JP2010232569A - Protective sheet for solar cell module, and solar cell module - Google Patents

Protective sheet for solar cell module, and solar cell module Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a protective sheet for a solar cell module small in an environmental load, and excelling in adhesiveness between a base material sheet and a weather-resistance layer formed on the base material sheet or a gas barrier layer formed as desired, and weather resistance. <P>SOLUTION: This protective sheet for a solar cell includes the base material sheet, and a silane compound layer of a foremost layer laminated on the base material sheet. It is preferable that a gas barrier layer obtained by implanting ions into a polyorganosiloxane layer is laminated on the base material sheet. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、太陽電池モジュール用表面保護シート及び裏面保護シート、並びにそれを備えた太陽電池モジュールに関する。   The present invention relates to a surface protection sheet for a solar cell module, a back surface protection sheet, and a solar cell module including the same.

太陽の光エネルギーを電気エネルギーに変換する装置である太陽電池モジュールは、二酸化炭素を排出せずに発電できるシステムとして注目されている。その太陽電池モジュールには、高い発電効率とともに、屋外で使用した場合にも長期間の使用に耐えうる耐久性が求められている。
太陽電池モジュールの主な構成は、光発電素子である太陽電池セル、電気回路のショートを防ぐ電気絶縁体である封止材、およびそれらを密閉状態で内包する筐体からなる。この太陽電池モジュールの受光面側(表面側)とその裏面側には、それぞれ表面保護シートと裏面保護シートが接着され、太陽電池モジュール内への水蒸気の浸入を防いでいる。このような太陽電池モジュール用保護シートには、優れた水蒸気バリア性、耐候性が求められ、かつ太陽電池モジュールの封止材との接着性に優れることが要求されている。
従来、太陽電池モジュール用保護シートとして、水蒸気バリア性、耐候性、封止材への密着性を改善するための技術として、例えば、特許文献1,2に開示された技術が提案されている。
A solar cell module, which is a device that converts solar light energy into electrical energy, has attracted attention as a system that can generate power without discharging carbon dioxide. The solar cell module is required to have high power generation efficiency and durability that can withstand long-term use even when used outdoors.
The main configuration of the solar cell module includes a photovoltaic cell that is a photovoltaic device, a sealing material that is an electrical insulator that prevents a short circuit in an electric circuit, and a housing that encloses them in a sealed state. A surface protection sheet and a back surface protection sheet are bonded to the light receiving surface side (front surface side) and the back surface side of the solar cell module, respectively, to prevent water vapor from entering the solar cell module. Such a protective sheet for a solar cell module is required to have excellent water vapor barrier properties and weather resistance, and to be excellent in adhesion to the sealing material of the solar cell module.
Conventionally, as a technique for improving water vapor barrier properties, weather resistance, and adhesion to a sealing material as a protective sheet for a solar cell module, for example, techniques disclosed in Patent Documents 1 and 2 have been proposed.

特許文献1には、太陽電池モジュールの保護層として用いる、表面にガスバリア層として珪素酸化物薄膜が形成されたフッ素樹脂フィルム層を含むシートであって、該シートの酸素透過率が5cc/m・day・atm以下、水蒸気透過率が5g/m・day以下、光線透過率が80%以上であり、且つ、珪素酸化物薄膜の厚みが150〜500Åであり、該膜の密着強度が200g/15mm以上であることを特徴とする太陽電池モジュール用保護シートが開示されている。
特許文献2には、水不透過性シートの少なくとも一方の面に、耐候性層として硬化性官能基含有含フッ素塗料の硬化塗膜が形成されてなる太陽電池モジュールのバックシートが開示されている。
Patent Document 1 discloses a sheet including a fluororesin film layer having a silicon oxide thin film formed as a gas barrier layer on the surface, which is used as a protective layer of a solar cell module, and the sheet has an oxygen permeability of 5 cc / m 2. • Day · atm or less, water vapor transmission rate of 5 g / m 2 · day or less, light transmittance of 80% or more, silicon oxide thin film thickness of 150 to 500 mm, and adhesion strength of the film of 200 g The protective sheet for solar cell modules characterized by being / 15 mm or more is disclosed.
Patent Document 2 discloses a back sheet for a solar cell module in which a cured coating film of a curable functional group-containing fluorine-containing paint is formed as a weather resistant layer on at least one surface of a water-impermeable sheet. .

特開平10−308521号公報JP-A-10-308521 WO2007/010706WO2007 / 010706

しかしながら、特許文献1,2に開示されたハロゲン化合物を含む保護シートは、焼却処分する際に有害物質が発生する恐れがあり、環境負荷が高く、廃棄物処理の観点からその使用は好ましくない。
また、特許文献1に開示された保護シートは、フッ素樹脂フィルム及び珪素酸化物薄膜を設ける工程中で使用される材料が高コストである問題があり、また前処理を施さない基材に珪素酸化物薄膜を積層したフィルムでは、珪素酸化物薄膜の柔軟性が乏しいうえに、基材と珪素酸化物薄膜との密着性が弱いため、耐屈曲性が低いという問題があった。
また、特許文献2に開示されたバックシートは、使用するフッ素塗料が高コストであるために、コスト面で問題が残り、また基材とフッ素塗料の硬化塗膜との密着性に乏しく、これを改善するためには更に添加物を加えるなどがなされているが、未だ十分ではない。
However, the protective sheet containing a halogen compound disclosed in Patent Documents 1 and 2 may generate harmful substances when incinerated, has a high environmental load, and is not preferred for use from the viewpoint of waste disposal.
In addition, the protective sheet disclosed in Patent Document 1 has a problem that the material used in the process of providing the fluororesin film and the silicon oxide thin film is expensive, and the base material not subjected to pretreatment is oxidized with silicon. In a film in which a thin film is laminated, the flexibility of the silicon oxide thin film is poor and the adhesion between the base material and the silicon oxide thin film is weak, so that there is a problem that the bending resistance is low.
In addition, the back sheet disclosed in Patent Document 2 has a high cost because of the high cost of the fluorine coating used, and the adhesion between the substrate and the cured coating film of the fluorine coating is poor. In order to improve this, additional additives have been added, but it is still not sufficient.

本発明は、前記事情に鑑みてなされ、環境負荷が小さく、基材シートと基材シート上に設けられた耐候性層や所望により設けられるガスバリア層との密着性及び、耐候性に優れた太陽電池モジュール用保護シートの提供を目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, has a small environmental load, and has excellent adhesion and weather resistance between a base sheet and a weather resistant layer provided on the base sheet or a gas barrier layer provided as desired. It aims at providing the protection sheet for battery modules.

前記目的を達成するため、本発明は、基材シートと、該基材シートに積層されたシラン化合物層とを有することを特徴とする太陽電池モジュール用保護シートを提供する。このシラン化合物層は、耐候性層として機能する。   In order to achieve the above object, the present invention provides a protective sheet for a solar cell module, comprising a base sheet and a silane compound layer laminated on the base sheet. This silane compound layer functions as a weather resistant layer.

本発明の太陽電池モジュール用保護シートにおいて、前記基材シートにガスバリア層が積層されたことが好ましい。   In the protective sheet for a solar cell module of the present invention, it is preferable that a gas barrier layer is laminated on the base sheet.

本発明の太陽電池モジュール用保護シートにおいて、前記シラン化合物層が、有機ポリシラザン、無機ポリシラザン、ポリカルボシラン、ポリシラン、ポリオルガノシロキサンからなる群から選択される1種又は2種以上のシラン化合物からなることが好ましい。   In the protective sheet for a solar cell module of the present invention, the silane compound layer is composed of one or more silane compounds selected from the group consisting of organic polysilazane, inorganic polysilazane, polycarbosilane, polysilane, and polyorganosiloxane. It is preferable.

本発明の太陽電池モジュール用保護シートにおいて、前記ガスバリア層が、ポリオルガノシロキサン層にイオン注入をすることで得られたものであることが好ましい。   In the protective sheet for a solar cell module of the present invention, the gas barrier layer is preferably obtained by ion implantation into the polyorganosiloxane layer.

本発明の太陽電池モジュール用保護シートにおいて、前記ポリオルガノシロキサン層に注入されるイオンが、H,He,N,O,Ne,Ar,Kr,Xeからなる群から選択される1種又は2種以上のガスから生成されることが好ましい。 In the protective sheet for a solar cell module of the present invention, ions injected into the polyorganosiloxane layer are selected from the group consisting of H 2 , He, N 2 , O 2 , Ne, Ar, Kr, and Xe. Or it is preferable to produce | generate from 2 or more types of gas.

本発明の太陽電池モジュール用保護シートにおいて、前記ポリオルガノシロキサン層にイオン注入する際に印加される電圧が−1〜−50kVの範囲であることが好ましい。   In the protective sheet for a solar cell module of the present invention, it is preferable that a voltage applied when ions are implanted into the polyorganosiloxane layer is in a range of −1 to −50 kV.

本発明の太陽電池モジュール用保護シートにおいて、前記基材シート中に顔料が添加されていてもよい。   In the protective sheet for a solar cell module of the present invention, a pigment may be added to the substrate sheet.

本発明の太陽電池モジュール用保護シートは、ハロゲンを含まない材料からなることが好ましい。   The protective sheet for a solar cell module of the present invention is preferably made of a material containing no halogen.

また本発明は、前述した本発明の太陽電池モジュール用保護シートが表面と裏面の一方又は両方に接着されてなる太陽電池モジュールを提供する。   The present invention also provides a solar cell module in which the above-described protective sheet for a solar cell module of the present invention is bonded to one or both of the front surface and the back surface.

本発明の太陽電池モジュール用保護シートは、環境負荷の高いハロゲン(F,Cl,Br等)を含まないため、焼却処分する際に有害物質が発生することを抑制できる。
また、シラン化合物層は基材シートとの密着性に優れており、シラン化合物層の剥がれなどの不具合が発生し難い。
さらに、基材シートにガスバリア層が積層された構成とすることによって、優れたガスバリア性、耐候性を有する保護シートとなり、太陽電池モジュール用保護シートとして好ましく用いることができる。
Since the protective sheet for a solar cell module of the present invention does not contain a halogen (F, Cl, Br, etc.) that has a high environmental load, it can suppress the generation of harmful substances when incinerated.
Moreover, the silane compound layer is excellent in adhesiveness with the base material sheet, and problems such as peeling of the silane compound layer hardly occur.
Furthermore, by setting it as the structure by which the gas barrier layer was laminated | stacked on the base material sheet, it becomes a protective sheet which has the outstanding gas barrier property and a weather resistance, and can be preferably used as a protective sheet for solar cell modules.

本発明の太陽電池モジュール用保護シートの第1実施形態の断面図である。It is sectional drawing of 1st Embodiment of the protection sheet for solar cell modules of this invention. 本発明の太陽電池モジュール用保護シートの第2実施形態の断面図である。It is sectional drawing of 2nd Embodiment of the protection sheet for solar cell modules of this invention. 本発明の太陽電池モジュール用保護シートの第3実施形態の断面図である。It is sectional drawing of 3rd Embodiment of the protection sheet for solar cell modules of this invention. 本発明の太陽電池モジュールの構成を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the structure of the solar cell module of this invention. プラズマイオン注入装置の概略を示した構成図である。It is the block diagram which showed the outline of the plasma ion implantation apparatus.

図4は、本発明の太陽電池モジュール用保護シート(以下、保護シートと略記する。)を用いる太陽電池モジュールの構成を示した模式図である。
図4に例示するように、この太陽電池モジュール50の構成は、表面保護シート10、裏面保護シート20、封止材30、太陽電池セル40を有する。屋外および屋内において長期間の使用に耐えうる耐候性および耐久性を太陽電池モジュールにもたせるためには、太陽電池セル40および封止材30を風雨、湿気、砂埃、機械的な衝撃などから守り、太陽電池モジュールの内部を外気から完全に遮断して密閉した状態に保つことが必要である。このため、表面保護シート10及び裏面保護シート20には、優れた水蒸気バリア性、耐候性が求められている。
FIG. 4 is a schematic view showing a configuration of a solar cell module using the solar cell module protective sheet (hereinafter abbreviated as a protective sheet) of the present invention.
As illustrated in FIG. 4, the configuration of the solar cell module 50 includes a surface protection sheet 10, a back surface protection sheet 20, a sealing material 30, and solar cells 40. In order to give the solar cell module the weather resistance and durability that can withstand long-term use outdoors and indoors, the solar cell 40 and the sealing material 30 are protected from wind and rain, moisture, dust, mechanical impact, etc. It is necessary to keep the inside of the solar cell module sealed from the outside air completely. For this reason, the surface protection sheet 10 and the back surface protection sheet 20 are required to have excellent water vapor barrier properties and weather resistance.

図1は、本発明の保護シートの第1実施形態の断面を示した模式図である。なお、図1及び後述する図2、図3は、本発明の保護シートを裏面保護シート20として適用した場合を例示しているが、本発明の保護シートは表面保護シート10としても適用可能であることは言うまでもない。以下の記載において、基材シート21にアルミ蒸着PETシートを用いたり、二酸化チタンのような白色顔料を添加した白色PETシートを用いている場合は、裏面保護シート20への適用を意図したものであって、表面保護シート10として適用する場合には透明な基材シートが用いられる。   Drawing 1 is a mimetic diagram showing the section of a 1st embodiment of a protection sheet of the present invention. 1 and FIG. 2 and FIG. 3 to be described later exemplify the case where the protective sheet of the present invention is applied as the back surface protective sheet 20, but the protective sheet of the present invention can also be applied as the front surface protective sheet 10. Needless to say. In the following description, when an aluminum-deposited PET sheet is used as the base material sheet 21 or a white PET sheet to which a white pigment such as titanium dioxide is added is used, it is intended to be applied to the back surface protection sheet 20. And when applying as the surface protection sheet 10, a transparent base material sheet is used.

本実施形態の保護シート20Aは、基材シート21の一方の面側にシラン化合物層22が積層された構成になっている。   The protective sheet 20 </ b> A of the present embodiment has a configuration in which a silane compound layer 22 is laminated on one surface side of the substrate sheet 21.

前記基材シート21として用いうる樹脂シートとしては、一般に太陽電池モジュール用バックシートにおける樹脂シートとして使用されているものが使用できる。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メチル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリアミド(ナイロン6、ナイロン66)、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリオキシメチレン、ポリカーボネート、ポリフェニレンオキシド、ポリエステルウレタン、ポリm−フェニレンイソフタルアミド、ポリp−フェニレンテレフタルアミド等のポリマーからなるシートが挙げられる。なかでも、PET,PBT,PENなどのポリエステルからなるシートが好ましく、より具体的には、機械的強度、絶縁性の観点からPETシートが好ましいものとして挙げられる。   As the resin sheet that can be used as the base material sheet 21, one that is generally used as a resin sheet in a back sheet for a solar cell module can be used. For example, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polymethyl methacrylate, polytetrafluoroethylene, polyamide (nylon 6, nylon 66), polyacrylonitrile, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), polyethylene naphthalate Examples thereof include a sheet made of a polymer such as (PEN), polyoxymethylene, polycarbonate, polyphenylene oxide, polyester urethane, poly m-phenylene isophthalamide, poly p-phenylene terephthalamide. Especially, the sheet | seat which consists of polyesters, such as PET, PBT, and PEN, is preferable, and a PET sheet | seat is mentioned as a preferable thing from a mechanical strength and an insulating viewpoint more specifically.

前記基材シート21の厚さとしては、太陽電池システムが要求する電気絶縁性に基づいて選択すればよい。例えば、前記基材シート21が樹脂シートである場合には、該膜厚が10〜300μmの範囲であることが好ましい。より具体的には、前記基材シート21がPETシートである場合には、軽量性および電気絶縁性の観点から、該PETシートの厚さは10〜300μmの範囲であることが好ましく、30〜200μmの範囲であることがより好ましく、50〜150μmであることがさらに好ましい。   What is necessary is just to select as thickness of the said base material sheet 21 based on the electrical insulation which a solar cell system requires. For example, when the substrate sheet 21 is a resin sheet, the film thickness is preferably in the range of 10 to 300 μm. More specifically, when the substrate sheet 21 is a PET sheet, the thickness of the PET sheet is preferably in the range of 10 to 300 μm from the viewpoint of lightness and electrical insulation, The range of 200 μm is more preferable, and the range of 50 to 150 μm is more preferable.

また水蒸気バリア性の観点から、前記基材シート21の表面改質処理を施すこともできる。例えば前記PETシートにシリカ(SiO)および/またはアルミナ(Al)を蒸着させることにより、前記バックシートの耐候性、耐湿性等を高めることができる。なお、該シリカおよび/またはアルミナの蒸着処理は、前記基材シート21の両面に行ってもよく、いずれか一方の面にのみ行ってもよい。
さらに、水蒸気バリア性の観点から、前記基材シート21としてアルミ箔、アルミ−鉄合金箔などの金属箔からなるシート、Al蒸着PETシート、Al箔ラミネートPETシートなどを使用することもできる。
さらに、前記基材シート21には、反射率向上の観点から、二酸化チタンなどの顔料を分散したPETシートを用いることもできる。このような顔料分散PETシートとしては、例えば、東レ社製の商品名「ルミラー E20」などが挙げられる。なお、反射率の高い保護シートを太陽電池モジュール50の裏面保護シート20として用いる場合、太陽電池セル40間の隙間を通って抜け出す光を反射して太陽電池セル40側に戻す反射効率が高くなり、該モジュールの発電効率を高めることができる。
Further, from the viewpoint of water vapor barrier properties, the surface modification treatment of the base material sheet 21 can be performed. For example, by weathering silica (SiO 2 ) and / or alumina (Al 2 O 3 ) on the PET sheet, the weather resistance, moisture resistance, etc. of the back sheet can be enhanced. The silica and / or alumina vapor deposition treatment may be performed on both surfaces of the substrate sheet 21 or only on one of the surfaces.
Furthermore, from the viewpoint of water vapor barrier properties, a sheet made of a metal foil such as an aluminum foil or an aluminum-iron alloy foil, an Al vapor-deposited PET sheet, an Al foil-laminated PET sheet, or the like can be used as the base sheet 21.
Furthermore, as the base material sheet 21, a PET sheet in which a pigment such as titanium dioxide is dispersed can be used from the viewpoint of improving the reflectance. An example of such a pigment-dispersed PET sheet is “Lumirror E20” manufactured by Toray Industries, Inc. In addition, when using a protection sheet with a high reflectance as the back surface protection sheet 20 of the solar cell module 50, the reflection efficiency which reflects the light which escapes through the clearance gap between the photovoltaic cells 40, and returns to the photovoltaic cell 40 side becomes high. The power generation efficiency of the module can be increased.

前記シラン化合物層22としては、有機ポリシラザン、無機ポリシラザン、ポリカルボシラン、ポリシラン、ポリオルガノシロキサンからなる群から選択される1種又は2種以上のシラン化合物からなることが好ましい。   The silane compound layer 22 is preferably made of one or more silane compounds selected from the group consisting of organic polysilazane, inorganic polysilazane, polycarbosilane, polysilane, and polyorganosiloxane.

前記有機ポリシラザンとしては、メチルポリシラザン、ヘキサメチルジシラザン、テトラメチルジシラザン、ジビニルテトラメチルジシラザン、環式ジメチルジシラザン等が挙げられ、これを含むコーティング液としては、例えば、クラリアントジャパン社製の商品名「tutoProm bright」が挙げられる。
前記無機ポリシラザンとしては、パーヒドロポリシラザンが挙げられ、これを含むコーティング液としては、例えば、AZエレクトロニックマテリアルズ社製の商品名「アクアミカNP110」が挙げられる。
前記ポリカルボシランとしては、重量平均分子量(Mw)が500〜100000の範囲のポリカルボシランが好ましく、この種のポリカルボシランを含むコーティング液としては、例えば、日本カーボン社製の商品名「ニプシType S」(Mw=4000)が挙げられる。
前記ポリシランとしては、ポリジメチルシラン、ポリジエチルシラン、ポリフェニルメチルシランなどが挙げられ、これを含むコーティング液としては、例えば、ポリフェニルメチルシラン(大阪ガスケミカル社製、「オグソール SI−10」)などが挙げられる。
前記ポリオルガノシロキサンとしては、ポリジメチルシロキサン、ポリジエチルシロキサンなどが挙げられ、これを含むコーティング液としては、例えば、信越化学工業株式会社製の商品名「KS847H」等が挙げられる。
Examples of the organic polysilazane include methylpolysilazane, hexamethyldisilazane, tetramethyldisilazane, divinyltetramethyldisilazane, cyclic dimethyldisilazane, and the like. An example of the product name is “tutoProm bright”.
Examples of the inorganic polysilazane include perhydropolysilazane, and examples of the coating liquid containing the inorganic polysilazane include trade name “AQUAMICA NP110” manufactured by AZ Electronic Materials.
As the polycarbosilane, a polycarbosilane having a weight average molecular weight (Mw) in the range of 500 to 100,000 is preferable. As a coating liquid containing this type of polycarbosilane, for example, trade name “Nippi” manufactured by Nippon Carbon Co., Ltd. Type S ”(Mw = 4000).
Examples of the polysilane include polydimethylsilane, polydiethylsilane, polyphenylmethylsilane, and the like. Examples of the coating liquid containing the polysilane include polyphenylmethylsilane (Ossol SI-10, manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.). Etc.
Examples of the polyorganosiloxane include polydimethylsiloxane and polydiethylsiloxane. Examples of the coating liquid containing the polyorganosiloxane include trade name “KS847H” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

前記シラン化合物層22は、前記有機ポリシラザン、無機ポリシラザン、ポリカルボシラン、ポリシラン又はポリオルガノシロキサンを含むコーティング液を、バーコート法などの周知の方法で前記基材シート21上に塗布し、加熱硬化させることによって形成することができる。   The silane compound layer 22 is formed by applying a coating liquid containing the organic polysilazane, inorganic polysilazane, polycarbosilane, polysilane, or polyorganosiloxane on the base sheet 21 by a known method such as a bar coating method, followed by heat curing. Can be formed.

前記シラン化合物層22の膜厚は、30nm〜300μmの範囲が好ましく、50nm〜100μmの範囲がより好ましく、100nm〜1μmの範囲がさらに好ましい。このシラン化合物層22の膜厚が前記範囲未満であると、最表層の防汚性が十分に得られなくなり、汚れが付着し易くなる。このシラン化合物層22の膜厚が前記範囲を超えていても、最表層の防汚性はそれ以上改善されず、コスト高になるために好ましくない。   The film thickness of the silane compound layer 22 is preferably in the range of 30 nm to 300 μm, more preferably in the range of 50 nm to 100 μm, and still more preferably in the range of 100 nm to 1 μm. When the film thickness of the silane compound layer 22 is less than the above range, the antifouling property of the outermost layer cannot be sufficiently obtained, and dirt easily adheres. Even if the film thickness of the silane compound layer 22 exceeds the above range, the antifouling property of the outermost layer is not further improved, and this is not preferable because the cost increases.

本実施形態の保護シート20Aは、基材シート21の他方の面側(シラン化合物層22の反対面側)を太陽電池モジュール50の封止材30の表面側又は裏面側に接着し、太陽電池モジュール用表面保護シート又は裏面保護シートとして利用される。
本実施形態の保護シート20Aは、環境負荷の高いハロゲン(F,Cl,Br等)を含まないため、焼却処分する際に有害物質が発生することを抑制でき、環境負荷の低いものとなる。
また、シラン化合物層22は防汚性に優れており、さらに基材シート21との密着性に優れており、シラン化合物層の剥がれなどの不具合が発生し難い。
20 A of protective sheets of this embodiment adhere | attach the other surface side (surface opposite side of the silane compound layer 22) of the base material sheet 21 on the surface side or back surface side of the sealing material 30 of the solar cell module 50, and a solar cell. It is used as a surface protection sheet for modules or a back surface protection sheet.
Since the protective sheet 20A of the present embodiment does not contain halogen (F, Cl, Br, etc.) with high environmental load, it can suppress the generation of harmful substances during incineration and has low environmental load.
Moreover, the silane compound layer 22 is excellent in antifouling property, and is also excellent in adhesiveness with the base material sheet 21, and troubles, such as peeling of a silane compound layer, do not occur easily.

図2は、本発明の保護シートの第2実施形態を示す断面図である。
本実施形態の保護シート20Bは、基材シート21の一方の面側にガスバリア層23が積層され、該ガスバリア層23上にシラン化合物層22が積層された構成になっている。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the protective sheet of the present invention.
The protective sheet 20 </ b> B of the present embodiment has a configuration in which a gas barrier layer 23 is laminated on one surface side of the base sheet 21 and a silane compound layer 22 is laminated on the gas barrier layer 23.

本発明において、前記ガスバリア層23としては、ポリオルガノシロキサン層にイオン注入をすることで得られたガスバリア層23であることが好ましい。このポリオルガノシロキサン層は、ポリオルガノシロキサンを含むコーティング液を、バーコート法などの周知の方法で前記基材シート上に塗布し、加熱硬化させることによって形成することができる。ガスバリア層23となるポリオルガノシロキサン層の厚さは、20nm〜10μmの範囲が好ましく、30nm〜1μmの範囲がより好ましい。   In the present invention, the gas barrier layer 23 is preferably a gas barrier layer 23 obtained by ion implantation into the polyorganosiloxane layer. This polyorganosiloxane layer can be formed by applying a coating liquid containing polyorganosiloxane onto the substrate sheet by a well-known method such as a bar coating method, followed by heat curing. The thickness of the polyorganosiloxane layer serving as the gas barrier layer 23 is preferably in the range of 20 nm to 10 μm, and more preferably in the range of 30 nm to 1 μm.

この基材シート21上に形成したポリオルガノシロキサン層の表面に対して、イオン注入を行う方法としては、本発明の効果を損なうものでなければ特に制限されず、公知の方法で行うことができる。例えば、特開2006−070238号公報に記載のプラズマイオン注入装置を用いて、長尺の基材シート上のポリオルガノシロキサン層に対してイオン注入する方法が好ましい方法として挙げられる。   The method of performing ion implantation on the surface of the polyorganosiloxane layer formed on the substrate sheet 21 is not particularly limited as long as the effect of the present invention is not impaired, and can be performed by a known method. . For example, a method in which ion implantation is performed on a polyorganosiloxane layer on a long base sheet using a plasma ion implantation apparatus described in JP-A-2006-070238 is a preferred method.

前記プラズマイオン注入装置を用いれば、イオン注入時の圧力を0.01〜0.5Paとし、プラズマ雰囲気中、ポリオルガノシロキサン層を形成した基材シート(以下、これも基材シートと記す)を一定方向に搬送しながら、プラズマイオン注入法(PBII:Plasma−Based Ion Implantation)によって、ポリオルガノシロキサン層の表面部に均一なイオン注入層を形成することができる。この場合、長尺の基材シートを一定方向に搬送しながら連続的にイオン注入できるので効率がよく、量産に適している。   If the plasma ion implantation apparatus is used, a base sheet (hereinafter also referred to as a base sheet) in which a pressure during ion implantation is set to 0.01 to 0.5 Pa and a polyorganosiloxane layer is formed in a plasma atmosphere. A uniform ion implantation layer can be formed on the surface of the polyorganosiloxane layer by plasma ion implantation (PBII: Plasma-Based Ion Implantation) while being conveyed in a certain direction. In this case, since a long base sheet can be continuously ion-implanted while being conveyed in a certain direction, it is efficient and suitable for mass production.

前記プラズマイオン注入装置は、マイクロ波等の高周波電源等によって発生する外部電界を用いることなく、高電圧パルスの印加により発生する電界のみでプラズマを生成させる。すなわち、該プラズマイオン注入装置では、長尺の基材シートが一定方向に搬送されると同時に、該基材シートに負の高電圧が印加されることによりプラズマが発生し、該プラズマ中のイオンが該基材シートのポリオルガノシロキサン層の表面部に注入され、イオン注入層が形成される。   The plasma ion implantation apparatus generates plasma only by an electric field generated by application of a high voltage pulse without using an external electric field generated by a high frequency power source such as a microwave. That is, in the plasma ion implantation apparatus, a long base sheet is conveyed in a certain direction, and at the same time, a negative high voltage is applied to the base sheet to generate plasma, and ions in the plasma are Is injected into the surface of the polyorganosiloxane layer of the substrate sheet to form an ion-implanted layer.

前記プラズマイオン注入装置の構成を図5に示す。
図5(a)において、51aは長尺の基材シート、61はチャンバー、70はターボ分子ポンプ、53はイオン注入される前の基材シート51aを送り出す巻き出しロール、55はイオン注入された基材シート51をロール状に巻き取る巻取りロール、52は高電圧印加回転キャン、60はガス導入口、57は高電圧パルス電源である。図5(b)は、前記高電圧印加回転キャン52の斜視図であり、65は高電圧導入端子(フィードスルー)である。
The configuration of the plasma ion implantation apparatus is shown in FIG.
In FIG. 5 (a), 51a is a long base sheet, 61 is a chamber, 70 is a turbo molecular pump, 53 is an unwinding roll for feeding the base sheet 51a before ion implantation, and 55 is ion-implanted. A winding roll for winding the substrate sheet 51 into a roll, 52 is a high-voltage applied rotation can, 60 is a gas inlet, and 57 is a high-voltage pulse power source. FIG. 5B is a perspective view of the high-voltage applying rotation can 52, and 65 is a high-voltage introduction terminal (feedthrough).

図5に示す連続的イオン注入装置においては、基材シート51aは、チャンバー61内において、巻き出しロール53から図5中矢印A方向に搬送され、高電圧印加回転キャン52を通過して、巻取りロール55に巻き取られる。基材シート51aの巻取りの方法や、基材シート51aを搬送する方法等は特に制限はないが、例えば、高電圧印加回転キャン52を一定速度で回転させることにより、基材シート51aの搬送が行われる。また、高電圧印加回転キャン52の回転は、高電圧導入端子65の中心軸63をモーターにより回転させることにより行われる。   In the continuous ion implantation apparatus shown in FIG. 5, the base sheet 51 a is transported in the chamber 61 from the unwinding roll 53 in the direction of arrow A in FIG. 5, passes through the high voltage application rotation can 52, and is wound. It is wound on a take-up roll 55. The method for winding the base sheet 51a, the method for transporting the base sheet 51a, and the like are not particularly limited. For example, the base sheet 51a is transported by rotating the high-voltage applying rotation can 52 at a constant speed. Is done. The rotation of the high voltage application rotation can 52 is performed by rotating the central shaft 63 of the high voltage introduction terminal 65 by a motor.

高電圧導入端子65、及び基材シート51aが接触する複数の送り出し用ロール56等は絶縁体からなり、例えば、アルミナの表面をポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等の樹脂で被覆して形成される。また、高電圧印加回転キャン52は導体からなり、例えば、ステンレス、SUS(Steel special Use Stainless)等で形成される。   The high-voltage introduction terminal 65 and the plurality of delivery rolls 56 that the base sheet 51a contacts are made of an insulator, and are formed, for example, by coating the surface of alumina with a resin such as polytetrafluoroethylene (PTFE). . The high voltage application rotation can 52 is made of a conductor, and is formed of, for example, stainless steel, SUS (Steel special Use Stainless), or the like.

基材シート51aの搬送速度は適宜設定できる。基材シート51aが巻き出しロール53から搬送され、巻取りロール55に巻き取られるまでの間に該基材シートのポリオルガノシロキサン層の表面部にイオン注入され、所望のイオン注入層が形成されるだけの時間が確保される速度であれば、特に制限されない。基材シートの巻取り速度(ライン速度)は、印加電圧や高電圧印加回転キャンの直径にもよるが、通常0.1〜2m/min、好ましくは0.2〜0.7m/minである。   The conveyance speed of the base material sheet 51a can be set as appropriate. Ion implantation is performed on the surface of the polyorganosiloxane layer of the substrate sheet until the substrate sheet 51a is conveyed from the unwinding roll 53 and wound on the winding roll 55, and a desired ion-implanted layer is formed. There is no particular limitation as long as it is a speed at which sufficient time is secured. The winding speed (line speed) of the base sheet is usually 0.1 to 2 m / min, preferably 0.2 to 0.7 m / min, although it depends on the applied voltage and the diameter of the high voltage applied rotating can. .

該イオン注入処理の手順としては、先ず、チャンバー61内をターボ分子ポンプ70により排気して減圧とする。減圧度は、通常1.0×10−4〜3.0×10−3Paである。 As a procedure of the ion implantation process, first, the inside of the chamber 61 is evacuated by the turbo molecular pump 70 to reduce the pressure. The degree of vacuum is usually 1.0 × 10 −4 to 3.0 × 10 −3 Pa.

次に、ガス導入口60よりチャンバー61内に、イオン注入用ガスを導入する。
ここで用いるイオン注入用ガスとしては、H、He、N、O、Ne、Ar、Kr、Xeからなる群から選択される1種又は2種以上のガスであることが好ましく、それらの中でもAr、He、Nがより好ましい。
Next, an ion implantation gas is introduced into the chamber 61 from the gas introduction port 60.
The ion implantation gas used here is preferably one or more gases selected from the group consisting of H 2 , He, N 2 , O 2 , Ne, Ar, Kr, and Xe. Among these, Ar, He, and N 2 are more preferable.

次に、基材シート51aを、図5中Aの方向に搬送させながら、高電圧パルス電源57から高電圧導入端子65を介して高電圧印加回転キャンに負の高電圧パルス59を印加する。   Next, the negative high voltage pulse 59 is applied to the high voltage application rotary can from the high voltage pulse power source 57 through the high voltage introduction terminal 65 while the base sheet 51a is conveyed in the direction of A in FIG.

高電圧印加回転キャン52に負の高電圧が印加されると、高電圧印加回転キャン52の周囲の基材シート51aに沿ってイオン注入用ガスのプラズマが生成され、そのプラズマ中のイオンが誘因され、高電圧印加回転キャン52外周に巻き付けられた基材シート51aのポリオルガノシロキサン層の表面に注入される(図5(a)中、矢印B)。該ポリオルガノシロキサン層の表面部にイオンが注入されると、該表面部が改質されて、該表面部にイオン注入層が形成される。   When a negative high voltage is applied to the high voltage application rotation can 52, a plasma of ion implantation gas is generated along the base sheet 51a around the high voltage application rotation can 52, and ions in the plasma are induced. Then, it is injected into the surface of the polyorganosiloxane layer of the base material sheet 51a wound around the outer periphery of the high voltage application rotary can 52 (arrow B in FIG. 5A). When ions are implanted into the surface portion of the polyorganosiloxane layer, the surface portion is modified to form an ion implanted layer on the surface portion.

イオン注入する際の圧力(プラズマイオン注入時の圧力)としては、0.01〜1Paが好ましい。また、プラズマを生成させるときのパルス幅は、1〜15μsecが好ましい。
プラズマイオン注入時の圧力、およびプラズマを生成させるときのパルス幅が前記範囲内にあると、該ポリオルガノシロキサン層の表面部に均一なイオン注入層を形成することができ、本発明の効果をより高めることができる。
The pressure during ion implantation (pressure during plasma ion implantation) is preferably 0.01 to 1 Pa. The pulse width when generating plasma is preferably 1 to 15 μsec.
When the pressure during plasma ion implantation and the pulse width when generating plasma are within the above ranges, a uniform ion implantation layer can be formed on the surface of the polyorganosiloxane layer. Can be increased.

高電圧印加回転キャン52に負の高電圧を印加する際の印加電圧は、通常−1kV〜−50kV、好ましくは−1kV〜−30kV、より好ましくは−5kV〜−20kVである。該印加電圧が前記範囲内にあると、該ポリオルガノシロキサン層の表面部に充分なイオン注入層を形成することができ、本発明の効果をより高めることができる。   The applied voltage when applying a negative high voltage to the high-voltage applying rotation can 52 is usually -1 kV to -50 kV, preferably -1 kV to -30 kV, more preferably -5 kV to -20 kV. When the applied voltage is within the above range, a sufficient ion implantation layer can be formed on the surface portion of the polyorganosiloxane layer, and the effects of the present invention can be further enhanced.

このように、基材シート21に形成したポリオルガノシロキサン層の表面からイオンを注入すると、該ポリオルガノシロキサン層の表面部が改質されて、該表面部にイオン注入層が形成されてガスバリア層23が得られる。   As described above, when ions are implanted from the surface of the polyorganosiloxane layer formed on the base sheet 21, the surface portion of the polyorganosiloxane layer is modified, and an ion implantation layer is formed on the surface portion to form a gas barrier layer. 23 is obtained.

該イオン注入層の厚みは、基材シート51aの巻取り速度(ライン速度)、イオン注入の処理時間、印加電圧等により制御することができる。
本発明において、ポリオルガノシロキサン層に形成されるイオン注入層(ガスバリア層23)の厚みは、通常、0.1〜100nmである。
The thickness of the ion implantation layer can be controlled by the winding speed (line speed) of the base sheet 51a, the ion implantation processing time, the applied voltage, and the like.
In the present invention, the thickness of the ion implantation layer (gas barrier layer 23) formed in the polyorganosiloxane layer is usually 0.1 to 100 nm.

前述したように基材シート21の一方の面にガスバリア層23を積層した後、このガスバリア層23上に、前記第1実施形態と同じくシラン化合物層22を積層し、図2に示す第2実施形態の保護シート20Bが得られる。   As described above, after laminating the gas barrier layer 23 on one surface of the base sheet 21, the silane compound layer 22 is laminated on the gas barrier layer 23 as in the first embodiment, and the second embodiment shown in FIG. The protective sheet 20B having the form is obtained.

本実施形態の保護シート20Bは、基材シート21の他方の面側(シラン化合物層22の反対面側)を太陽電池モジュール50の封止材30の表面側又は裏面側に接着し、太陽電池モジュール用表面保護シート又は裏面保護シートとして利用される。
本実施形態の保護シート20Bは、環境負荷の高いハロゲン(F,Cl,Br等)を含まないため、焼却処分する際に有害物質が発生することを抑制でき、環境負荷の低いものとなる。また、シラン化合物層22は防汚性に優れており、さらに基材シート21側との密着性に優れており、シラン化合物層の剥がれなどの不具合が発生し難いなどの前記第1実施形態の保護シート20Aと同様の効果が得られ、さらに、基材シート21の一方の面にガスバリア層23を積層したことによって、優れたガスバリア性、耐候性を有する保護シートとなる。
The protective sheet 20 </ b> B of the present embodiment adheres the other surface side (the opposite surface side of the silane compound layer 22) of the base material sheet 21 to the front surface side or the back surface side of the sealing material 30 of the solar cell module 50. It is used as a surface protection sheet for modules or a back surface protection sheet.
Since the protective sheet 20B according to the present embodiment does not contain halogen (F, Cl, Br, etc.) having a high environmental load, it is possible to suppress the generation of harmful substances when incinerated, and the environmental load is low. Further, the silane compound layer 22 is excellent in antifouling property, and further has excellent adhesion to the substrate sheet 21 side, and it is difficult to cause problems such as peeling off of the silane compound layer. The same effect as that of the protective sheet 20A is obtained, and further, the gas barrier layer 23 is laminated on one surface of the base sheet 21, whereby the protective sheet has excellent gas barrier properties and weather resistance.

図3は、本発明の保護シートの第3実施形態を示す断面図である。
本実施形態の保護シート20Cは、基材シート21の一方の面にガスバリア層23を積層し、該ガスバリア層23上に前記シラン化合物層22を積層し、さらに基材シート21の他方の面にラミネート用接着剤層25を介して太陽電池モジュール50の封止材30に接着させるための接着層24を積層した構成になっている。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a third embodiment of the protective sheet of the present invention.
In the protective sheet 20 </ b> C of the present embodiment, a gas barrier layer 23 is laminated on one surface of a base sheet 21, the silane compound layer 22 is laminated on the gas barrier layer 23, and further on the other surface of the base sheet 21. The adhesive layer 24 for adhering to the sealing material 30 of the solar cell module 50 via the laminating adhesive layer 25 is laminated.

前記接着層24は、この保護シート20Cを太陽電池モジュール用の表面保護シート又は裏面保護シートとして使用する場合に、太陽電池モジュール50の封止材30との密着性向上の観点から、アクリルウレタン樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体の分子間を金属イオンで架橋したアイオノマー樹脂などが挙げられる。さらに、封止材30と熱接着することが可能なように、熱接着性を有していることが好ましい。ここで、熱接着性とは、加熱処理によって接着性を発現する性質のことである。該加熱処理における温度としては、通常50〜200℃の範囲である。熱接着性を有する観点から、接着層24としては、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン−メタクリル酸共重合体(EMAA)、アイオノマー樹脂、およびそれらの混合物からなる群から選択される1種からなる樹脂が好ましい。一般に、前記封止材30はEVAからなる封止樹脂であることが多く、この場合、前記接着層24がEVAを主成分とするポリマーからなる樹脂とすることで、封止材30と接着層24との密着性を向上させることができる。   The adhesive layer 24 is an acrylic urethane resin from the viewpoint of improving the adhesion with the sealing material 30 of the solar cell module 50 when the protective sheet 20C is used as a surface protective sheet or a back surface protective sheet for a solar cell module. , An ethylene vinyl acetate copolymer (EVA), an ethylene-vinyl acetate copolymer, an ethylene-methacrylic acid copolymer, an ionomer resin in which molecules of the ethylene-methacrylic acid copolymer are crosslinked with metal ions, and the like. Furthermore, it is preferable to have thermal adhesiveness so that it can be thermally bonded to the sealing material 30. Here, thermal adhesiveness is a property that develops adhesiveness by heat treatment. As temperature in this heat processing, it is the range of 50-200 degreeC normally. From the viewpoint of having thermal adhesiveness, the adhesive layer 24 is selected from the group consisting of ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA), ethylene-methacrylic acid copolymer (EMAA), ionomer resin, and mixtures thereof. One resin is preferable. In general, the sealing material 30 is often a sealing resin made of EVA. In this case, the sealing material 30 and the adhesive layer are formed by using the adhesive layer 24 made of a resin mainly composed of EVA. Adhesion with 24 can be improved.

前記接着層24の厚さとしては、本発明の効果を損なわない限り特に制限されない。より具体的には、接着層24のベース樹脂がEVAである場合には、軽量性および電気絶縁性等の観点から、その厚さは、10〜200μmの範囲であることが好ましく、20〜150μmの範囲であることがより好ましい。   The thickness of the adhesive layer 24 is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired. More specifically, when the base resin of the adhesive layer 24 is EVA, the thickness is preferably in the range of 10 to 200 μm from the viewpoint of lightness and electrical insulation, and 20 to 150 μm. More preferably, it is the range.

前記接着層24には、必要に応じてその他のポリマーや各種の配合剤を添加してもよい。
その他のポリマーとしては軟質重合体や、その他の有機高分子充填剤が用いられる。
また各種の配合剤としては、有機化合物、無機化合物のいずれであってもよく、樹脂工業において通常用いられる配合剤が用いられる。例えば、老化防止剤、安定剤、二酸化チタンなどの顔料、難燃剤、可塑剤、結晶核剤、塩酸吸収剤、帯電防止剤、無機フィラー、滑剤、ブロッキング防止剤、紫外線吸収剤が用いられる。
Other polymers and various compounding agents may be added to the adhesive layer 24 as necessary.
As other polymers, soft polymers and other organic polymer fillers are used.
Moreover, as various compounding agents, any of an organic compound and an inorganic compound may be sufficient, and the compounding agent normally used in the resin industry is used. For example, anti-aging agents, stabilizers, pigments such as titanium dioxide, flame retardants, plasticizers, crystal nucleating agents, hydrochloric acid absorbers, antistatic agents, inorganic fillers, lubricants, antiblocking agents, and ultraviolet absorbers are used.

基材シート21と接着層24とを接着するために用いられるラミネート用接着剤層25の材料となる接着剤は、基材シート21と接着層24とを強固に接着できれば特に制限されず、例えばアクリル系接着剤、ウレタン系接着剤、エポキシ系接着剤、シリコーン系接着剤、エステル系接着剤などが挙げられる。これらの接着剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The adhesive used as the material of the adhesive layer 25 for laminating used for bonding the base sheet 21 and the adhesive layer 24 is not particularly limited as long as the base sheet 21 and the adhesive layer 24 can be firmly bonded. Examples include acrylic adhesives, urethane adhesives, epoxy adhesives, silicone adhesives, and ester adhesives. These adhesives may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

本実施形態のバックシート20Cは、接着層24を太陽電池モジュール50の封止材30の表面側又は裏面側に接着し、太陽電池モジュール用表面保護シート又は裏面保護シートとして利用される。
本実施形態の保護シート20Cは、環境負荷の高いハロゲン(F,Cl,Br等)を含まないため、焼却処分する際に有害物質が発生することを抑制でき、環境負荷の低いものとなる。また、シラン化合物層22は防汚性に優れており、さらに基材シート21との密着性に優れており、シラン化合物層の剥がれなどの不具合が発生し難いなどの前記第1実施形態の保護シート20Aと同様の効果が得られ、さらに、基材シート21の一方の面にガスバリア層23を積層したことによって、優れたガスバリア性、耐候性を有するという前記第2実施形態の保護シート20Bと同様の効果が得られ、加えて、接着層24を設けたことで、太陽電池モジュール50の封止材30の表面側、又は裏面側に該シートを強固に接着固定することができるため、耐久性に優れた太陽電池モジュール50を構成することができる。
The back sheet 20 </ b> C of the present embodiment adheres the adhesive layer 24 to the front surface side or the back surface side of the sealing material 30 of the solar cell module 50, and is used as a solar cell module surface protection sheet or a back surface protection sheet.
Since the protective sheet 20C of the present embodiment does not contain halogen (F, Cl, Br, etc.) with high environmental load, it can suppress the generation of harmful substances during incineration and has low environmental load. In addition, the silane compound layer 22 has excellent antifouling properties, and further has excellent adhesion to the base material sheet 21, and the protection of the first embodiment such that troubles such as peeling of the silane compound layer hardly occur. The protective sheet 20B according to the second embodiment has the same effect as the sheet 20A, and further has excellent gas barrier properties and weather resistance by laminating the gas barrier layer 23 on one surface of the base sheet 21. The same effect is obtained, and in addition, since the adhesive layer 24 is provided, the sheet can be firmly bonded and fixed to the front surface side or the back surface side of the sealing material 30 of the solar cell module 50. The solar cell module 50 excellent in property can be configured.

本発明の太陽電池モジュールは、図4に示すように、太陽電池モジュール50の表面側又は裏面側の封止材30に、シラン化合物層22が最表層となるように前述した保護シート20A,20B,20Cのいずれかを接着したものである。
この太陽電池モジュール50の種類や構造は特に限定されず、アモルファスシリコン(a−Si)太陽電池、単結晶シリコン(c−Si)太陽電池、微結晶シリコン(μc−Si)太陽電池、GaAsなどの化合物半導体型太陽電池、色素増感型太陽電池、有機薄膜太陽電池とすることができる。
As shown in FIG. 4, the solar cell module of the present invention has the above-described protective sheets 20 </ b> A and 20 </ b> B such that the silane compound layer 22 is the outermost layer on the sealing material 30 on the front side or the back side of the solar cell module 50. , 20C.
The type and structure of the solar cell module 50 are not particularly limited, and examples thereof include amorphous silicon (a-Si) solar cells, single crystal silicon (c-Si) solar cells, microcrystalline silicon (μc-Si) solar cells, and GaAs. It can be set as a compound semiconductor type solar cell, a dye-sensitized solar cell, and an organic thin film solar cell.

以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例になんら限定されるものではない。なお、実施例及び比較例において、基材シートであるPETフィルム上に成膜した各層の厚さ(膜厚)は、触針式段差表面・形状測定装置(Ambios TECHNOLOGY社製「XP−1」を用いて測定した。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated further in detail, this invention is not limited to a following example at all. In the examples and comparative examples, the thickness (film thickness) of each layer formed on the PET film as the base sheet is the stylus type step surface / shape measuring device (“XP-1” manufactured by Ambios Technology). It measured using.

[実施例1] 厚さ38μmの白色PETフィルム(東レ社製、商品名「ルミラー E20」)に、ポリジメチルシロキサン(信越化学工業株式会社製、商品名「KS847H」)をバーコート法により100nm成膜し、120℃で1分間加熱硬化し、得られたポリオルガノシロキサン層に下記条件にてイオン注入を行いガスバリア層を得た。その後、ガスバリア層上に無機ポリシラザン(パーヒドロポリシラザン、AZエレクトロニックマテリアルズ社製、商品名「アクアミカ NP110」)を乾燥膜厚が100nmになるようにバーコート法で塗布し、120℃、5分間乾燥後、実施例1の保護シートを得た。 Example 1 Polydimethylsiloxane (trade name “KS847H” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name) is formed to a thickness of 100 nm by a bar coating method on a white PET film having a thickness of 38 μm (trade name “Lumirror E20” manufactured by Toray Industries, Inc.) A film was formed and heat-cured at 120 ° C. for 1 minute, and ion implantation was performed on the obtained polyorganosiloxane layer under the following conditions to obtain a gas barrier layer. Thereafter, an inorganic polysilazane (perhydropolysilazane, manufactured by AZ Electronic Materials, trade name “AQUAMICA NP110”) was applied on the gas barrier layer by a bar coating method so as to have a dry film thickness of 100 nm, and dried at 120 ° C. for 5 minutes. Thereafter, a protective sheet of Example 1 was obtained.

(イオン注入条件)
・プラズマ生成ガス(イオン注入用ガス):アルゴン
・ガス流量:アルゴン100sccm
・繰り返し周波数:1000Hz
・印加電圧:−10kV
・Duty比:0.5%
・パルス幅:5μsec
・チャンバー内圧:0.2Pa
・処理時間:5min.
(Ion implantation conditions)
・ Plasma generation gas (ion implantation gas): Argon ・ Gas flow rate: Argon 100 sccm
・ Repetition frequency: 1000Hz
-Applied voltage: -10 kV
・ Duty ratio: 0.5%
・ Pulse width: 5μsec
-Chamber internal pressure: 0.2 Pa
Processing time: 5 min.

[実施例2]
イオン注入時のプラズマ生成ガスを窒素に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2の保護シートを得た。
[Example 2]
A protective sheet of Example 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the plasma generation gas at the time of ion implantation was changed to nitrogen.

[実施例3]
イオン注入時のプラズマ生成ガスをヘリウムに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例3の保護シートを得た。
[Example 3]
A protective sheet of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the plasma generation gas at the time of ion implantation was changed to helium.

[実施例4]
イオン注入時の印加電圧を−15kVに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例4の保護シートを得た。
[Example 4]
A protective sheet of Example 4 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the applied voltage at the time of ion implantation was changed to -15 kV.

[実施例5]
イオン注入時の印加電圧を−20kVに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例5の保護シートを得た。
[Example 5]
A protective sheet of Example 5 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the applied voltage at the time of ion implantation was changed to -20 kV.

[実施例6]
厚さ38μmの透明PETフィルム(三菱樹脂株式会社製、商品名「ダイアホイル T100」)上に厚さ100nmのポリオルガノシロキサン層を設け、それ以外は実施例1と同条件にてイオン注入を行った第1のシートと、白色PETフィルム上に実施例1で用いたものと同じ無機ポリシラザンを乾燥膜厚が100nmになるようにバーコート法で塗布し、120℃、5分間乾燥した第2のシートとを、無機ポリシラザン層が最表層になるように第1のシートのガスバリア層上に第2のシートの白色PETフィルムを、ポリエステル系接着剤(東洋インキ製造社製のAD−76P1とCAT−10L(硬化剤)(質量比 100:3)を用いて貼り合せを行い、実施例6の保護シートを得た。
[Example 6]
A polyorganosiloxane layer having a thickness of 100 nm is provided on a transparent PET film having a thickness of 38 μm (trade name “Diafoil T100” manufactured by Mitsubishi Plastics Co., Ltd.). Otherwise, ion implantation is performed under the same conditions as in Example 1. The same inorganic polysilazane as used in Example 1 on the first sheet and the white PET film was applied by a bar coating method so that the dry film thickness was 100 nm, and dried at 120 ° C. for 5 minutes. A sheet of white PET film of the second sheet on the gas barrier layer of the first sheet so that the inorganic polysilazane layer becomes the outermost layer, polyester adhesive (AD-76P1 and CAT- manufactured by Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) Bonding was performed using 10 L (curing agent) (mass ratio 100: 3), and the protective sheet of Example 6 was obtained.

[実施例7]
シラン化合物層を有機ポリシラザン(クラリアントジャパン社製、商品名「tutoProm bright」)にしたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例7の保護シートを得た。
[Example 7]
A protective sheet of Example 7 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the silane compound layer was changed to organic polysilazane (trade name “tutoProm bright” manufactured by Clariant Japan Co., Ltd.).

[実施例8]
シラン化合物層を、テトラエトキシシランを加水分解して得られたポリシリケート(コルコート社製、商品名「コルコート N−103X」)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例8の保護シートを得た。
[Example 8]
Example 8 A protective sheet was obtained.

[実施例9]
有機シラン層をポリカルボシラン(日本カーボン社製、商品名「ニプシType S」、Mw=4000)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例9の保護シートを得た。
[Example 9]
A protective sheet of Example 9 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the organic silane layer was changed to polycarbosilane (trade name “Nypsi Type S”, manufactured by Nippon Carbon Co., Ltd., Mw = 4000).

[実施例10]
透明PETフィルム(三菱樹脂株式会社製、商品名「ダイアホイル T100」)上に無機ポリシラザン(実施例1と同様)を乾燥膜厚が100nmになるようにバーコート法で塗布し、120℃、5分間乾燥し、実施例10の保護シートを得た。
[Example 10]
An inorganic polysilazane (similar to Example 1) was coated on a transparent PET film (trade name “Diafoil T100” manufactured by Mitsubishi Plastics, Inc.) by a bar coating method so that the dry film thickness was 100 nm, It dried for minutes and the protective sheet of Example 10 was obtained.

[比較例1]
厚さ38μmの透明PETフィルム(三菱樹脂株式会社製、商品名「ダイアホイル T100」)のみを用い、比較例1の保護シートとした。
[Comparative Example 1]
Only a transparent PET film having a thickness of 38 μm (trade name “Diafoil T100” manufactured by Mitsubishi Plastics, Inc.) was used as the protective sheet of Comparative Example 1.

[比較例2]
硬化性TFE系共重合体(ダイキン工業社製、商品名「ZEFFLE GK570」)223.2 質量部、白色顔料として酸化チタン(デュポン社製、商品名「Ti−Pure R960」)250質量部、酢酸ブチル126.8質量部を攪拌下に予備混合した後、直径1.2mm のガラスビーズを780質量部入れ、顔料分散機にて1500rpmで1時間分散させた。その後、#80メッシュのフルイでガラスビーズをろ過し、その溶液に硬化性TFE系共重合体(ダイキン工業社製、商品名「ZEFFLE GK570」)を269.2質量部加えて白色塗料を調製した。
透明PETフィルム(三菱樹脂株式会社製、商品名「ダイアホイル T100」)上に、前記白色塗料を乾燥膜厚が14μmになるようにバーコート法で塗布し、80℃30分加熱硬化し、比較例2の保護シートを得た。
[Comparative Example 2]
223.2 parts by mass of a curable TFE copolymer (trade name “ZEFFLE GK570” manufactured by Daikin Industries, Ltd.), 250 parts by mass of titanium oxide as a white pigment (trade name “Ti-Pure R960” manufactured by DuPont), acetic acid After pre-mixing 126.8 parts by mass of butyl under stirring, 780 parts by mass of glass beads having a diameter of 1.2 mm were added and dispersed with a pigment disperser at 1500 rpm for 1 hour. Thereafter, the glass beads were filtered through a # 80 mesh sieve, and 269.2 parts by mass of a curable TFE copolymer (manufactured by Daikin Industries, Ltd., trade name “ZEFFLE GK570”) was added to the solution to prepare a white paint. .
On a transparent PET film (Mitsubishi Resin Co., Ltd., trade name “Diafoil T100”), the white paint was applied by a bar coating method so that the dry film thickness was 14 μm, and cured by heating at 80 ° C. for 30 minutes. The protective sheet of Example 2 was obtained.

[比較例3]
PVFフィルム(デュポン社製、商品名「Tedlar TUB10AAH4」、厚さ25μm)のみを用い、比較例3の保護シートとした。
[Comparative Example 3]
Only a PVF film (manufactured by DuPont, trade name “Tedlar TUB10AAH4”, thickness 25 μm) was used as a protective sheet of Comparative Example 3.

[比較例4]
厚さ38μmの透明PETフィルム(三菱樹脂株式会社製、商品名「ダイアホイル T100」)上に、マグネトロンスパッタリング法を用い、厚さ50nmのSiO膜を成膜し、比較例4の保護シートを得た。
[Comparative Example 4]
On a transparent PET film having a thickness of 38 μm (trade name “Diafoil T100” manufactured by Mitsubishi Plastics Co., Ltd.), a SiO 2 film having a thickness of 50 nm was formed using a magnetron sputtering method. Obtained.

[比較例5]
比較例4で得られたシートの成膜面に、比較例2で調製した白色塗料を乾燥膜厚が14μmになるようにバーコート法で塗布し、80℃30分加熱硬化し、比較例5の保護シートを得た。
[Comparative Example 5]
The white coating material prepared in Comparative Example 2 was applied to the film-forming surface of the sheet obtained in Comparative Example 4 by a bar coating method so that the dry film thickness was 14 μm, and heated and cured at 80 ° C. for 30 minutes. Comparative Example 5 A protective sheet was obtained.

前記のように作製した実施例1〜10及び比較例1〜5のそれぞれの保護シートに対して、水蒸気透過度、屈曲試験後のクラックの有無、密着性、反射率及び防汚性試験の測定を行った。
これらの測定は下記のように実施した。その測定結果を表1にまとめて記す。
For each protective sheet of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 5 prepared as described above, water vapor permeability, presence or absence of cracks after bending test, adhesion, reflectance, and antifouling test are measured. Went.
These measurements were performed as follows. The measurement results are summarized in Table 1.

<水蒸気透過度>
ISO15106−1:2003の規格に従い、透過セルの温度40℃、相対湿度差90%の条件で、感湿センサ法によって、水蒸気透過度計(LYSSY社製、装置名:L80−5000)を使用して測定した。
<Water vapor permeability>
In accordance with the standard of ISO 15106-1: 2003, a water vapor transmission meter (manufactured by LYSSY, device name: L80-5000) is used by a moisture sensitive sensor method under the conditions of a temperature of a transmission cell of 40 ° C. and a relative humidity difference of 90%. Measured.

<屈曲試験後のクラックの有無>
直径3mm、長さ20cmのステンレス鋼製の棒に、ガスバリア層が設けられていない面が接するように保護シート(寸法15cm×35cm)を巻き、耐折試験機(株式会社井元製作所製、装置名:IMC−15AE)を用い、保護シートに荷重1.2kgをかけながら1分間10往復させた。保護シートの移動距離は1往復あたり20cmとした。また、屈曲試験は23℃、相対湿度50%の環境下で行った。
この屈曲試験後の保護シートについて、光学顕微鏡(キーエンス社製、装置名:VHX−100)にて倍率2000倍で観察し、ガスバリア層のクラックの有無を調べた。評価基準は、クラックが認められなかったものを○、クラックが存在したものを×とした。ただし、比較例1,3はガスバリア層を設けていないので、測定は行っていない。
<Presence of cracks after bending test>
A protective sheet (15 cm x 35 cm) is wound around a stainless steel rod with a diameter of 3 mm and a length of 20 cm so that the surface without the gas barrier layer is in contact with it. : IMC-15AE), and was reciprocated 10 minutes for 1 minute while applying a load of 1.2 kg to the protective sheet. The moving distance of the protective sheet was 20 cm per round trip. The bending test was performed in an environment of 23 ° C. and relative humidity of 50%.
The protective sheet after the bending test was observed with an optical microscope (manufactured by Keyence Corporation, apparatus name: VHX-100) at a magnification of 2000 times to examine the presence or absence of cracks in the gas barrier layer. As the evaluation criteria, the case where no crack was observed was evaluated as ◯, and the case where a crack was present was evaluated as ×. However, since the gas barrier layer is not provided in Comparative Examples 1 and 3, measurement is not performed.

<密着性評価>
JIS K5600−5−6に準拠し、作製した実施例1〜10及び比較例1〜5の各保護シートの成膜層表面に1mm角の碁盤目を10×10マス作製し、セロハンテープ(ニチバン社製:CT24)を貼着し、該テープを剥がした際の成膜層の剥離度合で評価した。判定は、100マスの内、完全剥離したマスの数と、縁部等で部分剥離したマスの数との合計数で表し、次の判断基準で評価した。
0:0マス
1:1〜5マス
2:6〜14マス
3:15〜34マス
4:35〜64マス
5:65マス以上
但し、比較例1,3及び4は剥離評価すべき成膜層が無いので、測定は行っていない。
<Adhesion evaluation>
In accordance with JIS K5600-5-6, 10 × 10 square grids of 1 mm squares were produced on the surface of the protective layer of each of the produced protective sheets of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 5, and cellophane tape (Nichiban) Company: CT24) was affixed and evaluated by the degree of peeling of the film-forming layer when the tape was peeled off. Judgment was expressed by the total number of the squares that were completely peeled out of 100 squares and the number of squares that were partially peeled off at the edge or the like, and evaluated according to the following criteria.
0: 0 cell 1: 1 to 5 cell 2: 6 to 14 cell 3:15 to 34 cell 4:35 to 64 cell 5:65 cell or more However, Comparative Examples 1, 3 and 4 are film formation layers to be evaluated for peeling. Because there is no, measurement is not performed.

<反射率>
紫外可視近赤外分光光度計(島津製作所社製、装置名:UV−3600)を用い、各保護シートの波長550nmにおける反射率(%)の測定を行なった。
<Reflectance>
The reflectance (%) at a wavelength of 550 nm of each protective sheet was measured using an ultraviolet-visible near-infrared spectrophotometer (manufactured by Shimadzu Corporation, apparatus name: UV-3600).

<防汚性試験>
前記のように作製した実施例1〜10及び比較例1〜5のそれぞれの保護シートに対して、水性黒色インク(ゼブラ社製、商品名「紙用マッキー極細WYTS5-BK」)、油性黒色インク(ゼブラ社製、商品名「マッキー極細MO−120−MC−BK」)を付着させ、24時間放置後に水で洗い流した後、柔らかい布(旭化成社製、商品名「BEMCOT M−3」)でふき取り、洗浄し、下記の基準で防汚性を評価した。
○:汚れが落ちる
×:汚れが落ちない
<Anti-fouling test>
For each of the protective sheets of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 5 prepared as described above, an aqueous black ink (manufactured by Zebra Co., Ltd., trade name “Paper Mackie Extra Fine WYTS5-BK”), oily black ink (Zebra Co., Ltd., trade name “Mackie Extra Fine MO-120-MC-BK”) was attached, washed for 24 hours and then washed with water, then with a soft cloth (Asahi Kasei Co., Ltd., trade name “BEMCOT M-3”) It wiped off and washed, and the antifouling property was evaluated according to the following criteria.
○: Dirt is removed ×: Dirt is not removed

Figure 2010232569
Figure 2010232569

本発明に係る実施例1〜10の保護シートは、いずれも環境負荷の高いハロゲン(F,Cl,Br等)を含まないため、焼却処分する際に有害物質が発生することを抑制でき、環境負荷の低いものとなる。
また、実施例1〜10の保護シートは、防汚性に優れていた。
さらに実施例1〜10の保護シートは、基材シートであるPETフィルムとシラン化合物層との密着性に優れており、屈曲試験後でもシラン化合物層にクラックが生じておらず、シラン化合物層の剥がれなどの不具合が発生し難い。
また、PETフィルム上にガスバリア層とシラン化合物層とを順に積層した実施例1〜9の保護シートは、従来のフッ素樹脂コート層を備えた比較例2の保護シートと比べ、悪段に優れた水蒸気バリア性を有していた。
Since all of the protective sheets of Examples 1 to 10 according to the present invention do not contain halogen (F, Cl, Br, etc.) with high environmental load, it is possible to suppress the generation of harmful substances when incinerated. The load will be low.
Moreover, the protective sheet of Examples 1-10 was excellent in antifouling property.
Furthermore, the protective sheets of Examples 1 to 10 are excellent in adhesion between the PET film as the base sheet and the silane compound layer, and no cracks are generated in the silane compound layer even after the bending test. Defects such as peeling are unlikely to occur.
Moreover, the protective sheet of Examples 1-9 which laminated | stacked the gas barrier layer and the silane compound layer in order on PET film was excellent in the bad stage compared with the protective sheet of the comparative example 2 provided with the conventional fluororesin coat layer. It had water vapor barrier properties.

本発明の保護シートは、フッ素などのハロゲンを含有せず、廃棄時には焼却処理が可能となり、環境負荷が小さく、基材シートとの密着性及び耐候性に優れている。従って、本発明の保護シートを接着して構成された太陽電池モジュールは、フッ素樹脂層を備えた従来品保護シートと同等以上の耐候性、耐久性を有し、かつ廃棄の際に保護シートを焼却処分でき、環境負荷が小さいものとなる。   The protective sheet of the present invention does not contain halogen such as fluorine, can be incinerated at the time of disposal, has a low environmental load, and is excellent in adhesion to the base sheet and weather resistance. Therefore, the solar cell module constructed by adhering the protective sheet of the present invention has weather resistance and durability equal to or higher than those of the conventional protective sheet having a fluororesin layer, and the protective sheet is disposed at the time of disposal. It can be incinerated and has a low environmental impact.

10 表面保護シート
20 裏面保護シート
20A,20B,20C 保護シート
21 基材シート
22 シラン化合物層
23 ガスバリア層
24 接着層
25 ラミネート用接着剤層
30 封止材
40 太陽電池セル
50 太陽電池モジュール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Surface protection sheet 20 Back surface protection sheet 20A, 20B, 20C Protection sheet 21 Base material sheet 22 Silane compound layer 23 Gas barrier layer 24 Adhesive layer 25 Adhesive layer for laminating 30 Sealing material 40 Solar cell 50 Solar cell module

Claims (8)

基材シートと、該基材シートに積層された最表層のシラン化合物層とを有することを特徴とする太陽電池モジュール用保護シート。   A protective sheet for a solar cell module, comprising a base sheet and an outermost silane compound layer laminated on the base sheet. 前記基材シートにガスバリア層が積層されたことを特徴とする請求項1に記載の太陽電池モジュール用保護シート。   The protective sheet for a solar cell module according to claim 1, wherein a gas barrier layer is laminated on the base sheet. 前記シラン化合物層が、有機ポリシラザン、無機ポリシラザン、ポリカルボシラン、ポリシラン、ポリオルガノシロキサンからなる群から選択される1種又は2種以上のシラン化合物からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の太陽電池モジュール用保護シート。   The said silane compound layer consists of 1 type, or 2 or more types of silane compounds selected from the group which consists of organic polysilazane, inorganic polysilazane, polycarbosilane, polysilane, and polyorganosiloxane. The protective sheet for solar cell modules of description. 前記ガスバリア層が、ポリオルガノシロキサン層にイオン注入をすることで得られたものであることを特徴とする請求項2又は3に記載の太陽電池モジュール用保護シート。   The protective sheet for a solar cell module according to claim 2 or 3, wherein the gas barrier layer is obtained by ion implantation of the polyorganosiloxane layer. 前記ポリオルガノシロキサン層に注入されるイオンが、H,He,N,O,Ne,Ar,Kr,Xeからなる群から選択される1種又は2種以上のガスから生成されることを特徴とする請求項4に記載の太陽電池モジュール用保護シート。 The ions implanted into the polyorganosiloxane layer are generated from one or more gases selected from the group consisting of H 2 , He, N 2 , O 2 , Ne, Ar, Kr, and Xe. The protective sheet for solar cell modules of Claim 4 characterized by these. 前記基材シート中に顔料が添加されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の太陽電池モジュール用保護シート。   The pigment is added in the said base material sheet, The protective sheet for solar cell modules in any one of Claims 1-5 characterized by the above-mentioned. ハロゲンを含まない材料からなることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の太陽電池モジュール用保護シート。   It consists of material which does not contain a halogen, The protection sheet for solar cell modules in any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の太陽電池モジュール用保護シートが表面と裏面の一方又は両方に接着されてなる太陽電池モジュール。   The solar cell module formed by adhere | attaching the protection sheet for solar cell modules of any one of Claims 1-7 on one or both of the surface and a back surface.
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