JP2011122715A - Liquid accumulation unit - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid accumulation unit capable of purging in a flow passage without requiring cost. <P>SOLUTION: A first input flow passage 210, a first output flow passage 220, a second input flow passage 230, a second output flow passage 240, and a main flow passage 200 are formed in a flow passage block 2. A first opening/closing valve 3 and a second opening/closing valve 4 are mounted to the flow passage block 2. The second output flow passage 240 is positioned nearer an output port 5 than the first output flow passage 220 is. The first opening/closing valve 3 supplies gas for purging liquid in the flow passages. The second opening/closing valve 4 supplies the liquid. The flow passage block 2 is communicated with a gas flow passage 250 which communicates the first output flow passage 220 and the second output flow passage 240. The gas flow passage 250 is formed at a position nearer the first opening/closing valve 3 and the second opening/closing valve 4 than the main flow passage 200 is. Accordingly, residual liquid in the flow passages can be reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、第１入力流路と第１出力流路を連通又は遮断する第１開閉弁と、第２入力流路と第２出力流路を連通又は遮断する第２開閉弁と、液体を供給する主流路とを有する液体集積ユニットに関する。   The present invention provides a first on-off valve that communicates or blocks a first input channel and a first output channel, a second on-off valve that communicates or blocks a second input channel and a second output channel, and a liquid. The present invention relates to a liquid accumulation unit having a main flow path to be supplied.

従来、この種の液体集積ユニットは、半導体製造設備、液晶画面やプラズマディスプレイの製造などで用いられるスパッタ装置等で使用されている。
液体集積ユニットの使用方法は、具体的には、以下の通りである。
スパッタ装置稼働時を、図５に示す、スパッタ装置で用いられるチャンバ７０内にヒータ８０が設置され、ヒータ８０により基板８５を２００度以上に温度調整している。
スパッタ装置を止めて、チャンバ７０を開き、基板８５を取り出す際には、基板８５を常温まで下げなければならない。その時間を短くするために冷却水を流し、強制的に基板８５の温度を下げる。そのため、チャンバ７０を開く前に液体集積ユニット１を用い、ヒータ８０内に形成されている流路９０に冷却水を流し込み、基板８５を常温にまで下げて、チャンバ７０を開く。
次に、スパッタ装置を稼働させる前に、液体集積ユニット１を用いて、ヒータ８０内の流路に気体を流し、ヒータ８０の温度上昇の妨げとなる残液をパージする。残液をパージする理由は、ヒータ８０内の流路９０に残液が堆積すると、ヒータ８０を再び加熱する際に流路９０内の残液が熱を奪うため、加熱に時間がかかるからである。 Conventionally, this type of liquid integrated unit is used in a semiconductor manufacturing facility, a sputtering apparatus used in manufacturing a liquid crystal screen or a plasma display, and the like.
Specifically, the method of using the liquid accumulation unit is as follows.
When the sputtering apparatus is in operation, a heater 80 is installed in a chamber 70 used in the sputtering apparatus shown in FIG. 5, and the temperature of the substrate 85 is adjusted to 200 degrees or more by the heater 80.
When the sputtering apparatus is stopped, the chamber 70 is opened, and the substrate 85 is taken out, the substrate 85 must be lowered to room temperature. In order to shorten the time, cooling water is supplied to forcibly lower the temperature of the substrate 85. Therefore, the liquid integrated unit 1 is used before opening the chamber 70, cooling water is poured into the flow path 90 formed in the heater 80, the substrate 85 is lowered to room temperature, and the chamber 70 is opened.
Next, before operating the sputtering apparatus, the liquid integrated unit 1 is used to flow a gas through the flow path in the heater 80 to purge the remaining liquid that hinders the temperature rise of the heater 80. The reason for purging the residual liquid is that if the residual liquid accumulates in the flow path 90 in the heater 80, the residual liquid in the flow path 90 takes heat when the heater 80 is heated again, and thus heating takes time. is there.

一方、ヒータ内部の流路をパージするための液体集積ユニットではないが、従来、本出願人が原料液を置換する際に用いる特許文献１の原料液供給ユニット１００がある。図６に、原料液供給ユニット１００の断面図を示す。
原料液供給ユニット１００は、マニホールドブロック１２０の上面に、上流側から順に、パージガス供給バルブ１３０、クリーニング液供給バルブ１４０、第１原料液供給バルブ１５０、第２原料液供給バルブ１６０、第３原料液供給バルブ１７０が一列に並べ取り付けられている。バルブは、各々流路連通部１３３、１４３、１５３、１６３、１７３に連通しており、各々流路連通部から、Ｖ字形流路１２３、１２４、１２５、１２６が連通している。Ｖ字形流路１２３は、直線流路１２３ａ、直線流路１２３ｂからなる。その他のＶ字形流路１２４、１２５、１２６も同様の構成である。
原料液供給ユニット１００は、第１原料液供給バルブ１５０から第１原料液を流した後に、第２原料液供給バルブ１６０から第２原料液を流す場合には、Ｖ字形流路１２５、１２６、１２７に第１原料液が堆積する。堆積した第１原料液を排出しなければ、第２原料液と第１原料液とが混在し、最終製品に影響を与えることになるため、パージガス供給バルブ１３０からパージガスを供給し、Ｖ字形流路に堆積した第１原料液をパージすることを目的としている。
第１原料液と第２原料液が混在すると、最終製品に影響があるため、流路内に堆積した残液が残らないように、Ｖ字形流路を形成している。Ｖ字形流路であれば、流路に滞留する原料液がなくなるからである。 On the other hand, although there is no liquid accumulation unit for purging the flow path inside the heater, there is conventionally a raw material liquid supply unit 100 of Patent Document 1 used when the present applicant replaces the raw material liquid. FIG. 6 shows a cross-sectional view of the raw material liquid supply unit 100.
The raw material liquid supply unit 100 includes, on the upper surface of the manifold block 120, in order from the upstream side, a purge gas supply valve 130, a cleaning liquid supply valve 140, a first raw material liquid supply valve 150, a second raw material liquid supply valve 160, and a third raw material liquid. Supply valves 170 are mounted in a line. The valves communicate with the flow path communication portions 133, 143, 153, 163, and 173, respectively, and the V-shaped flow paths 123, 124, 125, and 126 communicate with the flow path communication portions. The V-shaped channel 123 includes a straight channel 123a and a straight channel 123b. The other V-shaped channels 124, 125, and 126 have the same configuration.
In the case where the second raw material liquid is supplied from the second raw material liquid supply valve 160 after the first raw material liquid supply valve 150 is supplied from the first raw material liquid supply unit 100, the V-shaped flow paths 125, 126, The first raw material liquid is deposited on 127. If the accumulated first raw material liquid is not discharged, the second raw material liquid and the first raw material liquid are mixed and affect the final product. Therefore, the purge gas is supplied from the purge gas supply valve 130, and the V-shaped flow The purpose is to purge the first raw material liquid deposited on the path.
When the first raw material liquid and the second raw material liquid are mixed, the final product is affected. Therefore, the V-shaped flow path is formed so that the remaining liquid deposited in the flow path does not remain. This is because if it is a V-shaped channel, there will be no raw material liquid staying in the channel.

特開２００８−４８３７号公報JP 2008-4837 A 特開２００９−１８０３３３号公報JP 2009-180333 A

しかしながら、特許文献１の原料液供給ユニット１００には、以下の問題があった。
すなわち、上記特許文献１の技術のように、Ｖ字形流路が形成されていると、液の排出性には優れるが、Ｖ字形流路を製造するには、製造工程が多く、コストがかかるため問題となる。
すなわち、原料液供給ユニット１００は、耐食性や高純度が求められるため、ステンレスブロックからの切削加工品であり、例えば、図７に示すように、１つのＶ字形流路１２３を加工するためには、はじめに、流路ブロック１２０に、半円球状の流路連通路１３３、１４３の２つを加工する。流路連通路１３３、１４３を加工した後でなければ、真っ直ぐな直線流路１２３ａ及び直線流路１２３ｂをドリルにより加工することができないからである。
次に、図８に示すように、直線流路１２３ａを流路連通路１３３から加工する。
さらに、図９に示すように、直線流路１２３ｂを直線流路１２３ａと接合し、接合部がＶ字形となるように流路連通路１４３から加工する。
したがって、１つのＶ字形流路１２３を加工するだけで４つの工程を必要とする。そのためすべてのＶ字形流路を加工するにはコストがかかる。
また、流路がＶ字形になるように直線流路１２３ａと直線流路１２３ｂ流路を接合させなければならないと、両流路の接合点がずれた場合には、ずれた部分に残液が堆積することになり問題となる。そのため、Ｖ字形流路を加工するには、精度が必要とされるため、コストがかかり問題となる。
また、特許文献１のようなＶ字形流路を有するものは、残液があると次に流す原料液と混在し最終製品に影響を与えるものであるため、残液が残らないように排出するために多少コストがかかってもよい。しかし、ヒータの冷却・加熱時間を短くするために用いる液体集積ユニットにおいては、残液があっても最終製品には影響がない。最終製品に影響がないにもかかわらず、製造コストのかかるＶ字形流路を加工するのは、液体集積ユニットにおいては、製造コストがかかりすぎるため問題となる。 However, the raw material liquid supply unit 100 of Patent Document 1 has the following problems.
That is, when the V-shaped flow path is formed as in the technique of Patent Document 1, the liquid discharge performance is excellent. However, manufacturing the V-shaped flow path requires many manufacturing processes and costs. Therefore, it becomes a problem.
That is, since the raw material liquid supply unit 100 is required to have corrosion resistance and high purity, it is a machined product from a stainless steel block. For example, as shown in FIG. 7, in order to process one V-shaped channel 123, First, two of the semicircular channel communication paths 133 and 143 are processed in the channel block 120. This is because the straight linear flow path 123a and the straight flow path 123b cannot be processed by a drill unless the flow path communication paths 133 and 143 are processed.
Next, as shown in FIG. 8, the straight flow path 123 a is processed from the flow path communication path 133.
Furthermore, as shown in FIG. 9, the straight flow path 123b is joined to the straight flow path 123a, and is processed from the flow path communication path 143 so that the joint portion is V-shaped.
Therefore, four processes are required only by processing one V-shaped channel 123. Therefore, it costs money to process all the V-shaped flow paths.
In addition, if the straight flow path 123a and the straight flow path 123b have to be joined so that the flow path has a V-shape, if the joining point of both flow paths is deviated, residual liquid will be present in the deviated portion. It will be deposited and become a problem. For this reason, in order to process the V-shaped flow path, accuracy is required, which is costly and problematic.
Moreover, since the thing which has a V-shaped flow path like patent document 1 mixes with the raw material liquid to flow next when there exists residual liquid and affects a final product, it discharges | emits so that residual liquid does not remain. This may cost a little. However, in the liquid integrated unit used for shortening the cooling / heating time of the heater, even if there is a residual liquid, the final product is not affected. Processing the V-shaped flow path, which has a high manufacturing cost even though the final product is not affected, becomes a problem in the liquid integrated unit because the manufacturing cost is too high.

そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、コストを掛けずに、流路内をパージすることができる液体集積ユニットを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a liquid integrated unit that can purge the inside of the flow path without incurring costs. .

上記目的を達成するために、本発明に係る液体集積ユニットは、以下の構成を有する。
（１）第１入力流路と第１出力流路を連通又は遮断する第１開閉弁と、第２入力流路と第２出力流路を連通又は遮断する第２開閉弁と、出力ポートへ連通する主流路とを有する液体集積ユニットにおいて、前記第１入力流路、前記第１出力流路、前記第２入力流路、前記第２出力流路、及び、前記主流路が流路ブロックに形成されていること、前記第１開閉弁及び前記第２開閉弁は、前記流路ブロックに取り付けられていること、前記第２出力流路は前記第１出力流路よりも前記出力ポートに近い側にあること、前記第１開閉弁は、流路内の液体をパージするための気体を供給すること、前記第２開閉弁は、前記液体を供給すること、前記流路ブロックに、前記第１出力流路と前記第２出力流路を連通する気体流路が連通していること、前記気体流路は、前記主流路よりも、前記第１開閉弁及び前記第２開閉弁に近い位置に形成されていること、を特徴とするものである。
（２）（１）に記載する液体集積ユニットにおいて、前記流路ブロックは、第１流路ブロック及び第２流路ブロックを有すること、前記第２流路ブロックに気体流路溝が形成されていること、前記第１流路ブロックと前記第２流路ブロックを接合することにより、前記気体流路溝が前記気体流路となること、を特徴とするものである。
（３）（１）に記載する液体集積ユニットにおいて、前記流路ブロックは、第１流路ブロック及び第２流路ブロックを有すること、前記第１流路ブロックに気体流路溝が形成されていること、前記第１流路ブロックと前記第２流路ブロックを接合することにより、前記気体流路溝が前記気体流路となること、を特徴とするものである。
（４）（１）に記載する液体集積ユニットにおいて、前記気体流路は、前記第２開閉弁に対して斜めの角度に形成されていること、を特徴とするものである。 In order to achieve the above object, a liquid integrated unit according to the present invention has the following configuration.
(1) To the output port, a first on-off valve that communicates or blocks the first input channel and the first output channel, a second on-off valve that communicates or blocks the second input channel and the second output channel, and In the liquid integrated unit having a main flow path that communicates, the first input flow path, the first output flow path, the second input flow path, the second output flow path, and the main flow path are flow path blocks. Formed, the first on-off valve and the second on-off valve are attached to the flow path block, and the second output flow path is closer to the output port than the first output flow path. The first on-off valve supplies gas for purging the liquid in the flow path, the second on-off valve supplies the liquid, and the flow path block includes the first on-off valve. A gas flow path communicating with one output flow path and the second output flow path; Body flow path than said main flow path, that is formed at a position closer to the first on-off valve and the second on-off valve, and is characterized in.
(2) In the liquid integrated unit described in (1), the flow path block includes a first flow path block and a second flow path block, and a gas flow path groove is formed in the second flow path block. And the gas flow channel groove becomes the gas flow channel by joining the first flow channel block and the second flow channel block.
(3) In the liquid integrated unit described in (1), the flow path block includes a first flow path block and a second flow path block, and a gas flow path groove is formed in the first flow path block. And the gas flow channel groove becomes the gas flow channel by joining the first flow channel block and the second flow channel block.
(4) In the liquid integrated unit described in (1), the gas flow path is formed at an oblique angle with respect to the second on-off valve.

上記液体集積ユニットの作用及び効果について説明する。
（１）第１入力流路と第１出力流路を連通又は遮断する第１開閉弁と、第２入力流路と第２出力流路を連通又は遮断する第２開閉弁と、出力ポートへ連通する主流路とを有する液体集積ユニットにおいて、第１入力流路、第１出力流路、第２入力流路、第２出力流路、及び、主流路が流路ブロックに形成されていること、第１開閉弁及び第２開閉弁は、流路ブロックに取り付けられていること、第２出力流路は第１出力流路よりも出力ポートに近い側にあること、第１開閉弁は、流路内の液体をパージするための気体を供給すること、第２開閉弁は、液体を供給すること、流路ブロックに、第１出力流路と第２出力流路を連通する気体流路が連通していること、気体流路は、主流路よりも、第１開閉弁及び第２開閉弁に近い位置に形成されていることにより、第１開閉弁から気体を供給することで、気体が第１出力流路及び主流路を介し出力ポートへ流れることにより、第１出力流路及び主流路内の残液をパージすることができる。また、気体流路、第２出力流路、及び、主流路を介し出力ポートへ流れることにより、第２出力流路、主流路内の残液をパージすることができる。
また、気体流路が形成されていることにより、第２出力流路に気体がぶつかり直接第２出力流路をパージすることができる。
液体集積ユニットの流路内の残液をパージすることができるため、ヒータを再加熱する際に、時間をかけずに再加熱することができる。
また、主流路、気体流路、第１出力流路、第２出力流路は、すべて流路ブロックに対して垂直方向に形成されているため成型が容易であり、特許文献１のようなＶ字形流路を成型する場合と比較して、最終製品に影響がない場合に用いる液体集積ユニットを製造するのにコストがかからない。
（２）流路ブロックは、第１流路ブロック及び第２流路ブロックを有すること、第２流路ブロックに気体流路溝が形成されていること、第１流路ブロックと第２流路ブロックを接合することにより、気体流路溝が気体流路となることにより、第１流路ブロックだけを用いた液体集積ユニットであれば、気体流路がないものを製造することができる。また、第１流路ブロック及び第２流路ブロックを用いた液体集積ユニットであれば、気体流路が設けられたものを製造することができる。したがって、気体流路のある液体集積ユニット、又は、気体流路のない液体集積ユニットを簡単に選択して製造することができる。
また、気体流路溝は、孔を加工する場合と異なり、加工孔の端部に止栓を設ける必要がないため、止栓の分のコストを削減することができる。
（３）流路ブロックは、第１流路ブロック及び第２流路ブロックを有すること、第１流路ブロックに気体流路溝が形成されていること、第１流路ブロックと第２流路ブロックを接合することにより、気体流路溝が気体流路となることにより、気体流路溝は、孔を加工する場合と異なり、加工孔の端部に止栓を設ける必要がないため、止栓の分のコストを削減することができる。
（４）気体流路は、第２開閉弁に対して斜めの角度に形成されていることにより、第２開閉弁付近の液だまりに直接気体を吹き付けることができるため、残液をより置換しやすくできる。 The operation and effect of the liquid accumulation unit will be described.
(1) To the output port, a first on-off valve that communicates or blocks the first input channel and the first output channel, a second on-off valve that communicates or blocks the second input channel and the second output channel, and In a liquid integrated unit having a main flow path that communicates, the first input flow path, the first output flow path, the second input flow path, the second output flow path, and the main flow path are formed in the flow path block. The first on-off valve and the second on-off valve are attached to the flow path block, the second output flow path is closer to the output port than the first output flow path, Supplying a gas for purging the liquid in the flow path, the second on-off valve supplying the liquid, and a gas flow path communicating the first output flow path and the second output flow path to the flow path block The gas flow path is formed closer to the first on-off valve and the second on-off valve than the main flow path. Accordingly, by supplying gas from the first on-off valve, the gas flows to the output port via the first output channel and the main channel, thereby purging the remaining liquid in the first output channel and the main channel. be able to. Further, by flowing to the output port via the gas flow path, the second output flow path, and the main flow path, the remaining liquid in the second output flow path and the main flow path can be purged.
Further, since the gas flow path is formed, the second output flow path can be purged directly because the gas collides with the second output flow path.
Since the remaining liquid in the flow path of the liquid accumulation unit can be purged, when the heater is reheated, it can be reheated without taking time.
In addition, since the main flow channel, the gas flow channel, the first output flow channel, and the second output flow channel are all formed in a direction perpendicular to the flow channel block, molding is easy. Compared to the case of forming a letter-shaped flow path, it is less expensive to manufacture a liquid integrated unit used when the final product is not affected.
(2) The flow channel block includes a first flow channel block and a second flow channel block, a gas flow channel groove is formed in the second flow channel block, the first flow channel block and the second flow channel. By joining the blocks, the gas flow channel becomes a gas flow channel, so that a liquid integrated unit using only the first flow channel block can be manufactured without a gas flow channel. Moreover, if it is a liquid integrated unit using the 1st flow path block and the 2nd flow path block, what was provided with the gas flow path can be manufactured. Therefore, it is possible to easily select and manufacture a liquid accumulation unit having a gas flow path or a liquid accumulation unit having no gas flow path.
Further, unlike the case of processing the hole, the gas flow channel groove does not need to be provided with a stopper at the end of the processed hole, so that the cost for the stopper can be reduced.
(3) The flow channel block has a first flow channel block and a second flow channel block, a gas flow channel groove is formed in the first flow channel block, the first flow channel block and the second flow channel. By joining the blocks, the gas flow channel groove becomes a gas flow channel, and unlike the case of processing the hole, the gas flow channel groove does not need to be provided with a stopper at the end of the processed hole. The cost of the plug can be reduced.
(4) Since the gas flow path is formed at an oblique angle with respect to the second on-off valve, the gas can be directly blown into the liquid pool near the second on-off valve. Easy to do.

本発明の第１実施形態に係る液体集積ユニットの一部断面図を示す。1 is a partial cross-sectional view of a liquid integrated unit according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係る液体集積ユニットの第２開閉弁を開弁し液体が流路内を流れる流れ図を示す。The flowchart which opens the 2nd on-off valve of the liquid integrated unit which concerns on 1st Embodiment of this invention, and a liquid flows into the inside of a flow path is shown. 本発明の第１実施形態に係る液体集積ユニットの第１開閉弁を開弁し気体が流路内を流れる流れ図を示す。The flowchart which opens the 1st on-off valve of the liquid integrated unit which concerns on 1st Embodiment of this invention, and a gas flows through the inside of a flow path is shown. 本発明の第２実施形態に係る液体集積ユニット１０の一部断面図を示す。The partial cross section figure of the liquid integrated unit 10 which concerns on 2nd Embodiment of this invention is shown. 本発明に係るスパッタ装置のヒータ冷却・加熱装置の略図を示す。1 schematically shows a heater cooling / heating device of a sputtering apparatus according to the present invention. 特許文献１に係る原料液供給ユニットの断面図を示す。Sectional drawing of the raw material liquid supply unit which concerns on patent document 1 is shown. 特許文献１のＶ字形流路の加工方法（１）を示す。The processing method (1) of the V-shaped channel of patent document 1 is shown. 特許文献１のＶ字形流路の加工方法（２）を示す。The processing method (2) of the V-shaped channel of patent document 1 is shown. 特許文献１のＶ字形流路の加工方法（３）を示す。The processing method (3) of the V-shaped channel of patent document 1 is shown. 本発明の第３実施形態に係る液体集積ユニット２０の一部断面図を示す。The partial cross section figure of the liquid integrated unit 20 which concerns on 3rd Embodiment of this invention is shown. 本発明の液体集積ユニットの実施例である多連液体集積ユニットの正面図を示す。The front view of the multiple liquid accumulation | storage unit which is an Example of the liquid accumulation | storage unit of this invention is shown. 本発明の液体集積ユニットの実施例である多連液体集積ユニットの上面図を示す。The top view of the multiple liquid accumulation | storage unit which is an Example of the liquid accumulation | storage unit of this invention is shown. 本発明の液体集積ユニットの実施例である多連液体集積ユニットの側面図を示す。The side view of the multiple liquid accumulation | storage unit which is an Example of the liquid accumulation | storage unit of this invention is shown. 本発明の液体集積ユニットの実施例である多連液体集積ユニットの回路図を示す。The circuit diagram of the multiple liquid integrated unit which is the Example of the liquid integrated unit of this invention is shown. 本発明の第４実施形態に係る液体集積ユニット４００の一部断面図を示す。The partial cross section figure of the liquid integrated unit 400 which concerns on 4th Embodiment of this invention is shown.

次に、本発明に係る液体集積ユニットの一実施の形態について図面を参照して説明する。
＜第１実施形態＞
(液体集積ユニットの構成)
図１に、第１実施形態における液体集積ユニット１の一部断面図を示す。
液体集積ユニット１は、半導体製造設備、液晶画面やプラズマディスプレイの製造などで用いられるスパッタ装置（図示しない）の図５に示すチャンバ７０内で使用されている。
図１に示すように、液体集積ユニット１は、流路ブロック２、第１開閉弁３、第２開閉弁４を有する。液体集積ユニット１は、スパッタ装置内に組み込まれている。 Next, an embodiment of a liquid accumulation unit according to the present invention will be described with reference to the drawings.
<First Embodiment>
(Configuration of liquid integrated unit)
FIG. 1 shows a partial cross-sectional view of the liquid integrated unit 1 in the first embodiment.
The liquid integrated unit 1 is used in a chamber 70 shown in FIG. 5 of a sputtering apparatus (not shown) used in semiconductor manufacturing equipment, manufacturing of liquid crystal screens and plasma displays.
As shown in FIG. 1, the liquid accumulation unit 1 includes a flow path block 2, a first on-off valve 3, and a second on-off valve 4. The liquid integrated unit 1 is incorporated in a sputtering apparatus.

(流路ブロックの構成)
流路ブロック２は、第１流路ブロック２１、及び、第２流路ブロック２２を有する。第１流路ブロック２１、及び、第２流路ブロック２２は、直方体形状をなす。
流路ブロック２の、図１の右側の面を右側面２Ａと、左側の面を左側面２Ｂと、上側の面を上面２Ｃと、下側の面を下面２Ｄとする。
上面２Ｃには、第１開閉弁３、第２開閉弁４、及び、出力ポート５が設置されている。
流路ブロック２内には、主流路２００、エア入力流路２１０、エア出力流路２２０、液体入力流路２３０、液体出力流路２４０、及び、エア流路２５０が形成されている。
主流路２００は、第１ブロック主流路２０１及び第２ブロック主流路２０２を有する。エア入力流路２１０は、第１ブロックエア入力流路２１１及び第２ブロックエア入力流路２１２を有する。エア出力流路２２０は、第１ブロックエア出力流路２２１及び第２ブロックエア出力流路２２２を有する。液体入力流路２３０は、第１ブロック液体入力流路２３１及び第２ブロック液体入力流路２３２を有する。液体出力流路２４０は、第１ブロック液体出力流路２４１及び第２ブロック液体出力流路２４２を有する。 (Configuration of flow path block)
The flow path block 2 includes a first flow path block 21 and a second flow path block 22. The first flow path block 21 and the second flow path block 22 have a rectangular parallelepiped shape.
In FIG. 1, the right side surface of FIG. 1 is the right side surface 2A, the left side surface is the left side surface 2B, the upper side surface is the upper surface 2C, and the lower side surface is the lower surface 2D.
A first on-off valve 3, a second on-off valve 4, and an output port 5 are installed on the upper surface 2C.
In the flow path block 2, a main flow path 200, an air input flow path 210, an air output flow path 220, a liquid input flow path 230, a liquid output flow path 240, and an air flow path 250 are formed.
The main flow path 200 includes a first block main flow path 201 and a second block main flow path 202. The air input flow path 210 includes a first block air input flow path 211 and a second block air input flow path 212. The air output flow path 220 includes a first block air output flow path 221 and a second block air output flow path 222. The liquid input channel 230 includes a first block liquid input channel 231 and a second block liquid input channel 232. The liquid output channel 240 has a first block liquid output channel 241 and a second block liquid output channel 242.

第１流路ブロック２１の右側面２Ａから左側面２Ｂに対して垂直方向に、第１ブロック主流路２０１が形成されている。第１ブロック主流路２０１は、出力ポート５の真下で垂直方向に屈曲し第２流路ブロック２２の第２ブロック主流路２０２を介して出力ポート５に連通している。
第１ブロック主流路２０１は右側面２Ａに貫通しているが、右側面２Ａから第１ブロック主流路２０１に対して、止栓６が挿入されているため、第１ブロック主流路２０１から流体が漏れることはない。 A first block main channel 201 is formed in a direction perpendicular to the left side surface 2B from the right side surface 2A of the first channel block 21. The first block main channel 201 is bent in the vertical direction directly below the output port 5 and communicates with the output port 5 via the second block main channel 202 of the second channel block 22.
Although the first block main channel 201 penetrates the right side surface 2A, the stopper 6 is inserted into the first block main channel 201 from the right side surface 2A, so that fluid flows from the first block main channel 201. There is no leakage.

第１開閉弁３と接面する上面２Ｃの面から第１ブロック主流路２０１に対して垂直に連結するように、第１流路ブロック２１に、第１ブロックエア出力流路２２１が形成され、第２流路ブロック２２に第２ブロックエア出力流路２２２が形成されている。第１開閉弁３と接面する上面２Ｃの面から垂直に、第１流路ブロック２１にエア入力ポート（図示しない）と連通する第１ブロックエア入力流路２１１が形成されている。第１ブロックエア入力流路２１１と第１開閉弁３とを連通する、第２ブロックエア入力流路２１２が、第２流路ブロック２２に形成されている。
第２開閉弁４と接面する上面２Ｃの面から第１ブロック主流路２０１に対して垂直に連結するように、第１流路ブロック２１に、第１ブロック液体出力流路２４１が形成され、第２流路ブロック２２に第２ブロック液体出力流路２４２が形成されている。第２開閉弁４と接面する上面２Ｃの面から垂直に、第１流路ブロック２１に液体入力ポート（図示しない）と連通する第１ブロック液体入力流路２３１が形成されている。第１ブロック液体入力流路２３１と第２開閉弁４とを連通する、第２ブロック液体入力流路２３２が、第２流路ブロック２２に形成されている。 A first block air output flow path 221 is formed in the first flow path block 21 so as to be perpendicularly connected to the first block main flow path 201 from the surface of the upper surface 2C contacting the first on-off valve 3. A second block air output channel 222 is formed in the second channel block 22. A first block air input channel 211 communicating with an air input port (not shown) is formed in the first channel block 21 perpendicularly from the surface of the upper surface 2C that contacts the first on-off valve 3. A second block air input flow path 212 that communicates the first block air input flow path 211 and the first on-off valve 3 is formed in the second flow path block 22.
A first block liquid output channel 241 is formed in the first channel block 21 so as to be perpendicularly connected to the first block main channel 201 from the surface of the upper surface 2C contacting the second on-off valve 4. A second block liquid output channel 242 is formed in the second channel block 22. A first block liquid input channel 231 that communicates with a liquid input port (not shown) is formed in the first channel block 21 perpendicularly from the surface of the upper surface 2 </ b> C that contacts the second on-off valve 4. A second block liquid input channel 232 that communicates the first block liquid input channel 231 and the second on-off valve 4 is formed in the second channel block 22.

第２流路ブロック２２のうち、第１流路ブロック２１と接する面を接面２２Ｄとする。第２流路ブロック２２の第２ブロックエア出力流路２２２と第２ブロック液体出力流路２４２の間に、エア流路２５０が形成されている。エア流路２５０は、接面２２Ｄに対して溝形状に切削されることにより形成されている。溝形状であることは図示していない。エア流路２５０は溝形状であるため、第１流路ブロック２１と第２流路ブロック２２が接合されると、第１流路ブロック２１の第２流路ブロック２２との接する面である接面２１Ａがエア流路２５０の一部を形成し、エアが漏れなくなる。
第２流路ブロック２２のエア流路２５０について溝形状に切削できると、表面上の切削加工で行うことができるため、孔形状の切削加工を行うよりも容易に行うことができる。
また、エア流路２５０及び第２流路ブロック２２がない液体集積ユニット１を希望する者に対しては、液体集積ユニット１のうち、第２流路ブロック２２をなくすことで、簡単にエア流路２５０のない液体集積ユニット１を供給することができる。したがって、供給者は容易にエア流路２５０がある液体集積ユニットとない液体集積ユニットの両方を供給することができる。 A surface of the second flow path block 22 that contacts the first flow path block 21 is defined as a contact surface 22D. An air flow path 250 is formed between the second block air output flow path 222 and the second block liquid output flow path 242 of the second flow path block 22. The air flow path 250 is formed by cutting into a groove shape with respect to the contact surface 22D. The groove shape is not shown. Since the air flow path 250 has a groove shape, when the first flow path block 21 and the second flow path block 22 are joined, a contact surface that is a surface of the first flow path block 21 that is in contact with the second flow path block 22. The surface 21A forms part of the air flow path 250, and air does not leak.
If the air flow path 250 of the second flow path block 22 can be cut into a groove shape, it can be performed by cutting on the surface, and thus can be performed more easily than the hole-shaped cutting.
For those who desire the liquid integrated unit 1 without the air flow path 250 and the second flow path block 22, the air flow can be easily achieved by eliminating the second flow path block 22 in the liquid integrated unit 1. The liquid accumulation unit 1 without the channel 250 can be supplied. Accordingly, the supplier can easily supply both the liquid integrated unit with and without the air flow path 250.

流路ブロック２内部に形成された流路である、主流路２００、エア入力流路２１０、エア出力流路２２０、液体入力流路２３０、液体出力流路２４０、及び、エア流路２５０の流路は、全て流路ブロック２の側面である右側面２Ａ、左側面２Ｂ、上面２Ｃに対して垂直方向に加工されている。面に対して垂直方向に孔である流路が成型されていると、加工しやすいため製造コストが安くなる。
また、特許文献１のＶ字形流路を有する液体集積ユニットと比べ流路連通路を加工しなくてよいため加工数が少なくて済む。さらに、Ｖ字形流路を加工する場合と異なり、流路を斜めの角度で接合させる必要がないため、容易に流路を加工することができるため、加工に係る時間を短縮することができる。また、垂直に孔加工するだけであれば、高い精度が求められないため、容易に低コストで加工することができる。
また、エア流路溝は、孔を加工する場合と異なり、加工孔の端部に止栓を設ける必要がないため、止栓の分のコストを削減することができる。
また、エア流路２５０は、主流路２００と比べ径が半分以下の細さである。エア流路２５０の径が主流路２００と比べ半分以下であるが、液体に比べ流れやすいため、問題にならない。エア流路２５０内を通るエアＹ７は、シール部材２５に衝突することで対流となるため流路内の残液をパージすることができる。一方、主流路２００は、エア流路２５０よりも径が大きいため、エア流路２５０でパージされた残液を、大きな流れにより流すことができる。 Flows of the main flow path 200, the air input flow path 210, the air output flow path 220, the liquid input flow path 230, the liquid output flow path 240, and the air flow path 250, which are flow paths formed inside the flow path block 2. The paths are all processed in a direction perpendicular to the right side surface 2A, the left side surface 2B, and the upper surface 2C, which are side surfaces of the flow path block 2. If a flow path that is a hole in a direction perpendicular to the surface is molded, the manufacturing cost is low because it is easy to process.
Further, since the flow path communication path does not have to be processed as compared with the liquid integrated unit having a V-shaped flow path disclosed in Patent Document 1, the number of processes can be reduced. Furthermore, unlike the case of processing the V-shaped flow path, since it is not necessary to join the flow paths at an oblique angle, the flow path can be easily processed, so that the processing time can be shortened. Further, if the hole is simply drilled vertically, high accuracy is not required, so that it can be easily machined at low cost.
Further, unlike the case of processing the hole, the air flow channel groove does not need to be provided with a stopper at the end of the processed hole, so that the cost for the stopper can be reduced.
The air flow path 250 has a diameter that is half or less than that of the main flow path 200. Although the diameter of the air flow path 250 is less than half that of the main flow path 200, it does not cause a problem because it flows more easily than the liquid. Since the air Y7 passing through the air flow path 250 collides with the seal member 25 and becomes convection, the remaining liquid in the flow path can be purged. On the other hand, since the main channel 200 has a larger diameter than the air channel 250, the residual liquid purged by the air channel 250 can be flowed by a large flow.

流路ブロック２内には、流路２００、エア入力流路２１０、エア出力流路２２０、液体入力流路２３０、液体出力流路２４０、及び、エア流路２５０の流路がすべて形成されている。すべての流路が同じ流路ブロック２内に形成されているため、流路を繋ぐ配管を短くすることができ、流路内を流れる液体及びエアの流れ方向を変える回数を少なくすることができる。それにより、圧力損失を小さくすることができる。
また、流路ブロック２内にすべての流路が形成されているため、流路同士をねじにより接続する必要がなくなり、ねじが占める占有スペースをなくすことができる。
また、流路ブロック２内にすべての流路が形成されているため、設計の見直しの際には、流路ブロック２を交換するだけでよく、効率的である。
また、液体出力流路２４０がエア出力流路２２０よりも出力ポート５に近い側にあることにより、第１開閉弁３から供給されるエアにより、液体出力流路２４０内に残った残液をパージすることができ、残液を少なくすることができる。 In the flow path block 2, the flow path 200, the air input flow path 210, the air output flow path 220, the liquid input flow path 230, the liquid output flow path 240, and the air flow path 250 are all formed. Yes. Since all the flow paths are formed in the same flow path block 2, the pipe connecting the flow paths can be shortened, and the number of times of changing the flow direction of the liquid and air flowing in the flow path can be reduced. . Thereby, the pressure loss can be reduced.
Moreover, since all the flow paths are formed in the flow path block 2, it is not necessary to connect the flow paths with screws, and the occupied space occupied by the screws can be eliminated.
Moreover, since all the flow paths are formed in the flow path block 2, it is only necessary to replace the flow path block 2 when reviewing the design, which is efficient.
Further, since the liquid output flow path 240 is closer to the output port 5 than the air output flow path 220, the residual liquid remaining in the liquid output flow path 240 is removed by the air supplied from the first on-off valve 3. Purge can be performed, and residual liquid can be reduced.

(開閉弁の構成)
図１に示すように、第１開閉弁３に形成された第１弁室３３内には、第１弁座３２に当接・離間可能な第１弁体３１が形成されている。第１弁室３３には、第１弁室エア入力流路３４及び第１弁室エア出力流路３５が連通している。第１弁室エア入力流路３４は、第２ブロックエア入力流路２１２と連通し、第１弁室エア出力流路３５は、第２ブロックエア出力流路２２２と連通している。
図１に示すように、第２開閉弁４に形成された第２弁室４３内には、第２弁座４２に当接・離間可能な第２弁体４１が形成されている。第２弁室４３には、第２弁室液体入力流路４５及び第２弁室液体出力流路４４が連通している。第２弁室液体入力流路４５は、第２ブロック液体入力流路２３２と連通し、第２弁室液体出力流路４４は、第２ブロック液体出力流路２４２と連通している。 (Configuration of on-off valve)
As shown in FIG. 1, a first valve body 31 that can be brought into contact with and separated from the first valve seat 32 is formed in a first valve chamber 33 formed in the first on-off valve 3. A first valve chamber air input channel 34 and a first valve chamber air output channel 35 communicate with the first valve chamber 33. The first valve chamber air input channel 34 communicates with the second block air input channel 212, and the first valve chamber air output channel 35 communicates with the second block air output channel 222.
As shown in FIG. 1, a second valve body 41 that can be brought into contact with and separated from the second valve seat 42 is formed in the second valve chamber 43 formed in the second on-off valve 4. The second valve chamber 43 communicates with a second valve chamber liquid input channel 45 and a second valve chamber liquid output channel 44. The second valve chamber liquid input channel 45 communicates with the second block liquid input channel 232, and the second valve chamber liquid output channel 44 communicates with the second block liquid output channel 242.

(液体集積ユニットの作用・効果)
第１に、第２開閉弁４を開状態にすることにより、液体を出力ポート５へ流入させる工程を説明する。
図２に示すように、液体入力ポート（図示しない）から、第１ブロック液体入力流路２３１へ液体が供給され、第２ブロック液体入力流路２３２、第２弁室液体入力流路４５を介し、第２弁室４３に、液体Ｘ１（液体Ｘは、液体の流れを示すものである。以下に同じ。）が流入する。
第２開閉弁４にエアポート（図示しない）からエアを与えることにより、第２弁体４１が第２弁座４２から離間する。第２弁体４１が第２弁座４２から離間することにより、第２弁室４３の液体Ｘ１が、第２弁室液体出力流路４４、第２ブロック液体出力流路２４２、第１ブロック液体出力流路２４１を介し、主流路２００に液体Ｘ３が流入し、出力ポート５へ液体Ｘ５として流入する。
液体Ｘは、出力ポート５へ流れるものだけではなく、エア流路２５０を逆流する液体Ｘ６や、第１ブロック主流路２０１を逆流する液体Ｘ７も存在する。 (Operation and effect of liquid accumulation unit)
First, a process of flowing liquid into the output port 5 by opening the second on-off valve 4 will be described.
As shown in FIG. 2, a liquid is supplied from a liquid input port (not shown) to the first block liquid input flow path 231, via the second block liquid input flow path 232 and the second valve chamber liquid input flow path 45. In the second valve chamber 43, the liquid X1 (the liquid X indicates the flow of the liquid. The same applies hereinafter) flows.
By supplying air from the air port (not shown) to the second on-off valve 4, the second valve body 41 is separated from the second valve seat 42. When the second valve body 41 is separated from the second valve seat 42, the liquid X1 in the second valve chamber 43 becomes the second valve chamber liquid output channel 44, the second block liquid output channel 242 and the first block liquid. The liquid X3 flows into the main flow path 200 via the output flow path 241 and flows into the output port 5 as the liquid X5.
The liquid X not only flows to the output port 5, but also includes the liquid X6 that flows back through the air flow path 250 and the liquid X7 that flows back through the first block main flow path 201.

第２に、第２開閉弁４を閉状態にすることにより、出力ポート５への液体Ｘの流入を止める工程を説明する。
第２開閉弁４に与えられているエアポートからのエアの供給を止めることにより、第２弁体４１が第２弁座４２に当接する。第２弁体４１が第２弁座４２に当接することにより、第２弁室４３で液体Ｘ１の流れが止まり、第２弁室液体出力流路４４へは流体Ｘ１は流入しない。
しかし、第２弁室液体出力流路４４、第２ブロック液体出力流路２４２、第１ブロック液体出力流路２４１、及び、主流路２００内には、液体の残液がある。液体の残液があると、ヒータの温度上昇の妨げとなるため問題となる。 Secondly, a process of stopping the inflow of the liquid X to the output port 5 by closing the second on-off valve 4 will be described.
By stopping the supply of air from the air port provided to the second on-off valve 4, the second valve body 41 comes into contact with the second valve seat 42. When the second valve body 41 contacts the second valve seat 42, the flow of the liquid X <b> 1 stops in the second valve chamber 43, and the fluid X <b> 1 does not flow into the second valve chamber liquid output flow path 44.
However, in the second valve chamber liquid output channel 44, the second block liquid output channel 242, the first block liquid output channel 241, and the main channel 200, there is residual liquid. If there is a liquid residue, it will be a problem because it will hinder the temperature rise of the heater.

第３に、第１開閉弁３を開状態にし、エアを第２弁室液体出力流路４４、第２ブロック液体出力流路２４２、第１ブロック液体出力流路２４１、及び、主流路２００内へ流入させることで、流路内の残液を出力ポート５へパージする工程について説明する。
図３に示すように、エア入力ポート（図示しない）からエアを第１ブロックエア入力流路２１１へ供給し、第２ブロックエア入力流路２１２、第１弁室エア入力流路３４にエアＹ１（エアＹは、エアの流れを示すものである。以下に同じ。）が流入する。
第１開閉弁３にエアポート（図示しない）からエアを与えることにより、第１弁体３１が第１弁座３２から離間する。第１弁体３１が第１弁座３２から離間することにより、第１弁室エア入力流路３４から第１弁室３３にエアＹ２が流入し、第１弁室エア出力流路３５、第２ブロックエア出力流路２２２、第１ブロックエア出力流路２２１を介するエアＹ３となり、主流路２００に流れるエアＹ４となり、出力ポート５へエアＹ６が流入する。
エアＹ２、Ｙ３、Ｙ４、Ｙ５、Ｙ６は、第１弁室３３、第１弁室エア出力流路３５、第２ブロックエア出力流路２２２、第１ブロックエア出力流路２２１、及び、主流路２００に堆積した残液をパージして出力ポート５から流出する。 Third, the first on-off valve 3 is opened, and air is supplied to the second valve chamber liquid output channel 44, the second block liquid output channel 242, the first block liquid output channel 241, and the main channel 200. A process of purging residual liquid in the flow path to the output port 5 by flowing into the output port 5 will be described.
As shown in FIG. 3, air is supplied from an air input port (not shown) to the first block air input channel 211, and the air Y1 is supplied to the second block air input channel 212 and the first valve chamber air input channel 34. (Air Y indicates the flow of air. The same applies hereinafter) flows in.
By supplying air from the air port (not shown) to the first on-off valve 3, the first valve body 31 is separated from the first valve seat 32. When the first valve body 31 is separated from the first valve seat 32, the air Y2 flows into the first valve chamber 33 from the first valve chamber air input flow path 34, and the first valve chamber air output flow path 35, Air Y3 passes through the two block air output flow path 222 and the first block air output flow path 221 to become air Y4 flowing through the main flow path 200, and the air Y6 flows into the output port 5.
Air Y2, Y3, Y4, Y5, and Y6 are the first valve chamber 33, the first valve chamber air output channel 35, the second block air output channel 222, the first block air output channel 221, and the main channel. The residual liquid accumulated in 200 is purged and flows out from the output port 5.

また、エアＹ２は、第１弁室エア出力流路３５を介して、エア流路２５０へ流入しエアＹ７となるものも存在する。エアＹ７は、エア流路２５０、第１ブロック液体出力流路２４１を介すエアＹ８となり、主流路２００に流れエアＹ４、Ｙ５と合流し、出力ポート５へエアＹ６として流入する。
エアＹ７、Ｙ８は、エア流路２５０、第１ブロック液体出力流路２４１に堆積した残液をパージして出力ポート５から流出する。
エアＹ７は、エア流路２５０から第１ブロック液体出力流路２４１へ流入する際には、シール部材２５に衝突する。エアＹ７がシール部材２５に衝突すると、エアＹ７はその衝撃により対流が生じ、図３に示すように、その一部はエアＹ９として第２ブロック液体出力流路２４２、第２弁室液体出力流路４４へ流れる。対流であるエアＹ９は、第２ブロック液体出力流路２４２、第２弁室液体出力流路４４の残液をパージして、その後、エアＹ８と合流し、出力ポート５へと流れる。エアＹ９は対流することにより、流路内に堆積した残液をよりパージしやすくなる効果がある。 Also, there is air Y2 that flows into the air flow path 250 via the first valve chamber air output flow path 35 and becomes air Y7. The air Y7 becomes air Y8 via the air flow path 250 and the first block liquid output flow path 241, flows into the main flow path 200, merges with the air Y4 and Y5, and flows into the output port 5 as air Y6.
The air Y7 and Y8 purges the residual liquid accumulated in the air flow path 250 and the first block liquid output flow path 241 and flows out from the output port 5.
The air Y7 collides with the seal member 25 when flowing from the air flow path 250 into the first block liquid output flow path 241. When the air Y7 collides with the seal member 25, convection occurs due to the impact of the air Y7, and as shown in FIG. 3, a part of the air Y7 is air Y9 as the second block liquid output channel 242 and the second valve chamber liquid output flow. It flows to the road 44. The convection air Y9 purges the remaining liquid in the second block liquid output flow path 242 and the second valve chamber liquid output flow path 44, and then merges with the air Y8 and flows to the output port 5. By convection of the air Y9, there is an effect that the residual liquid accumulated in the flow path can be more easily purged.

以上詳細に説明したように、第１実施形態における液体集積ユニット１においては、
エア入力流路２１０とエア出力流路２２０を連通又は遮断する第１開閉弁３と、液体入力流路２３０と液体出力流路２４０を連通又は遮断する第２開閉弁４と、エア出力流路２２０及び液体出力流路２４０を出力ポート５へ連通する主流路２００を有し、主流路２００から液体を供給する液体集積ユニット１において、エア入力流路２１０、エア出力流路２２０、液体入力流路２３０、液体出力流路２４０、及び、主流路２００が流路ブロック２に形成されていること、第１開閉弁３及び第２開閉弁４は、流路ブロック２に取り付けられていること、液体出力流路２４０はエア出力流路２２０よりも出力ポート５に近い側にあること、第１開閉弁３は、流路内の液体をパージするためのエアを供給すること、第２開閉弁４は、液体を供給すること、流路ブロック２に、エア出力流路２２０と液体出力流路２４０を連通するエア流路２５０が連通していること、エア流路２５０は、主流路２００よりも、第１開閉弁３及び第２開閉弁４に近い位置に形成されていることにより、第１開閉弁３からエアを供給することで、エアがエア流路２５０を介し液体出力流路２４０内の残液をパージすることができる。
また、主流路２００、エア流路２５０、エア入力流路２１０、エア出力流路２２０、液体入力流路２３０、及び、液体出力流路２４０は、すべて流路ブロック２に対して垂直方向に形成されているため成型が容易であり、液体集積ユニット１の製造に対してコストがかからない。 As described in detail above, in the liquid integrated unit 1 in the first embodiment,
A first on-off valve 3 for communicating or blocking the air input channel 210 and the air output channel 220, a second on-off valve 4 for communicating or blocking the liquid input channel 230 and the liquid output channel 240, and an air output channel In the liquid integrated unit 1 having the main flow path 200 that connects the liquid output flow path 240 to the output port 5 and supplying the liquid from the main flow path 200, the air input flow path 210, the air output flow path 220, the liquid input flow The channel 230, the liquid output channel 240, and the main channel 200 are formed in the channel block 2, the first on-off valve 3 and the second on-off valve 4 are attached to the channel block 2, The liquid output channel 240 is closer to the output port 5 than the air output channel 220, the first on-off valve 3 supplies air for purging the liquid in the channel, and the second on-off valve 4 supply liquid The air flow path 250 that communicates the air output flow path 220 and the liquid output flow path 240 communicates with the flow path block 2, and the air flow path 250 is connected to the first on-off valve 3 rather than the main flow path 200. Since the air is supplied from the first on-off valve 3 by being formed at a position close to the second on-off valve 4, the air purges the remaining liquid in the liquid output passage 240 via the air passage 250. be able to.
The main flow path 200, the air flow path 250, the air input flow path 210, the air output flow path 220, the liquid input flow path 230, and the liquid output flow path 240 are all formed in a direction perpendicular to the flow path block 2. Therefore, the molding is easy and the production of the liquid integrated unit 1 is not costly.

流路ブロック２は、第１流路ブロック２１及び第２流路ブロック２２を有すること、第２流路ブロック２２にエア流路溝が形成されていること、第１流路ブロック２１と第２流路ブロック２２を接合することにより、エア流路溝がエア流路２５０となることにより、第１流路ブロック２１だけを用いた液体集積ユニット１であれば、エア流路２５０がないものを製造することができる。また、第１流路ブロック２１及び第２流路ブロック２２を用いた液体集積ユニット１であれば、エア流路２５０が設けられたものを製造することができる。したがって、エア流路２５０のある液体集積ユニット１、又は、エア流路２５０のない液体集積ユニット１を簡単に選択して製造することができる。   The flow path block 2 has a first flow path block 21 and a second flow path block 22, an air flow path groove is formed in the second flow path block 22, the first flow path block 21 and the second flow path block 22. By joining the flow path block 22, the air flow path groove becomes the air flow path 250, so that the liquid integrated unit 1 using only the first flow path block 21 has no air flow path 250. Can be manufactured. In addition, the liquid integrated unit 1 using the first flow path block 21 and the second flow path block 22 can be manufactured with the air flow path 250 provided. Therefore, the liquid integrated unit 1 with the air flow path 250 or the liquid integrated unit 1 without the air flow path 250 can be easily selected and manufactured.

＜第２実施形態＞
(液体集積ユニットの構成)
第２実施形態に係る液体集積ユニット１０の説明をする。図４に、液体集積ユニット１０の断面図を示す。
図４に示すように、液体集積ユニット１０は、流路ブロック８、第１開閉弁３０、第２開閉弁４０を有する。液体集積ユニット１０は、スパッタ装置内に組み込まれている。
第２実施形態の液体集積ユニット１０は、第１実施形態の液体集積ユニット１と比較して、流路ブロック８の形状が異なることが特徴であるため、以下では、流路ブロック８の構成を中心に説明する。 Second Embodiment
(Configuration of liquid integrated unit)
The liquid accumulation unit 10 according to the second embodiment will be described. FIG. 4 shows a cross-sectional view of the liquid accumulation unit 10.
As shown in FIG. 4, the liquid integrated unit 10 includes a flow path block 8, a first on-off valve 30, and a second on-off valve 40. The liquid accumulation unit 10 is incorporated in the sputtering apparatus.
Since the liquid accumulation unit 10 of the second embodiment is characterized in that the shape of the flow path block 8 is different from that of the liquid accumulation unit 1 of the first embodiment, the configuration of the flow path block 8 will be described below. The explanation is centered.

（流路ブロックの構成）
流路ブロック８は、直方体形状をなす。流路ブロック８の、図４の右側の面を右側面８Ａと、左側の面を左側面８Ｂと、上側の面を上面８Ｃと、下側の面を下面８Ｄとする。
上面８Ｃには、第１開閉弁３０、第２開閉弁４０が設置されている。
流路ブロック８内には、主流路８００、エア入力流路８１０、エア出力流路８２０、液体入力流路８３０、液体出力流路８４０、及び、エア流路８５０が形成されている。
右側面８Ａから左側面８Ｂに対して垂直方向に、主流路８００が形成されている。主流路８００は、垂直方向に屈曲し出力ポート（図示しない）に連通している。 (Configuration of channel block)
The flow path block 8 has a rectangular parallelepiped shape. In FIG. 4, the right side surface of FIG. 4 is the right side surface 8A, the left side surface is the left side surface 8B, the upper side surface is the upper surface 8C, and the lower side surface is the lower surface 8D.
A first on-off valve 30 and a second on-off valve 40 are installed on the upper surface 8C.
In the flow path block 8, a main flow path 800, an air input flow path 810, an air output flow path 820, a liquid input flow path 830, a liquid output flow path 840, and an air flow path 850 are formed.
A main channel 800 is formed in a direction perpendicular to the left side surface 8B from the right side surface 8A. The main flow path 800 is bent in the vertical direction and communicates with an output port (not shown).

第１開閉弁３０と接面する上面８Ｃの面から主流路８００に対して垂直に連結するように、流路ブロック８にエア出力流路８２０が形成されている。第１開閉弁３０と接面する上面８Ｃの面から垂直に、流路ブロック８にエア入力ポート（図示しない）と連通するエア入力流路８１０が形成されている。
第２開閉弁４０接面する上面８Ｃの面から主流路８００に対して垂直に連結するように、流路ブロック８に、液体出力流路８４０が形成されている。第２開閉弁４０接面する上面８Ｃの面から垂直に、流路ブロック８に液体入力ポート（図示しない）と連通する液体入力流路８３０が形成されている。 An air output flow path 820 is formed in the flow path block 8 so as to be connected perpendicularly to the main flow path 800 from the surface of the upper surface 8 </ b> C that contacts the first on-off valve 30. An air input flow path 810 that communicates with an air input port (not shown) is formed in the flow path block 8 perpendicularly to the surface of the upper surface 8C that is in contact with the first on-off valve 30.
A liquid output flow path 840 is formed in the flow path block 8 so as to be perpendicularly connected to the main flow path 800 from the surface of the upper surface 8C contacting the second on-off valve 40. A liquid input flow path 830 that communicates with a liquid input port (not shown) is formed in the flow path block 8 perpendicularly to the surface of the upper surface 8C that contacts the second on-off valve 40.

流路ブロック８のエア出力流路８２０と液体出力流路８４０の間に、エア流路８５０が形成されている。エア流路８５０の中心軸が、第２開閉弁４０の弁体４１０と弁座４２０が当接する個所に当たるように、第２開閉弁４０に対して斜め４５度の角度に形成されている。
第２開閉弁４０の弁体４１０と弁座４２０が当接する個所は、液体が堆積しやすい部分であるため、その部分にエア流路８５０の中心軸が向けられていることにより、エア流路８５０から流れてきたエアが、直接液体が堆積しやすい弁体４１０と弁座４２０が当接する部分に当たる。直接エアが当たることで、液体はエアによりパージされる。また、エアは弁体４１０及び弁座４２０にぶつかると、対流を起こす。エアが対流を起こすことにより、堆積した液体は、対流を起こしたエアの力によりパージされやすくなる。 An air channel 850 is formed between the air output channel 820 and the liquid output channel 840 of the channel block 8. The central axis of the air flow path 850 is formed at an angle of 45 degrees with respect to the second opening / closing valve 40 so that the central axis of the air passage 850 is in contact with the valve element 410 of the second opening / closing valve 40 and the valve seat 420.
The portion where the valve element 410 and the valve seat 420 abut on the second on-off valve 40 is a portion where the liquid easily accumulates. Therefore, the central axis of the air passage 850 is directed to that portion, so that the air passage The air flowing from 850 strikes the portion where the valve body 410 and the valve seat 420 are in contact with each other, where liquid is likely to be deposited directly. The liquid is purged by air by direct air contact. Further, when the air hits the valve body 410 and the valve seat 420, convection occurs. When the air causes convection, the accumulated liquid is easily purged by the force of the air that caused the convection.

＜第３実施形態＞
(液体集積ユニットの構成)
第３実施形態に係る液体集積ユニット２０の説明をする。図１０に、液体集積ユニット２０の断面図を示す。
第３実施形態に係る液体集積ユニット２０は、第１実施形態に係る液体集積ユニット１と比較して、エア流路２５０の位置が異なるだけである。
すなわち、第１実施形態に係る液体集積ユニット１では、エア流路２５０が、第２流路ブロック２２に形成されているのに対して、第３実施形態に係る液体集積ユニット２０では、エア流路２６０が、第１流路ブロック２１に形成されている点で異なる。
その他の点では、構成が異なるところはないため、エア流路２６０以外の構成物は、同じ番号で記載することで、説明を割愛する。 <Third Embodiment>
(Configuration of liquid integrated unit)
The liquid accumulation unit 20 according to the third embodiment will be described. FIG. 10 shows a cross-sectional view of the liquid accumulation unit 20.
The liquid accumulation unit 20 according to the third embodiment is different from the liquid accumulation unit 1 according to the first embodiment only in the position of the air flow path 250.
That is, in the liquid integrated unit 1 according to the first embodiment, the air flow path 250 is formed in the second flow path block 22, whereas in the liquid integrated unit 20 according to the third embodiment, the air flow The path 260 is different in that it is formed in the first flow path block 21.
In other respects, since there is no difference in configuration, the components other than the air flow path 260 are described with the same numbers, and the description is omitted.

液体集積ユニット２０は、液体集積ユニット１とエア流路２６０以外の構成は同一であるため、液体集積ユニット１と同様の作用が生じるため、作用については、説明を割愛する。
第３実施形態に係る液体集積ユニット２０では、第１開閉弁３からエアを供給することで、エアがエア流路２６０を介し液体出力流路２４０内の残液をパージすることができる。
また、主流路２００、エア流路２６０、エア入力流路２１０、エア出力流路２２０、液体入力流路２３０、及び、液体出力流路２４０は、すべて流路ブロック２に対して垂直方向に形成されているため成型が容易であり、液体集積ユニット２０の製造に対してコストがかからない効果を有する。
また、エア流路２６０は、第１ブロック２１の上面に形成されているため、切削により成型ができるため、製造が容易である。 Since the liquid integrated unit 20 has the same configuration except for the liquid integrated unit 1 and the air flow path 260, the same operation as the liquid integrated unit 1 occurs, and thus the description of the operation is omitted.
In the liquid integrated unit 20 according to the third embodiment, by supplying air from the first opening / closing valve 3, the air can purge the remaining liquid in the liquid output channel 240 via the air channel 260.
The main flow path 200, the air flow path 260, the air input flow path 210, the air output flow path 220, the liquid input flow path 230, and the liquid output flow path 240 are all formed in a direction perpendicular to the flow path block 2. Therefore, it is easy to mold and has the effect of not costing the manufacture of the liquid integrated unit 20.
Moreover, since the air flow path 260 is formed in the upper surface of the 1st block 21, since it can shape | mold by cutting, manufacture is easy.

＜第４実施形態＞
(液体集積ユニットの構成)
第４実施形態に係る液体集積ユニット４００の説明をする。図１５に、液体集積ユニット４００の断面図を示す。
第４実施形態に係る液体集積ユニット４００は、流路ブロック４０２の形状が、図１の第１実施形態に係る液体集積ユニット１の流路ブロック２の形状と異なる。液体集積ユニット４００は、液体集積ユニット１と比較して、流路ブロック４０２以外では異なるところがないため、流路ブロック４０２以外の構成の説明は割愛する。 <Fourth embodiment>
(Configuration of liquid integrated unit)
The liquid accumulation unit 400 according to the fourth embodiment will be described. FIG. 15 shows a cross-sectional view of the liquid accumulation unit 400.
In the liquid accumulation unit 400 according to the fourth embodiment, the shape of the flow path block 402 is different from the shape of the flow path block 2 of the liquid accumulation unit 1 according to the first embodiment of FIG. Since the liquid accumulation unit 400 is not different from the liquid accumulation unit 1 except for the flow path block 402, the description of the configuration other than the flow path block 402 is omitted.

(流路ブロックの構成)
流路ブロック４０２は、第１流路ブロック４２１、及び、第２流路ブロック４２２を有する。
流路ブロック４０２は、一部に第１切欠き面４０２Ｅと第２切欠き面４０２Ｆにより形成された切欠き空間が形成された略直方体形状をしている。
流路ブロック４０２の、図１５の右側の面を右側面４０２Ａと、左側の面を左側面４０２Ｂと、上側の面を上面４０２Ｃと、下側の面を下面４０２Ｄとする。右側面４０２Ａの下端部から、上面４０２Ｃと平行に第１切欠き面４０２Ｅが形成されている。下面４０２Ｄの右端部から、右側面４０２Ａと平行に第２切欠き面４０２Ｆが形成されている。第１切欠き面４０２Ｅと第２切欠き面４０２Ｆは、直角に接している。第２切欠き面４０２Ｆは、第１開閉弁４０３と第２開閉弁４０４の中間に垂直に形成されている。 (Configuration of flow path block)
The flow path block 402 includes a first flow path block 421 and a second flow path block 422.
The flow path block 402 has a substantially rectangular parallelepiped shape partially formed with a notch space formed by the first notch surface 402E and the second notch surface 402F.
In the flow path block 402, the right side in FIG. 15 is the right side 402A, the left side is the left side 402B, the upper side is the upper side 402C, and the lower side is the lower side 402D. A first notch surface 402E is formed in parallel with the upper surface 402C from the lower end portion of the right side surface 402A. A second notch surface 402F is formed in parallel with the right side surface 402A from the right end of the lower surface 402D. The first notch surface 402E and the second notch surface 402F are in contact with each other at a right angle. The second notch surface 402F is formed vertically between the first opening / closing valve 403 and the second opening / closing valve 404.

上面４０２Ｃには、第１開閉弁４０３、第２開閉弁４０４、及び、出力ポート４０５が設置されている。
流路ブロック４０２内には、主流路４２００、エア入力流路４２１０、エア出力流路４２２０、液体入力流路４２３０、液体出力流路４２４０、及び、エア流路４２５０が形成されている。
主流路４２００は、第１ブロック主流路４２０１及び第２ブロック主流路４２０２を有する。エア入力流路４２１０は、第１ブロックエア入力流路４２１１及び第２ブロックエア入力流路４２１２を有する。液体入力流路４２３０は、第１ブロック液体入力流路４２３１及び第２ブロック液体入力流路４２３２を有する。液体出力流路４２４０は、第１ブロック液体出力流路４２４１及び第２ブロック液体出力流路４２４２を有する。 A first on-off valve 403, a second on-off valve 404, and an output port 405 are installed on the upper surface 402C.
In the flow path block 402, a main flow path 4200, an air input flow path 4210, an air output flow path 4220, a liquid input flow path 4230, a liquid output flow path 4240, and an air flow path 4250 are formed.
The main flow path 4200 includes a first block main flow path 4201 and a second block main flow path 4202. The air input flow path 4210 has a first block air input flow path 4211 and a second block air input flow path 4212. The liquid input channel 4230 includes a first block liquid input channel 4231 and a second block liquid input channel 4232. The liquid output channel 4240 has a first block liquid output channel 4241 and a second block liquid output channel 4242.

第１流路ブロック４２１の第２切欠き面４０２Ｆから左側面４０２Ｂに対して垂直方向に、第１ブロック主流路４２０１が形成されている。第１ブロック主流路４２０１は、出力ポート４０５の真下で垂直方向に屈曲し第２流路ブロック４２２の第２ブロック主流路４２０２を介して出力ポート４０５に連通している。
第１ブロック主流路４２０１は、第２切欠き面４０２Ｆに貫通しているが、第２切欠き面４０２Ｆから第１ブロック主流路４２０１に対して、止栓４０６が挿入されているため、第１ブロック主流路４２０１から流体が漏れることはない。 A first block main channel 4201 is formed in a direction perpendicular to the left side surface 402B from the second notch surface 402F of the first channel block 421. The first block main channel 4201 is bent in the vertical direction directly below the output port 405 and communicates with the output port 405 through the second block main channel 4202 of the second channel block 422.
The first block main channel 4201 penetrates the second notch surface 402F, but the stopper 406 is inserted into the first block main channel 4201 from the second notch surface 402F. Fluid does not leak from the block main flow path 4201.

第１開閉弁４０３と接面する上面４０２Ｃの面から垂直に、第１流路ブロック４２１に後述するエア流路４２５０と連通する、エア出力流路４２２０が形成されている。
第１開閉弁４０３と接面する上面４０２Ｃの面から垂直に、第１流路ブロック４２１にエア入力ポート（図示しない）と連通する第１ブロックエア入力流路４２１１が形成されている。第１ブロックエア入力流路４２１１と第１開閉弁４０３とを連通する、第２ブロックエア流路４２１２が、第２流路ブロック４２２に形成されている。
第２開閉弁４０４と接面する上面４０２Ｃの面から第１ブロック主流路４２０１に対して垂直に連結するように、第１流路ブロック４２１に、第１ブロック液体出力流路４２４１が形成され、第２流路ブロック４２２に第２ブロック液体出力流路４２４２が形成されている。第２開閉弁４０４と接面する上面４０２Ｃの面から垂直に、第１流路ブロック４２１に液体入力ポート（図示しない）と連通する第１ブロック液体入力流路４２３１が形成されている。第１ブロック液体入力流路４２３１と第２開閉弁４０４とを連通する、第２ブロック液体入力流路４２３２が、第２流路ブロック４２２に形成されている。 An air output flow path 4220 that communicates with an air flow path 4250, which will be described later, is formed in the first flow path block 421 perpendicularly from the surface of the upper surface 402C that is in contact with the first on-off valve 403.
A first block air input channel 4211 that communicates with an air input port (not shown) is formed in the first channel block 421 perpendicularly from the surface of the upper surface 402C that contacts the first on-off valve 403. A second block air flow path 4212 that connects the first block air input flow path 4211 and the first on-off valve 403 is formed in the second flow path block 422.
A first block liquid output channel 4241 is formed in the first channel block 421 so as to be perpendicularly connected to the first block main channel 4201 from the surface of the upper surface 402C that contacts the second on-off valve 404, A second block liquid output channel 4242 is formed in the second channel block 422. A first block liquid input channel 4231 that communicates with a liquid input port (not shown) is formed in the first channel block 421 perpendicularly from the surface of the upper surface 402C that contacts the second on-off valve 404. A second block liquid input channel 4232 that communicates between the first block liquid input channel 4231 and the second on-off valve 404 is formed in the second channel block 422.

第１流路ブロック４２１のうち、第２流路ブロック４２２と接する面を接面４２１Ｄとする。第２流路ブロック４２２のエア出力流路４２２０と第２流路ブロック液体出力流路４２４０の間に、エア流路４２５０が形成されている。エア流路４２５０は、接面４２１Ｄに対して溝形状に形成されている。溝形状であることは図示していない。エア流路４２５０は溝形状であるため、第１流路ブロック４２１と第２流路ブロック４２２が接合されると、第１流路ブロック４２１の第２流路ブロック４２２との接する面である接面４２２Ａがエア流路４２５０の一部を形成し、エアが漏れなくなる。
また、エア流路４２５０は、第１実施形態と比較して、２倍以上の深さである。エア流路４２５０の深さが、２倍以上であることにより、エア流路の体積も２倍以上となる。 A surface of the first flow path block 421 that contacts the second flow path block 422 is referred to as a contact surface 421D. An air channel 4250 is formed between the air output channel 4220 of the second channel block 422 and the second channel block liquid output channel 4240. The air flow path 4250 is formed in a groove shape with respect to the contact surface 421D. The groove shape is not shown. Since the air flow path 4250 has a groove shape, when the first flow path block 421 and the second flow path block 422 are joined, a contact surface that is a contact surface of the first flow path block 421 with the second flow path block 422. The surface 422A forms part of the air flow path 4250, and air does not leak.
Further, the air flow path 4250 is twice or more deep as compared with the first embodiment. When the depth of the air flow path 4250 is twice or more, the volume of the air flow path is also doubled or more.

(液体集積ユニットの作用・効果)
第４実施形態に係る液体集積ユニット４００の作用・効果を図１５を用いて説明する。
第４実施形態に係る液体集積ユニット４００の作用・効果は、第１実施形態に係る液体集積ユニット１と比較して、「第１開閉弁３を開状態にし、エアを第２弁室液体出力流路４４、第２ブロック液体出力流路２４２、第１ブロック液体出力流路２４１、及び、主流路２００内へ流入させることで、流路内の残液を出力ポート５へパージする工程」以外、異なるところがないため、第４実施形態の「第１開閉弁４０３を開状態にし、エアを第２弁室液体出力流路４４４、第２ブロック液体出力流路４２４２、第１ブロック液体出力流路４２４１、及び、主流路４２００内へ流入させることで、流路内の残液を出力ポート４０５へパージする工程」について説明し、その他の工程について説明を割愛する。 (Operation and effect of liquid accumulation unit)
The operations and effects of the liquid accumulation unit 400 according to the fourth embodiment will be described with reference to FIG.
The action / effect of the liquid accumulation unit 400 according to the fourth embodiment is as compared with the liquid accumulation unit 1 according to the first embodiment: “the first on-off valve 3 is opened and air is supplied to the second valve chamber liquid output. Other than the step of purging the remaining liquid in the flow path to the output port 5 by flowing into the flow path 44, the second block liquid output flow path 242, the first block liquid output flow path 241 and the main flow path 200 " In the fourth embodiment, “the first on-off valve 403 is opened and air is supplied to the second valve chamber liquid output channel 444, the second block liquid output channel 4242, and the first block liquid output channel. 4241 and the process of purging the residual liquid in the flow path to the output port 405 by flowing into the main flow path 4200, ”and the description of other processes is omitted.

第１開閉弁４０３を開状態にし、エアを第２弁室液体出力流路４４４、第２ブロック液体出力流路４２４２、第１ブロック液体出力流路４２４１、及び、主流路４２００内へ流入させることで、流路内の残液を出力ポート４０５へパージする工程について説明する。
図１５に示すように、エア入力ポート（図示しない）からエアを第１ブロックエア入力流路４２１１へ供給し、第２ブロックエア入力流路４２１２、第１弁室エア入力流路４３４にエアＺ１（エアＺは、エアの流れを示すものである。以下に同じ。）が流入する。
第１開閉弁４０３にエアポート（図示しない）からエアを与えることにより、第１弁体４３１が第１弁座４３２から離間する。第１弁体４３１が第１弁座４３２から離間することにより、第１弁室エア入力流路４３４から第１弁室４３３にエアＺ２が流入し、第１弁室エア出力流路４３５、第２ブロックエア出力流路４２２０へ流入する。 The first on-off valve 403 is opened, and air flows into the second valve chamber liquid output channel 444, the second block liquid output channel 4242, the first block liquid output channel 4241, and the main channel 4200. A process of purging the residual liquid in the flow path to the output port 405 will be described.
As shown in FIG. 15, air is supplied from an air input port (not shown) to the first block air input channel 4211, and the air Z1 is supplied to the second block air input channel 4212 and the first valve chamber air input channel 434. (Air Z indicates the flow of air. The same applies hereinafter) flows in.
By supplying air from an air port (not shown) to the first on-off valve 403, the first valve body 431 is separated from the first valve seat 432. When the first valve body 431 is separated from the first valve seat 432, the air Z2 flows into the first valve chamber 433 from the first valve chamber air input channel 434, and the first valve chamber air output channel 435, It flows into the 2-block air output flow path 4220.

第１実施形態と比較して第２ブロックエア出力流路４２２０は、主流路４２４０へ連通していない。第２ブロックエア出力流路４２２０から主流路４２４０へ繋がる流路がないため、流路ブロック内の容積を減らすことができる。そのため、エアＺ２は、全てエア流路４２５０へ流入しエアＺ３となるため、エア流路４２５０を流れるエア流量が第１実施形態と比較して増大する。
そのため、残液が堆積する第１ブロック液体出力流路４２４１に対して増大したエアＺ３流入することができるので、第１ブロック液体出力流路４２４１の残液をパージして出力ポート４０５から流出させやすくすることができる。第１ブロック液体出力流路４２４１には、特に残液が堆積し易いため、顕著な効果を有する。
また、エア流路４２５０は、第１実施形態と比較して、深さが２倍以上であるため、エア流路４２５０の流路内の体積も２倍以上となる。エア流路４２５０の流路内の体積が２倍以上となることにより、エアを第１実施形態と比較して２倍以上流せる。よって、第１ブロック液体主力流路４２４１に流れる、エアＺ３も２倍以上となるため、残液をパージしやすくなる。 Compared to the first embodiment, the second block air output flow path 4220 does not communicate with the main flow path 4240. Since there is no flow path connecting from the second block air output flow path 4220 to the main flow path 4240, the volume in the flow path block can be reduced. Therefore, since all the air Z2 flows into the air flow path 4250 and becomes the air Z3, the flow rate of air flowing through the air flow path 4250 is increased as compared with the first embodiment.
Therefore, since the increased air Z3 can flow into the first block liquid output flow path 4241 where the residual liquid is accumulated, the residual liquid in the first block liquid output flow path 4241 is purged and discharged from the output port 405. It can be made easier. The first block liquid output flow path 4241 has a remarkable effect because the residual liquid is particularly easily accumulated.
Moreover, since the air flow path 4250 has a depth twice or more that of the first embodiment, the volume of the air flow path 4250 in the flow path is also double or more. When the volume of the air flow path 4250 in the flow path becomes twice or more, air can flow twice or more compared to the first embodiment. Accordingly, the air Z3 flowing through the first block liquid main flow path 4241 is also doubled or more, so that the remaining liquid can be easily purged.

また、総量が増大したエアＺ３は、エア流路４２５０から第１ブロック液体出力流路４２４１へ流入する際には、シール部材４２５に衝突する。エアＺ３がシール部材４２５に衝突すると、エアＺ３はその衝撃により対流が生じ、図１５に示すように、その一部はエアＺ７として第２ブロック液体出力流路４２４２、第２弁室液体出力流路４４４へ流れる。対流であるエアＺ７は、第２ブロック液体出力流路４２４２、第２弁室液体出力流路４４４の残液をパージして、その後、エアＺ４と合流し、出力ポート４０５へと流れる。 エアＺ７は対流することにより、流路内に堆積した残液をよりパージしやすくなる効果がある。
また、エアＺ３は総量が増大しているため、第１実施形態と比較して、大量にエアＺ３がシール部材４２５に衝突する。シール部材４２５に衝突するエアの量が増えれば、エアＺ７として対流するエアが増大するので、第２ブロック液体出力流路４２４２、第２弁室液体出力流路４４４の残液をパージすることができる。 Further, the air Z3 whose total amount has increased collides with the seal member 425 when flowing into the first block liquid output channel 4241 from the air channel 4250. When the air Z3 collides with the seal member 425, convection occurs due to the impact of the air Z3, and as shown in FIG. 15, a part of the air Z3 is air Z7, the second block liquid output flow path 4242, the second valve chamber liquid output flow. It flows to the road 444. The convection air Z7 purges the remaining liquid in the second block liquid output flow path 4242 and the second valve chamber liquid output flow path 444, and then merges with the air Z4 and flows to the output port 405. By convection of the air Z7, there is an effect that it becomes easier to purge the residual liquid accumulated in the flow path.
Further, since the total amount of the air Z3 is increased, the air Z3 collides with the seal member 425 in a large amount as compared with the first embodiment. If the amount of air colliding with the seal member 425 increases, the air convection as the air Z7 increases, so that the remaining liquid in the second block liquid output channel 4242 and the second valve chamber liquid output channel 444 can be purged. it can.

尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で色々な応用が可能である。
例えば、本実施例においては、液体をパージする気体として、エアを用いたが、パージができる気体であれば、エアではなくとも、その他の気体であってもよい。
また、図１１乃至図１４に示す多連液体集積ユニット３００ように、液体集積ユニット１Ａと液体集積ユニット１Ｂを２連繋げることにより多連化することができる。液体集積ユニット１０、２０も同様に繋げることにより多連化することができる。なお、図１１乃至図１４では、２連の多連液体集積ユニット３００のみが示されているが、２連でなくとも、３連、４連と数量を増やし多連化することができる。
また、第１実施形態における流路ブロック２は、第１流路ブロック２１及び第２流路ブロック２２の２つのブロックではなく、１つのブロックであってもよい。その際には、エア流路２５０は、ドリルにより孔加工する。
第１実施形態における流路ブロック２のエア流路２５０は、第２実施形態のように、第２開閉弁４に対して斜めの角度に形成されていてもよい。
また、第１実施形態における液体集積ユニット１では、第１開閉弁３及び第２開閉弁４の２つを有するのみであるが、開閉弁の数は、液体集積ユニットの使用方法により３つ、４つ、５つと増加させることができる。
また、流れ方向が反対であってもよい。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various applications are possible without departing from the spirit of the invention.
For example, in this embodiment, air is used as the gas for purging the liquid. However, other gases may be used as long as the gas can be purged.
Further, like the multiple liquid accumulation unit 300 shown in FIGS. 11 to 14, multiple liquid accumulation units 1A and two liquid accumulation units 1B can be connected. The liquid integrated units 10 and 20 can also be connected in a multiple manner by connecting them in the same manner. 11 to 14 show only the two-unit multiple liquid accumulation unit 300, but the number of units can be increased to three-units and four-units without increasing the number of units.
Further, the flow path block 2 in the first embodiment may be one block instead of the two blocks of the first flow path block 21 and the second flow path block 22. At that time, the air channel 250 is drilled with a drill.
The air flow path 250 of the flow path block 2 in the first embodiment may be formed at an oblique angle with respect to the second on-off valve 4 as in the second embodiment.
In addition, the liquid integrated unit 1 in the first embodiment has only two of the first on-off valve 3 and the second on-off valve 4, but the number of on-off valves is three depending on how the liquid integrated unit is used. It can be increased to four or five.
Further, the flow direction may be opposite.

１ 液体集積ユニット
２ 流路ブロック
２００ 主流路
２１０ 第１入力流路
２２０ 第１出力流路
２３０ 第２入力流路
２４０ 第２出力流路
２５０ エア流路（請求項中「気体流路」）
３ 第１開閉弁
４ 第２開閉弁
５ 出力ポート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid integrated unit 2 Flow path block 200 Main flow path 210 1st input flow path 220 1st output flow path 230 2nd input flow path 240 2nd output flow path 250 Air flow path ("Gas flow path" in Claim)
3 First on-off valve 4 Second on-off valve 5 Output port

Claims (4)

第１入力流路と第１出力流路を連通又は遮断する第１開閉弁と、第２入力流路と第２出力流路を連通又は遮断する第２開閉弁と、出力ポートへ連通する主流路とを有する液体集積ユニットにおいて、
前記第１入力流路、前記第１出力流路、前記第２入力流路、前記第２出力流路、及び、前記主流路が流路ブロックに形成されていること、
前記第１開閉弁及び前記第２開閉弁は、前記流路ブロックに取り付けられていること、
前記第２出力流路は前記第１出力流路よりも前記出力ポートに近い側にあること、
前記第１開閉弁は、流路内の液体をパージするための気体を供給すること、
前記第２開閉弁は、前記液体を供給すること、
前記流路ブロックに、前記第１出力流路と前記第２出力流路を連通する気体流路が連通していること、
前記気体流路は、前記主流路よりも、前記第１開閉弁及び前記第２開閉弁に近い位置に形成されていること、
を特徴とする液体集積ユニット。 A first on-off valve that communicates or blocks the first input channel and the first output channel, a second on-off valve that communicates or blocks the second input channel and the second output channel, and a mainstream that communicates with the output port In a liquid accumulation unit having a path,
The first input channel, the first output channel, the second input channel, the second output channel, and the main channel are formed in a channel block;
The first on-off valve and the second on-off valve are attached to the flow path block;
The second output channel is closer to the output port than the first output channel;
The first on-off valve supplies a gas for purging the liquid in the flow path;
The second on-off valve supplies the liquid;
A gas flow path communicating with the first output flow path and the second output flow path is in communication with the flow path block;
The gas flow path is formed at a position closer to the first on-off valve and the second on-off valve than the main flow path;
Liquid accumulation unit characterized by. 請求項１に記載する液体集積ユニットにおいて、
前記流路ブロックは、第１流路ブロック及び第２流路ブロックを有すること、
前記第２流路ブロックに気体流路溝が形成されていること、
前記第１流路ブロックと前記第２流路ブロックを接合することにより、前記気体流路溝が前記気体流路となること、
を特徴とする液体集積ユニット。 The liquid accumulation unit according to claim 1,
The flow path block has a first flow path block and a second flow path block;
A gas channel groove is formed in the second channel block;
The gas channel groove becomes the gas channel by joining the first channel block and the second channel block;
Liquid accumulation unit characterized by. 請求項１に記載する液体集積ユニットにおいて、
前記流路ブロックは、第１流路ブロック及び第２流路ブロックを有すること、
前記第１流路ブロックに気体流路溝が形成されていること、
前記第１流路ブロックと前記第２流路ブロックを接合することにより、前記気体流路溝が前記気体流路となること、
を特徴とする液体集積ユニット。 The liquid accumulation unit according to claim 1,
The flow path block has a first flow path block and a second flow path block;
A gas channel groove is formed in the first channel block;
The gas channel groove becomes the gas channel by joining the first channel block and the second channel block;
Liquid accumulation unit characterized by. 請求項１に記載する液体集積ユニットにおいて、
前記気体流路は、前記第２開閉弁に対して斜めの角度に形成されていること、
を特徴とする液体集積ユニット。
The liquid accumulation unit according to claim 1,
The gas flow path is formed at an oblique angle with respect to the second on-off valve;
Liquid accumulation unit characterized by.
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