JP2010515268A - プラズマイオン注入で改良シールドリングを利用する技術 - Google Patents
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- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 title description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 36
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 23
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 20
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 claims description 14
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 7
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000007142 ring opening reaction Methods 0.000 description 35
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- -1 silicon (Si) Chemical compound 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 4
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 0 *CCC*C1CCCC1 Chemical compound *CCC*C1CCCC1 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/48—Ion implantation
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32018—Glow discharge
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32412—Plasma immersion ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32422—Arrangement for selecting ions or species in the plasma
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32623—Mechanical discharge control means
- H01J37/32642—Focus rings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/3299—Feedback systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
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Abstract
【課題】 プラズマイオン注入において改良シールドリングを用いる技術を開示する。
【解決手段】 一実施形態例によると、当該技術は高周波プラズマドーピング(RF−PLAD)等の、プラズマイオン注入の装置および方法として実現され得る。当該装置および方法は、ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に配置され、少なくとも1つの開口の面積を画定する開口画定デバイスを有するシールドリングと、少なくとも1つの開口の下方に配置されるファラデーカップと、ファラデーカップに接続されて、イオンドーズ量を算出するドーズ量カウント電子機器とを備えるとしてよい。少なくとも1つの開口は、円状、円弧状、スリット状、リング状、矩形、三角形、および楕円形状のうち少なくとも1つを含む形状を有するとしてよい。開口画定デバイスは、シリコン、炭化ケイ素、炭素、およびグラファイトのうち少なくとも1つを含むとしてよい。
【選択図】 図2Aおよび図2B
【解決手段】 一実施形態例によると、当該技術は高周波プラズマドーピング(RF−PLAD)等の、プラズマイオン注入の装置および方法として実現され得る。当該装置および方法は、ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に配置され、少なくとも1つの開口の面積を画定する開口画定デバイスを有するシールドリングと、少なくとも1つの開口の下方に配置されるファラデーカップと、ファラデーカップに接続されて、イオンドーズ量を算出するドーズ量カウント電子機器とを備えるとしてよい。少なくとも1つの開口は、円状、円弧状、スリット状、リング状、矩形、三角形、および楕円形状のうち少なくとも1つを含む形状を有するとしてよい。開口画定デバイスは、シリコン、炭化ケイ素、炭素、およびグラファイトのうち少なくとも1つを含むとしてよい。
【選択図】 図2Aおよび図2B
Description
本開示は概して、プラズマイオン注入に関する。特に、プラズマイオン注入において改良シールドリングを利用する技術に関する。
イオン注入は、エネルギーが与えられたイオンと基板とを直接衝突させることによって、基板に化学種を堆積させる処理である。半導体製造プロセスでは、イオン注入装置は主に、ターゲット材料の導電型および導電レベルを変化させるドーピング処理に利用される。集積回路(IC)基板およびその薄膜構造においては、正確なドーピングプロファイルが通常、適切なIC性能を実現できるか否かの鍵となる。所望のドーピングプロファイルを実現するには、1種類以上のイオン種を、ドーズ量およびエネルギーレベルをさまざまに設定して、注入するとしてよい。イオン種、ドーズ量、およびエネルギーの仕様を、イオン注入レシピと呼ぶ。
従来のイオン注入技術によると、イオンは、プラズマ源から抽出されて、通常は(例えば、質量、電荷、エネルギー等について)フィルタリングされて、加速および/または減速されて、複数の電気的に静的/動的なレンズを介してコリメートされ、基板に方向付けられる。これとは対照的に、プラズマイオン注入では、基板をプラズマに浸漬させる。基板には負の電圧が印加され、その結果、基板とプラズマとの間のシースを介してイオンが抽出される。
プラズマ源には、いくつか例を挙げると、容量結合プラズマ(CCP)、誘導結合プラズマ(ICP)、グロー放電(GD)、ホロー陰極(HC)等、いくつか種類がある。これらの例のうち、CCPに比べて電子温度が低く電子密度が高いので、ICPが通常イオン注入にはより適している。ICPの例として、高周波(RF)プラズマが挙げられる。
図1は、通常の高周波(RF)プラズマドーピングシステム(RF−PLAD)100を示す断面図である。プラズマドーピングシステム100は、プラズマチャンバ102とチャンバトップ104とを備える。チャンバトップ104は、伝導性上部部分116と、第1部分106と、第2部分108とを有する。上部部分116は、処理用ガスを入れるための、ガス入口118を含む。処理用ガスは、上部部分116のガス入口118から入れられると、バッフル126の上側に流入し、その後でチャンバ102内で均一に分散させられる。チャンバトップ104の第1部分106は一般的に、水平方向に延伸している。チャンバトップ104の第2部分108は、第1部分106から、一般的には垂直方向に延伸している。複数の巻き部分を持つらせんコイルアンテナ112は、第2部分108の周りに巻きつけられている。複数の巻き部分を持つ平面コイルアンテナ114は通常、第1部分106上に、第2部分108を取り囲むように設けられる。第1部分106および第2部分108は通常、RF電力をチャンバ102内のプラズマに伝達させる誘電材料110で形成されている。
RF源130は、例えばRF電源であって、らせんコイルアンテナ112および平面コイルアンテナ114のうち少なくとも一方に、RF源130からRFアンテナ112および114へ伝達される電力を最大限にするインピーダンス整合ネットワーク132によって、電気的に接続されているとしてよい。RF源130がRFアンテナ112および114においてRF電流を共振させると、RFアンテナ112および114はRF電流をチャンバ102に誘導して、処理用ガスを励起およびイオン化して、チャンバ102内でプラズマを生成する。
チャンバトップ104の第1部分106および第2部分108の配置構造およびRFアンテナ112および114の構成は、プラズマが均一に生成されるように、選択される。また、生成されたプラズマをより均一にするべく、コイル調整部134を用いて電磁結合を調整するとしてよい。
プラテン(またはE型クランプ)124は、チャンバ内102においてバッフル126の下方に配置されている。バッフル126は、接地されているとしてもよいし、または、フローティング状態であるとしてもよい。ターゲットウェハ120は、プラテン124の表面上に配置され、プラテン124は電圧電源128によってバイアスされ得る。この結果、生成されたプラズマ中のイオンはターゲットウェハ120に誘引される。
シールドリング144は、形状が環状であってよく、ターゲットウェハ120と同一平面状にターゲットウェハ120の周縁の周りに配置される。シールドリング144は通常、アルミニウムのような固体材料によって形成され、面積を画定する開口146を1以上含むとしてよい。ターゲットウェハ120の下方に位置する平面上には、シールドリング144の1以上の開口146の下方に位置づけられ、且つプラテン124に隣接するように、1以上のファラデーカップ140が配置されるとしてよい。
プラズマドーピングシステム100におけるイオンドーズ量の測定は、1以上のファラデーカップ140を用いて行うとしてよい。入射イオン束は、電流として、1以上のファラデーカップ140によって測定されるとしてよい。ターゲットウェハ120のイオンドーズ量は、ドーズ量カウント電子機器(DCE)142が、電流の測定値を取得して、1以上のファラデーカップ140の上方に位置するシールドリング開口146の面積で除算することによって算出されるとしてよい。このため、シールドリング開口146の面積は、イオンドーズ量の算出において重要なパラメータである。
しかし、シールドリング開口146の面積は、経時変化するパラメータである。このように変化する一因は、一例を挙げると、プラズマドーピング(PLAD)動作中においてNF3プラズマが照射されることによって劣化(またはエッチング)されてしまうことにあると考えられる。NF3洗浄処理は、チャンバ102内で処理制御条件を常に満足させるべく、定期的に利用される。しかし、シールドリング144の材料をエッチングして、1以上のシールドリング開口146の面積を大きくしてしまうという望ましくない結果になってしまうことが多い。
1以上のシールドリング開口146の面積がある寸法まで大きくなってしまうと、例えば、1以上のシールドリング開口146の面積が1以上のファラデーカップ140の開口面積よりも大きくなってしまうと、1以上のファラデーカップ140は、取得する信号(または電流)が多くなり過ぎて、飽和状態となってしまい、ドーズ量カウント電子機器(DCE)142が算出するイオンドーズ量が不正確な値になってしまう。
1以上のシールドリング開口146について良好に画定された面積を維持することを目的として、シールドリング144を頻繁に交換することは、一時的な解決方法にはなり得る。しかし、シールドリング交換処理は通常、コストが高く、不便であって、退屈である。
以上を鑑みると、指摘した欠点および欠陥を克服するべく、プラズマイオン注入において改良シールドリングを利用する技術を提供することが求められている。
プラズマイオン注入において改良シールドリングを利用する技術を開示する。具体的に一実施形態例によると、当該技術はプラズマイオン注入用の装置として実現され得る。当該装置は、ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に配置され、少なくとも1つの開口の面積を画定する開口画定デバイスを有するシールドリングと、少なくとも1つの開口の下方に配置されるファラデーカップと、ファラデーカップに接続されて、イオンドーズ量を算出するドーズ量カウント電子機器とを備えるとしてよい。
当該実施形態例の別の側面によると、当該装置は、高周波プラズマドーピング(RF−PLAD)におけるイオン注入用である。
当該実施形態例のさらに別の側面によると、開口画定デバイスは、シールドリングの開口の下方であってファラデーカップの上方に配置されている挿入部材を含み、挿入部材は、エッチング速度が遅い材料から形成されている。
当該実施形態例のさらなる側面によると、開口画定デバイスは、シールドリングの開口に載置されて係合させられるレンズカバーを含み、レンズカバーは、エッチング速度が遅い材料から形成されている。
当該実施形態例のさらに別の側面によると、開口画定デバイスは、シールドリングの開口の下方であってファラデーカップの上方に配置されているバネデバイスを含み、バネデバイスは、エッチング速度が遅い材料から形成されている。
当該実施形態例の別の側面によると、少なくとも1つの開口の面積の形状は、円状、円弧状、スリット状、リング状、矩形、三角形、および楕円形状のうち少なくとも1つを含む。
当該実施形態例のさらなる側面によると、開口画定デバイスは、シリコン、炭化ケイ素、炭素、およびグラファイトのうち少なくとも1つを含む。
別の実施形態例によると、ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に配置され、バルク材料を含み、面積を画定する開口を少なくとも1つ有するシールドリングと、少なくとも1つの開口の下方に配置されるファラデーカップと、ファラデーカップに接続されて、イオンドーズ量を算出するドーズ量カウント電子機器とを備える装置であってよい。
別の実施形態例によると、ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に配置され、面積を画定する開口を少なくとも1つ有するシールドリングと、少なくとも1つの開口の下方に配置されるファラデーカップと、ファラデーカップに接続されて、算出モジュールを有するドーズ量カウント電子機器とを備え、算出モジュールは、開口の面積の変化に対する補償に基づいて、イオンドーズ量を算出する装置であってよい。
以下では、添付図面に図示されている本開示の実施形態例を参照しつつ、本開示をより詳細に記載する。以下では、実施形態例に基づいて本開示を説明するが、本開示はこれらに限定されないものと理解されたい。当業者であれば、本明細書の教示内容に基づき、さらなる実装例、変更例および実施形態に想到すると同時に、その他の利用分野にも想到するであろう。これらはすべて、本明細書に記載する本開示の範囲内に含まれ、本開示が多大な有用性を有する理由である。
本開示をより完全に理解していただくべく、添付図面を説明する。添付図面では、同様の構成要素は同様の参照番号で指定している。添付図面は、本開示を限定するものと理解されるべきではなく、本開示を例示を目的とするに過ぎない。
図2Aは、本開示の一実施形態に係るシールドリング244の側面図である。シールドリング244は、形状が環状であってよく、ターゲットウェハ120と同一平面状に、ターゲットウェハ120の周縁の周りに配置されるとしてよい。シールドリング244は、面積を画定するシールドリング開口246を1以上有するとしてよい。1以上のファラデーカップ140が、ターゲットウェハ120の下方の平面上に、1以上のシールドリング開口246の下になり、且つ、プラテン(E型クランプ)124に隣接するように、配置されるとしてよい。図2Bは、シールドリング244を示す上面図である。
本実施形態によると、1以上のシールドリング開口246の面積は、リング244の下方に設けられている1以上のファラデーカップ140の開口面積よりも小さい。一実施形態によると、シールドリング244は、熱伝導性および導電性を有し、且つ、エッチング速度が遅い材料、例えばアルミニウムから形成されるとしてよく、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、炭素(C)、グラファイト、または、その他の同様のエッチング速度が遅いコーティング材料でコーティングされている。別の実施形態によると、シールドリング244は、例えば、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、炭素(C)、またはグラファイトのようなバルク(固体)材料から形成されるとしてよい。さまざまな種類の炭化ケイ素(SiC)を利用するとしてもよく、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン等を利用するとしてよい。さらに別の実施形態によると、バルク材料から成るシールドリング244は、エッチングに対する耐性を高くするべく、ドーピングされているとしてもよい。コーティングおよびドーピングについては、シールドリング244の材料に応じて、厚みをさまざまに設定するとしてよい。バルク材料からシールドリング244を形成する処理は、焼結(加熱)、化学気相蒸着(CVD)法(積層)、およびその他の同様の技術を用いるとしてよい。
上述したように、コーティングが施されたシールドリングまたはバルク材料から成るシールドリングを利用する場合の利点には、ウェハ120の端縁に対するイオン入射角度を通常値に維持するべく、ウェハの端縁を越えて均一に広がるプラズマシースを生成することができる点が挙げられるとしてよい。コーティングが施されたシールドリングまたはバルク材料から成るシールドリングを利用する場合の別の利点には、寸法が良好に画定されている開口を提供および維持することができるので、1以上の磁気的に抑制されたファラデーカップ140にイオン束を衝突させて、ウェハ120に対するイオン束を正確に測定する点が挙げられるとしてよい。この結果、処理制御をより正確に行うことができるようになり、汚染レベルを最低限に抑えることができ、プラズマドーピング(PLAD)システムの大量生産に関連付けられる(例えば、高価なシールドリングを交換することに起因する)消費財のコストを削減することができるとしてよい。
図3Aは、本開示の一実施形態に係るシールドリング344を示す側面図である。シールドリング344は、従来のシールドリング144であってもよいし、または、図2Aおよび図2Bに図示するようなエッチング速度が遅い材料から成るシールドリング244であってもよい。図3Bは、シールドリング144を示す上面図である。
本実施形態によると、1以上のシールドリング開口346の面積は、シールドリング344の下方に設けられている1以上のファラデーカップ140の開口面積よりも大きいとしてよい。上述したように、1以上のシールドリング開口346の面積が大きくなる一因は、例えば、プラズマドーピング(PLAD)動作においてNF3プラズマを照射することによって、劣化(またはエッチング)してしまうことが考えられる。シールドリング開口146の面積が、1以上のファラデーカップ140の開口面積よりも大きい場合、ドーズ量カウント電子機器(DCE)142が算出するイオンドーズ量が不正確な値になってしまい得る。
このため、大きくなった1以上のシールドリング開口346の下方で、且つ、1以上のファラデーカップ140の上方に、小開口310を有する、エッチング速度が遅い挿入部材300を配置するとしてよい。挿入部材300の小開口310は、ドーズ量カウント電子機器(DCE)142が正確にターゲットウェハ120に対するイオンドーズ量を算出できるように、寸法が良好に画定された面積を与えるとしてよい。このため、挿入部材300がイオンドーズ量測定用の画定用開口310を含んでいるので、1以上のシールドリング開口346が大きくなってしまったシールドリング344の交換間隔を短くし得る。この結果、処理制御をより正確に行うことができるようになり、汚染レベルを最低限に抑えることができ、プラズマドーピング(PLAD)システムの大量生産において、シールドリングを頻繁に交換することに関連付けられる消費財のコストを削減することができるとしてよい。
挿入部材300は、熱伝導性および導電性を有し、且つ、エッチング速度が遅い材料、例えばアルミニウムから形成されるとしてよく、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、炭素(C)、グラファイト、または、その他の同様のエッチング速度が遅いコーティング材料でコーティングされている。別の実施形態によると、エッチング速度が遅い挿入部材300は、例えば、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、炭素(C)、またはグラファイトのようなバルク(固体)材料から形成されるとしてよい。さまざまな種類の炭化ケイ素(SiC)を利用するとしてよく、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン等を利用するとしてよい。さらに別の実施形態によると、バルク材料から成る挿入部材300は、エッチングに対する耐性を高くするべく、ドーピングされているとしてもよい。コーティングおよびドーピングについては、挿入部材300の材料に応じて、厚みをさまざまに設定するとしてよい。バルク材料から挿入部材300を形成する処理は、焼結(加熱)、化学気相蒸着(CVD)法(積層)、およびその他の同様の技術を用いるとしてよい。
図4Aは、本開示の一実施形態に係るシールドリング444を示す側面図である。図4Bは、シールドリング444を示す上面図である。
本実施形態によると、1以上のシールドリング開口446の面積は、上記と同様の理由で、1以上のファラデーカップ140の開口面積よりも大きいとしてよい。このため、本実施形態では、小開口410を有するレンズカバー400を、大きくなった1以上のシールドリング開口446に載置するとしてよい。レンズカバー400は、図4Aに示すように、テーパー状になっている大きくなった1以上のシールドリング開口146の劣化部分(または被エッチング部分)に係合するテーパー状側面を持つとしてよい。レンズカバー400が有する小開口410は、ドーズ量カウント電子機器(DCE)142が正確にターゲットウェハ120に対するイオンドーズ量を算出できるように、寸法が良好に画定された面積を与えるとしてよい。
レンズカバー400は、熱伝導性および導電性を有し、且つ、エッチング速度が遅い材料、例えばアルミニウムから形成されるとしてよく、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、炭素(C)、グラファイト、または、その他の同様のエッチング速度が遅いコーティング材料でコーティングされている。別の実施形態によると、レンズカバー400は、例えば、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、炭素(C)、またはグラファイトのようなバルク(固体)材料から形成されるとしてよい。さまざまな種類の炭化ケイ素(SiC)を利用するとしてよく、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン等を利用するとしてよい。さらに別の実施形態によると、バルク材料から成るレンズカバー400は、エッチングに対する耐性を高くするべく、ドーピングされているとしてもよい。コーティングおよびドーピングについては、レンズカバー400の材料に応じて、厚みをさまざまに設定するとしてよい。バルク材料からレンズカバー400を形成する処理は、焼結(加熱)、化学気相蒸着(CVD)法(積層)、およびその他の同様の技術を用いるとしてよい。
図4Cを参照して説明すると、本開示の別の実施形態は、1以上の階段状シールドリング開口446aに係合する、1以上の階段状レンズカバー400aを提供するとしてよい。1以上の階段状レンズカバー400aは、ほとんどの点において、上述した1以上のテーパー状レンズカバー400と同様である。しかし、シールドリング開口446がエッチングされて(テーパー状部分を形成するまで)大きくなるのを待つのではなく、シールドリング444は、1以上の階段状レンズカバー400aと係合する1以上の階段状開口446を含むとしてよい。このような構成とすることによって、シールドリング交換および関連する消費財コストを低減する別の方法が得られるとしてよい。ほかにもさまざまな係合機構を提供するとしてよい。
別の実施形態によると、小開口を有さないレンズカバー400を提供するとしてよい。本例では、レンズカバーは、開口146をエッチングされないように保護するとしてよい。このようなレンズカバーは、良好に画定された開口を維持するために直接利用されるのではないとしてよい。そうではなく、当該レンズカバーは、複数のシールドリング開口を有するシールドリングの、使用されていないシールドリング開口を保護するとしてよい。このような構成は、カバーされているシールドリング開口における面積の変化と、カバーされていないシールドリング開口における面積の変化との比を間接的に算出することに関して有用であるとしてよい。この処理について、さらに詳細に後述する。
図5Aは、本開示の一実施形態に係るシールドリング544を示す側面図である。図5Bは、シールドリング544を示す上面図である。図5Bは、シールドリング544を示す底面図である。
本実施形態によると、1以上のシールドリング開口546の面積は、上記と同様の理由で、1以上のファラデーカップ140の面積よりも大きいとしてよい。本開示の一実施形態によると、バネ調整開口510を有するバネ機構500が、シールドリング544の大きくなった1以上の開口546の下方であって、1以上のファラデーカップ140の上方に配置されるとしてよい。バネ機構500は、図5Cに示すように、開口画定部分500aおよび500b、固定部分502aおよび502b、バネ504、および、開口棒506aおよび506bを有するとしてよい。1以上のシールドリング開口546の下方にバネ機構500を配置すると、開口画定部分500aおよび500bが、劣化および/またはエッチングの際に、1以上のシールドリング開口546の面積を画定し得る。開口棒506aおよび506bは、エッチング速度が低く、且つ、耐性の高い材料から形成されるとしてよく、バネ調整開口510の寸法を画定するべく機能する。
開口画定部分500aおよび500bは、熱伝導性および導電性を有し、且つ、エッチング速度が遅い材料、例えばアルミニウムから形成されるとしてよく、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、炭素(C)、グラファイト、または、その他の同様のエッチング速度が遅いコーティング材料でコーティングされている。別の実施形態によると、開口画定部分500aおよび500bは、例えば、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、炭素(C)、またはグラファイトのようなバルク(固体)材料から形成されるとしてよい。さまざまな種類の炭化ケイ素(SiC)を利用するとしてよく、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン等を利用するとしてよい。さらに別の実施形態によると、バルク材料から成るレンズカバー400は、エッチングに対する耐性を高くするべく、ドーピングされているとしてもよい。コーティングおよびドーピングについては、開口画定部分500aおよび500bの材料に応じて、厚みをさまざまに設定するとしてよい。バルク材料から開口画定部分500aおよび500bを形成する処理は、焼結(加熱)、化学気相蒸着(CVD)法(積層)、およびその他の同様の技術を用いるとしてよい。
1以上のシールドリング開口546がエッチングされると、バネ機構500の開口画定部分500aおよび500bもまた、エッチングされてしまう場合がある。開口画定部分500aおよび500bがエッチングされてしまっても、固定部分502aおよび502bに取り付けられているバネ504が、開口画定部分500aおよび500bを、開口棒506aおよび506bに向かって押すので、1以上のシールドリング開口546の大きさ(面積)が維持され得る。このため、バネ開口510は、ドーズ量カウント電子機器(DCE)142が正確にターゲットウェハ120に対するイオンドーズ量を算出できるように、寸法が動的に調整され、良好に画定された面積を与えるとしてよい。この結果、バネ機構500は正確にイオンドーズ量を測定できるように画定開口510を提供するので、1以上の開口が大きくなってしまったシールドリングの交換間隔を短くし得る。
各シールドリングは、本開示の実施形態に関連付けて上述したように、断面が矩形のシールドリング開口を2つ有するものとして図示されているが、開口の数、形状および大きさは上記以外であってもよいことに留意されたい。例えば、図6Aに示すように、シールドリング644は開口646aを1以上、例えば4つ含むとしてよい。一実施形態によると、開口646aはそれぞれ、異なる1以上のファラデーカップ140aに対応するとしてよい。
また、図6Bおよび図6Dに示すように、シールドリング644は、異なる形状を持つ、例えば、円状(646b)または円弧状(646d)のシールドリング開口646を1以上備えるとしてよい。例えば、三角形、楕円形、スリット状等のその他の形状もまた、提供されるとしてよい。同様に、1以上のファラデーカップ640もまた、1以上のシールドリング開口646に対応して、異なる形状を持つとしてよい。例えば、1以上のファラデーカップ640bは、1以上の円状開口146bに対応して、円状であってもよく、または、1以上のファラデーカップ640dは、1以上の円弧状の開口646dに対応して、円弧状であってもよい。別の実施形態によると、シールドリングが有する1以上のシールドリング開口は、複数の異なる形状を持つとしてもよい。その他の変形例もまた提供され得る。
図6Cを参照して説明すると、シールドリング644は、連続したリング状の開口646cによって互いから分離されている、外側シールドリング644aおよび内側シールドリング644bを備えるとしてよい。一実施形態によると、ファラデーカップ640cもまた、開口646cに対応して、形状がリング状であってよい。リング状の開口646cによれば、シールドリング644全体にわたって入射イオン束が平均化され得るので、イオンドーズ量を測定する際の精度が上がるとしてよい。これ以外にもさまざまな実施形態が提供され得る。
良好に画定された開口を維持してイオンドーズ量測定を改善する効果に加えて、本開示の実施形態はさらに、エッチングによって生じ得る開口の面積の変化を補償する処理を実行し得る。
例えば、一実施形態によると、エッチングに起因するシールドリング開口の面積の変化を算出および補償する処理は、エッチング速度を算出することによって実現され得る。所定の材料のエッチング速度は所定の一連の洗浄条件(例えば、電力、圧力、流れ、DCバイアス、パルス幅周波数等)において予測可能なので、エッチング速度を、ドーズ量カウント電子機器(DCE)142内の算出モジュールの洗浄レシピに組み込んで、イオンドーズ量測定中に開口の面積を自動的に調整するとしてよい。
別の実施形態によると、エッチングに起因する開口の面積の変化を算出および補償する処理は、インサイチュの光学的な測定方法によって実現されるとしてもよい。本例によると、開口の面積の変化は、イオンドーズ量測定中にドーズ量カウント電子機器(DCE)142において、光学的に測定されて、自動的に補償されるとしてよい。
さらに別の実施形態によると、エッチングに起因する開口の面積の変化を算出および補償する処理は、別のイオン源を用いるか、または、略安定しているRF源等の主要プラズマ生成源を用いることによって実現されるとしてよい。本例によると、公知のイオン源を用いて、開口面積を逆算するのに利用され得る、ファラデーカウント回路における応答を生成するとしてよい。この処理に基づくキャリブレーションは、ドーズ量カウント電子機器(DCE)142の算出モジュールに挿入されて、頻繁に、および/または、周期的に実行されるとしてよい。
本開示のさらに別の実施形態によると、主要プラズマ生成源が上記キャリブレーションを実行するべく十分に安定していなければ、別の処理を行うとしてよい。本例によると、デュアルチャネルドーズ量測定処理を提供してよい。一実施形態によると、第1のチャネルをリアルタイムのドーズ量測定に用いて、第2のチャネルを、例えば、一定の面積を維持するべくレンズカバーによってカバーされている開口に接続してよい。尚、レンズカバーは、キャリブレーションを実行する場合のみ取り外される。このようにして、キャリブレーション中に第2のチャネルが受け取る値を、第1のチャネルと比較して、その差分および面積の変化を算出するとしてよい。
別の実施形態によると、第1のチャネルは、特定の物理的構造、例えば、円状の形状を持つ一の開口(または一連の開口)に接続するとしてよい。第2のチャネルは、異なる物理的構造、例えばスリット状の形状を持つ別の一の開口(または別の一連の開口)に接続するとしてよい。開口がプラズマ照射に応じてエッチングされると、周囲の長さと面積の比率は、第2のチャネルに接続されている開口と、第1のチャネルに接続されている開口とを比較すると、変化幅が異なる場合がある。このため、例えば、比率の差分をドーズ量カウント電子機器(DCE)142に挿入して、当該差分に基づいて、エッチングされた開口のそれぞれの実際の面積を算出して、イオンドーズ量測定を改良するとしてよい。
本開示の実施形態はRF−PLADにおいて二次電子を閉じ込めることに関連しているが、その他の実装例も同様に提供され得ると理解されたい。例えば、二次電子を閉じ込める技術は、グロー放電プラズマドーピング(GD−PLAD)システムのような、プラズマイオン注入システムに適用され得る。この例では、追加のプラズマ源、例えば、ホロー陰極をさらに提供するとしてよい。
本開示の範囲は、本明細書に記載した具体的な実施形態に限定されるものではない。上述の説明および添付図面から、当業者には、本明細書に記載したものに加えて、本開示のその他のさまざまな実施形態および変形例が明らかである。このようなその他の実施形態および変形例は本開示の範囲に含まれるものとする。また、本明細書では特定の目的を実現するための特定の環境における特定の実装例に関連付けて本開示を説明してきたが、当業者であれば、本開示の有用性は上述の説明内容に限定されるものではなく、本開示はさまざまな目的を実現するべくさまざまな環境において実装されて効果を奏することに想到するであろう。したがって、本願の請求項は、本明細書に記載した本開示の範囲および精神を最大限に鑑みて、理解されるべきである。
Claims (24)
- ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に配置され、少なくとも1つの開口の面積を画定する開口画定デバイスを有するシールドリングと、
前記少なくとも1つの開口の下方に配置されるファラデーカップと、
前記ファラデーカップに接続されて、イオンドーズ量を算出するドーズ量カウント電子機器と
を備えるプラズマイオン注入用の装置。 - 前記装置は、グロー放電(GD)PLADにおけるイオン注入用である
請求項1に記載の装置。 - 前記装置は、高周波(RF)PLADにおけるイオン注入用である
請求項1に記載の装置。 - 前記開口画定デバイスは、シリコン、炭化ケイ素、炭素、およびグラファイトのうち少なくとも1つを含む
請求項1に記載の装置。 - 前記開口画定デバイスは、前記シールドリングの前記開口の下方であって前記ファラデーカップの上方に配置されている挿入部材を含み、
前記挿入部材は、エッチング速度が遅い材料から形成されている
請求項1に記載の装置。 - 前記開口画定デバイスは、前記シールドリングの前記開口に載置されて係合させられるレンズカバーを含み、
前記レンズカバーは、エッチング速度が遅い材料から形成されている
請求項1に記載の装置。 - 前記開口画定デバイスは、前記シールドリングの前記開口の下方であって前記ファラデーカップの上方に配置されているバネデバイスを含み、
前記バネデバイスは、エッチング速度が遅い材料から形成されている
請求項1に記載の装置。 - 前記少なくとも1つの開口の面積の形状は、円状、円弧状、スリット状、リング状、矩形、三角形、および楕円形状のうち少なくとも1つを含む
請求項1に記載の装置。 - ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に配置され、バルク材料を含み、面積を画定する開口を少なくとも1つ有するシールドリングと、
前記少なくとも1つの開口の下方に配置されるファラデーカップと、
前記ファラデーカップに接続されて、イオンドーズ量を算出するドーズ量カウント電子機器と
を備えるプラズマイオン注入用の装置。 - 前記バルク材料は、シリコン、炭化ケイ素、炭素、およびグラファイトのうち少なくとも1つを含む
請求項9に記載の装置。 - ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に配置され、面積を画定する開口を少なくとも1つ有するシールドリングと、
前記少なくとも1つの開口の下方に配置されるファラデーカップと、
前記ファラデーカップに接続されて、算出モジュールを有するドーズ量カウント電子機器と
を備え、
前記算出モジュールは、開口の面積の変化に対する補償に基づいて、イオンドーズ量を算出する
プラズマイオン注入用の装置。 - 前記算出モジュールは、開口の面積の変化に対する補償に基づいて、イオンドーズ量を算出する
請求項11に記載の装置。 - 前記算出モジュールは、前記シールドリングのエッチング速度情報に基づいて、開口の面積の変化を補償する
請求項12に記載の装置。 - 前記算出モジュールは、開口の面積の変化をインサイチュに光学的に測定することに基づいて、開口の面積の変化を補償する
請求項12に記載の装置。 - 前記算出モジュールは、別のイオン源に基づいて、開口の面積の変化を補償する
請求項12に記載の装置。 - 前記算出モジュールは、略安定している主要プラズマ源に基づいて、開口の面積の変化を補償する
請求項12に記載の装置。 - 前記算出モジュールは、デュアルチャネルキャリブレーションに基づいて、開口の面積の変化を補償する
請求項12に記載の装置。 - 前記デュアルチャネルキャリブレーションは、第1のチャネルと第2のチャネルとを含む
請求項17に記載の装置。 - 前記第1のチャネルは、リアルタイムにドーズ量測定を行うために少なくとも1つの開口に接続され、前記第2のチャネルは、カバーされている少なくとも1つの開口に接続されており、カバーされていない場合に、前記第2のチャネルが受け取り、前記第1のチャネルと比較される測定値は、イオンドーズ量の算出に用いられる
請求項18に記載の装置。 - 前記第1のチャネルは、第1の形状を有する少なくとも1つの開口に接続され、前記第2のチャネルは、第2の形状を有する少なくとも1つの開口に接続されており、前記第1のチャネルに接続されている前記少なくとも1つの開口に対する周囲の長さと面積との第1の比率および前記第2のチャネルに接続されている前記少なくとも1つの開口に対する周囲の長さと面積との第2の比率を含む測定情報は、互いに比較されて、イオンドーズ量の算出に用いられる
請求項18に記載の装置。 - プラズマイオン注入において、少なくとも1つの開口の面積を維持する方法であって、
ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に、イオンドーズ量の算出に用いられるファラデーカップ上で少なくとも1つの開口の面積を画定する開口画定デバイスを有するシールドリングを配置することを含む方法。 - プラズマイオン注入において、少なくとも1つの開口の面積を維持する方法であって、
ターゲットウェハの周縁を取り囲むように同一平面に、エッチング速度が遅いバルク材料から形成されており、イオンドーズ量の算出に用いられるファラデーカップ上で面積を画定する少なくとも1つの開口を有するシールドリングを配置する段階を含む方法。 - プラズマイオン注入の方法であって、
開口面積変化情報に基づいて得られる開口の面積の変化に対する補償に少なくとも部分的に基づいてイオンドーズ量を算出する段階を含む方法。 - 前記開口面積変化情報は、エッチング速度情報、開口の面積の変化に関するインサイチュ光学測定情報、別のイオン源に基づく情報、略安定しているプラズマ源に基づく情報、および、デュアルチャネルキャリブレーションに基づく情報のうち少なくとも1つを含む
請求項23に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/617,348 US20080160170A1 (en) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | Technique for using an improved shield ring in plasma-based ion implantation |
PCT/US2007/088278 WO2008083020A2 (en) | 2006-12-28 | 2007-12-20 | Technique for using an improved shield ring in plasma-based ion implantation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010515268A true JP2010515268A (ja) | 2010-05-06 |
JP2010515268A5 JP2010515268A5 (ja) | 2011-02-03 |
Family
ID=39410339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009544205A Abandoned JP2010515268A (ja) | 2006-12-28 | 2007-12-20 | プラズマイオン注入で改良シールドリングを利用する技術 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080160170A1 (ja) |
JP (1) | JP2010515268A (ja) |
KR (1) | KR20090106534A (ja) |
CN (1) | CN101595548A (ja) |
TW (1) | TW200832488A (ja) |
WO (1) | WO2008083020A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010021404A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102280345A (zh) * | 2010-06-08 | 2011-12-14 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 法拉第杯 |
EP2551889B1 (en) * | 2011-07-26 | 2016-03-02 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Charged particle beam apparatus with shielding member having a charge control electrode |
US10727092B2 (en) * | 2012-10-17 | 2020-07-28 | Applied Materials, Inc. | Heated substrate support ring |
US9384937B2 (en) * | 2013-09-27 | 2016-07-05 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | SiC coating in an ion implanter |
CN104576271B (zh) * | 2013-10-18 | 2017-06-06 | 和舰科技(苏州)有限公司 | 离子测量装置及其石墨层 |
KR102391971B1 (ko) * | 2014-09-30 | 2022-04-29 | 세메스 주식회사 | 측정 유닛 및 그를 포함하는 기판 처리 장치, 그리고 측정 유닛 제조 방법 |
US10553411B2 (en) | 2015-09-10 | 2020-02-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Ion collector for use in plasma systems |
US10416199B2 (en) | 2017-01-17 | 2019-09-17 | International Business Machines Corporation | Measuring flux, current, or integrated charge of low energy particles |
WO2018227668A1 (zh) * | 2017-06-16 | 2018-12-20 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种离子注入系统 |
US10276340B1 (en) * | 2017-12-20 | 2019-04-30 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Low particle capacitively coupled components for workpiece processing |
CN108642466B (zh) * | 2018-05-25 | 2020-12-22 | 北京航空航天大学 | 一种复合技术制备涂层的装置 |
CN109887858A (zh) * | 2019-03-13 | 2019-06-14 | 德淮半导体有限公司 | 离子注入剂量的测量装置及其测量方法 |
CN111063600B (zh) * | 2019-12-26 | 2022-10-28 | 华虹半导体(无锡)有限公司 | 一种实时监控离子注入剂量的装置及使用方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4751393A (en) * | 1986-05-16 | 1988-06-14 | Varian Associates, Inc. | Dose measurement and uniformity monitoring system for ion implantation |
GB9219239D0 (en) * | 1992-09-11 | 1992-10-28 | Fisons Plc | Mass spectrometer with adjustable aperture mechanism |
US5828920A (en) * | 1996-04-23 | 1998-10-27 | Eastman Kodak Company | Translational electromagnetic camera shutter for variable aperture applications |
US6269765B1 (en) * | 1998-02-11 | 2001-08-07 | Silicon Genesis Corporation | Collection devices for plasma immersion ion implantation |
US6300643B1 (en) * | 1998-08-03 | 2001-10-09 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Dose monitor for plasma doping system |
US6020592A (en) * | 1998-08-03 | 2000-02-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Dose monitor for plasma doping system |
EP0985950A3 (en) * | 1998-09-09 | 2004-03-03 | Canon Kabushiki Kaisha | A method for manufacturing a color filter, and a liquid-crystal device using a color filter manufactured by the method |
US6507033B1 (en) * | 1999-03-29 | 2003-01-14 | The Regents Of The University Of California | Versatile, high-sensitivity faraday cup array for ion implanters |
EP1290712B1 (en) * | 2000-05-22 | 2008-04-09 | The University Of British Columbia | Atmospheric pressure ion lens for generating a larger and more stable ion flux |
CN1322538C (zh) * | 2001-01-18 | 2007-06-20 | 瓦里安半导体设备联合公司 | 具有包括可调传动限制缝隙的分隔墙的靶腔的离子注入机 |
US20030021951A1 (en) * | 2001-07-20 | 2003-01-30 | The Procter & Gamble Company | High-elongation apertured nonwoven web and method for making |
US7132672B2 (en) * | 2004-04-02 | 2006-11-07 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Faraday dose and uniformity monitor for plasma based ion implantation |
US7396746B2 (en) * | 2004-05-24 | 2008-07-08 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Methods for stable and repeatable ion implantation |
DE102005023059A1 (de) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Austriamicrosystems Ag | Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Strukturelementes und Halbleiteranordnung |
-
2006
- 2006-12-28 US US11/617,348 patent/US20080160170A1/en not_active Abandoned
-
2007
- 2007-12-20 KR KR1020097015202A patent/KR20090106534A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-12-20 WO PCT/US2007/088278 patent/WO2008083020A2/en active Application Filing
- 2007-12-20 JP JP2009544205A patent/JP2010515268A/ja not_active Abandoned
- 2007-12-20 CN CNA2007800508322A patent/CN101595548A/zh active Pending
- 2007-12-26 TW TW096150333A patent/TW200832488A/zh unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010021404A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008083020A2 (en) | 2008-07-10 |
KR20090106534A (ko) | 2009-10-09 |
US20080160170A1 (en) | 2008-07-03 |
TW200832488A (en) | 2008-08-01 |
WO2008083020A3 (en) | 2008-10-16 |
CN101595548A (zh) | 2009-12-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101202 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101202 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20120816 |