JP2011049095A - Fluorescent display device and method of manufacturing the same - Google Patents

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Sadanori Takayama
定則 高山
Yohei Fujimura
洋平 藤村
Takeshi Tonegawa
武 利根川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluorescent display device with a phosphor layer whose light emitting property hardly deteriorates and which is hardly peeled from an anode. <P>SOLUTION: A container part 1 has the anode 5 formed on the inner face of an anode substrate 2. Adhesive particles 12 are provided in layers on the anode, and the phosphor layer 7 is formed thereon. The container part 1 has a cathode 8 formed on the inner face of an cathode substrate 3 with a carbon nanotube 9. The adhesive particles are formed of ultrafine powder silica whose particle sizes are smaller than phosphor particle sizes, for example. The phosphor layer adhered to the anode is hardly peeled, gas is hardly generated in the phosphor layer including no metal oxide when emitted electrons collide therewith, and the light emitting property of the phosphor hardly goes on deterioration. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、高真空雰囲気の容器部内に蛍光体層を有する陽極と電子を放出する陰極とを備え、陰極から電子を放出して蛍光体層に射突させ、その発光によって表示を行なう蛍光表示装置とその製造方法に係り、特に、容器部内でのガスの放出が少ないために発光特性の劣化が少なく、かつ蛍光体層が陽極から剥がれにくい蛍光表示装置とその製造方法に関するものである。   The present invention includes a fluorescent display that includes an anode having a phosphor layer and a cathode that emits electrons in a container portion in a high-vacuum atmosphere, emits electrons from the cathode, and strikes the phosphor layer to emit light. The present invention relates to a device and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a fluorescent display device and a method for manufacturing the same, in which the emission of gas in the container portion is small and the deterioration of the light emission characteristics is small and the phosphor layer is hardly peeled off from the anode.

高真空雰囲気に保持された容器部の内部に蛍光体層を有する陽極と電子を放出する陰極が設けられており、陰極から電子を放出して蛍光体層に射突させ、その発光によって表示を行なう蛍光表示装置が知られている。このような基本構造を備えた蛍光表示装置としては、陰極にフィラメントを用いて熱電子を放出させるタイプのものや、電界放出によって電子を放出する冷陰極を備えたタイプのもの等が知られており、さらに冷陰極の中には、スピント型の電子放出素子を備えたものや、カーボンナノチューブを利用した電子放出素子を備えたものが知られている。   An anode having a phosphor layer and a cathode that emits electrons are provided inside a container portion that is maintained in a high vacuum atmosphere. Electrons are emitted from the cathode and projected onto the phosphor layer, and display is performed by light emission. Fluorescent display devices that perform are known. Known fluorescent display devices having such a basic structure include a type that emits thermoelectrons using a filament as a cathode and a type that includes a cold cathode that emits electrons by field emission. Further, some of the cold cathodes are known to have a Spindt type electron-emitting device and those having an electron-emitting device using carbon nanotubes.

上述した蛍光表示装置の製造において蛍光体層を形成する手法としては、粒径が3〜10μm程度の蛍光体の粒子を含むペースト(蛍光体ペースト)を用意し、これを印刷法等によって陽極上に所望のパターンで被着形成し、これを焼成して蛍光体層とする方法が知られている。   As a method for forming the phosphor layer in the manufacture of the fluorescent display device described above, a paste (phosphor paste) containing phosphor particles having a particle size of about 3 to 10 μm is prepared, and this is applied to the anode by a printing method or the like. A method is known in which a desired pattern is deposited and fired to form a phosphor layer.

本願発明者等は、蛍光表示装置の蛍光体層を製造するための材料として、ZnO:Zn等の蛍光体の粉末にIn2 3 やSiO2 等の金属酸化物を添加し、さらに印刷用ビークルを加えた蛍光体ペースト(以後、「従来例の蛍光体ペースト」と呼ぶ。)を製造しており、電子源としてフィラメントを用いたタイプの蛍光表示装置の製造に用いていた。 The inventors of the present invention add a metal oxide such as In 2 O 3 or SiO 2 to a phosphor powder such as ZnO: Zn as a material for manufacturing a phosphor layer of a fluorescent display device, and further for printing A phosphor paste to which a vehicle is added (hereinafter referred to as “conventional phosphor paste”) is manufactured and used to manufacture a type of fluorescent display device using a filament as an electron source.

図3は、上記従来例の蛍光体ペーストを用いて蛍光体層を形成した蛍光表示装置の断面図である。この蛍光表示装置はカーボンナノチューブを利用した電子放出素子を備えたタイプである(この蛍光表示装置を「従来例の蛍光表示装置」と呼ぶ。)。蛍光表示装置10の容器部1は、陽極基板2と陰極基板3を所定間隔をおいて互いに平行に配置し、その周囲を図示しないシール材でシールした薄型パネル状の部材である。陽極基板2の内面には、SiO2 層4が形成され、その上に陽極導体5及びこれに接続する配線がアルミニウムで形成されている。陽極導体5の配線は、高温で焼成した活性の低い鉛ガラスであるクロスオーバー6によって被覆されている。この陽極導体5の上面には、前記従来例の蛍光体ペーストを被着して焼成することにより蛍光体層17が形成されており、従って蛍光体層17を構成する蛍光体粒子17aの間には、In2 3 やSiO2 等の金属酸化物粒子17bが分散して含まれている。陰極基板3の内面には、透光性の陰極導体8が形成されており、その表面にはカーボンナノチューブ9が設けられて電界放出型の電子放出素子を形成している。ここで、陽極導体5と陰極導体8の間に適当な電位差を与えれば、カーボンナノチューブ9から電子が電界放出され、これが陽極導体5の蛍光体層17に射突して蛍光体を発光させる。発光表示は陰極基板3を介して観察される。 FIG. 3 is a cross-sectional view of a fluorescent display device in which a phosphor layer is formed using the above-described conventional phosphor paste. This fluorescent display device is a type including an electron-emitting device using carbon nanotubes (this fluorescent display device is referred to as “conventional fluorescent display device”). The container unit 1 of the fluorescent display device 10 is a thin panel-like member in which an anode substrate 2 and a cathode substrate 3 are arranged in parallel with each other at a predetermined interval and the periphery thereof is sealed with a sealing material (not shown). An SiO 2 layer 4 is formed on the inner surface of the anode substrate 2, and an anode conductor 5 and wirings connected to the anode conductor 5 are formed of aluminum. The wiring of the anode conductor 5 is covered with a crossover 6 which is a low activity lead glass fired at a high temperature. A phosphor layer 17 is formed on the upper surface of the anode conductor 5 by applying the phosphor paste of the conventional example and baking it, and therefore, between the phosphor particles 17 a constituting the phosphor layer 17. Contains metal oxide particles 17b such as In 2 O 3 or SiO 2 dispersed therein. A translucent cathode conductor 8 is formed on the inner surface of the cathode substrate 3, and carbon nanotubes 9 are provided on the surface to form a field emission type electron-emitting device. Here, if an appropriate potential difference is applied between the anode conductor 5 and the cathode conductor 8, electrons are emitted from the carbon nanotubes 9, and this strikes the phosphor layer 17 of the anode conductor 5 to cause the phosphor to emit light. The luminescent display is observed through the cathode substrate 3.

また、以上説明した技術に関連する先行技術文献として、下記特許文献1には、アルミニウムからなる陽極の上に蛍光体層が形成された蛍光表示装置の一構造例が開示されており、下記特許文献2には、蛍光体層の形成において、特定の金属酸化物を蛍光体に混合して焼成することにより、蛍光体の温度特性を改善した蛍光表示装置が開示されている。   In addition, as a prior art document related to the technology described above, Patent Document 1 below discloses an example of a structure of a fluorescent display device in which a phosphor layer is formed on an anode made of aluminum. Document 2 discloses a fluorescent display device in which the temperature characteristics of a phosphor are improved by mixing a specific metal oxide into the phosphor and firing it in forming the phosphor layer.

特開昭63−212992号公報Japanese Patent Laid-Open No. 63-212992 特開平1−182390号公報JP-A-1-182390

本願発明者等の研究によれば、従来例の蛍光体ペーストを用いて製造した蛍光表示装置では、容器部内に何らかの原因でガスが発生し、これによって蛍光体層の発光特性が低下する可能性があることが分かってきた。特に、容器部の内容積が小さく、製造工程において容器部内を排気する際のコンダクタンスが小さい冷陰極タイプの蛍光表示装置では、容器部内で発生するガスによる影響が大きい。例えば、図3に示したようなカーボンナノチューブを利用した電子放出素子を有する蛍光表示装置10(カーボンナノチューブフィールドエミッションディスプレイ)では、容器部1内にガスが発生すると冷陰極であるカーボンナノチューブ9がガスに汚染され、比較的短い時間で発光特性が劣化して十分な輝度が得られなくなってしまう。スピント型の電子放出素子を備えた蛍光表示装置においても、同様の問題が発生する。   According to the study by the inventors of the present application, in the fluorescent display device manufactured using the phosphor paste of the conventional example, gas is generated in the container part for some reason, which may reduce the light emission characteristics of the phosphor layer. I know that there is. In particular, in a cold cathode type fluorescent display device in which the inner volume of the container portion is small and the conductance when the inside of the container portion is exhausted in the manufacturing process is small, the influence of the gas generated in the container portion is large. For example, in a fluorescent display device 10 (carbon nanotube field emission display) having an electron-emitting device using carbon nanotubes as shown in FIG. 3, when a gas is generated in the container 1, the carbon nanotubes 9 that are cold cathodes are gas. As a result, the light emission characteristics deteriorate in a relatively short time, and sufficient luminance cannot be obtained. A similar problem occurs in a fluorescent display device including a Spindt type electron-emitting device.

本願発明者等は、研究の結果、このようなガス発生の原因を蛍光体に添加した物質にあると考えた。そして、ガス発生の問題がなく、特に容器部の内容積が小さい冷陰極タイプの蛍光表示装置に適した蛍光体ペーストの開発に向けて鋭意努力した結果、従来例を改良した蛍光体ペーストを得た(以後、これを「比較例の蛍光体ペースト」と呼び、これを用いて蛍光表示装置を「比較例の蛍光表示装置」と呼ぶ。)。この比較例の蛍光体ペーストは、ZnO:Zn等の蛍光体の粉末に、In2 3 やSiO2 等の金属酸化物を添加することなく、単に印刷用ビークルとしてエチルセルロースを加えた組成の蛍光体ペーストである。 As a result of research, the inventors of the present application have thought that the cause of such gas generation is the substance added to the phosphor. As a result of diligent efforts toward the development of a phosphor paste suitable for a cold cathode type fluorescent display device, which has no problem of gas generation and the inner volume of the container is small, an improved phosphor paste was obtained. (Hereafter, this is called “phosphor paste of comparative example”, and using this, the fluorescent display device is called “fluorescent display device of comparative example”). The phosphor paste of this comparative example has a composition in which ethyl cellulose is simply added as a printing vehicle to a phosphor powder such as ZnO: Zn without adding a metal oxide such as In 2 O 3 or SiO 2. Body paste.

図4は、上記比較例の蛍光表示装置20の断面図である。この蛍光表示装置20はカーボンナノチューブ9を利用した電子放出素子を備えたタイプであり、その構造は図3に示した従来例の蛍光表示装置と蛍光体層以外は同様であり、対応する部分については図3と同一の符号を付して説明を省略する。但し、従来例の蛍光表示装置10と異なり、比較例の蛍光表示装置20は、蛍光体層27にIn2 3 やSiO2 等の金属酸化物を含んでいない。 FIG. 4 is a cross-sectional view of the fluorescent display device 20 of the comparative example. This fluorescent display device 20 is a type including an electron-emitting device using carbon nanotubes 9, and the structure is the same as that of the conventional fluorescent display device shown in FIG. 3 except for the phosphor layer. Are denoted by the same reference numerals as those in FIG. However, unlike the fluorescent display device 10 of the conventional example, the fluorescent display device 20 of the comparative example does not include a metal oxide such as In 2 O 3 or SiO 2 in the phosphor layer 27.

この比較例の蛍光体ペーストによれば、蛍光表示装置の容器部内でガスが発生することはなく、特に容器部1の内容積が小さい冷陰極タイプの比較例の蛍光表示装置20に使用しても発光特性については問題がないことが確認されたが、蛍光体層27の陽極導体5に対する付着力が十分でなく、使用中に蛍光体層27が陽極導体5から剥がれてしまい、発光表示ができなくなってしまうという他の致命的な問題が発生することが分かった。   According to the phosphor paste of this comparative example, no gas is generated in the container portion of the fluorescent display device, and in particular, the phosphor paste of the cold cathode type comparative example 20 having a small inner volume of the container portion 1 is used. However, it was confirmed that there was no problem with the light emission characteristics, but the adhesion of the phosphor layer 27 to the anode conductor 5 was not sufficient, and the phosphor layer 27 was peeled off from the anode conductor 5 during use, and the light emitting display was achieved. It turns out that there is another fatal problem that makes it impossible.

本発明は、従来の技術やこれを改良した技術において本願発明者等が発見した問題点を解決するために、本願発明者等の新たな知見に基づいてなされたものであり、容器部内でガスが発生しにくいためにガスに起因する蛍光体層の発光特性の劣化が少なく、また蛍光体層が陽極に確実に被着しているため、陽極から剥がれにくい蛍光表示装置とその製造方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made on the basis of the new knowledge of the inventors of the present application in order to solve the problems discovered by the inventors of the present invention in the prior art and improved techniques thereof. Provides a fluorescent display device that is less likely to be peeled off from the anode because the phosphor layer hardly adheres to the anode and the phosphor layer is securely attached to the anode. The purpose is to do.

請求項1に記載された蛍光表示装置は、内部が高真空雰囲気とされた容器部と、前記容器部の内面に形成された陽極と、前記陽極に設けられた蛍光体層と、前記容器部内に設けられて電子を放出する陰極とを備え、前記陰極から放出された電子を前記蛍光体層に射突させて前記蛍光体層を発光させる蛍光表示装置において、
前記蛍光体層を構成する蛍光体の粒径よりも小さい粒径であり、前記蛍光体を前記陽極に接着させる接着機能を備えた接着粒子が、前記蛍光体層の中には含まれておらず、前記蛍光体層と前記陽極との間に設けられていることを特徴としている。
The fluorescent display device according to claim 1 includes a container part whose inside is a high vacuum atmosphere, an anode formed on an inner surface of the container part, a phosphor layer provided on the anode, and an inside of the container part In a fluorescent display device comprising: a cathode that emits electrons; and a phosphor layer that emits electrons by projecting electrons emitted from the cathode to the phosphor layer;
Adhesive particles having a particle size smaller than the particle size of the phosphor constituting the phosphor layer and having an adhesion function for adhering the phosphor to the anode are not included in the phosphor layer. It is characterized by being provided between the phosphor layer and the anode.

請求項2に記載された蛍光表示装置は、請求項1記載の蛍光表示装置において、
前記接着粒子が、超微粉シリカと、超微粉鉛ガラスと、超微粉アルミナから構成される接着粒子群から選択された少なくとも1種類の接着粒子であることを特徴としている。
The fluorescent display device according to claim 2 is the fluorescent display device according to claim 1,
The adhesive particles are at least one type of adhesive particles selected from an adhesive particle group composed of ultrafine silica, ultrafine lead glass, and ultrafine alumina.

請求項3に記載された蛍光表示装置は、請求項1記載の蛍光表示装置において、
前記接着粒子は、前記蛍光体層と前記陽極を物理吸着又は化学吸着により接着させることを特徴としている。
The fluorescent display device according to claim 3 is the fluorescent display device according to claim 1,
The adhesive particles are characterized in that the phosphor layer and the anode are bonded by physical adsorption or chemical adsorption.

請求項4に記載された蛍光表示装置は、請求項1記載の蛍光表示装置において、
前記蛍光表示装置がカーボンナノチューブフィールドエミッションディスプレイであることを特徴としている。
The fluorescent display device according to claim 4 is the fluorescent display device according to claim 1,
The fluorescent display device is a carbon nanotube field emission display.

請求項5に記載された蛍光表示装置の製造方法は、
内部を高真空状態とした容器部の内部において陽極の蛍光体層に電子を射突させて発光表示を行なう蛍光表示装置の製造方法において、
前記容器部を構成する基板の内面に陽極を形成し、
前記蛍光体層を構成する蛍光体よりも粒径が小さく、前記蛍光体を前記陽極に接着させる接着機能を備えた接着粒子を含む第1のペーストを前記陽極の表面に塗布して乾燥させ、
前記接着粒子は含まず前記蛍光体を含む第2のペーストを乾燥した前記第1のペーストの上に塗布し、
前記基板を焼成することを特徴としている。
The manufacturing method of the fluorescent display device described in claim 5 is:
In the manufacturing method of the fluorescent display device for performing the light emission display by projecting electrons to the phosphor layer of the anode inside the container part in which the inside is in a high vacuum state,
Forming an anode on the inner surface of the substrate constituting the container portion;
The first paste containing adhesive particles having a particle size smaller than the phosphor constituting the phosphor layer and having an adhesion function for adhering the phosphor to the anode is applied to the surface of the anode and dried,
A second paste containing the phosphor without the adhesive particles is applied onto the dried first paste,
The substrate is fired.

請求項1に記載された蛍光表示装置によれば、接着粒子が蛍光体と陽極を確実に接着させるので、使用中に蛍光体層が陽極から剥がれることはない。また、接着粒子が蛍光体層の中に含まれていないので、使用中に蛍光体層に射突する電子が接着粒子に当ってガスを発生するという不都合な現象は発生せず、そのようなガスによる発光特性の劣化が起こることはない。   According to the fluorescent display device of the first aspect, since the adhesive particles securely adhere the phosphor and the anode, the phosphor layer is not peeled off from the anode during use. In addition, since the adhesive particles are not included in the phosphor layer, there is no inconvenience that electrons that hit the phosphor layer during use hit the adhesive particles and generate gas. There is no deterioration of the light emission characteristics due to the gas.

請求項2に記載された蛍光表示装置によれば、請求項1記載の蛍光表示装置による効果を、接着粒子としての超微粉シリカと、超微粉鉛ガラスと、超微粉アルミナのいずれによっても達成できる。   According to the fluorescent display device described in claim 2, the effect of the fluorescent display device according to claim 1 can be achieved by any of ultrafine silica, ultrafine lead glass, and ultrafine alumina as adhesive particles. .

請求項3に記載された蛍光表示装置によれば、請求項1記載の蛍光表示装置による効果を、分子間力によって接着粒子が蛍光体層と陽極に物理吸着し、又は蛍光体層を焼成する際に組成が変化した接着粒子が蛍光体層と陽極に化学吸着することにより達成できる。   According to the fluorescent display device described in claim 3, the effect of the fluorescent display device according to claim 1 is obtained by the fact that adhesive particles are physically adsorbed on the phosphor layer and the anode by intermolecular force, or the phosphor layer is baked. This can be achieved by chemically adsorbing the adhesive particles whose composition has changed on the phosphor layer and the anode.

請求項4に記載された蛍光表示装置は、容器部の内容積が小さく、製造工程において容器部内を排気する際のコンダクタンスが小さいカーボンナノチューブフィールドエミッションディスプレイであるため、蛍光体層の中に電子線の射突によるガス発生の原因となる物質がない請求項1記載の蛍光表示装置の構造は、発光特性を劣化させないために特に有効である。   The fluorescent display device according to claim 4 is a carbon nanotube field emission display having a small inner volume of the container portion and a small conductance when the inside of the container portion is exhausted in the manufacturing process. The structure of the fluorescent display device according to claim 1, which is free from a substance that causes gas generation due to the projection, is particularly effective for preventing deterioration of light emission characteristics.

請求項5に記載された蛍光表示装置の製造方法によれば、陽極と蛍光体層の間に接着粒子が介在して蛍光体層を陽極に確実に接着するとともに、蛍光体層中には接着粒子が含まれない蛍光表示装置を製造できる。従って、当該蛍光表示装置の使用中には蛍光体層が陽極から剥がれることはなく、また接着粒子が蛍光体層の中に含まれていないので、使用中に蛍光体層に射突する電子が接着粒子に当ってガスを発生するという不都合な現象は発生せず、そのようなガスによる発光特性の劣化が起こることもない。   According to the method for manufacturing a fluorescent display device according to claim 5, the adhesive particles are interposed between the anode and the phosphor layer so that the phosphor layer is securely bonded to the anode, and the phosphor layer is bonded. A fluorescent display device containing no particles can be manufactured. Therefore, the phosphor layer is not peeled off from the anode during use of the fluorescent display device, and adhesive particles are not included in the phosphor layer. The disadvantageous phenomenon of generating gas upon hitting the adhesive particles does not occur, and the emission characteristics are not deteriorated by such gas.

(a)は本発明の実施形態に係る蛍光表示装置の断面図、(b)は(a)における蛍光体層付近の拡大断面図である。(A) is sectional drawing of the fluorescence display apparatus which concerns on embodiment of this invention, (b) is an expanded sectional view of the fluorescent substance layer vicinity in (a). 実施形態の蛍光表示装置と、従来例の蛍光表示装置と、比較例の蛍光表示装置について、使用時間とエミッション残存率の関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between usage time and an emission residual rate about the fluorescence display apparatus of embodiment, the fluorescence display apparatus of a prior art example, and the fluorescence display apparatus of a comparative example. 本願発明者等が案出した従来例の蛍光体ペーストを用いて製造した従来例の蛍光表示装置の断面図である。It is sectional drawing of the fluorescent display apparatus of the prior art example manufactured using the fluorescent substance paste of the prior art example which the present inventors devised. 本願発明者等が案出した比較例の蛍光体ペーストを用いて製造した比較例の蛍光表示装置の断面図である。It is sectional drawing of the fluorescent display apparatus of the comparative example manufactured using the fluorescent substance paste of the comparative example which this inventor devised.

図1は、本発明の第1実施形態に係る蛍光表示装置11の断面図である。まず、図1を参照して第1実施形態に係る蛍光表示装置11の構造を説明する。
この蛍光表示装置11はカーボンナノチューブ9を利用した電子放出素子を備えたタイプである。蛍光表示装置11の容器部1は、陽極基板2と陰極基板3を所定間隔をおいて互いに平行に配置し、その周囲を図示しないシール材で封止した薄型パネル状の部材である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a fluorescent display device 11 according to the first embodiment of the present invention. First, the structure of the fluorescent display device 11 according to the first embodiment will be described with reference to FIG.
This fluorescent display device 11 is a type equipped with an electron-emitting device using carbon nanotubes 9. The container portion 1 of the fluorescent display device 11 is a thin panel-like member in which an anode substrate 2 and a cathode substrate 3 are arranged in parallel with each other at a predetermined interval and the periphery thereof is sealed with a sealing material (not shown).

陽極基板2の内面には、SiO2 層4が形成され、その上に陽極導体5及びこれに接続する配線がアルミニウムで形成されている。陽極導体5の配線は、高温で焼成した活性の低い鉛ガラスであるクロスオーバー6によって被覆されている。互いに隣接する配線と配線の間を通常の鉛ガラスで覆った場合には、その鉛ガラス内で鉛が樹状に伸びて配線と配線を導通させてしまう鉛樹が発生することがあるが、このクロスオーバー6はこのような現象を防止する。また、図中には表れないが、配線が容器部1のシール部で封着用の鉛ガラスに接触していると、これによって酸化されて断線してしまう所謂シール食われが発生することがあるが、このクロスオーバー6はこのような現象も防止する。 An SiO 2 layer 4 is formed on the inner surface of the anode substrate 2, and an anode conductor 5 and wirings connected to the anode conductor 5 are formed of aluminum. The wiring of the anode conductor 5 is covered with a crossover 6 which is a low activity lead glass fired at a high temperature. When the space between adjacent wires and normal wires is covered with normal lead glass, lead trees that lead to a tree-like lead in the lead glass and make the wires and wires conductive may occur. This crossover 6 prevents such a phenomenon. Although not shown in the figure, when the wiring is in contact with the lead glass for sealing at the seal portion of the container portion 1, so-called seal erosion that is oxidized and breaks may occur. However, this crossover 6 also prevents such a phenomenon.

この陽極導体5の上面には、陽極導体5と後述する蛍光体層7とを接着するための機能性材料である接着粒子12が設けられている。図1(a)中の蛍光体層7の部分を拡大した同図(b)に示すように、接着粒子12は、平坦な陽極導体5の表面に部分的な凹凸を形成するように、陽極導体5の上面の一部に点々と配置されることにより、蛍光体層7と陽極導体5の電気的導通を妨げることなく、蛍光体層7を陽極導体5に対して高い強度で付着させている。接着粒子12は、その粒径が少なくとも蛍光体層7の蛍光体の粒径よりも小さく、かつ蛍光体層7の焼成温度において組成が変化することにより蛍光体層7と陽極導体5に化学吸着して両者を接着させるか、又は分子間力によって蛍光体層7と陽極導体5に物理吸着して両者を接着させる機能を有していることが必要である。   On the upper surface of the anode conductor 5, adhesive particles 12 that are functional materials for bonding the anode conductor 5 and a phosphor layer 7 described later are provided. As shown in FIG. 1B in which the portion of the phosphor layer 7 in FIG. 1A is enlarged, the adhesive particles 12 are anodes so as to form partial irregularities on the surface of the flat anode conductor 5. By arranging dots on a part of the upper surface of the conductor 5, the phosphor layer 7 is attached to the anode conductor 5 with high strength without hindering electrical conduction between the phosphor layer 7 and the anode conductor 5. Yes. The adhesive particles 12 are chemically adsorbed to the phosphor layer 7 and the anode conductor 5 because the particle size is at least smaller than the particle size of the phosphor of the phosphor layer 7 and the composition changes at the firing temperature of the phosphor layer 7. Thus, it is necessary to have a function of adhering them together or by physically adsorbing them to the phosphor layer 7 and the anode conductor 5 by an intermolecular force.

本例では、接着粒子12として超微粉シリカ(SiO2 )が用いられている。これは、アエロジル(登録商標)として知られている超微粉乾式シリカであり、例えばケイ素塩化物を気化して高温の水素炎中で気相反応させることによりシリカ微粒子を合成して得られるフュームドシリカの一種である。この物質は、アモルファスのガラス状で球状の細孔のない一次粒子からなるが、製造工程で強く結合した立体構造を持つ凝集粒子乃至分子数個のクラスターとして生成される。湿式シリカと比較すると、細孔がないため粒子径に対しての比表面積は小さい。また、乾式シリカであっても、溶融状態から生成するフューズドシリカ粒子とは異なるものである。市販の製品としては、一次粒子径が7nmから40nm程度までの親水性のものが知られているが、前述したように本第1実施形態に好適に用いられる接着粒子12の粒径は蛍光体層7の蛍光体の粒径よりも小さく、例えば8nm(0.008μm)程度とされている。超微粉乾式シリカは、100gで2リットル程度の容積となる嵩高い粉体である。超微粉乾式シリカは、その表面にシロキサンやシラノール基を有しているので、例えば陽極導体5の表面に超微粉乾式シリカを塗布し、さらにその上に本第1実施形態のようにZnO:Zn蛍光体を塗布して500℃程度で焼成すると、蛍光体からOを奪ってSiOH→SiO2 に組成変化するので、その組成変化に起因した化学吸着による強い密着力で蛍光体層7と陽極導体5を接着する。なお、本実施形態では、接着粒子12である超微粉乾式シリカを介した蛍光体層7と陽極導体5の接着の態様乃至原因は、上述した化学吸着だけではなく、分子間力による物理吸着にもあると考えられる。 In this example, ultrafine silica (SiO 2 ) is used as the adhesive particles 12. This is an ultrafine dry silica known as Aerosil (registered trademark), for example, fumed obtained by synthesizing silica fine particles by vaporizing silicon chloride and causing a gas phase reaction in a high-temperature hydrogen flame. It is a kind of silica. This substance consists of primary particles that are amorphous glassy and have no spherical pores, but are produced as aggregated particles or clusters of several molecules having a three-dimensional structure strongly bound in the manufacturing process. Compared to wet silica, the specific surface area relative to the particle size is small because there are no pores. Moreover, even if it is a dry-type silica, it is different from the fused silica particle produced | generated from a molten state. As a commercially available product, a hydrophilic product having a primary particle size of about 7 nm to 40 nm is known. As described above, the particle size of the adhesive particle 12 suitably used in the first embodiment is a phosphor. It is smaller than the particle size of the phosphor of the layer 7, for example, about 8 nm (0.008 μm). Ultra fine powder dry silica is a bulky powder having a volume of about 2 liters at 100 g. Since the ultra fine powder dry silica has siloxane and silanol groups on its surface, for example, the ultra fine powder dry silica is applied to the surface of the anode conductor 5 and further ZnO: Zn as in the first embodiment. When the phosphor is applied and baked at about 500 ° C., O is removed from the phosphor and the composition changes from SiOH to SiO 2. Therefore, the phosphor layer 7 and the anode conductor are bonded with strong adhesion due to chemical adsorption caused by the composition change. 5 is adhered. In the present embodiment, the mode or cause of the adhesion between the phosphor layer 7 and the anode conductor 5 through the ultrafine powder dry silica as the adhesive particles 12 is not only the above-described chemical adsorption but also physical adsorption by intermolecular force. It is thought that there is also.

前記接着粒子12の層の上には、蛍光体ペーストを被着して焼成することによりZnO:Zn蛍光体からなる蛍光体層7が形成されている。本例では、蛍光体層7を構成するZnO:Zn蛍光体の粒子の間には、In2 3 やSiO2 等は一切含まれていない。従って、使用時に電子が蛍光体に射突しても、ガスが発生することはない。 On the adhesive particle 12 layer, a phosphor layer 7 made of ZnO: Zn phosphor is formed by depositing and baking a phosphor paste. In this example, the ZnO: Zn phosphor particles constituting the phosphor layer 7 do not contain any In 2 O 3 or SiO 2 . Therefore, no gas is generated even if electrons hit the phosphor during use.

陰極基板3の内面には、透光性の陰極導体8が形成されており、その表面にはカーボンナノチューブ9が設けられて電界放出型の電子放出素子を形成している。   A translucent cathode conductor 8 is formed on the inner surface of the cathode substrate 3, and carbon nanotubes 9 are provided on the surface to form a field emission type electron-emitting device.

以上の構成において、陽極導体5と陰極導体8の間に適当な電位差を与えれば、カーボンナノチューブ9から電子が電界放出され、これが陽極導体5の蛍光体層7に射突して蛍光体を発光させ、その発光表示は陰極基板3を介して容器部1の外部から観察できる。   In the above configuration, when an appropriate potential difference is applied between the anode conductor 5 and the cathode conductor 8, electrons are emitted from the carbon nanotubes 9 and project into the phosphor layer 7 of the anode conductor 5 to emit the phosphor. The light-emitting display can be observed from the outside of the container part 1 through the cathode substrate 3.

次に、第1実施形態に係る蛍光表示装置11の製造方法を説明する。
前述した接着粒子12である超微粉シリカ10wt%と、テルピネオール90wt%を混合し、超音波分散装置によって超音波分散を行い、透明な超微粉シリカビークルを生成する。
Next, a method for manufacturing the fluorescent display device 11 according to the first embodiment will be described.
The above-mentioned adhesive particles 12 of ultrafine silica 10 wt% and terpineol 90 wt% are mixed and subjected to ultrasonic dispersion by an ultrasonic dispersing device to produce a transparent ultrafine silica vehicle.

前述した超微粉シリカビークルを2wt%と、エチルセルロースとテルピネオールの混合物であるビークルを98wt%の割合で混合し、第1のペーストであるアンダーコートペーストを得る。このアンダーコートペーストには、超微粉シリカが0.2wt%含まれていることとなる。   2 wt% of the ultra fine silica vehicle described above and 98 wt% of a vehicle that is a mixture of ethyl cellulose and terpineol are mixed to obtain an undercoat paste that is the first paste. This undercoat paste contains 0.2 wt% of ultrafine silica.

一方、蛍光表示装置11の容器部1の一部を構成する陽極基板2の内面に、0.1μm程度の厚さでSiO2 膜4を形成し、その上に、1μm程度の厚さのアルミニウムによって所望のパターンで陽極導体5及び配線を形成する。配線の必要箇所にクロスオーバー6を被着・焼成して形成する。 On the other hand, a SiO 2 film 4 having a thickness of about 0.1 μm is formed on the inner surface of the anode substrate 2 constituting a part of the container portion 1 of the fluorescent display device 11, and an aluminum having a thickness of about 1 μm is formed thereon. Thus, the anode conductor 5 and the wiring are formed in a desired pattern. A crossover 6 is deposited and fired at a necessary portion of the wiring.

陽極導体5を覆うようにアンダーコートペーストを塗布し、乾燥する。乾燥してテルピネオールが蒸発し、エチルセルロースと超微粉シリカが残った状態において、0.1μm程度の厚さとなる。このアンダーコートペーストの上に、第2のペーストである比較例の蛍光体ペーストを20μm程度の厚さに塗布する。比較例の蛍光体ペーストは、前述したように、ZnO:Zn等の蛍光体の粉末に、In2 3 やSiO2 等の金属酸化物を添加することなく、エチルセルロースを加えた組成のペーストである。 An undercoat paste is applied so as to cover the anode conductor 5 and dried. In a state where terpineol is evaporated by evaporation and ethyl cellulose and ultrafine silica remain, the thickness is about 0.1 μm. On this undercoat paste, the phosphor paste of the comparative example as the second paste is applied to a thickness of about 20 μm. As described above, the phosphor paste of the comparative example is a paste having a composition in which ethyl cellulose is added to a phosphor powder such as ZnO: Zn without adding a metal oxide such as In 2 O 3 or SiO 2. is there.

陽極基板2を500℃程度の温度で焼成する。焼成により、アンダーコートペーストはエチルセルロースが分解して例えば粒径が0.008μm程度の超微粉シリカのみが残り、蛍光体層7と陽極導体5の電気的導通を妨げない状態で陽極導体5の上面の一部に点々と配置された接着粒子12となって蛍光体層7を陽極導体5に対して高い強度で付着させる。この接着層の上には、厚さ15μm程度の蛍光体層7が形成される。この焼成工程において、超微粉乾式シリカのシラノール基は、蛍光体からOを奪ってSiOH→SiO2 に組成変化するので、強い密着力で蛍光体層7と陽極導体5を接着する。 The anode substrate 2 is fired at a temperature of about 500 ° C. By firing, the undercoat paste decomposes into ethyl cellulose, leaving only ultrafine silica having a particle size of, for example, about 0.008 μm, and the upper surface of the anode conductor 5 without disturbing the electrical conduction between the phosphor layer 7 and the anode conductor 5. As a result, the phosphor particles 7 are adhered to the anode conductor 5 with high strength. A phosphor layer 7 having a thickness of about 15 μm is formed on the adhesive layer. In this firing step, the silanol group of the ultrafine powder dry silica takes O from the phosphor and changes its composition from SiOH to SiO 2 , so that the phosphor layer 7 and the anode conductor 5 are bonded with strong adhesion.

次に、第1実施形態による効果を、従来例及び比較例と比較して説明する。
図2に示すように、第1実施形態の蛍光表示装置11(図2中、○で示したポイントを結ぶ「実施形態」のグラフ参照)によれば、点灯時間(横軸:時間[h])の経過に伴いエミッション残存率(縦軸:[%])は当初の100%から徐々に減少していくが、500時間経過後でも70%近くのエミッション残存率がある。しかも、使用中に蛍光体層7が陽極導体5から剥がれるといった不具合が生じることはない。
Next, the effect by 1st Embodiment is demonstrated compared with a prior art example and a comparative example.
As shown in FIG. 2, according to the fluorescent display device 11 of the first embodiment (see the graph of “embodiment” connecting points indicated by ○ in FIG. 2), the lighting time (horizontal axis: time [h] ), The emission remaining rate (vertical axis: [%]) gradually decreases from the initial 100%, but there is an emission remaining rate of nearly 70% even after 500 hours. Moreover, there is no problem that the phosphor layer 7 is peeled off from the anode conductor 5 during use.

これに対し、従来例の蛍光表示装置10(図2中、□で示したポイントを結ぶグラフ参照)では、蛍光体層17中の金属酸化物17bからのガス放出に起因すると考えられるエミッションの低下が顕著であり、500時間経過後にはエミッション残存率は40%以下となり実用上必要な性能を満たさない状態となっている。   On the other hand, in the fluorescent display device 10 of the conventional example (see the graph connecting points indicated by □ in FIG. 2), the emission reduction considered to be caused by gas emission from the metal oxide 17b in the phosphor layer 17 is reduced. The emission residual rate is 40% or less after 500 hours, and the practically required performance is not satisfied.

また、比較例の蛍光表示装置20(図2中、×で示したポイントを結ぶグラフ参照)では、エミッション残存率の低減率は第1実施形態とほぼ同じであり良好と言えるが、前述したように使用中に蛍光体層27が陽極導体5から剥がれてしまうという不具合が生じやすく、実用に耐えないという問題がある。   In addition, in the fluorescent display device 20 of the comparative example (see the graph connecting the points indicated by x in FIG. 2), the reduction rate of the emission remaining rate is almost the same as that of the first embodiment, which is good, but as described above. In addition, there is a problem that the phosphor layer 27 is easily peeled off from the anode conductor 5 during use, and cannot be practically used.

以上のように、第1実施形態の蛍光表示装置11によれば、超微粉乾式シリカが蛍光体と陽極導体5を分子間力による物理吸着又は組成変化による化学吸着により確実に接着・固定するので、使用中に蛍光体層7が陽極導体5から剥がれることはなく、また蛍光体層7の中には使用中にガスを放出するような異物が含まれていないので、ガス放出による発光特性の劣化が起こる恐れもない。   As described above, according to the fluorescent display device 11 of the first embodiment, the ultra fine powder dry silica reliably bonds and fixes the phosphor and the anode conductor 5 by physical adsorption by intermolecular force or chemical adsorption by composition change. The phosphor layer 7 is not peeled off from the anode conductor 5 during use, and the phosphor layer 7 contains no foreign matter that emits gas during use. There is no risk of deterioration.

特に、第1実施形態の蛍光表示装置11は、陽極基板2と陰極基板3の間隔が例えば30μm程度であり、容器部1の内容積が小さく、製造工程において容器部1内を排気する際のコンダクタンスが小さいカーボンナノチューブフィールドエミッションディスプレイであるため、蛍光体層7の中に電子線の射突によるガス発生の原因となる物質が存在しない本例のような構造は、蛍光体層7の発光特性を劣化させないために特に有効である。 In particular, in the fluorescent display device 11 of the first embodiment, the distance between the anode substrate 2 and the cathode substrate 3 is about 30 μm, for example, and the inner volume of the container part 1 is small, and the container part 1 is evacuated in the manufacturing process. Since this is a carbon nanotube field emission display with a low conductance, the structure as in this example in which no substance causing gas generation due to electron beam projection is present in the phosphor layer 7, the phosphor layer 7 emits light. This is particularly effective in order not to deteriorate the characteristics.

次に、本発明の他の実施形態に係る蛍光表示装置について説明する。
第1実施形態では、接着粒子12として超微粉シリカ(SiO2 )を用いたが、これに替えて、超微粉鉛ガラス又は超微粉アルミナを用いることもできる。超微粉鉛ガラス又は超微粉アルミナを用いる場合にも、その粒径は蛍光体の粒径よりも小さいことが必要である。また、これを含むアンダーコートペーストの製造方法やビークルに用いる使用材料等は第1実施例と同様である。但し、超微粉鉛ガラスを用いた場合には、これが蛍光体層7と陽極導体5を接着する機能は、超微粉鉛ガラスが溶融することによって接触面積が増え、これによって分子間力による物理吸着が大きく働いていることによるものであり、超微粉アルミナを用いた場合には、これが蛍光体層7と陽極導体5を接着する機能は、第1実施形態の場合と同様の分子間力による物理吸着又は組成が変化することによる化学吸着である。また、接着粒子は1種類に限るものではなく、複数種類の接着粒子を混合して使用してもよい。例えば、超微粉シリカ(SiO2 )と、超微粉鉛ガラスと、超微粉アルミナから任意に選択した2種類以上の超微粉接着粒子を適当な割合で混合して使用してもよい。
Next, a fluorescent display device according to another embodiment of the present invention will be described.
In the first embodiment, ultrafine silica (SiO 2 ) is used as the adhesive particles 12, but instead of this, ultrafine lead glass or ultrafine alumina can be used. Even when ultrafine lead glass or ultrafine alumina is used, the particle size must be smaller than that of the phosphor. In addition, the manufacturing method of the undercoat paste including this and the materials used for the vehicle are the same as those in the first embodiment. However, when ultrafine powdered lead glass is used, the function of adhering the phosphor layer 7 and the anode conductor 5 is that the contact area is increased by melting the finely divided powdered lead glass, thereby causing physical adsorption by intermolecular force. When ultra-fine powder alumina is used, the function of adhering the phosphor layer 7 and the anode conductor 5 is the same as that in the first embodiment due to the intermolecular force. Chemisorption by adsorption or composition change. The adhesive particles are not limited to one type, and a plurality of types of adhesive particles may be mixed and used. For example, two or more types of ultrafine powder adhesive particles arbitrarily selected from ultrafine silica (SiO 2 ), ultrafine lead glass, and ultrafine alumina may be mixed and used at an appropriate ratio.

1…容器部
2…陽極基板
3…陰極基板
5…陽極導体
7…蛍光体層
8…陰極導体
9…カーボンナノチューブ
10…従来の蛍光表示装置
11…実施形態の蛍光表示装置
12…接着粒子
20…比較例の蛍光表示装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Container part 2 ... Anode substrate 3 ... Cathode substrate 5 ... Anode conductor 7 ... Phosphor layer 8 ... Cathode conductor 9 ... Carbon nanotube 10 ... Conventional fluorescent display device 11 ... Embodiment fluorescent display device 12 ... Adhesive particle 20 ... Comparative Example Fluorescent Display Device

Claims (5)

内部が高真空雰囲気とされた容器部と、前記容器部の内面に形成された陽極と、前記陽極に設けられた蛍光体層と、前記容器部内に設けられて電子を放出する陰極とを備え、前記陰極から放出された電子を前記蛍光体層に射突させて前記蛍光体層を発光させる蛍光表示装置において、
前記蛍光体層を構成する蛍光体の粒径よりも小さい粒径であり、前記蛍光体を前記陽極に接着させる接着機能を備えた接着粒子が、前記蛍光体層の中には含まれておらず、前記蛍光体層と前記陽極との間に設けられていることを特徴とする蛍光表示装置。
A container part having an internal high vacuum atmosphere; an anode formed on an inner surface of the container part; a phosphor layer provided on the anode; and a cathode provided in the container part to emit electrons. In the fluorescent display device for causing the phosphor layer to emit light by projecting electrons emitted from the cathode to the phosphor layer,
Adhesive particles having a particle size smaller than the particle size of the phosphor constituting the phosphor layer and having an adhesion function for adhering the phosphor to the anode are not included in the phosphor layer. The fluorescent display device is provided between the phosphor layer and the anode.
前記接着粒子が、超微粉シリカと、超微粉鉛ガラスと、超微粉アルミナから構成される接着粒子群から選択された少なくとも1種類の接着粒子であることを特徴とする請求項1記載の蛍光表示装置。 2. The fluorescent display according to claim 1, wherein the adhesive particles are at least one type of adhesive particles selected from an adhesive particle group composed of ultrafine silica, ultrafine lead glass, and ultrafine alumina. apparatus. 前記接着粒子は、前記蛍光体層と前記陽極を物理吸着又は化学吸着により接着させることを特徴とする請求項1記載の蛍光表示装置。 2. The fluorescent display device according to claim 1, wherein the adhesive particles adhere the phosphor layer and the anode by physical adsorption or chemical adsorption. 前記蛍光表示装置がカーボンナノチューブフィールドエミッションディスプレイであることを特徴とする請求項1記載の蛍光表示装置。 The fluorescent display device according to claim 1, wherein the fluorescent display device is a carbon nanotube field emission display. 内部を高真空状態とした容器部の内部において陽極の蛍光体層に電子を射突させて発光表示を行なう蛍光表示装置の製造方法において、
前記容器部を構成する基板の内面に陽極を形成し、
前記蛍光体層を構成する蛍光体よりも粒径が小さく、前記蛍光体を前記陽極に接着させる接着機能を備えた接着粒子を含む第1のペーストを前記陽極の表面に塗布して乾燥させ、
前記接着粒子は含まず前記蛍光体を含む第2のペーストを乾燥した前記第1のペーストの上に塗布し、
前記基板を焼成することを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the fluorescent display device for performing the light emission display by projecting electrons to the phosphor layer of the anode inside the container part in which the inside is in a high vacuum state,
Forming an anode on the inner surface of the substrate constituting the container portion;
The first paste containing adhesive particles having a particle size smaller than the phosphor constituting the phosphor layer and having an adhesion function for adhering the phosphor to the anode is applied to the surface of the anode and dried,
A second paste containing the phosphor without the adhesive particles is applied onto the dried first paste,
A method of manufacturing a fluorescent display device, comprising firing the substrate.
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