JP2011047765A - Encoder - Google Patents

Encoder Download PDF

Info

Publication number
JP2011047765A
JP2011047765A JP2009195687A JP2009195687A JP2011047765A JP 2011047765 A JP2011047765 A JP 2011047765A JP 2009195687 A JP2009195687 A JP 2009195687A JP 2009195687 A JP2009195687 A JP 2009195687A JP 2011047765 A JP2011047765 A JP 2011047765A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
unit
magnet
encoder
circumference
magnets
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009195687A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5617205B2 (en
JP2011047765A5 (en
Inventor
Yasushi Ono
康 大野
Hiroshi Takeuchi
博史 武内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2009195687A priority Critical patent/JP5617205B2/en
Publication of JP2011047765A publication Critical patent/JP2011047765A/en
Publication of JP2011047765A5 publication Critical patent/JP2011047765A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5617205B2 publication Critical patent/JP5617205B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an encoder which can be composed of magnets of a predetermined shape, irrespective of the diameter of a magnet section. <P>SOLUTION: An encoder includes: a magnet section (4) where a magnetic pattern is formed, and which rotates around a rotating shaft (AR); and detection sections (6a, 6b) for detecting magnetic fields generated by the magnet section. The magnet section is composed of a plurality of unit magnets (4a) arranged along a circumference (C) whose center is the rotating shaft. The unit magnets are arranged so that magnetic fields in radial directions are formed between the inner peripheral side and the outer peripheral side of the circumference, and the magnetic fields are changed at least once in one round of the circumference. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、エンコーダに関するものである。   The present invention relates to an encoder.

モータの回転軸など回転体の回転数や回転速度を検出する装置として、エンコーダが知られている(特許文献1)。例えば、ロータリーエンコーダは、モータ等の回転軸に取り付けられて用いられる。また、エンコーダの具体的構成として、例えば磁気を用いて回転数などを検出する構成が知られている。   An encoder is known as a device that detects the number of rotations and rotation speed of a rotating body such as a rotating shaft of a motor (Patent Document 1). For example, the rotary encoder is used by being attached to a rotating shaft such as a motor. Further, as a specific configuration of the encoder, for example, a configuration for detecting the number of rotations using magnetism is known.

このような構成の磁気式エンコーダは、磁気パターンが形成された磁石部を回転軸と一体的に回転させ、磁石部の磁気パターンの変化を磁気センサによって読み取ることで、モータの駆動軸の回転数などを検出できるようになっている。具体的な構成としては、例えば駆動軸と一体的に回転する回転部が当該駆動軸に固定され、磁石部が回転部に保持された状態で用いられる構成が知られている。   The magnetic encoder having such a configuration rotates the magnet part on which the magnetic pattern is formed integrally with the rotary shaft, and reads the change in the magnetic pattern of the magnet part with a magnetic sensor, thereby rotating the rotational speed of the motor drive shaft. Etc. can be detected. As a specific configuration, for example, a configuration in which a rotating portion that rotates integrally with a drive shaft is fixed to the drive shaft and a magnet portion is held by the rotating portion is known.

磁石部は、例えば円環状の磁石により形成されている。この円環状の磁石は、内周側の磁極と外周側の磁極とが異なると共に、周方向の180°で内周側の磁極と外周側の磁極とが入れ替わるように設けられている。これにより磁石部が磁気センサに対して相対的に回転すると、磁気センサには磁石の内周側から外周側へ向かう磁場と、外周側から内周側へ向かう磁場の変化が、回転の180°ごとに交互に検出される。   The magnet part is formed of, for example, an annular magnet. The annular magnet is provided such that the inner and outer magnetic poles are different, and the inner and outer magnetic poles are interchanged at 180 ° in the circumferential direction. As a result, when the magnet portion rotates relative to the magnetic sensor, the magnetic sensor changes in the magnetic field from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the magnet and the change in the magnetic field from the outer peripheral side to the inner peripheral side. It is detected alternately every time.

特開平3−287014号公報JP-A-3-287014

しかしながら、上記従来のエンコーダでは、例えば中空軸モータを採用した場合など、駆動軸の径が変化すると、それに合わせて磁石部の径を変化させるため、磁石の形状の変更が必要になる場合があるという問題があった。磁石は磁粉末を成形することで製造されるため、その都度、型を製造しなくてはならない不都合があった。   However, in the above-described conventional encoder, for example, when a hollow shaft motor is adopted, when the diameter of the drive shaft changes, the diameter of the magnet portion is changed accordingly, so the shape of the magnet may need to be changed. There was a problem. Since a magnet is manufactured by molding magnetic powder, there is a disadvantage that a mold must be manufactured each time.

そこで、本発明の態様は、磁石部の径に関係なく、所定の形状の磁石を用いることができるエンコーダを提供するものである。   Accordingly, an aspect of the present invention provides an encoder that can use a magnet having a predetermined shape regardless of the diameter of the magnet portion.

上記の課題を解決するために、本発明の態様は実施形態に示す図1〜図9に対応付けした以下の構成を採用している。なお、本発明を分かり易く説明するために、一実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明するが、本発明は実施形態に限定されるものではない。   In order to solve the above-described problems, the aspect of the present invention adopts the following configuration corresponding to FIGS. 1 to 9 shown in the embodiment. In addition, in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, the description will be made in association with the reference numerals of the drawings showing an embodiment, but the present invention is not limited to the embodiment.

本発明の態様のエンコーダ(1)は、磁気パターンが形成され回転軸(AR)を中心として回転する磁石部(4)と、前記磁石部による磁場を検出する検出部(2)とを備え、前記磁石部は、前記回転軸を中心とする円周(C)に沿って配置された複数の単位磁石(4a)により構成され、前記単位磁石は、前記円周の内周側と外周側との間で径方向の磁場を形成し、前記円周の一周に亘って少なくとも一回は前記磁場を変化させるように配置されていることを特徴とする。   An encoder (1) according to an aspect of the present invention includes a magnet unit (4) that is formed with a magnetic pattern and rotates about a rotation axis (AR), and a detection unit (2) that detects a magnetic field generated by the magnet unit. The magnet portion is composed of a plurality of unit magnets (4a) arranged along a circumference (C) centered on the rotation axis, and the unit magnets are arranged on an inner circumference side and an outer circumference side of the circumference. Are arranged so as to change the magnetic field at least once over one circumference of the circumference.

本発明の態様におけるエンコーダによれば、磁石部の径に関係なく、所定の形状の磁石を用いることができる。   According to the encoder of the aspect of the present invention, a magnet having a predetermined shape can be used regardless of the diameter of the magnet portion.

本発明の第1実施形態に係るエンコーダの概略構成を示す側面図である。It is a side view showing a schematic structure of an encoder concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1実施形態に係るエンコーダの概略構成を示す平面図である。It is a top view which shows schematic structure of the encoder which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る単位磁石の配置例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of arrangement | positioning of the unit magnet which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る検出部の信号波形を示すグラフである。It is a graph which shows the signal waveform of the detection part which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係るエンコーダの磁石部を示す平面図である。It is a top view which shows the magnet part of the encoder which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係る検出部の信号波形を示すグラフである。It is a graph which shows the signal waveform of the detection part which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る磁石部の第1の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st modification of the magnet part which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る磁石部の第2の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd modification of the magnet part which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る単位磁石の変形例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the modification of the unit magnet which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るフロントヨークの変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the front yoke which concerns on embodiment of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の第1実施形態を説明する。
図1は、本実施形態に係るエンコーダの概略構成を示す側面図であり、図2はその平面図である。
図1及び図2に示すように、エンコーダ1は、例えばモータなどの回転体の回転数や回転速度を検出する装置である。エンコーダ1は、検出部2、回転部3、及び磁石部4を有している。
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a side view showing a schematic configuration of an encoder according to the present embodiment, and FIG. 2 is a plan view thereof.
As shown in FIG.1 and FIG.2, the encoder 1 is an apparatus which detects the rotation speed and rotational speed of rotating bodies, such as a motor, for example. The encoder 1 includes a detection unit 2, a rotation unit 3, and a magnet unit 4.

検出部2は、例えば回転部3及び磁石部4を覆う不図示のカバー等に固定され、回転部3及び磁石部4の近傍に配置されている。検出部2は、光学的なパターンを読み取る受光センサ5、磁場を検出する一対の磁気センサ6a,6b、磁気センサ6a,6bに対応して設けられた一対のバイアス磁石7a,7b、及び信号処理基板8などを備えている。一対の磁気センサ6a,6bは、図2に示すように、同一の円周C上で周方向に約90°離間して設けられている。   The detection unit 2 is fixed to, for example, a cover (not shown) that covers the rotation unit 3 and the magnet unit 4, and is disposed in the vicinity of the rotation unit 3 and the magnet unit 4. The detection unit 2 includes a light receiving sensor 5 that reads an optical pattern, a pair of magnetic sensors 6a and 6b that detect a magnetic field, a pair of bias magnets 7a and 7b provided corresponding to the magnetic sensors 6a and 6b, and signal processing. A substrate 8 is provided. As shown in FIG. 2, the pair of magnetic sensors 6 a and 6 b are provided on the same circumference C so as to be separated by about 90 ° in the circumferential direction.

なお、図2では、バイアス磁石7a,7b(磁気センサ6a,6b)を除き、検出部2の図示は省略している。バイアス磁石7a,7bは、磁気センサ6a,6bに検出可能な磁場方向の合成磁場を該バイアス磁石7a,7bの磁場と磁石部4の磁場とを用いて生じさせるように配置されている。信号処理基板8は、受光センサ5からの信号(検出信号)と、磁気センサ6a,6bからの信号(検出信号)を処理する基板である。本実施形態における磁気センサ6a,6bとしては、MR素子又はホール素子を用いることができる。   In FIG. 2, the detection unit 2 is not shown except for the bias magnets 7a and 7b (magnetic sensors 6a and 6b). The bias magnets 7a and 7b are arranged to generate a combined magnetic field in the direction of the magnetic field that can be detected by the magnetic sensors 6a and 6b by using the magnetic field of the bias magnets 7a and 7b and the magnetic field of the magnet unit 4. The signal processing board 8 is a board for processing signals (detection signals) from the light receiving sensor 5 and signals (detection signals) from the magnetic sensors 6a and 6b. As the magnetic sensors 6a and 6b in the present embodiment, MR elements or Hall elements can be used.

回転部3は、モータの駆動軸MRと一体的に回転可能に固定された円板状の部材であり、モータの駆動軸MRの回転軸ARを中心として回転可能に設けられている。図2に示すように、回転部3の外周部には、一回転内の絶対位置を示すM系列信号からなるアブソリュートパターン9と、繰り返しパターン(インクリメンタルパターン)10が全周に亘って形成されている。アブソリュートパターン9と繰り返しパターン10は、図1に示す受光センサによって読み取り可能な位置に形成されている。   The rotating part 3 is a disk-like member fixed so as to be rotatable integrally with the drive shaft MR of the motor, and is provided so as to be rotatable about the rotation axis AR of the drive shaft MR of the motor. As shown in FIG. 2, an absolute pattern 9 composed of an M-sequence signal indicating an absolute position within one rotation and a repetitive pattern (incremental pattern) 10 are formed on the outer periphery of the rotating unit 3 over the entire periphery. Yes. The absolute pattern 9 and the repeated pattern 10 are formed at positions that can be read by the light receiving sensor shown in FIG.

磁石部4は、回転軸ARを中心としてリング状に配置されて所定の磁気パターンを形成する複数の単位磁石4aにより構成されている。単位磁石4aは、回転部3に固定されることで回転軸ARを中心として回転可能に設けられている。単位磁石4aは、図2に示すように、平面視で矩形状に設けられている。本実施形態では、単位磁石4aの形状は、回転軸ARを中心とする円周Cに沿う方向の幅w1が、円周Cの径方向の幅w2よりも大きい平面視で長方形状に形成され、長辺の垂直二等分線L1が円周Cの中心(回転軸AR)を通るように配置されている。また、N極とS極が円周Cの径方向に配置され、円周Cの内周側と外周側との間で径方向の磁場を形成するようになっている。   The magnet unit 4 is composed of a plurality of unit magnets 4a that are arranged in a ring shape around the rotation axis AR and form a predetermined magnetic pattern. The unit magnet 4a is fixed to the rotating unit 3 so as to be rotatable about the rotation axis AR. As shown in FIG. 2, the unit magnet 4a is provided in a rectangular shape in plan view. In the present embodiment, the shape of the unit magnet 4a is formed in a rectangular shape in plan view in which the width w1 in the direction along the circumference C around the rotation axis AR is larger than the width w2 in the radial direction of the circumference C. The long vertical bisector L1 is arranged so as to pass through the center of the circumference C (rotation axis AR). Further, the N pole and the S pole are arranged in the radial direction of the circumference C, and a radial magnetic field is formed between the inner circumference side and the outer circumference side of the circumference C.

図3は、単位磁石4aの配置例を示す平面図である。単位磁石4aは、円周Cの半周に亘ってS極を内周側に向けて配置され、もう半周に亘ってN極を内周側に向けて配置されている。すなわち、単位磁石4aは、円周Cの内周側の磁極と外周側の磁極とが異なり、円周Cの周方向の180°で内周側の磁極と外周側の磁極とが入れ替わるように配置されている。そのため、円周Cの一周に亘って磁場の方向が一回変化するようになっている。また、本実施形態における単位磁石4aは、回転軸ARを中心とする円周Cに沿って等間隔に配置され、磁場の方向が逆転する境界線L2に対称に配置されている。   FIG. 3 is a plan view showing an arrangement example of the unit magnets 4a. The unit magnet 4a is arranged with the S pole facing the inner circumference over the half circumference of the circumference C, and with the N pole facing the inner circumference over the other half circumference. That is, the unit magnet 4a is different from the magnetic pole on the inner circumferential side and the magnetic pole on the outer circumferential side of the circumference C, and the magnetic pole on the inner circumferential side and the magnetic pole on the outer circumferential side are switched at 180 ° in the circumferential direction of the circumference C. Has been placed. For this reason, the direction of the magnetic field changes once over the circumference C. In addition, the unit magnets 4a in the present embodiment are arranged at equal intervals along the circumference C around the rotation axis AR, and are arranged symmetrically with respect to the boundary line L2 where the direction of the magnetic field is reversed.

このように、磁石部4の回転方向の180°ごとに磁場の方向を逆転させるためには、単位磁石4aの個数は4以上が好ましいし、或いは単位磁石4aの個数は4以上の偶数であることが好ましい。例えば単位磁石4aが2個の場合には、円周Cに沿ってカーブした形状の単位磁石4aを用いる必要が生じる場合がある。この場合、磁石部4の径の変化に応じて、単位磁石4の形状の変更が必要になる場合がある。   Thus, in order to reverse the direction of the magnetic field every 180 ° in the rotation direction of the magnet part 4, the number of unit magnets 4a is preferably 4 or more, or the number of unit magnets 4a is an even number of 4 or more. It is preferable. For example, when there are two unit magnets 4a, it may be necessary to use a unit magnet 4a having a curved shape along the circumference C. In this case, the shape of the unit magnet 4 may need to be changed according to the change in the diameter of the magnet unit 4.

また、磁石部4と回転部3との間には、図1に示すように、バックヨーク11が配置されている。すなわち、単位磁石4aはバックヨーク11と検出部2との間に配置されている。バックヨーク11は、例えば低炭素鋼、珪素鋼等の軟磁性材料により回転軸ARを中心とする円環状に形成されている。バックヨーク11は、図2に示すように、回転部3に固定されると共に、磁石部4を回転軸AR方向に所定の距離(間隔g1)で検出部2の磁気センサ6a,6bに対向させて保持している。ここで、図2に示す単位磁石4a同士の間隔g2は、図1に示す磁気センサ6a,6bと単位磁石4aとの間隔g1よりも狭くなっている。   Further, as shown in FIG. 1, a back yoke 11 is disposed between the magnet unit 4 and the rotating unit 3. That is, the unit magnet 4 a is disposed between the back yoke 11 and the detection unit 2. The back yoke 11 is formed in an annular shape around the rotation axis AR by using a soft magnetic material such as low carbon steel or silicon steel. As shown in FIG. 2, the back yoke 11 is fixed to the rotating unit 3, and the magnet unit 4 is opposed to the magnetic sensors 6a and 6b of the detecting unit 2 at a predetermined distance (interval g1) in the direction of the rotation axis AR. Hold. Here, the gap g2 between the unit magnets 4a shown in FIG. 2 is narrower than the gap g1 between the magnetic sensors 6a, 6b and the unit magnet 4a shown in FIG.

次に、本実施形態のエンコーダ1の動作について説明する。
モータの駆動軸MRが回転すると、駆動軸MRに固定された回転部3と、回転部3に保持された磁石部4とが一体的に回転する。検出部2はモータの駆動軸MRには接続されていないため、回転せずに静止した状態を維持する。
Next, the operation of the encoder 1 of this embodiment will be described.
When the drive shaft MR of the motor rotates, the rotating unit 3 fixed to the driving shaft MR and the magnet unit 4 held by the rotating unit 3 rotate integrally. Since the detector 2 is not connected to the drive shaft MR of the motor, the detector 2 remains stationary without rotating.

回転部3と共に磁石部4が回転すると、複数の単位磁石4aが磁気センサ6a,6bの下方を通過し、単位磁石4aが形成する磁場とバイアス磁石7a,7bが形成する磁場との合成磁場が、磁気センサ6a,6bによって例えば電気抵抗の変化として検出される。このとき、磁石部4が円周Cの径方向に形成する磁場は、回転の180°ごとに内周側から外周側へ向かう方向と、外周側から内周側へ向かう方向に、交互に切り替わる。検出部2は、磁気センサ6a,6bによって検出された磁場の変化を信号処理基板8によって処理することで、磁石部4の磁場の変化に応じた信号を出力する。   When the magnet unit 4 rotates together with the rotating unit 3, the plurality of unit magnets 4a pass under the magnetic sensors 6a and 6b, and a combined magnetic field of the magnetic field formed by the unit magnets 4a and the magnetic field formed by the bias magnets 7a and 7b is generated. For example, it is detected as a change in electric resistance by the magnetic sensors 6a and 6b. At this time, the magnetic field formed by the magnet portion 4 in the radial direction of the circumference C is alternately switched in a direction from the inner circumference side to the outer circumference side and a direction from the outer circumference side to the inner circumference side every 180 ° of rotation. . The detection unit 2 processes a change in the magnetic field detected by the magnetic sensors 6 a and 6 b by the signal processing substrate 8, thereby outputting a signal corresponding to the change in the magnetic field of the magnet unit 4.

図4は、検出部2から出力された信号を、縦軸を電圧、横軸を磁石部の回転角度として示すグラフである。
磁石部4が回転すると、図4に示すように回転の180°ごとにHレベルとLレベルの信号S1が交互に繰り返し検出される。ここで、磁気センサ6a,6bの下方を単位磁石4a同士の隙間が通過する際に信号S1の微小な落ち込みが検出されるが、この落ち込み部SDにおいてもHレベルとLレベルとを判断する基準電位h,lから十分に離れた信号となっている。したがって、信号のHレベルとLレベルとの切り替わりを確実に認識することができる。このような信号S1を、図2に示す一対の磁気センサ6a,6bからそれぞれ得ることで、磁石部4の回転数及び回転方向を検出することができる。
FIG. 4 is a graph showing the signal output from the detection unit 2 with the vertical axis representing voltage and the horizontal axis representing the rotation angle of the magnet unit.
When the magnet unit 4 rotates, the H level and L level signals S1 are alternately and repeatedly detected at every 180 ° of rotation as shown in FIG. Here, when the gap between the unit magnets 4a passes below the magnetic sensors 6a and 6b, a slight drop of the signal S1 is detected. The reference for judging the H level and the L level also in the drop part SD. The signal is sufficiently separated from the potentials h and l. Therefore, it is possible to reliably recognize the switching between the H level and the L level of the signal. By obtaining such a signal S1 from the pair of magnetic sensors 6a and 6b shown in FIG. 2, it is possible to detect the rotational speed and rotational direction of the magnet unit 4.

また、受光センサ5によってアブソリュートパターン9及び繰り返しパターン10を検出し、受光センサ5から出力された信号を信号処理基板によって処理することで、一回転内の絶対角度位置や回転速度等を測定することができる。   In addition, the absolute pattern 9 and the repetitive pattern 10 are detected by the light receiving sensor 5, and the signal output from the light receiving sensor 5 is processed by the signal processing board, thereby measuring the absolute angular position, rotational speed, etc. within one rotation. Can do.

ここで、本実施形態のエンコーダ1は、磁石部4の磁気パターンを形成するために、回転軸ARを中心とする円周Cに沿って配置された複数の単位磁石4aを用いている。そのため、例えばモータの駆動軸MRの径が変更になった場合であっても、単位磁石4aの数を増減させることで磁石部4の径を調整することが可能になる。例えば、図3において単位磁石4aの円周Cに沿う方向の幅w1を約6mm〜8mm程度に形成した場合には、モータの駆動軸MRの直径φが50mm、70mm、90mmと変化した場合であっても、単位磁石4aの形状を変化させることなく、単位磁石4aの数の増減によって磁石部4の径の変化に対応することができる。   Here, the encoder 1 according to the present embodiment uses a plurality of unit magnets 4 a arranged along a circumference C around the rotation axis AR in order to form a magnetic pattern of the magnet unit 4. Therefore, for example, even when the diameter of the drive shaft MR of the motor is changed, the diameter of the magnet unit 4 can be adjusted by increasing or decreasing the number of unit magnets 4a. For example, when the width w1 in the direction along the circumference C of the unit magnet 4a in FIG. 3 is about 6 mm to 8 mm, the diameter φ of the drive shaft MR of the motor changes to 50 mm, 70 mm, and 90 mm. Even if it exists, it can respond to the change of the diameter of the magnet part 4 by the increase / decrease in the number of the unit magnets 4a, without changing the shape of the unit magnet 4a.

したがって、本実施形態のエンコーダ1によれば、磁石部4の径の変化に関係なく、所定の形状の単位磁石4aを用いることができる。よって、モータの駆動軸MRの径が変化しても、その都度、磁石の型を製造しなくてはならない不都合を解消することができる。   Therefore, according to the encoder 1 of the present embodiment, the unit magnet 4a having a predetermined shape can be used regardless of the change in the diameter of the magnet unit 4. Therefore, even if the diameter of the drive shaft MR of the motor changes, the inconvenience of having to manufacture a magnet mold each time can be solved.

また、磁石部4は、単位磁石4aの内周側の磁極と外周側の磁極とが異なり、周方向の180°で内周側の磁極と外周側の磁極とが入れ替わるように配置されている。そのため、磁石部4の回転の一周に亘って一回のみ磁場の方向が変化する。したがって、一周に亘って複数回磁場の方向が変化する場合と比較して、信号S1の周波数が高くなることを防止できる。   Further, the magnet portion 4 is arranged such that the inner peripheral side magnetic pole and the outer peripheral side magnetic pole of the unit magnet 4a are different, and the inner peripheral side magnetic pole and the outer peripheral side magnetic pole are interchanged at 180 ° in the circumferential direction. . Therefore, the direction of the magnetic field changes only once over one rotation of the magnet unit 4. Therefore, it is possible to prevent the frequency of the signal S1 from becoming higher than when the direction of the magnetic field changes a plurality of times over one round.

また、単位磁石4aはバックヨーク11と検出部2との間に配置されているので、検出部2側における単位磁石4aの磁力が増加する。したがって、検出部2において磁場を検出しやすくすることができ、ノイズなどの外乱の影響を低減することができる。
また、単位磁石4aの円周Cに沿う方向の幅w1が径方向の幅w2よりも大きくなっているので、磁石部4に配置する単位磁石4aの数を少なくすることができる。
Moreover, since the unit magnet 4a is arrange | positioned between the back yoke 11 and the detection part 2, the magnetic force of the unit magnet 4a in the detection part 2 side increases. Therefore, it is possible to easily detect the magnetic field in the detection unit 2, and it is possible to reduce the influence of disturbance such as noise.
Further, since the width w1 in the direction along the circumference C of the unit magnet 4a is larger than the width w2 in the radial direction, the number of unit magnets 4a arranged in the magnet portion 4 can be reduced.

また、単位磁石4a同士の間隔g2が磁気センサ6a,6bと単位磁石4aとの間隔よりも狭くなっている。そのため、単位磁石4a同士の間隔g2が磁気センサ6a,6bと単位磁石4aとの間隔g1よりも広い場合と比較して、単位磁石4a同士の隙間による検出部2の信号S1の落ち込みを抑制することができる。
また、単位磁石4aは、磁場の方向が逆転する境界線L2に対称に配置されているので、磁場の変化を対称にして、検出部2により出力される信号S1を安定させることができる。
The interval g2 between the unit magnets 4a is narrower than the interval between the magnetic sensors 6a and 6b and the unit magnet 4a. Therefore, compared with the case where the gap g2 between the unit magnets 4a is wider than the gap g1 between the magnetic sensors 6a, 6b and the unit magnet 4a, the drop of the signal S1 of the detection unit 2 due to the gap between the unit magnets 4a is suppressed. be able to.
Further, since the unit magnets 4a are arranged symmetrically with respect to the boundary line L2 in which the direction of the magnetic field is reversed, it is possible to stabilize the signal S1 output from the detection unit 2 by making the change of the magnetic field symmetrical.

また、単位磁石4aの個数を4以上又は4以上の偶数とすることで、単位磁石4aを磁場の方向が逆転する境界線L2に対称に配置することが可能になる。
また、複数の単位磁石4aが回転軸ARを中心としてリング状に配置されることで、リング状の磁石を用いる場合と同様の効果を得ることができる。
In addition, by setting the number of unit magnets 4a to 4 or an even number of 4 or more, the unit magnets 4a can be arranged symmetrically on the boundary line L2 where the direction of the magnetic field is reversed.
Further, since the plurality of unit magnets 4a are arranged in a ring shape with the rotation axis AR as the center, the same effect as in the case of using the ring-shaped magnet can be obtained.

また、本実施形態における磁石部4を用いれば、中空軸型のエンコーダを容易に製造することが可能となる。これにより、駆動軸が中空状である中空軸モータを用意に採用することができる。また、上記中空軸モータは、中空状の駆動軸の内部に配線や配管等を通すことができ、ユーザーにおける装置設計の自由度が向上する。   Moreover, if the magnet part 4 in this embodiment is used, it will become possible to manufacture a hollow shaft type encoder easily. As a result, a hollow shaft motor having a hollow drive shaft can be readily employed. In addition, the hollow shaft motor allows wiring and piping to pass through the inside of the hollow drive shaft, improving the degree of freedom of device design for the user.

次に、本発明の第二実施形態について、図1〜図3を援用し、図4〜図5を用いて説明する。本実施形態では、磁石部4と検出部2との間にフロントヨーク12が配置されている点で、上述の第一実施形態で説明したエンコーダ1と異なっている。その他の点は第一実施形態と同様であるので、同一又は同等の部分には同一の符号を付して説明は省略する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 5 with reference to FIGS. The present embodiment is different from the encoder 1 described in the first embodiment in that a front yoke 12 is disposed between the magnet unit 4 and the detection unit 2. Since other points are the same as those of the first embodiment, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図5(a)は、本実施形態の磁石部を示す平面図である。図5(b)は図5(a)のA−A線に沿う矢視断面図である。
本実施形態の磁石部4は、第一実施形態と同様に、複数の単位磁石4aを備えている。磁石部4は、図1に示す第一実施形態と同様にバックヨーク11と検出部2との間に配置され、単位磁石4aと検出部2との間にはフロントヨーク12が配置されている。
Fig.5 (a) is a top view which shows the magnet part of this embodiment. FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
The magnet part 4 of this embodiment is provided with the several unit magnet 4a similarly to 1st embodiment. The magnet unit 4 is arranged between the back yoke 11 and the detection unit 2 as in the first embodiment shown in FIG. 1, and the front yoke 12 is arranged between the unit magnet 4 a and the detection unit 2. .

フロントヨーク12は、例えばバックヨーク11と同様の材料により形成され、回転軸ARを中心とする円周Cの一周に亘って連続して設けられている。また、フロントヨーク12は、回転軸ARを中心とする円周Cに沿って配置された単位磁石4aの内周側と外周側とで分割されている。内周側の第1のフロントヨーク12aと外周側の第2のフロントヨーク12bとの間には、単位磁石4aに沿う円周Cの径方向に所定の間隙g3が形成されている。   The front yoke 12 is formed of, for example, the same material as that of the back yoke 11, and is continuously provided over one circumference of the circumference C centering on the rotation axis AR. Moreover, the front yoke 12 is divided | segmented into the inner peripheral side and the outer peripheral side of the unit magnet 4a arrange | positioned along the circumference C centering on the rotating shaft AR. A predetermined gap g3 is formed in the radial direction of the circumference C along the unit magnet 4a between the first front yoke 12a on the inner peripheral side and the second front yoke 12b on the outer peripheral side.

次に、本実施形態のエンコーダの動作について説明する。
第一実施形態と同様に、モータの駆動軸MRが回転すると、回転部3と磁石部4とが一体的に回転し、検出部2の磁気センサ6a,6bによって回転の180°ごとに変化する磁石部4の磁場が検出され、信号処理基板8から磁石部4の磁場の変化に応じた信号S2が出力される。
Next, the operation of the encoder of this embodiment will be described.
Similarly to the first embodiment, when the drive shaft MR of the motor rotates, the rotating portion 3 and the magnet portion 4 rotate integrally, and change every 180 ° of rotation by the magnetic sensors 6a and 6b of the detecting portion 2. The magnetic field of the magnet unit 4 is detected, and a signal S2 corresponding to a change in the magnetic field of the magnet unit 4 is output from the signal processing substrate 8.

図6は、本実施形態のエンコーダの検出部2から出力された信号S2を縦軸を電圧、横軸を磁石部の回転角度として示すグラフである。
図6に示すように、本実施形態においては、第一実施形態の検出部2の信号S1においてみられた落ち込み部SDが平坦化されている。すなわち、本実施形態では、内周側と外周側に異なる磁極が配置された複数の単位磁石4aにおいて、内周側の磁極を第1のフロントヨーク12aによって連結し、外周側の磁極を第2のフロントヨーク12bによって連結している。そして、第1のフロントヨーク12aと第2のフロントヨーク12bとの間に所定の間隙g3を設けている。
FIG. 6 is a graph showing the signal S2 output from the detection unit 2 of the encoder of the present embodiment with the vertical axis representing voltage and the horizontal axis representing the rotation angle of the magnet unit.
As shown in FIG. 6, in the present embodiment, the sagging portion SD seen in the signal S1 of the detection unit 2 of the first embodiment is flattened. That is, in the present embodiment, in the plurality of unit magnets 4a in which different magnetic poles are arranged on the inner peripheral side and the outer peripheral side, the inner peripheral side magnetic pole is connected by the first front yoke 12a, and the outer peripheral side magnetic pole is connected to the second magnet. Are connected by the front yoke 12b. A predetermined gap g3 is provided between the first front yoke 12a and the second front yoke 12b.

これにより、第1のフロントヨーク12aと第2のフロントヨーク12bとの間に磁場が形成される。したがって、磁気センサ6a,6bによって検出される磁場が、単位磁石4a同士の隙間において低下することを防止し、回転軸ARを中心とする円周Cの径方向に形成される磁場を、円周Cの一周に亘って均一にすることができる。
なお、図5(a)及び図5(b)に示す単位磁石4aを内周側と外周側とで分割し、第1のフロントヨーク12a及び第2のフロントヨーク12bと同様に、回転軸ARを中心とする円周Cの径方向に所定の間隙を設けて配置してもよい。このようにしても、本実施形態と同様の効果を得ることができる。
As a result, a magnetic field is formed between the first front yoke 12a and the second front yoke 12b. Therefore, the magnetic field detected by the magnetic sensors 6a and 6b is prevented from decreasing in the gap between the unit magnets 4a, and the magnetic field formed in the radial direction of the circumference C around the rotation axis AR is C can be made uniform over one round.
The unit magnet 4a shown in FIGS. 5A and 5B is divided into an inner peripheral side and an outer peripheral side, and the rotation axis AR is the same as the first front yoke 12a and the second front yoke 12b. A predetermined gap may be provided in the radial direction of the circumference C around the center. Even if it does in this way, the effect similar to this embodiment can be acquired.

次に、上述の第一実施形態及び第二実施形態において説明した磁石部4の変形例について説明する。図7及び図8は、磁石部4の変形例を示す平面図である。図9は、第一実施形態における単位磁石4aの変形例を示す斜視図である。   Next, modifications of the magnet unit 4 described in the first embodiment and the second embodiment will be described. 7 and 8 are plan views showing modifications of the magnet unit 4. FIG. 9 is a perspective view showing a modification of the unit magnet 4a in the first embodiment.

図7に示す第1の変形例では、単位磁石4aは回転軸ARを中心とする円周Cに沿って配置されているが、磁石部4の内周側と外周側との間に形成される磁場の方向が逆転する境界線L2の近傍において、単位磁石4a同士の間隔g4が狭くなるように配置されている。また、境界線L2から遠い位置では単位磁石4a同士の間隔g5が広くなるように配置されている。単位磁石4aをこのように単位磁石4a同士の間隔を変えて配置することで、円周C上に配置される単位磁石4aの個数を削減しつつ、磁場の方向が切り替わる境界を正確に検出することができる。   In the first modification shown in FIG. 7, the unit magnet 4 a is arranged along the circumference C centered on the rotation axis AR, but is formed between the inner circumference side and the outer circumference side of the magnet portion 4. In the vicinity of the boundary line L2 where the direction of the magnetic field to be reversed, the interval g4 between the unit magnets 4a is arranged to be narrow. Further, at a position far from the boundary line L2, the gaps g5 between the unit magnets 4a are arranged to be wide. By arranging the unit magnets 4a in such a manner that the intervals between the unit magnets 4a are changed, the number of the unit magnets 4a arranged on the circumference C is reduced, and the boundary where the direction of the magnetic field is switched is accurately detected. be able to.

図8に示す第2の変形例では、回転軸ARを中心とする円周Cに沿う方向の幅w3,w4,w5が異なる複数種類の単位磁石4a1,4a2,4a3が配置されている。これにより、磁石部4の径の変化にさらに柔軟に対応することが可能になる。また、磁場の方向が逆転する境界線L2に近づくにつれて、単位磁石4a1,4a2,4a3の円周Cに沿う方向の幅w3,w4,w5が狭くなっている。これにより、境界線L2の近傍における単位磁石4a1同士の隙間の影響をより小さくすることができる。   In the second modification shown in FIG. 8, a plurality of types of unit magnets 4a1, 4a2, and 4a3 having different widths w3, w4, and w5 in the direction along the circumference C around the rotation axis AR are arranged. Thereby, it becomes possible to respond more flexibly to changes in the diameter of the magnet portion 4. Further, the widths w3, w4, and w5 in the direction along the circumference C of the unit magnets 4a1, 4a2, and 4a3 are narrowed as approaching the boundary line L2 where the direction of the magnetic field is reversed. Thereby, the influence of the clearance gap between the unit magnets 4a1 in the vicinity of the boundary line L2 can be made smaller.

図9に示す第3の変形例では、単位磁石4aの磁気センサ6a,6b側の面が凹面状に形成され、回転軸ARを中心とする円周Cに沿う方向(図の矢印C1方向)の端部の、回転軸ARと平行な方向の厚みT1が、中央部の同方向の厚みT2よりも厚くなっている。これにより、端部において磁気センサ6a,6bと単位磁石4aとの距離が近くなるため、単位磁石4a同士の隙間による信号の落ち込みを低減することができる。   In the third modification shown in FIG. 9, the surface of the unit magnet 4a on the side of the magnetic sensors 6a and 6b is formed in a concave shape, and the direction along the circumference C around the rotation axis AR (the direction of the arrow C1 in the figure). The thickness T1 of the end portion in the direction parallel to the rotation axis AR is thicker than the thickness T2 of the central portion in the same direction. Thereby, since the distance between the magnetic sensors 6a and 6b and the unit magnet 4a is reduced at the end, it is possible to reduce the drop of the signal due to the gap between the unit magnets 4a.

また、上述の図5におけるフロントヨーク12は、例えば、図10に示すように配置されてもよい。図10に示すように、第1のフロントヨーク12aは、複数の単位磁石4aのうち磁極(N極、S極)の同極同士を連結するように配置されており、複数の単位磁石4aのうち磁極の異なる部分において分割して配置されている。また、第2のフロントヨーク12bも、第1のフロントヨーク12aと同様に配置されていてもよい。   Further, the front yoke 12 in FIG. 5 described above may be arranged as shown in FIG. 10, for example. As shown in FIG. 10, the first front yoke 12a is arranged so as to connect the same poles of the magnetic poles (N pole, S pole) among the plurality of unit magnets 4a. Among them, the magnetic poles are divided and arranged at different portions. Further, the second front yoke 12b may be arranged in the same manner as the first front yoke 12a.

尚、本発明は上述した実施の形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、単位磁石の形状は平面視で矩形状には限定されない。例えば、平面視で三角形や扇型の単位磁石を用いてもよいし、これらを矩形状の単位磁石の隙間を埋めるように用いてもよい。また、本実施形態では、バックヨーク及びフロントヨークを備えない構成であってもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the shape of the unit magnet is not limited to a rectangular shape in plan view. For example, a triangular or fan-shaped unit magnet may be used in plan view, or these may be used so as to fill a gap between rectangular unit magnets. In the present embodiment, the back yoke and the front yoke may not be provided.

1 エンコーダ、2 検出部、4 磁石部、4a,4a1,4a2,4a3 単位磁石、11 バックヨーク、12 フロントヨーク、AR 回転軸、C 円周、g1,g2,g3,g4,g5 間隔、L2 境界線(境界)、T1,T2 厚み、w1,w2,w3 幅 1 Encoder, 2 Detector, 4 Magnet, 4a, 4a1, 4a2, 4a3 Unit magnet, 11 Back yoke, 12 Front yoke, AR rotating shaft, C circumference, g1, g2, g3, g4, g5 interval, L2 boundary Line (boundary), T1, T2 thickness, w1, w2, w3 width

Claims (14)

磁気パターンが形成され回転軸を中心として回転する磁石部と、前記磁石部による磁場を検出する検出部とを備え、
前記磁石部は、前記回転軸を中心とする円周に沿って配置された複数の単位磁石により構成され、
前記単位磁石は、前記円周の内周側と外周側との間で径方向の磁場を形成し、前記円周の一周に亘って少なくとも一回は前記磁場を変化させるように配置されていること
を特徴とするエンコーダ。
A magnet unit that is formed with a magnetic pattern and rotates about a rotation axis; and a detection unit that detects a magnetic field by the magnet unit;
The magnet portion is composed of a plurality of unit magnets arranged along a circumference around the rotation axis,
The unit magnet is arranged so as to form a radial magnetic field between the inner circumference side and the outer circumference side of the circumference, and to change the magnetic field at least once over the circumference of the circumference. An encoder characterized by this.
請求項1に記載のエンコーダにおいて、
前記磁石部は、前記単位磁石の前記内周側の磁極と前記外周側の磁極とが異なり、周方向の180°で前記内周側の磁極と前記外周側の磁極とが入れ替わるように配置されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 1, wherein
The magnet portion is arranged such that the inner peripheral side magnetic pole and the outer peripheral side magnetic pole of the unit magnet are different, and the inner peripheral side magnetic pole and the outer peripheral side magnetic pole are switched at 180 ° in the circumferential direction. An encoder characterized by
請求項1又は請求項2に記載のエンコーダにおいて、
前記単位磁石は、バックヨークと前記検出部との間に配置されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 1 or 2,
The encoder is characterized in that the unit magnet is disposed between a back yoke and the detection unit.
請求項1から請求項3のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記単位磁石と前記検出部との間にフロントヨークが配置されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 3,
A front yoke is disposed between the unit magnet and the detection unit.
請求項4に記載のエンコーダにおいて、
前記フロントヨークは、前記円周の一周に亘って連続して設けられると共に前記円周の内周側と外周側とで分割されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 4, wherein
The encoder is characterized in that the front yoke is provided continuously over one circumference of the circumference and is divided into an inner circumference side and an outer circumference side of the circumference.
請求項4に記載のエンコーダにおいて、
前記フロントヨークは、前記単位磁石の磁極の同極同士を連結するように配置されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 4, wherein
The encoder is characterized in that the front yoke is arranged so as to connect the same magnetic poles of the unit magnets.
請求項1から請求項3のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記単位磁石の前記回転軸と平行な方向の厚みは、前記円周に沿う方向の端部の厚みが中央部の厚みよりも厚く設けられていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 3,
The encoder is characterized in that the thickness of the unit magnet in the direction parallel to the rotation axis is provided such that the end portion in the direction along the circumference is thicker than the thickness of the central portion.
請求項1から請求項7のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記円周に沿う方向の幅が異なる複数種の前記単位磁石が配置されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 7,
An encoder comprising a plurality of types of unit magnets having different widths in a direction along the circumference.
請求項1から請求項8のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記単位磁石は、前記内周側と前記外周側との間の磁場の方向が逆転する境界の近傍において前記単位磁石同士の間隔が狭くなるように配置されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 8,
The encoder is characterized in that the unit magnets are arranged so that the interval between the unit magnets is narrow in the vicinity of the boundary where the direction of the magnetic field between the inner peripheral side and the outer peripheral side is reversed.
請求項1から請求項9のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記単位磁石同士の間隔が前記検出部と前記単位磁石との間隔よりも狭いこと
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 9,
An encoder, wherein an interval between the unit magnets is narrower than an interval between the detection unit and the unit magnet.
請求項1から請求項10のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記単位磁石の前記円周に沿う方向の幅が前記径方向の幅よりも大きいこと
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 10,
An encoder characterized in that a width of the unit magnet in a direction along the circumference is larger than a width in the radial direction.
請求項1から請求項11のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記単位磁石は、前記磁場の方向が逆転する境界線に対称に配置されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 11,
The encoder is characterized in that the unit magnets are arranged symmetrically on a boundary line where the direction of the magnetic field is reversed.
請求項1から請求項12のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記単位磁石の個数は、4以上の偶数であること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 12,
The number of the unit magnets is an even number of 4 or more.
請求項1から請求項13のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記複数の単位磁石は、前記回転軸を中心としてリング状に配置されること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 13,
The encoder is characterized in that the plurality of unit magnets are arranged in a ring shape around the rotation axis.
JP2009195687A 2009-08-26 2009-08-26 Encoder Active JP5617205B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009195687A JP5617205B2 (en) 2009-08-26 2009-08-26 Encoder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009195687A JP5617205B2 (en) 2009-08-26 2009-08-26 Encoder

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011047765A true JP2011047765A (en) 2011-03-10
JP2011047765A5 JP2011047765A5 (en) 2012-11-01
JP5617205B2 JP5617205B2 (en) 2014-11-05

Family

ID=43834248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009195687A Active JP5617205B2 (en) 2009-08-26 2009-08-26 Encoder

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5617205B2 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225676A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Encoder, driving device, and robot device
WO2015050109A1 (en) * 2013-10-02 2015-04-09 株式会社ニコン Encoder scale, encoder, drive apparatus, and stage apparatus
JP2017116549A (en) * 2015-12-25 2017-06-29 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh Sensing device, sensing system and steering system
JP2018054573A (en) * 2016-09-30 2018-04-05 株式会社ニコン Encoder device, driving device, stage device, and robot device
JP2019196929A (en) * 2018-05-08 2019-11-14 株式会社松尾製作所 Rotation angle detection device
WO2022085779A1 (en) * 2020-10-23 2022-04-28 ミネベアミツミ株式会社 Detecting device
DE102019119834B4 (en) 2018-09-03 2022-11-10 Fuji Electric Co., Ltd. ENCODERS

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60119413A (en) * 1983-11-30 1985-06-26 Tdk Corp Position detecting device
JPH07243867A (en) * 1994-03-07 1995-09-19 Teijin Seiki Co Ltd Magnetic scale, and magnet detector with the magnetic scale
JPH0921652A (en) * 1995-04-28 1997-01-21 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Magnetic encoder and manufacture thereof
JP2001255336A (en) * 2000-03-13 2001-09-21 Nsk Ltd Encoder for detecting rotational state, and rolling bearing unit with encoder for detecting rotational state
JP2006284476A (en) * 2005-04-04 2006-10-19 Jtekt Corp Rotary encoder and rolling bearing unit
JP2007225536A (en) * 2006-02-27 2007-09-06 Nikkoshi Co Ltd Device for detecting rotary motion

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60119413A (en) * 1983-11-30 1985-06-26 Tdk Corp Position detecting device
JPH07243867A (en) * 1994-03-07 1995-09-19 Teijin Seiki Co Ltd Magnetic scale, and magnet detector with the magnetic scale
JPH0921652A (en) * 1995-04-28 1997-01-21 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Magnetic encoder and manufacture thereof
JP2001255336A (en) * 2000-03-13 2001-09-21 Nsk Ltd Encoder for detecting rotational state, and rolling bearing unit with encoder for detecting rotational state
JP2006284476A (en) * 2005-04-04 2006-10-19 Jtekt Corp Rotary encoder and rolling bearing unit
JP2007225536A (en) * 2006-02-27 2007-09-06 Nikkoshi Co Ltd Device for detecting rotary motion

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225676A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Encoder, driving device, and robot device
WO2015050109A1 (en) * 2013-10-02 2015-04-09 株式会社ニコン Encoder scale, encoder, drive apparatus, and stage apparatus
CN105593644A (en) * 2013-10-02 2016-05-18 株式会社尼康 Sensing system for absolute angular position
JPWO2015050109A1 (en) * 2013-10-02 2017-03-09 株式会社ニコン Encoder scale, encoder, drive device and stage device
US10444036B2 (en) 2013-10-02 2019-10-15 Nikon Corporation Encoder scale, encoder, drive apparatus, and stage apparatus
JP2017116549A (en) * 2015-12-25 2017-06-29 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh Sensing device, sensing system and steering system
JP2018054573A (en) * 2016-09-30 2018-04-05 株式会社ニコン Encoder device, driving device, stage device, and robot device
JP2019196929A (en) * 2018-05-08 2019-11-14 株式会社松尾製作所 Rotation angle detection device
DE102019119834B4 (en) 2018-09-03 2022-11-10 Fuji Electric Co., Ltd. ENCODERS
WO2022085779A1 (en) * 2020-10-23 2022-04-28 ミネベアミツミ株式会社 Detecting device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5617205B2 (en) 2014-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5617205B2 (en) Encoder
KR101597639B1 (en) Absolute encoder device and motor
JP5666886B2 (en) Rotary encoder
JP4319153B2 (en) Magnetic sensor
JP2010078366A (en) Angle detecting apparatus
JP2018132360A5 (en)
US8314607B2 (en) Rotation angle detector
JP4941707B2 (en) Angle detector
JP2010160037A (en) Rotation angle detector
JP2008128740A (en) Rotation sensor
JP2009168679A (en) Rotation detector
US7573259B1 (en) Multi-track sense magnet with reduced cross-talk
JP4862336B2 (en) Rotation angle sensor
JP2005531008A (en) Angular displacement encoder with two magnetic tracks
TW201510486A (en) Magnetic encoder and sensor device
JP5394289B2 (en) Magnetic detector and magnetic encoder
CN105890833B (en) Axial flux focusing type small-diameter low-cost torque sensor
JP2003097971A (en) Rolling bearing and pulser ring
JP2007315765A (en) Rotation sensor and bearing with rotation sensor
JP4587656B2 (en) Bearing with absolute encoder
JP7209911B1 (en) RPM detector
JP2018105757A (en) Magnetic encoder device
JP7336329B2 (en) MOTOR, MOTOR DRIVE CONTROL DEVICE, AND MOTOR DRIVE CONTROL METHOD
JP5440125B2 (en) Encoder
JP2008064633A (en) Bearing device with sensor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120827

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120913

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130430

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130507

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130617

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140311

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140508

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140819

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140901

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5617205

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250