JP2011138628A - Conductive element and method of manufacturing the same, and photosensitive material for forming the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive element having little induction loss and high conductivity, along with a method of manufacturing the same, and to provide a photosensitive material for forming the conductive element, suitable for obtaining the conductive element. <P>SOLUTION: The conductive element includes support, a metal mesh layer containing a mesh made of a conductive metal, and a conductive particle-containing layer having a binder content of ≤0.2 g/m<SP>2</SP>. The conductive element is manufactured by the manufacturing method comprising subjecting the photosensitive material for forming the conductive element to pattern exposure and a developing process, the photosensitive material having support, a silver-salt-containing layer, and a conductive particle-containing layer with a binder content of ≤0.2 g/m<SP>2</SP>. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は導電性要素およびその製造方法、並びに、導電性要素形成用感光材料に関するものである。   The present invention relates to a conductive element, a method for producing the same, and a photosensitive material for forming a conductive element.

近年、様々な製造方法による導電性要素が検討されている。この中で、支持体上にハロゲン化銀乳剤層のような銀塩含有層を有する、導電性要素形成用感光材料を用いて製造された導電性要素がある。この感光材料をメッシュ状にパターン露光し、現像処理して、現像銀で構成されたメッシュの導電部と、透明性の確保のための開口部を有する導電性要素が製造される(例えば、特許文献1〜3参照)。
しかし、この導電性要素を電磁波シールド膜、有機ELまたは無機ELの電極、エレクトロクロミック素子の電極等の各種の電極として使用しようとすると、依然として誘電損失が大きく、導電性において不満足なものであった。
In recent years, conductive elements by various manufacturing methods have been studied. Among these, there is a conductive element produced using a photosensitive material for forming a conductive element, which has a silver salt-containing layer such as a silver halide emulsion layer on a support. The photosensitive material is pattern-exposed in a mesh shape and developed to produce a conductive element having a mesh conductive portion composed of developed silver and an opening for ensuring transparency (for example, a patent) References 1-3).
However, when this conductive element is used as various electrodes such as an electromagnetic shielding film, an organic EL or inorganic EL electrode, and an electrode of an electrochromic element, the dielectric loss is still large and the conductivity is unsatisfactory. .

特開2004−221564号公報JP 2004-221564 A 特開2004−221565号公報JP 2004-221565 A 特開2007−95408号公報JP 2007-95408 A

本発明の目的は、誘電損失が小さく高い導電性を有する導電性要素およびその製造方法、並びに、その導電性要素を得るのに好適な導電性要素形成用感光材料を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a conductive element having a small dielectric loss and high conductivity, a method for producing the same, and a photosensitive material for forming a conductive element suitable for obtaining the conductive element.

前記課題を解決する手段は以下の通りである。
<1> 支持体と、導電性金属で構成された金属メッシュ層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層とを有する導電性要素。
<2> 前記支持体と、前記金属メッシュ層と、前記導電性微粒子含有層とを、この順に有する<1>に記載の導電性要素。
<3> 前記導電性金属が、銀である<1>または<2>に記載の導電性要素。
<4> 前記導電性微粒子含有層に含まれる導電性微粒子が、0.005μm〜0.12μmの粒子径を持つ導電性金属酸化物の微粒子である<1>から<3>のいずれかに記載の導電性要素。
<5> 前記金属酸化物が、SnO、ZnO、TiO、Al、In、MgO、BaOおよびMoOからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属酸化物、これらの複合金属酸化物またはこれらの金属酸化物に異種原子を含む金属酸化物である<4>に記載の導電性要素。
<6> 前記金属酸化物が、アンチモンがドープされたSnOである<4>に記載の導電性要素。
<7> 前記導電性微粒子含有層に含まれる導電性微粒子の含有量が、0.05g/m〜0.99g/mである<1>から<6>のいずれかに記載の導電性要素。
<8> 前記導電性微粒子含有層が、バインダを含有しない<1>から<7>のいずれかに記載の導電性要素。
<9> 支持体と、銀塩含有層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層とを有する導電性要素形成用感光材料。
<10> <9>に記載の導電性要素形成用感光材料をメッシュ状にパターン露光および現像処理することを含む導電性要素の製造方法。
<11> 支持体と、銀塩含有層とを有する導電性要素形成用感光材料をメッシュ状にパターン露光および現像処理して、現像銀メッシュ層を有する導電性要素前駆体を作製すること、該現像銀メッシュ層上に、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層を形成することを含む導電性要素の製造方法。
<12> 前記現像処理後、前記導電性微粒子含有層を形成する前に、前記導電性要素前駆体を平滑化処理する<11>に記載の導電性要素の製造方法。
<13> 導電性金属で構成されたメッシュを含む金属メッシュ層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層と、該導電性微粒子含有層に隣接する被通電層とを有する電極構造。
Means for solving the problems are as follows.
<1> A conductive element having a support, a metal mesh layer composed of a conductive metal, and a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less.
<2> The conductive element according to <1>, including the support, the metal mesh layer, and the conductive fine particle-containing layer in this order.
<3> The conductive element according to <1> or <2>, wherein the conductive metal is silver.
<4> The conductive fine particles contained in the conductive fine particle-containing layer are conductive metal oxide fine particles having a particle diameter of 0.005 μm to 0.12 μm, according to any one of <1> to <3>. Conductive elements.
<5> The metal oxide is at least one metal oxide selected from the group consisting of SnO 2 , ZnO, TiO 2 , Al 2 O 3 , In 2 O 3 , MgO, BaO and MoO 3 , and a composite thereof <4> The conductive element according to <4>, which is a metal oxide or a metal oxide containing a heteroatom in these metal oxides.
<6> The conductive element according to <4>, wherein the metal oxide is SnO 2 doped with antimony.
<7> The content of the conductive particles contained in the conductive fine particle-containing layer is conductive according to any one of <6> from a 0.05g / m 2 ~0.99g / m 2 <1> element.
<8> The conductive element according to any one of <1> to <7>, wherein the conductive fine particle-containing layer does not contain a binder.
<9> A photosensitive element-forming photosensitive material comprising a support, a silver salt-containing layer, and a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less.
<10> A method for producing a conductive element, comprising subjecting the photosensitive material for forming a conductive element according to <9> to pattern exposure and development processing in a mesh shape.
<11> Conductive element forming photosensitive material having a support and a silver salt-containing layer is subjected to pattern exposure and development treatment in a mesh shape to produce a conductive element precursor having a developed silver mesh layer, A method for producing a conductive element, comprising forming a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less on a developed silver mesh layer.
<12> The method for producing a conductive element according to <11>, wherein the conductive element precursor is smoothed after the development treatment and before the formation of the conductive fine particle-containing layer.
<13> A metal mesh layer including a mesh composed of a conductive metal, a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less, and an energized layer adjacent to the conductive fine particle-containing layer. Having electrode structure.

本発明によれば、誘電損失が小さく高い導電性を有する導電性要素およびその製造方法、並びに、その導電性要素を得るのに好適な導電性要素形成用感光材料が提供される。   According to the present invention, there are provided a conductive element having a small dielectric loss and high conductivity, a method for producing the same, and a photosensitive material for forming a conductive element suitable for obtaining the conductive element.

本発明の導電性要素は、支持体と、導電性金属で構成された金属メッシュ層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層とを有する。
本発明の導電性要素では、導電性微粒子含有層のバインダ量を0.2g/m以下とすることにより、誘電損失の小さい、高い導電性を有する導電性要素が得られる。
The electroconductive element of this invention has a support body, the metal mesh layer comprised with the electroconductive metal, and the electroconductive fine particle content layer whose binder amount is 0.2 g / m < 2 > or less.
In the conductive element of the present invention, a conductive element having a low dielectric loss and high conductivity can be obtained by setting the binder amount of the conductive fine particle-containing layer to 0.2 g / m 2 or less.

以下、本発明の導電性要素に使用される各素材について、説明する。
[支持体]
本発明の導電性要素に用いられる支持体としては、プラスチックフィルム、プラスチック板、およびガラス板などを挙げることができる。
支持体としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)(融点:258℃)、ポリエチレンナフタレート(PEN)(融点:269℃)、ポリエチレン(PE)(融点:135℃)、ポリプロピレン(PP)(融点:163℃)、ポリスチレン(融点:230℃)、ポリ塩化ビニル(融点:180℃)、ポリ塩化ビニリデン(融点:212℃)やトリアセチルセルロース(TAC)(融点:290℃)等の融点が約290℃以下であるプラスチックフィルム、またはプラスチック板が好ましい。光透過性や加工性などの観点から、PETが特に好ましい。
支持体の厚みは、10μmから200μmの範囲から選ばれ、より好ましくは、70μmから180μmの範囲から選ばれる。
支持体の透明性は高いことが好ましい。支持体の全可視光透過率は70%以上が好ましく、85%以上がさらに好ましく、特に好ましくは90%以上である。勿論、本発明の目的を妨げない範囲であれば、着色した支持体を用いることもできる。
Hereinafter, each material used for the conductive element of the present invention will be described.
[Support]
Examples of the support used in the conductive element of the present invention include a plastic film, a plastic plate, and a glass plate.
As the support, polyethylene terephthalate (PET) (melting point: 258 ° C.), polyethylene naphthalate (PEN) (melting point: 269 ° C.), polyethylene (PE) (melting point: 135 ° C.), polypropylene (PP) (melting point: 163 ° C.) ), Polystyrene (melting point: 230 ° C.), polyvinyl chloride (melting point: 180 ° C.), polyvinylidene chloride (melting point: 212 ° C.), triacetyl cellulose (TAC) (melting point: 290 ° C.), etc. A plastic film or a plastic plate is preferred. PET is particularly preferable from the viewpoints of light transmittance and processability.
The thickness of the support is selected from the range of 10 μm to 200 μm, more preferably from the range of 70 μm to 180 μm.
The transparency of the support is preferably high. The total visible light transmittance of the support is preferably 70% or more, more preferably 85% or more, and particularly preferably 90% or more. Of course, a colored support can be used as long as it does not interfere with the object of the present invention.

[金属メッシュ層]
本発明の導電性要素に使用される金属メッシュ層は、導電性金属で構成される。導電性金属としては、導電性を示す金属であれば使用することができる。導電性金属としては、銅、アルミニウム、銀などが導電性に優れるので好ましい。
導電性金属は、単一の金属で構成されても良いし、合金であってもよい。また、金属メッシュを構成する金属は、導電性要素の平面に垂直な面の断面で見た場合に、2種以上の金属の積層構造となっていても良い。
金属メッシュ層の厚さは、一般的には、0.1μmから5μmの範囲から選ばれ、より好ましくは、1μmから3μmの範囲から選ばれる。なお、導電性を向上させる観点からは、金属メッシュ層の厚さは大きい方が好ましい。
金属メッシュ層は、例えば以下の(1)〜(4)に記載の方法により形成される。
(1)支持体上に感光性ハロゲン化銀を含有する乳剤層を有する感光材料を露光し、現像処理を施すことによって、露光部及び未露光部にそれぞれ金属銀部及び光透過性部を形成して金属メッシュ層を形成することができる。なお、さらに金属銀部に物理現像及び/又はめっき処理を施すことによって金属銀部に導電性金属を担持させてもよい。
(2)支持体上に形成された銅箔上のフォトレジスト膜を露光、現像処理してレジストパターンを形成し、レジストパターンから露出する銅箔をエッチングすることによって、金属メッシュ層を形成してもよい。
(3)支持体上に金属微粒子を含むペースト(触媒を含有)を印刷し、ペーストに金属めっきを行うことによって、金属メッシュ層を形成してもよい。
(4)支持体上に、金属メッシュ層をスクリーン印刷版又はグラビア印刷版によって印刷形成してもよい。印刷にて形成する場合、金属メッシュ層に対応する触媒層(触媒を含有)をまず形成し、その後、その触媒層に対して金属めっきを行うことで、金属メッシュ層を形成でき、導電性を向上させることができる。
[Metal mesh layer]
The metal mesh layer used for the conductive element of the present invention is composed of a conductive metal. As the conductive metal, any metal exhibiting conductivity can be used. As the conductive metal, copper, aluminum, silver or the like is preferable because of its excellent conductivity.
The conductive metal may be composed of a single metal or an alloy. Moreover, the metal which comprises a metal mesh may be a laminated structure of 2 or more types of metals, when it sees in the cross section of a surface perpendicular | vertical to the plane of an electroconductive element.
The thickness of the metal mesh layer is generally selected from the range of 0.1 μm to 5 μm, more preferably from the range of 1 μm to 3 μm. From the viewpoint of improving the conductivity, it is preferable that the thickness of the metal mesh layer is large.
A metal mesh layer is formed by the method as described in the following (1)-(4), for example.
(1) By exposing a photosensitive material having an emulsion layer containing photosensitive silver halide on a support and performing development processing, a metallic silver portion and a light-transmitting portion are formed in an exposed portion and an unexposed portion, respectively. Thus, a metal mesh layer can be formed. Further, a conductive metal may be supported on the metal silver portion by further subjecting the metal silver portion to physical development and / or plating treatment.
(2) The photoresist film on the copper foil formed on the support is exposed and developed to form a resist pattern, and the copper foil exposed from the resist pattern is etched to form a metal mesh layer. Also good.
(3) A metal mesh layer may be formed by printing a paste containing metal fine particles (containing a catalyst) on a support and performing metal plating on the paste.
(4) The metal mesh layer may be printed on the support by a screen printing plate or a gravure printing plate. When forming by printing, a catalyst layer (containing a catalyst) corresponding to the metal mesh layer is formed first, and then the metal mesh layer is formed by performing metal plating on the catalyst layer. Can be improved.

[導電性微粒子]
本発明の導電性要素に含まれる導電性微粒子含有層に使用される導導電性微粒子には、SnO,ZnO,TiO,Al,In,MgO,BaO,およびMoOなどの金属酸化物ならびにこれらの複合酸化物、そしてこれらの金属酸化物にさらに異種原子を含む金属酸化物の粒子を挙げることができる。異種原子としては、アンチモンがあげられる。
金属酸化物としては、SnO,ZnO,TiO,Al,In,MgOが好ましく、SnOが特に好ましい。SnOとしては、アンチモンがドープされたSnOが好ましく、特にアンチモンが0.2〜2.0モル%ドープされたSnOが好ましい。
[Conductive fine particles]
The conductive fine particles used in the conductive fine particle-containing layer included in the conductive element of the present invention include SnO 2 , ZnO, TiO 2 , Al 2 O 3 , In 2 O 3 , MgO, BaO, and MoO 3. Examples thereof include metal oxides such as these, composite oxides thereof, and metal oxide particles further containing different atoms in these metal oxides. An example of the heteroatom is antimony.
As the metal oxide, SnO 2, ZnO, TiO 2 , Al 2 O 3, In 2 O 3, MgO is preferred, SnO 2 is particularly preferable. The SnO 2, SnO 2 are preferred doped with antimony, SnO 2 is preferred which is particularly doped antimony 0.2-2.0 mol%.

本発明に用いる導電性微粒子の形状については特に制限はなく、粒状、針状等が挙げられる。導電性微粒子の粒子径は0.005〜0.12μmが好ましい。
粒子径の下限値は、0.008μmがより好ましく、0.01μmがさらに好ましい。粒子径の上限値は、0.08μmがより好ましく、0.05μmがさらに好ましい。上記粒子径の条件を満たすことで、透明性に優れ、導電性の面内方向に均一な導電層を形成することができる。
導電性微粒子の粉体抵抗(9.8MPa圧粉体)の下限値は、0.8Ωcmが好ましく、1Ωcmがより好ましく、4Ωcmがさらに好ましい。導電性微粒子の粉体抵抗(9.8MPa圧粉体)の上限値は、35Ωcmが好ましく、20Ωcmがより好ましく、10Ωcmがさらに好ましい。上記粉体抵抗の条件を満たすことで、導電性の面内方向に均一な導電層を形成することができる。
比表面積(簡易BET法)は60m/g〜120m/gが好ましく、70m/g〜100m/gがより好ましい。これらの中でも、上記好適な条件をすべて満たしているものが特に好ましい。
また、導電性微粒子が球形の粒子の場合、その一次粒子径の平均粒子径は0.005〜0.12μmが好ましく、0.008〜0.05μmがより好ましく、0.01〜0.03μmが更に好ましい。その粉体抵抗は0.8〜7Ωcmが好ましく、1〜5Ωcmがより好ましい。
針状の場合は平均軸長が、長軸0.2〜20μm、短軸0.01〜0.02μmが好ましい。その粉体抵抗は3〜35Ωcmが好ましく、5〜30Ωcmがより好ましい。
上記特性を有する導電性微粒子としては、石原産業社製SNシリーズ、FSシリーズや三菱マテリアル電子化成社製導電性材料が使用できる。
There is no restriction | limiting in particular about the shape of the electroconductive fine particles used for this invention, A granular form, needle shape, etc. are mentioned. The particle diameter of the conductive fine particles is preferably 0.005 to 0.12 μm.
The lower limit of the particle diameter is more preferably 0.008 μm and even more preferably 0.01 μm. The upper limit of the particle diameter is more preferably 0.08 μm and even more preferably 0.05 μm. By satisfy | filling the said particle diameter conditions, it is excellent in transparency and can form a uniform conductive layer in the electroconductive in-plane direction.
The lower limit value of the powder resistance (9.8 MPa green compact) of the conductive fine particles is preferably 0.8 Ωcm, more preferably 1 Ωcm, and even more preferably 4 Ωcm. The upper limit value of the powder resistance (9.8 MPa compact) of the conductive fine particles is preferably 35 Ωcm, more preferably 20 Ωcm, and even more preferably 10 Ωcm. By satisfying the above powder resistance condition, it is possible to form a conductive layer that is uniform in the conductive in-plane direction.
The specific surface area (Simple BET method) is preferably from 60m 2 / g~120m 2 / g, 70m 2 / g~100m 2 / g is more preferable. Among these, those satisfying all of the above preferred conditions are particularly preferable.
When the conductive fine particles are spherical particles, the average primary particle size is preferably 0.005 to 0.12 μm, more preferably 0.008 to 0.05 μm, and 0.01 to 0.03 μm. Further preferred. The powder resistance is preferably 0.8-7 Ωcm, more preferably 1-5 Ωcm.
In the case of needles, the average axial length is preferably 0.2-20 μm in the long axis and 0.01-0.02 μm in the short axis. The powder resistance is preferably 3 to 35 Ωcm, and more preferably 5 to 30 Ωcm.
As the conductive fine particles having the above-described characteristics, SN series, FS series manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., and conductive materials manufactured by Mitsubishi Materials Electronic Chemicals, Inc. can be used.

[導電性微粒子含有層のバインダ]
本発明による導電性要素においては、導電性微粒子含有層のバインダ量を0.2g/m以下とする。導電性微粒子含有層のバインダ量は、0.20g/m以下が好ましく、0.1g/m以下がより好ましい。これにより、導電性要素の誘電損失が小さくなり、高い導電性を有する導電性要素が得られる。その理由は、バインダ量を0.2g/m以下とすることにより、隣接する二つの導電性微粒子の間に介在するバインダの影響が少なくなり、導電性微粒子間の電子の流れが向上すると共に、誘電損失の増大が抑制されるためと推定される。従って、導電性微粒子含有層はバインダを含まないことが最も好ましい。本発明における上記の「バインダ量が0.2g/m以下」にはバインダ量が0g/mの場合、即ち、バインダを含まない場合を包含する。
[Binder of conductive fine particle-containing layer]
In the conductive element according to the present invention, the binder amount of the conductive fine particle-containing layer is set to 0.2 g / m 2 or less. Binder amount of the conductive fine particle-containing layer is preferably from 0.20 g / m 2 or less, 0.1 g / m 2 or less is more preferable. Thereby, the dielectric loss of an electroconductive element becomes small, and the electroconductive element which has high electroconductivity is obtained. The reason is that by setting the binder amount to 0.2 g / m 2 or less, the influence of the binder interposed between two adjacent conductive fine particles is reduced, and the flow of electrons between the conductive fine particles is improved. It is estimated that the increase in dielectric loss is suppressed. Therefore, it is most preferable that the conductive fine particle-containing layer does not contain a binder. The “binder amount is 0.2 g / m 2 or less” in the present invention includes the case where the binder amount is 0 g / m 2 , that is, the case where no binder is included.

導電性微粒子含有層がバインダを含む場合、当該バインダは、前記導電性微粒子を導電性微粒子含有層中に均一に分散させ、かつ導電層を前記支持体表面に固着させる機能を有するものから選ばれることが好ましい。このようなバインダとしては、非水溶性ポリマーおよび水溶性ポリマーのいずれもバインダとして用いることができるが、水溶性ポリマーを用いることが好ましい。   When the conductive fine particle-containing layer contains a binder, the binder is selected from those having a function of uniformly dispersing the conductive fine particles in the conductive fine particle-containing layer and fixing the conductive layer to the support surface. It is preferable. As such a binder, both a water-insoluble polymer and a water-soluble polymer can be used as a binder, but it is preferable to use a water-soluble polymer.

上記水溶性ポリマーの具体例としては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、澱粉等の多糖類、セルロースおよびその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリサッカライド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。ゼラチンとしては、化学修飾したゼラチンであっても良く、例えばアセチル化、脱アミノ化、ベンゾイル化、ジニトロフェニル化、トリニトロフェニル化、カルバミル化、フェニルカルバミル化、スクシニル化、コハク化、フタル化等を施したゼラチン等がある。この中でも好ましいのは、フタル化ゼラチンを用いた場合である。フタル化ゼラチンを用いた場合、導電性の向上と塗布面状の向上とを両立することができる。本発明においては、バインダとしては、ゼラチンが特に好ましい。   Specific examples of the water-soluble polymer include, for example, gelatin, polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl pyrrolidone (PVP), polysaccharides such as starch, cellulose and derivatives thereof, polyethylene oxide, polysaccharides, polyvinylamine, chitosan, polylysine, Examples include polyacrylic acid, polyalginic acid, polyhyaluronic acid, carboxycellulose, and the like. These have neutral, anionic, and cationic properties depending on the ionicity of the functional group. Gelatin may be chemically modified gelatin such as acetylation, deamination, benzoylation, dinitrophenylation, trinitrophenylation, carbamylation, phenylcarbamylation, succinylation, succination, phthalation. There are gelatin and the like. Among these, the case where phthalated gelatin is used is preferable. When phthalated gelatin is used, it is possible to achieve both improved conductivity and improved coated surface. In the present invention, gelatin is particularly preferable as the binder.

導電性微粒子含有層は、導電性微粒子の量が0.05g/m〜0.99g/mの範囲となるように設けることが好ましい。上記下限値は、0.1g/mがより好ましく、0.2g/mがさらに好ましい。上記上限値は、0.5g/mがさらに好ましく、0.45g/mが特に好ましい。 Conductive fine particle-containing layer, preferably the amount of conductive fine particles provided to be in the range of 0.05g / m 2 ~0.99g / m 2 . The lower limit is more preferably 0.1g / m 2, 0.2g / m 2 is more preferred. The above upper limit is more preferably 0.5g / m 2, 0.45g / m 2 is particularly preferred.

金属メッシュ層と導電性微粒子含有層は、メッシュを構成する導電性金属と導電性微粒子との間を電子が流れるように、隣り合うように配置されていることが好ましい。その順序に制限はないが、好ましくは支持体に近い側から、金属メッシュ層および導電性微粒子含有層の順とされる。   The metal mesh layer and the conductive fine particle-containing layer are preferably disposed so as to be adjacent to each other so that electrons flow between the conductive metal and the conductive fine particles constituting the mesh. Although there is no restriction | limiting in the order, Preferably it is set as the order of a metal mesh layer and an electroconductive fine particle content layer from the side near a support body.

支持体と、金属メッシュ層または導電性微粒子含有層との間には、これら両者の接着力を十分なものとすること等を目的として下塗り層を有していても良い。また、金属メッシュ層および導電性微粒子含有層を有する側の導電性要素の表面には、導電性微粒子含有層の損傷を防ぐ等の目的で、保護層を有していても良い。
更に、支持体の金属メッシュ層が形成された側とは反対側の表面に、バック層を有していても良い。バック層は、導電性要素が湾曲またはカールすることを防止し、平面性の優れた導電性要素をもたらす。また、バック層は、本発明による導電性要素を例えば無機ELや有機EL等の電極として組み込む場合に、接着層としての機能を持たせたものであっても良い。
支持体とその上に隣接する層との間に下塗り層を有する場合、下塗り層としては、ポリマーバインダを構成成分とする層とされる。
また、支持体から最も離れた層として保護層を有する場合、保護層としては、ポリマーバインダを構成成分とする層とされる。
下塗り層または保護層に使用されるポリマーバインダとしては、前述の導電性微粒子含有層に使用されるバインダを挙げることができる。
An undercoat layer may be provided between the support and the metal mesh layer or the conductive fine particle-containing layer for the purpose of ensuring sufficient adhesion between them. Further, the surface of the conductive element on the side having the metal mesh layer and the conductive fine particle-containing layer may have a protective layer for the purpose of preventing damage to the conductive fine particle-containing layer.
Furthermore, you may have a back layer in the surface on the opposite side to the side in which the metal mesh layer of the support body was formed. The back layer prevents the conductive element from curving or curling, and provides a conductive element with excellent planarity. Further, the back layer may have a function as an adhesive layer when the conductive element according to the present invention is incorporated as an electrode such as inorganic EL or organic EL.
When an undercoat layer is provided between the support and a layer adjacent thereto, the undercoat layer is a layer containing a polymer binder as a constituent component.
Moreover, when it has a protective layer as a layer most distant from a support body, it is set as a layer which uses a polymer binder as a protective layer as a protective layer.
Examples of the polymer binder used for the undercoat layer or the protective layer include the binders used for the conductive fine particle-containing layer described above.

本発明による導電性要素が保護層を有する場合、保護層はシリカを含有することが好ましい。シリカの含有量は、0.16g/m以上がより好ましく、0.24g/m以上がさらに好ましい。シリカの含有量は、0.5g/m以下がより好ましく、0.4g/m以下がさらに好ましい。
シリカとしては、コロイド状シリカ(コロイダルシリカ)を用いることが好ましい。
When the conductive element according to the present invention has a protective layer, the protective layer preferably contains silica. The content of silica is, 0.16 g / m 2 or more preferably, 0.24 g / m 2 or more is more preferable. The content of silica is more preferably not more than 0.5g / m 2, 0.4g / m 2 or less is more preferred.
As silica, colloidal silica (colloidal silica) is preferably used.

コロイダルシリカとしては、平均粒径が1nm以上1μm以下の無水ケイ酸の微粒子のコロイド(膠質)を指し、特開昭53−112732号、特公昭57−009051号、同57−51653号等に記載されているものを参考にすることができる。これらのコロイド状シリカはゾル−ゲル法で調製して使用することもできるし、市販品を利用することもできる。
コロイド状シリカをゾル−ゲル法で調製する場合には、Werner Stober et al.,J.Colloid and Interface Sci.,26,62-69(1968)、Ricky D.Badley et al.,Langmuir 6,792-801(1990)、色材協会誌,61〔9〕488-493(1988)等の記載を参考にして合成することができる。
また、市販品を使用する場合は、日産化学(株)製のスノーテックス−XL(平均粒径40〜60nm)、スノーテックス−YL(平均粒径50〜80nm)、スノーテックス−ZL(平均粒径70〜100nm)、PST−2(平均粒径210nm)、MP−3020(平均粒径328nm)、スノーテックス20(平均粒径10〜20nm、SiO/NaO>57)、スノーテックス30(平均粒径10〜20nm、SiO/NaO>50)、スノーテックスC(平均粒径10〜20nm、SiO/NaO>100)、スノーテックスO(平均粒径10〜20nm、SiO/NaO>500)等を好ましく使用することができる(いずれも商品名。ここでSiO/NaOとは、二酸化ケイ素と水酸化ナトリウムとの含有質量比を、水酸化ナトリウムをNaOに換算して表したものであり、カタログに記載されている。)。市販品を利用する場合はスノーテックス−YL、スノーテックス−ZL、PST−2、MP−3020、スノーテックスCが特に好ましい。
コロイド状シリカの主成分は二酸化ケイ素であるが、少量成分としてアルミナあるいはアルミン酸ナトリウム等を含んでいてもよく、さらに安定剤として水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、アンモニア等の無機塩基やテトラメチルアンモニウムのような有機塩基が含まれていてもよい。
また、コロイダルシリカとしては、特開平10−268464号公報記載の、太さ1〜50nm、長さ10〜1000nmの細長い形状を有するコロイド状シリカ、特開平9−218488号公報あるいは特開平10−111544号公報記載のコロイド状シリカと有機ポリマーとの複合粒子も好ましく用いることができる。
Colloidal silica refers to a colloid of silicic acid fine particles having an average particle diameter of 1 nm or more and 1 μm or less, and is described in JP-A-53-112732, JP-B-57-009051, and 57-51653. You can refer to what is being done. These colloidal silicas can be prepared and used by a sol-gel method, or commercially available products can be used.
For preparing colloidal silica by the sol-gel method, see Werner Stober et al., J. MoI. Colloid and Interface Sci., 26, 62-69 (1968), Ricky D. It can be synthesized with reference to the description of Badley et al., Langmuir 6, 792-801 (1990), Journal of Color Material Association, 61 [9] 488-493 (1988).
In addition, when using commercially available products, SNOWTEX-XL (average particle size 40-60 nm), SNOWTEX-YL (average particle size 50-80 nm), SNOWTEX-ZL (average particle) manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd. 70-100 nm in diameter), PST-2 (average particle diameter 210 nm), MP-3020 (average particle diameter 328 nm), Snowtex 20 (average particle diameter 10-20 nm, SiO 2 / Na 2 O> 57), Snowtex 30 (Average particle size 10 to 20 nm, SiO 2 / Na 2 O> 50), SNOWTEX C (average particle size 10 to 20 nm, SiO 2 / Na 2 O> 100), SNOWTEX O (average particle size 10 to 20 nm, SiO 2 / Na 2 O> 500 ) preferably can be used (trade names and the like. the SiO 2 / Na 2 O, where hydroxide with silicon dioxide The content mass ratio of thorium, sodium hydroxide is a representation in terms of Na 2 O, are described in the catalog.). When using a commercial item, SNOWTEX-YL, SNOWTEX-ZL, PST-2, MP-3020, and SNOWTEX C are particularly preferable.
The main component of colloidal silica is silicon dioxide, but it may contain alumina or sodium aluminate as a minor component, and as a stabilizer, an inorganic base such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, or ammonia. Or an organic base such as tetramethylammonium.
Examples of colloidal silica include colloidal silica having an elongated shape with a thickness of 1 to 50 nm and a length of 10 to 1000 nm described in JP-A-10-268464, JP-A-9-218488, or JP-A-10-111544. Also, composite particles of colloidal silica and organic polymer described in the above publication can be preferably used.

金属メッシュ層が正方形の開口部を有する場合、その開口部の幅(正方形の一辺)をX(単位:μm)とし、且つその開口部の表面抵抗をY(単位:Ω/□)としたときに、下式(a)及び(b)を満たすように形成されることが好ましい。
式(a) 50≦X≦7000
式(b) 10≦Y≦(5×1023)×X−4.02
上記Yは、より好ましくは下記(b1)、さらに好ましくは下記(b2)を満たすように形成される。
式(b1) 10≦Y≦1×1023×(X)−4.02
式(b2) 10≦Y≦3×1022×(X)−4.25
メッシュの線幅Dは、導電性要素を透明電極として使用する場合には、なるべく狭い方が高い透明性が確保されるので好ましい。一般的には30μm以下が好ましく、20μm以下がより好ましく、15μm以下がさらに好ましい。線幅は、1μm以上が好ましく、3μm以上がより好ましい。例えば、直線格子パターンでは、線幅D/開口部の幅Xの比、すなわち、ライン/スペースが、5/995〜10/595であることが好ましい。
本発明において、金属メッシュの開口部の幅Xは50μm〜7,000μmであり、100μm〜5,000μmであることがより好ましく、200〜2,000μmであることがさらに好ましい。
When the metal mesh layer has a square opening, when the width of the opening (one side of the square) is X (unit: μm) and the surface resistance of the opening is Y (unit: Ω / □) In addition, it is preferable to be formed so as to satisfy the following formulas (a) and (b).
Formula (a) 50 ≦ X ≦ 7000
Formula (b) 10 5 ≦ Y ≦ (5 × 10 23 ) × X −4.02
The Y is more preferably formed to satisfy the following (b1), more preferably the following (b2).
Formula (b1) 10 5 ≦ Y ≦ 1 × 10 23 × (X) −4.02
Formula (b2) 10 5 ≦ Y ≦ 3 × 10 22 × (X) −4.25
When the conductive element is used as a transparent electrode, the mesh line width D is preferably as narrow as possible because high transparency is secured. Generally, it is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, and even more preferably 15 μm or less. The line width is preferably 1 μm or more, and more preferably 3 μm or more. For example, in the linear lattice pattern, the ratio of the line width D / the width X of the opening, that is, the line / space is preferably 5/995 to 10/595.
In the present invention, the width X of the opening of the metal mesh is 50 μm to 7,000 μm, more preferably 100 μm to 5,000 μm, and further preferably 200 to 2,000 μm.

本発明による導電性要素は、支持体と、銀塩含有層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層とを有する導電性要素形成用感光材料をメッシュ状にパターン露光および現像処理する製造方法(a)、または支持体と、銀塩含有層とを有する導電性要素形成用感光材料をメッシュ状にパターン露光および現像処理して、支持体と、現像銀で構成されたメッシュを含む現像銀メッシュ層を有する導電性要素前駆体を作製し、該現像銀メッシュ層上に、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層を形成する製造方法(b)によって製造することが好ましい。なお、製造方法(b)の導電性要素前駆体としては、上記(2)〜(4)に記載の方法により形成された金属メッシュ層も使用できる。
以下、これらの製造方法について、説明する。
The conductive element according to the present invention is a pattern exposure of a photosensitive material for forming a conductive element having a support, a silver salt-containing layer, and a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less. And a development method (a), or a conductive element-forming photosensitive material having a support and a silver salt-containing layer is subjected to pattern exposure and development processing in a mesh form, and is composed of a support and developed silver. Production method (b) of producing a conductive element precursor having a developed silver mesh layer containing a fine mesh and forming a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less on the developed silver mesh layer ). In addition, as a conductive element precursor of a manufacturing method (b), the metal mesh layer formed by the method as described in said (2)-(4) can also be used.
Hereinafter, these manufacturing methods will be described.

上記の通り、上記製造方法(a)においては、支持体と、銀塩含有層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層とを有する導電性要素形成用感光材料(a)(以下、「感光材料(a)」とも言う。)が使用され、上記製造方法(b)においては、支持体と、銀塩含有層とを有する導電性要素形成用感光材料(b)(以下、「感光材料(b)」とも言う。)が使用される。
上記感光材料(a)および感光材料(b)の何れにおいても、その支持体としては、前述の導電性要素の支持体について説明したものが使用される。
As described above, in the production method (a), the photosensitive element-forming photosensitive material having a support, a silver salt-containing layer, and a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less ( a) (hereinafter also referred to as “photosensitive material (a)”) is used, and in the above production method (b), the photosensitive element-forming photosensitive material (b) having a support and a silver salt-containing layer is used. (Hereinafter also referred to as “photosensitive material (b)”).
In both the photosensitive material (a) and the photosensitive material (b), the support described above for the conductive element support is used as the support.

<銀塩含有層>
上記感光材料(a)および感光材料(b)に使用される銀塩含有層に含まれる銀塩としては、ハロゲン化銀等の無機銀塩及び酢酸銀等の有機銀塩が挙げられる。本発明においては、光センサとしての特性に優れるハロゲン化銀を用いることが好ましい。
<Silver salt-containing layer>
Examples of the silver salt contained in the silver salt-containing layer used in the photosensitive material (a) and the photosensitive material (b) include inorganic silver salts such as silver halide and organic silver salts such as silver acetate. In the present invention, it is preferable to use silver halide having excellent characteristics as an optical sensor.

本発明で好ましく用いられるハロゲン化銀について説明する。
本発明においては、光センサとしての特性に優れるハロゲン化銀を用いることが好ましく、ハロゲン化銀は保護コロイドとしてのバインダ中に粒子として分散含有するハロゲン化銀乳剤として用いられる。ハロゲン化銀乳剤に関する銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等で用いられる技術は、本発明においても用いることができる。
上記ハロゲン化銀に含有されるハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素及びフッ素のいずれであってもよく、これらを組み合わせてもよい。例えば、AgCl、AgBr、AgIを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられ、さらにAgBrやAgClを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられる。塩臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀もまた好ましく用いられる。より好ましくは、塩臭化銀、臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀であり、最も好ましくは、塩化銀50モル%以上を含有する塩臭化銀、沃塩臭化銀が用いられる。
ハロゲン化銀は固体粒子状であり、露光、現像処理後に形成されるパターン状金属銀部の画像品質の観点からは、ハロゲン化銀の平均粒子サイズは、球相当径で0.1nm〜1000nm(1μm)であることが好ましく、0.1nm〜100nmであることがより好ましく、1nm〜50nmであることがさらに好ましい。なお、ハロゲン化銀粒子の球相当径とは、粒子形状が球形の同じ体積を有する粒子の直径である。
本発明で使用される銀塩含有層の好ましい態様に用いられる乳剤層用塗布液であるハロゲン化銀乳剤(以下、単に「乳剤層」とも言う。)は、P.Glafkides著 Chimie et Physique Photographique(Paul Montel社刊、1967年)、G.F.Dufin著 Photographic Emulsion Chemistry(The Focal Press刊、1966年)、V.L.Zelikmanほか著 Making and Coating Photographic Emulsion(The Focal Press刊、1964年)等に記載された方法を用いて調製することができる。
The silver halide preferably used in the present invention will be described.
In the present invention, it is preferable to use a silver halide having excellent characteristics as an optical sensor, and the silver halide is used as a silver halide emulsion dispersed and contained as particles in a binder as a protective colloid. Techniques used in silver halide photographic films, photographic papers, printing plate making films, photomask emulsion masks, etc. relating to silver halide emulsions can also be used in the present invention.
The halogen element contained in the silver halide may be any of chlorine, bromine, iodine and fluorine, or a combination thereof. For example, silver halide mainly composed of AgCl, AgBr, and AgI is preferably used, and silver halide mainly composed of AgBr or AgCl is preferably used. Silver chlorobromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide are also preferably used. More preferred are silver chlorobromide, silver bromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide, and most preferred are silver chlorobromide and silver iodochlorobromide containing 50 mol% or more of silver chloride. Used.
Silver halide is in the form of solid grains. From the viewpoint of image quality of the patterned metallic silver portion formed after exposure and development processing, the average grain size of silver halide is 0.1 nm to 1000 nm in terms of sphere equivalent diameter ( 1 μm), preferably 0.1 nm to 100 nm, more preferably 1 nm to 50 nm. The sphere equivalent diameter of silver halide grains is the diameter of grains having the same volume and having a spherical shape.
A silver halide emulsion (hereinafter also simply referred to as “emulsion layer”), which is a coating solution for an emulsion layer used in a preferred embodiment of the silver salt-containing layer used in the present invention, is described in P.I. By Glafkides Chimie et Physique Photographic (published by Paul Montel, 1967), G. F. Dufin, Photographic Emulsion Chemistry (published by The Focal Press, 1966), V.C. L. It can be prepared using the method described in Zelikman et al., Making and Coating Photographic Emulsion (published by The Focal Press, 1964).

<バインダ>
乳剤層には、銀塩粒子を均一に分散させ、且つ、乳剤層と支持体との密着を補助する目的でバインダを用いることができる。本発明において上記バインダとしては、非水溶性ポリマー及び水溶性ポリマーのいずれもバインダとして用いることができるが、後述の温水に浸漬又は蒸気に接触させる処理により除去される水溶性バインダの比率が多いことが好ましい。
上記バインダとしては、例えば、ゼラチン、カラギーナン、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリサッカライド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。
好ましくはゼラチンが使用される。ゼラチンとしては石灰処理ゼラチンの他、酸処理ゼラチンを用いてもよく、ゼラチンの加水分解物、ゼラチン酵素分解物、その他(アミノ基、カルボキシル基を修飾したフタル化ゼラチン、アセチル化ゼラチン)を使用することができるが、銀塩調製工程において使用するゼラチンはアミノ基の正の電荷を無電荷あるいは負の電荷に変えたゼラチンを用いることが好ましく、さらにフタル化ゼラチンを用いるのがより好ましい。
<Binder>
In the emulsion layer, a binder can be used for the purpose of uniformly dispersing silver salt grains and assisting the adhesion between the emulsion layer and the support. In the present invention, both the water-insoluble polymer and the water-soluble polymer can be used as the binder. However, the ratio of the water-soluble binder to be removed by the immersion in hot water described below or the contact with steam is large. Is preferred.
Examples of the binder include gelatin, carrageenan, polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl pyrrolidone (PVP), starch and other polysaccharides, cellulose and derivatives thereof, polyethylene oxide, polysaccharides, polyvinylamine, chitosan, polylysine, and polyacrylic acid. , Polyalginic acid, polyhyaluronic acid, carboxycellulose and the like. These have neutral, anionic, and cationic properties depending on the ionicity of the functional group.
Preferably gelatin is used. As gelatin, lime-processed gelatin or acid-processed gelatin may be used, and gelatin hydrolyzate, gelatin enzyme decomposition product, and others (phthalated gelatin modified with amino group and carboxyl group, acetylated gelatin) are used. However, the gelatin used in the silver salt preparation step is preferably gelatin in which the positive charge of the amino group is changed to uncharged or negative charge, and more preferably phthalated gelatin.

乳剤層中に含有されるバインダの含有量は、特に限定されず、ハロゲン化銀の分散性と感光層の密着性を発揮し得る範囲で適宜決定することができる。導電性要素の観点からは、乳剤層中のバインダの含有量は少ない方が好ましい。これらの観点から、ハロゲン化銀を銀に換算した体積/バインダの体積の比(以下、「銀/バインダ体積比」という。)が1/2以上であることが好ましく、1/1以上であることがより好ましい。また、銀/バインダ体積比率の上限は4/1が好ましく、3/1がより好ましい。   The content of the binder contained in the emulsion layer is not particularly limited, and can be appropriately determined as long as the dispersibility of silver halide and the adhesion of the photosensitive layer can be exhibited. From the viewpoint of the conductive element, it is preferable that the content of the binder in the emulsion layer is small. From these viewpoints, the volume ratio of the silver halide converted to silver / the volume of the binder (hereinafter referred to as “silver / binder volume ratio”) is preferably 1/2 or more, and is 1/1 or more. It is more preferable. The upper limit of the silver / binder volume ratio is preferably 4/1 and more preferably 3/1.

<溶媒>
上記乳剤層の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒(例えば、メタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ホルムアミド等のアミド類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類、酢酸エチル等のエステル類、イオン性液体、及びこれらの混合溶媒を挙げることができる。本発明の乳剤層に用いられる溶媒の含有量は、前記乳剤層に含まれる銀塩、バインダ等の合計の質量に対して30質量%〜90質量%の範囲であり、50質量%〜80質量%の範囲であることが好ましい。
<Solvent>
The solvent used for the formation of the emulsion layer is not particularly limited. For example, water, organic solvents (for example, alcohols such as methanol, ketones such as acetone, amides such as formamide, dimethyl sulfoxide, etc. Sulphoxides, esters such as ethyl acetate, ionic liquids, and mixed solvents thereof The content of the solvent used in the emulsion layer of the present invention includes the silver salt and binder contained in the emulsion layer. It is the range of 30 mass%-90 mass% with respect to the total mass of etc., and it is preferable that it is the range of 50 mass%-80 mass%.

上記乳剤層には、かぶり抑制剤を含有させておくことが好ましい。かぶり抑制剤としては、好ましくは窒素原子含有へテロ環化合物から選ばれ、中でもインダゾール類、イミダゾール類、ベンゾイミダゾール類、トリアゾール類、ベンゾトリアゾール類、テトラゾール類、トリアザインドリジン類である。これらの化合物は、導電性要素の開口部に黒色の斑点(クロポツとも言う。)が発生することを抑制し、しかもかぶり抑制剤の添加に伴う導電性要素としての導電性を低下させることがない点で好ましい。かぶり抑制剤の量の好ましい範囲はクロポツの発生量が少なく、しかも導電性要素の表面抵抗の上昇を抑制できるという点から3mg/m〜15mg/mであり、更に好ましい範囲は6mg/m〜13mg/mである。かぶり抑制剤のモル換算含有量では、0.02mmol/m〜0.13mmol/mであり、更に好ましい範囲は0.06mmol/m〜0.11mmol/mである。 The emulsion layer preferably contains a fog inhibitor. The fogging inhibitor is preferably selected from nitrogen atom-containing heterocyclic compounds, among which indazoles, imidazoles, benzimidazoles, triazoles, benzotriazoles, tetrazoles, and triazaindolizines. These compounds suppress the occurrence of black spots (also referred to as black spots) in the opening of the conductive element, and do not lower the conductivity as the conductive element due to the addition of the fog inhibitor. This is preferable. A preferred range of the amount of fog-inhibiting agent has low generation of Kuropotsu, yet was 3mg / m 2 ~15mg / m 2 from the viewpoint of an increase in the surface resistance of the conductive element can be suppressed, still more preferably in the range of 6 mg / m 2 to 13 mg / m 2 . The content in terms of mole of the fog inhibitor is 0.02 mmol / m 2 to 0.13 mmol / m 2 , and a more preferable range is 0.06 mmol / m 2 to 0.11 mmol / m 2 .

銀塩含有層には、その他に、従来より写真用ハロゲン化銀乳剤に添加される種々の添加剤、例えば染料、ポリマーラテックス、硬膜剤、硬調化剤、調色剤、導電化剤等、を含有させることができる。   In addition to the silver salt-containing layer, various additives conventionally added to photographic silver halide emulsions, such as dyes, polymer latex, hardeners, contrast enhancers, toning agents, conductive agents, etc. Can be contained.

本発明の導電性要素形成用感光材料の上記感光層は、支持体上に銀塩の量が銀に換算して5g/m〜30g/mとなるように設けられることが好ましく、さらに7g/m〜15g/mの範囲がより好ましい。
また、感光層の厚みは1μm〜20μmの範囲が好ましく、更に1μmから10μmの範囲がより好ましい。
The photosensitive layer of the electrically conductive element for forming the light-sensitive material of the present invention is preferably provided so that the amount of silver salt is 5g / m 2 ~30g / m 2 in terms of silver on a support, further range of 7g / m 2 ~15g / m 2 is more preferable.
The thickness of the photosensitive layer is preferably in the range of 1 μm to 20 μm, and more preferably in the range of 1 μm to 10 μm.

本発明による導電性要素を前記の製造方法(b)により製造する場合には、支持体と銀塩含有層とを含む感光材料(b)が使用されるが、本発明による導電性要素を前記の製造方法(a)により製造する場合には、上記銀塩含有層の上に、更にバインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層が設けられた感光材料(a)が使用される。この導電性微粒子含有層の組成、厚さについては、前述の導電性要素についての説明した内容がそのまま適用される。感光材料(a)および感光材料(b)において、支持体と感光層の間に下塗り層を有してもよい。感光材料(a)の場合には、導電性微粒子含有層の上に更に保護層を設けてもよい。また、感光材料(b)の場合には、銀塩含有層の上に、保護層を設けても良い。 When the conductive element according to the present invention is produced by the production method (b), a photosensitive material (b) including a support and a silver salt-containing layer is used. In the production method (a), a photosensitive material (a) in which a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less is further provided on the silver salt-containing layer is used. Is done. Regarding the composition and thickness of the conductive fine particle-containing layer, the contents described for the conductive element are applied as they are. In the photosensitive material (a) and the photosensitive material (b), an undercoat layer may be provided between the support and the photosensitive layer. In the case of the photosensitive material (a), a protective layer may be further provided on the conductive fine particle-containing layer. In the case of the photosensitive material (b), a protective layer may be provided on the silver salt-containing layer.

〈導電性要素の製造方法〉
上記の導電性要素形成用感光材料(a)を用いて、本発明による導電性要素を製造する製造方法(a)および上記導電性要素形成用感光材料(b)を用いて、本発明による導電性要素を製造する製造方法(b)について説明する。
<Method for manufacturing conductive element>
The production method (a) for producing a conductive element according to the present invention using the above-described photosensitive element forming photosensitive material (a) and the conductive element according to the present invention using the above photosensitive element forming photosensitive material (b). The production method (b) for producing the sex element will be described.

〈導電性要素の製造方法(a)〉
導電性要素の製造方法(a)では、先ず、支持体と、銀塩含有層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層とを含有する感光材料(a)をメッシュ状にパターン露光し、現像処理する。ここで、現像処理とは、露光により潜像核が形成されたハロゲン化銀粒子を銀に還元する現像工程と当該潜像核が形成されなかったハロゲン化銀粒子を溶解除去する定着工程を含むものである。
<Method for Manufacturing Conductive Element (a)>
In the conductive element manufacturing method (a), first, a photosensitive material (a) containing a support, a silver salt-containing layer, and a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less is meshed. The pattern is exposed to a shape and developed. Here, the development processing includes a development step of reducing silver halide grains having latent image nuclei formed by exposure to silver and a fixing step of dissolving and removing silver halide grains in which the latent image nuclei have not been formed. It is a waste.

〈露光〉
露光はメッシュの形状に応じてパターン状に行われる。メッシュの形状は、正方形、長方形、三角系、六角形など、所望の形状とされる。
パターン露光する方法は、フォトマスクを利用した面露光で行ってもよいし、レーザービームによる走査露光で行ってもよい。この際、レンズを用いた屈折式露光でも反射鏡を用いた反射式露光でもよく、コンタクト露光、プロキシミティー露光、縮小投影露光、反射投影露光などの露光方式を用いることができる。
<exposure>
The exposure is performed in a pattern according to the shape of the mesh. The shape of the mesh is a desired shape such as a square, a rectangle, a triangular system, or a hexagon.
The pattern exposure method may be performed by surface exposure using a photomask, or may be performed by scanning exposure using a laser beam. At this time, refractive exposure using a lens or reflection exposure using a reflecting mirror may be used, and exposure methods such as contact exposure, proximity exposure, reduced projection exposure, and reflection projection exposure can be used.

〈現像処理〉
メッシュ状にパターン露光された感光材料(a)は、現像処理される。現像処理は、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理の技術が用いられる。現像液については特に限定はしないが、PQ現像液、MQ現像液、MAA現像液等を用いることもできる。市販品としては、例えば、富士フイルム社処方のCN−16、CR−56、CP45X、FD−3、パピトールや、KODAK社処方のC−41、E−6、RA−4、Dsd−19、D−72等の現像液、又はそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることもできる。リス現像液としては、KODAK社処方のD85等を用いることができる。
<Development processing>
The photosensitive material (a) subjected to pattern exposure in a mesh shape is developed. For the development processing, a normal development processing technique used for silver salt photographic film, photographic paper, printing plate-making film, photomask emulsion mask, and the like is used. The developer is not particularly limited, but a PQ developer, MQ developer, MAA developer and the like can also be used. Examples of commercially available products include CN-16, CR-56, CP45X, FD-3, and papillol prescribed by Fuji Film, and C-41, E-6, RA-4, Dsd-19, D prescribed by KODAK. A developer such as -72 or a developer included in the kit can be used. A lith developer can also be used. As the lith developer, D85 or the like prescribed by KODAK can be used.

本発明の製造方法(a)における現像処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる定着工程を含むことができる。本発明の製造方法において、定着工程は、銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる定着処理の技術が用いられる。   The development processing in the production method (a) of the present invention can include a fixing step performed for the purpose of removing and stabilizing the silver salt in the unexposed portion. In the production method of the present invention, a fixing process technique used for a silver salt photographic film, photographic paper, a printing plate making film, a photomask emulsion mask, or the like is used in the fixing step.

現像処理で用いられる現像液には、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。上記画質向上剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール等の含窒素へテロ環化合物を挙げることができる。また、リス現像液を利用する場合は、特にポリエチレングリコールを使用することも好ましい。
現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上の含有率であることが好ましく、80質量%以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上であれば、高い導電性を得やすいため好ましい。
現像処理後の露光部に含まれる金属銀部は、銀及び非導電性の高分子からなり、銀/非導電性高分子の体積比率が2/1以上であることが好ましく、3/1以上であることがさらに好ましい。
現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、4.0を超えることが好ましい。現像処理後の階調が4.0を超えると、光透過性部の透明性を高く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を4.0以上にする手段としては、例えば、ハロゲン化銀乳剤の調製時に、ハロゲン化銀粒子にロジウムイオンまたはイリジウムイオンをドープさせる硬調化手段が挙げられる。
The developer used in the development process can contain an image quality improver for the purpose of improving the image quality. Examples of the image quality improver include nitrogen-containing heterocyclic compounds such as benzotriazole. Further, when a lith developer is used, it is particularly preferable to use polyethylene glycol.
The mass of the metallic silver contained in the exposed portion after the development treatment is preferably a content of 50% by mass or more, and 80% by mass or more with respect to the mass of silver contained in the exposed portion before exposure. More preferably. If the mass of silver contained in the exposed portion is 50% by mass or more based on the mass of silver contained in the exposed portion before exposure, it is preferable because high conductivity is easily obtained.
The metallic silver part contained in the exposed part after the development treatment is composed of silver and a nonconductive polymer, and the volume ratio of silver / nonconductive polymer is preferably 2/1 or more, and 3/1 or more. More preferably.
The gradation after the development processing is not particularly limited, but is preferably more than 4.0. When the gradation after the development processing exceeds 4.0, the conductivity of the conductive metal portion can be increased while keeping the transparency of the light transmissive portion high. As a means for setting the gradation to 4.0 or more, for example, there is a high contrast means for doping silver halide grains with rhodium ions or iridium ions at the time of preparing a silver halide emulsion.

上記現像処理に続き、必要により平滑化処理、脱バインダ処理を行うことにより、さらに導電性の高いフイルムを得ることができる。なお、本発明では、現像温度、定着温度及び水洗温度は25℃以下で行うことが好ましい。   A film having higher conductivity can be obtained by performing a smoothing process and a binder removal process as necessary following the development process. In the present invention, the developing temperature, fixing temperature and washing temperature are preferably 25 ° C. or less.

本発明では、上記のパターン露光および現像処理を行うことにより露光部に現像銀で構成されたメッシュが形成されると共に、未露光部に開口部が形成される。そして、このようにして形成された金属銀メッシュ層の上には、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層を有しており、かくして本発明による導電性要素が得られる。 In the present invention, by performing the above pattern exposure and development processing, a mesh composed of developed silver is formed in the exposed portion, and an opening is formed in the unexposed portion. And on the metal silver mesh layer formed in this way, a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less is provided, and thus the conductive element according to the present invention is obtained. .

〈導電性要素の製造方法(b)〉
製造方法(b)においては、先ず、支持体と、銀塩含有層とを含む感光材料(b)をメッシュ状にパターン露光し、現像処理して、支持体と、現像銀で構成されたメッシュを含む現像銀メッシュ層とを有する導電性要素前駆体が作製される。パターン露光は、前記の製造方法(a)の場合と同じパターン露光がそのまま適用できる。また現像処理は、定着処理および水洗を含めて、前記の製造方法(a)の場合と同じ現像処理がそのまま適用される。
このようにして得られた導電性要素前駆体は、透明支持体の一方の表面上に、現像銀で構成されたメッシュ層を有する。
<Method for Manufacturing Conductive Element (b)>
In the production method (b), first, a photosensitive material (b) including a support and a silver salt-containing layer is subjected to pattern exposure in a mesh shape, developed, and then a support and a mesh composed of developed silver. A conductive element precursor having a developed silver mesh layer containing is prepared. For pattern exposure, the same pattern exposure as in the case of the production method (a) can be applied as it is. In the development process, the same development process as in the production method (a) is applied as it is, including the fixing process and washing with water.
The conductive element precursor thus obtained has a mesh layer composed of developed silver on one surface of the transparent support.

〈導電性微粒子含有層の形成〉
次に、導電性要素前駆体の銀メッシュ層上に、導電性微粒子含有層が形成される。
導電性微粒子含有層に使用される導電性微粒子およびバインダとしては、既に説明した本発明による導電性要素の導電性微粒子含有層に使用される導電性微粒子およびバインダと同じものが使用される。
<Formation of conductive fine particle-containing layer>
Next, a conductive fine particle-containing layer is formed on the silver mesh layer of the conductive element precursor.
As the conductive fine particles and binder used in the conductive fine particle-containing layer, the same conductive fine particles and binder as those used in the conductive fine particle-containing layer of the conductive element according to the present invention described above are used.

導電性微粒子含有層は、バインダ量が0.2g/m以下とされる。このようなバインダ量の導電性微粒子含有層を形成するため、以下のような方法が採用されることが好ましい。 The conductive fine particle-containing layer has a binder amount of 0.2 g / m 2 or less. In order to form the conductive fine particle-containing layer having such a binder amount, the following method is preferably employed.

(1)導電性微粒子とバインダの質量比が4.5/1以上、より好ましくは10/1以上、更に好ましくは30/1以上で溶媒中に含有する分散液を銀メッシュ層に設け、溶媒を除去(即ち、乾燥)する方法。
上記の導電性微粒子とバインダの質量比の上限値は、乾燥後に導電性微粒子が銀メッシュ層上に固着している限りにおいて、なるべく少ない量とされ、1000/1が適当であり、より好ましくは500/1、更に好ましくは100/1である。
(1) A dispersion containing the conductive fine particles and the binder in the solvent at a mass ratio of 4.5 / 1 or more, more preferably 10/1 or more, and even more preferably 30/1 or more is provided in the silver mesh layer, and the solvent To remove (i.e., dry).
The upper limit of the mass ratio of the conductive fine particles and the binder is as small as possible as long as the conductive fine particles are fixed on the silver mesh layer after drying, and is preferably 1000/1, more preferably 500/1, more preferably 100/1.

塗布方法としては、上記の分散液をワイヤーバーで塗布するバー塗布方法、上記の分散液を回転霧化装置等のスプレーガンで微細な液滴とし、この液滴を銀メッシュ層の表面に付着させて塗布するスプレー塗布方法等が好ましい。   As a coating method, a bar coating method in which the above dispersion liquid is applied with a wire bar, and the above dispersion liquid is made into fine droplets with a spray gun such as a rotary atomizer, and the droplets adhere to the surface of the silver mesh layer. For example, a spray coating method in which coating is performed is preferable.

(2)前記現像処理して得られた銀メッシュ層が指触乾燥する前に、導電性微粒子を散布して、銀メッシュ層の表面に導電性微粒子の層を形成する方法。
導電性微粒子を散布する粉体供給装置としては、既存のロータリーフィーダ方式、テーブルフィーダ方式、スクリューフィーダ方式等が使用される。この方法による場合には、導電性微粒子含有層のバインダ量を零とすることができる。
(2) A method in which conductive fine particles are dispersed to form a layer of conductive fine particles on the surface of the silver mesh layer before the silver mesh layer obtained by the development treatment is touch-dried.
An existing rotary feeder method, table feeder method, screw feeder method, or the like is used as a powder supply device for spraying conductive fine particles. In the case of this method, the binder amount of the conductive fine particle-containing layer can be made zero.

また、上記(1)に記載したスプレー塗布方法において、スプレーガンで微細な液滴とされてから、銀メッシュ層の表面に付着させるまでの時間を長めに調整して、液滴中の溶剤を蒸発させてから銀メッシュ層の表面に付着させる方法でもよい。この方法による場合には、銀メッシュ層の表面に導電性微粒子が付着する前に、バインダが導電性微粒子の表面を被覆する形態とすることもでき、この被覆したバインダが糊剤となって、銀メッシュ層の表面に導電性微粒子を固着させることもできる。
以上により、透明支持体上に銀メッシュ層と導電性微粒子含有層とで構成された導電層を有する、本発明による導電性要素が製造される。
Also, in the spray coating method described in (1) above, the time from the formation of fine droplets with a spray gun to the adhesion to the surface of the silver mesh layer is adjusted to be long, and the solvent in the droplets is adjusted. A method of evaporating and adhering to the surface of the silver mesh layer may also be used. In the case of this method, before the conductive fine particles adhere to the surface of the silver mesh layer, the binder can also be configured to cover the surface of the conductive fine particles, and the coated binder serves as a paste, Conductive fine particles can be fixed to the surface of the silver mesh layer.
By the above, the electroconductive element by this invention which has the electroconductive layer comprised by the silver mesh layer and the electroconductive fine particle content layer on the transparent support body is manufactured.

〈その他の所望により施される工程〉
導電性要素の製造方法(b)においては、導電性要素前駆体を作製後、導電性微粒子含有層を形成する前に、導電性要素前駆体に対して、以下に説明する酸化処理、還元処理、平滑化処理、温水処理または蒸気処理、メッキ処理等を施してもよい。
<Other optional steps>
In the method (b) for producing a conductive element, after the conductive element precursor is produced, before the conductive fine particle-containing layer is formed, the conductive element precursor is subjected to oxidation treatment and reduction treatment described below. Smoothing treatment, hot water treatment or steam treatment, plating treatment, etc. may be performed.

〈酸化処理〉
現像処理後の現像銀には、好ましくは酸化処理が行われる。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に銀が僅かに沈着していた場合に、この銀を除去し、光透過性部の透過性をほぼ100%にすることができる。
上記酸化処理としては、例えば、Fe(III)イオン処理等、種々の酸化剤を用いた公知の方法が挙げられる。酸化処理は、現像処理後に行なわれる。
<Oxidation treatment>
The developed silver after the development treatment is preferably subjected to an oxidation treatment. By performing the oxidation treatment, for example, when silver is slightly deposited on the light-transmitting portion, the silver can be removed, and the light-transmitting portion can be made almost 100% transparent.
Examples of the oxidation treatment include known methods using various oxidizing agents such as Fe (III) ion treatment. The oxidation process is performed after the development process.

さらにパターン露光及び現像処理後の現像銀を、Pdを含有する溶液で処理することもできる。Pdは、2価のパラジウムイオンであっても金属パラジウムであってもよい。この処理により現像銀の黒色が経時変化することを抑制できる。   Furthermore, the developed silver after pattern exposure and development processing can be processed with a solution containing Pd. Pd may be a divalent palladium ion or metallic palladium. By this treatment, it is possible to suppress the black color of the developed silver from changing with time.

なお、本発明の製造方法においては、線幅、開口率、銀含有量を特定した現像銀で構成されたメッシュを、露光・現像処理によって直接支持体上に形成するため、十分な表面抵抗率を有することから、メッシュを構成する現像銀に物理現象及び/又はメッキ処理を施して、あらためて導電性を付与する処理を行う必要がない。このため、簡易な工程で透光性の導電性要素を製造することができる。   In the production method of the present invention, a mesh composed of developed silver having a specified line width, aperture ratio, and silver content is directly formed on the support by exposure / development treatment, so that the surface resistivity is sufficient. Therefore, it is not necessary to apply a physical phenomenon and / or a plating treatment to the developed silver constituting the mesh to newly impart conductivity. For this reason, a translucent conductive element can be manufactured by a simple process.

〈還元処理〉
現像処理により生じる不純物である酸化銀、硫化銀を除去するために、現像処理後に水洗処理を行い、還元水溶液に浸漬することが好ましい。これにより、一段と高い導電性を有する導電性要素が得られる。
還元水溶液としては、亜硫酸ナトリウム水溶液、ハイドロキノン水溶液、パラフェニレンジアミン水溶液、シュウ酸水溶液等を用いることができ、水溶液pHは10以上とすることがさらに好ましい。
<Reduction treatment>
In order to remove silver oxide and silver sulfide which are impurities generated by the development treatment, it is preferable to perform a water washing treatment after the development treatment and immerse in a reducing aqueous solution. Thereby, the electroconductive element which has much higher electroconductivity is obtained.
As the reducing aqueous solution, a sodium sulfite aqueous solution, a hydroquinone aqueous solution, a paraphenylenediamine aqueous solution, an oxalic acid aqueous solution, or the like can be used, and the aqueous solution pH is more preferably 10 or more.

〈平滑化処理〉
導電性要素前駆体には、平滑化処理を施すことが好ましい。これによって現像銀で構成されるメッシュの導電性が顕著に増大する。 平滑化処理は、第1カレンダーロールと第2カレンダーロールとを各々の回転軸が平行となるように互いに対向して配置した組合せで構成される少なくとも一対のロールのニップ間を2940N/cm以上の線圧力で前記導電性要素前駆体を通すことにより行うことが好ましい。以下、カレンダーロールを用いた平滑化処理を「カレンダー処理」と記す。
上記第1カレンダーロールおよび第2カレンダーロールに使用されるロールとしては、少なくともその表面を形成する素材がエポキシ、ポリイミド、ポリアミド、ポリイミドアミド等の樹脂で構成されている樹脂製ロールおよび表面が金属で構成されている金属製ロールが含まれる。特に、支持体の一方の表面のみに感光層を有する導電性要素形成用感光材料から作製された導電性要素前駆体の場合には、しわの発生を抑制するために、以下の条件にてカレンダー処理することが好ましい。
<Smoothing process>
The conductive element precursor is preferably subjected to a smoothing treatment. This significantly increases the conductivity of the mesh composed of developed silver. In the smoothing treatment, the gap between the nips of at least a pair of rolls constituted by a combination in which the first calendar roll and the second calendar roll are arranged to face each other so that their respective rotation axes are parallel is 2940 N / cm or more. It is preferable to carry out by passing the conductive element precursor under linear pressure. Hereinafter, the smoothing process using the calendar roll is referred to as “calendar process”.
As a roll used for the first calender roll and the second calender roll, at least the material forming the surface is made of resin such as epoxy, polyimide, polyamide, polyimide amide, and the surface is metal. A configured metal roll is included. In particular, in the case of a conductive element precursor made of a photosensitive material for forming a conductive element having a photosensitive layer only on one surface of a support, a calendar is formed under the following conditions in order to suppress the generation of wrinkles. It is preferable to process.

(1)現像処理を終えた導電性要素前駆体の支持体の厚みが95μm以上であること。
(2)カレンダー処理は互いに対向して配置された第1カレンダーロールと第2カレンダーロールを用いて導電性要素前駆体を押圧すること。
(3)支持体に接触する第1カレンダーロールが樹脂製ロールであること。
(1) The thickness of the support of the conductive element precursor after the development processing is 95 μm or more.
(2) In the calendering process, the conductive element precursor is pressed using a first calender roll and a second calender roll arranged to face each other.
(3) The first calendar roll contacting the support is a resin roll.

さらに好ましい条件としては、以下の通りである。少なくともいずれか1つを満足すればよい。
(a)導電性要素前駆体のメッシュに接触する第2カレンダーロールが金属製ロールであること。
(b)金属製ロールの表面が鏡面加工されていること。
(c)金属製ロールの表面がエンボス加工されていること。
(d)エンボス加工された金属製ロールの表面粗さは、最大高さRmaxで0.05s〜0.8sであること。
(e)メッシュは、銀/バインダ体積比が1/1以上であること。
(f)カレンダー処理は、導電性要素前駆体に対してニップ間の線圧が2940N/cm〜5880N/cmで行うこと。
(g)カレンダー処理は、導電性要素前駆体の搬送速度を10m/分〜50m/分で行うこと。
(h)導電性要素前駆体の表面抵抗をR1、導電性要素の表面抵抗をR2としたとき、
0.58≦R2/R1≦0.77
であること。
More preferable conditions are as follows. It suffices to satisfy at least one of them.
(A) The second calender roll that contacts the mesh of the conductive element precursor is a metal roll.
(B) The surface of the metal roll is mirror-finished.
(C) The surface of the metal roll is embossed.
(D) The surface roughness of the embossed metal roll is 0.05 s to 0.8 s at the maximum height Rmax.
(E) The mesh has a silver / binder volume ratio of 1/1 or more.
(F) The calendar treatment is performed at a linear pressure between the nips of 2940 N / cm to 5880 N / cm with respect to the conductive element precursor.
(G) The calendar process is performed at a conveyance speed of the conductive element precursor of 10 m / min to 50 m / min.
(H) When the surface resistance of the conductive element precursor is R1, and the surface resistance of the conductive element is R2,
0.58 ≦ R2 / R1 ≦ 0.77
Be.

カレンダー処理の適用温度は10℃(温調なし)〜100℃が好ましく、より好ましい温度は、メッシュパターンの形状やメッシュと開口部の面積比や形状、バインダ種によって異なるが、おおよそ10℃(温調なし)〜50℃の範囲にある。   The application temperature of the calendar treatment is preferably 10 ° C. (no temperature control) to 100 ° C. The more preferable temperature varies depending on the shape of the mesh pattern, the area ratio and shape of the mesh and opening, and the binder type, but is approximately 10 ° C. (temperature No adjustment) is in the range of 50 ° C.

〈温水処理または蒸気処理〉
透明支持体上に現像銀で構成された銀メッシュ層を形成した後、導電性微粒子含有層を形成する前に、導電性要素前駆体を温水ないしはそれ以上の温度の加熱水に浸漬させる温水処理か、または水蒸気に接触させる蒸気処理を行うことが好ましい。これにより短時間で簡便に導電性及び透明性を向上させることができる。水溶性バインダの一部が除去されて現像銀(導電性物質)同士の結合部位が増加しているものと考えられる。
本プロセスは、現像処理後に実施できるが、平滑化処理後に行うことが望ましい。
温水処理で使用される温水の温度は好ましくは60℃以上100℃以下であり、より好ましくは80℃〜100℃である。また、蒸気処理で使用される水蒸気の温度は、1気圧で100℃以上140℃以下が好ましい。温水処理または蒸気処理の処理時間は、使用する水溶性バインダの種類によって異なるが、支持体のサイズが60cm×1mの場合、約10秒間〜約5分間程度が好ましく、約1分間〜約5分間がさらに好ましい。
<Hot water treatment or steam treatment>
After forming a silver mesh layer composed of developed silver on a transparent support, and before forming a conductive fine particle-containing layer, a hot water treatment in which the conductive element precursor is immersed in warm water or heated water at a temperature higher than that. Alternatively, it is preferable to perform a steam treatment in contact with water vapor. Thereby, electroconductivity and transparency can be improved simply in a short time. It is considered that a part of the water-soluble binder is removed and the bonding sites between developed silver (conductive substances) are increased.
Although this process can be performed after the development process, it is desirable to perform the process after the smoothing process.
The temperature of the hot water used in the hot water treatment is preferably 60 ° C. or higher and 100 ° C. or lower, more preferably 80 ° C. to 100 ° C. Further, the temperature of the water vapor used in the steam treatment is preferably 100 ° C. or more and 140 ° C. or less at 1 atmosphere. The treatment time of the hot water treatment or the steam treatment varies depending on the type of the water-soluble binder to be used, but when the size of the support is 60 cm × 1 m, it is preferably about 10 seconds to about 5 minutes, and about 1 minute to about 5 minutes. Is more preferable.

〈めっき処理〉
上記平滑化処理の前段又は後段で、メッシュに対してめっき処理を行ってもよい。めっき処理により、さらに表面抵抗を低減でき、導電性を高めることができる。めっき処理は平滑化処理の後段で行うことで、めっき処理が効率化され均一なめっき層が形成される。めっき処理としては、電解めっきでも無電解めっきでもよい。まためっき層の構成材料は十分な導電性を有する金属が好ましく、銅が好ましい。
<Plating treatment>
You may perform a metal-plating process with respect to a mesh in the front | former stage or the back | latter stage of the said smoothing process. By plating, the surface resistance can be further reduced and the conductivity can be increased. By performing the plating process after the smoothing process, the plating process is made efficient and a uniform plating layer is formed. The plating treatment may be electrolytic plating or electroless plating. Further, the constituent material of the plating layer is preferably a metal having sufficient conductivity, and copper is preferable.

本発明によれば、高い導電性を有する導電性要素、高い導電性を有する導電性要素が製造できる導電性要素形成用感光材料および高い導電性要素が得られる製造方法が提供される。このような導電性要素を用いて、導電性金属で構成された金属メッシュ層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層と、該導電性微粒子含有層に隣接する被通電層とを有する電極構造を作製することが好ましい。本発明による導電性要素は、高い導電性を有しているので、タッチパネル用、無機EL素子、有機EL素子又は太陽電池の電極構造として使用しても、画面の視認性または光線透過性を低下させることがない。また、本発明による導電性要素は電流を流すことで発熱する発熱シートとしても機能するので、車両のデフロスタ(霜取り装置)、窓ガラス等の電極構造として使用可能である。更にまた、本発明のよる導電性要素形成用感光材料は大面積のものを容易に製造することができるので、大面積の導電性要素が必要とされる応用分野、例えば入射光の照度の低減または入射光の遮断をする調光機能を有する窓を得るために使用されるエレクトロクロミック装置の電極へ適用することも可能となる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the electroconductive element which has high electroconductivity, the photosensitive material for electroconductive element formation which can manufacture the electroconductive element which has high electroconductivity, and the manufacturing method from which a high electroconductive element is obtained are provided. Using such a conductive element, a metal mesh layer composed of a conductive metal, a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less, and a coating adjacent to the conductive fine particle-containing layer. It is preferable to produce an electrode structure having an energization layer. Since the conductive element according to the present invention has high conductivity, even if it is used as an electrode structure for a touch panel, an inorganic EL element, an organic EL element, or a solar cell, the visibility or light transmittance of the screen is lowered. I will not let you. Moreover, since the electroconductive element by this invention functions also as a heat_generation | fever sheet | seat which heat | fever-generates by sending an electric current, it can be used as electrode structures, such as a vehicle defroster (defrosting apparatus) and a window glass. Furthermore, since the photosensitive material for forming a conductive element according to the present invention can be easily manufactured in a large area, it can be used in an application field where a conductive element of a large area is required, for example, reducing the illuminance of incident light. Alternatively, the present invention can be applied to an electrode of an electrochromic device used for obtaining a window having a dimming function for blocking incident light.

<EL素子>
以下に、本発明の電極構造をEL素子に適用する例について詳しく述べる。
本発明のEL素子は、対向する一対の電極で蛍光体層を挟持した構成をもち、少なくとも一方の電極に前記導電性要素を有する。EL素子としては、有機EL素子でも無機EL素子でもよい。
本発明の好ましい一実施態様の無機EL素子は、透明電極(前記導電性要素)、蛍光体層、反射絶縁層および背面電極をこの順で有し、前記導電膜の導電層側に蛍光体層を有する。透明電極と背面電極とは、電極を介して電気的に連結している。透明電極に接する電極には、補助電極として銀ペーストが付与され、蛍光体層側には絶縁ペーストが付与される。
<EL element>
Hereinafter, an example in which the electrode structure of the present invention is applied to an EL element will be described in detail.
The EL element of the present invention has a configuration in which a phosphor layer is sandwiched between a pair of opposing electrodes, and the conductive element is included in at least one of the electrodes. The EL element may be an organic EL element or an inorganic EL element.
An inorganic EL element according to a preferred embodiment of the present invention has a transparent electrode (the conductive element), a phosphor layer, a reflective insulating layer, and a back electrode in this order, and the phosphor layer on the conductive layer side of the conductive film. Have The transparent electrode and the back electrode are electrically connected via the electrode. A silver paste is applied as an auxiliary electrode to the electrode in contact with the transparent electrode, and an insulating paste is applied to the phosphor layer side.

蛍光体層、反射絶縁層、背面電極を透明電極上に印刷して設けることもできるし、貼り合せて素子を形成することもできる。ここで、「印刷して設ける」とは、透明電極上に蛍光体層、反射絶縁層、背面電極を直接印刷して設けることをいう。「貼り合わせ」とは、透明電極と、蛍光体層、反射絶縁層及び背面電極が一体になったものとを熱圧着して形成するものをいう。
透明電極と背面電極とに電圧をかけることで、蛍光体層内の蛍光体に電位差が付与される。そして、その電位差が発光エネルギーとなり交流電源を使用して電位差を付与し続けることで発光状態が維持される。この例では、蛍光体層が被通電層となる。
The phosphor layer, the reflective insulating layer, and the back electrode can be printed on the transparent electrode, or can be bonded to form an element. Here, “provided by printing” means that the phosphor layer, the reflective insulating layer, and the back electrode are directly printed on the transparent electrode. “Bonding” refers to a material formed by thermocompression bonding of a transparent electrode and a phosphor layer, a reflective insulating layer, and a back electrode integrated together.
By applying a voltage to the transparent electrode and the back electrode, a potential difference is applied to the phosphor in the phosphor layer. The potential difference becomes light emission energy, and the light emission state is maintained by continuously applying the potential difference using an AC power source. In this example, the phosphor layer is the energized layer.

[透明電極]
本発明における透明電極としては、前記の導電性要素の導電性微粒子含有層が蛍光体層と接して用いられる。
[Transparent electrode]
As the transparent electrode in the present invention, the conductive fine particle-containing layer of the conductive element is used in contact with the phosphor layer.

[蛍光体層]
蛍光体層(蛍光体粒子層)は、蛍光体粒子をバインダーに分散して形成する。バインダーとしては、シアノエチルセルロース系樹脂のように、比較的誘電率の高いポリマーや、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フッ化ビニリデンなどの樹脂を用いることができる。蛍光体層の厚みは1μm以上50μm以下が好ましい。
蛍光体層に含有される蛍光体粒子は、その母体材料としては、具体的には第II族元素と第VI族元素とから成る群から選ばれる少なくとも一つの元素と、第III族元素と第V族元素とから成る群から選ばれる少なくとも一つの元素とから成る半導体の微粒子であり、必要な発光波長領域により任意に選択される。例えば、ZnS,CdS,CaSなどを好ましく用いることができる。
蛍光体粒子は、平均球相当直径が、好ましくは0.1μm以上〜15μm以下である。球相当直径の変動係数は、35%以下であることが好ましく、より好ましくは5%以上25%以下である。これらの平均球相当直径は、レーザー光散乱方式を用いた堀場製作所製のLA−500(商品名)や、ベックマンコールター社のコールターカウンター等で測定することができる。
[Phosphor layer]
The phosphor layer (phosphor particle layer) is formed by dispersing phosphor particles in a binder. As the binder, a polymer having a relatively high dielectric constant such as a cyanoethyl cellulose resin, or a resin such as polyethylene, polypropylene, polystyrene resin, silicone resin, epoxy resin, or vinylidene fluoride can be used. The thickness of the phosphor layer is preferably 1 μm or more and 50 μm or less.
The phosphor particles contained in the phosphor layer are, as the base material, specifically at least one element selected from the group consisting of Group II elements and Group VI elements, Group III elements and Group III elements. It is a semiconductor fine particle composed of at least one element selected from the group consisting of group V elements, and is arbitrarily selected depending on the necessary emission wavelength region. For example, ZnS, CdS, CaS, etc. can be preferably used.
The phosphor particles have an average sphere equivalent diameter of preferably 0.1 μm to 15 μm. The variation coefficient of the equivalent sphere diameter is preferably 35% or less, more preferably 5% or more and 25% or less. These average sphere equivalent diameters can be measured with LA-500 (trade name) manufactured by Horiba, Ltd. using a laser light scattering method, a Coulter counter manufactured by Beckman Coulter, or the like.

[反射絶縁層]
本発明の無機EL素子は、蛍光体層と背面電極との間に反射絶縁層(以下、場合により誘電体層ともいう)を設けることが好ましい。
誘電体層は、誘電率および絶縁性が高く、且つ高い誘電破壊電圧を有する材料であれば任意のものを用いることができる。これらは金属酸化物、窒化物から選択され、例えばBaTiO3,BaTa26などが用いられる。誘電体物質を含む誘電体層は、蛍光体粒子層の片側に設けてもよく、また蛍光体粒子層の両側に設けることも好ましい。
蛍光体層および誘電体層は、スピンコート法、ディップコート法、バーコート法、あるいはスプレー塗布法などを用いて塗布またはスクリーン印刷等で成膜することが好ましい。
[Reflective insulating layer]
In the inorganic EL element of the present invention, it is preferable to provide a reflective insulating layer (hereinafter also referred to as a dielectric layer in some cases) between the phosphor layer and the back electrode.
As the dielectric layer, any material can be used as long as it has a high dielectric constant and insulation and has a high dielectric breakdown voltage. These are selected from metal oxides and nitrides, and for example, BaTiO 3 , BaTa 2 O 6 and the like are used. The dielectric layer containing a dielectric substance may be provided on one side of the phosphor particle layer, and is preferably provided on both sides of the phosphor particle layer.
The phosphor layer and the dielectric layer are preferably formed by coating or screen printing using a spin coating method, a dip coating method, a bar coating method, a spray coating method, or the like.

[背面電極]
光を取り出さない側の背面電極は、導電性を有する任意の材料が使用できる。導電性でさえあれば、例えば、ITO等の透明電極やアルミニウム/カーボン電極を用いてもよく、また上述した導電膜を背面電極としても使用してもよい。
[封止・吸水]
本発明のEL素子は、適当な封止材料を透明導電膜の反対側に有することが好ましく、外部環境からの湿度や酸素の影響を排除するよう加工することが好ましい。素子の基板自体が十分な遮蔽性を有する場合には、作製した素子の上方に水分や酸素遮蔽性のシートを重ね、周囲をエポキシ等の硬化材料を用いて封止することができる。また、面状素子をカールさせないために両面に遮蔽性シート(防湿フィルム)を配しても良い。素子の基板が、水分透過性を有する場合は、両面に遮蔽性シートを配する必要がある。
[電圧と周波数]
通常、分散型EL素子は、交流で駆動される。典型的には、100Vで50Hz〜400Hzの交流電源を用いて駆動される。
[Back electrode]
For the back electrode on the side from which light is not extracted, any material having conductivity can be used. As long as it is conductive, for example, a transparent electrode such as ITO or an aluminum / carbon electrode may be used, and the above-described conductive film may be used as a back electrode.
[Sealing / Water absorption]
The EL element of the present invention preferably has an appropriate sealing material on the opposite side of the transparent conductive film, and is preferably processed so as to eliminate the influence of humidity and oxygen from the external environment. In the case where the substrate of the element itself has sufficient shielding properties, a moisture or oxygen shielding sheet is overlaid on the fabricated element, and the periphery can be sealed with a curable material such as epoxy. In order not to curl the planar element, a shielding sheet (moisture-proof film) may be provided on both sides. When the substrate of the element has moisture permeability, it is necessary to provide a shielding sheet on both sides.
[Voltage and frequency]
Usually, the dispersion type EL element is driven by alternating current. Typically, it is driven using an AC power source of 50 Hz to 400 Hz at 100V.

以上、上述した本発明の導電性要素では、以下に列挙する公知文献を適宜組み合わせて使用することができる。
特開2004-221564号公報、特開2004-221565号公報、特開2007-200922号公報、特開2006-352073号公報、WO2006/001461A1号パンフレット、特開2007-129205号公報、特開2007-235115号公報、特開2007-207987号公報、特開2006-012935号公報、特開2006-010795号公報、特開2006-228469号公報、特開2006-332459号公報、特開2007-207987号公報、特開2007-226215号公報、WO2006/088059A1号パンフレット、特開2006-261315号公報、特開2007-072171号公報、特開2007-102200号公報、特開2006-228473号公報、特開2006-269795号公報、特開2006-267635号公報、特開2006-267627号公報、WO2006/098333号パンフレット、特開2006-324203号公報、特開2006-228478号公報、特開2006-228836号公報、特開2006-228480号公報、WO2006/098336A1号パンフレット、WO2006/098338A1号パンフレット、特開2007-009326号公報、特開2006-336057号公報、特開2006-339287号公報、特開2006-336090号公報、特開2006-336099号公報、特開2007-039738号公報、特開2007-039739号公報、特開2007-039740号公報、特開2007-002296号公報、特開2007-084886号公報、特開2007-092146号公報、特開2007-162118号公報、特開2007-200872号公報、特開2007-197809号公報、特開2007-270353号公報、特開2007-308761号公報、特開2006-286410号公報、特開2006-283133号公報、特開2006-283137号公報、特開2006-348351号公報、特開2007-270321号公報、特開2007-270322号公報、WO2006/098335A1号パンフレット、特開2007-088218号公報、特開2007-201378号公報、特開2007-335729号公報、WO2006/098334A1号パンフレット、特開2007-134439号公報、特開2007-149760号公報、特開2007-208133号公報、特開2007-178915号公報、特開2007-334325号公報、特開2007-310091号公報、特開2007-311646号公報、特開2007-013130号公報、特開2006-339526号公報、特開2007-116137号公報、特開2007-088219号公報、特開2007-207883号公報、特開2007-207893号公報、特開2007-207910号公報、特開2007-013130号公報、WO2007/001008号パンフレット、特開2005-302508号公報、特開2005-197234号公報、特開2008-218784号公報、特開2008-227350号公報、特開2008-227351号公報、特開2008-244067号公報、特開2008-267814号公報、特開2008-270405号公報、特開2008-277675号公報、特開2008-277676号公報、特開2008-282840号公報、特開2008-283029号公報、特開2008-288305号公報、特開2008-288419号公報、特開2008-300720号公報、特開2008-300721号公報、特開2009-4213号公報、特開2009-10001号公報、特開2009-16526号公報、特開2009-21334号公報、特開2009-26933号公報、特開2008-147507号公報、特開2008-159770号公報、特開2008-159771号公報、特開2008-171568号公報、特開2008-198388号公報、特開2008-218096号公報、特開2008-218264号公報、特開2008-224916号公報、特開2008-235224号公報、特開2008-235467号公報、特開2008-241987号公報、特開2008-251274号公報、特開2008-251275号公報、特開2008-252046号公報、特開2008-277428号公報、特開2009-21153号公報。
As described above, in the above-described conductive element of the present invention, known documents listed below can be used in appropriate combination.
JP 2004-221564, JP 2004-221565, JP 2007-200922, JP 2006-352073, WO 2006 / 001461A1, pamphlet 2007-129205, JP 2007- JP 235115, JP 2007-207987, JP 2006-012935, 2006-010795, 2006-228469, 2006-332459, 2007-207987 JP, JP 2007-226215, WO 2006 / 088059A1, pamphlet, JP 2006-261315, JP 2007-072171, JP 2007-102200, JP 2006-228473, JP 2006-269795, JP-2006-267635, JP-2006-267627, WO2006 / 098333 pamphlet, JP-2006-324203, JP-2006-228478, JP-2006-228836 JP, JP 2006-228480, WO 2006 / 098336A1, pamphlet, WO 2006 / 098338A1, pamphlet, JP 2007-009326, JP 2006-336057, JP 2006-339287, JP 2006-339 No. 336090 JP, 2006-336099, JP, 2007-039738, JP, 2007-039739, JP, 2007-039740, JP, 2007-002296, JP, 2007-084886, JP 2007-092146, JP 2007-162118, JP 2007-200872, JP 2007-197809, JP 2007-270353, JP 2007-308761, JP 2006 -286410, JP-2006-283133, JP-2006-283137, JP-2006-348351, JP-2007-270321, JP-2007-270322, WO2006 / 098335A1 , JP2007-088218, JP2007-201378, JP2007-335729, WO2006 / 098334A1, pamphlet 2007-134439, JP2007-149760, JP2007 JP-A-208133, JP-A-2007-178915, JP-A-2007-334325, JP-A-2007-310091, JP-A-2007-311646, JP-A-2007-013130, JP-A-2006-339526 JP, JP 2007-116137, JP 2007-088219 JP, 2007-207883, JP 2007-207893, JP 2007-207910, JP 2007-013130, WO 2007/001008, JP 2005-302508, JP JP 2005-197234, JP 2008-218784, JP 2008-227350, JP 2008-227351, JP 2008-244067, JP 2008-267814, JP 2008- 270405, 2008-277675, 2008-277676, 2008-282840, 2008-283029, 2008-288305, 2008-288419 JP, 2008-300720, 2008-300721, 2009-4213, 2009-10001, 2009-16526, 2009-21334, JP2009-26933, 2008-147507, 2008-159770, 2008-159771, 2008-171568, 2008-198388, JP JP 2008-218096, JP 2008-218264, JP 2008-224916, JP 2008-235224, JP 2008-235467, JP 2008-241987, JP 2008-251274, JP 2008-251275, JP 2008-252046, JP 2008 -277428, JP 2009-21153.

以下に本発明を実施例に基づき詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、「%」は「質量%」を意味する。
[実施例1]
《乳剤A(銀/バインダ体積比:1/1)の調製》
・1液:
水 750ml
フタル化処理ゼラチン 20g
塩化ナトリウム 3g
1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−チオン 20mg
ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム 10mg
クエン酸 0.7g
・2液
水 300ml
硝酸銀 150g
・3液
水 300ml
塩化ナトリウム 38g
臭化カリウム 32g
ヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム
(0.005%KCl 20%水溶液) 5ml
ヘキサクロロロジウム酸アンモニウム
(0.001%NaCl 20%水溶液) 7ml
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on examples, but the present invention is not limited thereto. “%” Means “% by mass”.
[Example 1]
<< Preparation of Emulsion A (Silver / Binder Volume Ratio: 1/1) >>
・ 1 liquid:
750 ml of water
20g phthalated gelatin
Sodium chloride 3g
1,3-Dimethylimidazolidine-2-thione 20mg
Sodium benzenethiosulfonate 10mg
Citric acid 0.7g
・ Two liquids 300ml
150 g silver nitrate
・ 3 liquid water 300ml
Sodium chloride 38g
Potassium bromide 32g
Hexachloroiridium (III) potassium salt
(0.005% KCl 20% aqueous solution) 5 ml
Ammonium hexachlororhodate
(0.001% NaCl 20% aqueous solution) 7 ml

3液に用いるヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム(0.005%KCl 20%水溶液)及びヘキサクロロロジウム酸アンモニウム(0.001%NaCl 20%水溶液)は、それぞれの錯体粉末をそれぞれKCl20%水溶液、NaCl20%水溶液に溶解し、40℃で120分間加熱して調製した。   Potassium hexachloroiridium (III) (0.005% KCl 20% aqueous solution) and ammonium hexachlororhodate (0.001% NaCl 20% aqueous solution) used in the three liquids were mixed with their respective complex powders, KCl 20% aqueous solution and NaCl 20%, respectively. It was dissolved in an aqueous solution and prepared by heating at 40 ° C. for 120 minutes.

38℃、pH4.5に保たれた1液に、2液と3液の各々90%に相当する量を攪拌しながら同時に20分間にわたって加え、0.16μmの核粒子を形成した。続いて下記4液、5液を8分間にわたって加え、さらに、2液と3液の残りの10%の量を2分間にわたって加え、0.21μmまで成長させた。さらに、ヨウ化カリウム0.15gを加え5分間熟成し粒子形成を終了した。   To 1 liquid maintained at 38 ° C. and pH 4.5, 90% of the 2 and 3 liquids were simultaneously added over 20 minutes with stirring to form 0.16 μm core particles. Subsequently, the following 4th and 5th liquids were added over 8 minutes, and the remaining 10% of the 2nd and 3rd liquids were added over 2 minutes to grow to 0.21 μm. Further, 0.15 g of potassium iodide was added and ripened for 5 minutes to complete grain formation.

・4液
水 100ml
硝酸銀 50g
・5液
水 100ml
塩化ナトリウム 13g
臭化カリウム 11g
黄血塩 5mg
・ 4 liquid water 100ml
Silver nitrate 50g
・ 5 liquid 100ml
Sodium chloride 13g
Potassium bromide 11g
Yellow blood salt 5mg

その後、常法に従ってフロキュレーション法によって水洗した。具体的には、温度を35℃に下げ、硫酸を用いてハロゲン化銀が沈降するまでpHを下げた(pH3.6±0.2の範囲であった)。次に、上澄み液を約3リットル除去した(第一水洗)。さらに3リットルの蒸留水を加えてから、ハロゲン化銀が沈降するまで硫酸を加えた。再度、上澄み液を3リットル除去した(第二水洗)。第二水洗と同じ操作をさらに1回繰り返して(第三水洗)、水洗・脱塩行程を終了した。水洗・脱塩後の乳剤をpH6.4、pAg7.5に調整し、安定剤として1,3,3a,7−テトラアザインデン100mg、防腐剤としてプロキセル(商品名、ICI Co.,Ltd.製)100mgを加えた。最終的に塩化銀を70モル%、沃化銀を0.08モル%含む平均粒子径0.22μm、変動係数9%のヨウ塩臭化銀立方体粒子乳剤を得た。最終的に乳剤として、pH=6.4、pAg=7.5、電導度=4000μS/cm、密度=1.4×10kg/m、粘度=20mPa・sとなった。 Then, it washed with water by the flocculation method according to a conventional method. Specifically, the temperature was lowered to 35 ° C., and the pH was lowered using sulfuric acid until the silver halide precipitated (the pH was in the range of 3.6 ± 0.2). Next, about 3 liters of the supernatant was removed (first water washing). Further, 3 liters of distilled water was added, and sulfuric acid was added until the silver halide settled. Again, 3 liters of the supernatant was removed (second water wash). The same operation as the second water washing was further repeated once (third water washing) to complete the water washing / desalting process. The emulsion after washing with water and desalting was adjusted to pH 6.4 and pAg 7.5, 100 mg of 1,3,3a, 7-tetraazaindene as a stabilizer, and Proxel (trade name, manufactured by ICI Co., Ltd. as a preservative). ) 100 mg was added. Finally, a silver iodochlorobromide cubic grain emulsion containing 70 mol% of silver chloride and 0.08 mol% of silver iodide and having an average grain diameter of 0.22 μm and a coefficient of variation of 9% was obtained. The final emulsion was pH = 6.4, pAg = 7.5, conductivity = 4000 μS / cm, density = 1.4 × 10 3 kg / m 3 , and viscosity = 20 mPa · s.

《塗布液Aの作製》
上記乳剤Aに下記化合物(Cpd−1)8.0×10−4モル/モルAg、1,3,3a,7−テトラアザインデン1.2×10−4モル/モルAgを添加しよく混合した。次いで、膨潤率調製のため必要により、下記化合物(Cpd−2)を添加し、クエン酸を用いて塗布液pHを5.6に調整した。
<< Preparation of coating liquid A >>
The following compound (Cpd-1) 8.0 × 10 −4 mol / mol Ag, 1,3,3a, 7-tetraazaindene 1.2 × 10 −4 mol / mol Ag was added to the emulsion A and mixed well. did. Next, the following compound (Cpd-2) was added as necessary for adjusting the swelling ratio, and the coating solution pH was adjusted to 5.6 using citric acid.

Figure 2011138628
Figure 2011138628

《乳剤B(銀/バインダ体積比:4/1)の調製》
・1液:
水 750ml
ゼラチン(フタル化処理ゼラチン) 8g
塩化ナトリウム 3g
1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−チオン 20mg
ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム 10mg
クエン酸 0.7g
・2液
水 300ml
硝酸銀 150g
・3液
水 300ml
塩化ナトリウム 38g
臭化カリウム 32g
ヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム
(0.005%KCl 20%水溶液) 5ml
ヘキサクロロロジウム酸アンモニウム
(0.001%NaCl 20%水溶液) 7ml
<< Preparation of Emulsion B (Silver / Binder Volume Ratio: 4/1) >>
・ 1 liquid:
750 ml of water
Gelatin (phthalated gelatin) 8g
Sodium chloride 3g
1,3-Dimethylimidazolidine-2-thione 20mg
Sodium benzenethiosulfonate 10mg
Citric acid 0.7g
・ Two liquids 300ml
150 g silver nitrate
・ 3 liquid water 300ml
Sodium chloride 38g
Potassium bromide 32g
Hexachloroiridium (III) potassium salt
(0.005% KCl 20% aqueous solution) 5 ml
Ammonium hexachlororhodate
(0.001% NaCl 20% aqueous solution) 7 ml

3液に用いるヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム(0.005%KCl 20%水溶液)及びヘキサクロロロジウム酸アンモニウム(0.001%NaCl 20%水溶液)は、それぞれの錯体粉末をそれぞれKCl 20%水溶液、NaCl 20%水溶液に溶解し、40℃で120分間加熱して調製した。
38℃、pH4.5に保たれた1液に、2液と3液の各々90%に相当する量を攪拌しながら同時に20分間にわたって加え、0.16μmの核粒子を形成した。続いて下記4液、5液を8分間にわたって加え、さらに、2液と3液の残りの10%の量を2分間にわたって加え、0.21μmまで成長させた。さらに、ヨウ化カリウム0.15gを加え5分間熟成し粒子形成を終了した。
Potassium hexachloroiridium (III) (0.005% KCl 20% aqueous solution) and ammonium hexachlororhodate (0.001% NaCl 20% aqueous solution) used in the three liquids were mixed with their respective complex powders, KCl 20% aqueous solution, NaCl. It was dissolved in a 20% aqueous solution and prepared by heating at 40 ° C. for 120 minutes.
To 1 liquid maintained at 38 ° C. and pH 4.5, 90% of the 2 and 3 liquids were simultaneously added over 20 minutes with stirring to form 0.16 μm core particles. Subsequently, the following 4th and 5th liquids were added over 8 minutes, and the remaining 10% of the 2nd and 3rd liquids were added over 2 minutes to grow to 0.21 μm. Further, 0.15 g of potassium iodide was added and ripened for 5 minutes to complete grain formation.

・4液
水 100ml
硝酸銀 50g
・5液
水 100ml
塩化ナトリウム 13g
臭化カリウム 11g
黄血塩 5mg
・ 4 liquid water 100ml
Silver nitrate 50g
・ 5 liquid 100ml
Sodium chloride 13g
Potassium bromide 11g
Yellow blood salt 5mg

その後、常法に従ってフロキュレーション法によって水洗した。具体的には、温度を35℃に下げ、硫酸を用いてハロゲン化銀が沈降するまでpHを下げた(pH3.6±0.2の範囲であった)。
次に、上澄み液を約3リットル除去した(第一水洗)。さらに3リットルの蒸留水を加えてから、ハロゲン化銀が沈降するまで硫酸を加えた。再度、上澄み液を3リットル除去した(第二水洗)。第二水洗と同じ操作をさらに1回繰り返して(第三水洗)、水洗・脱塩行程を終了した。
Then, it washed with water by the flocculation method according to a conventional method. Specifically, the temperature was lowered to 35 ° C., and the pH was lowered using sulfuric acid until the silver halide precipitated (the pH was in the range of 3.6 ± 0.2).
Next, about 3 liters of the supernatant was removed (first water washing). Further, 3 liters of distilled water was added, and sulfuric acid was added until the silver halide settled. Again, 3 liters of the supernatant was removed (second water wash). The same operation as the second water washing was further repeated once (third water washing) to complete the water washing / desalting process.

水洗・脱塩後の乳剤をpH6.4,pAg7.5に調整し、ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム10mg、ベンゼンチオスルフィン酸ナトリウム3mg、チオ硫酸ナトリウム15mgと塩化金酸10mgを加え55℃にて最適感度を得るように化学増感を施し、安定剤として1,3,3a,7−テトラアザインデン100mg、防腐剤としてプロキセル(商品名,ICI Co.,Ltd.製)100mgを加えた。最終的に塩化銀を70モル%、沃化銀を0.08モル%含む平均粒子径0.22μm、変動係数9%のヨウ塩臭化銀立方体粒子乳剤を得た。最終的に乳剤として、pH=6.4、pAg=7.5、電導度=40μS/m、密度=1.2×10kg/m3,粘度=60mPa・sとなった。 The emulsion after washing and desalting was adjusted to pH 6.4, pAg 7.5, and 10 mg sodium benzenethiosulfonate, 3 mg sodium benzenethiosulfinate, 15 mg sodium thiosulfate and 10 mg chloroauric acid were added, and the optimum sensitivity was obtained at 55 ° C. Was added, and 100 mg of 1,3,3a, 7-tetraazaindene as a stabilizer and 100 mg of proxel (trade name, manufactured by ICI Co., Ltd.) as a preservative were added. Finally, a silver iodochlorobromide cubic grain emulsion containing 70 mol% of silver chloride and 0.08 mol% of silver iodide and having an average grain diameter of 0.22 μm and a coefficient of variation of 9% was obtained. The final emulsion was pH = 6.4, pAg = 7.5, conductivity = 40 μS / m, density = 1.2 × 10 3 kg / m 3 , and viscosity = 60 mPa · s.

《塗布液Bの調製》
上記乳剤Bに増感色素(SD−1)5.7×10−4モル/モルAgを加えて分光増感を施した。さらにKBr3.4×10−4モル/モルAg、化合物(Cpd−3)8.0×10−4モル/モルAgを加え、よく混合した。
次いで1,3,3a,7−テトラアザインデン1.2×10−4モル/モルAg、ハイドロキノン1.2×10−2モル/モルAg、クエン酸3.0×10−4モル/モルAg、2,4−ジクロロ−6−ヒドロキシ−1,3,5−トリアジンナトリウム塩を90mg/m、ゼラチンに対して15wt%の粒径10μmのコロイダルシリカ、水性ラテックス(aqL−6)を50mg/m、ポリエチルアクリレートラテックスを100mg/m、メチルアクリレートと2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸ナトリウム塩と2−アセトキシエチルメタクリレートのラテックス共重合体(質量比88:5:7)を100mg/m、コアシェル型ラテックスコア:スチレン/ブタジエン共重合体質量比37/63)、シェル:スチレン/2−アセトキシエチルアクリレート(質量比84/16、コア/シェル比=50/50)を100mg/m、ゼラチンに対し4%の下記化合物(Cpd−7)を添加し、クエン酸を用いて塗布液pHを5.6に調整した。
<< Preparation of coating liquid B >>
The emulsion B was spectrally sensitized by adding sensitizing dye (SD-1) 5.7 × 10 −4 mol / mol Ag. Further, KBr 3.4 × 10 −4 mol / mol Ag and compound (Cpd-3) 8.0 × 10 −4 mol / mol Ag were added and mixed well.
Then, 1,3,3a, 7-tetraazaindene 1.2 × 10 −4 mol / mol Ag, hydroquinone 1.2 × 10 −2 mol / mol Ag, citric acid 3.0 × 10 −4 mol / mol Ag 2,4-dichloro-6-hydroxy-1,3,5-triazine sodium salt at 90 mg / m 2 , colloidal silica having a particle size of 10 μm of 15 wt% based on gelatin, and aqueous latex (aqL-6) at 50 mg / m 2 m 2 , polyethyl acrylate latex 100 mg / m 2 , methyl acrylate, 2-acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid sodium salt, and 2-acetoxyethyl methacrylate latex copolymer (mass ratio 88: 5: 7) 100 mg / M 2 , core-shell type latex core: styrene / butadiene copolymer mass ratio 37/63), shell 100 mg / m 2 of styrene / 2-acetoxyethyl acrylate (mass ratio 84/16, core / shell ratio = 50/50), 4% of the following compound (Cpd-7) based on gelatin was added, and citric acid Was used to adjust the coating solution pH to 5.6.

Figure 2011138628
Figure 2011138628

(ハロゲン化銀乳剤層)
乳剤Aを用いて、上記のように調製した乳剤層塗布液Aを銀/バインダ体積比(銀/GEL比(vol))が1.03/1、Ag8.0g/m、ゼラチン0.99g/mになるように層を設けた。
乳剤Bを用いて,の銀/バインダ体積比(銀/GEL比(vol))が4.0/1、Ag10.0g/m、ゼラチン0.32g/mになるように層を設けた。
(支持体としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)(厚さ100μm)を用いた。PETにはあらかじめ表面親水化処理したものを用いた。)
(Silver halide emulsion layer)
Using emulsion A, emulsion layer coating solution A prepared as described above has a silver / binder volume ratio (silver / GEL ratio (vol)) of 1.03 / 1, Ag 8.0 g / m 2 , and gelatin 0.99 g. provided with a layer such that / m 2.
With emulsion B, the silver / binder volume ratio of (silver / GEL ratio (vol)) is 4.0 / 1, Ag10.0g / m 2 , provided with a layer such that the gelatin 0.32 g / m 2 .
(Polyethylene terephthalate (PET) (thickness: 100 μm) was used as the support. The surface was hydrophilized in advance.)

(導電性微粒子含有層)
下記のようにして上記ハロゲン化銀乳剤層上部に下記導電性微粒子液1液を5cc/m塗布して導電性微粒子含有層を設けた。
・1液:
水 943ml
ゼラチン 10g
Sbドープ酸化スズ(石原産業社製、商品名 SN100P)48.4g
その他適宜、界面活性剤、防腐剤、pH調節剤を添加した。
(Conductive fine particle content layer)
As described below, a conductive fine particle-containing layer was provided by coating 5 cc / m 2 of the following conductive fine particle solution on the silver halide emulsion layer.
・ 1 liquid:
943 ml of water
10g gelatin
Sb-doped tin oxide (trade name: SN100P, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.) 48.4g
In addition, a surfactant, preservative, and pH adjuster were added as appropriate.

ハロゲン化銀乳剤層に乳剤層塗布液Aを,導電性微粒子含有層に導電性微粒子液1液を用い、このようにして得られた塗布品を乾燥したものを感光材料Aとする。
感光材料Aは保護層に導電性微粒子が0.23g/mで、導電性微粒子/バインダー比は4.84/1(質量比)で導電性微粒子を塗布している。なお、導電性微粒子単独の抵抗(導電膜抵抗)を調べるために、この感光材料Aを露光・現像処理せず、定着処理のみ行いハロゲン化銀を抜いて表面抵抗を測定したところ、10Ω/□であった。表面抵抗(Ω/□)は、デジタル超高抵抗/微少電流計8340A(商品名、株式会社エーディーシー社製)により測定した。
The emulsion layer coating solution A is used for the silver halide emulsion layer, and the conductive fine particle solution 1 solution is used for the conductive fine particle-containing layer.
In the photosensitive material A, the conductive fine particles are applied to the protective layer so that the conductive fine particles are 0.23 g / m 2 and the conductive fine particle / binder ratio is 4.84 / 1 (mass ratio). In order to examine the resistance (conductive film resistance) of the conductive fine particles alone, the photosensitive material A was not exposed and developed, and only the fixing process was performed. The surface resistance was measured by removing the silver halide and found to be 10 7 Ω. / □. The surface resistance (Ω / □) was measured with a digital ultrahigh resistance / microammeter 8340A (trade name, manufactured by ADC Corporation).

感光材料Aの導電性微粒子含有層の塗布量を10cc/m、20cc/m、30cc/m、40cc/mと量を変えたこと以外は感光材料Aと同様にして、それぞれ感光材料B、C、DおよびEを得た。これらの感光材料B〜Eは、導電性微粒子/バインダ比は変わらず、導電性微粒子の量が、それぞれ0.46g/m、0.93g/m、1.3g/mおよび1.63g/mであった。 Photosensitive material A was coated in the same manner as photosensitive material A except that the coating amount of the conductive fine particle-containing layer was changed to 10 cc / m 2 , 20 cc / m 2 , 30 cc / m 2 , and 40 cc / m 2. Materials B, C, D and E were obtained. These light-sensitive materials B~E, the conductive fine particles / binder ratio is not changed, the amount of conductive fine particles, respectively 0.46g / m 2, 0.93g / m 2, 1.3g / m 2 and 1. It was 63 g / m 2 .

〈露光・現像処理〉
次いで、前記で調製した感光材料A〜Eにライン/スペース=5μm/595μmの現像銀像を与えうる格子状のフォトマスクライン/スペース=595μm/5μm(ピッチ600μm)の、スペースが格子状であるフォトマスクを介して高圧水銀ランプを光源とした平行光を用いて露光し、下記の現像液で現像し、さらに定着液(商品名:CN16X用N3X−R:富士フイルム社製)を用いて現像処理を行った後、純水でリンスし、試料A〜Eを得た。
<Exposure and development processing>
Next, the photomask lines / spaces = 595 μm / 5 μm (pitch 600 μm), which can give a developed silver image of line / space = 5 μm / 595 μm, to the photosensitive materials A to E prepared above, have a grid-like space. Exposure using parallel light using a high-pressure mercury lamp as a light source through a photomask, development with the following developer, and further development with a fixer (trade name: N3X-R for CN16X: manufactured by Fujifilm) After processing, it rinsed with the pure water and obtained sample AE.

[現像液の組成]
現像液1リットル中に、以下の化合物が含まれる。
ハイドロキノン 0.037mol/L
N−メチルアミノフェノール 0.016mol/L
メタホウ酸ナトリウム 0.140mol/L
水酸化ナトリウム 0.360mol/L
臭化ナトリウム 0.031mol/L
メタ重亜硫酸カリウム 0.187mol/L
[Developer composition]
The following compounds are contained in 1 liter of developer.
Hydroquinone 0.037mol / L
N-methylaminophenol 0.016 mol / L
Sodium metaborate 0.140 mol / L
Sodium hydroxide 0.360 mol / L
Sodium bromide 0.031 mol / L
Potassium metabisulfite 0.187 mol / L

(エレクトロルミネセンス素子の作製)
上記のように作製された試料A〜Eを分散型無機EL(エレクトロルミネッセンス)素子に組み込み、発光テストを行った。
平均粒子サイズが0.03μmの顔料を含む反射絶縁層と蛍光体粒子が50〜60μmの発光層を背面電極となるアルミニウムシート上に塗布し、温風乾燥機を用いて110℃で1時間乾燥した。
その後、試料A〜Eを蛍光体層、背面電極の誘電体層面上に重ね、熱圧着してEL素子を形成した。素子を2枚のナイロン6からなる吸水性シートと2枚の防湿フィルムと挟んで熱圧着した。EL素子のサイズは、3cm×5cmであった。
(Production of electroluminescence element)
Samples A to E produced as described above were incorporated into a dispersion-type inorganic EL (electroluminescence) element, and a light emission test was performed.
A reflective insulating layer containing a pigment having an average particle size of 0.03 μm and a light emitting layer having phosphor particles of 50 to 60 μm are coated on an aluminum sheet serving as a back electrode and dried at 110 ° C. for 1 hour using a hot air dryer. did.
Thereafter, Samples A to E were stacked on the phosphor layer and the dielectric layer surface of the back electrode and thermocompression bonded to form an EL element. The element was thermocompression bonded between two sheets of nylon 6 and two moisture-proof films. The size of the EL element was 3 cm × 5 cm.

(評価)
発光輝度を測定させるために用いた電源は、定周波定電圧電源 CVFT−Dシリーズ(東京精電株式会社製、商品名)を用いた。また、輝度(cd/m)の測定には、輝度計 BM−9(株式会社トプコンテクノハウス製、商品名)を用いた。
(結果)
無機EL素子にピーク電圧100V、周波数400Hzで駆動させ輝度を測定した。その結果を表1に示す。
(Evaluation)
A constant frequency constant voltage power source CVFT-D series (manufactured by Tokyo Seiden Co., Ltd., trade name) was used as the power source used for measuring the emission luminance. Further, a luminance meter BM-9 (trade name, manufactured by Topcon Technohouse Co., Ltd.) was used for measurement of luminance (cd / m 2 ).
(result)
The brightness was measured by driving the inorganic EL element at a peak voltage of 100 V and a frequency of 400 Hz. The results are shown in Table 1.

Figure 2011138628
Figure 2011138628

導電性微粒子含有層のバインダ量が0.2g/m以下の範囲にある試料A〜試料Cは、当該バインダ量が0.2g/mより多い試料Dおよび試料Eに比べて輝度が高いことが分かる。 Samples A to C in which the binder amount of the conductive fine particle-containing layer is in the range of 0.2 g / m 2 or less have higher luminance than Samples D and E, where the binder amount is more than 0.2 g / m 2. I understand that.

[実施例2]
感光材料Aの作製と同様にして、但し、ハロゲン化銀乳剤層の形成に乳剤層塗布液Bを、また導電性微粒子含有層の形成に導電性微粒子液1液を用いて、感光材料Fを作製した。更に、感光材料Fの作製方法と同様にして、但し、導電性微粒子液1液の塗布量を10cc/m、20cc/m、30cc/mまたは40cc/mと量を変えて、それぞれ感光材料G、H、IおよびJを得た。導電性微粒子/バインダ比は変わらず、導電性微粒子の量は、それぞれ0.46g/m、0.93g/m、1.3g/mおよび1.63g/mであった。
実施例1と同様に,感光材料F〜Jを露光および現像処理を行った。その後,カレンダー処理を試料に対して、ニップ間の線圧が3500N/cm、搬送速度を10m/分で行った。その後、蒸気処理を1気圧下で100℃、処理時間は約30秒間行い、試料F〜Jを作製した。
[Example 2]
In the same manner as in the preparation of the photosensitive material A, except that the emulsion layer coating solution B is used for forming the silver halide emulsion layer and the conductive fine particle solution 1 solution is used for forming the conductive fine particle-containing layer. Produced. Further, in the same manner as in the production method of the photosensitive material F, except that the coating amount of one conductive fine particle liquid is changed to 10 cc / m 2 , 20 cc / m 2 , 30 cc / m 2 or 40 cc / m 2 , Photosensitive materials G, H, I and J were obtained, respectively. Conductive fine particles / binder ratio is not changed, the amount of conductive fine particles, respectively 0.46g / m 2, 0.93g / m 2, was 1.3 g / m 2 and 1.63 g / m 2.
In the same manner as in Example 1, the photosensitive materials F to J were exposed and developed. Thereafter, calendering was performed on the sample at a linear pressure between nips of 3500 N / cm and a conveyance speed of 10 m / min. Thereafter, steam treatment was performed at 100 ° C. under a pressure of 1 at a treatment time of about 30 seconds to prepare Samples F to J.

(評価結果)
前述と同様にして無機EL素子を作製し、ピーク電圧100V、周波数400Hzで駆動させ輝度(cd/m)を測定した。その結果を表2に示す。
(Evaluation results)
An inorganic EL element was produced in the same manner as described above, and the luminance (cd / m 2 ) was measured by driving at a peak voltage of 100 V and a frequency of 400 Hz. The results are shown in Table 2.

Figure 2011138628
Figure 2011138628

導電性微粒子含有層のバインダ量が0.2g/m以下の範囲にある試料F〜試料Hは、当該バインダ量が0.2g/mより多い試料Iおよび試料Jに比べて輝度が高いことが分かる。 Samples F to H in which the binder amount of the conductive fine particle-containing layer is in the range of 0.2 g / m 2 or less have higher luminance than Samples I and J, where the binder amount is more than 0.2 g / m 2. I understand that.

Claims (13)

支持体と、導電性金属で構成された金属メッシュ層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層とを有する導電性要素。 A conductive element comprising a support, a metal mesh layer composed of a conductive metal, and a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less. 前記支持体と、前記金属メッシュ層と、前記導電性微粒子含有層とを、この順に有する請求項1に記載の導電性要素。   The electroconductive element of Claim 1 which has the said support body, the said metal mesh layer, and the said electroconductive fine particle content layer in this order. 前記導電性金属が、銀である請求項1または請求項2に記載の導電性要素。   The conductive element according to claim 1, wherein the conductive metal is silver. 前記導電性微粒子含有層に含まれる導電性微粒子が、0.005μm〜0.12μmの粒子径を持つ導電性金属酸化物の微粒子である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の導電性要素。   4. The conductive fine particles contained in the conductive fine particle-containing layer are conductive metal oxide fine particles having a particle diameter of 0.005 μm to 0.12 μm. 5. Conductive elements. 前記金属酸化物が、SnO、ZnO、TiO、Al、In、MgO、BaOおよびMoOからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属酸化物、これらの複合金属酸化物またはこれらの金属酸化物に異種原子を含む金属酸化物である請求項4に記載の導電性要素。 The metal oxide is at least one metal oxide selected from the group consisting of SnO 2 , ZnO, TiO 2 , Al 2 O 3 , In 2 O 3 , MgO, BaO and MoO 3 , and a composite metal oxide thereof The conductive element according to claim 4, wherein the metal oxide is a metal oxide containing a heteroatom in these metal oxides. 前記金属酸化物が、アンチモンがドープされたSnOである請求項4に記載の導電性要素。 The conductive element according to claim 4, wherein the metal oxide is SnO 2 doped with antimony. 前記導電性微粒子含有層に含まれる導電性微粒子の含有量が、0.05g/m〜0.99g/mである請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の導電性要素。 The content of the conductive particles contained in the conductive fine particle-containing layer is, conductive element as claimed in any one of claims 6 a 0.05g / m 2 ~0.99g / m 2 . 前記導電性微粒子含有層が、バインダを含有しない請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の導電性要素。   The conductive element according to any one of claims 1 to 7, wherein the conductive fine particle-containing layer does not contain a binder. 支持体と、銀塩含有層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層とを有する導電性要素形成用感光材料。 A photosensitive material for forming a conductive element, comprising a support, a silver salt-containing layer, and a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less. 請求項9に記載の導電性要素形成用感光材料をメッシュ状にパターン露光および現像処理することを含む導電性要素の製造方法。   A method for producing a conductive element, comprising subjecting the photosensitive material for forming a conductive element according to claim 9 to pattern exposure and development processing in a mesh shape. 支持体と、銀塩含有層とを有する導電性要素形成用感光材料をメッシュ状にパターン露光および現像処理して、現像銀メッシュ層を有する導電性要素前駆体を作製すること、該現像銀メッシュ層上に、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層を形成することを含む導電性要素の製造方法。 Conductive element forming photosensitive material having a support and a silver salt-containing layer is subjected to pattern exposure and development processing in a mesh form to produce a conductive element precursor having a developed silver mesh layer, and the developed silver mesh The manufacturing method of the electroconductive element including forming the electroconductive fine particle content layer whose binder amount is 0.2 g / m < 2 > or less on a layer. 前記現像処理後、前記導電性微粒子含有層を形成する前に、前記導電性要素前駆体を平滑化処理する請求項11に記載の導電性要素の製造方法。   The method for producing a conductive element according to claim 11, wherein the conductive element precursor is smoothed after the development process and before the conductive fine particle-containing layer is formed. 導電性金属で構成されたメッシュを含む金属メッシュ層と、バインダ量が0.2g/m以下の導電性微粒子含有層と、該導電性微粒子含有層に隣接する被通電層とを有する電極構造。 An electrode structure having a metal mesh layer including a mesh made of a conductive metal, a conductive fine particle-containing layer having a binder amount of 0.2 g / m 2 or less, and a conductive layer adjacent to the conductive fine particle-containing layer .
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