JP2010269060A - Array type ultrasonic pulse wave measuring sheet - Google Patents

Array type ultrasonic pulse wave measuring sheet Download PDF

Info

Publication number
JP2010269060A
JP2010269060A JP2009125136A JP2009125136A JP2010269060A JP 2010269060 A JP2010269060 A JP 2010269060A JP 2009125136 A JP2009125136 A JP 2009125136A JP 2009125136 A JP2009125136 A JP 2009125136A JP 2010269060 A JP2010269060 A JP 2010269060A
Authority
JP
Grant status
Application
Patent type
Prior art keywords
array
sheet
pulse wave
ultrasonic
ultrasonic pulse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009125136A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoichi Haga
Tadao Matsunaga
Keisuke Nishiyauchi
忠雄 松永
洋一 芳賀
啓介 西谷内
Original Assignee
Tohoku Univ
国立大学法人東北大学
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an array type ultrasonic pulse wave measuring sheet, as a flexible ultrasonic sheet, which can be easily installed on the body surface, and which can be easily used without requiring probe positioning by a specialist by arranging a number of elements in an array shape.
SOLUTION: As the flexible ultrasonic sheet as an array of ultrasonic elements is applied to the wrist close to the radial artery, signals of the ultrasonic elements correctly applied to the radial artery need only be read, thus eliminating need of fine positioning.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、血行動態評価や血管の硬さ計測に関する。 The present invention relates to the hardness measurement of hemodynamic evaluation and blood vessels.

アレイ状に微小超音波トランスデューサを並べた例およびその構成と加工法がいくつかあるが、いずれもプローブ形状であり、体表に貼り付け可能なフレキシブルかつ薄いシート形状ではない。 Example aligned micro ultrasonic transducer array and its configuration and processing method there are several, but both are probe shaped, inflexible and thin sheet form that can be pasted on the body.

使用者が自身で容易に用いることができる超音波検査、体表に装着することで超音波による経時モニタリングが可能、などの新たな計測手段を提供する。 Ultrasonography that the user can readily used by itself, can be time monitored by ultrasound by attaching to the body, to provide a new measurement means such as.

体表に容易に装着できるフレキシブルな超音波シートであり、多数の素子が並ぶアレイ形状にすることで、専門家、例えば臨床医や臨床工学技士のプローブ位置合わせを必要とせずに使用者が容易に用いることができる。 A flexible ultrasonic sheets that can be easily mounted on the body, by the array shape in which a large number of elements arranged, professional, easy user without requiring example a probe alignment of clinicians and clinical engineers it can be used for. 具体的な目的の一つとして、手首の撓骨動脈上の皮膚に装着し血行動態を検出、モニタリングする健康管理デバイスを目指している。 As one specific object, detecting the mounting and hemodynamic skin on the radial artery of the wrist, it is aimed at health care device for monitoring.

従来の超音波検査は専門家のプローブ位置合わせを必要とするが、フレキシブルなアレイ形状にすることで使用者が自分で用いることができ、健康管理などに役立てることができる。 Conventional ultrasound requires a probe positioning expert, but can be used user themselves by a flexible array shape can be useful for health management. MEMS技術を用いることで一括作製ができる。 It may collectively produced by using MEMS technology.

アレイ型超音波脈波測定シートのイメージ Array type ultrasonic pulse wave measuring sheet image 測定対象の検討 Study of the measurement object デバイスの構造図 Construction of the device アレイ型超音波脈波測定シートのイメージ Array type ultrasonic pulse wave measuring sheet image 基板配線の取り出し Removal of the substrate wiring 基板配線設計図 Board wiring blueprint 超音波素子作製のプロセスフロー Process flow of the ultrasonic device manufacturing 配線基板作製のプロセスフロー Process flow of the wiring board produced バッキング材作製のプロセスフロー The process flow of the backing material preparation 超音波素子の作製 Preparation of the ultrasonic element 超音波素子の作製 Preparation of the ultrasonic element 電極配線パターンの作製 Preparation of electrode wiring patterns バッキング材の形成 Formation of the backing material バッキング材を粘着シートに貼る Put a backing material in the pressure-sensitive adhesive sheet 単素子で評価 Evaluation of a single element 配線の取り出し Removal of the wiring 評価の方法 The method of evaluation 対象物からの反射なし No reflection from the object 対象物からの反射あり There is reflected from the object 対象物との距離を近づける Close the distance between the object 時間変化の距離への換算 Conversion to the distance of time change

動脈の層が厚くなったり硬くなったりして弾力性や柔軟性が失われた状態である動脈硬化は、心臓病や脳血管障害などの病気を引き起こす大きな要因であり、これらの病気の予防や治療には動脈硬化の早期発見が重要となる。 Arteriosclerosis layer of the artery is or become hard or thicker is a state where elasticity and flexibility is lost is a major factor causing diseases such as heart disease and cerebrovascular disorders, Ya prevention of these diseases the treatment is important is early detection of arteriosclerosis.

血液が心臓から押し出される時に生じる血管内の圧力の波形を脈波といい、この脈波の計測により血管運動反応をとらえることで血管の状態を診ることができ、動脈硬化の早期発見に役立つとされている。 Blood called pulse wave pressure waveform in the blood vessel which occur when extruded from the heart, by capturing the vasomotor responses can see the state of the blood vessels by measuring the pulse wave, the help early detection of arteriosclerosis It is. また、漢方や鍼灸に代表される統合医療の分野では、橈骨(トウコツ)動脈(手首の親指側を走る動脈)の脈波を3カ所同時計測する脈診と呼ばれる手法があり、様々な病態や疾患の把握に役立つ。 In addition, in the field of integrative medicine, which is represented by the traditional Chinese medicine and acupuncture, there is a technique called pulse diagnosis to three locations simultaneously measure the pulse wave of the radial (the radius) artery (artery which runs the thumb side of the wrist), Ya various pathologies It helps to understand the disease.

脈波の計測は超音波プローブによりこれまでにも行われているが、測定対象である橈骨(トウコツ)動脈(手首の親指側を走る動脈)や上腕動脈などへプローブを位置合わせするには専門家、例えば臨床医や臨床工学技士の技術が必要となる。 Although the measurement of the pulse wave are carried out in the past by the ultrasonic probe, to be measured radial (the radius) artery professional to align the probe to like (wrist thumb side runs artery) or brachial artery house, for example technology of clinicians and clinical engineers is required. またプローブと測定対象のわずかな位置ずれが計測結果に影響することから、プローブを手首上に固定する必要がある。 Also since the probe and slight positional deviation of the measurement object affects the measurement result, it is necessary to fix the probes on the wrist. しかし、手首を数分以上、安定して固定することが難しく、プローブを手首に追従して動かすことも実用上難しいことから、装着に時間がかかり長時間の安定した測定ができない。 However, the wrist minutes or more, it is difficult to stably fixed, since it is also practically difficult to move to follow the probe on the wrist, it can not be measured the time it takes a long time stable in mounting. なお、その他、超音波計測できる比較的体表面に近い動脈として、頚動脈、頭部の浅側頭動脈、足表面近くの動脈などがある。 The other, as arterial relatively close to the body surface that can be ultrasonic measuring, carotid, the head of the superficial temporal artery, and the like arteries near the foot surface.

そこで、複数の超音波素子をアレイ状に搭載したフレキシブルかつウェアラブルなシート状の測定装置を作製することにより、専門家によるプローブの位置合わせを不要にし、一般家庭での簡便な脈波計測や血管の硬さ評価、運動時のモニターなどを可能にする(図1参照)。 Therefore, by manufacturing a plurality of flexible and wearable sheet measuring device ultrasound elements mounted in an array, it eliminates the need for alignment of the probe by an expert, simple pulse meter and blood vessels at home hardness ratings, are such to allow the monitor during exercise (see FIG. 1). 多点同時計測もできる。 Multi-point simultaneous measurement can be.

体表近くに位置する動脈上の皮膚(橈骨)に貼れるようにしたシートに超音波素子を1次元または2次元アレイ状に搭載し、超音波素子をアレイ状に搭載したフレキシブルなシートを橈骨動脈付近の手首に貼るだけで、橈骨動脈に対して正しく当てられた超音波素子(図1の赤枠の素子)の信号だけを読み取ればよいので、細かな位置合わせを必要としない。 Mounted artery on the skin ultrasonic element sheet so as pasted in (radius) located near the body surface in a one-dimensional or two-dimensional array, a flexible sheet provided with the ultrasonic element in an array radial artery only put on the wrist in the vicinity, since only it read signal correctly against was ultrasonic element relative to the radial artery (elements of red frame of FIG. 1), it does not require alignment fine position. また、シートに超音波素子を1次元または2次元アレイ状に搭載することで測定対象との精密な位置合わせが不要である。 Further, precise alignment of a measurement target by mounting the ultrasonic element in a one-dimensional or two-dimensional array to the sheet is not required.

フレキシブルかつウェアラブルなシート状にすることで運動時のモニターが可能となる。 Monitoring during exercise is possible by the flexible and wearable sheet. フレキシブルかつ薄く軽量なシート状にすることで測定対象に追従して動き、位置ずれを低減する。 Motion to follow the measurement target by the flexible and thin and light sheet-like, to reduce the positional deviation.

測定項目は、橈骨動脈の「径の変化」、ドップラー効果を利用した血流速、弾性計測による血管硬さの評価などがあり、素子サイズを小さくし数を増やすことで簡単なイメージングも可能となる。 Measurement items, "the change in diameter" of the radial artery, the blood flow velocity using the Doppler effect, include blood vessel hardness evaluation by elasticity measuring, it enables easy imaging by increasing the number of reducing the element size Become. 血管壁の変位を見るとした場合、血管壁と素子が共に変位した時には血管壁のみの変位を測定することができないが、血管壁の径の変化を見るとすれば、血管壁と素子が共に変位した時でも血管壁の径の変化は測定可能である(図2参照)。 If the view displacement of the vessel wall, it is not possible to measure the displacement of the vessel wall only when the vessel wall and the element is both displaced, if see the change in the diameter of the vessel wall, the vessel wall and the element together change in the diameter of the vessel wall can be measured even when the displacement (see FIG. 2).

超音波素子(超音波トランスデューサ)には圧電単結晶PMN-PT、電極にはAu/Cr、フレキシブルな基板にはポリイミドフィルムを使用する。 Ultrasonic element (ultrasonic transducer) The piezoelectric single crystal PMN-PT, the electrode Au / Cr, on the flexible substrate using a polyimide film. 上部電極側の振動を抑え、体内に効率よく超音波を伝搬させるためにバッキング材を取り付ける(図3参照)。 Suppressing the vibration of the upper electrode side, attach the backing material to propagate efficiently ultrasound into the body (see FIG. 3).

なお、超音波トランスデューサは必ずしも圧電単結晶である必要はなく、PZT などの圧電セラミックス、MEMS 技術で作製されるCMUTs(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers)でもよい(非特許文献1,2)。 Incidentally, the ultrasonic transducer is not necessarily a piezoelectric single crystal, piezoelectric ceramic such as PZT, cMUTs fabricated in MEMS technology (Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers) even better (Non-Patent Documents 1 and 2). またPZT はバルク材料の他、スパッタリングなどの成膜、泥状のスラリーを薄くのばして焼結したシートなどを用いることができる。 The PZT may be used other bulk materials, deposition such as sputtering, sheet or the like which is thinly stretched sintered muddy slurry. いずれもMEMS 等の微細加工技術により2次元のアレイ型シートに作製できる。 Both can be produced in a two-dimensional array type sheet by micromachining technology such as MEMS. 後述するものは実施例の一つである。 Which will be described later it is one of the examples. フレキシブルな基板は必ずしもポリイミドである必要はなく、その他の柔軟な材料でも、硬く曲がらないアレイ間を柔らかい素材や曲がる構造で接続した構成でもよい。 Flexible substrate is not necessarily a polyimide, in other flexible material or may be connected between the not bent stiff array soft material Ya bend structural.

手首の動きを考えると、主に長軸方向にフレキシブルであることが必要となるので、電極配線は短軸方向へ伸ばすのが望ましい(図4参照)。 Considering the movement of the wrist, mainly because it is necessary that a flexible longitudinally, it is desirable electrode wires extend to the minor axis (see FIG. 4).

仕様は以下の通り。 Specifications are as follows.
・素子数:30 個(横10 個1 列×3) - number of elements: 30 (horizontal 10 1 row × 3)
・素子サイズ:500μm×500μm And elements size: 500μm × 500μm
・フレキシブル基板サイズ:20mm×20mm Flexible substrate size: 20mm × 20mm
・配線:細径同軸ケーブル And wiring: the small-diameter coaxial cable

超音波素子作製のプロセスフローを図7に示す。 The process flow of the ultrasonic element manufactured are shown in FIG. 圧電材料PMN-PT(厚さ0.3mm)の全面にAu/Crをスパッタリングにより成膜し(約600nm)、ダイサーにより上下電極の分離のための切り込み(数μm)と、素子分離のための切り込み(約100μm)を入れる。 Was formed by sputtering Au / Cr on the entire surface of the piezoelectric material PMN-PT (thickness 0.3 mm) (about 600 nm), the cut for separation of the upper and lower electrodes by a dicer (several [mu] m), cut for isolation put (about 100μm). 加工したPMN-PT をAu/Cr の配線パターンが作製されたフレキシブル基板に接合する(Au/Au 接合)。 The processed PMN-PT is joined to the flexible board on which a wiring pattern is fabricated of Au / Cr (Au / Au bonding). バッキング材を粘着シートで貼り付け、ダイサーによりそれぞれの素子に分離する。 Paste the backing material in the adhesive sheet, to separate each of the elements by a dicer. 同軸ケーブルを導電性接着剤で取り付け、分極を行う(図5及び図6参照)。 Attaching a coaxial cable with a conductive adhesive, it performs polarization (see FIGS. 5 and 6).

次に、配線基板作製のプロセスフローを図8に示す。 Next, a process flow of the wiring board prepared in FIG. ポリイミドフィルム(50μm)にAu/Cr をスパッタリングにより成膜し(約700nm)、ポジレジストをスピンコートで塗布する。 A polyimide film (50 [mu] m) was formed by sputtering Au / Cr (about 700 nm), applying a positive resist by spin coating. 配線基板のパターンが描かれたマスクを用いたフォトリソグラフィによりレジストをパターニングする。 And the resist is patterned by photolithography using a mask pattern of the wiring substrate is drawn. 配線パターンに残ったレジストをマスクとして不要なAu/Crをエッチングする。 Etching the unnecessary Au / Cr the remaining resist to the wiring pattern as a mask. アセトンによりレジストを除去しAu/Cr の配線パターンを得る。 Removing the resist obtained a wiring pattern of the Au / Cr by acetone. この配線基板フィルムに加工したPMN-PT をAu/Au 接合により接合する。 The processed PMN-PT in the wiring substrate film are bonded by Au / Au bonding.

バッキング材作製のプロセスフローを図9に示す。 The process flow of the backing material produced is shown in FIG. エポキシとタングステンを58:42 で混合したバッキング材をガラス板の枠に埋める。 Backing material obtained by mixing epoxy and tungsten 58:42 to fill the frame of the glass plate. 下地にはバッキング材が硬化後剥がしやすくするためにテフロン(登録商標)フィルムを使用する。 The base uses the Teflon film to the backing material is easily peeled off after hardening. 80℃/3h で硬化後、テフロン(登録商標)フィルム上からバッキング材を取り出し、両面粘着シート(10μm)の片面に貼り付ける。 After curing at 80 ° C. / 3h, Teflon removed backing material from the (R) film, stuck on one side of the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet (10 [mu] m). ダイサーにより貼り付ける超音波素子のサイズに切り出し、超音波素子に貼り付ける。 Cut to the size of the ultrasonic element to be pasted by the dicer, paste the ultrasonic element. ダイサーによりそれぞれの素子に分離する。 Separating each of the elements by a dicer.

アレイ状の横1 列10 個の超音波素子を一度に作製するために、PMN-PT(厚さ0.3mm)を0.5mm×10mmのサイズに切り出し、回転させながら全面にAu/Cr をスパッタリングにて成膜し、25μm 幅の切り込みを入れ上下電極を分離した(図10参照)。 To generate an array of horizontal row 10 of ultrasonic elements at a time, cut PMN-PT (thickness 0.3 mm) to a size of 0.5 mm × 10 mm, the entire surface while rotating the sputtering Au / Cr deposited Te was separated upper and lower electrodes incision of 25μm width (see FIG. 10).

素子の分離の際に基板まで切断しないために、PMN-PT の下部電極側に幅100μm、深さ100μm の切り込みを入れておく(図11参照)。 In order not to cut up the substrate during the separation of elements, width 100 [mu] m on the lower electrode side of the PMN-PT, it puts the cut depth 100 [mu] m (see FIG. 11).

ポリイミドフィルム上にAu/Cr の電極配線パターンを作製した(図12参照)。 To prepare an electrode wiring pattern of the Au / Cr on a polyimide film (see FIG. 12). テフロン(登録商標)フィルム上に作ったガラス板の枠に、エポキシとタングステン(5.84g:4.16g)を混合したものを厚さを揃えて埋め80℃/3h で硬化し、約300μm の厚さのバッキング材を形成した(図13参照)。 The frame of the Teflon (registered trademark) glass plate made on the film, epoxy and tungsten (5.84 g: 4.16 g) was cured at 80 ° C. / 3h fill align the thickness a mixture of a thickness of about 300μm and a backing material formed (see FIG. 13).

バッキング材をテフロン(登録商標)フィルム上のガラス枠から取り出し、両面粘着シート(10μm)の片面に貼り、粘着シートごと0.5mm×10mm のサイズに切り出し、PMN-PT に貼った(図14参照)。 The backing material was taken out from the glass frame on the Teflon film, laminated on one surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet (10 [mu] m), cut to the size of the pressure-sensitive adhesive sheet per 0.5 mm × 10 mm, was stuck on PMN-PT (see Fig. 14) .

単素子での評価を(図15に示す。単素子(0.5mm×0.5mm)を切り出し、フリップチップボンダーを用いて配線基板フィルムとAu/Au接合で接合した。 The evaluation of a single element (shown in Figure 15. Clipping of single elements (0.5 mm × 0.5 mm), were joined by wiring board film and Au / Au bonding using a flip chip bonder.
・接合条件: 温度:350℃/60min、荷重:1 N、圧力:4 MPa - joining conditions: Temperature: 350 ° C. / 60min, load: 1 N, pressure: 4 MPa

図16に示すように、同軸ケーブル(φ300μm)を導電性接着剤で取り付け、分極(450V/30min)を行った。 As shown in FIG. 16, fitted with a coaxial cable (φ300μm) with a conductive adhesive, effect a polarization (450V / 30min).

評価の方法(図17参照) The method of evaluation (see FIG. 17)
・上部電極側を下向き、下部電極側(基板フィルム側)を上向きにして超音波ゲルで覆う・上部電極側の反射を吸収するためにバッキング材としてスポンジを置く・対象物(金属の定規を使用)を基板フィルム上で動かし、素子との距離を変化させ、デジタルオシロスコープでその時の波形の変化を観測・対象物からの反射時間の変化を距離に換算 · Downward an upper electrode side, use-object (ruler metal put sponge as a backing material for absorbing reflections lower electrode side (the substrate film side) is covered with a facing upward ultrasound gel upper electrode side ) the move on the substrate film, changing the distance between the elements, in terms of the change in the reflection time to the distance from the observation and subject to change at that time waveform with a digital oscilloscope

今回バッキング材を素子に貼り付けていないため、バッキング材としてスポンジを利用して上部電極側の超音波の反射を抑えることにした。 Since this is not adhered to the backing material to the element, and to suppress reflection of the ultrasound of the upper electrode side by using a sponge as a backing material. 対象物には、大きな反射を得るために金属製の定規を使用した(図18〜20参照)。 The object was used a metal ruler in order to obtain a large reflection (see Figure 18-20).

対象物を近づけると、反射波の帰ってくる時間(横軸)が変化する。 When brought close to the object, back come times of reflected waves (horizontal axis) is changed. その時間の変化分と音速(1.5×103 m/s)から対象物との距離の変化が得られる。 Changes in distance from the time variation and sonic (1.5 × 103 m / s) the object is obtained.

インピーダンスアナライザーによる測定ではこの単素子の共振周波数は1.35MHz であった(図21参照)。 As measured by an impedance analyzer resonant frequency of the single element was 1.35 MHz (see Figure 21).

実仕様の際には深さごとに分布する複数の反射音源を分解して血管系を測定する必要があることから単パルス化、高周波化により距離分解能を向上させる必要がある。 Single pulsing since by decomposing the multiple reflection sound source it is necessary to measure the vasculature distributed per depth during actual specifications, it is necessary to improve the distance resolution by high frequency.

Claims (4)

  1. 体表近くに位置する動脈上の皮膚に貼れるようにしたシートに超音波素子を1次元または2次元アレイ状に搭載したことを特徴とするアレイ型超音波脈波測定シート。 Array type ultrasonic pulse wave measurement sheet, characterized in that the sheets so pasted on the skin on the artery located near a body equipped with ultrasonic element in a one-dimensional or two-dimensional array.
  2. シートに超音波素子を1次元または2次元アレイ状に搭載することで測定対象との精密な位置合わせが不要であることを特徴とする請求項1に記載のアレイ型超音波脈波測定シート。 Array type ultrasonic pulse wave measuring sheet according to claim 1, precise alignment of a measurement target by mounting the ultrasonic element in a one-dimensional or two-dimensional array to the sheet is equal to or is not required.
  3. フレキシブルかつ薄く軽量なシート状にすることで測定対象に追従して動き、位置ずれを低減することを特徴とする請求項1または2に記載のアレイ型超音波脈波測定シート。 Motion to follow the measurement target by the flexible and thin and light sheet-like, array-type ultrasonic pulse wave measuring sheet according to claim 1 or 2, characterized in that to reduce the positional deviation.
  4. 測定項目は、橈骨動脈の径の変化、血流速、血管弾性、または血管像であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のアレイ型超音波脈波測定シート。 Measurement items, the change in diameter of the radial artery, the blood flow velocity, blood vessel elasticity or array type ultrasonic pulse wave measuring sheet according to any one of claims 1 to 3, characterized in that a blood vessel image.
JP2009125136A 2009-05-25 2009-05-25 Array type ultrasonic pulse wave measuring sheet Pending JP2010269060A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009125136A JP2010269060A (en) 2009-05-25 2009-05-25 Array type ultrasonic pulse wave measuring sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009125136A JP2010269060A (en) 2009-05-25 2009-05-25 Array type ultrasonic pulse wave measuring sheet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010269060A true true JP2010269060A (en) 2010-12-02

Family

ID=43417589

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009125136A Pending JP2010269060A (en) 2009-05-25 2009-05-25 Array type ultrasonic pulse wave measuring sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010269060A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017500804A (en) * 2013-12-11 2017-01-05 フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド Transducer device and a manufacturing method thereof flexible micromachining

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002541899A (en) * 1999-04-15 2002-12-10 エフ・アール・エイ・ワイ・プロジエクト・リミテツド Ultrasound imaging apparatus
JP2003503094A (en) * 1999-06-29 2003-01-28 テンシス メディカル インコーポレイテッド Non-invasive determination method and apparatus of the arterial blood pressure
JP2004533876A (en) * 2001-05-18 2004-11-11 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィKoninklijke Philips Electronics N.V. Involving perfusion detection, integrated cardiac resuscitation system
JP2006051105A (en) * 2004-08-10 2006-02-23 Toshiba Corp Ultrasonic probe and biological information measuring system
JP2008212366A (en) * 2007-03-02 2008-09-18 Nagoya Institute Of Technology Evaluation apparatus of luminal body in living body
JP2009504057A (en) * 2005-08-05 2009-01-29 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Curved two-dimensional array transducer
JP2009055475A (en) * 2007-08-28 2009-03-12 Olympus Medical Systems Corp Ultrasonic transducer, method of manufacturing ultrasonic transducer, ultrasonic diagnostic apparatus, and ultrasonic microscope
JP2009512485A (en) * 2005-10-19 2009-03-26 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Two-dimensional ultrasonic transducer and a method for radially application
JP2009515631A (en) * 2005-11-17 2009-04-16 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ cpr to be guided by blood flow measurement

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002541899A (en) * 1999-04-15 2002-12-10 エフ・アール・エイ・ワイ・プロジエクト・リミテツド Ultrasound imaging apparatus
JP2003503094A (en) * 1999-06-29 2003-01-28 テンシス メディカル インコーポレイテッド Non-invasive determination method and apparatus of the arterial blood pressure
JP2004533876A (en) * 2001-05-18 2004-11-11 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィKoninklijke Philips Electronics N.V. Involving perfusion detection, integrated cardiac resuscitation system
JP2006051105A (en) * 2004-08-10 2006-02-23 Toshiba Corp Ultrasonic probe and biological information measuring system
JP2009504057A (en) * 2005-08-05 2009-01-29 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Curved two-dimensional array transducer
JP2009512485A (en) * 2005-10-19 2009-03-26 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Two-dimensional ultrasonic transducer and a method for radially application
JP2009515631A (en) * 2005-11-17 2009-04-16 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ cpr to be guided by blood flow measurement
JP2008212366A (en) * 2007-03-02 2008-09-18 Nagoya Institute Of Technology Evaluation apparatus of luminal body in living body
JP2009055475A (en) * 2007-08-28 2009-03-12 Olympus Medical Systems Corp Ultrasonic transducer, method of manufacturing ultrasonic transducer, ultrasonic diagnostic apparatus, and ultrasonic microscope

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017500804A (en) * 2013-12-11 2017-01-05 フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド Transducer device and a manufacturing method thereof flexible micromachining

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Oralkan et al. Volumetric ultrasound imaging using 2-D CMUT arrays
US6359367B1 (en) Micromachined ultrasonic spiral arrays for medical diagnostic imaging
US20080086056A1 (en) Micro ultrasonic transducers
US20100280388A1 (en) CMUT Packaging for Ultrasound System
Degertekin et al. Annular-ring CMUT arrays for forward-looking IVUS: Transducer characterization and imaging
US20070038111A1 (en) Micromachined imaging transducer
Khuri-Yakub et al. Capacitive micromachined ultrasonic transducers for medical imaging and therapy
US20120206014A1 (en) Piezoelectric transducers using micro-dome arrays
US20030216646A1 (en) Multiple scan-plane ultrasound imaging of objects
US20040054287A1 (en) Ultrasonic imaging devices and methods of fabrication
US6776762B2 (en) Piezocomposite ultrasound array and integrated circuit assembly with improved thermal expansion and acoustical crosstalk characteristics
US7125383B2 (en) Method and apparatus for ultrasonic continuous, non-invasive blood pressure monitoring
US20100249598A1 (en) Ultrasound probe with replaceable head portion
US20030153831A1 (en) System and method for detection of motion
US20070299345A1 (en) Capacitive Ultrasonic Transducer and Endo Cavity Ultrasonic Diagnosis System Using the Same
US20050143640A1 (en) Method and apparatus for ultrasonic continuous, non-invasive blood pressure monitoring
Ma et al. A preliminary engineering design of intravascular dual-frequency transducers for contrast-enhanced acoustic angiography and molecular imaging
US20050251044A1 (en) Method and apparatus for non-invasive ultrasonic fetal heart rate monitoring
US20140180128A1 (en) Focused Rotational IVUS Transducer Using Single Crystal Composite Material
US20100036257A1 (en) Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus using the same
US20080125658A1 (en) Low-profile acoustic transducer assembly
US20020045829A1 (en) Pulse detecting device and ultrasound diagnostic apparatus
US20010041837A1 (en) Ultrasonic probe and method of manufacturing the same
Daft et al. Microfabricated ultrasonic transducers monolithically integrated with high voltage electronics
US4582066A (en) Ultrasonic transducer probe

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120524

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130628

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130702

RD01 Notification of change of attorney

Effective date: 20130828

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130828

A521 Written amendment

Effective date: 20130829

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131016

A02 Decision of refusal

Effective date: 20131224

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02