JP2011062591A

JP2011062591A - Apparatus and method for discharging droplets

Info

Publication number: JP2011062591A
Application number: JP2009213005A
Authority: JP
Inventors: Keigo Sukai; 圭吾須貝
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-09-15
Filing date: 2009-09-15
Publication date: 2011-03-31

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a simple structure of stirring a functional liquid housed in an ink tank liquid housing part. <P>SOLUTION: An apparatus 1 for discharging droplets has a droplet discharge head 17 for discharging the functional liquid 28 from a nozzle 19 to the substrate 7 while formed into the droplets, a housing tank 15 formed long in the first direction 15a and housing the functional liquid 28 to be supplied to the droplet discharge head 17 and a carriage 11 for moving the droplet discharge head 17 and the housing tank 15 to the substrate 7. When the direction in which the carriage 11 moves the droplet discharge head 17 and the housing tank 15 in the discharge of the droplets from the nozzle 19 is defined as the main scanning direction 11a, the functional liquid 28 is stirred by moving the housing tank 15 to turn the first direction 15a of the housing tank 15 toward the main scanning direction 11a. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出装置にかかわり、特に、簡単な構造で吐出する液状体を攪拌する装置に関するものである。 The present invention relates to a droplet discharge device, and more particularly to a device for stirring a liquid material discharged with a simple structure.

従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置においてテーブルの移動方向と直交する方向に配置されたガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジにはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）が配置され、液滴吐出ヘッドはワークに対して機能液を液滴にして吐出し塗布していた。 2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet type droplet discharge device is known as a device for discharging droplets to a workpiece. The droplet discharge device includes a table on which a workpiece such as a substrate is placed and the workpiece is moved in one direction, and a carriage that moves along a guide rail disposed in a direction perpendicular to the moving direction of the table at a position above the table. And. An ink jet head (hereinafter referred to as a droplet discharge head) is disposed on the carriage, and the droplet discharge head discharges and applies a functional liquid as a droplet to a work.

機能液は溶媒または分散媒に各種の内在物を溶解または分散させて形成される。内在物が分散媒に分散している場合には、時間の経過にともない、内在物が沈降することがある。そして、機能液に分散している内在物の濃度が薄くなる。例えば、機能液の内在物が顔料インクの場合には、顔料粒子が沈降することにより液中の顔料粒子濃度が低くなるので、塗布したインクの色が薄くなる。内在物の沈降を防止する為に機能液を攪拌する必要がある。 The functional liquid is formed by dissolving or dispersing various intrinsic substances in a solvent or dispersion medium. When the inclusions are dispersed in the dispersion medium, the inclusions may settle as time passes. And the density | concentration of the inherent matter currently disperse | distributed to a functional liquid becomes thin. For example, when the intrinsic function liquid is a pigment ink, the pigment particle concentration in the liquid is lowered due to the precipitation of the pigment particles, so that the color of the applied ink is lightened. It is necessary to agitate the functional liquid in order to prevent sedimentation of the inherent substances.

機能液を攪拌する方法が特許文献１に開示されている。それによると、インクタンク液体収容部内に磁性体を移動可能に配置する。そして、インクタンク液体収容部をキャリッジに配置し、インクタンク液体収容部はキャリッジによって移動可能にする。キャリッジが移動する通路には磁石が配置され、キャリッジが移動するときインクタンク液体収容部は磁石の付近を通過する。そして、インクタンク液体収容部が磁石の付近を通過するとき、インクタンク液体収容部内の磁性体が移動する。磁性体が移動することにより、インクタンク液体収容部内のインクが攪拌される。 A method of stirring the functional liquid is disclosed in Patent Document 1. According to this, the magnetic body is movably disposed in the ink tank liquid storage portion. Then, the ink tank liquid storage unit is disposed on the carriage, and the ink tank liquid storage unit is movable by the carriage. A magnet is disposed in a path along which the carriage moves, and when the carriage moves, the ink tank liquid container passes near the magnet. Then, when the ink tank liquid container passes near the magnet, the magnetic body in the ink tank liquid container moves. As the magnetic material moves, the ink in the ink tank liquid container is agitated.

特開２００６−１８７９４３号公報JP 2006-188793 A

磁性体等を用いて機能液を攪拌するには磁性体等の攪拌子を動かすための機構が必要となる。機能液を攪拌する機構を簡単な構造にすることにより液滴吐出装置を製造し易くすることができる。そこで、インクタンク液体収容部内に収容された機能液を攪拌する簡単な構造が望まれていた。 In order to stir the functional liquid using a magnetic material or the like, a mechanism for moving a stirrer such as a magnetic material is required. By making the mechanism for stirring the functional liquid a simple structure, it is possible to easily manufacture the droplet discharge device. Therefore, a simple structure that stirs the functional liquid stored in the ink tank liquid storage portion has been desired.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］
本適用例にかかる液滴吐出装置であって、ノズルからワークに液状体を液滴にして吐出する吐出部と、第１方向に長く形成され前記吐出部に供給する前記液状体を収容する液状体収容部と、前記ワークに対して前記吐出部と前記液状体収容部とを移動させる移動部と、を有し、前記ノズルから前記液滴を吐出するときに前記移動部が前記吐出部を移動させる方向を主走査方向とするとき、前記液状体収容部の前記第１方向を前記主走査方向に向けて前記液状体収容部を移動させることにより前記液状体を攪拌することを特徴とする。 [Application Example 1]
A liquid droplet ejection apparatus according to this application example, in which a liquid material is ejected as droplets from a nozzle onto a work, and a liquid material that contains the liquid material that is formed in a first direction and is supplied to the ejection unit. And a moving part that moves the discharge part and the liquid material containing part with respect to the workpiece, and the moving part causes the discharge part to be ejected when the liquid droplets are discharged from the nozzle. When the moving direction is a main scanning direction, the liquid material is agitated by moving the liquid material containing portion so that the first direction of the liquid material containing portion is directed to the main scanning direction. .

この液滴吐出装置によれば、液状体収容部に液状体が収容されている。そして、この液状体は吐出部に供給される。吐出部は液状体を液滴にしてノズルからワークに吐出する。移動部はワークに対して吐出部を移動することにより、吐出部はワークの所定の場所に液滴を吐出できる。 According to this droplet discharge device, the liquid material is accommodated in the liquid material accommodating portion. And this liquid is supplied to a discharge part. The discharge unit discharges the liquid material into droplets from the nozzle to the work. The moving unit moves the discharge unit relative to the workpiece, so that the discharge unit can discharge droplets to a predetermined place on the workpiece.

移動部は液状体収容部を主走査方向に移動する。そして、移動部は液状体収容部を長く形成された第１方向に移動する。このとき、液状体収容部の形状が短い方向に液状体収容部が移動する場合に比べて、液状体収容部の形状が長い方向に液状体収容部が移動する方が、液状体収容部の内部に収容された液状体は移動し易い。液状体が移動することにより、液状体は攪拌される。従って、液状体収容部を移動するだけで液状体を攪拌させる為、簡単な構造で攪拌することができる。 The moving part moves the liquid material containing part in the main scanning direction. The moving part moves in the first direction in which the liquid material containing part is formed long. At this time, compared with the case where the liquid material container moves in the direction in which the shape of the liquid material container is short, the liquid material container moves more in the direction where the shape of the liquid material container is long. The liquid contained in the inside is easy to move. The liquid is stirred by the movement of the liquid. Accordingly, since the liquid material is agitated only by moving the liquid material accommodating portion, it can be agitated with a simple structure.

［適用例２］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液状体収容部を回転させる回転部、を有し、前記液状体収容部の前記第１方向を前記主走査方向と交差する方向に向けて、前記液滴を吐出することを特徴とする。 [Application Example 2]
In the liquid droplet ejection device according to the application example, the liquid discharge unit includes a rotating unit that rotates the liquid material storage unit, and the first direction of the liquid material storage unit is directed to a direction intersecting the main scanning direction. A droplet is ejected.

この液滴吐出装置によれば、回転部が液状体収容部を回転させる。そして、回転部が液状体収容部の第１方向を主走査方向と交差する方向に向ける。このとき、液状体収容部の第１方向は主走査方向と異なる方向になる為、液状体収容部が主走査方向に移動しても液状体収容部内の液状体は移動し難くなる。液状体収容部内で液状体が移動するとき液状体の圧力が局所的に変動する。その圧力変動が吐出部に伝播するとき、ノズルから吐出されえる液滴の体積が変動する。本適用例では液状体収容部が主走査方向に移動しても液状体収容部内の液状体は移動し難い為、液状体収容部内の圧力変動は小さい。従って、液状体収容部内から吐出部に伝播する圧力変動が小さい為、ノズルから吐出されえる液滴の体積を変動し難くすることができる。 According to this droplet discharge device, the rotating unit rotates the liquid material containing unit. Then, the rotating unit orients the first direction of the liquid material containing unit in a direction intersecting the main scanning direction. At this time, since the first direction of the liquid material container is different from the main scanning direction, the liquid material in the liquid material container is difficult to move even if the liquid material container moves in the main scanning direction. When the liquid material moves in the liquid material container, the pressure of the liquid material locally fluctuates. When the pressure fluctuation propagates to the ejection part, the volume of the droplet that can be ejected from the nozzle varies. In this application example, even if the liquid material container moves in the main scanning direction, the liquid material in the liquid material container is difficult to move, so that the pressure fluctuation in the liquid material container is small. Therefore, since the pressure fluctuation propagating from the liquid material containing portion to the discharge portion is small, it is possible to make it difficult to change the volume of the droplet that can be discharged from the nozzle.

［適用例３］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液状体の攪拌後に経過した時間が所定の時間以上経過するとき、前記液状体の攪拌を行う判断をする攪拌判断部を有することを特徴とする。 [Application Example 3]
The liquid droplet ejection apparatus according to the application example described above is characterized in that the liquid droplet ejection apparatus includes an agitation determination unit that determines to agitate the liquid material when a time elapsed after the agitation of the liquid material elapses for a predetermined time.

この液滴吐出装置によれば、攪拌判断部が液状体の攪拌後に経過した時間を検出する。そして、所定の時間以上の時間が経過するとき、攪拌判断部は液状体の攪拌を行う判断をする。液状体に含まれる内在物が沈降することがある。このとき、沈降する内在物の量は時間の経過と比例して増加する。そして、液状体を攪拌することにより沈降した内在物は液状体に分散する。本適用例では所定の時間が経過するときに液状体を攪拌するので、沈降した内在物を所定の量以下にすることができる。その結果、液状体に分散する内在物の濃度を所定の濃度より多い状態に維持することができる。 According to this droplet discharge device, the stirring determination unit detects the time elapsed after stirring the liquid. And when time more than predetermined time passes, a stirring judgment part judges to stir a liquid. Intrinsic substances contained in the liquid may settle. At this time, the amount of the inherent matter that sinks increases in proportion to the passage of time. And the inherent matter which settled by stirring a liquid body disperse | distributes to a liquid body. In this application example, since the liquid material is stirred when a predetermined time elapses, the settled intrinsic substance can be reduced to a predetermined amount or less. As a result, the concentration of the intrinsic substance dispersed in the liquid can be maintained in a state higher than a predetermined concentration.

［適用例４］
本適用例にかかる吐出方法であって、ノズルをワークに対して主走査方向に移動しながら、前記ノズルから前記ワークに液状体を液滴にして吐出する吐出工程と、前記ノズルに供給する前記液状体を収容する液状体収容部を主走査方向に移動することにより、前記液状体収容部内の前記液状体を攪拌する攪拌工程と、を有し、前記液状体収容部は第１方向に長く形成され、前記攪拌工程では前記液状体収容部の前記第１方向を前記主走査方向に向けて前記液状体収容部を移動させることを特徴とする。 [Application Example 4]
In the discharge method according to this application example, the nozzle is moved in the main scanning direction with respect to the work, and the liquid is discharged from the nozzle to the work as a liquid droplet, and the nozzle is supplied to the nozzle And a stirring step of stirring the liquid material in the liquid material storage portion by moving the liquid material storage portion for storing the liquid material in the main scanning direction, and the liquid material storage portion is long in the first direction. In the agitation step, the liquid material storage unit is moved with the first direction of the liquid material storage unit facing the main scanning direction.

この吐出方法によれば、液状体を収容する液状体収容部は第１方向に長く形成されている。そして、攪拌工程において液状体収容部の第１方向を主走査方向に向けて液状体収容部を移動させる。従って、液状体収容部の内部に収容された液状体の移動可能な長さが長くなるように液状体収容部が配置される為、液状体は攪拌され易くなっている。 According to this discharge method, the liquid material storage portion that stores the liquid material is formed long in the first direction. Then, in the stirring step, the liquid material storage unit is moved with the first direction of the liquid material storage unit oriented in the main scanning direction. Therefore, since the liquid material accommodating portion is disposed so that the movable length of the liquid material accommodated in the liquid material accommodating portion is increased, the liquid material is easily stirred.

吐出工程ではノズルをワークに対して主走査方向に移動しながら、ノズルからワークに液状体を液滴にして吐出する。従って、吐出された液滴は良く攪拌された液状体から形成されている為、複数の液滴を吐出するときの各液滴に含まれる内在物濃度の標準偏差を小さくすることができる。液状体の攪拌は液状体収容部を主走査方向に移動して行うので、簡便な方法にて行うことができる。 In the discharging step, the liquid material is discharged as droplets from the nozzle to the work while moving the nozzle in the main scanning direction with respect to the work. Therefore, since the discharged droplets are formed from a well-stirred liquid, the standard deviation of the concentration of contained substances contained in each droplet when a plurality of droplets are discharged can be reduced. Since the stirring of the liquid material is performed by moving the liquid material container in the main scanning direction, it can be performed by a simple method.

［適用例５］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記吐出工程では前記液状体収容部の前記第１方向を前記主走査方向と交差する方向に向けることを特徴とする。 [Application Example 5]
In the ejection method according to the application example described above, in the ejection step, the first direction of the liquid material container is directed to a direction intersecting the main scanning direction.

この吐出方法によれば、吐出工程では液状体収容部の第１方向が主走査方向と交差する方向に向けられている。従って、液状体収容部が主走査方向に移動しても液状体収容部内の液状体は移動し難い為、液状体収容部内の圧力変動は小さい。その結果、液状体収容部内から吐出部に伝播する圧力変動が小さい為、ノズルから吐出されえる液滴の体積を変動し難くすることができる。 According to this discharge method, in the discharge process, the first direction of the liquid material containing portion is directed in a direction crossing the main scanning direction. Therefore, even if the liquid material container moves in the main scanning direction, it is difficult for the liquid material in the liquid material container to move, so the pressure fluctuation in the liquid material container is small. As a result, since the pressure fluctuation propagating from the liquid material containing portion to the discharge portion is small, it is possible to make it difficult to change the volume of the droplet that can be discharged from the nozzle.

［適用例６］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記攪拌工程は、前記液状体収容部内の前記液状体を攪拌してから所定の時間が経過した後に行われることを特徴とする。 [Application Example 6]
In the ejection method according to the application example, the stirring step is performed after a predetermined time has elapsed since the liquid material in the liquid material container is stirred.

この吐出方法によれば、攪拌後に所定の時間以上の時間が経過するとき、攪拌を行う。従って、沈降する内在物を所定の量以下にすることができる。その結果、液状体に分散する内在物の濃度を所定の濃度より多い状態に維持することができる。 According to this discharge method, stirring is performed when a predetermined time or more elapses after stirring. Therefore, it is possible to reduce the content of sediments to settle below a predetermined amount. As a result, the concentration of the intrinsic substance dispersed in the liquid can be maintained in a state higher than a predetermined concentration.

［適用例７］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記吐出工程において前記液状体収容部を移動するときの加速度に比べて前記攪拌工程では大きな加速度にて前記液状体収容部を移動することを特徴とする。 [Application Example 7]
The discharge method according to the application example is characterized in that the liquid material container is moved at a large acceleration in the stirring step compared to an acceleration when the liquid material container is moved in the discharge process.

この吐出方法によれば、攪拌工程では大きな加速度を加えて液状体収容部を移動する為、液状体に大きな加速度を加えることができる。その結果、液状体を攪拌し易くすることができる。 According to this discharge method, since a large acceleration is applied in the stirring step to move the liquid material container, a large acceleration can be applied to the liquid material. As a result, the liquid can be easily stirred.

液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows the structure of a droplet discharge apparatus. キャリッジを示す模式図。The schematic diagram which shows a carriage. （ａ）は、機能液の流路を示す構成図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す要部模式断面図。(A) is a block diagram which shows the flow path of a functional liquid, (b) is a principal part schematic cross section which shows the structure of a droplet discharge head. 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。The electric control block diagram of a droplet discharge device. 描画作業を示すフローチャート。The flowchart which shows drawing work. 描画方法を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the drawing method. 描画方法を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the drawing method.

以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。 Hereinafter, specific embodiments will be described with reference to the drawings. In addition, each member in each drawing is illustrated with a different scale for each member in order to make the size recognizable on each drawing.

（実施形態）
本実施形態における特徴的な液滴吐出装置とこの液滴吐出装置を用いて液滴を吐出する方法との特徴的な例について図１〜図７に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。 (Embodiment)
A characteristic example of a characteristic droplet discharge device according to this embodiment and a method of discharging a droplet using the droplet discharge device will be described with reference to FIGS. There are various types of droplet discharge devices, but a device using an ink jet method is preferable. The ink jet method is suitable for microfabrication because it can eject fine droplets.

（液滴吐出装置）
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、膜を構成する材料を含む機能液が吐出されて塗布される。図１に示すように液滴吐出装置１は直方体状に形成された基台２を備えている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、水平面内にてＹ方向と直交する方向をＸ方向とする。そして、鉛直方向をＺ方向とする。 (Droplet discharge device)
FIG. 1 is a schematic perspective view showing the configuration of the droplet discharge device. A functional liquid containing the material constituting the film is discharged and applied by the droplet discharge device 1. As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a base 2 formed in a rectangular parallelepiped shape. In the present embodiment, the longitudinal direction of the base 2 is the Y direction, and the direction orthogonal to the Y direction in the horizontal plane is the X direction. The vertical direction is the Z direction.

基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えたステージ４が取付けられている。ステージ４が移動するＹ方向を副走査方向４ａとする。この直動機構の種類は、特に限定されないが、サーボモーターとボールネジとを組み合わせて構成することができる。他にも、リニアモーターを採用しても良い。 On the upper surface 2a of the base 2, a pair of guide rails 3a and 3b extending in the Y direction are provided so as to protrude over the entire width in the Y direction. On the upper side of the base 2, a stage 4 having a linear motion mechanism (not shown) corresponding to the pair of guide rails 3a and 3b is attached. The Y direction in which the stage 4 moves is defined as the sub-scanning direction 4a. The type of the linear motion mechanism is not particularly limited, but can be configured by combining a servo motor and a ball screw. In addition, a linear motor may be adopted.

さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に副走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の副走査方向４ａの位置が計測できるようになっている。そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。操作者が載置面６にワークとしての基板７を載置して所定の位置に位置決めする。その後、基板チャック機構により基板７は載置面６に固定される。 Further, a sub-scanning position detection device 5 is arranged on the upper surface 2a of the base 2 in parallel with the guide rails 3a and 3b so that the position of the stage 4 in the sub-scanning direction 4a can be measured. A placement surface 6 is formed on the upper surface of the stage 4, and a suction-type substrate chuck mechanism (not shown) is provided on the placement surface 6. An operator places a substrate 7 as a workpiece on the placement surface 6 and positions it at a predetermined position. Thereafter, the substrate 7 is fixed to the mounting surface 6 by the substrate chuck mechanism.

基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設されている。その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９は、その長手方向の幅がステージ４のＸ方向よりも長く形成され、その一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１０がＸ方向全幅にわたり凸設されている。そして、案内レール１０に沿って略角柱状に形成された移動部としてのキャリッジ１１が配置されている。キャリッジ１１は直動機構を備え、Ｘ方向に走査可能となっている。この直動機構の種類は、特に限定されないが、例えば、リニアモーターを採用することができる。キャリッジ１１が走査するＸ方向を主走査方向１１ａとする。案内部材９とキャリッジ１１との間には、主走査位置検出装置１２が配置され、キャリッジ１１の主走査方向１１ａの位置が計測可能になっている。 A pair of support bases 8a and 8b are erected on both sides of the base 2 in the X direction. A guide member 9 extending in the X direction is installed on the pair of support bases 8a and 8b. The guide member 9 is formed such that its longitudinal width is longer than the X direction of the stage 4 and its one end projects toward the support base 8a. A guide rail 10 extending in the X direction is provided below the guide member 9 so as to protrude over the entire width in the X direction. A carriage 11 is disposed along the guide rail 10 as a moving part formed in a substantially prismatic shape. The carriage 11 has a linear motion mechanism and can scan in the X direction. Although the kind of this linear motion mechanism is not specifically limited, For example, a linear motor is employable. The X direction scanned by the carriage 11 is defined as a main scanning direction 11a. A main scanning position detection device 12 is disposed between the guide member 9 and the carriage 11, and the position of the carriage 11 in the main scanning direction 11a can be measured.

キャリッジ１１の基板７側にはヘッドユニット１３が配置されている。ヘッドユニット１３の基板７側には液滴を吐出する液滴吐出ヘッドが凸設されている。 A head unit 13 is disposed on the substrate 7 side of the carriage 11. A liquid droplet ejection head for ejecting liquid droplets is provided on the side of the substrate 7 of the head unit 13.

キャリッジ１１の図中上側には回転部としての回転テーブル１４が配置され、回転テーブル１４上には液状体収容部としての収容タンク１５が３個配置されている。各収容タンク１５には異なる種類の機能液が収容されている。ヘッドユニット１３の液滴吐出ヘッドと収容タンク１５とは図示しないチューブにより接続され、収容タンク１５内の機能液がチューブを介して液滴吐出ヘッドに供給される。 On the upper side of the carriage 11 in the figure, a rotary table 14 as a rotary unit is arranged, and on the rotary table 14, three storage tanks 15 as liquid material storage units are arranged. Different storage liquids are stored in each storage tank 15. The droplet discharge head of the head unit 13 and the storage tank 15 are connected by a tube (not shown), and the functional liquid in the storage tank 15 is supplied to the droplet discharge head via the tube.

機能液は樹脂材料、溶媒または分散媒を主材料とする。この主材料に顔料または染料等の色素や、親液性または撥液性等の表面改質材料等の機能性材料を添加することにより固有の機能を有する機能液を形成することができる。機能液の樹脂材料は樹脂膜を形成する材料である。樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによりポリマーとなる材料であれば特に限定されない。さらに、粘性の小さい樹脂材料が好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。モノマーの形態であればさらに好ましい。溶媒または分散媒は樹脂材料の粘度を調整するものである。機能液を液滴吐出ヘッドから吐出し易い粘度にすることにより、液滴吐出ヘッドは安定して機能液を吐出することができるようになる。本実施形態では、例えば、主材料に顔料を添加した機能液が各収容タンク１５に収容されている。 The functional liquid is mainly composed of a resin material, a solvent or a dispersion medium. A functional liquid having an inherent function can be formed by adding a coloring material such as a pigment or a dye or a functional material such as a lyophilic or liquid repellent surface modifying material to the main material. The functional liquid resin material is a material for forming a resin film. The resin material is not particularly limited as long as the material is liquid at normal temperature and becomes a polymer by polymerization. Furthermore, a resin material having a low viscosity is preferable, and it is preferably in the form of an oligomer. A monomer form is more preferable. The solvent or the dispersion medium adjusts the viscosity of the resin material. By setting the viscosity at which the functional liquid can be easily discharged from the droplet discharge head, the droplet discharge head can stably discharge the functional liquid. In the present embodiment, for example, a functional liquid obtained by adding a pigment to the main material is stored in each storage tank 15.

機能液に顔料等の粒子が分散しているとき、粒子が沈降する場合がある。例えば、白色顔料に酸化チタンを用いるとき、酸化チタンの粒子が沈降する現象が見られる。酸化チタンの粒子が沈降した状態で機能液を液滴にして吐出するとき、着弾した液滴に含まれる酸化チタンの粒子数が少ないので薄い白色になるという問題が生ずる。この問題を解決するために、機能液を所定の時間間隔で攪拌して酸化チタンの濃度を維持する必要がある。 When particles such as pigments are dispersed in the functional liquid, the particles may settle. For example, when titanium oxide is used as a white pigment, a phenomenon in which titanium oxide particles settle is observed. When the functional liquid is ejected in the form of droplets with the titanium oxide particles settled, there is a problem that the number of titanium oxide particles contained in the landed droplets is small, resulting in a pale white color. In order to solve this problem, it is necessary to maintain the concentration of titanium oxide by stirring the functional liquid at predetermined time intervals.

基台２の図中左側の側面であって案内部材９と対向する場所には保守装置１６が配置されている。この保守装置１６には液滴吐出ヘッドをクリーニングする機構が配置されている。そして、保守装置１６が液滴吐出ヘッドをクリーニングすることにより、液滴吐出ヘッドから液滴を正常に吐出可能な状態に保つことが可能になっている。 A maintenance device 16 is disposed on the left side of the base 2 in the drawing and at a location facing the guide member 9. The maintenance device 16 is provided with a mechanism for cleaning the droplet discharge head. The maintenance device 16 cleans the droplet discharge head, so that the droplets can be normally discharged from the droplet discharge head.

図２は、キャリッジを示す模式図である。図２（ａ）は、キャリッジを示す模式正面図であり、図２（ｂ）は、キャリッジを示す模式上面図である。図２（ｃ）は、キャリッジを示す模式底面図である。図２に示すようにヘッドユニット１３の基板７側の面１３ａには３個の吐出部としての液滴吐出ヘッド１７が配置されている。液滴吐出ヘッド１７の個数は特に限定されず、吐出する機能液の種類に合わせて設定する。液滴吐出ヘッド１７の下面には、それぞれノズルプレート１８が備えられている。そのノズルプレート１８には、それぞれ複数のノズル１９がＹ方向に所定の間隔で配列されている。 FIG. 2 is a schematic diagram showing a carriage. FIG. 2A is a schematic front view showing the carriage, and FIG. 2B is a schematic top view showing the carriage. FIG. 2C is a schematic bottom view showing the carriage. As shown in FIG. 2, droplet discharge heads 17 as three discharge units are arranged on the surface 13a of the head unit 13 on the substrate 7 side. The number of droplet discharge heads 17 is not particularly limited, and is set according to the type of functional liquid to be discharged. A nozzle plate 18 is provided on the lower surface of the droplet discharge head 17. In the nozzle plate 18, a plurality of nozzles 19 are arranged at predetermined intervals in the Y direction.

ヘッドユニット１３の内部にはヘッド駆動回路２２と圧力調整部２３とが配置されている。ヘッド駆動回路２２は液滴吐出ヘッド１７を駆動する電気回路であり、ヘッド駆動回路２２は液滴吐出ヘッド１７に駆動信号を出力する。圧力調整部２３は図示しないチューブにより液滴吐出ヘッド１７と接続されている。ヘッドユニット１３のＸ方向側の側面には第１コネクター２４が配置され、第１コネクター２４と圧力調整部２３とは図示しないチューブにより接続されている。圧力調整部２３は、液滴吐出ヘッド１７に供給される機能液の圧力を調整する機能を有し、液滴吐出ヘッド１７が吐出した量と同量の機能液を液滴吐出ヘッド１７に流動する。 A head drive circuit 22 and a pressure adjusting unit 23 are disposed inside the head unit 13. The head drive circuit 22 is an electric circuit that drives the droplet discharge head 17, and the head drive circuit 22 outputs a drive signal to the droplet discharge head 17. The pressure adjusting unit 23 is connected to the droplet discharge head 17 by a tube (not shown). A first connector 24 is disposed on the side surface of the head unit 13 on the X direction side, and the first connector 24 and the pressure adjusting unit 23 are connected by a tube (not shown). The pressure adjusting unit 23 has a function of adjusting the pressure of the functional liquid supplied to the droplet discharge head 17, and flows the same amount of functional liquid as the amount discharged by the droplet discharge head 17 to the droplet discharge head 17. To do.

収容タンク１５はＸＹ平面において長方形に形成され、長手方向を第１方向１５ａとする。そして、第１方向１５ａと直交する方向を第２方向１５ｂとする。従って、収容タンク１５は第１方向１５ａに長く、第２方向１５ｂに短く形成されている。回転テーブル１４は収容タンク１５を回転するので、第１方向１５ａを主走査方向１１ａまたは副走査方向４ａに向けることが可能になっている。 The storage tank 15 is formed in a rectangular shape on the XY plane, and the longitudinal direction is defined as a first direction 15a. A direction orthogonal to the first direction 15a is defined as a second direction 15b. Accordingly, the storage tank 15 is formed long in the first direction 15a and short in the second direction 15b. Since the turntable 14 rotates the storage tank 15, the first direction 15a can be directed to the main scanning direction 11a or the sub-scanning direction 4a.

収容タンク１５において第１方向１５ａの一方の面には第２コネクター２５が配置されている。第２コネクター２５は図示しないチューブにより第１コネクター２４と接続されている。チューブは柔軟性のある素材により形成されている。そして、回転テーブル１４が収容タンク１５の向きを変えるとき、チューブが変形する。従って、チューブは第２コネクター２５及び第１コネクター２４とはずれることなく機能液を流動することができる。 A second connector 25 is disposed on one surface of the storage tank 15 in the first direction 15a. The second connector 25 is connected to the first connector 24 by a tube (not shown). The tube is made of a flexible material. When the turntable 14 changes the direction of the storage tank 15, the tube is deformed. Accordingly, the tube can flow the functional liquid without being disconnected from the second connector 25 and the first connector 24.

図３（ａ）は、機能液の流路を示す構成図である。図３（ａ）に示すように、収容タンク１５は外装部２６を備え、外装部２６の内部に液体パック２７が配置されている。そして、液体パック２７内には脱気された液状体としての機能液２８が収納されている。外装部２６は外圧が加わったときに変形し難い素材にて形成されている。外装部２６の材料には、例えば、金属や樹脂材料を用いることができる。液体パック２７はフィルム等のシートを用いて袋状に形成されている。従って、液体パック２７内の機能液２８の量が減少するとき、液体パック２７の体積が減少するようになっている。そして、液体パック２７内の機能液２８の量が減少しても、機能液２８が空気と接触しないように収容タンク１５は機能液２８を密封し、収容タンク１５は機能液２８に空気が溶け込むことを防止している。 FIG. 3A is a configuration diagram showing the flow path of the functional liquid. As shown in FIG. 3A, the storage tank 15 includes an exterior part 26, and a liquid pack 27 is disposed inside the exterior part 26. The liquid pack 27 contains a functional liquid 28 as a degassed liquid. The exterior portion 26 is formed of a material that is not easily deformed when an external pressure is applied. For example, a metal or a resin material can be used as the material of the exterior portion 26. The liquid pack 27 is formed in a bag shape using a sheet such as a film. Accordingly, when the amount of the functional liquid 28 in the liquid pack 27 decreases, the volume of the liquid pack 27 decreases. Then, even if the amount of the functional liquid 28 in the liquid pack 27 decreases, the storage tank 15 seals the functional liquid 28 so that the functional liquid 28 does not come into contact with air, and the storage tank 15 dissolves air into the functional liquid 28. To prevent that.

液体パック２７は第２コネクター２５と接続して配置され、第２コネクター２５にチューブ２９を接続することにより、チューブ２９内に機能液２８を流動することができる。第２コネクター２５とチューブ２９とは着脱可能に形成されており、チューブ２９と収容タンク１５とを差し替えることが可能になっている。液体パック２７内の機能液２８には重力が作用するので、機能液２８はチューブ２９に流出する。そして、機能液２８はチューブ２９を通過して圧力調整部２３に流入する。 The liquid pack 27 is arranged in connection with the second connector 25, and the functional liquid 28 can flow into the tube 29 by connecting the tube 29 to the second connector 25. The second connector 25 and the tube 29 are detachable, and the tube 29 and the storage tank 15 can be replaced. Since gravity acts on the functional liquid 28 in the liquid pack 27, the functional liquid 28 flows out to the tube 29. Then, the functional liquid 28 passes through the tube 29 and flows into the pressure adjusting unit 23.

圧力調整部２３内の機能液２８はチューブ２９を通過して液滴吐出ヘッド１７に流入する。液滴吐出ヘッド１７が液滴３０を吐出するとき、吐出した液滴３０と同量の機能液２８が収容タンク１５から圧力調整部２３を経て液滴吐出ヘッド１７へ供給される。 The functional liquid 28 in the pressure adjusting unit 23 passes through the tube 29 and flows into the droplet discharge head 17. When the droplet discharge head 17 discharges the droplet 30, the same amount of functional liquid 28 as that of the discharged droplet 30 is supplied from the storage tank 15 to the droplet discharge head 17 through the pressure adjustment unit 23.

図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す要部模式断面図である。図３（ｂ）に示すように、ノズルプレート１８の上側であってノズル１９と相対する位置には、キャビティ３１が形成されている。そして、キャビティ３１には収容タンク１５に貯留されている機能液２８が供給される。キャビティ３１の上側には、上下方向に振動して、キャビティ３１内の容積を拡大縮小する振動板３２と、上下方向に伸縮して振動板３２を振動させる圧電素子３３が配設されている。 FIG. 3B is a schematic cross-sectional view of the main part showing the structure of the droplet discharge head. As shown in FIG. 3B, a cavity 31 is formed at a position above the nozzle plate 18 and facing the nozzle 19. The functional liquid 28 stored in the storage tank 15 is supplied to the cavity 31. Above the cavity 31, a vibration plate 32 that vibrates in the vertical direction and expands or contracts the volume in the cavity 31, and a piezoelectric element 33 that expands and contracts in the vertical direction to vibrate the vibration plate 32 are disposed.

液滴吐出ヘッド１７が圧電素子３３を制御駆動するためのノズル駆動信号をヘッド駆動回路２２から受けると、圧電素子３３が上下方向に伸縮する。そして、圧電素子３３は振動板３２を振動させるので、振動板３２と隣接するキャビティ３１の容積が拡大縮小する。それにより、キャビティ３１内に供給された機能液２８のうち縮小した容積分の機能液２８がノズル１９を通り、液滴３０となって吐出される。液滴吐出装置１はステージ４とキャリッジ１１とを走査する。そして、ノズル１９が所定の場所に位置するときに液滴３０を吐出することにより、所望のパターンを描画することができる。 When the droplet discharge head 17 receives a nozzle drive signal for controlling and driving the piezoelectric element 33 from the head drive circuit 22, the piezoelectric element 33 expands and contracts in the vertical direction. Since the piezoelectric element 33 vibrates the diaphragm 32, the volume of the cavity 31 adjacent to the diaphragm 32 is enlarged or reduced. Thereby, the functional liquid 28 corresponding to the reduced volume of the functional liquid 28 supplied into the cavity 31 passes through the nozzle 19 and is discharged as droplets 30. The droplet discharge device 1 scans the stage 4 and the carriage 11. A desired pattern can be drawn by discharging the droplet 30 when the nozzle 19 is positioned at a predetermined location.

図４は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図４において、液滴吐出装置１は液滴吐出装置１の動作を制御する制御部としての制御装置３６を備えている。そして、制御装置３６はプロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）３７と、各種情報を記憶するメモリー３８とを備えている。 FIG. 4 is an electric control block diagram of the droplet discharge device. In FIG. 4, the droplet discharge device 1 includes a control device 36 as a control unit that controls the operation of the droplet discharge device 1. The control device 36 includes a CPU (Central Processing Unit) 37 that performs various types of arithmetic processing as a processor, and a memory 38 that stores various types of information.

主走査駆動装置３９、主走査位置検出装置１２、副走査駆動装置４０、副走査位置検出装置５、回転テーブル１４を駆動するテーブル駆動装置４１は、入出力インターフェイス４２及びデータバス４３を介してＣＰＵ３７に接続されている。さらに、液滴吐出ヘッド１７を駆動するヘッド駆動回路２２、入力装置４６、表示装置４７、保守装置１６も入出力インターフェイス４２及びデータバス４３を介してＣＰＵ３７に接続されている。 The main scanning drive device 39, the main scanning position detection device 12, the sub-scanning drive device 40, the sub-scanning position detection device 5, and the table drive device 41 that drives the rotary table 14 are connected to the CPU 37 via the input / output interface 42 and the data bus 43. It is connected to the. Further, a head drive circuit 22 that drives the droplet discharge head 17, an input device 46, a display device 47, and a maintenance device 16 are also connected to the CPU 37 via the input / output interface 42 and the data bus 43.

主走査駆動装置３９はキャリッジ１１を駆動する装置であり、副走査駆動装置４０はステージ４を駆動する装置である。主走査位置検出装置１２がキャリッジ１１の位置を検出し、主走査駆動装置３９がキャリッジ１１を駆動することにより、キャリッジ１１を所望の速度にて走査することが可能となっている。同じく、副走査位置検出装置５がステージ４の位置を検出し、副走査駆動装置４０がステージ４を駆動することにより、ステージ４を走査することが可能になっている。 The main scanning drive device 39 is a device that drives the carriage 11, and the sub-scanning drive device 40 is a device that drives the stage 4. The main scanning position detection device 12 detects the position of the carriage 11, and the main scanning drive device 39 drives the carriage 11, whereby the carriage 11 can be scanned at a desired speed. Similarly, the sub-scanning position detection device 5 detects the position of the stage 4 and the sub-scanning driving device 40 drives the stage 4 so that the stage 4 can be scanned.

テーブル駆動装置４１は回転テーブル１４を駆動する装置である。テーブル駆動装置４１は収容タンク１５の第１方向１５ａを主走査方向１１ａと副走査方向４ａとのうちどちらかの方向に向けさせる。入力装置４６は液滴３０を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板７に液滴３０を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。表示装置４７は加工条件や作業状況を表示する装置であり、表示装置４７に表示される情報を基に、操作者は入力装置４６を用いて操作を行う。保守装置１６はＣＰＵ３７の指示信号に従って液滴吐出ヘッド１７の保守を行う装置である。保守装置１６は液滴吐出ヘッド１７内の機能液２８を吸引したり、ノズルプレート１８を拭き取る機能を備えている。ＣＰＵ３７はキャリッジ１１を保守装置１６と対向する場所に移動させた後、保守装置１６に保守の指示信号を出力する。保守装置１６は指示信号を入力し、指示信号に従って液滴吐出ヘッド１７の保守を行う。 The table driving device 41 is a device that drives the rotary table 14. The table driving device 41 directs the first direction 15a of the storage tank 15 in either the main scanning direction 11a or the sub-scanning direction 4a. The input device 46 is a device for inputting various processing conditions for ejecting the droplets 30. For example, the input device 46 is a device that receives and inputs coordinates for ejecting the droplets 30 onto the substrate 7 from an external device (not shown). The display device 47 is a device that displays processing conditions and work status, and an operator performs an operation using the input device 46 based on information displayed on the display device 47. The maintenance device 16 is a device that performs maintenance of the droplet discharge head 17 in accordance with an instruction signal from the CPU 37. The maintenance device 16 has a function of sucking the functional liquid 28 in the droplet discharge head 17 and wiping the nozzle plate 18. The CPU 37 moves the carriage 11 to a location facing the maintenance device 16 and then outputs a maintenance instruction signal to the maintenance device 16. The maintenance device 16 receives an instruction signal and performs maintenance of the droplet discharge head 17 in accordance with the instruction signal.

メモリー３８は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１の動作の制御手順が記述されたプログラムソフト４８を記憶する記憶領域や、基板７上に吐出する液滴３０の着弾位置の座標データである吐出位置データ４９を記憶するための記憶領域が設定される。他にも、液滴吐出ヘッド１７を駆動するときの駆動信号である駆動信号データ５０を記憶するための記憶領域や、収容タンク１５内の機能液２８を攪拌するか否かを判定する条件のデータである攪拌判定データ５１の記憶領域が設定される。他にも、ＣＰＵ３７のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。 The memory 38 is a concept including a semiconductor memory such as a RAM and a ROM, and a storage device such as a hard disk and a DVD-ROM. Functionally, a storage area for storing program software 48 in which the control procedure of the operation of the droplet discharge device 1 is described, and discharge position data 49 which is coordinate data of the landing position of the droplet 30 discharged onto the substrate 7. A storage area for storing is set. In addition, a storage area for storing drive signal data 50, which is a drive signal for driving the droplet discharge head 17, and conditions for determining whether or not the functional liquid 28 in the storage tank 15 is agitated. A storage area for stirring determination data 51 as data is set. In addition, a work area for the CPU 37, a storage area that functions as a temporary file, and other various storage areas are set.

ＣＰＵ３７は、メモリー３８内に記憶されたプログラムソフト４８に従って、基板７の表面の所定位置に液滴３０を吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として液滴吐出ヘッド１７から液滴３０を吐出するための演算を行う吐出演算部５２を有する。 The CPU 37 performs control for discharging the droplet 30 to a predetermined position on the surface of the substrate 7 in accordance with the program software 48 stored in the memory 38. As a specific function realization unit, a discharge calculation unit 52 that performs calculation for discharging the droplet 30 from the droplet discharge head 17 is provided.

吐出演算部５２を詳しく分割すれば、キャリッジ１１を主走査方向１１ａへ所定の速度で走査移動させるための制御をする主走査制御部５３と、基板７を副走査方向４ａへ所定の移動量で移動させるための制御をする副走査制御部５４を有する。さらに、吐出演算部５２は液滴吐出ヘッド１７内の複数あるノズル１９から液滴３０を吐出させるノズル１９を選択する吐出制御部５５等を有する。吐出制御部５５は選択したノズル１９に対応する圧電素子３３を作動させて液滴３０を吐出させる。 If the ejection calculation unit 52 is divided in detail, a main scanning control unit 53 that controls the carriage 11 to scan and move in the main scanning direction 11a at a predetermined speed, and the substrate 7 in the sub scanning direction 4a with a predetermined amount of movement. A sub-scanning control unit 54 that performs control for movement is provided. Further, the discharge calculation unit 52 includes a discharge control unit 55 that selects the nozzle 19 that discharges the droplet 30 from the plurality of nozzles 19 in the droplet discharge head 17. The discharge controller 55 operates the piezoelectric element 33 corresponding to the selected nozzle 19 to discharge the droplet 30.

他にも、ＣＰＵ３７はビットマップ演算部５６を有する。ビットマップは基板７上に着弾する液滴３０の位置データを示す。そして、ビットマップ演算部５６は載置面６における基板７の位置とステージ４及びキャリッジ１１の移動速度のデータをもちいてビットマップの演算を行う。他にも、ＣＰＵ３７は攪拌判断部５７を有する。攪拌判断部５７は収容タンク１５内の機能液２８を攪拌する時期を演算する。他にも、ＣＰＵ３７は攪拌制御部５８を有する。攪拌制御部５８は収容タンク１５の向きの制御と収容タンク１５を主走査方向１１ａに往復移動させることにより収容タンク１５内の機能液２８を攪拌させる制御を行う。他にも、ＣＰＵ３７は保守装置１６を制御する保守装置制御部５９を有する。 In addition, the CPU 37 has a bitmap calculation unit 56. The bitmap shows the position data of the droplets 30 that land on the substrate 7. Then, the bitmap calculation unit 56 performs bitmap calculation using the position of the substrate 7 on the mounting surface 6 and the movement speed data of the stage 4 and the carriage 11. In addition, the CPU 37 includes a stirring determination unit 57. The agitation determination unit 57 calculates the timing for agitating the functional liquid 28 in the storage tank 15. In addition, the CPU 37 has a stirring control unit 58. The agitation controller 58 controls the direction of the storage tank 15 and controls the agitation of the functional liquid 28 in the storage tank 15 by reciprocating the storage tank 15 in the main scanning direction 11a. In addition, the CPU 37 includes a maintenance device control unit 59 that controls the maintenance device 16.

尚、本実施形態では、上記の各機能がＣＰＵ３７を用いてプログラムソフトで実現することとしたが、上記の各機能がＣＰＵを用いない単独の電子回路（ハードウェア）によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いることも可能である。 In the present embodiment, each function described above is realized by program software using the CPU 37. However, when each function described above can be realized by a single electronic circuit (hardware) that does not use the CPU, It is also possible to use such an electronic circuit.

（描画方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を用いて、描画する方法について図５〜図７にて説明する。図５は、描画作業を示すフローチャートであり、図６及び図７は、描画方法を説明するための模式図である。 (Drawing method)
Next, a drawing method using the above-described droplet discharge device 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a flowchart showing the drawing operation, and FIGS. 6 and 7 are schematic diagrams for explaining the drawing method.

図５に示すフローチャートにおいて、ステップＳ１は給材工程に相当する。この工程は、操作者が載置面に基板を配置して位置決めした後、固定する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は攪拌判断工程に相当する。この工程は、収容タンク内の機能液を攪拌するか否かを判断する工程である。機能液の攪拌を行うときステップＳ３に移行する。機能液を攪拌しないときステップＳ４に移行する。ステップＳ３は攪拌工程に相当する。この工程は、主走査方向に収容タンクを往復運動させることにより収容タンク内の機能液を攪拌する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は吐出工程に相当する。この工程は、キャリッジとステージとを走査しながら液滴を吐出することにより描画する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は除材工程に相当する。この工程は、載置面から基板を移動する工程である。基板を移動して描画作業を終了する。 In the flowchart shown in FIG. 5, step S1 corresponds to a material supply process. This step is a step in which the operator places and fixes the substrate on the mounting surface and then fixes it. Next, the process proceeds to step S2. Step S2 corresponds to a stirring determination step. This step is a step of determining whether or not the functional liquid in the storage tank is stirred. When the functional liquid is stirred, the process proceeds to step S3. When the functional liquid is not stirred, the process proceeds to step S4. Step S3 corresponds to a stirring process. This step is a step of stirring the functional liquid in the storage tank by reciprocating the storage tank in the main scanning direction. Next, the process proceeds to step S4. Step S4 corresponds to a discharge process. This step is a step of drawing by discharging droplets while scanning the carriage and the stage. Next, the process proceeds to step S5. Step S5 corresponds to a material removal process. This step is a step of moving the substrate from the placement surface. The drawing operation is completed by moving the substrate.

次に、図６及び図７を用いて、図５に示したステップと対応させて、描画方法を詳細に説明する。図６（ａ）は、ステップＳ１の給材工程に対応する図である。図６（ａ）に示すように、ステップＳ１において、液滴吐出ヘッド１７と対向しない場所にステージ４を移動させる。次に、載置面６上に基板７を載置する。基板７の移動は操作者が手を使って移動して良い。基板７が大きい場合には図示しない移動専用ロボットを用いて基板７を移動しても良い。続いて、操作者は基板７の位置を調整した後、吸引式の基板チャック機構を作動させることにより基板７を載置面６に固定する。 Next, the drawing method will be described in detail with reference to FIGS. 6 and 7 in association with the steps shown in FIG. Fig.6 (a) is a figure corresponding to the material supply process of step S1. As shown in FIG. 6A, in step S1, the stage 4 is moved to a location that does not face the droplet discharge head 17. Next, the substrate 7 is placed on the placement surface 6. The substrate 7 may be moved by an operator using a hand. When the substrate 7 is large, the substrate 7 may be moved using a dedicated robot not shown. Subsequently, the operator adjusts the position of the substrate 7 and then operates the suction type substrate chuck mechanism to fix the substrate 7 to the placement surface 6.

図６（ｂ）は、ステップＳ２の攪拌判断工程を説明するための模式図であり、各工程を行うタイムチャートを示している。図６（ｂ）において、縦軸は各工程を示し、横軸は時間の経過を示している。時間は左から右へ推移する。尚、説明を簡便にするためにステップＳ２の攪拌判断工程は省略した。工程推移線６２は時間の経過に伴い作業工程が推移する様子を示している。工程推移線６２が示すように、作業工程は２つの型に分けられる。第１の型はステップＳ１の給材工程、ステップＳ３の攪拌工程、ステップＳ４の吐出工程、ステップＳ５の除材工程の順に行う工程の型である。そして、第２の型はステップＳ１の給材工程、ステップＳ４の吐出工程、ステップＳ５の除材工程の順に行う工程の型である。つまり、第１の型ではステップＳ３の攪拌工程が行われ、第２の型ではステップＳ３の攪拌工程が行われない。 FIG. 6B is a schematic diagram for explaining the stirring determination process in step S2 and shows a time chart for performing each process. In FIG. 6B, the vertical axis indicates each step, and the horizontal axis indicates the passage of time. Time transitions from left to right. In addition, in order to simplify description, the stirring determination process of step S2 was abbreviate | omitted. The process transition line 62 shows how the work process transitions with time. As indicated by the process transition line 62, the work process is divided into two types. The first type is a type of process performed in the order of the material supply process in step S1, the stirring process in step S3, the discharge process in step S4, and the material removal process in step S5. The second mold is a pattern of processes performed in the order of the material supply process in step S1, the discharge process in step S4, and the material removal process in step S5. That is, the stirring process of step S3 is performed in the first mold, and the stirring process of step S3 is not performed in the second mold.

制御装置３６は計時機能を備えている。そして、攪拌判断部５７は計時機能を用いてステップＳ３の攪拌工程が行われてから現在時刻６３までの時間である攪拌後経過時間６４を検出する。メモリー３８の攪拌判定データ５１には経時判定値６５が記憶されている。そして、攪拌判断部５７は攪拌後経過時間６４を経時判定値６５と比較して、攪拌後経過時間６４が経時判定値６５以上であるときステップＳ３の攪拌工程を行う判断をする。換言すれば、攪拌制御部５８は攪拌後経過時間６４が経時判定値６５に達しないときステップＳ３の攪拌工程を行なわない判断をする。 The control device 36 has a timekeeping function. And the stirring judgment part 57 detects the elapsed time 64 after stirring which is the time from the time of the stirring process of step S3 to the present time 63 using a time measuring function. The agitation determination data 51 in the memory 38 stores a time determination value 65. Then, the agitation determination unit 57 compares the elapsed time after stirring 64 with the elapsed time determination value 65 and determines that the agitation process of step S3 is performed when the elapsed time after stirring 64 is equal to or greater than the elapsed time determination value 65. In other words, the agitation control unit 58 determines not to perform the agitation process in step S3 when the elapsed time 64 after agitation does not reach the elapsed time determination value 65.

図６（ｃ）〜図７（ａ）はステップＳ３の攪拌工程に対応する図である。図６（ｃ）に示すように、ステップＳ３において、攪拌制御部５８はヘッド駆動回路２２を駆動して回転テーブル１４を回転させる。そして、収容タンク１５の第１方向１５ａを主走査方向１１ａに向ける。次に、攪拌制御部５８は主走査駆動装置３９を駆動することによりキャリッジ１１を往復運動させる。このとき、主走査駆動装置３９がキャリッジ１１を加減速するときの加速度はステップＳ４の吐出工程における加速度より大きな加速度にしてキャリッジ１１を駆動する。この工程では、ノズル１９から液滴３０を吐出せずにキャリッジ１１を移動する。 FIG.6 (c)-FIG.7 (a) are figures corresponding to the stirring process of step S3. As shown in FIG. 6C, in step S3, the stirring control unit 58 drives the head drive circuit 22 to rotate the turntable 14. Then, the first direction 15a of the storage tank 15 is directed to the main scanning direction 11a. Next, the agitation control unit 58 drives the main scanning drive device 39 to reciprocate the carriage 11. At this time, the acceleration when the main scanning drive device 39 accelerates or decelerates the carriage 11 is set to an acceleration larger than the acceleration in the ejection process of step S4, and the carriage 11 is driven. In this step, the carriage 11 is moved without discharging the droplet 30 from the nozzle 19.

図６（ｄ）に示すように、収容タンク１５の第１方向１５ａは主走査方向１１ａに向けられている。次に、主走査制御部５３がキャリッジ１１を主走査方向１１ａに往復運動をさせる。このとき、収容タンク１５内の機能液２８は第１方向１５ａに揺すられる。第１方向１５ａは第２方向１５ｂに比べて移動可能な長さが長いので、機能液２８を構成する材料は攪拌され易くなっている。従って、収容タンク１５内で機能液２８を構成する材料が沈降している場合にも、沈降している材料を機能液２８内に分散させることができる。 As shown in FIG. 6D, the first direction 15a of the storage tank 15 is directed to the main scanning direction 11a. Next, the main scanning control unit 53 causes the carriage 11 to reciprocate in the main scanning direction 11a. At this time, the functional liquid 28 in the storage tank 15 is shaken in the first direction 15a. Since the first direction 15a has a longer movable length than the second direction 15b, the material constituting the functional liquid 28 is easily stirred. Therefore, even when the material constituting the functional liquid 28 is settled in the storage tank 15, the settled material can be dispersed in the functional liquid 28.

続いて、図７（ａ）に示すように、攪拌制御部５８はヘッド駆動回路２２を駆動して回転テーブル１４を回転させる。そして、収容タンク１５の第２方向１５ｂを主走査方向１１ａに向ける。 Subsequently, as shown in FIG. 7A, the stirring control unit 58 drives the head drive circuit 22 to rotate the turntable 14. Then, the second direction 15b of the storage tank 15 is directed to the main scanning direction 11a.

図７（ｂ）はステップＳ４の吐出工程に対応する図である。図７（ｂ）に示すように、ステップＳ４において、主走査制御部５３がキャリッジ１１を主走査方向１１ａに移動する。そして、ノズル１９が所定の場所に位置するとき、吐出制御部５５がヘッド駆動回路２２を駆動してノズル１９から液滴３０を吐出させる。 FIG. 7B is a diagram corresponding to the ejection process of step S4. As shown in FIG. 7B, in step S4, the main scanning control unit 53 moves the carriage 11 in the main scanning direction 11a. Then, when the nozzle 19 is located at a predetermined location, the ejection control unit 55 drives the head drive circuit 22 to eject the droplet 30 from the nozzle 19.

キャリッジ１１が移動する主走査方向１１ａは収容タンク１５の第２方向１５ｂと同じ向きとなっている。従って、キャリッジ１１が往復運動するとき収容タンク１５内の機能液２８は第２方向１５ｂに揺すられる。第２方向１５ｂは第１方向１５ａに比べて移動可能な長さが短い為、機能液２８を構成する材料は移動し難い。その結果、機能液２８は攪拌され難くなっている。 The main scanning direction 11 a in which the carriage 11 moves is the same direction as the second direction 15 b of the storage tank 15. Accordingly, when the carriage 11 reciprocates, the functional liquid 28 in the storage tank 15 is shaken in the second direction 15b. Since the second direction 15b has a shorter movable length than the first direction 15a, the material constituting the functional liquid 28 is difficult to move. As a result, the functional liquid 28 is difficult to be stirred.

図７（ｃ）は、ステップＳ５の除材工程に対応する図である。図７（ｃ）に示すように、ステップＳ５において、液滴吐出ヘッド１７と対向しない場所にステージ４を移動させる。次に、吸引式の基板チャック機構の動作を停止させることにより制御装置３６は基板７の載置面６への固定を解除する。続いて、操作者は基板７を載置面６上から移動する。以上の工程により描画作業を終了する。基板７に着弾した液滴３０は次に工程にて加熱、乾燥等の処理をすることにより固化することができる。 FIG.7 (c) is a figure corresponding to the material removal process of step S5. As shown in FIG. 7C, in step S5, the stage 4 is moved to a place that does not face the droplet discharge head 17. Next, the controller 36 releases the fixation of the substrate 7 to the mounting surface 6 by stopping the operation of the suction type substrate chuck mechanism. Subsequently, the operator moves the substrate 7 from the placement surface 6. The drawing operation is completed through the above steps. The droplets 30 that have landed on the substrate 7 can be solidified by a subsequent process such as heating and drying.

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ３の攪拌工程において攪拌制御部５８はヘッド駆動回路２２を駆動して回転テーブル１４を回転させる。そして、収容タンク１５の第１方向１５ａを主走査方向１１ａに向ける。次に、攪拌制御部５８は主走査駆動装置３９を駆動することによりキャリッジ１１を往復運動させる。収容タンク１５の内部に収容された機能液２８は収容タンク１５の形状が短い方向に収容タンク１５が移動する場合に比べて、収容タンク１５の形状が長い方向に収容タンク１５が移動する方が、機能液２８は移動し易い。そして、機能液２８が第１方向１５ａに揺られることにより、機能液２８は攪拌される。従って、収容タンク１５を移動するだけで機能液２８を攪拌させる為、簡便な構造で攪拌することができる。 As described above, this embodiment has the following effects.
(1) According to the present embodiment, the stirring control unit 58 drives the head driving circuit 22 to rotate the turntable 14 in the stirring process of step S3. Then, the first direction 15a of the storage tank 15 is directed to the main scanning direction 11a. Next, the agitation control unit 58 drives the main scanning drive device 39 to reciprocate the carriage 11. The functional liquid 28 stored inside the storage tank 15 moves more in the direction in which the shape of the storage tank 15 is longer than in the case where the storage tank 15 moves in the direction in which the shape of the storage tank 15 is shorter. The functional liquid 28 is easy to move. Then, the functional liquid 28 is agitated by shaking the functional liquid 28 in the first direction 15a. Therefore, since the functional liquid 28 is stirred only by moving the storage tank 15, it can be stirred with a simple structure.

（２）本実施形態によれば、機能液２８の攪拌が終了した後、攪拌制御部５８はヘッド駆動回路２２を駆動して回転テーブル１４を回転させる。そして、回転テーブル１４が収容タンク１５の第１方向１５ａを主走査方向１１ａと交差する方向に向ける。このとき、収容タンク１５の第１方向１５ａは主走査方向１１ａと異なる方向になる為、収容タンク１５が主走査方向１１ａに移動しても収容タンク１５内の機能液２８は移動し難くなる。収容タンク１５内で機能液２８が揺すられるとき機能液２８の圧力が局所的に変動する。その圧力変動が液滴吐出ヘッド１７に伝動するとき、ノズル１９から吐出される液滴３０の量が変動する。本実施形態では収容タンク１５が主走査方向１１ａに移動しても収容タンク１５内の機能液２８は揺すられ難い為、収容タンク１５内の圧力変動は小さい。従って、収容タンク１５内から液滴吐出ヘッド１７に伝播する圧力変動が小さい為、ノズル１９から吐出されえる液滴３０の体積を変動し難くすることができる。 (2) According to the present embodiment, after the stirring of the functional liquid 28 is completed, the stirring control unit 58 drives the head driving circuit 22 to rotate the turntable 14. Then, the turntable 14 directs the first direction 15a of the storage tank 15 in a direction crossing the main scanning direction 11a. At this time, since the first direction 15a of the storage tank 15 is different from the main scanning direction 11a, the functional liquid 28 in the storage tank 15 is difficult to move even if the storage tank 15 moves in the main scanning direction 11a. When the functional liquid 28 is shaken in the storage tank 15, the pressure of the functional liquid 28 varies locally. When the pressure fluctuation is transmitted to the droplet discharge head 17, the amount of the droplet 30 discharged from the nozzle 19 varies. In this embodiment, even if the storage tank 15 moves in the main scanning direction 11a, the functional liquid 28 in the storage tank 15 is not easily shaken, so that the pressure fluctuation in the storage tank 15 is small. Accordingly, since the pressure fluctuation propagating from the storage tank 15 to the droplet discharge head 17 is small, it is difficult to change the volume of the droplet 30 that can be discharged from the nozzle 19.

（３）本実施形態によれば、攪拌判断部５７が機能液２８の攪拌後に経過した攪拌後経過時間６４を検出する。そして、攪拌後経過時間６４が経時判定値６５の時間以上の時間になるとき、攪拌判断部５７は機能液２８の攪拌を行う判断をする。機能液２８に含まれる内在物が沈降することがある。このとき、沈降する内在物の量は時間の経過と比例して増加する。そして、機能液２８を攪拌することにより内在物は機能液２８に分散する。本実施形態では経時判定値６５以上の時間が経過するときに、機能液２８を攪拌するので、沈降する内在物を所定の量以下にすることができる。その結果、機能液２８中に分散する内在物の濃度を所定の濃度より高い状態に維持することができる。 (3) According to the present embodiment, the stirring determination unit 57 detects the post-stirring elapsed time 64 that has passed after the functional liquid 28 is stirred. When the post-stirring elapsed time 64 is equal to or longer than the time determination value 65, the stirring determination unit 57 determines to stir the functional liquid 28. Intrinsic substances contained in the functional liquid 28 may settle. At this time, the amount of the inherent matter that sinks increases in proportion to the passage of time. Then, the inherent matter is dispersed in the functional liquid 28 by stirring the functional liquid 28. In this embodiment, the functional liquid 28 is agitated when a time equal to or greater than the time determination value 65 elapses, so that the settled intrinsic substance can be reduced to a predetermined amount or less. As a result, the concentration of the endogenous substance dispersed in the functional liquid 28 can be maintained in a state higher than a predetermined concentration.

（４）本実施形態によれば、ステップＳ３の攪拌工程では大きな加速度を加えて収容タンク１５を移動する為、機能液２８に大きな加速度が加えることができる。その結果、機能液２８を攪拌し易くすることができる。 (4) According to this embodiment, since the container tank 15 is moved with a large acceleration in the agitation process in step S <b> 3, a large acceleration can be applied to the functional liquid 28. As a result, the functional liquid 28 can be easily stirred.

尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記実施形態では、収容タンク１５内の機能液２８を消費した後、収容タンク１５を交換可能にしていた。収容タンク１５とは別の外部収容タンクを設けて、外部収容タンクと収容タンク１５とをチューブにて接続しても良い。そして、外部収容タンクの内在物が沈降しないように攪拌しても良い。外部収容タンクの容積を大きくすることにより、タンクを交換する頻度を少なくすることができる。従って、生産性良く機能液２８を供給することができる。 In addition, this embodiment is not limited to embodiment mentioned above, A various change and improvement can also be added. A modification will be described below.
(Modification 1)
In the embodiment, the storage tank 15 can be replaced after the functional liquid 28 in the storage tank 15 is consumed. An external storage tank different from the storage tank 15 may be provided, and the external storage tank and the storage tank 15 may be connected by a tube. And you may stir so that the internal substance of an external storage tank may not settle. By increasing the volume of the external storage tank, the frequency of replacing the tank can be reduced. Therefore, the functional liquid 28 can be supplied with high productivity.

（変形例２）
前記実施形態では、基板７に着弾した液滴３０は次の工程にて固化していた。着弾した後、すぐに液滴３０を硬化させても良い。機能液２８は材料に光重合開始剤を添加して紫外線硬化性の溶液にする。光重合開始剤はポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤であり、例えば、光重合開始剤としてベンジルジメチルケタールを用いることができる。ヘッドユニット１３の隣に紫外線照射装置を配設する。そして、着弾後紫外線を照射して硬化させても良い。着弾した複数の液滴３０が混じりあうことを防止することができる。 (Modification 2)
In the embodiment described above, the droplets 30 landed on the substrate 7 are solidified in the next step. The droplets 30 may be cured immediately after landing. The functional liquid 28 is made into a UV curable solution by adding a photopolymerization initiator to the material. The photopolymerization initiator is an additive that acts on the crosslinkable group of the polymer to advance the crosslinking reaction. For example, benzyldimethyl ketal can be used as the photopolymerization initiator. An ultraviolet irradiation device is disposed next to the head unit 13. Then, it may be cured by irradiating with ultraviolet rays after landing. It is possible to prevent the plurality of landed droplets 30 from being mixed.

（変形例３）
前記実施形態では、攪拌後経過時間６４が経時判定値６５以上の時間が経過したとき、ステップＳ３の攪拌工程に移行した。攪拌工程を行う判断は、この判定に限らない。収容タンク１５を交換したときや、液滴吐出装置１を起動したときに攪拌工程を行っても良い。収容タンク１５において機能液２８に内在物が沈降している可能性があるときに攪拌工程を行っても良い。機能液２８中に分散する内在物の濃度を所定の濃度より多い状態に維持することができる。 (Modification 3)
In the said embodiment, when the elapsed time 64 after stirring passed the time determination value 65 or more, it shifted to the stirring process of step S3. The determination to perform the stirring step is not limited to this determination. The stirring step may be performed when the storage tank 15 is replaced or when the droplet discharge device 1 is activated. The stirring step may be performed when there is a possibility that the contained matter is settled in the functional liquid 28 in the storage tank 15. The concentration of the intrinsic substance dispersed in the functional liquid 28 can be maintained in a state higher than a predetermined concentration.

（変形例４）
前記実施形態では、キャビティ３１を加圧する加圧手段に、圧電素子３３を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板３２を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ３１内にヒーター配線を配置して、ヒーター配線を加熱することにより、機能液２８を気化させたり、機能液２８に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板３２を変形させて、加圧しても良い。前記実施形態と同様に機能液２８を吐出することができる。 (Modification 4)
In the embodiment, the piezoelectric element 33 is used as the pressurizing means for pressurizing the cavity 31, but other methods may be used. For example, the diaphragm 32 may be deformed by using a coil and a magnet and pressurized. In addition, a heater wiring may be arranged in the cavity 31 and the heater wiring may be heated to vaporize the functional liquid 28 or expand the gas contained in the functional liquid 28 to apply pressure. In addition, the diaphragm 32 may be deformed by using electrostatic attraction and repulsion, and may be pressurized. The functional liquid 28 can be discharged as in the above embodiment.

（変形例５）
前記実施形態では、基板７に液滴３０を吐出した。液滴３０が吐出されるワークは基板７に限らない。ワークは立体形状でもよい。基板７に電子素子を実装した電子基板でもよい。他にも金属、樹脂等のシートでも良い。各種のワークに所定のパターンを描画することができる。 (Modification 5)
In the embodiment, the droplet 30 is discharged onto the substrate 7. The workpiece from which the droplets 30 are discharged is not limited to the substrate 7. The workpiece may have a three-dimensional shape. An electronic substrate in which an electronic element is mounted on the substrate 7 may be used. In addition, a sheet of metal, resin, or the like may be used. A predetermined pattern can be drawn on various types of workpieces.

（変形例６）
前記実施形態では、ステージ４を用いて基板７を副走査方向４ａに移動した。基板７の代わりにシート状のワークをもちいるときには、ステージ４の代わりにプラテンとローラーとを用いてシートを副走査方向４ａに移動しても良い。長尺のシートに長いパターンを描画することができる。 (Modification 6)
In the embodiment, the substrate 7 is moved in the sub-scanning direction 4 a using the stage 4. When a sheet-like workpiece is used instead of the substrate 7, the sheet may be moved in the sub-scanning direction 4 a using a platen and a roller instead of the stage 4. A long pattern can be drawn on a long sheet.

（変形例７）
前記実施形態では、キャリッジ１１を駆動して液滴吐出ヘッド１７を主走査方向１１ａに移動し、ステージ４を駆動して基板７を副走査方向４ａに移動した。これに限らず、キャリッジ１１が液滴吐出ヘッド１７を主走査方向１１ａ及び副走査方向４ａに移動させる構造にしても良い。そして、基板７をベルトコンベア等の移動装置に配置した状態においてノズル１９から液滴３０を基板７に吐出しても良い。基板７の給材及び除材をし易くできる。 (Modification 7)
In the above embodiment, the carriage 11 is driven to move the droplet discharge head 17 in the main scanning direction 11a, and the stage 4 is driven to move the substrate 7 in the sub-scanning direction 4a. Not limited to this, the carriage 11 may be configured to move the droplet discharge head 17 in the main scanning direction 11a and the sub-scanning direction 4a. Then, the droplets 30 may be discharged from the nozzles 19 to the substrate 7 in a state where the substrate 7 is disposed on a moving device such as a belt conveyor. The substrate 7 can be easily supplied and removed.

（変形例８）
前記実施形態では、ステップＳ４の吐出工程において収容タンク１５の第１方向１５ａを主走査方向１１ａと直交する方向に向けた状態にてノズル１９から液滴３０を基板７に吐出した。吐出時は第１方向１５ａを主走査方向１１ａと直交する方向に向けた状態に限らなくとも良い。第１方向１５ａを主走査方向１１ａと直交以外の方向で交差する方向に向けた状態にてノズル１９から液滴３０を基板７に吐出してもよい。この場合にも第２方向１５ｂが主走査方向１１ａの向きとなるので、収容タンク１５内では機能液２８の圧力変動を小さくすることができる。 (Modification 8)
In the embodiment, the droplet 30 is discharged from the nozzle 19 onto the substrate 7 in the state in which the first direction 15a of the storage tank 15 is oriented in the direction orthogonal to the main scanning direction 11a in the discharging step of step S4. At the time of ejection, the first direction 15a is not limited to the state in which the first direction 15a is oriented in a direction orthogonal to the main scanning direction 11a. The droplet 30 may be discharged from the nozzle 19 onto the substrate 7 in a state where the first direction 15a is oriented in a direction that intersects the main scanning direction 11a in a direction other than orthogonal. Also in this case, since the second direction 15b is oriented in the main scanning direction 11a, the pressure fluctuation of the functional liquid 28 can be reduced in the storage tank 15.

（変形例９）
前記実施形態では、ステップＳ３の攪拌工程においてキャリッジ１１は案内レール１０に沿って往復運動をした。このとき、キャリッジ１１が１方向に移動する間に移動と停止とを複数回繰り返しても良い。収容タンク１５内の機能液２８に加速度が加えられる頻度が高くなるので、機能液２８を攪拌し易くすることができる。 (Modification 9)
In the above embodiment, the carriage 11 reciprocates along the guide rail 10 in the stirring step of step S3. At this time, the movement and the stop may be repeated a plurality of times while the carriage 11 moves in one direction. Since the frequency with which acceleration is applied to the functional liquid 28 in the storage tank 15 increases, the functional liquid 28 can be easily stirred.

７…ワークとしての基板、１１…移動部としてのキャリッジ、１１ａ…主走査方向、１４…回転部としての回転テーブル、１５…液状体収容部としての収容タンク、１５ａ…第１方向、１７…吐出部としての液滴吐出ヘッド、１９…ノズル、２８…液状体としての機能液、３０…液滴、５７…攪拌判断部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 7 ... Board | substrate as a workpiece | work, 11 ... Carriage as a moving part, 11a ... Main scanning direction, 14 ... Rotary table as a rotation part, 15 ... Storage tank as a liquid substance storage part, 15a ... 1st direction, 17 ... Discharge A droplet discharge head as a unit, 19... Nozzle, 28... Functional liquid as a liquid, 30.

Claims

A discharge unit that discharges the liquid from the nozzle to the workpiece as droplets;
A liquid material containing portion that is formed long in the first direction and contains the liquid material supplied to the discharge portion;
A moving unit that moves the discharge unit and the liquid material storage unit with respect to the workpiece;
When the moving unit moves the discharge unit when discharging the droplet from the nozzle as a main scanning direction,
A liquid droplet ejecting apparatus, wherein the liquid material is agitated by moving the liquid material containing portion with the first direction of the liquid material containing portion being directed in the main scanning direction.

The droplet discharge device according to claim 1,
A rotating part for rotating the liquid material containing part,
A liquid droplet ejection apparatus, characterized in that the liquid droplets are ejected with the first direction of the liquid material storage portion directed in a direction intersecting the main scanning direction.

The droplet discharge device according to claim 1,
A droplet discharge device comprising: an agitation determination unit that determines to agitate the liquid material when a time elapsed after the agitation of the liquid material elapses a predetermined time or more.

A discharge step of discharging liquid material from the nozzle to the work as liquid droplets while moving the nozzle in the main scanning direction with respect to the work;
A stirring step of stirring the liquid material in the liquid material storage portion by moving a liquid material storage portion for storing the liquid material supplied to the nozzle in the main scanning direction,
The liquid material container is formed long in the first direction,
In the agitation step, the liquid material accommodating portion is moved with the first direction of the liquid material accommodating portion being directed to the main scanning direction.

The discharge method according to claim 4,
In the discharging step, the discharging method is characterized in that the first direction of the liquid material containing portion is directed in a direction crossing the main scanning direction.

The discharge method according to claim 5, wherein
The discharging method according to claim 1, wherein the stirring step is performed after a predetermined time has elapsed after stirring the liquid material in the liquid material container.

The discharge method according to claim 6,
An ejection method comprising: moving the liquid material accommodating portion at a larger acceleration in the stirring step than the acceleration when moving the liquid material accommodating portion in the ejection step.