JP2010215979A - Sn-COATED COPPER OR COPPER ALLOY, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR - Google Patents

Sn-COATED COPPER OR COPPER ALLOY, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an Sn-coated copper or copper alloy which is superior in such heat resistance as to be useful for suppressing the increase of a contact resistance value and suppressing a color change after having been left in a high-temperature environment, and has the surface with a small friction coefficient, and to provide a method for efficiently manufacturing the Sn-coated copper or copper alloy, which can make use of a normally-used surface treatment facility as in the state prior to reflow treatment, and does not newly need to invest in a facility, purchase a reagent and expense a cost for a liquid control because of using water usually used in a plant and needing no process of liquid draining and drying. <P>SOLUTION: The Sn-coated copper or copper alloy has the outermost surface which contains such oxygen atoms (O) that when the existing form of the oxygen atoms (O) is analyzed with ESCA (X-ray electron spectroscopy for chemical analysis), the top of the peak of the binding energy of the 1s orbit is 531-532 eV, and has an Sn layer thereon of which the thickness is 0.05 μm or more but less than 0.4 μm. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、自動車、携帯電話、パソコン等の民生機器の制御基板、コネクタ、リードフレーム、リレー、スイッチに用いられる端子、バスバー材として好適な耐熱性及び低挿入力性に優れたSn被覆銅又は銅合金及びSn被覆銅又は銅合金の製造方法に関する。   The present invention is a Sn-coated copper excellent in heat resistance and low insertion force suitable as a control board, connector, lead frame, relay, terminal used for a consumer device such as a car, a mobile phone, a personal computer, or a switch, or a bus bar material. The present invention relates to a method for producing a copper alloy and Sn-coated copper or copper alloy.

従来より、自動車用の端子、民生用の端子、バスバー材などに用いられる銅又は銅合金には、接触信頼性、耐食性、はんだ付け性、経済性の観点から、Snが被覆されている。このようなSn被覆の方法としては電気めっきが主流であり、電気めっきの直後に、内部応力を除去してウイスカ発生を抑制する効果のあるリフロー処理(Sn溶融処理)を施しているのが一般的である。   Conventionally, copper or copper alloys used for automobile terminals, consumer terminals, bus bar materials, and the like have been coated with Sn from the viewpoints of contact reliability, corrosion resistance, solderability, and economy. As such a Sn coating method, electroplating is the mainstream, and immediately after electroplating, a reflow process (Sn melting process) effective in removing internal stress and suppressing whisker generation is generally performed. Is.

Snめっき後にリフロー処理を行うと、一部が素材や下地成分と拡散層を形成し、その上に柔らかい溶融凝固組織となったSn層が形成され、更にその最表面にはSn酸化物層が形成される。Sn層が厚くなると、嵌合部位を含む端子等として実使用される際に、柔らかいSn層が削れ、挿入力が大きくなり、作業者の負担となる問題が発生する。この問題の解決のために、リフローの熱量を上げて素材や下地成分との拡散層を成長させ、Sn層の厚さを薄くする手法が考えられるが、過加熱により、最表面のSn酸化物層が成長し、接触抵抗の増大、黄変色等の不良が発生する。   When the reflow treatment is performed after Sn plating, a material, a base component, and a diffusion layer are partially formed, and a Sn layer having a soft melt-solidified structure is formed thereon, and an Sn oxide layer is formed on the outermost surface. It is formed. When the Sn layer is thick, when it is actually used as a terminal or the like including a fitting portion, the soft Sn layer is scraped, the insertion force is increased, and a problem is imposed on the operator. In order to solve this problem, a method of increasing the amount of heat of reflow to grow a diffusion layer with a material and a base component and reducing the thickness of the Sn layer can be considered. The layer grows and defects such as increased contact resistance and yellowing occur.

このようなリフロー処理時の表面のSn酸化物成長の抑制対策として、例えば(1)リフロー炉内の厳密な雰囲気制御、(2)Snめっき後水洗した材料を、リン酸化合物、カルボン酸、硫酸、塩酸、酸系Snめっき液(硫酸系、スルファミン酸系等)、硫酸亜鉛等を所定の濃度で含む液中に浸漬もしくはスプレー等による塗布を行って表面改質を行い、その後にリフロー処理する技術が提案されている(特許文献1〜6参照)。前記(1)の手段はイニシャルコスト、管理面で不利であり、前記(2)の手段は、基本的には、Snめっき後のSnの酸化物及び水酸化物をリフロー処理前に減少させ、リフロー処理後に薄いSn酸化物のみ、又は別の酸化物(亜鉛酸化物等)の皮膜を形成するものである。   For example, (1) strict atmosphere control in the reflow furnace, (2) materials washed with water after Sn plating, phosphoric acid compound, carboxylic acid, sulfuric acid. , Surface modification by immersion or spraying in a solution containing hydrochloric acid, acid-based Sn plating solution (sulfuric acid-based, sulfamic acid-based, etc.), zinc sulfate, etc. at a predetermined concentration, followed by reflow treatment Techniques have been proposed (see Patent Documents 1 to 6). The means (1) is disadvantageous in terms of initial cost and management, and the means (2) basically reduces Sn oxide and hydroxide after Sn plating before reflow treatment, A thin Sn oxide film or another oxide (such as zinc oxide) film is formed after the reflow treatment.

また、前記リフロー前処理は、薬品が必要であること、濃度範囲に制限があるため管理面の負荷が増大してしまうことから、コストアップとなってしまう。また、濃度調整を失敗してしまうと、リフロー処理直後は外観上判らないが、表面の残渣物(硫酸系薬品使用時の硫黄分残留等)の影響で、経時変化により端子等として使用される頃に部分的な変色・腐食や接触抵抗値の増加といった問題が生じるおそれがある。更に、上記先行技術文献の多くは溶液付着後、水洗工程や乾燥工程を必要とし、工程が長くなり、管理面の増加が生じるという問題もある。   In addition, the reflow pretreatment increases the cost because it requires chemicals and the concentration range is limited, increasing the load on the management surface. Also, if the concentration adjustment fails, the appearance is not obvious immediately after the reflow treatment, but it is used as a terminal due to changes over time due to surface residue (such as residual sulfur when using sulfuric acid chemicals). There may be problems such as partial discoloration / corrosion and increased contact resistance. Furthermore, many of the above-mentioned prior art documents require a water washing step and a drying step after the solution adheres, and there is a problem that the step becomes long and the management side is increased.

特開昭63−250491号公報JP-A-63-250491 特開2005−139503号公報JP 2005-139503 A 特開2008−248332号公報JP 2008-248332 A 特開2007−56286号公報JP 2007-56286 A 特開平5−9785号公報JP-A-5-9785 特開平6−10184号公報JP-A-6-10184

本発明は、従来における前記問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、高温環境に放置された後の接触抵抗値上昇抑制及び変色抑制といった耐熱性に優れ、かつ表面の摩擦係数の小さいSn被覆銅又は銅合金、及び通常使用されているリフロー処理前の表面処理設備をそのまま使用でき、また工場内で通常使用されている水を使用して、液きり及び乾燥の工程を必要としないため、新たな設備投資、試薬購入、及び液管理のコストがかからない効率のよいSn被覆銅又は銅合金の製造方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to solve the conventional problems and achieve the following objects. That is, the present invention is Sn-coated copper or copper alloy having excellent heat resistance such as suppression of increase in contact resistance and suppression of discoloration after being left in a high temperature environment, and a small surface friction coefficient, and a reflow treatment that is normally used. The previous surface treatment equipment can be used as it is, and the cost of new equipment investment, reagent purchase, and liquid management is eliminated because it does not require liquid draining and drying processes using water normally used in the factory. It aims at providing the manufacturing method of efficient Sn covering copper or copper alloy which does not start.

前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、
<1> 最表面に存在する酸素原子(O)の存在形態をESCA(X線光電子分光装置)で分析した際に、酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーのピークのトップが531eV以上532eV以下にあり、Sn層の厚みが0.05μm以上0.4μm未満であることを特徴とするSn被覆銅又は銅合金である。
<2> 酸素原子が、最表面から深さ方向に15nm以内の範囲に存在する前記<1>に載のSn被覆銅又は銅合金である。
<3> 最表面に存在する酸素原子(O)の存在形態が、Snの水酸化物の形態である前記<1>から<2>のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金である。
<4> Sn層の厚みが、0.05μm〜0.3μmである前記<1>から<3>のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金である。
<5> Sn層の内側に厚み0.3μm〜1.5μmのCu−Sn拡散層を有する前記<1>から<4>のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金である。
<6> Sn層の内側に厚み0.1μm〜1.0μmのNi−Sn拡散層を有する前記<1>から<4>のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金である。
<7> Sn層の組織が、溶融凝固組織である前記<1>から<6>のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金である。
<8> 表面の摩擦係数が0.3以下である前記<1>から<7>のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金である。
<9> 銅又は銅合金に厚み0.1μm〜1.2μmのSn層を電気めっきにより被覆した後、該Sn層表面に電気伝導度が600μS/cm以下、pHが4.5〜9.5の水を付与し、該付与した水を乾燥させずにリフロー処理を行うことを特徴とするSn被覆銅又は銅合金の製造方法である。
<10> 銅又は銅合金にSn層を被覆する前に、厚み0.1μm〜1.0μmのNi及び/又はCuの下地層を被覆する前記<9>に記載のSn被覆銅又は銅合金の製造方法である。
<11> 水の付与量が、1mg/dm以上である前記<9>から<10>のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金の製造方法である。
<12> リフロー処理時の被リフロー材の昇温速度が、10℃/s以上である前記<9>から<11>のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金の製造方法である。
<13> 前記<1>から<8>のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金を用いたことを特徴とする電気・電子部品である。
Means for solving the problems are as follows. That is,
<1> When the presence state of oxygen atoms (O) existing on the outermost surface is analyzed by ESCA (X-ray photoelectron spectrometer), the top of the binding energy peak of the 1s orbital of oxygen atoms (O) is 531 eV or more and 532 eV. The Sn-coated copper or copper alloy is characterized in that the Sn layer has a thickness of 0.05 μm or more and less than 0.4 μm.
<2> The Sn-coated copper or copper alloy according to <1>, wherein oxygen atoms are present in a range of 15 nm or less from the outermost surface in the depth direction.
<3> The Sn-coated copper or copper alloy according to any one of <1> to <2>, wherein the presence form of oxygen atoms (O) present on the outermost surface is a form of Sn hydroxide.
<4> The Sn-coated copper or copper alloy according to any one of <1> to <3>, wherein the Sn layer has a thickness of 0.05 μm to 0.3 μm.
<5> The Sn-coated copper or copper alloy according to any one of <1> to <4>, wherein a Cu—Sn diffusion layer having a thickness of 0.3 μm to 1.5 μm is provided inside the Sn layer.
<6> The Sn-coated copper or copper alloy according to any one of <1> to <4>, wherein a Ni—Sn diffusion layer having a thickness of 0.1 μm to 1.0 μm is provided inside the Sn layer.
<7> The Sn-coated copper or copper alloy according to any one of <1> to <6>, wherein the structure of the Sn layer is a melt-solidified structure.
<8> The Sn-coated copper or copper alloy according to any one of <1> to <7>, wherein the surface friction coefficient is 0.3 or less.
<9> After coating an Sn layer having a thickness of 0.1 μm to 1.2 μm on copper or a copper alloy by electroplating, the Sn layer surface has an electric conductivity of 600 μS / cm or less and a pH of 4.5 to 9.5. This is a method for producing Sn-coated copper or a copper alloy, characterized in that a reflow treatment is performed without drying the applied water.
<10> The Sn-coated copper or copper alloy according to <9>, wherein a Ni and / or Cu underlayer having a thickness of 0.1 μm to 1.0 μm is coated before the Sn layer is coated on copper or a copper alloy. It is a manufacturing method.
<11> The method for producing an Sn-coated copper or copper alloy according to any one of <9> to <10>, wherein an applied amount of water is 1 mg / dm 2 or more.
<12> The method for producing Sn-coated copper or copper alloy according to any one of <9> to <11>, wherein the temperature increase rate of the material to be reflowed during the reflow treatment is 10 ° C./s or more.
<13> An electrical / electronic component using the Sn-coated copper or copper alloy according to any one of <1> to <8>.

本発明によると、従来における諸問題を解決でき、高温環境に放置された後の接触抵抗値上昇抑制及び変色抑制といった耐熱性に優れ、かつ表面の摩擦係数の小さいSn被覆銅又は銅合金、及び通常使用されているリフロー処理前の表面処理設備をそのまま使用でき、また工場内で通常使用されている水を使用して、液きり及び乾燥の工程を必要としないため、新たな設備投資、試薬購入、及び液管理のコストがかからない効率のよいSn被覆銅又は銅合金の製造方法を提供することができる。   According to the present invention, various problems in the prior art can be solved, excellent in heat resistance such as contact resistance value increase suppression and discoloration suppression after being left in a high temperature environment, and Sn-coated copper or copper alloy having a small surface friction coefficient, and The surface treatment equipment that is normally used before reflow treatment can be used as it is, and water that is usually used in the factory is not required, so there is no need for liquid draining and drying. It is possible to provide an efficient method for producing Sn-coated copper or copper alloy that does not require the cost of purchase and liquid management.

(Sn被覆銅又は銅合金)
本発明のSn被覆銅又は銅合金は、銅又は銅合金にSn層を被覆してなり、更に必要に応じてその他の層を有してなる。
(Sn coated copper or copper alloy)
The Sn-coated copper or copper alloy of the present invention is obtained by coating copper or a copper alloy with an Sn layer, and further having other layers as necessary.

本発明においては、最表面に存在する酸素原子(O)の存在形態をESCA(X線光電子分光装置)で分析した際に、酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーのピークが531eV以上532eV以下にある。これにより、最表面にSnの水酸化物の形態で存在することが分かる。
最表面の酸素原子の存在形態は、ESCA分析(X線光電子分光分析)を用いて調べることができる。例えば、X線光電子分光装置(アルバック・ファイ株式会社製、ESCA5800)を使用し、定性分析(表面から十数nmの深さまでの分析)、状態分析(表面から十数nmの深さまでの分析)、深さ方向の分析(深さはSiO換算)の結果から、酸化物か水酸化物かの判定を実施できる。
即ち、深さ方向分析により、最表層から深さ方向にどこまで酸素原子が存在するかを測定する。このままでは酸素原子が酸化物と水酸化物のいずれかまでは判定できないため、表面の状態分析も行い、酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーのピークのトップが531eV以上532eV以下にある場合には水酸化物が存在すると判定することができる。同様に、酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーのピークのトップが531eV未満にある場合は、酸化物と判定することができる。表面に存在する金属元素がSnであることから、上述の酸素の結合エネルギーのピークのトップで水酸化物と判定されたものはSn水酸化物、酸化物と判定されたものはSn酸化物が存在していると判定する。
酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーのピークが531eV以上532eV以下(水酸化物)に存在するときは、接触抵抗値の増加を抑制することができる。更に、表面の変色を回避することについても効果があると思われる。
前記酸素原子は、最表面から深さ方向に15nm以内の範囲に存在することが好ましく、10nm以内がより好ましい。前記酸素原子が、最表面から深さ方向に15nmを超えて存在すると、接触抵抗値が増加し、使用した製品の通電機能を損ねる可能性がある。
In the present invention, when the presence state of the oxygen atom (O) existing on the outermost surface is analyzed by ESCA (X-ray photoelectron spectrometer), the peak of the binding energy of the 1s orbit of the oxygen atom (O) is 531 eV or more and 532 eV. It is below. Thereby, it turns out that it exists in the form of Sn hydroxide on the outermost surface.
The existence form of oxygen atoms on the outermost surface can be examined using ESCA analysis (X-ray photoelectron spectroscopy). For example, using an X-ray photoelectron spectrometer (ESCA5800 manufactured by ULVAC-PHI Co., Ltd.), qualitative analysis (analysis from the surface to a depth of tens of nm), state analysis (analysis from the surface to a depth of tens of nm) From the result of analysis in the depth direction (depth is converted to SiO 2 ), it can be determined whether it is an oxide or a hydroxide.
That is, the depth direction analysis is used to measure how far oxygen atoms are present in the depth direction from the outermost layer. Since oxygen atoms cannot be determined to be either oxides or hydroxides as they are, surface state analysis is also performed, and the peak of the bond energy of the 1s orbital of oxygen atoms (O) is 531 eV or more and 532 eV or less It can be determined that hydroxide exists. Similarly, when the top of the 1s orbital bond energy peak of the oxygen atom (O) is less than 531 eV, it can be determined as an oxide. Since the metal element present on the surface is Sn, Sn hydroxide is determined to be a hydroxide at the top of the above peak of the binding energy of oxygen, and Sn oxide is determined to be an oxide. It is determined that it exists.
When the peak of the bond energy of the oxygen atom (O) in the 1s orbital exists at 531 eV or more and 532 eV or less (hydroxide), an increase in the contact resistance value can be suppressed. Furthermore, it seems to be effective in avoiding surface discoloration.
The oxygen atoms are preferably present within a range of 15 nm or less in the depth direction from the outermost surface, and more preferably within 10 nm. If the oxygen atoms are present in a depth direction exceeding 15 nm from the outermost surface, the contact resistance value may increase, and the energization function of the used product may be impaired.

最表面に存在する酸素原子(O)の存在形態としては、Snの水酸化物の形態であることが、端子等の製品として使用される際の酸化膜成長抑制の点から好ましい。該Snの水酸化物の形態としては、例えばSn(OH)、Sn(OH)などが挙げられる。 The presence form of oxygen atoms (O) present on the outermost surface is preferably a Sn hydroxide form from the viewpoint of suppressing the growth of oxide films when used as a product such as a terminal. The form of the hydroxide of said Sn, for example, Sn (OH) 2, etc. Sn (OH) 4 can be mentioned.

前記Sn層の組織が、Sn被覆後のリフロー処理により形成される溶融凝固組織であることが、ウイスカ抑制の点で好ましい。
ここで、前記Sn層とは、Sn酸化物、Sn水酸化物及びCu−Sn、Ni-Sn化合物層を含まない実質的にSnのみからなる層を意味し、前述のESCA分析や後述する電解式膜厚計、SIM(走査イオン顕微鏡)等で区別できる。
前記Sn層の組織が、溶融凝固組織であることは、断面SEM観察(倍率:5,000倍〜10,000倍)により結晶粒界がほとんど観察されないことから判別することができる。また、別の表現をすると、Sn層の組織が溶融凝固組織である場合、該断面SEM観察による平均結晶粒径は5μm以上である。これに対し、電気めっきなどによる電析組織(リフロー処理していない)のSn層の平均結晶粒径は0.1μm〜3μmであり、明確に区別できる。なお、結晶粒径は切断法による測定とした。
It is preferable from the viewpoint of whisker suppression that the structure of the Sn layer is a melt-solidified structure formed by a reflow process after Sn coating.
Here, the Sn layer means a layer that is substantially composed only of Sn and does not include Sn oxide, Sn hydroxide and Cu—Sn, Ni—Sn compound layer. It can be distinguished by a formula film thickness meter, SIM (scanning ion microscope) or the like.
That the structure of the Sn layer is a melt-solidified structure can be determined from the fact that crystal grain boundaries are hardly observed by cross-sectional SEM observation (magnification: 5,000 to 10,000 times). In other words, when the structure of the Sn layer is a melt-solidified structure, the average crystal grain size according to the cross-sectional SEM observation is 5 μm or more. On the other hand, the average crystal grain size of the Sn layer of the electrodeposited structure by electroplating or the like (not subjected to reflow treatment) is 0.1 μm to 3 μm and can be clearly distinguished. The crystal grain size was measured by a cutting method.

前記Sn被覆銅又は銅合金としては、最表層にSnめっきを行った条材、線材;プレス打抜き等を行った後の最表層にSnめっきを行ったプレス後の条材、端子などが挙げられる。
前記銅又は銅合金としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、純銅(C1020、C1100)、リン脱酸銅(C1220)等のCu系;丹銅、黄銅(C2600、C2680等)、Sn入り黄銅(C44250等)等のCu−Zn系;リン青銅系(C5110、C5191、C5210、C5240等)、Cu−Ni−Sn−P系(C19020、C19020、C19025等)、Cu−Ni−Si系(C7025、C64745等)、Cu−Fe系(C194、C19220、C19010、C19720等)、などが挙げられる。なお、その他の組成系の銅合金、Fe−Ni系、純Ni系、ステンレス系、Al系でも、最表層にSnめっきを施した後にリフロー処理される場合は本発明を適用することができる。
Examples of the Sn-coated copper or copper alloy include a strip material and a wire material subjected to Sn plating on the outermost layer; a strip material after pressing, and a terminal material subjected to Sn plating on the outermost layer after press punching and the like. .
There is no restriction | limiting in particular as said copper or copper alloy, According to the objective, it can select suitably, For example, Cu type | system | groups, such as pure copper (C1020, C1100) and phosphorus deoxidized copper (C1220); C2600, C2680, etc.), Cu-Zn series such as brass containing Sn (C44250, etc.); Phosphor bronze series (C5110, C5191, C5210, C5240, etc.), Cu-Ni-Sn-P series (C19020, C19020, C19025, etc.) Cu-Ni-Si (C7025, C64745, etc.), Cu-Fe (C194, C19220, C19010, C19720, etc.), and the like. Note that the present invention can also be applied to a copper alloy of other composition system, Fe—Ni system, pure Ni system, stainless steel, and Al system, when the outermost layer is subjected to reflow treatment after Sn plating.

銅又は銅合金に被覆する膜は、最表面をSnで仕上ればよく、その下地には、密着性強化、素材成分の拡散抑制によるウイスカ抑制、耐熱性向上の観点から、単純にSnを1層被覆する他に、Cu下地層を設けたり、Ni下地層を設けることができる。より耐熱性を向上させるための手段として、Ni、Cu、Snの順に被覆を行うことが好ましい。
前記Sn層の被覆方法としては、電気めっき、無電解めっき、溶融浸漬、蒸着、スパッタリングなどが挙げられる。これらの中でも、厚さの制御に優れ、コスト的にも有利である点で電気めっきが特に好ましい。また、Snめっき中に、AgやPb等を0〜10質量%の範囲で含有させても同様の効果が得られる。
The film to be coated with copper or a copper alloy may be finished with Sn at the outermost surface, and the base is simply Sn from the viewpoints of strengthening adhesion, suppressing whisker by suppressing diffusion of material components, and improving heat resistance. In addition to layer coating, a Cu underlayer or a Ni underlayer can be provided. As a means for further improving the heat resistance, it is preferable to coat Ni, Cu, and Sn in this order.
Examples of the method for coating the Sn layer include electroplating, electroless plating, melt dipping, vapor deposition, and sputtering. Among these, electroplating is particularly preferable because of excellent thickness control and cost advantages. Moreover, the same effect is acquired even if it contains Ag, Pb, etc. in 0-10 mass% in Sn plating.

前記Sn層の厚みは、0.05μm以上0.4μm未満であり、0.05μm〜0.3μmが好ましい。前記Sn層の厚みが、0.05μm未満であると、摩擦係数や外観、接触抵抗等の所望の特性が得られないことがあり、0.4μm以上であると、端子挿入力が増大し、めっきの生産性が低下することがある。   The thickness of the Sn layer is 0.05 μm or more and less than 0.4 μm, preferably 0.05 μm to 0.3 μm. If the thickness of the Sn layer is less than 0.05 μm, desired characteristics such as a friction coefficient, appearance, and contact resistance may not be obtained. If the thickness is 0.4 μm or more, the terminal insertion force increases, Plating productivity may be reduced.

前記Sn層の内側に厚み0.3μm〜1.5μmのCu−Sn拡散層を有することが好ましく、0.4μm〜1.5μmがより好ましい。前記厚みが、0.3μm未満であると、拡散層の内側にある下地や素材の成分の拡散を抑制するのに十分ではなく、1.5μmを超えると、拡散層が硬いため、端子等へ成形する際に割れの起点になりやすくなることがある。なお、前記厚みが1.5μm以下であれば、曲げ加工性が向上するので、コネクタ端子等の電気・電子部品のように曲げ加工を要する用途に好ましい。
前記Cu−Sn拡散層としては、例えばCuSnからなる層などが挙げられる。
It is preferable to have a Cu—Sn diffusion layer having a thickness of 0.3 μm to 1.5 μm inside the Sn layer, and more preferably 0.4 μm to 1.5 μm. If the thickness is less than 0.3 μm, it is not sufficient to suppress the diffusion of the base and material components inside the diffusion layer. If the thickness exceeds 1.5 μm, the diffusion layer is hard, and thus to the terminals. It may become a starting point of cracking during molding. If the thickness is 1.5 μm or less, bending workability is improved, which is preferable for applications requiring bending work such as electrical / electronic parts such as connector terminals.
Examples of the Cu—Sn diffusion layer include a layer made of Cu 6 Sn 5 .

前記Sn層の内側に厚み0.1μm〜1.0μmのNi−Sn拡散層を有することが好ましく、0.2μm〜1.0μmがより好ましい。前記厚みが、0.1μm未満であると、拡散層の内側にある下地や素材の成分の拡散を抑制するのに十分ではなく、1.0μmを超えると、拡散層が硬いため、端子等へ成形する際に割れの起点になりやすくなることがある。なお、前記厚みが1.0μm以下であれば、曲げ加工性が向上するので、コネクタ端子等の電気・電子部品のように曲げ加工を要する用途に好ましい。
前記Ni−Sn拡散層としては、例えばNiSnからなる層などが挙げられる。
It is preferable to have a Ni—Sn diffusion layer having a thickness of 0.1 μm to 1.0 μm inside the Sn layer, and more preferably 0.2 μm to 1.0 μm. If the thickness is less than 0.1 μm, it is not sufficient to suppress the diffusion of the base or material components inside the diffusion layer. If the thickness exceeds 1.0 μm, the diffusion layer is hard, and thus to the terminal or the like. It may become a starting point of cracking during molding. If the thickness is 1.0 μm or less, bending workability is improved, which is preferable for applications requiring bending work such as electrical / electronic parts such as connector terminals.
Examples of the Ni—Sn diffusion layer include a layer made of Ni 3 Sn 4 .

前記Sn層の内側に厚み0.1μm〜1.0μmのNi層を有することが好ましく、0.2μm〜0.7μmがより好ましい。前記厚みが、0.1μm未満であると、Ni層の内側にある下地や素材の成分の拡散を抑制するのに十分ではなく、1.0μmを超えると、Ni層が硬いため、端子等へ成形する際に割れの起点になりやすくなることがある。なお、前記厚みが0.7μm以下であれば、曲げ加工性が向上するので、コネクタ端子等の電気・電子部品のように曲げ加工を要する用途に好ましい。   It is preferable to have a Ni layer having a thickness of 0.1 μm to 1.0 μm inside the Sn layer, and more preferably 0.2 μm to 0.7 μm. If the thickness is less than 0.1 μm, it is not sufficient to suppress the diffusion of the foundation and material components inside the Ni layer, and if it exceeds 1.0 μm, the Ni layer is hard, so that the terminals and the like It may become a starting point of cracking during molding. In addition, if the said thickness is 0.7 micrometer or less, since a bending workability will improve, it is preferable for the use which requires a bending process like electrical / electronic components, such as a connector terminal.

前記Sn層、Cu−Sn拡散層、及びCu層の厚みは、例えば電解式膜厚計(中央製作所製、THICKNESS TESTER TH11)を用いて測定することができる。
前記Ni層、及びNi−Sn層の厚みは、例えばFIB(集束イオンビーム)を用いてめっき断面を露出させ、SIM(走査イオン顕微鏡)で断面観察を行ってその色のコントラストの違いから各層を判別でき、厚さを測定することができる。
なお、(1)表面からSn層、Cu−Sn層、及び素材(銅又は銅合金)の順、(2)表面からSn層、Cu−Sn層、Ni層、及び素材の順、又は(3)表面からSn層、Ni−Sn層、Ni層、及び素材の順の構成になっていることが好ましい。
前記(2)の場合、Sn層が0.2μm以上0.4μm未満、Cu−Sn層が0.4〜0.7μm、Ni層が0.1〜0.6μmであることが、良好な特性とコスト面を有することから好ましい。
The thicknesses of the Sn layer, the Cu—Sn diffusion layer, and the Cu layer can be measured using, for example, an electrolytic film thickness meter (manufactured by Chuo Seisakusho, THICKNESS TESTER TH11).
The thickness of the Ni layer and the Ni—Sn layer is determined by exposing the cross section of the plating using, for example, FIB (focused ion beam), and observing the cross section with a SIM (scanning ion microscope). The thickness can be measured.
(1) From the surface to the Sn layer, the Cu—Sn layer, and the material (copper or copper alloy), (2) From the surface to the Sn layer, the Cu—Sn layer, the Ni layer, and the material, or (3 ) It is preferable that the structure is in the order of Sn layer, Ni-Sn layer, Ni layer, and material from the surface.
In the case of (2), the Sn layer is 0.2 μm or more and less than 0.4 μm, the Cu—Sn layer is 0.4 to 0.7 μm, and the Ni layer is 0.1 to 0.6 μm. From the viewpoint of cost.

本発明のSn被覆銅又は銅合金は、表面の摩擦係数が0.3以下であることが好ましい。前記摩擦係数が0.3を超えると、端子の挿入力が増大し、コネクタ装着作業者の負担が増える、また、コネクタに補助レバーの取り付けが必要となることがあり、コスト、小型化の面で問題となることがある。
前記摩擦係数は、めす端子とおす端子の嵌合時の挿入力は、端子接圧が一定の場合、表面の摩擦係数と相関があることから、摩擦係数を測定して挿入力の代用評価とすることができる。卓上プレス機を使用して内R=3mmのインデントを形成したものをめす端子側と想定し、平板をおす端子側とした。摩擦係数測定にあたっては、株式会社山崎精機研究所製電気接点シミュレーター、ステージコントローラー、ロードセル、ロードセルアンプが組み合わされた装置を使用し、ステージに固定した平板の上を負荷荷重300gf、摺動速度60mm/minでインデント形成板を5mm走査させ、摺動距離2mmから5mmまでの3mm区間でロードセルアンプにて検出された摺動時の力のデータの平均値を負荷荷重で除して摩擦係数を算出することができる。
The Sn-coated copper or copper alloy of the present invention preferably has a surface friction coefficient of 0.3 or less. When the coefficient of friction exceeds 0.3, the insertion force of the terminal increases, the burden on the connector mounting operator increases, and an auxiliary lever may need to be attached to the connector. May be a problem.
The friction coefficient is a substitute evaluation of the insertion force by measuring the friction coefficient because the insertion force when fitting the female terminal and the male terminal is correlated with the friction coefficient of the surface when the terminal contact pressure is constant. be able to. The terminal side is assumed to be the terminal side where the indent of R = 3 mm is formed using a desktop press machine, and the flat plate is the terminal side. In measuring the friction coefficient, a device combining an electrical contact simulator, stage controller, load cell, and load cell amplifier manufactured by Yamazaki Seiki Laboratories Co., Ltd. is used. The load is 300 gf on the flat plate fixed to the stage, and the sliding speed is 60 mm / Friction coefficient is calculated by scanning the indent forming plate for 5 mm at min and dividing the average value of the sliding force data detected by the load cell amplifier in the 3 mm section from the sliding distance of 2 mm to 5 mm by the load. be able to.

(Sn被覆銅又は銅合金の製造方法)
本発明のSn被覆銅又は銅合金の製造方法は、銅又は銅合金に厚み0.1μm〜1.2μmのSn層を電気めっきにより被覆した後、該Sn層表面に電気伝導度600μS/cm以下の水を付与し、該付与した水を乾燥させずにリフロー処理を行うものである。前記Sn層の厚みが、0.1μm未満であると、リフロー処理後に所望の外観や接触抵抗等の特性が得られないことがあり、1.2μmを超えると、リフロー処理後に本発明のSn被覆銅又は銅合金を例えばコネクタ端子に加工したときに端子の挿抜性が低下し、まためっきの生産性の低下、原料費が多くかかりコスト高となることがある。前記Snめっき層の厚みは、0.2μm〜1.0μmがより好ましく、0.3μm〜1.0μmが更に好ましい。
(Method for producing Sn-coated copper or copper alloy)
In the method for producing a Sn-coated copper or copper alloy of the present invention, a Sn layer having a thickness of 0.1 μm to 1.2 μm is coated on the copper or copper alloy by electroplating, and then the electric conductivity of the Sn layer is 600 μS / cm or less. The reflow treatment is performed without drying the applied water. If the thickness of the Sn layer is less than 0.1 μm, characteristics such as desired appearance and contact resistance may not be obtained after the reflow treatment. If the thickness exceeds 1.2 μm, the Sn coating of the present invention after the reflow treatment may not be obtained. When copper or copper alloy is processed into, for example, a connector terminal, the insertion / removal property of the terminal is lowered, the productivity of plating is reduced, the raw material cost is increased, and the cost may be increased. The thickness of the Sn plating layer is more preferably 0.2 μm to 1.0 μm, and still more preferably 0.3 μm to 1.0 μm.

まず、銅又は銅合金の表面にSn層を被覆する前に、0.1μm〜1.0μmの厚さのNi及び/又はCu(即ちNi、Cuの少なくとも一方)の下地層を被覆することが好ましく、厚さが0.1μm以上であればリフロー処理等加熱された場合に素材中の成分である例えばCu,Zn等が表層へ拡散してくるのを抑制でき、即ち耐熱性向上の点で好ましい。前記Ni及び/又はCuの下地層は、0.2μm〜1.0μmの厚さであることがより好ましく、0.2μm〜0.6μmが更に好ましい。
前記Ni及び/又はCuの下地層は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、電気めっきにより被覆することが、リフロー処理後においても十分な特性を有し、安価に形成できるため好ましい。NiとCuの両方を下地層にする場合は、素材側からNi、Cu、及びSnの順に被覆することが好ましい。
前記Niめっきは、例えば複塩浴、普通浴、回転浴、高硫酸塩浴、ワット浴、全塩化物浴、硫酸塩−塩化物浴、全硫酸塩浴、高質浴、ストライクニッケル浴、スルファミン酸ニッケル浴、ほうふっ化ニッケル浴などの浴で行うことが好ましい。
前記Cuめっきは、例えば硫酸銅浴、ほうふっ化銅浴、シアン化銅浴、ピロリン酸銅浴などの浴で行うことが好ましい。
なお、各めっき浴ともに光沢剤を添加してもしなくてもよいが、光沢剤を添加しない方が変色の抑制の点で好ましい。
各めっきの厚さは、電着時間により調整することができる。
First, before the Sn layer is coated on the surface of copper or copper alloy, a base layer of Ni and / or Cu (that is, at least one of Ni and Cu) having a thickness of 0.1 μm to 1.0 μm may be coated. Preferably, if the thickness is 0.1 μm or more, it is possible to suppress diffusion of components such as Cu, Zn, etc. in the material to the surface layer when heated such as reflow treatment, that is, in terms of improving heat resistance. preferable. The Ni and / or Cu underlayer is more preferably 0.2 μm to 1.0 μm in thickness, and more preferably 0.2 μm to 0.6 μm.
The underlayer of Ni and / or Cu is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. However, coating by electroplating has sufficient characteristics even after reflow treatment, and is inexpensive. Since it can form, it is preferable. When both Ni and Cu are used as a base layer, it is preferable to coat Ni, Cu, and Sn in this order from the material side.
The Ni plating is performed, for example, as a double salt bath, a normal bath, a rotating bath, a high sulfate bath, a watt bath, a total chloride bath, a sulfate-chloride bath, a total sulfate bath, a high quality bath, a strike nickel bath, or a sulfamine. It is preferably carried out in a bath such as a nickel acid bath or a nickel borofluoride bath.
The Cu plating is preferably performed in a bath such as a copper sulfate bath, a copper borofluoride bath, a copper cyanide bath, or a copper pyrophosphate bath.
In addition, although it is not necessary to add a brightener to each plating bath, it is preferable from the point of suppression of discoloration that a brightener is not added.
The thickness of each plating can be adjusted by the electrodeposition time.

次に、厚みが0.1μm〜1.2μm(好ましくは0.2μm〜1.0μm)のSn層を電気めっきにより被覆する。
前記Snめっきは、例えばアルカリ性浴、硫酸浴、塩酸浴、スルフォン酸浴、シアン性浴、ピロリン酸浴、ほうふっ化浴などの浴で行うことが好ましい。
なお、前述の通り、Ni、Cuのめっきは目的特性に応じて省略してもよい。
Next, an Sn layer having a thickness of 0.1 μm to 1.2 μm (preferably 0.2 μm to 1.0 μm) is coated by electroplating.
The Sn plating is preferably performed in a bath such as an alkaline bath, a sulfuric acid bath, a hydrochloric acid bath, a sulfonic acid bath, a cyanic bath, a pyrophosphoric acid bath, or a fluorinated bath.
As described above, the plating of Ni and Cu may be omitted depending on the target characteristics.

次に、電気伝導度600μS/cm以下の水をSnめっき層表面に付与し、該付与した水を乾燥させずにリフロー炉に投入してリフロー処理(加熱によるSn被覆層等の溶融凝固処理)を行う。
Sn層表面にリフロー処理前に付与する水の付与量が1mg/dm以上であることが好ましく、3mg/dm〜300mg/dmであることがより好ましく、3mg/dm〜100mg/dmであることが更に好ましく、3mg/dm〜50mg/dmであることが特に好ましい。前記水の付与量が、1mg/dm未満であると、乾燥してリフロー処理されたものと同様に過加熱となりやすく、Snの表面には水酸化物が存在せず、酸化物のみの表面となり、所望の特性が得られない。ただし、300mg/dmを超えると、水酸化物は生成するが、気化熱によって溶融する際に必要とされる熱を奪われ、生産性が低下してしまう。
以上リフロー処理によって、Snめっき層は電析(電着)組織より溶融凝固組織に変化する。
Next, water having an electric conductivity of 600 μS / cm or less is applied to the surface of the Sn plating layer, and the applied water is put into a reflow furnace without drying and reflow treatment (melting and solidification treatment of the Sn coating layer or the like by heating). I do.
Preferably the applied amount of water applied before reflow treatment Sn layer surface is 1 mg / dm 2 or more, more preferably 3mg / dm 2 ~300mg / dm 2 , 3mg / dm 2 ~100mg / dm more preferably 2, and particularly preferably 3mg / dm 2 ~50mg / dm 2 . When the applied amount of water is less than 1 mg / dm 2, it is likely to be overheated as in the case of dried and reflow-treated, and there is no hydroxide on the surface of Sn, and only the surface of the oxide Thus, desired characteristics cannot be obtained. However, if it exceeds 300 mg / dm 2 , a hydroxide is produced, but the heat required for melting by the heat of vaporization is lost and the productivity is lowered.
As described above, the Sn plating layer changes from an electrodeposition (electrodeposition) structure to a melt-solidified structure by the reflow process.

前記水は、リフロー処理後に不純物が表面に残留して変色や腐食するのを防ぐため、電気伝導度が600μS/cm以下の水を使用することが好ましい。前記電気伝導度が600μS/cmを超える電気伝導度の高い水は金属元素等の不純物が多く、変色の原因となる虞がある。前記電気伝導度は、300μS/cm以下であることがより好ましい。
前記水のpHは、Snが両性金属で有り、酸性側、アルカリ性側でのSnの腐食を抑制するために、4.5〜9.5であることが好ましい。前記pHが4.5未満(酸性)又は9.5を超える(アルカリ性)と、水付着時に両性金属であるSn層表面の腐食が発生し、リフロー処理後のSn層の外観でムラが発生する。以上より、純水はもちろん市水(水道水、工業用水など)も本発明に適用できる。
The water is preferably water having an electric conductivity of 600 μS / cm or less in order to prevent impurities from remaining on the surface after reflow treatment and causing discoloration or corrosion. Water having a high electric conductivity exceeding 600 μS / cm has a large amount of impurities such as metal elements and may cause discoloration. The electrical conductivity is more preferably 300 μS / cm or less.
The pH of the water is preferably 4.5 to 9.5 in order to suppress corrosion of Sn on the acidic side and the alkaline side, since Sn is an amphoteric metal. If the pH is less than 4.5 (acidic) or exceeds 9.5 (alkaline), corrosion of the surface of the Sn layer, which is an amphoteric metal, occurs when water adheres, and unevenness occurs in the appearance of the Sn layer after reflow treatment. . From the above, city water (tap water, industrial water, etc.) as well as pure water can be applied to the present invention.

前記水の付与方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば水槽への浸漬、スプレー等による噴霧、水を含んだロールとの接触、ロール表面等の材料接触部に巻いた吸水性の布や紙などのシートとの接触、などが挙げられ、それぞれの量に応じて水膜の厚さを制御すればよい。この水膜の形成は、電析や試薬の化学反応等を必要としていないので、処理に要する時間が負担となることはない。
水膜形成後、必要に応じて絞りロール、乾燥ブロワーを使用してもよいが、所定の水膜をSnめっき層表面に形成したままリフロー処理に移行することが肝要である。水膜により表面の黄変色を抑制するメカニズムは、Snめっき層表面が加熱される際、水酸化物膜となり表面の酸化を抑制できているためであると推測している。
The water application method is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, immersion in a water tank, spraying with a spray, contact with a roll containing water, contact with a material such as a roll surface, etc. For example, contact with a sheet of water-absorbing cloth or paper wound around the portion, and the thickness of the water film may be controlled according to the amount of each. The formation of this water film does not require electrodeposition or chemical reaction of reagents, so that the time required for the treatment is not burdened.
After forming the water film, a squeeze roll and a dry blower may be used as necessary. However, it is important to shift to a reflow process while a predetermined water film is formed on the surface of the Sn plating layer. The mechanism that suppresses yellowing of the surface by the water film is presumed to be that when the surface of the Sn plating layer is heated, it becomes a hydroxide film and the surface oxidation can be suppressed.

前記リフロー処理の加熱方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば熱風循環方式、赤外線、電気ヒーター、バーナー直火、などが挙げられる。
前記リフロー処理時の被リフロー材の物温は、室温からSnの融点232℃を超えるまでの昇温速度が10℃/s以上であることがより好ましい。前記昇温速度が、10℃/s未満であると、表面の水膜が効果を発揮する前に乾燥してしまい、リフロー処理後、Snめっき層表面に水酸化物が残留せず、酸化物に覆われ黄変色の原因となる。また、大気中でのリフロー処理でも効果を発現でき、雰囲気によらず本発明の効果を発現することが可能であり、この点でも雰囲気ガスの削減、管理面のコスト削減に対して有効である。
There is no restriction | limiting in particular as the heating method of the said reflow process, According to the objective, it can select suitably, For example, a hot-air circulation system, infrared rays, an electric heater, a burner direct flame, etc. are mentioned.
More preferably, the temperature of the material to be reflowed during the reflow treatment is 10 ° C./s or more at a temperature increase rate from room temperature to a melting point of Sn exceeding 232 ° C. When the heating rate is less than 10 ° C./s, the surface water film is dried before the effect is exerted, and after the reflow treatment, no hydroxide remains on the surface of the Sn plating layer. Covered with yellow and causes yellowing. In addition, the effect of the present invention can be exerted even in the reflow treatment in the atmosphere, and the effect of the present invention can be exhibited regardless of the atmosphere. This is also effective in reducing the atmospheric gas and the management cost. .

リフロー処理にて最高到達温度(物温)を所定の温度(240〜300℃)とし、Sn層が溶融した後は、10秒以内に100℃以下まで冷却し、表面の冷却皺の発生を抑制することが好ましい。前記冷却の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば雰囲気ガスや大気の吹き付け、10℃〜90℃の水槽への浸漬、などが挙げられる。   Reflow treatment sets the maximum temperature (material temperature) to a predetermined temperature (240 to 300 ° C), and after the Sn layer melts, cools it to 100 ° C or less within 10 seconds to suppress generation of surface cooling flaws. It is preferable to do. There is no restriction | limiting in particular as said cooling method, According to the objective, it can select suitably, For example, spraying of atmospheric gas or air | atmosphere, the immersion to a 10 degreeC-90 degreeC water tank etc. are mentioned.

本発明のSn被覆銅又は銅合金は、例えば自動車、携帯電話、パソコン等の制御基板、コネクタ、リードフレーム、リレー、スイッチ等に用いられる端子、バスバー材等の電気・電子部品として好適である。   The Sn-coated copper or copper alloy of the present invention is suitable as an electrical / electronic component such as a terminal used for a control board, a connector, a lead frame, a relay, a switch or the like of a car, a mobile phone, a personal computer, or a bus bar material.

以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

(実施例1)
素材として、コネクタ用の端子やバスバー材として広く利用されている銅合金C19025(Cu−1.0Ni−0.9Sn−0.05P(質量%))で、ビッカース硬さが170(ミツトヨ株式会社製、ビッカース硬度計、荷重200gfで測定)、表面粗さ(Ra)が0.13μm(Kosaka Laboratory Ltd.製、接触式表面粗さ計)の範囲であり、厚み0.2mmの板状部材を使用した。
Example 1
As a material, copper alloy C19025 (Cu-1.0Ni-0.9Sn-0.05P (mass%)) widely used as a connector terminal or bus bar material, having a Vickers hardness of 170 (Mitutoyo Co., Ltd.) , Measured with a load of 200 gf) and a surface roughness (Ra) in the range of 0.13 μm (manufactured by Kosaka Laboratories Ltd., contact surface roughness meter), and a plate-like member having a thickness of 0.2 mm is used. did.

前記板状部材を電解脱脂後、以下のようにしてSnめっきし、得られたSn層表面にスプレーイングシステムスジャパン株式会社製クイックフォッガーを使用してスプレー方式により10mg/dmの水膜形成を行った後に、以下のようにしてリフロー処理を行った。以上により、実施例1のSn被覆銅又は銅合金製品を作製した。
なお、Sn層表面の水膜の形成量は、前記スプレーの前後で板状部材の質量を電子天秤で秤量し、その差を板状部材(Sn層)の表面積で除すことにより求めた。
The plate-like member is electrolytically degreased and then Sn-plated as follows. The surface of the obtained Sn layer is sprayed using a quick fogger manufactured by Spraying Systems Japan Co., Ltd., and sprayed to form a 10 mg / dm 2 water film. After forming, the reflow process was performed as follows. As described above, the Sn-coated copper or copper alloy product of Example 1 was produced.
The amount of water film formed on the surface of the Sn layer was determined by weighing the mass of the plate member with an electronic balance before and after spraying and dividing the difference by the surface area of the plate member (Sn layer).

−Snめっき−
Snめっきは、硫酸Snを55g/L、硫酸80g/L、クレゾールスルホン酸40g/L、及びβナフトール1g/Lを添加した浴を使用し、浴温20℃、陰極電流密度3A/dmとし、厚さ0.3μmのSnの電気めっき層を前記板状部材の全面に形成した。
-Sn plating-
The Sn plating uses a bath to which 55 g / L of sulfuric acid, 80 g / L of sulfuric acid, 40 g / L of cresol sulfonic acid, and 1 g / L of β-naphthol are added, and the bath temperature is 20 ° C. and the cathode current density is 3 A / dm 2. An electroplating layer of Sn having a thickness of 0.3 μm was formed on the entire surface of the plate member.

−リフロー処理−
リフロー処理は、近赤外線ヒーター(ハイベック社製)を使用し、大気雰囲気で行った。昇温速度の調整は、熱電対を取り付けたSnめっき付きの試験片(表面水付与無し)で予備試験を行い、近赤外線の出力コントローラを制御することによって行った。昇温速度60℃/s、最高到達温度は試験片の物温が280℃となるように制御しSnを溶融させた。リフロー処理後の冷却は、Sn溶融後5秒以内に40℃の水槽へ浸漬する方法を採用し、溶融後10秒以内に100℃以下まで冷却した後、ブロワー乾燥を行った。
-Reflow processing-
The reflow treatment was performed in an air atmosphere using a near-infrared heater (manufactured by Highbeck). The temperature increase rate was adjusted by conducting a preliminary test with a Sn-plated test piece (without surface water application) to which a thermocouple was attached, and controlling a near infrared output controller. The rate of temperature increase was 60 ° C./s, and the maximum temperature reached was controlled such that the temperature of the test piece was 280 ° C. to melt Sn. For the cooling after the reflow treatment, a method of immersing in a water bath at 40 ° C. within 5 seconds after melting of Sn was adopted. After cooling to 100 ° C. or less within 10 seconds after melting, blower drying was performed.

(実施例2〜10及び比較例1〜5)
実施例1において、表1に示すように、Sn層の厚さ、下地層の種類と厚さ、水の付与量と電気伝導度とpH、及びリフロー処理時の昇温速度、リフロー処理の最高到達温度などを変えた以外は、実施例1と同様にして、実施例2〜10及び比較例1〜5の製品を作製した。
Snめっきの前のCu下地めっき、Ni下地めっき、又はNi下地めっきの上のCu下地めっきは以下のように形成した。
−Cuめっき−
Cuめっきは、硫酸銅200g/L、及び硫酸50g/Lを添加した浴を使用し、浴温30℃、陰極電流密度3A/dmとし、所定の厚さのCuの電気めっき層を板状部材の全面に形成した。
−Niめっき−
Niめっきは、スルファミン酸ニッケル450g/L、塩化ニッケル微量、及びホウ酸30g/Lを添加した浴を使用し、pH4.0、浴温50℃、陰極電流密度5A/dmとし、所定の厚さのNiの電気めっき層を板状部材の全面に形成した。各めっきの厚さは電着時間により調整した。
(Examples 2 to 10 and Comparative Examples 1 to 5)
In Example 1, as shown in Table 1, the thickness of the Sn layer, the type and thickness of the underlayer, the amount of water applied, the electrical conductivity and pH, the rate of temperature increase during the reflow treatment, and the maximum reflow treatment Products of Examples 2 to 10 and Comparative Examples 1 to 5 were produced in the same manner as Example 1 except that the temperature reached was changed.
Cu undercoat before Sn plating, Ni undercoat, or Cu undercoat over Ni undercoat was formed as follows.
-Cu plating-
For Cu plating, a bath to which 200 g / L of copper sulfate and 50 g / L of sulfuric acid were added was used, the bath temperature was 30 ° C., the cathode current density was 3 A / dm 2, and a Cu electroplating layer with a predetermined thickness was formed into a plate shape It was formed on the entire surface of the member.
-Ni plating-
Ni plating uses a bath to which 450 g / L of nickel sulfamate, a slight amount of nickel chloride, and 30 g / L of boric acid are added, pH 4.0, bath temperature 50 ° C., cathode current density 5 A / dm 2 , and a predetermined thickness. A nickel electroplating layer was formed on the entire surface of the plate-like member. The thickness of each plating was adjusted by the electrodeposition time.

次に、得られた各製品について、以下のようにして、各層の厚みの測定、及び各種評価試験を行った。結果を表1に示す。   Next, about each obtained product, the measurement of the thickness of each layer and various evaluation tests were done as follows. The results are shown in Table 1.

<リフロー処理後の各層の厚み>
リフロー処理後の各層の厚みは、以下のようにして測定した。
・Sn層、Cu−Sn拡散層、及びCu層の厚みは、電解式膜厚計(中央製作所製、THICKNESS TESTER TH11)を用いて測定した。
・Ni層、及びNi−Sn拡散層の厚みは、FIB(集束イオンビーム)を用いてめっき断面を露出させ、SIM(走査イオン顕微鏡)で断面観察を行って測定した。
<Thickness of each layer after reflow treatment>
The thickness of each layer after the reflow treatment was measured as follows.
-The thickness of Sn layer, Cu-Sn diffused layer, and Cu layer was measured using the electrolytic film thickness meter (Chuo Seisakusho make, THICKNESS TESTER TH11).
The thickness of the Ni layer and the Ni—Sn diffusion layer was measured by exposing the cross section of the plating using FIB (focused ion beam) and observing the cross section with a SIM (scanning ion microscope).

<Sn酸化物層又はSn水酸化物層の有無(水酸化物の有無)の判定、Sn酸化物層又はSn水酸化物層の厚さの測定>
Sn酸化物層又はSn水酸化物層の有無(水酸化物の有無)の判定、Sn酸化物層又はSn水酸化物層の厚さは、アルバック・ファイ株式会社製ESCA5800を使用して行った。
Sn酸化物層、又はSn水酸化物層の有無(水酸化物の有無)については、酸素原子の存在を定性分析で確認した後、酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーの状態分析を行うことにより判定した。酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーの状態分析の条件は以下の通りである。
・X線源: Al陽極線源(AlモノクロX線)、150W
・分析エリア: 直径800μm
・試料調整: 試料ホルダー上にセット
・光電子取出角: 45°
・パスエネルギー: 58.70eV
・測定時間: 6.75min
この条件でSn層表面(試料)を測定し、横軸を結合エネルギー、縦軸を光電子のカウント数c/s(カウントパーセカンド)とした図より、Oの1s軌道の結合エネルギーのピークのトップ(光電子のカウント数c/sが最大である部分、ピークの最大値)が531eV以上532eV以下にあるかどうかを判定した。酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーのピークのトップが531eV以上532eV以下にある場合に水酸化物が存在すると判定した。同様に、結合エネルギーのピークのトップが531eV未満にある場合は、酸化物と判定した。なお、531.2eV〜532eVであることがより確実に水酸化物と判定できる。
また、Sn酸化物層及びSn水酸化物層の厚さは、X線源はAl陽極線源、150W、分析エリア直径800μm、試料ホルダー上に試料をセット、光電子取り出し角45°、Arスパッタエッチング速度は10nm/min(SiO換算)で行った。深さ方向分析により、最表層から深さ方向にどこまで酸素原子が存在するかにより厚さを測定した。
<Determination of presence or absence of Sn oxide layer or Sn hydroxide layer (presence or absence of hydroxide), measurement of thickness of Sn oxide layer or Sn hydroxide layer>
Determination of the presence or absence of Sn oxide layer or Sn hydroxide layer (presence or absence of hydroxide) and the thickness of Sn oxide layer or Sn hydroxide layer were performed using ESCA5800 manufactured by ULVAC-PHI Co., Ltd. .
For the presence or absence of Sn oxide layer or Sn hydroxide layer (presence or absence of hydroxide), after confirming the presence of oxygen atoms by qualitative analysis, state analysis of binding energy of 1s orbital of oxygen atoms (O) is performed. Determined by doing. Conditions for analyzing the state of the bond energy of the 1s orbital of the oxygen atom (O) are as follows.
-X-ray source: Al anode source (Al monochrome X-ray), 150 W
・ Analysis area: Diameter 800μm
・ Sample preparation: Set on the sample holder ・ Photoelectron extraction angle: 45 °
・ Pass energy: 58.70eV
・ Measurement time: 6.75 min
The surface of the Sn layer (sample) was measured under these conditions, and the top of the peak of the binding energy of the 1s orbital of O is shown from the graph in which the horizontal axis represents the binding energy and the vertical axis represents the photoelectron count number c / s (count second). It was determined whether or not (the portion where the photoelectron count c / s is maximum, the maximum value of the peak) is 531 eV or more and 532 eV or less. It was determined that a hydroxide was present when the top of the bond energy peak of the 1s orbital of the oxygen atom (O) was 531 eV or more and 532 eV or less. Similarly, when the top of the peak of the binding energy was less than 531 eV, it was determined as an oxide. In addition, it can be more reliably determined that it is 531.2 eV to 532 eV.
The thicknesses of the Sn oxide layer and Sn hydroxide layer are as follows: X-ray source is Al anode source, 150 W, analysis area diameter is 800 μm, sample is set on sample holder, photoelectron extraction angle is 45 °, Ar sputter etching The speed was 10 nm / min (SiO 2 conversion). The depth was measured by the depth direction analysis to determine how many oxygen atoms exist in the depth direction from the outermost layer.

<加速変色試験>
180℃で保持した恒温槽(大気雰囲気)に1時間放置し、黄変色の発生有無を判定した。Sn酸化物層の厚さが厚くなると黄変色が発生する。初期状態で変色がなくてもこの試験で黄変色が発生する場合、室温でも6ヶ月といった長期間保管において、黄変色が発生する。
〔評価基準〕
○:加速変色試験で黄変色が発生しなかった
×:黄変色が発生した
<Accelerated discoloration test>
The sample was left in a thermostatic chamber (atmosphere) maintained at 180 ° C. for 1 hour to determine whether yellowing occurred. When the thickness of the Sn oxide layer increases, yellowing occurs. Even if there is no discoloration in the initial state, if yellow discoloration occurs in this test, the discoloration occurs during long-term storage such as 6 months at room temperature.
〔Evaluation criteria〕
○: Yellow discoloration did not occur in the accelerated discoloration test ×: Yellow discoloration occurred

<高温放置後の接触抵抗値の測定>
120℃で保持した恒温槽(大気雰囲気)に0時間(高温放置なし)、500時間、及び1000時間保持した後、恒温槽から取り出し、20℃に制御された測定室で表面の接触抵抗値を測定した。接触抵抗値は、株式会社山崎精機研究所製のマイクロオームメータ YMR−3を使用し、開放電圧20mV、電流10mA、直径0.5mmのU型金線プローブ、最大荷重100gf、摺動無しの条件で試験数(N=5)の測定を行い、その平均値を求めた。
なお、1000時間保持後の接触抵抗値(mΩ)は40mΩ以下が好ましく、30mΩ以下がより好ましい。
<Measurement of contact resistance value after standing at high temperature>
After holding for 0 hours (no high temperature), 500 hours, and 1000 hours in a constant temperature bath (atmosphere) held at 120 ° C., remove from the constant temperature bath and measure the contact resistance value of the surface in a measurement chamber controlled at 20 ° C. It was measured. The contact resistance value is a micro ohmmeter YMR-3 manufactured by Yamazaki Seiki Laboratory Co., Ltd., open voltage 20 mV, current 10 mA, U-shaped wire probe with a diameter of 0.5 mm, maximum load 100 gf, no sliding condition The number of tests (N = 5) was measured and the average value was obtained.
The contact resistance value (mΩ) after holding for 1000 hours is preferably 40 mΩ or less, more preferably 30 mΩ or less.

<180°密着曲げ試験>
リフロー処理後の製品から幅10mm、長さ40mmの試験片を切り出し、中央部で折り曲げ、圧縮試験機を用いて10kNの負荷を与えて5秒間保持し、除荷後に曲げ部外側表面をマイクロスコープで100倍にして観察し、割れ部の有無を観察し、下記基準で評価した。
〔評価基準〕
○:割れがなかった
×:割れが生じた
<180 ° adhesion bending test>
A test piece having a width of 10 mm and a length of 40 mm is cut out from the product after the reflow treatment, bent at the center, applied with a load of 10 kN using a compression tester and held for 5 seconds. Was observed at a magnification of 100, and the presence or absence of cracks was observed and evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: No crack ×: Crack occurred

<摩擦係数>
めす端子とおす端子の嵌合時の挿入力は、端子接圧が一定の場合、表面の摩擦係数と相関があることから、摩擦係数を測定して挿入力の代用評価とした。卓上プレス機を使用して内R=3mmのインデントを形成した板をめす端子側と想定し、平板をおす端子側とした。摩擦係数測定にあたっては、株式会社山崎精機研究所製電気接点シミュレーター、ステージコントローラー、ロードセル、ロードセルアンプが組み合わされた装置を使用し、ステージに固定した平板の上をインデント形成板のインデントを負荷荷重300gf、摺動速度60mm/minで5mm走査させ、摺動距離2mmから5mmまでの3mm区間でロードセルアンプにて検出された摺動時の力のデータの平均値を負荷荷重で除して摩擦係数を算出した。
<Friction coefficient>
Since the insertion force when the female terminal and the male terminal are fitted has a correlation with the surface friction coefficient when the terminal contact pressure is constant, the friction coefficient was measured and used as a substitute evaluation of the insertion force. Assuming that the terminal side is the one on which a plate on which an indent of R = 3 mm is formed using a desktop press machine, the terminal side is a flat plate. For measuring the friction coefficient, use a device that combines an electrical contact simulator, stage controller, load cell, and load cell amplifier manufactured by Yamazaki Seiki Research Co., Ltd., and the indent of the indent forming plate on the flat plate fixed to the stage is 300 gf. The friction coefficient is obtained by dividing the average value of the sliding force data detected by the load cell amplifier in the 3 mm section from the sliding distance of 2 mm to 5 mm by the load load by scanning 5 mm at a sliding speed of 60 mm / min. Calculated.

<溶融凝固組織>
Sn層の断面のSEM観察(倍率5,000倍)により結晶粒界がほとんど観察されず、平均結晶粒径が5μm以上である場合に溶融凝固組織であると判断した。なお、リフロー処理前(電気めっき後)のSn層の平均結晶粒径は0.1〜3μmであった。結晶粒径はJIS H0501の切断法により測定とした。
〔評価基準〕
○:リフロー処理後、溶融凝固組織である
×:リフロー処理後、溶融凝固組織でない
<Melt solidification structure>
SEM observation of the cross section of the Sn layer (magnification of 5,000 times) hardly observed the crystal grain boundaries, and when the average crystal grain size was 5 μm or more, it was judged as a melt-solidified structure. The average grain size of the Sn layer before reflow treatment (after electroplating) was 0.1 to 3 μm. The crystal grain size was measured by the cutting method of JIS H0501.
〔Evaluation criteria〕
○: After the reflow treatment, it is a melt-solidified structure. ×: After the reflow treatment, it is not a melt-solidified structure.

Figure 2010215979
Figure 2010215979
Figure 2010215979
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表1の結果から、実施例1〜10は、いずれも電気めっきされたSn層の厚さが0.1〜1.1μmであり、Ni及び/又はCuの下地めっきを施したものはその厚さが0.1μm〜0.5μmの範囲である。これをリフロー処理した後、各層の厚さを測定
すると、Sn層が0.1μm〜0.3μmの範囲、Cu−Sn層が0.4μm〜1.4μmの範囲、Ni−Sn層が0.2〜0.9μm、Ni層が0.1〜0.2μmであり、Sn層は溶融凝固組織であることが確認された。
また、リフロー処理の昇温速度はいずれも10℃/s以上であった。
リフロー処理後のSn層の表面をESCAで分析すると酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーの状態分析おいてピークのトップが531.2eV〜532eVの間に存在し、水酸化物の存在が認められ、外観は黄色変色がなく、接触抵抗値の上昇も少なく、120℃で1000時間保持した後において30mΩ以下であり良好であった。180°曲げ試験の結果は良好であり、摩擦係数は0.3以下であった。
From the results of Table 1, in Examples 1 to 10, the electroplated Sn layer has a thickness of 0.1 to 1.1 μm, and Ni and / or Cu underplating is the thickness. Is in the range of 0.1 μm to 0.5 μm. When the thickness of each layer was measured after the reflow treatment, the Sn layer was in the range of 0.1 μm to 0.3 μm, the Cu—Sn layer was in the range of 0.4 μm to 1.4 μm, and the Ni—Sn layer was 0.00. It was confirmed that the Ni layer was 2 to 0.9 μm, the Ni layer was 0.1 to 0.2 μm, and the Sn layer was a melt-solidified structure.
Moreover, all the temperature increase rates of the reflow process were 10 degrees C / s or more.
When the surface of the Sn layer after the reflow treatment is analyzed by ESCA, the peak top exists between 531.2 eV and 532 eV in the state analysis of the binding energy of the 1s orbital of the oxygen atom (O), and the presence of hydroxide exists. As a result, the appearance was not yellow discolored and the increase in the contact resistance was small. The result of the 180 ° bending test was good, and the friction coefficient was 0.3 or less.

比較例1は、電気めっきされたSn層の厚さが1.6μmであり、これをリフロー処理した後、Sn層の厚さが0.9μm、Cu−Sn層の厚さが0.9μmであり、Sn層は溶融凝固組織であることが確認された。また、リフロー処理の昇温速度は20℃/sであった。摩擦係数は0.45であった。
比較例2は、電気めっきされたSn層の厚さが0.7μmであり、これをリフロー処理した後、Sn層の厚さが0.55μm、Cu−Sn層の厚さが0.45μmであり、Sn層は溶融凝固組織であることが確認された。また、リフロー処理の昇温速度は5℃/sであった。摩擦係数は0.35であった。
また、比較例1及び2は、リフロー処理後のSn層の表面を分析すると水酸化物の存在が認められず、1,000時間後の接触抵抗値の上昇が認められた。
比較例1は、リフロー処理前のSn層表面の水の付与量が0mg/dmであり、リフロー処理後にSn層表面に水酸化物が生成しなかったために、不具合が発生したと考えられる。
比較例2は昇温速度が10℃/s以未満であり、昇温中に表面に付与した水が乾燥しており、リフロー処理後にSn層表面に水酸化物が生成しなかったために、不具合が発生したと考えられる。
比較例3〜5は、リフロー処理後のSn層の表面を分析すると水酸化物の存在が認められず、120℃で1000時間保持後の接触抵抗値が40mΩを超えており良好でなく、また、外観は黄色変色していた。
比較例3は、リフロー前に水が表面に付与されていないため、水酸化物が生成せず接触抵抗値が劣化し、かつ外観が黄色変色となったと考えられる。
比較例4は、付与した水のpHが13であり、非常にアルカリ性が強いために水酸化物が生成せず、接触抵抗値が劣化し、かつ外観が黄色変色となったと考えられる。
比較例5は、付与した水の電気伝導度が1000μS/cmであり、非常に伝道度が高いために水酸化物が生成せず、接触抵抗値が劣化し、かつ外観が黄色変色となったと考えられる。
In Comparative Example 1, the thickness of the electroplated Sn layer was 1.6 μm, and after reflow treatment, the Sn layer had a thickness of 0.9 μm and the Cu—Sn layer had a thickness of 0.9 μm. In other words, the Sn layer was confirmed to be a melt-solidified structure. Moreover, the temperature increase rate of the reflow process was 20 ° C./s. The coefficient of friction was 0.45.
In Comparative Example 2, the thickness of the electroplated Sn layer was 0.7 μm, and after reflow treatment, the Sn layer had a thickness of 0.55 μm and the Cu—Sn layer had a thickness of 0.45 μm. In other words, the Sn layer was confirmed to be a melt-solidified structure. Moreover, the temperature increase rate of the reflow process was 5 ° C./s. The coefficient of friction was 0.35.
In Comparative Examples 1 and 2, when the surface of the Sn layer after the reflow treatment was analyzed, the presence of hydroxide was not observed, and an increase in the contact resistance value after 1,000 hours was observed.
In Comparative Example 1, the amount of water applied to the Sn layer surface before the reflow treatment was 0 mg / dm 2 , and no hydroxide was generated on the Sn layer surface after the reflow treatment.
In Comparative Example 2, the temperature increase rate was less than 10 ° C./s, the water applied to the surface during temperature increase was dry, and no hydroxide was formed on the Sn layer surface after the reflow treatment. It is thought that occurred.
In Comparative Examples 3 to 5, when the surface of the Sn layer after the reflow treatment was analyzed, the presence of hydroxide was not recognized, and the contact resistance value after holding at 120 ° C. for 1000 hours exceeded 40 mΩ, The appearance was yellow.
In Comparative Example 3, since water was not applied to the surface before reflowing, it was considered that no hydroxide was formed, the contact resistance value deteriorated, and the appearance became yellow.
In Comparative Example 4, it was considered that the pH of the applied water was 13, and the alkali was so strong that no hydroxide was generated, the contact resistance value was deteriorated, and the appearance became yellow.
In Comparative Example 5, the electrical conductivity of the applied water was 1000 μS / cm, and because the electrical conductivity was very high, no hydroxide was generated, the contact resistance value was deteriorated, and the appearance turned yellow. Conceivable.

本発明のSn被覆銅又は銅合金は、例えば自動車、携帯電話、パソコン等の民生機器の制御基板、コネクタ、リードフレーム、リレー、スイッチに用いられる端子、バスバー材などに好適に用いられる。   The Sn-coated copper or copper alloy of the present invention is suitably used for a control board, a connector, a lead frame, a relay, a terminal used for a switch, a bus bar material, etc., for example, for automobiles, mobile phones, personal computers and the like.

Claims (13)

最表面に存在する酸素原子(O)の存在形態をESCA(X線光電子分光装置)で分析した際に、酸素原子(O)の1s軌道の結合エネルギーのピークのトップが531eV以上532eV以下にあり、Sn層の厚みが0.05μm以上0.4μm未満であることを特徴とするSn被覆銅又は銅合金。   When the presence form of oxygen atoms (O) existing on the outermost surface is analyzed by ESCA (X-ray photoelectron spectrometer), the top of the peak of the binding energy of the 1s orbit of oxygen atoms (O) is 531 eV or more and 532 eV or less. The Sn-coated copper or copper alloy, wherein the Sn layer has a thickness of 0.05 μm or more and less than 0.4 μm. 酸素原子が、最表面から深さ方向に15nm以内の範囲に存在する請求項1に記載のSn被覆銅又は銅合金。   The Sn-coated copper or copper alloy according to claim 1, wherein oxygen atoms are present in a range of 15 nm or less in the depth direction from the outermost surface. 最表面に存在する酸素原子(O)の存在形態が、Snの水酸化物の形態である請求項1から2のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金。   The Sn-coated copper or copper alloy according to claim 1, wherein the presence form of oxygen atoms (O) existing on the outermost surface is a form of Sn hydroxide. Sn層の厚みが、0.05μm〜0.3μmである請求項1から3のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金。   The Sn-coated copper or copper alloy according to claim 1, wherein the Sn layer has a thickness of 0.05 μm to 0.3 μm. Sn層の内側に厚み0.3μm〜1.5μmのCu−Sn拡散層を有する請求項1から4のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金。   5. The Sn-coated copper or copper alloy according to claim 1, further comprising a Cu—Sn diffusion layer having a thickness of 0.3 μm to 1.5 μm inside the Sn layer. Sn層の内側に厚み0.1μm〜1.0μmのNi−Sn拡散層を有する請求項1から4のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金。   5. The Sn-coated copper or copper alloy according to claim 1, further comprising a Ni—Sn diffusion layer having a thickness of 0.1 μm to 1.0 μm inside the Sn layer. Sn層の組織が、溶融凝固組織である請求項1から6のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金。   The Sn-coated copper or copper alloy according to any one of claims 1 to 6, wherein the structure of the Sn layer is a melt-solidified structure. 表面の摩擦係数が0.3以下である請求項1から7のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金。   The Sn-coated copper or copper alloy according to any one of claims 1 to 7, wherein a surface friction coefficient is 0.3 or less. 銅又は銅合金に厚み0.1μm〜1.2μmのSn層を電気めっきにより被覆した後、該Sn層表面に電気伝導度が600μS/cm以下、pHが4.5〜9.5の水を付与し、該付与した水を乾燥させずにリフロー処理を行うことを特徴とするSn被覆銅又は銅合金の製造方法。   After a Sn layer having a thickness of 0.1 μm to 1.2 μm is coated on copper or a copper alloy by electroplating, water having an electric conductivity of 600 μS / cm or less and a pH of 4.5 to 9.5 is applied to the surface of the Sn layer. A method for producing Sn-coated copper or a copper alloy, which comprises applying and performing a reflow treatment without drying the applied water. 銅又は銅合金にSn層を被覆する前に、厚み0.1μm〜1.0μmのNi及び/又はCuの下地層を被覆する請求項9に記載のSn被覆銅又は銅合金の製造方法。   The method for producing a Sn-coated copper or copper alloy according to claim 9, wherein a Ni and / or Cu underlayer having a thickness of 0.1 to 1.0 µm is coated before the Sn layer is coated on copper or a copper alloy. 水の付与量が、1mg/dm以上である請求項9から10のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金の製造方法。 Application amount of water, a manufacturing method of the Sn-coated copper or a copper alloy according to any of claims 9 10, is 1 mg / dm 2 or more. リフロー処理時の被リフロー材の昇温速度が、10℃/s以上である請求項9から11のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金の製造方法。   The method for producing an Sn-coated copper or copper alloy according to any one of claims 9 to 11, wherein the temperature increase rate of the material to be reflowed during the reflow treatment is 10 ° C / s or more. 請求項1から8のいずれかに記載のSn被覆銅又は銅合金を用いたことを特徴とする電気・電子部品。   An electrical / electronic component using the Sn-coated copper or copper alloy according to any one of claims 1 to 8.
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