JP2011021963A - Encoder - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はエンコーダに関し、特に、所定の機器にエンコーダを設ける場合において、機器の小型化を図ることができるようにしたエンコーダに関する。 The present invention relates to an encoder, and more particularly to an encoder capable of reducing the size of a device when the encoder is provided in a predetermined device.
従来、測定機のステージを電動駆動させる場合に、ステージの移動量を測定するためにリニアエンコーダが利用されている(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, when the stage of a measuring instrument is electrically driven, a linear encoder has been used to measure the amount of movement of the stage (see, for example, Patent Document 1).
ところで、一般的に、ステージが設けられた測定機においては、ステージのオーバートラベルを防止するため、ステージの移動量を測定するリニアエンコーダとは別に、ステージの駆動ストローク端に、ストロークエンドセンサや、減速領域検知センサが設けられている。 By the way, in general, in a measuring machine provided with a stage, in order to prevent the overtravel of the stage, a stroke end sensor, A deceleration area detection sensor is provided.
ここで、ストロークエンドセンサは、ステージが移動量の限界を超えて移動することを防止するために、ステージが移動可能な範囲の終端位置に到達したことを検知するセンサである。また、減速領域検知センサは、終端位置近傍にある、ステージを減速させるべき減速位置に、ステージが到達したことを検知するセンサである。つまり、ステージは、減速位置に到達すると減速し、終端位置で停止するように制御される。 Here, the stroke end sensor is a sensor that detects that the stage has reached the end position of the movable range in order to prevent the stage from moving beyond the limit of the moving amount. The deceleration area detection sensor is a sensor that detects that the stage has reached a deceleration position near the end position where the stage should be decelerated. That is, the stage is controlled to decelerate when it reaches the deceleration position and stop at the end position.
しかしながら、上述した技術では、リニアエンコーダが設けられる機器の小型化を図ることは困難であった。例えば、ストロークエンドセンサや減速領域検知センサを機器に設ける場合、それらのセンサの配線のためのスペースを機器に設けなければならず、小型化が困難であった。また、配線のスペースを確保するために、センサ等の配置位置が制限されてしまう場合もあった。 However, with the above-described technique, it has been difficult to reduce the size of a device provided with a linear encoder. For example, when a stroke end sensor or a deceleration area detection sensor is provided in a device, a space for wiring the sensors must be provided in the device, and it is difficult to reduce the size. In addition, in order to secure a wiring space, the arrangement position of the sensor or the like may be limited.
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、所定の機器にエンコーダを設ける場合において、機器の小型化を図ることができるようにするものである。 The present invention has been made in view of such a situation, and is intended to reduce the size of a device when an encoder is provided in a predetermined device.
本発明のエンコーダは、主尺とヘッド部との相対的な位置関係の変化量を測定するエンコーダであって、前記変化量を測定するための主尺目盛が設けられた前記主尺と、前記ヘッド部に設けられ、前記主尺目盛に対して測定光を照射する発光部と、前記ヘッド部に設けられ、前記主尺目盛に照射された前記測定光を受光する受光部とを備え、前記主尺には信号配線用のパターンが形成されていることを特徴とする。 The encoder of the present invention is an encoder that measures the amount of change in the relative positional relationship between the main scale and the head unit, the main scale provided with a main scale for measuring the amount of change, A light-emitting unit that is provided on the head unit and irradiates the main scale with measurement light; and a light-receiving unit that is provided on the head unit and receives the measurement light irradiated on the main scale. A signal wiring pattern is formed on the main scale.
本発明によれば、所定の機器にエンコーダを設ける場合において、機器の小型化を図ることができる。 According to the present invention, when an encoder is provided in a predetermined device, the device can be reduced in size.
以下、図面を参照して、本発明を適用した実施の形態について説明する。 Embodiments to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings.
[第1の実施の形態]
図1は、本発明を適用した測定装置の一実施の形態の構成例を示す図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of an embodiment of a measuring apparatus to which the present invention is applied.
この測定装置11は、例えば、ステージ21に載置された被検物の形状を測定する装置であり、ステージ21は、制御装置22の制御に従って、図示しないモータと送り機構により、固定台23に対して相対的に移動する。すなわち、ステージ21は、固定台23に対して図中、奥行き方向と平行な方向に移動する。なお、以下、ステージ21が移動可能な可動方向のうち、特に、図中手前側から奥に向かう方向を正の方向といい、奥側から手前側に向かう方向を負の方向ということとする。
The
また、測定装置11には、電力を供給する電源24とともに、ステージ21と固定台23との相対的な位置関係の変化量、具体的には、固定台23に対するステージ21の可動方向への移動量を測定するリニアエンコーダ25が設けられている。
In addition to the
リニアエンコーダ25は、固定台23に対して固定された主尺31、およびステージ21に固定されたヘッド部32と、固定台23に固定されたストロークエンドセンサ33−1、ストロークエンドセンサ33−2、減速領域センサ34−1、および減速領域センサ34−2とから構成される。
The
ヘッド部32は、ヘッド部32の主尺31に対する相対的な移動量、つまりステージ21の固定台23に対する可動方向への移動量を示す信号を制御装置22に出力し、制御装置22は、ヘッド部32からの信号に応じてステージ21の移動を制御する。
The
また、主尺31には、ストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1が、電気的に接続されており、主尺31は、これらのセンサからの信号を制御装置22に出力する。
In addition, a stroke end sensor 33-1 and a deceleration region sensor 34-1 are electrically connected to the
なお、ストロークエンドセンサ33−1およびストロークエンドセンサ33−2は、ステージ21のオーバートラベルを防止するために、ステージ21が、ステージ21の移動を停止させるべき終端位置に到達したことを検出するセンサである。
The stroke end sensor 33-1 and the stroke end sensor 33-2 are sensors that detect that the
終端位置は、ステージ21が移動可能な可動方向への可動範囲の端近傍の位置、つまり、いわゆるストロークエンド近傍の位置とされる。具体的には、例えばステージ21に固定されたヘッド部32を基準とした場合、ステージ21の移動時に、ヘッド部32がストロークエンドセンサ33−1に到達したときのステージ21の位置が、可動方向の正の方向側の終端位置とされる。同様に、ヘッド部32がストロークエンドセンサ33−2に到達したときのステージ21の位置が、可動方向の負の方向側の終端位置とされる。
The end position is a position near the end of the movable range in the movable direction in which the
また、減速領域センサ34−1および減速領域センサ34−2は、ステージ21のオーバートラベルを防止するために、ステージ21が、終端位置近傍にある、ステージ21を減速させるべき減速位置に到達したことを検出するセンサである。
Further, the deceleration area sensor 34-1 and the deceleration area sensor 34-2 indicate that the
減速位置は、例えばステージ21に固定されたヘッド部32を基準とした場合、ステージ21の移動時に、ヘッド部32が減速領域センサ34−1に到達したときのステージ21の位置が、可動方向の正の方向側の減速位置とされる。同様に、ヘッド部32が減速領域センサ34−2に到達したときのステージ21の位置が、可動方向の負の方向側の減速位置とされる。
For example, when the
ストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1は、主尺31における、ステージ21の可動方向の正の方向側の端近傍に位置するように、固定台23に固定されている。また、ストロークエンドセンサ33−2および減速領域センサ34−2は、主尺31における、ステージ21の可動方向の負の方向側の端近傍に位置するように、固定台23に固定されている。
The stroke end sensor 33-1 and the deceleration area sensor 34-1 are fixed to the
制御装置22は、例えば、ステージ21が可動方向の正の方向に移動している場合、主尺31からの信号に基づいて、ヘッド部32の減速領域センサ34−1への到達が検出されると、ステージ21の移動速度を減速させ、ヘッド部32のストロークエンドセンサ33−1への到達が検出されると、ステージ21を停止させる。
For example, when the
同様に、ステージ21が可動方向の負の方向に移動している場合、制御装置22は、ヘッド部32の減速領域センサ34−2への到達が検出されると、ステージ21の移動速度を減速させ、ヘッド部32のストロークエンドセンサ33−2への到達が検出されると、ステージ21を停止させる。
Similarly, when the
なお、以下、ストロークエンドセンサ33−1およびストロークエンドセンサ33−2を、個々に区別する必要のない場合、単にストロークエンドセンサ33と称する。また、減速領域センサ34−1および減速領域センサ34−2を個々に区別する必要のない場合、単に減速領域センサ34と称する。
Hereinafter, the stroke end sensor 33-1 and the stroke end sensor 33-2 are simply referred to as the
また、主尺31には、図2に示すように、主尺31の長手方向、つまりステージ21の可動方向に沿って主尺目盛61が設けられている。なお、図2は、図1のヘッド部32および主尺31を図1中、左側から右方向に見た図である。
Further, as shown in FIG. 2, the
例えば、主尺31の基材は、ガラスなどの光を透過させる部材とされており、主尺31の表面には、主尺目盛61を構成する長方形状の透過部分と遮光部分とが、可動方向に交互に並べられて設けられている。透過部分と遮光部分とは同じ形状とされ、透過部分は主尺31の基材そのものからなり、遮光部分は導電性が高い金属などからなる。したがって、主尺目盛61に照射された光のうち、遮光部分に入射した光は遮光され、透過部分に入射した光のみが主尺目盛61を透過することになる。
For example, the base material of the
なお、主尺31の基材として低熱膨張ガラスを用いれば、リニアエンコーダ25や測定装置11において、信号等の伝送損失に起因する発熱が生じても、その発熱の影響により、ステージ21の移動量の測定精度が低下してしまうことを防止することができる。
If low thermal expansion glass is used as the base material of the
また、ヘッド部32には、光源62、コンデンサレンズ63、副尺64、受光素子65、遮光板66−1、および遮光板66−2が設けられている。ヘッド部32では、光源62およびコンデンサレンズ63が、主尺31に対して図中、奥行き側に配置され、副尺64乃至遮光板66−2が、主尺31に対して図中、手前側に配置されている。
The
例えば、光源62は、LED(Light Emitting Diode)から構成され、受光素子65は、複数のフォトダイオードが並べられたフォトダイオードアレイなどからなる。
For example, the
光源62は、ステージ21(ヘッド部32)の可動方向の位置、すなわち移動量を測定するための測定光を射出し、光源62から射出された測定光は、コンデンサレンズ63により集光されて、主尺31の主尺目盛61に照射される。主尺目盛61を透過した測定光は、副尺64に設けられた副尺目盛67に照射され、副尺目盛67に照射された測定光の一部が副尺目盛67を透過して、受光素子65に受光される。
The
ここで、副尺64の基材は、主尺31の基材と同じ部材からなり、副尺目盛67も、主尺目盛61の透過部分および遮光部分と同形状、かつ同じ材質からなる透過部分および遮光部分により構成される。つまり、副尺目盛67は、副尺64の表面上に、可動方向に交互に並べられた透過部分および遮光部分からなる。
Here, the base material of the
したがって、受光素子65は、光源62から射出された測定光のうち、主尺目盛61の透過部分および副尺目盛67の透過部分を透過したもの(測定光)だけを受光することになる。受光素子65は、入射した測定光を受光して光電変換し、その結果得られた受光信号を制御装置22に供給する。したがって、より詳細には、受光素子65は電線等により制御装置22に接続されている。また、受光信号は、受光素子65が受光した測定光の光量を示す電気信号である。
Therefore, the
副尺64は、ヘッド部32に設けられており、ヘッド部32はステージ21とともに移動するので、ステージ21が移動すると副尺64が主尺31に対して可動方向に移動することになる。すると、主尺目盛61の透過部分と副尺目盛67の透過部分との重なる部分の面積が周期的に変化するので、受光素子65において受光される測定光の受光量も周期的に変化する。
The
例えば、主尺目盛61と副尺目盛67の透過部分および遮光部分の可動方向の幅がWであるとする。この場合、透過部分および遮光部分は交互に並んでいるので、受光素子65における測定光の受光量が最大の状態から受光量が変化し、再び測定光の受光量が最大となったとき、副尺64は、主尺31に対して可動方向に2Wだけ移動しているはずである。制御装置22は、受光素子65から供給された受光信号により示される受光量の変化に基づいて、ステージ21の移動量を求める。
For example, assume that the width in the movable direction of the transmission part and the light-shielding part of the
また、副尺64には、遮光板66−1および遮光板66−2が固定されており、遮光板66−1および遮光板66−2は、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34へのヘッド部32の到達を検出するために用いられる。
Further, a light shielding plate 66-1 and a light shielding plate 66-2 are fixed to the
すなわち、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34は、互いに対向する発光部と受光部を有するフォトインタラプタから構成され、遮光板66−1および遮光板66−2は、発光部から受光部に入射する光を遮光するために用いられる。
That is, the
具体的には、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34は、発光部から受光部に光を射出して、受光部において受光された光の受光量を示す受光信号を制御装置22に供給している。
Specifically, the
例えば、ヘッド部32が可動方向の正の方向に移動し、ヘッド部32が減速領域センサ34−1に到達すると、減速領域センサ34−1の発光部からの光は、遮光板66−1により遮光されて、受光部には到達しなくなる。すると、減速領域センサ34−1から制御装置22に供給される受光信号により示される受光量は、より少なくなる。そのため、制御装置22は、供給された受光信号から、ヘッド部32が減速領域センサ34−1に到達したこと、つまりステージ21が可動方向の正の方向の減速位置に到達したことを検知し、ステージ21を減速させることができる。
For example, when the
また、ヘッド部32がさらに可動方向の正の方向に移動し、ヘッド部32がストロークエンドセンサ33−1に到達すると、ストロークエンドセンサ33−1の発光部からの光は、遮光板66−1により遮光されて、受光部には到達しなくなる。したがって、この場合においても、制御装置22は、ストロークエンドセンサ33−1からの受光信号から、ステージ21の可動方向の正の方向の終端位置への到達を検知し、ステージ21を停止させることができる。
Further, when the
同様に、ヘッド部32が可動方向の負の方向に移動し、ヘッド部32が減速領域センサ34−2に到達すると、減速領域センサ34−2の発光部からの光は、遮光板66−2により遮光されて、受光部には到達しなくなる。また、ヘッド部32がさらに可動方向の負の方向に移動し、ヘッド部32がストロークエンドセンサ33−2に到達すると、ストロークエンドセンサ33−2の発光部からの光は、遮光板66−2により遮光されて、受光部には到達しなくなる。したがって、制御装置22は、減速領域センサ34−2およびストロークエンドセンサ33−2からの受光信号から、ステージ21の可動方向の負の方向の減速位置および終端位置への到達を検知することができる。
Similarly, when the
なお、以下、遮光板66−1および遮光板66−2を個々に区別する必要のない場合、単に遮光板66とも称する。 Hereinafter, when it is not necessary to distinguish between the light shielding plate 66-1 and the light shielding plate 66-2, they are also simply referred to as the light shielding plate 66.
さらに、図3に示すように、主尺31における主尺目盛61の図中、下側には、横方向に長い信号配線用のパターン91−1乃至パターン91−4が金属により形成されている。これらのパターン91−1乃至パターン91−4は、電力や信号を授受するために用いられる伝送線路であり、主尺31の長手方向、つまりステージ21の可動方向に沿って長く設けられている。なお、以下、パターン91−1乃至パターン91−4のそれぞれを個々に区別する必要のない場合、単にパターン91とも称する。
Furthermore, as shown in FIG. 3, in the figure of the
パターン91−1の両端には、それぞれパッド92−1およびパッド92−2が設けられており、パッド92−1およびパッド92−2は、電線を介して減速領域センサ34−1および制御装置22と電気的に接続されている。パターン91−2の両端には、パッド93−1およびパッド93−2が設けられており、パッド93−1およびパッド93−2は、電線を介してストロークエンドセンサ33−1および制御装置22と電気的に接続されている。
A pad 92-1 and a pad 92-2 are provided at both ends of the pattern 91-1, respectively. The pad 92-1 and the pad 92-2 are connected to the deceleration region sensor 34-1 and the
また、パターン91−3の両端には、パッド94−1およびパッド94−2が設けられている。パッド94−1には、電線を介してストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1が電気的に接続されており、パッド94−2には、電線を介して、電源24のプラス端子、ストロークエンドセンサ33−2、および減速領域センサ34−2が電気的に接続されている。
Also, a pad 94-1 and a pad 94-2 are provided at both ends of the pattern 91-3. A stroke end sensor 33-1 and a deceleration region sensor 34-1 are electrically connected to the pad 94-1 via an electric wire, and a positive terminal of the
さらに、パターン91−4の両端には、パッド95−1およびパッド95−2が設けられている。パッド95−1には、電線を介してストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1が電気的に接続されており、パッド95−2には、電線を介して、電源24のマイナス端子、ストロークエンドセンサ33−2、および減速領域センサ34−2が電気的に接続されている。
Furthermore, a pad 95-1 and a pad 95-2 are provided at both ends of the pattern 91-4. A stroke end sensor 33-1 and a deceleration region sensor 34-1 are electrically connected to the pad 95-1 via an electric wire, and a negative terminal of the
また、ストロークエンドセンサ33−2および減速領域センサ34−2は、電線を介して制御装置22に電気的に接続されている。
The stroke end sensor 33-2 and the deceleration region sensor 34-2 are electrically connected to the
したがって、ストロークエンドセンサ33−1は、パターン91−3とパターン91−4を介して電源24から供給される電力により駆動し、ストロークエンドセンサ33−1の受光部で受光した光の受光量を示す受光信号を、パターン91−2を介して制御装置22に供給する。減速領域センサ34−1は、パターン91−3とパターン91−4を介して電源24から供給される電力により駆動し、減速領域センサ34−1の受光部で受光した光の受光量を示す受光信号を、パターン91−1を介して制御装置22に供給する。
Therefore, the stroke end sensor 33-1 is driven by the power supplied from the
また、ストロークエンドセンサ33−2は、電線を介して電源24から供給される電力により駆動し、ストロークエンドセンサ33−2の受光部で受光した光の受光量を示す受光信号を、電線を介して制御装置22に供給する。減速領域センサ34−2は、電線を介して電源24から供給される電力により駆動し、減速領域センサ34−2の受光部で受光した光の受光量を示す受光信号を、電線を介して制御装置22に供給する。
The stroke end sensor 33-2 is driven by electric power supplied from the
制御装置22は、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34からの受光信号に基づいて、ステージ21の移動を制御する。
The
なお、主尺目盛61の遮光部の材質として導電性の高いアルミニウムなどの金属を用いれば、主尺31における主尺目盛61の形成時に、主尺目盛61と同時にパターン91とパッド92−1乃至パッド95−2も形成することができる。そのような場合、主尺31表面のパッド92−1乃至パッド95−2を除く部分を、透明な保護材により保護することで、主尺目盛61およびパターン91の酸化を防止することができる。
If a metal such as aluminum having high conductivity is used as the material of the light shielding portion of the
このように、測定装置11では、主尺31にパターン91を設けたので、測定装置11にリニアエンコーダ25を設ける場合において、ストロークエンドセンサ33や減速領域センサ34の配線のためのスペースをより小さくすることができる。これにより、測定装置11の小型化を図ることができる。
As described above, in the measuring
例えば、測定装置11では、制御装置22および電源24が、主尺31における、可動方向の負の方向側の端近傍に設けられている。仮に、制御装置22および電源24が、従来のように、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34と電線のみにより接続されるものとする。
For example, in the measuring
この場合、ストロークエンドセンサ33−2および減速領域センサ34−2は、制御装置22および電源24近傍に設けられているため、これらを接続する電線は、短くてすみ、邪魔になることはない。ところが、ストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1は、制御装置22および電源24から離れた位置に設けられているため、これらを接続する電線は長くなり、邪魔になってしまう。
In this case, since the stroke end sensor 33-2 and the deceleration region sensor 34-2 are provided in the vicinity of the
そこで、リニアエンコーダ25では、ストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1と、制御装置22および電源24とを接続する電線がより短くなるように、主尺31にパターン91を設けた。
Therefore, in the
すなわち、ストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1とパターン91とを接続するためのパッド92−1、パッド93−1、パッド94−1、およびパッド95−1は、主尺31における、可動方向の正の方向側の端に設けられている。したがって、これらのパッドと、ストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1とを接続する電線は短くて済み、それらの電線が邪魔になることはない。 That is, the pad 92-1, the pad 93-1, the pad 94-1, and the pad 95-1 for connecting the stroke end sensor 33-1 and the deceleration region sensor 34-1 and the pattern 91 are It is provided at the end of the movable direction on the positive direction side. Therefore, the electric wires connecting these pads, the stroke end sensor 33-1 and the deceleration region sensor 34-1 are short, and the electric wires do not get in the way.
同様に、制御装置22および電源24と、パターン91とを接続するためのパッド92−2、パッド93−2、パッド94−2、およびパッド95−2は、主尺31における、可動方向の負の方向側の端に設けられている。したがって、これらのパッドと、制御装置22および電源24とを接続する電線も短くて済み、それらの電線が邪魔になることはない。
Similarly, the pad 92-2, the pad 93-2, the pad 94-2, and the pad 95-2 for connecting the
以上のように、リニアエンコーダ25によれば、少なくともパターン91を設けた分だけ、測定装置11に設けられる電子部品同士を接続する電線を短くすることができる。したがって、配線のために確保すべきスペースをより小さくすることができ、測定装置11の小型化を図ることができる。また、主尺31にパターン91を設けることにより、電子部品の配置の制約をより少なくすることができる。さらに、主尺31に電線の代わりとなる配線パターンが形成されているため、ステージ稼働中にステージ可動部に電線が巻き込まれることを防ぐことができ、予期しない断線を防止できる。以下に述べる他の実施の形態についても、同様の効果が期待できる。そのような実施の形態について、順次説明する。
As described above, according to the
[第2の実施の形態]
なお、以上においては、1つの伝送線路であるパターン91−2を介して、ストロークエンドセンサ33−1からの受光信号が伝送されると説明したが、より確実に受光信号を伝送させるために、差動伝送線路により受光信号が伝送されてもよい。
[Second Embodiment]
In the above description, the light reception signal from the stroke end sensor 33-1 is transmitted via the pattern 91-2 which is one transmission line. In order to transmit the light reception signal more reliably, The received light signal may be transmitted through the differential transmission line.
そのような場合、リニアエンコーダ25には、例えば図4に示すように、受光信号を伝送するための差動伝送ドライバ121および差動伝送レシーバ122が設けられる。なお、図4において、図3における場合と対応する部分には同一の符号を付してあり、その説明は適宜、省略する。
In such a case, the
図4に示すリニアエンコーダ25には、減速領域センサ34が設けられておらず、差動伝送ドライバ121および差動伝送レシーバ122が設けられている。
In the
すなわち、パッド92−1およびパッド93−1は、差動伝送ドライバ121の出力側の端子に接続されており、差動伝送ドライバ121の入力側の端子は、電線によりストロークエンドセンサ33−1に接続されている。また、パッド92−2およびパッド93−2は、差動伝送レシーバ122の入力側の端子に接続されており、差動伝送レシーバ122の出力側の端子は制御装置22に接続されている。さらに、差動伝送ドライバ121および差動伝送レシーバ122は、固定台23に固定されている。
That is, the pad 92-1 and the pad 93-1 are connected to the output side terminal of the
主尺31では、パターン91−1およびパターン91−2が1つのペアとなって差動伝送線路を構成している。図4の例では、パターン91−1およびパターン91−2が平行かつ等長となるようにされ、またパターン91−1およびパターン91−2は、パターン自身の長さや厚さを調整することにより、インピーダンスコントロールされている。
In the
ストロークエンドセンサ33−1は、パターン91−3およびパターン91−4を介して電源24から供給された電力により駆動し、ストロークエンドセンサ33−1の受光部で受光した光の受光量を示す受光信号を、差動伝送ドライバ121に供給する。差動伝送ドライバ121は、ストロークエンドセンサ33−1から供給された受光信号を、パターン91−1およびパターン91−2を介して、差動伝送レシーバ122に差動伝送する。また、差動伝送レシーバ122は、差動伝送ドライバ121から供給された受光信号を制御装置22に供給する。
The stroke end sensor 33-1 is driven by the electric power supplied from the
このように、パターン91−1およびパターン91−2を用いて受光信号を差動伝送することにより、ストロークエンドセンサ33−1からの放射ノイズを抑えるとともに、外部からの要因により生じる受光信号へのノイズの影響を抑制することができる。これにより、より確実に受光信号を伝送することができる。 In this way, by differentially transmitting the light reception signal using the pattern 91-1 and the pattern 91-2, the radiation noise from the stroke end sensor 33-1 is suppressed, and the light reception signal generated by an external factor is reduced. The influence of noise can be suppressed. Thereby, a light reception signal can be transmitted more reliably.
なお、差動伝送レシーバ122は、制御装置22内部に設けられるようにしてもよい。
The
また、パターン91−3およびパターン91−4は、電力供給用としてだけでなく、電力供給用と同時に信号伝送用の伝送線路としても用いられるようにしてもよい。さらに、本実施の形態に減速領域センサ34を設け、減速領域センサ34用にストロークエンドセンサ33−1と同じ方式で、一方の減速領域センサ34の信号を主尺31を介して、制御装置22に伝達してもよい。例えば、減速領域センサ34からの信号伝達用に差動伝送ドライバおよび差動伝送レシーバをさらにもう一対設け、新たに設けた差動伝送ドライバおよび差動伝送レシーバ間の信号伝達用配線として、主尺31にパターン91−1、パターン91−2と平行にさらに2本のパターンを設けてもよい。
Further, the pattern 91-3 and the pattern 91-4 may be used not only for power supply but also as a transmission line for signal transmission simultaneously with power supply. Further, a deceleration region sensor 34 is provided in the present embodiment, and the signal from one deceleration region sensor 34 is sent to the
[第3の実施の形態]
さらに、制御装置22や電源24が、主尺31の中央付近に設けられている場合には、例えば、図5に示すように、主尺31に各ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34と接続するためのパターンが設けられるようにしてもよい。なお、図5においては、図3における場合と対応する部分には同一の符号を付してあり、その説明は適宜省略する。
[Third Embodiment]
Further, when the
主尺31には、主尺31の中央から図中、左側の端までステージ21の可動方向に沿って長く設けられたパターン151−1乃至パターン151−4と、主尺31の中央から図中、右側の端まで可動方向に沿って長く設けられたパターン152−1乃至パターン152−4が設けられている。
The
パターン151−1乃至パターン151−4の両端には、パッド153−1およびパッド153−2、パッド154−1およびパッド154−2、パッド155−1およびパッド155−2、並びにパッド156−1およびパッド156−2が設けられている。 At both ends of the pattern 151-1 to the pattern 151-4, a pad 153-1 and a pad 153-2, a pad 154-1 and a pad 154-2, a pad 155-1 and a pad 155-2, and a pad 156-1 and A pad 156-2 is provided.
また、パターン152−1乃至パターン152−4の両端には、パッド157−1およびパッド157−2、パッド158−1およびパッド158−2、パッド159−1およびパッド159−2、並びにパッド160−1およびパッド160−2が設けられている。 Further, the pads 157-1 and 157-2, the pad 158-1 and the pad 158-2, the pad 159-1 and the pad 159-2, and the pad 160- are provided at both ends of the patterns 152-1 to 152-4. 1 and a pad 160-2 are provided.
パッド153−1およびパッド154−1は、それぞれ電線を介して減速領域センサ34−1およびストロークエンドセンサ33−1に接続されている。また、パッド155−1およびパッド156−1のそれぞれは、電線を介して減速領域センサ34−1およびストロークエンドセンサ33−1に接続されている。 Pad 153-1 and pad 154-1 are connected to deceleration region sensor 34-1 and stroke end sensor 33-1 via electric wires, respectively. Moreover, each of the pad 155-1 and the pad 156-1 is connected to the deceleration area sensor 34-1 and the stroke end sensor 33-1 via electric wires.
同様に、パッド157−1およびパッド158−1は、それぞれ電線を介して減速領域センサ34−2およびストロークエンドセンサ33−2に接続されている。また、パッド159−1およびパッド160−1のそれぞれは、電線を介して減速領域センサ34−2およびストロークエンドセンサ33−2に接続されている。 Similarly, pad 157-1 and pad 158-1 are connected to deceleration region sensor 34-2 and stroke end sensor 33-2 via electric wires, respectively. In addition, each of the pad 159-1 and the pad 160-1 is connected to the deceleration region sensor 34-2 and the stroke end sensor 33-2 via electric wires.
パッド153−2、パッド154−2、パッド157−2、およびパッド158−2は、電線を介して制御装置22に接続されている。さらに、パッド155−2およびパッド159−2は、電線を介して電源24のマイナス端子に接続され、パッド156−2およびパッド160−2は、電線を介して電源24のプラス端子に接続されている。
The pad 153-2, the pad 154-2, the pad 157-2, and the pad 158-2 are connected to the
したがって、ストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1は、パターン151−3およびパターン151−4を介して電源24から供給された電力により駆動し、受光信号を、パターン151−2およびパターン151−1を介して制御装置22に供給する。同様に、ストロークエンドセンサ33−2および減速領域センサ34−2は、パターン152−3およびパターン152−4を介して電源24から供給された電力により駆動し、受光信号を、パターン152−2およびパターン152−1を介して制御装置22に供給する。
Therefore, the stroke end sensor 33-1 and the deceleration area sensor 34-1 are driven by the electric power supplied from the
このように、制御装置22および電源24が主尺31の中央付近に設けられる場合には、各ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34を、制御装置22および電源24に接続するパターンを主尺31に設けることで、配線用の電線をより短くできる。すなわち、ストロークエンドセンサ33、減速領域センサ34、制御装置22、および電源24と、主尺31のパッドとを接続する各電線をより短くすることができ、測定装置11の更なる小型化を図ることができる。
As described above, when the
[第4の実施の形態]
さらに、以上においては、主尺31に設けられるパターンが主尺目盛61に干渉しないように、パターンと主尺目盛61とが主尺31の同一面上の異なる位置に設けられる例について説明したが、パターンと主尺目盛61とが重なるように設けられてもよい。
[Fourth Embodiment]
Further, in the above description, the example in which the pattern and the
そのような場合、例えば図6に示すように、主尺31に設けられるパターンは、金属ではなく酸化インジウムスズ(ITO(Indium Tin Oxide))などの透明導電性材料により形成される。なお、図6において、図3における場合と対応する部分には同一の符号を付してあり、その説明は適宜、省略する。
In such a case, for example, as shown in FIG. 6, the pattern provided on the
図6の例では、主尺31における主尺目盛61が設けられた面と対向する面の表面に、透明導電性材料によってパターン191−1乃至パターン191−4が形成されている。なお、以下、パターン191−1乃至パターン191−4を個々に区別する必要のない場合、単にパターン191と称する。
In the example of FIG. 6, patterns 191-1 to 191-4 are formed of a transparent conductive material on the surface of the
また、パターン191は、主尺31表面にステージ21の可動方向に沿って長く形成されている。パターン191−1の両端には、それぞれパッド192−1およびパッド192−2が設けられており、パッド192−1およびパッド192−2は、電線を介して減速領域センサ34−1および制御装置22と電気的に接続されている。パターン191−2の両端には、パッド193−1およびパッド193−2が設けられており、パッド193−1およびパッド193−2は、電線を介してストロークエンドセンサ33−1および制御装置22と電気的に接続されている。
The pattern 191 is formed long on the surface of the
また、パターン191−3の両端には、パッド194−1およびパッド194−2が設けられている。パッド194−1には、電線を介してストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1が電気的に接続されており、パッド194−2には、電線を介して、電源24のプラス端子、ストロークエンドセンサ33−2、および減速領域センサ34−2が電気的に接続されている。
Further, pads 194-1 and pads 194-2 are provided at both ends of the pattern 191-3. A stroke end sensor 33-1 and a deceleration region sensor 34-1 are electrically connected to the pad 194-1 via an electric wire, and a positive terminal of the
さらに、パターン191−4の両端には、パッド195−1およびパッド195−2が設けられている。パッド195−1には、電線を介してストロークエンドセンサ33−1および減速領域センサ34−1が電気的に接続されており、パッド195−2には、電線を介して、電源24のマイナス端子、ストロークエンドセンサ33−2、および減速領域センサ34−2が電気的に接続されている。また、ストロークエンドセンサ33−2および減速領域センサ34−2は、電線を介して制御装置22に電気的に接続されている。
Furthermore, a pad 195-1 and a pad 195-2 are provided at both ends of the pattern 191-4. A stroke end sensor 33-1 and a deceleration region sensor 34-1 are electrically connected to the pad 195-1 via an electric wire, and a negative terminal of the
図6の例では、主尺31において、主尺目盛61とパターン191とが対向した面に設けられている。また、パターン191は透明導電性材料で形成されている。そのため、光源62から射出され、主尺目盛61を透過した測定光は、そのままパターン191も透過し、副尺64へと入射する。したがって、パターン191がステージ21の移動量の測定に影響を及ぼすことはない。また、主尺目盛61とパターン191とが重なるように、パターン191を配置することにより、主尺31をより小さくすることができる。
In the example of FIG. 6, in the
なお、主尺目盛61が絶縁性の高い材料で形成されている場合には、主尺目盛61上に透明導電性材料でパターン191が形成されるようにしてもよい。
When the
[第5の実施の形態]
さらに、図7に示すように、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34が、固定台23ではなく、直接、主尺31に固定されるようにしてもよい。なお、図7において、図2における場合と対応する部分には、同一の符号を付してあり、その説明は適宜省略する。
[Fifth Embodiment]
Further, as shown in FIG. 7, the
例えば、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34は、それらのセンサの端子が主尺31の表面に設けられたパッドに半田付けされることにより、主尺31に固定される。
For example, the
また、ストロークエンドセンサ33は、図8に示すように、ストロークエンドセンサ33の発光部が光源62からの測定光と同じ方向に光を射出するように、主尺31に取り付けられる。すなわち、例えばストロークエンドセンサ33の図中、左側の部分が発光部とされ、右側の部分が受光部とされ、発光部から受光部に向けて、図中、右方向に光が射出されることになる。この場合、遮光板66が、ストロークエンドセンサ33の発光部と受光部との間を通過したとき、発光部からの光が遮断され、ヘッド部32のストロークエンドセンサ33への到達、つまりステージ21の終端位置への到達が検出される。
As shown in FIG. 8, the
また、減速領域センサ34も、主尺31に対してストロークエンドセンサ33と同様の向きに取り付けられる。
The deceleration area sensor 34 is also attached to the
なお、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34は、主尺31に対して垂直方向、つまり、それらのセンサの発光部からの光が図8中、縦方向に射出されるように取り付けられてもよい。
Note that the
このように、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34が、直接、主尺31に固定される場合、主尺31には、例えば、図9に示すように、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34を固定するためのパッドが設けられる。
As described above, when the
すなわち、図9の例では、主尺31には、主尺31の中央から図中、左側の端までステージ21の可動方向に沿って設けられたパターン221−1乃至パターン221−4と、主尺31の中央から図中、右側の端まで可動方向に沿って設けられたパターン222−1乃至パターン222−4が設けられている。
That is, in the example of FIG. 9, the
パターン221−1の両端には、パッド223およびパッド224が設けられ、パターン221−2の両端には、パッド225およびパッド226が設けられている。
A
また、パターン221−3の一方の端近傍には、パッド227乃至パッド230が設けられ、他方の端には、パッド231が設けられている。パターン221−4の一方の端近傍には、パッド232およびパッド233が設けられ、他方の端には、パッド234が設けられている。
Further,
同様に、パターン222−1の両端には、パッド235およびパッド236が設けられ、パターン222−2の両端には、パッド237およびパッド238が設けられている。
Similarly, a
また、パターン222−3の一方の端近傍には、パッド239乃至パッド242が設けられ、他方の端には、パッド243が設けられている。パターン222−4の一方の端近傍には、パッド245およびパッド246が設けられ、他方の端には、パッド247が設けられている。
Further,
主尺31では、中央に設けられたパッド234およびパッド247には、電線を介して電源24のプラス端子が接続され、パッド231およびパッド243には、電線を介して電源24のマイナス端子が接続される。また、主尺31の中央に設けられたパッド226、パッド224、パッド236、およびパッド238には、電線を介して制御装置22が接続される。
In the
さらに、図中、左側に設けられた4つのパッド223、パッド227、パッド228、およびパッド232には、ストロークエンドセンサ33−1が接続される。具体的には、パッド228およびパッド232には、ストロークエンドセンサ33−1の発光部の端子が半田付けにより固定され、パッド223およびパッド227には、ストロークエンドセンサ33−1の受光部の端子が半田付けにより固定される。
Furthermore, a stroke end sensor 33-1 is connected to four
また、4つのパッド229、パッド225、パッド230、およびパッド233には、減速領域センサ34−1が接続され、図中、右側の4つのパッド237、パッド241、パッド246、およびパッド242には、減速領域センサ34−2が接続される。そして、4つのパッド235、パッド239、パッド245、およびパッド240には、ストロークエンドセンサ33−2が接続される。
In addition, a deceleration region sensor 34-1 is connected to the four
例えば、ストロークエンドセンサ33−1は、パターン221−3およびパターン221−4を介して電源24から供給された電力により駆動し、パターン221−1を介して、受光信号を制御装置22に送信する。
For example, the stroke end sensor 33-1 is driven by the electric power supplied from the
同様に、他のストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34も、主尺31に設けられたパターンを介して電源24から供給された電力により駆動し、パターンを介して、受光信号を制御装置22に供給する。
Similarly, the other
このように、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34を直接、主尺31に固定するようにしたので、上述の実施の形態よりも更にリニアエンコーダ25の小型化を図ることができる。また、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34と、制御装置22とを直接接続するための電線が不要となるので、リニアエンコーダ25および測定装置11のさらなる小型化を図ることができる。
Thus, since the
なお、主尺31に設けられたパッド223乃至パッド247のうち、ストロークエンドセンサ33または減速領域センサ34が取り付けられるパッドは、スルーホールとされてもよい。また、終端位置および減速位置への到達を検出するためのストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34は、フォトインタラプタに限らず、磁気スイッチやマイクロスイッチなどとされてもよい。
Of the
[第6の実施の形態]
さらに、リニアエンコーダ25において、ステージ21の終端位置および減速位置への到達を検出するためのセンサとして、フォトダイオードを利用するようにしてもよい。
[Sixth Embodiment]
Furthermore, in the
そのような場合、例えば、図10に示すように、主尺31には、ストロークエンドセンサ33および減速領域センサ34に代えて、ストロークエンドセンサ271−1およびストロークエンドセンサ271−2と、減速領域センサ272−1および減速領域センサ272−2が設けられる。なお、図10において、図2における場合と対応する部分には、同一の符号を付してあり、その説明は省略する。
In such a case, for example, as shown in FIG. 10, the
ストロークエンドセンサ271−1乃至減速領域センサ272−2は、フォトダイオードからなり、ストロークエンドセンサ271−1乃至減速領域センサ272−2は主尺31上に、ステージ21の可動方向に沿って並べられ、主尺31の表面に直接固定されている。
The stroke end sensor 271-1 to the deceleration region sensor 272-2 are made of a photodiode, and the stroke end sensor 271-1 to the deceleration region sensor 272-2 are arranged on the
なお、以下、ストロークエンドセンサ271−1およびストロークエンドセンサ271−2を個々に区別する必要のない場合、単にストロークエンドセンサ271と称する。また、減速領域センサ272−1および減速領域センサ272−2を個々に区別する必要のない場合、単に減速領域センサ272と称する。
Hereinafter, the stroke end sensor 271-1 and the stroke end sensor 271-2 are simply referred to as the
図10の例では、ストロークエンドセンサ271および減速領域センサ272は、フォトダイオードから構成されるため、リニアエンコーダ25には、図1の電源24および図2の遮光板66は設けられていない。
In the example of FIG. 10, the
また、ストロークエンドセンサ271−1およびストロークエンドセンサ271−2は、それぞれステージ21が可動方向の正の方向および負の方向の終端位置に到達したときに、光源62からの測定光の一部が入射するように配置されている。
The stroke end sensor 271-1 and the stroke end sensor 271-2 are configured such that a part of the measurement light from the
例えば図11に示すように、光源62からの測定光は、コンデンサレンズ63により集光されて主尺31に照射され、主尺31に照射された測定光の一部は、主尺目盛61を透過して受光素子65に入射する。
For example, as shown in FIG. 11, the measurement light from the
また、ステージ21が終端位置に到達した場合には、主尺31に照射された測定光の一部は、主尺31の基材をそのまま透過して、ストロークエンドセンサ271に入射する。
Further, when the
同様に、減速領域センサ272−1および減速領域センサ272−2は、それぞれステージ21が可動方向の正の方向および負の方向の減速位置に到達したときに、光源62からの測定光の一部が入射するように配置されている。
Similarly, the deceleration area sensor 272-1 and the deceleration area sensor 272-2 are a part of the measurement light from the
このように、ストロークエンドセンサ271および減速領域センサ272が、直接、主尺31に固定される場合、主尺31には、例えば、図12に示すように、それらのセンサと制御装置22とを接続するためのパターンが形成されている。
As described above, when the
すなわち、図12の例では、主尺31には、主尺31の中央から図中、左側の端までステージ21の可動方向に沿って設けられたパターン301−1乃至パターン301−4と、主尺31の中央から図中、右側の端まで可動方向に沿って設けられたパターン302−1乃至パターン302−4が設けられている。
In other words, in the example of FIG. 12, the
パターン301−1の一方の端には、パッド303が設けられており、パターン301−1の他方の端は、ストロークエンドセンサ271−1に接続されている。パターン301−2の一方の端には、パッド304が設けられており、パターン301−2の他方の端は、減速領域センサ272−1に接続されている。
A
また、パターン301−3の一方の端には、パッド305が設けられており、パターン301−3の他方の端は、減速領域センサ272−1に接続されている。パターン301−4の一方の端には、パッド306が設けられており、パターン301−4の他方の端は、ストロークエンドセンサ271−1に接続されている。
Further, a
同様に、パターン302−1の一方の端には、パッド307が設けられており、パターン302−1の他方の端は、ストロークエンドセンサ271−2に接続されている。パターン302−2の一方の端には、パッド308が設けられており、パターン302−2の他方の端は、減速領域センサ272−2に接続されている。
Similarly, a
また、パターン302−3の一方の端には、パッド309が設けられており、パターン302−3の他方の端は、減速領域センサ272−2に接続されている。パターン302−4の一方の端には、パッド310が設けられており、パターン302−4の他方の端は、ストロークエンドセンサ271−2に接続されている。
In addition, a
さらに、パッド303乃至パッド310は、電線を介して制御装置22に接続されている。なお、以下、パターン301−1乃至パターン301−4を個々に区別する必要のない場合、単にパターン301と称し、パターン302−1乃至パターン302−4を個々に区別する必要のない場合、単にパターン302と称する。
Furthermore, the
図12の例では、制御装置22は、パターン301を介してストロークエンドセンサ271−1および減速領域センサ272−1に接続されている。そのため、制御装置22は、ストロークエンドセンサ271−1および減速領域センサ272−1が測定光を受光したときに生じる電流を検知することにより、ステージ21が可動方向の正の方向の終端位置および減速位置に到達したことを検出することができる。
In the example of FIG. 12, the
同様に、制御装置22は、パターン302を介してストロークエンドセンサ271−2および減速領域センサ272−2に接続されている。そのため、制御装置22は、ストロークエンドセンサ271−2および減速領域センサ272−2が測定光を受光したときに生じる電流を検知することにより、ステージ21が可動方向の負の方向の終端位置および減速位置に到達したことを検出することができる。
Similarly, the
制御装置22は、減速領域センサ272やストロークエンドセンサ271において生じる電流の変化を検知することで、ステージ21の減速位置や終端位置への到達を検出すると、その検出結果に応じてステージ21を減速させたり、停止させたりする。
When the
なお、ストロークエンドセンサ271および減速領域センサ272は、主尺31表面への主尺目盛61の遮光部のパターン形成時に、主尺目盛61の遮光部と同時に形成されるようにしてもよいし、別途、主尺31表面に固定されるようにしてもよい。
The
このように、ストロークエンドセンサ271および減速領域センサ272を、フォトダイオードにより構成し、それらのセンサを直接、主尺31に固定することにより、リニアエンコーダ25および測定装置11の小型化を図ることができる。
As described above, the
例えば、ストロークエンドセンサ271および減速領域センサ272の配線用の電線も、電源24および遮光板66も設ける必要がないため、その分だけリニアエンコーダ25自体も測定装置11もより小さくすることができる。また、ステージ21の減速位置や終端位置への到達を検出するためのセンサを固定台23に設ける必要もなくなる。
For example, since it is not necessary to provide the
[第7の実施の形態]
さらに、主尺31に、ステージ21の可動方向に長い受光面を有するフォトダイオードを固定し、そのフォトダイオードにおいて光源62からの測定光が受光されなくなったときに、ステージ21が終端位置または減速位置に到達したと検出されるようにしてもよい。
[Seventh Embodiment]
Furthermore, when a photodiode having a long light receiving surface in the movable direction of the
そのような場合、例えば図13に示すように、主尺31の表面における主尺目盛61の図中、下側には、ステージ21の終端位置および減速位置への到達を検出するためのストロークエンドセンサ341および減速領域センサ342が設けられている。
In such a case, for example, as shown in FIG. 13, in the figure of the
例えば、ストロークエンドセンサ341は、その受光面が一方向に長いフォトダイオードからなり、ストロークエンドセンサ341は、ステージ21の可動方向が受光面の長手方向となるように配置されている。同様に、減速領域センサ342は、その受光面が一方向に長いフォトダイオードからなり、減速領域センサ342は、ステージ21の可動方向が受光面の長手方向となるように、ストロークエンドセンサ341の図中、下側に配置されている。
For example, the
また、ストロークエンドセンサ341は、ステージ21が終端位置に到達するまでは、継続して光源62からの測定光の一部が受光面に入射し、ステージ21が可動方向の正または負の方向の終端位置に到達したときに、測定光が受光面に入射しなくなるように配置されている。
Further, the
減速領域センサ342も、ステージ21が減速位置に到達するまでは、継続して光源62からの測定光の一部が受光面に入射し、ステージ21が可動方向の正または負の方向の減速位置に到達したときに、測定光が受光面に入射しなくなるように配置されている。
In the
例えば、図14に示すように、光源62からの測定光は、コンデンサレンズ63により集光されて主尺31に照射され、主尺31に照射された測定光の一部は、主尺目盛61を透過して受光素子65に入射する。また、主尺31に照射された測定光の一部は、主尺31の基材をそのまま透過して、ストロークエンドセンサ341および減速領域センサ342に入射する。
For example, as shown in FIG. 14, the measurement light from the
ステージ21が移動して終端位置に到達し、ヘッド部32がストロークエンドセンサ341の受光面の端を通り過ぎると、ストロークエンドセンサ341の受光面に測定光が入射しなくなる。同様に、ステージ21が移動して減速位置に到達し、ヘッド部32が減速領域センサ342の受光面の端を通り過ぎると、減速領域センサ342の受光面に測定光が入射しなくなる。
When the
このように、ストロークエンドセンサ341および減速領域センサ342が、直接、主尺31に固定される場合、主尺31には、例えば、図15に示すように、それらのセンサと制御装置22とを接続するためのパターンが形成されている。
As described above, when the
すなわち、主尺31には、ストロークエンドセンサ341と制御装置22とを接続するパターン371−1およびパターン371−2が設けられている。
That is, the
パターン371−1およびパターン371−2の一方の端には、ストロークエンドセンサ341が接続されており、パターン371−1およびパターン371−2の他方の端には、パッド372−1およびパッド372−2が設けられている。そして、パッド372−1およびパッド372−2には、電線を介して制御装置22が接続されている。
A
また、主尺31には、減速領域センサ342と制御装置22とを接続するパターン373−1およびパターン373−2が設けられている。
The
パターン373−1およびパターン373−2の一方の端には、減速領域センサ342が接続されており、パターン373−1およびパターン373−2の他方の端には、パッド374−1およびパッド374−2が設けられている。そして、パッド374−1およびパッド374−2には、電線を介して制御装置22が接続されている。
A
ストロークエンドセンサ341では、ストロークエンドセンサ341が測定光を受光すると電流が生じ、その測定光の受光量が変化すると発生する電流(電流の大きさ)にも変化が生じる。制御装置22は、パターン371−1およびパターン371−2を介してストロークエンドセンサ341に接続されているため、ストロークエンドセンサ341において生じる電流の変化を検知することにより、ステージ21の終端位置への到達を検出することができる。
In the
同様に、減速領域センサ342では、減速領域センサ342が測定光を受光すると電流が生じ、その測定光の受光量が変化すると発生する電流にも変化が生じる。制御装置22は、パターン373−1およびパターン373−2を介して減速領域センサ342に接続されているため、減速領域センサ342において生じる電流の変化を検知することにより、ステージ21の減速位置への到達を検出することができる。
Similarly, in the
制御装置22は、ステージ21の減速位置や終端位置への到達が検出されると、その検出結果に応じてステージ21を減速させたり、停止させたりする。
When it is detected that the
このように、ステージ21が終端位置および減速位置のそれぞれに到達したときに、ストロークエンドセンサ341および減速領域センサ342に測定光が入射しなくなるようにすることで、より確実にステージ21を停止させ、安全性を向上させることができる。
As described above, when the
例えば、図10に示したように、ステージ21が終端位置に到達したときに、測定光がストロークエンドセンサ271に入射するような構成とした場合、故障等の理由により光源62から測定光が射出されなくなると、ステージ21の終端位置への到達を検知できなくなる。そのような場合、ステージ21が終端位置で停止されずに移動し続けると、ステージ21のオーバートラベルにより測定装置11が故障してしまう恐れがある。
For example, as shown in FIG. 10, when the measurement light is incident on the
これに対して、図15に示した例では、何らかの理由により光源62が点灯不能となり、測定光が主尺31に照射されなくなると、ステージ21が終端位置に到達したと検出され、ステージ21が停止するように制御される。したがって、ステージ21のオーバートラベルにより測定装置11が故障してしまうこともなく、測定装置11の安全性を向上させることができる。
On the other hand, in the example shown in FIG. 15, when the
なお、図15の例では、ステージ21が終端位置および減速位置に到達したときのヘッド部32の位置が、ストロークエンドセンサ341および減速領域センサ342の受光面の端の位置となるようになされているが、遮光マスクテープにより遮光されてもよい。
In the example of FIG. 15, the position of the
すなわち、ストロークエンドセンサ341および減速領域センサ342の受光面の一部を遮光マスクテープによりマスクすることで、ステージ21が終端位置および減速位置に到達したときに、測定光が受光面に入射しなくなるようにしてもよい。
That is, by masking part of the light receiving surfaces of the
遮光マスクテープによりマスクする場合には、受光面のマスクされる領域を任意に変更できるので、リニアエンコーダ25が取り付けられる測定装置11の仕様に合わせて、終端位置や減速位置を任意の位置に変更することができ、利便性を向上させることができる。
When masking with a light-shielding mask tape, the masked area of the light-receiving surface can be changed arbitrarily, so the end position and deceleration position can be changed to any position according to the specifications of the measuring
なお、ストロークエンドセンサ341および減速領域センサ342が、フォトダイオードではなく、光位置センサ(PSD(Position Sensitive Detector))により構成されるようにし、ステージ21のおおよその位置が検出できるようにしてもよい。
〈変形例1〉
また、図16に示すように、主尺31に、ステージ21の可動方向の正の方向および負の方向のそれぞれについて、終端位置および減速位置の検出用のセンサが設けられてもよい。
The
<Modification 1>
Further, as shown in FIG. 16, the
図16では、主尺31には、可動方向の負の方向の終端位置および減速位置の検出用のストロークエンドセンサ401および減速領域センサ402が設けられている。また、主尺31には、可動方向の正の方向の終端位置および減速位置の検出用のストロークエンドセンサ403および減速領域センサ404が設けられている。
In FIG. 16, the
これらのストロークエンドセンサ401乃至減速領域センサ404は、その受光面が一方向に長いフォトダイオードからなり、ステージ21の可動方向(図中、横方向)が受光面の長手方向となるように配置されている。また、ストロークエンドセンサ401乃至減速領域センサ404の受光面のそれぞれは、それらの受光面の図中、横方向の端の位置が、互いに異なるように配置されている。
These
すなわち、ストロークエンドセンサ401は、ステージ21が可動方向の正の方向側から負の方向の終端位置に到達するまでは、ストロークエンドセンサ401の受光面に継続して測定光が入射し、ステージ21が正の方向側から終端位置を通り過ぎると受光面に測定光が入射しなくなるように配置される。
That is, the measurement light is continuously incident on the light receiving surface of the
同様に、減速領域センサ402は、ステージ21が可動方向の正の方向側から負の方向の減速位置を通り過ぎると(到達すると)、減速領域センサ402の受光面に測定光が入射しなくなるように配置される。また、ストロークエンドセンサ403は、ステージ21が可動方向の負の方向側から正の方向の終端位置を通り過ぎると、ストロークエンドセンサ403の受光面に測定光が入射しなくなるように配置される。減速領域センサ404は、ステージ21が可動方向の負の方向側から正の方向の減速位置を通り過ぎると、減速領域センサ404の受光面に測定光が入射しなくなるように配置される。
Similarly, the
さらに、主尺31には、これらのストロークエンドセンサ401乃至減速領域センサ404と制御装置22とを接続するパターン405−1乃至パターン408−2が形成されている。
Further, the
パターン405−1およびパターン405−2の一方の端は、ストロークエンドセンサ401に接続されており、パターン405−1およびパターン405−2の他方の端は、パッド409−1およびパッド409−2に接続されている。このパッド409−1およびパッド409−2は、電線を介して制御装置22に接続される。
One end of the pattern 405-1 and the pattern 405-2 is connected to the
また、パターン406−1およびパターン406−2の一方の端は、減速領域センサ402に接続されており、パターン406−1およびパターン406−2の他方の端は、パッド410−1およびパッド410−2に接続されている。このパッド410−1およびパッド410−2は、電線を介して制御装置22に接続される。
One end of the pattern 406-1 and the pattern 406-2 is connected to the
同様に、パターン407−1およびパターン407−2の一方の端は、ストロークエンドセンサ403に接続されており、パターン407−1およびパターン407−2の他方の端は、パッド411−1およびパッド411−2に接続されている。このパッド411−1およびパッド411−2は、電線を介して制御装置22に接続される。
Similarly, one end of the pattern 407-1 and the pattern 407-2 is connected to the
パターン408−1およびパターン408−2の一方の端は、減速領域センサ404に接続されており、パターン408−1およびパターン408−2の他方の端は、パッド412−1およびパッド412−2に接続されている。このパッド412−1およびパッド412−2は、電線を介して制御装置22に接続される。
One end of the pattern 408-1 and the pattern 408-2 is connected to the
したがって、制御装置22は、パターン405−1乃至パターン408−2を介して接続されている、ストロークエンドセンサ401乃至減速領域センサ404での電流の変化を検知することで、ステージ21の終端位置および減速位置への到達を検出できる。
Therefore, the
〈変形例2〉
また、ステージ21の可動方向ごとにストロークエンドセンサおよび減速領域センサを設けずに、図15に示した主尺31の構成に、さらにステージ21が移動している方向を検出するための方向検出センサを設けるようにしてもよい。
<
Further, a direction detecting sensor for detecting the direction in which the
そのような場合、例えば図17に示すように、主尺31の主尺目盛61と、ストロークエンドセンサ341との間に、ステージ21が移動している方向を検出する方向検出センサ441が配置される。この方向検出センサ441にも、光源62から射出され、主尺31の基材を透過した測定光が入射するようになされている。
In such a case, for example, as shown in FIG. 17, a
方向検出センサ441は、その受光面が一方向に長いフォトダイオードからなり、ステージ21の可動方向(図中、横方向)が受光面の長手方向となるように配置されている。図17の例では、方向検出センサ441は、その受光面の図中、左側の端が主尺31のほぼ中央に位置し、方向検出センサ441の受光面の右側の端が、主尺31の右側の端付近に位置するように配置されている。
The
したがって、例えば、図中、右方向が、ステージ21の可動方向の負の方向であるとすると、ステージ21が中央から負の方向側に位置しているときには、光源62からの測定光が方向検出センサ441に入射する。また、ステージ21が中央から正の方向側に位置しているときには、光源62からの測定光は方向検出センサ441に入射しない。
Therefore, for example, if the right direction in the figure is the negative direction of the movable direction of the
さらに、主尺31には、方向検出センサ441と制御装置22とを接続するパターン442−1およびパターン442−2が形成されている。パターン442−1およびパターン442−2の一方の端は、方向検出センサ441に接続されており、パターン442−1およびパターン442−2の他方の端は、パッド443−1およびパッド443−2に接続されている。このパッド443−1およびパッド443−2は、電線を介して制御装置22に接続される。
Furthermore, a pattern 442-1 and a pattern 442-2 that connect the
このように、制御装置22は、パターン442−1およびパターン442−2を介して方向検出センサ441にも接続される。そのため、制御装置22は、方向検出センサ441が測定光を受光したときに生じる電流を検知することにより、ステージ21が中央から可動方向の正または負の何れの方向側の位置にあるかを検出することができる。
As described above, the
図17に示す構成では、制御装置22は、ステージ21が中央から可動方向の正または負の何れの方向に位置しているかを検出することができるので、より正確にステージ21の位置および移動方向を検出することができる。また、図16に示した場合と比べて、主尺31に設けるセンサの数を削減することができるので、主尺31の小型化を図ることができる。
In the configuration shown in FIG. 17, the
なお、第7の実施の形態では、ストロークエンドセンサ、減速領域センサ、および方向検出センサのそれぞれがフォトダイオードにより構成されると説明したが、フォトトランジスタ等の光電変換素子から構成されるようにしてもよい。 In the seventh embodiment, it has been described that each of the stroke end sensor, the deceleration region sensor, and the direction detection sensor is configured by a photodiode. However, the seventh embodiment is configured by a photoelectric conversion element such as a phototransistor. Also good.
また、主尺目盛61自体をフォトダイオードにより構成されるようにし、主尺目盛61とストロークエンドセンサまたは減速領域センサとが一体となるようにしてもよい。そのような場合、例えば、主尺目盛61の遮光部分のうち、主尺目盛61の中央から終端位置または減速位置までの各遮光部分が、それぞれ1つのフォトダイオードから構成される。
Further, the
[第8の実施の形態]
さらに、図18に示すように主尺31に導電性を有する電極パッド471−1乃至電極パッド472−2を設けるとともに、副尺64に導電性を有する電気接触子473を設けてスイッチループを形成させ、終端位置および減速位置を検出させるようにしてもよい。
[Eighth Embodiment]
Further, as shown in FIG. 18, the
電極パッド471−1乃至電極パッド472−2は、主尺31上において、ステージ21の可動方向に沿って一直線上に並べられて設けられており、主尺31に形成されたパターン474乃至パターン477を介して電気的に制御装置22に接続されている。
The electrode pads 471-1 to 472-2 are arranged on the
すなわち、パターン474の一方の端には電極パッド471−1が接続され、パターン474の他方の端にはパッド478が接続されて、パッド478は電線を介して制御装置22に接続されている。また、パターン475の一方の端には電極パッド471−2が接続され、パターン475の他方の端にはパッド479が接続されて、パッド479は電線を介して制御装置22に接続されている。
That is, the electrode pad 471-1 is connected to one end of the
パターン476の一方の端には電極パッド472−1が接続され、パターン476の他方の端にはパッド480が接続されて、パッド480は電線を介して制御装置22に接続されている。パターン477の一方の端には電極パッド472−2が接続され、パターン477の他方の端にはパッド481が接続されて、パッド481は電線を介して制御装置22に接続されている。
An electrode pad 472-1 is connected to one end of the
また、図19に示すように、電気接触子473は、主尺31の表面に接触するようにヘッド部32の副尺64に固定されており、電気接触子473は、電線を介して制御装置22と接続されている。制御装置22は、接続されている電源24から電力の供給を受けて、電気接触子473に電圧を加える。
Moreover, as shown in FIG. 19, the
電気接触子473は、副尺64に固定されているため、ステージ21とともにヘッド部32が移動すると、その移動に伴い、主尺31の表面と接触したまま主尺31に対して移動することになる。そのため、電気接触子473の磨耗や摩擦抵抗を低減させるため、電気接触子473は、車輪(ローラ)などから構成されることが好ましい。
Since the
なお、電気接触子473を主尺31の表面に、より確実に接触させるため、副尺64と電気接触子473との間にばねを設け、ばねにより電気接触子473が主尺31に押し付けられるようにしてもよい。
In order to make the
ここで、電極パッド471−1および電極パッド472−1は、ステージ21が可動方向の正の方向の終端位置および減速位置に到達したときに、電気接触子473と接触(導通)するように配置されている。また、電極パッド471−2および電極パッド472−2は、ステージ21が可動方向の負の方向の終端位置および減速位置に到達したときに、電気接触子473と接触(導通)するように配置されている。
Here, the electrode pad 471-1 and the electrode pad 472-1 are arranged so as to come into contact (conduction) with the
また、上述したように電気接触子473には、制御装置22により電圧が加えられており、制御装置22は、パターン474乃至パターン477を介して、電極パッド471−1乃至電極パッド472−2に電気的に接続されている。そのため、制御装置22は、電気接触子473と、電極パッド471−1乃至電極パッド472−2との導通を検知することができ、その検知結果から、ステージ21の終端位置および減速位置への到達を検出することができる。制御装置22は、ステージ21の終端位置および減速位置への到達の検出結果に応じて、ステージ21の移動を制御する。
Further, as described above, a voltage is applied to the
このように、主尺31に電極パッドを設けるとともに、副尺64に電気接触子473を設けて、ステージ21の終端位置および減速位置への到達を検出することで、リニアエンコーダ25および測定装置11の小型化を図ることができる。すなわち、図18の構成では、主尺31と別にストロークエンドセンサや減速領域センサを設ける必要がない。
As described above, the electrode pad is provided on the
なお、主尺31に、ステージ21の可動方向に沿って長い電極パッドを設け、ステージ21が終端位置または減速位置に到達したときに、電気接触子473と電極パッドとが絶縁されるようにしてもよい。このような場合、制御装置22は、電気接触子473と電極パッドとが導通状態でなくなったときに、ステージ21が終端位置または減速位置に到達したとする。
The
なお、電極パッドの絶縁は、絶縁テープでのマスクにより行われてもよいし、絶縁すべき位置に電極パッド自体が設けられないようにしてもよい。電極パッドの絶縁が、絶縁テープでのマスクにより行われる場合には、電極パッドがマスクされる領域を任意に変更できるようになる。これにより、リニアエンコーダ25が取り付けられる測定装置11の仕様に合わせて、終端位置や減速位置を任意の位置に変更することができ、利便性を向上させることができる。
Insulation of the electrode pad may be performed by a mask with an insulating tape, or the electrode pad itself may not be provided at a position to be insulated. When the electrode pad is insulated by masking with an insulating tape, the region where the electrode pad is masked can be arbitrarily changed. Thereby, according to the specification of the measuring
なお、以上においては、主尺31上の1つのパターンで、1つの信号が授受される例について説明したが、例えばI2CやCANBUS等の規格に従って、1つのパターンを利用して、複数の信号が時分割でシリアル伝送されるようにしてもよい。
In the above description, an example in which one signal is exchanged with one pattern on the
また、主尺31にストロークエンドセンサや減速領域センサが接続されたり、直接設けられたりする例について説明したが、主尺31には、温度センサとしての白金測温抵抗体など、任意の電子部品を設けることが可能である。
Further, an example in which a stroke end sensor or a deceleration region sensor is connected to or directly provided on the
さらに、以上においては、リニアエンコーダ25として、光学式の透過型インクリメンタルエンコーダを例に説明したが、アブソリュートエンコーダや、反射式のエンコーダ、回折格子を利用した光学式エンコーダなど、どのようなものであってもよい。
Further, in the above description, the optical transmission type incremental encoder has been described as an example of the
なお、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。 The embodiment of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
11 測定装置, 21 ステージ, 22 制御装置, 25 リニアエンコーダ, 31 主尺, 32 ヘッド部, 33−1,33−2 ストロークエンドセンサ, 34−1,34−2 減速領域センサ, 61 主尺目盛, 62 光源, 65 受光素子, 91−1乃至91−4 パターン, 191−1乃至191−4 パターン, 271−1,271−2 ストロークエンドセンサ, 272−1,272−2 減速領域センサ, 341 ストロークエンドセンサ, 342 減速領域センサ, 471−1,471−2 電極パッド, 472−1,472−2 電極パッド, 473 電気接触子
11 Measuring Device, 21 Stage, 22 Control Device, 25 Linear Encoder, 31 Main Scale, 32 Head Unit, 33-1 and 33-2 Stroke End Sensor, 34-1 and 34-2 Deceleration Area Sensor, 61
Claims (10)
前記変化量を測定するための主尺目盛が設けられた前記主尺と、
前記ヘッド部に設けられ、前記主尺目盛に対して測定光を照射する発光部と、
前記ヘッド部に設けられ、前記主尺目盛に照射された前記測定光を受光する受光部と
を備え、
前記主尺には信号配線用のパターンが形成されている
ことを特徴とするエンコーダ。 An encoder that measures the amount of change in the relative positional relationship between the main scale and the head,
The main scale provided with a main scale for measuring the amount of change;
A light-emitting unit that is provided in the head unit and irradiates the main scale with measurement light;
A light receiving portion that is provided in the head portion and receives the measurement light irradiated on the main scale.
An encoder characterized in that a pattern for signal wiring is formed on the main scale.
ことを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。 The encoder according to claim 1, wherein the pattern is formed along a changing direction in which the positional relationship changes.
前記パターンは、前記検出手段に接続されている
ことを特徴とする請求項2に記載のエンコーダ。 Detecting means for detecting a predetermined amount of change in the positional relationship;
The encoder according to claim 2, wherein the pattern is connected to the detection unit.
前記パターンと接続され、前記主尺に設けられた第2の導電部と、
前記第1の導電部および前記パターンに接続され、前記第1の導電部の前記第2の導電部への接触を検出することにより、前記位置関係の予め定められた所定量の変化を検出する検出手段と
をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のエンコーダ。 A first conductive portion fixed to the head portion so as to contact the main scale;
A second conductive portion connected to the pattern and provided on the main scale;
A predetermined predetermined change in the positional relationship is detected by detecting contact of the first conductive part to the second conductive part connected to the first conductive part and the pattern. The encoder according to claim 2, further comprising: a detecting unit.
ことを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。 The encoder according to claim 1, wherein the pattern is made of a transparent conductive material.
前記パターンは、前記検出手段に接続されている
ことを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。 A detecting means provided on the main scale and detecting a change in a predetermined amount of the positional relationship by receiving light incident from the head portion;
The encoder according to claim 1, wherein the pattern is connected to the detection unit.
ことを特徴とする請求項6に記載のエンコーダ。 The encoder according to claim 6, wherein when the light from the head unit is received by the detection unit, the predetermined amount of change is detected.
前記検出手段により前記ヘッド部からの光が受光されなかった場合、前記所定量の変化が検出されたとされる
ことを特徴とする請求項6に記載のエンコーダ。 The detection means includes a light receiving surface that receives light from the head unit, which is provided along a change direction in which the positional relationship changes.
The encoder according to claim 6, wherein when the light from the head unit is not received by the detecting unit, the predetermined amount of change is detected.
ことを特徴とする請求項8に記載のエンコーダ。 The encoder according to claim 8, wherein the main scale is provided with a plurality of the detection units whose positions in the change direction of the end of the light receiving surface are different from each other.
ことを特徴とする請求項6乃至請求項9の何れかに記載のエンコーダ。 The detection means detects the change in the predetermined amount by receiving the measurement light from the light emitting unit provided in the head unit. The encoder described.
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Cited By (2)
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JP2012247221A (en) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Nikon Corp | Encoder, drive system and control apparatus |
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-
2009
- 2009-07-15 JP JP2009166401A patent/JP2011021963A/en not_active Withdrawn
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