JP2010234511A - Finishing tool for sealing surface - Google Patents

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Yoshiaki Ezaki
芳明 江崎
Nobuo Kamiya
信雄 神谷
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a finishing tool for a sealing surface, which is simplified in structure and reliably smoothes cutting marks spirally formed on the sealing surface when subjected to cutting work with a rotary type cutting tool. <P>SOLUTION: The finishing tool 1 for the sealing surface includes: a body 10; an annular flat working surface 11 formed on the leading end of the body to be in contact with the sealing surface; a shoulder 12 formed on the body in an area outside the cutting surface 11 so as to surround the same and inclining toward the base end of the body at an angle of 20 to 30 degrees with respect to the working surface on a longitudinally sectional plane of the body; a relief portion 13 formed in an area surrounded by the working surface 11 in a concave shape; and a pressing member for pressing the base of the body toward the leading end thereof. An angle between the extension of a tangent, appearing when drawing the tangent in a concave shape at the inner edge of the working surface along a longitudinal section of the body, and the working surface ranges from 20 to 30 degrees. The working surface 11 is brought into contact with the sealing surface, resulting from cutting work with the rotary type cutting tool, with an appropriate pressing force, upon which the body is moved in parallel to the working surface for thereby finishing the sealing surface. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、回転式切削工具を使用して切削加工されたシール面を仕上げ加工するシール面の仕上げ加工用工具に関する。   The present invention relates to a sealing surface finishing tool for finishing a sealing surface cut using a rotary cutting tool.

従来、液晶、半導体部品製造用の真空チャンバ等には、アルミニウム等の金属を機械加工して製造された部品が使用されている。そして、真空チャンバ等の部品同士が接触する部分には、内部の気密性を確保するために、接触する部品の片方又は両方に、図5(a)に示すような矩形断面の溝20が設けられ、この溝20にOリング等のシール部材4が介装される。又は、図5(b)に示すように、部品2の凹部23周縁に、凹部23よりも段差状に高く溝20が設けられ、この溝20にシール部材4が介装される。   2. Description of the Related Art Conventionally, parts manufactured by machining a metal such as aluminum have been used in liquid crystal, vacuum chambers for manufacturing semiconductor parts, and the like. Then, in a part where parts such as a vacuum chamber are in contact with each other, a groove 20 having a rectangular cross section as shown in FIG. In addition, a seal member 4 such as an O-ring is interposed in the groove 20. Alternatively, as shown in FIG. 5 (b), a groove 20 is provided on the periphery of the recess 23 of the component 2 so as to be stepped higher than the recess 23, and the seal member 4 is interposed in the groove 20.

シール部材4を介装するために部品に設けられる溝20は、図6(a)に示すように、通常、フライス盤等の工作機械を使用して、エンドミル等の回転式切削工具22で切削加工する。   As shown in FIG. 6A, the groove 20 provided in the part for interposing the seal member 4 is usually cut by a rotary cutting tool 22 such as an end mill using a machine tool such as a milling machine. To do.

このように加工される溝20の底部21には、回転式切削工具22によって切削加工することにより、図6(b)に示すように、螺旋状の切削痕21aが残る。この切削痕21aは、図7に示すように、溝底面21において、回転式切削工具22の加工軌跡に対して垂直な方向成分を含む微小な隙間21cを形成する。従って、溝20に沿う形状のシール部材をこの微小な隙間21c上に載置した場合、気密性を確保すべき空間の内外が貫通してしまう。そして、真空チャンバ等における気密性、真空性を維持することができなくなるという問題点がある。   By cutting with the rotary cutting tool 22 at the bottom 21 of the groove 20 processed in this way, a spiral cutting mark 21a remains as shown in FIG. 6B. As shown in FIG. 7, the cutting trace 21 a forms a minute gap 21 c including a directional component perpendicular to the machining locus of the rotary cutting tool 22 on the groove bottom surface 21. Therefore, when a sealing member having a shape along the groove 20 is placed on the minute gap 21c, the inside and outside of the space where airtightness should be ensured penetrate. And there exists a problem that the airtightness and vacuum property in a vacuum chamber etc. cannot be maintained.

この問題点を解決するために、へールバイトという切削工具を使用して、溝底面21をなぞるように切削する技術が特許文献1,2に開示されている。この仕上げ加工は、へール加工とよばれている。   In order to solve this problem, Patent Documents 1 and 2 disclose a technique of cutting so as to trace the groove bottom surface 21 using a cutting tool called a hare bite. This finishing process is called a hail process.

また、図8に示すように、微小な隙間21cが形成された溝20の底面21を、仕上げ加工用工具1aを使用して押圧し、隙間21cを押し潰して仕上げ加工する方法も考えられる。しかしながら、仕上げ加工用工具1aとして例えば単純な棒状の工具を使用した場合、溝底面21と工具との接触面積が大きいため、溝底面21を切削してしまう。そして、溝底面21が切削されると、シール部材を介装したときに溝底面21とシール部材との接触面積が減少し、所望のシール性が得られなくなると共に、仕上げ加工後に更に削り屑を除去する工程が必要となり、加工コストが増大する。また、仕上げ加工時に生成した削り屑は、仕上げ加工時の熱によって、仕上げ加工用工具1aの下面又は溝底面21に付着する。そして、工具1aの下面に削り屑が付着した場合、付着した削り屑が溝底面21を更に掘り下げ、溝底面21に削り屑が付着した場合と同様に、所望の仕上げ面が得られなくなる。   In addition, as shown in FIG. 8, a method of pressing the bottom surface 21 of the groove 20 in which the minute gap 21c is formed by using the finishing tool 1a and crushing the gap 21c to perform a finishing process is also conceivable. However, when a simple bar-shaped tool is used as the finishing tool 1a, for example, the groove bottom surface 21 is cut because the contact area between the groove bottom surface 21 and the tool is large. When the groove bottom surface 21 is cut, the contact area between the groove bottom surface 21 and the seal member is reduced when the seal member is interposed, and a desired sealing property cannot be obtained. The process to remove is needed and processing cost increases. Moreover, the shavings produced | generated at the time of finishing process adhere to the lower surface or the groove bottom face 21 of the tool 1a for finishing process with the heat at the time of finishing process. When shavings adhere to the lower surface of the tool 1a, the attached shavings further dig down the groove bottom surface 21, and the desired finished surface cannot be obtained as in the case where shavings adhere to the groove bottom surface 21.

一方、溝底面における仕上げ加工用工具の接触面積を小さくするために、平板状の工具1aを使用した場合、エンドミル等を使用したミル加工時の加工軌跡に沿って仕上げ加工すると、図9に示すように、隙間21cが押し潰される部分の幅が仕上げ加工用工具1aの進行に伴って局所的に狭まる。そして、シール部材4が溝底面21に接触する部分の一部に隙間21cが残存し、所望のシール性を確保することができない。この問題を解決するためには、隙間21cを押し潰す部分の幅を均一に保持するように工具1aを回転させる必要がある。   On the other hand, when the flat tool 1a is used in order to reduce the contact area of the finishing tool on the bottom surface of the groove, the finishing process is performed along the processing locus during milling using an end mill or the like, as shown in FIG. As described above, the width of the portion where the gap 21c is crushed narrows locally as the finishing tool 1a advances. And the clearance gap 21c remains in a part of part which the sealing member 4 contacts the groove bottom face 21, and desired sealing performance cannot be ensured. In order to solve this problem, it is necessary to rotate the tool 1a so as to uniformly maintain the width of the portion that crushes the gap 21c.

上述の特許文献1に開示された技術は、溝底面において矩形をなす平板状工具を、回転させながら溝に沿って進行させて荒仕上げし、その後、仕上げ加工用工具の切削刃を進行方向に対して法線方向をなすように回転制御しながら進行させて、仕上げ削りを施すものである。   In the technique disclosed in Patent Document 1 described above, a flat plate-shaped tool having a rectangular shape on the bottom surface of the groove is advanced along the groove while rotating, and then the cutting blade of the finishing tool is moved in the advancing direction. On the other hand, it is advanced while being controlled so as to be in the normal direction, and finish cutting is performed.

また、特許文献2に開示された技術は、仕上げ加工用工具の形状を溝底面において円環状とし、円環の周縁に切削刃を設けて溝底面を均一の幅で切削加工して仕上げ加工するものである。   In addition, the technique disclosed in Patent Document 2 has a finishing tool having an annular shape on the bottom surface of the groove, and a cutting blade is provided on the periphery of the annular ring to cut the groove bottom surface with a uniform width for finishing. Is.

特開平6−126520号公報JP-A-6-126520 特開2002−144137号公報JP 2002-144137 A

しかしながら、上述の従来技術には以下のような問題点がある。特許文献1に記載の技術は、仕上げ加工用工具の切削刃を進行方向に対して法線方向をなすように回転制御する構成であるため、加工する溝の形状に合わせて適宜工具の回転を複雑に制御する必要がある。   However, the above-described conventional technology has the following problems. Since the technique described in Patent Document 1 is configured to control the rotation of the cutting blade of the finishing tool so that it is in the normal direction with respect to the traveling direction, the tool is appropriately rotated according to the shape of the groove to be processed. It needs to be complicatedly controlled.

また、特許文献1及び2に記載された技術は、切削加工時に回転式切削工具によって形成された溝底面を更に切削加工する構成であるため、上述の如く、仕上げ加工後に溝底面21とシール部材との接触面積が減少するか、又は発生した削り屑が仕上げ加工用工具若しくは溝底面に付着して、所望のシール性が得られなくなる。また、削り屑が工具又は溝底面に付着しなかった場合においても、これを除去する工程が必要となり、加工コストが増大するという問題点がある。   In addition, since the techniques described in Patent Documents 1 and 2 are configured to further cut the groove bottom formed by the rotary cutting tool during cutting, as described above, the groove bottom 21 and the seal member after finishing. Or the generated shavings adhere to the finishing tool or the groove bottom, and the desired sealing performance cannot be obtained. Further, even when the shavings do not adhere to the tool or the groove bottom, there is a problem in that a process for removing the shavings is required and the processing cost increases.

更に、従来のフライス盤等の工作機械においては、図8に示すように、工具をホルダ30にチャックした状態で仕上げ加工を行うため、例えば平板状の仕上げ加工用工具を使用して仕上げ加工を行う場合、工具が溝底面と接触する部分の面積が依然大きく、切削痕を押し潰す際に工具が焼き付いて、仕上げ面が平滑に形成されないという問題点がある。   Further, in a machine tool such as a conventional milling machine, as shown in FIG. 8, in order to perform finishing with the tool chucked on the holder 30, for example, finishing is performed using a flat finishing tool. In this case, the area of the portion where the tool comes into contact with the groove bottom surface is still large, and there is a problem that the tool is seized when crushing the cutting trace and the finished surface is not formed smoothly.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、構造が単純であり、回転式切削工具により切削加工されたシール面に螺旋状に形成された切削痕を、確実に平滑化することができるシール面の仕上げ加工用工具を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, has a simple structure, and reliably smoothes the cutting trace formed in a spiral shape on the seal surface cut by the rotary cutting tool. It is an object to provide a tool for finishing a sealing surface.

本発明に係るシール面の仕上げ加工用工具は、回転式切削工具を使用して切削加工されたシール面を仕上げ加工するためのシール面の仕上げ加工用工具において、本体と、この本体の先端側に形成され前記シール面に接触する円環状の平坦な加工面と、この加工面を取り囲むようにその外側に形成され前記本体の縦断面において前記加工面に対して20乃至30°の角度で前記本体の基端側に向けて傾斜する肩部と、前記加工面に囲まれた領域に凹形状に形成された逃がし部と、前記本体の基部を先端側に向けて押圧する押圧部材と、を有し、前記本体の縦断面において前記加工面の内縁で前記凹形状に接線を引いたときの前記接線の延長線と前記加工面とのなす角度が20乃至30°であり、前記加工面を前記回転式切削工具による切削面に押圧力をもって接触させ、前記加工面に平行に前記本体を移動させることにより前記シール面を仕上げ加工するものであることを特徴とする。   A sealing surface finishing tool according to the present invention is a sealing surface finishing tool for finishing a sealing surface that has been cut using a rotary cutting tool. An annular flat processing surface formed in contact with the sealing surface and formed on the outer side so as to surround the processing surface, and at an angle of 20 to 30 ° with respect to the processing surface in the longitudinal section of the main body. A shoulder portion inclined toward the base end side of the main body, a relief portion formed in a concave shape in a region surrounded by the processing surface, and a pressing member that presses the base portion of the main body toward the front end side. An angle formed between an extension line of the tangent line and the machining surface when the tangent line is drawn in the concave shape at the inner edge of the machining surface in a longitudinal section of the main body, and the machining surface is On the cutting surface by the rotary cutting tool The sealing surface is finished by contacting with a pressing force and moving the main body parallel to the processing surface.

また、前記円環状の加工面の幅は、0.2乃至0.25mmであることが好ましい。   The width of the annular processed surface is preferably 0.2 to 0.25 mm.

更に、前記押圧部材は、例えば前記本体の基端部を先端側に向けて付勢する弾性部材である。   Further, the pressing member is, for example, an elastic member that urges the base end portion of the main body toward the distal end side.

この場合、前記弾性部材を圧縮スプリングバネによって構成することができる。   In this case, the elastic member can be constituted by a compression spring.

そして、前記逃がし部は、例えば前記本体の先端部に開口する孔であり、この孔を介して前記加工面に潤滑油を供給してもよい。   And the said relief part is a hole opened in the front-end | tip part of the said main body, for example, You may supply lubricating oil to the said processed surface through this hole.

本発明のシール面の仕上げ加工用工具は、円環状の平坦な加工面、加工面を取り囲むように本体の基端側に向けて傾斜する肩部、加工面の内周縁に囲まれた領域に凹形状に形成された逃がし部、及び押圧部材だけで構成され、構造が単純である。   The tool for finishing a sealing surface of the present invention includes an annular flat processing surface, a shoulder inclined toward the base end side of the main body so as to surround the processing surface, and a region surrounded by the inner peripheral edge of the processing surface. It is composed only of a relief portion formed in a concave shape and a pressing member, and the structure is simple.

また、加工面が円環状に設けられているため、仕上げ加工用工具を進行方向に沿って回転させる機構を有しない工作機械に設置した場合においても、均一な幅で加工面を被切削部材に接触させて仕上げ加工することができる。   In addition, since the machining surface is provided in an annular shape, even when installed on a machine tool that does not have a mechanism for rotating the finishing tool along the direction of travel, the machining surface can be used as a workpiece with a uniform width. It can be touched and finished.

そして、この円環状の加工面は、押圧部材によって切削面に押圧力をもって接触するように構成されており、加工面に囲まれた領域に凹形状の逃がし部が設けられ、加工面の外側には加工面に対して所定の角度をなして傾斜した肩部が設けられている。そして、逃がし部は、本体の縦断面において加工面の内縁で凹形状部分に接線を引いたとき、この接線の延長線と加工面とが所定の角度をなすように設けられている。従って、工具の焼き付きを発生させない範囲において、仕上げ加工用工具と溝底面との接触面積を小さくすることができ、螺旋状の切削痕を均一な押圧力で確実に押し潰して平滑化することができる。   The annular machining surface is configured to come into contact with the cutting surface with a pressing force by a pressing member, and a concave relief portion is provided in a region surrounded by the machining surface, outside the machining surface. Is provided with a shoulder portion inclined at a predetermined angle with respect to the processing surface. The relief portion is provided such that, when a tangent is drawn to the concave portion at the inner edge of the processed surface in the longitudinal section of the main body, an extension line of the tangent and the processed surface form a predetermined angle. Accordingly, the contact area between the finishing tool and the groove bottom surface can be reduced within a range in which tool seizure does not occur, and the helical cutting trace can be reliably crushed and smoothed with a uniform pressing force. it can.

(a)は本発明の実施形態の仕上げ加工用工具を加工面側からみた斜視図、(b)は本実施形態の仕上げ加工用工具を示す一部断面図である。(A) is the perspective view which looked at the finishing tool of embodiment of this invention from the processing surface side, (b) is a partial cross section figure which shows the finishing tool of this embodiment. 本発明の実施形態に係る仕上げ加工用工具の本体及びホルダを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the main body and holder of the tool for finishing processing which concern on embodiment of this invention. (a)は本実施形態に係る仕上げ加工用工具による仕上げ加工工程を示す上面図、(b)は(a)を仕上げ加工用工具の進行方向からみた一部断面図である。(A) is a top view which shows the finishing process by the finishing tool which concerns on this embodiment, (b) is the partial sectional view which looked at (a) from the advancing direction of the finishing tool. 本発明の仕上げ加工用工具の変形例を示す一部断面図である。It is a partial cross section figure which shows the modification of the tool for finishing machining of this invention. (a)は真空チャンバ等に使用される部品及びシール部材を示す斜視図、(b)は真空チャンバ等に使用される他の部品及びシール部材を示す斜視図である。(A) is a perspective view which shows the components and seal member which are used for a vacuum chamber etc., (b) is a perspective view which shows the other components and seal member which are used for a vacuum chamber etc. (a)はエンドミルによるフライス加工工程を示す斜視図、(b)は(a)の上面図である。(A) is a perspective view which shows the milling process by an end mill, (b) is a top view of (a). 図6(b)のA−A断面における溝底面を示す一部断面図である。It is a partial cross section figure which shows the groove bottom face in the AA cross section of FIG.6 (b). 従来の仕上げ加工用工具による仕上げ加工工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the finishing process with the conventional tool for finishing. 従来の仕上げ加工用工具による仕上げ加工工程を示す上面図である。It is a top view which shows the finishing process with the conventional tool for finishing.

以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。図1(a)は本発明の実施形態の仕上げ加工用工具の本体を加工面側(上下逆に)からみた斜視図、(b)は本発明の実施形態の仕上げ加工用工具の本外の下半部を示す断面図、図2は本実施形態の仕上げ加工用工具の本体及びホルダを示す断面図、図3(a)は本実施形態に係るシール面の仕上げ加工用工具による仕上げ加工工程を示す上面図、(b)は(a)を仕上げ加工用工具の進行方向からみた一部断面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A is a perspective view of a main body of a finishing tool according to an embodiment of the present invention as viewed from the processing surface side (upside down), and FIG. 1B is an outside view of the finishing tool according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional view showing the main body and holder of the finishing tool of the present embodiment, and FIG. 3A is a finishing process using the finishing tool for the seal surface according to the present embodiment. (B) is a partial cross-sectional view of (a) seen from the direction of travel of the finishing tool.

図1(a)に示すように、本実施形態のシール面の仕上げ加工用工具1の本体10は、全体的に円柱状をなし、その先端に円環状の平坦な加工面11が形成されている。そして、この本体10の先端には、円環状の加工面11を取り囲むようにして、本体半径方向外方に肩部12が形成されており、この肩部12は、本体10の平坦加工面11から本体10の基端側に向けて傾斜する斜面を有している。この肩部12の傾斜角度αは、図1(b)に示す縦断面図において、平坦加工面11に対して20乃至30°の角度をなしている。また、加工面11に囲まれた本体の中心領域には、凹形状の逃がし部13が設けられており、本体10の縦断面において加工面11の内縁で凹形状部分に接線を引いたとき、この接線の延長線と加工面とは20乃至30°の角度βをなしている。円柱状の本体10は、外径Dが例えば10乃至30mmである。そして、本実施形態においては、加工面11の幅Wは例えば0.2乃至0.25mmである。即ち、例えば加工面11によって平滑化する部分の幅を10mmとする場合、本体10の逃がし部13の直径d1は9.5乃至9.6mmである。   As shown in FIG. 1 (a), the main body 10 of the sealing surface finishing tool 1 of the present embodiment has a generally cylindrical shape, and an annular flat processing surface 11 is formed at the tip thereof. Yes. A shoulder 12 is formed at the front end of the main body 10 so as to surround an annular processing surface 11 and outward in the radial direction of the main body 10. The shoulder 12 is a flat processing surface 11 of the main body 10. To the base end side of the main body 10. The inclination angle α of the shoulder 12 is 20 to 30 ° with respect to the flat processed surface 11 in the longitudinal sectional view shown in FIG. Further, in the central region of the main body surrounded by the processing surface 11, a concave relief portion 13 is provided, and when a tangent line is drawn on the concave portion at the inner edge of the processing surface 11 in the longitudinal section of the main body 10, The extension line of the tangent line and the processed surface form an angle β of 20 to 30 °. The cylindrical main body 10 has an outer diameter D of, for example, 10 to 30 mm. In the present embodiment, the width W of the processed surface 11 is, for example, 0.2 to 0.25 mm. That is, for example, when the width of the portion to be smoothed by the processed surface 11 is 10 mm, the diameter d1 of the relief portion 13 of the main body 10 is 9.5 to 9.6 mm.

そして、図2に示すように、本実施形態の仕上げ加工用工具1は、例えば、フライス盤等の工作機械3における主軸等のホルダ30に取り付けられる。フライス盤等の工作機械においては、図8に示すように、工具1aをホルダ30に着脱可能に取り付けるが、本実施形態においては、工作機械3の工具1aの代わりに、仕上げ加工用工具1をホルダ30に取り付ける。即ち、ホルダ30は、取り付け用の孔31がホルダ中心軸に同軸的に且つ先端(下端)に開口するように形成されており、仕上げ加工用工具1はその基端部側から孔31内に挿入される。このとき、ホルダ30の孔31の上端の壁と、仕上げ加工用工具1の本体10の基端部側端面との間に圧縮スプリングバネ15を介装しておく。これにより、本体10は、バネ15により、その基端部が押圧され、本体10がその先端部側に向けて付勢されるようになっている。従って、本体10はその先端の加工面11が図3に示すエンドミルにより切削加工された被加工部材2のシール面(溝底面21)に押圧される。また、工具1の本体10側面のホルダ30に挿入された部分において、一部溝16を設けると共に、この溝16にホルダ30側から抜け止め用のネジ30aを介装する。これにより、工具1はホルダ30から抜けることなく圧縮スプリングバネ15による弾性力を受け、被加工部材2のシール面(溝底面21)に押圧される。   As shown in FIG. 2, the finishing tool 1 of the present embodiment is attached to a holder 30 such as a main shaft in a machine tool 3 such as a milling machine. In a machine tool such as a milling machine, the tool 1a is detachably attached to the holder 30 as shown in FIG. 8, but in this embodiment, the finishing tool 1 is a holder instead of the tool 1a of the machine tool 3. Attach to 30. That is, the holder 30 is formed such that the mounting hole 31 is coaxial with the holder central axis and opens at the tip (lower end), and the finishing tool 1 enters the hole 31 from the base end side. Inserted. At this time, the compression spring spring 15 is interposed between the wall at the upper end of the hole 31 of the holder 30 and the end surface on the base end side of the main body 10 of the finishing tool 1. Accordingly, the base end portion of the main body 10 is pressed by the spring 15, and the main body 10 is biased toward the front end portion side. Therefore, the main body 10 is pressed against the sealing surface (groove bottom surface 21) of the workpiece 2 having the processed surface 11 at the tip thereof cut by the end mill shown in FIG. Further, a part of the tool 1 is inserted into the holder 30 on the side surface of the main body 10 and a part of the groove 16 is provided, and a screw 30a for preventing the screw 30a is interposed in the groove 16 from the holder 30 side. Thereby, the tool 1 receives the elastic force from the compression spring 15 without coming out of the holder 30 and is pressed against the seal surface (groove bottom surface 21) of the workpiece 2.

なお、圧縮スプリングバネ15の長さは例えば50mmである。バネ15の長さが必要以上に短いと、バネ定数の増加によって押圧力の調整が困難となるため、ホルダ30からの工具1の突出長さとの関係でバネ15の長さを決定することが好ましい。また、本体10の外径Dが例えば20mmの場合、圧縮スプリングバネ15による押圧力は125kgf程度であるが、被切削部材2の材質、及びミル加工後の溝底面21の粗度によってバネ15の押圧力を調整することが好ましい。この場合、ホルダ30の孔31の上端の壁に例えばスプリングの押圧力を調整するネジ30bを設け、孔31上端の壁からのネジ30bの突出量を調整することによって、圧縮スプリングバネ15の押圧力を調整することができる。更に、仕上げ加工時の工具1の倒れを防止するために、ホルダ30が被切削部材2等に干渉しない範囲において、ホルダ30からの工具1の突出長さはできるだけ短いことが好ましい。   Note that the length of the compression spring spring 15 is, for example, 50 mm. If the length of the spring 15 is shorter than necessary, it is difficult to adjust the pressing force due to an increase in the spring constant. Therefore, the length of the spring 15 can be determined in relation to the protrusion length of the tool 1 from the holder 30. preferable. Further, when the outer diameter D of the main body 10 is, for example, 20 mm, the pressing force by the compression spring 15 is about 125 kgf, but the spring 15 has a force depending on the material of the member 2 to be cut and the roughness of the groove bottom surface 21 after milling. It is preferable to adjust the pressing force. In this case, for example, a screw 30b for adjusting the pressing force of the spring is provided on the wall at the upper end of the hole 31 of the holder 30, and the amount of protrusion of the screw 30b from the wall at the upper end of the hole 31 is adjusted. The pressure can be adjusted. Furthermore, in order to prevent the tool 1 from collapsing during the finishing process, it is preferable that the protrusion length of the tool 1 from the holder 30 is as short as possible within a range in which the holder 30 does not interfere with the workpiece 2 and the like.

次に、本実施形態のシール面の仕上げ加工用工具1の動作について説明する。例えば、図5に示すような真空チャンバのOリング配置用溝20をエンドミル等の回転式切削工具22により切削加工する。そうすると、この溝20の底部21には、回転式切削工具22によって切削加工することにより、図6(b)及び図3(a)に示すように、螺旋状の切削痕21aが残る。   Next, the operation of the sealing surface finishing tool 1 of this embodiment will be described. For example, the O-ring arrangement groove 20 of the vacuum chamber as shown in FIG. 5 is cut by a rotary cutting tool 22 such as an end mill. Then, by cutting with the rotary cutting tool 22 at the bottom 21 of the groove 20, a spiral cutting mark 21a remains as shown in FIGS. 6 (b) and 3 (a).

次いで、工作機械3のホルダ30に本実施形態の仕上げ加工用工具1を装着し、溝20の上方からホルダ30を下降させることにより、加工用工具1の本体10を下降させ、本体10の先端(下端)の平坦な加工面11を溝底面21に接触させる。そして、更にホルダ30が下降すると、圧縮スプリングバネ15が縮退して、本体10に付勢力を及ぼし、本体10の加工面11を溝底面21に押圧する。そして、この状態で、図3(a)に示すように、ホルダ30を溝20に沿って移動させることにより、本体10の加工面11は溝底面21の切削痕21aを押し潰して、溝底面21を平滑化する。   Next, the finishing tool 1 of this embodiment is mounted on the holder 30 of the machine tool 3, and the holder 30 is lowered from above the groove 20, thereby lowering the main body 10 of the processing tool 1, and the tip of the main body 10. The (bottom end) flat processed surface 11 is brought into contact with the groove bottom surface 21. When the holder 30 is further lowered, the compression spring spring 15 is retracted, exerts a biasing force on the main body 10, and presses the processed surface 11 of the main body 10 against the groove bottom surface 21. Then, in this state, as shown in FIG. 3A, by moving the holder 30 along the groove 20, the machining surface 11 of the main body 10 crushes the cutting marks 21a on the groove bottom surface 21, and the groove bottom surface. 21 is smoothed.

ホルダ30の移動は、被切削部材2に対する相対的なものであり、ホルダ30を移動させても良いし、被切削部材2を移動させてもよい。また、本実施形態の仕上げ加工用工具1は、溝底面21上で加工面11に平行に移動することにより、切削痕21aを押し潰すものであり、回転(自転)はしない。従って、本体10又はホルダ30と溝20との位置関係は一定であり、本体10は、溝20に沿って一方向に摺動する。そして、本体10の加工面11が円環状をなしているので、本実施形態の加工用工具1は、図3(a)に示す溝20の屈曲部分を通過する際にも、本体10又はホルダ30と溝20との位置関係を一定にしたままで良い。つまり、本体10は溝20の90°の屈曲部分においても、その向きは一定であるので、結果的に、本体10はその進行方向に対し屈曲方向と反対方向に相対的に自転することになる。このように、本体10は屈曲部で進行方向に対して相対的に自転することにより、本体10が向いている方向は、常に一定の方向であるので、この本体10を保持するホルダ30の向きも常に一定とすることができる。従って、工作機械におけるホルダ30の移動の制御は、屈曲部において、ホルダの回転を伴わず(進行方向に対しては相対的に自転するが)、ホルダの溝20に沿う移動のみであるので、容易である。   The movement of the holder 30 is relative to the member to be cut 2, and the holder 30 may be moved, or the member to be cut 2 may be moved. Further, the finishing tool 1 according to the present embodiment crushes the cutting trace 21a by moving parallel to the machining surface 11 on the groove bottom surface 21, and does not rotate (spin). Therefore, the positional relationship between the main body 10 or the holder 30 and the groove 20 is constant, and the main body 10 slides in one direction along the groove 20. Since the machining surface 11 of the main body 10 has an annular shape, the machining tool 1 according to the present embodiment also has the main body 10 or holder when passing through the bent portion of the groove 20 shown in FIG. The positional relationship between 30 and the groove 20 may be kept constant. That is, the direction of the main body 10 is constant even at the 90 ° bent portion of the groove 20, and as a result, the main body 10 rotates relative to the traveling direction in a direction opposite to the bending direction. . In this way, the main body 10 rotates relative to the traveling direction at the bent portion, and the direction in which the main body 10 is facing is always a constant direction. Therefore, the orientation of the holder 30 that holds the main body 10 Can always be constant. Therefore, the control of the movement of the holder 30 in the machine tool is only movement along the groove 20 of the holder without rotation of the holder (although relatively rotating with respect to the traveling direction) in the bent portion. Easy.

上述の如く、本体10の加工面11が溝20に沿って、溝底面21に摺動することにより、溝底面21の圧痕21aが押し潰されて、表面が平滑化される。これにより,溝底面21には平滑面21bが形成される。このとき、圧縮スプリングバネ15によって、加工面11の溝底面21に対する押圧力は一定に保持されるので、平滑面21bが溝の進行方向にうねりを生じることが防止される。また、この平滑面21bの幅は、仕上げ加工用工具1の進行方向に沿って常に一定である。なお、このとき、平滑面21b上には、仕上げ加工用工具1の摺動による微小な圧痕が形成される場合があるが、この圧痕の方向は、溝20の長手方向に平行である。即ち、この微小圧痕には、溝20の幅方向に延びる成分がなく、シール部材を平滑面21b上に介装した場合においても、溝20とシール部材との間にはシール面(溝20)の幅方向に延びる隙間が生じることはない。よって,シール部材によるシール性は、確実に確保することができる。   As described above, the processed surface 11 of the main body 10 slides on the groove bottom surface 21 along the groove 20, whereby the indentation 21a of the groove bottom surface 21 is crushed and the surface is smoothed. As a result, a smooth surface 21 b is formed on the groove bottom surface 21. At this time, since the pressing force of the processed surface 11 against the groove bottom surface 21 is kept constant by the compression spring 15, the smooth surface 21 b is prevented from waviness in the groove traveling direction. Further, the width of the smooth surface 21b is always constant along the traveling direction of the finishing tool 1. At this time, a minute impression may be formed on the smooth surface 21 b by sliding of the finishing tool 1, and the direction of the impression is parallel to the longitudinal direction of the groove 20. That is, the minute indentation has no component extending in the width direction of the groove 20, and even when the seal member is interposed on the smooth surface 21 b, the seal surface (groove 20) is not provided between the groove 20 and the seal member. There is no gap extending in the width direction. Therefore, the sealing performance by the sealing member can be reliably ensured.

本実施形態の仕上げ加工用工具1は、加工面11の外側に形成された肩部12が加工面11に対して20乃至30°の角度αをなして傾斜している。肩部12の傾斜は、仕上げ加工用工具1が溝底面21に接触する面積を小さくすると共に、加工面11が溝底面21を押圧する力を円柱状の本体10の基端側から安定的に支持し、被切削部材2を塑性変形させて平滑面21bを安定して形成することに寄与している。そして、肩部12が加工面11に対してなす角度αが20°未満であると、加工面11が溝底面21を押し潰して平滑面21bを形成する際、肩部12が溝底面21に接触する面積が増大し、溝底面21に対して実質的に加工面11と同等の作用を及ぼすようになる。従って、溝底面21を切削して削り屑が生じたり、切削痕21aを押し潰す際に工具が焼き付いて、仕上げ面が平滑に形成されなくなる虞がある。一方、肩部12が加工面11に対してなす角度αが30°を超えると、円柱状の本体の基端側から溝底面21を押圧する力を支持する作用が小さくなり、溝底面21における切削痕21aの押し潰しが不十分となり、平滑面21bの安定した形成が困難になる。従って、本発明において、肩部12が加工面との間になす角度αを20乃至30°と規定する。   In the finishing tool 1 of the present embodiment, the shoulder 12 formed outside the machining surface 11 is inclined with respect to the machining surface 11 at an angle α of 20 to 30 °. The inclination of the shoulder portion 12 reduces the area where the finishing tool 1 contacts the groove bottom surface 21 and stably applies the force by which the processing surface 11 presses the groove bottom surface 21 from the base end side of the cylindrical main body 10. This contributes to the stable formation of the smooth surface 21b by plastically deforming the member 2 to be cut. If the angle α formed by the shoulder 12 with respect to the machining surface 11 is less than 20 °, the shoulder 12 is formed on the groove bottom 21 when the machining surface 11 crushes the groove bottom 21 to form the smooth surface 21b. The contact area increases, and the groove bottom surface 21 has substantially the same effect as the processed surface 11. Therefore, there is a possibility that the bottom surface 21 is cut to generate shavings, or the tool is seized when the cutting marks 21a are crushed, and the finished surface may not be formed smoothly. On the other hand, when the angle α formed by the shoulder 12 with respect to the processing surface 11 exceeds 30 °, the action of supporting the force pressing the groove bottom surface 21 from the base end side of the cylindrical main body becomes small, and the groove bottom surface 21 The crushing of the cutting marks 21a becomes insufficient, and it becomes difficult to stably form the smooth surface 21b. Therefore, in the present invention, the angle α formed between the shoulder 12 and the processing surface is defined as 20 to 30 °.

本実施形態の逃がし部13は、本体の先端側の加工面11に囲まれた領域に設けられており、凹形状をなしている。そして、この凹形状の逃がし部13も、肩部12と同様に、本体10の縦断面において加工面11の内縁で凹形状部分に接線を引いたとき、この接線の延長線と加工面11とは20乃至30°の角度βをなしている。加工面11に対する逃がし部13の角度を規定することにより、肩部12と同様に、仕上げ加工用工具1が溝底面21に接触する面積を小さくすると共に、加工面11が溝底面21を押圧する力を円柱状の本体10の基端側から安定的に支持し、被切削部材2を塑性変形させて平滑面21bを安定して形成することができる。仕上げ加工においては、切削痕21aは、まず肩部12の傾斜面から加工面11までの間の部分に接触して押し潰されて、塑性変形する。しかしながら、加工方向前方側においては、切削痕21aが完全に塑性変形しきれずに、弾性変形によって形状が若干元に戻る場合がある。本実施形態においては、本体10の縦断面において加工面11の内縁で凹形状部分に接線を引いたとき、接線の延長線が加工面11との間になす角度βを、肩部12の傾斜角αと同一の範囲に設定することにより、弾性変形によって元に戻った切削痕21aを加工方向後方側でも確実に押し潰し、切削痕21aを確実に塑性変形させることができる。即ち、加工方向後方側において、逃がし部13の端部は加工方向前方側の肩部12と同じ作用を有する。従って、角度βを20乃至30°と規定する。この角度βは、加工面11に対する肩部12の傾斜角度αと同一であることが好ましい。   The relief portion 13 of the present embodiment is provided in a region surrounded by the processing surface 11 on the distal end side of the main body, and has a concave shape. And, similarly to the shoulder portion 12, when the concave relief portion 13 is tangent to the concave portion at the inner edge of the machining surface 11 in the longitudinal section of the main body 10, the extension line of the tangential line and the machining surface 11 Forms an angle β of 20 to 30 °. By defining the angle of the relief portion 13 with respect to the processing surface 11, as with the shoulder portion 12, the area where the finishing tool 1 contacts the groove bottom surface 21 is reduced, and the processing surface 11 presses the groove bottom surface 21. The force can be stably supported from the base end side of the columnar main body 10, and the member to be cut 2 can be plastically deformed to stably form the smooth surface 21b. In the finishing process, the cutting mark 21a is first crushed in contact with a portion between the inclined surface of the shoulder portion 12 and the processing surface 11 to be plastically deformed. However, on the front side in the processing direction, the cutting trace 21a may not be completely plastically deformed, and the shape may be slightly restored due to elastic deformation. In the present embodiment, when a tangent line is drawn on the concave portion at the inner edge of the processed surface 11 in the longitudinal section of the main body 10, the angle β formed between the extended line of the tangent line and the processed surface 11 is inclined to the shoulder 12 By setting the same range as the angle α, the cutting trace 21a that has been restored by elastic deformation can be reliably crushed even on the rear side in the machining direction, and the cutting trace 21a can be reliably plastically deformed. That is, on the rear side in the processing direction, the end of the escape portion 13 has the same action as the shoulder portion 12 on the front side in the processing direction. Therefore, the angle β is defined as 20 to 30 °. This angle β is preferably the same as the inclination angle α of the shoulder 12 with respect to the processed surface 11.

本実施形態において、加工面11の幅Wは上述の如く、例えば0.2乃至0.25mmである。加工面11の幅Wが0.2mm未満であると、加工面11が溝底面21と実質的に線接触に近い形で接触するようになり、先端が鋭利になった加工面11がその端部で溝底面21を切削してしまったり、仕上げ加工用工具1自体が接触部分で潰れやすくなる。一方、加工面11の幅Wが0.25mmを超えた場合においても、加工面11が溝底面21に接触する面積が増大し、溝底面21を切削して削り屑を生じる。また、切削痕21aを押し潰す際に工具が焼き付いて、仕上げ面が平滑に形成されなくなる虞がある。従って、加工面11の幅を0.2乃至0.25mmと規定する。そして、逃がし部13の直径d1は、本体10の加工面11の幅を上述のように決めて、加工面と溝底面21との間の接触面積を調整すると共に、平滑面21bの幅を調整するために、決めることができる。この平滑面21bの幅は、シール部材の幅とシール性を考慮して決めることが必要である。即ち、溝底面21の上に、Oリング等のシール部材を載置した場合に、シール部材と溝底面21との接触領域が平滑面21bの幅とほぼ一致するようにした方が、シール性及び仕上げ加工の程度を考慮して、無駄がなく、効率的である。   In the present embodiment, the width W of the processed surface 11 is, for example, 0.2 to 0.25 mm as described above. When the width W of the processed surface 11 is less than 0.2 mm, the processed surface 11 comes into contact with the groove bottom surface 21 in a form that is substantially close to line contact, and the processed surface 11 having a sharp tip is the end thereof. The groove bottom surface 21 is cut at the portion, and the finishing tool 1 itself is easily crushed at the contact portion. On the other hand, even when the width W of the machining surface 11 exceeds 0.25 mm, the area where the machining surface 11 contacts the groove bottom surface 21 increases, and the groove bottom surface 21 is cut to generate shavings. Moreover, when crushing the cutting trace 21a, the tool may be burned and the finished surface may not be formed smoothly. Therefore, the width of the processed surface 11 is defined as 0.2 to 0.25 mm. The diameter d1 of the relief portion 13 determines the width of the processed surface 11 of the main body 10 as described above, adjusts the contact area between the processed surface and the groove bottom surface 21, and adjusts the width of the smooth surface 21b. You can decide to do that. The width of the smooth surface 21b needs to be determined in consideration of the width of the sealing member and the sealing performance. That is, when a sealing member such as an O-ring is placed on the groove bottom surface 21, the sealing property is better when the contact area between the sealing member and the groove bottom surface 21 is substantially equal to the width of the smooth surface 21b. In addition, considering the degree of finishing, there is no waste and it is efficient.

以上の工程を経て、溝底面21に平滑面21bを形成することにより、シール部材を介装したとき、シール部材が溝底面20の平滑面21bと隙間なく面接触するようになる。そして、シール部材による気密性が確保され、真空チャンバ等の部品の信頼性が向上する。   By forming the smooth surface 21b on the groove bottom surface 21 through the above steps, the seal member comes into surface contact with the smooth surface 21b of the groove bottom surface 20 without a gap when the seal member is interposed. And the airtightness by a sealing member is ensured and the reliability of components, such as a vacuum chamber, improves.

本実施形態のシール面の仕上げ加工用工具1は、構造が単純である。また、溝底面21を押圧する加工面11が円環状に設けられているので、移動軌跡に沿って常時同一の幅で平滑面21bを形成する。従って、ホルダ30を回転する機構を有しない工作機械3に取り付けて仕上げ加工した場合においても、安定してシール面を仕上げ加工することができる。   The tool 1 for finishing a sealing surface according to this embodiment has a simple structure. Moreover, since the processing surface 11 that presses the groove bottom surface 21 is provided in an annular shape, the smooth surface 21b is always formed with the same width along the movement locus. Accordingly, even when the holder 30 is attached to the machine tool 3 that does not have a mechanism for rotating and finished, the sealing surface can be stably finished.

また、逃がし部13及び肩部12を設けることにより、加工面11が被切削部材2の溝底面21に接触する面積を小さく抑えることができ、接触面積の増大に伴う溝底面の切削、削り屑の発生及び焼き付きを防止することができる。   Further, by providing the relief portion 13 and the shoulder portion 12, the area where the machining surface 11 contacts the groove bottom surface 21 of the workpiece 2 can be kept small, and cutting of the groove bottom surface along with the increase of the contact area, shavings. Generation and seizure can be prevented.

また、本実施形態のシール面の仕上げ加工用工具1には、押圧部材として圧縮スプリングバネ15が設けられている。これにより、加工面の溝底面への押圧力を一定にすることができ、過度に大きい押圧力に起因する工具の焼き付き及び削り屑の発生を防止することができる。   Further, the sealing surface finishing tool 1 of the present embodiment is provided with a compression spring spring 15 as a pressing member. Thereby, the pressing force to the groove bottom face of the machining surface can be made constant, and the seizure of the tool and the generation of shavings due to the excessively large pressing force can be prevented.

そして、このような本体10の溝底面21上の移動を複数回周回させ、仕上げ加工用工具1による仕上げ加工を複数回繰り返すと、平滑面21b上に残存する圧痕も更に一層消失させて表面をより一層平滑化することができる。   Then, when the movement of the main body 10 on the groove bottom surface 21 is made to circulate a plurality of times and the finishing process by the finishing tool 1 is repeated a plurality of times, the indentation remaining on the smooth surface 21b is further disappeared and the surface is made. Further smoothing can be achieved.

なお、本実施形態においては、押圧部材として圧縮スプリングバネ15を設けたが、押圧部材は弾性部材に限らず、円柱状の本体10と工作機械3のホルダ30との間に空気圧又は油圧式のシリンダを設け、このシリンダによって加工面11の溝底面21に対する押圧力を制御してもよく、又は本体10とは別体的に空気圧又は油圧調整装置を設け、この空気圧又は油圧調整装置によって圧力が制御された加圧機構により、加工面11の溝底面に対する押圧力を制御してもよい。   In this embodiment, the compression spring 15 is provided as a pressing member. However, the pressing member is not limited to an elastic member, and may be a pneumatic or hydraulic type between the cylindrical main body 10 and the holder 30 of the machine tool 3. A cylinder may be provided, and the pressing force of the machining surface 11 against the groove bottom surface 21 may be controlled by the cylinder, or an air pressure or hydraulic pressure adjusting device may be provided separately from the main body 10, and the air pressure or the hydraulic pressure adjusting device may provide pressure. You may control the pressing force with respect to the groove bottom face of the process surface 11 with the controlled pressurization mechanism.

また、図4に示すように凹形状の逃がし部13に連通する潤滑油供給孔14を設け、仕上げ加工時に加工面11に潤滑油を供給するように構成すれば、潤滑油供給孔14から供給された潤滑油の潤滑作用により、シール面の仕上げ加工用工具の相対的な移動が円滑となり、工具の焼き付きが更に一層確実に防止される。   Also, as shown in FIG. 4, if the lubricating oil supply hole 14 communicating with the concave relief portion 13 is provided and the lubricating oil is supplied to the processing surface 11 during the finishing process, the lubricating oil is supplied from the lubricating oil supply hole 14. Due to the lubricating action of the lubricating oil thus made, the relative movement of the tool for finishing the sealing surface becomes smooth, and the seizure of the tool is more reliably prevented.

1:(シール面の)仕上げ加工用工具、1a:仕上げ加工用工具、10:本体、11:加工面、12:肩部、13:逃がし部、14:潤滑油供給孔、15:圧縮スプリングバネ、16:溝、2:被切削部材、20:溝、21:溝底面、21a:切削痕、21b:平滑面、22:回転式切削工具、23:凹部、3:工作機械、30:ホルダ、30a:ネジ、30b:ネジ、4:シール部材   1: Finishing tool (for sealing surface), 1a: Finishing tool, 10: Main body, 11: Working surface, 12: Shoulder part, 13: Relief part, 14: Lubricating oil supply hole, 15: Compression spring spring , 16: groove, 2: member to be cut, 20: groove, 21: groove bottom, 21a: cutting trace, 21b: smooth surface, 22: rotary cutting tool, 23: recess, 3: machine tool, 30: holder, 30a: screw, 30b: screw, 4: seal member

Claims (5)

回転式切削工具を使用して切削加工されたシール面を仕上げ加工するためのシール面の仕上げ加工用工具において、
本体と、
この本体の先端側に形成され前記シール面に接触する円環状の平坦な加工面と、
この加工面を取り囲むようにその外側に形成され前記本体の縦断面において前記加工面に対して20乃至30°の角度で前記本体の基端側に向けて傾斜する肩部と、
前記加工面に囲まれた領域に凹形状に形成された逃がし部と、
前記本体の基部を先端側に向けて押圧する押圧部材と、
を有し、
前記本体の縦断面において前記加工面の内縁で前記凹形状に接線を引いたときの前記接線の延長線と前記加工面とのなす角度が20乃至30°であり、
前記加工面を前記回転式切削工具による切削面に押圧力をもって接触させ、前記加工面に平行に前記本体を移動させることにより前記シール面を仕上げ加工するものであることを特徴とするシール面の仕上げ加工用工具。
In a sealing surface finishing tool for finishing a sealing surface that has been cut using a rotary cutting tool,
The body,
An annular flat processing surface that is formed on the tip side of the main body and contacts the sealing surface;
A shoulder portion that is formed on the outside of the main body so as to surround the processing surface and is inclined toward the base end side of the main body at an angle of 20 to 30 ° with respect to the processing surface in the longitudinal section of the main body;
An escape portion formed in a concave shape in a region surrounded by the processing surface;
A pressing member that presses the base of the main body toward the distal end side; and
Have
An angle formed between an extension line of the tangent line and the machining surface when the tangent line is drawn in the concave shape at the inner edge of the machining surface in the longitudinal section of the main body, is 20 to 30 °,
The sealing surface is characterized by finishing the sealing surface by bringing the processing surface into contact with the cutting surface by the rotary cutting tool with a pressing force and moving the main body parallel to the processing surface. Finishing tool.
前記円環状の加工面の幅は、0.2乃至0.25mmであることを特徴とする請求項1に記載のシール面の仕上げ加工用工具。   2. The tool for finishing a sealing surface according to claim 1, wherein a width of the annular processing surface is 0.2 to 0.25 mm. 前記押圧部材は、前記本体の基端部を先端側に向けて付勢する弾性部材であることを特徴とする請求項1又は2に記載のシール面の仕上げ加工用工具。   The tool for finishing a sealing surface according to claim 1, wherein the pressing member is an elastic member that biases the base end portion of the main body toward the distal end side. 前記弾性部材は圧縮スプリングバネであることを特徴とする請求項3に記載のシール面の仕上げ加工用工具。   4. The sealing surface finishing tool according to claim 3, wherein the elastic member is a compression spring spring. 前記逃がし部は前記本体の先端部に開口する孔であり、この孔を介して前記加工面に潤滑油を供給することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のシール面の仕上げ加工用工具。   The sealing surface according to any one of claims 1 to 4, wherein the relief portion is a hole that opens at a front end portion of the main body, and the lubricating oil is supplied to the processing surface through the hole. Finishing tool.
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