JP2011122886A - Temperature measuring device and temperature measuring method - Google Patents

Temperature measuring device and temperature measuring method Download PDF

Info

Publication number
JP2011122886A
JP2011122886A JP2009279572A JP2009279572A JP2011122886A JP 2011122886 A JP2011122886 A JP 2011122886A JP 2009279572 A JP2009279572 A JP 2009279572A JP 2009279572 A JP2009279572 A JP 2009279572A JP 2011122886 A JP2011122886 A JP 2011122886A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
absorption spectrum
temperature
light
gas
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009279572A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5645397B2 (en
Inventor
Yoshihiro Deguchi
祥啓 出口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP2009279572A priority Critical patent/JP5645397B2/en
Publication of JP2011122886A publication Critical patent/JP2011122886A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5645397B2 publication Critical patent/JP5645397B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a temperature measuring device and a temperature measuring method for simply measuring surface temperature distribution in a duct at low costs and always measuring the surface temperature distribution. <P>SOLUTION: The device is provided with a light receiving part 2, a spectroscopic part 3, and an analysis part 4. The light receiving part 2 is attached on one wall surface of a channel where fluid flows. Light emitted from the other wall surface of the channel and passing through the fluid enters the light receiving part 2. The spectroscopic part 3 disperses the light entered into the light receiving part 2. The analysis part 4 obtains from the light dispersed from the spectroscopic part 3 a measured absorption spectrum which is an absorption spectrum on at least gas, compares a theoretical absorption spectrum at a predetermined temperature of gas with the measured absorption spectrum, and determines a predetermined temperature at which an error between the theoretical absorption spectrum and the measured absorption spectrum is smallest. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、温度測定装置および温度測定方法に関する。   The present invention relates to a temperature measuring device and a temperature measuring method.

一般に、ボイラや、化学プラントにおける脱硫装置などの排ガス処理装置では、効率を把握するため、性能を改善するため、効率向上を図るために排ガスが流れるダクト内の面温度分布を測定されている。   In general, in an exhaust gas treatment apparatus such as a boiler or a desulfurization apparatus in a chemical plant, in order to grasp the efficiency and improve the performance, the surface temperature distribution in the duct through which the exhaust gas flows is measured in order to improve the efficiency.

ボイラ、化学プラントなどのダクト内の面温度分布を計測する一般的な方法としては、熱電対を挿入して、挿入位置を変化させて温度を計測する方法が知られている。
そのほかに、温度の面分布を同時に計測する方法として、熱電対を複数グリッド状に配置して、面温度分布を計測する方法も知られている。さらに、光の吸収を活用して温度の分布を測定する方法も知られている(例えば、特許文献1参照。)。
As a general method for measuring the surface temperature distribution in a duct of a boiler, a chemical plant or the like, a method of measuring a temperature by inserting a thermocouple and changing the insertion position is known.
In addition, as a method for simultaneously measuring the surface distribution of temperature, a method of measuring the surface temperature distribution by arranging a plurality of thermocouples in a grid shape is also known. Furthermore, a method of measuring temperature distribution using light absorption is also known (for example, see Patent Document 1).

特開平8−233668号公報JP-A-8-233668

しかしながら、熱電対を用いた面温度分布の測定方法では、面温度分布の測定に時間がかかるという問題があった。さらに、面温度分布を常時測定する常時モニター装置への適用には適していないという問題があった。   However, the method for measuring the surface temperature distribution using a thermocouple has a problem that it takes time to measure the surface temperature distribution. Furthermore, there is a problem that it is not suitable for application to a constant monitor device that constantly measures the surface temperature distribution.

面温度分布を同時に計測する方法では、熱電対のグリッドが排ガス流れの状態を乱すという問題があった。さらに、面温度分布を常時測定する常時モニター装置への適用には適していないという問題があった。   In the method of simultaneously measuring the surface temperature distribution, there is a problem that the grid of the thermocouple disturbs the state of the exhaust gas flow. Furthermore, there is a problem that it is not suitable for application to a constant monitor device that constantly measures the surface temperature distribution.

光の吸収を活用した面温度分布の測定方法では、CT(コンピュータトモグラフィ)を活用することから、計測対象であるダクトに多くのポート(光の入出力を行う部分)を設ける必要があり、面温度分布の測定にコストがかかるという問題があった。さらに、ポートには光の入出力に係る窓が設けられており、この窓の汚れなどの管理を必要とするという問題があった。   In the measurement method of surface temperature distribution using light absorption, CT (computer tomography) is used, so it is necessary to provide many ports (portions where light is input and output) in the duct to be measured. There was a problem that the measurement of the surface temperature distribution was expensive. Further, the port is provided with a window related to input / output of light, and there is a problem that it is necessary to manage the contamination of the window.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、ダクト内の面温度分布を安価かつ簡易に計測することができ、面温度分布を常時測定することができる温度測定装置および温度測定方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-described problem, and is capable of measuring the surface temperature distribution in the duct inexpensively and easily, and a temperature measuring device capable of always measuring the surface temperature distribution and An object is to provide a temperature measurement method.

上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の温度測定装置は、流体が流れる流路の一の壁面に取り付けられ、前記流路の他の壁面から発せられ、前記流体を通過した光が入射する受光部と、該受光部に入射した光を分光する分光部と、該分光部により分光された光から、少なくとも前記気体に関する吸収スペクトルである実測の吸収スペクトルを取得するとともに、前記気体の所定温度における理論上の吸収スペクトル、および、前記実測の吸収スペクトルを比較し、前記理論上の吸収スペクトルと前記実測の吸収スペクトルとの誤差が最も小さくなる前記所定温度を求める解析部と、が設けられていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
The temperature measuring device of the present invention is attached to one wall surface of a flow path through which a fluid flows, a light receiving portion that is emitted from the other wall surface of the flow path and is incident on the light receiving portion. A spectroscopic unit that divides the emitted light, and obtains an actual absorption spectrum that is at least an absorption spectrum of the gas from the light split by the spectroscopic unit, and a theoretical absorption spectrum of the gas at a predetermined temperature, and And an analysis unit that compares the measured absorption spectra and obtains the predetermined temperature at which an error between the theoretical absorption spectrum and the measured absorption spectrum is minimized.

本発明によれば、壁面から発せられて気体を通過した光を測定するため、測定光を気体に照射する構成を用いることなく、気体の温度を測定することができる。そのため温度測定装置における構成要素を少なくすることができ、安価に温度測定することができる。さらに、温度測定に際して、流路に受光部のみを配置するだけでよく、流路に配置する構成要素の数を減らすことができ、簡易に温度測定することができる。   According to the present invention, since the light emitted from the wall surface and passed through the gas is measured, the temperature of the gas can be measured without using a configuration in which the gas is irradiated with the measurement light. Therefore, the number of components in the temperature measuring device can be reduced, and the temperature can be measured at a low cost. Furthermore, when the temperature is measured, it is only necessary to dispose only the light receiving portion in the flow path, the number of components disposed in the flow path can be reduced, and the temperature can be measured easily.

その一方で、壁面から発せられる気体を通過した光を用いて気体の温度を測定するため、流路を流れる気体における温度分布を安価かつ容易に測定することができる。つまり、流体を取り囲む壁面の全てから光が発せられているため、受光部における光を測定する方向を変える、または、光を測定する受光部を変更することのみで、気体の温度分布を測定することができる。
さらに、壁面から発せられ気体を通過した光を用いて気体の温度を測定するため、流路における気体の流れを阻害することがなく、常時、気体の温度を測定することができる。
On the other hand, since the temperature of the gas is measured using light that has passed through the gas emitted from the wall surface, the temperature distribution in the gas flowing through the flow path can be measured inexpensively and easily. That is, since light is emitted from all the wall surfaces surrounding the fluid, the temperature distribution of the gas is measured only by changing the direction of measuring the light in the light receiving unit or changing the light receiving unit for measuring the light. be able to.
Furthermore, since the temperature of the gas is measured using light emitted from the wall surface and passing through the gas, the gas temperature can be constantly measured without obstructing the flow of the gas in the flow path.

本発明の温度測定方法は、気体が流れる流路の壁面から発せられ、前記気体を通過した光を測定し、前記気体に関する吸収スペクトルである実測の吸収スペクトルを取得する取得ステップと、前記気体の所定温度における理論上の吸収スペクトル、および、前記実測の吸収スペクトルを比較し、前記理論上の吸収スペクトルと前記実測の吸収スペクトルとの誤差が最も小さくなる前記所定温度を求める演算ステップと、を有することを特徴とする。   The temperature measurement method of the present invention includes an acquisition step of measuring light emitted from a wall surface of a flow path through which gas flows and passing through the gas, and acquiring an actually measured absorption spectrum that is an absorption spectrum related to the gas; A calculation step of comparing the theoretical absorption spectrum at a predetermined temperature and the measured absorption spectrum to obtain the predetermined temperature at which an error between the theoretical absorption spectrum and the measured absorption spectrum is minimized. It is characterized by that.

本発明によれば、壁面から発せられて気体を通過した光を測定するため、測定光を気体に照射する構成を用いることなく、気体の温度を測定することができる。そのため温度測定に用いる構成要素を少なくすることができ、安価に温度測定することができる。さらに、温度測定に際して、流路に光を測定する構成要素のみを配置するだけでよく、流路に配置する構成要素の数を減らすことができ、簡易に温度測定することができる。   According to the present invention, since the light emitted from the wall surface and passed through the gas is measured, the temperature of the gas can be measured without using a configuration in which the gas is irradiated with the measurement light. Therefore, the number of components used for temperature measurement can be reduced, and temperature measurement can be performed at low cost. Furthermore, when measuring temperature, it is only necessary to arrange components for measuring light in the flow path, the number of components arranged in the flow path can be reduced, and temperature can be measured easily.

具体的には、気体における光の吸収特性である吸収スペクトルにおける温度依存性を用いることにより、気体の温度を測定することができる。そのため、流路を流れる複数種類の気体の少なくとも1つにおいて吸収スペクトルが既知であれば、当該気体の温度を求めることができる。つまり、上述の気体に関する実測の吸収スペクトルと、複数の所定温度における理論上の吸収スペクトルとを比較し、誤差が最も小さな理論上の吸収スペクトルに関する所定温度が、上述の気体の温度に最も近い温度となる。   Specifically, the temperature of the gas can be measured by using the temperature dependence in the absorption spectrum, which is the light absorption characteristic of the gas. Therefore, if the absorption spectrum is known in at least one of a plurality of types of gases flowing in the flow path, the temperature of the gas can be obtained. That is, the measured absorption spectrum for the gas is compared with the theoretical absorption spectrum at a plurality of predetermined temperatures, and the predetermined temperature for the theoretical absorption spectrum with the smallest error is the temperature closest to the temperature of the gas. It becomes.

その一方で、壁面から発せられる気体を通過した光を用いて気体の温度を測定するため、流路を流れる気体における温度分布を安価かつ容易に測定することができる。つまり、流体を取り囲む壁面の全てから光が発せられているため、光を測定する構成要素における光を測定する方向を変える、または、光を測定する構成要素を変更することのみで、気体の温度分布を測定することができる。
さらに、壁面から発せられ気体を通過した光を用いて気体の温度を測定するため、流路における気体の流れを阻害することがなく、常時、気体の温度を測定することができる。
On the other hand, since the temperature of the gas is measured using light that has passed through the gas emitted from the wall surface, the temperature distribution in the gas flowing through the flow path can be measured inexpensively and easily. In other words, since light is emitted from all the wall surfaces surrounding the fluid, the temperature of the gas can be changed only by changing the direction of measuring light in the component that measures light, or changing the component that measures light. Distribution can be measured.
Furthermore, since the temperature of the gas is measured using light emitted from the wall surface and passing through the gas, the gas temperature can be constantly measured without obstructing the flow of the gas in the flow path.

上記発明においては、前記取得ステップでは、前記気体を通過した光の強度に関するスペクトルであって、前記実測の吸収スペクトルを含む実測の発光スペクトルを取得し、前記演算ステップでは、前記壁面から発せられる光の強度に関する発光スペクトルを近似した近似スペクトル、および、前記理論上の吸収スペクトルに基づいて理論上の発光スペクトルを算出し、前記理論上の発光スペクトルと前記実測の発光スペクトルとの誤差が最も小さくなる前記所定温度を求めることが望ましい。   In the above invention, in the obtaining step, a measured emission spectrum including the measured absorption spectrum is obtained, which is a spectrum related to the intensity of light that has passed through the gas. In the calculating step, light emitted from the wall surface is obtained. The theoretical emission spectrum is calculated based on the approximate spectrum that approximates the emission spectrum relating to the intensity of light and the theoretical absorption spectrum, and the error between the theoretical emission spectrum and the actually measured emission spectrum is minimized. It is desirable to obtain the predetermined temperature.

本発明によれば、吸収スペクトルに基づいて気体の温度を測定する方法と比較して、より正確に気体の温度を求めることができる。例えば、吸収スペクトルのピークにおける波長を比較するだけでなく、吸収スペクトルの大きさ、つまり、壁面から発せられた光の強度に関する発光スペクトルから強度が低下した割合等も比較することにより、より正確に気体の温度を求めることができる。   According to the present invention, the temperature of the gas can be determined more accurately as compared with the method of measuring the temperature of the gas based on the absorption spectrum. For example, not only by comparing the wavelength at the peak of the absorption spectrum, but also by comparing the magnitude of the absorption spectrum, that is, the rate of decrease in intensity from the emission spectrum related to the intensity of light emitted from the wall surface, etc. The temperature of the gas can be determined.

上記発明において、前記吸収スペクトルは水蒸気(HO)に関する吸収スペクトルであることが望ましい。
上記発明において、前記吸収スペクトルは、波長が750nmから850nmの範囲における水蒸気(HO)に関する吸収スペクトルであることがさらに望ましい。
In the above invention, the absorption spectrum is preferably an absorption spectrum related to water vapor (H 2 O).
In the above invention, the absorption spectrum is more preferably an absorption spectrum related to water vapor (H 2 O) in a wavelength range of 750 nm to 850 nm.

本発明によれば、流路を流れる気体、例えば排気ガスの温度を容易かつ確実に測定することができる。つまり、排気ガス中には水蒸気が含まれていることが通常であることから、水蒸気の吸収スペクトルを用いることにより、排気ガスの種類を問わず温度測定を行うことができる。特に、波長が750nmから850nmの範囲における水蒸気における吸収スペクトルは、光の吸収係数が小さく、吸収量が飽和しにくいため、測定する水蒸気の温度や、流路の径や、水蒸気の濃度が変化しても、適した吸収スペクトルを測定し、温度を計測することができる。さらに、当該範囲における吸収スペクトルには、温度依存性があるため、これを利用して排気ガスの温度を計測することができる。   According to the present invention, it is possible to easily and reliably measure the temperature of a gas flowing through a flow path, for example, exhaust gas. That is, since it is normal that water vapor is contained in the exhaust gas, temperature measurement can be performed regardless of the type of the exhaust gas by using the water vapor absorption spectrum. In particular, the absorption spectrum of water vapor in the wavelength range of 750 nm to 850 nm has a small light absorption coefficient and is difficult to saturate the amount of absorption. However, a suitable absorption spectrum can be measured and the temperature can be measured. Furthermore, since the absorption spectrum in the range has temperature dependence, the temperature of the exhaust gas can be measured using this.

本発明の温度測定装置および温度測定方法によれば、壁面から発せられて気体を通過した光を測定するとともに、吸収スペクトルの温度依存性を利用することにより、ダクト内の温度分布を安価かつ簡易に測定することができ、温度分布を常時測定することができるという効果を奏する。   According to the temperature measuring device and the temperature measuring method of the present invention, the light emitted from the wall surface and passed through the gas is measured, and the temperature dependence in the absorption spectrum is utilized to make the temperature distribution in the duct inexpensive and simple. Thus, the temperature distribution can be constantly measured.

本発明の一実施形態に係る温度測定装置の構成を説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the structure of the temperature measurement apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図1の受光部の構成を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the structure of the light-receiving part of FIG. ダクトの壁面から発せられた光が受光部に入射する様子を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining a mode that the light emitted from the wall surface of the duct injects into a light-receiving part. 解析部により取得された実測の発光スペクトルを示すグラフである。It is a graph which shows the actually measured emission spectrum acquired by the analysis part. 光の吸収量が飽和した状態説明するグラフである。It is a graph explaining the state which the amount of light absorption was saturated. 800nmから1000nmに存在する水蒸気の吸収帯を説明するグラフである。It is a graph explaining the absorption band of the water vapor | steam which exists in 800 nm to 1000 nm. 800nm近傍における水蒸気の吸収スペクトルの温度依存性を説明するグラフである。It is a graph explaining the temperature dependence of the absorption spectrum of water vapor | steam in the 800 nm vicinity. 800nm近傍における水蒸気の吸収スペクトルの温度依存性を説明するグラフである。It is a graph explaining the temperature dependence of the absorption spectrum of water vapor | steam in the 800 nm vicinity. 800nm近傍における水蒸気の吸収スペクトルの温度依存性を説明するグラフである。It is a graph explaining the temperature dependence of the absorption spectrum of water vapor | steam in the 800 nm vicinity. 図2の受光部の別の実施例を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining another Example of the light-receiving part of FIG. 図2の受光部の更に別の実施例を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining another Example of the light-receiving part of FIG.

この発明の一実施形態に係る温度測定装置について、図1から図11を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係る温度測定装置の構成を説明するブロック図である。図2は、図1の受光部の構成を説明する模式図である。
本実施形態では、本発明をボイラや化学プラントにおけるダクト(流路)10内を流れる排ガスの温度分布を測定する温度測定装置1に適用して説明する。
温度測定装置1には、図1および図2に示すように、受光部2と、分光部3と、解析部4と、が主に設けられている。
A temperature measuring apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a block diagram illustrating the configuration of the temperature measurement device according to the present embodiment. FIG. 2 is a schematic diagram illustrating the configuration of the light receiving unit in FIG. 1.
In the present embodiment, the present invention will be described by applying the present invention to a temperature measuring device 1 that measures the temperature distribution of exhaust gas flowing through a duct (flow channel) 10 in a boiler or chemical plant.
As shown in FIGS. 1 and 2, the temperature measuring device 1 mainly includes a light receiving unit 2, a spectroscopic unit 3, and an analysis unit 4.

受光部2はダクト10における壁面11の外側に配置されるものであって、壁面11から発せられる光が入射するものである。つまり、受光部2における壁面11と対向する面には、光が入射する入射窓(図示せず。)が設けられている。
さらにダクト10が、図2に示すように4つの壁面11から構成された四角筒状に形成されたものである場合には、互いに隣接する壁面11のそれぞれに受光部2が配置されている。
The light receiving unit 2 is disposed outside the wall surface 11 in the duct 10, and receives light emitted from the wall surface 11. That is, an incident window (not shown) through which light enters is provided on the surface of the light receiving unit 2 that faces the wall surface 11.
Furthermore, when the duct 10 is formed in the shape of a square cylinder composed of four wall surfaces 11 as shown in FIG. 2, the light receiving portions 2 are arranged on the respective wall surfaces 11 adjacent to each other.

分光部3は、壁面11から発せられた光を分光するものであり、分光後の光を解析部4に導くものである。
なお、分光部3としては公知のものを用いることができ、特に限定するものではない。
The light splitting unit 3 splits light emitted from the wall surface 11 and guides the light after the splitting to the analysis unit 4.
In addition, a well-known thing can be used as the spectroscopy part 3, and it does not specifically limit.

その一方で、受光部2と分光部3との間には、受光部2に入射した光を分光部3に導く光ファイバAが設けられ、分光部3と解析部4との間には、分光された光を解析部に導く光ファイバBが設けられている。
なお、光ファイバA,Bとしては公知の光ファイバを用いることができ、特に限定するものではない。
On the other hand, an optical fiber A that guides the light incident on the light receiving unit 2 to the spectroscopic unit 3 is provided between the light receiving unit 2 and the spectroscopic unit 3, and between the spectroscopic unit 3 and the analysis unit 4, An optical fiber B that guides the split light to the analysis unit is provided.
In addition, as optical fiber A and B, a well-known optical fiber can be used and it does not specifically limit.

解析部4は、分光部3により分光された光を検出するとともに、ダクト10を流れる排気ガスの温度を算出するものである。解析部4で行われる排気ガス温度の具体的な算出方法については後述する。   The analysis unit 4 detects the light split by the spectroscopic unit 3 and calculates the temperature of the exhaust gas flowing through the duct 10. A specific calculation method of the exhaust gas temperature performed in the analysis unit 4 will be described later.

次に、上記の構成からなる温度測定装置1における排気ガスの温度測定方法について説明する。
本実施形態では、ダクト10の壁面11から発せられる光の発光分布(波長依存性)が不明なため、多項式(例えば2次式から9次式)を用いて当該発光分布を近似して用いている。つまり、当該近似された発光分布、および、ダクト10内を流れる気体における理論上の吸収帯(温度依存性がある。)との組み合わせと、実際に計測された発光分布と、の誤差が最小となる温度を求めることにより、ダクト10内を流れる排気ガスの温度を決定している。
Next, an exhaust gas temperature measuring method in the temperature measuring apparatus 1 having the above-described configuration will be described.
In this embodiment, since the light emission distribution (wavelength dependence) of the light emitted from the wall surface 11 of the duct 10 is unknown, the light emission distribution is approximated using a polynomial (for example, a quadratic expression to a ninth order expression). Yes. That is, the error between the approximate light emission distribution and the theoretical absorption band (with temperature dependence) of the gas flowing in the duct 10 and the actually measured light emission distribution is minimized. The temperature of the exhaust gas flowing in the duct 10 is determined by obtaining the temperature of

図3は、ダクトの壁面から発せられた光が受光部に入射する様子を説明する模式図である。
一般に、ダクト10の壁面11からは光が発せられており、図3に示すように、当該光は受光部2に入射する。図3では、受光部2が配置された壁面11と対向する壁面11および隣接する壁面11の一部から発せられた光が受光部2に入射している場合が示されている。図3におけるi=1,2,3,・・・,nは、計測線の番号を示すものであり、j=1,2,3,・・・,nは、計測点の番号を示すものである。計測点とは2つ計測線が交差する点のことである。
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a state in which light emitted from the wall surface of the duct enters the light receiving unit.
Generally, light is emitted from the wall surface 11 of the duct 10, and the light enters the light receiving unit 2 as shown in FIG. 3. FIG. 3 shows a case where light emitted from a part of the wall surface 11 facing the wall surface 11 on which the light receiving unit 2 is disposed and a part of the adjacent wall surface 11 is incident on the light receiving unit 2. In FIG. 3, i = 1, 2, 3,..., N indicates the number of the measurement line, and j = 1, 2, 3,..., N indicates the number of the measurement point. It is. A measurement point is a point where two measurement lines intersect.

ここで、壁面11から発せられた光は、ダクト10の内部を流れる排気ガスを透過して受光部2に入射している。そのため、受光部2に入射する光は、排気ガスに含まれる成分、例えば水蒸気によって一部が吸収されている。
なお、壁面11における温度の計測場所を特定するために、光ファイバAにレーザ光などの確認用の光が入射されていてもよく、特に限定するものではない。
Here, the light emitted from the wall surface 11 passes through the exhaust gas flowing inside the duct 10 and enters the light receiving unit 2. Therefore, a part of the light incident on the light receiving unit 2 is absorbed by a component contained in the exhaust gas, for example, water vapor.
In addition, in order to specify the temperature measurement location on the wall surface 11, confirmation light such as laser light may be incident on the optical fiber A, and there is no particular limitation.

図4は、解析部により取得された実測の発光スペクトルを示すグラフである。
受光部2に入射した一の計測線に係る光は光ファイバAを介して分光部3に入射し、分光部3において分光される。一の計測線に係る分光された光は、光ファイバBを介して解析部4に入射し、解析部4は、図4に示すような実測の発光スペクトルRSを測定し、波長Xに関する信号強度の関数Fi(X)を取得する(取得ステップ)。
FIG. 4 is a graph showing an actually measured emission spectrum acquired by the analysis unit.
The light related to one measurement line incident on the light receiving unit 2 enters the spectroscopic unit 3 through the optical fiber A, and is split in the spectroscopic unit 3. The split light related to one measurement line enters the analysis unit 4 via the optical fiber B, and the analysis unit 4 measures the actually measured emission spectrum RS as shown in FIG. The function Fi (X) is acquired (acquisition step).

ここで、実測の発光スペクトルRSは、壁面11から発せられた光の発光スペクトルWSと、ダクト10内を流れる気体に関する吸収スペクトル(実測の吸収スペクトル)とが組み合わされたスペクトルになっている。   Here, the actually measured emission spectrum RS is a spectrum in which the emission spectrum WS of the light emitted from the wall surface 11 and the absorption spectrum (measured absorption spectrum) relating to the gas flowing in the duct 10 are combined.

その一方、解析部4は、ダクト10の壁面11から発せられる光の発光分布、つまり発光スペクトルWSを以下に記載する波長Xに関する信号強度の多項式Di(X)で近似する。
Di(X)=ai+aiX+aiX+・・・+aiX
ここで、aからaは多項式の係数であり、iは計測線番号である。
また、多項式の次数は2次から9次までの任意の次数を用いることができ、特に限定するものではない。
On the other hand, the analysis unit 4 approximates the light emission distribution of the light emitted from the wall surface 11 of the duct 10, that is, the light emission spectrum WS, with a signal intensity polynomial Di (X) related to the wavelength X described below.
Di (X) = a 0 i + a 1 iX + a 2 iX 2 +... + A 9 iX 9
Here, a 9 from a 0 is the coefficient of the polynomial, i is a measurement line number.
The order of the polynomial may be any order from the second order to the ninth order, and is not particularly limited.

さらに解析部4は、ダクト10内を流れる排気ガスに含まれる気体、本実施形態では水蒸気の理論上の吸収スペクトルの波長Xに関する強度信号の関数Yij(X,Tij)を求める。
ここでTは水蒸気の温度であり、iは計測線番号であり、jは計測点番号である。そのため、Yij(X,Tij)は温度Tに関する関数でもあり、かつ、各計測線iの計測点jにおける関数である。
Furthermore, the analysis unit 4 obtains a function Yij (X, Tij) of the intensity signal related to the wavelength X of the theoretical absorption spectrum of the gas contained in the exhaust gas flowing through the duct 10, in this embodiment, water vapor.
Here, T is the temperature of water vapor, i is a measurement line number, and j is a measurement point number. Therefore, Yij (X, Tij) is also a function relating to the temperature T and a function at the measurement point j of each measurement line i.

すると、各計測線iにおける理論上の発光スペクトル(波長Xに関する信号強度)は、以下の関数で表わすことができる。
Di(X)×ΣYij(X,Tij)
つまり、波長Xに関する信号強度の多項式Di(X)と、水蒸気の理論上の吸収スペクトル(波長Xに関する強度信号)の関数Yij(X,Tij)における計測点番号jについての和との積により表わすことができる。
Then, the theoretical emission spectrum (signal intensity related to the wavelength X) in each measurement line i can be expressed by the following function.
Di (X) × ΣYij (X, Tij)
That is, it is represented by the product of the polynomial Di (X) of the signal intensity relating to the wavelength X and the sum of the measurement point number j in the function Yij (X, Tij) of the theoretical absorption spectrum of water vapor (intensity signal relating to the wavelength X). be able to.

解析部4は、コンピュータトモグラフィと最小自乗法を用いて、上述の過程を経て得られた各計測線iにおける理論上の発光スペクトルと、実測の発光スペクトルRSとの誤差が最小となる温度Tijを算出する(演算ステップ)。
Σ(Fi(X)−Di(X)×ΣYij(X,T))
The analysis unit 4 uses computer tomography and the method of least squares to determine the temperature Tij that minimizes the error between the theoretical emission spectrum and the actually measured emission spectrum RS in each measurement line i obtained through the above-described process. Is calculated (calculation step).
Σ (Fi (X) −Di (X) × ΣYij (X, T)) 2

ここで、温度Tijを算出する際に、排気ガスに含まれる水蒸気の吸収スペクトル(例えば、2700nm、1900nm、1330nmの吸収帯)を用いることも考えられる。   Here, when calculating the temperature Tij, it is also conceivable to use an absorption spectrum of water vapor contained in the exhaust gas (for example, absorption bands of 2700 nm, 1900 nm, and 1330 nm).

図5は、光の吸収量が飽和した状態説明するグラフである。
しかしながら、ボイラや化学プラントなどのダクト10内を流れる排気ガス(水蒸気)の温度を計測する場合、以下の不都合な点があった。つまり、ダクト10は数mから10m程度の径を有し、上述の波長を利用して水蒸気(排気ガス)の温度を計測すると、図5に示すように、光の吸収量が飽和してしまい、ダクト10内を流れる排気ガス(水蒸気)温度の解析は困難となる。
FIG. 5 is a graph for explaining a state in which the light absorption amount is saturated.
However, when measuring the temperature of the exhaust gas (water vapor) flowing through the duct 10 of a boiler or chemical plant, there are the following disadvantages. That is, the duct 10 has a diameter of several meters to 10 meters, and when the temperature of the water vapor (exhaust gas) is measured using the above-described wavelength, the light absorption amount is saturated as shown in FIG. It becomes difficult to analyze the temperature of the exhaust gas (water vapor) flowing through the duct 10.

図6は、800nmから1000nmに存在する水蒸気の吸収帯を説明するグラフである。
その一方で、水蒸気における約800nmから約1000nmの範囲に存在する吸収帯(図6参照。)は、光の吸収係数が小さく、また、吸収量が異なる吸収帯域が存在するため、測定する水蒸気の温度や、ダクト10の径や、水蒸気の濃度が変化しても、適した吸収スペクトルを測定し、温度を計測することができる。
図7から図9に示すように、波長が約750nmから約850nmまでの範囲における水蒸気の吸収スペクトルは、温度の変化に伴い変化している。つまり温度依存性があるため、これを利用して水蒸気(排気ガス)の温度を計測することができる。
FIG. 6 is a graph illustrating an absorption band of water vapor existing from 800 nm to 1000 nm.
On the other hand, the absorption band (see FIG. 6) in the range of about 800 nm to about 1000 nm in water vapor has a small light absorption coefficient and has absorption bands with different absorption amounts. Even if the temperature, the diameter of the duct 10 or the concentration of water vapor changes, a suitable absorption spectrum can be measured and the temperature can be measured.
As shown in FIGS. 7 to 9, the water vapor absorption spectrum in the wavelength range from about 750 nm to about 850 nm changes with changes in temperature. That is, since it has temperature dependence, the temperature of water vapor (exhaust gas) can be measured using this.

上記の構成によれば、壁面11から発せられて排気ガス(水蒸気)を通過した光を測定するため、測定光を排気ガス(水蒸気)に照射する構成を用いることなく、排気ガス(水蒸気)の温度を測定することができる。そのため温度測定装置1における構成要素を少なくすることができ、安価に温度測定することができる。さらに、温度測定に際して、ダクト10に受光部2のみを配置するだけでよく、ダクト10に配置する構成要素の数を減らすことができ、簡易に温度測定することができる。   According to said structure, in order to measure the light emitted from the wall surface 11 and which passed exhaust gas (water vapor), without using the structure which irradiates exhaust gas (water vapor) with measurement light, The temperature can be measured. Therefore, the components in the temperature measuring device 1 can be reduced, and the temperature can be measured at a low cost. Furthermore, when the temperature is measured, it is only necessary to arrange the light receiving unit 2 in the duct 10, the number of components arranged in the duct 10 can be reduced, and the temperature can be easily measured.

具体的には、排気ガスに含まれる水蒸気における光の吸収特性、つまり、吸収スペクトルにおける温度依存性を用いることにより、水蒸気の温度を測定することができる。そのため、ダクト10を流れる複数種類の気体の少なくとも1つ(例えば水蒸気)において吸収スペクトルが既知であれば、水蒸気の温度を求めることができる。つまり、水蒸気に関する実測の吸収スペクトルと、複数の所定温度における理論上の吸収スペクトルとを比較し、誤差が最も小さな理論上の吸収スペクトルに関する所定温度を、上述の気体の温度に最も近い温度として求めることができる。   Specifically, the temperature of water vapor can be measured by using the light absorption characteristics of water vapor contained in the exhaust gas, that is, the temperature dependence in the absorption spectrum. Therefore, if the absorption spectrum is known in at least one of a plurality of types of gases (for example, water vapor) flowing through the duct 10, the temperature of the water vapor can be obtained. That is, the measured absorption spectrum for water vapor and the theoretical absorption spectrum at a plurality of predetermined temperatures are compared, and the predetermined temperature for the theoretical absorption spectrum with the smallest error is obtained as the temperature closest to the above-described gas temperature. be able to.

さらに、実測の吸収スペクトルを含む実測の発光スペクトルRSと、理論上の発光スペクトルとに基づいて排気ガス(水蒸気)の温度を測定することにより、吸収スペクトルのみに基づいて排気ガス(水蒸気)の温度を測定する方法と比較して、より正確に排気ガス(水蒸気)の温度を求めることができる。例えば、吸収スペクトルのピークにおける波長を比較するだけでなく、吸収スペクトルの大きさ、つまり、壁面11から発せられた光の強度に関する発光スペクトルから強度が低下した割合等も比較することにより、より正確に排気ガス(水蒸気)の温度を求めることができる。   Further, by measuring the temperature of the exhaust gas (water vapor) based on the measured emission spectrum RS including the measured absorption spectrum and the theoretical emission spectrum, the temperature of the exhaust gas (water vapor) based only on the absorption spectrum. Compared with the method of measuring the temperature, the temperature of the exhaust gas (water vapor) can be determined more accurately. For example, not only by comparing the wavelength at the peak of the absorption spectrum, but also by comparing the magnitude of the absorption spectrum, that is, the rate of decrease in intensity from the emission spectrum related to the intensity of light emitted from the wall surface 11, etc. In addition, the temperature of the exhaust gas (water vapor) can be obtained.

その一方で、壁面11から発せられる排気ガス(水蒸気)を通過した光を用いて排気ガスの温度を測定するため、ダクト10を流れる排気ガスにおける温度分布を安価かつ容易に測定することができる。つまり、排気ガスを取り囲む壁面11の全てから光が発せられているため、受光部2における光を測定する方向を変える、または、光を測定する受光部2を変更することのみで、排気ガス(水蒸気)の温度分布を測定することができる。
さらに、壁面11から発せられ排気ガス(水蒸気)を通過した光を用いて排気ガス(水蒸気)の温度を測定するため、ダクト10における排気ガスの流れを阻害することがなく、常時、排気ガスの温度を測定することができる。
On the other hand, since the temperature of the exhaust gas is measured using light that has passed through the exhaust gas (water vapor) emitted from the wall surface 11, the temperature distribution in the exhaust gas flowing through the duct 10 can be measured inexpensively and easily. That is, since light is emitted from all of the wall surface 11 surrounding the exhaust gas, the exhaust gas (only by changing the light measuring direction in the light receiving unit 2 or changing the light receiving unit 2 for measuring light). The temperature distribution of water vapor) can be measured.
Furthermore, since the temperature of the exhaust gas (water vapor) is measured using the light emitted from the wall surface 11 and passed through the exhaust gas (water vapor), the flow of the exhaust gas in the duct 10 is not obstructed, and the exhaust gas is constantly The temperature can be measured.

図10は、図2の受光部の別の実施例を説明する模式図である。
なお、受光部2の構成としては、図2および図3に示すように、ダクト10が延びる方向に対して直交する平面上(図2および図3の紙面上)における排気ガスの温度分布を2次元的に測定するものであってもよいし、図10に示すように、ダクト10が延びる方向も含め、ダクト10内を流れる排気ガスの温度分布を3次元的に測定するものであってもよく、特に限定するものではない。
FIG. 10 is a schematic diagram for explaining another embodiment of the light receiving unit in FIG.
As shown in FIGS. 2 and 3, the light receiving unit 2 has a temperature distribution of exhaust gas 2 on a plane orthogonal to the direction in which the duct 10 extends (on the paper surface of FIGS. 2 and 3). As shown in FIG. 10, the temperature distribution of the exhaust gas flowing in the duct 10 including the direction in which the duct 10 extends can be measured three-dimensionally. Well, not particularly limited.

図11は、図2の受光部の更に別の実施例を説明する模式図である。
さらに、図11に示すように集光光学系21を受光部2に配置し、かつ、光ファイバAをファイバの単線A1の集合であるバンドルファイバとし、単線A1を集光光学系21に向かって広がるように配置してもよく、特に限定するものではない。
FIG. 11 is a schematic view for explaining still another embodiment of the light receiving unit in FIG.
Furthermore, as shown in FIG. 11, the condensing optical system 21 is disposed in the light receiving unit 2, and the optical fiber A is a bundle fiber that is a set of single fibers A <b> 1, and the single wire A <b> 1 is directed toward the condensing optical system 21. It may be arranged so as to spread, and is not particularly limited.

1 温度測定装置
2 受光部
3 分光部
4 解析部
10 ダクト(流路)
11 壁面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Temperature measuring device 2 Light-receiving part 3 Spectrometer part 4 Analysis part 10 Duct (flow path)
11 Wall surface

Claims (5)

流体が流れる流路の一の壁面に取り付けられ、前記流路の他の壁面から発せられ、前記流体を通過した光が入射する受光部と、
該受光部に入射した光を分光する分光部と、
該分光部により分光された光から、少なくとも前記気体に関する吸収スペクトルである実測の吸収スペクトルを取得するとともに、
前記気体の所定温度における理論上の吸収スペクトル、および、前記実測の吸収スペクトルを比較し、
前記理論上の吸収スペクトルと前記実測の吸収スペクトルとの誤差が最も小さくなる前記所定温度を求める解析部と、
が設けられていることを特徴とする温度測定装置。
A light receiving unit that is attached to one wall surface of the flow path through which the fluid flows, is emitted from the other wall surface of the flow path, and receives light that has passed through the fluid;
A spectroscopic unit that splits light incident on the light receiving unit;
While obtaining at least an actually measured absorption spectrum that is an absorption spectrum related to the gas from the light split by the spectroscopic unit,
Comparing the theoretical absorption spectrum of the gas at a given temperature and the measured absorption spectrum;
An analysis unit for obtaining the predetermined temperature at which an error between the theoretical absorption spectrum and the actually measured absorption spectrum is minimized;
A temperature measuring device is provided.
気体が流れる流路の壁面から発せられ、前記気体を通過した光を測定し、前記気体に関する吸収スペクトルである実測の吸収スペクトルを取得する取得ステップと、
前記気体の所定温度における理論上の吸収スペクトル、および、前記実測の吸収スペクトルを比較し、
前記理論上の吸収スペクトルと前記実測の吸収スペクトルとの誤差が最も小さくなる前記所定温度を求める演算ステップと、
を有することを特徴とする温度測定方法。
An acquisition step of measuring the light emitted from the wall surface of the flow path through which the gas flows and passing through the gas, and obtaining an actual absorption spectrum that is an absorption spectrum for the gas;
Comparing the theoretical absorption spectrum of the gas at a given temperature and the measured absorption spectrum;
A calculation step for obtaining the predetermined temperature at which an error between the theoretical absorption spectrum and the actually measured absorption spectrum is minimized;
A temperature measuring method characterized by comprising:
前記取得ステップでは、前記気体を通過した光の強度に関するスペクトルであって、前記実測の吸収スペクトルを含む実測の発光スペクトルを取得し、
前記演算ステップでは、前記壁面から発せられる光の強度に関する発光スペクトルを近似した近似スペクトル、および、前記理論上の吸収スペクトルに基づいて理論上の発光スペクトルを算出し、
前記理論上の発光スペクトルと前記実測の発光スペクトルとの誤差が最も小さくなる前記所定温度を求めることを特徴とする請求項2記載の温度測定方法。
In the acquisition step, a spectrum relating to the intensity of light that has passed through the gas, wherein a measured emission spectrum including the measured absorption spectrum is acquired,
In the calculation step, an approximate spectrum that approximates an emission spectrum relating to the intensity of light emitted from the wall surface, and a theoretical emission spectrum is calculated based on the theoretical absorption spectrum,
3. The temperature measuring method according to claim 2, wherein the predetermined temperature at which an error between the theoretical emission spectrum and the actually measured emission spectrum is minimized is obtained.
前記吸収スペクトルは水蒸気(HO)に関する吸収スペクトルであることを特徴とする請求項2または3に記載の温度測定方法。 The temperature measurement method according to claim 2, wherein the absorption spectrum is an absorption spectrum related to water vapor (H 2 O). 前記吸収スペクトルは、波長が750nmから850nmの範囲における水蒸気(HO)に関する吸収スペクトルであることを特徴とする請求項2または3に記載の温度測定方法。
The temperature measurement method according to claim 2, wherein the absorption spectrum is an absorption spectrum related to water vapor (H 2 O) in a wavelength range of 750 nm to 850 nm.
JP2009279572A 2009-12-09 2009-12-09 Temperature measuring apparatus and temperature measuring method Expired - Fee Related JP5645397B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009279572A JP5645397B2 (en) 2009-12-09 2009-12-09 Temperature measuring apparatus and temperature measuring method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009279572A JP5645397B2 (en) 2009-12-09 2009-12-09 Temperature measuring apparatus and temperature measuring method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011122886A true JP2011122886A (en) 2011-06-23
JP5645397B2 JP5645397B2 (en) 2014-12-24

Family

ID=44286922

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009279572A Expired - Fee Related JP5645397B2 (en) 2009-12-09 2009-12-09 Temperature measuring apparatus and temperature measuring method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5645397B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2540380B1 (en) * 2010-02-26 2017-07-05 Mitsubishi Hitachi Power Systems, Ltd. Device for controlling denitration apparatus, denitration apparatus provided with the device, boiler plant provided with the device, and method for controlling denitration apparatus
CN109141669A (en) * 2016-08-09 2019-01-04 上海禾赛光电科技有限公司 Wireless temperature measurement method and device based on spectral technique
CN115523958A (en) * 2022-10-15 2022-12-27 浙江大学 Gas temperature and concentration synchronous measurement method based on spectrum fast-slow separation principle

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09126889A (en) * 1995-11-02 1997-05-16 Tokai Carbon Co Ltd Method and instrument for measuring temperature of semiconductor substrate
JP2004251766A (en) * 2003-02-20 2004-09-09 Yukio Yamada Temperature measuring method, and measuring instrument used therefor
JP2005164453A (en) * 2003-12-04 2005-06-23 Toyota Motor Corp Space temperature measuring device and method
WO2007063840A1 (en) * 2005-11-30 2007-06-07 Eisai R & D Management Co., Ltd. Method of measuring moisture content of drying subject
JP2008151669A (en) * 2006-12-18 2008-07-03 Toyota Motor Corp Temperature analyzer and temperature analysis method of exhaust gas, and temperature analysis program

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09126889A (en) * 1995-11-02 1997-05-16 Tokai Carbon Co Ltd Method and instrument for measuring temperature of semiconductor substrate
JP2004251766A (en) * 2003-02-20 2004-09-09 Yukio Yamada Temperature measuring method, and measuring instrument used therefor
JP2005164453A (en) * 2003-12-04 2005-06-23 Toyota Motor Corp Space temperature measuring device and method
WO2007063840A1 (en) * 2005-11-30 2007-06-07 Eisai R & D Management Co., Ltd. Method of measuring moisture content of drying subject
JP2008151669A (en) * 2006-12-18 2008-07-03 Toyota Motor Corp Temperature analyzer and temperature analysis method of exhaust gas, and temperature analysis program

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2540380B1 (en) * 2010-02-26 2017-07-05 Mitsubishi Hitachi Power Systems, Ltd. Device for controlling denitration apparatus, denitration apparatus provided with the device, boiler plant provided with the device, and method for controlling denitration apparatus
CN109141669A (en) * 2016-08-09 2019-01-04 上海禾赛光电科技有限公司 Wireless temperature measurement method and device based on spectral technique
CN115523958A (en) * 2022-10-15 2022-12-27 浙江大学 Gas temperature and concentration synchronous measurement method based on spectrum fast-slow separation principle

Also Published As

Publication number Publication date
JP5645397B2 (en) 2014-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009510480A (en) Calibration of two-line gas spectroscopy
US9372153B2 (en) Dryness fraction distribution measuring device and dryness fraction distribution measuring method
US20120176600A1 (en) Gas Sensing System Employing Raman Scattering
CN102507511A (en) On-line in situ detecting device for infrared-ultraviolet double pulse laser induced breakdown spectroscopy
CN103557886A (en) Method for simultaneously measuring distribution of high-temperature gas two-dimensional transient temperature field and concentration field based on hyper spectrum
CN107907502A (en) Lamination electro-arc heater high-enthalpy flow parameter diagnosis system
CN101819140A (en) Continuous monitoring device and method of gaseous elemental mercury concentration
US20170010207A1 (en) Device for determining the concentration of at least one gas in a sample gas flow by means of infrared absorption spectroscopy
JP6761431B2 (en) Gas analyzer and gas analysis method using laser beam
CN102639983A (en) Method for determining the optical measurement path length in a duct gas monitoring system
SE1150205A1 (en) Method and system for gas measurement in combustion chambers
EP0239370A2 (en) Droplet size measuring apparatus
JP5645397B2 (en) Temperature measuring apparatus and temperature measuring method
JP2000131227A (en) Method and device for measuring quantity of impurity in analyzed gas sample
US9442064B1 (en) Photometer with LED light source
JP3842982B2 (en) Gas calorific value measuring device, gasifier, gas calorific value measuring method and gasifying method
Aspey et al. Multiwavelength sensing of smoke using a polychromatic LED: Mie extinction characterization using HLS analysis
JP2013092524A (en) Data acquisition method
JP4160866B2 (en) Optical measuring device
JP2005024249A (en) Laser measuring apparatus
Zhang et al. An optical system for measuring nitric oxide using spectral separation techniques
JP2001289783A (en) Method and device for measuring so3 concentration in exhaust gas
Meribout et al. An NIR-based probe for submilligram measurement of solid contaminants in gas pipelines
JP2018040648A (en) Laser type gas analysis device
WO2017073256A1 (en) Dryness-fraction measuring device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111226

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130311

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131008

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131209

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20141007

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20141104

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5645397

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees