JP2010253707A - Manufacturing method of ink jet head - Google Patents

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Akihisa Yamada
晃久 山田
Tomomi Yoshizawa
友海 吉沢
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an ink jet head which has no void in an adhesive of a part that joins members, is prevented in the flow of the adhesive into an unnecessary part, has a long pot life of the adhesive, and is favorable in not only in water resistance but also solvent resistance. <P>SOLUTION: The manufacturing method of the ink jet head includes a heating step after a step of sticking a plurality of members by the adhesive which contains an epoxy resin, a cationic photo-polymerization initiator and a cationic heat polymerization initiator and a step of irradiating a protruding part of the adhesive with light where 80-100 mass% of the whole epoxy resin is an aromatic epoxy compound. In the ink jet head manufacturing method, the heating step has a step of raising temperatures in a temperature range of not lower than 40°C. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

水系インクのみならず溶剤インクを使用した場合でも耐久性があるインクジェットヘッドに関する。   The present invention relates to an inkjet head that is durable even when solvent ink is used as well as water-based ink.

液体を微小な液滴の状態で吐出可能な液体噴射ヘッドは、例えば、記録紙上にインク滴を吐出して画像等を記録するインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッド等として広く普及してきている。   Liquid ejecting heads that can eject liquid in the form of minute droplets have become widespread, for example, as ink jet heads used in ink jet printers that record images by ejecting ink droplets onto recording paper.

インクジェットヘッドの代表的なインク吐出方式としては、加圧室に配置された電気抵抗体に電流を流すことにより発生した熱によりインク中の水を気化膨張させインクに圧力を加えて吐出させる方法、と加圧室を構成する流路部材の一部を圧電体にするか、流路部材に圧電体を設置し、複数のノズルに対応する圧電体を選択的に駆動することにより、各圧電体の動圧に基づいて加圧室を変形させてノズルから液体を吐出させる方法がある。   As a typical ink discharge method of an ink jet head, a method of vaporizing and expanding water in the ink by heat generated by flowing an electric current through an electric resistor disposed in a pressurizing chamber and applying pressure to the ink to discharge the ink, Each of the piezoelectric bodies is formed by using a part of the flow path member constituting the pressure chamber and a piezoelectric body or by installing a piezoelectric body in the flow path member and selectively driving the piezoelectric bodies corresponding to the plurality of nozzles. There is a method in which a liquid is discharged from a nozzle by deforming a pressurizing chamber based on the dynamic pressure of the nozzle.

近年、インクジェットヘッドは高密度化のために、隣接ノズルの間隔がますます狭くなってきている。例えば、180dpi(本発明でいうdpiとは、2.54cm当たりのドット数を表す)のノズル密度でのノズルとノズルの間隔は、140μmとなる。この場合、140μmの間に70μmの圧力室隔壁が存在すると、圧力室の幅は70μmになる。ノズルが外面から圧力室側に向かい広がり、その圧力室側での内径を40μmとすると、隔壁の端部からノズルまでの距離は15μmしかない。ノズルプレートを記録素子基板や流路部材等に接着する際、接着剤を硬化するための加熱処理を施すと、この加熱操作により接着剤の粘度が低下して流れやすくなるため、近接して存在しているノズル部に流れ込み、ノズル部の一部、あるいは最悪の場合には全域を塞いでしまう結果を招くことになる。特に、適用するインクが、接着剤を膨潤したり溶解する特性を有している場合には、接着剤の耐インク性を高めなければならない。そのためには接着剤を硬化する際に高温で加熱して接着剤のガラス転移点を高めることが有効であるが、接着剤を高温にすると粘度が低下して、上記のノズル部を塞ぐという傾向はより増大する。   In recent years, the interval between adjacent nozzles is becoming increasingly narrow in order to increase the density of inkjet heads. For example, the nozzle-to-nozzle spacing at a nozzle density of 180 dpi (dpi in the present invention represents the number of dots per 2.54 cm) is 140 μm. In this case, if a 70 μm pressure chamber partition wall exists between 140 μm, the width of the pressure chamber is 70 μm. If the nozzle extends from the outer surface toward the pressure chamber side and the inner diameter on the pressure chamber side is 40 μm, the distance from the end of the partition wall to the nozzle is only 15 μm. When the nozzle plate is bonded to the recording element substrate, flow path member, etc., if heat treatment is performed to cure the adhesive, the viscosity of the adhesive will decrease due to this heating operation, so it will flow easily. Will flow into the nozzle part, and part of the nozzle part or, in the worst case, will block the entire region. In particular, when the applied ink has a property of swelling or dissolving the adhesive, the ink resistance of the adhesive must be improved. For this purpose, it is effective to increase the glass transition point of the adhesive by heating it at a high temperature when curing the adhesive, but when the adhesive is heated to a high temperature, the viscosity tends to decrease and the nozzle part tends to be blocked. Increases more.

この様なノズル領域への接着剤の流れ込みを防止する観点で、接着剤の塗設量を少なくした場合、流路部材の表面に凹凸があったり、ゴミが付着しているとノズルプレートと流路部材の間に接着剤の存在しない空隙が生じ、そこを伝わってインクが漏れることがある。これに対し、接着剤の付与量を多くすると、部材の間隙からはみ出す接着剤の量が多くなりノズル領域に接着剤が流れ込んでしまい、空隙をなくすこととノズルへの流れ込みをなくすことの両立が困難であった。   From the viewpoint of preventing the adhesive from flowing into the nozzle area, if the amount of adhesive applied is reduced, the surface of the flow path member may be uneven or dust may adhere to the nozzle plate. An air gap without adhesive is generated between the path members, and the ink may leak through the gap. On the other hand, if the amount of adhesive applied is increased, the amount of adhesive that protrudes from the gap between the members increases, and the adhesive flows into the nozzle region. This eliminates the gap and eliminates the flow into the nozzle. It was difficult.

はみ出した接着剤の流れ込みを防止する方法として、例えば、記録素子基板と支持基板とを紫外線硬化性及び加熱硬化性を併せ持つ接着剤で接着し、はみ出した接着剤に、紫外線を照射して第一次硬化を行い、次いで加熱処理をしてインクジェット記録ヘッドを製造する方法が開示されている(特許文献1参照。)。これにより、はみ出した接着剤の流れ込みは防止できるが、熱硬化による接着剤の硬化が進みにくく、とくに溶剤インクに対する耐久性が低かった。特に光カチオン重合開始剤と熱カチオン重合開始剤を両方含有するエポキシ樹脂では、光カチオン重合開始剤による熱重合の阻害効果があり、特許文献1の方法では熱重合が十分に進行しない。一般的に水系インクに対する耐久性が十分であっても、本願の目的の1つである溶剤インクに対する耐久性は満足できないことが多く、最適な素材を選択し硬化を進めて架橋度を向上しないと達成できない。   As a method for preventing the overflowing adhesive from flowing in, for example, the recording element substrate and the support substrate are bonded with an adhesive having both UV curable properties and heat curable properties, and the protruding adhesive is irradiated with ultraviolet rays. A method is disclosed in which an ink jet recording head is manufactured by performing next curing and then heat treatment (see Patent Document 1). As a result, it was possible to prevent the overflowing adhesive from flowing in, but it was difficult for the adhesive to cure due to thermal curing, and the durability against solvent ink was particularly low. In particular, an epoxy resin containing both a cationic photopolymerization initiator and a thermal cationic polymerization initiator has an effect of inhibiting thermal polymerization by the cationic photopolymerization initiator, and the thermal polymerization does not proceed sufficiently with the method of Patent Document 1. In general, even if the durability against water-based ink is sufficient, the durability against solvent ink, which is one of the purposes of the present application, is often not satisfactory, and the optimum material is selected and cured to improve the degree of crosslinking. And cannot be achieved.

特開2007−15238号公報JP 2007-15238 A

本発明の目的は部材を接合した部分の接着剤に空隙がなく、不要な部分に接着剤が流れ込むことがなく、貼合性が良好で、接着力が大きく、耐水性のみならず耐溶剤性の良好なインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。   The object of the present invention is that there is no gap in the adhesive at the part where the members are joined, the adhesive does not flow into unnecessary parts, the bonding property is good, the adhesive force is large, the water resistance as well as the solvent resistance It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an ink jet head with good quality.

本発明の上記課題は以下の構成により達成される。   The above object of the present invention is achieved by the following configurations.

1.エポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤および熱カチオン重合開始剤を含有する接着剤により、複数の部材を貼り合わせる工程、接着剤のはみ出した部分に光を照射する工程の後に加熱工程を有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記エポキシ樹脂の80〜100質量%が芳香族エポキシ化合物であり、加熱工程が40℃〜150℃の温度範囲において昇温する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。   1. An inkjet head having a heating step after a step of bonding a plurality of members with an adhesive containing an epoxy resin, a photocationic polymerization initiator, and a thermal cationic polymerization initiator, and a step of irradiating light to the protruding portion of the adhesive In the manufacturing method, 80 to 100% by mass of the epoxy resin is an aromatic epoxy compound, and the heating step includes a step of raising the temperature in a temperature range of 40 ° C to 150 ° C.

2.前記加熱工程が1分間に0.1℃〜2℃の昇温速度で昇温する工程を有することを特徴とする前記1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   2. 2. The method of manufacturing an ink-jet head as described in 1 above, wherein the heating step includes a step of raising the temperature at a rate of temperature rise of 0.1 ° C. to 2 ° C. per minute.

3.前記加熱工程が2段階以上の等温過程を組み合わせて昇温することを特徴とする前記1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   3. 2. The method of manufacturing an ink jet head according to 1, wherein the heating step is performed by combining two or more isothermal processes.

4.前記熱カチオン重合開始剤が下記一般式(I)で表される錯体化合物を含むことを特徴とする前記1〜3いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   4). The method for manufacturing an ink jet head according to any one of 1 to 3, wherein the thermal cationic polymerization initiator includes a complex compound represented by the following general formula (I).

Figure 2010253707
Figure 2010253707

Rは水素原子またはアルキル基を表す。   R represents a hydrogen atom or an alkyl group.

、R、Rは水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基またはハロゲン原子を表す。 R 1 , R 2 and R 3 each represents a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryloxy group or a halogen atom.

5.前記エポキシ樹脂がノボラックエポキシ樹脂を、1〜50質量%含有することを特徴とする前記1〜4いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   5. The said epoxy resin contains 1-50 mass% of novolak epoxy resins, The manufacturing method of the inkjet head of any one of said 1-4 characterized by the above-mentioned.

6.前記部材は、少なくとも接合部をプラズマ照射したものであることを特徴とする前記1〜5いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   6). 6. The method of manufacturing an ink jet head according to any one of 1 to 5, wherein the member is obtained by plasma-irradiating at least a joint portion.

7.前記部材は、少なくとも接合部を酸により処理したものであることを特徴とする前記1〜5いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   7). 6. The method of manufacturing an ink jet head according to any one of 1 to 5, wherein the member is obtained by treating at least a joint portion with an acid.

本発明により、接着剤が流路へ流れ込むことによる出射不良がなく、貼合性が良好で、部材と接着剤の剥離によりインク流路からインクの漏れることがなく、溶剤インクに対しても耐久性が優れたインクジェットヘッドの製造方法を提供することができた。   According to the present invention, there is no emission failure due to the adhesive flowing into the flow path, the bonding property is good, the ink does not leak from the ink flow path due to the peeling of the member and the adhesive, and it is durable against solvent ink It was possible to provide a method for manufacturing an inkjet head having excellent properties.

本発明のインクジェット記録ヘッドの構成の一例を示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating an example of the configuration of the inkjet recording head of the present invention. 本発明のインクジェット記録ヘッドのヘッドチップの後面の一例を示す背面図である。It is a rear view which shows an example of the rear surface of the head chip of the inkjet recording head of this invention. ノズルプレートとヘッドチップに形成した圧力室とを、接着剤により接着した状態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the state which adhered the nozzle plate and the pressure chamber formed in the head chip with the adhesive agent.

以下本発明を実施するための形態について詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail, but the present invention is not limited thereto.

本発明者は、上記課題に鑑み鋭意検討を行った結果、エポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤および熱カチオン重合開始剤を含有する接着剤により、複数の部材を貼り合わせ、接着剤のはみ出した部分に光を照射した後に加熱工程を有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記エポキシ樹脂の80〜100質量%が芳香族エポキシ化合物であり、加熱工程が40℃〜150℃の温度範囲において昇温する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッド製造方法により、接着剤が流路へ流れ込むことによる出射不良がなく、インク流路からインクの漏れることがなく、溶剤インクに対しても耐久性が優れたインクジェット記録ヘッドを実現できることを見出し、本発明に至った次第である。   As a result of intensive studies in view of the above problems, the present inventor bonded a plurality of members with an adhesive containing an epoxy resin, a cationic photopolymerization initiator, and a thermal cationic polymerization initiator, and the portion where the adhesive protruded In the manufacturing method of the inkjet head which has a heating process after irradiating light, 80-100 mass% of the said epoxy resin is an aromatic epoxy compound, and a heating process heats up in the temperature range of 40 to 150 degreeC. The inkjet head manufacturing method is characterized by having an ejection failure due to the adhesive flowing into the flow path, the ink does not leak from the ink flow path, and has excellent durability against solvent ink It has been found that a recording head can be realized and has reached the present invention.

以下、本発明のインクジェット記録ヘッドと、インクジェット画像記録に適用するインクジェットインクの詳細について説明する。   Hereinafter, the details of the inkjet recording head of the present invention and the inkjet ink applied to inkjet image recording will be described.

(インクジェット記録ヘッド)
はじめに、本発明のインクジェット記録ヘッドの基本的構成例について、図を交えて説明する。
(Inkjet recording head)
First, a basic configuration example of the ink jet recording head of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1はインクジェット記録ヘッドの一例を示す分解斜視図で、図2はヘッドチップの後面を示す背面図である。   FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of an ink jet recording head, and FIG. 2 is a rear view showing a rear surface of a head chip.

図1において、1はヘッドチップ、2はヘッドチップ1の前面に接合されるノズルプレート、3はヘッドチップ1の後面に接合される配線基板である。   In FIG. 1, 1 is a head chip, 2 is a nozzle plate bonded to the front surface of the head chip 1, and 3 is a wiring substrate bonded to the rear surface of the head chip 1.

なお、本明細書においては、ヘッドチップ1のノズル側に当たる液体が吐出される側の面を「前面」といい、その反対側の面を「後面」という。ヘッドチップ1は、本発明に係る流路部材に相当し、図1においては、インクの流れ方向は、下から上である。   In the present specification, the surface on the side where the liquid that hits the nozzle of the head chip 1 is discharged is referred to as “front surface”, and the opposite surface is referred to as “rear surface”. The head chip 1 corresponds to a flow path member according to the present invention. In FIG. 1, the ink flow direction is from bottom to top.

本発明でいうヘッドチップ1は、例えば、圧電体からなる流路部材11と圧力室(インク供給路)12とが交互に並設され構成されている。圧力室12の形状は、両側壁が互いに平行に形成されている。ヘッドチップ1の前面及び後面にそれぞれ各圧力室12の出口と入口とが配置されると共に、各圧力室12は入口から出口に亘る長さ方向で大きさと形状がほぼ変わらないストレートタイプである。   The head chip 1 referred to in the present invention includes, for example, a flow path member 11 made of a piezoelectric material and pressure chambers (ink supply paths) 12 arranged alternately in parallel. The shape of the pressure chamber 12 is such that both side walls are formed parallel to each other. An outlet and an inlet of each pressure chamber 12 are arranged on the front surface and the rear surface of the head chip 1, respectively, and each pressure chamber 12 is a straight type whose size and shape are not substantially changed in the length direction from the inlet to the outlet.

このヘッドチップ1において、各圧力室12は2列となる圧力室列を有している。各圧力室列はそれぞれ8個の圧力室12からなるが、ヘッドチップ1中の圧力室列を構成する圧力室12の数は何ら限定されない。   In the head chip 1, each pressure chamber 12 has two pressure chamber rows. Each pressure chamber row includes eight pressure chambers 12, but the number of pressure chambers 12 constituting the pressure chamber row in the head chip 1 is not limited at all.

ヘッドチップ1は、複数の溝を有する圧電体101と蓋材102を接合して形成される。圧電体101の溝の表面は、図1において斜線で示した金属層Mからなる駆動電極が形成されている。   The head chip 1 is formed by bonding a piezoelectric body 101 having a plurality of grooves and a lid member 102. On the surface of the groove of the piezoelectric body 101, a drive electrode made of a metal layer M indicated by hatching in FIG. 1 is formed.

金属層Mは、インクによる腐食を防止する目的で、透明な絶縁層により被覆されていることが好ましい。   The metal layer M is preferably covered with a transparent insulating layer for the purpose of preventing corrosion due to ink.

ヘッドチップ1の後面には、各圧力室12の金属層Mから引き出された接続電極14(電圧印加用電極)が形成されている。接続電極14の形成は、蒸着又はスパッタリングによって行うことができる。   On the rear surface of the head chip 1, connection electrodes 14 (voltage application electrodes) drawn from the metal layer M of each pressure chamber 12 are formed. The connection electrode 14 can be formed by vapor deposition or sputtering.

ノズルプレート2は、ヘッドチップ1の各圧力室12の出口に対応する位置にそれぞれノズル21が開設されており、接続電極14が形成されたヘッドチップ1の前面に接着剤を用いて接合される。従って、各圧力室12の入口、出口及びノズル21が直線状に配置される。   The nozzle plate 2 is provided with nozzles 21 at positions corresponding to the outlets of the pressure chambers 12 of the head chip 1, and is bonded to the front surface of the head chip 1 on which the connection electrodes 14 are formed using an adhesive. . Therefore, the inlet and outlet of each pressure chamber 12 and the nozzle 21 are linearly arranged.

配線基板3は、ヘッドチップ1の各金属層Mに図示しない駆動回路からの駆動電圧を印加する配線を接続するための板状の部材である。この配線基板3に用いられる基板には、非分極のPZTやAlN−BN、AlN等のセラミックス材料からなる基板、低熱膨張のプラスチックやガラスからなる基板、ヘッドチップ1に使用されている圧電体の基板材料と同一の基板材料を脱分極した基板等を用いることができる。好ましくは、熱膨張率の差に起因するヘッドチップ1の歪み等の発生を抑えるため、未分極のPZTを基準にして±3ppm以内の熱膨張係数の差を持つ材料を選定することである。   The wiring board 3 is a plate-like member for connecting a wiring for applying a driving voltage from a driving circuit (not shown) to each metal layer M of the head chip 1. The substrate used for the wiring substrate 3 is a substrate made of a ceramic material such as non-polarized PZT, AlN-BN, or AlN, a substrate made of low thermal expansion plastic or glass, or a piezoelectric material used in the head chip 1. A substrate obtained by depolarizing the same substrate material as the substrate material can be used. Preferably, in order to suppress the occurrence of distortion or the like of the head chip 1 due to the difference in thermal expansion coefficient, a material having a difference in thermal expansion coefficient within ± 3 ppm with respect to unpolarized PZT is selected.

配線基板3を構成する基板は1枚板状のものに限らず、薄板状の基板材料を複数枚積層して所望の厚みとなるように形成してもよい。   The substrate constituting the wiring substrate 3 is not limited to a single plate, and a plurality of thin plate materials may be laminated to form a desired thickness.

この配線基板3は、ヘッドチップ1の後面よりも大きな面積を有しており、ヘッドチップ1の圧力室12の並び方向(圧力室列方向)と直交する方向(図中のB方向)に延び、ヘッドチップ1からそれぞれ大きく張り出しており、各張り出し端が図示しないFPC等を接続するための配線電極33となっている。また、配線基板3は、ヘッドチップ1の圧力室12の並び方向(図中のA方向)にもそれぞれ大きく張り出している。   The wiring substrate 3 has a larger area than the rear surface of the head chip 1 and extends in a direction (B direction in the drawing) orthogonal to the direction in which the pressure chambers 12 of the head chip 1 are arranged (pressure chamber row direction). Each of the protruding ends is a wiring electrode 33 for connecting an FPC (not shown). In addition, the wiring board 3 also protrudes greatly in the direction in which the pressure chambers 12 of the head chip 1 are arranged (direction A in the figure).

配線基板3のほぼ中央部には開口部32が貫通形成されている。この開口部32は、ヘッドチップ1の後面に臨む全圧力室12の入口側開口部を露呈させることができる程度の大きさに形成されている。   An opening 32 is formed through the substantially central portion of the wiring board 3. The opening 32 is formed in such a size that the opening on the inlet side of the total pressure chamber 12 facing the rear surface of the head chip 1 can be exposed.

開口部32の形成方法としては、基板材料に応じて、ダイシングソーで加工する方法、超音波加工機で加工する方法、焼結前のセラミックスを型成形し、焼成する方法、サンドブラストにより形成する方法等が採用できる。   As a method for forming the opening 32, depending on the substrate material, a method of processing with a dicing saw, a method of processing with an ultrasonic processing machine, a method of molding and firing ceramics before sintering, a method of forming by sand blasting Etc. can be adopted.

配線基板3のヘッドチップ1との接合面側となる表面に、ヘッドチップ1の後面に形成された各接続電極14と同数及び同ピッチ(W1+W2)で配線電極33(電圧印加用電極)が形成され、開口部32の周縁から各配線接続部31、31に延び、配線基板3の外縁まで至っている。この配線電極33は、FPC等が接合される際、FPC等に形成されている各配線と電気的に接続し、駆動回路からの駆動電圧を接続電極14を介して圧力室12内の金属層Mに印加するための電極として機能する。   Wiring electrodes 33 (voltage application electrodes) are formed on the surface of the wiring board 3 on the bonding surface side with the head chip 1 with the same number and pitch (W1 + W2) as the connection electrodes 14 formed on the rear surface of the head chip 1. Then, it extends from the peripheral edge of the opening 32 to each wiring connection portion 31, 31 and reaches the outer edge of the wiring board 3. The wiring electrode 33 is electrically connected to each wiring formed in the FPC or the like when the FPC or the like is joined, and a drive voltage from the drive circuit is applied to the metal layer in the pressure chamber 12 via the connection electrode 14. It functions as an electrode for applying to M.

なお、配線基板3の表面には、配線電極33の他に、ヘッドチップ1を位置決めするための位置決め用パターン38が形成されている。この位置決め用パターン38は、ヘッドチップ1との接合時にはヘッドチップ1の後面に形成された位置決め用パターン39と嵌合し、ヘッドチップ1の位置決めを行う際に使用される。   In addition to the wiring electrodes 33, a positioning pattern 38 for positioning the head chip 1 is formed on the surface of the wiring substrate 3. The positioning pattern 38 is fitted with a positioning pattern 39 formed on the rear surface of the head chip 1 at the time of joining to the head chip 1 and used when positioning the head chip 1.

このようにして形成されたヘッドチップ1と配線基板3は、両者の接着面にそれぞれ接着剤を塗布した後、図1に示すように、ヘッドチップ1の各接続電極14と配線基板3の各配線電極33とを電気的に接続するように位置合わせして重ね合わせ、所定温度及び所定時間で加熱及び加圧して接着剤を硬化させる。   After the head chip 1 and the wiring board 3 formed in this way are coated with adhesives on their bonding surfaces, as shown in FIG. 1, the connection electrodes 14 of the head chip 1 and the wiring board 3 are connected to each other. The wiring electrodes 33 are aligned and overlapped so as to be electrically connected, and the adhesive is cured by heating and pressing at a predetermined temperature and a predetermined time.

また、ヘッドチップ1の前面には、ノズル21が形成されたノズルプレート2を接着剤で接着する。これによりインクジェット記録ヘッドが得られる。   Further, the nozzle plate 2 on which the nozzles 21 are formed is bonded to the front surface of the head chip 1 with an adhesive. Thereby, an ink jet recording head is obtained.

以上の様に、本発明に係る接着剤は、ヘッドチップに対する、ノズルプレート、配線基盤の接着や、マニホールドの接着等に適用することができる。   As described above, the adhesive according to the present invention can be applied to the bonding of the nozzle plate and the wiring board, the bonding of the manifold, and the like to the head chip.

図3は、ノズルプレートとヘッドチップとを、接着剤により接着した状態の一例を示す断面図である。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a state in which the nozzle plate and the head chip are bonded with an adhesive.

図3を用いて、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法について説明する。   The manufacturing method of the ink jet recording head of the present invention will be described with reference to FIG.

1)流路部材とノズルプレートとを接合する工程
図3は、図1に示したインクジェット記録ヘッドにおけるヘッドチップ1と、ヘッドチップ1の前面に接合されるノズルプレート2を、本発明に係る接着剤にて接合した状態を示してある。
1) Step of Joining Flow Channel Member and Nozzle Plate FIG. 3 shows the bonding of the head chip 1 in the ink jet recording head shown in FIG. 1 and the nozzle plate 2 joined to the front surface of the head chip 1 according to the present invention. The state joined by the agent is shown.

はじめに、ヘッドチップ1のノズルプレートを接着する面に、本発明に係るエポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤および熱カチオン重合剤を含有し、光及び熱により硬化する接着剤15を、転写法などを用いて、所望量を付与する。接着剤の付与量として、特に制限はないが、付与したときの湿潤膜厚として、2.0μm以上、8.0μm以下であることが好ましい。接着剤の付与量が2.0μm以上であれば、ヘッドチップ1とノズルプレート2との間に、接着剤の未存在領域を生ずることがなく、均一に接着面を形成することができ、インク漏れや接着不良を防止することができる。また、8.0μm以下であれば、接着剤の付与量が過剰になることなく、接着剤溢れ等を防止することができ、ノズル領域への滲み出しを防止できる。   First, on the surface of the head chip 1 to which the nozzle plate is bonded, the epoxy resin according to the present invention, a cationic photopolymerization initiator, and a thermal cationic polymerization agent are used. Use to give desired amount. The amount of adhesive applied is not particularly limited, but the wet film thickness when applied is preferably 2.0 μm or more and 8.0 μm or less. If the applied amount of the adhesive is 2.0 μm or more, an adhesive non-existing area is not formed between the head chip 1 and the nozzle plate 2 and a uniform adhesive surface can be formed. Leakage and adhesion failure can be prevented. Moreover, if it is 8.0 micrometers or less, the application amount of an adhesive agent will not become excessive, an adhesive overflow etc. can be prevented and the ooze to a nozzle area | region can be prevented.

接着剤の付与量は、接着剤を付与したチップの質量からチップの質量を差し引いて求めた接着剤の質量を、接着剤の比重で割り接着剤の容量をもとめ、更にチップの接着面の面積で割ることにより求められる。   The amount of adhesive applied is determined by subtracting the mass of the chip from the mass of the chip to which the adhesive has been applied, and dividing it by the specific gravity of the adhesive to obtain the capacity of the adhesive. It is calculated by dividing by.

流路部材11は、いずれの材料で構成されていても良く、例えば、圧電材料、シリコン等を挙げることができるが、本発明においては、流路部材を含むインク供給路が圧電体(圧電性セラミックス)から構成されていることが好ましい。   The flow path member 11 may be made of any material, and examples thereof include a piezoelectric material and silicon. In the present invention, the ink supply path including the flow path member is a piezoelectric body (piezoelectricity). It is preferable that it is comprised from ceramics.

流路部材を構成する圧電性セラミックスとしては、従来公知の任意のものを採用できるが、PZT、PLZT等のセラミックスで、主にPbOx、ZrOx、TiOxの混合微結晶体に、ソフト化剤又はハード化剤として知られる微量の金属酸化物、例えばNb、Zn、Mg、Sn、Ni、La、Cr等の酸化物を含むものが好ましい。   As the piezoelectric ceramic constituting the flow path member, any conventionally known piezoelectric ceramics can be used. However, ceramics such as PZT and PLZT are mainly used for mixed microcrystals of PbOx, ZrOx, TiOx, softening agents or hard A trace amount of a metal oxide known as an agent, for example, an oxide containing Nb, Zn, Mg, Sn, Ni, La, Cr or the like is preferable.

PZTは、チタン酸ジルコン酸鉛であり、充填密度が大きく、圧電性定数が大きく、加工性が良いので好ましい。PZTは、焼成後、温度を下げると、急に結晶構造が変化して、原子がズレ、片側がプラス、反対側がマイナスという双極子の形の、細かい結晶の集まりになる。こうした自発分極は方向がランダムで、極性を互いに打ち消しあっているので、更に分極処理が必要となる。   PZT is lead zirconate titanate, which is preferable because it has a high packing density, a large piezoelectric constant, and good workability. When the temperature is lowered after firing, the crystal structure suddenly changes, and PZT becomes a collection of fine crystals in the form of dipoles in which atoms are displaced, one side is positive, and the other side is negative. These spontaneous polarizations are random in direction and cancel each other's polarity, so further polarization processing is required.

分極処理は、PZTの薄板を電極で挟み、シリコン油中に漬けて、10〜35kV/cm程度の高電界を掛けて、分極する。この分極処理による圧電性は、PZTにおいては、一般的に、200℃近傍をキュリー点として、これ以上の温度を与えると消失してしまう。   In the polarization treatment, a thin plate of PZT is sandwiched between electrodes, immersed in silicon oil, and polarized by applying a high electric field of about 10 to 35 kV / cm. The piezoelectricity due to this polarization treatment generally disappears in PZT when a temperature higher than this is applied with a temperature around 200 ° C. as the Curie point.

本発明においては、ヘッドチップ1とノズルプレート2との接着面少なくとも一方に、酸処理、プラズマ処理またはUV処理を施すことが好ましい。プラズマ処理は、真空チャンバー中にノズルプレート、ヘッドチップ等を置き、Ar、N及びOから選ばれる少なくとも1つまたはそれらの混合ガスを注入し、外部からの電磁界で、プラズマ状態にする処理であり、表面のエッチング性を高めるために、CF等のフッ素系炭化水素ガスを用いても良い。酸処理は、塩酸などの水溶液に接着面を浸漬することにより実施できる。また、UV処理は紫外線発光ランプを直接ノズルプレートや流路部材に照射する処理であり、オゾンでのクリーニング効果を出すために、O雰囲気下でも良い。このように接着面をプラズマ処理、酸処理及びUV処理をすることにより、有機物汚染を洗浄除去でき、接着面全体への接着剤のぬれ性を向上させ、微小な泡残り等の接着不良を排除でき、それにより、インク漏れや接着不良をなくし、安定なインクジェット記録ヘッドを製造できる。 In the present invention, it is preferable that at least one of the bonding surfaces of the head chip 1 and the nozzle plate 2 is subjected to acid treatment, plasma treatment or UV treatment. In the plasma treatment, a nozzle plate, a head chip and the like are placed in a vacuum chamber, and at least one selected from Ar, N 2 and O 2 or a mixed gas thereof is injected, and a plasma state is generated by an external electromagnetic field. Fluorine hydrocarbon gas such as CF 4 may be used in order to improve the surface etching property. The acid treatment can be performed by immersing the adhesive surface in an aqueous solution such as hydrochloric acid. Further, the UV treatment is a treatment for directly irradiating the nozzle plate or the flow path member with an ultraviolet light emitting lamp, and may be in an O 2 atmosphere in order to obtain a cleaning effect with ozone. By performing plasma treatment, acid treatment, and UV treatment on the adhesive surface in this way, organic contaminants can be washed away, improving the wettability of the adhesive to the entire adhesive surface, and eliminating poor adhesion such as minute foam residue. Thus, ink leakage and poor adhesion can be eliminated, and a stable inkjet recording head can be manufactured.

圧電体101は、例えば、厚さ1mmの基体の一面に微小な溝部(例えば、長さ:3mm、高さ:360μm、巾:70μm)が加工されている。この基体の加工面に蓋部材102を接合(接着)することにより、インク流路となる圧力室(長さ:3mmmm、高さ:360μm、巾:70μm)が溝部に形成される。圧力室の一端は配線基盤およびフィルタユニットを含むマニホールドを介してインク貯蔵部に連結され、他端はインク吐出口(ノズルプレート)と連結される。   In the piezoelectric body 101, for example, a minute groove (for example, length: 3 mm, height: 360 μm, width: 70 μm) is processed on one surface of a substrate having a thickness of 1 mm. By bonding (adhering) the lid member 102 to the processed surface of the substrate, a pressure chamber (length: 3 mm mm, height: 360 μm, width: 70 μm) serving as an ink flow path is formed in the groove. One end of the pressure chamber is connected to the ink storage unit via a manifold including a wiring board and a filter unit, and the other end is connected to an ink discharge port (nozzle plate).

本発明においては、インク室を形成する流路部材11が、インク供給路面側に金属層Mを有していることが好ましい。   In the present invention, the flow path member 11 forming the ink chamber preferably has a metal layer M on the ink supply path surface side.

金属層Mは、流路部材(圧電体)の駆動電極として作用するものであっても良い。金属層を形成する金属は、Ni、Co、Cu、Al、Sn、Cr等があり、電気抵抗の面からはAlやCuを用いることが好ましいが、腐食や強度、コストの面からNiが好ましく用いられる。また、Alの上に更にAuを積層した積層構造としてもよい。   The metal layer M may act as a drive electrode for the flow path member (piezoelectric body). The metal forming the metal layer includes Ni, Co, Cu, Al, Sn, Cr, etc., and Al or Cu is preferably used from the viewpoint of electrical resistance, but Ni is preferable from the viewpoint of corrosion, strength, and cost. Used. Alternatively, a laminated structure in which Au is further laminated on Al may be employed.

金属層Mの形成は、蒸着法、スパッタリング法、めっき法、CVD(化学気相反応法)等の真空装置を用いた方法等によって金属被膜を形成する方法が挙げられるが、めっき法によるものが好ましく、特に無電解めっきにより形成することが好ましい。無電解めっきによれば、均一且つピンホールフリーの金属被膜を形成することができる。めっき膜の厚みは0.5〜5μmの範囲が好ましい。   Examples of the formation of the metal layer M include a method of forming a metal film by a method using a vacuum apparatus such as a vapor deposition method, a sputtering method, a plating method, and a CVD (chemical vapor reaction method). It is particularly preferable to form by electroless plating. By electroless plating, a uniform and pinhole-free metal coating can be formed. The thickness of the plating film is preferably in the range of 0.5 to 5 μm.

また、ノズルプレート材料としては、レーザー光によるアブレーションが可能な材料や異方性エッチングが可能な材料が用いられ、例えば、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、ポリサルフォン等の樹脂シートやシリコンを好ましく用いることができるが、特に、撥インク層を表面に設ける際に掛ける高温に耐えられ、レーザーによる精密なノズル加工が可能なポリイミドから構成されることが好ましい。   As the nozzle plate material, a material that can be ablated by laser light or a material that can be anisotropically etched is used. For example, a resin sheet such as polyimide, polyethylene terephthalate, polyamide, polysulfone, or silicon is preferably used. However, it is particularly preferable to be made of polyimide that can withstand the high temperature applied when the ink-repellent layer is provided on the surface and can be precisely nozzle-processed by a laser.

2)流路部材のインクを供給する側から光を照射して硬化する工程
上記工程にて、ノズルプレート2とチップ1とを接着剤15で接合した後、接着剤に光エネルギーを照射して、第一の硬化処理を行う。
2) Step of curing by irradiating light from the ink supply side of the flow path member In the above step, after the nozzle plate 2 and the chip 1 are bonded with the adhesive 15, the adhesive is irradiated with light energy. The first curing process is performed.

本発明においては、光照射により接着剤を硬化する際には、光照射をするインク供給路12面が、金属層Mで形成されていることが好ましい。この様な金属面を備えたインク供給路12を構成することで、図3に示す様に、インクの供給側である矢印Aで示す方向から、照射光源より光を照射した際に、照射した光が、金属面で反射し、奥深くに位置する接着剤層15に届くまでの減衰が小さく、硬化に必要な光エネルギーを供給することができる。   In the present invention, when the adhesive is cured by light irradiation, the surface of the ink supply path 12 for light irradiation is preferably formed of the metal layer M. By configuring the ink supply path 12 having such a metal surface, as shown in FIG. 3, the light was irradiated when irradiated from the irradiation light source from the direction indicated by the arrow A on the ink supply side. The light reflected by the metal surface and attenuated until reaching the adhesive layer 15 located deeply is small, and light energy required for curing can be supplied.

接着剤の硬化に用いる照射光源としては、特定の波長領域の紫外線を安定した露光エネルギーで発光する紫外線ランプ及び特定の波長の紫外線を透過するフィルターを備えて構成される光源が好ましい。紫外線ランプとしては、水銀ランプ、メタルハライドランプ、エキシマーレーザー、紫外線レーザー、冷陰極管、熱陰極管、ブラックライト、LED(light emitting diode)等が適用可能であり、特に波長365nmの紫外線を発光する高圧水銀ランプが好ましい。   The irradiation light source used for curing the adhesive is preferably a light source including an ultraviolet lamp that emits ultraviolet light in a specific wavelength region with stable exposure energy and a filter that transmits ultraviolet light of a specific wavelength. As the ultraviolet lamp, a mercury lamp, a metal halide lamp, an excimer laser, an ultraviolet laser, a cold cathode tube, a hot cathode tube, a black light, an LED (light emitting diode), and the like are applicable, and in particular, a high pressure that emits ultraviolet light having a wavelength of 365 nm. A mercury lamp is preferred.

3)加熱処理を施すことで該接着剤を硬化する工程
上記工程2)で、光照射により、接着剤層15の第一次硬化を行った後、熱エネルギーを付与して、より強固な接着剤層とするためと光が当たらなかった部分を硬化するための第二次硬化処理を行う。この加熱工程を施されることにより、接着剤は目的とする耐溶剤性に達することができる。
3) Step of curing the adhesive by performing heat treatment In the step 2), after the primary curing of the adhesive layer 15 is performed by light irradiation, thermal energy is applied to provide stronger adhesion. A secondary curing process is performed to cure the portion that was not exposed to light and to form an agent layer. By performing this heating step, the adhesive can reach the target solvent resistance.

ノズルプレートの接着の場合、インクジェットヘッドは被記録媒体との間に狭い間隙を保ちつつ、非記録媒体に対して相対的に移動する。非記録媒体にうねり等の凹凸がある場合は、インクジェットヘッドが移動するときに被記録媒体にノズルプレートが接触する可能性がある。特に、インクジェットヘッドが長期間使用されて、使用されている接着剤がインクの溶剤により膨潤すると、このような接触によりノズルプレートが剥がれることがある。このような問題を改善するためには接着力を強くすることと溶剤インクに長期間浸漬したときの接着剤の膨潤を小さくすることが有効である。   In the case of adhesion of the nozzle plate, the inkjet head moves relative to the non-recording medium while maintaining a narrow gap with the recording medium. If the non-recording medium has irregularities such as waviness, the nozzle plate may come into contact with the recording medium when the inkjet head moves. In particular, when the ink jet head is used for a long time and the used adhesive is swollen by the solvent of the ink, the nozzle plate may be peeled off by such contact. In order to improve such problems, it is effective to increase the adhesive force and to reduce the swelling of the adhesive when immersed in a solvent ink for a long period of time.

接着剤を硬化するときの加熱温度としては、接着剤の種類により、かつインクジェット記録ヘッドの構成部材に影響を与えない範囲で、適宜選択されるが、加熱工程の最高温度は、60℃から150℃の範囲である。   The heating temperature for curing the adhesive is appropriately selected depending on the type of the adhesive and in a range that does not affect the constituent members of the ink jet recording head, but the maximum temperature in the heating step is from 60 ° C. to 150 ° C. It is in the range of ° C.

本発明は加熱工程中で40℃〜150℃の温度範囲で昇温する工程を有する。昇温とは例えばヘッドをオーブンに投入して加熱硬化する場合は、オーブンの温度を測定し、オーブンの温度を途中で上昇させることを言う。昇温する方法として例えば、一定の速度で温度を上昇させる方法、ある一定温度で加熱した後、より高温の一定温度で加熱するといったように階段状に温度を上昇する方法がある。例えば、25℃のオーブンにヘッドを投入し、毎分1℃の速度で温度を上昇させ、100℃まで上昇させると、途中で40℃を通過しさらに温度が上昇するので本発明の昇温する工程を有する。また、50℃のオーブンにヘッドを投入し、1時間経過した後、100℃のオーブンにヘッドを移し変えて1時間経過すれば、温度の異なる2つ等温過程を経ることにより温度を上昇させることができる。   The present invention includes a step of raising the temperature in the temperature range of 40 ° C. to 150 ° C. during the heating step. For example, when the head is put into an oven and cured by heating, the temperature rise means that the temperature of the oven is measured and the temperature of the oven is raised halfway. Examples of the method of increasing the temperature include a method of increasing the temperature at a constant rate, and a method of increasing the temperature stepwise, such as heating at a certain constant temperature and then heating at a higher constant temperature. For example, when the head is put into an oven at 25 ° C., the temperature is increased at a rate of 1 ° C. per minute, and when the temperature is increased to 100 ° C., 40 ° C. is passed on the way and the temperature further increases, so the temperature of the present invention is increased. Process. In addition, if the head is put into an oven at 50 ° C. for 1 hour and then moved to an oven at 100 ° C. for 1 hour, the temperature is raised by passing through two isothermal processes with different temperatures. Can do.

一定速度で昇温する場合は、その速度は毎分0.1℃〜2℃が接着剤の耐溶剤性が高くなるので好ましい。2段階以上の等温過程を組み合わせて昇温する場合は、高い耐溶剤性と耐水性を得るために、好ましくは低温側が40〜80℃であり、高温側が60〜120℃である。加熱時間は低温側が30分〜4時間が好ましく、高温側が30分〜4時間が好ましい。   When the temperature is increased at a constant rate, the rate is preferably 0.1 ° C. to 2 ° C. per minute because the solvent resistance of the adhesive is increased. When the temperature is raised by combining two or more isothermal processes, the low temperature side is preferably 40 to 80 ° C. and the high temperature side is 60 to 120 ° C. in order to obtain high solvent resistance and water resistance. The heating time is preferably 30 minutes to 4 hours on the low temperature side, and preferably 30 minutes to 4 hours on the high temperature side.

熱エネルギーの付与手段としては、電気オーブンまたはインクジェット記録ヘッドに圧着して加熱することができる加熱具が好ましく、例えば、ホットプレート、リボンヒーター等が挙げられる。また、加熱処理時に、少なくとも圧電体部を冷却する手段として、アルミニウムブロックに冷水を循環させて冷却させる手段を併用することが好ましい。本発明において、加熱工程の温度は、接着剤自身の温度の測定が困難なので、代わりにオーブンや加圧具などの温度を測定し、代用する。   As the means for applying thermal energy, a heating tool that can be heated by pressure bonding to an electric oven or an ink jet recording head is preferable, and examples thereof include a hot plate and a ribbon heater. In addition, as a means for cooling at least the piezoelectric body portion during the heat treatment, it is preferable to use a means for circulating cold water through the aluminum block for cooling. In the present invention, the temperature of the heating step is difficult to measure the temperature of the adhesive itself. Instead, the temperature of an oven or a pressure tool is measured and used instead.

《接着剤》
本発明のインクジェット記録ヘッドを製造する際に適用する接着剤は、エポキシ化合物、光カチオン重合開始剤と共に、熱カチオン重合開始剤を含有し、全エポキシ樹脂の80〜100質量%が芳香族エポキシ化合物であることを特徴とする。
"adhesive"
The adhesive applied when producing the ink jet recording head of the present invention contains a thermal cationic polymerization initiator together with an epoxy compound and a cationic photopolymerization initiator, and 80 to 100% by mass of the total epoxy resin is an aromatic epoxy compound. It is characterized by being.

(熱カチオン重合開始剤)
本発明に係る熱カチオン重合開始剤は、エポキシモノマーを熱重合させるためのカチオン性熱重合開始剤であり、3フッ化ホウ素アミン錯体、スルホニウム塩、アルミニウム錯体などが用いられる。これらのうち3フッ化ホウ素アミン錯体がこのましく、特に一般式(1)の化合物が耐溶剤性の高い接着剤硬化物が得られる点で好ましい。
(Thermal cationic polymerization initiator)
The thermal cationic polymerization initiator according to the present invention is a cationic thermal polymerization initiator for thermally polymerizing an epoxy monomer, and a boron trifluoride amine complex, a sulfonium salt, an aluminum complex, or the like is used. Of these, boron trifluoride amine complex is preferable, and the compound of general formula (1) is particularly preferable in that an adhesive cured product having high solvent resistance can be obtained.

前記一般式(I)において、Rは水素原子またはアルキル基を表し、好ましくは水素原子を表す。R、R、Rは、各々水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基またはハロゲン原子を表す。 In the general formula (I), R represents a hydrogen atom or an alkyl group, preferably a hydrogen atom. R 1 , R 2 and R 3 each represents a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryloxy group or a halogen atom.

R、R〜Rで表されるアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、tert−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、ペンチル基、tert−ペンチル基、ヘキシル基、2−メチルペンチル基、イソヘキシル基、ヘプチル基、イソヘプチル基、1−プロピルブチル基、オクチル基、2−エチルヘキシル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ドデシル基等を挙げることができる。 Examples of the alkyl group represented by R and R 1 to R 3 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, a tert-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a pentyl group, and a tert group. -Pentyl group, hexyl group, 2-methylpentyl group, isohexyl group, heptyl group, isoheptyl group, 1-propylbutyl group, octyl group, 2-ethylhexyl group, isooctyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group, isodecyl group , Undecyl group, dodecyl group and the like.

〜Rで表されるアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、iso−プロポキシ基、n−ブトキシ基、tert−ブトキシ基等を挙げることができ、アリールオキシ基としては、例えば、フェノキシ基、ナフチルオキシ基等を挙げることができる。また、ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子、フッ素原子等を挙げることができる。 Examples of the alkoxy group represented by R 1 to R 3 include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propoxy group, an iso-propoxy group, an n-butoxy group, and a tert-butoxy group. Examples of the group include a phenoxy group and a naphthyloxy group. Moreover, as a halogen atom, a chlorine atom, a bromine atom, a fluorine atom, etc. can be mentioned.

次いで、本発明に係る一般式(I)で表される熱カチオン重合開始剤の具体例を示すが、本発明ではこれら例示する化合物のみに限定されるものではない。   Next, specific examples of the thermal cationic polymerization initiator represented by the general formula (I) according to the present invention will be shown, but the present invention is not limited only to these exemplified compounds.

本発明に係る好ましい熱カチオン重合開始剤は、下記に列挙するアニリン誘導体と、三フッ化ホウ素との錯体化合物が挙げられる。   Preferable thermal cationic polymerization initiators according to the present invention include complex compounds of aniline derivatives listed below and boron trifluoride.

〈アニリン誘導体〉
化合物1:2−クロロアニリン
化合物2:3−クロロアニリン
化合物3:4−クロロアニリン
化合物4:3−クロロ−4−フルオロアニリン
化合物5:2,5−ジメチルアニリン
化合物6:3,4−ジメトキシアニリン
化合物7:2−エチルアニリン
化合物8:4−エチルアニリン
化合物9:N−エチルアニリン
化合物10:3,4−ジクロロアニリン
化合物11:3,5−ジクロロアニリン
化合物12:3−フルオロアニリン
化合物13:4−フルオロアニリン
化合物14:2−フルオロ−4−メチルアニリン
化合物15:4−フルオロ−3−メチルアニリン
化合物16:4−メトキシ−2−メチルアニリン
化合物17:3,4−ジフルオロアニリン
化合物18:4−ブチルアニリン
化合物19:N−メチルアニリン
化合物20:2,4,6−トリブロモアニリン
化合物21:2,3,4−トリフルオロアニリン
化合物22:2,3,6−トリフルオロアニリン
化合物23:2,4,6−トリフルオロアニリン
化合物24:2,3,4−トリフルオロアニリン
化合物25:2,4,6−トリメチルアニリン
化合物26:2,4,5−トリメチルアニリン
化合物27:N−ベンジルアニリン
化合物28:4−クロロアニリン
化合物29:2−クロロアニリン
化合物30:4,4’−メチレンビスアニリン
化合物31:3−フェノキシアニリン
化合物32:4−ブトキシアニリン
化合物33:4−ブトキシアニリン
化合物34:3,4−ジメトキシアニリン
化合物35:アニリン
本発明に係る一般式(I)で表される熱カチオン重合開始剤は、当該業者で公知の合成方法に従って合成することができる。また、化合物35のアニリンと3フッ化ホウ素の錯体はポリエチレングリコール溶液としてPTIJapanよりBAK1171の商品名で市販されている。
<Aniline derivative>
Compound 1: 2-chloroaniline Compound 2: 3-chloroaniline Compound 3: 4-chloroaniline Compound 4: 3-chloro-4-fluoroaniline Compound 5: 2,5-dimethylaniline Compound 6: 3,4-dimethoxyaniline Compound 7: 2-ethylaniline Compound 8: 4-ethylaniline Compound 9: N-ethylaniline Compound 10: 3,4-dichloroaniline Compound 11: 3,5-dichloroaniline Compound 12: 3-fluoroaniline Compound 13: 4 -Fluoroaniline Compound 14: 2-Fluoro-4-methylaniline Compound 15: 4-Fluoro-3-methylaniline Compound 16: 4-Methoxy-2-methylaniline Compound 17: 3,4-difluoroaniline Compound 18: 4- Butylaniline Compound 19: N-methylaniline Compound 2 0: 2,4,6-Tribromoaniline Compound 21: 2,3,4-trifluoroaniline Compound 22: 2,3,6-trifluoroaniline Compound 23: 2,4,6-trifluoroaniline Compound 24: 2,3,4-trifluoroaniline Compound 25: 2,4,6-trimethylaniline Compound 26: 2,4,5-trimethylaniline Compound 27: N-benzylaniline Compound 28: 4-chloroaniline Compound 29: 2- Chloroaniline Compound 30: 4,4′-methylenebisaniline Compound 31: 3-phenoxyaniline Compound 32: 4-butoxyaniline Compound 33: 4-butoxyaniline Compound 34: 3,4-dimethoxyaniline Compound 35: Aniline The thermal cationic polymerization initiator represented by the general formula (I) is known by those skilled in the art. It can be synthesized according to the synthetic method. A complex of aniline and boron trifluoride of Compound 35 is commercially available as a polyethylene glycol solution from PTI Japan under the trade name BAK1171.

また、一般式(I)で表される熱カチオン重合開始剤は、接着剤の固形分中に0.1〜30質量%添加することが好ましく、より好ましくは0.5〜5質量%である。   Moreover, it is preferable to add 0.1-30 mass% in the thermal cationic polymerization initiator represented by general formula (I) in solid content of an adhesive agent, More preferably, it is 0.5-5 mass%. .

(エポキシ樹脂)
本発明に係る接着剤に適用可能なエポキシ化合物としては、エポキシ基を有する化合物のモノマー及びそのオリゴマーのいずれも使用できる。具体的には、従来公知の芳香族エポキシ化合物、脂環式エポキシ化合物及び脂肪族エポキシ化合物が挙げられる。なお、以下エポキシ化合物とは、モノマーまたはそのオリゴマーを意味する。
(Epoxy resin)
As an epoxy compound applicable to the adhesive according to the present invention, any of a monomer of an epoxy group-containing compound and an oligomer thereof can be used. Specific examples include conventionally known aromatic epoxy compounds, alicyclic epoxy compounds, and aliphatic epoxy compounds. Hereinafter, the epoxy compound means a monomer or an oligomer thereof.

本発明においてエポキシモノマーとしては芳香族エポキシモノマーをエポキシモノマー中の80質量%以上用いる。   In the present invention, an aromatic epoxy monomer is used in an amount of 80% by mass or more based on the epoxy monomer as the epoxy monomer.

芳香族エポキシ化合物として好ましいものは、少なくとも1個の芳香族核を有する多価フェノールあるいはそのアルキレンオキサイド付加体とエピクロルヒドリンとの反応によって製造されるジまたはポリグリシジルエーテルであり、例えば、ビスフェノールAあるいはそのアルキレンオキサイド付加体のジまたはポリグリシジルエーテル、水素添加ビスフェノールAあるいはそのアルキレンオキサイド付加体のジまたはポリグリシジルエーテル、ビスフェノールF型エポキシ樹脂ならびにノボラック型エポキシ樹脂等が挙げられる。ここでアルキレンオキサイドとしては、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイド等が挙げられる。   A preferable aromatic epoxy compound is a di- or polyglycidyl ether produced by the reaction of a polyhydric phenol having at least one aromatic nucleus or an alkylene oxide adduct thereof and epichlorohydrin, for example, bisphenol A or its Examples thereof include di- or polyglycidyl ethers of alkylene oxide adducts, hydrogenated bisphenol A or di- or polyglycidyl ethers of alkylene oxide adducts thereof, bisphenol F type epoxy resins, and novolak type epoxy resins. Here, examples of the alkylene oxide include ethylene oxide and propylene oxide.

脂環式エポキシ化合物としては、少なくとも1個のシクロヘキセンまたはシクロペンテン環等のシクロアルカン環を有する化合物を、過酸化水素、過酸等の適当な酸化剤でエポキシ化することによって得られるシクロヘキセンオキサイドまたはシクロペンテンオキサイド含有化合物が挙げられる。具体的には(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル−3,4−エポキシシクロヘキシルカルボキシレート、ビス−(2,3−エポキシシクロペンチル)エーテル等が挙げられる。   As the alicyclic epoxy compound, cyclohexene oxide or cyclopentene obtained by epoxidizing a compound having at least one cycloalkane ring such as cyclohexene or cyclopentene ring with an appropriate oxidizing agent such as hydrogen peroxide or peracid. An oxide containing compound is mentioned. Specific examples include (3,4-epoxycyclohexyl) methyl-3,4-epoxycyclohexylcarboxylate, bis- (2,3-epoxycyclopentyl) ether, and the like.

本発明においては、エポキシモノマーとしては、ノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ化合物またはビスフェノールF型エポキシ化合物等が好ましく、その中でも、特にノボラック型エポキシ化合物を1〜50質量%含有することが耐溶剤性が良い点で好ましい。   In the present invention, the epoxy monomer is preferably a novolak-type epoxy compound, a bisphenol A-type epoxy compound, a bisphenol F-type epoxy compound, or the like. It is preferable in terms of good properties.

(光重合開始剤)
本発明において、カチオン重合性モノマーを光重合させるための光カチオン重合開始剤(光重合開始剤)としては、公知のあらゆる光酸発生剤を用いることができる。光酸発生剤としては、例えば、化学増幅型フォトレジストや光カチオン重合に利用される化合物が用いられる(有機エレクトロニクス材料研究会編、「イメージング用有機材料」、ぶんしん出版(1993年)、187〜192ページ参照)。
(Photopolymerization initiator)
In the present invention, any known photoacid generator can be used as a photocationic polymerization initiator (photopolymerization initiator) for photopolymerizing a cationically polymerizable monomer. As the photoacid generator, for example, a chemically amplified photoresist or a compound used for photocationic polymerization is used (edited by Organic Electronics Materials Research Group, “Organic Materials for Imaging”, Bunshin Publishing (1993), 187. To page 192).

第1に、ジアゾニウム、アンモニウム、ヨードニウム、スルホニウム、ホスホニウムなどの芳香族オニウム化合物のB(C 、PF 、AsF 、SbF 、CFSO 塩を挙げることができ、第2にスルホン酸を発生するスルホン化物を挙げることができ、第3にハロゲン化水素を光発生するハロゲン化物も用いることができ、第4に鉄アレン錯体を挙げることができる。例えば、ジアリルヨードニウムやトリアリルスルホニウムのヘキサフルオロホスフェート、ヘキサフルオロアンチモネートまたはペンタフルオロフェニルボレート塩などが挙げられ、イルガキュア−261(チバガイギー社製)、SP−150、SP−170(以上、旭電化社製)、PI2074やUVI−6992(ダウケミカル製)などの商品名で市販されている。 First, diazonium, ammonium, iodonium, sulfonium, aromatic onium compounds such as phosphonium B (C 6 F 5) 4 -, PF 6 -, AsF 6 -, SbF 6 -, CF 3 SO 3 - and salts Secondly, sulfonates that generate sulfonic acid can be mentioned, thirdly, halides that generate hydrogen halide can also be used, and fourthly, iron allene complexes can be mentioned. Examples include hexafluorophosphate, hexafluoroantimonate or pentafluorophenyl borate salt of diallyl iodonium or triallyl sulfonium, Irgacure-261 (manufactured by Ciba Geigy), SP-150, SP-170 (above, Asahi Denka Co., Ltd.) ), PI2074, and UVI-6992 (manufactured by Dow Chemical).

《インクジェットインク》
本発明のインクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置を用いて画像形成する際に適用可能なインクジェットインクとしては、特に制限はなく、水性インクジェットインク、非水性インクジェットインク、ワックスインク、活性硬化型インクジェットインク等を挙げることができるが、その中でも、本発明のインクジェット記録ヘッドの優れた特性をいかんなく発揮できる観点から、有機溶剤の含有率が全溶媒の50%以上であるインクジェットインク、更には樹脂成分に対する溶解能の高い溶解度パラメーター(SP値)が16.0以上、21.0以下の有機溶媒を、全有機溶媒の30質量%以上含有するインクジェットインクを用いた画像形成に適用することが好ましい。
<Inkjet ink>
The ink-jet ink applicable when forming an image using the ink-jet recording apparatus equipped with the ink-jet recording head of the present invention is not particularly limited, and is a water-based ink-jet ink, a non-aqueous ink-jet ink, a wax ink, or an active curable ink-jet ink. Among them, from the viewpoint that the excellent characteristics of the ink jet recording head of the present invention can be exhibited, an ink jet ink having an organic solvent content of 50% or more of the total solvent, and further a resin component It is preferable to apply the organic solvent having a solubility parameter (SP value) having a high solubility to 16.0 to 21.0 to image formation using an inkjet ink containing 30% by mass or more of the total organic solvent.

(有機溶媒)
近年、様々な用途(例えば、屋外看板や電子部品製造など)にインクジェット記録方式を用いる例が増えてきた。例えば、屋外看板用では、受像シートの材料である塩化ビニルを溶解する溶媒を含有するインクジェットインクが用いられる。電子部品製造用では様々な化合物を溶解するため、インクジェットインクには樹脂に対して溶解性の高い溶媒が用いられる。このような樹脂溶解性の高い溶媒を用いても、インクジェット記録ヘッドとして強度が保たれることが必要である。
(Organic solvent)
In recent years, an example of using an inkjet recording method for various applications (for example, outdoor signboards and electronic component manufacturing) has increased. For example, for an outdoor signboard, an inkjet ink containing a solvent that dissolves vinyl chloride, which is a material of the image receiving sheet, is used. In order to dissolve various compounds in the production of electronic parts, a solvent having a high solubility in the resin is used for the inkjet ink. Even when such a resin-soluble solvent is used, it is necessary to maintain strength as an ink jet recording head.

本発明に係るインクジェット記録装置は、全溶媒の50%以上、100%以下が有機溶媒で構成されているインクジェットインクに適合することが好ましい。   The ink jet recording apparatus according to the present invention is preferably compatible with an ink jet ink in which 50% or more and 100% or less of the total solvent is composed of an organic solvent.

本発明でいう有機溶媒の溶解度パラメーター(SP値)とは、分子凝集エネルギーの平方根で表される値で、R.F.Fedors, Polymer Engineering Science,14,p147(1974)に記載の方法で計算することができる。単位は(MPa)1/2であり、25℃における値を指す。本発明で規定するSP値を有する有機溶媒としては、例えば、J.Brandup,E.H.Immergu共編「Polymer Handbook」第3版(John Wily&Sons)1989年、VII/526〜539頁にも記載されている。 The solubility parameter (SP value) of the organic solvent referred to in the present invention is a value represented by the square root of the molecular aggregation energy. F. It can be calculated by the method described in Fedors, Polymer Engineering Science, 14, p147 (1974). The unit is (MPa) 1/2 and indicates a value at 25 ° C. Examples of the organic solvent having an SP value defined in the present invention include J.P. Brandup, E .; H. Also described in Immersu, “Polymer Handbook” 3rd edition (John Wily & Sons) 1989, VII / 526-539.

以下に、溶解度パラメーター(SP値)が16.0(MPa)1/2以上、21.0(MPa)1/2以下の有機溶媒の一例を示すが、これら例示化合物に限定されることはない。なお、括弧内の数値は、SP値((MPa)1/2を表す。 Examples of organic solvents having a solubility parameter (SP value) of 16.0 (MPa) 1/2 or more and 21.0 (MPa) 1/2 or less are shown below, but are not limited to these exemplified compounds. . In addition, the numerical value in a parenthesis represents SP value ((MPa) 1/2 .

アミルアセテート(16.0)、エチレングリコールジエチルエーテル(17.0)、エチルプロピオネート(17.2)、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(17.4)、メチル−2−ペンタンジオールモノエチルエーテル(17.4)、エチレングリコールジメチルエーテル(17.6)、ジエチレングリコールモノラウレート(17.8)、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(17.8)、トリプロピレングリコールメチルエーテル(17.8)、ブチルプロピオネート(18.0)、エチルアセテート(18.6)、エチレングリコールメチルエチルアセテート(18.8)、トリプロピレングリコール(18.8)、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(19.0)、エチル−2−ヘキサンジオール−1,3(オクチレングリコール)(19.2)、ブチルラクテート(19.2)、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(19.4)、エチレングリコールモノブチルエーテル(19.4)、シクロヘキサノン(20.3)、エチルラクテート(20.5)、アニソール(19.4)等。   Amyl acetate (16.0), ethylene glycol diethyl ether (17.0), ethyl propionate (17.2), diethylene glycol monoethyl ether acetate (17.4), methyl-2-pentanediol monoethyl ether (17 .4), ethylene glycol dimethyl ether (17.6), diethylene glycol monolaurate (17.8), ethylene glycol monoethyl ether acetate (17.8), tripropylene glycol methyl ether (17.8), butyl propionate (18.0), ethyl acetate (18.6), ethylene glycol methyl ethyl acetate (18.8), tripropylene glycol (18.8), dipropylene glycol monomethyl ether (19.0), ethyl-2-he Sundiol-1,3 (octylene glycol) (19.2), butyl lactate (19.2), diethylene glycol monobutyl ether (19.4), ethylene glycol monobutyl ether (19.4), cyclohexanone (20.3) Ethyl lactate (20.5), anisole (19.4) and the like.

(その他のインク添加剤)
本発明に係るインクジェットインクには、上記有機溶媒の他に、各種添加剤を含有させることができる。
(Other ink additives)
The inkjet ink according to the present invention may contain various additives in addition to the organic solvent.

本発明に係るインクには色材が含有することができ、色材の色相としては、例えば、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラック、ブルー、グリーン、レッドのインクを形成する色材が好ましく用いられる。   The ink according to the present invention can contain a color material. As the color material, for example, a color material that forms yellow, magenta, cyan, black, blue, green, or red ink is preferably used.

本発明に係るインクでは、色材が染料である染料インク、あるいは色材がインクジェットインクを構成する溶媒に不溶で、微細な顔料粒子を含む分散系を形成する顔料インク、あるいは色材が着色した高分子ポリマーの分散体からなる分散インク等の種々のインクジェット用インクに適用できる。   In the ink according to the present invention, a dye ink whose color material is a dye, or a pigment ink or a color material that forms a dispersion containing fine pigment particles that is insoluble in a solvent constituting the ink-jet ink. The present invention can be applied to various ink-jet inks such as a dispersion ink made of a polymer dispersion.

以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

《インクジェット記録ヘッドの作製》
実施例1:〔インクジェット記録ヘッド1の作製〕
(ヘッドチップの作製)
図1〜図3に記載の構成からなるヘッドチップを下記の方法に従って作製した。
<Production of inkjet recording head>
Example 1: [Preparation of Inkjet Recording Head 1]
(Preparation of head chip)
A head chip having the configuration shown in FIGS. 1 to 3 was produced according to the following method.

PZT(チタン酸ジルコン酸鉛、厚さ700μm、キュリー温度210℃)と、PZT(厚さ150μm、キュリー温度210℃)を、分極方向が反対向きになるように、接着剤を用いて接合した。次いで、厚さ150μmのPZTの表面及び裏面にレジスト層を転写してレジスト層を設けた後、140μmピッチで表面から深さ300μm、幅70μmの溝を長さ30mmにわたり切り、圧力室溝を形成した。次いで、メッキ法により溝の表面に厚さ1μmのニッケル層を形成し、次いで圧力室壁頂上部のレジスト及び裏面のレジストを、レジスト上のニッケルメッキ層と共に剥離した。   PZT (lead zirconate titanate, thickness 700 μm, Curie temperature 210 ° C.) and PZT (thickness 150 μm, Curie temperature 210 ° C.) were bonded using an adhesive so that the polarization directions were opposite. Next, after a resist layer is formed by transferring a resist layer to the front and back surfaces of PZT having a thickness of 150 μm, a groove having a depth of 300 μm and a width of 70 μm is cut from the surface to a length of 30 mm at a pitch of 140 μm to form a pressure chamber groove. did. Next, a nickel layer having a thickness of 1 μm was formed on the surface of the groove by plating, and then the resist on the top of the pressure chamber wall and the resist on the back surface were peeled off together with the nickel plating layer on the resist.

圧力室頂上部分のレジストを剥がした面にカバープレート(厚さ700μmの脱分極したPZT)を接合し複数のインク流路を有するチップを形成した。このチップ2枚をカバープレートが外側になるように、インク流路が互いに平行になるように接着し、2列の流路列を有するチップを形成した。次いで、流路の方向と直行する方向に沿って2mm間隔で切断し、L=2mmの複数のヘッドチップを形成した。   A cover plate (depolarized PZT having a thickness of 700 μm) was joined to the surface from which the resist at the top of the pressure chamber was removed to form a chip having a plurality of ink flow paths. The two chips were bonded so that the ink flow paths were parallel to each other so that the cover plate was on the outside, thereby forming a chip having two flow paths. Next, cutting was performed at intervals of 2 mm along a direction perpendicular to the direction of the flow path to form a plurality of head chips with L = 2 mm.

このようにして作製されたチップは、圧電素子からなる駆動壁と流路が交互に並設されている。   In the chip manufactured in this way, drive walls and flow paths made of piezoelectric elements are alternately arranged in parallel.

各流路内の駆動電極に駆動回路から駆動電圧を印加するためのFPC(Flexible printed circuits、フレキシブル基板)配線を接続できるようにするため、各駆動電極をチップの外面に引き出した。すなわち、上記切断面のうち後面にレジストを転写し露光現像によりパターンを形成した後、アルミを蒸着し、レジストを除去することにより引き出し電極を形成した。   In order to be able to connect FPC (Flexible Printed Circuits) for applying a drive voltage from the drive circuit to the drive electrodes in each flow path, each drive electrode was drawn out to the outer surface of the chip. That is, after a resist was transferred to the rear surface of the cut surface and a pattern was formed by exposure and development, aluminum was deposited and the resist was removed to form a lead electrode.

また、図1〜図3には記載していないが、配線基板は、ヘッドチップの各駆動電極に駆動回路からの駆動電圧を印加する配線を接続するための板状の部材として設けた。この配線基板に用いられる基板は、熱膨張率の差に起因するヘッドチップの歪みの発生を抑えるため、ヘッドチップとの熱膨張係数の差が±1ppm以内となるように材料を選定した。   Although not shown in FIGS. 1 to 3, the wiring board is provided as a plate-like member for connecting a wiring for applying a driving voltage from a driving circuit to each driving electrode of the head chip. The substrate used for this wiring board was selected so that the difference in thermal expansion coefficient with the head chip was within ± 1 ppm in order to suppress the occurrence of distortion of the head chip due to the difference in thermal expansion coefficient.

また、配線基板のほぼ中央部に、開口部を貫通形成した。この開口部は、ヘッドチップの全チャネルの入口側を露呈させることができる程度の大きさで形成した。この開口部を設けることにより、ヘッドチップの後面に配線基板を接合した状態で、この開口部を通して、ヘッドチップの全駆動壁、全チャネル及び全駆動電極を覗くことができる。   In addition, an opening was formed through substantially the center of the wiring board. This opening was formed with a size that could expose the inlet side of all channels of the head chip. By providing this opening, it is possible to look through all the driving walls, all the channels and all the driving electrodes of the head chip through this opening while the wiring substrate is bonded to the rear surface of the head chip.

また、配線基板のヘッドチップとの接合面側となる表面に、ヘッドチップの後面に形成された各接続電極と同数及び同ピッチで配線電極が形成され、各配線接続部まで延びている。この配線電極は、FPCが接合される際、FPCに形成されている各配線と電気的に接続し、FPCの配線を介して供給される駆動回路からの駆動電圧を、接続電極を介してチャネル内の駆動電極に印加するための電極として機能する。   In addition, wiring electrodes are formed on the surface of the wiring board on the bonding surface side with the head chip at the same number and pitch as the connection electrodes formed on the rear surface of the head chip, and extend to the wiring connection portions. This wiring electrode is electrically connected to each wiring formed in the FPC when the FPC is joined, and the driving voltage supplied from the driving circuit via the FPC wiring is supplied to the channel via the connection electrode. It functions as an electrode for applying to the drive electrode.

配線基板は各配線電極がチップの各接続電極と電気的に接続すると共に、開口部がチップの全流路を露呈させるように、位置合わせされ異方性導電性接着剤によりチップの後面に接合した。後で、FPC接合するための電極をマスキングテープで保護し、駆動電極を含む圧力室内面および引き出し電極を含む断面の露呈部にポリパラキシリレンからなる保護膜を形成した。   The wiring board is aligned and bonded to the back surface of the chip with an anisotropic conductive adhesive so that each wiring electrode is electrically connected to each connection electrode of the chip and the opening exposes the entire flow path of the chip. did. Later, electrodes for FPC bonding were protected with a masking tape, and a protective film made of polyparaxylylene was formed on the pressure chamber surface including the drive electrode and the exposed portion of the cross section including the extraction electrode.

(ノズルプレートの接着)
上記作製したヘッドチップの前面に、下記接着剤Aを5μmの厚さで転写塗布した。次いで、光学顕微鏡で観察しながら、ヘッドチップの接着剤を塗布した面に、ノズルプレート(100μm厚のポリイミドに、直径30μmのノズル孔を形成したもの)を所定の位置に接合した。次いで、室温にて高圧水銀ランプを照射量5000mJ/cmでヘッドチップ後面から照射した後、下記硬化条件1で接着剤Aを硬化させた。
(Adhesion of nozzle plate)
The following adhesive A was transferred and applied to the front surface of the produced head chip with a thickness of 5 μm. Next, while observing with an optical microscope, a nozzle plate (100 μm thick polyimide formed with a 30 μm diameter nozzle hole) was joined to a predetermined position on the surface of the head chip coated with the adhesive. Next, a high pressure mercury lamp was irradiated from the rear surface of the head chip at an irradiation amount of 5000 mJ / cm 2 at room temperature, and then the adhesive A was cured under the following curing condition 1.

(接着剤A)
エピコート807(ビスフェノールF型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン製)
10g
UVI6992(光カチオン重合開始剤;ダウ・ケミカル製) 0.4g
3フッ化ホウ素アニリン錯体溶液(40質量%の4−ブチロラクトン溶液) 0.5g
(硬化条件1)
初期の温度が25℃のオーブンにインクジェット記録ヘッドを投入し、オーブンの温度を25℃から毎分1℃の速度で昇温し100℃に達してから一定温度で1時間加熱した後、インクジェットヘッドをオーブンから取り出す。
(Adhesive A)
Epicoat 807 (Bisphenol F type epoxy resin; made by Japan Epoxy Resin)
10g
UVI6992 (photo cationic polymerization initiator; manufactured by Dow Chemical) 0.4 g
Boron trifluoride aniline complex solution (40 mass% 4-butyrolactone solution) 0.5 g
(Curing condition 1)
An ink jet recording head is put into an oven having an initial temperature of 25 ° C., the temperature of the oven is increased from 25 ° C. at a rate of 1 ° C. per minute, and after reaching 100 ° C. and heated at a constant temperature for 1 hour, the ink jet head Remove from the oven.

実施例2:〔インクジェット記録ヘッド2の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、硬化条件1で加熱する代わりに、下記硬化条件2で加熱すること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド2を作製した。
Example 2: [Preparation of inkjet recording head 2]
In the production of the inkjet recording head 1, the inkjet recording head 2 was produced in the same manner except that the heating was performed under the following curing condition 2 instead of heating under the curing condition 1.

(硬化条件2)
初期の温度が50℃のオーブンにインクジェット記録ヘッドを投入し、そのままオーブンの温度を50℃に保ち2時間加熱した後、オーブンの温度設定を変え、オーブンの温度が100℃に達してからそのまま1時間加熱した後、インクジェットヘッドをオーブンから取り出す。
(Curing condition 2)
The ink jet recording head is put into an oven having an initial temperature of 50 ° C., and the oven temperature is kept at 50 ° C. for 2 hours. After that, the oven temperature setting is changed and the oven temperature reaches 100 ° C. After heating for a period of time, the inkjet head is removed from the oven.

実施例3:〔インクジェット記録ヘッド3の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、ノズルプレートの接着に用いる接着剤を、接着剤Aに代えて、下記接着剤Bを用いること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド3を作製した。
Example 3: [Preparation of inkjet recording head 3]
In the production of the inkjet recording head 1, the inkjet recording head 3 was produced in the same manner except that the adhesive B used below was used instead of the adhesive A instead of the adhesive A.

(接着剤B)
エピコート807(ビスフェノールF型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン製)
6g
エピコート152(フェノールノボラックエポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン製)
4g
UVI6992(光カチオン重合開始剤;ダウ・ケミカル製) 0.4g
3フッ化ホウ素アニリン錯体溶液(40質量%の4−ブチロラクトン溶液) 0.5g
実施例4:〔インクジェット記録ヘッド4の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、ノズルプレートの接着に用いる接着剤を、接着剤Aに代えて、下記接着剤Bを用い、かつ硬化条件1で加熱することに代えて、硬化条件2で加熱すること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド4を作製した。
(Adhesive B)
Epicoat 807 (Bisphenol F type epoxy resin; made by Japan Epoxy Resin)
6g
Epicoat 152 (phenol novolac epoxy resin; made by Japan Epoxy Resin)
4g
UVI6992 (photo cationic polymerization initiator; manufactured by Dow Chemical) 0.4 g
Boron trifluoride aniline complex solution (40 mass% 4-butyrolactone solution) 0.5 g
Example 4: [Preparation of inkjet recording head 4]
In the production of the ink jet recording head 1, the adhesive used for adhering the nozzle plate is replaced with the adhesive A, the following adhesive B is used, and the heating is performed under the curing condition 1 instead of being heated under the curing condition 1. An inkjet recording head 4 was produced in the same manner except that.

実施例5:〔インクジェット記録ヘッド5の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、ノズルプレートの接着に用いる接着剤を、接着剤Aに代えて、下記接着剤Cを用いること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド5を作製した。
Example 5: [Production of inkjet recording head 5]
In the production of the inkjet recording head 1, the inkjet recording head 5 was produced in the same manner except that the adhesive C used below was used instead of the adhesive A instead of the adhesive A.

(接着剤C)
エピコート807(ビスフェノールF型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン製)
9g
セロキサイド2012(脂環式エポキシ樹脂;ダイセルUCB社製) 1g
UVI6992(光カチオン重合開始剤;ダウ・ケミカル製) 0.4g
3フッ化ホウ素アニリン錯体溶液(40質量%の4−ブチロラクトン溶液) 0.5g
比較例1:〔インクジェット記録ヘッド6の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、ノズルプレートの接着に用いる接着剤を、接着剤Aに代えて、特許文献1の実施例1に記載されている接着剤を用い、かつ硬化条件1で加熱することに代えて、下記硬化条件3で加熱すること以外は同様にして、インクジェット記録ヘッド6を作製した。
(Adhesive C)
Epicoat 807 (Bisphenol F type epoxy resin; made by Japan Epoxy Resin)
9g
Celoxide 2012 (alicyclic epoxy resin; manufactured by Daicel UCB) 1 g
UVI6992 (photo cationic polymerization initiator; manufactured by Dow Chemical) 0.4 g
Boron trifluoride aniline complex solution (40 mass% 4-butyrolactone solution) 0.5 g
Comparative Example 1: [Production of Inkjet Recording Head 6]
In the production of the ink jet recording head 1, the adhesive described in Example 1 of Patent Document 1 is used instead of the adhesive A instead of the adhesive used for adhering the nozzle plate, and heating is performed under the curing condition 1. Instead, the inkjet recording head 6 was produced in the same manner except that the heating was performed under the following curing condition 3.

(硬化条件3)
インクジェット記録ヘッドを100℃のオーブンに投入し、3時間経過後にオーブンから取り出す。
(Curing condition 3)
The ink jet recording head is put into an oven at 100 ° C. and taken out from the oven after 3 hours.

比較例2:〔インクジェット記録ヘッド7の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、硬化条件1で加熱する代わりに、硬化条件3で加熱すること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド7を作製した。
Comparative Example 2: [Production of Inkjet Recording Head 7]
In the production of the inkjet recording head 1, an inkjet recording head 7 was produced in the same manner except that heating was performed under the curing condition 3 instead of heating under the curing condition 1.

比較例3:〔インクジェット記録ヘッド8の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、接着剤Aに代えて、下記接着剤Eをヘッドチップの前面に塗布し、ヘッドチップの前面に高圧水銀灯を200mJ/cm照射した後、ノズルプレートを貼り合わせ、硬化条件3で加熱すること以外は同様にして、インクジェット記録ヘッド8を作製した。
Comparative Example 3: [Production of Inkjet Recording Head 8]
In the production of the ink jet recording head 1, instead of the adhesive A, the following adhesive E is applied to the front surface of the head chip, and after irradiating the front surface of the head chip with a high-pressure mercury lamp at 200 mJ / cm 2 , the nozzle plate is bonded. The inkjet recording head 8 was produced in the same manner except that the heating was performed under the curing condition 3.

〈接着剤E〉
エピコート807(ビスフェノールF型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン製)
10g
アデカオプトマーSP−170(光カチオン重合開始剤;アデカ製) 0.2g
三フッ化ホウ素アニリン(25質量%のジエチレングリコール溶液) 0.8g
比較例4:〔インクジェット記録ヘッド9の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、ヘッドチップの前面に転写塗布する接着剤として、接着剤Aに代えて、下記接着剤Fを調整したが、この接着剤は粘度の上昇が速く、転写塗布後に接着剤の流動性が無くなり、ノズルプレートを貼合しようとしたが、密着しなかったため、ヘッドチップのインクジェット記録ヘッド9を作製することはできなった。
<Adhesive E>
Epicoat 807 (Bisphenol F type epoxy resin; made by Japan Epoxy Resin)
10g
Adekaoptomer SP-170 (Photocationic polymerization initiator; manufactured by ADEKA) 0.2 g
Boron trifluoride aniline (25% by weight diethylene glycol solution) 0.8 g
Comparative Example 4: [Production of Inkjet Recording Head 9]
In the production of the ink jet recording head 1, the following adhesive F was prepared instead of the adhesive A as an adhesive to be transferred and applied to the front surface of the head chip. The fluidity of the adhesive disappeared, and an attempt was made to paste the nozzle plate. However, since the adhesive did not adhere, the ink jet recording head 9 of the head chip could not be produced.

(接着剤F)
エピコート807(ビスフェノールF型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン製)
7g
セロキサイド2012(脂環式エポキシ樹脂;ダイセルUCB社製) 3g
UVI6992(光カチオン重合開始剤;ダウ・ケミカル製) 0.4g
3フッ化ホウ素アニリン錯体溶液(40質量%の4−ブチロラクトン溶液) 0.5g
実施例6:〔インクジェット記録ヘッド10の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、上記ノズルプレート(接合部を表面処理なし)の代わりに、接合部に下記表面処理1を行なったノズルプレートを所定の位置に接合すること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド10を作製した。
(Adhesive F)
Epicoat 807 (Bisphenol F type epoxy resin; made by Japan Epoxy Resin)
7g
Celoxide 2012 (alicyclic epoxy resin; manufactured by Daicel UCB) 3g
UVI6992 (photo cationic polymerization initiator; manufactured by Dow Chemical) 0.4 g
Boron trifluoride aniline complex solution (40 mass% 4-butyrolactone solution) 0.5 g
Example 6: [Production of inkjet recording head 10]
In the production of the ink jet recording head 1, an ink jet is similarly performed except that a nozzle plate subjected to the following surface treatment 1 is joined to a predetermined position instead of the nozzle plate (the joint portion is not subjected to surface treatment). The recording head 10 was produced.

(表面処理1)
プラズマ照射装置 DEM−451(アネルバ製;平行平面型)を用い、酸素圧10Pa下で、200W 13.56MHzを印加し、2分間処理した。
(Surface treatment 1)
Using a plasma irradiation apparatus DEM-451 (manufactured by Anelva; parallel plane type), 200 W 13.56 MHz was applied under an oxygen pressure of 10 Pa, and the treatment was performed for 2 minutes.

実施例7:〔インクジェット記録ヘッド11の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド1の作製において、上記ノズルプレート(接合部を表面処理なし)の代わりに、接合部に下記表面処理2を行なったノズルプレートを所定の位置に接合すること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド11を作製した。
Example 7: [Production of inkjet recording head 11]
In the production of the ink jet recording head 1, an ink jet is similarly performed except that a nozzle plate subjected to the following surface treatment 2 is joined to a predetermined position instead of the nozzle plate (the joint portion is not subjected to surface treatment). The recording head 11 was produced.

(表面処理2)
60℃の6N塩酸に6時間浸漬した後、純水で洗浄し、乾燥した。
(Surface treatment 2)
After immersing in 6N hydrochloric acid at 60 ° C. for 6 hours, it was washed with pure water and dried.

実施例8:〔インクジェット記録ヘッド12の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド2の作製において、上記ノズルプレート(接合部を表面処理なし)の代わりに、接合部に表面処理1を行なったノズルプレートを所定の位置に接合すること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド10を作製した。
Example 8: [Preparation of inkjet recording head 12]
In the production of the ink jet recording head 2, ink jet recording is performed in the same manner except that the nozzle plate subjected to the surface treatment 1 is joined to a predetermined position instead of the nozzle plate (the joint portion is not subjected to surface treatment). A head 10 was produced.

実施例9:〔インクジェット記録ヘッド13の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド2の作製において、上記ノズルプレート(接合部を表面処理なし)の代わりに、接合部に表面処理2を行なったノズルプレートを所定の位置に接合すること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド13を作製した。
Example 9: [Preparation of inkjet recording head 13]
In the production of the ink jet recording head 2, ink jet recording is performed in the same manner except that the nozzle plate subjected to the surface treatment 2 is joined to a predetermined position instead of the nozzle plate (the surface of the joint is not subjected to surface treatment). A head 13 was produced.

実施例10:〔インクジェット記録ヘッド14の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド5の作製において、上記ノズルプレート(接合部を表面処理なし)の代わりに、接合部に表面処理1を行なったノズルプレートを所定の位置に接合すること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド14を作製した。
Example 10: [Preparation of inkjet recording head 14]
In the production of the ink jet recording head 5, ink jet recording is performed in the same manner except that the nozzle plate subjected to the surface treatment 1 is joined to a predetermined position instead of the nozzle plate (the joint portion is not subjected to surface treatment). A head 14 was produced.

実施例11:〔インクジェット記録ヘッド15の作製〕
上記インクジェット記録ヘッド5の作製において、上記ノズルプレート(接合部を表面処理なし)の代わりに、接合部に表面処理2を行なったノズルプレートを所定の位置に接合すること以外は同様にしてインクジェット記録ヘッド15を作製した。
Example 11: [Preparation of inkjet recording head 15]
In the production of the ink jet recording head 5, ink jet recording is performed in the same manner except that the nozzle plate subjected to the surface treatment 2 is joined to a predetermined position instead of the nozzle plate (the surface of the joint is not subjected to surface treatment). A head 15 was produced.

上記ヘッドの作製に関し、以下の評価基準で評価を行い、結果を表1に記した。   The production of the head was evaluated according to the following evaluation criteria, and the results are shown in Table 1.

《貼合性の評価》
ヘッドチップの前面に接着剤を転写塗布し、ノズルプレートを貼合するときの、密着性を観察する。
<Evaluation of pasting property>
Adhesive is transferred onto the front surface of the head chip, and the adhesion when the nozzle plate is bonded is observed.

○:ノズルプレートとチップの前面との間隙に空隙が無く、接着剤が密着している。   ○: There is no gap in the gap between the nozzle plate and the front surface of the chip, and the adhesive is in close contact.

×:ノズルプレートとチップの前面との間隙に空隙があり、密着しない。   X: There is a gap in the gap between the nozzle plate and the front surface of the chip, and it does not adhere.

《出射性の評価》
上記作製した各インクジェット記録ヘッドについて、酢酸ブトキシエチルとシクロヘキサノンの70:30混合溶液からなるインクを導入し、ヘッドに駆動回路よりパルス信号送ることによりインクを出射して、ノズル間の出射状態を観察した。
<Evaluation of light emission>
For each of the ink jet recording heads prepared above, an ink composed of a 70:30 mixed solution of butoxyethyl acetate and cyclohexanone was introduced, and the ink was ejected by sending a pulse signal from the drive circuit to the head, and the ejection state between the nozzles was observed. did.

○:全てのノズルからインクが出射した。   ○: Ink was emitted from all nozzles.

×:接着剤が流れ込んで出射しないノズルがある。   X: There is a nozzle in which the adhesive flows and does not exit.

《接着力の耐久性評価》
ヘッドにシクロヘキサノン(SP値:20.3)又はアニソール(SP値:19.4)からなるインクを充填し、保管中に蒸発してヘッド内のインクが無くならないように、インクインレットに栓をし、ノズル面をキャップして、60℃のオーブンに1ヶ月間入れ保管した。ヘッドをオーブンから取り出して、各インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの端部をピンセットで挟んで引っ張った。ノズルプレートが剥がれなかったヘッドは更に2ヶ月間(合計3ヶ月)、同じインクを充填し同様に保管した後、ピンセットで引っ張り試験を行った。
<< Durability evaluation of adhesive strength >>
Fill the head with ink consisting of cyclohexanone (SP value: 20.3) or anisole (SP value: 19.4), and plug the ink inlet so that the ink in the head does not disappear due to evaporation during storage. The nozzle surface was capped and stored in an oven at 60 ° C. for 1 month. The head was removed from the oven, and the end of the nozzle plate of each inkjet recording head was pinched with tweezers and pulled. The head in which the nozzle plate was not peeled was further filled with the same ink for 2 months (total 3 months) and stored in the same manner, and then a tensile test was performed with tweezers.

○:3ヶ月保管してもピンセットが滑ってノズルプレートが剥がれなかった。   ○: The tweezers slipped and the nozzle plate did not peel even after 3 months storage.

△:1ヶ月保管しても剥がれなかったが、3ヶ月保管したら剥がれた。   (Triangle | delta): It did not peel even if it stored for 1 month, but it peeled when stored for 3 months.

×:1ヶ月の保管で剥がれた。   X: Peeled off after storage for 1 month.

Figure 2010253707
Figure 2010253707

表1に記載の結果より明らかなように、本発明の接着剤と硬化条件とをインクジェットヘッドのノズルプレートの接着に用いることにより、ノズルプレートの貼合性に優れ、接着剤の流れ込みによる出射不良が無く、溶剤インクを長期間使用しても接着の耐久性に優れていることが分かる。また、ノズルプレートを接着する前に、ノズルプレート部材の接合部の表面をプラズマ照射すること又は酸処理することにより、更に接着力の耐久性を向上できることが分かる。   As is apparent from the results shown in Table 1, by using the adhesive of the present invention and the curing conditions for the adhesion of the nozzle plate of the inkjet head, the nozzle plate is excellent in bonding properties and poor emission due to the flow of the adhesive. It can be seen that even when the solvent ink is used for a long period of time, the adhesion durability is excellent. It can also be seen that the durability of the adhesive force can be further improved by irradiating the surface of the joint portion of the nozzle plate member with plasma or acid treatment before adhering the nozzle plate.

1 ヘッドチップ
1A、1B 側壁面
11 流路部材
12 圧力室
14 接続電極
2 ノズルプレート
21 ノズル
3 配線基板
31 配線接続部
32 開口部
33 配線電極
36a、36b ダミー電極
35 接合領域
M 金属層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Head chip 1A, 1B Side wall surface 11 Flow path member 12 Pressure chamber 14 Connection electrode 2 Nozzle plate 21 Nozzle 3 Wiring board 31 Wiring connection part 32 Opening part 33 Wiring electrode 36a, 36b Dummy electrode 35 Joining area M Metal layer

Claims (7)

エポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤および熱カチオン重合開始剤を含有する接着剤により、複数の部材を貼り合わせる工程、接着剤のはみ出した部分に光を照射する工程の後に加熱工程を有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記エポキシ樹脂の80〜100質量%が芳香族エポキシ化合物であり、加熱工程が40℃〜150℃の温度範囲において昇温する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。   An inkjet head having a heating step after a step of bonding a plurality of members with an adhesive containing an epoxy resin, a photocationic polymerization initiator, and a thermal cationic polymerization initiator, and a step of irradiating light to the protruding portion of the adhesive In the manufacturing method, 80 to 100% by mass of the epoxy resin is an aromatic epoxy compound, and the heating step includes a step of raising the temperature in a temperature range of 40 ° C to 150 ° C. 前記加熱工程が1分間に0.1℃〜2℃の昇温速度で昇温する工程を有することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the heating step includes a step of increasing the temperature at a temperature increase rate of 0.1 ° C. to 2 ° C. per minute. 前記加熱工程が2段階以上の等温過程を組み合わせて昇温することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the heating step is performed by combining two or more isothermal processes. 前記熱カチオン重合開始剤が下記一般式(I)で表される錯体化合物を含むことを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Figure 2010253707
Rは水素原子またはアルキル基を表す。
、R、Rは水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基またはハロゲン原子を表す。
The said thermal cationic polymerization initiator contains the complex compound represented with the following general formula (I), The manufacturing method of the inkjet head of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.
Figure 2010253707
R represents a hydrogen atom or an alkyl group.
R 1 , R 2 and R 3 each represents a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryloxy group or a halogen atom.
前記エポキシ樹脂がノボラックエポキシ樹脂を、1〜50質量%含有することを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The said epoxy resin contains 1-50 mass% of novolak epoxy resins, The manufacturing method of the inkjet head of any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned. 前記部材は、少なくとも接合部をプラズマ照射したものであることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   The method for manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein at least the joining portion is plasma-irradiated on the joining portion. 前記部材は、少なくとも接合部を酸により処理したものであることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。   6. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein at least a joint portion of the member is treated with an acid.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013142437A (en) * 2012-01-10 2013-07-22 Nsk Ltd Telescopic shaft
JP2014519427A (en) * 2011-06-06 2014-08-14 シクパ ホルディング ソシエテ アノニム Inkjet printhead comprising a layer made of a curable resin composition

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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