JP2011128589A - Colored photosensitive resin composition, pattern forming method, method for manufacturing color filter, color filter, and display device provided with the color filter - Google Patents

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秀之 中村
Shinji Fujimoto
進二 藤本
Kenta Yamazaki
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Kotaro Okabe
孝太郎 岡部
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a colored photosensitive resin composition and a pattern forming method which is excellent in developability and can be restrained the occurrence of surface reticulation after post baking, and to provide a method for manufacturing a color filter having a colored pattern free from surface reticulation, and is excellent in line width sensitivity, linearity and heat resistance, and to provide the color filter and a display device. <P>SOLUTION: The colored photosensitive resin composition contains a colorant, a binder resin, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator and a solvent, wherein the content of the colorant is 15-60 mass% by mass fraction based on the solid content of the colored photosensitive resin composition. The binder resin has a structure unit selected from a structure unit having an allyl group, a structure unit having an N-substituted maleimide group, and a structure unit having a cyclic imide group, and a structure unit having an acid group, in the molecule. The polymerizable compound is a carboxyl group-containing polyfunctional monomer, and the photopolymerization initiator is a lophine-based photopolymerization initiator or an oxime-based photopolymerization initiator. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、着色感光性樹脂組成物、パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及びそれを備えた表示装置に関する。   The present invention relates to a colored photosensitive resin composition, a pattern forming method, a color filter manufacturing method, a color filter, and a display device including the same.

カラーフィルタの製造方法としては、着色剤(有機顔料等)、バインダー樹脂、重合性化合物、及び光重合開始剤を含有する着色感光性樹脂組成物を用いて、フォトリソ法を適用する方法が知られている。より高精細なカラーフィルタを得るためには、着色感光性樹脂組成物が現像性、パターン形成性などに優れること、また、着色感光性樹脂組成物を用いて形成された膜が耐熱性、平滑性などに優れることが要求される。   As a method for producing a color filter, a method of applying a photolithography method using a colored photosensitive resin composition containing a colorant (such as an organic pigment), a binder resin, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator is known. ing. In order to obtain a higher-definition color filter, the colored photosensitive resin composition is excellent in developability and pattern formability, and the film formed using the colored photosensitive resin composition is heat resistant and smooth. It is required to have excellent properties.

上記の着色感光性樹脂組成物としては、含有させる成分の面から様々なものが提案されている。例えば、現像後の残渣を少なくする目的で、着色剤の含有量と重合性化合物の種類に特徴を有する着色感光性樹脂組成物が開発されている(例えば、特許文献1参照)。   As the above colored photosensitive resin composition, various materials have been proposed from the viewpoint of the components to be contained. For example, for the purpose of reducing residues after development, a colored photosensitive resin composition characterized by the content of the colorant and the type of the polymerizable compound has been developed (for example, see Patent Document 1).

また、他の提案として、フォトリソ法に用いる露光処理の手段を特定し、その露光処理手段に特に高感度な着色感光性樹脂組成物が提案されている。例えば、エキシマレーザ光による露光処理用の着色樹脂組成物が開発されている(例えば、特許文献2参照)。   As another proposal, an exposure processing means used in the photolithography method is specified, and a highly sensitive colored photosensitive resin composition is proposed for the exposure processing means. For example, a colored resin composition for exposure processing using excimer laser light has been developed (see, for example, Patent Document 2).

特開2007−328148号公報JP 2007-328148 A WO2008/084853号公報WO2008 / 084853

液晶ディスプレイ等の表示装置がテレビ用途へと展開されるに伴い、カラーフィルタの更なる高精細化が望まれており、着色感光性樹脂組成物の現像性や、着色感光性樹脂組成物を用いて形成された膜の平滑性がよりハイレベルで要求されている。しかしながら、上記の特許文献1及び2に開示された着色感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタの製造方法では、現像性は十分とは言い難く、また、表面レチキュレーション(網状のしわ)の発生を抑制することは困難であった。   As display devices such as liquid crystal displays are developed for television applications, further enhancement of color filters is desired, and the developability of the colored photosensitive resin composition and the colored photosensitive resin composition are used. Therefore, the smoothness of the formed film is required at a higher level. However, in the colored photosensitive resin composition and the method for producing a color filter using the same disclosed in Patent Documents 1 and 2 above, it is difficult to say that developability is sufficient, and surface reticulation (reticulated wrinkles). ) Was difficult to suppress.

上記に鑑み、本発明は、現像性が良好で且つポストベーク後の表面レチキュレーションの発生を抑制し得る着色感光性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供することを課題とする。
また、本発明は、表面レチキュレーションの発生が抑制され、線幅感度、直線性、及び耐熱性に優れた着色パターンを有するカラーフィルタの製造方法、並びに、該カラーフィルタの製造方法により得られたカラーフィルタ及び該カラーフィルタを備えた表示装置を提供することを課題とする。
In view of the above, it is an object of the present invention to provide a colored photosensitive resin composition having good developability and capable of suppressing the occurrence of surface reticulation after post-baking, and a pattern forming method using the same. To do.
Further, the present invention is obtained by a method for producing a color filter having a colored pattern in which occurrence of surface reticulation is suppressed and having excellent line width sensitivity, linearity, and heat resistance, and the method for producing the color filter. Another object is to provide a color filter and a display device including the color filter.

本発明者は鋭意検討した結果、以下の方法によって、上記課題を解決することを見出した。   As a result of intensive studies, the present inventor has found that the above problems can be solved by the following method.

<1> 少なくとも、(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有し、前記(A)着色剤の含有量が着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で15質量%〜60質量%であり、前記(B)バインダー樹脂が分子内に、(B−1)下記一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位と、酸性基を有する構造単位とを有し、前記(C)重合性化合物の少なくとも1種がカルボキシル基含有多官能性単量体であり、前記(D)光重合開始剤の少なくとも1種がロフィン系光重合開始剤又はオキシム系光重合開始剤である着色感光性樹脂組成物である。 <1> At least (A) a colorant, (B) a binder resin, (C) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a solvent, and the content of the (A) colorant Is 15% by mass to 60% by mass with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition, and (B) the binder resin is in the molecule, (B-1) in the following general formula (I) (B-2) at least one selected from the group consisting of a structural unit having an N-substituted maleimide group, and (B-3) a structural unit represented by the following general formula (II) And (C) at least one of the polymerizable compounds is a carboxyl group-containing polyfunctional monomer, and (D) at least one of the photopolymerization initiators. Coloring where one type is a lophine photopolymerization initiator or an oxime photopolymerization initiator An optical resin composition.

一般式(I)中、R11〜R15はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はアリール基を表し、R16は水素原子又はメチル基を表す。 In the general formula (I), the R 11 to R 15 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group or an aryl group, R 16 represents a hydrogen atom or a methyl group.

一般式(II)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R22は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。R23及びR24は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数4以下のアルキル基を表す。R23とR24とは互いに結合して炭素環を形成していてもよい。 In General Formula (II), R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 22 represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. R 23 and R 24 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 4 or less carbon atoms. R 23 and R 24 may be bonded to each other to form a carbocycle.

<2> 前記オキシム系光重合開始剤が下記一般式(III)で表されるケトオキシム系光重合開始剤である<1>に記載の着色感光性樹脂組成物である。 <2> The colored photosensitive resin composition according to <1>, wherein the oxime photopolymerization initiator is a ketoxime photopolymerization initiator represented by the following general formula (III).

一般式(III)中、R及びXは、各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。nは0〜5の整数である。Xが複数存在する場合、複数のXは、各々独立に一価の置換基を表し、同一であっても異なっていてもよい。   In general formula (III), R and X each independently represent a monovalent substituent, A represents a divalent organic group, and Ar represents an aryl group. n is an integer of 0-5. When a plurality of Xs are present, the plurality of Xs each independently represent a monovalent substituent and may be the same or different.

<3> 前記カルボキシル基含有多官能性単量体の酸価が80mgKOH/g〜200mgKOH/gである<1>又は<2>に記載の着色感光性樹脂組成物である。
<4> 更に、(F)増感剤を含み、前記(F)増感剤の少なくとも1種が単官能チオール化合物である<1>から<3>のいずれか1つに記載の着色感光性樹脂組成物である。
<3> The colored photosensitive resin composition according to <1> or <2>, wherein the carboxyl group-containing polyfunctional monomer has an acid value of 80 mgKOH / g to 200 mgKOH / g.
<4> The colored photosensitivity according to any one of <1> to <3>, further comprising (F) a sensitizer, wherein at least one of the sensitizers (F) is a monofunctional thiol compound. It is a resin composition.

<5> <1>から<4>のいずれか1つに記載の着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布して着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層に対してパターン様の紫外光レーザーによる露光をし、潜像を形成する露光工程と、前記潜像が形成された着色層を現像してパターンを形成する現像工程と、を含むパターン形成方法である。
<6> 前記紫外光レーザーの露光波長が300nm〜380nmの範囲である<5>に記載のパターン形成方法である。
<7> 前記紫外光レーザーが20Hz〜2000Hzの周波数で発振されるパルスレーザーである<5>又は<6>に記載のパターン形成方法である。
<5> A colored layer forming step of coating the colored photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4> on a substrate to form a colored layer, and a pattern-like pattern with respect to the colored layer The pattern formation method includes an exposure step of forming a latent image by exposing with an ultraviolet laser, and a development step of developing the colored layer on which the latent image is formed to form a pattern.
<6> The pattern forming method according to <5>, wherein an exposure wavelength of the ultraviolet laser is in a range of 300 nm to 380 nm.
<7> The pattern forming method according to <5> or <6>, wherein the ultraviolet laser is a pulse laser oscillated at a frequency of 20 Hz to 2000 Hz.

<8> <5>から<7>のいずれか1つに記載のパターン形成方法により、基板上にパターンを形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法である。
<9> <8>に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタである。
<10> <9>に記載のカラーフィルタを備えた表示装置である。
<8> A color filter manufacturing method including a step of forming a pattern on a substrate by the pattern forming method according to any one of <5> to <7>.
<9> A color filter manufactured by the manufacturing method according to <8>.
<10> A display device comprising the color filter according to <9>.

本発明によれば、現像性が良好で且つポストベーク後の表面レチキュレーションの発生を抑制し得る着色感光性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供することができる。
また、本発明によれば、表面レチキュレーションの発生が抑制され、線幅感度、直線性、及び耐熱性に優れた着色パターンを有するカラーフィルタの製造方法、並びに、該カラーフィルタの製造方法により得られたカラーフィルタ及び該カラーフィルタを備えた表示装置を提供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide a colored photosensitive resin composition having good developability and capable of suppressing the occurrence of surface reticulation after post-baking, and a pattern forming method using the same.
Further, according to the present invention, by the method for producing a color filter having a colored pattern in which occurrence of surface reticulation is suppressed and having excellent line width sensitivity, linearity, and heat resistance, and the method for producing the color filter, The obtained color filter and a display device including the color filter can be provided.

以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。
≪着色感光性樹脂組成物≫
本発明の着色感光性樹脂組成物は、少なくとも、(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有し、前記(A)着色剤の含有量が着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で15質量%〜60質量%であり、前記(B)バインダー樹脂が分子内に、(B−1)下記一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位と、酸性基を有する構造単位とを有し、前記(C)重合性化合物の少なくとも1種がカルボキシル基含有多官能性単量体であり、前記(D)光重合開始剤の少なくとも1種がロフィン系光重合開始剤又はオキシム系光重合開始剤であることを特徴とする。
以下に本発明の着色感光性樹脂組成物の各構成成分について詳述する。
Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail.
≪Colored photosensitive resin composition≫
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains at least (A) a colorant, (B) a binder resin, (C) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a solvent, (A) Content of a coloring agent is 15 mass%-60 mass% by mass fraction with respect to solid content of a coloring photosensitive resin composition, The said (B) binder resin is in a molecule | numerator, (B-1 A structural unit represented by the following general formula (I), (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, and (B-3) a structural unit represented by the following general formula (II). At least one structural unit selected from the group and a structural unit having an acidic group, wherein at least one of the polymerizable compounds (C) is a carboxyl group-containing polyfunctional monomer, D) At least one photopolymerization initiator is a lophine photopolymerization initiator or oxime Characterized in that it is a photopolymerization initiator.
Hereinafter, each component of the colored photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail.

<(A)着色剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(A)着色剤の少なくとも1種を含む。
本発明の着色感光性樹脂組成物における(A)着色剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で15質量%〜60質量%である。(A)着色剤の含有量が、15質量%未満であると、所望の色相にするためには膜厚を厚く設定しなければならず、現像しにくくなったり、タクトタイムが延びてしまうといった問題が生じる。一方、(A)着色剤の含有量が、60質量%を超えると、現像時間が長くなり、また、プロファイル形状も逆エッジ形状となり好ましくない。
本発明の着色感光性樹脂組成物における(A)着色剤の含有量は、20質量%〜50質量%がより好ましく、25質量%〜40質量%がさらに好ましい。
<(A) Colorant>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (A) at least one kind of colorant.
The content of the (A) colorant in the colored photosensitive resin composition of the present invention is 15% by mass to 60% by mass with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition. (A) When the content of the colorant is less than 15% by mass, it is necessary to set the film thickness thick in order to obtain a desired hue, which makes it difficult to develop or increases the tact time. Problems arise. On the other hand, when the content of the colorant (A) exceeds 60% by mass, the development time becomes long, and the profile shape becomes an inverted edge shape, which is not preferable.
The content of the colorant (A) in the colored photosensitive resin composition of the present invention is more preferably 20% by mass to 50% by mass, and further preferably 25% by mass to 40% by mass.

(A)着色剤としては、染料、及び顔料を適宜選択して用いることができる。耐熱性などの観点からは、顔料がより好ましい。   As the colorant (A), a dye and a pigment can be appropriately selected and used. From the viewpoint of heat resistance and the like, a pigment is more preferable.

(A)着色剤として使用される顔料は、無機顔料であっても、有機顔料であってもよいが、高透過率とする観点から、なるべく粒子サイズの小さいものの使用が好ましい。一次粒子径の平均は、0.01μm〜0.1μmであることが好ましく、さらに好ましくは、0.01μm〜0.05μmの範囲である。
本発明の着色感光性樹脂組成物においては、後述する高分子分散剤を用いることで、顔料のサイズが小さい場合であっても、顔料分散性、分散安定性が良好となるため、膜厚が薄くても色純度に優れる着色画素を形成しうる。
(A) The pigment used as the colorant may be an inorganic pigment or an organic pigment, but from the viewpoint of high transmittance, it is preferable to use a pigment having a particle size as small as possible. The average primary particle diameter is preferably 0.01 μm to 0.1 μm, more preferably 0.01 μm to 0.05 μm.
In the colored photosensitive resin composition of the present invention, by using the polymer dispersant described later, the pigment dispersibility and dispersion stability are improved even when the pigment size is small. Even if it is thin, a colored pixel having excellent color purity can be formed.

さらに、本発明においては、着色感光性樹脂組成物に含有される顔料のうち、一次粒子径が0.02μm未満の顔料の割合が、該顔料の全量中、10%未満であり、かつ、一次粒子径が0.08μmを超える顔料の割合が、該顔料の全量中、5%未満であることが好ましい。   Furthermore, in the present invention, among the pigments contained in the colored photosensitive resin composition, the proportion of the pigment having a primary particle size of less than 0.02 μm is less than 10% in the total amount of the pigment, and the primary The proportion of the pigment having a particle diameter exceeding 0.08 μm is preferably less than 5% in the total amount of the pigment.

一次粒子径が0.02μm未満の顔料の割合が、10%未満であることで、耐熱性、色度変化を防止することができ、一次粒子径が0.08μmを超える顔料の割合が、5%未満であることで、コントラストがよく、着色感光性樹脂組成物の経時安定性がよく、さらには異物故障を防止することができる。
一次粒子径が0.02μm未満の顔料の割合は、耐熱性、及び色度変化防止の観点から、5%未満であることがより好ましい。
一次粒子径が0.08μmを超える顔料の割合は、コントラストをよくする観点から、3%未満であることが好ましい。
When the ratio of the pigment having a primary particle diameter of less than 0.02 μm is less than 10%, the heat resistance and chromaticity change can be prevented, and the ratio of the pigment having a primary particle diameter exceeding 0.08 μm is 5 When it is less than%, the contrast is good, the time-dependent stability of the colored photosensitive resin composition is good, and further, foreign matter failure can be prevented.
The proportion of the pigment having a primary particle size of less than 0.02 μm is more preferably less than 5% from the viewpoints of heat resistance and chromaticity change prevention.
The proportion of the pigment having a primary particle diameter exceeding 0.08 μm is preferably less than 3% from the viewpoint of improving contrast.

顔料の一次粒子径は、TEM(透過型電子顕微鏡)を用いて測定することができる。すなわち、TEM写真を画像解析して粒径分布を調べることにより行なう。例えば3〜10万倍での観察試料中の全粒子数と、0.02μm未満、及び0.08μmを超える顔料の粒子数を計測することで粒度分布を把握できる。より具体的には、顔料粉体を透過型電子顕微鏡で3〜10万倍で観察し、写真を撮り、1000個の一次粒子の長径を測定し、0.02μm未満、及び0.08μmを超える一次粒子の割合を算出する。この操作を顔料粉体の部位を変えて合計で3箇所について行い、結果を平均する。   The primary particle diameter of the pigment can be measured using a TEM (transmission electron microscope). That is, the TEM photograph is subjected to image analysis to examine the particle size distribution. For example, the particle size distribution can be grasped by measuring the total number of particles in the observation sample at 3 to 100,000 times and the number of pigment particles less than 0.02 μm and more than 0.08 μm. More specifically, the pigment powder is observed with a transmission electron microscope at 3 to 100,000 times, photographed, the major axis of 1000 primary particles is measured, less than 0.02 μm, and more than 0.08 μm Calculate the percentage of primary particles. This operation is performed for a total of three locations by changing the location of the pigment powder, and the results are averaged.

(A)着色剤として用いうる無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で表される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物等を挙げることができる。   (A) Examples of inorganic pigments that can be used as a colorant include metal compounds represented by metal oxides, metal complex salts, and the like. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium And metal oxides such as magnesium, chromium, zinc, and antimony, and composite oxides of the above metals.

前記有機顔料としては、例えば、
C.I.Pigment Red 1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279、
Examples of the organic pigment include:
C. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49, 49: 1, 49: 2, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 57: 1, 60: 1, 63: 1, 66, 67, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 83, 88, 90, 105, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 155, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 220, 224, 226, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272, 279,

C.I.Pigment Yellow 1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214   C. I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 17 4, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 199, 213, 214

C.I.Pigment Orange 2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73、
C.I. Pigment Green 7、10、36、37、
C.I.Pigment Blue 1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、79のCl置換基をOHに変更したもの、80、
C.I.Pigment Violet 1、19、23、27、32、37、42、
C.I.Pigment Brown 25、28等を挙げることができる。
C. I. Pigment Orange 2, 5, 13, 16, 17: 1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73,
C. I. Pigment Green 7, 10, 36, 37,
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 79 Cl substituent was changed to OH Stuff, 80,
C. I. Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 32, 37, 42,
C. I. Pigment Brown 25, 28 and the like.

これらの中で好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。
C.I.Pigment Yellow 11、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185、
C.I.Pigment Orange 36、71、
C.I.Pigment Red 122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264、
C.I.Pigment Violet 19、23、32、
C.I.Pigment Blue 15:1、15:3、15:6、16、22、60、66、
C.I.Pigment Green 7、36、37。
Among these, the pigments that can be preferably used include the following. However, the present invention is not limited to these.
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C. I. Pigment Orange 36, 71,
C. I. Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C. I. Pigment Violet 19, 23, 32,
C. I. Pigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66,
C. I. Pigment Green 7, 36, 37.

これら有機顔料は、単独若しくは、色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。組合せの具体例を以下に示す。
例えば、赤色相(R)用の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独又はそれらの少なくとも1種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料又はペリレン系赤色顔料、アントラキノン系赤色顔料、縮合ジス系赤色顔料、ジケトピロロピロール系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメント・レッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメント・レッド155、C.I.ピグメント・レッド224、が挙げられ、縮合ジス系赤色顔料としてはC.I.ピグメント・レッド242が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメント・レッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメント・イエロー139又はC.I.ピグメント・レッド177との混合が好ましい。
また、赤色顔料と他顔料との質量比(赤色顔料:他顔料)は、100:5〜100:80が好ましい。100:4以下では400nmから500nmの光透過率を抑えることが困難で色純度を上げることが出来ない場合がある。また100:81以上では発色力が下がる場合がある。特に、上記質量比としては、100:10〜100:65の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
These organic pigments can be used alone or in various combinations in order to increase color purity. Specific examples of combinations are shown below.
For example, as a pigment for the red phase (R), an anthraquinone pigment, a perylene pigment, a diketopyrrolopyrrole pigment alone or at least one of them, a disazo yellow pigment, an isoindoline yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment A pigment or a mixture of a perylene red pigment, an anthraquinone red pigment, a condensed dis red pigment, a diketopyrrolopyrrole red pigment, or the like can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment Red 177, and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224, and condensed condensed red pigments include C.I. I. Pigment red 242, and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment Red 254, and C.I. I. Pigment yellow 139 or C.I. I. Mixing with Pigment Red 177 is preferred.
The mass ratio of red pigment to other pigment (red pigment: other pigment) is preferably 100: 5 to 100: 80. If it is 100: 4 or less, it may be difficult to suppress the light transmittance from 400 nm to 500 nm, and the color purity may not be improved. Further, when the ratio is 100: 81 or more, the coloring power may decrease. Particularly, the mass ratio is optimally in the range of 100: 10 to 100: 65. In addition, in the case of the combination of red pigments, it can adjust according to chromaticity.

また、緑色相(G)用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又は、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、C.I.ピグメント・グリーン7、36、37とC.I.ピグメント・イエロー138、C.I.ピグメント・イエロー139、C.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグメント・イエロー180又はC.I.ピグメント・イエロー185との混合が好ましい。
緑色顔料と黄色顔料との質量比は、十分な色純度を得ること、及びNTSC目標色相からのずれを抑制する観点から、100:5〜100:150が好ましい。質量比としては100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。
In addition, as a pigment for the green phase (G), a halogenated phthalocyanine pigment alone or a mixture of this with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment or an isoindoline yellow pigment. Can be used. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37 and C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred.
The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 150 from the viewpoint of obtaining sufficient color purity and suppressing deviation from the NTSC target hue. The mass ratio is particularly preferably in the range of 100: 30 to 100: 120.

青色相(B)用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、C.I.ピグメント・ブルー15:6とC.I.ピグメント・バイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:50が好ましく、より好ましくは100:5〜100:30である。   As the pigment for the blue phase (B), a phthalocyanine pigment can be used alone or a mixture thereof with a dioxazine purple pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred. The mass ratio of the blue pigment and the purple pigment is preferably 100: 0 to 100: 50, more preferably 100: 5 to 100: 30.

本発明では特に着色剤として有機顔料を用い、且つ顔料の微細化工程あるいは分散工程で、顔料を高分子化合物で被覆したものを用いることが好ましい。顔料を高分子化合物で被覆することによって微細化された顔料においても、2次凝集体の形成が抑制され、1次粒子の状態で分散させることができる分散性が向上された被覆顔料、分散させた1次粒子が安定的に維持される分散安定性に優れた被覆顔料を用いることがより好ましい。   In the present invention, it is particularly preferable to use an organic pigment as a colorant and to coat the pigment with a polymer compound in the pigment miniaturization step or dispersion step. Even in pigments refined by coating the pigment with a polymer compound, the formation of secondary aggregates is suppressed, and the coated pigment with improved dispersibility that can be dispersed in the form of primary particles It is more preferable to use a coating pigment excellent in dispersion stability in which primary particles are stably maintained.

本発明で好適な態様である被覆顔料とは、高分子化合物で顔料が被覆されたものであるが、被覆とは微細化で生じた表面活性の高い顔料の新界面が、高分子化合物との強い静電的作用によって、該高分子化合物の強固な被覆層を形成するため、より高い分散安定性を有する被覆顔料が得られるものと考えられる。即ち、本発明においては、被覆処理後の顔料は、高分子化合物を溶解する有機溶剤で洗浄しても、被覆した高分子化合物はほとんど遊離しない。   The coated pigment, which is a preferred embodiment in the present invention, is a pigment coated with a polymer compound. However, the coating is a new surface of a pigment having high surface activity generated by miniaturization. Since a strong coating layer of the polymer compound is formed by a strong electrostatic action, it is considered that a coated pigment having higher dispersion stability can be obtained. That is, in the present invention, the coated polymer compound is hardly released even when the pigment after coating treatment is washed with an organic solvent that dissolves the polymer compound.

本発明でいう被覆顔料は、有機顔料などの顔料粒子が側鎖に複素環等の極性基を有する高分子化合物で被覆されているものであり、該高分子化合物が顔料粒子表面の一部或いは全部に強固に被覆されることでより高い分散安定性の効果を奏するものであり、一般的な高分子分散剤が顔料に吸着してなるものとは異なるものである。この被覆状態は以下に示す有機溶剤による洗浄で高分子化合物の遊離量(遊離率)を測定することにより確認できる。即ち、単に吸着してなる高分子化合物は有機溶剤による洗浄によりそのほとんど、具体的には、65%以上が遊離、除去されるが、本発明の如く表面被覆された顔料の場合には遊離率は極めて少なく、30%以下である。   The coated pigment as used in the present invention is one in which pigment particles such as organic pigments are coated with a polymer compound having a polar group such as a heterocyclic ring in the side chain, and the polymer compound is a part of the pigment particle surface or By being firmly coated all over, a higher dispersion stability effect can be obtained, which is different from that obtained by adsorbing a general polymer dispersant to a pigment. This covering state can be confirmed by measuring the free amount (release rate) of the polymer compound by washing with an organic solvent described below. That is, most of the polymer compound simply adsorbed is washed and washed with an organic solvent, specifically, 65% or more is liberated and removed. In the case of a surface-coated pigment as in the present invention, the liberation rate Is very small, 30% or less.

前記遊離量(遊離率)は、被覆処理後の顔料を1−メトキシ−2−プロパノールで洗浄して、算出する。即ち、顔料10gを1−メトキシ−2−プロパノール100ml中に投入し、振とう機を用いて室温で3時間振とうさせ、その後遠心分離機で80,000rpmで8時間かけて顔料を沈降させ、上澄み液部分の固形分の質量を乾燥法により求める。この固形分の質量と、顔料の被覆の処理に使用した高分子化合物の質量との比から、遊離率(%)を算出する。   The release amount (release rate) is calculated by washing the coated pigment with 1-methoxy-2-propanol. That is, 10 g of the pigment was put into 100 ml of 1-methoxy-2-propanol, shaken at room temperature for 3 hours using a shaker, and then the pigment was allowed to settle for 8 hours at 80,000 rpm with a centrifuge. The mass of the solid content of the supernatant is determined by a drying method. The liberation rate (%) is calculated from the ratio between the mass of the solid content and the mass of the polymer compound used for the coating of the pigment.

市販等の顔料についての前記遊離量(遊離率)は、以下の方法で測定できる。即ち、顔料を溶解する溶剤(例えばジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、蟻酸、硫酸など)で、顔料全体を溶解した後に、高分子化合物と顔料とに、溶解性の差を利用して有機溶剤で分離して、「顔料の被覆の処理に使用した高分子化合物の質量」として算出する。別途、顔料を1−メトキシ−2−プロパノールで洗浄して、得られた上記の遊離量を、この「顔料の被覆の処理に使用した高分子化合物の質量」で除して遊離率(%)を求める。
遊離率は小さいほど顔料への被覆率が高く、分散性、分散安定性が良好である。遊離率の好ましい範囲は30%以下、より好ましくは20%以下、最も好ましくは15%以下である。理想的には0%である。
The said free amount (free rate) about commercially available pigments can be measured by the following method. That is, after dissolving the entire pigment with a solvent that dissolves the pigment (for example, dimethyl sulfoxide, dimethylformamide, formic acid, sulfuric acid, etc.), the polymer compound and the pigment are separated by an organic solvent using the difference in solubility. Thus, it is calculated as “mass of the polymer compound used for the coating treatment of the pigment”. Separately, the pigment was washed with 1-methoxy-2-propanol, and the obtained liberation amount was divided by the “mass of the polymer compound used for the pigment coating treatment” to obtain the liberation rate (%). Ask for.
The smaller the liberation rate, the higher the coverage of the pigment, and the better the dispersibility and dispersion stability. A preferable range of the liberation rate is 30% or less, more preferably 20% or less, and most preferably 15% or less. Ideally 0%.

被覆処理は、顔料の微細化工程で同時に行うことが好ましく、具体的には、(i)顔料と、(ii)水溶性の無機塩と、(iii)実質的に(ii)を溶解しない少量の水溶性の有機溶剤、及び(iv)高分子化合物を加え、ニーダー等で機械的に混練して混合物を得る工程(ソルトミリング工程と称する)、この混合物を水中に投入し、ハイスピードミキサー等で撹拌しスラリー状とする工程、及び、このスラリーを濾過、水洗して必要により乾燥する工程を経て実施される。   The coating treatment is preferably performed at the same time in the pigment refinement step. Specifically, (i) a pigment, (ii) a water-soluble inorganic salt, and (iii) a small amount that does not substantially dissolve (ii). (Iv) a step of adding a polymer compound and mechanically kneading with a kneader or the like to obtain a mixture (referred to as a salt milling step), throwing the mixture into water, a high speed mixer, etc. It is carried out through a step of stirring to form a slurry, and a step of filtering, washing with water and drying if necessary.

上記したソルトミリングについて、さらに具体的に説明する。まず、(i)有機顔料と(ii)水溶性の無機塩の混合物に、湿潤剤として少量の(iii)水溶性の有機溶剤を加え、ニーダー等で強く練り込んだ後、この混合物を水中に投入し、ハイスピードミキサー等で攪拌しスラリー状とする。次に、このスラリーを濾過、水洗して必要により乾燥することにより、微細化された顔料が得られる。なお、油性のワニスに分散して用いる場合には、乾燥前の処理顔料(濾過ケーキと呼ぶ)を一般にフラッシングと呼ばれる方法で、水を除去しながら油性のワニスに分散することも可能である。また水系のワニスに分散する場合は、処理顔料は乾燥する必要がなく、濾過ケーキをそのままワニスに分散することができる。   The salt milling described above will be described more specifically. First, a small amount of (iii) a water-soluble organic solvent is added as a wetting agent to a mixture of (i) an organic pigment and (ii) a water-soluble inorganic salt, and after kneading strongly with a kneader or the like, the mixture is submerged in water. The mixture is stirred and stirred with a high speed mixer or the like to form a slurry. Next, the slurry is filtered, washed with water, and dried if necessary to obtain a finer pigment. In addition, when using it disperse | distributing to an oil-based varnish, it is also possible to disperse | distribute the process pigment (it is called a filter cake) before drying to an oil-based varnish, removing water by the method generally called flushing. When dispersed in an aqueous varnish, the treated pigment does not need to be dried, and the filter cake can be dispersed in the varnish as it is.

ソルトミリング時に上記(iii)有機溶剤に(iv)少なくとも一部可溶な樹脂を併用することにより、さらに微細で、表面が(iv)少なくとも一部可溶な樹脂による被覆された、乾燥時の顔料の凝集が少ないものが得られる。
なお、(iv)高分子化合物を加えるタイミングは、ソルトミリング工程の初期にすべてを添加してもよく、分割して添加してもよい。また分散工程で添加することも可能である。
By using (iv) at least a partly soluble resin in combination with the above (iii) organic solvent during salt milling, the surface is further finely coated with (iv) at least a partly soluble resin. A pigment with little aggregation is obtained.
In addition, (iv) The timing which adds a high molecular compound may add all at the initial stage of a salt milling process, and may divide and add. It is also possible to add in the dispersion step.

顔料の被覆に用いる高分子化合物は顔料への吸着性基を有するものなら何でもよい。特に、側鎖に複素環を有する高分子化合物で被覆処理したものが好ましい。このような高分子化合物としては、例えば特開2008−83089号公報の段落番号〔0029〕〜〔0030〕、特開2009−62457号公報の段落番号〔0044〕〜〔0047〕に開示されているものが使用できる。   The polymer compound used for coating the pigment may be anything as long as it has an adsorptive group for the pigment. In particular, those coated with a polymer compound having a heterocyclic ring in the side chain are preferred. Examples of such a polymer compound are disclosed in paragraph numbers [0029] to [0030] of JP-A-2008-83089 and paragraph numbers [0044] to [0047] of JP-A-2009-62457. Things can be used.

上記した被覆処理した顔料を用いる場合でも、分散剤の少なくとも1種を使用して顔料を分散し、顔料分散組成物として使用することがさらに好ましい。この分散剤の含有により、顔料の分散性をさらに向上させることができる。
分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
Even in the case of using the above-described coated pigment, it is more preferable to disperse the pigment using at least one dispersant and use it as a pigment dispersion composition. By containing this dispersant, the dispersibility of the pigment can be further improved.
As the dispersant, for example, a known pigment dispersant or surfactant can be appropriately selected and used.

具体的には、多くの種類の化合物を使用可能であり、例えば、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学工業(株)製)、W001(裕商(株)社製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017(裕商(株)社製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(いずれもチバ・スペシャルティーケミカル社製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(いずれもサンノプコ社製)等の高分子分散剤;   Specifically, many kinds of compounds can be used, for example, organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid (co) polymer polyflow No. 75, No. 90, No. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Industry Co., Ltd.), W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), and the like; polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether Nonionic surfactants such as polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester; W004, W005, W017 (manufactured by Yusho Co., Ltd.) Anionic surfactants such as EFKA 46, EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA polymer 100, EFKA polymer 400, EFKA polymer 401, EFKA polymer 450 (all manufactured by Ciba Specialty Chemicals), Disperse Aid 6, Disperse Aid 8, Disperse Aid 15, polymer dispersants such as Disperse Aid 9100 (both manufactured by San Nopco);

ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000などの各種ソルスパース分散剤(日本ルーブリゾール(株)製);アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123(旭電化(株)製)及びイソネットS−20(三洋化成(株)製)、Disperbyk 101、103、106、108、109、111、112、116、130、140、142、161、162、163、164、166、167、170、171、174、176、180、182、2000、2001、2050、2150(ビックケミー(株)社製)が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端もしくは側鎖に極性基を有するオリゴマーもしくはポリマーが挙げられる。 Solsperse 3000, 5000, 9000, 12000, 13240, 13940, 17000, 24000, 26000, 28000, etc., various Solsperse dispersants (manufactured by Nippon Lubrizol Co., Ltd.); F68, L72, P95, F77, P84, F87, P94, L101, P103, F108, L121, Asahi Denka Co., Ltd. and Isonet S-20 (Sanyo Kasei Co., Ltd.), Disperbyk 101, 103, 106, 108, 109, 111, 112, 116, 130, 140, 142, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 170, 171, 174, 176, 180, 182, 2000, 2001, 2050, 2150 (bit Chemie Co., Ltd.) and the like. In addition, an oligomer or polymer having a polar group at the molecular end or side chain, such as an acrylic copolymer.

分散剤の顔料分散組成物中における含有量としては、既述の顔料の質量に対して、1〜100質量%が好ましく、3〜70質量%がより好ましい。   As content in the pigment dispersion composition of a dispersing agent, 1-100 mass% is preferable with respect to the mass of the above-mentioned pigment, and 3-70 mass% is more preferable.

顔料誘導体は、顔料の被覆に用いる高分子化合物の一つであり、必要に応じて顔料分散組成物に添加される。分散剤と親和性のある部分あるいは極性基を導入した顔料誘導体を顔料表面に吸着させ、これを分散剤の吸着点として用いることで、顔料を微細な粒子として感光性樹脂組成物中に分散させ、その再凝集を防止することができ、コントラストが高く、透明性に優れたカラーフィルタを構成するのに有効である。   The pigment derivative is one of polymer compounds used for coating the pigment, and is added to the pigment dispersion composition as necessary. The pigment is introduced into the photosensitive resin composition as fine particles by adsorbing a pigment derivative having a portion having affinity for the dispersant or a polar group to the pigment surface and using it as an adsorption point of the dispersant. The re-aggregation can be prevented, and it is effective for constructing a color filter having high contrast and excellent transparency.

顔料誘導体は、具体的には有機顔料を母体骨格とし、側鎖に酸性基や塩基性基、芳香族基を置換基として導入した化合物である。有機顔料は、具体的には、キナクリドン系顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料、キノフタロン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノリン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ベンゾイミダゾロン顔料等が挙げられる。一般に、色素と呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系、トリアジン系、キノリン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、例えば、特開平11−49974号公報、特開平11−189732号公報、特開平10−245501号公報、特開2006−265528号公報、特開平8−295810号公報、特開平11−199796号公報、特開2005−234478号公報、特開2003−240938号公報、特開2001−356210号公報等に記載されているものを使用できる。   Specifically, the pigment derivative is a compound in which an organic pigment is used as a base skeleton, and an acidic group, a basic group, or an aromatic group is introduced into a side chain as a substituent. Specific examples of organic pigments include quinacridone pigments, phthalocyanine pigments, azo pigments, quinophthalone pigments, isoindoline pigments, isoindolinone pigments, quinoline pigments, diketopyrrolopyrrole pigments, and benzoimidazolone pigments. Is mentioned. In general, light yellow aromatic polycyclic compounds such as naphthalene series, anthraquinone series, triazine series and quinoline series which are not called pigments are also included. Examples of the dye derivative include JP-A-11-49974, JP-A-11-189732, JP-A-10-245501, JP-A-2006-265528, JP-A-8-295810, and JP-A-11. -199796, JP-A-2005-234478, JP-A-2003-240938, JP-A-2001-356210, etc. can be used.

顔料誘導体の顔料分散組成物中における含有量としては、顔料の質量に対して、1質量%〜30質量%が好ましく、3質量%〜20質量%がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、粘度を低く抑えながら、分散を良好に行なえると共に分散後の分散安定性を向上させることができ、透過率が高く優れた色特性が得られ、カラーフィルタを作製するときには良好な色特性を有する高コントラストに構成することができる。   As content in the pigment dispersion composition of a pigment derivative, 1 mass%-30 mass% are preferable with respect to the mass of a pigment, and 3 mass%-20 mass% are more preferable. When the content is within the above range, while maintaining the viscosity low, the dispersion can be performed well and the dispersion stability after the dispersion can be improved, and the color characteristics with high transmittance can be obtained. When producing a filter, it can be configured to have high contrast with good color characteristics.

分散の方法は、例えば、顔料と分散剤を予め混合してホモジナイザー等で予め分散しておいたものを、ジルコニアビーズ等を用いたビーズ分散機等を用いて微分散させることによって行うことができる。   The dispersion method can be performed, for example, by finely dispersing a pigment and a dispersant previously mixed with a homogenizer or the like using a bead disperser using zirconia beads or the like. .

本発明において(A)着色剤として染料を用いる場合は、均一に溶解された着色感光性樹脂組成物が得られる。
(A)着色剤として使用可能な染料としては、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用途として用いられている公知の染料を使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に記載の色素である。
In the present invention, when a dye is used as the (A) colorant, a uniformly dissolved colored photosensitive resin composition is obtained.
(A) There is no restriction | limiting in particular as dye which can be used as a coloring agent, The well-known dye conventionally used as a color filter use can be used. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-90403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-91102, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-94301, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-11614, No. 2592207, US Pat. No. 4,808,501. Specification, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 JP-A-6-194828, JP-A-8-21599, JP-A-4-249549, JP-A-10-123316, JP-A-11-302283, JP-A-7-286107, JP 2001-4823, JP-A-8-15522, JP-A-8-29771, JP-A-8-146215, JP-A-11-3434. 7, JP-A-8-62416, JP-A-2002-14220, JP-A-2002-14221, JP-A-2002-14222, JP-A-2002-14223, JP-A-8-302224 JP-A-8-73758, JP-A-8-179120, JP-A-8-151531, and the like.

化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。   The chemical structure includes pyrazole azo, anilino azo, triphenyl methane, anthraquinone, anthrapyridone, benzylidene, oxonol, pyrazolotriazole azo, pyridone azo, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, A dye such as xanthene, phthalocyanine, benzopyran, or indigo can be used.

<(B)バインダー樹脂>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(B)バインダー樹脂の少なくとも1種を含む。
(B)バインダー樹脂は、分子内に、(B−1)下記一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位と、酸性基を有する構造単位とを有するものである。
<(B) Binder resin>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (B) at least one binder resin.
(B) The binder resin contains (B-1) a structural unit represented by the following general formula (I), (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, and (B-3) in the molecule. ) It has at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following general formula (II) and a structural unit having an acidic group.

〔(B−1)の構造単位〕
(B−1)の構造単位は、下記一般式(I)で表される。
[Structural unit of (B-1)]
The structural unit of (B-1) is represented by the following general formula (I).

一般式(I)中、R11〜R15はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はアリール基を表し、R16は水素原子又はメチル基を表す。 In the general formula (I), the R 11 to R 15 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group or an aryl group, R 16 represents a hydrogen atom or a methyl group.

一般式(I)におけるR11〜R15としては、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数5〜14のアリール基が好ましく、中でも、水素原子、臭素原子、塩素原子、シアノ基、炭素数1〜7のアルキル基又は炭素数5〜10のアリール基がより好ましい。
前記アルキル基は置換基を有していてもよく、置換基としては直鎖、分岐、又は環状であってもよく、メチル基、n−プロピル基、iso-プロピル基、t-ブチル基などがあげられ、炭素数1〜7のアルキル基が好ましい。また、前記アリール基は置換基を有していてもよく、置換基としては炭素数1〜7のアルキル基又は炭素数5〜14のアリール基などが挙げられ、好ましくはフェニル基、フリル基、ナフチル基である。
R 11 to R 15 in the general formula (I) are each independently preferably a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an aryl group having 5 to 14 carbon atoms. An atom, a bromine atom, a chlorine atom, a cyano group, an alkyl group having 1 to 7 carbon atoms, or an aryl group having 5 to 10 carbon atoms is more preferable.
The alkyl group may have a substituent, and the substituent may be linear, branched, or cyclic, and includes a methyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group, a t-butyl group, and the like. An alkyl group having 1 to 7 carbon atoms is preferable. The aryl group may have a substituent, and examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 7 carbon atoms or an aryl group having 5 to 14 carbon atoms, preferably a phenyl group, a furyl group, Naphthyl group.

これらのうち、一般式(I)として好ましいものは、R11〜R15がそれぞれ独立に水素原子、メチル基、フェニル基又はハロゲン原子で、R16が水素原子又はメチル基のものである。 Of these, preferred as the general formula (I) are those in which R 11 to R 15 are each independently a hydrogen atom, a methyl group, a phenyl group or a halogen atom, and R 16 is a hydrogen atom or a methyl group.

〔(B−2)の構造単位〕
(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位としては、例えば、下記に示す構造単位が挙げられる。
[Structural unit of (B-2)]
(B-2) Examples of the structural unit having an N-position-substituted maleimide group include the structural units shown below.

〔(B−3)の構造単位〕
(B−3)の構造単位は、下記一般式(II)で表される。
[Structural unit of (B-3)]
The structural unit (B-3) is represented by the following general formula (II).

一般式(II)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R22は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。R23及びR24は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数4以下のアルキル基を表す。R23とR24とは互いに結合して炭素環を形成していてもよい。 In General Formula (II), R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 22 represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. R 23 and R 24 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 4 or less carbon atoms. R 23 and R 24 may be bonded to each other to form a carbocycle.

一般式(II)として好ましいものは、R21が水素原子で、R22がメチレン基又はエチレン基で、R23及びR24が互いに結合して6員環を形成しているものである。 Preferred as the general formula (II) is one in which R 21 is a hydrogen atom, R 22 is a methylene group or an ethylene group, and R 23 and R 24 are bonded to each other to form a 6-membered ring.

(B)バインダー樹脂は、分子内に、 (B−1)一般式(I)で表される構造単位、 (B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される構造単位を少なくとも1種有すればよいが、2種以上有してもよい。
(B)バインダー樹脂は、(B−1)、 (B−2)、及び(B−3)の中でも、表面レチキュレーション(網状のしわ)の発生を抑制する観点から、(B−1)を有することが好ましい。
(B) The binder resin contains, in the molecule, (B-1) a structural unit represented by the general formula (I), (B-2) a structural unit having an N-position-substituted maleimide group, and (B-3) It suffices to have at least one structural unit selected from the group consisting of the structural units represented by formula (II), but it may have two or more.
(B) Binder resin is one of (B-1), (B-2), and (B-3), from the viewpoint of suppressing the occurrence of surface reticulation (network wrinkles). It is preferable to have.

(B)バインダー樹脂は、分子内に、 (B−1)一般式(I)で表される構造単位、 (B−2)N位−置換マレイミド基を含む構造単位、及び(B−3)一般式(II)で表される構造単位を合計で50モル%以上90モル%以下有することが好ましく、より好ましくは50モル%以上80モル%以下、さらに好ましくは60モル%以上80モル%以下である。この範囲内にあると露光後の現像時における膜減りが少なくなり、表面平滑性と現像ラチチュードが良好である。   (B) The binder resin contains, in the molecule, (B-1) a structural unit represented by the general formula (I), (B-2) a structural unit containing an N-substituted maleimide group, and (B-3) It is preferable to have a total of 50 mol% to 90 mol% of structural units represented by the general formula (II), more preferably 50 mol% to 80 mol%, more preferably 60 mol% to 80 mol% It is. Within this range, film loss during development after exposure is reduced, and surface smoothness and development latitude are good.

〔酸性基を有する構造単位〕
さらに、(B)バインダー樹脂は分子内に、酸性基を有する構造単位を有する。
酸性基を有する構造単位としては、カルボキシル基含有不飽和単量体由来の構造単位をあげることができる。カルボキシル基含有不飽和単量体としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、ケイ皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸又はその無水物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸又はその無水物類;コハク酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル類;ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類等である。
これらのカルボキシル基含有不飽和単量体のうち、コハク酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)及びフタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)は、それぞれM−5300及びM−5400(東亞合成(株)製)の商品名で市販されている。
前記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独で又は2種以上を樹脂に含んでもよい。
[Structural unit having acidic group]
Furthermore, (B) binder resin has a structural unit which has an acidic group in a molecule | numerator.
Examples of the structural unit having an acidic group include a structural unit derived from a carboxyl group-containing unsaturated monomer. Examples of the carboxyl group-containing unsaturated monomer include (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid and other unsaturated monocarboxylic acids; maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, Unsaturated dicarboxylic acid such as itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or the like; trivalent or higher unsaturated polycarboxylic acid or the anhydride thereof; succinic acid mono [2- (meth) Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids such as acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]; ω-carboxypolycaprolactone mono These are mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as (meth) acrylate.
Among these carboxyl group-containing unsaturated monomers, succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) and phthalic acid mono (2-acryloyloxyethyl) are M-5300 and M-5400 (Toagosei ( (Commercially available) under the trade name.
The carboxyl group-containing unsaturated monomers may be used alone or in combination of two or more.

これらの中で、好ましい酸性基を有する構造単位としては、カルボン酸、カルボン酸のカルコゲン類縁体、カルボヒドラゾン酸[RC(=NNH)OH]、カルボキシミド酸[RC(=NH)OH]、スルホン酸[RS(O)OH]、スルフィン酸[RS(O)OH]、スルフェン酸[RSOH]、セレノン酸[RSe(O)OH]、セレニン酸[RSe(O)OH]、セレネン酸[RSeOH]、リン酸とその酸性関連化合物、ケイ酸、ホウ酸の類縁体に由来する構造単位であり、特に好ましいものはアクリル酸、メタクリル酸、及びリン酸に由来する構造単位である。 Among these, as the structural unit having a preferable acidic group, carboxylic acid, chalcogen analog of carboxylic acid, carbohydrazone acid [RC (═NNH 2 ) OH], carboxymidic acid [RC (═NH) OH], Sulfonic acid [RS (O) 2 OH], sulfinic acid [RS (O) OH], sulfenic acid [RSOH], selenonic acid [RSe (O) 2 OH], selenic acid [RSe (O) OH], selenic acid Structural units derived from analogs of [RSeOH], phosphoric acid and its acid-related compounds, silicic acid, and boric acid, particularly preferred are structural units derived from acrylic acid, methacrylic acid, and phosphoric acid.

(B)バインダー樹脂における酸性基を有する構造単位の含有量は、5モル%以上50モル%以下であることが好ましく、10モル%以上30モル%以下がより好ましい。この範囲内にあると、現像時の表面平滑度と耐熱性が良好である。   (B) The content of the structural unit having an acidic group in the binder resin is preferably 5 mol% or more and 50 mol% or less, and more preferably 10 mol% or more and 30 mol% or less. Within this range, the surface smoothness and heat resistance during development are good.

(B)バインダー樹脂は前述の各構造単位に加えて、他の構造単位を含んでいてもよい。他の構造単位としては、下記の不飽和単量体に由来する構造単位を挙げることができる。
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデン等のインデン類;
(B) The binder resin may contain other structural units in addition to the structural units described above. Examples of other structural units include structural units derived from the following unsaturated monomers.
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m -Aromatic vinyl compounds such as vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;

メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (Meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate Rate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydipropylene glycol (meth) acrylate, isobornyl Such as (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, etc. Saturated carboxylic acid esters;

2−アミノエチル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、3−アミノプロピル(メタ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;オキセタニル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸オキセタニルエステル類;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和アミド類;
マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類;
これらの不飽和単量体由来の構成成分は、単独で又は2種以上を含んでもよい。
2-aminoethyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-aminopropyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, 3-aminopropyl (meth) acrylate, 3-dimethyl Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as aminopropyl (meth) acrylate; unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate; unsaturated carboxylic acid oxetanyl esters such as oxetanyl (meth) acrylate; vinyl acetate, Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate;
Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, and allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the end of the polymer molecular chain, such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, polysiloxane;
These components derived from unsaturated monomers may be used alone or in combination of two or more.

以下に、(B)バインダー樹脂の例示化合物1−1〜1−8及び2〜39を示す。(B)バインダー樹脂は、これらの例示化合物に限定されるものではない。   Below, the exemplary compounds 1-1 to 1-8 and 2-39 of (B) binder resin are shown. (B) Binder resin is not limited to these exemplary compounds.

(B)バインダー樹脂の重量平均分子量としては、10000〜100000の範囲であることが好ましく、より好ましくは10000〜50000の範囲、さらに好ましくは10000〜40000の範囲である。この範囲内にあると現像性、直線性が良好である。   (B) As a weight average molecular weight of binder resin, it is preferable that it is the range of 10000-100000, More preferably, it is the range of 10000-50000, More preferably, it is the range of 10000-40000. Within this range, developability and linearity are good.

本発明の着色感光性樹脂組成物における(B)バインダー樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、10質量%〜50質量%の範囲が好ましく、15質量%〜40質量%の範囲がより好ましい。   The content of the (B) binder resin in the colored photosensitive resin composition of the present invention is preferably in the range of 10% by mass to 50% by mass, and preferably in the range of 15% by mass to 40% with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition. A range of mass% is more preferred.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、(B)バインダー樹脂以外の構造の樹脂を含んでもよい。(B)バインダー樹脂以外の構造の樹脂としては、着色剤に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタを製造する際に、その現像処理工程において用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ性現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、カルボキシル基を有するアクリル系共重合体が好ましく、特に、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体との共重合体が好ましい。   The colored photosensitive resin composition of the present invention may contain (B) a resin having a structure other than the binder resin. (B) As a resin having a structure other than the binder resin, it acts as a binder for the colorant, and when producing a color filter, it is preferably used for a developer used in the development processing step, particularly preferably an alkaline developer. In particular, an acrylic copolymer having a carboxyl group is preferable, and an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxyl groups and other monomers are not particularly limited. A copolymer with a copolymerizable ethylenically unsaturated monomer is preferred.

本発明において、(B)バインダー樹脂以外の構造の樹脂の具体例としては、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
等を挙げることができる。
In the present invention, (B) as a specific example of a resin having a structure other than the binder resin,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
Etc.

また、下記のようなエポキシ環、オキセタン環を含む樹脂も使用できる。
スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/アククリル酸/アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/アクリル酸グリシジル共重合体、
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン/t−ブチルメタクリレート共重合体、
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン/スチレン共重合体、
Moreover, the resin containing the following epoxy rings and oxetane rings can also be used.
Styrene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
Styrene / acrylic acid / tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl acrylate copolymer,
Benzyl methacrylate / methacrylic acid / 3- (methacryloyloxymethyl) oxetane / t-butyl methacrylate copolymer,
Benzyl methacrylate / methacrylic acid / 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane / styrene copolymer,

ブタジエン/スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
ブタジエン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル共重合体、
スチレン/アクリル酸/無水マレイン酸/メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル共重合体、
t−ブチルメタクリレート/アクリル酸/無水マレイン酸/メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル共重合体、
スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸メチル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
p−メトキシスチレン/メタクリル酸/シクロヘキシルアクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体。
Butadiene / styrene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
Butadiene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
Styrene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl copolymer,
Styrene / acrylic acid / maleic anhydride / methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl copolymer,
t-butyl methacrylate / acrylic acid / maleic anhydride / methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl copolymer,
Styrene / methacrylic acid / methyl methacrylate / glycidyl methacrylate copolymer,
p-methoxystyrene / methacrylic acid / cyclohexyl acrylate / glycidyl methacrylate copolymer.

<(C)重合性化合物>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(C)重合性化合物の少なくとも1種を含有し、(C)重合性化合物の少なくとも1種がカルボキシル基含有多官能性単量体である。
<(C) Polymerizable compound>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (C) at least one polymerizable compound, and (C) at least one polymerizable compound is a carboxyl group-containing polyfunctional monomer.

[カルボキシル基含有多官能性単量体]
本発明に用いることができるカルボキシル基含有多官能性単量体とは、分子内に少なくとも1個のカルボキシル基を有し、好ましくは1〜4個、更に好ましくは1〜3個のカルボキシル基を有するモノマーをいう。また多官能として、重合性不飽和二重結合を2以上有し、好ましくは2〜12、更に好ましくは3〜6有する。
[Carboxyl group-containing polyfunctional monomer]
The carboxyl group-containing polyfunctional monomer that can be used in the present invention has at least one carboxyl group in the molecule, preferably 1 to 4, more preferably 1 to 3 carboxyl groups. The monomer which has. Moreover, it has 2 or more of polymerizable unsaturated double bonds as polyfunctionality, Preferably it has 2-12, More preferably, it has 3-6.

具体的には例えば、2価以上の多価アルコール類と、2個以上のカルボキシル基を有する重合性不飽和カルボン酸類との、遊離カルボキシル基含有多官能性エステル化物;(c1)3価以上の多価アルコールと(c2)1個以上のカルボキシル基を有する重合性不飽和カルボン酸との(T1)遊離水酸基含有多官能性エステル類と、(c3)ジカルボン酸類との、遊離カルボキシル基含有エステル化物(以下(C1)多官能性単量体という);(c4)3価以上の多価カルボン酸類と(c5)1個以上の水酸基を有する重合性不飽和化合物との、遊離カルボキシル基含有多官能性エステル化物(以下(C2)多官能性単量体という)等を挙げることができる。
(c1)+(c2)→(T1) (1−1)
(T1)+(c3)→(C1) (1−2)
(c4)+(c5)→(C2) (2)
Specifically, for example, a free carboxyl group-containing polyfunctional esterified product of a polyhydric alcohol having a valence of 2 or more and a polymerizable unsaturated carboxylic acid having a carboxyl group of 2 or more; (c1) a valence of 3 or more A free carboxyl group-containing esterified product of (T1) a free hydroxyl group-containing polyfunctional ester of a polyhydric alcohol and (c2) a polymerizable unsaturated carboxylic acid having one or more carboxyl groups, and (c3) a dicarboxylic acid (Hereinafter referred to as (C1) a polyfunctional monomer); (c4) a polyfunctional carboxylic acid having a trivalent or higher valence and (c5) a polymerizable unsaturated compound having one or more hydroxyl groups containing a free carboxyl group-containing polyfunctional And the like (hereinafter referred to as (C2) polyfunctional monomer).
(C1) + (c2) → (T1) (1-1)
(T1) + (c3) → (C1) (1-2)
(C4) + (c5) → (C2) (2)

本発明におけるカルボキシル基含有多官能性単量体としては、(C1)多官能性単量体、(C2)多官能性単量体が好ましい。(C1)多官能性単量体において上記3価以上の多価アルコールとしては、例えば、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等を挙げることができる。   As the carboxyl group-containing polyfunctional monomer in the present invention, (C1) polyfunctional monomer and (C2) polyfunctional monomer are preferable. (C1) In the polyfunctional monomer, examples of the trihydric or higher polyhydric alcohol include glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, and dipentaerythritol.

上記1個以上のカルボキシル基を有する重合性不飽和カルボン酸としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、ケイ皮酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸等を挙げることができる。   Examples of the polymerizable unsaturated carboxylic acid having one or more carboxyl groups include (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, and citraconic acid. And mesaconic acid.

上記ジカルボン酸類としては、例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸、シクロヘキサン−1,3−ジカルボン酸、シクロヘキサン−1,4−ジカルボン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸等を挙げることができる。   Examples of the dicarboxylic acids include oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, Examples thereof include methyl succinic acid, tetramethyl succinic acid, cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid, cyclohexane-1,3-dicarboxylic acid, cyclohexane-1,4-dicarboxylic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid and the like.

また(C2)多官能性単量体において、3価以上の多価カルボン酸類としては、例えば、プロパン−1,2,3−トリカルボン酸(トリカルバリル酸)、ブタン−1,2,4−トリカルボン酸、アコニット酸、カンホロン酸、シクロヘキサン−1,2,3−トリカルボン酸、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸、シクロヘキサン−1,3,5−トリカルボン酸、ベンゼン−1,2,3−トリカルボン酸、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等を挙げることができる。   (C2) In the polyfunctional monomer, examples of the trivalent or higher polyvalent carboxylic acids include propane-1,2,3-tricarboxylic acid (tricarballylic acid), butane-1,2,4-tricarboxylic acid. Acid, aconitic acid, camphoric acid, cyclohexane-1,2,3-tricarboxylic acid, cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid, cyclohexane-1,3,5-tricarboxylic acid, benzene-1,2,3-tricarboxylic acid Examples thereof include acid, trimellitic acid, trimesic acid, merophanic acid, and pyromellitic acid.

上記1個以上の水酸基を有する重合性不飽和化合物としては、例えば、(メタ)アリルアルコール、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等を挙げることができる。   Examples of the polymerizable unsaturated compound having one or more hydroxyl groups include (meth) allyl alcohol, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, and 3-hydroxypropyl (meth) acrylate. Etc.

本発明における好ましい(C1)多官能性単量体及び(C2)多官能性単量体の例をより具体的に示すと、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等のモノヒドロキシ基含有オリゴ(メタ)アクリレート類と、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、フタル酸、テレフタル酸等のジカルボン酸類との、遊離カルボキシル基含有モノエステル化物;プロパン−1,2,3−トリカルボン酸、ブタン−1,2,4−トリカルボン酸、ベンゼン−1,2,3−トリカルボン酸、トリメリット酸、トリメシン酸等のトリカルボン酸類と、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のモノヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類との、遊離カルボキシル基含有オリゴエステル化物等を挙げることができる。   More specifically, examples of the preferred (C1) polyfunctional monomer and (C2) polyfunctional monomer in the present invention are trimethylolpropane di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, Monoester group-containing monoesters of monohydroxy group-containing oligo (meth) acrylates such as dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dicarboxylic acids such as malonic acid, succinic acid, glutaric acid, phthalic acid and terephthalic acid Tricarboxylic acids such as propane-1,2,3-tricarboxylic acid, butane-1,2,4-tricarboxylic acid, benzene-1,2,3-tricarboxylic acid, trimellitic acid, trimesic acid, and 2-hydroxyethyl Mono, such as (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate The mud alkoxyalkyl (meth) acrylates, mention may be made of free carboxyl group-containing oligo ester and the like.

また、カルボキシル基含有多官能性単量体としては、例えば下記のようなM−1〜M−4が挙げられるが、光硬化性、アルカリ現像性の観点から、下記単量体M−1がより好ましい。   Examples of the carboxyl group-containing polyfunctional monomer include the following M-1 to M-4. From the viewpoint of photocurability and alkali developability, the following monomer M-1 is used. More preferred.

本発明においてカルボキシル基含有多官能性単量体は、現像時間の短縮と相溶性に起因する現像性(ラインガタツキ、表面平滑性)の観点から、その酸価が80mgKOH/g〜200mgKOH/gであることが好ましい。より好ましくは、80mgKOH/g〜150mgKOH/gであり、更に好ましくは80mgKOH/g〜120mgKOH/gである。本発明において、酸価はJIS規格(JIS K 0070:1992)記載の方法により求める。   In the present invention, the carboxyl group-containing polyfunctional monomer has an acid value of 80 mgKOH / g to 200 mgKOH / g from the viewpoint of developability (line backlash, surface smoothness) due to shortening of development time and compatibility. Preferably there is. More preferably, it is 80 mgKOH / g-150 mgKOH / g, More preferably, it is 80 mgKOH / g-120 mgKOH / g. In the present invention, the acid value is determined by the method described in JIS standard (JIS K 0070: 1992).

本発明においてカルボキシル基含有多官能性単量体は、単独で、又は2種以上を混合して使用することができる。   In this invention, a carboxyl group-containing polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

本発明におけるカルボキシル基含有多官能性単量体は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定なく用いることができ、市販品を用いてよいし、適宜合成したものを用いてもよい。   The carboxyl group-containing polyfunctional monomer in the present invention is widely known in the industrial field, and in the present invention, these can be used without any particular limitation, and commercially available products may be used or those synthesized appropriately. May be used.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、(C)重合性化合物として、カルボキシル基含有多官能性単量体の他に、他の多官能性単量体を併用してもよい。
ここでカルボキシル基含有多官能性単量体の全多官能性単量体に対する使用割合は、好ましくは10質量%〜100質量%、さらに好ましくは20質量%〜100質量%、特に好ましくは50質量%〜100質量%である。上記範囲とすることで、所望のパターンの形成が容易となり、現像性が良好となる。
In the colored photosensitive resin composition of the present invention, as the polymerizable compound (C), in addition to the carboxyl group-containing polyfunctional monomer, other polyfunctional monomers may be used in combination.
Here, the ratio of the carboxyl group-containing polyfunctional monomer to the total polyfunctional monomer is preferably 10% by mass to 100% by mass, more preferably 20% by mass to 100% by mass, and particularly preferably 50% by mass. % To 100% by mass. By setting it as the said range, formation of a desired pattern becomes easy and developability becomes favorable.

本発明に用いうるカルボキシル基含有多官能性単量体以外の多官能性単量体としては、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物、並びにそれらの共重合体などの化学的形態をもつものが挙げられる。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。   Examples of the polyfunctional monomer other than the carboxyl group-containing polyfunctional monomer that can be used in the present invention include monomers, prepolymers, that is, dimers, trimers and oligomers, or mixtures thereof, and their The thing with chemical forms, such as a copolymer, is mentioned. Examples of monomers and copolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), and esters and amides thereof. In this case, an ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound, or an amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound is used.

また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。
また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン原子や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。
また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
In addition, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxyl group, amino group or mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and monofunctional or polyfunctional A dehydration condensation reaction product with a functional carboxylic acid is also preferably used.
Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having an electrophilic substituent such as an epoxy group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol, a halogen atom or the like In addition, a substitution reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a leaving substituent such as a tosyloxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol is also suitable.
As another example, it is also possible to use a group of compounds substituted with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like instead of the unsaturated carboxylic acid.

脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸EO変性トリアクリレート等がある。   Specific examples of monomers of esters of aliphatic polyhydric alcohol compounds and unsaturated carboxylic acids include acrylic acid esters such as ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, and tetramethylene glycol. Diacrylate, propylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate , Tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate , Pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester acrylate oligomer, isocyanuric acid There are EO-modified triacrylate and the like.

メタクリル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔p−(メタクリルオキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタン等がある。   Methacrylic acid esters include tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, Hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy- 2-hydroxypro ) Phenyl] dimethyl methane, bis - [p- (methacryloxyethoxy) phenyl] dimethyl methane.

イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。   Itaconic acid esters include ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate And sorbitol tetritaconate. Examples of crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, and sorbitol tetradicrotonate. Examples of isocrotonic acid esters include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, and sorbitol tetraisocrotonate. Examples of maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.

その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334号公報、特開昭57−196231号公報に記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240号公報、特開昭59−5241号公報、特開平2−226149号公報に記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613号公報に記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。   Examples of other esters include aliphatic alcohol esters described in JP-B-51-47334 and JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, JP-A-59- Those having an aromatic skeleton described in Japanese Patent No. 5241 and JP-A-2-226149, those containing an amino group described in JP-A-1-165613, and the like are also preferably used. Furthermore, the ester monomers described above can also be used as a mixture.

また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726号公報に記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。   Specific examples of amide monomers of aliphatic polyvalent amine compounds and unsaturated carboxylic acids include methylene bis-acrylamide, methylene bis-methacrylamide, 1,6-hexamethylene bis-acrylamide, 1,6-hexamethylene bis. -Methacrylamide, diethylenetriamine trisacrylamide, xylylene bisacrylamide, xylylene bismethacrylamide and the like. Examples of other preferable amide monomers include those having a cyclohexylene structure described in JP-B No. 54-21726.

また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報中に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式(V)で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。   In addition, urethane-based addition polymerizable compounds produced by using an addition reaction of isocyanate and hydroxyl group are also suitable, and specific examples thereof include, for example, one molecule described in JP-B-48-41708. A vinyl urethane containing two or more polymerizable vinyl groups in one molecule obtained by adding a vinyl monomer containing a hydroxyl group represented by the following general formula (V) to a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups. Compounds and the like.

CH=C(R)COOCHCH(R)OH (V)
(ただし、一般式(V)中、R及びRは、H又はCHを示す。)
CH 2 = C (R 4) COOCH 2 CH (R 5) OH (V)
(In the general formula (V), R 4 and R 5 represent H or CH 3. )

また、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。   Also, urethane acrylates such as those described in JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, JP-B-2-16765, JP-B-58-49860, JP-B-56- Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP 17654, JP-B 62-39417, and JP-B 62-39418 are also suitable. Furthermore, addition polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238 are used. Depending on the case, it is possible to obtain a photopolymerizable composition excellent in the photosensitive speed.

その他の例としては、特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報、特公昭52−30490号公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号公報、特公平1−40337号公報、特公平1−40336号公報に記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号公報に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭61−22048号公報に記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に日本接着協会誌vol.20、No.7、300〜308ページ(1984年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。   Other examples include polyester acrylates, epoxy resins and (meth) acrylic acid as described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, JP-B-52-30490. Mention may be made of polyfunctional acrylates and methacrylates such as reacted epoxy acrylates. Further, specific unsaturated compounds described in JP-B-46-43946, JP-B-1-40337, JP-B-1-40336, and vinylphosphonic acid compounds described in JP-A-2-25493 Etc. can also be mentioned. In some cases, a structure containing a perfluoroalkyl group described in JP-A-61-22048 is preferably used. Furthermore, Journal of Japan Adhesion Association vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 (1984), which are introduced as photocurable monomers and oligomers, can also be used.

上述した他の多官能性単量体は、1種単独で用いる以外に、2種以上を組み合わせて用いることができる。   The other polyfunctional monomers described above can be used in combination of two or more, in addition to being used alone.

これらの多官能性単量体について、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、着色感光性樹脂組成物の最終的な性能設計にあわせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましい。また、硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。
また、硬化性組成物に含有される他の成分(例えば、光重合開始剤、着色剤(顔料、染料)等、バインダーポリマー等)との相溶性、分散性に対しても、多官能性単量体の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板等との密着性を向上させる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
About these polyfunctional monomers, the detail of usage methods, such as the structure, single use, combined use, and addition amount, can be arbitrarily set according to the final performance design of a colored photosensitive resin composition. For example, it is selected from the following viewpoints.
From the viewpoint of sensitivity, a structure having a large unsaturated group content per molecule is preferable. Further, in order to increase the strength of the cured film, those having three or more functionalities are preferable, and further, different functional numbers and different polymerizable groups (for example, acrylic acid ester, methacrylic acid ester, styrene compound, vinyl ether compound). A method of adjusting both sensitivity and intensity by using a combination of these materials is also effective.
In addition, with respect to compatibility and dispersibility with other components contained in the curable composition (for example, photopolymerization initiators, colorants (pigments, dyes, etc.), binder polymers, etc.) The selection and use method of the monomer is an important factor. For example, the compatibility may be improved by using a low-purity compound or using two or more kinds in combination. In addition, a specific structure may be selected for the purpose of improving adhesion with a substrate or the like.

本発明の(C)重合性化合物としては、単官能性単量体を併用することができる。単官能性単量体の含有量は、多官能性単量体(カルボキシル基含有多官能性単量体+他の多官能性単量体)100重量部に対して5〜90重量部が好ましく10〜50重量部がより好ましい。   As the polymerizable compound (C) of the present invention, a monofunctional monomer can be used in combination. The content of the monofunctional monomer is preferably 5 to 90 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyfunctional monomer (carboxyl group-containing polyfunctional monomer + other polyfunctional monomer). 10-50 weight part is more preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物において、(C)重合性化合物の総含有量、即ち「カルボキシル基含有多官能性単量体の含有量+他の多官能性単量体の含有量+単官能性単量体の含有量」は、バインダー樹脂100質量部に対して、通常、5〜500質量部、好ましくは20〜300質量部、さらに好ましくは50〜150質量部である。上記範囲とすることで、画素強度、表面平滑性、現像性が良好となる。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, the total content of the polymerizable compound (C), ie, “content of carboxyl group-containing polyfunctional monomer + content of other polyfunctional monomer + simple The "functional monomer content" is usually 5 to 500 parts by mass, preferably 20 to 300 parts by mass, and more preferably 50 to 150 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder resin. By setting it as the said range, pixel intensity | strength, surface smoothness, and developability become favorable.

本発明の着色感光性樹脂組成物において、(C)重合性化合物の総含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分中、5質量%〜40質量%であることが好ましく、15質量%〜40質量%であることがより好ましく、20質量%〜40質量%であることが更に好ましい。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, the total content of the polymerizable compound (C) is preferably 5% by mass to 40% by mass in the total solid content of the colored photosensitive resin composition, and 15% by mass. It is more preferable that it is% -40 mass%, and it is still more preferable that it is 20 mass%-40 mass%.

本発明の着色感光性樹脂組成物において、(C)重合性化合物と後述する(D)光重合開始剤との質量比「(D)光重合開始剤/(C)重合性化合物」は0.1以上2.0以下であり、好ましくは0.1以上1.0以下であり、特に好ましくは0.3以上0.9以下である。上記範囲内とすることで、パターン形成性が良好で、基板との密着性に優れる。また、露光・現像後のマスク太り量が充分であり、パターン剥離が抑制される。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, the mass ratio ((D) photopolymerization initiator / (C) polymerizable compound) between (C) the polymerizable compound and (D) the photopolymerization initiator described later is 0.00. 1 or more and 2.0 or less, preferably 0.1 or more and 1.0 or less, particularly preferably 0.3 or more and 0.9 or less. By setting it within the above range, the pattern formability is good and the adhesion to the substrate is excellent. Further, the amount of mask thickening after exposure and development is sufficient, and pattern peeling is suppressed.

<(D)光重合開始剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(D)光重合開始剤の少なくとも1種を含有し、(D)光重合開始剤の少なくとも1種がロフィン系光重合開始剤又はオキシム系光重合開始剤である。
<(D) Photopolymerization initiator>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (D) at least one photopolymerization initiator, and (D) at least one photopolymerization initiator is a lophine photopolymerization initiator or an oxime photopolymerization initiator. It is an agent.

(D)光重合開始剤として用いられるロフィン系光重合開始剤としては、例えば、ヘキサアリールビイミダゾール化合物が挙げられる。ヘキサアリールビイミダゾール系化合物としては、例えば、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5.5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、   (D) As a lophine type photoinitiator used as a photoinitiator, a hexaaryl biimidazole compound is mentioned, for example. Examples of the hexaarylbiimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2-chlorophenyl)- 4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) ) Biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,4- Dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichloro) Phenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5 ′ -Tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5.5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2' -Bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-methylphenyl) -4,4', 5 5′-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxyca Bonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-ethyl) Phenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4 -Ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2 -Phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4', 5,5'-tetrakis (4-phenoxy) Carbonylphenyl) biimidazole,

2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(4−メトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(3−メトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(3,4−ジメトキシフェニル)ビイミダゾール、 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (4-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (3-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (3,4-dimethoxyphenyl) biimidazole ,

2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジシアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリシアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジエチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリエチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール等を挙げることができる。 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′ , 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2, 4,6-tribromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dicyanophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra Phenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-tricyanophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dimethylphenyl) ) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimi Sol, 2,2′-bis (2,4,6-trimethylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-diethylphenyl) -4 , 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-triethylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2 ′ -Bis (2,4-diphenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-triphenylphenyl) -4,4', 5 , 5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-fluorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, and the like.

上記の中でも、特に好ましい化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、保土ヶ谷化学工業製 B−CIM、)、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(3,4−ジメトキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、日本シイベルヘグナー製 HABI1311)、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、黒金化成)が挙げられる。
これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
Among these, particularly preferable compounds include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (for example, B-CIM, manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), 2 , 2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (3,4-dimethoxyphenyl) biimidazole (for example, HABI1311 manufactured by Nippon Siebel Hegner), 2,2′-bis (2 -Methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (for example, black gold chemical).
These may be used alone or in combination of two or more.

(D)光重合開始剤として用いられるオキシム系光重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル化合物、ケトオキシム化合物等が挙げられる。これらの中でも、感度やベーク後の着色の観点から、下記一般式(III)で表されるケトオキシム系光重合開始剤が好ましい。   (D) As an oxime system photoinitiator used as a photoinitiator, an oxime ester compound, a ketoxime compound, etc. are mentioned, for example. Among these, from the viewpoint of sensitivity and coloring after baking, a ketoxime photopolymerization initiator represented by the following general formula (III) is preferable.

一般式(III)中、R及びXは、各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。nは0〜5の整数である。Xが複数存在する場合、複数のXは、各々独立に一価の置換基を表す。   In general formula (III), R and X each independently represent a monovalent substituent, A represents a divalent organic group, and Ar represents an aryl group. n is an integer of 0-5. When a plurality of X are present, the plurality of X each independently represents a monovalent substituent.

前記Rで表される一価の置換基としては、以下に示す一価の非金属原子団であることが好ましい。
Rで表される一価の非金属原子団としては、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基、置換基を有してもよいアリールスルフィニル基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基、置換基を有してもよいアシル基、置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアリールオキシカルボニル基、置換基を有してもよいホスフィノイル基、置換基を有してもよい複素環基、置換基を有してもよいアルキルチオカルボニル基、置換基を有してもよいアリールチオカルボニル基、置換基を有してもよいジアルキルアミノカルボニル基、置換基を有してもよいジアルキルアミノチオカルボニル基等が挙げられる。
The monovalent substituent represented by R is preferably a monovalent nonmetallic atomic group shown below.
Examples of the monovalent nonmetallic atomic group represented by R include an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, and a substituent. An alkynyl group which may have a substituent, an alkylsulfinyl group which may have a substituent, an arylsulfinyl group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, and a substituent An arylsulfonyl group which may have a substituent, an acyl group which may have a substituent, an alkoxycarbonyl group which may have a substituent, an aryloxycarbonyl group which may have a substituent, and a substituent. Good phosphinoyl group, heterocyclic group which may have a substituent, alkylthiocarbonyl group which may have a substituent, arylthiocarbonyl group which may have a substituent, dialkyl which may have a substituent Aminocal Group, optionally dialkylaminothiocarbonyl group, or the like may have a substituent.

置換基を有してもよいアルキル基としては、炭素数1〜30のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクタデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、1−エチルペンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、2−エチルヘキシル基、フェナシル基、1−ナフトイルメチル基、2−ナフトイルメチル基、4−メチルスルファニルフェナシル基、4−フェニルスルファニルフェナシル基、4−ジメチルアミノフェナシル基、4−シアノフェナシル基、4−メチルフェナシル基、2−メチルフェナシル基、3−フルオロフェナシル基、3−トリフルオロメチルフェナシル基、3−ニトロフェナシル基等が挙げられる。   As the alkyl group which may have a substituent, an alkyl group having 1 to 30 carbon atoms is preferable, for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, hexyl group, octyl group, decyl group, dodecyl group, Octadecyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group, 1-ethylpentyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, trifluoromethyl group, 2-ethylhexyl group, phenacyl group, 1-naphthoylmethyl group 2-naphthoylmethyl group, 4-methylsulfanylphenacyl group, 4-phenylsulfanylphenacyl group, 4-dimethylaminophenacyl group, 4-cyanophenacyl group, 4-methylphenacyl group, 2-methylphenacyl group , 3-fluorophenacyl group, 3-trifluoromethylphenacyl group, 3-nitro Enashiru group, and the like.

置換基を有してもよいアリール基としては、炭素数6〜30のアリール基が好ましく、例えば、フェニル基、ビフェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、9−アンスリル基、9−フェナントリル基、1−ピレニル基、5−ナフタセニル基、1−インデニル基、2−アズレニル基、9−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、o−、m−、及びp−トリル基、キシリル基、o−、m−、及びp−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、オバレニル基等が挙げられる。   The aryl group which may have a substituent is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenyl group, a biphenyl group, a 1-naphthyl group, a 2-naphthyl group, a 9-anthryl group, and a 9-phenanthryl. Group, 1-pyrenyl group, 5-naphthacenyl group, 1-indenyl group, 2-azurenyl group, 9-fluorenyl group, terphenyl group, quarterphenyl group, o-, m-, and p-tolyl group, xylyl group, o-, m-, and p-cumenyl, mesityl, pentarenyl, binaphthalenyl, tarnaphthalenyl, quarternaphthalenyl, heptaenyl, biphenylenyl, indacenyl, fluoranthenyl, acenaphthylenyl, aceanthrylenyl Group, phenalenyl group, fluorenyl group, anthryl group, bianthracenyl group, taran Rasenyl group, quarter anthracenyl group, anthraquinolyl group, phenanthryl group, triphenylenyl group, pyrenyl group, chrysenyl group, naphthacenyl group, preadenyl group, picenyl group, perylenyl group, pentaphenyl group, pentacenyl group, tetraphenylenyl group, Examples include a hexaphenyl group, a hexacenyl group, a rubicenyl group, a coronenyl group, a trinaphthylenyl group, a heptaphenyl group, a heptacenyl group, a pyranthrenyl group, and an ovalenyl group.

置換基を有してもよいアルケニル基としては、炭素数2〜10のアルケニル基が好ましく、例えば、ビニル基、アリル基、スチリル基等が挙げられる。   As an alkenyl group which may have a substituent, a C2-C10 alkenyl group is preferable, for example, a vinyl group, an allyl group, a styryl group etc. are mentioned.

置換基を有してもよいアルキニル基としては、炭素数2〜10のアルキニル基が好ましく、例えば、エチニル基、プロピニル基、プロパルギル基等が挙げられる。   The alkynyl group which may have a substituent is preferably an alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, and examples thereof include an ethynyl group, a propynyl group, and a propargyl group.

置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基としては、炭素数1〜20のアルキルスルフィニル基が好ましく、例えば、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、プロピルスルフィニル基、イソプロピルスルフィニル基、ブチルスルフィニル基、ヘキシルスルフィニル基、シクロヘキシルスルフィニル基、オクチルスルフィニル基、2−エチルヘキシルスルフィニル基、デカノイルスルフィニル基、ドデカノイルスルフィニル基、オクタデカノイルスルフィニル基、シアノメチルスルフィニル基、メトキシメチルスルフィニル基等が挙げられる。   The alkylsulfinyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfinyl group having 1 to 20 carbon atoms. For example, a methylsulfinyl group, an ethylsulfinyl group, a propylsulfinyl group, an isopropylsulfinyl group, a butylsulfinyl group, and a hexylsulfinyl group. Group, cyclohexylsulfinyl group, octylsulfinyl group, 2-ethylhexylsulfinyl group, decanoylsulfinyl group, dodecanoylsulfinyl group, octadecanoylsulfinyl group, cyanomethylsulfinyl group, methoxymethylsulfinyl group and the like.

置換基を有してもよいアリールスルフィニル基としては、炭素数6〜30のアリールスルフィニル基が好ましく、例えば、フェニルスルフィニル基、1−ナフチルスルフィニル基、2−ナフチルスルフィニル基、2−クロロフェニルスルフィニル基、2−メチルフェニルスルフィニル基、2−メトキシフェニルスルフィニル基、2−ブトキシフェニルスルフィニル基、3−クロロフェニルスルフィニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルフィニル基、3−シアノフェニルスルフィニル基、3−ニトロフェニルスルフィニル基、4−フルオロフェニルスルフィニル基、4−シアノフェニルスルフィニル基、4−メトキシフェニルスルフィニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルフィニル基等が挙げられる。   The arylsulfinyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfinyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfinyl group, 1-naphthylsulfinyl group, 2-naphthylsulfinyl group, 2-chlorophenylsulfinyl group, 2-methylphenylsulfinyl group, 2-methoxyphenylsulfinyl group, 2-butoxyphenylsulfinyl group, 3-chlorophenylsulfinyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfinyl group, 3-cyanophenylsulfinyl group, 3-nitrophenylsulfinyl group, 4-fluorophenylsulfinyl group, 4-cyanophenylsulfinyl group, 4-methoxyphenylsulfinyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfinyl group, 4-phenylsulfanylphenylsulfuric group Iniru group, 4-dimethylaminophenyl sulfinyl group and the like.

置換基を有してもよいアルキルスルホニル基としては、炭素数1〜20のアルキルスルホニル基が好ましく、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、イソプロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2−エチルヘキシルスルホニル基、デカノイルスルホニル基、ドデカノイルスルホニル基、オクタデカノイルスルホニル基、シアノメチルスルホニル基、メトキシメチルスルホニル基、パーフルオロアルキルスルホニル基等が挙げられる。   The alkylsulfonyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfonyl group having 1 to 20 carbon atoms. For example, a methylsulfonyl group, an ethylsulfonyl group, a propylsulfonyl group, an isopropylsulfonyl group, a butylsulfonyl group, a hexylsulfonyl group. Group, cyclohexylsulfonyl group, octylsulfonyl group, 2-ethylhexylsulfonyl group, decanoylsulfonyl group, dodecanoylsulfonyl group, octadecanoylsulfonyl group, cyanomethylsulfonyl group, methoxymethylsulfonyl group, perfluoroalkylsulfonyl group, etc. It is done.

置換基を有してもよいアリールスルホニル基としては、炭素数6〜30のアリールスルホニル基が好ましく、例えば、フェニルスルホニル基、1−ナフチルスルホニル基、2−ナフチルスルホニル基、2−クロロフェニルスルホニル基、2−メチルフェニルスルホニル基、2−メトキシフェニルスルホニル基、2−ブトキシフェニルスルホニル基、3−クロロフェニルスルホニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルホニル基、3−シアノフェニルスルホニル基、3−ニトロフェニルスルホニル基、4−フルオロフェニルスルホニル基、4−シアノフェニルスルホニル基、4−メトキシフェニルスルホニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルホニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルホニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルホニル基等が挙げられる。   The arylsulfonyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfonyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfonyl group, a 1-naphthylsulfonyl group, a 2-naphthylsulfonyl group, a 2-chlorophenylsulfonyl group, 2-methylphenylsulfonyl group, 2-methoxyphenylsulfonyl group, 2-butoxyphenylsulfonyl group, 3-chlorophenylsulfonyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfonyl group, 3-cyanophenylsulfonyl group, 3-nitrophenylsulfonyl group, 4-fluorophenylsulfonyl group, 4-cyanophenylsulfonyl group, 4-methoxyphenylsulfonyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-phenylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-dimethylaminopheny Sulfonyl group, and the like.

置換基を有してもよいアシル基としては、炭素数2〜20のアシル基が好ましく、例えば、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、トリフルオロメチルカルボニル基、ペンタノイル基、ベンゾイル基、1−ナフトイル基、2−ナフトイル基、4−メチルスルファニルベンゾイル基、4−フェニルスルファニルベンゾイル基、4−ジメチルアミノベンゾイル基、4−ジエチルアミノベンゾイル基、2−クロロベンゾイル基、2−メチルベンゾイル基、2−メトキシベンゾイル基、2−ブトキシベンゾイル基、3−クロロベンゾイル基、3−トリフルオロメチルベンゾイル基、3−シアノベンゾイル基、3−ニトロベンゾイル基、4−フルオロベンゾイル基、4−シアノベンゾイル基、4−メトキシベンゾイル基等が挙げられる。   The acyl group which may have a substituent is preferably an acyl group having 2 to 20 carbon atoms, for example, acetyl group, propanoyl group, butanoyl group, trifluoromethylcarbonyl group, pentanoyl group, benzoyl group, 1-naphthoyl. Group, 2-naphthoyl group, 4-methylsulfanylbenzoyl group, 4-phenylsulfanylbenzoyl group, 4-dimethylaminobenzoyl group, 4-diethylaminobenzoyl group, 2-chlorobenzoyl group, 2-methylbenzoyl group, 2-methoxybenzoyl Group, 2-butoxybenzoyl group, 3-chlorobenzoyl group, 3-trifluoromethylbenzoyl group, 3-cyanobenzoyl group, 3-nitrobenzoyl group, 4-fluorobenzoyl group, 4-cyanobenzoyl group, 4-methoxybenzoyl Groups and the like.

置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基としては、炭素数2〜20のアルコキシカルボニル基が好ましく、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、デシルオキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、トリフルオロメチルオキシカルボニル基等が挙げられる。   The alkoxycarbonyl group which may have a substituent is preferably an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, such as a methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, propoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, hexyloxycarbonyl group, octyl. Examples thereof include an oxycarbonyl group, a decyloxycarbonyl group, an octadecyloxycarbonyl group, and a trifluoromethyloxycarbonyl group.

置換基を有してもよいアリールオキシカルボニル基としては、フェノキシカルボニル基、1−ナフチルオキシカルボニル基、2−ナフチルオキシカルボニル基、4−メチルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−フェニルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−ジメチルアミノフェニルオキシカルボニル基、4−ジエチルアミノフェニルオキシカルボニル基、2−クロロフェニルオキシカルボニル基、2−メチルフェニルオキシカルボニル基、2−メトキシフェニルオキシカルボニル基、2−ブトキシフェニルオキシカルボニル基、3−クロロフェニルオキシカルボニル基、3−トリフルオロメチルフェニルオキシカルボニル基、3−シアノフェニルオキシカルボニル基、3−ニトロフェニルオキシカルボニル基、4−フルオロフェニルオキシカルボニル基、4−シアノフェニルオキシカルボニル基、4−メトキシフェニルオキシカルボニル基等が挙げられる。   As the aryloxycarbonyl group which may have a substituent, phenoxycarbonyl group, 1-naphthyloxycarbonyl group, 2-naphthyloxycarbonyl group, 4-methylsulfanylphenyloxycarbonyl group, 4-phenylsulfanylphenyloxycarbonyl group 4-dimethylaminophenyloxycarbonyl group, 4-diethylaminophenyloxycarbonyl group, 2-chlorophenyloxycarbonyl group, 2-methylphenyloxycarbonyl group, 2-methoxyphenyloxycarbonyl group, 2-butoxyphenyloxycarbonyl group, 3 -Chlorophenyloxycarbonyl group, 3-trifluoromethylphenyloxycarbonyl group, 3-cyanophenyloxycarbonyl group, 3-nitrophenyloxycarbonyl group, 4-fur B phenyloxycarbonyl group, 4-cyanophenyl oxycarbonyl group, and 4-methoxyphenyloxycarbonyl group.

置換基を有してもよいホスフィノイル基としては、総炭素数2〜50のホスフィノイル基が好ましく、例えば、ジメチルホスフィノイル基、ジエチルホスフィノイル基、ジプロピルホスフィノイル基、ジフェニルホスフィノイル基、ジメトキシホスフィノイル基、ジエトキシホスフィノイル基、ジベンゾイルホスフィノイル基、ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)ホスフィノイル基等が挙げられる。   The phosphinoyl group which may have a substituent is preferably a phosphinoyl group having 2 to 50 carbon atoms, for example, dimethylphosphinoyl group, diethylphosphinoyl group, dipropylphosphinoyl group, diphenylphosphinoyl group. Group, dimethoxyphosphinoyl group, diethoxyphosphinoyl group, dibenzoylphosphinoyl group, bis (2,4,6-trimethylphenyl) phosphinoyl group and the like.

置換基を有してもよい複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、芳香族或いは脂肪族の複素環が好ましい。例えば、チエニル基、ベンゾ[b]チエニル基、ナフト[2,3−b]チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、2H−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、3H−インドリル基、インドリル基、1H−インダゾリル基、プリニル基、4H−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサニリル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、4aH−カルバゾリル基、カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、チオキサントリル基等が挙げられる。   The heterocyclic group that may have a substituent is preferably an aromatic or aliphatic heterocyclic ring containing a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom, or a phosphorus atom. For example, thienyl group, benzo [b] thienyl group, naphtho [2,3-b] thienyl group, thiantenyl group, furyl group, pyranyl group, isobenzofuranyl group, chromenyl group, xanthenyl group, phenoxathinyl group, 2H-pyrrolyl group, pyrrolyl group, imidazolyl group, pyrazolyl group, pyridyl group, pyrazinyl group, pyrimidinyl group, pyridazinyl group, indolizinyl group, isoindolyl group, 3H-indolyl group, indolyl group, 1H-indazolyl group, purinyl group, 4H- Quinolidinyl group, isoquinolyl group, quinolyl group, phthalazinyl group, naphthyridinyl group, quinoxanilyl group, quinazolinyl group, cinnolinyl group, pteridinyl group, 4aH-carbazolyl group, carbazolyl group, β-carbolinyl group, phenanthridinyl group, acridinyl group, perimidinyl group Nyl group, phenanthrolinyl group, phenazinyl group, phenalsadinyl group, isothiazolyl group, phenothiazinyl group, isoxazolyl group, furazanyl group, phenoxazinyl group, isochromanyl group, chromanyl group, pyrrolidinyl group, pyrrolinyl group, imidazolidinyl group, imidazolinyl group, pyrazolidinyl group Group, pyrazolinyl group, piperidyl group, piperazinyl group, indolinyl group, isoindolinyl group, quinuclidinyl group, morpholinyl group, thioxanthryl group and the like.

置換基を有してもよいアルキルチオカルボニル基としては、例えば、メチルチオカルボニル基、プロピルチオカルボニル基、ブチルチオカルボニル基、ヘキシルチオカルボニル基、オクチルチオカルボニル基、デシルチオカルボニル基、オクタデシルチオカルボニル基、トリフルオロメチルチオカルボニル基等が挙げられる。   Examples of the alkylthiocarbonyl group which may have a substituent include, for example, methylthiocarbonyl group, propylthiocarbonyl group, butylthiocarbonyl group, hexylthiocarbonyl group, octylthiocarbonyl group, decylthiocarbonyl group, octadecylthiocarbonyl group, Examples thereof include a trifluoromethylthiocarbonyl group.

置換基を有してもよいアリールチオカルボニル基としては、1−ナフチルチオカルボニル基、2−ナフチルチオカルボニル基、4−メチルスルファニルフェニルチオカルボニル基、4−フェニルスルファニルフェニルチオカルボニル基、4−ジメチルアミノフェニルチオカルボニル基、4−ジエチルアミノフェニルチオカルボニル基、2−クロロフェニルチオカルボニル基、2−メチルフェニルチオカルボニル基、2−メトキシフェニルチオカルボニル基、2−ブトキシフェニルチオカルボニル基、3−クロロフェニルチオカルボニル基、3−トリフルオロメチルフェニルチオカルボニル基、3−シアノフェニルチオカルボニル基、3−ニトロフェニルチオカルボニル基、4−フルオロフェニルチオカルボニル基、4−シアノフェニルチオカルボニル基、4−メトキシフェニルチオカルボニル基等が挙げられる。   Examples of the arylthiocarbonyl group which may have a substituent include 1-naphthylthiocarbonyl group, 2-naphthylthiocarbonyl group, 4-methylsulfanylphenylthiocarbonyl group, 4-phenylsulfanylphenylthiocarbonyl group, 4-dimethyl. Aminophenylthiocarbonyl group, 4-diethylaminophenylthiocarbonyl group, 2-chlorophenylthiocarbonyl group, 2-methylphenylthiocarbonyl group, 2-methoxyphenylthiocarbonyl group, 2-butoxyphenylthiocarbonyl group, 3-chlorophenylthiocarbonyl group Group, 3-trifluoromethylphenylthiocarbonyl group, 3-cyanophenylthiocarbonyl group, 3-nitrophenylthiocarbonyl group, 4-fluorophenylthiocarbonyl group, 4-cyanophenylthiocarbonyl group Boniru group, 4-methoxyphenyl thiocarbonyl group.

置換基を有してもよいジアルキルアミノカルボニル基としては、ジメチルアミノカルボニル基、ジメエルアミノカルボニル基、ジプロピルアミノカルボニル基、ジブチルアミノカルボニル基等が挙げられる。   Examples of the dialkylaminocarbonyl group that may have a substituent include a dimethylaminocarbonyl group, a dimethylaminocarbonyl group, a dipropylaminocarbonyl group, and a dibutylaminocarbonyl group.

置換基を有してもよいジアルキルアミノチオカルボニル基としては、ジメチルアミノチオカルボニル基、ジプロピルアミノチオカルボニル基、ジブチルアミノチオカルボニル基等が挙げられる。   Examples of the dialkylaminothiocarbonyl group which may have a substituent include a dimethylaminothiocarbonyl group, a dipropylaminothiocarbonyl group, and a dibutylaminothiocarbonyl group.

前記Rとしては、高感度化の点から、無置換の又は置換基を有するアシル基がより好ましく、具体的には、無置換の又は置換基を有するアセチル基、プロピオニル基、ベンゾイル基、トルイル基が好ましい。
前記置換基としては、例えば、下記の構造式で表される基が挙げられ、中でも、(d−1)(d−4)及び(d−5)のいずれかが好ましい。
R is more preferably an unsubstituted or substituted acyl group from the viewpoint of high sensitivity, specifically, an unsubstituted or substituted acetyl group, propionyl group, benzoyl group, toluyl group. Is preferred.
Examples of the substituent include groups represented by the following structural formula, and among these, any of (d-1), (d-4), and (d-5) is preferable.

前記Aで表される二価の有機基としては、置換基を有してもよい炭素数1〜12のアルキレン、置換基を有してもよいシクロヘキシレン、置換基を有してもよいアルキニレンが挙げられる。
これらの基に導入しうる置換基としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、エトキシ基、tert−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、p−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、tert−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、p−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、p−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基等のアリール基等の他、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、p−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウミル基、ジメチルスルホニウミル基、トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。
Examples of the divalent organic group represented by A include alkylene having 1 to 12 carbon atoms which may have a substituent, cyclohexylene which may have a substituent, and alkynylene which may have a substituent. Is mentioned.
Examples of the substituent that can be introduced into these groups include halogen atoms such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom and iodine atom, alkoxy groups such as methoxy group, ethoxy group and tert-butoxy group, phenoxy group, p- Aryloxy groups such as tolyloxy group, alkoxycarbonyl groups such as methoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, phenoxycarbonyl group, acyloxy groups such as acetoxy group, propionyloxy group, benzoyloxy group, acetyl group, benzoyl group, isobutyryl group, acryloyl group Group, acyl group such as methacryloyl group, methoxalyl group, methylsulfanyl group, alkylsulfanyl group such as tert-butylsulfanyl group, arylsulfanyl group such as phenylsulfanyl group, p-tolylsulfanyl group, methylamino group, Alkylamino groups such as cyclohexylamino group, dialkylamino groups such as dimethylamino group, diethylamino group, morpholino group and piperidino group, arylamino groups such as phenylamino group and p-tolylamino group, methyl group, ethyl group, tert- In addition to alkyl groups such as butyl group and dodecyl group, phenyl groups, p-tolyl group, xylyl group, cumenyl group, naphthyl group, anthryl group, phenanthryl group and the like, hydroxy group, carboxy group, formyl group, mercapto Group, sulfo group, mesyl group, p-toluenesulfonyl group, amino group, nitro group, cyano group, trifluoromethyl group, trichloromethyl group, trimethylsilyl group, phosphinico group, phosphono group, trimethylammonium group, dimethylsulfonyl group Group, triphenylphenacylphos Honiumiru group, and the like.

中でも、前記Aとしては、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、無置換のアルキレン基、アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基)で置換されたアルキレン基、アルケニル基(例えば、ビニル基、アリル基)で置換されたアルキレン基、アリール基(例えば、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、スチリル基)で置換されたアルキレン基が好ましい。   Among them, the A is substituted with an unsubstituted alkylene group or an alkyl group (for example, a methyl group, an ethyl group, a tert-butyl group, or a dodecyl group) from the viewpoint of increasing sensitivity and suppressing coloring due to heating. An alkylene group, an alkylene group substituted with an alkenyl group (eg, vinyl group, allyl group), an aryl group (eg, phenyl group, p-tolyl group, xylyl group, cumenyl group, naphthyl group, anthryl group, phenanthryl group, styryl) An alkylene group substituted with a group) is preferred.

前記Arで表されるアリール基としては、炭素数6〜30のアリール基が好ましく、また、置換基を有していてもよい。
具体的にはArは、フェニル基、ビフェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、9−アンスリル基、9−フェナントリル基、1−ピレニル基、5−ナフタセニル基、1−インデニル基、2−アズレニル基、9−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、o−、m−、及びp−トリル基、キシリル基、o−、m−、及びp−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、オバレニル基等が挙げられる。中でも、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、置換又は無置換のフェニル基が好ましい。
The aryl group represented by Ar is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms and may have a substituent.
Specifically, Ar is phenyl group, biphenyl group, 1-naphthyl group, 2-naphthyl group, 9-anthryl group, 9-phenanthryl group, 1-pyrenyl group, 5-naphthacenyl group, 1-indenyl group, 2- Azulenyl group, 9-fluorenyl group, terphenyl group, quarterphenyl group, o-, m-, and p-tolyl group, xylyl group, o-, m-, and p-cumenyl group, mesityl group, pentarenyl group, binaphthalenyl Group, turnaphthalenyl group, quarternaphthalenyl group, heptaenyl group, biphenylenyl group, indacenyl group, fluoranthenyl group, acenaphthylenyl group, aceanthrylenyl group, phenalenyl group, fluorenyl group, anthryl group, bianthracenyl group, teranthracenyl group , Quarter anthracenyl group, anthraquinolyl group, phena Tolyl group, triphenylenyl group, pyrenyl group, chrysenyl group, naphthacenyl group, preadenyl group, picenyl group, perylenyl group, pentaphenyl group, pentacenyl group, tetraphenylenyl group, hexaphenyl group, hexacenyl group, rubicenyl group, coronenyl group , A trinaphthylenyl group, a heptaphenyl group, a heptacenyl group, a pyrantrenyl group, an obalenyl group, and the like. Of these, a substituted or unsubstituted phenyl group is preferable from the viewpoint of increasing sensitivity and suppressing coloring due to heating.

上記フェニル基が置換基を有している場合、その置換基としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、エトキシ基、tert−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、p−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メチルチオオキシ基、エチルチオオキシ基、tert−ブチルチオオキシ基等のアルキルチオオキシ基、フェニルチオオキシ基、p−トリルチオオキシ基等のアリールチオオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、tert−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、p−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、p−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、p−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウミル基、ジメチルスルホニウミル基、トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。   When the phenyl group has a substituent, examples of the substituent include halogen atoms such as a fluorine atom, chlorine atom, bromine atom and iodine atom, alkoxy such as methoxy group, ethoxy group and tert-butoxy group. Aryloxy groups such as phenoxy groups, p-tolyloxy groups, alkylthiooxy groups such as methylthiooxy groups, ethylthiooxy groups, tert-butylthiooxy groups, phenylthiooxy groups, p-tolylthiooxy groups, etc. Alkoxycarbonyl groups such as ruthiooxy group, methoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, phenoxycarbonyl group, acyloxy groups such as acetoxy group, propionyloxy group, benzoyloxy group, acetyl group, benzoyl group, isobutyryl group, acryloyl group, methacryloyl group , Methoxalyl group An alkylsulfanyl group such as an acyl group, a methylsulfanyl group, and a tert-butylsulfanyl group, an arylsulfanyl group such as a phenylsulfanyl group and a p-tolylsulfanyl group, an alkylamino group such as a methylamino group and a cyclohexylamino group, and a dimethylamino group Dialkylamino groups such as diethylamino group, morpholino group and piperidino group, arylamino groups such as phenylamino group and p-tolylamino group, alkyl groups such as ethyl group, tert-butyl group and dodecyl group, hydroxy group, carboxy group, Formyl group, mercapto group, sulfo group, mesyl group, p-toluenesulfonyl group, amino group, nitro group, cyano group, trifluoromethyl group, trichloromethyl group, trimethylsilyl group, phosphinico group, phosphono group, trimethylammo Umiru group, dimethylsulfoxide Niu mill group, triphenyl phenacyl phosphonium Niu mill group, and the like.

一般式(III)においては、前記Arと隣接するSとで形成される「SAr」の構造が以下に示す構造であると、感度の点で好ましい。   In the general formula (III), it is preferable in terms of sensitivity that the structure of “SAr” formed by Ar and adjacent S is the following structure.

前記Xで表される一価の置換基としては、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオオキシ基、置換基を有してもよいアリールチオオキシ基、置換基を有してもよいハロゲン化アルキル基、N上に置換基を有してもよいアミド基、置換基を有してもよいアシルオキシ基、置換基を有してもよいアルキルスルファニル基、置換基を有してもよいアリールスルファニル基、置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基、置換基を有してもよいアリールスルフィニル基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基、置換基を有してもよいアシル基、置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいカルバモイル基、置換基を有してもよいスルファモイル基、置換基を有してもよいアミノ基、置換基を有してもよいホスフィノイル基、置換基を有してもよい複素環基、ハロゲン原子等が挙げられる。   Examples of the monovalent substituent represented by X include an alkyl group that may have a substituent, an aryl group that may have a substituent, an alkenyl group that may have a substituent, and a substituent. An alkynyl group which may have a substituent, an alkoxy group which may have a substituent, an aryloxy group which may have a substituent, an alkylthiooxy group which may have a substituent, and a substituent. A good arylthiooxy group, a halogenated alkyl group that may have a substituent, an amide group that may have a substituent on N, an acyloxy group that may have a substituent, and a substituent May have an alkylsulfanyl group, an arylsulfanyl group which may have a substituent, an alkylsulfinyl group which may have a substituent, an arylsulfinyl group which may have a substituent, or a substituent. Alkylsulfonyl group, substituent An arylsulfonyl group that may have a substituent, an acyl group that may have a substituent, an alkoxycarbonyl group that may have a substituent, a carbamoyl group that may have a substituent, and a substituent. Examples thereof include a sulfamoyl group, an amino group which may have a substituent, a phosphinoyl group which may have a substituent, a heterocyclic group which may have a substituent, and a halogen atom.

置換基を有してもよいアルキル基としては、炭素数1〜30のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクタデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、1−エチルペンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、2−エチルヘキシル基、フェナシル基、1−ナフトイルメチル基、2−ナフトイルメチル基、4−メチルスルファニルフェナシル基、4−フェニルスルファニルフェナシル基、4−ジメチルアミノフェナシル基、4−シアノフェナシル基4−メチルフェナシル基、2−メチルフェナシル基、3−フルオロフェナシル基、3−トリフルオロメチルフェナシル基、3−ニトロフェナシル基等が挙げられる。   As the alkyl group which may have a substituent, an alkyl group having 1 to 30 carbon atoms is preferable, for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, hexyl group, octyl group, decyl group, dodecyl group, Octadecyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, 1-ethylpentyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, trifluoromethyl group, 2-ethylhexyl group, phenacyl group, 1-naphthoylmethyl group 2-naphthoylmethyl group, 4-methylsulfanylphenacyl group, 4-phenylsulfanylphenacyl group, 4-dimethylaminophenacyl group, 4-cyanophenacyl group 4-methylphenacyl group, 2-methylphenacyl group, 3-fluorophenacyl group, 3-trifluoromethylphenacyl group, 3-ni Rofenashiru group, and the like.

置換基を有してもよいアリール基としては、炭素数6〜30のアリール基が好ましく、例えば、フェニル基、ビフェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、9−アンスリル基、9−フェナントリル基、1−ピレニル基、5−ナフタセニル基、1−インデニル基、2−アズレニル基、9−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、o−、m−、及びp−トリル基、キシリル基、o−、m−、及びp−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、オバレニル基等がある。   The aryl group which may have a substituent is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenyl group, a biphenyl group, a 1-naphthyl group, a 2-naphthyl group, a 9-anthryl group, and a 9-phenanthryl. Group, 1-pyrenyl group, 5-naphthacenyl group, 1-indenyl group, 2-azurenyl group, 9-fluorenyl group, terphenyl group, quarterphenyl group, o-, m-, and p-tolyl group, xylyl group, o-, m-, and p-cumenyl, mesityl, pentarenyl, binaphthalenyl, tarnaphthalenyl, quarternaphthalenyl, heptaenyl, biphenylenyl, indacenyl, fluoranthenyl, acenaphthylenyl, aceanthrylenyl Group, phenalenyl group, fluorenyl group, anthryl group, bianthracenyl group, taran Rasenyl group, quarter anthracenyl group, anthraquinolyl group, phenanthryl group, triphenylenyl group, pyrenyl group, chrysenyl group, naphthacenyl group, preadenyl group, picenyl group, perylenyl group, pentaphenyl group, pentacenyl group, tetraphenylenyl group, Examples include a hexaphenyl group, a hexacenyl group, a ruvicenyl group, a coronenyl group, a trinaphthylenyl group, a heptaphenyl group, a heptacenyl group, a pyranthrenyl group, and an oberenyl group.

置換基を有してもよいアルケニル基としては、炭素数2〜10のアルケニル基が好ましく、例えば、ビニル基、アリル基、スチリル基等が挙げられる。   As an alkenyl group which may have a substituent, a C2-C10 alkenyl group is preferable, for example, a vinyl group, an allyl group, a styryl group etc. are mentioned.

置換基を有してもよいアルキニル基としては、炭素数2〜10のアルキニル基が好ましく、例えば、エチニル基、プロピニル基、プロパルギル基等が挙げられる。   The alkynyl group which may have a substituent is preferably an alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, and examples thereof include an ethynyl group, a propynyl group, and a propargyl group.

置換基を有してもよいアルコキシ基としては、炭素数1〜30のアルコキシ基が好ましく、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基、tert−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ヘキシルオキシキ、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、2−エチルヘキシルオキシ基、デシルオキシ基、ドデシルオキシ基、オクタデシルオキシ基、エトキシカルボニルメチル基、2−エチルヘキシルオキシカルボニルメチルオキシ基、アミノカルボニルメチルオキシ基、N,N−ジブチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−メチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−エチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−オクチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−メチル−N−ベンジルアミノカルボニルメチルオキシ基、ベンジルオキシ基、シアノメチルオキシ基等が挙げられる。   The alkoxy group which may have a substituent is preferably an alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms, for example, a methoxy group, an ethoxy group, a propyloxy group, an isopropyloxy group, a butoxy group, an isobutoxy group, or a sec-butoxy group. Tert-butoxy group, pentyloxy group, isopentyloxy group, hexyloxy group, heptyloxy group, octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, decyloxy group, dodecyloxy group, octadecyloxy group, ethoxycarbonylmethyl group, 2 -Ethylhexyloxycarbonylmethyloxy group, aminocarbonylmethyloxy group, N, N-dibutylaminocarbonylmethyloxy group, N-methylaminocarbonylmethyloxy group, N-ethylaminocarbonylmethyloxy group, N-octylaminocarb Methylpropenylmethyl group, N- methyl -N- benzylaminocarbonyl methyloxy group, a benzyloxy group, and a cyanomethyloxy group.

置換基を有してもよいアリールオキシ基としては、炭素数6〜30のアリールオキシ基が好ましく、例えば、フェニルオキシ基、1−ナフチルオキシ基、2−ナフチルオキシ基、2−クロロフェニルオキシ基、2−メチルフェニルオキシ基、2−メトキシフェニルオキシ基、2−ブトキシフェニルオキシ基、3−クロロフェニルオキシ基、3−トリフルオロメチルフェニルオキシ基、3−シアノフェニルオキシ基、3−ニトロフェニルオキシ基、4−フルオロフェニルオキシ基、4−シアノフェニルオキシ基、4−メトキシフェニルオキシ基、4−ジメチルアミノフェニルオキシ基、4−メチルスルファニルフェニルオキシ基、4−フェニルスルファニルフェニルオキシ基等が挙げられる。   The aryloxy group which may have a substituent is preferably an aryloxy group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenyloxy group, a 1-naphthyloxy group, a 2-naphthyloxy group, a 2-chlorophenyloxy group, 2-methylphenyloxy group, 2-methoxyphenyloxy group, 2-butoxyphenyloxy group, 3-chlorophenyloxy group, 3-trifluoromethylphenyloxy group, 3-cyanophenyloxy group, 3-nitrophenyloxy group, Examples include 4-fluorophenyloxy group, 4-cyanophenyloxy group, 4-methoxyphenyloxy group, 4-dimethylaminophenyloxy group, 4-methylsulfanylphenyloxy group, 4-phenylsulfanylphenyloxy group, and the like.

置換基を有してもよいアルキルチオオキシ基としては、炭素数1〜30のチオアルコキシ基が好ましく、例えば、メチルチオオキシ基、エチルチオオキシ基、プロピルチオオキシ基、イソプロピルチオオキシ基、ブチルチオオキシ基、イソブチルチオオキシ基、sec−ブチルチオオキシ基、tert−ブチルチオオキシ基、ペンチルチオオキシ基、イソペンチルチオオキシ基、ヘキシルチオオキシ基、ヘプチルチオオキシ基、オクチルチオオキシ基、2−エチルヘキシルチオオキシ基、デシルチオオキシ基、ドデシルチオオキシ基、オクタデシルチオオキシ基、ベンジルチオオキシ基等が挙げられる。   The alkylthiooxy group which may have a substituent is preferably a thioalkoxy group having 1 to 30 carbon atoms. For example, a methylthiooxy group, an ethylthiooxy group, a propylthiooxy group, an isopropylthiooxy group, a butylthiooxy group Group, isobutylthiooxy group, sec-butylthiooxy group, tert-butylthiooxy group, pentylthiooxy group, isopentylthiooxy group, hexylthiooxy group, heptylthiooxy group, octylthiooxy group, 2-ethylhexyl Examples include a thiooxy group, a decylthiooxy group, a dodecylthiooxy group, an octadecylthiooxy group, and a benzylthiooxy group.

置換基を有してもよいアリールチオオキシ基としては、炭素数6〜30のアリールチオオキシ基が好ましく、例えば、フェニルチオオキシ基、1−ナフチルチオオキシ基、2−ナフチルチオオキシ基、2−クロロフェニルチオオキシ基、2−メチルフェニルチオオキシ基、2−メトキシフェニルチオオキシ基、2−ブトキシフェニルチオオキシ基、3−クロロフェニルチオオキシ基、3−トリフルオロメチルフェニルチオオキシ基、3−シアノフェニルチオオキシ基、3−ニトロフェニルチオオキシ基、4−フルオロフェニルチオオキシ基、4−シアノフェニルチオオキシ基、4−メトキシフェニルチオオキシ基、4−ジメチルアミノフェニルチオオキシ基、4−メチルスルファニルフェニルチオオキシ基、4−フェニルスルファニルフェニルチオオキシ基等がある。   The arylthiooxy group which may have a substituent is preferably an arylthiooxy group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylthiooxy group, a 1-naphthylthiooxy group, a 2-naphthylthiooxy group, 2 -Chlorophenylthiooxy group, 2-methylphenylthiooxy group, 2-methoxyphenylthiooxy group, 2-butoxyphenylthiooxy group, 3-chlorophenylthiooxy group, 3-trifluoromethylphenylthiooxy group, 3-cyano Phenylthiooxy group, 3-nitrophenylthiooxy group, 4-fluorophenylthiooxy group, 4-cyanophenylthiooxy group, 4-methoxyphenylthiooxy group, 4-dimethylaminophenylthiooxy group, 4-methylsulfanyl Phenylthiooxy group, 4-phenylsulfanylphenyl There is thiooxyacids group, and the like.

置換基を有してもよいアシルオキシ基としては、炭素数2〜20のアシルオキシ基が好ましく、例えば、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ブタノイルオキシ基、ペンタノイルオキシ基、トリフルオロメチルカルボニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、1−ナフチルカルボニルオキシ基、2−ナフチルカルボニルオキシ基等が挙げられる。   The acyloxy group which may have a substituent is preferably an acyloxy group having 2 to 20 carbon atoms, such as an acetyloxy group, a propanoyloxy group, a butanoyloxy group, a pentanoyloxy group, or trifluoromethylcarbonyloxy. Group, benzoyloxy group, 1-naphthylcarbonyloxy group, 2-naphthylcarbonyloxy group and the like.

置換基を有してもよいアルキルスルファニル基としては、炭素数1〜20のアルキルスルファニル基が好ましく、例えば、メチルスルファニル基、エチルスルファニル基、プロピルスルファニル基、イソプロピルスルファニル基、ブチルスルファニル基、ヘキシルスルファニル基、シクロヘキシルスルファニル基、オクチルスルファニル基、2−エチルヘキシルスルファニル基、デカノイルスルファニル基、ドデカノイルスルファニル基、オクタデカノイルスルファニル基、シアノメチルスルファニル基、メトキシメチルスルファニル基等が挙げられる。   The alkylsulfanyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfanyl group having 1 to 20 carbon atoms. For example, a methylsulfanyl group, an ethylsulfanyl group, a propylsulfanyl group, an isopropylsulfanyl group, a butylsulfanyl group, or a hexylsulfanyl group. Group, cyclohexylsulfanyl group, octylsulfanyl group, 2-ethylhexylsulfanyl group, decanoylsulfanyl group, dodecanoylsulfanyl group, octadecanoylsulfanyl group, cyanomethylsulfanyl group, methoxymethylsulfanyl group and the like.

置換基を有してもよいアリールスルファニル基としては、炭素数6〜30のアリールスルファニル基が好ましく、例えば、フェニルスルファニル基、1−ナフチルスルファニル基、2−ナフチルスルファニル基、2−クロロフェニルスルファニル基、2−メチルフェニルスルファニル基、2−メトキシフェニルスルファニル基、2−ブトキシフェニルスルファニル基、3−クロロフェニルスルファニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルファニル基、3−シアノフェニルスルファニル基、3−ニトロフェニルスルファニル基、4−フルオロフェニルスルファニル基、4−シアノフェニルスルファニル基、4−メトキシフェニルスルファニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルファニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルファニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルファニル基等が挙げられる。   The arylsulfanyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfanyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfanyl group, 1-naphthylsulfanyl group, 2-naphthylsulfanyl group, 2-chlorophenylsulfanyl group, 2-methylphenylsulfanyl group, 2-methoxyphenylsulfanyl group, 2-butoxyphenylsulfanyl group, 3-chlorophenylsulfanyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfanyl group, 3-cyanophenylsulfanyl group, 3-nitrophenylsulfanyl group, 4-fluorophenylsulfanyl group, 4-cyanophenylsulfanyl group, 4-methoxyphenylsulfanyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfanyl group, 4-phenylsulfanylphenylsulfuric group Aniru group, 4-dimethylamino-phenylsulfanyl group and the like.

置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基としては、炭素数1〜20のアルキルスルフィニル基が好ましく、例えば、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、プロピルスルフィニル基、イソプロピルスルフィニル基、ブチルスルフィニル基、ヘキシルスルフィニル基、シクロヘキシルスルフィニル基、オクチルスルフィニル基、2−エチルヘキシルスルフィニル基、デカノイルスルフィニル基、ドデカノイルスルフィニル基、オクタデカノイルスルフィニル基、シアノメチルスルフィニル基、メトキシメチルスルフィニル基等が挙げられる。   The alkylsulfinyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfinyl group having 1 to 20 carbon atoms. For example, a methylsulfinyl group, an ethylsulfinyl group, a propylsulfinyl group, an isopropylsulfinyl group, a butylsulfinyl group, and a hexylsulfinyl group. Group, cyclohexylsulfinyl group, octylsulfinyl group, 2-ethylhexylsulfinyl group, decanoylsulfinyl group, dodecanoylsulfinyl group, octadecanoylsulfinyl group, cyanomethylsulfinyl group, methoxymethylsulfinyl group and the like.

置換基を有してもよいアリールスルフィニル基としては、炭素数6〜30のアリールスルフィニル基が好ましく、例えば、フェニルスルフィニル基、1−ナフチルスルフィニル基、2−ナフチルスルフィニル基、2−クロロフェニルスルフィニル基、2−メチルフェニルスルフィニル基、2−メトキシフェニルスルフィニル基、2−ブトキシフェニルスルフィニル基、3−クロロフェニルスルフィニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルフィニル基、3−シアノフェニルスルフィニル基、3−ニトロフェニルスルフィニル基、4−フルオロフェニルスルフィニル基、4−シアノフェニルスルフィニル基、4−メトキシフェニルスルフィニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルフィニル基等が挙げられる。   The arylsulfinyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfinyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfinyl group, 1-naphthylsulfinyl group, 2-naphthylsulfinyl group, 2-chlorophenylsulfinyl group, 2-methylphenylsulfinyl group, 2-methoxyphenylsulfinyl group, 2-butoxyphenylsulfinyl group, 3-chlorophenylsulfinyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfinyl group, 3-cyanophenylsulfinyl group, 3-nitrophenylsulfinyl group, 4-fluorophenylsulfinyl group, 4-cyanophenylsulfinyl group, 4-methoxyphenylsulfinyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfinyl group, 4-phenylsulfanylphenylsulfuric group Iniru group, 4-dimethylaminophenyl sulfinyl group and the like.

置換基を有してもよいアルキルスルホニル基としては、炭素数1〜20のアルキルスルホニル基が好ましく、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、イソプロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2−エチルヘキシルスルホニル基、デカノイルスルホニル基、ドデカノイルスルホニル基、オクタデカノイルスルホニル基、シアノメチルスルホニル基、メトキシメチルスルホニル基等が挙げられる。   The alkylsulfonyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfonyl group having 1 to 20 carbon atoms. For example, a methylsulfonyl group, an ethylsulfonyl group, a propylsulfonyl group, an isopropylsulfonyl group, a butylsulfonyl group, a hexylsulfonyl group. Group, cyclohexylsulfonyl group, octylsulfonyl group, 2-ethylhexylsulfonyl group, decanoylsulfonyl group, dodecanoylsulfonyl group, octadecanoylsulfonyl group, cyanomethylsulfonyl group, methoxymethylsulfonyl group and the like.

置換基を有してもよいアリールスルホニル基としては、炭素数6〜30のアリールスルホニル基が好ましく、例えば、フェニルスルホニル基、1−ナフチルスルホニル基、2−ナフチルスルホニル基、2−クロロフェニルスルホニル基、2−メチルフェニルスルホニル基、2−メトキシフェニルスルホニル基、2−ブトキシフェニルスルホニル基、3−クロロフェニルスルホニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルホニル基、3−シアノフェニルスルホニル基、3−ニトロフェニルスルホニル基、4−フルオロフェニルスルホニル基、4−シアノフェニルスルホニル基、4−メトキシフェニルスルホニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルホニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルホニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルホニル基等が挙げられる。   The arylsulfonyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfonyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfonyl group, a 1-naphthylsulfonyl group, a 2-naphthylsulfonyl group, a 2-chlorophenylsulfonyl group, 2-methylphenylsulfonyl group, 2-methoxyphenylsulfonyl group, 2-butoxyphenylsulfonyl group, 3-chlorophenylsulfonyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfonyl group, 3-cyanophenylsulfonyl group, 3-nitrophenylsulfonyl group, 4-fluorophenylsulfonyl group, 4-cyanophenylsulfonyl group, 4-methoxyphenylsulfonyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-phenylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-dimethylaminopheny Sulfonyl group, and the like.

置換基を有してもよいアシル基としては、炭素数2〜20のアシル基が好ましく、例えば、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、トリフルオロメチルカルボニル基、ペンタノイル基、ベンゾイル基、1−ナフトイル基、2−ナフトイル基、4−メチルスルファニルベンゾイル基、4−フェニルスルファニルベンゾイル基、4−ジメチルアミノベンゾイル基、4−ジエチルアミノベンゾイル基、2−クロロベンゾイル基、2−メチルベンゾイル基、2−メトキシベンゾイル基、2−ブトキシベンゾイル基、3−クロロベンゾイル基、3−トリフルオロメチルベンゾイル基、3−シアノベンゾイル基、3−ニトロベンゾイル基、4−フルオロベンゾイル基、4−シアノベンゾイル基、4−メトキシベンゾイル基等が挙げられる。   The acyl group which may have a substituent is preferably an acyl group having 2 to 20 carbon atoms, for example, acetyl group, propanoyl group, butanoyl group, trifluoromethylcarbonyl group, pentanoyl group, benzoyl group, 1-naphthoyl. Group, 2-naphthoyl group, 4-methylsulfanylbenzoyl group, 4-phenylsulfanylbenzoyl group, 4-dimethylaminobenzoyl group, 4-diethylaminobenzoyl group, 2-chlorobenzoyl group, 2-methylbenzoyl group, 2-methoxybenzoyl Group, 2-butoxybenzoyl group, 3-chlorobenzoyl group, 3-trifluoromethylbenzoyl group, 3-cyanobenzoyl group, 3-nitrobenzoyl group, 4-fluorobenzoyl group, 4-cyanobenzoyl group, 4-methoxybenzoyl Groups and the like.

置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基としては、炭素数2〜20のアルコキシカルボニル基が好ましく、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、デシルオキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、トリフルオロメチルオキシカルボニル基、1−ナフチルオキシカルボニル基、2−ナフチルオキシカルボニル基、4−メチルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−フェニルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−ジメチルアミノフェニルオキシカルボニル基、4−ジエチルアミノフェニルオキシカルボニル基、2−クロロフェニルオキシカルボニル基、2−メチルフェニルオキシカルボニル基、2−メトキシフェニルオキシカルボニル基、2−ブトキシフェニルオキシカルボニル基、3−クロロフェニルオキシカルボニル基、3−トリフルオロメチルフェニルオキシカルボニル基、3−シアノフェニルオキシカルボニル基、3−ニトロフェニルオキシカルボニル基、4−フルオロフェニルオキシカルボニル基、4−シアノフェニルオキシカルボニル基、4−メトキシフェニルオキシカルボニル基等が挙げられる。   The alkoxycarbonyl group which may have a substituent is preferably an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, such as a methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, propoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, hexyloxycarbonyl group, octyl. Oxycarbonyl group, decyloxycarbonyl group, octadecyloxycarbonyl group, phenoxycarbonyl group, trifluoromethyloxycarbonyl group, 1-naphthyloxycarbonyl group, 2-naphthyloxycarbonyl group, 4-methylsulfanylphenyloxycarbonyl group, 4- Phenylsulfanylphenyloxycarbonyl group, 4-dimethylaminophenyloxycarbonyl group, 4-diethylaminophenyloxycarbonyl group, 2-chlorophenyloxycarbonyl group Group, 2-methylphenyloxycarbonyl group, 2-methoxyphenyloxycarbonyl group, 2-butoxyphenyloxycarbonyl group, 3-chlorophenyloxycarbonyl group, 3-trifluoromethylphenyloxycarbonyl group, 3-cyanophenyloxycarbonyl group , 3-nitrophenyloxycarbonyl group, 4-fluorophenyloxycarbonyl group, 4-cyanophenyloxycarbonyl group, 4-methoxyphenyloxycarbonyl group and the like.

置換基を有してもよいカルバモイル基としては、総炭素数1〜30のカルバモイル基が好ましく、例えば、N−メチルカルバモイル基、N−エチルカルバモイル基、N−プロピルカルバモイル基、N−ブチルカルバモイル基、N−ヘキシルカルバモイル基、N−シクロヘキシルカルバモイル基、N−オクチルカルバモイル基、N−デシルカルバモイル基、N−オクタデシルカルバモイル基、N−フェニルカルバモイル基、N−2−メチルフェニルカルバモイル基、N−2−クロロフェニルカルバモイル基、N−2−イソプロポキシフェニルカルバモイル基、N−2−(2−エチルヘキシル)フェニルカルバモイル基、N−3−クロロフェニルカルバモイル基、N−3−ニトロフェニルカルバモイル基、N−3−シアノフェニルカルバモイル基、N−4−メトキシフェニルカルバモイル基、N−4−シアノフェニルカルバモイル基、N−4−メチルスルファニルフェニルカルバモイル基、N−4−フェニルスルファニルフェニルカルバモイル基、N−メチル−N−フェニルカルバモイル基、N、N−ジメチルカルバモイル基、N、N−ジブチルカルバモイル基、N、N−ジフェニルカルバモイル基等が挙げられる。   The carbamoyl group which may have a substituent is preferably a carbamoyl group having 1 to 30 carbon atoms, for example, an N-methylcarbamoyl group, an N-ethylcarbamoyl group, an N-propylcarbamoyl group, or an N-butylcarbamoyl group. N-hexylcarbamoyl group, N-cyclohexylcarbamoyl group, N-octylcarbamoyl group, N-decylcarbamoyl group, N-octadecylcarbamoyl group, N-phenylcarbamoyl group, N-2-methylphenylcarbamoyl group, N-2- Chlorophenylcarbamoyl group, N-2-isopropoxyphenylcarbamoyl group, N-2- (2-ethylhexyl) phenylcarbamoyl group, N-3-chlorophenylcarbamoyl group, N-3-nitrophenylcarbamoyl group, N-3-cyanophenyl Carbamoyl group N-4-methoxyphenylcarbamoyl group, N-4-cyanophenylcarbamoyl group, N-4-methylsulfanylphenylcarbamoyl group, N-4-phenylsulfanylphenylcarbamoyl group, N-methyl-N-phenylcarbamoyl group, N, N-dimethylcarbamoyl group, N, N-dibutylcarbamoyl group, N, N-diphenylcarbamoyl group and the like can be mentioned.

置換基を有してもよいスルファモイル基としては、総炭素数0〜30のスルファモイル基が好ましく、例えば、スルファモイル基、N−アルキルスルファモイル基、N−アリールスルファモイル基、N、N−ジアルキルスルファモイル基、N、N−ジアリールスルファモイル基、N−アルキル−N−アリールスルファモオイル基等が挙げられる。より具体的には、N−メチルスルファモイル基、N−エチルスルファモイル基、N−プロピルスルファモイル基、N−ブチルスルファモイル基、N−ヘキシルスルファモイル基、N−シクロヘキシルスルファモイル基、N−オクチルスルファモイル基、N−2−エチルヘキシルスルファモイル基、N−デシルスルファモイル基、N−オクタデシルスルファモイル基、N−フェニルスルファモイル基、N−2−メチルフェニルスルファモイル基、N−2−クロロフェニルスルファモイル基、N−2−メトキシフェニルスルファモイル基、N−2−イソプロポキシフェニルスルファモイル基、N−3−クロロフェニルスルファモイル基、N−3−ニトロフェニルスルファモイル基、N−3−シアノフェニルスルファモイル基、N−4−メトキシフェニルスルファモイル基、N−4−シアノフェニルスルファモイル基、N−4−ジメチルアミノフェニルスルファモイル基、N−4−メチルスルファニルフェニルスルファモイル基、N−4−フェニルスルファニルフェニルスルファモイル基、N−メチル−N−フェニルスルファモイル基、N,N−ジメチルスルファモイル基、N,N−ジブチルスルファモイル基、N,N−ジフェニルスルファモイル基等が挙げられる。   The sulfamoyl group which may have a substituent is preferably a sulfamoyl group having 0 to 30 carbon atoms, for example, a sulfamoyl group, an N-alkylsulfamoyl group, an N-arylsulfamoyl group, N, N- Examples thereof include a dialkylsulfamoyl group, an N, N-diarylsulfamoyl group, and an N-alkyl-N-arylsulfamoyl group. More specifically, N-methylsulfamoyl group, N-ethylsulfamoyl group, N-propylsulfamoyl group, N-butylsulfamoyl group, N-hexylsulfamoyl group, N-cyclohexylsulfur group. Famoyl group, N-octylsulfamoyl group, N-2-ethylhexylsulfamoyl group, N-decylsulfamoyl group, N-octadecylsulfamoyl group, N-phenylsulfamoyl group, N-2- Methylphenylsulfamoyl group, N-2-chlorophenylsulfamoyl group, N-2-methoxyphenylsulfamoyl group, N-2-isopropoxyphenylsulfamoyl group, N-3-chlorophenylsulfamoyl group, N-3-nitrophenylsulfamoyl group, N-3-cyanophenylsulfamoyl group, N-4-methoxyphenyl Nylsulfamoyl group, N-4-cyanophenylsulfamoyl group, N-4-dimethylaminophenylsulfamoyl group, N-4-methylsulfanylphenylsulfamoyl group, N-4-phenylsulfanylphenylsulfamoyl Group, N-methyl-N-phenylsulfamoyl group, N, N-dimethylsulfamoyl group, N, N-dibutylsulfamoyl group, N, N-diphenylsulfamoyl group and the like.

置換基を有してもよいアミノ基としては、総炭素数0〜50のアミノ基が好ましく、例えば、−NH、N−アルキルアミノ基、N−アリールアミノ基、N−アシルアミノ基、N−スルホニルアミノ基、N,N−ジアルキルアミノ基、N,N−ジアリールアミノ基、N−アルキル−N−アリールアミノ基、N,N−ジスルホニルアミノ基等が挙げられる。より具体的には、N−メチルアミノ基、N−エチルアミノ基、N−プロピルアミノ基、N−イソプロピルアミノ基、N−ブチルアミノ基、N−tert―ブチルアミノ基、N−ヘキシルアミノ基、N−シクロヘキシルアミノ基、N−オクチルアミノ基、N−2−エチルヘキシルアミノ基、N−デシルアミノ基、N−オクタデシルアミノ基、N−ベンジルアミノ基、N−フェニルアミノ基、N−2−メチルフェニルアミノ基、N−2−クロロフェニルアミノ基、N−2−メトキシフェニルアミノ基、N−2−イソプロポキシフェニルアミノ基、N−2−(2−エチルヘキシル)フェニルアミノ基、N−3−クロロフェニルアミノ基、N−3−ニトロフェニルアミノ基、N−3−シアノフェニルアミノ基、N−3−トリフルオロメチルフェニルアミノ基、N−4−メトキシフェニルアミノ基、N−4−シアノフェニルアミノ基、N−4−トリフルオロメチルフェニルアミノ基、N−4−メチルスルファニルフェニルアミノ基、N−4−フェニルスルファニルフェニルアミノ基、N−4−ジメチルアミノフェニルアミノ基、N−メチル−N−フェニルアミノ基、N,N−ジメチルアミノ基、N,N−ジエチルアミノ基、N,N−ジブチルアミノ基、N,N−ジフェニルアミノ基、N,N−ジアセチルアミノ基、N,N−ジベンゾイルアミノ基、N,N−(ジブチルカルボニル)アミノ基、N,N−(ジメチルスルホニル)アミノ基、N,N−(ジエチルスルホニル)アミノ基、N,N−(ジブチルスルホニル)アミノ基、N,N−(ジフェニルスルホニル)アミノ基、モルホリノ基、3,5−ジメチルモルホリノ基、カルバゾール基等が挙げられる。 The amino group which may have a substituent is preferably an amino group having 0 to 50 carbon atoms in total, for example, —NH 2 , N-alkylamino group, N-arylamino group, N-acylamino group, N— Examples include sulfonylamino group, N, N-dialkylamino group, N, N-diarylamino group, N-alkyl-N-arylamino group, N, N-disulfonylamino group and the like. More specifically, N-methylamino group, N-ethylamino group, N-propylamino group, N-isopropylamino group, N-butylamino group, N-tert-butylamino group, N-hexylamino group, N-cyclohexylamino group, N-octylamino group, N-2-ethylhexylamino group, N-decylamino group, N-octadecylamino group, N-benzylamino group, N-phenylamino group, N-2-methylphenylamino Group, N-2-chlorophenylamino group, N-2-methoxyphenylamino group, N-2-isopropoxyphenylamino group, N-2- (2-ethylhexyl) phenylamino group, N-3-chlorophenylamino group, N-3-nitrophenylamino group, N-3-cyanophenylamino group, N-3-trifluoromethylphenyla Group, N-4-methoxyphenylamino group, N-4-cyanophenylamino group, N-4-trifluoromethylphenylamino group, N-4-methylsulfanylphenylamino group, N-4-phenylsulfanylphenylamino Group, N-4-dimethylaminophenylamino group, N-methyl-N-phenylamino group, N, N-dimethylamino group, N, N-diethylamino group, N, N-dibutylamino group, N, N-diphenyl Amino group, N, N-diacetylamino group, N, N-dibenzoylamino group, N, N- (dibutylcarbonyl) amino group, N, N- (dimethylsulfonyl) amino group, N, N- (diethylsulfonyl) Amino group, N, N- (dibutylsulfonyl) amino group, N, N- (diphenylsulfonyl) amino group, morpholino group, 3, - dimethyl morpholino group, and a carbazolyl group.

置換基を有してもよいホスフィノイル基としては、総炭素数2〜50のホスフィノイル基が好ましく、例えば、ジメチルホスフィノイル基、ジエチルホスフィノイル基、ジプロピルホスフィノイル基、ジフェニルホスフィノイル基、ジメトキシホスフィノイル基、ジエトキシホスフィノイル基、ジベンゾイルホスフィノイル基、ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)ホスフィノイル基等が挙げられる。   The phosphinoyl group which may have a substituent is preferably a phosphinoyl group having 2 to 50 carbon atoms, for example, dimethylphosphinoyl group, diethylphosphinoyl group, dipropylphosphinoyl group, diphenylphosphinoyl group. Group, dimethoxyphosphinoyl group, diethoxyphosphinoyl group, dibenzoylphosphinoyl group, bis (2,4,6-trimethylphenyl) phosphinoyl group and the like.

置換基を有してもよい複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、芳香族或いは脂肪族の複素環が好ましい。例えば、チエニル基、ベンゾ[b]チエニル基、ナフト[2,3−b]チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、2H−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、3H−インドリル基、インドリル基、1H−インダゾリル基、プリニル基、4H−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサニリル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、4aH−カルバゾリル基、カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、チオキサントリル基等がある。   The heterocyclic group that may have a substituent is preferably an aromatic or aliphatic heterocyclic ring containing a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom, or a phosphorus atom. For example, thienyl group, benzo [b] thienyl group, naphtho [2,3-b] thienyl group, thiantenyl group, furyl group, pyranyl group, isobenzofuranyl group, chromenyl group, xanthenyl group, phenoxathinyl group, 2H-pyrrolyl group, pyrrolyl group, imidazolyl group, pyrazolyl group, pyridyl group, pyrazinyl group, pyrimidinyl group, pyridazinyl group, indolizinyl group, isoindolyl group, 3H-indolyl group, indolyl group, 1H-indazolyl group, purinyl group, 4H- Quinolidinyl group, isoquinolyl group, quinolyl group, phthalazinyl group, naphthyridinyl group, quinoxanilyl group, quinazolinyl group, cinnolinyl group, pteridinyl group, 4aH-carbazolyl group, carbazolyl group, β-carbolinyl group, phenanthridinyl group, acridinyl group, perimidinyl group Nyl group, phenanthrolinyl group, phenazinyl group, phenalsadinyl group, isothiazolyl group, phenothiazinyl group, isoxazolyl group, furazanyl group, phenoxazinyl group, isochromanyl group, chromanyl group, pyrrolidinyl group, pyrrolinyl group, imidazolidinyl group, imidazolinyl group, pyrazolidinyl group Group, pyrazolinyl group, piperidyl group, piperazinyl group, indolinyl group, isoindolinyl group, quinuclidinyl group, morpholinyl group, thioxanthryl group and the like.

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等がある。   Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.

置換基を有してもよいハロゲン化アルキル基としては、モノフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ジクロロメチル基、トリクロメチル基、モノブロモメチル基、ジブロモメチル基、トリブロモメチル基等が挙げられる。   Examples of the halogenated alkyl group which may have a substituent include a monofluoromethyl group, a difluoromethyl group, a trifluoromethyl group, a dichloromethyl group, a trichloromethyl group, a monobromomethyl group, a dibromomethyl group, and a tribromomethyl group. Etc.

N上に置換基を有してもよいアミド基としては、N,N−ジメチルアミド基、N,N−ジエチルアミド基等が挙げられる。   Examples of the amide group which may have a substituent on N include N, N-dimethylamide group and N, N-diethylamide group.

更に、前述した置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオオキシ基、置換基を有してもよいアリールチオオキシ基、置換基を有してもよいアシルオキシ基、置換基を有してもよいアルキルスルファニル基、置換基を有してもよいアリールスルファニル基、置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基、置換基を有してもよいアリールスルフィニル基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基、置換基を有してもよいアシル基、置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいカルバモイル基、置換基を有してもよいスルファモイル基、置換基を有してもよいアミノ基、置換基を有してもよい複素環基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。   Furthermore, the alkyl group which may have a substituent mentioned above, the aryl group which may have a substituent, the alkenyl group which may have a substituent, the alkynyl group which may have a substituent, a substituent An alkoxy group that may have a substituent, an aryloxy group that may have a substituent, an alkylthiooxy group that may have a substituent, an arylthiooxy group that may have a substituent, and a substituent. An acyloxy group which may have a substituent, an alkylsulfanyl group which may have a substituent, an arylsulfanyl group which may have a substituent, an alkylsulfinyl group which may have a substituent, and a substituent. A good arylsulfinyl group, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, an arylsulfonyl group which may have a substituent, an acyl group which may have a substituent, an alkoxycarbo which may have a substituent D Groups, carbamoyl groups which may have substituents, sulfamoyl groups which may have substituents, amino groups which may have substituents, heterocyclic groups which may have substituents, It may be substituted with a substituent.

そのような置換基としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、エトキシ基、tert−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、p−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、tert−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、p−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、p−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基等のアリール基等の他、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、p−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウミル基、ジメチルスルホニウミル基、トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。   Examples of such a substituent include halogen atoms such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom and iodine atom, alkoxy groups such as methoxy group, ethoxy group and tert-butoxy group, phenoxy group and p-tolyloxy group. Aryloxy group, alkoxycarbonyl group such as methoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, phenoxycarbonyl group, acyloxy group such as acetoxy group, propionyloxy group, benzoyloxy group, acetyl group, benzoyl group, isobutyryl group, acryloyl group, methacryloyl group , Acyl groups such as methoxalyl group, alkylsulfanyl groups such as methylsulfanyl group, tert-butylsulfanyl group, arylsulfanyl groups such as phenylsulfanyl group, p-tolylsulfanyl group, methylamino group, cyclohexyl Alkylamino group such as amino group, Dimethylamino group such as dimethylamino group, Diethylamino group, Morpholino group, Piperidino group, Arylamino group such as phenylamino group, p-tolylamino group, Methyl group, Ethyl group, Tert-butyl group In addition to alkyl groups such as dodecyl group, phenyl groups, p-tolyl groups, xylyl groups, cumenyl groups, naphthyl groups, anthryl groups, phenanthryl groups, etc., hydroxy groups, carboxy groups, formyl groups, mercapto groups, Sulfo group, mesyl group, p-toluenesulfonyl group, amino group, nitro group, cyano group, trifluoromethyl group, trichloromethyl group, trimethylsilyl group, phosphinico group, phosphono group, trimethylammonium group, dimethylsulfonyl group, Triphenylphenacylphosphoniumyl Etc. The.

これらの中でも、Xとしては、溶剤溶解性と長波長領域の吸収効率向上の点から、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオオキシ基、置換基を有してもよいアリールチオオキシ基、置換基を有してもよいハロゲン化アルキル基、置換基を有してもよいアミノ基、又はN上に置換基を有してもよいアミド基が好ましく、中でも置換基を有してもよいアルキル基がより好ましい。   Among these, X has an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, and a substituent from the viewpoint of improving solvent solubility and absorption efficiency in the long wavelength region. An alkenyl group which may have a substituent, an alkynyl group which may have a substituent, an alkoxy group which may have a substituent, an aryloxy group which may have a substituent, an alkylthiooxy which may have a substituent A group, an arylthiooxy group which may have a substituent, a halogenated alkyl group which may have a substituent, an amino group which may have a substituent, or a substituent on N A good amide group is preferable, and an alkyl group which may have a substituent is more preferable.

また、一般式(III)におけるnは0〜5の整数を表すが、合成の容易さの観点で0〜3の整数が好ましく、0〜2の整数がより好ましい。
一般式(III)において、Xが複数存在する場合、複数のXは同じであっても、異なっていてもよい。
Moreover, although n in general formula (III) represents the integer of 0-5, the integer of 0-3 is preferable from a viewpoint of the ease of a synthesis | combination, and the integer of 0-2 is more preferable.
In the general formula (III), when a plurality of Xs are present, the plurality of Xs may be the same or different.

上記した一般式(III)で表される光重合開始剤の具体例を以下に示す。   Specific examples of the photopolymerization initiator represented by the general formula (III) are shown below.

本発明に用いる一般式(III)で表される化合物は、250nm〜500nmの波長領域に吸収波長を有するものである。より好ましくは、300nm〜380nmの波長領域に吸収波長を有するものを挙げることができる。特に、308nm及び355nmの吸光度が高いものが好ましい。   The compound represented by the general formula (III) used in the present invention has an absorption wavelength in a wavelength region of 250 nm to 500 nm. More preferably, the thing which has an absorption wavelength in the wavelength range of 300 nm-380 nm can be mentioned. In particular, those having high absorbance at 308 nm and 355 nm are preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、(D)光重合開始剤として、ロフィン系光重合開始剤及びオキシム系光重合開始剤以外の光重合開始剤を併用してもよい。ロフィン系光重合開始剤及びオキシム系光重合開始剤以外の光重合開始剤としては、前記(C)重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であれば、従来公知のものを制限なく用いることができる。具体的には例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物、等が挙げられる。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, as a photopolymerization initiator (D), a photopolymerization initiator other than a lophine photopolymerization initiator and an oxime photopolymerization initiator may be used in combination. As the photopolymerization initiator other than the lophine photopolymerization initiator and the oxime photopolymerization initiator, any known compound can be used without limitation as long as it is a compound that initiates and accelerates the polymerization of the polymerizable compound (C). Can do. Specifically, for example, organic halogenated compounds, oxydiazole compounds, carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, organic boric acid compounds, Examples thereof include disulfonic acid compounds, onium salt compounds, and acylphosphine (oxide) compounds.

これらの具体例としては、若林等、「Bull Chem.Soc.Japan」42、2924(1969)、米国特許第3,905,815号明細書、特公昭46−4605号公報、特開昭48−36281号公報、特開昭55−32070号公報、特開昭60−239736号公報、特開昭61−169835号公報、特開昭61−169837号公報、特開昭62−58241号公報、特開昭62−212401号公報、特開昭63−70243号公報、特開昭63−298339号公報、M.P.Hutt“Journal of Heterocyclic Chemistry”1(No3),(1970)」、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号等の各明細書、特開昭62−143044号公報、特開昭62−150242号公報、特開平9−188685号公報、特開平9−188686号公報、特開平9−188710号公報、特開2000−131837号公報、特開2002−107916号公報、特許第2764769号公報、特願2000−310808号公報等の各公報、及び、Kunz,Martin“Rad Tech’98.Proceeding April 19−22,1998,Chicago”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平6−157623号公報、特開平6−175564号公報、特開平6−175561号公報、特開平6−175554号公報、特開平6−175553号公報、特開平9−188710号公報、特開平6−348011号公報、特開平7−128785号公報、特開平7−140589号公報、特開平7−306527号公報、特開平7−292014号公報、J.C.S.Perkin II(1979)1653−1660)、J.C.S.Perkin II(1979)156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)202−232、特開2000−66385号公報、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報に記載の等に記載の光重合開始剤が具体例として挙げられる。   Specific examples thereof include Wakabayashi et al., “Bull Chem. Soc. Japan” 42, 2924 (1969), U.S. Pat. No. 3,905,815, Japanese Examined Patent Publication No. 46-4605, Japanese Patent Laid-Open No. 48-. JP 36281, JP 55-3070, JP 60-239736, JP 61-169835, JP 61-169837, JP 62-58241, JP-A-62-212401, JP-A-63-70243, JP-A-63-298339, M.K. P. Hutt “Journal of Heterocyclic Chemistry” 1 (No 3), (1970) ”, Japanese Patent Publication No. 6-29285, US Pat. Nos. 3,479,185, 4,311,783, 4,622, 286, etc., JP-A-62-143044, JP-A-62-1050242, JP-A-9-188865, JP-A-9-188686, JP-A-9-188710, JP-A-2000-131837, JP-A-2002-107916, Japanese Patent No. 2764769, Japanese Patent Application No. 2000-310808, etc., and Kunz, Martin “Rad Tech'98. Proceeding April 19-22. , 1998, Chicago ”etc. Urate, JP-A-6-157623, JP-A-6-175564, JP-A-6-175561, JP-A-6-175554, JP-A-6-175553, JP-A-9-188710 JP, 6-348011, JP 7-128785, JP 7-140589, JP 7-306527, JP 7-292014, J. Pat. C. S. Perkin II (1979) 1653-1660), J. MoI. C. S. Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232, JP 2000-66385 A, JP 2000-80068 A, JP 2004-534797 A, etc. Specific examples are the photopolymerization initiators described.

(D)光重合開始剤として、露光波長に吸収を持たない光重合開始剤を用いる場合には、露光波長に吸収を有する化合物を増感剤として使用することが好ましい。増感剤については後述する。   (D) When using a photopolymerization initiator having no absorption at the exposure wavelength as the photopolymerization initiator, it is preferable to use a compound having absorption at the exposure wavelength as the sensitizer. The sensitizer will be described later.

本発明で用いる(D)光重合開始剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対し、5質量%〜20質量%の範囲が好ましく、5質量%〜15質量%の範囲がより好ましく、10質量%〜15質量%の範囲が更に好ましい。   The content of the photopolymerization initiator (D) used in the present invention is preferably in the range of 5% by mass to 20% by mass with respect to the total solid content of the colored photosensitive resin composition, and in the range of 5% by mass to 15% by mass. Is more preferable, and the range of 10% by mass to 15% by mass is still more preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、(B)バインダー樹脂が分子内に、少なくとも前記(B−1)を有するものであり、(C)重合性化合物として、前記(C1)多官能性単量体、前記(C2)多官能性単量体、及び前記単量体M−1の少なくとも1種を含み、(D)光重合開始剤として、前記一般式(III)で表されるケトオキシム系光重合開始剤を含むものである態様が好ましい。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, (B) the binder resin has at least the (B-1) in the molecule, and (C) the polymerizable compound (C1) is a polyfunctional monofunctional monomer. A ketoxime system represented by the general formula (III) as a photopolymerization initiator, comprising at least one of a monomer, the (C2) polyfunctional monomer, and the monomer M-1. The aspect which contains a photoinitiator is preferable.

<(E)溶剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(E)溶剤を含み、(E)溶剤を用いて調製することができる。また上述した顔料分散組成物も(E)溶剤を用いて調製する。
(E)溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、及び3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、及び3−エトキシプロピオン酸エチルなど)、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピルなどの2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、及び2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチルなど)、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、1,3-ブタンジオールジアセテート等;
<(E) Solvent>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (E) a solvent and can be prepared using the (E) solvent. The pigment dispersion composition described above is also prepared using the solvent (E).
(E) Solvents include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, lactic acid Methyl, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, and methyl 3-oxypropionate, 3-oxypropionic acid 3-oxypropionic acid alkyl esters such as ethyl (for example, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate and ethyl 3-ethoxypropionate), 2-oxypropionic acid 2-oxypropionic acid alkyl esters such as til, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate (for example, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, 2 -Methyl ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, and 2-ethoxy -2-methylpropionate, etc.), methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, 1,3-butanediol diacetate etc;

エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノn−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールn-プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールn-ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等;
Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether, propylene glycol mono n-propyl ether , Propylene glycol mono n-butyl ether, tripropylene glycol mono n-butyl ether, propylene glycol phenyl ether,
Methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol n-propyl ether acetate, propylene glycol diacetate, Propylene glycol n-butyl ether acetate, propylene glycol phenyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol n-propyl ether acetate, dipropylene glycol n-butyl ether acetate, tripropylene glycol methyl Chromatography ether acetate and the like;

アルコキシアルキルアセテート類、例えば、3−メトキシブチルアセテート、4−メトキシブチルアセテート、2−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、2−エトキシブチルアセテート、4−エトキシブチルアセテート、2−メトキシペンチルアセテート、3−メトキシペンチルアセテート、4−メトキシペンチルアセテート、2−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メチル−4−メトキシペンチルアセテート等;   Alkoxyalkyl acetates such as 3-methoxybutyl acetate, 4-methoxybutyl acetate, 2-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 2 -Ethoxybutyl acetate, 4-ethoxybutyl acetate, 2-methoxypentyl acetate, 3-methoxypentyl acetate, 4-methoxypentyl acetate, 2-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3 -Methyl-4-methoxypentyl acetate and the like;

ケトン類、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;
アルコール類、例えば、エタノール、イソプロピルアルコール等;
芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン等が挙げられる。
Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone;
Alcohols such as ethanol, isopropyl alcohol and the like;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene are exemplified.

これらのうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート等が好適である。
(E)溶剤は、単独で用いる以外に2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Among these, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate Butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate and the like are preferable.
(E) A solvent may be used in combination of two or more, in addition to being used alone.

本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じて、(F)増感剤、界面活性剤、熱硬化性樹脂、などのその他の成分を含むことができる。   The colored photosensitive resin composition of the present invention may further contain other components such as (F) a sensitizer, a surfactant, and a thermosetting resin, if necessary.

<(F)増感剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物には、露光波長に吸収を有する化合物を増感剤として使用し、(D)光重合開始剤の開始効率を上げることが好ましい。
この増感剤が吸収しうる波長の露光により(D)光重合開始剤成分のラジカル発生反応や、それによる重合性化合物の重合反応が促進されるものである。
このような増感剤としては、公知の分光増感色素又は染料、又は光を吸収して光重合開始剤と相互作用する染料又は顔料が挙げられる。
<(F) Sensitizer>
In the colored photosensitive resin composition of the present invention, it is preferable to use a compound having absorption at the exposure wavelength as a sensitizer to increase the initiation efficiency of the (D) photopolymerization initiator.
By exposure at a wavelength that can be absorbed by the sensitizer, the radical generation reaction of the (D) photopolymerization initiator component and the polymerization reaction of the polymerizable compound thereby are accelerated.
Examples of such a sensitizer include a known spectral sensitizing dye or dye, or a dye or pigment that absorbs light and interacts with a photopolymerization initiator.

本発明に用いることのできる増感剤として好ましい分光増感色素又は染料は、多核芳香族類(例えば、ピレン、ペリレン、トリフェニレン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、シアニン類(例えば、チアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、フタロシアニン類(例えば、フタロシアニン、メタルフタロシアニン)、ポルフィリン類(例えば、テトラフェニルポルフィリン、中心金属置換ポルフィリン)、クロロフィル類(例えば、クロロフィル、クロロフィリン、中心金属置換クロロフィル)、金属錯体、アントラキノン類、(例えば、アントラキノン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物等が挙げられるが、エチルアミノベンゾフェノンやチオキサントン及びチオール化合物が好ましい。   Spectral sensitizing dyes or dyes preferred as sensitizers that can be used in the present invention include polynuclear aromatics (eg, pyrene, perylene, triphenylene), xanthenes (eg, fluorescein, eosin, erythrosine, rhodamine B, Rose bengal), cyanines (eg thiacarbocyanine, oxacarbocyanine), merocyanines (eg merocyanine, carbomerocyanine), thiazines (eg thionine, methylene blue, toluidine blue), acridines (eg acridine orange, Chloroflavin, acriflavine), phthalocyanines (eg, phthalocyanine, metal phthalocyanine), porphyrins (eg, tetraphenylporphyrin, central metal-substituted porphyrin), chlorophylls (eg, chlorophyllin) Chlorophyllin, central metal-substituted chlorophyll), metal complexes, anthraquinones (for example, anthraquinone), squaliums (for example, squalium), carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds , Coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, organic boric acid compounds, disulfonic acid compounds and the like, and ethylaminobenzophenone, thioxanthone and thiol compounds are preferred.

チオール化合物は、露光波長に吸収を有しない場合が多いが、連鎖移動剤として作用し開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
チオール化合物としては、エチレングリコールビスチオプロピオネート(EGTP)、ブタンジオールビスチオプロピオネート(BDTP)、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート(TMTP)、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート(PETP)等の各多官能チオール化合物、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、βメルカプトナフタレン、N-フェニル-メルカプトベンズイミダゾール等の単官能チオール化合物が挙げられる。
特に、経時安定性、溶剤への溶解性の観点から、単官能のチオール化合物が好ましい。
The thiol compound often has no absorption at the exposure wavelength, but acts as a chain transfer agent to further improve the sensitivity of the initiator to actinic radiation, or to suppress the inhibition of polymerization of the polymerizable compound by oxygen. Have.
Examples of the thiol compound include ethylene glycol bisthiopropionate (EGTP), butanediol bisthiopropionate (BDTP), trimethylolpropane tristhiopropionate (TMTP), pentaerythritol tetrakisthiopropionate (PETP), and the like. Single functional groups such as 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, β-mercaptonaphthalene, N-phenyl-mercaptobenzimidazole, etc. A functional thiol compound is mentioned.
In particular, a monofunctional thiol compound is preferable from the viewpoint of stability over time and solubility in a solvent.

本発明の着色感光性樹脂組成物におけるチオール化合物の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分の質量に対し、0.5〜10質量%の範囲が好ましく、0.5〜5質量%の範囲がより好ましい。   The content of the thiol compound in the colored photosensitive resin composition of the present invention is 0. 0% relative to the total solid mass of the photosensitive resin composition from the viewpoint of improving the curing rate due to the balance between the polymerization growth rate and the chain transfer. The range of 5-10 mass% is preferable, and the range of 0.5-5 mass% is more preferable.

(界面活性剤)
本発明の着色感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含むことができる。
顔料濃度を大きくすると塗布液のチキソ性が一般的に大きくなるため、基板上に着色感光性樹脂組成物を塗布又は転写して着色感光性樹脂組成物層(着色層塗膜)形成後の膜厚ムラを生じやすい。また特に、スリットコート法による着色感光性樹脂組成物層(着色層塗膜)形成では、乾燥までに着色感光性樹脂組成物層形成用の塗布液がレベリングして均一な厚みの塗膜を形成することが重要である。このため、前記着色感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
塗布性を向上するための界面活性剤としてはノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤等が添加される。
(Surfactant)
The colored photosensitive resin composition of the present invention can contain a surfactant.
Since the thixotropy of the coating liquid generally increases when the pigment concentration is increased, the film after the colored photosensitive resin composition layer (colored layer coating film) is formed by applying or transferring the colored photosensitive resin composition onto the substrate Thickness unevenness is likely to occur. In particular, in the formation of a colored photosensitive resin composition layer (colored layer coating film) by the slit coating method, the coating liquid for forming the colored photosensitive resin composition layer is leveled before drying to form a uniform thickness coating film. It is important to. For this reason, it is preferable to contain an appropriate surfactant in the colored photosensitive resin composition. Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.
Nonionic surfactants, fluorine-based surfactants, silicon-based surfactants, and the like are added as surfactants for improving coating properties.

ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレングリコール類、ポリオキシプロピレングリコール類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤が好ましい。   Nonionic surfactants include, for example, polyoxyethylene glycols, polyoxypropylene glycols, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, polyoxypropylene alkyl ethers. Nonionic surfactants such as polyoxypropylene alkyl aryl ethers, polyoxypropylene alkyl esters, sorbitan alkyl esters and monoglyceride alkyl esters are preferred.

具体的には、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコールなどのポリオキシアルキレングリコール類;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシプロピレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシアルキレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン-プロピレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシアルキレンジアルキルエステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンソルビタン脂肪酸エステル類などのノニオン系界面活性剤がある。   Specifically, polyoxyalkylene glycols such as polyoxyethylene glycol and polyoxypropylene glycol; polyoxyalkylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxypropylene stearyl ether and polyoxyethylene oleyl ether; polyoxy Polyoxyethylene aryl ethers such as ethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene polystyryl ether, polyoxyethylene tribenzyl phenyl ether, polyoxyethylene-propylene polystyryl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether; polyoxyethylene dilaurate , Polyoxyalkylene dialkyl esters such as polyoxyethylene distearate, sorbitan fatty acid ester There are nonionic surfactants such as stealth and polyoxyalkylene sorbitan fatty acid esters.

これらの具体例は、例えば、アデカプルロニックシリーズ、アデカノールシリーズイ、テトロニックシリーズ(以上、ADEKA(株)製)、エマルゲンシリーズ、レオドールシリーズ(以上、花王(株)製)、エレミノールシリーズ、ノニポールシリーズ、オクタポールシリーズ、ドデカポールシリーズ、ニューポールシリーズ(以上、三洋化成(株)製)、パイオニンシリーズ(竹本油脂(株)製)、ニッサンノニオンシリーズ(日本油脂(株)製)などである。これらの市販されているものが適宜使用できる。好ましいHLB値は8〜20、更に好ましくは10〜17である。   Specific examples of these include, for example, Adeka Pluronic series, Adecanol series i, Tetronic series (above, manufactured by ADEKA Corporation), Emulgen series, Rheodor series (above, produced by Kao Corporation), Eleminor series, Nonipole Series, Octapole Series, Dodecapol Series, New Pole Series (Sanyo Chemicals Co., Ltd.), Pionein Series (Takemoto Yushi Co., Ltd.), Nissan Nonion Series (Nippon Yushi Co., Ltd.), etc. It is. These commercially available products can be used as appropriate. A preferable HLB value is 8 to 20, more preferably 10 to 17.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖及び側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキル又はフルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いることができる。
具体的市販品としては、例えばメガファックF142D、同F172、同F173、同F176、同F177、同F183、同F780、同F781、同F782、同F784、同F552、同F554、同R30、同R08(以上、DIC(株)製)、フロラードFC−135、同FC−170C、同FC−430、同FC−431(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141、同S−145、同S−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(以上、旭硝子(株)製)、エフトップEF351、同352、同801、同802(以上、JEMCO(株)製)などである。
As the fluorosurfactant, a compound having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group in at least one of the terminal, main chain and side chain can be suitably used.
Specific commercial products include, for example, MegaFuck F142D, F172, F173, F176, F176, F177, F183, F780, F781, F782, F784, F552, F554, R554, R30, and R08. (Above, manufactured by DIC Corporation), FLORARD FC-135, FC-170C, FC-430, FC-431 (above, manufactured by Sumitomo 3M), Surflon S-112, S-113, S-131, S-141, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-106 ( As mentioned above, Asahi Glass Co., Ltd.), Ftop EF351, 352, 801, 802 (above, manufactured by JEMCO).

シリコン系界面活性剤としては、例えばトーレシリコーンDC3PA、同DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH−190、同SH−193、同SZ−6032、同SF−8428、同DC−57、同DC−190(以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、TSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4446、TSF−4460、TSF−4452(以上、GE東芝シリコーン(株)製)等を挙げることができる。
これらのうちで、本発明に好ましい界面活性剤としては、メガファックF780、同F781、同F782、同F784、同F552、及び同F554(以上、DIC(株)製)である。
Examples of the silicone-based surfactant include Torre Silicone DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH28PA, SH29PA, SH30PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, and SF-8428. DC-57, DC-190 (above, manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4442 (above GE Toshiba Silicone Co., Ltd.).
Among these, the preferred surfactants for the present invention are Megafac F780, F781, F782, F784, F552, and F554 (manufactured by DIC Corporation).

これらの界面活性剤は、着色感光性樹脂組成物100質量部に対して、好ましくは5質量部以下、より好ましくは2質量部以下であり、更に好ましくは0.5質量部以下で用いられる。界面活性剤の量が5質量部を超える場合は、塗布乾燥でのスジや表面あれが生じやすく、平滑性が悪化しやすくなる。   These surfactants are preferably used in an amount of 5 parts by mass or less, more preferably 2 parts by mass or less, and still more preferably 0.5 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the colored photosensitive resin composition. When the amount of the surfactant exceeds 5 parts by mass, streaks and surface roughness are likely to occur during coating and drying, and smoothness tends to deteriorate.

(熱硬化性樹脂)
本発明の着色感光性樹脂組成物は、所望によりエポキシ樹脂、オキセタン樹脂等の熱硬化性樹脂を含有することができる。
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型、クレゾールノボラック型、ビフェニル型、脂環式エポキシ化合物などである。
(Thermosetting resin)
The colored photosensitive resin composition of the present invention can contain a thermosetting resin such as an epoxy resin or an oxetane resin, if desired.
Examples of the epoxy resin include bisphenol A type, cresol novolac type, biphenyl type, and alicyclic epoxy compounds.

例えばビスフェノールA型としては、エポトートYD−115、YD−118T、YD−127、YD−128、YD−134、YD−8125、YD−7011R、ZX−1059、YDF−8170、YDF−170など(以上、東都化成製)、デナコールEX−1101、EX−1102、EX−1103など(以上、ナガセ化成製)、プラクセルGL−61、GL−62、G101、G102(以上、ダイセル化学製)の他に、これらの類似のビスフェノールF型、ビスフェノールS型も挙げることができる。またEbecryl
3700、3701、600(以上、ダイセルユーシービー製)などのエポキシアクリレートも使用可能である。
For example, as bisphenol A type, Epototo YD-115, YD-118T, YD-127, YD-128, YD-134, YD-8125, YD-7011R, ZX-1059, YDF-8170, YDF-170, etc. , Manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), Denacol EX-1101, EX-1102, EX-1103, etc. These similar bisphenol F type and bisphenol S type can also be mentioned. Ebecryl
Epoxy acrylates such as 3700, 3701, and 600 (manufactured by Daicel UC) can also be used.

クレゾールノボラック型としては、エポトートYDPN−638、YDPN−701、YDPN−702、YDPN−703、YDPN−704など(以上、東都化成製)、デナコールEM−125など(以上、ナガセ化成製)、ビフェニル型としては3,5,3’,5’−テトラメチル−4,4’ジグリシジルビフェニルなどがあげられる。   The cresol novolak type includes Epototo YDPN-638, YDPN-701, YDPN-702, YDPN-703, YDPN-704, etc. (above, manufactured by Tohto Kasei), Denacol EM-125, etc. (above, manufactured by Nagase Kasei), Biphenyl type 3,5,3 ', 5'-tetramethyl-4,4'diglycidylbiphenyl and the like.

脂環式エポキシ化合物としては、セロキサイド2021、2081、2083、2085、エポリードGT−301、GT−302、GT−401、GT−403、EHPE−3150(以上、ダイセル化学製)、サントートST−3000、ST−4000、ST−5080、ST−5100など(以上、東都化成製)などを挙げることができる。他にアミン型エポキシ樹脂であるエポトートYH−434、YH−434L、ビスフェノールA型エポキシ樹脂の骨格中にダイマー酸を変性したグリシジルエステル等も使用できる。   Examples of the alicyclic epoxy compound include Celoxide 2021, 2081, 2083, 2085, Epolide GT-301, GT-302, GT-401, GT-403, EHPE-3150 (manufactured by Daicel Chemical), Santo Tote ST-3000, ST-4000, ST-5080, ST-5100 and the like (above, manufactured by Tohto Kasei) and the like can be mentioned. In addition, Epototo YH-434 and YH-434L, which are amine type epoxy resins, glycidyl ester in which dimer acid is modified in the skeleton of bisphenol A type epoxy resin can be used.

これらのエポキシ樹脂の中で、好ましくはノボラック型エポキシ化合物、脂環式エポキシ化合物が好ましく、エポキシ当量が180〜250のものが特に好ましい。このような素材としてはエピクロンN−660、N−670、N−680、N−690、YDCN−704L(以上、DIC(株)製)、EHPE3150(ダイセル化学製)を挙げることができる。   Among these epoxy resins, preferably novolak type epoxy compounds and alicyclic epoxy compounds are preferable, and those having an epoxy equivalent of 180 to 250 are particularly preferable. Examples of such a material include Epicron N-660, N-670, N-680, N-690, YDCN-704L (manufactured by DIC Corporation), and EHPE3150 (manufactured by Daicel Chemical Industries).

オキセタン樹脂として、アロンオキセタンOXT−101、OXT−121、OXT−211、OXT−221、OXT−212、OXT−610、OX−SQ、PNOX(以上、東亞合成製)を用いることができる。
またオキセタン樹脂は、単独で又はアクリル系共重合体、エポキシ樹脂及びマレイミド樹脂と混合して使用することができる。特にエポキシ樹脂との併用で用いた場合には紫外光レーザー露光により発生した熱による反応性が高く、基板との密着性の観点から好ましい。
本発明に係るエポキシ樹脂、及びオキセタン樹脂の着色感光性樹脂組成物中における含有量としては、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.5〜15質量%が好ましく、1〜10質量%がアルカリに対する溶解性と基板との密着性の両立の観点から好ましい。
As the oxetane resin, Aron oxetane OXT-101, OXT-121, OXT-211, OXT-221, OXT-212, OXT-610, OX-SQ, PNOX (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) can be used.
The oxetane resin can be used alone or mixed with an acrylic copolymer, an epoxy resin and a maleimide resin. In particular, when used in combination with an epoxy resin, the reactivity due to heat generated by ultraviolet laser exposure is high, which is preferable from the viewpoint of adhesion to the substrate.
As content in the colored photosensitive resin composition of the epoxy resin which concerns on this invention, and an oxetane resin, 0.5-15 mass% is preferable with respect to the total solid of a colored photosensitive resin composition, 1- 10% by mass is preferable from the viewpoint of both solubility in alkali and adhesion to the substrate.

(有機カルボン酸)
未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、着色感光性樹脂組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、フェノキシ酢酸、メトキシフェノキシ酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
(Organic carboxylic acid)
In order to promote the alkali solubility of the uncured part and further improve the developability of the colored photosensitive resin composition, an organic carboxylic acid, preferably a low molecular weight organic carboxylic acid having a molecular weight of 1000 or less is added. Can do. Specifically, for example, aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, and camphoric acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, and mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, Aromatic polycarboxylic acids such as trimesic acid, melophanoic acid, pyromellitic acid; phenylacetic acid Phenoxyacetic acid, methoxyphenoxy acetic, hydratropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenyl succinic acid, atropic acid, cinnamic acid, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, other carboxylic acids such as umbellic acid.

(シランカップリング剤)
本発明の着色感光性樹脂組成物には、更なる基板との密着性向上の観点から、シランカップリング剤を使用することができる。
シランカップリング剤は、無機材料と化学結合可能な加水分解性基としてアルコキシシリル基を有するものが好ましい。また有機樹脂との間で相互作用もしくは結合形成して親和性を示す基を有することが好ましく、そのような基としては(メタ)アクリロイル基、フェニル基、メルカプト基、グリシジル基、オキセタニル基を有するものが好ましく、その中でも(メタ)アクリロイル基又はグリシジル基を有するものが好ましい。
即ち、本発明に用いるシランカップリング剤としては、アルコキシシリル基と、(メタ)アクリロイル基又はエポキシ基と、を有する化合物であることが好ましく、具体的には下記構造の(メタ)アクリロイル−トリメトキシシラン化合物、グリシジル−トリメトキシシラン化合物等が挙げられる。
(Silane coupling agent)
A silane coupling agent can be used for the colored photosensitive resin composition of this invention from a viewpoint of the adhesive improvement with the further board | substrate.
The silane coupling agent preferably has an alkoxysilyl group as a hydrolyzable group that can be chemically bonded to an inorganic material. In addition, it preferably has a group that interacts or forms a bond with an organic resin and exhibits an affinity, and such a group has a (meth) acryloyl group, a phenyl group, a mercapto group, a glycidyl group, and an oxetanyl group. Among them, those having a (meth) acryloyl group or a glycidyl group are preferable.
That is, the silane coupling agent used in the present invention is preferably a compound having an alkoxysilyl group and a (meth) acryloyl group or an epoxy group, and specifically, a (meth) acryloyl-tri having the following structure. Examples include methoxysilane compounds and glycidyl-trimethoxysilane compounds.

シランカップリング剤を用いる場合の添加量としては、本発明に用いられる着色感光性樹脂組成物中の全固形分中、0.2質量%〜5.0質量%の範囲であることが好ましく、0.5質量%〜3.0質量%がより好ましい。   As the addition amount in the case of using a silane coupling agent, the total solid content in the colored photosensitive resin composition used in the present invention is preferably in the range of 0.2% by mass to 5.0% by mass, 0.5 mass%-3.0 mass% are more preferable.

(重合禁止剤)
本発明においては、着色感光性樹脂組成物の製造中あるいは保存中において重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩、フェノキサジン、フェノチアジン等が挙げられる。
(Polymerization inhibitor)
In the present invention, it is desirable to add a small amount of a thermal polymerization inhibitor in order to prevent unnecessary thermal polymerization of the polymerizable compound during the production or storage of the colored photosensitive resin composition.
Examples of the thermal polymerization inhibitor that can be used in the present invention include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6). -T-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine primary cerium salt, phenoxazine, phenothiazine and the like.

熱重合防止剤の添加量は、着色感光性樹脂組成物に対して、0.01質量%〜5質量%が好ましい。
また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させることもできる。高級脂肪酸誘導体の添加量は、着色感光性樹脂組成物の0.5質量%〜10質量%が好ましい。
The addition amount of the thermal polymerization inhibitor is preferably 0.01% by mass to 5% by mass with respect to the colored photosensitive resin composition.
If necessary, higher fatty acid derivatives such as behenic acid and behenic acid amide can be added to prevent polymerization inhibition due to oxygen and can be unevenly distributed on the surface of the photosensitive layer during the drying process after coating. . The addition amount of the higher fatty acid derivative is preferably 0.5% by mass to 10% by mass of the colored photosensitive resin composition.

(可塑剤)
さらに、本発明においては、着色感光性樹脂組成物の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤等を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、(C)重合性化合物と(B)バインダー樹脂との合計質量に対し10質量%以下を添加することができる。
(Plasticizer)
Furthermore, in the present invention, an inorganic filler, a plasticizer, or the like may be added in order to improve the physical properties of the colored photosensitive resin composition.
Examples of the plasticizer include dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, triacetyl glycerin, and the like (C) polymerizable compound ( B) 10 mass% or less can be added with respect to the total mass with binder resin.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、従来公知の露光手段により硬化させることができるが、中でも紫外光の露光により高感度で硬化し、また、基板への高い密着性を示す。紫外光の露光手段としては、レーザー露光法及びプロキシミティ露光法のいずれでもよいが、表面レチキュレーションを抑制する観点から、レーザー露光法が好適である。本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタの着色パターン形成に好ましく使用することができる。   Although the colored photosensitive resin composition of the present invention can be cured by a conventionally known exposure means, among them, it is cured with high sensitivity by exposure to ultraviolet light and exhibits high adhesion to a substrate. The ultraviolet light exposure means may be either a laser exposure method or a proximity exposure method, but a laser exposure method is preferred from the viewpoint of suppressing surface reticulation. The colored photosensitive resin composition of the present invention can be preferably used for forming a colored pattern of a color filter.

≪パターン形成方法、カラーフィルタ及びその製造方法≫
本発明の着色感光性樹脂組成物及びパターン形成方法は、液晶表示装置用カラーフィルタに好適である。以下、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法を、液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法におけるパターンの形成方法として説明するが、本発明はこの方法に限定されるものではない。
≪Pattern forming method, color filter and manufacturing method thereof≫
The colored photosensitive resin composition and the pattern forming method of the present invention are suitable for a color filter for a liquid crystal display device. Hereinafter, a pattern forming method using the colored photosensitive resin composition of the present invention will be described as a pattern forming method in a method for producing a color filter for a liquid crystal display device, but the present invention is not limited to this method. .

本発明のパターン形成方法は、本発明の着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布して着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層に対してパターン様の紫外光レーザーによる露光をし、潜像を形成する露光工程と、前記潜像が形成された着色層を現像してパターンを形成する現像工程と、を含むことを特徴とする。更に、必要に応じて、前記着色層をベークする工程(プリベーク工程)、及び、現像された前記着色層をベークする工程(ベーク工程)を設けてもよい。これらの工程をあわせて、パターン形成工程ということがある。   The pattern forming method of the present invention includes a colored layer forming step of forming a colored layer by applying the colored photosensitive resin composition of the present invention on a substrate, and exposing the colored layer with a pattern-like ultraviolet laser. And an exposure step for forming a latent image, and a development step for developing a colored layer on which the latent image is formed to form a pattern. Furthermore, you may provide the process (baking process) of baking the said colored layer and the process (baking process) of baking the developed said colored layer as needed. These processes may be collectively referred to as a pattern formation process.

〔着色層形成工程〕
本発明における着色層形成工程は、本発明の着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布して着色層を形成する。基板としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板が挙げられる。さらに、プラスチック基板も使用可能である。これらの基板を用いて、格子状などにブラックマトリックスを形成し、格子の空いた部分に着色パターンが形成されることが好ましい。
[Colored layer forming step]
In the colored layer forming step in the present invention, the colored photosensitive resin composition of the present invention is applied on a substrate to form a colored layer. As the substrate, for example, non-alkali glass, soda glass, borosilicate glass, quartz glass used for liquid crystal display devices and the like, and a substrate obtained by attaching a transparent conductive film thereto, a photoelectric conversion element substrate used for a solid-state imaging device, etc. Is mentioned. Furthermore, a plastic substrate can also be used. It is preferable that a black matrix is formed in a lattice shape or the like using these substrates, and a colored pattern is formed in an empty portion of the lattice.

これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。基板は大型(おおむね1辺1m以上)である方が、本発明の効果をより奏する点で好ましい。   If necessary, an undercoat layer may be provided on these substrates in order to improve adhesion to the upper layer, prevent diffusion of substances, or planarize the substrate surface. It is preferable that the substrate is large (generally 1 m or more per side) from the standpoint of achieving the effects of the present invention.

基板上に着色層を形成する方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布等の付与方法を適用することができる。中でもスリット塗布が精度と速さの観点で好ましい。
また、予め仮支持体上に上記付与方法によって付与して形成した塗膜を、基板上に転写する方法を適用することもできる。
転写方法に関しては特開2006−23696号公報の段落番号[0023]、[0036]〜[0051]や、特開2006−47592号公報の段落番号[0096]〜[0108]に記載の作製方法を本発明においても好適に用いることができる。
As a method for forming the colored layer on the substrate, various application methods such as slit coating, ink-jet method, spin coating, cast coating, roll coating, and screen printing can be applied. Of these, slit coating is preferred from the viewpoints of accuracy and speed.
Moreover, the method of transferring on the board | substrate the coating film previously provided and formed by the said application | coating method on the temporary support body can also be applied.
Regarding the transfer method, the production methods described in paragraph numbers [0023] and [0036] to [0051] of JP-A-2006-23696 and paragraph numbers [0096] to [0108] of JP-A-2006-47592 are used. It can be suitably used in the present invention.

本発明における着色層の層厚(例えば、塗布厚)は、充分な色再現領域を得、且つ充分なパネルの輝度を得るために、乾燥後の膜厚が、0.5μm〜3.0μmとなるように形成することが好ましく、1.5μm〜2.5μmとすることがより好ましい。   The thickness of the colored layer in the present invention (for example, coating thickness) is 0.5 μm to 3.0 μm after drying to obtain a sufficient color reproduction region and sufficient panel luminance. It is preferable to form so that it may become, and it is more preferable to set it as 1.5 micrometers-2.5 micrometers.

〔露光工程〕
本発明における露光工程は、前記着色層に対してパターン様の紫外光レーザーによる露光をし、潜像を形成する。本発明の露光工程により、着色感光性樹脂組成物におけるパターン状の露光領域で、(D)光重合開始剤から発生した開始種により、(C)重合性化合物の重合硬化反応が生起、進行し、同時に紫外光レーザー露光によって発生した熱によって(B)バインダー樹脂の分子内に存在するアリル基、N位−置換マレイミド基、又は環状イミド基が熱反応を起こし、硬化反応が生起、進行し、露光領域が光・熱デュアル硬化することで、硬化領域と未硬化領域とからなるパターンが形成されるものと考えられる。
[Exposure process]
In the exposure step in the present invention, the colored layer is exposed to a pattern-like ultraviolet laser to form a latent image. By the exposure process of the present invention, (C) the polymerization curing reaction of the polymerizable compound occurs and proceeds due to the initiation species generated from the (D) photopolymerization initiator in the patterned exposure region in the colored photosensitive resin composition. At the same time, the allyl group, N-substituted maleimide group, or cyclic imide group present in the molecule of the binder resin (B) due to heat generated by ultraviolet laser exposure causes a thermal reaction, and a curing reaction occurs and proceeds. It is considered that a pattern composed of a cured region and an uncured region is formed by the light and heat dual curing of the exposed region.

レーザーの励起媒体としては、結晶、ガラス、液体、色素、気体などがあり、これらの媒質から固体レーザー、液体レーザー、気体レーザー、半導体レーザーなどの公知の紫外光に発振波長を有するレーザーを用いることができる。その中でも、レーザーの出力及び発振波長の観点から、固体レーザー、ガスレーザーが好ましい。   Laser excitation media include crystals, glass, liquids, dyes, gases, etc., and lasers having oscillation wavelengths for known ultraviolet light, such as solid lasers, liquid lasers, gas lasers, and semiconductor lasers, are used from these media. Can do. Among these, a solid laser and a gas laser are preferable from the viewpoint of laser output and oscillation wavelength.

本発明に用いる紫外光レーザーの露光波長としては、着色感光性樹脂組成物の感光波長に合致し感度がよい点で、300nm〜380nmの範囲が好ましく、310nm〜360nmの範囲がより好ましく、特に355nm波長レーザー露光法が好適である。   The exposure wavelength of the ultraviolet laser used in the present invention is preferably in the range of 300 nm to 380 nm, more preferably in the range of 310 nm to 360 nm, particularly 355 nm, in terms of good sensitivity that matches the photosensitive wavelength of the colored photosensitive resin composition. A wavelength laser exposure method is preferred.

具体的には、特に出力が大きく、比較的安価な固体レーザーのNd:YAGレーザーの第三高調波(355nm)や、エキシマレーザーのXeCl(308nm)、XeF(353nm)を好適に用いることができる。
また、被露光物(パターン)の露光量としては、1mJ/cm〜100mJ/cmの範囲であり、1mJ/cm〜50mJ/cmの範囲がより好ましい。露光量がこの範囲であると、パターン形成の生産性の点で好ましい。
Specifically, the Nd: YAG laser third harmonic (355 nm), which is a relatively inexpensive solid output, and the excimer laser XeCl (308 nm), XeF (353 nm) can be suitably used. .
As the exposure amount of the exposure object (pattern), in the range of 1mJ / cm 2 ~100mJ / cm 2 , the range of 1mJ / cm 2 ~50mJ / cm 2 is more preferable. An exposure amount within this range is preferable from the viewpoint of pattern formation productivity.

本発明に用いる紫外光レーザーは、生産性の観点から、20Hz〜2000Hzの周波数で発振されるパルスレーザーであることが好ましい。   The ultraviolet laser used in the present invention is preferably a pulse laser oscillated at a frequency of 20 Hz to 2000 Hz from the viewpoint of productivity.

本発明に使用可能な露光装置としては特に制限はないが、市販されているものとしては、EGIS(ブイテクノロジー株式会社製)やDF2200G(大日本スクリーン株式会社製などが使用可能である。上記以外の装置も好適に用いられる。   There are no particular restrictions on the exposure apparatus that can be used in the present invention, but commercially available ones such as EGIS (buoy technology) or DF2200G (Dainippon Screen Co., Ltd.) can be used. These devices are also preferably used.

紫外光レーザーは光の平行度が良好で、露光の際にマスクを使用しないで、パターン露光ができるが、パターン形状が出力光の形状、プロファイルの影響を受ける。そのため、マスクを用いてパターンを露光した方が、パターンの直線性が高くなるので好ましい。   The ultraviolet laser has good light parallelism, and pattern exposure can be performed without using a mask during exposure, but the pattern shape is affected by the shape and profile of the output light. Therefore, it is preferable to expose the pattern using a mask because the linearity of the pattern becomes high.

〔現像工程〕
本発明における現像工程は、前記潜像が形成された着色層を現像してパターンを形成する。紫外光レーザーによる露光領域はパターン状に硬化しており、現像処理では、アルカリ現像処理を行うことにより、上記露光工程での未照射部分(未硬化部分)を、アルカリ水溶液に溶出させて除去し、光硬化した部分だけを残すことによって、パターンを形成させることができる。
[Development process]
In the developing step in the present invention, the colored layer on which the latent image is formed is developed to form a pattern. The exposure area by the ultraviolet laser is cured in a pattern, and in the development process, the unexposed part (uncured part) in the exposure process is removed by elution in an alkaline aqueous solution by performing an alkali development process. The pattern can be formed by leaving only the photocured part.

現像液としては、有機アルカリ現像液や無機アルカリ現像液又はその混合液が使用される。
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ性化合物を濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に純水で洗浄(リンス)する。
As the developer, an organic alkali developer, an inorganic alkali developer or a mixture thereof is used.
Examples of the alkali agent used in the developer include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium bicarbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxy. And organic alkaline compounds such as tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, and the concentration of these alkaline compounds is 0.001 to 0.001. An alkaline aqueous solution diluted with pure water so as to be 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass, is preferably used as the developer. In the case where a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed (rinsed) with pure water after development.

現像温度としては20℃〜35℃が好ましく、23℃〜30℃がより好ましい。現像時間は、30秒〜120秒が好ましく、40秒〜90秒がより好ましい。これらのうち、現像温度と現像時間の好ましい組み合わせは、例えば、温度25℃では50秒〜100秒であり、温度30℃では40秒〜80秒であることが挙げられる。
また、シャワー圧は、0.01MPa〜0.5MPaが好ましく、0.05MPa〜0.3MPaが好ましく、0.1MPa〜0.3MPaが好ましい。これらの条件を選択することによって、パターンの形状を、矩形にしたり、順テーパにしたり任意に設計することができる。
The development temperature is preferably 20 ° C to 35 ° C, more preferably 23 ° C to 30 ° C. The development time is preferably 30 seconds to 120 seconds, and more preferably 40 seconds to 90 seconds. Among these, a preferable combination of the development temperature and the development time is, for example, 50 seconds to 100 seconds at a temperature of 25 ° C. and 40 seconds to 80 seconds at a temperature of 30 ° C.
The shower pressure is preferably 0.01 MPa to 0.5 MPa, preferably 0.05 MPa to 0.3 MPa, and preferably 0.1 MPa to 0.3 MPa. By selecting these conditions, it is possible to arbitrarily design the pattern shape to be rectangular or forward tapered.

〔ベーク工程〕
本発明においては、着色感光性樹脂組成物の硬化を完全なものとするために、現像された前記着色層をベークするベーク工程を設けることが好ましい。ベークする方法は、現像・リンス後のパターンを有する基板を、ホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で加熱することによって行うことができる。
ベークの条件としては、温度は、150℃〜260℃が好ましく、180℃〜260℃がより好ましく、200℃〜240℃が最も好ましい。ベーク時間は、10分間〜150分間が好ましく、20分間〜120分間がより好ましく、20分間〜90分間がもっとも好ましい。
[Bake process]
In the present invention, in order to complete the curing of the colored photosensitive resin composition, it is preferable to provide a baking step for baking the developed colored layer. Baking is performed by heating a substrate having a pattern after development and rinsing in a continuous or batch manner using heating means such as a hot plate, a convection oven (hot air circulation dryer), a high-frequency heater, or the like. It can be carried out.
As conditions for baking, the temperature is preferably 150 ° C to 260 ° C, more preferably 180 ° C to 260 ° C, and most preferably 200 ° C to 240 ° C. The baking time is preferably 10 minutes to 150 minutes, more preferably 20 minutes to 120 minutes, and most preferably 20 minutes to 90 minutes.

なお、RGB3色相、遮光層等、複数色相の着色パターンを形成するときは、着色層の形成、露光、現像、及びベークのサイクルを、所望の色相数だけ繰り返してもよいし、各色相ごとに着色層の形成、露光、及び現像を行ってから、最後に全色相分まとめてベークを行なってもよい。これにより、所望の色相よりなる着色画素を備えたカラーフィルタが作製される。   When forming a colored pattern of a plurality of hues such as RGB three hues and a light shielding layer, the cycle of forming the colored layers, exposing, developing, and baking may be repeated for the desired number of hues. After the colored layer is formed, exposed, and developed, all the hues may be finally baked. As a result, a color filter including colored pixels having a desired hue is produced.

〔その他の工程〕
本発明においては、露光工程の前に、塗布等によって形成した着色層を乾燥させるために、プリベークする工程を設けてもよい。着色層のプリベーク温度は、60℃〜140℃が好ましく、80℃〜120℃がより好ましい。プリベーク時間は、30秒〜300秒が好ましく、80秒〜200秒がより好ましい。
[Other processes]
In this invention, you may provide the process of prebaking in order to dry the colored layer formed by application | coating etc. before an exposure process. The prebaking temperature of the colored layer is preferably 60 ° C to 140 ° C, more preferably 80 ° C to 120 ° C. The pre-bake time is preferably 30 seconds to 300 seconds, and more preferably 80 seconds to 200 seconds.

≪液晶表示装置≫
本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置の作成に好適であり、本発明のパターン形成方法で作製したカラーフィルタを用いた液晶表示装置は、高品位の画像を表示することができる。
表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
≪Liquid crystal display device≫
The color filter of the present invention is suitable for the production of a liquid crystal display device, and the liquid crystal display device using the color filter produced by the pattern forming method of the present invention can display a high-quality image.
For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issue)). The liquid crystal display device is described in, for example, “Next Generation Liquid Crystal Display Technology (Edited by Tatsuo Uchida, Issued in 1994 by Industrial Research Co., Ltd.)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”.

液晶表示装置用カラーフィルタは、中でも特に、カラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、STN、TN、VA、IPS、OCS、FFS、及びR−OCB等にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明の液晶表示素子用カラーフィルタはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。
これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉(株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。
The color filter for a liquid crystal display device is particularly effective for a color TFT type liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention is applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA, STN, TN, VA, IPS, OCS, FFS, and R-OCB. Applicable. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".
In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film. The color filter for a liquid crystal display element of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members.
For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Market Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi Co., Ltd.) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.

バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)や、月刊デイスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木 隆明)などに記載されている。   Regarding backlights, SID meeting Digest 1380 (2005) (A. Konno et.al), Monthly Display December 2005, 18-24 pages (Yasuhiro Shima), 25-30 pages (Yukiaki Yagi), etc. Are listed.

本発明のパターン形成方法によって作製されたカラーフィルタを液晶表示装置に用いて、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、更に赤、緑、青のLED光源(RGB−LED)をバックライトとすることによって輝度が高く、また色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。   When the color filter produced by the pattern forming method of the present invention is used in a liquid crystal display device and combined with a conventionally known three-wavelength tube of a cold cathode tube, a high contrast can be realized. By using a light source (RGB-LED) as a backlight, a liquid crystal display device having high luminance and high color purity and good color reproducibility can be provided.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「%」及び「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “%” and “part” are based on mass.

下記の方法により、(B)バインダー樹脂の項で挙げた例示化合物1−1、1−2、1−3、31、35及び39を合成した。
(合成例1:例示化合物1−1の合成)
撹拌羽を供えた撹拌棒、還流冷却管、温度計を備えた、200mL三つ口フラスコに1−メトキシ−2−プロパノール 54gを入れ、窒素気流下、70℃に加熱した。アリルメタクリレート10.07g、メタクリル酸1.93g、重合開始剤として2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)0.185gを1-メトキシ-2-プロパノール54gに溶解した溶液を、プランジャーポンプを用いて2.5時間かけて三つ口フラスコ内に滴下した。滴下終了後、さらに70℃で2時間撹拌した。加熱終了後、水1Lへ投入し、再沈した。析出物を濾過後、真空乾燥させ、9g(収率75%)のバインダー樹脂を得た。
重量平均分子量の測定試料として、得られたバインダー樹脂 0.01gを10mLメスフラスコに秤取り、テトラヒドロフラン約8mLを加えて室温で溶解した後に全量を10mLにした。この溶液をゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)を用いて測定した。例示化合物1−1(アリルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、モル比=80/20)の重量平均分子量は35000であった。
Exemplified compounds 1-1, 1-2, 1-3, 31, 35, and 39 listed in the section of (B) binder resin were synthesized by the following method.
(Synthesis Example 1: Synthesis of Exemplified Compound 1-1)
54 g of 1-methoxy-2-propanol was placed in a 200 mL three-necked flask equipped with a stirring rod provided with stirring blades, a reflux condenser, and a thermometer, and heated to 70 ° C. under a nitrogen stream. A solution prepared by dissolving 10.07 g of allyl methacrylate, 1.93 g of methacrylic acid and 0.185 g of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) as a polymerization initiator in 54 g of 1-methoxy-2-propanol It dropped in the three necked flask over 2.5 hours using the jar pump. After completion of dropping, the mixture was further stirred at 70 ° C. for 2 hours. After completion of heating, it was poured into 1 L of water and re-precipitated. The precipitate was filtered and then vacuum-dried to obtain 9 g (yield 75%) of a binder resin.
As a measurement sample of the weight average molecular weight, 0.01 g of the obtained binder resin was weighed into a 10 mL volumetric flask, and about 8 mL of tetrahydrofuran was added and dissolved at room temperature. This solution was measured using gel permeation chromatography (GPC). The weight average molecular weight of exemplary compound 1-1 (allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, molar ratio = 80/20) was 35,000.

また、上記の例示化合物1−1の合成方法に準じて、例示化合物1−2(アリルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、モル比=50/50、重量平均分子量35000)、及び例示化合物1−3(アリルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、モル比=40/60、重量平均分子量35000)を合成した。   Moreover, according to the synthesis method of the exemplary compound 1-1, exemplary compound 1-2 (allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, molar ratio = 50/50, weight average molecular weight 35000), and exemplary compound 1-3 (Allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, molar ratio = 40/60, weight average molecular weight 35000) was synthesized.

(合成例2:例示化合物31の合成)
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル2質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200質量部を仕込み、引き続きN−フェニルマレイミド51.9質量部、アリルメタクリレート62質量部、メタクリル酸16.8質量部、及び分子量調節剤として2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(日本油脂(株)製 商品名:ノフマーMSD)3質量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、バインダー樹脂の溶液(固形分濃度=20.0質量%)を得た。GPCを用いて測定した例示化合物31の重量平均分子量は35000であった。
(Synthesis Example 2: Synthesis of Exemplified Compound 31)
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 2 parts by mass of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 200 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 51.9 parts by mass of N-phenylmaleimide and allyl methacrylate 62. Nitrogen was charged with 3 parts by mass, 16.8 parts by mass of methacrylic acid, and 3 parts by mass of 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene (trade name: NOFMER MSD, manufactured by NOF Corporation) as a molecular weight regulator. Replaced. Thereafter, the mixture was gently stirred to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours for polymerization to obtain a binder resin solution (solid content concentration = 20.0% by mass). The weight average molecular weight of Exemplified Compound 31 measured using GPC was 35000.

(合成例3:例示化合物35の合成)
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル2質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200質量部を仕込み、引き続きシクロヘキシルマレイミド124.6質量部、メタクリル酸25.2質量部、及び分子量調節剤として2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(日本油脂(株)製 商品名:ノフマーMSD)3質量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、バインダー樹脂の溶液(固形分濃度=20.0質量%)を得た。GPCを用いて測定した例示化合物35の重量平均分子量は20000であった。
(Synthesis Example 3: Synthesis of Exemplified Compound 35)
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 2 parts by mass of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 200 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 124.6 parts by mass of cyclohexylmaleimide and 25.2 parts of methacrylic acid. 3 parts by mass of 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene (trade name: NOFMER MSD manufactured by NOF Corporation) as a molecular weight regulator and a molecular weight regulator were charged, and the atmosphere was replaced with nitrogen. Thereafter, the mixture was gently stirred to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours for polymerization to obtain a binder resin solution (solid content concentration = 20.0% by mass). The weight average molecular weight of Exemplified Compound 35 measured using GPC was 20000.

(合成例4:例示化合物36の合成)
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル2質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200質量部を仕込み、引き続きN-CH-Phマレイミド111.0質量部、メタクリル酸34.4質量部、及び分子量調節剤として2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(日本油脂(株)製 商品名:ノフマーMSD)3質量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、バインダー樹脂の溶液(固形分濃度=20.0質量%)を得た。GPCを用いて測定した例示化合物36の重量平均分子量は18000であった。
(Synthesis Example 4: Synthesis of Exemplary Compound 36)
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 2 parts by mass of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 200 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 111.0 parts by mass of N—CH 2 -Ph maleimide, 34.4 parts by mass of methacrylic acid and 3 parts by mass of 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene (trade name: NOFMER MSD, manufactured by NOF Corporation) were charged as a molecular weight regulator, and the atmosphere was replaced with nitrogen. Thereafter, the mixture was gently stirred to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours for polymerization to obtain a binder resin solution (solid content concentration = 20.0% by mass). The weight average molecular weight of Exemplified Compound 36 measured using GPC was 18,000.

(合成例5:例示化合物39の合成)
Katoらの方法(Kato, S., Sato, K., Maeda, D., Nomura, M. Colloids Surfaces A:Physiochem. Eng. Aspects, 1999, 153, 127 (1999))により、下記の構造式で表される化合物を合成し、次いで、当該化合物とメタクリル酸から、Okazakiの方法(Okazaki, E. Proceedings of the Radtech Europe2001)により、例示化合物39を合成した。GPCを用いて測定した例示化合物39の重量平均分子量は20000であった。
(Synthesis Example 5: Synthesis of Exemplified Compound 39)
According to the method of Kato et al. (Kato, S., Sato, K., Maeda, D., Nomura, M. Colloids Surfaces A: Physiochem. Eng. Aspects, 1999, 153, 127 (1999)), Then, the exemplified compound 39 was synthesized from the compound and methacrylic acid by the method of Okazaki (Okazaki, E. Proceedings of the Radtech Europe 2001). The weight average molecular weight of the exemplary compound 39 measured using GPC was 20000.

(緑色顔料ハロゲン化亜鉛フタロシアニンの分散液の調製)
−ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の合成−
フタロジニトリル、塩化亜鉛を原料として亜鉛フタロシアニンを製造した。
ハロゲン化は、塩化スルフリル3.1部、無水塩化アルミニウム3.7部、塩化ナトリウム0.46部、亜鉛フタロシアニン1部を40℃で混合し、臭素2.2部を滴下して行った。80℃で15時間反応し、その後、反応混合物を水に投入し、部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料を析出させた。この水性スラリーを濾過し、80℃の湯洗浄を行い、90℃で乾燥させ、2.6部の精製された部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料を得た。
(Preparation of green pigment zinc halide phthalocyanine dispersion)
-Synthesis of zinc halide phthalocyanine pigments-
Zinc phthalocyanine was produced from phthalodinitrile and zinc chloride.
Halogenation was performed by mixing 3.1 parts of sulfuryl chloride, 3.7 parts of anhydrous aluminum chloride, 0.46 parts of sodium chloride and 1 part of zinc phthalocyanine at 40 ° C., and dropping 2.2 parts of bromine. The mixture was reacted at 80 ° C. for 15 hours, and then the reaction mixture was poured into water to precipitate a partially brominated zinc phthalocyanine crude pigment. This aqueous slurry was filtered, washed with hot water at 80 ° C., and dried at 90 ° C. to obtain 2.6 parts of a purified partially brominated zinc phthalocyanine crude pigment.

この部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料1部、粉砕した塩化ナトリウム7部、ジエチレングリコール1.6部、キシレン0.09部を双腕型ニーダーに仕込み、100℃で6時間混練した。混練後80℃の水100部に取り出し、1時間攪拌後、濾過、湯洗、乾燥、粉砕した部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料を得た。
得られた部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料は、質量分析によるハロゲン含有量分析から、平均組成はZnPcBr10Clで(Pc;フタロシアニン)、1分子中に平均10個の臭素を含有するものであった。
なお、透過型電子顕微鏡(日本電子(株)製JEM−2010)で測定した一次粒径の平均値は0.065μmであった。
1 part of this partially brominated zinc phthalocyanine crude pigment, 7 parts of crushed sodium chloride, 1.6 parts of diethylene glycol and 0.09 part of xylene were charged into a double arm kneader and kneaded at 100 ° C. for 6 hours. After kneading, it was taken out into 100 parts of water at 80 ° C., stirred for 1 hour, and then filtered, washed with hot water, dried and ground to obtain a partially brominated zinc phthalocyanine pigment.
The obtained partially brominated zinc phthalocyanine pigment has an average composition of ZnPcBr 10 Cl 4 H 2 (Pc; phthalocyanine) and contains an average of 10 bromines in one molecule, based on a halogen content analysis by mass spectrometry. there were.
The average primary particle size measured with a transmission electron microscope (JEM-2010, manufactured by JEOL Ltd.) was 0.065 μm.

直径0.5mmのジルコニアビーズを仕込んだ五十嵐機械製造社製高速分散機「TSC−6H」に、前記で得た部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料(PG58と称する。)14.9部、ビックケミー社製アクリル系分散剤「BYK−2001」7.1部、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセテート(以下、PGMEAと称する。)78部を仕込み、毎分2000回転で8時間攪拌して、部分臭素化したハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(緑色顔料PG58と称する。)の分散液を調製した。   In a high-speed disperser “TSC-6H” manufactured by Igarashi Machinery Manufacturing Co., Ltd. charged with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm, 14.9 parts of the partially brominated zinc phthalocyanine pigment (referred to as PG58) obtained above, acrylic manufactured by Big Chemie 7.1 parts of a dispersant “BYK-2001” and 78 parts of propylene glycol 1-monomethyl ether 2-acetate (hereinafter referred to as PGMEA) were charged and stirred at 2000 rpm for 8 hours for partial bromination. A dispersion of a zinc halide phthalocyanine pigment (referred to as green pigment PG58) was prepared.

(黄色顔料PY150の分散液の調製)
−樹脂(i−1)の合成−
n−オクタン酸6.4g、ε−カプロラクトン200g、チタン(IV)テトラブトキシド5gを混合し、160℃で8時間加熱した後、室温まで冷却しポリエステル樹脂(i−1)を得た。合成スキームを以下に示す。
(Preparation of dispersion of yellow pigment PY150)
-Synthesis of Resin (i-1)-
6.4 g of n-octanoic acid, 200 g of ε-caprolactone and 5 g of titanium (IV) tetrabutoxide were mixed, heated at 160 ° C. for 8 hours, and then cooled to room temperature to obtain a polyester resin (i-1). A synthesis scheme is shown below.

−樹脂(J−1)の合成−
ポリエチレンイミン(SP−018、数平均分子量1,800、日本触媒製)10g及び前記ポリエステル樹脂(i−1)100gを混合し、120℃で3時間加熱して、中間体(J−1B)を得た。その後、65℃まで放冷し、無水コハク酸3.8gを含有するPGMEA200gをゆっくり添加し2時間攪拌した。その後、PGMEAを添加し、樹脂(J−1)のPGMEA10質量%溶液を得た。樹脂(J−1)は、ポリエステル樹脂(i−1)由来の側鎖と無水コハク酸由来のカルボキシ基を有するものである。合成スキームを以下に示す。
-Synthesis of Resin (J-1)-
10 g of polyethyleneimine (SP-018, number average molecular weight 1,800, manufactured by Nippon Shokubai) and 100 g of the polyester resin (i-1) are mixed and heated at 120 ° C. for 3 hours to obtain an intermediate (J-1B). Obtained. Then, it stood to cool to 65 degreeC, PGMEA200g containing 3.8g of succinic anhydrides was added slowly, and it stirred for 2 hours. Thereafter, PGMEA was added to obtain a 10 mass% PGMEA solution of the resin (J-1). The resin (J-1) has a side chain derived from the polyester resin (i-1) and a carboxy group derived from succinic anhydride. A synthesis scheme is shown below.

顔料としてC.I.ピグメントイエロー150(PY150)を15部(平均粒子径60nm)、前記樹脂(J−1)7.5部、PGMEA77.5部を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm)により3時間混合し分散して、黄色顔料PY150の分散液を調製した。   As a pigment, C.I. I. 15 parts (average particle diameter 60 nm) of Pigment Yellow 150 (PY150), 7.5 parts of the resin (J-1), and 77.5 parts of PGMEA were mixed and dispersed by a bead mill (zirconia beads 0.3 mm) for 3 hours. A dispersion of yellow pigment PY150 was prepared.

〔実施例1〕
(着色感光性樹脂組成物の調製)
顔料分散液1を次のようにして調製した。すなわち、下記に記載の組成にて、ホモジナイザーを用いて回転数3,000r.p.m.で3時間撹拌して混合し、混合溶液を調製し、さらに0.1mmφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ウルトラアペックスミル(寿工業社製)にて8時間分散処理を行なった。
[Example 1]
(Preparation of colored photosensitive resin composition)
Pigment dispersion 1 was prepared as follows. That is, with the composition described below, a homogenizer was used and stirred for 3 hours at a rotation speed of 3,000 rpm to prepare a mixed solution, and further bead dispersion using 0.1 mmφ zirconia beads Dispersion treatment was carried out for 8 hours using a machine Ultra Apex Mill (manufactured by Kotobuki Industries Co., Ltd.)

・C.I.ピグメントブルー15:6 11.8部
・C.I.ピグメントバイオレット23 1.0部
・Disperbyk161(ビックケミー社製、30%溶液) 24.0部
・PGMEA 63.2部
・ C. I. Pigment Blue 15: 6 11.8 parts C.I. I. Pigment Violet 23 1.0 part Disperbyk 161 (manufactured by Big Chemie, 30% solution) 24.0 parts PGMEA 63.2 parts

得られた顔料分散液1に、さらに以下の組成の成分を添加し、撹拌混合して青色相(B)用着色感光性樹脂組成物を調製した。   Components of the following composition were further added to the obtained pigment dispersion 1, and mixed by stirring to prepare a colored photosensitive resin composition for blue phase (B).

・顔料分散液1 39.20部
・バインダー樹脂:例示化合物1−1の20%PGMEA溶液 16.40部
・重合性化合物:M−510(カルボキシル基含有多官能性単量体) 4.57部
(東亞合成(株)製、アロニックスM−510、酸価100mgKOH/g)
・光重合開始剤:化合物A(下記構造) 2.74部
・増感剤:単官能チオール化合物SH−1(下記構造) 0.55部
・エポキシ化合物:EHPE3150(ダイセル化学(株)製) 0.60部
・溶剤:PGMEAと3−エトキシエチルプロピオネート(=80/20[質量比])の混合溶液 35.51部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール 0.01部
・密着力調整剤:KBM−503(信越化学(株)製) 0.40部
・界面活性剤:メガファックF−780(DIC(株)製) 0.02部
Pigment dispersion 1 39.20 parts Binder resin: 20% PGMEA solution of Exemplified Compound 1-1 16.40 parts Polymerizable compound: M-510 (carboxyl group-containing polyfunctional monomer) 4.57 parts (Toagosei Co., Ltd., Aronix M-510, acid value 100 mgKOH / g)
Photopolymerization initiator: Compound A (the following structure) 2.74 parts Sensitizer: Monofunctional thiol compound SH-1 (the following structure) 0.55 parts Epoxy compound: EHPE3150 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) 0 .60 parts Solvent: PGMEA and 3-ethoxyethyl propionate (= 80/20 [mass ratio]) mixed solution 35.51 parts Polymerization inhibitor: p-methoxyphenol 0.01 part Adhesion modifier : KBM-503 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 0.40 parts ・ Surfactant: Megafac F-780 (manufactured by DIC Corporation) 0.02 parts

(パターンの形成)
パターンの形成は、特に断りのない限り、以下の工程を実施して行った。
上記で得られた着色感光性樹脂組成物を、無アルカリガラス基板(Corning社、1737、550mm×660mm)の表面上に、スリットコーター(平田機工(株)、HC−6000)を用いて塗布したのち、90℃のクリーンオーブン内で120秒間プリベークを行って、膜厚2.0μmの着色層を形成した。
次いで、レーザー露光装置としてEGIS(ブイテクノロジー(株)、YAGレーザーの第三高調波(355nm)、パルス幅6ns)を用い、20ミクロン幅のラインアンドスペースを持つフォトマスクを通して、基板上の着色層の表面とフォトマスクとの間隙(ギャップ)を200μmとして、約1mJ/cmのパルス照射(周波数50Hz)を20回(露光量として20mJ/cm)行った。
その後、この基板を現像装置(日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.20MPaに設定して、50秒現像し、純水で洗浄後、風乾した。その後、220℃のクリーンオーブン内で30分間ベークを行って、基板上に青色のラインパターンを形成した。
(Pattern formation)
The pattern was formed by performing the following steps unless otherwise specified.
The colored photosensitive resin composition obtained above was applied onto the surface of a non-alkali glass substrate (Corning, 1737, 550 mm × 660 mm) using a slit coater (Hirata Kiko Co., Ltd., HC-6000). After that, pre-baking was performed for 120 seconds in a clean oven at 90 ° C. to form a colored layer having a thickness of 2.0 μm.
Next, using EGIS (Bui Technology Co., Ltd., third harmonic of YAG laser (355 nm), pulse width 6 ns) as a laser exposure apparatus, a colored layer on the substrate is passed through a photomask having a line and space of 20 microns width. The gap (gap) between the surface of the substrate and the photomask was 200 μm, and pulse irradiation (frequency 50 Hz) of about 1 mJ / cm 2 was performed 20 times (exposure amount 20 mJ / cm 2 ).
Then, using this developing device (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation), 1.0% developer (CDK-1) of potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials) is used. The shower pressure was set at 0.20 MPa with 1 part by mass, 99 parts by mass of pure water diluted at 25 ° C.), developed for 50 seconds, washed with pure water, and then air-dried. Then, it baked for 30 minutes in a 220 degreeC clean oven, and formed the blue line pattern on the board | substrate.

形成したラインパターンについて下記の評価を行った。結果を表2に示す。
(線幅感度の評価)
形成されたラインパターンを、光学顕微鏡(200倍)によって観察し、線幅を測定評価した。
The following evaluation was performed on the formed line pattern. The results are shown in Table 2.
(Evaluation of line width sensitivity)
The formed line pattern was observed with an optical microscope (200 times), and the line width was measured and evaluated.

−評価基準−
A:30μm以上
B:27μm以上30μm未満
C:25μm以上27μm未満
D:25μm未満
E:パターンが形成されない、または、剥がれて評価ができない。
-Evaluation criteria-
A: 30 μm or more B: 27 μm or more and less than 30 μm C: 25 μm or more and less than 27 μm D: Less than 25 μm E: The pattern is not formed or cannot be evaluated.

(直線性の評価)
形成されたラインパターンを、光学顕微鏡(200倍)によって観察し、線幅の直線性(ガタツキ具合)を目視評価した。
(Evaluation of linearity)
The formed line pattern was observed with an optical microscope (200 times), and the linearity (roughness) of the line width was visually evaluated.

−評価基準−
A:ガタツキがなく、カケもなく、ラインが真直ぐであった。
B:ガタツキが数箇所あったが、ラインがほとんど真直ぐであった。
C:ガタツキが大きく、線幅に±2μm程度のラインバラツキが生じていた。
D:ガタツキが大きく、線幅に±5μm程度のラインバラツキが生じていた。
E:パターンが形成されなかった、または、剥がれて評価ができなかった。
-Evaluation criteria-
A: There was no backlash, no burrs, and the line was straight.
B: There were several backlashes, but the line was almost straight.
C: The backlash was large and the line width was about ± 2 μm.
D: The backlash was large and the line width was about ± 5 μm.
E: The pattern was not formed or peeled off and could not be evaluated.

(耐熱性の評価)
ラインパターンが形成された基板を、240℃のクリーンオーブン内で60分間追加ベークし、追加ベーク前後での色差(ΔEab)を、大塚電子(株)製分光測光器MCPD−2000を用いて測定した。ここでΔEabとは、L表色系における色差を意味する。ΔEabの値を用い、以下の評価基準に従って、耐熱性を評価した。
(Evaluation of heat resistance)
The substrate on which the line pattern was formed was additionally baked in a clean oven at 240 ° C. for 60 minutes, and the color difference (ΔE * ab) before and after the additional baking was measured using a spectrophotometer MCPD-2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. It was measured. Here, ΔE * ab means a color difference in the L * a * b * color system. Using the value of ΔE * ab, the heat resistance was evaluated according to the following evaluation criteria.

−評価基準−
5 :ΔEabが0以上1.0未満
4.5:ΔEabが1.0以上2.0未満
4 :ΔEabが2.0以上3.0未満
3.5:ΔEabが3.0以上3.5未満
3 :ΔEabが3.5以上4.0未満
2.5:ΔEabが4.0以上5.0未満
2 :ΔEabが5.0以上
1 :剥がれがあり、且つΔEabが5.0以上
-Evaluation criteria-
5: ΔE * ab is 0 or more and less than 1.0 4.5: ΔE * ab is 1.0 or more and less than 2.0 4: ΔE * ab is 2.0 or more and less than 3.0 3.5: ΔE * ab is 3.0 or more and less than 3.5 3: ΔE * ab is 3.5 or more and less than 4.0 2.5: ΔE * ab is 4.0 or more and less than 5.0 2: ΔE * ab is 5.0 or more 1: There is peeling and ΔE * ab is 5.0 or more

(現像性の評価)
着色感光性樹脂組成物を前記無アルカリガラス基板の表面上にスピンコーターを用いて乾燥膜厚が2.0μmとなるように塗布し、120℃で2分間プリベークさせて均一な着色層を形成した。次いで、前述の通り、レーザー露光装置用いたパルス照射を行った。
(Evaluation of developability)
The colored photosensitive resin composition was applied onto the surface of the alkali-free glass substrate using a spin coater so that the dry film thickness was 2.0 μm, and pre-baked at 120 ° C. for 2 minutes to form a uniform colored layer. . Next, as described above, pulse irradiation using a laser exposure apparatus was performed.

次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、基板上の着色層表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製を100倍希釈した液)にて24℃でフラットノズル圧力0.04MPaで5秒おきにシャワー現像し、その後、流水で20秒間リンスした後、エアナイフで乾燥させラインパターンを得た。   Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the colored layer on the substrate, and then a KOH developer (KOH, containing nonionic surfactant, trade names: CDK-1, Fuji Film). Shown with a flat nozzle pressure of 0.04 MPa at 24 ° C. every 5 seconds and then rinsed with running water for 20 seconds, followed by drying with an air knife and a line pattern. Got.

上記ラインパターンの形成にあたって、以下のようにして現像性の評価を行なった。すなわち、現像を10秒から5秒ずつ延長して行い、未硬化部が基板から除去されるのに要した時間を測定した。   In forming the line pattern, the developability was evaluated as follows. That is, the development was extended from 10 seconds to 5 seconds, and the time required for the uncured part to be removed from the substrate was measured.

(レチキュレーションの評価)
前記のパターンの形成において、露光を、20ミクロン幅及び200ミクロン幅のラインアンドスペースを持つマスクを用いて、基板上の着色層表面とマスクとの間隙(ギャップ)を200μmとして行った。ポストベーク後の形成された線幅20ミクロン及び200ミクロンのラインパターンを、光学顕微鏡(200倍)によって観察し、レチキュレーションを目視評価した。
(Evaluation of reticulation)
In the formation of the pattern, the exposure was performed using a mask having a line and space with a width of 20 microns and a width of 200 microns and a gap (gap) between the surface of the colored layer on the substrate and the mask of 200 μm. The formed line patterns having a line width of 20 microns and 200 microns after post-baking were observed with an optical microscope (200 times), and the reticulation was visually evaluated.

−評価基準−
A:200ミクロン、20ミクロン共にレチキュレーションがなく、平坦であった。
B:200ミクロンにはレチキュレーションがなかったが、20ミクロンにレチキュレーションが軽度に発生していた。
C:200ミクロンにはレチキュレーションがなかったが、20ミクロンにレチキュレーションが強く発生していた。
D:200ミクロンにレチキュレーションが軽度に発生し、20ミクロンにレチキュレーションが強く発生していた。
E:200ミクロン、20ミクロン共にレチキュレーションが強く発生していた。
-Evaluation criteria-
A: Both 200 microns and 20 microns were flat without reticulation.
B: There was no reticulation at 200 microns, but reticulation occurred slightly at 20 microns.
C: There was no reticulation at 200 microns, but reticulation was strong at 20 microns.
D: Reticulation occurred slightly at 200 microns, and reticulation occurred strongly at 20 microns.
E: Reticulation was strong in both 200 microns and 20 microns.

(総合評価)
線幅感度、直線性、耐熱性、現像性、及びレチキュレーションを、以下の評価基準に従って総合的に評価した。
−評価基準−
5 :非常に優れている。
4.5:優れている。
4 :通常使用では問題ないレベル。
3.5:若干劣る性能であるが、問題ないレベル。
3 :通常使用でギリギリのレベル。
2.5:通常使用の許容限界より少し低く問題あり。
2 :性能不十分で使用できない。
1 :評価ができないレベル。
(Comprehensive evaluation)
Line width sensitivity, linearity, heat resistance, developability, and reticulation were comprehensively evaluated according to the following evaluation criteria.
-Evaluation criteria-
5: Very good.
4.5: Excellent.
4: Level at which there is no problem in normal use.
3.5: Slightly inferior performance, but no problem level.
3: Level of barely in normal use.
2.5: There is a problem that is slightly lower than the allowable limit of normal use.
2: Not usable due to insufficient performance.
1: Level that cannot be evaluated.

〔実施例2〜23、比較例1〜6〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物の調製において、用いる各材料を表1のように変更した以外は実施例1の着色感光性樹脂組成物の調製と同様にして、各着色感光性樹脂組成物を調製した。赤色相(R)用の着色剤としては、C.I.ピグメントレッド254を用いた。緑色相(G)用の着色剤としては、C.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150とを、前者対後者の質量比70/30で混合して用いた。
各着色感光性樹脂組成物を用いて、実施例1におけるパターンの形成と同様にして、実施例2〜23、及び比較例1〜6のラインパターンを形成した。得られたラインパターンを用いて、実施例1と同様の評価を行った。結果を表2に示す。
[Examples 2 to 23, Comparative Examples 1 to 6]
In the preparation of the colored photosensitive resin composition of Example 1, each colored photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in the preparation of the colored photosensitive resin composition of Example 1, except that each material used was changed as shown in Table 1. A product was prepared. Examples of the colorant for the red phase (R) include C.I. I. Pigment Red 254 was used. Examples of colorants for the green phase (G) include C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. Pigment Yellow 150 was used by mixing at a mass ratio of the former to the latter of 70/30.
The line patterns of Examples 2 to 23 and Comparative Examples 1 to 6 were formed in the same manner as the pattern formation in Example 1 using each colored photosensitive resin composition. Evaluation similar to Example 1 was performed using the obtained line pattern. The results are shown in Table 2.

なお、実施例15〜17では、パターンの形成、並びに現像性及びレチキュレーションの評価において、レーザー露光に換えプロキシミティ露光を行った。プロキシミティ露光の条件は、以下の通りである。すなわち、超高圧水銀灯を有すプロキシミティ型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、基板上の着色層表面とマスクの間の距離を200μmに設定し、露光量20mJ/cmでパターン露光した。 In Examples 15 to 17, proximity exposure was performed instead of laser exposure in pattern formation and evaluation of developability and reticulation. The conditions for proximity exposure are as follows. In other words, with a proximity-type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, the substrate and mask (quartz exposure mask having an image pattern) are vertically set on the substrate. The distance between the colored layer surface and the mask was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 20 mJ / cm 2 .

〔実施例24〕
(着色感光性樹脂組成物の調製)
下記の成分を撹拌混合して、着色感光性樹脂組成物を調製した。
・前記緑色顔料PG58の分散液 32.68部
・前記黄色顔料PY150の分散液 14.56部
・バインダー樹脂:例示化合物1−1 0.176部
・重合性化合物:TO−2349(カルボキシル基含有多官能性単量体)5.52部
(東亞合成(株)製、アロニックスTO−2349、酸価67mgKOH/g)
・ロフィン系光重合開始剤:HABI−1311(下記構造) 1.115部
(日本シイベルヘグナー製)
・光重合開始剤:IRGACURE OXE−01 1.246部
(チバ・スペシャルティーケミカル社製)
・光重合開始剤:KAYACURE DETX−S(日本化薬(株)製 0.036部
・増感剤:単官能チオール化合物SH−1 0.161部
・溶剤:3−エトキシエチルプロピオネート 24.60部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー 12.89部
・重合禁止剤:Pメトキシフェノール 0.003部
・界面活性剤:メガファックF−554(DIC(株)製) 0.0146部
Example 24
(Preparation of colored photosensitive resin composition)
The following components were stirred and mixed to prepare a colored photosensitive resin composition.
-Dispersion of the green pigment PG58 32.68 parts-Dispersion of the yellow pigment PY150 14.56 parts-Binder resin: 0.176 parts of Exemplified Compound 1-1-Polymerizable compound: TO-2349 (multiple carboxyl group-containing compounds) Functional monomer) 5.52 parts (Toagosei Co., Ltd., Aronix TO-2349, acid value 67 mgKOH / g)
・ Lophine-based photopolymerization initiator: HABI-1311 (structure shown below) 1.115 parts (manufactured by Nippon Siebel Hegner)
-Photopolymerization initiator: 1.246 parts IRGACURE OXE-01 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
Photopolymerization initiator: KAYACURE DETX-S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. 0.036 parts) Sensitizer: Monofunctional thiol compound SH-1 0.161 parts Solvent: 3-ethoxyethyl propionate 24. 60 parts / solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate 12.89 parts / polymerization inhibitor: P methoxyphenol 0.003 part / surfactant: Megafax F-554 (manufactured by DIC Corporation) 0.0146 part

(パターンの形成)
上記で得られた着色感光性樹脂組成物を、無アルカリガラス基板(Corning社、1737、550mm×660mm)の表面上に、スリットダイにより塗布速度100mm/s、塗布ギャップ100μm、塗布流速1.3ml/sの条件で塗布した後、減圧乾燥チャンバーにて到達圧力0.5Torrにて真空乾燥したのち、80℃のオーブンで120秒間乾燥させ(プリベーク)、膜厚2.0μmの塗布膜を得た。その後、20ミクロン幅のラインアンドスペースを持つフォトマスクを通して、超高圧水銀灯にて20mJ/cm(照度35mW/cm)Gap200μmにてプロキシ露光し、露光後の塗布膜をアルカリ現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1%水溶液で40秒間シャワー状に散布、更に純水をシャワー状に60秒散布して現像液を洗い流した。次に、上記のように露光及び現像処理が施された塗布膜を230℃のオーブンで40分加熱処理し(ポストベーク)、ガラス基板上にラインパターンを形成した。
(Pattern formation)
The colored photosensitive resin composition obtained above is coated on the surface of a non-alkali glass substrate (Corning, 1737, 550 mm × 660 mm) by a slit die with a coating speed of 100 mm / s, a coating gap of 100 μm, and a coating flow rate of 1.3 ml. After coating under the conditions of / s, vacuum drying was performed at an ultimate pressure of 0.5 Torr in a vacuum drying chamber, followed by drying for 120 seconds in an oven at 80 ° C. (prebaking) to obtain a coating film having a thickness of 2.0 μm. . Thereafter, it is subjected to proxy exposure with an ultrahigh pressure mercury lamp at 20 mJ / cm 2 (illuminance 35 mW / cm 2 ) Gap 200 μm through a photomask having a line and space of 20 microns width, and the coating film after exposure is subjected to an alkali developer CDK-1. A 1% aqueous solution (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) was sprayed in a shower form for 40 seconds, and pure water was sprayed in a shower form for 60 seconds to wash away the developer. Next, the coating film that had been exposed and developed as described above was heat-treated in an oven at 230 ° C. for 40 minutes (post-baking) to form a line pattern on the glass substrate.

その後、形成したラインパターンについて、実施例1と同様の評価を行った。結果を表2に示す。   Then, the same evaluation as Example 1 was performed about the formed line pattern. The results are shown in Table 2.

〔実施例25〕
実施例24の着色感光性樹脂組成物の調製において、ロフィン系光重合開始剤をHABI−1311からHABI−1311A(下記構造)に変更した以外は、実施例24の着色感光性樹脂組成物の調製と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製した。その後、実施例24と同様にして、ラインパターンを形成し評価を行った。結果を表2に示す。
Example 25
In the preparation of the colored photosensitive resin composition of Example 24, the colored photosensitive resin composition of Example 24 was prepared except that the lophine photopolymerization initiator was changed from HABI-1311 to HABI-1311A (the following structure). In the same manner as above, a colored photosensitive resin composition was prepared. Thereafter, in the same manner as in Example 24, a line pattern was formed and evaluated. The results are shown in Table 2.

〔実施例26〕
実施例24の着色感光性樹脂組成物の調製において、重合性化合物をTO−2349からM−520(東亞合成(株)製、酸価30.0mgKOH/g、カルボキシル基含有多官能性単量体)に変更した以外は、実施例24の着色感光性樹脂組成物の調製と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製した。その後、実施例24と同様にして、ラインパターンを形成し評価を行った。結果を表2に示す。
Example 26
In the preparation of the colored photosensitive resin composition of Example 24, the polymerizable compound was changed from TO-2349 to M-520 (manufactured by Toagosei Co., Ltd., acid value 30.0 mgKOH / g, carboxyl group-containing polyfunctional monomer). A colored photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in the preparation of the colored photosensitive resin composition of Example 24 except that the above was changed. Thereafter, in the same manner as in Example 24, a line pattern was formed and evaluated. The results are shown in Table 2.

表1において、M−510は、東亞合成(株)製 アロニックスM−510、M−520は、東亞合成(株)製 アロニックスM−520である。M−1及びM−2は、カルボキシル基含有多官能性単量体の項で挙げた具体例M−1及びM−2である。M−5は、下記構造式で表される化合物において、(n=2/n=3/n=4)=60/30/10の混合物である。M−6は、下記構造式で表される化合物において、(n=2/n=3/n=4)=85/15/5の混合物である。   In Table 1, M-510 is Aronix M-510 manufactured by Toagosei Co., Ltd., and M-520 is Aronix M-520 manufactured by Toagosei Co., Ltd. M-1 and M-2 are specific examples M-1 and M-2 mentioned in the section of the carboxyl group-containing polyfunctional monomer. M-5 is a mixture of (n = 2 / n = 3 / n = 4) = 60/30/10 in the compound represented by the following structural formula. M-6 is a mixture of (n = 2 / n = 3 / n = 4) = 85/15/5 in the compound represented by the following structural formula.

表1において、DPHAは、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートであり、日本化薬製 商品名DPHAを用いた。
CGI242は、オキシム系光重合開始剤(チバ・スペシャルティーケミカル社製)である。
「B−CIM」は、ロフィン系光重合開始剤B−CIMと増感色素EAB(B−CIM:EAB=2:1[質量比])(いずれも保土ヶ谷化学工業製)で化合物Aを置き換えた。
「トリアジン系」は、トリアジン系光重合開始剤、4−[o−ブロモ−p−N,N−ビス(エトキシカルボニル)アミノフェニル]−2,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンである。
化合物Bは、下記の構造式で表される化合物である。
In Table 1, DPHA is dipentaerythritol hexaacrylate, and Nippon Kayaku product name DPHA was used.
CGI242 is an oxime photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).
"B-CIM" replaced Compound A with lophine photopolymerization initiator B-CIM and sensitizing dye EAB (B-CIM: EAB = 2: 1 [mass ratio]) (both manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.). .
“Triazine-based” is a triazine-based photopolymerization initiator, 4- [o-bromo-pN, N-bis (ethoxycarbonyl) aminophenyl] -2,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine. .
Compound B is a compound represented by the following structural formula.

表1において、比較化合物1は、ベンジルメタクリレートとメタクリル酸との共重合体(共重合モル比80/20、重量平均分子量35000)であり、比較化合物2は、n-プロピルメタクリレートとメタクリル酸との共重合体(共重合モル比80/20、重量平均分子量35000)である。   In Table 1, the comparative compound 1 is a copolymer of benzyl methacrylate and methacrylic acid (copolymerization molar ratio 80/20, weight average molecular weight 35000), and the comparative compound 2 is composed of n-propyl methacrylate and methacrylic acid. It is a copolymer (copolymerization molar ratio 80/20, weight average molecular weight 35000).

表2から明らかなように、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いた実施例1〜26は、線幅感度が高く、直線性、耐熱性、及び現像性に優れ、レチキュレーションの発生が抑制されていた。   As is clear from Table 2, Examples 1 to 26 using the colored photosensitive resin composition of the present invention have high line width sensitivity, excellent linearity, heat resistance, and developability, and generation of reticulation. Was suppressed.

Claims (10)

少なくとも、(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有し、
前記(A)着色剤の含有量が着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で15質量%〜60質量%であり、
前記(B)バインダー樹脂が分子内に、(B−1)下記一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位と、酸性基を有する構造単位とを有し、
前記(C)重合性化合物の少なくとも1種がカルボキシル基含有多官能性単量体であり、
前記(D)光重合開始剤の少なくとも1種がロフィン系光重合開始剤又はオキシム系光重合開始剤である着色感光性樹脂組成物。


一般式(I)中、R11〜R15はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はアリール基を表し、R16は水素原子又はメチル基を表す。


一般式(II)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R22は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。R23及びR24は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数4以下のアルキル基を表す。R23とR24とは互いに結合して炭素環を形成していてもよい。
At least (A) a colorant, (B) a binder resin, (C) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a solvent,
The content of the colorant (A) is 15% by mass to 60% by mass with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition,
The (B) binder resin has (B-1) a structural unit represented by the following general formula (I), (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, and (B-3) in the molecule. ) Having at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following general formula (II), and a structural unit having an acidic group,
At least one of the polymerizable compound (C) is a carboxyl group-containing polyfunctional monomer;
(D) A colored photosensitive resin composition in which at least one of the photopolymerization initiators is a lophine photopolymerization initiator or an oxime photopolymerization initiator.


In the general formula (I), the R 11 to R 15 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group or an aryl group, R 16 represents a hydrogen atom or a methyl group.


In General Formula (II), R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 22 represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. R 23 and R 24 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 4 or less carbon atoms. R 23 and R 24 may be bonded to each other to form a carbocycle.
前記オキシム系光重合開始剤が下記一般式(III)で表されるケトオキシム系光重合開始剤である請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。


一般式(III)中、R及びXは、各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。nは0〜5の整数である。Xが複数存在する場合、複数のXは、各々独立に一価の置換基を表し、同一であっても異なっていてもよい。
The colored photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the oxime photopolymerization initiator is a ketoxime photopolymerization initiator represented by the following general formula (III).


In general formula (III), R and X each independently represent a monovalent substituent, A represents a divalent organic group, and Ar represents an aryl group. n is an integer of 0-5. When a plurality of Xs are present, the plurality of Xs each independently represent a monovalent substituent and may be the same or different.
前記カルボキシル基含有多官能性単量体の酸価が80mgKOH/g〜200mgKOH/gである請求項1又は請求項2に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein an acid value of the carboxyl group-containing polyfunctional monomer is 80 mgKOH / g to 200 mgKOH / g. 更に、(F)増感剤を含み、前記(F)増感剤の少なくとも1種が単官能チオール化合物である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising (F) a sensitizer, wherein at least one of the (F) sensitizers is a monofunctional thiol compound. . 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布して着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層に対してパターン様の紫外光レーザーによる露光をし、潜像を形成する露光工程と、前記潜像が形成された着色層を現像してパターンを形成する現像工程と、を含むパターン形成方法。   A colored layer forming step of forming a colored layer by applying the colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 on a substrate, and pattern-like ultraviolet light with respect to the colored layer A pattern forming method comprising: an exposure step of exposing with a laser to form a latent image; and a developing step of developing the colored layer on which the latent image is formed to form a pattern. 前記紫外光レーザーの露光波長が300nm〜380nmの範囲である請求項5に記載のパターン形成方法。   The pattern forming method according to claim 5, wherein an exposure wavelength of the ultraviolet laser is in a range of 300 nm to 380 nm. 前記紫外光レーザーが20Hz〜2000Hzの周波数で発振されるパルスレーザーである請求項5又は請求項6に記載のパターン形成方法。   The pattern forming method according to claim 5, wherein the ultraviolet laser is a pulse laser oscillated at a frequency of 20 Hz to 2000 Hz. 請求項5から請求項7のいずれか1項に記載のパターン形成方法により、基板上にパターンを形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法。   A color filter manufacturing method comprising a step of forming a pattern on a substrate by the pattern forming method according to claim 5. 請求項8に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタ。   A color filter manufactured by the manufacturing method according to claim 8. 請求項9に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。   A display device comprising the color filter according to claim 9.
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