JP2010511891A - 共振反射光フィルタ及びそれを含むバイオセンサー - Google Patents

共振反射光フィルタ及びそれを含むバイオセンサー Download PDF

Info

Publication number
JP2010511891A
JP2010511891A JP2009540153A JP2009540153A JP2010511891A JP 2010511891 A JP2010511891 A JP 2010511891A JP 2009540153 A JP2009540153 A JP 2009540153A JP 2009540153 A JP2009540153 A JP 2009540153A JP 2010511891 A JP2010511891 A JP 2010511891A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light filter
refractive index
resonant
reflection light
resonant reflection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009540153A
Other languages
English (en)
Inventor
ジョンチョル ホン
ジェホン シン
キュン−ヒュン キム
チュル フー
グン−ヨン サン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Electronics and Telecommunications Research Institute ETRI
Original Assignee
Electronics and Telecommunications Research Institute ETRI
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Electronics and Telecommunications Research Institute ETRI filed Critical Electronics and Telecommunications Research Institute ETRI
Publication of JP2010511891A publication Critical patent/JP2010511891A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/26Reflecting filters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/4788Diffraction
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N21/7703Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides
    • G01N21/774Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides the reagent being on a grating or periodic structure
    • G01N21/7743Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides the reagent being on a grating or periodic structure the reagent-coated grating coupling light in or out of the waveguide
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/30Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 grating
    • G02F2201/307Reflective grating, i.e. Bragg grating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

基板と、グレーティング層を含む共振反射光フィルタであって、基板は、グレーティング層を形成する物質の屈折率より低い屈折率を有する素材で形成される共振反射光を提供する。よって、共振反射光フィルタは、良好な対称性とシャープな形態をした共振スペクトルを形成することができる。したがって、共振反射光フィルタは、改善された感度を有することができ、小さな線幅を必要とする光学系に応用することができる。

Description

本出願は、大韓民国特許庁において2006年12月5日に出願された韓国特許出願第2006-00122570号、及び2007年5月4日に出願された韓国特許出願第2007-0043802号の利益を特許請求の範囲化し、本開示は全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。
本発明は、共振反射光フィルタ及びそれを利用したバイオセンサーに係り、より詳細には、狭い線幅が必要な光学系に応用できるだけでなく、従来のセンサーより感度がはるかに優秀なバイオセンサーを製作可能にする共振反射光フィルタ及びそれを利用したバイオセンサーに関する。この研究は、IT R&D program of MIC/IITA[2006-S-007-01, Ubiquitous Health Monitoring Module and System Development]によって支援された。
バイオセンサーは、DNA、細胞、蛋白質(例えば抗原及び抗体)などの生命現象と関連した物質を検出し、その量を測定するために製作された機器又はデバイスであり、疾病の診断、新薬開発、環境監視、食品安全など色々な分野で応用される。最近では、放射性同位元素又は蛍光物質などの標識を付けてバイオマテリアルを検出する従来のバイオセンサーに比べて、サンプルの準備が簡単な非標識式バイオセンサーの開発が活発である。
特に、表面プラズモン共振バイオセンサー、光導波路バイオセンサー又は干渉計バイオセンサーのようなセンサーの表面で起こる抗原抗体反応などの生化学的反応により変化する光学的特性を検出する光バイオセンサーが注目されている。
これらの光バイオセンサーのうち、共振反射光フィルタを使用するバイオセンサーは、共振反射光フィルタにより生成されたシャープな反射光及び/又は透過光ピークを利用して高感度のセンサーを製作できると予想される。
共振反射光フィルタは、高屈折率の回折格子を利用して回折された光が高屈折率領域で導波されるモードとカップリングされつつ、強くて鋭い共振反射スペクトルを表す原理を利用する。
しかし、共振反射光フィルタを利用する従来のバイオセンサーは、図1に示すように過度に広く、非対称型の反射スペクトルを有する。図1は、従来の共振反射フィルタを使用して形成される反射スペクトルを例示する。かかるスペクトル非対称性は、信号の背景ノイズが増加する効果により、センサーの信号対ノイズ比を減少させる。かかる非対称性は、共振反射光フィルタをなす回折格子の両面に接した物質の屈折率の差に大きく起因する。すなわち、回折格子の一面をなす基板物質と他面に接する溶液との屈折率が顕著に異なる。さらに、光導波路を形成して共振条件を設けるためには、コアの役割を行う回折格子の屈折率を高めなければならないので、シリコン窒化物又はチタニアのような高屈折率の物質をコーティングしなければならない。
したがって、シャープであり、かつ左右対称な反射スペクトルを有する共振反射光フィルタが、敏感なバイオセンサーを製作可能にするために強く要求されている。
本発明が解決しようとする課題は、狭い線幅が必要な光学系に応用できるだけでなく、従来のセンサーより感度がはるかに優秀なバイオセンサーを製作可能にする共振反射光フィルタを提供するところにある。
本発明が解決しようとする他の課題は、前記共振反射光フィルタを利用して感度が改善されたバイオセンサーを提供するところにある。
前記課題を解決するために、本発明は、第1の屈折率を有する基板と、前記基板上に形成され、第2の屈折率を有するグレーティング層とを備え、前記第2の屈折率が前記第1の屈折率より大きいことを特徴とする共振反射光フィルタを提供する。
前記第1の屈折率は、1.24ないし1.38とすることができる。また、前記第2の屈折率は、1.4ないし2.5とすることができる。
前記基板は、MgF2、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、下記化学式1ないし化学式6のような構造を有する単量体をそれぞれ重合して得た高分子樹脂、下記化学式7ないし10の反復構造をそれぞれ有する高分子物質、下記化学式9の反復構造と下記化学式10の反復構造とがブロック共重合されている高分子物質、及び下記化学式10の反復構造として相異なるR値を有する反復構造がブロック共重合されている高分子物質からなる群の少なくとも1つとすることができる。
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
ここで、nは、100ないし500の整数である。
Figure 2010511891
ここで、x及びyは、それぞれ50ないし300の整数である。
Figure 2010511891
ここで、pは、50ないし500の整数である。
Figure 2010511891
ここで、Rは、下記化学式11ないし18のうちいずれか一つであり、mは、50ないし500の整数である。
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
また、前記グレーティング層は、第2の屈折率を有する物質からなる薄膜層と、前記薄膜層と同じ物質からなる回折格子層とを備えることができる。特に、前記薄膜層の厚さは、0nmないし300nmとすることができる。また、前記回折格子層のリセスの深さは、100nmないし500nmとすることができる。
選択的に、標的バイオマテリアルの捕獲物質は、前記グレーティング層の表面に固定化されている。
また、共振反射光フィルタにより反射された反射光のスペクトルは対称形とすることができる。
また、前記グレーティング層のグレーティングの間隔は、前記バイオセンサー用の共振反射光フィルタに照射される光源の平均波長より短くすることができる。
前記他の課題を解決するために、本発明は、前記共振反射光フィルタを備えるバイオセンサーを提供する。
本発明の上記並びに他の特徴及び利点は添付の図面を参照してそれらの例示的な実施形態をより詳細に説明することによってより明らかになるであろう。
従来技術による共振反射光フィルタを利用して形成された反射スペクトルを示す図である。 本発明の一実施形態による共振反射光フィルタの断面図である。 本発明の一実施形態による共振反射光フィルタの斜視図である。 本発明の他の実施形態による共振反射光フィルタの斜視図である。 本発明の他の実施形態による共振反射光フィルタの斜視図である。 本発明のさらに他の実施形態による共振反射光フィルタの側断面図である。 本発明の一実施形態による共振反射光フィルタの各部分のサイズを示す部分断面図である。 本発明の一実施形態による共振反射光フィルタを利用して形成された反射スペクトルを示す図面である。 本発明の一実施形態による共振反射光フィルタを利用して形成された反射スペクトルを示す図面である。 本発明の一実施形態による共振反射光フィルタを利用して形成された反射スペクトルを示す図面である。
以下、添付図面を参照して、本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。しかし、本発明の実施形態は、色々な他の形態に変形され、本発明の範囲が後述する実施形態により限定されるものと解釈されてはならない。本発明の実施形態は、当業者に本発明をより完全に説明するために提供されるものと解釈されることが望ましい。同じ符号は、同じ要素を意味する。さらに、図面での多様な要素と領域は概略的に表れたものである。したがって、本発明は、添付した図面に示した相対的なサイズや間隔により制限されない。
本発明は、第1の屈折率を有する基板と、基板上に形成され、第2の屈折率を有するグレーティング層とを備え、第2の屈折率が第1の屈折率より大きいことを特徴とする共振反射光フィルタを提供する。
図2Aは、共振反射光フィルタ100の構造を示す側断面図である。図2Bは、共振反射光フィルタの斜視図である。図2Aに示すように、本発明の現在の実施形態にかかる共振反射光フィルタ100は、第1の屈折率を有する基板110上に形成されたグレーティング層120を含む。グレーティング層120は、第2の屈折率を有し、第2の屈折率は、第1の屈折率より大きい。グレーティング層120は、薄膜層122及び回折格子層124を含む。
第1の屈折率は、例えば、1.24ないし1.38とすることができる。好ましくは、第1の屈折率は、共振反射光フィルタを備えるセンサーの表面に接する物質の屈折率に近い。もし、センサーの表面に蛋白質、DNA、細胞などのバイオマテリアルを含有する血漿又はPBS(phosphate−buffered saline)のような溶液であれば、かかる液体の屈折率を考慮して同一であるか、又は最も近い屈折率を有する物質で基板110を形成することができる。
したがって、かかる点を考慮して、基板110は、1.35の屈折率を有するMgF2とすることができるが、ここに限定されるものではない。例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)のようなフッ素系樹脂、ポリメチルメタクリレート(PMMA)とすることができる。あるいは、基板110は、下記化学式1ないし化学式6のような構造を有する単量体をそれぞれ重合して得た高分子樹脂とすることができる。
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
ここで、nは、100ないし500の整数である。
Figure 2010511891
ここで、x及びyは、それぞれ50ないし300の整数である。
Figure 2010511891
ここで、pは、50ないし500の整数である。
Figure 2010511891
ここで、Rは、下記化学式11ないし18のうちいずれか一つであり、mは、50ないし500の整数である。
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
Figure 2010511891
特に、基板110は、化学式9の反復構造の少なくとも1つと化学式10の反復構造とがブロック共重合されている。又は、基板の物質は、化学式10の反復構造として相異なるR値を有する反復構造がブロック共重合されている。例えば、化学式11のR値を有する反復構造と化学式12のR値を有する反復構造とがブロック共重合されている。しかし、これらに限定されるものではない。
上述の基板110を形成するために使用することができる物質は例示的なものに過ぎず、これらに限定されるものではない。本発明の現在の実施形態のための基板110は、1.24ないし1.38の屈折率を有し、他の条件を満たす任意の物質で形成することができる。しかし、好ましくは、本発明の共振反射光フィルタ100に備えられるグレーティング層120の表面に接する試料の屈折率及び基板110の屈折率は、互いに同じにすることができ、表面は基板110と反対側の表面である。
グレーティング層120は、図2Bに示したように、扁平な面上に回折格子層124が線形に形成されている薄膜層122を含むが、本発明はそれに限定されない。共振反射光フィルタ100a及び100bの基板110a及び110bに形成されたグレーティング層120a、120bは、例えば、図3Aのような正方形グリッド構造、又は図3Bのような六角配列された穴の構造を有することができる。
グレーティング層120は、第2の屈折率を有する物質で形成された薄膜層122及び薄膜層122と同じ物質で形成された回折格子層124を備える。
図4は、本発明の実施形態にかかる共振反射光フィルタ200の側断面図である。図4を参照すると、本発明の実施形態にかかる共振反射光フィルタ200は、基板210及びグレーティング層220を含む。グレーティング層220は、基板210の一部が表れるように完全に開放されたリセス224を有することができる。すなわち、薄膜層は、グレーティング層220において選択的に省略することができる。
前述したように、グレーティング層120、220を形成する物質の第2の屈折率は、第1の屈折率より大きい。第2の屈折率は、1.4ないし2.5とすることができる。グレーティング層は、例えば、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリカーボネートのような高分子樹脂又はSiO2、SiNx、TiO2などで形成することができるが、これらに限定されない。
共振反射光フィルタ100及び200は、回折格子により回折された光が高屈折率の光導波管を導波しつつ共振スペクトルを形成する。
図5は、図2A及び2Bの共振反射光フィルタ100の各部分のサイズを示す部分断面図である。共振反射光フィルタ100でグレーティング層120を形成するグレーティングの間隔Wは、共振反射光フィルタ100に照射される光源の平均波長より短い。もし、間隔Wが光源の平均波長より長ければ、共振反射がよく起こらないため、間隔Wは、前記共振反射光フィルタに照射される光源の平均波長より短いことが望ましい。
また、回折格子層124のリセスの深さH1は、100nmないし500nmとすることができ、薄膜層122の厚さH2は、0nmないし300nmとすることができる。図4は、グレーティング層220が薄膜層122を含まない場合を例示する。換言すると、グレーティング層220の存在しない薄膜層の厚さは0nmである。
回折格子層124のリセスの深さH1が100nmに達しないか、又は薄膜層122の厚さH2が300nmを超えるとき、グレーティング層120の総厚さが増加し、従って、グレーティング層120における回折格子層124の比率が減少して、予想しない特性を発現する場合があるので望ましくない。
また、回折格子層124のリセスの深さH1が500nmを超えるとき、共振反射ピークが表れがたく、共振反射光フィルタ100のパフォーマンスが回折格子層124自体を形成する物質の光吸収によって低下する場合がある。
グレーティング層120、220は、多様な製造方法で製造できる。例えば、グレーティング層120、220の厚さH1+H2を有する層を基板上に形成し、光リソグラフィ技術によってそれをエッチングするか、又はナノリンプリンティングしてリセスを形成することができる。かかる技術は、従来技術において周知なので詳細な説明は省略する。
共振反射光フィルタ100をバイオセンサー用に使用するとき、捕獲バイオマテリアルが共振反射光フィルタ100の表面に固定化される。捕獲バイオマテリアルは、抗原−抗体反応を応用して試料中に存在する検出しようとする物質を捕獲できる物質であって、使用目的によって適切に選択される。例えば、捕獲バイオマテリアルは、アミン系物質、アルデヒド系物質又はニッケルとすることができるが、これらに限定されない。
捕獲バイオマテリアルは、既知の方法によりグレーティング層120上に固定化することができる。
本発明の実施形態にかかる共振反射光フィルタ100及び200を含むバイオセンサーは、次のように動作する。
試料溶液内に存在する標的バイオマテリアルは、グレーティング層120上に固定化された捕獲バイオマテリアルによって捕獲され、センサー表面層の厚さと屈折率とが変化する。かかる変化が共振反射光フィルタの反射スペクトル上のピークの位置を変化し、かかるピーク位置の変化から標的バイオマテリアルの有無を感知する。
図6は、基板の屈折率と試料溶液の屈折率とがほぼ類似した場合の共振反射光フィルタの反射スペクトルを例示する。基板の屈折率は1.35であり、共振反射光フィルタのグレーティング層の屈折率は1.5であり、試料溶液の屈折率は1.34であり、グレーティング層の薄膜層の厚さは20nmであり、グレーティング層の回折格子層の高さは200nmであり、グレーティングの間隔は550nmであり、照射された光の波長744.9nmでる場合に、図6の結果が得られる。
図6を参照すると、スペクトルのピークが非常にシャープであるだけでなく、ほぼ完全な水平に左右対称である。したがって、バックグラウンドのノイズを構成するスペクトルの部分が減ってバイオセンサーの信号対ノイズ比が増加し、その感度を改善する。本発明の共振反射光フィルタは、バイオセンサーだけでなく、強くて狭い帯域幅を有するフィルタが必要な分野であれば、どこにも使われる。例えば、狭い線幅偏光レーザー、波長可変偏光レーザー、波長可変フィルタ、電光スイッチなど狭い線幅が必要な光学系に応用することができる。
一方、図1に示したスペクトルは、基板の屈折率と試料溶液の屈折率との間で互いに顕著な差がある場合である。ここで、2.01の屈折率を有するSiNxグレーティングは、1.5の屈折率を有するガラス基板上に形成され、共振反射光フィルタのグレーティング層の回折格子層の高さは180nmであり、グレーティングの間隔は510nmであった。図1に示すように、スペクトルは激しい非対称型であり、そのような非対称型のスペクトルは、ノイズレベルを約0.15まで引き上げて、信号対ノイズ比を低くする。したがって、センサーの感度は低下した。
図7は、共振反射光フィルタの基板の屈折率と試料溶液の屈折率とが多少異なる場合の共振反射光フィルタの反射スペクトルを示す。図7の結果を得るために用いられるパラメータは、基板の屈折率を1.25とした点を除いては図6の場合と同一である。
図7に示すように、対称性が若干減少したが、図1のスペクトルに比較すれば、より対称に近く、依然としてシャープな形態を有するということが分かる。したがって、共振反射光フィルタの感度は顕著に改善されるということが分かる。
図8は、共振反射光フィルタのグレーティング層の薄膜層の厚さを変化することによって得られる反射スペクトルの変化を例示する。図8の結果を得るために用いられるパラメータは、薄膜層の厚さをそれぞれ0nm及び50nmにした点を除いては図6の場合と同一である。図8に示すように、スペクトルのピークの位置は、照射される光のスペクトルを参考にして薄膜層の厚さなどの共振反射光フィルタのパラメータ値を調節することによって調整することができるが、これを通じてより効率的な共振反射光フィルタを製作することができる。
本発明にかかる共振反射光フィルタは、狭い線幅が必要な光学系に応用することができるだけでなく、されに、従来のセンサーより感度がはるかに優秀なバイオセンサーを製作することができる。
前述したように、本発明の望ましい実施形態について詳細に記述されたが、当業者ならば、特許請求の範囲に定義された本発明の精神及び範囲を逸脱しない範囲内で本発明を多様に変形して実施できるであろう。したがって、本発明の今後の実施形態の変更は、本発明の技術を逸脱できないであろう。

Claims (11)

  1. 第1の屈折率を有する基板と、
    前記基板上に形成され、第2の屈折率を有するグレーティング層とを備え、
    前記第2の屈折率が前記第1の屈折率より大きいことを特徴とする共振反射光フィルタ。
  2. 前記第1の屈折率は、1.24ないし1.38であることを特徴とする請求項1に記載の共振反射光フィルタ。
  3. 前記基板は、MgF2、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、下記化学式1ないし化学式6のような構造を有する単量体をそれぞれ重合して得た高分子樹脂、下記化学式7ないし10の反復構造をそれぞれ有する高分子物質、下記化学式9の反復構造と下記化学式10の反復構造とがブロック共重合されている高分子物質、及び下記化学式10の反復構造として相異なるR値を有する反復構造がブロック共重合されている高分子物質からなる群の少なくとも1つであることを特徴とする請求項1に記載の共振反射光フィルタ:
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    ここで、nは、100ないし500の整数である
    Figure 2010511891
    ここで、x及びyは、それぞれ50ないし300の整数である
    Figure 2010511891
    ここで、pは、50ないし500の整数である
    Figure 2010511891
    ここで、Rは、下記化学式11ないし18のうちいずれか一つであり、mは、50ないし500の整数である。
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
    Figure 2010511891
  4. 前記第2の屈折率は、1.4ないし2.5であることを特徴とする請求項1に記載の共振反射光フィルタ。
  5. 前記グレーティング層は、第2の屈折率を有する物質で形成される薄膜層と、前記薄膜層と同じ物質で形成される回折格子層とを備えることを特徴とする請求項1に記載の共振反射光フィルタ。
  6. 前記薄膜層の厚さは、0nmないし300nmであることを特徴とする請求項5に記載の共振反射光フィルタ。
  7. 標的バイオマテリアルの捕獲物質は、前記グレーティング層の表面に固定化されていることを特徴とする請求項1に記載の共振反射光フィルタ。
  8. 前記回折格子層のリセスの深さは、100nmないし500nmであることを特徴とする請求項5に記載の共振反射光フィルタ。
  9. 共振反射光フィルタにより反射された反射光のスペクトルが対称形であることを特徴とする請求項1に記載の共振反射光フィルタ。
  10. 前記グレーティング層のグレーティングの間隔は、共振反射光フィルタに照射される光源の平均波長より短いことを特徴とする請求項1に記載の共振反射光フィルタ。
  11. 請求項1に記載の共振反射光フィルタを備えるバイオセンサー。
JP2009540153A 2006-12-05 2007-12-05 共振反射光フィルタ及びそれを含むバイオセンサー Pending JP2010511891A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20060122570 2006-12-05
KR1020070043802A KR100927590B1 (ko) 2006-12-05 2007-05-04 공진 반사광 필터 및 이를 이용한 바이오 센서
PCT/KR2007/006283 WO2008069572A1 (en) 2006-12-05 2007-12-05 Resonant reflective filter and biosensor including the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010511891A true JP2010511891A (ja) 2010-04-15

Family

ID=39492381

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009540153A Pending JP2010511891A (ja) 2006-12-05 2007-12-05 共振反射光フィルタ及びそれを含むバイオセンサー

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20100328774A1 (ja)
JP (1) JP2010511891A (ja)
KR (1) KR100927590B1 (ja)
GB (1) GB2456983B (ja)
WO (1) WO2008069572A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100927603B1 (ko) * 2007-12-11 2009-11-23 한국전자통신연구원 표적 바이오 물질 검출 키트 및 표적 바이오 물질 검출방법
JP5462443B2 (ja) * 2008-03-27 2014-04-02 株式会社東芝 反射スクリーン、表示装置及び移動体
US8923662B2 (en) 2008-04-09 2014-12-30 Csem Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa—Recherche Et Developpement Optical environmental sensor and method for the manufacturing of the sensor
JP6869242B2 (ja) * 2015-11-19 2021-05-12 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. リソグラフィ装置のためのeuvソースチャンバーおよびガス流れ様式、多層ミラー、およびリソグラフィ装置
KR102120134B1 (ko) 2016-01-26 2020-06-09 한국전자통신연구원 공진기 및 이를 이용한 광센서
KR102285677B1 (ko) 2016-02-22 2021-08-05 한국전자통신연구원 광센서

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005015185A1 (en) * 2003-08-01 2005-02-17 Corning Incorporated Substrate index modification for increasing the sensitivity of grating-coupled waveguides
JP2005516210A (ja) * 2002-01-28 2005-06-02 エス アール ユー バイオシステムス,エル エル シー 線形光学表面構造を用いた導波モード共鳴フィルターバイオセンサー
JP2005516216A (ja) * 2002-01-28 2005-06-02 エス アール ユー バイオシステムス,エル エル シー 生体分子相互作用の検出のためのラベル化不用ハイスループット光学技術
WO2005107368A2 (en) * 2004-05-11 2005-11-17 Tel Aviv University Future Technology Development Ltd. Planar-resonator based optical chemo- and biosensors
JP2005337771A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 National Institute For Materials Science ナノ構造を有する集積化ピラー構造光学素子

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0720329A (ja) * 1993-06-23 1995-01-24 Canon Inc 光合分波器
JP2001504213A (ja) * 1996-08-29 2001-03-27 ツェプトゼンス アクチエンゲゼルシャフト 化学的/生化学的な光センサ
JP2003501654A (ja) * 1999-06-05 2003-01-14 ツェプトゼンス アクチエンゲゼルシャフト 複数の分析対象物の測定のためのセンサプラットフォーム及び方法
US6212312B1 (en) * 1999-09-17 2001-04-03 U.T. Battelle, Llc Optical multiplexer/demultiplexer using resonant grating filters
US7217574B2 (en) * 2000-10-30 2007-05-15 Sru Biosystems, Inc. Method and apparatus for biosensor spectral shift detection
US7371562B2 (en) * 2000-10-30 2008-05-13 Sru Biosystems, Inc. Guided mode resonant filter biosensor using a linear grating surface structure
US7142296B2 (en) * 2000-10-30 2006-11-28 Sru Biosystems, Inc. Method and apparatus for detecting biomolecular interactions
US7118710B2 (en) 2000-10-30 2006-10-10 Sru Biosystems, Inc. Label-free high-throughput optical technique for detecting biomolecular interactions
US6990259B2 (en) * 2004-03-29 2006-01-24 Sru Biosystems, Inc. Photonic crystal defect cavity biosensor
US6982819B2 (en) * 2004-05-10 2006-01-03 Ciencia, Inc. Electro-optic array interface
US7057786B2 (en) * 2004-05-10 2006-06-06 Ciencia, Inc. Electro-optic array interface
JP2006350126A (ja) * 2005-06-17 2006-12-28 Sharp Corp 波長選択素子

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005516210A (ja) * 2002-01-28 2005-06-02 エス アール ユー バイオシステムス,エル エル シー 線形光学表面構造を用いた導波モード共鳴フィルターバイオセンサー
JP2005516216A (ja) * 2002-01-28 2005-06-02 エス アール ユー バイオシステムス,エル エル シー 生体分子相互作用の検出のためのラベル化不用ハイスループット光学技術
WO2005015185A1 (en) * 2003-08-01 2005-02-17 Corning Incorporated Substrate index modification for increasing the sensitivity of grating-coupled waveguides
WO2005107368A2 (en) * 2004-05-11 2005-11-17 Tel Aviv University Future Technology Development Ltd. Planar-resonator based optical chemo- and biosensors
JP2005337771A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 National Institute For Materials Science ナノ構造を有する集積化ピラー構造光学素子

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080052182A (ko) 2008-06-11
GB2456983A (en) 2009-08-05
US20100328774A1 (en) 2010-12-30
WO2008069572A1 (en) 2008-06-12
GB2456983B (en) 2011-12-21
KR100927590B1 (ko) 2009-11-23
GB0909521D0 (en) 2009-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2007273113B2 (en) Near ultraviolet-wavelength photonic-crystal biosensor with enhanced surface to bulk sensitivity ratio
JP6306620B2 (ja) 導波モード共振センサアセンブリ
Qian et al. Three-dimensionally ordered macroporous polymer materials: an approach for biosensor applications
CN101263378B (zh) 光子晶体生物传感器结构以及制作方法
US6985664B2 (en) Substrate index modification for increasing the sensitivity of grating-coupled waveguides
CA2578625C (en) Biosensor substrate structure for reducing the effects of optical interference
Szeghalmi et al. Theoretical and experimental analysis of the sensitivity of guided mode resonance sensors
JP2010511891A (ja) 共振反射光フィルタ及びそれを含むバイオセンサー
WO2008123927A1 (en) Biosensors with porous dielectric surface for fluorescence enhancement and methods of manufacture
CN101317083A (zh) 光子晶体生物传感器结构以及制作方法
US20070025661A1 (en) Fiber-optic sensor or modulator using tuning of long period gratings with self-assembled layers
WO2007008440A2 (en) Photonic crystal biosensor fabrication method
AU2004290129B2 (en) Lamellar structure and optical waveguide sensor based on photoaddressable polymers
KR100927603B1 (ko) 표적 바이오 물질 검출 키트 및 표적 바이오 물질 검출방법
JP4595072B2 (ja) 光導波モードセンサー
CN212180625U (zh) 一种基于塔姆态等离激元的光学传感器
WO2002035214A1 (en) Reverse symmetry waveguide for optical biosensing

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111021

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111101

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20120201

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20120208

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120227

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120824

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130208