JP2011132292A - Thermoplastic elastomer resin composition for substrate storage container gasket and gasket molded product for substrate storage container - Google Patents

Thermoplastic elastomer resin composition for substrate storage container gasket and gasket molded product for substrate storage container Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket, which has excellent injection moldability and flexibility and has a small amount of organic substances attached to the surface of a substrate due to a small amount of volatile gas generated and a gasket molded product for substrate storage container. <P>SOLUTION: The thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket includes 50-98 wt.% of a polyether ester block copolymer (A) having a modulus of elongation of <30 MPa, 2-50 wt.% of one or more thermoplastic elastomer (B) selected from a hydrogenated styrene-based elastomer (b1) and/or an olefin-based elastomer (b2) in which the thermoplastic elastomer (B) is a dispersion phase, and has a modulus of elongation of ≤15 MPa and an amount of volatile gas measured by a static headspace method under heating conditions at 80°C for two hours based on weight of ≤5 ppm. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は射出成形性、柔軟性に優れ、かつ発生する揮発性ガスが少ないことによる基板表面に付着する有機物の少ない基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物および基板収納容器用ガスケット成形体に関するものである。   The present invention relates to a thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket and a gasket molded body for a substrate storage container, which is excellent in injection moldability and flexibility, and has less organic matter adhering to the substrate surface due to a small amount of volatile gas generated. Is.

従来から、基板収納容器およびそれに付随した治具に代表される用途においては、容器内に格納される基板を汚染しない低汚染性熱可塑性樹脂が求められているが、近年、この汚染性レベルのより低いものが求められるようになってきている。これは、基板の大口径化や基板上に形成される回路の細径化に伴い、基板の汚染により歩留まりが大きく低下するためである。特に、基板収納容器に用いられるガスケットは、低汚染性でかつ外部からの汚染物質の侵入を防ぐ気密性を保持するために柔軟性を有する素材が要求される。しかし気密性を高めるためのより柔軟な素材は、発生する揮発性ガスが多く基板を汚染し易くなる問題がある。   Conventionally, in applications represented by substrate storage containers and jigs associated therewith, low-contamination thermoplastic resins that do not contaminate substrates stored in containers have been demanded. Lower ones are being sought. This is because the yield is greatly reduced due to contamination of the substrate as the diameter of the substrate is increased and the circuit formed on the substrate is reduced in diameter. In particular, the gasket used for the substrate storage container is required to be made of a material having flexibility in order to maintain low air-contamination and hermeticity to prevent entry of contaminants from the outside. However, a more flexible material for increasing the airtightness has a problem that a large amount of volatile gas is generated and the substrate is easily contaminated.

基板収納容器に用いられるガスケットの素材としては、NBR、イソプレンゴム、EPDM、SBR、シリコーンゴム、フッ素ゴム、熱可塑性ポリオレフィン系エラストマーが提案されている(例えば、特許文献1、2、3、4参照)。また、表面硬度と発生する揮発性ガスの量を規定した熱可塑性ポリエステル系エラストマーが提案されている(例えば、特許文献5、6参照)。   NBR, isoprene rubber, EPDM, SBR, silicone rubber, fluororubber, and thermoplastic polyolefin-based elastomers have been proposed as gasket materials used for substrate storage containers (see, for example, Patent Documents 1, 2, 3, and 4). ). In addition, thermoplastic polyester elastomers that define the surface hardness and the amount of generated volatile gas have been proposed (see, for example, Patent Documents 5 and 6).

しかるに、上記文献1、2、3、4に開示された素材は、確かに柔軟であるため高い気密性を保持するが、発生する揮発性ガスが多いため、その揮発性ガスにより基板を汚染するという問題があり、基板収納用ガスケットとしては不十分であった。   However, the materials disclosed in the above-mentioned documents 1, 2, 3, and 4 have high airtightness because they are flexible, but they generate a large amount of volatile gas, so that the substrate is contaminated by the volatile gas. As a result, it was insufficient as a gasket for storing a substrate.

また上記文献5,6に開示された素材は、確かに柔軟であるため高い気密性を保持し、かつ発生する揮発性ガスが少ないことから、基板収納容器用ガスケットとしては適しているが、いずれも軟化材を一切含まない単一の熱可塑性ポリエステル系エラストマー樹脂1種の構成であるため、成形性の低下や粘着性の増大により基板収納容器へのガスケットの装着性が低下するという問題があった。   In addition, the materials disclosed in the above-mentioned documents 5 and 6 are suitable as a gasket for a substrate storage container because they are flexible and maintain high airtightness and generate little volatile gas. However, since it is a single thermoplastic polyester elastomer resin that does not contain any softening material, there is a problem in that the mounting property of the gasket to the substrate storage container is lowered due to a decrease in moldability and an increase in adhesiveness. It was.

特開2003−60021号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-60021 特開2004−119427号公報JP 2004-119427 A 特開2005−353898号公報JP 2005-353898 A 特開2003−118776号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-118776 特開2006−303261号公報JP 2006-303261 A

本発明は、上述した従来技術における問題点の解決を課題とするものであり、その目的とするところは、射出成形性、柔軟性に優れ、かつ発生する揮発性ガスが少ないことによる基板表面に付着する有機物の少ない基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物および基板収納容器用ガスケット成形体を提供することにある。   The present invention is intended to solve the above-described problems in the prior art, and the object of the present invention is to provide excellent injection moldability and flexibility on the surface of the substrate due to low volatile gas generation. It is an object of the present invention to provide a thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket and a molded article for a substrate storage container with less organic matter adhering thereto.

本発明者らは、上記の目的を達成するために鋭意検討した結果、JIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が30MPa未満であるポリエーテルエステルブロック共重合体と、水素添加されたスチレン系エラストマーおよび/またはオレフィン系エラストマーを分散相とする熱可塑性エラストマー樹脂組成物であって、JIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が15MPa以下であり、かつスタティックヘッドスペース法にて80℃、2時間の加熱条件で測定される揮発性ガス量が重量当たり5ppm以下である熱可塑性エラストマー樹脂組成物により上記の目的が効果的に達成されることを見いだし、本発明に達した。 As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that a polyether ester block copolymer having a tensile modulus of elasticity of less than 30 MPa measured at 23 ° C. according to the method described in JIS K7113, and hydrogen A thermoplastic elastomer resin composition having an added styrene-based elastomer and / or olefin-based elastomer as a dispersed phase, the tensile elastic modulus measured at 23 ° C. according to the method described in JIS K7113 is 15 MPa or less, and It has been found that the above-mentioned object is effectively achieved by a thermoplastic elastomer resin composition having a volatile gas amount of 5 ppm or less per weight measured at 80 ° C. for 2 hours under the static headspace method, The present invention has been reached.

すなわち、上記目的を達成するために本発明によれば、主として結晶性芳香族ポリエステルからなる高融点結晶性重合体セグメント(a1)と、主として脂肪族ポリエーテル単位および/または脂肪族ポリエステル単位からなる低融点重合体セグメント(a 2)とを主たる構成成分とし、JIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が30MPa未満であるポリエーテルエステルブロック共重合体(A)50〜 98重量%と、水素添加されたスチレン系エラストマー(b1)および/またはオレフィン系エラストマー(b2)から選ばれた1種以上の熱可塑性エラストマー(B)2〜50重量%とからなり、前記熱可塑性エラストマー(B)を分散相とする熱可塑性エラストマー樹脂組成物であって、JIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が15MPa以下であり、かつスタティックヘッドスペース法にて80℃、2時間の加熱条件で測定される揮発性ガス量が重量当たり5ppm以下であることを特徴とする基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物が提供される。   That is, in order to achieve the above object, according to the present invention, the high-melting crystalline polymer segment (a1) mainly composed of a crystalline aromatic polyester, and mainly composed of an aliphatic polyether unit and / or an aliphatic polyester unit. A polyether ester block copolymer (A) 50 to 98 having a low melting point polymer segment (a 2) as a main constituent and a tensile modulus measured at 23 ° C. of less than 30 MPa according to the method described in JIS K7113. And 2 to 50% by weight of one or more thermoplastic elastomers (B) selected from hydrogenated styrene elastomers (b1) and / or olefin elastomers (b2). A thermoplastic elastomer resin composition having (B) as a dispersed phase, wherein JIS The tensile modulus measured at 23 ° C. according to the method described in No. 7113 is 15 MPa or less, and the amount of volatile gas measured at 80 ° C. for 2 hours under the static headspace method is 5 ppm or less per weight. There is provided a thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket.

なお、本発明の基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物においては、
前記ポリエーテルエステルブロック共重合体(A)の高融点結晶性重合体セグメント(a1)がポリブチレンテレフタレート単位、またはポリブチレンテレフタレート単位とポリブチレンイソフタレート単位で構成されること、
前記ポリエーテルエステルブロック共重合体(A)の低融点重合体セグメント(a2)が、ポリ(テトラメチレンオキシド)グリコール、ポリ(プロピレンオキシド)グリコールのエチレンオキシド付加物、およびエチレンオキシドとテトラヒドロフランの共重合体グリコールから選ばれた少なくとも一種で構成されること、
前記水素添加されたスチレン系エラストマー(b1)が、水素添加スチレン−ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン−イソプレンブロック共重合体、水素添加スチレン−イソプレン/ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレンブタジエンラバーから選ばれた1種以上で構成されること、
前記オレフィン系エラストマー(b2)が、エチレンと炭素数3〜20のα−オレフィンとを共重合して得られるエチレン・α−オレフィン系共重合体で構成されること、
が、いずれも好ましい条件であり、これらの条件を適用することにより、一層優れた効果の取得を期待することができる。
In the thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket of the present invention,
The high melting crystalline polymer segment (a1) of the polyetherester block copolymer (A) is composed of a polybutylene terephthalate unit, or a polybutylene terephthalate unit and a polybutylene isophthalate unit,
The low melting point polymer segment (a2) of the polyether ester block copolymer (A) comprises poly (tetramethylene oxide) glycol, poly (propylene oxide) glycol ethylene oxide adduct, and ethylene oxide / tetrahydrofuran copolymer glycol. Composed of at least one selected from
The hydrogenated styrene elastomer (b1) is a hydrogenated styrene-butadiene block copolymer, a hydrogenated styrene-isoprene block copolymer, a hydrogenated styrene-isoprene / butadiene block copolymer, or a hydrogenated styrene butadiene rubber. Composed of at least one selected from
The olefin elastomer (b2) is composed of an ethylene / α-olefin copolymer obtained by copolymerizing ethylene and an α-olefin having 3 to 20 carbon atoms,
However, both are preferable conditions, and by applying these conditions, it can be expected to obtain a more excellent effect.

また、本発明の基板収納容器ガスケット成形体は、前記の熱可塑性エラストマー樹脂組成物を射出成形してなることを特徴とする。   In addition, a molded article for a substrate storage container gasket according to the present invention is formed by injection molding the thermoplastic elastomer resin composition.

本発明の基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物は、射出成形性に優れ、柔軟性、ならびに基板を汚染する揮発性ガス量が低く抑えられており、それを利用した基板収納容器ガスケット成形体は、基板の汚染が極めて少ないという優れた特性を発揮する。   The thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket of the present invention is excellent in injection moldability, flexibility, and the amount of volatile gas that contaminates the substrate is suppressed to a low level. The body exhibits the excellent property that the contamination of the substrate is very low.

粘着性試験の概略を示す平面図(イ)と側面図(ロ)である。It is the top view (I) and side view (B) which show the outline of an adhesive test.

以下、本発明について詳述する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明に用いられるJIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が30MPa未満であるポリエーテルエステルブロック共重合体(A)の高融点結晶性重合体セグメント(a1)は、主として芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、ジオールまたはそのエステル形成性誘導体から形成されるポリエステルであり、芳香族ジカルボン酸の具体例としては、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、ナフタレン−2,6−ジカルボン酸、ナフタレン−2,7−ジカルボン酸、アントラセンジカルボン酸、ジフェニル−4,4’−ジカルボン酸、ジフェノキシエタンジカルボン酸、4,4'−ジフェニルエーテルジカルボン酸、5−スルホイソフタル酸、および3−スルホイソフタル酸ナトリウムなどが挙げられる。主として芳香族ジカルボン酸を用いるが、必要によっては、芳香族ジカルボン酸の一部を、1,4−シクロヘキサンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、4,4'−ジシクロヘキシルジカルボン酸などの脂環族ジカルボン酸や、アジピン酸、コハク酸、シュウ酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸、およびダイマー酸などの脂肪族ジカルボン酸に置換してもよい。ジカルボン酸のエステル形成性誘導体、たとえば低級アルキルエステル、アリールエステル、炭酸エステル、および酸ハロゲン化物などももちろん同等に用い得る。 ジオールとしては、分子量400以下のジオール、例えば1,4−ブタンジオール、エチレングリコール、トリメチレングリコール、ペンタメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、ネオペンチルグリコール、デカメチレングリコールなどの脂肪族ジオール、1,1−シクロヘキサンジメタノール、1,4−ジシクロヘキサンジメタノール、トリシクロデカンジメタノールなどの脂環族ジオール、キシリレングリコール、ビス(p−ヒドロキシ)ジフェニル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]プロパン、ビス[4−(2−ヒドロキシ)フェニル]スルホン、1,1−ビス[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]シクロヘキサン、4,4’−ジヒドロキシ−p−ターフェニル、4,4’−ジヒドロキシ−p−クオーターフェニルなどの芳香族ジオールが好ましく、かかるジオールもエステル形成性誘導体、例えばアセチル体、アルカリ金属塩等の形でも用い得る。   The high-melting crystalline polymer segment (a1) of the polyetherester block copolymer (A) having a tensile modulus of less than 30 MPa measured at 23 ° C. according to the method described in JIS K7113 used in the present invention is mainly A polyester formed from an aromatic dicarboxylic acid or an ester-forming derivative thereof and a diol or an ester-forming derivative thereof. Specific examples of the aromatic dicarboxylic acid include terephthalic acid, isophthalic acid, phthalic acid, naphthalene-2, 6-dicarboxylic acid, naphthalene-2,7-dicarboxylic acid, anthracene dicarboxylic acid, diphenyl-4,4′-dicarboxylic acid, diphenoxyethanedicarboxylic acid, 4,4′-diphenyl ether dicarboxylic acid, 5-sulfoisophthalic acid, and Sodium 3-sulfoisophthalate, etc. And the like. Although aromatic dicarboxylic acid is mainly used, if necessary, a part of the aromatic dicarboxylic acid may be converted to alicyclic dicarboxylic acid such as 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid, cyclopentanedicarboxylic acid, 4,4′-dicyclohexyldicarboxylic acid. Or an aliphatic dicarboxylic acid such as adipic acid, succinic acid, oxalic acid, sebacic acid, dodecanedioic acid, and dimer acid. Of course, ester-forming derivatives of dicarboxylic acids such as lower alkyl esters, aryl esters, carbonates, and acid halides can be used equally. Examples of the diol include diols having a molecular weight of 400 or less, such as 1,4-butanediol, aliphatic diols such as ethylene glycol, trimethylene glycol, pentamethylene glycol, hexamethylene glycol, neopentyl glycol, decamethylene glycol, 1,1- Cycloaliphatic diols such as cyclohexanedimethanol, 1,4-dicyclohexanedimethanol, tricyclodecane dimethanol, xylylene glycol, bis (p-hydroxy) diphenyl, bis (p-hydroxyphenyl) propane, 2,2- Bis [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propane, bis [4- (2-hydroxy) phenyl] sulfone, 1,1-bis [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] cyclohexane, 4,4′- Dihydroxy - terphenyl, an aromatic diol such as 4,4'-dihydroxy -p- Quarter phenyl preferably, such diols also ester-forming derivatives, for example acetyl form, it may be used in the form such as an alkali metal salt.

これらのジカルボン酸およびその誘導体またはジオール成分を2種以上併用してもよい。そして、最も好ましい高融点結晶性重合体セグメント(a1) の例はテレフタル酸および/またはジメチルテレフタレートと1,4−ブタンジオールから誘導されるポリブチレンテレフタレートである。   Two or more of these dicarboxylic acids and their derivatives or diol components may be used in combination. An example of the most preferable high melting crystalline polymer segment (a1) is polybutylene terephthalate derived from terephthalic acid and / or dimethyl terephthalate and 1,4-butanediol.

本発明に用いられるポリエーテルエステルブロック共重合体(A)の低融点重合体セグメント(a2) は、脂肪族ポリエーテルおよび/または脂肪族ポリエステルであり、脂肪族ポリエーテルとしては、ポリ(エチレンオキシド)グリコール、ポリ(プロピレンオキシド)グリコール、ポリ(テトラメチレンオキシド)グリコール、ポリ(ヘキサメチレンオキシド)グリコール、エチレンオキシドとプロピレンオキシドの共重合体、ポリ(プロピレンオキシド)グリコールのエチレンオキシド付加物、エチレンオキシドとテトラヒドロフランの共重合体などが挙げられる。また、脂肪族ポリエステルとしては、ポリ(ε−カプロラクトン)、ポリエナントラクトン、ポリカプリロラクトン、ポリブチレンアジペートなどが挙げられる。これらの脂肪族ポリエーテルおよび/または脂肪族ポリエステルのなかで得られるポリエステルブロック共重合体の弾性特性からポリ(テトラメチレンオキシド) グリコール、ポリ(プロピレンオキシド)グリコールのエチレンオキシド付加物、ポリ(ε−カプロラクトン)、ポリブチレンアジペートなどが好ましく、これらの中でも特にポリ(プロピレンオキシド)グリコールのエチレンオキサイド付加物が好ましい。   The low-melting-point polymer segment (a2) of the polyether ester block copolymer (A) used in the present invention is an aliphatic polyether and / or an aliphatic polyester. As the aliphatic polyether, poly (ethylene oxide) is used. Glycol, poly (propylene oxide) glycol, poly (tetramethylene oxide) glycol, poly (hexamethylene oxide) glycol, copolymer of ethylene oxide and propylene oxide, ethylene oxide adduct of poly (propylene oxide) glycol, copolymer of ethylene oxide and tetrahydrofuran A polymer etc. are mentioned. Examples of the aliphatic polyester include poly (ε-caprolactone), polyenantlactone, polycaprylolactone, and polybutylene adipate. Poly (tetramethylene oxide) glycol, poly (propylene oxide) glycol ethylene oxide adduct, poly (ε-caprolactone) from the elastic properties of polyester block copolymers obtained from these aliphatic polyethers and / or aliphatic polyesters ), Polybutylene adipate and the like are preferable, and among these, an ethylene oxide adduct of poly (propylene oxide) glycol is particularly preferable.

本発明に用いられるポリエーテルエステルブロック共重合体(A)のJIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が30MPa以下、好ましくは25MPa以下である。引張弾性率が30MPa以上では目的とする柔軟性が得られないため気密性が低下して好ましくない。   The tensile modulus measured at 23 ° C. according to the method described in JIS K7113 of the polyether ester block copolymer (A) used in the present invention is 30 MPa or less, preferably 25 MPa or less. If the tensile modulus is 30 MPa or more, the desired flexibility cannot be obtained, and the airtightness is lowered, which is not preferable.

本発明に用いられるJIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が30MPa未満であるポリエーテルエステルブロック共重合体(A)の低融点重合体セグメント(a2)の共重合量は、通常、50〜90重量%、好ましくは55〜85重量%である。特に50重量%以下では柔軟性が不足し、90重量%以上では、結晶性が低く成形性に劣る。   The copolymerization amount of the low-melting-point polymer segment (a2) of the polyether ester block copolymer (A) having a tensile modulus of less than 30 MPa measured at 23 ° C. according to the method described in JIS K7113 used in the present invention is Usually, it is 50 to 90% by weight, preferably 55 to 85% by weight. In particular, if it is 50% by weight or less, the flexibility is insufficient, and if it is 90% by weight or more, the crystallinity is low and the moldability is poor.

また、異なる組成のポリエーテルエステルブロック共重合体を二種類以上併用してもよい。   Two or more kinds of polyetherester block copolymers having different compositions may be used in combination.

本発明に用いられるポリエーテルエステルブロック共重合体(A)は公知の方法で製造することができる。例えば、ジカルボン酸の低級アルコールジエステル、過剰量の低分子量グリコール、および低融点重合体セグメント成分を触媒の存在下エステル交換反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法、あるいはジカルボン酸と過剰量のグリコールおよび低融点重合体セグメント成分を触媒の存在下エステル化反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法、またはあらかじめ高融点結晶性セグメントを作っておき、これに低融点セグメント成分を添加してエステル交換反応によりランダム化せしめる方法、高融点結晶性セグメントと低融点重合体セグメントを鎖連結剤でつなぐ方法、さらにポリ(ε−カプロラクトン)を低融点重合体セグメントに用いる場合は、高融点結晶性セグメントにε−カプロラクトンモノマを付加反応させるなどのいずれの方法をとってもよい。   The polyether ester block copolymer (A) used in the present invention can be produced by a known method. For example, a method in which a lower alcohol diester of dicarboxylic acid, an excessive amount of low molecular weight glycol, and a low melting point polymer segment component are transesterified in the presence of a catalyst and the resulting reaction product is polycondensed, or an excess amount of dicarboxylic acid This method involves esterifying the glycol and low melting polymer segment components in the presence of a catalyst and then polycondensing the resulting reaction product, or preparing a high melting crystalline segment in advance and adding the low melting segment component to this. And a method of randomizing by transesterification, a method of connecting a high melting crystalline segment and a low melting polymer segment with a chain linking agent, and a poly (ε-caprolactone) for the low melting polymer segment. Do not add ε-caprolactone monomer to the crystalline segment. Any method may be taken.

本発明に用いられる水素添加されたスチレン系エラストマー(b1)は、芳香族ビニル系単量体からなるブロックと、共役ジエンからなるブロックから形成されるスチレン系ブロック共重合体や、芳香族ビニル系単量体と共役ジエンからなるスチレンブタジエンラバーを水素添加して得られるものである。   The hydrogenated styrene elastomer (b1) used in the present invention includes a styrene block copolymer formed from a block composed of an aromatic vinyl monomer and a block composed of a conjugated diene, and an aromatic vinyl series. It is obtained by hydrogenating a styrene butadiene rubber composed of a monomer and a conjugated diene.

上記芳香族ビニル系単量体の具体例としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メチルスチレン、p−t−ブチルスチレン、o−エチルスチレン、およびo,p−ジクロルスチレンなどが挙げられる。   Specific examples of the aromatic vinyl monomer include styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, p-methylstyrene, pt-butylstyrene, o-ethylstyrene, and o, p-dichlorostyrene. Is mentioned.

また、共役ジエンの具体例としては、ブタジエン、イソプレン、ブタジエン/イソプレン共重合体、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン、1,3−ペンタジエン、2−メチル−1,3−ペンタジエン、1,3−ヘキサジエン、4,5−ジエチル−1,3−オクタジエン、3−ブチル−1,3−オクタジエン、およびクロロプレンなどが挙げられる。   Specific examples of the conjugated diene include butadiene, isoprene, butadiene / isoprene copolymer, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene, 1,3-pentadiene, 2-methyl-1,3-pentadiene, 1 , 3-hexadiene, 4,5-diethyl-1,3-octadiene, 3-butyl-1,3-octadiene, chloroprene, and the like.

これらの中でも、水素添加スチレン−ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン−イソプレンブロック共重合体、水素添加されたスチレン−イソプレン/ブタジエンブロック共重合体、および水素添加スチレンブタジエンラバーから選ばれた少なくとも1種が好ましい。   Among these, at least one selected from a hydrogenated styrene-butadiene block copolymer, a hydrogenated styrene-isoprene block copolymer, a hydrogenated styrene-isoprene / butadiene block copolymer, and a hydrogenated styrene butadiene rubber. Species are preferred.

本発明に用いられる水素添加されたスチレン系エラストマー(b1)は、変性されていても良い。変性はカルボキシル基含有不飽和化合物または酸無水物含有不飽和化合物、あるいはエポキシ基含有モノマーによって行われる。カルボキシル基含有不飽和化合物の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸、イタコン酸、およびマレイン酸などが挙げられる。酸無水物含有不飽和化合物の具体例としては、無水マレイン酸、無水イタコン酸、クロロ無水マレイン酸、無水シトラコン酸、ブテニル無水コハク酸、およびテトラヒドロ無水フタル酸などが挙げられる。エポキシ基含有モノマーの具体例としては、グリシジルメタクリレート、グリシジルアクリレート、ビニルグリシジルエーテル、およびヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートのグリシジルエーテルなどが挙げられる。変性された水素添加スチレン系ブロック共重合体の中でも、変性された水素添加スチレン−ブタジエンブロック共重合体、変性された水素添加スチレン−イソプレンブロック共重合体、変性された水素添加スチレン−イソプレン/ブタジエン共重合体、および水素添加スチレンブタジエンラバーが好ましい。   The hydrogenated styrene elastomer (b1) used in the present invention may be modified. The modification is performed with a carboxyl group-containing unsaturated compound, an acid anhydride-containing unsaturated compound, or an epoxy group-containing monomer. Specific examples of the carboxyl group-containing unsaturated compound include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, itaconic acid, and maleic acid. Specific examples of the acid anhydride-containing unsaturated compound include maleic anhydride, itaconic anhydride, chloromaleic anhydride, citraconic anhydride, butenyl succinic anhydride, and tetrahydrophthalic anhydride. Specific examples of the epoxy group-containing monomer include glycidyl methacrylate, glycidyl acrylate, vinyl glycidyl ether, and glycidyl ether of hydroxyalkyl (meth) acrylate. Among modified hydrogenated styrene block copolymers, modified hydrogenated styrene-butadiene block copolymers, modified hydrogenated styrene-isoprene block copolymers, modified hydrogenated styrene-isoprene / butadiene. Copolymers and hydrogenated styrene butadiene rubber are preferred.

本発明に用いられるオレフィン系エラストマー(b2)は、エチレンと炭素数3〜20のα−オレフィンとを共重合して得られるエチレン・α−オレフィン系共重合体およびエチレンとα、β−不飽和カルボン酸のアルキルエステルを共重合して得られるエチレン・不飽和カルボン酸系共重合体から選ばれる少なくとも1種が好ましい。   The olefin elastomer (b2) used in the present invention is an ethylene / α-olefin copolymer obtained by copolymerizing ethylene and an α-olefin having 3 to 20 carbon atoms, and ethylene and α, β-unsaturated. At least one selected from ethylene / unsaturated carboxylic acid copolymers obtained by copolymerizing alkyl esters of carboxylic acids is preferred.

本発明に用いられるオレフィン系エラストマー(b2)は、エチレンと炭素数3〜20のα−オレフィンとを共重合して得られるエチレン・α−オレフィン系共重合体が好ましい。   The olefin elastomer (b2) used in the present invention is preferably an ethylene / α-olefin copolymer obtained by copolymerizing ethylene and an α-olefin having 3 to 20 carbon atoms.

上記エチレン・α−オレフィン系共重合体は、エチレンおよび炭素数3〜20を有する少なくとも1種以上のα−オレフィンを構成成分とする共重合体であり、炭素数3〜20のα−オレフィンの具体例としては、プロピレン、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキセン、1−ヘプテン、1−オクテン、1−ノネン、1−デセン、1−ウンデセン、1−ドデセン、1−トリデセン、1−テトラデセン、1−ペンタデセン、1−ヘキサデセン、1−ヘプタデセン、1−オクタデセン、1−ノナデセン、1−エイコセン、3−メチル−1−ブテン、3−メチル−1−ペンテン、3−エチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ペンテン、4−エチル−1−ヘキセン、3−エチル−1−ヘキセン、9−メチル−1−デセン、11−メチル−1−ドデセン、12−エチル−1−テトラデセンおよびこれらの組み合わせが挙げられる。これらα−オレフィンの中でも炭素数6〜12であるα−オレフィンを用いた共重合体が好ましい。   The ethylene / α-olefin copolymer is a copolymer comprising ethylene and at least one α-olefin having 3 to 20 carbon atoms as a constituent component, and is an α-olefin having 3 to 20 carbon atoms. Specific examples include propylene, 1-butene, 1-pentene, 1-hexene, 1-heptene, 1-octene, 1-nonene, 1-decene, 1-undecene, 1-dodecene, 1-tridecene, 1-tetradecene. 1-pentadecene, 1-hexadecene, 1-heptadecene, 1-octadecene, 1-nonadecene, 1-eicocene, 3-methyl-1-butene, 3-methyl-1-pentene, 3-ethyl-1-pentene, 4 -Methyl-1-pentene, 4-methyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-pentene, 4-ethyl- - hexene, 3-ethyl-1-hexene, 9-methyl-1-decene, 11-methyl-1-dodecene, 12-ethyl-1-tetradecene and combinations thereof. Among these α-olefins, copolymers using α-olefins having 6 to 12 carbon atoms are preferred.

また、本発明に用いられるオレフィン系エラストマー(b2)は、変性されていても良い。変性は不飽和カルボン酸またはその誘導体によって行われる。不飽和カルボン酸またはその誘導体の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、メチルマレイン酸、メチルフマル酸、シトラコン酸、グルタコン酸およびこれらカルボン酸の金属塩、マレイン酸水素メチル、イタコン酸水素メチル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル、マレイン酸ジエチル、イタコン酸ジメチル、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、マレイミド、N−エチルマレイミド、N−ブチルマレイミド、N−フェニルマレイミド、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、イタコン酸グリシジル、シトラコン酸グリシジルなどが挙げられる。変性されたオレフィン系エラストマーの中でも不飽和カルボン酸およびその酸無水物で変性された炭素数6〜12のα−オレフィン共重合体が好ましい。   Further, the olefin elastomer (b2) used in the present invention may be modified. Modification is effected with an unsaturated carboxylic acid or derivative thereof. Specific examples of unsaturated carboxylic acids or derivatives thereof include acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, methylmaleic acid, methyl fumaric acid, citraconic acid, glutaconic acid and metal salts of these carboxylic acids. , Methyl hydrogen maleate, methyl hydrogen itaconate, methyl acrylate, ethyl acrylate, butyl acrylate, hydroxyethyl acrylate, methyl methacrylate, hydroxyethyl methacrylate, diethyl maleate, dimethyl itaconate, maleic anhydride, anhydrous Itaconic acid, citraconic anhydride, maleimide, N-ethylmaleimide, N-butylmaleimide, N-phenylmaleimide, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, glycidyl itaconate, glycidyl citraconic acid, etc.Among the modified olefin-based elastomers, an α-olefin copolymer having 6 to 12 carbon atoms modified with an unsaturated carboxylic acid and an acid anhydride thereof is preferable.

本発明においては、ポリエーテルエステルブロック共重合(A)50〜98重量%に対し、水素添加されたスチレン系エラストマーおよび/またはオレフィン系エラストマー(B)を2〜50重量%、好ましくは5〜45重量%、さらに好ましくは10〜40重量%分散相として配合してなるものを主たる構成成分とする。水素添加されたスチレン系エラストマーおよび/またはオレフィン系エラストマー(B)の配合量が上記の範囲に満たない場合は、柔軟性が不足して気密性が低下するため基板収納容器用ガスケットとして適さない。一方、上記の範囲を越える場合は、成形性が劣り、発生する揮発性ガスが多く、ガスケット成形体自身の粘着性が増すため収納容器へのガスケットの装着に大きな力が必要となるため好ましくない。   In the present invention, the hydrogenated styrene elastomer and / or olefin elastomer (B) is 2 to 50% by weight, preferably 5 to 45%, based on 50 to 98% by weight of the polyetherester block copolymer (A). What is blended as a dispersed phase by weight%, more preferably 10 to 40% by weight is the main constituent. If the blended amount of the hydrogenated styrene-based elastomer and / or olefin-based elastomer (B) is less than the above range, the flexibility is insufficient and the airtightness is lowered, so that it is not suitable as a gasket for a substrate storage container. On the other hand, if the above range is exceeded, the moldability is inferior, a large amount of volatile gas is generated, and the adhesiveness of the gasket molded body itself increases. .

本発明の熱可塑性エラストマー樹脂組成物は、JIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が15MPa以下、さらに好ましくは13MPa以下である。引張弾性率が15MPa以上の場合は、気密性が低下するため好ましくない。   The thermoplastic elastomer resin composition of the present invention has a tensile elastic modulus of 15 MPa or less, more preferably 13 MPa or less, measured at 23 ° C. according to the method described in JIS K7113. A tensile modulus of 15 MPa or more is not preferable because airtightness is lowered.

本発明の熱可塑性エラストマー組成物は、スタティックヘッドスペース法にて80℃、2時間の加熱条件で測定される揮発性ガス量が重量当たり5ppm以下であることが好ましい。スタティックヘッドスペース法にて80℃、2時間の加熱条件で測定される揮発性ガス量が重量当たり5ppm以上の場合は、基板に付着する有機成分が多くなるという好ましくない傾向が招かれる。   The thermoplastic elastomer composition of the present invention preferably has a volatile gas amount of 5 ppm or less per weight measured by a static headspace method at 80 ° C. for 2 hours. When the amount of volatile gas measured by the static headspace method at 80 ° C. for 2 hours under heating is 5 ppm or more per weight, an undesired tendency of increasing the amount of organic components adhering to the substrate is caused.

本発明の基板収納容器に用いるガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物の製造方法については、特に限定されるものではないが、ポリエーテルエステルブロック共重合体、水素添加されたスチレン系エラストマーおよび/またはオレフィン系エラストマーを一緒に配合した原料をスクリュー式押出機に供給し溶融混練する方法、またスクリュー押出機に、まずポリエーテルエステルブロック共重合体を供給し、さらに他の供給口より水素添加されたスチレン系エラストマーおよび/またはオレフィン系エラストマーを供給混練する方法など適宜採用することができる。   The method for producing the thermoplastic elastomer resin composition for gaskets used in the substrate storage container of the present invention is not particularly limited, but includes a polyetherester block copolymer, a hydrogenated styrene elastomer and / or an olefin. A method in which a raw material mixed with an elastomer is supplied to a screw extruder and melt-kneaded, and a polyetherester block copolymer is first supplied to the screw extruder, and then hydrogenated from another supply port. A method of supplying and kneading the system elastomer and / or olefin elastomer can be appropriately employed.

なお、本発明の基板収納容器ガスケットは上記の熱可塑性エラストマー樹脂組成物を常法に従い射出成形することにより製造されるが、この場合には特に、溶融混練する際に、押出機シリンダー部のベント口から真空脱気処理を行うこと、および樹脂組成物を80℃〜140℃の実質的に固相重合が起こらない温度で脱気処理を行うことが好ましい条件として挙げられる。   The substrate storage container gasket of the present invention is manufactured by injection-molding the above thermoplastic elastomer resin composition according to a conventional method. In this case, in particular, when melt-kneading, the vent of the cylinder portion of the extruder is used. Preferred conditions include vacuum degassing from the mouth and degassing of the resin composition at a temperature of 80 ° C. to 140 ° C. at which substantially solid phase polymerization does not occur.

そして、本発明の基板収納容器用ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物を射出成形する際には、柔軟かつ発生する揮発性ガスの少ないガスケット成形体を与える。   When the thermoplastic elastomer resin composition for a gasket for a substrate storage container according to the present invention is injection-molded, a gasket molded body that is flexible and generates less volatile gas is provided.

以下に、実施例によって本発明の効果を説明する。なお、実施例中の%と部は、断りのない場合すべて重量基準である。また例中に示される物性は次のように測定した。   The effects of the present invention will be described below with reference to examples. In the examples,% and parts are based on weight unless otherwise specified. The physical properties shown in the examples were measured as follows.

[溶融粘度指数(MFR)]
ASTM D−1238に従って温度220℃、荷重2160gで測定した。
[Melt viscosity index (MFR)]
Measurement was performed at a temperature of 220 ° C. and a load of 2160 g in accordance with ASTM D-1238.

[機械的特性]
JIS K7113に従って、23℃における引張破断強度と引張破断伸度を測定した。
[Mechanical properties]
According to JIS K7113, the tensile breaking strength and tensile breaking elongation at 23 ° C. were measured.

[引張弾性率]
JIS K7113に従って23℃測定した。
[Tensile modulus]
The measurement was performed at 23 ° C. according to JIS K7113.

[粘着性指数]
シリンダー温度200℃、金型温度30℃の条件で射出成形した縦125mm、横75mm、厚さ2mmの板から巾25mm長さ125mmの短冊試験片を打ち抜きにより作製した。次に図1に示すように2つの短冊試験片(1)、(1’)を50mm重ね合わせ、2kgの錘で1分間圧着した後、23℃引張速度50mm/分の条件で粘着剪断荷重を測定した。
[Adhesion index]
A strip test piece having a width of 25 mm and a length of 125 mm was punched out from a plate having a length of 125 mm, a width of 75 mm, and a thickness of 2 mm, which had been injection-molded under conditions of a cylinder temperature of 200 ° C. and a mold temperature of 30 ° C. Next, as shown in FIG. 1, two strip test pieces (1) and (1 ′) are overlapped by 50 mm, pressed with a 2 kg weight for 1 minute, and then subjected to an adhesive shear load under the conditions of a 23 ° C. tensile speed of 50 mm / min. It was measured.

[揮発性ガス量]
(1)前処理
熱可塑性エラストマー樹脂組成物を、シリンダー温度220℃、金型温度30℃の条件で射出成形した縦125mm、横75mm、厚さ2mmの板を予めバックグランドを測定した4Lガラス容器に入れて密閉し、80℃で2時間加温した。その後、直ちに捕集剤(Tenax−GR:100mg)を接続し、容器中の空気をサンプリングするため、ポンプで空気を通気させた。サンプリングはクリーンルーム内で行い、サンプリングしたガス量はガラス容器体積の2倍となる8Lとした。
[Volume of volatile gas]
(1) Pretreatment A 4L glass container in which a background of a 125 mm long, 75 mm wide, 2 mm thick plate in which a thermoplastic elastomer resin composition was injection molded under conditions of a cylinder temperature of 220 ° C. and a mold temperature of 30 ° C. And sealed at 80 ° C. for 2 hours. Thereafter, a collecting agent (Tenax-GR: 100 mg) was immediately connected, and air was vented by a pump in order to sample the air in the container. Sampling was performed in a clean room, and the amount of sampled gas was 8 L, which is twice the volume of the glass container.

(2)測定
捕集剤(Tenax−GR)を次の条件で熱脱離し、GC/MS分析した。
・熱脱離装置:TDSA+CIS4(Gerstel)
・脱着温度×時間:280℃×15分
・トラップ温度:−150℃
・GC/MS:GC6890+MSD5973(Agilent)
・カラム:SPB−1Sulfur(30m×0.32mmID 膜厚4.0μm)
・オーブン温度:40℃〜300℃(10℃/分)
・Scan範囲:m/z29〜600。
(2) Measurement The scavenger (Tenax-GR) was thermally desorbed under the following conditions and subjected to GC / MS analysis.
・ Thermal desorption device: TDSA + CIS4 (Gerstel)
Desorption temperature x time: 280 ° C x 15 minutes Trap temperature: -150 ° C
GC / MS: GC6890 + MSD5973 (Agilent)
Column: SPB-1 Sulfur (30 m × 0.32 mm ID film thickness 4.0 μm)
-Oven temperature: 40 ° C to 300 ° C (10 ° C / min)
Scan range: m / z 29-600.

(3)定量
ノルマルヘキサデカンを標準物質として検量線を作成し、定量を行った。
(3) Quantification A calibration curve was prepared using normal hexadecane as a standard substance, and quantification was performed.

[参考例]
[ポリエーテルエステルブロック共重合体(A−1)の製造]
ジメチルテレフタレート320部、ジメチルイソフタレート93部、1,4−ブタンジオール345部、およびエチレンオキシドで末端をキャッピングしたポリ(プロピレンオキシド)グリコール(数平均分子量2200、EO含量26.8%)550部を、チタンテトラブトキシド2部およびトリメリット酸無水物3部と共にヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、210℃で2時間30分加熱して、理論メタノール量の95%のメタノールを系外に留出させた。反応混合物に“イルガノックス”1010を0.75部添加した後、245℃に昇温し、次いで、50分かけて系内の圧力を27Paの減圧とし、その条件下で1時間50分重合を行なった。得られたポリマを水中にストランド状で吐出し、カッティングによりペレットとした。
[Reference example]
[Production of Polyether Ester Block Copolymer (A-1)]
320 parts of dimethyl terephthalate, 93 parts of dimethyl isophthalate, 345 parts of 1,4-butanediol, and 550 parts of poly (propylene oxide) glycol capped with ethylene oxide (number average molecular weight 2200, EO content 26.8%) Charge a reaction vessel equipped with a helical ribbon type stirring blade together with 2 parts of titanium tetrabutoxide and 3 parts of trimellitic anhydride and heat at 210 ° C. for 2 hours and 30 minutes to bring out 95% of the theoretical amount of methanol out of the system. Distilled. After adding 0.75 part of “Irganox” 1010 to the reaction mixture, the temperature was raised to 245 ° C., and then the pressure in the system was reduced to 27 Pa over 50 minutes, and polymerization was carried out for 1 hour and 50 minutes under these conditions. I did it. The obtained polymer was discharged into water in the form of strands and pelletized by cutting.

このようにして得られたポリエーテルエステルブロック共重合体(A−1)の引張弾性率は21MPaであった。   The tensile modulus of the polyetherester block copolymer (A-1) thus obtained was 21 MPa.

[ポリエーテルエステルブロック共重合体(A−2)]
ジメチルテレフタレート酸273部、1,4−ブタンジオール120部および数平均分子量約2000のポリ(テトラメチレンオキシド)グリコール723部を、チタンテトラブトキシド3部およびトリメリット酸無水物3部と共にヘリカルリボン型攪拌翼を備えた反応容器に仕込み、210℃で2時間30分加熱して、理論メタノール量の95%のメタノールを系外に留出させた。反応混合物に”イルガノックス”1330(チバガイギー社製ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤)0.5部を添加した後、245℃に昇温し、次いで、50分かけて系内の圧力を27Paの減圧とし、その条件下で1時間50分重合をおこなった。得られたポリマを水中にストランド状で吐出し、カッティングによりペレットとした。
[Polyether ester block copolymer (A-2)]
Helical ribbon type stirring of 273 parts of dimethyl terephthalate, 120 parts of 1,4-butanediol and 723 parts of poly (tetramethylene oxide) glycol having a number average molecular weight of about 2000 together with 3 parts of titanium tetrabutoxide and 3 parts of trimellitic anhydride The reaction vessel equipped with a blade was charged and heated at 210 ° C. for 2 hours and 30 minutes, and 95% of the theoretical methanol amount was distilled out of the system. After adding 0.5 parts of “Irganox” 1330 (Hindered Phenolic Antioxidant manufactured by Ciba Geigy) to the reaction mixture, the temperature was raised to 245 ° C., and then the pressure in the system was increased to 27 Pa over 50 minutes. The polymerization was carried out for 1 hour and 50 minutes under the reduced pressure. The obtained polymer was discharged into water in the form of strands and pelletized by cutting.

このようにして得られたポリエーテルエステルブロック共重合体(A−2)の引張弾性率は18MPaであった。   The tensile modulus of the polyetherester block copolymer (A-2) thus obtained was 18 MPa.

[ポリエーテルエステルブロック共重合体(A−3)]
テレフタル酸348部、1,4−ブタンジオール340部および数平均分子量約1400のポリ(テトラメチレンオキシド)グリコール645部を、チタンテトラブトキシド0.2部と共にヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、190〜225℃で3時間加熱して反応水を系外に留出しながらエステル化反応を行なった。反応混合物に”イルガノックス”1098(チバガイギー社製ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤)0.5部を添加した後、245℃に昇温し、次いで50分かけて系内の圧力を27Paの減圧とし、その条件下で2時間45分重合を行わせた。得られたポリマを水中にストランド状で吐出し、カッティングを行なってペレットとした。
[Polyether ester block copolymer (A-3)]
348 parts of terephthalic acid, 340 parts of 1,4-butanediol and 645 parts of poly (tetramethylene oxide) glycol having a number average molecular weight of about 1400 are placed in a reaction vessel equipped with a helical ribbon stirring blade together with 0.2 part of titanium tetrabutoxide. The esterification reaction was carried out while charging the reaction water at 190 to 225 ° C. for 3 hours and distilling the reaction water out of the system. After adding 0.5 parts of “Irganox” 1098 (Hindered Phenolic Antioxidant manufactured by Ciba Geigy) to the reaction mixture, the temperature was raised to 245 ° C., and then the pressure in the system was changed to 27 Pa over 50 minutes. The pressure was reduced and polymerization was carried out for 2 hours and 45 minutes under the conditions. The obtained polymer was discharged into water as a strand and cut into pellets.

このようにして得られたポリエーテルエステルブロック共重合体(A−3)の引張弾性率は42MPaであった。   The tensile modulus of the polyether ester block copolymer (A-3) thus obtained was 42 MPa.

[実施例1〜8]
参考例で得られたポリエーテルエステルブロック共重合体(A−1)、(A−2)に、水素添加されたスチレン系エラストマーおよび/またはオレフィン系エラストマーとして
旭化成(株)製“タフテック”H1221(水添SEBS)(B−1)、
旭化成(株)製“タフテック”H1052(水添SEBS)(B−2)、
旭化成(株)製“タフテック”M1943(変性水添SEBS)(B−3)、
三井化学(株)製“タフマー”A4050S(エチレン/1−ブテン共重合体)(B−4)、
三井化学(株)製“タフマー”MH7020(変性エチレン/1−ブテン共重合体)(B−5)、
をそれぞれ表1に示す配合比率でドライブレンドし、26mmφのシリンダー径を有する二軸押出機を用い、シリンダー中央部分と、吐出口に近い部分の二箇所のベント口から真空脱気処理をしながら、200℃で溶融混練した後ペレット化した。得られたペレットを棚段式熱風乾燥機に仕込み、100℃で10時間の乾燥を施して、基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー組成物を得た。次いで、射出成形機を用いて、シリンダー温度220℃、金型温度30℃の条件で成形した。評価した結果を表2に示す。
[Examples 1 to 8]
As a styrene-based elastomer and / or an olefin-based elastomer hydrogenated to the polyetherester block copolymer (A-1) or (A-2) obtained in the Reference Example, “Tuftec” H1221 (manufactured by Asahi Kasei Corporation) Hydrogenated SEBS) (B-1),
“Tough Tech” H1052 (hydrogenated SEBS) (B-2), manufactured by Asahi Kasei Corporation
“Tuftec” M1943 (modified hydrogenated SEBS) (B-3), manufactured by Asahi Kasei Corporation
“Tuffmer” A4050S (ethylene / 1-butene copolymer) (B-4) manufactured by Mitsui Chemicals,
“Tuffmer” MH7020 (modified ethylene / 1-butene copolymer) (B-5) manufactured by Mitsui Chemicals,
Were dry blended at the blending ratios shown in Table 1 and using a twin screw extruder having a cylinder diameter of 26 mmφ, while vacuum deaeration treatment was performed from the central part of the cylinder and the two vent ports close to the discharge port. The mixture was melt-kneaded at 200 ° C. and pelletized. The obtained pellets were charged into a shelf-type hot air dryer and dried at 100 ° C. for 10 hours to obtain a thermoplastic elastomer composition for a substrate storage container gasket. Next, using an injection molding machine, molding was performed under conditions of a cylinder temperature of 220 ° C. and a mold temperature of 30 ° C. The evaluation results are shown in Table 2.

[比較例1〜6]
各成分を表1に示す配合比率でドライブレンドし、実施例1〜8と同様にペレット化した。実施例1〜8と同様に評価した結果を表2に示す。
[Comparative Examples 1-6]
Each component was dry blended at the blending ratio shown in Table 1 and pelletized in the same manner as in Examples 1-8. The results evaluated in the same manner as in Examples 1 to 8 are shown in Table 2.

Figure 2011132292
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Figure 2011132292
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本発明の熱可塑性エラストマー樹脂組成物は、射出成形性に優れ、高い気密性、ならびに揮発性ガスの量を低く抑えられることから基板収納容器用ガスケット材として極めて有用である。   The thermoplastic elastomer resin composition of the present invention is extremely useful as a gasket material for a substrate storage container because it is excellent in injection moldability, has high airtightness, and can keep the amount of volatile gas low.

1,1’・・・短冊試験片 1,1 '... strip specimen

Claims (6)

主として結晶性芳香族ポリエステルからなる高融点結晶性重合体セグメント(a1)と、主として脂肪族ポリエーテル単位および/または脂肪族ポリエステル単位からなる低融点重合体セグメント(a 2)とを主たる構成成分とし、JIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が30MPa未満であるポリエーテルエステルブロック共重合体(A)50〜 98重量%と、水素添加されたスチレン系エラストマー(b1)および/またはオレフィン系エラストマー(b2)から選ばれた1種以上の熱可塑性エラストマー(B)2〜50重量%とからなり、前記熱可塑性エラストマー(B)を分散相とする熱可塑性エラストマー樹脂組成物であって、JIS K7113に記載された方法に従って23℃で測定した引張弾性率が15MPa以下であり、かつスタティックヘッドスペース法にて80℃、2時間の加熱条件で測定される揮発性ガス量が重量当たり5ppm以下であることを特徴とする基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物。   Main components are a high-melting-point crystalline polymer segment (a1) mainly composed of a crystalline aromatic polyester and a low-melting-point polymer segment (a2) mainly composed of an aliphatic polyether unit and / or an aliphatic polyester unit. A polyether ester block copolymer (A) having a tensile modulus measured at 23 ° C. of less than 30 MPa according to the method described in JIS K7113, and a hydrogenated styrenic elastomer (b1) and A thermoplastic elastomer resin composition comprising 2 to 50% by weight of one or more thermoplastic elastomers (B) selected from olefin-based elastomers (b2) and having the thermoplastic elastomer (B) as a dispersed phase. And measured at 23 ° C. according to the method described in JIS K7113. Heat for a substrate storage container gasket having a tensile elastic modulus of 15 MPa or less and a volatile gas amount measured by a static headspace method at 80 ° C. for 2 hours under a heating condition of 5 ppm or less per weight A plastic elastomer resin composition. 前記ポリエーテルエステルブロック共重合体(A)の高融点結晶性重合体セグメント(a1)が、ポリブチレンテレフタレート単位、またはポリブチレンテレフタレート単位とポリブチレンイソフタレート単位とからなることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物。   The high-melting crystalline polymer segment (a1) of the polyetherester block copolymer (A) comprises a polybutylene terephthalate unit, or a polybutylene terephthalate unit and a polybutylene isophthalate unit. 2. The thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket according to 1. 前記ポリエーテルエステルブロック共重合体(A)の低融点重合体セグメント(a2)が、ポリ(テトラメチレンオキシド)グリコール、ポリ(プロピレンオキシド)グリコールのエチレンオキシド付加物、およびエチレンオキシドとテトラヒドロフランの共重合体グリコールから選ばれた少なくとも一種からなることを特徴とする請求項1または2に記載の基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物。   The low melting point polymer segment (a2) of the polyether ester block copolymer (A) comprises poly (tetramethylene oxide) glycol, poly (propylene oxide) glycol ethylene oxide adduct, and ethylene oxide / tetrahydrofuran copolymer glycol. The thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket according to claim 1 or 2, comprising at least one selected from the group consisting of: 前記水素添加されたスチレン系エラストマー(b1)が、水素添加スチレン−ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン−イソプレンブロック共重合体、水素添加スチレン−イソプレン/ブタジエンブロック共重合体、および水素添加スチレンブタジエンラバーから選ばれた1種以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物。   The hydrogenated styrene elastomer (b1) is a hydrogenated styrene-butadiene block copolymer, a hydrogenated styrene-isoprene block copolymer, a hydrogenated styrene-isoprene / butadiene block copolymer, and a hydrogenated styrene butadiene. The thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket according to any one of claims 1 to 3, wherein the thermoplastic elastomer resin composition is one or more selected from rubber. 前記オレフィン系エラストマー(b2)が、エチレンと炭素数3〜20のα−オレフィンとを共重合して得られるエチレン・α−オレフィン系共重合体であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板収納容器ガスケット用熱可塑性エラストマー樹脂組成物。   The olefin elastomer (b2) is an ethylene / α-olefin copolymer obtained by copolymerizing ethylene and an α-olefin having 3 to 20 carbon atoms. The thermoplastic elastomer resin composition for a substrate storage container gasket according to any one of the above. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の熱可塑性エラストマー樹脂組成物を射出成形してなることを特徴とする基板収納容器用ガスケット成形体。   A gasket molded body for a substrate storage container, which is formed by injection molding the thermoplastic elastomer resin composition according to any one of claims 1 to 5.
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