JP2011040432A - Organic semiconductor transistor - Google Patents

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JP2011040432A JP2009183546A JP2009183546A JP2011040432A JP 2011040432 A JP2011040432 A JP 2011040432A JP 2009183546 A JP2009183546 A JP 2009183546A JP 2009183546 A JP2009183546 A JP 2009183546A JP 2011040432 A JP2011040432 A JP 2011040432A
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Hidekazu Hirose
英一 廣瀬
Koji Horiba
幸治 堀場
Takeshi Agata
岳 阿形
Katsuhiro Sato
克洋 佐藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic semiconductor transistor which suppresses deterioration of carrier mobility compared with an organic semiconductor transistor having an organic semiconductor layer using 13,6-N-sulfinyl acetamide pentacene. <P>SOLUTION: An organic semiconductor transistor has: a plurality of electrodes; and an organic semiconductor layer containing at least one kind of fluorene compound expressed by general formula (I). In the general formula (I), R<SB>1</SB>denotes a 1-6C alkyl group. R<SB>2</SB>demotes a 1-8C alkyl group, or a 1-8C alkoxy group. n demotes an integer from 1 to 2. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機半導体トランジスタに関するものである。   The present invention relates to an organic semiconductor transistor.

薄膜トランジスタは、液晶表示素子等の表示用スイッチング素子として幅広く用いられている。従来、薄膜トランジスタは、アモルファスや多結晶のシリコンを用いて作製されている。   Thin film transistors are widely used as display switching elements such as liquid crystal display elements. Conventionally, a thin film transistor is manufactured using amorphous or polycrystalline silicon.

一方、近年有機EL(Electro−Luminescence)素子等に代表される有機半導体の研究が盛んに行なわれている。それとともに有機物をシリコン材料に代えて軽量、柔軟性の特徴を生かして回路に組み込もうとする研究が報告されるようになってきた。   On the other hand, research on organic semiconductors represented by organic EL (Electro-Luminescence) elements and the like has been actively conducted in recent years. At the same time, research has been reported to replace organic materials with silicon materials and incorporate them into circuits utilizing the characteristics of light weight and flexibility.

このような薄膜トランジスタに用いる有機物としては、低分子化合物又は高分子化合物が用いられる。低分子化合物としては、ペンタセン、テトラセン等のポリアセン化合物(例えば、特許文献1〜3参照。)、銅フタロシアニン等のフタロシアニン化合物(例えば、特許文献4、5参照。)が提案されている。   As an organic substance used for such a thin film transistor, a low molecular compound or a high molecular compound is used. As low molecular weight compounds, polyacene compounds such as pentacene and tetracene (for example, refer to Patent Documents 1 to 3) and phthalocyanine compounds such as copper phthalocyanine (for example, refer to Patent Documents 4 and 5) have been proposed.

また、高分子化合物としては、セクシチオフェン等の芳香族オリゴマー(例えば、特許文献6参照)、ポリチオフェン、ポリチエニレンビニレン、ポリ(p−フェニレンビニレン)等の高分子化合物(例えば、特許文献7〜10及び非特許文献1参照。)が提案されている。   Examples of the polymer compound include aromatic oligomers such as sexithiophene (see, for example, Patent Document 6), polymer compounds such as polythiophene, polythienylene vinylene, and poly (p-phenylene vinylene) (for example, Patent Documents 7 to 7). 10 and Non-Patent Document 1).

特開平5−55568号公報JP-A-5-55568 特開平10−270712号公報JP-A-10-270712 特開2001−94107号公報JP 2001-94107 A 特開平5−190877号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-190877 特開2000−174277号公報JP 2000-174277 A 特開平8−264805号公報JP-A-8-264805 特開平8−228034号公報JP-A-8-228034 特開平8−228035号公報JP-A-8-228035 特開平10−125924号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-125924 特開平10−190001号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-190001

Appl.Phys.Lett., 73,108(1998)Appl.Phys.Lett., 73,108 (1998)

本発明の課題は、13,6−N−サルフィニルアセトアミドペンタセンを用いた有機半導体層を備える有機半導体トランジスタに比べ、電荷移動度の低下が抑制された有機半導体トランジスタを提供することにある。   The subject of this invention is providing the organic-semiconductor transistor by which the fall of charge mobility was suppressed compared with the organic-semiconductor transistor provided with the organic-semiconductor layer using 13, 6-N- sulfinyl acetamide pentacene.

上記課題は、以下の手段により解決される。即ち、
請求項1に係る発明は、
複数の電極と、
下記一般式(I)で示されるフルオレン化合物を少なくとも1種含有する有機半導体層と、
を備える有機半導体トランジスタ。
The above problem is solved by the following means. That is,
The invention according to claim 1
A plurality of electrodes;
An organic semiconductor layer containing at least one fluorene compound represented by the following general formula (I);
An organic semiconductor transistor comprising:

〔一般式(I)中、Rは、炭素数1から6までのアルキル基を表す。Rは、炭素数1から8までのアルキル基、又は炭素数1から8までのアルコキシ基を表す。nは1から2までの整数を表す。〕 [In General Formula (I), R 1 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. R 2 represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms. n represents an integer of 1 to 2. ]

請求項2に係る発明は、
前記複数の電極が、ソース電極、ドレイン電極及びゲート電極であり、
更に絶縁層を備え、
前記ゲート電極は、前記ソース電極及びドレイン電極の双方から離間して設けられ、
前記有機半導体層は、前記ソース電極及びドレイン電極の双方に接して設けられ、
前記絶縁層は、前記有機半導体層と前記ゲート電極とに挟まれて設けられ、
かつ電界効果型である、請求項1に記載の有機半導体トランジスタ。
The invention according to claim 2
The plurality of electrodes are a source electrode, a drain electrode and a gate electrode;
Furthermore, an insulating layer is provided,
The gate electrode is provided apart from both the source electrode and the drain electrode;
The organic semiconductor layer is provided in contact with both the source electrode and the drain electrode,
The insulating layer is provided between the organic semiconductor layer and the gate electrode,
2. The organic semiconductor transistor according to claim 1, which is a field effect type.

請求項3に係る発明は、
前記複数の電極が、ソース電極、ドレイン電極及びゲート電極であり、
前記ソース電極及びドレイン電極は、対向して設けられ、
前記ゲート電極は、前記ソース電極及びドレイン電極の双方から離間して設けられ、
前記有機半導体層は、前記ソース電極及びドレイン電極の双方に接して設けられ、
かつ静電誘導型である、請求項1に記載の有機半導体トランジスタ。
The invention according to claim 3
The plurality of electrodes are a source electrode, a drain electrode and a gate electrode;
The source electrode and the drain electrode are provided to face each other,
The gate electrode is provided apart from both the source electrode and the drain electrode;
The organic semiconductor layer is provided in contact with both the source electrode and the drain electrode,
And the organic-semiconductor transistor of Claim 1 which is an electrostatic induction type.

請求項1に係る発明によれば、13,6−N−サルフィニルアセトアミドペンタセンを用いた有機半導体層を備える有機半導体トランジスタに比べ、電荷移動度の低下が抑制された有機半導体トランジスタが提供される。
請求項2に係る発明によれば、13,6−N−サルフィニルアセトアミドペンタセンを用いた有機半導体層を備える有機半導体トランジスタに比べ、電荷移動度の低下が抑制された有機半導体トランジスタが提供される。
請求項3に係る発明によれば、13,6−N−サルフィニルアセトアミドペンタセンを用いた有機半導体層を備える有機半導体トランジスタに比べ、電荷移動度の低下が抑制された有機半導体トランジスタが提供される。
According to the first aspect of the present invention, there is provided an organic semiconductor transistor in which a decrease in charge mobility is suppressed as compared with an organic semiconductor transistor having an organic semiconductor layer using 13,6-N-sulfinylacetamidopentacene. The
According to the second aspect of the present invention, there is provided an organic semiconductor transistor in which a decrease in charge mobility is suppressed as compared with an organic semiconductor transistor having an organic semiconductor layer using 13,6-N-sulfinylacetamidopentacene. The
The invention according to claim 3 provides an organic semiconductor transistor in which a decrease in charge mobility is suppressed as compared with an organic semiconductor transistor including an organic semiconductor layer using 13,6-N-sulfinylacetamidopentacene. The

本実施形態の有機半導体トランジスタの層構成の一例を示した概略構成図である。It is the schematic block diagram which showed an example of the layer structure of the organic-semiconductor transistor of this embodiment. 他の実施形態の有機半導体トランジスタの層構成の一例を示した概略構成図である。It is the schematic block diagram which showed an example of the layer structure of the organic-semiconductor transistor of other embodiment. 他の実施形態の有機半導体トランジスタの層構成の一例を示した概略構成図である。It is the schematic block diagram which showed an example of the layer structure of the organic-semiconductor transistor of other embodiment. 他の実施形態の有機半導体トランジスタの層構成の一例を示した概略構成図である。It is the schematic block diagram which showed an example of the layer structure of the organic-semiconductor transistor of other embodiment.

以下、本実施形態について詳細に説明する。なお本明細書で推測する作用や機能によって本発明が制限されることはない。   Hereinafter, this embodiment will be described in detail. In addition, this invention is not restrict | limited by the effect | action and function estimated by this specification.

本実施形態の有機半導体トランジスタは、複数の電極と、下記一般式(I)で示されるフルオレン化合物を少なくとも1種含有する有機半導体層と、を備える。   The organic semiconductor transistor of this embodiment includes a plurality of electrodes and an organic semiconductor layer containing at least one fluorene compound represented by the following general formula (I).

下記一般式(I)で示されるフルオレン化合物は、13,6−N−サルフィニルアセトアミドペンタセンに比べ、電荷輸送性と共に、電子デバイスの作製で一般に用いられる有機溶媒に対する有機溶剤に対する溶解性も優れることから、良好な成膜性を有する。このため、これを含む半導体層を有する有機半導体トランジスタは電荷移動度の低下が抑制されると考えられる。
また、下記一般式(I)で示されるフルオレン化合物は、有機溶媒に対する溶解性に優れることから、一般式(I)で示されるフルオレン化合物を有機溶媒に溶解した溶液を用い、いわゆるウェットプロセスによって有機半導体層が形成される。また、このようにして得た有機半導体層では、一般式(I)で示されるフルオレン化合物の有機溶媒への溶解性の高さから、ひび割れや亀裂や欠けなど成膜における故障が抑えられる。結果、面内での電気特性の欠陥の発生が抑えられ、或いは面内での電気特性のばらつきが抑制されると推測される。更に、大面積デバイスの作製が容易となる。
The fluorene compound represented by the following general formula (I) is superior to 13,6-N-sulfinylacetamidopentacene in terms of charge transportability and solubility in an organic solvent generally used in the production of electronic devices. Therefore, it has a good film forming property. For this reason, it is thought that the organic semiconductor transistor which has a semiconductor layer containing this suppresses the fall of charge mobility.
Further, since the fluorene compound represented by the following general formula (I) is excellent in solubility in an organic solvent, a solution in which the fluorene compound represented by the general formula (I) is dissolved in an organic solvent is used, and the organic compound is obtained by a so-called wet process. A semiconductor layer is formed. Moreover, in the organic semiconductor layer obtained in this way, failures in film formation such as cracks, cracks and chips can be suppressed because of the high solubility of the fluorene compound represented by the general formula (I) in an organic solvent. As a result, it is presumed that the occurrence of defects in the electrical characteristics within the plane is suppressed, or the variation in electrical characteristics within the plane is suppressed. Furthermore, it becomes easy to produce a large area device.

一般式(I)で示される化合物は、ジベンゾチオフェンを中心として、その両端にチオフェン環が配置されている。チオフェン環が両端に導入された結果、π共役系が広く延びて電荷が移動し易くなり、電荷移動度が向上すると推測される。また、イオン半径の大きい硫黄原子が多く導入された結果、電荷を受け取り易くなり電荷注入性も向上すると推測される。以上から、一般式(I)で示される化合物は、トランジスタの有機半導体層に適した材料である。
なお、本明細書において、「チオフェン環」とは、チオフェン環基又は複数のチオフェン環がつながっているものを意味する。
In the compound represented by the general formula (I), thiophene rings are arranged at both ends with dibenzothiophene as the center. As a result of introducing the thiophene ring at both ends, it is presumed that the π-conjugated system extends widely and the charge easily moves and the charge mobility is improved. In addition, as a result of introducing a large number of sulfur atoms having a large ionic radius, it is presumed that charge is easily received and charge injection is improved. From the above, the compound represented by the general formula (I) is a material suitable for the organic semiconductor layer of the transistor.
In the present specification, the “thiophene ring” means a thiophene ring group or a plurality of thiophene rings connected to each other.

以下、下記一般式(I)で示されるフルオレン化合物について説明し、次いで、本実施形態の有機半導体トランジスタについて説明する。   Hereinafter, the fluorene compound represented by the following general formula (I) will be described, and then the organic semiconductor transistor of this embodiment will be described.

一般式(I)中、Rは、炭素数1から6までのアルキル基を表す。Rは、炭素数1から8までのアルキル基、又は炭素数1から8までのアルコキシ基を表す。nは1から2までの整数を表す。 In general formula (I), R 1 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. R 2 represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms. n represents an integer of 1 to 2.

一般式(I)中、Rが表すアルキル基としては、炭素数1から6まで(望ましくは3から6まで)のアルキル基であり、具体的には例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、又はヘキシル基等が挙げられる。Rが表すアルキル基は、直鎖状であってもよいし、分鎖状であってもよい。 In general formula (I), the alkyl group represented by R 1 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (preferably 3 to 6), and specifically includes, for example, a methyl group, an ethyl group, n- A propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a t-butyl group, a pentyl group, a hexyl group, or the like can be given. The alkyl group represented by R 1 may be linear or branched.

一般式(I)中、Rが表すアルキル基としては、炭素数1から8まで(望ましくは3から6まで)のアルキル基であり、具体的には例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、又はオクチル基等が挙げられる。Rが表すアルキル基は、直鎖状であってもよいし、分鎖状であってもよい。 In general formula (I), the alkyl group represented by R 2 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms (preferably 3 to 6), and specifically includes, for example, a methyl group, an ethyl group, n- A propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a t-butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, or the like can be given. The alkyl group represented by R 2 may be linear or branched.

一般式(I)中、Rが表すアルコキシ基としては、炭素数1から8まで(望ましくは3から6まで)のアルコキシ基であり、具体的には例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、イソプロピル基、n−ブトキシ基、t−ブトキシ基、又はペンチルオキシ等が挙げられる。Rが表すアルコキシ基は、直鎖状であってもよいし、分鎖状であってもよい。 In the general formula (I), the alkoxy group represented by R 2 is an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms (preferably 3 to 6), and specifically includes, for example, a methoxy group, an ethoxy group, n- A propoxy group, an isopropyl group, an n-butoxy group, a t-butoxy group, pentyloxy, or the like can be given. The alkoxy group represented by R 2 may be linear or branched.

以下、一般式(I)で示されるフルオレン化合物の具体例につき、例示するが、これらに限定されるものではない。なお、「構造No」の数字は、具体例である例示化合物の番号を示す。   Hereinafter, although illustrated about the specific example of a fluorene compound shown by general formula (I), it is not limited to these. In addition, the number of “Structure No” indicates the number of an exemplary compound that is a specific example.

以下、一般式(I)で示されるフルオレン化合物の製造方法について説明する。
一般式(I)で示されるフルオレン化合物は、例えば、クロスカップリングビアリール合成を利用して得られる。クロスカップリングビアリール合成は、Suzuki反応、Kharasch反応、Negishi反応、Stille反応、Grignard反応、又はUllmann反応などを用いられる。具体的には、例えば下記スキームに従って合成されるが、これに限定するものではない。下記一般式(IV)、(V)中、Rは上記一般式(I)におけるRに該当し、Rは上記一般式(I)におけるRに該当し、nは上記一般式(I)におけるnに該当する。
Hereinafter, the manufacturing method of the fluorene compound shown by general formula (I) is demonstrated.
The fluorene compound represented by the general formula (I) can be obtained by using, for example, cross-coupling biaryl synthesis. For the cross-coupled biaryl synthesis, a Suzuki reaction, a Kharasch reaction, a Negishi reaction, a Stille reaction, a Grignard reaction, or an Ullmann reaction is used. Specifically, for example, it is synthesized according to the following scheme, but is not limited thereto. Following general formula (IV), in (V), R 1 is corresponds to R 1 in the general formula (I), R 2 may correspond to R 2 in the general formula (I), n the general formula ( It corresponds to n in I).

また、一般式(IV)及び(V)中、X及びGは、それぞれ独立にハロゲン原子、B(OH)、下記基1、下記基2、又は下記基3を表す。 In general formulas (IV) and (V), X and G each independently represent a halogen atom, B (OH) 2 , the following group 1, the following group 2, or the following group 3.

上記合成反応の際に用いてもよい金属、金属触媒、塩基、及び溶媒としては、以下のものが挙げられる。
金属としては、例えば、Pd、Cu、Ti、Sn、Ni、又はPt等が挙げられる。
金属触媒としては、例えば、金属錯体(例えば、Pd(PPh、Pd(OAc)、Pd(dba)、Pd(PPhCl、Pd(dppf)Cl、Pd/C、Ni(acac))等)等が挙げられる。なお、「dba」はジベンジリデンアセトン、「dppf」はビス(ジフェニルホスフィノ)フェロセンを表す。
塩基としては、例えば、無機塩基(例えば、NaCO、KCO、CsCO、又はBa(OH)等)、有機塩基(例えば、NEt、NH(i−Pr)、NHEt、NHMe、NMe、DBU、DMAP、又はピリジン等)等が挙げられる。
溶媒としては、反応を著しく阻害しない溶媒であればよく、例えば芳香族炭化水素溶媒(例えばベンゼン、トルエン、キシレン、又はメシチレン等)、エ−テル溶媒(例えばジエチルエ−テル、テトラヒドロフラン、又はジオキサン等)、アセトニトリル、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、水、PPh、P(o−Tol)、P(t−Bu)、又はPEtが挙げられる。
Examples of the metal, metal catalyst, base, and solvent that may be used in the synthesis reaction include the following.
Examples of the metal include Pd, Cu, Ti, Sn, Ni, or Pt.
Examples of the metal catalyst include metal complexes (for example, Pd (PPh 3 ) 4 , Pd (OAc) 2 , Pd 2 (dba) 3 , Pd (PPh 3 ) 2 Cl 2 , Pd (dppf) 2 Cl 2 , Pd / C, Ni (acac) 2 ) and the like. “Dba” represents dibenzylideneacetone and “dppf” represents bis (diphenylphosphino) ferrocene.
Examples of the base include an inorganic base (for example, Na 2 CO 3 , K 2 CO 3 , Cs 2 CO 3 , or Ba (OH) 2 ), an organic base (for example, NEt 3 , NH (i-Pr) 2 ). , NHEt 2 , NHMe 2 , NMe 3 , DBU, DMAP, pyridine, etc.).
The solvent may be any solvent that does not significantly inhibit the reaction. For example, an aromatic hydrocarbon solvent (such as benzene, toluene, xylene, or mesitylene), an ether solvent (such as diethyl ether, tetrahydrofuran, or dioxane). , Acetonitrile, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, water, PPh 3 , P (o-Tol) 3 , P (t-Bu) 3 , or PEt 3 .

上記合成反応は、例えば、常圧(1気圧)下、不活性ガス(例えば窒素、又はアルゴン等)雰囲気下に実施されるが、加圧条件下で実施してもよい。また、上記合成反応の反応温度20℃以上300℃以下の範囲であるが、より好ましくは50℃以上180℃以下の範囲である。また、上記合成反応の反応時間は、反応条件により異なるが、数分以上20時間以下の範囲から選択すればよい。   The above synthesis reaction is performed, for example, under normal pressure (1 atm) and in an inert gas (for example, nitrogen or argon) atmosphere, but may be performed under pressurized conditions. The reaction temperature of the above synthesis reaction is in the range of 20 ° C. or higher and 300 ° C. or lower, more preferably in the range of 50 ° C. or higher and 180 ° C. or lower. The reaction time for the synthesis reaction may vary depending on the reaction conditions, but may be selected from the range of several minutes to 20 hours.

上記反応において、金属や金属錯体触媒の使用量は、特に限定されるものではないが、一般式(I)に対して0.001モル%以上10モル%以下であり、より好ましくは、0.01モル%以上5.0モル%以下である。   In the above reaction, the amount of the metal or metal complex catalyst used is not particularly limited, but is 0.001 mol% or more and 10 mol% or less with respect to the general formula (I), and more preferably 0.8. It is 01 mol% or more and 5.0 mol% or less.

また。塩基の使用量は、一般式(I)で示される化合物に対してモル比で0.5以上4.0以下の範囲であり、より好ましくは1.0以上2.5以下の範囲である。   Also. The amount of the base used is in the range of 0.5 or more and 4.0 or less, more preferably in the range of 1.0 or more and 2.5 or less, with respect to the compound represented by the general formula (I).

そして、上記反応後、反応溶液を水中に投入して、よく攪拌し、反応生成物が固形物(結晶物)の場合は吸引濾過で濾取することにより粗生成物が得られる。一方、反応生成物が油状物の場合には、酢酸エチル、トルエン等の適当な溶剤で抽出して粗生成物が得られる。その後、得られた粗成生物をカラム精製(シリカゲル、アルミナ、活性白土、活性炭等を用いたカラム精製)するか、又は溶液中にこれらの吸着剤を添加し、不要分を吸着させる等の処理を行い精製する。また、反応生成物が結晶の場合には、さらに適当な溶剤(例えばヘキサン、メタノール、アセトン、エタノール、酢酸エチル、トルエン等)から、再結晶させて精製する。このようにして、目的とするフルオレン化合物が得られる。   Then, after the above reaction, the reaction solution is poured into water, stirred well, and when the reaction product is a solid (crystal), a crude product is obtained by filtration by suction filtration. On the other hand, when the reaction product is an oily product, a crude product is obtained by extraction with an appropriate solvent such as ethyl acetate or toluene. Thereafter, the resulting crude product is subjected to column purification (column purification using silica gel, alumina, activated clay, activated carbon, etc.), or these adsorbents are added to the solution to adsorb unnecessary components. To purify. When the reaction product is a crystal, it is further purified by recrystallization from an appropriate solvent (for example, hexane, methanol, acetone, ethanol, ethyl acetate, toluene, etc.). Thus, the target fluorene compound is obtained.

<有機半導体トランジスタ>
本実施形態の有機半導体トランジスタは、複数の電極と、前記一般式(I)で示されるフルオレン化合物を少なくとも1種含有する有機半導体層と、を備える。この構成に該当するものであれば、その他の構成は特に限定されない。
以下、図を参照しつつ、より詳細に説明するが、これに限定されない。
<Organic semiconductor transistor>
The organic semiconductor transistor of this embodiment includes a plurality of electrodes and an organic semiconductor layer containing at least one fluorene compound represented by the general formula (I). Other configurations are not particularly limited as long as they correspond to this configuration.
Hereinafter, although it demonstrates in detail, referring a figure, it is not limited to this.

図1、図2、図3及び図4は、本実施形態の有機半導体トランジスタの一例の構成を説明する断面図である。ここで、図1、図2及び図3は、電界効果型(Field Effect Transistor)の有機半導体トランジスタについて示したものである。また、図4は、静電誘導型(Static Induction Transitor)の有機半導体トランジスタについて示したものである。   1, 2, 3 and 4 are cross-sectional views illustrating the configuration of an example of the organic semiconductor transistor of the present embodiment. Here, FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 3 show a field effect transistor organic semiconductor transistor. FIG. 4 shows an organic semiconductor transistor of a static induction type (Static Induction Transitor).

図1、図2及び図3に示す電界効果型の有機半導体トランジスタは、離間して設けられたソース電極2及びドレイン電極3と、ソース電極2及びドレイン電極3の双方に接する有機半導体層4と、ソース電極2及びドレイン電極3の双方から離間したゲート電極5と、有機半導体層4とゲート電極5とに挟まれて設けた絶縁層6と、を備える。
電界効果型の有機半導体トランジスタは、現在広く用いられているトランジスタの一形態であり、高速なスイッチング動作、製造方法の簡易性、高集積化への適性、が利点として挙げられる。
The field effect organic semiconductor transistor shown in FIGS. 1, 2, and 3 includes a source electrode 2 and a drain electrode 3 that are spaced apart from each other, and an organic semiconductor layer 4 that is in contact with both the source electrode 2 and the drain electrode 3. A gate electrode 5 spaced from both the source electrode 2 and the drain electrode 3, and an insulating layer 6 provided between the organic semiconductor layer 4 and the gate electrode 5.
A field-effect organic semiconductor transistor is a form of a transistor that is widely used at present, and has advantages such as high-speed switching operation, simplicity of a manufacturing method, and suitability for high integration.

図1、図2及び図3に示す電界効果型の有機半導体トランジスタは、ゲート電極5に印加される電圧によってソース電極2からドレイン電極3に流れる電流を制御する。   The field effect organic semiconductor transistor shown in FIGS. 1, 2 and 3 controls the current flowing from the source electrode 2 to the drain electrode 3 by the voltage applied to the gate electrode 5.

図1に示す有機半導体トランジスタは、基板1上にゲート電極5を備え、ゲート電極5の上に更に絶縁層6を備える。絶縁層6上には、離間して形成したソース電極2とドレイン電極3とを備える。ソース電極2及びドレイン電極3から露出する絶縁層6は、有機半導体層4で覆われる。   The organic semiconductor transistor shown in FIG. 1 includes a gate electrode 5 on a substrate 1 and further includes an insulating layer 6 on the gate electrode 5. On the insulating layer 6, a source electrode 2 and a drain electrode 3 formed separately are provided. The insulating layer 6 exposed from the source electrode 2 and the drain electrode 3 is covered with the organic semiconductor layer 4.

図2に示す有機半導体トランジスタは、絶縁層6上にソース電極2又はドレイン電極3のどちらか一方が形成され、絶縁層6上に形成されたソース電極2又はドレイン電極3及び絶縁層6を覆うように有機半導体層4が形成され、有機半導体層4を挟むようにして、形成されていないソース電極2又はドレイン電極3のいずれか一方が有機半導体層4上に形成される。   In the organic semiconductor transistor shown in FIG. 2, either the source electrode 2 or the drain electrode 3 is formed on the insulating layer 6, and covers the source electrode 2 or the drain electrode 3 and the insulating layer 6 formed on the insulating layer 6. Thus, the organic semiconductor layer 4 is formed, and either the source electrode 2 or the drain electrode 3 that is not formed is formed on the organic semiconductor layer 4 so as to sandwich the organic semiconductor layer 4.

図3に示す有機半導体トランジスタは、絶縁層6の上に有機半導体層4が形成され、有機半導体層上にソース電極2及びドレイン電極3が離間して形成される。   In the organic semiconductor transistor shown in FIG. 3, the organic semiconductor layer 4 is formed on the insulating layer 6, and the source electrode 2 and the drain electrode 3 are formed on the organic semiconductor layer so as to be separated from each other.

図4に示す静電誘導型のトランジスタ(Static Induction Transitor)は、対向して設けられたソース電極2及びドレイン電極3と、ソース電極2及びドレイン電極3の双方に接する有機半導体層4と、ソース電極2及びドレイン電極3の双方から離間したゲート電極5と、を有している。すなわち、基板1上にソース電極2と有機半導体層4及びドレイン電極3をこの順に有し、有機半導体層4内に複数のゲート電極5を有している。ゲート電極5は、紙面の手前から奥への方向に、ソース電極2及びドレイン電極3の双方と平行になるように配置され、各々のゲート電極5同士も相互に平行となるように設けられている。   An electrostatic induction transistor (Static Induction Transitor) shown in FIG. 4 includes a source electrode 2 and a drain electrode 3 which are provided to face each other, an organic semiconductor layer 4 in contact with both the source electrode 2 and the drain electrode 3, and a source And a gate electrode 5 spaced from both the electrode 2 and the drain electrode 3. That is, the source electrode 2, the organic semiconductor layer 4, and the drain electrode 3 are provided in this order on the substrate 1, and a plurality of gate electrodes 5 are provided in the organic semiconductor layer 4. The gate electrode 5 is arranged so as to be parallel to both the source electrode 2 and the drain electrode 3 in the direction from the front to the back of the page, and the gate electrodes 5 are also provided so as to be parallel to each other. Yes.

図1、図2、図3及び図4に示す有機半導体トランジスタ素子においては、ゲート電極5に印加される電圧によってソース電極2からドレイン電極3に流れる電流が制御される。   In the organic semiconductor transistor element shown in FIGS. 1, 2, 3 and 4, the current flowing from the source electrode 2 to the drain electrode 3 is controlled by the voltage applied to the gate electrode 5.

各電極に用いられる材料としては、効率よく電荷注入するための材料であり、金属、金属酸化物、導電性高分子、炭素及びグラファイト等が使用される。   The material used for each electrode is a material for injecting charges efficiently, and metals, metal oxides, conductive polymers, carbon, graphite, and the like are used.

電極に用いる金属としてはマグネシウム、アルミニウム、金、銀、銅、白金、クロム、タンタル、インジウム、パラジウム、リチウム、カルシウム及びこれらの合金が挙げられる。金属酸化物としては、酸化リチウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化スズインジウム、酸化スズ、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化インジウム亜鉛酸化スズインジウム(ITO)、酸化スズ(NESA)、酸化亜鉛、酸化インジウム亜鉛等の金属酸化膜があげられる。   Examples of the metal used for the electrode include magnesium, aluminum, gold, silver, copper, platinum, chromium, tantalum, indium, palladium, lithium, calcium, and alloys thereof. Metal oxides include lithium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, indium tin oxide, tin oxide, indium oxide, zinc oxide, indium zinc indium tin oxide (ITO), tin oxide (NESA), zinc oxide, indium zinc oxide. And the like.

電極に用いる導電性高分子としては、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリチオフェン誘導体、ポリピロール、ポリピリジン、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸の錯体等があげられる。   Examples of the conductive polymer used for the electrode include polyaniline, polythiophene, polythiophene derivatives, polypyrrole, polypyridine, and a complex of polyethylenedioxythiophene and polystyrenesulfonic acid.

なお、本実施の形態において、導電性とは、体積抵抗率で10Ωcm以下の範囲を意味する。一方、絶縁性とは、体積抵抗率で1014Ωcm以上の範囲を意味する。 In the present embodiment, conductivity means a range of 10 7 Ωcm or less in volume resistivity. On the other hand, the insulating property means a range of 10 14 Ωcm or more in volume resistivity.

また、体積抵抗率の測定は、JIS−K−6911(1995)に準じて、円形電極(三菱油化(株)製ハイレスターIPのURプローブ:円柱状電極の外径Φ16mm、リング状電極部の内径Φ30mm、外径Φ40mm)を用い、22℃/55%RH環境下、電圧100V印加し、印加後5sec後の電流値をアドバンテスト製、微小電流計R8340Aを用いることにより測定し、その電流値により、体積抵抗から、体積抵抗率を求める。   The volume resistivity is measured in accordance with JIS-K-6911 (1995) by using a circular electrode (high probe IP UR probe made by Mitsubishi Yuka Co., Ltd .: cylindrical electrode outer diameter Φ16 mm, ring electrode part) Is measured by using a microammeter R8340A manufactured by Advantest and applying a voltage of 100V under an environment of 22 ° C / 55% RH and applying a voltage of 5 sec after application. Thus, the volume resistivity is obtained from the volume resistance.

ドレイン電極3及びソース電極2に用いる材料のイオン化ポテンシャルと、有機半導体層4に用いる一般式(I)で示されるフルオレン化合物のイオン化ポテンシャルの差は、電荷注入特性の観点から、1.0eV以内であることが好ましく、特に0.5ev以内であることがさらに好ましい。
これら電極と一般式(I)で示されるフルオレン化合物のイオン化ポテンシャルの差を考慮すると、電極材料としては、Auを用いることが好ましい。
The difference between the ionization potential of the material used for the drain electrode 3 and the source electrode 2 and the ionization potential of the fluorene compound represented by the general formula (I) used for the organic semiconductor layer 4 is within 1.0 eV from the viewpoint of charge injection characteristics. It is preferable that it is within 0.5 ev.
Considering the difference in ionization potential between these electrodes and the fluorene compound represented by the general formula (I), it is preferable to use Au as the electrode material.

なお、導電性を有する基板を用いた場合、例えば、高濃度にドープされたシリコン基板は、その基板をゲート電極として兼ねることもできる。   When a conductive substrate is used, for example, a highly doped silicon substrate can also serve as the gate electrode.

電極の形成方法としては、上記原料を蒸着法やスパッタ等の方法によって薄膜を形成し、この薄膜を公知のフォトリソグラフ法やリフトオフ法によって成形する方法、アルミニウムなどを熱転写する方法、インクジット等によりレジスト層を形成し、このレジスト層をエッチングする方法がある。また導電性高分子を溶媒に溶解し、この溶液をインクジット等によりパターニングしてもよい。   As a method for forming an electrode, a thin film is formed from the above raw material by a method such as vapor deposition or sputtering, and the thin film is formed by a known photolithography method or a lift-off method. There is a method of forming a resist layer and etching the resist layer. Alternatively, the conductive polymer may be dissolved in a solvent, and this solution may be patterned by ink jet or the like.

ソース電極2及びドレイン電極3の膜厚としては、特に限定するものではないが、一般に数nm以上数百μm以下の範囲であることが好ましく、より好適には1nm以上100μm以下であり、さらに好適には10nm以上10μm以下である。   The film thicknesses of the source electrode 2 and the drain electrode 3 are not particularly limited, but are generally preferably in the range of several nm to several hundred μm, more preferably 1 nm to 100 μm, and even more preferably. Is 10 nm or more and 10 μm or less.

ソース電極2からドレイン電極3までの距離(チャンネル長)は、一般には数百nm以上数mm以下の範囲が好ましく、さらに好適には1μm以上1mm以下である。   In general, the distance (channel length) from the source electrode 2 to the drain electrode 3 is preferably in the range of several hundred nm to several mm, and more preferably 1 μm to 1 mm.

絶縁層6としては、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化タンタル、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウムストロンチウム等の無機物、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、アクリル樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリススチレン樹脂、ポリビニルアセテート樹脂、スチレンブタジエン共重合体、塩化ビニルデン−アクリロニトリル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル−無水マレイン酸共重合体、シリコン樹脂等の有機絶縁高分子等が挙げられるが、これに限定されるものではない。   As the insulating layer 6, inorganic substances such as silicon dioxide, silicon nitride, tantalum oxide, aluminum oxide, titanium oxide, tantalum oxide, tin oxide, vanadium oxide, barium strontium titanate, polycarbonate resin, polyester resin, methacrylic resin, acrylic resin, Polyvinyl chloride resin, cellulose resin, urethane resin, epoxy resin, polystyrene styrene resin, polyvinyl acetate resin, styrene butadiene copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, vinyl chloride-vinyl acetate-maleic anhydride copolymer, silicon Examples thereof include organic insulating polymers such as resins, but are not limited thereto.

無機物の絶縁層の形成方法としては、例えば、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギービーム法、イオンプレーティング法、CVD法、スパッタリング法、大気圧プラズマ法などのドライプロセス、さらには、スプレー塗布法、スピン塗布法、ブレード塗布法、浸漬塗布法、キャスト法、ロール塗布法、バー塗布法、ダイ塗布法、エアーナイフ法、インクジェット法などの塗布方法のウェットプロセスが挙げられ、使用する材料及び素子の特性に応じて選択して採用される。
有機絶縁高分子を用いた絶縁層の形成方法は、上記ウェットプロセスを用いることが好ましい。
Examples of the method for forming an inorganic insulating layer include dry processes such as vacuum deposition, molecular beam epitaxy, ion cluster beam, low energy beam, ion plating, CVD, sputtering, and atmospheric pressure plasma. Furthermore, examples include wet processes such as spray coating, spin coating, blade coating, dip coating, casting, roll coating, bar coating, die coating, air knife, and inkjet. Depending on the material used and the characteristics of the element, it can be selected and employed.
The wet process is preferably used as the method for forming the insulating layer using the organic insulating polymer.

絶縁層6の膜厚としては、特に限定するものではないが、一般に数nm以上数百μm以下の範囲であることが好ましく、より好適には、1nm以上100μm以下であり、さらに好適には10nm以上10μm以下である。   The film thickness of the insulating layer 6 is not particularly limited, but it is generally preferably in the range of several nm to several hundred μm, more preferably 1 nm to 100 μm, and even more preferably 10 nm. It is 10 μm or less.

また、絶縁層6の有機半導体層4と接する界面は、例えば、ヘキサメチルジシラザン、オクタデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリクロロシラン、オクチルトリクロロシラン等のシラン化合物で処理されてもよく、有機絶縁層の場合は、ラビング処理されていてもよい。   In addition, the interface of the insulating layer 6 in contact with the organic semiconductor layer 4 may be treated with a silane compound such as hexamethyldisilazane, octadecyltrimethoxysilane, octadecyltrichlorosilane, octyltrichlorosilane, or the like. May be rubbed.

基板1としては、リン等を高濃度にドープしたシリコン単結晶やガラス、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、アクリル樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリススチレン樹脂、ポリビニルアセテート樹脂、スチレンブタジエン共重合体、塩化ビニルデン−アクリロニトリル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル−無水マレイン酸共重合体、シリコン樹脂等のプラスチック基板等が挙げられるが、これに限定されるものではない。   As the substrate 1, silicon single crystal or glass doped with phosphorus or the like at high concentration, glass, polycarbonate resin, polyester resin, methacrylic resin, acrylic resin, polyvinyl chloride resin, cellulose resin, urethane resin, epoxy resin, police styrene resin, polyvinyl Examples include, but are not limited to, acetate resins, styrene butadiene copolymers, vinyl chloride-acrylonitrile copolymers, vinyl chloride-vinyl acetate-maleic anhydride copolymers, plastic substrates such as silicone resins, and the like. .

特に、電子ペーパー又はデジタルペーパーや携帯電子機器に用いられる電子回路に本実施形態の有機半導体トランジスタを用いる場合、基板1としては、可撓性がある基板を用いることが望ましい。特に曲げ弾性率が1000MPa以上である基板を用いることにより可撓性がある表示素子の駆動回路や電子回路が作製される。   In particular, when the organic semiconductor transistor of this embodiment is used in an electronic circuit used in electronic paper, digital paper, or a portable electronic device, it is desirable to use a flexible substrate as the substrate 1. In particular, by using a substrate having a flexural modulus of 1000 MPa or more, a flexible display element drive circuit or electronic circuit is manufactured.

有機半導体層4を形成する方法としては、スピン塗布法、キャステング法、浸漬塗布法、ダイ塗布法、ロール塗布法、バー塗布法、インクジェット法など、ウェットプロセスによる各印刷手法が用いられる。   As a method for forming the organic semiconductor layer 4, various printing methods using a wet process such as a spin coating method, a casting method, a dip coating method, a die coating method, a roll coating method, a bar coating method, and an ink jet method are used.

上述の通り、一般式(I)で示されるフルオレン化合物は、有機溶媒に対して優れた溶解性を示すため、これらを溶解した溶液を用いて有機半導体層を形成するウェットプロセスは、一般式(I)で示される化合物を含有する有機半導体の形成方法として好適である。   As described above, since the fluorene compound represented by the general formula (I) exhibits excellent solubility in an organic solvent, a wet process for forming an organic semiconductor layer using a solution in which these are dissolved is represented by the general formula ( It is suitable as a method for forming an organic semiconductor containing the compound represented by I).

塗布液の溶媒としては、例えば、水、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノールなどのアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサンノンなどのケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶媒、ヘキサン、オクタン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、工面などの炭化水素系溶媒、ジクロロメタン、クロロホルム、ジクロロエタン、テトラクロロエチレン、クロロベンゼン、o-ジクロロベンゼン、トリクロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素系溶媒、アセトニトリル、プロピオニトリル、メトキシアセトニトリル、グルタロジニトリル、ベンソニトリルなどのニトリル系溶媒、ジメチルスルフォキサイド、スルフォラン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどの非プロトン性極性溶媒などが挙げられるが、これに限定するものではない。また、これら溶媒を単独でも複数種併用してもよい。   Examples of the solvent for the coating solution include alcohols such as water, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, and butanol, ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexane non, ester solvents such as ethyl acetate and butyl acetate, Hexane, octane, toluene, xylene, ethylbenzene, hydrocarbon solvents such as engineering surfaces, halogenated hydrocarbon solvents such as dichloromethane, chloroform, dichloroethane, tetrachloroethylene, chlorobenzene, o-dichlorobenzene, trichlorobenzene, acetonitrile, propionitrile, Nitrile solvents such as methoxyacetonitrile, glutarodinitrile, benzonitrile, dimethyl sulfoxide, sulfolane, N, N-dimethylformamide, Examples include, but are not limited to, aprotic polar solvents such as N, N-dimethylacetamide and N-methyl-2-pyrrolidone. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

有機半導体層4の膜厚としては、特に限定するものではないが、一般に数nm以上数百μm以下の範囲が好ましく、より好適には1nm以上100μm以下であり、さらに好適には5nm以上10μm以下である。   The film thickness of the organic semiconductor layer 4 is not particularly limited, but is generally in the range of several nm to several hundred μm, more preferably 1 nm to 100 μm, and even more preferably 5 nm to 10 μm. It is.

また、有機半導体層4はドーピング処理されてもよい。なお、ドーパトントとしてドナー性ドーパント、アクセプター性ドーパントのいずれも使用され得る。   Further, the organic semiconductor layer 4 may be doped. In addition, both a donor-type dopant and an acceptor-type dopant can be used as the dopatont.

ドナー性ドーパントとしては、有機半導体層4の有機化合物に電子を供与する機能を有する化合物であれば好ましく用いられる。ドナー性ドーパントとしては、例えば、Li、Na、K、Rb、Cs等のアルカリ金属、Ca、Sr、Baなどのアルカリ土類金属、Y、La、Ce、Pr,Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Ybなどの希土類金属、アンモニウムイオンなどが挙げられる。   As the donor dopant, any compound having a function of donating electrons to the organic compound of the organic semiconductor layer 4 is preferably used. Examples of the donor dopant include alkali metals such as Li, Na, K, Rb, and Cs, alkaline earth metals such as Ca, Sr, and Ba, Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Examples thereof include rare earth metals such as Tb, Dy, Ho, Er, and Yb, and ammonium ions.

アクセプター性ドーパントとしては、有機半導体層4の有機化合物に電子を取り去る機能を有する化合物であれば好ましく用いられる。アクセプター性ドーパントとしては、例えば、Cl、Br、I、ICl、ICl、IBrなどのハロゲン化合物、PF、AsF、SbF、BF、BF、SOなどのルイス酸、HF、HCl、HNO、HSOなどのプロトン三、酢酸、ギ酸、アミノ酸などの有機酸、FeCl、TiCl、HfClなどの遷移金属化合物、Cl、Br、I、ClO−、スルホン酸アニオンなどの電解質アニオン、テトラシアノエチレン、7,7,8,8−テトラシアノキノジメタン、11,11,12,12−テトラシアノナフト−2,6−キノジメタン、2,5−ジフルオロ−7,7,8,8−テトラシアノキノジメタン、テトラフルオロテトラシアノキノジメタンなども有機化合物などが挙げられる。 As the acceptor dopant, any compound having a function of removing electrons from the organic compound of the organic semiconductor layer 4 is preferably used. Examples of the acceptor dopant include halogen compounds such as Cl 2 , Br 2 , I 2 , ICl, ICl 3 , and IBr, Lewis acids such as PF 5 , AsF 5 , SbF 5 , BF 3 , BF 3 , and SO 3 , Protons such as HF, HCl, HNO 3 , H 2 SO 4 , organic acids such as acetic acid, formic acid, amino acids, transition metal compounds such as FeCl 3 , TiCl 4 , HfCl 4 , Cl , Br , I , ClO 4 -, electrolyte anions such as sulfonate anion, tetracyanoethylene, 7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane, 11,11,12,12- tetracyanoquinodimethane naphthaldehyde 2,6 quinodimethane, 2,5 -Difluoro-7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane, tetrafluorotetracyanoquinodimethane, and other organic compounds Is mentioned.

さらに水分や酸素による有機半導体トランジスタの劣化を防ぐために保護層を設けてもよい。具体的な保護層の材料としては、In、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al等の金属、MgO、SiO、TiO等の金属酸化物、ポリエチレン樹脂、ポリウレア樹脂、ポリイミド樹脂等の樹脂が挙げられる、保護層の形成には、真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマ重合法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、コーティング法が適用される。 Further, a protective layer may be provided in order to prevent deterioration of the organic semiconductor transistor due to moisture or oxygen. Specific examples of the protective layer material include metals such as In, Sn, Pb, Au, Cu, Ag, and Al, metal oxides such as MgO, SiO 2 , and TiO 2 , polyethylene resins, polyurea resins, and polyimide resins. A vacuum deposition method, a sputtering method, a plasma polymerization method, a CVD (Chemical Vapor Deposition) method, and a coating method are applied to the formation of the protective layer including a resin.

本実施形態の有機半導体トランジスタは、一般式(I)で示されるフルオレン化合物を有機半導体層に用いる。この一般式(I)で示されるフルオレン化合物は、電子デバイスの作製で一般に用いられる有機溶媒に対して優れた溶解性を示す。よって、一般式(I)で示されるフルオレン化合物を有機半導体層に適用すると、ウェットプロセスによる有機半導体層の製造が実現される。これにより、スパッタリングなどの層形成方法に比べて安価な装置で有機半導体層が形成され、またデバイスの大面積化も容易となる。更に、ウェットプロセスにより形成した一般式(I)で示されるフルオレン化合物を含む有機半導体層では、ひび割れや亀裂や欠けなど成膜での故障が抑えられ、結果、面内での電気特性の欠陥やばらつきが抑えられる。   In the organic semiconductor transistor of this embodiment, a fluorene compound represented by the general formula (I) is used for the organic semiconductor layer. The fluorene compound represented by the general formula (I) exhibits excellent solubility in organic solvents that are generally used in the production of electronic devices. Therefore, when the fluorene compound represented by the general formula (I) is applied to the organic semiconductor layer, the organic semiconductor layer can be manufactured by a wet process. As a result, the organic semiconductor layer can be formed with an inexpensive apparatus as compared with a layer forming method such as sputtering, and the area of the device can be easily increased. Furthermore, in the organic semiconductor layer containing the fluorene compound represented by the general formula (I) formed by the wet process, failures in film formation such as cracks, cracks, and chips can be suppressed, resulting in in-plane electrical property defects and Variability is suppressed.

なお、本実施形態の有機半導体トランジスタを用いた電子デバイスを作製する場合には、基板上に、1個以上の本実施形態の有機半導体トランジスタを搭載した構成(半導体装置)として利用することができ、この半導体装置に、さらに他の素子や回路等を組み合わせることにより所望の電子デバイスが作製される。   When an electronic device using the organic semiconductor transistor of this embodiment is manufactured, it can be used as a configuration (semiconductor device) in which one or more organic semiconductor transistors of this embodiment are mounted on a substrate. A desired electronic device is manufactured by further combining other elements, circuits, and the like with this semiconductor device.

以下、実施例によって本発明を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention, this invention is not limited to these.

目的物の同定には、1H−NMRスペクトル(1H−NMR、溶媒:CDCl、VARIAN株式会社製、UNITY-300、300MHz)と、IRスペクトル(KBr錠剤法にてフーリェ変換赤外分光光度計(株式会社 堀場製作所、FT-730、分解能4cm−1))を用いた。 For identification of the target product, 1H-NMR spectrum (1H-NMR, solvent: CDCl 3 , manufactured by VARIAN, UNITY-300, 300 MHz) and IR spectrum (Fourier transform infrared spectrophotometer (KBr tablet method) HORIBA, Ltd., FT-730, resolution 4 cm −1 )) was used.

[合成例1]
−例示化合物24の合成−
下記スキームに従い、窒素雰囲気下において、1−ブロモ−4−n−オクチルベンゼン(25.0g)、2−チオフェンボロン酸(10.8g)、テトラヒドロフラン(100ml)の混合液に、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(2.3g)、2N炭酸ナトリウム水溶液(10ml)を加え、10時間還流した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、シリカゲルカラムクロマト(ヘキサン)で分離し、中間体1(26.2g)を得た。
[Synthesis Example 1]
-Synthesis of Exemplified Compound 24-
According to the following scheme, tetrakis (triphenylphosphine) was added to a mixture of 1-bromo-4-n-octylbenzene (25.0 g), 2-thiopheneboronic acid (10.8 g), and tetrahydrofuran (100 ml) under a nitrogen atmosphere. ) Palladium (2.3 g) and 2N aqueous sodium carbonate solution (10 ml) were added and refluxed for 10 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Subsequently, after drying with anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure, and the residue was separated by silica gel column chromatography (hexane) to obtain Intermediate 1 (26.2 g).

次に、下記スキームに従い、中間体1(26.2g)をN,N−ジメチルホルムアミド(100ml)に溶解させ、N−ブロモこはく酸イミド(17.5g)加え、18時間攪拌した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、中間体2(28.8g)を得た。   Next, according to the following scheme, intermediate 1 (26.2 g) was dissolved in N, N-dimethylformamide (100 ml), N-bromosuccinimide (17.5 g) was added, and the mixture was stirred for 18 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Subsequently, after drying with anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain Intermediate 2 (28.8 g).

次に、下記スキームに従い、中間体2(5.49g)と9,9−ジヘキシルフルオレン−2、7−ジボロン酸(3.0g)、テトラヒドロフラン(100ml)の混合液に、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(2.3g)、2N炭酸ナトリウム水溶液(5ml)を加え、8時間還流した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、シリカゲルカラムクロマト(ヘキサン)で分離し、[例示化合物24]2.5gを得た。   Next, according to the following scheme, tetrakis (triphenylphosphine) was added to a mixture of intermediate 2 (5.49 g), 9,9-dihexylfluorene-2, 7-diboronic acid (3.0 g), and tetrahydrofuran (100 ml). Palladium (2.3 g) and 2N aqueous sodium carbonate solution (5 ml) were added, and the mixture was refluxed for 8 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Next, after drying over anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure, and the residue was separated by silica gel column chromatography (hexane) to obtain 2.5 g of [Exemplary Compound 24].

得られた例示化合物24の融点は78乃至80℃であった。また、得られた[例示化合物24]の同定は、H−NMRスペクトル(1H−NMR、溶媒:CDCl、VARIAN株式会社製、UNITY−300、300MHz)と、IRスペクトル(KBr法にてフーリェ変換赤外分光光度計(株式会社 堀場製作所、FT−730、分解能4cm−1)を用いた。
なお、赤外吸収スペクトル(KBr錠剤法)は以下の通りである。
IR(cm‐1);792、863、1072、1400、1444、1469、1592、2854、2921、
また、H−NMR(CDCl)は以下の通りである。
NMR(H、CDCl):0.59−1.79(52H)、1.95−2.16(4H)、2.59−2.78(4H)、7.10−7.38(8H)、7.45−7.78(10H)
The melting point of Example Compound 24 obtained was 78 to 80 ° C. The obtained [Exemplary Compound 24] was identified by 1 H-NMR spectrum (1H-NMR, solvent: CDCl 3 , Varian Inc., UNITY-300, 300 MHz) and IR spectrum (Fourier by KBr method). A conversion infrared spectrophotometer (Horiba, Ltd., FT-730, resolution: 4 cm −1 ) was used.
The infrared absorption spectrum (KBr tablet method) is as follows.
IR (cm −1 ); 792, 863, 1072, 1400, 1444, 1469, 1592, 2854, 2921,
1 H-NMR (CDCl 3 ) is as follows.
NMR (1 H, CDCl 3) : 0.59-1.79 (52H), 1.95-2.16 (4H), 2.59-2.78 (4H), 7.10-7.38 ( 8H), 7.45-7.78 (10H)

[合成例2]
−例示化合物26の合成−
合成例1と同様に、中間体2(15.0g)を獲得し、次に、下記スキームに従い、窒素雰囲気下において、中間体2(15.0g)、2−チオフェンボロン酸(6.0g)、テトラヒドロフラン(100ml)の混合液に、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(0.9g)、2N炭酸ナトリウム水溶液(7ml)を加え、30時間還流した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、シリカゲルカラムクロマト(ヘキサン)で分離し、中間体3(7.8g)を得た。
[Synthesis Example 2]
-Synthesis of Exemplified Compound 26-
Intermediate 2 (15.0 g) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1, and then intermediate 2 (15.0 g) and 2-thiopheneboronic acid (6.0 g) under a nitrogen atmosphere according to the following scheme. Tetrakis (triphenylphosphine) palladium (0.9 g) and 2N aqueous sodium carbonate solution (7 ml) were added to a mixture of tetrahydrofuran (100 ml), and the mixture was refluxed for 30 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Subsequently, after drying with anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure, and the residue was separated by silica gel column chromatography (hexane) to obtain Intermediate 3 (7.8 g).

次に、下記スキームに従い、中間体3(7.8g)をN,N−ジメチルホルムアミド(100ml)に溶解させ、N−ブロモこはく酸イミド(4.1g)加え、18時間攪拌した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、中間体4(9.2g)を得た。   Next, according to the following scheme, intermediate 3 (7.8 g) was dissolved in N, N-dimethylformamide (100 ml), N-bromosuccinimide (4.1 g) was added, and the mixture was stirred for 18 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Subsequently, after drying with anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain Intermediate 4 (9.2 g).

次に、下記スキームに従い、中間体4(9.2g)と9,9−ジヘキシルフルオレン−2、7−ジボロン酸(4.2g)、テトラヒドロフラン 100ml)の混合液に、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(0.6g)、2N炭酸ナトリウム水溶液(7ml)を加え、20時間還流した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、シリカゲルカラムクロマト(ヘキサン)で分離し、[例示化合物26]1.5gを得た。   Next, according to the following scheme, tetrakis (triphenylphosphine) palladium was added to a mixture of intermediate 4 (9.2 g), 9,9-dihexylfluorene-2, 7-diboronic acid (4.2 g), and tetrahydrofuran 100 ml). (0.6 g) 2N aqueous sodium carbonate solution (7 ml) was added and refluxed for 20 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Next, after drying over anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure, and the residue was separated by silica gel column chromatography (hexane) to obtain 1.5 g of [Exemplary Compound 26].

得られた例示化合物26の融点は117乃至118℃であった。また、得られた[例示化合物26]の同定は、合成例1同様にH−NMRスペクトルと、赤外吸収スペクトルを用いた。
なお、赤外吸収スペクトル(KBr錠剤法)は以下の通りである。
IR(cm‐1);792、863、1072、1400、1444、1469、1592、2854、2921、
また、H−NMR(CDCl)は以下の通りである。
NMR(H、CDCl):0.59−1.45(52H)、1.89−2.08(4H)、2.56−2.78(4H)、7.10−7.38(11H)、7.45−7.78(11H)
The melting point of Example Compound 26 obtained was 117 to 118 ° C. In addition, for identification of the obtained [Exemplary Compound 26], a 1 H-NMR spectrum and an infrared absorption spectrum were used as in Synthesis Example 1.
The infrared absorption spectrum (KBr tablet method) is as follows.
IR (cm −1 ); 792, 863, 1072, 1400, 1444, 1469, 1592, 2854, 2921,
1 H-NMR (CDCl 3 ) is as follows.
NMR (1 H, CDCl 3) : 0.59-1.45 (52H), 1.89-2.08 (4H), 2.56-2.78 (4H), 7.10-7.38 ( 11H), 7.45-7.78 (11H)

[合成例3]
−例示化合物25の合成−
下記スキームに従い、窒素雰囲気下において、4−ブロモフェノール(25.0g)、炭酸カリウム(21.7g)、テトラブチルアンモニウムブロマイド(2.3g)をメチルエチルケトン(100ml)に溶解させた後、1−ブロモオクタン(30.7g)をメチルエチルケトン(15ml)に溶解させた混合溶液を滴下させる。5時間攪拌した後、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、シリカゲルカラムクロマト(ヘキサン)で分離し、中間体5(42.5g)を得た。
[Synthesis Example 3]
-Synthesis of Exemplified Compound 25-
According to the following scheme, 4-nitrophenol (25.0 g), potassium carbonate (21.7 g), and tetrabutylammonium bromide (2.3 g) were dissolved in methyl ethyl ketone (100 ml) in a nitrogen atmosphere, and then 1-bromo A mixed solution of octane (30.7 g) dissolved in methyl ethyl ketone (15 ml) is added dropwise. After stirring for 5 hours, the organic phase was thoroughly washed with pure water. Subsequently, after drying with anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure, and the residue was separated by silica gel column chromatography (hexane) to obtain Intermediate 5 (42.5 g).

次に、下記スキームに従い、窒素雰囲気下において、中間体5(15.0g)、2−チオフェンボロン酸(7.3g)、テトラヒドロフラン(100ml)の混合液に、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(1.2g)、2N炭酸ナトリウム水溶液(7ml)を加え、8時間還流した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、シリカゲルカラムクロマト(ヘキサン)で分離し、中間体6(9.1g)を得た。   Next, according to the following scheme, tetrakis (triphenylphosphine) palladium (1) was added to a mixture of intermediate 5 (15.0 g), 2-thiopheneboronic acid (7.3 g), and tetrahydrofuran (100 ml) under a nitrogen atmosphere. 0.2 g) 2N aqueous sodium carbonate solution (7 ml) was added and refluxed for 8 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Subsequently, after drying with anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure, and the residue was separated by silica gel column chromatography (hexane) to obtain Intermediate 6 (9.1 g).

次に、下記スキームに従い、中間体6(9.1g)をN,N−ジメチルホルムアミド(150ml)に溶解させ、N−ブロモこはく酸イミド(6.1g)加え、18時間攪拌した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、中間体7(8.1g)を得た。   Next, according to the following scheme, intermediate 6 (9.1 g) was dissolved in N, N-dimethylformamide (150 ml), N-bromosuccinimide (6.1 g) was added, and the mixture was stirred for 18 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Subsequently, after drying with anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain Intermediate 7 (8.1 g).

次に、下記スキームに従い、中間体7(5.7g)と9,9−ジヘキシルフルオレン−2、7−ジボロン酸(3.0g)、テトラヒドロフラン(100ml)の混合液に、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(1.2g)、2N炭酸ナトリウム水溶液(5ml)を加え、8時間還流した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、シリカゲルカラムクロマト(ヘキサン:トルエン=3:1)で分離し、イソプロピルアルコールで再結晶を行い[例示化合物25]2.7gを得た。   Next, according to the following scheme, tetrakis (triphenylphosphine) was added to a mixture of intermediate 7 (5.7 g), 9,9-dihexylfluorene-2, 7-diboronic acid (3.0 g), and tetrahydrofuran (100 ml). Palladium (1.2 g) and 2N aqueous sodium carbonate solution (5 ml) were added, and the mixture was refluxed for 8 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Next, after drying over anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure, separated by silica gel column chromatography (hexane: toluene = 3: 1), and recrystallized from isopropyl alcohol to obtain 2.7 g of [Exemplary Compound 25]. It was.

得られた例示化合物25の融点は96乃至97℃であった。また、得られた[例示化合物25]の同定は、合成例1同様にH−NMRスペクトルと、IRスペクトルを用いた。
なお、赤外吸収スペクトル(KBr錠剤法)は以下の通りである。
IR(cm‐1);798、833、1465、2850、2952
また、H−NMR(CDCl)は以下の通りである。
NMR(H、CDCl):0.59−1.55(48H)、1.62−1.78(4H)、1.91−2.08(4H)、3.85−3.98(4H)、6.79−6.92(4H)、7.14(2H)、7.26(2H)、 7.42−7.76(10H)
The obtained Exemplified Compound 25 had a melting point of 96 to 97 ° C. In addition, for identification of the obtained [Exemplary Compound 25], a 1 H-NMR spectrum and an IR spectrum were used as in Synthesis Example 1.
The infrared absorption spectrum (KBr tablet method) is as follows.
IR (cm −1 ); 798, 833, 1465, 2850, 2952
1 H-NMR (CDCl 3 ) is as follows.
NMR (1 H, CDCl 3) : 0.59-1.55 (48H), 1.62-1.78 (4H), 1.91-2.08 (4H), 3.85-3.98 ( 4H), 6.79-6.92 (4H), 7.14 (2H), 7.26 (2H), 7.42-7.76 (10H)

[合成例4]
−例示化合物27の合成−
合成例3と同様に、中間体7(10.0g)を獲得し、次に、下記スキームに従い、窒素雰囲気下において、中間体7(10.0g)、2−チオフェンボロン酸(3.8g)、テトラヒドロフラン(100ml)の混合液に、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(0.6g)、2N炭酸ナトリウム水溶液(7ml)を加え、50時間還流した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、シリカゲルカラムクロマト(トルエン)で分離し、中間体8(7.9g)を得た。
[Synthesis Example 4]
-Synthesis of Exemplified Compound 27-
In the same manner as in Synthesis Example 3, Intermediate 7 (10.0 g) was obtained, and then, according to the following scheme, Intermediate 7 (10.0 g), 2-thiopheneboronic acid (3.8 g) was added under a nitrogen atmosphere. Tetrakis (triphenylphosphine) palladium (0.6 g) and 2N aqueous sodium carbonate solution (7 ml) were added to a mixture of tetrahydrofuran (100 ml), and the mixture was refluxed for 50 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Subsequently, after drying with anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure, and the residue was separated by silica gel column chromatography (toluene) to obtain Intermediate 8 (7.9 g).

次に、下記スキームに従い、中間体8(7.9g)をN,N−ジメチルホルムアミド(300ml)に溶解させ、N−ブロモこはく酸イミド(3.4g)加え、18時間攪拌した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、中間体9(5.6g)を得た。   Next, according to the following scheme, intermediate 8 (7.9 g) was dissolved in N, N-dimethylformamide (300 ml), N-bromosuccinimide (3.4 g) was added, and the mixture was stirred for 18 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Subsequently, after drying with anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain Intermediate 9 (5.6 g).

次に、下記スキームに従い、中間体9(5.6g)と9,9−ジヘキシルフルオレン−2、7−ジボロン酸(3.0g)、テトラヒドロフラン(100ml)の混合液に、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(1.2g)、2N炭酸ナトリウム水溶液(5ml)を加え、12時間還流した。反応後、トルエンで抽出し、有機相を純水で十分に洗浄した。次いで、無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶剤を減圧下留去し、シリカゲルカラムクロマト(トルエン)で分離し、イソプロピルアルコールとトルエンの混合溶媒で再結晶を行い[例示化合物27]3.4gを得た。   Next, according to the following scheme, tetrakis (triphenylphosphine) was added to a mixture of intermediate 9 (5.6 g), 9,9-dihexylfluorene-2, 7-diboronic acid (3.0 g), and tetrahydrofuran (100 ml). Palladium (1.2 g) and 2N aqueous sodium carbonate solution (5 ml) were added and refluxed for 12 hours. After the reaction, extraction with toluene was performed, and the organic phase was washed thoroughly with pure water. Next, after drying over anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure, separated by silica gel column chromatography (toluene), and recrystallized with a mixed solvent of isopropyl alcohol and toluene to obtain 3.4 g of [Exemplary Compound 27]. .

得られた例示化合物27の融点は140乃至141℃であった。また、得られた[表示化合物27]の同定は、合成例1同様にH−NMRスペクトルと、IRスペクトルを用いた。
なお、赤外吸収スペクトル(KBr錠剤法)は以下の通りである。
IR(cm‐1);609、809、1334、1421、2850、2954
また、H−NMR(CDCl)は以下の通りである。
NMR(H、CDCl):0.59−1.58(48H)、1.72−1.85(4H)、1.91−2.10(4H)、3.85−4.01(4H)、6.81−6.98(4H)、7.14−7.20(6H)、7.21−7.38(2H)、 7.42−7.76(10H)
The melting point of Example Compound 27 obtained was 140 to 141 ° C. The obtained [Display compound 27] was identified using 1 H-NMR spectrum and IR spectrum as in Synthesis Example 1.
The infrared absorption spectrum (KBr tablet method) is as follows.
IR (cm −1 ); 609, 809, 1334, 1421, 2850, 2954
1 H-NMR (CDCl 3 ) is as follows.
NMR (1 H, CDCl 3) : 0.59-1.58 (48H), 1.72-1.85 (4H), 1.91-2.10 (4H), 3.85-4.01 ( 4H), 6.81-6.98 (4H), 7.14-7.20 (6H), 7.21-7.38 (2H), 7.42-7.76 (10H)

[実施例1]
電気抵抗率7×10−3Ω・cmのシリコン基板をゲート電極として兼ね、その上に、厚さ200nmの熱SiO膜を形成し絶縁膜とした。次に、絶縁膜を形成したシリコン基板に対して、電子工業用アセトン中で5分間超音波洗浄、電子工業用2−プロパノール中で5分間超音波洗浄し、乾燥窒素で乾燥させた後、UV−オゾン照射を15分間行い、絶縁膜の表面を洗浄した。その後、絶縁膜を形成したシリコン基板を、1,1,1,3,3,3−ヘキサメチルシジラザン(Aldrich社製)の蒸気にさらした後、乾燥窒素で乾燥させた。
次に、電子工業用トルエンに、例示化合物24を0.4質量%で溶解させ、この溶液を上記洗浄したシリコン基板(絶縁膜)上にスピンコート法(2000rpmで20秒)で塗布し、自然乾燥した後、窒素雰囲気下、100℃で1分間加熱し有機半導体層を形成した。得られた有機半導体層の厚さは、85nmであった。
次に、有機半導体層上に、メタルマスクを用い、真空蒸着(真空度2×10−4Pa)にて、金(Au)を60nmの厚さで蒸着して、ソース電極及びドレイン電極を形成し、有機半導体トランジスタを作製した。なお、ソース電極からドレイン電極までのチャンネル長は1.5mm、チャンネル幅は50μmとした。
以上のように作製した有機半導体トランジスタは、p型トランジスタとして特性を示した。
[Example 1]
A silicon substrate having an electrical resistivity of 7 × 10 −3 Ω · cm also served as a gate electrode, and a thermal SiO 2 film having a thickness of 200 nm was formed thereon to form an insulating film. Next, the silicon substrate on which the insulating film was formed was subjected to ultrasonic cleaning for 5 minutes in acetone for electronic industry, ultrasonic cleaning for 5 minutes in 2-propanol for electronic industry, and dried with dry nitrogen, and then UV. -Ozone irradiation was performed for 15 minutes to clean the surface of the insulating film. Thereafter, the silicon substrate on which the insulating film was formed was exposed to the vapor of 1,1,1,3,3,3-hexamethylsidirazan (manufactured by Aldrich) and then dried with dry nitrogen.
Next, exemplary compound 24 was dissolved in 0.4% by mass in toluene for electronic industry, and this solution was applied on the cleaned silicon substrate (insulating film) by spin coating (20 seconds at 2000 rpm). After drying, the organic semiconductor layer was formed by heating at 100 ° C. for 1 minute in a nitrogen atmosphere. The thickness of the obtained organic semiconductor layer was 85 nm.
Next, on the organic semiconductor layer, gold (Au) is deposited in a thickness of 60 nm by vacuum deposition (vacuum degree 2 × 10 −4 Pa) using a metal mask to form a source electrode and a drain electrode. Thus, an organic semiconductor transistor was produced. The channel length from the source electrode to the drain electrode was 1.5 mm and the channel width was 50 μm.
The organic semiconductor transistor fabricated as described above exhibited characteristics as a p-type transistor.

<電荷移動度の測定>
作製直後のトランジスタにつき、電流−電圧特性の飽和領域から電荷移動度を求めた。更に、トランジスタを25℃で保存し、1ヶ月経過後に再度、トランジスタ特性を評価し電荷移動度を測定した。結果を表1に示す。
<Measurement of charge mobility>
For the transistor immediately after fabrication, the charge mobility was determined from the saturation region of the current-voltage characteristics. Further, the transistor was stored at 25 ° C., and after one month, the transistor characteristics were evaluated again and the charge mobility was measured. The results are shown in Table 1.

<成膜性>
上記形成した有機半導体層の表面について、ひび割れや亀裂や欠けなどの欠陥の発生を1mm×1mmの範囲で光学顕微鏡によって観察した。結果を表1に示す。評価基準は以下の通りである。また、溶媒をトルエンからテトラヒドロフランに代えたときの成膜性についても評価した。
−塗膜性の評価基準−
拡大鏡を用いて判断し、以下の評価基準に基づいて評価した。
○:全面的に膜で覆われており、良好
△:部分的に膜で覆われていない部分あり
×:膜で覆われていない部分が多数有り
<Film forming properties>
Generation of defects such as cracks, cracks and chips on the surface of the formed organic semiconductor layer was observed with an optical microscope in a range of 1 mm × 1 mm. The results are shown in Table 1. The evaluation criteria are as follows. In addition, the film formability when the solvent was changed from toluene to tetrahydrofuran was also evaluated.
-Evaluation criteria for coating properties-
Judgment was made using a magnifying glass, and evaluation was performed based on the following evaluation criteria.
○: Covered entirely with film, good △: Partially not covered with film ×: Many parts not covered with film

[実施例2、3]
実施例1における有機半導体層の形成に用いた例示化合物24の代わりに、例示化合物26、例示化合物25、例示化合物27を使用した以外は実施例1と同様にして有機半導体トランジスタを作製した。得られた有機半導体トランジスタを、実施例1と同様の方法で評価した。
[Examples 2 and 3]
An organic semiconductor transistor was produced in the same manner as in Example 1 except that the exemplified compound 26, the exemplified compound 25, and the exemplified compound 27 were used instead of the exemplified compound 24 used for forming the organic semiconductor layer in the example 1. The obtained organic semiconductor transistor was evaluated in the same manner as in Example 1.

[比較例1、2]
実施例1において、例示化合物16の代わりに、13,6−N−サルフィニルアセトアミドペンタセン(Aldrich社製)を用い、加熱温度を160℃とした以外は実施例1と同様に操作して有機半導体トランジスタを作製し、比較例1とした。
[Comparative Examples 1 and 2]
In Example 1, instead of Exemplified Compound 16, 13,6-N-sulfinylacetamidopentacene (manufactured by Aldrich) was used, and the operation was performed in the same manner as in Example 1 except that the heating temperature was 160 ° C. A semiconductor transistor was fabricated and used as Comparative Example 1.

また、比較例1において用いた13,6−N−サルフィニルアセトアミドペンタセンの代わりにポリ(3−ヘキシルチオフェン)(Aldrich社製)を用い、溶媒をクロロホルムに代えた以外は、比較例1と同様に操作して有機半導体トランジスタを作製し、比較例2とした。   Further, Comparative Example 1 except that poly (3-hexylthiophene) (manufactured by Aldrich) was used in place of 13,6-N-sulfinylacetamidopentacene used in Comparative Example 1 and the solvent was changed to chloroform. An organic semiconductor transistor was produced in the same manner as Comparative Example 2.

比較例1及び2の有機半導体トランジスタは、実施例1と同様の方法で評価を行なった。結果を表1に示す。   The organic semiconductor transistors of Comparative Examples 1 and 2 were evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

上記表1から、実施例の有機半導体トランジスタは、比較例の有機半導体トランジスタに比べて、作製直後における電荷移動度が大きく、また作製1ヵ月後においても電荷移動度の低下が抑制されることがわかる。
また、実施例の有機半導体層は、比較例の有機半導体層に比べて、成膜性に優れ、亀裂などの欠陥の発生が抑えられていることがわかる。
From Table 1 above, the organic semiconductor transistor of the example has a higher charge mobility immediately after production than the organic semiconductor transistor of the comparative example, and the decrease in charge mobility is suppressed even after one month of production. Recognize.
Moreover, it turns out that the organic-semiconductor layer of an Example is excellent in film forming property compared with the organic-semiconductor layer of a comparative example, and generation | occurrence | production of defects, such as a crack, is suppressed.

1 基板
2 ソース電極
3 ドレイン電極
4 有機半導体層
5 ゲート電極
6 絶縁層
1 substrate 2 source electrode 3 drain electrode 4 organic semiconductor layer 5 gate electrode 6 insulating layer

Claims (3)

複数の電極と、
下記一般式(I)で示されるフルオレン化合物を少なくとも1種含有する有機半導体層と、
を備える有機半導体トランジスタ。
〔一般式(I)中、Rは、炭素数1から6までのアルキル基を表す。Rは、炭素数1から8までのアルキル基、又は炭素数1から8までのアルコキシ基を表す。nは1から2までの整数を表す。〕
A plurality of electrodes;
An organic semiconductor layer containing at least one fluorene compound represented by the following general formula (I);
An organic semiconductor transistor comprising:
[In General Formula (I), R 1 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. R 2 represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms. n represents an integer of 1 to 2. ]
前記複数の電極が、ソース電極、ドレイン電極及びゲート電極であり、
更に絶縁層を備え、
前記ゲート電極は、前記ソース電極及びドレイン電極の双方から離間して設けられ、
前記有機半導体層は、前記ソース電極及びドレイン電極の双方に接して設けられ、
前記絶縁層は、前記有機半導体層と前記ゲート電極とに挟まれて設けられ、
かつ電界効果型である、請求項1に記載の有機半導体トランジスタ。
The plurality of electrodes are a source electrode, a drain electrode and a gate electrode;
Furthermore, an insulating layer is provided,
The gate electrode is provided apart from both the source electrode and the drain electrode;
The organic semiconductor layer is provided in contact with both the source electrode and the drain electrode,
The insulating layer is provided between the organic semiconductor layer and the gate electrode,
2. The organic semiconductor transistor according to claim 1, which is a field effect type.
前記複数の電極が、ソース電極、ドレイン電極及びゲート電極であり、
前記ソース電極及びドレイン電極は、対向して設けられ、
前記ゲート電極は、前記ソース電極及びドレイン電極の双方から離間して設けられ、
前記有機半導体層は、前記ソース電極及びドレイン電極の双方に接して設けられ、
かつ静電誘導型である、請求項1に記載の有機半導体トランジスタ。
The plurality of electrodes are a source electrode, a drain electrode and a gate electrode;
The source electrode and the drain electrode are provided to face each other,
The gate electrode is provided apart from both the source electrode and the drain electrode;
The organic semiconductor layer is provided in contact with both the source electrode and the drain electrode,
And the organic-semiconductor transistor of Claim 1 which is an electrostatic induction type.
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