JP2011169861A - Device for detecting surface defect and defect under surface skin, and method for detecting the same - Google Patents

Device for detecting surface defect and defect under surface skin, and method for detecting the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for detecting a surface defect and a defect under the surface skin, and a method for detecting the same wherein an ultrasonic surface wave can carry out flaw detection of a whole surface by going around a width direction of an inspection object, and reflected waves from other than a defect are reduced. <P>SOLUTION: The device for detecting a surface defect and a defect under the surface skin is equipped with: a probe 10 having a transmission part sending out ultrasonic waves propagating directly under a surface of the inspection object 2 with respect to the inspection object 2, and a receiving part receiving at least a returning ultrasonic wave reflected by a defect in the inspection object 2 of sent out ultrasonic waves; and an air blower 3a removing in a substantially vertical direction with respect to a propagation direction a surface deposit of the inspection object 2 in the propagation direction of the ultrasonic wave sent out from the transmission part. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、棒鋼や鋼片の表面及び表面皮下に存在する欠陥を検出する表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置、及びその検出方法に関する。   The present invention relates to a surface defect and a surface subcutaneous defect detection apparatus for detecting defects existing on the surface and surface of a steel bar or a steel piece, and a detection method thereof.

金属材料である棒鋼や鋼片などの表面や表面皮下に存在する欠陥を非破壊で検出する方法として、磁粉探傷法、浸透探傷法、渦流探傷法、超音波探傷法などが知られている。
磁粉探傷法は、磁化された被検査体に蛍光特性を有する磁粉を散布し、その磁粉に紫外光源を照射して得られる磁粉指示模様を観察することで表面欠陥を検出するものである。
浸透探傷法は、被検査体の表面に蛍光浸透剤を塗布してクラックに染み込ませ、クラック内の浸透剤が被検査体表面ににじみ出してできた指示模様に紫外線を当てて得られる蛍光を観察することで表面欠陥を検出するものである。
As a method for nondestructively detecting defects existing on the surface of a metal material such as steel bars or steel pieces, or a subsurface surface, a magnetic particle inspection method, a penetrating flaw detection method, an eddy current flaw detection method, an ultrasonic flaw detection method, or the like is known.
In the magnetic particle flaw detection method, surface defects are detected by observing a magnetic particle indicating pattern obtained by spraying magnetic particles having fluorescence characteristics on a magnetized inspection object and irradiating the magnetic powder with an ultraviolet light source.
In the penetrant flaw detection method, a fluorescent penetrant is applied to the surface of the object to be infiltrated and soaked into the crack, and the fluorescence obtained by irradiating the indicator pattern formed by the penetrant in the crack oozing out onto the surface of the inspected object By observing, surface defects are detected.

このような磁粉探傷法や浸透探傷法は湿式検査であり、磁粉液や蛍光浸透剤の散布量変化による輝度の変動、被検査体の表面粗度分布などの影響を大きく受けるため、検査結果の再現性が良くない。そのため、検査作業者によって検査結果が異なるという問題と、検査対象の表面に開口している欠陥しか検出できないという問題がある。
また、渦流探傷法は、被検査体の表面に検出コイルを近付けて被検査体表面に渦電流を流し、その検出コイルを被検査体上で移動させながら誘導電流の変化を検出することで被検査体の欠陥とその深さを検出するものである。
These magnetic particle inspection methods and penetrant flaw detection methods are wet inspections, and are greatly affected by fluctuations in brightness due to changes in the amount of magnetic powder and fluorescent penetrant applied, and the surface roughness distribution of the test object. Reproducibility is not good. Therefore, there are a problem that the inspection result varies depending on the inspection operator, and a problem that only a defect opened on the surface to be inspected can be detected.
In the eddy current flaw detection method, a detection coil is brought close to the surface of an object to be inspected, an eddy current is caused to flow on the surface of the object to be inspected, and a change in induced current is detected while the detection coil is moved on the object to be inspected. It detects the defect and depth of the inspection object.

この渦流探傷法では、金属材料の表層部分の検査が可能であるものの、欠陥以外の組織変化や磁気変化も検出してしまうので、検出結果における欠陥の弁別が難しいという問題がある。
そこで、一般的には、特許文献1に示すような超音波表面探傷法が用いられることが多い。超音波探傷法は、超音波探触子から被検査体内に表面波となる超音波を送出し、被検査体内で反射して戻ってきた超音波を超音波探触子で受信することで、被検査体の表面欠陥及び表面皮下欠陥を検出するものである。このとき、探傷領域内の超音波伝播経路に、超音波探触子で用いられる接触媒質が存在していたり、水滴や粉塵などが付着していたりすると、欠陥ではないこれら接触媒質や付着物で超音波が反射するので、探傷領域内の接触媒質や付着物などをエアブロアで吹き飛ばすか、ワイパーで除去している。このような超音波表面探傷法は、欠陥の検出精度が良く、また検査作業者にとっての作業性も良いという利点がある。
Although this eddy current flaw detection method can inspect the surface layer portion of a metal material, it has a problem that it is difficult to discriminate defects in detection results because it detects structural changes and magnetic changes other than defects.
Therefore, in general, an ultrasonic surface flaw detection method as shown in Patent Document 1 is often used. The ultrasonic flaw detection method sends out ultrasonic waves that become surface waves from the ultrasonic probe into the body to be inspected, and receives the ultrasonic waves reflected back from the body under inspection by the ultrasonic probe. It detects a surface defect and a surface subcutaneous defect of an object to be inspected. At this time, if there is a contact medium used by the ultrasonic probe in the ultrasonic propagation path in the flaw detection area, or if water droplets or dust adheres, the contact medium or deposits that are not defects Since the ultrasonic waves are reflected, the contact medium or deposits in the flaw detection area are blown off with an air blower or removed with a wiper. Such an ultrasonic surface flaw detection method has the advantage that the defect detection accuracy is good and the workability for the inspection worker is also good.

図10は、特許文献1に示される円柱体表面検査装置の構成を示す図である。図10(a)において、円柱体100の表面には探触子101が配置されおり、円柱体の周方向(実線の矢印で示される方向)に沿った超音波の伝播方向には、この伝播方向に沿って円柱体の表面にエアを噴射するエアノズル102が配置されている。図10(b)において、円柱体100の表面で斜線で示される付着物は超音波探触子が用いた接触媒質であり、円柱体100は紙面に向かって時計回りに回転し、エアノズル102からは、円柱体100に向かってエアが吹き出してしている。このような構成により、図10(b)の破線で示す探傷領域には接触媒質が存在しなくなる。   FIG. 10 is a diagram showing the configuration of the cylindrical body surface inspection apparatus disclosed in Patent Document 1. As shown in FIG. In FIG. 10A, a probe 101 is arranged on the surface of a cylindrical body 100, and this propagation is in the propagation direction of ultrasonic waves along the circumferential direction of the cylindrical body (the direction indicated by the solid line arrow). An air nozzle 102 for injecting air onto the surface of the cylindrical body is disposed along the direction. In FIG. 10 (b), the deposits indicated by oblique lines on the surface of the cylindrical body 100 are contact media used by the ultrasonic probe, and the cylindrical body 100 rotates clockwise toward the paper surface, Is blowing air toward the cylindrical body 100. With such a configuration, the contact medium does not exist in the flaw detection area indicated by the broken line in FIG.

特開2003−98160号公報JP 2003-98160 A

超音波探傷法において、超音波探触子から被検査体内に超音波を伝播するために用いる接触媒質や表面付着物が完全に取り除かれずに伝播経路に残っていると、それら接触媒質や表面付着物から超音波の反射信号がかえってくるため、欠陥ではないそれら表面付着物からの反射信号を検出してしまうという問題がある。
そこで特許文献1に開示されるように、探傷領域の伝播経路内に接触媒質や表面付着物が入らないようにエアノズルで吹き飛ばして除去するという手段が採られる。特許文献1に開示される方法では、被検査体を回転させながら、回転方向とは逆向きにエアを噴射して、探傷領域に接触媒質が進入しないようにしている。しかしこの方法では、探傷領域から除去した又は除去できなかった接触媒質や表面付着物が、常に超音波の伝播方向に存在し、外乱となる。これにより、図10(b)の破線で示すように、接触媒質を除去できた一部の領域でしか検査できず、1度の検査で欠陥を検出できる探傷領域が、被検査体の一部分のみに限定される。よって、被検査体の周方向の検査を数度に分けて行わねばならず、その周方向の検査を終えるまで、被検査体を被検査体の長さ方向に移動させることができないという問題がある。
In the ultrasonic flaw detection method, if the contact medium or surface deposit used for propagating ultrasonic waves from the ultrasonic probe into the body to be inspected remains in the propagation path without being completely removed, the contact medium or surface attachment Since the reflected signal of the ultrasonic wave is returned from the kimono, there is a problem that the reflected signal from the surface deposit that is not a defect is detected.
Therefore, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228688, a means is adopted in which the contact medium and surface deposits are blown off by an air nozzle so as not to enter the propagation path of the flaw detection area. In the method disclosed in Patent Document 1, air is jetted in the direction opposite to the rotation direction while rotating the object to be inspected so that the contact medium does not enter the flaw detection area. However, in this method, the contact medium and surface deposits that have been removed or cannot be removed from the flaw detection area always exist in the propagation direction of the ultrasonic waves, resulting in disturbance. As a result, as shown by a broken line in FIG. 10B, only a part of the area where the contact medium can be removed can be inspected, and a flaw detection area where a defect can be detected by one inspection is only a part of the inspection object. It is limited to. Therefore, the circumferential inspection of the object to be inspected must be performed in several degrees, and the problem that the object to be inspected cannot be moved in the length direction of the object to be inspected until the circumferential inspection is finished. is there.

また、ワイパーを使って接触媒質や表面付着物を除去する場合でも、ワイパー自体が超音波の伝播経路内にあるため、欠陥の擬似信号として検出されてしまうという問題がある。
そこで本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、探傷する被検査体の通材方向、表面波の伝播方向、エアノズルの位置と噴射方向のそれぞれを適切に設定することで、超音波の表面波を被検査体の周方向に一周させて全面探傷することができ、欠陥以外からの反射波を低減する表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置及びその方法を提供することを目的とする。
In addition, even when the contact medium or surface deposits are removed using a wiper, the wiper itself is in the ultrasonic wave propagation path, so that there is a problem that it is detected as a defect pseudo signal.
Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and by appropriately setting each of the material passing direction of the inspection object to be inspected, the propagation direction of the surface wave, the position of the air nozzle and the injection direction, the ultrasonic wave It is an object of the present invention to provide a detection device and a method for detecting a surface defect and a surface subcutaneous defect that can detect the entire surface of the object to be inspected by making one surface wave of the surface to be inspected in the circumferential direction and reduce reflected waves from other than the defect. .

上述の目的を達成するため、本発明においては以下の技術的手段を講じた。
すなわち、本発明に係る表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置は、被検査体に対して被検査体の表面直下を伝播する超音波を送出する送信部、及び送出された超音波のうち、少なくとも被検査体内の欠陥で反射して戻った超音波を受信する受信部を備えた探触子と、前記送信部から送出される超音波の伝播方向にある被検査体の表面付着物を、前記伝播方向に対して略垂直方向へ除去する除去手段と、を具備することを特徴とする。
In order to achieve the above-described object, the present invention takes the following technical means.
That is, the surface defect and the surface subcutaneous defect detection apparatus according to the present invention includes at least one of the transmitted ultrasonic wave and the transmitted ultrasonic wave that transmits the ultrasonic wave propagating directly under the surface of the test object to the test object. A probe having a receiving unit for receiving ultrasonic waves reflected and returned by a defect in the inspected object, and a surface deposit on the inspected object in the propagation direction of the ultrasonic waves transmitted from the transmitting unit, Removing means for removing in a direction substantially perpendicular to the propagation direction.

また、本発明に係る表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置は、被検査体が長尺物である際に、前記探触子は、被検査体の周方向に超音波を送出するように配置されており、前記除去手段は、被検査体の全周にわたって配備されていることを特徴とする。
また、本発明に係る表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置は、前記探触子を2つ有しており、該2つの探触子は、被検査体の長手方向において異なる位置に配置され、被検査対象の周方向において互いに対向する方向に超音波を送出することを特徴とする。
Further, the surface defect and subcutaneous surface defect detection apparatus according to the present invention is arranged such that when the object to be inspected is a long object, the probe transmits ultrasonic waves in the circumferential direction of the object to be inspected. The removing means is provided over the entire circumference of the object to be inspected.
Further, the surface defect and subcutaneous surface defect detection apparatus according to the present invention has the two probes, and the two probes are arranged at different positions in the longitudinal direction of the inspection object, Ultrasonic waves are transmitted in directions opposite to each other in the circumferential direction of the object to be inspected.

ここで前記除去手段は、被検査対象の探傷範囲に対して、前記探触子から送出された超音波の伝播方向に対して略垂直方向にエアを噴射するエア噴射手段であってもよい。
本発明に係る表面欠陥及び表面皮下欠陥検出方法は、超音波を用いて被検査体内の欠陥を検出する方法であって、超音波の伝播方向にある被検査体の表面付着物を、前記伝播方向に対して略垂直方向へ除去し、被検査体に対して、被検査体の表面直下を伝播する超音波を送出し、被検査体に送出された超音波のうち、少なくとも被検査体内の欠陥で反射した超音波を受信することを特徴とする。
Here, the removing unit may be an air ejecting unit that ejects air in a direction substantially perpendicular to a propagation direction of an ultrasonic wave transmitted from the probe with respect to a flaw detection range to be inspected.
A surface defect and subcutaneous surface defect detection method according to the present invention is a method for detecting a defect in an inspected body using ultrasonic waves, and the surface deposit on the inspected object in the propagation direction of ultrasonic waves The ultrasonic wave propagating directly below the surface of the object to be inspected is transmitted to the object to be inspected, and at least of the ultrasonic waves sent to the object to be inspected. The ultrasonic wave reflected by the defect is received.

また、本発明に係る表面欠陥及び表面皮下欠陥検出方法は、被検査体が長尺物である際に、被検査体の周方向に超音波を送出し、被検査体の全周にわたって同時に、前記伝播方向に対して略垂直方向へ、表面付着物を除去することを特徴とする。
また、本発明に係る表面欠陥及び表面皮下欠陥検出方法は、超音波の送出を開始する被検査体上の伝播方向前方に存する探傷範囲を、被検査体の長手方向へ移動させることを特徴とする。
Moreover, the surface defect and the surface subcutaneous defect detection method according to the present invention, when the object to be inspected is a long object, send ultrasonic waves in the circumferential direction of the object to be inspected, and simultaneously over the entire circumference of the object to be inspected. Surface deposits are removed in a direction substantially perpendicular to the propagation direction.
Further, the surface defect and subcutaneous surface defect detection method according to the present invention is characterized in that the flaw detection range existing ahead in the propagation direction on the object to be inspected starts to be transmitted in the longitudinal direction of the object to be inspected. To do.

また、本発明に係る表面欠陥及び表面皮下欠陥検出方法は、被検査体の長手方向における異なる位置から、被検査体の周方向において互いに対向する方向に超音波を送出することを特徴とする。
ここで、超音波の伝播方向に対して略垂直方向となるように、被検査対象の探傷範囲へエアを噴射してもよい。
In addition, the surface defect and subcutaneous surface defect detection method according to the present invention is characterized in that ultrasonic waves are transmitted from different positions in the longitudinal direction of the object to be inspected toward each other in the circumferential direction of the object to be inspected.
Here, air may be injected into the flaw detection range to be inspected so as to be in a direction substantially perpendicular to the propagation direction of the ultrasonic waves.

本発明に係る表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置及びその方法によれば、欠陥以外からの反射波を低減することができ、探傷する被検査体の通材方向、表面波の伝播方向、エアブロアの位置と噴射方向のそれぞれを適切に設定することで、超音波の表面波を被検査体の周方向に一周させて全面探傷することができ、欠陥以外からの反射波を低減することができる。   According to the apparatus and method for detecting a surface defect and a surface subcutaneous defect according to the present invention, reflected waves from other than the defect can be reduced, the material passing direction of the inspection object to be inspected, the propagation direction of the surface wave, the air blower By appropriately setting each of the position and the jetting direction, it is possible to detect the entire surface by making one round of the surface wave of the ultrasonic wave in the circumferential direction of the object to be inspected, and to reduce the reflected wave from other than the defect .

本発明の第1実施形態による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置の構成を表す図である。It is a figure showing the structure of the detection apparatus of the surface defect by the 1st Embodiment of this invention, and a surface subcutaneous defect. センサヘッドの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of a sensor head. (a)は、被検査体に対するセンサヘッド及び後述するエアブロアの配置を示す斜視図であり、(b)は、図2(a)に示す構成を、被検査体の通材方向の上流側から見たときの状態を示す図である。(A) is a perspective view which shows arrangement | positioning of the sensor head with respect to a to-be-inspected object, and the air blower mentioned later, (b) is the structure shown to Fig.2 (a) from the upstream of the material passing direction of a to-be-inspected object. It is a figure which shows a state when it sees. (a)は、センサヘッドに対して、エアブロアを通材方向下流側に配置した状態を表す図、(b)は、センサヘッドに対して、エアブロアを通材方向上流側に配置した状態を表す図である。(A) is a figure showing the state which has arrange | positioned the air blower to the sensor material direction downstream with respect to a sensor head, (b) represents the state which has arrange | positioned the air blower to the sensor material upstream in the material direction. FIG. (a)は、被検査体に対するエアブロアの配置及び構成を示す図、(b)は、被検査体に対するエアブロアの配置及び構成を示す図である。(A) is a figure which shows arrangement | positioning and a structure of an air blower with respect to a to-be-inspected object, (b) is a figure which shows arrangement | positioning and a structure of an air blower with respect to a to-be-inspected object. 同一ラインにおいて、表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置を、磁粉探傷装置の下流側に設置した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which installed the detection apparatus of the surface defect and the surface subcutaneous defect in the same line in the downstream of a magnetic particle flaw detector. 同一ラインにおいて、表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置を、磁粉探傷装置の上流側に設置した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which installed the detection apparatus of the surface defect and the surface subcutaneous defect in the upstream of the magnetic particle flaw detector in the same line. (a)は、エアブロアとセンサヘッドの組合せを、被検査体の隣り合う検査面に1組ずつ配置した構成を示す図、(b)は、エアブロアとセンサヘッドの組合せを、被検査体の同一検査面上に2組、通材方向に連続するように配置した構成を示す図である。(A) is a figure which shows the structure which has arrange | positioned one set of the combination of an air blower and a sensor head on the test | inspection surface adjacent to a to-be-inspected object, (b) is the same combination of an air blower and a sensor head of a to-be-inspected object. It is a figure which shows the structure arrange | positioned so that two sets may be followed on a test | inspection surface in a material passing direction. 欠陥を有する被検査体の同一検査面上に2つのセンサヘッドを配備し、それぞれ対向する方向に表面波を送出した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which provided two sensor heads on the same test | inspection surface of a to-be-tested object which has a defect, and sent the surface wave to the direction which opposes, respectively. (a)は、円柱体表面検査装置の概略構成を表す斜視図であり、(b)は、(a)におけるA−A矢示断面図である。(A) is a perspective view showing schematic structure of a cylindrical body surface inspection apparatus, (b) is AA arrow sectional drawing in (a).

以下、本発明による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置の実施形態を、図を基に説明する。
本発明による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aは、金属材料である棒鋼や鋼片などの被検査体2に対して被検査体2の表面直下を伝播する超音波を送出する送信部、及び送出された超音波のうち、少なくとも被検査体2内の欠陥で反射して戻った超音波を受信する受信部を備えた探触子10と、送信部から送出される超音波の伝播方向にある被検査体2の表面付着物を、前記伝播方向に対して略垂直方向へ除去する除去手段3aと、を具備するものである。
[第1実施形態]
図1を参照して、表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aの構成を説明する。図1は、本発明の第1実施形態による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1a及び被検査体2の構成と配置を示す概略図である。
Hereinafter, embodiments of a detection apparatus for surface defects and surface subcutaneous defects according to the present invention will be described with reference to the drawings.
The surface defect and surface subcutaneous defect detection apparatus 1a according to the present invention includes a transmitter that transmits ultrasonic waves propagating directly under the surface of the inspection object 2 to the inspection object 2 such as a steel bar or a steel piece, which is a metal material. Among the transmitted ultrasonic waves, at least a probe 10 including a receiving unit that receives ultrasonic waves reflected and returned by a defect in the inspection object 2, and a propagation direction of the ultrasonic waves transmitted from the transmitting unit And removing means 3a for removing the deposit on the surface of the object 2 to be inspected in a direction substantially perpendicular to the propagation direction.
[First Embodiment]
With reference to FIG. 1, the structure of the detection apparatus 1a of a surface defect and a surface subcutaneous defect is demonstrated. FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration and arrangement of a surface defect and subcutaneous surface defect detection device 1a and a device under test 2 according to a first embodiment of the present invention.

表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aは、除去手段としてのエアブロア3a、探触子10とセンサホルダ4からなるセンサヘッド15、工場エア供給部5、接触媒質供給回収部6、超音波探傷器7、及び信号記録処理装置8を有するものである。
表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aは、略四角柱の棒鋼である被検査体2の製造ラインに固定及び設置されている。
An apparatus 1a for detecting surface defects and subsurface defects includes an air blower 3a as a removing means, a sensor head 15 comprising a probe 10 and a sensor holder 4, a factory air supply unit 5, a contact medium supply / recovery unit 6, an ultrasonic flaw detector. 7 and a signal recording processing device 8.
The detection device 1a for surface defects and surface subcutaneous defects is fixed and installed in a production line for the object 2 to be inspected, which is a substantially square bar steel.

まず、表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出に用いるセンサヘッド15の構成について説明する。図1に示すセンサヘッド15は、探触子10及び探触子10を保持するセンサホルダ4からなるものである。
センサホルダ4は、例えば略立方体で下方が開放された箱型の筐体であって、その箱型の内部において、超音波である表面波(レーリー波)を送受信する探触子10を有する。さらにセンサホルダ4は、探触子10と被検査体2との間で超音波を伝達する接触媒質を供給するための接触媒質供給管11、及びその接触媒質を回収するための接触媒質回収管12を有するものである。
First, the configuration of the sensor head 15 used for detecting surface defects and surface subcutaneous defects will be described. A sensor head 15 shown in FIG. 1 includes a probe 10 and a sensor holder 4 that holds the probe 10.
The sensor holder 4 is, for example, a box-shaped housing that is substantially cubic and has an open bottom, and has a probe 10 that transmits and receives surface waves (Rayleigh waves) that are ultrasonic waves inside the box. Further, the sensor holder 4 includes a contact medium supply pipe 11 for supplying a contact medium that transmits ultrasonic waves between the probe 10 and the inspection object 2, and a contact medium collection pipe for collecting the contact medium. 12.

探触子10は、図示しないが、例えば圧電素子による探触子である。なお、ローレンツ型横波発生用センサなどの電磁超音波センサは、表面波を送出する送信部である送信コイルと、送出された表面波を受信する受信部である受信コイルとを有している。電磁超音波センサでは、接触媒質が不要であるが、本発明の実施形態においては、表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出により適した圧電素子による探触子を用いる。ここで表面波とは、被検査体の表面または表面直下を伝播する超音波である。   Although not shown, the probe 10 is, for example, a probe using a piezoelectric element. An electromagnetic ultrasonic sensor such as a Lorentzian transverse wave generating sensor has a transmission coil that is a transmission unit that transmits surface waves, and a reception coil that is a reception unit that receives the transmitted surface waves. The electromagnetic ultrasonic sensor does not require a contact medium. However, in the embodiment of the present invention, a probe using a piezoelectric element suitable for detecting surface defects and surface subcutaneous defects is used. Here, the surface wave is an ultrasonic wave that propagates on the surface of the inspection object or directly below the surface.

次に、図2を参照して、センサヘッド15の構成をさらに詳細に説明する。
図2は、センサヘッド15の構成を示す断面図である。被検査体2の側面(検査面)上に配置されたセンサヘッド15のセンサホルダ4内において、探触子10は、図2に示すように、被検査体2との間に所定の空間を確保するように浮き上がって設けられている。つまり、被検査体2に接するセンサホルダ4内で、探触子10は、被検査体2から所定の間隔だけ上方に離れている。
Next, the configuration of the sensor head 15 will be described in more detail with reference to FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the sensor head 15. In the sensor holder 4 of the sensor head 15 arranged on the side surface (inspection surface) of the inspection object 2, the probe 10 provides a predetermined space between the inspection object 2 and the inspection object 2 as shown in FIG. It is provided so as to be secured. That is, in the sensor holder 4 that is in contact with the inspection object 2, the probe 10 is separated upward from the inspection object 2 by a predetermined distance.

センサホルダ4の側壁は、探触子10の周囲を取り囲み、探触子10は、センサホルダ4で形成された空間内にある。
欠陥検出の際には、接触媒質供給管11からこの空間内に接触媒質が供給され、供給された接触媒質は、接触媒質回収管12へ回収される。
図1に示す接触媒質供給回収部6は、センサヘッド15で用いられる接触媒質を、センサホルダ4の接触媒質供給管11を通してセンサホルダ4内の空間に供給すると共に、センサホルダ4の接触媒質回収管12を通してセンサホルダ4内の空間から接触媒質を回収するものである。そのため、接触媒質供給回収部6は、センサホルダ4の接触媒質供給管11及び接触媒質回収管12に接続される。ここで接触媒質とは、水、グリセリンペースト、油など超音波を伝達する物質である。
The side wall of the sensor holder 4 surrounds the probe 10, and the probe 10 is in a space formed by the sensor holder 4.
When detecting a defect, the contact medium is supplied into the space from the contact medium supply pipe 11, and the supplied contact medium is recovered to the contact medium recovery pipe 12.
The contact medium supply / recovery unit 6 shown in FIG. 1 supplies the contact medium used in the sensor head 15 to the space in the sensor holder 4 through the contact medium supply pipe 11 of the sensor holder 4 and also recovers the contact medium of the sensor holder 4. The contact medium is recovered from the space in the sensor holder 4 through the tube 12. Therefore, the contact medium supply / recovery unit 6 is connected to the contact medium supply pipe 11 and the contact medium recovery pipe 12 of the sensor holder 4. Here, the contact medium is a substance that transmits ultrasonic waves, such as water, glycerin paste, and oil.

図3を参照しつつ、上記した探触子10が内蔵されたセンサヘッド15の配置について説明する。図中、被検査体2が移動する方向を、通材方向として矢印で示している。
被検査体2は、通材方向を示す矢印の始端から終端に向かって移動する。本実施形態では、この矢印の始端側を上流側といい、その終端側を下流側という。
図3(a)は、被検査体2に対するセンサヘッド15及び後述するエアブロア3aの配置を示す斜視図であり、図3(b)は、図3(a)に示す構成を、被検査体2の通材方向の上流側から見たときの状態を示す図である。
With reference to FIG. 3, the arrangement of the sensor head 15 in which the probe 10 is built will be described. In the drawing, the direction in which the device under test 2 moves is indicated by an arrow as the material passing direction.
The inspection object 2 moves from the start end of the arrow indicating the material passing direction toward the end. In the present embodiment, the starting end side of this arrow is referred to as the upstream side, and the terminal end side is referred to as the downstream side.
FIG. 3A is a perspective view showing the arrangement of the sensor head 15 and an air blower 3a, which will be described later, with respect to the inspection object 2, and FIG. 3B shows the configuration shown in FIG. It is a figure which shows a state when it sees from the upstream of the material passing direction.

図3(a)に示すように、センサヘッド15は、被検査体2の検査面の一端側の位置にセンサホルダ4の下方開放面側壁の下端面又は下端辺が接するように、表面波の送出方向を被検査体2の周方向に向けて配置される。これによってセンサヘッド15は、被検査体2の側面上の1点から、矢印で示すように被検査体2の周方向に向かって表面波を送出する。図中、通材方向におけるセンサヘッド15の幅で、被検査体2の周方向の全周にわたって描かれている2本の細線に挟まれた領域は、送出された表面波の伝播範囲を示しており、センサヘッド15から送出された表面波は、被検査体2の表面を全周にわたって伝播する。この伝播範囲が、表面欠陥及び表面皮下欠陥の検査範囲である。   As shown in FIG. 3A, the sensor head 15 has a surface wave so that the lower end surface or the lower end side of the side wall of the lower open surface of the sensor holder 4 is in contact with the position on the one end side of the inspection surface of the inspection object 2. The delivery direction is arranged in the circumferential direction of the device under test 2. Accordingly, the sensor head 15 sends a surface wave from one point on the side surface of the device under test 2 toward the circumferential direction of the device under test 2 as indicated by an arrow. In the drawing, the region sandwiched between two thin lines drawn over the entire circumference in the circumferential direction of the inspection object 2 in the width of the sensor head 15 in the material passing direction indicates the propagation range of the transmitted surface wave. The surface wave transmitted from the sensor head 15 propagates around the entire surface of the device under test 2. This propagation range is the inspection range of surface defects and surface subcutaneous defects.

被検査体2は通材方向に移動するが、センサヘッド15は、表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aに配備されており通材方向には移動しないので、被検査体2に対して相対的に上流側へ移動することになる。
図1に示す超音波探傷器7は、探触子10の送信コイルへのパルス電流の送出と、受信コイルからのパルス電流の受信を制御するものであって、センサヘッド15に接続されている。超音波探傷器7でパルス電流を調整することで、被検査体2の全周にわたって伝播する強度の超音波を発生させることができる。
The inspection object 2 moves in the material passing direction, but the sensor head 15 is provided in the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1a and does not move in the material passing direction. Therefore, it moves to the upstream side.
The ultrasonic flaw detector 7 shown in FIG. 1 controls transmission of a pulse current to the transmission coil of the probe 10 and reception of the pulse current from the reception coil, and is connected to the sensor head 15. . By adjusting the pulse current with the ultrasonic flaw detector 7, it is possible to generate an ultrasonic wave having an intensity that propagates over the entire circumference of the inspection object 2.

図1に示す信号記録処理装置8は、探触子10の受信コイルから超音波探傷器7を経て得たエコー(反射波)信号をもとに、エコーの到達時間、すなわち、欠陥の位置などを算出するものであり、超音波探傷器7に接続されている。信号記録処理装置8は、例えばPC(パーソナルコンピュータ)で構成される。
続いて、表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aにおける、除去手段としてのエアブロア3aの構成について説明する。エアブロア3aは、被検査体2の側面の幅とほぼ同じ幅を持つ略直方体の筐体と、該筐体の長手方向に沿って設けられた複数のエアノズル9と、エア導入口(図示せず)とから構成される。図3に示すエアブロア3aは、7個のエアノズル9を有している。
The signal recording processing device 8 shown in FIG. 1 is based on an echo (reflected wave) signal obtained from the receiving coil of the probe 10 via the ultrasonic flaw detector 7, the arrival time of the echo, that is, the position of the defect, etc. Is connected to the ultrasonic flaw detector 7. The signal recording processing device 8 is constituted by, for example, a PC (personal computer).
Next, the configuration of the air blower 3a as a removing unit in the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1a will be described. The air blower 3a includes a substantially rectangular parallelepiped housing having substantially the same width as the side surface of the object 2 to be inspected, a plurality of air nozzles 9 provided along the longitudinal direction of the housing, and an air inlet (not shown). ). 3 has seven air nozzles 9. The air blower 3a shown in FIG.

また、図3に示すように、エアブロア3aは、センサヘッド15が配置された検査面上で、センサヘッド15から所定の距離だけ離れた下流側の位置に配置される。このとき、エアブロア3aは、該側面との間に大きな摩擦が生じないように、該側面との間に所定の間隔を確保して浮き上がった状態で配置される。また、このような位置でエアブロア3aは、エアノズル9を被検査体2の周方向に沿った表面波の伝播範囲に向けて配置されている。   As shown in FIG. 3, the air blower 3 a is disposed on the inspection surface on which the sensor head 15 is disposed at a downstream position away from the sensor head 15 by a predetermined distance. At this time, the air blower 3a is arranged in a state of being lifted with a predetermined distance between the air blower 3a and the side surface so as not to generate large friction with the side surface. Further, at such a position, the air blower 3 a is arranged with the air nozzle 9 directed toward the propagation range of the surface wave along the circumferential direction of the device under test 2.

図3(b)に示すように、上記のようなセンサヘッド15とエアブロア3aの配置を被検査体2の上流側から見ると、センサヘッド15とエアブロア3aは重なり合うように配置されている。
このときエアブロア3aは、エアノズル9の噴射方向が、通材方向の下流側から上流側に向かって、表面波の伝播方向に対して略垂直となるように、且つ図3(a)に2本の細線で挟まれた伝播範囲を含んで下流側から上流側にエアが噴射されるように配置されている。
As shown in FIG. 3B, when the arrangement of the sensor head 15 and the air blower 3a as described above is viewed from the upstream side of the device under test 2, the sensor head 15 and the air blower 3a are arranged so as to overlap each other.
At this time, two air blowers 3a are arranged in FIG. 3A so that the jet direction of the air nozzle 9 is substantially perpendicular to the propagation direction of the surface wave from the downstream side to the upstream side in the material passing direction. It is arrange | positioned so that air may be injected from the downstream to the upstream including the propagation range pinched | interposed by this thin line.

工場エア供給部5は、表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aが設置される工場全体での使用を目的としたエアを供給する工場圧力配管やコンプレッサ等である。この工場エア供給部5は、エアブロア3aのエア導入口に接続されて、エアを供給する。
上述のように構成及び配置されたエアブロア3aに、工場エア供給部5からエアが供給されると、エアブロア3aは、図3(a)で矢印で示すように、エア導入口に供給されたエアを、図中矢印で示すように通材方向の下流側から上流側に向けて、複数のエアノズル9から噴射する。
The factory air supply unit 5 is a factory pressure pipe, a compressor, or the like that supplies air for use in the entire factory where the detection device 1a for surface defects and surface subcutaneous defects is installed. The factory air supply unit 5 is connected to the air inlet of the air blower 3a and supplies air.
When air is supplied from the factory air supply unit 5 to the air blower 3a configured and arranged as described above, the air blower 3a is supplied with air supplied to the air inlet as shown by an arrow in FIG. Are ejected from a plurality of air nozzles 9 from the downstream side to the upstream side in the material passing direction as indicated by arrows in the figure.

図3(a)及び図3(b)に示すように、センサヘッド15のサイズは、エアブロア3aの長手方向の幅に対して相対的に小さい。しかし、図3(b)に示すように、両者の配置がエアの噴射方向において重なり合っているので、エアブロア3aからセンサヘッド15に向かってエアが噴射されると、センサヘッド15にもエアが吹き付けられる。このときは、探触子10と被検査体2との間に設けられた空間を取り囲むセンサホルダ4が風防の役割を果たすので、エアブロア3aからのエアとともに該空間内の接触媒質が吹き飛ばされることはない。また、それだけにとどまらず、センサヘッド15にエアが吹き付けられることで、センサホルダ4直近の接触媒質を確実に除去することができる。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the size of the sensor head 15 is relatively small with respect to the longitudinal width of the air blower 3a. However, as shown in FIG. 3B, since the arrangement of the two overlaps in the air injection direction, when air is injected from the air blower 3a toward the sensor head 15, the air is also blown to the sensor head 15. It is done. At this time, the sensor holder 4 surrounding the space provided between the probe 10 and the inspection object 2 plays a role of windshield, so that the contact medium in the space is blown off together with the air from the air blower 3a. There is no. In addition, the contact medium in the immediate vicinity of the sensor holder 4 can be surely removed by blowing air to the sensor head 15.

空間内の接触媒質の一部は、接触媒質回収管12へ回収されず、センサホルダ4と被検査体2が接する部分から、矢印で示すようにセンサホルダ4の外側へ漏出するが、この漏出分は、エアブロア3aからのエアで吹き飛ばされ、表面波の伝播範囲には残らない。
このような構成の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aは、被検査体2を回転させることなく通材させ、センサヘッド15から被検査体2の周方向に表面波を伝播させると共に、被検査体2の通材方向に逆向きに、エアブロア3aからエアを噴射する。
A part of the contact medium in the space is not recovered to the contact medium recovery pipe 12 and leaks to the outside of the sensor holder 4 as indicated by the arrow from the portion where the sensor holder 4 and the inspected object 2 are in contact with each other. The minute is blown away by the air from the air blower 3a and does not remain in the surface wave propagation range.
The surface defect and subsurface defect detection apparatus 1a having such a configuration allows the inspection object 2 to pass through without rotating, propagates surface waves from the sensor head 15 in the circumferential direction of the inspection object 2, and Air is injected from the air blower 3a in the direction opposite to the material passing direction of the inspection body 2.

このようにすることで、表面波の伝播範囲内の接触媒質を、伝播方向に対して略垂直方向に且つ伝播範囲外に除去できると共に、工場内の粉塵などの付着を防ぐことができるので表面欠陥及び表面皮下欠陥の誤検出を低減できる。また、表面波の伝播方向が被検査体2の周方向であることと共に、エアブロア3aからのエア噴射方向が表面波の伝播方向に略垂直であることにより、表面波の伝播範囲に不要な接触媒質が存在しなくなるので、従来のように被検査体2の全周を分割することなく、一回の探傷で、被検査体2の幅方向全周を探傷することができる。このような探傷検査を、被検査体2を通材方向に移動させながら連続的に行うと、被検査体2の全長にわたる連続的な探傷が可能となり、探傷にかかる時間を短縮することができるので、探傷効率が向上する。   By doing so, the contact medium within the propagation range of the surface wave can be removed in a direction substantially perpendicular to the propagation direction and out of the propagation range, and adhesion of dust and the like in the factory can be prevented. It is possible to reduce false detection of defects and surface subcutaneous defects. In addition, since the propagation direction of the surface wave is the circumferential direction of the object to be inspected 2 and the air injection direction from the air blower 3a is substantially perpendicular to the propagation direction of the surface wave, unnecessary contact with the surface wave propagation range is achieved. Since no medium is present, the entire circumference in the width direction of the inspection object 2 can be detected by a single flaw detection without dividing the entire periphery of the inspection object 2 as in the prior art. If such a flaw detection inspection is continuously performed while moving the inspection object 2 in the material direction, continuous inspection over the entire length of the inspection object 2 becomes possible, and the time required for flaw detection can be shortened. Therefore, the flaw detection efficiency is improved.

上記の説明では、図4(a)に示すように、エアブロア3aを、センサヘッド15に対して通材方向の下流側に配置したが、図4(b)に示すように、エアブロア3aを、センサヘッド15に対して通材方向の上流側で、エアノズル9が上流側を向くように配置してもよい。このときも、エアブロア3aは、エアノズル9の噴射方向が、通材方向の下流側から上流側に向かうように、且つ被検査体2の表面にエアが噴射されるように配置されている。この配置によっても、表面波の伝播範囲に接触媒質や粉塵が付着しないようにして、一回の探傷で、被検査体2の幅方向全周を探傷することができる。また、センサヘッド15は、エアブロア3aからの風の影響を全く受けないので、探触子10をセンサホルダ4に収納することなく露出させて使うこともできる。
[第2実施形態]
次に、図5を参照して、本発明の第2実施形態による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1bについて説明する。
In the above description, as shown in FIG. 4 (a), the air blower 3a is arranged on the downstream side in the material passing direction with respect to the sensor head 15, but as shown in FIG. 4 (b), the air blower 3a is You may arrange | position so that the air nozzle 9 may face the upstream in the upstream of a material passing direction with respect to the sensor head 15. FIG. Also at this time, the air blower 3a is arranged such that the air nozzle 9 is jetted from the downstream side to the upstream side in the material passing direction, and the air is jetted onto the surface of the inspection object 2. Even with this arrangement, it is possible to detect the entire circumference in the width direction of the inspected object 2 with a single flaw detection so that the contact medium and dust do not adhere to the propagation range of the surface wave. Further, since the sensor head 15 is not affected by the wind from the air blower 3 a at all, the probe 10 can be exposed without being housed in the sensor holder 4.
[Second Embodiment]
Next, a surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1b according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1bは、第1実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aにおいてエアブロア3aの代わりに、被検査体2の4つの検査面に対応する第1除去手段〜第4除去手段である4つのエアブロア3b〜3eを採用した構成を有している。エアブロア3b〜3e以外の構成は、第1実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aと同様である。   The surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1b of the present embodiment corresponds to the four inspection surfaces of the inspected object 2 instead of the air blower 3a in the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1a of the first embodiment. The four air blowers 3b to 3e that are the first to fourth removing means are employed. The configuration other than the air blowers 3b to 3e is the same as that of the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1a of the first embodiment.

図5(a)は、本発明の第2実施形態による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1bのエアブロア3b〜3e及びセンサヘッド15と、被検査体2の配置構成を通材方向の上流側から見た図である。
エアブロア3b〜3eは、第1実施形態で説明したエアブロア3aと同様の構成を有しており、それぞれ、第1実施形態で説明した工場エア供給部5に接続されている。
FIG. 5A shows the arrangement of the air blowers 3b to 3e and the sensor head 15 of the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1b according to the second embodiment of the present invention, and the upstream side in the material direction. It is the figure seen from.
The air blowers 3b to 3e have the same configuration as the air blower 3a described in the first embodiment, and are connected to the factory air supply unit 5 described in the first embodiment.

また、センサヘッド15には、第1実施形態で説明した接触媒質供給回収部6、超音波探傷器7、及び信号記録処理装置8が接続されている。
第1実施形態と同様にして、センサヘッド15を被検査体2の検査面に配置し、エアブロア3b〜3eを、センサヘッド15に対して通材方向の下流側に配置する。エアブロア3b〜3eのそれぞれは、図5(a)に示すように、表面波の伝播範囲から所定の距離だけ離れた位置で周方向に被検査体2を取り囲むように配置される。また、エアブロア3b〜3eのそれぞれは、被検査体2の検査面から所定の間隔を空けて浮き上がるとともに、エアノズル9の噴射方向が、通材方向の下流側から上流側に向かって表面波の伝播方向に対して略垂直となるように、且つ表面波の伝播範囲を含んで下流側から上流側にエアが噴射されるように配置される。
Further, the contact medium supply / recovery unit 6, the ultrasonic flaw detector 7, and the signal recording processing device 8 described in the first embodiment are connected to the sensor head 15.
In the same manner as in the first embodiment, the sensor head 15 is disposed on the inspection surface of the inspection object 2, and the air blowers 3 b to 3 e are disposed downstream of the sensor head 15 in the material passing direction. As shown in FIG. 5A, each of the air blowers 3b to 3e is disposed so as to surround the device under test 2 in the circumferential direction at a position away from the surface wave propagation range by a predetermined distance. In addition, each of the air blowers 3b to 3e floats away from the inspection surface of the object 2 to be inspected at a predetermined interval, and the injection direction of the air nozzle 9 propagates surface waves from the downstream side to the upstream side in the material passing direction. It is arranged so that air is jetted from the downstream side to the upstream side so as to be substantially perpendicular to the direction and including the propagation range of the surface wave.

このような配置構成において、センサヘッド15は表面波を送出し、送出された表面波は、被検査体2に示されている略円状の矢印の方向に伝播する。これと同時に、エアブロア3a〜3dは、矢印で示す噴射方向に沿ってエアを噴射し、送出された表面波の伝播範囲にある接触媒質や粉塵を除去する。
このように、エアブロア3a〜3dを被検査体2の検査面に対応させて全周に配置することで、被検査体2の全周にわたって表面波の伝播範囲にある粉塵等を除くことができるので、欠陥以外の粉塵などからの反射波を低減することができる。
In such an arrangement, the sensor head 15 transmits a surface wave, and the transmitted surface wave propagates in the direction of a substantially circular arrow indicated on the device under test 2. At the same time, the air blowers 3a to 3d eject air along the ejection direction indicated by the arrows, and remove contact medium and dust in the propagation range of the transmitted surface wave.
As described above, by arranging the air blowers 3a to 3d around the entire periphery of the inspection object 2 so as to correspond to the inspection surface of the inspection object 2, dust and the like in the propagation range of the surface wave can be removed over the entire periphery of the inspection object 2. Therefore, the reflected wave from dust etc. other than defects can be reduced.

図5(b)を参照して、第2実施形態の変形例である表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1cについて説明する。
本変形例における表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1cは、本発明の第2実施形態による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1bにおいて、4つのエアブロア3b〜3eの代わりに、エアブロア3fを採用した構成を有している。本変形例において、被検査体2bは円柱状の棒鋼である。
With reference to FIG.5 (b), the detection apparatus 1c of the surface defect which is a modification of 2nd Embodiment, and a surface subcutaneous defect is demonstrated.
The surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1c in the present modification employs an air blower 3f instead of the four air blowers 3b to 3e in the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1b according to the second embodiment of the present invention. It has the structure. In this modification, the inspection object 2b is a columnar steel bar.

表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1cにおいて、エアブロア3f以外の構成要素は、第2実施形態による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1bと同様の構成となっている。
図5(b)に示すように、エアブロア3fは、被検査体2bが通過するための開口を有する円環状の筐体を有しており、エア導入口(図示せず)を有するとともに、該筐体の円環状の平面に複数のエアノズル9を有するものである。図5(b)では、22個のエアノズル9が示されている。エアブロア3fは、エア導入口に供給されたエアを、図中矢印で示すように複数のエアノズル9から噴射する。
In the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1c, the components other than the air blower 3f have the same configuration as the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1b according to the second embodiment.
As shown in FIG. 5B, the air blower 3f has an annular casing having an opening through which the device under test 2b passes, has an air inlet (not shown), and A plurality of air nozzles 9 are provided on an annular plane of the housing. In FIG. 5B, 22 air nozzles 9 are shown. The air blower 3f injects the air supplied to the air inlet from a plurality of air nozzles 9 as indicated by arrows in the figure.

このようなエアブロア3fを、エアノズル9をセンサヘッド15に向けて、被検査体2の通材方向下流側に配置する。エアブロア3fは、その開口に被検査体2bを通過させるので、図5(b)に示すように、センサヘッド15から所定の距離だけ離れた位置で、被検査体2の側面から所定の間隔を空けて、周方向に被検査体2bを取り囲むように配備される。   Such an air blower 3f is arranged on the downstream side in the material passing direction of the inspection object 2 with the air nozzle 9 facing the sensor head 15. Since the air blower 3f allows the inspection object 2b to pass through the opening, as shown in FIG. 5B, the air blower 3f is spaced from the side surface of the inspection object 2 at a predetermined distance from the sensor head 15. A space is provided so as to surround the object 2b in the circumferential direction.

また、このような位置でエアブロア3fは、エアノズル9を被検査体2bの周方向に沿った表面波の伝播範囲に向けて配置されている。
このときエアブロア3fは、エアノズル9の噴射方向が、通材方向の下流側から上流側に向かって、表面波の伝播方向に対して略垂直となるように、且つ該伝播範囲を含んで下流側から上流側にエアが噴射されるように配置されている。
Further, at such a position, the air blower 3f is arranged with the air nozzle 9 facing the surface wave propagation range along the circumferential direction of the inspection object 2b.
At this time, the air blower 3f is disposed on the downstream side so that the injection direction of the air nozzle 9 is substantially perpendicular to the propagation direction of the surface wave from the downstream side to the upstream side in the material passing direction and includes the propagation range. It is arrange | positioned so that air may be injected to the upstream from.

なお、図5(b)に示すように、上記のようなセンサヘッド15とエアブロア3fの配置を被検査体2bの上流側から見ると、センサヘッド15とエアブロア3fは重なり合うように配置されている。
このような配置構成において、センサヘッド15は表面波を送出し、送出された表面波は、被検査体2bに示されている略円状の矢印の方向に伝播する。これと同時に、エアブロア3fは、矢印で示す噴射方向にエアを噴射し、送出された表面波の伝播範囲にある接触媒質や粉塵を除去する。
As shown in FIG. 5B, when the arrangement of the sensor head 15 and the air blower 3f as described above is viewed from the upstream side of the device under test 2b, the sensor head 15 and the air blower 3f are arranged so as to overlap each other. .
In such an arrangement, the sensor head 15 transmits a surface wave, and the transmitted surface wave propagates in the direction of a substantially circular arrow shown on the device under test 2b. At the same time, the air blower 3f injects air in the injection direction indicated by the arrow, and removes the contact medium and dust in the propagation range of the transmitted surface wave.

このように、エアブロア3fを、被検査体2bの全周を取り囲むように配置することで、被検査体2b上の不要な接触媒質のみでなく、工場内の粉塵の付着等を除くことができるので、表面波の伝播範囲にある欠陥以外の粉塵などからの反射波を、被検査体2bの全周にわたって低減することができる。
本変形例において、被検査体2bは円柱状の棒鋼であるとしたが、被検査体2bが被検査体2aと同様の略四角柱の棒鋼であっても、被検査体2aの全周にわたって表面波の伝播範囲にある粉塵等を除くことができる。
Thus, by arranging the air blower 3f so as to surround the entire circumference of the inspection object 2b, not only unnecessary contact medium on the inspection object 2b but also adhesion of dust in the factory can be removed. Therefore, it is possible to reduce the reflected wave from dust or the like other than the defect in the surface wave propagation range over the entire circumference of the inspection object 2b.
In this modification, the inspection object 2b is a columnar steel bar. However, even if the inspection object 2b is a substantially square pole steel bar similar to the inspection object 2a, the inspection object 2b extends over the entire circumference of the inspection object 2a. Dust and the like in the surface wave propagation range can be removed.

ところで、本発明の第1及び第2実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置は、被検査体2の表面欠陥及び表面皮下欠陥を検出するものであるが、実際に被検査体2の探傷を行う際には、磁粉探傷装置14や、垂直及び斜角に超音波を送出して内部欠陥を探傷する内部欠陥探傷装置も同一ライン上に設置されることがある。
磁粉探傷法とは、まず被検査体2を所定の方法で磁化し、蛍光特性を有する磁粉を分散させた磁粉液を被検査体2に散布し、被検査体2の表面欠陥から漏れ出る漏洩磁束によって磁粉を引き寄せる。その後に、表面欠陥の周辺に凝集した磁粉に紫外光源を照射して蛍光発光させ、磁粉指示模様を観察して表面欠陥を検出する検査方法である。
By the way, the surface defect and surface subcutaneous defect detection apparatus according to the first and second embodiments of the present invention detects the surface defect and the surface subcutaneous defect of the inspected object 2. When performing flaw detection, the magnetic particle flaw detector 14 and an internal defect flaw detector that sends out ultrasonic waves vertically and obliquely to detect internal defects may be installed on the same line.
In the magnetic particle flaw detection method, first, the object to be inspected 2 is magnetized by a predetermined method, and a magnetic powder liquid in which magnetic particles having fluorescent properties are dispersed is sprayed on the object 2 to be inspected, and leakage leaks from surface defects of the object 2 to be inspected. Magnetic powder is attracted by magnetic flux. Thereafter, the magnetic particles aggregated around the surface defect are irradiated with an ultraviolet light source to emit fluorescence, and the magnetic particle indicating pattern is observed to detect the surface defect.

例えば図6に示すように、本発明の第1実施形態による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aを、磁粉探傷装置14の下流側に設置する場合、磁粉探傷で使った磁粉液が被検査体2の全長及び全周にわたって付着する。また、本発明の第1実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aを、内部欠陥探傷装置の下流側に設置する場合、超音波の送出に使った接触媒質が被検査体2の全長及び全周にわたって付着する。これら磁粉液や接触媒質が、被検査体2のどこに付着しているのかを知ることはできないので、これら検査の後に第1実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aによる検査をしても、エアブロア3aしか備えられていなければ、被検査体2の全周にわたって付着した磁粉液等を除去することができない。これでは、磁粉液や接触媒質から反射した信号を多く検出してしまうので、欠陥の位置を正確に検出することはできない。   For example, as shown in FIG. 6, when the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1a according to the first embodiment of the present invention is installed on the downstream side of the magnetic particle flaw detector 14, the magnetic powder liquid used in the magnetic particle flaw detector is inspected. It adheres over the entire length and circumference of the body 2. Further, when the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1a according to the first embodiment of the present invention is installed on the downstream side of the internal defect inspection device, the contact medium used for transmitting the ultrasonic wave is the total length of the object 2 to be inspected. And adheres all around. Since it is impossible to know where these magnetic powders and contact media are attached to the object 2 to be inspected, the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1a of the first embodiment is inspected after these inspections. However, if only the air blower 3a is provided, the magnetic powder liquid or the like attached over the entire circumference of the inspection object 2 cannot be removed. In this case, a large number of signals reflected from the magnetic powder liquid and the contact medium are detected, so that the position of the defect cannot be accurately detected.

そこで、図5(a)に示したような第2実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1bを用いて、エアブロア3b〜3eを、被検査体2の全周にわたって各検査面に対応するように設置すれば、上記磁粉液や接触媒質の乾燥を待たずに、それらを除去して表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出を行うことができるので、検査に要する時間を短縮でき、探傷効率の向上と共に、生産ラインの生産性も向上する。さらには、被検査体2の全長及び全周にわたって水滴も除去することができるので、被検査体2の錆び付きを防ぐことができる。   Therefore, using the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1b of the second embodiment as shown in FIG. 5A, the air blowers 3b to 3e correspond to each inspection surface over the entire circumference of the inspection object 2. If installed in such a way, it is possible to detect surface defects and surface subcutaneous defects by removing them without waiting for the magnetic powder solution or contact medium to dry, thus reducing the time required for inspection and detecting efficiency. Along with the improvement, productivity of the production line will also improve. Furthermore, since water droplets can also be removed over the entire length and the entire circumference of the device under test 2, rusting of the device under test 2 can be prevented.

尚、図7に示すように、本発明の第1実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aを、磁粉探傷装置14の上流側に設置する場合は、必ずしも被検査体2の全周にわたってエアブロアを設置する必要はないが、エアブロア3a〜3dを被検査体2の全周にわたって各検査面に対応するように配置することで、被検査体2の全周にわたって、表面波の伝播範囲にある不要な接触媒質のみでなく、工場内の粉塵の付着等も除くことができるので、欠陥以外の粉塵などからの反射波を低減することができる。
[第3実施形態]
次に、図8を参照して、本発明の第3実施形態による表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1dについて説明する。本実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1dは、第1実施形態の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1aにおける、エアブロア3a及びセンサヘッド15を、2つずつ採用した構成を有している。
As shown in FIG. 7, when the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1 a according to the first embodiment of the present invention is installed on the upstream side of the magnetic particle flaw detection device 14, the entire circumference of the inspected object 2 is not necessarily required. It is not necessary to install an air blower over the entire surface, but by arranging the air blowers 3a to 3d so as to correspond to each inspection surface over the entire circumference of the inspection object 2, the propagation range of the surface wave over the entire periphery of the inspection object 2 In addition to the unnecessary contact medium in the factory, it is possible to remove the adhesion of dust in the factory, etc., so that it is possible to reduce the reflected wave from dust other than defects.
[Third Embodiment]
Next, a surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1d according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1d of the present embodiment has a configuration in which two air blowers 3a and two sensor heads 15 in the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1a of the first embodiment are employed. ing.

図8(a)は、エアブロア3aとセンサヘッド15の組合せを、被検査体2の隣り合う検査面に1組ずつ配置した構成を示している。1つの組合せにおけるエアブロア3aとセンサヘッド15の配置構成は、第1実施形態で説明したものと同様であり、エアブロア3aは、エアノズル9の噴射方向が、通材方向の下流側から上流側に向かって、表面波の伝播方向に対して略垂直となるように、且つ該伝播範囲を含んで下流側から上流側にエアが噴射されるように配置されている。   FIG. 8A shows a configuration in which a combination of the air blower 3a and the sensor head 15 is arranged on the inspection surface adjacent to the inspection object 2 one by one. The arrangement configuration of the air blower 3a and the sensor head 15 in one combination is the same as that described in the first embodiment, and the air blower 3a has the air nozzle 9 injecting direction from the downstream side to the upstream side in the material passing direction. Thus, the air is arranged so as to be substantially perpendicular to the propagation direction of the surface wave and so that air is injected from the downstream side to the upstream side including the propagation range.

その上で、2つのセンサヘッド15の表面波の送出方向が、被検査体2の周方向において反対向きとなると共に、各々の表面波の伝播範囲が重ならないように、エアブロア3aとセンサヘッド15の各組合せを配備する。
図8(b)は、2組のエアブロア3aとセンサヘッド15の組合せを、被検査体2の同一検査面上に、通材方向に連続するように配置した構成を示している。1つの組合せにおけるエアブロア3aとセンサヘッド15の配置構成は、第1実施形態で説明したものと同様であり、エアブロア3aは、エアブロア3aの噴射方向が、通材方向の下流側から上流側に向かって、表面波の伝播方向に対して略垂直となるように、且つ該伝播範囲を含んで下流側から上流側にエアが噴射されるように配置されている。
In addition, the air wave blower 3a and the sensor head 15 are arranged so that the surface wave transmission directions of the two sensor heads 15 are opposite to each other in the circumferential direction of the device under test 2 and the propagation ranges of the surface waves do not overlap. Deploy each combination of.
FIG. 8B shows a configuration in which two combinations of the air blower 3a and the sensor head 15 are arranged on the same inspection surface of the inspection object 2 so as to be continuous in the material passing direction. The arrangement of the air blower 3a and the sensor head 15 in one combination is the same as that described in the first embodiment, and the air blower 3a has an injection direction of the air blower 3a from the downstream side to the upstream side in the material passing direction. Thus, the air is arranged so as to be substantially perpendicular to the propagation direction of the surface wave and so that air is injected from the downstream side to the upstream side including the propagation range.

その上で、2つのセンサヘッド15は、それぞれの表面波の送出方向が、被検査体2の周方向において反対向きとなるように配備されている。
このように配備された2つのセンサヘッド15がそれぞれ表面波を送出すると、1つのセンサヘッド15だけを用いる場合では検出できない欠陥を検出することができる。この理由を、図9を用いて説明する。
In addition, the two sensor heads 15 are arranged so that the surface wave sending directions are opposite in the circumferential direction of the device under test 2.
When the two sensor heads 15 arranged in this way each transmit a surface wave, a defect that cannot be detected when only one sensor head 15 is used can be detected. The reason for this will be described with reference to FIG.

図9は、欠陥13を有する被検査体2の同一検査面上に2つのセンサヘッド15を配備し、それぞれ対向する方向に表面波を送出した状態を示す図である。図中、被検査体2の皮下に示される矢印は、センサヘッド15から送出された表面波を示している。
図9に示すように、紙面右上から左下に向かって傾斜した欠陥13は、紙面右側のセンサヘッド15が送出した表面波を被検査体2の内部に向かって反射してしまうので、右側のセンサヘッド15は、欠陥13を検出することが困難である。しかし、紙面左側のセンサヘッド15が送出した表面波は、欠陥13と被検査体2の表面に閉じこめられる向きに反射するため、被検査体2の表面を伝わってセンサヘッド15に戻る。これによって左側のセンサヘッド15は、欠陥13を検出することができる。
FIG. 9 is a diagram illustrating a state in which two sensor heads 15 are provided on the same inspection surface of the inspection object 2 having the defect 13 and surface waves are transmitted in opposite directions. In the figure, an arrow shown under the subject 2 indicates a surface wave sent from the sensor head 15.
As shown in FIG. 9, the defect 13 inclined from the upper right to the lower left of the page reflects the surface wave transmitted by the sensor head 15 on the right side of the page toward the inside of the inspection object 2. It is difficult for the head 15 to detect the defect 13. However, since the surface wave transmitted from the sensor head 15 on the left side of the paper is reflected in a direction to be confined to the defect 13 and the surface of the inspection object 2, the surface wave travels along the surface of the inspection object 2 and returns to the sensor head 15. As a result, the left sensor head 15 can detect the defect 13.

このように欠陥の形状は複雑であるため、表面波の伝播方向に対して有効な散乱断面積が小さい欠陥であったり、上記したように傾いた欠陥である場合でも、2つのセンサヘッド15から互いに反対向きに表面波を送出する表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置1dによれば、確実に欠陥を検出することができる。
その際、ひし形搬送されている被検査体2に対しては、被検査体2の上側を向く面に探触子を設置することで、接触媒質が表面波の伝播方向に侵入することを防げるので、より検出の効果が高くなる。なお、ひし形搬送とは、被検査体2の通材方向に垂直な断面における1つの対角線を水平にして、断面視ひし形形状となるように下側を向く面をピンチローラ等で支持しつつ被検査体2を搬送する方法のことである。
As described above, since the shape of the defect is complicated, even if the defect has a small scattering cross section effective with respect to the propagation direction of the surface wave or is a defect inclined as described above, the two sensor heads 15 According to the surface defect and surface subcutaneous defect detection device 1d that sends surface waves in the opposite directions, the defect can be reliably detected.
At that time, by placing a probe on the surface of the object to be inspected 2 that is transported in a rhombus shape, the contact medium can be prevented from entering the surface wave propagation direction. Therefore, the detection effect becomes higher. The rhombus conveyance means that one diagonal line in the cross section perpendicular to the material passing direction of the object to be inspected 2 is horizontal and the surface facing downward is supported by a pinch roller or the like so as to form a rhombus shape in cross section. It is a method of transporting the inspection body 2.

以上、本発明の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置について、第1実施形態から第3実施形態にかけて説明してきたが、各実施形態は、適宜組み合わせることができる。例えば、第1実施形態において図4(b)に示したエアブロア3aとセンサヘッド15の配置を、第2及び第3実施形態に適用することができる。つまり、第2実施形態におけるエアブロア3b〜3eを、そのエアの噴射方向は変えずに、センサヘッド15に対して通材方向の上流側に配置することもできる。また、第3実施形態における2つのエアブロア3aを、それらのエアの噴射方向は変えずに、組となっているセンサヘッド15に対して通材方向の上流側に配置することもできる。   As mentioned above, although the detection apparatus of the surface defect and the surface subcutaneous defect of this invention has been demonstrated from 1st Embodiment to 3rd Embodiment, each embodiment can be combined suitably. For example, the arrangement of the air blower 3a and the sensor head 15 shown in FIG. 4B in the first embodiment can be applied to the second and third embodiments. That is, the air blowers 3b to 3e in the second embodiment can be arranged upstream of the sensor head 15 in the material passing direction without changing the air injection direction. Moreover, the two air blowers 3a in 3rd Embodiment can also be arrange | positioned in the upstream of the material passing direction with respect to the sensor head 15 which is a group, without changing the injection direction of those air.

また、第2実施形態において図5(a)及び5(b)に示したエアブロア3b〜3e及びエアブロア3fを、第3実施形態に適用することもできる。つまり、第3実施形態における2つのエアブロア3aの代わりに、第2実施形態におけるエアブロア3b〜3eを、被検査体2の全周にわたって各検査面に対応するように配置することもできる。このときのエアブロア3b〜3eは、エアの噴射方向が、2つのエアブロア3aと同じ方向で、通材方向の下流側から上流側に向くように配置される。また、第3実施形態における2つのエアブロア3aの代わりに、第2実施形態におけるエアブロア3fを、2つのセンサヘッド15に対して通材方向の下流側に配置することもできる。このときのエアブロア3fは、エアの噴射方向が、2つのエアブロア3aと同じ方向で、通材方向の下流側から上流側に向くように配置される。   Moreover, the air blowers 3b to 3e and the air blower 3f shown in FIGS. 5A and 5B in the second embodiment can be applied to the third embodiment. That is, instead of the two air blowers 3a in the third embodiment, the air blowers 3b to 3e in the second embodiment can be arranged so as to correspond to each inspection surface over the entire circumference of the object 2 to be inspected. At this time, the air blowers 3b to 3e are arranged so that the air injection direction is the same as that of the two air blowers 3a and is directed from the downstream side to the upstream side in the material passing direction. Further, instead of the two air blowers 3a in the third embodiment, the air blowers 3f in the second embodiment can be arranged downstream of the two sensor heads 15 in the material passing direction. At this time, the air blower 3f is arranged so that the air injection direction is the same direction as the two air blowers 3a and is directed from the downstream side to the upstream side in the material passing direction.

これによって、第3実施形態においても、第2実施形態と同様に、被検査体2の全周にわたって表面波の伝播範囲にある粉塵等を除くことができ、欠陥以外の粉塵などからの反射波を低減することができる。
さらに各実施形態では、被検査体2の例として鋼片や棒鋼を開示しているが、これに限ることなく表面波が伝播できる材質のものであれば、例えば板状の部材や鍛造品でも被検査体2として適用することができる。
As a result, in the third embodiment, as in the second embodiment, dust and the like in the propagation range of the surface wave can be removed over the entire circumference of the inspection object 2, and reflected waves from dust and the like other than defects can be removed. Can be reduced.
Furthermore, in each embodiment, steel slabs and steel bars are disclosed as examples of the object to be inspected 2. However, the present invention is not limited to this, and any material that can propagate surface waves can be used. It can be applied as the inspection object 2.

1 表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置
2 被検査体
3a〜3e エアブロア
4 センサホルダ
5 工場エア供給部
6 接触媒質供給回収部
7 超音波探傷器
8 信号記録処理装置
9 エアノズル
10 探傷子
11 接触媒質供給管
12 接触媒質回収管
13 欠陥
14 磁粉探傷装置
15 センサヘッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Detection apparatus of surface defect and surface subcutaneous defect 2 Test object 3a-3e Air blower 4 Sensor holder 5 Factory air supply part 6 Contact medium supply collection part 7 Ultrasonic flaw detector 8 Signal recording processing apparatus 9 Air nozzle 10 Defect 11 Contact medium Supply pipe 12 Contact medium recovery pipe 13 Defect 14 Magnetic particle flaw detector 15 Sensor head

Claims (9)

被検査体に対して被検査体の表面直下を伝播する超音波を送出する送信部、及び送出された超音波のうち、少なくとも被検査体内の欠陥で反射して戻った超音波を受信する受信部を備えた探触子と、
前記送信部から送出される超音波の伝播方向にある被検査体の表面付着物を、前記伝播方向に対して略垂直方向へ除去する除去手段と、を具備することを特徴とする表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置。
A transmitter that transmits ultrasonic waves propagating directly under the surface of the object to be inspected, and reception of ultrasonic waves that are reflected and returned by at least a defect in the object to be inspected. A probe with a section,
A surface defect comprising: removal means for removing surface deposits on the object in the direction of propagation of the ultrasonic wave transmitted from the transmitter in a direction substantially perpendicular to the direction of propagation; and Detection device for surface subcutaneous defects.
被検査体が長尺物である際に、
前記探触子は、被検査体の周方向に超音波を送出するように配置されており、
前記除去手段は、被検査体の全周にわたって配備されていることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置。
When the object to be inspected is a long object,
The probe is arranged to send ultrasonic waves in the circumferential direction of the object to be inspected,
The apparatus for detecting a surface defect and a surface subcutaneous defect according to claim 1, wherein the removing unit is provided over the entire circumference of the object to be inspected.
前記探触子を2つ有しており、
該2つの探触子は、被検査体の長手方向において異なる位置に配置され、被検査対象の周方向において互いに対向する方向に超音波を送出することを特徴とする請求項1〜2のいずれかに記載の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置。
Having two of the probes,
The two probes are arranged at different positions in the longitudinal direction of the object to be inspected, and transmit ultrasonic waves in directions opposite to each other in the circumferential direction of the object to be inspected. An apparatus for detecting surface defects and surface subcutaneous defects according to claim 1.
前記除去手段は、被検査対象の探傷範囲に対して、前記探触子から送出された超音波の伝播方向に対して略垂直方向にエアを噴射するエア噴射手段であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置。   The removal means is an air injection means for injecting air in a direction substantially perpendicular to a propagation direction of an ultrasonic wave transmitted from the probe with respect to a flaw detection range to be inspected. Item 4. The apparatus for detecting a surface defect and a surface subcutaneous defect according to any one of Items 1 to 3. 超音波を用いて被検査体内の欠陥を検出する方法であって、
超音波の伝播方向にある被検査体の表面付着物を、前記伝播方向に対して略垂直方向へ除去し、
被検査体に対して、被検査体の表面直下を伝播する超音波を送出し、
被検査体に送出された超音波のうち、少なくとも被検査体内の欠陥で反射した超音波を受信することを特徴とする表面欠陥及び表面皮下欠陥検出方法。
A method for detecting defects in an inspected body using ultrasound,
The surface deposit on the object to be inspected in the ultrasonic propagation direction is removed in a direction substantially perpendicular to the propagation direction,
Sending ultrasonic waves propagating directly under the surface of the object to be inspected,
A method for detecting a surface defect and a surface subcutaneous defect, comprising: receiving at least an ultrasonic wave reflected by a defect in a body to be inspected among ultrasonic waves transmitted to the body to be inspected.
被検査体が長尺物である際に、
被検査体の周方向に超音波を送出し、
被検査体の全周にわたって同時に、前記伝播方向に対して略垂直方向へ、表面付着物を除去することを特徴とする請求項5に記載の表面欠陥及び表面皮下欠陥検出方法。
When the object to be inspected is a long object,
Sends out ultrasonic waves in the circumferential direction of the test object,
6. The surface defect and surface subcutaneous defect detection method according to claim 5, wherein surface deposits are removed in a direction substantially perpendicular to the propagation direction simultaneously over the entire circumference of the object to be inspected.
超音波の送出を開始する被検査体上の伝播方向前方に存する探傷範囲を、被検査体の長手方向へ移動させることを特徴とする請求項6に記載の表面欠陥及び表面皮下欠陥検出方法。   7. The surface defect and surface subcutaneous defect detection method according to claim 6, wherein a flaw detection range existing in front of a propagation direction on an inspection object where transmission of ultrasonic waves is started is moved in a longitudinal direction of the inspection object. 被検査体の長手方向における異なる位置から、被検査体の周方向において互いに対向する方向に超音波を送出することを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の表面欠陥及び表面皮下欠陥検出方法。   The surface defect and the surface subcutaneous defect according to any one of claims 5 to 7, wherein ultrasonic waves are transmitted from different positions in the longitudinal direction of the inspection object in directions opposite to each other in the circumferential direction of the inspection object. Detection method. 超音波の伝播方向に対して略垂直方向となるように、被検査対象の探傷範囲へエアを噴射することを特徴とする請求項5〜8のいずれかに記載の表面欠陥及び表面皮下欠陥検出方法。   The surface defect and the surface subcutaneous defect detection according to claim 5, wherein air is jetted to a flaw detection range of an inspection target so as to be substantially perpendicular to a propagation direction of ultrasonic waves. Method.
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