JP2010229616A - Detergent for resist - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、水溶性界面活性剤組成物に関するものであり、特には、レジスト洗浄剤に配合した場合、動的表面張力が低いため優れた消泡性、濡れ性を発揮し、高速洗浄にも対応でき、しかも水溶性のため製品の透明性を低下させない水溶性界面活性剤組成物を含むレジスト洗浄剤に関するものである。 The present invention relates to a water-soluble surfactant composition, and particularly when formulated in a resist cleaning agent, it exhibits excellent antifoaming properties and wettability due to low dynamic surface tension, and can be used for high-speed cleaning. The present invention relates to a resist cleaning agent that includes a water-soluble surfactant composition that is compatible with water and does not reduce the transparency of the product because of water solubility.
近年、パソコンなどを介した通信手段の発展は、目を見張るものがあるが、その中でも、コンピューターアンドコミュニケーションに関連した技術が主役、脇役を問わず急速な発展を遂げている。記録機器がコンパクトで、その保守も容易なことから、ファクシミリや各種計算機器などの使用分野が拡大している中、その脇役として発展したのが、コンピューター関連特殊紙及びファクシミリ記録紙などの情報記録紙、つまりプリンター用紙、感熱紙、感圧紙である。そして、近年のめざましい用途拡大に伴って紙の品位、彩度、外観、画像を更に良くするために、より高度な特性を持つ用紙が要求されるようになってきた。 In recent years, the development of communication means via personal computers has been remarkable, but among them, the technology related to computer and communication has been rapidly developed regardless of whether it is the main role or a supporting role. As the recording equipment is compact and easy to maintain, the use of facsimiles and various computing equipment has expanded, and as a supporting role, information recording has been developed for computer-related special paper and facsimile recording paper. Paper, that is, printer paper, thermal paper, and pressure sensitive paper. With recent remarkable expansion of applications, in order to further improve paper quality, saturation, appearance, and images, paper with higher characteristics has been required.
また、印刷業界、製紙業界においては、近年の環境問題などの点から水溶化が進みつつある。しかし、水系の場合、乾燥スピードが遅いため、溶剤系より生産スピードが遅くなることから、常に生産性向上に伴う高速化への対応が余儀なくされており、高速印刷や高速塗工に対応したインキや紙コート剤の性能向上が要求されている。 Further, in the printing industry and the paper manufacturing industry, water solubilization is progressing from the viewpoint of environmental problems in recent years. However, in the case of water-based systems, the drying speed is slower and the production speed is slower than that of solvent-based systems, so there is no choice but to cope with higher speeds associated with improved productivity. Ink for high-speed printing and high-speed coating There is a demand for improved performance of paper coating agents.
前記の情報記録紙用等の水系バインダーやコート剤としては、エマルジョンやポリビニルアルコールなどの水溶性高分子などが使用されているが、高速化に伴う機械的な発泡現象による作業性の低下やピンホールなどの問題を常に抱えており、濡れ剤及び消泡剤の併用が余儀なくされていた。 Water-soluble polymers such as emulsions and polyvinyl alcohol are used as the water-based binder and coating agent for the information recording paper, but the workability is reduced due to mechanical foaming due to the increase in speed and pins. He always had problems such as holes and was forced to use a wetting agent and an antifoaming agent.
一方、電子工業分野は、高度な科学的技術により目覚しい発展を果たしており、最先端の微細加工技術を必要とする半導体、液晶表示素子、磁気ディスク、光学製品、小型駆動部品などでは洗浄工程の増加、精密洗浄化など洗浄品質を厳しく求める分野が増えている。この洗浄液は、泡立ちが少ないことが重要であり、しかも各種基材に対するハジキなどがあると洗浄効果が著しく低下し、寸法精度が得られなくなることから、ハジキの少ない消泡剤が求められていた。 On the other hand, the electronics industry has made remarkable progress with advanced scientific technology, and the number of cleaning processes has increased for semiconductors, liquid crystal display elements, magnetic disks, optical products, and small drive parts that require the most advanced microfabrication technology. There are an increasing number of fields that require strict cleaning quality, such as precision cleaning. It is important for this cleaning liquid to have less foaming, and if there is repellency to various substrates, the cleaning effect is remarkably reduced and dimensional accuracy cannot be obtained, so an antifoaming agent with less repellency has been demanded. .
従来、このような消泡剤としては、鉱物油系及びシリコーン系のものが使用されてきたが、鉱物油系のものは、ハジキは比較的少ないものの持続性が無かったり、水溶性が無い為に製品化した時に透明性を低下させるなどの欠点を有しており、シリコーン系のものは、優れた消泡性及び持続性は有するもののハジキが強く、不良品の発生率が高いため、添加量や用途が制限されていた。 Conventionally, as such antifoaming agents, mineral oil-based and silicone-based ones have been used, but mineral oil-based ones have relatively little repellency but are not durable or water-soluble. However, the silicone type has excellent defoaming and sustainability but has strong repellency and a high incidence of defective products. The amount and use were limited.
また、鉱物油系及びシリコーン系などの消泡剤を使用するとハジキが発生することから、サクシネート系界面活性剤などの濡れ剤が併用されてきたが、これらの濡れ剤は、表面張力を低下させ、良好な濡れ効果を示すものの、起泡性が高く、発泡などのトラブルが常に発生していた。 In addition, repelling occurs when using defoaming agents such as mineral oils and silicones, so wetting agents such as succinate surfactants have been used in combination, but these wetting agents reduce surface tension. Although it exhibits a good wetting effect, the foaming property is high and troubles such as foaming have always occurred.
これら消泡剤及び濡れ剤は、相反する性質を有するため、両方の併用が必須であるが、その配合比率は制限されており、適切な添加量を決定するには、かなりの時間と労力を必要としていた。 Since these antifoaming agents and wetting agents have conflicting properties, the combined use of both is essential, but the blending ratio is limited, and considerable time and effort are required to determine the appropriate amount of addition. I needed it.
このような背景から、製紙業界や電子材料業界においては、濡れ剤及び消泡剤の併用を必要としない、基材を湿潤化し、つまりハジキが少なく、しかも、優れた表面張力低下能、特に、高速度使用時の濡れ性の指標となる動的な表面張力が低い、消泡性に優れた添加剤の開発が重要となっている。 From such a background, in the paper manufacturing industry and the electronic materials industry, it is not necessary to use a wetting agent and an antifoaming agent, the substrate is moistened, that is, has little repellency, and has an excellent surface tension reducing ability, It is important to develop an additive having a low dynamic surface tension, which is an index of wettability during high-speed use, and an excellent defoaming property.
このような添加剤としては、アセチレングリコール系界面活性剤が、静的表面張力と動的表面張力の低下能とのバランスがとれており、従来の非イオン及び陰イオン性界面活性剤のマイナスの特徴をほとんど有していないものとして知られている。しかも、消泡性も有するため、インキ及び塗料用湿潤剤、分散助剤、消泡剤などとして有用である。 As such an additive, acetylene glycol surfactants have a balance between the static surface tension and the ability to reduce dynamic surface tension, and are the negative of conventional nonionic and anionic surfactants. It is known as having few features. In addition, since it has antifoaming properties, it is useful as a wetting agent for inks and paints, a dispersion aid, an antifoaming agent, and the like.
しかし、アセチレングリコール系界面活性剤は、水への溶解性が低い、あるいは常温で固体であるなどの問題点を有しており、使用時に不便であった。そのため、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどの可溶化剤や溶剤を併用することで、水性インキや紙コート剤などに添加した際、自己乳化性や分散性の性能を付与して使用されてきた。現在、可溶化剤としては、色々なものが提供されているが、可溶化性能は有するものの動的表面張力が高いもの、消泡効果のないものやハジキが発生するものなどが多く、本来のアセチレングリコール系界面活性剤の性能を十分に発揮することができなかった。
なお、原出願の審査において引用された先行文献は以下の通りである。
However, acetylene glycol surfactants have problems such as low solubility in water or are solid at room temperature, which is inconvenient at the time of use. For this reason, it has been used by adding a solubilizing agent such as polyoxyethylene nonylphenyl ether and a solvent to give self-emulsifying properties and dispersibility when added to water-based inks and paper coating agents. Currently, various solubilizers are provided, but they have solubilization performance but high dynamic surface tension, those with no antifoaming effect, and those that cause repellency. The performance of the acetylene glycol surfactant could not be fully exhibited.
Prior documents cited in the examination of the original application are as follows.
本発明は、上記事情を改善するためになされたもので、濡れ剤及び消泡剤を併用することなく、水への溶解性に優れ、しかも安定した低い動的表面張力を有するため印刷時あるいは塗工時に基材に対して優れた濡れ性を示し、エマルジョン、水溶性高分子及び洗浄剤などの泡に対して良好な消泡効果を示す水溶性界面活性剤組成物を含むレジスト用洗浄剤を提供することを目的とする。 The present invention was made in order to improve the above circumstances, and without using a wetting agent and an antifoaming agent, has excellent solubility in water, and has a stable low dynamic surface tension. A resist cleaning agent comprising a water-soluble surfactant composition that exhibits excellent wettability to a substrate during coating and exhibits a good defoaming effect on foams such as emulsions, water-soluble polymers and cleaning agents. The purpose is to provide.
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、下記式（１）及び／又は下記式（２）で示されるアセチレングリコール系界面活性剤と特定エチレンオキサイド付加モル数及び分子量範囲のポリオキシ（エチレン・プロピレン）ブロックポリマーとを配合した界面活性剤組成物が、水溶性高分子の水溶液やエマルジョンなどに添加した場合に、極めて低い動的表面張力による優れた濡れ性、消泡性を有し、上述した従来の問題点を解決し得ることを知見し、本発明をなすに至った。 As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that the acetylene glycol-based surfactant represented by the following formula (1) and / or the following formula (2), the specific ethylene oxide addition mole number and molecular weight: Excellent wettability and defoaming due to extremely low dynamic surface tension when a surfactant composition containing a range of polyoxy (ethylene / propylene) block polymers is added to an aqueous solution or emulsion of a water-soluble polymer It has been found that the conventional problems described above can be solved, and the present invention has been made.
即ち、本発明は、（Ａ）下記式（１）
で表されるアセチレングリコール及び下記式（２）
で表されるアセチレングリコールのエトキシル化体から選ばれる１種又は２種以上
２０〜７０重量％
（Ｂ）下記式（３）
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）x（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ （３）
（式中、ｗ、ｘ、ｙは正数である。）
で表される重量平均分子量が１，０００〜７，０００であり、エチレンオキサイドの含有量が１０〜５５重量％、プロピレンオキサイドの含有量が４５〜９０重量％のポリオキシ（エチレン・プロピレン）ブロックポリマーの１種又は２種以上
３０〜８０重量％
を含有し、その０．１重量％水溶液の滴下３０秒後の接触角が４０度以下、１Ｈｚ及び１０Ｈｚ時の動的表面張力がそれぞれ４５ｍＮ／ｍ以下である水溶性界面活性剤組成物を含むレジスト用洗浄剤を提供する。
That is, the present invention provides (A) the following formula (1)
And acetylene glycol represented by the following formula (2):
1 type or 2 types or more chosen from the ethoxylated form of acetylene glycol represented by
20-70% by weight
(B) Following formula (3)
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) x (C 2 H 4 O) y H (3)
(In the formula, w, x, and y are positive numbers.)
A polyoxy (ethylene / propylene) block polymer having a weight average molecular weight of 1,000 to 7,000, an ethylene oxide content of 10 to 55% by weight, and a propylene oxide content of 45 to 90% by weight One or more of
30-80% by weight
And a water-soluble surfactant composition in which the contact angle after 30 seconds of dropping of the 0.1 wt% aqueous solution is 40 degrees or less and the dynamic surface tension at 1 Hz and 10 Hz is 45 mN / m or less, respectively. A resist cleaning agent is provided.
本発明の水溶性界面活性剤組成物は、特に、水溶性高分子の水溶液、紙コート剤及び洗浄剤などに配合した場合、動的表面張力が低いため優れた消泡性、濡れ性を発揮し、高速印刷、高速塗工及び高速洗浄にも対応でき、しかも水溶性のため、製品の透明性を低下させないものである。
この特性により、本発明の水溶性界面活性剤組成物は実用的に極めて有利である。
The water-soluble surfactant composition of the present invention exhibits excellent antifoaming properties and wettability, especially when blended in aqueous solutions of water-soluble polymers, paper coating agents and cleaning agents, etc. because of its low dynamic surface tension. However, it can handle high-speed printing, high-speed coating, and high-speed cleaning, and is water-soluble, so that it does not deteriorate the transparency of the product.
Due to this characteristic, the water-soluble surfactant composition of the present invention is extremely advantageous practically.
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明の水溶性界面活性剤組成物の成分（Ａ）は、上述したように、下記式（１）で表されるアセチレングリコール及び下記式（２）で表されるアセチレングリコールのエトキシル化体から選ばれる１種又は２種以上のアセチレングリコール類である。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
As described above, the component (A) of the water-soluble surfactant composition of the present invention is composed of an acetylene glycol represented by the following formula (1) and an ethoxylated acetylene glycol represented by the following formula (2). One or two or more acetylene glycols selected.
上記式（１）で表されるアセチレングリコールとして、具体的には、
５，８−ジメチル−６−ドデシン−５，８−ジオール、
２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール、
４，７−ジメチル−５−デシン−４，７−ジオール、
２，３，６，７−テトラメチル−４−オクチン−３，６−ジオール、
３，６−ジエチル−４−オクチン−３，６−ジオール、
３，６−ジメチル−４−オクチン−３，６−ジオール、
２，５−ジメチル−３−ヘキシン−２，５−ジオール
等を挙げることができ、式（２）で表されるアセチレングリコールのエトキシル化体としては、上記アセチレングリコールのエチレンオキサイド誘導体を挙げることができ、そのアセチレングリコール中のエチレンオキサイド単位の付加モル数はそれぞれ０．５〜２５モルであり、これらの付加モル総数は１〜４０モル、好ましくは３〜３０モルである。エチレンオキサイドの付加モル総数が４０モルを超えた場合、水溶性はアップするものの静的及び動的表面張力が大きくなり、消泡効果が低下する為、高速塗工及び洗浄時に泡が発生したりする。
As acetylene glycol represented by the above formula (1), specifically,
5,8-dimethyl-6-dodecin-5,8-diol,
2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol,
4,7-dimethyl-5-decyne-4,7-diol,
2,3,6,7-tetramethyl-4-octyne-3,6-diol,
3,6-diethyl-4-octyne-3,6-diol,
3,6-dimethyl-4-octyne-3,6-diol,
2,5-dimethyl-3-hexyne-2,5-diol and the like. Examples of the ethoxylated acetylene glycol represented by the formula (2) include the ethylene oxide derivatives of acetylene glycol. The number of moles of ethylene oxide units added in the acetylene glycol is 0.5 to 25 moles, and the total number of moles added is 1 to 40 moles, preferably 3 to 30 moles. When the total number of added moles of ethylene oxide exceeds 40 moles, the water and water solubility will increase, but the static and dynamic surface tension will increase, and the defoaming effect will be reduced. To do.
これらのアセチレングリコール類［成分（Ａ）］は、その１種を単独で又は２種以上を混合して使用することができ、本発明の水溶性界面活性剤組成物を調製する際に用いられる量は、組成物全体の２０〜７０重量％であり、好ましくは３０〜７０重量％である。 These acetylene glycols [component (A)] can be used singly or in combination of two or more, and are used in preparing the water-soluble surfactant composition of the present invention. The amount is 20 to 70% by weight of the total composition, preferably 30 to 70% by weight.
２０重量％未満だと動的表面張力が上昇し、高速印刷時にハジキが発生したり、消泡効果が低下してピンホールが発生したり、高速洗浄時に泡が発生し、寸法精度などが得られなくなる。また、７０重量％を超えると水への溶解性が悪くなり、配合した際に凝集物が発生したり、フィルムの透明性を低下させたり、塗工時のハジキの原因になったりする。 If it is less than 20% by weight, the dynamic surface tension will increase, repellency will occur during high-speed printing, defoaming effect will decrease, pinholes will occur, and bubbles will occur during high-speed cleaning, resulting in dimensional accuracy. It becomes impossible. On the other hand, when it exceeds 70% by weight, the solubility in water is deteriorated, and when mixed, aggregates are generated, the transparency of the film is lowered, or repellency is caused during coating.
成分（Ａ）のアセチレングリコール類に配合する成分（Ｂ）のポリオキシ（エチレン・プロピレン）ブロックポリマーは、下記式（３）
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）x（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ （３）
（式中、ｗ、ｘ、ｙは正数である。）
で表され、具体的には、例えば、
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）20（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ（但しｗ＋ｙ＝７）、
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）20（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ（但しｗ＋ｙ＝１４）、
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）20（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ（但しｗ＋ｙ＝２８）、
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）30（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ（但しｗ＋ｙ＝６）、
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）35（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ（但しｗ＋ｙ＝４）、
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）35（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ（但しｗ＋ｙ＝１０）、
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）35（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ（但しｗ＋ｙ＝２９）、
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）56（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ（但しｗ＋ｙ＝１２）、
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）56（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ（但しｗ＋ｙ＝７４）
等を挙げることができ、その１種を単独で又は２種以上を混合して使用することができる。
The polyoxy (ethylene / propylene) block polymer of the component (B) to be blended with the acetylene glycols of the component (A) is represented by the following formula (3)
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) x (C 2 H 4 O) y H (3)
(In the formula, w, x, and y are positive numbers.)
Specifically, for example,
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 20 (C 2 H 4 O) y H (where w + y = 7),
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 20 (C 2 H 4 O) y H (where w + y = 14),
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 20 (C 2 H 4 O) y H (where w + y = 28),
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 30 (C 2 H 4 O) y H ( provided that w + y = 6),
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 35 (C 2 H 4 O) y H (where w + y = 4),
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 35 (C 2 H 4 O) y H (where w + y = 10),
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 35 (C 2 H 4 O) y H (where w + y = 29),
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 56 (C 2 H 4 O) y H (where w + y = 12),
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 56 (C 2 H 4 O) y H (where w + y = 74)
1 type can be used individually or in mixture of 2 or more types.
なお、これら成分（Ｂ）の重量平均分子量は１，０００〜７，０００、好ましくは１，５００〜６，５００であり、重量平均分子量が７，０００を超えた場合は、動的表面張力が大きいため、高速塗工時にハジキが発生したり溶解性が低下したりするし、１，０００未満では、可溶化性能が低下し、水への溶解性が低下するため、配合した際不溶解物が発生し製品の透明性を低下させたりする。 The weight average molecular weight of these components (B) is 1,000 to 7,000, preferably 1,500 to 6,500. When the weight average molecular weight exceeds 7,000, the dynamic surface tension is Because it is large, repelling occurs during high-speed coating or solubility decreases, and if it is less than 1,000, solubilization performance decreases and solubility in water decreases. May occur, reducing the transparency of the product.
また、成分（Ｂ）のエチレンオキサイドの含有量は１０〜５５重量％、好ましくは１３〜５１重量％であり、プロピレンオキサイドの含有量は４５〜９０重量％、好ましくは４８〜８６重量％である。エチレンオキサイドの含有量が１０重量％未満では、可溶化性能が低下し凝集物が発生し、製品の透明性を低下したりハジキが発生するし、５５重量％を超えると可溶化性能がアップするものの、動的表面張力が大きくなり、高速塗工時にハジキが発生したり、消泡性が低下しピンホールが発生したりする。 The content of ethylene oxide as component (B) is 10 to 55% by weight, preferably 13 to 51% by weight, and the content of propylene oxide is 45 to 90% by weight, preferably 48 to 86% by weight. . If the content of ethylene oxide is less than 10% by weight, the solubilization performance is reduced and aggregates are generated, and the transparency of the product is reduced or repelling occurs. If the content exceeds 55% by weight, the solubilization performance is improved. However, the dynamic surface tension becomes large, and repelling occurs during high-speed coating, or the defoaming property is lowered and pinholes are generated.
本発明の水溶性界面活性剤組成物を調製する際に用いられる成分（Ｂ）の量は、組成物全体の３０〜８０重量％であり、好ましくは３０〜６５重量％である。３０重量％未満では、成分（Ａ）の十分な可溶化が行われず、水溶性が低下し、配合した際に凝集物の発生が生じるし、８０重量％を超えると配合時の泡立ちが多くなったり、動的表面張力が高くなるなどして塗工ムラやハジキが発生する。 The amount of the component (B) used in preparing the water-soluble surfactant composition of the present invention is 30 to 80% by weight, preferably 30 to 65% by weight based on the whole composition. If the amount is less than 30% by weight, the component (A) is not sufficiently solubilized, the water solubility decreases, and aggregation occurs when blended. If the amount exceeds 80% by weight, foaming during blending increases. Coating, uneven coating and repelling occur due to increased dynamic surface tension.
本発明では、上記２成分の合計が１００重量％になるように用いるのが好ましいが、更に第三成分［成分（Ｃ）］として、イオン交換水、あるいはエチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオール、グリセリンなどの水溶性有機溶剤を併用しても良く、本界面活性剤組成物の特性を損なわない限り、組成物全体の０〜２５重量％、好ましくは５〜２０重量％の量で用いることができる。 In the present invention, the two components are preferably used so that the total amount is 100% by weight. However, as the third component [component (C)], ion-exchanged water or ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetra A water-soluble organic solvent such as ethylene glycol, polyethylene glycol, propylene glycol, 1,3-propanediol, 1,4-butanediol, and glycerin may be used in combination, as long as the properties of the surfactant composition are not impaired. It can be used in an amount of 0 to 25% by weight, preferably 5 to 20% by weight of the total composition.
本発明の水溶性界面活性剤組成物は、例えば、上記各成分をプロペラ式撹拌機などの公知の混合調製方法によって混合することにより得られる。また、常温にて固体の成分については、必要により加温して混合するものである。 The water-soluble surfactant composition of the present invention can be obtained, for example, by mixing the above components by a known mixing preparation method such as a propeller type stirrer. Moreover, about a solid component at normal temperature, it heats and mixes as needed.
ここで、得られた水溶性界面活性剤組成物は、その０．１重量％水溶液の接触角が４０度以下、好ましくは１０〜４０度、更に好ましくは１５〜３０度であり、更に０．１重量％水溶液の１Ｈｚ及び１０Ｈｚ時の動的表面張力が４５ｍＮ／ｍ以下、好ましくは１０〜４５ｍＮ／ｍ、更に好ましくは２５〜４５ｍＮ／ｍであることが必要である。なお、接触角は接触角計ＣＡ−Ｄ型（協和界面科学社製）を用いて０．１重量％水溶液の滴下３０秒後の値を測定したものであり、動的表面張力はバブルプレッシャー型動的表面張力計クルスＢＰ−２（ＫＲＵＳＳ社製）を用いて０．１重量％水溶液の１Ｈｚ及び１０Ｈｚ時の値を測定したものである。 Here, the obtained water-soluble surfactant composition has a contact angle of its 0.1 wt% aqueous solution of 40 degrees or less, preferably 10 to 40 degrees, more preferably 15 to 30 degrees, and more preferably It is necessary that the dynamic surface tension of a 1 wt% aqueous solution at 1 Hz and 10 Hz is 45 mN / m or less, preferably 10 to 45 mN / m, more preferably 25 to 45 mN / m. The contact angle is a value measured 30 seconds after dropping a 0.1 wt% aqueous solution using a contact angle meter CA-D type (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.), and the dynamic surface tension is a bubble pressure type. The value at 1 Hz and 10 Hz of a 0.1 wt% aqueous solution was measured using a dynamic surface tension meter Cruz BP-2 (manufactured by KRUS).
０．１重量％界面活性剤組成物水溶液の滴下３０秒後の接触角が４０度を超えると、各種基材への濡れ性が低下するため、各種基材に塗布した際ハジキが発生するし、同じく０．１重量％水溶液の１Ｈｚ及び１０Ｈｚ時の動的表面張力が４５ｍＮ／ｍを超えると、高速塗工や洗浄工程などで各種基材に対する濡れ性が低下し、ハジキが発生する。 If the contact angle after 30 seconds of dropping of the 0.1% by weight aqueous surfactant composition solution exceeds 40 degrees, the wettability to various substrates decreases, and repelling occurs when applied to various substrates. Similarly, when the dynamic surface tension of a 0.1 wt% aqueous solution at 1 Hz and 10 Hz exceeds 45 mN / m, the wettability with respect to various base materials is reduced during high-speed coating and cleaning processes, and repelling occurs.
本発明の水溶性界面活性剤組成物を、ポリビニルアルコール水溶液、記録材料用組成物及び洗浄剤などに添加する場合、水溶液などの全量に対して好ましくは０．０５〜１０重量％、より好ましくは０．０５〜５重量％の添加量で使用することが望ましい。 When the water-soluble surfactant composition of the present invention is added to a polyvinyl alcohol aqueous solution, a recording material composition, a cleaning agent, and the like, it is preferably 0.05 to 10% by weight, more preferably based on the total amount of the aqueous solution and the like. It is desirable to use it in an addition amount of 0.05 to 5% by weight.
以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。なお、例中の部及び％はそれぞれ重量部と重量％を示す。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated concretely, this invention is not restrict | limited to the following Example. In addition, the part and% in an example show a weight part and weight%, respectively.
［実施例１］
７０℃に加温した２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール（エアプロダクツ社製、商品名サーフィノール１０４）５５部をプロペラ式撹拌機付容器に投入後、撹拌しながらポリオキシ（エチレン・プロピレン）ブロックポリマー（第一工業製薬社製、商品名エパン４２０）４５部を徐々に投入混合し、２時間連続撹拌後、室温まで冷却した。冷却後、２００メッシュ濾布にて濾過し、界面活性剤組成物（以下、これをＭ−１という）を得た。
[Example 1]
After charging 55 parts of 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol (trade name Surfinol 104, manufactured by Air Products) into a vessel equipped with a propeller-type stirrer. While stirring, 45 parts of a polyoxy (ethylene / propylene) block polymer (trade name Epan 420, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) was gradually added and mixed. After continuous stirring for 2 hours, the mixture was cooled to room temperature. After cooling, the mixture was filtered through a 200 mesh filter cloth to obtain a surfactant composition (hereinafter referred to as M-1).
更に、組成物Ｍ−１の０．１部をイオン交換水１００部に加え、マグネチックスタラーにて撹拌して０．１％水溶液とし、これを用いて水溶液の外観、接触角、動的表面張力、静的表面張力を測定した。その結果を表２に示す。 Further, 0.1 part of the composition M-1 was added to 100 parts of ion-exchanged water and stirred with a magnetic stirrer to make a 0.1% aqueous solution. Using this, the appearance, contact angle, and dynamic surface of the aqueous solution were used. Tension and static surface tension were measured. The results are shown in Table 2.
また、上記界面活性剤組成物を用いて下記の配合処方により、ポリビニルアルコール水溶液、記録材料用組成物、及びレジスト用洗浄剤を作成し、ポリビニルアルコール水溶液においては、起泡性、透明性、ハジキを測定し、記録材料用組成物においては、起泡性、ハジキ、印字濃度、ドット径を測定し、レジスト用洗浄剤においては、起泡性、ハジキを測定し、これらの結果を表３に示した。 In addition, a polyvinyl alcohol aqueous solution, a recording material composition, and a resist cleaning agent are prepared by the following formulation using the surfactant composition, and in the polyvinyl alcohol aqueous solution, foamability, transparency, repelling In the composition for recording materials, the foaming property, repellency, printing density and dot diameter were measured. In the resist cleaning agent, the foaming property and repellency were measured. The results are shown in Table 3. Indicated.
〈ポリビニルアルコール水溶液〉
撹拌機、コンデンサー及び温度計を備えたセパラブルフラスコにイオン交換水９５０部を仕込み、８０℃まで昇温した。次に、撹拌しながらＰＶＡ−２０３（クラレ社製商品名、ポリビニルアルコール）５０部を投入し、８０℃まで昇温した。次に、２時間撹拌した後、３０℃以下に冷却し、界面活性剤組成物Ｍ−１ １部を添加し１時間撹拌してポリビニルアルコール水溶液（以下これをＰＶ−１という）を得た。
<Polyvinyl alcohol aqueous solution>
A separable flask equipped with a stirrer, a condenser, and a thermometer was charged with 950 parts of ion-exchanged water, and the temperature was raised to 80 ° C. Next, 50 parts of PVA-203 (trade name, polyvinyl alcohol) manufactured by Kuraray Co., Ltd. was added while stirring, and the temperature was raised to 80 ° C. Next, after stirring for 2 hours, it cooled to 30 degrees C or less, added 1 part of surfactant composition M-1, and stirred for 1 hour, and obtained polyvinyl-alcohol aqueous solution (henceforth PV-1).
〈記録材料用組成物〉
界面活性剤組成物Ｍ−１ １部をイオン交換水７３９部に添加し、ディスパーにて撹拌し溶解した。引き続き、微粉末シリカ（水澤化学社製、平均粒径４．５μｍ）１００部を撹拌しながら徐々に添加し約３０分間撹拌した後、ビニブラン２６５０（日信化学社製商品名、アクリル系エマルジョン、固形分濃度４０％）１００部を配合し、更に３０分間撹拌して記録材料用組成物（以下これをＩＪ−１という）を得た。
<Composition for recording material>
1 part of surfactant composition M-1 was added to 739 parts of ion-exchanged water and dissolved by stirring with a disper. Subsequently, 100 parts of finely divided silica (manufactured by Mizusawa Chemical Co., Ltd., average particle size 4.5 μm) was gradually added with stirring and stirred for about 30 minutes, and then Vinibrand 2650 (trade name, acrylic emulsion, manufactured by Nissin Chemical Co., Ltd.) 100 parts of a solid content concentration of 40%) was blended and further stirred for 30 minutes to obtain a recording material composition (hereinafter referred to as IJ-1).
〈レジスト用洗浄剤〉
５％に調整した炭酸ナトリウム水溶液１００部に、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル（花王社製、商品名エマルゲン９０９）３部、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート（日本油脂社製、商品名ノニオンＯＴ−２２１）３部を添加し、更に、イオン交換水１０００部及び界面活性剤組成物Ｍ−１ １部を添加して、レジスト用洗浄剤（以下これをＲ−１という）を得た。
<Resist cleaning agent>
100 parts of an aqueous sodium carbonate solution adjusted to 5%, 3 parts of polyoxyethylene nonylphenyl ether (trade name Emulgen 909, manufactured by Kao Corporation), polyoxyethylene sorbitan monooleate (trade name Nonion OT-221, manufactured by NOF Corporation) 3 parts were added, and further 1000 parts of ion-exchanged water and 1 part of a surfactant composition M-1 were added to obtain a resist cleaning agent (hereinafter referred to as R-1).
《界面活性剤組成物水溶液の評価》
１）水溶液の外観
上記水溶液の外観、及び不溶解物の有無の確認を行った。
○：水溶液が透明で、不溶解物が認められない。
△：水溶液が白濁しているが、不溶解物は認められない。
×：一部不溶解物が認められる。
××：ほとんど溶解せず。
２）接触角
協和界面科学社製接触角計ＣＡ−Ｄ型を用いて、界面活性剤組成物の０．１％水溶液の滴下３０秒後の接触角を測定した。
３）動的表面張力
ＫＲＵＳＳ社製バブルプレッシャー型動的表面張力計クルスＢＰ−２を用いて、界面活性剤組成物の０．１％水溶液の１Ｈｚ及び１０Ｈｚ時の動的表面張力を測定した。
４）静的表面張力
協和界面科学社製表面張力計ＥＳＢ−Ｖ型を用いて、界面活性剤組成物の０．１％水溶液の静的表面張力を測定した。
<< Evaluation of Surfactant Composition Aqueous Solution >>
1) Appearance of aqueous solution The appearance of the aqueous solution and the presence or absence of insoluble matter were confirmed.
○: The aqueous solution is transparent, and no insoluble matter is observed.
(Triangle | delta): Although aqueous solution is cloudy, an insoluble matter is not recognized.
X: A partly insoluble matter is recognized.
XX: hardly dissolved.
2) Contact angle Using a contact angle meter CA-D manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd., the contact angle after 30 seconds of dropping of a 0.1% aqueous solution of the surfactant composition was measured.
3) Dynamic surface tension Using a bubble pressure type dynamic surface tension meter Cruz BP-2 manufactured by KRUS, dynamic surface tension at 1 Hz and 10 Hz of a 0.1% aqueous solution of the surfactant composition was measured.
4) Static surface tension Static surface tension of 0.1% aqueous solution of the surfactant composition was measured using a surface tension meter ESB-V manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.
《ポリビニルアルコール水溶液の評価》
１）起泡性
ポリビニルアルコール水溶液を、ポリビニルアルコール水溶液／イオン交換水＝１／２の比率で希釈してサンプルとした。このサンプル２０ｍｌを１００ｍｌメスシリンダーに入れ、１８０回往復／分のシェーカーで１分間振とうし、振とう終了直後及び５分後の泡のｍｌ数を測定した。
２）透明性
ＪＩＳ Ｋ ６７２６（ポリビニルアルコール試験方法）に記載の透明性試験法に準じて、ポリビニルアルコール水溶液の透明性を測定した。
３）ハジキ
日商グラビア社製印刷適正試験機（ＧＲＡＶＯ−ＰＲＯＯＦ）にて、ポリビニルアルコール水溶液を５０ｍ／分の塗工速度で無サイズ紙に塗工し、塗工面のハジキなどの状態を目視にて確認した。
○：ハジキ及びピンホールが認められない。
△：一部ハジキ及びピンホールが認められる。
×：ハジキ及びピンホールが多く認められる。
<Evaluation of aqueous polyvinyl alcohol solution>
1) Foaming property A polyvinyl alcohol aqueous solution was diluted at a ratio of polyvinyl alcohol aqueous solution / ion exchanged water = 1/2 to prepare a sample. 20 ml of this sample was placed in a 100 ml graduated cylinder, shaken for 1 minute with a shaker of 180 reciprocations / minute, and the number of ml of foam immediately after the end of shaking and after 5 minutes was measured.
2) Transparency The transparency of the aqueous polyvinyl alcohol solution was measured according to the transparency test method described in JIS K 6726 (Test method for polyvinyl alcohol).
3) Hajiki Using a Nissho Gravure printing suitability tester (GRAVO-PROOF), an aqueous polyvinyl alcohol solution was applied to a non-size paper at a coating speed of 50 m / min. Confirmed.
○: No repelling or pinholes are observed.
Δ: Partial repelling and pinholes are observed.
X: Many repelling and pinholes are recognized.
《記録材料用組成物の評価》
１）起泡性
記録材料用組成物を記録材料用組成物／イオン交換水＝１／２の比率で希釈してサンプルとした。このサンプル２０ｍｌを１００ｍｌメスシリンダーに入れ、１８０回往復／分のシェーカーで１分間振とうし、振とう終了直後及び５分後の泡のｍｌ数を測定した。
２）ハジキ
記録材料用組成物を日商グラビア社製印刷適正試験機（ＧＲＡＶＯ−ＰＲＯＯＦ）にて、５０ｍ／分の塗工速度で無サイズ紙に塗工し、塗工面のハジキなどの状態を目視にて確認した。
○：ハジキ及びピンホールが認められない。
△：一部ハジキ及びピンホールが認められる。
×：ハジキ及びピンホールが多く認められる。
３）印字濃度，ドット径
記録材料用組成物を上記試験機で塗布量が５ｇ／ｍ2（乾燥重量固形分）となるように無サイズ紙に塗布、乾燥し、続いてスーパーカレンダーを通して記録シートを形成し試験片とし、得られた試験片について印字濃度、ドット径を測定した。
・印字濃度：キャノンプリンターＢＪＣ４５５Ｊで黒インキを用い印字したドッ
トに関し、サクラマイクロデンシトメーターＰＤＭ−５型（コニカ
社製）でドットの濃度を測定した。
・ドット径：キャノンプリンターＢＪＣ４５５Ｊで黒インキを用い印字し、１０
０倍に拡大しドット径を測定した。
<< Evaluation of composition for recording material >>
1) Foaming property The recording material composition was diluted at a ratio of recording material composition / ion-exchanged water = 1/2 to prepare a sample. 20 ml of this sample was placed in a 100 ml graduated cylinder, shaken for 1 minute with a shaker of 180 reciprocations / minute, and the number of ml of foam immediately after the end of shaking and after 5 minutes was measured.
2) Repelling The composition for recording material was applied to non-size paper at a coating speed of 50 m / min with a printing suitability tester (GRAVO-PROOF) manufactured by Nissho Gravure Co. It was confirmed visually.
○: No repelling or pinholes are observed.
Δ: Partial repelling and pinholes are observed.
X: Many repelling and pinholes are recognized.
3) Printing density, dot diameter The recording material composition was coated on a non-size paper with the above tester so that the coating amount was 5 g / m 2 (dry weight solid content), dried, and then passed through a super calendar to form a recording sheet. Was used as a test piece, and the print density and dot diameter of the obtained test piece were measured.
・ Printing density: Dot printed on Canon printer BJC455J using black ink
Sakura Micro Densitometer PDM-5 (Konica
Dot density was measured.
-Dot diameter: Canon printer BJC455J prints using black ink, 10
The dot diameter was measured by enlarging to 0 times.
《レジスト用洗浄剤の評価》
１）起泡性
レジスト用洗浄剤をレジスト用洗浄剤／イオン交換水＝１／２の比率で希釈してサンプルとした。このサンプル２０ｍｌを１００ｍｌメスシリンダーに入れ、１８０回往復／分のシェーカーで１分間振とうし、振とう終了直後及び５分後の泡のｍｌ数を測定した。
２）ハジキ
レジスト用ドライフィルム（デュポン社製、商品名ＲＩＳＴＯＮ）にスプレーにてレジスト用洗浄剤を吹きかけ、ハジキなどの状態を目視にて確認した。
○：ハジキ及びピンホールが認められない。
△：一部ハジキ及びピンホールが認められる。
×：ハジキ及びピンホールが多く認められる。
<Evaluation of resist cleaning agent>
1) Foaming property A resist cleaning agent was diluted at a ratio of resist cleaning agent / ion-exchanged water = 1/2 to prepare a sample. 20 ml of this sample was placed in a 100 ml graduated cylinder, shaken for 1 minute with a shaker of 180 reciprocations / minute, and the number of ml of foam immediately after the end of shaking and after 5 minutes was measured.
2) Hajiki Resist cleaning agent was sprayed on a resist dry film (manufactured by DuPont, trade name RISTON) by spraying, and the state of repellency and the like was visually confirmed.
○: No repelling or pinholes are observed.
Δ: Partial repelling and pinholes are observed.
X: Many repelling and pinholes are recognized.
［実施例２〜６、比較例１〜７］
実施例１と同様にして表１に示される配合物の種類及び配合量（部）で撹拌混合し、界面活性剤組成物（Ｍ−２〜Ｍ−１３）を得た。なお、実施例１については、配合物の配合量を部で再記した。
[Examples 2-6, Comparative Examples 1-7]
In the same manner as in Example 1, the mixture was stirred and mixed with the types and amounts (parts) of the formulations shown in Table 1 to obtain surfactant compositions (M-2 to M-13). In addition, about Example 1, the compounding quantity of the compound was rewritten in the part.
実施例１と同様にして０．１％水溶液を作り、同様にして水溶液の評価を行って、その結果を表２に示し、更に、実施例１と同様にしてポリビニルアルコール水溶液（ＰＶ−２〜ＰＶ−１３）、記録材料用組成物（ＩＪ−２〜ＩＪ−１３）及びレジスト用洗浄剤（Ｒ−２〜Ｒ−１３）を作成し、実施例１と同様にしてポリビニルアルコール水溶液、記録材料用組成物及びレジスト用洗浄剤の評価を行って、その結果を表３に示した。 A 0.1% aqueous solution was prepared in the same manner as in Example 1, and the aqueous solution was evaluated in the same manner. The results are shown in Table 2. Further, in the same manner as in Example 1, an aqueous polyvinyl alcohol solution (PV-2˜ PV-13), a recording material composition (IJ-2 to IJ-13) and a resist cleaning agent (R-2 to R-13) were prepared, and a polyvinyl alcohol aqueous solution and a recording material were prepared in the same manner as in Example 1. The composition and the resist cleaning agent were evaluated, and the results are shown in Table 3.
＜成分Ａ＞
Ａ−１：サーフィノール８２（エアプロダクツ社製商品名、３，６−ジメチル−４−オクチン−３，６−ジオール）
Ａ−２：サーフィノール１０４（エアプロダクツ社製商品名、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール）
Ａ−３：サーフィノール４４０（エアプロダクツ社製商品名、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオールのエトキシル化体、エチレンオキサイドの付加モル数３．５）
Ａ−４：サーフィノール４６５（エアプロダクツ社製商品名、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオールのエトキシル化体、エチレンオキサイドの付加モル数１０）
Ａ−５：サーフィノール４８５（エアプロダクツ社製商品名、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオールのエトキシル化体、エチレンオキサイドの付加モル数３０）
Ａ−６：２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオールのエトキシル化体、エチレンオキサイドの付加モル数５０
＜成分Ｂ＞
Ｂ−１：エパン４２０（第一工業製薬社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）20（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝７、分子量１，５００、エチレンオキサイド含有量２１％、プロピレンオキサイド含有量７８％）
Ｂ−２：プルロニックＰＥ−４３００（ＢＡＳＦジャパン社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）20（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝１４、分子量１，７５０、エチレンオキサイド含有量３４％、プロピレンオキサイド含有量６５％）
Ｂ−３：エパン４５０（第一工業製薬社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）20（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝２８、分子量２，４００、エチレンオキサイド含有量５１％、プロピレンオキサイド含有量４８％）
Ｂ−４：エパン６１０（第一工業製薬社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）30（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝６、分子量２，０００、エチレンオキサイド含有量１３％、プロピレンオキサイド含有量８６％）
Ｂ−５：アデカプルロニックＬ−１０１（旭電化社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）56（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝１２、分子量３，８００、エチレンオキサイド含有量１４％、プロピレンオキサイド含有量８６％）
Ｂ−６：プルロニックＰＥ−１０５００（ＢＡＳＦジャパン社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）56（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝７４、分子量６，５００、エチレンオキサイド含有量５０％、プロピレンオキサイド含有量５０％）
Ｂ−７：エパン４１０（第一工業製薬社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）20（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝２、分子量１，３００、エチレンオキサイド含有量７％、プロピレンオキサイド含有量９２％）
Ｂ−８：プルロニックＦ−７７（アデカ社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）35（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝１００、分子量６，５００、エチレンオキサイド含有量６８％、プロピレンオキサイド含有量３２％）
Ｂ−９：エパン６８０（第一工業製薬社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）20（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝８０、分子量８，８００、エチレンオキサイド含有量７５％、プロピレンオキサイド含有量２５％）
Ｂ−１０：エパン７８５（第一工業製薬社製商品名、ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）20（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ、ｗ＋ｙ＝２６８、分子量１３，０００、エチレンオキサイド含有量９１％、プロピレンオキサイド含有量９％）
<Component A>
A-1: Surfynol 82 (trade name, 3,6-dimethyl-4-octyne-3,6-diol, manufactured by Air Products)
A-2: Surfynol 104 (trade name, 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol, manufactured by Air Products)
A-3: Surfynol 440 (trade name, manufactured by Air Products, ethoxylated product of 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol, number of moles of ethylene oxide added 3.5)
A-4: Surfynol 465 (trade name, manufactured by Air Products, ethoxylated product of 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol, number of moles of ethylene oxide added 10)
A-5: Surfynol 485 (trade name, manufactured by Air Products, ethoxylated product of 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol, number of moles of added ethylene oxide 30)
A-6: Ethoxylate of 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol, addition mole number of ethylene oxide 50
<Component B>
B-1: Epan 420 (trade name, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 20 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 7, molecular weight 1, 500, ethylene oxide content 21%, propylene oxide content 78%)
B-2: Pluronic PE-4300 (trade name, manufactured by BASF Japan, HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 20 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 14, molecular weight 1, 750, ethylene oxide content 34%, propylene oxide content 65%)
B-3: Epan 450 (trade name, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 20 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 28, molecular weight 2, 400, ethylene oxide content 51%, propylene oxide content 48%)
B-4: Epan 610 (trade name, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 30 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 6, molecular weight 2, 000, ethylene oxide content 13%, propylene oxide content 86%)
B-5: Adeka Pluronic L-101 (trade name, manufactured by Asahi Denka Co., Ltd., HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 56 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 12, molecular weight 3 800, ethylene oxide content 14%, propylene oxide content 86%)
B-6: Pluronic PE-10500 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 56 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 74, molecular weight 6, 500, ethylene oxide content 50%, propylene oxide content 50%)
B-7: Epan 410 (trade name, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 20 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 2, molecular weight 1, 300, ethylene oxide content 7%, propylene oxide content 92%)
B-8: Pluronic F-77 (ADEKA Corporation, trade name, HO (C 2 H 4 O ) w (C 3 H 6 O) 35 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 100, molecular weight 6,500 , Ethylene oxide content 68%, propylene oxide content 32%)
B-9: Epan 680 (trade name, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 20 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 80, molecular weight 8, 800, ethylene oxide content 75%, propylene oxide content 25%)
B-10: Epan 785 (trade name, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) 20 (C 2 H 4 O) y H, w + y = 268, molecular weight 13, 000, ethylene oxide content 91%, propylene oxide content 9%)
［比較例８〜１１］
下記に示す市販品の０．１％水溶液を作り、実施例１と同様にして水溶液の評価を行って、その結果を表２に示し、更に、実施例１と同様にしてポリビニルアルコール水溶液（ＰＶ−１４〜ＰＶ−１７）、記録材料用組成物（ＩＪ−１４〜ＩＪ−１７）及びレジスト用洗浄剤（Ｒ−１４〜Ｒ−１７）を作成し、実施例１と同様にしてポリビニルアルコール水溶液、記録材料用組成物及びレジスト用洗浄剤の評価を行って、その結果を表３に示した。
市販品−１：ダプロＷ−７７（エレメンティス・ジャパン社製商品名、サクシネート系濡れ剤）
市販品−２：ノプコＮＸＺ（サンノプコ社製商品名、鉱物油系消泡剤）
市販品−３：ＳＮデフォーマー３８０（サンノプコ社製商品名、シリコーン系消泡剤）
市販品−４：ダプロＷ−７７：ＳＮデフォーマー３８０＝１：１
[Comparative Examples 8 to 11]
A 0.1% aqueous solution of a commercial product shown below was prepared, and the aqueous solution was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2. Further, in the same manner as in Example 1, an aqueous polyvinyl alcohol solution (PV -14 to PV-17), a composition for recording material (IJ-14 to IJ-17) and a resist cleaning agent (R-14 to R-17) were prepared, and an aqueous polyvinyl alcohol solution was prepared in the same manner as in Example 1. The composition for recording material and the resist cleaning agent were evaluated, and the results are shown in Table 3.
Commercial product-1: DAPRO W-77 (trade name, succinate wetting agent, manufactured by Elementis Japan)
Commercial product-2: Nopco NXZ (trade name, manufactured by San Nopco, mineral oil-based antifoaming agent)
Commercial product-3: SN deformer 380 (trade name, silicone-based antifoaming agent manufactured by San Nopco)
Commercially available product-4: DAPRO W-77: SN deformer 380 = 1: 1
Claims (2)
で表されるアセチレングリコール及び下記式（２）
で表されるアセチレングリコールのエトキシル化体から選ばれる１種又は２種以上
２０〜７０重量％
（Ｂ）下記式（３）
ＨＯ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）w（Ｃ3Ｈ6Ｏ）x（Ｃ2Ｈ4Ｏ）yＨ （３）
（式中、ｗ、ｘ、ｙは正数である。）
で表される重量平均分子量が１，０００〜７，０００であり、エチレンオキサイドの含有量が１０〜５５重量％、プロピレンオキサイドの含有量が４５〜９０重量％のポリオキシ（エチレン・プロピレン）ブロックポリマーの１種又は２種以上
３０〜８０重量％
を含有し、その０．１重量％水溶液の滴下３０秒後の接触角が４０度以下、１Ｈｚ及び１０Ｈｚ時の動的表面張力がそれぞれ４５ｍＮ／ｍ以下である水溶性界面活性剤組成物を含有してなることを特徴とするレジスト用洗浄剤。 (A) The following formula (1)
And acetylene glycol represented by the following formula (2):
1 type or 2 types or more chosen from the ethoxylated form of acetylene glycol represented by
20-70% by weight
(B) Following formula (3)
HO (C 2 H 4 O) w (C 3 H 6 O) x (C 2 H 4 O) y H (3)
(In the formula, w, x, and y are positive numbers.)
A polyoxy (ethylene / propylene) block polymer having a weight average molecular weight of 1,000 to 7,000, an ethylene oxide content of 10 to 55% by weight, and a propylene oxide content of 45 to 90% by weight One or more of
30-80% by weight
Containing a water-soluble surfactant composition having a contact angle of 40 degrees or less 30 seconds after dropping a 0.1 wt% aqueous solution thereof and a dynamic surface tension of 45 mN / m or less at 1 Hz and 10 Hz, respectively. A resist cleaning agent characterized by comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010086698A JP5115766B2 (en) | 2010-04-05 | 2010-04-05 | Resist cleaning agent |
Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2946929A4 (en) * | 2012-10-22 | 2016-04-27 | Dnp Fine Chemicals Co Ltd | Inkjet maintenance fluid |
| JP2020037101A (en) * | 2018-08-29 | 2020-03-12 | 日信化学工業株式会社 | Composition for dispersion, dispersion, ink composition and these production methods |
Citations (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS523010A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-11 | Anic Spa | Acetylene glycol and method of producing same |
| JPH0551599A (en) * | 1991-08-27 | 1993-03-02 | Toho Chem Ind Co Ltd | Detergent composition |
| JPH05119483A (en) * | 1991-05-31 | 1993-05-18 | Nippon Petrochem Co Ltd | Forming method of resist pattern |
| JPH06320128A (en) * | 1993-05-18 | 1994-11-22 | Sumitomo Chem Co Ltd | Washing solution and method for spin coater line piping |
| JPH0764297A (en) * | 1993-08-26 | 1995-03-10 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Removing solution composition for resist |
| JPH07188087A (en) * | 1993-11-29 | 1995-07-25 | Air Prod And Chem Inc | Ethoxyl acetylene glycol with low dynamic surface tension |
| JPH08195337A (en) * | 1995-01-13 | 1996-07-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Solvent for cleaning and removing resist |
| JPH09269601A (en) * | 1996-01-29 | 1997-10-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Cleaning liquid for removing resist and production of substrate for production of electronic parts using the same |
| JPH09292720A (en) * | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | Treating liquid composition and production of color image by using the composition |
| JPH10171128A (en) * | 1996-12-10 | 1998-06-26 | Tokuyama Corp | Thick aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide |
| WO1999015609A1 (en) * | 1997-09-23 | 1999-04-01 | Arch Specialty Chemicals, Inc. | Aqueous rinsing composition |
| JPH11133629A (en) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Tokuyama Corp | Photoresist washing stripper |
| EP1115035A1 (en) * | 2000-01-04 | 2001-07-11 | Air Products And Chemicals, Inc. | Acetylenic diol ethylene oxide/propylene oxide adducts and their use in photoresist developers |
| JP2002082448A (en) * | 2000-09-05 | 2002-03-22 | Shin Sti Technology Kk | Method for forming resist pattern and method for manufacturing color filter |
| JP2003524213A (en) * | 2000-02-26 | 2003-08-12 | シップレーカンパニー エル エル シー | How to reduce defects |
-
2010
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Patent Citations (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS523010A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-11 | Anic Spa | Acetylene glycol and method of producing same |
| JPH05119483A (en) * | 1991-05-31 | 1993-05-18 | Nippon Petrochem Co Ltd | Forming method of resist pattern |
| JPH0551599A (en) * | 1991-08-27 | 1993-03-02 | Toho Chem Ind Co Ltd | Detergent composition |
| JPH06320128A (en) * | 1993-05-18 | 1994-11-22 | Sumitomo Chem Co Ltd | Washing solution and method for spin coater line piping |
| JPH0764297A (en) * | 1993-08-26 | 1995-03-10 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Removing solution composition for resist |
| JPH07188087A (en) * | 1993-11-29 | 1995-07-25 | Air Prod And Chem Inc | Ethoxyl acetylene glycol with low dynamic surface tension |
| JPH08195337A (en) * | 1995-01-13 | 1996-07-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Solvent for cleaning and removing resist |
| JPH09269601A (en) * | 1996-01-29 | 1997-10-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Cleaning liquid for removing resist and production of substrate for production of electronic parts using the same |
| JPH09292720A (en) * | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | Treating liquid composition and production of color image by using the composition |
| JPH10171128A (en) * | 1996-12-10 | 1998-06-26 | Tokuyama Corp | Thick aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide |
| WO1999015609A1 (en) * | 1997-09-23 | 1999-04-01 | Arch Specialty Chemicals, Inc. | Aqueous rinsing composition |
| JPH11133629A (en) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Tokuyama Corp | Photoresist washing stripper |
| EP1115035A1 (en) * | 2000-01-04 | 2001-07-11 | Air Products And Chemicals, Inc. | Acetylenic diol ethylene oxide/propylene oxide adducts and their use in photoresist developers |
| JP2003524213A (en) * | 2000-02-26 | 2003-08-12 | シップレーカンパニー エル エル シー | How to reduce defects |
| JP2002082448A (en) * | 2000-09-05 | 2002-03-22 | Shin Sti Technology Kk | Method for forming resist pattern and method for manufacturing color filter |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2946929A4 (en) * | 2012-10-22 | 2016-04-27 | Dnp Fine Chemicals Co Ltd | Inkjet maintenance fluid |
| JP2020037101A (en) * | 2018-08-29 | 2020-03-12 | 日信化学工業株式会社 | Composition for dispersion, dispersion, ink composition and these production methods |
| JP7099417B2 (en) | 2018-08-29 | 2022-07-12 | 日信化学工業株式会社 | Dispersion compositions, dispersions and ink compositions, and methods for producing these. |
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