JP2010277775A - Method of manufacturing plasma display panel - Google Patents

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JP2010277775A
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JP2009127852A
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Takahiro Takizawa
貴博 滝澤
Tomohiro Okumura
智洋 奥村
Takayuki Ashida
高之 芦田
Hiroyoshi Sekiguchi
大好 関口
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Panasonic Corp
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Panasonic Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for uniformly, readily, and inexpensively removing an altered layer of a protection layer surface. <P>SOLUTION: The method of manufacturing a PDP (plasma display panel) includes; (i) a step of preparing a front panel and a rear panel; (ii) a step of applying a glass frit material onto the front panel and rear panel, and arranging the front panel and rear panel oppositely; (iii) a step of arranging a gas supply nozzle on side parts of the oppositely arranged front panel and rear panel; (iv) a step of blowing gas from the gas supply nozzle and blowing the gas in between the oppositely arranged front panel and rear panel from a lateral direction under a state where the front panel and rear panel are heated; and (v) a step of melting the glass frit material and sealing the front panel and rear panel. In the gas supply nozzle arranged on the side parts of the front panel and rear panel in the step (iii), a nozzle part a positioned on a side of the substrate with the glass frit material coated is located on an outer side than a nozzle part b positioned on a side of the other substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。より詳細には、プラズマディスプレイパネルの製造に際して「前面板の保護層表面に形成された変質層」を除去する方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel. More specifically, the present invention relates to a method for removing “an altered layer formed on the surface of a protective layer of a front plate” during the manufacture of a plasma display panel.

高品位テレビジョン画像を大画面で表示するためのディスプレイ装置として、プラズマディスプレイパネル(以下、“PDP”とも称す)を用いたディスプレイ装置への期待は高まっている。   As a display device for displaying a high-definition television image on a large screen, there is an increasing expectation for a display device using a plasma display panel (hereinafter also referred to as “PDP”).

PDP(例えば3電極面放電型PDP)は、映像を見る人から見て表面側となる前面板とその裏側の背面板とを対向配置して、それらの周辺部を封着材で封着した構造を有している。前面板と背面板との間に形成された放電空間にはネオンおよびキセノンなどの放電ガスが封入されている。前面板は、ガラス基板上に形成された走査電極と維持電極とから成る表示電極と、これらの電極を覆う誘電体層と保護層とを備えている。背面板は、ガラス基板に上記表示電極と直交する方向にストライプ状に形成された複数のアドレス電極と、これらのアドレス電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をアドレス電極毎に区画する隔壁(リブ)と、隔壁の側面および下地誘電体層上に形成された赤色(R)・緑色(G)・青色(B)の蛍光体層とを備えている(例えば特許文献1参照)。   In a PDP (for example, a three-electrode surface discharge type PDP), a front plate on the front side and a back plate on the back side are viewed from the viewer, and their peripheral portions are sealed with a sealing material. It has a structure. A discharge gas such as neon and xenon is sealed in a discharge space formed between the front plate and the back plate. The front plate includes a display electrode composed of a scan electrode and a sustain electrode formed on a glass substrate, and a dielectric layer and a protective layer that cover these electrodes. The back plate includes a plurality of address electrodes formed in a stripe shape in a direction orthogonal to the display electrodes on the glass substrate, a base dielectric layer covering these address electrodes, and a partition wall (for partitioning the discharge space for each address electrode) Ribs) and red (R), green (G), and blue (B) phosphor layers formed on the side surfaces of the partition walls and the underlying dielectric layer (see, for example, Patent Document 1).

表示電極とアドレス電極とは直交していて、その交差部が放電セルを成している。これらの放電セルはマトリクス状に配列されており、赤色・緑色・青色の蛍光体層を有する3個の放電セルがフルカラー表示のための画素となっている。このようなPDPでは、順次、走査電極とアドレス電極間、および走査電極と維持電極間に所定の電圧が印加されてガス放電を発生させている。そして、かかるガス放電で生じる紫外線により蛍光体層を励起させ可視光を発光させることによってカラー画像表示を実現している。   The display electrodes and the address electrodes are orthogonal to each other, and the intersections form discharge cells. These discharge cells are arranged in a matrix, and three discharge cells having red, green, and blue phosphor layers are pixels for full-color display. In such a PDP, a predetermined voltage is sequentially applied between the scan electrode and the address electrode and between the scan electrode and the sustain electrode to generate gas discharge. A color image display is realized by exciting the phosphor layer with ultraviolet rays generated by the gas discharge to emit visible light.

このようなPDPの保護層の成分としては、酸化マグネシウム(MgO)が一般に広く用いられている。PDPの動作電圧は、この保護層の2次電子放出係数に依存している。従って、動作電圧の低電圧化を図るため、仕事関数がより小さいアルカリ土類金属の酸化物(たとえば、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウムなど)を保護層成分として用いることが提案されている。しかしながら、これらのアルカリ土類金属の酸化物は吸湿性が高く、保護層の形成後に周囲雰囲気中の水分を吸着し得る。これにより、保護層の表面領域が水酸化物に変質することになり、不安定な放電特性が引き起こされるといった問題があった。   As a component of such a protective layer of PDP, magnesium oxide (MgO) is generally widely used. The operating voltage of the PDP depends on the secondary electron emission coefficient of the protective layer. Therefore, it has been proposed to use an alkaline earth metal oxide (for example, calcium oxide, strontium oxide, barium oxide, etc.) having a lower work function as a protective layer component in order to reduce the operating voltage. However, these alkaline earth metal oxides are highly hygroscopic and can adsorb moisture in the ambient atmosphere after the protective layer is formed. As a result, the surface region of the protective layer is changed to hydroxide, which causes a problem that unstable discharge characteristics are caused.

上記問題に対処すべく、保護層形成工程後から封着工程までを乾燥雰囲気中で連続して行う方法(例えば、特許文献2参照)や、保護層形成工程後から封着工程までを真空雰囲気中で連続して行う方法(例えば、特許文献3参照)が提案されている。このような方法は、保護層形成後において保護層に水分等の不純物を吸着させないことを意図している。しかしながら、前者の方法(「保護層形成工程後から封着工程までを乾燥雰囲気中で連続して行う方法」)では、乾燥空気中にある量の水分や二酸化炭素が含まれているので、その含有量が十分小さくない限り、数十分〜数時間の曝露によって変質層が形成されてしまう(例えば、露点−20℃の乾燥空気中には0.1%の水分、露点−40℃の乾燥空気中には0.013%の水分、露点−60℃の乾燥空気中には0.0011%[11ppm]の水分が含まれている)。PDPの製造工程では、一般に、保護層形成工程から封着工程までには数時間分以上の工程在庫があるため、仮に極めて露点の低い乾燥空気(例えば露点−60℃以下の乾燥空気)を用いたとしても、変質層の形成は避けられないといえる。また、後者の方法(「保護層形成工程後から封着工程までを真空雰囲気中で連続して行う方法」)であっても、搬送系及び封着装置の構成が極めて複雑となり、現実的ではない。また、広大な空間を常時真空に保つ必要があり、多大のコストを要してしまう。   In order to cope with the above problems, a method of continuously performing the process from the protective layer forming process to the sealing process in a dry atmosphere (for example, see Patent Document 2), or the process from the protective layer forming process to the sealing process in a vacuum atmosphere. Among them, a method (for example, see Patent Document 3) that is continuously performed has been proposed. Such a method is intended not to adsorb impurities such as moisture to the protective layer after the protective layer is formed. However, in the former method (“method in which the process from the protective layer forming step to the sealing step is continuously performed in a dry atmosphere”), a certain amount of moisture or carbon dioxide is contained in the dry air. Unless the content is sufficiently small, an altered layer is formed by exposure for several tens of minutes to several hours (for example, 0.1% moisture in dry air at a dew point of −20 ° C., drying at a dew point of −40 ° C. The air contains 0.013% moisture, and the dry air with a dew point of −60 ° C. contains 0.0011% [11 ppm] moisture). In the manufacturing process of PDP, since there is generally a process inventory of several hours or more from the protective layer forming process to the sealing process, dry air with a very low dew point (for example, dry air with a dew point of −60 ° C. or lower) is used. Even so, it can be said that the formation of an altered layer is inevitable. In addition, even in the latter method (“method in which the process from the protective layer forming step to the sealing step is continuously performed in a vacuum atmosphere”), the configuration of the transport system and the sealing device is extremely complicated. Absent. Moreover, it is necessary to keep a vast space in a vacuum at all times, which requires a great deal of cost.

不純物が吸着された保護層を清浄化しながら封着する方法も提案されている。この方法は、不純物をガス状態で保護層から脱離させることで、結果的に不純物を含んだ変質層を除去することを意図している。例えば、前面板または背面板に第1ガラス管及び第2ガラス管を設け、第1ガラス管からパネル内部を排気しながら第2ガラス管から乾燥ガスをパネル内部に供給することによって、パネル内部の残留不純物を低減させる方法が開示されている(特許文献4参照)。しかしながら、かかる方法では、2つのガラス管が必要となるので封着装置の構成が極めて複雑となり、実現は容易ではない。仮にこれを実現したとしても、給気ガラス管に近い位置と遠い位置とでは、乾燥ガスの流速や不純物ガス濃度の点で大きな違いが生じるため、パネルの動作電圧に面内ムラを生じる(即ち、パネルの動作電圧がパネル面において均一とならない)。ガラス管を1つとし、封着前まではこのガラス管から乾燥ガスをパネル内に供給し、封着後に同一のガラス管から排気を行う場合であっても、給気ガラス管に近い位置と遠い位置とでは、乾燥ガスの流速や不純物ガス濃度に大きな違いが生じるため、パネルの動作電圧に面内ムラを生じてしまう。   There has also been proposed a method of sealing while cleaning the protective layer on which impurities are adsorbed. This method is intended to remove the deteriorated layer containing impurities as a result by detaching impurities from the protective layer in a gas state. For example, by providing a first glass tube and a second glass tube on the front plate or the back plate, and supplying the dry gas from the second glass tube to the inside of the panel while exhausting the inside of the panel from the first glass tube, A method for reducing residual impurities is disclosed (see Patent Document 4). However, in this method, two glass tubes are required, so that the configuration of the sealing device is extremely complicated and is not easy to realize. Even if this is realized, there is a large difference in the flow rate of the dry gas and the impurity gas concentration between the position near and far from the air supply glass tube, resulting in in-plane unevenness in the operating voltage of the panel (that is, The panel operating voltage is not uniform across the panel surface). Even if it is a case where a single glass tube is used, dry gas is supplied from the glass tube into the panel before sealing, and the same glass tube is exhausted after sealing, the position is close to the air supply glass tube. At a distant position, a large difference occurs in the flow rate of the dry gas and the impurity gas concentration, resulting in in-plane unevenness in the operating voltage of the panel.

更に、加熱炉内に「対向配置させた前面板および背面板」を仕込んで加熱炉を密閉し、その後、加熱炉内ヘと雰囲気ガスを導入しつつ加熱炉からガスを排出することによって、パネル封着を行う方法も提案されている(例えば、特許文献5参照)。しかしながら、かかる方法では、乾燥ガスの多くがパネルの外部を流れることになり、ガス使用量が多大となる。また、加熱炉を容器として密閉構造とする必要があるだけでなく、高温で背面板を動かす必要があり、装置としての構成が極めて複雑となってしまう。高温で背面板を動かすことは、“アライメントずれ”の危険性を引き起こし得る。   Further, the front and back plates arranged opposite to each other are charged in the heating furnace, the heating furnace is sealed, and then the gas is discharged from the heating furnace while introducing the atmospheric gas into the heating furnace. A method for sealing is also proposed (see, for example, Patent Document 5). However, in such a method, most of the dry gas flows outside the panel, resulting in a large amount of gas usage. Moreover, it is necessary not only to make the heating furnace a sealed structure but also to move the back plate at a high temperature, which makes the configuration of the apparatus extremely complicated. Moving the back plate at high temperatures can pose a risk of “misalignment”.

以上のように、従来のPDP製造では、保護層表面の変質層を均一性よく、簡単かつ低コストに除去できていない。   As described above, in the conventional PDP manufacturing, the deteriorated layer on the surface of the protective layer cannot be removed easily and at low cost with good uniformity.

特開2002−216620号公報JP 2002-216620 A 特開2002−231129号公報JP 2002-231129 A 特開2000−156160号公報JP 2000-156160 A 特開2002−150938号公報JP 2002-150938 A 特開2001−35372号公報JP 2001-35372 A

本発明は、上記事情に鑑みて為されたものである。つまり、本発明の課題は、保護層表面の変質層を均一性よく、簡単かつ低コストに除去できる製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above circumstances. That is, an object of the present invention is to provide a production method capable of removing a deteriorated layer on the surface of a protective layer with good uniformity, simply and at low cost.

上記課題を解決するため、本発明は、
(i)基板A上に電極Aと誘電体層Aと保護層とが形成された前面板、および、基板B上に電極Bと誘電体層Bと隔壁と蛍光体層とが形成された背面板を準備する工程、
(ii) 基板Aまたは基板Bの主面の周辺領域にガラスフリット材料を塗布し、塗布されたガラスフリット材料を挟むように前面板と背面板とを対向配置する工程、
(iii)対向配置された前面板および背面板の側部にてガス供給ノズルを配置する工程、
(iv)前面板および背面板を加熱下においた状態で、ガス供給ノズルからガスを吹き込み、対向配置された前面板と背面板との間にガスを横方向から吹き込む工程、ならびに
(v)ガラスフリット材料を溶融させて、前面板と背面板とを封着させる工程
を含んで成り、
工程(iii)にて前面板および背面板の側部に配置されたガス供給ノズルについて、ガラスフリット材料を塗布した基板側に位置するノズル部分aが、他方の基板側に位置するノズル部分bよりも外側となっていることを特徴とするPDP製造方法を提供する。
In order to solve the above problems, the present invention provides:
(i) A front plate in which the electrode A, the dielectric layer A, and the protective layer are formed on the substrate A, and a back in which the electrode B, the dielectric layer B, the barrier rib, and the phosphor layer are formed on the substrate B. Preparing a face plate,
(ii) applying a glass frit material to a peripheral region of the main surface of the substrate A or the substrate B, and disposing the front plate and the back plate so as to sandwich the applied glass frit material;
(Iii) a step of disposing a gas supply nozzle at the side portions of the front plate and the back plate arranged to face each other;
(Iv) a step of blowing gas from a gas supply nozzle in a state where the front plate and the rear plate are heated, and blowing gas from the lateral direction between the front plate and the rear plate arranged opposite to each other; and (v) glass Melting the frit material and sealing the front plate and the back plate,
With respect to the gas supply nozzles arranged on the side portions of the front plate and the back plate in the step (iii), the nozzle portion a located on the substrate side coated with the glass frit material is more than the nozzle portion b located on the other substrate side. Further, the present invention provides a method for manufacturing a PDP characterized by being outside.

本発明の製造方法は、ガス吹き込み時の漏れをある程度抑えつつも、封着時の溶融ガラスフリット材料の影響をできるだけ回避できるようにガス供給ノズルを設けることを特徴の1つとしている。具体的には、前面板および背面板の側部に配置されたガス供給ノズルにつき、ガラスフリット材料を塗布した基板側に位置するノズル部分aが、他方の基板側に位置するノズル部分bよりも外側となっている。これにより、ガス供給ノズルから供されたガスがパネル外部へと漏れることをある程度抑えつつも、封着時にて溶融ガラスフリット材料がガス供給ノズルに接触することを防止でき、所望のPDP製造を実現できる。   The manufacturing method of the present invention is characterized in that a gas supply nozzle is provided so as to avoid the influence of the molten glass frit material at the time of sealing as much as possible while suppressing leakage at the time of gas blowing to some extent. Specifically, for the gas supply nozzles arranged on the side portions of the front plate and the back plate, the nozzle portion a located on the substrate side coated with the glass frit material is more than the nozzle portion b located on the other substrate side. It is outside. This makes it possible to prevent the gas supplied from the gas supply nozzle from leaking to the outside of the panel, while preventing the molten glass frit material from coming into contact with the gas supply nozzle at the time of sealing, realizing the desired PDP production. it can.

特に、ガラスフリット材料を塗布した基板側の主面端部Aにガス供給ノズルが密着すると共に、他方の基板側の側面部Bにもガス供給ノズルが密着するように(側面部Bは主面端部Aよりも内側に存在する)、ガス供給ノズルを構成および配置することが好ましい。換言すれば、パネル側に向くように設けられるガスノズルの噴出面が実質的に斜めとなるようにガス供給ノズルが構成および配置される。尚、本明細書にいう「ガス供給ノズル」とは、その内部にマニホールド部、および、マニホールド部と流体連通した複数の噴出口を有して成るガス供給部材を実質的に意味している。このようなガス供給ノズルの材質としては金属が好ましい。特に、基板の加熱時にガス供給ノズルと基板とが擦れてダストや位置ズレが起きるのを避けるため、できるだけガラス基板と熱膨張係数が近い金属(例えばチタン)を用いることが好ましい。   In particular, the gas supply nozzle is in close contact with the main surface end A on the substrate side coated with the glass frit material, and the gas supply nozzle is also in close contact with the side surface portion B on the other substrate side (the side surface portion B is the main surface). Preferably, the gas supply nozzle is configured and arranged. In other words, the gas supply nozzle is configured and arranged so that the ejection surface of the gas nozzle provided to face the panel side is substantially oblique. Note that the “gas supply nozzle” in the present specification substantially means a gas supply member having a manifold portion and a plurality of jet ports in fluid communication with the manifold portion. As a material of such a gas supply nozzle, metal is preferable. In particular, it is preferable to use a metal (for example, titanium) having a thermal expansion coefficient that is as close as possible to that of the glass substrate in order to avoid dust and misalignment due to rubbing between the gas supply nozzle and the substrate when the substrate is heated.

本明細書において「前面板と背面板との間にガスを横方向から流す」とは、前面板と背面板との隙間へとガスを流すことを実質的に意味しており、特に、前面板と背面板とが対向する方向に対して実質的に垂直な方向(例えば“水平方向”)に沿って側方から前面板と背面板との隙間へとガスを流すことを意味している(図1参照)。   In the present specification, “flowing gas from the side between the front plate and the back plate” substantially means flowing gas into the gap between the front plate and the back plate. This means that gas flows from the side to the gap between the front plate and the back plate along a direction substantially perpendicular to the direction in which the face plate and the back plate face each other (for example, “horizontal direction”). (See FIG. 1).

本明細書において「基板Aまたは基板Bの主面の周辺領域」とは、基板上に設けられた各種要素の外側に位置する周囲領域であって、一般的なPDP製造において封着材料が塗布される領域を実質的に意味している。   In this specification, the “peripheral region of the main surface of the substrate A or the substrate B” is a peripheral region located outside various elements provided on the substrate, and a sealing material is applied in general PDP manufacturing. It means the area to be made.

また、本明細書において「外側」とは、前面板または背面板の中央部(即ち、パネル中央部)から見てより遠方となる位置・方向を実質的に意味している(図1参照)。   Further, in this specification, “outside” substantially means a position / direction farther from the center of the front plate or the back plate (that is, the center of the panel) (see FIG. 1). .

ある好適な態様において、工程(iii)では、ガス供給ノズルを前面板または背面板と一体的にクリップ部材で保持する。これにより、パネルのアライメントに際してガス供給ノズルを配置することができる。換言すれば、ガスノズル着脱とPDPアライメントとを実質的に同時に行うことができるので、その後においてアライメントずれを発生するタイミングがなく製造工程を簡易、安定かつ低コストで行うことができる。尚、クリップ部材は、バネ力を有する金属製のものが好ましい。   In a preferred aspect, in the step (iii), the gas supply nozzle is held integrally with the front plate or the back plate by the clip member. Thereby, the gas supply nozzle can be arranged at the time of panel alignment. In other words, since the gas nozzle attachment / detachment and the PDP alignment can be performed substantially simultaneously, there is no timing for generating an alignment shift thereafter, and the manufacturing process can be performed simply, stably and at low cost. The clip member is preferably a metal member having a spring force.

本発明では、ガス供給ノズルは、複数のサブ・ガス供給ノズルから構成されるものであってもよく、それらをパネルのエッジに沿うように直線状に配置してもよい。かかる場合、サブ・ガス供給ノズルの各々に対してクリップ部材を少なくとも1つ設けることになる。   In the present invention, the gas supply nozzle may be composed of a plurality of sub-gas supply nozzles, and may be arranged linearly along the edge of the panel. In such a case, at least one clip member is provided for each of the sub gas supply nozzles.

別のある好適な態様では、ガス供給ノズルが、ガス噴出口以外にも開口した形態を有しており、工程(iii)では、その開口しているノズル部分を基板Aまたは基板Bの主面端部に密着させる。この態様では、ガス供給ノズルのマニホールド部および/またはガス噴出部を中空構造にする必要がない。つまり、ガス供給ノズルは加工がより容易な開放構造のマニホールド部および/またはガス噴出部を備えているものであってよく、それを用いてガス吹き込みを行うことができる。   In another preferable aspect, the gas supply nozzle has an opening other than the gas outlet, and in step (iii), the opened nozzle portion is formed on the main surface of the substrate A or the substrate B. Adhere to the end. In this aspect, the manifold part and / or the gas ejection part of the gas supply nozzle need not have a hollow structure. That is, the gas supply nozzle may be provided with an open manifold portion and / or a gas ejection portion that is easier to process, and gas can be blown in by using the manifold portion and / or the gas ejection portion.

更に別のある好適な態様において、ガス供給ノズルの配置箇所とは異なる「前面板および背面板の側部」に対してガス排気ノズルを設けてよい。かかる場合、工程(iv)において前面板と背面板との間に吹き込まれたガスをガス排気ノズルから排気することができる。その結果、吹き込まれたガスにつきパネル内部空間流れが向上し、より効果的に保護層表面の変質層を除去できる。   In still another preferred aspect, the gas exhaust nozzle may be provided for “side portions of the front plate and the back plate” different from the arrangement position of the gas supply nozzle. In such a case, the gas blown between the front plate and the back plate in the step (iv) can be exhausted from the gas exhaust nozzle. As a result, the internal space flow of the panel is improved by the injected gas, and the altered layer on the surface of the protective layer can be removed more effectively.

本発明の製造方法によれば、保護層表面の変質層を均一性よく、簡単かつ低コストに除去でき、パネル寿命に優れたプラズマディスプレイパネルを得ることができる。ここでいう「変質層の除去」とは、不純物が吸着された保護層から不純物を取り除くこと、あるいは、保護層が水酸化物になったり炭酸化物になったりした部分を本来の酸化物に回復させることを実質的に意味している。   According to the production method of the present invention, the altered layer on the surface of the protective layer can be removed with good uniformity, simply and at low cost, and a plasma display panel having an excellent panel life can be obtained. “Removal of altered layer” as used herein refers to removing impurities from the protective layer on which the impurities are adsorbed, or recovering the part of the protective layer that has become hydroxide or carbonate to the original oxide. It means that

上記効果も含め、本発明の効果を分けて説明すると次のようになる: The effects of the present invention including the above effects will be described separately as follows:

● 本発明の製造方法では、保護層の表面近傍にてガス流れ(例えば窒素などの不活性ガス流れ)が存在した状態で加熱されるため、変質層を成す不純物が脱離してガス流れに同伴される。それゆえ、保護層表面から変質層が除去されることになり、保護層が清浄化される。特に、本発明の製造方法では、図1(b)および図2に示すように、複数の吹込み部からガスを並列的にパネル内部に吹き込むので、前面板と背面板との間隙にガスを全体的に流し込むことができる。つまり、吹き込まれたガス流れのパネル面内での均一性は良い。それゆえ、保護層の清浄度の面内均一性を向上させることができ、結果的に、駆動電圧、輝度、色度等のパネル諸特性の均一性が向上したPDPを実現できる。ここで、特許文献4に開示されているような従来技術では、給気ガラス管に近い位置と遠い位置とにおいて、吹き込むガスの流速や不純ガス濃度に大きな違いが生じるため、パネルの駆動電圧、輝度、色度等に面内ムラが生じる。「ガラス管を1つとし、封着前まではこのガラス管から乾燥ガスをパネル内に供給し、封着後にガラス管から排気を行う」といった従来技術であっても同様に、給気ガラス管に近い位置と遠い位置とでは、乾燥ガスの流速や不純ガス濃度に大きな違いが生じるため、パネルの駆動電圧、輝度、色度等に面内ムラを生じることになる。この点、本発明の製造方法では、概ね面内に均一な“ガス流れ”を形成できるので、保護層の清浄度の面内均一性が良いといえ、駆動電圧、輝度、色度等のパネル諸特性の均一性を向上させることができる。   ● In the manufacturing method of the present invention, heating is performed in the presence of a gas flow (for example, an inert gas flow such as nitrogen) in the vicinity of the surface of the protective layer, so the impurities forming the altered layer are desorbed and entrained in the gas flow. Is done. Therefore, the altered layer is removed from the surface of the protective layer, and the protective layer is cleaned. In particular, in the manufacturing method of the present invention, as shown in FIG. 1 (b) and FIG. 2, gas is blown into the panel in parallel from a plurality of blowing portions, so that gas is introduced into the gap between the front plate and the back plate. The whole can be poured. That is, the uniformity of the blown gas flow within the panel surface is good. Therefore, the in-plane uniformity of the cleanliness of the protective layer can be improved, and as a result, a PDP with improved uniformity of panel characteristics such as drive voltage, luminance, and chromaticity can be realized. Here, in the conventional technique as disclosed in Patent Document 4, a large difference occurs in the flow rate of gas to be blown in and the concentration of impure gas between a position near and far from the air supply glass tube. In-plane unevenness occurs in luminance, chromaticity, and the like. Similarly, even in the conventional technology, “one glass tube is used, dry gas is supplied from the glass tube into the panel before sealing, and the glass tube is exhausted after sealing”. Since a large difference occurs in the flow rate of the dry gas and the concentration of impure gas between the position close to and the position far from the position, in-plane unevenness occurs in the driving voltage, luminance, chromaticity, and the like of the panel. In this respect, in the manufacturing method of the present invention, a substantially uniform “gas flow” can be formed in the plane, so that it can be said that the in-plane uniformity of the cleanliness of the protective layer is good. Uniformity of various characteristics can be improved.

● 「ガラス管を1つとし、封着前まではこのガラス管から乾燥ガスをパネル内に供給し、封着後にガラス管から排気を行う」といった従来技術の場合では、乾燥ガスの供給中に2枚の基板間の内圧が上がり過ぎないよう、ガラスフリット材料の軟化点以上の温度においては、窒素ガスの吹き込み量を少なくするか、あるいは、窒素ガスの吹き込み量を実質的にゼロにする必要がある。つまり、かかる従来技術では、ガス流量の変更をタイミング良く行わなければならないといった点で煩雑である。この点、本発明の製造方法では、溶融したガラスフリット材料がガスの吹き込みを自動的に停止させる機能を有しているので、ガス流量を変更するタイミングは大雑把でよい。つまり、前面板と背面板との封着工程に際して、ガラスフリット材料は溶融することになるが、その溶融によって、各々の吹込み溝部が徐々に塞がれていき、パネル内(即ち、前面板と背面板との間の空間)に吹き込まれるガス流量が次第に低下していく。そして、吹込み溝部が“溶融したガラスフリット材料”で完全に塞がれると、パネル内へのガス吹き込みが完全に停止するので、厳密なガス流量の変更を必要としない。   ● In the case of the conventional technology such as “one glass tube, dry gas is supplied from this glass tube into the panel before sealing, and exhausted from the glass tube after sealing”, while the dry gas is being supplied In order to prevent the internal pressure between the two substrates from rising excessively, it is necessary to reduce the amount of nitrogen gas blown at a temperature equal to or higher than the softening point of the glass frit material, or to make the amount of nitrogen gas blown substantially zero. There is. In other words, this conventional technique is complicated in that it is necessary to change the gas flow rate in a timely manner. In this regard, in the manufacturing method of the present invention, the melted glass frit material has a function of automatically stopping the gas blowing, and therefore the timing for changing the gas flow rate may be rough. In other words, the glass frit material is melted in the sealing process between the front plate and the back plate, but each blowing groove is gradually closed by the melting, and the inside of the panel (that is, the front plate) The gas flow rate blown into the space between the back plate and the back plate gradually decreases. When the blowing groove is completely closed with the “melted glass frit material”, the gas blowing into the panel is completely stopped, so that it is not necessary to strictly change the gas flow rate.

● 本発明では、工程(iii)にて前面板および背面板の側部に配置されたガス供給ノズルにつき、ガラスフリット材料を塗布した基板側に位置するノズル部分aが、他方の基板側に位置するノズル部分bよりも外側となっているといった特徴を有している。かかる特徴に起因して、パネル封着時、即ち、工程(v)において溶融したガラスフリット材料とガス供給ノズルとの接触を防止できる。仮に「溶融したガラスフリット材料がガス供給ノズルに接触した場合」を想定すると、溶融ガラスフリットが冷却されて固化することによって、固化したガラスフリットに起因してガス供給ノズルが基板にくっついてしまう。これにより、最終的に製造されたPDPからガス供給ノズルを取り外すことができなくなり、目的とするPDPを最終的に得られなくなるだけでなく、大量生産に際して製造歩留りが低下してしまう可能性が高くなる。この点、本発明では、溶融したガラスフリット材料とガス供給ノズルとの接触が効果的に防止されているので、所望のPDP製造を達成することができる。   In the present invention, for the gas supply nozzles arranged on the sides of the front plate and the back plate in the step (iii), the nozzle portion a located on the substrate side coated with the glass frit material is located on the other substrate side. It has the characteristic that it is outside the nozzle part b to do. Due to such characteristics, contact between the glass frit material melted in the step (v) and the gas supply nozzle can be prevented at the time of panel sealing. Assuming that “the molten glass frit material comes into contact with the gas supply nozzle”, the molten glass frit is cooled and solidified, and the gas supply nozzle sticks to the substrate due to the solidified glass frit. As a result, the gas supply nozzle cannot be removed from the finally manufactured PDP, and not only the target PDP cannot be finally obtained, but also the manufacturing yield is likely to decrease during mass production. Become. In this regard, in the present invention, since the contact between the molten glass frit material and the gas supply nozzle is effectively prevented, desired PDP production can be achieved.

● 本発明の製造方法では、保護層の表面のみならず、背面板の隔壁や蛍光体層の表面にも水分や二酸化炭素等がほとんど吸着していないPDPを製造できる。つまり、製造されるPDPの内部には、水分、二酸化炭素など保護層表面を変質・劣化させる要因となるガスがほとんど含まれない。その結果、PDPを長時間駆動させても、「HOやCOなどの不純ガスが放電空間に放出されることに起因して保護層や蛍光体層が変質する」といったことが防止され、放電電圧・輝度等の変化が少なく、パネル寿命に優れたPDPを実現できる。また、「保護層の表面に変質層がなく、背面板におけるガス吸着がない」ということは、エージングが実質的に不要か、あるいは必要であっても極めて短時間で済むことになる。 In the production method of the present invention, it is possible to produce a PDP in which moisture, carbon dioxide and the like are hardly adsorbed not only on the surface of the protective layer but also on the partition walls of the back plate and the surface of the phosphor layer. That is, the produced PDP contains almost no gas that causes deterioration or deterioration of the surface of the protective layer, such as moisture and carbon dioxide. As a result, even if the PDP is driven for a long time, it is possible to prevent “the protective layer and the phosphor layer from being altered due to the release of impure gases such as H 2 O and CO 2 into the discharge space”. In addition, a PDP with little change in discharge voltage, brightness, etc., and an excellent panel life can be realized. In addition, “there is no altered layer on the surface of the protective layer and there is no gas adsorption on the back plate” means that aging is substantially unnecessary or even if necessary, it takes only a very short time.

● 本発明では「工程(ii)の対向配置」を実施した後に「工程(v)の封着」を行うことになるが、これは、アライメント後はガラスフリットの頂部と背面板とが接触した状態で加熱を実施できることを意味している。従って、本発明の製造方法では、“封着時のアライメントずれ”が起きにくく、信頼性の高い製造方法を実現できる。   ● In the present invention, after “alignment of step (ii)” is performed, “sealing of step (v)” is performed. This is because the top part of the glass frit and the back plate are in contact after alignment. It means that heating can be carried out in the state. Therefore, in the manufacturing method of the present invention, “alignment deviation at the time of sealing” hardly occurs and a highly reliable manufacturing method can be realized.

前面板と背面板との間を流れるガス流れの態様を模式的に示した図The figure which showed typically the mode of the gas flow which flows between a front board and a back board 複数の吹込み部からガスが並列的にパネル内部に吹き込まれる態様を模式的に示した平面図The top view which showed typically the aspect in which gas is blown in the inside of a panel in parallel from several blowing part 図3(a):PDPの概略構成を模式的に示した斜視図、図3(b):PDP前面板を模式的に示した断面図FIG. 3A: a perspective view schematically showing a schematic configuration of the PDP, FIG. 3B: a cross-sectional view schematically showing a PDP front plate. 図4(a):塗布されたガラスフリット材料および吹込み溝部の態様を模式的に示した斜視図、図4(b)環状ガラスフリット材料部、吹込み溝部およびガス流れの態様を模式的に示した平面図FIG. 4 (a): Perspective view schematically showing the applied glass frit material and the blow groove part, FIG. 4 (b) schematically showing the annular glass frit material part, the blow groove part and the gas flow. Plan view shown 隔壁の形態を模式的に示した斜視図The perspective view which showed the form of the partition typically 対向配置された前面板および背面板の態様を模式的に示した斜視図The perspective view which showed the aspect of the front plate and back plate which were opposingly arranged typically 前面板と背面板との間のガラフフリット材料部および隔壁の態様を模式的に示した断面図Sectional drawing which showed typically the aspect of the garaf frit material part and partition between a front plate and a back plate 図8(a):ガス供給ノズルの配置態様を模式的に示した断面図、図8(b):図8(a)の態様を拡大した図FIG. 8A: a cross-sectional view schematically showing an arrangement mode of the gas supply nozzle, FIG. 8B: an enlarged view of the mode of FIG. 本発明の製造方法で用いるガス供給部材を模式的に表した斜視図The perspective view which represented typically the gas supply member used with the manufacturing method of this invention ガス供給ノズルの保持とPDPアライメントとを実質的に同時に行う態様を模式的に示した斜視図The perspective view which showed typically the aspect which hold | maintains a gas supply nozzle and PDP alignment substantially simultaneously ガス供給ノズル保持とパネル保持とが行われた態様を模式的に示した斜視図The perspective view which showed typically the aspect by which gas supply nozzle holding | maintenance and panel holding | maintenance were performed 封着処理後の態様を模式的に示した断面図Sectional drawing which showed the aspect after sealing treatment typically 本発明の製造方法に係るPDP製造工程の概略を示したフローチャートThe flowchart which showed the outline of the PDP manufacturing process which concerns on the manufacturing method of this invention. 本発明の製造方法で用いることができるガス供給部材を模式的に表した斜視図The perspective view which represented typically the gas supply member which can be used with the manufacturing method of this invention 図14のガス供給ノズルの配置態様を模式的に示した断面図Sectional drawing which showed typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply nozzle of FIG. 本発明の製造方法で用いることができるガス供給部材を模式的に表した斜視図The perspective view which represented typically the gas supply member which can be used with the manufacturing method of this invention 図16のガス供給ノズルの配置態様を模式的に示した断面図Sectional drawing which showed typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply nozzle of FIG. 本発明の製造方法で用いることができるガス供給部材を模式的に表した斜視図The perspective view which represented typically the gas supply member which can be used with the manufacturing method of this invention 複数のサブ部材から成るガス供給ノズルの態様を模式的に示した平面図The top view which showed typically the aspect of the gas supply nozzle which consists of a several sub member 実施例で行った「放電開始電圧の変動幅の確認試験」の結果(図20(a)は、従来例の結果を示しており、図20(b)は本発明の結果を示している)Results of “Confirmation test of fluctuation range of discharge start voltage” conducted in Example (FIG. 20A shows the result of the conventional example, and FIG. 20B shows the result of the present invention)

以下にて、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法を詳細に説明する。   Below, the manufacturing method of the plasma display panel of this invention is demonstrated in detail.

プラズマディスプレイパネルの構成
まず、本発明の製造方法を経ることによって最終的に得られるプラズマディスプレイパネルを簡単に説明する。図3(a)に、PDPの構成を断面斜視図により模式的に示すと共に、図3(b)にPDPの前面板の断面図を模式的に示す。
[ Configuration of plasma display panel ]
First, a plasma display panel finally obtained through the manufacturing method of the present invention will be briefly described. FIG. 3A schematically shows the structure of the PDP by a cross-sectional perspective view, and FIG. 3B schematically shows a cross-sectional view of the front plate of the PDP.

本発明のPDP(100)の構成は、図3(a)に示すように、「基板A(10)に電極A(11)と誘電体層A(15)と保護層(16)とが設けられた前面板(1)」および「基板B(20)上に電極B(21)と誘電体層B(22)と隔壁(23)と蛍光体層(25)とが設けられた背面板(2)」からなる。   As shown in FIG. 3 (a), the PDP (100) of the present invention has a structure in which an electrode A (11), a dielectric layer A (15), and a protective layer (16) are provided on a substrate A (10). The front plate (1) ”and the back plate (on which the electrode B (21), the dielectric layer B (22), the partition wall (23), and the phosphor layer (25) are provided on the substrate B (20)). 2) ".

図示するように、前面板(1)では基板A(10)上に電極A(11)が設けられ、電極A(11)を覆うように誘電体層A(15)が基板A(10)上に設けられ、また、誘電体層A(15)上に保護層(16)が設けられている。背面板(2)では基板B(20)上に電極B(21)が設けられ、電極B(21)を覆うように誘電体層B(22)が基板B(20)上に設けられ、誘電体層B(22)上に隔壁(23)および蛍光体層(25)が設けられている。前面板(1)と背面板(2)とは、保護層(16)と蛍光体層(25)とが互いに向き合うように対向配置されている。前面板(1)および背面板(2)の周縁部は、例えば低融点フリットガラス材料などから成る封着部材によって気密封着されている(図示せず)。前面板(1)と背面板(2)との間に形成された放電空間(30)には放電ガス(ヘリウム、ネオンまたはキセノンなど)が好ましくは20kPa〜80kPaの圧力で封入されている。   As shown in the figure, the front plate (1) is provided with the electrode A (11) on the substrate A (10), and the dielectric layer A (15) is disposed on the substrate A (10) so as to cover the electrode A (11). In addition, a protective layer (16) is provided on the dielectric layer A (15). In the back plate (2), an electrode B (21) is provided on the substrate B (20), and a dielectric layer B (22) is provided on the substrate B (20) so as to cover the electrode B (21). A partition wall (23) and a phosphor layer (25) are provided on the body layer B (22). The front plate (1) and the back plate (2) are arranged to face each other so that the protective layer (16) and the phosphor layer (25) face each other. The peripheral portions of the front plate (1) and the back plate (2) are hermetically sealed by a sealing member made of, for example, a low melting point frit glass material (not shown). A discharge space (30) formed between the front plate (1) and the back plate (2) is filled with a discharge gas (such as helium, neon or xenon) preferably at a pressure of 20 kPa to 80 kPa.

更に具体的に、本発明のPDP(100)を説明していく。本発明のPDP(100)の前面板(1)は、上述したように、基板A(10)、電極A(11)、誘電体層A(15)および保護層(16)を有して成る。基板A(10)は、透明で絶縁性を有する基板(厚さは例えば約1.0mm以上かつ約3mm以下)である。基板A(10)としては、例えば、フロート法などで製造されたフロートガラス基板を挙げることができる他、ソーダライムガラス基板またはホウケイ酸塩ガラス基板などを挙げることができる。電極A(11)は、基板A(10)上にストライプ状に平行に複数配置されるものであり、例えば、走査電極(12)および維持電極(13)から成る表示電極である。この場合、走査電極(12)および維持電極(13)は、それぞれ「酸化インジウム(ITO)または酸化スズ(SnO)などから成る透明導電膜である透明電極(12a、13a)」、および、かかる透明電極上に形成された「銀を主成分としたバス電極(12b、13b)」から構成される(図3(b)参照)。透明電極(12a、13a)は、蛍光体層で発生した可視光を透過させる電極として主に機能する一方、バス電極(12b、13b)は、透明電極の長手方向に導電性を付与するための電極として主に機能する。透明電極(12a、13a)の厚さは、好ましくは約50nm〜約500nmである。また、バス電極(12b、13b)の厚さは、好ましくは約1μm以上かつ約20μm以下である。尚、図3(a)に示すように、基板A(10)上にはブラックストライプ(14)(遮光層)もパターン形成され得る。 More specifically, the PDP (100) of the present invention will be described. As described above, the front plate (1) of the PDP (100) of the present invention includes the substrate A (10), the electrode A (11), the dielectric layer A (15) and the protective layer (16). . The substrate A (10) is a transparent and insulating substrate (having a thickness of about 1.0 mm or more and about 3 mm or less). Examples of the substrate A (10) include a float glass substrate manufactured by a float process or the like, and a soda lime glass substrate or a borosilicate glass substrate. A plurality of electrodes A (11) are arranged in parallel in the form of stripes on the substrate A (10), and are, for example, display electrodes including scan electrodes (12) and sustain electrodes (13). In this case, the scanning electrode (12) and the sustaining electrode (13) are respectively “transparent electrodes (12a, 13a) which are transparent conductive films made of indium oxide (ITO) or tin oxide (SnO 2 )” and the like. It is comprised from "the bus electrode (12b, 13b) which has silver as a main component" formed on the transparent electrode (refer FIG.3 (b)). The transparent electrodes (12a, 13a) mainly function as electrodes that transmit visible light generated in the phosphor layer, while the bus electrodes (12b, 13b) provide conductivity in the longitudinal direction of the transparent electrodes. Mainly functions as an electrode. The thickness of the transparent electrodes (12a, 13a) is preferably about 50 nm to about 500 nm. The thickness of the bus electrodes (12b, 13b) is preferably about 1 μm or more and about 20 μm or less. As shown in FIG. 3A, a black stripe (14) (light shielding layer) can also be formed on the substrate A (10).

誘電体層A(15)は、基板A(10)の表面に形成された電極A(11)を覆うように設けられている。かかる誘電体層A(15)は、主としてガラス成分およびビヒクル成分(=バインダ樹脂および有機溶剤を含んだ成分)から成る誘電体原料ペーストを塗布および熱処理して得られるガラス組成から成る膜である。誘電体層A(15)の上には、例えば酸化マグネシウム(MgO)から成る保護層(16)が形成されている(厚さは例えば約0.5μm以上かつ約1.5μm以下)。保護層(16)は、放電の衝撃(より具体的には「プラズマによるイオン衝撃」)から誘電体層A(15)を守る機能を有している。   The dielectric layer A (15) is provided so as to cover the electrode A (11) formed on the surface of the substrate A (10). The dielectric layer A (15) is a film made of a glass composition obtained by applying and heat-treating a dielectric raw material paste mainly composed of a glass component and a vehicle component (= a component containing a binder resin and an organic solvent). A protective layer (16) made of, for example, magnesium oxide (MgO) is formed on the dielectric layer A (15) (thickness is, for example, not less than about 0.5 μm and not more than about 1.5 μm). The protective layer (16) has a function of protecting the dielectric layer A (15) from discharge impact (more specifically, “ion impact by plasma”).

本発明のPDPの背面板(2)は、上述したように、基板B(20)、電極B(21)、誘電体層B(22)、隔壁(23)および蛍光体層(25)を有して成る。基板B(20)は、透明で絶縁性を有する基板(厚さは例えば約1.0mm以上かつ約3mm以下)であることが好ましく、例えば、フロート法などで製造されたフロートガラス基板を挙げることができる他、ソーダライムガラス基板、ホウケイ酸塩ガラス基板または各種セラミック基板などを挙げることができる。電極B(21)は、基板B(20)上にストライプ状に複数形成される銀を主成分とした電極(厚さは例えば約1μm以上かつ約10μm以下)であり、例えば、アドレス電極(またはデータ電極)である。アドレス電極は、各放電セルを選択的に放電させる機能を主に有している。   As described above, the back plate (2) of the PDP of the present invention has the substrate B (20), the electrode B (21), the dielectric layer B (22), the partition wall (23), and the phosphor layer (25). It consists of The substrate B (20) is preferably a transparent and insulating substrate (thickness is, for example, not less than about 1.0 mm and not more than about 3 mm), for example, a float glass substrate manufactured by a float method or the like. In addition, a soda lime glass substrate, a borosilicate glass substrate, various ceramic substrates, and the like can be given. The electrode B (21) is an electrode (thickness is about 1 μm or more and about 10 μm or less) made mainly of silver and formed in stripes on the substrate B (20). Data electrode). The address electrode mainly has a function of selectively discharging each discharge cell.

誘電体層B(22)は、下地誘電体層と一般に呼ばれるものであり、基板B(20)の表面に形成された電極B(21)を覆うように設けられている。かかる誘電体層B(22)は、主としてガラス成分およびビヒクル成分(=バインダ樹脂および有機溶剤を含んだ成分)から成る誘電体原料ペーストを塗布および熱処理して得られるガラス組成から成る膜である。誘電体層B(22)の厚さは、例えば約5μm以上かつ約50μm以下である。誘電体層B(22)の上には、蛍光体材料を主成分とした蛍光体層(25)が形成されている(厚さは例えば約5μm以上かつ約20μm以下程度)。蛍光体層(25)は、放電によって放射された紫外線を可視光線に変換する機能を主に有している。かかる蛍光体層(25)は、赤色、緑色および青色を発する蛍光体層を構成単位としており、それぞれが隔壁(23)で区切られている。隔壁(23)は、放電空間をアドレス電極(21)毎に区画する目的で、ストライプ状または井桁状に誘電体層B(22)上に形成されている。かかる隔壁(23)は、ガラス成分、ビヒクル成分およびフィラー等を含んで成るペースト原料から形成される。   The dielectric layer B (22) is generally called a base dielectric layer, and is provided so as to cover the electrode B (21) formed on the surface of the substrate B (20). The dielectric layer B (22) is a film made of a glass composition obtained by applying and heat-treating a dielectric material paste mainly composed of a glass component and a vehicle component (= a component containing a binder resin and an organic solvent). The thickness of the dielectric layer B (22) is, for example, not less than about 5 μm and not more than about 50 μm. On the dielectric layer B (22), a phosphor layer (25) mainly composed of a phosphor material is formed (the thickness is, for example, about 5 μm or more and about 20 μm or less). The phosphor layer (25) mainly has a function of converting ultraviolet rays emitted by the discharge into visible light. The phosphor layer (25) has phosphor layers emitting red, green and blue as structural units, and each is separated by a partition wall (23). The barrier ribs (23) are formed on the dielectric layer B (22) in a stripe shape or in a grid pattern for the purpose of partitioning the discharge space for each address electrode (21). The partition wall (23) is formed from a paste raw material including a glass component, a vehicle component, a filler, and the like.

本発明のPDP(100)では、前面板(1)の表示電極(11)と背面板(2)のアドレス電極(21)とが直交するように、前面板(1)と背面板(2)とが放電空間(30)を挟んで対向して配置されている。このようなPDP(100)では、隔壁(23)によって仕切られ、アドレス電極(21)と表示電極(11)とが交差する放電空間(30)が放電セル(32)として機能することになる。換言すれば、マトリクス状に配列されている放電セルが画像表示領域を構成している。従って、外部駆動回路から表示電極(11)に映像信号電圧を選択的に印加することによって放電ガスを放電させ、かかる放電によって生じる紫外線によって、各色の蛍光体層を励起させて赤色、緑色および青色の可視光を発生させる結果、カラー画像表示が実現される。   In the PDP (100) of the present invention, the front plate (1) and the back plate (2) are arranged so that the display electrode (11) of the front plate (1) and the address electrode (21) of the back plate (2) are orthogonal to each other. Are arranged opposite to each other across the discharge space (30). In such a PDP (100), the discharge space (30) partitioned by the partition wall (23) and intersecting the address electrode (21) and the display electrode (11) functions as a discharge cell (32). In other words, the discharge cells arranged in a matrix form an image display area. Accordingly, the discharge gas is discharged by selectively applying the video signal voltage from the external drive circuit to the display electrode (11), and the phosphor layers of the respective colors are excited by the ultraviolet rays generated by the discharge, thereby red, green, and blue. As a result of generating visible light, color image display is realized.

[PDPの一般的な製造方法]
次に、PDPの一般的な製造方法について簡潔に説明する。本発明に係るPDPは、原則、一般的なPDP製造法に基づいて得ることができる。本発明では、特に言及しない限り、各種構成部材の原材料(原料ペースト)/構成材料などは、一般的なPDP製造法で常套的に用いられているものであってよい。
[General manufacturing method of PDP]
Next, a general method for manufacturing a PDP will be briefly described. The PDP according to the present invention can be obtained based on a general PDP manufacturing method in principle. In the present invention, unless otherwise specified, raw materials (raw material paste) / constituent materials of various constituent members may be those conventionally used in general PDP manufacturing methods.

まず、ガラス基板である基板A(10)上に、走査電極(12)と維持電極(13)とから構成される表示電極(11)を形成すると共に遮光層(14)も形成する。走査電極(12)および維持電極(13)のそれぞれの透明電極(12a、13a)とバス電極(12b、13b)とは、露光・現像するフォトリソグラフィ法などを用いてパターニングできる。透明電極(12a、13a)は薄膜プロセスなどを用いて形成でき、バス電極(12b、13b)は銀(Ag)材料を含むペーストを乾燥(100〜200℃程度)および焼成(400〜600℃程度)に付すことによって形成できる。また、遮光層7も同様に、黒色顔料を含んだ原料ペーストをスクリーン印刷する方法や黒色顔料を含んだ原料をガラス基板の全面に設けた後、露光・現像するフォトリソグラフィ法を用いてパターニングし、焼成することによって形成できる。次いで、走査電極(12)、維持電極(13)および遮光層(14)を覆うように基板A(10)上に、ガラス成分(SiO、Bなどから形成される材料)とビヒクル成分とを主成分とした誘電体原料ペーストをダイコート法または印刷法などにより塗布して誘電体ペースト層を形成する。塗布した後、所定の時間放置すると塗布された誘電体ペーストの表面がレベリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト層を焼成すると誘電体層A(15)が形成される。誘電体層A(15)を形成した後、かかる誘電体層A(15)上に保護膜(16)を形成する。保護膜(16)は、真空蒸着法、CVD法またはスパッタリング法などを用いて形成できる。 First, on the substrate A (10) which is a glass substrate, the display electrode (11) composed of the scanning electrode (12) and the sustain electrode (13) is formed, and the light shielding layer (14) is also formed. The transparent electrodes (12a, 13a) and the bus electrodes (12b, 13b) of the scan electrode (12) and the sustain electrode (13) can be patterned using a photolithography method that exposes and develops. The transparent electrodes (12a, 13a) can be formed by using a thin film process or the like, and the bus electrodes (12b, 13b) are obtained by drying (about 100 to 200 ° C.) and baking (about 400 to 600 ° C.) a paste containing a silver (Ag) material. ). Similarly, the light shielding layer 7 is patterned using a method of screen printing a raw material paste containing a black pigment or a photolithographic method in which a raw material containing a black pigment is provided on the entire surface of a glass substrate and then exposed and developed. It can be formed by firing. Next, a glass component (material formed from SiO 2 , B 2 O 3, etc.) and a vehicle on the substrate A (10) so as to cover the scan electrode (12), the sustain electrode (13), and the light shielding layer (14). A dielectric material paste mainly composed of components is applied by a die coating method or a printing method to form a dielectric paste layer. After application, if left for a predetermined time, the surface of the applied dielectric paste is leveled to form a flat surface. Thereafter, when the dielectric paste layer is fired, a dielectric layer A (15) is formed. After forming the dielectric layer A (15), a protective film (16) is formed on the dielectric layer A (15). The protective film (16) can be formed using a vacuum deposition method, a CVD method, a sputtering method, or the like.

以上の工程により、基板A(10)上に所定の構成部材である電極A(走査電極(12)および維持電極(13))、誘電体層A(15)および保護層(16)が形成され、前面板(1)が完成する。   Through the above steps, electrodes A (scanning electrode (12) and sustaining electrode (13)), dielectric layer A (15) and protective layer (16), which are predetermined constituent members, are formed on substrate A (10). The front plate (1) is completed.

一方、背面板(2)は次のようにして形成する。まず、ガラス基板である基板B(20)上に、銀(Ag)材料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、銀を主成分とした金属膜を全面に形成した後、露光・現像するフォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などによって前駆体層を形成し、それを所望の温度(例えば約400〜約600℃)で焼成することによりアドレス電極(21)を形成する。この「アドレス電極」は、クロム/銅/クロムの3層薄膜上にフォトレジストを塗布したものをフォトリソグラフィ及びウェットエッチングによりパターニングして形成してもよい。次いで、アドレス電極(21)が形成された基板B(20)上に、下地誘電体層となる誘電体層B(22)を形成する。まず、「ガラス成分(SiO、Bなどから形成される材料)およびビヒクル成分などを主成分とした誘電体原料ペースト」をダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、かかる誘電体ペースト層を焼成することによって誘電体層B(22)を形成できる。次いで、隔壁(23)を形成する。具体的には、誘電体層B(22)上に隔壁形成用原料ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより、隔壁材料層を形成し、その後、それを焼成に付して隔壁(23)を形成する。例えば、低融点ガラス材料、ビヒクル成分およびフィラー等を主成分とした原料ペーストをダイコート法または印刷法によって塗布して約100℃〜200℃の乾燥に付した後、露光・現像するフォトリソグラフィ法でパターニングし、次いで、約400℃〜約600℃の焼成に付すことによって隔壁(23)を形成する。尚、隔壁(23)は、サンドブラスト法、エッチング法または成型法などを用いることによっても形成できる。次いで、蛍光体層(25)を形成する。隣接する隔壁(23)間の誘電体層B(22)上および隔壁(23)の側面に蛍光体材料を含む蛍光体原料ペーストを塗布し、焼成することによって蛍光体層(25)を形成する。より具体的には、蛍光体粉末およびビヒクル成分等を主成分とした原料ペーストをダイコート法、印刷法、ディスペンス法またはインクジェット法などによって塗布し、次いで、約100℃の乾燥に付すことによって蛍光体層(25)を形成する。 On the other hand, the back plate (2) is formed as follows. First, a method of screen printing a paste containing a silver (Ag) material on a substrate B (20), which is a glass substrate, or photolithography in which a metal film mainly composed of silver is formed on the entire surface, and then exposed and developed. A precursor layer is formed by a method such as patterning using a method, and the address layer is baked at a desired temperature (for example, about 400 to about 600 ° C.) to form an address electrode (21). This “address electrode” may be formed by patterning a chrome / copper / chromium three-layer thin film coated with a photoresist by photolithography and wet etching. Next, a dielectric layer B (22) serving as a base dielectric layer is formed on the substrate B (20) on which the address electrodes (21) are formed. First, a “dielectric material paste mainly composed of a glass component (a material formed from SiO 2 , B 2 O 3 or the like) and a vehicle component” is applied by a die coating method or the like to form a dielectric paste layer. Thereafter, the dielectric layer B (22) can be formed by firing the dielectric paste layer. Next, a partition wall (23) is formed. Specifically, a partition wall forming raw material paste is applied onto the dielectric layer B (22) and patterned into a predetermined shape to form a partition wall material layer, which is then fired to form a partition wall ( 23). For example, by a photolithography method in which a raw material paste mainly composed of a low-melting glass material, a vehicle component and a filler is applied by a die coating method or a printing method, dried at about 100 ° C. to 200 ° C., and then exposed and developed. The partition wall (23) is formed by patterning and then baking at about 400 ° C. to about 600 ° C. The partition wall (23) can also be formed by using a sandblast method, an etching method, a molding method, or the like. Next, a phosphor layer (25) is formed. A phosphor raw material paste containing a phosphor material is applied on the dielectric layer B (22) between the adjacent barrier ribs (23) and on the side surfaces of the barrier ribs (23), and baked to form the phosphor layer (25). . More specifically, the phosphor paste is prepared by applying a raw material paste mainly composed of phosphor powder and a vehicle component by a die coating method, a printing method, a dispensing method, an ink jet method or the like, and then drying at about 100 ° C. A layer (25) is formed.

以上の工程により、基板B(20)上に、所定の構成部材たる電極B(アドレス電極(21))、誘電体層B(22)、隔壁(23)および蛍光体層(25)が形成され、背面板(2)が完成する。   Through the above steps, the electrode B (address electrode (21)), the dielectric layer B (22), the partition wall (23), and the phosphor layer (25), which are predetermined constituent members, are formed on the substrate B (20). The back plate (2) is completed.

このようにして所定の構成部材を備えた前面板(1)と背面板(2)とは、表示電極(11)とアドレス電極(21)とが直交するように対向配置させる。次いで、前面板(1)と背面板(2)の周囲をガラスフリットで封着すると共に、形成される放電空間(30)に放電ガス(ヘリウム、ネオンまたはキセノンなど)を封入することによってPDP(100)が完成する。   In this way, the front plate (1) and the back plate (2) provided with predetermined constituent members are arranged to face each other so that the display electrodes (11) and the address electrodes (21) are orthogonal to each other. Next, the periphery of the front plate (1) and the back plate (2) is sealed with a glass frit, and a discharge gas (helium, neon, xenon, etc.) is sealed in the discharge space (30) to be formed. 100) is completed.

本発明の製造方法
本発明は、上述のPDP製造工程の中でも、特に前面板および背面板の形成後からパネル封着までの製造工程に特色を有している。
[ Production method of the present invention ]
The present invention has a special feature in the manufacturing process from the formation of the front plate and the back plate to the panel sealing among the above-mentioned PDP manufacturing steps.

本発明の製造方法では、まず、工程(i)を実施する。即ち、「基板A上に電極Aと誘電体層Aと保護層とが形成された前面板」を準備すると共に、「基板B上に電極Bと誘電体層Bと隔壁と蛍光体層とが形成された背面板」を準備する。かかる前面板および背面板の準備は、上述の[PDPの一般的な製造方法]で説明しているので、重複を避けるために説明を省略する。尚、保護層は典型的には酸化マグネシウムであるが、これに微量の元素(シリコン、アルミニウムなど)を添加したものであってもよい。更に言えば、保護層は、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウムおよび酸化バリウムから成る群から選択される少なくとも1種類以上を含むことが望ましい。これらの材質は酸化マグネシウムのみを用いた場合よりも駆動電圧の低いPDPを実現できるが、特にガス吹込みによる清浄化の効果が大きく本発明の有効性が顕著となり得る。   In the production method of the present invention, step (i) is first performed. That is, “a front plate in which an electrode A, a dielectric layer A, and a protective layer are formed on a substrate A” is prepared, and “an electrode B, a dielectric layer B, a partition, and a phosphor layer are formed on a substrate B. Prepare the back plate ". Since the preparation of the front plate and the back plate has been described in the above-mentioned [General manufacturing method of PDP], description thereof will be omitted to avoid duplication. The protective layer is typically magnesium oxide, but may be a layer obtained by adding a trace amount of elements (silicon, aluminum, etc.) to this. Furthermore, it is desirable that the protective layer includes at least one selected from the group consisting of magnesium oxide, calcium oxide, strontium oxide, and barium oxide. Although these materials can realize a PDP having a lower driving voltage than when only magnesium oxide is used, the effect of the cleaning of the present invention is particularly large and the effectiveness of the present invention can be remarkable.

工程(i)に引き続いて、工程(ii)を実施する。即ち、基板Aまたは基板Bの周辺領域にガラスフリット材料を塗布し、ガラスフリット材料を挟むように前面板と背面板とを対向配置させる。塗布されたガラスフリット材料は、後に行う「封着工程(v)」で前面基板と背面基板との周縁をシールするために機能する。ガラスフリット材料は、前面板と背面板とを貼り合せた際に重なり合う領域の周囲にて一続きの環を構成するように塗布することが好ましい。用いられるガラスフリット材料は、一般的なPDP製造において同様の目的で用いられるものであれば特に制限はなく、例えば、低融点ガラス材料(酸化鉛−酸化硼素−酸化珪素系、酸化鉛−酸化硼素−酸化珪素−酸化亜鉛系など)から成るガラスフリット材料であってよい。また、塗布し易いようにビヒクル成分などを含んで成るものであってよい。前面基板または背面基板の周縁部に塗布されたガラスフリット材料の厚さは200〜600μm程度であり、その幅は3〜10mm程度であることが好ましい。   Subsequent to step (i), step (ii) is performed. That is, a glass frit material is applied to the peripheral region of the substrate A or the substrate B, and the front plate and the back plate are arranged to face each other so as to sandwich the glass frit material. The applied glass frit material functions to seal the periphery of the front substrate and the back substrate in the “sealing step (v)” to be performed later. The glass frit material is preferably applied so as to form a continuous ring around the overlapping region when the front plate and the back plate are bonded together. The glass frit material to be used is not particularly limited as long as it is used for the same purpose in general PDP production. For example, low melting point glass materials (lead oxide-boron oxide-silicon oxide system, lead oxide-boron oxide) It may be a glass frit material comprising a silicon oxide-zinc oxide system). Further, it may contain a vehicle component or the like so as to be easily applied. The thickness of the glass frit material applied to the peripheral portion of the front substrate or the back substrate is preferably about 200 to 600 μm, and the width is preferably about 3 to 10 mm.

尚、工程(iv)において吹き込まれるガスに対して通気経路が確実に確保されるように、塗布したガラススリット材料に対して複数の溝部(86a)を形成することが好ましい(図4(a)参照)。吹込み溝部は、環状ガラスフリット材料部を形成した後に、溝部に相当する部分を切り欠いて形成してよく、あるいは、ガラスフリット材料を断続的に塗布することによって形成してもよい。ここで、図4(b)に示すような吹込み溝部(86a)のサイズLaは、例えば0.1〜5mm程度であり、吹込み溝部のピッチLpは、基板サイズなどによって変わり得るものの、例えば50〜500mm程度である。かかる吹込み溝部は、前面板(1)または背面板(2)のエッジの長辺に沿って複数個設けることが好ましい。これにより、工程(iv)で吹き込まれたガスが“長辺側”から全体的に流れることになるので、“短辺側”に吹込み開口部を設ける場合と比べて、前面板と背面板との間で形成されるガス流線を短くすることができ、結果的に保護層表面の変質層をより均一性良く除去できる。また、パネルの長辺方向に沿った隔壁(23a)は短辺方向に沿った隔壁(23b)よりも低くなっているので(図5参照)、“長辺側”からガスを流し込むと、より効果的に前面板と背面板との間にガスを流すことができる。尚、「複数の吹込み溝部」にいう「複数」とは、2〜16程度の個数を実質的に意味している。   In addition, it is preferable to form a plurality of grooves (86a) in the applied glass slit material so as to ensure a ventilation path for the gas blown in step (iv) (FIG. 4 (a)). reference). The blow groove portion may be formed by cutting out a portion corresponding to the groove portion after forming the annular glass frit material portion, or may be formed by intermittently applying the glass frit material. Here, the size La of the blowing groove portion (86a) as shown in FIG. 4B is about 0.1 to 5 mm, for example, and the pitch Lp of the blowing groove portion can vary depending on the substrate size, for example, It is about 50 to 500 mm. It is preferable to provide a plurality of such blowing grooves along the long side of the edge of the front plate (1) or the back plate (2). As a result, the gas blown in the step (iv) generally flows from the “long side”, so that the front plate and the back plate are compared with the case where the blow opening is provided on the “short side”. As a result, the altered layer on the surface of the protective layer can be removed more uniformly. Further, the partition wall (23a) along the long side direction of the panel is lower than the partition wall (23b) along the short side direction (see FIG. 5). Gas can be effectively passed between the front plate and the back plate. The “plurality” in the “plurality of blowing grooves” substantially means the number of about 2 to 16.

ガラスフリット材料を塗布した後は、塗布されたガラスフリット材料(86)が基板Aと基板Bとの間に位置するように、前面板(1)と背面板(2)とを相互に対向状態で配置する(図6参照)。別の観点から言えば、前面板と背面板とは、保護層と蛍光体層とが互いに向き合うように対向して配置されると共に、表示電極とアドレス電極とが直交するように、前面板と背面板とが実質的に平行に配置される。前面板と背面板とが対向配置されると、図6ないしは図7に示すように、環状ガラスフリット材料部(86)は、前面板(1)と背面板(2)との間に挟まれた形態で存在することになる。対向配置された前面板(1)および背面板(2)は、以後に動かないようにクリップ部材(70)などによって保持する(図6参照)。   After applying the glass frit material, the front plate (1) and the back plate (2) face each other so that the applied glass frit material (86) is positioned between the substrate A and the substrate B. (See FIG. 6). From another viewpoint, the front plate and the back plate are disposed to face each other so that the protective layer and the phosphor layer face each other, and so that the display electrode and the address electrode are orthogonal to each other. The back plate is disposed substantially in parallel. When the front plate and the back plate are arranged to face each other, the annular glass frit material portion (86) is sandwiched between the front plate (1) and the back plate (2) as shown in FIGS. Will exist in different forms. The front plate (1) and the back plate (2) arranged to face each other are held by a clip member (70) or the like so as not to move thereafter (see FIG. 6).

工程(ii)では、前面板エッジと背面板エッジとは揃えるのではなく、それらのエッジをずらして配置する。具体的には、工程(iii)でガス供給ノズルを配置することになる部分につき、ガラスフリット材料を塗布した基板側の基板エッジが、他方の基板側に相当する基板エッジよりも外側になるようにする。   In step (ii), the front plate edge and the back plate edge are not aligned, but are shifted from each other. Specifically, the substrate edge on which the glass frit material is applied is outside the substrate edge corresponding to the other substrate side in the portion where the gas supply nozzle is to be disposed in step (iii). To.

対向配置された前面板と背面板との間の間隔(即ち、ギャップ幅)は、ガラスフリット材料部の厚さなどに依存するが、例えば、好ましくは0.1mm〜0.6mmであり、より好ましくは0.3〜0.6mmであり、更に好ましくは0.3mm〜0.5mmである。ちなみに、背面板(2)には隔壁(23)が設けられているが、図7に示すように、封着処理前の状態では隔壁(23)の高さよりもガラスフリット材料部(86)の高さの方が大きいため、隔壁(23)の頂部は前面板(1)とは接触していない。つまり、パネル内部には隙間があり、その隙間を通るように吹込みガスが流れることができる。   The distance between the front plate and the back plate arranged opposite to each other (that is, the gap width) depends on the thickness of the glass frit material portion, etc., but is preferably 0.1 mm to 0.6 mm, for example. Preferably it is 0.3-0.6 mm, More preferably, it is 0.3 mm-0.5 mm. Incidentally, the rear plate (2) is provided with a partition wall (23), but as shown in FIG. 7, the glass frit material portion (86) is higher than the height of the partition wall (23) in the state before the sealing process. Since the height is larger, the top of the partition wall (23) is not in contact with the front plate (1). That is, there is a gap inside the panel, and the blowing gas can flow through the gap.

工程(ii)に引き続いて、工程(iii)を実施する。即ち、対向配置された前面板および背面板の側部にてガス供給ノズルを配置する。具体的には、図8(a)に示すように、ガラスフリット材料(86)を塗布した基板側に位置するノズル部分aが、他方の基板側に位置するノズル部分bよりも外側となるように、ガス供給ノズル(90)を配置する。特に図示する態様では、背面側にガラスフリット材料が塗布されたものであるので、ノズル部分aが背面側(2)に位置している一方、ノズル部分bが前面側(1)に位置している。図示する態様から分かるように、工程(iii)で配置されるガス供給ノズルは、前面側と背面側とで非対称的に形成されている。   Subsequent to step (ii), step (iii) is performed. That is, the gas supply nozzles are arranged on the sides of the front plate and the back plate that are opposed to each other. Specifically, as shown in FIG. 8 (a), the nozzle portion a located on the substrate side to which the glass frit material (86) is applied is located outside the nozzle portion b located on the other substrate side. In addition, a gas supply nozzle (90) is arranged. In particular, in the illustrated embodiment, since the glass frit material is applied to the back side, the nozzle part a is located on the back side (2), while the nozzle part b is located on the front side (1). Yes. As can be seen from the illustrated embodiment, the gas supply nozzle disposed in the step (iii) is formed asymmetrically between the front side and the back side.

図8(b)に拡大して示すように、ガラスフリット材料を塗布した基板側の主面端部Aにガス供給ノズルを密着させると共に、他方の基板側の側面部Bにもガス供給ノズルを密着させる。主面端部Aが側面部Bよりも外側に位置しており、噴出部(92)が設けられているノズル面が実質的に斜めとなり得ることを理解されよう。換言すれば、ガラスフリット材料を塗布した基板側に対して密着させたノズル部分の中で最も内側の位置(“ポイントp”)が、他方の基板の側面位置(“ポイントq”)よりも外側に位置している。   As shown in an enlarged view in FIG. 8B, the gas supply nozzle is brought into close contact with the main surface end A on the substrate side coated with the glass frit material, and the gas supply nozzle is also provided on the side surface portion B on the other substrate side. Adhere closely. It will be understood that the main surface end portion A is located outside the side surface portion B, and the nozzle surface provided with the ejection portion (92) can be substantially inclined. In other words, the innermost position (“point p”) of the nozzle portion in close contact with the substrate side coated with the glass frit material is outside the side surface position (“point q”) of the other substrate. Is located.

このようなガス供給ノズルの構成および配置では、塗布されたガラスフリット材料からより離れた位置にノズルが設けられている。より具体的にいえば、「噴出部(92)が設けられた面が斜めとなっていないノズル」と比べてみると、ノズル部分aがより外側に位置している。要するに、本発明ではノズル部分aの側面K(図8(b)参照)がより外側に位置していることになる。図8(b)には「噴出部(92)が設けられている面が斜めとなっていない場合」のノズル部分a’を点線により示しているので、意図する態様を理解できるであろう。   In such a configuration and arrangement of the gas supply nozzle, the nozzle is provided at a position further away from the applied glass frit material. More specifically, the nozzle portion a is located on the outer side as compared with the “nozzle in which the surface provided with the ejection portion (92) is not inclined”. In short, in the present invention, the side surface K of the nozzle portion a (see FIG. 8B) is located on the outer side. In FIG. 8 (b), the nozzle portion a 'when "the surface on which the ejection portion (92) is provided is not inclined" is indicated by a dotted line, so that the intended mode can be understood.

本発明では、塗布されたガラスフリット材料からより離れた位置にノズルが設けられ、即ち、図示するように背面板に密着したノズル部分aとガラスフリット材料部(86)とは相互により離れているので、工程(v)の封着時にてガラスフリット材料が溶融して背面板表面に濡れ広がったとしても、その溶融ガラスフリット材料がノズル部分aに接触しにくくなっている。つまり、本発明では、溶融ガラスフリット材料とガス供給ノズルとの接触が効果的に防止されており、『冷却により固化したガラスフリット材料に起因してガス供給ノズルが基板にくっついてしまう現象』を回避できる。その結果、パネル排気後にガス供給ノズルを確実に取り外すことができ、PDPの大量生産時の歩留りが向上し得る。   In the present invention, the nozzle is provided at a position farther from the applied glass frit material, that is, the nozzle portion a and the glass frit material portion (86) that are in close contact with the back plate are separated from each other as shown in the figure. Therefore, even when the glass frit material melts and spreads on the back plate surface at the time of sealing in the step (v), the molten glass frit material is difficult to contact the nozzle portion a. That is, in the present invention, the contact between the molten glass frit material and the gas supply nozzle is effectively prevented, and “the phenomenon in which the gas supply nozzle sticks to the substrate due to the glass frit material solidified by cooling”. Can be avoided. As a result, the gas supply nozzle can be reliably removed after exhausting the panel, and the yield during mass production of PDPs can be improved.

尚、噴出部(92)が設けられている面が斜めとなっていることは、溶融ガラスフリット材料とノズル部分bとの接触も防止されていることを意味する。ノズル部分bは側面部B(前面板の側面部)に密着させて設けられるが、図8(b)に示すように、ノズル部分bの側面Lが“斜め”ゆえにガラスフリット材料部(86)から離れる形態となっている。従って、封着時に溶融したガラスフリット材料が背面板表面だけでなく前面板表面にも大きく濡れ広がったとしても、その溶融ガラスフリット材料がノズル部分bにも接触しにくくなっている。   In addition, that the surface in which the ejection part (92) is provided is slanting means that contact with the molten glass frit material and the nozzle part b is also prevented. The nozzle portion b is provided in close contact with the side surface portion B (side surface portion of the front plate). As shown in FIG. 8B, the side surface L of the nozzle portion b is “oblique”, so the glass frit material portion (86). It is a form that leaves. Therefore, even if the glass frit material melted at the time of sealing greatly wets and spreads not only on the back plate surface but also on the front plate surface, the molten glass frit material is difficult to contact the nozzle portion b.

図9にガス供給ノズル(90)を斜視図により示す。図示するように、ガス供給ノズル(90)のガス噴出面は斜めに形成されている。ガス供給ノズルの斜め側面(90a)の角度αは、大きいとノズル部分aおよびbがガラスフリット材料部(86)からより離れるので好ましいが、大きすぎるとガス漏れ空間が大きくなってしまう(ガス漏れ空間は図8(a)にて“Z”で示す点線包囲部分に相当する)。従って、ガス供給ノズルの斜め側面(90a)の角度αは、25°〜65°程度であることが好ましく、より好ましくは35°〜55°程度である(“α”については図9を参照のこと)。このようにガス供給ノズルの側面が斜めに形成されていることによって、溶融ガラスフリット材料との接触を回避しつつも、ガス吹き込み時の漏れをある程度抑えることができる。ガス漏れが減じられると、吹き込み時に使用されるガス量が少なくて済む点で有利である。尚、ガス供給ノズルの噴出口の数は特に制限はないが、例えば、2〜20個程度である。   FIG. 9 is a perspective view showing the gas supply nozzle (90). As illustrated, the gas ejection surface of the gas supply nozzle (90) is formed obliquely. If the angle α of the oblique side surface (90a) of the gas supply nozzle is large, it is preferable because the nozzle portions a and b are further away from the glass frit material portion (86). However, if the angle α is too large, the gas leakage space becomes large (gas leakage). The space corresponds to a dotted line encircled portion indicated by “Z” in FIG. Accordingly, the angle α of the oblique side surface (90a) of the gas supply nozzle is preferably about 25 ° to 65 °, more preferably about 35 ° to 55 ° (see FIG. 9 for “α”). thing). As described above, since the side surface of the gas supply nozzle is formed obliquely, leakage at the time of gas blowing can be suppressed to some extent while avoiding contact with the molten glass frit material. Reducing gas leakage is advantageous in that less gas is used during blowing. The number of jet nozzles of the gas supply nozzle is not particularly limited, but is about 2 to 20, for example.

ガス供給ノズルの配置に際しては、前面板または背面板とガス供給ノズルとを一体的にクリップ部材で保持すること好ましい。例えば、図8(a)に示すように、クリップ部材(70b)でもって背面板とガス供給ノズルとを一体的に保持することが好ましい。クリップ部材で外側から保持するので、ガス供給ノズルの着脱は容易である。ガス供給ノズルの保持は、PDPアライメントと実質的に同時に行ってよい。つまり、図10および図11に示すように示すように、対向配置された前面板(1)および背面板(2)をクリップ部材(70a)で保持すると共に、ガス供給ノズル(90)をクリップ部材(70b)で保持することが好ましい。これにより、それ以降においてアライメントずれを発生させる要因がなくなり、PDP製造工程が簡易、安定かつ低コストで行える。尚、例えば図8(a)に示す態様から良く理解できることであるが、クリップ部材の2つの保持部分は前面側と背面側とで相互に対向する位置となっていることが好ましい。   When arranging the gas supply nozzle, it is preferable that the front plate or the back plate and the gas supply nozzle are integrally held by a clip member. For example, as shown in FIG. 8A, it is preferable to hold the back plate and the gas supply nozzle integrally with the clip member (70b). Since the clip member holds from the outside, the gas supply nozzle can be easily attached and detached. The holding of the gas supply nozzle may be performed substantially simultaneously with the PDP alignment. That is, as shown in FIGS. 10 and 11, the front plate (1) and the back plate (2) arranged to face each other are held by the clip member (70a), and the gas supply nozzle (90) is held by the clip member. It is preferable to hold at (70b). As a result, there is no cause for the occurrence of misalignment thereafter, and the PDP manufacturing process can be performed simply, stably and at low cost. For example, as can be understood well from the mode shown in FIG. 8A, it is preferable that the two holding portions of the clip member are positioned to face each other on the front side and the back side.

工程(iii)に引き続いて、工程(iv)を実施する。即ち、前面板および背面板を加熱下においた状態で、ガス供給ノズルからガスを吹き込む。吹き込まれたガスは、ガラスフリット材料部の複数の吹込み溝部を介してパネル内に流し込まれる。これにより、対向配置された前面板と背面板との間にガスが横方向から吹き込まれることになる。   Subsequent to step (iii), step (iv) is performed. That is, gas is blown from the gas supply nozzle while the front plate and the back plate are heated. The blown gas is poured into the panel through a plurality of blow groove portions of the glass frit material portion. Thereby, gas will be blown in from the lateral direction between the front plate and the back plate arranged to face each other.

加熱には加熱炉または封排炉を用いてよい。即ち、加熱に際しては、「対向配置された前面板および背面板」を加熱炉または封排炉などのチャンバーに投入してよい。かかる場合、ガスの吹込みを常温にて開始しつつ、ガスを吹込みながら「対向配置された前面板および背面板」を炉内で加熱することが好ましい。加熱温度は、「保護層表面の変質層を成す不純物(例えば保護層成分に結合しているCO 2−やOH)」が脱離することになる限り特に制限はなく、例えば350〜450℃程度である。 A heating furnace or a sealed discharge furnace may be used for heating. That is, when heating, the “front plate and back plate arranged opposite to each other” may be put into a chamber such as a heating furnace or a sealed discharge furnace. In such a case, it is preferable to heat the “front plate and the back plate arranged opposite to each other” in the furnace while blowing the gas while starting the blowing of the gas at room temperature. The heating temperature is not particularly limited as long as “impurities forming an altered layer on the surface of the protective layer (for example, CO 3 2− or OH bonded to the protective layer component)” are eliminated, and for example, 350 to 450 It is about ℃.

吹き込まれるガスは、保護層に対して不活性なガスであることが好ましい。例えば、窒素ガスを挙げることができる。また、ヘリウム、アルゴン、ネオンまたはキセノン等の希ガスを用いてもよい。ちなみに、吹き込まれるガスは、少なくとも、水蒸気をほとんど含まないガスであることが望まれる。例えば、吹き込まれるガスの水分濃度は1ppm以下が好ましい。ここでいう「ガスの水分濃度(ppm)」は、ガスの全体積(0℃1気圧の標準状態)に占める水分(水蒸気)の体積割合を百万分率で示したものであり、常套の露点計で測定することによって得られる値を指している。窒素ガスは比較的高価であるので、乾燥空気を用いるとコスト的に効率の良いPDP製造法が実現できる。吹込まれるガス流量は、パネルの大きさ、吹込み溝部の個数やサイズ、ガラスフリット材料部の厚さやその頂部凹凸の大きさ等によって最適値は変わってくるものの、概ね0.1SLM〜10SLMの範囲である(SLM:気体の標準状態において1分間に供給したガスの量をリットルで示す単位)。ガス流量が少なすぎると外部の大気が混入したり、清浄化が不十分になるおそれがある一方、逆にガス流量が多すぎるとコスト的に不利になり得る。   The gas to be blown is preferably a gas inert to the protective layer. For example, nitrogen gas can be mentioned. Further, a rare gas such as helium, argon, neon, or xenon may be used. Incidentally, it is desirable that the gas to be blown in is a gas containing at least almost no water vapor. For example, the moisture concentration of the blown gas is preferably 1 ppm or less. The “gas moisture concentration (ppm)” here is the volume fraction of moisture (water vapor) in the total volume of gas (standard state at 0 ° C. and 1 atm) expressed in parts per million. It refers to the value obtained by measuring with a dew point meter. Since nitrogen gas is relatively expensive, a cost-effective PDP manufacturing method can be realized by using dry air. The optimum flow rate of the gas to be injected varies depending on the size of the panel, the number and size of the blowing grooves, the thickness of the glass frit material portion, the size of the top unevenness, etc., but is generally 0.1 SLM to 10 SLM. Range (SLM: unit of liters of gas delivered per minute at standard gas conditions). If the gas flow rate is too small, external air may be mixed in or the cleaning may be insufficient. Conversely, if the gas flow rate is too high, it may be disadvantageous in terms of cost.

ガス供給ノズルから吹き込まれるガスは、並列的に配された複数の吹込み溝部を介してパネル内部に供されることになるので、結果的に、ガスを前面板と背面板との間へと全体的に流すことができる。ここでいう「前面板と背面板との間へと全体的に流れる」とは、対向配置された前面板と背面板とが相互に重なり合う領域全体を通るようにガスが流れることを実質的に意味している。   Since the gas blown from the gas supply nozzle is supplied to the inside of the panel through a plurality of blowing grooves arranged in parallel, as a result, the gas is passed between the front plate and the back plate. It can be flowed as a whole. As used herein, “overall flows between the front plate and the back plate” means that the gas flows through the entire area where the front plate and the back plate arranged opposite to each other overlap each other. I mean.

環状ガラスフリット材料部の頂部と基板とは接触しているとはいえ、環状ガラスフリット材料部の頂部は完全な平面ではなく数十〜百μm程度の凹凸が存在している。例えば、背面板に形成された環状ガラスフリット材料部の頂部と前面板表面との接触界面には、上記凹凸に起因して僅かな隙間が形成されている。従って、「前面板と背面板との間の空間」へと吹き込まれたガスは、最終的には、環状ガラスフリット材料部と基板との間の隙間領域(例えば、図4(b)でいえば領域M)から排出され得る。尚、必要に応じて、環状ガラスフリット材料部の一部に排出溝部を設けておき、そこから「前面板と背面板との間の空間」へと流れ込んだガスを積極的に排出するようにしてもよい。また、ガス排気ノズルを別途設けて、吹き込まれたガスを強制的にパネル内から排気してもよい。より具体的に言えば、ガス供給ノズルの配置箇所とは異なる「前面板および背面板の側部」に対してガス排気ノズルを設け、前面板と背面板との間に吹き込まれたガスをガス排気ノズルから強制的に排気してよい。排気ノズルは、排気管を通じて排気ポンプに接続されているので、排気ポンプの吸気作用によって、前面板と背面板との間に吹き込まれたガスが強制的に排気される。特に、ガス排気ノズルをガス供給ノズルと対向する位置に設けると(例えば、図4(b)に示す領域Mに設けると)、前面板と背面板との間で形成されるガス流線をより直線的にすることができ、結果的に保護層表面の変質層をより均一性良く除去できる。   Although the top of the annular glass frit material portion and the substrate are in contact with each other, the top of the annular glass frit material portion is not a perfect plane and has irregularities of about several tens to hundreds of micrometers. For example, a slight gap is formed at the contact interface between the top of the annular glass frit material portion formed on the back plate and the surface of the front plate due to the unevenness. Therefore, the gas blown into the “space between the front plate and the back plate” is finally the gap region between the annular glass frit material portion and the substrate (for example, FIG. 4B). From the region M). In addition, if necessary, a discharge groove is provided in a part of the annular glass frit material portion, and the gas flowing from there to the “space between the front plate and the back plate” is positively discharged. May be. Further, a gas exhaust nozzle may be separately provided to forcibly exhaust the injected gas from the panel. More specifically, a gas exhaust nozzle is provided for the “side portions of the front plate and the back plate” that are different from the locations of the gas supply nozzles, and the gas blown between the front plate and the back plate is gas. The exhaust nozzle may be forcibly exhausted. Since the exhaust nozzle is connected to the exhaust pump through the exhaust pipe, the gas blown between the front plate and the back plate is forcibly exhausted by the intake action of the exhaust pump. In particular, when the gas exhaust nozzle is provided at a position facing the gas supply nozzle (for example, provided in the region M shown in FIG. 4B), the gas flow lines formed between the front plate and the back plate are more improved. As a result, the altered layer on the surface of the protective layer can be removed with higher uniformity.

工程(iv)に引き続いて、工程(v)を実施する。即ち、環状ガラスフリット材料部を溶融させることによって、前面板と背面板とを封着させる。より具体的には、加熱により環状ガラスフリット材料部を溶融させて前面板と背面板とを周辺領域で気密接合させる。工程(v)の加熱温度は、環状ガラスフリット材料部が溶融できる温度であれば特に制限はない。即ち、一般的なPDP製造に際して用いられる「封着温度」であってよく、例えば400℃〜500℃程度の温度である。工程(v)の封着の実施に際して、工程(iv)のガスの吹き込みを併せて行ってもよい。これについて以下に詳述する。   Subsequent to step (iv), step (v) is performed. That is, the front plate and the back plate are sealed by melting the annular glass frit material portion. More specifically, the annular glass frit material portion is melted by heating, and the front plate and the back plate are hermetically bonded in the peripheral region. The heating temperature in the step (v) is not particularly limited as long as the annular glass frit material part can be melted. That is, it may be a “sealing temperature” used in general PDP production, for example, a temperature of about 400 ° C. to 500 ° C. When performing the sealing in the step (v), the gas may be blown in the step (iv). This will be described in detail below.

ガスの吹込みは、常温において開始する。また、ガスを吹込みながら「対向配置された前面板および背面板」を炉内で加熱する。ガラスフリットの軟化点を越えると環状ガラスフリット材料部が軟化・溶融し、徐々に環状ガラスフリット材料部と前面板との間の隙間(即ち、上述のガラスフリット材料部の頂部に存在する凹凸部)が埋まっていく。このようなガラスフリット材料部の軟化・溶融に起因して、吹込み溝部は徐々に塞がれることになる。最終的には吹込み溝部が完全に塞がれることになるが、それによって、ガス供給ノズルから吹き込まれるガスが、前面板と背面板との間に流れることができず、パネル内部へのガス供給が自動的に停止することになる。このように封着処理時にガス吹込みが自動的に停止することは、ガスの使用量を最小限に抑制できることを意味している。軟化後では、環状ガラスフリット材料部が完全に溶融する温度域(例えばガラスフリットの溶融温度よりも10〜70℃程度高い温度)にて数分〜十数分パネルを保持した後で冷却する。これにより、ガラスフリット材料が硬化し、前面板と背面板とが確実に封着されることになる。   Gas blowing starts at room temperature. Further, the “front and back plates arranged opposite to each other” are heated in the furnace while blowing gas. When the softening point of the glass frit is exceeded, the annular glass frit material portion softens and melts, and gradually the gap between the annular glass frit material portion and the front plate (that is, the uneven portion present at the top of the glass frit material portion described above). ) Will fill up. Due to such softening and melting of the glass frit material portion, the blowing groove portion is gradually closed. Eventually, the blowing groove is completely closed, but the gas blown from the gas supply nozzle cannot flow between the front plate and the back plate, and the gas into the panel is not allowed to flow. Supply will automatically stop. Thus, the fact that gas blowing automatically stops during the sealing process means that the amount of gas used can be minimized. After the softening, the panel is held for several minutes to several tens of minutes in a temperature range where the annular glass frit material part is completely melted (for example, a temperature about 10 to 70 ° C. higher than the melting temperature of the glass frit), and then cooled. As a result, the glass frit material is cured, and the front plate and the back plate are securely sealed.

封着後においては、「封着された前面板および背面板」を封着時よりも若干低温(即ち、ガラスフリット材料の固化状態が維持される温度であって、ガラスフリット材料の溶融温度よりも10〜50℃程度低い温度)に保持しながら、前面板と背面板との間を真空排気する。   After sealing, the “sealed front plate and back plate” are slightly lower in temperature than when sealed (that is, the temperature at which the solidified state of the glass frit material is maintained, which is higher than the melting temperature of the glass frit material. The temperature between the front plate and the back plate is evacuated while being maintained at a temperature of about 10 to 50 ° C.).

真空排気操作が完了すると、前面板と背面板との間に放電ガスを封入する。封入すべき放電ガスとしては、XeとNeの混合ガスを例示できるものの、Xeのみを封入してもよいし、Heを混入させたものであってもよい。このような排気および封入は、前面板または背面板に設けられた貫通孔を介して行うことが好ましい。図12には、背面板(2)に設けられた貫通孔(29)が示されている。かかる「貫通孔」は、対向配置された前面板と背面板との間のガスを排気し、放電ガスを供給することを可能にするものであれば、どのような形状・形態・サイズであってもかまわない(例えば、円形状の貫通孔の場合、直径サイズは1〜5mm程度である)。また、貫通孔(29)は、ガラスフリット材料部が供される領域よりも内側に位置することが必要であるものの、完成されたPDPの画像表示を妨げることがないように、PDP表示部ではない前面板または背面板の周辺部分に位置することが好ましい。貫通孔の形成は、例えば、前面板または背面板を準備した後に、ドリル加工またはレーザー加工などの適当な方法で形成することができる。貫通孔を背面板側に設ける場合、蛍光体のペースト原料を塗布して乾燥させた後に貫通孔を設けることが好ましい。   When the evacuation operation is completed, a discharge gas is sealed between the front plate and the back plate. As the discharge gas to be sealed, a mixed gas of Xe and Ne can be exemplified, but only Xe may be sealed or He may be mixed. Such exhaust and sealing are preferably performed through a through hole provided in the front plate or the back plate. FIG. 12 shows a through hole (29) provided in the back plate (2). Such a “through hole” can have any shape, form, and size as long as it can exhaust the gas between the front plate and the back plate arranged opposite to each other and supply the discharge gas. (For example, in the case of a circular through-hole, the diameter size is about 1 to 5 mm). Further, although the through-hole (29) needs to be positioned inside the region where the glass frit material portion is provided, in the PDP display portion, the image display of the completed PDP is not hindered. It is preferably located in the peripheral part of the front plate or the back plate not present. The through hole can be formed by an appropriate method such as drilling or laser processing after preparing the front plate or the back plate, for example. When providing the through hole on the back plate side, it is preferable to provide the through hole after the phosphor paste material is applied and dried.

「貫通孔(29)」およびそれに関連するパーツについて詳述しておく。貫通孔(29)には、図12に示すように、チップ管(55)がフリットリング(56)を介して設けられている。チップ管(55)の端部には、配管(58)の先端部を構成するチャックヘッド(57)が接続されている。チャックヘッド(57)には水冷配管・シール機構(図示せず)が配置されており、チップ管(55)および配管(58)が封着温度にまで昇温された場合においても一体的に密閉構造が維持されるように構成されている。配管(58)にはガス供給装置及び排気装置(図示せず)が接続されているので、貫通孔(29)を介して、前面板と背面板との間のガスを排気できたり、あるいは、かかる空間へと放電ガスを供給できるようになっている。尚、フリットリング(56)は、ガラスフリット材料を固形化させた環状の固形物である。従って、炉内を溶融温度まで昇温した後に降温すると、フリットリング(56)がガラスフリット材料と同様に溶融・固化するので、背面板(2)とチップ管(55)とが相互に接着される。   The “through hole (29)” and related parts will be described in detail. As shown in FIG. 12, a tip tube (55) is provided in the through hole (29) via a frit ring (56). A chuck head (57) constituting the tip of the pipe (58) is connected to the end of the tip tube (55). The chuck head (57) is provided with a water-cooled pipe / seal mechanism (not shown), and even when the tip pipe (55) and the pipe (58) are heated to the sealing temperature, they are sealed together. The structure is configured to be maintained. Since the gas supply device and the exhaust device (not shown) are connected to the pipe (58), the gas between the front plate and the back plate can be exhausted through the through hole (29), or The discharge gas can be supplied to such a space. The frit ring (56) is an annular solid material obtained by solidifying a glass frit material. Accordingly, when the temperature in the furnace is raised to the melting temperature and then the temperature is lowered, the frit ring (56) is melted and solidified in the same manner as the glass frit material, so that the back plate (2) and the tip tube (55) are bonded to each other. The

ちなみに、ガス吹込み時(即ち、工程(iv))においては、貫通孔(29)は実質的に“閉”の状態にされていることに留意されたい。より具体的には、チップ管(55)は、フリットリング(56)を介して貫通孔(29)に合わせて背面板(2)に押し当てられるものであるが、「チップ管(55)とフリットリング(56)とが接触する面」および「フリットリング(56)と背面板(2)とが接触する面」が平滑面なので、これらの面におけるガスの漏洩はほとんど無い。そして、チップ管(55)と連通した配管(58)に設けられたバルブのうち、もっともチップ管(55)に近い側のバルブを閉じた状態でガスを吹込むことになるので、チップ管(55)を介したガスの漏洩もほとんど無いことになる。   Incidentally, it should be noted that the through-hole (29) is substantially in a “closed” state during gas injection (ie, step (iv)). More specifically, the tip tube (55) is pressed against the back plate (2) in accordance with the through hole (29) through the frit ring (56). Since the “surface in contact with the frit ring (56)” and the “surface in which the frit ring (56) and the back plate (2) are in contact” are smooth surfaces, there is almost no gas leakage on these surfaces. Since the gas is blown in a state where the valve closest to the tip pipe (55) among the valves provided in the pipe (58) communicating with the tip pipe (55) is closed, the tip pipe ( There is almost no leakage of gas via 55).

《製造フロー》
本発明の実施形態を経時的に説明しておく。図13は、本発明に係るPDP製造方法の概略を示すフローチャートである。図示するように、まず、前面板と背面板とを準備する。次いで、アライメント装置内にて前面板および背面板の位置合わせを行った後、前面板と背面板とをガラスフリット材料を介して対向させて保持する。次に、「前面板と背面板との間の側部」にガス供給ノズルを設ける。また、背面板に設けた貫通穴に合わせてチップ管を取り付ける。保護層の形成からこの時点までは、保護層が大気に曝露されるため、保護層表面には変質層が形成され得る。次いで、ガス供給ノズルを介して「表面板と背面板との間の空間」へとガスを吹き込む。そして、ガスの吹込みを行いながら表面板及び背面板を炉内で加熱し、ガラスフリット材料を溶融させて前面板と背面板とを封着する。引き続いて、前面板および背面板を封着時よりも若干低温に保持しながら、前面板と背面板との間の空間が真空状態になるまでチップ管を介してガス排気する。この排気処理が完了した後、前面板および背面板をほぼ常温になるまで冷却させる。冷却後、「表面板と背面板との間の空間」に放電ガスを導入し、所定の圧力にて放電ガスの導入を停止する(封入)。そして、最終的にはチップ管を切断し、ガス供給ノズルを取り外すことでPDPが完成する。
<Production flow>
Embodiments of the present invention will be described over time. FIG. 13 is a flowchart showing an outline of the PDP manufacturing method according to the present invention. As shown in the figure, first, a front plate and a back plate are prepared. Next, after aligning the front plate and the back plate in the alignment apparatus, the front plate and the back plate are held facing each other through the glass frit material. Next, a gas supply nozzle is provided at the “side portion between the front plate and the back plate”. In addition, a chip tube is attached in accordance with a through hole provided in the back plate. From the formation of the protective layer to this point, since the protective layer is exposed to the atmosphere, an altered layer can be formed on the surface of the protective layer. Next, gas is blown into the “space between the front plate and the back plate” through the gas supply nozzle. Then, the front plate and the back plate are heated in the furnace while blowing the gas to melt the glass frit material and seal the front plate and the back plate. Subsequently, gas is exhausted through the tip tube until the space between the front plate and the back plate is in a vacuum state while maintaining the front plate and the back plate at a temperature slightly lower than that at the time of sealing. After this exhaust process is completed, the front plate and the back plate are cooled to approximately room temperature. After cooling, the discharge gas is introduced into the “space between the front plate and the back plate”, and the introduction of the discharge gas is stopped at a predetermined pressure (encapsulation). Finally, the chip tube is cut and the gas supply nozzle is removed to complete the PDP.

《本発明の変更態様》
本発明で用いるガス供給ノズルには種々の形態が考えられる。特に、本発明の特徴的部分である「ガラスフリット材料を塗布した基板側に位置するノズル部分aが、他方の基板側に位置するノズル部分bよりも外側となっている」態様には、種々の形態が考えられる。以下それについて詳述する。
<< Modified aspect of the present invention >>
Various forms are conceivable for the gas supply nozzle used in the present invention. In particular, there are various modes in which “the nozzle part a located on the substrate side coated with the glass frit material is outside the nozzle part b located on the other substrate side”, which is a characteristic part of the present invention. Can be considered. This will be described in detail below.

(段差状のノズル側面)
本発明の工程(iii)で配置されるガス供給ノズルは、図14(a)および(b)に示すような形態を有するものであってよい。つまり、噴出部(92)が設けられた面が段差状になっているものであってもよい。かかる場合であっても、図15に示すように、ガラスフリット材料(86)を塗布した基板側の主面端部Aにガス供給ノズルを密着させると共に、他方の基板側の側面部Bにもガス供給ノズルを密着させる。図示する態様から分かるように、「噴出口が設けられた面が段差状になっているガス供給ノズル」であっても、図8ないしは図9で示した「噴出口が設けられた面が斜面状になっているガス供給ノズル」と同様の効果が奏されることを理解できるであろう。また、図14の(a)と(b)との違いからも分かるように、噴出口(吐出口)の形状は、特に制限されるものでなく、例えば図14(a)のような円形状であってもよいし、図14(b)のような四角形状であってもよい。
(Stepped nozzle side)
The gas supply nozzle arranged in the step (iii) of the present invention may have a form as shown in FIGS. 14 (a) and 14 (b). That is, the surface on which the ejection portion (92) is provided may be stepped. Even in such a case, as shown in FIG. 15, the gas supply nozzle is brought into close contact with the main surface end A on the substrate side coated with the glass frit material (86), and also on the side surface B on the other substrate side. Close contact with the gas supply nozzle. As can be seen from the illustrated embodiment, even if it is a “gas supply nozzle having a stepped surface on which a jet port is provided”, the “surface on which the jet port is provided is a slant surface as shown in FIG. 8 or FIG. 9. It will be understood that the same effect as the “gas supply nozzle in the shape” is produced. Further, as can be seen from the difference between FIG. 14A and FIG. 14B, the shape of the ejection port (discharge port) is not particularly limited, and for example, a circular shape as shown in FIG. Or a quadrangular shape as shown in FIG.

(開放構造を有するガス供給部材)
ガス供給ノズルは、図16(a)および(b)に示すような開放構造を有するものであってもよい。つまり、ガス供給ノズルは、ガス噴出口以外にも開口した形態を有していてよい。別の表現を用いれば、ガス供給ノズルは、マニホールド部および噴出部の少なくとも一方の頂部が開いた形態となっており、ガラスフリット材料が塗布された基板側に対して密着させるノズル部分が開放構造を有している。かかる場合、ガス供給ノズルのマニホールド部(91)および/またはガス噴出部(92)を中空構造にする必要がない。その結果、ガス供給ノズルの加工が比較的容易となり(より具体的にいえば、“加工しにくい閉じた空間形態のマニホールド部”などを形成しなくてよい)、低コストのPDP製造に資することになる。かかる場合であっても、図17に示すように、ガラスフリット材料を塗布した基板側の主面端部Aにガス供給ノズルを密着させると共に、他方の基板側の側面部Bにもガス供給ノズルを密着させる(図示する態様では、開口したノズル部分を背面側(2)の主面端部Aに密着させている)。図示する態様から分かるように、「開放構造を有するガス供給ノズル」であっても、図8ないしは図9で示した「中空構造を有するガス供給ノズル」と同様の効果が奏されることを理解できるであろう。尚、図16(a)および(b)にて部分的に示すように、噴出口(92)は天井部(92a)を備えた形態であってもよい。
(Gas supply member having an open structure)
The gas supply nozzle may have an open structure as shown in FIGS. In other words, the gas supply nozzle may have a form that is open other than the gas ejection port. In other words, the gas supply nozzle has a shape in which the top of at least one of the manifold part and the ejection part is open, and the nozzle part that is in close contact with the substrate side coated with the glass frit material is open. have. In such a case, the manifold part (91) and / or the gas ejection part (92) of the gas supply nozzle need not have a hollow structure. As a result, processing of the gas supply nozzle becomes relatively easy (more specifically, it is not necessary to form a “manifold portion in a closed space form that is difficult to process”), which contributes to low-cost PDP manufacturing. become. Even in such a case, as shown in FIG. 17, the gas supply nozzle is brought into close contact with the main surface end A on the substrate side coated with the glass frit material, and the gas supply nozzle is also applied to the side surface portion B on the other substrate side. (In the embodiment shown in the figure, the opened nozzle portion is in close contact with the main surface end A on the back side (2)). As can be seen from the illustrated embodiment, it is understood that the “gas supply nozzle having an open structure” has the same effect as the “gas supply nozzle having a hollow structure” shown in FIGS. It will be possible. As shown partially in FIGS. 16 (a) and 16 (b), the jet port (92) may have a ceiling (92a).

(ガス漏れ防止構造を有するガス供給ノズル)
ガス吹込み時のガス漏れを効果的に防止する観点からは、ガス供給ノズル(90)を図18に示すような形態にしてもよい。つまり、エッジ部SおよびTを残してノズル斜面(90a)を形成してもよい。かかる形態では、ガス供給ノズルを前面板および背面板の側部に配置した際、図8(a)にて“Z”で示すガス漏れ空間が実質的に閉空間を形成し得るので、ガス吹き込み時のガス漏れを効果的に防止できる。
(Gas supply nozzle with gas leakage prevention structure)
From the standpoint of effectively preventing gas leakage during gas blowing, the gas supply nozzle (90) may be configured as shown in FIG. That is, the nozzle slope (90a) may be formed leaving the edge portions S and T. In such a form, when the gas supply nozzles are arranged on the sides of the front plate and the back plate, the gas leakage space indicated by “Z” in FIG. 8A can form a substantially closed space. The gas leak at the time can be effectively prevented.

(サブ部材から成るガス供給ノズル)
ガス供給ノズルは、複数のサブ・ガス供給ノズルから構成してもよい。具体的には、図19に示すように、サブ・ガス供給ノズル(90,90,・・・)をパネルのエッジに沿うように直線状に配置してもよい。かかる場合、隣り合うサブ・ガス供給ノズルの間には隙間が形成されないようにすることが好ましい。また、サブ・ガス供給ノズルの各々に対してはクリップ部材を少なくとも1つ設けることが好ましい。このようなサブ構成とすることによって、各々のガスノズルの加工が容易となるだけでなく、背面板または表面板の反りに起因して生じるガスノズルと各ガラス基板との間の隙間をより小さくできる。尚、図19の(a)と(b)との違いからも分かるように、ガス供給管(95)の配置形態は、特に制限されるものでなく、ガスノズルの中央に設けてもよいし、そうでなくてもよい。但し、ガス導入の均一性を向上させる観点からは、ガス供給管をガスノズルの中央部に設けることが好ましい。
(Gas supply nozzle consisting of sub members)
The gas supply nozzle may be composed of a plurality of sub-gas supply nozzles. Specifically, as shown in FIG. 19, the sub-gas supply nozzles (90 a , 90 b ,...) May be arranged linearly along the edge of the panel. In this case, it is preferable not to form a gap between adjacent sub-gas supply nozzles. Further, it is preferable to provide at least one clip member for each of the sub-gas supply nozzles. With such a sub-configuration, not only the processing of each gas nozzle is facilitated, but also the gap between the gas nozzle and each glass substrate generated due to warping of the back plate or the front plate can be made smaller. As can be seen from the difference between (a) and (b) in FIG. 19, the arrangement of the gas supply pipe (95) is not particularly limited, and may be provided at the center of the gas nozzle. It may not be so. However, from the viewpoint of improving the uniformity of gas introduction, it is preferable to provide the gas supply pipe at the center of the gas nozzle.

《放電開始電圧の変動幅の確認試験》
本発明の効果を確かめるために、放電開始電圧の変動幅(以下、「変動幅」と略す)の面内分布を従来例と本発明とで比較した。あるパネルの所定位置の放電開始電圧をVf1として測定し、パネルを15分間連続で点灯させた後、基板温度が常温まで低下した後再び同一場所の放電開始電圧をVf2として測定し、その差の絶対値|Vf1−Vf2|を変動幅として定義した。変動幅は、PDPの残像特性に関わる指標であり、パネル面内では変動幅が均一であることが望まれる。結果を図20に示す。図20(a)は、従来例の結果であり、図20(b)は本発明の結果を示している(尚、パネル中央部の変動幅を1.00とした場合の各位置の変動幅を相対値で示している)。ここで、従来例とは、ガラス管を1つとし、封着前まではこのガラス管から乾燥ガスをパネル内に供給し、封着後にガラス管から排気を行ったものである。図20に示す結果から明らかなように、本発明の製造方法を用いると、均一性の改善が顕著であることが分かった。
<Confirmation test of fluctuation range of discharge start voltage>
In order to confirm the effect of the present invention, the in-plane distribution of the fluctuation width (hereinafter, abbreviated as “fluctuation width”) of the discharge start voltage was compared between the conventional example and the present invention. The discharge start voltage at a predetermined position of a certain panel is measured as V f1 , the panel is continuously lit for 15 minutes, and then the discharge start voltage at the same place is again measured as V f2 after the substrate temperature has dropped to room temperature. The absolute value of the difference | V f1 −V f2 | was defined as the fluctuation range. The fluctuation range is an index related to the afterimage characteristics of the PDP, and it is desirable that the fluctuation range is uniform within the panel surface. The results are shown in FIG. 20A shows the result of the conventional example, and FIG. 20B shows the result of the present invention (note that the fluctuation width at each position when the fluctuation width at the center of the panel is 1.00). Is shown as a relative value). Here, the conventional example is one in which one glass tube is used, dry gas is supplied from the glass tube into the panel before sealing, and exhausted from the glass tube after sealing. As is apparent from the results shown in FIG. 20, it was found that the use of the production method of the present invention significantly improves the uniformity.

本発明の製造方法を通じて最終的に得られるPDPは、パネル寿命に優れているので、一般家庭向けのプラズマテレビおよび商業用プラズマテレビとして好適に用いることができるだけでなく、その他の各種表示デバイスとしても好適に用いることができる。   Since the PDP finally obtained through the manufacturing method of the present invention has an excellent panel life, it can be suitably used as a plasma television for general homes and a commercial plasma television as well as other various display devices. It can be used suitably.

1 前面板
2 背面板
10 前面板側の基板A
11 前面板側の電極A(表示電極)
12 走査電極
12a 透明電極
12b バス電極
13 維持電極
13a 透明電極
13b バス電極
14 ブラックストライプ(遮光層)
15 前面板側の誘電体層A
16 保護層
20 背面板側の基板B
21 背面板側の電極B(アドレス電極)
22 背面板側の誘電体層B
23 隔壁
23a 長辺方向に沿って延在する隔壁
23b 短辺方向に沿って延在する隔壁
25 蛍光体層
29 貫通孔(封入処理用)
30 放電空間
32 放電セル
55 チップ管
56 フリットリング
57 チャックヘッド
58 配管
70 クリップ部材
70a 基板保持用のクリップ部材
70b ガス供給ノズル保持用のクリップ部材
86 ガラスフリット材料部
86’ 封着処理後のガラスフリット封着部
86a 吹込み溝部
86b ガス排出溝部
90 ガス供給ノズル
90a ガス供給ノズルの斜め側面
90 サブ・ガス供給ノズル
90 サブ・ガス供給ノズル
91 ガス供給ノズルのマニホールド部
92 ガス供給ノズルの噴出口
92a 天井部
95 ガス供給管
100 PDP
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front board 2 Back board 10 Board | substrate A by the front board side
11 Front panel side electrode A (display electrode)
12 Scan electrode 12a Transparent electrode 12b Bus electrode 13 Sustain electrode 13a Transparent electrode 13b Bus electrode 14 Black stripe (light shielding layer)
15 Dielectric layer A on the front plate side
16 Protective layer 20 Substrate B on the back plate side
21 Back plate side electrode B (address electrode)
22 Dielectric layer B on the back plate side
23 partition wall 23a partition wall extending along the long side direction 23b partition wall extending along the short side direction 25 phosphor layer 29 through-hole (for encapsulation treatment)
30 discharge space 32 discharge cell 55 chip tube 56 frit ring 57 chuck head 58 piping 70 clip member 70a clip member 70b for holding the substrate 70b clip member for holding the gas supply nozzle 86 glass frit material portion 86 'glass frit after sealing processing the sealing portion 86a blown groove 86b gas discharge grooves 90 gas supply nozzle 90a the gas supply oblique sides 90 a sub-gas supply nozzle 90 b sub-gas supply nozzle 91 manifold 92 gas supply spout of a nozzle of the gas supply nozzles of the nozzle 92a Ceiling 95 Gas supply pipe 100 PDP

Claims (4)

プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
(i)基板A上に電極Aと誘電体層Aと保護層とが形成された前面板、および、基板B上に電極Bと誘電体層Bと隔壁と蛍光体層とが形成された背面板を準備する工程、
(ii) 基板Aまたは基板Bの主面の周辺領域にガラスフリット材料を塗布し、ガラスフリット材料を挟むように前面板と背面板とを対向配置する工程、
(iii)対向配置された前面板および背面板の側部にてガス供給ノズルを配置する工程、
(iv)前面板および背面板を加熱下においた状態で、ガス供給ノズルからガスを吹き込み、対向配置された前面板と背面板との間にガスを横方向から吹き込む工程、ならびに
(v)ガラスフリット材料を溶融させて、前面板と背面板とを封着させる工程
を含んで成り、
工程(iii)で配置されたガス供給ノズルにつき、ガラスフリット材料を塗布した基板側に位置するノズル部分aが、他方の基板側に位置するノズル部分bよりも外側となっていることを特徴とする製造方法。
A method for manufacturing a plasma display panel, comprising:
(i) A front plate in which the electrode A, the dielectric layer A, and the protective layer are formed on the substrate A, and a back in which the electrode B, the dielectric layer B, the barrier rib, and the phosphor layer are formed on the substrate B. Preparing a face plate,
(ii) applying a glass frit material to a peripheral region of the main surface of the substrate A or the substrate B, and disposing the front plate and the back plate so as to sandwich the glass frit material;
(Iii) a step of disposing a gas supply nozzle at the side portions of the front plate and the back plate arranged to face each other;
(Iv) A step of blowing gas from a gas supply nozzle in a state where the front plate and the rear plate are heated, and blowing a gas from the lateral direction between the front plate and the rear plate arranged opposite to each other, and (v) glass Melting the frit material and sealing the front plate and the back plate,
The gas supply nozzle arranged in the step (iii) is characterized in that the nozzle portion a located on the substrate side coated with the glass frit material is outside the nozzle portion b located on the other substrate side. Manufacturing method.
工程(iii)では、前面板または背面板とガス供給ノズルとを一体的にクリップ部材で保持することを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein in step (iii), the front plate or the back plate and the gas supply nozzle are integrally held by a clip member. ガス供給ノズルが、ガス噴出口以外にも開口した形態を有しており、工程(iii)では、前記開口しているノズル部分を基板Aまたは基板Bの主面端部に密着させることを特徴とする、請求項1または2に記載の製造方法。   The gas supply nozzle has a form opened other than the gas outlet, and in the step (iii), the opened nozzle part is brought into close contact with the main surface end of the substrate A or the substrate B. The manufacturing method according to claim 1 or 2. 工程(iii)のガス供給ノズルの配置箇所とは異なる「前面板および背面板の側部」に対してガス排気ノズルを設け、
工程(iv)では、前面板と背面板との間に吹き込まれたガスをガス排気ノズルを介して排気することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の製造方法。
A gas exhaust nozzle is provided for the “side portions of the front plate and the back plate” different from the arrangement location of the gas supply nozzle in the step (iii),
The manufacturing method according to claim 1, wherein in step (iv), the gas blown between the front plate and the back plate is exhausted through a gas exhaust nozzle.
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