to be calibrated is compared by comparing the temperature value of the temperature sensor to be calibrated with the temperature value of the calibration temperature sensor. A calibration method has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

また、温度センサの校正範囲をより高い温度範囲まで広げるものとして、校正対象の温度センサ(測温抵抗体)と基準となる基準温度センサ(標準測温体)を、校正炉内の均熱ブロックの挿入孔に挿入して双方の出力温度を比較することにより、校正対象の温度センサの校正を行う校正方法において、均熱ブロックを、銀もしくは銀合金、又は、金もしくは金合金で構成し、熱伝導率を良くすると共に熱容量を大きくして、均熱ブロックの温度を安定化し、比較校正炉の温度を正確に挿入された温度センサに伝えて、校正可能な温度範囲を600℃未満又は1000℃未満まで高精度の比較校正試験を実現できる比較校正方法が提案されている(例えば、特許文献2参照。)。   In addition, as a means to extend the calibration range of the temperature sensor to a higher temperature range, the temperature sensor to be calibrated (resistance temperature detector) and the reference temperature sensor to be used as standard (standard temperature detector) are connected to a soaking block in the calibration furnace. In the calibration method that calibrates the temperature sensor to be calibrated by comparing both output temperatures by inserting into the insertion hole, the soaking block is composed of silver or silver alloy, or gold or gold alloy, Improving the thermal conductivity and increasing the heat capacity, stabilizing the temperature of the soaking block, and communicating the temperature of the comparative calibration furnace to the accurately inserted temperature sensor, the temperature range that can be calibrated is less than 600 ° C or 1000 There has been proposed a comparative calibration method capable of realizing a comparative calibration test with high accuracy up to below ° C (see, for example, Patent Document 2).

しかしながら、これらの比較校正法では、被測温体の表面に接触させる必要がある接触式表面温度センサには適用できず、また、銀や金を用いるため、均熱ブロックの製造コストが高くなってしまうという問題がある。   However, these comparative calibration methods cannot be applied to contact-type surface temperature sensors that need to be brought into contact with the surface of the temperature-measured body, and use of silver or gold increases the production cost of the soaking block. There is a problem that it ends up.

特開2000−304627公報JP 2000-304627 A 特開平8−136361号公報JP-A-8-136361

本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、被測温体の表面に感温部を接触して表面温度を測定する接触式表面温度センサを精度よく校正できる接触式表面温度センサ校正器、接触式表面温度センサの校正方法及び基準温度センサの校正方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and its purpose is a contact that can accurately calibrate a contact-type surface temperature sensor that measures a surface temperature by contacting a temperature sensing portion with the surface of a temperature-measured body. A surface temperature sensor calibrator, a contact surface temperature sensor calibration method, and a reference temperature sensor calibration method.

上記の目的を達成するための本発明に係る接触式表面温度センサ校正器は、接触式表面温度センサを校正するための接触式表面温度センサ校正器であって、前記接触式表面温度センサの感温部を当接する基準ブロックに基準温度センサを固定配置すると共に、前記基準ブロックに接して前記基準ブロックを加熱して昇温させる加熱源を設けた加熱ブロックとは分離可能に前記基準ブロックを構成する。   In order to achieve the above object, a contact surface temperature sensor calibrator according to the present invention is a contact surface temperature sensor calibrator for calibrating a contact surface temperature sensor. The reference block is configured to be separable from the heating block in which a reference temperature sensor is fixedly disposed on the reference block that contacts the temperature unit, and a heating source is provided in contact with the reference block to heat the reference block and raise the temperature. To do.

この構成によれば、基準温度センサをスポット溶接や接着等を用いて固定配置することにより、基準温度センサを基準ブロックの収納孔又は挿入孔に着脱自在に挿入配置する場合に比べて、基準温度センサと基準ブロックとの間の密着度を著しく増すことができ、この間の熱伝導効率を著しく高めることができるので、基準温度センサで基準ブロックの表面温度を精度よく計測できるようになる。   According to this configuration, the reference temperature sensor is fixedly arranged by spot welding, adhesion, or the like, so that the reference temperature sensor can be detachably inserted into the storage hole or insertion hole of the reference block. The degree of adhesion between the sensor and the reference block can be remarkably increased, and the heat conduction efficiency can be remarkably increased during this time, so that the surface temperature of the reference block can be accurately measured by the reference temperature sensor.

また、基準ブロックを加熱源から分離可能に構成することにより、基準ブロックを小型化して、基準温度センサが固定されたままの基準ブロックを別の校正器に入ることができるようになり、基準温度センサの校正が容易となる。   In addition, by configuring the reference block to be separable from the heating source, the reference block can be reduced in size so that the reference block with the reference temperature sensor fixed can enter another calibrator. Calibration of the sensor becomes easy.

上記の接触式表面温度センサ校正器において、前記基準温度センサの感温部を前記基準ブロックの基準面の表面、又は、表面近傍に固定配置すると、基準ブロックにおいて、表面温度センサを当接させる基準面の表面と基準温度センサの位置との距離が短くなり、例え、熱伝導率の悪い材料で作った基準ブロックであっても、基準面の表面と基準温度センサの感温部との間の温度差を小さくすることができるので、基準面の表面の温度をより精度よく計測できるようになる。つまり、熱伝導率の高い銅に比較して熱伝導率が低くなる耐熱金属においても、基準面の表面の温度を精度よく計測できるようになる。   In the contact type surface temperature sensor calibrator described above, when the temperature sensing portion of the reference temperature sensor is fixedly disposed on the surface of the reference surface of the reference block or in the vicinity of the surface, the reference for bringing the surface temperature sensor into contact with the reference block The distance between the surface of the surface and the position of the reference temperature sensor is shortened. For example, even if the reference block is made of a material with poor thermal conductivity, the distance between the surface of the reference surface and the temperature sensing part of the reference temperature sensor Since the temperature difference can be reduced, the temperature of the reference surface can be measured with higher accuracy. That is, the temperature of the surface of the reference surface can be accurately measured even for a heat-resistant metal having a lower thermal conductivity than copper having a high thermal conductivity.

この基準ブロックへの基準温度センサの感温部の固定は、例えば、熱電対の感温部を基準ブロックの表面又は表面近傍(表面下0mm〜5mmの範囲)にスポット溶接したり、接着したりして行う。   The temperature sensing part of the reference temperature sensor is fixed to the reference block by, for example, spot welding or bonding the temperature sensing part of the thermocouple to the surface of the reference block or in the vicinity of the surface (in the range of 0 to 5 mm below the surface). And do it.

上記の接触式表面温度センサ校正器において、前記基準温度センサの感温部を前記基準ブロックに固定配置する際に、前記基準面の隣の面である設置面に前記基準温度センサの感温部を埋設または外接させて固定配置すると共に、該設置面に保温ブロックを当接させて配置し、更に、前記基準ブロックの前記設置面、又は、前記保温ブロックの前記設置面に当接する当接面の一方、又は、両方に収納溝を設けて、前記基準温度センサの感温部と該感温部に接続するリード線の一部を収納して構成すると、次のような効果を奏することができる。 この構成によれば、基準面ではなく、基準面の隣の設置面に基準温度センサの感温部を埋設または外接させて固定配置するので、接触式表面温度センサが当接する基準面を平滑な状態にしたまま基準温度センサの固定配置を容易に行える。また、基準面を平滑な状態に維持できるので、より実際の測定状態に近い状態で接触式表面温度センサを基準面に接触させながら校正を行うことができるようになる。   In the contact surface temperature sensor calibrator, when the temperature sensing part of the reference temperature sensor is fixedly arranged on the reference block, the temperature sensing part of the reference temperature sensor is placed on an installation surface adjacent to the reference surface. Is fixedly placed in an embedded or circumscribed manner, and a heat retaining block is disposed in contact with the installation surface, and further, a contact surface that contacts the installation surface of the reference block or the installation surface of the heat retaining block. If one or both of them are provided with a storage groove to store the temperature sensing part of the reference temperature sensor and a part of the lead wire connected to the temperature sensing part, the following effects can be obtained. it can. According to this configuration, the reference surface on which the contact-type surface temperature sensor abuts is smooth because the temperature sensing portion of the reference temperature sensor is embedded or externally attached to the installation surface adjacent to the reference surface, not the reference surface. The reference temperature sensor can be easily fixed and placed in the state. Further, since the reference surface can be maintained in a smooth state, calibration can be performed while bringing the contact surface temperature sensor into contact with the reference surface in a state closer to the actual measurement state.

また、基準ブロックと保温ブロックの少なく一方に設けた収納溝に、基準温度センサの感温部やリード線の一部を収納するので、基準温度センサの感温部の周囲を基準ブロックと保温ブロックで囲むことができると共に、基準ブロックの設置面と保温ブロックの当接面とを密着させることができるので、両者の間の熱伝導効率を高い状態にすることができる。   In addition, since the temperature sensor of the reference temperature sensor and a part of the lead wire are stored in the storage groove provided in at least one of the reference block and the heat insulation block, the reference block and the heat insulation block are surrounded around the temperature sensor of the reference temperature sensor. And the contact surface of the heat insulation block can be brought into close contact with each other, so that the heat conduction efficiency between them can be made high.

従って、基準ブロックと保温ブロックの温度を均一化することができ、校正時においては、基準ブロックの熱容量と保温ブロックの熱容量を合わせた大きな熱容量を持つことになり、接触式表面温度センサの接触によって生じる熱移動量の割合を校正器の全体的な熱容量に対して小さくすることができる。その結果、接触式表面温度センサの接触による基準面の表面の温度の変化量を小さくでき、また、熱伝導効率が高いので迅速に接触式表面温度センサの感温部の温度と基準ブロックの温度を均等化できる。その結果、校正精度を高めることができる。   Therefore, the temperature of the reference block and the heat insulation block can be made uniform, and at the time of calibration, the heat capacity of the reference block and the heat insulation block has a large heat capacity. The rate of heat transfer that occurs can be reduced relative to the overall heat capacity of the calibrator. As a result, the amount of change in the surface temperature of the reference surface due to the contact of the contact surface temperature sensor can be reduced, and since the heat conduction efficiency is high, the temperature of the temperature sensing part of the contact surface temperature sensor and the temperature of the reference block can be quickly achieved. Can be equalized. As a result, calibration accuracy can be increased.

また、上記の温度センサ校正器において、基準ブロックをインコネル(INCONEL(登録商標))で形成し、基準温度センサをタイプRの熱電対で形成し、加熱源を電熱ヒータで形成すると、500℃以上の高温域における校正に関して、基準ブロックの材料を500℃以上の高温においても使用できるインコネルにすることで従来技術における銅の基準ブロックでは耐熱性が不足するという問題を解決でき、また、基準温度センサを500℃以上の高温まで測定可能なタイプRの熱電対にすることで、基準温度センサの高温測定が難しいという問題を解決できる。   In the above temperature sensor calibrator, when the reference block is formed of Inconel (INCONEL (registered trademark)), the reference temperature sensor is formed of a type R thermocouple, and the heating source is formed of an electric heater, 500 ° C. or more With regard to calibration in the high temperature range, the inconel that can be used even at a high temperature of 500 ° C. or higher can solve the problem that the heat resistance of the copper reference block in the prior art is insufficient, and the reference temperature sensor Is a type R thermocouple capable of measuring up to a high temperature of 500 ° C. or higher, thereby solving the problem that it is difficult to measure the reference temperature sensor at a high temperature.

なお、インコネルの熱伝導率は銅の1/25程度と小さいため、表面と基準温度の計測点とで温度差が生じ易くなるが、この問題は、基準温度センサの感温部の設置を基準面の表面又は表面付近への貼り付け(スポット溶接)等の固定配置により解決される。更に、電熱ヒータは、500℃以上でも加熱できるので、500℃以上の高温においても接触式表面温度センサを校正できるようになる。また、電熱ヒータの使用により、電熱ヒータの市販品を使用できる上に、校正器の構造及び温度制御が比較的単純になるので、校正器の製造コストを低くすることができる。   Inconel's thermal conductivity is as small as about 1/25 that of copper, so a temperature difference is likely to occur between the surface and the measurement point of the reference temperature. This problem is based on the installation of the temperature sensing part of the reference temperature sensor. It is solved by fixed arrangement such as sticking (spot welding) on the surface of the surface or near the surface. Furthermore, since the electric heater can be heated at 500 ° C. or higher, the contact surface temperature sensor can be calibrated even at a high temperature of 500 ° C. or higher. Moreover, by using an electric heater, a commercially available electric heater can be used, and the structure and temperature control of the calibrator become relatively simple, so that the manufacturing cost of the calibrator can be reduced.

そして、上記の目的を達成するための本発明に係る接触式表面温度センサの校正方法は、接触式表面温度センサの校正方法において、上記の接触式表面温度センサ校正器を用いる。これにより、精度良く表面温度センサの校正を行うことができる。   And the calibration method of the contact-type surface temperature sensor which concerns on this invention for achieving said objective uses the said contact-type surface temperature sensor calibrator in the calibration method of a contact-type surface temperature sensor. Thereby, the calibration of the surface temperature sensor can be performed with high accuracy.

また、上記の目的を達成するための本発明に係る基準温度センサの校正方法は、接触式表面温度センサを校正するための接触式表面温度センサ校正器に配置された基準温度センサの校正方法において、前記接触式表面温度センサ校正器では、前記接触式表面温度センサの感温部を当接する基準ブロックに基準温度センサを固定配置すると共に、前記基準ブロックを加熱して昇温させる加熱源を設けた加熱ブロックとは分離可能に前記基準ブロックを構成し、前記基準温度センサの校正に際して、前記基準ブロックを前記接触式表面温度センサ校正器から分離して、前記基準温度センサが固定配置された前記基準ブロックごと、前記接触式表面温度センサ校正器とは別の温度センサ校正器に入れて前記基準温度センサを校正することを特徴とする。この校正方法によれば、接触式表面温度センサ校正器の基準温度センサの校正を簡便に精度良く行うことができる。   Further, a calibration method for a reference temperature sensor according to the present invention for achieving the above object is a calibration method for a reference temperature sensor arranged in a contact surface temperature sensor calibrator for calibrating a contact surface temperature sensor. In the contact surface temperature sensor calibrator, a reference temperature sensor is fixedly disposed on a reference block that contacts the temperature sensing portion of the contact surface temperature sensor, and a heating source for heating the reference block to raise the temperature is provided. The reference block is configured to be separable from the heating block, and when the reference temperature sensor is calibrated, the reference block is separated from the contact surface temperature sensor calibrator, and the reference temperature sensor is fixedly disposed. Each reference block is calibrated by placing it in a temperature sensor calibrator separate from the contact surface temperature sensor calibrator. . According to this calibration method, the calibration of the reference temperature sensor of the contact type surface temperature sensor calibrator can be performed easily and accurately.

以上に説明したように、本発明の接触式表面温度センサ校正器、接触式表面温度センサの校正方法及び基準温度センサの校正方法によれば、被測温体の表面に感温部を接触して表面温度を測定する接触式表面温度センサを精度よく校正できる。   As described above, according to the contact-type surface temperature sensor calibrator, the contact-type surface temperature sensor calibration method, and the reference temperature sensor calibration method of the present invention, the temperature sensing unit is brought into contact with the surface of the temperature-measured body. The contact type surface temperature sensor that measures the surface temperature can be calibrated with high accuracy.

本発明の実施の形態の接触式表面温度計センサ校正器の構成を示す、基準ブロックを外した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where a reference block was removed showing composition of a contact type surface thermometer sensor calibrator of an embodiment of the invention. 図1の接触式表面温度計センサ校正器の構成を示す、基準ブロックを組み入れた状態の斜視図である。It is a perspective view of the state which incorporated the reference | standard block which shows the structure of the contact-type surface thermometer sensor calibrator of FIG. 図1の接触式表面温度計センサ校正器の中央横断面を示す図である。It is a figure which shows the center cross section of the contact-type surface thermometer sensor calibrator of FIG. 図1の接触式表面温度計センサ校正器の中央縦断面を示す図である。It is a figure which shows the center longitudinal cross-section of the contact-type surface thermometer sensor calibrator of FIG. 図1の接触式表面温度計センサ校正器の基準温度センサの校正の様子を示す平面図である。It is a top view which shows the mode of calibration of the reference | standard temperature sensor of the contact-type surface thermometer sensor calibrator of FIG. 図5の接触式表面温度計センサ校正器の基準温度センサの校正の様子を示す横断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state of calibration of a reference temperature sensor of the contact-type surface thermometer sensor calibrator of FIG. 5. 図1の接触式表面温度計センサ校正器の基準ブロックを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the reference | standard block of the contact-type surface thermometer sensor calibrator of FIG. 基準ブロックに固定配置した基準温度センサを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the reference | standard temperature sensor fixedly arranged by the reference | standard block. 第1の保温ブロックを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a 1st heat retention block. 第2の保温ブロックを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a 2nd heat retention block. 加熱ブロックを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a heating block. 従来技術の接触式表面温度センサの校正の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of calibration of the contact-type surface temperature sensor of a prior art.

次に、本発明の実施の形態の温度センサ校正器について図面を参照しながら説明する。なお、図面に関しては、構成が分かり易いように寸法を変化させており、各部材、各部品の板厚や幅や長さ等の比率も必ずしも実際に製造するものの比率とは一致させていない。   Next, a temperature sensor calibrator according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the dimensions of the drawings are changed so that the configuration can be easily understood, and the ratios of the thicknesses, widths, lengths, and the like of the respective members and parts do not necessarily match the ratios of actually manufactured parts.

図1〜図4に示すように、本願発明に係る実施の形態の接触式表面温度センサ校正器10は、接触式表面温度センサ20を校正するための接触式表面温度センサ校正器10であり、接触式表面温度センサ20を接触させる基準ブロック11と、第1保温ブロック12と2つの第2保温ブロック13、13と、加熱ブロック14と、基準ブロック11に固定配置した基準温度センサ30と、加熱ブロック14に挿入される電熱ヒータ(加熱源)17を有して構成される。また、基準ブロック11は、基準ブロック11に接して基準ブロック11を加熱して昇温させる電熱ヒータ17を設けた加熱ブロック14とは分離可能に構成される。   As shown in FIGS. 1 to 4, the contact-type surface temperature sensor calibrator 10 according to the embodiment of the present invention is a contact-type surface temperature sensor calibrator 10 for calibrating the contact-type surface temperature sensor 20. A reference block 11 with which the contact-type surface temperature sensor 20 is brought into contact, a first heat insulation block 12, two second heat insulation blocks 13, 13, a heating block 14, a reference temperature sensor 30 fixedly arranged on the reference block 11, and heating An electric heater (heating source) 17 inserted into the block 14 is included. The reference block 11 is configured to be separable from the heating block 14 provided with an electric heater 17 that is in contact with the reference block 11 and heats the reference block 11 to raise the temperature.

図7及び図8に示すように、基準ブロック11は、直方体(例えば、幅14mm、長さ35mm、高さ14mm)に形成され、固定用ネジ15を挿通する固定用貫通穴11aと、固定用ネジ16を螺合する固定用ネジ穴11bと、基準温度センサ30の感熱部(熱電対の接点)31とリード線32の一部を収納する収納溝11e、11fとを設けて構成される。   As shown in FIGS. 7 and 8, the reference block 11 is formed in a rectangular parallelepiped (for example, a width of 14 mm, a length of 35 mm, and a height of 14 mm), and a fixing through hole 11a through which the fixing screw 15 is inserted, and a fixing block The fixing screw hole 11b to which the screw 16 is screwed, the heat sensitive part (thermocouple contact) 31 of the reference temperature sensor 30, and the storage grooves 11e and 11f for storing a part of the lead wire 32 are provided.

この基準ブロック11においては、上側を表面温度センサ20の感温部21が当接する基準面11sとし、この基準面11sの隣の小さいほうの片側の側面を、基準温度センサ11を固定配置する設置面11cとする。また、この基準面11sの隣の大いほうの両側面を、保温面11d、11dとする。また、基準面11sの裏側となる下面が加熱ブロック14に接触する被加熱面となり、設置面11cの裏側となる側面は放熱面となる。   In the reference block 11, the upper side is a reference surface 11 s with which the temperature sensing part 21 of the surface temperature sensor 20 contacts, and the smaller one side surface adjacent to the reference surface 11 s is fixedly disposed. Let it be surface 11c. Also, the large side surfaces adjacent to the reference surface 11s are referred to as heat retaining surfaces 11d and 11d. Further, the lower surface that is the back side of the reference surface 11s is a heated surface that contacts the heating block 14, and the side surface that is the back side of the installation surface 11c is a heat radiating surface.

収納溝11e、11fは、接触式表面温度センサ20が接触する基準面11sに隣接する3面11c、11dに設けられる。設置面11cには、基準温度センサ30の感温部31を収納する収納溝11eが設けられるが、できるだけ基準面11sとの距離を短くするために、基準温度センサ30の感温部31が基準面11sの表面又は表面下0mm〜5mm程度の表面近傍に配置できるように、例えば、0.3mm程度の溝である収納溝11eが設けられる。また、保温面11d、11dに対しては、感温部31から延びるリード線32の一部を収納する、例えば、深さ0.5mm〜1.0mm程度の溝である収納溝11fが設けられる。   The storage grooves 11e and 11f are provided on the three surfaces 11c and 11d adjacent to the reference surface 11s with which the contact-type surface temperature sensor 20 comes into contact. The installation surface 11c is provided with a storage groove 11e for storing the temperature sensing part 31 of the reference temperature sensor 30, but the temperature sensing part 31 of the reference temperature sensor 30 is used as a reference in order to shorten the distance from the reference surface 11s as much as possible. For example, a storage groove 11e which is a groove of about 0.3 mm is provided so that the surface 11s can be disposed near the surface of the surface 11s or the surface of about 0 mm to 5 mm below the surface. The heat retaining surfaces 11d and 11d are provided with a storage groove 11f that stores a part of the lead wire 32 extending from the temperature sensing portion 31, for example, a groove having a depth of about 0.5 mm to 1.0 mm. .

基準温度センサ30は、タイプRの熱電対で形成される。これにより、500℃以上の高温域における校正に関して、基準温度センサ30を500℃以上の高温まで測定可能なタイプRの熱電対にすることで、基準温度センサ30の高温測定が難しいという問題を解決できる。   The reference temperature sensor 30 is formed of a type R thermocouple. This solves the problem that high-temperature measurement of the reference temperature sensor 30 is difficult by making the reference temperature sensor 30 a type R thermocouple capable of measuring up to a high temperature of 500 ° C. or higher for calibration in a high temperature range of 500 ° C. or higher. it can.

この基準温度センサ30は、図8に示すように、感温部31は設置面11cの収納溝11eに固定配置され、この感温部31から延びるリード線32の一部は、設置面11cの収納溝11eと保温面11dの収納溝11fに収納され、リード線32は校正器10の外部に導かれる。この収納溝11e、11fにより、基準ブロック11が第1保温ブロック12又は第2保温ブロック13と接触する際に隙間ができないようにすることができ、各ブロック間の熱伝導を良好に維持することができる。   In the reference temperature sensor 30, as shown in FIG. 8, the temperature sensing portion 31 is fixedly disposed in the storage groove 11e of the installation surface 11c, and a part of the lead wire 32 extending from the temperature sensing portion 31 is part of the installation surface 11c. The lead wire 32 is guided to the outside of the calibrator 10 by being stored in the storage groove 11 f of the storage groove 11 e and the heat retaining surface 11 d. The housing grooves 11e and 11f can prevent a gap when the reference block 11 is in contact with the first heat retaining block 12 or the second heat retaining block 13, and maintain good heat conduction between the blocks. Can do.

この構成によれば、基準面11sではなく、基準面11sの隣の設置面11cに基準温度センサ30の感温部31を埋設または外接させて固定配置するので、接触式表面温度センサ20が当接する基準面11sを平滑な状態にしたままで、基準温度センサ30の固定配置を容易に行えるようになる。また、基準面11sを平滑な状態に維持できるので、より実際の測定状態に近い状態で接触式表面温度センサ20の感温部21を基準面11sに接触させながら、接触式表面温度センサ20の校正を行うことができるようになる。   According to this configuration, since the temperature sensing portion 31 of the reference temperature sensor 30 is embedded or circumscribed on the installation surface 11c adjacent to the reference surface 11s instead of the reference surface 11s, the contact-type surface temperature sensor 20 is not applied. The reference temperature sensor 30 can be easily fixed and placed with the reference surface 11s in contact with the reference surface 11s in a smooth state. Further, since the reference surface 11s can be maintained in a smooth state, the contact-type surface temperature sensor 20 can be kept in contact with the reference surface 11s while the temperature-sensitive portion 21 of the contact-type surface temperature sensor 20 is in contact with the reference surface 11s in a state closer to the actual measurement state. Calibration can be performed.

基準温度センサ30の感温部31は、スポット溶接、接着等で基準ブロック11の表面又は表面近傍に固定される。この表面近傍としては、例えば、基準面11sの表面から0mm〜5mmの範囲内とする。なお、表面に感温部31を設ける場合には、固定配置した後に、基準面11sと感温部31とが同一平面になるように、基準面11sの表面を感温部31と共に機械加工する。   The temperature sensing part 31 of the reference temperature sensor 30 is fixed to the surface of the reference block 11 or near the surface by spot welding, adhesion or the like. The vicinity of the surface is, for example, in the range of 0 mm to 5 mm from the surface of the reference surface 11s. In the case where the temperature sensing part 31 is provided on the surface, after the fixed arrangement, the surface of the reference surface 11s is machined together with the temperature sensing part 31 so that the reference surface 11s and the temperature sensing part 31 are in the same plane. .

この基準温度センサ30の感温部31を、基準面11sの表面又は表面近傍に配置して、基準面11sの温度と、感温部31が固定配置されている測温点との間の距離を0mm〜5mmの短い距離とすることにより、熱伝導率が銅に比べて低い耐熱金属で基準ブロック11を作成した場合であっても、基準面11sの表面と基準温度センサ30の感温部31との間の温度差を小さくすることができるので、基準面11sの表面の温度を精度よく計測できるようになる。   The temperature sensing portion 31 of the reference temperature sensor 30 is arranged on or near the surface of the reference surface 11s, and the distance between the temperature of the reference surface 11s and the temperature measuring point where the temperature sensing portion 31 is fixedly arranged. Is a short distance of 0 mm to 5 mm, so that the surface of the reference surface 11 s and the temperature sensitive part of the reference temperature sensor 30 can be obtained even when the reference block 11 is made of a heat-resistant metal having a lower thermal conductivity than copper. Since the temperature difference from 31 can be reduced, the temperature of the surface of the reference surface 11s can be accurately measured.

第1保温ブロック12は、基準ブロック11と同じ大きさの直方体(例えば、幅14mm、長さ35mm、高さ14mm)に形成される。この第1保温ブロック12には、接続用の固定用ネジ15を挿通する固定用貫通穴12aと、固定用ネジ16を螺合する固定用ネジ穴12bとが設けられる。   The first heat retaining block 12 is formed in a rectangular parallelepiped (for example, a width of 14 mm, a length of 35 mm, and a height of 14 mm) having the same size as the reference block 11. The first heat retaining block 12 is provided with a fixing through hole 12a through which a fixing screw 15 for connection is inserted, and a fixing screw hole 12b into which the fixing screw 16 is screwed.

また、第2保温ブロック13は、基準ブロック11と第1保温ブロック12を合わせた大きさの直方体(例えば、幅13mm、長さ70mm、高さ14mm)に形成され、2つ用意される。この第2保温ブロック13にも、固定用ネジ15を挿通する固定用貫通穴13aと、固定用ネジ16を挿通する固定用貫通穴13bとが設けられる。   In addition, two second heat insulation blocks 13 are formed in a rectangular parallelepiped size (for example, a width of 13 mm, a length of 70 mm, and a height of 14 mm) in which the reference block 11 and the first heat insulation block 12 are combined. The second heat retaining block 13 is also provided with a fixing through hole 13 a through which the fixing screw 15 is inserted and a fixing through hole 13 b through which the fixing screw 16 is inserted.

また、加熱ブロック14は、基準ブロック11と第1保温ブロック12と2つの第2保温ブロック13、13を図1及び図2のように並べて載置できるように、大きな上側の加熱面14sと電熱ヒータ17が挿入配置される電熱ヒータ用穴14hを有した直方体(例えば、幅40mm、長さ100mm、高さ23mm)に形成される。   Also, the heating block 14 has a large upper heating surface 14s and electric heating so that the reference block 11, the first heat retaining block 12, and the two second heat retaining blocks 13, 13 can be placed side by side as shown in FIGS. It is formed in a rectangular parallelepiped (for example, a width of 40 mm, a length of 100 mm, and a height of 23 mm) having an electric heater hole 14h into which the heater 17 is inserted and arranged.

この電熱ヒータ用穴14hには電熱ヒータ17が挿入配置される。この電熱ヒータ17は、500℃以上でも加熱できるので、500℃以上の高温においても接触式表面温度センサ20を校正できるようになる。また、電熱ヒータ17の使用により、電熱ヒータの市販品を使用できる上に、接触式表面温度センサ校正器10の構造及び温度制御が比較的単純になるので、接触式表面温度センサ校正器10の製造コストを低くすることができる。   An electric heater 17 is inserted and disposed in the electric heater hole 14h. Since the electric heater 17 can be heated at 500 ° C. or higher, the contact surface temperature sensor 20 can be calibrated even at a high temperature of 500 ° C. or higher. Further, the use of the electric heater 17 makes it possible to use a commercially available electric heater, and the structure and temperature control of the contact surface temperature sensor calibrator 10 are relatively simple. Manufacturing cost can be reduced.

これらの各ブロック11、12、13、14は、耐熱性に過ぎれ、かつ、熱伝導率も高い、例えば、インコネル(INCONEL(登録商標))718で形成される。このインコネル718はニッケルをベースとし、鉄、クロム、ニオブ、モリブデン等の合金元素を含ませた金属材料であり、500℃以上でも形状を保持できるので、800℃位までの高温用の温度センサ校正器の使用できる。 つまり、500℃以上の高温域における校正に関して、基準ブロック11の材料を500℃以上の高温においても使用できるインコネル718にすることで、従来技術における銅の基準ブロックでは耐熱性が不足するという問題を解決できる。   Each of these blocks 11, 12, 13, and 14 is formed of, for example, INCONEL (registered trademark) 718 that has only heat resistance and high thermal conductivity. This Inconel 718 is a metallic material based on nickel and containing alloy elements such as iron, chromium, niobium, molybdenum, etc., and can maintain its shape even at temperatures of 500 ° C or higher, so temperature sensor calibration for high temperatures up to about 800 ° C. Can be used. In other words, regarding calibration in a high temperature range of 500 ° C. or higher, by making the material of the reference block 11 into Inconel 718 that can be used even at a high temperature of 500 ° C. or higher, the copper reference block in the prior art has insufficient heat resistance. can be solved.

なお、インコネル718の熱伝導率は銅の1/25程度と小さいため、表面と基準温度の計測点とで温度差が生じ易くなるが、この問題は、基準温度センサ30の感温部31の設置位置を基準面11の表面又は表面付近への貼り付け(スポット溶接)等の固定配置により解決される。   Since the thermal conductivity of Inconel 718 is as small as about 1/25 of copper, a temperature difference is likely to occur between the surface and the measurement point of the reference temperature, but this problem is caused by the temperature sensing portion 31 of the reference temperature sensor 30. The installation position is solved by a fixed arrangement such as sticking (spot welding) on the surface of the reference surface 11 or in the vicinity of the surface.

図2に示すように、これらの基準ブロック11と第1保温ブロック12は2つの第2保温ブロック13、13に挟持される。また、第2保温ブロック13の固定用貫通穴13bを挿通して基準ブロック11の固定用ネジ穴11bと螺合される固定用ネジ16と、第2保温ブロック13の固定用貫通穴13bを挿通して第1保温ブロック12の固定用ネジ穴12bに螺合される固定用ネジ16とにより、結合される。   As shown in FIG. 2, the reference block 11 and the first heat retaining block 12 are sandwiched between two second heat retaining blocks 13 and 13. Further, the fixing screw 16 inserted through the fixing through hole 13b of the second heat retaining block 13 and screwed into the fixing screw hole 11b of the reference block 11 and the fixing through hole 13b of the second heat insulating block 13 are inserted. Then, the first heat retaining block 12 is coupled by the fixing screw 16 screwed into the fixing screw hole 12b.

また、固定用ネジ15が、基準ブロック11と第1保温ブロック12と第2保温ブロック13の各々の固定用貫通穴11a、12a、13aに挿入されると共に、加熱ブロック14の固定用ネジ穴14aに螺合されて結合され、各ブロック11、12、13、13、14が一体化される。この固定用ネジ15の締め付けにより、各ブロック11、12、13、14の面同士の接触が密になり、この接触により熱伝導率を向上させることができる。   A fixing screw 15 is inserted into the fixing through holes 11a, 12a, and 13a of the reference block 11, the first heat retaining block 12, and the second heat retaining block 13, and the fixing screw hole 14a of the heating block 14 is fixed. And the blocks 11, 12, 13, 13, and 14 are integrated. By tightening the fixing screw 15, the surfaces of the blocks 11, 12, 13, and 14 are brought into close contact with each other, and the thermal conductivity can be improved by this contact.

この基準ブロック11の設置面11cに当接面12cが当接するように第1保温ブロック12を配置する。この基準ブロック11の側面である保温面11d、11dと第1保温ブロック12の側面である保温面12d、12dに、第2保温ブロック13の保温面13dを当接させて、加熱ブロック14に載置する。   The first heat retaining block 12 is disposed so that the contact surface 12c contacts the installation surface 11c of the reference block 11. The heat retaining surfaces 13d of the second heat retaining block 13 are brought into contact with the heat retaining surfaces 12d, 12d, which are the side surfaces of the first heat retaining block 12, and the heat retaining surfaces 13d, 11d, which are the side surfaces of the reference block 11, are mounted on the heating block 14. Put.

この構成によれば、基準ブロック11側と第1保温ブロック12側の少なく一方に設けた収納溝11eに、基準温度センサ30の感温部31やリード線32の一部を収納するので、基準温度センサ30の感温部31の周囲を基準ブロック11と第1保温ブロック12で囲むことができると共に、基準ブロック11側の設置面11cと第1保温ブロック12側の当接面12cとを密着させることができるので、両者の間の熱伝導効率を高い状態に維持することができる。   According to this configuration, since the temperature sensing part 31 and part of the lead wire 32 of the reference temperature sensor 30 are housed in the housing groove 11e provided on at least one of the reference block 11 side and the first heat retaining block 12 side, The temperature sensing section 31 of the temperature sensor 30 can be surrounded by the reference block 11 and the first heat retaining block 12, and the installation surface 11c on the reference block 11 side and the contact surface 12c on the first heat retaining block 12 side are in close contact with each other. Therefore, the heat conduction efficiency between the two can be maintained at a high level.

従って、基準ブロック11と第1保温ブロック12の温度を均一化することができ、校正時においては、基準ブロック11と第1保温ブロック12を合わせた大きな熱容量を持つことになり、接触式表面温度センサ20の接触によって生じる熱移動量の割合を校正器の全体的な熱容量に対して小さくすることができる。その結果、接触式表面温度センサ20の接触による基準面11sの表面の温度の変化量を小さくでき、また、迅速に接触式表面温度センサ20の感温部21の温度と基準ブロック11の温度を均等化できるので、校正精度を高めることができる。   Accordingly, the temperature of the reference block 11 and the first heat retaining block 12 can be made uniform, and at the time of calibration, the reference block 11 and the first heat retaining block 12 have a large heat capacity, and the contact surface temperature. The ratio of the amount of heat transfer caused by the contact of the sensor 20 can be reduced with respect to the overall heat capacity of the calibrator. As a result, the amount of change in the surface temperature of the reference surface 11s due to the contact of the contact type surface temperature sensor 20 can be reduced, and the temperature of the temperature sensing part 21 of the contact type surface temperature sensor 20 and the temperature of the reference block 11 can be quickly determined. Since equalization can be achieved, the calibration accuracy can be increased.

更に、基準ブロック11の設置面11cの隣の面11d、11dと、第1保温ブロック12の設置面11cに対面する当接面12cの隣の面12d、12dに接触させて、第2保温ブロック13、13を配置すると共に、これらの基準ブロック11と第1保温ブロック12と第2保温ブロック13、13を、加熱源を備えた加熱ブロック14に載置して構成しているので、接触式表面温度センサ校正器10の全体としての熱容量を大きくできると共に、基準ブロック11に第1保温ブロック12と第2保温ブロック13、13と加熱ブロック14を面接触させることができるので、基準ブロック11を速やかに昇温、降温することができ、また、一定温度に維持することも容易となる。従って、校正精度を高めることができる。その上、接触式表面温度センサ校正器10の全体としての熱容量を確保しながら、基準ブロック11を小型化できるので、この基準ブロック11を収容する基準温度センサ30のための校正器を小型化できる。   Further, the second heat insulation block is brought into contact with the surfaces 11d and 11d adjacent to the installation surface 11c of the reference block 11 and the surfaces 12d and 12d adjacent to the contact surface 12c facing the installation surface 11c of the first heat insulation block 12. 13 and 13 are arranged, and the reference block 11, the first heat retaining block 12, and the second heat retaining blocks 13 and 13 are mounted on a heating block 14 having a heating source. The heat capacity of the surface temperature sensor calibrator 10 as a whole can be increased, and the first heat retaining block 12, the second heat retaining blocks 13, 13 and the heating block 14 can be brought into surface contact with the reference block 11. The temperature can be raised and lowered quickly, and can be easily maintained at a constant temperature. Therefore, calibration accuracy can be increased. In addition, since the reference block 11 can be downsized while ensuring the heat capacity of the contact surface temperature sensor calibrator 10 as a whole, the calibrator for the reference temperature sensor 30 that accommodates the reference block 11 can be downsized. .

なお、収納溝11eを、この実施の形態では基準ブロック11に設けたが、第1保温ブロック12に設けることもできる。この場合は、基準温度センサ30の感温部31は基準ブロック11の外側に固定配置され、第1保温ブロック12が設置面11cに当接された時に、第1保温ブロック12に設けた収納溝に収納されることになる。また、収納溝11eを基準ブロック11側と第1保温ブロック12側に半々ずつ設けてもよい。これらの場合でも、リード線31は、基準ブロック11の収納溝11f部分に収納して外部に導くように構成し、基準ブロック11に基準温度センサ30が固定配置された状態のままで基準ブロック11を取り外せるように構成する。   Although the storage groove 11e is provided in the reference block 11 in this embodiment, it can also be provided in the first heat retaining block 12. In this case, the temperature sensing part 31 of the reference temperature sensor 30 is fixedly arranged outside the reference block 11, and the storage groove provided in the first heat insulation block 12 when the first heat insulation block 12 comes into contact with the installation surface 11 c. Will be stored. Further, the storage grooves 11e may be provided in half each on the reference block 11 side and the first heat retaining block 12 side. Even in these cases, the lead wire 31 is housed in the housing groove 11f portion of the reference block 11 and guided to the outside, and the reference block 11 remains in a state where the reference temperature sensor 30 is fixedly disposed on the reference block 11. Is configured to be removable.

上記の構成の接触式表面温度センサ校正器10によれば、表面温度センサ20の感温部21を接触する基準ブロック11に基準温度センサ30を固定配置すると共に、基準ブロック11を加熱して昇温させる加熱源17のある加熱ブロック14とは分離可能に構成しているので、基準温度センサ30を固定配置したことにより、基準温度センサ30を基準ブロック11の収納孔又は挿入孔に挿入する場合に比べて、基準温度センサ30基準ブロック11の間の熱伝導効率を著しく高めることができ、基準ブロック11の表面温度を基準温度センサ30で精度よく計測できるようになる。   According to the contact-type surface temperature sensor calibrator 10 having the above-described configuration, the reference temperature sensor 30 is fixedly disposed on the reference block 11 that contacts the temperature sensing unit 21 of the surface temperature sensor 20, and the reference block 11 is heated to rise. Since it is configured to be separable from the heating block 14 having the heating source 17 to be heated, when the reference temperature sensor 30 is fixedly arranged, the reference temperature sensor 30 is inserted into the storage hole or insertion hole of the reference block 11 In comparison with this, the heat conduction efficiency between the reference temperature sensor 30 and the reference block 11 can be remarkably increased, and the surface temperature of the reference block 11 can be accurately measured by the reference temperature sensor 30.

また、基準ブロック11を加熱源から分離可能に構成することにより、基準ブロック11を小型化できるので、基準温度センサ30が固定された状態のままの基準ブロック11を別の校正器に入ることができるようになり、基準温度センサ30の校正が容易となる。   Moreover, since the reference block 11 can be reduced in size by configuring the reference block 11 so as to be separable from the heating source, the reference block 11 with the reference temperature sensor 30 fixed can be put into another calibrator. As a result, the reference temperature sensor 30 can be easily calibrated.

そして、本発明に係る接触式表面温度センサの校正方法は、上記の接触式表面温度センサ校正器10を用いて行う。つまり、上記の接触式表面温度センサ校正器10を保温箱などに入れて熱放出量が少ない状態にして、電熱ヒータ17により加熱ブロック14、基準ブロック11、第1保温ブロック12、第2保温ブロック13、13を加熱して、校正の温度に昇温して維持し、基準面11sの表面に接触式表面温度センサ20の感温部21を接触させて、接触式表面温度センサ20と基準温度センサ30の温度測定値を読み取り、両温度測定値を比較することを、校正の温度を変更しながら繰り返して、基準温度センサ30の温度計測値になるように、接触式表面温度センサ20の温度測定値を校正する。これにより、精度良く表面温度センサ20の校正を行うことができる。   And the calibration method of the contact type surface temperature sensor which concerns on this invention is performed using said contact type surface temperature sensor calibrator 10. FIG. That is, the contact surface temperature sensor calibrator 10 is placed in a heat insulating box or the like so that the amount of heat released is small, and the heating block 14, the reference block 11, the first heat insulating block 12, and the second heat insulating block are set by the electric heater 17. 13 and 13 are heated to a calibration temperature and maintained, and the temperature-sensing portion 21 of the contact-type surface temperature sensor 20 is brought into contact with the surface of the reference surface 11s so that the contact-type surface temperature sensor 20 and the reference temperature are brought into contact with each other. Reading the temperature measurement value of the sensor 30 and comparing both temperature measurement values is repeated while changing the temperature of the calibration, so that the temperature of the contact surface temperature sensor 20 becomes the temperature measurement value of the reference temperature sensor 30. Calibrate the measured value. Thereby, the surface temperature sensor 20 can be calibrated with high accuracy.

また、本発明に係る基準温度センサの校正方法は、上記の接触式表面温度センサ校正器10の基準温度センサ30の校正方法において、図5及び図6に示すように、基準温度センサ30の校正に際して、基準温度センサ30が固定配置された基準ブロック11を、接触式表面温度センサ校正器10とは別の温度センサ校正器40に入れて校正する。   Further, the calibration method of the reference temperature sensor according to the present invention is the calibration method of the reference temperature sensor 30 of the contact surface temperature sensor calibrator 10 described above, as shown in FIGS. At this time, the reference block 11 on which the reference temperature sensor 30 is fixedly arranged is put into a temperature sensor calibrator 40 different from the contact surface temperature sensor calibrator 10 for calibration.

この温度センサ校正器40においては、基準ブロック11と温度センサ校正器40の比較校正用温度センサ50の感温部51を均熱ブロック(恒温ブロック)41の内部に挿入して配置して、均熱ブロック41を温度センサ校正40の電気炉等の加熱炉42に入れて、主に放射伝熱Hで均熱ブロック41を加熱昇温し、これにより、均熱ブロック41内に配置された基準ブロック11の感温部31と比較校正用温度センサ50の感温部51を昇温させる。そして、校正のための各温度で、基準温度センサ30の温度測定値と、比較校正用温度センサ50の温度測定値を読み取って比較し、基準温度センサ30を比較校正用温度センサ50で校正する。   In this temperature sensor calibrator 40, the temperature sensing part 51 of the reference calibration temperature sensor 50 of the reference block 11 and the temperature sensor calibrator 40 is inserted and arranged in a soaking block (constant temperature block) 41, and the soaking is performed. The heat block 41 is put into a heating furnace 42 such as an electric furnace of the temperature sensor calibration 40, and the temperature of the soaking block 41 is mainly heated by the radiant heat transfer H, whereby a reference placed in the soaking block 41 is provided. The temperature sensing unit 31 of the block 11 and the temperature sensing unit 51 of the comparative calibration temperature sensor 50 are heated. Then, at each temperature for calibration, the temperature measurement value of the reference temperature sensor 30 and the temperature measurement value of the comparative calibration temperature sensor 50 are read and compared, and the reference temperature sensor 30 is calibrated by the comparison calibration temperature sensor 50. .

この基準温度センサ30の校正方法によれば、簡便に接触式表面温度センサ校正器10の基準温度センサ30の校正を行うことができる。   According to the calibration method of the reference temperature sensor 30, the reference temperature sensor 30 of the contact-type surface temperature sensor calibrator 10 can be easily calibrated.

上記の接触式表面温度センサ校正器、接触式表面温度センサの校正方法及び基準温度センサの校正方法によれば、被測温体の表面に感温部を接触して表面温度を測定する接触式表面温度センサを精度よく校正できるので、接触式表面温度センサの校正器、及び、その校正方法として利用できる。   According to the contact type surface temperature sensor calibrator, the contact type surface temperature sensor calibration method, and the reference temperature sensor calibration method described above, the contact type that measures the surface temperature by bringing the temperature sensing part into contact with the surface of the temperature object. Since the surface temperature sensor can be calibrated with high accuracy, it can be used as a calibrator and a calibration method for a contact surface temperature sensor.

10、10X 接触式表面温度センサ校正器
11 基準ブロック
11c 設置面
11e、11f 収納溝
11s 基準面
12 第1保温ブロック
12c 当接面
13 第2保温ブロック
14 加熱ブロック
14h 電熱ヒータ用穴
14s 加熱面
17 電熱ヒータ
20 接触式表面温度センサ
21 感温部
30 基準温度センサ
31 感温部
32 リード線
40 温度センサ校正器
41 均熱ブロック
42 加熱炉
50 比較校正用温度センサ
51 感温部
H 放射伝熱
10, 10X Contact-type surface temperature sensor calibrator 11 Reference block 11c Installation surface 11e, 11f Storage groove 11s Reference surface 12 First heat insulation block 12c Abutting surface 13 Second heat insulation block 14 Heating block 14h Electric heater hole 14s Heating surface 17 Electric heater 20 Contact type surface temperature sensor 21 Temperature sensing unit 30 Reference temperature sensor 31 Temperature sensing unit 32 Lead wire 40 Temperature sensor calibrator 41 Heat equalization block 42 Heating furnace 50 Temperature sensor 51 for comparative calibration 51 Temperature sensing unit H Radiation heat transfer

Claims (5)

接触式表面温度センサを校正するための接触式表面温度センサ校正器であって、
前記接触式表面温度センサの感温部を当接する基準ブロックに基準温度センサを固定配置すると共に、前記基準ブロックに接して前記基準ブロックを加熱して昇温させる加熱源を設けた加熱ブロックとは分離可能に前記基準ブロックを構成したことを特徴とする接触式表面温度センサ校正器。
A contact surface temperature sensor calibrator for calibrating a contact surface temperature sensor,
What is a heating block in which a reference temperature sensor is fixedly disposed on a reference block that contacts a temperature sensing part of the contact surface temperature sensor, and a heating source that heats the reference block by contacting the reference block and raises the temperature is provided? A contact type surface temperature sensor calibrator, wherein the reference block is configured to be separable.
前記基準温度センサの感温部を前記基準ブロックの基準面の表面、又は、表面近傍に固定配置したことを特徴とする請求項1に記載の接触式表面温度センサ校正器。   2. The contact-type surface temperature sensor calibrator according to claim 1, wherein the temperature sensing part of the reference temperature sensor is fixedly disposed on the surface of the reference surface of the reference block or in the vicinity of the surface. 前記基準温度センサの感温部を前記基準ブロックに固定配置する際に、前記基準面の隣の面である設置面に前記基準温度センサの感温部を埋設または外接させて固定配置すると共に、該設置面に保温ブロックを当接させて配置し、更に、前記基準ブロックの前記設置面、又は、前記保温ブロックの前記設置面に当接する当接面の一方、又は、両方に収納溝を設けて、前記基準温度センサの感温部と該感温部に接続するリード線の一部を収納したことを特徴とする請求項1又は2に記載の接触式表面温度センサ校正器。   When the temperature sensing part of the reference temperature sensor is fixedly arranged on the reference block, the temperature sensing part of the reference temperature sensor is embedded or circumscribed on the installation surface which is a surface adjacent to the reference surface, and is fixedly arranged. A heat retention block is disposed in contact with the installation surface, and a storage groove is provided on one or both of the installation surface of the reference block and the contact surface of the heat insulation block that contacts the installation surface. The contact-type surface temperature sensor calibrator according to claim 1 or 2, wherein a temperature sensing part of the reference temperature sensor and a part of a lead wire connected to the temperature sensing part are accommodated. 接触式表面温度センサの校正方法において、請求項1〜3のいずれか1項に記載の接触式表面温度センサ校正器を用いることを特徴とする接触式表面温度センサの校正方法。   In the calibration method of a contact-type surface temperature sensor, the contact-type surface temperature sensor calibrator of any one of Claims 1-3 is used, The calibration method of the contact-type surface temperature sensor characterized by the above-mentioned. 接触式表面温度センサを校正するための接触式表面温度センサ校正器に配置された基準温度センサの校正方法において、
前記接触式表面温度センサ校正器では、前記接触式表面温度センサの感温部を当接する基準ブロックに基準温度センサを固定配置すると共に、前記基準ブロックを加熱して昇温させる加熱源を設けた加熱ブロックとは分離可能に前記基準ブロックを構成し、
前記基準温度センサの校正に際して、前記基準ブロックを前記接触式表面温度センサ校正器から分離して、前記基準温度センサが固定配置された前記基準ブロックごと、前記接触式表面温度センサ校正器とは別の温度センサ校正器に入れて前記基準温度センサを校正することを特徴とする基準温度センサの校正方法。
In the calibration method of the reference temperature sensor arranged in the contact surface temperature sensor calibrator for calibrating the contact surface temperature sensor,
In the contact-type surface temperature sensor calibrator, a reference temperature sensor is fixedly disposed on a reference block that contacts the temperature-sensitive portion of the contact-type surface temperature sensor, and a heating source is provided for heating the reference block to raise the temperature. The reference block is configured to be separable from the heating block,
When calibrating the reference temperature sensor, the reference block is separated from the contact-type surface temperature sensor calibrator, and the reference block on which the reference temperature sensor is fixedly arranged is separated from the contact-type surface temperature sensor calibrator. A reference temperature sensor calibration method comprising: calibrating the reference temperature sensor in a temperature sensor calibrator.
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