JP2010248010A - Method for manufacturing glass blank for information recording medium, method for manufacturing substrate for information recording medium and method of manufacturing information recording medium - Google Patents

Method for manufacturing glass blank for information recording medium, method for manufacturing substrate for information recording medium and method of manufacturing information recording medium Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a glass blank for information recording medium substrate having high planarity even when manufacturing the glass blank which is thinner. <P>SOLUTION: There is provided the method for manufacturing the glass blank for information recording medium substrate through at least: a glass gob drawing process of pressing a glass gob in the softened state on a lower mold by means of an upper mold and the lower mold, and drawing the glass gob between two press surfaces; a stripping process of stripping a disk-shaped glass, which is completely drawn until completion and is left in the softened state in a state of being held between the two press surfaces, from the press surface of the upper mold; and a cooling process of substantially symmetrically cooling the neighborhood of outer peripheral edge of the disk-shaped glass in the softened state on the basis of the center part of the disk-shaped glass in the softened state at timings before and after performing the stripping process. A method for manufacturing a substrate for information recording medium and a method for manufacturing information recording medium using the method for manufacturing a glass blank for information recording medium are also provided. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、情報記録媒体用ガラスブランクの製造方法、情報記録媒体用基板の製造方法、および、情報記録媒体の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a glass blank for information recording medium, a method for manufacturing a substrate for information recording medium, and a method for manufacturing an information recording medium.

情報記録媒体用基板や光学レンズ等の作製に用いられる板状のガラス半製品(いわゆる「ガラスブランク」)の作製方法として、ダイレクトプレス法が知られている。このダイレクトプレス法では、フィーダーパイプから連続的に流出する溶融ガラスを所定容量毎に下型上に供給した後、下型上の軟化状態のガラス塊(以下、「ガラスゴブ」と称す場合がある)を下型と上型とによりプレスする工程を経てガラスブランクを作製する。   A direct press method is known as a method for producing a plate-shaped glass semi-product (so-called “glass blank”) used for producing an information recording medium substrate, an optical lens, or the like. In this direct press method, molten glass that continuously flows out from a feeder pipe is supplied onto a lower mold for each predetermined volume, and then a softened glass lump on the lower mold (hereinafter sometimes referred to as “glass gob”) A glass blank is produced through a step of pressing the lower die and the upper die.

光学レンズ用のガラスブランクの作製に際しては、プレス後の上型へのガラスの貼り付き防止することなどを目的として、上型からのガラスの剥離を促進するために、上型とガラスとの界面部分や、ガラスの端面側にガスを噴射する技術が提案されている(特許文献1〜3等参照)。また、胴型を用いた光学レンズ用のガラスブランクの作製に際しては、胴型に対してガスを吹き付ける技術も提案されている(特許文献4参照)。この技術では、ガスが吹きつけられた胴型を介して胴型内の高温状態のガラス成型品の周囲を均等に冷却して、成型品の歪の発生を防止すると共に、サイクルタイムの短縮も図っている。   When producing a glass blank for an optical lens, the interface between the upper mold and the glass is used to promote the peeling of the glass from the upper mold for the purpose of preventing the glass from sticking to the upper mold after pressing. Techniques have been proposed for injecting a gas to a portion or an end face side of glass (see Patent Documents 1 to 3, etc.). Moreover, when producing a glass blank for an optical lens using a barrel mold, a technique of blowing gas to the barrel mold has also been proposed (see Patent Document 4). In this technology, the periphery of the glass molded product in a hot state in the cylinder mold is uniformly cooled through the cylinder mold to which gas is blown to prevent distortion of the molded article and to shorten the cycle time. I am trying.

特開平8−48531号公報(請求項1、段落番号0004、図1等)JP-A-8-48531 (Claim 1, paragraph number 0004, FIG. 1 etc.)

特開2002−321931号公報(請求項2、段落番号0005、0035、0037、図6等)JP 2002-321931 A (Claim 2, paragraph numbers 0005, 0035, 0037, FIG. 6, etc.)

特開2007−22852号公報(請求項1、段落番号0006、図4等)JP 2007-22852 (Claim 1, paragraph number 0006, FIG. 4 etc.)

特開平10−72223号公報(請求項1、段落番号0010、図1、図5等)JP-A-10-72223 (Claim 1, paragraph number 0010, FIG. 1, FIG. 5, etc.)

一方、情報記録媒体用基板(以下、単に「基板」と略す場合がある)の作製に用いられるガラスブランクには、後工程で基板に加工する際の研磨代をより小さくするために、より一層の薄肉化が求められている。しかしながら、これと同時にガラスブランクの平坦性も向上させなければ、後工程で研磨代をより小さくすることは困難である。   On the other hand, glass blanks used for the production of information recording medium substrates (hereinafter sometimes simply referred to as “substrates”) are further improved in order to reduce the polishing allowance when processing into a substrate in a later step. Thinning is required. However, if the flatness of the glass blank is not improved at the same time, it is difficult to reduce the polishing allowance in the subsequent process.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、より薄肉のガラスブランクを作製する場合においても高い平坦性を有するガラスブランクを作製することができる情報記録媒体用ガラスブランクの製造方法、並びに、これを用いた情報記録媒体用基板の製造方法および情報記録媒体の製造方法を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and a method for producing a glass blank for an information recording medium capable of producing a glass blank having high flatness even when producing a thinner glass blank, and An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an information recording medium substrate and a method for manufacturing an information recording medium using the same.

上記課題は以下の本発明により達成される。すなわち、本発明の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法は、下型のプレス面上に供給された軟化状態の塊状ガラスを上型のプレス面と下型のプレス面とによりプレスすることにより、軟化状態の塊状ガラスを2つのプレス面間に略等方的に延伸させる塊状ガラス延伸工程と、2つのプレス面間に挟持された軟化状態の塊状ガラスが完全に延伸し終えて軟化状態の円板状ガラスとなった後に、軟化状態の円板状ガラスを上型のプレス面から剥離する剥離工程と、剥離工程の、実施直前、実施と同時および実施直後の3つから選択される少なくともいずれかの時点で、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍を、軟化状態の円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に冷却する冷却工程と、を少なくとも経て、情報記録媒体基板用ガラスブランクを製造することを特徴とする。   The above-mentioned subject is achieved by the following present invention. That is, the method for producing a glass blank for an information recording medium substrate of the present invention comprises pressing the softened bulk glass supplied on the lower mold press surface with the upper mold press surface and the lower mold press surface. A bulk glass stretching step in which the soft bulk glass is stretched approximately isotropically between the two press surfaces, and the soft bulk glass sandwiched between the two press surfaces is completely stretched After becoming the disk-shaped glass, at least selected from the peeling process of peeling the softened disk-shaped glass from the upper mold pressing surface, and the peeling process immediately before, simultaneously with and immediately after the execution. At any time, the information recording medium substrate is subjected to at least a cooling step in which the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass is cooled substantially symmetrically with respect to the center of the softened disk-shaped glass. For glass Characterized in that to produce a blank.

本発明の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法の一実施態様は、冷却工程において、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍が、歪点以上で、かつ、軟化状態の円板状ガラスのガラス転移温度未満の範囲内にまで冷却されることが好ましい。   In one embodiment of the method for producing a glass blank for an information recording medium substrate of the present invention, in the cooling step, the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass is not less than the strain point and the softened disk-shaped glass. It is preferable to cool to a range below the glass transition temperature.

本発明の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法の他の実施態様は、上型のプレス面に複数のガス噴き出し穴が設けられ、冷却工程において、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却が、複数のガス噴き出し穴から冷却用ガスを噴出させることにより行われることが好ましい。   In another embodiment of the method for producing a glass blank for an information recording medium substrate according to the present invention, a plurality of gas ejection holes are provided on the upper press surface, and in the cooling step, in the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass It is preferable that the cooling is performed by ejecting a cooling gas from a plurality of gas ejection holes.

本発明の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法の他の実施態様は、上型のプレス面に、複数のガス噴き出し穴が、剥離工程実施前の状態において上型のプレス面と軟化状態の円板状ガラスとが接触する円状の領域の外周側に沿って、軟化状態の円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に設けられており、かつ、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却が、軟化状態の円板状ガラスが2つのプレス面間に挟持された状態において、複数のガス噴き出し穴から冷却用ガスを噴出させると略同時に、軟化状態の円板状ガラスを上型のプレス面から剥離することが好ましい。   In another embodiment of the method for producing a glass blank for an information recording medium substrate of the present invention, a plurality of gas ejection holes are in a softened state with the upper press surface in the state before the peeling step is performed on the upper press surface. It is provided substantially symmetrically with respect to the central portion of the softened disk-shaped glass along the outer peripheral side of the circular area in contact with the disk-shaped glass, and the softened disk-shaped glass The cooling in the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass is sandwiched between two press surfaces, and when the cooling gas is ejected from the plurality of gas ejection holes, the softened disk-shaped It is preferable to peel the glass from the press surface of the upper die.

本発明の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法の他の実施態様は、剥離工程において、軟化状態の円板状ガラスと上型のプレス面全面とが同時に剥離することが好ましい。   In another embodiment of the method for producing a glass blank for an information recording medium substrate of the present invention, it is preferable that the softened disk-shaped glass and the entire upper press surface are simultaneously peeled in the peeling step.

本発明の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法の他の実施態様は、塊状ガラス延伸工程において、下型のプレス面上に供給される軟化状態の塊状ガラスの容量変動に関係無く、2つのプレス面の間隔を一定とした状態で、2つのプレス面間に挟持された軟化状態の塊状ガラスを完全に延伸させることが好ましい。   In another embodiment of the method for producing a glass blank for an information recording medium substrate according to the present invention, in the bulk glass stretching step, there are two methods regardless of the capacity fluctuation of the soft bulk glass supplied on the lower die press surface. It is preferable to completely stretch the soft glass lump sandwiched between the two press surfaces in a state where the distance between the press surfaces is constant.

本発明の情報記録媒体用基板の製造方法は、本発明の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法により製造された情報記録媒体基板用ガラスブランクの少なくとも片面を、研削・研磨する工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を製造することを特徴とする。   The method for producing an information recording medium substrate of the present invention comprises at least a step of grinding and polishing at least one surface of the information recording medium substrate glass blank produced by the method for producing an information recording medium substrate glass blank of the present invention. An information recording medium substrate is manufactured.

本発明の情報記録媒体用基板の製造方法の一実施態様は、研削・研磨工程を実施する前に、ガラスブランクを加熱することにより結晶化させる結晶化工程を有することが好ましい。   One embodiment of the method for producing an information recording medium substrate of the present invention preferably includes a crystallization step of crystallizing the glass blank by heating before performing the grinding / polishing step.

本発明の情報記録媒体の製造方法は、本発明の情報記録媒体用基板の製造方法により作製された情報記録媒体用基板の少なくとも片面に情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体を製造することを特徴とする。   The information recording medium manufacturing method of the present invention includes at least an information recording layer forming step of forming an information recording layer on at least one surface of the information recording medium substrate manufactured by the information recording medium substrate manufacturing method of the present invention, An information recording medium is manufactured.

本発明によれば、より薄肉のガラスブランクを作製する場合においても高い平坦性を有するガラスブランクを作製することができる情報記録媒体用ガラスブランクの製造方法、並びに、これを用いた情報記録媒体用基板の製造方法および情報記録媒体の製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even when producing a thinner glass blank, the manufacturing method of the glass blank for information recording media which can produce the glass blank which has high flatness, and information recording media using the same A method for manufacturing a substrate and a method for manufacturing an information recording medium can be provided.

本発明の実施形態に係る情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法で製造されるガラスブランクのアスペクト比の定義を説明するための説明図であり、円板状の薄肉部のみからなるガラスブランクの直径方向の断面図を示す断面図である。It is explanatory drawing for demonstrating the definition of the aspect-ratio of the glass blank manufactured with the manufacturing method of the glass blank for information recording media substrates which concerns on embodiment of this invention, and is the glass blank which consists only of a disk-shaped thin part. It is sectional drawing which shows sectional drawing of a diameter direction. 本発明の実施形態に係る情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法で製造されるガラスブランクのアスペクト比の定義を説明するための説明図であり、円板状の薄肉部と、この薄肉部の直径方向中央部に薄肉部の片面に凸を成すように設けられた厚肉部とからなるガラスブランクの直径方向の断面図を示す断面図である。It is explanatory drawing for demonstrating the definition of the aspect-ratio of the glass blank manufactured with the manufacturing method of the glass blank for information recording media substrates which concerns on embodiment of this invention, a disk-shaped thin part, and this thin part of It is sectional drawing which shows sectional drawing of the diameter direction of the glass blank which consists of a thick part provided so that the convex part may be formed in the single side | surface of a thin part in the diameter direction center part. 本発明の実施形態に係る情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法で製造されるガラスブランクのアスペクト比の定義を説明するための説明図であり、円板状の薄肉部と、この薄肉部の直径方向周縁部に薄肉部の片面に凸を成すように設けられた厚肉部とからなるガラスブランクの直径方向の断面図を示す断面図である。It is explanatory drawing for demonstrating the definition of the aspect-ratio of the glass blank manufactured with the manufacturing method of the glass blank for information recording media substrates which concerns on embodiment of this invention, a disk-shaped thin part, and this thin part of It is sectional drawing which shows the sectional view of the diameter direction of the glass blank which consists of a thick part provided so that the convex part may be formed in the single side | surface of a thin part in a diameter direction peripheral part. 本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法に用いられる上型のプレス面の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the press surface of the upper mold | type used for the manufacturing method of the glass blank for information recording medium substrates of this embodiment. 本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法に用いられる上型のプレス面の他の例を示す平面図である。It is a top view which shows the other example of the press surface of the upper mold | type used for the manufacturing method of the glass blank for information recording medium substrates of this embodiment. 本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法に用いられる上型のプレス面の他の例を示す平面図である。It is a top view which shows the other example of the press surface of the upper mold | type used for the manufacturing method of the glass blank for information recording medium substrates of this embodiment. 胴型を用いた従来の非サイドフリープレス方式のダイレクトプレス法の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the direct press method of the conventional non-side free press system using a trunk die.

(情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法)
本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法は、下型のプレス面上に供給された軟化状態の塊状ガラスを上型のプレス面と下型のプレス面とによりプレスすることにより、軟化状態の塊状ガラスを2つのプレス面間に略等方的に延伸させる塊状ガラス延伸工程と、2つのプレス面間に挟持された軟化状態の塊状ガラスが完全に延伸し終えて軟化状態の円板状ガラスとなった後に、軟化状態の円板状ガラスを上型のプレス面から剥離する剥離工程と、剥離工程の、実施直前、実施と同時および実施直後の3つから選択される少なくともいずれかの時点で、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍を、軟化状態の円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に冷却する冷却工程と、を少なくとも経て、情報記録媒体基板用ガラスブランクを製造することを特徴とする。
(Method for producing glass blank for information recording medium substrate)
The manufacturing method of the glass blank for the information recording medium substrate of the present embodiment is to press the softened bulk glass supplied on the lower press surface with the upper press surface and the lower press surface, A lump glass stretching step in which a lump glass in a soft state is stretched approximately isotropically between two press surfaces, and a lump in a soft state after the lump glass in a soft state sandwiched between two press surfaces has been completely stretched At least one selected from a peeling step of peeling the softened disk-like glass from the upper press surface and a peeling step immediately before, at the same time as, and immediately after the execution of the plate-like glass. At that time, at least through the cooling step of cooling the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass substantially symmetrically with respect to the central part of the softened disk-shaped glass, for the information recording medium substrate Glass bra Characterized in that to produce a click.

本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法では、上述した冷却工程において、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍が、軟化状態の円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に冷却される。このため、軟化状態の円板状ガラスの外周側が先に冷却されて固化する。そして、この外周部の固化は、円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に起こる。この際、円板状ガラスの固化していない内周側の領域に対して、円板状ガラスの中心部から外周側へと略対称的に引っ張るような張力が作用する。したがって、この時点で円板状ガラスがより平坦化する。そして、この状態を維持したまま、円板状ガラスの全体が、徐々に冷却されて内周側の領域の固化が起こることで、成型物(情報記録媒体用ガラスブランク)の形状が固定される。したがって、本実施形態の情報記録媒体用ガラスブランクの製造方法では、高い平坦性を有するガラスブランクを得ることができる。   In the method for manufacturing a glass blank for an information recording medium substrate of the present embodiment, in the cooling step described above, the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass is substantially symmetric with respect to the center of the softened disk-shaped glass. Cooled. For this reason, the outer peripheral side of the soft disk-shaped glass is first cooled and solidified. The solidification of the outer peripheral portion occurs substantially symmetrically with the central portion of the disk-shaped glass as a reference. At this time, a tension that pulls approximately symmetrically from the central portion of the disc-shaped glass to the outer peripheral side acts on the inner peripheral region of the disc-shaped glass that is not solidified. Therefore, at this time, the disk-shaped glass becomes more flat. And while maintaining this state, the whole disk-shaped glass is gradually cooled and solidification of the area | region of an inner peripheral side occurs, The shape of a molding (glass blank for information recording media) is fixed. . Therefore, in the manufacturing method of the glass blank for information recording media of this embodiment, the glass blank which has high flatness can be obtained.

なお、本実施形態の情報記録媒体用ガラスブランクの製造方法は、直径d(mm)に対する厚みt(mm)の比(アスペクト比、t/d)のより小さい情報記録媒体用ガラスブランク(以下、単に「ガラスブランク」と略す場合がある)を製造する上で特に好適である。この理由は以下の通りである。まず、プレス直後の軟化状態の円板状ガラスは、上型のプレス面との微妙な剥離/粘着ムラや、上型や下型のプレス面内の微妙な温度ムラにより、大なり小なり、円板状ガラス面内に発生する張力に非対称性が生じると考えられる。しかし、アスペクト比の大きなガラスブランクを作製する場合は、アンバランスな張力が円板状ガラス面内に発生しても、その影響を受けにくく、比較的高い平坦性を維持するのが容易である。これに対して、アスペクト比の小さなガラスブランクを作製する場合は、アンバランスな張力が円板状ガラス面内に発生すると、その影響を大きく受けてしまい、平坦性が悪化しやすい。   In addition, the manufacturing method of the glass blank for information recording media of this embodiment is a glass blank for information recording media with a smaller ratio (aspect ratio, t / d) of thickness t (mm) to diameter d (mm) (hereinafter, This is particularly suitable for producing a “glass blank” in some cases. The reason is as follows. First, the softened disk-shaped glass immediately after pressing is more or less due to subtle peeling / adhesion unevenness with the upper die press surface and subtle temperature unevenness within the upper die or lower die press surface. It is considered that an asymmetry occurs in the tension generated in the disk-shaped glass surface. However, when producing a glass blank with a large aspect ratio, even if an unbalanced tension is generated in the disk-shaped glass surface, it is not easily affected and it is easy to maintain a relatively high flatness. . On the other hand, when producing a glass blank with a small aspect ratio, if an unbalanced tension is generated in the disk-shaped glass surface, it is greatly affected, and flatness tends to deteriorate.

このような観点からは、本実施形態の情報記録媒体用ガラスブランクの製造方法では、アスペクト比(t/d)が、0.020以下のガラスブランクを作製することが好ましく、アスペクト比(t/d)が、0.012以下のガラスブランクを作製することがより好ましい。なお、本実施形態の情報記録媒体用ガラスブランクの製造方法により製造するガラスブランクのアスペクト比(t/d)の下限は特に限定されるものではないが、実用上、0.010以上であることが好ましい。   From such a viewpoint, in the method for manufacturing a glass blank for information recording medium of the present embodiment, it is preferable to produce a glass blank having an aspect ratio (t / d) of 0.020 or less, and the aspect ratio (t / d) It is more preferable to produce a glass blank having d) of 0.012 or less. In addition, although the minimum of the aspect ratio (t / d) of the glass blank manufactured with the manufacturing method of the glass blank for information recording media of this embodiment is not specifically limited, It is 0.010 or more practically. Is preferred.

なお、ガラスブランクは、全面が平坦な円板状基板のみならず、部分的に厚肉部を設けたものも存在する。このような厚肉部を部分的に有するガラスブランクでは、ガラスブランクの厚みtは、薄肉部の厚みを基準とする。以下にアスペクト比の定義を図面を用いてより具体的に説明する。図1〜図3は、アスペクト比の定義を説明するための説明図である。ここで、図1は、円板状の薄肉部1のみからなるガラスブランク10の直径方向の断面を示す断面図であり、図2は、円板状の薄肉部1と、この薄肉部1の直径方向中央部の片面に凸を成すように設けられた円形状の厚肉部2とからなるガラスブランク12の直径方向の断面を示す断面図であり、図3は、円板状の薄肉部1と、この薄肉部1の直径方向周縁部の片面に凸を成すように設けられたリング状の厚肉部3とからなるガラスブランク14の直径方向の断面を示す断面図である。図1〜図3に例示するように、本発明における「アスペクト比」とは、厚肉部2、3の有無に関係無く、ガラスブランク10、12、14の最大径(直径d)と薄肉部1の厚みtとを基準として求められる値を意味する。   In addition, the glass blank includes not only a disk-shaped substrate whose entire surface is flat, but also a glass blank partially provided with a thick portion. In a glass blank partially having such a thick part, the thickness t of the glass blank is based on the thickness of the thin part. Hereinafter, the definition of the aspect ratio will be described more specifically with reference to the drawings. 1 to 3 are explanatory diagrams for explaining the definition of the aspect ratio. Here, FIG. 1 is a cross-sectional view showing a diametrical cross section of a glass blank 10 composed only of a disk-shaped thin part 1, and FIG. 2 shows a disk-shaped thin part 1 and the thin-walled part 1. It is sectional drawing which shows the cross section of the diameter direction of the glass blank 12 which consists of the circular-shaped thick part 2 provided so that it may convexly form in the single side | surface of a diameter direction center part, FIG. 3 is a disk-shaped thin part. 1 is a cross-sectional view showing a cross section in the diametrical direction of a glass blank 14 composed of 1 and a ring-shaped thick portion 3 provided so as to be convex on one surface of a diametrical peripheral portion of the thin-walled portion 1. As illustrated in FIGS. 1 to 3, the “aspect ratio” in the present invention refers to the maximum diameter (diameter d) and the thin wall portion of the glass blanks 10, 12, 14 regardless of the presence or absence of the thick wall portions 2, 3. It means a value obtained on the basis of a thickness t of 1.

冷却工程における軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却は、円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に実施されればよいが、平坦性をより向上させる観点からは円板状ガラスの中心部を基準として略等方的に実施することが好ましい。ここで、「対称的」とは、円板状ガラスの外周端近傍の一部を選択的に冷却する場合において、円板状ガラスの外周端近傍の冷却される領域が、円板状ガラスの中心部を基準として360度を整数nで割った角度毎に存在することを意味する。ここで、対称性の高さを示す整数nは、2以上であるが、より高い平坦性を得る観点からは4以上であることが好ましく、6以上がより好ましい。また、「等方的」とは、実質的に、整数nが無限大の値を取り「対称性」が極大となった状態を意味し、この場合は、円板状ガラスの外周端近傍を全周に沿って冷却することを意味する。   The cooling in the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass in the cooling process may be performed substantially symmetrically with respect to the center of the disk-shaped glass, but from the viewpoint of further improving flatness, the disk It is preferable to carry out substantially isotropically based on the center of the glass. Here, “symmetric” means that when a part of the vicinity of the outer peripheral edge of the disk-shaped glass is selectively cooled, the region to be cooled near the outer peripheral edge of the disk-shaped glass is This means that 360 degrees are present for each angle divided by an integer n with respect to the center. Here, the integer n indicating the height of symmetry is 2 or more, but from the viewpoint of obtaining higher flatness, it is preferably 4 or more, and more preferably 6 or more. “Isotropic” means a state in which the integer n takes an infinite value and “symmetry” is maximized. In this case, the vicinity of the outer peripheral edge of the disk-shaped glass is defined. It means cooling along the entire circumference.

なお、冷却工程において、(A)円板状ガラスの外周端近傍の冷却が局所的に偏っていたり、(B)過剰冷却である場合、外周端内側にいわゆるヒケと呼ばれる冷却時の体積収縮による窪みが発生することがある。そして、窪みの発生により、結果的にガラスブランクの平面度が低下する。しかしながら、本実施形態の情報記録媒体用ガラスブランクの製造方法では、円板状ガラスの外周端近傍の冷却は、円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に実施されるため、冷却が局所的に偏るのを抑制できる。このような冷却の局所的な偏り防止は、円板状ガラスの中心部を基準として冷却位置や冷却範囲、上述した対称性の高さを示す整数nの値を適宜選択することで調整できる。また、過剰冷却に関しては、冷却の度合を適宜調整することで抑制できる。なお、窪みの発生をより確実に抑制するためには、必要に応じてプレス面の形状を補正した上型や下型を利用してもよい。ここで、プレス面形状の補正は、冷却時におけるガラスの局所的な体積収縮を考慮して適宜決定することができる。また、冷却工程においては、円板状ガラスの外周端近傍の冷却は、円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に実施されるため、円板状ガラスに中心対称な張力を発生させることができる。しかしながら、こうした冷却をより確実に行うには、冷却が円板状ガラスの周辺から中心に向かって、リング状に徐々に進行するように冷却位置や冷却範囲、冷却度合を調整することが好ましい。   In the cooling process, when (A) the cooling in the vicinity of the outer peripheral edge of the disk-shaped glass is locally biased, or (B) it is excessive cooling, it is due to volume shrinkage during cooling called so-called sink on the inner peripheral edge. A dent may occur. And the flatness of a glass blank falls as a result by generation | occurrence | production of a hollow. However, in the manufacturing method of the information recording medium glass blank of the present embodiment, the cooling in the vicinity of the outer peripheral edge of the disk-shaped glass is performed substantially symmetrically with respect to the center of the disk-shaped glass. Local bias can be suppressed. Such prevention of local unevenness of cooling can be adjusted by appropriately selecting the cooling position, the cooling range, and the value of the integer n indicating the height of symmetry described above with reference to the center of the disk-shaped glass. Further, overcooling can be suppressed by appropriately adjusting the degree of cooling. In addition, in order to suppress generation | occurrence | production of a hollow more reliably, you may utilize the upper type | mold and lower type | mold which corrected the shape of the press surface as needed. Here, the correction of the press surface shape can be appropriately determined in consideration of local volume shrinkage of the glass during cooling. Further, in the cooling process, the cooling in the vicinity of the outer peripheral edge of the disk-shaped glass is performed substantially symmetrically with respect to the center of the disk-shaped glass, so that a centrally symmetric tension is generated in the disk-shaped glass. be able to. However, in order to perform such cooling more reliably, it is preferable to adjust the cooling position, the cooling range, and the cooling degree so that the cooling gradually proceeds in a ring shape from the periphery of the disk-shaped glass toward the center.

また、冷却工程において、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍は、歪点以上で、かつ、徐冷点以下の範囲内にまで冷却されることがより好ましい。冷却が当該温度範囲内となるように実施されることで、円板状ガラスの面内により効果的に張力を発生させることができる。このため、ガラスブランクの平坦性をより向上させることができる。   Further, in the cooling step, it is more preferable that the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass is cooled to a range above the strain point and below the annealing point. By performing the cooling so as to be within the temperature range, it is possible to generate tension more effectively in the plane of the disk-shaped glass. For this reason, the flatness of a glass blank can be improved more.

冷却方法における円板状ガラスの外周端近傍の冷却方法としては特に限定されず、公知の冷却方法が利用でき、たとえば、冷却用部材を円板状ガラスの外周端近傍に接触させて冷却する方法や、冷却用ガスを円板状ガラスの外周端近傍に吹き付けて冷却する方法が利用できる。しかしながら、本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法では、実用上、後者の冷却方法を採用することが好ましい。   There is no particular limitation on the cooling method in the vicinity of the outer peripheral edge of the disk-shaped glass in the cooling method, and a known cooling method can be used, for example, a method of cooling by bringing a cooling member into contact with the vicinity of the outer peripheral edge of the disk-shaped glass. Alternatively, it is possible to use a cooling method in which a cooling gas is blown to the vicinity of the outer peripheral edge of the disk-shaped glass. However, in the manufacturing method of the glass blank for an information recording medium substrate of the present embodiment, it is preferable to employ the latter cooling method practically.

この場合、冷却用ガスを噴出するガス噴き出し穴(又はノズル)は、上型や下型の近傍や、上型や下型のプレス面に配置することができる。なお、いずれの位置にガス噴き出し穴(又はノズル)を配置する場合でも、ガス噴き出し穴(又はノズル)は、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍を、軟化状態の円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に冷却できるように配置される。なお、冷却用ガスとしては、窒素ガスや空気など公知のガスが利用できるが、通常は空気を用いることが好ましい。また、冷却効率を高めるために、気体と水粒子とを混合した混合ガスを用いたり、高湿度の空気を用いてもよい。冷却用ガスを吹き付ける際のガスの温度としては特に限定されず、常温前後としてもよいが、必要に応じて所定の温度に調整しておいてもよい。   In this case, the gas ejection holes (or nozzles) for ejecting the cooling gas can be arranged in the vicinity of the upper mold or the lower mold, or on the press surfaces of the upper mold or the lower mold. Note that, even when the gas ejection hole (or nozzle) is arranged at any position, the gas ejection hole (or nozzle) is located in the vicinity of the outer peripheral end of the softened disk-shaped glass and the center of the softened disk-shaped glass. It arrange | positions so that it can cool substantially symmetrically on the basis of a part. As the cooling gas, known gases such as nitrogen gas and air can be used, but it is usually preferable to use air. Further, in order to increase the cooling efficiency, a mixed gas in which a gas and water particles are mixed may be used, or high humidity air may be used. The temperature of the gas at the time of blowing the cooling gas is not particularly limited, and may be around room temperature, but may be adjusted to a predetermined temperature as necessary.

また、ガス噴き出し穴(又はノズル)を利用して冷却を行う場合、上型のプレス面に複数のガス噴き出し穴を設けることが好ましい。この場合、冷却工程において、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却を、この複数のガス噴き出し穴から冷却用ガスを噴出させることにより行うことができる。なお、上型のプレス面に設けられるガス噴き出し穴の配置態様としては、たとえば、(1)剥離工程実施前の状態において上型のプレス面と軟化状態の円板状ガラスとが接触する円状の領域(以下、「プレス時接触領域」と略す場合がある)の外周側に沿って、軟化状態の円板状ガラスの中心部を基準として略対称的(又は略等方的)に設ける態様(第1の配置態様)や、(2)剥離工程実施前の状態においてプレス時の接触領域内の最外周側に沿って、軟化状態の円板状ガラスの中心部を基準として略対称的(又は略等方的)に設ける態様(第2の配置態様)が挙げられる。また、この他にも、プレス時の接触領域の輪郭線上に略一致するようにガス噴き出し穴を設ける態様や、以上に例示した3つの態様のうちのいずれか2つ以上を組み合わせた態様なども挙げることができる。   In addition, when cooling is performed using gas ejection holes (or nozzles), it is preferable to provide a plurality of gas ejection holes on the upper die press surface. In this case, in the cooling step, cooling in the vicinity of the outer peripheral end of the softened disk-shaped glass can be performed by ejecting a cooling gas from the plurality of gas ejection holes. In addition, as an arrangement mode of the gas ejection holes provided in the upper die press surface, for example, (1) a circular shape in which the upper die press surface and the softened disk-shaped glass are in contact with each other in a state before the peeling step is performed. A mode of providing substantially symmetrical (or substantially isotropic) with respect to the central portion of the softened disk-shaped glass along the outer peripheral side of the region (hereinafter may be abbreviated as “contact region during pressing”) (First arrangement mode) and (2) substantially symmetrical with respect to the central portion of the softened disk-shaped glass along the outermost peripheral side in the contact area at the time of pressing in the state before the peeling step ( Alternatively, a mode (second arrangement mode) provided in a substantially isotropic manner may be mentioned. In addition to this, an aspect in which a gas ejection hole is provided so as to substantially coincide with the contour line of the contact area at the time of pressing, an aspect in which any two or more of the three aspects exemplified above are combined, etc. Can be mentioned.

図4〜6は、本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法に用いられる上型のプレス面の一例を示す平面図である。ここで、図4は、第1の配置態様でプレス面に複数のガス噴き出し穴が設けられた一例を示す平面図であり、図5は、第1の配置態様でプレス面にガス噴き出し穴が設けられた他の例を示す平面図であり、図6は、第2の配置態様でプレス面に複数のガス噴き出し穴が設けられた一例を示す平面図である。   4-6 is a top view which shows an example of the press surface of the upper mold | type used for the manufacturing method of the glass blank for information recording medium substrates of this embodiment. Here, FIG. 4 is a plan view showing an example in which a plurality of gas ejection holes are provided on the press surface in the first arrangement mode, and FIG. 5 is a diagram showing gas ejection holes on the press surface in the first arrangement mode. FIG. 6 is a plan view showing another example in which a plurality of gas ejection holes are provided on the press surface in the second arrangement mode.

図4に示す上型20は、そのプレス面30に円形状のガス噴き出し穴40が複数設けられている。各々のガス噴き出し穴40は、上型20内に配置されたガス供給管(図中、不図示)に通じている。そして、冷却工程を実施する場合には、不図示の高圧ガス供給源からガス供給管を介して各々のガス噴き出し穴40から冷却用ガスを噴出する。また、複数のガス噴き出し穴40は、プレス面30内において、プレス時の接触領域32の外周側に沿って配置されている。この場合、たとえば、図4に示すように複数のガス噴き出し穴40は、所定の数づつ、6つのグループ40A、40B、40C、40D、40Eおよび40Fに分けて、ガス噴き出し穴グループ40A、40B、40C、40D、40Eおよび40Fを、この順にプレス時の接触領域32の外周側に沿って、プレス時接触領域32の中心点34に対して時計回り方向に90度毎に配置することができる。あるいは、図5に示すように複数のガス噴き出し穴40を、プレス時の接触領域32の外周側に沿って等間隔で配置することもできる。また、6つのガス噴き出し穴グループ40A、40B、40C、40D、40Eおよび40Fを、図4に示すようにプレス時の接触領域32の外周側では無く、図6に示すようにプレス時の接触領域32内の最外周側に沿って配置することもできる。   The upper die 20 shown in FIG. 4 has a plurality of circular gas ejection holes 40 on the press surface 30 thereof. Each gas ejection hole 40 communicates with a gas supply pipe (not shown in the figure) arranged in the upper mold 20. And when implementing a cooling process, the gas for cooling is ejected from each gas ejection hole 40 via a gas supply pipe | tube from a high-pressure gas supply source not shown. In addition, the plurality of gas ejection holes 40 are arranged along the outer peripheral side of the contact area 32 during pressing in the press surface 30. In this case, for example, as shown in FIG. 4, the plurality of gas ejection holes 40 are divided into six groups 40A, 40B, 40C, 40D, 40E and 40F in a predetermined number, and the gas ejection hole groups 40A, 40B, 40C, 40D, 40E, and 40F can be arranged every 90 degrees in this order along the outer peripheral side of the contact area 32 during pressing in this order with respect to the center point 34 of the contact area 32 during pressing. Alternatively, as shown in FIG. 5, a plurality of gas ejection holes 40 can be arranged at equal intervals along the outer peripheral side of the contact region 32 during pressing. Further, the six gas ejection hole groups 40A, 40B, 40C, 40D, 40E, and 40F are not located on the outer peripheral side of the contact area 32 during pressing as shown in FIG. 4, but are contact areas during pressing as shown in FIG. It can also arrange along the outermost peripheral side in 32.

なお、プレス面に設けるガス噴き出し穴40の形状は、図4〜図6に示すように、円形状であってもよいが、この他にも、たとえば、楕円状、多角形状等であってもよく、また、線状であってもよい。ガス噴き出し穴40の形状が円形状である場合、その穴径は特に限定されないが、実用上0.2mm〜0.4mm程度の範囲とすることが好ましい。また、ガス噴き出し穴40の数も特に限定されないが、実用上20個〜100個程度の範囲内とすることが好ましい。また、ガス噴き出し穴40の中心点からプレス時の接触領域32の輪郭線までの最短距離は、5mm以下が好ましく、3mm以下がより好ましい。これにより円板状ガラスの外周端近傍をより効率的かつ選択的に冷却することができる。   In addition, as shown in FIGS. 4-6, the shape of the gas ejection hole 40 provided in a press surface may be circular, but besides this, for example, it may be elliptical, polygonal, etc. It may also be linear. When the shape of the gas ejection hole 40 is circular, the diameter of the hole is not particularly limited, but it is preferable that the diameter is practically about 0.2 mm to 0.4 mm. Also, the number of gas ejection holes 40 is not particularly limited, but it is preferable that the number is practically in the range of about 20 to 100. Further, the shortest distance from the center point of the gas ejection hole 40 to the contour line of the contact region 32 at the time of pressing is preferably 5 mm or less, and more preferably 3 mm or less. As a result, the vicinity of the outer peripheral edge of the disk-shaped glass can be cooled more efficiently and selectively.

ここで、上型のプレス面に設けられるガス噴き出し穴の配置態様が、図4や図5に例示したように第1の配置態様である場合、冷却工程は、たとえば、以下の(A)または(B)に示す方式で実施することができる。
(A)軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却が、軟化状態の円板状ガラスが2つのプレス面間に挟持された状態において、複数のガス噴き出し穴から冷却用ガスを噴出させると略同時に、軟化状態の円板状ガラスを上型のプレス面から剥離する剥離工程も実施する方式。
(B)軟化状態の円板状ガラスを上型のプレス面から剥離する剥離工程を実施して、円板状ガラスを上型から一旦剥離した後、円板状ガラスのやや上方で上型を停止させた状態で、複数のガス噴き出し穴から冷却用ガスを噴出させて軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却を実施する方式。
Here, when the arrangement mode of the gas ejection holes provided on the press surface of the upper die is the first arrangement mode as illustrated in FIGS. 4 and 5, the cooling step includes, for example, the following (A) or It can be implemented by the method shown in (B).
(A) Cooling in the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass causes the cooling gas to be ejected from a plurality of gas ejection holes in a state where the softened disk-shaped glass is sandwiched between two press surfaces. At the same time, a method of performing a peeling process of peeling the softened disk-shaped glass from the upper press surface.
(B) A peeling process for peeling the softened disk-shaped glass from the upper mold press surface is carried out. After the disk-shaped glass is once peeled from the upper mold, the upper mold is moved slightly above the disk-shaped glass. In a stopped state, a cooling gas is ejected from a plurality of gas ejection holes to cool the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass.

また、上型のプレス面に設けられるガス噴き出し穴の配置態様が、図6に例示したように第2の配置態様である場合、冷却工程は、たとえば、以下の(C)または上記(B)に示す方式で実施することができる。
(C)軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却が、軟化状態の円板状ガラスが2つのプレス面間に挟持された状態において、複数のガス噴き出し穴から冷却用ガスを噴出させると略同時に、このガスの噴出力も利用して軟化状態の円板状ガラスを上型のプレス面から剥離する剥離工程も実施する方式。
When the arrangement mode of the gas ejection holes provided in the upper press surface is the second arrangement mode as illustrated in FIG. 6, the cooling step includes, for example, the following (C) or the above (B) It can be carried out by the method shown in FIG.
(C) Cooling in the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass causes the cooling gas to be ejected from the plurality of gas ejection holes in a state where the softened disk-shaped glass is sandwiched between the two press surfaces. At the same time, this gas jet power is also used to perform a peeling process to peel the softened disk-shaped glass from the upper press surface.

なお、ガス噴き出し穴40は、下型のプレス面側のみ、または、上型のプレス面に加えて下型のプレス面側にも、図4〜6に例示したような態様で配置してもよい。しかしながら、プレス面にガス噴き出し穴40を設ける場合は、上型のプレス面側のみとすることが最も好ましい。下型のプレス面側にガス噴き出し穴40を設けた場合、軟化状態の円板状ガラスが浮き上がってしまい、結果として、反りや変形が発生してしまうおそれもあるためである。   The gas ejection holes 40 may be arranged in the manner illustrated in FIGS. 4 to 6 only on the lower die press surface side or on the lower die press surface side in addition to the upper die press surface. Good. However, when the gas ejection hole 40 is provided on the press surface, it is most preferable to provide only the upper die press surface side. This is because, when the gas ejection hole 40 is provided on the lower mold press surface side, the softened disk-shaped glass floats up, and as a result, warpage and deformation may occur.

また、冷却用ガスによる軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却は、冷却用ガスを図4〜6に例示したように円板状ガラスの直径方向と垂直な方向側(縦方向)から吹き付ける態様(以下、「縦吹き付け」と称す場合がある)ではなく、特許文献1〜4に例示されるように直径方向と平行な方向側(横方向)から吹き付ける態様(以下、「横吹き付け」と称す)であってもよい。しかし、本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法では、横吹き付けよりも縦吹き付けにより、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍を冷却することがより好ましい。この理由は以下のとおりである。   Further, the cooling in the vicinity of the outer peripheral end of the softened disk-shaped glass with the cooling gas is performed in the direction (vertical direction) perpendicular to the diameter direction of the disk-shaped glass as illustrated in FIGS. The mode of spraying from the direction side (lateral direction) parallel to the diametrical direction as exemplified in Patent Documents 1 to 4 (hereinafter, sometimes referred to as “vertical spraying”) (hereinafter referred to as “horizontal spraying”) May be used). However, in the method for manufacturing the glass blank for an information recording medium substrate of the present embodiment, it is more preferable to cool the vicinity of the outer peripheral end of the softened disk-shaped glass by vertical spraying rather than horizontal spraying. The reason for this is as follows.

すなわち、本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法では、光学ガラス用の肉厚のガラスブランクではなく、情報記録媒体基板用の肉薄のガラスブランクを作製する。これは、特許文献1〜4に示されるような肉厚の光学ガラス用ガラスブランクを作製する場合よりも、情報記録媒体基板用ガラスブランクを作製する場合の方が、プレス時における上型と下型との間に形成される隙間が非常に小さくなることを意味する。よって、プレス時に、軟化状態のガラスブランクの外周側から中心部へと向かうように、横方向から冷却用ガスを軟化状態のガラスブランクの外周端近傍に吹き付けて冷却を行った場合、光学ガラス用ガラスブランクでは、上型と下型との間に形成される隙間が大きいため 上型と下型との間に噴出させた冷却用ガスが縦方向に逃げることが容易である。   That is, in the method for producing a glass blank for an information recording medium substrate according to the present embodiment, a thin glass blank for an information recording medium substrate is produced instead of a thick glass blank for optical glass. This is because when the glass blank for an information recording medium substrate is produced, the upper die and the lower die at the time of pressing are produced rather than the case of producing a thick glass blank for an optical glass as shown in Patent Documents 1 to 4. It means that the gap formed between the mold and the mold is very small. Therefore, at the time of pressing, when cooling is performed by blowing a cooling gas from the lateral direction to the vicinity of the outer peripheral edge of the softened glass blank so as to go from the outer peripheral side of the softened glass blank to the center part, for optical glass In the glass blank, since the gap formed between the upper mold and the lower mold is large, it is easy for the cooling gas ejected between the upper mold and the lower mold to escape in the vertical direction.

これに対して、情報記録媒体基板用ガラスブランクでは、上型と下型との間に形成される隙間が小さいため、上型と下型との間に噴出させた冷却用ガスが縦方向に逃げることは困難である。しかし、縦吹き付けを採用すれば、プレス時に、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍に吹き付けられた冷却用ガスは、縦方向に逃げることはできなくても、円板状ガラスの外周端近傍から離れる方向へと容易に逃げることができる。言い換えれば、本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法では、横吹き付けよりも縦吹き付けの方が、上型と下型との間に噴出させた冷却用ガスの逃げ道が確保し易いといえる。   On the other hand, in the glass blank for information recording medium substrate, since the gap formed between the upper mold and the lower mold is small, the cooling gas ejected between the upper mold and the lower mold is in the vertical direction. It is difficult to escape. However, if vertical spraying is used, the cooling gas blown near the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass during pressing cannot escape in the vertical direction, but the outer peripheral edge of the disk-shaped glass. Easily escape away from the vicinity. In other words, in the method for manufacturing a glass blank for an information recording medium substrate according to the present embodiment, it is easier to secure an escape path for the cooling gas ejected between the upper die and the lower die in the vertical blowing than in the horizontal blowing. It can be said.

このため、横吹き付けではなく、縦吹き付けを採用した場合、a)対称的に冷却するのがより容易である、b)十分な量の冷却用ガスを吹き付けるのがより容易である、c)冷却用ガスが、冷却用ガラスの外周端近傍に到達するまでの間に、加熱された上下のプレス面をガスが通過する過程で余熱されて、冷却効果が減殺されることが無いというメリットがある。そして、結果として、横吹き付けではなく、縦吹き付けを採用した場合の方が、より高い平坦性を有するガラスブランクを得ることができる。また、図4〜図6に例示したように上型のプレス面側から冷却用ガスを吹き付ける場合は、さらに、上型と、軟化状態の円板状ガラスとの剥離性も向上させることができる。   Therefore, when vertical spraying is used instead of horizontal spraying, a) it is easier to cool symmetrically, b) it is easier to spray a sufficient amount of cooling gas, c) cooling Until the gas reaches the vicinity of the outer peripheral edge of the cooling glass, there is a merit that the cooling effect is not diminished by preheating in the process of the gas passing through the heated upper and lower press surfaces. . As a result, a glass blank having higher flatness can be obtained when vertical spraying is used instead of horizontal spraying. Moreover, when spraying the cooling gas from the press surface side of the upper die as illustrated in FIGS. 4 to 6, the peelability between the upper die and the soft disk-like glass can be further improved. .

また、ダイレクトプレス法では、塊状ガラス延伸工程および剥離工程(以下、両工程を合わせて「プレス工程」と称す場合がある)に用いられる成形型として、たとえば、図7に示すものを用いることができる。図7に例示する成形型は、ガラスブランクの両面を形成するために用いる上型26および下型28の他に、プレス時に軟化状態の塊状ガラス60のプレス面方向への延伸を規制するために胴型50を組み合わせて用いている。本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法においても、軟化状態の塊状ガラスのプレス面方向への自由な延伸を規制する胴型50等の規制部材を用いたプレス方式(非サイドフリープレス方式)を採用することも可能である。しかしながら、本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法においては、軟化状態の塊状ガラス60のプレス面方向、すなわち、外周方向への延伸を規制する胴型50等の規制部材を用いないプレス方式(サイドフリープレス方式)を採用することが特に好ましい。この理由は以下の2つである。   In the direct press method, for example, a mold shown in FIG. 7 may be used as a mold used in the bulk glass stretching step and the peeling step (hereinafter, both steps may be collectively referred to as “pressing step”). it can. The molding die illustrated in FIG. 7 is for restricting stretching in the press surface direction of the bulk glass 60 in a soft state during pressing, in addition to the upper die 26 and the lower die 28 used for forming both surfaces of the glass blank. A body mold 50 is used in combination. Also in the method for manufacturing a glass blank for an information recording medium substrate of the present embodiment, a press method using a restricting member such as a barrel die 50 that restricts free stretching of a softened bulk glass in the press surface direction (non-side free) It is also possible to employ a press method. However, in the method for manufacturing a glass blank for an information recording medium substrate according to the present embodiment, a regulating member such as a body mold 50 that regulates stretching in the press surface direction of the soft glass glass 60, that is, the outer peripheral direction, is not used. It is particularly preferable to employ a press method (side free press method). There are two reasons for this.

まず、第一の理由としては、サイドフリープレス方式では、剥離工程において、軟化状態の円板状ガラスと上型のプレス面全面とが同時に剥離することが挙げられる。図7に示すように非サイドフリープレス方式で用いる情報記録媒体基板用のガラスブランクを作製するプレス装置では、上型26が外枠52内に上下に移動可能に配置された構造を有しているものもある。この場合、非サイドフリープレス方式における剥離工程は、軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の上面部分を外枠52で押さえたまま、上型26と円板状ガラスとの剥離が行われる。一方、剥離直前の円板状ガラスと上型26のプレス面との間には、大なり小なり粘着力が作用している。このため、剥離に際しては円板状ガラスの中央部を引っ張り上げるような力が作用することになる。それゆえ、非サイドフリープレス方式では、アスペクト比が小さなガラスブランクを作製しようとするほど平面度が悪化しやすくなる可能性がある。しかしながら、サイドフリープレス方式では、円板状ガラスの全面と上型のプレス面全面とが同時に剥離するため、このような問題は発生しえない。   First, as a first reason, in the side free press method, in the peeling process, the softened disk-shaped glass and the entire upper press surface are peeled simultaneously. As shown in FIG. 7, the press device for producing a glass blank for an information recording medium substrate used in the non-side free press method has a structure in which an upper die 26 is arranged so as to be vertically movable in an outer frame 52. Some are. In this case, in the peeling step in the non-side free press method, the upper die 26 and the disk-shaped glass are peeled while the upper surface portion near the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass is held by the outer frame 52. . On the other hand, a greater or lesser adhesive force acts between the disk-shaped glass immediately before peeling and the press surface of the upper die 26. For this reason, at the time of peeling, a force that pulls up the central portion of the disk-shaped glass acts. Therefore, in the non-side free press method, the flatness tends to deteriorate as the glass blank having a small aspect ratio is manufactured. However, in the side free press method, the entire surface of the disk-shaped glass and the entire upper press surface are peeled off at the same time, and thus such a problem cannot occur.

また、第二の理由としては、サイドフリープレス方式では、プレス時に軟化状態の塊状ガラスのプレス面方向への自由な延伸が規制されないことが挙げられる。すなわち、サイドフリープレス方式では、塊状ガラス延伸工程において、下型のプレス面上に供給される軟化状態の塊状ガラスの容量変動に関係無く、2つのプレス面の間隔を一定とした状態で、2つのプレス面間に挟持された軟化状態の塊状ガラスを完全に延伸させることができる。それゆえ、下型28のプレス面上に供給される軟化状態のガラス塊60の容量が多少変動したとしても、プレス時に上型26および下型28のプレス面間の距離を一定に保ちつつ、ガラス塊60の容量変動を、ガラスブランクの外径ばらつきとして吸収させることができる。したがって、サイドフリープレス方式を採用した場合、非サイドフリープレス方式を採用した場合よりもガラスブランク間の厚みばらつきを小さくすることができ、結果として後工程である研磨工程の負荷をより小さくすることができる。   The second reason is that in the side free press method, free stretching in the press surface direction of the bulk glass softened during pressing is not regulated. That is, in the side-free press system, in the bulk glass stretching step, the distance between the two press surfaces is constant regardless of the capacity fluctuation of the softened bulk glass supplied onto the lower mold press surface. The softened bulk glass sandwiched between the two pressing surfaces can be completely stretched. Therefore, even if the capacity of the softened glass lump 60 supplied onto the press surface of the lower die 28 varies somewhat, while maintaining the distance between the press surfaces of the upper die 26 and the lower die 28 at the time of pressing, The capacity variation of the glass lump 60 can be absorbed as the outer diameter variation of the glass blank. Therefore, when the side free press method is adopted, the thickness variation between the glass blanks can be made smaller than when the non-side free press method is adopted, and as a result, the load of the polishing process, which is a subsequent process, can be made smaller. Can do.

また、プレス工程を実施する前に下型のプレス面に窒化ホウ素(BN)などの耐熱性の固体潤滑剤粉末を付着させてもよい。これにより、下型のプレス面上に供給された塊状ガラスとプレス面との潤滑性が向上するため、プレス時に塊状ガラスをより薄くプレスすることが容易になる。   In addition, a heat-resistant solid lubricant powder such as boron nitride (BN) may be adhered to the lower die press surface before the pressing step. Thereby, since the lubricity between the block glass supplied on the lower mold press surface and the press surface is improved, it becomes easier to press the block glass thinner during pressing.

プレスに用いる上型および下型としては、冷却用ガスを噴出させるガス噴き出し穴を設ける点を除けば、ガラスのプレス成型に利用できる成形型であれば公知のものが利用できる。なお、図2や図3に例示したように、部分的に厚肉部を有するガラスブランクを作製する場合は、この厚肉部2,3に対応するようにプレス面に凹部を設けた成形型が利用できる。また、プレス時のプレス面へのガラスの貼り付きをより確実に抑制するために、プレス面には、ダイヤモンドライクカーボンや、酸化クロム、ニッケル合金などの酸化防止膜を設けてもよい。特に上型のプレス面に酸化防止膜を設けた場合、より確実に貼り付きや変形を抑制することができる。   As the upper mold and the lower mold used for the press, known molds can be used as long as they can be used for press molding of glass, except that a gas ejection hole for ejecting a cooling gas is provided. As illustrated in FIGS. 2 and 3, when a glass blank having a partially thick portion is produced, a mold having a recess on the press surface so as to correspond to the thick portions 2 and 3. Is available. In order to more reliably suppress the sticking of the glass to the press surface during pressing, an anti-oxidation film such as diamond-like carbon, chromium oxide, or nickel alloy may be provided on the press surface. In particular, when an antioxidant film is provided on the press surface of the upper die, sticking and deformation can be more reliably suppressed.

次に、プレス工程も含めた本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法の典型例について以下に説明する。まず、溶解、清澄され、攪拌均一化されたガラス材料からなる溶融ガラスを、流出ノズルから一定の流出速度で連続して排出させ、この溶融ガラス流をシアと呼ばれる切断機によって、常に一定質量の軟化状態のガラス塊が得られるように周期的に切断する。切断された軟化状態のガラス塊は、流出ノズル直下で待機している下型のプレス面上に供給(キャスト)される。流出ノズルから排出される溶融ガラスは、軟化した状態であり、その粘度は0.3〜100Pa・s程度である。なお、下型の温度はガラス塊の温度よりも低温ではあるが、ガラス塊の温度が急降下してプレス不能とならない温度に調温される。なお、下型のプレス面には、キャストされる溶融ガラスのプレス面に対する潤滑性を向上させるために、必要に応じて予め窒化ホウ素(BN)粉末などの固体潤滑剤を付着させておいてもよい。   Next, the typical example of the manufacturing method of the glass blank for information recording medium substrates of this embodiment including a press process is demonstrated below. First, molten glass made of glass material that has been melted, clarified and homogenized with stirring is continuously discharged from an outflow nozzle at a constant outflow speed, and this molten glass stream is always discharged by a cutting machine called shear. Periodically cut to obtain a softened glass lump. The softened glass lump that has been cut is supplied (cast) onto the press surface of the lower mold that is waiting just under the outflow nozzle. The molten glass discharged from the outflow nozzle is in a softened state and has a viscosity of about 0.3 to 100 Pa · s. Although the temperature of the lower mold is lower than the temperature of the glass lump, the temperature of the lower mold is adjusted to a temperature at which the temperature of the glass lump suddenly drops and is not pressable. In addition, in order to improve the lubricity with respect to the press surface of the molten glass to be cast, a solid lubricant such as boron nitride (BN) powder may be attached to the lower mold press surface in advance. Good.

上記キャストが終わって軟化状態のガラスをそのプレス面上に載置した下型は、上型が待機しているプレス位置に移送されて、上型および下型によりプレス成形される。この際の上型および下型の温度、プレス圧力、プレス時間は、ガラス転移温度等のガラスの熱物性や、作製するガラスブランクの直径・厚み、サイドフリープレス方式か否か等を考慮して適宜設定する。たとえば、下型の温度を、350〜650℃の範囲とし、上型温度を、250〜550℃で、かつ、下型温度〜[下型温度−100℃]の範囲に設定することができる。プレス時の加圧力については数GPa程度を目安にできるが、特にこの範囲に限定されるものではなく、適宜調整することができる。   The lower mold in which the cast is finished and the softened glass is placed on the press surface is transferred to a press position where the upper mold is waiting, and is pressed by the upper mold and the lower mold. At this time, the temperature of the upper and lower molds, the pressing pressure, and the pressing time take into consideration the thermal properties of the glass such as the glass transition temperature, the diameter and thickness of the glass blank to be produced, and whether or not the side free press method is used. Set as appropriate. For example, the lower mold temperature can be set in the range of 350 to 650 ° C., the upper mold temperature can be set in the range of 250 to 550 ° C., and the lower mold temperature to [lower mold temperature−100 ° C.]. The pressing force during pressing can be about several GPa, but is not particularly limited to this range, and can be adjusted as appropriate.

プレス成形を終えると、成形品の上面が上型から離型され、成形品を載置した下型はテイクアウトを行う位置に移送される。なお、プレス位置とテイクアウト位置との間で下型を停留させて、下型上の成形品の上面を押し型で押圧し、成形品の反りを修正してからテイクアウト位置に下型と共に移送してもよい。成形品は、テイクアウト位置に移送されるまでの間に、ガラス転移温度付近あるいはガラス転移温度より低い温度にまで冷却される。これはテイクアウトの際に加わる力によって、成形品が変形してしまうのを防ぐためである。テイクアウトは、成形品の上面を吸着手段で吸着保持して行われる。テイクアウトされた成形品は、大気中で急冷されたのち、除歪するためにアニール炉に入れられてアニールされる。そして、このような一連の工程を経ることでガラスブランクを得ることができる。   When the press molding is completed, the upper surface of the molded product is released from the upper mold, and the lower mold on which the molded product is placed is transferred to a take-out position. Note that the lower mold is stopped between the press position and the take-out position, the upper surface of the molded product on the lower mold is pressed with the pressing mold, the warpage of the molded product is corrected, and then transferred to the take-out position together with the lower mold. May be. The molded product is cooled to near the glass transition temperature or lower than the glass transition temperature before being transferred to the take-out position. This is to prevent the molded product from being deformed by the force applied during take-out. Take-out is performed by adsorbing and holding the upper surface of the molded product with an adsorbing means. The take-out molded product is rapidly cooled in the atmosphere, and then placed in an annealing furnace and annealed for strain removal. And a glass blank can be obtained through such a series of processes.

本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法により作製されるガラスブランクのガラス組成としては、これを用いて作製される基板や情報記録媒体に応じて適宜選択できるが、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラスなどを挙げることができる。また、これらのガラスは加熱処理により結晶化する結晶化ガラスであってもよい。   The glass composition of the glass blank produced by the method for producing a glass blank for an information recording medium substrate of the present embodiment can be appropriately selected according to the substrate produced using this and the information recording medium. For example, aluminosilicate is used. Examples thereof include glass, soda lime glass, soda aluminosilicate glass, aluminoborosilicate glass, borosilicate glass, quartz glass, and chain silicate glass. These glasses may be crystallized glass that crystallizes by heat treatment.

なお、アルミノシリケートガラスとしては、SiOが58質量%以上75質量%以下、Alが5質量%以上23質量%以下、LiOが3質量%以上10質量%以下、NaOが4質量%以上13質量%以下を主成分として含有するアルミノシリケートガラス(ただし、リン酸化物を含まないアルミノシリケートガラス)を用いてよい。たとえば、SiOが62質量%以上75質量%以下、Alが5質量%以上15質量%以下、LiOが4質量%以上10質量%以下、NaOが4質量%以上12質量%以下、ZrOが5.5質量%以上15質量%以下を主成分として含有するとともに、NaO/ZrOの質量比が0.5以上2.0以下、Al/ZrOの質量比が0.4以上2.5以下であるリン酸化物を含まないアモルファスのアルミノシリケートガラスとしてよい。なお、CaOやMgOといったアルカリ土類金属酸化物を含まないガラスであることが望ましい。このようなガラスとしては、HOYA株式会社製のN5ガラス(商品名)を挙げることができる。 As the aluminosilicate glass, SiO 2 is 58% by mass to 75% by mass, Al 2 O 3 is 5% by mass to 23% by mass, Li 2 O is 3% by mass to 10% by mass, Na 2 O. May be an aluminosilicate glass containing 4 mass% or more and 13 mass% or less as a main component (however, an aluminosilicate glass not containing a phosphorus oxide). For example, SiO 2 is 62% by mass to 75% by mass, Al 2 O 3 is 5% by mass to 15% by mass, Li 2 O is 4% by mass to 10% by mass, and Na 2 O is 4% by mass to 12% by mass. Mass% or less, ZrO 2 contains 5.5 mass% or more and 15 mass% or less as a main component, and the mass ratio of Na 2 O / ZrO 2 is 0.5 or more and 2.0 or less, Al 2 O 3 / ZrO. It is good also as an amorphous aluminosilicate glass which does not contain the phosphorus oxide whose mass ratio of 2 is 0.4-2.5. In addition, it is desirable that the glass does not contain an alkaline earth metal oxide such as CaO or MgO. Examples of such glass include N5 glass (trade name) manufactured by HOYA Corporation.

(情報記録媒体用基板の製造方法)
上述した本実施形態の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法により作製されたガラスブランクについては、このガラスブランクの少なくとも片面を研削・研磨する研削・研磨工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を作製する。また、ガラスブランクを構成するガラスが熱処理により結晶化可能なガラス組成を有する場合は、上記工程の他に、ガラスブランクを加熱することにより結晶化させる結晶化工程を組み合わせることもできる。なお、情報記録媒体用基板の製造の一典型例としては、たとえば、(1)第1ラッピング工程、(2)切り出し工程(コアリング、フォーミング)、(3)端面研削工程、(4)第2ラッピング工程、(5)端面研磨工程、(6)主表面研磨工程、(7)化学強化工程および冷却工程、(8)精密洗浄工程、をこの順に実施することできる。以下、これら8つの工程についてより具体的に説明する。
(Method for manufacturing substrate for information recording medium)
About the glass blank produced by the manufacturing method of the glass blank for information recording medium substrates of this embodiment mentioned above, the substrate for information recording media is passed through at least a grinding and polishing process for grinding and polishing at least one surface of the glass blank. Make it. Moreover, when the glass which comprises a glass blank has a glass composition which can be crystallized by heat processing, the crystallizing process crystallized by heating a glass blank other than the said process can also be combined. As typical examples of manufacturing the information recording medium substrate, for example, (1) a first lapping step, (2) a cutting step (coring, forming), (3) an end surface grinding step, (4) a second The lapping step, (5) end surface polishing step, (6) main surface polishing step, (7) chemical strengthening step and cooling step, and (8) precision cleaning step can be performed in this order. Hereinafter, these eight steps will be described more specifically.

(1)第1ラッピング工程
第1ラッピング工程では、ガラスブランクの両主表面をラッピング加工することで、ディスク状のガラス素板を得る。このラッピング加工は、遊星歯車機構を利用した両面ラッピング装置により、アルミナ系遊離砥粒を用いて行うことができる。具体的には、ガラス素板の両面に上下からラップ定盤を押圧させ、遊離砥粒を含む研削液をガラス素板の主表面上に供給し、これらを相対的に移動させてラッピング加工を行うことができる。このラッピング加工により、平坦な主表面を有するガラス素板が得られる。
(1) First lapping step In the first lapping step, a disk-shaped glass base plate is obtained by lapping both main surfaces of the glass blank. This lapping process can be performed using alumina free abrasive grains with a double-sided lapping apparatus using a planetary gear mechanism. Specifically, the lapping platen is pressed on both sides of the glass base plate from above and below, and a grinding liquid containing free abrasive grains is supplied onto the main surface of the glass base plate, and these are moved relatively to perform lapping processing. It can be carried out. By this lapping process, a glass base plate having a flat main surface is obtained.

(2)切り出し工程(コアリング、フォーミング)
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス素板を切断し、このガラス素板から、円盤状のガラス基板を切り出す。次に、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に円孔を形成し、ドーナツ状のガラス基板を得る(コアリング)。
(2) Cutting process (coring, forming)
Next, the glass base plate is cut using a diamond cutter, and a disk-shaped glass substrate is cut out from the glass base plate. Next, using a cylindrical diamond drill, a circular hole is formed in the center of the glass substrate to obtain a donut-shaped glass substrate (coring).

(3)端面研削工程
そして内周端面および外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施す(フォーミング)。
(3) End surface grinding process And an inner peripheral end surface and an outer peripheral end surface are ground with a diamond grindstone, and a predetermined chamfering process is performed (forming).

(4)第2ラッピング工程
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行う。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができる。
(4) Second Lapping Step Next, a second lapping process is performed on both main surfaces of the obtained glass substrate in the same manner as in the first lapping step. By performing this second lapping step, it is possible to remove in advance the fine unevenness formed on the main surface in the cutting step and end surface polishing step, which are the previous steps, and shorten the subsequent polishing step on the main surface. Can be completed in time.

(5)端面研磨工程
次に、ガラス基板の端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行う。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いることができる。この端面研磨工程により、ガラス基板の端面から、パーティクル等の発塵を防止できる。
(5) End surface polishing step Next, the end surface of the glass substrate is mirror-polished by a brush polishing method. At this time, as the abrasive grains, a slurry (free abrasive grains) containing cerium oxide abrasive grains can be used. By this end surface polishing step, generation of particles and the like from the end surface of the glass substrate can be prevented.

(6)主表面研磨工程
主表面研磨工程の前半工程として、まず第1研磨工程を実施する。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とする。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行う。研磨液としては、たとえば、酸化セリウム砥粒を用いることができる。そして、この第1研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄する。
(6) Main surface polishing step As the first half step of the main surface polishing step, a first polishing step is first performed. This first polishing process is mainly intended to remove scratches and distortions remaining on the main surface in the lapping process described above. In the first polishing step, the main surface is polished using a hard resin polisher by a double-side polishing apparatus having a planetary gear mechanism. For example, cerium oxide abrasive grains can be used as the polishing liquid. And the glass substrate which finished this 1st grinding | polishing process is immersed in each washing tank of a neutral detergent, a pure water, and IPA (isopropyl alcohol) sequentially, and is wash | cleaned.

次に、主表面研磨工程の後半工程として、第2研磨工程を実施する。この第2研磨工程は、主表面を鏡面状に仕上げることを目的とする。この第2研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、軟質発泡樹脂ポリッシャを用いて、主表面の鏡面研磨を行うことができる。研磨液としては、第1研磨工程で用いた酸化セリウム砥粒よりも微細な酸化セリウム砥粒を用いることができる。この第2研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄する。なお、各洗浄槽には、超音波を印加する。   Next, a second polishing step is performed as the latter half of the main surface polishing step. The purpose of this second polishing step is to finish the main surface into a mirror surface. In the second polishing step, the main surface can be mirror-polished using a soft foam resin polisher by a double-side polishing apparatus having a planetary gear mechanism. As the polishing liquid, cerium oxide abrasive grains finer than the cerium oxide abrasive grains used in the first polishing step can be used. The glass substrate that has finished the second polishing step is sequentially immersed in each cleaning bath of neutral detergent, pure water, and IPA (isopropyl alcohol) to be cleaned. An ultrasonic wave is applied to each cleaning tank.

(7)化学強化工程および冷却工程
情報記録媒体用基板の作製に用いるガラスブランクが、リチウムやナトリウムなどのアルカリ金属を含むガラスからなる場合は、前述のラッピング工程および研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施すのが好ましい。化学強化工程を行うことにより、情報記録媒体用基板の表層部に高い圧縮応力を生じさせることができる。このため、情報記録媒体用基板の表面の耐衝撃性を向上させることができる。このような化学強化処理は、情報を記録再生するヘッドが、機械的に情報記録媒体表面に接触する可能性のある磁気記録媒体を作製する上で非常に好適である。
(7) Chemical strengthening step and cooling step When the glass blank used for the production of the information recording medium substrate is made of glass containing an alkali metal such as lithium or sodium, the glass substrate that has been subjected to the lapping step and polishing step described above is used. It is preferable to apply chemical strengthening. By performing the chemical strengthening step, a high compressive stress can be generated in the surface layer portion of the information recording medium substrate. For this reason, the impact resistance of the surface of the information recording medium substrate can be improved. Such chemical strengthening treatment is very suitable for producing a magnetic recording medium in which a head for recording / reproducing information may mechanically come into contact with the surface of the information recording medium.

化学強化は、硝酸カリウムと硝酸ナトリウムを混合した化学強化溶液を準備し、この化学強化溶液を加熱しておくとともに、洗浄済みのガラス基板を予熱し、化学強化溶液中に浸漬することによって行う。このように、化学強化溶液に浸漬処理することによって、ガラス基板の表層のリチウムイオンおよびナトリウムイオンが、化学強化溶液中のナトリウムイオンおよびカリウムイオンにそれぞれ置換され、ガラス基板が強化される。   The chemical strengthening is performed by preparing a chemical strengthening solution in which potassium nitrate and sodium nitrate are mixed, heating the chemical strengthening solution, preheating the cleaned glass substrate, and immersing it in the chemical strengthening solution. Thus, by immersing in the chemical strengthening solution, the lithium ions and sodium ions in the surface layer of the glass substrate are replaced with sodium ions and potassium ions in the chemical strengthening solution, respectively, and the glass substrate is strengthened.

続いて、化学強化工程を終えたガラス基板を、水槽に浸漬して冷却し、しばらくの間維持する。そして、冷却を終えたガラス基板を、加熱した濃硫酸に浸漬して洗浄を行う。さらに、硫酸洗浄を終えたガラス基板を、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して洗浄する。なお、各洗浄槽には超音波を印加する。   Then, the glass substrate which finished the chemical strengthening process is immersed in a water bath, cooled, and maintained for a while. Then, the cooled glass substrate is cleaned by immersing it in heated concentrated sulfuric acid. Further, the glass substrate after the sulfuric acid cleaning is cleaned by immersing in a cleaning bath of pure water and IPA (isopropyl alcohol) sequentially. In addition, an ultrasonic wave is applied to each washing tank.

(8)精密洗浄工程
次に、研磨剤残渣や外来の鉄系コンタミなどを除去し、ガラス基板の表面をより平滑かつ清浄にするために、精密洗浄工程を実施するのが好ましい。このような精密洗浄工程の実施は、情報を記録再生するヘッドが、機械的に情報記録媒体表面に接触する可能性のある磁気記録媒体を作製する上で非常に好適である。精密洗浄の実施によりヘッドクラッシュやサーマルアスペリティの発生を抑制できるためである。なお、精密洗浄工程としては、アルカリ性水溶液による洗浄の後に、水リンス洗浄、IPA洗浄工程を行うようにしてもよい。
(8) Precision cleaning step Next, it is preferable to carry out a precision cleaning step in order to remove abrasive residues and foreign iron-based contaminants, and to make the surface of the glass substrate smoother and cleaner. Such a precision cleaning process is very suitable for producing a magnetic recording medium in which a head for recording / reproducing information may mechanically contact the surface of the information recording medium. This is because the occurrence of head crashes and thermal asperities can be suppressed by carrying out precision cleaning. In addition, as a precision washing | cleaning process, you may make it perform a water rinse washing | cleaning and IPA washing | cleaning process after washing | cleaning by alkaline aqueous solution.

これらの一連の工程を経て作製された情報記録媒体用基板の表面粗さは、Raでサブナノメーターのオーダーとすることができる。なお、表面粗さは、主表面研磨条件や洗浄条件を選択することにより適宜調整することができる。なお、以上、8つの工程を経て得られた情報記録媒体用基板は、公知の磁気記録、光記録、光磁気記録等の公知の各種記録方式を採用した情報記録媒体の作製に用いることができるが、特に磁気記録媒体の作製に用いることが好適である。また、磁気記録媒体用基板ほどに、情報記録媒体用基板表面の清浄性、平滑性、耐衝撃性が要求されない用途の情報記録媒体用基板の場合は、必要に応じて上記8つの工程の一部を実施しなくてもよいし、また、各工程をより簡略化したり、よりラフな条件で実施してもよい。   The surface roughness of the information recording medium substrate manufactured through these series of steps can be set to the order of sub-nanometers by Ra. The surface roughness can be appropriately adjusted by selecting main surface polishing conditions and cleaning conditions. The information recording medium substrate obtained through the above-described eight steps can be used for production of an information recording medium employing various known recording methods such as known magnetic recording, optical recording, and magneto-optical recording. However, it is particularly suitable for use in producing a magnetic recording medium. Further, in the case of an information recording medium substrate that is not required to have cleanness, smoothness, and impact resistance on the surface of the information recording medium substrate as much as the magnetic recording medium substrate, one of the above eight steps is performed as necessary. The steps may not be performed, and each process may be simplified or performed under rougher conditions.

(情報記録媒体の製造方法)
このようにして得られた情報記録媒体用基板の少なくとも片面に、情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経ることで、情報記録媒体を製造することができる。なお、磁気記録媒体を作製する場合は、情報記録層として磁気記録層が設けられる。この磁気記録媒体は、水平磁気記録方式および垂直磁気記録方式のいずれであってもよいが、垂直磁気記録方式であることが好ましい。垂直磁気記録方式の磁気記録媒体を作製する場合は、たとえば、情報記録媒体用基板の両面に、Cr合金からなる付着層、FeCoCrB合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt−TiO合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を、この順に順次成膜することができる。なお、付着層、軟磁性層、下地層、垂直磁気記録層は、スパッタリング法により成膜することができ、保護層は、スパッタリング法やCVD法(Chemical Vapor Deposition法)により成膜することができ、潤滑層は浸漬塗布法により成膜することができる。また、付着層から保護層までの成膜は、各層の連続成膜が可能なインライン型または枚葉型のスパッタリング装置を用いることができ、潤滑層の成膜は浸漬塗布装置を用いることができる。
(Method of manufacturing information recording medium)
The information recording medium can be manufactured by performing at least an information recording layer forming step of forming an information recording layer on at least one surface of the information recording medium substrate thus obtained. When a magnetic recording medium is manufactured, a magnetic recording layer is provided as an information recording layer. The magnetic recording medium may be either a horizontal magnetic recording system or a perpendicular magnetic recording system, but is preferably a perpendicular magnetic recording system. When a perpendicular magnetic recording type magnetic recording medium is manufactured, for example, an adhesion layer made of Cr alloy, a soft magnetic layer made of FeCoCrB alloy, an underlayer made of Ru, and CoCrPt—TiO 2 on both surfaces of an information recording medium substrate. A perpendicular magnetic recording layer made of an alloy, a protective layer made of hydrogenated carbon, and a lubricating layer made of perfluoropolyether can be sequentially formed in this order. The adhesion layer, the soft magnetic layer, the underlayer, and the perpendicular magnetic recording layer can be formed by a sputtering method, and the protective layer can be formed by a sputtering method or a CVD method (Chemical Vapor Deposition method). The lubricating layer can be formed by a dip coating method. Further, in-line type or single-wafer type sputtering apparatus capable of continuous film formation of each layer can be used for film formation from the adhesion layer to the protective layer, and immersion coating apparatus can be used for film formation of the lubricating layer. .

以下に、本発明について実施例を挙げてより詳細に説明するが、本発明は以下の実施例にのみ限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples.

(実施例1)
アルミノシリケートガラスを溶融した溶融ガラスを、下型のプレス面上に供給した後、上型と下型とによりサイドフリー方式でプレスすることにより断面形状が図1に示す形状を有するガラスブランク10(薄肉部の厚みt=1.2mm、薄肉部の直径d=70mm、アスペクト比t/d=0.017)を作製した。ここで、このガラスブランク10の作製に際しては、図4に示すパターンでガス噴き出し穴40を設けた上型20を用いた。また、冷却工程は、プレス後に上型20が上方に移動するのと略同時(上型20と軟化状態の円板状ガラスとが剥離するのと略同時)に、ガス噴き出し穴40から常温の空気(供給圧力:約0.2MPa)を0.4秒間噴射することにより実施した。
Example 1
A glass blank 10 having a cross-sectional shape shown in FIG. 1 is obtained by supplying molten glass obtained by melting aluminosilicate glass onto a pressing surface of a lower mold and then pressing the upper mold and the lower mold in a side-free manner. The thickness t = 1.2 mm of the thin part, the diameter d = 70 mm of the thin part, and the aspect ratio t / d = 0.17) were produced. Here, when manufacturing this glass blank 10, the upper mold | type 20 which provided the gas ejection hole 40 with the pattern shown in FIG. 4 was used. In addition, the cooling step is performed at a normal temperature from the gas ejection hole 40 at approximately the same time as the upper mold 20 moves upward after pressing (approximately at the same time as the upper mold 20 and the softened disk-shaped glass peel off). Air (supply pressure: about 0.2 MPa) was injected for 0.4 seconds.

この実施例1で用いた上型20のプレス面30の各部の主要な寸法は以下の通りである。
・プレス時の接触領域32の直径:70mm
・ガス噴き出し穴40の総数:48個
(各グループ40A、40B、40C、40D、40E、40F当たりの数:8個)
・ガス噴き出し穴40の直径:0.4mm
・プレス時の接触領域32の最外周−ガス噴き出し穴40の中心点との最短距離:0.5mm
・各グループ40A、40B、40C、40D、40E、40F内における隣接する2つのガス噴き出し穴40の中心点間の距離:5mm
The main dimensions of each part of the press surface 30 of the upper mold 20 used in Example 1 are as follows.
-Diameter of contact area 32 during pressing: 70 mm
Total number of gas ejection holes 40: 48 (number per group 40A, 40B, 40C, 40D, 40E, 40F: 8)
-Diameter of gas ejection hole 40: 0.4 mm
The outermost periphery of the contact area 32 during pressing—the shortest distance from the center point of the gas ejection hole 40: 0.5 mm
The distance between the center points of two adjacent gas ejection holes 40 in each group 40A, 40B, 40C, 40D, 40E, 40F: 5 mm

また、ガラスブランク10を作製する際のその他の主要な製造条件は以下の通りである。
・ガラス転移温度Tg:485℃
・ガラスの平均線膨張係数:95×10−7/K(100〜300℃)、98×10−7/K(300〜Tg℃)、37×10−6/K(Tg〜530℃)、
・溶融ガラスを下型のプレス面上に供給する際のプレス面の温度:490℃
・下型上に投入される溶融ガラスの粘度:40Pa・s
・プレス時間(ガラスに圧力を加える時間):1秒
・上型および下型のプレス面を構成する材料:鋳鉄
・下型からガラスブランク10をテイクアウトする際のガラスブランク10の温度:470℃
・テイクアウト後のガラスブランク10の放置環境:常温大気中環境
Moreover, the other main manufacturing conditions at the time of producing the glass blank 10 are as follows.
Glass transition temperature Tg: 485 ° C
-Average linear expansion coefficient of glass: 95 × 10 −7 / K (100 to 300 ° C.), 98 × 10 −7 / K (300 to Tg ° C.), 37 × 10 −6 / K (Tg to 530 ° C.),
・ Pressing surface temperature when supplying molten glass onto the pressing surface of the lower die: 490 ° C.
・ Viscosity of molten glass put on the lower mold: 40 Pa · s
・ Pressing time (time for applying pressure to glass): 1 second ・ Material constituting upper and lower pressing surfaces: cast iron ・ Temperature of glass blank 10 when glass blank 10 is taken out from lower mold: 470 ° C.
・ Leaving environment of glass blank 10 after take-out: ambient temperature atmosphere

(実施例2)
実施例1において、ガラスブランク10の薄肉部の厚みtを1.0mm(t/d=0.014)に変更し、これに合わせて下型のプレス面上に供給される溶融ガラスの量とプレス時の圧力を調整した以外は実施例1と同様にしてガラスブランク10を作製した。
(Example 2)
In Example 1, the thickness t of the thin portion of the glass blank 10 is changed to 1.0 mm (t / d = 0.014), and the amount of molten glass supplied to the lower die press surface in accordance with this, A glass blank 10 was produced in the same manner as in Example 1 except that the pressure during pressing was adjusted.

(実施例3)
実施例1において、ガラスブランク10の薄肉部の厚みtを0.9mm(t/d=0.013)に変更し、これに合わせて下型のプレス面上に供給される溶融ガラスの量とプレス時の圧力を調整した以外は実施例1と同様にしてガラスブランク10を作製した。
Example 3
In Example 1, the thickness t of the thin portion of the glass blank 10 is changed to 0.9 mm (t / d = 0.003), and the amount of molten glass supplied to the lower die press surface in accordance with this change, A glass blank 10 was produced in the same manner as in Example 1 except that the pressure during pressing was adjusted.

(比較例1)
実施例1において、上型として、プレス面にガス噴き出し穴を有さない通常の上型を用い、冷却工程を実施しなかった以外は、実施例1と同様にしてガラスブランク10を作製した。
(Comparative Example 1)
In Example 1, a glass blank 10 was produced in the same manner as in Example 1 except that a normal upper mold having no gas ejection holes on the press surface was used as the upper mold and the cooling step was not performed.

(比較例2)
実施例2において、上型として、プレス面にガス噴き出し穴を有さない通常の上型を用い、冷却工程を実施しなかった以外は、実施例1と同様にしてガラスブランク10を作製した。
(Comparative Example 2)
In Example 2, a glass blank 10 was produced in the same manner as in Example 1 except that a normal upper mold having no gas ejection holes on the press surface was used as the upper mold, and the cooling step was not performed.

(比較例3)
実施例3において、上型として、プレス面にガス噴き出し穴を有さない通常の上型を用い、冷却工程を実施しなかった以外は、実施例1と同様にしてガラスブランク10を作製した。
(Comparative Example 3)
In Example 3, a glass blank 10 was produced in the same manner as in Example 1 except that a normal upper die having no gas ejection holes on the press surface was used as the upper die, and the cooling step was not carried out.

(平面度評価)
各実施例・比較例で作製したサンプルについて、平面度を評価した。結果を表1に示す。なお、平面度の評価は次のように実施した。まず、1000枚のサンプルについて、ガラスブランク10の平面度をサーフコム(株式会社東京精密製)により測定した。ここで、平面度は、面内の最大高低差として求め、平面度が30μmを超えたものを不良品としてカウントした。表1に示す評価基準は以下の通りである。
◎:不良品は発生せず。
○:1000枚当たり1枚以上3枚未満の不良品が発生
△:1000枚当たり3枚以上20枚未満の不良品が発生
×:1000枚当たり20枚以上の不良品が発生
(Flatness evaluation)
The flatness of each sample produced in each example / comparative example was evaluated. The results are shown in Table 1. The flatness was evaluated as follows. First, for 1000 samples, the flatness of the glass blank 10 was measured with Surfcom (manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). Here, the flatness was determined as the maximum height difference in the plane, and the flatness exceeding 30 μm was counted as a defective product. The evaluation criteria shown in Table 1 are as follows.
A: No defective product is generated.
○: 1 to less than 3 defective products per 1000 sheets Δ: 3 to 20 defective products per 1000 sheets ×: 20 or more defective products per 1000 sheets

Figure 2010248010
Figure 2010248010

1 薄肉部
2、3 厚肉部
10、12、14 ガラスブランク
20、22、24、26 上型
28 下型
30 プレス面
32 プレス時の接触領域
34 プレス時の接触領域の中心点
40 ガス噴き出し穴
40A、40B、40C、40D、40E、40F ガス噴き出し穴グループ
50 胴型
52 外枠
60 軟化状態の塊状ガラス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thin part 2, 3 Thick part 10, 12, 14 Glass blank 20, 22, 24, 26 Upper die 28 Lower die 30 Press surface 32 Contact area 34 at the time of press 34 Center point 40 of the contact area at the time of gas ejection hole 40A, 40B, 40C, 40D, 40E, 40F Gas injection hole group 50 Body mold 52 Outer frame 60 Lumped glass in softened state

Claims (9)

下型のプレス面上に供給された軟化状態の塊状ガラスを上型のプレス面と上記下型のプレス面とによりプレスすることにより、上記軟化状態の塊状ガラスを上記2つのプレス面間に略等方的に延伸させる塊状ガラス延伸工程と、
上記2つのプレス面間に挟持された上記軟化状態の塊状ガラスが完全に延伸し終えて軟化状態の円板状ガラスとなった後に、上記軟化状態の円板状ガラスを上記上型のプレス面から剥離する剥離工程と、
上記剥離工程の、実施直前、実施と同時および実施直後の3つから選択される少なくともいずれかの時点で、上記軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍を、上記軟化状態の円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に冷却する冷却工程と、
を少なくとも経て、情報記録媒体基板用ガラスブランクを製造することを特徴とする情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法。
The softened bulk glass supplied onto the lower mold press surface is pressed by the upper mold press surface and the lower mold press surface, so that the softened bulk glass is approximately between the two press surfaces. A bulk glass stretching step for isotropic stretching;
After the softened bulk glass sandwiched between the two press surfaces has been completely stretched to become a softened disc-like glass, the softened disc-like glass is transformed into the upper press surface. A peeling step to peel off from,
At least one time point selected from three immediately before the implementation, at the same time as the implementation, and immediately after the implementation of the peeling step, the softened disk-shaped glass is disposed in the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass. A cooling step of cooling substantially symmetrically with respect to the center of the
A method for producing a glass blank for an information recording medium substrate, comprising producing a glass blank for an information recording medium substrate through at least the above.
請求項1に記載の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法において、
前記冷却工程において、前記軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍が、歪点以上で、かつ、前記軟化状態の円板状ガラスのガラス転移温度未満の範囲内にまで冷却されることを特徴とする情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法。
In the manufacturing method of the glass blank for information recording media substrates of Claim 1,
In the cooling step, the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass is cooled to a range above the strain point and lower than the glass transition temperature of the softened disk-shaped glass. A method for producing a glass blank for an information recording medium substrate.
請求項1または請求項2に記載の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法において、
前記上型のプレス面に複数のガス噴き出し穴が設けられ、
前記冷却工程において、前記軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却が、上記複数のガス噴き出し穴から冷却用ガスを噴出させることにより行われることを特徴とする情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法。
In the manufacturing method of the glass blank for information recording media substrates of Claim 1 or Claim 2,
A plurality of gas ejection holes are provided on the press surface of the upper die,
In the cooling step, cooling in the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass is performed by ejecting a cooling gas from the plurality of gas ejection holes. Manufacturing method.
請求項3に記載の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法において、
前記上型のプレス面に、前記複数のガス噴き出し穴が、前記剥離工程実施前の状態において前記上型のプレス面と前記軟化状態の円板状ガラスとが接触する円状の領域の外周側に沿って、前記軟化状態の円板状ガラスの中心部を基準として略対称的に設けられており、かつ、
前記軟化状態の円板状ガラスの外周端近傍の冷却が、前記軟化状態の円板状ガラスが上記2つのプレス面間に挟持された状態において、前記複数のガス噴き出し穴から前記冷却用ガスを噴出させると略同時に、前記軟化状態の円板状ガラスを前記上型のプレス面から剥離することを特徴とする情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法。
In the manufacturing method of the glass blank for information recording media substrates of Claim 3,
The outer peripheral side of the circular region where the plurality of gas ejection holes are in contact with the press surface of the upper mold and the disk glass in the softened state before the peeling step is performed. Are provided approximately symmetrically with respect to the central portion of the softened disk-shaped glass, and
In the state in which the vicinity of the outer peripheral edge of the softened disk-shaped glass is cooled and the softened disk-shaped glass is sandwiched between the two press surfaces, the cooling gas is supplied from the plurality of gas ejection holes. A method for producing a glass blank for an information recording medium substrate, comprising peeling off the softened disk-like glass from the press surface of the upper mold substantially simultaneously with the ejection.
請求項1〜4のいずれか1つに記載の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法において、
前記剥離工程において、前記軟化状態の円板状ガラスと前記上型のプレス面全面とが同時に剥離することを特徴とする情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法。
In the manufacturing method of the glass blank for information recording media substrates as described in any one of Claims 1-4,
The method for producing a glass blank for an information recording medium substrate, wherein the softened disk-shaped glass and the entire press surface of the upper mold are simultaneously peeled in the peeling step.
請求項1〜5のいずれか1つに記載の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法において、
前記塊状ガラス延伸工程において、下型のプレス面上に供給される前記軟化状態の塊状ガラスの容量変動に関係無く、前記2つのプレス面の間隔を一定とした状態で、前記2つのプレス面間に挟持された前記軟化状態の塊状ガラスを完全に延伸させることを特徴とする情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法。
In the manufacturing method of the glass blank for information recording media substrates as described in any one of Claims 1-5,
In the bulk glass stretching step, the distance between the two press surfaces is kept constant with the interval between the two press surfaces being constant, regardless of the capacity variation of the softened bulk glass supplied onto the lower press surface. A method for producing a glass blank for an information recording medium substrate, comprising: completely stretching the softened bulk glass sandwiched between two.
請求項1〜6のいずれか1つに記載の情報記録媒体基板用ガラスブランクの製造方法により製造された情報記録媒体基板用ガラスブランクの少なくとも片面を、研削・研磨する工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を製造することを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。   Information recording through at least a step of grinding and polishing at least one surface of the glass blank for an information recording medium substrate produced by the method for producing a glass blank for an information recording medium substrate according to any one of claims 1 to 6. A method for producing a substrate for information recording medium, comprising producing a substrate for medium. 請求項7に記載の情報記録媒体用基板の製造方法において、
前記研削・研磨工程を実施する前に、前記ガラスブランクを加熱することにより結晶化させる結晶化工程を有することを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
In the manufacturing method of the board | substrate for information recording media of Claim 7,
A method for producing a substrate for an information recording medium, comprising a crystallization step of crystallizing the glass blank by heating before performing the grinding / polishing step.
請求項7または請求項8に記載の情報記録媒体用基板の製造方法により作製された情報記録媒体用基板の少なくとも片面に情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体を製造することを特徴とする情報記録媒体の製造方法。   The information recording medium is subjected to at least an information recording layer forming step of forming an information recording layer on at least one side of the information recording medium substrate manufactured by the method for manufacturing an information recording medium substrate according to claim 7 or 8. A method of manufacturing an information recording medium, characterized by manufacturing.
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