JP2011094679A - Valve and coating apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating apparatus that can prevent coating liquids from mixing together by employing a valve capable of preventing the coating liquids from remaining in quantity on an outflow port side. <P>SOLUTION: A first valve element 53 closes a first passage 35 to connect a second passage 36 to a third passage 37. In the state of closing the first passage 35, the first valve element 53 serves as a part of the inner wall of a valve passage where a coating liquid flows from the second passage 36 to the third passage 37. A second valve element 54 closes the second passage 36 to connect the first passage 35 to the third passage 37. In the state of closing the second passage 36, the second valve element 54 serves as a part of the inner wall of a valve passage where a coating liquid flows from the first passage 35 to the third passage 37. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、バルブ及びこのバルブを備え基板に塗布液を塗布する塗布装置に関する。   The present invention relates to a valve and a coating apparatus that includes the valve and applies a coating liquid to a substrate.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス基板上にレジスト液(塗布液)が塗布された塗布基板が使用されている。この塗布基板を製造する装置として、例えば特許文献1に記載の塗布装置が使用されている。
この塗布装置は、ステージ上の基板に対して塗布液を吐出する口金を有する塗布ユニットと、塗布液を溜めているタンクを有する液ユニットと、タンクの塗布液を口金に送るポンプとを備えている。
For flat panel displays such as liquid crystal displays and plasma displays, a coated substrate in which a resist solution (coating solution) is coated on a glass substrate is used. As an apparatus for manufacturing this coated substrate, for example, a coating apparatus described in Patent Document 1 is used.
The coating apparatus includes a coating unit having a base for discharging a coating liquid to a substrate on a stage, a liquid unit having a tank for storing the coating liquid, and a pump for feeding the coating liquid in the tank to the base. Yes.

特開2008−238144号公報(図1参照)JP 2008-238144 A (see FIG. 1)

このような塗布装置では、一つの塗布ユニットで、塗布液の種類を変更して塗布作業を行うことが提案されており、このためには、タンクから口金までの間で塗布液が流れる方向を途中で切り換える等する必要があり、バルブを用いることが考えられる。
従来、このような塗布装置に用いられるバルブとして図13に示すものがある。このバルブは、二つの入口ポート91,92と一つの出口ポート93とを有していて、ハウジング94内に二つの弁体95,96が設けられている。一方の弁体95が開いた状態では他方の弁体96は閉じた状態となり、第一の入口ポート91に供給された第一の塗布液は、弁室97を通過した後、流路99を流れ、出口ポート93から吐出される。そして、出口ポート93から吐出させる塗布液を変更するためには、前記一方の弁体95を閉じた状態とし、他方の弁体96を開いた状態とする。これにより、第二の入口ポート92に供給された第二の塗布液は、弁室98を通過した後、出口ポート93から吐出される。
In such a coating apparatus, it has been proposed to perform the coating operation by changing the type of the coating liquid in one coating unit. For this purpose, the direction in which the coating liquid flows between the tank and the base is proposed. It is necessary to switch in the middle, and it is conceivable to use a valve.
Conventionally, there is a valve shown in FIG. 13 used in such a coating apparatus. This valve has two inlet ports 91 and 92 and one outlet port 93, and two valve bodies 95 and 96 are provided in a housing 94. When one valve body 95 is open, the other valve body 96 is closed, and the first coating liquid supplied to the first inlet port 91 passes through the valve chamber 97 and then flows through the flow path 99. The flow is discharged from the outlet port 93. In order to change the coating liquid discharged from the outlet port 93, the one valve body 95 is closed and the other valve body 96 is opened. Thus, the second coating liquid supplied to the second inlet port 92 is discharged from the outlet port 93 after passing through the valve chamber 98.

しかし、図13に示しているバルブの場合、前記他方の弁体96を開いた状態として第二の塗布液に変更する前の状態で、前記流路99内に第一の塗布液が多く残った状態となる場合がある。このため、第二の塗布液に変更しても、出口ポート93から吐出させる第二の塗布液に、流路99に残っていた第一の塗布液が混ざるおそれがあり、混ざった塗布液が前記口金から吐出される場合がある。   However, in the case of the valve shown in FIG. 13, a large amount of the first coating liquid remains in the flow path 99 in a state before the other valve body 96 is opened and changed to the second coating liquid. It may become in a state of being. For this reason, even if it changes to a 2nd coating liquid, there exists a possibility that the 1st coating liquid which remained in the flow path 99 may be mixed with the 2nd coating liquid discharged from the exit port 93, and the mixed coating liquid is There is a case where it is discharged from the base.

そこで本発明は、出口ポート側で液体が多く残ってしまうのを防ぐことができるバルブ、及び、このようなバルブを備えることで塗布液(前記液体)同士が混ざってしまうのを防ぐことができる塗布装置を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention can prevent the liquid from remaining on the outlet port side, and can prevent the coating liquid (the liquid) from being mixed by providing such a valve. An object is to provide a coating apparatus.

本発明は、第一入口ポートを有する第一流路と、第二入口ポートを有する第二流路と、出口ポートを有し前記第一流路と前記第二流路とのいずれか一方と繋がった状態となる第三流路とを備えているバルブであって、前記第一流路を閉塞することにより前記第二流路と前記第三流路とが繋がった状態とする第一弁体と、前記第二流路を閉塞することにより前記第一流路と前記第三流路とが繋がった状態とする第二弁体とを備え、前記第一弁体は、前記第一流路を閉塞した状態で、前記第二流路から前記第三流路へと液体が流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ね、前記第二弁体は、前記第二流路を閉塞した状態で、前記第一流路から前記第三流路へと液体が流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ねていることを特徴とする。   The present invention has a first flow path having a first inlet port, a second flow path having a second inlet port, and an outlet port connected to either the first flow path or the second flow path. A first valve body having a third flow path that is in a state, wherein the second flow path and the third flow path are connected by closing the first flow path, A second valve body in which the first flow path and the third flow path are connected by closing the second flow path, and the first valve body is in a state of closing the first flow path Thus, the second valve element also serves as a part of the inner wall of the valve flow path through which the liquid flows from the second flow path to the third flow path, and the second valve body closes the second flow path, It also serves as a part of the inner wall of the in-valve channel through which liquid flows from one channel to the third channel.

本発明によれば、第一弁体は、第一流路を閉塞した状態で、第二流路から第三流路へと液体が流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ねるため、このバルブ内流路を流れる液体が、当該バルブ内流路から外れて第一流路側へ流れ込まない。このため、第一流路側で液体が多く残留するのを防ぐことができる。そして、これは、第二弁体側においても同様である。   According to the present invention, the first valve body also serves as a part of the inner wall of the in-valve channel through which the liquid flows from the second channel to the third channel with the first channel closed. The liquid flowing through the inner channel does not flow out of the valve inner channel and flow into the first channel. For this reason, it is possible to prevent a large amount of liquid from remaining on the first flow path side. This also applies to the second valve body side.

また、前記バルブにおいて、前記第二流路から前記第三流路へと液体が流れる前記バルブ内流路に、前記第一流路へ繋がるための第一開口が形成されていて、前記第一弁体は、当該バルブ内流路の内壁の一部となって前記第一開口を塞ぐことで前記第一流路を閉塞し、前記第一流路から前記第三流路へと液体が流れるバルブ内流路に、前記第二流路へ繋がるための第二開口が形成されていて、前記第二弁体は、当該バルブ内流路の内壁の一部となって前記第二開口を塞ぐことで前記第二流路を閉塞するのが好ましい。
この場合、第一流路を閉塞するために、第一弁体は、バルブ内流路の内壁の一部となって第一開口を塞ぐので、このバルブ内流路と第一弁体との間に、液体が多く残るのを防ぐことができる。そして、これは、第二弁体側においても同様である。
Further, in the valve, a first opening for connecting to the first flow path is formed in the flow path in the valve through which liquid flows from the second flow path to the third flow path, and the first valve The body becomes a part of the inner wall of the flow path in the valve, closes the first opening, closes the first flow path, and liquid flows from the first flow path to the third flow path. A second opening for connecting to the second flow path is formed in the path, and the second valve body becomes a part of the inner wall of the valve internal flow path to close the second opening, thereby The second channel is preferably closed.
In this case, in order to close the first flow path, the first valve body becomes a part of the inner wall of the flow path in the valve and closes the first opening. In addition, a large amount of liquid can be prevented. This also applies to the second valve body side.

前記バルブにおいて、前記第一流路を閉塞した状態とする前記第一弁体の閉塞面と、前記第二流路を閉塞した状態とする前記第二弁体の閉塞面とが対向するように、当該第一弁体及び当該第二弁体は配置され、閉塞した状態にある前記閉塞面それぞれは、前記第三流路の内周面の一部のほぼ延長上に位置するのが好ましい。
この構成により、第一弁体と第二弁体とが接近した配置となり、第一弁体及び第二弁体それぞれの閉塞面がバルブ内流路の内壁の一部を兼ねることができる。
In the valve, the closing surface of the first valve body that closes the first flow path and the closing surface of the second valve body that closes the second flow path are opposed to each other. The first valve body and the second valve body are arranged, and each of the closed surfaces in a closed state is preferably located on a substantially extended portion of the inner peripheral surface of the third flow path.
With this configuration, the first valve body and the second valve body are arranged close to each other, and the closed surfaces of the first valve body and the second valve body can also serve as a part of the inner wall of the valve flow path.

また、前記第一流路に、前記第一弁体を収納している第一弁室が形成され、前記第二流路に、前記第二弁体を収納している第二弁室が形成され、前記第一入口ポートから前記第一弁室へと繋がる流路は、当該第一弁室の頂上側に偏った位置で開口し、前記第二入口ポートから前記第二弁室へと繋がる流路は、当該第二弁室の頂上側に偏った位置で開口しているのが好ましい。
仮に、第一弁室に気泡が存在している場合、気泡は第一弁室の頂上側に集まる。そこで、第一入口ポートから第一弁室へと繋がる流路が、この第一弁室の頂上側に偏った位置で開口しているので、当該流路を流れた液体によって前記気泡を巻き込んで下流側へ流すことが可能となる。これは、第二弁室においても同様である。
In addition, a first valve chamber that houses the first valve body is formed in the first flow path, and a second valve chamber that houses the second valve body is formed in the second flow path. The flow path leading from the first inlet port to the first valve chamber opens at a position biased to the top side of the first valve chamber, and flows from the second inlet port to the second valve chamber. The passage is preferably open at a position biased toward the top side of the second valve chamber.
If bubbles exist in the first valve chamber, the bubbles collect on the top side of the first valve chamber. Therefore, since the flow path leading from the first inlet port to the first valve chamber is opened at a position biased to the top side of the first valve chamber, the bubbles are entrained by the liquid flowing through the flow path. It is possible to flow downstream. The same applies to the second valve chamber.

また、本発明の塗布装置は、塗布液を吐出する口金と、異なる種類の前記塗布液それぞれを前記口金側に送るために当該塗布液の種類毎に設けられた複数のポンプと、前記複数のポンプと前記口金との間に設けられ、当該ポンプそれぞれと流路を介して繋がっている入口ポートを複数有し、当該複数の入口ポートが択一的に出口ポートと繋がった状態に切り換え可能なバルブと、前記出口ポートから前記口金へと前記塗布液を流す口金用流路とを備え、前記バルブが、本発明の前記バルブであることを特徴とする。
本発明の塗布装置によれば、バルブにおいて、複数の入口ポートが択一的に出口ポートと繋がった状態に切り換え可能であるため、複数の入口ポートそれぞれに流れて来た異なる種類の塗布液を、このバルブにおいて変更することができる。そして、このバルブは、前記のとおり、塗布液(液体)が多く残留するのを防ぐことができるため、塗布液の種類を変更する際、先に流れていた塗布液が、変更後の別の塗布液と混ざってしまうのを防ぐことができ、塗布液の置き換え性を高めることが可能となる。
Further, the coating apparatus of the present invention includes a base for discharging a coating liquid, a plurality of pumps provided for each type of the coating liquid in order to send each of the different types of the coating liquid to the base side, Provided between the pump and the base, and having a plurality of inlet ports connected to each of the pumps through a flow path, the plurality of inlet ports can be switched to a state in which they are alternatively connected to an outlet port. A valve and a cap channel for flowing the coating liquid from the outlet port to the cap, wherein the valve is the valve of the present invention.
According to the coating apparatus of the present invention, the valve can be switched to a state in which a plurality of inlet ports are selectively connected to the outlet port, so that different types of coating liquids flowing into the plurality of inlet ports can be used. This valve can be changed. And as this valve | bulb can prevent that many coating liquids (liquid) remain | survive as mentioned above, when changing the kind of coating liquid, the coating liquid which flowed previously differs in another after a change. Mixing with the coating liquid can be prevented, and the replacement of the coating liquid can be improved.

本発明のバルブによれば、バルブ内に塗布液(液体)が多く残留するのを防ぐことができる。そして、本発明の塗布装置は、このバルブを備えていることから、バルブにおいて、塗布液の種類を変更する際、先に流れていた塗布液が、変更後の別の塗布液と混ざってしまうのを防ぐことができ、塗布液の置き換え性を高めることが可能となる。   According to the valve of the present invention, it is possible to prevent a large amount of coating liquid (liquid) from remaining in the valve. And since the coating device of this invention is equipped with this valve | bulb, when changing the kind of coating liquid in a valve | bulb, the coating liquid which flowed previously will mix with another coating liquid after a change. Can be prevented, and the replacement property of the coating liquid can be improved.

塗布装置の概略構成を示している説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic structure of a coating device. 塗布装置が備えている各部の配管を説明している配管図である。It is a piping diagram explaining piping of each part with which a coating device is provided. 液換えの方法(方法1)を説明する配管図である。It is a piping diagram explaining the method (method 1) of a liquid change. 液換えの方法(方法1)を説明する配管図である。It is a piping diagram explaining the method (method 1) of a liquid change. 液換えの方法(方法1)を説明する配管図である。It is a piping diagram explaining the method (method 1) of a liquid change. 液換えの方法(方法2)を説明する配管図である。It is a piping diagram explaining the method (method 2) of a liquid change. 液換えの方法(方法2)を説明する配管図である。It is a piping diagram explaining the method (method 2) of a liquid change. 液換えの方法(方法2)を説明する配管図である。It is a piping diagram explaining the method (method 2) of a liquid change. 切り換えバルブを一部断面で示した正面図である。It is the front view which showed the switching valve in the partial cross section. 切り換えバルブの断面図である。It is sectional drawing of a switching valve. 共通流路及びその周囲を示す説明図であり、上から見た断面図である。It is explanatory drawing which shows a common flow path and its periphery, and is sectional drawing seen from the top. 共通流路及びその周囲を示す説明図であり、側面から見た断面図である。It is explanatory drawing which shows a common flow path and its periphery, and is sectional drawing seen from the side surface. 従来のバルブの断面図である。It is sectional drawing of the conventional valve | bulb.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔塗布装置の構成〕
図1は本発明の塗布装置の概略構成を示している説明図である。この塗布装置は、塗布液が塗布される基板Wを載せるステージ18及びこの基板Wに対して塗布液を吐出する口金3を有している塗布ユニット1を備えた装置本体と、塗布液を溜めるタンク11,12を有し前記装置本体とは別に設置された液ユニット2とを備えている。基板Wはガラス基板であり、塗布液はフォトレジスト液等である。液ユニット2と塗布ユニット1とは、配管4,5を介して接続されている。また、塗布装置は、後に説明するが、塗布液を異なる種類に交換する液換え作業の際に、配管等の各部を洗浄流体によって洗浄するための洗浄ユニット10を備えている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Configuration of coating device]
FIG. 1 is an explanatory view showing a schematic configuration of a coating apparatus of the present invention. The coating apparatus stores a coating liquid by an apparatus main body including a stage 18 on which a substrate W to which a coating liquid is applied and a coating unit 1 having a base 3 for discharging the coating liquid to the substrate W is provided. A liquid unit 2 having tanks 11 and 12 and installed separately from the apparatus main body is provided. The substrate W is a glass substrate, and the coating liquid is a photoresist liquid or the like. The liquid unit 2 and the coating unit 1 are connected via pipes 4 and 5. Further, as will be described later, the coating apparatus includes a cleaning unit 10 for cleaning each part such as a pipe with a cleaning fluid during a liquid changing operation for replacing the coating liquid with a different type.

図1において、本実施形態の液ユニット2は、第一塗布液11Aが溜められた第一タンク11と、第二塗布液12Aが溜められた第二タンク12とを有していて、塗布液の種類は、二種類用意されている。また、塗布ユニット1は、口金3の他に、塗布液の種類と同数(すなわち二つ)のポンプ21,22、及び、一つの切り換えバルブ7を有している。ポンプ21,22は液ユニット2よりも口金3側に設けられていて、切り換えバルブ7は、これらポンプ21,22と口金3との間に設けられている。本実施形態のポンプ21,22は、送り出す塗布液に圧力の脈動を生じさせにくいシリンジポンプから成る。   In FIG. 1, the liquid unit 2 of this embodiment has a first tank 11 in which a first coating liquid 11A is stored and a second tank 12 in which a second coating liquid 12A is stored. There are two types. In addition to the base 3, the coating unit 1 has the same number of pumps 21 and 22 as the type of coating liquid (that is, two) and one switching valve 7. The pumps 21 and 22 are provided on the base 3 side of the liquid unit 2, and the switching valve 7 is provided between the pumps 21 and 22 and the base 3. The pumps 21 and 22 of the present embodiment are syringe pumps that hardly cause pressure pulsation in the applied liquid to be delivered.

この塗布装置の配管の構成を説明する。切り換えバルブ7は、二つの入口ポート31,32及び一つの出口ポート33を有する三方向弁であり、出口ポート33と口金3とは単一の口金用流路(配管)6を介して繋がっている。第一の入口ポート31は配管(流路)8を介して第一ポンプ21と繋がっていて、第二の入口ポート32は配管(流路)9を介して第二ポンプ22と繋がっている。   The configuration of the piping of this coating apparatus will be described. The switching valve 7 is a three-way valve having two inlet ports 31 and 32 and one outlet port 33, and the outlet port 33 and the base 3 are connected via a single base passage (pipe) 6. Yes. The first inlet port 31 is connected to the first pump 21 via a pipe (flow path) 8, and the second inlet port 32 is connected to the second pump 22 via a pipe (flow path) 9.

第一ポンプ21を駆動させることで、第一タンク11内の第一塗布液11Aは配管4を流れて当該第一ポンプ21に到達し、さらに、この第一塗布液11Aは配管8を通じて切り換えバルブ7の第一の入口ポート31へと流れる。また、第二ポンプ22を駆動させることで、第二タンク12内の第二塗布液12Aは配管5を流れて当該第二ポンプ22に到達し、さらに、この第二塗布液12Aは配管9を通じて切り換えバルブ7の第二の入口ポート32へと流れる。すなわち、異なる二種類の塗布液11A,12Aそれぞれを口金3側にある切り換えバルブ7へ送るために、第一ポンプ21及び第二ポンプ22は、当該塗布液11A,12Aの種類毎に専用のポンプとして設けられている。   By driving the first pump 21, the first coating liquid 11 </ b> A in the first tank 11 flows through the pipe 4 and reaches the first pump 21, and further, the first coating liquid 11 </ b> A is switched through the pipe 8. 7 to the first inlet port 31. Further, by driving the second pump 22, the second coating liquid 12 </ b> A in the second tank 12 flows through the pipe 5 and reaches the second pump 22, and the second coating liquid 12 </ b> A passes through the pipe 9. It flows to the second inlet port 32 of the switching valve 7. That is, in order to send two different types of coating liquids 11A and 12A to the switching valve 7 on the base 3 side, the first pump 21 and the second pump 22 are dedicated pumps for each type of the coating liquids 11A and 12A. It is provided as.

切り換えバルブ7の構成は後にも説明するが、二つの入口ポート31,32が択一的に出口ポート33と繋がった状態となるように切り換え可能である。このため、切り換えバルブ7内において、第一塗布液11Aを第一の入口ポート31から出口ポート33へ流している時は、第二塗布液12Aは切り換えバルブ7内を通過することができない状態となり、これと反対に、第二塗布液12Aを第二の入口ポート32から出口ポート33へ流している時は、第一塗布液11Aは切り換えバルブ7内を通過することができない状態となる。   Although the configuration of the switching valve 7 will be described later, it can be switched so that the two inlet ports 31 and 32 are alternatively connected to the outlet port 33. For this reason, when the first coating liquid 11A flows from the first inlet port 31 to the outlet port 33 in the switching valve 7, the second coating liquid 12A cannot pass through the switching valve 7. On the other hand, when the second coating liquid 12A is flowing from the second inlet port 32 to the outlet port 33, the first coating liquid 11A cannot pass through the switching valve 7.

また、ポンプ21,22それぞれと、切り換えバルブ7との間には、流入口23,24が設けられていて、洗浄ユニット10によって、この流入口23,24それぞれから洗浄流体が切り換えバルブ7及び配管6を通じて口金3へと供給され、当該口金3から吐出される。洗浄ユニット10は、洗浄液又はエアを洗浄流体として切り換えバルブ7側へ供給するための供給装置(例えばポンプ10a)を有している。   In addition, inlets 23 and 24 are provided between the pumps 21 and 22 and the switching valve 7, and the cleaning fluid is supplied from the inlets 23 and 24 to the switching valve 7 and the piping by the cleaning unit 10. 6 to the base 3 and discharged from the base 3. The cleaning unit 10 has a supply device (for example, a pump 10a) for supplying cleaning liquid or air as a cleaning fluid to the switching valve 7 side.

図2は、塗布装置が備えている各部の配管系統を説明している配管図である。塗布装置は、前記切り換えバルブ7の他に、洗浄バルブ13,14、廃液バルブ15,16、及び、複数の開閉バルブ17A,17Bを更に備えている。これらバルブの開閉動作制御が行われることにより、第一塗布液11Aを口金3から吐出して塗布する作業、又は、第二塗布液12Aを口金3から吐出して塗布する作業が選択して行われ、さらに、洗浄ユニット10が機能して流路の洗浄を行う作業が、前記塗布作業と別の時間帯に行われる。なお、これらバルブは、塗布装置が備えている制御装置80(図1参照)から出力される制御信号や、この制御信号によって動作する駆動源81の働きによって、開閉動作が切り替わる。また、洗浄ユニット10のポンプ10a及び塗布液用のポンプ21,22の運転開始や停止の動作制御は、前記制御装置80による制御信号に基づいて行われる。   FIG. 2 is a piping diagram illustrating a piping system of each part provided in the coating apparatus. In addition to the switching valve 7, the coating apparatus further includes cleaning valves 13 and 14, waste liquid valves 15 and 16, and a plurality of opening / closing valves 17 </ b> A and 17 </ b> B. By controlling the opening / closing operation of these valves, the operation of discharging and applying the first coating liquid 11A from the base 3 or the operation of discharging and applying the second coating liquid 12A from the base 3 is selected and performed. In addition, the operation of the cleaning unit 10 to perform the cleaning of the flow path is performed in a different time zone from the coating operation. In addition, these valves are switched between opening and closing operations by a control signal output from a control device 80 (see FIG. 1) provided in the coating device and a function of a drive source 81 operated by this control signal. The operation control of starting and stopping the operation of the pump 10a of the cleaning unit 10 and the pumps 21 and 22 for the coating liquid is performed based on control signals from the control device 80.

前記洗浄バルブ13,14の概略について説明する。洗浄バルブ13は、第一ポンプ21と切り換えバルブ7との間の流路に取り付けられており、二つの入口ポート131,132と、一つの出口ポート133とを有している。そして、この洗浄バルブ13は、二つの入口ポート131,132が択一的に出口ポート133と繋がった状態となるように切り換え可能となるものであり、その機能としては、三方向弁である前記切り換えバルブ7と同じである。
本発明では、洗浄ユニット10によって洗浄流体が供給される前記流入口23を、第一ポンプ21から切り換えバルブ7の出口ポート33までの間の第一塗布液11Aが流れる流路の途中に設ければよいが、本実施形態では、前記洗浄バルブ13が有する一方の入口ポート131を洗浄流体の流入口23としている。また、他方の入口ポート132は第一塗布液11Aの流入口である。
このように、第一ポンプ21と切り換えバルブ7との間に、洗浄流体の流入口23(入口ポート131)が設けられ、洗浄バルブ13においてこの流入口23から出口ポート133へと洗浄流体が流れる状態とし、かつ、切り換えバルブ7において第一の入口ポート31から出口ポート33へと洗浄流体が流れる状態とすることで、洗浄ユニット10によって前記流入口23に供給された洗浄流体は、当該流入口23から廃液バルブ15、切り換えバルブ7及び配管6を通じて口金3に供給され、当該口金3から排出されるようになる。
これにより、洗浄バルブ13から下流側、すなわち、流入口23から廃液バルブ15、切り換えバルブ7及び配管6を通じて口金3に至る流路が洗浄される。
An outline of the cleaning valves 13 and 14 will be described. The cleaning valve 13 is attached to the flow path between the first pump 21 and the switching valve 7 and has two inlet ports 131 and 132 and one outlet port 133. The washing valve 13 can be switched so that the two inlet ports 131 and 132 are selectively connected to the outlet port 133. The function of the washing valve 13 is a three-way valve. The same as the switching valve 7.
In the present invention, the inlet 23 to which the cleaning fluid is supplied by the cleaning unit 10 is provided in the middle of the flow path of the first coating liquid 11A between the first pump 21 and the outlet port 33 of the switching valve 7. In this embodiment, however, one inlet port 131 of the cleaning valve 13 is used as the cleaning fluid inlet 23. The other inlet port 132 is an inlet for the first coating liquid 11A.
As described above, the cleaning fluid inlet 23 (inlet port 131) is provided between the first pump 21 and the switching valve 7, and the cleaning fluid flows from the inlet 23 to the outlet port 133 in the cleaning valve 13. When the cleaning fluid flows from the first inlet port 31 to the outlet port 33 in the switching valve 7, the cleaning fluid supplied to the inlet 23 by the cleaning unit 10 is 23 is supplied to the base 3 through the waste liquid valve 15, the switching valve 7 and the pipe 6, and is discharged from the base 3.
As a result, the downstream side from the cleaning valve 13, that is, the flow path from the inlet 23 to the base 3 through the waste liquid valve 15, the switching valve 7 and the pipe 6 is cleaned.

また、第二塗布液12A側もこれと同様に、洗浄バルブ14は、第二ポンプ22と切り換えバルブ7との間の流路に取り付けられており、二つの入口ポート231,232と、一つの出口ポート233とを有している。そして、この洗浄バルブ14は、前記切り換えバルブ7及び洗浄バルブ13と同様に、二つの入口ポート231,232が択一的に出口ポート233と繋がった状態となるように切り換え可能となるものである。そこで、本実施形態では、切り換えバルブ7、洗浄バルブ13,14は同じ構造のバルブが採用されている。
そして、本発明では、洗浄ユニット10によって洗浄流体が供給される前記流入口24を、第二ポンプ22から切り換えバルブ7の出口ポート33までの間の第二塗布液12Aが流れる流路の途中に設ければよいが、本実施形態では、前記洗浄バルブ14が有する一方の入口ポート231を洗浄流体の流入口24としている。また、他方の入口ポート232は第二塗布液12Aの流入口である。
このように、第二ポンプ22と切り換えバルブ7との間に、洗浄流体の流入口24(入口ポート231)が設けられ、洗浄バルブ14においてこの流入口24から出口ポート233へと洗浄流体が流れる状態とし、かつ、切り換えバルブ7において第二の入口ポート32と出口ポート33へと洗浄流体が流れる状態とすることで、洗浄ユニット10によって前記流入口24に供給された洗浄流体は、当該流入口24から廃液バルブ16、切り換えバルブ7及び配管6を通じて口金3に供給され、当該口金3から排出されるようになる。これにより、洗浄バルブ14から下流側、すなわち、流入口24から廃液バルブ16、切り換えバルブ7及び配管6を通じて口金3に至る流路が洗浄される。
このように、流入口23,24を、バルブの無い単純な分岐流路のうちの一つの流路で構成するのではなく、三方向弁からなる洗浄バルブ13,14の入口ポート131,231とすることにより、洗浄流体がポンプ側へと流れることを当該洗浄バルブ13,14において防ぐことができ、また、洗浄バルブ13,14の流入口23,24よりも下流側の流路を洗浄できることにより、人手による洗浄作業を省くことができる。
Similarly, on the second coating liquid 12A side, the cleaning valve 14 is attached to the flow path between the second pump 22 and the switching valve 7, and includes two inlet ports 231 and 232, one And an outlet port 233. The cleaning valve 14 can be switched so that the two inlet ports 231 and 232 are alternatively connected to the outlet port 233 in the same manner as the switching valve 7 and the cleaning valve 13. . Therefore, in the present embodiment, the switching valve 7 and the cleaning valves 13 and 14 have the same structure.
In the present invention, the inlet 24 to which the cleaning fluid is supplied by the cleaning unit 10 is placed in the middle of the flow path through which the second coating liquid 12A flows from the second pump 22 to the outlet port 33 of the switching valve 7. In this embodiment, one inlet port 231 of the cleaning valve 14 is used as the cleaning fluid inlet 24. The other inlet port 232 is an inlet for the second coating liquid 12A.
In this manner, the cleaning fluid inlet 24 (inlet port 231) is provided between the second pump 22 and the switching valve 7, and the cleaning fluid flows from the inlet 24 to the outlet port 233 in the cleaning valve 14. When the cleaning fluid flows into the second inlet port 32 and the outlet port 33 in the switching valve 7, the cleaning fluid supplied to the inlet 24 by the cleaning unit 10 is transferred to the inlet 24. 24 is supplied to the base 3 through the waste liquid valve 16, the switching valve 7 and the pipe 6, and is discharged from the base 3. As a result, the downstream side from the cleaning valve 14, that is, the flow path from the inlet 24 to the base 3 through the waste liquid valve 16, the switching valve 7 and the pipe 6 is cleaned.
In this way, the inlets 23 and 24 are not configured by one of the simple branching channels without valves, but instead of the inlet ports 131 and 231 of the cleaning valves 13 and 14 formed of three-way valves. By doing so, it is possible to prevent the cleaning fluid from flowing to the pump side at the cleaning valves 13 and 14 and to clean the flow path downstream of the inlets 23 and 24 of the cleaning valves 13 and 14. The manual cleaning work can be omitted.

前記廃液バルブ15,16の概略について説明する。廃液バルブ15は、洗浄バルブ13と切り換えバルブ7との間の流路の途中に取り付けられている。この廃液バルブ15は、流入ポート41及び第一流出ポート42を端部に有する主流路と、この主流路の途中から分岐して第二流出ポート43へと繋がる副流路とを有し、第二流出ポート43が閉じた状態となって主流路の流体が副流路へ流れない第一状態と、第二流出ポート43が開いた状態となって主流路の流体が副流路へ流れることができる第二状態とのいずれか一方の状態に切り換えることができる。
そして、本発明では、洗浄流体の前記流入口23と、切り換えバルブ7の出口ポート33との間に、第一塗布液11Aを廃液として排出するための流出口25を設ければよいが、本実施形態では、前記廃液バルブ15の副流路側にある第二流出ポート43を、前記流出口25としている。このため、前記流出口25が前記流入口23の下流側に設けられるので、当該流入口23から供給された洗浄流体を流すだけで、洗浄することができる。
An outline of the waste liquid valves 15 and 16 will be described. The waste liquid valve 15 is attached in the middle of the flow path between the cleaning valve 13 and the switching valve 7. The waste liquid valve 15 has a main flow path having an inflow port 41 and a first outflow port 42 at its end, and a sub-flow path that branches from the middle of the main flow path and connects to the second outflow port 43. The first state where the two outflow ports 43 are closed and the fluid in the main channel does not flow to the sub-channel, and the second outflow port 43 is opened and the fluid in the main channel flows to the sub-channel It is possible to switch to either one of the second states that can be performed.
In the present invention, an outlet 25 for discharging the first coating liquid 11A as a waste liquid may be provided between the inlet 23 for the cleaning fluid and the outlet port 33 of the switching valve 7. In the embodiment, the second outlet port 43 on the side of the auxiliary flow path of the waste liquid valve 15 is used as the outlet 25. For this reason, since the outflow port 25 is provided on the downstream side of the inflow port 23, it is possible to perform cleaning by simply flowing the cleaning fluid supplied from the inflow port 23.

この廃液バルブ15では、第一塗布液11Aを口金3から吐出するためには、第二流出ポート43(流出口25)が閉じた状態となって当該第一塗布液11Aを流入ポート41から流出ポート42へと流すが、第二塗布液12Aを口金3から吐出する作業中では、第二流出ポート43(流出口25)が開いた状態となって、第一ポンプ21により定期的に圧送された第一塗布液11Aを、流入ポート41から第二流出ポート43(流出口25)へ流す(ブリード動作する)ことができる。第二流出ポート43(流出口25)を流れ出た第一塗布液11Aは、廃液として排出される。なお、このブリード動作の際、切り換えバルブ7の第一の入口ポート31側は閉状態にあるので、第一塗布液11Aは、切り換えバルブ7側である流出ポート42へと流れない。   In the waste liquid valve 15, in order to discharge the first coating liquid 11 </ b> A from the base 3, the second outflow port 43 (outflow port 25) is closed and the first coating liquid 11 </ b> A flows out from the inflow port 41. Although it flows to the port 42, during the operation of discharging the second coating liquid 12 </ b> A from the base 3, the second outflow port 43 (outflow port 25) is in an open state and is periodically pumped by the first pump 21. Further, the first coating liquid 11A can be flowed from the inflow port 41 to the second outflow port 43 (outflow port 25) (bleeding operation). The first coating liquid 11A that has flowed out of the second outflow port 43 (outlet 25) is discharged as a waste liquid. During this bleed operation, the first inlet port 31 side of the switching valve 7 is closed, so that the first coating liquid 11A does not flow to the outflow port 42 on the switching valve 7 side.

また、第二塗布液12A側もこれと同様に、廃液バルブ16は、洗浄バルブ14と切り換えバルブ7との間の流路の途中に取り付けられている。廃液バルブ15,16は同じ構成を有している。
そして、本発明では、洗浄流体の別の前記流入口24と、切り換えバルブ7の出口ポート33との間に、第二塗布液12Aを廃液として排出するための流出口26を設ければよいが、本実施形態では、廃液バルブ16の副流路側にある第二流出ポート143を、前記流出口26としている。このため、前記流出口26が前記流入口24の下流側に設けられるので、当該流入口24から供給された洗浄流体を流すだけで、洗浄することができる。
この廃液バルブ16では、第二塗布液12Aを口金3から吐出するためには、第二流出ポート143(流出口26)が閉じた状態となって当該第二塗布液12Aを流入ポート141から流出ポート142へと流すが、第一塗布液11Aを口金3から吐出する作業中では、第二流出ポート143(流出口26)が開いた状態となって、第二ポンプ22により定期的に圧送された第二塗布液12Aを、流入ポート141から第二流出ポート143(流出口26)へ流す(ブリード動作する)ことができる。第二流出ポート143(流出口26)を流れ出た第二塗布液12Aは、廃液として排出される。なお、このブリード動作の際、切り換えバルブ7の第二の入口ポート32側は閉状態にあるので、第二塗布液12Aは、切り換えバルブ7側である流出ポート142へと流れない。
Similarly, on the second coating liquid 12 </ b> A side, the waste liquid valve 16 is attached in the middle of the flow path between the cleaning valve 14 and the switching valve 7. The waste liquid valves 15 and 16 have the same configuration.
And in this invention, what is necessary is just to provide the outflow port 26 for discharging | emitting the 2nd coating liquid 12A as a waste liquid between the said other inflow ports 24 of the cleaning fluid, and the exit port 33 of the switching valve 7. In this embodiment, the second outflow port 143 on the sub-flow path side of the waste liquid valve 16 is used as the outflow port 26. For this reason, since the outflow port 26 is provided on the downstream side of the inflow port 24, it is possible to perform cleaning by simply flowing the cleaning fluid supplied from the inflow port 24.
In the waste liquid valve 16, in order to discharge the second coating liquid 12 </ b> A from the base 3, the second outflow port 143 (outflow port 26) is closed and the second coating liquid 12 </ b> A flows out from the inflow port 141. Although it flows to the port 142, during the operation of discharging the first coating liquid 11A from the base 3, the second outflow port 143 (outflow port 26) is in an open state and is periodically pumped by the second pump 22. The second coating liquid 12A can be flowed from the inflow port 141 to the second outflow port 143 (outflow port 26) (bleeding operation). The 2nd coating liquid 12A which flowed out from the 2nd outflow port 143 (outflow port 26) is discharged | emitted as a waste liquid. During this bleed operation, the second inlet port 32 side of the switching valve 7 is closed, so that the second coating liquid 12A does not flow to the outflow port 142 on the switching valve 7 side.

〔塗布液を異なる種類に交換する液換え作業(方法1)〕
以上のように構成された塗布装置において、第一塗布液11Aを口金3から吐出して基板W(図1参照)に塗布していた状態から、第二塗布液12Aに交換する作業を説明する。図2は、第一塗布液11Aを塗布し、かつ、第二塗布液12Aについては前記ブリード動作を行うことができる状態を示している。各開閉バルブに関して、黒塗りで示しているものは閉状態にあり、白色で示しているものは開状態にある。切り換えバルブ7、洗浄バルブ13,14、及び、廃液バルブ15,16に関しては、閉状態にあるポート側を黒塗りで示し、開状態にあるポート側を白塗りで示している。また、塗布液や洗浄流体が流れている配管を太線で示している。
図2の第一塗布液11Aを塗布している状態では、洗浄バルブ13において、入口ポート131を閉じて入口ポート132と出口ポート133とが繋がった状態にあり、廃液バルブ15では、第二流出ポート43を閉じて流入ポート41と流出ポート42とが繋がった状態にあり、切り換えバルブ7では、入口ポート32を閉じて入口ポート31と出口ポート33とが繋がった状態にある。
第二塗布液12A側に関して、洗浄バルブ14では、入口ポート231を閉じて入口ポート232と出口ポート233とが繋がった状態にあり、廃液バルブ16では、第二流出ポート143が開いており、流入ポート141から第二流出ポート143へと流体が流れることができる状態にある。
[Liquid change work to change the coating liquid to a different type (Method 1)]
In the coating apparatus configured as described above, the operation of replacing the first coating liquid 11A from the base 3 and applying to the substrate W (see FIG. 1) to the second coating liquid 12A will be described. . FIG. 2 shows a state in which the first coating liquid 11A is applied and the bleed operation can be performed on the second coating liquid 12A. With respect to each open / close valve, those shown in black are in a closed state, and those shown in white are in an open state. Regarding the switching valve 7, the cleaning valves 13 and 14, and the waste liquid valves 15 and 16, the port side in the closed state is shown in black, and the port side in the open state is shown in white. Moreover, the piping through which the coating liquid and the cleaning fluid flow is indicated by a thick line.
In the state where the first coating liquid 11A shown in FIG. 2 is applied, the inlet port 131 is closed in the cleaning valve 13 and the inlet port 132 and the outlet port 133 are connected. The port 43 is closed and the inflow port 41 and the outflow port 42 are connected. In the switching valve 7, the inlet port 32 is closed and the inlet port 31 and the outlet port 33 are connected.
With respect to the second coating liquid 12A side, the cleaning valve 14 closes the inlet port 231 and the inlet port 232 and outlet port 233 are connected, and the waste liquid valve 16 has the second outlet port 143 open and inflow The fluid can flow from the port 141 to the second outflow port 143.

この図2の状態から、塗布する塗布液を第二塗布液12Aへと交換する作業は、以下の順序で行われる。まず、第一塗布液11Aの洗浄工程が行われる。図3に示しているように、ポンプ21,22を停止させた状態とし、洗浄バルブ13において、開いていた入口ポート132を閉じた状態とする代わりに、閉じていた入口ポート131を開いた状態へと切り換え、入口ポート131と出口ポート133とが繋がった状態とする。開閉バルブ17Aを開き、洗浄ユニット10によってエアを洗浄バルブ13の入口ポート131へ供給する。このエアによって、第一塗布液11Aが流れていた各配管、廃液バルブ15内の主流路、切り換えバルブ7内の流路、配管6、及び、口金3内の当該第一塗布液11Aを、口金3から廃液溜め部82に排出する。   The operation | work which replaces | exchanges the coating liquid to apply | coat to the 2nd coating liquid 12A from the state of this FIG. 2 is performed in the following orders. First, the cleaning process of the first coating liquid 11A is performed. As shown in FIG. 3, the pumps 21 and 22 are stopped, and in the cleaning valve 13, the closed inlet port 131 is opened instead of the opened inlet port 132 being closed. The inlet port 131 and the outlet port 133 are connected to each other. The opening / closing valve 17 </ b> A is opened, and air is supplied to the inlet port 131 of the cleaning valve 13 by the cleaning unit 10. With this air, each pipe through which the first coating liquid 11A has flowed, the main flow path in the waste liquid valve 15, the flow path in the switching valve 7, the pipe 6, and the first coating liquid 11A in the base 3 are connected to the base. 3 to the waste liquid reservoir 82.

その後、図4に示しているように、開閉バルブ17Aを閉じ、代わって、開閉バルブ17Bを開き、洗浄ユニット10によって洗浄液を洗浄バルブ13の入口ポート131へ供給する。この洗浄液によって、第一塗布液11Aが流れていた、各配管、廃液バルブ15内の主流路、切り換えバルブ7内の流路、配管6、及び、口金3内を洗浄し、洗浄液を口金3から廃液溜め部82に排出する。
再び、図3に示しているように、開閉バルブ17Aを開き、開閉バルブ17Bを閉じ、洗浄ユニット10によってエアを洗浄バルブ13の入口ポート131へ供給する。このエアによって、洗浄した流路に残っている可能性のある洗浄液を口金3から抜き出す。そして、図5に示しているように、開閉バルブ17A,17Bを閉じる。
これにより、流入口23から廃液バルブ15、切り換えバルブ7及び配管6を通じて口金3に至る流路が洗浄され、切り換えバルブ7から口金3までの流路に第一塗布液11Aが残留するのを抑えることができる。
Thereafter, as shown in FIG. 4, the opening / closing valve 17 </ b> A is closed and, instead, the opening / closing valve 17 </ b> B is opened, and the cleaning unit 10 supplies the cleaning liquid to the inlet port 131 of the cleaning valve 13. With this cleaning liquid, each pipe, the main flow path in the waste liquid valve 15, the flow path in the switching valve 7, the pipe 6, and the inside of the base 3 where the first coating liquid 11 </ b> A flowed are washed, and the cleaning liquid is discharged from the base 3. It is discharged to the waste liquid reservoir 82.
As shown in FIG. 3 again, the opening / closing valve 17A is opened, the opening / closing valve 17B is closed, and air is supplied to the inlet port 131 of the cleaning valve 13 by the cleaning unit 10. With this air, the cleaning liquid that may remain in the cleaned flow path is extracted from the base 3. Then, as shown in FIG. 5, the on-off valves 17A and 17B are closed.
Thereby, the flow path from the inlet 23 to the base 3 through the waste liquid valve 15, the switching valve 7 and the pipe 6 is washed, and the first coating liquid 11 </ b> A is prevented from remaining in the flow path from the switching valve 7 to the base 3. be able to.

次に、図5に示しているように、切り換えバルブ7において、開いていた入口ポート31を閉じた状態とする代わりに、閉じていた入口ポート32を開いた状態へと切り換え、入口ポート32と出口ポート33とが繋がった状態とし、さらに、廃液バルブ16の第二流出ポート143を閉じた状態に切り換え、流入ポート141から第二流出ポート143へと流体が流れることができない状態とする。これにより、第二ポンプ22が、第二タンク12内にある第二塗布液12Aを、切り換えバルブ7の入口ポート32へと圧送することができ、第二塗布液12Aは、配管6を通じて口金3に送られ、口金3から吐出される。これにより、第二塗布液12Aによる塗布作業が開始され、第一塗布液11Aから第二塗布液12Aへの液換えが完了する。   Next, as shown in FIG. 5, in the switching valve 7, instead of closing the opened inlet port 31, the closed inlet port 32 is switched to the opened state. The outlet port 33 is connected, and the second outlet port 143 of the waste liquid valve 16 is switched to a closed state so that fluid cannot flow from the inlet port 141 to the second outlet port 143. Thereby, the second pump 22 can pressure-feed the second coating liquid 12A in the second tank 12 to the inlet port 32 of the switching valve 7, and the second coating liquid 12A passes through the pipe 6 and the base 3 And discharged from the base 3. Thereby, the application | coating operation | work by the 2nd coating liquid 12A is started, and the liquid change from the 1st coating liquid 11A to the 2nd coating liquid 12A is completed.

なお、第二塗布液12Aによる塗布作業が行われると、洗浄バルブ13において、開いていた入口ポート131を閉じた状態とする代わりに、閉じていた入口ポート132を開いた状態へと切り換え、入口ポート132と出口ポート133とが繋がった状態とし、さらに、廃液バルブ15の第二流出ポート43を開き、流入ポート41から第二流出ポート43へと第一塗布液11Aが流れることができる状態とする。これにより、第一ポンプ21により定期的に圧送された第一塗布液11Aを、流入ポート41から第二流出ポート43へ流す(ブリード動作する)ことができる。なお、このブリード動作の際、切り換えバルブ7の入口ポート31側は閉状態にあるので、第一塗布液11Aは、切り換えバルブ7側である流出ポート42へと流れない。
このブリード動作は、前記制御装置80(図1参照)の制御によって実行されるが、このようなブリード動作を行うのは、第一塗布液11Aが長時間にわたって流れていない状態が継続すると、その配管内において、第一塗布液11Aの一部が僅かに固まったりする等、その状態・特性が変わってしまうおそれがあるが、このブリード動作により、これを防止することが可能となるためである。
When the application operation with the second application liquid 12A is performed, the cleaning valve 13 switches the closed inlet port 132 to an opened state instead of closing the opened inlet port 131, and the inlet A state in which the port 132 and the outlet port 133 are connected, and the second outflow port 43 of the waste liquid valve 15 is opened, and the first coating liquid 11A can flow from the inflow port 41 to the second outflow port 43. To do. As a result, the first coating liquid 11A periodically pumped by the first pump 21 can flow from the inflow port 41 to the second outflow port 43 (bleed operation). During the bleed operation, the first application liquid 11A does not flow to the outflow port 42 on the switching valve 7 side because the inlet port 31 side of the switching valve 7 is closed.
This bleed operation is executed under the control of the control device 80 (see FIG. 1). The bleed operation is performed when the state where the first coating liquid 11A does not flow for a long time continues. This is because the state / characteristics of the first coating solution 11A may be slightly hardened in the pipe, which may change the state / characteristics. This can be prevented by this bleed operation. .

〔塗布液を異なる種類に交換する液換え作業(方法2)〕
液換え作業の他の実施形態を説明する。前記液換え作業(方法1)は、塗布作業を行うために塗布液が流れていた流路等の洗浄を終えてから、次に塗布作業を行う塗布液に液換えする方法であるが、液換え作業(方法2)は、塗布作業を行うために塗布液が流れていた流路等ではなく、次に塗布作業を行う塗布液を流そうとする流路等の洗浄を終えてから、当該次に塗布作業を行う塗布液に液換えする方法である。
[Liquid change work to change the coating liquid to a different type (Method 2)]
Another embodiment of the liquid change operation will be described. The liquid changing operation (method 1) is a method of changing the liquid to a coating liquid to be applied next after finishing washing of a flow path or the like in which the coating liquid has flowed to perform the applying operation. The replacement work (method 2) is performed after the cleaning of the flow path for flowing the coating liquid to be applied next, not the flow path in which the coating liquid has flowed for performing the coating work. Next, the liquid is changed to a coating liquid for performing a coating operation.

図2は、前記のとおり、第一塗布液11Aを塗布し、かつ、第二塗布液12Aについては前記ブリード動作を行うことができる状態を示しているが、この状態から、塗布する塗布液を第二塗布液12Aへと交換する作業(方法2)は、以下の順序で行われる。図6に示しているように、ポンプ21,22を停止させた状態とし、洗浄バルブ14において、開いていた入口ポート232を閉じた状態とする代わりに、閉じていた入口ポート231を開いた状態へと切り換え、入口ポート231と出口ポート233とが繋がった状態とする。また、切り換えバルブ7において、開いていた入口ポート31を閉じた状態とする代わりに、閉じていた入口ポート32を開いた状態へと切り換え、入口ポート32と出口ポート33とが繋がった状態とする。また、廃液バルブ16の第二流出ポート143は閉じた状態となる。
そして、開閉バルブ17Aを開き、洗浄ユニット10によってエアを洗浄バルブ14の入口ポート231へ供給する。このエアによって、これから第二塗布液12Aを流そうとする各配管、切り換えバルブ7内の流路、配管6、及び、口金3を洗浄する。この際、切り換えバルブ7の出口ポート33側、配管6、及び、口金3内に残った第一塗布液11Aが、当該口金3から廃液溜め部82に排出される。
FIG. 2 shows a state in which the first coating liquid 11A is applied and the bleed operation can be performed on the second coating liquid 12A as described above. From this state, the coating liquid to be applied is applied. The operation (method 2) for exchanging with the second coating liquid 12A is performed in the following order. As shown in FIG. 6, the pumps 21 and 22 are stopped, and in the cleaning valve 14, the closed inlet port 231 is opened instead of the opened inlet port 232 being closed. And the inlet port 231 and the outlet port 233 are connected. In the switching valve 7, the closed inlet port 32 is switched to the opened state instead of the opened inlet port 31 being closed, and the inlet port 32 and the outlet port 33 are connected. . Further, the second outflow port 143 of the waste liquid valve 16 is closed.
Then, the opening / closing valve 17 </ b> A is opened, and air is supplied to the inlet port 231 of the cleaning valve 14 by the cleaning unit 10. With this air, each pipe from which the second coating liquid 12A is to flow, the flow path in the switching valve 7, the pipe 6, and the base 3 are washed. At this time, the first coating liquid 11 A remaining in the outlet port 33 side of the switching valve 7, the pipe 6, and the base 3 is discharged from the base 3 to the waste liquid reservoir 82.

その後、図7に示しているように、開閉バルブ17Aを閉じ、代わりに、開閉バルブ17Bを開き、洗浄ユニット10によって洗浄液を洗浄バルブ14の入口ポート231へ供給する。この洗浄液によって、これから第二塗布液12Aを流そうとする各配管、廃液バルブ16内の流路、切り換えバルブ7内の流路、配管6、及び、口金3内を洗浄し、洗浄液を口金3から廃液溜め部82に排出する。
再び、図6に示しているように、開閉バルブ17Aを開き、代わりに、開閉バルブ17Bを閉じ、洗浄ユニット10によってエアを洗浄バルブ14の入口ポート231へ供給する。このエアによって、洗浄した流路に残っている洗浄液を口金3から抜き出す。
これにより、流入口23から廃液バルブ15、切り換えバルブ7及び配管6を通じて口金3に至る流路が洗浄され、切り換えバルブ7から口金3までの流路に第一塗布液11Aが残留するのを抑えることができる。
Thereafter, as shown in FIG. 7, the opening / closing valve 17 </ b> A is closed, and instead, the opening / closing valve 17 </ b> B is opened, and the cleaning liquid is supplied to the inlet port 231 of the cleaning valve 14 by the cleaning unit 10. With this cleaning liquid, each pipe from which the second coating liquid 12A is going to flow, the flow path in the waste liquid valve 16, the flow path in the switching valve 7, the pipe 6 and the base 3 are washed, and the cleaning liquid is supplied to the base 3 To the waste liquid reservoir 82.
Again, as shown in FIG. 6, the opening / closing valve 17 </ b> A is opened, and instead, the opening / closing valve 17 </ b> B is closed, and the cleaning unit 10 supplies air to the inlet port 231 of the cleaning valve 14. With this air, the cleaning liquid remaining in the cleaned flow path is extracted from the base 3.
Thereby, the flow path from the inlet 23 to the base 3 through the waste liquid valve 15, the switching valve 7 and the pipe 6 is washed, and the first coating liquid 11 </ b> A is prevented from remaining in the flow path from the switching valve 7 to the base 3. be able to.

そして、図8に示しているように、廃液バルブ15の閉じていた第二流出ポート43を開き、流入ポート41から第二流出ポート43へと流体が流れることができる状態とする。これにより、第一塗布液11Aに関して前記ブリード動作を行うことができる状態となる。そして、開閉バルブ17Aを閉じる。また、廃液バルブ16では、第二流出ポート143が閉じた状態にあり、流入ポート141から第二流出ポート143へと流体が流れることができない状態にある。
洗浄バルブ14において、開いていた入口ポート231を閉じた状態とする代わりに、閉じていた入口ポート232を開いた状態へと切り換え、入口ポート232と出口ポート233とが繋がった状態とする。
そこで、第二ポンプ22を作動させ、第二タンク12内の第二塗布液12Aを、口金3へと圧送し、第二塗布液12Aによる塗布作業が開始される。以上より、第一塗布液11Aから第二塗布液12Aへの液換えが完了する。
Then, as shown in FIG. 8, the second outflow port 43 where the waste liquid valve 15 is closed is opened, and the fluid can flow from the inflow port 41 to the second outflow port 43. Thereby, it will be in the state which can perform the said bleed operation | movement regarding 11 A of 1st coating liquids. Then, the open / close valve 17A is closed. In the waste liquid valve 16, the second outflow port 143 is in a closed state, and the fluid cannot flow from the inflow port 141 to the second outflow port 143.
In the cleaning valve 14, instead of closing the opened inlet port 231, the closed inlet port 232 is switched to an opened state, and the inlet port 232 and the outlet port 233 are connected.
Therefore, the second pump 22 is operated, the second coating liquid 12A in the second tank 12 is pumped to the base 3, and the coating operation with the second coating liquid 12A is started. From the above, the liquid change from the first coating liquid 11A to the second coating liquid 12A is completed.

ここで、液換え作業前である図2の状態では、ブリード動作によって第二塗布液12Aが、廃液バルブ16と切り換えバルブ7との間の流路60に浸入し、滞留していることがあるが、この方法2による液換え作業によれば、図7に示しているように、廃液バルブ16と切り換えバルブ7との間の流路60についても、洗浄を行うことができ、第二塗布液12Aの残留をより効果的に防止することができる。   Here, in the state of FIG. 2 before the liquid change operation, the second coating liquid 12A may enter the flow path 60 between the waste liquid valve 16 and the switching valve 7 and stay due to the bleed operation. However, according to the liquid change operation by this method 2, as shown in FIG. 7, the flow path 60 between the waste liquid valve 16 and the switching valve 7 can also be cleaned, and the second coating liquid 12A can be effectively prevented from remaining.

以上の構成を備えた塗布装置によれば、二種類の塗布液11A,12Aそれぞれを一つの切り換えバルブ7に送る二つの専用のポンプ21,22を有し、また、切り換えバルブ7は、第一ポンプ21と配管8を介して繋がっている入口ポート31及び第二ポンプ22と配管9を介して繋がっている入口ポート32を有していることから、一方の入口ポート31には第一塗布液11Aが供給され、他方の入口ポート32には種類が異なる第二塗布液12Aが供給されることとなる。
そして、この切り換えバルブ7は、二つの入口ポート31,32を択一的に出口ポート33と繋がった状態となるように切り換え可能であるため、口金3から吐出させる塗布液の種類を、例えば、第一塗布液11Aから第二塗布液12Aへと変更するには、この切り換えバルブ7が有する弁体(後に説明する)の位置の切り換えを行えばよく、作業者による継手(フランジ)の繋ぎ換え作業が不要となり、塗布液の変更が簡単となる。
According to the coating apparatus having the above-described configuration, the two kinds of coating liquids 11A and 12A are provided with two dedicated pumps 21 and 22 that send the switching liquid 7 to the single switching valve 7, respectively. Since the inlet port 31 connected to the pump 21 via the pipe 8 and the inlet port 32 connected to the second pump 22 via the pipe 9 are provided, the first coating liquid is provided in one inlet port 31. 11A is supplied, and the second coating liquid 12A of a different type is supplied to the other inlet port 32.
Since this switching valve 7 can be switched so that the two inlet ports 31 and 32 are selectively connected to the outlet port 33, the type of coating liquid to be discharged from the base 3 is, for example, In order to change from the first coating solution 11A to the second coating solution 12A, the position of the valve body (to be described later) of the switching valve 7 may be switched, and the joint (flange) is changed by the operator. No work is required, and the change of the coating solution is simplified.

さらに、第二塗布液12Aへと変更を行うために、洗浄ユニット10により、第一塗布液11Aが流れていた流路に、洗浄流体としてエア及び洗浄液が送り込まれるが、この洗浄流体の流入口23は、第一ポンプ21よりも上流側ではなく、第一ポンプ21の下流側(口金3側)に設けられている。このため、第二塗布液12Aへと変更する際、第一ポンプ21内を洗浄する必要がなく、また、第一ポンプ21内の塗布液11Aを排出する必要がない。このため、塗布液の変更のための液置き換え量、すなわち、第一塗布液11Aを無駄にする量を減らすことができる。また、洗浄バルブ13が切り換えバルブ7の出口ポート33よりも上流側に設けられているため、人手による洗浄作業を行うことなく出口ポート33を含む下流側を洗浄することができる。したがって、種類の異なる塗布液を切り換えた場合であっても、種類の異なる塗布液が流路内で混合することを抑えることができる。また、洗浄のための領域が狭くて済むので、液換えのために必要となる洗浄時間の短縮が可能となる。この結果、変更した第二塗布液12Aによる塗布作業を迅速に開始することができ、塗布作業の効率化が図れる。
なお、第一ポンプ21により前記ブリード動作が実行されるため、当該第一ポンプ21内及び第一塗布液11Aのための前記切り換えバルブ7までの流路において、当該第一塗布液11Aが定期的に流れることから、その性質を維持することが可能となり、次に、第二塗布液12Aから第一塗布液11Aへと再度液換えを行っても、直ぐに第一塗布液11Aによる塗布作業を開始することができる。
Furthermore, in order to change to the second coating liquid 12A, the cleaning unit 10 sends air and cleaning liquid as cleaning fluid into the flow path in which the first coating liquid 11A has flowed. 23 is provided not on the upstream side of the first pump 21 but on the downstream side (the base 3 side) of the first pump 21. For this reason, when changing to the 2nd coating liquid 12A, it is not necessary to wash | clean the inside of the 1st pump 21, and it is not necessary to discharge | emit the coating liquid 11A in the 1st pump 21. FIG. For this reason, the amount of liquid replacement for changing the coating solution, that is, the amount of wasting the first coating solution 11A can be reduced. Further, since the cleaning valve 13 is provided on the upstream side of the outlet port 33 of the switching valve 7, the downstream side including the outlet port 33 can be cleaned without performing manual cleaning work. Therefore, even when different types of coating liquids are switched, mixing of different types of coating liquids in the flow path can be suppressed. Moreover, since the area | region for washing | cleaning may be narrow, the shortening of the washing | cleaning time required for a liquid change is attained. As a result, the application work with the changed second application liquid 12A can be started quickly, and the efficiency of the application work can be improved.
In addition, since the bleed operation is executed by the first pump 21, the first coating liquid 11A is periodically supplied in the flow path to the switching valve 7 for the first pump 21 and the first coating liquid 11A. Therefore, even if the liquid is changed again from the second coating liquid 12A to the first coating liquid 11A, the coating operation with the first coating liquid 11A is started immediately. can do.

〔切り換えバルブ7、洗浄バルブ13,14の具体的な構成〕
図2に示している切り換えバルブ7、洗浄バルブ13,14は同じ構成であるため、代表して切り換えバルブ7について説明する。図9は、切り換えバルブ7を一部断面で示した正面図であり、図10は、図9の切り換えバルブ7の一点鎖線で切断した部分を、矢印Aで示しているように下から見た断面図である。
この切り換えバルブ7は、図9に示している姿勢が、塗布装置への取り付け姿勢であり、第一入口ポート31及び第二入口ポート32は水平方向の直線上に配置され、出口ポート33は上下方向の直線上に配置され下向きに開口するように、バルブ7は取り付けられる。
[Specific Configuration of Switching Valve 7 and Cleaning Valves 13 and 14]
Since the switching valve 7 and the cleaning valves 13 and 14 shown in FIG. 2 have the same configuration, the switching valve 7 will be described as a representative. FIG. 9 is a front view showing the switching valve 7 in a partial cross section, and FIG. 10 is a cross-sectional view of the switching valve 7 shown in FIG. It is sectional drawing.
The switching valve 7 is in the posture shown in FIG. 9 attached to the coating device, the first inlet port 31 and the second inlet port 32 are arranged on a straight line in the horizontal direction, and the outlet port 33 is up and down. The valve 7 is mounted so as to be arranged on a straight line in the direction and open downward.

バルブ7が有するハウジング34内には流路が形成されていて、図10に示しているように、その流路の途中に二つの弁室51,52が設けられ、第一弁室51に第一弁体53の先部53bが収納され、第二弁室52に第二弁体54の先部54bが収納されている。
すなわち、ハウジング34内には、第一入口ポート31を有する第一流路35と、第二入口ポート32を有する第二流路36と、出口ポート33を有している第三流路37と(図9図11参照)、共通流路38とが形成されている。そして、第一流路35の下流側に第一弁室51が設けられ、第二流路36の下流側に第二弁室52が設けられている。第一弁室51の側面にある封止面51aには、共通流路38の一方に繋がる第一開口51bが形成されていて、第二弁室52の側面にある封止面52aには、前記共通流路38の他方に繋がる第二開口52bが形成されている。共通流路38は直線状の短い流路であり、第一流路35と第二流路36とを合流させ、この共通流路38の中央は開口して第三流路37(図9参照)へと繋がっている。
A flow path is formed in the housing 34 of the valve 7, and as shown in FIG. 10, two valve chambers 51 and 52 are provided in the middle of the flow path. A tip portion 53 b of the one valve body 53 is housed, and a tip portion 54 b of the second valve body 54 is housed in the second valve chamber 52.
That is, in the housing 34, a first flow path 35 having a first inlet port 31, a second flow path 36 having a second inlet port 32, and a third flow path 37 having an outlet port 33 ( 9 and FIG. 11), a common flow path 38 is formed. A first valve chamber 51 is provided on the downstream side of the first flow path 35, and a second valve chamber 52 is provided on the downstream side of the second flow path 36. The sealing surface 51a on the side surface of the first valve chamber 51 has a first opening 51b connected to one side of the common flow path 38, and the sealing surface 52a on the side surface of the second valve chamber 52 has A second opening 52b connected to the other of the common flow path 38 is formed. The common flow path 38 is a straight short flow path, the first flow path 35 and the second flow path 36 are merged, and the center of the common flow path 38 is opened to form a third flow path 37 (see FIG. 9). Connected to.

第一弁体53の先部にある閉塞面53aが、第一弁室51の前記封止面51aに接触することで前記第一開口51bを閉じ、第一流路35は第一弁体53によって閉塞される。第二弁体54の先部にある閉塞面54aが、第二弁室52前記封止面52aに接触することで前記第二開口52bを閉じ、第二流路36は第二弁体54によって閉塞される。このように、閉塞面53a,54aが、直線状の共通流路38の両端に位置する開口51b,52bを閉塞する構成であり、また、これら閉塞面53a,54aが対向するように第一弁体53及び第二弁体54はハウジング34内に配置されている。   The closing surface 53 a at the tip of the first valve body 53 closes the first opening 51 b by contacting the sealing surface 51 a of the first valve chamber 51, and the first flow path 35 is formed by the first valve body 53. Blocked. The closing surface 54a at the tip of the second valve body 54 closes the second opening 52b by contacting the second valve chamber 52 and the sealing surface 52a, and the second flow path 36 is closed by the second valve body 54. Blocked. As described above, the closing surfaces 53a and 54a are configured to close the openings 51b and 52b located at both ends of the linear common flow path 38, and the first valve so that these closing surfaces 53a and 54a face each other. The body 53 and the second valve body 54 are disposed in the housing 34.

第一弁体53と第二弁体54とは同じ構成であり、第一弁室51と第二弁室52とは同じ構成であるので、代表して第一弁体53側について説明する。弁体53はほぼ円柱形状であり、少なくとも先部53bが樹脂製である。なお、ハウジング34は樹脂製又は金属製である。先部53bと弁室51の周面との間には封止用のダイアフラム53dが設けられていて、このダイアフラム53dによってハウジング34内の第一の空間34aが区画され、一方側に第一弁室(ダイアフラム室)51を構成し、外部に対して塗布液を封止している。
また、ハウジング34内には第二の空間34bが形成され、第一弁体53の基部53cとこの空間34bの周面との間に駆動用ダイアフラム53eが設けられている。
Since the first valve body 53 and the second valve body 54 have the same configuration, and the first valve chamber 51 and the second valve chamber 52 have the same configuration, the first valve body 53 side will be described as a representative. The valve body 53 has a substantially cylindrical shape, and at least the tip 53b is made of resin. The housing 34 is made of resin or metal. A sealing diaphragm 53d is provided between the front portion 53b and the peripheral surface of the valve chamber 51. A first space 34a in the housing 34 is partitioned by the diaphragm 53d, and the first valve is provided on one side. A chamber (diaphragm chamber) 51 is formed, and the coating liquid is sealed to the outside.
A second space 34b is formed in the housing 34, and a driving diaphragm 53e is provided between the base 53c of the first valve body 53 and the peripheral surface of the space 34b.

第一弁体53の基部53cの端面とハウジング34の端面との間には、バネ39が介在していて、このバネ39は第一弁体53の閉塞面53aを開口51bに押し付けている。すなわち、この状態で第一弁体53が閉じた状態となる。そして、前記第二の空間34bには、図外のエア配管を介してエアポンプ(図1の駆動源81)が繋がっていて、この空間34bにエアが供給されると、駆動用ダイアフラム53eを変形させ、前記バネ39のバネ力に抗して弁体53の閉塞面53aを開口51bから離すことができる。すなわち、この状態で第一弁体53が開いた状態となる。このように、バルブ7は、弁体53,54が共通流路38の中心線方向に沿って直線的に往復移動することで、開閉動作するものであり、エアにより開閉動作が切り換わる構成である。   A spring 39 is interposed between the end surface of the base portion 53c of the first valve body 53 and the end surface of the housing 34, and the spring 39 presses the closing surface 53a of the first valve body 53 against the opening 51b. That is, in this state, the first valve body 53 is closed. The second space 34b is connected to an air pump (drive source 81 in FIG. 1) via an air pipe (not shown). When air is supplied to the space 34b, the driving diaphragm 53e is deformed. Thus, the blocking surface 53a of the valve element 53 can be separated from the opening 51b against the spring force of the spring 39. That is, in this state, the first valve body 53 is opened. As described above, the valve 7 is opened and closed when the valve bodies 53 and 54 linearly reciprocate along the center line direction of the common flow path 38, and the opening and closing operation is switched by air. is there.

第一流路35では、第一入口ポート31から流入した第一塗布液11Aは第一弁室51に入り、第二流路36では、第二入口ポート32から流入した第二塗布液12Aは第二弁室52に入る。このバルブ7は、第一弁体53と第二弁体54とのいずれか一方が開いた状態となると他方を閉じた状態とするものであり、第一弁体53が開いた状態にあれば第二弁体54は閉じた状態にあり、この場合、当該第二弁体54は第二流路36を第二弁室52で閉塞することにより、第一流路35と第三流路37とが繋がったバルブ内流路を構成し、入口ポート31に供給された第一塗布液11Aが出口ポート33から流れ出ることができる。反対に、第二弁体54が開いた状態にあれば第一弁体53は閉じた状態にあり、この場合、当該第一弁体53は第一流路35を第一弁室51で閉塞することにより、第二流路36と第三流路37とが繋がったバルブ内流路を構成し、入口ポート32に供給された第二塗布液11Bが出口ポート33から流れ出ることができる。すなわち、出口ポート33は、第一入口ポート31と第二入口ポート32とのいずれか一方と繋がった状態となる。   In the first flow path 35, the first coating liquid 11A flowing from the first inlet port 31 enters the first valve chamber 51, and in the second flow path 36, the second coating liquid 12A flowing from the second inlet port 32 is the first. Enter the double valve chamber 52. The valve 7 is configured such that when one of the first valve body 53 and the second valve body 54 is opened, the other is closed. If the first valve body 53 is open, The second valve body 54 is in a closed state. In this case, the second valve body 54 closes the second flow path 36 with the second valve chamber 52, thereby causing the first flow path 35 and the third flow path 37 to be closed. The first coating liquid 11A supplied to the inlet port 31 can flow out from the outlet port 33. On the contrary, if the second valve body 54 is in the open state, the first valve body 53 is in a closed state. In this case, the first valve body 53 closes the first flow path 35 with the first valve chamber 51. As a result, an in-valve channel in which the second channel 36 and the third channel 37 are connected to each other, and the second coating liquid 11 </ b> B supplied to the inlet port 32 can flow out from the outlet port 33. That is, the outlet port 33 is connected to either the first inlet port 31 or the second inlet port 32.

弁体53,54の配置についてさらに説明する。図11及び図12は共通流路38及びその周囲を示す説明図であり、図11は上から見た断面図であり、図12は側面から見た断面図である。図12において、断面円形である共通流路38の内壁に、断面円形である第三流路37へと繋がる開口38aが形成されていて、共通流路38の中心線C1と、開口38aの中心線C2とは直交している。なお、第三流路37の中心線は開口38aの中心線C2と共通であり、また、弁体53,54及び弁室51,52の中心線は共通流路38の中心線C1の延長線上にある。   The arrangement of the valve bodies 53 and 54 will be further described. 11 and 12 are explanatory views showing the common flow path 38 and its periphery, FIG. 11 is a cross-sectional view seen from above, and FIG. 12 is a cross-sectional view seen from the side. In FIG. 12, an opening 38a connected to the third flow path 37 having a circular cross section is formed on the inner wall of the common flow path 38 having a circular cross section, and the center line C1 of the common flow path 38 and the center of the opening 38a are formed. It is orthogonal to the line C2. The center line of the third flow path 37 is common with the center line C2 of the opening 38a, and the center lines of the valve bodies 53 and 54 and the valve chambers 51 and 52 are on an extension line of the center line C1 of the common flow path 38. It is in.

第一弁体53の閉塞面53aが、第一流路35を第一弁室51の第一開口51bにおいて閉塞した状態で、当該閉塞面53aは、第二流路36から共通流路38を経て第三流路37へと前記第二塗布液12Aが流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ねている。すなわち、第二流路36から共通流路38を経て第三流路37へと第二塗布液12Aが流れる前記バルブ内流路の内の共通流路38には、第一流路35へ繋がるための前記第一開口51bが形成されているが、第一弁体53は(閉塞面53aは)、共通流路38の中心線C1方向一方側の端部の内壁(壁面)となって第一開口51bを塞ぐことで、第一流路35を閉塞している。   With the closed surface 53a of the first valve body 53 closing the first flow path 35 at the first opening 51b of the first valve chamber 51, the closed surface 53a passes through the common flow path 38 from the second flow path 36. It also serves as a part of the inner wall of the in-valve channel through which the second coating liquid 12A flows to the third channel 37. That is, the common flow path 38 from the second flow path 36 to the third flow path 37 through the common flow path 38 to the third flow path 37 is connected to the first flow path 35 in the common flow path 38. The first valve body 53 (the closed surface 53a) is the first inner wall (wall surface) at one end of the common flow path 38 in the direction of the center line C1. The first flow path 35 is closed by closing the opening 51b.

さらに、図11と図12とに示しているように、共通流路38の中心線C1方向の長さL1は、第三流路37(開口38a)の直径D1とほぼ同一である。このため、第一弁体53の閉塞面53aが閉じる開口51bと、第二弁体54の閉塞面54aが閉じる開口52bとが、接近した構成である。すなわち、図12に示しているように、第一弁体53の閉塞面53aが、第一流路35を第一弁室51の開口51bにおいて閉塞した状態にあると、当該閉塞面53aは、第三流路37の内周面の一部(図12では内周面の左側)のほぼ延長上に位置する構成となり、当該閉塞面53aは、共通流路38の中心線C1方向一方側(図12では左側)の端部の壁面を構成している。   Furthermore, as shown in FIGS. 11 and 12, the length L1 of the common flow path 38 in the direction of the center line C1 is substantially the same as the diameter D1 of the third flow path 37 (opening 38a). Therefore, the opening 51b that closes the closing surface 53a of the first valve body 53 and the opening 52b that closes the closing surface 54a of the second valve body 54 are close to each other. That is, as shown in FIG. 12, when the closed surface 53a of the first valve body 53 is in a state of closing the first flow path 35 at the opening 51b of the first valve chamber 51, the closed surface 53a A part of the inner peripheral surface of the three flow paths 37 (on the left side of the inner peripheral surface in FIG. 12) is positioned substantially on the extension, and the blocking surface 53 a is one side in the center line C1 direction of the common flow path 38 (see FIG. 12 constitutes the wall surface at the end of the left side.

このように、第一弁体53が閉じ、第二弁体54が開いた状態では、共通流路38を介して第二流路36と第三流路37とが繋がった状態となるので、切り換えバルブ7内には、前記第二塗布液12Aが流れることができる。そして、前記のとおり、第一弁体53の閉塞面53aは、バブル7内において、第二塗布液12Aが流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ねていることから、このバルブ内流路を流れる第二塗布液12Aが、共通流路38を外れて、第一流路35側へ流れ込まない。このため、第一流路35側で第二塗布液12Aが残留するのを防ぐことができる。   Thus, when the first valve body 53 is closed and the second valve body 54 is opened, the second flow path 36 and the third flow path 37 are connected via the common flow path 38. In the switching valve 7, the second coating liquid 12A can flow. And as above-mentioned, since the obstruction | occlusion surface 53a of the 1st valve body 53 serves also as a part of inner wall of the valve internal flow path through which the 2nd coating liquid 12A flows in the bubble 7, this flow path in valve | bulb The second coating liquid 12 </ b> A that flows through the common channel 38 does not flow into the first channel 35 side. For this reason, it is possible to prevent the second coating liquid 12A from remaining on the first flow path 35 side.

これと同様に、第二弁体54の閉塞面54aが、第二流路36を第二弁室52の第二開口52bにおいて閉塞した状態で、当該閉塞面54aは、第一流路35から共通流路38を経て第三流路37へと前記第一塗布液11Aが流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ねる。すなわち、第一流路35から共通流路38を経て第三流路37へと第一塗布液11Aが流れる前記バルブ内流路の内の共通流路38には、第二流路36へ繋がるための前記第二開口52bが形成されているが、第二弁体54は(閉塞面54aは)、前記共通流路38の中心線C1方向他方側の端部の内壁(壁面)となって第二開口52bを塞ぐことで、第二流路36を閉塞している。   Similarly, the closed surface 54 a of the second valve body 54 closes the second flow path 36 at the second opening 52 b of the second valve chamber 52, and the closed surface 54 a is shared by the first flow path 35. It also serves as a part of the inner wall of the in-valve channel through which the first coating liquid 11A flows to the third channel 37 through the channel 38. That is, the common flow path 38 in the valve flow path from the first flow path 35 through the common flow path 38 to the third flow path 37 is connected to the second flow path 36. The second valve body 54 (the closing surface 54a) is the inner wall (wall surface) of the other end of the common flow path 38 in the center line C1 direction. The second flow path 36 is closed by closing the two openings 52b.

さらに、第二弁体54の閉塞面54aが、第二流路36を第二弁室52の開口52bにおいて閉塞した状態にあると、当該閉塞面54aは、第三流路37の内周面の一部(図12では内周面の右側)のほぼ延長上に位置する構成となり、当該閉塞面54aは、第一流路35と第三流路37とを繋げている共通流路38の中心線C1方向他方側(図12では右側)の端部の壁面を構成している。   Further, when the closing surface 54 a of the second valve body 54 is in a state where the second flow path 36 is closed at the opening 52 b of the second valve chamber 52, the closing surface 54 a is the inner peripheral surface of the third flow path 37. 12 (the right side of the inner peripheral surface in FIG. 12) is located on an extension, and the blocking surface 54a is the center of the common flow path 38 connecting the first flow path 35 and the third flow path 37. The wall surface of the edge part of the line C1 direction other side (right side in FIG. 12) is comprised.

このように、第二弁体54が閉じた状態では、共通流路38を介して第一流路35と第三流路37とが繋がった状態となるので、切り換えバルブ7内には、前記第一塗布液11Aが流れることができる。そして、前記のとおり、第二弁体54の閉塞面54aは、バブル7内において、第一塗布液11Aが流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ねていることから、このバルブ内流路を流れる第一塗布液11Aが、共通流路38を外れて、第二流路36側へ流れ込まない。このため、第二流路36側で第一塗布液11Aが残留するのを防ぐことができる。   In this way, when the second valve body 54 is closed, the first flow path 35 and the third flow path 37 are connected via the common flow path 38. One coating solution 11A can flow. And as above-mentioned, since the obstruction | occlusion surface 54a of the 2nd valve body 54 serves as a part of inner wall of the flow path in the valve through which the 1st coating liquid 11A flows in the bubble 7, this flow path in the valve The first coating liquid 11 </ b> A that flows through the common channel 38 does not flow into the second channel 36 side. For this reason, it is possible to prevent the first coating liquid 11A from remaining on the second flow path 36 side.

以上より、バルブ7内を第一塗布液11Aが流れている場合、当該第一塗布液11Aの一部が第二流路36側で残留することがなく、同様に、バルブ7内を第二塗布液12Aが流れている場合、当該第二塗布液12Aの一部が第一流路35側で残留することがない。したがって、このバルブ7を用いて行う前記液換え作業の際に、塗布液11A(12A)がバルブ7内で残留せず、塗布液を迅速に置き換えることができる。   As described above, when the first coating liquid 11A flows through the valve 7, a part of the first coating liquid 11A does not remain on the second flow path 36 side, and similarly, the second coating liquid 11A flows through the valve 7 in the second direction. When the coating liquid 12A is flowing, a part of the second coating liquid 12A does not remain on the first flow path 35 side. Accordingly, the coating liquid 11A (12A) does not remain in the valve 7 during the liquid changing operation performed using the valve 7, and the coating liquid can be replaced quickly.

なお、図12において、共通流路38の中心線C1方向の長さL1は、第三流路37(開口38a)の直径D1とほぼ同一である、と説明したが、完全に同一とすると、第三流路37と、弁室51(52)との間の壁55の厚さが理論上ゼロとなってしまう部分が生じる。しかし、実際には、この壁55は、バルブとして機能する上で、及び、塗布液は圧力を有していることから厚さが必要であり、加工可能な観点及び耐圧を考慮した設計上の観点から、数ミリ未満の厚さが必要である。なお、実施例としては、壁55は最薄部で0.5ミリとすることが可能である。したがって、長さL1と直径D1とがほぼ同一であるとは、その差が、4ミリ以下であると言える。このように、本発明では、塗布液が残留する部分をなくす観点から、共通流路38の中心線C1方向長さL1と、第三流路37(開口38a)の直径D1とを完全に同一とすべきものであるが、実際、完全に同一とするのは構成上不可能であり、ほぼ同一としている。   In FIG. 12, it has been described that the length L1 of the common flow path 38 in the direction of the center line C1 is substantially the same as the diameter D1 of the third flow path 37 (opening 38a). There is a portion where the thickness of the wall 55 between the third flow path 37 and the valve chamber 51 (52) is theoretically zero. However, in reality, the wall 55 needs to be thick in order to function as a valve and the coating liquid has pressure, and is designed in consideration of a workable viewpoint and pressure resistance. From the point of view, a thickness of less than a few millimeters is required. As an example, the wall 55 can be 0.5 mm at the thinnest portion. Therefore, it can be said that the difference between the length L1 and the diameter D1 is approximately 4 mm or less. Thus, in the present invention, from the viewpoint of eliminating the portion where the coating liquid remains, the length L1 of the common flow path 38 in the center line C1 direction and the diameter D1 of the third flow path 37 (opening 38a) are completely the same. However, in fact, it is impossible to make completely the same, and it is almost the same.

また、このバルブ7において、第一流路35の上流側に第一入口ポート31が設けられ、下流側に第一弁室51が設けられ、また、第二流路36の上流側に第二入口ポート32が設けられ、下流側に第二弁室52が設けられている。第一流路35側と第二流路側36とは同様の構成であるが、第二流路側36側を代表して説明すると、図9と図12とで示しているように、第二入口ポート32から第二弁室52へと繋がる第二流路36の直線状である流路本体部36aは、第二弁室52の頂上52c側に偏った位置で開口36bしている。すなわち、第二流路36の流路本体部36aの中心線を延長した直線上には、第二弁室52の中心が存在していない。特に、図9に示しているように、横断面円形である第二弁室52の内周面の頂上52cにおける接線上に、流路本体部36aの内周面の頂上を結んで得られる仮想直線L2が存在する構成である。   In the valve 7, the first inlet port 31 is provided on the upstream side of the first flow path 35, the first valve chamber 51 is provided on the downstream side, and the second inlet is provided on the upstream side of the second flow path 36. A port 32 is provided, and a second valve chamber 52 is provided on the downstream side. Although the first flow path 35 side and the second flow path side 36 have the same configuration, the second flow path side 36 side will be described as a representative. As shown in FIG. 9 and FIG. A flow path main body 36 a that is a straight line of the second flow path 36 connected to the second valve chamber 52 from the opening 32 opens at a position biased toward the top 52 c of the second valve chamber 52. That is, the center of the second valve chamber 52 does not exist on a straight line obtained by extending the center line of the flow channel main body 36 a of the second flow channel 36. In particular, as shown in FIG. 9, a hypothesis obtained by connecting the top of the inner peripheral surface of the flow path body 36 a to the tangent line at the top 52 c of the inner peripheral surface of the second valve chamber 52 having a circular cross section. In this configuration, a straight line L2 exists.

また、第一弁室51側においてもこれと同様であり、第一入口ポート31から第一弁室51へと繋がる第一流路35の直線上である流路本体部35aは、第一弁室51の頂上51c側に偏った位置で開口35bしている。
このように構成することで、バルブ7内に気泡70が残留することを防ぐことができる。すなわち、例えば、図9に示しているように、仮に第二弁室52の第二塗布液12A内に気泡70が存在していると、この気泡70はその頂上52c側に集まる。そこで、第二入口ポート32から第二弁室52へと繋がる流路本体部36aが、この第二弁室52の頂上52c側に偏った位置で開口36bしているので、当該流路本体部36aを流れてきた第二塗布液12Aによって、この気泡70を巻き込んで下流側である第三流路37へと流すことが可能となる。そして、これは第一弁室51においても同様であり、バルブ7内に気泡70が残留することを防ぐことができる。
なお、口金3(図2参照)までの間の塗布液に気泡70が多く存在していると、この塗布液をポンプで送り出している際に、当該気泡70が弾性体として作用し塗布液の圧力が変動し、口金3からの塗布液の吐出量が一定とならず、基板Wに塗布した塗布液にむら(膜厚むら)ができてしまうおそれがある。
さらに、前記のとおり、流路本体部35a,36aは、弁室51,52の頂上側に偏った位置で開口していることから、当該弁室51,52に塗布液が流入すると、当該弁室51,52において渦流が発生し、塗布液の置き換え性能を高めることができる。さらに、この渦流によって、前記気泡70の排出性能を高めることができる。
In addition, the same applies to the first valve chamber 51 side, and the flow channel main body 35 a that is on the straight line of the first flow channel 35 connected from the first inlet port 31 to the first valve chamber 51 is the first valve chamber. An opening 35b is formed at a position biased toward the top 51c of 51.
With this configuration, it is possible to prevent the bubbles 70 from remaining in the valve 7. That is, for example, as shown in FIG. 9, if bubbles 70 exist in the second coating liquid 12 </ b> A of the second valve chamber 52, the bubbles 70 gather on the top 52 c side. Therefore, the flow path main body 36a connected from the second inlet port 32 to the second valve chamber 52 has an opening 36b at a position biased toward the top 52c of the second valve chamber 52. With the second coating liquid 12A flowing through 36a, the bubbles 70 can be entrained and flowed to the third flow path 37 on the downstream side. This also applies to the first valve chamber 51, and the bubbles 70 can be prevented from remaining in the valve 7.
If there are many bubbles 70 in the coating liquid up to the base 3 (see FIG. 2), when the coating liquid is pumped out, the bubbles 70 act as an elastic body and the coating liquid The pressure fluctuates, and the discharge amount of the coating liquid from the base 3 is not constant, and there is a possibility that the coating liquid applied to the substrate W may be uneven (thickness unevenness).
Furthermore, as described above, since the flow path main body portions 35a and 36a are opened at positions deviated to the top sides of the valve chambers 51 and 52, when the coating liquid flows into the valve chambers 51 and 52, the valve body portions 35a and 36a A vortex is generated in the chambers 51 and 52, and the replacement performance of the coating liquid can be enhanced. Furthermore, the discharge performance of the bubbles 70 can be enhanced by this vortex.

以上のように、前記実施形態の塗布装置(図2参照)において、このバルブ7が採用されていることで、当該バルブ7の開閉状態の切り換えにより、二種類の塗布液11A,12Aを変更することができる。そして、このバルブ7は、前記のとおり塗布液が多く残留するのを防ぐことができる構成を備えているため、前記液換え作業として、例えば第一塗布液11Aから第二塗布液12Aへと変更する際、先にバルブ7を通過していた第一塗布液11Aが残留せず、変更後の第二塗布液12Aと混ざってしまうのを防ぐことができ、塗布液の置き換え性能を高めることが可能となる。
また、前記実施形態の姿勢としたバルブ7では、例えば、第二入口ポート32から第二弁室52へと繋がる流路本体部36aが、この第二弁室52の頂上52c側に偏った位置で開口36bしているので、当該流路本体部36aを流れてきた第二塗布液12Aによって、気泡70を巻き込んで下流側である第三流路37へと流すことが可能となり、バルブ7内に気泡70が残留することを防ぐことができる。このように、気泡排出性能の高いバルブ7となることで、塗布液に気泡70が混入することを嫌う塗布装置において好都合である。
As described above, in the coating apparatus (see FIG. 2) of the above embodiment, the two types of coating liquids 11A and 12A are changed by switching the open / closed state of the valve 7 by adopting the valve 7. be able to. And since this valve | bulb 7 is equipped with the structure which can prevent that many coating liquids remain | survive as mentioned above, it changes from the 1st coating liquid 11A to the 2nd coating liquid 12A as the said liquid change operation | work, for example. In this case, the first coating liquid 11A that has previously passed through the valve 7 does not remain and can be prevented from being mixed with the changed second coating liquid 12A, thereby improving the replacement performance of the coating liquid. It becomes possible.
Further, in the valve 7 having the posture of the above-described embodiment, for example, the flow path main body portion 36 a connected from the second inlet port 32 to the second valve chamber 52 is shifted to the top 52 c side of the second valve chamber 52. , The second coating liquid 12A that has flowed through the flow channel main body portion 36a allows the bubbles 70 to be entrained and flowed to the third flow channel 37 on the downstream side. It is possible to prevent bubbles 70 from remaining on the surface. Thus, it becomes convenient in the coating apparatus which dislikes that the bubble 70 mixes in a coating liquid by becoming the valve | bulb 7 with high bubble discharge | emission performance.

以上のような実施形態により塗布装置を説明したが、本発明のバルブ及び塗布装置は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであっても良い。例えば、塗布液を異なる種類に交換する液換え作業に関して、説明した以外の方法であってもよい。
また、前記実施形態では、カラーフィルタの製造に用いられる塗布装置について説明したが、有機ELを含むフラットパネルディスプレイや太陽電池等の製造に用いられる塗布装置であってもよい。
Although the coating apparatus has been described with the embodiment as described above, the valve and the coating apparatus of the present invention are not limited to the illustrated forms, and may be in other forms within the scope of the present invention. For example, methods other than those described above may be used for the liquid change operation for changing the coating liquid to a different type.
Moreover, although the said embodiment demonstrated the coating device used for manufacture of a color filter, the coating device used for manufacture of a flat panel display, an organic battery, etc. containing organic EL may be sufficient.

3:口金、 6:配管(口金用流路)、 7:切り換えバルブ、 11A:第一塗布液、 12A:第二塗布液、 21:第一ポンプ、 22:第二ポンプ、31:入口ポート(第一入口ポート)、 32:入口ポート(第二入口ポート)、 33:出口ポート、 35:第一流路、 36:第二流路、 37:第三流路、 51:第一弁室、 51b:第一開口、 51c:頂上、 52:第二弁室、 52b:第二開口、 52c:頂上、 53:第一弁体、 53a:閉塞面、 54:第二弁体、 54a:閉塞面   3: base, 6: piping (channel for base), 7: switching valve, 11A: first coating liquid, 12A: second coating liquid, 21: first pump, 22: second pump, 31: inlet port ( First inlet port), 32: Inlet port (second inlet port), 33: Outlet port, 35: First flow path, 36: Second flow path, 37: Third flow path, 51: First valve chamber, 51b : First opening, 51c: Top, 52: Second valve chamber, 52b: Second opening, 52c: Top, 53: First valve body, 53a: Blocking surface, 54: Second valve body, 54a: Blocking surface

Claims (5)

第一入口ポートを有する第一流路と、第二入口ポートを有する第二流路と、出口ポートを有し前記第一流路と前記第二流路とのいずれか一方と繋がった状態となる第三流路と、を備えているバルブであって、
前記第一流路を閉塞することにより前記第二流路と前記第三流路とが繋がった状態とする第一弁体と、
前記第二流路を閉塞することにより前記第一流路と前記第三流路とが繋がった状態とする第二弁体と、を備え、
前記第一弁体は、前記第一流路を閉塞した状態で、前記第二流路から前記第三流路へと液体が流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ね、
前記第二弁体は、前記第二流路を閉塞した状態で、前記第一流路から前記第三流路へと液体が流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ねていることを特徴とするバルブ。
A first flow path having a first inlet port, a second flow path having a second inlet port, a second flow path having an outlet port and being connected to one of the first flow path and the second flow path. A valve having three flow paths,
A first valve body in which the second flow path and the third flow path are connected by closing the first flow path;
A second valve body in which the first channel and the third channel are connected by closing the second channel;
The first valve body also serves as a part of an inner wall of a valve internal flow path in which liquid flows from the second flow path to the third flow path in a state where the first flow path is closed,
The second valve body also serves as a part of an inner wall of a valve internal flow path through which liquid flows from the first flow path to the third flow path in a state where the second flow path is closed. Valve to do.
前記第二流路から前記第三流路へと液体が流れる前記バルブ内流路に、前記第一流路へ繋がるための第一開口が形成されていて、前記第一弁体は、当該バルブ内流路の内壁の一部となって前記第一開口を塞ぐことで前記第一流路を閉塞し、
前記第一流路から前記第三流路へと液体が流れるバルブ内流路に、前記第二流路へ繋がるための第二開口が形成されていて、前記第二弁体は、当該バルブ内流路の内壁の一部となって前記第二開口を塞ぐことで前記第二流路を閉塞する請求項1に記載のバルブ。
A first opening for connection to the first flow path is formed in the flow path in the valve through which liquid flows from the second flow path to the third flow path, and the first valve body Closing the first flow path by closing the first opening as part of the inner wall of the flow path,
A second opening for connecting to the second flow path is formed in the flow path in the valve through which the liquid flows from the first flow path to the third flow path, and the second valve body The valve according to claim 1, wherein the second flow path is closed by becoming a part of an inner wall of the path and closing the second opening.
前記第一流路を閉塞した状態とする前記第一弁体の閉塞面と、前記第二流路を閉塞した状態とする前記第二弁体の閉塞面とが対向するように、当該第一弁体及び当該第二弁体は配置され、
閉塞した状態にある前記閉塞面それぞれは、前記第三流路の内周面の一部のほぼ延長上に位置する請求項1又は2に記載のバルブ。
The first valve so that the closing surface of the first valve body that closes the first flow path faces the closing surface of the second valve body that closes the second flow path. The body and the second valve body are arranged,
3. The valve according to claim 1, wherein each of the closed surfaces in a closed state is positioned on a substantially extension of a part of an inner peripheral surface of the third flow path.
前記第一流路に、前記第一弁体を収納している第一弁室が形成され、
前記第二流路に、前記第二弁体を収納している第二弁室が形成され、
前記第一入口ポートから前記第一弁室へと繋がる流路は、当該第一弁室の頂上側に偏った位置で開口し、
前記第二入口ポートから前記第二弁室へと繋がる流路は、当該第二弁室の頂上側に偏った位置で開口している請求項1〜3のいずれか一項に記載のバルブ。
A first valve chamber that houses the first valve body is formed in the first flow path,
A second valve chamber that houses the second valve body is formed in the second flow path,
The flow path leading from the first inlet port to the first valve chamber opens at a position biased to the top side of the first valve chamber,
The valve according to any one of claims 1 to 3, wherein a flow path connected from the second inlet port to the second valve chamber is opened at a position biased toward the top side of the second valve chamber.
塗布液を吐出する口金と、
異なる種類の前記塗布液それぞれを前記口金側に送るために当該塗布液の種類毎に設けられた複数のポンプと、
前記複数のポンプと前記口金との間に設けられ、当該ポンプそれぞれと流路を介して繋がっている入口ポートを複数有し、当該複数の入口ポートが択一的に出口ポートと繋がった状態に切り換え可能なバルブと、
前記出口ポートから前記口金へと前記塗布液を流す口金用流路と、
を備え、
前記バルブが、請求項1〜4のいずれか一項に記載のバルブであることを特徴とする塗布装置。
A base for discharging the coating liquid;
A plurality of pumps provided for each type of the coating liquid in order to send each of the different types of the coating liquid to the base side;
A plurality of inlet ports provided between the plurality of pumps and the base and connected to each of the pumps through a flow path, wherein the plurality of inlet ports are alternatively connected to an outlet port. A switchable valve;
A die channel for flowing the coating liquid from the outlet port to the die;
With
The said valve | bulb is a valve | bulb as described in any one of Claims 1-4, The coating device characterized by the above-mentioned.
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