JP2010282886A - Liquid metal relay - Google Patents
Liquid metal relay Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010282886A JP2010282886A JP2009136343A JP2009136343A JP2010282886A JP 2010282886 A JP2010282886 A JP 2010282886A JP 2009136343 A JP2009136343 A JP 2009136343A JP 2009136343 A JP2009136343 A JP 2009136343A JP 2010282886 A JP2010282886 A JP 2010282886A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistance portion
- fixed contact
- high resistance
- liquid metal
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Contacts (AREA)
Abstract
Description
本発明は、固体金属から成る接点と液体金属から成る接点とを開閉する液体金属リレーに関する。 The present invention relates to a liquid metal relay that opens and closes a contact made of a solid metal and a contact made of a liquid metal.
従来から、各々銀等の固体金属から成る固定接点及び可動接点間を開閉するリレーが知られている。この種のリレーでは、接点間を閉成する場合、及び接点間を開成する場合の何れにおいても接点間にアークが発生する虞がある。例えば、接点間を閉成する場合には、図7(a)に示すように、先行アーク(同図ア参照)や、接点バウンスが生じることによるバウンスアーク(同図イ参照)が発生する。また、接点間を開成する場合には、図7(b)に示すように、遮断アーク(同図ウ参照)が発生する。これらアークが原因で接点材料が溶融し、接点間が開成している状態で接点同士が溶着して、接点間を開成することができず遮断不能となる虞がある。また、これらアークが原因で接点材料が溶融又は軟化することで、接点材料の転移や変形が生じる場合がある。この場合、接点間のオーバートラベル量が変化することで接触抵抗が増大し、導通不良や動作不良をきたす虞がある。 Conventionally, a relay that opens and closes between a fixed contact and a movable contact each made of a solid metal such as silver is known. In this type of relay, there is a possibility that an arc may be generated between the contacts when the contacts are closed and when the contacts are opened. For example, when the contact is closed, as shown in FIG. 7A, a leading arc (see FIG. 7A) or a bounce arc (see FIG. 7A) due to contact bounce is generated. Moreover, when opening between contacts, as shown in FIG.7 (b), a interruption | blocking arc (refer the same figure U) generate | occur | produces. Due to these arcs, the contact material melts and the contacts are welded in a state where the contacts are open, and the contacts cannot be opened, and there is a possibility that the contacts cannot be cut off. Further, the contact material may be melted or softened due to these arcs, and the contact material may be transferred or deformed. In this case, the contact resistance increases due to the change in the amount of overtravel between the contacts, which may cause conduction failure and malfunction.
上記問題を解決するものとして、1対の固体金属から成る接点間を水銀等から成る液体金属を介して開閉するリレーが開示されている(例えば、特許文献1参照)。この種のリレーの一例を以下説明する。 As a solution to the above problem, a relay that opens and closes a pair of contacts made of solid metal via a liquid metal made of mercury or the like is disclosed (for example, see Patent Document 1). An example of this type of relay will be described below.
このリレーは、図8(a)〜(c)に示すように、略矩形状の基板101及び絶縁性基板102から成る本体部100と、本体部100内に設けられて導電性流体Lが収納される収納室100aと、収納室100aと連通して導電性流体Lの流路となるチャンネル100bと、チャンネル100b内において露設される1対の接点103と、収納室100a内に収納された導電性流体Lを移動させて接点との導通状態を切り換える圧電素子から成るアクチュエータ104とから構成される。ここで、導電性流体Lは、常温常圧(25℃、1気圧)で液体の金属(例えば、水銀)から成る。また、接点103は、導電性金属材料(例えば、半田)を用いためっき層から成る。収納部100aの図8(b)における上側の部位は、薄膜状のダイアフラム部となっており、アクチュエータ104が駆動した際にアクチュエータ104によって押圧されて前記下側に撓むようになっている。
As shown in FIGS. 8A to 8C, this relay is provided with a
以下、この従来例の動作について説明する。先ず、電圧が印加されていない状態では、アクチュエータ104が動作しないためにダイアフラム部が変形しない。この状態では、収納室100aに収納されている導電性流体Lは一方の接点103としか接触しておらず、接点間は開成されている。電圧を印加してアクチュエータ104を駆動すると、アクチュエータ104によってダイアフラム部が前記下側に撓み、収納室100aに収納されている導電性流体Lが押し出されてチャンネル100b内を移動し、導電性流体Lと他方の接点103とが接触する。すると、両接点103間が導電性流体Lを介して導通するため、接点間が閉成する。そして、電圧の印加を停止すれば、アクチュエータ104によって変形させられていたダイアフラム部が元の状態に復帰するため、導電性流体Lも収納室100aに戻り、接点間が開成される。
The operation of this conventional example will be described below. First, in a state where no voltage is applied, the
上述のように、1対の接点間を液体金属を介して開閉しているので、液体金属と接点との間でアークが発生した場合でも接点が溶着することがない。また、仮にアークによって液体金属が蒸発したとしても、再び液体に復帰するために液体金属が消耗することもない。 As described above, since the pair of contacts are opened and closed via the liquid metal, the contacts are not welded even when an arc is generated between the liquid metal and the contacts. Further, even if the liquid metal evaporates due to the arc, the liquid metal is not consumed in order to return to the liquid again.
しかしながら、上記従来例では、依然として接点と液体金属との間でアークが発生する、特に接点間を開成する際にアークが発生する虞がある。このため、アークにより固体金属から成る接点が溶融及び軟化することで、接点材料の変形や消耗が生じるという問題があった。 However, in the above conventional example, there is still a possibility that an arc is generated between the contact and the liquid metal, particularly when the gap between the contacts is opened. For this reason, there has been a problem that the contact material made of solid metal is melted and softened by the arc, so that the contact material is deformed and consumed.
本発明は、上記の点に鑑みて為されたもので、接点間を開成する際におけるアークの発生を防ぐことのできる液体金属リレーを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a liquid metal relay capable of preventing the generation of an arc when opening a contact.
請求項1の発明は、上記目的を達成するために、液体金属から成る固定接点と、固定接点に接離する固体金属から成る可動接点と、可動接点を固定接点に対して接離自在に移動させる駆動手段とを備え、可動接点は、固定接点から離れた側に設けられて接点間の閉成時に固定接点と接触導通する低抵抗部と、低抵抗部よりも固定接点に近い側に設けられて低抵抗部よりも高い抵抗値を有する高抵抗部とから成ることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the first aspect of the present invention provides a fixed contact made of a liquid metal, a movable contact made of a solid metal that contacts and separates from the fixed contact, and the movable contact moves freely in contact with and away from the fixed contact. The movable contact is provided on the side away from the fixed contact, and is provided on the side closer to the fixed contact than the low resistance, and the low resistance is provided on the side away from the fixed contact. And a high resistance portion having a resistance value higher than that of the low resistance portion.
請求項2の発明は、請求項1の発明において、低抵抗部と高抵抗部とは、各々互いに異なる抵抗率を有する材料から成り、高抵抗部は、各々互いに異なる抵抗率を有する材料から形成された複数の層を積層して成り、低抵抗部側から固定接点側に向かうにつれて抵抗値が高くなるように積層されたことを特徴とする。
The invention of
請求項3の発明は、請求項1の発明において、高抵抗部は、低抵抗部と同一の材料から成る部位の表面を粗面に形成してなることを特徴とする。
The invention of
請求項4の発明は、請求項1の発明において、高抵抗部は、低抵抗部と同一の材料から成る部位の表面に前記材料よりも抵抗率の大きい材料から成る皮膜を設けてなることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the high resistance portion is formed by providing a film made of a material having a higher resistivity than the material on the surface of a portion made of the same material as the low resistance portion. Features.
請求項5の発明は、請求項4の発明において、皮膜は、その厚みが低抵抗部側から固定接点側に向かうにつれて厚くなるように設けられたことを特徴とする。
The invention of claim 5 is characterized in that, in the invention of
請求項6の発明は、請求項1の発明において、低抵抗部と高抵抗部とは、各々互いに異なる抵抗率を有する材料から成り、高抵抗部は、その固定接点側の部位の断面積が他の部位の断面積よりも小さくなるように形成されたことを特徴とする。 According to a sixth aspect of the invention, in the first aspect of the invention, the low resistance portion and the high resistance portion are made of materials having different resistivities, respectively, and the high resistance portion has a cross-sectional area of a portion on the fixed contact side. It is characterized by being formed so as to be smaller than the cross-sectional area of other portions.
請求項7の発明は、請求項1の発明において、低抵抗部と高抵抗部とは、何れも同一の材料から成り、高抵抗部は、その固定接点側の部位の断面積が他の部位の断面積よりも小さくなるように形成されたことを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the low resistance portion and the high resistance portion are both made of the same material, and the cross section of the portion on the fixed contact side of the high resistance portion is another portion. It is characterized in that it is formed so as to be smaller than the cross-sectional area.
請求項8の発明は、請求項6又は7の発明において、高抵抗部の固定接点側の部位は、低抵抗部側から固定接点側に向かうにつれて徐々に断面積が小さくなるように形成されたことを特徴とする。 The invention of claim 8 is the invention of claim 6 or 7, wherein the portion of the high resistance portion on the fixed contact side is formed such that the cross-sectional area gradually decreases from the low resistance portion side toward the fixed contact side. It is characterized by that.
請求項9の発明は、請求項1乃至8の何れか1項の発明において、高抵抗部の表面には、撥水処理が施されたことを特徴とする。
The invention according to claim 9 is the invention according to any one of
請求項1の発明によれば、接点間を開成する際に、先ず低抵抗部が固定接点を成す液体金属から離れ、次に高抵抗部が徐々に液体金属から露出するので、抵抗値が徐々に増大して接点間を流れる電流を徐々に限流することができる。このため、可動接点が固定接点から完全に離れる前において流れる電流をアークが発生しない程度の電流値まで限流することができ、したがって接点間を開成する際におけるアークの発生を防ぐことができる。 According to the first aspect of the invention, when opening the contacts, the low resistance portion is first separated from the liquid metal forming the fixed contact, and then the high resistance portion is gradually exposed from the liquid metal, so that the resistance value gradually increases. And the current flowing between the contacts can be gradually limited. For this reason, it is possible to limit the current flowing before the movable contact completely leaves the fixed contact to a current value that does not generate an arc, and therefore it is possible to prevent the occurrence of an arc when opening the contacts.
請求項2の発明によれば、低抵抗部が固定接点を成す液体金属から離れる際にアークが発生することなく高抵抗部の抵抗値を高くすることができるので、単一材料で高抵抗部を構成する場合と比較して、接点間を流れる電流をアークが発生しない程度の電流値まで限流するために必要な高抵抗部の寸法を小さくすることができる。
According to the invention of
請求項3の発明によれば、高抵抗部を低抵抗部と異なる材料で構成する場合と比較して、可動接点を製造する際に必要なコストを低減することができる。 According to the third aspect of the present invention, it is possible to reduce the cost required for manufacturing the movable contact as compared with the case where the high resistance portion is made of a material different from that of the low resistance portion.
請求項4の発明によれば、高抵抗部を低抵抗部と異なる材料で構成する場合と比較して、可動接点を製造する際に必要なコストを低減することができる。 According to the fourth aspect of the present invention, the cost required for manufacturing the movable contact can be reduced as compared with the case where the high resistance portion is made of a material different from that of the low resistance portion.
請求項5の発明によれば、低抵抗部が固定接点を成す液体金属から離れる際にアークが発生することなく高抵抗部の抵抗値を高くすることができるので、単一材料で高抵抗部を構成する場合と比較して、接点間を流れる電流をアークが発生しない程度の電流値まで限流するために必要な高抵抗部の寸法を小さくすることができる。 According to the invention of claim 5, since the resistance value of the high resistance portion can be increased without generating an arc when the low resistance portion is separated from the liquid metal forming the fixed contact, the high resistance portion can be made of a single material. Compared with the case of configuring, the size of the high resistance portion required to limit the current flowing between the contacts to a current value that does not generate an arc can be reduced.
請求項6の発明によれば、高抵抗部を低抵抗部と異なる材料で構成する場合と比較して、可動接点を製造する際に必要なコストを低減することができる。 According to the sixth aspect of the present invention, the cost required for manufacturing the movable contact can be reduced as compared with the case where the high resistance portion is made of a material different from that of the low resistance portion.
請求項7の発明によれば、高抵抗部を低抵抗部と異なる材料で構成する場合と比較して、可動接点を製造する際に必要なコストを低減することができる。 According to the seventh aspect of the present invention, the cost required for manufacturing the movable contact can be reduced as compared with the case where the high resistance portion is made of a material different from that of the low resistance portion.
請求項8の発明によれば、低抵抗部が固定接点を成す液体金属から離れる際にアークが発生することなく高抵抗部の抵抗値を高くすることができるので、単一材料で高抵抗部を構成する場合と比較して、接点間を流れる電流をアークが発生しない程度の電流値まで限流するために必要な高抵抗部の寸法を小さくすることができる。 According to the invention of claim 8, since the resistance value of the high resistance portion can be increased without generating an arc when the low resistance portion leaves the liquid metal forming the fixed contact, the high resistance portion can be made of a single material. Compared with the case of configuring, the size of the high resistance portion required to limit the current flowing between the contacts to a current value that does not generate an arc can be reduced.
請求項9の発明によれば、接点間を開成する際に高抵抗部に液体金属が濡れ残るのを防ぐことができるので、接点間の遮断性能を向上させることができる。 According to the ninth aspect of the present invention, it is possible to prevent the liquid metal from remaining wet in the high resistance portion when opening between the contacts, so that it is possible to improve the breaking performance between the contacts.
(実施形態1)
以下、本発明に係る液体金属リレーの実施形態1について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、図1(a)における上下を上下方向と定めるものとする。本実施形態は、図1(a),(b)に示すように、液体金属から成る固定接点2と、固定接点2に接離する固体金属から成る可動接点1と、可動接点1を固定接点2に対して接離自在に移動させるアクチュエータ3とを備える。尚、本実施形態及び後述の実施形態2では、本発明の要旨となる接点構造についてのみ詳述し、液体金属リレーの他の構成については図示及び説明を省略する。
(Embodiment 1)
Hereinafter, a liquid metal relay according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the vertical direction in FIG. 1A is defined as the vertical direction. In this embodiment, as shown in FIGS. 1A and 1B, a
可動接点1は、固定接点2から離れた側(上側)に設けられて接点間の閉成時に固定接点2と接触導通する低抵抗部10と、低抵抗部10よりも固定接点2に近い側(下側)に設けられて低抵抗部10よりも高い抵抗値を有する高抵抗部11とから成る。ここで、低抵抗部10と高抵抗部11とは、各々互いに異なる抵抗率を有する材料から成り、高抵抗部11は、低抵抗部10を成す材料よりも抵抗率の大きい材料から成る。
The
固定接点2は、例えば水銀や、ガリウム(Ga),インジウム(In),スズ(Sn)から成る共融合金等の液体金属から成り、接点間が開成している状態において可動接点1と所定の間隔を空けるように固定電極部20上に配設されている。固定電極部20は、例えば半田等の固体金属から成り、固定接点2を支持するとともに固定接点2と導通している。
The fixed
アクチュエータ3は、例えば圧電素子から成り、電圧が印加されると下方向に駆動して可動接点1を固定接点2と接触させるように下方向に移動させる。また、電圧が印加された状態で電圧の印加を停止すると、上方向に駆動して可動接点1を固定接点2から離れるように上方向に移動させる。尚、アクチュエータ3は圧電素子に限定されるものではなく、可動接点1を固定接点2に対して接離自在に移動させるものであれば他の構成であっても構わない。
The
以下、本実施形態の動作を説明する。先ず、接点間を閉成する場合について説明する。アクチュエータ3に電圧を印加することで下方向に駆動させると、可動接点1が下方向に移動して固定接点2と接触する。ここで、可動接点1は最初に高抵抗部11が固定接点2に接触するが、この時点では接点間は閉成されない。そして、可動接点1の下方向への移動に伴って高抵抗部11が固定接点2内に入り込み、低抵抗部10が固定接点2と接触すると、低抵抗部10を介して可動接点1と固定接点2とが導通し、接点間が閉成される。
The operation of this embodiment will be described below. First, a case where the contacts are closed will be described. When the
次に、接点間を開成する場合について説明する。アクチュエータ3への電圧の印加を停止すると、アクチュエータ3が上方向に駆動して可動接点1が上方向に移動する。ここで、可動接点1においては最初に低抵抗部10が固定接点2から離れる。そして、低抵抗部10が固定接点2から離れると、次に高抵抗部11が上端部から徐々に固定接点2の外部に露出し始める。すると、抵抗値の低い低抵抗部10を介して固定接点2を流れていた電流が、抵抗値の高い高抵抗部11を介して固定接点2に流れるので、接点間を流れる電流が限流される。更に、可動接点2の上方向への移動に伴って高抵抗部11が固定接点2から徐々に露出するため、高抵抗部11において電流の流れる部位が長くなり、抵抗値が高くなることで接点間を流れる電流が徐々に限流される。そして、高抵抗部11が固定接点2から離れる時点に達すると、接点間を流れる電流はアークが発生しない程度の電流値まで十分に限流されるので、接点間を開成する際にアークが発生しない。
Next, the case of opening between the contacts will be described. When the application of the voltage to the
上述のように、接点間を開成する際に、先ず低抵抗部10が固定接点2を成す液体金属から離れ、次に高抵抗部11が徐々に液体金属から露出するので、抵抗値が徐々に増大して可動接点1を流れる電流を徐々に限流することができる。このため、可動接点1が固定接点2から完全に離れる前において流れる電流をアークが発生しない程度の電流値まで限流することができ、したがって接点間を開成する際におけるアークの発生を防ぐことができる。而して、アークにより固体金属から成る固定接点2が溶融及び軟化することが無いので、接点材料の変形や消耗が生じるのを防ぐことができる。
As described above, when opening the contacts, the
尚、上記実施形態では低抵抗部10と高抵抗部11とを各々互いに異なる抵抗率を有する材料から形成しているが、可動接点1を同一の材料で形成するとともに、可動接点1の下端部に低抵抗部10と異なる抵抗値となるように処理を施すことで高抵抗部11を構成するようにしてもよい。例えば、図2(a)に示すように、可動接点1の下端部の表面に、可動接点1を構成する材料よりも抵抗率の大きい材料から成る皮膜4を設けることで高抵抗部11を構成してもよい。また、図2(b)に示すように、可動接点1の下端部の表面に微細な凹凸を設けて粗面化することで、粗面化した部位の抵抗値を低抵抗部10の抵抗値よりも高くして高抵抗部11を構成してもよい。即ち、可動接点1の表面を粗面化することで、固定接点2を成す液体金属の可動接点1を成す固体金属に対する濡れ性を小さくし、各凹部において液体金属と固体金属との間に空気を介在させることで液体金属と固体金属との接触面積を小さくし、結果として低抵抗部10よりも高抵抗部11の抵抗値を高くすることができる。
In the above embodiment, the
更に、図3(a)に示すように、可動接点1の下端部の断面積を低抵抗部10の断面積よりも小さくすることで、断面積を小さくした部位の抵抗値を低抵抗部10の抵抗値よりも高くして高抵抗部11を構成してもよい。また、図3(b)に示すように、可動接点1の下端部を例えば略角錐状のように鋭利な形状に形成する、即ち、低抵抗部10側から固定接点2側に向かうにつれて断面積が徐々に小さくなるように形成することで高抵抗部11を構成してもよい。上記の何れの場合においても、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。また、高抵抗部11を低抵抗部10と異なる材料で構成する場合と比較して、可動接点1を製造する際に必要なコストを低減することができる。
Further, as shown in FIG. 3A, the resistance value of the portion where the cross-sectional area is reduced is reduced by making the cross-sectional area of the lower end of the
(実施形態2)
以下、本発明に係る液体金属リレーの実施形態2について図面を用いて説明する。尚、本実施形態の基本的な構成は実施形態1と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。本実施形態は、図4に示すように、高抵抗部11が、各々互いに異なる抵抗率を有する材料から形成された複数の層を積層して成り、低抵抗部10側から固定接点2側に向かうにつれて抵抗値が高くなるように積層されている。
(Embodiment 2)
Hereinafter, a liquid metal relay according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Since the basic configuration of the present embodiment is the same as that of the first embodiment, common portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. In the present embodiment, as shown in FIG. 4, the
ここで、実施形態1では、高抵抗部11を設けることで接点間を流れる電流を徐々に限流しているが、アークが発生しない程度の電流値まで限流するためには、高抵抗部11の上下方向の長さ寸法を大きくしなければならない。このため、高抵抗部11をより抵抗率の大きい材料で形成することが考えられる。しかしながら、高抵抗部11の抵抗値を低抵抗部10の抵抗値よりも高くし過ぎると、接点間を開成する際に、低抵抗部10が固定接点2から離れる時点でアークが発生する虞がある。即ち、アークが発生しないように接点間を開成するには、低抵抗部10が固定接点2から離れる時点で接点間を流れる電流が急激に限流されないようにする必要がある。
Here, in the first embodiment, the current flowing between the contacts is gradually limited by providing the
そこで、本実施形態では、高抵抗部11を低抵抗部10側から固定接点2側に向かうにつれて抵抗値が高くなるように形成しているので、接点間を開成する際に、低抵抗部10が固定接点2から離れる時点でアークが発生することがなく、接点間を流れる電流を効率良く制限することができる。例えば、高抵抗部11の低抵抗部10と接する層を実施形態1の高抵抗部11と同じ材料から形成すれば、高抵抗部11を単一の材料で構成する場合と比較して抵抗値を高くすることができるので、アークが発生しない程度の電流値まで限流するのに必要な高抵抗部11の上下方向の長さ寸法を小さくすることができる。
Therefore, in the present embodiment, the
尚、図5に示すように、可動接点1を同一の材料で形成するとともに、可動接点1の下端部の表面に、可動接点1を構成する材料よりも抵抗率の大きい材料から成る皮膜4を設けて高抵抗部11とし、且つ皮膜4の厚みが低抵抗部10側から固定接点2側に向かうにつれて厚くなるように構成してもよい。この場合、皮膜4が厚くなるにつれて高抵抗部11の抵抗値が増大するため、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
As shown in FIG. 5, the
また、図6(a)に示すように、高抵抗部11において低抵抗部10側の一端を低抵抗部10と同じ断面積で形成するとともに、固定接点2側の他端を低抵抗部10の断面積よりも小さい断面積で形成してもよい。この場合、断面積の大きい部分と断面積の小さい部分とで抵抗値が異なるので、高抵抗部11の抵抗値が順に高くなり、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。また、図6(b)に示すように、高抵抗部11を例えば略角錐状のように鋭利な形状に形成する、即ち、低抵抗部10側から固定接点2側に向かうにつれて断面積が徐々に小さくなるように形成してもよい。この場合、断面積が小さくなるにつれて抵抗値が高くなるので、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
Further, as shown in FIG. 6A, one end on the
尚、図6(a),(b)の構成では、低抵抗部10と高抵抗部11とが各々互いに異なる抵抗率を有する材料から成るが、同一材料であっても構わない。この場合、高抵抗部11を低抵抗部10と異なる材料で構成する場合と比較して、可動接点1を製造する際に必要なコストを低減することができる。
6 (a) and 6 (b), the
ところで、接点間を開成する場合、高抵抗部11が固定接点2から徐々に露出する際に、高抵抗部11の表面に固定接点2を成す液体金属が濡れ残る虞がある。この場合、濡れ残った液体金属を介して低抵抗部10及び固定接点2間が導通し、接点間を流れる電流を限流することができずに遮断性能が低下する。
By the way, when opening between contacts, when the
そこで、実施形態1及び実施形態2の何れにおいても、高抵抗部11に撥水処理を施すことが望ましい。撥水処理としては、例えば実施形態1で既に述べたように、高抵抗部11の表面を粗面化して液体金属の固体金属に対する濡れ性を小さくする方法や、高抵抗部11の表面にフッ素系、若しくはシリコン系の皮膜4を設けて液体金属と皮膜4との濡れ性を小さくする方法がある。このように撥水処理を施すことで、接点間を開成する際に高抵抗部11に液体金属が濡れ残るのを防ぐことができるので、接点間の遮断性能を向上させることができる。
Therefore, in both the first and second embodiments, it is desirable to perform the water repellent treatment on the
1 可動接点
10 低抵抗部
11 高抵抗部
2 固定接点
3 アクチュエータ(駆動手段)
DESCRIPTION OF
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009136343A JP2010282886A (en) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | Liquid metal relay |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009136343A JP2010282886A (en) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | Liquid metal relay |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010282886A true JP2010282886A (en) | 2010-12-16 |
Family
ID=43539452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009136343A Withdrawn JP2010282886A (en) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | Liquid metal relay |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010282886A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023199953A1 (en) * | 2022-04-15 | 2023-10-19 | 株式会社ExH | Connection device |
-
2009
- 2009-06-05 JP JP2009136343A patent/JP2010282886A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023199953A1 (en) * | 2022-04-15 | 2023-10-19 | 株式会社ExH | Connection device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7276991B2 (en) | Multiple switch MEMS structure and method of manufacture | |
US7402770B2 (en) | Nano structure electrode design | |
EP2126940B1 (en) | Fault-tolerant materials and methods of fabricating the same | |
CN1893104A (en) | Phase change memory device and method of fabricating the same | |
JP2013125903A (en) | Resistance change element | |
JP2010282886A (en) | Liquid metal relay | |
US10896787B2 (en) | Contact in RF-switch | |
JP6858186B2 (en) | Thermal management with high power RF MEMS switch | |
US10707039B2 (en) | Current handling in legs and anchors of RF-switch | |
JP2010147026A (en) | Micro-electromechanical system switch | |
JP2011054646A (en) | Semiconductor memory device | |
JP2007294452A (en) | Microswitch equipped with first operated portion and second contact section | |
JP2010282890A (en) | Liquid metal relay | |
JP2004319502A (en) | High-frequency latching relay including inflection type switch bar | |
TW201401595A (en) | Resistive memory and fabricating method thereof | |
US6885133B2 (en) | High frequency bending-mode latching relay | |
JP2010282889A (en) | Liquid metal relay | |
US6762378B1 (en) | Liquid metal, latching relay with face contact | |
JP2003346628A (en) | Latch type piezoelectric drive relay and piezoelectric drive relay | |
CN103515530B (en) | Resistance memory cell and fabricating method thereof | |
US9236569B2 (en) | Storage element | |
US9196828B2 (en) | Resistive memory and fabricating method thereof | |
JP2012028094A (en) | Contact making and breaking device | |
EP2495866A1 (en) | Electrostatic actuator of a mobile structure with improved relief of trapped charges | |
JP2008119756A (en) | Method for manufacturing micro-machine |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120118 |
|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20120807 |