JP2010286687A - Projecting optical system - Google Patents

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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/22—Telecentric objectives or lens systems

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a projecting optical system, both sides of which are telecentric and which is made to be satisfactorily achromatic for a plurality of wavelength bands from a visible area to a near-ultraviolet area, while high image forming performance is ensured. <P>SOLUTION: The projecting optical system includes: a first lens group 1 of positive power, which includes a first lens disposed on a highest magnifying side; a second lens group, which is the lens group of negative power and is composed of lenses from the first negative lens that satisfies ¾Hn/Y¾<0.75 to the first lens that satisfies Ln/L1a>0.15 among subsequent lenses including the negative lens; and a third lens group, which is the lens group of positive power and is composed of remaining lenses including a diaphragm. In this case, the third lens group includes at least two positive lenses that satisfy 0.662<0.00055×νh+P, and the projecting optical system satisfies 1<¾f12/f3¾<5, wherein f12 is the combined focal distance (mm) of the first and second lens groups, and f3 is the focal distance (mm) of the third lens group. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、光学系への入射側及び射出側ともに主光線が光軸と概ね平行である両側テレセントリックの投影光学系に関するものである。   The present invention relates to a double-sided telecentric projection optical system in which a principal ray is substantially parallel to an optical axis on both the incident side and the exit side to the optical system.

両側テレセントリックの光学系は、物体面や像面に対して光軸方向にずれが生じた場合であっても、その倍率が殆ど変わらないので、この特性が必要とされる場面で好んで使用されている。例えば、投影光学系に用いたならば、フォーカスずれによるディストーションの影響や、物体面、像面（投影面）の反りの影響を少なくすることができる。また、例えば、検査光学系に用いたならば、被写界深度を深く取ることによって、表面に凹凸のある物体でも精密な検査ができ、さらにはＣＣＤ等の撮像素子の位置決め誤差も回避することができる。   The double-sided telecentric optical system is used favorably in situations where this characteristic is required because the magnification is almost unchanged even when there is a deviation in the optical axis direction with respect to the object plane or image plane. ing. For example, when used in a projection optical system, it is possible to reduce the influence of distortion due to focus shift and the influence of warping of the object plane and image plane (projection plane). In addition, for example, when used in an inspection optical system, by taking a deep depth of field, it is possible to accurately inspect even an object with a rough surface, and also avoid positioning errors of an image sensor such as a CCD. Can do.

このような投影光学系として、ｇ線、ｈ線、ｉ線の色消しレンズ系であって、絞りに対し、物体側の前側レンズ系と、像側の後側レンズ系を配置し、前側レンズ系及び後側レンズ系内に、絞り側に凹面を向けた２枚の負のパワーのメニスカスレンズがそれぞれ配置されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、ｇ線、ｈ線、ｉ線に対し色消しされ、瞳面に対しほぼ対称な前方群と後方群で構成された、ほぼ等倍の両側テレセントリック投影光学系が知られている（例えば、特許文献２参照）。また、拡大側の倍率が３倍程度の両側テレセントリック光学系が知られている（例えば、特許文献３参照）。   As such a projection optical system, an achromatic lens system for g-line, h-line, and i-line, an object-side front lens system and an image-side rear lens system are arranged with respect to the stop, and a front lens There is known a system in which two negative power meniscus lenses each having a concave surface facing the stop side are disposed in the system and the rear lens system (see, for example, Patent Document 1). Further, there is known a bilateral telecentric projection optical system that is achromatic and is composed of a front group and a rear group that are achromatic with respect to the g-line, h-line, and i-line and that are substantially symmetrical with respect to the pupil plane (for example, Patent Document 2). Further, a double-sided telecentric optical system having a magnification on the magnification side of about 3 times is known (for example, see Patent Document 3).

特開平３−２８８１１２号公報Japanese Patent Laid-Open No. 3-288112 特開２００２−１４２８１号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-14281 特開２００４−３５４８０５号公報JP 2004-354805 A

両側テレセントリック投影光学系の様々な用途を考えると、複数の波長帯を同時に、或いは必要に応じて切り替えながら利用できることが望ましい。この場合、投影光学系としては、使用される複数の波長帯に対し色消しされている必要がある。   Considering various applications of the double-sided telecentric projection optical system, it is desirable that a plurality of wavelength bands can be used simultaneously or while switching as necessary. In this case, the projection optical system needs to be achromatic for a plurality of wavelength bands to be used.

しかしながら、上記特許文献１に記載の色消しレンズ系は、軸上色収差の補正が不満足で、満足できる性能が得られていない。また、上記特許文献２に記載の両側テレセントリック投影光学系は、色収差が大きいという問題がある。また、上記特許文献３に記載の両側テレセントリック光学系は、単波長に対しては十分な性能を有しているが、複数の波長を使用する光学系としては使用するのにやや難がある。   However, the achromatic lens system described in Patent Document 1 is unsatisfactory in correcting axial chromatic aberration and does not provide satisfactory performance. The double-sided telecentric projection optical system described in Patent Document 2 has a problem that chromatic aberration is large. The double-sided telecentric optical system described in Patent Document 3 has sufficient performance for a single wavelength, but is somewhat difficult to use as an optical system using a plurality of wavelengths.

本発明は上記問題に鑑み、高い結像性能を確保しつつ、可視領域から近紫外領域における複数の波長帯に対し、良好に色消しされた両側テレセントリックの投影光学系を提供することを目的とするものである。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a bilateral telecentric projection optical system that is well achromatic for a plurality of wavelength bands from the visible region to the near ultraviolet region while ensuring high imaging performance. To do.

上記の課題は、下記の構成により達成される。   Said subject is achieved by the following structures.

１）可視領域から近紫外領域における、複数の波長又は所定の範囲の波長帯域を使用する両側テレセントリックの投影光学系であって、拡大側から順に、
最も拡大側に配置された第１レンズを含む、正のパワーの第１レンズ群と、
｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５
を満たす最初の負レンズから、該負レンズを含む以降のレンズのうち、
Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５
を満たす最初のレンズまでの、負のパワーのレンズ群を第２レンズ群とし、
絞りを含む残りのレンズからなる、正のパワーのレンズ群を第３レンズ群としたとき、
前記第３レンズ群は、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす、少なくとも２枚の正レンズを含み、
以下の条件式、
１＜｜ｆ１２／ｆ３｜＜５ （１）
を満たすことを特徴とする投影光学系。
ただし、
Ｈｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｙ：拡大側最大像高（ｍｍ）
Ｌｎ：第ｎレンズと第（ｎ＋１）レンズとの空気間隔（ｍｍ）
Ｌ１ａ：第１レンズの拡大側面頂点から絞り面までの距離（ｍｍ）
νｈ＝（Ｎｈ−１）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｐ＝（Ｎｉ−Ｎｈ）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｎｈ：ｈ線に対する屈折率
Ｎｉ：ｉ線に対する屈折率
Ｎｇ：ｇ線に対する屈折率
ｆ１２：第１レンズ群及び第２レンズ群の合成焦点距離（ｍｍ）
ｆ３：第３レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
である。 1) A double-sided telecentric projection optical system using a plurality of wavelengths or a wavelength band of a predetermined range from the visible region to the near ultraviolet region, in order from the magnification side,
A first lens group having a positive power, including a first lens arranged on the most magnified side;
| Hn / Y | <0.75
From the first negative lens satisfying the following lenses including the negative lens,
Ln / L1a> 0.15
The negative power lens group up to the first lens satisfying
When the positive lens group consisting of the remaining lenses including the aperture is the third lens group,
The third lens group includes:
0.662 <0.00055 × νh + P
Including at least two positive lenses,
The following conditional expression:
1 <| f12 / f3 | <5 (1)
A projection optical system characterized by satisfying
However,
Hn: Height from the optical axis when the most off-axis chief ray passes through the enlarged side surface of the nth lens (mm)
Y: Maximum image height on the enlargement side (mm)
Ln: Air distance between the nth lens and the (n + 1) th lens (mm)
L1a: Distance from the enlarged side surface vertex of the first lens to the diaphragm surface (mm)
νh = (Nh−1) / (Ni−Ng)
P = (Ni-Nh) / (Ni-Ng)
Nh: Refractive index for h-line Ni: Refractive index for i-line Ng: Refractive index for g-line f12: Composite focal length (mm) of the first lens group and the second lens group
f3: Focal length of the third lens group (mm)
It is.

２）以下の条件式、
０．０４＜｜ｆ１／ｆ１２｜＜０．６ （２）
ただし、
ｆ１：第１レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする前記１）に記載の投影光学系。 2) The following conditional expression:
0.04 <| f1 / f12 | <0.6 (2)
However,
f1: Focal length of the first lens group (mm)
The projection optical system according to 1), wherein:

３）以下の条件式、
０．０１＜｜ｆ２／ｆ１２｜＜０．５ （３）
ただし、
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする前記１）又は前記２）に記載の投影光学系。 3) The following conditional expression:
0.01 <| f2 / f12 | <0.5 (3)
However,
f2: Focal length (mm) of the second lens group
The projection optical system according to 1) or 2) above, wherein:

４）以下の条件式、
０．２５＜｜ｆ２／ｆ１｜＜０．８ （４）
を満たすことを特徴とする前記１）から前記３）までのいずれか一項に記載の投影光学系。 4) The following conditional expression:
0.25 <| f2 / f1 | <0.8 (4)
The projection optical system according to any one of 1) to 3) above, wherein:

５）前記第３レンズ群の、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす少なくとも２枚の正レンズは、以下の条件式、
｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３ （５）
ただし、
Ｈｎｍｉｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの高さと縮小側面を 通過するときの高さのいずれか小さい方（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする前記１）から前記４）までのいずれか一項に記載の投影光学系。 5) Of the third lens group,
0.662 <0.00055 × νh + P
At least two positive lenses satisfying the following conditional expression:
| Hn min /Y|<0.3 (5)
However,
Hn min : The smaller of the height when the most off-axis principal ray passes through the enlargement side of the nth lens and the height when it passes through the reduction side (mm)
The projection optical system according to any one of 1) to 4) above, wherein:

６）前記第３レンズ群は、少なくとも３枚の正レンズと、少なくとも２枚の負レンズを含むことを特徴とする前記１）から前記５）までのいずれか一項に記載の投影光学系。   6) The projection optical system according to any one of 1) to 5), wherein the third lens group includes at least three positive lenses and at least two negative lenses.

７）前記第１レンズ群の最も拡大側に配置された第１レンズは、両凸の正レンズであることを特徴とする前記１）から前記６）までのいずれか一項に記載の投影光学系。   7) The projection optical system according to any one of 1) to 6), wherein the first lens disposed closest to the enlargement side of the first lens group is a biconvex positive lens. system.

８）前記第１レンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを含むことを特徴とする前記１）から前記７）までのいずれか一項に記載の投影光学系。   8) The projection optical system according to any one of 1) to 7), wherein the first lens group includes at least two positive lenses.

９）前記第１レンズ群が、拡大側から順に正レンズ、負レンズ、正レンズからなる群を含むことを特徴とする前記８）に記載の投影光学系。   9) The projection optical system according to 8), wherein the first lens group includes a group including a positive lens, a negative lens, and a positive lens in order from the magnification side.

１０）以下の条件式、
０．１＜ＬＢ／ＴＬ＜０．５ （６）
ただし、
ＬＢ：縮小側レンズバック（ｍｍ）
ＴＬ：レンズ全長（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする前記１）から前記９）までのいずれか一項に記載の投影光学系。 10) The following conditional expression:
0.1 <LB / TL <0.5 (6)
However,
LB: Reduction side lens back (mm)
TL: Total lens length (mm)
The projection optical system according to any one of 1) to 9) above, wherein:

本発明によれば、高い結像性能を確保しつつ、可視領域から近紫外領域における複数の波長帯に対し、良好に色消しされた両側テレセントリックの投影光学系を提供することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to provide a bilateral telecentric projection optical system that is well achromatic for a plurality of wavelength bands from the visible region to the near ultraviolet region while ensuring high imaging performance.

実施例１の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a double-sided telecentric projection optical system according to Example 1. FIG. 実施例１の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating spherical aberration and astigmatism of the projection optical system of Example 1. 実施例１の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating distortion aberration and lateral chromatic aberration of the projection optical system of Example 1. 実施例２の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。6 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a double-sided telecentric projection optical system according to Example 2. FIG. 実施例２の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。It is a figure which shows the spherical aberration and astigmatism of the projection optical system of Example 2. 実施例２の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。It is a figure which shows the distortion aberration and lateral chromatic aberration of the projection optical system of Example 2. 実施例３の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。6 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a double-sided telecentric projection optical system according to Example 3. FIG. 実施例３の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。It is a figure which shows the spherical aberration and astigmatism of the projection optical system of Example 3. 実施例３の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。It is a figure which shows the distortion aberration and lateral chromatic aberration of the projection optical system of Example 3. 実施例４の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a double-sided telecentric projection optical system according to Example 4. 実施例４の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。It is a figure which shows the spherical aberration and astigmatism of the projection optical system of Example 4. 実施例４の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。It is a figure which shows the distortion aberration and lateral chromatic aberration of the projection optical system of Example 4.

以下、実施の形態により本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments, but the present invention is not limited thereto.

本発明の両側テレセントリックの投影光学系は、可視領域から近紫外領域における、複数の波長又は所定の範囲の波長帯域を使用する両側テレセントリックの投影光学系であって、拡大側から順に、最も拡大側に配置された第１レンズを含む、正のパワーの第１レンズ群と、
｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズから、該負レンズを含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズまでの、負のパワーのレンズ群を第２レンズ群とし、
絞りを含む残りのレンズからなる、正のパワーのレンズ群を第３レンズ群としたとき、
前記第３レンズ群は、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす、少なくとも２枚の正レンズを含み、以下の条件式、
１＜｜ｆ１２／ｆ３｜＜５ （１）
ただし、
Ｈｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｙ：拡大側最大像高（ｍｍ）
Ｌｎ：第ｎレンズと第（ｎ＋１）レンズとの空気間隔（ｍｍ）
Ｌ１ａ：第１レンズの拡大側面頂点から絞り面までの距離（ｍｍ）
νｈ＝（Ｎｈ−１）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｐ＝（Ｎｉ−Ｎｈ）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｎｈ：ｈ線に対する屈折率
Ｎｉ：ｉ線に対する屈折率
Ｎｇ：ｇ線に対する屈折率
ｆ１２：第１レンズ群及び第２レンズ群の合成焦点距離（ｍｍ）
ｆ３：第３レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴としている。 The double-sided telecentric projection optical system of the present invention is a double-sided telecentric projection optical system that uses a plurality of wavelengths or a wavelength band of a predetermined range from the visible region to the near-ultraviolet region. A first lens group of positive power, including a first lens arranged in
Negative power lenses from the first negative lens satisfying | Hn / Y | <0.75 to the first lens satisfying Ln / L1a> 0.15 among the subsequent lenses including the negative lens The group is the second lens group,
When the positive lens group consisting of the remaining lenses including the aperture is the third lens group,
The third lens group includes:
0.662 <0.00055 × νh + P
Including at least two positive lenses satisfying the following conditional expression:
1 <| f12 / f3 | <5 (1)
However,
Hn: Height from the optical axis when the most off-axis chief ray passes through the enlarged side surface of the nth lens (mm)
Y: Maximum image height on the enlargement side (mm)
Ln: Air distance between the nth lens and the (n + 1) th lens (mm)
L1a: Distance from the enlarged side surface vertex of the first lens to the diaphragm surface (mm)
νh = (Nh−1) / (Ni−Ng)
P = (Ni-Nh) / (Ni-Ng)
Nh: Refractive index for h-line Ni: Refractive index for i-line Ng: Refractive index for g-line f12: Composite focal length (mm) of the first lens group and the second lens group
f3: Focal length of the third lens group (mm)
It is characterized by satisfying.

なお、拡大側とは、該投影光学系の両側の最軸外主光線の高さのうち、高い方の側であり、該投影光学系の両側の最軸外主光線の高さのうち、低い方を縮小側という。   The enlargement side is the higher side of the height of the most off-axis chief ray on both sides of the projection optical system, and the height of the most off-axis chief ray on both sides of the projection optical system, The lower one is called the reduction side.

また、本願でいう両側テレセントリックとは、該投影光学系の両側の最軸外主光線の光軸となす角度が２度以内であるものをいう。   The term “both-side telecentric” as used in the present application means that the angle formed by the optical axes of the most off-axis principal rays on both sides of the projection optical system is within 2 degrees.

このような群構成にすることで、テレセントリック性を確保しながらも効率的に色収差を補正できる。上記正レンズを複数含むことで、効率的に２次スペクトルを抑え、色収差、とりわけ軸上色収差を補正できる。焦点距離に関する上記条件式（１）を満たすことで、テレセントリック性および所望の投影倍率を確保しながらも効率的に収差、とりわけ球面収差を補正できる。両側テレセントリック系の場合、拡大側群の焦点距離を、縮小側群の焦点距離よりも大きく設定することで、光線が光学系をスムーズに通り、収差の発生を最小限に抑えることができる。   With such a group configuration, it is possible to efficiently correct chromatic aberration while ensuring telecentricity. By including a plurality of the positive lenses, it is possible to efficiently suppress the secondary spectrum and correct chromatic aberration, particularly axial chromatic aberration. By satisfying the conditional expression (1) regarding the focal length, it is possible to efficiently correct aberrations, particularly spherical aberration, while ensuring telecentricity and a desired projection magnification. In the case of a double-sided telecentric system, by setting the focal length of the enlargement side group to be larger than the focal length of the reduction side group, light rays can smoothly pass through the optical system and the occurrence of aberration can be minimized.

条件式（１）の下限を下回ると、所望の投影倍率で投影する場合に、光線が発散しやすくなり、テレセントリック性を確保するのが困難になる。また、上限を上回ると、逆に光線が収束しやすくなり、同様にテレセントリック性を確保するのが困難になる。   If the lower limit of conditional expression (1) is not reached, light rays are likely to diverge when projected at a desired projection magnification, making it difficult to ensure telecentricity. On the other hand, when the value exceeds the upper limit, the light beam easily converges, and similarly, it becomes difficult to ensure telecentricity.

この条件式は、
１．５＜｜ｆ１２／ｆ３｜＜４．５ （１′）
であれば、より好ましい。 This conditional expression is
1.5 <| f12 / f3 | <4.5 (1 ′)
If so, it is more preferable.

また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、以下の条件式、
０．０４＜｜ｆ１／ｆ１２｜＜０．６ （２）
ただし、ｆ１：第１レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことが好ましい。 Further, in the above-described double telecentric projection optical system, the following conditional expression:
0.04 <| f1 / f12 | <0.6 (2)
Where f1: focal length of the first lens group (mm)
It is preferable to satisfy.

条件式（２）を満足するように第１レンズ群を構成することで、テレセントリック性の確保が容易となる。   By configuring the first lens group so as to satisfy the conditional expression (2), it is easy to ensure telecentricity.

条件式（２）の上限を上回ると、第１レンズ群のパワーが弱くなりすぎてテレセントリック性を確保するのが困難となり、下限を下回ると第１レンズ群のパワーが強くなりすぎて像面湾曲の補正が困難となる。   If the upper limit of conditional expression (2) is exceeded, the power of the first lens group becomes too weak and it becomes difficult to ensure telecentricity. If the lower limit is exceeded, the power of the first lens group becomes too strong and the field curvature is increased. Correction becomes difficult.

この条件式は、
０．０５＜｜ｆ１／ｆ１２｜＜０．５ （２′）
であれば、より好ましい。 This conditional expression is
0.05 <| f1 / f12 | <0.5 (2 ′)
If so, it is more preferable.

また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、以下の条件式、
０．０１＜｜ｆ２／ｆ１２｜＜０．５ （３）
ただし、
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことが好ましい。 Further, in the above-described double telecentric projection optical system, the following conditional expression:
0.01 <| f2 / f12 | <0.5 (3)
However,
f2: Focal length (mm) of the second lens group
It is preferable to satisfy.

条件式（３）を満足するように第２レンズ群に強い負のパワーを与えることで、テレセントリック性を確保しつつ、ペッツバール和を小さくでき、像面湾曲を小さくすることができる。   By giving a strong negative power to the second lens group so as to satisfy the conditional expression (3), the Petzval sum can be reduced and the curvature of field can be reduced while ensuring telecentricity.

条件式（３）の上限を上回ると、第２レンズ群のパワーが弱くなりすぎて像面湾曲の補正が困難となり、下限を下回ると第１及び第２レンズ群の合成パワーが弱くなりすぎて所望の投影倍率を確保することが困難となる。   If the upper limit of conditional expression (3) is exceeded, the power of the second lens group becomes too weak and it becomes difficult to correct field curvature, and if it falls below the lower limit, the combined power of the first and second lens groups becomes too weak. It becomes difficult to ensure a desired projection magnification.

この条件式は、
０．０２＜｜ｆ２／ｆ１２｜＜０．４ （３′）
であれば、より好ましい。 This conditional expression is
0.02 <| f2 / f12 | <0.4 (3 ′)
If so, it is more preferable.

また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、以下の条件式、
０．２５＜｜ｆ２／ｆ１｜＜０．８ （４）
を満たすことが好ましい。 Further, in the above-described double telecentric projection optical system, the following conditional expression:
0.25 <| f2 / f1 | <0.8 (4)
It is preferable to satisfy.

条件式（４）を満足するように第２レンズ群に強い負のパワーを与えることで、テレセントリック性を確保しつつ、ペッツバール和を小さくでき、像面湾曲を小さくすることができる。   By giving a strong negative power to the second lens group so as to satisfy the conditional expression (4), the Petzval sum can be reduced and the curvature of field can be reduced while ensuring telecentricity.

条件式（４）の上限を上回ると、第２レンズ群のパワーが弱くなりすぎて像面湾曲の補正が困難となり、下限を下回ると第１レンズ群のパワーが弱くなりすぎてテレセントリック性を確保するのが困難となる。   If the upper limit of conditional expression (4) is exceeded, the power of the second lens group will be too weak and it will be difficult to correct field curvature, and if it is below the lower limit, the power of the first lens group will be too weak to ensure telecentricity. It becomes difficult to do.

この条件式は、
０．３＜｜ｆ２／ｆ１｜＜０．７５ （４′）
であれば、より好ましい。 This conditional expression is
0.3 <| f2 / f1 | <0.75 (4 ′)
If so, it is more preferable.

また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第３レンズ群の、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす少なくとも２枚の正レンズは、以下の条件式、
｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３ （５）
ただし、
Ｈｎｍｉｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの高さと縮小側面を 通過するときの高さのいずれか小さい方（ｍｍ）
を満たすことが好ましい。 In the above-described double telecentric projection optical system,
At least two positive lenses satisfying 0.662 <0.00055 × νh + P have the following conditional expressions:
| Hn min /Y|<0.3 (5)
However,
Hn min : The smaller of the height when the most off-axis principal ray passes through the enlargement side of the nth lens and the height when it passes through the reduction side (mm)
It is preferable to satisfy.

条件式（５）を満足するように、主光線が低い位置を通る位置に、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズを配置することで、より効率的に軸上色収差が補正できるようになる。 In order to satisfy the conditional expression (5), the principal ray passes through a low position,
By disposing a positive lens that satisfies 0.662 <0.00055 × νh + P, it is possible to more efficiently correct axial chromatic aberration.

この条件式は、
｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．２５ （５′）
であれば、より好ましい。 This conditional expression is
| Hn min /Y|<0.25 (5 ′)
If so, it is more preferable.

また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第３レンズ群は、少なくとも３枚の正レンズと、少なくとも２枚の負レンズを含むことが好ましい。このように構成することでテレセントリック性を確保しながら、効率的に軸上色収差が補正できるようになる。   In the double telecentric projection optical system described above, it is preferable that the third lens group includes at least three positive lenses and at least two negative lenses. With this configuration, axial chromatic aberration can be corrected efficiently while ensuring telecentricity.

また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第１レンズ群の最も拡大側に配置された第１レンズは、両凸の正レンズであることが好ましい。このように構成することでテレセントリック性を確保することが容易になる。   In the double telecentric projection optical system described above, it is preferable that the first lens disposed closest to the magnification side of the first lens group is a biconvex positive lens. With this configuration, it becomes easy to ensure telecentricity.

また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第１レンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを含むことが好ましい。このように構成することでレンズ全長が短いながらも、テレセントリック性の確保が容易となる。   In the double telecentric projection optical system, it is preferable that the first lens group includes at least two positive lenses. With this configuration, it is easy to ensure telecentricity while the total lens length is short.

また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第１レンズ群が、拡大側から順に正レンズ、負レンズ、正レンズからなる群を含むことが好ましい。このように構成することで、テレセントリック性を確保するのに加えて、歪曲収差の補正を効率的に行うことができるようになる。   In the double telecentric projection optical system described above, it is preferable that the first lens group includes a group including a positive lens, a negative lens, and a positive lens in order from the magnification side. With this configuration, in addition to ensuring telecentricity, distortion aberration can be corrected efficiently.

また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、以下の条件式、
０．１＜ＬＢ／ＴＬ＜０．５ （６）
ただし、
ＬＢ：縮小側レンズバック（ｍｍ）
ＴＬ：レンズ全長（ｍｍ）
を満たすことが好ましい。 Further, in the above-described double telecentric projection optical system, the following conditional expression:
0.1 <LB / TL <0.5 (6)
However,
LB: Reduction side lens back (mm)
TL: Total lens length (mm)
It is preferable to satisfy.

条件式（６）の上限を上回ると、縮小側レンズバックが長くなり各収差補正が困難になるだけでなく光学系全体が大型化してしまい、下限を下回ると保持部材等が干渉しやすくなる。   If the upper limit of conditional expression (6) is exceeded, the reduction-side lens back becomes longer, making it difficult to correct each aberration, and the entire optical system becomes larger. If the lower limit is exceeded, the holding member and the like are likely to interfere.

この条件式は、
０．１＜ＬＢ／ＴＬ＜０．４ （６′）
であれば、より好ましい。 This conditional expression is
0.1 <LB / TL <0.4 (6 ′)
If so, it is more preferable.

以下、本発明に係る両側テレセントリックの投影光学系の構成の実施例を以下に示す。   Examples of the configuration of the double telecentric projection optical system according to the present invention will be described below.

以下の実施例においては、
ｉ：面番号
Ｒ：曲率半径（ｍｍ）
ｄ：軸上面間隔（ｍｍ）
Ｈ：最軸外主光線が第ｎレンズを通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｈｎ：最軸外主光線が第ｎレンズ拡大側面を通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｙ：拡大側最大像高（ｍｍ）
Ｌｎ：第ｎレンズと第（ｎ＋１）レンズとの空気間隔（ｍｍ）
Ｌ１ａ：第１レンズの拡大側面頂点から絞り面までの距離（ｍｍ）
νｈ＝（Ｎｈ−１）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｐ＝（Ｎｉ−Ｎｈ）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｎｉ：ｉ線（３６５ｎｍ）に対する屈折率
Ｎｈ：ｈ線（４０５ｎｍ）に対する屈折率
Ｎｇ：ｇ線（４３６ｎｍ）に対する屈折率
ｆ１２：第１レンズ群及び第２レンズ群の合成焦点距離（ｍｍ）
ｆ１：第１レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
ｆ３：第３レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
ＬＢ：縮小側レンズバック（ｍｍ）
ＴＬ：レンズ全長（ｍｍ）
Ｈｎｍｉｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの高さと縮小側面を
通過するときの高さのいずれか小さい方（ｍｍ）
を表すものとする。 In the following examples:
i: Surface number R: Radius of curvature (mm)
d: Shaft upper surface distance (mm)
H: Height from the optical axis when the most off-axis chief ray passes through the nth lens (mm)
Hn: Height from the optical axis when the most off-axis chief ray passes through the magnifying side surface of the nth lens (mm)
Y: Maximum image height on the enlargement side (mm)
Ln: Air distance between the nth lens and the (n + 1) th lens (mm)
L1a: Distance from the enlarged side surface vertex of the first lens to the diaphragm surface (mm)
νh = (Nh−1) / (Ni−Ng)
P = (Ni-Nh) / (Ni-Ng)
Ni: Refractive index for i-line (365 nm) Nh: Refractive index for h-line (405 nm) Ng: Refractive index for g-line (436 nm) f12: Combined focal length (mm) of the first lens group and the second lens group
f1: Focal length of the first lens group (mm)
f2: Focal length (mm) of the second lens group
f3: Focal length of the third lens group (mm)
LB: Reduction side lens back (mm)
TL: Total lens length (mm)
Hn min : Height and reduction side when the most off-axis chief ray passes through the enlargement side of the nth lens
The smaller of the height when passing (mm)
.

（実施例１）
実施例１について、以下に説明する。 Example 1
Example 1 will be described below.

実施例１に係る投影光学系の面データを以下に示す。
ｉ Ｒ ｄ Ni Nh Ng νh Ｐ Ｈ
０（物体又は像面）
51.490
１ 101.069 15.00
5.395 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
２ -327.642 14.77
95.224
３ -35.405 3.11
2.594 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
４ -101.451 3.00
11.252
５ 47.870 2.04
3.005 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
６ -46.719 1.83
4.966
７ -32.339 1.22
3.192 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
８ 40.970 1.01
3.223
９ 136.729 0.72
3.317 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
10 -50.706 0.52
2.079
11 絞り 0.32
1.467
12 40.673 0.18
2.825 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
13 -32.111 0.01
4.104
14 -29.234 0.41
3.170 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
15 -51.005 0.62
42.731
16 57.655 4.83
3.372 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
17 -78.648 4.92
3.156
18 -38.448 4.93
2.838 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
19 50.668 5.09
9.220
20 -28.426 6.11
3.137 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
21 113.361 6.73
77.168
22 705.694 27.54
8.956 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
23 -93.561 28.20
0.650
24 691.691 28.69
5.098 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
25 130.000 28.98
4.489
26 182.778 29.75
8.593 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
27 -128.267 29.96
76.870
28（物体又は像面） 30.00
図１は、実施例１の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。 Surface data of the projection optical system according to Example 1 is shown below.
i R d Ni Nh Ng νh PH
0 (object or image plane)
51.490
1 101.069 15.00
5.395 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
2 -327.642 14.77
95.224
3 -35.405 3.11
2.594 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
4 -101.451 3.00
11.252
5 47.870 2.04
3.005 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
6 -46.719 1.83
4.966
7 -32.339 1.22
3.192 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
8 40.970 1.01
3.223
9 136.729 0.72
3.317 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
10 -50.706 0.52
2.079
11 Aperture 0.32
1.467
12 40.673 0.18
2.825 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
13 -32.111 0.01
4.104
14 -29.234 0.41
3.170 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
15 -51.005 0.62
42.731
16 57.655 4.83
3.372 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
17 -78.648 4.92
3.156
18 -38.448 4.93
2.838 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
19 50.668 5.09
9.220
20 -28.426 6.11
3.137 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
21 113.361 6.73
77.168
22 705.694 27.54
8.956 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
23 -93.561 28.20
0.650
24 691.691 28.69
5.098 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
25 130.000 28.98
4.489
26 182.778 29.75
8.593 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
27 -128.267 29.96
76.870
28 (object or image plane) 30.00
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a double-sided telecentric projection optical system according to the first embodiment.

同図に示すように、実施例１の投影光学系は１３枚構成であり、レンズデータに示す面番号ｉが２７及び２６が最も拡大側に配置された第１レンズＬ１であり、面番号ｉが２及び１が最も縮小側に配置された第１３レンズＬ１３である。   As shown in the figure, the projection optical system of Example 1 has a 13-sheet configuration, and the surface numbers i and 27 shown in the lens data are the first lens L1 arranged on the most enlarged side, and the surface number i. 2 and 1 are the thirteenth lens L13 disposed on the most reduction side.

実施例１において、拡大側最大像高Ｙ＝３０．００であり、拡大側から順にみて、｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズは第４レンズＬ４である。また、第１レンズＬ１の拡大側面頂点から絞り面までの距離Ｌ１ａ＝１８０．９７５であり、第４レンズＬ４を含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズは第６レンズＬ６である。   In Example 1, the maximum image height Y on the enlargement side Y = 30.00, and the first negative lens that satisfies | Hn / Y | <0.75 when viewed from the enlargement side is the fourth lens L4. Further, the distance from the enlarged side surface vertex of the first lens L1 to the stop surface is L1a = 180.975, and among the subsequent lenses including the fourth lens L4, the first lens satisfying Ln / L1a> 0.15 is satisfied. This is the sixth lens L6.

即ち、図示の如く、拡大側より順に、第１レンズＬ１〜第３レンズＬ３が第１レンズ群Ｇｒ１、第４レンズＬ４〜第６レンズＬ６が第２レンズ群Ｇｒ２、第７レンズＬ７〜第１３レンズＬ１３が第３レンズ群Ｇｒ３である。   That is, as shown in the drawing, the first lens L1 to the third lens L3 are the first lens group Gr1, the fourth lens L4 to the sixth lens L6 are the second lens group Gr2, and the seventh lens L7 to the thirteenth in order from the magnification side. The lens L13 is the third lens group Gr3.

また、第３レンズ群Ｇｒ３において、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズは、第８レンズＬ８、第９レンズＬ９、第１１レンズＬ１１の３枚である。   In the third lens group Gr3, three positive lenses satisfying 0.662 <0.00055 × νh + P are the eighth lens L8, the ninth lens L9, and the eleventh lens L11.

実施例１の第３レンズ群Ｇｒ３のうち、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズである第８レンズＬ８、第９レンズＬ９、第１１レンズＬ１１のＨｎｍｉｎの値及び、Ｈｎｍｉｎ／Ｙの値を以下に示す。 Among the third lens group Gr3 of Example 1, the values of Hn min of the eighth lens L8, the ninth lens L9, and the eleventh lens L11, which are positive lenses satisfying 0.662 <0.00055 × νh + P, and Hn The value of min / Y is shown below.

Ｈｎｍｉｎ Ｈｎｍｉｎ／Ｙ
第８レンズ ０．０１ ０．０００３
第９レンズ ０．５２ ０．０１７３
第１１レンズ １．８３ ０．０６１０
となり、条件式（５）の｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３を満たしている。 Hn min Hn min / Y
Eighth lens 0.01 0.0003
9th lens 0.52 0.0173
Eleventh lens 1.83 0.0610
Thus, | Hn min /Y|<0.3 in conditional expression (5) is satisfied.

図２は、実施例１の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。同図（ａ）に示す球面収差図は、ｇ線を実線、ｉ線を破線、ｈ線を一点鎖線で示している。同図（ｂ）はｇ線の非点収差、同図（ｃ）はｈ線の非点収差、同図（ｄ）はｉ線の非点収差を示している。また、非点収差の図においては、実線でメリディオナル像面を示し、破線でサジッタル像面を示している。   FIG. 2 is a diagram showing spherical aberration and astigmatism of the projection optical system of Example 1. FIG. In the spherical aberration diagram shown in FIG. 6A, the g line is indicated by a solid line, the i line is indicated by a broken line, and the h line is indicated by a one-dot chain line. FIG. 4B shows the astigmatism of the g line, FIG. 4C shows the astigmatism of the h line, and FIG. 4D shows the astigmatism of the i line. Moreover, in the figure of astigmatism, the meridional image surface is shown by the solid line, and the sagittal image surface is shown by the broken line.

図３は、実施例１の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。同図（ａ）はｈ線での歪曲収差、同図（ｂ）に示す倍率色収差は、実線がｇ線を、破線がｉ線を示している。   FIG. 3 is a diagram illustrating distortion aberration and lateral chromatic aberration of the projection optical system according to the first embodiment. FIG. 4A shows distortion aberration at the h-line, and the lateral chromatic aberration shown in FIG. 4B shows the g-line for the solid line and the i-line for the broken line.

（実施例２）
実施例２について、以下に説明する。 (Example 2)
Example 2 will be described below.

実施例２に係る投影光学系の面データを以下に示す。
ｉ Ｒ ｄ Ni Nh Ng νh Ｐ Ｈ
０（物体又は像面）
66.200
１ 245.031 20.00
5.202 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
２ -179.327 19.90
78.371
３ -75.265 10.28
4.257 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
４ -147.618 10.18
0.860
５ 138.208 10.06
4.283 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
６ -240.639 9.77
0.860
７ 105.412 9.55
4.175 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
８ 46.916 8.95
32.863
９ -43.820 5.93
3.826 1.559693 1.550656 1.545503 38.8 0.637
10 5557.109 5.88
1.901
11 96.365 5.84
6.252 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
12 -53.333 5.66
3.679
13 -49.540 5.31
3.011 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
14 133.388 5.23
4.785
15 -3314.774 5.15
4.902 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
16 -56.522 5.10
0.860
17 229.240 5.04
4.411 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
18 -95.061 4.85
0.860
19 76.624 4.75
5.036 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
20 -173.093 4.36
10.701
21 73.327 2.97
4.581 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
22 -401.582 2.52
10.226
23 -120.595 0.98
3.664 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
24 53.357 0.64
4.657
25 絞り 0.01
73.674
26 92.740 10.32
5.614 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
27 -104.161 10.51
4.724
28 -66.176 10.53
2.925 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
29 54.198 10.80
11.990
30 -42.826 12.53
3.087 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
31 -181.634 13.55
68.421
32 537.808 35.37
11.036 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
33 -117.093 36.10
0.871
34 -466.904 36.64
4.527 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
35 232.981 37.49
6.170
36 656.500 38.63
11.433 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
37 -124.549 39.23
1.027
38 1832.967 39.73
7.298 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
39 -500.318 39.90
107.622
40（物体又は像面） 40.00
図４は、実施例２の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。 Surface data of the projection optical system according to Example 2 is shown below.
i R d Ni Nh Ng νh PH
0 (object or image plane)
66.200
1 245.031 20.00
5.202 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
2 -179.327 19.90
78.371
3 -75.265 10.28
4.257 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
4 -147.618 10.18
0.860
5 138.208 10.06
4.283 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
6 -240.639 9.77
0.860
7 105.412 9.55
4.175 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
8 46.916 8.95
32.863
9 -43.820 5.93
3.826 1.559693 1.550656 1.545503 38.8 0.637
10 5557.109 5.88
1.901
11 96.365 5.84
6.252 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
12 -53.333 5.66
3.679
13 -49.540 5.31
3.011 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
14 133.388 5.23
4.785
15 -3314.774 5.15
4.902 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
16 -56.522 5.10
0.860
17 229.240 5.04
4.411 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
18 -95.061 4.85
0.860
19 76.624 4.75
5.036 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
20 -173.093 4.36
10.701
21 73.327 2.97
4.581 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
22 -401.582 2.52
10.226
23 -120.595 0.98
3.664 1.535785 1.529768 1.526214 55.4 0.629
24 53.357 0.64
4.657
25 Aperture 0.01
73.674
26 92.740 10.32
5.614 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
27 -104.161 10.51
4.724
28 -66.176 10.53
2.925 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
29 54.198 10.80
11.990
30 -42.826 12.53
3.087 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
31 -181.634 13.55
68.421
32 537.808 35.37
11.036 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
33 -117.093 36.10
0.871
34 -466.904 36.64
4.527 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
35 232.981 37.49
6.170
36 656.500 38.63
11.433 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
37 -124.549 39.23
1.027
38 1832.967 39.73
7.298 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
39 -500.318 39.90
107.622
40 (object or image surface) 40.00
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a double-sided telecentric projection optical system according to the second embodiment.

同図に示すように、実施例２の投影光学系は１９枚構成であり、レンズデータに示す面番号ｉが３９及び３８が最も拡大側に配置された第１レンズＬ１であり、面番号ｉが２及び１が最も縮小側に配置された第１９レンズＬ１９である。   As shown in the drawing, the projection optical system of Example 2 has a 19-sheet configuration, and the surface numbers i and 39 in the lens data are the first lens L1 arranged on the most enlarged side, and the surface number i. Are the 19th lens L19 with 2 and 1 arranged on the most reduction side.

実施例２において、拡大側最大像高Ｙ＝４０．００であり、拡大側から順にみて、｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズは第５レンズＬ５である。また、第１レンズＬ１の拡大側面頂点から絞り面までの距離Ｌ１ａ＝２１２．７９８であり、第５レンズＬ５を含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズは第７レンズＬ７である。   In Example 2, the maximum image height Y on the enlargement side Y = 40.00, and the first negative lens that satisfies | Hn / Y | <0.75 when viewed from the enlargement side is the fifth lens L5. Further, the distance from the enlarged side surface vertex of the first lens L1 to the stop surface is L1a = 212.798, and among the subsequent lenses including the fifth lens L5, the first lens satisfying Ln / L1a> 0.15 is satisfied. The seventh lens L7.

即ち、図示の如く、拡大側より順に、第１レンズＬ１〜第４レンズＬ４が第１レンズ群Ｇｒ１、第５レンズＬ５〜第７レンズＬ７が第２レンズ群Ｇｒ２、絞り〜第１９レンズＬ１９が第３レンズ群Ｇｒ３である。   That is, as shown in the drawing, in order from the enlargement side, the first lens L1 to the fourth lens L4 are the first lens group Gr1, the fifth lens L5 to the seventh lens L7 are the second lens group Gr2, and the aperture to the nineteenth lens L19 are. This is the third lens group Gr3.

また、第３レンズ群Ｇｒ３において、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズは、第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２、第１４レンズＬ１４の５枚である。   In the third lens group Gr3, positive lenses satisfying 0.662 <0.00055 × νh + P are the ninth lens L9, the tenth lens L10, the eleventh lens L11, the twelfth lens L12, and the fourteenth lens L14. 5 sheets.

実施例２の第３レンズ群Ｇｒ３のうち、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズである第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２、第１４レンズＬ１４、のＨｎｍｉｎの値及び、Ｈｎｍｉｎ／Ｙの値を以下に示す。 Of the third lens group Gr3 of Example 2, the ninth lens L9, the tenth lens L10, the eleventh lens L11, the twelfth lens L12, the fourteenth lens are positive lenses that satisfy 0.662 <0.00055 × νh + P. A value of Hn min and a value of Hn min / Y of the lens L14 are shown below.

Ｈｎｍｉｎ Ｈｎｍｉｎ／Ｙ
第９レンズ ２．５２ ０．０６３０
第１０レンズ ４．３６ ０．１０９０
第１１レンズ ４．８５ ０．１２１３
第１２レンズ ５．１０ ０．１２７５
第１４レンズ ５．６６ ０．１４１５
となり、条件式（５）の｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３を満たしている。 Hn min Hn min / Y
9th lens 2.52 0.0630
10th lens 4.36 0.1090
Eleventh lens 4.85 0.1213
12th lens 5.10 0.1275
14th lens 5.66 0.1415
Thus, | Hn min /Y|<0.3 in conditional expression (5) is satisfied.

図５は、実施例２の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。同図（ａ）に示す球面収差図は、ｇ線を実線、ｉ線を破線、ｈ線を一点鎖線で示している。同図（ｂ）はｇ線の非点収差、同図（ｃ）はｈ線の非点収差、同図（ｄ）はｉ線の非点収差を示している。また、非点収差の図においては、実線でメリディオナル像面を示し、破線でサジッタル像面を示している。   FIG. 5 is a diagram showing spherical aberration and astigmatism of the projection optical system of Example 2. In the spherical aberration diagram shown in FIG. 6A, the g line is indicated by a solid line, the i line is indicated by a broken line, and the h line is indicated by a one-dot chain line. FIG. 4B shows the astigmatism of the g line, FIG. 4C shows the astigmatism of the h line, and FIG. 4D shows the astigmatism of the i line. Moreover, in the figure of astigmatism, the meridional image surface is shown by the solid line, and the sagittal image surface is shown by the broken line.

図６は、実施例２の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。同図（ａ）はｈ線での歪曲収差、同図（ｂ）に示す倍率色収差は、実線がｇ線を、破線がｉ線を示している。   FIG. 6 is a diagram illustrating distortion aberration and lateral chromatic aberration of the projection optical system of Example 2. FIG. 4A shows distortion aberration at the h-line, and the lateral chromatic aberration shown in FIG. 4B shows the g-line for the solid line and the i-line for the broken line.

（実施例３）
実施例３について、以下に説明する。 (Example 3)
Example 3 will be described below.

実施例３に係る投影光学系の面データを以下に示す。
ｉ Ｒ ｄ Ni Nh Ng νh Ｐ Ｈ
０（物体又は像面）
64.000
１ 76.927 6.67
4.206 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
２ -67.734 6.56
1.187
３ 101.948 6.40
3.499 1.607243 1.599721 1.595297 50.2 0.630
４ 29.703 6.08
2.475
５ 22.475 6.06
5.126 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
６ -89.735 5.68
4.363
７ -32.612 5.01
3.042 1.607243 1.599721 1.595297 50.2 0.630
８ 32.076 4.86
3.213
９ 32.210 4.95
4.673 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
10 -37.667 4.84
3.297
11 21.482 4.43
5.607 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
12 -266.587 3.74
2.397
13 30.000 3.21
3.914 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
14 98.222 2.56
4.441
15 -23.554 1.50
1.971 1.607243 1.599721 1.595297 50.2 0.630
16 20.293 1.25
7.374
17 絞り 0.07
16.966
18 102.855 2.66
3.425 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
19 -46.494 2.95
25.172
20 -20.007 5.48
2.641 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
21 99.268 6.10
30.651
22 -100.605 15.79
5.600 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
23 -33.715 5.600 16.48
17.803
24 222.698 19.62
8.817 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
25 -111.344 20.00
36.684
26（物体又は像面） 20.00
図７は、実施例３の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。 Surface data of the projection optical system according to Example 3 is shown below.
i R d Ni Nh Ng νh PH
0 (object or image plane)
64.000
1 76.927 6.67
4.206 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
2 -67.734 6.56
1.187
3 101.948 6.40
3.499 1.607243 1.599721 1.595297 50.2 0.630
4 29.703 6.08
2.475
5 22.475 6.06
5.126 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
6 -89.735 5.68
4.363
7 -32.612 5.01
3.042 1.607243 1.599721 1.595297 50.2 0.630
8 32.076 4.86
3.213
9 32.210 4.95
4.673 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
10 -37.667 4.84
3.297
11 21.482 4.43
5.607 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
12 -266.587 3.74
2.397
13 30.000 3.21
3.914 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
14 98.222 2.56
4.441
15 -23.554 1.50
1.971 1.607243 1.599721 1.595297 50.2 0.630
16 20.293 1.25
7.374
17 Aperture 0.07
16.966
18 102.855 2.66
3.425 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
19 -46.494 2.95
25.172
20 -20.007 5.48
2.641 1.636137 1.622592 1.615047 29.5 0.642
21 99.268 6.10
30.651
22 -100.605 15.79
5.600 1.511760 1.507205 1.504507 69.9 0.628
23 -33.715 5.600 16.48
17.803
24 222.698 19.62
8.817 1.504063 1.498983 1.495964 61.6 0.627
25 -111.344 20.00
36.684
26 (object or image surface) 20.00
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a double-sided telecentric projection optical system according to the third embodiment.

同図に示すように、実施例３の投影光学系は１２枚構成であり、レンズデータに示す面番号ｉが２５及び２４が最も拡大側に配置された第１レンズＬ１であり、面番号ｉが２及び１が最も縮小側に配置された第１２レンズＬ１２である。   As shown in the drawing, the projection optical system of Example 3 has a twelve-piece configuration, and the surface numbers i and 25 shown in the lens data are the first lens L1 arranged on the most enlarged side, and the surface number i. 2 and 1 are the twelfth lens L12 arranged on the most reduction side.

実施例３において、拡大側最大像高Ｙ＝２０．００であり、拡大側から順にみて、｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズは第３レンズＬ３である。また、第１レンズＬ１の拡大側面頂点から絞り面までの距離Ｌ１ａ＝１１６．６７６であり、第３レンズＬ３を含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズは第３レンズＬ３である。   In Example 3, the magnification-side maximum image height Y = 20.00, and the first negative lens satisfying | Hn / Y | <0.75 as viewed in order from the magnification side is the third lens L3. Further, the distance from the enlarged side surface vertex of the first lens L1 to the stop surface is L1a = 116.676, and among the subsequent lenses including the third lens L3, the first lens satisfying Ln / L1a> 0.15 is satisfied. This is the third lens L3.

即ち、図示の如く、拡大側より順に、第１レンズＬ１〜第２レンズＬ２が第１レンズ群Ｇｒ１、第３レンズＬ３のみが第２レンズ群Ｇｒ２、第４レンズＬ４〜第１２レンズＬ１２が第３レンズ群Ｇｒ３である。   That is, as shown in the figure, in order from the magnification side, the first lens L1 to the second lens L2 are the first lens group Gr1, only the third lens L3 is the second lens group Gr2, and the fourth lens L4 to the twelfth lens L12 are the first lens group Gr1. This is a three-lens group Gr3.

また、第３レンズ群Ｇｒ３において、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズは、第６レンズＬ６、第７レンズＬ７、第８レンズＬ８、第１０レンズＬ１０、第１２レンズＬ１２の５枚である。   In the third lens group Gr3, positive lenses satisfying 0.662 <0.00055 × νh + P are the sixth lens L6, the seventh lens L7, the eighth lens L8, the tenth lens L10, and the twelfth lens L12. 5 sheets.

実施例３の第３レンズ群Ｇｒ３のうち、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズである、第６レンズＬ６、第７レンズＬ７、第８レンズＬ８、第１０レンズＬ１０、第１２レンズＬ１２のＨｎｍｉｎの値及び、Ｈｎｍｉｎ／Ｙの値を以下に示す。 Among the third lens group Gr3 of Example 3, the sixth lens L6, the seventh lens L7, the eighth lens L8, the tenth lens L10, which are positive lenses satisfying 0.662 <0.00055 × νh + P. The value of Hn min and the value of Hn min / Y of the 12 lens L12 are shown below.

Ｈｎｍｉｎ Ｈｎｍｉｎ／Ｙ
第６レンズ ２．５６ ０．１２８０
第７レンズ ３．７４ ０．１８７０
第８レンズ ４．８４ ０．２４２０
第１０レンズ ５．６８ ０．２８４０
第１２レンズ ６．５６ ０．３２８０
となり、第６レンズＬ６、第７レンズＬ７、第８レンズＬ８、第１０レンズＬ１０の４枚のレンズは、条件式（５）の｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３を満たしている。 Hn min Hn min / Y
6th lens 2.56 0.1280
7th lens 3.74 0.1870
Eighth lens 4.84 0.2420
10th lens 5.68 0.2840
12th lens 6.56 0.3280
Thus, the four lenses of the sixth lens L6, the seventh lens L7, the eighth lens L8, and the tenth lens L10 satisfy | Hn min /Y|<0.3 in the conditional expression (5).

図８は、実施例３の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。同図（ａ）に示す球面収差図は、ｇ線を実線、ｉ線を破線、ｈ線を一点鎖線で示している。同図（ｂ）はｇ線の非点収差、同図（ｃ）はｈ線の非点収差、同図（ｄ）はｉ線の非点収差を示している。また、非点収差の図においては、実線でメリディオナル像面を示し、破線でサジッタル像面を示している。   FIG. 8 is a diagram illustrating spherical aberration and astigmatism of the projection optical system according to Example 3. In the spherical aberration diagram shown in FIG. 6A, the g line is indicated by a solid line, the i line is indicated by a broken line, and the h line is indicated by a one-dot chain line. FIG. 4B shows the astigmatism of the g line, FIG. 4C shows the astigmatism of the h line, and FIG. 4D shows the astigmatism of the i line. Moreover, in the figure of astigmatism, the meridional image surface is shown by the solid line, and the sagittal image surface is shown by the broken line.

図９は、実施例３の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。同図（ａ）はｈ線での歪曲収差、同図（ｂ）に示す倍率色収差は、実線がｇ線を、破線がｉ線を示している。   FIG. 9 is a diagram illustrating distortion aberration and lateral chromatic aberration of the projection optical system according to Example 3. FIG. 4A shows distortion aberration at the h-line, and the lateral chromatic aberration shown in FIG. 4B shows the g-line for the solid line and the i-line for the broken line.

（実施例４）
実施例４について、以下に説明する。 Example 4
Example 4 will be described below.

実施例４に係る投影光学系の面データを以下に示す。
ｉ Ｒ ｄ Ni Nh Ng νh Ｐ Ｈ
０（物体又は像面）
112.095
１ -793.311 21.15
6.563 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
２ -165.667 21.21
26.525
３ 151.259 19.34
8.772 1.666450 1.650811 1.642171 26.8 0.644
４ -306.210 18.72
23.524
５ -226.630 14.19
5.463 1.580215 1.572874 1.568579 49.2 0.631
６ -1497.218 13.63
13.406
７ 110.359 11.40
3.776 1.535939 1.529930 1.526387 55.5 0.629
８ 76.205 10.85
10.543
９ -100.143 9.57
7.561 1.612806 1.605502 1.601204 52.2 0.630
10 -253.339 9.19
43.424
11 -543.179 4.85
7.348 1.559693 1.550656 1.545503 38.8 0.637
12 344.977 4.40
3.661
13 356.339 4.08
5.949 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
14 -141.036 3.70
5.224
15 -87.489 3.15
5.777 1.619384 1.606803 1.599765 30.9 0.641
16 472.182 2.86
2.628
17 546.900 2.65
7.818 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
18 -111.868 2.21
1.073
19 423.091 2.12
6.819 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
20 -139.396 1.68
0.242
21 174.206 1.66
6.129 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
22 -435.992 1.23
0.242
23 134.903 1.20
6.688 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
24 -580.217 0.71
5.886
25 絞り 0.07
11.122
26 -331.959 1.13
2.991 1.580215 1.572874 1.568579 49.2 0.631
27 123.445 1.33
134.723
28 174.752 17.08
6.620 1.666450 1.650811 1.642171 26.8 0.644
29 -5362.359 17.25
63.451
30 -98.453 20.25
8.509 1.474480 1.469610 1.466690 60.3 0.625
31 117.788 21.51
14.049
32 -70.216 23.47
5.269 1.535939 1.529930 1.526387 55.5 0.629
33 -195.345 25.62
8.521
34 -71.893 27.38
10.708 1.535939 1.529930 1.526387 55.5 0.629
35 -244.969 32.71
21.237
36 -191.503 42.69
13.223 1.666450 1.650811 1.642171 26.8 0.644
37 -104.607 45.74
0.834
38 3565.595 49.91
20.872 1.535939 1.529930 1.526387 55.5 0.629
39 -153.927 52.39
0.242
40 337.037 54.42
19.260 1.512054 1.507470 1.504754 69.5 0.628
41 -469.965 54.88
167.827
42（物体又は像面） 55.00
図１０は、実施例４の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。 Surface data of the projection optical system according to Example 4 is shown below.
i R d Ni Nh Ng νh PH
0 (object or image plane)
112.095
1 -793.311 21.15
6.563 1.636658 1.622941 1.615298 29.2 0.642
2 -165.667 21.21
26.525
3 151.259 19.34
8.772 1.666450 1.650811 1.642171 26.8 0.644
4 -306.210 18.72
23.524
5 -226.630 14.19
5.463 1.580215 1.572874 1.568579 49.2 0.631
6 -1497.218 13.63
13.406
7 110.359 11.40
3.776 1.535939 1.529930 1.526387 55.5 0.629
8 76.205 10.85
10.543
9 -100.143 9.57
7.561 1.612806 1.605502 1.601204 52.2 0.630
10 -253.339 9.19
43.424
11 -543.179 4.85
7.348 1.559693 1.550656 1.545503 38.8 0.637
12 344.977 4.40
3.661
13 356.339 4.08
5.949 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
14 -141.036 3.70
5.224
15 -87.489 3.15
5.777 1.619384 1.606803 1.599765 30.9 0.641
16 472.182 2.86
2.628
17 546.900 2.65
7.818 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
18 -111.868 2.21
1.073
19 423.091 2.12
6.819 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
20 -139.396 1.68
0.242
21 174.206 1.66
6.129 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
22 -435.992 1.23
0.242
23 134.903 1.20
6.688 1.449860 1.446451 1.444423 82.1 0.627
24 -580.217 0.71
5.886
25 Aperture 0.07
11.122
26 -331.959 1.13
2.991 1.580215 1.572874 1.568579 49.2 0.631
27 123.445 1.33
134.723
28 174.752 17.08
6.620 1.666450 1.650811 1.642171 26.8 0.644
29 -5362.359 17.25
63.451
30 -98.453 20.25
8.509 1.474480 1.469610 1.466690 60.3 0.625
31 117.788 21.51
14.049
32 -70.216 23.47
5.269 1.535939 1.529930 1.526387 55.5 0.629
33 -195.345 25.62
8.521
34 -71.893 27.38
10.708 1.535939 1.529930 1.526387 55.5 0.629
35 -244.969 32.71
21.237
36 -191.503 42.69
13.223 1.666450 1.650811 1.642171 26.8 0.644
37 -104.607 45.74
0.834
38 3565.595 49.91
20.872 1.535939 1.529930 1.526387 55.5 0.629
39 -153.927 52.39
0.242
40 337.037 54.42
19.260 1.512054 1.507470 1.504754 69.5 0.628
41 -469.965 54.88
167.827
42 (object or image surface) 55.00
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a double-sided telecentric projection optical system according to the fourth embodiment.

同図に示すように、実施例４の投影光学系は２０枚構成であり、レンズデータに示す面番号ｉが４１及び４０が最も拡大側に配置された第１レンズＬ１であり、面番号ｉが２及び１が最も縮小側に配置された第２０レンズＬ２０である。   As shown in the figure, the projection optical system of Example 4 has a 20-lens configuration, the surface number i shown in the lens data is 41 and 40 is the first lens L1 arranged on the most enlarged side, and the surface number i 2 and 1 are the twentieth lens L20 arranged on the most reduction side.

実施例４において、拡大側最大像高Ｙ＝５５．００であり、拡大側から順にみて、｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズは第４レンズＬ４である。また、第１レンズＬ１の拡大側面頂点から絞り面までの距離Ｌ１ａ＝３４１．６３２であり、第４レンズＬ４を含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズは第６レンズＬ６である。   In Example 4, the maximum negative image height Y = 55.00, and the first negative lens satisfying | Hn / Y | <0.75 as viewed in order from the magnification side is the fourth lens L4. Further, the distance from the enlarged side surface vertex of the first lens L1 to the diaphragm surface is L1a = 341.632, and among the subsequent lenses including the fourth lens L4, the first lens satisfying Ln / L1a> 0.15 is satisfied. This is the sixth lens L6.

即ち、図示の如く、拡大側より順に、第１レンズＬ１〜第３レンズＬ３が第１レンズ群Ｇｒ１、第４レンズＬ４〜第６レンズＬ６が第２レンズ群Ｇｒ２、第７レンズＬ７〜第２０レンズＬ２０が第３レンズ群Ｇｒ３である。   That is, as shown in the drawing, the first lens L1 to the third lens L3 are the first lens group Gr1, the fourth lens L4 to the sixth lens L6 are the second lens group Gr2, and the seventh lens L7 to the twentieth lens in order from the magnification side. The lens L20 is the third lens group Gr3.

また、第３レンズ群Ｇｒ３において、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズは、第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２、第１４レンズＬ１４の５枚である。   In the third lens group Gr3, positive lenses satisfying 0.662 <0.00055 × νh + P are the ninth lens L9, the tenth lens L10, the eleventh lens L11, the twelfth lens L12, and the fourteenth lens L14. 5 sheets.

実施例３の第３レンズ群Ｇｒ３のうち、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズである、第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２、第１４レンズＬ１４のＨｎｍｉｎの値及び、Ｈｎｍｉｎ／Ｙの値を以下に示す。 Of the third lens group Gr3 of Example 3, the ninth lens L9, the tenth lens L10, the eleventh lens L11, the twelfth lens L12, the first lens, which are positive lenses satisfying 0.662 <0.00055 × νh + P. The value of Hn min and the value of Hn min / Y of the 14 lens L14 are shown below.

Ｈｎｍｉｎ Ｈｎｍｉｎ／Ｙ
第９レンズ ０．７１ ０．０１２９
第１０レンズ １．２３ ０．０２２４
第１１レンズ １．６８ ０．０３０５
第１２レンズ ２．２１ ０．０４０２
第１４レンズ ３．７０ ０．０６７３
となり、条件式（５）の｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３を満たしている。 Hn min Hn min / Y
9th lens 0.71 0.0129
10th lens 1.23 0.0224
Eleventh lens 1.68 0.0305
12th lens 2.21 0.0402
14th lens 3.70 0.0673
Thus, | Hn min /Y|<0.3 in conditional expression (5) is satisfied.

図１１は、実施例４の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。同図（ａ）に示す球面収差図は、ｇ線を実線、ｉ線を破線、ｈ線を一点鎖線で示している。同図（ｂ）はｇ線の非点収差、同図（ｃ）はｈ線の非点収差、同図（ｄ）はｉ線の非点収差を示している。また、非点収差の図においては、実線でメリディオナル像面を示し、破線でサジッタル像面を示している。   FIG. 11 is a diagram illustrating spherical aberration and astigmatism of the projection optical system according to Example 4. In the spherical aberration diagram shown in FIG. 6A, the g line is indicated by a solid line, the i line is indicated by a broken line, and the h line is indicated by a one-dot chain line. FIG. 4B shows the astigmatism of the g line, FIG. 4C shows the astigmatism of the h line, and FIG. 4D shows the astigmatism of the i line. Moreover, in the figure of astigmatism, the meridional image surface is shown by the solid line, and the sagittal image surface is shown by the broken line.

図１２は、実施例４の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。同図（ａ）はｈ線での歪曲収差、同図（ｂ）に示す倍率色収差は、実線がｇ線を、破線がｉ線を示している。   FIG. 12 is a diagram illustrating distortion aberration and lateral chromatic aberration of the projection optical system according to Example 4. FIG. 4A shows distortion aberration at the h-line, and the lateral chromatic aberration shown in FIG. 4B shows the g-line for the solid line and the i-line for the broken line.

以下に、上記実施例１〜４の投影光学系の各緒元及び、条件式（１）〜（４）と条件式（６）に対応する値をまとめて示す。   Hereinafter, the specifications of the projection optical systems of Examples 1 to 4 and values corresponding to the conditional expressions (1) to (4) and the conditional expression (6) are collectively shown.

緒元又は条件式 実施例１ 実施例２ 実施例３ 実施例４
倍率 -2.0 -2.0 -3.0 -2.6
ＮＡ 0.020 0.033 0.020 0.050
拡大側最大像高Ｙ 30.00 40.00 20.00 55.00
ｆ３ 150.55 147.17 63.77 404.31
ｆ２ -43.74 -91.02 -26.52 -47.95
ｆ１ 116.10 134.91 64.18 111.75
ｆ１２ 317.62 293.21 205.21 1634.71
条件式（１）｜ｆ１２／ｆ３｜ 2.11 2.05 3.22 4.04
条件式（２）｜ｆ１／ｆ１２｜ 0.37 0.46 0.31 0.07
条件式（３）｜ｆ２／ｆ１２｜ 0.14 0.31 0.13 0.03
条件式（４）｜ｆ２／ｆ１｜ 0.38 0.67 0.41 0.43
Ｌ１ａ 180.975 212.798 116.676 341.632
ＴＬ 315.222 417.023 177.463 556.672
ＬＢ 51.490 66.200 64.000 112.095
条件式（６）ＬＢ／ＴＬ 0.163 0.159 0.361 0.201
上記実施例１〜４は、条件式（１）〜（４）及び条件式（６）を全て満たしている。 Specification or conditional expression Example 1 Example 2 Example 3 Example 4
Magnification -2.0 -2.0 -3.0 -2.6
NA 0.020 0.033 0.020 0.050
Maximum image height Y 30.00 40.00 20.00 55.00
f3 150.55 147.17 63.77 404.31
f2 -43.74 -91.02 -26.52 -47.95
f1 116.10 134.91 64.18 111.75
f12 317.62 293.21 205.21 1634.71
Conditional expression (1) | f12 / f3 | 2.11 2.05 3.22 4.04
Conditional expression (2) | f1 / f12 | 0.37 0.46 0.31 0.07
Conditional expression (3) | f2 / f12 | 0.14 0.31 0.13 0.03
Conditional expression (4) | f2 / f1 | 0.38 0.67 0.41 0.43
L1a 180.975 212.798 116.676 341.632
TL 315.222 417.023 177.463 556.672
LB 51.490 66.200 64.000 112.095
Conditional expression (6) LB / TL 0.163 0.159 0.361 0.201
The said Examples 1-4 satisfy | fills all conditional expression (1)-(4) and conditional expression (6).

Ｌ１ 第１レンズ
Ｌ２ 第２レンズ
Ｌ３ 第３レンズ
Ｌ４ 第４レンズ
Ｌ５ 第５レンズ
Ｌ６ 第６レンズ
Ｌ７ 第７レンズ
Ｌ８ 第８レンズ
Ｌ９ 第９レンズ
Ｌ１０ 第１０レンズ
Ｌ１１ 第１１レンズ
Ｌ１２ 第１２レンズ
Ｌ１３ 第１３レンズ
Ｌ１４ 第１４レンズ
Ｌ１５ 第１５レンズ
Ｌ１６ 第１６レンズ
Ｌ１７ 第１７レンズ
Ｌ１８ 第１８レンズ
Ｌ１９ 第１９レンズ
Ｌ２０ 第２０レンズ
Ｇｒ１ 第１レンズ群
Ｇｒ２ 第２レンズ群
Ｇｒ３ 第３レンズ群 L1 1st lens L2 2nd lens L3 3rd lens L4 4th lens L5 5th lens L6 6th lens L7 7th lens L8 8th lens L9 9th lens L10 10th lens L11 11th lens L12 12th lens L13 1st lens 13 lens L14 14th lens L15 15th lens L16 16th lens L17 17th lens L18 18th lens L19 19th lens L20 20th lens Gr1 1st lens group Gr2 2nd lens group Gr3 3rd lens group

Claims (10)

可視領域から近紫外領域における、複数の波長又は所定の範囲の波長帯域を使用する両側テレセントリックの投影光学系であって、拡大側から順に、
最も拡大側に配置された第１レンズを含む、正のパワーの第１レンズ群と、
｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５
を満たす最初の負レンズから、該負レンズを含む以降のレンズのうち、
Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５
を満たす最初のレンズまでの、負のパワーのレンズ群を第２レンズ群とし、
絞りを含む残りのレンズからなる、正のパワーのレンズ群を第３レンズ群としたとき、
前記第３レンズ群は、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす、少なくとも２枚の正レンズを含み、
以下の条件式、
１＜｜ｆ１２／ｆ３｜＜５ （１）
を満たすことを特徴とする投影光学系。
ただし、
Ｈｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｙ：拡大側最大像高（ｍｍ）
Ｌｎ：第ｎレンズと第（ｎ＋１）レンズとの空気間隔（ｍｍ）
Ｌ１ａ：第１レンズの拡大側面頂点から絞り面までの距離（ｍｍ）
νｈ＝（Ｎｈ−１）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｐ＝（Ｎｉ−Ｎｈ）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｎｈ：ｈ線に対する屈折率
Ｎｉ：ｉ線に対する屈折率
Ｎｇ：ｇ線に対する屈折率
ｆ１２：第１レンズ群及び第２レンズ群の合成焦点距離（ｍｍ）
ｆ３：第３レンズ群の焦点距離（ｍｍ） A double-sided telecentric projection optical system that uses a plurality of wavelengths or a wavelength band of a predetermined range from the visible region to the near ultraviolet region, in order from the magnification side,
A first lens group having a positive power, including a first lens arranged on the most magnified side;
| Hn / Y | <0.75
From the first negative lens satisfying the following lenses including the negative lens,
Ln / L1a> 0.15
The negative power lens group up to the first lens satisfying
When the positive lens group consisting of the remaining lenses including the aperture is the third lens group,
The third lens group includes:
0.662 <0.00055 × νh + P
Including at least two positive lenses,
The following conditional expression:
1 <| f12 / f3 | <5 (1)
A projection optical system characterized by satisfying
However,
Hn: Height from the optical axis when the most off-axis chief ray passes through the enlarged side surface of the nth lens (mm)
Y: Maximum image height on the enlargement side (mm)
Ln: Air distance between the nth lens and the (n + 1) th lens (mm)
L1a: Distance from the enlarged side surface vertex of the first lens to the diaphragm surface (mm)
νh = (Nh−1) / (Ni−Ng)
P = (Ni-Nh) / (Ni-Ng)
Nh: Refractive index for h-line Ni: Refractive index for i-line Ng: Refractive index for g-line f12: Composite focal length (mm) of the first lens group and the second lens group
f3: Focal length of the third lens group (mm) 以下の条件式、
０．０４＜｜ｆ１／ｆ１２｜＜０．６ （２）
ただし、
ｆ１：第１レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。 The following conditional expression:
0.04 <| f1 / f12 | <0.6 (2)
However,
f1: Focal length of the first lens group (mm)
The projection optical system according to claim 1, wherein: 以下の条件式、
０．０１＜｜ｆ２／ｆ１２｜＜０．５ （３）
ただし、
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の投影光学系。 The following conditional expression:
0.01 <| f2 / f12 | <0.5 (3)
However,
f2: Focal length (mm) of the second lens group
The projection optical system according to claim 1, wherein: 以下の条件式、
０．２５＜｜ｆ２／ｆ１｜＜０．８ （４）
を満たすことを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の投影光学系。 The following conditional expression:
0.25 <| f2 / f1 | <0.8 (4)
The projection optical system according to any one of claims 1 to 3, wherein: 前記第３レンズ群の、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす少なくとも２枚の正レンズは、以下の条件式、
｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３ （５）
ただし、
Ｈｎｍｉｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの高さと縮小側面を 通過するときの高さのいずれか小さい方（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の投影光学系。 Of the third lens group,
0.662 <0.00055 × νh + P
At least two positive lenses satisfying the following conditional expression:
| Hn min /Y|<0.3 (5)
However,
Hn min : The smaller of the height when the most off-axis principal ray passes through the enlargement side of the nth lens and the height when it passes through the reduction side (mm)
The projection optical system according to claim 1, wherein the projection optical system satisfies the following conditions. 前記第３レンズ群は、少なくとも３枚の正レンズと、少なくとも２枚の負レンズを含むことを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の投影光学系。   The projection optical system according to any one of claims 1 to 5, wherein the third lens group includes at least three positive lenses and at least two negative lenses. 前記第１レンズ群の最も拡大側に配置された第１レンズは、両凸の正レンズであることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の投影光学系。   The projection optical system according to any one of claims 1 to 6, wherein the first lens disposed on the most magnified side of the first lens group is a biconvex positive lens. 前記第１レンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを含むことを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の投影光学系。   The projection optical system according to any one of claims 1 to 7, wherein the first lens group includes at least two positive lenses. 前記第１レンズ群が、拡大側から順に正レンズ、負レンズ、正レンズからなる群を含むことを特徴とする請求項８に記載の投影光学系。   The projection optical system according to claim 8, wherein the first lens group includes a group including a positive lens, a negative lens, and a positive lens in order from the magnification side. 以下の条件式、
０．１＜ＬＢ／ＴＬ＜０．５ （６）
ただし、
ＬＢ：縮小側レンズバック（ｍｍ）
ＴＬ：レンズ全長（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の投影光学系。 The following conditional expression:
0.1 <LB / TL <0.5 (6)
However,
LB: Reduction side lens back (mm)
TL: Total lens length (mm)
The projection optical system according to any one of claims 1 to 9, wherein:
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