JP2011165276A - Method for manufacturing near-field optical head, near-field optical head and information recording and playback device - Google Patents

Method for manufacturing near-field optical head, near-field optical head and information recording and playback device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a near-field optical head while enhancing design flexibility and easily adjusting conditions of a distance between a near-field light generating element and a recording element and light intensity of near-field light and the like, as desired, to provide the near-field optical head and to provide an information recording and playback device. <P>SOLUTION: A core forming step includes a filling step for filling a liquid core material 50 in a recessed part 24c so that an exposed surface of the core material 50 is curved to an aperture surface of the recessed part 24c by surface tension with the recessed part 24c and a curing step for curing the core material 50 to form a core 23 having a curved surface 23c curved to the aperture surface. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、光束を集光した近接場光を利用して磁気記録媒体に各種の情報を記録再生する近接場光ヘッドの製造方法、近接場光ヘッド及び情報記録再生装置に関するものである。   The present invention relates to a near-field optical head manufacturing method, a near-field optical head, and an information recording / reproducing apparatus for recording and reproducing various kinds of information on a magnetic recording medium by using near-field light collected by a light beam.

近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の容量増加に伴い、単一記録面内における情報の記録密度が増加している。例えば、磁気ディスクの単位面積当たりの記録容量を多くするためには、面記録密度を高くする必要がある。ところが、記録密度が高くなるにつれて、記録媒体上で1ビット当たりの占める記録面積が小さくなっている。このビットサイズが小さくなると、1ビットの情報が持つエネルギーが、室温の熱エネルギーに近くなり、記録した情報が熱揺らぎ等のために反転したり、消えてしまったりする等の熱減磁の問題が生じてしまう。   In recent years, the recording density of information within a single recording surface has increased as the capacity of hard disks and the like in computer equipment has increased. For example, in order to increase the recording capacity per unit area of the magnetic disk, it is necessary to increase the surface recording density. However, as the recording density increases, the recording area occupied by one bit on the recording medium decreases. When this bit size is reduced, the energy of 1-bit information is close to that of room temperature, and the recorded information is reversed or lost due to thermal fluctuation, etc. Will occur.

一般的に用いられてきた面内記録方式では、磁化の方向が記録媒体の面内方向に向くように磁気を記録する方式であるが、この方式では上述した熱減磁による記録情報の消失等が起こり易い。そこで、このような不具合を解消するために、記録媒体に対して垂直な方向に磁化信号を記録する垂直記録方式に移行しつつある。この方式は、記録媒体に対して、単磁極を近づける原理で磁気情報を記録する方式である。この方式によれば、記録磁界が記録膜に対してほぼ垂直な方向を向く。垂直な磁界で記録された情報は、記録膜面内においてN極とS極とがループを作り難いため、エネルギー的に安定を保ち易い。そのため、この垂直記録方式は、面内記録方式に対して熱減磁に強くなっている。   In the in-plane recording method that has been generally used, the magnetism is recorded so that the direction of magnetization is in the in-plane direction of the recording medium. In this method, the recorded information is lost due to the thermal demagnetization described above. Is likely to occur. Therefore, in order to solve such a problem, a shift is being made to a perpendicular recording method in which a magnetization signal is recorded in a direction perpendicular to the recording medium. This method is a method for recording magnetic information on the principle of bringing a single magnetic pole closer to a recording medium. According to this method, the recording magnetic field is directed substantially perpendicular to the recording film. Information recorded by a perpendicular magnetic field is easy to maintain in energy stability because it is difficult for the N pole and the S pole to form a loop in the recording film surface. Therefore, this perpendicular recording method is more resistant to thermal demagnetization than the in-plane recording method.

しかしながら、近年の記録媒体は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものが記録媒体として採用され始めている。そのため、上述した垂直記録方式であっても、記録媒体に情報を記録することが困難になっていた。   However, recent recording media are required to have a higher density in response to the need to record and reproduce a larger amount and higher density information. For this reason, in order to minimize the influence of adjacent magnetic domains and thermal fluctuations, those having a strong coercive force have begun to be adopted as recording media. For this reason, it is difficult to record information on a recording medium even in the above-described perpendicular recording system.

そこで、上述した不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間に記録媒体への書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式の情報記録再生装置(記録再生ヘッド)が提供されている。特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。   Therefore, in order to eliminate the above-described problems, the coercive force is temporarily reduced by locally heating the magnetic domain using spot light that has collected light, or near-field light that has collected light, In the meantime, an information recording / reproducing apparatus (recording / reproducing head) of a hybrid magnetic recording system that performs writing on a recording medium is provided. In particular, when near-field light is used, it is possible to handle optical information in a region that is less than or equal to the wavelength of light, which is a limit in conventional optical systems. Therefore, it is possible to achieve a higher recording bit density than conventional information recording / reproducing apparatuses.

近接場光を利用した記録再生ヘッド(近接場光ヘッド)は、主磁極及び補助磁極を有する電磁コイル素子と、光ファイバからレーザ光を受けることにより近接場光を発生させる近接場光発生層とを主に備えている(例えば、特許文献1,2参照)。これら各構成品は、被覆層によって覆われた状態で、ビームの先端に固定されたスライダの側面上に、補助磁極、主磁極、近接場光発生層の順で取り付けられている。なお、被覆層は、光ファイバから出射されたレーザ光を近接場光発生層に導くための光導波路的な役割を果たす層を含み、異なる材料で形成された層が積層された多層構造とされている。   A recording / reproducing head (near-field optical head) using near-field light includes an electromagnetic coil element having a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole, and a near-field light generating layer that generates near-field light by receiving laser light from an optical fiber, (For example, refer to Patent Documents 1 and 2). Each of these components is attached in the order of the auxiliary magnetic pole, the main magnetic pole, and the near-field light generating layer on the side surface of the slider fixed to the tip of the beam while being covered with the coating layer. The coating layer includes a layer that serves as an optical waveguide for guiding the laser light emitted from the optical fiber to the near-field light generation layer, and has a multilayer structure in which layers formed of different materials are stacked. ing.

このように構成された記録再生ヘッドを利用する場合には、近接場光を発生させると同時に記録磁界を印加することで、記録媒体に各種の情報を記録している。すなわち、光ファイバからレーザ光を照射すると、このレーザ光が被覆層を伝播した後、近接場光発生層に達する。すると近接場光発生層は、内部の自由電子がレーザ光の電場によって一様に振動させられるのでプラズモンが励起されて先端部分に近接場光を発生させる。その結果、記録媒体の磁気記録層は、近接場光によって局所的に加熱され、一時的に保磁力が低下する。また、レーザ光の照射と同時に、電磁コイル素子に駆動電流を供給することで、主磁極に近接する記録媒体の磁気記録層に対して記録磁界を局所的に印加する。これにより、保磁力が一時的に低下した磁気記録層に各種の情報を記録することができる。つまり、近接場光の熱アシストと磁場との協働により、記録媒体への記録を行うことができる。   When the recording / reproducing head configured as described above is used, various information is recorded on the recording medium by generating a near-field light and simultaneously applying a recording magnetic field. That is, when laser light is irradiated from the optical fiber, the laser light propagates through the coating layer and then reaches the near-field light generating layer. Then, in the near-field light generating layer, the internal free electrons are uniformly vibrated by the electric field of the laser beam, so that the plasmon is excited and generates near-field light at the tip portion. As a result, the magnetic recording layer of the recording medium is locally heated by near-field light, and the coercive force temporarily decreases. Simultaneously with the laser light irradiation, a drive current is supplied to the electromagnetic coil element to locally apply a recording magnetic field to the magnetic recording layer of the recording medium close to the main magnetic pole. Thereby, various types of information can be recorded on the magnetic recording layer whose coercive force has temporarily decreased. That is, recording on a recording medium can be performed by cooperation between the thermal assist of the near-field light and the magnetic field.

特開2007−164935号公報JP 2007-164935 A 特開2007−164936号公報JP 2007-164936 A

ところで、近接場光を用いて精密、かつ効率的な熱アシストを行うためには、近接場光発生層と主磁極(電磁コイル素子)との距離や、近接場光の光強度等の条件を所望の条件に設定する必要がある。
しかしながら、従来の記録再生ヘッドでは、上述した各条件を調整することが難しく、設計の自由度が低いという問題がある。
By the way, in order to perform precise and efficient thermal assist using near-field light, conditions such as the distance between the near-field light generation layer and the main magnetic pole (electromagnetic coil element) and the light intensity of the near-field light are required. It is necessary to set the desired conditions.
However, the conventional recording / reproducing head has a problem that it is difficult to adjust the above-described conditions, and the degree of freedom in design is low.

そこで、本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、設計の自由度を向上させ、近接場光発生素子と記録素子との距離や、近接場光の光強度等の条件を所望の条件に簡単に調整できる近接場光ヘッドの製造方法、近接場光ヘッド及び情報記録再生装置を提供することである。   Therefore, the present invention has been made in view of such circumstances, and its purpose is to improve the degree of design freedom, the distance between the near-field light generating element and the recording element, and the light intensity of the near-field light. It is an object to provide a near-field optical head manufacturing method, a near-field optical head, and an information recording / reproducing apparatus that can easily adjust such conditions as desired conditions.

本発明は、上述した課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る近接場光ヘッドの製造方法は、一定方向に回転する磁気記録媒体側に向けて光束を伝播させる光束伝播素子と、前記光束から前記磁気記録媒体側に近接場光を発生させる近接場光発生素子と、前記磁気記録媒体に対して記録磁界を与える記録素子と、を有し、前記磁気記録媒体を前記近接場光によって加熱するとともに、前記磁気記録媒体に対して前記記録磁界を与えて磁化反転を生じさせ情報を記録させる近接場光ヘッドの製造方法であって、前記光束伝播素子は、前記光束を反射させながら前記磁気記録媒体の方向に導くコアと、前記コアを挟み込むように封止する第1クラッド及び第2クラッドと、を有し、前記第1クラッドを形成する第1クラッド形成工程と、前記第1クラッドにおける前記第2クラッドが配される表面に、厚さ方向に沿って凹部を形成する凹部形成工程と、前記凹部内に前記コアを形成するコア形成工程と、前記凹部に形成された前記コアの露出面上に、前記近接場光発生素子を形成する近接場光発生素子形成工程と、前記コアを封止するように、前記第1クラッドの前記表面側に前記第2クラッドを積層形成する第2クラッド形成工程と、前記第2クラッドを間に挟んで前記コアの反対側に前記記録素子を配置する記録素子配置工程と、を有し、前記コア形成工程は、前記凹部内に液体状のコア材を、前記凹部との表面張力により前記コア材の露出面が前記凹部の開口面に対して湾曲するように充填する充填工程と、前記コア材を硬化させて、前記開口面に対して湾曲形成された湾曲面を有する前記コアを形成する硬化工程と、を有していることを特徴とする。
The present invention provides the following means in order to solve the above-described problems.
A method of manufacturing a near-field optical head according to the present invention includes a light flux propagating element that propagates a light beam toward a magnetic recording medium rotating in a fixed direction, and a near-field light that generates near-field light from the light beam toward the magnetic recording medium. A field light generating element; and a recording element that applies a recording magnetic field to the magnetic recording medium. The magnetic recording medium is heated by the near-field light, and the recording magnetic field is applied to the magnetic recording medium. A method of manufacturing a near-field optical head for recording information by causing magnetization reversal, wherein the light flux propagation element sandwiches the core and a core that guides the magnetic recording medium while reflecting the light flux A first clad forming step for forming the first clad, and a table in which the second clad in the first clad is disposed. Forming a concave portion along the thickness direction, forming a core in the concave portion, and generating the near-field light on the exposed surface of the core formed in the concave portion. A near-field light generating element forming step of forming an element; a second clad forming step of stacking the second clad on the surface side of the first clad so as to seal the core; and the second clad A recording element disposing step of disposing the recording element on the opposite side of the core with a core interposed therebetween, wherein the core forming step includes a liquid core material in the recess and a surface tension with the recess. The filling step of filling the exposed surface of the core material so as to bend with respect to the opening surface of the recess, and the core having a curved surface formed by bending the core material to be curved with respect to the opening surface A curing step to form, And wherein the Rukoto.

この構成によれば、コア形成工程において、液体状のコア材を凹部内に充填することで、コア材における凹部からの露出面は凹部との表面張力により凹部の開口面に対して湾曲することになる。そして、この状態でコア材を硬化させることで、凹部の開口面に対して湾曲した湾曲面を有するコアを形成できる。この場合、コア材の表面張力によってコアの湾曲面の曲率半径が決定される。すなわち、コア上に配置される近接場光発生素子と記録素子との間の距離が湾曲面の曲率半径によって決定される。
また、コアを湾曲形成することで、コアを凹部の開口面と面一に形成する場合に比べて、湾曲面の法線方向と近接場光発生素子の面内方向との直交部分の面積(湾曲面と近接場光発生素子との界面の面積)を小さくできる。これにより、湾曲面と近接場光発生素子との界面において近接場光をより局在化させることができるので、近接場光の光強度を高めることができ、磁気記録媒体をより効率的に加熱できる。その結果、磁気記録密度の向上を図ることができる。この場合、上述したようにコア材の表面張力によってコアの湾曲面の曲率半径が決定されるので、湾曲面の法線方向と近接場光発生素子の面内方向との直交部分の面積が湾曲面の曲率半径によって決定される。すなわち、近接場光の光強度が湾曲面の曲率半径によって決定される。
このように、コア材の表面張力によって近接場光発生素子と記録素子との距離や、近接場光の光強度等の条件を製造段階で決定できるので、設計の自由度を向上させ、所望の条件の近接場光ヘッドを簡単に製造できる。
According to this configuration, in the core forming step, the liquid core material is filled in the recess, so that the exposed surface of the core material from the recess is curved with respect to the opening surface of the recess due to surface tension with the recess. become. And the core which has a curved surface curved with respect to the opening surface of a recessed part can be formed by hardening a core material in this state. In this case, the radius of curvature of the curved surface of the core is determined by the surface tension of the core material. That is, the distance between the near-field light generating element disposed on the core and the recording element is determined by the curvature radius of the curved surface.
In addition, by forming the core in a curved shape, the area of the orthogonal portion between the normal direction of the curved surface and the in-plane direction of the near-field light generating element (compared to the case where the core is formed flush with the opening surface of the recess) (Area of the interface between the curved surface and the near-field light generating element) can be reduced. As a result, the near-field light can be more localized at the interface between the curved surface and the near-field light generating element, so that the light intensity of the near-field light can be increased and the magnetic recording medium can be heated more efficiently. it can. As a result, the magnetic recording density can be improved. In this case, since the radius of curvature of the curved surface of the core is determined by the surface tension of the core material as described above, the area of the orthogonal portion between the normal direction of the curved surface and the in-plane direction of the near-field light generating element is curved. Determined by the radius of curvature of the surface. That is, the light intensity of near-field light is determined by the curvature radius of the curved surface.
As described above, conditions such as the distance between the near-field light generating element and the recording element and the light intensity of the near-field light can be determined at the manufacturing stage depending on the surface tension of the core material. Conditional near-field optical head can be easily manufactured.

また、前記充填工程は、前記コア材の温度を調整することで前記コア材における前記凹部との表面張力を調整する表面張力調整工程を有していることを特徴とする。
この構成によれば、コア材を硬化させる前にコア材の温度を調整することで、コア材における凹部との表面張力を調整できる。すなわち、コアの湾曲面の曲率半径を製造段階で調整して、近接場光発生素子と記録素子との距離や、近接場光の光強度等の条件を所望の条件に設定できるので、設計の自由度をより向上できる。
Further, the filling step includes a surface tension adjusting step of adjusting a surface tension of the core material with the concave portion by adjusting a temperature of the core material.
According to this configuration, the surface tension of the core material with the recess can be adjusted by adjusting the temperature of the core material before the core material is cured. That is, the radius of curvature of the curved surface of the core can be adjusted at the manufacturing stage, and the conditions such as the distance between the near-field light generating element and the recording element and the light intensity of the near-field light can be set to desired conditions. The degree of freedom can be further improved.

また、前記表面張力調整工程では、前記コア材の前記露出面を前記開口面に対して凸状に湾曲させることを特徴とする。
この構成によれば、コア材の露出面を凹部の開口面に対して凸状に湾曲させることで、凹部から凸状に湾曲する湾曲面を有するコアを形成できる。この場合、コアを凹部の開口面と面一に形成する場合に比べて、近接場光発生素子と記録素子との間の距離を縮小できる。そのため、近接場光を記録素子に接近させた状態で発生させることができる。その結果、記録磁界が印加される場所と、近接場光により加熱される場所とが接近することにより、近接場光によって精密かつ効率的に熱アシストを行うことができ、磁気記録密度の向上を図ることができる。
また、コアを凹部の開口面と面一に形成する場合に比べて、湾曲面の法線方向と近接場光発生素子の面内方向との直交部分の面積を小さくできる。これにより、湾曲面と近接場光発生素子との界面において近接場光をより局在化させることができるので、近接場光の光強度を高めることができる。
In the surface tension adjusting step, the exposed surface of the core material is curved in a convex shape with respect to the opening surface.
According to this structure, the core which has the curved surface which curves in a convex shape from a recessed part can be formed by curving the exposed surface of a core material convexly with respect to the opening surface of a recessed part. In this case, the distance between the near-field light generating element and the recording element can be reduced as compared with the case where the core is formed flush with the opening surface of the recess. For this reason, the near-field light can be generated in a state of being brought close to the recording element. As a result, the place where the recording magnetic field is applied and the place heated by the near-field light approach each other, so that the near-field light can accurately and efficiently perform the heat assist, thereby improving the magnetic recording density. Can be planned.
Further, the area of the orthogonal portion between the normal direction of the curved surface and the in-plane direction of the near-field light generating element can be reduced as compared with the case where the core is formed flush with the opening surface of the recess. Thereby, near-field light can be more localized at the interface between the curved surface and the near-field light generating element, so that the light intensity of the near-field light can be increased.

また、前記表面張力調整工程では、前記コア材の前記露出面を前記開口面に対して凹状に湾曲させることを特徴とする。
この構成によれば、コア材の露出面を凹部の開口面に対して凹状に湾曲させることで、凹部から凹状に湾曲する湾曲面を有するコアを形成できる。この場合、第2クラッド形成工程において、第2クラッドが凹部内に入り込むことになる。そのため、コアを凹部の開口面と面一に形成する場合に比べて、凹部の開口面から記録素子までの距離(第2クラッドの厚さ)を縮小できる。すなわち、近接場光発生素子と記録素子との距離を変化させずに、第2クラッドの厚さを薄くできる。そのため、光伝播素子の薄型化を図り、ひいては近接場光ヘッドのコンパクト化を図ることができる。
また、コアを凹部の開口面と面一に形成する場合に比べて、露出面の法線方向と近接場光発生素子の面内方向との直交部分の面積を小さくできる。これにより、湾曲面と近接場光発生素子との界面において近接場光をより局在化させることができるので、近接場光の光強度を高めることができる。
In the surface tension adjusting step, the exposed surface of the core material is curved in a concave shape with respect to the opening surface.
According to this structure, the core which has a curved surface which curves in a concave shape from a recessed part can be formed by curving the exposed surface of a core material concavely with respect to the opening surface of a recessed part. In this case, the second clad enters the recess in the second clad forming step. Therefore, compared to the case where the core is formed flush with the opening surface of the recess, the distance from the opening surface of the recess to the recording element (the thickness of the second cladding) can be reduced. That is, the thickness of the second cladding can be reduced without changing the distance between the near-field light generating element and the recording element. Therefore, it is possible to reduce the thickness of the light propagating element and to reduce the size of the near-field optical head.
Further, the area of the orthogonal portion between the normal direction of the exposed surface and the in-plane direction of the near-field light generating element can be reduced as compared with the case where the core is formed flush with the opening surface of the recess. Thereby, near-field light can be more localized at the interface between the curved surface and the near-field light generating element, so that the light intensity of the near-field light can be increased.

また、本発明に係る近接場光ヘッドは、上記本発明の近接場光ヘッドの製造方法を用いて製造された記録再生ヘッドにおいて、前記湾曲面は前記開口面に対して凹状に湾曲形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、第2クラッドが凹部内に入り込むことになるので、コアを凹部の開口面と面一に形成する場合に比べて、凹部の開口面から記録素子までの距離(第2クラッドの厚さ)を縮小できる。すなわち、近接場光発生素子と記録素子との距離を変化させずに、第2クラッドの厚さを薄くできる。そのため、光伝播素子の薄型化を図り、ひいては近接場光ヘッドのコンパクト化を図ることができる。
Further, the near-field optical head according to the present invention is a recording / reproducing head manufactured using the method for manufacturing a near-field optical head according to the present invention, wherein the curved surface is formed in a concave shape with respect to the opening surface. It is characterized by being.
According to this configuration, since the second cladding enters the recess, the distance from the opening surface of the recess to the recording element (the second cladding) as compared with the case where the core is formed flush with the opening surface of the recess. Thickness) can be reduced. That is, the thickness of the second cladding can be reduced without changing the distance between the near-field light generating element and the recording element. Therefore, it is possible to reduce the thickness of the light propagating element and to reduce the size of the near-field optical head.

また、本発明に係る情報記録再生装置は、上記本発明の近接場光ヘッドと、前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、前記磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する2軸回りに回動自在な状態で前記近接場光ヘッドを先端側で支持するビームと、前記光束導入手段に対して前記光束を入射させる光源と、前記ビームの基端側を支持するとともに、前記ビームを前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるアクチュエータと、前記磁気記録媒体を前記一定方向に回転させる回転駆動部と、前記光源の作動を制御する制御部と、を備えていることを特徴とする。
この構成によれば、上記本発明の近接場光ヘッドを備えているので、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応することができ、高品質化を図ることができる。
An information recording / reproducing apparatus according to the present invention is movable in a direction parallel to the surface of the magnetic recording medium and the near-field optical head of the present invention, and is parallel to the surface of the magnetic recording medium and orthogonal to each other. A beam that supports the near-field optical head on the tip side while being rotatable about two axes, a light source that makes the light beam incident on the light beam introducing means, and a base end side of the beam. An actuator that moves the beam in a direction parallel to the surface of the magnetic recording medium, a rotation drive unit that rotates the magnetic recording medium in the fixed direction, and a control unit that controls the operation of the light source. It is characterized by having.
According to this configuration, since the near-field optical head of the present invention is provided, writing reliability is high, high-density recording can be supported, and high quality can be achieved.

本発明に係る近接場光ヘッドの製造方法及び近接場光ヘッドによれば、近接場光発生素子と記録素子との距離や、近接場光の光強度等の条件を所望の条件に簡単に調整でき、精密で効率的な熱アシストを行うことができる。
本発明に係る情報記録再生装置によれば、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応することができ、高品質化を図ることができる。
According to the method of manufacturing a near-field light head and the near-field light head according to the present invention, the conditions such as the distance between the near-field light generating element and the recording element, the light intensity of the near-field light, and the like can be easily adjusted to desired conditions. It is possible to perform precise and efficient heat assist.
The information recording / reproducing apparatus according to the present invention has high writing reliability, can cope with high density recording, and can achieve high quality.

本発明の実施形態における情報記録再生装置の構成図である。It is a block diagram of the information recording / reproducing apparatus in embodiment of this invention. 第1実施形態における記録再生ヘッドの拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the recording / reproducing head in 1st Embodiment. 第1実施形態における記録再生ヘッドの流出端側の側面を拡大した断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a side surface on the outflow end side of the recording / reproducing head in the first embodiment. 図3のA矢視図である。It is A arrow directional view of FIG. 図3のB矢視図である。FIG. 4 is a view taken in the direction of arrow B in FIG. 3. レーザ光源の周辺を拡大した図である。It is the figure which expanded the periphery of a laser light source. 記録再生ヘッドの製造方法を示す工程図であり、図5に相当する平面図である。FIG. 6 is a process diagram illustrating a method for manufacturing a recording / reproducing head, and is a plan view corresponding to FIG. 5. 記録再生ヘッドの製造方法を示す工程図であり、図5に相当する平面図である。FIG. 6 is a process diagram illustrating a method for manufacturing a recording / reproducing head, and is a plan view corresponding to FIG. 5. 情報記録再生装置により情報を記録再生する際の説明図であって、図3に相当する拡大断面図である。It is explanatory drawing at the time of recording / reproducing information with an information recording / reproducing apparatus, Comprising: It is an expanded sectional view corresponded in FIG. 第2実施形態における記録再生ヘッドの製造方法を示す工程図であり、図5に相当する平面図である。FIG. 6D is a process diagram showing a recording / reproducing head manufacturing method according to a second embodiment, and is a plan view corresponding to FIG. 5. 第2実施形態における記録再生ヘッドの拡大平面図である。FIG. 6 is an enlarged plan view of a recording / reproducing head in a second embodiment. 第2実施形態の変形例における記録再生ヘッドの製造方法を示す工程図であり、図5に相当する平面図である。FIG. 10 is a process diagram illustrating a method of manufacturing a recording / reproducing head in a modification of the second embodiment, and is a plan view corresponding to FIG. 5. 第2実施形態の変形例における記録再生ヘッドの拡大平面図である。It is an enlarged plan view of a recording / reproducing head in a modification of the second embodiment. 第3実施形態における記録再生ヘッドの拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the recording / reproducing head in 3rd Embodiment. 図14のE矢視図である。It is E arrow line view of FIG. 情報記録再生装置により情報を記録再生する際の説明図であって、図14に相当する拡大断面図である。It is explanatory drawing at the time of recording / reproducing information with an information recording / reproducing apparatus, Comprising: It is an expanded sectional view corresponded in FIG. 情報記録再生装置により情報を記録再生する際の説明図であって、図15に相当する拡大断面図である。It is explanatory drawing at the time of recording / reproducing information with an information recording / reproducing apparatus, Comprising: It is an expanded sectional view corresponded in FIG. 第3実施形態の変形例を示す図15に相当する拡大平面図である。FIG. 16 is an enlarged plan view corresponding to FIG. 15 showing a modification of the third embodiment.

(第1実施形態)
次に、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態の情報記録再生装置1は、垂直記録層d2を有するディスク(磁気記録媒体)Dに対して、近接場光Rと記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式によりディスクDに記録再生を行う装置である(図2参照)。
(First embodiment)
Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
Note that the information recording / reproducing apparatus 1 of the present embodiment uses the hybrid magnetic recording method in which the near-field light R and the recording magnetic field cooperate with the disk D (magnetic recording medium) D having the perpendicular recording layer d2. This is an apparatus for recording and reproducing (see FIG. 2).

(情報記録再生装置)
図1は情報記録再生装置の構成図である。
本実施形態の情報記録再生装置1は、図1に示すように、記録再生ヘッド2と、記録再生ヘッド2を支持するビーム3と、記録再生ヘッド2にレーザ光(光束)L(図2参照)を入射させる光束入射機構4と、ビーム3を移動させるアクチュエータ5と、ディスクDを一定方向に回転させるスピンドルモータ(回転駆動部)6と、上述した各構成品を総合的に制御する制御部8と、各構成品を内部に収容するハウジング9と、を備えている。
(Information recording / reproducing device)
FIG. 1 is a block diagram of an information recording / reproducing apparatus.
As shown in FIG. 1, the information recording / reproducing apparatus 1 of the present embodiment includes a recording / reproducing head 2, a beam 3 that supports the recording / reproducing head 2, and a laser beam (light beam) L (see FIG. 2). ), An actuator 5 that moves the beam 3, a spindle motor (rotation drive unit) 6 that rotates the disk D in a fixed direction, and a control unit that comprehensively controls each of the above-described components. 8 and a housing 9 that accommodates each component therein.

ハウジング9は、アルミニウム等の金属材料により、上面視四角形状に形成されているとともに、内側に各構成品を収容する凹部9aが形成されている。また、このハウジング9には、凹部9aの開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。凹部9aの略中心には、スピンドルモータ6が取り付けられており、スピンドルモータ6に中心孔を嵌め込むことでディスクDが着脱自在に固定される。なお、本実施形態では、3枚のディスクDがスピンドルモータ6に固定されている場合を例に挙げて説明している。但し、ディスクDの数は3枚に限定されるものではない。   The housing 9 is made of a metal material such as aluminum and has a quadrangular shape when viewed from above, and a recess 9a for accommodating each component is formed inside. Further, a lid (not shown) is detachably fixed to the housing 9 so as to close the opening of the recess 9a. A spindle motor 6 is attached to substantially the center of the recess 9a, and the disc D is detachably fixed by fitting a center hole into the spindle motor 6. In the present embodiment, the case where three disks D are fixed to the spindle motor 6 is described as an example. However, the number of disks D is not limited to three.

凹部9aの隅角部には、アクチュエータ5が取り付けられている。このアクチュエータ5には、軸受10を介してキャリッジ11が取り付けられている。キャリッジ11は、例えば金属材を切削加工によって形成されたものであり、軸受10を介してアクチュエータ5に固定される基端部11aから先端に向かう部分が3枚のディスクDの上面に配置されるように3層構造となっている。つまり、キャリッジ11を側面から見た時に、E型になるように形成されている。そして、3層に分かれたキャリッジ11の各先端には、ビーム3の基端側が固定されている。よって、アクチュエータ5は、キャリッジ11を介してビーム3の基端側を支持しており、ビーム3をディスク面(磁気記録媒体の表面)D1に平行なXY方向に向けてスキャン移動させることができるようになっている。   An actuator 5 is attached to the corner of the recess 9a. A carriage 11 is attached to the actuator 5 via a bearing 10. The carriage 11 is formed by cutting, for example, a metal material, and a portion from the base end portion 11 a fixed to the actuator 5 via the bearing 10 toward the front end is disposed on the upper surface of the three disks D. Thus, it has a three-layer structure. That is, it is formed so as to be E-shaped when the carriage 11 is viewed from the side. The proximal end side of the beam 3 is fixed to each distal end of the carriage 11 divided into three layers. Therefore, the actuator 5 supports the base end side of the beam 3 via the carriage 11 and can scan and move the beam 3 in the XY directions parallel to the disk surface (the surface of the magnetic recording medium) D1. It is like that.

ビーム3は、上述したようにアクチュエータ5によってキャリッジ11とともにXY方向に移動可能とされているとともに、ディスク面D1に平行で且つ互いに直交する2軸(X軸、Y軸)回りに回動自在な状態で記録再生ヘッド2を先端側で支持している。なお、ビーム3及びキャリッジ11は、ディスクDの回転停止時にアクチュエータ5の駆動によって、ディスクD上から退避するようになっている。   The beam 3 is movable in the XY direction together with the carriage 11 by the actuator 5 as described above, and is rotatable about two axes (X axis, Y axis) parallel to the disk surface D1 and orthogonal to each other. In this state, the recording / reproducing head 2 is supported on the tip side. The beam 3 and the carriage 11 are retracted from the disk D by driving the actuator 5 when the rotation of the disk D is stopped.

(記録再生ヘッド)
図2は記録再生ヘッドの拡大断面図であり、図3は記録再生ヘッドの流出端側の側面を拡大した断面図である。
記録再生ヘッド2は、図2,図3に示すように、レーザ光Lから生成した近接場光Rを利用して回転するディスクDに各種の情報を記録再生するヘッドである。記録再生ヘッド2は、ディスク面D1から所定距離Hだけ浮上した状態でディスクDに対向配置されたスライダ20と、ディスクDに情報を記録する記録素子21と、ディスクDに記録されている情報を再生する再生素子22と、導入されたレーザ光Lから近接場光R(図9参照)を発生させる近接場光発生素子26とを備えている。また、本実施形態の記録再生ヘッド2は、コア23とクラッド24とからなる光束伝播素子25を備えている。
(Recording / reproducing head)
FIG. 2 is an enlarged sectional view of the recording / reproducing head, and FIG. 3 is an enlarged sectional view of the side surface on the outflow end side of the recording / reproducing head.
As shown in FIGS. 2 and 3, the recording / reproducing head 2 is a head that records and reproduces various information on a rotating disk D using near-field light R generated from laser light L. The recording / reproducing head 2 includes a slider 20 that is opposed to the disk D in a state of floating a predetermined distance H from the disk surface D1, a recording element 21 that records information on the disk D, and information recorded on the disk D. A reproducing element 22 for reproducing and a near-field light generating element 26 for generating near-field light R (see FIG. 9) from the introduced laser light L are provided. Further, the recording / reproducing head 2 of this embodiment includes a light flux propagation element 25 including a core 23 and a clad 24.

スライダ20は、石英ガラス等の光透過性材料や、AlTiC(アルチック)等のセラミック等によって直方体状に形成されている。このスライダ20は、ディスクDに対向する対向面20aを有しており、ジンバル部30(図2参照)を介してビーム3の先端にぶら下がるように支持されている。このジンバル部30は、X軸回り及びY軸回りにのみ変位するように動きが規制された部品である。これによりスライダ20は、上述したようにディスク面D1に平行で且つ互いに直交する2軸(X軸、Y軸)回りに回動自在とされている。   The slider 20 is formed in a rectangular parallelepiped shape from a light transmissive material such as quartz glass, a ceramic such as AlTiC (altic), or the like. The slider 20 has a facing surface 20a facing the disk D, and is supported so as to hang from the tip of the beam 3 via a gimbal portion 30 (see FIG. 2). The gimbal portion 30 is a component whose movement is restricted so as to be displaced only around the X axis and around the Y axis. As a result, the slider 20 is rotatable about two axes (X axis and Y axis) that are parallel to the disk surface D1 and orthogonal to each other as described above.

また対向面20aには、回転するディスクDによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる凸条部20bが形成されている。この凸条部20bは、長手方向(X方向)に沿って延びるように形成されており、レール状に並ぶように間隔を空けて左右(Y方向)に2つ形成されている。但し、凸条部20bはこの場合に限定されるものではなく、スライダ20をディスク面D1から離そうとする正圧とスライダ20をディスク面D1に引き付けようとする負圧とを調整して、スライダ20を最適な状態で浮上させるように設計されていれば、どのような凹凸形状でも構わない。なお、この凸条部20bの表面はABS(Air Bearing Surface)20cと呼ばれている。   Further, on the facing surface 20a, there is formed a ridge portion 20b that generates a pressure for rising from the viscosity of the air flow generated by the rotating disk D. The ridges 20b are formed so as to extend along the longitudinal direction (X direction), and two are formed on the left and right sides (Y direction) at intervals so as to be arranged in a rail shape. However, the ridge portion 20b is not limited to this case, and adjusts a positive pressure for separating the slider 20 from the disk surface D1 and a negative pressure for attracting the slider 20 to the disk surface D1, Any uneven shape may be used as long as the slider 20 is designed to float in an optimal state. The surface of the ridge portion 20b is called an ABS (Air Bearing Surface) 20c.

そしてスライダ20は、この2つの凸条部20bによってディスク面D1から浮上する力を受けている。一方、ビーム3はディスク面D1に垂直なZ方向に撓むようになっており、スライダ20の浮上力を吸収している。つまり、スライダ20は、浮上した際にビーム3によってディスク面D1側に押さえ付けられる力を受けている。よってスライダ20は、この両者の力のバランスによって、上述したようにディスク面D1から所定距離H離間した状態で浮上するようになっている。しかもスライダ20は、ジンバル部30によってX軸回り及びY軸回りに回動するようになっているので、常に姿勢が安定した状態で浮上するようになっている。
なお、ディスクDの回転に伴って生じる空気流は、スライダ20の流入端側(ビーム3のX方向基端側)から流入した後、ABS20cに沿って流れ、スライダ20の流出端側(ビーム3のX方向先端側)から抜けている。
The slider 20 receives a force that rises from the disk surface D1 by the two ridges 20b. On the other hand, the beam 3 is bent in the Z direction perpendicular to the disk surface D1, and absorbs the flying force of the slider 20. That is, the slider 20 receives a force pressed against the disk surface D1 side by the beam 3 when it floats. Therefore, the slider 20 floats in a state of being separated from the disk surface D1 by a predetermined distance H as described above due to the balance between the forces of the two. Moreover, since the slider 20 is rotated about the X axis and the Y axis by the gimbal portion 30, it always floats in a state where the posture is stable.
The air flow generated by the rotation of the disk D flows from the inflow end side (the X direction base end side of the beam 3) of the slider 20 and then flows along the ABS 20c, and flows out of the slider 20 (the beam 3). From the X direction tip side).

記録素子21は、図3に示すように、ディスクDに記録磁界を作用させて情報を記録する素子であって、スライダ20の流出端側の側面(先端面)に固定された補助磁極31と、磁気回路32を介して補助磁極31に接続され、ディスクDに対して垂直な記録磁界を補助磁極31との間で発生させる主磁極33と、磁気回路32を中心として磁気回路32の周囲を螺旋状に巻回するコイル34とを備えている。つまり、スライダ20の流出端側から順に、補助磁極31、磁気回路32、コイル34、主磁極33が並んだ状態で配置されている。   As shown in FIG. 3, the recording element 21 is an element that records information by applying a recording magnetic field to the disk D, and includes an auxiliary magnetic pole 31 fixed to a side surface (tip surface) on the outflow end side of the slider 20. The main magnetic pole 33 is connected to the auxiliary magnetic pole 31 via the magnetic circuit 32 and generates a recording magnetic field perpendicular to the disk D between the auxiliary magnetic pole 31 and the magnetic circuit 32 around the magnetic circuit 32. And a coil 34 wound spirally. That is, the auxiliary magnetic pole 31, the magnetic circuit 32, the coil 34, and the main magnetic pole 33 are arranged in order from the outflow end side of the slider 20.

両磁極31、33及び磁気回路32は、磁束密度が高い高飽和磁束密度(Bs)材料(例えば、CoNiFe合金、CoFe合金等)により形成されている。また、コイル34は、ショートしないように、隣り合うコイル線間、磁気回路32との間、両磁極31、33との間に隙間が空くように配置されており、この状態で絶縁体35によってモールドされている。そして、コイル34は、情報に応じて変調された電流が制御部8から供給されるようになっている。すなわち、磁気回路32及びコイル34は、全体として電磁石を構成している。なお、主磁極33及び補助磁極31は、ディスクDに対向する端面(Z方向端面)がスライダ20のABS20cと面一となるように設計されている。   Both the magnetic poles 31 and 33 and the magnetic circuit 32 are made of a high saturation magnetic flux density (Bs) material (for example, a CoNiFe alloy, a CoFe alloy, etc.) having a high magnetic flux density. The coil 34 is arranged so that there is a gap between adjacent coil wires, between the magnetic circuit 32 and between the magnetic poles 31 and 33 so as not to be short-circuited. Molded. The coil 34 is supplied with a current modulated according to information from the control unit 8. That is, the magnetic circuit 32 and the coil 34 constitute an electromagnet as a whole. The main magnetic pole 33 and the auxiliary magnetic pole 31 are designed such that the end face (Z-direction end face) facing the disk D is flush with the ABS 20c of the slider 20.

図4は図3のA矢視図であり、図5は図3のB矢視図である。
光束伝播素子25は、図3から図5に示すように、レーザ光Lの入射側(Z方向一端側)がスライダ20の上方を向くとともに、出射側(Z方向他端側)がディスクD側を向いた状態で、記録素子21の主磁極33のX方向側に隣接して固定されている。この光束伝播素子25は、一端側から導入されたレーザ光LをディスクDに対向する他端側に伝播させるコア23と、コア23に密着するクラッド24とから構成されており、全体として略板状に形成されている。
4 is a view as seen from an arrow A in FIG. 3, and FIG. 5 is a view as seen from an arrow B in FIG.
As shown in FIGS. 3 to 5, the light beam propagation element 25 has an incident side (one end side in the Z direction) of the laser light L facing upward of the slider 20 and an emission side (the other end side in the Z direction) on the disk D side. In the state of facing, is fixed adjacent to the X direction side of the main magnetic pole 33 of the recording element 21. The light flux propagation element 25 is composed of a core 23 for propagating the laser light L introduced from one end side to the other end side facing the disk D, and a clad 24 in close contact with the core 23. It is formed in a shape.

コア23は、一端側から他端側にかけて漸次絞り成形されており、レーザ光Lを内部で徐々に集光させながら伝播させることができるようになっている。具体的に、コア23は一端側から反射面23aと、光束集光部23bと、近接場光生成部23gとを有し、レーザ光Lの光軸方向から見て扇形状に形成されている。なお、本実施形態のコア23を形成する材料としては、紫外線硬化性の樹脂材料を用いることが好ましい。   The core 23 is gradually drawn from one end side to the other end side so that the laser beam L can be propagated while being gradually condensed inside. Specifically, the core 23 has a reflecting surface 23a, a light beam condensing unit 23b, and a near-field light generating unit 23g from one end side, and is formed in a fan shape when viewed from the optical axis direction of the laser light L. . In addition, as a material which forms the core 23 of this embodiment, it is preferable to use an ultraviolet curable resin material.

反射面23aは、後述する光導波路42から導入されたレーザ光Lを導入方向とは異なる方向に反射させるものである。本実施形態では、レーザ光Lの向きが略90度変わるように反射させている。この反射面23aによって光導波路42から導入されたレーザ光Lは、コア23内で全反射を繰り返しながら他端側に向けて伝播する。
光束集光部23bは、一端側から他端側に向かう長手方向(Z方向)に直交する断面積(XY方向の断面積)が漸次減少するように絞り成形された部分であり、導入されたレーザ光Lを集光させながら他端側に向けて伝播させている。つまり、光束集光部23bに導入されたレーザ光Lのスポットサイズを、徐々に小さいサイズに絞ることができるようになっている。
近接場光生成部23gは、光束集光部23bの端部から他端側に向けてさらに絞り成形された部分である。具体的には、コア23の他端側の近傍において、内部を伝播するレーザ光Lの光軸(Z方向)に対して傾斜した状態で再生素子21に対向するように形成された傾斜面23hによって絞り成形されている。この傾斜面23hによって、コア23は他端側が尖形した状態となっている。
The reflection surface 23a reflects laser light L introduced from an optical waveguide 42 described later in a direction different from the introduction direction. In the present embodiment, the direction of the laser beam L is reflected so as to change approximately 90 degrees. The laser light L introduced from the optical waveguide 42 by the reflecting surface 23a propagates toward the other end side while repeating total reflection in the core 23.
The light beam condensing part 23b is a portion formed by drawing so that the cross-sectional area (cross-sectional area in the XY direction) perpendicular to the longitudinal direction (Z direction) from one end side to the other end side gradually decreases. The laser light L is condensed and propagated toward the other end side. That is, the spot size of the laser beam L introduced into the light beam condensing unit 23b can be gradually reduced to a smaller size.
The near-field light generating part 23g is a part that is further drawn from the end of the light beam condensing part 23b toward the other end. Specifically, in the vicinity of the other end side of the core 23, an inclined surface 23h formed so as to face the reproducing element 21 while being inclined with respect to the optical axis (Z direction) of the laser light L propagating inside. Is drawn. Due to the inclined surface 23h, the core 23 is pointed on the other end side.

なお、本実施形態では、光束集光部23b及び近接場光生成部23gが3つの側面を有するように形成されており、そのうちの1つの側面がクラッド24(基端側クラッド24a)を間に挟んで主磁極33に対向配置されるようになっている。この場合、主磁極33との対向面が主磁極33に向かって凸状に湾曲する湾曲面23cに形成され、湾曲面23cの周方向両端側から再生素子22に向かって先細る平坦面23dに形成されることで、コア23はレーザ光Lの光軸方向から見て扇形状に形成されている。そのため、図5に示すように、近接場光生成部23gの他端側で外部に露出する端面23eが扇形状に形成されている。また、この端面23eはスライダ20のABS20cと面一となるように設計されている。なお、湾曲面23cの曲率半径は、R0に形成されている。   In the present embodiment, the light beam condensing unit 23b and the near-field light generating unit 23g are formed to have three side surfaces, and one of the side surfaces has the clad 24 (base end side clad 24a) therebetween. It is arranged so as to face the main magnetic pole 33 with being sandwiched. In this case, a surface facing the main magnetic pole 33 is formed on a curved surface 23c that curves convexly toward the main magnetic pole 33, and a flat surface 23d that tapers toward the reproducing element 22 from both ends in the circumferential direction of the curved surface 23c. By being formed, the core 23 is formed in a fan shape when viewed from the optical axis direction of the laser beam L. Therefore, as shown in FIG. 5, the end surface 23e exposed to the outside on the other end side of the near-field light generating unit 23g is formed in a fan shape. The end face 23e is designed to be flush with the ABS 20c of the slider 20. The radius of curvature of the curved surface 23c is formed as R0.

クラッド24は、図3,図4に示すように、コア23よりも屈折率が低い材料で形成されており、コア23の一端側と他端側の端面23eとを外部に露出させた状態でコア23の側面(湾曲面23c)に密着して、コア23を内部に封止している。具体的に、クラッド24は、コア23と記録素子21(主磁極33)との間でコア23の湾曲面23c側を覆うように形成された基端側クラッド(第2クラッド)24aと、コア23と再生素子22との間で平坦面23d側を覆うように形成された先端側クラッド(第1クラッド)24bとを備えている。このように、基端側クラッド24a及び先端側クラッド24bがコア23の側面に密着しているので、コア23とクラッド24との間に隙間が生じないようになっている。   3 and 4, the clad 24 is formed of a material having a refractive index lower than that of the core 23, and the end surface 23e on one end side and the other end side of the core 23 is exposed to the outside. In close contact with the side surface (curved surface 23c) of the core 23, the core 23 is sealed inside. Specifically, the clad 24 includes a base-side clad (second clad) 24a formed between the core 23 and the recording element 21 (main magnetic pole 33) so as to cover the curved surface 23c side of the core 23, and the core. A front end side clad (first clad) 24b formed so as to cover the flat surface 23d side. As described above, the base end side clad 24 a and the front end side clad 24 b are in close contact with the side surface of the core 23, so that no gap is generated between the core 23 and the clad 24.

図5に示すように、近接場光発生素子26は、例えば金(Au)や白金(Pt)、アルミニウム(Al)等からなる金属膜であり、近接場光生成部23gの湾曲面23c上に形成されている。すなわち、近接場光発生素子26は、基端側クラッド24aを間に挟んで主磁極33に対向配置されている。近接場発光素子26は、コア23内を伝播してきたレーザ光Lから近接場光Rを発生させ、近接場光Rを光束伝播素子25の他端側とディスクDとの間に局在化させるものである。なお、本実施形態において、近接場光発生素子26と主磁極33との間の距離はd0に設定されている。
また、本実施形態のレーザ光Lの偏光方向は、ディスクDに対して平行な直線偏光となるように調整されている(図5中矢印P方向)。そのため、レーザ光Lの偏光方向は、近接場光生成部23gにレーザ光Lが達したときに、近接場光発生素子26の厚さ方向(X方向)に一致するようになっている。
As shown in FIG. 5, the near-field light generating element 26 is a metal film made of, for example, gold (Au), platinum (Pt), aluminum (Al), or the like, and is formed on the curved surface 23c of the near-field light generating unit 23g. Is formed. That is, the near-field light generating element 26 is disposed to face the main magnetic pole 33 with the proximal end side cladding 24a interposed therebetween. The near-field light emitting element 26 generates near-field light R from the laser light L propagating in the core 23 and localizes the near-field light R between the other end side of the light flux propagation element 25 and the disk D. Is. In the present embodiment, the distance between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33 is set to d0.
Further, the polarization direction of the laser light L of the present embodiment is adjusted so as to be linearly polarized light parallel to the disk D (the direction of arrow P in FIG. 5). For this reason, the polarization direction of the laser light L coincides with the thickness direction (X direction) of the near-field light generating element 26 when the laser light L reaches the near-field light generating unit 23g.

ところで、図3に示すように、スライダ20の上面(Z方向一端側)には光導波路42が固定されている。この光導波路42は、コア42aとクラッド42bとからなる2軸の導波路であり、コア42a内をレーザ光Lが伝播するようになっている。光導波路42の先端は、光束伝播素子25のコア23の一端側に接続されており、レーザ光Lを反射面23aに向けて出射させている。なお、コア42a及びクラッド42bは、上述したコア23及びクラッド24と同様の材料により構成されている。   Incidentally, as shown in FIG. 3, an optical waveguide 42 is fixed to the upper surface (one end side in the Z direction) of the slider 20. The optical waveguide 42 is a biaxial waveguide composed of a core 42a and a clad 42b, and the laser light L propagates through the core 42a. The tip of the optical waveguide 42 is connected to one end side of the core 23 of the light flux propagation element 25, and emits the laser light L toward the reflecting surface 23a. The core 42a and the clad 42b are made of the same material as the core 23 and the clad 24 described above.

一方、光導波路42の基端側は、図1に示すように、ビーム3及びキャリッジ11に沿って引き出された後、レーザ光源43に接続されている。このレーザ光源43は、図1,図6に示すように、キャリッジ11の基端部11aの側面に取り付けられた制御基板44上に図示しないICチップ等の各種電子部品とともに実装されている。特にレーザ光源43は、レーザ光Lを直線偏光の状態で出射するようになっている。すなわち、レーザ光源43及び光導波路42は、記録再生ヘッド2にレーザ光Lを直線偏光の状態で入射させる光束入射機構4として機能する。なお、図6はレーザ光源の周辺を拡大した図である。
レーザ光源43が実装されている制御基板44は、可撓性のフラットケーブル(フレキシブル基板)45によって制御部8に接続されている。これにより制御部8は、各構成品に電気的な信号を送って総合的な制御を行っている。特にレーザ光源43は、レーザ光Lを出射するタイミングが制御部8によって制御されている。
On the other hand, the base end side of the optical waveguide 42 is drawn out along the beam 3 and the carriage 11 and then connected to the laser light source 43 as shown in FIG. As shown in FIGS. 1 and 6, the laser light source 43 is mounted on the control board 44 attached to the side surface of the base end portion 11 a of the carriage 11 together with various electronic components such as an IC chip (not shown). In particular, the laser light source 43 emits the laser light L in a linearly polarized state. That is, the laser light source 43 and the optical waveguide 42 function as a light beam incident mechanism 4 that causes the laser light L to enter the recording / reproducing head 2 in a linearly polarized state. FIG. 6 is an enlarged view of the periphery of the laser light source.
The control board 44 on which the laser light source 43 is mounted is connected to the control unit 8 by a flexible flat cable (flexible board) 45. Thus, the control unit 8 performs an overall control by sending an electrical signal to each component. In particular, the timing at which the laser light source 43 emits the laser light L is controlled by the control unit 8.

再生素子22は、ディスクDの垂直記録層d2から漏れ出ている磁界の大きさに応じて電気抵抗が変換する磁気抵抗効果膜であり、光束伝播素子25を間に挟んで記録素子21とは反対側のクラッド24(先端側クラッド24b)の表面に形成されている。この再生素子22には、図示しないリード膜等を介して制御部8からバイアス電流が供給されている。これにより制御部8は、ディスクDから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することでき、この電圧の変化から信号の再生を行うことができるようになっている。   The reproducing element 22 is a magnetoresistive film whose electric resistance is converted in accordance with the magnitude of the magnetic field leaking from the perpendicular recording layer d2 of the disk D. What is the recording element 21 with the light flux propagation element 25 interposed therebetween? It is formed on the surface of the opposite clad 24 (front end clad 24b). A bias current is supplied to the reproducing element 22 from the control unit 8 via a lead film (not shown). Thus, the control unit 8 can detect a change in the magnetic field leaking from the disk D as a change in voltage, and can reproduce a signal from the change in voltage.

なお、本実施形態のディスクDは、図2に示すように、少なくとも、ディスク面D1に垂直な方向に磁化容易軸を有する垂直記録層d2と、高透磁率材料からなる軟磁性層d3との2層で構成される垂直2層膜ディスクDを使用する。このようなディスクDとしては、例えば、基板d1上に、軟磁性層d3と、中間層d4と、垂直記録層d2と、保護層d5と、潤滑層d6とを順に成膜したものを使用する。
基板d1としては、例えば、アルミ基板やガラス基板等である。軟磁性層d3は、高透磁率層である。中間層d4は、垂直記録層d2の結晶制御層である。垂直記録層d2は、垂直異方性磁性層となっており、例えばCoCrPt系合金が使用される。保護層d5は、垂直記録層d2を保護するためのもので、例えばDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)膜が使用される。潤滑層d6は、例えば、フッ素系の液体潤滑材が使用される。
As shown in FIG. 2, the disk D of this embodiment includes at least a perpendicular recording layer d2 having an easy magnetization axis in a direction perpendicular to the disk surface D1, and a soft magnetic layer d3 made of a high magnetic permeability material. A vertical two-layer disc D composed of two layers is used. As such a disk D, for example, a disk in which a soft magnetic layer d3, an intermediate layer d4, a perpendicular recording layer d2, a protective layer d5, and a lubricating layer d6 are sequentially formed on a substrate d1 is used. .
Examples of the substrate d1 include an aluminum substrate and a glass substrate. The soft magnetic layer d3 is a high magnetic permeability layer. The intermediate layer d4 is a crystal control layer of the perpendicular recording layer d2. The perpendicular recording layer d2 is a perpendicular anisotropic magnetic layer, and for example, a CoCrPt alloy is used. The protective layer d5 is for protecting the perpendicular recording layer d2, and for example, a DLC (Diamond Like Carbon) film is used. For the lubrication layer d6, for example, a fluorine-based liquid lubricant is used.

(記録再生ヘッドの製造方法)
次に、上述した記録再生ヘッドの製造方法について説明する。なお、以下の説明では、上述した記録再生ヘッド2のうち、主として光束伝播素子25の製造方法について説明する。図7,図8は、図5に相当する平面を示しており、記録再生ヘッドの製造方法を説明するための工程図である。
まず図7(a)に示すように、再生素子22上に先端側クラッド24bを形成する(第1クラッド形成工程)。そして、先端側クラッド24bにおけるコア24の形成領域に、後に基端側クラッド24aが配される表面の厚さ方向に沿って切り込まれた凹部24cを形成する(凹部形成工程)。具体的に、凹部24cは、先端側クラッド24bのコア24形成領域にウェットエッチングや、イオンエッチング、RIE(Reactive Ion Etching)、ナノインプリント、プレス加工等を施すことで形成できる。上述のような方法を用いることで、先端側クラッド24b上にV字状の凹部24cを形成する。なお、この凹部24cは、図3に示すように、先端側クラッド24bの一端側から他端側に向かうにつれ深さが浅くなるように形成する。これにより、後に凹部24c内に形成されるコア23のXY方向の断面積が一端側から他端側に向かうにつれ絞り成形されることになる。
(Method for manufacturing recording / reproducing head)
Next, a method for manufacturing the recording / reproducing head described above will be described. In the following description, a method for manufacturing the light flux propagation element 25 in the recording / reproducing head 2 described above will be mainly described. 7 and 8 show a plane corresponding to FIG. 5, and are process diagrams for explaining a method of manufacturing the recording / reproducing head.
First, as shown in FIG. 7A, the leading end side cladding 24b is formed on the reproducing element 22 (first cladding forming step). Then, in the formation region of the core 24 in the distal clad 24b, a concave portion 24c cut along the thickness direction of the surface where the proximal clad 24a is disposed later is formed (recess formation step). Specifically, the recess 24c can be formed by performing wet etching, ion etching, RIE (Reactive Ion Etching), nanoimprinting, pressing, or the like on the core 24 forming region of the front-side clad 24b. By using the method as described above, a V-shaped concave portion 24c is formed on the front end side cladding 24b. In addition, as shown in FIG. 3, this recessed part 24c is formed so that a depth may become shallow as it goes to the other end side from the one end side of the front end side clad 24b. As a result, the cross-sectional area in the XY direction of the core 23 to be formed in the recess 24c later is drawn as it goes from one end side to the other end side.

次に、先端側クラッド24bの凹部24c内にコア23を形成する(コア形成工程)。
まず、図7(c)に示すように、凹部形成工程で形成された凹部24c内に例えば噴射法やスピンコート法等を用い、後にコア23となる液体状のコア材50を充填する(充填工程)。なお、上述した噴射法を用いてコア材50を充填する場合は、ノズルから凹部24c内に向けて直接コア材50を充填していく。これにより、凹部24c内のみに高精度にコア材50を充填できる。また、スピンコート法を用いてコア材50を充填する場合は、コア材50を凹部24c及び凹部24c以外の部位(先端側クラッド24bの表面)に塗布した後、再生素子22及び先端側クラッド24bを回転させることで、凹部24c以外の部位に形成されたコア材50を飛散させ、凹部24c内のみにコア材50を残存させる。これにより、製造コストを低減した上で、コア材50を凹部24c内のみに高精度に充填できる。なお、この状態でコア材50の温度はT0となっている。
Next, the core 23 is formed in the recessed part 24c of the front end side clad 24b (core formation process).
First, as shown in FIG. 7C, the liquid core material 50 that will later become the core 23 is filled into the recess 24 c formed in the recess forming process by using, for example, an injection method or a spin coat method (filling). Process). In addition, when filling the core material 50 using the injection method mentioned above, the core material 50 is directly filled into the recessed part 24c from a nozzle. Thereby, the core material 50 can be filled with high precision only in the recess 24c. Further, when the core material 50 is filled by using the spin coating method, the core material 50 is applied to a portion other than the concave portion 24c and the concave portion 24c (the surface of the front end side clad 24b), and then the reproducing element 22 and the front end side clad 24b. Is rotated to cause the core material 50 formed in a portion other than the recess 24c to scatter, leaving the core material 50 only in the recess 24c. Thereby, after reducing manufacturing cost, the core material 50 can be filled only in the recessed part 24c with high precision. In this state, the temperature of the core material 50 is T0.

ここで、凹部24c内に充填されたコア材50の表面(凹部24cからの露出面)は、凹部24c(先端側クラッド24b)との表面張力により凹部24cの開口面(先端側クラッド24bにおける基端側クラッド24aとの対向面)から盛り上がる凸状の湾曲面(露出面)50aを有している。すなわち、凹部24c内面とコア材50との付着力をW、コア材50の温度がT0の時の表面張力をS0とすると、コア材50の分子間力A0(A0=S0cosθ0)が付着力Wよりも大きくなっている(A0>W)。この状態で、コア材50の湾曲面50aの曲率半径はR0、先端側クラッド24bの表面から湾曲面50aの突出部分の高さはh0となっている。   Here, the surface of the core material 50 filled in the recess 24c (exposed surface from the recess 24c) is an opening surface of the recess 24c (the base in the front cladding 24b) due to surface tension with the recess 24c (tip cladding 24b). It has a convex curved surface (exposed surface) 50a that rises from the surface facing the end clad 24a. That is, when the adhesion force between the inner surface of the recess 24c and the core material 50 is W and the surface tension when the temperature of the core material 50 is T0 is S0, the intermolecular force A0 (A0 = S0 cos θ0) of the core material 50 is the adhesion force W. (A0> W). In this state, the radius of curvature of the curved surface 50a of the core material 50 is R0, and the height of the protruding portion of the curved surface 50a from the surface of the tip side cladding 24b is h0.

次に、図7(d)に示すように、コア材50に対して紫外線を照射することで、凹部24c内に充填されたコア材50を硬化させる(硬化工程)。これにより、凹部24cの内面に倣って形成された平坦面23dと、凹部24cの開口面から凸状に湾曲した湾曲面23c(曲率半径R0、高さh0)とを有するコア23を形成できる。   Next, as shown in FIG. 7D, the core material 50 filled in the recess 24c is cured by irradiating the core material 50 with ultraviolet rays (curing step). Thereby, the core 23 having the flat surface 23d formed following the inner surface of the recess 24c and the curved surface 23c (curvature radius R0, height h0) curved in a convex shape from the opening surface of the recess 24c can be formed.

そして、図8(a)に示すように、コア23の湾曲面23c上に蒸着法等を用いてAl等からなる金属膜を形成し、パターニングすることで、近接場光生成部23gの湾曲面23c上に近接場光発生素子26を形成する。
次いで、図8(b)に示すように、コア23の湾曲面23cを被覆するように基端側クラッド24aを形成する(第2クラッド形成工程)。これにより、先端側クラッド24bと基端側クラッド24aとの内部に、コア23が密着した状態で封止された光束伝播素子25を形成できる。
Then, as shown in FIG. 8A, a metal film made of Al or the like is formed on the curved surface 23c of the core 23 using an evaporation method or the like, and is patterned, so that the curved surface of the near-field light generating unit 23g. The near-field light generating element 26 is formed on 23c.
Next, as shown in FIG. 8B, the base-side clad 24a is formed so as to cover the curved surface 23c of the core 23 (second clad forming step). Thereby, the light flux propagation element 25 sealed with the core 23 in close contact with each other can be formed inside the distal end side cladding 24b and the proximal end side cladding 24a.

続いて、図8(c)に示すように、基端側クラッド24aを間に挟んで近接場光発生素子26に対向するように主磁極33を形成する。その後、図示しないが磁気回路32、コイル34及び補助磁極31を形成し、これらを絶縁体35によってモールドする。これにより、再生素子22上に光束伝播素子25、近接場光素子26及び記録素子21が形成される。この状態で、スライダ20の側面に記録素子21を固定することで、記録再生ヘッド2を形成できる。なお、上述した説明では、再生素子22上に記録素子21まで形成した後に、スライダ20の側面に固定する場合について説明したが、再生素子22上に光束伝播素子25までを形成する一方、スライダ20の側面に記録素子21を形成し、これらを組み合わせても構わない。   Subsequently, as shown in FIG. 8C, the main magnetic pole 33 is formed so as to face the near-field light generating element 26 with the proximal-side clad 24a interposed therebetween. Thereafter, although not shown, the magnetic circuit 32, the coil 34, and the auxiliary magnetic pole 31 are formed, and these are molded by the insulator 35. Thereby, the light flux propagation element 25, the near-field light element 26, and the recording element 21 are formed on the reproducing element 22. In this state, the recording / reproducing head 2 can be formed by fixing the recording element 21 to the side surface of the slider 20. In the above description, the case where the recording element 21 is formed on the reproducing element 22 and then fixed to the side surface of the slider 20 has been described. However, while the element up to the light beam propagation element 25 is formed on the reproducing element 22, the slider 20 Alternatively, the recording elements 21 may be formed on the side surfaces and combined.

(情報記録再生方法)
次に、このように構成された情報記録再生装置1により、ディスクDに各種の情報を記録再生する場合について以下に説明する。
まず、図1に示すように、スピンドルモータ6を駆動させてディスクDを一定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ5を作動させて、キャリッジ10を介してビーム3をXY方向にスキャンさせる。これにより、ディスクD上の所望する位置に記録再生ヘッド2を位置させることができる。この際、記録再生ヘッド2は、スライダ20の対向面20aに形成された2つの凸条部20bによって浮上する力を受けるとともに、ビーム3等によってディスクD側に所定の力で押さえ付けられる。記録再生ヘッド2は、この両者の力のバランスによって、図2に示すようにディスクD上から所定距離H離間した位置に浮上する。
(Information recording and playback method)
Next, a case where various kinds of information is recorded / reproduced on / from the disk D by the information recording / reproducing apparatus 1 configured as above will be described below.
First, as shown in FIG. 1, the spindle motor 6 is driven to rotate the disk D in a certain direction. Next, the actuator 5 is operated to scan the beam 3 in the XY directions via the carriage 10. Thereby, the recording / reproducing head 2 can be positioned at a desired position on the disk D. At this time, the recording / reproducing head 2 receives a force that rises by the two ridges 20b formed on the opposing surface 20a of the slider 20, and is pressed against the disk D by a predetermined force by the beam 3 or the like. The recording / reproducing head 2 floats to a position separated from the disk D by a predetermined distance H as shown in FIG.

また、記録再生ヘッド2は、ディスクDのうねりに起因して発生する風圧を受けたとしても、ビーム3によってZ方向の変位が吸収されるとともに、ジンバル部30によってXY軸回りに変位することができるようになっているので、うねりに起因する風圧を吸収することができる。そのため、記録再生ヘッド2を安定した状態で浮上させることができる。   Further, even if the recording / reproducing head 2 receives wind pressure generated due to the undulation of the disk D, the displacement in the Z direction is absorbed by the beam 3 and can be displaced around the XY axis by the gimbal portion 30. Since it has become possible, it can absorb the wind pressure caused by the swell. Therefore, the recording / reproducing head 2 can be floated in a stable state.

図9は情報記録再生装置により情報を記録再生する際の説明図であって、図3に相当する拡大断面図である。
ここで、図9に示すように、情報の記録を行う場合、制御部8はレーザ光源43を作動させて直線偏光のレーザ光Lを出射させるとともに、情報に応じて変調した電流をコイル34に供給して記録素子21を作動させる。
まず、レーザ光源43からレーザ光を光導波路42に入射させて、レーザ光Lをスライダ20側に導く。レーザ光源43から出射されたレーザ光Lは、光導波路42のコア42a内を先端(流出端)側に向かって進み、光束伝播素子25のコア23内に伝播する。コア23内に伝播したレーザ光Lは、反射面23aで略90度反射された後、光束集光部23b内を伝播する。光束集光部23bを伝播するレーザ光Lは、ディスクD側に位置する他端側に向かってコア23とクラッド24との間で全反射を繰り返しながら伝播する。特に、コア23の側面にはクラッド24が密着しているので、コア23の外部に光が漏れることはない。よって、導入されたレーザ光Lを無駄にすることなく絞りながら他端側に伝播させて、近接場光発生素子26に入射させることができる。
この際、コア23は、一端側から他端側に向かう長手方向(Z方向)に直交する断面積が漸次減少するように絞り成形されている。そのため、レーザ光Lは光束集後部23b内を伝播するにしたがって徐々に絞り込まれてスポットサイズが小さくなる。
FIG. 9 is an explanatory diagram when information is recorded / reproduced by the information recording / reproducing apparatus, and is an enlarged sectional view corresponding to FIG.
Here, as shown in FIG. 9, when recording information, the control unit 8 operates the laser light source 43 to emit linearly polarized laser light L, and a current modulated in accordance with the information is supplied to the coil 34. Then, the recording element 21 is operated.
First, laser light is incident on the optical waveguide 42 from the laser light source 43 to guide the laser light L to the slider 20 side. The laser light L emitted from the laser light source 43 travels in the core 42 a of the optical waveguide 42 toward the tip (outflow end) side and propagates into the core 23 of the light flux propagation element 25. The laser beam L that has propagated into the core 23 is reflected by approximately 90 degrees on the reflecting surface 23a, and then propagates in the light beam condensing part 23b. The laser light L propagating through the light beam condensing unit 23b propagates while repeating total reflection between the core 23 and the clad 24 toward the other end side located on the disk D side. In particular, since the clad 24 is in close contact with the side surface of the core 23, light does not leak outside the core 23. Therefore, the introduced laser light L can be propagated to the other end side without being wasted and incident on the near-field light generating element 26 without being wasted.
At this time, the core 23 is drawn so that the cross-sectional area perpendicular to the longitudinal direction (Z direction) from one end side to the other end side gradually decreases. Therefore, the laser beam L is gradually narrowed down as it propagates in the light flux collecting rear part 23b, and the spot size is reduced.

スポットサイズが小さくなったレーザ光Lは、続いて、近接場光生成部23gに入射する。すると、レーザ光Lは、露出部23fの近接場光発生素子26に入射する。これにより、近接場光発生素子26には表面プラズモンが励起される。励起された表面プラズモンは、共鳴効果によって増強されながら近接場光発生素子26とコア23(近接場光生成部23g)との界面に沿いながら、コア23の他端側に向かって伝播する。そして、他端側に達した時点で、光強度の強い近接場光Rとなって外部に漏れ出す。つまり、光束伝播素子25の他端側とディスクDとの間に近接場光Rを局在化させることができる。するとディスクDは、この近接場光Rによって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。   Subsequently, the laser beam L having a reduced spot size is incident on the near-field light generator 23g. Then, the laser light L enters the near-field light generating element 26 of the exposed portion 23f. As a result, surface plasmons are excited in the near-field light generating element 26. The excited surface plasmon propagates toward the other end of the core 23 along the interface between the near-field light generating element 26 and the core 23 (near-field light generating unit 23g) while being enhanced by the resonance effect. And when it reaches the other end side, it becomes a near-field light R with a strong light intensity and leaks outside. That is, the near-field light R can be localized between the other end side of the light flux propagation element 25 and the disk D. Then, the disk D is locally heated by the near-field light R, and the coercive force is temporarily reduced.

ここで、コア23(近接場光生成部23g)における主磁極33との対向面は湾曲面23cに形成されている。そのため、主磁極33との対向面が平坦面に形成されている場合に比べて、レーザ光Lの偏光方向(図5中矢印P)と近接場光発生素子26の面内方向との直交部分の面積(湾曲面23cと近接場光発生素子26との界面の面積(接触面積))を小さくすることができる。これにより、湾曲面23cと近接場光発生素子26との界面において近接場光Rをより局在化させることができるので、近接場光Rの光強度を高めることができ、ディスクDをより効率的に加熱できる。   Here, the surface of the core 23 (near-field light generating part 23g) facing the main magnetic pole 33 is formed on the curved surface 23c. Therefore, as compared with the case where the surface facing the main magnetic pole 33 is formed as a flat surface, the orthogonal portion between the polarization direction of the laser light L (arrow P in FIG. 5) and the in-plane direction of the near-field light generating element 26. (The area (contact area) of the interface between the curved surface 23c and the near-field light generating element 26) can be reduced. As a result, the near-field light R can be more localized at the interface between the curved surface 23c and the near-field light generating element 26, so that the light intensity of the near-field light R can be increased and the disk D can be made more efficient. Can be heated.

一方、制御部8によってコイル34に電流が供給されると、電磁石の原理により電流磁界が磁気回路32内に磁界を発生させるので、主磁極33と補助磁極31との間にディスクDに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。すると、主磁極33側から発生した磁束が、ディスクDの垂直記録層d2を真直ぐ通り抜けて軟磁性層d3に達する。これによって、垂直記録層d2の磁化をディスク面D1に対して垂直に向けた状態で記録を行うことができる。また、軟磁性層d3に達した磁束は、軟磁性層d3を経由して補助磁極31に戻る。この際、補助磁極31に戻るときには磁化の方向に影響を与えることはない。これは、ディスク面D1に対向する補助磁極31の面積が、主磁極33よりも大きいので磁束密度が大きく磁化を反転させるほどの力が生じないためである。つまり、主磁極33側でのみ記録を行うことができる。   On the other hand, when a current is supplied to the coil 34 by the control unit 8, a current magnetic field generates a magnetic field in the magnetic circuit 32 according to the principle of an electromagnet. A perpendicular recording magnetic field can be generated. Then, the magnetic flux generated from the main magnetic pole 33 side passes straight through the perpendicular recording layer d2 of the disk D and reaches the soft magnetic layer d3. As a result, recording can be performed in a state where the magnetization of the perpendicular recording layer d2 is directed perpendicular to the disk surface D1. The magnetic flux reaching the soft magnetic layer d3 returns to the auxiliary magnetic pole 31 via the soft magnetic layer d3. At this time, when returning to the auxiliary magnetic pole 31, the direction of magnetization is not affected. This is because the area of the auxiliary magnetic pole 31 facing the disk surface D1 is larger than that of the main magnetic pole 33, so that the magnetic flux density is large and a force sufficient to reverse the magnetization does not occur. That is, recording can be performed only on the main magnetic pole 33 side.

その結果、近接場光Rによる熱アシストと両磁極31、33で発生した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。しかも垂直記録方式で記録を行うので、熱揺らぎ現象等の影響を受け難く、安定した記録を行うことができる。よって、書き込みの信頼性を高めることができる。   As a result, information can be recorded by the hybrid magnetic recording method in which the thermal assist by the near-field light R and the recording magnetic field generated by the magnetic poles 31 and 33 cooperate. In addition, since the recording is performed by the vertical recording method, it is difficult to be affected by the thermal fluctuation phenomenon and the like, and stable recording can be performed. Therefore, writing reliability can be improved.

また、ディスクDに記録された情報を再生する場合には、ディスクDの保磁力が一時的に低下している時に、再生素子22がディスクDの垂直記録層d2から漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子22の電圧が変化する。これにより制御部8は、ディスクDから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部8は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、ディスクDに記録されている情報の再生を行うことができる。
なお、記録再生を行わない場合には、レーザ光源43の作動を停止させる。
Further, when reproducing information recorded on the disk D, the reproducing element 22 receives a magnetic field leaking from the perpendicular recording layer d2 of the disk D when the coercive force of the disk D is temporarily reduced. Thus, the electrical resistance changes according to the size. Therefore, the voltage of the reproducing element 22 changes. Thereby, the control unit 8 can detect a change in the magnetic field leaking from the disk D as a change in voltage. The control unit 8 can reproduce information recorded on the disk D by reproducing a signal from the change in voltage.
When recording / reproduction is not performed, the operation of the laser light source 43 is stopped.

したがって、本実施形態によれば、コア形成工程において、液体状のコア材50を凹部24c内に充填することで、コア材50における凹部24cからの露出面は凹部24cとの表面張力S0により凹部24cの開口面に対して湾曲することになる。
そして、この状態でコア材50を硬化させることで、凹部24cの開口面に対して湾曲した湾曲面23cを有するコア23を形成できる。この場合、コア材50の表面張力S0によってコア23の湾曲面23cの曲率半径R0が決定される。すなわち、コア23上に配置される近接場光発生素子26と記録素子21との間の距離が湾曲面23cの曲率半径によって決定される。
Therefore, according to the present embodiment, in the core forming step, the liquid core material 50 is filled into the recess 24c, so that the exposed surface of the core material 50 from the recess 24c is recessed by the surface tension S0 with the recess 24c. It will curve with respect to the opening surface of 24c.
And the core 23 which has the curved surface 23c curved with respect to the opening surface of the recessed part 24c can be formed by hardening the core material 50 in this state. In this case, the curvature radius R0 of the curved surface 23c of the core 23 is determined by the surface tension S0 of the core material 50. That is, the distance between the near-field light generating element 26 disposed on the core 23 and the recording element 21 is determined by the radius of curvature of the curved surface 23c.

これにより、コア23における主磁極33との対向面が平坦面に形成されている場合に比べて、近接場光発生素子26と主磁極33との間の距離d0を縮小できるため、近接場光Rを主磁極33に接近させた状態で発生させることができる。その結果、記録磁界が印加される場所と、近接場光Rにより加熱される場所とが接近することにより、近接場光Rによって精密かつ効率的に熱アシストを行うことができ、磁気記録密度の向上を図ることができる。
また、上述したようにコア23を湾曲形成することで、コア23における主磁極33との対向面が平坦面に形成されている場合に比べて、近接場光Rの光強度を高めることができ、ディスクDをより効率的に加熱できる。その結果、磁気記録密度の向上を図ることができる。この場合、上述したようにコア材50の表面張力S0によってコア23の湾曲面23cの曲率半径R0が決定されるので、レーザ光Lの偏光方向(図5中矢印P)と近接場光発生素子26の面内方向との直交部分の面積が湾曲面23cの曲率半径R0によって決定される。すなわち、近接場光Rの光強度が湾曲面23cの曲率半径によって決定される。
Accordingly, the distance d0 between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33 can be reduced as compared with the case where the surface of the core 23 facing the main magnetic pole 33 is formed as a flat surface. R can be generated in a state of being close to the main magnetic pole 33. As a result, the place where the recording magnetic field is applied and the place heated by the near-field light R approach each other, so that the near-field light R can perform heat assist accurately and efficiently, and the magnetic recording density Improvements can be made.
Further, by curving the core 23 as described above, the light intensity of the near-field light R can be increased compared to the case where the surface of the core 23 facing the main magnetic pole 33 is formed as a flat surface. The disk D can be heated more efficiently. As a result, the magnetic recording density can be improved. In this case, as described above, the curvature radius R0 of the curved surface 23c of the core 23 is determined by the surface tension S0 of the core material 50, so that the polarization direction of the laser light L (arrow P in FIG. 5) and the near-field light generating element. The area of the portion perpendicular to the in-plane direction of 26 is determined by the radius of curvature R0 of the curved surface 23c. That is, the light intensity of the near-field light R is determined by the radius of curvature of the curved surface 23c.

このように、コア材50の表面張力S0によって近接場光発生素子26と主磁極33との距離d0や、近接場光Rの光強度等の条件を製造段階で決定できるので、設計の自由度を向上させ、所望の条件の記録再生ヘッド2を簡単に製造できる。そのため、精密で効率的な熱アシストを行うことができる。
そして、本発明の情報記録再生装置1は、上述した記録再生ヘッド2を備えているので、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができ、高品質化を図ることができる。
As described above, conditions such as the distance d0 between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33 and the light intensity of the near-field light R can be determined by the surface tension S0 of the core material 50 at the manufacturing stage. The recording / reproducing head 2 under desired conditions can be easily manufactured. Therefore, precise and efficient heat assist can be performed.
Since the information recording / reproducing apparatus 1 of the present invention includes the recording / reproducing head 2 described above, information can be recorded / reproduced with high accuracy and high quality.

(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図10は、第2実施形態におけるコア形成工程を説明するための工程図である。本実施形態では、上述したコア形成工程において、湾曲面23cの曲率半径を調整する方法について説明する。そのため、以下の説明では、コア形成工程を主に説明し、第1実施形態と同様の構成については説明を省略する。なお、図中鎖線Cは、温度T0におけるコア材50の湾曲面50aを示している。
図10に示すように、充填工程の終了後、コア材50を冷却して、第1実施形態のコア材50の温度T0よりも低い温度T1に調整する(T0>T1)。これにより、コア材50の表面張力S1が温度T0の場合の表面張力S0よりも大きくなり(S1>S0)、コア材50が凹部24cの開口面から大きく盛り上がる。すなわち、コア材50における温度T1の場合の分子間力A1は、温度T0の場合の分子間力A0よりも大きくなる(A1>A0)ため、コア材50の分子間力A1(A1=S1cosθ1)が付着力Wよりもさらに大きくなる(A1>W)。その結果、湾曲面50aの曲率半径R1が第1実施形態の曲率半径R0よりも小さくなるとともに(R0>R1)、湾曲面50aの高さh1も高くなる(h0<h1)。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 10 is a process diagram for explaining a core formation process in the second embodiment. In the present embodiment, a method for adjusting the radius of curvature of the curved surface 23c in the core forming step described above will be described. Therefore, in the following description, the core forming process will be mainly described, and the description of the same configuration as that of the first embodiment will be omitted. A chain line C in the figure indicates the curved surface 50a of the core material 50 at the temperature T0.
As shown in FIG. 10, after completion of the filling step, the core material 50 is cooled and adjusted to a temperature T1 lower than the temperature T0 of the core material 50 of the first embodiment (T0> T1). Thereby, the surface tension S1 of the core material 50 becomes larger than the surface tension S0 when the temperature is T0 (S1> S0), and the core material 50 rises greatly from the opening surface of the recess 24c. That is, the intermolecular force A1 at the temperature T1 in the core material 50 is larger than the intermolecular force A0 at the temperature T0 (A1> A0), and therefore the intermolecular force A1 of the core material 50 (A1 = S1 cos θ1). Becomes larger than the adhesive force W (A1> W). As a result, the curvature radius R1 of the curved surface 50a is smaller than the curvature radius R0 of the first embodiment (R0> R1), and the height h1 of the curved surface 50a is also increased (h0 <h1).

そして、コア材50の温度をT1に保持した状態でコア材50を硬化した後、上述した第1実施形態と同様の工程を経ることで、図11に示すように、曲率半径R1及び高さh1の湾曲面23cを有する記録再生ヘッド100を形成できる。   And after hardening the core material 50 in the state which kept the temperature of the core material 50 at T1, by passing through the process similar to 1st Embodiment mentioned above, as shown in FIG. 11, curvature radius R1 and height The recording / reproducing head 100 having the curved surface 23c of h1 can be formed.

この構成によれば、コア材50を硬化させる前にコア材50の温度を調整することで、コア材50と凹部24cとの表面張力を調整できる。すなわち、コア23の湾曲面23cの曲率半径や高さを製造段階で調整できるので、近接場光発生素子26と主磁極33との距離や、近接場光Rの光強度等の条件を所望の条件に設定できる。その結果、設計の自由度を向上できる。
ここで、上述したように第1実施形態に比べて湾曲面23cの高さh1を高くすることで、第1実施形態に比べて近接場光発生素子26を主磁極33に接近させることができる(図11中距離d1)ので、より精密かつ効率的に熱アシストを行うことができる。
また、湾曲面23cの曲率半径も小さくすることができるので、第1実施形態に比べてレーザ光Lの偏光方向と近接場光発生素子26の面内方向との直交部分の面積をより小さくできる。これにより、湾曲面23cと近接場光発生素子26との界面において近接場光Rをより局在化させることができるので、近接場光Rの光強度を高めることができ、ディスクDをより効率的に加熱できる。
According to this configuration, the surface tension between the core material 50 and the recess 24c can be adjusted by adjusting the temperature of the core material 50 before the core material 50 is cured. That is, since the curvature radius and height of the curved surface 23c of the core 23 can be adjusted at the manufacturing stage, conditions such as the distance between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33, the light intensity of the near-field light R, and the like are desired. Can be set to conditions. As a result, the degree of freedom in design can be improved.
Here, as described above, by increasing the height h1 of the curved surface 23c as compared with the first embodiment, the near-field light generating element 26 can be brought closer to the main magnetic pole 33 as compared with the first embodiment. (Distance d1 in FIG. 11) Therefore, heat assist can be performed more precisely and efficiently.
Further, since the radius of curvature of the curved surface 23c can be reduced, the area of the orthogonal portion between the polarization direction of the laser light L and the in-plane direction of the near-field light generating element 26 can be further reduced as compared with the first embodiment. . As a result, the near-field light R can be more localized at the interface between the curved surface 23c and the near-field light generating element 26, so that the light intensity of the near-field light R can be increased and the disk D can be made more efficient. Can be heated.

(変形例)
図12は、第2実施形態の変形例におけるコア形成工程を説明するための工程図である。上述した第2実施形態では、表面張力調整工程において、コア材50の分子間力A1を大きくするために、コア材50を冷却する方法について説明したが、コア材50を加熱して分子間力A2を小さくすることも可能である。
具体的には、図12に示すように、充填工程の終了後、ホットプレートやオーブン等の加熱装置に再生素子22ごと搬送し、コア材50の温度を第1実施形態のコア材50の温度T0より高い温度T2に調整する(T2>T0)。これにより、コア材50の表面張力S2が温度T0の場合の表面張力S0よりも小さくなり(S0>S2)、コア材50が凹部24cの開口面から窪むように凹状に湾曲する。すなわち、コア材50における温度T2の場合の分子間力A2は、温度T0の場合の分子間力A0よりも小さくなる(A0>A2)ため、コア材50の分子間力A2(A2=S2cosθ2)が付着力Wよりも小さくなる(A2<W)。この場合、湾曲面50aの曲率半径がR2になるとともに、湾曲面50aの高さ(先端側クラッド24bの表面からの深さ)がh2となる。
(Modification)
FIG. 12 is a process diagram for explaining a core formation process in a modification of the second embodiment. In the second embodiment described above, the method of cooling the core material 50 in order to increase the intermolecular force A1 of the core material 50 in the surface tension adjustment step has been described. However, the intermolecular force is heated by heating the core material 50. It is also possible to reduce A2.
Specifically, as shown in FIG. 12, after completion of the filling process, the regenerative element 22 is transferred to a heating device such as a hot plate or an oven, and the temperature of the core material 50 is set to the temperature of the core material 50 of the first embodiment. The temperature is adjusted to a temperature T2 higher than T0 (T2> T0). Thereby, the surface tension S2 of the core material 50 becomes smaller than the surface tension S0 when the temperature is T0 (S0> S2), and the core material 50 is bent in a concave shape so as to be recessed from the opening surface of the recess 24c. That is, the intermolecular force A2 at the temperature T2 in the core material 50 is smaller than the intermolecular force A0 at the temperature T0 (A0> A2), so the intermolecular force A2 of the core material 50 (A2 = S2 cos θ2). Becomes smaller than the adhesive force W (A2 <W). In this case, the radius of curvature of the curved surface 50a is R2, and the height of the curved surface 50a (the depth from the surface of the distal clad 24b) is h2.

そして、コア材50の温度をT2に保持した状態でコア材50を硬化した後、上述した第1実施形態と同様の工程を経ることで、図13に示すように、曲率半径R2及び高さh2の湾曲面23cを有する記録再生ヘッド150を形成できる。   And after hardening the core material 50 in the state which maintained the temperature of the core material 50 at T2, as shown in FIG. 13 by going through the process similar to 1st Embodiment mentioned above, curvature radius R2 and height The recording / reproducing head 150 having the curved surface 23c of h2 can be formed.

この構成によれば、上述した第2実施形態と同様の効果を奏するとともに、湾曲面23cが先端側クラッド24bの表面に対して凹状に形成されているので、基端側クラッド24aの形成工程において、基端側クラッド24aが凹部24c内(コア23の湾曲面23cの内側)に入り込むことになる。そのため、コア23を平坦面に形成する場合に比べて、凹部24cの開口面から主磁極33までの距離(基端側クラッド24aの厚さ)を縮小できる。すなわち、近接場光発生素子26と主磁極33との距離d0を変化させずに、基端側クラッド23aの厚さを薄くできる。そのため、記録再生ヘッド150のX方向における長さを短縮して、小型化を図ることができる。
また、近接場光発生素子26との対向面が湾曲面23cとなるため、上述した実施形態と同様に、湾曲面23cと近接場光発生素子26との界面において近接場光Rをより局在化させ、近接場光Rの光強度を高めることができる。
According to this configuration, the same effects as those of the second embodiment described above can be obtained, and the curved surface 23c is formed in a concave shape with respect to the surface of the distal end side cladding 24b. The base end side cladding 24a enters the recess 24c (inside the curved surface 23c of the core 23). Therefore, compared to the case where the core 23 is formed on a flat surface, the distance from the opening surface of the recess 24c to the main magnetic pole 33 (the thickness of the base-side clad 24a) can be reduced. That is, the thickness of the base-end-side cladding 23a can be reduced without changing the distance d0 between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33. Therefore, the length of the recording / reproducing head 150 in the X direction can be shortened and the size can be reduced.
Further, since the surface facing the near-field light generating element 26 is the curved surface 23c, the near-field light R is more localized at the interface between the curved surface 23c and the near-field light generating element 26 as in the above-described embodiment. And the light intensity of the near-field light R can be increased.

(第3実施形態)
(記録再生ヘッド)
次に、本発明の第3実施形態について説明する。図14は第3実施形態における記録再生ヘッドの流出端側の側面を拡大した断面図であり、図15は図14のE矢視図である。第3実施形態では、近接場光発生素子26と主磁極33との間に空間部を設ける点で上述した第1実施形態と相違している。
図14,図15に示すように、本実施形態の記録再生ヘッド200は、光束伝播素子25における基端側クラッド24aの他端側(スライダ20のABS20c側)の端面から一端側に向けて刳り貫かれた切欠き部24dが形成されている。この切欠き部24dは、スライダ20の幅方向(図15中Y方向)中央部、すなわちコア23の湾曲面23cと主磁極33とが対向する領域において、基端側クラッド24aの他端側の端面から近接場光生成部23gのZ方向における長さと同等の深さで形成されている。これにより、光束伝播素子25の他端側において、近接場光発生素子26と主磁極33との間に空間部51が形成されるとともに、近接場光生成部23gの湾曲面23c(近接場光発生素子26)が切欠き部24d内に向けて露出する露出部23fが形成される。この場合、近接場光発生素子26と主磁極33とは、X方向において間隔d0を挟んで対向配置されることになる。
(Third embodiment)
(Recording / reproducing head)
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 14 is an enlarged cross-sectional view of the side surface on the outflow end side of the recording / reproducing head in the third embodiment, and FIG. 15 is a view taken in the direction of arrow E in FIG. The third embodiment is different from the first embodiment described above in that a space is provided between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33.
As shown in FIGS. 14 and 15, the recording / reproducing head 200 of this embodiment is turned from the end surface on the other end side (the ABS 20 c side of the slider 20) of the proximal end side cladding 24 a in the light beam propagation element 25 toward one end side. A cutout portion 24d is formed therethrough. This notch 24d is located at the center of the slider 20 in the width direction (Y direction in FIG. 15), that is, in the region where the curved surface 23c of the core 23 and the main magnetic pole 33 face each other. It is formed with a depth equivalent to the length in the Z direction of the near-field light generator 23g from the end face. Thereby, on the other end side of the light flux propagation element 25, a space 51 is formed between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33, and the curved surface 23c (near-field light) of the near-field light generating part 23g. An exposed portion 23f is formed in which the generating element 26) is exposed toward the notch 24d. In this case, the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33 are disposed to face each other across the interval d0 in the X direction.

なお、本実施形態の記録再生ヘッドを製造する場合には、上述した第2クラッド形成工程において、近接場光発生素子26を露出させるように基端側クラッド24aをパターニングすればよい。   When the recording / reproducing head of this embodiment is manufactured, the base-side clad 24a may be patterned so that the near-field light generating element 26 is exposed in the above-described second clad formation step.

(情報記録再生方法)
次に、本実施形態の記録再生ヘッドを用いた記録再生方法について説明する。図16,図17は情報記録再生装置により情報を記録再生する際の説明図であって、図16は図14に相当する拡大断面図、図17は図15に相当する拡大平面図である。なお、以下の説明では、記録再生時における空間部51の作用について主に説明する。
図16,図17に示すように、光束伝播素子25(コア23)にレーザ光Lが導入されると、近接場光発生素子26や光束伝播素子25はレーザ光Lの熱により加熱される。すると、この温度変化に伴って露出部23fは、主磁極33側に向けて突出するように熱膨張し、近接場光発生素子26を主磁極33側に接近させるようになっている。これにより、レーザ光Lを導入した作動状態での近接場光発生素子26と主磁極33との間の間隔d3は、レーザ光Lを導入していない初期状態での間隔d0に比べて狭くなる。そのため、近接場光Rをより主磁極33に接近させた状態で発生させることができる。
(Information recording and playback method)
Next, a recording / reproducing method using the recording / reproducing head of this embodiment will be described. 16 and 17 are explanatory diagrams when information is recorded / reproduced by the information recording / reproducing apparatus. FIG. 16 is an enlarged sectional view corresponding to FIG. 14, and FIG. 17 is an enlarged plan view corresponding to FIG. In the following description, the operation of the space 51 during recording / reproduction will be mainly described.
As shown in FIGS. 16 and 17, when the laser light L is introduced into the light flux propagation element 25 (core 23), the near-field light generating element 26 and the light flux propagation element 25 are heated by the heat of the laser light L. Then, along with this temperature change, the exposed portion 23 f is thermally expanded so as to protrude toward the main magnetic pole 33, thereby bringing the near-field light generating element 26 closer to the main magnetic pole 33. As a result, the distance d3 between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33 in the operating state where the laser light L is introduced is narrower than the distance d0 in the initial state where the laser light L is not introduced. . Therefore, the near-field light R can be generated in a state where the near-field light R is closer to the main magnetic pole 33.

また、露出部23fは湾曲面23cに形成されているため、露出部23fが熱膨張することで、露出部23fの曲率半径R3は初期状態の露出部23fの曲率半径R0に比べて小さくなる(R0>R3)。そのため、レーザ光Lの偏光方向(図17中矢印P)と近接場光発生素子26の面内方向との直交部分の面積(露出部23fと近接場光発生素子26との界面の面積(接触面積))を小さくすることができる。これにより、露出部23fと近接場光発生素子26との界面において近接場光Rをより局在化させることができるので、近接場光Rの光強度を高めることができ、ディスクDをより効率的に加熱できる。   Further, since the exposed portion 23f is formed on the curved surface 23c, the curvature radius R3 of the exposed portion 23f is smaller than the curvature radius R0 of the exposed portion 23f in the initial state due to thermal expansion of the exposed portion 23f ( R0> R3). Therefore, the area of the orthogonal portion between the polarization direction of the laser light L (arrow P in FIG. 17) and the in-plane direction of the near-field light generating element 26 (area of the interface between the exposed portion 23f and the near-field light generating element 26 (contact) Area)) can be reduced. As a result, the near-field light R can be more localized at the interface between the exposed portion 23f and the near-field light generating element 26, so that the light intensity of the near-field light R can be increased and the disk D can be made more efficient. Can be heated.

ところで、近接場光発生素子26が主磁極33の近傍に配置され続けると、近接場光R発生時の熱によって主磁極33の磁気特性が変化し、磁気記録性能に悪影響を与える虞がある。
これに対して、本実施形態では、露出部23f(近接場光発生素子26)と主磁極33との間に空間部51が形成されているため、近接場光発生素子26で発生した熱は、大気に効率的に放熱されることになる。よって、近接場光発生素子26で発生した熱が主磁極33側まで伝達されるのを抑制できる。また、レーザ光源43が停止されると、近接場光発生素子26の温度が速やかに低下する。そして、この温度変化に伴って光束伝播素子25が収縮することで、近接場光発生素子26と主磁極33との間隔が拡大して、初期状態の間隔d0に復元する。これにより、近接場光発生素子26で発生した熱が主磁極33側まで伝達されるのを確実に抑制できる。
By the way, if the near-field light generating element 26 continues to be disposed in the vicinity of the main magnetic pole 33, the magnetic characteristics of the main magnetic pole 33 change due to the heat generated when the near-field light R is generated, which may adversely affect the magnetic recording performance.
On the other hand, in this embodiment, since the space 51 is formed between the exposed portion 23f (near-field light generating element 26) and the main magnetic pole 33, the heat generated in the near-field light generating element 26 is The heat is efficiently radiated to the atmosphere. Therefore, it is possible to suppress the heat generated by the near-field light generating element 26 from being transmitted to the main magnetic pole 33 side. Further, when the laser light source 43 is stopped, the temperature of the near-field light generating element 26 is quickly lowered. Then, the light flux propagation element 25 contracts along with this temperature change, so that the distance between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33 is expanded and restored to the initial distance d0. Thereby, it is possible to reliably suppress the heat generated by the near-field light generating element 26 from being transmitted to the main magnetic pole 33 side.

このように、本実施形態によれば、上述した第1実施形態と同様の効果を奏するとともに、まず記録再生時(レーザ光Lの導入時)において、近接場光Rの熱により露出部23fが熱膨張することで、近接場光発生素子26を主磁極33に接近させることができる。これにより、近接場光Rをより主磁極33側に接近させた状態で発生させることができる。この場合、ディスクD上において記録磁界が印加される場所と近接場光Rにより加熱される場所とが接近するので、精密かつ効率的に熱アシストを行うことができ、磁気記録密度の向上を図ることができる。   As described above, according to the present embodiment, the same effects as those of the first embodiment described above can be obtained. First, at the time of recording / reproducing (when the laser beam L is introduced), the exposed portion 23f is caused by the heat of the near-field light R. By thermal expansion, the near-field light generating element 26 can be brought close to the main magnetic pole 33. As a result, the near-field light R can be generated in a state of being closer to the main magnetic pole 33 side. In this case, the place where the recording magnetic field is applied on the disk D and the place heated by the near-field light R are close to each other, so that heat assistance can be performed accurately and efficiently, and the magnetic recording density is improved. be able to.

一方で、記録再生停止時(レーザ光Lの未導入時)において、近接場光発生素子26で発生した熱は空間部51内(大気)へ効率的に放熱されることで、近接場光発生素子26の温度が速やかに低下し、露出部23fが収縮する。これにより、近接場光発生素子26が主磁極33から間隔d0まで離間するので、近接場光発生素子26の熱が主磁極33側まで伝達されるのを抑制できる。これにより、熱による主磁極33の磁気特性の低下を抑制して、長寿命化を実現できる。
その結果、近接場光Rの熱による影響を抑制するとともに、近接場光Rによって精密で効率的な熱アシストを行うことができる。また、切欠き部24dを設けるだけの簡単な構成であるため、製造コストの増加を抑制した上で、長寿命化を実現できる。
On the other hand, when recording / reproduction is stopped (when the laser beam L is not introduced), the heat generated by the near-field light generating element 26 is efficiently radiated into the space 51 (atmosphere), thereby generating near-field light. The temperature of the element 26 quickly decreases, and the exposed portion 23f contracts. Thereby, since the near-field light generating element 26 is separated from the main magnetic pole 33 to the distance d0, it is possible to suppress the heat of the near-field light generating element 26 from being transmitted to the main magnetic pole 33 side. Thereby, it is possible to suppress the deterioration of the magnetic characteristics of the main magnetic pole 33 due to heat and to extend the life.
As a result, the influence of the near-field light R due to heat can be suppressed, and precise and efficient heat assist can be performed by the near-field light R. Moreover, since it is a simple structure which only provides the notch part 24d, it can implement | achieve the lifetime improvement, after suppressing the increase in manufacturing cost.

(変形例)
なお、図18に示すように、上述した第2実施形態の変形例における凹状の湾曲面23cを有する記録再生ヘッド250に切欠き部を設けても構わない。
この場合には、露出部23fが予め先端側クラッド24bに対して凹状に形成されているので、上述した第2実施形態の変形例と同様に近接場光発生素子26と主磁極33との距離d0を変化させずに、基端側クラッド23aの厚さを薄くできる。そのため、記録再生ヘッド250のX方向における長さを短縮して、小型化を図ることができる。
(Modification)
As shown in FIG. 18, the recording / reproducing head 250 having the concave curved surface 23c in the modified example of the second embodiment described above may be provided with a notch.
In this case, since the exposed portion 23f is previously formed in a concave shape with respect to the distal end side cladding 24b, the distance between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33 is the same as in the modification of the second embodiment described above. The thickness of the base end side cladding 23a can be reduced without changing d0. Therefore, the length of the recording / reproducing head 250 in the X direction can be shortened and the size can be reduced.

なお、本発明の技術範囲は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態で挙げた構成等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
例えば、上述の実施形態では、記録再生ヘッドを浮上させた空気浮上タイプの情報記録再生装置を例に挙げて説明したが、この場合に限られず、ディスク面に対向配置されていればディスクと記録再生ヘッドとが接触していても構わない。つまり、本発明の記録再生ヘッドは、コンタクトスライダタイプの記録再生ヘッドであっても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes those in which various modifications are made to the above-described embodiments without departing from the spirit of the present invention. In other words, the configuration described in the above-described embodiment is merely an example, and can be changed as appropriate.
For example, in the above-described embodiment, the air floating type information recording / reproducing apparatus in which the recording / reproducing head is levitated has been described as an example. However, the present invention is not limited to this case. The reproducing head may be in contact. That is, the recording / reproducing head of the present invention may be a contact slider type recording / reproducing head. Even in this case, the same effects can be achieved.

また、第3実施形態において、コア23の全体を湾曲面に形成する必要はなく、露出部23fのみを湾曲させたり、主磁極33に向けて突出させたりしても構わない。
また、上述した実施形態において、コア23に入射するレーザ光Lの光強度を制御することで、コア23の温度を調整でき、コア23(露出部23f)の熱膨張程度を調整することも可能である。これにより、記録再生時における近接場光発生素子26と主磁極33との間隔d1をコントロールすることが可能である。すなわち、記録の都合により、近接場光発生素子26を自由自在に主磁極33に接近させることができるので、主磁極33に対して所望の位置で精密かつ効率的に熱アシストを行うことができ、磁気記録密度の向上を図ることができる。また、光強度の制御のみの簡単な構造であるため、コスト増の抑制を図った上で、長寿命化を実現できる。
In the third embodiment, it is not necessary to form the entire core 23 on a curved surface, and only the exposed portion 23 f may be curved or protruded toward the main magnetic pole 33.
In the embodiment described above, the temperature of the core 23 can be adjusted by controlling the light intensity of the laser light L incident on the core 23, and the degree of thermal expansion of the core 23 (exposed portion 23f) can also be adjusted. It is. As a result, it is possible to control the distance d1 between the near-field light generating element 26 and the main magnetic pole 33 during recording and reproduction. That is, the near-field light generating element 26 can be freely brought close to the main magnetic pole 33 for the convenience of recording, so that heat assist can be accurately and efficiently performed at a desired position with respect to the main magnetic pole 33. The magnetic recording density can be improved. Further, since the structure is simple with only light intensity control, it is possible to extend the service life while suppressing an increase in cost.

光束伝播素子25のコア23が一端側から他端側に向けて漸次絞り成形されている場合を例に挙げたが、この場合に限られず、ストレートに形成されていても構わない。また、コア23とクラッド24とをそれぞれ異なる材料で一体的に形成した光束伝播素子25を例に挙げたが、中空状に形成しても構わない。この場合には、中空となった空気部分がコアとなり、その周囲を囲んでいる部分がクラッドとなる。このように構成された光束伝播素子であっても、レーザ光Lを伝播させて近接場光発生素子26に入射させることができる。   The case where the core 23 of the light beam propagation element 25 is gradually drawn from one end side to the other end side is described as an example. However, the present invention is not limited to this, and the core 23 may be formed straight. Further, although the light flux propagation element 25 in which the core 23 and the clad 24 are integrally formed of different materials has been described as an example, it may be formed in a hollow shape. In this case, the hollow air portion becomes the core and the portion surrounding the periphery becomes the cladding. Even in the light beam propagation element configured as described above, the laser light L can be propagated and incident on the near-field light generating element 26.

また、上述した実施形態では、再生素子22側から光伝播素子を形成する場合について説明したが、これに限らず、記録素子21側から形成しても構わない。この場合には、記録素子21の主磁極33上に基端側クラッド(第1クラッド)を形成し、この基端側クラッドに凹部を形成する。そして、この凹部内にコア材を充填することで、再生素子側に湾曲面を有するコアを形成できる。その後、先端側クラッド(第2クラッド)及び近接場光発生素子を形成し、先端側クラッド上に再生素子22を形成する。
この構成においても、近接場光発生素子の形成面を湾曲面に形成できるので、光強度の高い近接場光を発生させることができる。
In the above-described embodiment, the case where the light propagation element is formed from the reproducing element 22 side has been described. However, the present invention is not limited to this, and the light propagation element may be formed from the recording element 21 side. In this case, a base end side clad (first clad) is formed on the main magnetic pole 33 of the recording element 21, and a concave portion is formed in the base end side clad. Then, a core having a curved surface on the reproducing element side can be formed by filling the recess with a core material. Thereafter, the front end side cladding (second clad) and the near-field light generating element are formed, and the reproducing element 22 is formed on the front end side cladding.
Also in this configuration, the formation surface of the near-field light generating element can be formed as a curved surface, so that near-field light with high light intensity can be generated.

さらに、上述した実施形態では、光伝播素子に樹脂材料を用いた場合について説明したが、これに限らず、石英や酸化タンタルシリコン等を用いても構わない。
また、上述した実施形態では、本発明の記録再生ヘッド2をディスクDに対して垂直な記録磁界を与える垂直磁気記録方式に採用する場合について説明したが、これに限らず、ディスクDに対して水平な記録磁界を与える面内記録方式に採用しても構わない。
Further, in the above-described embodiment, the case where the resin material is used for the light propagation element has been described. However, the present invention is not limited thereto, and quartz, tantalum oxide silicon, or the like may be used.
In the above-described embodiment, the case where the recording / reproducing head 2 of the present invention is employed in a perpendicular magnetic recording system that applies a recording magnetic field perpendicular to the disk D has been described. You may employ | adopt for the in-plane recording system which gives a horizontal recording magnetic field.

1…情報記録再生装置 2,100,150,200,250…記録再生ヘッド(近接場光ヘッド) 3…ビーム 5…アクチュエータ 6…スピンドルモータ(回転駆動部) 8…制御部 20…スライダ 21…記録素子 23…コア 24…クラッド 24a…基端側クラッド(第2クラッド) 24b…先端側クラッド(第1クラッド) 24c…凹部 24d…切欠き部 25…光束伝播素子 26…近接場光発生素子 43…レーザ光源(光源) 50…コア材 50a…湾曲面(露出面) D…ディスク(磁気記録媒体) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Information recording / reproducing apparatus 2,100,150,200,250 ... Recording / reproducing head (near-field optical head) 3 ... Beam 5 ... Actuator 6 ... Spindle motor (rotation drive part) 8 ... Control part 20 ... Slider 21 ... Recording Element 23 ... Core 24 ... Cladding 24a ... Proximal side cladding (second cladding) 24b ... Tip side cladding (first cladding) 24c ... Recess 24d ... Notch 25 ... Light flux propagation element 26 ... Near-field light generating element 43 ... Laser light source (light source) 50 ... Core material 50a ... Curved surface (exposed surface) D ... Disk (magnetic recording medium)

Claims (6)

一定方向に回転する磁気記録媒体側に向けて光束を伝播させる光束伝播素子と、
前記光束から前記磁気記録媒体側に近接場光を発生させる近接場光発生素子と、
前記磁気記録媒体に対して記録磁界を与える記録素子と、を有し、
前記磁気記録媒体を前記近接場光によって加熱するとともに、前記磁気記録媒体に対して前記記録磁界を与えて磁化反転を生じさせ情報を記録させる近接場光ヘッドの製造方法であって、
前記光束伝播素子は、前記光束を反射させながら前記磁気記録媒体の方向に導くコアと、前記コアを挟み込むように封止する第1クラッド及び第2クラッドと、を有し、
前記第1クラッドを形成する第1クラッド形成工程と、
前記第1クラッドにおける前記第2クラッドが配される表面に、厚さ方向に沿って凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部内に前記コアを形成するコア形成工程と、
前記凹部に形成された前記コアの露出面上に、前記近接場光発生素子を形成する近接場光発生素子形成工程と、
前記コアを封止するように、前記第1クラッドの前記表面側に前記第2クラッドを積層形成する第2クラッド形成工程と、
前記第2クラッドを間に挟んで前記コアの反対側に前記記録素子を配置する記録素子配置工程と、を有し、
前記コア形成工程は、
前記凹部内に液体状のコア材を、前記凹部との表面張力により前記コア材の露出面が前記凹部の開口面に対して湾曲するように充填する充填工程と、
前記コア材を硬化させて、前記開口面に対して湾曲形成された湾曲面を有する前記コアを形成する硬化工程と、を有していることを特徴とする近接場光ヘッドの製造方法。
A light flux propagation element that propagates a light flux toward the magnetic recording medium rotating in a certain direction;
A near-field light generating element for generating near-field light from the luminous flux to the magnetic recording medium side;
A recording element that applies a recording magnetic field to the magnetic recording medium,
A method of manufacturing a near-field optical head that records information by heating the magnetic recording medium with the near-field light and applying the recording magnetic field to the magnetic recording medium to cause magnetization reversal,
The light flux propagation element includes a core that guides the light flux in the direction of the magnetic recording medium while reflecting the light flux, and a first clad and a second clad that are sealed so as to sandwich the core.
A first cladding forming step of forming the first cladding;
A recess forming step of forming a recess along a thickness direction on a surface of the first cladding on which the second cladding is disposed;
A core forming step of forming the core in the recess;
A near-field light generating element forming step of forming the near-field light generating element on the exposed surface of the core formed in the recess;
A second clad forming step of laminating the second clad on the surface side of the first clad so as to seal the core;
A recording element disposing step of disposing the recording element on the opposite side of the core with the second cladding interposed therebetween,
The core forming step includes
A filling step of filling the liquid core material into the recess so that the exposed surface of the core material is curved with respect to the opening surface of the recess by surface tension with the recess;
And a curing step of curing the core material to form the core having a curved surface that is curved with respect to the opening surface.
前記充填工程は、前記コア材の温度を調整することで前記コア材における前記凹部との表面張力を調整する表面張力調整工程を有していることを特徴とする請求項1記載の近接場光ヘッドの製造方法。   2. The near-field light according to claim 1, wherein the filling step includes a surface tension adjusting step of adjusting a surface tension of the core material with the concave portion by adjusting a temperature of the core material. Manufacturing method of the head. 前記表面張力調整工程では、前記コア材の前記露出面を前記開口面に対して凸状に湾曲させることを特徴とする請求項2記載の近接場光ヘッドの製造方法。   3. The method of manufacturing a near-field optical head according to claim 2, wherein, in the surface tension adjusting step, the exposed surface of the core material is curved in a convex shape with respect to the opening surface. 前記表面張力調整工程では、前記コア材の前記露出面を前記開口面に対して凹状に湾曲させることを特徴とする請求項2記載の近接場光ヘッドの製造方法。   3. The method of manufacturing a near-field optical head according to claim 2, wherein, in the surface tension adjustment step, the exposed surface of the core material is curved in a concave shape with respect to the opening surface. 請求項1ないし請求項4の何れか1項に記載の近接場光ヘッドの製造方法を用いて製造された近接場光ヘッドにおいて、
前記湾曲面は前記開口面に対して凹状に湾曲形成されていることを特徴とする近接場光ヘッド。
In the near-field optical head manufactured using the manufacturing method of the near-field optical head according to any one of claims 1 to 4,
The near-field optical head according to claim 1, wherein the curved surface is curved to be concave with respect to the opening surface.
請求項5記載の近接場光ヘッドと、
前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、前記磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する2軸回りに回動自在な状態で前記近接場光ヘッドを先端側で支持するビームと、
前記光束伝播素子に対して前記光束を入射させる光源と、
前記ビームの基端側を支持するとともに、前記ビームを前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるアクチュエータと、
前記磁気記録媒体を前記一定方向に回転させる回転駆動部と、
前記光源の作動を制御する制御部とを備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
A near-field optical head according to claim 5;
The near-field optical head is supported on the front end side so as to be movable in a direction parallel to the surface of the magnetic recording medium and rotatable about two axes parallel to the surface of the magnetic recording medium and orthogonal to each other. With the beam,
A light source that causes the light beam to enter the light beam propagation element;
An actuator for supporting the base end side of the beam and moving the beam in a direction parallel to the surface of the magnetic recording medium;
A rotation drive unit for rotating the magnetic recording medium in the fixed direction;
An information recording / reproducing apparatus comprising: a control unit that controls the operation of the light source.
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