JP2011014580A - Light receiving and emitting device, and projector - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、受発光装置、およびプロジェクターに関する。 The present invention relates to a light emitting / receiving device and a projector.
光通信等で用いられる半導体発光デバイスにおいては、一般的に、装置の外部に半透過ミラーや回折素子を配置して出射した光の一部を取り出し、その光を受光素子によって検出することで、光量の調整等を行っている。 In a semiconductor light emitting device used in optical communication or the like, in general, a part of emitted light is taken out by arranging a semi-transmissive mirror or a diffraction element outside the apparatus, and the light is detected by a light receiving element. The amount of light is adjusted.
例えば、特許文献1では、レーザーダイオードからの光を分光プリズム等で分岐させ、その分岐させた光を検出するモニター用フォトダイオードを有する光ピックアップ装置が提案されている。 For example, Patent Document 1 proposes an optical pickup device having a monitoring photodiode for branching light from a laser diode with a spectroscopic prism or the like and detecting the branched light.
しかしながら、上記特許文献1に開示された方法では、発光素子と受光素子が個々に設けられているため、別途分光プリズム等の光学素子が必要となり、部品点数が多くなる、小型化が難しいといったことが検討される。また、表示装置に用いるためには、複数のレーザーダイオードの光量を個々に検出する必要があるが、個別に受光素子を設けるのは困難な場合がある。 However, in the method disclosed in Patent Document 1, since the light emitting element and the light receiving element are individually provided, an optical element such as a spectral prism is required separately, which increases the number of components and is difficult to reduce in size. Is considered. In addition, in order to use in a display device, it is necessary to individually detect the light amounts of a plurality of laser diodes, but it may be difficult to provide a light receiving element individually.
本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、発光素子および受光素子をモノリシックに集積することができる受発光装置を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、上記受発光装置を有するプロジェクターを提供することにある。 One of the objects according to some aspects of the present invention is to provide a light receiving and emitting device capable of monolithically integrating a light emitting element and a light receiving element. Another object of some aspects of the present invention is to provide a projector having the light emitting and receiving device.
本発明に係る受発光装置は、
第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上方に形成され、発光領域および受光領域を有する受発光層と、
前記受発光層の上方に形成された第2クラッド層と、
を含み、
前記発光領域と前記受光領域とは、第1分離溝によって区画され、
前記発光領域は、第1利得領域および第2利得領域を有し、
前記第1利得領域と前記第2利得領域との間の距離は、前記受発光層の第1側面側から、前記第1側面に平行な前記受発光層の第2側面側に近づくにつれて小さくなり、
前記第1利得領域および前記第2利得領域は、平面的にみて、前記第1側面の垂線に対して傾いて設けられ、
前記受光領域は、前記第1利得領域と前記第2利得領域との間に位置し、
前記第1利得領域と前記第2利得領域との間の距離が小さくなることによって、前記第1利得領域および前記第2利得領域から漏れた光は、前記受光領域に至って、受光される。
The light emitting / receiving device according to the present invention includes:
A first cladding layer;
A light emitting / receiving layer formed above the first cladding layer and having a light emitting region and a light receiving region;
A second cladding layer formed above the light emitting / receiving layer;
Including
The light emitting region and the light receiving region are partitioned by a first separation groove,
The light emitting region has a first gain region and a second gain region,
The distance between the first gain region and the second gain region decreases from the first side surface side of the light emitting / receiving layer toward the second side surface side of the light emitting / receiving layer parallel to the first side surface. ,
The first gain region and the second gain region are provided to be inclined with respect to a normal to the first side surface in a plan view,
The light receiving region is located between the first gain region and the second gain region,
As the distance between the first gain region and the second gain region decreases, the light leaking from the first gain region and the second gain region reaches the light receiving region and is received.
このような受発光装置によれば、前記第1利得領域および前記第2利得領域から漏れた光を、前記受光領域によって吸収し、受光することができる。したがって、発光素子および受光素子をモノリシックに集積することができる。 According to such a light emitting / receiving device, light leaking from the first gain region and the second gain region can be absorbed and received by the light receiving region. Therefore, the light emitting element and the light receiving element can be monolithically integrated.
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの(以下「A」という)の「上方」に他の特定のもの(以下「B」という)を形成する」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、A上に直接Bを形成するような場合と、A上に他のものを介してBを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。 In the description of the present invention, the word “upper” is, for example, “forms another specific thing (hereinafter referred to as“ B ”)“ above ”a specific thing (hereinafter referred to as“ A ”)”. Etc. In the description according to the present invention, in the case of this example, the case where B is directly formed on A and the case where B is formed on A via another are included. The word “upward” is used.
本発明に係る受発光装置において、
前記受光領域から前記第2側面までの距離は、前記受光領域から前記第1側面までの距離より小さいことができる。
In the light emitting / receiving device according to the present invention,
A distance from the light receiving region to the second side surface may be smaller than a distance from the light receiving region to the first side surface.
このような受発光装置によれば、前記受光領域を、前記第1利得領域および前記第2利得了領域からの光の漏れ量が大きい場所に、配置することができる。そのため、光の検出能力を向上させることができる。 According to such a light receiving and emitting device, the light receiving region can be arranged in a place where the amount of light leakage from the first gain region and the second gain termination region is large. Therefore, the light detection capability can be improved.
本発明に係る受発光装置において、
前記第1利得領域および前記第2利得領域は、前記第1側面から前記第2側面まで設けられ、
前記第1利得領域および前記第2利得領域に生じる光の波長帯において、前記第1側面の反射率は、前記第2側面の反射率よりも小さく、
前記第1利得領域の前記第2側面側の端面の少なくとも一部と、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面の少なくとも一部とは、重なっていることができる。
In the light emitting / receiving device according to the present invention,
The first gain region and the second gain region are provided from the first side surface to the second side surface,
In the wavelength band of light generated in the first gain region and the second gain region, the reflectance of the first side surface is smaller than the reflectance of the second side surface,
At least a part of the end surface of the first gain region on the second side surface side may overlap with at least a part of the end surface of the second gain region on the second side surface side.
このような受発光装置によれば、前記第1利得領域に生じる光の一部は、重なり面において反射して、前記第2利得領域内においても、利得を受けながら進行することができる。また、前記第2利得領域に生じる光の一部に関しても同様である。したがって、このような受発光装置によれば、例えば、重なり面において積極的に反射させないような場合に比べ、光強度の増幅距離が長くなるため、高い光出力を得ることができる。 According to such a light emitting / receiving device, a part of the light generated in the first gain region is reflected on the overlapping surface and can travel while receiving the gain even in the second gain region. The same applies to part of the light generated in the second gain region. Therefore, according to such a light receiving and emitting device, since the amplification distance of the light intensity becomes longer as compared with, for example, a case where reflection is not actively performed on the overlapping surface, a high light output can be obtained.
本発明に係る受発光装置において、
前記第1利得領域および前記第2利得領域は、前記第1側面から前記第2側面まで設けられ、
前記第1利得領域の前記第2側面側の端面と、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面とは、離間していることができる。
In the light emitting / receiving device according to the present invention,
The first gain region and the second gain region are provided from the first side surface to the second side surface,
The end surface of the first gain region on the second side surface side and the end surface of the second gain region on the second side surface side may be separated from each other.
このような受発光装置によれば、2つの側面(前記第1側面および前記第2側面)側から出射される光を利用することができる。 According to such a light emitting / receiving device, light emitted from the two side surfaces (the first side surface and the second side surface) can be used.
本発明に係る受発光装置において、
前記第1利得領域は、前記第1側面から前記第2側面まで設けられ、
前記第2利得領域は、前記第2側面から、前記第1側面および前記第2側面と直交する前記受発光層の第3側面まで、設けられ、
前記発光領域は、さらに第3利得領域を有し、
前記第3利得領域は、前記第1側面から前記第3側面まで、設けられ、
前記第1利得領域、前記第2利得領域および前記第3利得領域に生じる光の波長帯において、前記第1側面の反射率は、前記第2側面および前記第3側面の反射率よりも小さく、
前記第1利得領域の前記第2側面側の端面の少なくとも一部と、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面の少なくとも一部とは、重なっており、
前記第2利得領域の前記第3側面側の端面の少なくとも一部と、前記第3利得領域の前記第3側面側の端面の少なくとも一部とは、重なっており、
前記第1利得領域の前記第1側面側の端面から出射される光と、前記第3利得領域の前記第1側面側の端面から出射される光とは、同一の方向または集束する方向に進むことができる。
In the light emitting / receiving device according to the present invention,
The first gain region is provided from the first side surface to the second side surface,
The second gain region is provided from the second side surface to the first side surface and the third side surface of the light receiving and emitting layer orthogonal to the second side surface,
The light emitting region further has a third gain region,
The third gain region is provided from the first side surface to the third side surface,
In the wavelength band of light generated in the first gain region, the second gain region, and the third gain region, the reflectance of the first side surface is smaller than the reflectance of the second side surface and the third side surface,
At least a part of the end surface of the first gain region on the second side surface side overlaps at least a part of the end surface of the second gain region on the second side surface side, and
At least a part of the end surface on the third side surface side of the second gain region overlaps with at least a part of the end surface on the third side surface side of the third gain region,
The light emitted from the end surface on the first side surface side of the first gain region and the light emitted from the end surface on the first side surface side of the third gain region proceed in the same direction or in a converging direction. be able to.
このような受発光装置によれば、例えば、2つの出射光が発散する方向に進むような場合に比べて、光学系(出射光が入射する光学系)を小型化することができる。 According to such a light receiving and emitting device, for example, the optical system (an optical system into which the emitted light is incident) can be reduced in size as compared with a case where the two emitted lights travel in a diverging direction.
本発明に係る受発光装置において、
前記第1利得領域および前記第2利得領域は、利得領域対をなし、
前記利得領域対は、複数配列され、
隣り合う前記利得領域対の間には、第2分離溝が形成され、
複数の前記利得領域対は、前記第2分離溝によって、互いに電気的に分離されていることができる。
In the light emitting / receiving device according to the present invention,
The first gain region and the second gain region form a gain region pair,
A plurality of the gain region pairs are arranged,
A second separation groove is formed between the adjacent gain region pairs,
The plurality of gain region pairs may be electrically separated from each other by the second separation groove.
このような受発光装置によれば、発光の高出力化を図ることができる。また、複数の前記利得領域対は、前記第2分離溝によって互いに電気的に分離されているので、複数の前記利得領域対の各々の光出力をモニターすることができる。すなわち、複数の前記利得領域対の各々に対して、個別に光量検出を行うことができる。 According to such a light emitting / receiving device, it is possible to increase the output of light emission. Further, since the plurality of gain region pairs are electrically separated from each other by the second separation groove, the light output of each of the plurality of gain region pairs can be monitored. That is, it is possible to individually detect the amount of light for each of the plurality of gain region pairs.
本発明に係る受発光装置において、
前記第2クラッド層の上方に形成されたコンタクト層と、
前記第1クラッド層と電気的に接続された第1電極と、
前記第1利得領域および前記第2利得領域の上方に位置する前記コンタクト層と接する第2電極と、
前記受光領域の上方に位置する前記第コンタクト層と接する第3電極と、
を、さらに含み、
前記第1利得領域および前記第2利得領域の平面形状は、前記第2電極と前記コンタクト層との接触面の平面形状と同じであり、
前記受光領域の平面形状は、前記第3電極と前記コンタクト層との接触面の平面形状と同じであることができる。
In the light emitting / receiving device according to the present invention,
A contact layer formed above the second cladding layer;
A first electrode electrically connected to the first cladding layer;
A second electrode in contact with the contact layer located above the first gain region and the second gain region;
A third electrode in contact with the first contact layer located above the light receiving region;
Further including
The planar shapes of the first gain region and the second gain region are the same as the planar shape of the contact surface between the second electrode and the contact layer,
The planar shape of the light receiving region may be the same as the planar shape of the contact surface between the third electrode and the contact layer.
このような受発光装置によれば、前記コンタクト層によって、前記第2電極および前記第3電極の接触抵抗を低減することができる。 According to such a light emitting / receiving device, the contact resistance of the second electrode and the third electrode can be reduced by the contact layer.
本発明に係るプロジェクターは、
本発明に係る受発光装置と、
前記受発光装置から出射された光を画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調素子によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む。
The projector according to the present invention is
A light emitting and receiving device according to the present invention;
A light modulation device that modulates light emitted from the light emitting and receiving device according to image information;
A projection device for projecting an image formed by the light modulation element;
including.
このようなプロジェクターによれば、発光素子および受光素子をモノリシックに集積することができる前記受発光装置を用いているため、別途、受光素子を設置する場合と比較して、部品点数の削減および製造コストの削減が可能となる。 According to such a projector, since the light emitting / receiving device capable of monolithically integrating the light emitting element and the light receiving element is used, the number of parts is reduced and the manufacturing is performed as compared with the case where the light receiving element is separately installed. Cost can be reduced.
1. 受発光装置
まず、本実施形態に係る受発光装置100について、図面を参照しながら説明する。図1は、受発光装置100を模式的に示す平面図である。図2は、受発光装置100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。なお、図1では、便宜上、第2電極113の図示を省略している。また、ここでは、受発光装置100がInGaAlP系(赤色)の半導体発光装置である場合について説明する。
1. First, the light emitting / receiving
以下では、受発光装置100の構成、発光の動作原理、受光の動作原理の順に説明する。
Hereinafter, the configuration of the light receiving / emitting
(1)構成
受発光装置100は、図1および図2に示すように、第1クラッド層104と、受発光層106と、第2クラッド層108と、を含む。受発光装置100は、さらに、基板102と、コンタクト層110と、第1電極112と、第2電極113と、第3電極114と、絶縁部116と、を含むことができる。
(1) Configuration As shown in FIGS. 1 and 2, the light emitting / receiving
基板102としては、例えば、第1導電型(例えばn型)のGaAs基板などを用いることができる。
As the
第1クラッド層104は、基板102上に形成されている。第1クラッド層104としては、例えば、n型のAlGaP層などを用いることができる。なお、図示はしないが、第1基板102と第1クラッド層104との間に、バッファー層が形成されていてもよい。バッファー層としては、例えば、n型のGaAs層、InGaP層などを用いることができる。バッファー層は、その上方に形成される層の結晶性を向上させることができる。
The
受発光層106は、第1クラッド層104上に形成されている。受発光層106は、例えば、InGaPウェル層とInGaAlPバリア層とから構成される量子井戸構造を3つ重ねた多重量子井戸(MQW)構造を有する。
The light receiving / emitting
受発光層106は、第1分離溝180によって、発光領域160と受光領域190とに区画されている。
The light receiving / emitting
発光領域160は、第1利得領域162および第2利得領域164を有する。第1利得領域162および第2利得領域164は、利得領域の対(利得領域対)を構成することができる。利得領域162,164には、光を生じさせることができ、この光は、利得領域162,164内で利得を受けることができる。受発光層106の形状は、例えば直方体(立方体である場合を含む)などである。受発光層106は、図1および図2に示すように、第1側面105および第2側面107を有する。第1側面105と第2側面107とは、対向しており、平行である。
The
利得領域162,164に生じる光の波長帯において、第1側面105の反射率は、第2側面107の反射率よりも小さい。例えば、図1に示すように、第2側面107を反射部130によって覆うことにより、第2側面107は高い反射率を得ることができる。反射部130は、例えば誘電体多層膜ミラーなどである。より具体的には、反射部130としては、第2側面107側からSiO2層、Ta2O5層の順序で10ペア積層した誘電体多層膜ミラーなどを用いることができる。第2側面107の反射率は、100%、あるいはそれに近いことが望ましい。これに対し、第1側面105の反射率は、0%、あるいはそれに近いことが望ましい。例えば、第1側面105を反射防止部(図示せず)によって覆うことにより、低い反射率を得ることができる。
In the wavelength band of light generated in the
利得領域162,164の各々は、図1に示すように平面的にみて、第1側面105から第2側面107まで、第1側面105の垂線Pに対して傾いた方向に向かって設けられている。これにより、利得領域162,164に生じる光のレーザー発振を抑制または防止することができる。第1利得領域162と第2利得領域164とは、異なる方向に向かって設けられている。第1利得領域162は、例えば、垂線Pに対して一方の側に傾いており、角度θの傾きを有する一の方向(第1方向ともいえる)に向かって設けられている。また、第2利得領域164は、例えば、垂線Pに対して他方の側(上記一方の側の反対側)に傾いており、角度θの傾きを有する他の方向(第2方向ともいえる)に向かって設けられている。第1利得領域162と第2利得領域164との間の距離は、第1側面105から第2側面107に近づくにつれて小さくなっている。
Each of the
第1利得領域162は、第1側面105に設けられた第1端面170と、第2側面107に設けられた第2端面172と、を有する。第2利得領域164は、第1側面105に設けられた第3端面174と、第2側面107に設けられた第4端面176と、を有する。図示の例では、第2端面172と第4端面176とは、重なり面178において完全に重なっている。第1利得領域162の平面形状と、第2利得領域164の平面形状とは、例えば、第2端面172または第4端面176内の垂線Pに対して線対称である。第1利得領域162の平面形状と、第2利得領域164の平面形状とは、例えば、重なり面178の垂直二等分線Pに対して線対称である。第1利得領域162および第2利得領域164の各々の平面形状は、例えば平行四辺形などである。
The
ここで、図3は、受発光層106を第1側面105側から平面的に見た図である。図3に示すように、第1利得領域162の第1端面170と第2端面172とは、重なっていない。同様に、第2利得領域164の第3端面174と第4端面176とは、重なっていない。これにより、第1利得領域162に生じる光を第1端面170と第2端面172との間で、および第2利得領域164に生じる光を第3端面174と第4端面176との間で、直接的に多重反射させないことができる。その結果、直接的な共振器を構成させないことができるため、利得領域162,164に生じる光のレーザー発振をより確実に抑制または防止することができる。したがって、受発光装置100は、レーザー光ではない光を発することができる。なお、この場合には、図3に示すように、例えば第1利得領域162において、第1端面170と第2端面172とのずれ幅xは、正の値であればよい。
Here, FIG. 3 is a plan view of the light emitting / receiving
受光領域190は、図1および図2に示すように、第1利得領域162と第2利得領域164との間に設けられている。図1に示す例では、受光領域190から第2側面107までの距離は、受光領域190から第1側面105までの距離に比べて小さい。受光領域190の平面形状は、特に限定されないが、図示の例では、三角形である。この場合、受光領域190の頂点Aは、第1利得領域162と第2利得領域164との交点Bに、できるだけ近いことが望ましい。受光領域190は、光を吸収することができる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
第1分離溝180は、図1に示すように平面的にみて、受光領域190の周囲に形成されている。図示の例では、第1分離溝180の内周180aは、受光領域190に接している。また、第1分離溝180の外周180bは、第1利得領域162および第2利得領域164に接している。第1分離溝180の底面は、図2に示すように、受発光層106の下面より下方に位置している。第1分離溝180によって、発光領域160と受光領域190とは、電気的に分離されている。
The
第2クラッド層108は、図2に示すように、受発光層106上に形成されている。第2クラッド層108としては、例えば、第2導電型(例えばp型)のAlGaP層などを用いることができる。
As shown in FIG. 2, the
コンタクト層110は、第2クラッド層108上に形成されている。コンタクト層110としては、第2電極113および第3電極114とオーミックコンタクトする層を用いることができる。コンタクト層110としては、例えば、p型のGaAs層などを用いることができる。コンタクト層110によって、第2電極113および第3電極114の接触抵抗を低減することができる。
The
絶縁部116は、コンタクト層110上に形成されている。絶縁部116は、利得領域162,164を形成していない発光領域160の上方に位置しているコンタクト層110と接触していることができる。絶縁部116としては、例えば、SiN層、SiO2層、ポリイミド層などを用いることができる。
The insulating
第1電極112は、基板102の下の全面に形成されている。第1電極112は、該第1電極112とオーミックコンタクトする層(図示の例では基板102)と接していることができる。第1電極112は、基板102を介して、第1クラッド層104と電気的に接続されている。第1電極112は、利得領域162,164に光を生じさせるための一方の電極であり、かつ、受光領域190に至った光を受光するための一方の電極でもある。すなわち、第1電極112は、発光用電極としての機能と、受光用電極としての機能と、を有することができる。第1電極112としては、例えば、基板102側からCr層、AuGe層、Ni層、Au層の順序で積層したものなどを用いることができる。なお、第1クラッド層104と基板102との間に、第2コンタクト層(図示せず)を設け、ドライエッチングなどにより該第2コンタクト層を露出させ、第1電極112を第2コンタクト層上に設けることもできる。これにより、片面電極構造を得ることができる。この形態は、基板102が絶縁性である場合に特に有効である。
The
第2電極113は、コンタクト層110上に形成されている。第2電極113は、利得領域162,164の上方に位置しているコンタクト層110と接していることができる。第2電極113とコンタクト層110との接触面は、利得領域162,164と同様の平面形状を有している。すなわち、例えば、第2電極113とコンタクト層110との接触面の平面形状によって、電極112,113間の電流経路が決定され、その結果、利得領域162,164の平面形状が決定される。第2電極113は、コンタクト層110を介して、第2クラッド層108と電気的に接続されている。第2電極113は、利得領域162,164に光を生じさせるための他方の電極(発光用電極)である。第2電極113としては、例えば、コンタクト層110側からCr層、AuZn層、Au層の順序で積層したものなどを用いることができる。なお、第2電極113は、図2に示すように、さらに絶縁部116上に形成されていてもよい。
The
第3電極114は、コンタクト層110上に形成されている。第3電極114は、受光領域190の上方に位置しているコンタクト層110と接していることができる。第3電極114とコンタクト層110との接触面は、受光領域190と同様の平面形状を有している。第3電極114は、コンタクト層110を介して、第2クラッド層108と電気的に接続されている。第3電極114は、受光領域190に至った光を受光するための他方の電極(受光用電極)である。第3電極114としては、例えば、第2電極113の材質と同じものを用いることができる。
The
(2)発光の動作原理
例えば、p型の第2クラッド層108、不純物がドーピングされていない受発光層106、およびn型の第1クラッド層104により、pinダイオードが構成される。第1クラッド層104および第2クラッド層108の各々は、受発光層106よりも禁制帯幅が大きく、屈折率が小さい層である。受発光層106(利得領域162,164)は、光を増幅する機能を有する。第1クラッド層104および第2クラッド層108は、受発光層106を挟んで、注入キャリア(電子および正孔)並びに光を閉じ込める機能を有する。
(2) Principle of operation of light emission For example, the p-type
受発光装置100では、第1電極112と第2電極113との間に、pinダイオードの順バイアス電圧を印加すると、受発光層106の利得領域162,164において電子と正孔との再結合が起こる。この再結合により発光が生じる。この生じた光を起点として、連鎖的に誘導放出が起こり、利得領域162,164内で光の強度が増幅される。例えば、図1に示すように、第1利得領域162に生じる光の一部10は、第1利得領域162内で増幅された後、重なり面178において反射して、第2利得領域164の第3端面174から出射光20として出射されるが、反射後の第2利得領域164内においても光強度が増幅される。同様に、第2利得領域164に生じる光の一部は、第2利得領域164内で増幅された後、重なり面178において反射して、第1利得領域162の第1端面170から出射光20として出射されるが、反射後の第1利得領域162内においても光強度が増幅される。なお、第1利得領域162に生じる光には、直接、第1端面170から出射光20として出射されるものもある。同様に、第2利得領域164に生じる光には、直接、第3端面174から出射光20として出射されるものもある。これらの光も同様に各利得領域162,164内において増幅される。
In the light emitting / receiving
以上のとおり、受発光装置100は、発光のためのpinダイオードを構成することができる。すなわち、受発光装置100は、第1クラッド層104、受発光層106の発光領域160(利得領域162,164)、第2クラッド層108、第1電極112および第2電極113によって、発光素子を構成することができる。
As described above, the light emitting / receiving
(3)受光の動作原理
第1利得領域162と第2利得領域164とは、第1側面105側から第2側面107側に近づくにつれて、両利得領域162,164間の距離が小さくなる。すると、エバネッセントカップリングによって、第1利得領域162内を第1端面170側から第2端面172側に向けて進行している光の一部の成分は、重なり面178を介さずに第2利得領域164に移動し始める。すなわち、第1利得領域162内を第2端面172側に向けて進行している光が、高屈折領域である第2利得領域164を感じ、その一部は、第2利得領域164側に移動を始め、曲げられる。そして、第1利得領域162から漏れた光は、利得領域162,164間に位置する受光領域190に至る。同様に、第2利得領域164内を第3端面174側から第4端面176側に向けて進行している光が、第1利得領域162を感じ、その一部は、第1利得領域162側に移動を始め、受光領域190に至る。
(3) Operating Principle of Light Reception The distance between the
受光領域190に至った光は、受光領域190内に電子と正孔とを生成する。そして、第1電極112と第3電極114との間にpinダイオードの逆バイアス電圧を印加すると、受光領域190に生成された電子−正孔対が加速され、電流として取り出すことができる。
The light that reaches the
以上のとおり、受発光装置100は、受光のためのpinフォトダイオードを構成することができる。すなわち、受発光装置100は、第1クラッド層104、受発光層106の受光領域190、第2クラッド層108、第1電極112および第3電極114によって、受光素子を構成することができる。
As described above, the light emitting / receiving
本実施形態に係る受発光装置100の一例として、InGaAlP系の場合について説明したが、受発光装置100は、発光利得領域が形成可能なあらゆる材料系を用いることができる。半導体材料であれば、例えば、AlGaN系、InGaN系、GaAs系、AlGaAs系、InGaAs系、InGaAsP系、ZnCdSe系などの半導体材料を用いることができる。
Although the case of the InGaAlP system has been described as an example of the light emitting / receiving
本実施形態に係る受発光装置100は、例えば、プロジェクター、ディスプレイ、照明装置、計測装置などの光源に適用されることができる。
The light emitting / receiving
本実施形態に係る受発光装置100は、例えば、以下の特徴を有する。
The light emitting / receiving
受発光装置100によれば、受発光層106は、利得領域162,164を構成する発光領域160と、受光領域190と、を有することができる。利得領域162,164から漏れた光は、受光領域190に至って、受光されることができる。すなわち、受発光装置100では、発光素子(発光領域)および受光素子(受光領域)をモノリシックに集積することができる。これにより、例えば、別途、受光素子を設置する場合と比較して、部品点数の削減および製造コストの削減が可能となる。
According to the light emitting / receiving
受発光装置100によれば、利得領域162,164から漏れた光を受光することによって、利得領域162,164の光出力をモニターすることができる。したがって、モニターされた光出力に基づいて、第1電極112および第2電極113に印加する電圧値を調整することができる。これにより、受発光装置100では、輝度むらを低減し、また、明るさを自動調整することができる。なお、利得領域162,164の光出力を、印加する電圧値にフィードバックする制御は、例えば、外部電子回路(図示せず)を用いて行うことができる。
According to the light receiving and emitting
受発光装置100によれば、受光領域190から第2側面107までの距離は、受光領域190から第1側面105までの距離より小さいことができる。すなわち、受光領域190を、第1利得領域162と第2利得領域164との交点Bに近づけることができる。交点Bに近いほど、エバネッセントカップリングは、発生しやすい。したがって、受光領域190を、利得領域162,164からの光の漏れ量が大きい場所に、配置することができる。そのため、受発光装置100では、光の検出能力を向上させることができる。また、例えば、利得領域162,164の垂線Pに対する角度を変更することにより、検出能力を調整することができる。
According to the light receiving and emitting
受発光装置100によれば、第1利得領域162に生じる光の一部10は、重なり面178において反射して、第2利得領域164内においても、利得を受けながら進行することができる。また、第2利得領域164に生じる光の一部に関しても同様である。したがって、受発光装置100によれば、例えば、重なり面178において積極的に反射させないような場合に比べ、光強度の増幅距離が長くなるため、高い光出力を得ることができる。
According to the light emitting / receiving
2. 受発光装置の製造方法
次に、本実施形態に係る受発光装置100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図4および図5は、受発光装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
2. Next, a method for manufacturing the light emitting / receiving
図4に示すように、基板102上に、第1クラッド層104、受発光層106、第2クラッド層108、およびコンタクト層110を、この順でエピタキシャル成長させる。エピタキシャル成長させる方法としては、例えば、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法、MBE(Molecular Beam Epitaxy)法などを用いることができる。
As shown in FIG. 4, the
図5に示すように、コンタクト層110上に、絶縁部116を形成する。具体的には、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、塗布法などにより、コンタクト層110上全面に絶縁層(図示せず)を形成し、該絶縁層をパターニングすることにより、絶縁部116を形成することができる。該パターニングによって、コンタクト層110が露出される。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを用いて行われる。次に、コンタクト層110および絶縁部116上に、電極113,114となる電極層115を形成する。次に、基板102の下面下に第1電極112を形成する。電極層115および第1電極112は、例えば、真空蒸着法により形成される。なお、電極層115および第1電極112の形成順序は、特に限定されない。
As shown in FIG. 5, the insulating
図2に示すように、電極層115、コンタクト層110、第2クラッド層108、受発光層106および第1クラッド層104をエッチングして、第1分離溝180を形成する。第1分離溝180によって、発光領域160と受光領域190とが区画されることができる。また、第1分離溝180によって、第2電極113と第3電極114とが区画される。
As shown in FIG. 2, the
以上の工程により、受発光装置100を製造することができる。
The light emitting / receiving
受発光装置100の製造方法によれば、発光素子および受光素子をモノリシックに集積することができる受発光装置100を形成することができる。
According to the method for manufacturing the light emitting / receiving
3. 受発光装置の変形例
次に、本実施形態の変形例に係る受発光装置200,300,400,500について、図面を参照しながら説明する。以下、本実施形態の変形例に係る受発光装置200,300,400,500において、本実施形態に係る受発光装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
3. Next, a light emitting / receiving
(1)第1変形例に係る受発光装置
まず、第1変形例に係る受発光装置200について説明する。図6は、受発光装置200を模式的に示す平面図である。図7は、受発光装置200を模式的に示す図6のVII−VII線断面図である。なお、図6では、便宜上、第2電極113の図示を省略している。
(1) Light receiving and emitting device according to the first modification First, the light receiving and emitting
受発光装置200では、図6および図7に示すように、第1利得領域162および第2利得領域164は、利得領域対266をなし、利得領域対266は、複数配列されている。複数の利得領域対266の各々に対応して、受光領域190が設けられている。図示の例では、利得領域対266は、3つ設けられているが、その数は特に限定されない。
In the light emitting / receiving
隣り合う利得領域対266の間には、第2分離溝280が形成されている。第2分離溝280の底面は、図7に示すように、受発光層106の下面より下方に位置している。第2分離溝280によって、複数の利得領域対266は、互いに電気的に分離されている。
A
受発光装置200によれば、受発光装置100の例に比べて、発光の高出力化を図ることができる。また、受発光装置200によれば、複数の利得領域対266は、第2分離溝280によって互いに電気的に分離されているので、複数の利得領域対266の各々の光出力をモニターすることができる。すなわち、複数の利得領域対266の各々に対して、個別に光量検出を行うことができる。
According to the light emitting / receiving
(2)第2変形例に係る受発光装置
次に、第2変形例に係る受発光装置300について説明する。図8は、受発光装置300を模式的に示す平面図である。なお、図8では、便宜上、第2電極113の図示を省略している。
(2) Light receiving and emitting device according to the second modification Next, a light receiving and emitting
受発光装置100の例では、第1利得領域162の第2端面172と、第2利得領域164の第4端面176は、重なり面178において重なっていた。また、第2側面107には、反射部130が設けられていた。
In the example of the light receiving and emitting
受発光装置200では、図8に示すように、第2端面172と第4端面176とは、離間しており、重なっていない。また、第2側面107に反射部は、設けられていない。これにより、第2端面172および第4端面176からも光を出射することができる。図示はしないが、第2側面172を反射防止部で覆ってもよい。
In the light emitting / receiving
受発光装置200によれば、2つの側面105,107側から出射される光20を利用することができる。例えば、光軸変換素子(図示せず)を用いて、出射光20を上方(図8における紙面の垂直方向)に反射させることにより、光密度を向上させることができる。
According to the light emitting / receiving
(3)第3変形例に係る受発光装置
次に、第3変形例に係る受発光装置400について説明する。図9は、受発光装置400を模式的に示す平面図である。なお、図9では、便宜上、第2電極113の図示を省略している。
(3) Light receiving and emitting device according to the third modification Next, a light receiving and emitting device 400 according to the third modification will be described. FIG. 9 is a plan view schematically showing the light emitting / receiving device 400. In FIG. 9, the
受発光装置100の例では、受発光層106の発光領域160は、第1利得領域162と、第2利得領域164と、を有していた。
In the example of the light receiving / emitting
受発光装置400では、図9に示すように、発光領域160は、第1利得領域162と、第2利得領域164と、第3利得領域462と、を有する。
In the light emitting / receiving device 400, as shown in FIG. 9, the
第1利得領域162は、平面的にみて、第1側面105から第2側面107まで、垂線Pに対して傾いて設けられている。
The
第2利得領域164は、平面的にみて、第2側面107から第3側面405まで、垂線Pに対して傾いて設けられている。第3側面405は、第1側面105および第2側面107と直交する受発光層106の側面である。図示の例では、第3側面405は、第1側面105と第2側面107とを接続している。
The
第3利得領域462は、平面的にみて、第1側面105から第3側面405まで、垂線Pに対して傾いて設けられている。第3利得領域462は、第1利得領域162と平行であることができる。第3利得領域462は、第1側面105に設けられた第5端面470と、第3側面405に設けられた第6端面472と、を有する。図示の例では、第4端面174と第6端面472とは、重なり面478において完全に重なっている。
The
例えば、第1利得領域162に生じる光の一部10は、重なり面178において反射して、第2利得領域164に至る。そして、さらに重なり面478で反射(例えば全反射)して第3利得領域462に至り、第5端面470から出射光20として出射される。すなわち、利得領域162,164,462に生じる光の波長帯において、第1側面105の反射率は、第2側面107および第3側面405の反射率よりも小さい。光10は、利得領域162,164,462内において、光強度が増幅されることができる。第1端面170から出射される光20と、第5端面470から出射される光20とは、同一の方向に進むことができる。第1端面170から出射される光20と、第5端面470から出射される光20とは、集束する方向に進んでもよい。
For example, part of the light 10 generated in the
なお、図示はしないが、第2利得領域164と第3利得領域462との間にも、受光領域190が設けられていてもよい。また、受発光層106に例えばエッチングによって開口部を設け、該開口部を区画する受発光層106の側面を、第3側面405としてもよい。また、第3側面405を反射部で覆ってもよい。
Although not shown, the
受発光装置400によれば、第1端面170から出射される光20と、第5端面470から出射される光20とは、同一の方向に進むことができる。これにより、受発光装置400は、例えば、2つの出射光が発散する方向に進むような場合に比べて、図示しない光学系(出射光20が入射する光学系)を小型化することができる。
According to the light emitting / receiving device 400, the light 20 emitted from the
(4)第4変形例に係る受発光装置
次に、第4変形例に係る受発光装置500について説明する。図10は、受発光装置500を模式的に示す断面図である。
(4) Light receiving and emitting device according to the fourth modification Next, a light receiving and emitting
受発光装置100の例では、いわゆる利得導波型について説明した。これに対し、受発光装置500では、いわゆる屈折率導波型であることができる。
In the example of the light receiving and emitting
すなわち、受発光装置500では、図10に示すように、コンタクト層110と、第2クラッド層108の一部とは、柱状部511を構成することができる。柱状部511の平面形状は、利得領域162,164と同じである。例えば、柱状部511の平面形状によって、電極112,113間の電流経路が決定され、その結果、利得領域162,164の平面形状が決定される。なお、図示はしないが、柱状部511は、例えば、コンタクト層110、第2クラッド層108、および受発光層106から構成されていてもよいし、さらに、第1クラッド層104をも含んで構成されていてもよい。また、柱状部511の側面を傾斜させることもできる。
That is, in the light emitting / receiving
絶縁部116は、柱状部511の側方に設けられていることができる。絶縁部116は、柱状部511の側面に接していることができる。図示の例では、絶縁部116の上面は、コンタクト層110の上面と連続している。電極112,113間の電流は、絶縁部116を避けて、該絶縁部116に挟まれた柱状部511を流れることができる。絶縁部116は、受発光層106の屈折率よりも小さい屈折率を有することができる。これにより、平面方向において、利得領域162,164内に効率良く光を閉じ込めることができる。
The insulating
4. プロジェクター
次に、本実施形態に係るプロジェクター600について説明する。図11は、プロジェクター600を模式的に示す図である。なお、図11では、便宜上、プロジェクター600を構成する筐体は省略している。プロジェクター600は、本発明に係る受発光装置を有する。以下では、本発明に係る受発光装置として、受発光装置100を用いた例について説明する。
4). Next, the
プロジェクター600において、赤色光、緑色光、青色光を出射する赤色光源(受発光装置)100R,緑色光源(受発光装置)100G、青色光源(受発光装置)100Bは、上述した受発光装置100である。
In the
プロジェクター600は、光源100R,100G,100Bから出射された光をそれぞれ画像情報に応じて変調する透過型の液晶ライトバルブ(光変調装置)604R,604G,604Bと、液晶ライトバルブ604R,604G,604Bによって形成された像を拡大してスクリーン(表示面)610に投射する投射レンズ(投射装置)608と、を備えている。また、プロジェクター600は、液晶ライトバルブ604R,604G,604Bから出射された光を合成して投写レンズ608に導くクロスダイクロイックプリズム(色光合成手段)606を備えていることができる。
The
さらに、プロジェクター600は、光源100R,100G,100Bから出射された光の照度分布を均一化させるため、各光源100R,100G,100Bよりも光路下流側に、均一化光学系602R,602G,602Bを設けており、これらによって照度分布が均一化された光によって、液晶ライトバルブ604R,604G,604Bを照明している。均一化光学系602R,602G、602Bは、例えば、ホログラム602aおよびフィールドレンズ602bによって構成される。
Further, in order to make the illuminance distribution of the light emitted from the
各液晶ライトバルブ604R,604G,604Bによって変調された3つの色光は、クロスダイクロイックプリズム606に入射する。このプリズムは4つの直角プリズムを貼り合わせて形成され、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に配置されている。これらの誘電体多層膜によって3つの色光が合成され、カラー画像を表す光が形成される。そして、合成された光は投写光学系である投射レンズ606によりスクリーン610上に投写され、拡大された画像が表示される。
The three color lights modulated by the liquid crystal
なお、上述の例では、光変調装置として透過型の液晶ライトバルブを用いたが、液晶以外のライトバルブを用いてもよいし、反射型のライトバルブを用いてもよい。このようなライトバルブとしては、例えば、反射型の液晶ライトバルブや、デジタルマイクロミラーデバイス(Digital Micromirror Device)が挙げられる。また、投射光学系の構成は、使用されるライトバルブの種類によって適宜変更される。 In the above example, a transmissive liquid crystal light valve is used as the light modulation device. However, a light valve other than liquid crystal may be used, or a reflective light valve may be used. Examples of such a light valve include a reflective liquid crystal light valve and a digital micromirror device. Further, the configuration of the projection optical system is appropriately changed depending on the type of light valve used.
また、受発光装置100を、受発光装置100からの光をスクリーン上で走査させることにより、表示面に所望の大きさの画像を表示させる画像形成装置である走査手段を有するような走査型の画像表示装置(プロジェクター)の光源装置にも適用することが可能である。
Further, the light receiving / emitting
プロジェクター600によれば、赤色光源600R,緑色光源600G,青色光源600Bとして、受発光装置100を用いることができる。受発光装置100では、上述のとおり、発光素子および受光素子をモノリシックに集積することができる。そのため、例えば、別途、受光素子を設置する場合と比較して、部品点数の削減および製造コストの削減が可能なプロジェクター600を得ることができる。
According to the
なお、上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。 In addition, embodiment mentioned above and a modification are examples, Comprising: It is not necessarily limited to these. For example, it is possible to appropriately combine each embodiment and each modification.
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail as described above, those skilled in the art will readily understand that many modifications are possible without substantially departing from the novel matters and effects of the present invention. Accordingly, all such modifications are intended to be included in the scope of the present invention.
10 光、20 光、100 受発光装置、102 基板、104 第1クラッド層、
105 第1側面、106 受発光層、107 第2側面、108 第2クラッド層、
110 コンタクト層、112 第1電極、113 第2電極、114 第3電極、
115 電極層、116 絶縁部、160 発光領域、162 第1利得領域、
164 第2利得領域、170 第1端面、172 第2端面、174 第3端面、
176 第4端面、180 第1分離溝、180a 第1分離溝の内周、
180b 第1分離溝の外周、190 受光領域、200 受発光装置、
266 利得領域対、280 第2分離溝、300 受発光装置、400 受発光装置、
405 第3側面、462 第3利得領域、470 第5端面、472 第6端面、
478 重なり面、500 受発光装置、511 柱状部、600 プロジェクター、
602 均一化光学系、602a ホログラム、602b フィールドレンズ、
604 液晶ライトバルブ、606 クロスダイクロイックプリズム、
608 投写レンズ、610 スクリーン
10 light, 20 light, 100 light emitting and receiving device, 102 substrate, 104 first cladding layer,
105 first side surface, 106 light receiving / emitting layer, 107 second side surface, 108 second cladding layer,
110 contact layer, 112 first electrode, 113 second electrode, 114 third electrode,
115 electrode layer, 116 insulating portion, 160 light emitting region, 162 first gain region,
164 second gain region, 170 first end face, 172 second end face, 174 third end face,
176 4th end surface, 180 1st separation groove, 180a Inner circumference of the 1st separation groove,
180b outer periphery of the first separation groove, 190 light receiving region, 200 light receiving and emitting device,
266 gain region pair, 280 second separation groove, 300 light emitting and receiving device, 400 light emitting and receiving device,
405 third side surface, 462 third gain region, 470 fifth end surface, 472 sixth end surface,
478 overlapping surface, 500 light emitting / receiving device, 511 columnar section, 600 projector,
602 homogenizing optical system, 602a hologram, 602b field lens,
604 liquid crystal light valve, 606 cross dichroic prism,
608 projection lens, 610 screen
Claims (8)
前記第1クラッド層の上方に形成され、発光領域および受光領域を有する受発光層と、
前記受発光層の上方に形成された第2クラッド層と、
を含み、
前記発光領域と前記受光領域とは、第1分離溝によって区画され、
前記発光領域は、第1利得領域および第2利得領域を有し、
前記第1利得領域と前記第2利得領域との間の距離は、前記受発光層の第1側面側から、前記第1側面に平行な前記受発光層の第2側面側に近づくにつれて小さくなり、
前記第1利得領域および前記第2利得領域は、平面的にみて、前記第1側面の垂線に対して傾いて設けられ、
前記受光領域は、前記第1利得領域と前記第2利得領域との間に位置し、
前記第1利得領域と前記第2利得領域との間の距離が小さくなることによって、前記第1利得領域および前記第2利得領域から漏れた光は、前記受光領域に至って、受光される、受発光装置。 A first cladding layer;
A light emitting / receiving layer formed above the first cladding layer and having a light emitting region and a light receiving region;
A second cladding layer formed above the light emitting / receiving layer;
Including
The light emitting region and the light receiving region are partitioned by a first separation groove,
The light emitting region has a first gain region and a second gain region,
The distance between the first gain region and the second gain region decreases from the first side surface side of the light emitting / receiving layer toward the second side surface side of the light emitting / receiving layer parallel to the first side surface. ,
The first gain region and the second gain region are provided to be inclined with respect to a normal to the first side surface in a plan view,
The light receiving region is located between the first gain region and the second gain region,
By reducing the distance between the first gain region and the second gain region, light leaking from the first gain region and the second gain region reaches the light receiving region and is received. Light emitting device.
前記受光領域から前記第2側面までの距離は、前記受光領域から前記第1側面までの距離より小さい、受発光装置。 In claim 1,
The distance between the light receiving region and the second side surface is smaller than the distance from the light receiving region to the first side surface.
前記第1利得領域および前記第2利得領域は、前記第1側面から前記第2側面まで設けられ、
前記第1利得領域および前記第2利得領域に生じる光の波長帯において、前記第1側面の反射率は、前記第2側面の反射率よりも小さく、
前記第1利得領域の前記第2側面側の端面の少なくとも一部と、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面の少なくとも一部とは、重なっている、受発光装置。 In claim 1 or 2,
The first gain region and the second gain region are provided from the first side surface to the second side surface,
In the wavelength band of light generated in the first gain region and the second gain region, the reflectance of the first side surface is smaller than the reflectance of the second side surface,
The light emitting / receiving device, wherein at least a part of an end surface of the first gain region on the second side surface side overlaps at least a part of an end surface of the second gain region on the second side surface side.
前記第1利得領域および前記第2利得領域は、前記第1側面から前記第2側面まで設けられ、
前記第1利得領域の前記第2側面側の端面と、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面とは、離間している、受発光装置。 In claim 1 or 2,
The first gain region and the second gain region are provided from the first side surface to the second side surface,
The end face on the second side surface side of the first gain region and the end surface on the second side surface side of the second gain region are separated from each other.
前記第1利得領域は、前記第1側面から前記第2側面まで設けられ、
前記第2利得領域は、前記第2側面から、前記第1側面および前記第2側面と直交する前記受発光層の第3側面まで、設けられ、
前記発光領域は、さらに第3利得領域を有し、
前記第3利得領域は、前記第1側面から前記第3側面まで、設けられ、
前記第1利得領域、前記第2利得領域および前記第3利得領域に生じる光の波長帯において、前記第1側面の反射率は、前記第2側面および前記第3側面の反射率よりも小さく、
前記第1利得領域の前記第2側面側の端面の少なくとも一部と、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面の少なくとも一部とは、重なっており、
前記第2利得領域の前記第3側面側の端面の少なくとも一部と、前記第3利得領域の前記第3側面側の端面の少なくとも一部とは、重なっており、
前記第1利得領域の前記第1側面側の端面から出射される光と、前記第3利得領域の前記第1側面側の端面から出射される光とは、同一の方向または集束する方向に進む、受発光装置。 In claim 1 or 2,
The first gain region is provided from the first side surface to the second side surface,
The second gain region is provided from the second side surface to the first side surface and the third side surface of the light receiving and emitting layer orthogonal to the second side surface,
The light emitting region further has a third gain region,
The third gain region is provided from the first side surface to the third side surface,
In the wavelength band of light generated in the first gain region, the second gain region, and the third gain region, the reflectance of the first side surface is smaller than the reflectance of the second side surface and the third side surface,
At least a part of the end surface of the first gain region on the second side surface side overlaps at least a part of the end surface of the second gain region on the second side surface side, and
At least a part of the end surface on the third side surface side of the second gain region overlaps with at least a part of the end surface on the third side surface side of the third gain region,
The light emitted from the end surface on the first side surface side of the first gain region and the light emitted from the end surface on the first side surface side of the third gain region proceed in the same direction or in a converging direction. , Light emitting and receiving device.
前記第1利得領域および前記第2利得領域は、利得領域対をなし、
前記利得領域対は、複数配列され、
隣り合う前記利得領域対の間には、第2分離溝が形成され、
複数の前記利得領域対は、前記第2分離溝によって、互いに電気的に分離されている、受発光装置。 In any of claims 1 to 5,
The first gain region and the second gain region form a gain region pair,
A plurality of the gain region pairs are arranged,
A second separation groove is formed between the adjacent gain region pairs,
The plurality of gain region pairs are electrically separated from each other by the second separation groove.
前記第2クラッド層の上方に形成されたコンタクト層と、
前記第1クラッド層と電気的に接続された第1電極と、
前記第1利得領域および前記第2利得領域の上方に位置する前記コンタクト層と接する第2電極と、
前記受光領域の上方に位置する前記第コンタクト層と接する第3電極と、
を、さらに含み、
前記第1利得領域および前記第2利得領域の平面形状は、前記第2電極と前記コンタクト層との接触面の平面形状と同じであり、
前記受光領域の平面形状は、前記第3電極と前記コンタクト層との接触面の平面形状と同じである、受発光装置。 In any one of Claims 1 thru | or 6.
A contact layer formed above the second cladding layer;
A first electrode electrically connected to the first cladding layer;
A second electrode in contact with the contact layer located above the first gain region and the second gain region;
A third electrode in contact with the first contact layer located above the light receiving region;
Further including
The planar shapes of the first gain region and the second gain region are the same as the planar shape of the contact surface between the second electrode and the contact layer,
The planar shape of the light receiving region is the same as the planar shape of the contact surface between the third electrode and the contact layer.
前記受発光装置から出射された光を画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調素子によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む、プロジェクター。 A light emitting and receiving device according to any one of claims 1 to 7,
A light modulation device that modulates light emitted from the light emitting and receiving device according to image information;
A projection device for projecting an image formed by the light modulation element;
Including projector.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009154806A JP2011014580A (en) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | Light receiving and emitting device, and projector |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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