JP2010530596A - Intelligent control of write pulse duration - Google Patents

Intelligent control of write pulse duration Download PDF

Info

Publication number
JP2010530596A
JP2010530596A JP2010513379A JP2010513379A JP2010530596A JP 2010530596 A JP2010530596 A JP 2010530596A JP 2010513379 A JP2010513379 A JP 2010513379A JP 2010513379 A JP2010513379 A JP 2010513379A JP 2010530596 A JP2010530596 A JP 2010530596A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
write
pulses
applying
write pulses
pulse width
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010513379A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
ユーピン フォン
ジュン ワン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SanDisk Corp
Original Assignee
SanDisk Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US11/766,583 external-priority patent/US7630249B2/en
Priority claimed from US11/766,580 external-priority patent/US7580290B2/en
Application filed by SanDisk Corp filed Critical SanDisk Corp
Publication of JP2010530596A publication Critical patent/JP2010530596A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/56Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
    • G11C11/5621Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using charge storage in a floating gate
    • G11C11/5628Programming or writing circuits; Data input circuits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/10Programming or data input circuits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/34Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
    • G11C16/3436Arrangements for verifying correct programming or erasure
    • G11C16/3454Arrangements for verifying correct programming or for detecting overprogrammed cells
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/34Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
    • G11C16/3436Arrangements for verifying correct programming or erasure
    • G11C16/3454Arrangements for verifying correct programming or for detecting overprogrammed cells
    • G11C16/3459Circuits or methods to verify correct programming of nonvolatile memory cells
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C2211/00Indexing scheme relating to digital stores characterized by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C2211/56Indexing scheme relating to G11C11/56 and sub-groups for features not covered by these groups
    • G11C2211/562Multilevel memory programming aspects
    • G11C2211/5621Multilevel programming verification

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)

Abstract

複数の不揮発性記憶素子に書き込みを行うため、複数の書き込みパルスがそれらの不揮発性記憶素子の制御ゲート(または他の端子)に印加される。書き込みパルスは一定のパルス幅を有し、最大電圧に到達するまで大きさが増加する。その時点で、書き込みパルスの大きさが大きくなることが停止され、書き込みパルスの長さの異なる持続期間を提供するように、検証処理の合間に書き込みパルスが印加される。一実施形態では、例えば、パルスが最大値へ到達した後は、パルス幅が増加される。他の実施形態では、パルスが最大値へ到達した後は、複数の書き込みパルスが検証処理の合間に印加される。  In order to write to a plurality of nonvolatile memory elements, a plurality of write pulses are applied to control gates (or other terminals) of the nonvolatile memory elements. The write pulse has a constant pulse width and increases in magnitude until the maximum voltage is reached. At that point, the magnitude of the write pulse is stopped increasing and a write pulse is applied between the verification processes to provide different durations of the write pulse length. In one embodiment, for example, after the pulse reaches a maximum value, the pulse width is increased. In other embodiments, after the pulse reaches the maximum value, multiple write pulses are applied between verification processes.

Description

本発明は、不揮発性記憶装置のための技術に関する。   The present invention relates to a technology for a nonvolatile memory device.

半導体メモリは、様々な電子デバイスで使われることが一般的になってきている。例えば、不揮発性半導体メモリは、携帯電話、デジタルカメラ、パーソナルデジタルアシスタント、モバイルコンピュータ、非モバイルコンピュータ、及び他の装置に使用されている。電気的消去・再書込み可能型読取専用メモリ(EEPROM)とフラッシュメモリは、最も普及している不揮発性半導体メモリである。   Semiconductor memories are becoming more commonly used in various electronic devices. For example, non-volatile semiconductor memories are used in mobile phones, digital cameras, personal digital assistants, mobile computers, non-mobile computers, and other devices. Electrically erasable and rewritable read only memory (EEPROM) and flash memory are the most popular nonvolatile semiconductor memories.

EEPROMとフラッシュメモリは、半導体基板内のチャネル領域上に配置され、そのチャネル領域から絶縁されているフローティングゲートを採用している。フローティングゲートとチャネル領域は、ソース領域とドレイン領域の間に配置されている。フローティングゲートの上に、そのフローティングゲートから絶縁されている制御ゲートが設けられている。トランジスタの閾値電圧は、フローティングゲート上に保持されている電荷量によって制御される。即ち、そのソースとドレインの間の導通を可能にすべくトランジスタをオンするために制御ゲートに印加すべき電圧の最小量は、そのフローティングゲート上の電荷量レベルにより制御される。従って、フローティングゲートに保持されている電荷量を変化させることにより閾値電圧を変化させることで、メモリセル(メモリセルは一つ以上のトランジスタを備えていてもよい)に書き込み/消去を行うことができる。   The EEPROM and the flash memory employ a floating gate that is disposed on the channel region in the semiconductor substrate and insulated from the channel region. The floating gate and the channel region are disposed between the source region and the drain region. A control gate that is insulated from the floating gate is provided on the floating gate. The threshold voltage of the transistor is controlled by the amount of charge held on the floating gate. That is, the minimum amount of voltage that must be applied to the control gate to turn on the transistor to allow conduction between its source and drain is controlled by the charge level on the floating gate. Accordingly, writing / erasing can be performed on a memory cell (the memory cell may include one or more transistors) by changing the threshold voltage by changing the amount of charge held in the floating gate. it can.

各メモリセルは(アナログ又はデジタルの)データを記憶することができる。1ビットのデジタルデータを記憶する場合(バイナリメモリセルと呼ばれる)、メモリセルの可能な閾値電圧の範囲は、2つの範囲に分割され、それぞれの範囲が論理データの「1」と「0」に割り当てられる。NAND型フラッシュメモリの一例では、メモリセルが消去された後では閾値電圧が負値となり、それは論理「1」と定義される。書き込み後の閾値電圧は正値となり、それは論理「0」と定義される。閾値電圧が負値であり、制御ゲートに0ボルトが印加される読み出しが試みられた場合、メモリセルがオンとなり、これは論理1が記憶されていることを示す。閾値電圧が正値であり、制御ゲートに0ボルトが印加される読み出しが試みられた場合、メモリセルはオンせず、これは論理0が記憶されていることを示す。   Each memory cell can store data (analog or digital). When storing 1-bit digital data (referred to as a binary memory cell), the possible threshold voltage range of the memory cell is divided into two ranges, each range being a logical data “1” and “0”. Assigned. In an example of a NAND flash memory, after the memory cell is erased, the threshold voltage becomes a negative value, which is defined as logic “1”. The threshold voltage after writing is a positive value, which is defined as logic “0”. If the threshold voltage is negative and a read is attempted with 0 volts applied to the control gate, the memory cell is turned on, indicating that a logic 1 is stored. If the threshold voltage is positive and a read attempt is made with 0 volts applied to the control gate, the memory cell will not turn on, indicating that a logic 0 is stored.

一つのメモリセルで、複数レベルの情報を記憶することができる(マルチステートメモリセルと呼ばれる)。複数レベルのデータを記憶する場合には、可能な閾値の範囲は、データのレベルの数に分割される。例えば、4つのレベルの情報を記憶する場合、4つの閾値電圧範囲が存在し、それぞれがデータ値「11」、「10」、「01」、及び「00」に割り当てられる。NANDタイプのメモリの一例では、消去動作の後の閾値電圧は負の値となり、論理「11」と定義される。正値の閾値電圧群が「10」、「01」、「00」というデータ状態に対して用いられる。8つのレベルの情報(又は状態)が記憶される場合(即ち、3ビットのデータ)、データ値「000」、「001」、「010」、「011」、「100」、「101」、「110」、及び「111」に割り当てられる8つの閾値電圧範囲がある。メモリセルに書き込まれるデータとセルの閾値電圧レベルの間の具体的な関係は、セルに採用されるデータ符号化方式によって決まる。例えば、両方ともその全体を参照することにより本明細書に組み込まれる米国特許第6,222,762号及び米国特許出願公開公報第2004/0255090号は、マルチステートフラッシュメモリセルのための様々なデータ符号化方式を説明している。一実施形態においては、フローティングゲートの閾値電圧が誤ってその近傍の物理状態にシフトした場合に1つのビットだけが影響を受けるように、グレイコード割当を用いてデータ値が閾値電圧範囲に割り当てられる。いくつかの実施形態では、異なるワードラインに対してデータ符号化技法が変更され得ることがある。データ符号化技法は、時間に依存して変更され得ることがある。また、ランダムなワードラインのデータビットは、データパターン感度を低減し、メモリセルのウェアを均一にするために、反転されることがある。また、様々な符号化技法が使用され得ることがある。   A single memory cell can store multiple levels of information (referred to as a multi-state memory cell). When storing multiple levels of data, the range of possible thresholds is divided into the number of levels of data. For example, when storing four levels of information, there are four threshold voltage ranges, which are assigned to data values “11”, “10”, “01”, and “00”, respectively. In an example of a NAND type memory, the threshold voltage after the erase operation is a negative value and is defined as logic “11”. Positive threshold voltage groups are used for data states of “10”, “01”, and “00”. When eight levels of information (or status) are stored (ie, 3-bit data), the data values “000”, “001”, “010”, “011”, “100”, “101”, “101”, “ There are eight threshold voltage ranges assigned to “110” and “111”. The specific relationship between the data written to the memory cell and the threshold voltage level of the cell is determined by the data encoding scheme employed for the cell. For example, US Pat. No. 6,222,762 and US Patent Application Publication No. 2004/0255090, both of which are incorporated herein by reference in their entirety, describe various data for multi-state flash memory cells. The encoding method is described. In one embodiment, data values are assigned to threshold voltage ranges using Gray code assignment so that only one bit is affected if the threshold voltage of the floating gate is accidentally shifted to its neighboring physical state. . In some embodiments, the data encoding technique may be changed for different wordlines. Data encoding techniques may be changed depending on time. Also, random wordline data bits may be inverted to reduce data pattern sensitivity and to uniform memory cell wear. Various encoding techniques may also be used.

EEPROMやNAND型フラッシュメモリデバイスなどのフラッシュメモリデバイスに書き込みを行う場合、典型的には、ビットラインが接地されるとともに、制御ゲートに書き込み電圧が加えられる。チャネルからの電子がフローティングゲートへ注入される。フローティングゲートに電子が蓄積されると、フローティングゲートが負値に帯電し、メモリセルの閾値電圧が上昇し、メモリセルが書き込まれた状態となる。書き込みに関するさらなる情報は、「Source Side Self Boosting Technique for Non-Volatile Memory」と題した米国特許第6,859,397号、および、「Detecting Over Programmed Memory」と題した米国特許出願公開公報2005/0024939号に開示されている。これらの両方の文献の内容は、その全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。   When writing to a flash memory device such as an EEPROM or NAND flash memory device, the bit line is typically grounded and a write voltage is applied to the control gate. Electrons from the channel are injected into the floating gate. When electrons are accumulated in the floating gate, the floating gate is charged to a negative value, the threshold voltage of the memory cell is increased, and the memory cell is written. More information on writing can be found in US Pat. No. 6,859,397 entitled “Source Side Self Boosting Technique for Non-Volatile Memory” and US Patent Application Publication No. 2005/0024939 entitled “Detecting Over Programmed Memory”. Is disclosed. The contents of both of these documents are hereby incorporated by reference in their entirety.

通常、書き込み処理において制御ゲートに印加される書き込み電圧は、連続するパルスとして印加される。多くの実装形態では、連続するパルスの各々の大きさが、所定のステップサイズで増加する。   Usually, the write voltage applied to the control gate in the write process is applied as a continuous pulse. In many implementations, the magnitude of each successive pulse is increased by a predetermined step size.

マルチステートメモリセルは複数の有効な閾値電圧範囲を有する。よって、あるメモリセルは、バイナリメモリセルに比して高い閾値電圧で書き込みを行う必要がある場合がある。より高い閾値電圧でメモリセルに書き込みを行うためには、より大きな書き込みパルスが必要である。さらに、テクノロジースケールがより微細化するにつれて、同じカップリング比率を維持することが困難となる可能性がある。それゆえ、同一の書き込み効果を得るために、より大きな電圧の書き込みパルスが要求されている。しかしながら、書き込みパルスの電圧値は、メモリチップに搭載されるチャージポンプの設計や、ジャンクションおよび絶縁膜の絶縁破壊などの多くの要因により、実際的に制限される。   Multi-state memory cells have multiple effective threshold voltage ranges. Therefore, a certain memory cell may need to be written with a higher threshold voltage than a binary memory cell. In order to write to a memory cell with a higher threshold voltage, a larger write pulse is required. Furthermore, as the technology scale becomes finer, it may become difficult to maintain the same coupling ratio. Therefore, a higher voltage write pulse is required to obtain the same write effect. However, the voltage value of the write pulse is practically limited by many factors such as the design of the charge pump mounted on the memory chip, the junction, and the dielectric breakdown of the insulating film.

従って、書き込みパルスの高電圧化の必要性がある一方、得られる最大電圧の上限値が存在する。   Therefore, there is a need to increase the voltage of the write pulse, while there is an upper limit value of the maximum voltage that can be obtained.

ここで述べる技術は、メモリセルに印加される書き込みパルスの持続時間を制御するインテリジェント方式に関するものである。例えば、書き込み信号がその最大電圧に達したが書き込みが完了していないメモリセルがまだ存在しているような状況下では、メモリセルが受ける書き込みパルスの持続時間を制御するインテリジェント方式によって、効果的に書き込み動作を継続しうる。メモリセルの書き込みパルスの持続時間を制御するインテリジェント方式の一例には、より広い幅の書き込みパルスを使用することが挙げられる。他の例では、検証処理の合間において、複数の連続した書き込みパルスが用いられる。メモリセルの書き込みパルスの持続時間を制御する、他のインテリジェント方式も使用しうる。加えて、書き込みパルスの持続時間を制御するインテリジェント方式は、上述した状況下以外においても使用されうる。   The technique described here relates to an intelligent method for controlling the duration of a write pulse applied to a memory cell. For example, in situations where there are still memory cells where the write signal has reached its maximum voltage but the write has not been completed, an intelligent scheme that controls the duration of the write pulse received by the memory cell is effective. The write operation can be continued. One example of an intelligent scheme for controlling the duration of a write pulse in a memory cell is to use a wider write pulse. In another example, a plurality of consecutive write pulses are used between verification processes. Other intelligent schemes for controlling the duration of the memory cell write pulse may also be used. In addition, an intelligent scheme for controlling the duration of the write pulse can also be used outside the situation described above.

一実施形態では、書き込み信号を不揮発性記憶素子に印加するステップが含まれる。書き込み信号を不揮発性記憶素子に印加するステップは、1以上のパルスが最大値に到達する前において、一定のパルス幅で不揮発性記憶素子に書き込みパルスを印加するステップ、および、1以上のパルスが最大値に到達した後に、書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを、検証処理の間に不揮発性記憶素子に対して印加するステップを備える。 In one embodiment, applying a write signal to the non-volatile storage element is included. The step of applying the write signal to the nonvolatile memory element includes the step of applying the write pulse to the nonvolatile memory element with a constant pulse width before the one or more pulses reach the maximum value, and the one or more pulses After reaching the maximum value, one or more write pulses providing different durations of the write signal length are applied to the non-volatile storage element during the verification process.

一実施形態は、書き込み信号を複数のパルスとして複数の不揮発性記憶素子に印加するステップ、および、それら複数の不揮発性記憶素子が適切に書き込まれたかを判断するために1以上の検証処理を行うステップ、を含んでいる。書き込み信号を複数のパルスとして印加するステップは、1以上のパルスが最大値に到達する前において、検証処理の合間に、大きさを増加させながら一定の持続時間でパルスを印加するステップを含む。また、書き込み信号を複数のパルスとして印加するステップは、1以上のパルスが最大値に到達した後の検証処理の間において、書き込み信号の持続時間を異なる長さに変更するステップも含む。   One embodiment applies a write signal as a plurality of pulses to a plurality of non-volatile storage elements, and performs one or more verification processes to determine whether the plurality of non-volatile storage elements are properly written Step. The step of applying the write signal as a plurality of pulses includes the step of applying a pulse with a constant duration while increasing the magnitude before the one or more pulses reach the maximum value. The step of applying the write signal as a plurality of pulses also includes changing the duration of the write signal to a different length during the verification process after one or more pulses reach the maximum value.

一実施形態は、1以上のパルスが最大値に到達するまで、大きさを増加させながら一定のパルス幅で不揮発性記憶素子にパルスを印加することを含む。また一連の処理は、1以上のパルスが最大値に到達した後に、パルス幅を増加させながら書き込みパルスを不揮発性記憶素子に印加するステップを含む。   One embodiment includes applying pulses to the non-volatile memory element with a constant pulse width while increasing in magnitude until one or more pulses reach a maximum value. The series of processes includes a step of applying a write pulse to the nonvolatile memory element while increasing the pulse width after one or more pulses reach the maximum value.

一実施形態は、1以上のパルスが最大値に到達するまで、大きさを増加させながら一定のパルス幅で不揮発性記憶素子にパルスを印加するステップを含む。また一連の処理は、1以上のパルスが最大値に到達した後に、異なった数の書き込みパルスからなる1以上のパルス群を不揮発性記憶素子に印加するステップも含む。各々のグループは、検証処理の合間に印加される。   One embodiment includes applying pulses to the non-volatile memory element with a constant pulse width while increasing the magnitude until one or more pulses reach a maximum value. The series of processes also includes a step of applying one or more pulse groups composed of different numbers of write pulses to the nonvolatile memory element after one or more pulses reach the maximum value. Each group is applied between verification processes.

実装形態の一例は、複数の不揮発性記憶素子と、その不揮発性記憶素子と通信する1以上の管理回路を含む。1以上の管理回路は、上記した処理を実行する。   An example of an implementation includes a plurality of non-volatile storage elements and one or more management circuits that communicate with the non-volatile storage elements. One or more management circuits execute the processing described above.

NANDストリングの平面図である。It is a top view of a NAND string. NANDストリングの等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram of a NAND string. 不揮発性メモリシステムのブロック図である。1 is a block diagram of a nonvolatile memory system. メモリアレイの一実施例を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating one embodiment of a memory array. センスブロックの一実施例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows one Example of a sense block. 閾値電圧区分のセットの一例および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining an example of the set of a threshold voltage division, and the write-in process of a non-volatile memory. 様々な閾値電圧区分および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining the write-in process of various threshold voltage classification and a non-volatile memory. 様々な閾値電圧区分および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining the write-in process of various threshold voltage classification and a non-volatile memory. 様々な閾値電圧区分および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining the write-in process of various threshold voltage classification and a non-volatile memory. 様々な閾値電圧区分および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining the write-in process of various threshold voltage classification and a non-volatile memory. 様々な閾値電圧区分および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining the write-in process of various threshold voltage classification and a non-volatile memory. 様々な閾値電圧区分および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining the write-in process of various threshold voltage classification and a non-volatile memory. 様々な閾値電圧区分および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining the write-in process of various threshold voltage classification and a non-volatile memory. 様々な閾値電圧区分および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining the write-in process of various threshold voltage classification and a non-volatile memory. 様々な閾値電圧区分および不揮発性メモリの書き込み処理を説明する図である。It is a figure explaining the write-in process of various threshold voltage classification and a non-volatile memory. 不揮発性メモリの書き込み順序の一例を説明するテーブルである。It is a table explaining an example of the writing order of a non-volatile memory. 不揮発性メモリの書き込み処理の一例を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining an example of the write-in process of a non-volatile memory. 不揮発性素子の書き込み処理の一例を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining an example of the write-in process of a non-volatile element. 書き込み電圧の継続時間を増加させる処理の一例を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining an example of the process which increases the continuation time of a write voltage. 書き込み電圧の継続時間を増加させる処理の一例を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining an example of the process which increases the continuation time of a write voltage. 書き込み電圧の継続時間を増加させる処理の一例を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining an example of the process which increases the continuation time of a write voltage. 波形の例を説明する図である。It is a figure explaining the example of a waveform. 波形の例を説明する図である。It is a figure explaining the example of a waveform. 書き込み信号の一例を与えるテーブルを示す図である。It is a figure which shows the table which gives an example of a write signal. 波形の例を説明する図である。It is a figure explaining the example of a waveform. 波形の例を説明する図である。It is a figure explaining the example of a waveform.

フラッシュメモリシステムの一例は、NAND構造を用いており、2つの選択ゲートの間に複数のトランジスタの直列接続を含んでいる。直列に接続されたトランジスタと選択ゲートは、NANDストリングと呼ばれる。図1は、1つのNANDストリングを示す平面図である。図2は、その等価回路である。図1と図2に示すNANDストリングは、第1(又はドレイン側)選択ゲート120と第2(又はソース側)選択ゲート122の間に挟まれている、直列に接続されている4つのトランジスタ100、102、104及び106を有する。選択ゲート120は、ビットコンタクト126を介してNANDストリングをビットラインに接続している。選択ゲート122は、NANDストリングをソースライン128に接続している。選択ゲート120は、選択ラインSGDに適切な電圧を加えることによって制御される。選択ゲート122は、選択ラインSGSに適切な電圧を加えることによって制御される。トランジスタ100、102、104、及び106の夫々は、制御ゲートとフローティングゲートを有している。例えば、トランジスタ100は、制御ゲート100CGとフローティングゲート100FGを備えている。トランジスタ102は、制御ゲート102CGとフローティングゲート102FGを備えている。トランジスタ104は、制御ゲート104CGとフローティングゲート104FGを備えている。トランジスタ106は、制御ゲート106CGとフローティングゲート106FGを備えている。制御ゲート100CGはワードラインWL3に接続されており、制御ゲート102CGはワードラインWL2に接続されており、制御ゲート104CGはワードラインWL1に接続されており、制御ゲート106CGはワードラインWL0に接続されている。   One example of a flash memory system uses a NAND structure and includes a series connection of a plurality of transistors between two select gates. The transistors and select gates connected in series are called NAND strings. FIG. 1 is a plan view showing one NAND string. FIG. 2 is an equivalent circuit thereof. The NAND string shown in FIGS. 1 and 2 includes four transistors 100 connected in series sandwiched between a first (or drain side) select gate 120 and a second (or source side) select gate 122. , 102, 104 and 106. Select gate 120 connects the NAND string to the bit line via bit contact 126. Select gate 122 connects the NAND string to source line 128. The selection gate 120 is controlled by applying an appropriate voltage to the selection line SGD. The selection gate 122 is controlled by applying an appropriate voltage to the selection line SGS. Each of the transistors 100, 102, 104, and 106 has a control gate and a floating gate. For example, the transistor 100 includes a control gate 100CG and a floating gate 100FG. The transistor 102 includes a control gate 102CG and a floating gate 102FG. The transistor 104 includes a control gate 104CG and a floating gate 104FG. The transistor 106 includes a control gate 106CG and a floating gate 106FG. The control gate 100CG is connected to the word line WL3, the control gate 102CG is connected to the word line WL2, the control gate 104CG is connected to the word line WL1, and the control gate 106CG is connected to the word line WL0. Yes.

図1と図2は、NANDストリング内の4個のメモリセルを示しているが、4個のトランジスタの使用は単に一例として提示されている点に留意されたい。NANDストリングは、4個よりも少ない、或いは、4個よりも多いメモリセルを有していてよい。例えば、NANDストリングによっては8個、16個、32個、64個、128個などの数のメモリセルを有していてよい。本明細書の説明は、いかなる特定個数のメモリセルを有するNANDストリングにも限定されない。   1 and 2 show four memory cells in a NAND string, it should be noted that the use of four transistors is presented only as an example. A NAND string may have fewer than four or more than four memory cells. For example, some NAND strings may have 8, 16, 32, 64, 128, etc. memory cells. The description herein is not limited to NAND strings having any particular number of memory cells.

NAND構造を用いたフラッシュメモリシステムの一般的なアーキテクチャは、いくつかのNANDストリングを含んでいる。各NANDストリングは、選択ラインSGSによって制御されるソース選択ゲートによってソースラインに接続されているとともに、選択ラインSGDによって制御されるドレイン選択ゲートによって関連するビットラインに接続されている。各ビットラインとそのビットラインにビットラインコンタクトを介して接続されている夫々のNANDストリングは、メモリセルアレイの列を構成する。ビットラインは、複数のNANDストリングによって共有されている。典型的には、ビットラインは、ワードラインと直交する方向でNANDストリング上を通っており、1以上のセンスアンプと接続されている。   The general architecture of a flash memory system using a NAND structure includes several NAND strings. Each NAND string is connected to a source line by a source select gate controlled by a select line SGS, and is connected to an associated bit line by a drain select gate controlled by a select line SGD. Each bit line and each NAND string connected to the bit line via a bit line contact constitutes a column of the memory cell array. The bit line is shared by a plurality of NAND strings. Typically, the bit line passes over the NAND string in a direction orthogonal to the word line and is connected to one or more sense amplifiers.

NANDタイプのフラッシュメモリおよびそれらの動作に関連する例は、以下の米国特許/特許出願に記載されており、それらの引用文献は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。米国特許第5,570,315号、米国特許第5,774,397号、米国特許第6,046,935号、米国特許第6,456,528号、及び、米国公開公報第US2003/0002348号。本明細書における説明は、他のタイプの不揮発性記憶素子と同様に、NANDを加えた他のタイプのフラッシュメモリにも利用可能である。   Examples of NAND type flash memories and their associated operation are described in the following US patents / patent applications, which are incorporated herein by reference in their entirety. US Pat. No. 5,570,315, US Pat. No. 5,774,397, US Pat. No. 6,046,935, US Pat. No. 6,456,528, and US Publication No. US 2003/0002348 . The description herein is applicable to other types of flash memory with NAND as well as other types of non-volatile storage elements.

NANDフラッシュメモリに加えて、不揮発性記憶装置の他のタイプもまた用いることができる。例えば、基本的に(フローティングゲートの代わりに)窒化物層内に電荷をトラッピングするメモリセルである、いわゆるTANOS構造(TaN−Al2O3−SiN−SiO2の積層から構成される構造)にも本発明は適用できる。他のメモリセルが、Chanらによる記事、「A True Single-Transistor Oxide-Nitride-Oxide EEPROM Device」、IEEE ELECTRON DEVICE Letters、EDL−8巻、第3号、1987年3月の93から95ページに説明されている。酸化ケイ素、窒化ケイ素、及び酸化ケイ素(「ONO」)から形成される三層の誘電体が、メモリセルチャネル上で半導電性基板の表面と導電性制御ゲートとの間に挟まれている。セルは、セルチャネルから窒化物の中に電子を注入することにより書込みが行われ、窒化物内において電子が制限領域内にトラッピングされ蓄積される。この蓄積された電荷は、次に、検出可能な方法で、セルのチャネルの一部の閾値電圧を変更する。セルは、窒化物中にホットホールを注入することによって消去される。Nozakiら、「A 1-Mb EEPROM with MONOS Memory Cell for Semiconductor Disk Application」、IEEE Journal of Solid-State Circuits、第26巻、第4号、1991年4月、497から501ページに、分離した選択トランジスタを形成するためにドーピングされたポリシリコンゲートがメモリセルチャネルの一部に拡がっている分割ゲート構成における同様のセルが説明されている。前記2つの記事は、その全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。参照することにより本明細書に組み込まれるWilliam D. Brown及びJoe E. Brewerによって編集された「Nonvolatile Semiconductor Memory Technology」、IEEE出版1998年の第1.2項にも、誘電電荷トラップ装置に適用可能である書き込み技法が説明されている。他のタイプのメモリ素子も使用できる。   In addition to NAND flash memory, other types of non-volatile storage devices can also be used. For example, the present invention is basically applicable to a so-called TANOS structure (structure composed of a stack of TaN—Al 2 O 3 —SiN—SiO 2) which is basically a memory cell that traps charges in a nitride layer (instead of a floating gate). Applicable. Another memory cell is in the article by Chan et al., "A True Single-Transistor Oxide-Nitride-Oxide EEPROM Device", IEEE ELECTRON DEVICE Letters, EDL-8, No. 3, March 1987, pages 93-95. Explained. A three-layer dielectric formed of silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxide (“ONO”) is sandwiched between the surface of the semiconductive substrate and the conductive control gate over the memory cell channel. The cell is written by injecting electrons from the cell channel into the nitride, where the electrons are trapped and stored in the restricted region. This accumulated charge then alters the threshold voltage of a portion of the cell's channel in a detectable manner. The cell is erased by injecting hot holes into the nitride. Nozaki et al., “A 1-Mb EEPROM with MONOS Memory Cell for Semiconductor Disk Application”, IEEE Journal of Solid-State Circuits, Vol. 26, No. 4, April 1991, pages 497 to 501 A similar cell is described in a split gate configuration in which a polysilicon gate doped to form a portion extends into a portion of a memory cell channel. The two articles are incorporated herein by reference in their entirety. "Nonvolatile Semiconductor Memory Technology" edited by William D. Brown and Joe E. Brewer, incorporated herein by reference, also applies to dielectric charge trapping devices, paragraph 1.2 of IEEE Publication 1998. A writing technique is described. Other types of memory elements can also be used.

図3は、複数のメモリセル(例えば、NANDマルチステートフラッシュメモリなど)のページに平行して読み出しおよび書き込みを行うリード/ライト回路を有する記憶デバイス210を示している。記憶デバイス210は1以上のメモリダイまたはチップ212を備えていてもよい。メモリダイ212は、メモリセルの(2次元又は3次元の)アレイ200、制御回路220、及び、リード/ライト回路230Aと230Bを有する。一実施形態では、様々な周辺回路によるメモリアレイ200へのアクセスはアレイの両側で対称的に実装されており、これにより、各側のアクセスライン及び回路の密度が半分に低減される。リード/ライト回路230A及び230Bは、複数のセンスブロック300を有しており、それらのセンスブロック300によって1ページのメモリセルを並列に読み出し又は書き込みすることができる。メモリアレイ200は、行デコーダ240Aと240Bを介したワードラインと、列デコーダ242Aと242Bを介したビットラインによってアドレス指定される。典型的な実施形態では、コントローラ244は、1つ以上のメモリダイ212のような同じメモリデバイス210(例えば、取り外し可能なストレージカード又はパッケージ)内に含まれる。命令、及びデータは、ライン232を介してホストとコントローラ244の間で転送され、また、ライン234を介してコントローラと1つ以上のメモリダイ212の間で転送される。   FIG. 3 shows a storage device 210 having a read / write circuit that reads and writes in parallel to a page of a plurality of memory cells (eg, a NAND multi-state flash memory). Storage device 210 may comprise one or more memory dies or chips 212. The memory die 212 includes a (two-dimensional or three-dimensional) array 200 of memory cells, a control circuit 220, and read / write circuits 230A and 230B. In one embodiment, access to the memory array 200 by various peripheral circuits is implemented symmetrically on both sides of the array, thereby reducing the density of access lines and circuits on each side in half. The read / write circuits 230 </ b> A and 230 </ b> B have a plurality of sense blocks 300, and one sense page 300 can read or write one page of memory cells in parallel. Memory array 200 is addressed by a word line through row decoders 240A and 240B and a bit line through column decoders 242A and 242B. In an exemplary embodiment, controller 244 is included in the same memory device 210 (eg, a removable storage card or package), such as one or more memory dies 212. Instructions and data are transferred between the host and controller 244 via line 232, and between the controller and one or more memory dies 212 via line 234.

制御回路220は、リード/ライト回路230Aと230Bと協調して、メモリアレイ200に対してメモリ動作を実行する。制御回路220は、ステートマシン222、オンチップアドレスデコーダ224、及び電力制御モジュール226を有している。ステートマシン222は、メモリ動作のチップレベルの制御を提供する。オンチップアドレスデコーダ224は、ホスト又はメモリコントローラによって用いられるアドレスと、デコーダ240A、240B、242A及び242Bによって用いられるハードウェアアドレスの間のアドレスインタフェースを提供する。電力制御モジュール226は、メモリ動作中のワードライン及びビットラインに供給される電力及び電圧を制御する。一実施形態では、電力制御モジュール226は、供給電力より大きな電圧を作り出すことができる一つ以上のチャージポンプを有する。   The control circuit 220 performs a memory operation on the memory array 200 in cooperation with the read / write circuits 230A and 230B. The control circuit 220 includes a state machine 222, an on-chip address decoder 224, and a power control module 226. The state machine 222 provides chip level control of memory operations. On-chip address decoder 224 provides an address interface between addresses used by the host or memory controller and hardware addresses used by decoders 240A, 240B, 242A, and 242B. The power control module 226 controls the power and voltage supplied to the word lines and bit lines during the memory operation. In one embodiment, the power control module 226 has one or more charge pumps that can produce a voltage greater than the supply power.

一実施形態では、制御回路220、電力制御回路226、デコーダ回路224、ステートマシン回路222、デコーダ回路242A、デコーダ回路242B、デコーダ回路240A、デコーダ回路240B、リード/ライト回路230A、リード/ライト回路230B、及び/又はコントローラ244の一つ又は幾つかの組合せは、1つの管理回路、或いは複数の管理回路群と称されることがある。1以上の管理回路は、本明細書で記述する処理を実行する。   In one embodiment, the control circuit 220, power control circuit 226, decoder circuit 224, state machine circuit 222, decoder circuit 242A, decoder circuit 242B, decoder circuit 240A, decoder circuit 240B, read / write circuit 230A, read / write circuit 230B , And / or one or several combinations of the controller 244 may be referred to as one management circuit or a plurality of management circuit groups. One or more management circuits perform the processing described herein.

図4は、メモリセルアレイ200の例示的な構造を示す。一実施形態においては、メモリセルのアレイは、数多くのブロックに分割される(例えば、ブロック0−1023や、その他の量など)。フラッシュEEPROMシステムに一般的であるように、ブロックは消去の単位である。すなわち、各ブロックは共に消去される最小数のメモリセルを含む。   FIG. 4 shows an exemplary structure of the memory cell array 200. In one embodiment, the array of memory cells is divided into a number of blocks (eg, blocks 0-1023 and other quantities). A block is a unit of erase, as is common in flash EEPROM systems. That is, each block includes the minimum number of memory cells that are erased together.

1のブロックは、ビットライン(例えばビットラインBL0−BL69623)およびワードライン(WL0、WL1、WL2、WL3)を介してアクセスされるNANDストリングのセットを備えている。図4は、直列接続されることでNANDストリングを形成している、4つのメモリセルを示している。各々のNANDストリングに4つのセルが含まれているが、4個よりも少ない、或いは、4個よりも多いメモリセルを有していてよい(例えば、NANDストリングによっては、16個、32個、64個、128個やその他の数のメモリセルを有していてもよい。)各NANDストリングの一端は、(選択ラインSGDに接続されている)ドレイン選択ゲートを介して対応するビットラインに接続されており、他端は、(選択ラインSGSに接続されている)ソース選択ゲートを介してソースラインに接続されている。   One block comprises a set of NAND strings accessed via bit lines (eg, bit lines BL0-BL69623) and word lines (WL0, WL1, WL2, WL3). FIG. 4 shows four memory cells that are connected in series to form a NAND string. Each NAND string includes four cells, but may have fewer than four or more than four memory cells (eg, depending on the NAND string, 16, 32, (You may have 64, 128 or other numbers of memory cells.) One end of each NAND string is connected to the corresponding bit line via a drain select gate (connected to a select line SGD) The other end is connected to the source line via a source selection gate (connected to the selection line SGS).

別の実施形態では、ビットラインは偶数のビットラインと奇数のビットラインに分けられる。奇数/偶数ビットラインアーキテクチャでは、共通ワードラインに沿っており奇数ビットラインに接続されたメモリセル群は、同時に書き込みが行われる。これに対し、共通ワードラインに沿っており偶数ビットラインに接続されたメモリセル群は、奇数ビットラインに接続されたメモリセル群の書き込みとは別のタイミングで書き込みが行われる。   In another embodiment, the bit lines are divided into even bit lines and odd bit lines. In the odd / even bit line architecture, a group of memory cells along the common word line and connected to the odd bit line are written simultaneously. On the other hand, the memory cell group along the common word line and connected to the even bit line is written at a timing different from the writing of the memory cell group connected to the odd bit line.

各ブロックは、通常、複数のページに分割される。一実施形態においては、ページは書き込みの単位である。通常、1つ又は複数ページのデータが1列のメモリセルに記憶される。例えば、データの1以上のページが、共通ワードラインに接続されたメモリセルに記憶されてもよい。1つのページは、1つ又は複数のセクタを記憶できる。1つのセクタは、ユーザデータとオーバヘッドデータ(システムデータとも呼ばれる)を含む。オーバヘッドデータは、通常、セクタのユーザデータから算出される誤り訂正符号(Error Correction Code:ECC)とヘッダ情報を含む。コントローラ(または他の構成要素)の一部が、データがアレイに書き込まれているときにECCを計算し、データがアレイから読み出されているときにECCのチェックも行う。代わりに、ECC及び/又は他のオーバヘッドデータはそれらが関係するユーザデータとは異なるページに記憶され、または異なるブロックに記憶されることがある。ユーザデータのセクタは通常、磁気ディスクドライブ内のセクタサイズに相当する512バイトである。例えば8ページから32、64、128、或いはそれ以上のページまでの多数のページが1ブロックを形成する。異なるサイズのブロックと配置も採用することができる。   Each block is usually divided into a plurality of pages. In one embodiment, a page is a unit of writing. Usually, one or more pages of data are stored in one column of memory cells. For example, one or more pages of data may be stored in memory cells connected to a common word line. A page can store one or more sectors. One sector includes user data and overhead data (also called system data). The overhead data usually includes an error correction code (ECC) calculated from user data of the sector and header information. Some of the controllers (or other components) calculate the ECC when data is being written to the array and also check the ECC when data is being read from the array. Instead, ECC and / or other overhead data may be stored on a different page than the user data to which they relate, or stored in a different block. The sector of user data is usually 512 bytes corresponding to the sector size in the magnetic disk drive. For example, many pages from 8 pages to 32, 64, 128, or more pages form one block. Different sized blocks and arrangements can also be employed.

図5は、センスモジュール480と呼ばれるコア部と共通部490に分割された個々のセンスブロック300のブロック図である。一実施形態では、各ビットラインに対して個別のセンスモジュール480を用意し、一組の複数センスモジュール480に対して一つの共通部490を用意してもよい。一例として、1個のセンスブロックは、1個の共通部490と8個のセンスモジュール480を有している。グループ内の各センスモジュールは、データバス472を介して協働する共通部と通信する。さらなる詳細としては、その全体を参照することにより本明細書に組み込まれる米国特許出願公開公報2006/0140007号を参照されたい。   FIG. 5 is a block diagram of individual sense blocks 300 divided into a core portion and a common portion 490 called a sense module 480. In one embodiment, separate sense modules 480 may be prepared for each bit line, and one common unit 490 may be prepared for a set of multiple sense modules 480. As an example, one sense block has one common part 490 and eight sense modules 480. Each sense module in the group communicates with a common unit that cooperates via a data bus 472. For further details, see US Patent Application Publication No. 2006/0140007, which is hereby incorporated by reference in its entirety.

センスモジュール480は、接続されたビットライン内の伝導電流が予め決められた閾値レベルより高いか低いかを判定するセンス回路470を備えている。幾つかの実施形態では、センスモジュール480は、センスアンプと一般に呼ばれる回路を有する。センスモジュール480は、さらに、接続されたビットラインに電圧状態を設定するために用いられるビットラインラッチ482を有している。例えば、ビットラインラッチ482内で予め決められた状態がラッチされることによって、接続されたビットラインを、書き込み禁止を指定する状態(例えば、Vdd)に引き上げる(プル)する。   The sense module 480 includes a sense circuit 470 that determines whether the conduction current in the connected bit line is higher or lower than a predetermined threshold level. In some embodiments, the sense module 480 includes a circuit commonly referred to as a sense amplifier. The sense module 480 further includes a bit line latch 482 that is used to set a voltage state on the connected bit line. For example, when a predetermined state is latched in the bit line latch 482, the connected bit line is pulled up (pulled) to a state (for example, Vdd) designating write inhibition.

共通部490は、プロセッサ492、1組のデータラッチ494、及び、1組のデータラッチ494とデータバス420の間を接続するI/Oインタフェース496を備えている。プロセッサ492は計算を実行する。例えば、その機能の1つは、センスされたメモリセル内に記憶されているデータを特定し、特定されたデータを一組のデータラッチ内に記憶することである。1組のデータラッチ494は、読み出し動作において、プロセッサ492によって特定されたデータビット群を記憶するために用いられる。一組のデータラッチ494は、書き込み動作において、データバス420から取り込んだデータビット群を記憶するためにも用いられる。取り込まれるデータビット群は、メモリ内に書き込む予定のライトデータ(書き込みデータ)を表す。I/Oインタフェース496は、データラッチ494とデータバス420の間のインタフェースを提供する。   The common unit 490 includes a processor 492, a set of data latches 494, and an I / O interface 496 that connects between the set of data latches 494 and the data bus 420. The processor 492 performs the calculation. For example, one of its functions is to identify data stored in sensed memory cells and store the identified data in a set of data latches. A set of data latches 494 is used to store data bits specified by the processor 492 in a read operation. The set of data latches 494 is also used to store data bits taken from the data bus 420 in a write operation. The fetched data bit group represents write data (write data) to be written in the memory. The I / O interface 496 provides an interface between the data latch 494 and the data bus 420.

読み出し又はセンス中には、システムの動作はステートマシン222の制御下にあり、ステートマシン222は(電力制御モジュール226を用いて)アドレス指定されたセルへの種々の制御ゲート電圧の供給を制御する。
メモリに用意された様々なメモリ状態に対応する様々な既定制御ゲート電圧のステップを進む毎に、センスモジュール480はこれらの電圧の1つに遷移し、バス472を介してセンスモジュール480からプロセッサ492に出力が提供される。その時点で、プロセッサ492は、センスモジュールの遷移イベントと、ステートマシンから入力ライン493を介して加えられた制御ゲート電圧についての情報によって、結果としてのメモリ状態を特定する。それから、プロセッサは、メモリ状態に対するバイナリ符号化を計算し、得られたデータビット群をデータラッチ494に格納する。コア部の別の実施形態では、ビットラインラッチ482は、センスモジュール480の出力をラッチするラッチ、及び、上記のようなビットラインラッチの二つの役割を持つ。
During read or sense, system operation is under the control of state machine 222, which controls the supply of various control gate voltages to the addressed cell (using power control module 226). .
As each step through the various predetermined control gate voltage steps corresponding to the various memory states provided in the memory, the sense module 480 transitions to one of these voltages and from the sense module 480 to the processor 492 via the bus 472. Output is provided. At that point, the processor 492 identifies the resulting memory state with information about the sense module transition event and the control gate voltage applied via the input line 493 from the state machine. The processor then calculates the binary encoding for the memory state and stores the resulting group of data bits in the data latch 494. In another embodiment of the core portion, the bit line latch 482 has the dual role of a latch that latches the output of the sense module 480 and a bit line latch as described above.

当然のことながら、いくつかの実装形態では複数のプロセッサ492を有することができる。一実施形態では、各プロセッサ492は出力ライン(図5には示されていない)を有し、各出力ラインは共にワイヤードOR(配線論理和)接続される。いくつかの実施形態では、出力ラインは、ワイヤードORラインに接続される前段階で反転される。この構成は、ワイヤードORの結果を受け取るステートマシンが、書き込まれる全てのビットがいつ所望のレベルに到達したかを判断できるので、書き込み処理の完了時点を判定する書き込み検証処理における素早い判定を可能にする。例えば、各ビットがその所望のレベルに到達すると、そのビット用の論理「0」がワイヤードORラインに送られる(又はデータ「1」が反転される)。全てのビットがデータ「0」を出力すると(又はデータ「1」が反転されると)、ステートマシンは書き込み処理の完了を知る。各プロセッサが8個のセンスモジュールと通信する実施形態では、(いくつかの実施形態において)ステートマシンはワイヤードORラインを8回読み出す必要があってもよいし、あるいは、協働するビットラインの結果を蓄積するための論理をプロセッサ492に追加し、ステートマシンがワイヤードORラインを一度だけ読み出せば良いようにしてもよい。   Of course, some implementations may have multiple processors 492. In one embodiment, each processor 492 has an output line (not shown in FIG. 5), and each output line is wired-ORed together. In some embodiments, the output line is inverted prior to being connected to the wired OR line. This configuration allows a state machine that receives the wired-OR result to determine when all the bits to be written have reached the desired level, thus enabling quick determination in the write verification process that determines when the write process is complete To do. For example, when each bit reaches its desired level, a logic “0” for that bit is sent to the wired OR line (or data “1” is inverted). When all bits output data “0” (or when data “1” is inverted), the state machine knows the completion of the write process. In embodiments where each processor communicates with 8 sense modules, the state machine may need to read the wired OR line 8 times (in some embodiments) or the result of cooperating bit lines. May be added to the processor 492 so that the state machine reads the wired OR line only once.

データラッチスタック494は、センスモジュールに対応するデータラッチのスタックを有する。一実施形態では、センスモジュール480毎に3個(或いは4個或いはその他の数の)データラッチが存在する。一実施形態では、ラッチは夫々1ビットである。   The data latch stack 494 has a stack of data latches corresponding to the sense module. In one embodiment, there are three (or four or some other number) data latches per sense module 480. In one embodiment, each latch is 1 bit.

書き込み又は検証処理の間、書き込まれるべきデータはデータバス420から1組のデータラッチ494内に記憶される。検証処理の間、プロセッサ492は、所望のメモリ状態に対する検証メモリ状態を監視する。その2つが一致したとき、プロセッサ492は、書き込み禁止を指定する状態にビットラインを引き上げる(プルする)ようにビットラインラッチ482を設定する。これにより、たとえ書き込みパルスがその制御ゲートに影響しても、ビットラインに接続したセルがさらに書き込みされないようにすることができる。他の実施形態では、プロセッサが最初にビットラインラッチ482をロードし、センス回路が検証処理中にそれに禁止値を設定する。   During the write or verify process, the data to be written is stored in a set of data latches 494 from the data bus 420. During the verification process, the processor 492 monitors the verification memory state for the desired memory state. When the two match, the processor 492 sets the bit line latch 482 to pull up (pull) the bit line to a state in which write inhibition is designated. As a result, even if the write pulse affects the control gate, the cell connected to the bit line can be prevented from being further written. In other embodiments, the processor first loads the bit line latch 482 and the sense circuit sets the inhibit value to it during the verification process.

いくつかの実装形態では、(必須ではないが)データラッチはシフトレジスタとして実装され、内部に記憶されたパラレルデータをデータバス420用にシリアルデータに変換したり、その逆を行ったりする。好適な一実施形態では、m個のメモリセルのリード/ライトブロックに対応する全てのデータラッチを相互にリンクしてブロックシフトレジスタを構成し、シリアル転送によってデータのブロックを入力または出力できるようにする。特に、リード/ライトモジュールの一群のデータラッチのそれぞれが、データバスへ或いはデータバスからデータを順に転送するようにリード/ライトモジュールのバンクを構成し、一群のデータラッチがあたかもリード/ライトブロック全体のシフトレジスタの一部であるかのようにしてもよい。   In some implementations (although not required) the data latch is implemented as a shift register that converts internally stored parallel data to serial data for the data bus 420 and vice versa. In a preferred embodiment, all data latches corresponding to the read / write blocks of m memory cells are linked together to form a block shift register so that a block of data can be input or output by serial transfer. To do. In particular, each group of data latches in the read / write module constitutes a bank of read / write modules so that data is transferred in sequence to or from the data bus so that the group of data latches is as if the entire read / write block It may be as if it is a part of the shift register.

読み出し動作やセンスアンプについてのさらなる情報は次の文献に記載されている。(1)米国特許出願公開2004/0057287号、「Non-Volatile Memory And Method With Reduced Source Line Bias Errors」、2004年3月25日公開、(2)米国特許出願公開2004/0109357号、「Non-Volatile Memory And Method with Improved Sensing」、2004年6月10日公開、(3)米国特許出願公開20050169082号、(4)米国特許出願公開2006/0221692号、「Compensating for Coupling During Read Operations of Non-Volatile Memory」、発明者Jian Chen、2005年4月5日出願、及び、(5)米国特許出願第11/321,953号、「Reference Sense Amplifier For Non-Volatile Memory」、発明者Siu Lung Chan及びRaul−Adrian Cernea、2005年12月28日出願。これら5個の特許文献の全ては、その全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。   More information on read operations and sense amplifiers can be found in the following document: (1) US Patent Application Publication No. 2004/0057287, “Non-Volatile Memory And Method With Reduced Source Line Bias Errors”, published on March 25, 2004, (2) US Patent Application Publication No. 2004/0109357, “Non- Volatile Memory And Method with Improved Sensing ”, published on June 10, 2004, (3) US Patent Application Publication No. 20050169082, (4) US Patent Application Publication No. 2006/0221692,“ Compensating for Coupling During Read Operations of Non-Volatile ”. Memory ", inventor Jean Chen, filed April 5, 2005, and (5) US Patent Application No. 11 / 321,953," Reference Sense Amplifier For Non-Volatile Memory ", Inventors Siu Lung Chan and Raul. -Adrian Cernea, filed December 28, 2005. All of these five patent documents are hereby incorporated by reference in their entirety.

成功した(検証を含む)書き込み処理の最後において、メモリセルの閾値電圧は、必要に応じて、書き込まれたメモリセルの1つ又は複数の閾値電圧の区分内、或いは、消去されたメモリセルの閾値電圧の区分内となる。各メモリセルが3ビットデータを記憶する場合における、メモリセルアレイについての閾値電圧区分(或いはデータ状態)の例を図6に示す。この一方で、他の実施形態では、1メモリセルあたり3ビットよりも多い、或いは3ビットよりも少ないデータを記憶するとしてもよい(例えば、1メモリセルあたり4ビット以上のデータを記憶するなど)。   At the end of a successful write process (including verification), the threshold voltage of the memory cell can be changed within one or more threshold voltage segments of the written memory cell, or of the erased memory cell, as required. It falls within the threshold voltage category. FIG. 6 shows an example of threshold voltage division (or data state) for the memory cell array when each memory cell stores 3-bit data. On the other hand, in other embodiments, data of more than 3 bits per memory cell or less than 3 bits may be stored (for example, data of 4 bits or more per memory cell). .

図6の例では、各々のメモリセルは3ビットのデータを保持する。よって、8つの有効なデータ状態S0−S7が存在する。一実施形態では、データ状態S0は0ボルトより低く、データ状態S1−S7は0ボルトより高い。他の実施形態として、8つのデータ状態の全てが0ボルトより高い場合や、その他のアレンジが実行可能である。一実施形態では、S0の閾値電圧区分がS1−S7の区分よりも広い。   In the example of FIG. 6, each memory cell holds 3-bit data. Thus, there are eight valid data states S0-S7. In one embodiment, data state S0 is less than 0 volts and data states S1-S7 are greater than 0 volts. In other embodiments, all eight data states are higher than 0 volts, or other arrangements can be performed. In one embodiment, the threshold voltage segment for S0 is wider than the segment for S1-S7.

各々のデータ状態は、メモリセルに記憶された3ビットデータの固有の値に対応する。一実施形態では、S0=111,S1=110,S2=101,S3=100,S4=011,S5=010,S6=001,S7=000,である。データ状態S0−S7の他のマッピングも使用することができる。一実施形態では、1つのメモリセルに記憶されている全てのビットのデータは、同一の論理ページに記憶される。他の実施形態では、1つのメモリセルに記憶されているビットのデータの各々は、異なるページに対応する。従って、3ビットのデータを記憶している1つのメモリセルは、第1ページ、第2ページ、第3ページのデータを含んでいる。いくつかの実施形態では、同一のワードラインに接続された全てのメモリセルが、同一の3ページのデータを記憶するとされる。いくつかの実施形態では、1つのワードラインに接続されたメモリセルが異なるセットのページに分類される(例えば、偶数および奇数ビットライン)。   Each data state corresponds to a unique value of 3-bit data stored in the memory cell. In one embodiment, S0 = 111, S1 = 110, S2 = 101, S3 = 100, S4 = 011, S5 = 010, S6 = 001, S7 = 000. Other mappings of data states S0-S7 can also be used. In one embodiment, all bits of data stored in one memory cell are stored in the same logical page. In other embodiments, each bit of data stored in one memory cell corresponds to a different page. Accordingly, one memory cell storing 3-bit data includes data of the first page, the second page, and the third page. In some embodiments, all memory cells connected to the same word line are assumed to store the same three pages of data. In some embodiments, memory cells connected to one word line are classified into different sets of pages (eg, even and odd bit lines).

いくつかの先行技術の装置では、メモリセルが消去されて状態S0となる。メモリセルは、状態S0から状態S1−S7の何れかへ書き込まれてもよい。一実施形態では、フルシーケンスプログラミングとして知られている、
消去された状態S0から書き込まれた状態S1−S7の何れかに直接に書き込む方法を行うことができる。例えば、メモリセル群内の大多数のメモリセルが消去状態S0になるように、書き込み対象のメモリセル群が最初に消去されてもよい。あるメモリセルが状態S0から状態S1へ書き込まれる間に、他のメモリセルが状態S0から状態S2へ、状態S0から状態S3へ、状態S0から状態S4へ、状態S0から状態S5へ、状態S0から状態S6へ、状態S0から状態S7へ、書き込まれる。フルシーケンスプログラミングは、図6の7つの曲線状の矢印を用いて図示されている。
In some prior art devices, the memory cell is erased to state S0. The memory cell may be written from state S0 to any of states S1-S7. In one embodiment, known as full sequence programming,
A method of directly writing to any of the states S1-S7 written from the erased state S0 can be performed. For example, the memory cell group to be written may be erased first so that the majority of the memory cells in the memory cell group are in the erased state S0. While one memory cell is being written from state S0 to state S1, another memory cell is from state S0 to state S2, from state S0 to state S3, from state S0 to state S4, from state S0 to state S5, and state S0. From state S6 to state S6 and state S0 to state S7. Full sequence programming is illustrated using the seven curved arrows in FIG.

図7A−7Iは、何れの特定のメモリセルについても、前のページの隣接メモリセルに書込みが行われた後で、その特定ページに関連する特定のメモリセルに書き込みを行うことによってフローティングゲート間の結合現象を低減する、不揮発性記憶素子の書込みの他の処理方法を示している。図7A−Iの処理は、3つの書き込み処理ステップである。第1ステップに先立ち、状態S0の消去閾値区分にするために、メモリセルを消去することができる。   FIGS. 7A-7I show that for any particular memory cell, after writing to the adjacent memory cell of the previous page, writing to the particular memory cell associated with that particular page causes the floating gate to 10 shows another processing method of writing in the nonvolatile memory element that reduces the coupling phenomenon of FIG. The process of FIGS. 7A-I is three write processing steps. Prior to the first step, the memory cell can be erased to be in the erase threshold section of state S0.

図7A−7Iの処理では、各々のメモリセルが3ビットのデータを記憶しており、各々のビットは異なるページに属すると仮定する。データの第1ビット(一番左のビット)は、第1ページと関連する。真ん中のビットは、第2ページと関連する。一番右のビットは、第3ページと関連する。データとデータ状態との相関は、以下の通りである:S0=111,S1=110,S2=101,S3=100,S4=011,S5=010,S6=001,S7=000。しかしながら他の実施形態では、他のデータコード化配列も使用可能である。   In the processing of FIGS. 7A-7I, it is assumed that each memory cell stores 3 bits of data and each bit belongs to a different page. The first bit of data (the leftmost bit) is associated with the first page. The middle bit is associated with the second page. The rightmost bit is associated with the third page. The correlation between data and data status is as follows: S0 = 111, S1 = 110, S2 = 101, S3 = 100, S4 = 011, S5 = 010, S6 = 001, S7 = 000. However, in other embodiments, other data coding sequences can be used.

(図7Aに示すように)第1ページに書き込む際において、ビットをデータ“1”にする場合には、メモリセルは状態S0が維持される(閾値電圧区分502)。ビットをデータ“0”にする場合には、メモリセルに書き込みが行われ、状態S4となる(閾値電圧区分504)。隣接するメモリセルが書き込まれた後、隣接するフローティングゲート間の容量結合により、図7Bに示すように、状態S4が広くなることがある。状態S0も広くなることがあるが、S0とS1の間には十分な余裕があるため、その影響を無視できる。フローティングゲート間の結合現象についての詳細は、米国特許第5,867,429号および米国特許第6,657,891号に開示されており、両公報は全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。   When writing to the first page (as shown in FIG. 7A), if the bit is set to data “1”, the memory cell remains in the state S0 (threshold voltage section 502). When the bit is set to data “0”, the memory cell is written and the state S4 is set (threshold voltage section 504). After adjacent memory cells are written, the state S4 may become wide as shown in FIG. 7B due to capacitive coupling between adjacent floating gates. Although the state S0 may also be wide, there is a sufficient margin between S0 and S1, and the influence can be ignored. Details on the coupling phenomenon between floating gates are disclosed in US Pat. No. 5,867,429 and US Pat. No. 6,657,891, both of which are incorporated herein by reference in their entirety. It is.

第2ページを書き込む際において(図7Cを参照)、メモリセルが状態S0であり第2ページのビットをデータ“1”にする場合には、メモリセルは状態S0が維持される。いくつかの実施形態では、第2ページの書き込み処理は閾値電圧区分501を狭めて新たなS0とすることができる。メモリセルが状態S0であり第2ページに書き込むデータが“0”である場合には、メモリセルは状態S0へ移される(閾値電圧区分506)。状態S2は、C*の検証ポイント(最低電圧)を有する。メモリセルが状態S4でありメモリセルに書き込むデータが“1”である場合には、メモリセルは状態S4が維持される。しかしながら図7Cに示すように、状態S4についてメモリセルを閾値電圧区分504から閾値電圧区分508へ移動することによって、状態S4は狭められる。閾値電圧区分508は、(閾値電圧区分504のE**と比較して)E*の検証ポイントを有する。メモリセルが状態S4であり第2ページに書き込むデータが“0”である場合には、メモリセルの閾値電圧は、G*の検証ポイントを有する状態S6(閾値電圧区分510)へ移動される。   When writing the second page (see FIG. 7C), if the memory cell is in the state S0 and the bit of the second page is set to data “1”, the memory cell maintains the state S0. In some embodiments, the second page write process may narrow the threshold voltage segment 501 to a new S0. If the memory cell is in state S0 and the data to be written to the second page is “0”, the memory cell is moved to state S0 (threshold voltage section 506). State S2 has a verification point (lowest voltage) of C *. When the memory cell is in the state S4 and the data written to the memory cell is “1”, the memory cell is maintained in the state S4. However, as shown in FIG. 7C, state S4 is narrowed by moving the memory cell from threshold voltage section 504 to threshold voltage section 508 for state S4. The threshold voltage section 508 has a verification point of E * (as compared to E ** of the threshold voltage section 504). If the memory cell is in state S4 and the data to be written to the second page is “0”, the threshold voltage of the memory cell is moved to state S6 (threshold voltage section 510) having a verification point of G *.

隣接するメモリセルが書き込まれた後、隣接するフローティングゲート間の結合により、図7Dの閾値電圧区分506,208,510に示すように、状態S2,S4,S6が広くされる。時には、状態S0も広くなる場合がある。   After adjacent memory cells are written, states S2, S4, S6 are widened by coupling between adjacent floating gates, as shown in threshold voltage sections 506, 208, 510 of FIG. 7D. Sometimes state S0 also becomes wider.

図7E,7F,7Gおよび7Hは、第3ページの書き込みを示している。書き込みを表すために1つの図を用いてもよいが、見やすくするために、処理を4つの図に示す。第2ページが書き込まれた後では、夫々のメモリセルは状態S0、S2,S4、S6の何れかとなる。図7Eは、第3ページに書き込みが行われる、状態S0のメモリセルを表している。図7Fは、第3ページに書き込みが行われる、状態S2のメモリセルを表している。図7Gは、第3ページに書き込みが行われる、状態S4のメモリセルを表している。図7Hは、第3ページに書き込みが行われる、状態S6のメモリセルを表している。図7Iは、メモリセル群に図7E、7F、7G、7Hの処理が(一斉に、または連続的に)実行された後における、閾値電圧区分を示している。   7E, 7F, 7G and 7H show the writing of the third page. Although one figure may be used to represent writing, the process is shown in four figures for clarity. After the second page is written, each memory cell is in one of states S0, S2, S4, S6. FIG. 7E shows the memory cell in state S0 being written to the third page. FIG. 7F shows the memory cell in state S2 being written to the third page. FIG. 7G shows the memory cell in state S4 where writing to the third page is performed. FIG. 7H shows the memory cell in state S6 where the third page is written. FIG. 7I shows the threshold voltage division after the processing of FIGS. 7E, 7F, 7G, and 7H is performed (simultaneously or continuously) on the memory cell group.

メモリセルが状態S0であり、第3ページのデータが“1”である場合には、メモリセルは状態S0が維持される。第3ページのデータが“0”である場合には、メモリセルの閾値電圧がBの検証ポイントを有する状態S1へ上昇される(図7E参照)。   When the memory cell is in the state S0 and the third page data is “1”, the memory cell maintains the state S0. When the data on the third page is “0”, the threshold voltage of the memory cell is raised to a state S1 having a B verification point (see FIG. 7E).

メモリセルが状態S2であり、第3ページに書き込まれるデータが“1”である場合には、メモリセルは状態S2が維持される(図7F参照)。しかしながら幾つかの書き込みでは、閾値区分506を狭めて、Cボルトの検証ポイントを有する新たな状態S2とすることができる。第3ページに書き込まれるデータが“0”である場合には、メモリセルはDボルトの検証ポイントを有する状態S3に書き込まれる。   When the memory cell is in the state S2 and the data written to the third page is “1”, the memory cell is maintained in the state S2 (see FIG. 7F). However, for some writes, the threshold section 506 can be narrowed to a new state S2 with a C volt verification point. If the data written to the third page is "0", the memory cell is written to state S3 having a D volt verification point.

メモリセルが状態S4であり、第3ページに書き込まれるデータが“1”である場合には、メモリセルは状態S4が維持される(図7G参照)。しかしながら幾つかの書き込みでは、閾値区分508を狭めて、Eの検証ポイントを有する新たな状態S4とすることができる。メモリセルが状態S4であり、第3ページに書き込まれるデータが“0”である場合には、メモリセルの閾値電圧がFの検証ポイントを有する状態S5へ上昇される。   When the memory cell is in the state S4 and the data written to the third page is “1”, the memory cell is maintained in the state S4 (see FIG. 7G). However, for some writes, the threshold section 508 can be narrowed to a new state S4 with E verification points. If the memory cell is in state S4 and the data written to the third page is “0”, the threshold voltage of the memory cell is raised to state S5 having an F verification point.

メモリセルが状態S6であり、第3ページに書き込まれるデータが“1”である場合には、メモリセルは状態S6が維持される(図7H参照)。しかしながら幾つかの書き込みでは、閾値区分510を狭めて、Gの検証ポイントを有する新たな状態S6とすることができる。第3ページのデータが“0”である場合には、メモリセルの閾値電圧がHの検証ポイントを有する状態S7へ書き込まれる。第3ページの書き込みが終了すると、メモリセルは図7Iに示す8つの状態のうち、何れか1つの状態となる。   When the memory cell is in the state S6 and the data written to the third page is “1”, the memory cell is maintained in the state S6 (see FIG. 7H). However, for some writes, the threshold section 510 can be narrowed to a new state S6 with G verification points. When the data of the third page is “0”, the data is written to the state S7 having the verification point where the threshold voltage of the memory cell is H. When the writing of the third page is completed, the memory cell is in any one of the eight states shown in FIG. 7I.

図8は、セットまたは複数のメモリセルの(複数の)ページへの書き込み順序の一例を示す図である。このテーブルは、図4の4本のワードライン(WL0、WL1、WL2およびWL3)についての書き込み順序を表している。しかしながら、このテーブルは、4本より多いまたは少ないワードラインについても適用可能である。WL0に接続されたメモリセルの第1ページが書き込まれ、続いてWL1に接続されたメモリセルの第1ページが書き込まれ、続いてWL0に接続されたメモリセルの第2ページが書き込まれ、続いてWL2に接続されたメモリセルの第1ページが書き込まれ、続いてWL1に接続されたメモリセルの第2ページが書き込まれ、などとなる。   FIG. 8 is a diagram showing an example of the order of writing to a page or pages of a set or a plurality of memory cells. This table represents the write order for the four word lines (WL0, WL1, WL2, and WL3) in FIG. However, this table is also applicable to more or fewer word lines. A first page of memory cells connected to WL0 is written, followed by a first page of memory cells connected to WL1, followed by a second page of memory cells connected to WL0, followed by The first page of the memory cell connected to WL2 is written, the second page of the memory cell connected to WL1 is written, and so on.

図9は、選択されたワードラインに接続されているメモリセルの書き込み処理を説明するフローチャートである。図9の処理の一の実装形態では、メモリセルの劣化を均一に維持するために、メモリセルには事前書き込みが行われる(ステップ550)。一実施形態では、メモリセルは、状態7や、ランダムパターンや、その他のパターンに事前書き込みされる。いくつかの実装形態では、事前書き込みを行う必要がない。   FIG. 9 is a flowchart for explaining the write processing of the memory cell connected to the selected word line. In one implementation of the process of FIG. 9, the memory cells are pre-written to maintain uniform degradation of the memory cells (step 550). In one embodiment, the memory cells are pre-written to state 7, random patterns, and other patterns. Some implementations do not require pre-writing.

ステップ552では、書き込みに先立って、メモリセルが(ブロック単位又は他の単位で)消去される。一実施形態では、ソースとビットラインをフローティング状態にしておきながら、選択されたブロックのワードラインを接地し、十分な時間の間pウェルを消去電圧(例えば20ボルト)にまで上昇させることによってメモリセルが消去される。容量結合のため、非選択ワードライン、ビットライン、選択ライン、及び、ソースもまた、消去電圧のかなりの割合の電圧まで上昇する。そのため、選択されたメモリセルのトンネル酸化物層に強力な電場が加わり、主としてファウラ−ノルドハイムトンネル効果によってフローティングゲートの電子が基板側に放出されて、選択されたメモリセルのデータが消去される。電子がフローティングゲートからp−ウェル領域に移動するにつれて、選択されたセルの閾値電圧が低下する。消去は、メモリアレイ全体、別々のブロック、又はセルの他の単位で行うことができる。一実施形態では、メモリセルが消去された後、全ての消去済みのメモリセルが状態S0となる(図6参照)。   In step 552, the memory cells are erased (in blocks or other units) prior to writing. In one embodiment, the memory is maintained by grounding the word line of the selected block while the source and bit lines are floating and raising the p-well to an erase voltage (eg, 20 volts) for a sufficient amount of time. The cell is erased. Due to capacitive coupling, unselected word lines, bit lines, selected lines, and sources also rise to a voltage that is a significant fraction of the erase voltage. Therefore, a strong electric field is applied to the tunnel oxide layer of the selected memory cell, and electrons of the floating gate are emitted to the substrate side mainly by the Fowler-Nordheim tunnel effect, and the data of the selected memory cell is erased. . As electrons move from the floating gate to the p-well region, the threshold voltage of the selected cell decreases. Erasing can be performed on the entire memory array, separate blocks, or other units of cells. In one embodiment, after the memory cells are erased, all erased memory cells are in state S0 (see FIG. 6).

ステップ554では、消去されたメモリセルの消去閾値電圧の区分を狭めるために、ソフト書き込みが実行される。いくつかのメモリセルは、消去処理の結果として必要以上に低い消去状態にあってよい。ソフト書き込みにより、消去されたメモリセルの閾値電圧を、消去検証レベルに近づくように移動させることができる。例えば図6に示すように、ステップ554は、状態S0と関連する閾値電圧区分を狭めるステップを含むことがあり得る。ステップ556では、本明細書で述べたとおり、ブロックのメモリセルに書き込みが行われる。図9の処理は、上述した多様な回路を用いたステートマシンの指示によって実行されうる。他の実施形態では、上述した多様な回路を用いたコントローラの指示によって実行されうる。図9の処理の実行後に、ブロックのメモリセルは読み出し可能となる。   In step 554, soft writing is performed to narrow the erase threshold voltage segment of the erased memory cell. Some memory cells may be in an erased state that is lower than necessary as a result of the erase process. By soft writing, the threshold voltage of the erased memory cell can be moved closer to the erase verification level. For example, as shown in FIG. 6, step 554 may include narrowing the threshold voltage segment associated with state S0. In step 556, the memory cells of the block are written as described herein. The process of FIG. 9 can be executed by an instruction of a state machine using the various circuits described above. In other embodiments, it may be executed by an instruction from a controller using the various circuits described above. After execution of the process of FIG. 9, the memory cells in the block can be read.

図10は共通ワードラインに接続されているメモリセルに書き込みを実行する際のプロセスを表すフローチャートである。図10のプロセスは、図9のステップ556において1回または複数回実施されうる。例えば、図10の処理は、図6のフルシーケンスプログラミングを実行するために使用することができ、その場合には図10の処理は各々のワードラインについて1回実行されうる。一実施形態では、書き込みプロセスは、ソースラインの最も近くに位置するワードラインから開始して、ビットライン側へ向かって順番に実施される。図10のプロセスは、図7A−Iの書き込み処理に対して、ワードラインのデータのページに書き込みを行うためにも使用しうる。この場合には、各々のワードラインについて図10の処理を3回行うことができる。
他の変更形態もまた使用可能である。
FIG. 10 is a flowchart showing a process for executing writing to the memory cells connected to the common word line. The process of FIG. 10 may be performed one or more times in step 556 of FIG. For example, the process of FIG. 10 can be used to perform the full sequence programming of FIG. 6, in which case the process of FIG. 10 can be performed once for each word line. In one embodiment, the writing process is performed sequentially starting from the word line located closest to the source line and moving toward the bit line side. The process of FIG. 10 can also be used to write to a page of wordline data for the write process of FIGS. 7A-I. In this case, the processing of FIG. 10 can be performed three times for each word line.
Other variations can also be used.

通常、書き込み処理において制御ゲートに印加される書き込み電圧は、連続するパルスとして印加される。書き込みパルスの合間には、検証処理を可能とするための複数の検証パルスが存在する。多くの実装形態では、連続するパルスの各々の大きさが、所定のステップサイズで増加する。ステップ608では、書き込み電圧(Vpgm)が初期値(例えば、12ボルトまでの電圧など、その他の適切な値)に初期化されると共に、ステートマシン222によって維持される書き込みカウンタPCが1に初期化される。ステップ608において、書き込み信号Vpgmの書き込みパルスが、選択ワードライン(書き込み用に選択されたワードライン)に印加される。非選択ワードラインは、従来知られる昇圧方法を実行することで、1以上の昇圧電圧(例えば、8ボルトまでの電圧)を受ける。メモリセルが書き込まれる場合には、対応するビットラインが接地される。一方、メモリセルが現在のデータ状態を維持する場合には、書き込みを禁止するために、対応するビットラインがVDDに接続される。昇圧方式に関するさらなる情報は、米国特許第6,859,397号、および、米国特許出願第11/555,850号に記載されている。これらの両方の文献の内容は、その全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。   Usually, the write voltage applied to the control gate in the write process is applied as a continuous pulse. There are a plurality of verification pulses for enabling the verification process between the write pulses. In many implementations, the magnitude of each successive pulse is increased by a predetermined step size. In step 608, the write voltage (Vpgm) is initialized to an initial value (eg, other suitable value such as a voltage up to 12 volts) and the write counter PC maintained by the state machine 222 is initialized to 1. Is done. In step 608, a write pulse of the write signal Vpgm is applied to the selected word line (word line selected for writing). The unselected word lines receive one or more boosted voltages (for example, voltages up to 8 volts) by executing a conventionally known boosting method. When a memory cell is written, the corresponding bit line is grounded. On the other hand, when the memory cell maintains the current data state, the corresponding bit line is connected to VDD in order to inhibit writing. Further information regarding the boosting scheme is described in US Pat. No. 6,859,397 and US patent application Ser. No. 11 / 555,850. The contents of both of these documents are hereby incorporated by reference in their entirety.

ステップ612では、適切な一組の目標レベルを使用して、選択されたメモリセルのデータ状態が検証される。選択されたメモリセルの閾値電圧が適切な目標レベルに達していることが検知された場合には、例えばそのメモリセルのビットライン電圧がその後の書き込みパルスの間高められることにより、そのメモリセルは以後の書き込みから除外される。ステップ614において、全てのメモリセルが目標閾値電圧に到達したか否かが確認される。到達している場合には、全ての選択されたメモリセルが書き込まれていると共に目標状態が検証されているため、書き込み処理が完了し成功している。ステップ616において「合格」ステータスが通知される。ステップ614の幾つかの実装形態では、少なくとも予め決められた数のメモリセルが適切に書き込まれたことが検証されたか否かがチェックされることに留意されたい。この予め決められた数は、全メモリセル数よりも少なくてもよく、従って、全メモリセルが適切な検証レベルに到達する前に書き込み処理が終了し得る。書き込みに成功しなかったメモリセルは、読み出し処理におけるエラー訂正によって訂正され得る。   In step 612, the data state of the selected memory cell is verified using an appropriate set of target levels. If it is detected that the threshold voltage of the selected memory cell has reached an appropriate target level, the memory cell is increased, for example, by increasing the bit line voltage of the memory cell during subsequent write pulses. Excluded from subsequent writes. In step 614, it is checked whether all memory cells have reached the target threshold voltage. If it has reached, all the selected memory cells have been written and the target state has been verified, so the write process is complete and successful. In step 616, a “pass” status is notified. Note that in some implementations of step 614, it is checked whether at least a predetermined number of memory cells have been verified to be properly written. This predetermined number may be less than the total number of memory cells, and thus the write process may be completed before all the memory cells reach an appropriate verification level. Memory cells that have not been successfully written can be corrected by error correction in the read process.

ステップ614において、全てのメモリセルが目標閾値電圧に到達しているのではないと判断された場合、書き込み処理は継続する。ステップ618では、書き込みカウンタPCが書き込み限度値(PL)に対してチェックされる。書き込み限度値の一例は20である。しかしながら、様々な実装形態においてこれ以外の値の使用も可能である。書き込みカウンタPCが書き込み限度値未満でない場合には、ステップ630にて、書き込みに成功していないメモリセルの数が既定数以下かどうかが判定される。書き込みに失敗したメモリセルの数が既定数以下の場合には、ステップ632にて、書き込み処理に合格のフラグが立てられ、合格のステータスが通知される。多くの場合、書き込みに失敗したメモリセルは、読み出し処理においてエラー訂正を使って訂正され得る。しかし、書き込みに失敗したメモリセルの数が既定数よりも多い場合には、ステップ634にて、書き込み処理に失敗したことを示すフラグが立てられ、失敗ステータスが通知される。   If it is determined in step 614 that all the memory cells have not reached the target threshold voltage, the write process continues. In step 618, the write counter PC is checked against the write limit value (PL). An example of the write limit value is 20. However, other values can be used in various implementations. If the write counter PC is not less than the write limit value, it is determined in step 630 whether the number of memory cells that have not been successfully written is equal to or less than a predetermined number. If the number of memory cells that failed to be written is equal to or less than the predetermined number, in step 632, a flag indicating that the writing process has passed is set, and a passing status is notified. In many cases, memory cells that fail to be written can be corrected using error correction in the read process. However, if the number of memory cells that have failed to be written is greater than the predetermined number, a flag indicating that the writing process has failed is set in step 634 and a failure status is notified.

ステップ618にて書き込みカウンタPCが書き込み制限値未満であると判断された場合には、ステップ620においてシステムは、書き込み電圧がその最大値(最大書き込み電圧と呼ばれる)に到達したか否かを判定する。例えば、幾つかのメモリシステムでは、供給電圧から書き込み電圧を生成するためにチャージポンプが用いられる。このチャージポンプが最大電圧値を有する場合や、システムがワードラインに印加可能な最大電圧値を制約する場合がある。選択ワードラインに印加されている書き込み電圧が最大書き込み電圧に未到達である場合には、次のVpgmパルスの大きさがステップサイズ(例えば、0.2−0.4ボルトのステップサイズ)だけ増加され、書き込みカウンタPCがステップ622にてインクリメントされる。一実施形態では、ステップ622においてパルス幅は変更されない。ステップ622の後、処理はステップ610にループバックし、次のVpgmパルスが印加される。   If it is determined in step 618 that the write counter PC is less than the write limit value, then in step 620 the system determines whether the write voltage has reached its maximum value (referred to as the maximum write voltage). . For example, in some memory systems, a charge pump is used to generate a write voltage from a supply voltage. The charge pump may have a maximum voltage value or the system may limit the maximum voltage value that can be applied to the word line. If the write voltage applied to the selected word line has not reached the maximum write voltage, the magnitude of the next Vpgm pulse is increased by a step size (eg, a step size of 0.2-0.4 volts). The write counter PC is incremented in step 622. In one embodiment, the pulse width is not changed in step 622. After step 622, the process loops back to step 610 and the next Vpgm pulse is applied.

ステップ620において、書き込み電圧の大きさが最大書き込み電圧に到達している(または最大書き込み電圧を上回っている)と判定される場合には、書き込み信号Vpgmの持続時間を異ならせるために、検証処理の合間に1つ以上の書き込みパルスが印加される(ステップ624)。例えば、よりパルス幅の広い書き込みパルスを用いることや、複数の書き込みパルスを用いることによって、検証処理の間(例えば、ステップ612の繰り返しの間)に選択メモリセルに印加される書き込み電圧の量が増加される。選択メモリセルに印加される書き込み電圧の量を増加するために複数の書き込みパルスを用いる場合には、システムは、1つのパルス群に属する複数のパルス間に検証処理を行わないとすることができる。より正確には、1つ以上の検証処理が複数パルスのパルス群(ステップ612の前の反復)に先立って行われると共に、1つ以上の検証処理が複数パルスのパルス群(ステップ612の次の反復)の後に行われるとすることができる。パルス幅の広いパルスを用いる場合、または複数の書き込みパルスを用いる場合の何れにおいても、書き込みパルスの大きさを最大書き込み電圧以下にすることができる。   If it is determined in step 620 that the magnitude of the write voltage has reached the maximum write voltage (or exceeds the maximum write voltage), a verification process is performed to vary the duration of the write signal Vpgm. One or more write pulses are applied in between (step 624). For example, by using a write pulse with a wider pulse width or using a plurality of write pulses, the amount of write voltage applied to the selected memory cell during the verification process (eg, during the repetition of step 612) can be reduced. Will be increased. When using multiple write pulses to increase the amount of write voltage applied to the selected memory cell, the system may not perform verification processing between multiple pulses belonging to one pulse group. . More precisely, one or more verification processes are performed prior to the multi-pulse group (repetition prior to step 612), and one or more verification processes are performed following the multi-pulse group (following step 612). Can be done after (iteration). In either case of using a pulse having a wide pulse width or a case of using a plurality of write pulses, the magnitude of the write pulse can be made equal to or less than the maximum write voltage.

ステップ624の狙いの一つは、書き込まれるメモリセルの閾値電圧の増加を高度に制御することである。所定のステップサイズでパルスの各々の大きさを増加させる一連のパルスを書き込み信号として用いる幾つかの実施形態では、平均して、書き込まれるメモリセルの閾値電圧は、各々のパルスに応じてステップサイズで増加する。一旦書き込みパルスの大きさが最大書き込み電圧に到達すると、書き込まれるメモリセルの閾値電圧の上昇率を維持するために、(パルスの大きさを大きくするのではなく、)パルスのパルス幅を広くすることができる。あるいは、パルス幅を広げることと同一の効果を得るために、複数の書き込みパルスを印加することもできる。いずれにしろ、検証処理の合間に選択されたメモリセルに印加される書き込み電圧の持続期間は増加する。いくつかの実施形態では、閾値電圧の増加率を、最大書き込み電圧に到達する前の増加率と同じに維持するためにステップ624が用いられる。
また、この一方で、他の実施形態では、他の方策を用いて閾値電圧の増加率を制御することが試みられている。
One aim of step 624 is to highly control the increase in the threshold voltage of the memory cell being written. In some embodiments using as a write signal a series of pulses that increase the magnitude of each of the pulses at a given step size, on average, the threshold voltage of the memory cell being written is a step size depending on each pulse. Increase with. Once the magnitude of the write pulse reaches the maximum write voltage, the pulse width of the pulse is increased (instead of increasing the pulse magnitude) in order to maintain the threshold voltage rise rate of the memory cell being written. be able to. Alternatively, a plurality of write pulses can be applied in order to obtain the same effect as increasing the pulse width. In any case, the duration of the write voltage applied to the selected memory cell during the verification process increases. In some embodiments, step 624 is used to keep the rate of increase of the threshold voltage the same as the rate of increase before reaching the maximum write voltage.
On the other hand, in other embodiments, an attempt is made to control the rate of increase of the threshold voltage using other measures.

ステップ624はまた、プログラムカウンタをインクリメントする動作も行う。ステップ624の後、ステップ612で1回以上の検証処理が行われ、図10のプロセスが続行される。   Step 624 also performs the operation of incrementing the program counter. After step 624, one or more verification processes are performed at step 612 and the process of FIG. 10 continues.

図10のステップ612は、1つ以上の検証処理を有している。一般的に、検証処理および読み出し処理の期間では、関連するメモリセルの閾値電圧がそれらのレベルに到達しているか否かを判断するために、選択されたワードラインが電圧に接続され、その電圧レベルが各々の読み出しおよび検証処理において特定される(例えば、図7IのB,C,D,E,F,GおよびHを参照)。ワードライン電圧を印加した後に、ワードラインに印加された電圧に応じてメモリセルがターンオンしたか否かを判定するために、メモリセルの伝導電流が測定される。所定値よりも大きい伝導電流が測定される場合には、メモリセルがターンオンしており、ワードラインに印加された電圧がメモリセルの閾値電圧よりも大きいと推定される。所定値よりも大きい伝導電流が測定されない場合には、メモリセルがターンオンしておらず、ワードラインに印加された電圧がメモリセルの閾値電圧よりも大きくないと推定される。   Step 612 in FIG. 10 includes one or more verification processes. In general, during the verification process and the read process, the selected word line is connected to a voltage to determine whether the threshold voltage of the associated memory cell has reached those levels, and the voltage Levels are specified in each read and verify process (see, eg, B, C, D, E, F, G, and H in FIG. 7I). After applying the word line voltage, the conduction current of the memory cell is measured to determine whether the memory cell is turned on according to the voltage applied to the word line. If a conduction current greater than a predetermined value is measured, the memory cell is turned on and it is estimated that the voltage applied to the word line is greater than the threshold voltage of the memory cell. If a conduction current greater than a predetermined value is not measured, it is assumed that the memory cell is not turned on and the voltage applied to the word line is not greater than the threshold voltage of the memory cell.

読み出しまたは検証処理において、メモリセルの伝導電流を測定するためには多くの方法がある。一例としては、センスアンプの専用キャパシタへの伝導電流の放電速度または充電速度によって、メモリセルの伝導電流を測定してもよい。別の例としては、選択したメモリセルの伝導電流が、メモリセルを備えるNANDストリングの対応するビットラインを放電させる(または放電させない)よう構成してもよい。ビットラインが放電されたか否かを調べるために、一定期間後に、ビットラインの電圧が測定される。   There are many ways to measure the conduction current of a memory cell in a read or verify process. As an example, the conduction current of the memory cell may be measured by the discharge rate or the charge rate of the conduction current to the dedicated capacitor of the sense amplifier. As another example, the conduction current of a selected memory cell may be configured to discharge (or not discharge) the corresponding bit line of a NAND string that includes the memory cell. In order to check whether the bit line has been discharged, after a certain period of time, the voltage of the bit line is measured.

図11A−Cは、書き込み信号の継続時間を増加させるための様々な実施例について記述したフローチャートである。すなわち、図11A−Cの各々のフローチャートは、図10のステップ624の一部として実行される処理の例を示している。   11A-C are flowcharts describing various embodiments for increasing the duration of a write signal. That is, each flowchart of FIGS. 11A to 11C shows an example of processing executed as part of step 624 in FIG.

図11Aの実施例は、最大書き込み電圧に到達した後に、幅のより広いパルスを用いるステップを含む。図11Aのステップ702では、次の書き込みパルスのパルス幅は定数に基づいて増加される。その定数は、前のパルス幅の絶対値や割合とすることができる。例えば、パルス幅を、前のパルス幅のX倍や、前のパルス幅のY%に増加させることができる。ステップ702は、書き込みパルスを、新たな幅広のパルス幅で印加するステップを含んでいる。一実施形態では、書き込み電圧は最大書き込み電圧(またはその近傍)の大きさで印加される。他の実施形態では、他の大きさを用いることができる。図11Aの処理は、Vpgmが最大書き込み電圧に到達した後において、図10の処理の各ループで繰り返されるステップ624の期間に行うことができる。一実施形態では、ステップ702はチャージポンプを設定するステップを備えていても良い。   The embodiment of FIG. 11A includes using a wider pulse after reaching the maximum write voltage. In step 702 of FIG. 11A, the pulse width of the next write pulse is increased based on the constant. The constant can be the absolute value or ratio of the previous pulse width. For example, the pulse width can be increased to X times the previous pulse width or Y% of the previous pulse width. Step 702 includes applying a write pulse with a new wide pulse width. In one embodiment, the write voltage is applied at a magnitude of (or near) the maximum write voltage. In other embodiments, other sizes can be used. The process of FIG. 11A can be performed during the period of step 624 repeated in each loop of the process of FIG. 10 after Vpgm reaches the maximum write voltage. In one embodiment, step 702 may comprise setting up a charge pump.

図12は、図11Aの実施形態による書き込み信号の例を図示した図である。書き込みパルス802,804,806,808,810,812,814,816,818,および820は、固定されたパルス幅と、固定されたステップサイズで増加する大きさとを備えるパルス群である。パルス820の大きさは、最大書き込み電圧とされる。図10に戻り、パルス820の印加前においては、ステップ620が常にステップ622の前に存在することになるため、パルスの大きさがステップサイズで増加する(そしてパルス幅は一定に維持される)。パルス820が印加され検証処理が行われた後においては、ステップ620はステップ624を実施することでパルス幅が増加する(ステップ702)と共に、各々のパルスの大きさが最大書き込み電圧の一定値に維持される。図12に図示されているように、パルス822はパルス820よりも広いパルス幅を有し、パルス824はパルス822よりも広いパルス幅を有し、パルス826はパルス824よりも広いパルス幅を有し、パルス828はパルス826よりも広いパルス幅を有している。パルス822,824,826,828の全ての大きさは、最大書き込み電圧の大きさとされる。一実施形態では、最大書き込み電圧に到達したパルスの全てが、より大きなパルス幅を有する必要はない。   FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a write signal according to the embodiment of FIG. 11A. The write pulses 802, 804, 806, 808, 810, 812, 814, 816, 818, and 820 are pulse groups each having a fixed pulse width and a size that increases with a fixed step size. The magnitude of the pulse 820 is the maximum write voltage. Returning to FIG. 10, before applying the pulse 820, step 620 will always exist before step 622, so the pulse magnitude increases with the step size (and the pulse width remains constant). . After the pulse 820 is applied and the verification process is performed, the step 620 increases the pulse width by performing the step 624 (step 702), and the magnitude of each pulse becomes a constant value of the maximum write voltage. Maintained. As shown in FIG. 12, pulse 822 has a wider pulse width than pulse 820, pulse 824 has a wider pulse width than pulse 822, and pulse 826 has a wider pulse width than pulse 824. The pulse 828 has a wider pulse width than the pulse 826. All the magnitudes of the pulses 822, 824, 826, and 828 are the magnitude of the maximum write voltage. In one embodiment, not all pulses that reach the maximum write voltage need have a larger pulse width.

上述したように、書き込みパルスの合間には、一つ以上の検証パルスが存在する。例えば、B,C,D,E,F,G およびHボルト(図7I参照)の7つの大きさの検証パルスが用いられても良い。これらの検証パルスは、図面を見やすくするために図12には図示していない。しかしながら、図13では、パルス810と812の合間、およびパルス812と814の合間に、7つの検証パルス(従って7つの検証処理も)が存在する書き込みパルス810,812、814の3つが図示されている。   As described above, one or more verification pulses exist between write pulses. For example, seven magnitude verification pulses of B, C, D, E, F, G and H volts (see FIG. 7I) may be used. These verification pulses are not shown in FIG. 12 for ease of viewing the drawing. However, in FIG. 13, three write pulses 810, 812, and 814, in which there are seven verification pulses (and therefore seven verification processes) between pulses 810 and 812 and between pulses 812 and 814, are illustrated. Yes.

図14は、図11Aの実施形態について、書き込み信号の他の例を示したテーブルである。テーブルは、書き込み信号の大きさおよびパルス幅の例を表している。図14のテーブルは、消去状態から書き込みが行われるメモリセル群の平均閾値電圧(Vth)を表している。図14に示されるように、23.25ボルトの最大書き込み電圧に到達する前に、0.25ボルトの固定されたステップサイズで書き込みパルスの大きさが増加され、10.00(us)の一定のパルス幅が保たれることにより、平均閾値電圧が0.25ボルトずつ増加している。23.25ボルトの最大書き込み電圧に到達した後は、書き込みパルスの大きさは23.25ボルトに維持される。しかしながら、平均閾値電圧が0.25ボルトずつ増加し続けるように、書き込み電圧のパルス幅が増加する。   FIG. 14 is a table showing another example of the write signal for the embodiment of FIG. 11A. The table shows examples of the magnitude and pulse width of the write signal. The table of FIG. 14 represents the average threshold voltage (Vth) of the memory cell group that is written from the erased state. As shown in FIG. 14, before reaching the maximum write voltage of 23.25 volts, the magnitude of the write pulse is increased with a fixed step size of 0.25 volts, which is a constant 10.00 (us). As a result, the average threshold voltage increases by 0.25 volts. After reaching the maximum write voltage of 23.25 volts, the write pulse magnitude is maintained at 23.25 volts. However, the pulse width of the write voltage increases so that the average threshold voltage continues to increase by 0.25 volts.

一実施形態では、図14のパルス#1が1番目の印加パルスでないことに留意されたい。例えば、17.00ボルトのパルスで書き込みが定常状態に達した場合など、これ(#1のパルス)よりも以前に印加されたパルスが存在する可能性がある。   Note that in one embodiment, pulse # 1 in FIG. 14 is not the first applied pulse. For example, when writing reaches a steady state with a pulse of 17.00 volts, there may be a pulse applied before this (# 1 pulse).

図11Bは、図10のステップ624の実装形態における他の実施形態である。ステップ710では、1つ以上のカスタマイズ可能なパラメータが記憶される。これらのパラメータは、最大書き込み電圧に到達した後に使用するパルスのパルス幅サイズを指示するものである。例えば、1つ以上のカスタマイズ可能なパラメータは、パルス幅の増加時のステップサイズを指示するパラメータや、パルス幅の増加率を指示するパラメータを含んでいても良い。他の実施形態では、最大書き込み電圧に到達した後に印加されるパルスの各々についてパラメータが記憶されてもよい。各々のパラメータはそれぞれのパルスのパルス幅を指示する。ステップ710が図11Bの他のステップとは異なる時に実施されてもよいことを示すため、図11Bのステップ710は点線で図時されている。一例として、カスタマイズ可能なパラメータは、製造段階またはテスト段階で設定されてもよい。他の実施形態として、ユーザがホスト装置を用いて、時を選ばずにパラメータを設定することもできる。   FIG. 11B is another embodiment of the implementation of step 624 in FIG. In step 710, one or more customizable parameters are stored. These parameters indicate the pulse width size of the pulse used after reaching the maximum write voltage. For example, the one or more customizable parameters may include a parameter that indicates a step size when the pulse width is increased, and a parameter that indicates an increase rate of the pulse width. In other embodiments, a parameter may be stored for each pulse applied after reaching the maximum write voltage. Each parameter indicates the pulse width of each pulse. Step 710 in FIG. 11B is illustrated with a dotted line to indicate that step 710 may be performed at a different time than the other steps in FIG. 11B. As an example, customizable parameters may be set at the manufacturing or testing stage. As another embodiment, the user can set the parameters using the host device without choosing the time.

ステップ712では、システムは、次に印加されるべき書き込みパルスに関連するパラメータを読み出す。ステップ714では、ステップ712で読み出されたパラメータに基づいて設定されたパルス幅で、次の書き込みパルスが印加される。一実施形態では、パルス幅を調整するためのチャージポンプ回路を設定するステップを備えていても良い。図11Bの処理は、同一の大きさのパルスを用いることを含む。例えば、最大書き込み電圧に到達した後に印加される全てのパルスの大きさを、最大書き込み電圧に等しくすることが出来る。   In step 712, the system reads parameters associated with the next write pulse to be applied. In step 714, the next write pulse is applied with the pulse width set based on the parameter read in step 712. In one embodiment, a step of setting a charge pump circuit for adjusting the pulse width may be provided. The process of FIG. 11B includes using pulses of the same magnitude. For example, the magnitude of all pulses applied after reaching the maximum write voltage can be made equal to the maximum write voltage.

図11Cは、図10のステップ624の実装形態における他の実施形態であり、パルス幅を広げることと同様の効果を得るために、複数の書き込みパルスを検証処理の合間に印加する形態である。ステップ720において、システムは、最大書き込み電圧に到達したことによって実施されている図10の書き込みループの繰り返し回数を決定する。ステップ722において、ステップ720で決定された繰り返し回数に基づいて、1つ以上の書き込みパルスが印加される。例えば、最大書き込み電圧の後では、システムが2つの書き込みパルスからなるセットを最大書き込み電圧で印加し、続いて3つの書き込みパルスからなるセットを最大書き込み電圧で印加し、続いて4つの書き込みパルスからなるセットを最大書き込み電圧で印加する、などが行われる。ステップ722では、検証処理間の書き込み電圧の持続期間を増加させる所望の手法を実現するために、追加の書き込みパルスが印加される。各々の書き込みパルスのセットの間には、1以上の検証処理のセットが存在する。書き込みパルスのセット内では、検証処理が行われることなく書き込みパルスが印加される。一実施形態では、いくつの書き込みパルスを印加するかの決定は、最大書き込み電圧に到達した後に、図10の書き込みループの各々の繰り返しにおいてパルスの数をインクリメントすることで行われる。他の実施形態では、いくつの書き込みパルスを使用するかを特定するために、カスタマイズ可能なパラメータ(図11B参照)を用いることもできる。   FIG. 11C is another embodiment of the implementation form of step 624 in FIG. 10, in which a plurality of write pulses are applied between the verification processes in order to obtain the same effect as widening the pulse width. In step 720, the system determines the number of iterations of the write loop of FIG. 10 that has been performed by reaching the maximum write voltage. In step 722, one or more write pulses are applied based on the number of iterations determined in step 720. For example, after the maximum write voltage, the system applies a set of two write pulses at the maximum write voltage, followed by a set of three write pulses at the maximum write voltage, followed by four write pulses. For example, the set is applied at the maximum writing voltage. In step 722, additional write pulses are applied to achieve the desired technique of increasing the duration of the write voltage during the verification process. There is one or more verification process sets between each set of write pulses. Within the set of write pulses, the write pulse is applied without performing the verification process. In one embodiment, the determination of how many write pulses to apply is made by incrementing the number of pulses in each iteration of the write loop of FIG. 10 after reaching the maximum write voltage. In other embodiments, customizable parameters (see FIG. 11B) can be used to specify how many write pulses are used.

図15は、図11Cの実施形態による書き込み信号の例のグラフ表示を示す図である。書き込みパルス850,852,854,856,858,860,862,864,866,および868は、固定されたパルス幅と、固定されたステップサイズで増加する大きさとを備えるパルスである。パルス868の大きさは、最大書き込み電圧とされる。図10に戻り、パルス868の印加前においては、ステップ620が常にステップ622の前に存在することになるため、パルスの大きさがステップサイズで増加する(そしてパルス幅は一定に維持される)。パルス868が印加され検証処理が行われた後においては、ステップ620がステップ624を実施することで、システムは2つのパルス870および872を印加するように自身を設定する。パルス870および872は共に最大書き込み電圧であり、前のパルスと同一のパルス幅を有する(しかしながら、他のパルス幅や大きさを用いることもできる。)次にステップ624が実行されると、システムは3つのパルス874,876および878を印加するように自身を設定する。その次にステップ624が実行されると、システムは4つのパルス880、882,884および886を印加するように自身を設定する。このような処理が行われる。   FIG. 15 is a diagram illustrating a graphical display of an example of a write signal according to the embodiment of FIG. 11C. Write pulses 850, 852, 854, 856, 858, 860, 862, 864, 866, and 868 are pulses having a fixed pulse width and a magnitude that increases with a fixed step size. The magnitude of the pulse 868 is the maximum write voltage. Returning to FIG. 10, before applying pulse 868, step 620 will always be present before step 622, so the pulse magnitude increases with the step size (and the pulse width remains constant). . After pulse 868 is applied and the verification process is performed, step 620 implements step 624 so that the system configures itself to apply two pulses 870 and 872. Pulses 870 and 872 are both maximum write voltages and have the same pulse width as the previous pulse (but other pulse widths and magnitudes may be used). Next, when step 624 is executed, the system Sets itself to apply three pulses 874, 876 and 878. Then, when step 624 is executed, the system sets itself to apply four pulses 880, 882, 884 and 886. Such processing is performed.

複数のセットの書き込みパルスの間(例えば、870と872で1セットであり、874、875、878で複数のセットを表す)では検証処理が行われ、1セットの書き込みパルス内では検証処理は行われない。それゆえ、この実施形態では、検証処理間で複数の書き込みパルスを使用することで、有効な書込み信号の持続時間をより長くすることができる。例えば、書き込みパルス868と書き込みパルス870の間では、1つ以上の検証処理が実行される。例えば図16では、書き込みパルス868と書き込みパルス870の間で、(7つの検証パルスに応じて)7つの検証処理が行われている。書き込みパルス870と書き込みパルス872の間では、検証処理は行われない。書き込みパルス872と書き込みパルス874の間では、1つ以上の検証処理が行われる。例えば図16では、書き込みパルス872と書き込みパルス874の間で、(7つの検証パルスに応じて)7つの検証処理が行われている。書き込みパルス874,876および878の間では、検証処理は行われない。また検証処理は、書き込みパルス850,852,854,856,858,860,862,864,866,および868の各々の間においても行われる。   Verification processing is performed between a plurality of sets of write pulses (for example, 870 and 872 represent one set, and 874, 875, and 878 represent a plurality of sets), and verification processing is performed within one set of write pulses. I will not. Therefore, in this embodiment, the duration of an effective write signal can be made longer by using multiple write pulses between verification processes. For example, one or more verification processes are performed between the write pulse 868 and the write pulse 870. For example, in FIG. 16, seven verification processes are performed between the write pulse 868 and the write pulse 870 (in response to the seven verification pulses). No verification process is performed between the write pulse 870 and the write pulse 872. One or more verification processes are performed between the write pulse 872 and the write pulse 874. For example, in FIG. 16, seven verification processes are performed between the write pulse 872 and the write pulse 874 (in response to the seven verification pulses). No verification process is performed between the write pulses 874, 876 and 878. The verification process is also performed between each of the write pulses 850, 852, 854, 856, 858, 860, 862, 864, 866, and 868.

図11Cおよび図15のパルス信号の代替的実施形態では、セットとなるパルスの各々(例えば、870と872で1セット、874,875,878で1セット)は、 セット内のパルスが結合した持続期間および大きさが書き込みの目標量を与えるように、パルスの大きさを設定することができる。一実施形態では、セットの中のパルス数や、セットの中のパルス群の大きさは、ユーザが設定可能なパラメータ(図11B参照)から決定することも可能であるし、及び/または、各々のセットで書き込み量が一定となるように設定することも可能である(さらに、前述の書き込み量は、各パルス850−868のそれと同一であってもよい)。   In the alternative embodiment of the pulse signal of FIGS. 11C and 15, each of the set of pulses (eg, one set at 870 and 872 and one set at 874, 875, 878) is the combined duration of the pulses in the set. The magnitude of the pulse can be set so that the duration and magnitude give the target amount of writing. In one embodiment, the number of pulses in the set and the size of the pulses in the set can be determined from user-configurable parameters (see FIG. 11B) and / or It is also possible to set the writing amount to be constant in a set of (the above-mentioned writing amount may be the same as that of each pulse 850-868).

上記本発明の詳細な説明は、説明のための例示にすぎない。上記本発明の詳細な説明は、詳細に開示した範囲に限定するものではない。本明細書が開示する技術は、様々に変形、変更し得る。上記説明した実施形態は、本発明の原理とその具体的な適用例をよく説明するために選ばれたものであり、当業者は、具体的な事例に則して本発明を様々に変更し得る。本発明の技術的範囲は、添付された特許請求の範囲によって定まるものである。
The above detailed description of the present invention is merely illustrative. The above detailed description of the present invention is not limited to the scope disclosed in detail. The technology disclosed in this specification can be variously modified and changed. The embodiments described above are selected in order to better explain the principle of the present invention and its specific application examples, and those skilled in the art will make various modifications to the present invention based on specific examples. obtain. The technical scope of the present invention is defined by the appended claims.

Claims (25)

書き込み信号を不揮発性記憶素子に印加するステップであって、
1以上のパルスが最大値に到達する前において、一定のパルス幅で前記不揮発性記憶素子に複数の書き込みパルスを印加するステップと、
1以上のパルスが最大値に到達した後に、前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを、検証処理の間に前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップと、
を備えることを特徴とする不揮発性記憶装置の書き込み方法。
Applying a write signal to the non-volatile storage element, comprising:
Applying a plurality of write pulses to the nonvolatile memory element with a constant pulse width before one or more pulses reach a maximum value;
Applying one or more write pulses that provide different durations of the length of the write signal to the nonvolatile memory element during a verification process after the one or more pulses reach a maximum value;
A writing method for a nonvolatile memory device, comprising:
前記一定のパルス幅の前記複数の書き込みパルスは、大きさが増加して印加されることを特徴とする請求項1の方法。   The method of claim 1, wherein the plurality of write pulses having the constant pulse width are applied in increasing magnitude. 前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
パルス幅が異なる1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
The method of claim 1, comprising applying one or more write pulses having different pulse widths.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
パルス幅が増加する1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
The method of claim 1, comprising applying one or more write pulses of increasing pulse width.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
パルス幅が一定値で変化する1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
The method of claim 1, comprising applying one or more write pulses whose pulse width varies at a constant value.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
パルス幅が変数値で変化する1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
The method of claim 1, comprising applying one or more write pulses whose pulse width varies with a variable value.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
パルス幅が一定値で増加する1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
The method of claim 1, comprising applying one or more write pulses whose pulse widths increase at a constant value.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
パルス幅が変数値で増加する1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
The method of claim 1, comprising applying one or more write pulses whose pulse width increases with a variable value.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
前記最大値を有しパルス幅が増加する1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
The method of claim 1, comprising applying one or more write pulses having the maximum value and increasing pulse width.
複数のカスタマイズ可能なパルス幅パラメータを保持するステップを備え、
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、保持されている前記カスタマイズ可能なパルス幅パラメータに基づいてパルス幅が増加する1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
With multiple customizable pulse width parameters
Applying one or more write pulses to the non-volatile storage element that provides different durations of the write signal length increases the pulse width based on the customizable pulse width parameter being retained. The method of claim 1, comprising applying one or more write pulses.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
検証処理の合間に複数のパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
2. The method of claim 1 comprising applying a plurality of pulses between verification processes.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
検証処理の合間に前記最大値の複数のパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
2. The method of claim 1, comprising applying a plurality of pulses of the maximum value between verification processes.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
異なった数の書き込みパルスのパルス群を、検証処理の合間において、前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
The method of claim 1, comprising applying a pulse group of different numbers of write pulses to the non-volatile memory element between verification processes.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
現在の時間周期において、書き込み−検証の周期が何回実行されたかを測定するステップと、
前記測定するステップの結果に基づいて、複数の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップとを備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
Measuring how many times the write-verify period has been executed in the current time period;
Applying the plurality of write pulses to the non-volatile memory element based on the result of the measuring step.
前記書き込み信号を印加するステップは、
(a)前記不揮発性記憶素子の制御ゲートにパルスを印加するステップと、
(b)前記不揮発性記憶素子に対して1以上の検証処理を行うステップと、
(c)前記書き込み信号に最大電圧値が用いられたか否かを判断するステップと、
(d)前記最大電圧値がまだ前記書き込み信号に用いられていない場合には、より大きなパルスでステップ(a)−(c)を繰り返すステップと、
(e)前記最大電圧値が前記書き込み信号に用いられている場合には、より長い継続時間を有する1以上のパルスでステップ(a)−(c)を繰り返すステップと、
を備えることを特徴とする請求項1の方法。
Applying the write signal comprises:
(A) applying a pulse to a control gate of the nonvolatile memory element;
(B) performing one or more verification processes on the nonvolatile memory element;
(C) determining whether a maximum voltage value is used for the write signal;
(D) repeating steps (a)-(c) with larger pulses if the maximum voltage value is not already used for the write signal;
(E) repeating steps (a)-(c) with one or more pulses having a longer duration if the maximum voltage value is used for the write signal;
The method of claim 1 comprising:
不揮発性記憶素子と、
前記不揮発性記憶素子と通信する1以上の管理回路とを備え、
前記1以上の管理回路は、1以上のパルスが最大値に到達する前において一定のパルス幅で前記不揮発性記憶素子に複数の書き込みパルスを印加するステップと、および、1以上のパルスが最大値に到達した後に、長さが異なる前記書き込み信号の持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを、検証処理の間において前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップとにより、前記不揮発性記憶素子に書き込みを行うことを特徴とする不揮発性記憶装置システム。
A non-volatile memory element;
One or more management circuits in communication with the non-volatile storage element;
The one or more management circuits apply a plurality of write pulses to the nonvolatile memory element with a constant pulse width before the one or more pulses reach a maximum value, and the one or more pulses have a maximum value. Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element during a verification process to provide one or more write pulses that provide different durations of the write signal after reaching A nonvolatile memory device system for performing writing.
前記一定のパルス幅の前記複数の書き込みパルスは、前記1以上の管理回路によって大きさが増加されて印加されることを特徴とする請求項16の不揮発性記憶装置システム。   17. The nonvolatile memory system according to claim 16, wherein the plurality of write pulses having the constant pulse width are applied with an increased size by the one or more management circuits. 前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供すること1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップでは、
前記1以上の管理回路がパルス幅が異なる1以上の書き込みパルスを印加することを特徴とする請求項16の不揮発性記憶装置システム。
Providing different durations of the length of the write signal, applying one or more write pulses to the non-volatile storage element;
17. The nonvolatile memory device system according to claim 16, wherein the one or more management circuits apply one or more write pulses having different pulse widths.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップでは、
前記1以上の管理回路がパルス幅が増加する1以上の書き込みパルスを印加することを特徴とする請求項16の不揮発性記憶装置システム。
Applying one or more write pulses that provide different durations of the write signal to the non-volatile storage element;
17. The nonvolatile memory system according to claim 16, wherein the one or more management circuits apply one or more write pulses whose pulse width increases.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップでは、
前記1以上の管理回路がパルス幅が一定値で変化する1以上の書き込みパルスを印加することを特徴とする請求項16の不揮発性記憶装置システム。
Applying one or more write pulses that provide different durations of the write signal to the non-volatile storage element;
17. The nonvolatile memory device system according to claim 16, wherein the one or more management circuits apply one or more write pulses whose pulse width changes at a constant value.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
前記1以上の管理回路がパルス幅が一定値で増加する1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項16の不揮発性記憶装置システム。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
17. The nonvolatile memory system according to claim 16, further comprising a step of applying one or more write pulses in which the one or more management circuits increase in pulse width at a constant value.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップは、
前記1以上の管理回路が前記最大値を有しパルス幅が増加する1以上の書き込みパルスを印加するステップを備えることを特徴とする請求項16の不揮発性記憶装置システム。
Applying one or more write pulses to the non-volatile memory element that provide different durations of the write signal length;
17. The nonvolatile memory system according to claim 16, further comprising the step of applying one or more write pulses in which the one or more management circuits have the maximum value and the pulse width increases.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップでは、
前記1以上の管理回路が検証処理の合間に複数のパルスを印加することを特徴とする請求項16の不揮発性記憶装置システム。
Applying one or more write pulses that provide different durations of the write signal to the non-volatile storage element;
17. The nonvolatile memory device system according to claim 16, wherein the one or more management circuits apply a plurality of pulses between verification processes.
前記書き込み信号の長さの異なる持続時間を提供する1以上の書き込みパルスを前記不揮発性記憶素子に対して印加するステップでは、
前記1以上の管理回路が検証処理の合間に前記最大値の複数のパルスを印加することを特徴とする請求項16の不揮発性記憶装置システム。
Applying one or more write pulses that provide different durations of the write signal to the non-volatile storage element;
17. The nonvolatile memory system according to claim 16, wherein the one or more management circuits apply the plurality of pulses having the maximum value between verification processes.
前記不揮発性記憶素子はフラッシュメモリ装置であることを特徴とする請求項16の不揮発性記憶装置システム。   17. The nonvolatile memory device system according to claim 16, wherein the nonvolatile memory element is a flash memory device.
JP2010513379A 2007-06-21 2008-06-18 Intelligent control of write pulse duration Pending JP2010530596A (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/766,583 US7630249B2 (en) 2007-06-21 2007-06-21 Intelligent control of program pulse duration
US11/766,580 US7580290B2 (en) 2007-06-21 2007-06-21 Non-volatile storage system with intelligent control of program pulse duration
PCT/US2008/067347 WO2008157606A1 (en) 2007-06-21 2008-06-18 Intelligent control of program pulse duration

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010530596A true JP2010530596A (en) 2010-09-09

Family

ID=40156678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010513379A Pending JP2010530596A (en) 2007-06-21 2008-06-18 Intelligent control of write pulse duration

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP2160735A4 (en)
JP (1) JP2010530596A (en)
KR (1) KR20100050471A (en)
CN (1) CN101779250B (en)
TW (1) TWI378457B (en)
WO (1) WO2008157606A1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013041654A (en) * 2011-08-19 2013-02-28 Toshiba Corp Nonvolatile storage device
US9013934B2 (en) 2012-11-01 2015-04-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of operating a nonvolatile memory by reprogramming failed cells using a reinforced program pulse in an idle state and memory system thereof
JP5887028B2 (en) * 2013-10-16 2016-03-16 富士フイルム株式会社 Nitrogen-containing heterocyclic compound salt or crystal thereof, pharmaceutical composition and FLT3 inhibitor
JP2017168156A (en) * 2016-03-14 2017-09-21 東芝メモリ株式会社 Semiconductor storage device

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101635504B1 (en) * 2009-06-19 2016-07-04 삼성전자주식회사 Program method of non-volatile memory device with three-dimentional vertical channel structure
US8432740B2 (en) * 2011-07-21 2013-04-30 Sandisk Technologies Inc. Program algorithm with staircase waveform decomposed into multiple passes
TWI604449B (en) * 2016-08-31 2017-11-01 旺宏電子股份有限公司 Memory device and programming method thereof
JP6503395B2 (en) * 2016-10-12 2019-04-17 イーメモリー テクノロジー インコーポレイテッド Electrostatic discharge circuit
CN110189783B (en) * 2019-04-15 2021-04-06 华中科技大学 Multi-value programming method and system of nonvolatile three-dimensional semiconductor memory device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0621404A (en) * 1992-07-06 1994-01-28 Toshiba Corp Nonvolatile semiconductor storage device
JPH08329694A (en) * 1995-03-29 1996-12-13 Toshiba Corp Non-volatile semiconductor storage device
JPH1027491A (en) * 1996-07-12 1998-01-27 Denso Corp Method for measuring writing threshold value of nonvolatile memory
WO2003073433A1 (en) * 2002-02-28 2003-09-04 Renesas Technology Corp. Nonvolatile semiconductor memory device

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69533429T2 (en) * 1995-06-07 2005-08-18 Macronix International Co. Ltd., Hsinchu AUTOMATIC PROGRAMMING ALGORITHM FOR FLASH MEMORY IN SIDE MODE WITH VARIABLE PROGRAMMING PULSE HEIGHT AND WIDTH
US6882567B1 (en) * 2002-12-06 2005-04-19 Multi Level Memory Technology Parallel programming of multiple-bit-per-cell memory cells on a continuous word line
KR100525910B1 (en) * 2003-03-31 2005-11-02 주식회사 하이닉스반도체 Method of programming a flash memory cell and method of programing an NAND flash memory using the same
US6870772B1 (en) * 2003-09-12 2005-03-22 Renesas Technology Corp. Nonvolatile semiconductor memory device
US7023739B2 (en) * 2003-12-05 2006-04-04 Matrix Semiconductor, Inc. NAND memory array incorporating multiple write pulse programming of individual memory cells and method for operation of same
US7020026B2 (en) * 2004-05-05 2006-03-28 Sandisk Corporation Bitline governed approach for program control of non-volatile memory
KR100626377B1 (en) * 2004-06-07 2006-09-20 삼성전자주식회사 Non-volatile memory device capable of changing increment of program voltage according to mode of operation
KR100705220B1 (en) * 2005-09-15 2007-04-06 주식회사 하이닉스반도체 Erasing and Programming methods of a flash memory device for increasing program speed of the flash memory device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0621404A (en) * 1992-07-06 1994-01-28 Toshiba Corp Nonvolatile semiconductor storage device
JPH08329694A (en) * 1995-03-29 1996-12-13 Toshiba Corp Non-volatile semiconductor storage device
JPH1027491A (en) * 1996-07-12 1998-01-27 Denso Corp Method for measuring writing threshold value of nonvolatile memory
WO2003073433A1 (en) * 2002-02-28 2003-09-04 Renesas Technology Corp. Nonvolatile semiconductor memory device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013041654A (en) * 2011-08-19 2013-02-28 Toshiba Corp Nonvolatile storage device
US9013934B2 (en) 2012-11-01 2015-04-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of operating a nonvolatile memory by reprogramming failed cells using a reinforced program pulse in an idle state and memory system thereof
JP5887028B2 (en) * 2013-10-16 2016-03-16 富士フイルム株式会社 Nitrogen-containing heterocyclic compound salt or crystal thereof, pharmaceutical composition and FLT3 inhibitor
JP2017168156A (en) * 2016-03-14 2017-09-21 東芝メモリ株式会社 Semiconductor storage device

Also Published As

Publication number Publication date
CN101779250A (en) 2010-07-14
EP2160735A1 (en) 2010-03-10
TWI378457B (en) 2012-12-01
CN101779250B (en) 2014-01-08
EP2160735A4 (en) 2011-04-20
WO2008157606A1 (en) 2008-12-24
TW200907976A (en) 2009-02-16
KR20100050471A (en) 2010-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5460721B2 (en) Programming non-volatile memory using high resolution variable initial programming pulses
JP5481477B2 (en) Correction of overprogram of nonvolatile memory
JP5113195B2 (en) Dynamic verification based on threshold voltage classification
JP5250117B2 (en) Adaptive erase and soft programming for memory
JP5178914B2 (en) Program and selective erase of non-volatile storage
JP5216856B2 (en) Reduce the impact of interference during the program
EP2577671B1 (en) Programming non-volatile storage with synchronized coupling
JP5439488B2 (en) Improved data retention of the last word line in non-volatile memory arrays
JP5368555B2 (en) Selective erase processing for non-volatile storage
WO2008083131A2 (en) Method for programming with initial programming voltage based on trial
WO2014137651A1 (en) Non-volatile storage with process that reduces read disturb on end wordlines
JP4855474B2 (en) How to program multi-state non-volatile memory using smart verification
JP5174829B2 (en) Reading of non-volatile memory cell in consideration of storage state of adjacent memory cell
JP2013514601A (en) Programming non-volatile memory with fast bit detection and verification skip
JP2012531694A (en) Method for detecting completion of programming of non-volatile storage device
JP2010530596A (en) Intelligent control of write pulse duration
WO2014120943A1 (en) Adaptive initial program voltage for non-volatile memory
WO2014011627A1 (en) Programming method to tighten threshold voltage width with avoiding program disturb

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100517

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110112

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20120713

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121025

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121106

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130204

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130212

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130304

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130311

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130408

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130411

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130415

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20131015