JP2011038732A - Duct storage box - Google Patents

Duct storage box Download PDF

Info

Publication number
JP2011038732A
JP2011038732A JP2009187910A JP2009187910A JP2011038732A JP 2011038732 A JP2011038732 A JP 2011038732A JP 2009187910 A JP2009187910 A JP 2009187910A JP 2009187910 A JP2009187910 A JP 2009187910A JP 2011038732 A JP2011038732 A JP 2011038732A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
duct
chamber
pressure
air supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009187910A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5541889B2 (en
Inventor
Yuichi Miura
裕一 三浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Dan Co Ltd
Original Assignee
Dai Dan Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Dan Co Ltd filed Critical Dai Dan Co Ltd
Priority to JP2009187910A priority Critical patent/JP5541889B2/en
Publication of JP2011038732A publication Critical patent/JP2011038732A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5541889B2 publication Critical patent/JP5541889B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a duct storage box capable of preventing inflow of extra air to air supply ducts. <P>SOLUTION: The duct storage box 10A includes: a louver 12 mounted to an opening 16 of a wall 15 partitioning inside and outside of a plant; and a chamber 13 which is continued to the louver 12 and installed on the inner side of the wall 15 and to which extension ends 22 of the air supply ducts 11 of an air supply device for sending air to a clean room are connected. The chamber 13 is formed by top and bottom walls 17, 18, both sidewalls 19, 20 and a rear wall 21 opposing to the louver 12. A first air exhaust unit 29 including a check valve damper 28A for discharging air within the chamber 13 to outside of the chamber 13 in accordance with pressure of air entered from the louver 12 to the chamber 13 is installed on the rear wall 21. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、所定の室に空気を送り込む給気装置の給気ダクトの延出端部がつながるダクト収容ボックスに関する。   The present invention relates to a duct housing box to which an extended end portion of an air supply duct of an air supply device that sends air into a predetermined chamber is connected.

既設建物の内外を隔てる壁の開口につながる給気ダクトと、壁の開口に取り付けられたガラリと、ガラリを覆うように壁の外側に取り付けられたパイプフードとを有し、ガラリが、建物の屋内に向かって下方へ傾斜するとともに、縦方向へ沿って平行かつ所定間隔で並ぶ複数の横長板状部材を有する給気ダクトの開口部構造がある(特許文献1参照)。この開口部構造は、パイプフードの内側に進入する雨水や気流の通過方向を各横長板状部材によって遮ることができ、雨水の進入を開口部近傍で止めることができる。   It has an air supply duct connected to the opening of the wall separating the inside and outside of the existing building, a louver attached to the opening of the wall, and a pipe hood attached to the outside of the wall so as to cover the louver. There is an air supply duct opening structure that has a plurality of horizontally long plate-like members that are inclined downwardly indoors and are arranged in parallel and at predetermined intervals along the vertical direction (see Patent Document 1). This opening structure can block the passage direction of rainwater and airflow entering the inside of the pipe hood by each horizontally long plate-like member, and can prevent rainwater from entering in the vicinity of the opening.

また、クリーンルームにつながる給気ダクトに設置されたケーシングと、ケーシングの内部に直列に配置されて空気の圧力を変更可能な複数の送風機と、ケーシングの内部に並列に配置されて空気の風量を変更可能な複数の送風機と、それら送風機の出力を変更してクリーンルームに供給する空気の圧力や風量を調節するコントローラと、コントローラに接続されてクリーンルーム内の圧力を測定する圧力センサとを有する圧力制御ユニットがある(特許文献2参照)。この圧力制御ユニットでは、屋外に位置する空気取込口から給気ダクトに空気(外気)を取り入れ、それら送風機によって給気ダクトを通る空気をクリーンルームに送り込む。コントローラには、クリーンルーム内を陽圧に保持するためのクリーンルームの設定圧力が格納されている。圧力センサは、測定したクリーンルーム内の測定圧力をコントローラに出力する。コントローラは、設定圧力と圧力センサから出力された測定圧力とを比較し、測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、それら送風機の出力を変更して空気の圧力や風量を調節し、測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す。   In addition, the casing installed in the air supply duct leading to the clean room, a plurality of fans arranged in series inside the casing and capable of changing the air pressure, and the air flow rate arranged in parallel inside the casing are changed. A pressure control unit having a plurality of possible blowers, a controller that adjusts the pressure and air volume of air supplied to the clean room by changing the outputs of the blowers, and a pressure sensor that is connected to the controller and measures the pressure in the clean room (See Patent Document 2). In this pressure control unit, air (outside air) is taken into an air supply duct from an air intake port located outdoors, and air passing through the air supply duct is sent to the clean room by these blowers. The controller stores a set pressure of the clean room for keeping the clean room at a positive pressure. The pressure sensor outputs the measured pressure in the clean room to the controller. The controller compares the set pressure with the measured pressure output from the pressure sensor.If the measured pressure is out of the set pressure range, the controller changes the output of the blower to adjust the air pressure or air volume, and adjust the measured pressure. Return to the set pressure range.

特開平9−33084号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-33084 特開2006−329440号公報JP 2006-329440 A

前記特許文献1に開示の開口部構造では、パイプフードの近傍で強い風が吹くと、その風の影響で余分な空気がガラリを通り、給気ダクトに流入する場合がある。給気ダクトに空気が流入すると、給気ダクトから必要以上の空気が室に給気され、室の室内気圧が急激に変動する場合がある。   In the opening structure disclosed in Patent Document 1, when strong wind blows in the vicinity of the pipe hood, excess air may flow into the air supply duct due to the influence of the wind. When air flows into the air supply duct, more air than necessary is supplied from the air supply duct to the chamber, and the indoor air pressure of the chamber may change rapidly.

前記特許文献2に開示の圧力制御ユニットでは、屋外に位置する空気取入口の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気取入口から給気ダクト内へ余分な空気が一気に流入する場合がある。空気取入口から給気ダクトへ流入した空気は給気ファンへ流入し、その圧力(流入量)にもよるが、給気ファンから供給される空気の圧力を押し上げ、設定圧力を大幅に上回る圧力で多量の空気が給気ファンからクリーンルーム内に供給される場合がある。   In the pressure control unit disclosed in Patent Document 2, when strong wind blows near the outside of the air intake port located outside, excess air flows into the air supply duct from the air intake port due to the influence of the wind. There is a case. The air that flows into the air supply duct from the air intake port flows into the air supply fan, and depending on the pressure (flow rate), the pressure of the air supplied from the air supply fan is boosted to a pressure that greatly exceeds the set pressure. In some cases, a large amount of air is supplied from the supply fan into the clean room.

前記特許文献2に開示の圧力制御ユニットでは、給気ダクトを通る空気を一定に保持する手段がないから、空気取入口の外側に吹く風の影響で余分な空気が一気に給気ダクトに流入すると、給気ファンから送り出す空気を一定に保持することができず、給気ファンからクリーンルームに供給する空気の供給過多が生じ、クリーンルーム内の室内気圧を設定圧力に保持することができない。   In the pressure control unit disclosed in Patent Document 2, since there is no means for keeping the air passing through the air supply duct constant, excess air flows into the air supply duct at once due to the effect of the wind blowing outside the air intake port. The air sent out from the air supply fan cannot be kept constant, the air supplied from the air supply fan to the clean room is excessively supplied, and the room pressure in the clean room cannot be kept at the set pressure.

本発明の目的は、給気ダクトへの余分な空気の流入を防ぐことができるダクト収容ボックスを提供することにある。本発明の他の目的は、給気装置を介して一定圧かつ一定量の空気を給気することで、室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができるダクト収容ボックスを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a duct housing box that can prevent an excess air from flowing into an air supply duct. Another object of the present invention is to supply a constant pressure and a constant amount of air via an air supply device, so that the air supplied to the chamber can be kept constant, and the indoor pressure of the chamber is set to a set pressure. An object of the present invention is to provide a duct storage box that can be held in a box.

前記課題を解決するための本発明の前提は、既設建物の内外を隔てる壁の開口に取り付けられたガラリと、ガラリに連接されて壁の内側に施設され、所定の室に空気を送り込む給気装置の給気ダクトの延出端部がつながるチャンバーとを備えたダクト収容ボックスである。   The premise of the present invention for solving the above-mentioned problems is that the gallery is attached to the opening of the wall separating the inside and outside of the existing building, and the air supply that is connected to the gallery and is installed inside the wall and feeds air into a predetermined room It is a duct accommodation box provided with the chamber which the extension end part of the air supply duct of an apparatus connects.

前記前提における本発明の特徴としては、チャンバーが、上下方向へ対向する頂壁および底壁と、横方向へ対向する両側壁と、ガラリに対向してそれら両側壁の間に位置する後側壁とから形成され、後側壁には、ガラリからチャンバーに進入した空気の圧力に応じてチャンバー内の空気をチャンバー外に排出する逆止弁ダンパを備えた第1排気ユニットが設置されていることにある。   As a feature of the present invention based on the above premise, the chamber includes a top wall and a bottom wall facing in the vertical direction, both side walls facing in the lateral direction, and a rear side wall positioned between the both side walls facing the gallery. The first exhaust unit having a check valve damper for discharging the air in the chamber to the outside of the chamber according to the pressure of the air that has entered the chamber from the gallery is provided on the rear side wall. .

本発明の一例として、両側壁の少なくとも一方には、ガラリからチャンバーに進入した空気の圧力に応じてチャンバー内の空気をチャンバー外に排出する逆止弁ダンパを備えた第2排気ユニットが設置されている。   As an example of the present invention, a second exhaust unit including a check valve damper that discharges air in the chamber to the outside of the chamber according to the pressure of the air that has entered the chamber from the gallery is installed on at least one of the side walls. ing.

本発明の他の一例としては、逆止弁ダンパが、排気ユニットに取り付けられた軸と、軸に取り付けられて排気ユニットの空気流路を開閉する旋回羽根と、軸に取り付けられて排気ユニットを閉鎖する方向へ旋回羽根を旋回させる錘とから形成され、逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定されたチャンバー内の第1設定圧力と錘とが釣り合うように錘の重量が調節され、チャンバー内の圧力が第1設定圧力を超えると、錘の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットを開放する方向へ旋回し、排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される。   As another example of the present invention, a check valve damper includes a shaft attached to the exhaust unit, a swirl vane attached to the shaft to open and close an air flow path of the exhaust unit, and an exhaust unit attached to the shaft. The weight of the check valve damper adjusts the weight of the weight so that the first set pressure in the chamber and the weight are set in advance, and the pressure in the chamber is adjusted. When the pressure exceeds the first set pressure, the swirl vane turns against the weight of the weight in a direction to open the exhaust unit, and an air discharge port having a predetermined area is formed in the air flow path of the exhaust unit.

本発明の他の一例としては、逆止弁ダンパが、排気ユニットに取り付けられた軸と、軸に取り付けられて自重によって排気ユニットの空気流路を閉鎖する旋回羽根とから形成され、逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定されたチャンバー内の第1設定圧力と旋回羽根の重量とが釣り合うように旋回羽根の重量が調節され、チャンバー内の圧力が第1設定圧力を超えると、旋回羽根の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットを開放する方向へ旋回し、排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される。   As another example of the present invention, the check valve damper is formed of a shaft attached to the exhaust unit and a swirl blade attached to the shaft and closing the air flow path of the exhaust unit by its own weight. In the damper, the weight of the swirling blade is adjusted so that the first preset pressure in the chamber and the weight of the swirling blade are balanced, and when the pressure in the chamber exceeds the first set pressure, the weight of the swirling blade is increased. The swirl vane turns against the direction of opening the exhaust unit, and an air discharge port having a predetermined area is formed in the air flow path of the exhaust unit.

本発明の他の一例としては、第1設定圧力が5Pa〜40Paの範囲にある。   As another example of the present invention, the first set pressure is in the range of 5 Pa to 40 Pa.

本発明の他の一例としては、給気ダクトの延出端部がチャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通されてガラリに向かって直状に延び、チャンバー内に位置する延出端部の開口端とガラリとの間には、ガラリから進入した空気の開口端への直接の流入を遮る遮蔽板が設置されている。   As another example of the present invention, the extended end portion of the air supply duct is inserted into the chamber through an insertion hole formed in the rear side wall of the chamber, extends straight toward the gallery, and extends in the chamber. Between the opening end of the output end portion and the louver, a shielding plate that blocks direct inflow of air that has entered from the louver to the opening end is installed.

本発明の他の一例としては、遮蔽板の面積が延出端部の開口端の開口面積以上であり、開口端の全域が遮蔽板によってガラリに対して遮蔽される。   As another example of the present invention, the area of the shielding plate is equal to or larger than the opening area of the opening end of the extended end portion, and the entire area of the opening end is shielded from the louver by the shielding plate.

本発明の他の一例としては、給気ダクトの延出端部がチャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通されてガラリに向かって直状に延び、チャンバー内に位置する延出端部には、ガラリに対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクトが取り付けられ、屈曲ダクトが、延出端部の開口端に接続された第1開口端と、第1開口端の反対側に位置して空気が流入する第2開口端とを有する。   As another example of the present invention, the extended end portion of the air supply duct is inserted into the chamber through an insertion hole formed in the rear side wall of the chamber, extends straight toward the gallery, and extends in the chamber. A bent duct that bends in a direction that does not face the louver is attached to the extended end, and the bent duct is positioned on the opposite side of the first open end from the first open end connected to the open end of the extended end. And a second opening end through which air flows.

本発明の他の一例としては、屈曲ダクトが延出端部の軸線に対して90〜180度の範囲で屈曲している。   As another example of the present invention, the bent duct is bent in the range of 90 to 180 degrees with respect to the axis of the extended end.

本発明の他の一例としては、給気ダクトの延出端部がチャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通されてガラリに向かって直状に延び、チャンバー内に位置する延出端部には、ガラリに対向しない方向へ直状に延びる接続ダクトが取り付けられ、接続ダクトが、延出端部の開口端に接続された中央開口端と、中央開口端の両側に位置して空気が流入する両側開口端とを有する。   As another example of the present invention, the extended end portion of the air supply duct is inserted into the chamber through an insertion hole formed in the rear side wall of the chamber, extends straight toward the gallery, and extends in the chamber. A connecting duct that extends straight in a direction that does not face the louver is attached to the extended end, and the connecting duct is located at the central open end connected to the open end of the extended end, and on both sides of the central open end. And open ends on both sides through which air flows.

本発明の他の一例としては、接続ダクトの軸線が延出端部の軸線に対して直交している。   As another example of the present invention, the axis of the connecting duct is orthogonal to the axis of the extending end.

本発明の他の一例としては、給気ダクトの延出端部がチャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通されてガラリに向かって直状に延び、チャンバー内に位置する延出端部には、ガラリに対向しない方向へ直状に延びる1本の第1接続ダクトが取り付けられ、第1接続ダクトには、ガラリに対向しない方向へ直状に延びる2本の第2接続ダクトが取り付けられ、第1接続ダクトが、延出端部の開口端に接続された第1中央開口端と、第1中央開口端の両側に位置する第1両側開口端とを有し、それら第2接続ダクトが、第1接続ダクトの第1両側開口端に接続された第2中央開口端と、第2中央開口端の両側に位置して空気が流入する第2両側開口端とを有する。   As another example of the present invention, the extended end portion of the air supply duct is inserted into the chamber through an insertion hole formed in the rear side wall of the chamber, extends straight toward the gallery, and extends in the chamber. One first connection duct that extends straight in a direction that does not face the louver is attached to the leading end, and two second connections that extend straight in a direction that does not face the louver are attached to the first connection duct. A duct is attached, and the first connecting duct has a first central open end connected to the open end of the extended end, and first open ends on both sides of the first central open end, The second connection duct has a second center opening end connected to the first both side opening ends of the first connection duct, and a second both side opening ends that are located on both sides of the second center opening end and into which air flows. .

本発明の他の一例としては、第1接続ダクトの軸線が延出端部の軸線に対して直交し、第2接続ダクトの軸線が第1接続ダクトの軸線に対して直交している。   As another example of the present invention, the axis of the first connection duct is orthogonal to the axis of the extending end, and the axis of the second connection duct is orthogonal to the axis of the first connection duct.

本発明の他の一例としては、給気装置が、給気ダクトを通る空気を室に給気する給気ファンと、ダクト収容ボックスと給気ファンとの間に延びる給気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって給気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、給気ファンとモータダンパとの間に延びる給気ダクトに設置されて給気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを含み、コントローラが、圧力センサから出力された給気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された第2設定圧力とを比較する圧力比較手段と、ガラリの外側に吹く風の影響で所定量の空気が給気ダクトに流入しまたは給気ダクトから流出しようとし、それによって測定圧力が第2設定圧力の範囲から外れると、モータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を第2設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有する。   As another example of the present invention, the air supply device is installed in an air supply fan that supplies air passing through the air supply duct to the chamber, and an air supply duct that extends between the duct housing box and the air supply fan. A motor damper that adjusts the amount of air passing through the air supply duct by swirling of the swirl vane, and a pressure sensor that is installed in the air supply duct extending between the air supply fan and the motor damper and measures the pressure of the air passing through the air supply duct; And a controller for adjusting the opening degree of the swirl vane of the motor damper, the controller comparing the measured pressure in the air supply duct output from the pressure sensor with a preset second set pressure, When a predetermined amount of air tries to flow into or out of the air supply duct due to the effect of the wind blowing outside the louver, and thus the measured pressure falls outside the range of the second set pressure And a pressure control means for adjusting the opening degree of the swirl vanes of the motor-damping returning the measured pressure within the second set pressure.

本発明の他の一例として、圧力制御手段では、風の影響で所定量の空気が給気ダクトに流入し、それによって測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ旋回羽根の開度を小さくし、風の影響で所定量の空気が給気ダクトから流出しようとし、それによって測定圧力が第2設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ旋回羽根の開度を大きくし、モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって測定圧力が第2設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する。   As another example of the present invention, in the pressure control means, when a predetermined amount of air flows into the air supply duct due to the influence of the wind, and the measured pressure exceeds the range of the second set pressure, the opening of the swirl vanes of the motor damper is thereby performed. If the degree is not the minimum opening, the opening of the swirl vane is reduced, and when a predetermined amount of air tries to flow out of the supply duct due to the wind, and the measured pressure falls below the second set pressure range, the motor damper If the opening of the swirl vane is not fully open, the swirl vane opening is increased and the measured pressure returns to the second set pressure range by adjusting the opening of the swirl vane of the motor damper. Holds the blade opening.

本発明の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの旋回羽根の最小開度が3〜25%の範囲にあり、圧力制御手段では、測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過したときに、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度であれば、その開度を保持する。   As another example of the present invention, the minimum opening degree of the swirl vane when the opening degree of the swirl vane of the motor damper is reduced is in the range of 3 to 25%. In the pressure control means, the measured pressure is the second set pressure. If the opening of the swirl vane of the motor damper is the minimum opening when the range is exceeded, the opening is maintained.

本発明の他の一例としては、第2設定圧力が−1000Pa〜1000Paの範囲にある。   As another example of the present invention, the second set pressure is in the range of −1000 Pa to 1000 Pa.

本発明の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の旋回速度が1〜30s/Full Scaleの範囲にある。   As another example of the present invention, the turning speed of the turning blade of the motor damper is in the range of 1 to 30 s / Full Scale.

本発明に係るダクト収容ボックスによれば、チャンバーの後側壁に逆止弁ダンパを有する第1排気ユニットが設置されているから、ガラリの外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー内に進入したときに、第1排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、第1排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してガラリから直接給気ダクトの延出端部に向かう空気の動圧を除圧することができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。このダクト収容ボックスは、給気装置から室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができる。   According to the duct storage box of the present invention, since the first exhaust unit having the check valve damper is installed on the rear side wall of the chamber, the excess air is instantaneously generated due to the wind blowing outside the gallery. When entering the interior, the check valve damper of the first exhaust unit can be used to allow the air that has entered the chamber to escape from the interior of the chamber to the outside of the chamber, preventing excessive air from entering the air supply duct. be able to. The duct storage box can use the check valve damper of the first exhaust unit to release the dynamic pressure of the air directly from the louver toward the extended end of the air supply duct. The air does not flow irregularly into the air supply duct, and a constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct. This duct storage box can keep the air supplied from the air supply device to the chamber constant, and can maintain the indoor pressure of the chamber at the set pressure.

両側壁の少なくとも一方に逆止弁ダンパを有する第2排気ユニットが設置されたダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー内に進入したときに、第1排気ユニットを利用して空気の動圧を除圧することができることに加え、第2排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してチャンバーの側壁に向かう空気の静圧を除圧することができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに確実に流入させることができる。このダクト収容ボックスは、給気装置から室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができる。   The duct housing box in which the second exhaust unit having the check valve damper is installed on at least one of the both side walls has a first effect when excess air instantaneously enters the chamber due to the wind blowing outside the gallery. In addition to being able to depress the dynamic pressure of air using one exhaust unit, it is possible to depress the static pressure of air toward the side wall of the chamber using the check valve damper of the second exhaust unit. Excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and a constant pressure and a constant amount of air can surely flow into the air supply duct. This duct storage box can keep the air supplied from the air supply device to the chamber constant, and can maintain the indoor pressure of the chamber at the set pressure.

逆止弁ダンパが排気ユニットに取り付けられた軸とユニットの空気流路を開閉する旋回羽根とユニットを閉鎖する方向へ旋回羽根を旋回させる錘とから形成され、チャンバー内の第1設定圧力と錘とが釣り合うように錘の重量が調節されたダクト収容ボックスは、チャンバー内の圧力が第1設定圧力を超えると、錘の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットの空気流路を開放するから、ガラリの外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー内に進入したときに、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、第1排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してガラリから直接給気ダクトの延出端部に向かう空気の動圧を除圧することができ、また、第2排気ユニットがチャンバーの側壁に設置されている場合、第2排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してチャンバーの側壁に向かう空気の静圧を除圧することができる。ダクト収容ボックスは、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができるから、給気装置から室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができる。このダクト収容ボックスは、チャンバー内の圧力が第1設定圧力の範囲内に戻ると、錘の重量によって旋回羽根が排気ユニットの空気流路を閉鎖するから、必要以上の空気がチャンバー外に排気されることはなく、給気ダクトへの空気の流入減を防ぐことができる。   A check valve damper is formed of a shaft attached to the exhaust unit, a swirling blade that opens and closes the air flow path of the unit, and a weight that swirls the swirling blade in a direction to close the unit. In the duct storage box in which the weight of the weight is adjusted so as to balance with each other, when the pressure in the chamber exceeds the first set pressure, the swirl vane opens the air flow path of the exhaust unit against the weight of the weight. When the excess air momentarily enters the chamber under the influence of the wind blowing outside the gallery, the air that has entered the chamber using the check valve damper can be released from the chamber to the outside of the chamber. It is possible to prevent inflow of air more than necessary into the air supply duct. The duct housing box can use the check valve damper of the first exhaust unit to remove the dynamic pressure of the air directly from the louver toward the extended end of the air supply duct, and the second exhaust unit can be used as a chamber. When installed on the side wall, the static pressure of the air toward the side wall of the chamber can be removed using the check valve damper of the second exhaust unit. In the duct storage box, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and a constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct. The air to be supplied to the air can be kept constant, and the indoor pressure of the chamber can be kept at the set pressure. In this duct storage box, when the pressure in the chamber returns to within the range of the first set pressure, the swirl vane closes the air flow path of the exhaust unit due to the weight of the weight, so that excess air is exhausted outside the chamber. It is possible to prevent a decrease in the inflow of air into the air supply duct.

逆止弁ダンパが排気ユニットに取り付けられた軸と自重によってユニットの空気流路を閉鎖する旋回羽根とから形成され、チャンバー内の第1設定圧力と旋回羽根の重量とが釣り合うように旋回羽根の重量が調節されたダクト収容ボックスは、チャンバー内の圧力が第1設定圧力を超えると、旋回羽根の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットの空気流路を開放するから、ガラリの外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー内に進入したときに、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、第1排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してガラリから直接給気ダクトの延出端部に向かう空気の動圧を除圧することができ、また、第2排気ユニットがチャンバーの側壁に設置されている場合、第2排気ユニットの逆止弁ダンパを利用してチャンバーの側壁に向かう空気の静圧を除圧することができる。ダクト収容ボックスは、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができるから、給気装置から室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができる。このダクト収容ボックスは、チャンバー内の圧力が第1設定圧力の範囲内に戻ると、錘の重量によって旋回羽根が排気ユニットの空気流路を閉鎖するから、必要以上の空気がチャンバー外に排気されることはなく、給気ダクトへの空気の流入減を防ぐことができる。   A check valve damper is formed of a shaft attached to the exhaust unit and a swirl vane that closes the air flow path of the unit by its own weight, and the swirl vane is adjusted so that the first set pressure in the chamber and the weight of the swirl vane are balanced. When the pressure in the chamber exceeds the first set pressure, the duct housing box whose weight has been adjusted blows to the outside of the gallery because the swirl blade opens the air flow path of the exhaust unit against the weight of the swirl blade. When excess air momentarily enters the chamber due to wind, the check valve damper can be used to release the air that has entered the chamber from the inside of the chamber to the outside of the chamber. Inflow to the air duct can be prevented. The duct housing box can use the check valve damper of the first exhaust unit to remove the dynamic pressure of the air directly from the louver toward the extended end of the air supply duct, and the second exhaust unit can be used as a chamber. When installed on the side wall, the static pressure of the air toward the side wall of the chamber can be removed using the check valve damper of the second exhaust unit. In the duct storage box, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and a constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct. The air to be supplied to the air can be kept constant, and the indoor pressure of the chamber can be kept at the set pressure. In this duct storage box, when the pressure in the chamber returns to within the range of the first set pressure, the swirl vane closes the air flow path of the exhaust unit due to the weight of the weight, so that excess air is exhausted outside the chamber. It is possible to prevent a decrease in the inflow of air into the air supply duct.

第1設定圧力が5Pa〜40Paの範囲にあるダクト収容ボックスは、第1設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリからチャンバー内に余分な空気が進入したとしても、逆止弁ダンパの旋回羽根が迅速に旋回して空気をチャンバー外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができるから、給気装置から室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができる。   The duct housing box having the first set pressure in the range of 5 Pa to 40 Pa has the first set pressure in the above range, so that even if excess air enters the chamber from the louver, the swirl vane of the check valve damper The air can be swirled quickly to allow air to escape to the outside of the chamber quickly, and more air than necessary can be prevented from flowing into the air supply duct. In this duct storage box, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and a constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct. The air supplied to the chamber can be kept constant, and the indoor pressure in the chamber can be kept at the set pressure.

チャンバー内に位置する給気ダクトの延出端部の開口端とガラリとの間に、ガラリから進入した空気の開口端への直接の流入を遮る遮蔽板が設置されたダクト収容ボックスは、遮蔽板によって延出端部の開口端がガラリに対して遮蔽されるから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリから給気ダクトに向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板に衝突し、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、遮蔽板によって空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、遮蔽板を利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。   The duct storage box in which a shielding plate is installed between the open end of the air supply duct located inside the chamber and the open end of the air supply duct and the open end to block the direct inflow of air that has entered from the open end to the open end. Since the opening end of the extended end is shielded against the louver by the plate, even if excess air enters from the louver toward the air supply duct due to the wind blowing outside the louver, the air is shielded It is possible to prevent direct inflow of air that has entered the chamber and entered the chamber into the air supply duct, and air flowing into the air supply duct can be minimized. In addition, even if air flows out of the chamber due to the effect of wind blowing outside the louver, the air can be prevented from flowing out directly from the air supply duct by the shielding plate. Even if a strong wind blows to the outside of the louver, the duct storage box does not flow into the supply duct at once, and air does not flow out of the supply duct at once. Can be prevented from sudden fluctuations. In addition to being able to release the air that has entered the chamber from the inside of the chamber to the outside of the chamber using a check valve damper, this duct storage box uses a shielding plate to directly inject air into the air supply duct. Since direct outflow of air from the air supply duct can be prevented, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and air is irregularly and irregularly distributed from the air supply duct. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct without flowing out.

遮蔽板の面積が延出端部の開口端の開口面積以上であり、開口端の全域が遮蔽板によってガラリに対して遮蔽されるダクト収容ボックスは、遮蔽板によって延出端部の開口端の全域がガラリに対して確実に遮蔽されるから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリから給気ダクトに向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板に衝突し、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、遮蔽板によって空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、遮蔽板を利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。   The duct housing box in which the area of the shielding plate is equal to or larger than the opening area of the opening end of the extended end, and the entire area of the opening end is shielded against the louver by the shielding plate, Since the entire area is securely shielded against the louver, even if excess air enters from the louver toward the air supply duct due to the wind blowing outside the louver, the air collides with the shield plate, It is possible to prevent the air that has entered the air from directly entering the air supply duct, and to minimize the air flowing into the air supply duct. In addition, even if air flows out of the chamber due to the effect of wind blowing outside the louver, the air can be prevented from flowing out directly from the air supply duct by the shielding plate. Even if a strong wind blows to the outside of the louver, the duct storage box does not flow into the supply duct at once, and air does not flow out of the supply duct at once. Can be prevented from sudden fluctuations. In addition to being able to release the air that has entered the chamber from the inside of the chamber to the outside of the chamber using a check valve damper, this duct storage box uses a shielding plate to directly inject air into the air supply duct. Since direct outflow of air from the air supply duct can be prevented, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and air is irregularly and irregularly distributed from the air supply duct. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct without flowing out.

ガラリに対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクトがチャンバー内に位置する給気ダクトの延出端部に取り付けられたダクト収容ボックスは、屈曲ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、屈曲ダクトの第2開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が屈曲ダクトの第2開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が屈曲ダクトの第2開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、屈曲ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。   The duct housing box attached to the extending end of the air supply duct located in the chamber has a bent duct that is bent in a direction that does not face the gallery, and extends in a direction that does not face the gallery. Since the opening end opens in a direction that does not face the louver, even if excess air enters the chamber due to the effect of wind blowing outside the louver, the air does not directly enter the second opening end of the bent duct. In addition, the air that has entered the chamber can be prevented from flowing directly into the air supply duct, and the air flowing into the air supply duct can be minimized. In addition, even if air flows out of the chamber due to the effect of wind blowing outside the louver, air does not flow out directly from the second opening end of the bent duct, preventing direct air outflow from the air supply duct. Can do. Even if a strong wind blows to the outside of the louver, the duct storage box does not flow into the supply duct at once, and air does not flow out of the supply duct at once. Can be prevented from sudden fluctuations. In addition to being able to escape the air that has entered the chamber from the inside of the chamber to the outside of the chamber by using a check valve damper, this duct storage box uses a bent duct to directly inject air into the air supply duct. Since direct outflow of air from the air supply duct can be prevented, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and air is irregularly and irregularly distributed from the air supply duct. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct without flowing out.

屈曲ダクトが給気ダクトの延出端部の軸線に対して90〜180度の範囲で屈曲するダクト収容ボックスは、屈曲ダクトが前記範囲で屈曲することで屈曲ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、屈曲ダクトの第2開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が屈曲ダクトの第2開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が屈曲ダクトの第2開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、屈曲ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。   The duct housing box in which the bent duct bends within a range of 90 to 180 degrees with respect to the axis of the extended end of the air supply duct extends in a direction in which the bent duct does not face the louver because the bent duct is bent in the above range. Since the second opening end of the bent duct opens in a direction not facing the louver, even if excess air enters the chamber due to the effect of the wind blowing outside the louver, the air is still in the second opening of the bent duct. The air does not enter the end directly, and the air that has entered the chamber can be prevented from flowing directly into the air supply duct, and the air flowing into the air supply duct can be minimized. In addition, even if air flows out of the chamber due to the effect of wind blowing outside the louver, air does not flow out directly from the second opening end of the bent duct, preventing direct air outflow from the air supply duct. Can do. Even if a strong wind blows to the outside of the louver, the duct storage box does not flow into the supply duct at once, and air does not flow out of the supply duct at once. Can be prevented from sudden fluctuations. In addition to being able to escape the air that has entered the chamber from the inside of the chamber to the outside of the chamber by using a check valve damper, this duct storage box uses a bent duct to directly inject air into the air supply duct. Since direct outflow of air from the air supply duct can be prevented, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and air is irregularly and irregularly distributed from the air supply duct. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct without flowing out.

ガラリに対向しない方向へ直状に延びる接続ダクトがチャンバー内に位置する給気ダクトの延出端部に取り付けられたダクト収容ボックスは、接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、接続ダクトの両側開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が接続ダクトの両側開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が接続ダクトの両側開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、接続ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。   The duct housing box attached to the extended end of the air supply duct located in the chamber with the connecting duct extending straight in the direction not facing the gallery extends in the direction where the connecting duct does not face the gallery. Since the opening ends on both sides open in a direction not facing the louver, even if excess air enters the chamber due to the wind blowing outside the louver, In addition, the air that has entered the chamber can be prevented from flowing directly into the air supply duct, and the air flowing into the air supply duct can be minimized. In addition, even if air flows out of the chamber due to the wind blown outside the louver, air does not flow out directly from the opening ends on both sides of the connection duct, preventing direct outflow of air from the air supply duct. it can. Even if a strong wind blows to the outside of the louver, the duct storage box does not flow into the supply duct at once, and air does not flow out of the supply duct at once. Can be prevented from sudden fluctuations. In addition to being able to release the air that has entered the chamber from the inside of the chamber to the outside of the chamber by using a check valve damper, this duct storage box can also be used for direct inflow of air into the air supply duct by using a connection duct. Since direct outflow of air from the air supply duct can be prevented, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and air is irregularly and irregularly distributed from the air supply duct. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct without flowing out.

接続ダクトの軸線が給気ダクトの延出端部の軸線に対して直交するダクト収容ボックスは、接続ダクトが延出端部に対して直交することで接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、接続ダクトの両側開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が接続ダクトの両側開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が接続ダクトの両側開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、接続ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。   The duct housing box in which the axis of the connecting duct is orthogonal to the axis of the extended end of the air supply duct extends in a direction in which the connecting duct does not face the louver because the connecting duct is orthogonal to the extended end. Because the opening ends on both sides of the connection duct open in the direction that does not face the louver, even if excess air enters the chamber due to the wind blowing outside the louver, the air directly enters the opening ends on both sides of the connection duct. The air does not enter, the air entering the chamber can be prevented from flowing directly into the air supply duct, and the air flowing into the air supply duct can be minimized. In addition, even if air flows out of the chamber due to the wind blown outside the louver, air does not flow out directly from the opening ends on both sides of the connection duct, preventing direct outflow of air from the air supply duct. it can. Even if a strong wind blows to the outside of the louver, the duct storage box does not flow into the supply duct at once, and air does not flow out of the supply duct at once. Can be prevented from sudden fluctuations. In addition to being able to release the air that has entered the chamber from the inside of the chamber to the outside of the chamber by using a check valve damper, this duct storage box can also be used for direct inflow of air into the air supply duct by using a connection duct. Since direct outflow of air from the air supply duct can be prevented, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct, and air is irregularly and irregularly distributed from the air supply duct. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct without flowing out.

ガラリに対向しない方向へ直状に延びる1本の第1接続ダクトが給気ダクトの延出端部に取り付けられ、ガラリに対向しない方向へ直状に延びる2本の第2接続ダクトが第1接続ダクトに取り付けられたダクト収容ボックスは、第1接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、第2接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出することで第2接続ダクトの第2両側開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が第2接続ダクトの第2両側開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が第2接続ダクトの第2両側開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、第1および第2接続ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。   One first connection duct extending straight in a direction not facing the gallery is attached to the extending end of the air supply duct, and two second connection ducts extending straight in the direction not facing the gallery are the first. The duct housing box attached to the connection duct extends in a direction in which the first connection duct does not face the gallery, and the second connection duct extends in a direction not opposed to the gallery, thereby opening the second both sides of the second connection duct. Since the end opens in a direction that does not face the louver, even if excess air enters the chamber due to the wind blowing outside the louver, the air directly enters the second opening end on both sides of the second connection duct. In other words, the air that has entered the chamber can be prevented from flowing directly into the air supply duct, and the air flowing into the air supply duct can be minimized. Further, even if air flows out of the chamber due to the wind blown outside the louver, the air does not flow out directly from the second side opening ends of the second connection duct, and the air flows out directly from the air supply duct. Can be prevented. Even if a strong wind blows to the outside of the louver, the duct storage box does not flow into the supply duct at once, and air does not flow out of the supply duct at once. Can be prevented from sudden fluctuations. In addition to being able to escape the air that has entered the chamber from the inside of the chamber to the outside of the chamber using the check valve damper, the duct housing box uses the first and second connection ducts to supply air to the air supply duct. This prevents excessive air from flowing into the air supply duct irregularly and irregularly, and prevents the air from flowing in irregularly and irregularly. Thus, a constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct without flowing out from the air supply duct.

第1接続ダクトの軸線が空気搬送ダクトの延出端部の軸線に対して直交し、第2接続ダクトの軸線が第1接続ダクトの軸線に対して直交するダクト収容ボックスは、第1接続ダクトが延出端部に対して直交することで第1接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、さらに、第2接続ダクトが第1接続ダクトに対して直交することで第2接続ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、第2接続ダクトの両側開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー内に進入したとしても、その空気が第2接続ダクトの第2両側開口端に直接進入することはなく、チャンバー内に進入した空気の給気ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、給気ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がチャンバーから流出したとしても、空気が第2接続ダクトの第2両側開口端から直接流出することはなく、空気の給気ダクトからの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクトへ一気に流入することはなく、空気が給気ダクトから一気に流出することもないから、給気ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、逆止弁ダンパを利用してチャンバーに進入した空気をチャンバー内からチャンバー外に逃がすことができることに加え、第1および第2接続ダクトを利用して給気ダクトへの空気の直接の流入や給気ダクトからの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト内に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクトから流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクトに流入させることができる。   The duct housing box in which the axis of the first connection duct is orthogonal to the axis of the extending end of the air conveyance duct and the axis of the second connection duct is orthogonal to the axis of the first connection duct is the first connection duct. Is orthogonal to the extended end, so that the first connection duct extends in a direction that does not face the gallery, and further, the second connection duct is orthogonal to the first connection duct so that the second connection duct is glazed. Since the opening ends on both sides of the second connection duct open in the direction not facing the louver, even if excess air enters the chamber due to the wind blowing outside the louver, the air Does not directly enter the open ends of both sides of the second connection duct, and the air that has entered the chamber can be prevented from flowing directly into the air supply duct, minimizing the air flowing into the air supply duct. To do It can be. Further, even if air flows out of the chamber due to the wind blown outside the louver, the air does not flow out directly from the second side opening ends of the second connection duct, and the air flows out directly from the air supply duct. Can be prevented. Even if a strong wind blows to the outside of the louver, the duct storage box does not flow into the supply duct at once, and air does not flow out of the supply duct at once. Can be prevented from sudden fluctuations. In addition to being able to escape the air that has entered the chamber from the inside of the chamber to the outside of the chamber using the check valve damper, the duct housing box uses the first and second connection ducts to supply air to the air supply duct. This prevents excessive air from flowing into the air supply duct irregularly and irregularly, and prevents the air from flowing in irregularly and irregularly. Thus, a constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct without flowing out from the air supply duct.

ガラリの外側に吹く風の影響で給気ダクトに余分な空気が流入し、または、給気ダクトから空気が流出しようとすることによって給気ダクト内の測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、給気装置のコントローラがモータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻すダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、余分な空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができるとともに、給気ダクトへの空気の流入減を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、第1および第2排気ユニットやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室に給気することができるから、室に給気する空気を一定に保持することができ、室に給気する空気の給気過少や給気過多を防ぐことができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。このダクト収容ボックスは、給気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。   If excess air flows into the air supply duct due to the wind blowing outside the garage, or if the measured pressure in the air supply duct deviates from the set pressure range due to air flowing out of the air supply duct, The duct storage box, in which the controller of the air supply device adjusts the opening of the swirl vane of the motor damper and returns the measured pressure to the set pressure range, the influence of the wind blowing outside the gallery can be avoided by the motor damper. In addition, it is possible to prevent inflow of air into the air supply duct and to prevent decrease in inflow of air into the air supply duct. The duct storage box can supply a constant pressure and a constant amount of air to the chamber by using the first and second exhaust units and the motor damper, so that the air supplied to the chamber can be kept constant. In addition, it is possible to prevent the air supplied to the chamber from being excessively supplied or excessively supplied, and to keep the indoor pressure of the chamber constant. This duct storage box is particularly effective for use in a clean room where it is required to strictly control the pressure and amount of air to be supplied, and can create a stable air-conditioning environment free from fluctuations in the indoor air pressure in the clean room. Is possible.

圧力制御手段において、測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持するダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気が給気ダクトに流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくして空気の給気ダクト内への流入を制限し、測定圧力を設定圧力に戻すから、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、第1および第2排気ユニットやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室内に給気することができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響で空気が給気ダクトから流出しようとして測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、旋回羽根の開度を大きくして給気ダクト内への空気の流入減を防ぐから、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、第1および第2排気ユニットやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室内に給気することができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。また、測定圧力が設定圧力の範囲に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持するから、第1および第2排気ユニットやモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室内に給気することができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。このダクト収容ボックスは、給気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。   In the pressure control means, when the measured pressure exceeds the set pressure range, the opening degree of the rotating blade of the motor damper is reduced, and when the measured pressure is less than the set pressure range, the opening degree of the rotating blade of the motor damper is increased and measured. When the pressure returns to within the set pressure range, the duct housing box that holds the opening of the rotating blades of the motor damper at that time causes excess air to flow into the air supply duct due to the effect of the wind blowing outside the gallery. When the measured pressure exceeds the set pressure range, the opening of the swirl vane of the motor damper is reduced to restrict the inflow of air into the air supply duct, and the measured pressure is returned to the set pressure. The influence of wind can be avoided by the motor damper, and a constant pressure and a constant amount of air can be supplied indoors by using the first and second exhaust units and the motor damper. Together, it is possible to hold the chamber pressure of the chamber constant. When the measured pressure falls below the set pressure range when the air is about to flow out of the air supply duct due to the effect of the wind blown outside the louver, the duct storage box increases the opening of the swirl vane and increases the air into the air supply duct. Therefore, the motor damper can avoid the influence of the wind blown outside the louver, and the first and second exhaust units and the motor damper are used to supply a constant pressure and a constant amount of air into the room. In addition, it is possible to keep the indoor pressure of the chamber constant. Further, when the measured pressure returns to the set pressure range, the opening degree of the rotating blades of the motor damper at that time is maintained, so that a constant pressure and a constant amount of air is discharged indoors using the first and second exhaust units and the motor damper. It is possible to supply air to the chamber, and it is possible to keep the indoor pressure of the chamber constant. This duct storage box is particularly effective for use in a clean room where it is required to strictly control the pressure and amount of air to be supplied, and can create a stable air-conditioning environment free from fluctuations in the indoor air pressure in the clean room. Is possible.

モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの旋回羽根の最小開度が3〜25%の範囲にあるダクト収容ボックスは、旋回羽根の開度が全閉(0%)なると、給気ダクト内への空気の流入が停止し、給気ダクトから室に空気が送られない場合が生じるが、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの羽根の最小開度が3〜25%に保持されるから、給気ダクトから室への空気の未給気状態が回避され、室の室内気圧の極端な変動を防ぐことができる。   When the opening degree of the swirl vane is in the range of 3 to 25% when the opening degree of the swirl vane of the motor damper is reduced, the duct housing box is fully closed (0%) in the air supply duct. However, the minimum opening of the blade when the opening of the rotating blade of the motor damper is reduced is maintained at 3 to 25%. Therefore, an unsupplied state of air from the air supply duct to the room can be avoided, and extreme fluctuations in the indoor air pressure of the room can be prevented.

設定圧力が−1000Pa〜1000Paの範囲にあるダクト収容ボックスは、給気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を安定して室内に流入させるには給気ダクト内が負圧に保持される必要があるが、設定圧力を前記範囲にすることで、給気ダクトに余分な空気が流入したとしても、モータダンパが迅速に作動し、給気ダクト内の空気の圧力が陽圧になることを防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、給気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を安定して室に流入させることができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。   In the duct housing box whose set pressure is in the range of -1000 Pa to 1000 Pa, the inside of the air supply duct is held at a negative pressure in order to stably flow a constant pressure and a constant amount of air into the room through the air supply duct. Although it is necessary, by setting the set pressure within the above range, even if excess air flows into the air supply duct, the motor damper operates quickly, and the air pressure in the air supply duct becomes positive. Can be prevented. This duct storage box can stably flow a constant pressure and a constant amount of air into the chamber through the air supply duct, and can maintain the indoor pressure of the chamber constant.

モータダンパの旋回羽根の旋回速度が1〜30s/Full Scaleの範囲にあるダクト収容ボックスは、旋回羽根の旋回速度を前記範囲にすることで、余分な空気が給気ダクトに流入し、または、空気が給気ダクトから流出しようとしたとしても、モータダンパの旋回羽根が前記旋回速度で瞬時に旋回するから、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、給気ダクト内の空気の圧力が陽圧になることを防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、一定圧かつ一定量の空気を安定して室に流入させることができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。   In the duct storage box in which the swirl speed of the swirl vane of the motor damper is in the range of 1 to 30 s / Full Scale, by setting the swirl speed of the swirl vane to the above range, excess air flows into the air supply duct or air Even if it is about to flow out of the air supply duct, the swirl blade of the motor damper instantaneously turns at the turning speed, so that the measured pressure can be quickly returned to the set pressure range, and the air in the air supply duct It is possible to prevent the pressure from becoming positive. This duct storage box can stably flow a constant pressure and a constant amount of air into the chamber, and can keep the indoor pressure of the chamber constant.

一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。The perspective view of the duct storage box shown as an example. 図1のダクト収容ボックスの部分破断正面図。The partially broken front view of the duct storage box of FIG. 一例として示す排気ユニットの斜視図。The perspective view of the exhaust unit shown as an example. 空気流路を開放した状態の排気ユニットの斜視図。The perspective view of the exhaust unit of the state which open | released the air flow path. 空気流路を閉鎖した状態の排気ユニットの側面図。The side view of the exhaust unit of the state which closed the air flow path. 空気流路を開放した状態の排気ユニットの側面図。The side view of the exhaust unit of the state which opened the air flow path. 空気流路が開放された状態の図1のA−A線矢視断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1 in a state where an air flow path is opened. 他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。The perspective view of the duct storage box shown as another example. 空気流路が開放された状態の図8のB−B線矢視断面図。FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 8 in a state where the air flow path is opened. 他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。The perspective view of the duct storage box shown as another example. 他の一例として示す排気ユニットの斜視図。The perspective view of the exhaust unit shown as another example. 空気流路を開放した状態の排気ユニットの部分破断斜視図。The partial fracture | rupture perspective view of the exhaust unit of the state which open | released the air flow path. 空気流路が開放された状態の図10のC−C線矢視断面図。FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 10 in a state where the air flow path is opened. 他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。The perspective view of the duct storage box shown as another example. 空気流路が開放された状態の図14のD−D線矢視断面図。The DD sectional view taken on the line in FIG. 14 in a state where the air flow path is opened. 他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。The perspective view of the duct storage box shown as another example. 図16のダクト収容ボックスの部分破断正面図。The partially broken front view of the duct accommodation box of FIG. 空気流路が開放された状態の図16のE−E線矢視断面図。The EE arrow directional cross-sectional view of FIG. 16 of the state by which the air flow path was open | released. 他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。(接続ダクト)The perspective view of the duct storage box shown as another example. (Connection duct) 図19のダクト収容ボックスの部分破断正面図。The partially broken front view of the duct accommodation box of FIG. 空気流路が開放された状態の図19のF−F線矢視断面図。FIG. 20 is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. 19 in a state where the air flow path is opened. 他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。(接続ダクト)The perspective view of the duct storage box shown as another example. (Connection duct) 図22のダクト収容ボックスの部分破断正面図。The partially broken front view of the duct storage box of FIG. 空気流路が開放された状態の図22のF−F線矢視断面図。FIG. 23 is a cross-sectional view taken along the line FF in FIG. 22 in a state where the air flow path is opened. 給気装置を含む室圧制御機構の一例を示す構成図。The block diagram which shows an example of the room pressure control mechanism containing an air supply apparatus. 給気装置を含む室圧制御機構の構成図。The block diagram of the room pressure control mechanism containing an air supply apparatus. 一例として示す給気装置の構成図。The block diagram of the air supply apparatus shown as an example. コントローラが実行する各手段を示すフローチャート。The flowchart which shows each means which a controller performs.

添付の図面を参照し、本発明に係るダクト収容ボックスの詳細を説明すると、以下のとおりである。図1,2,7では、上下方向を矢印X、横方向を矢印Y(図7を除く)で示し、前後方向を矢印Z(図2を除く)で示す。図1では、第1排気ユニット29の空気流路30が閉鎖された状態にある。図2では、ガラリ12の一部を破断して示す。なお、図1,2では、ダクト収容ボックス10Aに2本の給気ダクト11が接続されているが、ダクト11の数を2本に限定するものではなく、2本を超過する数のダクト11がボックス10A(ボックス10B〜10Gを含む)に接続される場合もある。   The details of the duct housing box according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In FIGS. 1, 2, and 7, the vertical direction is indicated by an arrow X, the horizontal direction is indicated by an arrow Y (excluding FIG. 7), and the front-rear direction is indicated by an arrow Z (excluding FIG. 2). In FIG. 1, the air flow path 30 of the first exhaust unit 29 is in a closed state. In FIG. 2, a part of the louver 12 is shown broken away. 1 and 2, the two air supply ducts 11 are connected to the duct housing box 10 </ b> A. However, the number of the ducts 11 is not limited to two, and the number of the ducts 11 exceeding two is not limited. May be connected to the box 10A (including the boxes 10B to 10G).

ダクト収容ボックス10Aは、クリーンルーム72,73(室)(図25,26参照)から延びる複数本の給気ダクト11を一纏めにした状態で、工場76(図25,26参照)(既設建物)の屋外から外気を取り入れ、その外気を給気ダクト11に供給する。ダクト収容ボックス10Aは、金属製またはプラスチック製のガラリ12と、ガラリ12につながる金属製のチャンバー13とから形成されている。ボックス10Aの内部には、所定容積の内部空間14が画成されている。   Duct storage box 10A is a factory 76 (see FIGS. 25 and 26) (existing building) in a state where a plurality of air supply ducts 11 extending from clean rooms 72 and 73 (rooms) (see FIGS. 25 and 26) are gathered together. Outside air is taken in from outside and the outside air is supplied to the air supply duct 11. The duct housing box 10 </ b> A is formed of a metal or plastic gallery 12 and a metal chamber 13 connected to the gallery 12. A predetermined volume of the internal space 14 is defined inside the box 10A.

ガラリ13は、工場76の内外を隔てる壁15に作られた開口16に整合させた状態で、その壁15に取り付けられている。チャンバー13は、ガラリ12に連接されて壁15の内側に施設された横方向へ長い5面体である。チャンバー13は、上下方向へ対向する頂壁17および底壁18と、横方向へ対向する両側壁19,20と、それら両側壁19,20の間に位置する後側壁21とから形成されている。それら壁17〜21は、その平面形状が矩形に成形されている。チャンバー13では、頂底壁17,18と両側壁19,20と後側壁21とが気密に接続されている。チャンバー13は、頂底壁17,18と両側壁19,20とのうちの壁15に当接する部分が壁15に気密に固定されている。   The gallery 13 is attached to the wall 15 in a state of being aligned with the opening 16 formed in the wall 15 separating the inside and outside of the factory 76. The chamber 13 is a pentahedron that is long in the lateral direction and is connected to the gallery 12 and provided inside the wall 15. The chamber 13 is formed of a top wall 17 and a bottom wall 18 that face each other in the vertical direction, side walls 19 and 20 that face each other in the lateral direction, and a rear side wall 21 that is positioned between the both side walls 19 and 20. . The walls 17 to 21 have a rectangular planar shape. In the chamber 13, the top and bottom walls 17, 18, both side walls 19, 20 and the rear side wall 21 are airtightly connected. In the chamber 13, portions of the top and bottom walls 17, 18 and both side walls 19, 20 that are in contact with the wall 15 are fixed to the wall 15 in an airtight manner.

後側壁21には、給気ダクト11の延出端部22を挿通する挿通孔23が形成されている。ダクト収容ボックス10Aでは、後側壁21の挿通孔23に給気ダクト11の延出端部22が挿通され、挿通孔23の周縁にダクト11の周面が気密に固定されている。給気ダクト11の延出端部22は、挿通孔23からチャンバー13内に引き込まれ、ボックス10Aの内部空間14に収容されている。   An insertion hole 23 through which the extended end portion 22 of the air supply duct 11 is inserted is formed in the rear side wall 21. In the duct storage box 10 </ b> A, the extended end 22 of the air supply duct 11 is inserted into the insertion hole 23 of the rear side wall 21, and the peripheral surface of the duct 11 is airtightly fixed to the periphery of the insertion hole 23. The extended end 22 of the air supply duct 11 is drawn into the chamber 13 from the insertion hole 23 and is accommodated in the internal space 14 of the box 10A.

ダクト収容ボックス10Aの内部空間15(チャンバー13内)では、給気ダクト11の延出端部22がガラリ12に向かって前後方向前方へ直状に延び、延出端部22の開口端24がガラリ12に対向し、開口端24が工場76の外(屋外)に向かって前後方向前方へ開口している。なお、給気ダクト11はその断面形状が円形に成型されているが、断面形状を円形に限定するものではなく、四角形等の他の断面形状を有するダクト11を使用することもできる。   In the internal space 15 (inside the chamber 13) of the duct housing box 10A, the extended end 22 of the air supply duct 11 extends straight forward in the front-rear direction toward the gallery 12, and the open end 24 of the extended end 22 is Opposing to the louver 12, the opening end 24 opens forward in the front-rear direction toward the outside (outdoor) of the factory 76. Although the air supply duct 11 has a circular cross-sectional shape, the cross-sectional shape is not limited to a circular shape, and a duct 11 having another cross-sectional shape such as a quadrangle can also be used.

給気ダクト11の延出端部22の開口端24とガラリ12との間には、平面形状が円形の遮蔽板25が設置されている。遮蔽板25は、開口端24の周縁から延びる複数本の連接棒26を介して開口端24の前方に固定されている。遮蔽板25は、その面積(平面形状の面積)が延出端部22の開口端24の開口面積よりも大きく、ガラリ12に対して延出端部22の開口端24の全域を遮蔽する。遮蔽板25は、ガラリ12から進入した空気の開口端24への直接の流入を遮る。なお、遮蔽板25は、その面積が開口端24の開口面積と同一であってもよい。また、遮蔽板25は、給気ダクト11の断面形状が四角形であれば、その平面形状が四角形に成形される。   A shielding plate 25 having a circular planar shape is installed between the opening end 24 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11 and the gallery 12. The shielding plate 25 is fixed in front of the opening end 24 via a plurality of connecting rods 26 extending from the periphery of the opening end 24. The shielding plate 25 has an area (planar area) larger than the opening area of the opening end 24 of the extending end 22 and shields the entire area of the opening end 24 of the extending end 22 from the gallery 12. The shielding plate 25 blocks direct inflow of the air that has entered from the gallery 12 into the opening end 24. The area of the shielding plate 25 may be the same as the opening area of the opening end 24. Moreover, if the cross-sectional shape of the air supply duct 11 is a rectangle, the planar shape of the shielding plate 25 is formed into a rectangle.

チャンバー13の後側壁21には、図1に示すように、各側壁35〜38から作られた中空四角柱状の筐体27と逆止弁ダンパ28Aとを備えた第1排気ユニット29が設置されている。逆止弁ダンパ28は、各側壁35〜38に囲繞されたユニット29の空気流路30に設置され、ガラリ12からチャンバー13内に進入した空気の圧力に応じてボックス10Aの内部空間15(チャンバー13内)の空気を内部空間15外(チャンバー13外)に逃がす。なお、第1排気ユニット29の後側壁21における設置箇所に特に限定はなく、後側壁21であればいずれの箇所に設置してもよい。   On the rear side wall 21 of the chamber 13, as shown in FIG. 1, a first exhaust unit 29 including a hollow rectangular column-shaped casing 27 made of the side walls 35 to 38 and a check valve damper 28 </ b> A is installed. ing. The check valve damper 28 is installed in the air flow path 30 of the unit 29 surrounded by the side walls 35 to 38, and the internal space 15 (chamber of the box 10A according to the pressure of the air that has entered the chamber 13 from the gallery 12 13) is released outside the internal space 15 (outside the chamber 13). In addition, there is no limitation in particular in the installation location in the rear side wall 21 of the 1st exhaust unit 29, and as long as it is the rear side wall 21, you may install in any location.

逆止弁ダンパ28は、図3,4に示すように、筐体27に回転可能に取り付けられた回転軸31(軸)と、回転軸31に取り付けられて排気ユニット29の空気流路30を開閉する旋回羽根32と、回転軸31に取り付けられて排気ユニット29の空気流路30を閉鎖する方向へ旋回羽根32を旋回させる所定重量の錘33と、ストッパー34とを有する。   As shown in FIGS. 3 and 4, the check valve damper 28 includes a rotary shaft 31 (shaft) that is rotatably attached to the housing 27, and an air passage 30 of the exhaust unit 29 that is attached to the rotary shaft 31. A swirl vane 32 that opens and closes, a weight 33 that is attached to the rotary shaft 31 and swirls the swirl vane 32 in a direction to close the air flow path 30 of the exhaust unit 29, and a stopper 34.

回転軸31は、第1および第3側壁35,37に回転可能に取り付けられている。回転軸31は、筐体27の内側に延びる内側部分39と、第1側壁35を貫通して筐体27の外側に延びる外側部分40と、外側部分40から径方向外方に延びる錘支持棒41とを有する。旋回羽根32は、ユニット29の空気流路30と略同一の面積を有する四角形の金属板であり、回転軸31の内側部分39に旋回可能に取り付けられている。旋回羽根32は、回転軸31の回転によって空気流路30を閉鎖する方向と流路30を開放する方向とへ旋回する。   The rotary shaft 31 is rotatably attached to the first and third side walls 35 and 37. The rotation shaft 31 includes an inner portion 39 extending inside the housing 27, an outer portion 40 extending outside the housing 27 through the first side wall 35, and a weight support rod extending radially outward from the outer portion 40. 41. The swirl vane 32 is a rectangular metal plate having substantially the same area as the air flow path 30 of the unit 29, and is attached to the inner portion 39 of the rotating shaft 31 so as to be swivelable. The swirl vane 32 swirls in the direction of closing the air flow path 30 and the direction of opening the flow path 30 by the rotation of the rotation shaft 31.

ストッパー34は、金属板から作られ、第2側壁36の内側に取り付けられて側壁36から空気流路30に向かって延びている。旋回羽根32の先端部分がストッパー34に当接すると、羽根32の旋回が停止する。排気ユニット29では、旋回羽根32によってユニット29の空気流路30が閉鎖されたときにその羽根32のそれ以上の旋回がストッパー34によって阻止され、羽根32がストッパー34の前方へ旋回することはないから、ユニット29の空気流路30に開口が形成されることはない。ゆえに、後側壁21からチャンバー13内への空気の流入を防ぐことができる。   The stopper 34 is made of a metal plate, is attached to the inside of the second side wall 36, and extends from the side wall 36 toward the air flow path 30. When the tip of the swirl vane 32 comes into contact with the stopper 34, the swirl of the vane 32 stops. In the exhaust unit 29, when the air flow path 30 of the unit 29 is closed by the swirl vane 32, further swirling of the vane 32 is blocked by the stopper 34, and the vane 32 does not swirl forward of the stopper 34. Therefore, no opening is formed in the air flow path 30 of the unit 29. Therefore, the inflow of air from the rear side wall 21 into the chamber 13 can be prevented.

錘支持棒41は、回転軸31の外側部分40の先端に着脱可能に取り付けられている。錘支持棒41の基端部には、装着リング42が取り付けられている。支持棒41を回転軸31に取り付けるには、リング42を回転軸31の外側部分40に嵌め込んだ後、ビス43によってそのリング42を外側部分40に固定する。ビス43を取り外し、装着リング42を回転軸31の外側部分40から抜き取ることによって支持棒41を外側部分40から取り外すことができる。   The weight support bar 41 is detachably attached to the tip of the outer portion 40 of the rotating shaft 31. A mounting ring 42 is attached to the proximal end portion of the weight support rod 41. In order to attach the support bar 41 to the rotating shaft 31, the ring 42 is fitted into the outer portion 40 of the rotating shaft 31, and then the ring 42 is fixed to the outer portion 40 with the screws 43. The support bar 41 can be removed from the outer portion 40 by removing the screw 43 and extracting the mounting ring 42 from the outer portion 40 of the rotating shaft 31.

錘33は、金属を円盤状に成形したものであり、その中央に円形の挿入口が形成されている。錘33は、錘支持棒41に着脱可能に取り付けられている。錘33の両側には、固定リング44が配置されている。錘33を錘支持棒41に取り付けるには、支持棒41に一方の固定リング44を嵌め込んだ後、錘33の挿入口を支持棒41に挿入し、さらに、他方の固定リング44を支持棒41に嵌め込み、それらリング44で錘33を挟み、ビス45によってそれらリング44を支持棒41に固定する。支持棒41におけるリング44の固定位置を変えることによって、支持棒41における錘33の取り付け位置を調節することができる。ビス45を取り外し、リング44や錘33を支持棒41から抜き取ることによってリング44や錘33を支持棒41から取り外すことができる。   The weight 33 is formed by forming a metal into a disk shape, and a circular insertion port is formed at the center thereof. The weight 33 is detachably attached to the weight support bar 41. Fixing rings 44 are disposed on both sides of the weight 33. In order to attach the weight 33 to the weight support bar 41, after inserting one fixing ring 44 into the support bar 41, the insertion port of the weight 33 is inserted into the support bar 41, and the other fixing ring 44 is further connected to the support bar 41. 41, the weights 33 are sandwiched between the rings 44, and the rings 44 are fixed to the support bar 41 with screws 45. By changing the fixing position of the ring 44 on the support bar 41, the attachment position of the weight 33 on the support bar 41 can be adjusted. The ring 44 and the weight 33 can be removed from the support bar 41 by removing the screw 45 and extracting the ring 44 and the weight 33 from the support bar 41.

図5に示す旋回羽根32が空気流路30を閉じた状態または図6に示す旋回羽根32が前後方向後方へ旋回した状態において、錘33は、回転軸31の中心を通る仮想垂直線L1の左方に位置する。したがって、錘33は、その重量によって排気ユニット29の空気流路30を閉鎖する方向へ旋回羽根32を旋回させる。旋回羽根32は、錘33によって排気ユニット29の空気流路30を閉鎖する方向へ常時付勢されている。   In the state in which the swirl vane 32 shown in FIG. 5 closes the air flow path 30 or the swirl vane 32 shown in FIG. 6 swirls backward in the front-rear direction, the weight 33 has a virtual vertical line L1 passing through the center of the rotation shaft 31. Located on the left. Therefore, the weight 33 turns the swirl vane 32 in a direction to close the air flow path 30 of the exhaust unit 29 by its weight. The swirl vane 32 is constantly urged by the weight 33 in a direction to close the air flow path 30 of the exhaust unit 29.

図7に矢印A1で示すように、ガラリ12の外側近傍(工場76の屋外)で強い風が吹くと、その風の影響でガラリ12からダクト収容ボックス10Aの内部空間14(チャンバー13内)に余分な空気が一気に進入する場合がある。ガラリ12から余分な空気が進入すると、その空気が内部空間14を通って排気ユニット29に進入し、図7に矢印A3で示すように、ユニット29内に流入した空気が旋回羽根32に衝突し、その空気圧によって羽根32に所定の動圧(押圧力)が作用する。旋回羽根32に作用する動圧は、図6に示すように、錘33の重量に抗して回転軸31を時計回り方向へ回転させるように旋回羽根32を押圧する。   As indicated by an arrow A1 in FIG. 7, when a strong wind blows near the outside of the louver 12 (outside the factory 76), the gust 12 causes the air to enter the internal space 14 (inside the chamber 13) of the duct housing box 10A. Extra air may enter at once. When excess air enters from the louver 12, the air enters the exhaust unit 29 through the internal space 14, and the air flowing into the unit 29 collides with the swirl blade 32 as indicated by an arrow A 3 in FIG. A predetermined dynamic pressure (pressing force) acts on the blade 32 by the air pressure. As shown in FIG. 6, the dynamic pressure acting on the swirl vane 32 presses the swirl vane 32 to rotate the rotating shaft 31 in the clockwise direction against the weight of the weight 33.

逆止弁ダンパ28Aでは、ダクト収容ボックス10Aの内部空間14(チャンバー13内)の第1設定圧力と錘33とが釣り合うように錘33の重量が調節されている。錘33の重量の調節は、重量の異なる錘33を錘支持棒41に取り付ける場合と支持棒41に対する錘33の固定位置を変更する場合との少なくとも一方によって行われる。第1設定圧力を高くする場合は、錘33の重量そのものを増加させてもよく、錘支持棒41における錘33の固定位置を回転軸31から離間する方向へずらしてもよい。第1設定圧力を低くする場合は、錘33の重量そのものを減少させてもよく、錘支持棒41における錘33の固定位置を回転軸31に近接する方向へずらしてもよい。   In the check valve damper 28A, the weight of the weight 33 is adjusted so that the first set pressure in the internal space 14 (inside the chamber 13) of the duct housing box 10A and the weight 33 are balanced. The weight of the weight 33 is adjusted by at least one of a case where the weight 33 having a different weight is attached to the weight support bar 41 and a case where the fixing position of the weight 33 with respect to the support bar 41 is changed. When the first set pressure is increased, the weight of the weight 33 itself may be increased, or the fixed position of the weight 33 on the weight support bar 41 may be shifted in a direction away from the rotary shaft 31. When lowering the first set pressure, the weight of the weight 33 itself may be reduced, or the fixed position of the weight 33 on the weight support bar 41 may be shifted in a direction close to the rotating shaft 31.

第1設定圧力は、5Pa〜40Paの範囲、好ましくは、5Pa〜20Paの範囲、より好ましくは、5Pa〜10Paの範囲に設定される。第1設定圧力が40Paを超過すると、ガラリ12からチャンバー13内に余分な空気が進入したときに、その空気をチャンバー13外に速やかに逃がすことができず、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができない場合がある。ダクト収容ボックス10Aは、第1設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリ12からチャンバー13内に余分な空気が進入したとしても、逆止弁ダンパ28Aの旋回羽根32が迅速に旋回して空気をチャンバー13外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   The first set pressure is set in the range of 5 Pa to 40 Pa, preferably in the range of 5 Pa to 20 Pa, more preferably in the range of 5 Pa to 10 Pa. If the first set pressure exceeds 40 Pa, when excess air enters the chamber 13 from the gallery 12, the air cannot be quickly released out of the chamber 13, and the air supply duct 11 with more air than necessary. Inflow may not be prevented. In the duct storage box 10A, by setting the first set pressure within the above range, even if excess air enters the chamber 13 from the gallery 12, the swirl vanes 32 of the check valve damper 28A quickly swirl and air Can be quickly released out of the chamber 13, and more air than necessary can be prevented from flowing into the air supply duct 11.

内部空間14(チャンバー13内)の空気の圧力が錘33の重量(錘33の重量を空気圧に変換した第1設定圧力)よりも大きいと、旋回羽根32が錘33の重量に抗して空気流路30を開放する方向へ旋回する(図6では回転軸31が時計回り方向へ回転する)。旋回羽根32が空気流路30を開放する方向へ旋回すると、空気流路30に所定面積の開口46(空気排出口)が形成され、空気がその開口46を通って内部空間14の外(チャンバー13外)に排気される。逆に、内部空間14の空気の圧力が錘33の重量(第1設定圧力)よりも小さいと、錘33の重量によって旋回羽根32が空気流路30を閉鎖する方向へ旋回する(図6では回転軸31が反時計回り方向へ回転する)。   When the pressure of the air in the internal space 14 (in the chamber 13) is greater than the weight of the weight 33 (the first set pressure obtained by converting the weight of the weight 33 into the air pressure), the swirl vane 32 is air against the weight of the weight 33. It turns in the direction which opens the flow path 30 (in FIG. 6, the rotating shaft 31 rotates clockwise). When the swirl vane 32 swirls in the direction to open the air flow path 30, an opening 46 (air discharge port) having a predetermined area is formed in the air flow path 30, and the air passes through the opening 46 and is outside the internal space 14 (chamber). 13). On the contrary, when the pressure of the air in the internal space 14 is smaller than the weight of the weight 33 (first set pressure), the swirl vane 32 swirls in the direction of closing the air flow path 30 by the weight of the weight 33 (in FIG. 6). The rotating shaft 31 rotates counterclockwise).

ダクト収容ボックス10Aは、チャンバー13の後側壁21に逆止弁ダンパ28Aを有する第1排気ユニット29が設置されているから、ガラリ12の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー13内に進入したときに、第1排気ユニット29の逆止弁ダンパ28Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができ、その結果、ガラリ12から直接給気ダクト11の延出端部22に向かう空気の動圧を除圧することができ、給気ダクト11への必要以上の空気の流入を防ぐことができる。   Since the first exhaust unit 29 having the check valve damper 28A is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13 in the duct housing box 10A, excess air is instantaneously generated due to the wind blown outside the gallery 12. The air that has entered the chamber 13 can be released from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 by using the check valve damper 28 </ b> A of the first exhaust unit 29 when entering the inside of the chamber 13. The dynamic pressure of the air toward the extended end portion 22 of the air supply duct 11 can be removed, and inflow of air more than necessary into the air supply duct 11 can be prevented.

ダクト収容ボックス10Aは、遮蔽板25によって延出端部22の開口端24の全域がガラリ12に対して確実に遮蔽されるから、ガラリ12の外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリ12から給気ダクト11に向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板25に衝突し、チャンバー13内に進入した空気の給気ダクト11への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト11に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ12の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー13から流出したとしても、遮蔽板25によって空気の給気ダクト11からの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックス10Aは、ガラリ12の外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクト11へ一気に流入することはなく、空気が給気ダクト11から一気に流出することもないから、給気ダクト11の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。   Since the entire area of the opening end 24 of the extended end portion 22 is reliably shielded against the louver 12 by the shielding plate 25, the duct housing box 10 </ b> A is free of excess air due to the effect of the wind blowing outside the louver 12. Even when the air enters the air supply duct 11, the air collides with the shielding plate 25, and the air entering the chamber 13 can be prevented from flowing directly into the air supply duct 11. The air flowing into the can be minimized. Further, even if air flows out of the chamber 13 due to the effect of the wind blowing outside the louver 12, the air can be prevented from directly flowing out from the air supply duct 11 by the shielding plate 25. Even if a strong wind blows to the outside of the louver 12, the duct housing box 10 </ b> A does not flow into the air supply duct 11 at a stretch, and air does not flow out from the supply duct 11 at a stretch. A sudden change in the internal pressure of the duct 11 can be prevented.

ダクト収容ボックス10Aは、逆止弁ダンパ28Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができることに加え、遮蔽板25を利用して給気ダクト11への空気の直接の流入や給気ダクト11からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト11に流入させることができる。   The duct storage box 10A can release the air that has entered the chamber 13 from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 by using the check valve damper 28A, and can supply the air to the air supply duct 11 by using the shielding plate 25. Since direct inflow of air and direct outflow of air from the air supply duct 11 can be prevented, excess air does not flow into the air supply duct 11 irregularly and irregularly. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct 11 without flowing out of the air supply duct 11 irregularly.

図8は、他の一例として示すダクト収容ボックス10Bの斜視図であり、図9は、空気流路30が開放された状態の図8のB−B線矢視断面図である。図8,9では、上下方向を矢印X、横方向を矢印Yで示し、前後方向を矢印Z(図9を除く)で示す。図8では、第1および第2排気ユニット29,47の空気流路30が閉鎖された状態にある。このダクト収容ボックス10Bが図1のそれと異なるのはボックス10Bに第2排気ユニット47が設置されている点にあり、その他の構成は図1のボックス10Aのそれと同一であるから、図1と同一の符号を付すとともに、図1のボックス10Aの説明を援用することで、このボックス10Bのその他の構成の説明は省略する。   FIG. 8 is a perspective view of a duct housing box 10B shown as another example, and FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line B-B in FIG. 8 in a state where the air flow path 30 is opened. 8 and 9, the vertical direction is indicated by an arrow X, the horizontal direction is indicated by an arrow Y, and the front-rear direction is indicated by an arrow Z (excluding FIG. 9). In FIG. 8, the air flow paths 30 of the first and second exhaust units 29 and 47 are in a closed state. The duct housing box 10B is different from that of FIG. 1 in that the second exhaust unit 47 is installed in the box 10B, and the other configuration is the same as that of the box 10A of FIG. The description of the other structure of this box 10B is abbreviate | omitted by using description of the box 10A of FIG.

チャンバー13の側壁19には、図8に示すように、各側壁36〜38から作られた中空四角柱状の筐体27と逆止弁ダンパ28Bとを備えた第2排気ユニット47が設置されている。逆止弁ダンパ28Bは、各側壁36〜38に囲繞されたユニット47の空気流路30に設置され、ガラリ12からダクト収容ボックス10Bに進入した空気の圧力に応じてボックス10Bの内部空間14(チャンバー13内)の空気を内部空間14の外(チャンバー13外)に逃がす。なお、第2排気ユニット47の側壁19における設置箇所に特に限定はなく、側壁19であればいずれの箇所に設置してもよい。また、第2排気ユニット47は、側壁19のみならず、側壁20に設置されていてもよい。   On the side wall 19 of the chamber 13, as shown in FIG. 8, a second exhaust unit 47 including a hollow square columnar casing 27 made of the side walls 36 to 38 and a check valve damper 28 </ b> B is installed. Yes. The check valve damper 28B is installed in the air flow path 30 of the unit 47 surrounded by the side walls 36 to 38, and the internal space 14 (in the box 10B according to the pressure of the air that has entered the duct housing box 10B from the gallery 12). The air inside the chamber 13 is released outside the internal space 14 (outside the chamber 13). In addition, there is no limitation in particular in the installation location in the side wall 19 of the 2nd exhaust unit 47, and if it is the side wall 19, you may install in any location. The second exhaust unit 47 may be installed not only on the side wall 19 but also on the side wall 20.

第2排気ユニット47の構成は、図3〜7のそれと同一であるから、図3〜7と同一の符号(ただし、第1排気ユニット29の逆止弁ダンパ28Aに末尾符号Aを付け、第2排気ユニット47の逆止弁ダンパ28Bに末尾符号Bを付けることで両者を区別する)を付すとともに、図3〜7の排気ユニット29の説明を援用することで、この排気ユニット47の説明は省略する。   Since the configuration of the second exhaust unit 47 is the same as that of FIGS. 3 to 7, the same reference numeral as that of FIGS. 3 to 7 (however, the end symbol A is attached to the check valve damper 28 </ b> A of the first exhaust unit 29, 2) is attached to the check valve damper 28B of the exhaust unit 47), and the explanation of the exhaust unit 47 is explained by using the explanation of the exhaust unit 29 of FIGS. Omitted.

ガラリ12の外側近傍(工場76の屋外)に吹く風の影響で、ガラリ12から余分な空気が一気に進入すると、その空気がチャンバー13を通って第1排気ユニット29に進入し、その空気が逆止弁ダンパ28Aの旋回羽根32に衝突して羽根32に所定の動圧(押圧力)が作用する(図7援用)。さらに、後側壁21に衝突した空気によって内部空間14(チャンバー13内)の気圧が上がり、その気圧が第2排気ユニット47に作用して逆止弁ダンパ28Bの旋回羽根32に所定の静圧(押圧力)が作用する。逆止弁ダンパ28Aの旋回羽根32に作用する動圧は、錘33の重量に抗して回転軸31を回転させるように羽根32を押圧する。また、逆止弁ダンパ28Bの旋回羽根32に作用する静圧は、錘33の重量に抗して回転軸31を回転させるように羽根32を押圧する。   When excess air enters the first exhaust unit 29 through the chamber 13 due to the influence of wind blowing near the outside of the gallery 12 (outside the factory 76), the air is reversed. A predetermined dynamic pressure (pressing force) acts on the blade 32 by colliding with the swirling blade 32 of the stop valve damper 28A (in FIG. 7). Furthermore, the air pressure in the inner space 14 (in the chamber 13) is increased by the air colliding with the rear side wall 21, and the air pressure acts on the second exhaust unit 47 to apply a predetermined static pressure (on the swirl vane 32 of the check valve damper 28 </ b> B). (Pressing force) is applied. The dynamic pressure acting on the swirling blade 32 of the check valve damper 28 </ b> A presses the blade 32 so as to rotate the rotating shaft 31 against the weight of the weight 33. The static pressure acting on the swirl vane 32 of the check valve damper 28 </ b> B presses the vane 32 to rotate the rotating shaft 31 against the weight of the weight 33.

各逆止弁ダンパ28A,28Bでは、ダクト収容ボックス10Bの内部空間14(チャンバー13内)の第1設定圧力と錘33とが釣り合うように錘33の重量が調節されている。錘33の重量の調節は、図3〜6のそれと同様に、重量の異なる錘33を錘支持棒41に取り付ける場合と支持棒41に対する錘33の固定位置を変更する場合との少なくとも一方によって行われる。第1設定圧力を高くする場合は、錘33の重量そのものを増加させてもよく、錘支持棒41における錘33の固定位置を回転軸31から離間する方向へずらしてもよい。第1設定圧力を低くする場合は、錘33の重量そのものを減少させてもよく、錘支持棒41における錘33の固定位置を回転軸31に近接する方向へずらしてもよい。   In each check valve damper 28A, 28B, the weight of the weight 33 is adjusted so that the first set pressure in the internal space 14 (inside the chamber 13) of the duct housing box 10B and the weight 33 are balanced. Adjustment of the weight of the weight 33 is performed by at least one of a case where the weight 33 having a different weight is attached to the weight support bar 41 and a case where the fixing position of the weight 33 with respect to the support bar 41 is changed, as in FIGS. Is called. When the first set pressure is increased, the weight of the weight 33 itself may be increased, or the fixed position of the weight 33 on the weight support bar 41 may be shifted in a direction away from the rotary shaft 31. When lowering the first set pressure, the weight of the weight 33 itself may be reduced, or the fixed position of the weight 33 on the weight support bar 41 may be shifted in a direction close to the rotating shaft 31.

逆止弁ダンパ28A,28Bにおける第1設定圧力は、5Pa〜40Paの範囲、好ましくは、5Pa〜20Paの範囲、より好ましくは、5Pa〜10Paの範囲に設定される。第1設定圧力が40Paを超過すると、ガラリ12からチャンバー13内に余分な空気が進入したときに、その空気をチャンバー13外に速やかに逃がすことができず、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができない場合がある。ダクト収容ボックス10Bは、第1設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリ12からチャンバー13内に余分な空気が進入したとしても、逆止弁ダンパ28A,28Bの旋回羽根32が迅速に旋回して空気をチャンバー13外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   The first set pressure in the check valve dampers 28A and 28B is set in a range of 5 Pa to 40 Pa, preferably in a range of 5 Pa to 20 Pa, and more preferably in a range of 5 Pa to 10 Pa. If the first set pressure exceeds 40 Pa, when excess air enters the chamber 13 from the gallery 12, the air cannot be quickly released out of the chamber 13, and the air supply duct 11 with more air than necessary. Inflow may not be prevented. In the duct storage box 10B, by setting the first set pressure within the above range, even if excess air enters the chamber 13 from the gallery 12, the swirl vanes 32 of the check valve dampers 28A and 28B quickly swivel. As a result, air can be quickly released out of the chamber 13, and more air than necessary can be prevented from flowing into the air supply duct 11.

内部空間14の空気の圧力が錘33の重量(錘33の重量を空気圧に変換した第1設定圧力)よりも大きいと、旋回羽根32が錘33の重量に抗して空気流路30を開放する方向へ旋回し(図6援用)、旋回羽根32が錘33の重量に抗して空気流路30を開放する方向へ旋回する(図9参照)。逆止弁ダンパ28A,28Bの旋回羽根32が空気流路30を開放する方向へ旋回すると、空気流路30に所定面積の開口46(空気排出口)が形成され、空気がその開口46を通って内部空間13の外(チャンバー13外)に排気される。逆に、内部空間13の空気の圧力が錘33の重量(第1設定圧力)よりも小さいと、錘33の重量によって逆止弁ダンパ28A,28Bの旋回羽根32が空気流路30を閉鎖する方向へ旋回する。   When the pressure of the air in the internal space 14 is greater than the weight of the weight 33 (the first set pressure obtained by converting the weight of the weight 33 into air pressure), the swirl vane 32 opens the air flow path 30 against the weight of the weight 33. The swirl vane 32 swirls in the direction to open the air flow path 30 against the weight of the weight 33 (see FIG. 9). When the swirl vanes 32 of the check valve dampers 28 </ b> A and 28 </ b> B are swung in a direction to open the air flow path 30, an opening 46 (air discharge port) having a predetermined area is formed in the air flow path 30, and air passes through the opening 46. Then, the air is exhausted outside the internal space 13 (outside the chamber 13). Conversely, when the pressure of the air in the internal space 13 is smaller than the weight of the weight 33 (first set pressure), the swirl vanes 32 of the check valve dampers 28A and 28B close the air flow path 30 by the weight of the weight 33. Turn in the direction.

ダクト収容ボックス10Bは、チャンバー13の後側壁21に逆止弁ダンパ28Aを有する第1排気ユニット29が設置され、側壁19に逆止弁ダンパ28Bを有する第2排気ユニット47が設置されているから、ガラリ12の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー13内に進入したときに、第1および第2排気ユニット29,47の逆止弁ダンパ28A,28Bを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができ、その結果、ガラリ12から直接給気ダクト11の延出端部22に向かう空気の動圧や逆止弁ダンパ28Bに作用する静圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   In the duct housing box 10B, a first exhaust unit 29 having a check valve damper 28A is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13, and a second exhaust unit 47 having a check valve damper 28B is installed on the side wall 19. When excess air instantaneously enters the chamber 13 due to the wind blowing outside the louver 12, the check valve dampers 28A and 28B of the first and second exhaust units 29 and 47 are used to The air that has entered 13 can escape from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13, and as a result, it acts on the dynamic pressure of the air from the gallery 12 directly toward the extended end 22 of the air supply duct 11 and the check valve damper 28 </ b> B. The static pressure to be removed can be removed, and the inflow of air more than necessary into the air supply duct 11 can be prevented.

ダクト収容ボックス10Bは、遮蔽板25によって延出端部22の開口端24の全域がガラリ12に対して確実に遮蔽されるから、ガラリ12の外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリ12から給気ダクト11に向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板25に衝突し、チャンバー13内に進入した空気の給気ダクト11への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト11に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ12の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー13から流出したとしても、遮蔽板25によって空気の給気ダクト11からの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックス10Bは、ガラリ12の外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクト11へ一気に流入することはなく、空気が給気ダクト11から一気に流出することもないから、給気ダクト11の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。   Since the entire area of the opening end 24 of the extended end portion 22 is reliably shielded from the louver 12 by the shielding plate 25, the duct housing box 10 </ b> B is surely free of excess air due to the wind blowing outside the louver 12. Even when the air enters the air supply duct 11, the air collides with the shielding plate 25, and the air entering the chamber 13 can be prevented from flowing directly into the air supply duct 11. The air flowing into the can be minimized. Further, even if air flows out of the chamber 13 due to the effect of the wind blowing outside the louver 12, the air can be prevented from directly flowing out from the air supply duct 11 by the shielding plate 25. Even if a strong wind blows to the outside of the louver 12, the duct housing box 10 </ b> B does not flow into the air supply duct 11 at a stretch and air does not flow out from the supply duct 11 at a stretch. A sudden change in the internal pressure of the duct 11 can be prevented.

ダクト収容ボックス10Bは、逆止弁ダンパ28A,28Bを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができることに加え、遮蔽板25を利用して給気ダクト11への空気の直接の流入や給気ダクト11からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト11に流入させることができる。   In addition to being able to release the air that has entered the chamber 13 from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 using the check valve dampers 28A and 28B, the duct housing box 10B uses the shielding plate 25 to supply the air supply duct 11. Therefore, it is possible to prevent direct inflow of air into the air and direct outflow of air from the air supply duct 11, so that excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct 11, and the air A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct 11 without flowing out of the air supply duct 11 regularly and irregularly.

図10は、他の一例として示すダクト収容ボックス10Cの斜視図であり、図11は、他の一例として示す排気ユニット48の斜視図である。図12は、空気流路52を開放した状態の排気ユニット48の部分破断斜視図であり、図13は、空気流路52が開放された状態の図10のC−C線矢視断面図である。図10,13では、上下方向を矢印X、横方向を矢印Y(図13を除く)で示し、前後方向を矢印Zで示す。図10では、第1排気ユニット48の空気流路52が閉鎖された状態にある。   FIG. 10 is a perspective view of a duct housing box 10C shown as another example, and FIG. 11 is a perspective view of an exhaust unit 48 shown as another example. 12 is a partially broken perspective view of the exhaust unit 48 with the air flow path 52 opened, and FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 10 with the air flow path 52 opened. is there. 10 and 13, the vertical direction is indicated by an arrow X, the horizontal direction is indicated by an arrow Y (excluding FIG. 13), and the front-rear direction is indicated by an arrow Z. In FIG. 10, the air flow path 52 of the first exhaust unit 48 is in a closed state.

このダクト収容ボックス10Cが図1のそれと異なるのはボックス10Cに図1とは異なる態様の第1排気ユニット48が設置されている点にあり、その他の構成は図1のボックス10Aのそれと同一であるから、図1と同一の符号を付すとともに、図1のボックス10Aの説明を援用することで、このボックス10Cのその他の構成の説明は省略する。第1排気ユニット48は、図10に示すように、周壁49から作られた中空円筒状の筐体50と逆止弁ダンパ51Aとを備え、チャンバー13の後側壁21に設置されている。   The duct housing box 10C is different from that shown in FIG. 1 in that a first exhaust unit 48 having a different form from that shown in FIG. 1 is installed in the box 10C, and other configurations are the same as those of the box 10A shown in FIG. Therefore, the same reference numerals as those in FIG. 1 are attached, and the description of the other configuration of the box 10C is omitted by using the description of the box 10A in FIG. As shown in FIG. 10, the first exhaust unit 48 includes a hollow cylindrical casing 50 made of a peripheral wall 49 and a check valve damper 51 </ b> A, and is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13.

逆止弁ダンパ51Aは、周壁49に囲繞されたユニット48の空気流路52に設置され、ガラリ12からダクト収容ボックス10Cに進入した空気の圧力に応じてボックス10Cの内部空間14(チャンバー13内)の空気を内部空間14の外(チャンバー13外)に逃がす。逆止弁ダンパ51Aは、排気ユニット48に固定された支持板53に回転可能に取り付けられた軸54(蝶番)と、軸54に取り付けられて排気ユニット48の空気流路52を開閉する旋回羽根55と、ストッパー56とを有する。   The check valve damper 51A is installed in the air flow path 52 of the unit 48 surrounded by the peripheral wall 49, and the internal space 14 (inside the chamber 13) of the box 10C according to the pressure of the air that has entered the duct housing box 10C from the gallery 12. ) To the outside of the internal space 14 (outside the chamber 13). The check valve damper 51A includes a shaft 54 (hinge) that is rotatably attached to a support plate 53 that is fixed to the exhaust unit 48, and a swirl vane that is attached to the shaft 54 and opens and closes the air flow path 52 of the exhaust unit 48. 55 and a stopper 56.

旋回羽根55は、排気ユニット48の空気流路52と略同一の面積を有する略円形の金属板であり、軸54に旋回可能に取り付けられている。旋回羽根55は、軸54を中心に空気流路52を閉鎖する方向と空気流路52を開放する方向とへ旋回する。ストッパー56は、金属板から作られ、周壁49の内側に取り付けられて周壁49から空気流路52に向かって延びている。旋回羽根55の周縁部がストッパー56に当接すると、羽根55の旋回が停止する。第1排気ユニット48では、旋回羽根55によってユニット48の空気流路52が閉鎖されたときにその羽根55のそれ以上の旋回がストッパー56によって阻止され、羽根55がストッパー56の前方へ旋回することはないから、ユニット48の空気流路52に開口が形成されることはない。ゆえに、後側壁21からチャンバー13内への空気の流入を防ぐことができる。   The swirl vane 55 is a substantially circular metal plate having substantially the same area as the air flow path 52 of the exhaust unit 48, and is attached to the shaft 54 so as to be swivelable. The swirl blade 55 swirls around the shaft 54 in a direction to close the air flow path 52 and a direction to open the air flow path 52. The stopper 56 is made of a metal plate, is attached to the inside of the peripheral wall 49, and extends from the peripheral wall 49 toward the air flow path 52. When the peripheral edge of the swirl vane 55 comes into contact with the stopper 56, the swirl of the vane 55 stops. In the first exhaust unit 48, when the air flow path 52 of the unit 48 is closed by the swirl vane 55, further swirling of the vane 55 is blocked by the stopper 56, and the vane 55 swirls forward of the stopper 56. Therefore, no opening is formed in the air flow path 52 of the unit 48. Therefore, the inflow of air from the rear side wall 21 into the chamber 13 can be prevented.

旋回羽根55は、その自重(羽根55の重量)によって第1排気ユニット48の空気流路52を閉鎖する方向へ旋回する。ガラリ12の外側近傍(工場76の屋外)で強い風が吹くと、その風の影響でガラリ12からダクト収容ボックス10Cの内部空間14(チャンバー13内)に余分な空気が一気に進入する場合がある。ガラリ12から余分な空気が進入すると、その空気がチャンバー13を通って第1排気ユニット48に進入し、空気が旋回羽根55に衝突して羽根55に所定の動圧(押圧力)が作用する。旋回羽根55に作用する動圧は、錘33の重量に抗して軸54を回転させるように羽根55を押圧する。   The swirl blade 55 swirls in a direction to close the air flow path 52 of the first exhaust unit 48 by its own weight (weight of the blade 55). When a strong wind blows near the outside of the gallery 12 (outside the factory 76), excess air may enter the interior space 14 (inside the chamber 13) of the duct housing box 10C from the gallery 12 at a stretch due to the influence of the wind. . When excess air enters from the louver 12, the air enters the first exhaust unit 48 through the chamber 13, and the air collides with the swirl vane 55 and a predetermined dynamic pressure (pressing force) acts on the vane 55. . The dynamic pressure acting on the swirl blade 55 presses the blade 55 so as to rotate the shaft 54 against the weight of the weight 33.

逆止弁ダンパ51Aでは、ダクト収容ボックス10Cの内部空間14(チャンバー13内)の第1設定圧力と旋回羽根55とが釣り合うように羽根55の重量が調節されている。第1設定圧力を高くする場合は、旋回羽根55の重量を増加させる。第1設定圧力を低くする場合は、羽根55の重量を減少させる。第1設定圧力は、5Pa〜40Paの範囲、好ましくは、5Pa〜20Paの範囲、より好ましくは、5Pa〜10Paの範囲に設定される。第1設定圧力が40Paを超過すると、ガラリ12からチャンバー13内に余分な空気が進入したときに、その空気をチャンバー13外に速やかに逃がすことができず、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができない場合がある。ダクト収容ボックス10Cは、第1設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリ12からチャンバー13内に余分な空気が進入し、逆止弁ダンパ51Aの旋回羽根55に動圧が作用したとしても、羽根55が迅速に旋回して空気をチャンバー13外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   In the check valve damper 51A, the weight of the blade 55 is adjusted so that the first set pressure in the internal space 14 (inside the chamber 13) of the duct housing box 10C and the swirl blade 55 are balanced. When increasing the first set pressure, the weight of the swirl vane 55 is increased. When lowering the first set pressure, the weight of the blade 55 is decreased. The first set pressure is set in the range of 5 Pa to 40 Pa, preferably in the range of 5 Pa to 20 Pa, more preferably in the range of 5 Pa to 10 Pa. If the first set pressure exceeds 40 Pa, when excess air enters the chamber 13 from the gallery 12, the air cannot be quickly released out of the chamber 13, and the air supply duct 11 with more air than necessary. Inflow may not be prevented. Even if excess air enters the chamber 13 from the gallery 12 and the dynamic pressure acts on the swirl vane 55 of the check valve damper 51A by setting the first set pressure within the above range, The blades 55 are swirled quickly so that the air can be quickly released out of the chamber 13, and the inflow of air more than necessary into the air supply duct 11 can be prevented.

内部空間14の空気の圧力が旋回羽根55の重量(羽根55の重量を空気圧に変換した第1設定圧力)よりも大きいと、羽根55がその重量に抗して空気流路52を開放する方向へ旋回する。旋回羽根55が空気流路52を開放する方向へ旋回すると、空気流路52に所定面積の開口57(空気排出口)が形成され、空気がその開口57を通って内部空間14の外(チャンバー13外)に排気される。逆に、内部空間14の空気の圧力が旋回羽根55の重量(第1設定圧力)よりも小さいと、羽根55の重量によって羽根55が空気流路52を閉鎖する方向へ旋回する。空気流路52が閉鎖された状態では、旋回羽根55の周縁部がストッパー56に当接している。   When the pressure of the air in the internal space 14 is larger than the weight of the swirl vane 55 (the first set pressure obtained by converting the weight of the vane 55 into air pressure), the vane 55 opens the air flow path 52 against the weight. Turn to. When the swirl vane 55 swirls in a direction to open the air flow path 52, an opening 57 (air discharge port) having a predetermined area is formed in the air flow path 52, and the air passes through the opening 57 and is outside the chamber (chamber). 13). Conversely, when the pressure of the air in the internal space 14 is smaller than the weight of the swirl vane 55 (first set pressure), the vane 55 swirls in the direction of closing the air flow path 52 by the weight of the vane 55. In the state where the air flow path 52 is closed, the peripheral edge portion of the swirl vane 55 is in contact with the stopper 56.

ダクト収容ボックス10Cは、チャンバー13の側壁19に逆止弁ダンパ51Aを有する第1排気ユニット48が設置されているから、図13に矢印A1で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー13内に進入したときに、第1排気ユニット48の逆止弁ダンパ51Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができ、その結果、ガラリ12から直接給気ダクト11の延出端部22に向かう空気の動圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   Since the first exhaust unit 48 having the check valve damper 51A is installed on the side wall 19 of the chamber 13 in the duct housing box 10C, the influence of the wind blown outside the louver 12 as shown by the arrow A1 in FIG. When the excess air instantaneously enters the chamber 13, the air that has entered the chamber 13 can be released from the chamber 13 to the outside of the chamber 13 using the check valve damper 51 </ b> A of the first exhaust unit 48. As a result, it is possible to remove the dynamic pressure of air from the louver 12 directly toward the extended end portion 22 of the air supply duct 11, and to prevent an excessive flow of air into the air supply duct 11.

ダクト収容ボックス10Cは、遮蔽板25によって延出端部22の開口端24の全域がガラリ12に対して確実に遮蔽されるから、ガラリ12の外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリ12から給気ダクト11に向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板25に衝突し、チャンバー13内に進入した空気の給気ダクト11への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト11に流入する空気を最小限にすることができる。また、図13に矢印A2で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー13から流出したとしても、遮蔽板25によって空気の給気ダクト11からの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックス10Cは、ガラリ12の外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクト11へ一気に流入することはなく、空気が給気ダクト11から一気に流出することもないから、給気ダクト11の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。   Since the entire area of the opening end 24 of the extended end portion 22 is reliably shielded against the louver 12 by the shielding plate 25, the duct housing box 10 </ b> C is free from excess air due to the influence of the wind blowing outside the louver 12. Even when the air enters the air supply duct 11, the air collides with the shielding plate 25, and the air entering the chamber 13 can be prevented from flowing directly into the air supply duct 11. The air flowing into the can be minimized. Further, as shown by an arrow A2 in FIG. 13, even if air flows out of the chamber 13 due to the influence of the wind blowing outside the louver 12, the shielding plate 25 prevents direct outflow of air from the air supply duct 11. Can do. Even if a strong wind blows to the outside of the louver 12, the duct housing box 10 </ b> C does not flow air into the air supply duct 11 at a stretch, and air does not flow out from the air supply duct 11 at a stretch. A sudden change in the internal pressure of the duct 11 can be prevented.

ダクト収容ボックス10Cは、逆止弁ダンパ51Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができることに加え、遮蔽板25を利用して給気ダクト11への空気の直接の流入や給気ダクト11からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト11に流入させることができる。   The duct storage box 10C can release the air that has entered the chamber 13 using the check valve damper 51A from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13, and also supplies the air to the air supply duct 11 using the shielding plate 25. Since direct inflow of air and direct outflow of air from the air supply duct 11 can be prevented, excess air does not flow into the air supply duct 11 irregularly and irregularly. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct 11 without flowing out of the air supply duct 11 irregularly.

図14は、他の一例として示すダクト収容ボックス10Dの斜視図であり、図15は、空気流路52が開放された状態の図14のD−D線矢視断面図である。図14,15では、上下方向を矢印X、横方向を矢印Y(図15を除く)で示し、前後方向を矢印Zで示す。図14では、第1および第2排気ユニット48,58の空気流路52が閉鎖された状態にある。このダクト収容ボックス10Dが図10のそれと異なるのはボックス10Dに第2排気ユニット58が設置されている点にあり、その他の構成は図10のボックス10Cのそれと同一であるから、図10と同一の符号を付すとともに、図10のボックス10Cの説明を援用することで、このボックス10Dのその他の構成の説明は省略する。   14 is a perspective view of a duct housing box 10D shown as another example, and FIG. 15 is a cross-sectional view taken along the line DD in FIG. 14 in a state where the air flow path 52 is opened. 14 and 15, the vertical direction is indicated by an arrow X, the horizontal direction is indicated by an arrow Y (excluding FIG. 15), and the front-rear direction is indicated by an arrow Z. In FIG. 14, the air flow paths 52 of the first and second exhaust units 48 and 58 are in a closed state. The duct housing box 10D is different from that of FIG. 10 in that the second exhaust unit 58 is installed in the box 10D, and the other configuration is the same as that of the box 10C of FIG. The description of the other structure of this box 10D is abbreviate | omitted by using description of the box 10C of FIG.

チャンバー13の側壁19には、図14に示すように、周壁49から作られた中空円筒状の筐体50と逆止弁ダンパ51Bとを備えた第2排気ユニット58が設置されている。逆止弁ダンパ51Bは、周壁49に囲繞されたユニット58の空気流路52に設置され、ガラリ12からダクト収容ボックス10Dに進入した空気の圧力に応じてボックス10Dの内部空間14(チャンバー14内)の空気を内部空間14の外(チャンバー13外)に逃がす。   On the side wall 19 of the chamber 13, as shown in FIG. 14, a second exhaust unit 58 including a hollow cylindrical housing 50 made of a peripheral wall 49 and a check valve damper 51 </ b> B is installed. The check valve damper 51B is installed in the air flow path 52 of the unit 58 surrounded by the peripheral wall 49, and the internal space 14 (inside the chamber 14) of the box 10D according to the pressure of the air that has entered the duct housing box 10D from the gallery 12. ) To the outside of the internal space 14 (outside the chamber 13).

第2排気ユニット58の構成は、図11,12のそれと同一であるから、図11,12と同一の符号(ただし、第1排気ユニット48の逆止弁ダンパ51Aに末尾符号Aを付け、第2排気ユニット58の逆止弁ダンパ51Bに末尾符号Bを付けることで両者を区別する)を付すとともに、図11,12の排気ユニット48の説明を援用することで、この排気ユニット58の説明は省略する。   Since the configuration of the second exhaust unit 58 is the same as that of FIGS. 11 and 12, the same reference numeral as that of FIGS. 11 and 12 (however, the end symbol A is added to the check valve damper 51 </ b> A of the first exhaust unit 48, and 2 is attached to the check valve damper 51B of the exhaust unit 58), and the description of the exhaust unit 48 in FIGS. Omitted.

ガラリ12の外側近傍(工場76の屋外)に吹く風の影響で、ガラリ12から余分な空気が一気に進入すると、その空気がチャンバー13を通って第1排気ユニット48に進入し、ユニット48内に流入した空気が旋回羽根55に衝突し、その空気圧によって羽根55に所定の動圧(押圧力)が作用する。さらに、後側壁21に衝突した空気によって内部空間14(チャンバー13内)の気圧が上がり、その気圧が第2排気ユニット58に作用して旋回羽根55に所定の静圧(押圧力)が作用する。逆止弁ダンパ51Aの旋回羽根55に作用する動圧は、羽根55の重量に抗して軸54を回転させるように羽根55を押圧する。また、逆止弁ダンパ51Bの旋回羽根55に作用する静圧は、羽根55の重量に抗して軸54を回転させるように羽根55を押圧する。   When excess air enters the first exhaust unit 48 through the chamber 13 due to the influence of the wind blowing near the outside of the gallery 12 (outside the factory 76), the air enters the first exhaust unit 48 through the chamber 13 and enters the unit 48. The inflowing air collides with the swirl blade 55, and a predetermined dynamic pressure (pressing force) acts on the blade 55 by the air pressure. Further, the air pressure colliding with the rear side wall 21 raises the air pressure in the internal space 14 (in the chamber 13), the air pressure acts on the second exhaust unit 58, and a predetermined static pressure (pressing force) acts on the swirl blade 55. . The dynamic pressure acting on the swirling blade 55 of the check valve damper 51 </ b> A presses the blade 55 so as to rotate the shaft 54 against the weight of the blade 55. Further, the static pressure acting on the swirling blade 55 of the check valve damper 51B presses the blade 55 so as to rotate the shaft 54 against the weight of the blade 55.

それら逆止弁ダンパ51A,51Bでは、ダクト収容ボックス10Dの内部空間14(チャンバー13内)の第1設定圧力と旋回羽根55とが釣り合うように羽根55の重量が調節されている。第1設定圧力を高くする場合は、旋回羽根55の重量を増加させ、第1設定圧力を低くする場合は、羽根55の重量を減少させる。第1設定圧力は、5Pa〜40Paの範囲、好ましくは、5Pa〜20Paの範囲、より好ましくは、5Pa〜10Paの範囲に設定される。第1設定圧力が40Paを超過すると、ガラリ12からチャンバー13内に余分な空気が進入したときに、その空気をチャンバー13外に速やかに逃がすことができず、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができない場合がある。ダクト収容ボックス10Dは、第1設定圧力を前記範囲にすることで、ガラリ12からチャンバー13内に余分な空気が進入し、逆止弁ダンパ51Aの旋回羽根55に動圧が作用するとともに逆止弁ダンパ51Bの羽根55に静圧が作用したとしても、それら旋回羽根55が迅速に旋回して空気をチャンバー13外に速やかに逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   In these check valve dampers 51A and 51B, the weight of the blade 55 is adjusted so that the first set pressure in the internal space 14 (inside the chamber 13) of the duct housing box 10D and the swirl blade 55 are balanced. When the first set pressure is increased, the weight of the swirl blade 55 is increased, and when the first set pressure is decreased, the weight of the blade 55 is decreased. The first set pressure is set in the range of 5 Pa to 40 Pa, preferably in the range of 5 Pa to 20 Pa, more preferably in the range of 5 Pa to 10 Pa. If the first set pressure exceeds 40 Pa, when excess air enters the chamber 13 from the gallery 12, the air cannot be quickly released out of the chamber 13, and the air supply duct 11 with more air than necessary. Inflow may not be prevented. In the duct storage box 10D, by setting the first set pressure within the above range, excess air enters the chamber 13 from the louver 12, and dynamic pressure acts on the swirl blade 55 of the check valve damper 51A and the check Even if static pressure is applied to the blades 55 of the valve damper 51B, the swirl vanes 55 can quickly swirl and air can be quickly released out of the chamber 13, and more air than necessary flows into the air supply duct 11. Can be prevented.

内部空間14の空気の圧力が旋回羽根55の重量(羽根55の重量を空気圧に変換した第1設定圧力)よりも大きいと、羽根55がその重量に抗して空気流路52を開放する方向へ旋回し(図11,12援用)、羽根55がその重量に抗して空気流路52を開放する方向へ旋回する。それら旋回羽根55が空気流路52を開放する方向へ旋回すると、空気流路52に所定面積の開口57(空気排出口)が形成され、空気がその開口57を通って内部空間14の外(チャンバー13外)に排気される。逆に、内部空間14の空気の圧力が旋回羽根55の重量(第1設定圧力)よりも小さいと、羽根55の重量によってそれら羽根55が空気流路52を閉鎖する方向へ旋回する。   When the pressure of the air in the internal space 14 is larger than the weight of the swirl vane 55 (the first set pressure obtained by converting the weight of the vane 55 into air pressure), the vane 55 opens the air flow path 52 against the weight. And the blades 55 are swung in the direction of opening the air flow path 52 against the weight. When the swirl vanes 55 swirl in the direction to open the air flow path 52, an opening 57 (air discharge port) having a predetermined area is formed in the air flow path 52, and air passes through the opening 57 and is outside the internal space 14 ( The air is exhausted to the outside of the chamber 13. Conversely, when the pressure of the air in the internal space 14 is smaller than the weight of the swirl vane 55 (first set pressure), the vane 55 swirls in the direction to close the air flow path 52 by the weight of the vane 55.

ダクト収容ボックス10Dは、チャンバー13の後側壁21に逆止弁ダンパ51Aを有する第1排気ユニット48が設置され、側壁19に逆止弁ダンパ51Bを有する第2排気ユニット58が設置されているから、ガラリ12の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー13内に進入したときに(図13援用)、第1および第2排気ユニット48,58の逆止弁ダンパ51A,51Bを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができ、その結果、利用してガラリ12から直接給気ダクト11の延出端部22に向かう空気の動圧や逆止弁ダンパ51Bに作用する静圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   In the duct housing box 10D, the first exhaust unit 48 having the check valve damper 51A is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13, and the second exhaust unit 58 having the check valve damper 51B is installed on the side wall 19. When the excess air instantaneously enters the chamber 13 due to the wind blown outside the louver 12 (see FIG. 13), the check valve dampers 51A and 51B of the first and second exhaust units 48 and 58 are used. The air that has entered the chamber 13 can be released from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 by using the air pressure. As a result, the dynamic pressure of the air that is directed from the gallery 12 toward the extended end 22 of the air supply duct 11 can be used. In addition, the static pressure acting on the check valve damper 51B can be removed, and more air than necessary can be prevented from flowing into the air supply duct 11.

ダクト収容ボックス10Dは、遮蔽板25によって延出端部22の開口端24の全域がガラリ12に対して確実に遮蔽されるから、ガラリ12の外側に吹く風の影響で余分な空気がガラリ12から給気ダクト11に向かって進入したとしても、その空気が遮蔽板25に衝突し、チャンバー13内に進入した空気の給気ダクト11への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト11に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ12の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー13から流出したとしても(図13援用)、遮蔽板25によって空気の給気ダクト11からの直接の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックス10Dは、ガラリ12の外側に強い風が吹いたとしても、空気が給気ダクト11へ一気に流入することはなく、空気が給気ダクト11から一気に流出することもないから、給気ダクト11の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。   Since the entire area of the opening end 24 of the extended end portion 22 is reliably shielded against the louver 12 by the shielding plate 25, the duct housing box 10 </ b> D is surely shielded from excess air due to the wind blown outside the louver 12. Even when the air enters the air supply duct 11, the air collides with the shielding plate 25, and the air entering the chamber 13 can be prevented from flowing directly into the air supply duct 11. The air flowing into the can be minimized. Moreover, even if air flows out of the chamber 13 due to the influence of the wind blown to the outside of the louver 12 (referring to FIG. 13), direct shielding of the air from the air supply duct 11 can be prevented by the shielding plate 25. Even if a strong wind blows to the outside of the louver 12, the duct housing box 10 </ b> D does not flow air into the air supply duct 11 at once, and air does not flow out from the air supply duct 11 at a stretch. A sudden change in the internal pressure of the duct 11 can be prevented.

ダクト収容ボックス10Dは、逆止弁ダンパ51A,51Bを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができることに加え、遮蔽板25を利用して給気ダクト11への空気の直接の流入や給気ダクト11からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト11に流入させることができる。   In addition to being able to release the air that has entered the chamber 13 from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 using the check valve dampers 51A and 51B, the duct housing box 10D uses the shielding plate 25 to supply the air supply duct 11. Therefore, it is possible to prevent direct inflow of air into the air and direct outflow of air from the air supply duct 11, so that excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply duct 11, and the air A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct 11 without flowing out of the air supply duct 11 regularly and irregularly.

図16は、他の一例として示すダクト収容ボックス10Eの斜視図であり、図17は、図16のダクト収容ボックス10Eの部分破断正面図である。図18は、図16のE−E線矢視断面図である。図16〜図18では、上下方向を矢印X、横方向を矢印Y(図18を除く)で示し、前後方向を矢印Z(図17を除く)で示す。図16では、第1排気ユニット29の空気流路30が閉鎖された状態にある。図17では、ガラリ12の一部を破断して示す。   16 is a perspective view of a duct housing box 10E shown as another example, and FIG. 17 is a partially cutaway front view of the duct housing box 10E of FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line EE in FIG. 16 to 18, the vertical direction is indicated by an arrow X, the horizontal direction is indicated by an arrow Y (excluding FIG. 18), and the front-rear direction is indicated by an arrow Z (excluding FIG. 17). In FIG. 16, the air flow path 30 of the first exhaust unit 29 is in a closed state. In FIG. 17, a part of the louver 12 is shown broken away.

このダクト収容ボックス10Eが図1のそれと異なるのは給気ダクト11の延出端部22に屈曲ダクト59が接続され、遮蔽板25がない点にあり、その他の構成は図1のボックス10Aのそれと同一であるから、図1と同一の符号を付すとともに、図1のボックス10Aの説明を援用することで、このボックス10Eのその他の構成の説明は省略する。   The duct housing box 10E is different from that shown in FIG. 1 in that a bent duct 59 is connected to the extended end portion 22 of the air supply duct 11 and there is no shielding plate 25, and other configurations are the same as those of the box 10A shown in FIG. Since it is the same as that, it attaches | subjects the code | symbol same as FIG. 1, and abbreviate | omits description of the other structure of this box 10E by using description of the box 10A of FIG.

このダクト収容ボックス10Eでは、図16に示すように、チャンバー13の後側壁21に図1と同様の第1排気ユニット29が設置されているが、後側壁21に図10と同様の第1排気ユニット48が設置されていてもよい。また、チャンバー13の後側壁21と側壁19とに図8と同様の第1および第2排気ユニット29,47が設置されていてもよく、チャンバー13の後側壁21と側壁19とに図14と同様の第1および第2排気ユニット48,58が設置されていてもよい。第1設定圧力は、5Pa〜40Paの範囲、好ましくは、5Pa〜20Paの範囲、より好ましくは、5Pa〜10Paの範囲に設定される。   In this duct storage box 10E, as shown in FIG. 16, the first exhaust unit 29 similar to FIG. 1 is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13, but the first exhaust similar to FIG. A unit 48 may be installed. Further, first and second exhaust units 29 and 47 similar to those in FIG. 8 may be provided on the rear side wall 21 and the side wall 19 of the chamber 13, and FIG. 14 is provided on the rear side wall 21 and the side wall 19 of the chamber 13. Similar first and second exhaust units 48 and 58 may be provided. The first set pressure is set in the range of 5 Pa to 40 Pa, preferably in the range of 5 Pa to 20 Pa, more preferably in the range of 5 Pa to 10 Pa.

給気ダクト11の延出端部22には、ガラリ12に対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクト59が接続されている。屈曲ダクト59は、給気ダクト11の延出端部22の開口端24から流入する空気の流れをガラリ12に対向しない方向へ向ける。屈曲ダクト59は、給気ダクト11の延出端部22の開口端24に気密に接合された第1開口端60と、第1開口端60の反対側に位置して空気が流入する第2開口端61とを有する。   A bent duct 59 that is bent in a direction not facing the gallery 12 is connected to the extended end portion 22 of the air supply duct 11. The bent duct 59 directs the flow of air flowing in from the opening end 24 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11 in a direction not facing the gallery 12. The bent duct 59 is airtightly joined to the opening end 24 of the extending end portion 22 of the air supply duct 11 and the second opening into which air flows in on the opposite side of the first opening end 60. And an open end 61.

屈曲ダクト59は、給気ダクト11の延出端部22の軸線L2に対して略90度で上下方向上方へ屈曲している。屈曲ダクト59の第2開口端61は、チャンバー13の頂壁17に向かって上下方向上方へ開口している。ガラリ12からボックス10Eの内部空間14に流入した空気は、頂壁17に向かって開口する屈曲ダクト59の第2開口端61からダクト59に流入し、ダクト59を通って給気ダクト11に流入する。   The bent duct 59 is bent upward in the vertical direction at approximately 90 degrees with respect to the axis L2 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11. The second opening end 61 of the bent duct 59 opens upward in the vertical direction toward the top wall 17 of the chamber 13. The air that has flowed into the internal space 14 of the box 10 </ b> E from the gallery 12 flows into the duct 59 from the second opening end 61 of the bent duct 59 that opens toward the top wall 17, and flows into the air supply duct 11 through the duct 59. To do.

なお、屈曲ダクト59が給気ダクト11の延出端部22の軸線L2に対して略90度で上下方向下方へ屈曲していてもよい。屈曲ダクト59が上下方向下方へ屈曲する場合は、第2開口端61がチャンバー13の底壁18に向かって上下方向下方へ開口する。また、屈曲ダクト59が給気ダクト11の延出端部22の軸線L2に対して略90度で横方向へ屈曲していてもよい。屈曲ダクト59が横方向へ屈曲する場合は、第2開口端61がチャンバー13の側壁19,20に向かって横方向左方または横方向右方へ開口する。屈曲ダクト59は、延出端部22の軸線L2に対して90〜180度の範囲で上下方向または横方向へ屈曲していればよい。屈曲ダクト59が延出端部22の軸線L2に対して180度で上下方向または横方向へ屈曲する場合は、屈曲ダクト59の第2開口端61がチャンバー13の後側壁21に向かって前後方向後方へ開口する。   The bent duct 59 may be bent downward in the vertical direction at approximately 90 degrees with respect to the axis L2 of the extending end portion 22 of the air supply duct 11. When the bent duct 59 is bent downward in the vertical direction, the second opening end 61 opens downward in the vertical direction toward the bottom wall 18 of the chamber 13. Further, the bent duct 59 may be bent in the lateral direction at approximately 90 degrees with respect to the axis L2 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11. When the bending duct 59 is bent in the lateral direction, the second opening end 61 opens leftward in the lateral direction or rightward in the lateral direction toward the side walls 19 and 20 of the chamber 13. The bent duct 59 may be bent in the vertical direction or the horizontal direction within a range of 90 to 180 degrees with respect to the axis L2 of the extended end portion 22. When the bent duct 59 bends in the vertical direction or the lateral direction at 180 degrees with respect to the axis L <b> 2 of the extended end portion 22, the second open end 61 of the bent duct 59 moves in the front-rear direction toward the rear side wall 21 of the chamber 13. Open backwards.

ダクト収容ボックス10Eは、チャンバー13の後側壁21に逆止弁ダンパ28Aを有する第1排気ユニット29が設置されているから、図18に矢印A1で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー13内に進入したときに、第1排気ユニット29の逆止弁ダンパ28Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができ、その結果、利用してガラリ12から直接給気ダクト11の延出端部22に向かう空気の動圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   Since the first exhaust unit 29 having the check valve damper 28A is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13 in the duct storage box 10E, as shown by an arrow A1 in FIG. When excess air instantaneously enters the chamber 13 due to the influence, the air that has entered the chamber 13 is released from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 by using the check valve damper 28A of the first exhaust unit 29. As a result, it is possible to remove the dynamic pressure of air from the louver 12 directly toward the extended end 22 of the air supply duct 11 by using it, and to prevent the air from flowing into the air supply duct 11 more than necessary. be able to.

ダクト収容ボックス10Eは、屈曲ダクト59が上下方向上方へ屈曲してガラリ12に対向しない方向へ延出し、屈曲ダクト59の第2開口端61がチャンバー13の頂壁17に向かって開口(ガラリ12に対向しない方向へ開口)するから、図18に矢印A1で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス10Eの内部空間14(チャンバー13内)に進入したとしても、その空気が屈曲ダクト59の周面に衝突し、空気がダクト59の第2開口端61に直接進入することはなく、内部空間14に進入した空気の給気ダクト11への直接の流入を防ぐことができ、ダクト11に流入する空気を最小限にすることができる。また、図18に矢印A2で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー13から流出したとしても、空気が屈曲ダクト59の第2開口端61から直接流出することはなく、空気の給気ダクト11からの直接の流出を防ぐことができる。   In the duct housing box 10E, the bent duct 59 is bent upward and downward and extends in a direction not facing the gallery 12, and the second opening end 61 of the bent duct 59 opens toward the top wall 17 of the chamber 13 (the gallery 12). 18), even if excess air enters the internal space 14 (inside the chamber 13) of the box 10E due to the influence of the wind blowing outside the louver 12, as indicated by an arrow A1 in FIG. The air does not collide with the peripheral surface of the bent duct 59, and the air does not directly enter the second opening end 61 of the duct 59, but the air that has entered the internal space 14 flows directly into the air supply duct 11. Therefore, the air flowing into the duct 11 can be minimized. Further, as shown by an arrow A2 in FIG. 18, even when air flows out of the chamber 13 due to the influence of the wind blowing outside the louver 12, the air does not flow out directly from the second opening end 61 of the bent duct 59. The direct outflow of air from the air supply duct 11 can be prevented.

ダクト収容ボックス10Eは、逆止弁ダンパ28Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができることに加え、屈曲ダクト59を利用して給気ダクト11への空気の直接の流入や給気ダクト11からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト11に流入させることができる。   The duct housing box 10E can release the air that has entered the chamber 13 from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 by using the check valve damper 28A, and can supply the air to the air supply duct 11 by using the bent duct 59. Since direct inflow of air and direct outflow of air from the air supply duct 11 can be prevented, excess air does not flow into the air supply duct 11 irregularly and irregularly. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct 11 without flowing out of the air supply duct 11 irregularly.

図19は、他の一例として示すダクト収容ボックス10Fの斜視図であり、図20は、図19のダクト収容ボックス10Fの部分破断正面図である。図21は、図19のF−F線矢視断面図である。図19〜図21では、上下方向を矢印X、横方向を矢印Y(図21を除く)で示し、前後方向を矢印Z(図20を除く)で示す。図19では、第1排気ユニット29の空気流路30が閉鎖された状態にある。図20では、ガラリ12の一部を破断して示す。   FIG. 19 is a perspective view of a duct housing box 10F shown as another example, and FIG. 20 is a partially cutaway front view of the duct housing box 10F of FIG. 21 is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. 19 to 21, the vertical direction is indicated by an arrow X, the horizontal direction is indicated by an arrow Y (excluding FIG. 21), and the front-rear direction is indicated by an arrow Z (excluding FIG. 20). In FIG. 19, the air flow path 30 of the first exhaust unit 29 is in a closed state. In FIG. 20, a part of the louver 12 is cut away.

このダクト収容ボックス10Fが図1のそれと異なるのは給気ダクト11の延出端部22に接続ダクト62が接続され、遮蔽板25がない点にあり、その他の構成は図1のボックス10Aのそれと同一であるから、図1と同一の符号を付すとともに、図1のボックス10Aの説明を援用することで、このボックス10Fのその他の構成の説明は省略する。   The duct housing box 10F is different from that shown in FIG. 1 in that the connecting duct 62 is connected to the extended end 22 of the air supply duct 11 and there is no shielding plate 25, and the other structure is the same as that of the box 10A shown in FIG. Since it is the same as that, it attaches | subjects the code | symbol same as FIG. 1, and abbreviate | omits description of the other structure of this box 10F by using description of the box 10A of FIG.

このダクト収容ボックス10Fでは、図19に示すように、チャンバー13の後側壁21に図1と同様の第1排気ユニット29が設置されているが、後側壁21に図10と同様の第1排気ユニット48が設置されていてもよい。また、チャンバー13の後側壁21と側壁19とに図8と同様の第1および第2排気ユニット29,47が設置されていてもよく、チャンバー13の後側壁21と側壁19とに図14と同様の第1および第2排気ユニット48,58が設置されていてもよい。第1設定圧力は、5Pa〜40Paの範囲、好ましくは、5Pa〜20Paの範囲、より好ましくは、5Pa〜10Paの範囲に設定される。   In the duct housing box 10F, as shown in FIG. 19, a first exhaust unit 29 similar to that of FIG. 1 is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13, but the first exhaust unit similar to FIG. A unit 48 may be installed. Further, first and second exhaust units 29 and 47 similar to those in FIG. 8 may be provided on the rear side wall 21 and the side wall 19 of the chamber 13, and FIG. 14 is provided on the rear side wall 21 and the side wall 19 of the chamber 13. Similar first and second exhaust units 48 and 58 may be provided. The first set pressure is set in the range of 5 Pa to 40 Pa, preferably in the range of 5 Pa to 20 Pa, more preferably in the range of 5 Pa to 10 Pa.

給気ダクト11の延出端部22には、上下方向(ガラリ12に対向しない方向)へ直状に延びる接続ダクト62が接続されている。接続ダクト62は、給気ダクト11の延出端部22の開口端24から流入する空気の流れをガラリ12に対向しない方向へ向ける。接続ダクト62は、給気ダクト11の延出端部22の開口端24に接続された中央開口端63と、中央開口端63の両側に位置して空気が流入する両側開口端64とを有する。   A connecting duct 62 that extends straight in the vertical direction (the direction not facing the louver 12) is connected to the extending end 22 of the air supply duct 11. The connection duct 62 directs the flow of air flowing in from the open end 24 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11 in a direction not facing the gallery 12. The connection duct 62 has a central opening end 63 connected to the opening end 24 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11, and both side opening ends 64 that are located on both sides of the central opening end 63 and into which air flows. .

接続ダクト62の中央開口端63は、その周縁が延出端部11の開口端24の周縁に気密に接合されている。接続ダクト62の両側開口端64の一方は、チャンバー13の頂壁17に向かって上下方向上方へ開口し、両側開口端64の他方は、チャンバー13の底壁18に向かって上下方向下方へ開口している。ガラリ12からボックス10Fの内部空間14に流入した空気は、頂底壁17,18に向かって開口する接続ダクト62の両側開口端64からダクト62に流入し、ダクト62を通って給気ダクト11に流入する。   The central opening end 63 of the connection duct 62 is hermetically joined at its periphery to the periphery of the opening end 24 of the extended end portion 11. One of the opening ends 64 on both sides of the connection duct 62 opens upward in the vertical direction toward the top wall 17 of the chamber 13, and the other of the opening ends 64 on the both sides opens downward in the vertical direction toward the bottom wall 18 of the chamber 13. is doing. The air that has flowed into the internal space 14 of the box 10F from the gallery 12 flows into the duct 62 from both open ends 64 of the connection duct 62 that opens toward the top and bottom walls 17 and 18, passes through the duct 62, and passes through the air supply duct 11. Flow into.

接続ダクト62は、その軸線L3が給気ダクト11の延出端部22の軸線L2に対して直交している。換言すれば、接続ダクト62と延出端部22との交差角度が90度であり、接続ダクト62と延出端部22との側面形状がT字形を呈する。なお、接続ダクト62の軸線L3が給気ダクト11の延出端部22の軸線L2に対して90度未満で交差していてもよく、接続ダクト62の軸線L3がダクト11の延出端部22の軸線L3に対して90度を超過して交差していてもよい。また、接続ダクト62が横方向(ガラリ12に対向しない方向)へ直状に延びていてもよい。接続ダクト62が横方向へ延びる場合は、両側開口端64がチャンバー13の側壁19,20に向かって横方向左方と横方向右方とへ開口する。   The connecting duct 62 has an axis L3 orthogonal to the axis L2 of the extending end 22 of the air supply duct 11. In other words, the intersection angle between the connection duct 62 and the extended end portion 22 is 90 degrees, and the side surface shape of the connection duct 62 and the extended end portion 22 exhibits a T shape. The axis L3 of the connection duct 62 may intersect the axis L2 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11 at less than 90 degrees, and the axis L3 of the connection duct 62 extends to the extended end portion of the duct 11. It may cross over 90 degrees with respect to 22 axis lines L3. Further, the connection duct 62 may extend straight in the lateral direction (the direction not facing the gallery 12). When the connecting duct 62 extends in the lateral direction, the opening ends 64 on both sides open toward the left side in the lateral direction and the right side in the lateral direction toward the side walls 19 and 20 of the chamber 13.

ダクト収容ボックス10Fは、チャンバー13の後側壁21に逆止弁ダンパ28Aを有する第1排気ユニット29が設置されているから、図21に矢印A1で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー13内に進入したときに、第1排気ユニット29の逆止弁ダンパ28Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができ、その結果、利用してガラリ12から直接給気ダクト11の延出端部22に向かう空気の動圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   Since the first exhaust unit 29 having the check valve damper 28A is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13 in the duct housing box 10F, as shown by an arrow A1 in FIG. When excess air instantaneously enters the chamber 13 due to the influence, the air that has entered the chamber 13 is released from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 by using the check valve damper 28A of the first exhaust unit 29. As a result, it is possible to remove the dynamic pressure of air from the louver 12 directly toward the extended end 22 of the air supply duct 11 by using it, and to prevent the air from flowing into the air supply duct 11 more than necessary. be able to.

ダクト収容ボックス10Fは、接続ダクト62が上下方向へ延びていてガラリ12に対向しない方向へ延出し、接続ダクト62の両側開口端64がチャンバー13の頂底壁17,18に向かって開口(ガラリ12に対向しない方向へ開口)するから、図21に矢印A1で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス10Fの内部空間14(チャンバー13内)に進入したとしても、その空気が接続ダクト62の周面に衝突し、空気が接続ダクト62の両側開口端64に直接進入することはなく、内部空間14に進入した空気の給気ダクト11への直接の流入を防ぐことができ、ダクト11に流入する空気を最小限にすることができる。また、図21に矢印A2で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー13から流出したとしても、空気が接続ダクト62の両側開口端64から直接流出することはなく、空気の給気ダクト11からの直接の流出を防ぐことができる。   The duct housing box 10 </ b> F extends in a direction in which the connection duct 62 extends in the vertical direction and does not face the gallery 12, and both side opening ends 64 of the connection duct 62 open toward the top and bottom walls 17, 18 of the chamber 13. 21), excess air has entered the internal space 14 (inside the chamber 13) of the box 10F due to the influence of the wind blowing outside the louver 12, as indicated by an arrow A1 in FIG. However, the air does not collide with the peripheral surface of the connection duct 62, and the air does not directly enter the opening ends 64 on both sides of the connection duct 62, but the air that has entered the internal space 14 directly flows into the air supply duct 11. The air flowing into the duct 11 can be minimized. Further, as shown by an arrow A2 in FIG. 21, even if air flows out of the chamber 13 due to the wind blowing outside the louver 12, the air does not flow out directly from the opening ends 64 on both sides of the connection duct 62, Direct outflow of air from the air supply duct 11 can be prevented.

ダクト収容ボックス10Fは、逆止弁ダンパ28Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができることに加え、接続ダクト62を利用して給気ダクト11への空気の直接の流入や給気ダクト11からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト11に流入させることができる。   The duct storage box 10F can release the air that has entered the chamber 13 using the check valve damper 28A from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 and also supplies the air to the air supply duct 11 using the connection duct 62. Since direct inflow of air and direct outflow of air from the air supply duct 11 can be prevented, excess air does not flow into the air supply duct 11 irregularly and irregularly. A constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct 11 without flowing out of the air supply duct 11 irregularly.

図22は、他の一例として示すダクト収容ボックス10Gの斜視図であり、図23は、図22のダクト収容ボックス10Gの部分破断正面図である。図24は、図22のF−F線矢視断面図である。図22〜図24では、上下方向を矢印X、横方向を矢印Y(図24を除く)で示し、前後方向を矢印Z(図23を除く)で示す。図22では、第1排気ユニット29の空気流路30が閉鎖された状態にある。図23では、ガラリ12の一部を破断して示す。   22 is a perspective view of a duct housing box 10G shown as another example, and FIG. 23 is a partially cutaway front view of the duct housing box 10G of FIG. 24 is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. 22 to 24, the vertical direction is indicated by an arrow X, the horizontal direction is indicated by an arrow Y (excluding FIG. 24), and the front-rear direction is indicated by an arrow Z (excluding FIG. 23). In FIG. 22, the air flow path 30 of the first exhaust unit 29 is in a closed state. In FIG. 23, a part of the louver 12 is shown broken away.

このダクト収容ボックス10Gが図1のそれと異なるのは給気ダクト11の延出端部22に第1接続ダクト65が接続されているとともに、第1接続ダクト65に第2接続ダクト66が接続され、遮蔽板25がない点にあり、その他の構成は図1のボックス10Aのそれと同一であるから、図1と同一の符号を付すとともに、図1のボックス10Aの説明を援用することで、このボックス10Gのその他の構成の説明は省略する。   The duct storage box 10G is different from that shown in FIG. 1 in that the first connection duct 65 is connected to the extended end portion 22 of the air supply duct 11 and the second connection duct 66 is connected to the first connection duct 65. 1 and the other configuration is the same as that of the box 10A in FIG. 1, so that the same reference numerals as those in FIG. 1 are attached and the description of the box 10A in FIG. The description of other configurations of the box 10G is omitted.

このダクト収容ボックス10Gでは、図23に示すように、チャンバー13の後側壁21に図1と同様の第1排気ユニット29が設置されているが、後側壁21に図10と同様の第1排気ユニット48が設置されていてもよい。また、チャンバー13の後側壁21と側壁19とに図8と同様の第1および第2排気ユニット29,47が設置されていてもよく、チャンバー13の後側壁21と側壁19とに図14と同様の第1および第2排気ユニット48,58が設置されていてもよい。第1設定圧力は、5Pa〜40Paの範囲、好ましくは、5Pa〜20Paの範囲、より好ましくは、5Pa〜10Paの範囲に設定される。   In the duct housing box 10G, as shown in FIG. 23, the first exhaust unit 29 similar to FIG. 1 is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13, but the first exhaust similar to FIG. A unit 48 may be installed. Further, first and second exhaust units 29 and 47 similar to those in FIG. 8 may be provided on the rear side wall 21 and the side wall 19 of the chamber 13, and FIG. 14 is provided on the rear side wall 21 and the side wall 19 of the chamber 13. Similar first and second exhaust units 48 and 58 may be provided. The first set pressure is set in the range of 5 Pa to 40 Pa, preferably in the range of 5 Pa to 20 Pa, more preferably in the range of 5 Pa to 10 Pa.

給気ダクト11の延出端部22には、横方向(ガラリ12に対向しない方向)へ直状に延びる1本の第1接続ダクト65が接続されている。第1接続ダクト65には、上下方向(ガラリ12に対向しない方向)へ直状に延びる2本の第2接続ダクト66が接続されている。第1および第2接続ダクト65,66は、給気ダクト11の延出端部22の開口端24から出入する空気の流れをガラリ12に対向しない方向へ向ける。   The first end of the air supply duct 11 is connected to a first connection duct 65 that extends in a straight line in the lateral direction (the direction not facing the louver 12). Connected to the first connection duct 65 are two second connection ducts 66 extending straight in the vertical direction (the direction not facing the gallery 12). The first and second connection ducts 65 and 66 direct the flow of air that enters and exits from the open end 24 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11 in a direction that does not face the gallery 12.

第1接続ダクト65は、給気ダクト11の延出端部22の開口端24に接続された第1中央開口端67と、第1中央開口端67の両側に位置する第1両側開口端68とを有する。第1接続ダクト65の第1中央開口端67は、その周縁が延出端部22の開口端24の周縁に気密に接合されている。それら第2接続ダクト66は、第1接続ダクト65の第1両側開口端68に接続された第2中央開口端69と、第2中央開口端69の両側に位置して空気が流入する第2両側開口端70とを有する。第2接続ダクト66の第2中央開口端69は、その周縁が第1接続ダクト65の第1両側開口端67に気密に接合されている。   The first connection duct 65 includes a first center opening end 67 connected to the opening end 24 of the extending end portion 22 of the air supply duct 11 and first side opening ends 68 located on both sides of the first center opening end 67. And have. The first center opening end 67 of the first connection duct 65 is hermetically joined to the periphery of the opening end 24 of the extended end portion 22 at its periphery. The second connection ducts 66 are located on both sides of the second center opening end 69 and the second center opening end 69 connected to the first both side opening ends 68 of the first connection duct 65, and the second inflow of air. And open ends 70 on both sides. The peripheral edge of the second central opening end 69 of the second connection duct 66 is airtightly joined to the first both-side opening ends 67 of the first connection duct 65.

第2接続ダクト66の第2両側開口端70の一方は、チャンバー13の頂壁17に向かって上下方向上方へ開口し、第2両側開口端70の他方は、チャンバー13の底壁18に向かって上下方向下方へ開口している。ガラリ12からボックス10Gの内部空間14に流入した空気は、頂底壁17,18に向かって開口する第2接続ダクト66の第2両側開口端70からダクト66に流入し、第1および第2接続ダクト65,66を通って給気ダクト11に流入する。   One of the second side opening ends 70 of the second connection duct 66 opens upward in the vertical direction toward the top wall 17 of the chamber 13, and the other side of the second side opening ends 70 faces the bottom wall 18 of the chamber 13. Open downward in the vertical direction. The air that has flowed into the internal space 14 of the box 10G from the gallery 12 flows into the duct 66 from the second both-side opening ends 70 of the second connection duct 66 that opens toward the top bottom walls 17 and 18, and the first and second It flows into the air supply duct 11 through the connection ducts 65 and 66.

第1接続ダクト65は、その軸線L3が給気ダクト11の延出端部22の軸線L2に対して直交している。換言すれば、接続ダクト65と延出端部22との交差角度が90度である。第2接続ダクト66は、その軸線L4が第1接続ダクト66の軸線L3に対して直交している。換言すれば、第1接続ダクト65と第2接続ダクト66との交差角度が90度である。第1および第2接続ダクト65,66の正面形状はH形を呈する。   The axis L3 of the first connection duct 65 is orthogonal to the axis L2 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11. In other words, the intersection angle between the connection duct 65 and the extended end 22 is 90 degrees. The axis L4 of the second connection duct 66 is orthogonal to the axis L3 of the first connection duct 66. In other words, the crossing angle between the first connection duct 65 and the second connection duct 66 is 90 degrees. The front shape of the first and second connection ducts 65 and 66 is H-shaped.

なお、第1接続ダクト65の軸線L3が給気ダクト11の延出端部22の軸線L2に対して90度未満で交差していてもよく、第1接続ダクト65の軸線L3が延出端部22の軸線L2に対して90度を超過して交差していてもよい。また、第2接続ダクト66の軸線L4が第1接続ダクト65の軸線L3に対して90度未満で交差していてもよく、接続ダクト66の軸線L4が接続ダクト65の軸線L3に対して90度を超過して交差していてもよい。さらに、第1接続ダクト65が上下方向(ガラリ12に対向しない方向)へ直状に延びていてもよい。第1接続ダクト65が上下方向へ延びる場合は、第2接続ダクト66が横方向へ直状に延び、接続ダクト66の第2両側開口端70の一方がチャンバー13の側壁19に向かって横方向左方へ開口し、第2両側開口端70の他方がチャンバー13の側壁20に向かって横方向右方へ開口する。   The axis L3 of the first connection duct 65 may intersect the axis L2 of the extended end portion 22 of the air supply duct 11 at less than 90 degrees, and the axis L3 of the first connection duct 65 extends to the extended end. You may cross | intersect exceeding 90 degree | times with respect to the axis line L2 of the part 22. FIG. Further, the axis L4 of the second connection duct 66 may intersect the axis L3 of the first connection duct 65 at less than 90 degrees, and the axis L4 of the connection duct 66 is 90 with respect to the axis L3 of the connection duct 65. You may cross over the degree. Furthermore, the 1st connection duct 65 may be extended in the up-down direction (direction which does not oppose the gallery 12) linearly. When the first connection duct 65 extends in the up-down direction, the second connection duct 66 extends straight in the lateral direction, and one of the second side opening ends 70 of the connection duct 66 extends in the lateral direction toward the side wall 19 of the chamber 13. It opens to the left, and the other of the second side opening ends 70 opens to the right in the lateral direction toward the side wall 20 of the chamber 13.

ダクト収容ボックス10Gは、チャンバー13の後側壁21に逆止弁ダンパ28Aを有する第1排気ユニット29が設置されているから、図24に矢印A1で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で瞬間的に余分な空気がチャンバー13内に進入したときに、第1排気ユニット29の逆止弁ダンパ28Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができ、その結果、利用してガラリ12から直接給気ダクト11の延出端部22に向かう空気の動圧を除圧することができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。   Since the first exhaust unit 29 having the check valve damper 28A is installed on the rear side wall 21 of the chamber 13 in the duct housing box 10G, as shown by an arrow A1 in FIG. When excess air instantaneously enters the chamber 13 due to the influence, the air that has entered the chamber 13 is released from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 by using the check valve damper 28A of the first exhaust unit 29. As a result, it is possible to remove the dynamic pressure of air from the louver 12 directly toward the extended end 22 of the air supply duct 11 by using it, and to prevent the air from flowing into the air supply duct 11 more than necessary. be able to.

ダクト収容ボックス10Gは、第1接続ダクト65が横方向へ延びていてガラリ12に対向しない方向へ延出し、第2接続ダクト66が上下方向へ延びていてガラリ12に対向しない方向へ延出し、第2接続ダクト66の第2両側開口端70が頂底壁17,18に向かって開口(ガラリ12に対向しない方向へ開口)するから、図24に矢印A1で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス10Gの内部空間14(チャンバー13内)に進入したとしても、その空気が第1および第2接続ダクト65,66の周面に衝突し、空気が第2接続ダクト66の第2両側開口端70に直接進入することはなく、内部空間14に進入した空気の給気ダクト11への直接の流入を防ぐことができ、給気ダクト11に流入する空気を最小限にすることができる。また、図24に矢印A2で示すように、ガラリ12の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー13から流出したとしても、空気が第2接続ダクト66の第2両側開口端70から直接流出することはなく、空気の給気ダクト11からの直接の流出を防ぐことができる。   The duct housing box 10G extends in a direction in which the first connection duct 65 extends in the lateral direction and does not face the gallery 12, the second connection duct 66 extends in the vertical direction and does not face the gallery 12, Since the second both-side opening ends 70 of the second connection duct 66 open toward the top and bottom walls 17 and 18 (open in a direction not facing the gallery 12), as shown by an arrow A1 in FIG. Even if excess air enters the internal space 14 (inside the chamber 13) of the box 10G due to the influence of the wind blowing on the air, the air collides with the peripheral surfaces of the first and second connection ducts 65 and 66, and the air The air does not directly enter the second both-side opening ends 70 of the two connection ducts 66, can prevent the air that has entered the internal space 14 from flowing directly into the air supply duct 11, and the air flowing into the air supply duct 11. It is possible to minimize. Further, as shown by an arrow A2 in FIG. 24, even if air flows out of the chamber 13 due to the effect of the wind blowing outside the louver 12, the air flows out directly from the second both-side opening ends 70 of the second connection duct 66. In other words, direct outflow of air from the air supply duct 11 can be prevented.

ダクト収容ボックス10Gは、逆止弁ダンパ28Aを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができることに加え、第1および第2接続ダクト65,66を利用して給気ダクト11への空気の直接の流入や給気ダクト11からの空気の直接の流出を防ぐことができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11に流入することはなく、空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11から流出することもなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト11に流入させることができる。   The duct storage box 10G utilizes the first and second connection ducts 65 and 66 in addition to allowing the air that has entered the chamber 13 to escape from the chamber 13 to the outside of the chamber 13 using the check valve damper 28A. Therefore, the direct inflow of air into the air supply duct 11 and the direct outflow of air from the air supply duct 11 can be prevented, so that excess air flows into the air supply duct 11 irregularly and irregularly. Therefore, air does not flow out of the air supply duct 11 irregularly and irregularly, and a constant pressure and a constant amount of air can flow into the air supply duct 11.

図25,26は、給気装置74を含む室圧制御機構71の一例を示す構成図であり、図27は、一例として示す給気装置74の構成図である。図25は、クリーンルーム72,73(室)を上方から示し、図26は、クリーンルーム72,73を側方から示す。なお、図25,26の室圧制御機構71では、室として半導体の製造や薬剤の製造、各種実験等に使用するクリーンルーム72,73を例示しているが、室をクリーンルーム72,73に限定するものではなく、室としてクリーンルーム72,73を含むあらゆる室が含まれる。また、2つのクリーンルーム72,73を図示しているが、室を2つに限定するものではなく、1つまたは3つ以上の室にこの給気装置74を適用することができる。   25 and 26 are configuration diagrams showing an example of the room pressure control mechanism 71 including the air supply device 74, and FIG. 27 is a configuration diagram of the air supply device 74 shown as an example. FIG. 25 shows the clean rooms 72 and 73 (rooms) from above, and FIG. 26 shows the clean rooms 72 and 73 from the side. In the room pressure control mechanism 71 of FIGS. 25 and 26, clean rooms 72 and 73 used for manufacturing semiconductors, drugs, various experiments, and the like are illustrated as rooms. However, the rooms are limited to the clean rooms 72 and 73. It is not a thing, but includes all rooms including clean rooms 72 and 73 as rooms. Although two clean rooms 72 and 73 are illustrated, the number of chambers is not limited to two, and the air supply device 74 can be applied to one or three or more chambers.

図25の室圧制御機構71では、クリーンルーム72,73から延びる給気ダクト11がダクト収容ボックス10A〜10Gのうちのいずれかの態様のボックスに接続されている。なお、給気ダクト11の延出端部22には、遮蔽板25や屈曲ダクト59、接続ダクト62,65,66のいずれかが接続されている。室圧制御機構71は、所定容積を有するクリーンルーム72,73に空気(外気)を供給する給気装置74と、クリーンルーム72,73から空気を排出する排気装置75とから形成されている。クリーンルーム72,73は、工場76(既設建物)内部に設置され、その四方を天井77および床78と、各側壁79とに囲繞され、高い気密性を有する。   In the room pressure control mechanism 71 of FIG. 25, the air supply duct 11 extending from the clean rooms 72 and 73 is connected to the box of any one of the duct housing boxes 10A to 10G. Note that any one of the shielding plate 25, the bent duct 59, and the connection ducts 62, 65, and 66 is connected to the extended end portion 22 of the air supply duct 11. The chamber pressure control mechanism 71 is formed of an air supply device 74 that supplies air (outside air) to the clean rooms 72 and 73 having a predetermined volume, and an exhaust device 75 that discharges air from the clean rooms 72 and 73. The clean rooms 72 and 73 are installed inside a factory 76 (existing building), and are surrounded by a ceiling 77, a floor 78, and side walls 79 on all sides, and have high airtightness.

天井77には、空気をクリーンルーム72,73内に取り入れるための給気口(図示せず)が施設されている。側壁79には、クリーンルーム72,73内から空気を排出するためのガラリ排気口80が施設されている。側壁79には、クリーンルーム72,73に出入りするためのドア81が設置されている。クリーンルーム72,73の室内気圧は、あらかじめ設定された目標室内気圧に保持される。クリーンルーム72,73の目標室内気圧に特に限定はなく、クリーンルーム72,73の用途や容積等によって目標室内気圧を適宜設定することができる。   The ceiling 77 is provided with an air supply port (not shown) for taking air into the clean rooms 72 and 73. The side wall 79 is provided with a gallery exhaust port 80 for exhausting air from the clean rooms 72 and 73. On the side wall 79, a door 81 for entering and exiting the clean rooms 72 and 73 is installed. The indoor air pressure in the clean rooms 72 and 73 is maintained at a preset target indoor air pressure. The target room pressure in the clean rooms 72 and 73 is not particularly limited, and the target room pressure can be set as appropriate depending on the use, volume, and the like of the clean rooms 72 and 73.

給気装置74は、クリーンルーム72,73につながる金属製の給気ダクト11と、給気ダクト11を通る空気(外気)の所定量をクリーンルーム72,73に強制的に送り込む給気ファン82(送風機)と、給気ファン82に流入する空気の量を調節するモータダンパ83と、給気ダクト11を通る空気の圧力を測定する圧力センサ84と、クリーンルーム72,73に給気する空気を一定に保持する定風量ユニット85とを有する。   The air supply device 74 includes a metal air supply duct 11 connected to the clean rooms 72 and 73, and an air supply fan 82 (blower that forcibly sends a predetermined amount of air (outside air) passing through the air supply duct 11 to the clean rooms 72 and 73. ), A motor damper 83 for adjusting the amount of air flowing into the air supply fan 82, a pressure sensor 84 for measuring the pressure of the air passing through the air supply duct 11, and the air supplied to the clean rooms 72 and 73 are kept constant. And a constant air volume unit 85.

給気ファン82は、インターフェイスを介して制御装置(図示せず)に接続されている。制御装置は、給気ファン82の出力を設定されたそれに保持し、給気ファン82から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。なお、この実施の形態では、給気装置74が定風量ユニット85を備えているが、給気装置74に定風量ユニット85が含まれていなくてもよい。   The supply fan 82 is connected to a control device (not shown) through an interface. The control device holds the output of the air supply fan 82 at the set value, and keeps the pressure and amount of the air sent from the air supply fan 82 constant. In this embodiment, the air supply device 74 includes the constant air volume unit 85, but the air supply device 74 may not include the constant air volume unit 85.

給気ダクト11は、天井77空間に配置され、天井77に施設された給気口と工場76の壁15に施設されたダクト収容ボックス10A〜10Gとの間に延びている。給気ダクト11は、ガラリ12から流入した空気をクリーンルーム72,73内に搬送する。給気ダクト11の延出端部22は、ダクト収容ボックス10A〜10Gの内部空間14(チャンバー13内)に収容されている。モータダンパ83は、ダクト収容ボックス10A〜10Gと給気ファン82との間に延びる給気ダクト11に設置されている。圧力センサ84は、モータダンパ83と給気ファン82との間に延びる給気ダクト11に設置されている。定風量ユニット85は、給気ファン82とクリーンルーム72,73と間に延びる給気ダクト11に取り付けられている。   The air supply duct 11 is disposed in the ceiling 77 space, and extends between the air supply port provided in the ceiling 77 and the duct accommodation boxes 10A to 10G provided in the wall 15 of the factory 76. The air supply duct 11 conveys the air flowing in from the gallery 12 into the clean rooms 72 and 73. The extended end 22 of the air supply duct 11 is accommodated in the internal space 14 (in the chamber 13) of the duct accommodation boxes 10A to 10G. The motor damper 83 is installed in the air supply duct 11 extending between the duct housing boxes 10 </ b> A to 10 </ b> G and the air supply fan 82. The pressure sensor 84 is installed in the air supply duct 11 extending between the motor damper 83 and the air supply fan 82. The constant air volume unit 85 is attached to the air supply duct 11 extending between the air supply fan 82 and the clean rooms 72 and 73.

給気装置74では、ダクト収容ボックス10A〜10Gからクリーンルーム72,73に向かって、モータダンパ83、圧力センサ84、給気ファン82、定風量ユニット85の順に並んでいる。定風量ユニット85は、給気ダクト82の内部気圧の変動に対してユニット85内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム72,73に供給する空気量を常時一定に保持する。ガラリ12からダクト収容ボックス10A〜10Gに流入した空気は、給気ダクト11を通ってモータダンパ83から給気ファン82に流入し、給気ファン82からダクト11を通って定風量ユニット85に流入した後、ユニット85からダクト11を通り、給気口からクリーンルーム72,73内に供給される。   In the air supply device 74, the motor damper 83, the pressure sensor 84, the air supply fan 82, and the constant air volume unit 85 are arranged in this order from the duct housing boxes 10 </ b> A to 10 </ b> G toward the clean rooms 72 and 73. The constant air volume unit 85 adjusts the amount of air flowing through the unit 85 in response to fluctuations in the internal air pressure of the air supply duct 82, and always keeps the air volume supplied to the clean rooms 72 and 73 constant. The air that flows into the duct housing boxes 10A to 10G from the gallery 12 flows into the air supply fan 82 from the motor damper 83 through the air supply duct 11, and flows into the constant air quantity unit 85 from the air supply fan 82 through the duct 11. Thereafter, the air is supplied from the unit 85 through the duct 11 into the clean rooms 72 and 73 through the air supply port.

モータダンパ83は、モジュトロールモータ(図示せず)と、モータの回転を制御する(モータダンパ83の旋回羽根87の開度を調節する)コントローラ86(制御装置)と、モータの駆動力によって旋回する旋回羽根87とから形成されている。モータダンパ83は、旋回羽根87の旋回によって開閉される空気流路(図示せず)を有する。モータダンパ83のコントローラ86は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ(記憶部)とを有するマイクロプロセッサである。   The motor damper 83 includes a modular roll motor (not shown), a controller 86 (control device) that controls the rotation of the motor (adjusts the opening degree of the swirl vane 87 of the motor damper 83), and a swing that is swung by the driving force of the motor. The blade 87 is formed. The motor damper 83 has an air flow path (not shown) that is opened and closed by the swirling of the swirl vanes 87. The controller 86 of the motor damper 83 is a microprocessor having a central processing unit that performs arithmetic processing and a memory (storage unit) that can store various conditions.

モータダンパ83では、コントローラ86からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根87が所定角度に旋回し、空気流路に対する羽根87の開度(旋回角度)を調整して空気流路を通過する空気量を調節する。コントローラ86には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている(図示せず)。モータダンパ83には、平行翼ダンパまたは対向翼ダンパを使用することができる。圧力センサ84は、インターフェイス88を介してモータダンパ83のコントローラ86に接続されている。   In the motor damper 83, the module roll motor is rotated by a control signal from the controller 86 and the swirl vane 87 swirls at a predetermined angle, and the opening degree (swirl angle) of the vane 87 with respect to the air flow path is adjusted to pass through the air flow path. Adjust the air volume. An input device for inputting various conditions and a display device for input confirmation are connected to the controller 86 via an interface (not shown). For the motor damper 83, a parallel blade damper or a counter blade damper can be used. The pressure sensor 84 is connected to the controller 86 of the motor damper 83 via the interface 88.

モータダンパ83のコントローラ86のメモリには、圧力センサ84によって測定された給気ダクト11の測定圧力と比較する第2設定圧力が格納されている。なお、第2設定圧力は、入力装置によって自由に設定変更することができる。第2設定圧力は、−1000Pa〜1000Paの範囲に設定される。なお、逆止弁ダンパ28A,28B,51A,51Bの第1設定圧力は、5Pa〜40Paの範囲、好ましくは、5Pa〜20Paの範囲、より好ましくは、5Pa〜10Paの範囲に設定されており、第2設定圧力のプラス側の設定値よりも低く設定される(第2設定圧力(+)>第1設定圧力(+))。   The memory of the controller 86 of the motor damper 83 stores a second set pressure to be compared with the measured pressure of the air supply duct 11 measured by the pressure sensor 84. The second set pressure can be freely set and changed by the input device. The second set pressure is set in a range of −1000 Pa to 1000 Pa. The first set pressure of the check valve dampers 28A, 28B, 51A, 51B is set in the range of 5 to 40 Pa, preferably in the range of 5 to 20 Pa, more preferably in the range of 5 to 10 Pa. It is set lower than the set value on the plus side of the second set pressure (second set pressure (+)> first set pressure (+)).

モータダンパ83のコントローラ86の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいてメモリに格納されたアプリケーションプログラムを起動し、起動したアプリケーションプログラムに従って以下の各手段を実行する。コントローラ86の中央処理部は、圧力センサ84から出力された給気ダクト11内の測定圧力とあらかじめ設定された第2設定圧力とを比較する圧力比較手段を実行する。中央処理部は、測定圧力と第2設定圧力とを比較した結果、測定圧力が第2設定圧力の範囲から外れている場合、モータダンパ83の旋回羽根87の開度を調節して測定圧力を第2設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段を実行する。なお、測定圧力が第2設定圧力の範囲から外れているとは、測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過している場合と測定圧力が第2設定圧力の範囲未満の場合とがある。   The central processing unit of the controller 86 of the motor damper 83 activates an application program stored in the memory based on control by the operating system, and executes the following means according to the activated application program. The central processing unit of the controller 86 executes pressure comparison means for comparing the measured pressure in the air supply duct 11 output from the pressure sensor 84 with a preset second set pressure. As a result of comparing the measured pressure with the second set pressure, the central processing unit adjusts the opening of the swirl vane 87 of the motor damper 83 to adjust the measured pressure when the measured pressure is out of the range of the second set pressure. 2. A pressure control means for returning the pressure to the set pressure range is executed. Note that the measured pressure is out of the second set pressure range includes a case where the measured pressure exceeds the second set pressure range and a case where the measured pressure is less than the second set pressure range.

図7、図13、図18、図21、図24に矢印A1で示すように、工場76の壁15に取り付けられたガラリ12の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ12を通ってダクト収容ボックス10A〜10Gの内部空間14(チャンバー13内)に進入する場合がある。空気がガラリ12を通ってボックス10A〜10Gの内部空間14に進入したとしても、第1排気ユニット29,48や第2排気ユニット48,58の逆止弁ダンパ28A,28B,51A,51Bを利用して、チャンバー13内の空気をチャンバー13外に排気するから、余分な空気が給気ダクト11に流入することはなく、余分な空気がダクト11に流入したとしても、定風量ユニット85によってクリーンルーム72,73に供給する空気量が一定に保持される。また、風の影響で、空気がガラリ12を通ってボックス28A,28B,51A,51Bの内部空間14に一気に進入したとしても、上述のとおり、給気ダクト11の延出端部22に接続された遮蔽板25や屈曲ダクト59、接続ダクト62,65,66によって空気が給気ダクト11に直接流入することはない。   As shown by arrows A1 in FIGS. 7, 13, 18, 21, and 24, when a strong wind blows near the outside of the gallery 12 attached to the wall 15 of the factory 76, the air is affected by the wind. The duct 12 may enter the internal space 14 (in the chamber 13) of the duct housing boxes 10A to 10G through the gallery 12. Even if air enters the internal space 14 of the boxes 10A to 10G through the louver 12, the check valve dampers 28A, 28B, 51A, 51B of the first exhaust units 29, 48 and the second exhaust units 48, 58 are used. Then, since the air in the chamber 13 is exhausted to the outside of the chamber 13, the excess air does not flow into the air supply duct 11, and even if the excess air flows into the duct 11, the constant air volume unit 85 performs the clean room. The amount of air supplied to 72 and 73 is kept constant. Moreover, even if air enters the internal space 14 of the boxes 28A, 28B, 51A, 51B at a stretch due to the influence of the wind, as described above, it is connected to the extended end 22 of the air supply duct 11. The air does not flow directly into the air supply duct 11 by the shielding plate 25, the bent duct 59, and the connecting ducts 62, 65, 66.

しかし、逆止弁ダンパ28A,28B,51A,51Bの排気機能を超過する量の空気がチャンバー13内に一気に流入した場合、その空気によってダクト収容ボックス10A〜10G内の気圧が一気に上昇し、それによって、空気が給気ダクト11に流入する場合がある。給気ダクト11に空気が流入すると、ダクト11内の圧力が増加する。その結果、測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過する場合がある。なお、定風量ユニット85では、後記するモータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、一度に余分な空気が給気ダクト11に一気に流入すると、モータダンパがそれに追い付かず、ユニット85を通って余分な空気がクリーンルーム72,73内に流入する場合があり、クリーンルーム72,73内を目標室内気圧に保持することができない場合がある。   However, when an amount of air exceeding the exhaust function of the check valve dampers 28A, 28B, 51A, 51B flows into the chamber 13 at a stretch, the air pressure in the duct housing boxes 10A-10G rises all at once. As a result, air may flow into the air supply duct 11. When air flows into the air supply duct 11, the pressure in the duct 11 increases. As a result, the measured pressure may exceed the range of the second set pressure. In the constant air volume unit 85, the amount of air passing therethrough is kept constant by adjusting the opening degree of the rotating blades of the motor damper, which will be described later, but excess air flows into the air supply duct 11 at once. Then, the motor damper may not catch up with it, and excess air may flow into the clean rooms 72 and 73 through the unit 85, and the clean rooms 72 and 73 may not be maintained at the target room pressure.

それとは逆に、図7、図13、図18、図21、図24に矢印A2示すように、工場76の壁15に取り付けられたガラリ12の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ12を通ってダクト収容ボックス10A〜10Gの内部空間14(チャンバー13内)から工場76の屋外に流出する場合がある。空気がボックス10A〜10Gの内部空間14からガラリ12を通って流出したとしても、定風量ユニット85によってクリーンルーム72,73に供給する空気量が一定に保持される。また、風の影響で、空気がボックス10A〜10Gの内部空間14から流出したとしても、上述のとおり、給気ダクト11の延出端部22に接続された遮蔽板25や屈曲ダクト59、接続ダクト62,65,66によって空気が給気ダクト11から直接流出することはない。しかし、ダクト収容ボックス10A〜10Gの内部空間14(チャンバー13)から流出した空気によって内部空間14の気圧が一気に下降し、それによって、空気が給気ダクト11から流出しようとする場合がある。   On the contrary, when a strong wind blows near the outside of the louver 12 attached to the wall 15 of the factory 76 as shown by an arrow A2 in FIGS. 7, 13, 18, 21, and 24, Under the influence, air may flow out of the factory 76 from the internal space 14 (inside the chamber 13) of the duct housing boxes 10A to 10G through the louver 12. Even if air flows out from the internal space 14 of the boxes 10A to 10G through the gallery 12, the amount of air supplied to the clean rooms 72 and 73 by the constant air volume unit 85 is kept constant. Even if air flows out of the internal space 14 of the boxes 10A to 10G due to the wind, as described above, the shielding plate 25 and the bent duct 59 connected to the extended end portion 22 of the air supply duct 11 are connected. The ducts 62, 65, 66 do not allow air to flow directly out of the air supply duct 11. However, the air pressure in the internal space 14 may drop at a stretch due to the air flowing out from the internal space 14 (chamber 13) of the duct housing boxes 10A to 10G, so that the air may try to flow out from the air supply duct 11.

給気ダクト11から空気が流出しようとすると、ダクト11内の圧力が減少する。その結果、測定圧力が第2設定圧力の範囲未満となる場合がある。なお、定風量ユニット85では、モータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、一度に余分な空気が給気ダクト11から一気に流出しようとすると、モータダンパがそれに追い付かず、クリーンルーム72,73内を目標室内気圧に保持することができない場合がある。クリーンルーム72,73ではその内部気圧を厳格に管理する必要があるが、給気ダクト11内の圧力変動による影響でクリーンルーム72,73の内部気圧が変動する場合があり、給気ダクト11内の圧力変動による影響を無視することはできない。   When air tries to flow out from the air supply duct 11, the pressure in the duct 11 decreases. As a result, the measured pressure may be less than the second set pressure range. In the constant air volume unit 85, the amount of air passing therethrough is kept constant by adjusting the opening degree of the rotating blades of the motor damper. However, excess air tends to flow out from the air supply duct 11 at once. Then, the motor damper may not catch up with it, and the inside of the clean rooms 72 and 73 may not be maintained at the target room pressure. In the clean rooms 72 and 73, it is necessary to strictly control the internal air pressure. However, the internal air pressure in the clean rooms 72 and 73 may fluctuate due to the pressure fluctuation in the air supply duct 11, and the pressure in the air supply duct 11 may be changed. The effects of change cannot be ignored.

測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過している場合、コントローラ86は、モータダンパ83の旋回羽根87が最小開度でなければ、羽根87の開度を小さくし、ダンパ83の空気流路を通る空気の量を減少させる(給気ダクト11を通る空気の量を減少させる)。その結果、給気ダクト11内の圧力が下がり、測定圧力が低下して測定圧力が第2設定圧力の範囲内に復帰する。逆に、測定圧力が第2設定圧力の範囲未満の場合、コントローラ86は、旋回羽根87が全開(開度100%)でなければ、羽根87の開度を大きくし、ダンパ83の空気流路を通る空気の量を増加させる(給気ダクト11を通る空気の量を増加させる)。その結果、給気ダクト11内の圧力が上がり、測定圧力が増加して測定圧力が第2設定圧力の範囲内に復帰する。   If the measured pressure exceeds the range of the second set pressure, the controller 86 reduces the opening of the blade 87 if the swirling blade 87 of the motor damper 83 is not at the minimum opening, Reduce the amount of air passing through (decreasing the amount of air passing through the air supply duct 11). As a result, the pressure in the air supply duct 11 decreases, the measured pressure decreases, and the measured pressure returns to the second set pressure range. On the other hand, when the measured pressure is less than the range of the second set pressure, the controller 86 increases the opening of the blade 87 and the air flow path of the damper 83 unless the swirl blade 87 is fully open (opening 100%). Increase the amount of air passing through (increase the amount of air passing through the air supply duct 11). As a result, the pressure in the air supply duct 11 increases, the measured pressure increases, and the measured pressure returns to the second set pressure range.

測定圧力が第2設定圧力の範囲内にある場合、コントローラ86は、旋回羽根87が全開であれば、羽根87の全開を保持するとともに、旋回羽根87が最小開度であれば、羽根87の最小開度を保持する。または、旋回羽根87が全開でなければ、そのときの羽根87の開度を保持するとともに、旋回羽根87が最小開度でなければ、そのときの羽根87の開度を保持する。コントローラ86は、測定圧力が第2設定圧力の範囲から外れた後、旋回羽根87の開度を調節したことによって測定圧力が第2設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの羽根87の開度を保持する。   When the measured pressure is within the range of the second set pressure, the controller 86 holds the blade 87 fully open if the swirl vane 87 is fully open, and if the swirl vane 87 is the minimum opening, Hold the minimum opening. Alternatively, if the swirl vane 87 is not fully open, the opening degree of the vane 87 at that time is held, and if the swirl vane 87 is not the minimum opening degree, the opening degree of the vane 87 at that time is held. When the measured pressure returns to within the second set pressure range by adjusting the opening degree of the swirl vane 87 after the measured pressure deviates from the second set pressure range, the controller 86 opens the vane 87 at that time. Keep the degree.

モータダンパ83の旋回羽根87の旋回速度は、1〜30s/Full Scaleの範囲、好ましくは、1〜5s/Full Scaleの範囲にある。旋回速度が30s/Full Scaleを超えると、モータダンパ83のレスポンスが低下し、ガラリ12の外側近傍に吹く風の影響で、給気ダクト11に空気が流入し、または、給気ダクト11から空気が流出しようとして測定圧力が急激に変化したときに、旋回羽根87の旋回がそれに迅速に対応することができず、ダンパ83の空気流路を通過する空気量の調節が遅れ、給気ファン82やモータダンパ83を利用して一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム72,73に給気することができなくなる場合がある。モータダンパ83では、その旋回羽根87の旋回速度が1〜30s/Full Scaleの範囲にあるから、測定圧力が急激に変化したとしても、羽根87の旋回がそれに迅速に対応し、ダンパ83の空気流路を通過する空気量を速やかに調節し、測定圧力を第2設定圧力の範囲内に速やかに復帰させる。   The swirl speed of the swirl vanes 87 of the motor damper 83 is in the range of 1 to 30 s / Full Scale, preferably in the range of 1 to 5 s / Full Scale. When the turning speed exceeds 30 s / Full Scale, the response of the motor damper 83 decreases, and air flows into the air supply duct 11 due to the influence of the wind blowing near the outside of the gallery 12, or air flows from the air supply duct 11. When the measured pressure suddenly changes in an attempt to flow out, the swirling of the swirl vane 87 cannot quickly respond to this, and the adjustment of the amount of air passing through the air flow path of the damper 83 is delayed. In some cases, the motor damper 83 cannot be used to supply a constant amount and a constant pressure of air to the clean rooms 72 and 73. In the motor damper 83, the swirl speed of the swirl vane 87 is in the range of 1 to 30 s / Full Scale. Therefore, even if the measured pressure changes suddenly, the swirl of the vane 87 quickly responds to the air flow of the damper 83. The amount of air passing through the path is quickly adjusted, and the measured pressure is quickly returned to the range of the second set pressure.

モータダンパ83の旋回羽根87の開度を小さくしたときの羽根87の最小開度は、3〜25%の範囲、好ましくは、5〜20%に設定されている。したがって、旋回羽根87の開度を最小にしたとしても、羽根87が全閉(開度0%)になることはない。開度3〜25%は、羽根87が全開のときを開度100%とし、その開度に対する割合である。たとえば、開度3%では、羽根全開100%に対して3%だけ開いた状態を示し、開度25%では、羽根全開100%に対して25%だけ開いた状態を示す。   The minimum opening of the blade 87 when the opening of the swirl blade 87 of the motor damper 83 is reduced is set to a range of 3 to 25%, preferably 5 to 20%. Therefore, even if the opening degree of the swirl vane 87 is minimized, the vane 87 is not fully closed (opening degree 0%). The opening degree of 3 to 25% is a ratio with respect to the opening degree when the blade 87 is fully opened and the opening degree is 100%. For example, when the opening is 3%, the blade is opened by 3% with respect to 100% of the blade fully opened, and when the opening is 25%, the blade is opened by 25% with respect to 100% of the blade fully opened.

排気装置75は、クリーンルーム72,73につながる金属製の排気ダクト89と、クリーンルーム72,73から所定量の空気を強制的に排気する排気ファン90(送風機)と、クリーンルーム72,73から排気する空気を一定に保持する定風量ユニット91とを有する。排気ファン90は、インターフェイスを介して制御装置(図示せず)に接続されている。制御装置は、排気ファン90の出力を設定されたそれに保持し、排気ファン90から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。   The exhaust device 75 includes a metal exhaust duct 89 connected to the clean rooms 72 and 73, an exhaust fan 90 (blower) that forcibly exhausts a predetermined amount of air from the clean rooms 72 and 73, and air exhausted from the clean rooms 72 and 73. A constant air volume unit 91 that keeps the air flow constant. The exhaust fan 90 is connected to a control device (not shown) via an interface. The control device keeps the output of the exhaust fan 90 at the set value, and keeps the pressure and amount of air sent from the exhaust fan 90 constant.

排気ダクト89は、床78の下方に配置され、クリーンルーム72,73の側壁79に施設されたガラリ排気口80と空気排気口92との間に延びている。排気ダクト89は、その詳細な図示は省略するが、その延出端部がダクト収容ボックス10A〜10Gのうちのいずれかの態様のボックスに接続されている。なお、排気給気ダクト89の延出端部には、遮蔽板25や屈曲ダクト59、接続ダクト62,65,66のいずれかが接続されている。空気排気口92は、工場76の壁15に設置されたガラリ(図示せず)である。排気装置75では、空気排気口92からクリーンルーム72,73に向かって、排気ファン90、定風量ユニット91の順に並んでいる。排気ダクト89は、ガラリ排気口80から流出した空気を工場76外(クリーンルーム72,73外)に搬送する。   The exhaust duct 89 is disposed below the floor 78 and extends between the gallery exhaust port 80 and the air exhaust port 92 provided in the side wall 79 of the clean rooms 72 and 73. Although the detailed illustration of the exhaust duct 89 is omitted, the extended end portion thereof is connected to the box of any one of the duct accommodating boxes 10A to 10G. Note that one of the shielding plate 25, the bent duct 59, and the connection ducts 62, 65, and 66 is connected to the extended end portion of the exhaust air supply duct 89. The air exhaust port 92 is a louver (not shown) installed on the wall 15 of the factory 76. In the exhaust device 75, the exhaust fan 90 and the constant air volume unit 91 are arranged in this order from the air exhaust port 92 toward the clean rooms 72 and 73. The exhaust duct 89 conveys the air that flows out from the exhaust port 80 to the outside of the factory 76 (outside the clean rooms 72 and 73).

排気ファン90は、定風量ユニット91と空気排気口92との間に延びる排気ダクト89に取り付けられている。定風量ユニット91は、排気ファン90とガラリ排気口80との間に延びる排気ダクト89に取り付けられている。排気ファン90は、一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム72,73から排気する。定風量ユニット91は、排気ダクト89の内部気圧の変動に対してユニット91内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム72,73から排出する空気量を常時一定に保持する。ガラリ排気口80から流出した空気は、定風量ユニット91に流入し、ユニット91から排気ダクト89を通って排気ファン90に流入した後、排気ファン90からダクト89を通り、空気排気口92から工場76の屋外に排気される。   The exhaust fan 90 is attached to an exhaust duct 89 extending between the constant air volume unit 91 and the air exhaust port 92. The constant air volume unit 91 is attached to an exhaust duct 89 extending between the exhaust fan 90 and the gallery exhaust port 80. The exhaust fan 90 exhausts air of a constant amount and constant pressure from the clean rooms 72 and 73. The constant air volume unit 91 adjusts the amount of air flowing through the unit 91 with respect to fluctuations in the internal air pressure of the exhaust duct 89, and always keeps the air volume discharged from the clean rooms 72 and 73 constant. The air that flows out from the exhaust port 80 flows into the constant air volume unit 91, enters the exhaust fan 90 through the exhaust duct 89 from the unit 91, then passes through the duct 89 from the exhaust fan 90, and passes through the air exhaust port 92 to the factory. 76 is exhausted to the outdoors.

給気ダクト11や排気ダクト89に取り付けられた定風量ユニット85,91は、図示はしていないが、モータダンパおよび風速センサと、制御装置と、それらを収容する筐体とから形成されている。定風量ユニット85,91のモータダンパは、モータダンパ83と同一である。それら定風量ユニット85,91では、制御装置からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根が所定角度に旋回する。定風量ユニット85,91の制御装置は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ(記憶部)とを有するマイクロプロセッサである。制御装置には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている(図示せず)。   Although not shown, the constant air volume units 85 and 91 attached to the air supply duct 11 and the exhaust duct 89 are formed of a motor damper, a wind speed sensor, a control device, and a housing for housing them. The motor dampers of the constant air volume units 85 and 91 are the same as the motor damper 83. In these constant air flow units 85 and 91, the modular roll motor rotates in accordance with a control signal from the control device, and the swirl vanes revolve at a predetermined angle. The control device of the constant air flow units 85 and 91 is a microprocessor having a central processing unit that performs arithmetic processing and a memory (storage unit) that can store various conditions. An input device for inputting various conditions and a display device for input confirmation are connected to the control device via an interface (not shown).

定風量ユニット85,91の制御装置のメモリには、クリーンルーム72,73の目標室内気圧と、定風量ユニット85,91を通過する空気通過量との相関関係が格納され、目標室内気圧に対応する空気通過量と、その空気通過量に対応するモータダンパの旋回羽根の開度(旋回角度)との相関関係が格納されている。目標室内気圧は、入力装置によって自由に設定変更することができる。定風量ユニット85,91の制御装置は、目標室内気圧が入力されると、メモリに格納された相関関係に基づいて目標室内気圧に対応する空気流路における空気通過量を決定し、モータダンパの空気流路を通過する空気通過量が決定したそれになるように、相関関係に基づいてモータダンパの旋回羽根の開度を決定した後、旋回羽根の開度を決定したそれに保持する。   The memory of the control device of the constant air volume units 85 and 91 stores the correlation between the target indoor air pressure of the clean rooms 72 and 73 and the amount of air passing through the constant air volume units 85 and 91, and corresponds to the target indoor air pressure. The correlation between the air passage amount and the opening degree (turning angle) of the swirl blade of the motor damper corresponding to the air passage amount is stored. The target indoor pressure can be freely changed by an input device. When the target indoor air pressure is input, the control device of the constant air volume units 85 and 91 determines the air passage amount in the air flow path corresponding to the target indoor air pressure based on the correlation stored in the memory, and the motor damper air After determining the opening degree of the swirl vane of the motor damper based on the correlation so that the amount of air passing through the flow path is determined, the opening degree of the swirl vane is retained.

それら定風量ユニット85,91は、給気ダクト11や排気ダクト89の内部気圧の変動に対してユニット85,91内を通る空気通過量を目標室内気圧に対応するそれに調節し、クリーンルーム72,73へ供給する空気量を一定に保持するとともに、クリーンルーム72,73から排気する空気量を一定に保持する。具体的には以下のとおりである。定風量ユニット85,91の制御装置は、風速センサから出力された風速からモータダンパの空気流路を通る空気通過量を演算し、演算した空気通過量と目標室内気圧に対応する空気通過量とを比較する。   These constant air volume units 85 and 91 adjust the amount of air passing through the units 85 and 91 corresponding to the target indoor pressure with respect to fluctuations in the internal pressure of the air supply duct 11 and the exhaust duct 89, and clean rooms 72 and 73. The amount of air supplied to the air is kept constant, and the amount of air exhausted from the clean rooms 72 and 73 is kept constant. Specifically, it is as follows. The control device of the constant air volume units 85 and 91 calculates the air passage amount passing through the air flow path of the motor damper from the wind speed output from the wind speed sensor, and calculates the calculated air passage amount and the air passage amount corresponding to the target indoor pressure. Compare.

給気装置11の定風量ユニット85の制御装置は、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも多い場合、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、空気流路を通過する空気通過量を少なくする。定風量ユニット85の制御装置は、旋回羽根の開度を小さくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも少ない場合、定風量ユニット85の制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、空気流路を通過する空気通過量を多くする。定風量ユニット85の制御装置は、旋回羽根の開度を大きくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。   When the calculated air passage amount is larger than that corresponding to the target indoor pressure, the control device of the constant air amount unit 85 of the air supply device 11 reduces the opening degree of the swirl vane of the motor damper and passes the air passing through the air flow path. Reduce the amount of passage. The control device of the constant air quantity unit 85 maintains the opening degree of the swirling blade at that time when the calculated air passage amount falls within the range corresponding to the target indoor pressure after reducing the opening degree of the swirling blade. When the calculated air passage amount is smaller than that corresponding to the target indoor pressure, the control device of the constant air amount unit 85 increases the opening degree of the rotating blade of the motor damper and increases the air passage amount passing through the air flow path. . The control device of the constant air flow unit 85 maintains the opening degree of the swirl blade at that time when the calculated air passage amount falls within the range corresponding to the target indoor pressure after increasing the opening degree of the swirl blade.

排気装置75の定風量ユニット91の制御装置は、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも多い場合、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、空気流路を通過する空気通過量を多くする。定風量ユニット91の制御装置は、旋回羽根の開度を大きくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも少ない場合、定風量ユニット91の制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、空気流路を通過する空気通過量を少なくする。定風量ユニット91の制御装置は、旋回羽根の開度を小さくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。   When the calculated air passage amount is larger than that corresponding to the target indoor pressure, the control device of the constant air amount unit 91 of the exhaust device 75 increases the opening degree of the swirl blade of the motor damper and passes the air passing through the air flow path. Increase the amount. The control device of the constant air quantity unit 91 maintains the opening degree of the swirl blade at that time when the calculated air passage amount falls within the range corresponding to the target indoor pressure after increasing the opening degree of the swirl blade. When the calculated air passage amount is smaller than that corresponding to the target indoor air pressure, the control device of the constant air amount unit 91 reduces the opening degree of the rotating blades of the motor damper and reduces the air passage amount passing through the air flow path. . The control device of the constant air quantity unit 91 maintains the opening degree of the swirl blade at that time when the calculated air passage amount falls within the range corresponding to the target indoor pressure after reducing the opening degree of the swirl blade.

図28は、モータダンパ83のコントローラ86が実行する各手段の一例を示すフローチャートである。図28のフローチャートに基づき、コントローラ86によって実行される給気装置74のプロセスの一例を説明すると、以下のとおりである。室圧制御機構71を起動すると、給気ファン82および排気ファン90、定風量ユニット85,91、圧力センサ84、モータダンパ83が稼動する。圧力センサ84は、給気ダクト11内を流れる空気の圧力を測定し、その測定圧力をコントローラ86に出力する。   FIG. 28 is a flowchart illustrating an example of each unit executed by the controller 86 of the motor damper 83. An example of the process of the air supply device 74 executed by the controller 86 will be described based on the flowchart of FIG. When the room pressure control mechanism 71 is activated, the air supply fan 82 and the exhaust fan 90, the constant air volume units 85 and 91, the pressure sensor 84, and the motor damper 83 are operated. The pressure sensor 84 measures the pressure of the air flowing through the air supply duct 11 and outputs the measured pressure to the controller 86.

室圧制御機構では、図25,26に矢印A4で示すように、給気ファン82や給気ダクト11を介してクリーンルーム72,73内へ所定量の空気が供給され、矢印A5で示すように、排気ファン90や排気ダクト89を介してクリーンルーム72,73から工場76の屋外に所定量の空気が排気される。室圧制御機構71の運転開始時点では、第2設定圧力に対応する量の空気がモータダンパ83の空気流路を通過するように、旋回羽根87の開度が所定開度に調節され、給気ファン82や排気ファン90の出力が調節されているとともに、定風量ユニット85,91の空気通過量が調節されており、圧力センサ84から出力された測定圧力が第2設定圧力の範囲内にある(S−1)。   In the room pressure control mechanism, as indicated by an arrow A4 in FIGS. 25 and 26, a predetermined amount of air is supplied into the clean rooms 72 and 73 via the air supply fan 82 and the air supply duct 11, and as indicated by an arrow A5. A predetermined amount of air is exhausted from the clean rooms 72 and 73 to the outside of the factory 76 through the exhaust fan 90 and the exhaust duct 89. At the start of operation of the chamber pressure control mechanism 71, the opening of the swirl vane 87 is adjusted to a predetermined opening so that an amount of air corresponding to the second set pressure passes through the air flow path of the motor damper 83, and the air supply While the outputs of the fan 82 and the exhaust fan 90 are adjusted, the air passage amounts of the constant air volume units 85 and 91 are adjusted, and the measured pressure output from the pressure sensor 84 is within the range of the second set pressure. (S-1).

また、室圧制御機構71では、給気ファン82と定風量ユニット85との間に延びる給気ダクト11において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット85によってダクト11の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム72,73に給気される。また、定風量ユニット91と排気ファン90との間に延びる排気ダクト89において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット91によってダクト89の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム72,73から排気される。   Further, in the room pressure control mechanism 71, even if pressure fluctuation occurs in the air flowing through the air supply duct 11 extending between the air supply fan 82 and the constant air volume unit 85, the constant air volume unit 85 causes the duct 11 to The air passing amount is kept constant, and a constant amount of air is constantly supplied to the clean rooms 72 and 73. Further, in the exhaust duct 89 extending between the constant air volume unit 91 and the exhaust fan 90, even if pressure fluctuation occurs in the air flowing therethrough, the air passage amount of the duct 89 is kept constant by the constant air volume unit 91, A constant amount of air is always exhausted from the clean rooms 72 and 73.

既述のように、工場76の壁15に取り付けられたガラリ12の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ12を通ってダクト収容ボックス10A〜10Gの内部空間14(チャンバー13内)に進入し、内部空間14の気圧が一気に上昇して空気が給気ダクト11に流入する場合がある。   As described above, when a strong wind blows near the outside of the louver 12 attached to the wall 15 of the factory 76, the air passes through the louver 12 due to the influence of the wind and the internal space 14 ( There is a case in which the air enters the air supply duct 11 due to the pressure in the internal space 14 rising at a stroke.

しかし、この室圧制御機構71における給気装置74では、給気ダクト11を通過する空気の圧力(モータダンパ83の空気流路を通過する空気量)を監視し、ダクト11を通る空気の量(空気圧)を一定に保持するから、給気ファン82に余分な空気が不定期かつ不規則に流入することや給気ダクト11から余分な空気が不定期かつ不規則に流出することはない。   However, the air supply device 74 in the chamber pressure control mechanism 71 monitors the pressure of air passing through the air supply duct 11 (the amount of air passing through the air flow path of the motor damper 83), and the amount of air passing through the duct 11 ( The air pressure is kept constant, so that excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply fan 82 and excessive air does not flow irregularly and irregularly from the air supply duct 11.

具体的にモータダンパ83のコントローラ86は、圧力センサ84から出力された測定圧力とメモリに格納した第2設定圧力とを比較する(圧力比較手段)(S−2)。次に、コントローラ86は、測定圧力と第2設定圧力とを比較した結果、測定圧力が第2設定圧力の範囲内にあるかを判断する(S−3)。   Specifically, the controller 86 of the motor damper 83 compares the measured pressure output from the pressure sensor 84 with the second set pressure stored in the memory (pressure comparison means) (S-2). Next, as a result of comparing the measured pressure with the second set pressure, the controller 86 determines whether the measured pressure is within the range of the second set pressure (S-3).

モータダンパ83のコントローラ86は、測定圧力が第2設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根87の開度を保持する。次に、コントローラ86は、室圧制御機構71を停止するかを判断する(S−4)。室圧制御機構71の停止指示があると、コントローラ86は、給気装置74の運転を停止する。室圧制御機構71を継続して運転する場合、ステップ2(S−2)に戻って測定圧力と第2設定圧力とを比較し、ステップ2(S−2)からのプロセスを繰り返す。   When the controller 86 of the motor damper 83 determines that the measured pressure is within the range of the second set pressure, it holds the opening degree of the swirl vane 87 at that time. Next, the controller 86 determines whether to stop the room pressure control mechanism 71 (S-4). When there is an instruction to stop the chamber pressure control mechanism 71, the controller 86 stops the operation of the air supply device 74. When operating the room pressure control mechanism 71 continuously, the process returns to Step 2 (S-2), the measured pressure is compared with the second set pressure, and the process from Step 2 (S-2) is repeated.

第1設定圧力は第2設定圧力未満であり、たとえば、第2設定圧力のプラス側が41Pa以上に設定され、第1設定圧力が5Pa〜40Paに設定されている場合、風の影響で余分な空気がダクト収容ボックス10A〜10Gの内部空間14(チャンバー13内)に進入したときのチャンバー13内の空気の圧力が第2設定圧力以内にあっても、チャンバー13内の空気の圧力が錘33の重量(第1設定圧力)よりも大きくなる場合がある。この場合は、逆止弁ダンパ28A,28Bの旋回羽根32が錘33の重量に抗して空気流路30を開放する方向へ旋回し、第1排気ユニット29や第2排気ユニット47の空気流路30に所定面積の開口46が形成され、空気がその開口46を通ってチャンバー13外に排気される。空気が排気ユニット29,47からチャンバー13外に排気され、チャンバー13内の空気の圧力が錘33の重量よりも小さくなると、錘33の重量によって旋回羽根32が空気流路30を閉鎖する方向へ旋回し、羽根32によって空気流路30が閉鎖される。空気流路30が閉鎖された状態では、旋回羽根32の先端部がストッパー34に当接する。   The first set pressure is less than the second set pressure. For example, when the positive side of the second set pressure is set to 41 Pa or more and the first set pressure is set to 5 Pa to 40 Pa, excess air is caused by the wind. Even if the pressure of the air in the chamber 13 when it enters the internal space 14 (in the chamber 13) of the duct housing boxes 10A to 10G is within the second set pressure, the air pressure in the chamber 13 is It may be greater than the weight (first set pressure). In this case, the swirl vanes 32 of the check valve dampers 28A and 28B swirl in the direction to open the air flow path 30 against the weight of the weight 33, and the air flow of the first exhaust unit 29 and the second exhaust unit 47 An opening 46 having a predetermined area is formed in the passage 30, and air is exhausted outside the chamber 13 through the opening 46. When the air is exhausted from the exhaust units 29 and 47 to the outside of the chamber 13 and the pressure of the air in the chamber 13 becomes smaller than the weight of the weight 33, the swirling blade 32 closes the air flow path 30 by the weight of the weight 33. The air channel 30 is closed by the blade 32. In the state where the air flow path 30 is closed, the tip of the swirl vane 32 abuts against the stopper 34.

また、チャンバー13内の空気の圧力が第2設定圧力以内にあっても、チャンバー13内の空気の圧力が旋回羽根55の重量(第1設定圧力)よりも大きくなる場合がある。この場合は、逆止弁ダンパ51A,51Bの旋回羽根55がその重量に抗して空気流路52を開放する方向へ旋回し、第1排気ユニット48や第2排気ユニット58の空気流路52に所定面積の開口57が形成され、空気がその開口57を通ってチャンバー13外に排気される。空気が排気ユニット48,58からチャンバー13外に排気され、チャンバー13内の空気の圧力が旋回羽根55の重量よりも小さくなると、羽根55の重量によって羽根55が空気流路52を閉鎖する方向へ旋回し、羽根55によって空気流路52が閉鎖される。空気流路52が閉鎖された状態では、旋回羽根55の先端部がストッパー56に当接する。   Even if the pressure of the air in the chamber 13 is within the second set pressure, the pressure of the air in the chamber 13 may be larger than the weight of the swirl vane 55 (first set pressure). In this case, the swirl vanes 55 of the check valve dampers 51 </ b> A and 51 </ b> B swirl in the direction to open the air flow path 52 against the weight, and the air flow paths 52 of the first exhaust unit 48 and the second exhaust unit 58. An opening 57 having a predetermined area is formed in the air, and air is exhausted out of the chamber 13 through the opening 57. When air is exhausted from the exhaust units 48 and 58 to the outside of the chamber 13 and the pressure of the air in the chamber 13 becomes smaller than the weight of the swirl vane 55, the vane 55 closes the air flow path 52 by the weight of the vane 55. The air channel 52 is closed by the blades 55. In the state where the air flow path 52 is closed, the tip of the swirl vane 55 abuts against the stopper 56.

空気が排気ユニット29,47,48,58からチャンバー13外に排気されたにもかかわらず、空気が給気ダクト11に流入し、測定圧力が第2設定圧力を超過すると、ステップ3(S−3)においてモータダンパ83のコントローラ86は、測定圧力が第2設定圧力の範囲内になく、測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過していると判断する。この場合、コントローラ86は、旋回羽根87の開度が最小開度(開度3〜5%)であれば、その開度を保持し、羽根87の開度が最小開度(開度3〜5%)でなければ、羽根87の開度を小さくする(S−5)。なお、旋回羽根87の開度を小さくしたとしても、開度を3〜25%未満にすることはなく、羽根87が全閉になることはない。   Even if air is exhausted from the exhaust units 29, 47, 48, 58 to the outside of the chamber 13, if air flows into the air supply duct 11 and the measured pressure exceeds the second set pressure, step 3 (S- In 3), the controller 86 of the motor damper 83 determines that the measured pressure is not within the range of the second set pressure and the measured pressure exceeds the range of the second set pressure. In this case, if the opening degree of the swirl vane 87 is the minimum opening degree (opening degree 3 to 5%), the controller 86 maintains the opening degree, and the opening degree of the vane 87 is the minimum opening degree (opening degree 3 to 3). If not 5%), the opening degree of the blade 87 is reduced (S-5). Even if the opening degree of the swirl vane 87 is reduced, the opening degree is not reduced to less than 3 to 25%, and the vane 87 is not fully closed.

モータダンパ83のコントローラ86は、給気ダクト11を通る空気の第2設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係、圧力センサ84から出力される各測定圧力とそれら測定圧力に対応する空気通過量との相関関係、測定圧力に対応する空気通過量から第2設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応するモータダンパ83の旋回羽根87の開度(旋回角度)に基づいて、羽根87の開度を決定することもできる。この場合、コントローラ86のメモリには、それら相関関係や旋回羽根87の開度が格納されている。   The controller 86 of the motor damper 83 corresponds to the correlation between the second set pressure of the air passing through the air supply duct 11 and the air passage amount corresponding to the set pressure, each measured pressure output from the pressure sensor 84, and these measured pressures. The opening degree of the swirl vane 87 of the motor damper 83 corresponding to the air passage amount obtained by subtracting the air passage amount corresponding to the second set pressure from the air passage amount corresponding to the measured pressure. Based on the above, the opening degree of the blade 87 can also be determined. In this case, the correlation of the controller 86 and the opening degree of the swirl vane 87 are stored in the memory of the controller 86.

具体的には以下のとおりである。モータダンパ83のコントローラ86は、測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過している場合、第2設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、第2設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ84から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、第2設定圧力に対応する空気通過量よりも多い。   Specifically, it is as follows. When the measured pressure exceeds the range of the second set pressure, the controller 86 of the motor damper 83 sets the second set pressure based on the correlation between the second set pressure and the air passage amount corresponding to the set pressure. The corresponding air passage amount is determined, and the air passage amount corresponding to the measurement pressure output from the pressure sensor 84 is determined based on the correlation between the measurement pressure and the air passage amount corresponding to the measurement pressure. The air passage amount corresponding to the measurement pressure is larger than the air passage amount corresponding to the second set pressure.

さらに、モータダンパ83のコントローラ86は、測定圧力に対応する空気通過量から第2設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はプラスとなる。コントローラ86は、測定圧力に対応する空気通過量から第2設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量(プラス)に対応するモータダンパ83の旋回羽根87の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する羽根87の開度を決定する。なお、旋回羽根87の開度はマイナスになる。したがって、コントローラ86は、旋回羽根87の開度が最小開度であれば、羽根87の開度を最小開度に保持し、羽根87の開度が最小開度でなければ、羽根87の開度を小さくする(S−5)。   Further, the controller 86 of the motor damper 83 calculates an air passage amount obtained by subtracting the air passage amount corresponding to the second set pressure from the air passage amount corresponding to the measured pressure. The calculated air passage amount is positive. The controller 86 is calculated based on the opening degree of the swirl vane 87 of the motor damper 83 corresponding to the air passage amount (plus) obtained by subtracting the air passage amount corresponding to the second set pressure from the air passage amount corresponding to the measured pressure. The opening degree of the blades 87 corresponding to the air passing amount is determined. Note that the opening degree of the swirl vane 87 is negative. Therefore, the controller 86 holds the opening of the blade 87 at the minimum opening if the opening of the swirl blade 87 is the minimum opening, and opens the blade 87 if the opening of the blade 87 is not the minimum opening. Decrease the degree (S-5).

なお、測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過すると、チャンバー13内の空気の圧力が錘33の重量(第1設定圧力)よりも大きくなり、旋回羽根32が錘33の重量に抗して空気流路30を開放する方向へ旋回し、空気流路30に所定面積の開口46が形成され、空気がその開口46を通ってチャンバー13外に排気される。空気がチャンバー13外に排気され、チャンバー13内の空気の圧力が錘33の重量よりも小さくなると、錘33の重量によって旋回羽根32が空気流路30を閉鎖する方向へ旋回し、羽根32によって空気流路30が閉鎖される。   When the measured pressure exceeds the range of the second set pressure, the air pressure in the chamber 13 becomes larger than the weight of the weight 33 (first set pressure), and the swirl vane 32 resists the weight of the weight 33. The air channel 30 is swung in the direction of opening, and an opening 46 having a predetermined area is formed in the air channel 30, and the air is exhausted out of the chamber 13 through the opening 46. When the air is exhausted out of the chamber 13 and the pressure of the air in the chamber 13 becomes smaller than the weight of the weight 33, the swirl vane 32 swirls in the direction to close the air flow path 30 by the weight 33, The air flow path 30 is closed.

また、測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過すると、チャンバー13内の空気の圧力が旋回羽根55の重量(第1設定圧力)よりも大きくなり、羽根55がその重量に抗して空気流路52を開放する方向へ旋回し、空気流路52に所定面積の開口57が形成され、空気がその開口57を通ってチャンバー13外に排気される。空気がチャンバー13外に排気され、チャンバー13内の空気の圧力が旋回羽根55の重量よりも小さくなると、羽根55の重量によって羽根55が空気流路52を閉鎖する方向へ旋回し、羽根55によって空気流路52が閉鎖される。   When the measured pressure exceeds the range of the second set pressure, the pressure of the air in the chamber 13 becomes larger than the weight of the swirl vane 55 (first set pressure), and the vane 55 resists the weight and the air flow. The air channel 52 is swung in a direction to open the passage 52, an opening 57 having a predetermined area is formed in the air flow path 52, and the air is exhausted out of the chamber 13 through the opening 57. When the air is exhausted out of the chamber 13 and the pressure of the air in the chamber 13 becomes smaller than the weight of the swirl vane 55, the vane 55 swirls in the direction of closing the air flow path 52 by the weight of the vane 55. The air flow path 52 is closed.

モータダンパ83のコントローラ86は、旋回羽根87の開度を最小開度に保持し、または、羽根87の開度を小さくした後、室圧制御機構71を停止するかを判断する(S−4)。室圧制御機構71の停止指示があると、コントローラ86は、給気装置74の運転を停止する。室圧制御機構71を継続して運転する場合、旋回羽根87の開度を最小開度または小さくした開度を保持した状態で室圧制御機構71が運転され、ステップ2(S−2)に戻って圧力センサ84から出力された測定圧力とメモリに格納した第2設定圧力とを比較する(圧力比較手段)(S−2)。   The controller 86 of the motor damper 83 determines whether to stop the chamber pressure control mechanism 71 after the opening degree of the swirl vane 87 is kept at the minimum opening degree or after the opening degree of the vane 87 is reduced (S-4). . When there is an instruction to stop the chamber pressure control mechanism 71, the controller 86 stops the operation of the air supply device 74. When the chamber pressure control mechanism 71 is continuously operated, the chamber pressure control mechanism 71 is operated in a state in which the opening degree of the swirl vane 87 is kept at a minimum opening degree or a small opening degree, and step 2 (S-2) is performed. The measured pressure output from the pressure sensor 84 is compared with the second set pressure stored in the memory (pressure comparison means) (S-2).

旋回羽根87の開度が最小開度または小さくなると、モータダンパ83の空気流路を通過する空気量が減少し、測定圧力が低下して測定圧力が第2設定圧力の範囲内に復帰する(圧力制御手段)。ゆえに、ダクト収容ボックス10A〜10Gから余分な空気が給気ダクト11に流入したとしても、給気ファン82に流入する空気量を第2設定圧力に対応するそれに保持することができる。   When the opening degree of the swirl vane 87 is the minimum opening degree or the opening degree, the amount of air passing through the air flow path of the motor damper 83 decreases, the measured pressure decreases, and the measured pressure returns to the second set pressure range (pressure Control means). Therefore, even if excess air flows into the air supply duct 11 from the duct housing boxes 10A to 10G, the amount of air flowing into the air supply fan 82 can be held corresponding to the second set pressure.

ステップ3(S−3)においてモータダンパ83のコントローラ86は、測定圧力が第2設定圧力の範囲内になく、測定圧力が第2設定圧力の範囲未満であると判断すると、旋回羽根87が全開(開度100%)であれば、その開度を保持し、羽根87が全開でなければ、羽根87の開度を大きくする(S−5)。この場合、排気ユニット29,47,48,58の空気流路30,52は、旋回羽根32,55によって閉鎖されている。   When the controller 86 of the motor damper 83 determines in step 3 (S-3) that the measured pressure is not within the second set pressure range and the measured pressure is less than the second set pressure range, the swirl vane 87 is fully opened ( If the opening degree is 100%, the opening degree is maintained, and if the blade 87 is not fully open, the opening degree of the blade 87 is increased (S-5). In this case, the air flow paths 30 and 52 of the exhaust units 29, 47, 48 and 58 are closed by the swirl vanes 32 and 55.

メモリに格納された各相関関係や旋回羽根87の開度に基づいて、開度を決定する場合は以下のとおりである。モータダンパ83のコントローラ86は、測定圧力が第2設定圧力の範囲未満である場合、第2設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、第2設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ84から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、第2設定圧力に対応する空気通過量よりも少ない。   The case where the opening degree is determined based on the correlation stored in the memory and the opening degree of the swirl vane 87 is as follows. When the measured pressure is less than the range of the second set pressure, the controller 86 of the motor damper 83 corresponds to the second set pressure based on the correlation between the second set pressure and the air passage amount corresponding to the set pressure. The air passage amount is determined, and the air passage amount corresponding to the measurement pressure output from the pressure sensor 84 is determined based on the correlation between the measurement pressure and the air passage amount corresponding to the measurement pressure. The air passage amount corresponding to the measurement pressure is smaller than the air passage amount corresponding to the second set pressure.

さらに、モータダンパ83のコントローラ86は、測定圧力に対応する空気通過量から第2設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はマイナスとなる。コントローラ86は、測定圧力に対応する空気通過量から第2設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量(マイナス)に対応するモータダンパ83の旋回羽根87の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する羽根87の開度を決定する。なお、旋回羽根87の開度はプラスになる。したがって、コントローラ86は、旋回羽根87が全開であれば、羽根87の開度を全開に保持し、羽根87が全開でなければ、羽根87の開度を大きくする(S−5)。   Further, the controller 86 of the motor damper 83 calculates an air passage amount obtained by subtracting the air passage amount corresponding to the second set pressure from the air passage amount corresponding to the measured pressure. The calculated air passage amount is negative. The controller 86 is calculated based on the opening degree of the swirl vane 87 of the motor damper 83 corresponding to the air passing amount (minus) obtained by subtracting the air passing amount corresponding to the second set pressure from the air passing amount corresponding to the measured pressure. The opening degree of the blades 87 corresponding to the air passing amount is determined. The opening degree of the swirl vane 87 is positive. Accordingly, the controller 86 keeps the opening degree of the blades 87 fully open if the swirl blades 87 are fully open, and increases the opening degree of the blades 87 if the blades 87 are not fully open (S-5).

モータダンパ83のコントローラ87は、旋回羽根87の開度を全開に保持し、または、羽根87の開度を大きくした後、室圧制御機構71を停止するかを判断する(S−4)。室圧制御機構71の停止指示があると、コントローラ86は、給気装置74の運転を停止する。室圧制御機構71を継続して運転する場合、旋回羽根87の開度を全開または大きくした開度を保持した状態で室圧制御機構71が運転され、ステップ2(S−2)に戻って圧力センサ84から出力された測定圧力とメモリに格納した第2設定圧力とを比較する(圧力比較手段)(S−2)。   The controller 87 of the motor damper 83 determines whether to stop the chamber pressure control mechanism 71 after keeping the opening degree of the swirl vane 87 fully open or increasing the opening degree of the vane 87 (S-4). When there is an instruction to stop the chamber pressure control mechanism 71, the controller 86 stops the operation of the air supply device 74. When the chamber pressure control mechanism 71 is continuously operated, the chamber pressure control mechanism 71 is operated in a state where the opening degree of the swirl vane 87 is fully opened or increased, and the process returns to Step 2 (S-2). The measured pressure output from the pressure sensor 84 is compared with the second set pressure stored in the memory (pressure comparison means) (S-2).

旋回羽根87の開度が全開または大きくなると、モータダンパ83の空気流路を通過する空気量が増加し、測定圧力が上昇して測定圧力が第2設定圧力の範囲内に復帰する(圧力制御手段)。ゆえに、給気ファン82内への空気の流入減を防ぐことができ、給気ファン82に流入する空気量を第2設定圧力に対応するそれに保持することができる。   When the opening of the swirl vane 87 is fully opened or increased, the amount of air passing through the air flow path of the motor damper 83 increases, the measured pressure rises, and the measured pressure returns to the range of the second set pressure (pressure control means). ). Therefore, a decrease in the inflow of air into the air supply fan 82 can be prevented, and the amount of air flowing into the air supply fan 82 can be held corresponding to the second set pressure.

工場76の壁15に取り付けられたガラリ12の外側近傍に吹いていた風が納まり、ダクト収容ボックス10A〜10Gから給気ダクト11への余分な空気の流入が停止すると、モータダンパ83の空気流路を通過する空気量が旋回羽根87の開度を小さくした直後の空気流路を通過するそれに比較して減少し、圧力センサ84から出力される測定圧力も低下する。測定圧力と第2設定圧力との比較(S−2)においてモータダンパ83のコントローラ86は、ステップ3(S−3)において測定圧力が第2設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根87の開度を保持し、室圧制御機構71を継続して運転する場合、ステップ2(S−2)に戻って測定圧力と第2設定圧力とを比較し(圧力比較手段)(S−2)、ステップ2(S−2)からのプロセスを繰り返す。なお、旋回羽根87の開度を小さくした後、圧力センサ84から出力される測定圧力が低下し、測定圧力が第2設定圧力の範囲未満になると、羽根87の開度を大きくする(S−5)。   When the wind blown near the outside of the louver 12 attached to the wall 15 of the factory 76 stops and the inflow of excess air from the duct housing boxes 10A to 10G to the air supply duct 11 stops, the air flow path of the motor damper 83 The amount of air passing through the air flow passage is reduced in comparison with that passing through the air flow channel immediately after the opening of the swirl vane 87 is reduced, and the measured pressure output from the pressure sensor 84 is also reduced. When the controller 86 of the motor damper 83 determines in step 3 (S-3) that the measured pressure is within the range of the second set pressure in the comparison between the measured pressure and the second set pressure (S-2), When the opening degree of the swirl vane 87 is maintained and the chamber pressure control mechanism 71 is continuously operated, the process returns to Step 2 (S-2) to compare the measured pressure with the second set pressure (pressure comparison means) ( S-2) The process from step 2 (S-2) is repeated. Note that after the opening degree of the swirl vane 87 is reduced, when the measured pressure output from the pressure sensor 84 decreases and the measured pressure falls below the second set pressure range, the opening degree of the vane 87 is increased (S−). 5).

モータダンパ83のコントローラ86は、ガラリ12の外側近傍で再び風が吹き、その風の影響で余分な空気が再びダクト収容ボックス10A〜10Gに進入して空気が給気ダクト11に流入し、測定圧力が第2設定圧力の範囲外になり、測定圧力が第2設定圧力を超過すると、旋回羽根87が最小開度であれば、羽根87の開度を最小開度に保持し、羽根87が最小開度でなければ、羽根87の開度を小さくする(S−5)。コントローラ86は、旋回羽根87の開度を小さくした後、小さくした開度を保持した状態で、ステップ2(S−2)に戻って圧力センサ84から出力された測定圧力とメモリに格納した第2設定圧力とを比較し(給気圧力比較手段)(S−2)、ステップ2(S−2)からのプロセスを繰り返す。   The controller 86 of the motor damper 83 blows again in the vicinity of the outside of the gallery 12, and excess air enters the duct housing boxes 10 </ b> A to 10 </ b> G again due to the influence of the wind, and the air flows into the supply duct 11, and the measured pressure Is outside the range of the second set pressure, and when the measured pressure exceeds the second set pressure, if the swirl vane 87 is at the minimum opening, the opening of the vane 87 is held at the minimum opening, and the vane 87 is at the minimum. If it is not the opening degree, the opening degree of the blades 87 is reduced (S-5). The controller 86 returns to step 2 (S-2) and stores the measured pressure output from the pressure sensor 84 and the memory in the memory while maintaining the reduced opening after the opening of the swirl vane 87 is reduced. 2 The set pressure is compared (supply pressure comparison means) (S-2), and the process from step 2 (S-2) is repeated.

測定圧力が第2設定圧力を再び超過すると、チャンバー13内の空気の圧力が錘33の重量(第1設定圧力)よりも大きくなり、旋回羽根32が錘33の重量に抗して空気流路30を開放する方向へ旋回し、空気流路30に所定面積の開口46が形成され、空気がその開口46を通ってチャンバー13外に排気される。また、測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過すると、チャンバー13内の空気の圧力が旋回羽根55の重量(第1設定圧力)よりも大きくなり、羽根55がその重量に抗して空気流路52を開放する方向へ旋回し、空気流路52に所定面積の開口57が形成され、空気がその開口57を通ってチャンバー13外に排気される。   When the measured pressure exceeds the second set pressure again, the pressure of the air in the chamber 13 becomes larger than the weight 33 (first set pressure), and the swirl vane 32 resists the weight 33 and the air flow path. The opening 46 having a predetermined area is formed in the air flow path 30, and the air is exhausted out of the chamber 13 through the opening 46. When the measured pressure exceeds the range of the second set pressure, the pressure of the air in the chamber 13 becomes larger than the weight of the swirl vane 55 (first set pressure), and the vane 55 resists the weight and the air flow. The air channel 52 is swung in a direction to open the passage 52, an opening 57 having a predetermined area is formed in the air flow path 52, and the air is exhausted out of the chamber 13 through the opening 57.

モータダンパ83のコントローラ86は、ガラリ12の外側近傍で再び風が吹き、その風の影響で空気が再びチャンバー13から流出して空気が給気ダクト11から流出しようとし、測定圧力が第2設定圧力の範囲外になり、測定圧力が第2設定圧力未満になると、旋回羽根87の開度を大きくする(S−5)。コントローラ86は、旋回羽根87の開度を大きくした後、大きくした開度を保持した状態で、ステップ2(S−2)に戻って圧力センサ84から出力された測定圧力とメモリに格納した第2設定圧力とを比較し(給気圧力比較手段)(S−2)、ステップ2(S−2)からのプロセスを繰り返す。   The controller 86 of the motor damper 83 blows again in the vicinity of the outside of the gallery 12, and the air again flows out of the chamber 13 due to the influence of the wind, so that the air tries to flow out of the air supply duct 11, and the measured pressure is the second set pressure. When the measured pressure is less than the second set pressure, the opening degree of the swirl vane 87 is increased (S-5). The controller 86, after increasing the opening of the swirl vane 87, returns to step 2 (S-2) and stores the measured pressure output from the pressure sensor 84 and the memory while maintaining the increased opening. 2 The set pressure is compared (supply pressure comparison means) (S-2), and the process from step 2 (S-2) is repeated.

給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、ガラリ12の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス10A〜10Gの内部空間14(チャンバー13内)に進入したとしても、遮蔽板25や屈曲ダクト59、接続ダクト62,65,66によってチャンバー13内に進入した空気の給気ダクト11への直接の流入を防ぐことができ、ダクト11に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ12の外側に吹く風の影響で空気がチャンバー13から流出したとしても、遮蔽板25や屈曲ダクト59、接続ダクト62,65,66によって空気の給気ダクト11からの直接の流出を防ぐことができる。   The duct housing boxes 10A to 10G provided with the air supply device 74 are shield plates even if excess air enters the internal space 14 (inside the chamber 13) of the boxes 10A to 10G due to the effect of the wind blowing outside the gallery 12. 25, the bent duct 59, and the connecting ducts 62, 65, 66 can prevent the air that has entered the chamber 13 from directly flowing into the air supply duct 11, and can minimize the air flowing into the duct 11. it can. Even if the air flows out of the chamber 13 due to the wind blown outside the louver 12, the air is directly discharged from the air supply duct 11 by the shielding plate 25, the bent duct 59, and the connection ducts 62, 65, 66. Can be prevented.

給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、ガラリ12の外側に吹く風の影響で余分な空気がチャンバー13内に進入したときに、第1排気ユニット29,48や第2排気ユニット47,58の逆止弁ダンパ28A,28B,51A,51Bを利用してチャンバー13に進入した空気をチャンバー13内からチャンバー13外に逃がすことができ、必要以上の空気の給気ダクト11への流入を防ぐことができる。また、第1排気ユニット29,48の逆止弁ダンパ28A,51Aを利用してガラリ12から直接給気ダクト11の延出端部22に向かう空気の動圧を除圧することができ、第2排気ユニット47,58の逆止弁ダンパ28B,51Bを利用してチャンバー13の側壁19に向かう空気の静圧を除圧することができるから、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を給気ダクト11に確実に流入させることができる。   The duct housing boxes 10A to 10G having the air supply device 74 are provided with the first exhaust units 29 and 48 and the second exhaust unit when excess air enters the chamber 13 due to the influence of the wind blowing outside the gallery 12. The air that has entered the chamber 13 can be released from the inside of the chamber 13 to the outside of the chamber 13 by using the check valve dampers 28A, 28B, 51A, 51B of 47 and 58, and the air is supplied to the air supply duct 11 more than necessary. Inflow can be prevented. In addition, the dynamic pressure of the air from the louver 12 directly toward the extended end 22 of the air supply duct 11 can be removed using the check valve dampers 28A and 51A of the first exhaust units 29 and 48, and the second Since the check valve dampers 28B and 51B of the exhaust units 47 and 58 can be used to reduce the static pressure of the air toward the side wall 19 of the chamber 13, excess air is irregularly and irregularly supplied to the air supply duct 11. The air of a constant pressure and a constant amount can surely flow into the air supply duct 11.

給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、ガラリ12の外側近傍に吹く風の影響で、余分な空気がボックス10A〜10Gの内部空間14(チャンバー13内)に進入して空気が給気ダクト11に流入し、それによって測定圧力が第2設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパ83の旋回羽根87の開度を小さくして空気の給気ファン82内への流入を制限するから、一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ファン82に流入させることができ、給気ファン82やモータダンパ83を利用してクリーンルーム72,73に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。   In the duct housing boxes 10A to 10G having the air supply device 74, the excess air enters the internal space 14 (inside the chamber 13) of the boxes 10A to 10G due to the influence of the wind blowing near the outside of the gallery 12. When the air flows into the air supply duct 11 and thereby the measured pressure exceeds the range of the second set pressure, the opening of the swirl vane 87 of the motor damper 83 is reduced to restrict the inflow of air into the air supply fan 82. Thus, a constant pressure and a constant amount of air can be stably flowed into the air supply fan 82, and a constant pressure and a constant amount of air can be stably supplied to the clean rooms 72 and 73 using the air supply fan 82 and the motor damper 83. Can flow in.

給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、ガラリ12の外側近傍に吹く風の影響で、余分な空気がチャンバー13内から流出して空気が給気ダクト11から流出しようとし、測定圧力が第2設定圧力の範囲未満になると、モータダンパ83の旋回羽根87の開度を大きくして給気ファン82内への空気の流入減を防ぐから、一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ファン82に流入させることができ、給気ファン82やモータダンパ83を利用してクリーンルーム72,73に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。また、測定圧力が第2設定圧力の範囲に戻ると、そのときの旋回羽根87の開度を保持するから、一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ファン82に流入させることができ、給気ファン82やモータダンパ83を利用してクリーンルーム72,73に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。   The duct housing boxes 10A to 10G equipped with the air supply device 74 are measured by the influence of the wind blowing near the outside of the gallery 12 so that excess air flows out of the chamber 13 and air flows out of the air supply duct 11. When the pressure falls below the second set pressure range, the opening degree of the swirl vane 87 of the motor damper 83 is increased to prevent the inflow of air into the air supply fan 82, so that a constant pressure and a constant amount of air are stabilized. Thus, a constant pressure and a constant amount of air can be stably flowed into the clean rooms 72 and 73 using the supply fan 82 and the motor damper 83. Further, when the measured pressure returns to the second set pressure range, the opening degree of the swirl vane 87 at that time is maintained, so that a constant pressure and a constant amount of air can be stably flowed into the air supply fan 82. The air supply fan 82 and the motor damper 83 can be used to stably flow a constant pressure and a constant amount of air into the clean rooms 72 and 73.

給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、それを利用することで、クリーンルーム72,73に給気する空気を一定に保持することができ、クリーンルーム72,73の室内気圧を目標室内気圧に維持することができる。給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、給気ファン82から給気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルーム72,73での使用に特に有効であり、クリーンルーム72,73において室内気圧の変動がない空調環境を作ることが可能である。   By using the duct housing boxes 10A to 10G including the air supply device 74, the air supplied to the clean rooms 72 and 73 can be kept constant, and the indoor air pressure in the clean rooms 72 and 73 can be maintained in the target room. It can be maintained at atmospheric pressure. The duct housing boxes 10A to 10G including the air supply device 74 are particularly effective for use in the clean rooms 72 and 73 in which it is required to strictly control the pressure and amount of air supplied from the air supply fan 82. In the clean rooms 72 and 73, it is possible to create an air conditioning environment in which the indoor air pressure does not vary.

一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ダクト11からクリーンルーム72,73に給気させるには給気ダクト11内の空気の圧力が負圧に保持される必要があるが、給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、その第2設定圧力が−1000Pa〜1000Paの範囲にあるから、空気が給気ダクト11に流入し、または、空気が給気ダクト11から流出しようとしたとしても、モータダンパ83の旋回羽根87が迅速に作動し、給気ダクト11内の空気の圧力が正圧になることを防ぐことができ、ダクト11内の空気の圧力を負圧に保持することができる。   In order to stably supply a constant pressure and a constant amount of air from the air supply duct 11 to the clean rooms 72 and 73, the air pressure in the air supply duct 11 needs to be maintained at a negative pressure. The duct housing boxes 10A to 10G provided with 74 have a second set pressure in the range of −1000 Pa to 1000 Pa, so that air flows into the air supply duct 11 or air tends to flow out of the air supply duct 11. Even if this is done, the swirl vanes 87 of the motor damper 83 operate quickly, and the air pressure in the air supply duct 11 can be prevented from becoming a positive pressure, and the air pressure in the duct 11 is kept at a negative pressure. be able to.

給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、モータダンパ83の旋回羽根87の旋回速度が1〜30s/Full Scaleの範囲、好ましくは、1〜5s/Full Scaleの範囲にあるから、給気ダクト11に空気が流入し、または、空気が給気ダクト11から流出しようとして給気ダクト11の内部気圧が変動したとしても、モータダンパ83の旋回羽根87が前記旋回速度で瞬時に旋回し、測定圧力を第2設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、給気ダクト11内の空気の圧力変動を確実に防ぐことができる。給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ファン82内に流入することはなく、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト11から流出することもないから、給気ファン82やモータダンパ83を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム72,73に給気することができ、クリーンルーム72,73に給気する空気を一定に保持することができる。   In the duct housing boxes 10A to 10G including the air supply device 74, the swirl speed of the swirl vanes 87 of the motor damper 83 is in the range of 1 to 30 s / Full Scale, preferably in the range of 1 to 5 s / Full Scale. Even if air flows into the air duct 11 or the internal pressure of the air supply duct 11 fluctuates as the air tries to flow out of the air supply duct 11, the swirl vanes 87 of the motor damper 83 swirl instantaneously at the swirl speed, The measured pressure can be quickly returned to the range of the second set pressure, and the pressure fluctuation of the air in the air supply duct 11 can be reliably prevented. In the duct storage boxes 10A to 10G including the air supply device 74, excess air does not flow irregularly and irregularly into the air supply fan 82, and excess air is irregularly and irregularly distributed. 11, the air supply fan 82 and the motor damper 83 can be used to supply a constant pressure and a constant amount of air to the clean rooms 72 and 73, and the air supplied to the clean rooms 72 and 73 can be supplied. Can be held constant.

旋回羽根87の開度が全閉(0%)なると、クリーンルーム72,73に空気が給気されず、給気ファン82内への空気の流入が停止し、給気ファン82を介して空気をクリーンルーム72,73に給気することができないが、給気装置74を備えたダクト収容ボックス10A〜10Gは、モータダンパ83の旋回羽根87の開度を小さくしたときの羽根87の最小開度が3〜25%の範囲にあるから、羽根87の開度が全閉(0%)なることはなく、クリーンルーム72,73への空気の未給気状態が回避され、クリーンルーム72,73の室内気圧の極端な下降を防ぐことができるとともに、給気ファン82やモータダンパ83を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム72,73に給気することができる。   When the opening degree of the swirl vane 87 is fully closed (0%), air is not supplied to the clean rooms 72 and 73, the inflow of air into the supply fan 82 is stopped, and the air is supplied via the supply fan 82. Although the duct housing boxes 10A to 10G having the air supply device 74 cannot supply air to the clean rooms 72 and 73, the minimum opening degree of the blades 87 when the opening degree of the swirling blades 87 of the motor damper 83 is reduced is 3. Since it is in the range of ˜25%, the opening degree of the blades 87 is not fully closed (0%), the unaired state of air to the clean rooms 72 and 73 is avoided, and the indoor pressure of the clean rooms 72 and 73 is reduced. It is possible to prevent an extreme descent, and to supply a constant pressure and a constant amount of air to the clean rooms 72 and 73 using the air supply fan 82 and the motor damper 83.

10A〜10G ダクト収容ボックス
11 給気ダクト
12 ガラリ
13 チャンバー
14 内部空間
15 壁
17 頂壁
18 底壁
19 側壁
20 側壁
21 後側壁
22 延出端部
24 開口端
25 遮蔽板
28A,28B 逆止弁ダンパ
29 第1排気ユニット
30 空気流路
31 回転軸
32 旋回羽根
33 錘
34 ストッパー
46 開口(空気排出口)
47 第2排気ユニット
48 第1排気ユニット
51A,51B 逆止弁ダンパ
52 空気流路
54 軸
55 旋回羽根
56 ストッパー
57 開口(空気排出口)
58 第2排気ユニット
59 屈曲ダクト
60 第1開口端
61 第2開口端
62 接続ダクト
63 中央開口端
64 両側開口端
65 第1接続ダクト
66 第2接続ダクト
67 第1中央開口端
68 第1両側開口端
69 第2中央開口端
70 第2両側開口端
71 室圧制御機構
72 クリーンルーム(室)
73 クリーンルーム(室)
74 給気装置
75 排気装置
76 工場(既設建物)
82 給気ファン
83 モータダンパ
84 圧力センサ
85 定風量ユニット
86 コントローラ
87 旋回羽根
89 排気ダクト
90 排気ファン
91 定風量ユニット
10A to 10G Duct housing box 11 Air supply duct 12 Garage 13 Chamber 14 Internal space 15 Wall 17 Top wall 18 Bottom wall 19 Side wall 20 Side wall 21 Rear side wall 22 Extension end 24 Open end 25 Shielding plate 28A, 28B Check valve damper 29 First exhaust unit 30 Air flow path 31 Rotating shaft 32 Swirling vane 33 Weight 34 Stopper 46 Opening (air discharge port)
47 2nd exhaust unit 48 1st exhaust unit 51A, 51B Check valve damper 52 Air flow path 54 Shaft 55 Swirling blade 56 Stopper 57 Opening (air discharge port)
58 Second exhaust unit 59 Bent duct 60 First opening end 61 Second opening end 62 Connection duct 63 Central opening end 64 Both sides opening end 65 First connection duct 66 Second connection duct 67 First center opening end 68 First both sides opening End 69 Second center opening end 70 Second side opening end 71 Room pressure control mechanism 72 Clean room (room)
73 Clean room
74 Air supply device 75 Exhaust device 76 Factory (existing building)
82 Air supply fan 83 Motor damper 84 Pressure sensor 85 Constant airflow unit 86 Controller 87 Swirling blade 89 Exhaust duct 90 Exhaust fan 91 Constant airflow unit

Claims (18)

既設建物の内外を隔てる壁の開口に取り付けられたガラリと、前記ガラリに連接されて前記壁の内側に施設され、所定の室に空気を送り込む給気装置の給気ダクトの延出端部がつながるチャンバーとを備えたダクト収容ボックスにおいて、
前記チャンバーが、上下方向へ対向する頂壁および底壁と、横方向へ対向する両側壁と、前記ガラリに対向してそれら両側壁の間に位置する後側壁とから形成され、前記後側壁には、前記ガラリから前記チャンバーに進入した空気の圧力に応じてチャンバー内の空気をチャンバー外に排出する逆止弁ダンパを備えた第1排気ユニットが設置されていることを特徴とするダクト収容ボックス。
There is a gallery attached to an opening of a wall separating the inside and outside of an existing building, and an extended end portion of an air supply duct of an air supply device that is connected to the gallery and is installed inside the wall and sends air into a predetermined chamber. In a duct storage box with connected chambers,
The chamber is formed of a top wall and a bottom wall facing in the vertical direction, both side walls facing in the lateral direction, and a rear side wall positioned between the both side walls facing the gallery, The duct housing box is provided with a first exhaust unit provided with a check valve damper for discharging the air in the chamber to the outside of the chamber in accordance with the pressure of the air that has entered the chamber from the gallery. .
前記両側壁の少なくとも一方には、前記ガラリから前記チャンバーに進入した空気の圧力に応じてチャンバー内の空気をチャンバー外に排出する逆止弁ダンパを備えた第2排気ユニットが設置されている請求項1記載のダクト収容ボックス。   A second exhaust unit provided with a check valve damper that discharges air in the chamber to the outside of the chamber according to the pressure of the air that has entered the chamber from the gallery is installed on at least one of the side walls. Item 1. A duct storage box according to item 1. 前記逆止弁ダンパが、前記排気ユニットに取り付けられた軸と、前記軸に取り付けられて前記排気ユニットの空気流路を開閉する旋回羽根と、前記軸に取り付けられて前記排気ユニットを閉鎖する方向へ前記旋回羽根を旋回させる錘とから形成され、前記逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定された前記チャンバー内の第1設定圧力と前記錘とが釣り合うように該錘の重量が調節され、前記チャンバー内の圧力が前記第1設定圧力を超えると、前記錘の重量に抗して前記旋回羽根が前記排気ユニットを開放する方向へ旋回し、前記排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される請求項1または請求項2に記載のダクト収容ボックス。   The check valve damper has a shaft attached to the exhaust unit, a swirl blade attached to the shaft to open and close an air flow path of the exhaust unit, and a direction attached to the shaft to close the exhaust unit The check valve damper adjusts the weight of the weight so that the preset first set pressure in the chamber and the weight are balanced with each other. When the internal pressure exceeds the first set pressure, the swirling blades swirl in a direction to open the exhaust unit against the weight of the weight, and an air discharge port having a predetermined area is provided in the air flow path of the exhaust unit. The duct storage box according to claim 1 or 2, wherein a duct is formed. 前記逆止弁ダンパが、前記排気ユニットに取り付けられた軸と、前記軸に取り付けられて自重によって前記排気ユニットの空気流路を閉鎖する旋回羽根とから形成され、前記逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定された前記チャンバー内の第1設定圧力と前記旋回羽根の重量とが釣り合うように該旋回羽根の重量が調節され、前記チャンバー内の圧力が前記第1設定圧力を超えると、前記旋回羽根の重量に抗して該旋回羽根が前記排気ユニットを開放する方向へ旋回し、前記排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される請求項1または請求項2に記載のダクト収容ボックス。   The check valve damper is formed of a shaft attached to the exhaust unit, and a swirl vane attached to the shaft and closing the air flow path of the exhaust unit by its own weight. In the check valve damper, When the weight of the swirl blade is adjusted so that the set first set pressure in the chamber and the weight of the swirl blade are balanced, and the pressure in the chamber exceeds the first set pressure, 3. The duct housing according to claim 1, wherein the swirl vanes swirl against a weight in a direction to open the exhaust unit, and an air discharge port having a predetermined area is formed in an air flow path of the exhaust unit. box. 前記第1設定圧力が、5Pa〜40Paの範囲にある請求項3または請求項4に記載のダクト収容ボックス。   The duct accommodation box according to claim 3 or 4, wherein the first set pressure is in a range of 5 Pa to 40 Pa. 前記給気ダクトの延出端部が、前記チャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通されて前記ガラリに向かって直状に延び、前記チャンバー内に位置する前記延出端部の開口端と前記ガラリとの間には、前記ガラリから進入した空気の前記開口端への直接の流入を遮る遮蔽板が設置されている請求項1ないし請求項5いずれかに記載のダクト収容ボックス。   The extended end portion of the air supply duct is inserted into the chamber from an insertion hole formed in the rear side wall of the chamber and extends straight toward the gallery, and is located in the chamber. The duct accommodation according to any one of claims 1 to 5, wherein a shielding plate that blocks direct inflow of air that has entered from the louver into the open end is installed between the open end of the louver and the louver. box. 前記遮蔽板の面積が、前記延出端部の開口端の開口面積以上であり、前記開口端の全域が、前記遮蔽板によって前記ガラリに対して遮蔽される請求項6記載のダクト収容ボックス。   The duct storage box according to claim 6, wherein an area of the shielding plate is equal to or larger than an opening area of the opening end of the extending end portion, and the entire area of the opening end is shielded from the louver by the shielding plate. 前記給気ダクトの延出端部が、前記チャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通されて前記ガラリに向かって直状に延び、前記チャンバー内に位置する前記延出端部には、前記ガラリに対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクトが取り付けられ、前記屈曲ダクトが、前記延出端部の開口端に接続された第1開口端と、前記第1開口端の反対側に位置して前記空気が流入する第2開口端とを有する請求項1ないし請求項5いずれかに記載のダクト収容ボックス。   The extending end portion of the air supply duct is inserted into the chamber from an insertion hole formed in the rear side wall of the chamber and extends straight toward the gallery, and the extending end portion is located in the chamber. Is attached with a bent duct that bends in a direction that does not face the louver, and the bent duct is disposed on the opposite side of the first open end from the first open end connected to the open end of the extended end. The duct storage box according to any one of claims 1 to 5, further comprising a second opening end that is positioned and into which the air flows. 前記屈曲ダクトが、前記延出端部の軸線に対して90〜180度の範囲で屈曲している請求項8記載のダクト収容ボックス。   The duct storage box according to claim 8, wherein the bent duct is bent in a range of 90 to 180 degrees with respect to the axis of the extended end portion. 前記給気ダクトの延出端部が、前記チャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通されて前記ガラリに向かって直状に延び、前記チャンバー内に位置する前記延出端部には、前記ガラリに対向しない方向へ直状に延びる接続ダクトが取り付けられ、前記接続ダクトが、前記延出端部の開口端に接続された中央開口端と、前記中央開口端の両側に位置して前記空気が流入する両側開口端とを有する請求項1ないし請求項5いずれかに記載のダクト収容ボックス。   The extending end portion of the air supply duct is inserted into the chamber from an insertion hole formed in the rear side wall of the chamber and extends straight toward the gallery, and the extending end portion is located in the chamber. Is connected to a connecting duct that extends straight in a direction that does not oppose the louver, and the connecting duct is located at the center opening end that is connected to the opening end of the extension end, and on both sides of the center opening end. The duct storage box according to claim 1, further comprising both side opening ends into which the air flows. 前記接続ダクトの軸線が、前記延出端部の軸線に対して直交している請求項10記載のダクト収容ボックス。   The duct storage box according to claim 10, wherein an axis of the connection duct is orthogonal to an axis of the extension end. 前記給気ダクトの延出端部が、前記チャンバーの後側壁に形成された挿通孔からチャンバー内に挿通されて前記ガラリに向かって直状に延び、前記チャンバー内に位置する前記延出端部には、前記ガラリに対向しない方向へ直状に延びる1本の第1接続ダクトが取り付けられ、前記第1接続ダクトには、前記ガラリに対向しない方向へ直状に延びる2本の第2接続ダクトが取り付けられ、前記第1接続ダクトが、前記延出端部の開口端に接続された第1中央開口端と、前記第1中央開口端の両側に位置する第1両側開口端とを有し、それら第2接続ダクトが、前記第1接続ダクトの第1両側開口端に接続された第2中央開口端と、前記第2中央開口端の両側に位置して前記空気が出入する第2両側開口端とを有する請求項1ないし請求項5いずれかに記載のダクト収容ボックス。   The extending end portion of the air supply duct is inserted into the chamber from an insertion hole formed in the rear side wall of the chamber and extends straight toward the gallery, and the extending end portion is located in the chamber. Is attached with one first connection duct that extends straight in a direction that does not face the gallery, and two second connections that extend straight in a direction that does not face the gallery. A duct is attached, and the first connection duct has a first central opening end connected to the opening end of the extension end portion, and first both-side opening ends located on both sides of the first central opening end. The second connection ducts are positioned on both sides of the second center opening end and the second center opening end connected to the first both side opening ends of the first connection duct, and the second air enters and exits. 6. An opening according to claim 1, which has open ends on both sides. Duct storage box according to any Re. 前記第1接続ダクトの軸線が、前記延出端部の軸線に対して直交し、前記第2接続ダクトの軸線が、前記第1接続ダクトの軸線に対して直交している請求項12記載のダクト収容ボックス。   The axis line of the first connection duct is orthogonal to the axis line of the extended end portion, and the axis line of the second connection duct is orthogonal to the axis line of the first connection duct. Duct storage box. 前記給気装置が、前記給気ダクトを通る空気を前記室に給気する給気ファンと、前記ダクト収容ボックスと前記給気ファンとの間に延びる前記給気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって該給気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、前記給気ファンと前記モータダンパとの間に延びる前記給気ダクトに設置されて該給気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを含み、
前記コントローラが、前記圧力センサから出力された前記給気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された第2設定圧力とを比較する圧力比較手段と、前記ガラリの外側に吹く風の影響で所定量の空気が前記給気ダクトに流入しまたは該給気ダクトから流出しようとし、それによって前記測定圧力が前記第2設定圧力の範囲から外れると、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節して前記測定圧力を前記第2設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有する請求項1ないし請求項13いずれかに記載のダクト収容ボックス。
The air supply device is installed in an air supply fan that supplies air passing through the air supply duct to the chamber, and an air supply duct that extends between the duct housing box and the air supply fan. A motor damper that adjusts the amount of air passing through the air supply duct by swirling, and a pressure that is installed in the air supply duct extending between the air supply fan and the motor damper and measures the pressure of the air passing through the air supply duct A sensor and a controller for adjusting the opening degree of the swirl blade of the motor damper;
A pressure comparing means for comparing the measured pressure in the air supply duct output from the pressure sensor with a second preset pressure set in advance; and a predetermined amount due to the influence of the wind blowing outside the gallery. When air flows into or out of the air supply duct, and the measured pressure deviates from the range of the second set pressure, the opening degree of the swirl vane of the motor damper is adjusted and the measurement is performed. The duct storage box according to any one of claims 1 to 13, further comprising pressure control means for returning the pressure to a range of the second set pressure.
前記圧力制御手段では、前記風の影響で所定量の空気が前記給気ダクトに流入し、それによって前記測定圧力が前記第2設定圧力の範囲を超過すると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ該旋回羽根の開度を小さくし、前記風の影響で所定量の空気が前記給気ダクトから流出しようとし、それによって前記測定圧力が前記第2設定圧力の範囲未満になると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ該旋回羽根の開度を大きくし、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって前記測定圧力が前記第2設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する請求項14記載のダクト収容ボックス。   In the pressure control means, when a predetermined amount of air flows into the air supply duct due to the influence of the wind and thereby the measured pressure exceeds the range of the second set pressure, the opening degree of the swirl vanes of the motor damper is increased. If the opening is not the minimum opening, the opening of the swirl vane is reduced, and a predetermined amount of air tends to flow out of the air supply duct due to the wind, so that the measured pressure falls below the range of the second set pressure. Then, if the opening degree of the swirl vane of the motor damper is not fully open, the opening degree of the swirl vane is increased and the measured pressure is within the range of the second set pressure by adjusting the opening degree of the swirl vane of the motor damper. The duct accommodation box according to claim 14, wherein the opening degree of the swirl blade at that time is maintained when returning to step (a). 前記モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの該旋回羽根の最小開度が、3〜25%の範囲にあり、前記圧力制御手段では、前記測定圧力が前記第2設定圧力の範囲を超過したときに、前記モータダンパの旋回羽根の開度が前記最小開度であれば、その開度を保持する請求項15記載のダクト収容ボックス。   The minimum opening of the swirl vane when the opening of the swirl vane of the motor damper is reduced is in the range of 3 to 25%. In the pressure control means, the measured pressure exceeds the range of the second set pressure. The duct storage box according to claim 15, wherein when the opening of the swirl blade of the motor damper is the minimum opening, the opening is maintained. 前記第2設定圧力が、−1000Pa〜1000Paの範囲にある請求項14ないし請求項16いずれかに記載のダクト収容ボックス。   The duct accommodation box according to any one of claims 14 to 16, wherein the second set pressure is in a range of -1000 Pa to 1000 Pa. 前記モータダンパの旋回羽根の旋回速度が、1〜30s/Full Scaleの範囲にある請求項14ないし請求項17いずれかに記載のダクト収容ボックス。   The duct storage box according to any one of claims 14 to 17, wherein a turning speed of a turning blade of the motor damper is in a range of 1 to 30 s / Full Scale.
JP2009187910A 2009-08-14 2009-08-14 Duct storage box Active JP5541889B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009187910A JP5541889B2 (en) 2009-08-14 2009-08-14 Duct storage box

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009187910A JP5541889B2 (en) 2009-08-14 2009-08-14 Duct storage box

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011038732A true JP2011038732A (en) 2011-02-24
JP5541889B2 JP5541889B2 (en) 2014-07-09

Family

ID=43766687

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009187910A Active JP5541889B2 (en) 2009-08-14 2009-08-14 Duct storage box

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5541889B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014013115A (en) * 2012-07-04 2014-01-23 Fujimori Sangyo Kk Branch type chamber for air conditioning system
JP2020020486A (en) * 2018-07-30 2020-02-06 クリフ株式会社 Pressure adjustment damper, and exhaust device of air conditioner using pressure adjustment damper

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3513129A4 (en) * 2016-09-13 2020-05-27 Afrakhteh, Arsalan Discharge system and methods

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6064145A (en) * 1983-09-20 1985-04-12 Asahi Kogyosha:Kk Supplying and discharging air control system for keeping plurality of chambers in same air system in specified indoor pressures respectively
JPH0213753A (en) * 1988-06-29 1990-01-18 Seiyuu Fudousan Kk Common ventilation system for high building and common ventilation duct structure
JPH0220598Y2 (en) * 1985-02-19 1990-06-05
JPH0590241U (en) * 1992-05-15 1993-12-10 松下電工株式会社 Air volume adjustment diffuser
JP2001136855A (en) * 1999-11-12 2001-05-22 Shin Nippon Air Technol Co Ltd Method and apparatus for controlling air flow in breeding chamber of laboratory animal
JP2001153415A (en) * 1999-11-26 2001-06-08 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Ventilation air-conditioning system and ventilation air- conditioning method
JP2004308937A (en) * 2003-04-02 2004-11-04 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd Fresh air introduction chamber
JP2006029748A (en) * 2004-07-21 2006-02-02 Takenaka Komuten Co Ltd Air-conditioning and ventilation combined system and air-conditioner with air duct

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6064145A (en) * 1983-09-20 1985-04-12 Asahi Kogyosha:Kk Supplying and discharging air control system for keeping plurality of chambers in same air system in specified indoor pressures respectively
JPH0220598Y2 (en) * 1985-02-19 1990-06-05
JPH0213753A (en) * 1988-06-29 1990-01-18 Seiyuu Fudousan Kk Common ventilation system for high building and common ventilation duct structure
JPH0590241U (en) * 1992-05-15 1993-12-10 松下電工株式会社 Air volume adjustment diffuser
JP2001136855A (en) * 1999-11-12 2001-05-22 Shin Nippon Air Technol Co Ltd Method and apparatus for controlling air flow in breeding chamber of laboratory animal
JP2001153415A (en) * 1999-11-26 2001-06-08 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Ventilation air-conditioning system and ventilation air- conditioning method
JP2004308937A (en) * 2003-04-02 2004-11-04 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd Fresh air introduction chamber
JP2006029748A (en) * 2004-07-21 2006-02-02 Takenaka Komuten Co Ltd Air-conditioning and ventilation combined system and air-conditioner with air duct

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014013115A (en) * 2012-07-04 2014-01-23 Fujimori Sangyo Kk Branch type chamber for air conditioning system
JP2020020486A (en) * 2018-07-30 2020-02-06 クリフ株式会社 Pressure adjustment damper, and exhaust device of air conditioner using pressure adjustment damper
JP7153263B2 (en) 2018-07-30 2022-10-14 クリフ株式会社 pressure regulating damper

Also Published As

Publication number Publication date
JP5541889B2 (en) 2014-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10605471B2 (en) Integrated basement ventilation apparatus
US20120171948A1 (en) Air flow direction changing device for air conditioning device
JP6505551B2 (en) Clean room exhaust unit
JP5541889B2 (en) Duct storage box
JP5318594B2 (en) Air supply device
JP4485476B2 (en) Room pressure control method and apparatus
JP2008185274A (en) Air conditioner
JP5049608B2 (en) Room pressure control system using multi-stage CAV
JP5182698B2 (en) Rack cabinet and method for cooling electronic equipment mounted in rack cabinet
JP2013024450A (en) System and method for control of in-room air pressure
JP5502392B2 (en) Exhaust system
JP2016223718A (en) Air conditioner
JP5318593B2 (en) Air supply device
JP2008241162A (en) Exhaust system
JP2008298403A (en) Outside air intake device
JP4904014B2 (en) Air conditioning system
JP5502395B2 (en) Duct storage box
JP4976154B2 (en) Room pressure control system using multi-stage CAV
JP5681259B2 (en) Duct storage box
JP7104310B2 (en) Blower
JPH03102133A (en) Duct air conditioning system
JP5014770B2 (en) Room pressure control system
JP2011133221A (en) Air conditioning system
JP4627846B2 (en) Room pressure control system
KR101336312B1 (en) Damper having guide veil

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120809

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130913

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130924

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140415

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140502

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5541889

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250