JP2010217670A - Calibration method of inkjet head unit, and inkjet coating method - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、液晶表示装置の製造に使用されるインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法およびインクジェット塗布方法に関する。 The present invention relates to a calibration method and an inkjet coating method for an inkjet head unit used for manufacturing a liquid crystal display device.
液晶表示装置は、２枚の基板の間に、透明電極、カラーフィルターおよびブラックマトリックスが配置され、さらに透明電極間の空間に液晶が封入された構成を有する。このときに、２枚の基板の間隔を規制し、液晶層の厚みを適正にするために、スペーサが形成される。 The liquid crystal display device has a configuration in which a transparent electrode, a color filter, and a black matrix are disposed between two substrates, and liquid crystal is sealed in a space between the transparent electrodes. At this time, a spacer is formed in order to regulate the distance between the two substrates and make the thickness of the liquid crystal layer appropriate.
従来、このスペーサは、フォトリソ法を利用して形成されていたが、マスクを使用した工程が必要となり作業工程が煩雑となるばかりではなく、材料の使用効率が悪いという問題がある。このため、基板にインクジェット方式でスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を吐出することにより、スペーサ粒子でスペーサを形成する液晶表示装置の製造方法が提案されている（特許文献１参照）。 Conventionally, this spacer has been formed by using a photolithographic method. However, there is a problem that a process using a mask is required and the work process is complicated, and the use efficiency of the material is poor. For this reason, a method of manufacturing a liquid crystal display device in which spacers are formed with spacer particles by discharging a spacer particle dispersion liquid in which spacer particles are dispersed by an inkjet method on a substrate has been proposed (see Patent Document 1).
このような液晶表示装置の製造方法においては、インクジェット塗布装置が使用される。すなわち、多数の吐出口を備えたインクジェットヘッドを複数個列設したインクジェットヘッドユニットを、液晶表示装置用の透明基板に対して相対移動させ、それらのインクジェットヘッドから透明基板にスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を吐出させることにより、透明基板の表面にスペーサ粒子を含むスペーサ領域を形成している。 In such a method of manufacturing a liquid crystal display device, an ink jet coating device is used. That is, an inkjet head unit in which a plurality of inkjet heads each having a large number of ejection openings are arranged is moved relative to a transparent substrate for a liquid crystal display device, and spacer particles are dispersed from the inkjet head to the transparent substrate. By discharging the spacer particle dispersion, a spacer region containing spacer particles is formed on the surface of the transparent substrate.
ところで、このようなインクジェット塗布装置においては、各インクジェットヘッドの吐出口から吐出されるスペーサ粒子分散液の液滴量には微妙なバラツキが生ずる。このため、最終的に製造された液晶表示装置に、スペーサ粒子によるムラが生じるという問題がある。 By the way, in such an ink jet coating apparatus, there are subtle variations in the amount of droplets of the spacer particle dispersion discharged from the discharge ports of the respective ink jet heads. For this reason, the liquid crystal display device finally manufactured has a problem that unevenness due to spacer particles occurs.
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、スペーサ粒子によるムラを効果的に防止することが可能なインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法およびインクジェット塗布方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a calibration method and an inkjet coating method for an inkjet head unit that can effectively prevent unevenness due to spacer particles.
請求項１に記載の発明は、液晶表示装置の製造時に、基板間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成するため、基板の表面に複数のインクジェットヘッドを有するインクジェットヘッドユニットからインクジェット方式によりスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を塗布するインクジェット塗布装置におけるインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法において、前記インクジェットヘッドの多数のスペーサ粒子分散液の吐出口から、吐出条件を変えてスペーサ粒子分散液を吐出する吐出工程と、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出状態を検出する吐出状態検出工程と、前記吐出状態検出工程で検出したスペーサ粒子分散液の吐出状態から、各インクジェットヘッドの吐出条件を調整する調整工程とを備えたことを特徴とする。 According to the first aspect of the present invention, an ink jet head unit having a plurality of ink jet heads on the surface of a substrate in order to form a gap for enclosing a liquid crystal layer by interposing spacer particles between the substrates at the time of manufacturing a liquid crystal display device. In a method for calibrating an inkjet head unit in an inkjet coating apparatus that applies a spacer particle dispersion in which spacer particles are dispersed by an inkjet method, the ejection conditions are changed from a plurality of ejection openings of the spacer particle dispersion of the inkjet head. From the discharge step of discharging the spacer particle dispersion, the discharge state detection step of detecting the discharge state of the spacer particle dispersion discharged in the discharge step, and the discharge state of the spacer particle dispersion detected in the discharge state detection step , Discharge of each inkjet head Characterized by comprising an adjusting step of adjusting the condition.
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記吐出状態検出工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の液滴の面積に基づいて、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出状態を検出する。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, in the discharge state detecting step, the discharge step is based on the area of the droplets of the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step. The discharge state of the discharged spacer particle dispersion is detected.
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記吐出状態検出工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の画像データを取得し、当該画像データを画像処理することにより、前記吐出工程でスペーサ粒子分散液が吐出された基板におけるスペーサ粒子分散液の液滴の面積を測定する。 According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, in the discharge state detecting step, image data of the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step is acquired, and the image data is subjected to image processing. Thus, the area of the droplets of the spacer particle dispersion liquid on the substrate on which the spacer particle dispersion liquid has been discharged in the discharging step is measured.
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の発明において、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を測定する吐出速度測定工程と、前記吐出速度測定工程で測定した吐出速度に基づいて、スペーサ粒子分散液の吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整工程とをさらに備える。 The invention according to claim 4 is the invention according to any one of claims 1 to 3, wherein a discharge speed measuring step of measuring a discharge speed of the spacer particle dispersion discharged in the discharge step, and the discharge And a discharge timing adjusting step of adjusting the discharge timing of the spacer particle dispersion based on the discharge speed measured in the speed measuring step.
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記速度測定工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の液滴をＣＣＤカメラで撮影し、その撮影画像に基づいて、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を計測する。 According to a fifth aspect of the present invention, in the invention according to the fourth aspect, in the speed measuring step, a droplet of the spacer particle dispersion liquid ejected in the ejection step is photographed with a CCD camera, and the photographed image is obtained. Based on this, the discharge speed of the spacer particle dispersion discharged in the discharge step is measured.
請求項６に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記吐出状態検出工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度に基づいて、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出状態を検出する。 According to a sixth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, in the discharge state detecting step, the discharge is performed in the discharge step based on a discharge speed of the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step. The discharge state of the dispersed spacer particle dispersion is detected.
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の発明において、前記吐出状態検出工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液をＣＣＤカメラで撮影し、その撮影画像に基づいて、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を計測する。 According to a seventh aspect of the invention, in the sixth aspect of the invention, in the discharge state detecting step, the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step is photographed with a CCD camera, and based on the photographed image. The discharge speed of the spacer particle dispersion discharged in the discharge step is measured.
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の発明において、前記吐出状態検出工程においては、スペーサ粒子分散液の吐出タイミングと同期して点灯するＬＥＤ光源により照明されたスペーサ粒子分散液の液滴をＣＣＤカメラにより撮影し、その撮影結果を画像処理することにより前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を測定する。 The invention according to claim 8 is the invention according to claim 7, wherein in the discharge state detection step, the spacer particle dispersion liquid illuminated by the LED light source that is turned on in synchronization with the discharge timing of the spacer particle dispersion liquid. The droplets are photographed with a CCD camera, and the photographing result is subjected to image processing to measure the ejection speed of the spacer particle dispersion ejected in the ejection step.
請求項９に記載の発明は、請求項６乃至請求項８のいずれかに記載の発明において、前記吐出状態検出工程で測定した吐出速度に基づいて、スペーサ粒子分散液の吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整工程をさらに備える。 According to a ninth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the sixth to eighth aspects, the discharge for adjusting the discharge timing of the spacer particle dispersion liquid based on the discharge speed measured in the discharge state detecting step. A timing adjustment step is further provided.
請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の発明において、前記インクジェットヘッドは、ピエゾ素子の駆動によりスペーサ粒子分散液を吐出するものであり、前記吐出工程においては、前記各ピエゾ素子に印加する駆動電圧を変更することにより吐出条件を変更する。 A tenth aspect of the present invention is the ink jet head according to any one of the first to ninth aspects, wherein the inkjet head discharges a spacer particle dispersion by driving a piezo element. Changes the discharge condition by changing the drive voltage applied to each of the piezo elements.
請求項１１に記載の発明は、請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の発明において、前記インクジェットヘッドは、ピエゾ素子の駆動によりスペーサ粒子分散液を吐出するものであり、前記調整工程においては、前記吐出状態検出工程において検出したスペーサ粒子分散液の吐出状態から、前記ピエゾ素子に印加する駆動電圧を調整する。 According to an eleventh aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to ninth aspects, the ink jet head discharges a spacer particle dispersion by driving a piezo element. Adjusts the drive voltage applied to the piezo element from the discharge state of the spacer particle dispersion liquid detected in the discharge state detection step.
請求項１２に記載の発明は、請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法を実行した後に、インターレース走査方式で基板に対してペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を塗布する塗布工程を実行することを特徴とする。 According to a twelfth aspect of the present invention, after executing the ink jet head unit calibration method according to any one of the first to eleventh aspects, spacer particles in which pacer particles are dispersed on a substrate by an interlace scanning method. An application step of applying the dispersion is performed.
請求項１３に記載の発明は、液晶表示装置の製造時に、基板間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成するため、基板の表面に複数のインクジェットヘッドを有するインクジェットヘッドユニットからインクジェット方式によりスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を塗布するインクジェット塗布方法において、前記インクジェットヘッドの多数のスペーサ粒子分散液の吐出口から、吐出条件を変えてスペーサ粒子分散液を吐出する吐出工程と、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出状態を検出する吐出状態検出工程と、前記吐出状態検出工程で検出したスペーサ粒子分散液の吐出状態から、各インクジェットヘッドの吐出条件を調整する調整工程とからなるキャリブレーション工程を実行した後、インターレース走査方式で基板に対してペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を塗布する塗布工程を実行することを特徴とする。 According to a thirteenth aspect of the present invention, an ink jet head unit having a plurality of ink jet heads on the surface of a substrate in order to form a gap for enclosing a liquid crystal layer by interposing spacer particles between the substrates at the time of manufacturing a liquid crystal display device. In the ink jet coating method of applying spacer particle dispersion liquid in which spacer particles are dispersed by an ink jet method, discharge of spacer particle dispersion liquid is performed by changing discharge conditions from a plurality of spacer particle dispersion liquid discharge ports of the ink jet head. A discharge condition detecting step for detecting a discharge state of the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step, and a discharge condition of the spacer particle dispersion liquid detected in the discharge state detection process. Calibration process consisting of adjustment process to adjust After row, and executes the application step of applying a spacer particle dispersion prepared by dispersing the pacer particles to the substrate in an interlaced scanning method.
請求項１に記載の発明によれば、スペーサ粒子によるムラを効果的に防止することが可能となる。 According to the first aspect of the invention, it is possible to effectively prevent unevenness due to the spacer particles.
請求項２に記載の発明によれば、スペーサ粒子分散液の吐出状態を容易に検出することが可能となる。 According to the second aspect of the present invention, it is possible to easily detect the discharge state of the spacer particle dispersion.
請求項３に記載の発明によれば、スペーサ粒子分散液の液滴の面積を正確かつ容易に測定することが可能となる。 According to invention of Claim 3, it becomes possible to measure the area of the droplet of spacer particle dispersion liquid correctly and easily.
請求項４に記載の発明によれば、基板に対するスペーサ粒子分散液の吐出位置を均一とすることが可能となる。 According to the fourth aspect of the present invention, it is possible to make the discharge positions of the spacer particle dispersion liquid uniform with respect to the substrate.
請求項５に記載の発明によれば、スペーサ粒子分散液の吐出速度を正確かつ容易に測定することが可能となる。 According to invention of Claim 5, it becomes possible to measure the discharge speed of a spacer particle dispersion liquid correctly and easily.
請求項６に記載の発明によれば、スペーサ粒子によるムラを効果的に防止することが可能となる。 According to the invention described in claim 6, it is possible to effectively prevent unevenness due to the spacer particles.
請求項７および請求項８に記載の発明によれば、スペーサ粒子分散液の吐出速度を正確かつ容易に測定することが可能となる。 According to the seventh and eighth aspects of the invention, it is possible to accurately and easily measure the discharge speed of the spacer particle dispersion.
請求項９に記載の発明によれば、基板に対するスペーサ粒子分散液の吐出位置を均一とすることが可能となる。 According to the ninth aspect of the present invention, it is possible to make the discharge position of the spacer particle dispersion liquid uniform with respect to the substrate.
請求項１０に記載の発明によれば、スペーサ粒子分散液の吐出条件を容易に変更することが可能となる。 According to the invention described in claim 10, it is possible to easily change the discharge condition of the spacer particle dispersion.
請求項１１に記載の発明によれば、スペーサ粒子分散液の吐出量を容易に調整して、スペーサ粒子によるムラを効果的に防止することが可能となる。 According to the eleventh aspect of the present invention, it is possible to easily adjust the discharge amount of the spacer particle dispersion and effectively prevent unevenness due to the spacer particles.
請求項１２および請求項１３に記載の発明によれば、スペーサ粒子によるムラを防止した上で、一つの領域に対して複数回に分散してスペーサ粒子分散液の塗布が実行されることから、ムラの影響をさらに弱めることが可能となる。 According to the invention of claim 12 and claim 13, after preventing unevenness due to the spacer particles, the coating of the spacer particle dispersion liquid is executed by dispersing a plurality of times in one region, It becomes possible to further weaken the influence of unevenness.
まず、スペーサ粒子分散液を塗布するために使用されるインクジェット塗布装置の構成について説明する。図１は、インクジェット塗布装置の斜視図である。 First, the configuration of an ink jet coating apparatus used for coating the spacer particle dispersion will be described. FIG. 1 is a perspective view of an ink jet coating apparatus.
このインクジェット塗布装置は、透明基板１を支持するテーブル１１と、１２個のインクジェットヘッドユニット１２を支持するガントリー１３とを備える。テーブル１１は、基台１４上に配設されたリニアモータ１５の駆動を受け、一対のガイド部材１６により案内された状態で、ガントリー１３におけるインクジェットヘッドユニット１２の列設方向と直交する主走査方向に往復移動する。 The inkjet coating apparatus includes a table 11 that supports the transparent substrate 1 and a gantry 13 that supports 12 inkjet head units 12. The table 11 is driven by a linear motor 15 disposed on a base 14 and is guided by a pair of guide members 16 in a main scanning direction perpendicular to the direction in which the inkjet head units 12 are arranged in the gantry 13. Move back and forth.
ガントリー１３の両端部には、一対のリニアモータ２１が配設されており、ガントリー１３はこれらのリニアモータ２１を介して基台１４に支持されている。このため、ガントリー１３は、これらのリニアモータ２１を個別に駆動することにより、テーブル１１による透明基板１の搬送方向との交差角度を変更することができる構成となっている。また、各インクジェットヘッドユニット１２は、図示しないリニアモータの駆動により、そのピッチを変更しうる構成となっている。 A pair of linear motors 21 are disposed at both ends of the gantry 13, and the gantry 13 is supported on the base 14 via these linear motors 21. For this reason, the gantry 13 is configured to be able to change the crossing angle of the table 11 with the transport direction of the transparent substrate 1 by individually driving these linear motors 21. In addition, each inkjet head unit 12 has a configuration in which the pitch can be changed by driving a linear motor (not shown).
基台１４の一端には、インクジェットヘッドユニット１２を洗浄する洗浄部２２が配設されている。この洗浄部２２は、テーブル１１による透明基板１の搬送方向と直交する方向に往復移動可能となっている。また、この洗浄部２２の移動経路に沿って、インクジェットヘッドユニット１２の乾燥を防止するための、１２個の乾燥防止部２３が配設されている。後述する各インクジェットヘッド１８は、待機時においては、これらの乾燥防止部２３と対向配置される。 A cleaning unit 22 that cleans the inkjet head unit 12 is disposed at one end of the base 14. The cleaning unit 22 can reciprocate in a direction orthogonal to the transport direction of the transparent substrate 1 by the table 11. Further, twelve drying prevention units 23 for preventing the inkjet head unit 12 from drying are disposed along the movement path of the cleaning unit 22. Each inkjet head 18 to be described later is disposed so as to face these drying prevention units 23 during standby.
図２は、ガントリー１３をその下面から見た斜視図である。また、図３は、インクジェットヘッドユニット１２をその下面から見た斜視図である。さらに、図４は、インクジェットヘッド１８の一部をその下面から見た斜視図である。 FIG. 2 is a perspective view of the gantry 13 as seen from its lower surface. FIG. 3 is a perspective view of the inkjet head unit 12 as viewed from the lower surface. Further, FIG. 4 is a perspective view of a part of the inkjet head 18 as viewed from the lower surface thereof.
これらの図に示すように、ガントリー１３に支持された１２個のインクジェットヘッドユニット１２には、ヘッド支持板１７が配設されており、このヘッド支持板１７には、５個のインクジェットヘッド１８が配設されている。このインクジェットヘッド１８には、図４に示すように、多数のスペーサ粒子分散液の吐出口１９が一方向に列設されている。 As shown in these drawings, the 12 inkjet head units 12 supported by the gantry 13 are provided with a head support plate 17, and the 5 inkjet heads 18 are provided on the head support plate 17. It is arranged. As shown in FIG. 4, the inkjet head 18 has a large number of spacer particle dispersion discharge ports 19 arranged in one direction.
図５は、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９からスペーサ粒子分散液を吐出するための吐出ユニットの概要図である。 FIG. 5 is a schematic view of a discharge unit for discharging the spacer particle dispersion from the discharge port 19 of the spacer particle dispersion in the inkjet head 18.
この吐出ユニットは、スペーサ粒子分散液の供給口５２と、上述したスペーサ粒子分散液の吐出口１９とを備え、その内部にスペーサ粒子分散液を貯留する貯留部５１を有する。この貯留部５１は、駆動電圧を受けて駆動するピエゾ素子５３により押圧されることで、スペーサ粒子分散液の液滴を吐出する。 This discharge unit includes a supply port 52 for spacer particle dispersion and the discharge port 19 for spacer particle dispersion described above, and has a reservoir 51 for storing the spacer particle dispersion therein. The reservoir 51 is pressed by a piezo element 53 that is driven by receiving a driving voltage, thereby discharging a droplet of spacer particle dispersion.
以上のような構成を有するインクジェット塗布装置を使用して透明基板１にスペーサ粒子分散液を塗布するときには、最初に、透明基板１をテーブル１１上に位置決めして固定する。また、透明基板１におけるブラックマトリックスのピッチに対応させて、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９の列設方向と透明基板１の搬送方向との交差角度と、インクジェットヘッドユニット１２のピッチとを変更する。 When the spacer particle dispersion is applied to the transparent substrate 1 using the ink jet coating apparatus having the above-described configuration, the transparent substrate 1 is first positioned and fixed on the table 11. Further, in correspondence with the pitch of the black matrix in the transparent substrate 1, the intersection angle between the arrangement direction of the discharge ports 19 of the spacer particle dispersion liquid in the inkjet head 18 and the transport direction of the transparent substrate 1, and the pitch of the inkjet head unit 12. And change.
この状態において、テーブル１１を透明基板１とともに主走査方向に移動させながら、１２個のインクジェットヘッドユニット１２における各インクジェットヘッド１８からスペーサ粒子分散液を吐出することにより、透明基板１におけるブラックマトリックス上にスペーサ粒子を含むスペーサ領域を形成することができる。 In this state, the spacer particle dispersion is discharged from each inkjet head 18 in the 12 inkjet head units 12 while moving the table 11 together with the transparent substrate 1 in the main scanning direction. Spacer regions containing spacer particles can be formed.
ところで、このようなインクジェット塗布装置においては、各インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されるスペーサ粒子分散液の液滴量には微妙なバラツキが生ずる。このため、最終的に製造された液晶表示装置に、スペーサ粒子によるムラが生じるという問題がある。また、スペーサ粒子分散液の吐出口１９からのスペーサ粒子分散液の吐出タイミングにもバラツキが生ずることがある。このため、この発明に係るキャリブレーション動作が実行される。 By the way, in such an ink jet coating apparatus, the amount of droplets of the spacer particle dispersion discharged from the discharge port 19 of the spacer particle dispersion in each ink jet head 18 varies slightly. For this reason, the liquid crystal display device finally manufactured has a problem that unevenness due to spacer particles occurs. In addition, the discharge timing of the spacer particle dispersion from the discharge port 19 of the spacer particle dispersion may vary. For this reason, the calibration operation according to the present invention is executed.
図６は、この発明の第１実施形態に係るキャリブレーション方法のフローチャートである。 FIG. 6 is a flowchart of the calibration method according to the first embodiment of the present invention.
キャリブレーションを行う場合には、最初に、スペーサ粒子分散液を吐出する（ステップＳ１）。この場合には、インクジェット塗布装置におけるテーブル１１上にダミーの基板等を載置し、インクジェットヘッド１８より吐出条件を変えてスペーサ粒子分散液を吐出する。より具体的には、吐出ユニットにおけるピエゾ素子５３に印加する駆動電圧を変化させた状態で、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９よりスペーサ粒子分散液の液滴を吐出させる。 When performing calibration, first, a spacer particle dispersion is discharged (step S1). In this case, a dummy substrate or the like is placed on the table 11 in the ink jet coating apparatus, and the spacer particle dispersion is discharged from the ink jet head 18 under different discharge conditions. More specifically, droplets of the spacer particle dispersion liquid are ejected from the spacer particle dispersion liquid ejection port 19 in the inkjet head 18 in a state where the drive voltage applied to the piezo element 53 in the ejection unit is changed.
次に、吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出状態を検出するため、吐出されたスペーサ粒子分散液の画像データを取得する（ステップＳ２）。この画像データの取得は、例えば、スペーサ粒子分散液を吐出したダミーの基板をスキャナで走査することにより行われる。そして、この画像データより、スペーサ粒子分散液の液滴の面積を測定する（ステップＳ３）。 Next, in order to detect the discharge state of the spacer particle dispersion discharged in the discharge process, image data of the discharged spacer particle dispersion is acquired (step S2). The acquisition of the image data is performed, for example, by scanning a dummy substrate on which the spacer particle dispersion is discharged with a scanner. Then, the area of the droplet of the spacer particle dispersion is measured from this image data (step S3).
図７は、ダミー基板上に吐出されたスペーサ粒子分散液の画像データを示す模式図である。 FIG. 7 is a schematic diagram showing image data of the spacer particle dispersion liquid discharged on the dummy substrate.
この画像データは、３個の異なるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から、連続して３回スペーサ粒子分散液の液滴を吐出した場合のものである。そして、図７（ａ）はピエゾ素子５３への印加する駆動電圧をＶ１とし、図７（ｂ）はピエゾ素子５３への印加する駆動電圧をＶ１より高いＶ２とし、図７（ｃ）はピエゾ素子５３への印加する駆動電圧をＶ２よりさらに高いＶ３とした場合を示している。この図に示すように、ピエゾ素子５３への印加する駆動電圧を高くした場合には、ダミー基板上に吐出されたスペーサ粒子分散液の面積は大きくなる。 This image data is obtained when three droplets of the spacer particle dispersion are successively ejected from the three different outlets 19 of the spacer particle dispersion. 7A shows the drive voltage applied to the piezo element 53 as V1, FIG. 7B shows the drive voltage applied to the piezo element 53 as V2, which is higher than V1, and FIG. 7C shows the piezo element. The case where the drive voltage applied to the element 53 is V3 higher than V2 is shown. As shown in this figure, when the driving voltage applied to the piezo element 53 is increased, the area of the spacer particle dispersion discharged onto the dummy substrate increases.
図８は、ダミー基板上に吐出されたスペーサ粒子分散液の面積とピエゾ素子５３へ印加する駆動電圧との関係を示すグラフである。 FIG. 8 is a graph showing the relationship between the area of the spacer particle dispersion discharged on the dummy substrate and the drive voltage applied to the piezo element 53.
上述したように、吐出ユニットにおけるピエゾ素子５３に印加する駆動電圧を変化させた状態で、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９よりスペーサ粒子分散液の液滴を複数回吐出し、そのときのスペーサ粒子分散液の面積を測定することにより、図８に示すように、スペーサ粒子分散液の面積とピエゾ素子５３への駆動電圧との関係を示すグラフを求めることができる。このグラフを利用した場合には、スペーサ粒子分散液の液滴の面積で表現される必要なスペーサ粒子分散液の液適量Ｄｔを得るために必要なピエゾ素子５３への駆動電圧Ｖｔを求めることができる。 As described above, in a state where the drive voltage applied to the piezo element 53 in the discharge unit is changed, the spacer particle dispersion liquid droplets are discharged from the discharge port 19 of the spacer particle dispersion liquid in the inkjet head 18 a plurality of times. By measuring the area of the spacer particle dispersion at that time, a graph showing the relationship between the area of the spacer particle dispersion and the driving voltage to the piezo element 53 can be obtained as shown in FIG. When this graph is used, the drive voltage Vt to the piezo element 53 required to obtain the necessary amount Dt of the spacer particle dispersion liquid expressed by the area of the droplets of the spacer particle dispersion liquid can be obtained. it can.
このスペーサ粒子分散液の液適量Ｄｔとピエゾ素子５３への駆動電圧Ｖｔとを求める工程（ステップＳ２、ステップＳ３）と並行して、スペーサ粒子分散液の吐出速度を測定する。この吐出速度の測定は、スペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されたスペーサ粒子分散液の液滴を撮影する吐出状態撮影工程（ステップＳ４）と、そのときの撮影画像に基づいて吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を計測する吐出速度計測工程（ステップＳ５）とにより実行される。 In parallel with the step (Steps S2 and S3) of obtaining the appropriate amount Dt of the spacer particle dispersion and the drive voltage Vt to the piezo element 53, the discharge speed of the spacer particle dispersion is measured. The measurement of the discharge speed is performed in a discharge state photographing process (step S4) for photographing the spacer particle dispersion liquid droplets ejected from the spacer particle dispersion liquid ejection port 19 and a discharge process based on the photographed image at that time. This is executed by a discharge speed measuring step (step S5) for measuring the discharge speed of the discharged spacer particle dispersion.
図９は、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されたスペーサ粒子分散液の液滴を撮影するための吐出状態撮影ユニットの概要図である。 FIG. 9 is a schematic view of a discharge state photographing unit for photographing the spacer particle dispersion liquid droplets discharged from the spacer particle dispersion liquid discharge port 19 in the inkjet head 18.
インクジェットヘッド１８の吐出口から吐出されたスペーサ粒子分散液の液滴１００は、ＬＥＤ６３により照明され、ＣＣＤカメラ６２により撮像される。このＬＥＤ６３は、パルス信号６１と同期して点灯し、ＣＣＤカメラ６２はパルス信号６１と同期して画像を取り込む。また、図５に示す吐出ユニットは、パルス信号６１と同期して吐出動作を実行する。すなわち、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９からは、パルス信号６１と同期してスペーサ粒子分散液が吐出される。このため、この吐出状態撮影ユニットを使用した場合においては、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されるスペーサ粒子分散液を、静止画として取り込むことができる。 The droplet 100 of the spacer particle dispersion discharged from the discharge port of the inkjet head 18 is illuminated by the LED 63 and imaged by the CCD camera 62. The LED 63 lights up in synchronization with the pulse signal 61, and the CCD camera 62 captures an image in synchronization with the pulse signal 61. Further, the discharge unit shown in FIG. 5 executes the discharge operation in synchronization with the pulse signal 61. That is, the spacer particle dispersion liquid is discharged from the discharge port 19 of the spacer particle dispersion liquid in the inkjet head 18 in synchronization with the pulse signal 61. For this reason, when this discharge state photographing unit is used, the spacer particle dispersion discharged from the discharge port 19 of the spacer particle dispersion in the inkjet head 18 can be taken in as a still image.
図１０は、この吐出状態撮影ユニットにより取り込まれたスペーサ粒子分散液の液滴の画像データを示す模式図である。 FIG. 10 is a schematic diagram showing image data of the droplets of the spacer particle dispersion liquid taken in by the discharge state photographing unit.
この図において、左側はスペーサ粒子分散液がインクジェットヘッド１８の下面より離隔した直後の状態を示しており、右側はスペーサ粒子分散液がインクジェットヘッド１８の吐出口１９より吐出された直後の状態を示している。このため、図１０に示す距離Ｈと、スペーサ粒子分散液がこの距離Ｈを移動するのに要する時間とを測定することにより、スペーサ粒子分散液の吐出速度を計測することが可能となる。 In this figure, the left side shows a state immediately after the spacer particle dispersion is separated from the lower surface of the inkjet head 18, and the right side shows a state immediately after the spacer particle dispersion is discharged from the discharge port 19 of the inkjet head 18. ing. Therefore, by measuring the distance H shown in FIG. 10 and the time required for the spacer particle dispersion to move through this distance H, the discharge speed of the spacer particle dispersion can be measured.
再度図６を参照して、以上の工程が完了すれば、吐出条件調整工程を実行する（ステップＳ６）。この吐出条件調整工程においては、予め求めたスペーサ粒子分散液の液適量Ｄｔとピエゾ素子５３へ印加する駆動電圧Ｖｔとの関係に基づいて、図８に示すように、必要なスペーサ粒子分散液の液適量Ｄｔを得るためのピエゾ素子５３へ印加する駆動電圧Ｖｔを、インクジェットヘッド１８の各吐出ユニット毎に決定する。 Referring to FIG. 6 again, when the above process is completed, a discharge condition adjustment process is executed (step S6). In this discharge condition adjustment step, as shown in FIG. 8, based on the relationship between the appropriate amount Dt of the spacer particle dispersion liquid obtained in advance and the drive voltage Vt applied to the piezo element 53, the necessary spacer particle dispersion liquid A drive voltage Vt to be applied to the piezo element 53 for obtaining the appropriate liquid amount Dt is determined for each ejection unit of the inkjet head 18.
また、吐出条件調整工程に引き続き、吐出タイミング調整工程を実行する（ステップＳ７）。この吐出タイミング調整工程においては、予め求めたスペーサ粒子分散液の吐出速度に基づいて、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９からスペーサ粒子分散液を吐出するタイミングを、インクジェットヘッド１８の各吐出ユニット毎に調整する。より具体的には、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されたスペーサ粒子分散液の速度が速い場合には、その吐出ユニットにおけるスペーサ粒子分散液吐出タイミングが遅くなるように調整する。また、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されたスペーサ粒子分散液の速度が遅い場合には、その吐出ユニットにおけるスペーサ粒子分散液吐出タイミングが早くなるように調整する。 Further, the discharge timing adjustment process is executed following the discharge condition adjustment process (step S7). In this discharge timing adjustment step, the timing at which the spacer particle dispersion is discharged from the outlet 19 of the spacer particle dispersion in the inkjet head 18 is determined based on the discharge speed of the spacer particle dispersion determined in advance. Adjust for each discharge unit. More specifically, when the speed of the spacer particle dispersion discharged from the discharge port 19 of the spacer particle dispersion in the inkjet head 18 is high, the spacer particle dispersion discharge timing in the discharge unit is adjusted to be delayed. To do. Further, when the speed of the spacer particle dispersion discharged from the discharge port 19 of the spacer particle dispersion in the inkjet head 18 is slow, the spacer particle dispersion discharge timing in the discharge unit is adjusted to be advanced.
以上のキャリブレーション動作を実行することにより、スペーサ粒子分散液の液滴量を均一にして、スペーサ粒子によるムラを効果的に防止することができると同時に、スペーサ粒子分散液の吐出位置を均一とすることができる。 By executing the above calibration operation, it is possible to make the amount of droplets of the spacer particle dispersion liquid uniform and to effectively prevent unevenness due to the spacer particles, and at the same time to make the discharge position of the spacer particle dispersion liquid uniform. can do.
図１１は、上述したキャリブレーション動作を実行した前後のスペーサ粒子分散液の吐出状態を示すグラフである。この図においては、横軸はインクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９の位置を示し、縦軸は吐出されたスペーサ粒子分散液量を示している。また、この図においては、丸印はキャリブレーション動作を実行する前を、また、三角印はキャリブレーション動作を実行した後を、各々示している。さらに、図１１（ａ）と図１１（ｂ）とは、異なるインクジェットヘッド１８のデータを示している。 FIG. 11 is a graph showing the discharge state of the spacer particle dispersion before and after the above-described calibration operation is performed. In this figure, the horizontal axis indicates the position of the discharge port 19 for the spacer particle dispersion in the inkjet head 18, and the vertical axis indicates the amount of the spacer particle dispersion discharged. In this figure, a circle indicates before the calibration operation is executed, and a triangle indicates after the calibration operation is executed. Furthermore, FIG. 11A and FIG. 11B show data of different inkjet heads 18.
図１１から明らかなように、上述したキャリブレーション動作を実行することにより、一つのインクジェットヘッド１８における各スペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されたスペーサ粒子分散液の液適量が均一となる。そして、各スペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されたスペーサ粒子分散液の液適量は、複数のインクジェットヘッド１８間においても均一となる。 As is apparent from FIG. 11, by performing the calibration operation described above, the appropriate amount of spacer particle dispersion discharged from each spacer particle dispersion discharge port 19 in one inkjet head 18 becomes uniform. The appropriate amount of the spacer particle dispersion discharged from each spacer particle dispersion discharge port 19 is uniform among the plurality of inkjet heads 18.
次に、この発明の他の実施形態について説明する。図１２は、この発明の第２実施形態に係るキャリブレーション方法のフローチャートである。 Next, another embodiment of the present invention will be described. FIG. 12 is a flowchart of the calibration method according to the second embodiment of the present invention.
上述した第１実施形態にかかるキャリブレーション方法においては、画像処理を行ってスペーサ粒子分散液の液滴の面積を測定することによりスペーサ粒子分散液の液適量を測定して、スペーサ粒子分散液の吐出状態を認定している。これに対して、この第２実施形態に係るキャリブレーション方法においては、スペーサ粒子分散液の吐出速度に基づいて、スペーサ粒子分散液の吐出状態を認定している。 In the calibration method according to the first embodiment described above, an appropriate amount of the spacer particle dispersion liquid is measured by performing image processing and measuring the area of the droplets of the spacer particle dispersion liquid. The discharge status is certified. On the other hand, in the calibration method according to the second embodiment, the discharge state of the spacer particle dispersion is certified based on the discharge speed of the spacer particle dispersion.
すなわち、一般的に、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されるスペーサ粒子分散液の速度と液適量とは比例関係にある。すなわち、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されるスペーサ粒子分散液の速度が早いほど、その液適量も多くなる。このため、この第２実施形態においては、スペーサ粒子分散液の吐出速度のみに基づいて、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出するスペーサ粒子分散液の液適量と、その吐出タイミングの両方を調整するようにしている。 That is, in general, the speed of the spacer particle dispersion discharged from the outlet 19 of the spacer particle dispersion in the inkjet head 18 and the appropriate amount of liquid are in a proportional relationship. That is, the higher the speed of the spacer particle dispersion discharged from the discharge port 19 of the spacer particle dispersion in the inkjet head 18, the greater the appropriate amount of the liquid. For this reason, in the second embodiment, based on only the discharge speed of the spacer particle dispersion liquid, an appropriate amount of the spacer particle dispersion liquid discharged from the discharge opening 19 of the spacer particle dispersion liquid in the inkjet head 18 and its discharge timing. Both to adjust.
この第２実施形態においても、最初に、スペーサ粒子分散液を吐出する（ステップＳ１１）。この場合には、上述した第１実施形態と同様、インクジェット塗布装置におけるテーブル１１上にダミーの基板等を載置し、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９から、吐出条件、すなわち、各ピエゾ素子５３に印加する駆動電圧を変えてスペーサ粒子分散液を吐出する。 Also in the second embodiment, first, the spacer particle dispersion is discharged (step S11). In this case, similarly to the first embodiment described above, a dummy substrate or the like is placed on the table 11 in the ink jet coating apparatus, and the discharge conditions, that is, the discharge conditions of the spacer particle dispersion liquid 19 in the ink jet head 18, that is, The spacer particle dispersion is discharged by changing the drive voltage applied to each piezo element 53.
次に、スペーサ粒子分散液の吐出速度を測定する。この吐出速度の測定は、上述した第１実施形態と同様、スペーサ粒子分散液の吐出口１９から吐出されたスペーサ粒子分散液の液滴を図９に示す吐出状態撮影ユニットにより撮影する吐出状態撮影工程（ステップＳ１２）と、そのときの撮影画像に基づいて吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を計測する吐出速度計測工程（ステップＳ１３）とにより実行される。 Next, the discharge speed of the spacer particle dispersion is measured. The measurement of the discharge speed is performed in the same manner as in the first embodiment described above. The discharge state photographing is performed by photographing the spacer particle dispersion liquid droplets discharged from the spacer particle dispersion liquid discharge port 19 by the discharge state photographing unit shown in FIG. It is executed by the process (step S12) and the discharge speed measurement process (step S13) for measuring the discharge speed of the spacer particle dispersion discharged in the discharge process based on the photographed image at that time.
次に、吐出条件調整工程を実行する（ステップＳ１４）。この吐出条件調整工程においては、吐出速度計測工程において計測したスペーサ粒子分散液の吐出速度に基づいて、各吐出ユニット毎に、ピエゾ素子５３へ印加する駆動電圧Ｖｔを調整する。より具体的には、スペーサ粒子分散液の吐出速度が速い場合にはＶｔが小さくなる方向に調整し、スペーサ粒子分散液の吐出速度が遅い場合にはＶｔが大きくなる方向に調整する。 Next, a discharge condition adjustment process is executed (step S14). In this discharge condition adjustment process, the drive voltage Vt applied to the piezo element 53 is adjusted for each discharge unit based on the discharge speed of the spacer particle dispersion liquid measured in the discharge speed measurement process. More specifically, when the discharge speed of the spacer particle dispersion is high, the Vt is adjusted to decrease, and when the discharge speed of the spacer particle dispersion is low, the Vt is adjusted to increase.
そして、吐出条件調整工程に引き続き、吐出タイミング調整工程を実行する（ステップＳ１５）。この吐出タイミング調整工程においては、スペーサ粒子分散液の吐出速度に基づいて、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液の吐出口１９からスペーサ粒子分散液を吐出するタイミングを、インクジェットヘッド１８の各吐出ユニット毎に調整する。 Then, following the discharge condition adjustment step, a discharge timing adjustment step is executed (step S15). In this discharge timing adjustment step, the timing of discharging the spacer particle dispersion from the outlet 19 of the spacer particle dispersion in the inkjet head 18 is determined for each discharge unit of the inkjet head 18 based on the discharge speed of the spacer particle dispersion. Adjust to.
この第２実施形態においても、上述した第１実施形態と同様、スペーサ粒子分散液の液滴量を均一にして、スペーサ粒子によるムラを効果的に防止することができると同時に、スペーサ粒子分散液の吐出位置を均一とすることができる。 Also in the second embodiment, similarly to the first embodiment described above, it is possible to make the droplet amount of the spacer particle dispersion liquid uniform and effectively prevent unevenness due to the spacer particles, and at the same time, the spacer particle dispersion liquid. The discharge position can be made uniform.
以上のようなキャリブレーション動作により、スペーサ粒子によるムラを効果的に防止することが可能となるが、このようなムラの発生をより確実に解消するためには、スペーサ粒子分散液の塗布方式として、インターレース方式を採用することが好ましい。 The calibration operation as described above can effectively prevent the unevenness due to the spacer particles, but in order to eliminate such unevenness more reliably, as a coating method of the spacer particle dispersion liquid, It is preferable to adopt an interlace method.
図１３は、インターレース走査方式で透明基板１にスペーサ粒子分散液を塗布する状態を示す説明図である。 FIG. 13 is an explanatory view showing a state in which the spacer particle dispersion is applied to the transparent substrate 1 by the interlace scanning method.
上述したインクジェット塗布装置においてスペーサ粒子分散液を塗布するときには、図１３（ａ）において矢印１で示すように、テーブル１１を透明基板１とともに主走査プラス方向に移動させながら、１２個のインクジェットヘッドユニット１２における各インクジェットヘッド１８からスペーサ粒子分散液を吐出することにより、透明基板１におけるストライプ状の領域Ａ、Ｃ、Ｅ、Ｇ・・・にスペーサ粒子分散液を吐出する。 When applying the spacer particle dispersion liquid in the above-described ink jet coating apparatus, as shown by the arrow 1 in FIG. 13A, the 12 ink jet head units are moved while moving the table 11 together with the transparent substrate 1 in the main scanning plus direction. By discharging the spacer particle dispersion from each inkjet head 18 in FIG. 12, the spacer particle dispersion is discharged to the striped regions A, C, E, G.
次に、１２個のインクジェットヘッドユニット１２を、その列設方向（副走査方向）にストライプ状の領域の半分の距離（各インクジェットヘッドユニット１２によるスペーサ粒子分散液の副走査方向の塗布領域の２分の一の距離）だけ、副走査方向に移動させる。 Next, twelve inkjet head units 12 are separated by a distance that is half of the stripe-shaped region in the row direction (sub-scanning direction) (2 of the application region of the spacer particle dispersion liquid in the sub-scanning direction by each inkjet head unit 12). Move in the sub-scanning direction by a fraction of a distance).
そして、図１３（ｂ）において矢印２で示すように、さらにテーブル１１を透明基板１とともに主走査マイナス方向に移動させながら、１２個のインクジェットヘッドユニット１２における各インクジェットヘッド１８からスペーサ粒子分散液を吐出することにより、透明基板１における既にスペーサ粒子分散液が塗布された領域と半ピッチ分だけずれたストライプ状の領域にスペーサ粒子分散液を吐出する。 Then, as shown by the arrow 2 in FIG. 13B, the spacer particle dispersion is applied from each inkjet head 18 in the 12 inkjet head units 12 while moving the table 11 together with the transparent substrate 1 in the main scanning minus direction. By discharging, the spacer particle dispersion liquid is discharged to the stripe-shaped area shifted by a half pitch from the area where the spacer particle dispersion liquid has already been applied on the transparent substrate 1.
次に、１２個のインクジェットヘッドユニット１２を、その列設方向（副走査方向）にストライプ状の領域の半分の距離（各インクジェットヘッドユニット１２によるスペーサ粒子分散液の副走査方向の塗布領域の２分の一の距離）だけ、さらに副走査方向に移動させる。 Next, twelve inkjet head units 12 are separated by a distance that is half of the stripe-shaped region in the row direction (sub-scanning direction) (2 of the application region of the spacer particle dispersion liquid in the sub-scanning direction by each inkjet head unit 12). Further, it is moved in the sub-scanning direction by a fraction of a distance.
次に、図１３（ａ）において矢印３示すように、テーブル１１を透明基板１とともに主走査プラス方向に移動させながら、１２個のインクジェットヘッドユニット１２における各インクジェットヘッド１８からスペーサ粒子分散液を吐出することにより、透明基板１における既にスペーサ粒子分散液が塗布されたストライプ状の領域Ｂ、Ｄ、Ｆ、Ｈ・・・にスペーサ粒子分散液を吐出する。 Next, as shown by an arrow 3 in FIG. 13A, the spacer particle dispersion is discharged from each inkjet head 18 in the 12 inkjet head units 12 while moving the table 11 together with the transparent substrate 1 in the main scanning plus direction. As a result, the spacer particle dispersion liquid is discharged onto the stripe-shaped regions B, D, F, H,... Already coated with the spacer particle dispersion liquid on the transparent substrate 1.
次に、１２個のインクジェットヘッドユニット１２を、その列設方向（副走査方向）にストライプ状の領域の半分の距離（各インクジェットヘッドユニット１２によるスペーサ粒子分散液の副走査方向の塗布領域の２分の一の距離）だけ、さらに副走査方向に移動させる。 Next, twelve inkjet head units 12 are separated by a distance that is half of the stripe-shaped region in the row direction (sub-scanning direction) (2 of the application region of the spacer particle dispersion liquid in the sub-scanning direction by each inkjet head unit 12). Further, it is moved in the sub-scanning direction by a fraction of a distance.
そして、図１３（ｂ）において矢印４で示すように、さらにテーブル１１を透明基板１とともに主走査マイナス方向に移動させながら、１２個のインクジェットヘッドユニット１２における各インクジェットヘッド１８からスペーサ粒子分散液を吐出することにより、透明基板１における既にスペーサ粒子分散液が塗布された領域と半ピッチ分だけずれたストライプ状の領域にスペーサ粒子分散液を吐出する。 Then, as shown by an arrow 4 in FIG. 13B, the spacer particle dispersion is applied from each inkjet head 18 in the 12 inkjet head units 12 while moving the table 11 together with the transparent substrate 1 in the main scanning minus direction. By discharging, the spacer particle dispersion liquid is discharged to the stripe-shaped area shifted by a half pitch from the area where the spacer particle dispersion liquid is already applied on the transparent substrate 1.
このようなインターレース走査方式で透明基板１にスペーサ粒子分散液を塗布することにより、一つの領域に対して複数回に分散してスペーサ粒子分散液の塗布が実行されることから、一走査毎のムラの影響を弱めることが可能となる。 By applying the spacer particle dispersion liquid to the transparent substrate 1 by such an interlace scanning method, the spacer particle dispersion liquid is applied in a plurality of times to one region. It becomes possible to weaken the influence of unevenness.
１ 透明基板
１１ テーブル
１２ インクジェットヘッドユニット
１３ ガントリー
１４ 基台
１５ リニアモータ
１６ ガイド部材
１７ ヘッド支持板
１８ インクジェットヘッド
１９ 吐出口
５１ 貯留部
５２ 供給口
５３ ピエゾ素子
６１ パルス信号
６２ ＣＣＤカメラ
６３ ＬＥＤ
１００ スペーサ粒子分散液の液滴
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent substrate 11 Table 12 Inkjet head unit 13 Gantry 14 Base 15 Linear motor 16 Guide member 17 Head support plate 18 Inkjet head 19 Discharge port 51 Storage part 52 Supply port 53 Piezo element 61 Pulse signal 62 CCD camera 63 LED
100 Droplets of spacer particle dispersion
Claims (13)
前記インクジェットヘッドの多数のスペーサ粒子分散液の吐出口から、吐出条件を変えてスペーサ粒子分散液を吐出する吐出工程と、
前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出状態を検出する吐出状態検出工程と、
前記吐出状態検出工程で検出したスペーサ粒子分散液の吐出状態から、各インクジェットヘッドの吐出条件を調整する調整工程と、
を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 In manufacturing the liquid crystal display device, the spacer particles are interposed between the substrates to form a gap for enclosing the liquid crystal layer. Therefore, the spacer particles are dispersed by an inkjet method from an inkjet head unit having a plurality of inkjet heads on the surface of the substrate. In the inkjet head unit calibration method in the inkjet coating apparatus for coating the spacer particle dispersion liquid,
A discharge step of discharging the spacer particle dispersion by changing discharge conditions from a plurality of outlets of the spacer particle dispersion of the inkjet head,
A discharge state detection step of detecting a discharge state of the spacer particle dispersion discharged in the discharge step;
An adjustment step of adjusting the discharge conditions of each inkjet head from the discharge state of the spacer particle dispersion liquid detected in the discharge state detection step;
A method for calibrating an inkjet head unit, comprising:
前記吐出状態検出工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の液滴の面積に基づいて、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出状態を検出するインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 In the inkjet head unit calibration method according to claim 1,
In the discharge state detection step, calibration of an inkjet head unit that detects the discharge state of the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step based on the area of the droplets of the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step. Method.
前記吐出状態検出工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の画像データを取得し、当該画像データを画像処理することにより、前記吐出工程でスペーサ粒子分散液が吐出された基板におけるスペーサ粒子分散液の液滴の面積を測定するインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 The inkjet head unit calibration method according to claim 2,
In the discharge state detection step, the image data of the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step is obtained, and the image data is subjected to image processing, whereby the spacer particle dispersion liquid is discharged in the discharge step. An inkjet head unit calibration method for measuring the area of a droplet of spacer particle dispersion.
前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を測定する吐出速度測定工程と、
前記吐出速度測定工程で測定した吐出速度に基づいて、スペーサ粒子分散液の吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整工程と、
をさらに備えるインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 In the ink jet head unit calibration method according to claim 1,
A discharge rate measuring step of measuring a discharge rate of the spacer particle dispersion discharged in the discharge step;
A discharge timing adjustment step of adjusting the discharge timing of the spacer particle dispersion based on the discharge speed measured in the discharge speed measurement step;
An inkjet head unit calibration method further comprising:
前記速度測定工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の液滴をＣＣＤカメラで撮影し、その撮影画像に基づいて、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を計測するインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 The inkjet head unit calibration method according to claim 4,
In the speed measurement step, a droplet of the spacer particle dispersion liquid ejected in the ejection step is photographed with a CCD camera, and the ejection speed of the spacer particle dispersion liquid ejected in the ejection process is determined based on the photographed image. Calibration method of the inkjet head unit to be measured.
前記吐出状態検出工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度に基づいて、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出状態を検出するインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 In the inkjet head unit calibration method according to claim 1,
In the discharge state detection step, a calibration method for an inkjet head unit that detects the discharge state of the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step based on the discharge speed of the spacer particle dispersion liquid discharged in the discharge step .
前記吐出状態検出工程においては、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液をＣＣＤカメラで撮影し、その撮影画像に基づいて、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を計測するインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 The inkjet head unit calibration method according to claim 6,
In the discharge state detection step, the spacer particle dispersion discharged in the discharge step is photographed with a CCD camera, and the discharge speed of the spacer particle dispersion discharged in the discharge step is measured based on the photographed image. Inkjet head unit calibration method.
前記吐出状態検出工程においては、スペーサ粒子分散液の吐出タイミングと同期して点灯するＬＥＤ光源により照明されたスペーサ粒子分散液の液滴をＣＣＤカメラにより撮影し、その撮影結果を画像処理することにより前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出速度を測定するインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 The inkjet head unit calibration method according to claim 7,
In the discharge state detecting step, a droplet of the spacer particle dispersion liquid illuminated by an LED light source that is turned on in synchronization with the discharge timing of the spacer particle dispersion liquid is photographed by a CCD camera, and the photographing result is subjected to image processing. A method for calibrating an inkjet head unit for measuring a discharge speed of the spacer particle dispersion discharged in the discharge step.
前記吐出状態検出工程で測定した吐出速度に基づいて、スペーサ粒子分散液の吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整工程をさらに備えるインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 In the calibration method of the inkjet head unit in any one of Claims 6 thru | or 8,
A method for calibrating an inkjet head unit, further comprising a discharge timing adjustment step of adjusting a discharge timing of the spacer particle dispersion based on the discharge speed measured in the discharge state detection step.
前記インクジェットヘッドは、ピエゾ素子の駆動によりスペーサ粒子分散液を吐出するものであり、
前記吐出工程においては、前記各ピエゾ素子に印加する駆動電圧を変更することにより吐出条件を変更するインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 In the ink jet head unit calibration method according to any one of claims 1 to 9,
The inkjet head is for discharging a spacer particle dispersion by driving a piezo element,
A method of calibrating an inkjet head unit, wherein in the ejection step, the ejection conditions are changed by changing a drive voltage applied to each of the piezo elements.
前記インクジェットヘッドは、ピエゾ素子の駆動によりスペーサ粒子分散液を吐出するものであり、
前記調整工程においては、前記吐出状態検出工程において検出したスペーサ粒子分散液の吐出状態から、前記ピエゾ素子に印加する駆動電圧を調整するインクジェットヘッドユニットのキャリブレーション方法。 In the ink jet head unit calibration method according to any one of claims 1 to 9,
The inkjet head is for discharging a spacer particle dispersion by driving a piezo element,
In the adjustment step, the inkjet head unit calibration method of adjusting a drive voltage applied to the piezo element from the discharge state of the spacer particle dispersion liquid detected in the discharge state detection step.
前記インクジェットヘッドの多数のスペーサ粒子分散液の吐出口から、吐出条件を変えてスペーサ粒子分散液を吐出する吐出工程と、前記吐出工程で吐出されたスペーサ粒子分散液の吐出状態を検出する吐出状態検出工程と、前記吐出状態検出工程で検出したスペーサ粒子分散液の吐出状態から、各インクジェットヘッドの吐出条件を調整する調整工程とからなるキャリブレーション工程を実行した後、
インターレース走査方式で基板に対してペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を塗布する塗布工程を実行することを特徴とするインクジェット塗布方法。
In manufacturing the liquid crystal display device, the spacer particles are interposed between the substrates to form a gap for enclosing the liquid crystal layer. Therefore, the spacer particles are dispersed by an inkjet method from an inkjet head unit having a plurality of inkjet heads on the surface of the substrate. In the inkjet coating method for coating the spacer particle dispersion,
A discharge step of discharging the spacer particle dispersion from a plurality of spacer particle dispersion discharge ports of the inkjet head, and a discharge state of detecting the discharge state of the spacer particle dispersion discharged in the discharge step After performing a calibration step comprising a detection step and an adjustment step of adjusting the discharge conditions of each inkjet head from the discharge state of the spacer particle dispersion detected in the discharge state detection step,
An inkjet coating method, comprising: performing a coating step of coating a spacer particle dispersion in which pacer particles are dispersed on a substrate by an interlace scanning method.
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