JP2011076719A

JP2011076719A - 放電電極

Info

Publication number: JP2011076719A
Application number: JP2009223575A
Authority: JP
Inventors: Tomohisa Sasaki; 友寿佐々木; Yosuke Fukagawa; 洋介深川
Original assignee: Azbil Corp
Current assignee: Azbil Corp
Priority date: 2009-09-29
Filing date: 2009-09-29
Publication date: 2011-04-14

Abstract

【課題】コロナ放電による耐消耗性が高く、長期間安定してコロナ放電を発生させることができ、かつ、安価な放電電極を提供する。
【解決手段】本発明の第１の実施態様に係る放電電極は、棒状の基材と、この棒状の基材の長辺端部に離散的に設けられる針状の放電部とを有し、前記針状の放電部は、ニッケル、インコネル６００又はモネルメタルで形成され、
前記棒状の基材は、前記針状の放電部を形成する材料とは異なる金属で形成される。
【選択図】図１

Description

本発明は、イオン生成装置や電気集塵機などで使用される放電電極に関する。

従来、放電電極に高電圧を印加して、この放電電極に発生するコロナ放電により、空気をイオン化して気体イオンを生成するイオン生成装置が知られている。
この種のイオン生成装置は、生成した気体イオンによって帯電体の電荷を中和することが可能であることから、一般に、帯電体の静電気を除去する除電装置として使用される。
また、周知のように、電子産業、医薬、食品等の製造工場では、クリーンルームと称される清浄室に前記イオン生成装置が設置されている。
このようなクリーンルームでは、例えば、半導体集積回路の製造などが行われるため、半導体素子への塵埃の付着を防止して、空気清浄用の高精度エアフィルターなどにより室内に浮遊する塵埃を十分に取り除き、高い清浄度が維持される。
しかし、このような塵埃はその粒径が微細であるに従い、静電気力に依存して半導体素子に付着するおそれがある。
そのため、前記イオン生成装置により、浮遊塵埃を帯電させ、高電圧を印加した集塵極板間に発生したクーロン力により、浮遊塵埃を集塵して半導体素子への塵埃の付着を防止している。

ところで、この種のイオン生成装置は棒状の基材の長辺端部に離散的に設けられた針状の放電部を有する放電電極を搭載し、この放電電極に高電圧を印加すると針状の放電部から発生するコロナ放電により空気中に気体イオンを発生させる。
しかしながら、放電電極はコロナ放電を発生させる度に、針状の放電部が放電により損耗して針状の放電部の先端部が次第に丸くなっていき、コロナ放電が活発に行われなくなる。
また、損耗した針状の放電部から微粒子の粉塵が飛散する。

そこで、長期間安定してコロナ放電を発生させることができ、かつ、コロナ放電による損耗が発生し難く、粉塵がほとんど発生することのない放電電極が望まれるが、そのような改善された放電電極の一例が特許文献１に開示されている。
特許文献１に開示されている放電電極は針状の放電電極全体がニッケル、インコネル６００又はモネルメタルからなることを特徴としており、コロナ放電による耐消耗性の高いニッケル、インコネル６００又はモネルメタルを放電電極の材料として用いることにより、従前のステンレス鋼やタングステンなどを用いた放電電極に対して、著しく耐消耗性が改善されている。

特許３０７８８１９号公報

しかしながら、特許文献１に開示されている針状の放電電極は、ニッケル、インコネル６００又はモネルメタルといった、高価な材料を放電電極全体に用いているために、放電電極が非常に高価となり、また、この放電電極を複数本搭載するイオン生成装置も高価となってしまう。

本発明は、このような事情を背景としてなされたものであり、本発明の目的は、コロナ放電による耐消耗性が高く、長期間安定してコロナ放電を発生させることができ、かつ、安価な放電電極を提供することである。

本発明の第１の態様に係る放電電極は、棒状の基材と、この棒状の基材の長辺端部に離散的に設けられる針状の放電部とを有し、高電圧を印加されて前記針状の放電部からコロナ放電を発生する放電電極であって、
針状の放電部は、ニッケル、インコネル６００又はモネルメタルで形成され、棒状の基材は、針状の放電部を形成する材料とは異なる金属で形成されるものである。

本発明によれば、針状の放電部をニッケル、インコネル６００又はモネルメタルで形成されているので、コロナ放電に対する対消耗性を高くして、長期間安定してコロナ放電を発生させることができ、かつ、棒状の基材を針状の電極部を形成する材料とは異なる安価な金属で形成されるので、放電電極全体として安価となる。

第１の実施の形態に係る放電電極の構成を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
なお、以下の説明は、本発明の好適な実施の形態を示すものであって、本発明の範囲が以下の実施の形態に限定されるものではない。

本発明の放電電極はイオン生成装置や電気集塵機などに搭載され、高電圧を印加されることでコロナ放電を発生させるものであり、図１に第１の実施の形態に係る放電電極の平面図が示されている。

図１において、１０は放電電極であり、放電電極１０は棒状の基材１と針状の放電部２とで構成されている。棒状の基材１は形状としては板状でも角柱などの形状でもよく、その長辺端部に後述する針状の放電部２を長手方向に離散的に設けている。
放電電極１０が図示しないイオン生成装置や電気集塵機の内部に取り付けられる際に、棒状の基材１はイオン生成装置や電気集塵機の内部の所定位置に固定される。
その後、高電圧が印加されると、その高電圧を針状の放電部２に導く。
ただし、棒状の基材１自体からは直接コロナ放電が発生することはほとんどないので、棒状の基材１を形成する材料は、導電性と剛体性を有する金属であれば良く、後述する針状の放電部２に用いられる高価な材料と異なる安価な材料で形成することができ、例えばステンレス鋼を用いるのが好適である。

一方、針状の放電部２は棒状の基材１とは別部材として、ニッケル、インコネル６００又はモネルメタルといったコロナ放電に対する耐消耗性の高い金属を用いて、針状もしくは鋭角を有する三角形状に形成され、その尖った先端が外側に向くように棒状の基材１の長辺端部上に溶接などにより接合される。
そして、放電電極１０に高電圧が印加されると、針状の放電部２の尖った先端からコロナ放電が発生し、付近の空気をイオン化して気体イオンを生成する。

なお、棒状の基材１に設ける針状の放電部２の個数や隣接する針状の放電部２の間隔などは必要に応じて、自由に決めることが可能である。

本発明によれば、コロナ放電を発生し、コロナ放電による損耗が懸念される針状の放電部２を、高価ではあるが耐消耗性の高いニッケル、インコネル６００又はモネルメタルで形成することにより、放電電極が安定してコロナ放電を発生する期間を長くし、損耗した針状の放電部から微粒子の粉塵量も著しく少なくできる。
それと同時に、コロナ放電の発生に直接関与しない棒状の基材１を針状の電極部２を形成する材料とは異なる安価な金属で形成することで、放電電極全体として安価とすることが可能である。

本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
上述した例では、本発明の放電電極がイオン生成装置や電気集塵機に使用されることは述べたが、コロナ放電を発生する機器であれば同様に本発明の放電電極が使用できることは言うまでもない。

１基材
２放電部
１０放電電極

Claims

棒状の基材と、この棒状の基材の長辺端部に離散的に設けられる針状の放電部とを有し、高電圧を印加されて前記針状の放電部からコロナ放電を発生する放電電極であって、
前記針状の放電部は、ニッケル、インコネル６００又はモネルメタルで形成され、
前記棒状の基材は、前記針状の放電部を形成する材料とは異なる金属で形成されることを特徴とする放電電極。