JP2010272944A - 光配線システム - Google Patents
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Abstract
【課題】システム全体の低コスト化、消電力化および小型化を可能にしたLSI光配線システムを提供する。
【解決手段】モード同期レーザ光源と、モード同期レーザ光源から出力される光のうち光クロックを伝送するためのクロック光配線、モード同期レーザ光源から入力される光を光データに変換する1または複数の光変調器、および1または複数の光変調器のそれぞれに接続されたデータ光配線を含む光配線部と、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】モード同期レーザ光源と、モード同期レーザ光源から出力される光のうち光クロックを伝送するためのクロック光配線、モード同期レーザ光源から入力される光を光データに変換する1または複数の光変調器、および1または複数の光変調器のそれぞれに接続されたデータ光配線を含む光配線部と、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、チップ上やチップ間で光を伝送するための光配線を有するLSI(Large Scale Integrated Circuit)で用いられる光配線システムに関する。
トランジスタの小型化に伴い、LSIなどの半導体集積回路の集積度が向上し、電気信号の処理速度も向上し続けている。ここで、半導体集積回路における電気配線での信号伝送においては、特にチップ内においても比較的長距離な配線であるグローバル配線では、配線遅延または信号のスキューもしくはジッター等の問題が重大になりつつある。また、電気配線での信号伝送では、隣接する電気配線間のクロストークによる信号劣化の問題や、半導体集積回路周辺からのノイズによる影響を受けるという問題がある。
これらの問題の解決方法の1つとして、半導体集積回路の電気配線の一部を、光による配線構造に置き換える技術が立ち上りつつある。一つの具体的な構造の形成例としては、半導体集積回路とは別の基板上に形成した光配線層を電気配線層の上に貼り合わせ、半導体集積回路の電気配線層の上に光配線層を形成した構造を作製する手法が開示されている(例えば、非特許文献1の図2、図4を参照)。
この光配線層には、光信号を導波させる光導波路と、半導体集積回路からの電気信号を光信号に変換する光変調素子と、伝搬してきた光信号を電気信号に変換する受光素子等が搭載されている。光源はLSIの外側に設けられ、光源から出力される光は光導波路を介して光配線層に入力される。半導体集積回路を含む半導体層から電気的に伝搬された電気信号は、光源からの光を用いた光信号に光変調素子で変換される。また、受光素子から出力される電気信号は、半導体層へと電気的な接続を通して伝搬される。使用される光源として、光クロック配信システムとコア間バスシステムのそれぞれの用途に合った光源が別々に設置されていた。光源を温度制御する場合には、それぞれの光源に温度制御機構を設ける必要があった。
一方、波長多重を実現する多波長光源の一例が特許文献1に開示されている。この多波長光源は、波長多重通信システム用途において、パルス光源を時分割多重して所定繰り返し周波数の整数倍の光パルスを出力し、所定繰り返し周波数の整数倍の光パルスを分波し多波長光源として出力するものである(特許文献1の図3を参照)。このようにして、簡単な構成で複数の単一波長光源が得られることが報告されている。また、スペクトル拡散装置を時分割多重装置の前あるいは後に配置することによって周波数帯域を逓倍することが報告されている(特許文献1の図8、図9を参照)。
西研一、大橋啓之、「LSIオンチップ光配線技術」、信学技報、第107巻、第372号、LQE2007−118、第27頁〜第32頁、2007年12月
LSIシステムでは、波長多重通信システムとは異なり、クロック同期を取ることが一般的である。このことは、非特許文献1に開示されたLSI光配線システムにおいても同様である。そのため、LSI光配線システムでは、外部光源としてクロック光源と多波長光源の両方が必要である。しかし、多波長光源およびクロック光源のそれぞれは、独立しており、構成も複雑で、実装コストも高価である。ボード上に搭載するLSI光配線チップとしての外部光源は極力低電力化、小型化する必要があるが、これが難しいという課題があった。
本発明は上述したような技術が有する問題点を解決するためになされたものであり、システム全体の低コスト化、省電力化および小型化を可能にした光配線システムを提供することを目的とする。
上記目的を達成するための本発明の光配線システムは、
モード同期レーザ光源と、
前記モード同期レーザ光源から出力される光のうち光クロックを伝送するためのクロック光配線、前記モード同期レーザ光源から入力される光を光データに変換する1または複数の光変調器、および該1または複数の光変調器のそれぞれに接続されたデータ光配線を含む光配線部と、
を有する構成である。
モード同期レーザ光源と、
前記モード同期レーザ光源から出力される光のうち光クロックを伝送するためのクロック光配線、前記モード同期レーザ光源から入力される光を光データに変換する1または複数の光変調器、および該1または複数の光変調器のそれぞれに接続されたデータ光配線を含む光配線部と、
を有する構成である。
本発明によれば、クロック光源と多波長光源の機能を単一の光源で実現できるので、複数の光源を設ける場合に比べて、システムの小型化を図れるだけでなく、各波長あたりの消費電力および実装コストを低減できる。
(第1の実施形態)
本実施形態の光配線システムの一例としてLSI光配線システムの構成を説明する。図1は本実施形態のLSI光配線システムの一構成例を示すブロック図である。
本実施形態の光配線システムの一例としてLSI光配線システムの構成を説明する。図1は本実施形態のLSI光配線システムの一構成例を示すブロック図である。
図1に示すように、LSI光配線システム1は、外部光源となるモード同期レーザ2と、モード同期レーザ2に接続されたLSI光配線部3とを有する。同期した信号をLSI光配線部3に供給する電気信号回路7がLSI光配線部3に接続されている。LSI光配線部3は、複数のフィルタと、受光器61と、光変調器62、63と、光機能回路ブロック56とを有する。複数のフィルタとして、クロック分離フィルタ41、波長選択フィルタ42および波長選択フィルタ43がある。
モード同期レーザ2は入力光配線50を介してクロック分離フィルタ41と接続されている。クロック分離フィルタ41にクロック光配線51および光配線52のそれぞれが接続されている。クロック光配線51は受光器61と接続されている。また、光配線52に波長選択フィルタ42および波長選択フィルタ43が直列に接続されている。波長選択フィルタ42は光配線53を介して光変調器62と接続され、波長選択フィルタ43は光配線54を介して光変調器63と接続されている。
なお、図1に示すように、波長選択フィルタ43には光配線54以外にも光配線55が接続されていてもよく、この場合、光配線54と同様にして光配線55に波長選択フィルタおよび光変調器を接続し、クロック分離フィルタ41から出力される光の分岐数をさらに増やしてもよい。
受光器61は、クロック電気配線81を介して電気信号回路7と接続されている。光変調器62は、信号電気配線82を介して電気信号回路7と接続され、データ光配線531を介して光機能回路ブロック56と接続されている。光変調器63は、信号電気配線83を介して電気信号回路7と接続され、データ光配線541を介して光機能回路ブロック56と接続されている。なお、図中の矢印は、各配線において光または電気信号が伝送される方向を示す。
図2は本実施形態のLSI光配線システムの各光配線における光スペクトルを示す。図2(a)はモード同期レーザ2の出力を示す光スペクトルである。図2(b)はクロック分離フィルタ41からクロック光配線51を介して受光器61に伝送される光クロックの光スペクトルを示す。図2(c)はクロック分離フィルタ41から光配線52を介して波長選択フィルタ42に伝送される光の光スペクトルを示す。図2(d)は波長選択フィルタ42から光配線53を介して光変調器62に伝送される光の光スペクトルを示す。図2(e)は波長選択フィルタ43から光配線54を介して光変調器63に伝送される光の光スペクトルを示す。
以下に、図1に示した各構成について、図2に示した光スペクトルを参照しながら、詳しく説明する。
モード同期レーザ2は、図2(a)に示すように、縦モードの光周波数間隔および位相間隔が一定間隔の光出力で、時間軸上では一定間隔の短パルス列を発生する。中心光周波数をf0とすると中心波長λ0は、λ0=c/f0(cは光の速度)となる。縦モード間隔を光周波数でΔfとすると、波長ではΔλ〜Δf・c/(f0)2となる。このときの短パルス列の繰り返し周波数はΔfとなり、周期はT=1/Δfで示される。共振器長をLとし、実効屈折率をneffとしたとき、繰り返し周波数Δfは、Δf=c/(2neff・L)となる。
モード同期レーザ2として、例えば、半導体レーザやファイバリングレーザを適用することが可能である。モード同期半導体レーザには、2つの電極を含む構造を基本とする複数電極レーザがある。このタイプの半導体レーザでは、2つの電極のうち一方が通常の利得領域であり、他方が可飽和吸収領域である。利得領域に電流を注入し、可飽和吸収領域に逆バイアスを印加することにより、モード同期半導体レーザは、高速繰り返しの短パルス列を発生することが可能である。
LSI光配線部3は、モード同期レーザ2から入力される光に対して、光クロックを伝送するためのクロック光配線と光データを伝送するためのデータ光配線とからなる光導波路を有することを特徴としている。クロック分離フィルタ41の入力側は入力光配線50からなる光導波路でモード同期レーザ2と接続され、クロック分離フィルタ41の出力側の光導波路は、クロック配線51および光配線52からなる2本の光導波路に分割されている。クロック光配線51は受光器61を介してクロック電気配線81に接続されている。一方、光配線52は、波長選択フィルタ42を介して光配線53と接続され、また、波長選択フィルタ43を介して光配線54と接続されている。光配線53は光変調器62を介して信号電気配線82と接続され、光配線54は光変調器63を介して信号電気配線83と接続されている。
クロック分離フィルタ41は、モード同期レーザ2からの光入力を、所定の周波数を基準にして短波長側と長波長側とに分離するフィルタである。クロック分離フィルタ41には、例えば、短波側透過フィルタ(SWPF:Short Wavelength Pass Filter)、長波側透過フィルタ(LWPF:Long Wavelength Pass Filter)、広帯域透過フィルタ(WBPF:Wide Band Pass Filter)などがある。これらのフィルタを、例えば、マルチモード干渉計、インターリーバ、リング共振器、マッハツェンダー干渉計などのフィルタ光回路のうち、いずれかの回路を設計の許容範囲内で選択することで実現することが可能である。
クロック分離フィルタ41を透過する縦モードが位相同期された状態で、縦モードの数が2本の場合には正弦波となる光クロックが形成され、縦モードの数が3本以上の場合にはパルス列となる光クロックが形成される。光クロックはクロック同期のための基準クロックに相当する。そして、クロック分離フィルタ41からクロック光配線51に、図2(b)に示すような、中心光周波数がf1で、繰り返し周波数がΔfの光クロックが出力される。また、クロック分離フィルタ41から光配線52に、図2(c)に示すような、縦モード間隔Δfが一定の複数の縦モード光が出力される。
なお、クロック分離フィルタ41を光周波数間隔n・Δf(nは正の整数)のフィルタ(例えばリング共振器型フィルタなど)としてもよい。この場合、光周波数f1で、繰り返し周波数n・Δfの光クロックがクロック分離フィルタ41から光配線52を介して受光器61に出力される。
波長選択フィルタ42、43のそれぞれは、光配線52を介して入力される複数の縦モード光を1本ずつに分離するフィルタである。波長選択フィルタ42、43として、例えば、狭帯域透過フィルタ(NBPF:Narrow Band Pass Filter)を用いることが可能である。また、波長選択フィルタ42、43を、クロック分離フィルタ41で説明したのと同様に、フィルタ光回路で形成してもよい。特に、分波する縦モード光の本数が多いときはAWG(Array Wave-Guide)フィルタを用いてもよい。図2(d)に示すように、中心周波数f2の単一縦モード光が波長選択フィルタ42から光配線53を介して光変調器62に出力される。図2(e)に示すように、中心周波数f3の単一縦モード光が波長選択フィルタ43から光配線54を介して光変調器63に出力される。
受光器61は、クロック光配線51から入力される、繰り返し周波数Δfの光クロックを、電気クロックとしてクロック電気配線81を介して電気信号回路7に出力する。
光変調器62には、波長選択フィルタ42から光配線53を介して、光周波数f2の単一縦モード光が入力される。光変調器62は、信号電気配線82から入力される電気信号によって、光周波数f2の単一縦モード光を変調して光データを形成し、形成した光データをデータ光配線531を介して光機能回路ブロック56に出力する。
光変調器63には、波長選択フィルタ43から光配線54を介して、光周波数f3の単一縦モード光が入力される。光変調器63は、信号電気配線83から入力される電気信号によって、光周波数f3の単一縦モード光を変調して光データを形成し、形成した光データをデータ光配線541を介して光機能回路ブロック56に出力する。
光機能回路ブロック56は、データ光配線531、541のそれぞれから入力される光データを用いて光信号処理を行う。光データは光機能回路ブロック56内でデータ処理のためのデータ信号光として機能する。図に示していないが、光機能回路ブロック56が光データまたは電気データを出力してもよい。
電気信号回路7は、クロック電気配線81、信号電気配線82および信号電気配線83のそれぞれと接続されており、クロック電気配線81を介して入力されるクロック信号に基づいて同期をとった電気信号を信号電気配線82および信号電気配線83のそれぞれに出力する。
次に、本実施形態のLSI光配線システム1の動作について、図2および図3を参照して説明する。図3は光クロックと光データの時間応答波形を示す。図3(a)は、クロック分離フィルタ41を通過した後の、クロック光配線51における光クロックの時間応答波形である。図3(b)は、データ光配線531における光データの時間応答波形である。図3(c)は、データ光配線541おける光データの時間応答波形である。
モード同期レーザ2から出力された、中心光周波数f0で、繰り返し周波数Δfのクロックパルス列が入力光配線50を介してクロック分離フィルタ41に入力される。クロックパルス列は、クロック分離フィルタ41によって、中心光周波数がf1で、繰り返し周波数Δfの光クロックと、縦モード間隔Δfが一定の複数の縦モード光とに分離される。図3(a)に示す光クロックは、クロック分離フィルタ41からクロック光配線51に出力される。
一方、複数の縦モード光は、クロック分離フィルタ41から光配線52に出力される。この複数の縦モード光のうち中心周波数がf2の単一縦モード光が波長選択フィルタ42から光配線53に出力され、残りの単一縦モード光は波長選択フィルタ43に出力される。そして、残りの単一縦モード光のうち中心周波数がf3の単一縦モード光が波長選択フィルタ43から光配線54に出力される。光配線53に出力された単一縦モード光は光変調器62に入力され、光配線54に出力された単一縦モード光は光変調器63に入力される。
クロック光配線51に出力された光クロックは受光器61で電気クロック信号に変換され、電気クロック信号はクロック電気配線81を介して電気信号回路7に入力される。電気信号回路7において電気クロック信号に基づいて同期された電気信号は、図3(a)に示した光クロックに対してΔTの遅延をもって、信号電気配線82を介して光変調器62に入力され、信号電気配線83を介して光変調器63に入力される。
光変調器62では、波長選択フィルタ42から入力された単一縦モード光が電気信号回路7から入力された電気信号で変調される。変調された光は、図3(b)に示すような光データとして光変調器62から出力され、その光データはデータ光配線531を介して光機能回路ブロック56に入力される。光変調器63では、波長選択フィルタ43から入力された単一縦モード光が電気信号回路7から入力された電気信号で変調される。変調された光は、図3(c)に示すような光データとして光変調器63から出力され、その光データはデータ光配線541を介して光機能回路ブロック56に入力される。
上述したように、本実施形態のLSI光配線システムでは、外部光源としてモード同期レーザを用いることによって単一の光源で光クロックと複数の光データ用縦モード光を供給できる。そのため、光源を温度制御する必要があっても、複数の光源を用いる場合に比べて温度制御機構の数が少なくてすみ、各波長あたりの消費電力だけでなく、実装コストも低減できる。
ここで、クロック分離フィルタ41を光周波数間隔n・Δf(nは正の整数)の等間隔透過フィルタを使用する場合についての動作を説明する。図4は光クロックの光周波数間隔がn・Δfの場合の一例を示す光スペクトルである。図4では、光周波数間隔n・Δfのnが3の場合である。
図4(a)に示すように、中心光周波数f0で、繰り返し周波数Δfのクロックパルス列が、モード同期レーザ2から出力され、入力光配線50を介してクロック分離フィルタ41に入力される。クロックパルス列は、クロック分離フィルタ41によって、中心光周波数がf1で、繰り返し周波数n・Δfの光クロックと、複数の縦モード光とに分離される。図4(b)に示す光クロックがクロック分離フィルタ41からクロック光配線51に出力される。図4(c)に示す複数の縦モード光がクロック分離フィルタ41から光配線52に出力される。
複数の縦モード光のうち中心周波数がf2の単一縦モード光が波長選択フィルタ42から光配線53に出力され、残りの単一縦モード光は波長選択フィルタ43に出力される。図4(d)は、波長選択フィルタ42から光配線53に出力される単一縦モード光の光スペクトルを示す。そして、残りの単一縦モード光のうち中心周波数がf3の単一縦モード光が波長選択フィルタ43から光配線54に出力される。図4(e)は、波長選択フィルタ43から光配線54に出力される単一縦モード光の光スペクトルを示す。光配線53に出力された単一縦モード光は光変調器62に入力され、光配線54に出力された単一縦モード光は光変調器63に入力される。
(第2の実施形態)
本実施形態は、図1に示したLSI光配線部3および電気信号回路7が同一の基板上に設けられた構成である。
本実施形態は、図1に示したLSI光配線部3および電気信号回路7が同一の基板上に設けられた構成である。
本実施形態のLSI光配線システムの構成について図面を参照して説明する。図5は、本実施形態のLSI光配線システムの一構成例を示すブロック図である。第1の実施形態で説明した構成と同様な構成には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図5に示すように、本実施形態では、図1に示したLSI光配線部3および電気信号回路7が同一基板上に設けられている。第1の実施形態で説明した電気信号回路7が電気信号回路ブロック71としてLSI光配線部3Aに集積されている。図5では、LSI光配線部3Aは、LSI光配線部3および電気信号回路ブロック71が搭載された基板である。それ以外の構成は第1の実施形態と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
本実施形態は、第1の実施形態と比較すると、電気信号回路がLSI光配線部と同一基板上に設けられているため、信号間距離が短くなり、両者間を結ぶ高速信号をより低損失で伝送する効果が得られる。
(第3の実施形態)
本実施形態は、図1に示した光配線部3と電気信号回路7とが3次元的に接続された構成である。
本実施形態は、図1に示した光配線部3と電気信号回路7とが3次元的に接続された構成である。
本実施形態のLSI光配線システムの構成について図面を参照して説明する。図6は、本実施形態のLSI光配線システムの構成例を説明するためのブロック図および断面図である。第1の実施形態で説明した構成と同様な構成には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図6(a)は本実施形態のLSI光配線システムにおけるLSI光配線部3Bの上面図である。図6(b)は図6(a)に示す線分ABの部分の断面図である。図6(b)に示すように、光配線部3と電気信号回路7が3次元的に接続されている。
本実施形態のLSI光配線システム1Bは、電気信号回路部72の上に接合部8およびLSI光配線部3Bが順に積層された構成である。電気信号回路部72が形成された基板94とLSI光配線部3Bが形成された基板31とが接合部8を間に挟んで貼り合わされている。図6(b)に示すように、基板31および基板94が外側になり、内側の電気信号回路部72とLSI光配線部3Bが接合部8を介して対向している。図6(b)では、電気信号回路部72は基板94の上に設けられている。LSI光配線部3Bはモード同期レーザ2と入力光配線50を介して接続されている。
LSI光配線部3Bは、クロック分離フィルタ41と、波長選択フィルタ42、43と、受光器61と、光変調器62、63と、光機能回路ブロック56とを有する。クロック分離フィルタ41にクロック光配線51および光配線52のそれぞれが接続されている。クロック光配線51は受光器61と接続されている。また、光配線52に波長選択フィルタ42および波長選択フィルタ43が直列に接続されている。波長選択フィルタ42は光配線53を介して光変調器62と接続され、波長選択フィルタ43は光配線54を介して光変調器63と接続されている。LSI光配線部3Bの構成は、第1の実施形態で説明したLSI光配線部3と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
電気信号回路部72は、電気回路層721および電気配線層722を有する。電気回路層721の上に電気配線層722が設けられている。電気回路層721は、電気アンプ91と、変調器ドライバ92、93と、電気信号回路9とを有する。電気配線層722は、電気アンプ91に接続されたクロック電気配線81と、変調器ドライバ92に接続された信号電気配線82と、変調器ドライバ93に接続された信号電気配線83とを有する。
接合部8は、図6(b)に示すように、LSI光配線部3Bと電気信号回路部72とを電気的に接続するための、配線バンプ812、配線バンプ831および配線バンプ832を有する。
電気アンプ91は、クロック電気配線81および配線バンプ812を介して受光器61と接続されている。変調器ドライバ92は、信号電気配線82および配線バンプ832を介して光変調器62と接続されている。変調器ドライバ93は、信号電気配線83および配線バンプ831を介して光変調器63と接続されている。電気信号回路9は、変調器ドライバ92、93のそれぞれと配線(不図示)を介して接続され、電気アンプ91と配線(不図示)を介して接続されている。
電気アンプ91は受光器61から受信する電気クロック信号を増幅する。電気信号回路9は、電気アンプ91から受信する電気クロック信号に基づいて同期をとった電気信号を変調器ドライバ92、93のそれぞれに送信する。変調器ドライバ92は電気信号回路9から受信した電気信号を変調器62に送信する。変調器ドライバ93は電気信号回路9から受信した電気信号を変調器63に送信する。
本実施形態は、第2の実施形態と比較すると、LSI光配線部3Bと電気信号回路部72は3次元的に接続されるため、信号間距離が短くなり、両者間を結ぶ高速信号をさらに低損失で伝送する効果が得られる。
本発明による光配線システムでは、モード同期レーザからの出力を、光クロックと、複数の縦モード光とに分離して使用している。そのため、クロック光源と多波長光源の機能を単一の光源で実現できるので、複数の光源を設ける場合に比べて、システムの小型化を図れるだけでなく、各波長あたりの消費電力および実装コストを低減できる。また、光源の温度を制御するための温度制御機構が必要な場合でも、温度制御機構が1つですみ、システムの小型化を図ることができ、実装コストを低減できる。
本発明を、LSIチップ上あるいはLSIチップ間の光インターコネクションに適用することが可能である。
1、1A、1B LSI光配線システム
2 モード同期レーザ
3、3A、3B LSI光配線部
41 クロック分離フィルタ
42、43 波長選択フィルタ
51 クロック光配線
52、53、54、55 光配線
531、541 データ光配線
56 光機能回路ブロック
61 受光器
62、63 光変調器
7 電気信号回路
81 クロック電気配線
82、83 信号電気配線
2 モード同期レーザ
3、3A、3B LSI光配線部
41 クロック分離フィルタ
42、43 波長選択フィルタ
51 クロック光配線
52、53、54、55 光配線
531、541 データ光配線
56 光機能回路ブロック
61 受光器
62、63 光変調器
7 電気信号回路
81 クロック電気配線
82、83 信号電気配線
Claims (11)
- モード同期レーザ光源と、
前記モード同期レーザ光源から出力される光のうち光クロックを伝送するためのクロック光配線、前記モード同期レーザ光源から入力される光を光データに変換する1または複数の光変調器、および該1または複数の光変調器のそれぞれに接続されたデータ光配線を含む光配線部と、
を有する光配線システム。 - 前記モード同期レーザ光源から出力される光を前記クロック光配線と前記データ光配線とに分配するクロック分離フィルタが前記光配線部に設けられた、請求項1記載の光配線システム。
- 前記モード同期レーザ光源の繰り返し周波数間隔が前記光クロックの周波数間隔と同一である、請求項1または2に記載の光配線システム。
- 前記モード同期レーザ光源の繰り返し周波数間隔が前記光クロックの周波数間隔の整数分の1である、請求項1または2に記載の光配線システム。
- 前記クロック分離フィルタは、前記モード同期レーザ光源の光出力から2本または3本以上の縦モード光を透過させる広帯域フィルタである、請求項2に記載の光配線システム。
- 前記クロック分離フィルタは、所定の周波数を基準にして短波側と長波側とに光を分離するフィルタである、請求項2に記載の光配線システム。
- 前記クロック分離フィルタは、透過する光周波数間隔が前記モード同期レーザ光源の繰り返し周波数間隔の整数倍となる等間隔透過フィルタである、請求項2に記載の光配線システム。
- 前記クロック分離フィルタで分離された光出力から1本の縦モード光を光配線に透過させる波長選択フィルタが1または複数、前記光配線部に設けられた、請求項2、および請求項5から7のいずれか1項に記載の光配線システム。
- 1または複数の前記波長選択フィルタのそれぞれの出力側に接続された前記光配線のそれぞれに前記光変調器が接続されている、請求項8に記載の光配線システム。
- 前記光クロックに基づいて同期をとった電気信号を前記光変調器に出力する電気信号回路が前記光配線部にさらに設けられた、請求項1から9のいずれか1項記載の光配線システム。
- 前記光クロックに基づいて同期をとった電気信号を前記光変調器に出力する電気信号回路を含む電気回路層が前記光配線部と積層されている、請求項1から9のいずれか1項記載の光配線システム。
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