JP2011064964A - Optical scanner - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電極間に生じる静電力により回動されて光を所望の方向に反射する光スキャナに関する。 The present invention relates to an optical scanner that is rotated by an electrostatic force generated between electrodes and reflects light in a desired direction.
可動部と固定部とを備え、可動部及び固定部から交互に突出する櫛歯状の電極を備える光スキャナが知られている。電極に電圧を印加すると、可動部の電極と固定部の電極との間に電位差が生じ、電位差が電極どうしの間に静電力を生じる。これにより、可動部は固定部に対して回動される。光スキャナの特性を調整するため、可動部を軽量化する種々の手段が知られている(特許文献1)。 There is known an optical scanner that includes a movable portion and a fixed portion, and includes comb-like electrodes that alternately protrude from the movable portion and the fixed portion. When a voltage is applied to the electrodes, a potential difference is generated between the movable portion electrode and the fixed portion electrode, and the potential difference generates an electrostatic force between the electrodes. Thereby, the movable part is rotated with respect to the fixed part. Various means for reducing the weight of the movable part in order to adjust the characteristics of the optical scanner are known (Patent Document 1).
可動部と固定部との間に可動支持部をさらに設け、可動支持部が可動部を支持し、固定部が可動支持部を支持する。これにより固定部に対して二軸回りに可動部を回動自在とする場合、単に可動部を軽量化しただけでは、可動部の回動が可動支持部などの周辺部材に伝わることがある。このとき、周辺部材は可動部の回動により波打つように振動し、光スキャナの駆動効率が低下する。 A movable support part is further provided between the movable part and the fixed part, the movable support part supports the movable part, and the fixed part supports the movable support part. Accordingly, when the movable part is rotatable about two axes with respect to the fixed part, the rotation of the movable part may be transmitted to peripheral members such as the movable support part simply by reducing the weight of the movable part. At this time, the peripheral member vibrates so as to wave with the rotation of the movable portion, and the driving efficiency of the optical scanner decreases.
本発明は、この問題を鑑みてなされたものであり、周辺部材に振動が伝わることを極力防止可能な可動部を備える光スキャナを得ることを目的とする。 The present invention has been made in view of this problem, and an object of the present invention is to obtain an optical scanner including a movable part capable of preventing vibrations from being transmitted to peripheral members as much as possible.
本願第1の発明による光スキャナは、平面である光反射面及び裏面を有し、第1の回動軸回りに回動する可動部と、裏面から一定の長さで突出し、長手方向が裏面に対して平行な直線上を延びる第1の突起と、裏面から一定の長さで突出し、長手方向が第1の突起と直角かつ裏面に対して平行な直線上を延びる第2の突起とを備え、第1の突起は、第1の突起の長手方向及び裏面に対して直角な平面における断面が等脚台形を成し、第2の突起は、第2の突起の長手方向及び裏面に対して直角な平面における断面が等脚台形を成し、複数の第1の突起が、等間隔かつ平行に裏面から突出し、複数の第2の突起が、等間隔かつ平行に裏面から突出することを特徴とする。 An optical scanner according to a first invention of the present application has a light reflecting surface and a back surface which are flat surfaces, a movable portion that rotates around a first rotation axis, and protrudes from the back surface with a certain length, and the longitudinal direction is the back surface. A first protrusion that extends on a straight line parallel to the first protrusion, and a second protrusion that protrudes from the back surface with a certain length and that extends in a straight line whose longitudinal direction is perpendicular to the first protrusion and parallel to the back surface. The first protrusion has an isosceles trapezoidal cross section in a plane perpendicular to the longitudinal direction and the back surface of the first protrusion, and the second protrusion corresponds to the longitudinal direction and the back surface of the second protrusion. A cross section in a plane perpendicular to each other forms an isosceles trapezoid, a plurality of first protrusions protrude from the back surface at equal intervals and in parallel, and a plurality of second protrusions protrude from the back surface at equal intervals and in parallel. Features.
第1の突起どうしの間隔と第2の突起どうしの間隔とが同じ長さであることが好ましい。 It is preferable that the distance between the first protrusions and the distance between the second protrusions are the same length.
本願第2の発明による光スキャナは、平面である光反射面及び裏面を有し、第1の回動軸回りに回動する可動部を備え、可動部は、裏面上に正方格子状のマスキングを設けた後、異方性エッチングすることにより形成される正四角錐状の複数の凹部を有し、複数の凹部は、格子状に裏面上に並べられることを特徴とする。 An optical scanner according to a second invention of the present application has a light reflecting surface and a back surface that are flat surfaces, and includes a movable portion that rotates around a first rotation axis, and the movable portion is masked in a square lattice pattern on the back surface. And a plurality of concave portions having a regular quadrangular pyramid shape formed by anisotropic etching, and the plurality of concave portions are arranged on the back surface in a lattice shape.
可動部の周囲に設けられる可動支持部と、可動支持部に対して第1の回動軸周りに回動自在となるように可動部を支持する第1の支持部と、可動支持部の周囲に設けられる固定部と、第1の回動軸と平行でない第2の回動軸周りに回動自在となるように固定部に対して可動支持部を支持する第2の支持部とをさらに備えることが好ましい。 A movable support portion provided around the movable portion, a first support portion that supports the movable portion so as to be rotatable around the first rotation axis with respect to the movable support portion, and a periphery of the movable support portion And a second support portion that supports the movable support portion with respect to the fixed portion so as to be rotatable around a second rotation axis that is not parallel to the first rotation axis. It is preferable to provide.
可動部は、板状の八角形であって、第1の回動軸に対して直角な2つの側面と、第1の回動軸に対して平行な2つの側面とを有し、第1の回動軸に対して平行な2つの側面から直角に突出する複数の第1の櫛歯電極を有し、第1の支持部は、第1の回動軸に対して直角な2つの側面の中央に接続され、可動支持部は、複数の第1の櫛歯電極に対して交互かつ平行に可動部に向けて突出する第2の櫛歯電極を有することが好ましい。 The movable portion is a plate-shaped octagon, and has two side surfaces perpendicular to the first rotation axis and two side surfaces parallel to the first rotation axis. A plurality of first comb-teeth electrodes projecting at right angles from two side surfaces parallel to the rotation axis of the first, and the first support portion has two side surfaces perpendicular to the first rotation axis It is preferable that the movable support part has a 2nd comb-tooth electrode which protrudes toward a movable part alternately and in parallel with respect to several 1st comb-tooth electrode.
可動支持部は、板状の八角形であって、可動部よりも大きい八角形の孔部を有し、孔部は、第1の回動軸に対して直角な2つの内側面と、第1の回動軸に対して平行な2つの内側面とを有し、第2の櫛歯電極は、第1の回動軸に対して平行な2つの内側面から直角に突出し、第1の支持部は、第1の回動軸に対して直角な2つの内側面の中央に接続され、可動支持部の外側面は、第1の回動軸に対して直角な2つの外側面と、第1の回動軸に対して平行な2つの外側面とを有し、第2の支持部は、第1の回動軸に対して平行な2つの外側面の中央から直角に突出し、第2の支持部から第2の回動軸に対して直角に突出する第3の櫛歯電極を有し、固定部は、複数の第3の櫛歯電極に対して交互かつ平行に第2の支持部に向けて突出する第4の櫛歯電極を有することが好ましい。 The movable support portion is a plate-shaped octagon, and has an octagonal hole portion larger than the movable portion, and the hole portion includes two inner surfaces perpendicular to the first rotation axis, And the second comb electrode protrudes at right angles from the two inner surfaces parallel to the first rotation axis, and the first comb electrode has the first inner surface parallel to the first rotation axis. The support part is connected to the center of two inner side surfaces perpendicular to the first rotation axis, and the outer side surface of the movable support part includes two outer side surfaces perpendicular to the first rotation axis; Two outer surfaces parallel to the first rotation axis, and the second support portion projects perpendicularly from the center of the two outer surfaces parallel to the first rotation axis, and The third comb electrode protrudes perpendicularly to the second rotation axis from the two support portions, and the fixing portion is arranged in parallel and alternately with the plurality of third comb electrodes. 4th projecting toward the support It is preferred to have teeth electrodes.
本発明によれば、周辺部材に振動が伝わることを極力防止可能な可動部を備える光スキャナを得る。 According to the present invention, an optical scanner including a movable part capable of preventing vibrations from being transmitted to peripheral members as much as possible is obtained.
以下、本発明による光スキャナ100について図を用いて説明する。
Hereinafter, an
まず、静止状態における光スキャナ100の構成について、図1から4を用いて説明する。なお、図2のIV−IV線における可動部の一部断面形状は、図3に示す形状と同様である。
First, the configuration of the
光スキャナ100は、八角形の板である可動部200と、可動部200の周囲を取り囲むように設けられるジンバル部300とを有する。
The
可動部200は、厚みを有する正八角柱であって、厚みは、正八角形の一辺の長さよりも極めて小さい。正八角柱の頂面は鏡面である光反射面201を成し、底面は裏面202を成す。光反射面201と裏面202との間の長さは約2から5μmである。正四角錐状の複数の凹部203が裏面202に形成される。
The
ジンバル部300は、可動部200と同じ厚みを有する角筒である。角筒は厚さ方向に貫通する開口部310を有する。角筒の外縁301及び開口部310は八角形を成す。開口部310の中には可動部200が置かれる。
The
可動部200は、第1のX方向支持軸211及び第2のX方向支持軸212により開口部310と接続される。第1のX方向支持軸211及び第2のX方向支持軸212は、第1の回動軸L上に設けられ、可動部200の側面の中央と、開口部310の側面の中央とに接続される。第1のX方向支持軸211が接続される可動部及び開口部310の側面と、第2のX方向支持軸212が接続される可動部及び開口部310の側面とは、互いに平行である。第1及び第2のX方向支持軸211、212が接続される可動部及び開口部310の側面は、第1の回動軸Lに対して直角である。
The
第1の回動軸Lに対して平行である可動部200の側面から、第1及び第2の可動部側櫛歯電極221、222が直角に突出する。第1及び第2の可動部側櫛歯電極221、222は、複数の直方体から成り、一定の間隔を置いて並べられる。
From the side surface of the
第1の回動軸Lに対して平行である開口部310の側面から、第1及び第2のジンバル側櫛歯電極321、322が直角に突出する。第1及び第2のジンバル側櫛歯電極321、322は、複数の直方体から成り、第1及び第2の可動部側櫛歯電極221、222と交互になるように、一定の間隔を置いて並べられる。
The first and second gimbal
ジンバル部300は、第1のY方向支持軸311及び第2のY方向支持軸312により図示しない固定部と接続される。第1のY方向支持軸311及び第2のY方向支持軸312は、第1の回動軸Lに対して直角である第2の回動軸M上に設けられる。第1のY方向支持軸311は、ジンバル部300の1つの外側面の中央に接続され、第2のY方向支持軸312は、ジンバル部300の他の外側面の中央に接続される。第1のY方向支持軸311が接続される外側面は、第2のY方向支持軸312が接続される外側面と平行であると共に、第1の回動軸Lに対して平行である。第1のY方向支持軸311及び第2のY方向支持軸312は、弾性力を有する第1及び第2のヒンジ部331、332を介して固定部と接続される。
The
以下、第1の回動軸Lが延びる方向をX軸、第2の回動軸Mが延びる方向をY軸、可動部200の厚さ方向をZ軸とする右手系座標を用いて説明する。
In the following, description will be made using right-handed coordinates where the direction in which the first rotation axis L extends is the X axis, the direction in which the second rotation axis M extends is the Y axis, and the thickness direction of the
第1のY方向支持軸311及び第2のY方向支持軸312から第2の回動軸Mに対して直角に、第1から第8の支持軸側櫛歯電極321−328が直角に突出する。第1から第4の支持軸側櫛歯電極321−328は、複数の直方体から成り、一定の間隔を置いて並べられる。
From the first Y-
第1のY方向支持軸311及び第2のY方向支持軸312に向けて固定部から図示しない第1から第8の固定部側櫛歯電極が直角に突出する。第1から第8の固定部側櫛歯電極は、複数の直方体から成り、第1から第8の支持軸側櫛歯電極321−328と交互になるように、一定の間隔を置いて並べられる。
The first to eighth fixed portion side comb-teeth electrodes (not shown) project at right angles from the fixed portion toward the first Y-
次に、裏面202の形状について説明する。
Next, the shape of the
裏面202には、第1及び第2の突起240、250が設けられる。第1及び第2の突起240、250は、裏面202から一定の長さで突出し、格子を形成する。
First and
第1の突起240は、等脚台形形状を成す頂面241及び底面を有する角柱である。等脚台形の底辺を有する側面が裏面202に接続される。角柱の高さ方向、すなわち第1の突起240の長手方向は、裏面及び第1の回動軸Lに対して平行である。第1の突起240は複数であって、互いに等間隔かつ平行である。
The
第2の突起250は、第1の突起240と同形状の角柱である。等脚台形の底辺を成す側面が裏面202に接続される。角柱の高さ方向、すなわち第2の突起250の長手方向は、裏面及び第2の回動軸Mに対して平行である。つまり、第2の突起250の長手方向は、第1の突起240の長手方向と直角に交わる。第2の突起250は複数であって、互いに等間隔かつ平行である。また、第1の突起240どうしの間隔と第2の突起250どうしの間隔は、同じである。
The
第1及び第2の突起240、250は、格子状に配された凸部を裏面202に形成し、第1の突起240と第2の突起250との間に正四角錐状の凹部203が形成される。
The first and
正四角錐状の凹部203は、異方性エッチングにより形成される。ウェハ上に正方格子状のマスキングを施し、KOH、あるいは水酸化テトラメチルアンモニウムを用いてウェットエッチングの1つである異方性エッチングを行う。マスキングを施された部位が第1及び第2の突起240、250における等脚台形の断面において、頂辺を形成する。異方性エッチングは、マスキングされた部位から斜め方向にウェハを腐食させる。腐食により、正四角錐状の凹部203の斜面が形成される。等脚台形の長辺と正四角錐の斜面との角度は約54.7度である。正方格子状のマスキングにおいて、格子どうしの距離は、光反射面201と裏面202との間の長さが約2から5μmとなるように決定される。これにより、複数の正四角錐状の凹部203が格子状に裏面202上に並べられる。
The regular quadrangular pyramid-shaped
他方、Deep RIEにより凹部203を形成する手法を採ることも考えられるが、Deep RIEによれば凹部は直方体状に形成される。このとき、凹部の底部を平滑に形成させることが困難であるため、可動部200全体において均一な重量分布及び強度分布を得ることができない。そのため、可動部200の共振周波数に個体差が生じる可能性がある。しかし、本実施形態によれば、Deep RIEによるエッチング手段よりも可動部200全体が均一な重量分布及び強度分布を得ることができるため、可動部200の共振周波数における個体差を抑えることができる。
On the other hand, although it is conceivable to adopt a method of forming the
次に、光スキャナ100の動作について説明する。
Next, the operation of the
まず、可動部200の回動について説明する。
First, the rotation of the
図示しない電源装置により、第1及び第2の可動部側櫛歯電極221、222と第1及び第2のジンバル側櫛歯電極321、322との間に電位差が与えられると、第1及び第2の可動部側櫛歯電極221、222と第1及び第2のジンバル側櫛歯電極321、322との間には、静電力により互いに引き合う引力、すなわち静電引力が生じる。ここで、第1及び第2の可動部側櫛歯電極221、222と第1及び第2のジンバル側櫛歯電極321、322との間に静電引力が生じさせる駆動トルクTは、第1及び第2の可動部側櫛歯電極221、222と第1及び第2のジンバル側櫛歯電極321、322との間の電位差、すなわち光スキャナ100の駆動電圧に応じて増減する。可動部200が共振現象により共振周波数frで回動するように、駆動電圧が調整される。
When a potential difference is applied between the first and second movable part
そして、静電引力により第1及び第2のX方向支持軸211、212が捻れて、第1及び第2の可動部側櫛歯電極221、222が第1及び第2のジンバル側櫛歯電極321、322と重なりあう方向に移動する。これにより可動部200が第1及び第2のX方向支持軸211、212周り、つまり第1の回動軸回りに回動する。可動部200が回動すると、ジンバル部300に対する光反射面201の角度が変化し、光反射面201による反射光の射出方向が変化する。
Then, the first and second
第1及び第2のX方向支持軸211、212回りに回動する可動部200の共振周波数frは、以下の式による。
fr=(1/2π)√(k/I) (1)
ここで、kはねじりバネ定数、Iは慣性モーメントである。この式を参照すると、共振周波数frは、ねじりバネ定数kと慣性モーメントIとにより決定されることがわかる。
The resonance frequency fr of the
fr = (1 / 2π) √ (k / I) (1)
Here, k is a torsion spring constant, and I is a moment of inertia. Referring to this equation, it can be seen that the resonance frequency fr is determined by the torsion spring constant k and the moment of inertia I.
一方、光スキャナ100の駆動トルクTは以下の式による。
T=kθ (2)
ここで、kはねじりバネ定数、θは可動部200の振れ角度である。この式により、駆動トルクTが一定の場合、ねじりバネ定数kを小さくすると、振れ角度θが大きくなることがわかる。なお、光スキャナ100の駆動電圧を一定にしたとき、駆動トルクTが一定となる。
On the other hand, the driving torque T of the
T = kθ (2)
Here, k is a torsion spring constant, and θ is a swing angle of the
式(1)から、共振周波数frを一定に保持しようとするとき、慣性モーメントIを小さくすれば、ねじりバネ定数kを小さくすることができる。ねじりバネ定数kを小さくすることができれば、式(2)より、振れ角度θを大きくすることができる。 From Equation (1), when the resonance frequency fr is to be kept constant, the torsion spring constant k can be reduced by reducing the moment of inertia I. If the torsion spring constant k can be reduced, the deflection angle θ can be increased from the equation (2).
ここで、可動部200の慣性モーメントIは一般に次式により求められる。
I=(a2+b2)・M/12 (3)
ここで、Mは可動部200の質量、aは可動部200の回動軸に対して直角方向に対する可動部200の長辺方向長さ、bは回動軸に対して直角方向に対する可動部200の短辺方向長さである。すなわち、慣性モーメントIは、回動軸からの距離と質量の積で表される。そのため、回動する部位の質量を軽くできれば、慣性モーメントIを小さくすることができる。
Here, the inertia moment I of the
I = (a2 + b2) · M / 12 (3)
Here, M is the mass of the
本実施形態では、可動部200の裏面202に凹部203が形成されない場合と比較して、可動部200の質量が小さくなる。そのため、可動部200の慣性モーメントIが小さくなり、駆動電圧が等しい条件では従来と比較して共振周波数fr及び振れ角度θを大きくすることができる。すなわち、可動部200の共振周波数frは、裏面202に凹部203を形成しない場合、5.74kHzであるが、本実施形態によれば6.53kHzであり、約1kHz共振周波数を高くすることができる。
In the present embodiment, the mass of the
次に、ジンバル部300の回動について説明する。
Next, rotation of the
図示しない電源装置により、第1から第8の支持軸側櫛歯電極321−328と第1から第8の固定部側櫛歯電極との間に電位差が与えられると、第1から第8の支持軸側櫛歯電極321−328と第1から第8の固定部側櫛歯電極との間には、静電力により互いに引き合う引力、すなわち静電引力が生じる。この静電引力により、ジンバル部300は固定部に対して回動する。ここで、ジンバル部300は、共振現象を利用せずに第1から第8の支持軸側櫛歯電極321−328と第1から第8の固定部側櫛歯電極との間に生じる電位差のみにより回動する、すなわちDC駆動される。
When a potential difference is applied between the first to eighth support shaft
可動部200が高周波数で回動する場合、可動部200の慣性質量によって生じた振動がジンバル部300に伝わることがある。これにより、ジンバル部300が波打つ、すなわちジンバル部300がZ軸方向に振動する。この振動は、可動部200の慣性質量によるものであるため、可動部200の慣性質量が減少すれば、低減することができる。
When the
図5を用いて、裏面202に凹部203を形成した場合と形成しない場合におけるジンバル部300の振動量、すなわちZ軸正方向における変位について説明する。図5は、最大Z軸方向変位を1μmとして可動部200を回動させたときのZ軸正方向におけるジンバル部300の変位を示す。
The amount of vibration of the
図5において、光反射面201の中央からY軸正方向に750μm離れた位置は、可動部200と第2の可動部側櫛歯電極222との接合位置である。また、光反射面201の中央からY軸正方向に1600μm離れた位置は、ジンバル部300と第1のY方向支持軸311との接合位置である。そして、光反射面201の中央からY軸正方向に2300μm離れた位置は、第1のY方向支持軸311の最先端、つまり第2のY方向支持軸312と第2のヒンジ部332との接合部である。
In FIG. 5, the position away from the center of the
第2のY方向支持軸312のZ軸正方向に対する変位は、ジンバル部300との接合位置において、裏面202に凹部203を形成しない場合、0.065μm変位する。一方、本実施形態によれば0.047μm変位する。
The displacement of the second Y-
第2のY方向支持軸312のZ軸正方向に対する変位は、第2のヒンジ部332との接合位置において、裏面202に凹部203を形成しない場合、0.050μm変位する。一方、本実施形態によれば0.028μm変位する。
The displacement of the second Y-
すなわち、裏面202に凹部203を形成した場合、形成しない場合と比較して、可動部200の周辺部材における振動量、すなわちZ軸正方向における変位が減少する。
That is, when the
本実施形態によれば、ジンバル部300などの周辺部材に、可動部200の振動が伝わることを極力防止でき、これにより正確に光を反射できる。また、第1及び第2の突起240、250が格子状に配されるため、可動部200の強度を十分に確保することができる。これにより、回動による回動部の歪みを最小限に抑えて、所望の方向へ正確に光を反射することができる。
According to the present embodiment, it is possible to prevent the vibration of the
なお、回動軸が2軸の光スキャナ100について説明したが、回動軸は2軸に限定されない。
Although the
また、異方性エッチングに用いられる薬剤は、KOH、あるいは水酸化テトラメチルアンモニウムに限定されない。 Moreover, the chemical | medical agent used for anisotropic etching is not limited to KOH or tetramethylammonium hydroxide.
100 光スキャナ
200 可動部
201 光反射面
202 裏面
203 凹部
211 第1のX方向支持軸
212 第2のX方向支持軸
221 第2の可動部側櫛歯電極
240 第1の突起
250 第2の突起
300 ジンバル部
310 開口部
311 第1のY方向支持軸
312 第2のY方向支持軸
L 第1の回動軸
M 第2の回動軸
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記裏面から一定の長さで突出し、長手方向が前記裏面に対して平行な直線上を延びる第1の突起と、
前記裏面から一定の長さで突出し、長手方向が前記第1の突起と直角かつ前記裏面に対して平行な直線上を延びる第2の突起とを備え、
前記第1の突起は、前記第1の突起の長手方向及び前記裏面に対して直角な平面における断面が等脚台形を成し、
前記第2の突起は、前記第2の突起の長手方向及び前記裏面に対して直角な平面における断面が等脚台形を成し、
複数の前記第1の突起が、等間隔かつ平行に前記裏面から突出し、
複数の前記第2の突起が、等間隔かつ平行に前記裏面から突出する光スキャナ。 A movable portion that has a light reflecting surface and a back surface that are flat surfaces and rotates about a first rotation axis;
A first protrusion that protrudes from the back surface with a certain length, and whose longitudinal direction extends on a straight line parallel to the back surface;
A second protrusion that protrudes from the back surface with a certain length and that extends in a straight line whose longitudinal direction is perpendicular to the first protrusion and parallel to the back surface;
The first protrusion has an isosceles trapezoidal cross section in a plane perpendicular to the longitudinal direction and the back surface of the first protrusion,
The second protrusion has an isosceles trapezoidal cross section in a plane perpendicular to the longitudinal direction and the back surface of the second protrusion.
A plurality of the first protrusions protrude from the back surface at equal intervals and in parallel,
An optical scanner in which a plurality of the second protrusions protrude from the back surface at equal intervals and in parallel.
前記可動部は、前記裏面上に正方格子状のマスキングを設けた後、異方性エッチングすることにより形成される正四角錐状の複数の凹部を有し、
前記複数の凹部は、格子状に前記裏面上に並べられる光スキャナ。 It has a light reflecting surface and a back surface that are flat surfaces, and includes a movable portion that rotates around a first rotation axis,
The movable part has a plurality of square quadrangular pyramid recesses formed by anisotropic etching after providing a square lattice masking on the back surface,
The plurality of recesses are optical scanners arranged on the back surface in a grid pattern.
前記可動支持部に対して前記第1の回動軸周りに回動自在となるように前記可動部を支持する第1の支持部と、
前記可動支持部の周囲に設けられる固定部と、
前記第1の回動軸と平行でない第2の回動軸周りに回動自在となるように前記固定部に対して前記可動支持部を支持する第2の支持部とをさらに備える請求項1又は3に記載の光スキャナ。 A movable support provided around the movable part;
A first support portion that supports the movable portion so as to be rotatable around the first rotation axis with respect to the movable support portion;
A fixed portion provided around the movable support portion;
2. A second support portion that supports the movable support portion with respect to the fixed portion so as to be rotatable around a second rotation shaft that is not parallel to the first rotation shaft. Or the optical scanner of 3.
前記第1の支持部は、前記第1の回動軸に対して直角な2つの側面の中央に接続され、
前記可動支持部は、前記複数の第1の櫛歯電極に対して交互かつ平行に前記可動部に向けて突出する第2の櫛歯電極を有する請求項4に記載の光スキャナ。 The movable part is a plate-like octagon, and has two side surfaces perpendicular to the first rotation axis and two side surfaces parallel to the first rotation axis. A plurality of first comb electrodes protruding perpendicularly from two side surfaces parallel to the first rotation axis,
The first support portion is connected to the center of two side surfaces perpendicular to the first rotation axis,
5. The optical scanner according to claim 4, wherein the movable support portion includes second comb-shaped electrodes that protrude toward the movable portion alternately and in parallel with the plurality of first comb-shaped electrodes.
前記孔部は、前記第1の回動軸に対して直角な2つの内側面と、前記第1の回動軸に対して平行な2つの内側面とを有し、前記第2の櫛歯電極は、前記第1の回動軸に対して平行な2つの内側面から直角に突出し、
前記第1の支持部は、前記第1の回動軸に対して直角な2つの内側面の中央に接続され、
前記可動支持部の外側面は、前記第1の回動軸に対して直角な2つの外側面と、前記第1の回動軸に対して平行な2つの外側面とを有し、
前記第2の支持部は、前記第1の回動軸に対して平行な2つの外側面の中央から直角に突出し、前記第2の支持部から前記第2の回動軸に対して直角に突出する第3の櫛歯電極を有し、
前記固定部は、前記複数の第3の櫛歯電極に対して交互かつ平行に前記第2の支持部に向けて突出する第4の櫛歯電極を有する請求項5に記載の光スキャナ。 The movable support part is a plate-shaped octagon, and has an octagonal hole larger than the movable part,
The hole has two inner surfaces perpendicular to the first rotation axis, and two inner surfaces parallel to the first rotation axis, and the second comb teeth The electrode protrudes perpendicularly from two inner surfaces parallel to the first rotation axis,
The first support portion is connected to the center of two inner surfaces perpendicular to the first rotation axis,
The outer surface of the movable support portion has two outer surfaces perpendicular to the first rotation axis, and two outer surfaces parallel to the first rotation axis,
The second support part protrudes at a right angle from the center of two outer surfaces parallel to the first rotation axis, and is perpendicular to the second rotation axis from the second support part. A protruding third comb electrode;
The optical scanner according to claim 5, wherein the fixing portion includes fourth comb electrodes protruding toward the second support portion alternately and in parallel with the plurality of third comb electrodes.
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