JP2011074201A - Reflection type die bonding material for optical semiconductor device and optical semiconductor device - Google Patents

Reflection type die bonding material for optical semiconductor device and optical semiconductor device Download PDF

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良隆 国広
Takashi Watanabe
貴志 渡邉
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満 谷川
Ryosuke Yamazaki
亮介 山▲崎▼
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reflection type die bonding material for an optical semiconductor device which can strongly join an optical semiconductor device, can efficiently reflect light from the optical semiconductor device, can increase the utilization efficiency of light, and is excellent in heat resistance of a cured product. <P>SOLUTION: The reflection type die bonding material for an optical semiconductor device includes a silicone resin having a cyclic ether-containing group in the molecule, titanium oxide having a rutile-type crystal structure, and a thermosetting agent capable of reacting with the cyclic ether-containing group. There is also provided an optical semiconductor device to which an optical semiconductor device is joined using the reflection type die bonding material for a semiconductor device. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば発光ダイオード(LED)素子のような光半導体素子をダイボンディングするのに用いられる光半導体装置用反射型ダイボンド材及び該光半導体装置用反射型ダイボンド材によりダイボンディングが行われている光半導体装置に関する。   The present invention includes a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device used for die-bonding an optical semiconductor element such as a light-emitting diode (LED) element, and die-bonding using the reflective die-bonding material for an optical semiconductor device. The present invention relates to an optical semiconductor device.

従来、発光ダイオード(LED)素子のような光半導体素子が、表示装置の光源等に広く用いられている。下記の特許文献1には、LED素子が基板上に実装された光半導体装置が開示されている。特許文献1では、LED素子は基板の上面にダイボンド材を用いて接合されている。ダイボンド材は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂に水素添加して得られた脂環式エポキシ樹脂からなる熱硬化性樹脂を主体とし、加熱により硬化され、LED素子を基板の上面に接合している。   Conventionally, an optical semiconductor element such as a light emitting diode (LED) element has been widely used as a light source of a display device. Patent Document 1 below discloses an optical semiconductor device in which an LED element is mounted on a substrate. In Patent Document 1, the LED element is bonded to the upper surface of the substrate using a die bond material. The die bond material mainly includes a thermosetting resin made of an alicyclic epoxy resin obtained by hydrogenating a bisphenol A type epoxy resin, is cured by heating, and bonds the LED element to the upper surface of the substrate.

特開2004−256603号公報JP 2004-256603 A

ところで、上記ダイボンド材は、LED素子の下面だけでなく、LED素子の周囲の領域に及んでいることもある。他方、LED素子から生じた光の中には、基板側に進む光も存在する。従って、LED素子の周囲に及んでいるダイボンド材に到達した光を反射することができれば、該反射光をも利用することができる。従って、LED素子から生じた光の利用効率を高めることができる。   By the way, the die-bonding material may extend not only to the lower surface of the LED element but also to the area around the LED element. On the other hand, light traveling from the LED element also proceeds to the substrate side. Accordingly, if the light reaching the die bonding material extending around the LED element can be reflected, the reflected light can also be used. Therefore, the utilization efficiency of the light generated from the LED element can be increased.

しかしながら、特許文献1に記載のダイボンド材は、LED素子から生じた光が到達したとしても、該光を効率よく反射するものではなかった。従って、光の利用効率を高めることが困難であった。   However, the die-bonding material described in Patent Document 1 does not efficiently reflect the light even if the light generated from the LED element arrives. Therefore, it has been difficult to increase the light utilization efficiency.

加えて、半田リフロー時の温度のような200℃以上の高温の環境にさらされると、黄変を生じたり、基板やリード電極との接着力が低下したりすることがあった。   In addition, when exposed to a high temperature environment of 200 ° C. or higher, such as the temperature during solder reflow, yellowing may occur or the adhesive strength with the substrate or lead electrode may be reduced.

本発明の目的は、光半導体素子からの光を反射させることができ、光半導体素子において生じた光の利用効率を高めることができ、かつ光半導体素子を基板等に強固に接合することができ、さらに耐熱性に優れた硬化物を与える光半導体装置用反射型ダイボンド材及び該光半導体装置用反射型ダイボンド材を用いて光半導体素子が接合されている光半導体装置を提供することにある。   An object of the present invention is to reflect light from an optical semiconductor element, to improve the utilization efficiency of light generated in the optical semiconductor element, and to firmly bond the optical semiconductor element to a substrate or the like. Another object of the present invention is to provide a reflective die-bonding material for optical semiconductor devices that gives a cured product with further excellent heat resistance, and an optical semiconductor device to which an optical semiconductor element is bonded using the reflective die-bonding material for optical semiconductor devices.

本発明に係る光半導体装置用反射型ダイボンド材は、分子内に環状エーテル含有基を有するシリコーン樹脂と、結晶構造がルチル型の酸化チタンと、環状エーテル含有基と反応可能な熱硬化剤とを含む。   A reflective die-bonding material for an optical semiconductor device according to the present invention comprises a silicone resin having a cyclic ether-containing group in the molecule, a rutile-type titanium oxide crystal structure, and a thermosetting agent capable of reacting with the cyclic ether-containing group. Including.

本発明に係る光半導体装置用反射型ダイボンド材では、好ましくは、前記酸化チタンが、該酸化チタン5gを純粋100mlに加えた液を加熱し、5分間沸騰させた後、23℃に達するまで静置し、沸騰処理液を得、得られた沸騰処理液に、沸騰により蒸発した水量の水を加えて水量を100mlとしたときの液のpHが6.2以上、11以下の値を示す酸化チタンである。この場合には、光半導体装置用反射型ダイボンド材の黄変等が生じがたく、かつ基板に対する接着性をより一層高めることができる。   In the reflective die-bonding material for an optical semiconductor device according to the present invention, preferably, the titanium oxide is heated until a solution obtained by adding 5 g of the titanium oxide to 100 ml of pure water is boiled for 5 minutes, and then statically maintained until reaching 23 ° C. To obtain a boiling treatment liquid, and to the resulting boiling treatment liquid, an amount of water evaporated by boiling is added to make the water volume 100 ml, and the pH of the liquid is 6.2 or more and 11 or less. Titanium. In this case, yellowing or the like of the reflective die bond material for optical semiconductor devices hardly occurs, and adhesion to the substrate can be further enhanced.

本発明に係る光半導体装置用反射型ダイボンド材の他の特定の局面では、前記酸化チタンが、塩基性金属酸化物及び塩基性金属水酸化物のうち少なくとも1種により被覆されている。この場合には、酸化チタンの表面が塩基性であるため、高温下による着色劣化等をより一層抑制することができる。   In another specific aspect of the reflective die-bonding material for an optical semiconductor device according to the present invention, the titanium oxide is coated with at least one of a basic metal oxide and a basic metal hydroxide. In this case, since the surface of the titanium oxide is basic, it is possible to further suppress coloring deterioration due to high temperature.

好ましくは、前記塩基性金属酸化物及び塩基性金属水酸化物を構成している金属元素が、マグネシウム、ジルコニウム、セリウム、ストロンチウム、アンチモン、バリウム及びカルシウムからなる群から選択された少なくとも一種である。この場合には、高温にさらされた際の着色による劣化をより一層抑制することができ、基板等に対する密着性をより一層高めることができる。   Preferably, the metal element constituting the basic metal oxide and the basic metal hydroxide is at least one selected from the group consisting of magnesium, zirconium, cerium, strontium, antimony, barium and calcium. In this case, deterioration due to coloring when exposed to a high temperature can be further suppressed, and adhesion to a substrate or the like can be further enhanced.

より好ましくは、前記酸化チタンが、酸化ジルコニウム及び酸化珪素のうち少なくとも一方を含む被覆材料により被覆されている。この場合には、高温にさらされた際の着色による劣化をより一層抑制することができ、基板等に対する密着性をより一層高めることができる。   More preferably, the titanium oxide is coated with a coating material containing at least one of zirconium oxide and silicon oxide. In this case, deterioration due to coloring when exposed to a high temperature can be further suppressed, and adhesion to a substrate or the like can be further enhanced.

本発明における光半導体装置用反射型ダイボンド材の別の特定の局面では、分子内に環状エーテル含有基を有するシリコーン樹脂は、平均組成式が下記一般式(1)で表される樹脂成分を含有し、かつ前記環状エーテル含有基の含有量が0.1モル%〜50モル%の範囲にある。   In another specific aspect of the reflective die-bonding material for optical semiconductor devices in the present invention, the silicone resin having a cyclic ether-containing group in the molecule contains a resin component whose average composition formula is represented by the following general formula (1). And content of the said cyclic ether containing group exists in the range of 0.1 mol%-50 mol%.

Figure 2011074201
Figure 2011074201

一般式(1)中、a、b、及びcは、それぞれa/(a+b+c)=0〜0.3、b/(a+b+c)=0.3〜1.0、c/(a+b+c)=0〜0.5を満たし、R〜Rは、少なくとも1個が環状エーテル含有基を表し、前記環状エーテル含有基以外のR〜Rは、直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜8の炭化水素或いはそのフッ素化物を表し、これらは、互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the general formula (1), a, b, and c are a / (a + b + c) = 0 to 0.3, b / (a + b + c) = 0.3 to 1.0, c / (a + b + c) = 0 to 0, respectively. 0.5, at least one of R 1 to R 6 represents a cyclic ether-containing group, and R 1 to R 6 other than the cyclic ether-containing group have a linear or branched carbon number of 1 to 8 Or a fluorinated product thereof may be the same as or different from each other.

分子内に環状エーテル含有基を有するシリコーン樹脂が、上記特定のシリコーン樹脂である場合は、製造に際しての光半導体装置用反射型ダイボンド材の塗布時の粘度を低めることができ、塗布が容易であり、かつ硬化後には、光半導体素子を基板に強固に密着させることができるとともに、硬化物の耐熱性をより一層高めることができる。   When the silicone resin having a cyclic ether-containing group in the molecule is the above-mentioned specific silicone resin, the viscosity at the time of application of the reflective die-bonding material for optical semiconductor devices during production can be lowered, and application is easy. And after hardening, while being able to adhere | attach an optical semiconductor element firmly to a board | substrate, the heat resistance of hardened | cured material can be improved further.

本発明に係る光半導体装置は、光半導体素子と、基板又はリード電極と、前記光半導体素子を前記基板又はリード電極に接合している本発明に係る光半導体装置用反射型ダイボンド材とを備える。   An optical semiconductor device according to the present invention includes an optical semiconductor element, a substrate or a lead electrode, and a reflective die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention in which the optical semiconductor element is bonded to the substrate or the lead electrode. .

本発明に係る光半導体装置用反射型ダイボンド材によれば、分子内に環状エーテル含有基を有するシリコーン樹脂と、結晶構造がルチル型の酸化チタンと、環状エーテル含有基と反応可能な熱硬化剤とを含むため、硬化物が白色を呈し、LED素子のような光半導体素子からの光が到達した場合に該光を高い効率で反射させる。従って、光半導体素子の光の利用効率を高めることができる。加えて、基板等に光半導体素子を強固に接合することができるとともに、硬化物が耐熱性に優れているため、例えば半田リフロー時等のような高温下にさらされたとしても、着色による劣化が生じがたくかつ基板等に対する密着性の低下も生じがたい。   According to the reflective die-bonding material for an optical semiconductor device according to the present invention, a silicone resin having a cyclic ether-containing group in the molecule, a rutile-type titanium oxide crystal structure, and a thermosetting agent capable of reacting with the cyclic ether-containing group. Therefore, when the light from an optical semiconductor element such as an LED element arrives, the cured product is white and reflects the light with high efficiency. Therefore, the light use efficiency of the optical semiconductor element can be increased. In addition, the optical semiconductor element can be firmly bonded to a substrate or the like, and the cured product has excellent heat resistance, so that even when exposed to high temperatures such as during solder reflow, deterioration due to coloring Is less likely to occur and the adhesion to the substrate or the like is less likely to deteriorate.

本発明の一実施形態に係る光半導体装置を示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows the optical semiconductor device which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

〔分子内に環状エーテル含有基を有するシリコーン樹脂〕
本発明で用いられる上記分子内に環状エーテル含有基を有するシリコーン樹脂としては、環状エーテル含有基を有する限り特に限定されない。上記環状エーテル含有基としては、例えば、グリシジル含有基、エポキシシクロヘキシル含有基、オキセタン含有基などが挙げられる。
[Silicone resin having a cyclic ether-containing group in the molecule]
The silicone resin having a cyclic ether-containing group in the molecule used in the present invention is not particularly limited as long as it has a cyclic ether-containing group. Examples of the cyclic ether-containing group include a glycidyl-containing group, an epoxycyclohexyl-containing group, and an oxetane-containing group.

上記平均組成式が上記一般式(1)で表される樹脂とは、本発明の光半導体装置用ダイボンド材が上記式(1)で表される樹脂成分のみを含有する樹脂だけでなく、種々の構造の樹脂成分を含有する混合物であり、含有する樹脂成分の組成の平均をとると上記式(1)で表される樹脂も含まれる。   The resin whose average composition formula is represented by the general formula (1) is not only a resin in which the die bond material for an optical semiconductor device of the present invention contains only the resin component represented by the formula (1), but also various And a resin represented by the above formula (1) when the average of the composition of the resin component contained is taken.

下記の一般式(1)で表される樹脂中に(a)より求められるフェニル基含有比率が15モル%〜60モル%であることが好ましい。   It is preferable that the phenyl group content ratio calculated | required from (a) in resin represented by following General formula (1) is 15 mol%-60 mol%.

上記一般式(1)のシリコーン樹脂中に含まれる、R〜Rの少なくとも1個は、フェニル基であり、かつ、フェニル基の比率が15〜60モル%である。フェニル基の比率が15モル%に満たないと、接着強度が不充分なことがあり、60モル%を超えると剥離が発生しやすくなる。より好ましい下限は20モル%であり、より好ましい上限は55モル%である。 At least one of R 1 to R 6 contained in the silicone resin represented by the general formula (1) is a phenyl group, and the ratio of the phenyl group is 15 to 60 mol%. If the ratio of the phenyl group is less than 15 mol%, the adhesive strength may be insufficient, and if it exceeds 60 mol%, peeling tends to occur. A more preferred lower limit is 20 mol%, and a more preferred upper limit is 55 mol%.

なお、本明細書において、上記フェニル基の比率とは、上記シリコーン樹脂成分の平均組成物中に含まれる上記フェニル基の比率である。具体的には、下記式(a)を用いて求められた比率である。   In addition, in this specification, the ratio of the said phenyl group is a ratio of the said phenyl group contained in the average composition of the said silicone resin component. Specifically, the ratio is obtained using the following formula (a).

フェニル基含有比率(モル%)=(平均組成が一般式(1)で表される樹脂の1分子あたりに含まれるフェニル基の平均個数×フェニル基の分子量/平均組成が一般式(1)で表される樹脂成分の平均分子量)×100 ・・・式(a)
上記一般式(1)中、R〜Rの少なくとも1個は、環状エーテル含有基を表す。
Phenyl group content ratio (mol%) = (average number of phenyl groups contained in one molecule of resin represented by general formula (1) × molecular weight of phenyl group / average composition is represented by general formula (1) Average molecular weight of represented resin component) × 100 Formula (a)
In the general formula (1), at least one of R 1 to R 6 represents a cyclic ether-containing group.

上記環状エーテル含有基としては特に限定されず、例えば、グリシジル含有基、エポキシシクロヘキシル含有基、またはオキセタン含有基等の環状エーテル基が挙げられる。なかでも、グリシジル含有基及び/又はエポキシシクロヘキシル含有基が好適である。   It does not specifically limit as said cyclic ether containing group, For example, cyclic ether groups, such as a glycidyl containing group, an epoxy cyclohexyl containing group, or an oxetane containing group, are mentioned. Of these, a glycidyl-containing group and / or an epoxycyclohexyl-containing group is preferable.

なお、本明細書において環状エーテル含有基とは、少なくとも骨格の一部に環状エーテル基を含む官能基である。上記環状エーテル含有基は、例えば、環状エーテル基を骨格に含み、アルキル基やアルキルエーテル基等の他の骨格も含む官能基であってもよい。   In the present specification, the cyclic ether-containing group is a functional group containing a cyclic ether group in at least a part of the skeleton. The cyclic ether-containing group may be, for example, a functional group that includes a cyclic ether group in the skeleton and also includes another skeleton such as an alkyl group or an alkyl ether group.

上記グリシジル含有基としては特に限定されず、例えば、2,3−エポキシプロピル基、3,4−エポキシブチル基、4,5−エポキシペンチル基、2−グリシドキシエチル基、3−グリシドキシプロピル基または4−グリシドキシブチル基等が挙げられる。   The glycidyl-containing group is not particularly limited. For example, 2,3-epoxypropyl group, 3,4-epoxybutyl group, 4,5-epoxypentyl group, 2-glycidoxyethyl group, 3-glycidoxy Examples thereof include a propyl group and a 4-glycidoxybutyl group.

上記エポキシシクロヘキシル含有基としては特に限定されず、例えば、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基、または3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピル基等が挙げられる。   The epoxycyclohexyl-containing group is not particularly limited, and examples thereof include 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl group, 3- (3,4-epoxycyclohexyl) propyl group, and the like.

上記シリコーン樹脂においては、上記環状エーテル含有基の含有比率の好ましい下限は0.1モル%、好ましい上限は50モル%である。上記環状エーテル含有基の含有比率が0.1モル%未満であると、上記シリコーン樹脂と後述する熱硬化剤との反応性が著しく低下し、本発明の光半導体装置用ダイボンド材の硬化性が不充分となることがある。上記環状エーテル含有基の含有比率が50モル%を超えると、上記シリコーン樹脂と熱硬化剤との反応に関与しない環状エーテル含有基が増え、本発明の光半導体装置用ダイボンド材の耐熱性が低下することがある。上記環状エーテル含有基の含有比率のより好ましい下限は1モル%、より好ましい上限は40モル%であり、更に好ましい下限は5モル%、更に好ましい上限は30モル%である。   In the said silicone resin, the minimum with the preferable content rate of the said cyclic ether containing group is 0.1 mol%, and a preferable upper limit is 50 mol%. When the content ratio of the cyclic ether-containing group is less than 0.1 mol%, the reactivity between the silicone resin and the thermosetting agent described later is remarkably lowered, and the curability of the die bond material for an optical semiconductor device of the present invention is reduced. It may be insufficient. When the content ratio of the cyclic ether-containing group exceeds 50 mol%, the number of cyclic ether-containing groups not involved in the reaction between the silicone resin and the thermosetting agent increases, and the heat resistance of the die bond material for an optical semiconductor device of the present invention decreases. There are things to do. The more preferable lower limit of the content ratio of the cyclic ether-containing group is 1 mol%, the more preferable upper limit is 40 mol%, the still more preferable lower limit is 5 mol%, and the still more preferable upper limit is 30 mol%.

なお、本明細書において、上記環状エーテル含有基の比率とは、上記シリコーン樹脂成分の平均組成物中に含まれる上記環状エーテル含有基の比率である。具体的には、下記式(b)に基づいて求めた比率である。   In addition, in this specification, the ratio of the said cyclic ether containing group is a ratio of the said cyclic ether containing group contained in the average composition of the said silicone resin component. Specifically, the ratio is obtained based on the following formula (b).

環状エーテル含有基の比率(モル%)=(平均組成が一般式(1)で表される樹脂の1分子あたりに含まれる環状エーテル含有基の平均個数×環状エーテル含有基の分子量/平均組成が一般式(1)で表される樹脂成分の平均分子量)×100 ・・・式(b)
上記一般式(1)で表されるシリコーン樹脂において、上記環状エーテル含有基以外のR〜Rは、直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜8の炭化水素基或いはそのフッ素化物を表す。
Ratio of cyclic ether-containing groups (mol%) = (average number of cyclic ether-containing groups contained in one molecule of resin whose average composition is represented by general formula (1) × molecular weight of cyclic ether-containing groups / average composition Average molecular weight of resin component represented by general formula (1)) × 100 Formula (b)
In the silicone resin represented by the general formula (1), R 1 to R 6 other than the cyclic ether-containing group represent a linear or branched hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms or a fluorinated product thereof. .

上記直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜8の炭化水素としては特に限定されず、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、t−ペンチル基、イソへキシル基、シクロヘキシル基、またはフェニル基が挙げられる。   The linear or branched hydrocarbon having 1 to 8 carbon atoms is not particularly limited, and examples thereof include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, an n-pentyl group, and an n-hexyl group. N-heptyl group, n-octyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, neopentyl group, t-pentyl group, isohexyl group, cyclohexyl group, or phenyl group Can be mentioned.

上記一般式(1)で表されるシリコーン樹脂において、(RSiO2/2)で表される構造単位(以下、二官能構造単位ともいう)は、下記一般式(1−2)で表される構造、すなわち、二官能構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシル基又はアルコキシ基を構成する構造を含む。 In the silicone resin represented by the general formula (1), the structural unit represented by (R 4 R 5 SiO 2/2 ) (hereinafter also referred to as a bifunctional structural unit) has the following general formula (1-2): That is, a structure in which one of oxygen atoms bonded to a silicon atom in the bifunctional structural unit constitutes a hydroxyl group or an alkoxy group.

Figure 2011074201
Figure 2011074201

上記一般式(1−2)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。   In the general formula (1-2), X represents OH or OR, and OR represents a linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.

また、上記一般式(1)で表されるシリコーン樹脂において、(RSiO3/2)で表される構造単位(以下、三官能構造単位ともいう)は、下記一般式(1−3)又は(1−4)で表される構造、すなわち、三官能構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の2つがそれぞれヒドロキシル基若しくはアルコキシ基を構成する構造、又は、三官能構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシル基若しくはアルコキシ基を構成する構造を含む。 In the silicone resin represented by the general formula (1), the structural unit represented by (R 6 SiO 3/2 ) (hereinafter also referred to as trifunctional structural unit) is represented by the following general formula (1-3) Or a structure represented by (1-4), that is, a structure in which two oxygen atoms bonded to a silicon atom in a trifunctional structural unit each constitute a hydroxyl group or an alkoxy group, or silicon in a trifunctional structural unit It includes a structure in which one of oxygen atoms bonded to an atom constitutes a hydroxyl group or an alkoxy group.

Figure 2011074201
Figure 2011074201

上記一般式(1−3)及び(1−4)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。   In the general formulas (1-3) and (1-4), X represents OH or OR, and OR represents a linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.

上記一般式(1−2)〜(1−4)において、直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基としては特に限定されず、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、イソプロポキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基またはt−ブトキシ基が挙げられる。   In the general formulas (1-2) to (1-4), the linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is not particularly limited, and examples thereof include a methoxy group, an ethoxy group, and an n-propoxy group. , N-butoxy group, isopropoxy group, isobutoxy group, sec-butoxy group or t-butoxy group.

また、上記一般式(1)中、aは、a/(a+b+c)の下限が0、上限が0.3の関係を満たす数値である。a/(a+b+c)が0.3を超えると、本発明の光半導体装置用ダイボンド材の耐熱性が悪くなったり、剥離が発生しやすくなることがある。より好ましい上限は0.25であり、さらに好ましくは0.2である。   In the general formula (1), a is a numerical value that satisfies the relationship that the lower limit of a / (a + b + c) is 0 and the upper limit is 0.3. When a / (a + b + c) exceeds 0.3, the heat resistance of the die bond material for optical semiconductor devices of the present invention may be deteriorated or peeling may easily occur. A more preferred upper limit is 0.25, and even more preferred is 0.2.

また、上記一般式(1)中、bは、b/(a+b+c)の下限が0.3、上限が1.0の関係を満たす数値である。b/(a+b+c)が0.3未満であると、本発明の光半導体装置用ダイボンド材の硬化物が硬くなりすぎ、クラックが発生することがある。より好ましい下限は0.4であり、より好ましい上限は0.95であり、さらに好ましい下限は0.5であり、さらに好ましい上限は0.9である。   In the general formula (1), b is a numerical value that satisfies the relationship that the lower limit of b / (a + b + c) is 0.3 and the upper limit is 1.0. When b / (a + b + c) is less than 0.3, the cured product of the die bond material for an optical semiconductor device of the present invention becomes too hard, and cracks may occur. A more preferred lower limit is 0.4, a more preferred upper limit is 0.95, a still more preferred lower limit is 0.5, and a further preferred upper limit is 0.9.

また、上記一般式(1)中、cは、c/(a+b+c)の下限が0、上限が0.5の関係を満たす数値である。0.5を超えると、本発明の光半導体装置用ダイボンド材としての適正な粘度を維持するのが困難になったり、密着性が低下する場合がある。より好ましい下限は0.05、より好ましい上限は0.4であり、さらに好ましい下限は0.1、さらに好ましい上限は0.35である。   In the above general formula (1), c is a numerical value that satisfies the relationship that the lower limit of c / (a + b + c) is 0 and the upper limit is 0.5. If it exceeds 0.5, it may be difficult to maintain an appropriate viscosity as the die bond material for an optical semiconductor device of the present invention, or the adhesion may be lowered. A more preferred lower limit is 0.05, a more preferred upper limit is 0.4, a still more preferred lower limit is 0.1, and a still more preferred upper limit is 0.35.

上記一般式(1)で表されるシリコーン樹脂について、テトラメチルシラン(以下、TMS)を基準に29Si−核磁気共鳴分析(以下、NMR)を行うと、置換基の種類によって若干の変動は見られるものの、上記一般式(1)の(RSiO1/2で表される構造単位に相当するピークは+10〜0ppm付近に現れ、上記一般式(1)の(RSiO2/2及び(1−2)の二官能構造単位に相当する各ピークは−10〜−50ppm付近に現れ、上記一般式(1)の(RSiO3/2、(1−3)及び(1−4)の三官能構造単位に相当する各ピークは−50〜−80ppm付近に現れる。 When the 29 Si-nuclear magnetic resonance analysis (hereinafter referred to as NMR) is performed on the silicone resin represented by the general formula (1) based on tetramethylsilane (hereinafter referred to as TMS), there is a slight variation depending on the type of substituent. Although seen, a peak corresponding to the structural unit represented by (R 1 R 2 R 3 SiO 1/2 ) a in the general formula (1) appears in the vicinity of +10 to 0 ppm, and ( R 4 R 5 SiO 2/2 ) Each peak corresponding to the bifunctional structural unit of ( b ) and (1-2) appears in the vicinity of −10 to −50 ppm, and (R 6 SiO 3/2 of the above general formula (1)). C ) Each peak corresponding to the trifunctional structural units of (1-3) and (1-4) appears in the vicinity of −50 to −80 ppm.

従って、29Si−NMRを測定し、それぞれのシグナルのピーク面積を比較することによって一般式(1)の比率を測定することが可能である。 Therefore, it is possible to measure the ratio of the general formula (1) by measuring 29 Si-NMR and comparing the peak areas of the respective signals.

但し、上記TMSを基準にした29Si−NMR測定で上記一般式(1)の官能構造単位の見分けがつかない場合は、29Si−NMR測定結果だけではなく、H−NMRや19F−NMRで測定した結果を必要に応じて用いることにより構造単位の比率を見分けることができる。 However, in the case where the functional structural unit of the general formula (1) cannot be distinguished by 29 Si-NMR measurement based on the TMS, not only the 29 Si-NMR measurement result but also 1 H-NMR or 19 F- The ratio of structural units can be identified by using the results measured by NMR as necessary.

上記シリコーン樹脂は、アルコキシ基を0.5〜10モル%含有することが好ましい。このようなアルコキシ基が含有されていると、耐熱性や耐光性が飛躍的に向上する。これはシリコーン樹脂中にアルコキシ基が含有されていることにより、硬化速度を飛躍的に向上させることができるため、硬化時での熱劣化が防止できているためと考えられる。   It is preferable that the said silicone resin contains 0.5-10 mol% of alkoxy groups. When such an alkoxy group is contained, heat resistance and light resistance are drastically improved. This is thought to be due to the fact that the silicone resin contains an alkoxy group, so that the curing rate can be drastically improved, so that thermal degradation during curing can be prevented.

また、このように硬化速度が飛躍的に高められることにより、硬化促進剤を添加する場合には比較的少ない添加量でも充分な硬化性が得られるようになる。   In addition, since the curing speed is dramatically increased in this way, when a curing accelerator is added, sufficient curability can be obtained even with a relatively small addition amount.

アルコキシ基の含有量が0.5モル%未満であると、硬化速度が充分に得られず耐熱性が悪くなることがあり、10モル%を超えると、シリコーン樹脂や組成物の貯蔵安定性が悪くなったり、耐熱性が悪くなることがある。アルコキシ基の含有量のより好ましい下限は1モル%であり、より好ましい上限は5モル%である。   When the content of the alkoxy group is less than 0.5 mol%, a sufficient curing rate cannot be obtained and the heat resistance may be deteriorated. When the content exceeds 10 mol%, the storage stability of the silicone resin or the composition is increased. It may worsen or heat resistance may deteriorate. The minimum with more preferable content of an alkoxy group is 1 mol%, and a more preferable upper limit is 5 mol%.

なお、本明細書において、上記アルコキシ基の含有量は、上記シリコーン樹脂成分の平均組成物中に含まれる上記アルコキシ基の量を意味する。   In the present specification, the content of the alkoxy group means the amount of the alkoxy group contained in the average composition of the silicone resin component.

上記シリコーン樹脂はシラノール基を含有しないほうが好ましい。シラノール基はポリマーの貯蔵安定性を著しく悪化させるほか、樹脂組成物としたときの貯蔵安定性も著しく悪くなるために好ましくない。このようなシラノール基は、真空化で加熱することで減少させることが可能であり、シラノール基の量は赤外分光法を用いて測定可能である。   The silicone resin preferably does not contain a silanol group. The silanol group is not preferable because the storage stability of the polymer is remarkably deteriorated and the storage stability when the resin composition is obtained is also remarkably deteriorated. Such silanol groups can be reduced by heating in a vacuum, and the amount of silanol groups can be measured using infrared spectroscopy.

本発明の光半導体装置用ダイボンド材において、上記シリコーン樹脂の数平均分子量(Mn)の好ましい下限は1000、好ましい上限は5万である。上記シリコーン樹脂の数平均分子量(Mn)が1000未満であると、熱硬化時に揮発成分が多くなり、硬化後による膜減りが多くなり好ましくない。上記シリコーン樹脂の数平均分子量(Mn)が5万を超えると、粘度調節が困難になるため好ましくない。上記シリコーン樹脂の数平均分子量(Mn)のより好ましい下限は1500、より好ましい上限は15000である。   In the die bond material for an optical semiconductor device of the present invention, the preferable lower limit of the number average molecular weight (Mn) of the silicone resin is 1000, and the preferable upper limit is 50,000. When the number average molecular weight (Mn) of the silicone resin is less than 1000, volatile components increase at the time of thermosetting, and film loss after curing increases, which is not preferable. When the number average molecular weight (Mn) of the silicone resin exceeds 50,000, it is not preferable because it becomes difficult to adjust the viscosity. The minimum with a more preferable number average molecular weight (Mn) of the said silicone resin is 1500, and a more preferable upper limit is 15000.

なお、本明細書において、数平均分子量(Mn)とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)を用いてポリスチレンをスタンダードとして求めた値であり、Waters社製の測定装置(カラムとして昭和電工社製 Shodex GPC LF−804(長さ300mm)を2本用い、測定温度が40℃、流速が1mL/min、溶媒としてテトラヒドロフラン、標準物質としてポリスチレンを用いる)を用いて測定した値を意味する。   In the present specification, the number average molecular weight (Mn) is a value obtained using polystyrene as a standard using gel permeation chromatography (GPC), and is a measuring device manufactured by Waters (manufactured by Showa Denko KK as a column). It means a value measured using two Shodex GPC LF-804 (length: 300 mm), measuring temperature of 40 ° C., flow rate of 1 mL / min, tetrahydrofuran as a solvent, and polystyrene as a standard substance.

上記シリコーン樹脂を合成する方法としては特に限定されず、例えば、(1)SiH基を有するシリコーン樹脂と、環状エーテル含有基を有するビニル化合物のハイドロシリレーション反応により置換基を導入する方法、または(2)シロキサン化合物と環状エーテル含有基を有するシロキサン化合物とを縮合反応させる方法等が挙げられる。   The method for synthesizing the silicone resin is not particularly limited. For example, (1) a method of introducing a substituent by a hydrosilylation reaction between a silicone resin having a SiH group and a vinyl compound having a cyclic ether-containing group, or ( 2) A method in which a siloxane compound and a siloxane compound having a cyclic ether-containing group are subjected to a condensation reaction may be mentioned.

上記方法(1)において、ハイドロシリレーション反応とは、必要に応じて触媒の存在下、SiH基とビニル基とを反応させる方法である。   In the above method (1), the hydrosilylation reaction is a method of reacting a SiH group and a vinyl group in the presence of a catalyst as necessary.

上記SiH基を有するシリコーン樹脂としては、分子内にSiH基を含有し、上記環状エーテル含有基を有するビニル化合物を反応させた後、上述した一般式(1)で表される構造となるようなものを使用すればよい。   The silicone resin having a SiH group has a structure represented by the general formula (1) described above after reacting a vinyl compound having a SiH group in the molecule and the cyclic ether-containing group. You can use something.

上記環状エーテル含有基を有するビニル化合物としては、分子内に1個以上の環状エーテル含有基を有するビニル化合物であれば特に限定されず、例えば、ビニルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレート、グリシジルアクリレートまたはビニルシクロヘキセンオキシドなどのエポキシ基含有化合物が挙げられる。   The vinyl compound having a cyclic ether-containing group is not particularly limited as long as it is a vinyl compound having one or more cyclic ether-containing groups in the molecule. For example, vinyl glycidyl ether, allyl glycidyl ether, glycidyl methacrylate, glycidyl acrylate Alternatively, an epoxy group-containing compound such as vinylcyclohexene oxide can be used.

上記方法(2)において、シロキサン化合物としては、例えば、下記一般式(2)、(3)、(4)のシロキサン単位を持つアルコキシシラン又はその部分加水分解物が挙げられる。   In the said method (2), as a siloxane compound, the alkoxysilane which has a siloxane unit of the following general formula (2), (3), (4), or its partial hydrolyzate is mentioned, for example.

Figure 2011074201
Figure 2011074201

上記一般式(2)〜(4)中、R22〜R27は、直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜8の炭化水素或いはそのフッ素化物を表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。 In the general formula (2) ~ (4), R 22 ~R 27 represents a linear or branched hydrocarbon or a fluorinated compound having 1 to 8 carbon atoms, OR is a linear or branched Represents an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.

上記一般式(2)〜(4)中、R22〜R27が直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜8の炭化水素である場合、具体的には、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、t−ペンチル基、イソへキシル基、シクロヘキシル基またはフェニル基が挙げられる。 In the general formulas (2) to (4), when R 22 to R 27 are linear or branched hydrocarbons having 1 to 8 carbon atoms, specifically, for example, a methyl group, an ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, neopentyl group Group, t-pentyl group, isohexyl group, cyclohexyl group or phenyl group.

また、上記一般式(2)〜(4)中、ORで表される直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基は、具体的には、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、イソプロポキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基またはt−ブトキシ基等が挙げられる。   In the general formulas (2) to (4), the linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms represented by OR is specifically, for example, a methoxy group, an ethoxy group, or n -Propoxy group, n-butoxy group, isopropoxy group, isobutoxy group, sec-butoxy group, t-butoxy group, etc. are mentioned.

上記一般式(2)で表される化合物としては、具体的には例えば、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリフェニルメトキシシランまたはトリフェニルエトキシシランが挙げられる。   Specific examples of the compound represented by the general formula (2) include trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, triphenylmethoxysilane, and triphenylethoxysilane.

上記一般式(3)で表される化合物としては、具体的には例えば、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、イソプロピル(メチル)ジメトキシシラン、シクロヘキシル(メチル)ジメトキシシランまたはメチル(フェニル)ジメトキシシランが挙げられる。   Specific examples of the compound represented by the general formula (3) include dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, isopropyl (methyl) dimethoxysilane, and cyclohexyl (methyl) dimethoxy. Examples include silane or methyl (phenyl) dimethoxysilane.

上記一般式(4)で表される化合物としては、具体的には例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクチルトリメトキシシランまたはフェニルトリメトキシシランが挙げられる。   Specific examples of the compound represented by the general formula (4) include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, octyltrimethoxysilane, and the like. An example is phenyltrimethoxysilane.

上記環状エーテル含有基を有するシロキサン化合物としては、例えば、下記一般式(5)、(6)または(7)で表される環状エーテル含有基を有するアルコキシシラン又はその部分加水分解物が挙げられる。   Examples of the siloxane compound having a cyclic ether-containing group include an alkoxysilane having a cyclic ether-containing group represented by the following general formula (5), (6) or (7) or a partial hydrolyzate thereof.

Figure 2011074201
Figure 2011074201

上記一般式(5)、(6)及び(7)中、R28、R29、R30の少なくとも一つ、R31及び/又はR32、R33は環状エーテル含有基であり、環状エーテル含有基以外のR28、R29、R30、R31、R32は、炭素数1〜8の炭化水素或いはそのフッ素化物を表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。 In the general formulas (5), (6) and (7), at least one of R 28 , R 29 and R 30 , R 31 and / or R 32 and R 33 is a cyclic ether-containing group and contains a cyclic ether R 28 , R 29 , R 30 , R 31 , R 32 other than the group represent a hydrocarbon having 1 to 8 carbon atoms or a fluorinated product thereof, and OR is a linear or branched carbon having 1 to 4 carbon atoms. Represents an alkoxy group.

一般式(5)、(6)及び(7)中、R28、R29、R30の少なくとも一つ、R31及び/又はR32、R33で表される環状エーテル含有基としては特に限定されず、例えば、グリシジル含有基、エポキシシクロヘキシル含有基、オキセタン含有基が挙げられる。なかでも、グリシジル含有基及び/又はエポキシシクロヘキシル含有基が好適である。 In general formulas (5), (6) and (7), the cyclic ether-containing group represented by at least one of R 28 , R 29 and R 30 , R 31 and / or R 32 and R 33 is particularly limited. Examples thereof include glycidyl-containing groups, epoxycyclohexyl-containing groups, and oxetane-containing groups. Of these, a glycidyl-containing group and / or an epoxycyclohexyl-containing group is preferable.

上記グリシジル含有基としては特に限定されず、例えば、2,3−エポキシプロピル基、3,4−エポキシブチル基、4,5−エポキシペンチル基、2−グリシドキシエチル基、3−グリシドキシプロピル基または4−グリシドキシブチル基が挙げられる。   The glycidyl-containing group is not particularly limited. For example, 2,3-epoxypropyl group, 3,4-epoxybutyl group, 4,5-epoxypentyl group, 2-glycidoxyethyl group, 3-glycidoxy A propyl group or 4-glycidoxybutyl group is mentioned.

上記エポキシシクロヘキシル含有基としては特に限定されず、例えば、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基または3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピル基が挙げられる。   The epoxycyclohexyl-containing group is not particularly limited, and examples thereof include a 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl group or a 3- (3,4-epoxycyclohexyl) propyl group.

上記一般式(5)及び(6)中、環状エーテル含有基以外のR28、R29、R30、R31、R32は、具体的には、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、t−ペンチル基、イソへキシル基、シクロヘキシル基またはフェニル基が挙げられる。 In the general formulas (5) and (6), R 28 , R 29 , R 30 , R 31 , and R 32 other than the cyclic ether-containing group are specifically, for example, a methyl group, an ethyl group, and n-propyl. Group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, neopentyl group, t -A pentyl group, an isohexyl group, a cyclohexyl group, or a phenyl group is mentioned.

また、上記一般式(5)、(6)及び(7)中、ORで表される直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基は、具体的には、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、イソプロポキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基またはt−ブトキシ基が挙げられる。   In the general formulas (5), (6) and (7), the linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms represented by OR is specifically, for example, a methoxy group, An ethoxy group, n-propoxy group, n-butoxy group, isopropoxy group, isobutoxy group, sec-butoxy group or t-butoxy group can be mentioned.

上記一般式(5)で表される化合物としては、具体的には例えば、3−グリシドキシプロピル(ジメチル)メチルメトキシシランまたは2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル(ジメチル)メトキシシランが挙げられる。   Specific examples of the compound represented by the general formula (5) include 3-glycidoxypropyl (dimethyl) methylmethoxysilane or 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl (dimethyl) methoxysilane. Can be mentioned.

上記一般式(6)で表される化合物としては、具体的には例えば、3−グリシドキシプロピル(メチル)ジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピル(メチル)ジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピル(メチル)ジブトキシシラン、2,3−エポキシプロピル(メチル)ジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル(メチル)ジメトキシシランまたは2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル(メチル)ジエトキシシランが挙げられる。   Specific examples of the compound represented by the general formula (6) include 3-glycidoxypropyl (methyl) dimethoxysilane, 3-glycidoxypropyl (methyl) diethoxysilane, and 3-glycidoxy. Propyl (methyl) dibutoxysilane, 2,3-epoxypropyl (methyl) dimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl (methyl) dimethoxysilane or 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl (methyl ) Diethoxysilane.

上記一般式(7)で表される化合物としては、具体的には例えば、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランまたは2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシランが挙げられる。   Specific examples of the compound represented by the general formula (7) include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, and 2- (3,4-epoxycyclohexyl). Examples include ethyltrimethoxysilane or 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane.

上記方法(2)において、上記シロキサン化合物と環状エーテル含有基を有するシロキサン化合物とを縮合反応させる具体的な方法としては、例えば、上記シロキサン化合物と環状エーテル含有基を有する化合物とを水、及び、酸又は塩基性触媒の存在下で反応させてシリコーン樹脂を合成する方法が挙げられる。   In the method (2), as a specific method for the condensation reaction of the siloxane compound and the siloxane compound having a cyclic ether-containing group, for example, the siloxane compound and the compound having a cyclic ether-containing group are mixed with water, and The method of synthesize | combining a silicone resin by making it react in presence of an acid or a basic catalyst is mentioned.

上記水の配合量としては、上記シロキサン化合物と上記環状エーテル含有基を有するシロキサン化合物中のケイ素原子に結合したアルコキシ基を加水分解できる量であれば特に限定されず、適宜調整される。   The amount of the water is not particularly limited as long as it is an amount capable of hydrolyzing an alkoxy group bonded to a silicon atom in the siloxane compound having the siloxane compound and the cyclic ether-containing group.

上記酸性触媒は、上記シロキサン化合物と環状エーテル含有基を有するシロキサン化合物とを反応させるための触媒であり、例えば、無機酸、有機酸、これらの酸無水物又は誘導体が挙げられる。   The acidic catalyst is a catalyst for reacting the siloxane compound with a siloxane compound having a cyclic ether-containing group, and examples thereof include inorganic acids, organic acids, acid anhydrides or derivatives thereof.

上記無機酸としては、例えば、リン酸、ホウ酸または炭酸が挙げられる。   Examples of the inorganic acid include phosphoric acid, boric acid, and carbonic acid.

上記有機酸としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、乳酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、フマル酸、マレイン酸またはオレイン酸が挙げられる。   Examples of the organic acid include formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, lactic acid, malic acid, tartaric acid, citric acid, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, fumaric acid, maleic acid or oleic acid Is mentioned.

上記塩基性触媒は、上記シロキサン化合物と環状エーテル含有基を有するシロキサン化合物とを反応させるための触媒であり、例えば、アルカリ金属の水酸化物、アルカリ金属のアルコキシドまたはアルカリ金属のシラノール化合物が挙げられる。   The basic catalyst is a catalyst for reacting the siloxane compound with a siloxane compound having a cyclic ether-containing group, and examples thereof include alkali metal hydroxides, alkali metal alkoxides, and alkali metal silanol compounds. .

上記アルカリ金属の水酸化物としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムまたは水酸化セシウムが挙げられる。   Examples of the alkali metal hydroxide include sodium hydroxide, potassium hydroxide, and cesium hydroxide.

上記アルカリ金属のアルコキシドとしては、例えば、ナトリウム−t−ブトキシド、カリウム−t−ブトキシドまたはセシウム−t−ブトキシドが挙げられる。   Examples of the alkali metal alkoxide include sodium-t-butoxide, potassium-t-butoxide, and cesium-t-butoxide.

上記アルカリ金属のシラノール化合物としては、例えば、ナトリウムシラノレート化合物、カリウムシラノレート化合物またはセシウムシラノレート化合物が挙げられる。
なかでも、カリウム系触媒及びセシウム系触媒が好適である。
Examples of the alkali metal silanol compound include a sodium silanolate compound, a potassium silanolate compound, and a cesium silanolate compound.
Of these, potassium-based catalysts and cesium-based catalysts are preferred.

本発明の光半導体装置用ダイボンド材において、上述した樹脂以外に、本発明の効果を妨げない範囲で他の硬化性化合物を含有してもよい。そのような化合物としては例えば、アミノ基、ウレタン基、イミド基、水酸基、カルボキシル基またはエポキシ基を有する化合物が挙げられる。中でも、エポキシ化合物が好ましい。エポキシ化合物としては特に限定はされず、従来公知の種々のエポキシ化合物を用いることができる。   In the die-bonding material for optical semiconductor devices of the present invention, other curable compounds may be contained in the range not impeding the effects of the present invention in addition to the above-described resins. Examples of such a compound include compounds having an amino group, a urethane group, an imide group, a hydroxyl group, a carboxyl group, or an epoxy group. Among these, an epoxy compound is preferable. The epoxy compound is not particularly limited, and various conventionally known epoxy compounds can be used.

上記その他の硬化性化合物の配合量としては特に限定はされないが、好ましい上限は、上述したシリコーン樹脂の合計100重量部に対して10重量部である。より好ましい上限は5重量部、更に好ましい上限は3重量部、特に好ましい上限は1重量部である。   The blending amount of the other curable compound is not particularly limited, but a preferable upper limit is 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total silicone resin described above. A more preferred upper limit is 5 parts by weight, a still more preferred upper limit is 3 parts by weight, and a particularly preferred upper limit is 1 part by weight.

〔結晶構造がルチル型の酸化チタン〕
本発明に係る光半導体装置用反射型ダイボンド材は、反射性を高めるために、結晶構造がルチル型の酸化チタンを含んでいる。また、ルチル型酸化チタンが含有されていることにより、光半導体装置用反射型ダイボンド材が光にさらされたとしても、黄変等の着色による劣化が生じがたい。
[Titanium oxide with a rutile crystal structure]
The reflective die-bonding material for an optical semiconductor device according to the present invention contains titanium oxide whose crystal structure is rutile type in order to enhance reflectivity. Further, since the rutile type titanium oxide is contained, even if the reflective die bond material for optical semiconductor devices is exposed to light, deterioration due to coloring such as yellowing hardly occurs.

好ましくは、酸化チタンは、該酸化チタン5gを純粋100mlに加えた液を加熱し、5分間沸騰させた後、23℃に達するまで静置し、沸騰処理液を得、得られた沸騰処理液に、沸騰により蒸発した水量の水を加えて水量を100mlとしたときの液のpHが6.2以上、11以下の値を示す酸化チタンであることが望ましい。得られた液のpHは、JIS Z8802の7に記載された操作に準拠して測定することができる。   Preferably, for titanium oxide, a liquid obtained by adding 5 g of titanium oxide to 100 ml of pure water is heated, boiled for 5 minutes, and then allowed to stand until it reaches 23 ° C. to obtain a boiling treatment liquid. In addition, it is desirable that the titanium oxide exhibit a pH of 6.2 or more and 11 or less when the amount of water evaporated by boiling is added to bring the amount of water to 100 ml. The pH of the obtained liquid can be measured according to the operation described in 7 of JIS Z8802.

上記pHは、より好ましくは、7.0以上、さらに好ましくは7.4以上であり、最も好ましくは8.1以上である。それによって、光半導体装置用反射型ダイボンド材の劣化をより一層抑制することができる。上記煮沸法により測定されたpHの上限値は、より好ましくは10.0以下であり、さらに好ましくは9.0以下である。それによって、光半導体装置用反射型ダイボンド材のポットライフを長くすることができる。   The pH is more preferably 7.0 or more, further preferably 7.4 or more, and most preferably 8.1 or more. Thereby, deterioration of the reflective die-bonding material for optical semiconductor devices can be further suppressed. The upper limit value of the pH measured by the boiling method is more preferably 10.0 or less, and even more preferably 9.0 or less. Thereby, the pot life of the reflective die-bonding material for optical semiconductor devices can be lengthened.

少なくとも1種の酸化チタンが塩基性金属酸化物もしくは塩基性金属水酸化物で被覆されて表面が塩基性とされていることが好ましい。上記酸化チタンの表面が塩基性であると、高温化での黄変をより一層抑制できるため好ましい。   It is preferable that at least one kind of titanium oxide is coated with a basic metal oxide or a basic metal hydroxide so that the surface is made basic. It is preferable that the surface of the titanium oxide is basic because yellowing at a high temperature can be further suppressed.

塩基性金属酸化物もしくは塩基性金属水酸化物としては、マグネシウム、ジルコニウム、セリウム、ストロンチウム、アンチモン、バリウムまたはカルシウムなどの金属の化合物が挙げられる。なかでも、高温に晒されたときに黄変する恐れを少なくできるので、酸化チタンを被覆する材料に酸化ジルコニウムが含まれていることが好ましい。   Examples of the basic metal oxide or basic metal hydroxide include compounds of metals such as magnesium, zirconium, cerium, strontium, antimony, barium, and calcium. Especially, since the possibility of yellowing when exposed to high temperatures can be reduced, it is preferable that zirconium oxide is contained in the material covering titanium oxide.

酸化チタンの被覆方法としては、被覆する酸化チタンを水または水を主成分とする媒液中に分散させる方法があげられる。この際に、酸化チタンの凝集程度に応じて、サンドミル、ボールミル等の湿式粉砕機を用いて、予備粉砕を行ってもよい。スラリーのpHは、酸化チタンによって適宜設定することが好ましいが、例えば酸化チタンであればpHは9以上であることが好ましい。次に、スラリー中に被覆する金属の水溶性塩を添加する。その後、中和、固液分離、乾燥及び乾式粉砕を実施し、これによって、被覆された酸化チタンを得ることができる。   Examples of the titanium oxide coating method include a method in which titanium oxide to be coated is dispersed in water or a liquid medium containing water as a main component. At this time, preliminary pulverization may be performed using a wet pulverizer such as a sand mill or a ball mill according to the degree of aggregation of titanium oxide. The pH of the slurry is preferably set as appropriate according to the titanium oxide. For example, in the case of titanium oxide, the pH is preferably 9 or more. Next, a water-soluble salt of the metal to be coated is added to the slurry. Thereafter, neutralization, solid-liquid separation, drying and dry pulverization are carried out, whereby a coated titanium oxide can be obtained.

上記酸化チタンは、酸化チタン表面の塩基性を高めるために、酸化チタンの酸性部位と反応することができる化合物を含有することが好ましい。また、酸化チタンの塩基性を高めるために、酸化チタンの酸性部位と反応することができる化合物が表面に存在する酸化チタンを含有することが好ましい。酸化チタンの酸性部位と反応することができる化合物としては、(1)トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、ジトリメチロールプロパン、トリメチロールプロパンエトキシレート、もしくはペンタエリスリトール等の多価アルコール、(2)モノエタノールアミン、モノプロパノールアミンジエタノールアミン、ジプロパノールアミン、トリエタノールアミン、もしくはトリプロパノールアミン等のアルカノールアミン、(3)クロロシランまたは(4)アルコキシシランが挙げられる。   The titanium oxide preferably contains a compound capable of reacting with an acidic site of titanium oxide in order to increase the basicity of the titanium oxide surface. Moreover, in order to improve the basicity of titanium oxide, it is preferable that the compound which can react with the acidic site | part of a titanium oxide contains the titanium oxide which exists on the surface. Compounds that can react with the acidic sites of titanium oxide include (1) polymethyl alcohols such as trimethylolpropane, trimethylolethane, ditrimethylolpropane, trimethylolpropane ethoxylate, or pentaerythritol, and (2) monoethanol. Examples thereof include alkanolamines such as amine, monopropanolamine diethanolamine, dipropanolamine, triethanolamine, and tripropanolamine, (3) chlorosilane, and (4) alkoxysilane.

酸化チタンの酸性部位と反応することができる化合物が塩基性化合物であれば、酸化チタンの塩基性をより高めることができ、好ましい。このような好ましい塩基性化合物としては、アルカノールアミンが挙げられる。   If the compound which can react with the acidic site | part of a titanium oxide is a basic compound, the basicity of a titanium oxide can be improved more and it is preferable. Examples of such preferable basic compound include alkanolamine.

酸化チタンを塩基性化合物で表面処理する方法としては、(1)上記化合物を添加した酸化チタンを流体エネルギー粉砕機、衝撃粉砕機等の乾式粉砕機を用いて粉砕する方法、(2)ヘンシェルミキサー、スーパーミキサー等の高速攪拌機等を用いて、乾式粉砕した後の酸化チタンを上記化合物と攪拌、混合する方法、(3)酸化チタンの水性スラリーに上記化合物を添加し撹拌する方法が挙げられる。特に、(1)の方法は、酸化チタンの粉砕と上記化合物による表面処理とを同時に行うことができ好ましい。乾式粉砕機としては、流体エネルギー粉砕機が好ましく、ジェットミルなどの旋回式粉砕機がより好ましい。   As a method of surface-treating titanium oxide with a basic compound, (1) a method in which titanium oxide to which the above compound is added is pulverized using a dry pulverizer such as a fluid energy pulverizer or an impact pulverizer, and (2) a Henschel mixer. And a method of stirring and mixing titanium oxide after dry pulverization with the above compound using a high-speed stirrer such as a super mixer, and (3) a method of adding the above compound to an aqueous slurry of titanium oxide and stirring. In particular, the method (1) is preferable because the titanium oxide pulverization and the surface treatment with the above compound can be simultaneously performed. As the dry pulverizer, a fluid energy pulverizer is preferable, and a swirl pulverizer such as a jet mill is more preferable.

光半導体装置用反射型ダイボンド材100重量%中の酸化チタンの含有量は、3重量%以上、80重量%以下であることが好ましい。3重量%未満では、反射性を高めることが困難となることがあり、80重量%を超えるとダイボンディングが困難となることがある。より好ましい下限は10重量%であり、より好ましい上限は75重量%である。   The content of titanium oxide in 100% by weight of the reflective die-bonding material for optical semiconductor devices is preferably 3% by weight or more and 80% by weight or less. If it is less than 3% by weight, it may be difficult to improve reflectivity, and if it exceeds 80% by weight, die bonding may be difficult. A more preferred lower limit is 10% by weight, and a more preferred upper limit is 75% by weight.

〔熱硬化剤〕
本発明の光半導体装置用反射型ダイボンド材は、上記環状エーテル含有基と反応する熱硬化剤(以下、単に熱硬化剤ともいう)を含有する。
[Thermosetting agent]
The reflective die-bonding material for an optical semiconductor device of the present invention contains a thermosetting agent that reacts with the cyclic ether-containing group (hereinafter also simply referred to as a thermosetting agent).

上記熱硬化剤としては、上記シリコーン樹脂の環状エーテル含有基と反応可能なものであれば特に限定されず、例えば、エチレンジアミン、トリエチレンペンタミン、ヘキサメチレンジアミン、ダイマー酸変性エチレンジアミン、N−エチルアミノピペラジン、イソホロンジアミンなどの脂肪族アミン、メタフェニレンジアミン、パラフェニレンジアミン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェノルスルホン、4,4’−ジアミノジフェノルメタン、4,4’−ジアミノジフェノルエーテルなどの芳香族アミン、メルカプトプロピオン酸エステル、エポキシ樹脂の末端メルカプト化合物などのメルカプタン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールAD、ビスフェノールS、テトラメチルビスフェノールA、テトラメチルビスフェノールF、テトラメチルビスフェノールAD、テトラメチルビスフェノールS、テトラブロモビスフェノールA、テトラクロロビスフェノールA、テトラフルオロビスフェノールA、ビフェノール、ジヒドロキシナフタレン、1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、4,4−(1−(4−(1−(4−ヒドロキシフェニル)−1−メチルエチル)フェニル)エチリデン)ビスフェノール、フェノールノボラック、クレゾールノボラック、ビスフェノールAノボラック、臭素化フェノールノボラック、臭素化ビスフェノールAノボラックなどのフェノール樹脂、これらフェノール樹脂の芳香環を水素化したポリオール、ポリアゼライン酸無水物、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物、ノルボルナン−2,3−ジカルボン酸無水物、メチル−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物、メチル−ノルボルナン−2,3−ジカルボン酸無水物、シクロヘキサン−1,2,3−トリカルボン酸−1,2無水物、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2無水物などの脂環式酸無水物、3−メチルグルタル酸無水物などの分岐していてもよい炭素数1〜8のアルキル基を有する3−アルキルグルタル酸無水物、2−エチル−3−プロピルグルタル酸無水物などの分岐していてもよい炭素数1〜8のアルキル基を有する2,3−ジアルキルグルタル酸無水物、2,4−ジエチルグルタル酸無水物、2,4−ジメチルグルタル酸無水物などの分岐していてもよい炭素数1〜8のアルキル基を有する2,4−ジアルキルグルタル酸無水物等のアルキル置換グルタル酸無水物、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸などの芳香族酸無水物、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾールなどのイミダゾール及びその塩類、脂肪族アミン、芳香族アミン、及び/又はイミダゾールとエポキシ樹脂との反応により得られるアミンアダクト、アジピン酸ジヒドラジドなどのヒドラジン、ジメチルベンジルアミン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7などの第3級アミンまたはトリフェニルホスフィンなどの有機ホスフィン、ジシアンジアミドが挙げられる。これらの熱硬化剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The thermosetting agent is not particularly limited as long as it can react with the cyclic ether-containing group of the silicone resin. For example, ethylenediamine, triethylenepentamine, hexamethylenediamine, dimer acid-modified ethylenediamine, N-ethylamino Aliphatic amines such as piperazine and isophoronediamine, metaphenylenediamine, paraphenylenediamine, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenolsulfone, 4,4′-diaminodiphenormethane, 4 Aromatic amines such as 4,4'-diaminodiphenol ether, mercaptans such as mercaptopropionic esters, terminal mercapto compounds of epoxy resins, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol AD, bisphenol S, tetramethylbisphenol Nord A, tetramethylbisphenol F, tetramethylbisphenol AD, tetramethylbisphenol S, tetrabromobisphenol A, tetrachlorobisphenol A, tetrafluorobisphenol A, biphenol, dihydroxynaphthalene, 1,1,1-tris (4-hydroxyphenyl) ) Methane, 4,4- (1- (4- (1- (4-hydroxyphenyl) -1-methylethyl) phenyl) ethylidene) bisphenol, phenol novolak, cresol novolak, bisphenol A novolak, brominated phenol novolak, bromine Phenolic resins such as bisphenol A novolak, polyols obtained by hydrogenating the aromatic rings of these phenolic resins, polyazeline acid anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, tetrahydro (B) Phthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride, norbornane-2,3-dicarboxylic anhydride, methyl-5-norbornene-2,3 -Dicarboxylic anhydride, methyl-norbornane-2,3-dicarboxylic anhydride, cyclohexane-1,2,3-tricarboxylic acid-1,2 anhydride, cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2 3-alkylglutaric anhydride having an optionally branched alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, such as alicyclic acid anhydride such as anhydride, 3-methylglutaric anhydride, 2-ethyl-3- 2,3-dialkylglutaric anhydride, 2,4-diethylglutenic acid having 1 to 8 carbon atoms which may be branched, such as propylglutaric anhydride Alkyl-substituted glutaric anhydrides such as 2,4-dialkylglutaric anhydrides having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms which may be branched, such as taric anhydride, 2,4-dimethylglutaric anhydride, Aromatic anhydrides such as phthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, imidazoles such as 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole and their salts, aliphatic amines, Amine adduct obtained by reaction of aromatic amine and / or imidazole with epoxy resin, hydrazine such as adipic acid dihydrazide, dimethylbenzylamine, third compound such as 1,8-diazabicyclo [5.4.0] undecene-7 Examples include organic phosphines such as secondary amines or triphenylphosphine, and dicyandiamide. It is. These thermosetting agents may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記熱硬化剤のなかでも、耐熱性を高めるため、脂環式酸無水物類、アルキル置換グルタル酸無水物類、芳香族酸無水物類等の酸無水物が好ましく、より好ましくは、脂環式酸無水物類、アルキル置換グルタル酸無水物類であり、特に好ましくは、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、ノルボルナン−2,3−ジカルボン酸無水物、メチル−ノルボルナン−2,3−ジカルボン酸無水物、シクロヘキサン−1,2,3−トリカルボン酸−1,2無水物、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2無水物、または2,4−ジエチルグルタル酸無水物である。   Among the above thermosetting agents, acid anhydrides such as alicyclic acid anhydrides, alkyl-substituted glutaric acid anhydrides, and aromatic acid anhydrides are preferable to improve heat resistance, and more preferably, alicyclic Formula acid anhydrides, alkyl-substituted glutaric anhydrides, particularly preferably methylhexahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, norbornane-2,3-dicarboxylic anhydride, methyl-norbornane-2,3 -Dicarboxylic anhydride, cyclohexane-1,2,3-tricarboxylic acid-1,2 anhydride, cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2 anhydride, or 2,4-diethylglutaric anhydride It is.

上記熱硬化剤の配合量としては特に限定されないが、上記シリコーン樹脂100重量部に対して、好ましい下限は1重量部、好ましい上限は200重量部である。この範囲であると、本発明の光半導体装置用反射型ダイボンド材は、充分に架橋反応が進行し、耐熱性及び耐光性に優れるとともに、透湿度が充分に低いものとなる。より好ましい下限は5重量部、より好ましい上限は120重量部である。   The blending amount of the thermosetting agent is not particularly limited, but the preferred lower limit is 1 part by weight and the preferred upper limit is 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the silicone resin. Within this range, the reflective die-bonding material for optical semiconductor devices of the present invention sufficiently undergoes a crosslinking reaction, is excellent in heat resistance and light resistance, and has a sufficiently low moisture permeability. A more preferred lower limit is 5 parts by weight, and a more preferred upper limit is 120 parts by weight.

〔硬化促進剤〕
本発明の光半導体装置用反射型ダイボンド材は、更に、硬化促進剤を含有することが好ましい。
[Curing accelerator]
The reflective die bond material for optical semiconductor devices of the present invention preferably further contains a curing accelerator.

上記硬化促進剤としては特に限定されず、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等の第3級アミン類及びその塩類;トリフェニルホスフィン等のホスフィン類;トリフェニルホスホニウムブロマイド等のホスホニウム塩類;アミノトリアゾール類、オクチル酸錫、ジブチル錫ジラウレート等の錫系、オクチル酸亜鉛等の亜鉛系、アルミニウム、クロム、コバルト、ジルコニウム等のアセチルアセトナート等の金属触媒類等が挙げられる。これらの硬化促進剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   The curing accelerator is not particularly limited, and examples thereof include imidazoles such as 2-methylimidazole and 2-ethyl-4-methylimidazole; and third compounds such as 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7. Phosphines such as triphenylphosphine; phosphonium salts such as triphenylphosphonium bromide; tins such as aminotriazoles, tin octylate and dibutyltin dilaurate, zincs such as zinc octylate, aluminum, And metal catalysts such as acetylacetonate such as chromium, cobalt, and zirconium. These hardening accelerators may be used independently and may use 2 or more types together.

上記硬化促進剤の配合量としては特に限定されないが、上記シリコーン樹脂100重量部に対して、好ましい下限は0.01重量部、好ましい上限は5重量部である。0.01重量部未満であると、上記硬化促進剤を添加する効果が得られず、5重量部を超えると、硬化物の着色や耐熱性、耐光性の低下が著しくなるため好ましくない。より好ましい下限は0.05重量部であり、より好ましい上限は1.5重量部である。   Although it does not specifically limit as a compounding quantity of the said hardening accelerator, A preferable minimum is 0.01 weight part and a preferable upper limit is 5 weight part with respect to 100 weight part of said silicone resins. If it is less than 0.01 part by weight, the effect of adding the curing accelerator cannot be obtained, and if it exceeds 5 parts by weight, the coloration of the cured product, heat resistance, and light resistance are significantly reduced, which is not preferable. A more preferred lower limit is 0.05 parts by weight, and a more preferred upper limit is 1.5 parts by weight.

〔その他の成分〕
本発明に係る光半導体装置用反射型ダイボンド材は、紫外線吸収剤、酸化防止剤、溶剤、着色剤、充填剤、消泡剤、表面処理剤、難燃剤、粘度調節剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、可塑剤、防黴剤、レベリング剤、安定剤、カップリング剤、タレ防止剤又は蛍光体等を含有してもよい。
[Other ingredients]
The reflective die-bonding material for optical semiconductor devices according to the present invention comprises an ultraviolet absorber, an antioxidant, a solvent, a colorant, a filler, an antifoaming agent, a surface treatment agent, a flame retardant, a viscosity modifier, a dispersant, and a dispersion aid. An agent, a surface modifier, a plasticizer, an antifungal agent, a leveling agent, a stabilizer, a coupling agent, an anti-sagging agent, or a phosphor may be contained.

〔調製方法及び使用方法〕
本発明に係る光半導体装置用反射型ダイボンド材は、上記各成分を攪拌混合した後、例えば3本ロールを用いて均一に混合することにより調製することができる。
[Preparation method and usage method]
The reflective die-bonding material for optical semiconductor devices according to the present invention can be prepared by stirring and mixing the above components and then uniformly mixing, for example, using three rolls.

使用に際しては、基板等に、あるいは光半導体素子の接合面に光半導体装置用反射型ダイボンド材を塗布し、光半導体素子を基板に張り合わせた後、加熱すればよい。加熱条件は、特に限定されないが、100℃〜170℃の温度、5分〜5時間程度であればよい。   In use, a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device may be applied to a substrate or the like or a bonding surface of the optical semiconductor element, and the optical semiconductor element may be bonded to the substrate and then heated. The heating conditions are not particularly limited, but may be a temperature of 100 ° C. to 170 ° C. and about 5 minutes to 5 hours.

上記光半導体素子としては特に限定されず、例えば、上記光半導体素子が発光ダイオードである場合、例えば、基板上に半導体材料を積層して形成したものが挙げられる。この場合、半導体材料としては、例えば、GaAs、GaP、GaAlAs、GaAsP、AlGaInP、GaN、InN、AlN、InGaAlN、SiC等が挙げられる。
上記基板としては、例えば、サファイア、スピネル、SiC、Si、ZnO、GaN単結晶等が挙げられる。また、必要に応じ基板と半導体材料の間にバッファー層が形成されていてもよい。上記バッファー層としては、例えば、GaN、AlN等が挙げられる。
The optical semiconductor element is not particularly limited. For example, when the optical semiconductor element is a light emitting diode, for example, a semiconductor material stacked on a substrate can be used. In this case, examples of the semiconductor material include GaAs, GaP, GaAlAs, GaAsP, AlGaInP, GaN, InN, AlN, InGaAlN, and SiC.
Examples of the substrate include sapphire, spinel, SiC, Si, ZnO, and GaN single crystal. In addition, a buffer layer may be formed between the substrate and the semiconductor material as necessary. Examples of the buffer layer include GaN and AlN.

本発明の光半導体装置は、具体的には、例えば、発光ダイオード装置、半導体レーザー装置、フォトカプラ等が挙げられる。このような本発明の光半導体装置は、例えば、液晶ディスプレイ等のバックライト、照明、各種センサー、プリンター、コピー機等の光源、車両用計測器光源、信号灯、表示灯、表示装置、面状発光体の光源、ディスプレイ、装飾
、各種ライトまたはスイッチング素子等に好適に用いることができる。
Specific examples of the optical semiconductor device of the present invention include a light emitting diode device, a semiconductor laser device, and a photocoupler. Such an optical semiconductor device of the present invention includes, for example, a backlight such as a liquid crystal display, illumination, various sensors, a light source such as a printer and a copying machine, a measurement light source for a vehicle, a signal light, a display light, a display device, and a planar light emission. It can be suitably used for body light sources, displays, decorations, various lights or switching elements.

〔光半導体装置〕
本発明に係る光半導体装置は、発光素子が本発明の光半導体装置用反射型ダイボンド材を介してリード電極に接合されている構造を有する。図1は、光半導体装置の一実施形態を示す正面断面図である。
[Optical semiconductor device]
The optical semiconductor device according to the present invention has a structure in which a light-emitting element is bonded to a lead electrode via the reflective die bond material for an optical semiconductor device of the present invention. FIG. 1 is a front sectional view showing an embodiment of an optical semiconductor device.

光半導体装置1は、略中央にテーパー状の開口部を有するハウジング2と、発光素子3とを備える。ハウジング2は、一対のリード電極4を有し、これらリード電極4の一端部がハウジング2の底部に露出され、他端部がハウジング2外に延設されるように設けられている。   The optical semiconductor device 1 includes a housing 2 having a tapered opening at a substantially center, and a light emitting element 3. The housing 2 has a pair of lead electrodes 4. One end of each lead electrode 4 is exposed at the bottom of the housing 2, and the other end is provided to extend outside the housing 2.

発光素子3は、ハウジング2に設けられたリード電極4に、本組成物の硬化物である光半導体装置用反射型ダイボンド材5によって固定されている。また、発光素子3に設けられたボンディングパッド(不図示)とリード電極4とがボンディングワイヤ6で電気的に接続されており、これらの一体化物が封止剤7で封止されている。   The light emitting element 3 is fixed to a lead electrode 4 provided in the housing 2 with a reflective die bond material 5 for an optical semiconductor device, which is a cured product of the present composition. Further, a bonding pad (not shown) provided in the light emitting element 3 and the lead electrode 4 are electrically connected by a bonding wire 6, and an integrated product thereof is sealed with a sealant 7.

光半導体装置用反射型ダイボンド材5は、図1に示すように、発光素子3の底部からはみ出してその周囲を囲むように塗布されても、または、発光素子3からはみ出さないように塗布されてもよく、任意である。光半導体装置用反射型ダイボンド材5の膜厚は、10〜100μmの範囲であることが好ましい。   As shown in FIG. 1, the reflective die-bonding material 5 for an optical semiconductor device is applied so as to protrude from the bottom of the light-emitting element 3 and surround the periphery of the light-emitting element 3, or so as not to protrude from the light-emitting element 3. It may be optional. The film thickness of the reflective die bond material 5 for an optical semiconductor device is preferably in the range of 10 to 100 μm.

光半導体装置1では、発光素子3を駆動すると、破線Aで示すように光が発せられる。この場合、発光素子3からリード電極4の上面とは反対側すなわち上方に照射される光だけでなく、光半導体装置用反射型ダイボンド材5に到達した光が矢印Bで示すように反射される光もある。光半導体装置用反射型ダイボンド材5は、白色であり、上記光を高い効率で反射させる。従って、矢印Bで示す反射光も利用されるので、発光素子3の光の利用効率を高めることができる。   In the optical semiconductor device 1, when the light emitting element 3 is driven, light is emitted as indicated by a broken line A. In this case, not only the light irradiated from the light emitting element 3 to the side opposite to the upper surface of the lead electrode 4, that is, the light that has reached the reflective die bond material 5 for an optical semiconductor device is reflected as indicated by an arrow B. There is also light. The reflective die bond material 5 for an optical semiconductor device is white and reflects the light with high efficiency. Therefore, since the reflected light indicated by the arrow B is also used, the light use efficiency of the light emitting element 3 can be increased.

以下、本発明の具体的な実施例及び比較例を挙げることにより、本発明の効果を明らかにする。   Hereinafter, the effects of the present invention will be clarified by giving specific examples and comparative examples of the present invention.

(合成例1)
2000mLの温度計、滴下装置付セパラブルフラスコに、ジメチルジメトキシシランを750g、及び3−グリシドキシプロピル(メチル)ジメトキシシランを150g入れ、50℃で攪拌した。その中に水酸化カリウム1.9gと水250gとからなる水溶液をゆっくりと滴下し、滴下し終わってから50℃で6時間攪拌した。その中に、酢酸2.1gを入れ、減圧下で揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過してポリマーを得た。得られたポリマーをヘキサン/水を用いて洗浄を行い、減圧下で揮発成分を除去し、ポリマーAを得た。
(Synthesis Example 1)
750 g of dimethyldimethoxysilane and 150 g of 3-glycidoxypropyl (methyl) dimethoxysilane were put into a separable flask equipped with a 2000 mL thermometer and a dropping device and stirred at 50 ° C. An aqueous solution composed of 1.9 g of potassium hydroxide and 250 g of water was slowly dropped into the solution, and stirred at 50 ° C. for 6 hours after the dropwise addition. The acetic acid 2.1g was put in it, the volatile component was removed under reduced pressure, potassium acetate was filtered, and the polymer was obtained. The obtained polymer was washed with hexane / water, and volatile components were removed under reduced pressure to obtain polymer A.

ポリマーAの分子量はMn=11000、Mw=25000であり、29Si−NMRより
(MeSiO2/20.90(EpMeSiO2/2 0.10
であり、3−グリシドキシプロピル基含有量は14モル%、エポキシ等量は760g/eq.であることを確認した。
The molecular weight of the polymer A is Mn = 11000, Mw = 25000, and (Me 2 SiO 2/2 ) 0.90 (EpMeSiO 2/2 ) 0.10 from 29Si-NMR.
The 3-glycidoxypropyl group content was 14 mol%, and the epoxy equivalent was 760 g / eq. It was confirmed that.

なお、分子量は、ポリマーA(10mg)にテトラヒドロフラン(1mL)を入れ溶解するまで攪拌し、Waters社製の測定装置(カラム:昭和電工社製 Shodex GPC LF−804(長さ300mm)×2本、測定温度:40℃、流速:1mL/min、溶媒:テトラヒドロフラン、標準物質:ポリスチレン)を用いてGPC測定により測定した。また、エポキシ当量は、JIS K−7236に準拠して求めた。   The molecular weight was stirred until tetrahydrofuran (1 mL) was added and dissolved in polymer A (10 mg), and a measuring device manufactured by Waters (column: Shodex GPC LF-804 (length: 300 mm) x 2 manufactured by Showa Denko KK) Measurement temperature: 40 ° C., flow rate: 1 mL / min, solvent: tetrahydrofuran, standard substance: polystyrene) were used for GPC measurement. Moreover, the epoxy equivalent was calculated | required based on JISK-7236.

(合成例2)
2000mLの温度計、滴下装置付セパラブルフラスコに、ジメチルジメトキシシランを440g、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランを160g入れ50℃で攪拌した。その中に水酸化カリウム1.2gと水170gとからなる水溶液をゆっくりと滴下し、滴下し終わってから50℃で6時間攪拌した。その中に、酢酸1.3gを入れ、減圧下で揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過してポリマーを得た。得られたポリマーをヘキサン/水を用いて洗浄を行い、減圧下で揮発成分を除去し、ポリマーBを得た。
(Synthesis Example 2)
In a separable flask equipped with a 2000 mL thermometer and a dropping device, 440 g of dimethyldimethoxysilane and 160 g of 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane were added and stirred at 50 ° C. An aqueous solution consisting of 1.2 g of potassium hydroxide and 170 g of water was slowly dropped into the solution, and the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours after the dropping was completed. The acetic acid 1.3g was put in it, the volatile component was removed under pressure reduction, potassium acetate was filtered, and the polymer was obtained. The obtained polymer was washed with hexane / water, and volatile components were removed under reduced pressure to obtain polymer B.

ポリマーBの分子量はMn=2300、Mw=4800であり、29Si−NMRより(MeSiO2/20.84(EpSiO3/20.16
であり、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基含有量は22モル%、エポキシ等量は550g/eq.であることを確認した。
The molecular weight of the polymer B is Mn = 2300, Mw = 4800, and (Me 2 SiO 2/2 ) 0.84 (EpSiO 3/2 ) 0.16 from 29Si-NMR.
The 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl group content was 22 mol%, and the epoxy equivalent was 550 g / eq. It was confirmed that.

なお、ポリマーBの分子量及びエポキシ当量合成例1と同様にして求めた。   In addition, it calculated | required similarly to the molecular weight and the epoxy equivalent synthesis example 1 of the polymer B.

(合成例3)
1000mLの温度計、滴下装置及び攪拌機付セパラブルフラスコに、トリメチルメトキシシランを23g、ジメチルジメトキシシランを180g、フェニルトリメトキシシランを100g、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランを100g入れ50℃で攪拌した。その中に水酸化カリウム0.7gと水107gとからなる水溶液をゆっくりと滴下し、滴下し終わってから50℃で6時間攪拌した。その中に、酢酸0.8gを入れ、減圧下で揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過してポリマーCを得た。
(Synthesis Example 3)
In a separable flask with a 1000 mL thermometer, dropping device and stirrer, 23 g of trimethylmethoxysilane, 180 g of dimethyldimethoxysilane, 100 g of phenyltrimethoxysilane, 100 g of 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane The mixture was stirred at 50 ° C. An aqueous solution composed of 0.7 g of potassium hydroxide and 107 g of water was slowly dropped into the solution, and the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours after the addition was completed. The acetic acid 0.8g was put in it, the volatile component was removed under reduced pressure, potassium acetate was filtered, and the polymer C was obtained.

ポリマーCの分子量はMn=2200であり、29Si−NMRより
(MeSiO1/20.08(MeSiO2/20.58(PhSiO3/20.19(EpSiO3/20.15
であり、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基の比率は19モル%、フェニル基の比率は15モル%であり、エポキシ等量は691g/eq.であることを確認した。
The molecular weight of the polymer C is Mn = 2200. From 29Si-NMR, (Me 3 SiO 1/2 ) 0.08 (Me 2 SiO 2/2 ) 0.58 (PhSiO 3/2 ) 0.19 (EpSiO 3 / 2 ) 0.15
The ratio of 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl group is 19 mol%, the ratio of phenyl group is 15 mol%, and the epoxy equivalent is 691 g / eq. It was confirmed that.

なお、ポリマーCの分子量、エポキシ当量は、合成例1と同様にして求めた。   The molecular weight and epoxy equivalent of polymer C were determined in the same manner as in Synthesis Example 1.

(合成例4)
1000mLの温度計、滴下装置及び攪拌機付セパラブルフラスコに、トリメチルメトキシシランを25g、ジメチルジメトキシシランを208g、ジフェニルジメトキシシシランを71g、フェニルトリメトキシシランを58g、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランを111g入れ、50℃で攪拌した。その中に水酸化カリウム0.8gと水117gからなる水溶液をゆっくりと滴下し、滴下し終わってから50℃で6時間攪拌した。その中に、酢酸0.9gを入れ、減圧下で揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過してポリマーDを得た。
(Synthesis Example 4)
In a separable flask with a 1000 mL thermometer, dropping device and stirrer, 25 g of trimethylmethoxysilane, 208 g of dimethyldimethoxysilane, 71 g of diphenyldimethoxysilane, 58 g of phenyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ) 111g of ethyltrimethoxysilane was added and stirred at 50 ° C. An aqueous solution consisting of 0.8 g of potassium hydroxide and 117 g of water was slowly dropped therein, and after the dropping was completed, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours. The acetic acid 0.9g was put in it, the volatile component was removed under reduced pressure, potassium acetate was filtered, and the polymer D was obtained.

ポリマーDの分子量はMn=1800であり、29Si−NMRより
(MeSiO1/20.08(MeSiO2/20.57(PhSiO2/20.10(PhSiO3/20.10(EpSiO3/20.15
であり、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基の比率は17モル%、フェニル基の比率は21モル%であり、エポキシ等量は723g/eq.であることを確認した。
The molecular weight of the polymer D is Mn = 1800, and from 29Si-NMR, (Me 3 SiO 1/2 ) 0.08 (Me 2 SiO 2/2 ) 0.57 (Ph 2 SiO 2/2 ) 0.10 (PhSiO 3/2 ) 0.10 (EpSiO 3/2 ) 0.15
The ratio of 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl group is 17 mol%, the ratio of phenyl group is 21 mol%, and the epoxy equivalent is 723 g / eq. It was confirmed that.

なお、ポリマーDの分子量、エポキシ当量は、合成例1と同様にして求めた。   The molecular weight and epoxy equivalent of polymer D were determined in the same manner as in Synthesis Example 1.

(合成例5)
1000mLの温度計、滴下装置及び攪拌機付セパラブルフラスコに、ジメチルジメトキシシランを254g、ジフェニルジメトキシシシランを106g、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランを111g入れ、50℃で攪拌した。その中に水酸化カリウム0.8gと水116gからなる水溶液をゆっくりと滴下し、滴下し終わってから50℃で6時間攪拌した。その中に、酢酸0.9gを入れ、減圧下で揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過してポリマーEを得た。
(Synthesis Example 5)
In a separable flask equipped with a 1000 mL thermometer, a dropping device and a stirrer, 254 g of dimethyldimethoxysilane, 106 g of diphenyldimethoxysilane, and 111 g of 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane were added and stirred at 50 ° C. did. An aqueous solution consisting of 0.8 g of potassium hydroxide and 116 g of water was slowly dropped into the solution, and the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours after the addition was completed. The acetic acid 0.9g was put in it, the volatile component was removed under reduced pressure, potassium acetate was filtered, and the polymer E was obtained.

ポリマーEの分子量はMn=1600であり、29Si−NMRより
(MeSiO2/20.70(PhSiO2/20.15(EpSiO3/20.15
であり、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基の比率は17モル%、フェニル基の比率は21モル%であり、エポキシ等量は742g/eq.であることを確認した。
The molecular weight of the polymer E is Mn = 1600, and (Me 2 SiO 2/2 ) 0.70 (Ph 2 SiO 2/2 ) 0.15 (EpSiO 3/2 ) 0.15 from 29Si-NMR.
The ratio of 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl group was 17 mol%, the ratio of phenyl group was 21 mol%, and the epoxy equivalent was 742 g / eq. It was confirmed that.

なお、ポリマーEの分子量、エポキシ当量は、合成例1と同様にして求めた。   The molecular weight and epoxy equivalent of polymer E were determined in the same manner as in Synthesis Example 1.

(実施例1)
上記ポリマーC100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−90)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
Example 1
100 g of the polymer C, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, product number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, product name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile-type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-90) are put into a mixer, mixed and degassed to obtain a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device. It was.

(実施例2)
上記ポリマーC100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−50)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
(Example 2)
100 g of the polymer C, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, part number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, trade name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-50) are put into a mixer, mixed and degassed to obtain a reflective die bond material for an optical semiconductor device. It was.

(実施例3)
上記ポリマーC100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−97)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
(Example 3)
100 g of the polymer C, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, product number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, product name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile-type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-97) are put into a mixer, mixed and degassed to obtain a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device. It was.

(実施例4)
上記ポリマーC100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−90−2)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
Example 4
100 g of the polymer C, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, product number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, product name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile-type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-90-2) are put into a mixer, mixed, degassed, and a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device. Got.

(実施例5)
上記ポリマーC100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−50−2)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
(Example 5)
100 g of the polymer C, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, part number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, trade name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile-type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-50-2) are put into a mixer, mixed, degassed, and a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device. Got.

(実施例6)
上記ポリマーC100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、チタン工業社製、品番:KR−270)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
(Example 6)
100 g of the polymer C, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, product number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, product name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile type titanium oxide, manufactured by Titanium Industry Co., Ltd., product number: KR-270) are put into a mixer, mixed and degassed to obtain a reflective die bond material for an optical semiconductor device. It was.

(実施例7)
上記ポリマーA100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−97)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
(Example 7)
100 g of the above polymer A, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, part number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, trade name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile-type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-97) are put into a mixer, mixed and degassed to obtain a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device. It was.

(実施例8)
上記ポリマーB100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−97)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
(Example 8)
100 g of the above polymer B, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, part number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, trade name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile-type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-97) are put into a mixer, mixed and degassed to obtain a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device. It was.

(実施例9)
上記ポリマーD100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−97)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
Example 9
100 g of the polymer D, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, part number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, trade name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile-type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-97) are put into a mixer, mixed and degassed to obtain a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device. It was.

(実施例10)
上記ポリマーE100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−97)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
(Example 10)
100 g of the above polymer E, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, product number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, product name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (rutile-type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-97) are put into a mixer, mixed and degassed to obtain a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device. It was.

(比較例1)
上記ポリマーC100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル
酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(アナタース型、シーアイ化成社製、品番:NanoTekTiO2)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
(Comparative Example 1)
100 g of the polymer C, 20 g of acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH-700G), and a curing accelerator (1, 8 -Octylate of diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, part number: U-CAT SA 102), and antioxidant (manufactured by Clariant, trade name: Sandstub P-EPQ) 0.1 g and 200 g of titanium oxide (anatase type, manufactured by Cii Kasei Co., Ltd., product number: NanoTekTiO2) were put into a mixer, mixed and degassed to obtain a reflective die-bonding material for an optical semiconductor device.

(比較例2)
エポキシ樹脂(東都化成社製、品番:YD−127)100gと、酸無水物(4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸=70/30、新日本理科社製、品番:リカシッドMH−700G)20gと、硬化促進剤(1、8―ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセンー7のオクチル酸塩、サンアプロ社製、品番:U−CAT SA 102)0.3gと、酸化防止剤(クラリアント社製、商品名:サンドスタブ P−EPQ)0.1gと、酸化チタン(ルチル型酸化チタン、石原産業社製、品番:CR−97)200gとを混合機に投入し、混合した後脱泡し、光半導体装置用反射型ダイボンド材を得た。
(Comparative Example 2)
100 g of epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., product number: YD-127) and acid anhydride (4-methylhexahydrophthalic anhydride / hexahydrophthalic anhydride = 70/30, manufactured by Shin Nippon Science Co., Ltd., product number: Ricacid MH- 700 g) and 20 g of a curing accelerator (octylate of 1,8-diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, manufactured by San Apro, product number: U-CAT SA 102), and an antioxidant (Clariant) Company name, product name: Sandstub P-EPQ (0.1 g) and titanium oxide (rutile-type titanium oxide, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product number: CR-97) 200 g were introduced into a mixer and mixed to defoam. Thus, a reflective die bond material for an optical semiconductor device was obtained.

(使用した酸化チタン)
実施例及び比較例で用いた酸化チタンの評価を表1に示す。
(Titanium oxide used)
Table 1 shows the evaluation of titanium oxide used in Examples and Comparative Examples.

Figure 2011074201
Figure 2011074201

(実施例及び比較例の評価)
(1)初期反射率
実施例及び比較例で得られた各光半導体装置用反射型ダイボンド材を150℃及び3時間の加熱条件で硬化させ、50mm×50mm×厚さ100μmの硬化物を得、該硬化物を評価サンプルとした。この評価サンプルについて、色彩・色差計(コニカミノルタ社製、品番:CR−400)を用い、Y値を測定した。
(Evaluation of Examples and Comparative Examples)
(1) Initial reflectivity Each of the reflective die-bonding materials for optical semiconductor devices obtained in Examples and Comparative Examples was cured at 150 ° C. for 3 hours to obtain a cured product of 50 mm × 50 mm × 100 μm thick, The cured product was used as an evaluation sample. About this evaluation sample, the Y value was measured using a color / color difference meter (manufactured by Konica Minolta, product number: CR-400).

(2)150℃×1500時間の耐熱性
上記(1)初期反射率で得られた評価サンプルを送風定温恒湿器(YAMATO社製、品番:DKM−600)を用い、150℃の温度に1500時間維持する熱処理を行った。熱処理後に、(1)初期反射率の評価で用いた色彩・色差計を用い、評価サンプルのY値を測定した。下記の式(8)で求められる評価サンプルのΔY1を求めた。ΔY1が2.0%以下の場合を◎、2.0%を超え、3.0%以下の場合を○、3.0%を超え、4.0%以下の場合を△、4.0%を超えるものを×とした。結果を下記の表2及び表3に示す。
(2) Heat resistance at 150 ° C. × 1500 hours (1) The evaluation sample obtained with the initial reflectivity is 1500 ° C. at a temperature of 150 ° C. using a blowing constant temperature and humidity chamber (manufactured by YAMATO, product number: DKM-600) A heat treatment was performed to maintain the time. After the heat treatment, (1) the Y value of the evaluation sample was measured using the color / color difference meter used in the evaluation of the initial reflectance. ΔY1 of the evaluation sample obtained by the following formula (8) was obtained. When ΔY1 is 2.0% or less, ◎, more than 2.0%, ○ when 3.0% or less, ○, more than 3.0%, and 4.0% or less Δ, 4.0% A value exceeding x was taken as x. The results are shown in Tables 2 and 3 below.

ΔY1=(熱処理される前の評価サンプルのY−150℃1500hの熱処理された後の評価サンプルのY)/(熱処理される前の評価サンプルのY)×100% ・・・(式8) ΔY1 = (Y of evaluation sample before heat treatment—Y of evaluation sample after heat treatment at 1500 ° C. 1500 h) / (Y of evaluation sample before heat treatment) × 100% (Equation 8)

(3)150℃×3000時間の耐熱性
上記(1)初期反射率で得られた評価サンプルを送風定温恒湿器(YAMATO社製、品番:DKM−600)を用い、150℃の温度に3000時間維持する熱処理を行った。熱処理後に、(1)初期反射率の評価で用いた色彩・色差計を用い、評価サンプルのY値を測定した。下記の式(9)で求められる評価サンプルのΔY2を求めた。ΔY2が2.0%以下の場合を◎、2.0%を超え、3.0%以下の場合を○、3.0%を超え、4.0%以下の場合を△、4.0%を超えるものを×とした。結果を下記の表2及び表3に示す。
(3) Heat resistance at 150 ° C. for 3000 hours Above (1) The evaluation sample obtained with the initial reflectivity is 3000 at a temperature of 150 ° C. using a blowing constant temperature and humidity chamber (manufactured by YAMATO, product number: DKM-600). A heat treatment was performed to maintain the time. After the heat treatment, (1) the Y value of the evaluation sample was measured using the color / color difference meter used in the evaluation of the initial reflectance. ΔY2 of the evaluation sample obtained by the following formula (9) was obtained. When ΔY2 is 2.0% or less, ◎, more than 2.0%, ◯ when 3.0% or less, ◯, more than 3.0%, 4.0% or less △, 4.0% A value exceeding x was taken as x. The results are shown in Tables 2 and 3 below.

ΔY2=(熱処理される前の評価サンプルのY−150℃3000hの熱処理された後の評価サンプルのY)/(熱処理される前の評価サンプルのY)×100% ・・・(式9) ΔY2 = (Y of evaluation sample before heat treatment—Y of evaluation sample after heat treatment at 150 ° C. for 3000 h) / (Y of evaluation sample before heat treatment) × 100% (Equation 9)

(4)せん断競接着力
実施例及び比較例で得られた光半導体装置用反射型ダイボンド材を3mm×3mmのシリコーンウエハと、銀メッキが施された銅板(TP技研社製、品番:C1100P)との間に厚さ50μmとなるように介在させた積層体を用意し、該積層体を150℃で3時間加熱し、反射型ダイボンド材を加熱により硬化させた。次に、ダイシェア強度測定装置(アークテック社製、品番:DAGE 4000)により、接触工具を用いてシリコーンウエハに積層方向と直交する方向である横方向に力を加え、銀メッキ銅板からシリコーンウエハが剥がれる時の強度を測定し、該強度をせん断接着力とした。結果を表2及び表3に示す。
(4) Shear competitive adhesive strength The reflective die-bonding material for optical semiconductor devices obtained in the examples and comparative examples is a 3 mm × 3 mm silicone wafer and a silver-plated copper plate (TP Giken, product number: C1100P). A laminated body having a thickness of 50 μm was prepared, and the laminated body was heated at 150 ° C. for 3 hours to cure the reflective die-bonding material by heating. Next, using a die shear strength measuring device (Arctech, product number: DAGE 4000), a contact tool is used to apply a force in the lateral direction perpendicular to the stacking direction to the silicone wafer from the silver-plated copper plate. The strength at the time of peeling was measured, and the strength was defined as shear adhesive strength. The results are shown in Tables 2 and 3.

Figure 2011074201
Figure 2011074201

Figure 2011074201
Figure 2011074201

1…光半導体装置
2…ハウジング
3…発光素子
4…リード電極
5…光半導体装置用反射型ダイボンド材
6…ボンディングワイヤ
7… 封止剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical semiconductor device 2 ... Housing 3 ... Light emitting element 4 ... Lead electrode 5 ... Reflective die-bonding material for optical semiconductor devices 6 ... Bonding wire 7 ... Sealing agent

Claims (7)

分子内に環状エーテル含有基を有するシリコーン樹脂と、結晶構造がルチル型の酸化チタンと、環状エーテル含有基と反応可能な熱硬化剤とを含む、光半導体装置用反射型ダイボンド材。   A reflective die-bonding material for an optical semiconductor device, comprising: a silicone resin having a cyclic ether-containing group in the molecule; a titanium oxide having a rutile crystal structure; and a thermosetting agent capable of reacting with the cyclic ether-containing group. 前記酸化チタンが、該酸化チタン5gを純粋100mlに加えた液を加熱し、5分間沸騰させた後、23℃に達するまで静置し、沸騰処理液を得、得られた沸騰処理液に、沸騰により蒸発した水量の水を加えて水量を100mlとしたときの液のpHが6.2以上、11以下の値を示す酸化チタンである、請求項1に記載の光半導体装置用反射型ダイボンド材。   The titanium oxide is heated to a solution obtained by adding 5 g of the titanium oxide to 100 ml of pure water, boiled for 5 minutes, and then allowed to stand until it reaches 23 ° C. to obtain a boiling treatment liquid. In the obtained boiling treatment liquid, The reflective die bond for an optical semiconductor device according to claim 1, wherein the pH of the liquid when the amount of water evaporated by boiling is added to make the amount of water 100 ml is titanium oxide having a value of 6.2 or more and 11 or less. Wood. 前記酸化チタンが、塩基性金属酸化物及び塩基性金属水酸化物のうち少なくとも1種により被覆されている、請求項1または2に記載の光半導体装置用反射型ダイボンド材。   The reflective die-bonding material for optical semiconductor devices according to claim 1 or 2, wherein the titanium oxide is coated with at least one of a basic metal oxide and a basic metal hydroxide. 前記塩基性金属酸化物及び塩基性金属水酸化物を構成している金属元素が、マグネシウム、ジルコニウム、セリウム、ストロンチウム、アンチモン、バリウム及びカルシウムからなる群から選択された少なくとも一種である、請求項3に記載の光半導体装置用反射型ダイボンド材。   The metal element constituting the basic metal oxide and the basic metal hydroxide is at least one selected from the group consisting of magnesium, zirconium, cerium, strontium, antimony, barium and calcium. A reflective die-bonding material for an optical semiconductor device as described in 1. 前記酸化チタンが、酸化ジルコニウム及び酸化珪素のうち少なくとも一方を含む被覆材料により被覆されている、請求項1または2に記載の光半導体装置用反射型ダイボンド材。   The reflective die-bonding material for optical semiconductor devices according to claim 1 or 2, wherein the titanium oxide is coated with a coating material containing at least one of zirconium oxide and silicon oxide. 分子内に環状エーテル含有基を有するシリコーン樹脂は、平均組成式が下記一般式(1)で表される樹脂成分を含有し、かつ前記環状エーテル含有基の含有量が0.1モル%〜50モル%の範囲にある、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光半導体装置用反射型ダイボンド材。
Figure 2011074201
一般式(1)中、a、b、及びcは、それぞれa/(a+b+c)=0〜0.3、b/(a+b+c)=0.3〜1.0、c/(a+b+c)=0〜0.5、を満たし、R〜Rは、少なくとも1個が環状エーテル含有基を表し、前記環状エーテル含有基以外のR〜Rは、直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜8の炭化水素或いはそのフッ素化物を表し、これらは、互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。
The silicone resin having a cyclic ether-containing group in the molecule contains a resin component whose average composition formula is represented by the following general formula (1), and the content of the cyclic ether-containing group is 0.1 mol% to 50%. The reflective die-bonding material for optical semiconductor devices according to any one of claims 1 to 5, which is in a range of mol%.
Figure 2011074201
In the general formula (1), a, b, and c are a / (a + b + c) = 0 to 0.3, b / (a + b + c) = 0.3 to 1.0, c / (a + b + c) = 0 to 0, respectively. 0.5, and at least one of R 1 to R 6 represents a cyclic ether-containing group, and R 1 to R 6 other than the cyclic ether-containing group have a linear or branched carbon number of 1 to 8 hydrocarbons or fluorinated compounds thereof, which may be the same or different from each other.
請求項1〜6のいずれか1項に記載の光半導体装置用反射型ダイボンド材を用いて光半導体素子が接合されている光半導体装置。   An optical semiconductor device in which an optical semiconductor element is bonded using the reflective die-bonding material for an optical semiconductor device according to claim 1.
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