JP2011046998A - Graphite substrate pretreatment method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、グラファイト基板前処理工程に関し、特に、グラファイト基板の電気めっき工程を行う前に行う表面処理方法であって、グラファイト基板の電気めっき後、グラファイト基板表面に付着した金属層に良好な結合力を持たせ、金属層の寿命を増長させることができる前処理工程に関する。 The present invention relates to a graphite substrate pretreatment process, and in particular, is a surface treatment method performed before performing an electroplating process of a graphite substrate, and after the electroplating of the graphite substrate, a good bond to a metal layer attached to the surface of the graphite substrate The present invention relates to a pretreatment process capable of providing strength and extending the life of a metal layer.
電子部材の堆積は、益々微小化し、単位面積の密度も益々高くなり、電子部材の総発熱量は、ほぼ逐年上昇し、良好なヒートシンク方式で電子部材が発生する熱を排除しなければ、これら過度に高い温度が電子部材に電子衝突イオン化及び熱応力等の現象を発生させ、全体的安定感の低下、及び電子部材自身の寿命の短縮を招くが、前のヒートシンク方式は、純銅又はアルミ合金を熱拡散の基礎材料とし、或いは、更に熱管を基礎材料内に埋め込み、熱拡散の速度を加速するが、この種の方法が必要とするコストは、相対的に高くなり、銅、アルミの導熱係数は、約４００Ｗ/ｍｋ及び２００Ｗ/ｍｋであり、発熱量が絶え間なく上昇する電子部材において、徐々に使用されなくなっており、現在は、カーボンが自然界中に豊富な含量の物質であり、且つカーボンがグラファイト化処理を経た後、良好な導電体及び熱導体となることができるが、グラファイト表面は、後続電気めっき加工時に、その表面に形成される金属層は、短時間内に腐蝕、剥離を発生し、且つ金属層とグラファイト表面の結合力が比較的悪く、後段加工工程の歩留まりの低下を招き、且つ製品使用寿命が比較的短いので、業界は、グラファイト基板を導熱体として使用することを排除しているが、本願の発明者は、上記の問題及び欠陥の発生の原因を研究し、グラファイト基板が電気めっき工程を行う前、表面処理を先に行う必要があり、グラファイト基板表面の油脂を除去し、油脂を除去する時、ＨＰ値１４の溶剤を利用し、油脂を溶解するが、この種の方法は、グラファイト基板表面に侵蝕を発生し、溶剤をグラファイト内に残留させ、且つ油脂を除去した後、濃度７０％の硝酸を利用し、グラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面が発生する酸化物を除去し、この時、濃度７０％の硝酸は、再度大量にグラファイト基板表面を侵蝕し、硝酸をグラファイト内に残留させ、グラファイト基板の金属層の電気めっき後、金属層とグラファイト基板の結合力が悪く、且つ一定時間後、グラファイト内に残留する硝酸及び溶剤が金属層を腐蝕、剥離させるので、本願の発明者は、上記方法が発生する問題に対して絶え間ない研究及び試行を行い、本願の前処理方法に発展している。 The deposition of electronic components is becoming increasingly smaller, the density of unit areas is also increasing, and the total heat generation of electronic components increases almost every year. An excessively high temperature causes phenomena such as electron impact ionization and thermal stress in the electronic member, leading to a decrease in overall stability and shortening of the life of the electronic member itself, but the previous heat sink method is pure copper or aluminum alloy Is used as a base material for heat diffusion, or a heat tube is embedded in the base material to accelerate the speed of heat diffusion, but this type of method requires a relatively high cost, and heat conduction of copper and aluminum Coefficients are about 400 W / mk and 200 W / mk, which are gradually being used in electronic components where the calorific value is constantly rising. Currently, carbon is a substance that is abundant in nature. In addition, after carbon undergoes a graphitization treatment, it can be a good conductor and heat conductor, but the graphite surface is formed in a short time during the subsequent electroplating process. Corrosion and delamination occur, and the bonding force between the metal layer and the graphite surface is relatively poor, resulting in a decrease in the yield of subsequent processing steps and a relatively short product service life. Although the inventor of the present application has studied the cause of the above problems and defects, the surface treatment needs to be performed first before the graphite substrate is subjected to the electroplating process. When removing fats and oils on the substrate surface and removing the fats and oils, a solvent having an HP value of 14 is used to dissolve the fats and oils. This type of method causes corrosion on the graphite substrate surface and removes the solvent. After remaining in the graphite and removing the fats and oils, the nitric acid with a concentration of 70% is used to clean the surface of the graphite substrate to remove the oxide generated on the surface of the graphite substrate. At this time, the nitric acid with a concentration of 70% Again, the surface of the graphite substrate is eroded again in large quantities, and nitric acid remains in the graphite. After electroplating the metal layer of the graphite substrate, the bonding force between the metal layer and the graphite substrate is poor, and remains in the graphite after a certain time. Since the nitric acid and the solvent corrode and peel off the metal layer, the inventors of the present application have continually researched and tried to solve the problems caused by the above method, and have developed into the pretreatment method of the present application.
本発明の目的は、ｐＨ値がｐＨ３〜ｐＨ９の間に介在するソルビタン系活性剤と濃度が３％〜５０％の間に介在する硝酸を利用し、グラファイト基板の電気めっき工程を行う前に行う表面処理方法が使用する溶剤とし、グラファイト基板の電気めっき後、グラファイト基板表面に付着した金属層に良好な結合力を持たせることができ、金属層の寿命を増長することができるようにすることである。 An object of the present invention is to use a sorbitan-based activator intervening between pH 3 and pH 9 and nitric acid intervening between 3% and 50% before performing an electroplating process of a graphite substrate. As a solvent used by the surface treatment method, after electroplating the graphite substrate, the metal layer adhering to the surface of the graphite substrate can have a good bonding force, and the life of the metal layer can be increased. It is.
本発明は下記の特徴を有する。
（１）グラファイト基板の電気めっき前に使用する表面処理方法であって、該処理方法が以下のステップ：
（Ａ）洗浄：溶剤を利用し、グラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の汚れ及び顆粒を除去し；
（Ｂ）脱脂：ｐＨ値を利用し、ｐＨ３〜ｐＨ９の間に介在するソルビタン系活性剤を利用し、グラファイト基板表面に付着する油脂を除去し、；
（Ｃ）水洗：グラファイト基板表面に脱脂を行った後、表面に残留する溶剤を洗浄し；
（Ｄ）活性化：濃度が３％〜５０％の間に介在する稀釈硝酸を利用しグラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の脱脂及び水洗により発生した酸化物を除去し、グラファイト基板表面に結晶組織を露出させ；
（Ｅ）水洗：グラファイト基板表面の活性化により残留した硝酸を洗浄する；
に基づき、行い、
グラファイト基板に電気めっき工程を行い、グラファイト基板表面に金属層をめっき可能にするグラファイト基板前処理方法。
（２）前記ステップＤ及びステップＥを１回以上重複して行う（１）記載のグラファイト基板前処理方法。
（３）前記ステップＡは、溶剤を利用し、グラファイト基板表面を洗浄時、超音波洗浄方式で行うことができる（１）記載のグラファイト基板前処理方法。
（４）アルミ材質を含むグラファイト基板の電気めっき前に使用する表面処理方法であって、該処理方法が以下のステップ：
（Ａ）洗浄：溶剤を利用し、グラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の汚れ及び顆粒を除去し；
（Ｂ）脱脂：ｐＨ値を利用し、ｐＨ３〜ｐＨ９の間に介在するソルビタン系活性剤を利用し、グラファイト基板表面に付着する油脂を除去し、；
（Ｃ）水洗：グラファイト基板表面に脱脂を行った後、表面に残留する溶剤を洗浄し；
（Ｄ）活性化：濃度が３％〜５０％の間に介在する稀釈硝酸を利用しグラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の脱脂及び水洗により発生した酸化物を除去し、グラファイト基板表面に結晶組織を露出させ；
（Ｅ）水洗：グラファイト基板表面の活性化により残留した硝酸を洗浄し；
（Ｆ）亜鉛置換工程：亜鉛置換液を利用し、亜鉛イオンをアルミ表面に置換し、表面に一層の亜鉛金属薄膜を形成し；
（Ｇ）水洗：グラファイト基板表面に残留する亜鉛置換液を洗浄する；
に基づき、行うグラファイト基板前処理方法。
（５）前記ステップＤからステップＧを１回以上重複して行う（４）記載のグラファイト基板前処理方法。
（６）前記ステップＡは、溶剤を利用し、グラファイト基板表面を洗浄時、超音波洗浄方式で行うことができる（４）記載のグラファイト基板前処理方法。
The present invention has the following features.
(1) A surface treatment method used before electroplating a graphite substrate, the treatment method comprising the following steps:
(A) Washing: Using a solvent, the surface of the graphite substrate is washed to remove dirt and granules on the surface of the graphite substrate;
(B) Degreasing: Utilizing a pH value, utilizing a sorbitan-based activator intervening between pH 3 and pH 9, removing oils and fats adhering to the graphite substrate surface;
(C) Water washing: After degreasing the graphite substrate surface, the solvent remaining on the surface is washed;
(D) Activation: The graphite substrate surface is cleaned using diluted nitric acid present between 3% and 50% in concentration, and the oxide generated by degreasing and water washing of the graphite substrate surface is removed. Exposing the crystal structure;
(E) Washing with water: Washing of remaining nitric acid by activation of the graphite substrate surface;
Based on
A graphite substrate pretreatment method that performs an electroplating process on a graphite substrate and enables a metal layer to be plated on the surface of the graphite substrate.
(2) The graphite substrate pretreatment method according to (1), wherein Step D and Step E are performed one or more times.
(3) The method for pretreating a graphite substrate according to (1), wherein the step A can be performed by an ultrasonic cleaning method when cleaning the surface of the graphite substrate using a solvent.
(4) A surface treatment method used before electroplating a graphite substrate containing an aluminum material, the treatment method comprising the following steps:
(A) Washing: Using a solvent, the surface of the graphite substrate is washed to remove dirt and granules on the surface of the graphite substrate;
(B) Degreasing: Utilizing a pH value, utilizing a sorbitan-based activator intervening between pH 3 and pH 9, removing oils and fats adhering to the graphite substrate surface;
(C) Water washing: After degreasing the graphite substrate surface, the solvent remaining on the surface is washed;
(D) Activation: The graphite substrate surface is cleaned using diluted nitric acid present between 3% and 50% in concentration, and the oxide generated by degreasing and water washing of the graphite substrate surface is removed. Exposing the crystal structure;
(E) Washing with water: Washing of residual nitric acid by activation of the graphite substrate surface;
(F) Zinc substitution step: Zinc ions are substituted on the aluminum surface using a zinc substitution solution to form a single zinc metal thin film on the surface;
(G) Washing with water: Washing the zinc replacement liquid remaining on the surface of the graphite substrate;
To perform a graphite substrate pretreatment method.
(5) The graphite substrate pretreatment method according to (4), wherein Step D to Step G are repeated one or more times.
(6) The method for pretreating a graphite substrate according to (4), wherein the step A can be performed by an ultrasonic cleaning method when a graphite substrate surface is cleaned using a solvent.
本発明のグラファイト基板前処理方法は、グラファイトの電気めっき工程を行う前に行う表面処理方法であって、ｐＨ値がｐＨ３〜ｐＨ９の間に介在するソルビタン系活性剤と濃度が３％〜５０％の間に介在する硝酸を利用し、グラファイト基板の電気めっき工程を行う前に行う表面処理方法が使用する活性剤及び溶剤とし、グラファイト基板表面に対する侵蝕破壊を防止し、グラファイト基板表面に付着した金属層に良好な結合力を持たせることができ、金属層の寿命を増長することができるようにする。 The graphite substrate pretreatment method of the present invention is a surface treatment method performed before the graphite electroplating step, and the concentration of sorbitan-based activator intervening between pH 3 and pH 9 is 3% to 50%. Nitric acid intervening between the graphite substrate and the activator and solvent used in the surface treatment method before the electroplating process of the graphite substrate. The layer can have good bonding strength, and the life of the metal layer can be increased.
図１に示すように、グラファイト基板の電気めっき前に表面処理を行う時、以下のステップに基づき行う：
（Ａ）洗浄：溶剤を利用し、グラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の汚れ及び顆粒を除去し、且つ溶剤がグラファイトの表面を洗浄する時、超音波振動の機械力を利用し、溶剤中に無数の小さな気泡を発生させ、これら小さな気泡が生長を形成し、閉じ合う時、強大な振動力を発生し、グラファイト基板表面に付着した汚れ及び顆粒を迅速に離脱させ、より徹底したグラファイト基板表面の洗浄を行う。
（Ｂ）脱脂：ｐＨ値を利用し、ｐＨ３〜ｐＨ９の間に介在するソルビタン系活性剤を利用し、グラファイト基板表面に付着する油脂を除去し、有機溶剤のＰＨ値が中性に近くなっているので、グラファイト基板表面を比較的侵蝕しない。
（Ｃ）水洗：グラファイト基板表面に脱脂を行った後、表面に残留する溶剤を洗浄し、且つステップＢが使用する溶剤グラファイト基板表面に対して侵蝕しないので、この水洗ステップは、更に溶剤を清潔に洗浄することができる。
（Ｄ）活性化：濃度が３％〜５０％の間に介在する稀釈硝酸を利用しグラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の脱脂及び水洗により発生した酸化物を除去し、グラファイト基板表面に結晶組織を露出させ、グラファイト基板表面に金属層を電気めっきした後、金属層がグラファイト基板表面において良好な結合力を有し、且つこの濃度範囲の硝酸は、グラファイト基板表面を比較的侵蝕しない。
（Ｅ）水洗：グラファイト基板表面の活性化により残留した硝酸を洗浄し、且つステップＤが使用する硝酸がグラファイト基板表面に対して比較的侵蝕しないので、この水洗ステップは、より硝酸を清潔に洗浄できる。
As shown in FIG. 1, when performing a surface treatment prior to electroplating a graphite substrate, the following steps are taken:
(A) Cleaning: The solvent is used to clean the surface of the graphite substrate, the dirt and granules on the surface of the graphite substrate are removed, and the solvent is used to clean the surface of the graphite by utilizing the mechanical force of ultrasonic vibration. Innumerable small bubbles are generated inside, and when these small bubbles grow and close, a powerful vibration force is generated, and dirt and granules adhering to the surface of the graphite substrate are quickly released, and more thorough graphite Clean the substrate surface.
(B) Degreasing: Utilizing the pH value, utilizing a sorbitan-based activator intervening between pH 3 and pH 9, removing oils and fats adhering to the graphite substrate surface, and the PH value of the organic solvent is close to neutrality Therefore, the surface of the graphite substrate is not relatively eroded.
(C) Water washing: After degreasing the graphite substrate surface, the solvent remaining on the surface is washed, and the solvent graphite substrate surface used in Step B does not corrode, so this water washing step further cleans the solvent. Can be washed.
(D) Activation: The graphite substrate surface is cleaned using diluted nitric acid present between 3% and 50% in concentration, and the oxide generated by degreasing and water washing of the graphite substrate surface is removed. After exposing the crystal structure and electroplating the metal layer on the surface of the graphite substrate, the metal layer has a good bonding force on the surface of the graphite substrate, and nitric acid in this concentration range does not relatively corrode the graphite substrate surface.
(E) Water washing: The nitric acid remaining by the activation of the graphite substrate surface is washed, and the nitric acid used in step D does not corrode relatively to the graphite substrate surface, so this water washing step further cleans the nitric acid. it can.
上記ステップを完成した後、グラファイト基板に対して電気めっき工程を行い、グラファイト基板表面上に金属層をめっきし、且つグラファイト基板に電気めっきを行う前の表面処理時に、グラファイト基板表面に対して侵蝕破壊を起こしておらず、ソルビタン系活性剤又は硝酸を残留させていないので、グラファイト基板表面に付着する金属層は、良好な結合力を有することができ、グラファイト内に溶剤又は硝酸が残留していないので、金属層の寿命を増加させることができる。 After the above steps are completed, an electroplating process is performed on the graphite substrate, a metal layer is plated on the graphite substrate surface, and the surface of the graphite substrate is eroded during surface treatment before electroplating the graphite substrate. Since no destruction occurred and no sorbitan activator or nitric acid remained, the metal layer adhering to the surface of the graphite substrate can have good bonding strength, and no solvent or nitric acid remains in the graphite. Therefore, the life of the metal layer can be increased.
また、金属層とグラファイト基板表面の結合力を増加したい場合、１回以上のステップＤ及びステップＥを繰り返し行い、グラファイト基板表面をより活性化することができる。 Further, when it is desired to increase the bonding force between the metal layer and the graphite substrate surface, the step D and step E are repeated one or more times to further activate the graphite substrate surface.
図２に示すように、グラファイト基板がアルミ材質を含み、グラファイト基板の電気めっき前に表面処理を行う時、以下のステップに基づき行う：
（Ａ）洗浄：溶剤を利用し、グラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の汚れ及び顆粒を除去し、且つ溶剤がグラファイトの表面を洗浄する時、超音波振動の機械力を利用し、溶剤中に無数の小さな気泡を発生させ、これら小さな気泡が生長を形成し、閉じ合う時、強大な振動力を発生し、グラファイト基板表面に付着した汚れ及び顆粒を迅速に離脱させ、より徹底したグラファイト基板表面の洗浄を行う。
（Ｂ）脱脂：ｐＨ値を利用し、ｐＨ３〜ｐＨ９の間に介在するソルビタン系活性剤を利用し、グラファイト基板表面に付着する油脂を除去し、有機溶剤のｐＨ値が中性に近くなっているので、グラファイト基板表面を比較的侵蝕しない。
（Ｃ）水洗：グラファイト基板表面に脱脂を行った後、表面に残留する溶剤を洗浄し、且つステップＢが使用する溶剤グラファイト基板表面に対して侵蝕しないので、この水洗ステップは、更に溶剤を清潔に洗浄することができる。
（Ｄ）活性化：濃度が３％〜５０％の間に介在する硝酸を利用しグラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の脱脂及び水洗により発生した酸化物を除去し、グラファイト基板表面に結晶組織を露出させ、グラファイト基板表面に金属層を電気めっきした後、金属層がグラファイト基板表面において良好な結合力を有し、且つこの濃度範囲の硝酸は、グラファイト基板表面を比較的侵蝕しない。
（Ｅ）水洗：グラファイト基板表面の活性化により残留した硝酸を洗浄し、且つステップＤが使用する硝酸がグラファイト基板表面に対して比較的侵蝕しないので、この水洗ステップは、より硝酸を清潔に洗浄できる。
（Ｆ）亜鉛置換工程：亜鉛置換液を利用し、亜鉛イオンをアルミ表面に置換し、表面に一層の亜鉛金属薄膜を形成し、アルミ材質を含むグラファイト基板に電気めっき工程を行うことに有利にする。
（Ｇ）水洗：グラファイト基板表面に残留する亜鉛置換液を洗浄する。
As shown in FIG. 2, when the graphite substrate includes an aluminum material and the surface treatment is performed before electroplating the graphite substrate, the following steps are performed:
(A) Cleaning: The solvent is used to clean the surface of the graphite substrate, the dirt and granules on the surface of the graphite substrate are removed, and the solvent is used to clean the surface of the graphite by utilizing the mechanical force of ultrasonic vibration. Innumerable small bubbles are generated inside, and when these small bubbles grow and close, a powerful vibration force is generated, and dirt and granules adhering to the surface of the graphite substrate are quickly released, and more thorough graphite Clean the substrate surface.
(B) Degreasing: Utilizing the pH value, utilizing the sorbitan-based activator intervening between pH 3 and pH 9, removing the oil and fat adhering to the graphite substrate surface, the pH value of the organic solvent is close to neutrality Therefore, the surface of the graphite substrate is not relatively eroded.
(C) Water washing: After degreasing the graphite substrate surface, the solvent remaining on the surface is washed, and the solvent graphite substrate surface used in Step B does not corrode, so this water washing step further cleans the solvent. Can be washed.
(D) Activation: The graphite substrate surface is cleaned using nitric acid present between 3% and 50% in concentration, the oxide generated by degreasing and washing with water on the graphite substrate surface is removed, and crystals are formed on the graphite substrate surface. After exposing the tissue and electroplating the metal layer on the graphite substrate surface, the metal layer has good binding force on the graphite substrate surface, and nitric acid in this concentration range does not relatively corrode the graphite substrate surface.
(E) Water washing: The nitric acid remaining by the activation of the graphite substrate surface is washed, and the nitric acid used in step D does not corrode relatively to the graphite substrate surface, so this water washing step further cleans the nitric acid. it can.
(F) Zinc replacement step: Zinc replacement solution is used to replace zinc ions with the aluminum surface, to form a single layer of zinc metal thin film on the surface, and to perform an electroplating step on the graphite substrate containing the aluminum material. To do.
(G) Washing with water: The zinc replacement liquid remaining on the surface of the graphite substrate is washed.
上記ステップを完成した後、アルミ材質を含有するグラファイト基板に対して電気めっき工程を行い、グラファイト基板表面上に金属層をめっきし、且つグラファイト基板に電気めっきを行う前の表面処理時に、グラファイト基板表面に対して侵蝕破壊を起こしておらず、ソルビタン系活性剤又は硝酸を残留させていないので、グラファイト基板表面に付着する金属層は、良好な結合力を有することができ、グラファイト内に溶剤又は硝酸が残留していないので、金属層の寿命を増加させることができる。 After the above steps are completed, an electroplating process is performed on a graphite substrate containing an aluminum material, a metal layer is plated on the surface of the graphite substrate, and the graphite substrate is subjected to surface treatment before electroplating the graphite substrate. Since the surface does not undergo erosional destruction and no sorbitan-based activator or nitric acid remains, the metal layer attached to the surface of the graphite substrate can have good bonding strength, and the solvent or Since no nitric acid remains, the life of the metal layer can be increased.
また、金属層とグラファイト基板表面の結合力を増加したい場合、１回以上のステップＤからステップＧを繰り返し行い、グラファイト基板表面をより活性化することができる。 Further, when it is desired to increase the bonding force between the metal layer and the graphite substrate surface, the graphite substrate surface can be more activated by repeating Step D to Step G one or more times.
Claims (6)
（Ａ）洗浄：溶剤を利用し、グラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の汚れ及び顆粒を除去し；
（Ｂ）脱脂：ｐＨ値を利用し、ｐＨ３〜ｐＨ９の間に介在するソルビタン系活性剤を利用し、グラファイト基板表面に付着する油脂を除去し、；
（Ｃ）水洗：グラファイト基板表面に脱脂を行った後、表面に残留する溶剤を洗浄し；
（Ｄ）活性化：濃度が３％〜５０％の間に介在する稀釈硝酸を利用しグラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の脱脂及び水洗により発生した酸化物を除去し、グラファイト基板表面に結晶組織を露出させ；
（Ｅ）水洗：グラファイト基板表面の活性化により残留した硝酸を洗浄する；
に基づき、行い、
グラファイト基板に電気めっき工程を行い、グラファイト基板表面に金属層をめっき可能にするグラファイト基板前処理方法。 A surface treatment method used before electroplating of a graphite substrate, the treatment method comprising the following steps:
(A) Washing: Using a solvent, the surface of the graphite substrate is washed to remove dirt and granules on the surface of the graphite substrate;
(B) Degreasing: Utilizing a pH value, utilizing a sorbitan-based activator intervening between pH 3 and pH 9, removing oils and fats adhering to the graphite substrate surface;
(C) Water washing: After degreasing the graphite substrate surface, the solvent remaining on the surface is washed;
(D) Activation: The graphite substrate surface is cleaned using diluted nitric acid present between 3% and 50% in concentration, and the oxide generated by degreasing and water washing of the graphite substrate surface is removed. Exposing the crystal structure;
(E) Washing with water: Washing of remaining nitric acid by activation of the graphite substrate surface;
Based on
A graphite substrate pretreatment method that performs an electroplating process on a graphite substrate and enables a metal layer to be plated on the surface of the graphite substrate.
（Ａ）洗浄：溶剤を利用し、グラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の汚れ及び顆粒を除去し；
（Ｂ）脱脂：ｐＨ値を利用し、ｐＨ３〜ｐＨ９の間に介在するソルビタン系活性剤を利用し、グラファイト基板表面に付着する油脂を除去し、；
（Ｃ）水洗：グラファイト基板表面に脱脂を行った後、表面に残留する溶剤を洗浄し；
（Ｄ）活性化：濃度が３％〜５０％の間に介在する稀釈硝酸を利用しグラファイト基板表面を洗浄し、グラファイト基板表面の脱脂及び水洗により発生した酸化物を除去し、グラファイト基板表面に結晶組織を露出させ；
（Ｅ）水洗：グラファイト基板表面の活性化により残留した硝酸を洗浄し；
（Ｆ）亜鉛置換工程：亜鉛置換液を利用し、亜鉛イオンをアルミ表面に置換し、表面に一層の亜鉛金属薄膜を形成し；
（Ｇ）水洗：グラファイト基板表面に残留する亜鉛置換液を洗浄する；
に基づき、行うグラファイト基板前処理方法。 A surface treatment method used before electroplating a graphite substrate containing an aluminum material, the treatment method comprising the following steps:
(A) Washing: Using a solvent, the surface of the graphite substrate is washed to remove dirt and granules on the surface of the graphite substrate;
(B) Degreasing: Utilizing a pH value, utilizing a sorbitan-based activator intervening between pH 3 and pH 9, removing oils and fats adhering to the graphite substrate surface;
(C) Water washing: After degreasing the graphite substrate surface, the solvent remaining on the surface is washed;
(D) Activation: The graphite substrate surface is cleaned using diluted nitric acid present between 3% and 50% in concentration, and the oxide generated by degreasing and water washing of the graphite substrate surface is removed. Exposing the crystal structure;
(E) Washing with water: Washing of residual nitric acid by activation of the graphite substrate surface;
(F) Zinc substitution step: Zinc ions are substituted on the aluminum surface using a zinc substitution solution to form a single zinc metal thin film on the surface;
(G) Washing with water: Washing the zinc replacement liquid remaining on the surface of the graphite substrate;
To perform a graphite substrate pretreatment method.
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