JP2010217586A

JP2010217586A - Microscope apparatus

Info

Publication number: JP2010217586A
Application number: JP2009065094A
Authority: JP
Inventors: Yosuke Tamura; 洋介田村
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2009-03-17
Filing date: 2009-03-17
Publication date: 2010-09-30

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microscope apparatus capable of sufficiently cooling a heat generation source without causing vibration, noise, dust and stray light. <P>SOLUTION: A coolant circulation path C is constituted by connecting a heat generation source cooling part 61 configured to supply a liquid coolant to a heat generation source such as a lamp so as to cool the heat generation source, and a circulation device 50 for circulating the liquid coolant by means of a tube 60. By this constitution, the heat generation source can be sufficiently cooled without generating the vibration, the noise, the dust and the stray light, etc., resulting from the drive of a fan that is employed in a conventional cooling device. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、筐体内に収容される発熱源を冷却する機構を備えた顕微鏡装置に関するものである。 The present invention relates to a microscope apparatus provided with a mechanism for cooling a heat generation source housed in a housing.

細胞等の標本を顕微鏡観察する場合に蛍光観察がよく利用されている。通常、標本から発せられる蛍光は微弱であるため、蛍光観察では、標本に対する励起光以外の光（外乱光）を遮光して観察像のコントラストを向上させる必要がある。近年、顕微鏡全体を筐体で覆うことにより、蛍光観察時に外部からの光が検出されないように構成された箱型状の蛍光顕微鏡（以下、これを箱型顕微鏡とよぶ）が開発されている（例えば特許文献１を参照）。 Fluorescence observation is often used when a specimen such as a cell is observed with a microscope. Usually, the fluorescence emitted from the specimen is weak, so in the fluorescence observation, it is necessary to improve the contrast of the observation image by shielding light (disturbance light) other than the excitation light with respect to the specimen. In recent years, a box-type fluorescence microscope (hereinafter referred to as a box microscope) has been developed that is configured so that external light is not detected during fluorescence observation by covering the entire microscope with a casing ( For example, see Patent Document 1).

このような箱型顕微鏡の筐体内には、蛍光観察のための高輝度ハロゲンランプ、ランプ用電源、電動駆動部用モータ、回路基板といった複数の発熱源が収容されるため、筐体内に熱がこもりやすく、発熱源から発せられる熱により標本が死滅するなどの虞がある。また、筐体内部の温度が上昇していくと、熱膨張によって光学系に歪が生じ、焦点が経時的にずれていくという問題がある。そのため、特許文献１の箱型顕微鏡では、筐体の内部にファンを設置し、ファンを駆動させることで筐体内部の熱を外部に放熱している。 In such a box-type microscope housing, a plurality of heat sources such as a high-intensity halogen lamp for fluorescent observation, a lamp power supply, a motor for an electric drive unit, and a circuit board are accommodated. There is a risk that the specimen may die due to heat generated from the heat source. Further, when the temperature inside the casing rises, there is a problem that distortion occurs in the optical system due to thermal expansion, and the focus shifts with time. For this reason, in the box microscope of Patent Document 1, a fan is installed inside the casing, and the fan is driven to radiate heat inside the casing to the outside.

特開２００６−１６２７６５号公報JP 2006-162765 A

しかしながら、特許文献１のようにファンを利用した空冷式の冷却方法を適用した場合、ファンの駆動に伴い振動や騒音が発生する、外部から筐体内部に粉塵を巻き込み光学系に粉塵が付着する、筐体に設けられた通気孔から筐体内部に光が入る（迷光が生じる）、ファンの設置場所など風の流路を考慮した設計が必要である等の多くの問題が生じる。 However, when an air-cooled cooling method using a fan as in Patent Document 1 is applied, vibration and noise are generated as the fan is driven, and dust is trapped inside the housing from the outside and attached to the optical system. Many problems arise, such as light entering inside the housing from the air vents provided in the housing (stray light is generated), a design that takes into consideration the flow path of the wind, such as the location of the fan.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、上述した振動、騒音、粉塵、迷光が発生することなく、発熱源を十分に冷却することのできる顕微鏡装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a microscope apparatus capable of sufficiently cooling a heat generation source without generating the vibration, noise, dust, and stray light described above. .

上記の目的を達成するために、本発明に係る顕微鏡は、発熱源と、光学系を構成する光学部材とが筐体内に収容された顕微鏡装置において、前記発熱源に液冷媒を供給することにより前記発熱源を冷却する発熱源冷却部と、前記液冷媒を循環させる循環装置とを配管で接続することにより、冷媒循環路を構成したことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a microscope according to the present invention is a microscope apparatus in which a heat generation source and an optical member constituting an optical system are housed in a housing, and by supplying liquid refrigerant to the heat generation source. A refrigerant circulation path is formed by connecting a heat generation source cooling section that cools the heat generation source and a circulation device that circulates the liquid refrigerant with a pipe.

また、本発明に係る顕微鏡は、上記の発明において、前記冷媒循環路は、前記光学部材に前記液冷媒を供給することにより前記光学部材の温度調整を行う光学部材温度調整部を備えることを特徴とする。 The microscope according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the refrigerant circulation path includes an optical member temperature adjusting unit that adjusts a temperature of the optical member by supplying the liquid refrigerant to the optical member. And

また、本発明に係る顕微鏡は、上記の発明において、前記冷媒循環路は、前記液冷媒を冷却する冷却装置を備え、前記液冷媒の少なくとも一部が、前記冷却装置、前記発熱源冷却部、前記光学部材温度調整部の順に流れるように構成されることにより、前記発熱源冷却部を通過した液冷媒で前記光学部材の温度調整を行うことを特徴とする。 In the microscope according to the present invention, in the above invention, the refrigerant circulation path includes a cooling device that cools the liquid refrigerant, and at least a part of the liquid refrigerant includes the cooling device, the heat source cooling unit, By being configured to flow in the order of the optical member temperature adjusting unit, the temperature of the optical member is adjusted with the liquid refrigerant that has passed through the heat source cooling unit.

本発明の顕微鏡装置によれば、発熱源に液冷媒を供給することにより発熱源を冷却する発熱源冷却部と、液冷媒を循環させる循環装置とを配管で接続することによって冷媒循環路を構成したことで、従来のファンを使用した空冷式の冷却装置のように、振動、騒音、粉塵、迷光等が発生することなく、発熱源を十分に冷却することが可能となる。また、従来のファンを用いた冷却装置のように風の流路を考慮した設計が不要となるため、構造的な設計の自由度が広がる。 According to the microscope apparatus of the present invention, the refrigerant circulation path is configured by connecting the heat source cooling unit that cools the heat source by supplying the liquid refrigerant to the heat source and the circulation device that circulates the liquid refrigerant with a pipe. As a result, unlike a conventional air-cooled cooling device using a fan, the heat source can be sufficiently cooled without generating vibration, noise, dust, stray light, or the like. In addition, the design in consideration of the air flow path is not required as in a cooling device using a conventional fan, so that the degree of freedom in structural design is expanded.

以下に添付図面を参照しながら、本発明に係る顕微鏡装置の好適な実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of a microscope apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は、以下に説明する実施の形態で適用する顕微鏡装置１０の斜視図、図２は図１の側面図、図３は顕微鏡装置１０の内部構成を模式的に示した図である。この顕微鏡装置１０は、正立型顕微鏡として構成されたものであり、筐体１１と、筐体１１の内部に収容される観察機構１２とから構成されている。 1 is a perspective view of a microscope apparatus 10 applied in the embodiment described below, FIG. 2 is a side view of FIG. 1, and FIG. 3 is a diagram schematically showing an internal configuration of the microscope apparatus 10. The microscope apparatus 10 is configured as an upright microscope, and includes a housing 11 and an observation mechanism 12 accommodated in the housing 11.

筐体１１は、樹脂材料や金属材料を成形することにより箱形状に形成されたものであり、その前面には標本搬入扉１３と開閉操作部１４とが設けられている。標本搬入扉１３は、開閉操作部１４が押圧操作されることにより、図１及び図２に示す閉塞位置から図３に示す開放位置に移動可能に構成されている。図３に示すように、標本搬入扉用モータ１５によって標本搬入扉用ロータ１６を回転させることで、標本搬入扉１３を上下方向に移動させることができるように構成されている。標本Ｓの出し入れを行う際には、図３に示すように標本搬入扉１３を開放し、筐体１１に設けられた開口部１７から、ステージ１８上への標本Ｓの設置やステージ１８上の標本Ｓの取り出しを行う。そして、標本Ｓの蛍光観察を行う際には、図１及び図２に示すように標本搬入扉１３を閉じることで、筐体１１の内部を完全な暗室にする。 The housing 11 is formed in a box shape by molding a resin material or a metal material, and a specimen carry-in door 13 and an opening / closing operation unit 14 are provided on the front surface thereof. The specimen carry-in door 13 is configured to be movable from the closed position shown in FIGS. 1 and 2 to the open position shown in FIG. 3 when the opening / closing operation unit 14 is pressed. As shown in FIG. 3, the specimen carry-in door 13 is configured to be moved in the vertical direction by rotating the specimen carry-in door rotor 16 by the specimen carry-in door motor 15. When the specimen S is taken in and out, the specimen carry-in door 13 is opened as shown in FIG. 3, and the specimen S is placed on the stage 18 from the opening 17 provided in the housing 11 or on the stage 18. The sample S is taken out. When performing fluorescence observation of the specimen S, the inside of the housing 11 is made into a complete dark room by closing the specimen carry-in door 13 as shown in FIGS.

図３に示すように、筐体１１の内部にはステージ１８、レボルバ１９、ランプ２０、ランプボックス２１、ダイクロイックミラー２２、カメラ２３及び制御基板２４が収容されている。ステージ１８は、標本Ｓを載置するものであり、ステージＸ軸用ロータ２５及びステージＹ軸用ロータ２６を介してステージ用支持部２７に支持されている。そして、ステージＸ軸用モータ２８及びステージＹ軸用モータ２９を駆動させ、ステージＸ軸用ロータ２５及びステージＹ軸用ロータ２６をそれぞれ回転させることで、ステージ用支持部２７に対してステージ１８をＸＹ方向に移動させることができる。 As shown in FIG. 3, a stage 18, a revolver 19, a lamp 20, a lamp box 21, a dichroic mirror 22, a camera 23, and a control board 24 are accommodated in the housing 11. The stage 18 is for placing the specimen S, and is supported by the stage support 27 via the stage X-axis rotor 25 and the stage Y-axis rotor 26. Then, by driving the stage X-axis motor 28 and the stage Y-axis motor 29 and rotating the stage X-axis rotor 25 and the stage Y-axis rotor 26, the stage 18 is moved with respect to the stage support 27. It can be moved in the XY direction.

レボルバ１９は、対物レンズ３０を支持するものであり、照準Ｚ軸用ロータ３１を介して照準Ｚ軸用支持部３２に支持されている。そして、照準Ｚ軸用モータ３３によって照準Ｚ軸用ロータ３１を回転させることで、照準Ｚ軸用支持部３２に対してレボルバ１９を上下方向に移動させることができる。 The revolver 19 supports the objective lens 30 and is supported by the aiming Z-axis support part 32 via the aiming Z-axis rotor 31. Then, by rotating the aiming Z-axis rotor 31 by the aiming Z-axis motor 33, the revolver 19 can be moved in the vertical direction with respect to the aiming Z-axis support portion 32.

ランプ２０は、標本Ｓに励起光を出射する光源であり、たとえば高輝度ハロゲンランプが用いられる。ランプボックス２１は、ランプ２０を収容する箱体である。ダイクロイックミラー２２は、ランプ２０から出射される励起光を透過し、標本Ｓから出射される蛍光を反射する特性を有するミラーである。カメラ２３は、ダイクロイックミラー２２で反射した蛍光を取り込んで標本Ｓの観察像を撮像する撮像装置である。 The lamp 20 is a light source that emits excitation light to the specimen S. For example, a high-intensity halogen lamp is used. The lamp box 21 is a box that houses the lamp 20. The dichroic mirror 22 is a mirror that transmits excitation light emitted from the lamp 20 and reflects fluorescence emitted from the specimen S. The camera 23 is an imaging device that captures the fluorescence reflected by the dichroic mirror 22 and captures an observation image of the sample S.

制御基板２４は、標本搬入扉用モータ１５、ステージＸ軸用モータ２８、ステージＹ軸用モータ２９、照準Ｚ軸用モータ３３、ランプ用電源３４及びカメラ２３を制御する回路が設けられた基板である。制御基板２４は、後述するパーソナルコンピュータ３５から送信される制御信号に基づいて照準Ｚ軸用モータ３３を駆動することにより、レボルバ１９の上下方向の位置を照準Ｚ軸用ロータ３１で調整する。また、パーソナルコンピュータ３５から送信される制御信号に基づいてステージＸ軸，Ｙ軸用モータ２８，２９を駆動することにより、標本ＳのＸＹ方向の位置をステージＸ，Ｙ軸ロータ２５，２６で調整する。 The control board 24 is a board on which a circuit for controlling the specimen carry-in door motor 15, the stage X-axis motor 28, the stage Y-axis motor 29, the aiming Z-axis motor 33, the lamp power supply 34, and the camera 23 is provided. is there. The control board 24 adjusts the vertical position of the revolver 19 with the aiming Z-axis rotor 31 by driving the aiming Z-axis motor 33 based on a control signal transmitted from a personal computer 35 described later. The stage X and Y axis rotors 25 and 26 adjust the position of the sample S in the XY direction by driving the stage X axis and Y axis motors 28 and 29 based on the control signal transmitted from the personal computer 35. To do.

筐体１１の外部には、上述した制御基板２４とカメラ２３とが接続されたパーソナルコンピュータ３５が配置されている。パーソナルコンピュータ３５は、観察機構１２の制御及び後述する冷媒循環路の制御を統括的に制御する制御部を備えている。以下では、パーソナルコンピュータ３５を「制御部３５」とよぶことにする。制御部３５は、制御基板２４に対してステージ１８をＸＹ方向に所定距離移動させる、あるいは、レボルバ１９をＺ方向（上下方向）に所定距離移動させる旨の制御信号や、ランプ２０を点灯させる旨の制御信号を制御基板２４に送信する。また、制御部３５は、カメラ２３から画像データを受信し、モニタ３６に表示する。なお、パーソナルコンピュータには、使用者が入力操作するキーボード３７とマウス３８が接続されている。 A personal computer 35 to which the control board 24 and the camera 23 described above are connected is disposed outside the housing 11. The personal computer 35 includes a control unit that comprehensively controls the control of the observation mechanism 12 and the control of the refrigerant circulation path described later. Hereinafter, the personal computer 35 is referred to as a “control unit 35”. The control unit 35 moves the stage 18 with respect to the control substrate 24 in the XY direction by a predetermined distance, or turns on the lamp 20 or a control signal for moving the revolver 19 by a predetermined distance in the Z direction (vertical direction). The control signal is transmitted to the control board 24. The control unit 35 receives image data from the camera 23 and displays the image data on the monitor 36. The personal computer is connected with a keyboard 37 and a mouse 38 that are input by the user.

次に顕微鏡装置１０の観察手順について説明する。まず、ランプ２０を点灯させて励起光を出射する。出射された光は、ダイクロイックミラー２２と、レボルバ１９に支持された対物レンズ３０を通過して、標本Ｓに照射される。標本Ｓに励起光が照射されると、標本Ｓから蛍光が出射され、この出射された蛍光は対物レンズ３０を通過したのち、ダイクロイックミラー２２で反射して、カメラ２３に入射する。このとき、標本Ｓが最適な位置にくるように、制御部３５はステージ１８の位置を自動的に調整する。 Next, the observation procedure of the microscope apparatus 10 will be described. First, the lamp 20 is turned on to emit excitation light. The emitted light passes through the dichroic mirror 22 and the objective lens 30 supported by the revolver 19 and is applied to the sample S. When the sample S is irradiated with excitation light, fluorescence is emitted from the sample S. The emitted fluorescence passes through the objective lens 30, is reflected by the dichroic mirror 22, and enters the camera 23. At this time, the control unit 35 automatically adjusts the position of the stage 18 so that the sample S comes to an optimal position.

上記のように構成した顕微鏡装置１０では、観察に伴い、ランプ２０、ランプ用電源３４、ステージＸ，Ｙ軸用モータ２８，２９、照準Ｚ軸用モータ３３、制御基板２４等から熱が発生する。観察時には筐体１１の内部が完全な暗室となるように扉が閉じられているため、上記の発熱源から発生する熱の逃げ場がない。筐体１１内部の温度が上昇していくと、熱膨張によって光学系に歪が生じ、焦点が経時的にずれていくという問題がある。そこで本発明では、以下に説明するように、これらの発熱源に液冷媒を供給することにより発熱源を冷却する発熱源冷却部と、液冷媒を循環させる循環装置とを配管で接続することにより、冷媒循環路を構成している。なお、配管および発熱源冷却部は、光透過性が低く、また光反射率の低い部材を用いるのが好ましい。本実施の形態では、配管および発熱源冷却部としてアルミや銅等の金属製のものを用いている。 In the microscope apparatus 10 configured as described above, heat is generated from the lamp 20, the lamp power supply 34, the stage X and Y axis motors 28 and 29, the aiming Z axis motor 33, the control board 24, and the like with observation. . Since the door is closed so that the inside of the housing 11 becomes a complete dark room during observation, there is no escape from the heat generated from the heat source. When the temperature inside the housing 11 rises, there is a problem that distortion occurs in the optical system due to thermal expansion, and the focus shifts with time. Therefore, in the present invention, as will be described below, a heat source cooling unit that cools the heat source by supplying liquid refrigerant to these heat sources and a circulation device that circulates the liquid refrigerant are connected by piping. The refrigerant circulation path is configured. In addition, it is preferable to use a member with low light transmittance and low light reflectivity for the piping and the heat source cooling unit. In the present embodiment, the pipe and the heat source cooling section are made of metal such as aluminum or copper.

冷媒循環路を流れる液冷媒としては、水道水、あるいは、液漏れを考慮する場合にはアセトンやエタノールといった揮発性の液体を用いる。後述する複数の発熱源冷却部を接続する配管としては、図４−１に示すような筒型管４０を用いる。筒型管４０は、アルミや銅等の熱伝導性に優れる金属から構成された一般的な線状の配管であり、図４−１に示すように折り曲げ可能に構成されたものである。なお、図４−１で示される矢印は、筒型管４０に液冷媒を流通させた場合の液冷媒の流れを示している。 As the liquid refrigerant flowing in the refrigerant circuit, tap water or a volatile liquid such as acetone or ethanol is used in consideration of liquid leakage. As a pipe for connecting a plurality of heat source cooling sections described later, a cylindrical pipe 40 as shown in FIG. The tubular tube 40 is a general linear pipe made of a metal having excellent thermal conductivity such as aluminum or copper, and is configured to be bendable as shown in FIG. In addition, the arrow shown by FIGS. 4-1 has shown the flow of the liquid refrigerant at the time of distribute | circulating a liquid refrigerant to the cylindrical tube 40. FIG.

発熱源冷却部は、上記の発熱源に液冷媒を供給することにより発熱源を冷却する管であり、発熱源の形状に応じて、図４−１に示した筒型管４０、図５−１に示す平面型管４１、図６−１に示す立体型管４２のうちのいずれかを用いる。たとえば、発熱源が図４−２に示すような凸状部材４３である場合には、凸状部材４３の上面に筒型管４０を接合することにより冷却を行う。また、発熱源が図４−３に示すような棒状部材４４である場合には、筒型管４０を棒状部材４４に巻き付けることにより冷却を行う。 The heat source cooling section is a tube that cools the heat source by supplying liquid refrigerant to the heat source, and according to the shape of the heat source, the tubular tube 40 shown in FIG. 1 is used, and the three-dimensional tube 42 shown in FIG. 6A is used. For example, when the heat source is a convex member 43 as shown in FIG. 4B, cooling is performed by joining the tubular tube 40 to the upper surface of the convex member 43. When the heat source is a rod-shaped member 44 as shown in FIG. 4C, cooling is performed by winding the tubular tube 40 around the rod-shaped member 44.

また、図５−１に例示する平面型管４１は、上述した筒型管４０と同様にアルミや銅等の金属から構成された折り曲げ可能な管であり、２次元方向に広がった袋状構造を有している。図５−１で示される矢印は、平面型管４１に液冷媒を流通させた場合の液冷媒の流れを示している。たとえば、発熱源が図５−２に示すような回路基板等の平板部材４５である場合には、平面型管４１で平板部材４５の表面全体を覆って接触させることにより冷却を行う。また、発熱源が図５−３に示す電源装置のように薄型の箱型部材４６である場合には、平面型管４１を折り曲げて箱型部材４６の表面を覆って接触させることにより冷却を行う。 Further, the flat tube 41 illustrated in FIG. 5A is a foldable tube made of a metal such as aluminum or copper, like the above-described tubular tube 40, and has a bag-like structure spreading in a two-dimensional direction. have. The arrows shown in FIG. 5A indicate the flow of the liquid refrigerant when the liquid refrigerant is circulated through the flat tube 41. For example, when the heat source is a flat plate member 45 such as a circuit board as shown in FIG. 5B, the flat tube 41 covers the entire surface of the flat plate member 45 to perform cooling. Further, when the heat source is a thin box-shaped member 46 as in the power supply device shown in FIG. 5-3, the flat tube 41 is bent to cover the surface of the box-shaped member 46 so as to cool it. Do.

また、図６−１に例示する立体型管４２は、上述した筒型管４０及び平面型管４１と同様にアルミや銅等の金属から構成された折り曲げ可能な管であり、３次元方向に広がった箱状構造を有している。図６−１で示される矢印は、立体型管４２に液冷媒を流通させた場合の液冷媒の流れを示している。この立体型管４２は、形状が複雑な発熱源に使用する。たとえば、図６−２に示すようにランプ４７の周囲を立体型管４２で包むように覆うことで、ランプ４７から発生する熱の発散を防ぐ。なお、ランプ４７の周囲を覆う替りに、ランプ４７を収容するランプボックス（図示せず）を立体型管４２で包み込む構成としてもよい。また、図６−３に示すように、モータ４８等の立体的な部材に対しては、モータ４８の形状に合わせて立体型管４２を変形させ、モータ４８の周囲を包み込んで接触させることにより冷却を行う。 Further, the three-dimensional tube 42 illustrated in FIG. 6A is a bendable tube made of a metal such as aluminum or copper, like the cylindrical tube 40 and the flat tube 41 described above. Has an expanded box-like structure. The arrows shown in FIG. 6A indicate the flow of the liquid refrigerant when the liquid refrigerant is circulated through the three-dimensional tube 42. This three-dimensional tube 42 is used for a heat source having a complicated shape. For example, as shown in FIG. 6B, the heat generated from the lamp 47 is prevented from being radiated by covering the lamp 47 so as to be wrapped with the three-dimensional tube 42. Instead of covering the periphery of the lamp 47, a lamp box (not shown) for housing the lamp 47 may be wrapped with the three-dimensional tube 42. Also, as shown in FIG. 6-3, for a three-dimensional member such as the motor 48, the three-dimensional tube 42 is deformed according to the shape of the motor 48, and the periphery of the motor 48 is wrapped and brought into contact. Cool down.

循環装置５０は、図７−１に示すように、液冷媒を保持する水槽５１内でスクリュー５２を回転させ、水槽５１内の液冷媒に対流を発生させて液冷媒を移動させることにより、冷媒循環路に液冷媒を循環させる装置である。循環装置５０は上述した制御部３５に接続されており、動作のＯＮ／ＯＦＦ及び液冷媒を循環させる循環速度についての制御信号を制御部３５から受信する。この循環装置５０は、スクリュー５２の回転に伴う振動が観察機構１２に伝わることがないように、筐体１１の外部に設置される。なお、冷媒循環路に水道水を直接流す場合には、循環装置５０を設けてなくてもよい。 As shown in FIG. 7A, the circulation device 50 rotates the screw 52 in the water tank 51 that holds the liquid refrigerant, generates convection in the liquid refrigerant in the water tank 51, and moves the liquid refrigerant. It is a device that circulates liquid refrigerant in the circulation path. The circulation device 50 is connected to the control unit 35 described above, and receives a control signal from the control unit 35 regarding ON / OFF of the operation and a circulation speed for circulating the liquid refrigerant. The circulation device 50 is installed outside the housing 11 so that vibration accompanying rotation of the screw 52 is not transmitted to the observation mechanism 12. In addition, when flowing tap water directly into the refrigerant circulation path, the circulation device 50 may not be provided.

さらに、図７−１に示すように、冷媒循環路には配管６０を流れる液冷媒を冷却する冷却装置５３を設けてもよい。図７−１に例示される冷却装置５３は、複数のアルミ製又は銅製の薄板５４を所定の間隔をあけて並設した一対のヒートシンク５５で構成してある。一対のヒートシンク５５は、配管６０の両側を挟む態様で配管６０に接触して配置されることにより、配管６０内の液冷媒の放熱を促進する。 Further, as shown in FIG. 7A, a cooling device 53 for cooling the liquid refrigerant flowing through the pipe 60 may be provided in the refrigerant circulation path. The cooling device 53 illustrated in FIG. 7A includes a pair of heat sinks 55 in which a plurality of aluminum or copper thin plates 54 are arranged in parallel at a predetermined interval. The pair of heat sinks 55 are arranged in contact with the pipe 60 so as to sandwich both sides of the pipe 60, thereby promoting the heat radiation of the liquid refrigerant in the pipe 60.

また、図７−２は、冷却装置５３の他の例を示した図である。図７−２に例示される冷却装置５３は、一対のヒートシンク５５の近傍にファン５６を配置した構成としている。すなわち、ファン５６からの送風でヒートシンク５５を冷却することで、図７−１に示した冷却装置よりもさらに、ヒートシンク５５による液冷媒の放熱が促進され、冷却効率に優れる。図７−２に示される冷却装置５３は、ファン５６の振動が観察機構１２に影響しないように、筐体１１の外部に設置される。冷却装置５３のファン５６は制御部３５に接続されており、動作のＯＮ／ＯＦＦ及び風量についての制御信号を制御部３５から受信する。 FIG. 7B is a diagram illustrating another example of the cooling device 53. The cooling device 53 illustrated in FIG. 7B has a configuration in which a fan 56 is disposed in the vicinity of the pair of heat sinks 55. That is, by cooling the heat sink 55 with the air blown from the fan 56, the heat dissipation of the liquid refrigerant by the heat sink 55 is further promoted, and the cooling efficiency is superior to the cooling device shown in FIG. The cooling device 53 illustrated in FIG. 7B is installed outside the housing 11 so that the vibration of the fan 56 does not affect the observation mechanism 12. The fan 56 of the cooling device 53 is connected to the control unit 35, and receives control signals from the control unit 35 regarding ON / OFF of the operation and the air volume.

なお、冷却装置５３の構成は図示した例に限定されるものではなく、たとえばヒートシンク５５を省略してファン５６のみで構成してもよい。また、発熱源の数が少ない場合や発熱源の温度が比較的低い場合、あるいは、配管６０の長さを比較的長く構成した場合など、液冷媒が配管６０を流れる間に液冷媒の放熱が十分になされる場合には、冷却装置５３を省略してもよい。 The configuration of the cooling device 53 is not limited to the illustrated example. For example, the cooling device 53 may be configured by only the fan 56 without the heat sink 55. Further, when the number of heat generation sources is small, when the temperature of the heat generation sources is relatively low, or when the length of the pipe 60 is relatively long, the liquid refrigerant radiates heat while the liquid refrigerant flows through the pipe 60. If sufficient, the cooling device 53 may be omitted.

（実施の形態１）
以下、実施の形態１の顕微鏡装置１０について説明する。図８は、実施の形態１における冷媒循環路Ｃ（太線）を模式的に示した図である。図８において、発熱源とは、制御基板２４、標本搬入扉用モータ１５、ステージＸ軸用モータ２８、ステージＹ軸用モータ２９、照準Ｚ軸用モータ３３、ランプ用電源３４、制御基板用電源３９、及び、ランプ２０（ランプボックス２１）である。これらの各発熱源は、上述した発熱源冷却部６１によって覆われている。発熱源冷却部６１の具体的な態様として、標本搬入扉用モータ１５、ステージＸ軸用モータ２８、ステージＹ軸用モータ２９、照準Ｚ軸用モータ３３及びランプボックス２１には、図５−１に示した立体型管４２を用いる。また、制御基板２４、ランプ用電源３４、制御基板用電源３９には、図５−１に示した平面型管５１を用いる。 (Embodiment 1)
Hereinafter, the microscope apparatus 10 according to the first embodiment will be described. FIG. 8 is a diagram schematically showing the refrigerant circuit C (thick line) in the first embodiment. In FIG. 8, the heat generation sources are the control board 24, the specimen carry-in door motor 15, the stage X-axis motor 28, the stage Y-axis motor 29, the aiming Z-axis motor 33, the lamp power supply 34, and the control board power supply. 39 and the lamp 20 (lamp box 21). Each of these heat sources is covered with the heat source cooling unit 61 described above. As a specific mode of the heat source cooling unit 61, the specimen carry-in door motor 15, the stage X-axis motor 28, the stage Y-axis motor 29, the aiming Z-axis motor 33, and the lamp box 21 are shown in FIG. The three-dimensional tube 42 shown in FIG. Further, the planar tube 51 shown in FIG. 5A is used for the control board 24, the lamp power supply 34, and the control board power supply 39.

筐体１１の外部には、上述した循環装置５０及び冷却装置５３が配置されている。そして、筐体１１の内部における複数の発熱源冷却部６１と、筐体１１の外部に設置された循環装置５０とが配管６０で順次接続されることにより、冷媒循環路Ｃが構成されている。なお、図８中の矢印は、冷媒循環路Ｃの液冷媒の流れる方向を示している。冷却装置５３は、冷媒循環路Ｃにおいて筐体１１の外部かつ循環装置５０の出口側の配管途中に設けられている。冷却装置５３は、冷却条件等に応じて図７−１と図７−２に示すいずれかの装置を選択して用いる。 The circulation device 50 and the cooling device 53 described above are arranged outside the housing 11. Then, the refrigerant circulation path C is configured by sequentially connecting the plurality of heat source cooling units 61 inside the casing 11 and the circulation device 50 installed outside the casing 11 through the pipe 60. . In addition, the arrow in FIG. 8 has shown the direction through which the liquid refrigerant of the refrigerant circuit C flows. The cooling device 53 is provided in the refrigerant circulation path C in the middle of the piping outside the housing 11 and on the outlet side of the circulation device 50. As the cooling device 53, any one of the devices shown in FIGS. 7-1 and 7-2 is selected and used depending on the cooling conditions and the like.

発熱源を冷却する順番は、発熱源の温度が低いものから順に行う。すなわち、本実施の形態では、冷却装置５３を始点として、制御基板２４、ステージＹ軸用モータ２９、ステージＸ軸用モータ２８、照準Ｚ軸用モータ３３、標本搬入扉用モータ１５、制御基板用電源３９、ランプ用電源３４、ランプボックス２１の順に液冷媒を流す。 The heat source is cooled in order from the lowest heat source temperature. That is, in the present embodiment, starting from the cooling device 53, the control board 24, the stage Y-axis motor 29, the stage X-axis motor 28, the aiming Z-axis motor 33, the specimen carry-in door motor 15, and the control board use Liquid refrigerant is passed in the order of the power source 39, the lamp power source 34, and the lamp box 21.

図９は、制御部３５が実行する発熱源の冷却手順を示すフローチャートであり、図１０は、実施の形態１における冷媒循環路Ｃの液冷媒の流れを示す図である。図１０中の矢印は液冷媒の流れる方向を示している。以下、図９及び図１０を用いて発熱源の冷却方法について説明する。 FIG. 9 is a flowchart showing a heat source cooling procedure executed by the control unit 35, and FIG. 10 is a diagram showing the flow of the liquid refrigerant in the refrigerant circuit C in the first embodiment. The arrows in FIG. 10 indicate the direction in which the liquid refrigerant flows. Hereinafter, a method for cooling the heat source will be described with reference to FIGS. 9 and 10.

使用者によって顕微鏡装置１０の電源が入力されると、制御部３５は、循環装置５０を駆動させ、冷媒循環路Ｃの液冷媒を所定の速度で循環させる（ステップＳ０１）。ここで、操作開始状態における液冷媒の温度は、発熱部を冷却するのに十分低い温度とする。また、循環装置５０の液冷媒を循環させる速度は、顕微鏡装置１０を動作させるのに最適な平衡温度に収束するような速度である。このときの液冷媒の速度をｖ_０とする。 When the power of the microscope apparatus 10 is input by the user, the control unit 35 drives the circulation device 50 to circulate the liquid refrigerant in the refrigerant circulation path C at a predetermined speed (step S01). Here, the temperature of the liquid refrigerant in the operation start state is set to a sufficiently low temperature to cool the heat generating portion. Moreover, the speed at which the liquid refrigerant in the circulation device 50 is circulated is a speed that converges to an optimal equilibrium temperature for operating the microscope apparatus 10. The velocity of the liquid refrigerant at this time is v _0.

冷却装置５３によって冷却された液冷媒は、筐体１１内の発熱源冷却部６１を通過する際に、発熱源と熱交換を行うことで発熱部を冷却する。図８に示すように、最も発熱温度の高いランプボックス２１を冷却することで高温となった液冷媒は、配管６０及び循環装置５０を経て冷却装置５３に戻り、放熱が促進されることで冷却される。冷却装置５３によって十分に冷却された液冷媒は、再び各発熱源冷却部６１に供給され、各発熱源を冷却する。なお、配管６０は、発熱量の異なる箇所に分岐させて配管したり、発熱量の多い箇所への流量を増加させる等の変形も可能である。 The liquid refrigerant cooled by the cooling device 53 cools the heat generating part by exchanging heat with the heat generating source when passing through the heat generating source cooling part 61 in the housing 11. As shown in FIG. 8, the liquid refrigerant that has become high temperature by cooling the lamp box 21 having the highest heat generation temperature returns to the cooling device 53 through the pipe 60 and the circulation device 50, and is cooled by promoting heat dissipation. Is done. The liquid refrigerant sufficiently cooled by the cooling device 53 is supplied again to each heat source cooling unit 61 to cool each heat source. Note that the piping 60 can be modified by branching to a location where the heat generation amount is different or by increasing the flow rate to a location where the heat generation amount is large.

冷媒循環路Ｃに液冷媒を循環させている途中において、使用者によって顕微鏡観察を終了する旨の入力が行われると（ステップＳ０２：Ｙｅｓ）、制御部３５は循環装置５０を停止させて液冷媒の循環を止める。 In the middle of circulating the liquid refrigerant in the refrigerant circulation path C, when the user inputs that the microscopic observation is to be terminated (step S02: Yes), the control unit 35 stops the circulation device 50 and stops the liquid refrigerant. Stop circulation.

（実施の形態２）
次に実施の形態２の顕微鏡装置について説明する。なお、実施の形態１と同一の構成については同一の符号を使用し、その説明を省略する。 (Embodiment 2)
Next, the microscope apparatus according to the second embodiment will be described. In addition, the same code | symbol is used about the structure same as Embodiment 1, and the description is abbreviate | omitted.

図１１は、実施の形態２における冷媒循環路Ｃ（太線）を模式的に示した図である。実施の形態２における冷媒循環路Ｃは、実施の形態１の構成に加えて、熱的に形状変化することで像のゆがみやぼけを生じさせる光学部材に液冷媒を供給することにより、上記光学部材の温度調整を行う光学部材温度調整部６２を備えた構成としている。それ以外の構成は実施の形態１と同じである。 FIG. 11 is a diagram schematically showing the refrigerant circuit C (thick line) in the second embodiment. In addition to the configuration of the first embodiment, the refrigerant circuit C in the second embodiment supplies the liquid refrigerant to an optical member that causes distortion and blurring of an image by thermally changing its shape, thereby allowing the optical circuit described above. An optical member temperature adjusting unit 62 that adjusts the temperature of the member is provided. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

顕微鏡装置１０を動作させると、長い時間が経過したのちに、ステージ用支持部２７、照準Ｚ軸用支持部３２、ダイクロイックミラー２２やカメラ２３の支持部（図示せず）等の光学部材がある平衡温度に達する。このような温度変化が観察中に起こるのに伴い、熱膨張によって上記の光学部材に歪が生じ、焦点が経時的にずれてしまうという問題がある。本実施の形態では、長時間にわたって温度変化させて上記光学部材を平衡温度に収束させるのではなく、以下に説明するように、冷媒循環路Ｃを循環する液冷媒を用いて上記光学部材の温度制御を行うことにより、発熱源の冷却を行うと同時に上記光学部材を平衡温度に速やかに収束させる。 When the microscope apparatus 10 is operated, after a long time has passed, there are optical members such as the stage support 27, the aiming Z-axis support 32, the dichroic mirror 22 and the camera 23 support (not shown). Equilibrium temperature is reached. As such a temperature change occurs during observation, there is a problem in that the optical member is distorted due to thermal expansion, and the focal point shifts with time. In the present embodiment, the temperature of the optical member is not changed by allowing the optical member to converge to the equilibrium temperature by changing the temperature over a long period of time, but using the liquid refrigerant circulating in the refrigerant circulation path C as described below. By performing the control, the heat source is cooled, and at the same time, the optical member is quickly converged to the equilibrium temperature.

ここで、平衡温度に速やかに収束させるべき光学部材とは、レンズ等の光学系及びこれらを保持する部材等の、熱的に形状変化することにより像のゆがみやぼけを生じさせる部材であり、具体的には、対物レンズ３０、ダイクロイックミラー２２、蛍光キューブ（図示せず）等の光軸が通る部分を支える部分と、顕微鏡本体を支える支柱、光学系を包含する投光管等の顕微鏡装置１０自体の形状に変化を与え得る部分を指す。以下では、これらを単に「光学部材」とよぶことにする。図１１に示した観察機構１２では、ステージ用支持部２７、照準Ｚ軸用支持部３２、ダイクロイックミラー２２及びカメラ２３の支持部（図示せず）が上記の光学部材に相当する。また、ランプ２０及びランプボックス２１は上記の光学部材に含まれない。 Here, the optical member that should be quickly converged to the equilibrium temperature is a member that causes distortion or blurring of the image due to thermal shape change, such as an optical system such as a lens and a member that holds these. Specifically, a microscope device such as a projection tube including a portion that supports a portion through which an optical axis passes, such as an objective lens 30, a dichroic mirror 22, and a fluorescent cube (not shown), a column that supports a microscope body, and an optical system. The part which can give change to the shape of 10 itself is pointed out. Hereinafter, these are simply referred to as “optical members”. In the observation mechanism 12 shown in FIG. 11, the stage support 27, the aiming Z-axis support 32, the dichroic mirror 22, and the camera 23 support (not shown) correspond to the optical member. Further, the lamp 20 and the lamp box 21 are not included in the optical member.

上記の光学部材は、それぞれ光学部材温度調整部６２で覆われることにより温度調整がなされる。この光学部材温度調整部６２は、上記光学部材に液冷媒を供給することにより上記光学部材の温度調整を行う管であり、上述した発熱源冷却部６１と同様に、光学部材の形状に応じて、図４−１に示した筒型管４０、図５−１に示す平面型管４１、図６−１に示す立体型管４２のうちのいずれかを用いる。光学部材温度調整部６２で光学部材を覆う方法は、図４−２〜図６−３で例示する方法と同様である。図１１では、ステージ用支持部２７及び照準Ｚ軸用支持部３２のみが光学部材温度調整部６２で覆われている。 The temperature of each of the optical members is adjusted by being covered with the optical member temperature adjusting unit 62. The optical member temperature adjusting unit 62 is a tube that adjusts the temperature of the optical member by supplying a liquid refrigerant to the optical member, and, similar to the heat source cooling unit 61 described above, according to the shape of the optical member. Any one of the cylindrical tube 40 shown in FIG. 4-1, the flat tube 41 shown in FIG. 5-1, and the three-dimensional tube 42 shown in FIG. 6-1 is used. The method of covering the optical member with the optical member temperature adjusting unit 62 is the same as the method exemplified in FIGS. In FIG. 11, only the stage support 27 and the aiming Z-axis support 32 are covered with the optical member temperature adjustment unit 62.

図１１に示すように、筐体１１の外部に設置された循環装置１１と、筐体１１内部の各発熱源冷却部６１及び光学部材温度調整部６２とが配管６０で順次接続されることにより、冷媒循環路Ｃが構成されている。また、冷媒循環路Ｃにおいて、筐体１１の外部かつ循環装置５０の出口側の配管６０には、冷却装置５３が設けられている。 As shown in FIG. 11, the circulation device 11 installed outside the housing 11, each heat source cooling unit 61 and the optical member temperature adjusting unit 62 inside the housing 11 are sequentially connected by a pipe 60. A refrigerant circulation path C is configured. In the refrigerant circulation path C, a cooling device 53 is provided in the pipe 60 outside the housing 11 and on the outlet side of the circulation device 50.

図１１に示すように、冷媒循環路Ｃは、発熱源冷却部６１を通過したのちに光学部材温度調整部６２を通過するように構成されている。具体的に説明すると、冷媒循環路Ｃは、最も発熱温度の高いランプボックス２１を通過したのちに２方向に分岐し、一方の経路が実施の形態１と同様に冷却装置５３にそのまま送られるのに対し、他方の経路は光学部材温度調整部６２を経由して冷却装置５３に送られるように構成されている。このように、発熱源から得られた廃熱を積極的に光学部材に与えることで、これらの変形速度を速める。その結果、上記光学部材の熱的変形が早期に飽和し、これらが経時的に撓んでいくのを防ぐことができる。 As shown in FIG. 11, the refrigerant circulation path C is configured to pass through the optical member temperature adjusting unit 62 after passing through the heat source cooling unit 61. More specifically, the refrigerant circulation path C branches in two directions after passing through the lamp box 21 having the highest heat generation temperature, and one path is sent as it is to the cooling device 53 as in the first embodiment. On the other hand, the other path is configured to be sent to the cooling device 53 via the optical member temperature adjustment unit 62. As described above, the waste heat obtained from the heat generation source is positively applied to the optical member, thereby speeding up the deformation. As a result, the thermal deformation of the optical member can be saturated at an early stage, and these can be prevented from being bent over time.

実施例２における制御部３５が実行するフローチャートは、実施例１と同じであり、図９で表わされる。また、図１２は、実施の形態２における冷媒循環路Ｃの液冷媒の流れを示す図である。図１２中の矢印は液冷媒の流れる方向を示している。以下、図９及び図１２を用いて発熱源の冷却方法および光学部材の温度調整方法を説明する。 The flowchart executed by the control unit 35 in the second embodiment is the same as that in the first embodiment and is shown in FIG. FIG. 12 is a diagram showing the flow of the liquid refrigerant in the refrigerant circuit C according to the second embodiment. The arrows in FIG. 12 indicate the direction in which the liquid refrigerant flows. Hereinafter, the cooling method of the heat source and the temperature adjustment method of the optical member will be described with reference to FIGS.

使用者によって顕微鏡装置１０の電源が入力されると、制御部３５は、循環装置５０を駆動させ、冷媒循環路Ｃの液冷媒を所定の速度で循環させる（ステップＳ０１）。操作開始状態における液冷媒の温度は、発熱部を冷却するのに十分低い温度とする。また、循環装置５０の液冷媒を循環させる速度は、顕微鏡を動作させるのに最適な平衡温度に収束するような速度ｖ_０とする。 When the power of the microscope apparatus 10 is input by the user, the control unit 35 drives the circulation device 50 to circulate the liquid refrigerant in the refrigerant circulation path C at a predetermined speed (step S01). The temperature of the liquid refrigerant in the operation start state is set to a sufficiently low temperature to cool the heat generating portion. The speed at which the liquid refrigerant in the circulation device 50 is circulated is a speed v ₀ that converges to an equilibrium temperature that is optimal for operating the microscope.

冷却装置５３によって冷却された液冷媒は、筐体１１内の各発熱源を覆う発熱源冷却部６１を通過する際に、発熱源と熱交換を行うことで発熱部を冷却する。図１１に示すように、最も発熱温度の高いランプボックス２１を冷却することで高温となった液冷媒は、２方向に分岐し、一方の経路を流れる液冷媒はそのまま冷却装置５３に送られる一方、他方の経路を流れる液冷媒は光学部材温度調整部６２へ供給されることにより、照準Ｚ軸用支持部３２及びステージ用支持部２７を加熱する。光学部材温度調整部６２を通過した液冷媒は、冷却装置５３へ送られて冷却される。冷却装置５３によって十分に冷却された液冷媒は、再び各発熱源冷却部６１に供給される。 The liquid refrigerant cooled by the cooling device 53 cools the heat generating part by exchanging heat with the heat generating source when passing through the heat generating source cooling part 61 covering each heat generating source in the housing 11. As shown in FIG. 11, the liquid refrigerant that has become hot by cooling the lamp box 21 having the highest heat generation temperature branches in two directions, and the liquid refrigerant that flows through one path is sent to the cooling device 53 as it is. The liquid refrigerant flowing through the other path is supplied to the optical member temperature adjustment unit 62 to heat the aiming Z-axis support unit 32 and the stage support unit 27. The liquid refrigerant that has passed through the optical member temperature adjusting unit 62 is sent to the cooling device 53 to be cooled. The liquid refrigerant sufficiently cooled by the cooling device 53 is supplied again to each heat source cooling unit 61.

なお、上記の例では、最後の発熱源冷却部６１（ランプボックス２１）を通過した後に２方向に分岐させ、一部の液冷媒を光学部材温度調整部６２に供給する構成としたが、経路を２方向に分岐させずに、最後の発熱源冷却部６１を通過した液冷媒すべてを光学部材温度調整部６２に供給する構成としてもよい。 In the above example, after passing through the last heat source cooling unit 61 (lamp box 21), it is branched in two directions and a part of the liquid refrigerant is supplied to the optical member temperature adjusting unit 62. It is good also as a structure which supplies all the liquid refrigerant | coolants which passed the last heat-generation source cooling part 61 to the optical member temperature adjustment part 62, without branching in 2 directions.

（実施の形態３）
次に実施の形態３の顕微鏡装置について説明する。なお、実施の形態２と同一の構成については同一の符号を使用し、その説明を省略する。 (Embodiment 3)
Next, a microscope apparatus according to the third embodiment will be described. In addition, the same code | symbol is used about the structure same as Embodiment 2, and the description is abbreviate | omitted.

図１３は、実施の形態３における冷媒循環路Ｃ（太線）を模式的に示した図である。実施の形態３における冷媒循環路Ｃは、実施の形態２の構成に加えて、液冷媒の温度を測定するための温度測定部７０と、循環装置５０の循環速度を制御するための循環装置制御部７１を備えた構成としている。それ以外の構成は実施の形態２と同じである。 FIG. 13 is a diagram schematically showing the refrigerant circuit C (thick line) in the third embodiment. In addition to the configuration of the second embodiment, the refrigerant circulation path C in the third embodiment includes a temperature measuring unit 70 for measuring the temperature of the liquid refrigerant, and a circulation device control for controlling the circulation speed of the circulation device 50. The unit 71 is provided. The other configuration is the same as that of the second embodiment.

本実施の形態では、最適な熱平衡温度に光学部材を速やかに収束させるために、循環装置５０の入口付近での液冷媒の温度を測定し、液冷媒の循環速度にフィードバックを掛けている。フィードバックの一例として、温度測定部７０で測定された液冷媒の温度が設定値よりも高い場合には液冷媒の循環速度を上げ、液冷媒の温度が設定値よりも低い場合には液冷媒の循環速度を下げるように、循環装置５０を制御する。温度測定部７０及び循環装置制御部７１は、制御部３５からの制御信号に基づき動作する。 In the present embodiment, in order to quickly converge the optical member to the optimum thermal equilibrium temperature, the temperature of the liquid refrigerant in the vicinity of the inlet of the circulation device 50 is measured, and feedback is applied to the circulation speed of the liquid refrigerant. As an example of feedback, when the temperature of the liquid refrigerant measured by the temperature measuring unit 70 is higher than the set value, the circulation speed of the liquid refrigerant is increased, and when the temperature of the liquid refrigerant is lower than the set value, The circulation device 50 is controlled so as to reduce the circulation speed. The temperature measurement unit 70 and the circulation device control unit 71 operate based on a control signal from the control unit 35.

図１４は、実施例３における制御部３５が実行するフローチャートであり、図１５は、実施の形態３における冷媒循環路Ｃの液冷媒の流れを示す図である。図１５において、実線の矢印は液冷媒の流れる方向を示し、破線の矢印は制御信号を示している。以下、図１４及び図１５を用いて発熱源の冷却方法及び光学部材の温度調整方法を説明する。 FIG. 14 is a flowchart executed by the control unit 35 in the third embodiment, and FIG. 15 is a diagram showing the flow of the liquid refrigerant in the refrigerant circuit C in the third embodiment. In FIG. 15, a solid line arrow indicates the direction in which the liquid refrigerant flows, and a broken line arrow indicates a control signal. Hereinafter, the cooling method of the heat generation source and the temperature adjustment method of the optical member will be described with reference to FIGS. 14 and 15.

使用者によって顕微鏡装置１０の電源が入力されると、制御部３５は循環装置５０を駆動させ、温度測定部７０で液冷媒の温度Ｔを測定する（ステップＳ１１）。測定温度Ｔは循環装置制御部７１に送信される。循環装置制御部７１は、測定温度Ｔと予め設定された温度Ｔ_０を比較し、測定温度Ｔが予め設定された温度Ｔ_０と一致した場合には（ステップＳ１２：Ｙｅｓ）、循環速度ｖをｖ_０とする（ステップＳ１６）。一方、Ｔ＞Ｔ_０の場合には（ステップＳ１３：Ｙｅｓ）、循環速度ｖをｖ_１（＞ｖ_０）とし（ステップＳ１４）、Ｔ＜Ｔ_０の場合には（ステップＳ１３：Ｎｏ）、循環速度ｖをｖ_２（＜ｖ_０）とする（ステップＳ１５）。循環速度ｖを設定した後、循環装置５０によって冷媒循環経路Ｃに液冷媒を循環させる（ステップＳ１７）。 When the power source of the microscope apparatus 10 is input by the user, the control unit 35 drives the circulation device 50, and the temperature measuring unit 70 measures the temperature T of the liquid refrigerant (step S11). The measured temperature T is transmitted to the circulation device controller 71. Circulation device control unit 71 compares the temperature T ₀ set in advance and the measured temperature T, if the measured temperature T is matched to the temperature T ₀ that has been set in advance (step S12: Yes), the circulation rate v v ₀ to (step S16). On the other hand, when T> T ₀ (step S13: Yes), the circulation speed v is set to v ₁ (> v ₀ ) (step S14), and when T <T ₀ (step S13: No), circulation is performed. The speed v is set to v ₂ (<v ₀ ) (step S15). After the circulation speed v is set, the liquid refrigerant is circulated through the refrigerant circulation path C by the circulation device 50 (step S17).

冷媒循環路Ｃに液冷媒を循環させている途中において、使用者によって顕微鏡観察を終了する旨の入力が行われると（ステップＳ１８：Ｙｅｓ）、制御部３５は循環装置５０を停止させて液冷媒の循環を止める。 In the middle of circulating the liquid refrigerant in the refrigerant circulation path C, when the user inputs to end the microscopic observation (step S18: Yes), the control unit 35 stops the circulation device 50 and stops the liquid refrigerant. Stop circulation.

（実施の形態４）
次に実施の形態４の顕微鏡装置について説明する。なお、実施の形態３と同一の構成については同一の符号を使用し、その説明を省略する。 (Embodiment 4)
Next, a microscope apparatus according to the fourth embodiment will be described. In addition, the same code | symbol is used about the same structure as Embodiment 3, and the description is abbreviate | omitted.

図１６は、実施の形態４における冷媒循環路Ｃ（太線）を模式的に示した図である。実施の形態４における冷媒循環路Ｃは、実施の形態２の構成に加えて、液冷媒の温度を測定するための温度測定部７０と、冷却装置５３の冷却温度を制御するための冷却装置制御部７２を備えた構成としている。ここで、冷却装置５３の冷却温度とは、冷却装置５３で冷却される液冷媒の温度である。上記以外の構成は実施の形態２と同じである。 FIG. 16 is a diagram schematically showing the refrigerant circuit C (thick line) in the fourth embodiment. In addition to the configuration of the second embodiment, the refrigerant circuit C in the fourth embodiment includes a temperature measuring unit 70 for measuring the temperature of the liquid refrigerant and a cooling device control for controlling the cooling temperature of the cooling device 53. The unit 72 is provided. Here, the cooling temperature of the cooling device 53 is the temperature of the liquid refrigerant cooled by the cooling device 53. The configuration other than the above is the same as that of the second embodiment.

本実施の形態では、最適な熱平衡温度に光学部材を速やかに収束させるために、循環装置５０の入口付近での液冷媒の温度を測定し、冷却装置５３での液冷媒の冷却温度にフィードバックを掛けている。フィードバックの一例として、温度測定部７０で測定された液冷媒の温度が設定値よりも高い場合には冷却温度を下げ、液冷媒の温度が設定値よりも低い場合には冷却温度を上げるように、循環装置５０を制御する。温度測定部７０及び冷却装置制御部７２は、制御部３５からの制御信号に基づき動作する。 In the present embodiment, in order to quickly converge the optical member to the optimum thermal equilibrium temperature, the temperature of the liquid refrigerant near the inlet of the circulation device 50 is measured, and feedback is given to the cooling temperature of the liquid refrigerant in the cooling device 53. It is hanging. As an example of feedback, the cooling temperature is lowered when the temperature of the liquid refrigerant measured by the temperature measuring unit 70 is higher than a set value, and the cooling temperature is raised when the temperature of the liquid refrigerant is lower than the set value. , The circulation device 50 is controlled. The temperature measurement unit 70 and the cooling device control unit 72 operate based on a control signal from the control unit 35.

図１７は、実施例４における制御部３５が実行するフローチャートであり、図１８は、実施の形態４における冷媒循環路Ｃの液冷媒の流れを示す図である。図１８において、実線の矢印は液冷媒の流れる方向を示し、破線の矢印は制御信号を示している。以下、図１７及び図１８を用いて発熱源の冷却方法及び光学部材の温度調整方法を説明する。 FIG. 17 is a flowchart executed by the control unit 35 in the fourth embodiment, and FIG. 18 is a diagram showing the flow of the liquid refrigerant in the refrigerant circuit C in the fourth embodiment. In FIG. 18, the solid line arrow indicates the flow direction of the liquid refrigerant, and the broken line arrow indicates a control signal. Hereinafter, a method for cooling the heat source and a method for adjusting the temperature of the optical member will be described with reference to FIGS. 17 and 18.

使用者によって顕微鏡装置１０の電源が入力されると、制御部３５は循環装置５０を駆動させ、温度測定部７０で液冷媒の温度Ｔを測定する（ステップＳ２１）。測定温度Ｔは冷却装置制御部７２に送信される。冷却装置制御部７２は、測定温度Ｔと予め設定された温度Ｔ_０を比較し、測定温度Ｔが設定温度Ｔ_０と一致した場合には（ステップＳ２２：Ｙｅｓ）、冷却温度ｔをｔ_０とする（ステップＳ２６）。ここで、ｔ_０とは、顕微鏡装置１０を動作させるのに最適な平衡温度に収束するような冷却温度を意味する。一方、Ｔ＞Ｔ_０の場合には（ステップＳ２３：Ｙｅｓ）、冷却温度ｔをｔ_ｌ（＜ｔ_０）とし（ステップＳ２４）、Ｔ＜Ｔ_０の場合には（ステップＳ２３：Ｎｏ）、冷却温度ｔをｔ_ｈ（＞ｔ_０）とする（ステップＳ２５）。冷却温度ｔを設定した後、循環装置５０によって冷媒循環経路Ｃに液冷媒を循環させる（ステップＳ２７）。 When the power of the microscope apparatus 10 is input by the user, the control unit 35 drives the circulation device 50, and the temperature measuring unit 70 measures the temperature T of the liquid refrigerant (step S21). The measured temperature T is transmitted to the cooling device controller 72. Cooling device control unit 72, the measured temperature T is compared with the temperature _{T 0} which is set in advance, measured when the temperature T matches the set temperature _{T 0} (step S22: Yes), and the cooling temperature t _{t 0} (Step S26). Here, t ₀ means a cooling temperature that converges to an optimal equilibrium temperature for operating the microscope apparatus 10. On the other hand, when T> T ₀ (step S23: Yes), the cooling temperature t is set to t ₁ (<t ₀ ) (step S24), and when T <T ₀ (step S23: No), cooling is performed. The temperature t is set to t _h (> t ₀ ) (step S25). After the cooling temperature t is set, the liquid refrigerant is circulated through the refrigerant circulation path C by the circulation device 50 (step S27).

冷却装置５３によって冷却された液冷媒は、筐体１１内の各発熱源を覆う発熱源冷却部６１を通過する際に、発熱源と熱交換を行うことで発熱部を冷却する。図１６に示すように、最も発熱温度の高いランプボックス２１を冷却することで高温となった液冷媒は、２方向に分岐し、一方の経路を流れる液冷媒はそのまま冷却装置５３に送られる一方、他方の経路を流れる液冷媒は光学部材温度調整部６２へ供給されることにより、照準Ｚ軸用支持部３２及びステージ用支持部２７を加熱する。光学部材温度調整部６２を通過した液冷媒は、冷却装置５３へ送られて冷却される。冷却装置５３によって十分に冷却された液冷媒は、再び各発熱源冷却部６１に供給される。 The liquid refrigerant cooled by the cooling device 53 cools the heat generating part by exchanging heat with the heat generating source when passing through the heat generating source cooling part 61 covering each heat generating source in the housing 11. As shown in FIG. 16, the liquid refrigerant that has become high temperature by cooling the lamp box 21 having the highest heat generation temperature branches in two directions, and the liquid refrigerant that flows through one path is sent to the cooling device 53 as it is. The liquid refrigerant flowing through the other path is supplied to the optical member temperature adjustment unit 62 to heat the aiming Z-axis support unit 32 and the stage support unit 27. The liquid refrigerant that has passed through the optical member temperature adjusting unit 62 is sent to the cooling device 53 to be cooled. The liquid refrigerant sufficiently cooled by the cooling device 53 is supplied again to each heat source cooling unit 61.

冷媒循環路Ｃに液冷媒を循環させている途中において、使用者によって顕微鏡観察を終了する旨の入力が行われると（ステップＳ２８：Ｙｅｓ）、制御部３５は循環装置５０を停止させて液冷媒の循環を止める。 In the middle of circulating the liquid refrigerant in the refrigerant circulation path C, when the user inputs to end the microscopic observation (step S28: Yes), the control unit 35 stops the circulation device 50 and stops the liquid refrigerant. Stop circulation.

（実施の形態５）
次に実施の形態５の顕微鏡装置について説明する。なお、実施の形態３、４と同一の構成については同一の符号を使用し、その説明を省略する。 (Embodiment 5)
Next, a microscope apparatus according to the fifth embodiment will be described. In addition, about the structure same as Embodiment 3, 4, the same code | symbol is used and the description is abbreviate | omitted.

図１９は、実施の形態５における冷媒循環路Ｃ（太線）を模式的に示した図である。実施の形態５における冷媒循環路Ｃは、実施の形態３と実施の形態４を組み合わせた構成としている。上記以外の構成は実施の形態と同じである。 FIG. 19 is a diagram schematically showing the refrigerant circuit C (thick line) in the fifth embodiment. The refrigerant circuit C in the fifth embodiment is configured by combining the third and fourth embodiments. Other configurations are the same as those in the embodiment.

図２０は、実施例５における制御部３５が実行するフローチャートであり、図２１は、実施の形態５における冷媒循環路Ｃの液冷媒の流れを示す図である。図２１において、実線の矢印は液冷媒の流れる方向を示し、破線の矢印は制御信号を示している。以下、図２０及び図２１を用いて発熱源の冷却方法及び光学部材の温度調整方法を説明する。 FIG. 20 is a flowchart executed by the control unit 35 in the fifth embodiment, and FIG. 21 is a diagram showing the flow of the liquid refrigerant in the refrigerant circuit C in the fifth embodiment. In FIG. 21, the solid line arrow indicates the flow direction of the liquid refrigerant, and the broken line arrow indicates a control signal. Hereinafter, a method for cooling the heat source and a method for adjusting the temperature of the optical member will be described with reference to FIGS.

使用者によって顕微鏡装置１０の電源が入力されると、制御部３５は循環装置５０を駆動させ、温度測定部７０で液冷媒の温度Ｔを測定する（ステップＳ３１）。測定温度Ｔは循環装置制御部７１及び冷却装置制御部７２に送信される。測定温度Ｔが予め設定された温度Ｔ_０と一致した場合には（ステップＳ３２：Ｙｅｓ）、循環装置制御部７１は、循環速度ｖをｖ_０とし（ステップＳ３８）、冷却装置制御部７２は、冷却温度ｔをｔ_０とする（ステップＳ３９）。一方、Ｔ＞Ｔ_０の場合には（ステップＳ３３：Ｙｅｓ）、循環速度ｖをｖ_１（＞ｖ_０）とし（ステップＳ３４）、冷却温度ｔをｔ_ｌ（＜ｔ_０）とする（ステップＳ３５）。Ｔ＜Ｔ_０の場合には（ステップＳ３３：Ｎｏ）、循環速度ｖをｖ_ｈ（＜ｖ_０）とし（ステップＳ３６）、冷却温度ｔをｔ_ｈ（＞ｔ_０）とする（ステップＳ３７）。循環速度ｖ及び冷却温度ｔを設定した後、循環装置５０によって冷媒循環経路Ｃに液冷媒を循環させる（ステップＳ４０）。 When the power of the microscope apparatus 10 is input by the user, the control unit 35 drives the circulation device 50, and the temperature measurement unit 70 measures the temperature T of the liquid refrigerant (step S31). The measured temperature T is transmitted to the circulation device controller 71 and the cooling device controller 72. When the measured temperature T matches the preset temperature T ₀ (step S32: Yes), the circulation device controller 71 sets the circulation speed v to v ₀ (step S38), and the cooling device controller 72 the cooling temperature t and _{t 0} (step S39). On the other hand, when T> T ₀ (step S33: Yes), the circulation speed v is set to v ₁ (> v ₀ ) (step S34), and the cooling temperature t is set to t ₁ (<t ₀ ) (step S35). ). When T <T ₀ (step S33: No), the circulation speed v is set to v _h (<v ₀ ) (step S36), and the cooling temperature t is set to t _h (> t ₀ ) (step S37). After the circulation speed v and the cooling temperature t are set, the liquid refrigerant is circulated through the refrigerant circulation path C by the circulation device 50 (step S40).

冷却装置５３によって冷却された液冷媒は、筐体１１内の各発熱源を覆う発熱源冷却部６１を通過する際に、発熱源と熱交換を行うことで発熱部を冷却する。図１９に示すように、最も発熱温度の高いランプボックス２１を冷却することで高温となった液冷媒は、２方向に分岐し、一方の経路を流れる液冷媒はそのまま冷却装置５３に送られる一方、他方の経路を流れる液冷媒は光学部材温度調整部６２へ供給されることにより、照準Ｚ軸用支持部３２及びステージ用支持部２７を加熱する。光学部材温度調整部６２を通過した液冷媒は、冷却装置５３へ送られて冷却される。冷却装置５３によって十分に冷却された液冷媒は、再び各発熱源冷却部６１に供給される。 The liquid refrigerant cooled by the cooling device 53 cools the heat generating part by exchanging heat with the heat generating source when passing through the heat generating source cooling part 61 covering each heat generating source in the housing 11. As shown in FIG. 19, the liquid refrigerant that has become high temperature by cooling the lamp box 21 having the highest heat generation temperature branches in two directions, and the liquid refrigerant that flows through one path is sent to the cooling device 53 as it is. The liquid refrigerant flowing through the other path is supplied to the optical member temperature adjustment unit 62 to heat the aiming Z-axis support unit 32 and the stage support unit 27. The liquid refrigerant that has passed through the optical member temperature adjusting unit 62 is sent to the cooling device 53 to be cooled. The liquid refrigerant sufficiently cooled by the cooling device 53 is supplied again to each heat source cooling unit 61.

冷媒循環路Ｃに液冷媒を循環させている途中において、使用者によって顕微鏡観察を終了する旨の入力が行われると（ステップＳ４１：Ｙｅｓ）、制御部３５は循環装置５０を停止させて液冷媒の循環を止める。 In the middle of circulating the liquid refrigerant in the refrigerant circulation path C, when the user inputs to end the microscopic observation (step S41: Yes), the control unit 35 stops the circulation device 50 and stops the liquid refrigerant. Stop circulation.

（実施の形態６）
次に実施の形態６の顕微鏡装置について説明する。なお、上記実施の形態と同一の構成については同一の符号を使用し、その説明を省略する。 (Embodiment 6)
Next, a microscope apparatus according to the sixth embodiment will be described. In addition, the same code | symbol is used about the structure same as the said embodiment, The description is abbreviate | omitted.

図２２は、実施の形態６における冷媒循環路Ｃ（太線）を模式的に示した図である。実施の形態６における冷媒循環路Ｃは、実施の形態４の構成に加えて、液冷媒を加熱するための加熱装置５７と、加熱装置５７の加熱温度を制御するための加熱装置制御部７３を備えた構成としている。ここで、加熱装置５７の加熱温度とは、加熱装置５７で加熱される液冷媒の温度である。加熱装置５７としては、たとえば電熱線から構成されるヒータを適用することができる。上記以外の構成は実施の形態４と同じである。 FIG. 22 is a diagram schematically showing the refrigerant circuit C (thick line) in the sixth embodiment. In addition to the configuration of the fourth embodiment, the refrigerant circuit C in the sixth embodiment includes a heating device 57 for heating the liquid refrigerant and a heating device controller 73 for controlling the heating temperature of the heating device 57. It has a configuration with. Here, the heating temperature of the heating device 57 is the temperature of the liquid refrigerant heated by the heating device 57. As the heating device 57, for example, a heater composed of a heating wire can be applied. The configuration other than the above is the same as that of the fourth embodiment.

図２３は、実施例６における制御部３５が実行するフローチャートであり、図２４は、実施の形態６における冷媒循環路Ｃの液冷媒の流れを示す図である。図２４では、冷却装置５３と加熱装置５７とをあわせて温度調整装置とするとともに、冷却装置制御部７２と加熱装置７３とをあわせて温度制御部としている。実線の矢印は液冷媒の流れる方向を示し、破線の矢印は制御信号を示している。以下、図２３及び図２４を用いて発熱源の冷却方法及び光学部材の温度調整方法を説明する。 FIG. 23 is a flowchart executed by the control unit 35 in the sixth embodiment, and FIG. 24 is a diagram showing the flow of the liquid refrigerant in the refrigerant circuit C in the sixth embodiment. In FIG. 24, the cooling device 53 and the heating device 57 are combined to form a temperature adjusting device, and the cooling device control unit 72 and the heating device 73 are combined to form a temperature control unit. The solid line arrow indicates the direction in which the liquid refrigerant flows, and the broken line arrow indicates a control signal. Hereinafter, a method for cooling the heat source and a method for adjusting the temperature of the optical member will be described with reference to FIGS.

使用者によって顕微鏡装置１０の電源が入力されると、制御部３５は循環装置５０を駆動させ、温度測定部７０で液冷媒の温度Ｔを測定する（ステップＳ５１）。測定温度Ｔは冷却装置制御部７２及び加熱装置制御部７３に送信される。測定温度Ｔが設定温度Ｔ_０と一致した場合には（ステップＳ５２：Ｙｅｓ）、冷却温度ｔをｔ_０とし、循環速度ｖ_０で液冷媒を循環させる（ステップＳ５６）。一方、Ｔ＞Ｔ_０の場合には（ステップＳ５３：Ｙｅｓ）、冷却温度ｔをｔ_ｌ（＜ｔ_０）とし（ステップＳ５４）、冷却装置により液冷媒の温度を低下させる。Ｔ＜Ｔ_０の場合には（ステップＳ５３：Ｎｏ）、加熱温度ｔをｔ_ｈ（＞ｔ_０）とし（ステップＳ５５）、加熱装置により液冷媒の温度を上昇させる。液冷媒の温度ｔを設定した後、循環速度ｖ_０で液冷媒を循環させる（ステップＳ５６）。 When the power of the microscope apparatus 10 is input by the user, the control unit 35 drives the circulation device 50, and the temperature measuring unit 70 measures the temperature T of the liquid refrigerant (step S51). The measured temperature T is transmitted to the cooling device control unit 72 and the heating device control unit 73. If the measured temperature T is coincident with the set temperature _{T 0} (step S52: Yes), the cooling temperature t and _{t 0,} circulating the liquid refrigerant at a circulation rate _{v 0} (step S56). On the other hand, when T> T ₀ (step S53: Yes), the cooling temperature t is set to t ₁ (<t ₀ ) (step S54), and the temperature of the liquid refrigerant is lowered by the cooling device. When T <T ₀ (step S53: No), the heating temperature t is set to t _h (> t ₀ ) (step S55), and the temperature of the liquid refrigerant is increased by the heating device. After setting the temperature t of the liquid refrigerant circulates the liquid refrigerant at a circulation rate v ₀ (step S56).

冷媒循環路Ｃに液冷媒を循環させている途中において、使用者によって顕微鏡観察を終了する旨の入力が行われると（ステップＳ５７：Ｙｅｓ）、制御部３５は循環装置５０を停止させて液冷媒の循環を止める。 In the middle of circulating the liquid refrigerant in the refrigerant circulation path C, when the user inputs to end the microscopic observation (step S57: Yes), the control unit 35 stops the circulation device 50 and stops the liquid refrigerant. Stop circulation.

以上説明したように、本発明の顕微鏡装置１０によれば、発熱源に液冷媒を供給することにより発熱源を冷却する発熱源冷却部６１と、液冷媒を循環させる循環装置５０とを配管で接続することによって冷媒循環路Ｃを構成したことで、従来のファンを使用した空冷式の冷却装置のように、振動、騒音、粉塵、迷光等が発生することなく、発熱源を十分に冷却することが可能となる。また、従来のファンを用いた冷却装置のように風の流路を考慮した設計が不要となるため、構造的な設計の自由度が広がる。 As described above, according to the microscope apparatus 10 of the present invention, the heat source cooling unit 61 that cools the heat source by supplying the liquid refrigerant to the heat source and the circulation device 50 that circulates the liquid refrigerant are provided by piping. By configuring the refrigerant circulation path C by connecting, the heat source is sufficiently cooled without generating vibration, noise, dust, stray light, etc., unlike an air-cooled cooling device using a conventional fan. It becomes possible. In addition, the design in consideration of the air flow path is not required as in a cooling device using a conventional fan, so that the degree of freedom in structural design is expanded.

また、従来の顕微鏡では、筐体内部の温度が上昇していくと、熱膨張によって光学系に歪が生じ、焦点が経時的にずれるという問題があったが、本発明の顕微鏡装置によれば、光学部材に液冷媒を供給することにより光学部材の温度調整を行う光学部材温度調整部を備え、発熱源から得られた廃熱を積極的に光学部材に与える構成としたことで、光学部材の熱的変形を早期に飽和させることができ、経時的に撓んでいくのを防止することができる。 Further, in the conventional microscope, when the temperature inside the housing is increased, the optical system is distorted due to thermal expansion, and there is a problem that the focus shifts with time. The optical member is provided with an optical member temperature adjusting unit that adjusts the temperature of the optical member by supplying a liquid refrigerant to the optical member, and actively supplies waste heat obtained from the heat generation source to the optical member. It is possible to saturate the thermal deformation of the material at an early stage and prevent it from being bent over time.

実施の形態１〜６で適用する顕微鏡装置の斜視図である。It is a perspective view of the microscope apparatus applied in Embodiments 1-6. 図１の側面図である。It is a side view of FIG. 顕微鏡装置の内部構成を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the internal structure of the microscope apparatus. 筒型管の斜視図である。It is a perspective view of a cylindrical pipe. 発熱源に筒型管（発熱源冷却部）を取り付ける一例を示す図である。It is a figure which shows an example which attaches a cylindrical pipe | tube (heat-source cooling part) to a heat-generation source. 発熱源に筒型管（発熱源冷却部）を取り付ける一例を示す図である。It is a figure which shows an example which attaches a cylindrical pipe | tube (heat-source cooling part) to a heat-generation source. 平面型管の斜視図である。It is a perspective view of a plane type tube. 発熱源に平面型管（発熱源冷却部）を取り付ける一例を示す図である。It is a figure which shows an example which attaches a planar type | mold pipe | tube (heating-source cooling part) to a heat-generation source. 発熱源に平面型管（発熱源冷却部）を取り付ける一例を示す図である。It is a figure which shows an example which attaches a planar type | mold pipe | tube (heating-source cooling part) to a heat-generation source. 立体型管の斜視図である。It is a perspective view of a three-dimensional type tube. 発熱源に立体型管（発熱源冷却部）を取り付ける一例を示す図である。It is a figure which shows an example which attaches a solid tube (heat-generation source cooling part) to a heat-generation source. 発熱源に立体型管（発熱源冷却部）を取り付ける一例を示す図である。It is a figure which shows an example which attaches a solid tube (heat-generation source cooling part) to a heat-generation source. 冷却装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a cooling device. 冷却装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a cooling device. 実施の形態１における冷媒循環路を模式的に示した図である。FIG. 3 is a diagram schematically showing a refrigerant circulation path in the first embodiment. 実施の形態１における制御部が実行するフローチャートである。3 is a flowchart executed by a control unit in the first embodiment. 実施の形態１における液冷媒の流れを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a flow of liquid refrigerant in the first embodiment. 実施の形態２における冷媒循環路を模式的に示した図である。FIG. 6 is a diagram schematically showing a refrigerant circulation path in a second embodiment. 実施の形態２における液冷媒の流れを示す図である。6 is a diagram illustrating a flow of a liquid refrigerant in a second embodiment. FIG. 実施の形態３における冷媒循環路を模式的に示した図である。FIG. 5 is a diagram schematically showing a refrigerant circulation path in a third embodiment. 実施の形態３における制御部が実行するフローチャートである。10 is a flowchart executed by a control unit according to Embodiment 3. 実施の形態３における液冷媒の流れを示す図である。6 is a diagram showing a flow of a liquid refrigerant in a third embodiment. FIG. 実施の形態４における冷媒循環路を模式的に示した図である。6 is a diagram schematically showing a refrigerant circulation path in a fourth embodiment. FIG. 実施の形態４における制御部が実行するフローチャートである。10 is a flowchart executed by a control unit in the fourth embodiment. 実施の形態４における液冷媒の流れを示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a flow of a liquid refrigerant in a fourth embodiment. 実施の形態５における冷媒循環路を模式的に示した図である。FIG. 6 is a diagram schematically showing a refrigerant circulation path in a fifth embodiment. 実施の形態５における制御部が実行するフローチャートである。10 is a flowchart executed by a control unit in the fifth embodiment. 実施の形態５における液冷媒の流れを示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a flow of a liquid refrigerant in a fifth embodiment. 実施の形態６における冷媒循環路を模式的に示した図である。FIG. 10 is a diagram schematically showing a refrigerant circulation path in a sixth embodiment. 実施の形態６における制御部が実行するフローチャートである。18 is a flowchart executed by the control unit in the sixth embodiment. 実施の形態６における液冷媒の流れを示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a flow of a liquid refrigerant in a sixth embodiment.

１０顕微鏡装置
１１筐体
１２観察機構
１３標本搬入扉
１４開閉操作部
１５標本搬入扉用モータ
１６標本搬入扉用ロータ
１７開口部
１８ステージ
１９レボルバ
２０ランプ
２１ランプボックス
２２ダイクロイックミラー
２３カメラ
２４制御基板
２５ステージＸ軸用ロータ
２６ステージＹ軸用ロータ
２７ステージ用支持部
２８ステージＸ軸用モータ
２９ステージＹ軸用モータ
３０対物レンズ
３１照準Ｚ軸用ロータ
３２照準Ｚ軸用支持部
３３照準Ｚ軸用モータ
３４ランプ用電源
３５制御部（パーソナルコンピュータ）
４０筒型管
４１平面型管
４２立体型管
５０循環装置
５１水槽
５２スクリュー
５３冷却装置
５４薄板
５５ヒートシンク
５６ファン
５７加熱装置
６１発熱源冷却部
６２光学部材温度調整部
７０温度測定部
７１循環装置制御部
７２冷却装置制御部
７３加熱装置制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Microscope apparatus 11 Case 12 Observation mechanism 13 Specimen carrying-in door 14 Opening / closing operation part 15 Specimen carrying-in door motor 16 Specimen carrying-in door rotor 17 Opening part 18 Stage 19 Revolver 20 Lamp 21 Lamp box 22 Dichroic mirror 23 Camera 24 Control board 25 Stage X-axis rotor 26 Stage Y-axis rotor 27 Stage support 28 Stage X-axis motor 29 Stage Y-axis motor 30 Objective lens 31 Aiming Z-axis rotor 32 Aiming Z-axis support 33 Aiming Z-axis motor 34 Power supply for lamp 35 Control unit (personal computer)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 40 Cylindrical pipe 41 Planar type pipe 42 Three-dimensional type pipe 50 Circulating device 51 Water tank 52 Screw 53 Cooling device 54 Thin plate 55 Heat sink 56 Fan 57 Heating device 61 Heating source cooling unit 62 Optical member temperature adjustment unit 70 Temperature measurement unit 71 Circulating device control Unit 72 Cooling device controller 73 Heating device controller

Claims

In a microscope apparatus in which a heat source and an optical member constituting an optical system are housed in a housing,
A refrigerant circulation path is configured by connecting a heat generation source cooling section that cools the heat generation source by supplying liquid refrigerant to the heat generation source and a circulation device that circulates the liquid refrigerant with a pipe. Microscope device to do.

The microscope apparatus according to claim 1, wherein the refrigerant circulation path includes an optical member temperature adjustment unit that adjusts a temperature of the optical member by supplying the liquid refrigerant to the optical member.

The refrigerant circuit includes a cooling device that cools the liquid refrigerant,
At least a part of the liquid refrigerant is configured to flow in the order of the cooling device, the heat source cooling unit, and the optical member temperature adjusting unit, so that the optical member is a liquid refrigerant that has passed through the heat source cooling unit. The microscope apparatus according to claim 2, wherein the temperature is adjusted.