JP2011118426A

JP2011118426A - Drive device

Info

Publication number: JP2011118426A
Application number: JP2011048326A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Koe; 秀明向江
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2011-03-04
Filing date: 2011-03-04
Publication date: 2011-06-16

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drive device which is made smaller in a thickness direction. SOLUTION: The drive device 50 is equipped with: a first frame 51; a second frame 52; a third frame 53; a first drive mechanism 54; and a second drive mechanism 55. A direction where a drive generating part 21 acts on a drive receiving part 22 is perpendicular to a second direction B, in the second drive mechanism 55. The drive receiving part 22 of the first drive mechanism 54 has a shaft 5 extending in a first direction A and driven in the first direction A by the drive generating part 21 of the first drive mechanism 54. The drive receiving part 22 of the second drive mechanism 55 has a shaft 5 extending in the second direction B and driven in the second direction B by the drive generating part 21 of the second drive mechanism 55. The shaft 5 of the first drive mechanism 54 and the shaft 5 of the second drive mechanism 55 are arranged on the same plane surface. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、駆動装置、特に駆動を発生させる駆動発生部を備える駆動装置に関するものである。 The present invention relates to a drive device, and more particularly, to a drive device including a drive generator that generates drive.

従来、振動を発生する振動アクチュエータとしては、例えば、特許文献１のように、圧電素子の４箇所に電極を設け、対角にある２対の電極にそれぞれ位相が異なる交流電圧を印加し、圧電素子に縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させることにより、駆動力を得るものがある。また、このような振動アクチュエータを用いた駆動装置が知られている。 Conventionally, as a vibration actuator that generates vibrations, for example, as disclosed in Patent Document 1, electrodes are provided at four locations of a piezoelectric element, and AC voltages having different phases are applied to two pairs of diagonal electrodes, respectively. Some devices obtain a driving force by generating longitudinal vibration and bending vibration in a coordinated manner. In addition, a drive device using such a vibration actuator is known.

一般に、駆動力を得るためには振動子に適切な加圧を行う必要がある。図１２に示すように、特許文献１では、支持台１０１に２本のレール１０１ａを設け、第１の移動体１０２に設けてある溝部１０２ｂをそれらのレール１０１ａの上に配置している。更に、第１の移動体１０２に設けられた２本のレール１０２ａの上に溝部１０３ａが形成された第２の移動体１０３を配置している。突起１０４ａを有する振動アクチュエータ１０４が支持台１０１に固定され、支持台１０１に固定された付勢部材１０４ｂで第１の移動体１０２に対する加圧が行われる。振動アクチュエータ１０４に駆動電圧が印加されると、振動アクチュエータ１０４が屈曲振動して第１の移動体１０２がレール１０１ａに沿って移動する。また、突起１０５ａを有する振動アクチュエータ１０５が第１の移動体１０２に固定され、第１の移動体１０２に固定された付勢部材１０５ｂで第２の移動体１０３に対する加圧が行われる。振動アクチュエータ１０５に駆動電圧が印加されると、振動アクチュエータ１０５が屈曲振動して第２の移動体１０３がレール１０２ａに沿って移動する。 In general, in order to obtain a driving force, it is necessary to apply appropriate pressure to the vibrator. As shown in FIG. 12, in Patent Document 1, two rails 101a are provided on a support base 101, and a groove 102b provided in the first moving body 102 is disposed on the rails 101a. Further, a second moving body 103 having a groove 103a formed on two rails 102a provided on the first moving body 102 is disposed. The vibration actuator 104 having the protrusion 104a is fixed to the support base 101, and the first moving body 102 is pressurized by the urging member 104b fixed to the support base 101. When a driving voltage is applied to the vibration actuator 104, the vibration actuator 104 bends and vibrates, and the first moving body 102 moves along the rail 101a. Further, the vibration actuator 105 having the protrusion 105 a is fixed to the first moving body 102, and the second moving body 103 is pressurized by the urging member 105 b fixed to the first moving body 102. When a drive voltage is applied to the vibration actuator 105, the vibration actuator 105 bends and vibrates, and the second moving body 103 moves along the rail 102a.

一方、近年のデジタルカメラの高画質化や小型薄型化に伴い、撮影された映像の像振れを解消する為に、補正レンズ駆動する駆動装置（像ぶれ補正装置）を備えるデジタルカメラが知られている（例えば、特許文献２参照。）。この像ぶれ補正装置について、図１３を用いて説明する。 On the other hand, digital cameras equipped with a driving device (image blur correction device) that drives a correction lens are known in order to eliminate image blurring of a photographed image with the recent increase in image quality and reduction in size and thickness of digital cameras. (For example, refer to Patent Document 2). This image blur correction apparatus will be described with reference to FIG.

撮影時に像ぶれを補正するための像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３は、第１の方向（Ｙ方向）であるピッチング方向と、第２の方向（Ｘ方向）であるヨーイング方向とに移動可能であるピッチング移動枠２３２に固定されている。このピッチング移動枠２３２は、−Ｘ方向側に軸受２３２ａと＋Ｘ方向側に回り止め２３２ｂとを有している。この軸受２３２ａにＹ軸方向と平行なピッチングシャフト２３３ａを挿入し、回り止め２３２ｂに後述するＹ軸方向と平行なピッチングシャフト２３３ｂを係合することにより、ピッチング移動枠２３２は第１の方向（Ｙ）方向に摺動可能になっている。 An image blur correction lens unit L3 for correcting image blur at the time of shooting is movable in a pitching direction that is a first direction (Y direction) and a yawing direction that is a second direction (X direction). It is fixed to the pitching movement frame 232. The pitching moving frame 232 has a bearing 232a on the −X direction side and a rotation stopper 232b on the + X direction side. By inserting a pitching shaft 233a parallel to the Y-axis direction into the bearing 232a and engaging a pitching shaft 233b parallel to the Y-axis direction, which will be described later, with the rotation stopper 232b, the pitching moving frame 232 is moved in the first direction (Y ) Is slidable in the direction.

ピッチング移動枠２３２に対して−Ｚ方向側には、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３を第２の方向（Ｘ方向）に移動させるヨーイング移動枠２３４が取り付けられている。ヨーイング移動枠２３４には、先ほど述べたピッチング移動枠２３２をピッチング方向（Ｙ方向）に摺動させるためのピッチングシャフト２３３ａの両端を固定する固定部２３４ａと、＋Ｘ方向側に回り止め２３２ｂと係合するピッチングシャフト２３３ｂとが設けられている。また、ヨーイング移動枠２３４は、＋Ｙ方向側に軸受２３４ｂと、−Ｙ方向側にヨーイングシャフト２３５ｂ及びその両端が圧入固定される固定部２３４ｃとを有している。この軸受２３４ｂにＸ方向と平行なヨーイングシャフト２３５ａを挿入し、Ｘ方向と平行なヨーイングシャフト２３５ｂを３群枠２０８の回り止め部２０８ｄに係合することにより、ヨーイング移動枠２３４は第２の方向（Ｘ方向）に摺動可能になっている。 On the −Z direction side with respect to the pitching moving frame 232, a yawing moving frame 234 for moving the image blur correcting lens unit L3 in the second direction (X direction) is attached. The yawing movement frame 234 is engaged with a fixing portion 234a for fixing both ends of the pitching shaft 233a for sliding the pitching movement frame 232 described above in the pitching direction (Y direction), and a detent 232b on the + X direction side. And a pitching shaft 233b. Further, the yawing movement frame 234 has a bearing 234b on the + Y direction side, and a yawing shaft 235b on the −Y direction side and a fixing portion 234c to which both ends thereof are press-fitted and fixed. By inserting a yawing shaft 235a parallel to the X direction into the bearing 234b and engaging the yawing shaft 235b parallel to the X direction with the rotation preventing portion 208d of the third group frame 208, the yawing moving frame 234 is moved in the second direction. It is slidable in the (X direction).

ヨーイング移動枠２３４に対して−Ｚ方向側に設けられた３群枠２０８には、先述したヨーイング移動枠２３４をヨーイング方向（Ｘ方向）に摺動させるためのヨーイングシャフト２３５ａの両端を固定する固定部２０８ｃとヨーイングシャフト２３５ｂを係合する回り止め部２０８ｄとが設けられている。 The third group frame 208 provided on the −Z direction side with respect to the yawing movement frame 234 is fixed to fix both ends of the yawing shaft 235a for sliding the yawing movement frame 234 in the yawing direction (X direction). A portion 208c and a rotation preventing portion 208d for engaging the yawing shaft 235b are provided.

矩形の電気基板２３６は、ピッチング移動枠２３２の−Ｚ方向側の面に取り付けられている。電気基板２３６には、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３をピッチング方向に駆動する第１のコイル２３７ｙ及びヨーイング方向に駆動する第２のコイル２３７ｘと、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３のピッチング方向の位置を検出するホール素子２３８ｙ及びヨーイング方向の位置を検出するホール素子２３８ｘとが設けられている。なお、このコイル２３７ｙ，２３７ｘは、積層コイルとして電気基板２３６に一体に構成されている。 The rectangular electric substrate 236 is attached to the surface on the −Z direction side of the pitching moving frame 232. On the electric board 236, the first coil 237y that drives the image blur correcting lens group L3 in the pitching direction, the second coil 237x that drives in the yawing direction, and the position of the image blur correcting lens group L3 in the pitching direction are arranged. A hall element 238y for detecting and a hall element 238x for detecting the position in the yawing direction are provided. The coils 237y and 237x are integrally formed on the electric board 236 as a laminated coil.

マグネット２３９ｙ，２３９ｘは片側に２極着磁されている。このマグネット２３９ｙ，２３９ｘは、それぞれ断面コの字型のヨーク２４０ｙ，２４０ｘに固定されている。ヨーク２４０ｙは、Ｙ方向より、３群枠２０８の嵌合部２０８ｙに圧入固定される。同様に、ヨーク２４０ｘは、Ｘ方向より、３群枠２０８の嵌合部２０８ｘに圧入固定される。 The magnets 239y and 239x are two-pole magnetized on one side. The magnets 239y and 239x are fixed to yokes 240y and 240x having a U-shaped cross section, respectively. The yoke 240y is press-fitted and fixed to the fitting portion 208y of the third group frame 208 from the Y direction. Similarly, the yoke 240x is press-fitted and fixed to the fitting portion 208x of the third group frame 208 from the X direction.

第１の電磁アクチュエータ２４１ｙは、第１のコイル２３７ｙと、マグネット２３９ｙと、第１のヨーク２４０ｙとにより構成される。同様に、第２の電磁アクチュエータ２４１ｘは、第１のコイル２３７ｘと、マグネット２３９ｘと、第１のヨーク２４０ｘとにより構成される。第１の電磁アクチュエータ２４１ｙがピッチング移動枠２３２を第１の方向であるピッチング方向（Ｙ方向）に駆動し、第２の電磁アクチュエータ２４１ｘがピッチング移動枠２３２を第２の方向であるヨーイング方向（Ｘ方向）に駆動する。 The first electromagnetic actuator 241y includes a first coil 237y, a magnet 239y, and a first yoke 240y. Similarly, the second electromagnetic actuator 241x is composed of a first coil 237x, a magnet 239x, and a first yoke 240x. The first electromagnetic actuator 241y drives the pitching movement frame 232 in the pitching direction (Y direction) that is the first direction, and the second electromagnetic actuator 241x drives the pitching movement frame 232 in the yaw direction (X) that is the second direction. Direction).

以上の構成によって、電気基板２３６の第１のコイル２３７ｙに電流が流されると、第１のマグネット２３９ｙとヨーク２４０ｙとにより第１の方向であるピッチング方向（Ｙ方向）に沿った電磁力が発生する。これと同様に、電気基板２３６の第２のコイル２３７ｘに電流が流されると、第２のマグネット２３９ｘとヨーク２４０ｘとにより第２の方向であるヨーイング方向（Ｘ方向）に沿った電磁力が発生する。このように２つの電磁アクチュエータ２４１ｙ，２４１ｘにより、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３はＺ方向の光軸にほぼ垂直なＸ，Ｙの２方向に駆動される。 With the above configuration, when a current flows through the first coil 237y of the electric board 236, an electromagnetic force along the pitching direction (Y direction) that is the first direction is generated by the first magnet 239y and the yoke 240y. To do. Similarly, when a current flows through the second coil 237x of the electric board 236, an electromagnetic force along the yawing direction (X direction), which is the second direction, is generated by the second magnet 239x and the yoke 240x. To do. As described above, the image blur correcting lens unit L3 is driven in the two X and Y directions substantially perpendicular to the optical axis in the Z direction by the two electromagnetic actuators 241y and 241x.

次に、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３の位置を検出する位置検出部２４２ｙ，２４２ｘについて説明する。磁束を電気信号に変換するホール素子２３８ｙ，２３８ｘは、電気基板２３６に位置決め固定されている。検出用マグネットとしては、先に説明した電磁アクチュエータ２４１ｙ，２４１ｘのマグネット２３９ｙ，２３９ｘが兼用される。したがって、ホール素子２３８ｙ、２３８ｘとマグネット２３９ｙ，２３９ｘとにより位置検出部２４２ｙ，２４２ｘが構成される。ここで、図１４を用いてマグネット２３９ｙ，２３９ｘの磁束の状態を説明する。図の横軸は光軸を中心としてピッチング方向（Ｙ方向）又はヨーイング方向（Ｘ方向）の位置を、縦軸は磁束密度をそれぞれ示している。また横軸の中央は、マグネット２３９ｙ，２３９ｘの２極着磁の境界部分であり、このとき磁束密度はゼロとなる。この位置は、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３の光軸中心と略一致する。マグネット２３９ｙ，２３９ｘに対して、ホール素子２３８ｙ，２３８ｘが移動することにより、変位量がゼロの位置を中心とする破線で示す範囲内では、変位量の変化に対して磁束密度が略直線的に変化する。したがって、ホール素子２３８ｙ，２３８ｘから出力される電気信号を検出することにより、像ぶれ補正用レンズ群Ｌ３のピッチング方向（Ｙ方向）およびヨーイング方向（Ｘ方向）の位置を検出することが可能となる。 Next, the position detectors 242y and 242x that detect the position of the image blur correcting lens unit L3 will be described. Hall elements 238y and 238x that convert magnetic flux into electric signals are positioned and fixed to the electric substrate 236. As the detection magnet, the magnets 239y and 239x of the electromagnetic actuators 241y and 241x described above are also used. Accordingly, the position detectors 242y and 242x are configured by the Hall elements 238y and 238x and the magnets 239y and 239x. Here, the state of the magnetic flux of the magnets 239y and 239x will be described with reference to FIG. In the figure, the horizontal axis indicates the position in the pitching direction (Y direction) or yawing direction (X direction) around the optical axis, and the vertical axis indicates the magnetic flux density. The center of the horizontal axis is a boundary portion of the two-pole magnetization of the magnets 239y and 239x, and at this time, the magnetic flux density becomes zero. This position substantially coincides with the optical axis center of the image blur correcting lens unit L3. When the Hall elements 238y and 238x move with respect to the magnets 239y and 239x, the magnetic flux density is substantially linear with respect to the change in the displacement amount within the range indicated by the broken line centered on the position where the displacement amount is zero. Change. Therefore, it is possible to detect the positions of the image blur correcting lens unit L3 in the pitching direction (Y direction) and the yawing direction (X direction) by detecting the electrical signals output from the Hall elements 238y and 238x. .

フレキシブルプリントケーブル２４３は、電気基板２３６に取り付けられコイル２３７ｘ，２３７ｙ、ホール素子２３８ｘ，２３８ｙと図示せぬカメラ本体の回路との間の信号の伝達を行う。 The flexible printed cable 243 is attached to the electric board 236 and transmits signals between the coils 237x and 237y, the hall elements 238x and 238y, and a circuit of the camera body (not shown).

以上の構成要素２３２〜２４３により、像ぶれ補正装置２３１が構成されている。 The image blur correction device 231 is configured by the above components 232 to 243.

特開平１１−２７１４８０JP-A-11-271480 特開２００４−１２６０２８JP 2004-126028 A

以上に説明した駆動装置では、さらなる装置の小型化が求められている。 In the drive device described above, further downsizing of the device is required.

具体的には、図１２に示す駆動装置では、振動アクチュエータ１０４，１０５および付勢部材１０４ｂ、１０５ｂがそれぞれの支持台１０１および第１の移動体１０２上に固定されているため、大型化しやすい。また、第１の移動体１０２と第２の移動体１０３とに対して付勢部材１０４ｂ，１０５ｂを用いて加圧しているため、レール１０１ａ，１０２ａや溝部１０２ｂ，１０３ａに対して摩擦負荷が発生しやすく、剛性を高める必要から装置全体の厚み方向または厚み方向に直交する方向に大型化してしまうという問題がある。 Specifically, in the drive device shown in FIG. 12, the vibration actuators 104 and 105 and the urging members 104b and 105b are fixed on the respective support bases 101 and the first moving body 102, so that the size is easily increased. Further, since the first moving body 102 and the second moving body 103 are pressurized using the biasing members 104b and 105b, a friction load is generated on the rails 101a and 102a and the grooves 102b and 103a. There is a problem that the size is increased in the thickness direction of the entire apparatus or in a direction perpendicular to the thickness direction because of the necessity of increasing rigidity.

また、図１３に示す駆動装置では、電磁力を高める為、コイル２３７ｘ，２３７ｙの巻数を増加させたり、マグネット２３９ｘ，２３９ｙを大きくする必要がある。また、位置検出センサーにホール素子２３８ｘ，２３８ｙを使用している。このため、位置に対する磁束密度変化の直線性を確保する必要から、磁石が大型化するといった問題がある。この結果、駆動装置全体が、厚み方向または厚み方向に直交する方向に大型化してしまうという問題がある。 In the drive device shown in FIG. 13, it is necessary to increase the number of turns of the coils 237x and 237y or increase the magnets 239x and 239y in order to increase the electromagnetic force. In addition, Hall elements 238x and 238y are used as position detection sensors. For this reason, since it is necessary to ensure the linearity of the magnetic flux density change with respect to a position, there exists a problem that a magnet enlarges. As a result, there exists a problem that the whole drive device will enlarge in the thickness direction or the direction orthogonal to the thickness direction.

そこで本発明では、厚み方向の小型化を実現する駆動装置を提供することを課題とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a drive device that realizes miniaturization in the thickness direction.

本発明に係る駆動装置は、第１枠体と、第２枠体と、第３枠体と、第１駆動機構と、第２駆動機構とを備えている。第２枠体は、第１枠体に対して第１方向に移動可能に支持されている。第３枠体は、第２枠体に対して第１方向と交差する第２方向に移動可能に支持されている。第１駆動機構は、第１枠体と第２枠体とを第１方向に相対移動させる。第２駆動機構は、第２枠体と第３枠体とを第２方向に相対移動させる。第１駆動機構と第２駆動機構とのそれぞれは、圧電素子により駆動を発生させる駆動発生部と、駆動発生部に対して相対的に押圧され、駆動発生部により発生した駆動を受ける駆動受部とを有する。第１駆動機構と第２駆動機構とのそれぞれが有する駆動発生部と駆動受部とは、第１方向および第２方向に平行な同一平面上に配置され、第１駆動機構において駆動発生部が駆動受部に作用する方向は、第２駆動機構において駆動発生部が駆動受部に作用する方向と同一平面上において交差し、かつ、第１方向と垂直である。第２駆動機構において駆動発生部が駆動受部に作用する方向は、第２方向と垂直である。第１駆動機構の駆動受部は、第１方向に延び第１駆動機構の駆動発生部により第１方向に駆動される第１主軸を有している。第２駆動機構の駆動受部は、第２方向に延び第２駆動機構の駆動発生部により第２方向に駆動される第２主軸を有している。第１主軸は、第２主軸と同一平面上に配置されている。 The drive device according to the present invention includes a first frame, a second frame, a third frame, a first drive mechanism, and a second drive mechanism. The second frame is supported so as to be movable in the first direction with respect to the first frame. The third frame is supported so as to be movable in a second direction intersecting the first direction with respect to the second frame. The first drive mechanism relatively moves the first frame and the second frame in the first direction. The second drive mechanism relatively moves the second frame and the third frame in the second direction. Each of the first drive mechanism and the second drive mechanism includes a drive generation unit that generates a drive by a piezoelectric element, and a drive receiving unit that is pressed relative to the drive generation unit and receives the drive generated by the drive generation unit. And have. The drive generator and the drive receiver included in each of the first drive mechanism and the second drive mechanism are disposed on the same plane parallel to the first direction and the second direction. In the first drive mechanism, the drive generator is The direction acting on the drive receiving portion intersects the same direction as the direction in which the drive generating portion acts on the drive receiving portion in the second drive mechanism, and is perpendicular to the first direction. The direction in which the drive generating unit acts on the drive receiving unit in the second drive mechanism is perpendicular to the second direction. The drive receiver of the first drive mechanism has a first main shaft that extends in the first direction and is driven in the first direction by the drive generator of the first drive mechanism. The drive receiving portion of the second drive mechanism has a second main shaft that extends in the second direction and is driven in the second direction by the drive generator of the second drive mechanism. The first main axis is disposed on the same plane as the second main axis.

本発明により、厚み方向の小型化を実現する駆動装置を提供することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to provide a drive device that realizes miniaturization in the thickness direction.

駆動装置の構成を示す分解斜視図（第１実施形態）Exploded perspective view showing the configuration of the driving device (first embodiment) 駆動装置の背面側の構成を示す分解斜視図（第１実施形態）Exploded perspective view showing the configuration of the back side of the drive device (first embodiment) 第２駆動機構の構成を示す分解斜視図（第１実施形態）Exploded perspective view showing the configuration of the second drive mechanism (first embodiment) 駆動発生部の構成を示す斜視図（第１実施形態）The perspective view which shows the structure of a drive generation part (1st Embodiment). 軸受部の構成を示す分解斜視図（第１実施形態）Exploded perspective view showing the configuration of the bearing (first embodiment) 軸受部の構成を示す分解斜視図（第１実施形態）Exploded perspective view showing the configuration of the bearing (first embodiment) 変形例としての駆動装置の構成を示す分解斜視図（第１実施形態）Exploded perspective view showing a configuration of a drive device as a modified example (first embodiment) 変形例としての駆動装置の構成を示す分解斜視図（第１実施形態）Exploded perspective view showing a configuration of a drive device as a modified example (first embodiment) 変形例としての駆動装置の構成を示す分解斜視図（第１実施形態）Exploded perspective view showing a configuration of a drive device as a modified example (first embodiment) 駆動装置の構成を示す斜視図（第２実施形態）The perspective view which shows the structure of a drive device (2nd Embodiment). 変形例としての駆動装置の構成を示す斜視図（第２実施形態）The perspective view which shows the structure of the drive device as a modification (2nd Embodiment). 従来技術としての駆動装置の構成を示す斜視図（背景技術）A perspective view showing the configuration of a driving device as a prior art (background art) 従来技術をとしての駆動装置の構成を示す分解斜視図（背景技術）Exploded perspective view showing the configuration of a driving device as a prior art (background art) センサーの磁石の位置に対する磁束密度の状態を示す説明図（背景技術）Explanatory drawing showing the state of magnetic flux density with respect to the position of the sensor magnet (background art)

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態である駆動装置について説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
The drive device which is 1st Embodiment of this invention is demonstrated.

図１は駆動装置５０の分解斜視図、図２は駆動装置５０の背面側の分解斜視図である。 FIG. 1 is an exploded perspective view of the drive device 50, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the back side of the drive device 50.

〈駆動装置５０〉
駆動装置５０は、デジタルスチールカメラ、デジタルビデオカメラなどの光学機器に搭載される装置であり、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子やレンズといった光学部品を光軸に直交な２方向に駆動し、光学像の像ぶれ補正を行うために用いられる装置である。図１に示す駆動装置５０は、特に上面側に撮像素子などを搭載し駆動する装置である。 <Drive device 50>
The driving device 50 is a device mounted on an optical device such as a digital still camera or a digital video camera. The driving device 50 drives an optical component such as an image sensor or a lens such as a CCD or a CMOS in two directions orthogonal to the optical axis, thereby producing an optical image. It is an apparatus used for performing image blur correction. The drive device 50 shown in FIG. 1 is a device that is mounted with an image pickup device or the like on the upper surface side.

図１に示すように、駆動装置５０は、第１枠体５１と、第２枠体５２と、第３枠体５３と、第１駆動機構５４と、第２駆動機構５５とを備えている。第２枠体５２は、第１枠体５１に対して第１方向Ａに移動可能に支持されている。第３枠体５３は、第２枠体５２に対して第１方向Ａと直交する第２方向Ｂに移動可能に支持されている。 As shown in FIG. 1, the drive device 50 includes a first frame 51, a second frame 52, a third frame 53, a first drive mechanism 54, and a second drive mechanism 55. . The second frame 52 is supported so as to be movable in the first direction A with respect to the first frame 51. The third frame 53 is supported so as to be movable in a second direction B perpendicular to the first direction A with respect to the second frame 52.

第１駆動機構５４は、第１枠体５１と第２枠体５２との間に設けられ、第１枠体５１と第２枠体５２とを相対移動させる。具体的には、第１駆動機構５４は、第２枠体５２を第１枠体５１および第１枠体５１が固定される光学機器（図示せず）に対して第１方向Ａに沿って駆動する。 The first drive mechanism 54 is provided between the first frame 51 and the second frame 52 and relatively moves the first frame 51 and the second frame 52. Specifically, the first drive mechanism 54 moves the second frame 52 along the first direction A with respect to the first frame 51 and an optical device (not shown) to which the first frame 51 is fixed. To drive.

第２駆動機構５５は、第２枠体５２と第３枠体５３との間に設けられ、第２枠体５２と第３枠体５３とを相対移動させる。具体的には、第２駆動機構５５は、第３枠体５３を第２枠体５２に対して第２方向Ｂに沿って駆動する。第２駆動機構５５は、第１駆動機構５４に対して、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに直交する第３方向Ｃ回りに９０度回転した位置に配置されている。 The second drive mechanism 55 is provided between the second frame body 52 and the third frame body 53 and relatively moves the second frame body 52 and the third frame body 53. Specifically, the second drive mechanism 55 drives the third frame 53 along the second direction B with respect to the second frame 52. The second drive mechanism 55 is disposed at a position rotated 90 degrees around the third direction C perpendicular to the first direction A and the second direction B with respect to the first drive mechanism 54.

第１駆動機構５４と第２駆動機構５５とのそれぞれは、駆動発生部２１と、駆動受部２２と、軸受部２３と、付勢部２４とを含んでいる。駆動発生部２１は、圧電素子１により駆動を発生させる。駆動受部２２は、駆動発生部２１に対して相対的に押圧され、駆動発生部２１により発生した駆動を受ける。軸受部２３は、駆動受部２２を挟んで駆動発生部２１と対向して配置され、駆動受部２２において駆動発生部２１が作用する箇所の駆動発生部２１側とは反対側への駆動受部２２の変位を規制する。付勢部２４は、駆動発生部２１と軸受部２３とをお互いに近づける方向に付勢する。 Each of the first drive mechanism 54 and the second drive mechanism 55 includes a drive generation unit 21, a drive receiving unit 22, a bearing unit 23, and an urging unit 24. The drive generator 21 generates drive by the piezoelectric element 1. The drive receiving unit 22 is pressed relatively to the drive generation unit 21 and receives the drive generated by the drive generation unit 21. The bearing portion 23 is disposed to face the drive generation portion 21 with the drive reception portion 22 interposed therebetween, and the drive reception portion 22 receives the drive reception on the side opposite to the drive generation portion 21 side where the drive generation portion 21 acts. The displacement of the portion 22 is restricted. The urging unit 24 urges the drive generation unit 21 and the bearing unit 23 in a direction to bring them closer to each other.

第１枠体５１には、第１駆動機構５４の駆動受部２２が固定されているとともに、駆動受部２２を支持する軸受部２３および付勢部２４が設けられている。第２枠体５２には、第１駆動機構５４の駆動発生部２１が弾性的に固定されているとともに、第２駆動機構５５の駆動受部２２および駆動受部２２を支持する軸受部２３および付勢部２４が設けられている。第３枠体５３には、第２駆動機構５５の駆動発生部２１が弾性的に固定されている。 The first frame 51 is provided with a drive receiving portion 22 of the first drive mechanism 54 and a bearing portion 23 and an urging portion 24 that support the drive receiving portion 22. The drive generator 21 of the first drive mechanism 54 is elastically fixed to the second frame 52, and the drive receiver 22 of the second drive mechanism 55 and the bearing 23 that supports the drive receiver 22 and An urging unit 24 is provided. The drive generator 21 of the second drive mechanism 55 is elastically fixed to the third frame 53.

第１駆動機構５４および第２駆動機構５５は、上述のごとく第１枠体５１〜第３枠体５３に配置されており、第１駆動機構５４において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向Ｃ１は、第２駆動機構５５において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向Ｃ２の平行かつ逆向きの方向である。詳しくは、第１駆動機構５４の駆動発生部２１と駆動受部２２との位置関係は、第２駆動機構５５の駆動発生部２１と駆動受部２２との位置関係と逆になっている。すなわち、第１駆動機構５４では、駆動発生部２１と駆動受部２２とは、第３方向Ｃに対向して配置されるとともに、駆動発生部２１は駆動受部２２の第３方向Ｃの上側に配置されている。一方、第２駆動機構５５では、駆動発生部２１と駆動受部２２とは、第３方向Ｃに対向して配置されるとともに、駆動発生部２１は駆動受部２２の第３方向Ｃの下側に配置されている。 The first drive mechanism 54 and the second drive mechanism 55 are arranged on the first frame body 51 to the third frame body 53 as described above, and the drive generator 21 acts on the drive receiver 22 in the first drive mechanism 54. The acting direction C 1 is a direction parallel and opposite to the acting direction C 2 in which the drive generating unit 21 acts on the drive receiving unit 22 in the second drive mechanism 55. Specifically, the positional relationship between the drive generator 21 and the drive receiver 22 of the first drive mechanism 54 is opposite to the positional relationship between the drive generator 21 and the drive receiver 22 of the second drive mechanism 55. That is, in the first drive mechanism 54, the drive generator 21 and the drive receiver 22 are arranged to face each other in the third direction C, and the drive generator 21 is located above the drive receiver 22 in the third direction C. Is arranged. On the other hand, in the second drive mechanism 55, the drive generator 21 and the drive receiver 22 are arranged to face each other in the third direction C, and the drive generator 21 is below the third direction C of the drive receiver 22. Arranged on the side.

このように、第１駆動機構５４および第２駆動機構５５において、駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する方向を第３方向Ｃに沿った方向とすることで、第３方向Ｃから見た駆動装置５０の大きさ（投影面積）を小さくすることが可能となる。さらに、第１駆動機構５４における作用方向Ｃ１と第２駆動機構５５における作用方向Ｃ２とを第３方向Ｃに沿った方向かつ逆向きとすることで、駆動装置５０の第３方向Ｃへの厚みを小さくすることが可能となる。 Thus, in the first drive mechanism 54 and the second drive mechanism 55, the direction in which the drive generator 21 acts on the drive receiver 22 is the direction along the third direction C, so that the drive generator 21 can be viewed from the third direction C. In addition, the size (projection area) of the driving device 50 can be reduced. Furthermore, the thickness of the drive device 50 in the third direction C is determined by setting the action direction C1 in the first drive mechanism 54 and the action direction C2 in the second drive mechanism 55 in the direction along the third direction C and in the opposite directions. Can be reduced.

〈回り止め機構〉
図２に示すように、第１枠体５１には、第１方向Ａに沿って第１駆動機構５４の駆動受部２２のシャフト５（後述）の両端が固定されている。さらに、第２枠体５２には、第２方向Ｂに沿って第２駆動機構５５の駆動受部２２のシャフト５（後述）の両端が固定されている。 <Non-rotating mechanism>
As shown in FIG. 2, both ends of a shaft 5 (described later) of the drive receiving portion 22 of the first drive mechanism 54 are fixed to the first frame 51 along the first direction A. Further, both ends of a shaft 5 (described later) of the drive receiving portion 22 of the second drive mechanism 55 are fixed to the second frame 52 along the second direction B.

第１枠体５１と第２枠体５２との間には、第１駆動機構５４が設けられる位置と第２方向Ｂ反対側に第１回り止め機構５７が設けられている。第１回り止め機構５７は、第１駆動機構５４のシャフト５回りに第１枠体５１と第２枠体５２とが相対回転することを防止するための機構である。第１回り止め機構５７は、第１枠体５１に形成されたコの字型の回り止め４ｆと、第２枠体５２のシャフト保持部２４ａに圧入または接着により固定され、回り止め４ｆに係合するシャフト１５とから構成されている。第１回り止め機構５７のシャフト１５は、第１方向Ａに沿って延びている。 A first detent mechanism 57 is provided between the first frame 51 and the second frame 52 on the opposite side of the second direction B from the position where the first drive mechanism 54 is provided. The first detent mechanism 57 is a mechanism for preventing the first frame 51 and the second frame 52 from rotating relative to each other around the shaft 5 of the first drive mechanism 54. The first detent mechanism 57 is fixed by press-fitting or bonding to the U-shaped detent 4f formed in the first frame 51 and the shaft holding portion 24a of the second frame 52, and is engaged with the detent 4f. And a shaft 15 to be joined. The shaft 15 of the first detent mechanism 57 extends along the first direction A.

第２枠体５２と第３枠体５３との間には、第２駆動機構５５が設けられる位置と第１方向Ａ反対側に第２回り止め機構５８が設けられている。第２回り止め機構５８は、第２駆動機構５５のシャフト５回りに第２枠体５２と第３枠体５３とが相対回転することを防止するための機構である。第２回り止め機構５８は、第３枠体５３に形成されたコの字型の回り止め４ｆと、第２枠体５２のシャフト保持部２４ｂに圧入または接着により固定され、回り止め４ｆに係合するシャフト１５とから構成されている。第２回り止め機構５８のシャフト１５は、第２方向Ｂに沿って延びている。 A second detent mechanism 58 is provided between the second frame body 52 and the third frame body 53 on the opposite side of the first direction A from the position where the second drive mechanism 55 is provided. The second detent mechanism 58 is a mechanism for preventing the second frame 52 and the third frame 53 from rotating relative to each other around the shaft 5 of the second drive mechanism 55. The second anti-rotation mechanism 58 is fixed by press-fitting or bonding to the U-shaped anti-rotation 4f formed on the third frame 53 and the shaft holding portion 24b of the second frame 52, and is engaged with the anti-rotation 4f. And a shaft 15 to be joined. The shaft 15 of the second detent mechanism 58 extends along the second direction B.

上述のように、第２枠体５２を第１方向Ａに沿って駆動する第１駆動機構５４の駆動発生部２１は、駆動装置５０において第１方向Ａに沿って設けられた２本のシャフト５，１５のうち、第１駆動機構５４のシャフト５に作用する。すなわち、駆動発生部２１からの駆動は、第１方向Ａへの第２枠体５２の運動をより正確に規制する主軸である、第１駆動機構５４の駆動受部２２に対して作用する。このため、モーメントの発生を抑え、第２枠体５２を第１方向Ａに沿ってより正確に（直線的に）駆動することが可能となる。 As described above, the drive generator 21 of the first drive mechanism 54 that drives the second frame 52 along the first direction A includes the two shafts provided along the first direction A in the drive device 50. 5 and 15 acts on the shaft 5 of the first drive mechanism 54. That is, the drive from the drive generator 21 acts on the drive receiver 22 of the first drive mechanism 54, which is the main shaft that more accurately regulates the movement of the second frame 52 in the first direction A. For this reason, generation | occurrence | production of a moment is suppressed and it becomes possible to drive the 2nd frame 52 along the 1st direction A more correctly (linearly).

また、第３枠体５３を第２方向Ｂに沿って駆動する第２駆動機構５５の駆動発生部２１は、駆動装置５０において第２方向Ｂに沿って設けられた２本のシャフト５，１５のうち、第２駆動機構５５のシャフト５に作用する。すなわち、駆動発生部２１からの駆動は、第２方向Ｂへの第３枠体５３の運動をより正確に規制する主軸である、第２駆動機構５５の駆動受部２２に対して作用する。このため、モーメントの発生を抑え、第３枠体５３を第２方向Ｂに沿ってより正確に（直線的に）駆動することが可能となり、駆動性能が向上する。 The drive generator 21 of the second drive mechanism 55 that drives the third frame 53 along the second direction B includes two shafts 5 and 15 provided along the second direction B in the drive device 50. Of these, it acts on the shaft 5 of the second drive mechanism 55. That is, the drive from the drive generator 21 acts on the drive receiver 22 of the second drive mechanism 55, which is the main shaft that more accurately regulates the movement of the third frame 53 in the second direction B. For this reason, generation | occurrence | production of a moment is suppressed, it becomes possible to drive the 3rd frame 53 along the 2nd direction B more correctly (linearly), and drive performance improves.

〈駆動機構〉
ここで、図面を参照しながら、第１駆動機構５４および第２駆動機構５５について説明する。なお、それぞれの駆動機構を構成する駆動発生部２１、駆動受部２２、軸受部２３、付勢部２４の構成はほぼ同様であるため、以下では、第２駆動機構５５について詳しく説明し、第１駆動機構５４については、その説明を省略する。 <Drive mechanism>
Here, the first drive mechanism 54 and the second drive mechanism 55 will be described with reference to the drawings. In addition, since the structure of the drive generation part 21, the drive receiving part 22, the bearing part 23, and the urging | biasing part 24 which comprises each drive mechanism is substantially the same, the 2nd drive mechanism 55 is demonstrated in detail below, The description of the one drive mechanism 54 is omitted.

図３は、本発明の第２駆動機構５５の分解斜視図である。 FIG. 3 is an exploded perspective view of the second drive mechanism 55 of the present invention.

第２駆動機構５５は、上述のように、駆動発生部２１と、駆動受部２２と、軸受部２３と、付勢部２４とを含む。 As described above, the second drive mechanism 55 includes the drive generation unit 21, the drive receiving unit 22, the bearing unit 23, and the urging unit 24.

駆動発生部２１は、例えば圧電素子などの電気機械変換素子により駆動を発生させる。駆動受部２２は、駆動発生部２１により発生した駆動を受け、駆動発生部２１に対して相対的に駆動される。軸受部２３は、駆動受部２２を挟んで駆動発生部２１と対向して配置され、駆動受部２２において駆動発生部２１が作用する箇所の駆動発生部２１側とは反対側への駆動受部２２の変位を規制する。付勢部２４は、駆動発生部２１と軸受部２３とをお互いに近づける方向に付勢する。 The drive generator 21 generates drive by an electromechanical transducer such as a piezoelectric element. The drive receiving unit 22 receives the drive generated by the drive generation unit 21 and is driven relative to the drive generation unit 21. The bearing portion 23 is disposed to face the drive generation portion 21 with the drive reception portion 22 interposed therebetween, and the drive reception portion 22 receives the drive reception on the side opposite to the drive generation portion 21 side where the drive generation portion 21 acts. The displacement of the portion 22 is restricted. The urging unit 24 urges the drive generation unit 21 and the bearing unit 23 in a direction to bring them closer to each other.

このような駆動発生部２１は、第３枠体５３により支持され、第３枠体５３は、駆動発生部２１が発生する駆動により、駆動受部２２に対して相対的に駆動される。 Such a drive generator 21 is supported by the third frame 53, and the third frame 53 is driven relative to the drive receiver 22 by the drive generated by the drive generator 21.

以下、上述の各構成について、より詳細に説明を加える。 Hereinafter, the above-described configurations will be described in more detail.

〈駆動発生部２１〉
図４は、第２駆動機構５５が備える駆動発生部２１の斜視図である。 <Drive generator 21>
FIG. 4 is a perspective view of the drive generator 21 provided in the second drive mechanism 55.

駆動発生部２１は、振動アクチュエータ１と、弾性体２ａ〜２ｃと、アクチュエータケース３とから主に構成されている。 The drive generator 21 is mainly composed of a vibration actuator 1, elastic bodies 2 a to 2 c, and an actuator case 3.

振動アクチュエータ１は、直方体形状をした圧電素子１ａ、圧電素子１ａの最も広い面積を有する面（以下、主面という）の長辺側の側面に配置され、駆動受部２２に対して摩擦接触する２つの駆動子１ｂ，１ｃ、主面に形成された４つの電極１ｄ〜１ｇとから主に構成されている。 The vibration actuator 1 is disposed on the side surface on the long side of the piezoelectric element 1 a having a rectangular parallelepiped shape and the surface having the largest area (hereinafter referred to as a main surface) of the piezoelectric element 1 a, and is in frictional contact with the drive receiving portion 22. It is mainly composed of two driver elements 1b and 1c and four electrodes 1d to 1g formed on the main surface.

圧電素子１ａは、主にセラミックスなどの材料により構成される部材である。圧電素子１ａは、対角に位置する２対の電極１ｄ，１ｇおよび電極１ｅ，１ｆにそれぞれ位相が異なる交流電圧を印加することで、縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させ、駆動力を発生させる。なお、電圧印加は、電極１ｄ〜１ｇに接続されたフレキシブルプリント基板（図示せず）を用いて行われている。駆動子１ｂ，１ｃは、駆動受部２２と接触する頭部が半球状に形成された、例えばセラミックス材料で構成された部材である。駆動子１ｂ，１ｃは、圧電素子１ａに固定され、圧電素子１ａに発生した駆動力を駆動受部２２に伝える。なお、駆動子１ｂ，１ｃの頭部の形状は、図示した半球状に限らず、他の曲面状に形成されていてもよく、駆動効率を高める形状であれば、どのような形状でも構わない。 The piezoelectric element 1a is a member mainly composed of a material such as ceramics. The piezoelectric element 1a generates longitudinal vibration and bending vibration in a harmonic manner by applying alternating voltages having different phases to the two pairs of electrodes 1d and 1g and the electrodes 1e and 1f that are positioned diagonally, and driving force Is generated. In addition, the voltage application is performed using the flexible printed circuit board (not shown) connected to the electrodes 1d-1g. The driver elements 1b and 1c are members made of, for example, a ceramic material in which the head portion that comes into contact with the drive receiving portion 22 is formed in a hemispherical shape. The driver elements 1b and 1c are fixed to the piezoelectric element 1a and transmit the driving force generated in the piezoelectric element 1a to the drive receiving portion 22. In addition, the shape of the heads of the driver elements 1b and 1c is not limited to the hemispherical shape shown in the figure, and may be formed in another curved surface shape, and any shape may be used as long as the driving efficiency is improved. .

弾性体２ａ，２ｂは、圧電素子１ａの主面の短辺側側面を両側から弾性支持する。弾性体２ｃは、圧電素子１ａの主面の長辺側側面を駆動受部２２側に弾性支持する。弾性体２ａ〜２ｃは、ゴムやフェルトなどで構成されており、弾性変形することにより、付勢力を発生する。弾性体２ａ〜２ｃは、駆動受部２２に対する振動アクチュエータ１の姿勢を維持し、振動アクチュエータ１が駆動受部２２を駆動する際の駆動効率を高める役割を果たす。なお、弾性体２ｃは、後述する加圧バネ１１とともに、駆動発生部２１と軸受部２３とをお互いに近づける方向に付勢する付勢部２４（図３参照）を構成する。 The elastic bodies 2a and 2b elastically support the short side surface of the main surface of the piezoelectric element 1a from both sides. The elastic body 2c elastically supports the long side surface of the main surface of the piezoelectric element 1a on the drive receiving portion 22 side. The elastic bodies 2a to 2c are made of rubber, felt or the like, and generate an urging force by elastic deformation. The elastic bodies 2 a to 2 c maintain the posture of the vibration actuator 1 with respect to the drive receiving portion 22 and play a role of increasing the driving efficiency when the vibration actuator 1 drives the drive receiving portion 22. The elastic body 2c constitutes a biasing portion 24 (see FIG. 3) that biases the drive generating portion 21 and the bearing portion 23 in a direction approaching each other together with the pressure spring 11 described later.

アクチュエータケース３は、振動アクチュエータ１および弾性体２ａ〜２ｃを一体的に保持する。具体的には、振動アクチュエータ１は、弾性体２ａ〜２ｃを介して、アクチュエータケース３の内部に固定されている。アクチュエータケース３には、圧電素子１ａの主面の反対側の面と対向する面において、厚さ方向に貫通する貫通孔３ａが形成されている（図３参照）。アクチュエータケース３は、貫通孔３ａに、後述する第３枠体５３の平面部４ｃに形成された突起４ｄを嵌め合わせることにより、平面部４ｃと対向して配置される。これにより、アクチュエータケース３の内部に固定された振動アクチュエータ１および弾性体２ａ〜２ｃは、第３枠体５３および第３枠体５３に配置される部材に対して位置決めされる。具体的には、後述する駆動受部２２のシャフト５、コの字型ベース６およびセラミックス板７に対して、振動アクチュエータ１の駆動子１ｂ、１ｃが接触するように配置される。この時、弾性体２ｃは、ある程度収縮するため、振動アクチュエータ１の駆動子１ｂ、１ｃは、セラミックス板７を押圧しつつ接触する。なお、アクチュエータケース３には貫通孔３ａを形成せず、突起４ｄを設けない平面部４ｃに対して接着固定してもよい。 The actuator case 3 integrally holds the vibration actuator 1 and the elastic bodies 2a to 2c. Specifically, the vibration actuator 1 is fixed inside the actuator case 3 via elastic bodies 2a to 2c. The actuator case 3 is formed with a through hole 3a penetrating in the thickness direction on a surface facing the surface opposite to the main surface of the piezoelectric element 1a (see FIG. 3). The actuator case 3 is disposed so as to be opposed to the flat surface portion 4c by fitting a projection 4d formed on the flat surface portion 4c of the third frame 53 described later into the through hole 3a. Thereby, the vibration actuator 1 and the elastic bodies 2 a to 2 c fixed inside the actuator case 3 are positioned with respect to the third frame body 53 and the members arranged on the third frame body 53. Specifically, the drive elements 1 b and 1 c of the vibration actuator 1 are arranged so as to contact the shaft 5, the U-shaped base 6 and the ceramic plate 7 of the drive receiving portion 22 described later. At this time, since the elastic body 2c contracts to some extent, the driver elements 1b and 1c of the vibration actuator 1 are in contact with each other while pressing the ceramic plate 7. The actuator case 3 may not be formed with the through hole 3a and may be bonded and fixed to the flat portion 4c where the protrusion 4d is not provided.

〈駆動受部２２〉
駆動受部２２（図３参照）は、ステンレスからなるシャフト５と、シャフト５に固定されるコの字型ベース６と、コの字型ベース６の駆動発生部２１と対向する面に貼り付けられたセラミックス板７とから主に構成されている。シャフト５は、後述する第３枠体５３の挿通孔４ａ，４ｂに対して挿通され、第３枠体５３に対して、シャフト５の軸方向（符号Ａで示す方向）に相対的に駆動される。コの字型ベース６は、挿通孔４ａ，４ｂに挿通されたシャフト５の挿通孔４ａと挿通孔４ｂとの中間位置において接着剤によって接着固定、あるいは異種材料同士の化学的接合により固定されている。 <Drive receiving portion 22>
The drive receiving portion 22 (see FIG. 3) is attached to the surface of the shaft 5 made of stainless steel, the U-shaped base 6 fixed to the shaft 5, and the surface of the U-shaped base 6 facing the drive generating portion 21. The ceramic plate 7 is mainly composed. The shaft 5 is inserted into insertion holes 4 a and 4 b of a third frame 53 to be described later, and is driven relative to the third frame 53 in the axial direction of the shaft 5 (direction indicated by reference numeral A). The The U-shaped base 6 is fixed by an adhesive or by chemical bonding between different materials at an intermediate position between the insertion hole 4a and the insertion hole 4b of the shaft 5 inserted through the insertion holes 4a and 4b. Yes.

駆動子１ｂ，１ｃの頭部は、それぞれ半球状に形成されている。このため、駆動受部２２を効率よく駆動させるためには、円柱状のシャフト５に駆動子１ｂ，１ｃが直接当接するよりも、シャフト５に固定された平面状のセラミックス板７に駆動子１ｂ，１ｃが直接当接する方が好ましい。また、平面状のセラミックス板７を介して、駆動子１ｂ，１ｃと駆動受部２２とを当接させる方が、組み立ても容易となる。 The heads of the driver elements 1b and 1c are each formed in a hemispherical shape. For this reason, in order to drive the drive receiving portion 22 efficiently, the driver 1b is placed on the planar ceramic plate 7 fixed to the shaft 5 rather than the driver 1b, 1c directly contacting the cylindrical shaft 5. , 1c are preferably in direct contact. Also, assembly is facilitated by bringing the driver elements 1b, 1c and the drive receiving portion 22 into contact with each other via the planar ceramic plate 7.

なお、駆動子１ｂ，１ｃが摺動方向（シャフト５の軸方向）に曲率を有する形状である場合には、駆動子１ｂ，１ｃを、円柱状のシャフト５の円弧部分に当接させても駆動効率はそれほど低下しない。しかし、駆動発生部２１は、高周波の駆動を発生させるとともに、駆動発生部２１から駆動受部２２への駆動の伝達は、摩擦による伝達であるため、セラミックス材料で形成された駆動子１ｂ，１ｃと、金属材料で形成されたシャフト５とを直接接触させると、接触部の摩耗が激しくなる。ここで、駆動装置５０が、シャフト５が磨耗されることによる粉塵や駆動効率の低下等を許容できる装置に搭載されるものである場合には、駆動子１ｂ，１ｃと円柱状のシャフト５とを直接当接させる、あるいはシャフト５にＤカットを施し、その平面部を駆動子１ｂ，１ｃと直接当接させるなどといった構成を採用することも可能である。 When the driver elements 1b and 1c have a shape having a curvature in the sliding direction (the axial direction of the shaft 5), the driver elements 1b and 1c may be brought into contact with the arc portion of the cylindrical shaft 5. The driving efficiency does not decrease so much. However, since the drive generator 21 generates high-frequency drive and the drive transmission from the drive generator 21 to the drive receiver 22 is a frictional transmission, the driver elements 1b and 1c formed of a ceramic material are used. When the shaft 5 made of a metal material is brought into direct contact, the contact portion becomes extremely worn. Here, in the case where the driving device 50 is mounted on a device that can accept dust or a reduction in driving efficiency due to wear of the shaft 5, the driving elements 1 b and 1 c and the cylindrical shaft 5 It is also possible to employ a configuration in which the shaft 5 is directly contacted, or a D-cut is applied to the shaft 5 so that the planar portion directly contacts the driver elements 1b and 1c.

しかし、駆動装置５０が、シャフト５が磨耗されることによる粉塵や駆動効率の低下等を許容できない装置に搭載されるものである場合には、接触部を磨耗しにくい材料で構成することが求められる。一方、シャフト５をセラミックス材料で構成しようとしても、高硬度材料であるセラミックス材料を精度良く円柱形に研磨することは困難であり、高コストの要因となる。このため、第２駆動機構５５では、容易に精度良く研磨することが可能でコストなどの問題がない金属材料でシャフト５を構成しつつ、シャフト５に対してセラミックス板７を固定する構成を採用している。なお、コの字型ベース６をセラミックス材料で構成する場合には、セラミックス板７は設けなくてもよい。また、コの字型ベース６は、正確にコの字型で無くとも良く、シャフト５に合わせて円弧状（Ｃ字状）の断面を有していてもよい。 However, when the driving device 50 is mounted on a device that cannot tolerate dust or a decrease in driving efficiency due to wear of the shaft 5, the contact portion is required to be made of a material that does not easily wear. It is done. On the other hand, even if the shaft 5 is made of a ceramic material, it is difficult to accurately polish the ceramic material, which is a high-hardness material, into a cylindrical shape, which causes a high cost. Therefore, the second drive mechanism 55 employs a configuration in which the ceramic plate 7 is fixed to the shaft 5 while the shaft 5 is composed of a metal material that can be easily and accurately polished and has no problems such as cost. is doing. When the U-shaped base 6 is made of a ceramic material, the ceramic plate 7 may not be provided. Further, the U-shaped base 6 does not have to be exactly U-shaped, and may have an arc-shaped (C-shaped) cross section in accordance with the shaft 5.

〈軸受部２３〉
軸受部２３（図３参照）は、シャフト５を挟んで駆動発生部２１と対向して配置され、駆動発生部２１の駆動によるシャフト５の撓みを規制する部材である。軸受部２３は、シャフト５に当接し、シャフト５に対する軸受部２３の摺動抵抗を低下させる役割を果たす球状の４個の転動体８と、それぞれの転動体８を保持する転動体保持器９と、転動体８および転動体保持器９を案内するガイドレール１０とを含む。 <Bearing part 23>
The bearing portion 23 (see FIG. 3) is a member that is disposed to face the drive generation portion 21 with the shaft 5 interposed therebetween, and that regulates the deflection of the shaft 5 due to the drive of the drive generation portion 21. The bearing portion 23 is in contact with the shaft 5 and has four spherical rolling elements 8 that play a role of reducing the sliding resistance of the bearing portion 23 with respect to the shaft 5, and rolling element holders 9 that hold the respective rolling elements 8. And a guide rail 10 for guiding the rolling element 8 and the rolling element holder 9.

図５と図６とを用いて、軸受部２３の構成について詳細に説明する。図５は、軸受部２３の拡大図であり、軸受部２３からガイドレール１０を取り外した状態を示している。図６は、軸受部２３を下側（駆動発生部２１側）から見た斜視図である。 The configuration of the bearing portion 23 will be described in detail with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. 5 is an enlarged view of the bearing portion 23 and shows a state in which the guide rail 10 is removed from the bearing portion 23. FIG. 6 is a perspective view of the bearing portion 23 as viewed from the lower side (the drive generation unit 21 side).

転動体８は、鋼球で構成されており、軸受部２３には、４個配置される。なお、軸受部２３の安定性から考えると転動体８は４個配置されていれば十分であるが、それよりも多くても構わない。尚、転動体８は、鋼球で構成されていなくてもよく、安定性、摺動負荷が低減できるのであれば、それ以外の材料で構成されていても構わない。 The rolling elements 8 are composed of steel balls, and four rolling elements 8 are arranged on the bearing portion 23. In view of the stability of the bearing portion 23, it is sufficient that four rolling elements 8 are arranged, but the number of rolling elements 8 may be larger than that. In addition, the rolling element 8 does not need to be comprised with the steel ball, and as long as stability and a sliding load can be reduced, it may be comprised with the material other than that.

転動体保持器９は、略直方体状の部材であり、摺動性の高い樹脂、例えば、ポリアセタール（ＰＯＭ）やポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）で構成されている。転動体保持器９は、その４隅において、転動体８を保持する円形の開口部を有している。開口部は、転動体保持器９の厚さ方向に貫通するとともに、長辺側の側面において開放する。転動体８は、各開口部の内側に配置され、転動体保持器９の厚さ方向に直交する方向への移動が規制されている。また、転動体８の一部は、転動体保持器９の長辺側の側面から突出する。 The rolling element holder 9 is a substantially rectangular parallelepiped member, and is made of a resin having high slidability, for example, polyacetal (POM) or polyphenylene sulfide (PPS). The rolling element holder 9 has a circular opening for holding the rolling element 8 at its four corners. The opening penetrates in the thickness direction of the rolling element cage 9 and opens on the side surface on the long side. The rolling element 8 is disposed inside each opening, and movement of the rolling element holder 9 in a direction orthogonal to the thickness direction is restricted. Moreover, a part of rolling element 8 protrudes from the side surface of the long side of the rolling element holder 9.

転動体保持器９は、転動体８を各貫通孔に保持した状態で、シャフト５に対向して配置される。この時、転動体保持器９は、短辺方向に並ぶ転動体８が、シャフト５の軸心に対して概略９０度の開き角度に配置されるように、転動体８を保持する。 The rolling element holder 9 is disposed to face the shaft 5 in a state where the rolling element 8 is held in each through hole. At this time, the rolling element holder 9 holds the rolling elements 8 so that the rolling elements 8 arranged in the short side direction are arranged at an opening angle of approximately 90 degrees with respect to the axis of the shaft 5.

ガイドレール１０は、転動体８を保持した状態の転動体保持器９をシャフト５とは反対側から覆うように配置されるコの字型の部材である。ガイドレール１０は、天面１０ａおよび天面１０ａの対向する２辺から天面１０ａに略直交して延びる２つの側面１０ｂ，１０ｃを有している。 The guide rail 10 is a U-shaped member disposed so as to cover the rolling element holder 9 in a state where the rolling element 8 is held from the side opposite to the shaft 5. The guide rail 10 has two side surfaces 10b and 10c extending substantially orthogonally to the top surface 10a from two opposing sides of the top surface 10a and the top surface 10a.

転動体保持器９により保持された各転動体８は、ガイドレール１０の天面１０ａおよび側面１０ｂ、あるいは天面１０ａおよび側面１０ｃに接触し、転動する。このため、シャフト５からの反力は、転動体８を介して天面１０ａ、側面１０ｂ，１０ｃに均等に伝わり、摺動負荷が著しく低減する。 Each rolling element 8 held by the rolling element holder 9 comes into contact with the top surface 10a and side surface 10b of the guide rail 10 or the top surface 10a and side surface 10c and rolls. For this reason, the reaction force from the shaft 5 is evenly transmitted to the top surface 10a and the side surfaces 10b and 10c via the rolling elements 8, and the sliding load is remarkably reduced.

転動体保持器９のシャフト５側の面とガイドレール１０側の面には、シャフト５あるいはガイドレール１０との摺動抵抗を低減するために突起９ａ，９ｂが形成されている。突起９ａ（図５参照）は、転動体保持器９のガイドレール１０側の面において、シャフト５の軸方向に沿って延びる突起である。また、突起９ａは、シャフト５の軸方向に直交する方向に並んで複数、例えば２本形成されている。突起９ｂ（図６参照）は、転動体保持器９のシャフト５側の面において形成されている。具体的には、突起９ｂは、シャフト５の軸方向に沿って並ぶ開口部の中間位置において、シャフト５の軸方向に直交する方向に沿って延びる突起である。また、突起９ｂは、シャフト５の軸方向に並んで複数、例えば２本形成されている。 In order to reduce sliding resistance with the shaft 5 or the guide rail 10, projections 9 a and 9 b are formed on the surface on the shaft 5 side and the surface on the guide rail 10 side of the rolling element cage 9. The protrusion 9 a (see FIG. 5) is a protrusion extending along the axial direction of the shaft 5 on the surface of the rolling element holder 9 on the guide rail 10 side. Further, a plurality of, for example, two protrusions 9 a are formed side by side in a direction orthogonal to the axial direction of the shaft 5. The protrusion 9b (see FIG. 6) is formed on the surface of the rolling element holder 9 on the shaft 5 side. Specifically, the protrusion 9 b is a protrusion extending along a direction orthogonal to the axial direction of the shaft 5 at an intermediate position of the openings arranged along the axial direction of the shaft 5. Further, a plurality of, for example, two protrusions 9 b are formed side by side in the axial direction of the shaft 5.

突起９ａは、転動体保持器９とガイドレール１０とが摺動する際の摺動方向と平行な方向に形成されているため、接触面積が少なくなり、摺動抵抗を低減させることが可能となる。また、突起９ｂは、転動体保持器９とシャフト５とが摺動する際の摺動方向と直交する方向に形成されているため、接触面積が少なくなり、摺動抵抗を低減させることが可能となる。以上により、軸受部２３の総合的な摺動特性が向上する。 Since the protrusion 9a is formed in a direction parallel to the sliding direction when the rolling element holder 9 and the guide rail 10 slide, the contact area is reduced and the sliding resistance can be reduced. Become. Further, since the protrusion 9b is formed in a direction orthogonal to the sliding direction when the rolling element holder 9 and the shaft 5 slide, the contact area can be reduced and the sliding resistance can be reduced. It becomes. As a result, the overall sliding characteristics of the bearing portion 23 are improved.

図５に示すように、ガイドレール１０の天面１０ａの４隅には、側面１０ｂ，１０ｃ側に突出して延びる４つの係合片１０ｄが形成されている。図３に示すように、それぞれの係合片１０ｄは、後述する第３枠体５３の係合部４ｈに係合し、ガイドレール１０の姿勢を維持する。具体的には、ガイドレール１０では、４隅に形成された係合片１０ｄが係合部４ｈにより支持されることで、シャフト５回りの回転が規制される。これにより、ガイドレール１０に当接する転動体８および転動体保持器９のシャフト５回りの回転を規制することも可能となる。 As shown in FIG. 5, four engagement pieces 10 d are formed at the four corners of the top surface 10 a of the guide rail 10 so as to protrude and extend toward the side surfaces 10 b and 10 c. As shown in FIG. 3, each engagement piece 10 d is engaged with an engagement portion 4 h of a third frame 53 described later, and maintains the posture of the guide rail 10. Specifically, in the guide rail 10, the rotation of the shaft 5 is restricted by the engagement pieces 10d formed at the four corners being supported by the engagement portions 4h. Thereby, it is also possible to restrict the rotation of the rolling element 8 and the rolling element holder 9 that are in contact with the guide rail 10 around the shaft 5.

〈付勢部２４〉
付勢部２４（図３参照）は、加圧バネ１１と、弾性体２ｃとを含んでいる。弾性体２ｃについては、既に説明したため、詳しい説明は省略する。 <Biasing part 24>
The urging unit 24 (see FIG. 3) includes the pressure spring 11 and the elastic body 2c. Since the elastic body 2c has already been described, a detailed description thereof will be omitted.

図３に示すように、加圧バネ１１は、ガイドレール１０の天面１０ａと対向し、ガイドレール１０をシャフト５側に押圧する矩形状の主面１１ｅと、主面１１ｅの２つの長辺の両端からシャフト５側に延びる４つの延伸部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄとから主に構成されている。さらに、図３に示すように、加圧バネ１１は、延伸部１１ａ〜１１ｄの先端に形成された爪が後述する第３枠体５３の突起部４ｇに係合することにより、第３枠体５３に固定される。 As shown in FIG. 3, the pressure spring 11 is opposed to the top surface 10a of the guide rail 10, and has a rectangular main surface 11e that presses the guide rail 10 toward the shaft 5, and two long sides of the main surface 11e. It is mainly composed of four extending portions 11a, 11b, 11c, and 11d extending from both ends to the shaft 5 side. Further, as shown in FIG. 3, the pressurizing spring 11 is configured such that the claws formed at the ends of the extending portions 11 a to 11 d are engaged with the protruding portions 4 g of the third frame 53 described later, thereby 53 is fixed.

なお、ここでは、加圧バネ１１は、ガイドレール１０をシャフト５側に押圧すると記載したが、加圧バネ１１は少なくともガイドレール１０のシャフト５側とは反対側への移動を規制するもので有ればよい。また、加圧バネ１１は、ガイドレール１０を直接押圧するように取り付けると説明したが、弾性部材（図示せず）を加圧バネ１１とガイドレール１０との間に挟み込んでもよい。 Here, it is described that the pressure spring 11 presses the guide rail 10 against the shaft 5 side, but the pressure spring 11 regulates at least the movement of the guide rail 10 to the side opposite to the shaft 5 side. It only has to be. In addition, although it has been described that the pressure spring 11 is attached so as to directly press the guide rail 10, an elastic member (not shown) may be sandwiched between the pressure spring 11 and the guide rail 10.

ここで、図３をさらに参照して、ガイドレール１０および加圧バネ１１の取り付けについて説明する。 Here, with reference to FIG. 3 further, attachment of the guide rail 10 and the pressure spring 11 will be described.

上述のように、ガイドレール１０には、４つの係合片１０ｄが設けられている。ガイドレール１０を第３枠体５３へ取り付ける際には、各係合片１０ｄを、受け部となる各係合部４ｈに配置する。ガイドレール１０の各係合片１０ｄと第３枠体５３の係合部４ｈとの間に隙間がある場合、加圧バネ１１を取り付ける際にガイドレール１０が多少傾くことになるが、この場合でも各係合片１０ｄが各係合部４ｈと接触するため、ガイドレール１０が大きく回転することが防止できる。すなわち、シャフト５に対して転動体８を介して対向して配置されるために、シャフト５の軸回りに回転しやすいガイドレール１０に対して、各係合片１０ｄを設けることで、ガイドレール１０の取り付けが容易となる。さらには、加圧バネ１１をガイドレール１０を覆うように配置するとともに、延伸部１１ａ〜１１ｄの先端の爪を第３枠体５３の突起部４ｇに係合させるだけで加圧バネ１１を第３枠体５３に取り付けることができるため、組み立てが容易となる。 As described above, the guide rail 10 is provided with the four engagement pieces 10d. When the guide rail 10 is attached to the third frame 53, each engagement piece 10d is disposed in each engagement portion 4h serving as a receiving portion. When there is a gap between each engaging piece 10d of the guide rail 10 and the engaging portion 4h of the third frame 53, the guide rail 10 is slightly inclined when the pressure spring 11 is attached. However, since each engagement piece 10d comes into contact with each engagement portion 4h, the guide rail 10 can be prevented from rotating significantly. In other words, since the shaft 5 is disposed so as to face the rolling element 8 via the rolling elements 8, the guide rails 10 d are provided on the guide rail 10 that easily rotates around the shaft 5. 10 can be easily attached. Furthermore, the pressure spring 11 is disposed so as to cover the guide rail 10, and the pressure spring 11 is moved only by engaging the claw at the tip of the extending portions 11a to 11d with the protrusion 4g of the third frame 53. Since it can attach to the 3 frame 53, an assembly becomes easy.

付勢部２４（図３参照）は、軸受部２３をシャフト５側に押圧する加圧バネ１１と、駆動発生部２１をシャフト５側に押圧する弾性体２ｃとを含んでおり、駆動発生部２１と軸受部２３とをお互いに近づける方向に付勢する。 The urging portion 24 (see FIG. 3) includes a pressure spring 11 that presses the bearing portion 23 toward the shaft 5 side, and an elastic body 2c that presses the drive generation portion 21 toward the shaft 5 side. 21 and the bearing part 23 are urged | biased in the direction which mutually approaches.

弾性体２ｃは、例えば、シリコンゴムにより構成されており、収縮により弾性力を発生させ、駆動発生部２１をシャフト５側に付勢する。これにより、シャフト５は、振動アクチュエータ１から軸に直交する方向への付勢力を受ける。シャフト５は、挿通孔４ａ，４ｂに挿通されている。このため、シャフト５が駆動発生部２１とは反対側から支持されていなければ、挿通孔４ａ，４ｂにおいてシャフト５を支持する支持力が発生し、シャフト５が撓む。 The elastic body 2c is made of, for example, silicon rubber, generates an elastic force by contraction, and biases the drive generator 21 toward the shaft 5 side. As a result, the shaft 5 receives a biasing force from the vibration actuator 1 in a direction perpendicular to the axis. The shaft 5 is inserted through the insertion holes 4a and 4b. For this reason, if the shaft 5 is not supported from the opposite side to the drive generation part 21, the supporting force which supports the shaft 5 will generate | occur | produce in the insertion holes 4a and 4b, and the shaft 5 will bend.

しかし、シャフト５の駆動発生部２１とは反対側には、加圧バネ１１により付勢された軸受部２３が配置されている。このため、シャフト５は、駆動発生部２１と反対側から支持されており、挿通孔４ａ，４ｂにおいてシャフト５に対して加わる支持力は軽減または相殺される。これにより、シャフト５の変形が抑制され、挿通孔４ａ，４ｂとシャフト５との摺動抵抗が低減され、駆動効率が向上する。 However, on the opposite side of the shaft 5 from the drive generating portion 21, a bearing portion 23 biased by the pressure spring 11 is disposed. For this reason, the shaft 5 is supported from the opposite side to the drive generation part 21, and the support force added with respect to the shaft 5 in insertion hole 4a, 4b is reduced or offset. Thereby, the deformation of the shaft 5 is suppressed, the sliding resistance between the insertion holes 4a, 4b and the shaft 5 is reduced, and the driving efficiency is improved.

〈第３枠体５３〉
第３枠体５３（図３参照）は、枠体４と、枠体４の側面に設けられ、シャフト５を支持するとともに軸受部２３が固定される支持部４ｉと、駆動発生部２１が固定される固定部４ｊとから主に構成されている。 <Third frame 53>
The third frame 53 (see FIG. 3) is provided on the side of the frame 4 and the frame 4, supports the shaft 5 and fixes the bearing portion 23, and the drive generator 21 is fixed. The fixing portion 4j is mainly configured.

枠体４は、中心部に撮像素子などの光学部品を固定する板状部材である。 The frame 4 is a plate-like member that fixes an optical component such as an image sensor at the center.

支持部４ｉには、板状の枠体４の面に平行な一方向（一辺に沿った方向）にシャフト５を挿通して支持するように、挿通孔４ａおよび４ｂが形成されている。また、支持部４ｉには、ガイドレール１０の外周に形成された係合片１０ｄと係合する係合部４ｈが形成されているとともに、加圧バネ１１の延伸部１１ａ〜１１ｄの先端の爪が係止される突起部４ｇが形成されている。 Insertion holes 4 a and 4 b are formed in the support portion 4 i so as to insert and support the shaft 5 in one direction (direction along one side) parallel to the surface of the plate-like frame body 4. In addition, the support portion 4 i is formed with an engagement portion 4 h that engages with an engagement piece 10 d formed on the outer periphery of the guide rail 10, and a claw at the tip of the extension portions 11 a to 11 d of the pressure spring 11. A protrusion 4g is formed to be engaged.

固定部４ｊは、主にアクチュエータケース３と対向して配置される平面部４ｃと、平面部４ｃの一端に形成され、アクチュエータケース３をシャフト５側に支持する受け部４ｅとから構成されている。 The fixed part 4j is mainly composed of a flat part 4c arranged opposite to the actuator case 3 and a receiving part 4e formed at one end of the flat part 4c and supporting the actuator case 3 on the shaft 5 side. .

さらに、第３枠体５３には、枠体４を挟んで支持部４ｉに対向する位置に、回り止め４ｆが形成されている。回り止め４ｆは、シャフト５が固定される部材などに実質的に固定されるシャフト１５と係合し、第３枠体５３のシャフト５回りの回転を規制する。 Further, the third frame 53 is provided with a detent 4f at a position facing the support portion 4i with the frame 4 interposed therebetween. The detent 4f engages with the shaft 15 that is substantially fixed to a member to which the shaft 5 is fixed, and restricts the rotation of the third frame 53 around the shaft 5.

また、上述の例では、枠体４の面に平行な一方向に沿って第３枠体５３が駆動される場合について説明した。すなわち、枠体４の中心部に配置される撮像素子に入射する光の光軸方向に直交する方向に沿って第３枠体５３が駆動される場合について説明した。この場合、駆動装置５０は、撮像素子を駆動させて像ぶれの補正を行う装置として利用可能である。 In the above-described example, the case where the third frame 53 is driven along one direction parallel to the surface of the frame 4 has been described. That is, the case where the third frame 53 is driven along the direction orthogonal to the optical axis direction of the light incident on the imaging element disposed at the center of the frame 4 has been described. In this case, the driving device 50 can be used as a device that corrects image blur by driving the image sensor.

〈その他〉
〈１〉
枠体４に配置される光学部品は、撮像素子に限らず、レンズなど他の光学部品であってもよい。これについて、図７を用いて説明する。 <Others>
<1>
The optical component disposed in the frame 4 is not limited to the image sensor, and may be another optical component such as a lens. This will be described with reference to FIG.

図７は、図１に示す駆動装置５０と同様の構成を採用しつつ、第３枠体５３に設けた開口に光学レンズ１６を配置した駆動装置５０である。駆動装置５０は、第３方向Ｃに沿って入射する光の光軸４０に対して、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに光学レンズ１６を駆動し、後段において配置される撮像素子の受像のぶれを補正する。この駆動装置５０、その後段において配置される撮像素子、光学レンズ１６の位置を検知する位置センサおよび位置センサの出力により駆動装置５０を駆動する制御部などにより、像ぶれ補正装置が構成される。 FIG. 7 shows the driving device 50 in which the optical lens 16 is arranged in the opening provided in the third frame 53 while adopting the same configuration as the driving device 50 shown in FIG. The driving device 50 drives the optical lens 16 in the first direction A and the second direction B with respect to the optical axis 40 of the light incident along the third direction C, and receives the image of the image sensor disposed in the subsequent stage. Correct blur. The image blur correction device is configured by the drive device 50, an image pickup device arranged in the subsequent stage, a position sensor that detects the position of the optical lens 16, a control unit that drives the drive device 50 by the output of the position sensor, and the like.

駆動装置５０では、第１枠体５１、第２枠体５２および第３枠体５３には、光学レンズ１６から入射した光軸４０を通過させるために厚さ方向に貫通する開口が設けられている。 In the drive device 50, the first frame 51, the second frame 52, and the third frame 53 are provided with openings that penetrate in the thickness direction so as to allow the optical axis 40 incident from the optical lens 16 to pass therethrough. Yes.

なお、光学レンズ１６は、１枚のレンズに限らず、複数のレンズからなるレンズ群であってもよい。 The optical lens 16 is not limited to a single lens and may be a lens group including a plurality of lenses.

図１３を用いて説明した電磁式の像振れ補正装置の場合には、例えば重力の影響を受けるピッチ方向（図１３のＹ方向）に像振れ補正を行わない場合にも、アクチュエータに電流を流して正規の位置を保持する必要がある。しかし、本発明のように、アクチュエータを摩擦駆動し、かつ駆動発生部２１が駆動受部２２に対して付勢力を与える場合には、電流を流さなくとも光学レンズ１６の位置を保持することが可能である。すなわち、本発明の駆動装置５０を用いた像ぶれ補正装置では、電流を流さなくとも光軸４０の中央近傍に光学レンズ１６を位置決めして保持することが可能である。この結果、本発明では、消費電力を低減することが可能となる。 In the case of the electromagnetic image blur correction apparatus described with reference to FIG. 13, for example, even when image blur correction is not performed in the pitch direction (Y direction in FIG. 13) affected by gravity, a current is supplied to the actuator. It is necessary to maintain the normal position. However, as in the present invention, when the actuator is frictionally driven and the drive generator 21 applies an urging force to the drive receiver 22, the position of the optical lens 16 can be maintained without passing an electric current. Is possible. That is, in the image blur correction apparatus using the driving device 50 of the present invention, the optical lens 16 can be positioned and held near the center of the optical axis 40 without passing an electric current. As a result, in the present invention, power consumption can be reduced.

〈２〉
上述の構成には、振動アクチュエータ１の駆動効率をさらに向上させるために、振動アクチュエータ１を付勢する部材を配置することが可能である。これについて、図１、図７〜図９を用いて具体的に説明する。 <2>
In the above-described configuration, in order to further improve the driving efficiency of the vibration actuator 1, a member that urges the vibration actuator 1 can be arranged. This will be specifically described with reference to FIGS. 1 and 7 to 9.

図１や図７に示すように、第１駆動機構５４および第２駆動機構５５は、振動アクチュエータ１の主面に垂直な方向で、アクチュエータケース３側とは反対側への移動を規制する規制部材１４と、振動アクチュエータ１の主面と規制部材１４との間に配置され、振動アクチュエータ１をアクチュエータケース３側に付勢するとともに、規制部材１４の寸法のバラツキを吸収する弾性体１３とを有している。 As shown in FIGS. 1 and 7, the first drive mechanism 54 and the second drive mechanism 55 are restrictions that restrict movement to the side opposite to the actuator case 3 side in a direction perpendicular to the main surface of the vibration actuator 1. An elastic body 13 that is disposed between the member 14 and the main surface of the vibration actuator 1 and the restriction member 14 and that urges the vibration actuator 1 toward the actuator case 3 and absorbs variation in the dimensions of the restriction member 14. Have.

第１駆動機構５４の規制部材１４は、第２方向Ｂへの振動アクチュエータ１の移動を規制する。第２駆動機構５５の規制部材１４は、第１方向Ａへの振動アクチュエータ１の移動を規制する。それぞれの振動アクチュエータ１は、弾性体２ｃ（図３参照）により駆動受部２２に対して押圧されつつ、電圧が印加される時には、微小な振動を繰り返している。もし振動アクチュエータ１のアクチュエータケース３側とは反対側への移動が規制されていなければ、この微小な振動により駆動受部２２に対する振動アクチュエータ１の姿勢が時間とともに変化する。この姿勢の変化は、駆動効率の低下につながる。 The regulating member 14 of the first drive mechanism 54 regulates the movement of the vibration actuator 1 in the second direction B. The restricting member 14 of the second drive mechanism 55 restricts the movement of the vibration actuator 1 in the first direction A. Each vibration actuator 1 is pressed against the drive receiving portion 22 by the elastic body 2c (see FIG. 3), and repeats minute vibrations when a voltage is applied. If the movement of the vibration actuator 1 to the side opposite to the actuator case 3 side is not restricted, the attitude of the vibration actuator 1 with respect to the drive receiving portion 22 changes with time due to this minute vibration. This change in posture leads to a decrease in driving efficiency.

一方、第１駆動機構５４および第２駆動機構５５が規制部材１４および弾性体１３を有し、振動アクチュエータ１の移動を規制している場合には、駆動受部２２の駆動効率の低下が防止可能となる。 On the other hand, when the first drive mechanism 54 and the second drive mechanism 55 have the restricting member 14 and the elastic body 13 and restrict the movement of the vibration actuator 1, the drive efficiency of the drive receiving portion 22 is prevented from being lowered. It becomes possible.

また、図８と図９とに示すように、図１と図７とに示す第１駆動機構５４および第２駆動機構５５は、加圧バネ１１に代えてガイドレール１０をシャフト５側に押圧する押圧部材１２を有していてもよい。押圧部材１２は、ガイドレール１０の天面１０ａ上に係止される爪を先端に有する略コの字状の部材であり、それぞれの駆動発生部２１全体を覆うように駆動発生部２１側から取り付けられ、ガイドレール１０をシャフト５側に引き寄せるように作用する。
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態である駆動装置について説明する。なお、第１実施形態で説明したのと同様の構成に対しては同じ符号を付してそれらの説明を省略する。 As shown in FIGS. 8 and 9, the first drive mechanism 54 and the second drive mechanism 55 shown in FIGS. 1 and 7 press the guide rail 10 toward the shaft 5 instead of the pressure spring 11. You may have the press member 12 to do. The pressing member 12 is a substantially U-shaped member having a claw locked on the top surface 10a of the guide rail 10 at the tip, and from the drive generator 21 side so as to cover the entire drive generator 21. It is attached and acts to pull the guide rail 10 toward the shaft 5 side.
(Second Embodiment)
The drive device which is 2nd Embodiment of this invention is demonstrated. In addition, the same code | symbol is attached | subjected with respect to the structure similar to having demonstrated in 1st Embodiment, and those description is abbreviate | omitted.

〈駆動装置６０〉
図１０に示す駆動装置６０は、デジタルスチールカメラ、デジタルビデオカメラなどの光学機器に搭載される装置であり、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子やレンズといった光学部品を光軸に直交な２方向に駆動し、光学像の像ぶれ補正を行うために用いられる装置である。図１０に示す駆動装置６０は、特に上面側に撮像素子などを搭載し駆動する装置である。 <Drive device 60>
A drive device 60 shown in FIG. 10 is a device mounted on an optical device such as a digital still camera or a digital video camera, and drives optical components such as an image sensor and a lens such as a CCD and a CMOS in two directions orthogonal to the optical axis. However, this is an apparatus used to perform image blur correction of an optical image. A drive device 60 shown in FIG. 10 is a device that is mounted with an image pickup element or the like on the upper surface side.

図１０に示すように、駆動装置６０は、第１枠体６１と、第２枠体６２と、第３枠体６３と、第１駆動機構６４と、第２駆動機構６５とを備えている。第２枠体６２は、第１枠体６１に対して第１方向Ａに移動可能に支持されている。第３枠体６３は、第２枠体６２に対して第１方向Ａと直交する第２方向Ｂに移動可能に支持されている。 As shown in FIG. 10, the drive device 60 includes a first frame body 61, a second frame body 62, a third frame body 63, a first drive mechanism 64, and a second drive mechanism 65. . The second frame 62 is supported so as to be movable in the first direction A with respect to the first frame 61. The third frame 63 is supported so as to be movable in a second direction B perpendicular to the first direction A with respect to the second frame 62.

第１駆動機構６４は、第１枠体６１と第２枠体６２との間に設けられ、第１枠体６１と第２枠体６２とを相対移動させる。具体的には、第１駆動機構６４は、第２枠体６２を第１枠体６１および第１枠体６１が固定される光学機器（図示せず）に対して第１方向Ａに沿って駆動する。 The first drive mechanism 64 is provided between the first frame body 61 and the second frame body 62, and relatively moves the first frame body 61 and the second frame body 62. Specifically, the first drive mechanism 64 moves the second frame 62 along the first direction A with respect to the first frame 61 and an optical device (not shown) to which the first frame 61 is fixed. To drive.

第２駆動機構６５は、第２枠体６２と第３枠体６３との間に設けられ、第２枠体６２と第３枠体６３とを相対移動させる。具体的には、第２駆動機構６５は、第３枠体６３を第２枠体６２に対して第２方向Ｂに沿って駆動する。第２駆動機構６５は、第１駆動機構６４に対して、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに直交する第３方向Ｃ回りに９０度回転した位置に配置されている。 The second drive mechanism 65 is provided between the second frame body 62 and the third frame body 63, and relatively moves the second frame body 62 and the third frame body 63. Specifically, the second drive mechanism 65 drives the third frame 63 along the second direction B with respect to the second frame 62. The second drive mechanism 65 is disposed at a position rotated 90 degrees around the third direction C orthogonal to the first direction A and the second direction B with respect to the first drive mechanism 64.

第１駆動機構６４と第２駆動機構６５とのそれぞれは、第１実施形態で説明した第１駆動機構５４と第２駆動機構５５と同様に、駆動発生部２１と、駆動受部２２と、軸受部２３と、付勢部２４とを含んでいる。 Each of the first drive mechanism 64 and the second drive mechanism 65 is similar to the first drive mechanism 54 and the second drive mechanism 55 described in the first embodiment, and the drive generator 21, the drive receiver 22, A bearing portion 23 and an urging portion 24 are included.

第１駆動機構６４では、駆動発生部２１と駆動受部２２と軸受部２３とは、第２方向Ｂに沿って配置されており、それぞれの第３方向Ｃの位置は、ほぼ同じである。 In the first drive mechanism 64, the drive generator 21, the drive receiver 22, and the bearing 23 are disposed along the second direction B, and the positions in the third direction C are substantially the same.

第２駆動機構６５では、駆動発生部２１と駆動受部２２と軸受部２３とは、第１方向Ａに沿って配置されており、それぞれの第３方向Ｃの位置は、ほぼ同じである。 In the second drive mechanism 65, the drive generator 21, the drive receiver 22, and the bearing 23 are disposed along the first direction A, and the positions in the third direction C are substantially the same.

さらに、第１駆動機構６４と第２駆動機構６５とのそれぞれの第３方向Ｃの位置は、ほぼ同じであり、それぞれの駆動受部２２に平行な同一平面上に配置されている。 Further, the positions of the first drive mechanism 64 and the second drive mechanism 65 in the third direction C are substantially the same, and are disposed on the same plane parallel to the respective drive receiving portions 22.

第１枠体６１には、第１駆動機構６４の駆動受部２２が固定されているとともに、駆動受部２２を支持する軸受部２３および付勢部２４が設けられている。第２枠体６２には、第１駆動機構６４の駆動発生部２１が弾性的に固定されているとともに、第２駆動機構６５の駆動受部２２および駆動受部２２を支持する軸受部２３および付勢部２４が設けられている。第３枠体６３には、第２駆動機構６５の駆動発生部２１が弾性的に固定されている。 The first frame 61 is provided with a drive receiving portion 22 of the first drive mechanism 64 and a bearing portion 23 and a biasing portion 24 that support the drive receiving portion 22. The drive generator 21 of the first drive mechanism 64 is elastically fixed to the second frame 62, and the drive receiver 22 of the second drive mechanism 65 and the bearing 23 that supports the drive receiver 22 and An urging unit 24 is provided. The drive generator 21 of the second drive mechanism 65 is elastically fixed to the third frame 63.

第１駆動機構６４および第２駆動機構６５は、上述のごとく第１枠体６１〜第３枠体６３に配置されており、第１駆動機構６４において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向Ｂ１は、第２駆動機構６５において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向Ａ１と直交する方向である。 The first drive mechanism 64 and the second drive mechanism 65 are arranged on the first frame body 61 to the third frame body 63 as described above, and the drive generator 21 acts on the drive receiver 22 in the first drive mechanism 64. The acting direction B 1 is a direction orthogonal to the acting direction A 1 in which the drive generating unit 21 acts on the drive receiving unit 22 in the second drive mechanism 65.

このように、第１駆動機構６４と第２駆動機構６５とをほぼ同じ高さに配置することで、駆動装置６０の第３方向Ｃへの厚みを小さくすることが可能となる。また、第１駆動機構６４および第２駆動機構６５を構成する部材を第３方向Ｃと直交する方向（第１方向Ａや第２方向Ｂ）に沿って配置することで、第３方向Ｃへの厚みを小さくすることが可能となる。 Thus, by arranging the first drive mechanism 64 and the second drive mechanism 65 at substantially the same height, the thickness of the drive device 60 in the third direction C can be reduced. Further, the members constituting the first drive mechanism 64 and the second drive mechanism 65 are arranged along the direction (the first direction A or the second direction B) orthogonal to the third direction C, so that the third direction C is reached. It is possible to reduce the thickness.

また、駆動装置６０には、第１実施形態で説明した第１回り止め機構５７と第２回り止め機構５８と同様の回り止め機構（第１回り止め機構６７と第２回り止め機構６８）が設けられている。 Further, the drive device 60 includes a rotation prevention mechanism (a first rotation prevention mechanism 67 and a second rotation prevention mechanism 68) similar to the first rotation prevention mechanism 57 and the second rotation prevention mechanism 58 described in the first embodiment. Is provided.

〈その他〉
第３枠体６３に配置される光学部品は、撮像素子に限らず、レンズなど他の光学部品であってもよい。これについて、図１１を用いて説明する。 <Others>
The optical component disposed in the third frame 63 is not limited to the image sensor, and may be another optical component such as a lens. This will be described with reference to FIG.

図１１は、図１０に示す駆動装置６０と同様の構成を採用しつつ、第３枠体６３に設けた開口に光学レンズ１６を配置した駆動装置６０である。駆動装置６０は、第３方向Ｃに沿って入射する光の光軸４０に対して、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに光学レンズ１６を駆動し、後段において配置される撮像素子の受像のぶれを補正する。この駆動装置６０、その後段において配置される撮像素子、光学レンズ１６の位置を検知する位置センサおよび位置センサの出力により駆動装置６０を駆動する制御部などにより、像ぶれ補正装置が構成される。 FIG. 11 shows a driving device 60 in which the optical lens 16 is disposed in the opening provided in the third frame 63 while adopting the same configuration as the driving device 60 shown in FIG. The driving device 60 drives the optical lens 16 in the first direction A and the second direction B with respect to the optical axis 40 of the light incident along the third direction C, and receives the image of the image sensor disposed in the subsequent stage. Correct blur. The image blur correction apparatus is configured by the drive device 60, an image pickup device arranged in the subsequent stage, a position sensor that detects the position of the optical lens 16, a control unit that drives the drive device 60 by the output of the position sensor, and the like.

駆動装置６０では、第１枠体６１、第２枠体６２および第３枠体６３には、光学レンズ１６から入射した光軸４０を通過させるために厚さ方向に貫通する開口が設けられている。 In the driving device 60, the first frame body 61, the second frame body 62, and the third frame body 63 are provided with an opening penetrating in the thickness direction so as to allow the optical axis 40 incident from the optical lens 16 to pass therethrough. Yes.

図１３を用いて説明した電磁式の像振れ補正装置の場合には、例えば重力の影響を受けるピッチ方向（図１３のＹ方向）に像振れ補正を行わない場合にも、アクチュエータに電流を流して正規の位置を保持する必要がある。しかし、本発明のように、アクチュエータを摩擦駆動し、かつ駆動発生部２１が駆動受部２２に対して付勢力を与える場合には、電流を流さなくとも光学レンズ１６の位置を保持することが可能である。すなわち、本発明の駆動装置６０を用いた像ぶれ補正装置では、電流を流さなくとも光軸４０の中央近傍に光学レンズ１６を位置決めして保持することが可能である。この結果、本発明では、消費電力を低減することが可能となる。 In the case of the electromagnetic image blur correction apparatus described with reference to FIG. 13, for example, even when image blur correction is not performed in the pitch direction (Y direction in FIG. 13) affected by gravity, a current is supplied to the actuator. It is necessary to maintain the normal position. However, as in the present invention, when the actuator is frictionally driven and the drive generator 21 applies an urging force to the drive receiver 22, the position of the optical lens 16 can be maintained without passing an electric current. Is possible. That is, in the image blur correction apparatus using the driving device 60 of the present invention, the optical lens 16 can be positioned and held near the center of the optical axis 40 without passing an electric current. As a result, in the present invention, power consumption can be reduced.

本発明は、厚み方向または厚み方向に直交する方向の小型化の実現が求められる駆動装置として有用であり、光学部品の駆動装置およびそれを用いた像ぶれ補正装置などとして適用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is useful as a driving device that is required to realize a reduction in size in the thickness direction or a direction orthogonal to the thickness direction, and can be applied as a driving device for an optical component and an image blur correction device using the same.

１振動アクチュエータ
２１駆動発生部
２２駆動受部
５０駆動装置
５１第１枠体
５２第２枠体
５３第３枠体
５４第１駆動機構
５５第２駆動機構
Ａ第１方向
Ｂ第２方向
Ｃ第３方向
Ｃ１作用方向
Ｃ２作用方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vibration actuator 21 Drive generation part 22 Drive receiving part 50 Drive apparatus 51 1st frame body 52 2nd frame body 53 3rd frame body 54 1st drive mechanism 55 2nd drive mechanism A 1st direction B 2nd direction C 3rd Direction C1 Action direction C2 Action direction

Claims

A first frame,
A second frame supported so as to be movable in a first direction with respect to the first frame;
A third frame supported to be movable in a second direction intersecting the first direction with respect to the second frame;
A first drive mechanism for relatively moving the first frame and the second frame in the first direction;
A second drive mechanism for relatively moving the second frame and the third frame in the second direction;
With
Each of the first drive mechanism and the second drive mechanism includes a drive generator that generates a drive by a piezoelectric element, and a drive generated by the drive generator that is pressed relatively to the drive generator. A drive receiving portion for receiving,
The drive generator and the drive receiver included in each of the first drive mechanism and the second drive mechanism are disposed on the same plane parallel to the first direction and the second direction,
The direction in which the drive generator acts on the drive receiver in the first drive mechanism intersects the direction in which the drive generator acts on the drive receiver in the second drive mechanism on the same plane, and , Perpendicular to the first direction,
In the second drive mechanism, the direction in which the drive generator acts on the drive receiver is perpendicular to the second direction,
The drive receiving portion of the first drive mechanism has a first main shaft that extends in the first direction and is driven in the first direction by the drive generation portion of the first drive mechanism;
The drive receiving portion of the second drive mechanism has a second main shaft that extends in the second direction and is driven in the second direction by the drive generation portion of the second drive mechanism;
The first main axis is disposed on the same plane as the second main axis.
Drive device.

The drive receiving portion of the first drive mechanism is supported by the first frame body,
The drive generating unit of the first drive mechanism is supported by the second frame body,
The drive receiving portion of the second drive mechanism is supported by the second frame,
The drive generating portion of the second drive mechanism is supported by the third frame body,
The drive device according to claim 1.

The first main shaft is mounted on the first frame;
The second main shaft is attached to the second frame;
The drive device according to claim 1 or 2.

A first countershaft extending in the first direction and attached to the second frame;
A second countershaft extending in the second direction and attached to the second frame,
The first countershaft is provided to guide the first frame body in the first direction with respect to the second frame body, and the first main shaft is provided in the second frame body. The side is disposed on the opposite side to the second direction,
The second countershaft is provided to guide the third frame in the second direction relative to the second frame, and the second main shaft is provided in the second frame. The side is disposed on the opposite side to the first direction,
The drive device according to claim 1.

The first drive mechanism is disposed on a side of the second frame body in the second direction,
The second drive mechanism is disposed on a side of the second frame body in the first direction.
The drive device according to claim 1.

The drive generating unit and the drive receiving unit of the first drive mechanism are arranged to face each other in the second direction,
The drive generating portion and the drive receiving portion of the second drive mechanism are disposed to face each other in the first direction.
The drive device according to any one of claims 1 to 5.

The drive generating unit relatively drives the drive receiving unit by generating a standing wave in the piezoelectric element by combining longitudinal vibration and bending vibration;
The drive device according to any one of claims 1 to 6.

An optical component is disposed on the third frame,
The drive device according to any one of claims 1 to 7.