JP2011031128A - Coating liquid filling method to inkjet head and coating liquid filling device - Google Patents

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正雄 井上
Kazuki Naoki
一樹 直木
Sanzo Moriwaki
三造 森脇
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating liquid filling method to an inkjet head effectively preventing generation of discharge failure due to existence of bubbles in the inkjet head with a simple structure, and a coating liquid filling device. <P>SOLUTION: The coating liquid filling device includes an inkjet head 10 juxtaposed with a plurality of discharge mechanisms each comprising a coating liquid discharge part, a coating liquid storage part and a piezoelectric element applying pressure to the coating liquid stored in the coating liquid storage part; an introducing liquid pumping mechanism 20 pumping the introducing liquid imparted with the pressure to the inkjet head 10; a first degassing mechanism 30; a coating liquid feeding mechanism 40 feeding the coating liquid to the inkjet head 10; a second degassing mechanism 60; and a three-way selector valve 50 stopping pumping of the introducing liquid by the introducing liquid pumping mechanism 20 and starting feeding of the coating liquid by the coating liquid feeding mechanism 40. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

この発明は、インクジェットヘッドに対して、塗布液を充填するためのインクジェットヘッドへの塗布液充填方法および塗布液充填装置に関する。   The present invention relates to a coating liquid filling method and a coating liquid filling apparatus for filling an inkjet head with a coating liquid for filling the inkjet head.

このようなインクジェットヘッドとしては、塗布液の吐出部と、この塗布液の吐出部と連結された塗布液の貯留部と、この塗布液の貯留部に貯留された塗布液に圧力を付与することにより塗布液の貯留部に貯留された塗布液を吐出部から吐出させる圧電素子とからなる吐出機構を、その長手方向に多数個列設した構成のものが採用されている。   As such an ink jet head, pressure is applied to a coating liquid discharge section, a coating liquid storage section connected to the coating liquid discharge section, and a coating liquid stored in the coating liquid storage section. Thus, a configuration is adopted in which a number of ejection mechanisms each including a piezoelectric element that ejects the coating liquid stored in the coating liquid storage section from the ejection section are arranged in the longitudinal direction.

ところで、このようなインクジェットヘッドの使用を開始するときには、インクジェットヘッドの貯留部に予め塗布液を充填しておかないと、圧電素子の作用により塗布液を吐出部から吐出することができない。このため、インクジェットヘッドの使用開始時には、インクジェットヘッドに対して塗布液を充填するためのインクジェットヘッドへの塗布液充填工程が実行される。   By the way, when the use of such an ink jet head is started, the application liquid cannot be discharged from the discharge portion by the action of the piezoelectric element unless the storage portion of the ink jet head is previously filled with the application liquid. For this reason, at the start of use of the inkjet head, a coating liquid filling step for filling the inkjet head with the coating liquid is performed.

このインクジェットヘッドへの塗布液充填工程においては、インクジェットヘッドにおける塗布液の貯留部に対して、加圧した塗布液を圧送するようにしている。また、インクジェットヘッドにインクジェット用インクを充填する際に、溶剤および表面張力調整材を含み、溶剤および表面張力調整剤の成分比率がインクジェットヘッド用インクにおける成分比率よりそれぞれ高いインク充填補助剤をインクジェット用インクより先にインクジェットヘッドに充填する方法も提案されている(特許文献1参照)。   In the coating liquid filling process to the inkjet head, the pressurized coating liquid is pumped to the coating liquid storage part in the inkjet head. In addition, when the inkjet head is filled with the inkjet ink, an ink filling auxiliary agent that includes a solvent and a surface tension adjuster and that has a higher component ratio of the solvent and the surface tension adjuster than the component ratio of the inkjet head ink is used for inkjet. A method of filling an ink jet head prior to ink has also been proposed (see Patent Document 1).

なお、カラーフィルターの製造工程において、インク内にとけ込んだ空気が析出してインクジェットヘッド内に送り込まれ、これにより吐出不良が生じることを防止するため、印刷実行中に脱気したインクをインクジェットヘッドに供給するカラーフィルターの製造装置も提案されている(特許文献2参照)。   In addition, in the color filter manufacturing process, air that has melted into the ink precipitates and is sent into the ink jet head, thereby preventing ejection failure. An apparatus for manufacturing a color filter to be supplied has also been proposed (see Patent Document 2).

特開2005−231113号公報JP 2005-231113 A 特開平11−42771号公報JP-A-11-42771

上述したように、圧力を付与した塗布液をインクジェットヘッドに圧送する場合や、特許文献1に記載されたようなインク充填補助剤を予め充填する場合には、インクジェットヘッドにおける貯留部内に、空気の気泡が侵入するという問題が生ずる。   As described above, when the coating liquid to which pressure is applied is pumped to the ink jet head, or when the ink filling aid as described in Patent Document 1 is preliminarily filled, air is stored in the reservoir in the ink jet head. The problem of air bubbles entering arises.

インクジェットヘッドにおける貯留部内に空気の気泡が存在した場合には、圧電素子の作用により貯留部内の塗布液に圧力を付与しても、空気の気泡が圧力のバッファとなって、圧電素子の作用により付与された圧力を吸収してしまうことから、貯留部内の塗布液を吐出部より吐出することができず、吐出不良が生ずるという問題がある。このような吐出不良が発生した場合においては、インクジェットヘッド内の塗布液を全て排出した後、再度、塗布液の充填工程を実行する必要があることから、作業者に対する負荷が極めて大きなものとなる。   When air bubbles are present in the reservoir of the inkjet head, even if pressure is applied to the coating liquid in the reservoir by the action of the piezoelectric element, the air bubbles serve as a pressure buffer, and the action of the piezoelectric element Since the applied pressure is absorbed, there is a problem in that the coating liquid in the storage unit cannot be discharged from the discharge unit, resulting in a discharge failure. When such a discharge failure occurs, it is necessary to re-execute the coating liquid filling process after all the coating liquid in the inkjet head has been discharged, resulting in a very heavy load on the operator. .

また、特許文献1に記載されたように、溶剤および表面張力調整材を含むインク充填補助剤を使用した場合には、溶剤への引火による事故の発生を防止するため、十分な防爆対策等の安全対策が必要となり、装置全体の製造コストが増大する。さらに、塗布液として水溶性の塗布液を使用した場合には、溶剤を含む充填補助剤を使用することができないという問題もある。   In addition, as described in Patent Document 1, when an ink filling auxiliary agent containing a solvent and a surface tension adjusting material is used, in order to prevent an accident caused by ignition of the solvent, sufficient explosion-proof measures are taken. Safety measures are required, increasing the manufacturing cost of the entire device. Furthermore, when a water-soluble coating solution is used as the coating solution, there is also a problem that a filling aid containing a solvent cannot be used.

この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、簡単な構成でありながら、インクジェットヘッド内に気泡が存在することによる吐出不良の発生を有効に防止することが可能なインクジェットヘッドへの塗布液充填方法および塗布液充填装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides an ink jet head that can effectively prevent the occurrence of ejection failure due to the presence of bubbles in the ink jet head while having a simple configuration. It is an object to provide a coating liquid filling method and a coating liquid filling apparatus.

請求項1に記載の発明は、塗布液の吐出部と、前記塗布液の吐出部と連結された塗布液の貯留部と、前記塗布液の貯留部に貯留された塗布液に圧力を付与することにより前記塗布液の貯留部に貯留された塗布液を前記吐出部から吐出させる圧電素子とからなる吐出機構を複数個列設したインクジェットヘッドに対して、水溶性の塗布液を充填するためのインクジェットヘッドへの塗布液充填方法であって、前記インクジェットヘッドにおける貯留部に脱気され、圧力が付与された導入液を圧送することにより、前記吐出部から圧力が付与された導入液を吐出させる導入液圧送工程と、前記貯留部への導入液の圧送を停止するとともに、前記貯留部に脱気された塗布液を送液する塗布液送液工程とを備えたことを特徴とする。   The invention described in claim 1 applies pressure to the coating liquid discharge section, the coating liquid storage section connected to the coating liquid discharge section, and the coating liquid stored in the coating liquid storage section. In order to fill a water-soluble coating liquid into an inkjet head in which a plurality of ejection mechanisms each including a piezoelectric element that ejects the coating liquid stored in the storage section of the coating liquid is ejected from the ejection section. A method for filling an inkjet head with a coating liquid, wherein the introduction liquid to which pressure has been applied is discharged from the discharge section by pumping the introduction liquid to which pressure is applied by degassing the reservoir in the inkjet head. An introduction liquid pressure feeding step and a coating liquid feeding step for stopping the pressure feeding of the introduction liquid to the storage section and feeding the degassed coating liquid to the storage section are provided.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記導入液圧送工程においては、70キロパスカル以上の圧力が付与された導入液を前記インクジェットヘッドに圧送する。   According to a second aspect of the invention, in the first aspect of the invention, in the introduction liquid pressure-feeding step, the introduction liquid to which a pressure of 70 kilopascals or more is applied is pressure-fed to the inkjet head.

請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記導入液圧送工程においては、圧力が付与された導入液を間欠的に前記インクジェットヘッドに圧送する。   According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, in the introduction liquid pressure feeding step, the introduction liquid to which pressure is applied is intermittently pressure fed to the inkjet head.

請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記導入液圧送工程においては、圧力が付与された導入液の圧送を20回乃至200回間欠的に繰り返す。   According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, in the introduction liquid pressure feeding step, the pressure feeding of the introduction liquid to which pressure is applied is intermittently repeated 20 to 200 times.

請求項5に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記導入液圧送工程においては、圧力が付与された導入液を200秒乃至400秒連続して前記インクジェットヘッドに圧送する。   According to a fifth aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, in the introduction liquid pressure-feeding step, the pressure-applied introduction liquid is pressure-fed to the inkjet head continuously for 200 seconds to 400 seconds.

請求項6に記載の発明は、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の発明において、前記導入液は純水である。   According to a sixth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to fifth aspects, the introduction liquid is pure water.

請求項7に記載の発明は、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の発明において、前記導入液は塗布液である。   The invention according to claim 7 is the invention according to any one of claims 1 to 5, wherein the introduction liquid is a coating liquid.

請求項8に記載の発明は、インクジェットヘッドに対して、水溶性の塗布液を充填するためのインクジェットヘッドへの塗布液充填装置であって、塗布液の吐出部と、前記塗布液の吐出部と連結された塗布液の貯留部と、前記塗布液の貯留部に貯留された塗布液に圧力を付与することにより前記塗布液の貯留部に貯留された塗布液を前記吐出部から吐出させる圧電素子とからなる吐出機構を複数個列設したインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドの貯留部に対して圧力が付与された導入液を圧送する導入液圧送機構と、前記導入液圧送機構により前記インクジェットヘッドに対して圧送される導入液を脱気する第1脱気機構と、前記インクジェットヘッドの貯留部に対して塗布液を送液する塗布液送液機構と、前記塗布液送液機構により前記インクジェットヘッドに対して送液される塗布液を脱気する第2脱気機構と、前記導入液圧送機構による前記貯留部への導入液の圧送を停止させるとともに、前記塗布液送液機構による前記貯留部への塗布液の送液を開始させる切替機構とを備えたことを特徴とする。   The invention according to claim 8 is a coating liquid filling device for an inkjet head for filling an inkjet head with a water-soluble coating liquid, the coating liquid ejection section and the coating liquid ejection section. And a piezoelectric unit that discharges the application liquid stored in the application liquid storage unit from the discharge unit by applying pressure to the application liquid stored in the application liquid storage unit. An inkjet head in which a plurality of ejection mechanisms each including an element are arranged, an introduction liquid pressure feeding mechanism that pumps an introduction liquid to which pressure is applied to a storage portion of the inkjet head, and the inkjet head by the introduction liquid pressure feeding mechanism A first degassing mechanism for degassing the introduced liquid that is pumped against the liquid, a coating liquid feeding mechanism for feeding the coating liquid to the reservoir of the inkjet head, and the coating liquid feeder A second degassing mechanism for degassing the coating liquid fed to the inkjet head, and stopping the pumping of the introduced liquid to the storage portion by the introducing liquid pressure feeding mechanism, and the coating liquid feeding mechanism And a switching mechanism for starting the feeding of the coating liquid to the reservoir.

請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の発明において、前記導入液圧送機構は、70キロパスカル以上の圧力が付与された導入液を前記インクジェットヘッドに圧送する。   According to a ninth aspect of the invention, in the eighth aspect of the invention, the introduction liquid pressure feeding mechanism pressure-feeds the introduction liquid to which a pressure of 70 kilopascals or more is applied to the inkjet head.

請求項10に記載の発明は、請求項10に記載の発明において、前記導入液圧送機構は、圧力が付与された導入液を間欠的に前記インクジェットヘッドに圧送する。   According to a tenth aspect of the present invention, in the invention according to the tenth aspect, the introduction liquid pressure feeding mechanism intermittently feeds the introduction liquid to which the pressure is applied to the inkjet head.

請求項11に記載の発明は、請求項10に記載の発明において、前記導入液圧送機構は、圧力が付与された導入液の圧送を20回乃至200回間欠的に繰り返す。   According to an eleventh aspect of the present invention, in the invention according to the tenth aspect, the introduction liquid pressure feeding mechanism intermittently repeats the pressure feeding of the introduction liquid to which pressure is applied 20 to 200 times.

請求項12に記載の発明は、請求項10に記載の発明において、前記導入液圧送工程においては、圧力が付与された導入液を200秒乃至400秒連続して前記インクジェットヘッドに圧送する。   According to a twelfth aspect of the invention, in the tenth aspect of the invention, in the introduction liquid pressure-feeding step, the pressure-applied introduction liquid is pressure-fed to the inkjet head continuously for 200 seconds to 400 seconds.

請求項13に記載の発明は、請求項8乃至請求項12のいずれかに記載の発明において、前記導入液は純水である。   According to a thirteenth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the eighth to twelfth aspects, the introduction liquid is pure water.

請求項14に記載の発明は、請求項8乃至請求項12のいずれかに記載の発明において、前記導入液は塗布液である。   According to a fourteenth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the eighth to twelfth aspects, the introduction liquid is a coating liquid.

請求項1および請求項8に記載の発明によれば、圧送された脱気後の導入液により気泡を消滅させることができ、簡単な構成でありながら、インクジェットヘッド内に気泡が存在することによる吐出不良の発生を有効に防止することが可能となる。   According to the first and eighth aspects of the invention, the bubbles can be extinguished by the pumped introduced liquid after deaeration, and the air bubbles are present in the ink jet head while having a simple configuration. It is possible to effectively prevent the occurrence of ejection failure.

請求項2および請求項9に記載の発明によれば、導入液を確実に各吐出部より吐出させることが可能となる。   According to the second and ninth aspects of the present invention, the introduction liquid can be reliably discharged from each discharge portion.

請求項3、請求項4、請求項10および請求項11に記載の発明によれば、導入液の使用量を低減させながら、効率的に気泡を消滅させることが可能となる。   According to the third, fourth, tenth, and eleventh aspects of the invention, it is possible to efficiently eliminate the bubbles while reducing the amount of the introduction liquid used.

請求項5および請求項12に記載の発明によれば、短時間で効率的に気泡を消滅させることが可能となる。   According to the fifth and twelfth aspects of the present invention, it is possible to efficiently eliminate bubbles in a short time.

請求項6および請求項13に記載の発明によれば、安全かつ安価な純水を利用することにより、水溶性の塗布液をインクジェットヘッド内に充填させることが可能となる。   According to the inventions described in claims 6 and 13, it is possible to fill the ink jet head with a water-soluble coating liquid by using safe and inexpensive pure water.

請求項7および請求項14に記載の発明によれば、塗布液そのものを利用して塗布液のインクジェットヘッド内への充填作業を実行することが可能となる。   According to the invention described in claim 7 and claim 14, it is possible to perform the filling operation of the coating liquid into the ink jet head using the coating liquid itself.

表面にスペーサ粒子分散液が吐出された後の透明基板1の一部を示す部分表面図である。It is a partial surface view which shows a part of transparent substrate 1 after spacer particle dispersion liquid is discharged to the surface. この発明に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填装置の概要図である。1 is a schematic diagram of a coating liquid filling device for an inkjet head 10 according to the present invention. インクジェットヘッド10を模式的に示す断面図である。1 is a cross-sectional view schematically showing an inkjet head 10. この発明に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填装置を含むインクジェット塗布装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。1 is a block diagram showing a main electrical configuration of an inkjet coating apparatus including a coating liquid filling apparatus for an inkjet head 10 according to the present invention. この発明に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the coating liquid filling method to the inkjet head 10 which concerns on this invention. インクジェットヘッド10への導入液としての純水の圧送状態を示すタイムチャートである。4 is a time chart showing a state of pumping pure water as a liquid introduced into the inkjet head.

この発明は、水溶性の塗布液をインクジェットヘッド内に充填するためのものである。このような水溶性の塗布液をインクジェットヘッド内に充填するときには、特許文献1に記載されたような溶剤を含む充填補助剤を使用することはできない。また、この発明は、例えば、塗布液として、特開2007−33797号公報に記載されたような、液晶表示基板の製造に使用される水溶性のスペーサ粒子分散液を使用する場合に、特に好適なものである。このようなスペーサ粒子分散液は、溶剤と接触することによりスペーサ粒子が凝集し、これにより、インクジェットヘッドにおける吐出口に詰まりを生ずるという問題を生ずる。   The present invention is for filling an inkjet head with a water-soluble coating liquid. When such an aqueous coating solution is filled in the ink jet head, a filling aid containing a solvent as described in Patent Document 1 cannot be used. In addition, the present invention is particularly suitable when, for example, a water-soluble spacer particle dispersion used for manufacturing a liquid crystal display substrate as described in JP-A-2007-33797 is used as a coating solution. It is a thing. Such a spacer particle dispersion causes a problem that the spacer particles agglomerate when they come into contact with the solvent, thereby causing clogging of the discharge ports in the inkjet head.

この発明の実施形態を説明するに先立ち、最初に、基板上にインクジェット方式によりスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を塗布することにより、スペーサ粒子を含むスペーサ領域を形成して液晶層封入用のギャップを形成する、インクジェット塗布装置を利用した液晶表示装置の製造方法について説明する。   Prior to describing the embodiment of the present invention, first, a spacer region containing spacer particles is applied on a substrate by applying a spacer particle dispersion liquid by an ink jet method to form a spacer region containing the spacer particles. A manufacturing method of a liquid crystal display device using an ink jet coating apparatus for forming the gap will be described.

図1は、表面にスペーサ粒子分散液が吐出された後の透明基板1の一部を示す部分表面図である。   FIG. 1 is a partial surface view showing a part of the transparent substrate 1 after the spacer particle dispersion is discharged onto the surface.

この液晶表示装置の製造方法は、液晶の封入工程等の前工程として実行されるものであり、透明基板間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成するためのものである。   This method of manufacturing a liquid crystal display device is executed as a pre-process such as a liquid crystal encapsulation process, and is for forming a gap for encapsulating a liquid crystal layer by interposing spacer particles between transparent substrates. .

この液晶表示装置の製造方法を実行するときには、最初に、スペーサ領域生成工程を実行する。このスペーサ領域生成工程においては、透明基板1上にインクジェット方式によりスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を吐出することによりスペーサ粒子を含むスペーサ領域を形成する。このときには、多数のインクジェットヘッドを列設したインクジェットヘッドユニットを透明基板1に対して相対的に移動することにより、透明基板の表面にスペーサ粒子分散液を吐出するインクジェット塗布装置が使用される。   When this liquid crystal display device manufacturing method is executed, a spacer region generation step is first executed. In this spacer region generating step, a spacer region containing spacer particles is formed by discharging a spacer particle dispersion liquid in which spacer particles are dispersed by an ink jet method onto the transparent substrate 1. At this time, an ink jet coating apparatus that discharges spacer particle dispersion onto the surface of the transparent substrate by moving an ink jet head unit in which a large number of ink jet heads are arranged relative to the transparent substrate 1 is used.

この透明基板1の表面には、それぞれ画素領域であるレッドのカラーフィルターの領域Rと、グリーンのカラーフィルターの領域Gと、ブルーのカラーフィルターの領域Bと、これらの画素領域を区画するブラックマトリックス7とが構成される。そして、スペーサ粒子分散液は、ブラックマトリックス7に向けて吐出され、そこにスペーサ領域5が形成される。   On the surface of the transparent substrate 1, a red color filter region R, a green color filter region G, a blue color filter region B, which are pixel regions, and a black matrix that partitions these pixel regions, respectively. 7 is configured. Then, the spacer particle dispersion is discharged toward the black matrix 7, and the spacer region 5 is formed there.

スペーサ領域生成工程に引き続き、乾燥工程を実行する。この乾燥工程は、透明基板1をホットプレートに搬送し、この透明基板1をホットプレート上で加熱することにより、スペーサ粒子分散液から揮発成分を蒸発させるとともに、スペーサ領域5のスペーサ粒子を透明基板1に固着させる工程である。   Subsequent to the spacer region generation step, a drying step is performed. In this drying process, the transparent substrate 1 is transported to a hot plate, and the transparent substrate 1 is heated on the hot plate, thereby evaporating volatile components from the spacer particle dispersion and transferring the spacer particles in the spacer region 5 to the transparent substrate. 1 is a process of fixing to 1.

この工程においては、最初にスペーサ粒子分散液から揮発成分が蒸発することから、表面張力によりスペーサ領域5のスペーサ粒子同士が互いに集まって接触する。そして、それらが焼成されて互いに固着するとともに、透明基板1の表面に対しても強い力で固着する。このため、このスペーサ領域5のスペーサ粒子により、液晶層封入用のギャップを形成することができる。   In this step, since the volatile components are first evaporated from the spacer particle dispersion, the spacer particles in the spacer region 5 gather together and come into contact with each other due to surface tension. Then, they are baked and fixed to each other, and are also fixed to the surface of the transparent substrate 1 with a strong force. Therefore, a gap for encapsulating the liquid crystal layer can be formed by the spacer particles in the spacer region 5.

次に、この発明に係るインクジェットヘッドへの塗布液充填装置の構成について説明する。図2は、この発明に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填装置の概要図であり、図3は、そのインクジェットヘッド10を模式的に示す断面図である。   Next, the configuration of the coating liquid filling apparatus for the ink jet head according to the present invention will be described. FIG. 2 is a schematic view of a coating liquid filling apparatus for the inkjet head 10 according to the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the inkjet head 10.

このインクジェットヘッド10への塗布液充填装置は、後述する透明基板搬送機構85により搬送される透明基板1に対し、この透明基板1と対向配置されたインクジェットヘッド10に対して、水溶性の塗布液を充填するためのインクジェットヘッド10への塗布液充填装置である。そして、この塗布液としては、上述した液晶表示基板の製造に使用される水溶性のスペーサ粒子分散液が使用される。以下、このスペーサ粒子分散液を、単に「塗布液」と呼称する。但し、この発明は、スペーサ粒子分散液以外の水溶性の塗布液に対しても、同様に適用可能である。   The coating liquid filling apparatus for the inkjet head 10 is a water-soluble coating liquid for the inkjet head 10 disposed opposite to the transparent substrate 1 with respect to the transparent substrate 1 conveyed by a transparent substrate conveyance mechanism 85 described later. This is a coating liquid filling device for the inkjet head 10 for filling the liquid. And as this coating liquid, the water-soluble spacer particle dispersion liquid used for manufacture of the liquid crystal display substrate mentioned above is used. Hereinafter, this spacer particle dispersion is simply referred to as “coating liquid”. However, the present invention can be similarly applied to water-soluble coating liquids other than the spacer particle dispersion liquid.

この発明に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填装置は、インクジェットヘッド10における後述する貯留部15に対して圧力が付与された導入液を圧送するための導入液圧送機構20と、この導入液圧送機構20によりインクジェットヘッド10に対して圧送される導入液を脱気する第1脱気機構30と、インクジェットヘッド10の貯留部15に対して塗布液を送液する塗布液送液機構40と、この塗布液送液機構40によりインクジェットヘッド10に対して送液される塗布液を脱気する第2脱気機構60と、導入液圧送機構20によるインクジェットヘッド10への導入液の圧送を停止させるとともに、塗布液送液機構40によるインクジェットヘッド10への塗布液の送液を開始させる三方切替弁50と、使用済みの導入液または塗布液を排出するための排液機構70とを備える。   The coating liquid filling device for the ink jet head 10 according to the present invention includes an introduction liquid pressure feeding mechanism 20 for pumping an introduction liquid to which pressure is applied to a storage unit 15 (to be described later) in the ink jet head 10, and the introduction liquid pressure feeding. A first degassing mechanism 30 for degassing the introduction liquid pumped to the inkjet head 10 by the mechanism 20, a coating liquid feeding mechanism 40 for feeding the coating liquid to the storage portion 15 of the inkjet head 10, and A second degassing mechanism 60 that degass the coating liquid fed to the inkjet head 10 by the coating liquid feeding mechanism 40 and the pumping of the introduction liquid to the inkjet head 10 by the introduction liquid pressure feeding mechanism 20 are stopped. At the same time, the three-way switching valve 50 for starting the feeding of the coating liquid to the inkjet head 10 by the coating liquid feeding mechanism 40 and the used introduction Or and a drainage mechanism 70 for discharging the coating liquid.

インクジェットヘッド10には、図3に示すように、導入液および塗布液の供給口12と、導入液および塗布液の排出口13と、これらの供給口12および排出口13をつなぐ主流路14とが形成されている。また、このインクジェットヘッド10は、導入液および塗布液の吐出部17と、この吐出部17と連結された導入液および塗布液の貯留部15と、この貯留部15に貯留された塗布液に圧力を付与することにより貯留部15に貯留された塗布液を吐出部17から吐出させるピエゾ素子等の圧電素子16とからなる吐出機構が、その内部に複数個列設された構成を有する。そして、各貯留部15は、各々、上記主流路14と連結されている。   As shown in FIG. 3, the inkjet head 10 includes an introduction liquid and coating liquid supply port 12, an introduction liquid and coating liquid discharge port 13, and a main flow path 14 that connects the supply port 12 and the discharge port 13. Is formed. In addition, the inkjet head 10 is configured to apply pressure to the introduction liquid and coating liquid discharge section 17, the introduction liquid and coating liquid storage section 15 connected to the discharge section 17, and the coating liquid stored in the storage section 15. Is provided with a plurality of ejection mechanisms each including a piezoelectric element 16 such as a piezo element that ejects the coating liquid stored in the storage unit 15 from the discharge unit 17. Each reservoir 15 is connected to the main flow path 14.

再度図2を参照して、インクジェットヘッド10に対して圧力が付与された導入液を圧送するための導入液圧送機構20は、導入液を貯留するための導入液貯留槽21と、この導入液貯留槽21を囲うチャンバー22と、このチャンバー22内を加圧するための加圧ポンプ23と、開閉弁24とを備える。導入液貯留槽21内の導入液は、加圧ポンプ23の作用により常に加圧されており、開閉弁24が開放された場合には、導入液貯留槽21内の導入液は、後述する第1脱気機構30を介してインクジェットヘッド10に圧送される。   Referring to FIG. 2 again, an introduction liquid pressure feeding mechanism 20 for pressure feeding the introduction liquid to which pressure is applied to the inkjet head 10 includes an introduction liquid storage tank 21 for storing the introduction liquid, and the introduction liquid. A chamber 22 surrounding the storage tank 21, a pressurizing pump 23 for pressurizing the inside of the chamber 22, and an on-off valve 24 are provided. The introduced liquid in the introduced liquid storage tank 21 is constantly pressurized by the action of the pressurizing pump 23, and when the on-off valve 24 is opened, the introduced liquid in the introduced liquid storage tank 21 will be described later. 1 It is pumped to the inkjet head 10 via the deaeration mechanism 30.

なお、この加圧ポンプは、導入液貯留槽21内の導入液を70kPa(キロパスカル)以上の圧力で加圧する。このため、インクジェットヘッド10には、この導入液圧送機構20の作用により、70kPa以上の圧力が付与された導入液が圧送される。   In addition, this pressurization pump pressurizes the introduction liquid in the introduction liquid storage tank 21 with a pressure of 70 kPa (kilopascal) or more. For this reason, the introduction liquid to which a pressure of 70 kPa or more is applied is pressure-fed to the inkjet head 10 by the action of the introduction liquid pressure-feeding mechanism 20.

インクジェットヘッド10に対して圧送される導入液を脱気する第1脱気機構30は、導入液圧送機構20から圧送された導入液を通過させる中空子よりなる脱気モジュール32と、この脱気モジュール32から空気を排出する排気ポンプ31とから構成される。導入液圧送機構20から圧送された導入液は、この第1脱気機構30を通過するときに、そこに混在する空気が排出される。   The first degassing mechanism 30 for degassing the introduction liquid pumped to the inkjet head 10 includes a degassing module 32 including a hollow element that allows the introduction liquid pumped from the introduction liquid pressure feeding mechanism 20 to pass through, and this degassing. And an exhaust pump 31 for discharging air from the module 32. When the introduction liquid pumped from the introduction liquid pressure feeding mechanism 20 passes through the first degassing mechanism 30, the air mixed therein is discharged.

インクジェットヘッド10の貯留部15に対して塗布液を送液する塗布液送液機構40は、塗布液として、液晶表示基板の製造に使用される水溶性のスペーサ粒子分散液を貯留する第1塗布液貯留槽41と、この第1塗布液貯留槽41とインクジェットヘッド10における供給口12とを接続する管路46と、インクジェットヘッド10を通過した塗布液を貯留する第2塗布液貯留槽42と、この第2塗布液貯留槽42とインクジェットヘッド10における排出口13とを接続する管路47と、第2塗布液貯留槽42と第1塗布液貯留槽41とを接続する管路48とを備える。   The coating liquid feeding mechanism 40 that feeds the coating liquid to the storage unit 15 of the inkjet head 10 stores the first water-soluble spacer particle dispersion used for manufacturing the liquid crystal display substrate as the coating liquid. A liquid storage tank 41, a conduit 46 connecting the first coating liquid storage tank 41 and the supply port 12 in the inkjet head 10, and a second coating liquid storage tank 42 for storing the coating liquid that has passed through the inkjet head 10. A pipe 47 connecting the second coating liquid storage tank 42 and the discharge port 13 in the inkjet head 10 and a pipe 48 connecting the second coating liquid storage tank 42 and the first coating liquid storage tank 41 are provided. Prepare.

管路46中には、上述した第2脱気機構60および三方切替弁50が配設されている。また、管路47には、上述した廃液機構70に接続する三方切替弁44が配設されている。さらに、管路48には、除去液を濾過するためのフィルター45が配設されている。   In the conduit 46, the second deaeration mechanism 60 and the three-way switching valve 50 described above are disposed. The pipe 47 is provided with a three-way switching valve 44 that is connected to the waste liquid mechanism 70 described above. Further, a filter 45 for filtering the removal liquid is disposed in the pipe line 48.

なお、管路46、47、48には、図示しない循環ポンプ等を備える塗布液の循環機構が配設されており、塗布液の塗布動作中は塗布液はこの循環機構の作用により、第1塗布液貯留槽41、第2脱気機構60、三方切替弁50、インクジェットヘッド10、三方切替弁44、第2塗布液貯留槽42およびフィルター45から成る循環路中を循環する。   The conduits 46, 47, and 48 are provided with a circulation mechanism for a coating liquid including a circulation pump (not shown), and during the coating liquid coating operation, the coating liquid is subjected to the first action by the circulation mechanism. The coating liquid storage tank 41, the second degassing mechanism 60, the three-way switching valve 50, the inkjet head 10, the three-way switching valve 44, the second coating liquid storage tank 42, and the filter 45 circulate in the circulation path.

インクジェットヘッド10に対して送液される塗布液を脱気する第2脱気機構60は、第1脱気機構30と同様、第1塗布液貯留槽41から送液された塗布液を通過させる中空子よりなる脱気モジュール62と、この脱気モジュール62から空気を排出する排気ポンプ61とから構成される。第1塗布液貯留槽41から送液された塗布液は、この第2脱気機構60を通過するときに、そこに混在する空気が排出される。   Similar to the first degassing mechanism 30, the second degassing mechanism 60 that degass the coating liquid sent to the inkjet head 10 allows the coating liquid sent from the first coating liquid storage tank 41 to pass therethrough. A deaeration module 62 made of a hollow element and an exhaust pump 61 that exhausts air from the deaeration module 62 are configured. When the coating liquid sent from the first coating liquid storage tank 41 passes through the second degassing mechanism 60, the air mixed therein is discharged.

使用済みの導入液または塗布液を排出するための排液機構70は、三方切替弁44と排液槽71とを接続する管路73と、この管路73内に配設された開閉弁72とを備える。使用済みの導入液または塗布液を排出するときには、三方切替弁44が切り換えられるとともに開閉弁72が開放され、廃棄すべき導入液または塗布液が排液槽71に排出される。   A drainage mechanism 70 for discharging the used introduction liquid or coating liquid includes a pipe 73 connecting the three-way switching valve 44 and the drainage tank 71, and an on-off valve 72 disposed in the pipe 73. With. When discharging the used introduction liquid or coating liquid, the three-way switching valve 44 is switched and the on-off valve 72 is opened, and the introduction liquid or coating liquid to be discarded is discharged to the drainage tank 71.

図4は、この発明に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填装置を含むインクジェット塗布装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。   FIG. 4 is a block diagram showing the main electrical configuration of an inkjet coating apparatus including a coating liquid filling apparatus for the inkjet head 10 according to the present invention.

このインクジェット塗布装置は、装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたROM81と、制御時にデータ等が一時的にストアされるRAM82と、論理演算を実行するCPU83とから成る制御部80を備える。この制御部80は、インターフェース84を介して、インクジェットヘッド10と接続されている。また、この制御部80は、インターフェース84を介して、図1に示す透明基板1を、インクジェットヘッド10と対向する位置において、その主面と平行な方向に搬送する透明基板搬送機構85と接続されている。さらに、この制御部80は、インターフェース84を介して、上述した開閉弁24、72および三方切替弁44、50を駆動する電磁弁駆動部86と、上述したポンプ23、31、61および塗布液の循環機構における循環ポンプを駆動するためのポンプ駆動部87とに接続されている。   The ink jet coating apparatus includes a control unit 80 including a ROM 81 that stores an operation program necessary for controlling the apparatus, a RAM 82 that temporarily stores data and the like during control, and a CPU 83 that executes a logical operation. The control unit 80 is connected to the inkjet head 10 via the interface 84. The control unit 80 is connected via an interface 84 to a transparent substrate transport mechanism 85 that transports the transparent substrate 1 shown in FIG. 1 in a direction parallel to the main surface at a position facing the inkjet head 10. ing. Further, the control unit 80 is connected to an electromagnetic valve driving unit 86 for driving the on-off valves 24 and 72 and the three-way switching valves 44 and 50 through the interface 84, and the pumps 23, 31, 61 and the coating liquid described above. It connects with the pump drive part 87 for driving the circulation pump in a circulation mechanism.

次に、以上のように構成されたインクジェットヘッド10への塗布液充填装置による塗布液の充填動作について説明する。図5は、この発明に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填方法を示すフローチャートである。   Next, the filling operation of the coating liquid by the coating liquid filling apparatus to the inkjet head 10 configured as described above will be described. FIG. 5 is a flowchart showing a method for filling the inkjet head 10 with the coating liquid according to the present invention.

透明基板1への塗布液の塗布動作を実行する前には、インクジェット塗布装置におけるインクジェットヘッド10への塗布液の充填が完了しているか否かを判定する(ステップS1)。そして、インクジェットヘッド10への塗布液の充填が完了しているときには、後述する透明基板1への塗布液の塗布動作を開始する(ステップS6、ステップS7)。一方、インクジェットヘッド10への塗布液の充填動作が完了していないときには、この発明に係る充填動作を開始する。   Before performing the operation of applying the coating liquid onto the transparent substrate 1, it is determined whether or not the filling of the coating liquid into the inkjet head 10 in the inkjet coating apparatus has been completed (step S1). Then, when filling of the coating liquid into the inkjet head 10 is completed, a coating liquid coating operation to the transparent substrate 1 described later is started (steps S6 and S7). On the other hand, when the operation of filling the ink jet head 10 with the coating liquid is not completed, the filling operation according to the present invention is started.

インクジェットヘッド10に塗布液を充填するときには、最初に、インクジェットヘッド10に対して導入液を圧送する(ステップS2)。この導入液の圧送工程は、以下のようにして実行される。   When filling the inkjet head 10 with the coating liquid, first, the introduction liquid is pumped to the inkjet head 10 (step S2). This pumping process of the introduced liquid is performed as follows.

すなわち、この第1実施形態としては、導入液として純水を使用する。そして、導入液としての純水を、図2に示す導入液圧送機構20における導入液貯留槽21に貯留しておく。また、導入液貯留槽21内の純水を、チャンバー22内を加圧する加圧ポンプ23の作用により、70kPa以上の圧力に加圧しておく。また、三方切替弁44を、インクジェットヘッド10と排液槽71とが連通する状態、あるいは、閉止状態としておく。しかる後、開閉弁24を開放するとともに、三方切替弁50を、第1脱気機構30とインクジェットヘッド10とが連通する状態に切り換える。   That is, in the first embodiment, pure water is used as the introduction liquid. And the pure water as an introduction liquid is stored in the introduction liquid storage tank 21 in the introduction liquid pressurization mechanism 20 shown in FIG. Further, the pure water in the introduction liquid storage tank 21 is pressurized to a pressure of 70 kPa or more by the action of the pressurizing pump 23 that pressurizes the chamber 22. Further, the three-way switching valve 44 is set in a state where the inkjet head 10 and the drainage tank 71 communicate with each other or in a closed state. Thereafter, the opening / closing valve 24 is opened, and the three-way switching valve 50 is switched to a state in which the first deaeration mechanism 30 and the inkjet head 10 communicate with each other.

これにより、導入液貯留槽21内の純水は、第1脱気機構30により脱気された後、70kPa以上の圧力をもって、インクジェットヘッド10に圧送される。インクジェットヘッド10に圧送された脱気後の純水は、図3に示すインクジェットヘッド10の供給口12から主流路14を介して貯留部15に浸入する。そしてこの純水は、吐出部17から吐出される。このときには、インクジェットヘッド10への純水の圧送に伴って、空気の気泡が貯留部15内に存在している。   Thereby, the pure water in the introduction liquid storage tank 21 is degassed by the first degassing mechanism 30 and then pumped to the inkjet head 10 with a pressure of 70 kPa or more. The degassed pure water pumped to the inkjet head 10 enters the storage portion 15 through the main channel 14 from the supply port 12 of the inkjet head 10 shown in FIG. The pure water is discharged from the discharge unit 17. At this time, air bubbles are present in the reservoir 15 as the pure water is pumped to the inkjet head 10.

図6は、インクジェットヘッド10への導入液としての純水の圧送状態を示すタイムチャートである。   FIG. 6 is a time chart showing a pumping state of pure water as an introduction liquid to the inkjet head 10.

インクジェットヘッド10への導入液としての純水の圧送は、制御部80の制御によって、電磁弁駆動部86を介して開閉弁24を開閉制御することにより実行される。そして、インクジェットヘッド10への純水の圧送動作は、図6(a)に示すように、時間T2サイクルの間に、時間T1だけ純水が圧送される間欠動作により行われる。この時間T2は例えば4秒であり、時間T1は例えば2秒である。そして、この間欠圧送動作は、20回乃至200回繰り返される。   The pumping of pure water as the introduced liquid into the inkjet head 10 is executed by controlling the opening / closing valve 24 via the electromagnetic valve driving unit 86 under the control of the control unit 80. And the pure water pumping operation | movement to the inkjet head 10 is performed by the intermittent operation | movement by which pure water is pumped only by the time T1 between time T2 cycles, as shown to Fig.6 (a). The time T2 is, for example, 4 seconds, and the time T1 is, for example, 2 seconds. This intermittent pumping operation is repeated 20 to 200 times.

なお、これら加圧ポンプ23による加圧値や、時間T1、T2の長さは、処理に要するタクトや省液目的等に応じて適宜に変更される。   In addition, the pressurization value by these pressurization pumps 23 and the length of time T1, T2 are changed suitably according to the tact required for a process, the liquid-saving purpose, etc.

このとき、上述したように、インクジェットヘッド10の貯留部15内には、純水の圧送に伴う空気の気泡が存在している。ここで、純水への空気の溶存量は、気体の圧力状態に応じて決定される。このため、貯留部15内に残存した空気は、その圧力に応じた量が純水中に吸収される。そして、空気の気泡と接している純水中の空気の濃度と気泡の圧力が釣り合った時点で、空気の吸収は終了する。しかしながら、貯留部内への脱気した純水の圧送を継続することにより、空気は継続して純水中に吸収されることになる。   At this time, as described above, air bubbles accompanying the pumping of pure water exist in the storage portion 15 of the inkjet head 10. Here, the dissolved amount of air in pure water is determined according to the pressure state of the gas. For this reason, the air remaining in the reservoir 15 is absorbed in pure water in an amount corresponding to the pressure. Then, when the concentration of air in pure water in contact with the air bubbles and the pressure of the bubbles are balanced, the absorption of air ends. However, by continuing the pumping of the deaerated pure water into the reservoir, air is continuously absorbed into the pure water.

特に、この実施形態においては、導入液としての純水に70kPa以上の圧力を付与しておき、この純水を間欠的に圧送することから、空気の気泡を、効率的に脱気させ、圧力が付与された純水中に吸収させることが可能となる。なお、このときの導入液としての純水に付与する圧力としては、70kPa以上の圧力であることが好ましく、200kPa以上の圧力であることがより好ましい。   In particular, in this embodiment, since pressure of 70 kPa or higher is applied to pure water as an introduction liquid and the pure water is intermittently pumped, air bubbles are efficiently degassed and pressure is increased. Can be absorbed in pure water. In addition, as a pressure provided to the pure water as the introduction liquid at this time, a pressure of 70 kPa or more is preferable, and a pressure of 200 kPa or more is more preferable.

再度、図5を参照して、以上の純水の圧送動作により、インクジェットヘッド10の貯留部15内から空気の気泡が消滅したか否かを判断する(ステップS3)。この判断は、例えば、圧電素子16の作用により貯留部15内の純水を加圧して、この純水が吐出部17から適正に吐出されるか否かで判断する。純水が吐出部17から適正に吐出されない場合には、空気の気泡が残存していると判断して、再度、脱気された純水の圧送動作を実行する(ステップS2)。   Referring to FIG. 5 again, it is determined whether or not air bubbles have disappeared from the reservoir 15 of the inkjet head 10 by the above-described pure water pumping operation (step S3). This determination is made, for example, by pressurizing pure water in the storage unit 15 by the action of the piezoelectric element 16 and determining whether or not this pure water is properly discharged from the discharge unit 17. If the pure water is not properly discharged from the discharge unit 17, it is determined that air bubbles remain, and the deaerated pure water is pumped again (step S2).

なお、一般的には、圧電素子16の作用による熱エネルギーの付与と圧力変化とにより、純水における空気の溶存量が減少して気泡が発生しやすいことから、インクジェットヘッド10により純水を吐出することは困難と考えられている。しかしながら、この実施形態のように、脱気した純水を連続してインクジェットヘッド10に圧送することで、インクジェットヘッド10により純水を吐出することが可能となっている。   Generally, since the dissolved amount of air in pure water is reduced due to the application of thermal energy and the pressure change due to the action of the piezoelectric element 16, bubbles are easily generated. It is considered difficult to do. However, pure water can be discharged by the inkjet head 10 by continuously pumping the degassed pure water to the inkjet head 10 as in this embodiment.

純水が吐出部17から適正に吐出され、空気の気泡が消滅したと判断できる場合には、インクジェットヘッド10へ供給する液を、純水から塗布液に切り換える(ステップS4)。このときには、三方切替弁50を、第2脱気機構60とインクジェットヘッド10とが連通する状態に切り換えるとともに、三方切替弁44を、排液槽71側に切り換える。そして、一定時間が経過し、インクジェットヘッド10内から純水が完全に排出されれば、三方切替弁44を、インクジェットヘッド10と第2塗布液貯留槽42とが連通する状態に切り換える。   If it can be determined that the pure water is properly discharged from the discharge unit 17 and the air bubbles have disappeared, the liquid supplied to the inkjet head 10 is switched from the pure water to the coating liquid (step S4). At this time, the three-way switching valve 50 is switched to a state in which the second degassing mechanism 60 and the inkjet head 10 communicate with each other, and the three-way switching valve 44 is switched to the drainage tank 71 side. Then, when a certain period of time has passed and pure water has been completely discharged from the inkjet head 10, the three-way switching valve 44 is switched to a state in which the inkjet head 10 and the second coating liquid storage tank 42 communicate with each other.

この状態においては、第1塗布液貯留槽41内の塗布液が、第2脱気機構60により脱気された後、インクジェットヘッド10に供給される。そして、この脱気された塗布液は、インクジェットヘッド10の供給口12から主流路14を介して貯留部15に浸入する。このときには、貯留部15内には、空気の気泡は存在していない。また、塗布液は第2脱気機構60の作用により脱気されている。そして、貯留部15内の塗布液は、圧電素子16の作用により吐出部17から吐出される。また、一部の塗布液は、インクジェットヘッド10における排出口13を介して第2塗布液貯留部42に回収される。   In this state, the coating liquid in the first coating liquid storage tank 41 is deaerated by the second deaeration mechanism 60 and then supplied to the inkjet head 10. The degassed coating liquid enters the storage unit 15 from the supply port 12 of the inkjet head 10 through the main flow path 14. At this time, no air bubbles are present in the reservoir 15. Further, the coating liquid is deaerated by the action of the second deaeration mechanism 60. Then, the coating liquid in the storage unit 15 is discharged from the discharge unit 17 by the action of the piezoelectric element 16. Further, a part of the coating liquid is collected in the second coating liquid storage part 42 through the discharge port 13 in the inkjet head 10.

導入液としての純水と塗布液との切替が完了すれば(ステップS5)、透明基板1への塗布液の塗布を開始する。この場合には、図4に示す透明基板搬送機構85により、透明基板1をインクジェットヘッド10の吐出部17と対向する位置において、その主面と平行な方向に搬送する(ステップS6)。そして、インクジェットヘッド10における圧電素子16の作用により、貯留部15内の塗布液を吐出部17から透明基板1の表面に向けて吐出させることにより、塗布液の塗布を実行する(ステップS7)。   When the switching between the pure water as the introduction liquid and the coating liquid is completed (step S5), the application of the coating liquid to the transparent substrate 1 is started. In this case, the transparent substrate 1 is transported in a direction parallel to the main surface thereof at a position facing the ejection portion 17 of the inkjet head 10 by the transparent substrate transport mechanism 85 shown in FIG. 4 (step S6). Then, the application of the application liquid is executed by causing the application liquid in the storage unit 15 to be discharged from the discharge unit 17 toward the surface of the transparent substrate 1 by the action of the piezoelectric element 16 in the inkjet head 10 (step S7).

なお、上述した実施形態においては、インクジェットヘッド10への導入液としての純水の圧送工程は、間欠的に実行される。これにより、純水の使用量を低減させながら貯留部15内の空気の気泡を脱気した純水中に効率的に吸収することが可能となる。このとき、純水の間欠圧送動作は、供給時間を1乃至4秒程度とした状態で、20回乃至200回繰り返すことが好ましい。   In the above-described embodiment, the process of pumping pure water as the liquid introduced into the inkjet head 10 is executed intermittently. Thereby, it is possible to efficiently absorb the air bubbles in the storage unit 15 into the deaerated pure water while reducing the amount of pure water used. At this time, the intermittent pumping operation of pure water is preferably repeated 20 to 200 times in a state where the supply time is about 1 to 4 seconds.

ただし、この純水の圧送動作を、図6(a)に示すように間欠的に実行するかわりに、図6(b)に示すように連続的に実行してもよい。この場合においては、純水の連続圧送時間T3は、200秒以上400秒以下とすることが好ましい。このように、200秒以上連続して脱気した純水を圧送することにより、インクジェットヘッド10の貯留部15内に存在する空気の気泡を脱気した純水中に吸収させて消滅させることが可能となる。なお、この圧送時間は、より長い方が効果的ではあるが、これを400秒以上とした場合には、気泡の消滅に寄与しない無駄な純水が使用されることになり、好ましくない。   However, this pure water pumping operation may be executed continuously as shown in FIG. 6B, instead of being intermittently executed as shown in FIG. 6A. In this case, it is preferable that the continuous pumping time T3 of pure water be 200 seconds or more and 400 seconds or less. Thus, by pumping pure water degassed continuously for 200 seconds or more, air bubbles existing in the reservoir 15 of the inkjet head 10 can be absorbed into the degassed pure water and disappear. It becomes possible. In addition, although the one where this pumping time is longer is effective, when this is made 400 seconds or more, the useless waste water which does not contribute to bubble extinction will be used, and it is unpreferable.

以上のように、この発明の第1実施形態に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填方法によれば、簡単な構成でありながら、インクジェットヘッド10内に気泡が存在することによる吐出不良の発生を有効に防止することが可能となる。   As described above, according to the coating liquid filling method for the ink jet head 10 according to the first embodiment of the present invention, the occurrence of ejection failure due to the presence of bubbles in the ink jet head 10 is achieved with a simple configuration. It can be effectively prevented.

次に、この発明に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填方法の他の実施形態について説明する。   Next, another embodiment of the method for filling the inkjet head 10 with the coating liquid according to the present invention will be described.

上述した第1実施形態においては、導入液として純水を使用している。これに対して、この発明の第2実施形態に係るインクジェットヘッド10への塗布液充填方法においては、導入液として、第1塗布液貯留槽41に貯留された塗布液と同様の塗布液を使用している。   In the first embodiment described above, pure water is used as the introduction liquid. On the other hand, in the coating liquid filling method to the inkjet head 10 according to the second embodiment of the present invention, the same coating liquid as the coating liquid stored in the first coating liquid storage tank 41 is used as the introduction liquid. is doing.

この第2実施形態においては、図2に示す導入液圧送機構20の導入液貯留槽21内に、予め、第1塗布液貯留槽41に貯留された塗布液と同様の塗布液を貯留しておく。そして、導入液圧送機構20により、インクジェットヘッド10に対して、第1実施形態の純水に代えて塗布液を圧送する。その他の動作は、基本的には上述した第1実施形態と同様である。但し、導入液の圧送工程(ステップS2)で使用されインクジェットヘッド10内に残留する塗布液は、排液槽71に排出されるのではなく、そのまま透明基板1への塗布に使用される。   In the second embodiment, an application liquid similar to the application liquid stored in the first application liquid storage tank 41 is stored in advance in the introduction liquid storage tank 21 of the introduction liquid pumping mechanism 20 shown in FIG. deep. Then, the introduction liquid pressure feeding mechanism 20 pressure-feeds the coating liquid to the inkjet head 10 instead of the pure water of the first embodiment. Other operations are basically the same as those in the first embodiment described above. However, the coating liquid used in the pumping process of the introduced liquid (step S2) and remaining in the inkjet head 10 is not discharged into the drainage tank 71 but is used for coating on the transparent substrate 1 as it is.

この第2実施形態においては、導入液と塗布液が同じ液であることから、導入液と塗布液との切替工程(ステップS5)において、厳密な管理が不要となるという効果を奏する。なお、この実施形態のように導入液として塗布液を使用する場合には、導入液として使用した塗布液を透明基板1への塗布に再利用するようにしてもよい。   In the second embodiment, since the introduction liquid and the coating liquid are the same liquid, there is an effect that strict management is not required in the switching step (step S5) between the introduction liquid and the coating liquid. In addition, when using a coating liquid as an introduction liquid like this embodiment, you may make it reuse the coating liquid used as an introduction liquid for application | coating to the transparent substrate 1. FIG.

また、上述の実施形態では、第1脱気機構30を導入液の送液方向に関して導入液圧送機構20の後段に配置し、導入液圧送機構20からインクジェットヘッド10へ圧送される導入液に対して脱気を行ったが、これに限定されず、第1脱気機構30を導入液の送液方向に関して導入液圧送機構20の前段に配置して、予め導入液に対して脱気を行ってから導入液貯留槽21に供給してもよい。   Further, in the above-described embodiment, the first degassing mechanism 30 is disposed at the subsequent stage of the introduction liquid pressure feeding mechanism 20 with respect to the liquid feeding direction of the introduction liquid, and the introduction liquid pumped from the introduction liquid pressure feeding mechanism 20 to the inkjet head 10 is prevented. However, the present invention is not limited to this, and the first degassing mechanism 30 is disposed upstream of the introduction liquid pressure feeding mechanism 20 in the liquid feeding direction of the introduction liquid, and the introduction liquid is degassed in advance. Then, it may be supplied to the introduction liquid storage tank 21.

1 透明基板
5 スペーサ領域
7 ブラックマトリックス
10 インクジェットヘッド
12 供給口
13 排出口
14 主流路
15 貯留部
16 圧電素子
17 吐出部
20 導入液圧送機構
21 導入液貯留槽
22 チャンバー
23 加圧ポンプ
30 第1脱気機構
31 脱気モジュール
40 塗布液送液機構
41 第1塗布液貯留槽
42 第2塗布液貯留槽
44 三方切替弁
50 三方切替弁
60 第2脱気機構
61 脱気モジュール
70 排液機構
71 排液槽
80 制御部
85 透明基板搬送機構
86 電磁弁駆動部
87 ポンプ駆動部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent substrate 5 Spacer area 7 Black matrix 10 Inkjet head 12 Supply port 13 Discharge port 14 Main flow path 15 Reservation part 16 Piezoelectric element 17 Discharge part 20 Introduction liquid pumping mechanism 21 Introduction liquid storage tank 22 Chamber 23 Pressure pump 30 First desorption Degassing mechanism 31 Degassing module 40 Coating liquid feeding mechanism 41 First coating liquid storage tank 42 Second coating liquid storage tank 44 Three-way switching valve 50 Three-way switching valve 60 Second degassing mechanism 61 Degassing module 70 Drainage mechanism 71 Drainage Liquid tank 80 Control unit 85 Transparent substrate transfer mechanism 86 Solenoid valve drive unit 87 Pump drive unit

Claims (14)

塗布液の吐出部と、前記塗布液の吐出部と連結された塗布液の貯留部と、前記塗布液の貯留部に貯留された塗布液に圧力を付与することにより前記塗布液の貯留部に貯留された塗布液を前記吐出部から吐出させる圧電素子とからなる吐出機構を複数個列設したインクジェットヘッドに対して、水溶性の塗布液を充填するためのインクジェットヘッドへの塗布液充填方法であって、
前記インクジェットヘッドにおける貯留部に脱気され、圧力が付与された導入液を圧送することにより、前記吐出部から圧力が付与された導入液を吐出させる導入液圧送工程と、
前記貯留部への導入液の圧送を停止するとともに、前記貯留部に脱気された塗布液を送液する塗布液送液工程と、
を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドへの塗布液充填方法。
By applying pressure to the coating liquid discharge section, the coating liquid storage section connected to the coating liquid discharge section, and the coating liquid stored in the coating liquid storage section, the coating liquid storage section A coating liquid filling method for filling an inkjet head for filling a water-soluble coating liquid with respect to an inkjet head in which a plurality of ejection mechanisms each including a piezoelectric element that ejects a stored coating liquid from the ejection unit is arranged. There,
An introduction liquid pressure feeding step for discharging the introduction liquid given pressure from the discharge part by pumping the introduction liquid degassed and given pressure to the storage part in the inkjet head;
While stopping the pumping of the introduction liquid to the storage part, a coating liquid feeding process of feeding the degassed coating liquid to the storage part,
A method of filling a coating liquid into an inkjet head, comprising:
請求項1に記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填方法において、
前記導入液圧送工程においては、70キロパスカル以上の圧力が付与された導入液を前記インクジェットヘッドに圧送するインクジェットヘッドへの塗布液充填方法。
In the coating liquid filling method to the inkjet head according to claim 1,
In the introduction liquid pressure feeding step, a coating liquid filling method for an ink jet head in which an introduction liquid to which a pressure of 70 kilopascals or more is applied is pressure fed to the ink jet head.
請求項2に記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填方法において、
前記導入液圧送工程においては、圧力が付与された導入液を間欠的に前記インクジェットヘッドに圧送するインクジェットヘッドへの塗布液充填方法。
In the coating liquid filling method to the inkjet head according to claim 2,
In the introduction liquid pressure feeding step, a coating liquid filling method for an ink jet head, wherein the introduction liquid to which pressure is applied is intermittently pressure fed to the ink jet head.
請求項3に記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填方法において、
前記導入液圧送工程においては、圧力が付与された導入液の圧送を20回乃至200回間欠的に繰り返すインクジェットヘッドへの塗布液充填方法。
In the coating liquid filling method to the inkjet head according to claim 3,
In the introduction liquid pressure feeding step, a method of filling the ink jet head with the coating liquid that intermittently repeats the pressure feeding of the introduction liquid to which pressure is applied 20 to 200 times.
請求項2に記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填方法において、
前記導入液圧送工程においては、圧力が付与された導入液を200秒乃至400秒連続して前記インクジェットヘッドに圧送するインクジェットヘッドへの塗布液充填方法。
In the coating liquid filling method to the inkjet head according to claim 2,
In the introduction liquid pressure-feeding step, a coating liquid filling method for an ink-jet head, in which a pressure-applied introduction liquid is pressure-fed to the ink-jet head for 200 to 400 seconds continuously.
請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填方法において、
前記導入液は純水であるインクジェットヘッドへの塗布液充填方法。
In the coating liquid filling method to the inkjet head in any one of Claims 1 thru | or 5,
The method of filling a coating liquid into an inkjet head, wherein the introduction liquid is pure water.
請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填方法において、
前記導入液は塗布液であるインクジェットヘッドへの塗布液充填方法。
In the coating liquid filling method to the inkjet head in any one of Claims 1 thru | or 5,
The method for filling a coating liquid into an inkjet head, wherein the introduction liquid is a coating liquid.
インクジェットヘッドに対して、水溶性の塗布液を充填するためのインクジェットヘッドへの塗布液充填装置であって、
塗布液の吐出部と、前記塗布液の吐出部と連結された塗布液の貯留部と、前記塗布液の貯留部に貯留された塗布液に圧力を付与することにより前記塗布液の貯留部に貯留された塗布液を前記吐出部から吐出させる圧電素子とからなる吐出機構を複数個列設したインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドの貯留部に対して圧力が付与された導入液を圧送する導入液圧送機構と、
前記導入液圧送機構により前記インクジェットヘッドに対して圧送される導入液を脱気する第1脱気機構と、
前記インクジェットヘッドの貯留部に対して塗布液を送液する塗布液送液機構と、
前記塗布液送液機構により前記インクジェットヘッドに対して送液される塗布液を脱気する第2脱気機構と、
前記導入液圧送機構による前記貯留部への導入液の圧送を停止させるとともに、前記塗布液送液機構による前記貯留部への塗布液の送液を開始させる切替機構と、
を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドへの塗布液充填装置。
A coating liquid filling device for an inkjet head for filling an inkjet head with a water-soluble coating liquid,
By applying pressure to the coating liquid discharge section, the coating liquid storage section connected to the coating liquid discharge section, and the coating liquid stored in the coating liquid storage section, the coating liquid storage section An inkjet head in which a plurality of ejection mechanisms each including a piezoelectric element that ejects the stored coating liquid from the ejection unit;
An introduction liquid pumping mechanism for pumping the introduction liquid to which pressure is applied to the reservoir of the inkjet head;
A first degassing mechanism for degassing the introduced liquid pumped to the inkjet head by the introduced liquid pressure feeding mechanism;
A coating liquid feeding mechanism for feeding a coating liquid to the reservoir of the inkjet head;
A second degassing mechanism for degassing the coating liquid fed to the inkjet head by the coating liquid feeding mechanism;
A switching mechanism that stops the pumping of the introduction liquid to the reservoir by the introduction liquid pumping mechanism, and starts the feeding of the coating liquid to the reservoir by the coating liquid feeding mechanism;
A coating liquid filling apparatus for an ink jet head, comprising:
請求項8に記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填装置において、
前記導入液圧送機構は、70キロパスカル以上の圧力が付与された導入液を前記インクジェットヘッドに圧送するインクジェットヘッドへの塗布液充填装置。
In the coating liquid filling device to the inkjet head according to claim 8,
The introduction liquid pressure feeding mechanism is a coating liquid filling apparatus for an ink jet head for pressure feeding an introduction liquid to which a pressure of 70 kilopascals or more is applied to the ink jet head.
請求項10に記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填装置において、
前記導入液圧送機構は、圧力が付与された導入液を間欠的に前記インクジェットヘッドに圧送するインクジェットヘッドへの塗布液充填装置。
In the coating liquid filling apparatus to the inkjet head according to claim 10,
The introduction liquid pressure feeding mechanism is a coating liquid filling apparatus for an ink jet head that intermittently pressure-feeds the introduction liquid to which pressure is applied to the ink jet head.
請求項10に記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填装置において、
前記導入液圧送機構は、圧力が付与された導入液の圧送を20回乃至200回間欠的に繰り返すインクジェットヘッドへの塗布液充填装置。
In the coating liquid filling apparatus to the inkjet head according to claim 10,
The introduction liquid pressure feeding mechanism is a coating liquid filling apparatus for an ink jet head that intermittently repeats the pressure feeding of the introduction liquid to which pressure is applied 20 to 200 times.
請求項10に記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填装置において、
前記導入液圧送工程においては、圧力が付与された導入液を200秒乃至400秒連続して前記インクジェットヘッドに圧送するインクジェットヘッドへの塗布液充填装置。
In the coating liquid filling apparatus to the inkjet head according to claim 10,
In the introduction liquid pressure feeding step, a coating liquid filling apparatus for an ink jet head that pressure-feeds the introduction liquid to which pressure is applied to the ink jet head for 200 seconds to 400 seconds continuously.
請求項8乃至請求項12のいずれかに記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填装置において、
前記導入液は純水であるインクジェットヘッドへの塗布液充填装置。
The coating liquid filling apparatus for an ink jet head according to any one of claims 8 to 12,
An apparatus for filling a coating liquid onto an inkjet head, wherein the introduction liquid is pure water.
請求項8乃至請求項12のいずれかに記載のインクジェットヘッドへの塗布液充填装置において、
前記導入液は塗布液であるインクジェットヘッドへの塗布液充填装置。
The coating liquid filling apparatus for an ink jet head according to any one of claims 8 to 12,
The introduction liquid is a coating liquid filling apparatus for an inkjet head, which is a coating liquid.
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